真空度测试仪采用磁控放电法进行测量。将真空开关灭弧室的两触头拉开一定的距离，施加电场脉冲高压，将灭弧室置于螺线管圈内或将新型电磁线圈置于灭弧室外侧，向线圈通以大电流，从而在灭弧室内产生与高压同步的脉冲磁场。这样，在脉冲强磁场和强电场的作用下，灭弧室中的带电离子作螺旋运动，并与残余气体分子发生碰撞电离，所产生的离子电流与残余气体密度即真空度近似成比例关系。对于不同的真空管型号（管型），由于其结构不同，在同等触头开距、同等真空度、同等电场与磁场的条件下，离子电流的大小也不相同。通过实验可以标定出各种管型的真空度与离子电流间的对应关系曲线。当测知离子电流后，就可以通过查询该管型的离子电流一真空度曲线获得该管型的真空度。真空度测试仪将灭弧室的两触头拉开一定的开距，施加脉冲高压，将电磁线圈环绕于灭弧室的外侧，向线圈通以大电流，从而在灭弧室内产生与高压同步的脉冲磁场，这样在脉冲磁场的作用下，灭弧室中的电子做螺旋运动，并与残余气体分子发生碰撞电离，所产生的离子电流与残余气体密度即真空度近似成比例关系。对于不同的真空管，在同等真空度条件下，离子电流的大小也不相同，当测知离子电流后，通过离子电流一真空度曲线，由计算机自动完成真空度的计算，并显示真空度值。真空度测试仪特点：1、可定量测量各种型号真空开关灭弧室内的真空度； 2、现场测量时不需拆卸真空开关； 3、测试结果准确可靠； 4、液晶汉字显示，操作更加简单方便； 5、可保存、打印、查看测试的试验数据； 6、仪器带有RS232通讯接口，可以连接计算机实现真空度-离子电流曲线下载、寿命估计等多种功能； 7、仪器重量轻，携带方便。 8.实现了真空灭弧室的免拆卸测量，直接显示真空度值，使真空断路器用户详细掌握灭弧室的真空状态，为有计划地更换灭弧室提供了可靠的依据，为电网的安全运行提供了有力保障，克服了工频耐压法仅能判断灭弧室是否报废的缺陷。真空度测试仪技术参数1. 真空度测量范围： 9.999×10-1～1×10-5 2. 离子电流测量范围： 9.999×10-1～1×10-7 3. 测量误差： 10% 4. 测量分辨率： 10-5pa 5. 允许环境温度： -20℃～50℃ 6. 空气湿度： ≤80%RH 7. 电源： AC/220V/50Hz±10% 8. 外型尺寸： 420×290×210（mm） 9. 高压输出： 脉冲30kV15kHz
美国UE开关 真空开关 400系列___北京康安森仪表
真空度测试仪的使用注意事项如下： 1、真空度测试仪属精密仪器，电路板布线密度较大，一般要求存放于较干燥的地方。若环境较潮湿，则应经常通电。 2、若测试后电流值显示为零，应检查灭弧室表面是否清洁。因为表面不清洁可能使漏电的变化值大于电离电流值，这样，测量值减去漏电后小于零，而被仪器判为零。发生这种情况后，将灭弧室表面檫干净，再做试验，一般来说这样得到的真空度值较精确。 3、在使用真空度测试仪时，高压输出线不得触及人体，以防触电。 4、高压指示灯亮时，不要触及高压线和磁控电流线，以防触电。 5、拆装打印纸在仪器先断电的情况下进行，以免损坏打印机。换纸时，将前面板打开，用食指和拇指捏紧打印机两端的两夹片轻轻拖出打印机，使出纸口略高于仪器面板，但不能拖出距离太大，将新纸端口部分剪成尖头状，插入打印机的进纸口，打开仪器电源开关，按下打印键，使纸从打印机的上端走出一段距离，插入面板出口缝导出。盖好打印机面板，装纸完毕。 6、真空度测试仪无任何用户可维修的部件,如出现故障,请专业人员维修,或与供应商联系,切勿擅自打开仪器,以免发生意外或造成不必要的损失。 7、真空度测试仪真空度测量范围在9.999×10-1～1×10-5之间,离子电流测量范围在9.999×10-1～1×10-7之间，当真空管的真空度大于10-2Pa或离子电流大于500uA时建议该真空管报废。 8、若真空管内压力等于大气压（即真空管破损），真空度测试仪测量范围内,本仪器则拒绝检测，返回初始状态。
真空系统其实就是提供了一套模块化的组件，可满足实验室多个用户同时工作的需要，且每个工作点独立控制。从而节约了空间。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2012/03/201203311523_358526_2347661_3.jpg如图，一个系统，控制很多个点。每个点都有独立的真空开关，且可调。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2012/03/201203311535_358529_2347661_3.jpg这个用于旋蒸的，我们卖过几套。优点在于，能精确控制流程。可以进行缓慢蒸馏，即使是低沸点溶剂也能达到高度的溶剂回收率。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2012/03/201203311539_358530_2347661_3.jpg最后就来张这个可无线控制的真空系统 SC920.http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2012/03/201203311540_358531_2347661_3.jpg通过PC对整个过程经行控制 (USB)可以生动,直观的观察整个过程随时记录/存在各种相关数据系统可自动找到混合溶剂沸点，并能把记录的数据自动导入电脑。环保、安静、微振动。能在设定的真空度下稳定工作。
之前发过一个帖子[url]http://bbs.instrument.com.cn/topic/6526964[/url]真空度差，真空阀不停开关最近发现，ACD开启后，真空度一下子变差。ACD加热完事后，真空度上不去，真空阀不停开关。试着样插入品杆，真空度只能到600多（Evac High) .不能再高，之后阀开始不停开关。专家说一下，什么问题？？多谢啊
新手求教，透射电镜上下样品杆时，总在拨抽/泄真空开关时破真空是怎么回事？
[size=16px][color=#339999][b]摘要：大量MEMS真空密封件具有小体积、高真空和无外接通气接口的特点，现有的各种检漏技术无法对其进行无损形式的漏率和内部真空度测量。基于压差法和高真空度恒定控制技术，本文提出了解决方案。方案的具体内容是将被测封装器件放置在一个比器件内部真空度更高的真空腔体内，采用电动可变泄漏阀和控制器自动调节微小进气流量进行高真空度控制，由此在被测器件内外建立恒定压差，通过测量此压差下的漏率可得到器件内部真空度。[/b][/color][/size][align=center][size=16px][color=#339999][b]=========================[/b][/color][/size][/align][size=18px][color=#339999][b]1. 问题的提出[/b][/color][/size][size=16px] 真空密封器件通常需要在特定的真空度下才能正常工作，即需要高真空度和长时间的真空保持度。例如杜瓦组件作为广泛使用的绝热容器在制冷、 红外探测以及超导中都有应用，而杜瓦的绝热效果与其夹层真空度直接相关。有机发光二极管对水蒸气和氧气含量特别敏感，工作时需要真空条件，含量超标的水蒸气和氧会严重影响其寿命和稳定性。高精度的MEMS惯性器件如MEMS陀螺仪、MEMS谐振式加速度计等需要工作在高真空环境中，其内部真空度的好坏决定其品质因数的大小。由此可见，为了保证真空密封器件的密封性能，需要对漏率和真空度的变化进行测试评价，但由于存在以下几方面的原因，使得这种评价技术成为目前迫切需要解决的难题：[/size][size=16px] （1）对于大多数真空密封器件而言，其几何尺寸一般很小，且不能配置真空度和漏率测量接口，这导致了很多现有真空测量领域的传感器和仪器都无法直接使用。[/size][size=16px] （2）对于个别真空封装器件，可通过在外部形成高压将示踪气体（如氦气）加载到真空封装器件内，然后再在外部抽真空条件下采用检漏仪测量真空封装器件的漏率。但这种方法往往会破坏真空封装器件内部的真空度，且不可逆转，可能会造成真空封装器件性能的降低。[/size][size=16px] （3）直接在真空密封器件内集成真空度传感器不失为一种有效手段，如集成如皮拉尼计和音叉石英晶振等，国内外的各种研究也曾在这方面做过努力，但由于所集成传感器自身特性（如结构形状、尺寸、真空度测量范围和精度等）以及所带来附加影响，使得这种技术仅勉强适用于个别真空密封器件，根本无法作为一种通用技术得以应用。[/size][size=16px] 为了解决目前真空封装器件存在的检漏问题，特别是实现对真空封装器件内部真空度的测量，本文基于压差法提出了一种间接测量的解决方案。[/size][size=18px][color=#339999][b]2. 解决方案[/b][/color][/size][size=16px] 对于内部具有一定真空度的真空封装器件，其漏率和内部真空度的测量将基于压差法。具体是即将被测真空封装器件放置在一个要比器件内部真空度更高的密闭腔体内，由此在封装器件内外形成压差。通过测量获得此压差下的漏率，然后再通过漏率计算出器件内部真空度。[/size][size=16px] 依据解决方案设计的真空封装器件漏率和真空度测量装置结构如图1所示。[/size][align=center][size=16px][color=#339999][b][img=真空密封器件漏率和真空度测试系统结构示意图,690,253]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/09/202309041023569886_4228_3221506_3.jpg!w690x253.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#339999][b]图1 真空密封器件漏率和真空度测试系统结构示意图[/b][/color][/size][/align][size=16px] 依据检漏中的压差法原理，漏率的测量结果与压差（P1-P0）呈线性关系。因此，如图1所示，只要精确控制密闭腔体内的真空度P1，在测量得到漏率后，就可以计算出真空封装器件内部的真空度。由此可见，测试真空密封器件漏率和真空度需要解决以下两个关键问题：[/size][size=16px] （1）腔体真空度P1的精确控制：对于具有高真空（如P01E-03Pa）的封装器件，腔体真空度需要达到P11E-03Pa的更高真空度，以形成尽可能大的压差，这就要求对超高真空度能实现准确控制，控制精度越高则计算得到器件内部真空度的精度越高。[/size][size=16px] （2）漏率测量：漏率测量也是决定精度的关键因素，具体实施时可以采用各种高灵敏度的漏率测量方法，如氦质谱检漏仪。为了实现定量和高精度的漏率测量，也可以采用特殊设计的漏率测试系统，但这部分内容不在本文阐述的内容之内。[/size][size=16px] 本文的重点是介绍解决方案中的超高真空度精密控制技术。如图1所示，超高真空度的控制采用调节进气流量来实现，具体采用了VLV2023型号的电动可变泄漏阀，进气流量的调节范围是1E-8PaL/s~500PaL/s，调节信号为0~10V。超高真空度控制回路有真空计、真空控制器和电动可变泄漏阀组成，真空控制器采集真空计信号并与设定值进行比较后，输出PID控制信号对可变泄漏阀进行驱动来调节微小的进气流量，由此使腔体真空度快速恒定在设置值处。[/size][size=16px] 在超高真空控制中还面临另外一个问题是真空计输出信号的非线性，为此本文解决方案中采用了具有线性化处理功能的VPC2021系列真空压力控制器，通过在真空和电压的关系曲线中取八个数据点进行拟合，可很好的解决线性PID控制非线性信号的问题。[/size][size=18px][color=#339999][b]3. 总结[/b][/color][/size][size=16px] 综上所述，本解决方案很好的突破了真空密封件漏率和内部真空度测量难题，关键是实现了高真空度精密控制中的微小进气流量自动调节以及传感器非线性输出信号的PID控制器线性化处理。解决方案中的高真空度控制装置可广泛应用于任何真空系统，PID控制器线性化技术可广泛应用于各种非线性传感器测量控制场合。[/size][size=16px] 本解决方案对高真空微小压差下的漏率测试技术并未做详细的介绍，这部分内容将在后续研究报告中给出详细的测试系统描述。[/size][size=16px][/size][align=center][b][color=#339999]~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/color][/b][/align]
看了有的版友说一些仪器真空度下降，负高压加不上去查找了一些资料，PMT的外壳由玻璃或石英制成，内部抽真空，在光室真空度未达到一定值时，不能打开负高压开关，否则会导致光电倍增管辉光放电因为我接触较多的是斯派克，光室里面是充惰性气体，压力1024 hPa左右，比正常的大气压还要高些所以我有点小迷惑，为什么斯派克的PMT可以在1024 hPa工作，而其他的仪器需要在真空下才能打开负高压？是斯派克使用了特殊的PMT，还是PMT在惰性气体中不会辉光放电？望各位高手解惑
1. 测试目的 美国国家标准与技术研究院（NIST）出品的标准参考材料泡沫聚苯乙烯板SRM 1453主要用于281～313 K温度范围内各种热导率测试仪器和设备的标定和校准，是目前国内外各种低热导率测试方法（稳态保护热板法和稳态热流计法）热导率测试的计量溯源，同样此标准参考材料也可以用于瞬态平面热源法热导率测试的标定和校准，以验证测试方法和测试设备的测量准确性。为此，采用上海依阳公司出品的瞬态平面热源法热导率测试系统对NIST SRM 1453标准参考材料进行热导率测试，以期实现以下目的：（1）评测和验证上海依阳公司瞬态平面热源法热导率测试系统的测量准确性，重点验证低导热材料（热导率0.03W/mK左右）测量的准确性。（2）NIST标准参考材料SRM 1453是一种典型的泡沫聚苯乙烯板，由于低密度和具有一定气孔率，所以这种材料的热导率会随真空度增高而减小。因此希望通过在不同真空度下测试SRM 1453的热导率，评估上海依阳公司瞬态平面热源法热导率测试系统测量极低热导率（小于0.03W/mK）的能力。（3）通过真空控制和真空腔提供变真空测试环境，在1E-04~1E+03Pa覆盖七个数量级的真空度变化范围内，测试NIST标准参考材料SRM 1453在不同真空度下的热导率，得到一条热导率随真空度变化的完整曲线，以期获得热导率随真空度变化的规律。2. 低温变真空瞬态平面热源法热导率测量系统 瞬态平面热源法热导率测量系统是依阳公司低温变真空环境热物理性能测试系统的一部分，采用HOTDISK公司配套产品进行热导率测试，配套主机如图1所示。选择HOTDISK公司的这台测量装置进行配套，主要考虑了以下几方面因素：（1）在采用瞬态平面热源法测试过程中，只需要简单地将探头固定在两块被测试样之间，在试样和探头温度恒定后，测试过程迅速。这样使得与试样直接发生关系的相关装置非常简单，便于对被测试样加载各种环境条件，这非常有助于进行低温和真空环境的材料热导率测试。 （2）瞬态平面热源法的热导率测试范围宽泛，基本可以覆盖绝大多数材料的热导率测试。有此采用一台这种测试仪器就可以实现金属和非金属的热导率测试，特别是低温和深低温环境下多涉及隔热材料和金属结构材料，以往至少需要两套大型测试设备才能分别实现隔热材料和金属材料的热导率测试，现在可以通过一套设备完美的解决热导率测试问题。（3）瞬态平面热源法热导率测试核心装置比较小，所需试样尺寸也不大，这就为多试样同时测量提供了可能。低温变真空环境材料热物理性能测试系统如图2所示，这套系统除了可以进行热导率测试能力之外，主要功能是模拟空间低温高真空环境，测试空间材料的低温热辐射性能。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2016/02/201602041708_584268_3384_3.png图1 瑞典HOTDISK公司热常数分析仪http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2016/02/201602041721_584269_3384_3.jpg 图2 低温变真空环境材料热物理性能测试系统低温变真空瞬态平面热源法热导率测量系统主要技术指标如下：（1）温度范围：-200℃~200℃（任一点可控）。 （2）真空度范围： 1E-06Pa～1E+05Pa（可控制范围 1E-01Pa～1E+05Pa）（3）热导率测试范围：400W/mK以下。3. 试样和测试卡具 将购置的厚度为14mm的NIST标准材料材料SRM 1453切割成100mm见方的正方形，如图3所示。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2016/02/201602041721_584270_3384_3.jpg图3 NIST标准材料材料SRM 1453测试试样和测试卡具整体放置在如图4所示的真空腔体内，如图5所示将被测的NIST标准材料材料SRM 1453放入测试卡具内，如图6所示试样和探测器压紧后关闭真空腔，即可进行真空度的控制和热导率测试。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2016/02/201602041721_584271_3384_3.jpg图4 低温高真空腔体 http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2016/02/201602041721_584272_3384_3.jpg图5 测试试样和测试卡具http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2016/02/201602041721_584273_3384_3.jpg图6 试样安装完毕后的待测状态4. 测试结果 在NIST标准参考材料SRM 1453不同真空度下热导率测试过程中，首先在常温常压下进行测试，然后再逐渐提高真空度并进行真空度控制，真空度控制精度达到5‰，稳定性优于1%。每个真空度至少恒定半小时后再开始热导率测量，每个真空度下进行2次重复性测量，任何2次测量间隔至少30分钟以上。由于NIST标准参考材料SRM 1453比较薄，厚度为14mm，由此在测试中采用了小尺寸的探头，编号C5501。整个测试过程中，试样温度保持在室温范围内，温度范围为22℃～23℃。为了便于测量控制及描述，真空度单位采用Torr，测试结果如下表所示。表中的试验参数表示测试过程中的探头加热功率（豪瓦）和测试时间（秒）。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2016/02/201602041722_584275_3384_3.png将以上测试结果绘制成横坐标为真空度、纵坐标为热导率的对数坐标曲线，如图7所示。 http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2016/02/201602041721_584274_3384_3.jpg图7 NIST标准参考材料SRM 1453常温不同真空度下的热导率测试结果5. 分析与结论 按照NIST所提供的SRM 1453热导率标准数据，在常温22℃的常压环境下，热导率标准数据为0.03348W/mK。按照上述的测试结果，在常温22℃的常压环境下，多次热导率重复性测量测试结果范围为0.03226~0.03251 W/mK，偏差范围为2.90%～3.65%，完全处于±5%的误差范围内。另外，从图7所示的测试结果可以看出，整
真空直读光谱仪电脑显示真空度达不到要求（显示条是红色的，变不成绿的），无法进行检测分析，是什么原因造成的？ 是否可以从以下一些方面考虑？还有什么原因呢？ 1、真空泵坏了 2、与光室连接的管路有堵塞或漏气 3、真空度测试装置出问题了 4、软件出问题了 换了个新真空泵没有解决问题，实在搞不懂了，我们是康诚的机器。
官方渠道购买的库存新机4460，疫情缘故到货后，闲置2个月左右，工程师才来拆包按装。首次开机抽真空，20个小时左右降到18。泄真空后重新紧固相关位置螺丝，进行2次抽真空。3小时左右真空度达到15左右，不在下降。目前我们正在运行(使用8年)的2台3460真空度都保持在10左右！请教各位老师，该4460真空度是否正常，有没有泄露真空！
公司一台老的热电[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Yp][color=#3333ff]液质[/color][/url]TSQ Quantum，元旦关机后再开机，就一直读不了高真空读数，Ion Gauge Pressure显示2.9e-11，禁用高压，没法用。不知道有没有大神遇到这种情况？涡轮泵工作显示正常，真空离子规能点亮，拆下来放在[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/bp][color=#3333ff]气质[/color][/url]上用真空规控制器测试是正常的。用真空规控制器测试真空度，开机后涡轮泵启动后1分钟左右，真空度由-2次方升至-7次方，后面读数显示为0。[img=,334,222]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2024/02/202402221517277236_9957_4182374_3.png!w334x222.jpg[/img]
“真空度”顾名思义就是真空的程度。是真空泵、微型真空泵、微型气泵、微型抽气泵、微型抽气打气泵等抽真空设备的一个主要参数。所谓“真空“，是指在给定的空间内，压强低于101325帕斯卡(也即一个标准大气压强约101KPa)的气体状态。在真空状态下，气体的稀薄程度通常用气体的压力值来表示，显然，该压力值越小则表示气体越稀薄。对于真空度的标识通常有两种方法：一是用“绝对压力”、“绝对真空度”（即比“理论真空”高多少压力)标识；在实际情况中，真空泵的绝对压力值介于0～101.325KPa之间。绝对压力值需要用绝对压力仪表测量，在20℃、海拔高度＝0的地方，用于测量真空度的仪表(绝对真空表)的初始值为101.325KPa。(即一个标准大气压) 二是用“相对压力”、“相对真空度”(即比“大气压”低多少压力)来标识。 "相对真空度"是指被测对象的压力与测量地点大气压的差值。用普通真空表测量。在没有真空的状态下(即常压时)，表的初始值为0。当测量真空时，它的值介于0到－101.325KPa（一般用负数表示）之间。比如，有一款微型真空泵PH2506B(http://www.weichengkj.com/PH.htm)测量值为－75KPa，则表示泵可以抽到比测量地点的大气压低75KPa的真空状态。 国际真空行业通用的“真空度”，也是最科学的是用绝对压力标识；指得是“极限真空、绝对真空度、绝对压力”，但“相对真空度”(相对压力、真空表表压、负压)由于测量的方法简便、测量仪器非常普遍、容易买到且价格便宜，因此也有广泛应用。理论上二者是可以相互换算的,两者换算方法如下：相对真空度=绝对真空度(绝对压力)-测量地点的气压例如：有一款微型真空泵VM8001(http://www.weichengkj.com/VM.htm)的绝对压力为80KPa，则它的相对真空度约为80-100＝-20Kpa，(测量地点的气压假设为100KPa)在普通真空表上就该显示为-0.02MPa。
“真空度”顾名思义就是真空的程度。是真空泵、微型真空泵、微型气泵、微型抽气泵、微型抽气打气泵等抽真空设备的一个主要参数。所谓“真空“，是指在给定的空间内，压强低于101325帕斯卡(也即一个标准大气压强约101KPa)的气体状态。在真空状态下，气体的稀薄程度通常用气体的压力值来表示，显然，该压力值越小则表示气体越稀薄。对于真空度的标识通常有两种方法：一是用“绝对压力”、“绝对真空度”（即比“理论真空”高多少压力)标识；在实际情况中，真空泵的绝对压力值介于0～101.325KPa之间。绝对压力值需要用绝对压力仪表测量，在20℃、海拔高度＝0的地方，用于测量真空度的仪表(绝对真空表)的初始值为101.325KPa。(即一个标准大气压) 二是用“相对压力”、“相对真空度”(即比“大气压”低多少压力)来标识。 "相对真空度"是指被测对象的压力与测量地点大气压的差值。用普通真空表测量。在没有真空的状态下(即常压时)，表的初始值为0。当测量真空时，它的值介于0到－101.325KPa（一般用负数表示）之间。比如，有一款微型真空泵PH2506B(http://www.weichengkj.com/PH.htm)测量值为－75KPa，则表示泵可以抽到比测量地点的大气压低75KPa的真空状态。 国际真空行业通用的“真空度”，也是最科学的是用绝对压力标识；指得是“极限真空、绝对真空度、绝对压力”，但“相对真空度”(相对压力、真空表表压、负压)由于测量的方法简便、测量仪器非常普遍、容易买到且价格便宜，因此也有广泛应用。理论上二者是可以相互换算的,两者换算方法如下：相对真空度=绝对真空度(绝对压力)-测量地点的气压例如：有一款微型真空泵VM8001(http://www.weichengkj.com/VM.htm)的绝对压力为80KPa，则它的相对真空度约为80-100＝-20Kpa，(测量地点的气压假设为100KPa)在普通真空表上就该显示为-0.02MPa。
[font=&][color=#333333]真空系统是指低于该地区大气压的稀薄气体状态。[/color][/font][font=&][color=#333333]真空度[/color][/font][font=&][color=#333333]处于真空状态下的气体稀薄程度，通常用“高真空度”和“低真空度”来表示。在通常交流中，真空度高表示真空度“好”的意思，真空度“低”表示真空度“差”的意思。[/color][/font][font=&][color=#333333]真空度单位[/color][/font][font=&][color=#333333]通常用托（Torr）为单位，近年国际上取用帕斯卡（pa）作为单位。[/color][/font][font=&][color=#333333]1Torr（托）=1mmHg（毫米汞柱）=133.322pa（帕斯卡）[/color][/font][font=&][color=#333333]相对真空度[/color][/font][font=&][color=#333333]即以大气压作为零位，表示比大气压低多少压力。一般用负值表示，这个负值的绝对值越大，则真空度越高。在明确了是负压参数的情况下，也可以仅用绝对值来表示，而不加负号。[/color][/font][font=&][color=#333333]绝对真空度[/color][/font][font=&][color=#333333]可以粗略的理解为：抽了真空以后，剩余气体的压力。绝对真空度等于测量点当地大气压加上相对真空度。即：相对真空度=绝对真空度（绝对压力）-测量地点的气压（大气压）。[/color][/font][font=&][color=#333333]极限真空[/color][/font][font=&][color=#333333]真空容器经过充分抽气后，稳定在某一个真空度，此真空度称为极限真空。[/color][/font][font=&][color=#333333]标准大气压[/color][/font][font=&][color=#333333]学术界定义101.325kpa的气压为一个标准大气压，符号（Atm）。[/color][/font][font=&][color=#333333]压强常用单位[/color][/font][font=&][color=#333333]压强的单位是“帕斯卡”，简称“帕”符号是“pa”。工业领域常常还用到的单位：bar（巴）、mmHg（毫米汞柱）、psi（磅每平方英寸）、kgf/cm2（千克力/平方厘米）通常简称“公斤”。[/color][/font][font=&][color=#333333]1Atm=101.325kpa=1.01325bar=760mmHg=760Torr=14.697psi≈1kgf/cm2。[/color][/font][font=&][color=#333333]抽气速率（抽速）和流量[/color][/font][font=&][color=#333333]简言之，在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。通常情况下，大多时候用“流量”这个词语来替代“抽速”，不是特别严谨。常用的单位是：L/s（升/秒）、L/min（升/分钟）、m3/h（立方米/小时）。[/color][/font]
仪器型号:Agilent7700故障表现:1.待机状态下，IF/BK真空度1.22Pa,四极杆真空度1.56×10-5Pa. 数值稳定 2. 点火顺利，稳定后，IF/BK真空度3.08×102Pa,数值没有波动;四极杆真空度在1.16×10-4到6.0×10-4Pa之间波动，不能稳定，添加到队列后熄火。有时候更是点火后四极杆真空度一直升高直至熄火问题:什么原因导致四极杆真空度波动？是我的锥孔变形了吗？目前手头上没有新的锥进行验证。还会不会有其他方面的原因？另:过年放假仪器关机了10天左右，放假回来开机前更换了泵油。泵油是2天前换的，然后一直待机状态。仪器今天中午11点30分点火，然后本人就去吃饭去了，下午1点半回来工作没有发现熄火。但当时没有注意真空度的问题。高手来帮忙解答下，领导一直催结果，揪心........
我有个问题一直不解，碰撞室是处于真空状态，那么碰撞气进入之后，真空会不会下降太多，影响仪器的整体真空度，希望知道的大牛解答一下，谢谢
我们经常接到电话，一些用户询问，真空表读数所反映的究竟是多少Pa。能不能用直观的数字来显示？ （1） 真空表上 “0”表示正一个大气压, “-0.1”表示绝对真空。真空表上的指示值不表示真空度的绝对值，只表示了真空度的相对值。 真空度的换算； 根据本表的刻度示值范围，真空度的绝对值与相对值可用下式换算： P=1×105（1-δ/0.1） P - 真空度的绝对值（Pa）http://www.shshiyan.com/05/images/image001.jpg δ- 真空表的刻度示值绝对值 例一：表的示值为O，则P=1×105（1-O/0.1）=1×105 Pa = 1个大气压 例二：表的示值为0.1，则P=1×105（1-0.1/0.1）= 0 Pa为绝对真空。 (绝对真空是不存在的) 例三：表的示值为0.08，则P=1×105（1-0.08/0.1）= 2×104 Pa 产品的真空度主要取决于配套真空泵的性能。 真空度计量单位换算如下： 0.1Mpa =1×105 Pa = 760mmHg = 1个大气压 1乇 = 1mmHg = 133.33Pa 2乇 = 0.00026666Mpa ≈267Pa （2） 真空表读数可以用直观的数字来显示。但价格比较昂贵，一般适用于科研单位。。
[font=微软雅黑][color=#000000]对于真空度的标识通常有两种方法[/color][/font][b][font=微软雅黑][color=#000000]：[/color][/font][/b][font=微软雅黑][color=#000000] 一是用“压力”、“真空度”（即比“理论真空”高多少压力)标识；在实际情况中，真空泵的压力值介于0～101.325KPa之间。压力值需要用压力仪表测量，在20℃、海拔高度＝0的地方，用于测量真空度的仪表(真空表)的初始值为101.325KPa(即一个标准大气压)。[/color][/font][font=微软雅黑][color=#000000] 二是用“相对压力”、“相对真空度”(即比“大气压”低多少压力)来标识。"相对真空度"是指被测对象的压力与测量地点大气压的差值。用普通真空表测量。在没有真空的状态下(即常压时)，表的初始值为0。当测量真空时，它的值介于0到－101.325KPa（一般用负数表示）之间。[/color][/font][font=微软雅黑][color=#000000] 国际真空行业通用的“真空度”，也是科学的是用压力标识；指得是“极限真空、真空度、压力”，但“相对真空度”(相对压力、真空表表压、负压)由于测量的方法简便、测量仪器非常普遍、容易买到且价格便宜，因此也有广泛应用。[/color][/font]
[color=#DC143C][size=4]昨天晚上换了一下泵油，重新开机，按照常例抽了两个小时打开电子开关，真空状态提示为“Manifold pressure Too High:Disable HV”。上次重开机也发生过这样的情况，不过约半个小时就提示Vacuum OK了。这回就不那么走运了，从晚上6点开机完成等到晚上12点还是提示“Manifold pressure Too High:Disable HV”。没得办法等到今天造成来看才提示Vacuum OK了。以前是一开机都提示真空度正常的。以前没特别留意Turbo pump:Running下面一些参数的值，昨天特别留意了一下。speed(HZ):750, power(w):74.4Temperature(℃)：41，life Time(Hour):15538.7Temperature昨天就在升，昨天升到43℃。今天看变成45℃了。是不是能从这些参数间接的看出分子涡轮泵是否正常工作。为什么现在开机了要等那么常时间真空度才正常呢，难道是因为换油的原因么，油是冷的问题不够，还是因为分子涡轮泵的原因。大家都来讨论一下哈。[/size][/color]
问个问题：今天我的只读光谱出现个问题，激发的时候真空度就上去了，不激发时真空度正常，最大时真空度能到700，真空泵正常运转。是哪里出现了问题？
仪器安捷伦6890-5973，我在抽真空不到一个小时的时候开始进样，没有确认是否达到合适的真空度，请问这对仪器及检测样品结果会有什么影响？,在论坛里见帖子说没有达到合适的真空度挺危险，灯丝容易烧坏。还有其他后果吗？
请教各位一个问题：高真空度的油泵一般可以用在什么上面啊？旋蒸一般不需要这么大的真空度，好像干燥箱和冻干机对真空度要求比较高，其他的还有什么仪器上需要用到这种油泵啊？
各位朋友请帮我看看GCMS的真空度有没有问题？特别是高真空，谢谢了！
[size=16px][color=#990000][b]摘要：针对现有低气压环境下沿面闪络测试中存在真空度无法精确控制所带来的一系列问题，特别是针对用户提出的对现有沿面闪络试验装置的真空控制系统进行技术改造要求，本文提出了相应的技改方案，技改方案采用基于动态平衡法的电动针阀和电动球阀上下游控制模式，并辅助上游微小进气流量的自动可变泄漏阀控制技术，可在超高真空至常压的全真空度范围内实现低气压环境的精密控制和准确模拟，可有效提高沿面闪络性能测试精度。[/b][/color][/size][align=center][size=16px][color=#990000][b]=====================[/b][/color][/size][/align][size=18px][color=#990000][b]1. 项目背景[/b][/color][/size][size=16px] 沿面闪络是指在绝缘材料与空气、真空等介质交界面处形成的贯穿性击穿放电现象。由于沿面闪络的放电电压远小于绝缘材料的击穿放电电压，因此沿面闪络成为空问环境中航天器表面静电放电的主要形式之一，对航天器安全有着严重的威胁，因此对其研究和测试十分重视。[/size][size=16px] 国内外在绝缘材料沿面闪络特性方面进行了广泛的研究，特别是针对航天器所处太空环境的复杂性，我国也建立了航天器表面带电模拟系统，并以航天器常用绝缘材料——聚酰亚胺为典型研究对象，研究低气压环境下聚酰亚胺以及其他新材料的沿面闪络特性，为航天器静电防护设计提供依据。但已建立的低气压环境沿面闪络试验装置存在无法高精度控制真空度的问题，由此会给沿面闪络测量带来较大误差，同时也会造成对解吸附气体、粗糙度、化学变化等影响因素的研究产生严重影响，更不利于新材料研发过程中的沿面闪络性能及其相关因素的准确评价。[/size][size=16px] 针对现有沿面闪络试验装置存在的问题，用户提出要对试验装置的真空控制系统进行技术改造。为此，本文根据用户的技术要求提出了技改方案，以在全真空度范围内实现低气压环境的准确模拟，有效提高沿面闪络性能测试精度。[/size][size=18px][color=#990000][b]2. 解决方案[/b][/color][/size][size=16px] 基于现有低气压环境沿面闪络试验装置，解决方案拟达到如下技术指标：[/size][size=16px] （1）气压控制范围（绝对压力）：1×10[sup]-4[/sup]Pa~1×10[sup]5[/sup]Pa。[/size][size=16px] （2）1×10[sup]-1[/sup]Pa~1×10[sup]5[/sup]Pa范围控制精度：读数的±1%。[/size][size=16px] （3）1×10[sup]-4[/sup]Pa~1×10[sup]-1[/sup]Pa范围控制精度：读数的±20%。[/size][size=16px] （4）功能：在气压控制范围内可设置任一值进行自动恒定控制，控制装置带通讯接口可与上位机通讯。[/size][size=16px] 为了实现从低真空至超高真空的全量程真空度准确控制，解决方案将采用动态平衡法进行控制，其具体控制内容如下：[/size][size=16px] （1）对于1×10[sup]3[/sup]Pa~1×10[sup]5[/sup]Pa的低真空范围，采用下游控制模式，即固定真空腔体进气流量，通过调节下游排气流量来实现真空度的准确控制。[/size][size=16px] （2）对于1×10[sup]-4[/sup]Pa~1×10[sup]3[/sup]Pa的高真空范围，采用上游控制模式，即固定（或最大）真空腔体排气流量，通过调节上游进气流量来实现真空度的准确控制。[/size][size=16px] 依据上述控制方法设计的真空度控制系统如图1所示。[/size][align=center][size=16px][color=#990000][b][img=沿面闪络试验装置真空度控制系统结构示意图,690,369]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/11/202311061723030230_8839_3221506_3.jpg!w690x369.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#990000][b]图1 沿面闪络试验装置真空度控制系统结构示意图[/b][/color][/size][/align][size=16px] 如图1所示，整个真空度控制系统主要由以下三部分组成：[/size][size=16px] （1）下游排气流量调节装置：如图1右边所示，下游排气流量调节装置主要由低真空电容规、电动球阀、VPC2021-1系列单通道真空度控制器、干泵和分子泵组成。其中干泵用来提供低真空源，分子泵用来提供高真空源，低真空电容规真空度测量量程为1×10[sup]3[/sup]Pa~1×10[sup]5[/sup]Pa，电容规测量得到的真空度信号传输给真空度控制器，控制器将检测信号与设定值比较后再经PID计算输出控制信号驱动电动球阀的开度变化，由此来调节排气流量使沿面闪络测试装置真空腔体内的真空度快速恒定在设定值处。[/size][size=16px] （2）上游进气流量粗调装置：如图1左上角所示，上游进气流量粗调装置主要由高真空电容规、电动针阀、压力调节器、双通道真空度控制器和高压气源组成。高真空电容规真空度测量量程为1×10[sup]1[/sup]Pa~1×10[sup]3[/sup]Pa，电容规测量得到的真空度信号传输给真空度控制器，控制器将检测信号与设定值比较后再经PID计算输出控制信号驱动电动针阀的开度变化，由此来调节进气流量使沿面闪络测试装置真空腔体内的真空度快速恒定在设定值处。为了保证电动针阀进气口处的压力稳定且略高于一个大气压，在电动针阀的进气口处安装了一个压力调节器，以对高压气源进行降压和精密恒压控制，由此可有效保证高真空度控制精度。粗调装置采用了VPC2021-2系列双通道真空度控制器，其中第一通道用来连接高真空计和电动针阀组成闭环控制回路，第二通道则直接用来控制压力调节器。[/size][size=16px] （3）上游进气流量细调装置：如图1左下角所示，上游进气流量细调装置主要由用于超高真空测量的皮拉尼计或电离规、可变泄漏阀、VPC2021-1系列单通道真空度控制器和高压气源组成。皮拉尼计或电离规真空度测量量程为1×10[sup]-4[/sup]Pa~1×10[sup]1[/sup]Pa，电离规测量得到的真空度信号传输给真空度控制器，控制器将检测信号与设定值比较后再经PID计算输出控制信号驱动可变泄漏阀，由此来调节微小进气流量使沿面闪络测试装置真空腔体内的真空度快速恒定在设定值处。需要注意的是，在进气流量细调过程中，需要将粗调装置中的电动针阀关闭，使得粗调管路内无任何进气。[/size][size=16px] 在整个真空度量程范围的控制过程中，具体操作步骤需要注意以下内容：[/size][size=16px] （1）对于1×10[sup]3[/sup]Pa~1×10[sup]5[/sup]Pa的低真空范围，采用下游控制模式。在下游控制运行之前要关闭上游进气细调装置和开启上游进气粗调装置，并设置上游进气粗调装置为手动模式，使电动针阀的开度保持恒定，即使得进气流量保持恒定，然后再运行下游控制模式。[/size][size=16px] （2）对于1×10[sup]-4[/sup]Pa~1×10[sup]3[/sup]Pa的高真空范围，采用上游控制模式。在上游控制运行之前要设置下游进气粗调装置为手动模式，并使控制器输出值（OP）为100%，使电动球阀的开度保持全开状态，即使得排气流量为最大状态，然后再运行上游控制模式。[/size][size=18px][color=#990000][b]3. 总结[/b][/color][/size][size=16px] 综上所述，本解决方案可以彻底解决低气压环境沿面闪络特性测试过程中的真空度控制问题，并具有很高的控制精度和自动控制能力。此外，本解决方案还具有以下特点：[/size][size=16px] （1）本解决方案具有很强的适用性和可拓展性，通过改变其中的相关部件参数指标就可适用于不同范围的真空压力，实现各级真空度的精密控制。[/size][size=16px] （2）本解决方案可以通过高压气源的改变来实现不同工作气体下的真空度控制，也可进行多种气体混合后的低气压环境控制，具有很大的灵活性。[/size][size=16px] （3）解决方案中的所有型号控制器都自带计算机软件，可直接通过计算机的屏幕操作进行整个控制系统的调试和运行，且控制过程中的各种过程参数变化曲线自动存储，这样就无需再进行任何的控制软件编写即可很快搭建起控制系统，极大方便了试验装置的搭建和测试研究。[/size][align=center][size=16px][color=#990000][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#990000][b]~~~~~~~~~~~~~~~[/b][/color][/size][/align][size=16px][b][/b][/size]
“真空度”顾名思义就是真空的程度。是真空泵、微型真空泵、微型气泵、微型抽气泵、微型抽气打气泵等抽真空设备的一个主要参数。所谓“真空“，是指在给定的空间内，压强低于101325帕斯卡(也即一个标准大气压强约101KPa)的气体状态。在真空状态下，气体的稀薄程度通常用气体的压力值来表示，显然，该压力值越小则表示气体越稀薄。对于真空度的标识通常有两种方法：一是用“绝对压力”、“绝对真空度”(即比“理论真空”高多少压力)标识；在实际情况中，真空泵的绝对压力值介于0～101.325KPa之间。绝对压力值需要用绝对压力仪表测量，在20℃、海拔高度＝0的地方，用于测量真空度的仪表(绝对真空表)的初始值为101.325KPa。(即一个标准大气压) 二是用“相对压力”、“相对真空度”(即比“大气压”低多少压力)来标识。 "相对真空度"是指被测对象的压力与测量地点大气压的差值。用普通真空表测量。在没有真空的状态下(即常压时)，表的初始值为0。当测量真空时，它的值介于0到－101.325KPa(一般用负数表示)之间。比如，有一款微型真空泵测量值为－75KPa，则表示泵可以抽到比测量地点的大气压低75KPa的真空状态。 国际真空行业通用的“真空度”，也是最科学的是用绝对压力标识；指得是“极限真空、绝对真空度、绝对压力”，但“相对真空度”(相对压力、真空表表压、负压)由于测量的方法简便、测量仪器非常普遍、容易买到且价格便宜，因此也有广泛应用。理论上二者是可以相互换算的,两者换算方法如下：相对真空度=绝对真空度(绝对压力)-测量地点的气压例如：有一款微型真空泵的绝对压力为80KPa，则它的相对真空度约为80-100＝-20Kpa，(测量地点的气压假设为100KPa)在普通真空表上就该显示为-0.02MPa。常用的真空度单位有Pa、Kpa、Mpa、大气压、公斤(Kgf/cm2)、mmHg、mbar、bar、PSI等。近似换算关系如下：1MPa=1000KPa1KPa=1000Pa1大气压=100KPa=0.1MPa1大气压=1公斤(Kgf/cm2)=760mmHg1大气压=14.5PSI1KPa=10mbar1bar=1000mbar
[align=center][img=冷热台真空度控制,690,451]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/03/202203071147131858_3924_3384_3.png!w690x451.jpg[/img][/align][color=#990000]摘要：针对气密真空冷热台目前存在的真空度控制精度差和配套控制系统价格昂贵的问题，本文介绍采用国产产品的解决方案，介绍了采用数控针阀进行上游和下游双向控制模式的详细实施过程。此方案已经得到了应用和验证，可实现宽范围内的真空度精密控制，真空度波动可控制在±1%以内，整个控制系统具有很高的性价比。[/color][align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align][size=18px][color=#990000]一、问题的提出[/color][/size]气密真空冷热台是同时可用于真空和气密环境的精密温控冷热平台，具有加热和制冷功能，适合显微镜和光谱仪等应用对样品在可控的真空度环境下进行精确加热或制冷。根据用户要求，针对目前的各种气密真空冷热台，在真空度控制方面，还需要解决以下几方面的问题：（1）无论是进口还是国产真空冷热台，真空度测量和控制还采用皮拉尼真空计，使得配套的控制系统无法实现真空度的精密控制，如无法满足研究和模拟冷冻干燥过程的精度要求。（2）气密真空冷热台普遍体积较小，在宽泛的真空度范围内，实现精确控制一直存在较大难度，真空度的波动性较大，而真空度的波动性又反过来影响温度的稳定性。（3）进口配套的真空度控制系统，不仅控制精度达不到要求，而且价格昂贵。针对气密真空冷热台存在的上述问题，本文将介绍采用国产产品并具有高性价比的解决方案，并介绍了详细的实施过程。[size=18px][color=#990000]二、解决方案[/color][/size]气密真空冷热台真空度精密控制系统的整体结构如图1所示，整个系统主要包括真空计、数控针阀、PID控制器和真空泵。[align=center][color=#990000][img=冷热台真空度控制,690,396]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/03/202203071148328248_6901_3384_3.png!w690x396.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#990000]图1 冷热台真空度精密控制系统结构示意图[/color][/align]为提高真空度测控精度，采用了测量精度更高（可达满量程0.2%）的电容式真空计，可覆盖0.01~760Torr的真空度区间。如果需要更高真空度环境，也可以同时采用皮拉尼真空计进行测控。为实现全宽量的真空度控制，将两只数控针阀分别安装在冷热台的进气口和排气口。通过分别采用上游和下游控制模式，可实现全量程波动率小于±1%的精密控制。控制器是精密控制的关键，方案中采用了24位A/D和16位D/A的高精度PID控制器，独立的双通道便于进行上游和下游气体流量调节和控制。总之，通过此经过验证的真空度控制方案，可实现高性价比的精密控制。[align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align]
[align=left]真空度的标识通常有两种方法[b]：[/b][/align][align=left] 一是用“绝对压力”、“绝对真空度”（即比“理论真空”高多少压力)标识；在实际情况中，真空泵的绝对压力值介于0～101.325KPa之间。绝对压力值需要用绝对压力仪表测量，在20℃、海拔高度＝0的地方，用于测量真空度的仪表(绝对真空表)的初始值为101.325KPa(即一个标准大气压)。[/align][align=left] 二是用“相对压力”、“相对真空度”(即比“大气压”低多少压力)来标识。"相对真空度"是指被测对象的压力与测量地点大气压的差值。用普通真空表测量。在没有真空的状态下(即常压时)，表的初始值为0。当测量真空时，它的值介于0到－101.325KPa（一般用负数表示）之间。[/align][align=left] 国际真空行业通用的“真空度”，也是最科学的是用绝对压力标识；指得是“极限真空、绝对真空度、绝对压力”，但“相对真空度”(相对压力、真空表表压、负压)由于测量的方法简便、测量仪器非常普遍、容易买到且价格便宜，因此也有广泛应用。[/align][align=left] [/align]
大家再用旋转蒸发仪的时候真空度一般控制在多少啊
仪器帕纳科Axios，上个星期换了流气探测器窗口膜，顺带清洁了一下，开机使用。第二天发现仪器真空度只有6，很是惊讶，以往就算厂家工程师来维护以后也没有低于10，到现在仪器也是正常，真空度还是6左右，但感觉不踏实，有点渗的慌，！
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