射频辉光放电光谱仪

利用GDS850辉光放电光谱仪分析镀锌钢板表面镀层的厚度和重量及每种镀层元素随深度的分布，深度分辨率可达0.1nm

锂离子电池（LIB）一般是使用锂合金金属氧化物为正极材料、石墨为负极材料、使用非水电解质的电池。锂离子电池的工作原理是基于锂离子在石墨阳极的碳层或阴极的晶体结构之间的反复嵌入/脱嵌循环。电极的成分和层厚等对锂离子电池的性能和应用有着重要的影响，准确分析测定这些参数对研发者和使用者都有着重要的意义。通常用SEM/EDS分析锂离子电池电极的成分和层厚，但是存在需要切面处理，制样和分析时间较长等问题。我们提出利用Spectruma辉光放电光谱仪，快速且精确地测试这两个参数的解决方案。

在制造薄膜太阳能电池过程中的主要挑战是控制膜层的成分。商品化所需要的膜层结构重复再现性和依靠膜层精确成分的电池的电学性质同样重要。辉光放电发射光谱分析能够适用于确定整个涂层系统的深度剖面元素含量分析。

采用辉光放电光谱仪快速监测太阳能光伏电池中重要元素H、O、Cu、In、Ga、Se、Mo、Si、C、Ca、Zn、Cd、Te、Sn、Al等随深度的浓度变化，直观的分析太阳能光伏的镀层结构。辉光放电光谱仪的分析速度非常快，可快速反馈不同镀层加工条件对光伏性能的影响。非常适合工艺调整或质量监控。

采用辉光放电光谱仪快速监控锂电池电中重要元素Li、Co、H、C、Mn、S、O、F、Al、P、Ni、V、Ti、Si、B、Cu等随深度的浓度变化，尤其是电池电充放电后电中锂元素的浓度变化。多次充放电后可通过锂元素的浓度水平评估电池的寿命，为产品质控提供了简单便捷的方法。

NIST标准样品检测报告（玻璃中的痕量元素）MSI公司在辉光放电质谱同类产品中独有的RF（射频源）技术，可对非导体直接测量，而非加入石墨混合。

辉光放电光发射光谱仪在固体材料的常规分析中占有一席之地，它对具有层状结构的 材料（如热处理、镀锌层、镀锌等）提供了快速的深度剖面分析。高精度基体总量分 析的能力也是辉光光谱的能力之一。基体总量分析在生产控制或进货检验中有着广泛 的应用。本短文证明GDA750在不锈钢多元素体积分析中的性能̷̷

空心阴极灯是一种特殊形式的低压气体放电光源，放电集中于阴极空腔内。当在两极之间施加200V-500V电压时，便产生辉光放电。在电场作用下，电子在飞向阳极的途中，与载气原子碰撞并使之电离，放出二次电子，使电子与正离子数目增加，以维持放电。

辉光放电光发射光谱仪在固体材料的常规分析中占有重要 的、不可替代的一席之地，它可对具有层状结构的材料（如 热处理、锌涂层、镀锌）进行了快速的深度剖面分析。不仅具有基体总量分析的能力，而且还具备深度剖面分析能 力，在生产控制或进货检验中有着广泛的应用。本注释应证 明GDA650在复合铝多元素深度剖面分析中的性能̷̷

铸铁和毛坯铸件分析是具有挑战性的，例如，在铸铁中通常有2%到4%的碳以各种形式存在，从微小的石墨球(球墨铸铁)到大的薄片(灰铸铁)。常用的火花/电弧原子发射光谱技术需要预燃时间进行表面均匀化，但在预燃过程中一些游离碳优先蒸发，从而导致定量结果不准确。辉光放电光谱法(GDS, Glow Discharge Spectrometry, GDS)需要较长的预燃时间，才能获得亚铁材料中碳等元素的稳定信号。LIBS(激光诱导击穿光谱)仪器为对所有铸铁中的碳和其他元素进行定量分析提供了另一种方法。J200 LIBS采用短激光脉冲将高功率密度传输到样品表面，并直接激发像碳薄片这样的坚韧材料进行快速的原子发射光谱分析。对铸铁中所有材料相的有效激发使J200 LIBS仪器能够对铸铁样品进行准确、快速的碳和其他重要元素的定量分析，而不需要进行长时间的预燃。该仪器还可以提供深度剖析和关键元素的3D地图，所有这些都不需要额外的硬件。功能强大，易于使用的Clarity LIBS数据分析软件，使可视化的地图结果毫不费力。由于没有或极少量的氩气消耗，操作成本很低，LIBS是对生产中的原材料进行快速QC和对铸件进行分析以确定铸件成品的元素组成的理想选择。

快速出数据的PID检测法通常采用的紫外灯是充有氢气或氢气等气体的辉光放电管。辐射能量为10.2eV的紫外灯充有0.1-1托的氢气，在直流高压的电场作用下电极间产生辉光放电，形成长约10厘米，直径1厘米的等离子体柱

辉光放电发射光谱（GDOES）是一种对金属和非金属固体材料进行定性和定量分析的光谱方法。GDOES可以用来研究样品的 元素组成、层厚和层结构。此外，可以确定涂层重量̷̷

HORIBA推出的《HORIBA锂电池材料表征解决方案》中涉及拉曼光谱、粒径分析技术以及多种元素表征技术包括ICP-OES、碳硫/氧氮氢分析、X射线荧光和辉光放电；列举了以上不同技术对锂电池正负材料、隔膜材料、锂电池材料回收的应用案例，以及原位拉曼光谱技术监测充放电过程中材料的结构变化。

在当今社会，智能手机和平板电脑等电子设备正成为人类日常活动的重要组成部分。这些电子产品不断发展，使其结构更紧凑、重量更轻，这也就对电池的功率输出和寿命提出了越来越高的要求。为了应对这些技术挑战，锂离子电池技术也在不断进步，在保持紧凑和轻便特性的同时，还能够产生更高的能量输出和更强的循环性能。本文介绍了激光诱导击穿光谱(LIBS)对锂离子电池重要元件化学组成的关键元素进行深度分析的能力。这些组件包括正极、负极和固态电解质。典型的基于解决方案的元素分析技术，如电感耦合等离子体发射光谱（ICP-OES）和电感耦合等离子体发射质谱（ICP-MS），不能揭示这些部件的结构信息。另一种流行的元素分析技术X射线荧光光谱（XRF）无法为锂离子电池电极的重要元素提供元素覆盖，例如Li、B、C、O、F、N。其它表面和深度分析技术，需要复杂的真空仪器，如二次离子质谱（SIMS）、辉光放电质谱（GD-MS）、俄歇电子能谱（AES）和X射线光电子能谱（XPS），检测速度慢或者价格昂贵。LIBS提供锂离子电池组件在实验室或工厂的深度分析能力，具有很出色的分析速度。LIBS还具有从H - Pu到大含量范围(ppm - wt. %)的基本覆盖。

射频芯片 RF chip 主要为手机等移动终端设备提供无线电磁波信号的发送和接收, 是进行蜂窝网络连接, Wi-Fi, 蓝牙, GPS 等无线通信功能所必需的核心模块. 全球射频市场处在一个高速发展的时代, 芯片和系统制造商需要相应的测试系统, 以确保射频芯片性能和合规性. 近日, 国内某射频功率放大器制造企业通过上海伯东推荐, 购入美国 ThermoStream ATS-710 高低温冲击测试机, 给射频芯片提供 -80 至 +225 °C 快速精准的外部温度环境, 满足测试芯片性能的要求.

激光剥蚀-ICP-MS (LA-ICP-MS) 可用于固体样品和粉末中的元素分析，其中包括地质材料、陶瓷、生物组织和法医样品。本研究使用两种校准策略（基质匹配和非基质匹配）对高纯度金属进行定量分析。LA-ICP-MS 可直接分析固体样品，因此与标准液体样品进样相比，固体样品只需极少的样品前处理步骤。由于无需溶出过程，降低了分析物损失的风险，也避免了引入污染物。但是，由于缺少固体校准标样，LA-ICP-MS 分析可能难以实现精确定量分析。用于固体样品分析的校准标样比用于液体样品分析的校准标样更难以制备，含合适浓度分析物的基质匹配的固体校准标样也比较少见。在金属行业等少数领域中可能已经获得特征明确的基质匹配标准品，因为电弧/火花或辉光放电 (GD) 光学发射光谱 (OES) 等成熟分析技术中使用固体标样。

全场测试。测试对象为辉光放电中的等离子体。和理论计算模拟相对比。对于电子设备散热，器件热传导规律的认识有借鉴和参照意义。

为了揭示样品的真实微观结构，通 常必须经过费时费力的表面处理步 骤。通常样品应嵌入、研磨并仔细 抛光。研磨和抛光程序会在样品表 面形成划痕和塑性变形层（高达 20µ m）,这可能导致对微观结构的 错误解释。 在抛光状态下，可以在光学显微镜 或扫描电子显微镜（SEM）中观察 到材料的微观结构，其成分在反射 率或硬度上有很大差异(e.g. PbSb-Sn or Bi-Mn alloys).然而，对于许多材料，微观结构 只能通过使用危险化学品的蚀刻 来揭示。我们提出了一种利用辉光放电 Grimm型溅射源进行表面预处理 的新技术。与常规方法相比，该 方法简单、快速。而且它不需要 使用化学药品̷̷

等离子表面处理是一种新的技术，可以实现很多功能，例如超洁净清洗、表面能改善、表面活化、刻蚀、涂覆等。TEM样品前处理设备亲水化处理仪或者称为辉光放电仪就是利用这一技术实现对TEM碳膜进行表面改性，以获取更佳的制样效果。亲水性处理可以让染色剂更好更均匀的附着在碳膜或切片上，显著电镜增强染色效果。

采用LaVision的ImagerIntense型CCD相机和NewWavePIV激光器对甲烷加氧气和氢气加氧气两种燃料混合物火焰流场进行了测量，并研究观察了高压高频放电对流场形态，燃烧形态的影响，分析了影响机理，并探讨了可能的应用。

上海伯东美国 KRi 考夫曼品牌 RF 射频离子源, 无需灯丝提供高能量, 低浓度的宽束离子束, 离子束轰击溅射目标, 溅射的原子(分子)沉积在衬底上形成薄膜, IBSD 离子束溅射沉积 和 IBD 离子束沉积是其典型的应用.

赛默飞世尔科技作为科学服务行业的领导者，凭借其离子色谱和电感耦合等离子体质谱和辉光放电质谱的技术实力，不断开发各类半导体材料中痕量无机阴离子、阳离子和金属离子的检测方案，为半导体集成电路制造行业提供多种解决方案，在晶圆表面清洗化学品、晶圆制程化学品、晶圆基材和靶材等各方面，全方位满足半导体生产对相关材料的质量要求，从完整制程出发提供全面可靠的分析技术，促进行业整体质量水平的提高，帮助半导体客户建立起完整质量控制体系，促进中国半导体行业与国际水平接轨。

射频消融疗法，属于靶向治疗方案，常见适应症有甲状腺结节及甲状腺癌、乳腺结节及乳腺癌、肝癌、肺结节及肺癌等。该疗法是早期肝细胞癌(HCC)常用的局部消融治疗手段。在影像(CT、彩超)的引导下，经皮穿刺将消融电极准确刺入肿瘤部位，利用射频电波，能量将肿瘤组织加热到95°C，使肿瘤组织产生局部高温，完全坏死，从而达到治疗肿瘤的目的。

上海伯东美国 KRI 射频离子源成功应用于 LED-DBR 离子辅助镀膜市场. 随着对镀膜品质要求的不断提升, 使用霍尔离子源辅助镀膜已经无法满足高端镀膜应用市场, 国内某知名 LED 制造商经过我司推荐采用射频离子源 RFICP 325 安装在 DBR 生产设备 1650 mm 蒸镀机中. 成功实现高端光学镜头镀膜并通过脱膜测试!

在当今社会，智能手机和平板电脑等电子设备正成为人类日常活动的重要组成部分。这些电子产品不断发展，使其结构更紧凑、重量更轻，这也就对电池的功率输出和寿命提出了越来越高的要求。为了应对这些技术挑战，锂离子电池技术也在不断进步，在保持紧凑和轻便特性的同时，还能够产生更高的能量输出和更强的循环性能。本文介绍了激光诱导击穿光谱(LIBS)对锂离子电池重要元件化学组成的关键元素进行深度分析的能力。这些组件包括正极、负极和固态电解质。典型的基于解决方案的元素分析技术，如电感耦合等离子体发射光谱（ICP-OES）和电感耦合等离子体发射质谱（ICP-MS），不能揭示这些部件的结构信息。另一种流行的元素分析技术X射线荧光光谱（XRF）无法为锂离子电池电极的重要元素提供元素覆盖，例如Li、B、C、O、F、N。其它表面和深度分析技术，需要复杂的真空仪器，如二次离子质谱（SIMS）、辉光放电质谱（GD-MS）、俄歇电子能谱（AES）和X射线光电子能谱（XPS），检测速度慢或者价格昂贵。LIBS提供锂离子电池组件在实验室或工厂的深度分析能力，具有很出色的分析速度。LIBS还具有从H - Pu到大含量范围(ppm - wt. %)的基本覆盖。

体液的代谢组指纹图谱能够揭示许多代谢异常相关性疾病的发病原因，从而成为疾病诊断和治疗预后诊断的潜在工具。本文报导了一种将实时直接分析（DART）与飞行时间质谱（TOF MS）联用的快速方法，用该方法对人血清代谢组指纹图谱进行了分析。在本研究中，首先对血清样品进行蛋白沉淀处理，并通过衍生化提高代谢物的挥发性，然后进行DART MS分析。用同体积健康人血清样品优化了电离气体温度和流速等仪器参数，获得了DART MS的最佳性能。实验表明这些参数对所检测代谢物全质量范围及DART质谱图信噪比有显著影响。每次DART分析只需要1.2分钟，在此过程中可以按时间顺序观察到1500多张不同的特征图谱。用手动取样臂得到的总离子信号重现性为4.1% 到4.5%。DART MS最令人感兴趣的特点是高通量、无记忆效应和简单性，因此有望成为代谢组指纹图谱研究极宝贵的工具。 代谢组指纹图谱，一种基于代谢模式或“指纹图谱”对样品分类的无偏差全面筛查方法，已经在尿、血浆、血清和体液等各种生物样品类型上进行了实验。核磁共振（NMR）和质谱是代谢组指纹图谱研究广泛使用的两种分析平台。NMR的优势是几乎不用进行样品处理，更容易获得大量数据，但成本高、灵敏度低是它的两个主要缺陷。气相色谱-质谱（GC-MS）和液相色谱-质谱（LC-MS）是代谢组学工作流程中常用的两项补充技术。除非常复杂以外， GC-MS和LC-MS还有分析通量低和有色谱记忆效应等缺点，尤其是在研究生物基质（如血清）中的代谢物时。为了克服上述局限，人们还在不断研究能有效分析代谢组学的技术。 实时直接分析（DART）是一种在室温和大气压条件下操作的基于等离子体的电离技术。属于大气压等离子体电离技术，该技术包括直接大气压光电离（DAPPI）、实时直接分析（DART）流动大气压辉光放电?（FAPA）、等离子体辅助解吸附电离（PADI）、低温等离子体（LTP）电离和介质阻挡放电电离（DBDI）等。DART以记忆效应最小的非接触方式电离。样品可以手动处理，也可以通过自动进样器辅助，主要的消耗品是高纯压缩气体（氦气或氮气），每个样品的分析成本较低。DART的工作原理是，首先在气流（氮气或氦气）中发生辉光放电，形成的亚稳原子与大气压中的水发生相互作用，生成质子化的水簇。这些clusters通过质子转移与热气流解吸附的分析物发生作用。在大多数情况下，不经过样品制备即可发生直接电离。DART已成功用于制药产品、仿冒药物、细菌脂肪酸、调料和香料等分析领域。 本文报导了一种用DART-TOF和DART-Q-TOF MS快速分析人血清代谢组指纹图谱的方法。讨论了各种实验参数的优化，通过精确质量测定和添加实验，对血清代谢物进行了鉴定。用DART离子源与Q-TOF质谱联接，用DART进行血清代谢组学研究的工作，迄今尚未见文献报导。

Electron heating, mechanisms of plasma generation, and electron dynamics in dif-ferent types of capacitively coupled radio frequency (CCRF) discharges relevant forindustrial applications are investigated by a combination of di® erent experimen-tal diagnostics, simulations and models. Geometrically symmetric and asymmetricsingle frequency discharges operated at low pressures, geometrically symmetric dualfrequency discharges operated at two substantially di® erent frequencies and two sim-ilar frequencies (fundamental and second harmonic with variable phase shift betweenthe driving voltages) as well as hybrid capacitively/inductively coupled (CCP-ICP)RF discharges are studied. Electron heating is found to be strongly a® ected byphenomena characteristic for a certain discharge type, that do not occur in another.At low pressures the generation of highly energetic electron beams by the expand-ing sheath is observed. Such beams propagate through the entire plasma bulk andare re° ected at the opposing plasma boundaries, if the electron mean free path islong enough. An analytical model demonstrates that these beams lead to an en-hanced high energy tail of the electron energy distribution function and are, there-fore, closely related to stochastic heating

Elastin?specific MRI of extracellular matrix?remodelling following hepatic radiofrequency?ablation in a VX2 liver tumor modelScientific Reports (2021) 11:6814 (2021影响因子: 4.996)肝肿瘤模型中肝脏射频消融后细胞外基质重塑的弹性蛋白特异性MRI 研究

The dynamics of high energetic electrons (11.7 eV) in a modified industrialconfined dual-frequency capacitively coupled RF discharge (Exelan, LamResearch Inc.), operated at 1.937MHz and 27.118 MHz, is investigated bymeans of phase resolved optical emission spectroscopy. Operating in a He–O2plasma with small rare gas admixtures the emission is measured, withone-dimensional spatial resolution along the discharge axis. Both the low andhigh frequency RF cycle are resolved. The diagnostic is based on timedependent measurements of the population densities of specifically chosenexcited rare gas states. A time dependent model, based on rate equations,describes the dynamics of the population densities of these levels. Based onthis model and the comparison of the excitation of various rare gas states, withdifferent excitation thresholds, time and space resolved electron temperature,propagation velocity and qualitative electron density as well as electron energydistribution functions are determined. This information leads to a betterunderstanding of the dual-frequency sheath dynamics and shows, that separatecontrol of ion energy and electron density is limited.

Various types of capacitively coupled radio frequency (CCRF) discharges are frequently usedfor different applications ranging from chip and solar cell manufacturing to the creation ofbiocompatible surfaces. In many of these discharges electron heating and electron dynamicsare not fully understood. A powerful diagnostic to study electron dynamics in CCRFdischarges is phase resolved optical emission spectroscopy (PROES). It is non-intrusive andprovides access to the dynamics of highly energetic electrons, which sustain the discharge viaionization, with high spatial and temporal resolution within the RF period. Based on a timedependent model of the excitation dynamics of specifically chosen rare gas levels PROESprovides access to plasma parameters such as the electron temperature, electron density andelectron energy distribution function (EEDF). In this work the method of PROES is reviewedand some examples of its application are discussed. First, the generation of highly energeticelectron beams by the expanding sheath in geometrically symmetric as well as asymmetricdischarges and their effect on the EEDF are investigated. Second, the physical nature of thefrequency coupling in dual frequency discharges operated at substantially different frequenciesis discussed. Third, the generation of electric field reversals during sheath collapse in singleand dual frequency discharges is analysed. Then excitation dynamics in an electricallyasymmetric novel type of dual frequency discharge is studied. Finally, limitations of PROESare discussed.