轮廓显微镜

Zeta 200自动三维测量系统Zeta 200是集多种测量手段于一身的高级表面测量系统。它功能配备齐全，使用方便，是三维测量系统中性能价格比最优的选择。Zeta 200能够自动采集样品上多点的工艺参数，如台阶高度、体积、尺寸及粗糙度等，为您提供监管及优化生产流程所需的数据。· 自动多点、多配方测量样品· 200毫米x200毫米XY轴驱动范围· 粗糙表面成像与分析· 金属栅线形状与尺寸测量· 防反射膜及光刻胶厚度分析· 真空吸盘保证样品定位一致· 本色三维成像· 台阶高度，线与面粗糙度、角度及尺寸测量Zeta 200特色功能1.多点测量 用户可按其所需设置每片样品上的采样点数——少许几点往往适用于快速检测，多点则可用于详细分析。2.大面积成像 Zeta 200可自动按次序对多个视场进行成像，然后由软件拼接成一张大面积的样品表面三维图像。3.自动形貌特征测量 用户可设置操作配方对样品的各种指定形貌特征如尺寸、间距、高度甚至整片样品的弧度等进行自动测量。标准系统配置显微镜系统光源：高亮度白光LED物镜：5x,10x,20x,50x,100x耦合透镜：0.5x自动载物台：200毫米x200毫米XY驱动范围Z轴：30毫米纵向驱动范围数码相机: 1024x768像素,1/3 英寸CCD计算机控制系统处理器：英特尔®酷睿2 双核（最低2.5GHz）随机存储器3GB硬盘驱动器：320GB显示器：22英寸宽屏液晶显示器（1680x1050像素） Zeta 三维测量软件实时视频成像快速数据采集（每处1分钟）三维表面浏览：倾斜，旋转，缩放，过滤•体积计算二维表面分析：特性尺寸，直径，面积图案间距，标准偏差表面粗糙度区域平均台阶高度轮廓测量台阶高度与粗糙度多横截面分析平均值测量标尺倾斜度与表面波度补偿阵列式采样序列自动数据与图像输出用于生产线SPC

刚刚有个做太阳能电子浆料的客户询问一个轮廓扫描，和显微镜的扫描不一样的。有谁知道这个东东吗？

我们公司的产品是黑色的粉末，粒度D50一般是10微米。 一直都有用激光粒度仪测定粒度。偶尔也委托外面的机构做扫描电镜，但是费用太贵了。 现在想更直观的观察粒度的分布，想用显微镜观察。 但是我对显微镜的了解只限于中学生物课那种初级显微镜，哈哈。麻烦大家推荐一下。 我看到用显微镜观察粒度的不多。所以不是很了解。 这种颗粒度用多大倍数的显微镜才足够？（看到轮廓就够了）选择什么类型的显微镜？价格范围大概多少？

成都地区有使用激光共聚焦显微及三维光学轮廓仪的吗？想测量一下激光烧蚀后的深度及形貌。感兴趣的可以用这两种仪器测量一下SPARK-OES烧蚀坑的深度及形貌，分析一下烧蚀形貌的特点。最好 估算一下烧蚀的样品量，与大家分享一下。

禅宗有看山看水的参禅三重境，讲的是人对客观事物的认识由浅及深乃至彻底明悟的过程。今天就由中图仪器SuperView W1[color=#0000ff][b]光学3D表面轮廓仪[/b][/color]为大家带来关于超精密加工后的微结构的探索与发现，带领大家踏上一场“参禅三重境”的视觉之旅。　　一重境：看山是山，看水是水。我们选取了一张经由VCUT微刻刀加工过的塑料薄片，初看下面的这张塑料片，想必读者一看再看，也无法找到它和其它的透明塑料片有何不同，“这只是一张普通的塑料片”是各位读者所能得到的初步认识，此乃一重境。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808231032789.jpg[/img][/align]　　二重境：看山不是山，看水不是水。既然肉眼不可辩，那么将这张普通的塑料片放到显微镜下一探究竟。一面布满了点状颗粒，另一面则被条状沟槽所填满，构成了塑料片表面的微观世界，但只知其平面外形却不知其三维形态，知其一不知其二，可谓二重境。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808234626613.jpg[/img][/align]　　三重境：看山仍是山，看水仍是水。为一窥真容，使用中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪对这张塑料片上下表面进行扫描，点颗粒和沟槽轮廓一览无余。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808236344771.jpg[/img][/align]　　点颗粒是凸点，而沟槽则是弧形波，进一步使用仪器的轮廓分析功能对凸点和弧形波进行测量，得到它们的尺寸数据。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238688505.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808230407653.jpg[/img][/align]　　单个凸点截面直径约42μm、高3.8um、夹角160°，分布周期97μm；单个弧形波高约1.6μm、宽约35μm，周期35μm。掌握了全部的轮廓数据，对这有着微结构的塑料片，我们有了全面而精确的认识，称得上“看山还是山，看水还是水”。　　超精密加工，是在传统精密加工上的升级，代表着先进制造业的发展方向，也代表着一个国家制造业的最高水准，超精密的加工水准必须匹配超高性能的检测仪器，而以白光干涉为原理研制而成中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪，就像一双能够明察秋毫的眼镜，帮助我们在超精密加工的微观世界里，具备“看山还是山，看水还是水”的本领。

禅宗有看山看水的参禅三重境，讲的是人对客观事物的认识由浅及深乃至彻底明悟的过程。今天就由中图仪器SuperView W1[url=http://www.chotest.com/detail.aspx?cid=686][color=#0000ff][b]光学3D表面轮廓仪[/b][/color][/url]为大家带来关于超精密加工后的微结构的探索与发现，带领大家踏上一场“参禅三重境”的视觉之旅。　　一重境：看山是山，看水是水。我们选取了一张经由VCUT微刻刀加工过的塑料薄片，初看下面的这张塑料片，想必读者一看再看，也无法找到它和其它的透明塑料片有何不同，“这只是一张普通的塑料片”是各位读者所能得到的初步认识，此乃一重境。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808231032789.jpg[/img][/align]　　二重境：看山不是山，看水不是水。既然肉眼不可辩，那么将这张普通的塑料片放到显微镜下一探究竟。一面布满了点状颗粒，另一面则被条状沟槽所填满，构成了塑料片表面的微观世界，但只知其平面外形却不知其三维形态，知其一不知其二，可谓二重境。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808234626613.jpg[/img][/align]　　三重境：看山仍是山，看水仍是水。为一窥真容，使用中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪对这张塑料片上下表面进行扫描，点颗粒和沟槽轮廓一览无余。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808236344771.jpg[/img][/align]　　点颗粒是凸点，而沟槽则是弧形波，进一步使用仪器的轮廓分析功能对凸点和弧形波进行测量，得到它们的尺寸数据。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238688505.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808230407653.jpg[/img][/align]　　单个凸点截面直径约42μm、高3.8um、夹角160°，分布周期97μm；单个弧形波高约1.6μm、宽约35μm，周期35μm。掌握了全部的轮廓数据，对这有着微结构的塑料片，我们有了全面而精确的认识，称得上“看山还是山，看水还是水”。　　超精密加工，是在传统精密加工上的升级，代表着先进制造业的发展方向，也代表着一个国家制造业的最高水准，超精密的加工水准必须匹配超高性能的检测仪器，而以白光干涉为原理研制而成中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪，就像一双能够明察秋毫的眼镜，帮助我们在超精密加工的微观世界里，具备“看山还是山，看水还是水”的本领。

在萤光显微镜上，必须在标本的照明光中，选择出特定波长的激发光，以产生萤光，然后必须在激发光和萤光混合的光线中，单把萤光分离出来以供观察。因此，在选择特定波长中，滤光镜系统，成为极其重要的角色。 　 　萤光显微镜原理： 　　 光源：光源辐射出各种波长的光(以紫外至红外)。 　　 (B) 激励滤光源：透过能使标本产生萤光的特定波长的光，同时阻挡对激发萤光无用的光。 　　 (C) 萤光标本：一般用萤光色素染色。 　　 (D) 阻挡滤光镜：阻挡掉没有被标本吸收的激发光有选择地透射萤光，在萤光中也有部分波长被选择透过。 以紫外线为光源，使被照射的物体发出荧光的显微镜。电子显微镜是在1931年在德国柏林由克诺尔和哈罗斯卡首先装配完成的。这种显微镜用高速电子束代替光束。由于电子流的波长比光波短得多，所以电子显微镜的放大倍数可达80万倍，分辨的最小极限达0.2纳米。1963年开始使用的扫描电子显微镜更可使人看到物体表面的微小结构。 　 　显微镜被用来放大微小物体的图像。一般应用于对生物、医药、微观粒子等观测。 　　利用微微动载物台之移动，配全目镜之十字座标线，作长度量测。 　　利用旋转载物台与目镜下端之游标微分角度盘，配全合目镜之址字座标线，作角度量测，令待测角一端对准十字线与之重合，然后再让另一端也重合。 　　利用标准检测螺纹的节距、节径、外径、牙角及牙形等尺寸或外形。 　　检验金相表面的晶粒状况。 　　检验工件加工表面的情况。 　　（6）检测微小工件的尺寸或轮廓是否与标准片相符。

[size=3]1台真实色共聚焦扫描显微镜综合了以下6种设备的功能：[U]高分辨率光学显微镜SEM扫描电镜ROUGHNESS TESTER表面粗糙度仪3-D PROFILER 三维表面形貌轮廓仪STEP TESTER 台阶仪R.G.B不同波长单色激光共聚焦显微镜[/U]特点：1.真实颜色、形状同时准确的立体观察成像，避免同色异像，同像异色现象的产生；2.根据样品选择最合适R.G.B三原色进行单波长测定；3.高精度彩色图像输出1280*1024；4.图像拼接实现高放大、高分辨、大视场；5.每秒85桢的高速图像读取；6.高度差、粗糙度、三维尺寸等的直接测量。产品应用：MEMS、半导体、液晶相关产品、金属材料、化学材料、其他各种应用领域。[/size][img]http://www.instrument.com.cn/bbs/images/affix.gif[/img][url=http://www.instrument.com.cn/bbs/download.asp?ID=64576]真实色共聚焦显微镜材料观测图片[/url]

我司有一台灵峰光学产的XSP-35-1600X的显微镜,现出现以下问题~1:用头发作为试样: 1).用目镜(10X,16X) 物镜(10X)可以轻松调到焦距,并且观看很清晰 2).如果把物镜更换为(40X)或者(100X)时无法调到焦距,并且连试样的轮廓的都看不到 3).使用维修替换法,首先把目镜换了,情况一样. 再把物镜也更换了,情况还是一样.2:疑问 1).为什么在100X-160X可以轻松调好焦距 2).加大倍数就无法调到可以观看试样的焦距呢?在此,还请各位显微镜的高手不吝赐教!

生物显微镜使用说明准备工作： a. 打开显微镜底座的电源开关，调节亮度旋钮至适当的位置。 b. 清洁载物台和物镜，确保无灰尘和污垢。 c. 准备待观察的样品，并将其放置在载物台上。调节焦距： a. 将目镜对准光源，通过调节焦距旋钮使目镜中的图像清晰可见。 b. 使用粗调焦旋钮将载物台向上或向下移动，直到观察到样品的大致轮廓。 c. 使用细调焦旋钮逐渐调整焦距，直到样品的细节清晰可见。调节光源： a. 根据需要选择适当的光源模式，如明场、暗场或荧光等。 b. 调节光源亮度旋钮，使光线适中，既不过亮也不过暗。 c. 如果使用荧光光源，还需要调节激发滤光片和发射滤光片，以获得所需的荧光信号。观察样品： a. 将目镜对准样品，并使用粗调焦旋钮将载物台移动到适当位置。 b. 使用细调焦旋钮逐渐调整焦距，直到样品的细节清晰可见。 c. 可以通过旋转目镜筒来改变观察角度和放大倍数，以获得更全面的观察效果。拍摄照片： a. 如果需要拍摄样品的照片，可以将显微镜连接到相机上。 b. 调节相机参数，如曝光时间、光圈和ISO等，以获得理想的照片效果。 c. 使用三脚架或其他稳定装置，以避免拍摄时的抖动。清洁和维护： a. 使用完毕后，关闭显微镜底座的电源开关。 b. 清洁载物台、物镜和其他部件，可以使用干净的棉布或软刷进行清洁。 c. 定期检查显微镜的各个部件，确保其正常运转和良好的工作状态。注意事项：在使用显微镜时，避免触摸物镜或其他易损部件，以免损坏设备。在调节焦距和观察样品时，要保持眼睛与目镜平行，以确保准确观察。如果使用荧光光源，应注意安全操作，避免直接暴露于强光下。

如题，请问pn结轮廓可以用扫描电镜表征吗？或者说，在半绝缘SiC衬底上注入Al，能看出Al的轮廓吗

PE 8000 ICP棱镜扫描轮廓无效怎么回事？

在许多的制造业领域如汽配、轴承、航空航天以及一些精密零部件生产企业等，在产品的生产过程中都离不开轮廓测量仪的检测。中图仪器的[b][color=#3333ff]SJ5760轮廓测量仪[/color][/b]改善了国内轮廓测量仪稳定性差、精度低等不足，减小与国外轮廓测量仪的差距，改变因高精度轮廓测量仪被国外高价格垄断的局面。在今年的北京机床展会现场上，SJ5760轮廓测量仪受到来自国内外许多参观者的驻足观赏，甚至有些公司的老板亲自带着自家公司生产的工件，来到展会现场请中图仪器的技术人员进行现场测量。我们通过对展会现场为用户测量工件的实例，来讲解轮廓测量仪的使用方法。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/6/201706127435008.jpg[/img][/align][img]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image002.jpg[/img]　　在测量工件之前，先做好准备工作，确定轮廓测量仪的正常启动运行，SJ5760轮廓测量仪为全自动测量设备，所以操作人员在测量时不需要太多的手工作业。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/6/201706124153674.jpg[/img][/align][img]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image004.jpg[/img]　　只需要装好被测工件，用中图仪器专用的万向工作台对工件进行固定，在计算机检定软件上设置扫描的起点、终点位置。然后点击“开始”按钮，测量系统会自动驱动测针接触工件表面，并按照事先设置好的位置进行扫描。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/6/201706125560160.jpg[/img][/align][img]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image006.jpg[/img]　　在进行测量的过程中，检定软件会实时将测针获取的参数，在计算机屏幕上以二维图形的方式描绘出轮廓曲线。扫描完成以后，操作人员可以通过轮廓分析工具对生成的轮廓曲线进行评定，得出圆度、角度、距离、间距、直线度等轮廓参数。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/6/201706127747739.jpg[/img][/align][img]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image008.jpg[/img]　　SJ5760轮廓测量仪操作便捷，功能广泛，可对各种工件轮廓的几何参数进行测量，可评定的表面轮廓参数包括：角度、半径、坐标、距离、圆、圆截面，确定各个点、相交各点、坐标轴、直线、垂直线、圆和圆截面，可对轮廓进行直线度、圆度分析等；并可同时实现：1.建立回归直线和圆形；2.建立点、交点、自由点、中心店、最高点和最低点；3.建立坐标系统；4.计算半径、距离、角度、坐标及线性偏差；5.实际值与标称值比较；6.测量程序自动运行。

光学显微镜是利用光学原理，把人眼所不能分辨的微小物体放大成像，以供人们提取微细结构信息的光学仪器。　　早在公元前一世纪，人们就已发现通过球形透明物体去观察微小物体时，可以使其放大成像。后来逐渐对球形玻璃表面能使物体放大成像的规律有了认识。　　1590年，荷兰和意大利的眼镜制造者已经造出类似显微镜的放大仪器。1610年前后，意大利的伽利略和德国的开普勒在研究望远镜的同时，改变物镜和目镜之间的距离，得出合理的显微镜光路结构，当时的光学工匠遂纷纷从事显微镜的制造、推广和改进。　　17世纪中叶，英国的胡克和荷兰的列文胡克，都对显微镜的发展作出了卓越的贡献。1665年前后，胡克在显微镜中加入粗动和微动调焦机构、照明系统和承载标本片的工作台。这些部 件经过不断改进，成为现代显微镜的基本组成部分。　　1673～1677年期间，列文胡克制成单组元放大镜式的高倍显微镜，其中九台保存至今。胡克和列文胡克利用自制的显微镜，在动、植物机体微观结构的研究方面取得了杰出的成就。　　19世纪，高质量消色差浸液物镜的出现，使显微镜观察微细结构的能力大为提高。1827年阿米奇第一个采用了浸液物镜。19世纪70年代，德国人阿贝奠定了显微镜成像的古典理论基础。这些都促进了显微镜制造和显微观察技术的迅速发展，并为19世纪后半叶包括科赫、巴斯德等在内的生物学家和医学家发现细菌和微生物提供了有力的工具。　　在显微镜本身结构发展的同时，显微观察技术也在不断创新：1850年出现了偏光显微术；1893年出现了干涉显微术；1935年荷兰物理学家泽尔尼克创造了相衬显微术，他为此在1953年获得了诺贝尔物理学奖。　　古典的光学显微镜只是光学元件和精密机械元件的组合，它以人眼作为接收器来观察放大的像。后来在显微镜中加入了摄影装置，以感光胶片作为可以记录和存储的接收器。现代又普遍采用光电元件、电视摄象管和电荷耦合器等作为显微镜的接收器，配以微型电子计算机后构成完整的图象信息采集和处理系统。　　表面为曲面的玻璃或其他透明材料制成的光学透镜可以使物体放大成像，光学显微镜就是利用这一原理把微小物体放大到人眼足以观察的尺寸。近代的光学显微镜通常采用两级放大，分别由物镜和目镜完成。被观察物体位于物镜的前方，被物镜作第一级放大后成一倒立的实象，然后此实像再被目镜作第二级放大，成一虚象，人眼看到的就是虚像。而显微镜的总放大倍率就是物镜放大倍率和目镜放大倍率的乘积。放大倍率是指直线尺寸的放大比，而不是面积比。　　光学显微镜的组成结构　　光学显微镜一般由载物台、聚光照明系统、物镜，目镜和调焦机构组成。载物台用于承放被观察的物体。利用调焦旋钮可以驱动调焦机构，使载物台作粗调和微调的升降运动，使被观察物体调焦清晰成象。它的上层可以在水平面内沿作精密移动和转动，一般都把被观察的部位调放到视场中心。　　聚光照明系统由灯源和聚光镜构成，聚光镜的功能是使更多的光能集中到被观察的部位。照明灯的光谱特性必须与显微镜的接收器的工作波段相适应。　　物镜位于被观察物体附近，是实现第一级放大的镜头。在物镜转换器上同时装着几个不同放大倍率的物镜，转动转换器就可让不同倍率的物镜进入工作光路，物镜的放大倍率通常为5～100倍。　　物镜是显微镜中对成象质量优劣起决定性作用的光学元件。常用的有能对两种颜色的光线校正色差的消色差物镜；质量更高的还有能对三种色光校正色差的复消色差物镜；能保证物镜的整个像面为平面，以提高视场边缘成像质量的平像场物镜。高倍物镜中多采用浸液物镜，即在物镜的下表面和标本片的上表面之间填充折射率为1.5左右的液体，它能显著的提高显微观察的分辨率。　　目镜是位于人眼附近实现第二级放大的镜头，镜放大倍率通常为5～20倍。按照所能看到的视场大小，目镜可分为视场较小的普通目镜，和视场较大的大视场目镜(或称广角目镜)两类。　　载物台和物镜两者必须能沿物镜光轴方向作相对运动以实现调焦，获得清晰的图像。用高倍物镜工作时，容许的调焦范围往往小于微米，所以显微镜必须具备极为精密的微动调焦机构。　　显微镜放大倍率的极限即有效放大倍率，显微镜的分辨率是指能被显微镜清晰区分的两个物点的最小间距。分辨率和放大倍率是两个不同的但又互有联系的概念。　　当选用的物镜数值孔径不够大，即分辨率不够高时，显微镜不能分清物体的微细结构，此时即使过度地增大放大倍率，得到的也只能是一个轮廓虽大但细节不清的图像，称为无效放大倍率。反之如果分辨率已满足要求而放大倍率不足，则显微镜虽已具备分辨的能力，但因图像太小而仍然不能被人眼清晰视见。所以为了充分发挥显微镜的分辨能力，应使数值孔径与显微镜总放大倍率合理匹配。　　聚光照明系统是对显微镜成像性能有较大影响，但又是易于被使用者忽视的环节。它的功能是提供亮度足够且均匀的物面照明。聚光镜发来的光束应能保证充满物镜孔径角，否则就不能充分利用物镜所能达到的最高分辨率。为此目的，在聚光镜中设有类似照相物镜中的，可以调节开孔大小的可变孔径光阑，用来调节照明光束孔径，以与物镜孔径角匹配。　　改变照明方式，可以获得亮背景上的暗物点(称亮视场照明)或暗背景上的亮物点(称暗视场照明)等不同的观察方式，以便在不同情况下更好地发现和观察微细结构。　　光学显微镜的分类　　光学显微镜有多种分类方法：按使用目镜的数目可分为双目和单目显微镜；按图像是否有立体　　感可分为立体视觉和非立体视觉显微镜；按观察对像可分为生物和金相显微镜等；按光学原理可分为偏光，相衬和微差干涉对比显微镜等；按光源类型可分为普通光、荧光、红外光和激光显微镜等；按接收器类型可分为目视、摄影和电视显微镜等。常用的显微镜有双目体视显微镜、金相显微镜、偏光显微镜、紫外荧光显微镜等。　　双目体视显微镜是利用双通道光路，为左右两眼提供一个具有立体感的图像。它实质上是两个单镜筒显微镜并列放置，两个镜筒的光轴构成相当于人们用双目观察一个物体时所形成的视角，以此形成三维空间的立体视觉图像。双目体视显微镜在生物、医学领域广泛用于切片操作和显微外 科手术；在工业中用于微小零件和集成电路的观测、装配、检查等工作。　　金相显微镜是专门用于观察金属和矿物等不透明物体金相组织的显微镜。这些不透明物体无法在普通的透射光显微镜中观察，故金相和普通显微镜的主要差别在于前者以反射光，而后者以透射光照明。在金相显微镜中照明光束从物镜方向射到被观察物体表面，被物面反射后再返回物镜成像。这种反射照明方式也广泛用于集成电路硅片的检测工作。　　紫外荧光显微镜是用紫外光激发荧光来进行观察的显微镜。某些标本在可见光中觉察不到结构细节，但经过染色处理，以紫外光照射时可因荧光作用而发射可见光，形成可见的图像。这类显微镜常用于生物学和医学中。　　电视显微镜和电荷耦合器显微镜是以电视摄像靶或电荷耦合器作为接收元件的显微镜。在显微镜的实像面处装入电视摄像靶或电荷耦合器取代人眼作为接收器，通过这些光电器件把光学图像转换成电信号的图像，然后对之进行尺寸检测、颗粒计数等工作。这类显微镜的可以与计算机联用，这便于实现检测和信息处理的自动化，多应用于需要进行大量繁琐检测工作的场合。　　扫描显微镜是成像光束能相对于物面作扫描运动的显微镜 。在扫描显微镜中依靠缩小视场来保证物镜达到最高的分辨率，同时用光学或机械扫描的方法，使成像光束相对于物面在较大视场范围内进行扫描，并用信息处理技术来获得合成的大面积图像信息。这类显微镜适用于需要高分辨率的大视场图像的观测。

1.金相显微镜使用说明：（1）将光源插头接上电源变压器，然后将变压器接上户内220V电源即可使用。照明系统在出厂前已经经过校正。（2）每次更换灯泡时，必须将灯座反复调校。灯泡插上灯座后，在孔径光栏上面放上滤色玻璃，然后将灯座转动及前后调节，以使光源均匀明亮地照射于滤色玻璃上，这样，灯泡已调节正确，这时则将灯座的偏心环转动一个角度，以便将灯座紧固于底盘内。灯座及偏心环上有红点樗，如卸出时，只要将红点相对即可。（3）观察前原则上要装上各个物镜。在装上或除下物镜时，须把载物台升起，以免碰触透镜。[url=http://www.okpumps.com/gemo/list1.htm][color=#000000]隔膜泵[/color][/url]如选用某种放大倍率，可参照总倍率表来选择目镜和物镜。 （4）试样放上载物台时，使被观察表面复置在载物台当中，如果是小试样，可用弹簧压片把它压紧。（5）使用低倍物镜观察调焦时，注意避免[url=http://zl.pcw.com.cn/post/318/35285][color=#000000]镜头[/color][/url]与试样撞击, 可从侧面注视接物镜, 将载物台尽量下移，直至镜头几乎与试样接触(但切不可接触)，再从目镜中观察。此时应先用粗调节手轮调节至初见物像，再改用细调节手轮调节至物像十分清楚为止。切不可用力过猛，以免损坏镜头，影响物像观察。当使用高倍物镜观察，或使用油浸系物镜时，必须先注意极限标线，务必使支架上的标线保持在齿轮箱外面二标线的中间，使微动留有适当的升降余量。当转动粗动手轮时，要小心地将载物台缓缓下降，当目镜视野里刚出现了物像轮廓后，立即改用微动手轮作正确调焦至物像最清晰为止。（6）使用油浸系物镜前，将载物台升起，用一支光滑洁净小棒蘸上一滴杉木油，滴在物镜的前透镜上，这时要避免小棒碰压透镜及不宜滴上过多的油，否则会弄伤或弄脏透镜。（7）为配合各种不同数值孔径的物镜，设置了大小可调的孔径光栏和视场光栏，其目的是为了获得良好的物像和显微摄影衬度。当使用某一数值孔径的物镜时，先对试样正确调焦，之后，可调节视场光栏，这时从目镜视场里看到了视野逐渐遮蔽，然后再缓缓调节使光栏孔张开，至遮蔽部分恰到视场出现时为止，它的作用是把试样的视野范围之外的光源遮去，以消除表面反射的漫射散光。为配合使用不同的物镜和适应不同类型试样的亮度要求设置了大小可调的孔径光栏。转动孔径光栏套圈，使物像达到清晰明亮，轮廓分明。在光栏上刻有分度，表示孔径尺寸。2.[url=http://www.szhipower.com/][color=#000000]金相显微镜[/color][/url]使用注意事项（1）操作时必须特别谨慎，不能有任何剧烈的动作。不允许自行拆卸光学系统。（2）严禁用手指直接接触显微镜镜头的玻璃部分和试样磨面。若镜头上落有灰尘，会影响显微镜的清晰度与[url=http://nb.pcw.com.cn/knowledge/2009-05-31/1243746730d152047.shtml][color=#000000]分辨率[/color][/url]。此时，应先用洗耳球吹去灰尘和砂粒，再用镜头纸或毛刷轻轻擦拭，以免直接擦试时划花镜头玻璃，影响使用效果。（3）切勿将显微镜的灯泡（6~8V）插头直接插在220V的电源插座上，应当插在变压器上，否则会立即烧坏灯泡。观察结束后应及时关闭电源。（4）在旋转粗调（或微调）手轮时动作要慢，碰到某种阻碍时应立即停止操作，报告指导教师查找原因，不得用力强行转动，否则会损坏机件。3.金相显微镜仪器维护为了使仪器在正常使用条件下，保持它的有效性能，除了必须使用恰当外，还必须注意加强维护保养，现就维护保养问题提出下列几点要求（仅供参考）。（1）仪器应贮放在空气流通和较干燥的地方，避免过冷过热和接触腐蚀性气体，不能与化学用品（干燥剂除外）同时贮放于同一地方。使用后宜用罩子遮盖并抹擦干净。不用时,要及时移走试样（玻片），用擦镜纸擦拭镜头，并将镜头转成八字式，同时下降镜筒固定，以免物镜镜头与集光器上的透镜相击而受损。再将显微镜装放入木箱内，放置在干燥、通风处。在可能条件下，最好每隔一定的时间，选择天气好的日子，将仪器和附件从木箱中取出，一起在室内宽敞、干燥、空气流通的地方，作两、三小时的室内晾曝。在高温天气作业完毕后，应注意贮放地点的温度，如温差悬殊，用毕后即收藏会在仪器上面产生湿气，容易使仪器发潮损坏。（2）使用后应给目镜斜管盖上防尘盖子，如没有防尘盖子亦应套上目镜，以免灰尘落入斜管内，影响镜座光具的清洁。（3）不宜随便拆卸和揩抹光学系统内部的半反射镜。除此之外，在透镜或玻璃表面不慎接触油污尘垢，[url=http://www.hhpump.com/qby.htm][color=#000000]隔膜泵[/color][/url]可用细洁亚麻布或洁净脱脂棉花，沾少许二甲苯拭除（但不能用酒精，以免浸入透镜内层影响质量），由镜头中心向外旋转擦拭，并用擦镜纸或软绸布轻轻拭净,否则易于脱胶，或模糊而影响检测效果。如只是沾上灰尘，可用橡皮小吹风球把灰尘吹掉（不可用口吹），或用软毛笔或用细木棒卷上棉花，轻轻擦除之。镜头表面镀有一层兰透光膜，不要误作污物擦拭，禁止用金属工具来代替棉签进行擦拭。（4）使用油浸系物镜后，必须立即采用上述方法把油垢除去，抹擦干净，抹时千万小心，特别注意不能按压镜面，否则容易使透镜脱离镜座。（5）仪器长期使用后，粗动滑板部分及载物台滑动部分可能出现油脂不足或干涸现象，此时应及时添加润滑油脂。粗（微）动机构宜用流动性油脂，载物台滑动部分宜用有适当粘度的（但注意不能含有酸性）油脂。（6）非不得已不应随便拆卸齿轮箱内部。[url=http://www.microa.com.cn/product.aspx?sort_id=55][color=#000000]金相显微镜[/color][/url]如损坏时，必须请有经验的人修理，以免损坏机件。

首先将金相显微镜的光源插头插到变压器上，颠末低压变压器接通电源。根据扩展倍数选用所需的物镜和目镜，分别安装在物镜座上及目镜筒内，并将转换器转至固定方位。将试样放在试样台中心，将查询面朝下并用弹簧片压住。转变粗调手轮先将载物台下落，一重用眼睛查询，使物镜尽可能的靠近试样表面(可是不要相碰)，然后相反方向转变粗调手轮，使载物台逐步上升以调度焦距，当视场亮度增强时，再改用微调手轮调度，直到物像变清楚。恰当调度孔径光栏和视场光栏，以获得最佳质量的物像。规划和操作金相显微镜的种类和类型许多，最常见的是台式、立式和卧式三大类。普通由光学系统、照明系统和机械系统三大部分组成，有的显微镜还附有拍照设备。金相显微镜是一种精密的光学仪器，运用时央求细心稳重。在运用显微镜使命之前首先要打听其布局特征以及各个首要部件的互相方位和作用，然后按照显微的运用规程进行操作。

样品测量厚度在100纳米，是溅射的金属网格，我希望测试网格线的厚度。想用台阶仪或者光学轮廓仪测试，请问北京哪里可以提供服务？谢谢！

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[color=#000000]粗糙度轮廓仪为粗糙度及轮廓的复合机。轮廓传感器对工件的宏观表面轮廓、二维尺寸进行测量 与检验，粗糙度传感器对工件的微观表面进行测量与检测[/color][b]特点[/b][color=#000000]1、高精度摩擦式导轨结构，具有优异稳定的运动精度。经专用算法修正后，具有极高的直线度精度。精度保持长久，只需简单的修正操作即可修复成出厂的高精度状态；[/color][color=#000000]2、轮廓测针测杆采用快速的磁吸结构，具有定位精度高、更换快捷的特点。软件对不同类型的测针测杆进行校正并保存校正参数，更换测针测杆时，因磁吸结构具有定位精度高的特点，而无需再次校正，大大提高仪器的使用便利性和测量效率；[/color][color=#000000]3、原始数据自动保存，便于多次标注，软件标注与 CAD 同理；[/color][color=#000000]4、可将测量的图形结果转化为 DXF 格式，可将测量结果以 Excel 表格格式输出；[/color][color=#000000]5、可以对操作进行无限次的撤销及恢复操作；[/color][color=#000000]6、采用独立的轮廓、粗糙度测量传感器，即保持大量程轮廓测量需求，亦能高精度测量粗糙度；[/color][color=#000000]7、粗糙度采用触针式无导头测量，残值轮廓可低于 5nm!实现高精度的粗糙度测量，特别在测量零件的圆弧面、斜面、窄槽的槽底、槽侧面的粗糙度时，具有带导头式粗糙度测量无法比拟的精度和测量便利性。[/color][img]https://p3.toutiaoimg.com/img/tos-cn-i-qvj2lq49k0/4372814fa2524f599af2d76e04cb37f0~tplv-tt-shrink:640:0.image[/img]【英徕铂】英徕铂ENLAB，物性检测仪器品牌，为国内市场提供数百种物性检测仪器，为科研工作者提供检测仪器解决方案与服务

[b]显微镜的使用与保养[/b][b]一、使用方法[/b] 1．观察前的准备　　（1）置显微镜于平稳的实验台上，镜座距实验台边沿约为一寸左右。镜检者姿势要端正，一般用左眼观察，右眼便于绘图或记录，两眼必须同时睁开，以减少疲劳，亦可练习左右眼均能观察。显微镜构造见右图。　　（2）显微镜是光学精密仪器，在使用时要特别小心，使用前要熟悉显微镜的结构和性能，检查各总零件是否完好无损。镜身有无灰尘，镜头是否清洁，做好必要的清洁和调整工作。　　（3）调节光源　对光时应避免直射光源，因直射光源影响物像的清晰，损坏光源装置和镜头，并刺激眼睛。晴天可直接用窗外的散射光，如明暗天气，可用8－30W日光灯或显微镜灯照明调节光源及光照的一般步骤：　　将低倍物镜旋至镜筒下方，旋转粗调节轮，使镜头和载物台距离约为0.5cm左右。　　上升聚光器，使与载物台表面同样高。否则使用油镜时光线较暗。　　左眼看目镜，调节反光镜镜面角度（反光镜有凹平两面，光线较强自然光源，宜用平面镜；光线较弱的天然光源或人工光源，宜用凹面镜。）对光使全视野内为均匀的明亮度。凡检查染色标本时，光线应强；检查未染色标本时，光线不宜太强。可通过扩大或缩小光圈、升降聚光器、旋转反光镜调节光线．　　2．低倍镜观察。　　检查的标本须先用低信镜观察，因为低倍镜视野较大，易发现目标和确定检查的位置。　　（1）先将标本玻片置于载物台上，并将标本部位处于物镜的正下方，转动粗调节轮，下降物镜或上升载物台使物镜至标本0.5cm处。　　（2）左眼看目镜，同时反时针方向慢慢旋转粗调节轮，当在视野内出现物象后，改用细调节轮，上下微微转动，直至视野内获得清晰的物象。然后认真观察标本各部位，确定并将需进一步要观察的部位移视野中央，准备用高倍镜观察。　　3．高倍镜观察；　　将高倍镜转正至正下方，在转换接物镜时，需用眼睛在侧面观察，避免镜头与玻片相撞。然后由接目镜观察，再仔细调节光圈和聚光镜，使光线的明亮度适宜，同时再仔细正反两方向微转动细调节轮，直至获得清晰的物象后为止，找到最适宜于观察的部位。需进一步要观察的部位移视野中央，准备用油镜观察。　　4．油镜观察：　　（1）上升聚光器，全开虹彩光圈　　（2）用粗调节轮提起镜筒或下降载物台，转动转换器将油镜转至镜筒正下方。在玻片标本的镜检部位滴上一滴香柏油。右手顺时针方向慢慢转动粗调节轮使镜筒下降或载物台上升，与此同时，从显微镜的侧面观察使油镜浸入油中，直到几乎与标本接触时为止。注意不要压到标本，以免压碎玻片，甚至损坏油镜头。（3）从接目镜内观察，进一步调节光线，使光线明亮，再用粗调节轮将镜筒徐徐上升或将载物台徐徐下降，直到视野内出现物像为止，然后用细调节轮校正焦距。如油镜已离开油面而仍未见物象，必须再从侧面观察，将油镜降下，重复操作至物象看清为止。 ５．换片观察完一个标本后，如果想要再观察另一标本时，需先将高倍物镜（或油竟镜）转回到低倍物镜，取出标本，按放片的方法换上新片，即可观察。千万不可在高倍物镜（或油竟镜）下换片，以防损坏镜头。

由于纺织品面料中氨纶的组份含量一般都比较低，有时候在显微镜下找了半天。目前对氨纶的显微镜纵像图不是很清楚。哪位有可以共享下。

[quote]引言：半导体产业是一个点石成金的行业，将从普通的石英砂中提取的硅原料制成拥有现代工业系统“心脏”之称的IC芯片，中间须历经数十上百道工序，从硅晶圆的制备到晶圆IC的制造，每一步都对工艺流程的质量有着严格的管控要求，由各式各样的检测仪器共同组成了产品质量监控的守门员，而在这之中，作为产品表面质量检测仪器的光学3D表面轮廓仪，以其超高的检测精度和重复性，发挥着重要的作用。[/quote]　　中图仪器SuperView W1[b][color=#3333ff]光学3D表面轮廓仪[/color][/b]，是一款专用于超精密加工领域的光学检测仪器，其分辨率可达0.1nm。半导体产业作为超精密加工领域一颗璀璨的明珠，在其硅晶圆的制备和晶圆IC的制造过程中，光学3D表面轮廓仪都以其强大的表面质量检测功能给这颗明珠增添一份靓丽的色彩。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804257216238.png[/img][/align][color=#ffffff]硅晶圆的粗糙度检测[/color]在半导体产业中，硅晶圆的制备质量直接关系着晶圆IC芯片的制造质量，而硅晶圆的制备，要经过十数道工序，才能将一根硅棒制成一片片光滑如镜面的抛光硅晶圆，如下图所示，提取表面一区域进行扫描成像。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804250029083.png[/img][/align]通过上图我们看到，制备好的抛光硅晶圆表面轮廓起伏已在数纳米以内，其表面粗糙度在0.5nm左右，由于其粗糙度精度已到亚纳米量级，而在此量级上，接触式轮廓仪和一般的非接触式仪器均无法满足检测要求，只有结合了光学干涉原理和精密扫描模块的光学3D表面轮廓仪才适用。[color=#ffffff]晶圆IC的轮廓检测[/color]晶圆IC的制造过程可简单看作是将光罩上的电路图通过UV蚀刻到镀膜和感光层后的硅晶圆上这一过程，其中由于光罩中电路结构尺寸极小，任何微小的粘附异物和瑕疵均会导致制造的晶圆IC表面存在缺陷，因此必须对光罩和晶圆IC的表面轮廓进行检测。下图是一块蚀刻后的晶圆IC，使用光学3D表面轮廓仪对其中一个微结构扫描还原3D图像，并测量其轮廓尺寸。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804252060141.png[/img][/align][color=#ffffff]晶圆IC减薄后的粗糙度检测[/color]在硅晶圆的蚀刻完成后，根据不同的应用需求，需要对制备好的晶圆IC的背面进行不同程度的减薄处理，在这个过程中，需要对减薄后的晶圆IC背面的表面粗糙度进行监控以满足后续的应用要求。在减薄工序中，晶圆IC的背面要经过粗磨和细磨两道磨削工序，下图是粗磨后的晶圆IC背面，选取其中区域进行成像分析。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804253935356.png[/img][/align]从上图可以看出，粗磨后的表面存在明显的磨削纹路，而3D图像显示在左下部分存在一处凹坑瑕疵，沿垂直纹理方向提取剖面轮廓并经过该瑕疵，在剖面轮廓曲线里可看到该处瑕疵最大起伏在2.4um左右，而磨削纹理起伏最大在1um范围内波动，并获取该区域的面粗糙度Sa为216nm，剖面线的粗糙度Ra为241nm。而在经过细磨后，晶圆IC背面的磨削纹理已基本看不出，选取表面区域进行成像分析。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804257060316.png[/img][/align]从上图可知，在经过细磨之后，晶圆IC背面的磨削纹理轮廓起伏已经降到36nm附近，其表面粗糙度也已经从200多nm直降到6nm左右。以上是SuperView W1光学3D表面轮廓仪在半导体产业中的几种典型应用案例。目前我国正在大力推进半导体产业跨越式大发展，中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪必将为此贡献更多力量。

、工作原理 表面为曲面的玻璃或其他透明材料制成的光学透镜可以使物体放大成像。光学显微镜就是利用这一原理把微小物体放大到人眼足以观察的尺寸。近代的光学显微镜通常采用两级放大，分别由物镜和目镜完成。被观察物体AB位于物镜的前方，被物镜作第一级放大后成一倒立的实象A1B1。然后此实像再被目镜作第二级放大，成一虚象A2B2，人眼看到的就是虚像A2B2。2、显微镜的总放大倍率为显微镜总放大倍率＝物镜放大倍率×目镜放大倍率放大倍率是指直线尺寸的放大比而不是面积比。在用人眼直接观察的显微镜中，可以在实像面A1B1处放置一块薄型平板玻璃片，其上刻有某种图案的线条，例如十字线。当实像A1B1和这些刻线叠合在一起时，利用这些刻线就能对物体进行瞄准定位或尺寸测量。这种放置在实像面处的薄型平板玻璃片通称分划板。在新型的以光电元件作为接收器的光学显微镜中，电视摄象管的靶面或其他光电元件的接收面就设置在实像面上。3、组成 光学显微镜由载物台、聚光照明系统、物镜、目镜和调焦机构组成。（1）载物台 用于承放被观察的物体。利用调焦旋钮可以驱动调焦机构使载物台作粗调和微调的升降运动，使被观察物体调焦清晰成象。它的上层可以在水平面内沿、方向作精密移动和在水平面内转动，把被观察的部位调放到视场中心。（2）聚光照明系统 由灯源和聚光镜构成。当被观察物体本身不发光时，由外界光源给以照明。照明灯的光谱特性必须与显微镜的接收器的工作波段相适应。聚光镜的功能是使更多的光能集中到被观察的部位。（3）物镜位于被观察物体附近实现第一级放大的镜头。在物镜转换器上同时装着几个不同放大倍率的物镜。转动转换器可让不同倍率的物镜进入工作光路。物镜放大倍率通常为5～100倍。物方视场直径（即通过显微镜能看到的图像范围）约为11～20毫米。物镜放大倍率越高则视场越小。物镜是显微镜中对成象质量优劣起决定性作用的光学元件。常用的有：①能对两种颜色的光线校正色差的消色差物镜；　　②质量更高的能对三种色光校正色差的复消色差物镜；　　③能保证物镜的整个像面为平面以提高视场边缘成像质量的平像场物镜。为了提高显微观察的分辨率，在高倍物镜中采用浸液物镜，即在物镜的下表面和标本片的上表面之间填充折射率为1.5左右的液体。（4）目镜位于人眼附近实现第二级放大的镜头。目镜放大倍率通常为5～20倍，按能否放置分划板，可分成两类：①不宜放置分划板的，如惠更斯型目镜。这是现代显微镜中常用的型式，优点是结构简单、价格低廉；缺点是由于成像质量的原因，不宜放置供瞄准定位或尺寸测量用的分划板。　　②能放置分划板的，如凯尔纳型和对称型目镜，它们能克服上述目镜的缺点。按照能看到的视场大小，目镜又分为视场较小的普通目镜和视场较大的大视场目镜（或称广角目镜）两类。（5）调焦机构 载物台和物镜两者必须能沿物镜光轴方向作相对运动以实现调焦，获得清晰的图像。用高倍物镜工作时，容许的调焦范围往往小于微米，所以显微镜必须具备极为精密的微动调焦机构。4、显微镜放大倍率的极限 显微镜放大倍率的极限即有效放大倍率。仪器的分辨率是指仪器提供被测对像微细结构信息的能力。分辨率越高则提供的信息越细致。显微镜的分辨率是指能被显微镜清晰区分的两个物点的最小间距。根据衍射理论，显微物镜的分辨率为：sigma=0.61lamda/N.sinU ~1式中lamda为所用光波的波长；N为物体所在空间的折射率，物体在空气中时N=1；U为孔径角，即从物点发出能进入物镜成像的光线锥的锥顶角的半角；NsinU 称为数值孔径。当波长λ一定时，分辨率取决于数值孔径的大小。数值孔径越大则能分辨的结构越细，即分辨率越高。数值孔径是显微物镜的一个重要性能指标，通常与放大倍率一起标注在物镜镜筒外壳上，例如40×0.65表示物镜的放大倍率为40倍，数值孔径为0.65。分辨率和放大倍率是两个不同的但又互有联系的概念。当选用的物镜数值孔径不够大，即分辨率不够高时，显微镜不能分清物体的微细结构，此时即使过度地增大放大倍率，得到的也只能是一个轮廓虽大但细节不清的图像。这种过度的放大倍率称为无效放大倍率。反之如果分辨率已满足要求而放大倍率不足，则显微镜虽已具备分辨的潜在能力，但因图像太小而仍然不能被人眼清晰视见。为了充分发挥显微镜的分辨能力，应使数值孔径与显微镜总放大倍率合理匹配，以满足下列条件：500NsinU＜显微镜总放大倍率＜1000NsinU在此范围内的放大倍率称为有效放大倍率。由于sinU永远小于1，物方空间折射率N最高约为1.5，NsinU不可能大于1.5，故光学显微镜的分辨率受 (1)式限制，具有一定的极限。有效放大倍率受上式限制，一般不超过1500倍。显微镜使用者应由所需分辨的最小尺寸按(1)式确定所需的数值孔径，选定物镜，然后按(2)式选定总放大倍率和目镜放大倍率。提高分辨率的途径是：采用较短波长的光波或增大孔径角U值，或是提高物体所在空间的折射率N，例如在物体所在空间填充折射率为 1.5的液体。以这种方式工作的物镜称为浸液物镜。而电子显微镜正是利用波长极短的特性，在提高分辨率方面取得重大突破的。5、聚光照明系统对显微观察的影响聚光照明系统是对显微镜成像性能有较大影响但又易于被使用者忽视的环节。它的功能是提供亮度足够且均匀的物面照明。聚光镜发来的光束应能保证充满物镜孔径角，否则就不能充分利用物镜所能达到的最高分辨率。为此目的，在聚光镜中设有类似照相物镜中的可以调节开孔大小的可变孔径光阑，用来调节照明光束孔径，以与物镜孔径角匹配。观察高反差物体时，宜使照明光束充满物镜的全孔径；对于低反差物体，宜使照明光束充满物镜的2/3孔径。在较完善的柯勒照明系统中，除可变孔径光阑外，还装有控制被照明视场大小的可变视场光阑，以保证被照明的物面范围与物镜所需的视场匹配。物面被照明的范围太小固然不行，过大则不仅多余，甚至有害，因为有效视场以外的多余的光线会在光学零件表面和镜筒内壁多次反射，最后作为杂散光到达像面，使图像的反差下降。 改变照明方式，可以获得亮背景上的暗物点（称亮视场照明）和暗背景上的亮物点（称暗视场照明）等不同的观察方式，以便在不同情况下更好地发现和观察微细结构。6、分类光学显微镜有多种分类方法：①按使用目镜的数目可分为双目和单目显微镜；②按图像是否有立体感可分为立体视觉和非立体视觉显微镜；③按观察对像可分为生物和金相显微镜等；

Zeta-200是集三维成像和计量功能于一身的先进自动化表面测量系统。它功能配备齐全、使用方便，是自动三维测量系统中性能价格比最优的选择。Zeta-200能够自动采集样品上多点的工艺参数，如台阶高度、体积、尺寸及粗糙度等，为您提供监控及优化生产流程所需的数据。典型的系统配置包括：放大倍数为5倍, 10倍, 20倍, 50倍, 100倍的物镜1/3英寸CCD相机; 0.5倍耦合镜自动Z轴，30毫米驱动范围自动XY载物台，200毫米x 200毫米驱动范围具有3GB内存和320GB硬盘的电脑，24英寸显示器，以及泽塔三维功能软件

[b][font='Microsoft YaHei', 宋体, sans-serif]【序号】：１[/font]【作者】：[font=&][size=13px][color=#0066cc]段晓健[/color][/size][/font][b][b][/b][/b][/b][font=&]【题名】：[/font][b][b][url=http://www.eope.net/EN/abstract/abstract17664.shtml][b]基于线阵CCD的镜片轮廓测量[/b][/url][/b][/b][font=&]【期刊】：[/font][font=Arial][size=12px]CNKI[/size][/font][b]【链接】：[font=&][size=13px][color=#0066cc]段晓健[/color][/size][/font][url=https://xueshu.baidu.com/usercenter/paper/show?paperid=dba2d7b2f949431c52425383b6a2fba3&site=xueshu_se]基于线阵CCD的镜片轮廓测量 - 百度学术 (baidu.com)[/url][/b][font=&][size=13px][color=#0066cc]段晓健[/color][/size][/font]

MMD-220A轮廓仪可测量各种精密机械零件的素线轮廓形状参数，角度处理（坐标角度，与Z坐标的夹角，两直线夹角）、圆处理（圆弧半径，圆心到圆心距离，圆心到直线距离，交点到圆心的距离，直线到切点的距离）、点线处理（两直线交点，交点到直线距离，交点与交点距离，交点到圆心的距离）、直线度、凸度、对数曲线、槽深、槽宽、沟边距、沟心距、轮廓度、倾斜度、垂直距离、水平距离等形状参数。 该MMD-220A轮廓仪测量长度≤220mm，Z 量 程：10mm，可测零件直径：内圈≤300mm，外圈可较大，国产贵阳光栅尺：精度±3μm/220mm ，X向分辨率1μm，Z向分辨率/量程：1/65536，工作压力：0.35～0.43Mpa，气源压力：0.45～0.80Mpa。

生物显微镜和工具显微镜又称工具制造用显微镜，是一种工具制造时所用高精度的二次元坐标测量仪。生物显微镜工具显微镜是利用光学原理将工件成像经物镜投射至目镜，即借着光线将工件放大成虚像，再利用装物台与目镜网线(eyepiece reticle)等辅助，以作为尺寸、角度和形状等测量工作，可作为检验非金属光泽的工件表面。生物显微镜工具显微镜仪器在立柱上装有一显微镜，放大倍率从10倍至100倍间等数种倍率，工具显微镜的测量系统光源( 灯炮 ) 通电后，光线依次经过二个透镜滤热镜 ( 片)、镜径薄膜、透镜、反射镜、装物台、物镜、反射镜、目镜等，工件与物镜间的距离，随着放大倍率和工件厚薄，可利用对焦旋钮调至理想位置。1、 生物显微镜工具显微镜将人眼瞄准，采集元素的个别点坐标，改为CCD摄像机自动采集元素图像，采集信息量增大，减少人工干预，操作效率提高。 2、生物显微镜工具显微镜软件数据处理结果除以数据表示外,增加了图形信息窗，处理的点、线、图、弧等元素展现在屏幕上，形象直观，条理清晰，避免出错，并且可以输出到AUTOCAD形成工程图。3、引进先进的英国RENISHAW钢带反射光栅系统代替原有的玻璃光栅系统，该系统信号优良，安装间隙大，外形小巧，发热量小，安装调试简单，抗污染，抗腐蚀能力强，耐震性好等众多优点，大大提高了系统的可靠性，是当今国际最先进的光栅系统之一。4、 生物显微镜和工具显微镜生物显微镜工具显微镜除X、Y坐标数字显示外，将测高坐标和分度头角度坐标也改成数显，实现了四坐标全数显化，这一改进对凸轮轴测量十分有益。5、用半导体激光器作为指向器，红色光点打在工件表面，用于快速确定测量部位，避免了因CCD视场面积小带来的找象困难，解决了目前图像系统的通病。引用：www.bsdgx.com