离子蚀刻机

Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-J 用于光学器件精密加工某光学器件制造商采用伯东 Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-J 应用于光学器件精密加工, 通过蚀刻工艺提高光学器件的聚酰亚胺薄膜的表面光洁度.Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-J 技术参数Φ4 inch X 12片基片尺寸Φ4 inch X 12片Φ5 inch X 10片Φ6 inch X 8片均匀性±5%硅片刻蚀率20 nm/min样品台直接冷却,水冷离子源Φ20cm 考夫曼离子源 Hakuto 离子刻蚀机 20IBE-J 的核心构件离子源采用的是伯东公司代理美国 考夫曼博士创立的 KRI考夫曼公司的射频离子源 RFICP220伯东 KRI 射频离子源 RFICP 220 技术参数:离子源型号RFICP 220DischargeRFICP 射频离子束流800 mA离子动能100-1200 V栅极直径20 cm Φ离子束聚焦, 平行, 散射流量10-40 sccm通气Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他典型压力 0.5m Torr中和器LFN 2000 采用伯东 Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-J 可以使 PV、RMS分别为1.347μm和340nm的粗糙表面, 通过蚀刻其粗糙度可降低至75nm和13nm PV、RMS分别为61nm和8nm的表面, 其粗糙度可降低至9nm和1nm. 该刻蚀工艺能有效提高光学器件聚酰亚胺薄膜的表面光洁度. 若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :上海伯东 : 罗先生 台湾伯东 : 王女士T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958ec@hakuto-vacuum.cn ec@hakuto.com.twwww.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw伯东版权所有, 翻拷必究！

改进晶圆制造工艺，探索蚀刻终点的全光谱等离子监测解决方案满足当今技术创新的繁荣发展和复杂多变的产业环境，半导体代工厂需要定量、准确和高速的过程测量。海洋光学(Ocean Insight)与等离子蚀刻技术的领先创新者合作，探索适用于检测关键晶圆蚀刻终点的全光谱等离子监测解决方案。客户面临的挑战随着全球对半导体的需求迅速增长，该行业已做好投资于节约成本的工艺改进以及开发日益复杂的半导体设计和配方的准备。为了满足当今的技术繁荣并应对不断扩大的市场，半导体代工厂需要定量、准确和高速的过程测量。半导体和微机电系统 (MEMS) 正在达到设计极限，通过减小尺寸或提高速度来进一步改进几乎是不可能的。相反，制造商专注于晶圆质量、可重复性和整体良率，以及提高产能。目标是满足对智能电子产品不断增长的需求，同时保持生产成本和价格竞争力。我们的观点微弱等离子体或晶圆光谱的快速分析有助于完善蚀刻工艺参数，同时提高晶圆质量。基于光谱仪的等离子体测量与强大的软件相结合，可以说明等离子体、腔室和视口条件的变化状态，并对来自深蚀刻或薄设计特征的最微弱信号敏感。光谱有助于使终点检测更加精确，从而可以设计出更复杂的晶片形状和图案。由于制造商可以更准确地停止和启动生产过程，因此可以制造更小的特征，同时减少错误和减少晶圆上的不可用空间。另外，随着终点检测变得更加精确，可以使用更薄的不同材料层，即使它们产生微弱的、难以分辨的光谱特征和更紧密排列的峰值。解决方案海洋光学与半导体行业领先的设备供应商合作，共同推进终点检测技术。我们定制了光谱仪（Ocean SR2 和 Ocean HDX 是等离子监测应用的理想选择），以提供半导体制造所需的快速、高灵敏度、精确分辨率和多功能连接能力。借助海洋光学硬件和支持，设备供应商不断改进和完善其为半导体行业提供的蚀刻技术。其在等离子处理和先进封装解决方案方面的领先地位支持与无线设备、光子学、固态照明和 MEMS 设备相关的新兴技术。

在半导体行业，晶圆是用光刻技术制造和操作的。蚀刻是这一过程的主要部分，在这一过程中，材料可以被分层到一个非常具体的厚度。当这些层在晶圆表面被蚀刻时，等离子体监测被用来跟踪晶圆层的蚀刻，并确定等离子体何时完全蚀刻了一个特定的层并到达下一个层。通过监测等离子体在蚀刻过程中产生的发射线，可以精确跟踪蚀刻过程。这种终点检测对于使用基于等离子体的蚀刻工艺的半导体材料生产至关重要。等离子体是一种被激发的、类似气体的状态，其中一部分原子已经被激发或电离，形成自由电子和离子。当被激发的中性原子的电子返回到基态时，等离子体中存在的原子就会发射特有波长的辐射光，其光谱图可用来确定等离子体的组成。等离子体是用一系列高能方法使原子电离而形成的，包括热、高能激光、微波、电和无线电频率。实时等离子体监测以改进工艺等离子体有一系列的应用，包括元素分析、薄膜沉积、等离子体蚀刻和表面清洁。通过对等离子体样品的发射光谱进行监测，可以为样品提供详细的元素分析，并能够确定控制基于等离子体的过程所需的关键等离子体参数。发射线的波长被用来识别等离子体中存在的元素，发射线的强度被用来实时量化粒子和电子密度，以便进行工艺控制。像气体混合物、等离子体温度和粒子密度等参数都是控制等离子体过程的关键。通过在等离子体室中引入各种气体或粒子来改变这些参数，会改变等离子体的特性，从而影响等离子体与衬底的相互作用。实时监测和控制等离子体的能力可以改进工艺和产品。一个基于Ocean Insight HR系列高分辨率光谱仪的模块化光谱装置用于监测等离子体室引入不同气体后，氩气等离子体发射的变化。测量是在一个封闭的反应室中进行的，光谱仪连接光纤和余弦校正器，通过室中的一个小窗口观察。这些测量证明了模块化光谱仪从等离子体室中实时获取等离子体发射光谱的可行性。从这些发射光谱中确定的等离子体特征可用于监测和控制基于等离子体的过程。等离子体监测可以通过灵活的模块化设置完成，使用高分辨率光谱仪，如Ocean Insight的HR或Maya2000 Pro系列（后者是检测UV气体的一个很好的选择）。对于模块化设置，HR光谱仪可以与抗曝光纤相结合，以获得在等离子体中形成的定性发射数据。从等离子体室中形成的等离子体中获取定性发射数据。如果需要定量测量，用户可以增加一个光谱库来比较数据，并快速识别未知的发射线、峰和波段。监测真空室中形成的等离子体时，一个重要的考虑因素是与采样室的接口。仪器部件可以被引入到真空室中，或者被设置成通过视窗来观察等离子体。真空通管为承受真空室中的恶劣条件而设计的定制光纤将部件耦合到等离子体室中。对于通过视口监测等离子体，可能需要一个采样附件，如余弦校正器或准直透镜，这取决于要测量的等离子体场的大小。在没有取样附件的情况下，从光纤到等离子体的距离将决定成像的区域。使用准直透镜可以获得更局部的收集区域，或者使用余弦校正器可以在180度的视野内收集光线。测量条件HR系列高分辨率光谱仪被用来测量当其他气体被引入等离子体室时氩等离子体的发射变化。光谱仪、光纤和余弦校正器通过室外的一个小窗口收集发射光谱，对封闭反应室中的等离子体进行光谱数据采集（图1）。图1：一个模块化的光谱仪设置可以被配置为真空室中的等离子体测量。一个HR2000+高分辨率光谱仪（~1.1nm FWHM光学分辨率）被配置为测量200-1100nm的发射（光栅HC-1，SLIT-25），使用抗曝光纤（QP400-1-SR-BX光纤）与一个余弦校正器（CC-3-UV）耦合。选择CC-3-UV余弦校正器采样附件来获取等离子体室的数据，以解决等离子体强度的差异和测量窗口的不均匀问题。其他采样选项包括准直透镜和真空透镜。结果图2显示了通过等离子体室窗口测量的氩等离子体的光谱。690-900纳米的强光谱线是中性氩（Ar I）的发射线，400-650纳米的低强度线是由单电离的氩原子（Ar II）产生的。图2所示的发射光谱是测量等离子体发射的丰富光谱数据的一个例子。这种光谱信息可用于确定一系列关键参数，以监测和控制半导体制造过程中基于等离子体的工艺。图2：通过真空室窗口测量氩气等离子体的发射。氢气是一种辅助气体，可以添加到氩气等离子体中以改变等离子体的特性。在图3中，随着氢气浓度的增加添加到氩气等离子体中的效果。氢气改变氩气等离子体特性的能力清楚地显示在700-900纳米之间的氩气线的强度下降，而氢气浓度的增加反映在350-450纳米之间的氢气线出现。这些光谱显示了实时测量等离子体发射的强度，以监测二次气体对等离子体特性的影响。观察到的光谱变化可用于确保向试验室添加最佳数量的二次气体，以达到预期的等离子体特性。图3：将氢气添加到氩等离子体中会改变其光谱特性。在图 4 和 5 中，显示了在将保护气添加到腔室之前和之后测量的等离子体的发射光谱。 保护气用于减少进样器和样品之间的接触，以减少由于样品沉积和残留引起的问题。 在图 4中，氩等离子体发射光谱显示在加入保护气之前，加入保护气后测得的发射光谱如图5所示。保护气的加入导致了氩气发射光谱的变化，从400纳米以下和~520纳米处的宽光谱线的消失可以看出。图4：加入保护气之前，在真空室中测量氩等离子体的发射。图5：加入保护气后，氩气发射特性在400纳米以下和~520纳米处有明显不同。结论紫外-可见-近红外光谱是测量等离子体发射的有力方法，以实现元素分析和基于等离子体过程的精确控制。这些数据说明了模块化光谱法对等离子体监测的能力。HR2000+高分辨率光谱仪和模块化光谱学方法在测量等离子体室条件改变时，通过等离子体室的窗口测量等离子体发射光谱，效果良好。还有其他的等离子体监测选项，包括Maya2000 Pro，它在紫外光下有很好的响应。另外，光谱仪和子系统可以被集成到其他设备中，并与机器学习工具相结合，以实现对等离子体室条件更复杂的控制。以上文章作者是海洋光学Yvette Mattley博士，爱蛙科技翻译整理。世界上第一台微型光谱仪的发明者海洋光学OceanInsight，30年来专注于光谱技术和设备的持续创新，在光谱仪这个细分市场精耕细作，打造了丰富而差异化的产品线，展现了光的多样性应用，坚持将紧凑、便携、高集成度以及高灵敏度、高分辨率、高速的不同设备带给客户。2019年，从Ocean Optics更名为Ocean Insight，也是海洋光学从光谱产品生产商转型为光谱解决方案提供商战略调整的开始。此后，海洋光学不仅继续丰富扩充光传感产品线，且增强支持和服务能力，为需要定制方案的客户提供量身定制的系统化解决方案和应用指导。作为海洋光学官方授权合作伙伴，爱蛙科技（iFrogTech）致力于与海洋光学携手共同帮助客户面对问题、探索未来课题，为打造量身定制的光谱解决方案而努力。如需了解更多详情或探讨创新应用，可拨打400-102-1226客服电话。关于海洋光学海洋光学作为世界领先的光学解决方案提供商，应用于半导体、照明及显示、工业控制、环境监测、生命科学生物、医药研究、教育等领域。其产品包括光谱仪、化学传感器、计量检测设备、光纤、透镜等。作为光纤光谱仪的发明者，如今海洋光学在全球已售出超过40万套的光纤光谱仪。关于爱蛙科技爱蛙科技（iFrogTech）是海洋光学官方授权合作伙伴，提供光谱分析仪器销售、租赁、维护，以及解决方案定制、软件开发在内的全链条一站式精准服务。

据广州南沙发布消息，6月28日，广州市南沙区在明珠湾大桥桥面举办重大项目集中签约动工竣工（投产）暨明珠湾大桥通车活动。76个项目于当天集中签约、动工竣工（投产），涵盖新能源汽车、芯片等先进制造产业。在当天的签约仪式上，10个重点项目分两批进行现场签约，总投资额160亿元，达产产值796亿元，其中包括湾区半导体高端设备智造基地。据介绍，湾区半导体高端设备智造基地是先导集团拟在南沙投资建现代化的半导体设备产业园，项目建成后拥有生产各类镀膜沉积设备、磁控溅射设备、离子蚀刻设备及交钥匙工程的综合生产能力。先导集团目前已掌握核心专利和工艺技术，项目产品将拥有100%自主产权，满足半导体产业链国产化替代的需求。广州南沙发布消息指出，目前，南沙正积极促进第三代半导体与新能源汽车产业的融合创新，成立第三代半导体创新中心，形成以晶科电子、芯粤能、爱思威为代表，以联晶智能、芯聚能为龙头的从晶圆生产到芯片设计、封装及应用的第三代半导体全产业链，为将来三千亿级新能源汽车产业集群发展提供“芯”能量。

-----铝蚀刻液成分分析—磷酸、硝酸、醋酸有多少？一、背景介绍蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。最早可用来制造铜版、锌版等印刷凹凸版，也广泛地被使用于仪器镶板，铭牌等的加工；经过不断改良和工艺设备发展，亦可以用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密蚀刻产品的加工，特别在半导体制程上，蚀刻更是不可或缺的技术。铝是半导体工艺中最主要的导体材料。它具有低电阻、易于淀积和刻蚀等优点。铝蚀刻液主要成分是磷酸、硝酸、醋酸及水，其中磷酸、硝酸、醋酸及水的组成比例会影响到蚀刻的速率，故需要对这种混酸溶液的成分进行分析。 二、测试原理1、硝酸：在样品中加入适量乙醇做溶剂，用四丁基氢氧化铵（TBAOH）滴定至终点，即可计算硝酸的含量。TBAOH+HNO3 → NO3-+TBN++H2O2、醋酸和磷酸：在样品中加入适量饱和氯化钠溶液做溶剂，用氢氧化钠溶液做滴定剂，出现两个滴定终点。第|一个终点是H3PO4和HNO3被耗尽时的终点，第二个终点是H2PO4-和HAc被耗尽时的终点，根据已知的硝酸含量，即可计算出磷酸及醋酸的含量。H3PO4+HNO3+2OH- → NO3-+ H2PO4-+ 2H2OH2PO4-+HAc+2 OH- → Ac-+ HPO42-+ 2H2O 三、混酸分析方法（1）硝酸含量测试：在滴定杯内加入50mL无水乙醇，准确称取一定质量的样品置于滴定杯内，用 0.01mol/L TBAOH溶液做滴定剂进行电位滴定，终点电位突跃设置为20mV/mL。图1 硝酸含量滴定曲线图2 醋酸和磷酸含量滴定曲线 （2）醋酸和磷酸含量测试：在滴定杯内加入50mL饱和氯化钠溶液。准确称取一定质量的样品置于滴定杯内，用0.5mol/L氢氧化钠溶液做滴定剂进行电位滴定，终点电位突跃设置为100mV/mL。 四、注意事项1、TBAOH标定时需要使用纯水做邻苯二钾酸氢钾的溶剂，而使用TBAOH测定硝酸时必须使用无水乙醇做溶剂，不要在滴定杯内加入水，否则不会出现显著的滴定终点。2、使用氢氧化钠测定醋酸和磷酸时，需使用饱和氯化钠溶液做溶剂，若使用纯水做溶剂会出现假终点。 五、仪器推荐ZDJ-5B型自动滴定仪 ● 7寸彩色触摸电容屏，导航式操作● 支持电位滴定● 实时显示测试方法、滴定曲线和测量结果● 可定义计算公式，直接显示计算结果● 支持滴定剂管理功能● 支持pH的标定、测量功能● 支持USB、RS232连接PC，双向通讯● 可直接连接自动进样器实现批量样品的自动测量

半导体硅晶片生产行业过程中，蚀刻晶片需要用一定浓度的碱液（NaOH和KOH)。这个浓度需要精确的和可重复的蚀刻过程测量和控制。 德国的Rhotec传感器适用于- 硅晶片生产电子芯片- 测量NaOH和KOH在[w/w% ]- 蚀刻液浓度的Rhotec自动控制测量原理 在线Rhotec-E密度传感器/传送器精确测量液体的密度，可以在极端工艺条件状态下使用。当样品经过U型管，振荡频率发生变化并测量相应的振荡频率，温度探头PT1000作温度补偿，测出的振荡频率转换为密度并显示w/w%，v/v%，Brix(白利糖度)，萃取率%或其他可测量介质的密度。使用此装置可记录分析液体的密度变化，尤其溶解性物质和非溶解性物质的混合物，如有机和无机混合物。技术参数：测量范围0~3 g/cm3过程连接3/8&rdquo 螺纹精度± 0.0001 g/cm3传感器连接现场总路线DP重现性± 0.00001 g/cm3输入2*digital（24VDC）响应时间&le 1s输出3*digital（24VDC）2*analog(4~20mA)温度传感器Pt1000可选现场总线DP温度范围-25~125℃外壳防护等级IP65压力最大50bar电源24VDC接触样品的材质哈氏合金C276，蒙乃尔合金400，耐热铬镍铁合金825，不锈钢1.4571，钽等爆炸防护（可选）Ex Ⅱ 2G Eex d ⅡC T6更多信息请联系400-628-2898或电邮 redmatrix@126.com

揭示生物学样本和材料样本原本无法观察到的内部结构冷冻断裂是一种将冰冻样本劈裂以露出其内部结构的技术。冷冻蚀刻是指让样本表面的冰在真空中升华，以便露出原本无法观察到的断裂面细节。金属/碳复合镀膜能够实现样本在SEM（块面）或TEM（复型）中的成像，主要用于研究如细胞器、细胞膜，细胞层和乳胶。这项技术传统上用于生物学应用，但现在逐渐在物理学和材料科学中展现出重要意义。近年来，研究人员通过冷冻断裂电子显微镜，尤其是冷冻复型免疫标记（FRIL），对膜蛋白在动态细胞过程中所发挥的作用有了新的见解。作者：Gisela Höflinger图1：麦叶上的蚜虫适合于电子显微镜的环境电子显微镜的样品室通过抽真空处理降至极低压力。置于这种环境下的活细胞无法有效保全结构，因为细胞构成中的大部分水分会快速蒸发。生物样本的制备方法有很多种。样品材料被（固定）保存，这样后续脱水对原位结构的破坏最小，同时可以使用环境扫描电镜（SEM）或者将水冷冻。高压冷冻是观察自然状态下含水结构的唯一方法。高压冷冻所形成的冰不是六边形冰（从水变为六边形冰时体积会增加）而是无定形冰，因此体积保持不变。所以，对渗透和温度变化敏感的结构得以保留（见文章“高压冷冻基础介绍”）。要观察诸如细胞器、细胞膜、乳胶或液体的表面界面等结构，冷冻断裂是唯一的方法。通过刀片（或类似物）或释放弹簧负载的外力来破开冷冻样本，并沿着最小阻力线断裂样本。图2：冷冻断裂（来源：http://en.wikibooks.org/wiki/Structural_Biochemistry/Lipids/Membrane_Fluidity） 水的升华与凝结 – 冷冻蚀刻与污染要暴露冷冻断裂面，需要把冰去除。这就需要通过把断裂面的冰升华去除以保存样品的结构。升华的过程是冰不经过液态过程直接转化为气态。而液态过程会导致样品体积和结构的破坏。图3：ES，细胞外表面；PF，细胞膜冷冻断裂面；EF，细胞膜外层冷冻断裂面；FS，细胞膜内表面；Cyt，细胞质水的升华/冷凝过程取决于特定温度下的饱和压力，以及水或冰在室内的有效水分压。注意：良好的真空度会降低水分压。例如：温度为-120℃的冰或冰冻样本饱和压力约为10-7 mbar。如果样品室内达到这个压力，则冷凝和蒸发处于平衡状态。蒸发的分子数量等于冷凝的分子数量。在更高压力下，冷凝速度要快于升华速度 – 因此冰晶会在样本表面上生长。必须采取一切手段来避免这种情况。样本上方一个较冷（比样本更冷）的冷阱会降低局部压力，从而起到了冷凝阱的作用。从样本中带出的水分子优先附着在较冷的表面上。在低于饱和压力的压力下，更多的分子升华而不是冷凝，同时会发生冷冻蚀刻。执行冷冻蚀刻直到样本完全无冰，这一过程称为冷冻干燥。仅适用于合理时间内执行的小样本。该过程分为几个步骤，需要从大约-120℃加热到-60℃，同时在每个步骤上使温度保持一定时间。该过程需要几天的时间来完成。图4：饱和蒸汽压力（感谢Umrath 1982提供的图片）样本温度低于-120℃时，蚀刻速度非常慢，蚀刻持续时间会增加到不切实际的程度。如果真空室的压力固定，则可以通过提高样本温度来提高蚀刻速度。对于生物样本，要特别小心温度高于-90℃。蚀刻速度会大幅提高。另外，要注意玻璃态冰中形成六边形冰晶从而导致脱水伪像。纯水的理论升华速度会降低，因为：• 样本深处的水升华速度比表面的水更慢。• 盐和大分子溶剂会降低升华速度。• 生物样本中大量存在的结合水会降低升华速度。通过冷冻断裂生成图像冷冻断裂和冷冻蚀刻技术往往采用高真空精细镀膜技术，将超细腻重金属和碳薄膜沉积于断裂表面。冷冻断裂样本在一定角度下用金属覆盖，然后在碳背衬膜（徕卡EM ACE600冷冻断裂或徕卡EM ACE900与徕卡EM VCT500）上生成复型进行TEM成像或在SEM的试块面上进行成像。对于这两种方法，冷冻断裂表面经过一定的蚀刻时间后以相同的方式进行镀膜。首先在一定角度下进行一层薄的（2-7nm）重金属镀膜，以形成地形对比度（阴影）。其次再针对重金属薄膜，在90°下进行一层厚的碳层（15-20nm）镀膜，以稳定超薄电子束蒸发。此时的蚀刻处理会停止。要对极小的结构进行成像，需要在极低的角度（2–8°）镀膜重金属并在镀膜期间旋转样本。这样可增加细丝状及其它细小结构的对比度。此项技术又称为小角度旋转投影。蒸镀重金属薄膜需要采用电子束蒸发镀膜技术。这种镀膜技术可实现精细定向沉积。碳的支撑层稳定了未被金属覆盖的结构。随着温度的升高，这些结构会改变它们的轮廓，样本不会完全导电，复型也不会粘在一起。冷冻断裂酵母的单向投影图5：低温SEM，BSE（背散射电子）图像。Walther P, Wehrli E, Hermann R, Müller M.（1995）双层镀膜获取高分辨率低温SEM。J Microsc. 179, 229-237。图6：复型，TEM图像（感谢Electronmicroscopy ETH Zürich提供图片）。Walther P, Wehrli E, Hermann R, Müller M.（1995）双层镀膜获取高分辨率低温SEM。J Microsc. 179, 229-237。图7：徕卡高压冷冻，真空冷冻传输至冷冻断裂系统中，利用电子束发射枪和旋转样本底座来进行冷冻蚀刻和低温镀膜。徕卡真空冷冻传输至低温SEM。油/水基样品，–100℃（升华）3分钟暴露油脂结构。图8：徕卡高压冷冻，真空冷冻传输至冷冻断裂系统中，利用电子束发射枪和旋转样本底座来进行冷冻蚀刻和低温镀膜。徕卡真空冷冻传输至低温SEM。原生生物游仆虫混合培养的羽纹硅藻。感谢英国波特斯巴NIBSC的Roland Fleck博士提供图片图9：徕卡冷冻断裂系统及徕卡真空冷冻传输至低温SEM的HPF、冷冻断裂、冷冻蚀刻和低温镀膜。油/水基乳液破裂，露出洋葱状薄片结构，形成液滴。感谢汉堡拜尔斯多夫Stefan Wiesner博士提供的图片。图10：TEM中的酵母细胞复型。经徕卡高压冷冻和徕卡冷冻断裂复型制备。感谢Elektronenmikroskopie ETH Zürich提供的图片。图11：大麦叶上的真菌。安装于徕卡冷冻断裂仪样本台上，并通过冷却样本台在液氮下进行冷冻。徕卡冷冻断裂仪对样品进行部分冷冻干燥（在更高的样本温度下冷冻干燥）。使用钨镀膜。徕卡真空冷冻传输至低温FESEM 5keV。相关产品徕卡EM ACE900 高端EM样本制备冷冻断裂系统徕卡EM VCT500了解更多：徕卡官网

2012-05-08 W.S. TYLER 非常高兴地宣布他们将在2012年6月1号开始生产带有激光蚀刻识别铭牌的试验筛。 刻蚀的信息要求符合工业标准并永久性地刻蚀到筛网的金属框架上。筛网的铭牌区域比传统的要大，让使用者有更大的能见度，另外，永久性的标记避免了因机械紧固失效导致的金属铭牌丢失，仪器的筛网功能和测试能力不会受到任何影响。 产品将在6月1号或前后逐步开始采用，并且所有的筛网产品将在年底之前完成由金属铭牌向激光刻蚀铭牌的改变。 W.S. Tyler 在2011年庆祝试验筛网产品100周年，作为全球范围的组织领导者，Tyler将继续提供市场上质量和服务*的产品，为我们的客户创造价值。 了解更多信息，请联上海凯来实验设备有限公司。联系人：杨先生电话：021-58955731邮箱：webmaster@chemlabcorp.com

继上期的新闻稿，留给了大家一个悬念 -- 样品分散乳化时的悬空魔术。相信大家都会满怀期待，那么接下来，让我们好好观赏这个惊奇无比的分散乳化魔术吧！ 魔术工具：Miccra D-15分散乳化机,DS-30/PG SMIR分散刀头，其它附件（铁板，支架，夹头，样品瓶）魔术材料：黄豆，水魔术师：来自德国Miccra的技术应用专家Mr.Kumanova 魔术观赏:http://v.qq.com/page/v/0/a/v0195gev80a.html (由于视频过大，烦请点击链接观看，谢谢！) 技术讲解：德国Miccra 其下有不同型号的分散乳化机和分散刀头，每个型号都有不同的特点。视频里用的分散机D-15和刀头 DS-30/PG SMIR，都是来自德国Miccra的原装进口产品。这也是完成该魔术的关键工具。视频里，我们的魔术师将转速先将转速设为30000RPM以内，半分钟以内黄豆已经被破碎， 样品溶液整体呈乳白色；之后，魔术师将转速提高，接近最高速（33000RPM），见证奇迹的时刻发生了 – 样品溶液连同样品瓶慢慢脱离台面，在没有人手的扶持下，自动升起，悬空出现！样品溶液连同样品瓶的重量在1.5KG左右。[现场观看的所有观众都发出了唏嘘的赞叹声]。那么，问题来了，到底是什么神奇的力量可以让样品悬空呢？ 魔术密码： 分散乳化机D-15的功率是1520W， 转速范围在8800-33600rpm；在同等功率的情况下，德国MICCRA 的分散机的转速在全球范围内是最高的，而其它同类品牌的转速在25000RPM左右或以内；可以说，30000PRM以上的转速是本魔术的必要条件。 转子的高转速，让定转子之间产生超强剪切力， 在样品液面形成一个强大的涡流， 从而在样品内部短时形成一个真空与吸力；在大气压的作用下，样品瓶自动悬空。所以说，MICCRA与真空，就是本魔术的密码！ 关于语特 和 英国Bibby / 德国ART, MC.ART, CAT / 瑞士Gerber Instruments ( www.youtoolinstru.cn.)广州语特仪器科技有限公司专注于搅拌器/分散乳化机等实验室样品制备等通用仪器， 熔点仪/光度计/冰点仪等分析仪器，以及PCR等生命科学仪器。 作为英国比比（Bibby ）在中国南方的首代，广东，广西，四川，重庆，云南，海南，贵州和西藏是我司的服务范围。语特公司也是德国Miccra, MCART, 德国CAT，瑞士Gerber Instruments 在中国的首代。l 英国BIBBY 成立于上个世纪50年代，作为英国最大的实验室科学仪器生产商， 旗下有4个子品牌：Stuart，Techne，Jenway，Electrothermal. 专注于样品前处理等通用实验室仪器（如：熔点仪, 搅拌器, 混匀器，摇床, 培养箱，干浴器/氮吹仪，水浴，菌落计数器, 纯水蒸馏器），分子生物学研究设备(基因扩增仪PCR，荧光定量，杂交箱)；分光光度计/超微量紫外等分析仪器，及平行反应工作站相关产品。 l 德国ART 成立于上个世纪，是德国乃至全球最专业的分散乳化专家。顶级分散乳化产品从实验室仪器，中试产品到工业设备， 分散头种类组合高达上百种；应用领域覆盖了化工，化妆品，制药，食品，环保等各大领域。l 德国CAT 成立于上个世纪50年代，是德国样品制备仪器方面的专家之一, 以”品质稳定”而闻名。其顶置式搅拌器种类多样，从手持式，教学用，到科研通用型，高粘度型，是CAT的代表产品线。l 瑞士Gerber Instruments 有超过120的历史，是专注于乳食品行业的典型代表。其产品冰点仪, 乳脂离心机, 食品专用PH计, 流出式粘度计等, 风靡欧洲及其它大陆国家。 l 德国MC.ART ，号称实验室小型“机器人”的提供者。其典型代表产品有：全自动分散乳化系统，自动抓取机器人，自动加液机器人，自动封装机器人，自动过滤机器人等实验室自动控制智能设备，以及实验室自动化的定制 。

2019年对科学仪器行业来说是纷繁复杂的一年，也是充满挑战的一年。在这样的背景下，海光公司持续加大研发投入，加强联系合作，加快走出去步伐，2019年依然是海光公司丰收的一年。 回顾2019，我们创造出很多美好回忆 一起来重温海光十大高光时刻 01 02 03 4 5 6 7 8 9 10

标题：直击BCEIA！盘点日立明星产品的高光时刻BCEIA 2023圆满收官日立科学仪器展会亮点频现以前所未有的方式带来沉浸式参展体验走，一起回顾现场高光时刻&bull C位出场，圈粉无数9月6日-8日持续3天时间，展台人气不断升温！日立展台3大区域，10余款创新产品，吸引了1500余人参观驻足，现场人头攒动，热闹非凡。凭借高品质的创新产品技术和专业的服务态度，日立科学仪器赢得了众多同仁的认可和赞扬，众多代理商及参展人员咨询信息后展现出浓厚的兴趣！&bull 重磅明星产品，一睹现场风采NO.1:实验合拍搭档——“科学之眼”现场测样演示，第一视角看微观世界聚焦日立技术优势——电子束技术助力高效、稳定、准确的观察分析台式电镜 TM4000PlusII&bull 标配低真空模式，简化样品前处理不导电样品也无需喷金，可以直接观察样品。&bull 简化寻找视野、图像拍摄、图像确认等一系列操作过程（选配）在样品仓上可选配光学相机，样品开始观察前先拍摄样品的整体照片，双击照片上的样品，即可实现照片导航功能。&bull 可根据测试需求选择适合的观测模式可根据不同观测目的，选择5KV、10KV、15KV、20KV四种不同的观测模式，获取图像。每个电压下都有四挡束流可调，可以针对不同的观察需求选择。NO.2:数据技术新星——“管理大师”新品发布，功能再升级高精度数据采集和处理结果实现自动记录且数据可追溯数据库版色谱数据管理系统ChromAssist4.1&bull 支持数据完整性支持FDA 21 CFR Part 11 数据完整性，具有用户管理、权限管理、项目管理、审计追踪、电子签名、锁屏保护等功能。&bull 具有数据管理（数据库）功能内置PostgreSQL 12.4数据库，具有项目存档和还原、审计追踪存档和还原功能，以及数据库的自动和手动备份功能。&bull 支持单机版和网络版既支持单机版，也支持网络版配置，通过网络版系统可实现集中的数据管理、用户管理和用户权限管理。NO.3:光谱智慧加持——“助攻神器”充分利用日立光学技术优势以高效、便捷、智能等优异性能助力多领域向“光”而行手持式XRF光谱仪 X-MET8000系列&bull 卓越性能X-MET提供优秀的的轻元素 （镁、铝、硅、磷、硫、氯）分析，检测限度低。&bull 操作简单大触摸屏和图标界面，只需要很少的培训便可开始操作。&bull 符合人体工学X-MET仅1.5公斤，不易因设备笨重感到疲劳。&bull 坚固耐用而拥有成本低符合IP54防水防尘要求（等同于NEMA 3）。通过MIL-STD-810G军用耐用标准测试。&bull 高级数据管理检测结果可保存在X-MET内部、U盘或电脑，也可自动上传到ExTOPE Connect云端。每一次创新，都是对品质的追求每一次实验，都是对未知的探索日立科学仪器将持续创新之路，加码自主研发以突破见所未见，引领未来

1、应用背景 　　等离子体是区别于固体、液体和气体的第四种物质聚集状态。在高能环境下，原子的外层电子摆脱原子核的束缚成为自由电子，失去电子的原子变成带正电的离子，这个过程叫电离，这种电离气体就是等离子体，通常由带电离子、自由电子、基态/激发态分子原子和自由基等粒子组成。等离子体在自然界中广泛存在，如太阳、恒星、星际物质、闪电等都是等离子体。 　　激光诱导等离子体(Laser-Induced Plasma, LIP)是通过激光与物质相互作用产生的一种高温、高密度的等离子体状态物质。当高能量的激光脉冲照射到物体表面时，会使得物质迅速加热并部分或完全电离，形成等离子体。伴随形成的等离子体羽流的演化过程具有超高速、持续时间短(一般几百纳秒)、强自发光背景和小空间尺度的特点，这使得其观测变得具有挑战性。 　　本次实验采用中智科仪的逐光IsCMOS像增强相机(TRC411)，拍摄了激光诱导等离子体羽流的形貌演化过程。基于逐光IsCMOS像增强相机的纳秒级快门门控、高精度的时序同步技术和变延迟序列推扫功能，记录了等离子体羽流的完整演化过程。 2、实验方案 　　实验设备： 　　中智科仪逐光IsCMOS像增强相机，型号：TRC411-S-HQB-F F2UV100大通量紫外镜头。 　　实验室所用激光器为镭宝Dawa-200灯泵浦电光调Q纳秒Nd:YAG激光器，波长1064nm，重复频率1-20Hz。采用激光器Q-out输出触发TRC411相机的方式，对相机Gate通道进行变延迟序列推扫，寻找相机与激光器的同步时刻。 　　实验流程： 　　1.实验材料被激发的等离子体羽发光在200nm-500nm左右，因此在镜头前端安装一个430nm的带通滤光片，屏蔽掉1064nm的激发激光和其他杂散光。需要注意观察成像画面中是否有强反射材料，比如样品台的光滑金属反光面或螺丝帽等，为了防止这些强烈反射面的反射光对相机造成损害，需要使用黑色电工胶带将它们遮挡或覆盖。 　　2. 激光器的Q-out触发输出接到示波器，测得同步输出的TTL信号电平为5V@1MΩ，频率与激光输出频率匹配，均为5Hz。TRC411相机可接受的最大外触发信号电平为5V，保守起见，在触发线末端加入了6dB衰减器，将激光器Q-out输出电平减半。 　　3. 由于等离子体的发光强度较大，无法确定所使用的滤光片的衰减倍率是否足够，因此首先将镜头光圈调至最小，设置增益为1800，Gate时间13ns(对应光学门宽3ns)。 　　软件参数设置如下表： 　　4. 对Gate通道进行变延迟序列扫描，最终找到Gate延时起止时刻在700ns至1100ns之间时，可以捕获到等离子体的发光信号。 　　软件参数设置界面： 3、实验结果 　　序列采集SEQ曲线： 　　根据曲线可以看到实验材料被激发的等离子体发光持续时间约为400ns。 　　高功率纳秒脉冲激光激发产生的完整等离子体羽形貌演变过程： 4、结论 　　中智科仪逐光IsCMOS像增强相机具有短至纳秒级的快门，超短的门控可以屏蔽背景噪声，提高信噪比。相机内置的高精度时序控制器可以确保相机与脉冲激光器的同步工作，在确定的延迟捕获等离子体信号。相机的变延迟序列扫描功能可以使相机快速拍摄不同延迟时刻的等离子体信号，获得完整的等离子体演化过程。诸多优势展示了TRC411相机在等离子体诊断方面的重要应用价值。 　　免责说明：中智科仪(北京)科技有限公司公众号发布的所有内容，包括文字和图片，主要基于授权内容或网络公开资料整理，仅供参考。所有内容的版权归原作者所有。若有内容侵犯了您的权利，请联系我们，我们将及时处理。 5、解决方案 　　由中智科仪自主研发生产的逐光IsCMOS像增强相机采用高量子效率低噪声的2代Hi-QE以及第3代GaAs像增强器，光学门宽短至500皮秒 全分辨率帧速高达98幅/秒 内置皮秒精度的多通道同步时序控制器，由SmartCapture软件进行可视化时序设置，完全适合时间分辨快速等离子现象。 　　1. 500皮秒光学快门 　　以皮秒精度捕捉瞬态现象，并大幅降低背景噪声。 　　2.超高采样频率 　　逐光IsCMOS相机目前全分辨率下可达98帧，提供高速数据采集速率，同时可提供实验效率。此外设置使用其中16行的区域下，可以达到1300帧以上。 　　3.精准的时序控制 　　逐光IsCMOS像增强相机具有三路独立输入输出的时序同步控制器，最短延迟时间为10皮秒，内外触发设置可实现与激光器以及其他装置精准同步。 　　4. 创新“零噪声”技术 　　得益于单光子信号的准确识别，相机的暗噪声及读出噪声被完全去除。

此前，发表在《Cell》上的一项研究告诉我们，身体抵抗感染的能力会在一天中起起落落，在白天达到峰值，在夜晚落入低谷。因此，免疫系统并不是“时刻准备着”。这意味着，熬夜的你虽然看似精神抖擞，但你的免疫系统已变得“外强中干”，而在这种情况下，你会更容易受到感染。提到感染，不得不说说在免疫系统广泛分布的T细胞。生物教科书告诉我们，T细胞是免疫系统的卫士，时刻准备应对来自病原体或肿瘤的各种威胁。显然，上面的研究已经表明，免疫系统并非“时刻准备着”。不仅如此，2022年5月26日，发表在《Science》上的一项最新研究中，来自耶鲁大学著名免疫学家陈列平教授领导的研究团队揭示了免疫细胞与宿主一样需要转换状态：在没有得到休息并维护的情况下，T细胞会“不战而亡”，从而导致宿主更容易受到病原体或肿瘤细胞的攻击。该研究再次证实免疫系统并非“时刻准备着”。T细胞是获得性免疫系统重要的组成成分。从活化状态转换为休眠状态的T细胞对于维持针对来自病原体和肿瘤的大量不同抗原的广泛功能至关重要，就如同我们需要睡眠/唤醒一样，然而，维持T细胞休眠的潜在分子机制科学家们仍知之甚少。CD8+T细胞是免疫系统内用于清除感染和肿瘤细胞的主要效应细胞。除了作为T细胞谱系标志物外，CD8异二聚体还作为辅助受体，在抗原刺激后增强T细胞受体（TCR）信号。但CD8是否还发挥其他抗原非依赖性功能仍是未知的。在这项新研究中，研究人员发现，一种被称为CD8α的蛋白质存于CD8+T 细胞中，该蛋白在CD8+T细胞维持休眠状态中发挥关键作用。随后，研究人员建立了诱导性敲除CD8α的小鼠模型。他们发现，缺失CD8α的小鼠CD8+T细胞无法进入休眠状态，从而破坏了外周记忆和幼稚CD8+T细胞的稳态。而这对于动物的生存和基因多样性至关重要。此外，研究人员还发现了另一种名为PILRa的蛋白质，它为CD8a提供了一个生化信号。在没有抗原暴露的情况下，CD8α-PILRα相互作用积极维持外周T细胞库和CD8+T细胞的休眠状态。破坏CD8α-PILRα会导致以前曾暴露过病原体的幼稚和记忆CD8+T细胞丧失休眠能力，进而导致其死亡。总之，CD8α对于维持外周淋巴器官中的CD8+T细胞处于生理性休眠状态至关重要。在诱导性敲除CD8α后，幼稚和记忆CD8+T细胞会自发活化，随后在不接触特定抗原的情况下“不战而亡”。研究人员表示，PILRα在小鼠和人类中都被确定为CD8α的配体，破坏这两种蛋白的相互作用会打破CD8+T细胞的休眠状态。因此，在没有抗原暴露的情况下，外周T细胞池的丰度由CD8α-PILRα的相互作用维持。这意味着，休眠状态对维护T细胞的生存至关重要，它会直接影响免疫系统功能。陈列平指出，随着人们年龄的增长，幼稚和记忆性T细胞也会越来越少，这也是让老年人更容易受到感染的原因；而T细胞无法保持休眠状态有可能会加剧这种脆弱性，从而使人们更容易受到感染和癌症的影响。陈列平补充说：“基于这些发现，我们可能不得不修改生物学教科书中的关于T细胞生物学的部分。”论文链接：https://www.science.org/doi/10.1126/science.aaz8658https://doi.org/10.1016/j.cell.2021.07.001

2012-2021年，光谱仪器及技术突飞猛进，相关的新产品、新技术层出不穷，拉曼、近红外、激光诱导击穿光谱、太赫兹、高光谱、超快光谱、光谱成像......不仅给科研注入了新的活力，更是给企业带来了客观的经济效益。光谱十年之际，仪器信息网特别策划《点亮光谱仪器 “高光”时刻》系列征文活动，以期盘点光谱仪器及相关技术的突出成果，展现光谱仪器及相关厂商的“高光”时刻。本期我们特别邀请了珀金埃尔默无机产品线经理朱敏为大家分享珀金埃尔默光谱仪器的“高光”时刻。珀金埃尔默无机产品线经理 朱敏 仪器信息网：过去十年间，哪些光谱技术的进步让您印象深刻？PerkinElmer：对于原子光谱技术，ICP-MS和LIBS方面令人印象深刻。特别地，ICP-MS技术，不仅应用越来越广泛、成熟，众多的国标方法也陆续推出，如环境、食品、医药等领域，更重要的是，ICP-MS在生命科学方面，如单细胞，元素标记，生物成像等研究与应用，拓宽和加深了原子光谱技术应用的发展，我们也更加欣喜的看到，ICP-MS已经走入了临床诊断，成为微量元素的测试工具，从一个工业品走入到和人类健康息息相关的医疗器械，也让更多的大众有机会了解原子光谱技术。仪器信息网：截至目前，贵公司有哪几款光谱仪器曾经获得“科学仪器优秀新品”奖？该仪器研发的背后有什么样特别的故事？ PerkinElmer：珀金埃尔默是全球最大的分析仪器提供商之一，始终致力于以创新的技术服务全球各地的实验室，助力其开展对前沿科技的探索。涵盖光谱、色谱、质谱、材料表征的全面的实验室分析解决方案，为环境、食品、制药、工业等不同应用领域的用户提供强大助力。光谱技术与产品是珀金埃尔默的传统优势领域，我们有很多的第一和优秀的产品，如第一台商用红外光谱仪（IR，1944年，Model 12），第一台原子吸收光谱仪（AAS,1961年，Model 214），第一台商用电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS，1983年，Elan 250），第一台全谱直读型电感耦合等离子体光谱仪（ICP-OES，1993年，Optima 3000）。当然，我们也有不少产品获得“科学仪器优秀新品”，如2016年推出的即开即用超高灵敏度强拓展性的Avio 200 ICP-OES，2017年推出的NexION 2000 ICP-MS。其中，NexION 2000的研发，代表了PerkinElmer以技术创新发展产品的思路，我们推出了革命性的新一代电感耦合等离子体（ICP）离子源技术，全新的RF频率匹配专利的LumiCoilTM工作线圈设计，将等离子体离子源推向新的高度，这是ICP-MS独有的创新，改变了过去多年ICP-MS在等离子体发生器发展不明显的现象，创新的技术帮助客户获得更加强健、高效、稳定同时维护更少的等离子体源。同时，该款产品在前代产品单颗粒ICP-MS技术的基础上，率先推出了单细胞ICP-MS分析技术，包括专有的细胞分析进样系统和单细胞分析数据采集、处理软件，为环境、生物等样本单细胞分析带来了更好的工具，也是ICP-MS发展的重要方向之一。基于单颗粒分析技术的单细胞分析，可以实现单个细胞纳米颗粒或金属含量分析，在细胞、医药、毒理等方面极具潜力。Avio 200 ICP-OESNexION 2000 ICP-MS仪器信息网：获奖产品的销售情况如何？解决了哪些关键问题？有哪些典型用户或典型的应用案例？行业影响力及用户的反馈情况如何？PerkinElmer：Avio 200 ICP-OES和NexION 2000 ICP-MS销售非常不错，获得了业内广泛认可。比如，NexION 2000,除了环境、食品、医药、工业等传统应用领域外，由于它是业内首款四极杆型电感耦合等离子体质谱，专注于促进ICP-MS应用领域从分子水平跨越到细胞水平，从而更好的实现无机质谱在生命科学领域应用的产品，使其也为广大老师、学者所接受和喜爱，在癌症和药物研究、环境毒理学、金属组学、生物技术以及细胞科学等方面帮助老师探索未知。单细胞ICP-MS为在单细胞水平研究金属相关的生物学过程提供了一个通用的策略，具有高灵敏度、宽线性范围、易于进样和定量，同时具有同位素分析能力等特点。该技术可提供细胞内源性的金属和外源性金属（如纳米颗粒，铂Pt）及人工金属标记的细胞分析,可以促进对细胞金属蛋白质，特别是金属酶，甚至是金属代谢物的生物功能进行理解，进而可能揭示出正常细胞和疾病细胞。目前国内有很多学校研究所都使用到了该技术，如中科院生态环境中心、中科院高能物理研究所、中科院植物与生态研究所、南京大学、厦门大学、四川大学、东北大学、中山大学、上海肺科医院等。仪器信息网：当前公司主推光谱产品是哪些？ 拥有哪些独具优势的技术？ PerkinElmer：在原子光谱线，我们产品包括PinAAcle 系列原子吸收（AAS）、Avio 系列电感耦合等离子体光谱仪（ICP-OES）和NexION 系列电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）以及相应的前处理设备，如Titan 微波消解仪、SPB电热石墨消解器、FIAS/FIMS流动注射和测汞仪等等。这些产品都非常具有竞争力，创新技术与技术积淀，稳定可靠的质量，使他们得到了广大客户的青睐。比如PinAAcle 900原子吸收，传承珀金埃尔默横向加热专利纵向交流塞曼扣背景石墨炉技术，让其成为珀金埃尔默众多经典产品之一，服务于各类环境、食品、医药和工业客户。比如Avio 200/220 Max ICP-OES，其即开即用，高灵敏度及强的拓展能力，使其特别适合于中等通量的各大实验室，如政府、高校和企业实验室，而Avio 550/560 Max ICP-OES，其高性能、超快速的特点，使其在大通量实验室，如大通量第三方，地矿行业，以及需要高精度分析的领域，如锂电池三元正极材料配比分析、计量定值等方面都获得了认可。而NexION 系列ICP-MS,在近年来也是应用广泛，出色的干扰消除能力，稳定性，更少的维护以及简单方便的操作，帮助广大客户实现最大的价值。其中，最新的NexION 5000 化学高分辨多重四极杆ICP-MS，独有的四组四极杆平台结合碰撞反应池技术，提供超低的背景等效浓度和优异的检测极限，获得分析结果的高精度和可重现性，具有单四极杆、三重四极杆和多重四极杆能力，依据不同应用需求，简单、灵活进行选择，实现准确定量、干扰定性和分子离子反应机理研究等应用。仪器信息网：目前贵公司最具优势的应用领域有哪些？ PerkinElmer：国家对创新和高端制造的关注，让珀金埃尔默众多的光谱产品有着更好的发挥。比如之前提到的单细胞ICP-MS技术，依托珀金埃尔默对该技术的深刻理解，NexION 系列ICP-MS具有业界最快的瞬时采集速率（100,000点每秒）以及专利数据算法，使其在环境毒理、医药研发、生命科学等相关领域得到了很多的应用，比如Avio 550/560 Max具有的可达0.1% RSD的高精度分析能力，使其在锂电池材料分析中展现优势，比如不久前刚获得2021 R&D 100大奖的NexION 5000化学高分辨多重四极杆ICP-MS，对几乎所有元素具有ppt-ppq级的检出能力，特别适合不断追求极限能力的半导体领域应用，以及其他材料领域，同时也可以在单细胞水平运用在生命科学相关元素如硫，磷，砷，硒等分析，对于常规环境、食品和制药分析，也能利用其四组四极杆具有的干扰去除能力，让使用者对结果知其然，并知其所以然。仪器信息网：从行业发展角度来说，您认为目前光谱仪器整体技术水平怎么样？未来最具前景的光谱仪器或者技术是什么？最具前景的应用将体现在哪些方面？PerkinElmer：整体来看，原子光谱仪器发展相对比较成熟，技术上可能有两个大方向，一是更具工业化特质使用的仪器和应用方案，比如集成，智能，工业在线，IVD等方面，二是应用潜力的挖掘，比如提到的生命科学领域，生物分析等方面。

p　　strong仪器信息网讯 /strong近来，中美贸易大战的背景下，“中国芯”成为热议话题，作为一个装备和工艺高度融合的产业，设计、制造、封测、材料设备等每个关键环节都对半导体的发展起着至关重要的作用。其中，以等离子技术为基础的刻蚀、沉积和生长等工艺设备，就是半导体各项最初设计得以实现的基础。/pp style="text-align: center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201805/insimg/aaf85acf-1392-40e4-a55c-58a5c78a206e.jpg" title="第01.jpg"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 176, 240) "研讨会现场/span/pp　　5月8日，作为刻蚀、沉积和生长等工艺设备知名供应商，牛津仪器公司在北京主办了“2018等离子技术应用研讨会”，会议邀请来自第三代半导体联盟、北京工业大学、中国科学院半导体所的科研用户专家，以及半导体生产企业的用户专家，从工艺设备用户与供应商不同角度，对等离子技术在半导体生产/研发中应用的最新进展及存在问题进行了交流探讨。会议间隙，仪器信息网编辑也与部分专家、牛津仪器高层就半导体研究进展等进行了简单交流。/pp style="text-align: center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201805/insimg/834c78ab-5016-4463-9193-04daa98cceba.jpg" title="第02.jpg"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 176, 240) "牛津仪器等离子技术部亚洲区销售和服务副总裁Ian Wright致辞/span/pp　　strong关于研讨会：聚焦科研/生产热点——第三代半导体、VCSEL以及功率射频器件/strong/pp　　中国科学院半导体所研究员刘剑认为，从半导体发展历史来看，基础研究固然重要，但是市场对应用研究的影响也非常大。基于此，本次研讨会根据当下科研、工业需求热点，选择“宽禁带半导体”(或称为“第三代半导体”)作为主题，同时，报告内容也兼顾了时下工业应用热点——垂直腔面发射激光器(VCSEL)的相关研究。/pp　　研讨会由9个专家报告组成，报告内容主要包括第三代半导体现状与趋势、具有窄谱线和高光束质量的VCSEL介绍、VCSEL相关刻蚀和沉积技术、GaN基半导体电子器件研究进展、低损伤刻蚀和沉积技术等。/pp style="text-align: center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201805/insimg/a2860748-dcd3-42ef-a89f-991cf6935e47.jpg" title="第03.png"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 176, 240) "用户专家报告/span/pp　　(上至下，左至右：第三代半导体产业技术创新战略联盟秘书长 于坤山，北京工业大学教授 徐晨，中科院半导体所研究员 王晓亮，中科院半导体所研究员 王晓东，中科院半导体所研究员 张峰)/pp　　会后，据刘剑介绍，他本人与牛津仪器已经有多年的合作，近十年前与牛津仪器共同举办了第一届等离子体研讨会，后续几乎每一届的研讨会也都协助举办。他认为，作为科研用户，通过参与这种形式会议，既增进了与仪器设备企业之间的交流，也可以现场讨论一些技术问题。对于半导体生产企业用户，他们多数会有自己的研发，尤其是一些先进的器件、模块，而研讨会中探讨的一些工艺解决方案，就可以为他们的研究提供帮助。/pp style="text-align: center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201805/insimg/3afa8c17-c9a1-41cb-829b-6450e1228d21.jpg" title="第4.png"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 176, 240) "牛津仪器应用专家报告/span/pp style="text-align: center "(左至右：牛津仪器Stephanie Baclet博士，杨小鹏博士，黄承扬博士)/pp　　strong我国半导体研究现状、热点如何?牛津仪器关注哪些热点?/strong/pp　　关于当下半导体相关领域研究进展或研究热点，刘剑表示：“我之前研究领域主要在III-V族半导体材料，但最近又开始回归到传统半导体硅材料，当然也会涉猎部分III-V族半导体材料。从目前来看，类似我们这样的科研工作者，不太容易区分大家具体是做什么材料体系，基本是受一个学科进展的牵引或个人的兴趣，基于不同的材料在做相近的科研。而关于研究热点，其实这次研讨会主题内容中的第三代半导体以及垂直腔面发射激光器(VCSEL)都是当下大家比较关注的。值得一提的是，VCSEL并不是一个新的研究领域，相关研究也有多年的历史，但就是因为IphoneX用了这种3D图像技术之后，VCSEL才重新进入到大众视野。这也成为工业应用热点再次推动了相关科研的一个实例。”/pp　　中国科学院半导体所研究员张峰介绍说：“我是研究碳化硅的，领域是宽禁带半导体。因为我们国家对宽禁带半导体的布局比较早，包括碳化硅衬底材料、外延材料、器件，还有最后的封装，所以相比传统半导体领域，与世界的差距并没有那么大，也就是2-3年的时间。因此这个领域在未来五到十年内，我们国家有很大希望能够迎头赶上，甚至在某些方面可以达到世界一流的水平。”关于半导体研究热点，他认为：‘从“中兴之痛”事件我们可以看到，半导体研究或关注的热点主要是极大规模集成电路方面，在14纳米、7纳米及5纳米这些制程方面的一个进展。也就是说我们国家在这个方面跟国际的差距还比较大，目前我们实现量产是28纳米，我们希望未来能向14纳米、7纳米及5纳米靠近。但这需要产业链整体的提高，包括我们的设备、设计、器件制作工艺，及最后的封装等各个方面，这样才能够跟得上世界的发展。目前半导体研究热点主要是在设计及工艺制备这两方面。工艺制备方面又跟设备很相关，所以说这些都是紧密相连的。’/pp　　牛津仪器的刻蚀、沉积、生长等相关设备及工艺解决方案在中国半导体领域的市场占有率较高，且拥有广泛的科研及生产企业用户群。设备厂商在前沿热点把控上，在时刻保持对用户最新需求的关注基础上，职业敏锐性往往赋予他们自己的优势。那么，牛津仪器又对哪些半导体领域的热点保持关注呢?牛津仪器等离子技术部亚洲区销售和服务副总裁Ian Wright表示：“牛津仪器接下来的关注重点，不光是那些具有研发创新能力但处于初期发展阶段的企业，我们更感兴趣的是那些已经成熟的解决方案，这需要更多更稳定的设备把之前好的工艺过程重复出来。对于我们关注的产业领域，主要有两个，第一是光电子领域，比如一些手机的3D面部识别功能，这个功能其实是运用到了我们VCSEL工艺，这个工艺还可以用在无人驾驶汽车的智能测距(测距机理即安装的各种光电传感器，通过各种光电传感器件的协同合作来实现自动驾驶功能)。第二个领域是5G信号网络，该领域会用到一些比较先进的光电子、功率器件，比如，之前的功率器件是基于硅，第二代是基于砷化镓，第三代是氮化镓和碳化硅工艺，牛津仪器是从第一代到三代全覆盖的，当然我们正在着手研究更先进的第四代、第五代半导体，如氧化镓、金刚石等。”/pp　　strong用户与设备商协同发展，用户怎么看?牛津仪器怎么看?/strong/pp　　在半导体领域，工艺设备对科研或企业生产是至关重要的。张峰认为：“工艺设备是一个基础，如果没有工艺设备，我们设计的东西就没办法实现，但是我们国家在这方面实际上是跟世界有一些差距的，80%-90%工艺设备需要进口。所以，工艺设备方面，我们希望与像牛津仪器这样的国外优秀厂商合作，学习他们的先进技术及经验，使我们国家逐渐掌握工艺设备的研发及生产能力。另外，从科研用户角度讲，我们也有很好的合作。我们会及时向牛津仪器反馈一些最新的需求，比如我们做氮化镓，碳化硅的时候，需要让刻蚀设备刻蚀的更精密一些(如今天会上牛津仪器介绍的原子层刻蚀技术)，还有就是在原子层刻蚀与传统等离子体刻蚀结合的需求等。当然，牛津仪器也在不断努力配合我们的需求。”关于如何实现用户与设备供应商更好的合作，张峰表示：“客户可以首先提出一些需求、提供一些样品，让设备厂商提供一些解决方案，及刻蚀的结果 另外，希望设备厂商针对客户提出的新需求，如定制化的需求等，能够积极的满足。”/pp　　刘剑补充道：“从科研用户来讲，与生产用户不同的是，我们往往会提出一些特殊的需求。我们主要希望设备企业的工艺设备能够稳定，并能获得我们所需的实验结果。牛津仪器会和用户一起来开发新的工艺，接受客户提出的部分特殊需求，去单独开发一套工艺，然后结合设备一起提供给客户，这对客户研究过程中一些特殊情况是有很大帮助的。”/pp　　Ian Wright对两位老师的看法表示赞同，并表示：“总结来看，用户对我们提出的需求主要有三个方面：第一是希望我们能够把牛津仪器一些成熟的解决方案尽快的提供给他们 第二就是他们提出一些特殊需求，我们如果没有一个对应方案的话，能够配合他们一起去解决 第三，售后服务保障，作为一个合格的生产先进器件厂商，并不是说你有了一台先进的工艺设备放在那里就可以没有后顾之忧，接下来的售后服务能力也对你之后的企业发展有很重要的影响。比如设备一旦出现故障，多长时间可以解决 需要一个备件，又需要多长时间可以提供，也是客户衡量设备供应商的一个标准。在此，我敢肯定的是，牛津仪器有能力也愿意在刚才提到的三方面需求全方位与客户合作，解决客户从售前到售后的后顾之忧。”/pp　　“牛津仪器走进中国市场已经20余年，但等离子技术部门的大部分精力放在了高校院所科研用户上。为满足更广泛用户的需求，我们决定将工作重心逐渐向技术非常成熟的生产企业用户转移，增强深入合作，通过我们的设备及工艺再加上科研用户的技术来孵化出更多更新的成果。” Ian Wright继续说道。/pp　　牛津仪器等离子技术部中国区经理陈伟表示：“中国从过去的能源依赖，发展到现在成为芯片依赖社会形态，包括在各个国家国际环境的变化，都逐渐把矛盾转移到芯片研究上来。许多人认为这是一个危机，但我认为这对我们国家、对我们设备供应商都是一个机遇。现在中国在大力推广自己的芯片产业，这个过程，就需要像牛津仪器这样能够提供优秀设备、解决方案的公司来一起合作，把最新的芯片用最短时间开发出来，这样中国就不必再受制于人。”关于中国市场，他表示：“中国始终是牛津仪器十分重视的市场所在，公司也愿意投入更多的财力、物力到中国市场上来，接下来，牛津仪器将加强与用户的合作。如我们现在正在和一些客户讨论，以共建实验室的方法，来让客户在这方面有更快的突破，帮助一些有潜力客户实现量产。另外，如Ian Wright所说我们更加重视科研客户的同时，对于生产企业客户，我们也会不断加大服务力度，比如，近两年我们相关的售后服务团队就增加了一倍。”/pp style="text-align: center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201805/insimg/418b86a0-2820-4b0c-98ac-4ca3401df3ef.gif" title="第05.gif"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 0, 0) "(右一：牛津仪器等离子技术部亚洲区销售和服务副总裁Ian Wright /span/pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 0, 0) "右二：牛津仪器等离子技术部中国区经理陈伟)/span/p

近日，美国商务部主管工业与安全的副部长艾伦艾斯特韦斯(Alan Estevez)在东京接受《日经亚洲》采访时表示，美国主导的对中国企业先进芯片制造设备的限制最终将阻止中国发展本土半导体产业的努力。　　本周多家媒体纷纷报道美国政府已于10月24日临时要求英伟达对大多数大算力AI芯片的管制立即生效。　　美国商务部副部长Alan Estevez在接受采访时表示，"这些管制也与这些产品的零部件有关。这些机器迟早或多或少地会出现故障，这将阻碍中国芯片产业取得进一步进展"。这个设想需要基于两个前提：一是短期内中国晶圆厂无法找到原厂或替代的零部件，二是长期国内无法自研可替代的设备。　　同时他还证实，美国政正在考虑限制中国用户存取和使用美国公司提供的云服务。“现在，人工智能本身也已相当普遍，令人担心的是…人工智能未来很可能将指挥和管控军事后勤和军用雷达，且电子战能力也会得到提升，所以我们希望确保我们能对其使用实施控制”。　　Alan Estevez说，虽然出口管制是处理某些问题的正确机制，但它们不一定是应对中国企业向全球市场“倾销低端芯片”潜在企图的最佳工具。他说，"还有其他工具可以对付倾销，例如反补贴税、232、301调查"。　　Alan Estevez作为副部长直接主管的BIS(美国商务部工业和安全局)国人应该都不陌生，这个部门负责制定、执行、修订出口管制清单(包括对商品和对企业的清单)，屡次通过发布详尽而冗长的芯片管制新规和“黑名单”来刷新存在感，下面对这个部门的运作略作介绍。图：BIS主页的半导体管制条例　　根据授权，BIS负责商业管制清单（CCL）各种物项ECCN编码的修订和执法工作，通过《出口管理条例》（EAR）实施具体出口管制，这一部分接触进出口的朋友应该非常熟悉。　　另外，BIS限制技术输出的有三大清单——被拒绝人清单（DPL）、未核实清单（UVL）和实体清单（EL）。被拒绝人清单涉及违反出口管制法律法规的实体 未核实清单针对无法进行最终用途审查的实体 被纳入“实体清单”的原因是从事威胁美国国家安全和外交政策的活动。　　过去几年，国内半导体企业“被制裁”指的大部分是列入UVL和EL，而UVL到期未被移出的最终会进入EL。

二维过渡金属碳化物和氮化物（MXenes）在层间距扩展、表面终止改性和成分结构构建方面的持续和大量探索引起了储能领域的极大兴趣。然而，由于对MXenes的配位化学缺乏基本的理解，它们的使用仍然受到严重阻碍。近日，山东大学冯金奎教授通过一种新的单点蚀刻策略，制备了具有可调控配位化学的分级多孔N-掺杂碳包覆的无氟Ti3C2Tx。通过高角度环形暗场扫描透射电子显微镜和X射线光电子能谱，作者确定了通过相位重建操纵的与N配位的Ti。此外，此外，明显观察到分级多孔氮掺杂碳（HPNC），其导致材料表面积的成倍增加，这源于微孔和中孔的显著增加。结果，Ti与N配合的结构协同效应和HPNC提高了结合能，减少了加速氧化还原动力学的能量障碍，并促进了多硫化锂的物理固定化。上述MXenes改性的隔膜赋予锂硫电池0.5 A g-1下889.5 mA h g-1的可逆容量，循环100次后容量保持率为79.5%。总的来说，这项工作提供了一种新的和通用的蚀刻策略，即直接合成具有可调谐配位化学的无氟MXene，以探索结构和电化学特性之间的相关性。文章要点：1. 这项工作通过基于新型室温熔融盐（1-Butyl-3-methyl-1H-imidazol-3-ium tetrachloroferrate (III), RTMS）的一锅蚀刻策略，操纵了具有可调谐配位化学的分级多孔N型碳包覆的Ti3C2TxMXene（Ti-N-Ti3C2Cl-C）。2. 通过粉末X射线衍射（PXRD）、高角度环形暗场扫描透射电子显微镜（HAADF-STEM）和X射线光电子能谱（XPS）鉴定了这种通过相位重构实现的Ti和N之间的独特协调结构。同时，在其表面明显观察到层次分明的多孔氮掺杂碳（HPNC），由于微孔和中孔的大量增加，使材料表面积增加了数倍。3. 通过实验和密度泛函理论（DFT）验证，Ti与N的配位结构提高了结合能并降低了能垒，加速了多硫化锂（LiPSs）的氧化还原动力学，而HPNC以及柔性屏蔽不仅缓解了Ti3C2TxMXene层的重新堆积，还提高了LiPSs的物理固定性。4. 此外，Ti-N-Ti3C2Cl-C修饰的隔膜使锂硫电池（LSBs）实现了优异的电化学性能，这确保了这种有前景的材料在能源转换和存储领域的应用。图1 材料制备示意图2 材料表征图3 对多硫化物的吸附与催化图4 锂硫电池性能

自美国提出终断该国企业与华为多年的芯片供应以来，研制中国自己的国产芯片提上了我国的发展日程，也是当前中国市场最为紧迫的一项技术，关于芯片技术发展的讨论不仅在专业领域盛行，也成为了普通民众议论的焦点所在。而芯片的制造离不开刻蚀设备，其中等离子体刻蚀机更是先进制程中必不可少的设备，是重中之重。2021年是“十四五”开局之年，中国政府也推出了一系列激励政策来鼓励半导体产业发展，明确了半导体产业在产业升级中的重要地位，同时全球自2020年爆发的“芯片荒”在全球范围内愈演愈烈，却迟迟得不到缓解，各行各业都受到了一定的影响，受此影响包括仪器产业、新能源产业等在内的诸多产业都面临产品涨价、缺货的危机。危中有机，全球半导体行业的巨震却是中国半导体产业的发展契机。通过分析海关等离子体刻蚀机的进口情况，可以从一个侧面反映出中国等离子体刻蚀机市场的一些情况，进而了解到中国半导体产业的一些情况。为了解过去2021年中等离子体刻蚀机的进出口情况，仪器信息网特别对2021年1-10月，等离子体干法刻蚀机（商品编码84862041）进口数据进行了分析汇总，为大家了解中国目前等离子体刻蚀机市场做一个参考。2021年1-10月进口等离子体刻蚀机贸易伙伴变化（人民币/万元）贸易伙伴进口额（元）进口数量（台）均价（元/台）美国777014343651615058418日本621252727637416611035韩国328231684432710037666中国台湾18771365038921091421新加坡181269896211316041584马来西亚17790801177723104937英国544211135786977066德国203676120414967710中国1296367043240918荷兰632916423164582法国415082322075412波兰643071643072021年1-10月各贸易伙伴进口总额（人民币/元）2021年1-10月，中国进口等离子体干法刻蚀机总额约235亿元，总台数达1624台，其中美国进口金额最多约78亿元，台数达516台，占比高达33%，日本进口金额紧随其后约62亿元，374台，占比达26%。可以看出，目前等离子体刻蚀机主要来自于美国和日本，进口均价都超1500万元/台，此类等离子体刻蚀机以高端产品为主，主要用于生产。值得注意的是，波兰进口的一台等离子体刻蚀机仅6万多元，此设备可能是用于科研领域的低端产品或配件。从此前统计的【2020年等离子体刻蚀机海关进出口数据盘点】可以看出，2020年1-12月，我国共进口等离子体刻蚀机1276台，进口额约为170亿元，而今年仅前十个月就已超去年全年的进口额。这表明，今年我国晶圆代工厂的建设热度不减，这也和如今的半导体投资热、芯片荒有关。2021年1-10月等离子体干法刻蚀机进口数据（人民币/万元）从进口额的时间变化趋势可以看出，等离子体刻蚀机进口额在4-6月出现了一个高峰，进口额连续大幅度增长，而在七月份却断崖式下跌，直到回归正常水平。这一变化可能和疫情有关，在夏季全球疫情由于气温上升得到缓解，海关进口更畅通，而春秋季节气温较低，全球疫情出现反复。另一个可能的原因是海运费用暴涨导致六月以后进口额降低。2021年1-10月等离子体刻蚀机各注册地进口数据变化（单位/万元）2021年1-10月等离子体干法刻蚀机注册地进口额分布那么这些等离子体刻蚀机主要销往何处？通过对进口数据的注册地进行分析发现，陕西省、上海市和湖北省的进口额最多，分别为54亿元、43亿元和41亿元。等离子体刻蚀机主要应用于集成电路生产中，这表明这些地区在新建或改造集成电路生产线上投入较大，对等离子体刻蚀机的需求也在激增。我国在1-10月从韩国进口等离子体刻蚀机总额约33亿元，其中注册地为陕西省的进口额约19亿元，占比约59%。这表明，陕西省等离子体刻蚀机的进口可能和三星等韩国企业在西安的半导体生产线有关。

牛津仪器等离子技术最近更新的App包括一个明确和互动的元素周期表、详细的等离子体、离子束和原子层沉积工艺信息。它允许iPhone和iPad用户查阅工艺化学的相关信息，可以通过简单的周期表界面实现任何材料的刻蚀和沉积。　　这个周期表App可以免费下载,将吸引大量的工业和学术界的用户。同时，它也是一个优秀的教学设备,可以展示单个元素属性和电子构型。

自美国提出终断该国企业与华为多年的芯片供应以来，研制中国自己的国产芯片提上了我国的发展日程，也是当前中国市场最为紧迫的一项技术，关于芯片技术发展的讨论不仅在专业领域盛行，也成为了普通民众议论的焦点所在。而芯片的制造离不开半导体设备，其中刻蚀设备是其中的重中之重。据了解，目前我国已经突破了刻蚀设备的技术难关，其中中微公司的5nm刻蚀设备已成功销往海外，更是进入台积电的生产线。如今最先进的芯片制造主要使用干法刻蚀技术即等离子体刻蚀技术，相对于湿法刻蚀，具有更好的各向异性，工艺重复性，且能降低晶圆污染几率，因此成为了亚微米下制备半导体器件最主要的刻蚀方法。伴随着国际半导体行业的产能危机，国内等离子体刻蚀机需求或将爆发。通过分析海关等离子体刻蚀机的进口情况，可以从一个侧面反映出中国等离子体刻蚀机市场的一些情况。2020年是特殊的一年，新冠肺炎疫情在全球爆发，各行各业都受到了一定的影响，包括半导体产业。为了解过去近两年中等离子体刻蚀机的进出口情况，仪器信息网特别对2019、2020年1-12月，等离子体刻蚀机（商品编码84862041）进出口数据进行了分析汇总，为大家了解中国目前等离子体刻蚀机市场做一个参考。2019、2020年1-12月海关等离子体刻蚀机进出口数据统计统计年月进口量（台）进口金额（人民币：元）出口量（台）出口金额（人民币：元）2019年1-12月109712,685,798,98279353,896,8762020年1-12月127616,949,614,747122577,419,680从上表可以看到，2020年1-12月，我国共进口等离子体刻蚀机1276台，进口额约为170亿元，进口单价约为1328万元。而2019年同期，等离子体刻蚀机进口1097台，进口额约为127亿元，进口单价约为1156.4万元。与去年同期相比，2020年1-12月我国等离子体刻蚀机进口台数增加约16.3%，进口额增加约33.6%，进口单价提高约15%。从整体来看，2020年进口等离子体刻蚀机市场增长非常明显，同时进口单价也略有提高。而从出口情况来看，2020年1-12月，我国共出口等离子体刻蚀机122台，出口额约为5.8亿元，出口单价约为473万元。而2019年同期，等离子体刻蚀机出口79台，出口额约为3.54亿元，出口单价约为448万元。总体而言，我国等离子体刻蚀机出口量仍然很少，但2020年比上年同期出口金额明显增加约63%，出口数量增加约54%，出口单价也略有提高。2019、2020年1-12月等离子体刻蚀机进口量逐月数据图（单位：台）对2020年1-12月等离子体刻蚀机进口量逐月数据分析发现，并对比2019年同期数据可以明显看出，2020年等离子体刻蚀机进口数量明显有所增加，且逐月变化较为明显，其中2020年1月受国内新冠肺炎疫情影响，等离子体刻蚀机进口数量较去年有所下降，而则2~4月份迎来“报复性”增长，等离子体刻蚀机进口台数比去年同期多大约一半，5~7月每月进口数量与去年有所增长，但增幅有所下降，8月进口数量较去年同期有所下降，可能受国外新冠疫情影响，而9月进口量的大爆发可能是为了弥补8月份进口量不足的部分。10-11月平稳增加，但12月进口量再次下降，这可能来自于特朗普政府将中芯国际列入“实体清单”和冬季疫情反扑的多重影响。2019、2020年1-12月等离子体刻蚀机进口金额逐月数据图（单位：人民币/亿元）对2020年1-12月等离子体刻蚀机进口金额逐月数据分析发现，并对比2019年同期数据可以明显看出，除12月较去年进口金额有所下降以外，等离子体刻蚀机每月进口金额都较去年同期有所增加，其中，6、7、11月较去年增长幅度较小之外，但其他月份增幅明显。值得注意的是，9月进口额更是达到了去年同期的两倍以上，一个可能的原因是9月份台积电停止为华为代工芯片，华为大量订单转向国内代工厂生产，国内代工厂的扩大产能所导致。2019、2020年1-12月等离子体刻蚀机主要海关进口贸易伙伴数量（单位：台）2019、2020年1-12月等离子体刻蚀机主要海关进口贸易伙伴金额（单位：人民币/亿元）2020年1-12月等离子体刻蚀机海关进口贸易伙伴金额分布图根据海关数据，近两年我国主要从美国、日本、新加坡、韩国、中国台湾、马来西亚、英国以及德国等贸易伙伴进口等离子体刻蚀机。其中进口金额最高的前5个贸易伙伴分别是美国、日本、新加坡、韩国和中国台湾。从数据中可以看出，我国等离子体刻蚀机对美日依赖严重。2020年1-12月等离子体刻蚀机进口企业注册地数量分布（单位：台）2020年1-12月等离子体刻蚀机进口企业注册地金额分布（单位：人民币/亿元）通过海关进口等离子体刻蚀机的企业注册地数据，可以大致了解到进口等离子体刻蚀机在国内的“落脚地”。可以看出 ，2020年，江苏、上海、湖北、陕西等省市进口等离子体刻蚀机数量较多，而这些地区也是我国经济较发达，半导体相关行业比较发达的省份和地区。就海关进出口数据来看，等离子体刻蚀机在国内的市场潜力非常巨大，2020年尽管新冠疫情爆发给各行各业造成一定影响，但我国等离子体刻蚀机市场增长依然明显，但由于进口等离子体刻蚀机美日产品占据主流，受到美国贸易战影响较大，国内产线等离子体刻蚀机的“去美化”迫在眉睫。另一方面，由于国内掌握等离子体刻蚀机所涉及的核心零部件、研发人才等仍然相对较少，虽然在介质刻蚀机上的研究已逐渐达到国际先进水平，但难度较大的深硅等离子体刻蚀机的发展距美、日还有一定差距。同时，由于半导体设备企业与晶圆代工厂的工艺深度绑定，也使得等离子体刻蚀机为代表的半导体设备仍依赖进口，受制于人。不过，近年来随着以中微半导体、北方华创等国内等离子体刻蚀机厂商的崛起，国产刻蚀机在一定程度上也能满足部分企业的要求。未来，伴随着中美半导体产业的争夺和全面“去美化”的浪潮，等离子体刻蚀机的国内市场占有率将有望进一步提升。

2012-2021年，光谱仪器及技术突飞猛进，相关的新产品、新技术层出不穷，拉曼、近红外、激光诱导击穿光谱、太赫兹、高光谱、超快光谱、光谱成像......不仅给科研注入了新的活力，更是给企业带来了客观的经济效益。光谱十年之际，仪器信息网特别策划《点亮光谱仪器 “高光”时刻》系列征文活动，以期盘点光谱仪器及相关技术的突出成果，展现光谱仪器及相关厂商的“高光”时刻。本期我们特别邀请了荧飒光学科技（上海）有限公司张德军为大家分享荧飒近红外仪器的“高光”时刻。荧飒光学科技（上海）有限公司近红外产品总监 张德军仪器信息网：过去十年间，哪些光谱技术的进步让您印象深刻？张德军：过去十年，正好是我本人开始学习和关注近红外技术和近红外行业的十年。我记得在2010年前后，那时我在外企刚开始接触在线近红外，当时国内近红外光谱学科的创始人陆婉珍院士来公司参观，看见工厂里已经非常成熟地运用在线近红外技术进行反应过程控制，而且是那么大规模的（当时工厂有100多个测量点），非常感慨。在这样一些老前辈和专家的指引下，我开启了对近红外技术以及相关行业应用、仪器设备特点等方面的学习和了解，也越来越发现它独特的魅力。回顾这十多年来的经验，我觉得未来十年，近红外光谱技术在工业领域、过程控制方面，会有很大的潜力和需求。而我本人也在几年前与一些志同道合的朋友一起创业，潜心做国产化的傅里叶红外，也是基于对这一技术行业的长期看好。仪器信息网：截至目前，贵公司有哪几款光谱仪器曾经获得“科学仪器优秀新品奖”？该仪器研发的背后有什么样特别的故事？ 张德军：在公司创立之初，对于近红外产品线，我们认为最重要的一个方向就是开发工业过程控制技术（PAT）。所以在产品设计的时候，我们就瞄准了这个方向做铺垫：光谱仪，光纤，探头，工业机柜，通讯模块以及配套的建模和在线控制软件。我们要做的是整套方案，而不仅仅是一台光谱仪。单就光谱仪而言，我们也是充分考虑了在线方案的特点，比如SMA905的信号传输连接方式，多通道的个数和光路切换方式等。我们开始时给自己设定了一个比较高的目标，要做的东西很多，而且每个环节都不能出问题。刚开始的时候多线作战，遇到的问题和困难也层出不穷，好在我们有一个强大而团结的团队，那些一起奋战到夜里两三点的测试会诊，长期困扰的问题终于解决，努力的每一步脚印历历在目。经过一年多的打磨，这条产品线终于打通了。而且Master10-Pro也经过了市场的验证和专家的评审，荣获“科学仪器优秀新品奖”这个新品奖的荣誉属于我们荧飒光学整个团队。仪器信息网：获奖产品的销售情况如何？解决了哪些关键问题？有哪些典型用户或典型的应用案例？行业影响力及用户的反馈情况如何？张德军：Master10-Pro一经推出，就引起了许多用户的关注和咨询。我们目前给潜在用户提供免费的demo服务，让用户能够切身体会到整套产品方案的特色。举个例子，我们在跟一个国内化工行业的龙头企业交流时，发现他的工艺中一直存在固含量检测滞后的痛点，因为他们原先使用传统的实验室分析方法，从取样到化验室分析出结果再上传，往往需要1-2个小时；生产部门必须等待化验结果通过才能排料进行下一釜的生产。我们依靠项目的应用经验，提出了用在线近红外实时检测固含量的方案。为了打消用户的疑虑，我们提供免费的上门测试，经过实验室的可行性测试，再到生产线上的在线测试，用户最终认可了在线检测的方案。现在该工厂生产过程不再人工取样分析，直接使用近红外的实时数据。通过这种在线分析的手段，工艺可以精确控制反应结束的终点，大大提高了生产效率。公司的销售人员多在国内的红外市场耕耘了十几年，对产品的应用和定位有着非常敏感的判断。我们的产品也跟业内很多红外方面的专家和用户进行了深入合作，获得了各方的认可。通过交流反馈发现，用户对我们公司产品最看重的方面是：全自主的国产化技术，高性价比的整套交钥匙方案，灵活多变的定制化功能和产品。为此，我们获得了如北京大学、复旦大学、中国科学院等高校科研院所的订单，批量定制化OEM订单等，而且还有一些世界500强的跨国公司，也被我们的产品功能和服务理念所吸引，开始使用我们的仪器设备。分析仪器的国产化是我国科学仪器发展的未来的大趋势，我们希望凭借自身的不断努力，让更多的用户认识认可我们的产品，用上用好我们的产品。仪器信息网：贵公司光谱仪器的生产工艺是如何把控的？在产品的质控及生产车间管理方面有什么独特的地方？张德军：我们生产部门对产品质量特别重视。早期我们也发现产品某些性能不够稳定，为此我们展开了各种分析和测试，在这个过程中，逐步建立和完善了产品的BOM表、工艺文档、履历表、企业标准等文档，做到产品生产和检测的标准化，提升了我们对产品质量的把控。由于我们在进口仪器厂家销售/生产岗位工作过多年，对一线进口品牌的产品性能耳熟能详，研发人员对于设备性能的测试方法也很了解，所以我们一开始的标准和方向就很明确。为了首先达到跟进口产品同等水平的目标，我们在研发设计、加工生产、装配测试等各环节都进行了标准化的管理。比如我们的核心部件——干涉仪，其生产工序有上百步，从最初铸造主体模块的来料检测，组装过程钟各种镜组的调试，电路控制板的调试安装，分束器镀膜性能的光学检测，工装上整个模块的联调，我们对重要的把控节点和测试方法指标都有明确的要求和记录。此外，我们对生产人员上岗前也有详细的培训和考核，上岗后会要求对关键控制点的检测指标进行记录，保证该部件的质量稳定性。其实这只是一个缩影，每一个关键部件和过程都经过这样的检测和记录，才能保证组装成半成品再到最终的成品都有一个比较稳定的性能。我们特别重视这些跟生产工艺、车间管理相关的标准化。对于生产来说，我们需要的是性能稳定的产品，生产几十台几百台，跟生产一两台，都没有太大的差别，这个要求跟我们一些科研单位搞生产做产品还是不太一样的。 仪器信息网：未来贵公司光谱产品线的发展规划，重点发展哪些类别的光谱产品？张德军：荧飒光学专注傅里叶红外，我们的目标还是在自己熟悉擅长的领域做深做精。得益于拥有一个完全自主的研发团队，我们可以按照自己的判断和市场的需求规划产品的发展路线。对于近红外产品线来说，我们目前已经有了一套完整的在线光谱仪全套方案，实验室的方案我们目前也已经比较完善，对固体和液体进行透射、反射的测量附件和配置都能提供。未来我们还会推出在线防爆版本的在线解决方案，以及便携式的产品解决方案。仪器信息网：从行业发展角度来说，您认为目前光谱仪器整体技术水平怎么样？未来最具前景的光谱仪器或者技术是什么？最具前景的应用将体现在哪些方面？张德军：在外企工作了十几年，我们浸染于国际一线仪器品牌的环境之中，对产品功能、研发理念、行业判断、战略规划有自己的感悟；最近几年，我们也感受到中国制造业的水平跟欧美的差距越来越小。我们曾经走访过一些欧美仪器企业的工厂，有件事印象很深，我们发现一些全球范围内专业而知名的公司，其实员工并不多，有些只有十几、几十个人，但是有限的人手去专注做有限的几件事几个产品，经过十几年几十年的积累，就可以做成世界第一。我们备受鼓舞，我们也是这样的目标，专注于傅里叶红外这一件事情，我们希望能把这个产品做精，做到比进口品牌更贴合本地用户的想法和体验。我觉得我们国内很多仪器公司也一样，大家要耐得住寂寞，专注于打磨产品和技术，向华为、小米等优秀的民族企业学习，把国产化仪器的整体水平，光谱仪器的性能指标，提升到跟进口品牌一样，并且在某些方面比进口的还要好。为此，我们将不遗余力！

2017年12月11日-15日，飞纳电镜在一周内共计销售10台台式扫描电镜，其中包括5家企业用户：丰田纺织（上海）有限公司，常熟华融太阳能新型材料有限公司，河南省力量钻石股份有限公司，苏州瑞森硬质合金有限公司和上海库博标准集团。另外，还有5家高校用户，分别是：苏州大学，南京大学，西安科技大学，上海大学和广州大学。目前，常熟华融太阳能新型材料有限公司，苏州大学和西安科技大学已经是第二次采购飞纳台式扫描电镜，上海大学迎来第3台飞纳台式扫描电镜，而南京大学则是第4次选择飞纳台式扫描电镜。这一现象表明，飞纳台式扫描电镜优质的产品和卓越的服务得到了客户的认可。 飞纳电镜的销售工程师和应用工程师，会及时为客户提供问题的解决方案，有针对性地为客户选购适合自己领域的台式扫描电镜，以及所需要的拓展选件。飞纳电镜的每一位工程师都不断努力研究，励志将最好的分析测试结果呈现给每个客户。 我们邀请客户带样品来飞纳电镜的Demo实验室现场测试，了解客户对电镜最真实的需求，让客户实实在在地了解飞纳电镜的性能和操作方式。客户采购电镜后，机器会运到客户指定地点，飞纳电镜的售后工程师上门装机。售后工程师会对用户进行详细的台式扫描电镜操作培训，确保每位用户都可以熟练操作，并取得培训合格证书。飞纳台式扫描电镜操作简单，易懂，所以用户不需要过多的扫描电镜知识，而且，工程师会耐心地解答用户提出的每个问题。 对于飞纳电镜真诚的售后服务态度，绝大部分客户都是相当满意。并认可售后工程师的技术，和工作效率。每年，飞纳电镜会举行用户培训会议，建立与用户面对面沟通的桥梁。随着科技的不断进步，大家不仅希望仪器操作简单化，而且，更加追求仪器小型化，无需过多维护成本，这就是为什么越来越多的人选择飞纳台式扫描电镜的原因。飞纳电镜操作简单，成像快速，完全站在客户的角度考虑问题，通过不断优化技术，和服务，获得了良好的口碑。 飞纳电镜，内置涡轮分子泵，采用分级真空系统，通过压差光阑让灯丝仓和样品仓分离，使得灯丝时刻处于高真空的状态下，保证灯丝至少 1500 小时的寿命。高亮度的CeB6灯丝是获得确保用户获得优质图像的关键因素之一。 飞纳台式电镜的明星产品是飞纳电镜能谱一体机Phenom ProX，不仅可以观测样品的形貌信息，而且还拥有集成在电镜主机内的能谱仪来分析元素， Element Identification（EID）软件帮助用户实现多点分析和元素分析线面扫（mapping）功能。 明星产品——飞纳台式扫描电镜能谱一体机Phenom ProX飞纳电镜不变的追求是减轻用户的工作量，帮助用户实现目标，让越来越多的人感受到创新科技的魅力。在创新的道路上我们一直保持着追求“Free to achieve”的初心。

前言：默克密理博(原密理博)自上世纪70年代涉足实验室纯水设备研发，如今已经成为实验室纯水领域的领导者，而Milli-Q系列实验室超纯水系统更是成为世界实验室纯水仪的金标准。　　2012年2月27日，默克密理博中国首个实验室纯水工厂开幕 2012年3月15日，默克密理博针对中国市场的纯水仪产品“明澈”正式上市。一系列动作都表明2012年是默克密理博实验室纯水业务的“中国时刻”。　　借参加默克密理博活动之机，仪器信息网编辑就首个实验室纯水工厂诞生始末、首款针对中国市场的“明澈”产品特点及优势等问题采访了默克密理博实验室纯水业务全球总裁Bernard Arend先生、实验室纯水业务欧洲/中国/印度销售总监Glenn Young先生、实验室纯水产品经理Stephane Dupont先生、实验室解决方案及生物科学事业部中国区总经理陈亮先生。采访合影(从左至右：Bernard Arend先生、仪器信息网编辑杨娟、Glenn Young先生、Stephane Dupont先生、陈亮先生)　　历经8年运筹 中国首个实验室纯水工厂开幕　　默克密理博中国首个实验室纯水工厂坐落在默克化工上海松江基地，该工厂是默克密理博全球第二个实验室纯水仪生产基地，另一个生产基地位于法国莫尔塞姆实验室纯水业务总部。据悉，该生产基地的诞生历经8年运筹，从密理博到默克密理博，为何一个生产基地的诞生会历经如此长的时间?而工厂诞生的背后有着怎样的故事?　　默克密理博实验室纯水业务全球总裁Bernard Arend先生说，“其实早在2004年，我来到中国，当时制定了实验室纯水业务的第一个‘五年计划’，其中就涉及探索‘中国制造，服务于中国’的产品开发。这应该是我们计划中国本地化生产的开始。”　　“2005年10月，我们启动打造国产化实验室纯水系统的‘龙之梦’计划，探索在国内寻找合作伙伴的机会。随后，‘龙之梦’计划历经三期，四年时间，终于在2009年锁定了合作伙伴，成立专职负责中国中端市场开发的团队，并且推出了针对中国中端市场的过渡产品Aquelix。”　　2010年3月，默克宣布收购密理博。Bernard Arend先生说，“2010年7月，在两家公司整合完成后，公司管理层做出最终决定——在实验室纯水仪国产化项目上走‘独立自主、自力更生’的道路，该项目被命名为St. Georage项目，生产基地选在了默克化工上海松江基地，并新成立默克密理博实验室设备(上海)有限公司。”　　在美、德、法、中四地密切合作下，工厂装修、组装及检测设备安装、人员培训等工作陆续展开，2012年2月27日，历经8年运筹的默克密理博中国首个实验室纯水工厂盛大开幕。据悉，该工厂目前只具有组装能力，所有的零配件均来自默克密理博实验室纯水业务总部生产基地法国。而产品也只有“明澈”产品一款，年产量在1500台左右。陈亮先生表示，“相信不久的将来，大家可以在上海生产基地看到‘中国设计、中国创新、中国制造’，供应全球发展中国家的纯水仪设备。”　　四地联手打造针对中国市场的“明澈”纯水仪　　“明澈”中文意思澄明、清澈，它是默克密理博赋予其实验室纯水中国工厂首款产品的中文品牌名。“明澈”产品融合了美、德、法、中四地的“基因”，专为满足中国客户的特殊需求而量身定制。那什么是中国客户的特殊需求?“明澈”产品又有哪些创新之处?　　“明澈”产品之父、默克密理博实验室纯水产品经理Stephane Dupont先生说，“中国客户的特殊需求主要有三方面：其一，高的出水量 其二，合理的价格 其三，参与投标项目需要是中国制造的产品。”　　“基于中国客户以上三点特殊需求，‘明澈’产品进行了部分革新。(1)在出水量方面，‘明澈’产品出水量是24L/h，而原产法国产品的出水量只有8L/h，并且独特的温度-压力反馈系统设计，能根据水温调节进水压力，从而保证无论水温如何变化，而产水流速稳定。(2)在循环水回收率方面，‘明澈’产品采用了默克密理博独特的反渗透弃水回收技术，将循环水回收率提高至66%，而目前市场上常规纯水仪的循环水回收率只有20%。(3)一机两水，‘明澈’产品除了可生产普通三级水即纯水外，还可以生产超纯水。超纯水是通过对已经产好的三级水提纯来生产的，我们原产品的提纯度一般是1-1.2L/min，而‘明澈’产品的提纯度上升到2L/min。这也是为中国客户特别定制的，满足中国实验室短时间需供应大量超纯水的需求。”　　“此外，‘明澈’产品依然延续了默克密理博实验室纯水仪的优异创新技术，如专利的电去离子技术(EDI)、电阻率仪及TOC仪等在线监测技术、终端取水点革命技术等。”　　默克密理博关注实验室纯水仪“一条龙”技术的创新　　作为实验室纯水领域的领导者，默克密理博一直引领着实验室纯水技术的发展，如世界上首个实现EDI净水设备的商品化、独特在线监测技术及终端取水点革命等。默克密理博是如何看待实验室纯水技术的未来发展?　　Bernard Arend先生表示，“我们知道实验室纯水制造并不仅仅是一项单一技术，而是多种技术的集合，默克密理博关注实验室纯水制造所涉及的所有技术的创新。我们关注提高纯净水质量的技术，如膜过滤技术、EDI技术 关注水质在线监测技术 ，如在线电阻率仪、TOC仪技术 关注实验室纯水仪使用便利的技术，如终端取水点革命技术。此外，对于实验室纯水仪提供数据的准确性、可靠性技术，默克密理博也很关注。”　　“整体来说，如今客户的需求呈现多样性，涉及纯净水质、水量，甚至是纯净水中的杂质或污染成分，所以默克密理博会根据不同客户的需求，研发相关技术和产品。”　　针对目前中国实验室使用瓶装水的现象，默克密理博实验室纯水业务欧洲/中国/印度销售总监Glenn Young先生说，“目前中国实验室使用的瓶装水是饮用水级纯净水，其生产的技术工艺与实验室级纯净水完全不同，并且该类型的瓶装水没有质量稳定的保障措施，从而影响到实验结果的稳定性。”　　陈亮先生补充到，“中国有这么大的瓶装水市场就证明该市场有巨大的潜力。目前，默克密理博针对这类市场推出实验室级的瓶装纯净水产品，如果实验室真要选用瓶装水，则应选用默克密理博的产品。”　　采访编辑：杨娟　　附录： 默克密理博公司网站　　http://www.merck-millipore.com　　http://millipore.instrument.com.cn/

李克强7月19日考察国家自然科学基金委员会并主持召开座谈会。总理会上说：“我们到了要大声疾呼加强基础研究的关键时刻。”国家自然科学基金设立于上世纪80年代，是我国支持基础研究的“主渠道”，多年来为基础研究提供了广泛和稳定的资助。其发展历程标志着科技资源配置从“计划分配”向“竞争择优”的历史性转变。要提高学校数理化生等基础学科教育水平，培养更多基础研究人才李克强听取了数理科学部、科学基金信息管理平台和交叉科学部的情况汇报。数理科学部负责人对总理说：“我们知道您历来特别关心数学。数理科学部是国家自然科学基金委成立之初的首个学部。作为基础科学的重要板块，数理科学部处于中心位置。”李克强说：“我们之所以强调要重视数学，因为自然科学首先发端于数学，人类文明真正进入科学领域也是从数学开始的。可以说，数学是一切科学的基础。事实上，许多‘卡脖子’的问题，最终都‘卡’在基础研究上。”李克强说，要提高学校数理化生等基础学科教育水平，培养更多基础研究人才。多渠道引进优秀人才，促进基础研究水平提高。基础研究和原始创新应该摆在关键地位李克强表示，我国在应用科技领域，特别是在与市场结合的应用场景领域进步巨大，有些甚至已经领跑世界。“但我们的基础研究还不厚，原创性还不高，基础研究和原始创新应该摆在关键地位。”李克强说。他指出，要坚持以习近平新时代中国特色社会主义思想为指导，落实立足新发展阶段、贯彻新发展理念、构建新发展格局、推动高质量发展的要求，坚持创新在我国现代化建设全局中的核心地位，通过深化改革更大激发全社会创新创造积极性，结出更多科技硕果，为国家发展和民生改善提供有力支撑。“当前国际环境发生很大变化，我国科技发展存在不少短板，很多产业技术瓶颈主要在于原始创新薄弱。”总理说，“基础研究是推动原始创新、构筑科技和产业发展‘高楼’的基石。我国已经到了必须大力加强基础研究的关键时期，立足现实，决不能错过这个时机。”要有“十年磨一剑”的恒心和专注李克强说：“科学是个长期积累的过程，特别是基础科学，不是一年两年或者三年五年就能取得突破的。要静下心来，踏踏实实，攻克一些基础性的科学难题。”李克强说，要营造潜心向学的良好科研生态，弘扬科学精神，尊重规律，激励创新，宽容失败，鼓励科研人员心无旁骛从事基础研究和原始创新。“要吸收人类文明所有的先进成果，加强国际合作。”李克强说，“许多基础研究特别是原始创新都是站在巨人的肩膀上取得突破的。我们的科研人员要有‘十年磨一剑’的恒心和专注，为国家、为民族乃至为人类作出应有的贡献。”

仪器信息网讯 2023年5月18日，作为“仪器及检测3i奖”的重磅奖项之一，2022科学仪器行业十大杰出雇主最终获奖结果在第十六届中国科学仪器发展年会颁奖晚宴上公布。此次活动由仪器信息网和我要测网共同举办。约200家企业经过数月的激烈角逐，再经大数据评分、市场调查、问卷调研等环节，最终评选出2022科学仪器行业十大杰出雇主国内外获奖企业各10家。最终获奖名单如下：2022科学仪器行业“十大杰出雇主”国外获奖企业名单（排序不分先后）安东帕(上海)商贸有限公司安捷伦科技(中国)有限公司德国耶拿分析仪器有限公司梅特勒托利多科技（中国）有限公司珀金埃尔默企业管理（上海）有限公司日立科学仪器（北京）有限公司瑞士万通中国有限公司赛默飞世尔科技（中国）有限公司沃特世科技（上海）有限公司优莱博技术（北京）有限公司2022科学仪器行业“十大杰出雇主”国内获奖企业名单（排序不分先后）北京东西分析仪器有限公司北京莱伯泰科仪器股份有限公司北京普析通用仪器有限责任公司常州磐诺仪器有限公司聚光科技（杭州）股份有限公司力康集团力新仪器（上海）有限公司欧波同（中国）有限公司上海屹尧仪器科技发展有限公司天美仪拓实验设备（上海）有限公司浙江福立分析仪器股份有限公司3i颁奖典礼现场中国分析测试协会研究员汪正范、北京信立方科技发展股份有限公司总经理唐海霞分别为国内、国外获奖企业代表颁发奖杯和证书。国外 “十大杰出雇主”企业颁奖荣耀时刻国内 “十大杰出雇主”企业颁奖荣耀时刻【获奖权益】专属定制奖杯及荣誉证书：获奖雇主将获得专属定制奖杯及荣誉证书，并于第十六届中国科学仪器发展年会（ACCSI 2023）晚宴中参与现场颁奖，录制专属获奖感言、单独高清获奖照片记录高光时刻。专属招聘资源，高频职位曝光：获奖雇主在仪器信息网及我要测网人才频道栏目中将会获得专属招聘推广资源，持续高频职位曝光。全方位媒体资讯推送、公众号头条推送：仪器信息网及我要测网人才频道全方位媒体推送获奖新闻及雇主职位，获奖雇主公众号头条单独推送，按照会员级别依次排序推送。2022年新增“人气雇主榜单”：投票环节排名前十的人气雇主（入围标准：票数不低于1000票）将在荣誉高光展示页面进行展示。2022年度科学仪器行业“十大杰出雇主”人气榜单【联系方式】我要招聘：18519135745（微信同号）我要求职：13261444537（微信同号）

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“新”动时刻， 让你心中的哈希最强新品C位出道Original 哈希公司 哈希公司 3 days ago作为水质、水文监测仪器专业制作商，哈希始终致力于为广大用户提供更可靠易用的仪器、更准确多样的解决方案与专家级的服务。过去一年里，哈希研发团队也不断推陈出新，为用户们带来多款新品仪器、试剂及解决方案。现在，哈希的七大新成员们将按照在线分析仪、实验室仪器、数字化解决方案分为三大天团，来一场2020年终新品选秀大赛。一同观看哈希新产品们如何在舞台上绽放光彩，最为重要的是作为评委的您，会为哪位学员转身？为TA投出您关键一票，让你pick的新品C位出道，更有机会赢得精彩好礼！◆颜值在线团◆HOT选手一—— CYQ-310H型水质自动采样系统&SG系列质控仪 ——心有灵犀姐妹花满足最新环保标准的采样器&质控仪• 适用于内河、市政污水、工业废水等领域• CYQ-310H依据最新环保标准HJ353-2019\HJ 355-2019设计，提供瞬时水样及混合水样，并为不用的仪表配置针对性的预处理。SG系列质控仪与之搭配使用，能实现标液核查和加标回收的精确配置，为在线仪表提供所需水样，具有自动化、实时性、占用空间小、界面友好的特点。HOT选手二—— MS9000多参数水质检测仪 ——唱跳rap样样通九大水质参数一站覆盖• 适用于地表水、饮用水、城市内河等领域• MS9000可连续检测包括水温、pH、溶解氧、电导率、浊度、高锰酸盐指数、氨氮、总磷、总氮9种水质参数，同时还具有一体化设计、占地面积小、易于安装、维护次数少等优点。HOT选手三—— QL3550&QL3580在线总有机碳TOC检测仪 ——业务top特长生专为污染源市场开发设计• 适用于电子电力行业反渗透水、冷凝水、补给水、工业废水、地表水等领域• QL3550和QL3580能准确测量低浓度TOC，支持双量程切换，4mm内径进样管路，无需预处理，具有处理成本低、测量精确、抗干扰性强、界面友好等特点。◆动感实验团◆HOT选手四—— TX1315便携式生物毒性分析仪 ——老天赏饭小天才毒性及微生物检测的突破成果• 适用于地表水、饮用水、污水、石油石化、工业用水、食品饮料、环境应急等领域• TX1315便携式生物毒性分析仪不仅可用于发光细菌法生物毒性分析，还可用于化学发光毒性法分析；具有突破性的微生物检测技术，只需几分钟就能获得关键数据；产品附带应急便携包，便捷性高，适合户外使用。HOT选手五—— Pocket Pro & Pocket Pro+水质检测笔 ——个小力大萌妹子你口袋里的水质实验室• 适用于饮料、工业用水、电力、污水、泳池及水产养殖等领域• Pocket Pro系列的笔式测定仪可提供包括pHORP、电导率、TDS、盐度和温度在内的数据，且具有无需换算、易于使用、结果可靠的特点，能节省时间和成本，带给用户便捷高效的测量体验。HOT选手六—— 新品总氮试剂 ——节奏步伐稳准狠精准满足国标法• 适用范围广，包括工业污水、市政污水、污染源等领域• 哈希总氮试剂符合HJ636-2012标准，具备DRB200消解器和16mmTNT消解管，相比传统测量方式，该试剂操作简便、测量精准、更加安全，为您轻松且精准地获取结果提供可靠保障。◆未来之光团◆HOT选手七—— EWAS水质预警系统 ——时尚前沿弄潮儿面向未来的数字化解决方案• 适用于污染源排口、地表水、工业废水等领域• EWAS是哈希自主研发的数字化的水质检测及预警系统，内置于现场端工控机内，基于不断优化的算法实时监控水质数据与仪表状态、提前预警水质情况，可根据用户需求定制软件端展示内容，为决策部门及时制定解决方案提供更充足的时间。本期“新”动时刻，你想送哪位你最爱用的选手出道？点击下方阅读原文进行投票，pick你的心动产品。前300名投票的行业专家评委将有机会获得精美出道礼【KACO国风复古色中性笔套装】一份。若您支持的选手最终票数最高，更可能获得礼品升级为【小米双肩背包】的机会！活动时间：2020年11月18日-2021年2月18日

2012-2021年，光谱仪器及技术突飞猛进，相关的新产品、新技术层出不穷：拉曼、近红外、激光诱导击穿光谱、太赫兹、高光谱、超快光谱、光谱成像......不仅给科研注入了新的活力，更是给企业带来了客观的经济效益。“光谱十年”之际，仪器信息网特别策划《点亮光谱仪器 “高光”时刻》系列活动，以期盘点光谱仪器及相关技术的突出成果，展现光谱仪器及相关厂商的“高光”时刻。从最简单的光学光谱模块到定制化的解决方案，HORIBA Scientific（Jobin Yvon光谱技术）旗下的光学光谱部门一直致力于光谱仪部件及集成光谱仪系统的研制和生产，可提供各种规格的单色仪、探测器、光源、附件及应用软件，可为科研人员组建高性能的光谱测量系统。本期，我们特别邀请到了HORIBA 科学仪器事业部技术支持工程师吴鹤讲述HORIBA光谱仪的“高光”时刻。HORIBA 科学仪器事业部技术支持工程师 吴鹤仪器信息网：过去十年间，哪些光谱技术的进步让您印象深刻？HORIBA：对于不同的科研人员，其具体需求也不尽相同，模块化光学光谱搭建系统凭借其高度灵活性在光谱技术研究领域占据着重要地位，针对不同的应用如拉曼、光致发光、暗场散射、时间分辨光致发光、等离子体发射、可调单色光源等可提供灵活多样的解决方案。另外，随着对微结构或材料的研究日趋广泛，模块化显微光学光谱搭建系统也应运而生，且在各个研究领域有广泛应用。仪器信息网：截至目前，贵公司有哪几款光谱仪器曾经获得“科学仪器优秀新品”奖 ？该仪器研发的背后有什么样特别的故事？ HORIBA：HORIBA Scientific（Jobin Yvon光谱技术）有着两百多年的光学光谱研究历史，顺应技术的发展、时代的进步，不断进行技术革新。Horiba的多款仪器包括拉曼、荧光、光学光谱搭建系统多次获得仪器信息网颁发的各类奖项。其中，MicOS显微光谱测量系统获得了“2013年科学仪器行业优秀新产品奖”。一般来说，采用标准显微镜与光谱仪耦合测量光谱常采用光纤耦合方式，一方面，信号损失大，耦合效率较低，另一方面，很多样品在应用显微镜测量时会遇到困难，比如：侧面发光样品或者在正置低温恒温器中的样品。在做光致发光光谱测量时，若应用多个波长激发，标准显微镜的灵活性会受到限制。MicOS开创性地将显微测量和光谱测量高效率地耦合于一体，光谱仪最多可同时接三个探测器，能与多个激发波长匹配，并且可提供物镜朝下或物镜侧向的两种配置选择，以满足不同客户的特定需求。仪器信息网：获奖产品的销售情况如何？解决了哪些关键问题？有哪些典型用户或典型的应用案例？行业影响力及用户的反馈情况如何？HORIBA：MicOS显微光谱测量系统用户遍布全球，用途多种多样，如二维材料特性研究、电致发光材料的表征、半导体材料或器件的质量检测和缺陷研究等等。MicOS将显微测量和光谱测量高效率地耦合于一体，将显微探测头直接与iHR三光栅光谱仪耦合，光谱仪最多可同时接三个探测器，使其可覆盖紫外、可见、近红外的宽光谱范围（200nm~1600nm）；能与多个激发波长匹配，灵活性极强且易于操作；内置数码相机设计，可实时观察样品；可提供物镜朝下或物镜侧向的两种配置选择，便于测量侧向发光器件或放置在正置低温恒温器中的样品；配合自动平台可进行mapping测量。MicOS系统已有很多工业用户，在工业生产中，无论是器件的研发过程还是质量检测过程，MicOS系统都发挥着十分重要的作用。仪器信息网：贵公司光谱仪器的生产工艺是如何把控的？在产品的质控及生产车间管理方面有什么独特的地方？ HORIBA：HORIBA Scientific有着十分丰富的光学光谱研究、设计和生产经验，根据客户的实际需求，既可以单独提供光谱仪、探测器、光源、以及光栅等部件，也可以提供完整的解决方案，并且对于生产的仪器都有严格的质量把控。对于单独的部件，在生产时会进行质量测试，确保部件质量，对于外购附件也同样对其质量严格把关；对于整套的系统，有标准的技术参数和验收流程，依据标准进行整体的性能测试，以保证整套系统的性能与质量。仪器信息网：未来贵公司光谱产品线的发展规划，重点发展哪些类别的光谱产品？HORIBA：HORIBA Scientific自创立以来，始终致力于科研级光学光谱产品的研发生产，顺应技术进步与时代潮流，不断创新与发展。除了模块化光学光谱部件与系统，HORIBA还提供高性能整机系统，包括拉曼光谱仪、荧光光谱仪、粒度分析仪、椭圆偏振光谱仪、射频辉光放电光谱仪（GD-OES）、等离子体共振成像仪（SPRi）、阴极荧光光谱仪、碳硫氧氮氢分析仪以及各种OEM光谱仪。涉及的应用包括材料、化学、生命科学、制药、环境、地质、能源、光伏、考古、艺术品等等，对于不同的测量及应用需求提供合适的解决方案。仪器信息网：从行业发展角度来说，您认为目前光谱仪器整体技术水平怎么样？未来最具前景的光谱仪器或者技术是什么？最具前景的应用将体现在哪些方面？HORIBA：光谱技术作为重要的分析技术，所涉领域非常广泛。目前微纳材料及显微结构的研究仍然十分热门，因此显微光谱的测量需求只增不减。另外，随着研究方向的多样化，对仪器的多功能性要求也日益增强。HORIBA Scientific的MicOS系统将显微探测头与iHR三光栅光谱仪高效耦合，配置灵活、可覆盖光谱范围宽，易于通过内置相机观察样品情况，可以进行mapping测试，是显微水平光致发光、电致发光和光调制反射光谱研究的理想选择。另外，HORIBA scientific新推出的SMS（Standard Microscope Spectroscopy Systems）是基于iHR光谱仪与标准显微镜通过定制化耦合模块(MicroSpex)集成的系统，该模块与标准显微镜耦合可适用于从深紫外到近红外的显微光谱测量，如显微拉曼、显微光致发光、暗场散射、显微时间分辨光致发光、反射/透射、电致发光等多种光谱研究，灵活性高，可根据需求进行搭建的定制化系统，为用户提供高质量光谱测量与成像。

沧海横流显本色，危难时刻见初心。面对这场突如其来的疫情，面对生死攸关的考验，没有人是局外人。顺昕“逆行者”用他们的责任、初心和担当，勇敢的为全市人民生命健康构筑了一道道安全防线，顺昕公司主动向“城阳区疾病预防控制中心”捐献三套自动化实验室分析仪器，极大的提升了检验效率，并给检疫人员加码了安全系数。为此，城阳红十字会特颁发感谢状： “没有国哪有家，不服务于社会，就失去了企业存在的意义！”在刘可心总经理的带领下，顺昕同志们勇往直前，不管什么时候、什么地方，顺昕都以民族大义为重，并以优异的工作业绩为社会贡献全部力量！

项目编号：0773-2240SHHW0019项目名称：华东师范大学反应离子束刻蚀系统、感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统项目预算金额：663.0789000 万元（人民币）最高限价（如有）：663.0789000 万元（人民币）采购需求：项目名称：华东师范大学反应离子束刻蚀系统、感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统项目包件1：反应离子束刻蚀系统；数量及单位：1台；简要技术参数：3、等离子体源3.1、射频发生器：最大功率300瓦，13.56MHz，带自动匹配单元；★3.2、ICP源发生器：最大功率3000瓦，2.0MHz，带自动匹配单元；包件2：感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统；数量及单位：1台；简要技术参数：★1、SiO2的标准沉积速率：≥40 nm/min；高速沉积速率：≥500 nm/min2、SiO2薄膜沉积厚度：≥6um。其余详见本项目招标文件。合同履行期限：自合同签订之日起250天内；本项目( 不接受 )联合体投标。