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近日,由北方华创自主研发的12英寸高密度等离子体化学[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相[/color][/url]沉积(HDPCVD)设备Orion Proxima正式进入客户端验证。这标志着北方华创在绝缘介质填充工艺技术上实现了新的突破,也为北方华创进军12英寸介质薄膜设备领域,打开百亿级市场迈出了坚实的一步。[align=center][img=640.png]https://img1.17img.cn/17img/images/202401/uepic/046bd044-757e-4261-a4b4-80ffd0c58250.jpg[/img][/align]集成电路领域高速发展,对芯片制造工艺提出了更具挑战的要求,其中就包括如何用绝缘介质在各个薄膜层[1]之间进行均匀无孔的填充,以提供充分有效的隔离保护。为了满足以上需求,HDPCVD设备已经成为介质薄膜沉积工艺的重要设备。[size=14px][i][1]包括浅槽隔离(Shallow-Trench-Isolation,STI),金属前绝缘层(Pre-Metal-Dielectric,PMD),金属层间绝缘层(Inter-Metal-Dielectric,IMD)等。[/i][/size]据介绍,Orion Proxima作为北方华创推出的国产自研高密度等离子体化学[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相[/color][/url]沉积设备,主要应用于12英寸集成电路芯片的浅沟槽绝缘介质填充工艺。此款设备通过沉积-刻蚀-沉积的工艺方式可以有效完成对高深宽比沟槽间隔的绝缘介质填充,借助北方华创在刻蚀技术上的积累,发挥其高沉积速率、优异的填孔能力和低温下进行反应得到高致密的介质薄膜的优势,获得多家业内客户关注。[align=center][img=2.png]https://img1.17img.cn/17img/images/202401/uepic/a1e65aee-9e13-4158-9f50-1cf9d9d3116b.jpg[/img][/align]北方华创表示,现阶段,Orion Proxima技术性能在迭代升级中已达业界先进水平:通过灵活可控的软件系统调度优化与自主研发特有传输平台的结合,助力客户实现产能的大幅提升,取得双赢;通过提供不同的硬件配置方案,满足了包括填孔能力、膜层质量、颗粒控制等工艺需求的同时,更实现了对逻辑、存储及其他特色工艺领域客户的全覆盖。Orion Proxima HDPCVD通过优化机台结构,缩小了整机占地面积,节省了客户空间运营成本;通过优化排气管路设计,提高了清洗效率;通过优化开盖方式,缩减了人力维护开支,提高了设备生产效率。[来源:仪器信息网] 未经授权不得转载[align=right][/align]
2023年,全球半导体行业仍处于周期底部,导致上游半导体设备产业市场需求出现小幅萎缩,但在国产替代的黄金浪潮推动下,北方华创预计2023年营收为209.7亿至231亿元,成为首家闯入全球TOP 10的中国半导体设备厂商。根据各半导体设备公司公布的财报数据及营收预测,笔者整理了全球前十大半导体设备供应商的销售数据及排名显示,荷兰光刻机巨头荷兰阿斯麦(ASML)2023年营收增长30%,以276亿欧元的销售额,超越美国应用材料(AMAT)排名第一;美国应用材料以265.2亿美元(截至2023年10月29日)的收入排名第二;美国泛林(LAM)以143.17亿美元(截止2023年12月24日)的营收排名第三;日本东京电子(TEL)预估今年度(2023年4月-2024年3月)合并营收目标为1.73万亿日元,排名第四;美国科磊(KLA)预计营收为96亿美元排名第五。[align=center][img=,500,305]https://img1.17img.cn/17img/images/202402/uepic/ed0a3679-2e74-40c4-a72d-bbbb8cee571e.jpg[/img][/align]注:(1)鉴于汇率的变化,以及各半导体企业的财报统计的起止时间上有差异,笔者尽量统计各大企业2023年自然年度的营收,难以拆分的数据则为2022/23年的总营收。(2)上述企业财务数据为整体业务收入,并未拆分出半导体设备业务收入,且部分厂商为预测数据,取中位数计算。因此,上述数据难以详尽,仅供大家参考。从上述数据来看,在业务体量方面,尽管除ASML大幅增长和应用材料小幅增长外,泛林、东京电子、科磊都出现了不同程度的下滑,但上述Top 5的地位基本难以撼动,门槛接近百亿美元的范畴。而排在第六位的日本迪恩士(Screen)预计2023财年销售额为5000亿日元,换算为美元仅科磊的三分之一,日本爱德万(Advantest)预计2023财年销售额为4700亿日元,排名第七。排名第八至第十的分别为中国北方华创、荷兰ASMI和美国泰瑞达(Teradyne)。值得注意的是,得益于国内旺盛的市场需求,北方华创预计2023年营收为209.7亿至231亿元,其增长幅度达42.77%至57.27%,远超其他半导体设备企业,也是首次闯入全球TOP 10的中国半导体设备厂商。由上可知,进入全球前十大半导体设备企业的营收门槛约为26.7亿美元。另外,从前十大半导体设备厂商总部的所属地区来看,美国占4家;日本占3家;荷兰2家;中国大陆1家。由此也可以看出,美国、日本、荷兰在半导体设备领域的强势地位,而中国大陆企业正在逐步突围。[来源:集微网][align=right][/align]
如题俺现在在长春希望多多认识北方的从事电镜工作的朋友ywh7738@126.com