纳米划痕仪

市场上最精确的纳米划痕测试仪主要特点施加较小的载荷时具有极快的响应时间纳米划痕测试仪带有载荷传感器，采用双悬臂梁用于施加载荷，以及压电式驱动器用于对施加的载荷快速响应。这一设计理念还修正了在划痕过程中发生的任何事件（例如出现裂纹和故障、缺陷或样品不平整）而导致的测量结果偏差。适用于弹性恢复研究的专利真实划痕位移测量在划痕之前、过程和之后，位移传感器 (Dz) 一直记录样品的表面的轮廓。这让您可以在划痕过程中或之后评估针尖的位移量，从而可以评估材料的弹性、塑性和粘弹性能（专利：US 6520004)不打折扣：施加任何微牛级的载荷闭环主动力反馈系统可在 1 μN 以下进行更精确的纳米划痕测试。纳米划痕测试仪包含一个 传感器测量载荷，可以直接反馈给法向载荷驱动器。这确保施加的载荷就是用户设置的载荷。高质量光学成像带“跟踪聚焦”功能集成显微镜包括配置高质量物镜的转塔和 USB 照相机。划痕成像时，能轻松将放大倍数从 x200 转换为 x4000，实现在低放大倍数和高放大倍数自由切换从而更好地对样品进行评估。“跟踪聚焦”功能可以进行将多个划痕的 Z 样品台自动聚焦到正确位置。划痕后可用多次后扫描模式评估弹性性能划痕后，您可以在软件中用时间增量定义无限次后扫描测量残余位移。这种全新的分析方法将让您进一步了解表面变形性能与时间的依赖关系。技术指标施加的载荷分辨率0.01 μN最大载荷1000 mN本底噪音0.1 [rms] [μN]*摩擦力分辨率0.3 μN最大摩擦力1000 mN位移分辨率0.3 nm最大位移600 μm本底噪音1.5 [rms] [nm]*速度速度从 0.4 mm/min 到 600 mm/min*理想实验室条件下规定的本底噪音值，并使用减震台。

产品描述iMicro采用InForce 1000驱动器进行纳米压痕和通用纳米机械测试，并可选择添加InForce 50驱动器来测试较软的材料。InView软件是一个灵活的现代软件包，可以轻松进行纳米级测试。iMicro是内置高速InQuest控制器和隔振门架的紧凑平台。 可以测试金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物材料和凝胶等各种不同的材料和器件。主要功能InForce 1000驱动器，用于电容位移测量，并配有电磁启动的可互换探头可选的InForce 50驱动器提供最 大50mN的法向力来测量软性材料，并提供可选的Gemini 2D力荷载传感器用于双轴动态测量。独特的软件集成探头校准系统，可实现快速准确的探头校准InQuest高速控制器电子设备，具有100kHz数据采集速率和20μs时间常数XY移动系统以及易于安装的磁性样品架高刚度龙门架，集成隔振功能带数字变焦的集成显微镜，可实现精确的压痕定位ISO 14577和标准化测试方法InView软件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus报告、InView大学在线培训和InView移动应用程序主要应用硬度和模量测量(Oliver Pharr)高速材料性质分布ISO 14577硬度测试聚合物tan delta，储存和损耗模量定量刮擦和磨损测试样品加热工业应用大学、研究实验室和研究所半导体行业PVD / CVD硬涂层（DLC，TiN）MEMS（微机电系统）/纳米级通用测试陶瓷和玻璃金属和合金制药涂料和油漆复合材料电池和储能汽车和航空航天应用硬度和模量测量（Oliver Pharr）机械表征在薄膜的加工和制造中至关重要，其中包括汽车工业中的涂层质量，以及半导体制造前段和后段的工艺控制。iMicro纳米压痕仪能够测量从超软凝胶到硬涂层的各种材料的硬度和模量。 对这些特性的高速评估保证了在生产线上进行质量控制。高速材料性质分布对于包括复合材料在内的许多材料，其机械性能可能因部位而异。 iMicro的样品平台可以在X轴和Y轴上移动100mm，并在Z轴方向移动25mm，这使得该系统适用于不同的样品高度并可以在很大的样品区域上进行测量。 可选的NanoBlitz形貌和层析成像软件可以快速绘制任何测得的机械属性的彩色分布图。ISO 14577硬度测试iMicro纳米压痕仪包括预先编写的ISO 14577测试方法，可测量符合ISO 14577标准的材料硬度。 该测试方法对杨氏模量、仪器硬度、维氏硬度和标准化压痕进行自动测量和报告。聚合物Tan Delta、储存和损失模量iMicro纳米压痕仪能够针对包括粘弹性聚合物的超软材料测量tan delta和储存与损耗模量。 储存与损耗模量以及tan delta是粘弹性聚合物的重要特性，其能量作为弹性能量存储并作为热量消耗。 这两个指标都用于测量给定材料的能量消耗。定量划痕和磨损测试iMicro可以对各种材料进行刮擦和磨损测试。 涂层和薄膜会经过化学机械抛光（CMP）和引线键合等多道工艺，考验薄膜的强度及其与基板的粘合性。 重要的是这些材料在这些工艺中抵制塑性变形，并且保持原样而不会基板起泡。 理想地，介电材料应具有高硬度和弹性模量，因为这些参数有助于确定材料在制造工艺下会如何反应。高温纳米压痕测试高温下的纳米压痕对于表征热应力下的材料性能至关重要，特别对热机械工艺中的失效机理进行量化。 在机械测试期间改变样品温度不仅能够测量热引起的行为变化，还能够量化在纳米级别上不易测试的材料过渡塑性。产品优势iMicro纳米压痕仪可轻松测量硬涂层，薄膜和少量材料。该仪器准确、灵活，并且用户友好，可以提供压痕、硬度、划痕和通用纳米级测试等多种纳米级机械测试。 可互换的驱动器能够提供大动态范围的力荷载和位移，使研究人员能够对软聚合物到硬质金属和陶瓷等材料做出精确及可重复的测试。模块化选项适用于各种应用：材料性质分布、特定频率测试、刮擦和磨损测试以及高温测试。 iMicro拥有一整套测试扩展的选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz3D / 4D性质分布，以及Gemini 2D力荷载传感器，可以提供摩擦和其他双轴测量。

产品简介： CB500是美国NANOVEA公司推出的一款低价格微纳米力学综合测试系统，该系统聚纳米压痕仪、纳米划痕仪、微米压痕仪、微米压痕仪四个功能模块于一身，这款仪器采用模块化设计，可在一款仪器下实现纳米与微米/大载荷三个尺度下的压痕，划痕与摩擦磨损测试，进而可得到硬度、弹性模量、蠕变信息、弹塑性、断裂韧度、应力-应变曲线、膜基结合力、划痕硬度、摩擦系数、磨损率等微观力学数据。产品特性： - 模块化设计：可在一台仪器集成纳米压痕仪、纳米划痕仪、微米压痕仪、微米划痕仪4款仪器。 - 压痕测试完全符合国际ISO14577与美国ASTM E2546标准，划痕测试完全符合ISO 20502、1518、ASTM D7027、D1624、D7187、C171标准。 - 载荷加载系统：采用闭环载荷加载垂直加载，准确性远远优于传统的开环载荷加载技术及悬臂加载技术，可保证施加载荷的精准性。 - 载荷驱动方式：高精度压电陶瓷驱动，精度远远优于电磁力驱动。 - NANOVEA专利技术（专利号：EP0663068 A1 1995）高精度电容式传感器来能够保证系统够实现高精度的测量可保证压入深度与划入深度实时测量。 - 采用encoder高精度光栅尺样品台，定位精度可达250nm以内。 - 独特的热飘逸控制技术：纳米压痕仪的热飘逸为0.05nm/s，同时通过专业的硬度测试软件，利用热飘逸补偿技术可将热飘逸总量控制在1nm以内；另外，仪器采用立式结构，电子单元在左右两边，热量往上漂不会对电子单元产生影响，从而得到非常小的热漂移。 - 划痕具有全景成像模式 - NANOVEA公司专利金刚石面积函数校准技术（专利号：No. 3076153）只需要压一次就可以对针尖面积函数进行校准实现精确测量！！！主要技术参数： 1）纳米压痕仪： — 静态加载模式最大加载载荷：80mN /400mN/1800mN/4800mN — 动态加载模式DMA:0.1-100Hz— 载荷分辨率：3nN— 可实现的最小载荷：0.1mN— 加载速率：0.04-12000mN/min— 最大压入深度（电容传感器）： 250μm/1mm— 位移分辨率：0.0003nm— 快速压痕功能：做100个mapping点只需5分钟— 热飘逸0.05nm/s(室温条件下)2）纳米划痕仪：— 划痕正向力最大载荷：80mN /400mN/1800mN/4800mN— 载荷分辨率：3nN— 划痕正向力最小载荷：0.1mN— 最大划痕深度：250μm/1mm— 最大划痕长度：50mm— 划痕速度：0.05-600mm/min— 位移分辨率：0.0003nm— 最大深度：250μm/1mm— 深度分辨率：0.0003nm— 最大摩擦力：400mN/1800mN— 摩擦力分辨率：7μN3）微米压痕仪： — 最大加载载荷：40N/200N — 载荷分辨率：2.4μN /12μN — 载荷噪声水平（RMS）：0.1mN/0.5mN — 可实现的最小载荷：2mN/10mN — 加载速率：0.01-500N/min / 0.05-1000N/min — 快速压痕功能：做100个mapping点只需12分钟 — 深度范围（电容式传感器）：1mm — 深度分辨率：0.01nm — 深度分噪声水平（RMS）: 0.5nm4）微米划痕仪： — 划痕正向力最大载荷：40N/200 N — 划痕正向力最小载荷：2mN/10mN — 最大划痕深度：1mm — 深度分辨率：0.01nm — 深度分噪声水平（RMS）: 0.5nm — 最大划痕长度：50mm — 划痕速度：0.1-1200mm/min — 最大摩擦力：20N/200N — 摩擦力分辨率：1.3mN/13mN5）精密定位平台： — XY方向移动范围：100mm*50mm — Z方向允许的最大样品空间：150mm — 工作台XY方向定位分辨率：10nm — 工作台XY方向定位精度：250nm — Z方向可自动移动移动范围：50mm6）光学金相显微镜成像系统： — 物镜的放大倍率分别为：5X，10X，20X，50X，1000X — 总的放大倍率分别为：400X，800X，1600X，4000X，8000X，7）原子力显微镜AFM的技术参数（高分辨率）： — XYZ方向最大扫描范围：100μm *100μm *12μm — XY方向移动分辨率：0.1nm — Z方向的测量分辨率：0.02nm

产品描述iNano采用InForce 50驱动器进行纳米压痕和通用纳米机械测试。 InForce 50的50mN力荷载和50μm位移范围使得该系统适合各种测试。 InView软件是一个灵活的现代软件包，可以轻松进行纳米级测试。 iNano是内置高速InQuest控制器和隔振门架的紧凑平台。 该系统可以测试金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物材料和凝胶等各种不同的材料和器件。主要功能InForce 50驱动器，用于电容位移测量，并配有电磁启动的可互换探头独特的软件集成探头校准系统，可实现快速准确的探头校准InQuest高速控制器电子设备，具有100kHz数据采集速率和20μs时间常数XY移动系统以及易于安装的磁性样品架带数字变焦的集成显微镜，可实现精确的压痕定位ISO 14577和标准化测试方法InView软件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus报告、InView大学在线培训和InView移动应用程序主要应用硬度和模量测量(Oliver Pharr)高速材料性质分布ISO 14577硬度测试聚合物tan delta，储存和损耗模量样品加热工业应用大学、研究实验室和研究所半导体和封装行业聚合物和塑料MEMS（微机电系统）/纳米级通用测试陶瓷和玻璃金属和合金制药涂料和油漆聚合物制造复合材料电池和储能应用硬度和模量测量 (Oliver-Pharr)机械表征在薄膜的加工和制造中至关重要，其中包括汽车工业中的涂层质量，以及半导体制造前段和后段的工艺控制。iNano纳米压痕仪能够测量从超软凝胶到硬涂层的各种材料的硬度和模量。 对这些特性的高速评估保证了在生产线上进行质量控制。高速材料性质分布对于包括复合材料在内的许多材料，其机械性能可能因部位而异。 iNano的样品平台可以在X轴和Y轴上移动100mm，并在Z轴方向移动25mm，这使得该系统适用于不同的样品高度并可以在很大的样品区域上进行测量。 可选的NanoBlitz形貌和层析成像软件可以快速绘制任何测得的机械属性的彩色分布图。ISO 14577硬度测试iNano纳米压痕仪包括预先编写的ISO 14577测试方法，可测量符合ISO 14577标准的材料硬度。 该测试方法对杨氏模量、仪器硬度、维氏硬度和标准化压痕进行自动测量和报告。聚合物Tan Delta、储存和损失模量iNano纳米压痕仪能够针对包括粘弹性聚合物的超软材料测量tan delta和储存与损耗模量。 储存与损耗模量以及tan delta是粘弹性聚合物的重要特性，其能量作为弹性能量存储并作为热量消耗。 这两个指标都用于测量给定材料的能量消耗。高温纳米压痕测试高温下的纳米压痕对于表征热应力下的材料性能至关重要，特别对热机械工艺中的失效机理进行量化。 在机械测试期间改变样品温度不仅能够测量热引起的行为变化，还能够量化在纳米级别上不易测试的材料过渡塑性。产品优势iNano纳米压痕仪可轻松测量薄膜、涂层和少量材料。 该仪器准确、灵活，并且用户友好，可以提供压痕、硬度、划痕和通用纳米级测试等多种纳米级机械测试。 该仪器的力荷载和位移测量动态范围很大，因而可以实现从软聚合物到金属材料的精确和可重复测试。 模块化选项适用于各种应用：材料性质分布、特定频率测试、刮擦和磨损以及高温测试。 iNano提供了一整套测试扩展选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz3D/4D属性映射和远程视频选项。

Nano Indenter G200系统是一种准确，灵活，使用方便的纳米级机械测试仪器。 G200测量杨氏模量和硬度，包括从纳米到毫米的六个数量级的形变测量。 该系统还可以测量聚合物，凝胶和生物组织的复数模量以及薄金属膜的蠕变响应（应变率灵敏度）。 模块化选项可适用于各种应用：频率特定测试，定量划痕和磨损测试，多功能成像，高温纳米压痕测试，扩展负载容量高达10N和自定义测试。产品描述Nano Indenter G200系统专为各种材料的表征和开发过程中进行纳米级测量而设计。该系统是一个完全可升级，可扩展且经过生产验证的平台，全自动硬度测量可应用于质量控制和实验室环境。Nano Indenter G200系统是一种准确，灵活，使用方便的纳米级机械测试仪器。G200测量杨氏模量和硬度，包括从纳米到毫米的六个数量级的形变测量。该系统还可以测量聚合物，凝胶和生物组织的复数模量以及薄金属膜的蠕变响应（应变率灵敏度）。模块化选项可适用于各种应用：连续刚度测试、定量划痕及摩擦磨损测试、扫描探针成像、高温纳米压痕测试、以及高达10N的高载荷能力和自编程软件。主要功能● 电磁力作动器可实现高动态范围下力和位移的测量● 用于划痕成像，高温纳米压痕测量和动态测试的模块化选件● 用于快速测试设置的直观界面；只需点击几下鼠标即可更改测试参数● 实时实验控制，简便的测试协议开发和精确的热漂移补偿● 屡获殊荣的高速“快速测试”选项，可用于测量硬度和模量● 多功能成像功能，测量扫描，进行简化的测试方法开发，以快速获得结果● 轻松地确定压头面积函数和载荷框架刚度主要应用● 高速硬度和模量测量材料的力学性能表征在新材料的研究和开发中具有重要意义。Nano Indenter G200能够以高达每个数据点1s的速率测量硬度和模量。对这些力学性能的快速评估能让半导体和薄膜制造商将先进技术应用于生产线的质量控制和保证。● 界面附着力测量薄膜与基底的剥离通常是由于沉积过程中的内应力导致的储存弹性能量引起的。界面附着力测量对于帮助用户了解薄膜失效模式而言至关重要。Nano Indenter G200系统能够通过划痕模式获得膜层开裂的初始载荷，测量黏附特性以及多层薄膜的残余应力性能。● 断裂韧性测量断裂韧性指在平面应变条件下应力强度因子发生突然性失效的临界值。低断裂韧性值意味着样品预先存在缺陷。使用刚度成像法可轻松通过纳米压痕仪获得断裂韧性。（刚度成像测量需要连续刚度测量，DCM以及NanoVision选件。）● 粘弹性测量聚合物是结构异常复杂的材料，其力学性能易受化学特性、加工工艺和热力学过程的影响。具体而言，力学性能由母链的类型和长度、支化、交联、应变、温度和频率等因素决定，而他们通常是相互关联的。应在相关环境中对聚合物样本进行力学测试，为聚合物设计参数决策提供有用的数据信息。纳米压痕测试所需样本尺寸小，制作简单，更容易进行这种特定环境的测量。将圆柱形平压头压入被测材料，按照设定频率震动，G200纳米力学测试系统还可用于测量聚合物样品的复合模量和粘弹性性能。● 扫描成像扫描探针显微镜（3D成像）为测量设计应用的断裂韧性，G200纳米压痕系统提供了两种扫描探针显微成像法来表征压痕的裂纹长度。断裂韧性指含有裂缝的缺陷材料防止断裂扩展的能力。G200纳米压痕系统的压电样品台（NanoVision选项）具有超高精度定位能力，可提供高达1nm步长的分辨率，最大扫描尺寸为100µ m x 100µ m,Survey Scanning软件选项将X/Y运动系统与NanoSuite软件相结合，可提供500µ m x 500µ m的最大扫描尺寸。 NanoVision样品台和Survey Scanning选项都需要对样品的精确区域进行纳米压痕测试和断裂韧性计算。● 耐磨损和耐刮擦Nano Indenter G200系统可以对各种材料进行划痕和摩擦磨损测试。涂层和薄膜会受到很多工艺的影响，它们能检验这些薄膜的强度和对衬底的附着力，例如化学机械抛光 (CMP) 和引线键合。在工艺流程中，这些材料能够抵抗塑性形变并保持完整而不在衬底上起泡是非常重要的。电介质材料通常需要高硬度和弹性模量来支持制造工艺。● 高温纳米压痕高温下的纳米压痕可以精确测量出材料在塑性转变之前、塑性转变时和塑性转变之后的纳米力学响应。了解材料行为，例如变形机制和相变，可以预测材料会在何时失效并改善热机械加工过程中的控制。在主要力学测试法中改变温度是测量在纳米尺度上不易测试的材料之塑性转变的其中一种方法。适用行业● 大学，研究实验室和研究所● 半导体和电子工业制造业● 轮胎行业● 涂层和涂料行业● 生物医药行业● 医疗器械● 更多应用：请联系我们探讨您的需求选配件Windows 10 升级Windows 10升级延长了现有纳米压痕仪G200系统的使用寿命和可维护性 ，并增加了新的特性和功能。 高性能硬件与NanoSuite 7.0控制软件相结合以保持现有数据和测试方法，同时继续与您当前的选件和许可证兼容。 此次升级还包括分析数据报告软件（Analyst）和TeamViewer远程支持软件，使KLA支持工程师能够快速排除故障并解决问题，无论系统位于何处。 XP作动器G200纳米力学测试系统由线性度最好的电磁力传感器，以确保精确测量。传感器的独特设计避免了横向移位的影响。 标准XP压痕组元的加载能力为500mN，位移分辨率0.01nm（10pm），最大压痕深度500μm。动态接触模块II（DCM II）压痕组元DCM II将最大载荷扩展到30mN，并以0.2pm的位移分辨率提供70μm的压头行程。 压头更换设计用于快速拆卸和轻松安装各种特定应用的压头。 使用DCM II选项，研究人员不仅可以研究材料表面最初的几个纳米压痕，还可以研究接触之前时期的力学行为。连续刚度测量（CSM）连续刚度测量（CSM）技术与XP和DCM II压痕头兼容，满足必须考虑动态效应的应用要求，如应变速率和频率。 CSM选件包括ProbeDMA&trade 聚合物方法包和AccuFilm&trade 薄膜方法包。 ProbeDMA&trade 聚合物方法包提供了一种分离载荷-位移历史的同相位和异相位分量的方法。 相位分离能够精准确定初始表面接触的位置，并连续测量作为深度或频率函数的接触刚度，无需卸载循环。 AccuFilm&trade 薄膜方法包可以测量与衬底无关的材料属性。Express Test快速测试选件是进行高精度纳米力学测试的一种新颖、快速的方法。 作为全球R&D科技研发奖的获得者，快速测试选件可实现每秒完成一个压痕，这意味着在100秒内可以在100个不同的位置执行100次压痕。 快速测试选件与所有纳米压痕仪G200 DCM II和XP作动器及所有样品台兼容。 功能多样、易于操作的快速测试方法非常适合涉及金属、玻璃、陶瓷、结构聚合物、薄膜和低介电材料的应用。 用于薄膜测量的快速测试方法中包括一种薄膜模型，该模型可自动计算衬底对测量的影响，从而快速、准确地测量出杨氏模量。激光加热压头和样品台与标准XP作动器兼容，G200纳米力学测试系统的激光加热压头和样品台选件使用高功率二极管激光器分别将压头和样品加热到相同的温度。 优点包括能够在精确控制的温度或在高度动态的温度条件下测量各种纳米力学性能。 为确保数据准确，该系统通过使用加热压头和激光作为加热源（非电阻加热）将与加热相关的漂移降至最低。 G200还为用户提供了使用各种气体净化样品的选件，以避免污染和氧化。横向力测量（LFM）横向力测量（LFM）选件为划痕测试、磨损测试和微机电系统（MEMS）探测提供三维定量分析。 该选件允许X和Y方向的剪切力测量。 摩擦学研究大大受益于LFM选件，用于确定划痕长度上的临界载荷和摩擦系数。高载荷高载荷选件用于标准XP作动器，将 G200纳米力学测试系统的负载能力扩展至10N，可对陶瓷、块状金属和复合材料进行完整的力学性能表征。 高载荷选件旨在避免在小载荷时牺牲仪器的载荷和位移分辨率，并在需要额外力的时候在测试协议中完美接合。NanoVisionNanoVision选件配备了用于高分辨3D成像法和能精确定位的闭环纳米定位样品台。 NanoVision允许用户以纳米级精度定位压痕测试的位置，并表征多相/复合材料的不同物相的力学性能。 NanoVision用户还可以通过检查残余压痕形貌来量化材料响应现象，如突起高度、变形体积和断裂韧性等。Survey ScanningSurvey Scanning选件利用G200纳米力学测试系统的精确、可重复的X/Y运动可提供500μm×500μm的最大扫描尺寸。 NanoVision样品台和Survey Scanning选项可配合使用，实现纳米压痕测试的精确定位，这对于确定样品断裂韧性尤其有用。NanoSuite 软件版本所有Nano Indenter G200系统均由标准的NanoSuite Professional软件驱动。 NanoSuite Professional版本为用户提供了预先编写的测试方法，包括符合ISO 14577的方法和从薄膜材料样品去除基底效应的方法。 NanoSuite Explorer版本使研究人员能够使用简单的协议编写自己的NanoSuite方法。 通过NanoSuite Professional和NanoSuite Explorer软件提供的模拟模式，用户可以离线编写测试方法、处理和分析数据。相关产品

产品简介： CB500是美国NANOVEA公司推出的一款低价格微纳米力学综合测试系统，该系统聚纳米压痕仪、纳米划痕仪、微米压痕仪、微米压痕仪四个功能模块于一身，这款仪器采用模块化设计，可在一款仪器下实现纳米与微米/大载荷三个尺度下的压痕，划痕与摩擦磨损测试，进而可得到硬度、弹性模量、蠕变信息、弹塑性、断裂韧度、应力-应变曲线、膜基结合力、划痕硬度、摩擦系数、磨损率等微观力学数据。产品特性： - 模块化设计：可在一台仪器集成纳米压痕仪、纳米划痕仪、微米压痕仪、微米划痕仪4款仪器。 - 压痕测试完全符合国际ISO14577与美国ASTM E2546标准，划痕测试完全符合ISO 20502、1518、ASTM D7027、D1624、D7187、C171标准。 - 载荷加载系统：采用闭环载荷加载垂直加载，准确性远远优于传统的开环载荷加载技术及悬臂加载技术，可保证施加载荷的精准性。 - 载荷驱动方式：高精度压电陶瓷驱动，精度远远优于电磁力驱动。 - NANOVEA专利技术（专利号：EP0663068 A1 1995）高精度电容式传感器来能够保证系统够实现高精度的测量可保证压入深度与划入深度实时测量。 - 采用encoder高精度光栅尺样品台，定位精度可达250nm以内。 - 独特的热飘逸控制技术：纳米压痕仪的热飘逸为0.05nm/s，同时通过专业的硬度测试软件，利用热飘逸补偿技术可将热飘逸总量控制在1nm以内；另外，仪器采用立式结构，电子单元在左右两边，热量往上漂不会对电子单元产生影响，从而得到非常小的热漂移。 - 划痕具有全景成像模式 - NANOVEA公司专利金刚石面积函数校准技术（专利号：No. 3076153）只需要压一次就可以对针尖面积函数进行校准实现精确测量！！！主要技术参数： 1）纳米压痕仪： — 静态加载模式最大加载载荷：80mN /400mN/1800mN/4800mN — 动态加载模式DMA:0.1-100Hz— 载荷分辨率：3nN— 可实现的最小载荷：0.1mN— 加载速率：0.04-12000mN/min— 最大压入深度（电容传感器）： 250μm/1mm— 位移分辨率：0.0003nm— 快速压痕功能：做100个mapping点只需5分钟— 热飘逸0.05nm/s(室温条件下)2）纳米划痕仪：— 划痕正向力最大载荷：80mN /400mN/1800mN/4800mN— 载荷分辨率：3nN— 划痕正向力最小载荷：0.1mN— 最大划痕深度：250μm/1mm— 最大划痕长度：50mm— 划痕速度：0.05-600mm/min— 位移分辨率：0.0003nm— 最大深度：250μm/1mm— 深度分辨率：0.0003nm— 最大摩擦力：400mN/1800mN— 摩擦力分辨率：7μN3）微米压痕仪： — 最大加载载荷：40N/200N — 载荷分辨率：2.4μN /12μN — 载荷噪声水平（RMS）：0.1mN/0.5mN — 可实现的最小载荷：2mN/10mN — 加载速率：0.01-500N/min / 0.05-1000N/min — 快速压痕功能：做100个mapping点只需12分钟 — 深度范围（电容式传感器）：1mm — 深度分辨率：0.01nm — 深度分噪声水平（RMS）: 0.5nm4）微米划痕仪： — 划痕正向力最大载荷：40N/200 N — 划痕正向力最小载荷：2mN/10mN — 最大划痕深度：1mm — 深度分辨率：0.01nm — 深度分噪声水平（RMS）: 0.5nm — 最大划痕长度：50mm — 划痕速度：0.1-1200mm/min — 最大摩擦力：20N/200N — 摩擦力分辨率：1.3mN/13mN5）精密定位平台： — XY方向移动范围：100mm*50mm — Z方向允许的最大样品空间：150mm — 工作台XY方向定位分辨率：10nm — 工作台XY方向定位精度：250nm — Z方向可自动移动移动范围：50mm6）光学金相显微镜成像系统： — 物镜的放大倍率分别为：5X，10X，20X，50X，1000X — 总的放大倍率分别为：400X，800X，1600X，4000X，8000X，7）原子力显微镜AFM的技术参数（高分辨率）： — XYZ方向最大扫描范围：100μm *100μm *12μm — XY方向移动分辨率：0.1nm — Z方向的测量分辨率：0.02nm

市场上精确度最高的纳米划痕测试仪NST3 纳米划痕测试仪专门用于表征典型厚度小于 1000 nm 的薄膜和涂层的耐划伤性能和结合力。NST3 可用于分析有机和无机涂层以及软硬涂层。纳米划痕测量头采用独特的设计，包括两个传感器，用于测量与先进的压电致动器相关的压入载荷和压入位移测量。这些独特的功能提供了快速的响应时间（低至毫秒），出色的精确性以及针对各种划痕测量的高度灵活性。 完全同步的全景成像模式，随时随地进行分析该独特功能可自动将完美对焦的整个划痕的全景图像与所有传感器的划痕数据同步。因此，您可以随时根据全景成像观察结果和信号记录执行临界载荷分析。安东帕是同步全景技术（美国专利 8261600 和欧洲专利 EP 2065695）的唯一持有人。 快速反馈较小力NST3 采用双悬臂梁来施加载荷，并配备压电陶瓷驱动器，能够对施加的载荷快速做出响应。这一设计理念还修正了在划痕过程中发生的任何情况（例如出现裂纹和失效、缺陷或样品不平整）而导致的测量结果偏差。 没有折扣：准确施加所需的力闭环主动力反馈系统可提供更精确的纳米划痕测试。NST3 包含一个实际力传感器，可测量直接反馈给法向力驱动器的载荷。这样可确保划痕测试的重复性，即使研究非平面、粗糙或曲面样品等更加复杂的表面时，也是如此。 适用于弹性恢复研究的真实划痕深度测量NST3 纳米划痕测试仪包括一个实际位移传感器，用来监控划痕测试针尖的垂直运动。借助此传感器，您可以利用前扫描和后扫描模式的独特技术获得划痕真实的深度，从而评估材料的弹性、塑性和粘弹性。这种技术需要执行前扫描，记录执行划痕测试前样品的表面特性（形状、波度和粗糙度）。在测量划痕期间（划痕深度）和测量之后（残留深度），NST3 将使用该表面特性修正划痕测试的深度。 划痕后可进行多次后扫描模式评估弹性性能划痕后，您可以在软件中用时间增量定义无限次后扫描测量残余深度。这种全新的分析方法将让您进一步了解表面变形性能与时间的依赖关系。技术规格最大载荷 [mN]1000载荷分辨率 [μN]0.01载荷背底噪声 [rms] [μN]0.1加载速度 [N/min]最多 100 种最大摩擦力 [mN]1000摩擦力分辨率 [μN]1最大位移 [μm]600深度分辨率 [nm]0.1深度背底噪声 [rms] [nm]1.5数据采集频率 [kHz]192划痕速度 [mm/min]0.1 到 600

产品描述Nano Indenter G200系统是一种准确，灵活，使用方便的纳米级机械测试仪器。 G200测量杨氏模量和硬度，包括从纳米到毫米的六个数量级的形变测量。 该系统还可以测量聚合物，凝胶和生物组织的复数模量以及薄金属膜的蠕变响应（应变率灵敏度）。 模块化选项可适用于各种应用：频率特定测试，定量刮擦和磨损测试，集成的基于探头的成像，高温纳米压痕测试，扩展负载容量高达10N和自定义测试。主要功能电磁驱动可实现高动态范围下力和位移测量用于成像划痕，高温纳米压痕测量和动态测试的模块化选项直观的界面，用于快速测试设置 只需几个鼠标点击即可更改测试参数实时实验控制，简便的测试协议开发和精确的热漂移补偿屡获殊荣的高速“快速测试”选项，用于测量硬度和模量多功能成像功能，测量扫描和流程化测试方法，帮助快速得到结果简单快捷地确定压头面积函数和载荷框架刚度主要应用高速硬度和模量测量界面附着力测量断裂韧性测量粘弹性测量扫描探针显微镜（3D成像）耐磨损和耐刮擦高温纳米压痕工业应用大学，研究实验室和研究所半导体和电子工业制造业轮胎行业涂层和涂料工业生物医药行业医疗仪器更多应用：请根据您的要求与我们联系应用高速硬度和模量测量材料的机械特性表征在新材料的研究与开发中具有重要意义。 Nano Indenter G200能够以每秒一个数据点的速率测量硬度和模量。 对机械性能的高速评估使半导体和薄膜材料制造商能够将先进技术应用于生产线上的质量控制与保证。界面粘附力测量通常通过沉积能够存储弹性能量的高压缩层来诱导薄膜分层。 界面粘附力测量对于帮助用户理解薄膜的失效模式是至关重要的。Nano Indenter G200系统可以触发界面断裂并测量多层薄膜的粘附性和残余应力性质。断裂韧性断裂韧性是在平面应变条件下发生灾难性破坏的应力 – 强度因子的临界值。 较低的断裂韧性值表明存在预先存在的缺陷。 通过使用刚度映射法容易地通过纳米压痕评估断裂韧性。 （刚度映射需要连续刚度测量和NanoVision选项）粘弹特性聚合物是非常复杂的材料 它们的机械性能取决于化学，加工和热机械历史。 具体来讲，机械性能取决于材料分子母链的类型和长度，支化，交联，应变，温度和频率，并且这些依赖性通常是相互关联的。 为了采用聚合物进行研究时获得有用的信息进行决策，应在相关背景下对相关样品进行机械性能测量。 纳米压痕测试使得这种特定的测量更容易完成，对样品制备要求不高，可以很小且少量。 Nano Indenter G200系统还可用于通过在与材料接触时振荡压头来测量聚合物的复数模量和粘弹性。扫描探针显微镜（3D成像）Nano Indenter G200系统提供两种扫描探针显微镜方法，用于表征压痕印痕的裂缝长度，以测量设计应用中的断裂韧性。 断裂韧性定义为含有裂缝的缺陷材料抵抗断裂的能力。Nano Indenter G200的压电平台具有高定位精度和NanoVision选项，可提供高达1nm的步长编码器分辨率，最 大扫描尺寸为100μm×100μm。 测试扫描软件选项将X / Y运动系统与NanoSuite软件相结合，可提供500μm×500μm的最 大扫描尺寸。 NanoVision阶段和测试扫描选项都需要精确定位在样品区域来完成纳米压痕测试和断裂韧性计算。耐磨性和耐刮擦性Nano Indenter G200系统可以对各种材料进行划痕和磨损测试。 涂层和薄膜将经受许多工艺，测试这些薄膜的强度及其与基板的粘合性，例如化学和机械抛光（CMP）和引线键合。 重要的是这些材料在这些工艺过程中抵抗塑性形变并保持完整，也不会在基板上起泡。 对于介电材料，通常需要高硬度和弹性模量来支持这些制造工艺。高温机械测试高温下的纳米压痕提供了在达到塑性转变之前、之中与之上的精确测量能力，得到材料的纳米力学响应。 了解材料行为，例如形变机制和相变，可以预测材料失效并改善热机械加工过程中的控制。 在主要机械测试方法过程中改变温度是对材料进行纳米尺度测量塑形转变的一种方式。产品优势Nano Indenter G200系统专为各种材料的表征和开发过程中进行纳米级测量而设计。 该系统是一个完全可升级，可扩展且经过生产验证的平台，全自动硬度测量可应用于质量控制和实验室环境。

纳米划痕测试仪专用于表征厚度小于1000 nm 的薄膜或涂层的附着力以及抗划擦强度或抗擦伤性。NST 可用于分析有机涂层和无机涂层，以及软性涂层和硬质涂层。加载载荷：分辨率：0.15 μN最大力：1000 mN摩擦力：分辨率：0.3 uN最大摩擦力：1000 mN深度：分辨率：0.06 nm最深：2000 μm速度：从 0.1 mm/min 至 600 mm/min

Global Leader in Process Control since 1976KLA-Tencor 是全球半导体在线检测设备市场最大的供应商；KLA-Tencor2018 年 3 月从 Keysight Technologies 公司收购了行业的龙头产品-高精度原位微纳米力学测试系统-Nano Indenter G200 和高精度微纳米拉伸系统-UTM T150；该力学设备的工厂是全球最大的高精度力学测试系统的供应商，1983 年成功制造了世界上第一台商用Nano Indenter。该力学设备的工厂是业内唯一拥有超过 35 年的 Nano Indenter 生产和研究经验的供应商，成熟的工艺保证了新一代 Nano Indenter G200 具有最好的稳定性和可靠性。该力学设备的工厂拥有最广泛的顾客群，在高端力学测试系统领域内拥有最高的的市场占有率。 1． 产品技术水平KLA-Tencor 公司拥有最多的 Nano Indenter 的核心专利技术，包括已成为业界标准的连续刚度测量功能、接触刚度成像功能以及快速纳米压入测试技术等等；KLA-Tencor 公司的连续刚度测量功能已经成为薄膜、涂层、多相材料等样品检测最常用的的测试技术，并已经录入各种力学领域的国际标准和中国国家标准内。KLA-Tencor 拥有世界上最快压痕测试技术的专利，最快可达到 1 压痕点/秒。 2． 售后服务和技术支持KLA-Tencor 公司在中国有超过 600 名员工，在国内配备本土 Nano Indenter 方面的技术专家，在业内拥有最好的口碑。KLA-Tencor 公司在中国拥有自己的纳米科学示范实验室，并有专职的应用专家在实验室工作，负责用户的应用技术支持工作；KLA-Tencor 公司还定期地举办高级用户培训班，由公司的应用科学家为不同学科的用户进行各个领域应用的深层次培训。 特点和优势– 广受赞誉的高速测试选项可以和所有G200 型纳米压痕仪配合使用, 包括DCMII 和 XP 模块以及样品台– 快速进行面积函数和框架刚度校对– 精确和可重复的结果, 完全符合ISO14577 标准– 通过电磁驱动, 可在无与伦比的范围内连续调整加载力和位移– 结构优化, 适合传统测试或全新应用– 模块化选项, 适合划痕测试, 高温测试– 和动态测试– 强大的软件功能, 包括对试验进行实时控制, 简化了的特殊测试方法的开发Nano Indenter G200在微/纳尺度范围内的加载和位移构成精确的力学测试 应用– 半导体器件, 薄膜– 硬质涂层, DLC薄膜– 复合材料, 光纤, 聚合物材料– 金属材料, 陶瓷材料– 无铅焊料– 生物材料, 生物及仿生组织等等先进的设计所有的纳米压痕试验都取决于精确的加载和位移数据，要求对加载到样品上的 载荷有精确的控制。KT最新的第五代 G200 型纳米压痕仪采用电磁驱动的载荷装置，从而保证测量的精确度，独特的设计避免了横向位移的影响。 KT最新的第五代 G200 型纳米压痕仪的杰出设计带来很多的便利性，包括方便的测试到整个样品台，精确的样品定位，方便的确定样品位置和测试区域，简 便的样品高度调整，以及快速的测试报告输出。模块化的控制器设计为今后的 升级带来极大的方便。 此外，最新的第五代 G200 型纳米压痕仪完全符合各种国际标准，保证了数据的完整性。客户可以通过每个力学传感器自主设计试验，在任何时候对其进行切换，同时整个设备占地面积小，适合各种实验室环境。KLA-Tencor技术顾问服务KT拥有一支经验丰富的技术支持和服务工程师团队，可针对客户的 特殊应用与测试需求提供定制化的技术顾问服务。 经过超过 35 年的发展，NanoSuite 已经成为业内公认的界面友好、操作简便、功能齐全的数据采集和处理软件包，NanoSuite 不仅可以自动测试，也可以使用户利用网络远程遥控进行实验控制，NanoSuite 不仅能够做到压入过程中硬度和弹性模量等力学性能的实时计算和显示，同时允许用户根据自 己的研究需求以及提出的新模型随时添加新的软件通道，此外，根据实验参 量的变化快慢能够自动调整数据的采集速率，实现了智能化的数据采集功 能，从而既获得您真正需要的数据，又可避免不必要的垃圾数据。增强的载荷加载系统新一代 Nano Indenter G200 系列纳米压痕仪是具有从纳牛到牛顿最为完整的加载力范围，并且不同的加载装置可自动软件切换，整个测试流程都是全 自动的，极大的提高了测试数据的可靠性和可重复性，避免了可能的人为因 素的影响，确保每个测试都是合理、一致、精确。标准的加载装置Nano Indenter G200 纳米压痕仪标准配置是 XP 加载系统 (最大为500mN)， 位移分辨率 0.01纳米，最大压入深度 500 微米,该装置可应用到所有的测试功能。压头更换轻松完成，非常好的机架刚度极大的减少了系统对测试的影响。高精度加载装置DCM II 是高分辨的纳米纳牛力加载模块，它既可以单独工作，也可以作为一个附件与Nano Indenter G200 协同工作。由于其惯性质量很低，使得纳米压痕中的初始表面的选取更加灵敏、精确， DCM II 在超低载荷下的纳米压痕测试具有极高的精确度和可重复性，由于它自身的空载共振频率远高于一般建筑物的振动频率，这就使得一般的环境振动对它几乎没有影响，DCM II 具有很宽的动态频率范围 (0.1 Hz 到 300 Hz)，所有这些特点使得 DCM II 可以提供同类设备不可比拟的高信噪比和高可靠性的试验数据，例如右图所示的蓝宝石上三个纳米深度的压痕测试，在几个纳米的压痕深度范围内获得了非常可靠的弹性模量。大载荷加载装置Nano Indenter G200的大载荷加载选件，大大强化了 G200 系列纳米压痕仪的应用范围。这个选件可以用于标准的 XP 加载模块，将 G200 型纳米压痕仪的加载能力扩展至 10N，可对陶瓷、金属块材和复合材料进行力学表征。大载荷选件的巧妙设计，使得 G200 既避免了在低载荷的情况下牺牲仪器的载荷和位移精度，同时又保证了用户在需要大加载力的测试时，通过鼠标操作就可以在测试实验中进行无缝加载装置切换。

Hysitron TS 77 Select™ 自动化纳米力学和纳米摩擦学测试系统是一台具有最高的性能、功能和易用性的台式纳米压痕仪。这款新测试系统采用了布鲁克著名的 TriboScope 电容式传感器技术，能可信地测试从纳米到微米尺度上的机械和摩擦特性。TS Select 支持模式包括定量纳米压痕、动态纳米压痕、纳米划痕、纳米磨损和高分辨率机械性能成像等功能。 Ts Select特性：提供核心测试技术， 包括纳米压痕、动态纳米压痕、纳米划痕、纳米磨损和原位 SPM 成像通过电容式传感器技术，使用静电力驱动同时提供高灵敏度和低温漂具有高速纳米压痕功能，可快速对机械性能进行成像，获得具有统计性的结果使用直观且易于使用的控制软件，使操作人员能够进行可靠的测量系统预设了满足ISO 14577 和 ASTM E2546标准的测试脚本具有系统自动校正功能和多样品自动测试功能，更快地获得结果

Bruker微纳压痕划痕测试仪CETR-Apex一、概述布鲁克的摩擦测试设备，居于世界领dao者地位，成为摩擦学和机械性能测试的标杆，能在各种环境条件下执行多重检测，获取纳米级、微米级以及宏观尺度上材料的摩擦和机械性能数据。目前，全球有上千台设备成功安装并投入使用，进行材料基本性能的测试，尤其在薄膜研究以及工业生产的质量监控方面。图1、CETR-Apex微纳压痕划痕测试仪 Bruker微纳压痕划痕测试仪CETR-Apex，是一款多功能微米、纳米机械性能测试平台。性能卓越，操作简易。CETR-APEX压痕和划痕测试仪，配备6种容易互换的机械头，高倍率显微镜和成像模块(AFM和三维光学轮廓仪)。纳米压头用来测量超薄涂层尤其是纳米级涂层以及块体材料的厚度、硬度、杨氏模量等。微米压头用于较厚涂层和块体材料的硬度、杨氏模量等机械性能测量。纳米、微米级摩擦学压头用于薄膜、涂层以及块体材料的摩擦磨损测量、静态/动态摩擦学测量、耐用度、附着力，粘滑性等机械性能测量。图2、CETR-Apex 微米摩擦学头 图3、CETR-Apex 纳米摩擦学头1. CETR-Apex三个测量探头l 左侧：机械性能测试，可以简便更换纳米、微米压头；l 中部：显微镜，多达4个不同放大倍数的物镜，随意切换；l 右侧：扫描成像，AFM和三维光学轮廓仪随意切换。 2. 六种机械压头l 奈米压痕压头用来测量超薄涂层尤其是奈米级涂层以及块体材料的硬度,杨氏模量等（样品表面需较为光滑，以确保数据可靠性) 。l 奈米划痕压头主要用于奈米级超薄涂层的厚度测量(DLC、ALD、太阳能薄膜、ITO薄膜和光学涂层等)。l 微米压痕压头仪器的微米压痕压头用于较厚涂层和块体材料的硬度和杨氏模数等机械性能测量。l 微米划痕压头主要用于较厚涂层的微米级划痕测量(PVD、CVD、油漆、装饰涂料等)。l 毫米划痕压头用于宏观尺度的划痕测量。l 纳米、微米级摩擦学压头用于薄膜、涂层以及块体材料的磨润测量、静态/动态摩擦学测量、耐用度、附着力、粘滑性等机械性能测量。 3. 可供选择的模块与软件l 原位成像模块可供选择的原位成像模块,无需移动样品的情况下，将样品测试的结果自动生成为高分辨图像(压痕、划痕、磨润等)。l 摩擦学测试&机械性能测试分析软件基于windows系统设计的软件包秉承布鲁克测试仪器的一贯标准，快速采集并且灵活处理资料，进行详细可靠的数据分析。图4、在线成像 4. ASTM/DIN/ISO的标准认证Apex适用于 多重认证标准：l ASTM E2546 纳米压痕检测标准l ISO 14577 仪器压痕硬度检测l ASTM C1624 陶瓷涂层的附着力和机械性能实效检测l ASTM G171 材料化划痕硬度检测l ASTM E384 材料微米尺度的压痕硬度检测 二、纳米模块NH随着纳米技术的进步和薄膜工艺的发展（太阳能电池，CVD，PVD，DLC，MEMS等），纳米尺度的机械性能测试趋向标准化。这种方法改进了传统硬度测试的不足，通过设计高深宽比的探针测试更深、更窄的沟槽，还实现了低载荷，高空间分辨率和原位载荷-位移数据的精确测量。纳米压痕--- 参照ISO14577标准，选取 单点/多点压痕来测量薄膜、涂层和块体材料的硬度、杨氏模量、张力、应力（von Mises应力）和接触强度/刚度等。纳米划痕--- 在接触模式下，可根据用户定义不断增加载荷，检测薄膜、涂层和块体材料的划痕硬度和划痕黏附力。动态压痕--- 通过探针动态测量方法，检测随深度变化的损失模量以及存储模量。NH特性l 电磁驱动传感器l 三板电容传感以超高精确度检测样品摩擦学性质变化l 针尖几何形状为Berkovich、球体、立方体角l 对多点压痕进行空间映射，压痕数目不受限制l 在线成像选件（推荐使用原子力显微镜）l 检测效率高，重复性好l 可选的先进的原位传感器l 配备隔热、隔音罩以及防震台l 符合ASTM、DIN和ISO的所有监测标准 三、微米模块MH微米机械性能测试已经被广泛应用于检测涂层和块体材料的各种机械性能。微米机械性能测试仪远胜于传统测试方法，可以提供原位载荷-位移数据、应用例如声学发射检测、ECR、摩擦检测等信号来获得综合机械性能信息。仪器化微米压痕检测--- 参照ISO14577标准，在毫米尺度（应用超过2N的载荷）以及微米尺度（低于2N的载荷）下检测涂层和体块材料的硬度、杨氏模量、张力、应力（von Mises应力）和接触强度/刚度等。传统维氏硬度和努普硬度--- 参照ASTM E384.99 认证标准，测量测量的显微硬度。微米划痕---在接触模式下，可根据用户定义不断增加载荷，检测薄膜、涂层和块体材料的划痕硬度和划痕黏附力。MH特性l 电磁驱动传感器l 三板电容传感以超高精确度检测位移l 针尖几何形状为Berkovich、球体、立方体角l 对微多点压痕进行空间映射，压痕数目不受限制l 在线成像选件（推荐3D轮廓仪）l 检测效率高，重复性好l 可选的先进的原位传感器l 用户自定义数据分析算法或分析模型，精确检测材料机械性能l 符合ASTM、DIN和ISO的所有监测标准设备咨询电话：

产品简介MML公司的纳米力学性能测试系统NanoTest&trade Vantage可以提供新型材料和特种材料开发和优化的大量信息。是世界上最灵活、功能最强大的纳米力学测试系统。它可以为用户提供高精度的纳米压痕测试，同时提供相关的全面综合测试：如纳米划痕和磨损测试、纳米冲击和疲劳测试、以及在高温、液体环境中的测试。这些纳米水平上的测试可以为我们提供材料表面局部的定量信息，数据可靠、测试省时。这些因数使得NanoTest&trade Vantage在世界范围内成为大学、工业实验室和标准机构中很多表征和优化项目的最关键设备。自1988年以来，我们一直走在纳米力学创新的前沿： ► 第一个商用高温纳米压痕平台 ► 第一台商用纳米冲击试验机 ► 第一个商用液体池 ► 第一台用于高真空、高温纳米力学的商用仪器产品优势：► 无与伦比的技术多样性 无纳米压痕，纳米划痕，纳米冲击，纳米微震动磨损，纳米磨损 ► 高精度的多种载荷纳米（至500mN）和微米（至30N） ► 引领市场的环境兼容能力 引高温（至850°C）、低温（至-20°C）、液体和湿度环境 ► 真正测量多 真 样性动态、静态、电气和多种成像模式技术指标1、加载框架 花岗岩复合材料设计专门用于计量应用 2、加载应用 电磁 标准头最大载荷 500 mN 位移传感器 线性电容 负载分辨率 3 nN 位移分辨率 0.002 nm 重复定位精度 0.4 µ m 可测试区域 50 mm x 100 mm 样品处理 手动控制并点击显微镜图像 热漂移 0.005 nm/s 接触力 1 µ N 显微镜– 4个物镜 x5, x10, x20 和 x40 屏幕放大率 x410, x825, x1650, x3300 隔振 负K，机械被动 压头交换时间 1 min 符合标准 完全符合ISO 14577和ASTM 2546 3、划痕模块 最大摩擦力 250 mN 摩擦载荷分辨率 10 µ m 最大划痕距离 10 mm 划痕速度 100 nm/s 至 0.1 mm/s 4、冲击模块 加速距离 高达20 µ m 接触应变率 高达104 s-1 微动磨损模块 轨道长度 ≤20 µ m 频率 ≤20 Hz 最大磨损次数 10 5、SPM纳米定位平台 XY扫描范围 100 µ m x 100 µ m Z扫描范围 20 μm 定位精度 ≤2 nm 闭环线性 99.97% 6、AFM XY扫描范围 110 µ m x 110 µ m Z范围 22 µ m 7、高温选项 温度 850 °C 主动，独立的样品和压头加热 是 压头材料 金刚石，氮化硼，蓝宝石 8、高负载头 最大载荷 30 N 摩擦载荷分辨率 300 μN 应用范围航空航天、汽车工业、半导体、生物医学、MEMS、高分子、薄膜和涂层，以及太阳能/燃料电池等

iMicro纳米压痕仪iMicro纳米压痕仪可轻松测量硬质涂层、薄膜和小尺寸材料等。其准确、灵活，并且用户友好，可以提供压痕、硬度测试、划痕和纳米级万能试验等多种纳米力学测试。作动器易于更换，能够提供大范围的动态载荷和位移，对于从软质聚合物到硬质金属/陶瓷等材料，均可以进行准确而可重复的测试。模块化的功能选项可以适配各种应用：材料力学特性图谱、频率相关特性测试、划痕和磨损测试以及高温测试。iMicro提供一整套的扩展功能选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz3D/4D材料力学性能成像、Gemini 2D作动器用于摩擦学和其它双轴力学测量。 产品描述iMicro 纳米压痕仪标配InForce 1000作动器，用于进行纳米压痕和万能纳米力学试验，并可选配InForce 50作动器用于测试较软的材料。InView 软件包灵活、现代，让用户轻松进行纳米尺度测试。iMicro是一款紧凑型测试平台，其箱体中内置高速InQuest控制器和隔振框架。各种不同的材料和器件均可以进行测试，包括金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物材料和凝胶等。 产品特色InForce 1000作动器采用电容式位移传感和电磁力驱动，且压头易于更换InForce 50作动器选件，提供最大50mN的法向力，可用于测量较软的材料；Gemini 2D作动器选件，可实现两个方向的动态测量独特的压头校准系统，集成在软件中，可实现快速、准确的压头校准InQuest高速控制器电路，数据采集速率可达100kHz，时间常数最快为20µ sXY运动系统以及易于安装的磁性样品台高刚度框架，且集成隔振功能集成显微镜，数字变焦，可实现精确的压痕定位符合ISO 14577等标准的测试方法InView软件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus、InView University在线培训和InView移动应用程序 产品应用硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型）快速材料力学性能成像ISO 14577 硬度测试聚合物损耗因子、储存模量和损耗模量定量的划痕和磨损测试高温纳米压痕测试 适用行业大学、科研实验室和研究所半导体与封装产业PVD/CVD 硬质涂层（DLC、TiN）MEMS：微机电系统/万能纳米力学试验陶瓷与玻璃金属与合金制药涂层 涂料复合材料电池与储能汽车与航空航天主要应用硬度和模量测量（基于 Oliver-Pharr 模型）力学性能表征在薄膜的制造和工艺控制中至关重要，其中包括汽车工业中的涂层质量控制，以及半导体制造中前段和后段的工艺控制。iMicro纳米压痕仪能够测量从超软凝胶到硬质涂层的各种材料的硬度和模量。高效地评估材料性能，保证了在生产线上进行有效的质量管控。快速材料力学性能成像对于包括复合材料在内的许多材料而言，不同区域之间的力学性能可能存在很大差异。iMicro的样品台在X轴和Y轴方向上能够分别移动100mm，且其在Z轴方向上能够移动25mm，因此可以测试尺寸大且高度不同的样品。使用NanoBlitz功能选项进行材料表面和断层力学性能成像，可以快速获得各种被测力学性能的彩色分布图。ISO 14577 硬度测试iMicro 纳米压痕仪内置预先编写的 ISO 14577 测试方法，其依据 ISO 14577 标准测量材料硬度。该测试方法可以自动测量并输出杨氏模量、纳米压痕硬度、维氏硬度和归一化压痕功。聚合物损耗因子、储存模量和损耗模量iMicro 纳米压痕仪能够测量超软材料（包括粘弹性聚合物）的损耗因子、储存模量和损耗模量。储存模量、损耗模量和损耗因子是粘弹性聚合物的重要性能，因为作用到此类材料上的能量以弹性能的形式储存或以热量的形式耗散。上述指标即用于衡量材料中的能量储存和耗散情况。定量的划痕和磨损测试iMicro 可以对多种材料进行划痕和磨损测试。涂层和薄膜要经受多种工艺流程，例如化学机械抛光(CMP)和引线键合，这会考验这些薄膜的强度及其与衬底的附着力。对这些材料来说，重要的是在这些流程中抵抗塑性形变，并保持完好而不从衬底上剥离。理想情况下，电介质材料应具有较高的硬度和弹性模量，这将有助于其在经历制造流程时有效抵抗外界影响。高温纳米压痕测试高温纳米压痕对于表征热应力作用下的材料性能至关重要，在定量研究热机械加工过程中的失效机理时更是如此。在不同温度下进行力学测试，不仅可以研究材料受热时的性能变化，还可以量化研究材料的塑性转变，这在纳米尺度上并非易事。

产品信息Micro Materials 产品纳米力学综合性能测试系统NanoTest Xtreme可以实现真空环境下的纳米力学测试！ 为了更加准确、可靠地预测材料的性质，研究学者们对测试条件模拟真实环境程度的要求越来越高。Micro Materials 公司的NanoTest Vantage 产品可以提供最全面的纳米力学测试功能。现在Micro Materials 公司的最新产品NanoTest Xtreme 可以实现真空环境下-40℃至1000℃这一温度范围内的纳米级力学测试， 并且没有氧化和结霜的影响。自1988年以来，我们一直处于纳米力学创新的前沿： ► 第一个商用高温纳米压痕平台 ► 第一台商用纳米冲击测试仪器 ► 第一个商用液体池 ► 第一台用于高真空、高温纳米力学的商用仪器更适合以下极端环境条件的研究：1、 航空发动机部件的高温 2、 用于高速加工的工具涂层 3、 电站蒸汽管的高温4、核反应堆覆层中的辐射效应 5、低温对油气管道焊缝修复的影响 NanoTest Xtreme 特点：a、500 mN加载头在真空下最高测试温度：1000°Cb、30 N加载头在真空下的最高测试温度：800°C c、真空下的最低测试温度：-40°C d、极限真空度：10-7 mbar e、与真空下所有标准纳米测试技术兼容（纳米压痕、纳米划痕、纳米磨损、纳米冲击、纳米微动） f、可选配第二个加载头，最大负载从500mN增加到30 N g、填充功能可在非空气环境中进行测试 h、高分辨率光学显微镜 i、可选配在整个温度范围内均可使用的SPM 成像/纳米定位平台 NanoTest Xtreme 优点：1、 将高温能力扩展到1000°C，超出NanoTest Vantage提供的850°C 2、 将低温能力提高至-40°C，且无样品结霜 3、超低的热漂移归因于与NanoTestVantage相同的仪器设计原理 4、 完整的纳米力学测试(例如压痕、划痕、磨损、摩擦、冲击) 5、能够填充气体以匹配材料操作环境参数指标1、加载框架 高度抛光的铝，用于快速脱气 加载应用：电磁 标准压头最大负载 500 mN 最大负载，可选高负载头 30 N 位移传感器 ：电容式 负载分辩率 3 nN 位移分辨率 0.002 nm 重新定位精度 0.4 µ m 样品处理 ：手动控制，网格压痕，特定位置选择，多个同时安装的样本 热漂移 0.005 nm/s 符合标准 ：符合ISO 14577和ASTM 2546标准 2、高温平台 最高温度 1000 º C 压头尖端加热 ：是 可测试样本区 16 mm x 16 mm 温度控制 ：反馈和恒定功率 温度精度 0.1 º C 3、低温平台 最低温度 -40 º C 4、SPM纳米定位平台 扫描范围 100 µ m x 100 µ m X Y定位精度 2 nm 5、真空 工作模式 ：真空或气体吹扫 真空度 ：极限10-7 (标准10-6 )mbar 6、选件 纳米划痕，纳米磨损，纳米冲击，动态硬度 应用NanoTest&trade Xtreme可以广泛应用于：航空航天、汽车工业、半导体、生物医学、MEMS、高分子、薄膜和涂层，以及太阳能/燃料电池等。

先进的Performech II控制模块和电子设计1.最高性能的高速闭环控制2.业界超过的噪音控制3.集成的带输入/输出信号的多参数控制4.五百倍于前代产品的力学测试速度 多维度测量耦合1.充分优化各个传感器的特质适用不同测量需要，通过多维传感器的选择实现不同测量间的无缝耦合2.多种有效的测试模块配置，包括纳米/微米压痕、纳米划痕、纳米摩擦磨损、高分辨原位扫描探针显微镜成像、动态纳米压痕和高速力学性能成像等 丰富的系统控制和数据分析软件1.TriboScan(TM) 10提供的控制功能，包括XPM超快纳米压痕，SPM+原位扫描探针显微镜成像，动态表面搜索，全自动系统校准和创新的测试2.Tribo iQ (TM)提供了强大的数据处理、分析和画图功能，并具有可编程数据分析模块和自动生成的定制测试报告功能 极大的灵活性和具有前瞻性的表征潜质1.多级别的防护罩提供了超强环境隔绝能力，并具有用于将来的升级可扩展接口2.万能样品台提供了机械、磁性和真空固定方式，适用于各种样品应用实例

产品简介： CB500是美国NANOVEA公司推出的一款低价格微纳米力学综合测试系统，该系统聚纳米压痕仪、纳米划痕仪、微米压痕仪、微米压痕仪四个功能模块于一身，这款仪器采用模块化设计，可在一款仪器下实现纳米与微米/大载荷三个尺度下的压痕，划痕与摩擦磨损测试，进而可得到硬度、弹性模量、蠕变信息、弹塑性、断裂韧度、应力-应变曲线、膜基结合力、划痕硬度、摩擦系数、磨损率等微观力学数据。产品特性： - 模块化设计：可在一台仪器集成纳米压痕仪、纳米划痕仪、微米压痕仪、微米划痕仪4款仪器。 - 压痕测试完全符合国际ISO14577与美国ASTM E2546标准，划痕测试完全符合ISO 20502、1518、ASTM D7027、D1624、D7187、C171标准。 - 载荷加载系统：采用闭环载荷加载垂直加载，准确性远远优于传统的开环载荷加载技术及悬臂加载技术，可保证施加载荷的精准性。 - 载荷驱动方式：高精度压电陶瓷驱动，精度远远优于电磁力驱动。 - NANOVEA专利技术（专利号：EP0663068 A1 1995）高精度电容式传感器来能够保证系统够实现高精度的测量可保证压入深度与划入深度实时测量。 - 采用encoder高精度光栅尺样品台，定位精度可达250nm以内。 - 独特的热飘逸控制技术：纳米压痕仪的热飘逸为0.05nm/s，同时通过专业的硬度测试软件，利用热飘逸补偿技术可将热飘逸总量控制在1nm以内；另外，仪器采用立式结构，电子单元在左右两边，热量往上漂不会对电子单元产生影响，从而得到非常小的热漂移。 - 划痕具有全景成像模式 - NANOVEA公司专利金刚石面积函数校准技术（专利号：No. 3076153）只需要压一次就可以对针尖面积函数进行校准实现精确测量！！！主要技术参数： 1）纳米压痕仪： — 静态加载模式最大加载载荷：80mN /400mN/1800mN/4800mN — 动态加载模式DMA:0.1-100Hz— 载荷分辨率：3nN— 可实现的最小载荷：0.1mN— 加载速率：0.04-12000mN/min— 最大压入深度（电容传感器）： 250μm/1mm— 位移分辨率：0.0003nm— 快速压痕功能：做100个mapping点只需5分钟— 热飘逸0.05nm/s(室温条件下)2）纳米划痕仪：— 划痕正向力最大载荷：80mN /400mN/1800mN/4800mN— 载荷分辨率：3nN— 划痕正向力最小载荷：0.1mN— 最大划痕深度：250μm/1mm— 最大划痕长度：50mm— 划痕速度：0.05-600mm/min— 位移分辨率：0.0003nm— 最大深度：250μm/1mm— 深度分辨率：0.0003nm— 最大摩擦力：400mN/1800mN— 摩擦力分辨率：7μN3）微米压痕仪： — 最大加载载荷：40N/200N — 载荷分辨率：2.4μN /12μN — 载荷噪声水平（RMS）：0.1mN/0.5mN — 可实现的最小载荷：2mN/10mN — 加载速率：0.01-500N/min / 0.05-1000N/min — 快速压痕功能：做100个mapping点只需12分钟 — 深度范围（电容式传感器）：1mm — 深度分辨率：0.01nm — 深度分噪声水平（RMS）: 0.5nm4）微米划痕仪： — 划痕正向力最大载荷：40N/200 N — 划痕正向力最小载荷：2mN/10mN — 最大划痕深度：1mm — 深度分辨率：0.01nm — 深度分噪声水平（RMS）: 0.5nm — 最大划痕长度：50mm — 划痕速度：0.1-1200mm/min — 最大摩擦力：20N/200N — 摩擦力分辨率：1.3mN/13mN5）精密定位平台： — XY方向移动范围：100mm*50mm — Z方向允许的最大样品空间：150mm — 工作台XY方向定位分辨率：10nm — 工作台XY方向定位精度：250nm — Z方向可自动移动移动范围：50mm6）光学金相显微镜成像系统： — 物镜的放大倍率分别为：5X，10X，20X，50X，1000X — 总的放大倍率分别为：400X，800X，1600X，4000X，8000X，7）原子力显微镜AFM的技术参数（高分辨率）： — XYZ方向最大扫描范围：100μm *100μm *12μm — XY方向移动分辨率：0.1nm — Z方向的测量分辨率：0.02nm

Nano IndenterG200Nano Indenter G200系统专为各种材料的表征和开发过程中进行纳米级测量而设计。 该系统是一个完全可升级，可扩展且经过生产验证的平台，全自动硬度测量可应用于质量控制和实验室环境。 产品描述Nano Indenter G200系统是一种准确，灵活，使用方便的纳米级机械测试仪器。 G200测量杨氏模量和硬度，包括从纳米到毫米的六个数量级的形变测量。 该系统还可以测量聚合物，凝胶和生物组织的复数模量以及薄金属膜的蠕变响应（应变率灵敏度）。 模块化选项可适用于各种应用：频率特定测试，定量刮擦和磨损测试，集成的基于探头的成像，高温纳米压痕测试，扩展负载容量高达10N和自定义测试。主要功能 电磁驱动可实现高动态范围下力和位移测量 用于成像划痕，高温纳米压痕测量和动态测试的模块化选项 直观的界面，用于快速测试设置 只需几个鼠标点击即可更改测试参数 实时实验控制，简便的测试协议开发和精确的热漂移补偿 屡获殊荣的高速“快速测试”选项，用于测量硬度和模量 多功能成像功能，测量扫描和流程化测试方法，帮助快速得到结果 简单快捷地确定压头面积函数和载荷框架刚度主要应用 高速硬度和模量测量 界面附着力测量 断裂韧性测量 粘弹性测量 扫描探针显微镜（3D成像） 耐磨损和耐刮擦 高温纳米压痕工业应用 大学，研究实验室和研究所 半导体和电子工业制造业 轮胎行业 涂层和涂料工业 生物医药行业 医疗仪器 更多应用：请根据您的要求与我们联系

iNano纳米压痕仪可轻松测量薄膜、涂层和少量材料。 该仪器准确、灵活，并且用户友好，可以提供压痕、硬度、划痕和通用纳米级测试等多种纳米级机械测试。 该仪器的力荷载和位移测量动态范围很大，因而可以实现从软聚合物到金属材料的精确和可重复测试。 模块化选项适用于各种应用：材料性质分布、特定频率测试、刮擦和磨损以及高温测试。 iNano提供了一整套测试扩展选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz3D/4D属性映射和远程视频选项。

灵活且用户友好的纳米压痕仪，适用于测量模量、硬度（Oliver-Pharr模型，ISO 14577）、储存模量/损耗模量以及万能力学试验。能够施加高达1N的力，为硬质材料测试提供更高载荷和更大深度。可供选配的不同作动器，用于软质材料、摩擦学研究、横向力测量和其它需要双轴测量力和位移的场景。产品描述iMicro纳米压痕仪可轻松测量硬质涂层、薄膜和小尺寸材料等。其准确、灵活，并且用户友好，可以提供压痕、硬度、划痕和通用纳米级测试等多种纳米力学测试。作动器易于更换，能够提供大范围的动态载荷和位移，对于从软质聚合物到硬质金属/陶瓷等材料，均可以进行准确而可重复的测试。模块化的功能选项可以适配各种应用：材料力学特性图谱、特定频率测试、划痕和磨损测试以及高温测试。iMicro提供一整套的扩展功能选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz3D/4D材料力学性能成像，以及Gemini 2D作动器用于摩擦学和其它双轴力学测量。iMicro 纳米压痕仪标配InForce 1000作动器，用于进行纳米压痕和通用纳米力学测试，并可选配InForce 50作动器用于测试较软的材料。InView 软件包灵活、现代，让用户轻松进行纳米尺度测试。iMicro是一款紧凑型测试平台，其箱体中内置高速InQuest控制器和隔振框架。可以测试金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物材料和凝胶等各种不同的材料和器件。主要功能● InForce 1000驱动器，采用电容式位移传感和电磁力驱动，且压头易于更换● InForce 50作动器选件，提供最大50mN的法向力，可用于测量较软的材料；Gemini 2D作动器选件，可实现两个方向的动态测量。独特的压头校准系统，集成在软件中，可实现快速、准确的压头校准● InQuest高速控制器电路，数据采集速率可达100kHz，时间常数最快为20µ s● XY运动系统以及易于安装的磁性样品台● 高刚度龙门架，且集成隔振功能● 集成显微镜，数字变焦，可实现精确的压痕定位● 符合ISO 14577等标准的测试方法● InView软件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus、InView University在线培训和InView移动应用程序主要应用● 硬度和模量测量（基于Oliver Pharr模型）● 快速材料力学性能成像● ISO 14577硬度测试● 聚合物损耗因子，储存模量和损耗模量● 定量划痕和磨损测试● 高温纳米压痕测试硬度和模量测量（基于 Oliver-Pharr 模型）力学性能表征在薄膜的制造和工艺控制中至关重要，其中包括汽车工业中的涂层质量控制，以及半导体制造中前段和后段的工艺控制。iMicro纳米压痕仪能够测量从超软凝胶到硬质涂层的各种材料的硬度和模量。高效地评估材料性能，保证了在生产线上进行有效的质量管控。快速材料力学性能成像对于包括复合材料在内的许多材料而言，不同区域之间的力学性能可能存在很大差异。iMicro的样品台在X轴和Y轴方向上能够分别移动100mm，且其在Z轴方向上能够移动25mm，因此可以测试尺寸大且高度不同的样品。使用NanoBlitz功能选项进行材料表面和断层力学性能成像，可以快速获得各种被测力学性能的彩色分布图。ISO 14577 硬度测试iMicro 纳米压痕仪内置预先编写的 ISO 14577 测试方法，其依据 ISO 14577 标准测量材料硬度。该测试方法可以自动测量并输出杨氏模量、纳米压痕硬度、维氏硬度和归一化压痕功。聚合物损耗因子、储存模量和损耗模量iMicro 纳米压痕仪能够测量超软材料（包括粘弹性聚合物）的损耗因子、储存模量和损耗模量。储存模量、损耗模量和损耗因子是粘弹性聚合物的重要性能，因为作用到此类材料上的能量以弹性能的形式储存或以热量的形式耗散。上述指标即用于衡量材料中的能量储存和耗散情况。定量的划痕和磨损测试iMicro 可以对多种材料进行划痕和磨损测试。涂层和薄膜要经受多种工艺流程，例如化学机械抛光（CMP）和引线键合，这会考验这些薄膜的强度及其与衬底的附着力。对这些材料来说，重要的是在这些流程中抵抗塑性形变，并保持完好而不从衬底上剥离。理想情况下，电介质材料应具有较高的硬度和弹性模量，这将有助于其在经历制造流程时有效抵抗外界影响。高温纳米压痕测试高温纳米压痕对于表征热应力作用下的材料性能至关重要，在定量研究热机械加工过程中的失效机理时更是如此。在不同温度下进行力学测试，不仅可以研究材料受热时的性能变化，还可以量化研究材料的塑性转变，这在纳米尺度上并非易事。适用行业● 大学、实验室和研究所● 半导体与封装行业● PVD / CVD硬涂层（DLC，TiN）● MEMS（微机电系统）/纳米级通用测试● 陶瓷与玻璃● 金属与合金● 制药● 涂层涂料● 复合材料● 电池与储能● 汽车与航空航天● 更多应用，请联系我们以满足您的求选配件连续刚度测量（CSM）连续刚度测量用于量化测定动态材料特性，例如应变速率效应和频率相关特性。CSM技术在压痕过程中控制压头振荡，以测量样品性能随深度、荷载、时间或频率的变化。该选项默认进行恒应变速率测试，测量硬度和模量随深度或载荷的变化，这是学术界和工业界最常用的测试方法。CSM 还可用于其它高级测试选项，包括 ProbeDMA&trade 选项以测量存储模量和损耗模量，以及AccuFilm&trade 选项以获得不受衬底影响的薄膜性能。CSM 功能集成在 InQuest 控制器和 InView 软件中，使用极为简便，且确保数据质量。InForce 50作动器InForce 50作动器可以施加最高50mN的力以进行纳米力学测试。KLA专利的电磁力加载技术，确保测量的可靠性以及加载力与位移的长期稳定性。行业领先的机械设计，确保作动器简谐运动仅有单一方向自由度，从而使加载力和位移仅发生在该方向。InForce 50作动器与CSM、NanoBlitz、ProbeDMA、生物材料、样品加热、划痕、磨损和 ISO 14577等测试选项兼容。InForce和Gemini全系列作动器均使用统一规格的压头。Gemini双轴作动器Gemini双轴技术，保证增加的横向轴与常规压痕具有相同的性能，且CSM能够在两个方向同时工作。基于这项专利技术获得更多测试结果，有助于形成对材料特性和失效机制新的认知。横向力和摩擦学测量可以通过双轴作动器实现，其可以用于测量泊松比、摩擦系数、划痕、磨损、剪切特性和形貌特征。300°C 样品加热300°C 样品加热选项使用准密闭腔室装载样品，均匀加热的同时进行力学测试，InForce 1000或InForce 50作动器均可使用。该选项包括高精度温度控制系统、惰性气体保护系统以减少氧化、冷却系统以移除余热。ProbeDMA、AccuFilm、NanoBlitz和CSM功能均与样品加热选项兼容。NanoBlitz 3DNanoBlitz 3D可以采用InForce 50/InForce1000作动器和玻式压头，获得杨氏模量较高（3GPa）的材料的纳米力学特性3D图。NanoBlitz 3D每个压痕时间小于1s，单次测试可包含多达100,000个压痕点（300×300阵列），获得每个压痕点在特定载荷下的杨氏模量（E）、硬度（H）和接触刚度（S）。大量的测试数据能够提高统计的准确性。统计直方图可以呈现样品中的多个物相或材料组分。NanoBlitz 3D方法包还包含可视化软件和数据处理功能。NanoBlitz 4D NanoBlitz 4D可以采用InForce 50/InForce1000作动器和玻式压头，获得较低杨氏模量/硬度以及较高杨氏模量 (3GPa)的材料的纳米力学特性4D图。NanoBlitz 4D每个压痕仅需5-10秒，单次测试可包含多达10,000个压痕点（100×100阵列），获得每个压痕点的杨氏模量（E）、硬度（H）和接触刚度（S）等随深度的变化。NanoBlitz 4D 采用恒应变率方法。其软件包还包含可视化软件和数据处理功能。AccuFilm&trade 薄膜方法包AccuFilm&trade 薄膜方法包提供基于Hay-Crawford模型的InView测试方法，其采用连续刚度测量（CSM）获得不受衬底影响的薄膜材料性能。AccuFilm&trade 能够修正薄膜力学性能测量中衬底的影响，其应用既包括“硬膜软基底”，也包括“软膜硬基底”的情况。ProbeDMA&trade 聚合物方法包聚合物方法包可以测量聚合物的复模量随频率的变化。该方法包中包括平压头、粘弹性标样和评估材料粘弹性的测试方法。该技术可以有效表征纳米尺度聚合物和聚合物薄膜，填补传统的动态力学分析(DMA)测试仪在此领域的空白。Biomaterials生物材料方法包生物材料方法包基于连续刚度测量（CSM）技术，可以测量剪切模量低至1kPa的生物材料的复模量。该方法包中包括一个平压头和评估材料粘弹性的测试方法。该技术可以有效表征小尺寸生物材料，填补传统的流变仪在此领域的空白。划痕和磨损测试方法包划痕测试中，在压头上施加恒定或线性变大的载荷，并使其以设定速度在样品表面划过。划痕测试可以表征多样的材料体系，例如薄膜、脆性陶瓷和聚合物等。DataBurst对于配有InView软件和InQuest控制器的系统，DataBurst选项容许以大于1kHz的速率记录位移数据，用于测量阶跃载荷响应、位移突进（pop-in）和其它瞬时事件。配备了“用户方法开发”选项的iMicro系统，也可以修改方法以启用DataBurst。InView的“用户方法开发”选项InView提供一个功能极为强大且直观的实验脚本编辑平台，可用于设计新颖或复杂的实验。KLA独家提供该选项，使用配备该选项的iMicro，经验丰富的用户几乎可以设计和运行任何小尺度力学测试。主动减震系统以及一体式机柜可选高性能主动减震系统，凭借其内置防震装置，为 iMicro 纳米压痕仪提供额外减震。该系统易于安装，可在所有六个自由度上减少震动，且无需调试。一体式模组托架将所有模组集成在一处，方便使用。True Test I-V测试iMicro 纳米压痕仪的True Test I-V选项通过InView软件控制，包含精密的电流/电压源表、经过压头的导电通路以及导电压头。该设计确保用户能够对样品施加特定电压、测量通过压头的电流，并同时操作InForce 50/InForce 1000作动器进行力学测试。线性光学编码器（LOE）iMicro的线性光学编码器选项集成在X和Y移动台中，可以提高测试过程的定位精度和速度。压头和校准样品InForce 50、InForce 1000和Gemini作动器使用统一规格的压头。有多种尖锐的压头可供选择，例如玻式（Berkovich）、立方角（cube corner）和维氏（Vickers）压头，还可提供平压头、球形压头和其它几何形状的压头。整个产品系列均提供标准样品和校准标准。相关产品

NanoFlip纳米压痕仪可在真空和气氛条件下，准确、精密地进行硬度、模量、屈服强度、刚度和其它纳米力学性能的测试。无论在扫描电子显微镜（SEM）或是聚焦离子束（FIB）系统中，NanoFlip均可出色完成微柱压缩等测试，并将SEM图像与力学测试数据同步。NanoFlip是一款紧凑、灵活的原位纳米力学测试仪，其测试速度快，这对于在惰性条件下（例如手套箱中）测试非均质材料至关重要。基于InForce 50电磁力作动器等多种可用功能选项，可获取定量结果，为材料研究提供有价值的解决方案。产品描述NanoFlip纳米压痕仪可在真空和气氛条件下对硬度、模量、屈服强度、刚度和其他纳米力学测试进行高精确度的测量。在扫描电子显微镜（SEM）和聚焦离子束（FIB）系统中，NanoFlip在测试（例如柱压缩）方面表现优异，可以将SEM图像与机械测试数据同步。NanoFlip测量迅速，这对于惰性环境（例如手套箱）中测试异质材料很关键。系统所配置的可选套件，例如InForce50电磁驱动器，可以提供定量结果，从而为材料研究提供有价值的解决方案。NanoFlip配备高精度的XYZ移动马达，以定位样品进行测试，并配备翻转机构，以定位样品进行观察成像。InView软件标配一套包括多种测试协议的测试方法，且支持用户创建自己独特的测试方法。InForce 50作动器在真空和气氛条件下表现同样出色。InView 软件可以记录SEM或其它显微镜图像，并与力学测试数据同步。FIB-to-Test技术容许将样品倾斜90°，实现从FIB到压痕测试的无缝转换，而无需重新安装样品。主要功能● InForce 50作动器采用电容式位移传感和电磁力驱动，且压头易于更换● InQuest高速数字控制器，具有100kHz数据采集速率和20μs时间常数● XYZ运动系统，用于样本定位的● SEM视频捕获，可以将SEM图像和测试数据进行同步● 独特的压头校准系统，集成在软件中，可实现快速，准确的压头校准● InView控制和数据处理软件，与Windows10兼容，可选测试方法开发工具，实现用户自定义实验主要应用● 硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型）● 连续刚度测量● 高速材料力学性能分布图● ISO 14577硬度测试● 纳米动态力学分析（DMA）● 定量划痕和磨损测试硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型）NanoFlip纳米压痕仪可测量从超软凝胶到硬质涂层的各类材料的硬度和模量。对这些性能进行高通量的评估，可以为产线提供可靠的质量管理。连续刚度测量（CSM）连续刚度测量用于量化测定动态材料特性，例如应变速率效应和频率相关特性。NanoFlip纳米压痕仪提供从0.1Hz到1kHz的动态激励，可实时监测数据，以准确确定初始表面接触并连续测量接触刚度随深度或频率的变化。快速材料力学性能成像对于复合材料而言，不同区域之间的力学性能可能存在很大差异。NanoFlip样品台在X和Y方向上行程可达21mm，Z方向马达行程可达25mm，可以实现不同区域、不同高度样品的测试。使用NanoBlitz功能选项进行材料表面和断层力学性能成像，可以快速获得各种被测力学性能的彩色分布图。ISO 14577硬度测试NanoFlip纳米压痕仪标配包含ISO 14577测试方法，可以依照ISO 14577标准测量材料硬度。该测试方法可自动测量和报告杨氏模量、仪器化压入硬度、维氏硬度和归一化的压痕功。纳米动态力学分析（DMA）聚合物是极为复杂的材料。为了获取对聚合物设计有用的信息，应在相应的条件下对相应的样品进行力学性能测试。纳米压痕测试所需样品尺寸小、制备要求简单，更易于实现这种特异性的测量。NanoFlip纳米压痕仪还可在压头与材料接触时振荡压头，实现聚合物复模量和粘弹性的测量。定量划痕和磨损测试NanoFlip可以对多种材料进行划痕和磨损测试。涂层和薄膜要经受多种工艺流程，例如化学机械抛光（CMP）和引线键合，这会考验这些薄膜的强度及其与衬底的附着力。对这些材料来说，重要的是在这些流程中抵抗塑性形变，并保持完好而不从衬底上剥离。适用行业● 大学、实验室和研究所● 支柱和微球制造● MEMS（微机电系统）● 材料制造（结构压缩/拉伸/断裂测试）● 电池和组件制造● 更多应用，请与我们联系以满足您的要求选配件连续刚度测量（CSM）CSM技术在压痕过程中控制压头振荡，以测量样品性能随深度、荷载、时间或频率的变化。该选项默认进行恒应变速率测试，测量硬度和模量随深度或载荷的变化，这是学术界和工业界最常用的测试方法。CSM 还可用于其它高级测试选项，包括 ProbeDMA&trade 选项以测量存储模量和损耗模量，以及AccuFilm&trade 选项以获得不受衬底影响的薄膜性能。CSM功能集成在InQuest控制器和InView软件中，使用极为简便，且确保数据质量。Gemini 2D多轴作动器Gemini 2D多轴设计，保证增加的横向轴与常规压痕具有相同的性能，且CSM能够在两个方向同时工作。基于这项专利技术获得更多测试结果，有助于形成对材料特性和失效机制新的认知。二维作动器是横向力和摩擦学测量的独特解决方案，其可以用于测量泊松比、摩擦系数、划痕、磨损、剪切特性和形貌特征。NanoBlitz 3DNanoBlitz 3D可以采用InForce 50作动器和玻式压头，获得杨氏模量较高 (3GPa)的材料的纳米力学特性3D图。NanoBlitz 3D每个压痕时间小于1s，单次测试可包含多达100,000个压痕点（300×300阵列），获得每个压痕点在特定载荷下的杨氏模量、硬度和接触刚度。大量的测试数据能够提高统计的准确性，统计直方图还可以呈现样品中的多个物相或材料组分。NanoBlitz 3D还包含可视化软件和数据处理功能。NanoBlitz 4DNanoBlitz 4D可以采用InForce 50作动器和玻式压头，获得较低杨氏模量/硬度以及较高杨氏模量（3GPa）的材料的纳米力学特性4D图。NanoBlitz 4D每个压痕仅需5-10秒，单次测试可包含多达10,000个压痕点（100×100阵列），获得每个压痕点的杨氏模量、硬度和接触刚度等随深度的变化。NanoBlitz 4D采用恒应变速率方法，并包含可视化软件和数据处理功能。AccuFilm&trade 薄膜方法包AccuFilm&trade 薄膜方法包提供基于Hay-Crawford模型的InView测试方法，其采用连续刚度测量（CSM）获得不受衬底影响的薄膜材料性能。AccuFilm&trade 能够修正薄膜力学性能测量中衬底的影响，其应用既包括“硬膜软基底”，也包括“软膜硬基底”的情况。ProbeDMA&trade 聚合物方法包聚合物方法包可以测量聚合物的复模量随频率的变化。该方法包中包括平压头、粘弹性标样和评估材料粘弹性的测试方法。该技术可以有效表征纳米尺度聚合物和聚合物薄膜，填补传统的动态力学分析(DMA)测试仪在此领域的空白。划痕和磨损测试方法包InForce 50作动器无需特殊配置即支持划痕和磨损测试。划痕测试中，在压头上施加恒定或线性变大的载荷，并使其以设定速度在样品表面划过。划痕测试可以表征多样的材料体系，例如薄膜、脆性陶瓷和聚合物等。DataBurst对于配有InView软件和InQuest控制器的系统，DataBurst选项容许以大于1kHz的速率记录位移数据，用于测量阶跃载荷响应、位移突进（pop-in）和其它瞬时事件。配备了“用户方法开发”选项的NanoFlip系统，也可以修改方法以启用DataBurst。InView的“用户方法开发”选项InView提供一个功能极为强大且直观的实验脚本编辑平台，可用于设计新颖或复杂的实验。使用NanoFlip，经验丰富的用户几乎可以设计和运行任何小尺度力学测试。KLA独家提供此功能。True Test I-V测试NanoFlip纳米压痕仪的I-V选项通过InView软件控制，包含精密的电流/电压源表、经过压头和InForce 50/1000作动器的导电通路以及导电压头。该设计确保用户能够对样品施加特定电压、测量通过压头的电流，并同时操作InForce作动器进行力学测试。压头和标准样品有多种尖锐的压头可供选择，例如玻式（Berkovich）、立方角（cube corner）和维氏（Vickers）压头，还可提供平压头、球形压头和其它几何形状的压头。整个产品系列均提供标准样品和校准标准。相关产品

iNano纳米压痕仪使测量薄膜、涂层和小体积材料变得更简单。准确、灵活、用户友好的仪器可以进行多样的纳米材料力学测试，包括压痕、硬度、划痕和通用的纳米尺度测试。大的力和位移动态测量范围允许对从软聚合物到金属材料进行精确和可重复的测试。 模块选项可以适配各种应用：材料性能分布图、特定频率测试、划痕和磨损测试以及高温测试。iNano纳米压痕仪拥有一整套可扩展的测试选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz 3D/4D性能分布图和远程视频选项。产品描述iNano纳米压痕仪使测量薄膜、涂层和小体积材料变得更简单。准确、灵活、用户友好的仪器可以进行多样的纳米材料力学测试，包括压痕、硬度、划痕和通用的纳米尺度测试。大的力和位移动态测量范围允许对从软聚合物到金属材料进行精确和可重复的测试。 模块选项可以适配各种应用：材料性能分布图、特定频率测试、划痕和磨损测试以及高温测试。iNano纳米压痕仪拥有一整套可扩展的测试选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz 3D/4D性能分布图和远程视频选项。iNano采用InForce 50作动器进行纳米压痕和通用纳米机械测试。InForce 50的50mN力荷载和50μm位移范围使得该系统适合各种测试。InView软件是一个灵活的现代软件包，可以轻松进行纳米级测试。iNano是内置高速InQuest控制器和隔振门架的紧凑平台。该系统可以测试金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物材料和凝胶等各种不同的材料和器件。主要功能● InForce 50作动器，用于电容位移测量和电磁力驱动，具有可互换的压头● 独特的软件集成压头校准系统，可实现快速准确的压头校准● InQuest高速电子控制器，具有100kHz数据采集速率和20μs时间常数● XY移动系统带有易于安装的磁性样品架● 具有数字变焦功能的集成显微镜，可获得精确的压痕定位● ISO 14577和标准化测试方法● InView软件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus报告、InView University在线培训和InView移动应用程序主要应用● 硬度和模量测量（Oliver Pharr）● 材料力学性能分布图● ISO 14577硬度测试● 聚合物损耗因子，储存模量和损耗模量● 高温纳米压痕测试硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型）在薄膜的工艺控制和制造过程中，表征其力学性能至关重要，其中包括汽车行业的涂层质量，以及半导体制造中的前道和后道工艺控制等。iNano 纳米压痕仪可以测量各种材料的硬度和模量，从超软胶到硬涂层。高效地评估材料性能，保证了在生产线上进行有效的质量管控。快速材料力学性能成像对于包括复合材料在内的许多材料而言，不同区域之间的力学性能可能存在很大差异。iNano提供了X和Y轴100毫米和Z轴25毫米的样品台移动，允许在大样品面积上测试各种样品高度。使用NanoBlitz功能选项进行材料表面和断层力学性能成像，可以快速获得各种被测力学性能的彩色分布图。ISO 14577 硬度测试iNano纳米压痕仪包括一个预先编写的ISO 14577测试方法，用于测量符合ISO 14577标准的材料硬度。 该测试方法可以自动测量并输出杨氏模量、纳米压痕硬度、维氏硬度和归一化压痕功。聚合物损耗因子iNano纳米压痕仪能够测量 超软材料（包括粘弹性聚合物）的损耗因子。 储存模量、损耗模量和损耗因子是粘弹性聚合物的重要性能，因为作用到此类材料上的能量以弹性能的形式储存或以热量的形式耗散。上述指标即用于衡量材料中的能量储存和耗散情况。高温纳米压痕测试高温纳米压痕对于表征热应力作用下的材料性能至关重要，在定量研究热机械加工过程中的失效机理时更是如此。在不同温度下进行力学测试，不仅可以研究材料受热时的性能变化，还可以量化研究材料的塑性转变，这在纳米尺度上并非易事。适用行业● 大学、研究实验室和研究所● 半导体和封装行业● 聚合物和塑料● MEMS（微机电系统）/纳米级通用测试● 陶瓷和玻璃● 金属和合金● 制药● 涂料和油漆● 聚合物制造● 复合材料● 电池和储能● 更多应用，请联系我们以满足您的要求适用行业举例半导体晶圆半导体制造商通常致力于生产高质量的薄膜，而薄膜柔韧性较差将导致开裂和剥离。基底和外延层中未检测到的缺陷，也可能导致长期隐患和裂纹延展，造成器件失效。KLA纳米压痕仪能够测量超薄膜的弹性模量和硬度，及断裂韧性和开裂阈值，且不受基底的影响。将纳米力学性能与工艺参数建立关联，对于最大化半导体器件产能至关重要。半导体封装电子元件的性能和寿命可能取决于其封装的完整性。KLA纳米压痕仪让半导体封装厂商可以评估聚合物底部填充物的力学性能、焊料应变速率敏感因子和金属部件的强度。聚合物与塑料聚合物与塑料由于其时效变形特性，而被用于许多应用之中。无论聚合物是用作减振器、挤出材料还是医疗植入物，通常都通过动态力学分析（DMA）对其进行分析。在许多情况下，塑料部件的几何形状不适合采用传统的DMA仪器进行测试。无论样品的几何形状如何，KLA纳米压痕仪都能够局部定位塑料部件上的目标区域，并测量与频率相关的储能模量、损耗模量和损耗因子。iNano也可用于测量粘弹性蠕变和应力松弛特性。陶瓷与玻璃陶瓷和玻璃因其独特的光学、力学和电学特性，而成为许多应用中使用的重要材料。陶瓷与玻璃的传统力学测试（例如，四点弯曲测试）可能既耗时又昂贵。iNano可以快速表征少量材料的弹性模量和硬度。纳米压痕仪的划痕测试功能也非常适合定量评估光学涂层的耐划擦性。金属与合金金属与合金在许多行业中发挥着重要作用，例如汽车、航空航天、医疗和半导体。金属与合金的传统力学测试（例如，拉伸测试）可能既耗时又昂贵。iNano可以对少量材料进行快速表征。它还让用户可以表征弹性模量、硬度和抗蠕变性，以及这些特性随空间位置变化的梯度。电池与储能电池材料的力学性能与电池的稳定性、充电容量和续航时间密切相关。iNano 纳米压痕仪非常适合测试各种电池材料，从软质锂金属到硬质陶瓷基片。iNano提供面向多种环境的先进测量解决方案，其中包括干燥室和手套箱。制药、食品和个人护理药品、食品和个人护理产品的力学性能与客户满意度和体验密切相关。材料的弹性模量或刚度可能与质地和触感有关。药物糖衣的力学性能对于准时释放药性也至关重要。iNano 纳米压痕仪提供定量信息，补充定性客户反馈。纳米级通用测试iNano纳米压痕仪系统能够测量纳米级力学形变和其它纳米力学特性。iNano的多种测试能力包括纳米压痕、压缩、拉伸、蠕变、应力松弛和疲劳的测量。此外还支持标准和自定义试验方法。KLA纳米压痕仪团队的专职科学家还可提供咨询和实验设计。选配件连续刚度测量（CSM）连续刚度测量用于量化测定动态材料特性，例如应变速率效应和频率相关特性。CSM技术在压痕过程中控制压头振荡，以测量样品性能随深度、荷载、时间或频率的变化。该选项默认进行恒应变速率测试，测量硬度和模量随深度或载荷的变化，这是学术界和工业界最常用的测试方法。CSM 还可用于其它高级测试选项，包括 ProbeDMA&trade 选项以测量存储模量和损耗模量，以及AccuFilm&trade 选项以获得不受衬底影响的薄膜性能。CSM 功能集成在 InQuest 控制器和 InView 软件中，使用极为简便，且确保数据质量。300°C样品加热300°C样品加热选项允许将样品放入加热室中进行均匀加热的同时使用InForce 50作动器进行测试。 该选项包括高精度温度控制系统、惰性气体保护系统以减少氧化、冷却系统以移除余热。ProbeDMA、AccuFilm、NanoBlitz和CSM功能均与样品加热选项兼容。NanoBlitz 3DNanoBlitz 3D利用InForce 50作动器和Berkovich压头来生成高模量 ( 3GPa)材料的纳米机械特性的3D图。 NanoBlitz 3D每个压痕时间小于1s，单次测试可包含多达100,000个压痕点（300×300阵列），获得每个压痕点在特定载荷下的杨氏模量（E）、硬度（H）和接触刚度（S）。大量的测试数据能够提高统计的准确性。统计直方图可以呈现样品中的多个物相或材料组分。NanoBlitz 3D方法包还包含可视化软件和数据处理功能。NanoBlitz 4DNanoBlitz 4D公司利用InForce 50作动器和Berkovich压头来生成低模量/硬度和高模量 (3GPa)材料的纳米机械性能的4D图。 NanoBlitz 4D每个压痕仅需5-10秒，单次测试可包含多达10,000个压痕点（100×100阵列），获得每个压痕点的杨氏模量（E）、硬度（H）和接触刚度（S）等随深度的变化。NanoBlitz 4D 采用恒应变率方法。其软件包还包含可视化软件和数据处理功能。AccuFilm&trade 薄膜方法包AccuFilm&trade 薄膜方法包提供基于Hay-Crawford模型的InView测试方法，其采用连续刚度测量(CSM)获得不受衬底影响的薄膜材料性能。AccuFilm&trade 能够修正薄膜力学性能测量中衬底的影响，其应用既包括“硬膜软基底”，也包括“软膜硬基底”的情况。ProbeDMA&trade 聚合物方法包聚合物方法包可以测量聚合物的复模量随频率的变化。该方法包中包括平压头、粘弹性标样和评估材料粘弹性的测试方法。该技术可以有效表征纳米尺度聚合物和聚合物薄膜，填补传统的动态力学分析(DMA)测试仪在此领域的空白。Biomaterials生物材料方法包生物材料方法包基于连续刚度测量（CSM）技术，可以测量剪切模量低至1kPa的生物材料的复模量。该方法包中包括一个平压头和评估材料粘弹性的测试方法。该技术可以有效表征小尺寸生物材料，填补传统的流变仪在此领域的空白。划痕和磨损测试方法包划痕测试中，在压头上施加恒定或线性变大的载荷，并使其以设定速度在样品表面划过。划痕测试可以表征多样的材料体系，例如薄膜、脆性陶瓷和聚合物等。DataBurst对于配有InView软件和InQuest控制器的系统，DataBurst选项容许以大于1kHz的速率记录位移数据，用于测量阶跃载荷响应、位移突进（pop-in）和其它瞬时事件。配备了“用户方法开发”选项的iMicro系统，也可以修改方法以启用DataBurst。InView的“用户方法开发”选项InView提供一个功能极为强大且直观的实验脚本编辑平台，可用于设计新颖或复杂的实验。经验丰富的用户使用配备独有InView选项的iNano系统几乎可以设置和执行所有微力学测试。主动减震系统以及一体式机柜可选的高性能主动隔振系统在其内置隔振的基础上，为iNano纳米压痕仪提供了额外的隔振。 该系统易于安装，可在所有六个自由度上减少震动，且无需调试。一体式模组托架将所有模组集成在一处，方便使用。True TestI-V电气测量iNano微力学系统的True Test I-V选项采用InView软件控制，使用了精密电流表和电压源、一个可以通过压头的导通电路和导电压头。 该设计帮助用户对样品施加特定电压，测量压头处的电流，且同时操作InForce 50。压痕仪压头和校准样品InForce 50和Gemini作动器采用可互换的压头。 有多种尖锐的压头可供选择，例如玻式（Berkovich）、立方角（cube corner）和维氏（Vickers）压头，还可提供平压头、球形压头和其它几何形状的压头。整个产品系列也提供标准参考材料和校准标准。远程视频选项除了现有的显微镜物镜之外，远程视频选项还在iNano腔室内提供了两个视角。 第一个安装的支架专门关注测试过程中的压痕仪压头，此设置非常适合于柔性和软材料。 第二个支架安装在机架上，用于在测试设置期间观察样品和显微镜物镜。 标准显微镜物镜和USB摄像头之间的视图切换由软件控制。相关产品

NanoFlip纳米压痕仪NanoFlip纳米压痕仪可在真空和气氛条件下，准确、精密地进行硬度、模量、屈服强度、刚度和其它纳米力学性能的测试。无论在扫描电子显微镜(SEM)或是聚焦离子束(FIB)系统中，NanoFlip均可出色完成微柱压缩等测试，并将SEM图像与力学测试数据同步。NanoFlip是一款紧凑、灵活的原位纳米力学测试仪，其测试速度快，这对于在惰性条件下（例如手套箱中）测试非均质材料至关重要。基于InForce 50电磁力作动器等多种可用功能选项，可获取定量结果，为材料研究提供有价值的解决方案。产品描述NanoFlip配备高精度的XYZ移动马达，以定位样品进行测试，并配备翻转机构，以定位样品进行观察成像。InView软件标配一套包括多种测试协议的测试方法，且支持用户创建自己独特的测试方法。InForce 50作动器在真空和气氛条件下表现同样出色。InView 软件可以记录SEM或其它显微镜图像，并与力学测试数据同步。革 命性的FIB-to-Test技术容许将样品倾斜90°，实现从FIB到压痕测试的无缝转换，而无需重新安装样品。 产品特色InForce 50作动器采用电容式位移传感和电磁力驱动，且压头易于更换InQuest高速控制器电路，数据采集速率可达100kHz，时间常数最快为20µ sXYZ运动系统实现样品定位SEM视频采集实现SEM图像和力学测试数据同步独特的压头校准系统，集成在软件中，可实现快速、准确的压头校准InView设备控制和数据处理软件，与Windows10兼容，可选测试方法开发工具，实现用户自定义实验 产品应用硬度和模量测试（基于Oliver-Pharr模型）连续刚度测量快速材料力学性能成像ISO 14577硬度测试纳米动态力学分析(DMA)定量划痕和磨损测试 适用行业大学、科研实验室和研究所微柱和微球制造MEMS：微机电系统材料制造（压缩/拉伸/断裂测试）电池和组件制造主要应用硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型）NanoFlip纳米压痕仪可测量从超软凝胶到硬质涂层的各类材料的硬度和模量。对这些性能进行高通量的评估，可以为产线提供可靠的质量管理。连续刚度测量(CSM)连续刚度测量用于量化测定动态材料特性，例如应变速率效应和频率相关特性。NanoFlip纳米压痕仪提供从0.1Hz到1kHz的动态激励，可实时监测数据，以准确确定初始表面接触并连续测量接触刚度随深度或频率的变化。快速材料力学性能成像对于复合材料而言，不同区域之间的力学性能可能存在很大差异。NanoFlip样品台在X和Y方向上行程可达21mm，Z方向马达行程可达25mm，可以实现不同区域、不同高度样品的测试。使用NanoBlitz功能选项进行材料表面和断层力学性能成像，可以快速获得各种被测力学性能的彩色分布图。ISO 14577硬度测试NanoFlip纳米压痕仪包括一个预编程的ISO 14577测试方法，可根据ISO 14577标准测量材料的硬度。该测试方法可自动测量和报告杨氏模量、纳米压痕硬度、维氏硬度和归一化的压痕功。纳米动态力学分析(DMA)聚合物是极为复杂的材料。为了获取对聚合物设计有用的信息，应在相应的条件下对相应的样品进行力学性能测试。纳米压痕测试所需样品尺寸小、制备要求简单，更易于实现这种特异性的测量。NanoFlip纳米压痕仪还可在压头与材料接触时振荡压头，实现聚合物复模量和粘弹性的测量。定量划痕和摩擦磨损测试NanoFlip可以对多种材料进行划痕和磨损测试。涂层和薄膜要经受多种工艺流程，例如化学机械抛光(CMP)和引线键合，这会考验这些薄膜的强度及其与衬底的附着力。对这些材料来说，重要的是在这些流程中抵抗塑性形变，并保持完好而不从衬底上剥离。

这是一款先进的纳米压痕仪，用户可以在操作界面上灵活、方便地进行纳米级力学测试。Nano Indenter G200X采用高速控制器电子设备、升级后的用户界面和先进的InView&trade 软件能实现各种可选的高级应用模块功能：特定频率测试、定量划痕和磨损测试、基于探针的集成成像、高温测试和自定义测试协议。能够快速准确的提供各种定量的力学测试结果。能够轻松表征广泛的材料力学性能，从硬质涂层到超软聚合物样品，并针对不同应用提供综合全面的纳米力学测试升级选件和解决方案。产品描述Nano Indenter G200X可提供纳米级的力学测试功能，简单易用，能够精确进行各种力学定量分析。G200X系统能够轻松表征广泛的材料力学性能，从硬质涂层到超软聚合物样品，并针对不同应用提供综合全面的纳米力学测试升级选件和解决方案。G200X系统中配置了高精度纳米马达样品台、我们最大的样品安装系统和高分辨率光学显微镜。InView软件、InQuest控制器和InForce驱动器让KLA全线压痕产品系列具有一致的卓越性能。 G200X系统可选功能包括连续刚度测量(CSM)、扫描探针显微成像、划痕测试、动态力学分析频率扫描，IV电压电流特性测试、超高速压痕测试和冲击测试等等。主要功能● 电磁驱动作动器可轻松实现载荷和位移的宽动态范围的控制● 高分辨率光学显微镜与精密XYZ 移动系统结合能实现高精度观察与定位测试样本。● 便捷的样本安装台与多样本定位设置功能实现高通量测试。● 高度模块化设计使设备远不止能进行压痕测试，设备还提供扫描探针成像功能、划痕及磨损测试功能、高温纳米力学测试功能、连续刚度测试(CSM) 和高速3D及4D力学图谱等模块化升级选件。● 直观的用户操作界面便于快速地进行测试设置；仅需点击几下鼠标即可完成复杂测试的参数设置。● 实时高效的实验控制，简单易用的测试流程开发和测试参数设置。● 全新的InView软件，提供用于分析数据的Review软件和生成各种综合性测试报告的 InFocus软件。● 备受赞誉的材料表面力学图谱功能和高速测试功能，极大地提高了定量数据的可靠性。● InQuest高速数字控制器，数据采集速率最高可达100kHz，时间响应常数最快为20μs。主要应用● 快速硬度和模量测量 (基于Oliver-Pharr 模型)● 快速材料表面力学特性分布测量● ISO 14577 标准化硬度测试● 薄膜及涂层测试● 界面附着力测量● 断裂韧性测量● 粘弹性测量，包括储能模量和损耗模量及损耗因子● 扫描探针显微成像（3D 成像）● 定量划痕和摩擦磨损测试● 高温纳米压痕测试● IV电学测试硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型）材料的力学性能表征在薄膜的工艺控制和制造过程中表征力学性能发挥着至关重要的作用，其中包括汽车行业的涂层质量，以及半导体制造中的前道和后道工艺控制等。G200X纳米压痕仪能够测量从超软凝胶到硬质涂层的各种材料的硬度和模量。对这些特性进行快速评估可以为生产线提供可靠的品质控制及保障。快速压痕力学性能成像对于包括复合材料在内的许多材料而言，不同区域之间的力学性能可能会有很大差异。G200X系统在X和Y轴方向上各提供100毫米的样品台移动范围，在Z轴方向上提供25毫米的移动范围，在大面积样本区域下轻松表征不同厚度、宽度、长度的样本。可选的NanoBlitz表面形貌和断层扫描软件能快速生成任何测量力学性能的彩色图。ISO 14577硬度测试Nano Indenter G200X包括一个预编程的ISO 14577测试方法，可根据ISO 14577标准测量材料的硬度。该测试方法可自动测量和报告杨氏模量、纳米压痕硬度、维氏硬度和归一化的压痕功。界面附着力测量薄膜剥离通常是由沉积可以储存弹性能量的高压缩层引起的。界面附着力测量对于帮助用户了解薄膜失效模式而言至关重要。Nano Indenter G200X系统可以通过膜层界面的断裂及黏附特性和残余应力等性能的测试，实现对多层界面的性能评估。断裂韧性断裂韧性指在平面应变条件下应力强度因子发生突然性失效的临界值。低断裂韧性值意味着样品预先存在缺陷。使用刚度成像法可轻松通过纳米压痕仪获得断裂韧性。（刚度成像测量需要连续刚度测量和NanoVision选件。）粘弹性能聚合物是结构异常复杂的材料，其力学性能易受化学特性、加工工艺和热力学过程的影响。具体而言，力学性能由母链的类型和长度、支化、交联、应变、温度和频率等因素决定，而他们通常是相互关联的。应在相关环境中对聚合物样本进行力学测试，为聚合物设计参数决策提供有用的数据信息。纳米压痕测试所需样本尺寸小，制作简单，更容易进行这种特定环境的测量。Nano Indenter G200X系统在压头与材料充分接触的同时可激发压头的高频振动来测量聚合物样品的复模量和粘弹性。扫描探针显微成像（3D成像）Nano Indenter G200X系统有两种扫描探针显微成像方式，可用于表征压痕的裂纹长度，和测量设计应用中的断裂韧性。断裂韧性指含有裂缝的缺陷材料防止断裂扩展的能力。Nano Indenter G200X的压电样品台具有高定位精度的NanoVision选件，可提供高达1nm步进的编码器分辨率，最大扫描尺寸为100µ m x 100µ m。Survey Scanning软件选件将X/Y运动系统与InView软件相结合，可提供500µ m x 500µ m的最大扫描尺寸。NanoVision样品台和Survey Scanning选件均需要对样品的精确区域进行纳米压痕测试和断裂韧性计算。定量划痕和摩擦磨损测试涂层和薄膜要经受多种工艺流程，例如化学机械抛光(CMP)和引线键合，这会考验这些薄膜的强度及其与衬底的附着力。对这些材料来说，重要的是在这些流程中抵抗塑性形变，并保持完好而不从衬底上剥离。理想情况下，电介质材料应具有较高的硬度和弹性模量，这将有助于其在经历制造流程时有效抵抗外界影响。高温纳米压痕测试高温纳米压痕对于表征热应力作用下的材料性能至关重要，在定量研究热机械加工过程中的失效机理时更是如此。在不同温度下进行力学测试，不仅可以研究材料受热时的性能变化，还可以量化研究材料的塑性转变，这在纳米尺度上并非易事。适用行业● 高校、实验室和研究所● 半导体芯片行业● PVD/CVD 硬质涂层（DLC、TiN)● MEMS：微机电系统/纳米级通用测试● 陶瓷与玻璃● 金属与合金● 制药● 膜层材料与油漆● 复合材料● 电池与储能● 汽车与航空航天● 更多应用：请联系我们探讨您的需求应用举例硬质涂层通常，厚度5µ m的硬质涂层用于表面保护、提高耐磨性、摩擦/润滑、提高耐温性和生物相容性。Nano Indenter G200X系统可以精确地执行ISO标准化的纳米压痕测试，并在不受衬底影响的情况下测量涂层的弹性模量和硬度。Nano Indenter G200X还可测量划痕硬度和耐磨性。在涂层表面粗糙度较大的情况下，NanoBlitz 3D选件可对材料特性进行快速的定量评估。半导体晶圆半导体制造商往往致力于生产具有高度机械完整性的薄膜。我们的纳米压痕仪可以测量几乎最薄薄膜的弹性模量和硬度，而不会出现来自底层衬底的影响。探明实际材料变化与工艺参数之间的相关性，对于半导体应用至关重要。半导体封装电子元件的性能和寿命可能取决于其封装的完整性。我们的纳米压痕仪能让半导体封装厂商评估聚合物底部填充物的力学属性、焊料应变率灵敏度和金属部件的强度。陶瓷与玻璃陶瓷和玻璃因其独特的光学、力学和电学特性，而成为许多应用中使用的重要材料。陶瓷与玻璃的传统力学测试（例如，四点弯曲测试）可能既耗时又昂贵。G200X工具可以快速表征小尺寸材料的弹性模量和硬度。划痕测试功能也非常适合定量评估光学涂层的抗划伤性。聚合物与塑料聚合物与塑料由于其随时间产生形变的特性，而被用于许多应用之中。无论聚合物是用作减振器、挤压材料还是医疗植入物，通常都通过动态力学分析(DMA)对其进行分析。在许多情况下，塑料部件的几何图形不适合采用传统的DMA仪器进行测试。无论样品的几何图形如何，KLA纳米压痕仪都能够局部定位塑料部件上的目标区域，并检测与频率相关的储存模量、损耗模量和损耗因子。Nano Indenter G200X也可用于测量粘弹性蠕变和应力弛豫特性。金属与合金金属与合金在许多行业中发挥着重要作用，例如汽车、航空航天、医疗和半导体。金属与合金的传统力学测试（例如，拉伸测试）可能既耗时又昂贵。G200X可以对小尺寸材料进行快速表征。它还能让用户表征弹性模量、硬度和抗蠕变性，以及这些特性随空间位置变化的梯度。电池与储能电池材料的力学属性与电池的稳定性、充电容量和续航时间密切相关。Nano Indenter G200X系统非常适合测试各种电池材料，从软质锂金属到硬质陶瓷基片。Nano Indenter G200X提供面向多种环境的先进测量解决方案，其中包括干燥室和手套箱。研发KLA Instruments纳米压痕仪，不仅能满足要求严苛的研发应用所需的精度和准确度，还是应用灵活的科学仪器。无论是测量新型材料的力学性能、检测金属的形变机制，还是分析随温度变化的应变速率敏感因子，Nano Indenter G200X拥有应用多样的纳米压痕测量能力，以实现先进的研究和加速开发进程。制药、食品和个人护理药品、食品和个人护理产品的力学性能与客户满意度和体验密切相关。材料的弹性模量或刚度可能与质地和触感有关。药物糖衣的力学性能对于准时释放药性也至关重要。G200X系统可提供定量信息，以对定性客户反馈进行补充。汽车与航空航天KLA Instruments的纳米压痕仪可以根据温度对材料进行高级表征，这对于汽车和航空航天应用而言是一项关键功能。强度、刚度和随时间变化的力学性能都可使用Nano Indenter G200X 纳米压痕技术进行测量。纳米级通用测试G200X系统能够测量纳米级力学形变和其它纳米力学特性。对纳米压痕、压缩、张力、蠕变、应力松弛和疲劳的测量展现了该系统功能多样的特点。此外还支持标准和自定义试验方法。KLA纳米压痕仪团队的专职科学家还可提供咨询和实验设计。选配件InForce 1000作动器InForce 1000作动器采用高达1000mN的压痕载荷进行纳米压痕测试。获得专利的电磁力驱动技术可确保测量的可靠性和载荷与位移的长期稳定性。行业领先的机械设计可确保单一方向自由度的简谐运动，从而沿单轴方向控制加载力和位移。整个InForce系列作动器的压头均可互换。InForce 1000作动器与CSM、NanoBlitz、样品加热、划痕、磨损和ISO 14577等测试选件兼容。InForce 50作动器InForce 50作动器采用高达50mN的压痕载荷执行纳米压痕测试。获得专利的电磁力驱动技术可确保测量的可靠性和载荷与位移的长期稳定性。行业领先的机械设计可确保一个自由度的简谐运动，从而沿单轴方向控制载荷和位移。整个InForce系列作动器的压头均可互换。InForce 50座动器与CSM、NanoBlitz、ProbeDMA&trade 、生物材料、样品加热、划痕、磨损和 ISO 14577等测试选项兼容。连续刚度测量（CSM）连续刚度测量用于量化动态材料特性，例如应变速率和频率引起的影响。CSM技术可在压痕过程中振荡压头测量随深度、荷载、时间或频率而变化的力学特性。该选项附带一个恒定应变速率实验，该实验测量硬度和模量作为深度或载荷的函数，这是学术界和工业界最常用的测试方法。CSM 还可用于其它高级测量选项，包括用于储存模量和损耗模量测量的 ProbeDMA&trade 方法和与基底无关的薄膜的杨氏模量测量方法 AccuFilm&trade 。CSM集成于InQuest控制器和InView软件中，易于使用，且能保证数据质量。NanoBlitz 3DNanoBlitz 3D利用InForce 50或InForce 1000驱动器和Berkovich压头绘制高模量（ 3GPa）材料的纳米力学性能3D分布图。NanoBlitz 以每个压痕 1 秒的速度最多可执行 100,000 个压痕（300x300 阵列），并在指定载荷下对阵列中的每个压痕测量杨氏模量 (E)、硬度 (H) 和刚度 (S) 值。大量的测试数据能够提高统计的准确性。直方图显示多相材料的性能分布。NanoBlitz 3D方法包具有可视化和数据处理能力。300°C 样品加热300°C 样品加热选项允许将样品放入腔室均匀加热，同时使用 InForce 1000 或 InForce 50 作动器进行测试。该选项包括高精度温度控制、惰性气体保护以减少氧化，以及冷却循环以去除多余的热量。ProbeDMA，AccuFilm，NanoBlitz和CSM均可与样品加热选件兼容。NanoBlitz 4DNanoBlitz 4D 利用 InForce 50 或 InForce 1000作 动器和 Berkovich 压头为低 E/H 值和高-E (3GPa) 材料生成纳米力学特性 4D 图。NanoBlitz 4D以每个压痕 5-10 秒的速度最多可执行 10,000 个压痕（100×100 阵列）测试，并提供杨氏模量 (E)、硬度 (H) 和刚度 (S)，作为阵列中每个压痕深度的函数。NanoBlitz 4D 采用恒应变速率方法。该功能包具备可视化和数据处理功能。AccuFilm 薄膜方法组合AccuFilm 薄膜方法组合是一种基于 Hay-Crawford 模型的 InView 测试方法，采用连续刚度测量 (CSM) 对与基片无关的材料特性进行测量。AccuFilm对软基底上硬质薄膜测量进行基底材质影响的校正，也对硬基底上的软性薄膜进行同类的校正。ProbeDMA 聚合物方法组合聚合物方法组合提供了对聚合物随频率变化的复模量进行测量的能力。该方法组合中包括平压头、粘弹性参考材料和用于评估粘弹性的测试方法。传统动态力学分析(DMA)测试仪器无法很好地表征的纳米级聚合物和聚合物薄膜，而这种技术对其进行表征又十分关键。生物材料方法包生物材料方法包基于连续刚度测量（CSM）技术，可以测量剪切模量低至1kPa的生物材料的复模量。该方法包中包括一个平压头和评估材料粘弹性的测试方法。该技术可以有效表征小尺寸生物材料，填补传统的流变仪在此领域的空白。NanoVisionNanoVision选件配备了用于高分辨3D成像方法和能精确定位的闭环纳米定位样品台。NanoVision让用户能够以纳米级精度对压痕测试位置进行定位，从而实现对复杂材料的各个相进行独立表征。NanoVision用户还可以通过检查残余压痕形貌，获取到凸起高度、变形体积和断裂韧性等材料特性的量化分析。Survey ScanningSurvey Scanning选件利用Nano Indenter G200X系统的精确、可重复的X/Y运动来提供500μm x 500μm的最大扫描尺寸。10nm线性编码器的成像效果比G200更好。NanoVision样品台和Survey Scanning选件可配合使用，为纳米压痕测试精确定位，这对于确定样品断裂韧性尤其有用。InView软件版本所有Nano Indenter G200X系统均采用了标准的InView软件，可以让用户可以访问预编程测试方法，其中包括符合ISO 14577标准的方法。InView方法开发选件能让研究人员使用简单的协议编写自己的InView测试方法。InView软件包中内置InView ReviewData和InFocus应用程序，可用于轻松查看数据和创建演示文稿。InView拥有模拟模式，用户可以离线编写测试方法、处理和分析数据。相关产品

Hysitron TS 77 Select 纳米压痕仪可靠的定量表征 TS 77 Selec产自动台式纳米力学和纳米摩擦测试系统提供了同级别仪器中高的测试性能，功能性和易用性。基千布鲁克zhu 名的Triboscop铲电容式传感器技术，这套新的测试系统支持从纳米到微米尺度的可靠的力学和摩擦学表征。 TS Select具有极高的性价比，提供众多性能优异的测试模块，包括定量纳米压痕、 动态纳米压痕、 纳米划痕、 纳米磨损和高分辨力学性能成像功能。 • HysitronTS SelectTesting Modes 纳米压痕高精度力学表征 纳米压痕是表征局部微结构、界面＼表面微结构和薄 膜的弹性模噩、硬度 ＼ 蠕变、应力松弛和断裂韧性的常见技术 。采用布鲁克独创的 Hysit ron T「iboScope 电容式传感器技术，丁 S Select 支持纳米到微米尺度定星可靠的力学 性能测量。 力学性能成像快速数据采集和高速成像 TS Select 提供比传统纳米压痕测试快180倍的高速测试能力。在写秒两次的纳米压痕测试速度下， 可以在几分钟内得到非均相材料的高分辨率力学性能图像 。此外， 高 速测试可以快速采集和统计分析大量测试数据， 从而提高则罩结果的可信度。 原位SPM成像实现卓越的纳米力学 布鲁克原位扫描探针显微技术( SPM ) 利用纳米力学测试的压头扫描样品表面从而实现表面形貌成像。同—尺度下的力学测试和形貌扫描保证了纳米力学表征结果的卓越性 和可靠性。原位 SPM 成像可以实现纳米尺度的精确定位， 确保力学测试在材料上指定的位置进行。 磨损测试定量纳米尺度耐磨性能 利用TS Select 的SPM 原位扫描成像技术 ， 可以精确测噩磨损量和磨损率随接触力＼滑动速度和磨损次数的变化。得 益千宽泛的空间测噩范围， TS Select可以轻松实现局部微观结构、界面和薄膜的摩擦性能测试。 TS Select 控制软件简化的系统操作和数据分析 布鲁克 丁S Select 的 控制和分析软件包专门针对测试过程进行了精简优化。优化内容涵盖了样品加载、测试设置、测试执行和数据分析。TS Select 控制软件集成了自动化样品测试和仪器校准程序， 来实现简单、高效和无误的表征。 Hysitron TS Select Options 动态纳米压痕 纳米划痕 动态纳米压痕通过在准静态力上登加—个小的振荡力来实现材料表面硬度和模量随深度变化的连续测星。 基于—个针对动态测试优化的电容传感器和一个集成的锁相放大器， 动态纳米压痕非常适用千表征力学性能与测试深度、 频率和时间的关系。 纳米划痕利用— 个静电驱动的二维传感器来精确控制法向力， 同时测星探针移动所需的横向力。 由于其横向位移不依赖千电动样品台， 纳米划痕提供了市场上最灵敏和最可靠的纳米尺度摩擦和薄膜粘附力的测噩手段。 OnlyTS 77 Select• 提供核心测试技术的基本工具包：包括纳米压痕、 动态纳米压痕、 纳米划痕、 纳米磨损和原位SPM成像• 通过静电驱动的电容式位移传感器实现高灵敏度和低热漂移• 具有快速力学性能成像和大数据统计分析的快速压痕功能• 通过直观易用的软件设计，使入门级操作人员都能够进行可靠的测呈• 通过预先编入基于ISO 14577和ASTM E2546标准的测试函数，使测试设备简单易用• 自动化的系统校准和多样品程序化测试可以大大缩减测试周期

iNano纳米压痕仪iNano纳米压痕仪使测量薄膜、涂层和小体积材料变得更简单。准确、灵活、用户友好的仪器可以进行多样的纳米材料力学测试，包括压痕、硬度、划痕和通用的纳米尺度测试。大范围的力和位移动态测量范围允许对从软聚合物到金属的材料进行精确和可重复的测试。 模块选项可以适配各种应用：材料性能分布图、特定频率的测试、划痕和磨损测试以及高温测试。iNano纳米压痕仪拥有一整套可扩展的测试选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz 3D/4D性能分布图和远程视频选项。产品描述iNano纳米压痕仪采用了用于执行纳米压痕和通用纳米机械测试的InForce 50作动器。InForce 50的50 mN力和50µ m位移范围允许该系统执行广泛的测试。InView 软件包灵活、现代，让用户轻松进行纳米尺度测试。iNano是一个紧凑的平台，内置有高速InQuest控制器和隔振机架。可以测试各种材料和装置，包括金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物物质和凝胶。 功能InForce 50作动器用于电容位移测量和电磁力驱动，具有可互换的压头独特的软件集成压头校准系统，精确的压头校准Inquest高速电子控制器，具有100kHz数据采集速率和20µ s时间常数XY移动系统带有易于安装的磁性样品架具有数字变焦功能的集成显微镜，可获得精确的压痕定位ISO 14577和标准化测试方法包含RunTest、ReviewData、InFocus报告、 InView University 在线培训和InView移动应用程序的InView软件包 应用硬度和模量测量(Oliver-Pharr)材料力学性能分布图ISO 14577硬度测试聚合物损耗因子高温纳米压痕测试 行业大学、研究实验室和研究所半导体和封装行业聚合物和塑料MEMS：微机电系统/纳米尺度通用测试陶瓷和玻璃金属和合金药品涂料和油漆聚合物制造复合材料电池和储能主要应用硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型）在薄膜的工艺控制和制造过程中，表征其力学性能至关重要，其中包括汽车行业的涂层质量，以及半导体制造中的前道和后道工艺控制等。iNano 纳米压痕仪可以测量各种材料的硬度和模量，从超软胶到硬涂层。高效地评估材料性能，保证了在生产线上进行有效的质量管控。快速压痕力学性能成像对于包括复合材料在内的许多材料而言，不同区域之间的力学性能可能存在很大差异。iNano提供了X和Y轴100毫米和Z轴25毫米的样品台移动，允许在大样品面积上测试各种样品高度。使用NanoBlitz功能选项进行材料表面和断层力学性能成像，可以快速获得各种被测力学性能的彩色分布图。ISO 14577硬度测试iNano纳米压痕仪包括一个预编程的ISO 14577测试方法，可根据ISO 14577标准测量材料的硬度。该测试方法可自动测量和报告杨氏模量、纳米压痕硬度、维氏硬度和归一化的压痕功。聚合物损耗因子iNano纳米压痕仪能够测量 超软材料（包括粘弹性聚合物）的损耗因子。 储存模量、损耗模量和损耗因子是粘弹性聚合物的重要性能，因为作用到此类材料上的能量以弹性能的形式储存或以热量的形式耗散。上述指标即用于衡量材料中的能量储存和耗散情况。高温纳米压痕测试高温纳米压痕对于表征热应力作用下的材料性能至关重要，在定量研究热机械加工过程中的失效机理时更是如此。在不同温度下进行力学测试，不仅可以研究材料受热时的性能变化，还可以量化研究材料的塑性转变，这在纳米尺度上并非易事。

产品详情Nano Indenter G200X可提供纳米级的力学测试功能，简单易用，能够精确进行各种力学定量分析。G200X系统中配置了高精度纳米马达样品台、最 大的样品安装系统和高分辨率光学显微镜。InView软件、InQuest控制器和InForce驱动器让KLA全线压痕产品系列具有一致的卓 越性能。 G200X系统可选功能包括连续刚度测量(CSM)、扫描探针显微成像、划痕测试、动态力学分析频率扫描，、IV电压电流特性测试、超高速压痕测试和冲击测试等等。主要功能电磁驱动器可轻松实现载荷和位移的宽动态范围的控制高分辨率光学显微镜与精密XYZ 移动系统结合，实现高精度观察与定位测试样本。便捷的样本安装台与多样本定位设置功能实现高通量测试。高度模块化设计，设备提供扫描探针成像功能、划痕及磨损测试功能、高温纳米力学测试功能、连续刚度测试(CSM) 和高速3D及4D力学图谱等模块化升级选件。直观的用户操作界面便于快速的进行测试设置；仅需点击几下鼠标即可完成复杂测试的参数设置。实时高效的实验控制，简单易用的测试流程开发和测试参数设置。全新的InView软件，提供用于分析数据的Review软件和生成各种综合性测试报告的 InFocus软件。独 家发明并获得美国R&D奖的材料表面力学图谱功能和高速测试功能，极大的提高了定量数据的可靠性。InQuest高速数字控制器，数据采集速率最 高可达100kHz，时间响应常数最快为20µ s。主要应用高速硬度和模量测量 (基于Oliver-Pharr 模型)高速材料表面力学特性分布测量ISO 14577 标准化硬度测试薄膜及涂层测试界面附着力测量断裂韧性测量粘弹性测量,储能模量和损耗模量及损耗因子扫描探针显微成像（3D 成像）定量划痕和磨损测试高温纳米压痕测试IV电学测试行业分布高校、科研实验室和研究所半导体芯片行业PVD/CVD 硬质涂层（DLC、TiN)MEMS：微机电系统/纳米级通用测试陶瓷与玻璃金属与合金制药膜层材料与油漆复合材料电池与储能汽车与航空航天应用硬度与模量测试 (Oliver-Pharr模型)在薄膜的工艺控制和制造过程中，表征其力学性能至为重要，其中包括汽车行业的涂层质量，以及半导体制造中的前道和后道工艺控制等。G200X纳米压痕仪可在宽泛材料上测量硬度和模量，对从超软凝胶类样品到硬质涂层等各种材料提供解决方案。更快，更好和更具成本效益的解决方案为生产线提供可靠的品质控制及保障。高速材料力学性能图谱功能对于包括复合材料在内的许多材料而言，不同区域之间的力学性能可能会有很大差异。 G200X系统能够在X轴和Y轴方向上各提供 100 毫米的样品台移动，并在Z轴方向上提供25毫米的移动，在大面积样本区域下轻松表征不同厚度，宽度，长度的样本。可升级选件NanoBlitz 力学形貌图谱和断层谱图 软件能够快速输出力学性能的彩色分布图。ISO 14577 硬度测试Nano Indenter G200X 包括预先内置的ISO 14577测试方法，可根据ISO 14577 标准测量材料硬度。该测试方法可以自动测量并输出杨氏模量、仪表硬度、维氏硬度和归一化压痕功。界面附着力测试膜层材料的界面粘附性的测量对于帮助用户了解薄膜的失效模式至关重要。内应力的存在常常会导致镀层样品的薄膜分层现象，Nano Indenter G200X系统可以通过膜层界面的断裂及黏附特性和残余应力等性能的测试，实现对多层界面的性能评估。断裂韧性测试断裂韧性反映了结构阻止宏观裂纹失稳扩展能力，是结构抵抗裂纹脆性扩展的参数。低断裂韧性值意味着样品存在的缺陷。G200X特有的刚度成像功能可以轻松地对材料的断裂韧性进行评估。（刚度分布测量需要连续刚度测量和NanoVision选件）粘弹材性测试聚合物是结构异常复杂的材料，力学性能易受其化学特性、加工工艺和热力学历史的影响。力学性能取决于母链的类型和长度、支化、交联、应变、温度和频率等，而这些因素通常是相互关联的。G200X可在特定测试环境中对相关聚合物样本进行力学测试，为聚合物高分子材料设计参数决策提供了有价值的数据信息。/p纳米压痕测试所需样本尺寸小，样本制备要求简单，可高效简化这种特定环境的测量。Nano Indenter G200X 系统还可以通过与材料充分接触的同时激发高频振动来测量聚合物样品的复合模量和粘弹性。扫描探针显微成像 (3D 成像)Nano Indenter G200X 系统提供两种扫描探针显微成像方式，用户可利用三维成像来表征断裂韧性研究中产生的裂纹长度等。 Nano Indenter G200X 与NanoVision选件结合，可提供高达1nm步进的横向分辨率的高精度PZT样品台，实现高精度定位，100µ m x 100µ m的最 大横向扫描范围。Nano Indenter G200X测试平台标准的高精度X/Y 纳米马达台与Inview 软件及扫描测量选件结合，可提供500µ m x 500µ m的最 大横向扫描范围。定量划痕和磨损测试G200X 系统可以对多种材料进行划痕和磨损测试。在涂层和薄膜经过化学机械抛光 (CMP) 和引线键合等的多种工艺处理的时候，其强度及其对基材的附着力会备受考验。在加工工艺中，材料是否能抵抗塑性变形并保持完整而不从衬底上起泡非常重要。理想情况下，介电材料具有高硬度和高弹性模量，因为这些参数有助于了解材料在制造工艺中的性能变化。产品优势NanoIndenter G200X纳米级力学测试平台，简单易用，能够快速准确的提供各种定量的力学测试结果。G200X系统能够轻松表征广泛的材料力学性能，从硬质涂层到超软聚合物样品，并针对不同应用提供综合全面的纳米力学测试升级选件和解决方案。

一、高温原位纳米压痕仪简介 InSEM HT产品可以在真空环境下对小体积材料进行各种高温原位力学测试（室温~800℃），可以实时观察材料在高温下的形貌变化，进而获取更多关于材料在高温下的机械性能。InSEM HT（高温）通过在真空环境中单独加热尖端和样品来测量高温下的硬度、模量和硬度。INSEMHT与扫描电子显微镜（SEM）和聚焦离子束（FIB）或独立真空室兼容。附带的InView软件可以协助开发新的实验。科学出版物表明，InSEM HT结果与传统大型高温试验数据吻合。广泛的温度范围使InSEM HT成为开发研究材料的一个非常有价值的工具。二、 功能主要功能The CSM technique involves oscillating the probe during indentation to measure properties as a function of depth, force,time, or frequency. The option comes with a constant strain rate experiment that measures hardness and modulus as a functionof depth or load, which is the most common test method used across academia and industry. CSM is also used for other advancedoptions, including the ProbeDMA™ method for storage and loss modulus measurements and AccuFilm™ substrate-independent measurements.The CSM is integrated into the InQuest controller and InView software to deliver unparalleled ease of use and data quality 连续刚度测量（CSM）CSM技术在压痕过程中测量深度、力、时间或频率变化的力学性能。该方案采用恒定应变速率试验，测量硬度和模量作为深度或载荷的函数，是学术界和工业界最常用的试验方法。CSM还用于其他高级测试，包括存储和损耗模量测量的ProbeDMA™ 方法和AccuFilm™ 基底独立测量。NanoBlitz3D NanoBlitz 3D利用Inforce 50加载器采用玻氏压头测量高E（3Gpa）材料的三维测量图。NanoBlitz压痕小于1个点/ s，最多10万个压痕（300x300阵列），并提供每个压痕在载荷下的杨氏模量、硬度和刚度，大量的测试提高了统计的准确性。NanoBlitz 3D还提供可视化软件和数据处理功能。AccuFilm™ 薄膜方法包 AccuFilm™ 薄膜方法包是一种基于Hay-Crawford模型的全新测试方法，使用连续刚度测量（CSM）测量基底材料的独立特性。AccuFilm™ 修正了基底对软基板上硬薄膜以及硬基底上软薄膜测量的影响。ProbeDMA™ 聚合物方法包 聚合物包可以测量聚合物的模量对频率的函数。该测试包括平冲头、粘弹性参考材料和评价粘弹性性能的试验方法。这种测量技术是表征纳米聚合物和聚合物薄膜的关键技术，而传统的DMA测试仪器无法很好地测试这些薄膜。 划痕磨损试验功能划痕试验在以规定速度穿过样品表面时，向压头施加恒定或倾斜载荷。划痕试验可以表征许多材料系统，如薄膜、易碎陶瓷和聚合物。 Gemini 2D多轴传感器 Gemini 2D多轴技术将相同的标准压痕功能带到第二个横轴上，同时沿两个方向轴运行。该专利技术有助于深入了解材料特性和失效机制，可以测量泊松比、摩擦系数、划痕、磨损、剪切等参数。 技术特点KLA InSEM HT产品：先进的激发器的结构设计，完全实现载荷和位移的分别控制和探测，完美实现纳米压痕检测，包括动态力学测试、软材料测试、及薄膜测试等等。符合ISO14577的国际标准的压痕测试InSEM HT动态测试附件是由连续刚度专利技术的发明人研发的：动态力 学测试原理为在准静态加载过程中，施加在压头上一个正玄波，从而表征出随着压痕深度、载 荷、时间或者频率的变化材料力学性能的变化。NanoBlitz3D技术，提供每个压痕在载荷下的杨氏模量、硬度和刚度，大量的测试提高了统计的准确性，自动生成杨氏模量、硬度和刚度Mapping图，是研究非均相材料研究的重要方法。技术能力InForce50载荷激发器InForce1000载荷激发器高精度的纳米马达台最大加载载荷：50mN最大加载载荷：1000mNX 向最大行程：20 mm纵向载荷分辨率：3nN纵向载荷分辨率：6nNY 向最大行程：20 mm压头最大移动范围：50um压头最大移动范围：80umZ 向最大行程：25 mm位移噪音背景:0.01nm噪音背景:0.1nmEncoder X-Y-Z sensor resolution： 4 nm位移数字分辨率：0.002nm位移数字分辨率：0.004nm

iNanoiNano纳米压痕仪可轻松测量薄膜、涂层和少量材料。 该仪器准确、灵活，并且用户友好，可以提供压痕、硬度、划痕和通用纳米级测试等多种纳米级机械测试。 该仪器的力荷载和位移测量动态范围很大，因而可以实现从软聚合物到金属材料的精确和可重复测试。 模块化选项适用于各种应用：材料性质分布、特定频率测试、刮擦和磨损以及高温测试。 iNano提供了一整套测试扩展选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz3D/4D属性映射和远程视频选项。产品描述iNano采用InForce 50驱动器进行纳米压痕和通用纳米机械测试。 InForce 50的50mN力荷载和50μm位移范围使得该系统适合各种测试。 InView软件是一个灵活的现代软件包，可以轻松进行纳米级测试。 iNano是内置高速InQuest控制器和隔振门架的紧凑平台。 该系统可以测试金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物材料和凝胶等各种不同的材料和器件。主要功能 InForce 50驱动器，用于电容位移测量，并配有电磁启动的可互换探头 独特的软件集成探头校准系统，可实现快速准确的探头校准 InQuest高速控制器电子设备，具有100kHz数据采集速率和20μs时间常数 XY移动系统以及易于安装的磁性样品架 带数字变焦的集成显微镜，可实现精确的压痕定位 ISO 14577和标准化测试方法 InView软件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus报告、InView大学在线培训和InView移动应用程序主要应用 硬度和模量测量(Oliver Pharr) 高速材料性质分布 ISO 14577硬度测试 聚合物tan delta，储存和损耗模量 样品加热工业应用 大学、研究实验室和研究所 半导体和封装行业 聚合物和塑料 MEMS（微机电系统）/纳米级通用测试 陶瓷和玻璃 金属和合金 制药 涂料和油漆 聚合物制造 复合材料 电池和储能

Hysitron TS 77 精选是自动化台式纳米力学和纳米摩擦测试系统，可提供同类仪器的最高性能、多功能和易用性。这种新型测试系统以布鲁克著名的TriboScope电容式传感器技术为设计，在纳米至微米尺度上提供可靠的力学和摩擦学表征。TS 77 精选 支持最主流的测试模式，是定量纳米压痕、动态纳米压痕、纳米划痕、纳米摩擦磨损和高分辨力学性能成像的高性价比解决方案。多方向照明增强样品的可视化和导航快速、可靠、稳定的样品安装一体化的隔震系统提供极高的测试灵敏度通过隔音、隔热和隔绝气流，在实验室环境下实现极高的测试稳定性SPM成像模式可实现原位表面形貌测量和精确定位极低的热漂移保证了极高的测量灵敏度轻松的样品导航和多样品自动化测试极高的机械刚度和热稳定性保证了测量结果的可靠性