集成电路用氦质谱检漏仪

p style="text-indent: 2em "span style="text-indent: 2em "近日，中科科仪通过网络直播方式发布了ZQJ-2300系列新品氦质谱检漏仪。该系列检漏仪共计三款，其中/spanspan style="text-indent: 2em text-decoration: underline "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/SH100215/C289478.htm" target="_blank" style="color: rgb(0, 176, 240) "span style="text-decoration: underline text-indent: 2em color: rgb(0, 176, 240) "台式ZQJ-2300检漏仪/span/a/spanspan style="text-indent: 2em "适用于实验室检漏，车式ZQJ-2300检漏仪适用于工业检漏，ZQJ-2300K检漏仪适用于生产线快节拍检漏。此三款检漏仪汇聚了众多关键创新技术，最大程度提高了可靠性、智能性与便捷性，可为您生产活动保驾护航。/span/pp style="text-align: center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 600px height: 293px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202004/uepic/72232ca7-dae1-451b-b5b3-80f897b5fb41.jpg" title="0.png" alt="0.png" width="600" height="293" border="0" vspace="0"//pp style="text-indent: 2em "span style="text-indent: 2em "strong一流配置 铸造卓越品质/strong/span/pp style="text-indent: 2em "ZQJ-2300氦质谱检漏仪拥有国际一流品质的真空部件配置，包括中科科仪自主研发的前级耐压可达1000Pa检漏仪专用分子泵，德国进口皮拉尼与电磁阀。在检漏仪的“心脏”质谱室中，采用新型氧化钇灯丝，可保证10万次检漏性能依然稳定，有效延长了检漏无故障周期。ZQJ-2300检漏仪具有自动、手动两种校准模式，提供精检、粗检、吸枪三种工作模式，同时具有真空保护功能与防污染设计，是集一流硬件配置与强大软件设计相结合的旗舰检漏仪产品。/pp style="text-indent: 2em " strong智能设计 简约而不简单/strong/pp style="text-indent: 2em "ZQJ-2300氦质谱检漏仪拥有优良的人机交互界面，在直观的数码管显示基础上，通过丰富的液晶屏菜单进行校准、调零、报废点、防污染等参数设置，操作简易。该款检漏仪还拥有创新的时钟功能，可记录关键零部件如分子泵、机械泵、灯丝等的使用时间，既方便查看，又便于及时对检漏仪关键部件进行维护保养。此外，ZQJ-2300检漏仪也可以记录每一次运行的间隔时间，并自动调整仪器的启动时间，以便获得最佳的运行状态。系统可为操作人员、工艺工程师和维护人员配置不同的安全级别，方便仪器的使用和维护。/pp style="text-indent: 2em "台式ZQJ-2300检漏仪采用简约的集成化工业设计，体积仅为500× 354× 397mm，重量仅为39.5kg，可方便放入家用汽车后备箱，便于客户携带外出检漏。同时，该款检漏仪可搭配小车，配置大抽速前级泵及旁抽泵，或配置无油干泵，可广泛应用于各种工业检漏领域。/pp style="text-indent: 2em " strong强大清氦能力 专为产线设计/strong/pp style="text-indent: 2em "ZQJ-2300K快节拍检漏仪是一款针对电子元器件、锂电池生产线等对检漏节拍要求较高领域的专用型检漏仪。这款检漏仪采用独特的双分子泵气路设计和优异的软件控制系统，使得检漏口对氦气抽速达到3.5L/s，可快速清除工件本底。该指标明显高于国际主流品牌，经测试，在同等条件下检漏节拍提升30%，大大缩短检测时间，提高了整体产线的工作效率。/pp style="text-indent: 2em "中科科仪具有近50年的真空检漏技术经验，相继推出ZQJ-230系列、ZQJ-530系列、ZQJ-2000系列、ZQJ-3000系列、ZQJ-2300系列等多种型号检漏仪，为航空航天、电力电子、空调制冷、半导体生产等诸多领域提供了先进的检漏解决方案，满足各领域客户的不同需求。/ppbr//p

仪器信息网讯 2023年7月26-28日，2023世界光子大会暨第十四届光电子产业博览会在北京国际会议中心顺利召开。本届大会由中国光学工程学会（CSOE）、国际光学工程学会（SPIE）、俄罗斯工程院、德国工程院、美国工程院等各国学会机构主办。大会以“光领制造，智创未来”为主题，聚焦光电子行业新市场、新产品、新技术，近20余场学术会议，八大主题展览，以及第12届国际应用光学与光子学技术交流大会（AOPC2023）同期举办，近百位大咖专家聚焦光电子领域的学术与技术的创新碰撞。皖仪科技展位展会同期也吸引了多家仪器企业参展。作为一家以国际化视野、按国际化标准运营的全球分析仪器专业供应商，安徽皖仪科技股份有限公司主导产品涵盖色谱、光谱、质谱类分析仪器。本次展会，皖仪科技携其最新研发的第六代检漏仪产品，包括常规式氦质谱检漏仪、模块式氦质谱检漏仪、标准式气密性检漏仪、模块式气密性检漏仪等亮相展会。安徽皖仪科技股份有限公司销售总监 陈搏展会现场，仪器信息网采访了安徽皖仪科技股份有限公司销售总监陈搏。据介绍，在本次光电子博览会上，皖仪科技带来了一系列先进的检漏仪解决方案，主要体现在检漏仪器的关键技术指标和整机稳定性已经达到国际行业头部水平，更是进一步携手国内光通信，光纤和光器件，TO封装，连接器等头部企业一起共进，替代进口。皖仪科技成立于2003年，最初以检漏仪器为主要业务，2005 年氦质谱检漏仪被列为国家重点产品，截至目前，皖仪科技检漏仪器产品矩阵包括氦质谱检漏仪、真空箱检漏回收系统、气密性检漏仪三大类。其中氦质谱检漏仪为皖仪科技自主研发，最小检漏率可达 5×10-13Pa m3/s，真空箱检漏回收系统是在高端氦质谱仪基础上，依托多真空箱联动系统与控制技术自主研发，实现了氦气的循环使用，广泛应用于医疗、半导体、新能源、汽车、制冷、电力、传统真空、电子电器、3C、航天航空等行业。20年发展过程中，作为国家重大专项高端检漏仪器设备研制及应用开发项目的承担者，皖仪科技坚持创新，建有国家级企业技术中心和博士后科研工作站等创新平台，多次承担国家发改委战略性新兴产业、国家科技支撑计划、国家火炬计划等重大科研项目。目前拥有400多名研发人员，累计专利约300件。在检漏仪器领域，皖仪科技积极布局新能源行业产品应用，随着新能源的持续发展，给皖仪科技检漏产品的发展带来稳步增长。2022年皖仪科技发布了第六代氦质谱检漏仪及第六代气密性检漏仪，对原有的系列产品进行了一系列革新，从外观到内在结构，再到软件系统，均进行了全方位改进。第六代氦质谱检漏仪SFJ-16C和16D经过长时间的不断钻研和思考，在研发团队的不懈努力下，皖仪科技针对不同用户需求场景迭代更新了第六代全新检漏仪系列，关键机型也就是本次参展现场的两款：SFJ-16C和16D。据了解，无论是16c还是16d哪一款，他们都配置了可全向旋转的液晶触摸屏。清爽简单的用户界面使新老客户都能快速上手，分级的菜单管理使得数次点击之内就能访问到所有功能。对于有远程操作系统集成需求的用户，16全系配备了RS232、RS485、LAN多种通讯接口，也具有数字和模拟量输出。这些接口经过了各种极端的测试，能够在最恶劣的工况下可靠工作。针对大体积工件检漏特别是设备厂家，普通的氦质谱检漏仪存在响应速度慢、背景清除时间长的问题，皖仪科技研发了新一代的谐波去耦算法。新一代的算法在使得检漏仪这些应用情景下，使在相同的时间下，背景水平能降低一个数量级。同时让极低漏率的检测速度提升数秒。第六代检漏仪秉持极简的设计理念，将从整体布局到细节尺寸进行了一系列的优化。改进后的检漏仪具有极高的可维护性和操作性，同时也能减少故障的出现，具有更高的鲁棒性。以日常核心器件维护为例，维护时间可由2小时降至30分钟左右，大大缩减了停机时间。第六代气密性检漏仪此外，皖仪科技还对第六代气密性检漏仪进行了功能和结构的优化。首先，在功能上检漏仪中集成了更丰富的输入输出及逻辑，通过逻辑编程功能可实现复杂的动作逻辑，省去专用的PLC，有效减少使用成本。其次，第六代气密性检漏仪的外观和人机界面进行了重大变革，搭载了高效的工业互联系统。另外，第六代的数据存储能力从1万条扩充到了100万条以上。氦气提纯回收一体机据调研数据显示，很多客户每年购入氦气的费用高达上百万元。使用成本非常高。为了帮助客户更好的节约成本，皖仪科技开发了自己的提纯系统，离线式提纯系统是一套独立的系统，将排放的氦气进行集中纯化，与真空箱检漏系统相互独立，无需同时使用。今年是皖仪科技创成20周年之际，也是皖仪科技迈向新时代新台阶的重要节点。陈博表示，皖仪科技对产品质量的高要求是成功的重要基石。通过严格的质量控制和持续的反馈改进，力保产品达到最高的标准。品质卓越的产品不仅能获得客户的信任和认可，还能提升企业的声誉和竞争力。另一方面，皖仪科技高效高质的管理体系是成功的又一关键因素，注重建立科学的管理体系，从组织架构、流程规范到绩效考核等方面进行全面科学管理。而且，一直以来，皖仪科技极其注重技术创新和产品研发。不断投入资源和精力，在技术领域保持先进性，并及时适应市场需求的变化。创新推动企业不断更新、完善产品，提高竞争力。皖仪科技能够在20年的时间里取得如此成就，便是由于皖仪人坚守使命、注重产品质量、实施有效管理、持续创新这些因素的成功融合，使皖仪科技成为国内仪器行业的佼佼者。

日前，广东省测量控制技术与装备应用促进会发布T/GDCKCJH 046—2021《氦质谱检漏仪性能要求与检测方法》团体标准，并于2021年12月17日起正式实施。标准详细信息标准状态 现行标准编号 T/GDCKCJH 046—2021中文标题 氦质谱检漏仪性能要求与检测方法英文标题 Performance requirements and test method for helium mass spectrometer leak detector国际标准分类号 17.120.01 流体流量的测量综合中国标准分类号 N68国民经济分类 M732 工程和技术研究和试验发展发布日期 2021年12月17日实施日期 2021年12月17日起草人 刘洪华、冯周、刘浩、汤文广、彭水勇、曾宏勋、石霞、邓军、许亮、赖海梁、彭强、高磊、廖桃兴、谭贝、李尚虹、王刚、张勇、颜训雄、曾海钦、肖岩、刘春平起草单位 深圳天溯计量检测股份有限公司、深圳市中测计量检测技术有限公司、深圳市华溯智慧计量研究院范围 本文件适用于以质谱分析法作为检测手段的检漏仪性能检测，其他检漏仪可参考使用。主要技术内容 本文件规定了氦质谱检漏仪的术语和定义、性能要求及检测方法。是否包含专利信息 否标准文本标准下载链接：https://www.instrument.com.cn/download/shtml/1014901.shtml