加热循制器

2005年02月，在天津医科大学实验室仪器项目中，北京桑翌公司代理JULABO加热制冷循环器F12-MD以其优质的性能，精致的外观，合理的价格获得众多评标老师的一致青睐，在众多知名品牌中脱颖而出，成为最后中标仪器。

成果名称电子束加热控制器单位名称中科院物理研究所联系人郇庆联系邮箱qhuan_uci@yahoo.com成果成熟度□正在研发 □已有样机 □通过小试 □通过中试 √ 可以量产合作方式√ 技术转让 √ 技术入股 □合作开发 √ 其他成果简介： 电子束加热是实验中经常用到的样品加热、蒸发和处理方式，加热中需要给灯丝提供电流、提供所需的高压电源甚至还需要束流检测和反馈控制。该电子束加热控制器集成了电子束加热所需的全部功能，可以在手动、恒压、恒发射电流、恒加热功率以及束流反馈等多种模式下工作。采用ARM为核心的主控系统和5.6寸触摸液晶屏，操作简便、界面友好。具备以太网口、USB口等多种数字接口，可实现数据存储输出、固件的远程更新和远程故障诊断。目前该设备已在国内外多家单位进行了尝试性推广，包括中科院物理所、清华大学、北京大学、复旦大学、中国科技大学、武汉物数所、美国伊利诺伊大学芝加哥分校等，反响很好。其主要技术指标为： 最大输出功率: 250W 输出电压范围： 0~2KV 输出电流范围： 0~125mA 灯丝电流： 0~3A 工作模式: 手动/自动（恒压、恒发射电流、恒加热功率、恒束流） 束流检测范围: 100pA~1mA 最小分辨率为1pA 应用前景： 主要用于电子束加热样品台、电子束加热蒸发源等装置，也可单独作为手动高压电源使用。应用范围广，估计每年国内市场需求在百套以上。知识产权及项目获奖情况： 发明专利：201410527768.4 201510220859.8

table border="1" cellspacing="0" cellpadding="0"tbodytrtd width="86"p style="line-height: 1.75em "成果名称/p/tdtd width="535" colspan="3" style="word-break: break-all "p style="line-height: 1.75em "strong电阻加热蒸发源及控制器/strong/p/td/trtrtd width="95"p style="line-height: 1.75em "单位名称/p/tdtd width="535" colspan="3"p style="line-height: 1.75em "中国科学院物理研究所/p/td/trtrtd width="95"p style="line-height: 1.75em "联系人/p/tdtd width="182"p style="line-height: 1.75em "郇庆/p/tdtd width="126"p style="line-height: 1.75em "联系邮箱/p/tdtd width="202"p style="line-height: 1.75em "qhuan_uci@yahoo.com/p/td/trtrtd width="95"p style="line-height: 1.75em "成果成熟度/p/tdtd width="531" colspan="3"p style="line-height: 1.75em "□正在研发 □已有样机 □通过小试 □通过中试 √可以量产/p/td/trtrtd width="95"p style="line-height: 1.75em "合作方式/p/tdtd width="531" colspan="3"p style="line-height: 1.75em "√技术转让 √技术入股 □合作开发 √其他/p/td/trtrtd width="648" colspan="4" style="word-break: break-all "p style="line-height: 1.75em "strong成果简介： /strong/pp style="text-align:center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201604/insimg/7a88eaa5-8603-403c-bd0d-271d8a438f3c.jpg" title="1.jpg" width="400" height="180" border="0" hspace="0" vspace="0" style="width: 400px height: 180px "//pp style="text-align:center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201604/insimg/5ecfa9a4-14a2-4f8a-86d4-7292f56fab4f.jpg" title="2.jpg" width="500" height="103" border="0" hspace="0" vspace="0" style="width: 500px height: 103px "//pp style="line-height: 1.75em " 电阻加热坩埚的方式,对材料进行热蒸发。该部件采用超高真空兼容设计(CF35 法兰), 具有水冷和手动挡板功能。其水冷采用特殊设计结构,具有水冷效率高、不需要区分进水/ 出水口的特点。专利设计的坩埚结构,可以在不破坏加热钨丝的情况下更换蒸发材料。目前 该设备已在国内外多家单位进行了尝试性推广,包括中科院物理所、清华大学、北京大学、 南京大学、华东理工大学、法国 CEA、美国加州大学 Irvine 分校、美国 LBNL,效果良好。 其主要技术指标为:br/ 安装法兰: CF35br/ 超高真空兼容性: 是 – 可烘烤至 200℃ br/ 腔内直径: 34mmbr/ 腔内长度: 110mm~500mm 可定制 br/ 源数量: 1br/ 冷却方式: 水冷 br/ 坩埚材料: 99.8%三氧化二铝 br/ 工作温度: 250℃~1200℃ /pp style="line-height: 1.75em " 温度测量: 有 K型热电偶 br/ 所配套控制器,具有 PID 控制和多段可编程功能。输出功率可定制,控温精度高。有上 位机软件,界面友好、使用方便。主要技术指标为:br/ 最大输出功率: 576W(36V/16A)--可定制 br/ 加热方式: 交流 br/ 控温表头: 多种控温表头可选 br/ 温度传感器: K 型热电偶(C 型热电偶可定制)/p/td/trtrtd width="648" colspan="4"p style="line-height: 1.75em "strong应用前景：/strongstrong /strongbr/ 主要用于分子束外延系统以及其他超高真空设备中的有机材料及低温无机材料的热蒸 发沉积。应用范围广,每年国内市场需求在数百套以上。/p/td/trtrtd width="648" colspan="4" style="word-break: break-all "p style="line-height: 1.75em "strong知识产权及项目获奖情况： /strongbr/ 发明专利:201410538769.9/p/td/tr/tbody/tablepbr//p