辉光放电发射光谱仪

Thermo Scientific ELEMENT GD结合了辉光放电离子源和双聚焦高分辨率质量分析器，可以定性定量分析固体样品中包括C、N、O在内的几乎所有元素，是直接、快速分析高纯样品杂志含量和镀层材料元素组成的最佳工具。 ELEMENT GD集中了辉光放电和高分辨质谱的优势，在以下方面有杰出表现： 样品测试通量高：ELEMENT GD离子源和样品夹的设计使可缩短换样和分析时间，显著提高生产率； 检测器线性范围宽：检测器线性范围达12个数量级，可一次扫描同时检测基体和痕量元素组成； 具有固定宽度的低、中、高分辨率狭缝，采用高分辨率可直接分析有质谱干扰的同位素。

ZLX-ES系列发射光谱/光源测量系统发射光谱/光源测量系统介绍 发光体，如白炽灯、荧光灯、LED等辐射光谱及发光特性的测试，对研究其特性有很大帮助。系统不仅可测量光源或其他发射光谱分布，而且可在此基础上得到积分辐射通量、光通量、色坐标等。 针对不同辐射光源的特性，可灵活选择测试系统，如：宽带光源和LED通常分辨率要求不高，可使用Omni-&lambda 150系列单色仪系统；激光器、放电灯、等离子体、原子发射光谱等要求分辨率高，可使用Omni-&lambda 300、Omni-&lambda 500、Omni-&lambda 750系列单色仪系统；宽波长范围（UV～IR），建议采用双出口单色仪接两个探测器；测试宽光谱范围的发光体，建议采用SD滤光片轮消多级光谱。系统组成：分光系统＋检测系统＋数据采集及处理系统＋软件系统＋计算机系统

岛津光电直读光谱仪PDA-8000仪器简介：PDA-8000是岛津公司2010年推出的最新一款光电发射光谱仪，集合了岛津光电发射光谱仪之精华，突出了高灵敏度、高稳定性的特点，尤其在高纯有色金属、钢铁中酸溶铝、夹杂物方面的分析有着独特的技术。性能特点：1）高分辨率分光器最新设计的1米光栅分光室，可以有效减少元素间的分光干扰。同时，为了提高对C、N等元素的分析精度，通过2次或3次等高次线进行分析，分辨率得到有效提高。2）实时能量监控（REM）功能通过增设实时能量监控功能可监视光源能量是否激发成功，激发能量为0.02J-0.6J（可以0.02J为单位步进进行设定）。即时掌握电极和样品间的发光放电是否正常（是否由于样品本身造成放电异常）从而只收集正常放电时的谱峰强度数据。对不正常放电时的脉冲不进行计数，提高分析稳定性。3）定电流放电（CRS）技术为了实现对高纯有色金属微量元素的良好分析，首次使用了定电流放电技术，即电弧放电后段，电流持续保持在10A，放电持续时间最大可达2msec，从而微量元素的灵敏度及稳定性可以得到有效提高。4）强大的软件控制功能（最新设计，操作简单，实现人机对话功能）中/英文分析软件，具有强大的数据处理能力及人性化的对话窗口，简单易懂。软件可以监控仪器各单元运行状态，并在仪器操作界面显示；有自动诊断功能，并提供简单解决方案及操作方法；在线帮助功能，自动校正功能，密码保护功能等。

岛津光电直读光谱仪PDA-5500S性能特点：1）大型真空直读光谱仪为了分析C、P、S、B等元素及保证高稳定性，采用真空型光谱室设计。与充氩气性光谱室比较，不需要定期更换氩气净化管，后期维护成本低。使用岛津独创设计的直联旋转型真空泵，通过连续抽真空方式，10分钟内真空度可达1.33Pa，故障率极低。同时，也可以很好地防止油倒吸及油蒸气污染。2）最先进的全息离子刻蚀光栅采用目前世界最先进的全息离子刻蚀光栅技术，利用该技术制作的光栅兼具了全息光栅与机刻光栅的特点，从而实现光栅焦距600mm的最优设计，既获得了高分辨率又保证了分析灵敏度。3）先进的数字化光源装置光源装置根据不同元素分别使用高能量放电、重现性良好的电火花放电和灵敏度良好的电弧火花放电等，组合使用，可设定最佳放电条件，适应不同种类的分析样品。4）良好的扩展功能根据客户的要求，可以现场添加通道，提高仪器的扩展功能。5）操作简单便捷中文化分析软件，具有强大的数据处理能力及人性化的对话窗口。软件可以监控仪器各单元运行状态，并在仪器操作界面显示；有自动诊断功能，并提供简单解决方案及操作方法；在线帮助功能，自动校正功能，密码保护功能等。集岛津光电发射光谱仪之精华的PDA-5500S：科学人性化设计、易懂易用，良好的扩展功能、高瞻远瞩，低使用成本设计、经济实用，高精度与稳定性、始终如一。 研发历程岛津公司在1935年研发出日本第一台分光摄谱仪，为了满足不同行业客户的需要，随后不断开发新技术、推出新产品，始终保持仪器技术的先进性。岛津光电直读光谱仪PDA-5500S是2009年推出的最新一款专门针对钢铁、铸造行业的直读光谱仪。标准配置岛津独创的时间分解PDA（Pulse Distribution Analysis 脉冲分布分析）测光法，可以同时快速、准确地分析金属的元素组成，是金属质量管理分析中应用广泛的分析仪器。PDA-5500S广泛应用于钢铁、铸造、机械等众多行业，提高对冶炼工业和机械加工工业的工程管理分析、原材料验收及产品出厂鉴定分析等能力。

E5000发射光谱仪具有全谱多元素同时分析、分析速度快、分析精准、稳定性好等优点，分析性能达到了国际领先水平。作为全球首创粉末样品元素分析的台式全谱直读发射光谱仪，E5000发射光谱仪拥有创新的高功率数控电弧光源、全自动激光对准的光源装置、稳定可靠的帕型-龙格全谱分光系统以及阵列CCD全谱测量技术，同时，E5000发射光谱仪结合时序分析、光谱自动校正等先进技术，采用固体样品直接进样的方法，全面解决了传统技术分析繁琐、效率低下、准确性差等问题，是光谱元素分析领域的重大突破。E5000发射光谱仪产品结构设计　　电弧发射光谱技术与全谱直读光谱技术结合，新一代固体粉末分析技术；　　Paschen-Runge（帕型-龙格）全谱光学系统，能测定需要分析的所有常规元素；　　紧凑的小型台式设计，确保稳定可靠、易用便捷；　　防溢出CCD高速数采系统，信噪比高、动态范围大；　　高功率数控可编程光源，电流、电压、频率可控，提供更优的分析方法；　　多重连锁和监控，确保操作安全可靠；　　全自动电极激光对准系统；　　粉末样品直接进样，方便迅速；　　一键激发，立刻获得分析结果；　　内置工作曲线，客户无需手动建线，切实提高工作效率；　　软件开放所有高级功能，为客户提供完美的方法开发平台。E5000发射光谱仪全谱测量技术　　全谱平台拥有丰富的谱线信息，更易于元素扩展与方法开发；　　基于全谱测量的数据，能够正确区分背景和谱线，有效提高测量精度；　　- 方便查看谱线及干扰情况　　- 支持斜背景、左右背景等不同的扣除方式　　强大的自动谱线去干扰算法；　　- 通过算法扣除干扰谱线获得干净的待分析谱线　　- 基于全谱测量数据的多峰拟合技术可将谱线完全分开，有效消除谱线的干扰　　根据元素的含量范围选择不同的分析谱线，大含量范围的测量更准确；　　- 多谱线结合，扩展分析范围的同时，有效保证分析精度；　　- 避免灵敏线饱和，不需要消释样品，取得更大的分析范围；CCD高速数采系统　　防溢出线阵CCD；　　采用动态积分，有效扩展CCD的动态范围；Paschen-Runge（帕型-龙格）全谱光学系统　　恒温型全固定光学系统；　　全反射式光路；　　光室结构紧凑；　　一体式固定；　　光学器件少，性能稳定；　　基于CCD的全谱采集和分析；全新一代电弧数控光源　　数控光源体积小、效率高；　　基于数控可编程技术，光源的电流、电压、频率可调节；　　分析不同含量的元素，选择最佳的激发参数，降低元素分析的检出线，改善元素分析的准确度；　　可设置及读取不同检测阶段的数据；一键激发及全自动对准电极　　样品装载激发一气呵成，方便快捷；　　多元素同时分析，直接得到最终结果；　　设计精良的电极挟持旋钮；　　红外激光对准、先进的电极激光自动对准技术；　　水冷电极夹提高检测稳定性；多重连锁和安全保护　　可靠的水冷系统，分别对电弧光源和激发电极散热；　　实时监控仪器的运行状态，所有的连锁状态如冷却水、排风、炬室门等都通过界面和指示灯等多种形式直接提醒；　　界面上有关键温度的显示，第一时间查看仪器的运行情况；　　排风监控，消除废气影响；　　特殊的风道设计提高稳定性；水冷系统 强大的分析软件　　便捷易用的分析软件；　　- 操作直观、便捷、层次化的软件界面，非专业人员也能方便操作　　- 简单的方法开发过程，各种检测条件都可调节　　强大的多元素分析平台；　　- 便捷的全谱查看　　- 多元素分析及多谱线选择　　- 一键激发，直接在软件上得到分析结果　　- 丰富的方法库有利于方法的传承、学习和维护可分析元素及多谱线选择　　全面智能的软件算法；　　- 内置工作曲线，完善的时序分析，能够实现定性、定量分析　　- 丰富的处理技术，支持内标法、基底扣除、干扰元素校正等分析方法　　- 功能强大的高级处理功能，为客户带来更全面、更精确的分析体验　　独创的智能漂移校正技术。

LabICP 1000电感耦合等离子体发射光谱仪，具有非常高的分辨率，即使谱线非常复杂的稀土元素也可以实现分离，避免光谱干扰，非常适合稀土元素合稀土永磁材料的分析。同时也可广泛应用于食品、环境、地矿、有色金属冶炼等各种应用领域。非常高的分辨率，即使谱线非常复杂的稀土元素也可以实现分离，避免光谱干扰，确保分析数据的准确性闭环控制的射频发生器高压供电回路，与传统的升压变压器和高频阻流圈的高压系统相比，功率控制精度提升到优于0.1%高精度分光系统： 反射式分光系统设计，避免引入额外色差； 机械控制精度，确保光谱定位准确； 高分辨率长焦光路设计，实现了优良的信噪比和极低的基体效应；恒温控制光室，提升测量稳定性，光室冲入氩气后可高精度测量 S（180nm）和Sn（190nm）5-6个数量级的动态线性范围，可满足痕量到常量的元素分析优秀的测量精度和元素检出限，ppb量级全面安全保护系统：具有冷却水保护、氩气保护、过压保护、过流保护、灭弧保护等

辉光放电仪主要用于透射电子显微镜（TEM）样品载网和支持膜的清洗及表面处理。如亲油性的TEM碳支持膜经气体辉光放电处理后，表面带负电荷而变得具有亲水性，样品水溶液因此很容易分散在其表面，便于样品在TEM下观察。同时可以通过辉光放电产生的离子流，对样品表面进行清洗，除去样品表面的有机物分子，灰尘颗粒等污染物，更加真实的在TEM下反映样品的表面形貌结构。主要功能：1、自动程序设定、手动模式选择2、直观的触摸屏显示与控制3、支持带正/负电表面的亲水性或憎水性处理4、换样时间短，真空抽速高 主要技术参数辉光电流0-30 mA高压功率30W样品台?75mm，25 x 75mm载玻片槽样品台高度1-25 mm工作时间0-900 sec.样品室尺寸?120 x 100mm H真空控制潘宁规,范围从大气到0.01 mbar工作真空度1.1 - 0.20 mbar参数设置3" 触摸屏设置操作模式自动/手动可选外观尺寸305 L x 292 D x 230mm H重量6.26 kg

GD-OES8000辉光放电光谱仪产品介绍：技术参数：功能方式：DC或RF；波长范围：120-800nm；光谱分辨率：18pm-25pm； 深度分辨率：1~2nm；溅射速率：＞1μm/min；深度剖析的范围：1nm~200μm；焦距：998.8mm元素通道：48探测器：光电倍增管PMT性能特点： 有着较低的检出限。 能够逐层检测样品表面。 十几个元素的含量通过一次监测就能够得到，能够给出较大的信息量。 只需几分钟就能够对一个样品，有着非常快的检测速度。 不需要对样品进行稀释，溶解等处理，能够直接对固体样品进行检测。 有非常广泛的检测范围。 光机电产品一体化整机设计。

仪器简介：GDS850辉光放电光谱仪辉光放电光谱法采用低压，冷激发光源，材料被氩离子流均匀地从样品表面剥离溅射。 被溅射出的材料原子在远离样品表面低氩的等离子体内被激发。 GDS850的配备提高了实验室的质量控制和研发能力，它提供了非常准确的基体分析以及成分深度剖析涂层分析和表面处理的结果。 仪器检测光谱范围从120到800纳米，最多配置58个通道。特征溅射与激发分离宽动态范围的线性校准曲线更小自吸收和材料再沉积原子线激发少和窄的发射线减少干扰无冶金记忆效应较少的校准标样低氩气消耗两次分析间的自动清扫均匀的溅射其他方法可能只是激发样品表面，所采集的数据并不一定具有代表性。而辉光放电，样品材料均匀地从表面激发溅射， 冷光源的激发为一些困难样品的检测提供了很好的技术。以下为对一个硬盘表面100nm深度每种元素3次分析的结果，可以看到每种元素随深度的分布。 可选件射频光源统计软件包光源套件样品夹持器SMARTLINE远程诊断软件求耗材相关信息gds850参考卡(203-104-039)gds850样本文章：辉光放电-涂层分析的现代方式应用报告：QDP物理气相沉积法（102）应用报告：GDS镍及镍基合金（052）应用报告：GDS深度剖面分析（033）应用报告：镀锌钢（001）应用报告：抛光不锈钢上的薄氧化层（002）应用报告：铝合金基板上的商用硬盘（003）应用报告：玻璃基板上的40GB硬盘在（- 004）应用报告：氧化铝样品中的铬（- 005）应用报告：NIST 2135c（- 006）性能报告：GDS分析基体样品的分析前准备（031）性能报告：GDS ASTM E415真空法（030）性能报告：GDS校准（- 041）性能报告：GDS辉光放电光源（035）性能报告：GDS ASTM E1009（- 044）性能报告：铝膜QDP分析（028）性能报告：镀铝钢的涂层分析（040）性能报告：渗碳钢的QDP分析（036）性能报告：粘弹性钢夹层QDP分析（034）性能报告：磷酸铁涂层QDP分析（043）性能说明：镀锌钢QDP分析（027）性能说明： QDP分析电镀样品（024）性能说明：GDS850硬盘深度剖面-048

解密镀层工艺、解析镀层结构——Profiler 2辉光放电光谱仪是解密镀层工艺、解析镀层结构的强有力手段，可以通过元素变化获得镀层结构、层间扩散、元素富集、表面处理、镀层均一性等信息，从而改善工艺条件等。主要应用行业有金属冶金、半导体器件、LED芯片、薄膜太阳能电池、锂电池阴阳、光学玻璃、核材料等。 GD-Profiler 2 作为超快镀层分析的理想工具，非常适合于导体和非导体复合镀层的分析，操作简单、便于维护，是镀层材料研发、质控的理想工具。 使用脉冲式射频辉光源，可有效分析热导性能差以及热敏感的样品。 采用多项技术，如高动态检测器（HDD），可测试ppm-100%的浓度范围，Polyscan多道扫描的光谱分辨率为18pm~25pm等。 分析速度快（2-10nm/s） 技术参数：1、射频发生器-标准配置、复合D级标准、稳定性高、溅射束斑为平坦、等离子体稳定时间短，表面信息无任何失真。2、脉冲工作模式既可以分析常规的涂/镀层和薄膜，也可以很好地分析热导性能差和热易碎的涂/镀层和薄膜。3、Polyscan多道（同时）光谱仪可全谱覆盖，光谱范围从110nm-800nm，可测试远紫外元素C、H、O、N和Cl。4、HORIBA的原版离子刻蚀全息光栅保证了仪器拥有大的光通量，因而拥有卓越的光效率和灵敏度。5、高动态检测器（HDD）可快速、高灵敏的检测ppm-100%含量的元素。动态范围为5×1010。6、宽大的样品室方便各类样品的加载。7、功能强大的Quantum软件可以灵活方便的输出各种格式的检测报告。8、HORIBA独有的单色仪（选配）可大地提高仪器灵活性，可实现固定通道外任意一个元素的同步测试，称为n+1。9、适用于ISO14707和16962标准。仪器原理：辉光放电腔室内充满低压氩气，当施加在放电两的电压达到一定值，超过激发氩气所需的能量即可形成辉光放电，放电气体离解为正电荷离子和自由电子。在电场的作用下，正电荷离子加速轰击到（阴）样品表面，产生阴溅射。在放电区域内，溅射的元素原子与电子相互碰撞被激化而发光。更多指标参数请访问HORIBA官网

我们分析系统的高端产品系列GDOES光谱仪GDA 550 HR和GDA 750 HR是强大的GDOES光谱仪，非常适合研发任务。基于模块化概念，可以设想多种选项组合，因此可以为您的应用实现佳配置。GDA 550 HR主要用于研究您的导电样品。GDA 750 HR也用于分析不导电样品GDA 750 HR通过光电倍增管可检测多达79个可能的元素通道，GDA 750 HR辉光放电光谱仪是您的具有挑战性的应用的理想光谱仪。它提供了大的灵活性，佳的检测限和分析精度，即使是薄的层。可选的高分辨率SPECTRUMA CCD光学元件扩展了GDA 750 HR的功能，能够将几乎无限数量的元素通道集成到您的分析工作中。GDA 750 HR的特点：GDA 750 HR配备了一个可以无碳氢化合物测量的涡旋泵。GDA 750 HR标准设备还包括一个高频辉光放电源。这也允许分析不导电的样品。使用等离子体干扰可以更容易地分析难以刺激的样品。GDA 750 HR的应用领域从热处理到镀锌到复杂的多层系统。由于PMT的快速数据采集，也可以检测到低于100nm的层测量深度达200微米具有快速数据采集的深度剖面，即使对于非导电层（如几纳米厚度的氧化物）也是如此所有金属和金属合金的含量分析分析非导电样品，如陶瓷，玻璃或漆涂层校准曲线的线性可以测量弯曲甚至形状异常的样品。

PELCO easiGlow&trade 91000辉光放电仪是一套价格合理、结构紧凑、使用方便的系统，用于TEM铜网和支持膜清洗及表面处理。如亲油性的TEM碳支持膜经气体辉光放电处理后，表面带负电而呈亲水性，水溶液因此容易被分散。随着TEM工作量增大，使用清洁和结果重现性好的TEM铜网及支持膜较以往变得更为重要。PELCO easiGlow&trade 辉光放电清洁系统值得任何一家TEM实验室拥有，它独特的优点包括：真空设定精确、方便处理周期短 结果重现好自动程序控制与手动模式可选采用触摸屏，显示与控制直观方便支持带正/负电、亲水性/疏水性模式结构紧凑，价格合理 提供两个可选的夹具，用于批量处理铜网或支持膜。当然直接用实验室的玻片承载也可以。 该系统包括两个独立控制的气体进口，真空度通过电控精密比例阀设定，新颖的设计避免了针阀的手动设定。逐步放气程序保证TEM栅网在放气时不被损伤。同时提供两种可选的不同的网格夹具来固定需要清洗的铜网。 工作距离与压力的优化曲线 对于经常进行亲水性和疏水性表面处理的实验室，提供双辉光放电系统以避免在样品室内引起交叉污染。技术参数： 等离子体电流0-30 mA功率30W 辉光放电头极性正极负极可调样品台直径75mm，可存放25 x 75mm玻片样品台高度1-25 mm可调处理延迟时间0-14411 sec.处理时间0-900 sec.样品室大小直径120 x 100mm 高进气孔2 个直径6 mm 进气孔高压真空联锁硬件，软件双重联锁真空控制Pirani 规控制, 真空范围：大气压~0.01 mbar工作真空范围1.1 - 0.20 mbar 系统显示具有LED灯光的3" 触摸，并且有5个功能键操作模式自动编程 (可编4个用户程序)尺寸305 长 x 292 宽 x 230mm 高重量6.26 kgGD4真空泵（可选）337 长 x 138 宽 x 244mm 高重量11 kg 真空泵性能2.5 m3/hr, 极限真空0.03 mbar 电源要求230V 50Hz, 10A

仪器简介：与日本冶金行业共同进步的岛津为您提供---光电发射光谱仪 PDA系列岛津多年来向世界提供在金属质量管理中必不可少的光电发射光谱仪，如今又推出了集各项精华于一体的PDA-7000。标准配置岛津独创的时间分解PDA测光法，强有力地支持质量管理分析。· 稳定性提高采用新设计的机身/发光台，使稳定性大幅提高。 · 分析精度提高采用新设计的发光台和适合分析范围的最适合的发光条件，从高含量到微量的元素均可进行高精度分析。 · 钢铁中氮的高灵敏度分析氮的检测下限达5ppm。在炉中分析中，达到了可以代替气体分析仪的水平。 · 标准配备高功能配备一直获得好评的PDA时间分解测光、形态分析处理功能。 · 丰富的产品系列，应对多种用途。&rarr 产品系列的详细内容钢铁、铝、镁、铜、锌、锡、钛、镍、钴等各种固体金属的基体金属、合金中的组成元素、杂质微量元素的定量 ：PDA-7000· 出色的成绩长期以来，与冶金行业共同发展，积累了丰富的技术信息。&rarr 应用实例 ※外观及规格如有变动，恕不另行通知。发射光谱分析：（OES：Optical Emission Spectroscopy） 所谓发射光谱分析是指使用放电等离子体蒸发气化来激发样品中的目标元素，根据得到的元素固有的亮线光谱（原子光谱）的波长进行定性，并根据发光强度进行定量的分析方法。 广义上讲，激发放电（光源）还包括使用ICP（Inductively coupled plasma 电感耦合等离子体）作为激发放电（光源）的ICP发射光谱分析。但发射光谱分析（发光分析）或光电测光式发射光谱分析，是指使用火花放电/直流电弧放电 /辉光放电作为激发放电的发射光谱分析。发射光谱分析中，在固体金属样品和与电极之间发生放电。 岛津的发射光谱分析装置是在氩气氛围中进行火花放电，对火花脉冲的发光进行统计处理，采用可提高测定重现性（精度）的方式（PDA测光方式：Pulse Distribution Analysis）。 发射光谱分析装置可快速测定固体金属样品的元素组成，是在炼铁、铝冶炼工艺管理用中必不可少的手段。其他咨询

GVC-100辉光放电仪主要用于铜网的亲水性处理。创 新 点：全自主研发，自主知识产权，操作便利，重复性好应用领域：透射电镜 生物样品制备生物样品在进行TEM观测时，需要将制备好的样品放置于铜网上后放入TEM内进行观测，因此，需要铜网具备良好的亲水性。铜网往往是没有亲水性的，所以需要利用该仪器对铜网进行处理，改变表面特性，实现良好的亲水性。该设备也可以用于TEM样品杆的清洗等。技术参数：放电电流0-30mA 连续可调电源功率Max. 50W处理平台Φ75mm预处理时间1-999 秒处理时间1-9999 秒样品室Φ130×130mm进气接口2 个φ4 快拧接口真空测量皮拉尼真空规极限真空度1Pa工作真空20-100Pa人机界面5 英寸彩色触摸式液晶屏外观尺寸424×271×255mm软件保护真空保护、过流保护等

PELCO easiGlow™ 91000辉光放电清洁系统是一套价格合理、结构紧凑、使用方便的系统，用于TEM栅网和支持膜清洗及表面处理。如亲油性的TEM碳支持膜经气体辉光放电处理后，表面带负电而呈亲水性，水溶液因此容易被分散。随着TEM工作量增大，使用清洁和结果重现性好的TEM栅网及支持膜较以往变得更为重要。PELCO easiGlow™ 辉光放电清洁系统值得任何一家TEM实验室拥有，它独特的优点包括： 真空设定精确、方便 处理周期短 结果重现好 自动程序控制与手动模式可选 采用触摸屏，显示与控制直观方便 支持带正/负电、亲水性/憎水性模式 结构紧凑，价格合理 该系统包括两个独立控制的气体进口，真空度通过电控精密比例阀设定，新颖的设计避免了针阀的手动设定。逐步放气程序保证TEM栅网在放气时不被损伤。 对于经常进行亲水性和憎水性表面处理的实验室，提供双辉光放电系统（图2）以避免在样品室内引起交叉污染。 技术参数： 等离子体电流0-30 mA功率30W 辉光放电头极性正极负极可调样品台75mm，可存放25 x 75mm玻片样品台高度1-25 mm可调处理延迟时间0-14411 sec.处理时间0-900 sec.样品室大小?120 x 100mm 高进气孔2 个?6 mm 进气孔高压真空联锁硬件，软件双重联锁真空控制Pirani 规控制, 真空范围：大气压~0.01 mbar工作真空范围1.1 - 0.20 mbar 系统显示具有LED灯光的3" 触摸，并且有5个功能键操作模式自动编程 (可编4个用户程序)尺寸305 长 x 292 宽 x 230mm 高重量6.26 kgGD4真空泵（可选）337 长 x 138 宽 x 244mm 高 重量11 kg 真空泵性能2.5 m3/hr, 极限真空0.03 mbar 电源要求230V 50Hz, 10A

AstruM ES是一台双聚焦辉光放电质谱仪，一次扫描就可以测定从亚ppb到基体之间所有元素的含量。它被广泛地应用在高纯金属，半导体材料，航空航天材料的杂质检测。

GDA 750/GDA 550是高灵敏度、高性能的辉光放电光谱仪，可适用于表面和涂镀层的化学元素含量分析。 多达79个分析通道，采用PMT检测器，GDA 750/GDA 550型辉光放电光谱仪是高分辨率、高灵活性和高分析精度的仪器，同时可安装独有的高分辨率CCD光学系统(选装件)，允许同时分析所有元素，具备全谱功能，也可在现有的方法中添加任一元素的任一谱线。 这种灵活性在实际分析中，尤其对于元素含量和深度测定中至关重要。所有元素，包括轻元素(H，O，N，CI，和C)均可测定。 在含量-深度测量中，分析深度可达200um以上， 层分辨率可达1纳米。GDA 750/GDA 550也可进行基体总量分析，尤其对于复杂基体，具备优异的线性校准曲线。检出限可达亚ppm级。 GDA 750/GDA 550装备有最新一代的辉光激发光源，溅射直径从1mm至8mm。采用通用样品夹具，也可进行小样品和异形样品的分析，无需更换特殊电极。 GDA 750也可选装配置脉冲式射频光源(选装件)，用于分析非导体材料。采用脉冲式射频光源后，可分析非导体、热敏感样品，如：陶瓷、玻璃、有机涂层、有机薄膜。还可选装配置特殊样品转移室(选装件)，用于分析极薄的薄膜和在空气中易氧化的薄膜。激发光源-同一激发光源允许安装直径为1mm至8mm电极，从而保证优秀的稳定性和重复性高效的样品直接冷却。可直接分析热敏感样品、极薄的金属薄膜和有机薄膜。如可直接分析50um的不锈钢薄膜-优化的氩气流量控制，可以同时实现低检出限和高深度分辨率-专门设计的自动清扫装置，保证了高精度、高重复性测量-最大样品分析厚度45mm，最小厚度50um-完全程序自动控制的直流光源(DC)，电压最高可达1500V，电流250mA-完全程序自动控制的射频光源(RF)，功率最大150W，电压、电流自动监控，实时等离子自动调节、脉冲工作模式(选装件、仅GDA 750有效)-选装件：自动进样器，程序控制100位光学系统-光谱分辨率优于20pm(FWHM)-光谱范围：190nm--800nm-Paschen-Runge光学系统， 焦距750mm-全息原刻光栅，2400线/mm-出射狭缝，预设所有元素通道-可同时安装63个分析通道，选用选装件(400mm)，可再附加16个分析通道-方便易操作的透镜清洁，可立即进行分析-优化的检测器高压系统，定量测试时，线性动态范围106-检测器增益自动调节-选装件：高性能CCD光学系统， 光谱范围200nm--800nm。光谱分辨率可达0.02nm(FWHM)。与主光学系统同时工作-CCD光学系统可无限制添加分析通道，真正实现全谱同时测量-选装件：单色仪，光谱范围可扩展至1500nm。可同时安装3个光栅，独立工作。真空系统-全不锈钢壳体，可充分保证痕量元素的分析，尤其对于N元素分析-光室真空采用二级旋转叶片真空泵，噪音50dB-光源使用无油真空泵，完全免除C，H，O，S，P等元素污染-内置安全阀设计，以避免突然断电对旋转叶片泵的损害-选装件：涡轮分子泵WinGDOES软件-WindowsXP或更高平台运行-使用界面简单、易懂，分级管理和操作-功能强大-方法建立简便，在线指导-校准样品管理，珍稀样品添加-多种校准模式-QDP定量分析校准-用户定制测量报告模式-数据处理和再处理功能-多种格式数据输出-分析过程中界面语言切换应用-热处理精确测量所关心元素的含量-深度分布，定性、定量检测表面污染物、夹杂物和物相比例-涂镀层可获得涂镀层完整的化学组分信息、层厚度，元素含量-深度分布。非导体涂镀层，如：油漆、釉等可采用RF光源分析-硬质合金层快速分析硬质合金层和热处理工件的渗层化学组分-陶瓷采用RF光源可精确可靠的测量-电镀测量电镀层的复杂结构和过渡界面信息，化学组分含量、层厚、质量分布，也可进行缺陷鉴别和分析-化学组分精确测量化学元素含量高精度、高重复性检测快速分析：60s可分析从H至U的所有元素， 检测范围从ppm至100%-太阳能电池薄膜检测太阳能光伏电池薄膜中化学元素含量分布，如：Cu(In，Ga)Se2辉光放电光谱仪主要应用领域-汽车制造及零部件-金属加工、制造-冶金-航空、航天-电子工业-玻璃、陶瓷-表面处理：化学气相沉积、物理气相沉积等-电镀-光伏电池、锂电-科学研究

GloQubePlus是一种性价比高、结构紧凑同时易于使用的辉光放电仪，满足Cryo-TEM实验室样品制备需求。GloQubePlus的主要应用是对TEM载网表面进行改性，以满足各种大分子冷冻电镜成像的要求，该系统将两个腔室集成在一个系统中，能够同时实现亲水和疏水处理。

功能强大且灵活的仪器，用于日常质量控制GDA 150 HR和GDA 650 HR GDOES光谱仪是用于质量控制和研究的强大工具，旨在处理全天候工作，同时保持良好的可维护性。GDA 150 HR主要用于研究您的导电样品，在分析性能方面丝毫不逊于其兄弟GDA 650 HR。GDA 650 HR还可以分析非导电样品。GDA 150 HR辉光放电质谱仪GDA 150 HR是一款稳定的温度稳定的CCD光谱仪，用于生产区域的深度剖面和平均分析。例如，它针对中小型热处理和涂层公司的需求量身定制 为了在扩散过程之后测试表面， 为了研究电镀涂层工艺， 为了通过PVD或CVD分析硬涂层， 用于评估热镀锌和其他类型的镀锌， 用于导电材料的内容分析 或用于基材进货检验。GDA 150 HR适用于所有导电基体。甚至可以分析轻元素，如C，N和H（也可以选择O）。借助通用测量室，可以直接测量非平面表面，如管道或球体。仪器的简单操作和分析的短测量时间允许在生产过程中进行快速干预，以纠正任何错误 - 这是其他方法的重要优势。高分辨率SPECTRUMA CCD光学元件的优势：通道选择灵活 - 可为未来应用扩展。

Thermo Scientific ELEMENT GD结合了辉光放电离子源和双聚焦高分辨率质量分析器，可以定性定量分析固体样品中包括C、N、O在内的几乎所有元素，是直接、快速分析高纯样品杂志含量和镀层材料元素组成的最jia工具。ELEMENT GD集中了辉光放电和高分辨质谱的优势，在以下方面有杰出表现：- 样品测试通量高：ELEMENT GD离子源和样品夹的设计使可缩短换样和分析时间，显著提高生产率；- 检测器线性范围宽：检测器线性范围达12个数量级，可一次扫描同时检测基体和痕量元素组成；- 具有固定宽度的低、中、高分辨率狭缝，采用高分辨率可直接分析有质谱干扰的同位素。

Autoconcept GD90是一个专为高精度元素分析所设计的高分辨辉光放电质谱仪。此辉光放电质谱仪（GDMS）提供了固体金属与绝缘体的直接分析检测。它具有非常宽的元素覆盖范围，可得到超过70种元素的有效数据，灵敏度高，轻元素重元素均可。 GDMS技术使原子化（碎片化）过程与离子化过程分开进行，故而可容易的对ppb至ppt级别的痕量杂质进行测量。此法还使得GDMS技术拥有最小的基体效应且无须特定参照材料。它可对金属与合金进行全扫描分析，可对半导体进行大量的测量分析，可对多层结构与镀层进行深度剖析。是包括金属、合金、半导体以及绝缘体（须配RF源）等高纯材料的生产与质量控制的理想工具。 主要特性：· 高分辨率，特别是对于有干扰离子存在的测定而言十分重要。· 广泛的元素涵盖范围，软件中包括70个元素相关的干扰离子数据。· 由于原子化和离子化过程发生在不同区域，带来可忽略的基体效应。· 低至亚ppb级的定量数据。· 具有深度剖面同位素比值分析能力。· 最少的样品制备过程。

GDA Alpha采用最新研发的CCD检测器，使得辉光放电光谱仪技术迈入了一个全新的时代。 GDA Alpha装备有最新一代的CCD固态检测器，与高分辨率光学系统完美匹配。新一代的CCD检测器不但具备传统光电倍增管的低噪声、宽动态范围的特点，而且还具备优异的分辨率和全谱数据采集能力，特别适合同时需要高精度检测和分析灵活性的用户。 高分辨率CCD光学系统使得GDA Alpha具备无限的扩展能力，允许使用者在任何分析方法下任意扩展和增加任何分析通道。 这种灵活性允许进行快速的基体总量和涂镀层分析，所有元素，包括O，N，C等非金属元素均可进行定量分析。 在含量-深度测量中，分析深度可达200um以上， 层分辨率可达纳米级。GDA Alpha也可进行基体总量分析，尤其对于复杂基体，具备优异的线性校准曲线。检出限可达ppm级。 GDA Alpha装备有最新一代的辉光激发光源，溅射直径从1mm至8mm，可适应多种类型的样品分析，方便快捷。应用 热处理-精确测量所关心元素的含量-深度分布，定性、定量检测表面污染物、夹杂物和物相比例-涂镀层 可获得涂镀层完整的化学组分信息、层厚度，元素含量-深度分布。-硬质合金层 快速分析硬质合金层和热处理工件的渗层化学组分-化学组分 精确测量化学元素含量 高精度、高重复性检测 快速分析：60s可分析从H至U的所有元素， 检测范围从ppm至100%辉光放电光谱仪主要应用领域 汽车制造及零部件 金属加工、制造 冶金 航空、航天 表面处理：化学气相沉积、物理气相沉积等 电镀 光伏电池、锂电 科学研究激发光源 同一激发光源允许安装直径为1mm至8mm电极，从而保证优秀的稳定性和重复性-高效的样品直接冷却。可直接分析金属薄膜、热处理层。如可直接分析50um的不锈钢薄膜-优化的氩气流量控制，可以同时实现低检出限和高深度分辨率-专门设计的自动清扫装置，保证了高精度、高重复性测量-最大样品分析厚度45mm，最小厚度50um-完全程序自动控制的直流光源(DC)，电压最高可达1500V，电流250mA-选装件：自动进样器，程序控制100位 光学系统 高性能CCD光学系统，光谱范围120--800nm-光谱分辨率优于20pm(FWHM)-Paschen-Runge光学系统， 焦距400mm-全息原刻光栅，2400线/mm-光室恒温控制，仪器稳定性优异-可无限制的配置分析通道，所有元素同时检测-方便易操作的透镜清洁，可立即进行分析-CCD检测器的灵敏度可自动调节真空系统-全不锈钢壳体，可充分保证痕量元素的分析，尤其对于N元素分析-光室真空采用二级旋转叶片真空泵，噪音50dB-单泵设计，同时运用于光源和光室-特殊的旋片真空泵，可最大限度的减少C，H元素的污染-内置安全阀设计，以避免突然断电对旋转叶片泵的损害WinG DOES软件-WindowsXP或更高平台运行-使用界面简单、易懂，分级管理和操作-功能强大-方法建立简便，在线指导-校准样品管理，珍稀样品添加-多种校准模式-基体总量元素测量校准-QDP定量分析校准-用户定制测量报告模式-数据处理和再处理功能-多种格式数据输出-分析过程中界面语言切换规格电源230V/50Hz/16A工作气体99.999%含量-深度测试和H，N，O检测99.995%基体检测氩气消耗0.05L/min， 待机状态~0.2L/min， 测量状态工作环境温度15℃to28℃相对湿度20%to80%.外观尺寸675mmx390mmx950mm重量约95kg

GDA 750/GDA 550是高灵敏度、高性能的光谱仪，可适用于表面和涂镀层的化学元素含量分析。 多达79个分析通道，采用PMT检测器，GDA 750/GDA 550型辉光放电光谱仪是高分辨率、高灵活性和高分析精度的仪器，同时可安装独有的高分辨率CCD光学系统(选装件)，允许同时分析所有元素，具备全谱功能，也可在现有的方法中添加任一元素的任一谱线。 这种灵活性在实际分析中，尤其对于元素含量和深度测定中至关重要。所有元素，包括轻元素(H，O，N，CI，和C)均可测定。 在含量-深度测量中，分析深度可达200um以上， 层分辨率可达1纳米。GDA 750/GDA 550也可进行基体总量分析，尤其对于复杂基体，具备优异的线性校准曲线。检出限可达亚ppm级。 GDA 750/GDA 550装备有最新一代的辉光激发光源，溅射直径从1mm至8mm。采用通用样品夹具，也可进行小样品和异形样品的分析，无需更换特殊电极。 GDA 750也可选装配置脉冲式射频光源(选装件)，用于分析非导体材料。采用脉冲式射频光源后，可分析非导体、热敏感样品，如：陶瓷、玻璃、有机涂层、有机薄膜。还可选装配置特殊样品转移室(选装件)，用于分析极薄的薄膜和在空气中易氧化的薄膜。激发光源-同一激发光源允许安装直径为1mm至8mm电极，从而保证优秀的稳定性和重复性 高效的样品直接冷却。可直接分析热敏感样品、极薄的金属薄膜和有机薄膜。如可直接分析50um的不锈钢薄膜-优化的氩气流量控制，可以同时实现低检出限和高深度分辨率-专门设计的自动清扫装置，保证了高精度、高重复性测量-最大样品分析厚度45mm，最小厚度50um-完全程序自动控制的直流光源(DC)，电压最高可达1500V，电流250mA-完全程序自动控制的射频光源(RF)，功率最大150W，电压、电流自动监控，实时等离子自动调节、脉冲工作模式(选装件、仅GDA 750有效)-选装件：自动进样器，程序控制100位光学系统-光谱分辨率优于20pm(FWHM)-光谱范围：190nm--800nm-Paschen-Runge光学系统， 焦距750mm-全息原刻光栅，2400线/mm-出射狭缝，预设所有元素通道-可同时安装63个分析通道，选用选装件(400mm)，可再附加16个分析通道-方便易操作的透镜清洁，可立即进行分析-优化的检测器高压系统，定量测试时，线性动态范围106-检测器增益自动调节-选装件：高性能CCD光学系统， 光谱范围200nm--800nm。光谱分辨率可达0.02nm(FWHM)。与主光学系统同时工作-CCD光学系统可无限制添加分析通道，真正实现全谱同时测量-选装件：单色仪，光谱范围可扩展至1500nm。可同时安装3个光栅，独立工作。真空系统-全不锈钢壳体，可充分保证痕量元素的分析，尤其对于N元素分析-光室真空采用二级旋转叶片真空泵，噪音50dB-光源使用无油真空泵，完全免除C，H，O，S，P等元素污染-内置安全阀设计，以避免突然断电对旋转叶片泵的损害-选装件：涡轮分子泵WinGDOES软件-WindowsXP或更高平台运行-使用界面简单、易懂，分级管理和操作-功能强大-方法建立简便，在线指导-校准样品管理，珍稀样品添加-多种校准模式-QDP定量分析校准-用户定制测量报告模式-数据处理和再处理功能-多种格式数据输出-分析过程中界面语言切换应用-热处理 精确测量所关心元素的含量-深度分布，定性、定量检测表面污染物、夹杂物和物相比例-涂镀层 可获得涂镀层完整的化学组分信息、层厚度，元素含量-深度分布。非导体涂镀层，如：油漆、釉等可采用RF光源分析-硬质合金层 快速分析硬质合金层和热处理工件的渗层化学组分-陶瓷 采用RF光源可精确可靠的测量-电镀 测量电镀层的复杂结构和过渡界面信息，化学组分含量、层厚、质量分布，也可进行缺陷鉴别和分析-化学组分 精确测量化学元素含量 高精度、高重复性检测 快速分析：60s可分析从H至U的所有元素， 检测范围从ppm至100%-太阳能电池薄膜 检测太阳能光伏电池薄膜中化学元素含量分布，如：Cu(In，Ga)Se2辉光放电光谱仪主要应用领域-汽车制造及零部件-金属加工、制造-冶金-航空、航天-电子工业-玻璃、陶瓷-表面处理：化学气相沉积、物理气相沉积等-电镀-光伏电池、锂电-科学研究规格电源230V/50Hz/16A工作气体99.999%含量-深度测试和H，N，O检测99.995%基体检测氩气消耗OL/min， 待机状态~0.2L/min， 测量状态工作环境温度15℃to28℃相对湿度20%to80%外观尺寸1380mmx1440mmx890mm重量约580kg

GDA 650/GDA 150的成功推出， 意味着以CCD检测器为代表技术的辉光放电光谱仪进入了新的高度。 GDA 650/GDA 150装备有最新一代的CCD固态检测器，与高分辨率光学系统完美匹配。新一代的CCD检测器不但具备传统光电倍增管的低噪声、宽动态范围的特点，而且还具备优异的分辨力和全谱数据采集能力，特别适合同时需要高精度检测和分析灵活性的用户。 高分辨率CCD光学系统使得GDA 650/GDA 150具备无限的扩展能力， 允许使用者在任何分析方法下任意扩展和增加任何分析通道。 这种灵活性允许进行快速的基体总量和涂镀层分析，所有元素，包括O，N，C等非金属元素均可进行定量分析。 在含量-深度测量中，分析深度可达200um以上， 层分辨率可达纳米级。GDA 650/GDA 150也可进行基体总量分析，尤其对于复杂基体，具备优异的线性校准曲线。检出限可达ppm级。 GDA 650/GDA 150装备有最新一代的辉光激发光源，溅射直径从1mm至8mm。采用通用样品夹具(USU)，也可进行小样品和异形样品的分析，无需更换特殊电极。 GDA 650也可选装配置脉冲式射频光源(选装件)，用于分析非导体材料。 采用脉冲式射频光源后，可分析非导体、热敏感样品，如：陶瓷、玻璃、有机涂层、有机薄膜。还可选装配置特殊样品转移室(选装件)，用于分析极薄的薄膜和在空气中易氧化的薄膜。 激发光源 同一激发光源允许安装直径为1mm至8mm电极，从而保证优秀的稳定性和重复性-高效的样品直接冷却。可直接分析热敏感样品、极薄的金属薄膜和有机薄膜。如可直接分析50um的不锈钢薄膜-优化的氩气流量控制，可以同时实现低检出限和高深度分辨率 -专门设计的自动清扫装置，保证了高精度、高重复性测量最大样品分析厚度45mm，最小厚度50um -完全程序自动控制的直流光源(DC)，电压最高可达1500V，电流250mA-完全程序自动控制的射频光源(RF)，功率最大150W，电压、电流自动监控，实时等离子自动调节、脉冲工作模式(选装件、仅GDA 650有效)-选装件：自动进样器，程序控制100位 光学系统 高性能CCD光学系统，光谱范围120--800nm-光谱分辨率优于20pm(FWHM) -Paschen-Runge光学系统， 焦距400mm-全息原刻光栅，2400线/mm-光室恒温控制，仪器稳定性优异-可无限制的配置分析通道，所有元素同时检测-方便易操作的透镜清洁，可立即进行分析-CCD检测器的灵敏度可自动调节 真空系统-全不锈钢壳体，可充分保证痕量元素的分析，尤其对于N元素分析 -光室真空采用二级旋转叶片真空泵，噪音50dB-单泵设计，同时运用于光源和光室-特殊的旋片真空泵，可最大限度的减少C，H元素的污染-内置安全阀设计，以避免突然断电对旋转叶片泵的损害-选装件：涡轮分子泵-选装件：旋转叶片真空泵可用无油真空泵替代 WinG DOES软件-WindowsXP或更高平台运行-使用界面简单、易懂，分级管理和操作-功能强大-方法建立简便，在线指导-校准样品管理，珍稀样品添加-多种校准模式-基体总量元素测量校准-QDP定量分析校准-用户定制测量报告模式-数据处理和再处理功能-多种格式数据输出-分析过程中界面语言切换应用-热处理 精确测量所关心元素的含量-深度分布，定性、定量检测表面污染物、夹杂物和物相比例-涂镀层 可获得涂镀层完整的化学组分信息、层厚度，元素含量-深度分布。非导体涂镀层，如：油漆、釉等可采用RF光源分析-硬质合金层 快速分析硬质合金层和热处理工件的渗层化学组分-陶瓷 采用RF光源可精确可靠的测量-化学组分 精确测量化学元素含量 高精度、高重复性检测 快速分析：60s可分析从H至U的所有元素， 检测范围从ppm至100%-太阳能电池薄膜 检测太阳能光伏电池薄膜中化学元素含量分布，如：Cu(In，Ga)Se，采用RF光源可精确可靠的测量辉光放电光谱仪主要应用领域-汽车制造及零部件-金属加工、制造-冶金-航空、航天-电子工业-玻璃、陶瓷-表面处理：化学气相沉积、物理气相沉积等-电镀-光伏电池、锂电-科学研究规格电源230V/50Hz/16A工作气体99.999%含量-深度测试和H，N，O检测99.995%基体检测氩气消耗0.05L/min， 待机状态~0.2L/min， 测量状态工作环境温度15℃to28℃相对湿度20%to80%外观尺寸1250mmx1440mmx650mm重量约210kg

辉光放电光谱仪GDA150 HR是一款功能强大的分析仪器，非常适合质量控制和研究用途，并且可以全天候高效运行。 GDA150 HR主要实际用于研究导电样品，其分析性能几乎与GDA 650 HR相当。这款功能强大且温度稳定的CCD光谱仪经过热处理以及涂层测试的需求进行了优化，在制造业中广泛应用。它不仅适用于所有导电基体，还可以分析C、N和H等轻元素（也可选择O）。由于操作简单且分析时间快速,GDA150 HR 可以迅速介入生产过程并在测量时纠正任何错误。 应用领域 1. 扩散过程的表面试验。 2. 制造中的深度剖面分析。 3. 涂装工艺研究。 4. 硬质涂层分析。 5. 涂镀层评价。 6. 灵活的信道选择。 7. 测量弯曲和不寻规则形状的样品。 8. 全谱评估。

PELCO easiGlow&trade Glow Discharge 91000辉光放电清洁系统是一套价格合理、结构紧凑、使用方便的系统，用于TEM铜网和支持膜清洗及表面处理。如亲油性的TEM碳支持膜经气体辉光放电处理后，表面带负电而呈亲水性，水溶液因此容易被分散。随着TEM工作量增大，使用清洁和结果重现性好的TEM铜网及支持膜较以往变得更为重要。PELCO easiGlow&trade 辉光放电清洁系统值得任何一家TEM实验室拥有，它独特的优点包括： 真空设定精确、方便 处理周期短 结果重现好 自动程序控制与手动模式可选 采用触摸屏，显示与控制直观方便 支持带正/负电、亲水性/疏水性模式 结构紧凑，价格合理 该系统包括两个独立控制的气体进口，真空度通过电控精密比例阀设定，新颖的设计避免了针阀的手动设定。逐步放气程序保证TEM铜网和支持膜在放气时不被损伤。提供两个可选的夹具，用于批量处理铜网或支持膜。当然直接用实验室的玻片承载也可以。对于经常进行亲水性和疏水性表面处理的实验室，提供双辉光放电系统（图2）以避免在样品室内引起交叉污染。 工作距离与压力的优化曲线 技术参数： 等离子体电流0-30 mA功率30W 辉光放电头极性正极负极可调样品台75mm，可存放25 x 75mm玻片样品台高度1-25 mm可调处理延迟时间0-14411 sec.处理时间0-900 sec.样品室大小?120 x 100mm 高进气孔2 个?6 mm 进气孔高压真空联锁硬件，软件双重联锁真空控制Pirani 规控制, 真空范围：大气压~0.01 mbar工作真空范围1.1 - 0.20 mbar系统显示具有LED灯光的3" 触摸，并且有5个功能键操作模式自动编程 (可编4个用户程序)尺寸305 长 x 292 宽 x 230mm 高重量6.26 kgGD4真空泵（可选）337 长 x 138 宽 x 244mm 高重量11 kg真空泵性能2.5 m3/hr, 极限真空0.03 mbar电源要求230V 50Hz, 10A

GD-Profiler 2是一款可进行超快镀层分析的理想工具，非常适合于导体（和/或）非导体复合镀层的分析。可分析70多种元素，其中包括C、H、O、N和Cl。一次测试可轻松获取镀层元素深度分布、镀层厚度、镀层均一性及表面/界面等信息。 GD-Profiler 2可分析几纳米到200微米的深度，深度分辨率小于1纳米。GD-Profiler 2采用了脉冲式射频辉光源，可有效分析热导性能差以及热敏感的样品。此外，还采用了多项技术，如高动态检测器（HDD）可测试ppm-的浓度范围，Polyscan多道扫描的光谱分辨率为18pm~25pm等。主要应用领域包括镀锌钢板、彩涂板、新型半导体材料、LED晶片、硬盘、有机镀层、锂电池、玻璃、陶瓷等等。技术参数：1、射频发生器-标准配置、复合D级标准、稳定性高、溅射束斑极为平坦、等离子体稳定时间极短，表面信息无任何失真。2、脉冲工作模式既可以分析常规的涂/镀层和薄膜，也可以很好地分析热导性能差和热易碎的涂/镀层和薄膜。3、Polyscan多道（同时）光谱仪可全谱覆盖，光谱范围从110nm-800nm，可测试远紫外元素C、H、O、N和Cl。4、HORIBA的原版离子刻蚀全息光栅保证了仪器高的光通量，因而拥有卓越的光效率和灵敏度。5、高动态检测器（HDD）可快速、高灵敏的检测ppm含量的元素。动态范围为5×1010。6、宽大的样品室方便各类样品的加载。7、功能强大的Quantum软件可以灵活方便的输出各种格式的检测报告。8、HORIBA单色仪（选配）可极大地提高仪器灵活性，可实现固定通道外任意一个元素的同步测试，称为n+1。9、适用于ISO14707和16962标准。更多指标参数请访问HORIBA官网

ZURO 发射光谱监控光谱仪25000:1 动态范围 / 小于 1nm 分辨率 / 超过 10000h 验证 ZURO 系列光纤光谱仪 针对集成电路制造工艺设备研发，能在半导体 Fab 环境下长期稳定工作。包含 ZURO-ND 和 ZURO-SM 共 2 款型号产品，适用于不同场景下的刻蚀、去胶、镀膜等工艺的监控。同时，光谱仪可配备 ideaEPD 工业软件，为客户提供全面的刻蚀终点检测解决方案。典型应用领域： 栅极工艺 栅极工艺的多晶硅刻蚀，需要一套高灵敏、高信噪比和大动态范围的光谱仪。 沟槽工艺 IGBT 器件刻蚀要控制深度，需要 in-situ 刻蚀深度监控方案，提高良率。 博世工艺 MEMS 器件加工中，刻蚀与钝化工艺反复交替进行，需要较为强大的复杂过程监控算法。 去胶工艺 Wafer 图形化后去胶，需要多套联用和高通量清洗方案，降低客户 COO 成本。 ZURO 光谱仪 具有以下显著特点： 1 小于 1nm 光学分辨率 ZURO 系列光谱仪采用特殊光路设计，实现较高光学分辨率，能区分间隔相邻的谱线，满足客户的大部分工业监控需求； 2 25000:1 大动态范围 ZURO 系列光谱仪采用了复享光学研发的信号调制方法能获得较大动态范围，实现客户在高强度辉光下测到微弱信号谱线的苛刻要求； 3 超过 10000 小时长期验证 ZURO 系列光谱仪经过半导体厂商长期测试，不掉线且数据稳定，保障客户稳定在线生产； 4 宽波段等离子体谱分析 ZURO 系列光谱仪探测器响应波段覆盖 200~1100nm，安装定制滤光片，保证客户在复杂等离子体信号中能获得正确与真实的元素特征光谱信号，消除虚假特征信号。此外，复享光学深入半导体设备厂商应用，研制用于刻蚀终点检测行业软件 ideaEPD，实现多达 10 腔同时采样监控、自定义终点判断算法、历史数据再查询等功能，并可提供 SDK 开发包，兼容 MES 系统。

ZLX-ES系列发射光谱/光源测量系统发射光谱/光源测量系统介绍 发光体，如白炽灯、荧光灯、LED等辐射光谱及发光特性的测试，对研究其特性有很大帮助。系统不仅可测量光源或其他发射光谱分布，而且可在此基础上得到积分辐射通量、光通量、色坐标等。 针对不同辐射光源的特性，可灵活选择测试系统，如：宽带光源和LED通常分辨率要求不高，可使用Omni-&lambda 150系列单色仪系统；激光器、放电灯、等离子体、原子发射光谱等要求分辨率高，可使用Omni-&lambda 300、Omni-&lambda 500、Omni-&lambda 750系列单色仪系统；宽波长范围（UV～IR），建议采用双出口单色仪接两个探测器；测试宽光谱范围的发光体，建议采用SD滤光片轮消多级光谱。系统组成：分光系统＋检测系统＋数据采集及处理系统＋软件系统＋计算机系统

岛津光电直读光谱仪PDA-8000仪器简介：PDA-8000是岛津公司2010年推出的最新一款光电发射光谱仪，集合了岛津光电发射光谱仪之精华，突出了高灵敏度、高稳定性的特点，尤其在高纯有色金属、钢铁中酸溶铝、夹杂物方面的分析有着独特的技术。性能特点：1）高分辨率分光器最新设计的1米光栅分光室，可以有效减少元素间的分光干扰。同时，为了提高对C、N等元素的分析精度，通过2次或3次等高次线进行分析，分辨率得到有效提高。2）实时能量监控（REM）功能通过增设实时能量监控功能可监视光源能量是否激发成功，激发能量为0.02J-0.6J（可以0.02J为单位步进进行设定）。即时掌握电极和样品间的发光放电是否正常（是否由于样品本身造成放电异常）从而只收集正常放电时的谱峰强度数据。对不正常放电时的脉冲不进行计数，提高分析稳定性。3）定电流放电（CRS）技术为了实现对高纯有色金属微量元素的良好分析，首次使用了定电流放电技术，即电弧放电后段，电流持续保持在10A，放电持续时间最大可达2msec，从而微量元素的灵敏度及稳定性可以得到有效提高。4）强大的软件控制功能（最新设计，操作简单，实现人机对话功能）中/英文分析软件，具有强大的数据处理能力及人性化的对话窗口，简单易懂。软件可以监控仪器各单元运行状态，并在仪器操作界面显示；有自动诊断功能，并提供简单解决方案及操作方法；在线帮助功能，自动校正功能，密码保护功能等。