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薄膜真空计是迄今为止唯一得到公认的可作为低真空测量（0.01--100Pa）工作副标准的一种真空仪器，也是我国唯一具有法定计量校准检定规程的一种真空度计量器具（校准参照规程：Q/WHJ46-1998标准型电容薄膜真空计校准规程）电容薄膜真空计是一种绝压、全压测量的真空计，原理是把加于电容薄膜上的压力变化产生膜片间距离的变化，即产生了电容的变化，再通过鉴频器把电容变化转换成为电流或电压的变化，组成为输出信号，所以，它的测量是直接反映了真空压力的变化值，而且只与压力有关，与气体成分无关，即：薄膜真空计是一种直接测量式的、全压型的真空计。而我们的真空设备的真空度测量控制常用的真空计往往是电阻计、热偶计等等间接测量的真空计，是一种热传导型的真空测量方法，简单一点来说，就是通过测量感受气体温度的方法来间接测量气体压强（真空度），是一种类似于大家很熟悉热电阻、热电偶的测量方法，。由于测量原理上的先天不足，这类真空计的测量精度、测量稳定度是很不好的。其测量误差一般比薄膜真空计大1~2个以上数量级（误差大于30%，行业标准是50%），尤其是在低真空段，误差更大，另外，使用过电阻计、热偶计的度知道，这些仪表测量前还需要零点、满度校正，怎么能够用于在线测量控制呢？另外，遇到氢气等小质量的气体就无法测量了，如果要测，也查表换算，到底真空度是多少？猜吧。不过，它确实也有它的优点的：制造容易、价格低廉，在许多的要求较低真空设备上还普遍使用着,……用过电阻计的都领教过它的烦心。许多人抱怨花了3、4千元买到进口的真空传感器也误差大、毛病多?就是因为老外的这个价位的产品还是老的热传导测量机理的真空传感器。所以选择真空计、真空传感器、首先要看看什么原理、什么类型的，而不是数字、智能，测量机理陈旧，再怎么数字、怎么智能，也于事无补的。未完待续
怎样选择真空计很多试验仪器设备都需要用到真空泵、真空机组，如样品真空干燥、真空蒸馏、真空解压等等实验工作、中式，为了达到最优状态和测试效果，或提供效率、节约能源，就需要对设备的容器中的真空度进行准确的测量和自动控制，现在大家使用的大多数还是老式的电接点真空表、电阻真空计的、热偶计等等，准确度差、不稳定、寿命短、当然也有进口设备，但真空测控仪表、真空计进口的产品非常昂贵，那么我们普通设备需要真空控制时应该如何选择性价比高的真空计呢？以下的几点供大家参考，希望有帮助。第一，从真空测量机理的先进性来考虑，应该选择采用新型传感元件的真空计，如硅集成真空传感器、陶瓷基片厚膜电路真空度传感器、陶瓷电容式薄膜真空规等等；而传统老式的热传导类（热偶计、电阻计、皮拉尼计等等）虽然价格稍低些，但其精度低、稳定性差、寿命短，按照产品标准测量精度误差50%就合格；虽然现在也有数字化、但是毕竟是先天不足。第二，从真空设备的工作真空度来选择真空度测控范围：而不是根据使用真空泵或机组的极限真空度来选择，如，系统采用2x旋片泵，其极限真空度可达0.5Pa，但是，由于抽气效率的原因，往往用在100Pa以上，所以应该选择0.1kPa测量下限即可（下限越低，往往精度要求越高，价格也越高）第三，合理选择测量精度等级和测量分辨率，一般设备选择1.0级、0.5级就可以了，但是如果是作为精密真空度测量和控制、计量标准器等等，就要选择0.1级、高分辨率的仪表；首选陶瓷薄膜规（--PS510--ABCD）;对于用来测量管道、容器、散热器、空调冰箱部件密封等等用途的真空计选型，可以选择0.5、0.25级精度、但是分辨率为1Pa的高分辨率的仪表如（208--310ap型），性价比极高；另外，还要根据需要测控的泵阀来选择仪器的测控继电器等等控制功能，最好要选择带有真空智能测控功能的仪表（一个继电器就能控制一个启停或开闭的真空度区间，而不是一个点）。最后不要忘记选择合适的真空接口标准，推荐kf系列卡箍法兰，当然，还有其他测试介质的重要特点：卫生洁净度、防腐蚀、防爆要求，附加功能会增加价格，要求不高，就不一定要用专门的防爆型、防腐蚀型的，要求严格的话，当然不能马虎的。简单说说，供参考了。再次提醒大家：现在是2011年啦！真空仪器仪表已经现代化了，希望大家选择更加新型的、高性价比的真空仪器仪表，
现代真空应用技术的发展，涉及的应用范围越来越广泛、真空应用设备对仪器仪表的要求越来越高，特别是对测量精度、稳定性要求、以及自动控制性能要求也越来越高，这直接关系到真空设备的整体性能质量，关系到真空应用技术或应用工艺的应用效果，甚至于成功与否。在精细化工、真空冶炼、真空单晶炉、真空热处理、真空浸渍、真空冷冻干燥、真空绝缘处理、电真空器件、半导体材料生产、高特新材料、新能源设备等等行业中尤其特出。许多新设备、新工艺、新产品的开发之所以老是无法实现预想的技术指标和效果，往往就是因为真空测控仪表选型不当、其实际的测量控制精度无法达到设计要求所造成的。当然，薄膜真空计也不是没有缺点的，首先是价格高，国内一般是4-6千元，量限低的贵些；进口则1.6—2.5万元/只左右；其次，国内老式的薄膜规容易零漂，需要经常校正，要求高的经常校正。主要是技术陈旧，国内材料科学相对落后造成的，温度稳定性不好；还有一个量程跨度小，国内的不超过3个数量级。第三是国产规娇气，容易坏，有油污进去很难清洗，要用丙酮，清洗挽救13往往会报废，小量程的23会坏。所以，我们需要有一种具有国产价格、进口品质的、使用方便、经久耐用薄膜真空计。结合我国国情、学习国际先进的真空测量新技术，我们能够做得到的。分析国外的薄膜真空计与我们旧式国产产品的有什么不同呢？简单说一说，其核心技术一是陶瓷薄膜电容真空压力测量技术、二是现代智能仪表技术。首先是通过大规模厚膜电路（国内有些厂家还是20年前的007运放），将薄膜电容测量机构和传感器调理电路微型化，做在陶瓷基片上，另外，将智能仪表电路微型化，一次仪表和二次仪表合二为一，所以量程宽、精度高、体积小；（其典型代表如莱宝62x、英福康TCBG等等）。未完待续
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