高精度气体压力传感器

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高精度气体压力传感器相关的厂商

  • 湖北五岳传感器有限公司
    湖北五岳传感器有限公司是中国第一支高温熔体压力传感器的诞生公司，成立20多年来，一直专注于PT111系列、PT124系列、PT131、PY1366B、PT167B系列传感器，压力传感器，压力变送器，高温压力传感器，熔体压力传感器，流体压力传感器，高温熔体压力传感器，高温熔体压力变送器，挤出机熔体压力传感器，化纤挤出机压力传感器，橡胶挤出机压力传感器，塑料机械熔体压力传感器，工业熔体压力传感器，和PY909、PY208、PY508、PY600、PY708系列高温熔体压力传感器智能数字显示压力仪表的开发，研制，销售及工程配套。是国内替代同类进口高温熔体压力传感器产品的最大生产商。五岳牌高温熔体压力传感器，变送器系列及高温熔体压力传感器智能数显仪表等产品在塑料，化纤，橡胶，石化等诸多工业门类的应用始终居于领导地位。五岳系列高温熔体压力传感器、高温熔体压力变送器、智能数字显示压力仪表还出口到东南亚、港澳台、韩国、中东及世界其它地区。同时维修美国DYNISCO意大利GEFRAN的同类高温熔体压力传感器产，提供关于各类高温熔体压力传感器的技术支持、使用维护！湖北五岳传感器有限公司荣誉榜：在中国制造出：第一支高温熔体压力传感器；第一支超高温熔体压力传感变送器；第一支**高温熔体压力传感器；第一台**高温熔体压力表；第一支高温熔体压力变送器；第一家与国际著名挤出业龙头企业合作的公司。
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  • 安徽天光传感器有限公司
    安徽天光传感器有限公司创建于1991年，占地面积22000平方米。主要研发、生产、销售：称重传感器,电力覆冰检测传感器,扭矩传感器,拉力传感器,轴销传感器,压力传感器,拉压力传感器以及相配套测控仪表等产品。二十多年来天光不断吸取国内外的先进技术，引进国外领先的设备与工艺，学习与吸收现代企业管理理念，先后研发、生产了百余种测力传感器及配套仪器仪表，产品广泛应用于军工、航空航天、油田、交通、医药、冶金建材、教学等行业的计量与自动化过程中的检测等方面，其半导体应变计的生产工艺、设备及产量为国内领先，已申报发明专利。2008年我公司荣幸为北京奥运会主体育场鸟巢提供专用传感器，并获得好评。 陈圆圆180 5523 0933
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  • 山西科致成科技有限公司（气体传感器报警仪综合校验台）
    山西科致成科技有限公司是专业从事气体传感器、报警仪校验检定装置研制开发、设计制造、技术服务和销售为一体的大型科技生产型企业，公司自创业以来，历经多年的市场风雨的洗礼，通过实施严格的区域代理制度及销售服务体制，以客户利益为最优先考虑来开展业务运营。在各级煤矿检测中心、经销商、用户和厂家的共同努力下，科致成校验装置得到了用户的广泛认可与信赖。科致成已成为国内同行业的领导品牌，成为了山西省煤矿行业的知名企业。 公司位于太原高新技术开发区，其前身太原科导电子有限公司始建于2002年，具有近十多年的光辉历程和先进的生产制造经验，是国内第一家生产KA型调校检测仪的厂家，产品畅销全国，山西科致成科技有限公司承继太原科导电子有限公司的产品品牌和生产优势。 公司技术力量雄厚，工艺设计先进，质量保证体系完善，检测手段先进、化验设备齐全，已通过GB/T19001-2008 idt ISO9001:2008质量管理体系认证。 企业主导产品为KA83J车载甲烷传感器检定装置、KA83型智能多路多功能校验台、KAJC-1型分站检测仪等KA系列产品，是国内品种最多、功能覆盖面最宽的气体传感器报警仪校验检定设备生产企业。KA83型、KA8316型品牌产品具有较高的声誉和市场知名度，不仅畅销省内，而且远销山东、河北、河南等省份和地区。 公司拥有通工艺、技术精的科研队伍，凭借着丰富的工作经验及专业知识，所生产的气体传感器校验台、气体报警仪检定装置始终保持着国内一流的技术水平，特别是KA83型智能多路多功能校验台在国内同行业中遥遥领先。 公司具有独特优势： 1、山西省内煤矿行业知名品牌； 2、具有东山煤矿、西山煤矿、华润联盛煤矿企业公司新品试验基地； 3、具有霍州煤电技术检测中心成熟产品培训基地； 4、和山西理工大学精诚合作，研发KA系列产品软件，拥有自主知识产权。 4、研发校验检定设备，属国内首创。 5、产品已通过山西省科技厅成果鉴定，具有国内领先地位； 6、产品已通过山西省经信委、煤炭厅新产品鉴定，可批量生产。 7、产品已在山西省质量技术监督局备案，并已申报多项国家专利。 公司可以根据用户要求，按照国家标准为您定做8路、16路、32路等多路甲烷、氧气、一氧化碳、二氧化碳等气体传感器报警仪校验台/检定装置，集设计,制造,安装,售后一体化,为您提供优质各种矿用气体检定装置/校验台；　　　未来，山西科致成科技有限公司将继续以高质量、低成本、全球化为战略目标，以高标准、精细化、零缺陷为作业路线，集成知识，整合创新，打造世界级品牌和全球最具竞争力的气体传感器报警仪校验检定设备制造基地。
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  • ADCON PA-1 压力传感器 400-668-7609
    测量原理PA-1绝对压力传感器带有G1/4"螺纹，适用于所有压力监控应用场合，不仅价格低，而且瑞士制造，具有一流品质。该传感器具有数字温度补偿功能，可确保高精度和高重复性。同时该传感器还具有出色的长期稳定性，绝对测压范围为0到10bar（还有测压范围为1到30bar的型号可供选择）。如上图所示，该传感器外形小巧、紧凑，带有坚固的M12插头，可与电缆（有5米和10米可选）母插头对插。此外，我们还可根据您的要求提供与G1/2"螺纹和NPT螺纹相匹配的适配器。技术指标压力范围：10bar过压范围：20bar工作温度：-40°C...+80°C压力传感器：压阻式补偿温度范围：0...+50°C精度（0...50°C）：一般为0.1%FS，最大1.5%FS线性度：一般为0.25%FS，最大0.5%FS压力计螺纹：G 1/4"（有NPT适配器可选）输出信号：0.1...2.5V电源电压：3.5V ... 12V DC长度：49mm(1.93")直径：22mm (0.87")重量：30g电缆：PVC2 屏蔽电缆电缆长度：5或10m（请分别订购）探头和电缆上的插头：探头上为4针M12公插头 电缆上为4针M12母插头和Binder 7针M9公插头IP防护等级：IP67订货信息200.733.160 PA1 压力计管探头，,0-10 bar 200.733.161 PA1，压力计，0-30巴，M12接头，1/4"管200.733.162 PA1，压力计，0-10巴，M12接头，18NPT管200.733.166 适用于Adcon PA1 的5米电缆，带M12母插头和Binder M9公插头200.733.167 适用于Adcon PA1 的10米电缆，带M12母插头和Binder M9公插头
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    厂商： 哈希公司（HACH）
    品牌： ADCON
    型号： PA-1
    价格： 面议
  • 上海铭控：高精度无线蓝牙压力传感器MD-G501
    上海铭控：高精度无线蓝牙压力传感器 内容简介：MD-G501系列超小型无线压力变送器采用隔离膜传感器做为感压元件，配合超低功耗数字调理电路，使其具有精度高、长期稳定性好等特点。通过小程序用蓝牙与变送器相连，近距离查看数据和修改参数。也可配合蓝牙网关远端查看数据和修改参数。同时蓝牙无线压力表的安装方式简单，便于工程人员现场安装调试。 该系列变送器可用于消防水管网、消防末端、消防泵房、城市供水、石油化工远程监控、在热力管网、车辆维修保养厂店等领域。产品应用 ◇消防水管网 ◇消防末端 ◇消防泵房 ◇石油化工远程监控 ◇城市供水 ◇热力管网 ◇车辆维修保养厂上海铭控：高精度无线蓝牙压力传感器 技术特点：☆ 采用数字调理芯片，具有精度高，稳定性好，产品体积小巧☆ 具有高压/低压报警，波动报警☆ 多种功能：单位切换、零位清零等☆ 超低功耗设计，3V电池供电、可连续工作1年以上☆ 支持蓝牙配置及配合蓝牙网关远程参数配置，降低维护成本超小型无线压力传感器参数指标：量程 微压量程：(0~5)kPa (0~10)kPa (0~25)kPa (0~50)kPa (0~100)kPa 常规量程： (0~600)kPa (0~1)MPa (0~1.6)MPa ...(0~100)MPa安装接口 M20*1.5 G1/2 G1/4 G1/8等标准螺纹过载能力 2倍量程精度等级 0.1 级 0.5 级长期稳定性 ±0.5%/年（典型值）使用温度 -10～ 60℃存储温度 -40～ 80℃供电电压 3V纽扣电池，可连续工作1年以上外壳材质 PA 66测量介质 水、油、气体对不锈钢无腐蚀的介质存储条件 温度(-40~80℃)湿度(0~95%RH)
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    厂商： 上海铭控传感技术有限公司
    品牌： 未知
    型号： MD-G501
    价格： 面议
  • 法国Elveflow 压力传感器 MPS小体积压力传感器 400-860-5168转4807
    一、法国ELVEFLOW 公司介绍法国Elveflow自2012年以来我们一直致力于制造优质的流体处理仪器，至今为止，我们已经科研和工业用户提供多达2，000套系统。我们的产品是围绕畅销的OB1流量控制器构建，包括液体处理的全套部件。我们的仪器可以同时使用我们的软件和软件开发包进行控制，实现您的系统完全自动化。我们仪器具有模块化的，可升级的特点，提供标准和OEM的版本。产品有用于微流体的单通道压力泵，多通道压力真空控制器，旋转分配阀，流量开关，阀门及阀门控制器，流量传感器，压力传感器，传感器读取器，气泡探测器，储液管及微流体的成套应用系统。二、 MPS 小体积压力传感器法国Elveflow 的MPS高精度压力传感器适用于液体和气体，兼容3/32"内径管线或者适配1/16"外径管线的10-32接头。监测微流体装置中的低流速压力。适用于微流体装置的任一位置，用于测量和控制压力，是表压传感器，测量相对于大气压的压力。MPS流量传感器性能： 准确性低达 0.2 % FS（满量程） 5种量程范围 从 70 mbar 到 7,000 mbar 内部容积: 7 μL 稳定时间: 20 ms 适用于液体和气体
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    厂商： 大连力迪流体控制技术有限公司
    品牌： Elveflow
    型号： MPS
    价格： 面议
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  • 南方科技大学《ACS Nano》：通过分级互锁结构设计获得高灵敏和宽线性传感的柔性压力传感器
    灵敏度高、线性传感范围宽的柔性压力传感器在机器人触觉、健康监测、可穿戴设备领域具有重要应用。构筑微结构可以提高传感器的灵敏度，但由于软材料在压力作用下的结构硬化问题使传感器的响应逐渐饱和，导致器件呈现较窄的传感范围和显著的非线性响应。针对这一问题，来自南方科技大学的郭传飞教授团队设计了由微穹顶阵列与带有次级微柱的微穹顶（分级微穹顶）阵列而形成的一种分级互锁结构，有效提升界面结构的可压缩性，显著降低结构硬化，实现柔性压力传感器的高灵敏度（49.1 kPa-1）、线性响应（相关系数R20.995）和宽传感范围的统一（~485 kPa）。传感器的响应/恢复时间小于5 ms，可以检测频率高达200 Hz的振动刺激，显示出良好的动态响应特性。将传感器用于机械手的抓取任务中，结合机器学习，帮助机械手识别被抓取物体的重量，提升机器人触觉感知能力。相关工作以“Graded Interlocks for Iontronic Pressure Sensors with High Sensitivity and High Linearity over a Broad Range”为题发表于国际期刊《ACS Nano》。 该研究使用面投影微立体光刻技术（nanoArch S130，摩方精密）打印具有微穹顶结构以及分级微穹顶结构的树脂作为模具，进一步地，通过模板法获得具有微穹顶结构的环氧树脂/Au电极及离子膜。打印模具尺寸：9 mm×9 mm×1.5 mm，单个微穹顶尺寸（电极模具）：宽290 μm，高480 μm；次级微柱尺寸（离子膜模具）：直径28 μm，高70 μm。每层打印精度设置为5 μm，以实现分级互锁结构的高精度、定制化打印。 这项工作为制造具有高灵敏度、高线性度和宽压力响应范围的柔性压力传感器提供了一种策略，在未来的触觉器件中具有广阔的应用前景。 图1. 分级互锁结构的可压缩性及器件传感原理 分级互锁结构由微穹顶结构与带有次级微柱的微穹顶结构组成。微柱在分级互锁结构中具有重要作用。一方面，它提高了结构的可压缩性，减少结构硬化，使应力分布更均匀，有助于实现线性形变；另一方面，微柱结构的引入减小了电极与离子膜之间的起始接触面积，可有效提高了器件的灵敏度（图1）。 图2. 分级互锁型柔性压力传感器的制备该研究使用面投影微立体光刻技术打印具有微穹顶结构以及分级微穹顶结构的树脂作为模具。进一步地，通过模板法获得具有微穹顶结构的环氧树脂/Au电极及离子膜，并与平面电极PET/Au组合、封装，获得分级互锁型器件（图2）。 图3. 分级互锁型柔性压力传感器的传感性能分级互锁结构的设计实现了器件的高灵敏度、高线性度及宽传感范围的统一，同时提升了器件的响应速度，实现对高频振动刺激的精准检测，呈现出良好的动态响应特性（图3）。 图4. 分级互锁型柔性压力传感器的线性传感特性 将该传感器用于开发线性响应的电子天平，并用于测量几种未知物体的重量，其输出结果与商业电子天平的称量结果几乎一致，表明了自制电子天平对质量的测量比较准确、可靠，而且无需额外的非线性校准，大大简化数据处理过程（图4）。 图5. 基于机器学习的抓取任务感知与重量识别 柔性压力传感器的一个重要应用是为机器人带来触觉感知能力，使机器人能够像人类一样与外界互动。将分级互锁型传感器集成在气动抓手表面，实现机械手在抓取物体时的触觉感知；结合机器学习，帮助机械手识别物体的重量（图5）。原文链接：https://doi.org/10.1021/acsnano.1c10535作者：白宁宁
    时间： 2022-03-03
    作者： 摩方精密
  • 美国丹纳赫西特新推出Model278压力传感器
    日前，丹纳赫Setra(西特)全新推出Model278大气压力传感器。该产品长期稳定性小于0.1mb/年，可用于要求精确测量、快速响应和长期稳定、长期可靠的环境中。　　为了经受自动气象站(AWS)恶劣的环境和环境监测需要，Model278外壳采用了不锈钢和聚酯材质构成。可插拨的5针端子排使得连接数据记录仪和信号连接非常简单，1/8“倒刺压力接口简化了气路连接，传感器的体积只有(3.6”×2.4“×1.0”)是应用和替代现有产品的理想选择。　　Model278可工作在-40℃～60℃(-40°F～140°F)的温度范围内。用户可选择0-2.5VDC或0-5VDC的输出，3线或4线电路和9.5-28VDC激励。传感器工作功耗很低(3mA标称)。它的休眠特性使功耗降低到1μA，并且当压力读数快速启动时传感器也能快速启动。　　Model278采用Setra的SETRACERAMTM电容式敏感元件和独特的IC模拟电路，这从根本上简化了设计，热稳定玻璃熔融陶瓷敏感腔结合Setra久经考验的电容式电荷平衡IC电路，使得传感器在精度和环境补偿方面都有出色的表现。SetraceramTM敏感元件具有卓越的热膨胀系数和低机械迟滞使得Model278具有良好的长期稳定性。
    时间： 2010-07-14
    作者： 刘玉兰
  • 北京航空航天大学研制成功高灵敏度石墨烯MOEMS谐振压力传感器
    由悬浮石墨烯制成的纳米机械谐振器对压力变化表现出高灵敏度。然而，由于受空气阻尼的影响，这些设备在非真空环境中表现出明显的能量损失，以及由于石墨烯的轻微渗透，参考腔内不可避免地出现微弱的气体泄漏。2023年6月12日，北京航空航天大学李成副教授团队在ACS Appl. Mater. Interfaces期刊发表名为“High-Sensitivity Graphene MOEMS Resonant Pressure Sensor”的论文，研究提出了一种利用微电子机械系统技术的新型石墨烯谐振压力传感器，其特点是将多层石墨烯膜密封在真空中，并粘附在带有凹槽的压敏硅膜上。这种方法创新性地采用了间接敏感的方法，在大气中表现出60倍的能量损失，并解决了基底和石墨烯之间长期存在的气体渗透问题。值得注意的是，所提出的传感器表现出1.7Hz/Pa的高压力灵敏度，比硅的同类产品的灵敏度高5倍。此外，全光封装腔结构有助于实现6.9×10-5/Pa的高信噪比和低温度漂移（0.014%/℃）。所提出的方法为使用二维材料作为敏感膜的压力传感器的长期稳定性和能量损失抑制提供了一个很好的解决方案。MOEMS石墨烯谐振压力传感器其特点是通过阳极键合实现10-3Pa的真空封装，大大降低了压力差下基底和石墨烯之间高空气阻尼和气体渗透造成的能量损失。总的来说，所提出的传感器为提高信噪比和实现二维材料谐振传感器的可靠使用提供了一个有前途的解决方案。
    时间： 2023-07-06
    作者： 情绪波动
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  • 压力传感器原理_压力传感器怎么用

    [align=center]压力传感器跟压力变送器比较相似，但是它们在功能上也是有一些细微的差别的，当您在使用压力传感器的过程中需要提前对压力传感器的量程，精度，信号输出，电源，环境温度，介质，是否防爆，安装螺纹等特性做一定的了解，只有这样才能知道压力传感器的正确的使用方法。[/align]压力传感器实际上是一种输出电流为4-20 mA的传输方式。以下是OFweek Mall对压力传感器原理的描述。压力传感器将要测量的物理量转换为可读取和处理的另一物理量。在现代控制中，这个物理量是一个电信号 压力传感器的主电信号转换为标准电信号。例如电流信号4--20mA，0-20mA，电压信号0-10V，1--5V。压力传感器是一种产生毫伏信号变化的压力诱导应变。如果传感器已经具有输出标准电流或电压信号的放大和整形电路，则这样的传感器也可以被称为压力传感器；压力传感器的名称与先前输出毫伏信号的压力传感器相比，大多数现代压力传感器都直接输出标准信号。因此，可以合并压力传感器和压力变送器。看到这里，相信大家对压力传感器（压力变送器）有了新的认识，这是选择不可或缺的参数，例如：1，测量介质2，输出信号3，压力测量范围（量程）4，安装方法5，准确性要求6，工作温度根据上述要求，相信压力传感器（压力变送器）的选择将是清晰明了的。压力传感器包含范围：[color=#333333]气体流量传感器丨微型压力传感器丨绝对压力变送器丨微量氧传感器丨[/color][color=#333333]数字温湿度[/color][color=#333333]传感器丨煤气检测传感器丨气压感应器丨一氧化碳传感器丨h2传感器丨压阻式压力变送器丨硫化氢传感器丨co2气体传感器丨光离子传感器丨ph3传感器丨百分氧传感器丨bm传感器[/color][color=#333333]丨超声波风速传感器[/color][color=#333333]丨氧气传感器丨电流传感器丨风速传感器丨voc传感器丨[/color][color=#333333]光纤应变传感器丨[url=http://mall.ofweek.com/2071.html]压力传感器[/url]丨电流传感器丨[/color][color=#333333]meas压力[/color][color=#333333]传感器丨位置传感器丨[/color][color=#333333]称重传感[/color][color=#333333]器丨甲烷传感器丨微流量传感器丨光纤应变传感器丨称重传感器丨三合一传感器丨sst传感器丨gss传感器丨ch4传感器丨氟利昂传感器丨硫化物传感器丨o3传感器丨双气传感器丨压电薄膜传感器丨一氧化氮传感器丨透明度传感器丨二氧化硫传感器丨氰化氢传感器丨煤气检测传感器丨燃气检测传感器丨电流氧传感器[/color]

  • 电气比例阀采用外置传感器和PID控制器实现化学机械抛光超高精度压力控制的解决方案

    电气比例阀采用外置传感器和PID控制器实现化学机械抛光超高精度压力控制的解决方案

    [color=#990000]摘要：为大幅度提高现有CMP工艺设备中压力控制的稳定性，在现有电气比例阀这种单回路PID压力调节技术的基础上，本文提出了升级改造方案，即采用串级控制法（双回路PID控制，也称级联控制），通过在现有电气比例阀回路中增加更高精度的压力传感器和PID控制器，可以将研磨抛光压力的稳定性提高一个数量级，从1~2%的稳定性提升到0.1~0.2%。[/color][align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align] [size=18px][color=#990000][b]一、问题的提出[/b][/color][/size]在半导体制造过程中，化学机械抛光（CMP）是在半导体晶片上产生光滑、平坦表面的关键工艺。CMP工艺中的压力控制是决定最终产品质量的关键因素。如果压力过高，会损坏半导体材料；如果压力太低，会导致表面不平整。CMP系统中需要配置专用的压力调节装置，以确保压力保持在安全范围内。通过将压力保持在安全范围内，压力调节装置有助于确保半导体晶片在CMP过程中不被损坏。目前的CMP系统中普遍采用电气比例阀作为压力调节器，其典型结构如图1所示。在CMP中采用比例阀来控制抛光过程中施加在晶圆上的压力。由于比例阀是电子控制和压力值的模拟信号输出，因此可以通过控制系统（如PLC）对其进行动态编程和压力监控，这意味可以根据被抛光的特定晶片准确改变施加的压力。此外，由于电气比例阀作为压力调节器是一个闭环控制，即使在下游压力发生变化期间，施加在抛光垫上的压力也会保持不变，由此实现压力的自动调节。[align=center][img=常规研磨机电气比例阀压力控制系统结构,600,280]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/09/202209150917534790_1434_3221506_3.png!w690x322.jpg[/img][/align][align=center]图1 常规CMP系统中电气比例阀压力控制装置结构示意图[/align]在一些CMP工艺的实际应用中，要求抛光压力具有很高的稳定性，图1所示的常规压力调节装置则无法满足使用要求，这主要体现在以下几方面的不足：（1）电气比例阀的整体控制精度明显不足，其整体精度（包含线性度、迟滞和重复性）往往在1~2%范围内。这种精度水平主要受集成在比例阀内的压力传感器、高速电磁阀和PID控制器性能和体积等因素制约，而且进一步提高的空间非常有限。（2）电气比例阀安装位置与气缸有一定的距离，由此造成比例阀所检测到的压力值并不是气缸的真实压力，而且比例阀处压力与气缸压力之间有一定的时间滞后。为解决上述存在的问题，进一步提高现有CMP工艺设备中压力控制的稳定性，在现有电气比例阀这种单回路PID压力调节技术的基础上，本文将提出升级改造方案，即采用串级控制法（双回路PID控制，也称级联控制），通过在电气比例阀回路中增加更高精度的压力传感器和PID控制器，可以将研磨抛光压力的稳定性提高一个数量级，从1~2%的稳定性提升到0.1~0.2%。[size=18px][color=#990000][b]二、CMP设备压力控制的串级PID控制方案[/b][/color][/size]在传统的CMP设备压力调节过程中，采用电气比例阀进行压力调节的稳定性完全受集成在比例阀内的压力传感器、高速电磁阀和PID控制器性能和体积等因素制约。为了提高压力控制的稳定性，并充分发挥电气比例阀的自身优势，我们采用了一种串级控制技术，即在作为第一回路的电气比例阀中增加第二控制回路，其中第二控制回路由更高精度的压力传感器和PID控制器构成。串级PID控制方案的整体结构如图2所示。[align=center][img=03.超高精密研磨机电气比例阀压力串级控制系统结构,600,333]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/09/202209150918245058_1534_3221506_3.png!w690x384.jpg[/img][/align][align=center]图2 串级控制法CMP系统压力控制装置结构示意图[/align]在图2所示的串级控制法压力调节装置中，安装了一个外置压力传感器用于直接监测气缸内的气压，压力传感器检测到的气缸压力信号传输给外置的PID控制器，外置PID控制器根据设定值或设定程序将控制信号传送给电气比例阀，比例阀根据此控制信号再经其内部PID控制器来调节高速电磁阀的动作，使得电气比例阀输出到气缸的气体气压与设定值始终保持一致。从上述串级控制过程可以看出，串级控制是一个双控制回路，是两个独立的PID控制回路，电气比例阀起到的是一个执行器的作用。串级控制法（也称级联控制法）是一种有效提升控制精度的传统方法，但在具体实施过程中，需要满足的条件是：[color=#990000]第二回路的传感器和PID控制器（这里是外置压力传感器和PID控制器）精度一般要比第一回路的传感器（这里是电气比例阀内置的压力传感器和PID控制器）要高。[/color]为了实现更高稳定性的CMP系统压力控制，我们推荐的实施方案是采用0.05%精度的外置压力传感器和超高精度PID控制器（技术指标为24位ADC、16位DAC和双浮点运算的0.01%最小输出百分比）。此实施方案我们已经进行过大量考核试验，压力稳定性可以轻松达到0.1%。[align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align]

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  • 珂睿 超高压压力传感器 压力传感器
    流通式超高压压力传感器用途介绍：对流过的流体压力进行在线检测。性能特点：使用压力0~28000psi爆破压力大于20000psi死体积小于10ul输出方式可选择数字或者模拟压力检测精度：分比率1psi湿材料：peek聚醚醚酮，316不锈钢，特殊弹性钢材测试数据：标定因素稳定性测试（原始数据）标度因素稳定性测试（结论数据）标度因素线性度测试（原始数据）得出以下结论：1、比例系数稳定度：RSD=0.0564% (0.25%)2、零偏稳定度：RSD=0.3946% (0.5%)压力传感器细节图：
    供应商： 成都珂睿科技有限公司
    品牌： 珂睿
    价格： 面议
  • 岩土高压光纤压力传感器
    岩土高压光纤压力传感器采用MEMS技术为恶劣环境应用而设计的的微型光纤压力传感器.它采用不锈钢封装，非常适合浸入式压力测量或恶劣环境中压力恶劣使用。岩土高压光纤压力传感器具有长时间高精度，耐用，高压力测量特点，可以承受7000KPa压力，非常适合土木工程或岩石压力监测使用，能够承受极端温度和压力并低于有毒或腐蚀性大气。 恶劣环境光纤压力传感结合Opsens WLPI信号和光纤光学固有的特性，为压力测量传感提供最佳重复精度和可靠性，并且测量精度不受恶劣环境影响，比如在高水平EM, RF,MR和微波环境下测量结果依然准确。 光纤压力传感器采用全球领先的工艺级标准制作光纤，与信号采集器兼容使用，可提供不同长度的光纤线缆。 光纤压力传感器特点 小巧稳定 100-1000PSI范围 超高精度0.1%， 密封配置用于浸入式测量 不受EMI/RFI微波影响 长期可靠测量 光纤压力传感器应用 土木工程岩石监测 工业过程和控制以及监测 恶劣环境应用带有腐蚀 地下水调查 泵站压力测量 静态和动态测量 Pressure range 100 PSI (690 kPa), 500 PSI (350 kPa), 1000 PSI (7000 kPa) Resolution 0.02 % F.S. (Range dependant) Precision ± 0.1% F.S.* Thermal coefficient of Zero 0.02% F.S / °C Proof pressure 200% F.S. Operating temperature -20 to +85 °C EMI/RF/Lightning Complete immunity Housing Stainless steel (9.5 mm OD x 123 mm) Optical connector SC standard Cable sheathing 4 mm O.D.rugged tight-buffered fiber optic cable with aramid strength member and polyurethane jacket Cable length Up to 3 kilometers Signal conditioner compatibility All Opsens WLPI signal conditioners
    供应商： 孚光精仪（中国）有限公司
    品牌： 孚光精仪
    价格： 面议
  • 微波压力传感器
    该压力该传感器配备MD系列、Solutions MD系列微波消解仪。该压力传感器采用去离子水进行压力传导，做到压力时时检测，保证消解安全。
    供应商： 北京盈安美诚科学仪器有限公司
    品牌： 美诚
    价格： 面议
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