微维位移扫描测量仪

◆PLMapping测量◆多种激光器可选◆Mapping扫描速度：优于20点/秒◆空间分辨率：10um（物镜），50um（透镜）◆光谱分辨率：0.1nm@1200g/mm◆Mapping结果以3D方式显示◆最大8吋的样品测量◆晶片精确定位◆样品真空吸附◆可做低温测量◆膜厚测量测试原理：PL是一种辐射复合效应。在一定波长光源的激发下，电子吸收激发光子的能量，向高能级跃迁而处于激发态。激发态是不稳定的状态，会以辐射复合的形式发射光子向低能级跃迁，这种被发射的光称为荧光。荧光光谱代表了半导体材料内部，一定的电子能级跃迁的机制，也反映了材料的性能及其缺陷。操作简便、全电脑控制PMEye-3000系列PL Mapping测量仪，是一款适合于半导体晶片和LED外延片科研、生产和质量控制环节的仪器；采用整机设计，用户只需要根据需要放置合适的检测样品，无需进行复杂的光路调整，操作简便；所有控制操作均通过计算机来控制实现。全新的样品台设计，采用真空吸附方式对样品进行固定，防止对样品的损伤；可对常规尺寸的晶圆样品进行精确定位，提高测量重复性。系统采用直流和交流两种测量模式，直流模式用于常规检测，交流模式用于微弱荧光检测。荧光测量一般的PL测量仪只是测量荧光的波长和强度。PMEye-3000系列增加对激光强度的监控，并根据监控结果来对荧光测量进行校正。这样就可以消除激发光源的不稳定带来的测量误差，也使测量结果有可比性。Mapping功能PMEye-3000系列配置200X200mm的X-Y电控位移台，最大可测量8英寸的晶圆样品。用户可以根据不同的样品规格来设置扫描区域及空间分辨率，扫描速度优于每秒20个点，空间分辨率可达10um（物镜），50um（透镜）。扫描结果以3D方式显示，以不同的颜色来表示不同的荧光强度。激光器PMEye-3000系列有多种高稳定性的激光器可选，系统最多可内置2个激光器和一个外接激光器，标配为1个激光器。用户可以根据测量对象来配置不同的激光器，使PL检测更加灵活。PMEye-3000系列可内置的激光器波长有：266nm，405nm，442nm，532nm、785nm等，外置激光器波长有：325nm，632.8nm等。功能强大的软件我们具有多年的测量仪器操作软件的开发经验，熟悉用户的操作习惯，这使我们开发的这套PMEye-3000系列操作软件功能强大且操作简便。PMEye-3000系列操作软件提供单点PL光谱测量及显示，单波长的X-Y Mapping测量及显示，mapping结果以3D方式显示。同时具有多种数据处理方式来对所测量的数据进行处理。低温样品室附件该附件可实现样品在低温状态下的荧光检测。有些样品在不同的温度条件下，将呈现不同的荧光效果，这时就需要对样品进行低温制冷。如图所示，从图中我们可以发现在室温时，GaN薄膜的发光波长几乎含盖整个可见光范围，且强度的最高峰出现在580nm附近，但整体而言其强度并不强；随着温度的降低，发光强度开始慢慢的增加，直到110K时，我们可以发现在350nm附近似乎有一个小峰开始出现，且当温度越降越低，这个小峰强度的增加也越显著，一直到最低温25K时，基本上就只有一个荧光峰。GaN薄膜的禁带宽度在室温时为3.40Ev,换算成波长为365nm，而我们利用PL系统所测的GaN薄膜在25K时在356.6nm附近有一个峰值，因此如果我们将GaN薄膜的禁带宽度随温度变化情况也考虑进去，则可以发现在理论上25K时GaN的禁带宽度为3.48eV，即特征波长为357.1nm，非常靠近实验所得的356.6nm，因此我们可以推断这个发光现象应该就是GaN薄膜的自发辐射。性能及功能扫描模式单波长mapping摄谱模式峰值波长mapping；给定波长范围的积分光源405nm激光（标配）150W溴钨灯（可选，用于膜厚测量）光源调制斩波器光谱仪三光栅DSP扫描光谱仪光谱仪焦距500mm（标配）波长准确度± 0.2nm（1200g/mm，300nm）± 0.6nm（600g/mm，500nm）± 0.8nm（300g/mm，1250nm）探测器Si探测器，波长范围：200～1100nm （标配）数据采集设备带前置放大器的数字采集器DCS300PA锁相放大器SR830二维位移平台行程200*200mm，重复定位精度3&mu m样品台具有真空吸附功能，对主流的3&rsquo &rsquo ,4&rsquo &rsquo ,5&rsquo &rsquo ,6&rsquo &rsquo ，8&rsquo &rsquo 的晶片可进行精确定位Mapping扫描速度优于20点/秒Mapping位移步长最小可到1um空间分辨率10um（物镜方式），50um（透镜方式）重复定位精度3&mu m探测器选择探测器类型光谱响应范围R1527光电倍增管200～680nmCR131光电倍增管200～900nmDSi300硅光电探测器200～1100nmDInGaAs1700常温型铟镓砷探测器800～1700nmDInGaAs1900制冷型铟镓砷探测器800～1900nmDinGaAs2200制冷型铟镓砷探测器800～2200nmDinGaAs2600制冷型铟镓砷探测器800～2600nm

Novator中图激光扫描3D光学影像测量仪将传统影像测量与激光测量扫描技术相结合，实现2.5D和3D复合测量。其线激光3D扫描功能，可实现3D扫描成像和空间测量；点激光线扫描功能，可输出断面高度、距离等二维尺寸做分析。还支持频闪照明和飞拍功能，可进行高速测量，大幅提升测量效率；具有可独立升降和可更换RGB光源，可适应更多复杂工件表面。产品优势稳固移动平台、高测量精度1.精密大理石机台，稳定性好，精度高。2.精密线性滑轨和伺服控制系统，超低分贝静音级运动。3.三轴全自动可编程检测，实现复杂特征批量检测。激光扫描成像、3D复合测量1.支持点激光轮廓扫描测量，进行高度方向上的轮廓测量。2.支持线激光3D扫描成像，可实现3D扫描成像和空间测量。3.VisionX测量软件支持多种轮廓测量和3D空间测量，无缝连接2D/3D混合测量。频闪照明光源、高速硬件飞拍1.具备频闪照明光源，支持频闪和普通双模式。2.支持飞拍模式测量，测量效率提升5~10倍。3.融入中图闪测仪的拼接测量功能，发挥综合优势。可更换RGB表光、独立升降表光1.可更换RGB表光和白色表光，适应多种复杂颜色和材料表面。2.表光可独立升降，更好的观察样品表面。3.支持六环八分区表面光、透射光、同轴光分段编程控制。自动测量，批量更快1.程序匹配工件坐标系，自动执行测量流程。2.支持CAD图纸和Gerber图纸导入，坐标系匹配测量。3、CNC固定坐标系模式下，可快速精确地进行批量测量。操作简单，轻松无忧1.具备大幅面导航相机，快速实现工件定位。2.具有镜头防撞功能，轻松无忧。3.一体化操作界面，任何人都能轻松设定和测量。软件测量功能1.量测工具：扫描提取边缘点、多段提取边缘点、圆形提取边缘点、椭圆提取、框选提取轮廓线、聚焦点、最近点等。2.可测几何量： 点、线、圆（圆心坐标、半径、直径）、圆弧、中心、角度、距、线宽、孔位、孔径、孔数、孔到孔的距离、孔到边的距离、弧线中心到孔的距离、弧线中心到边的距离、弧线高点到弧线高点的距离、交叉点到交叉点的距离等。3.构建特征：交点、中心点、极值点、端点、两点连线、平行线、垂线、切线、平分线、中心线、线段融合、半径画圆、三线内切圆、两线半径内切圆等。4.形位公差：直线度、圆度、轮廓度、位置度、平面度、对称度、垂直度、同心度、平行度等形位公差评定。5.坐标系：仪器坐标系、点线、两点 X、两线等工件坐标系；图像配准坐标系；可平移、旋转、手工调整坐标系。6.快速工具：R角、水平节距、圆周节距、筛网、槽孔、轮廓比对、弹簧、O型圈等特殊工具快速测量。7.支持公差批量设置、比例等级划分、颜色自定义管理。测量界面Novator中图激光扫描3D光学影像测量仪具备多种测量功能，包括表面尺寸、轮廓、角度与位置、形位公差、3D空间形貌与尺寸结构等的精密测量。可实现各种复杂零件的表面尺寸、轮廓、角度与位置、形位公差、3D空间形貌与尺寸结构等精密测量。Novator可用于机械、电子、模具、注塑、五金、橡胶、低压电器、磁性材料、精密冲压、接插件、连接器、端子、手机、家电、印刷电路板、医疗器械、钟表、刀具、计量检测等领域。高度测量Novator中图激光扫描3D光学影像测量仪配备（1）触发式测头；（2）点激光(激光同轴位移计)；（3）三角激光三种传感器配置，能精准测量零件高度尺寸。1、接触式测量影像测量仪+触发式测头组合相当于一台小的三坐标测量仪，也就是我们说的复合式影像测量仪，在需要测量高度的地方，用探针取元素（点或者面），然后运用影像测量仪软件中的Z轴自动对焦功能，测量得出高度。2、非接触式测量通过搭载点激光(激光同轴位移计)、三角激光传感器配置，点激光轮廓扫描测量以及线激光3D扫描成像进行高度测量，平面度测量，针对镜面和光滑斜面均可测量；或是运用影像测量仪软件中的Z轴自动对焦功能，测量得出高度，这样的测量方法可以减少人为误差，不管是谁来测量，都可以测得同样的数值，非常简单方便。平面度测量在测量平面度时，可以将待测物放置在二维影像仪的工作台上，使用光学放大镜头和图像处理软件来检测物体表面的高低差异，并计算出物体表面的平坦度参数。通过与标准样品的比较，可以判断物体表面是否符合规定的平面度要求。需要注意的是，二维影像仪在测量平面度时，需要选择合适的光学放大倍率和图像处理算法，以保证测量结果的准确性和可靠性。光学测头平面度测量3D形貌测量Novator二次元影像测量仪搭载高精度线扫激光测头，无接触扫描3D轮廓成像，抑制多重反射，能够快速实现尺寸的精准批量测量。通过3D成像视图，可观察到产品形貌的微小特征，可实时输出2D、3D图像保存，支持2D、3D产品尺寸测量。部分技术指标型号Novator432行程范围X(mm)400Y(mm)300Z(mm)200图像传感器高清彩色工业摄像机显示器24英寸 LCD显示器（1920×1080）放大倍率光学放大0.6~8.0X 影像放大17~232X照明系统透射光远心透射照明（绿色）表面光6环8分区分割照明（白光）；选配，可更换RGB光源同轴光LED光3D扫描成像测量Z向测量范围5mm扫描宽度30mm支持飞拍测量模式支持支持导航相机支持传感器配置选配，(1)接触式探针；(2)白光共焦；(3)三角激光外形尺寸(mm)860*1350*1670仪器重量(Kg)650恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

三维扫描测量仪-FLEX-3A(德国OTTO)3D扫描仪、非接触式3D扫描仪、三维尺寸光学测量仪、三维扫描仪、三维光学扫瞄测量仪OTTO Vision Technology GmbH-我们与合作伙伴在精密光学，机械工程和图像处理硬件方面保持密切合作，以此为基础开发复杂的测试和分类系统以及复杂的测量系统，目前已在大约2,000个工业应用中使用。FLEX-3A：光学3D扫描仪用于自动检查由于具有自动化功能，FLEX-3A系列的3D扫描仪适用于首样品和原型测量以及生产中的自动样品控制。封闭式外壳概念，长期稳定的系统校准以及数据采集，计算和评估的完全自动化，确保了在生产条件下过程稳定的使用。两个标准集成电动轴可以补充其他轴和运动顺序。 ①?小型测量场，物体场尺寸为20 mm③?模块化测量场变化⑤?无需注册标记的多幅图像记录⑦?数据采集 和评估自动化⑨?电动模块化扩展FLEX-3A / 12M(2)相机分辨率：1200万像素(4)尺寸（宽x深x高）：855毫米x 854毫米x 930毫米(6)作业系统：Windows 10(8)可选配振动隔离台 (1)可用的测量范围：20mm x 15mm至230mm x 172mm(3)测量点距离：8μm至90μm(5)重量：约145公斤(7)电源：230V / 50Hz / 5A

基恩士 高精度三维扫描测量仪 VL-700系列全新 从扫描到分析、导出STEP一键即可完成 仅放置即可扫描、一键导出STEP 数据 自动CAD 转换实现了3D 数据的广泛应用 通过CAD 对比，实物对比实现难以完成的测量高精度三维扫描测量仪“VL-700 系列”配备了全自动CAD 转换功能。全自动执行从扫描到STEP 文件输出的整个流程。无需专属转换软件即可一站式输出CAD 软件可使用的格式，有助于缩短作业工序。此外，还配备了新开发的高分辨率投受光镜头——WDR CMOS 传感器。实现上一代2 倍*的检测能力。可以将目标物直接按照所展现的外观扫描，将形状和颜色转化为3D 数据。此外，可以基于CAD 数据进行比较测量。更新比较拟合算法，实现稳定的比较测量。还可基于CAD 坐标值进行比较测量。*与本公司VL-500 产品的比较产品外观产品特性1、仅放置即可扫描、一键导出STEP 数据一体化设计造就了硬件与软件杰出结合的全新功能：放置工件后仅需一键，即可全自动扫描&导出STEP。2、自动CAD 转换实现了3D 数据的广泛应用以往*2 倍的分辨率可获取再现性高的数据可以自动转化CAD，实现了各种应用场景的使用。*与本公司VL-500 产品的比较3、通过CAD 对比，实物对比实现难以完成的测量通过数据的对比，可实现以下分析：&bull 扫描数据与CAD 数据的比较&bull 良品与不良品的比较&bull 实验前后的评估&bull 模具差异的比较&bull 磨损前后的评估&bull 试作品改变条件时的比较・ ・ ・ 基恩士 高精度三维扫描测量仪 VL-700系列如果想了解更多信息可留言或电话咨询，我们将竭诚为您服务。

叶面积测量仪-扫描式叶面积仪测量仪产品介绍：YMJ-S叶片图像分析仪采用开放式架构体系，自由组合为田间便携式、实验室型等扫描的个性面积测量仪器，该仪器利用经过调校的图像捕捉设备获取高质量的叶片图形并运用专业软件精确分析计算叶片面积及其相关参数，并且可以将叶片分段测量，系统自动合并两张图片并综合分析各参数，广泛运用于植物生理学、植物生态学、植物病理学、农学、园艺和林学等学科，可进行形态学、植物病理学研究。叶面积测量仪-扫描式叶面积仪测量仪功能参数叶子测量参数：叶片面积（单个和多个以及面积总和），叶片周长，叶片最大长度，叶片最大宽度，纵横比，叶片和叶柄长度，形状因子，矩形度，凹凸比，球状性，虫洞数量，虫洞面积等数据传输：数据可上传至云平台，可按照任意时间段和叶片类别检索历史数据，可查看测量时间叶片面积、周长，最大叶长、最大叶宽，矩形度，凹凸比，球状性，形状系数，虫洞数量，虫洞面积等数据，可对不同参数做柱状图分析，支持数据以EXCEL表格形式导出，可根据选择的时间段展示数据、支持数据以表格、柱状图等分析，支持在线下载。叶面积测量仪-扫描式叶面积仪测量仪组成：1、图像扑捉系统：经厂家调试的图像捕捉系统2、YMJ-S叶图像分析软件图像采集系统参数扫描面积 220×300 mm，分辨率 4800 dpi，平板便携式，笔记本电脑供电测量范围：不大于220×300 mm的阔叶叶片测量分辨率：面积：0.001cm2长度、宽度：0.01cm叶面积测量仪-扫描式叶面积仪测量仪配置清单：扫描仪、加密狗、U盘、说明书、合格证、手提箱

1. 英国IMETRUM公司英国Imetrum公司，2003年从英国布里斯托大学分出，成立独立的公司。公司15年致力于非接触式视频精确测量领域的研究和开发工作，使其成为这一领域的佼佼者。非接触式应变位移视频测量仪于2007年投入市场，以其非接触式、实时监测和高精度等优势，很快被广泛应用于各大院校、科学研究所和企事业单位，在国防和军工单位也有大量的客户。比如：NPL（英国国家物理实验室）AWE（英国原子武器研究所）MBDA（欧洲导弹集团）Airbus（欧洲空中客车公司）Rolls Royce（劳斯莱斯）ThyssenKrupp（蒂森克虏伯）2. 工作原理采用高分辨数字工业摄像机，并选用合适的镜头，视频测量仪器可以对小到1mm、大到超过100m的被测物进行测量。此仪器采用亚像素技术。亚像素技术，是一种图像计算方法，一般情况下，图像的最小单位是像素，即是说，图像是有一系列的像素点组成。但是，利用这种亚像素技术，可以将一个像素再进行细分，认为一个像素是有多个亚像素组成。比如：通过一种计算方法，可以把一个像素细分成10个亚像素，这样的话，可以识别的最小单位由原来的一个像素，变成1/10个像素，那么测量精度也就提高了10倍。此仪器在测量小试样的时候，可分辨1/500个像素。视频测量仪器利用英国Imetrum公司专利的图像计算方法，利用亚像素技术，可精确测量摄像机图像上目标点的位置。不需要设定专门的目标点。比如以下特征点都可以用做测量的目标点。l 自然的纹理（比如：建筑物的表面特征）l 标记笔做的标记l 喷漆产生的斑点在Imetrum视频分析软件中，用户可以任意指定一系列的目标点，系统将准确跟踪视频中这些目标点的位置，从而达到测量应变和位移的目的。3. 使用意义3.1 功能准确跟踪视频中指定的目标点的位置，一个目标点相当于一个位移传感器，两个目标点相当于一个应变传感器。2 可实时精确测量二维参数：• 位移 应变• 距离 角位移• 速度 加速度• 泊松比• 应力/应变曲线、模数（需要另外提供载荷信号）2 可实时测量多个目标点，目标点的最大数量取决于所用计算机的性能。2 可同步测量多个参数；比如：同时测量位移、变形、泊松比等等。2 可拍摄实验过程，后期对录像进行再分析。3.2 优点（与传统接触式传感器相比）非接触式应变位移测量仪与传统的传感器相比，在保证测量精度高（应变精度5个微应变，位移精度0.05微米）的情况下，可以进行： 非接触式测量 动态实时测量 同步多点测量 同步测量多个参数 此仪器可以解决接触式传感器普遍遇到的一些问题。比如：小试样、大变形、表面光滑等等。具体区别见下表： 非接触式应变位移测量仪传统传感器（如：引伸计、应变片等）性能可能遇到的问题工作方式非接触式接触式打滑（特别是在疲劳试验时）无法固定在试样上试样断裂可能损坏传感器测量对象所有材质的试样；试样尺寸范围广常规尺寸的材料特殊材料无法测量小试样无法测量大试样需要贴大量应变片测量量程任意设定标距：从几个毫米，到几米均可容易超出量程测量环境宽泛：高温、潮湿、高速等常规条件测量方向平面内任意方向多点同时测量单一方向测量不同方向需要更多的应变片可测参数位移、应变、泊松比等等一种传感器实现一种功能 非接触式应变位移测量仪，可以解决接触式传感器存在的以上问题。4. 用途及测量案例非接触式应变位移测量仪可以动态实时测量应变、位移、泊松比等等。广泛应用于：材料测试领域、结构检测领域、组合件测量领域。4.1 材料测试领域4.1.1 测量精度（材料力学测试）在材料领域里，主要是用于测量小试样的变形。广泛应用于各种力学试验机上，作为一种非接触式的多点式引伸计进行使用。这时采用材料测试专用镜头，非接触式应变位移测量仪的测量精度为： 应变：5个微应变位移：0.05微米测量误差：在拉伸机上，测量铝制试样的变形。 与传统的应变片相比，误差在0.5%。同时测量了泊松比为0.33, 铝的标准值。具有英国皇家认可委员会认证书。 4.1.2 应用领域l 各种材料的力学测试（可与试验机相连）。比如：金属、塑料、橡胶、复合材料、高分子材料、混凝土、皮革、光纤、薄膜、木材、岩土、生物材料等等l 可调整标距l 可实现测量信号的反馈控制比如：与疲劳试验机相连，实现应变信号的反馈控制。l 特殊条件下的测量：高温测量：800度以上时，可能需要滤光片 高速冲击、高频振动：需要高速摄像机 损伤和破坏性实验： 疲劳试验、测泊松比、裂纹的繁衍 等等4.1.3与各种试验机结合使用非接触式应变位移测量仪能够与试验机结合使用，可测量：应力-应变曲线 弹性模量 泊松比等等。 视频测量仪利用一个数字/模拟输入/输出模块，可以将测量数据以数字或者模拟信号的方式实时输出，以供其它设备使用。从而能够与大多数力学实验机结合使用 4.1.4 材料力学测试案例（1）小尺寸试样 优势：• 标距可调；标距可以小于1毫米。因此可以测量小尺寸试样。• 非接触式；因为采用非接触的方式进行测量，所以，安装方便，并且不会在被测物上附加任何重量，可以测量柔软的材料。 （2）压缩试验优势：n 这种材料很难使用引伸计或者应变片进行测量。n 视频测量仪可以同时测量多个部位的应变。如上图，测量4个部位的变形。 （3）疲劳试验 优势：2 视频测量仪不会出现打滑现象；传统的引伸计容易出现打滑2 视频测量仪可长时间的工作；传统的应变片无法长时间工作2 视频测量仪可实现测量信号的反馈控制。（4）高温试验测量高温试验，需要在加热炉上开观察窗，视频测量仪通过观察窗进行测量。说明：从上图中可以看到，在1000度的情况下，视频测量仪仍然可以捕捉到清晰的图像，即，视频测量仪可以完成测量工作。 （5）断裂、高速冲击力学测量非接触式应变位移测量仪与高速摄像机相结合，可用于研究断裂瞬间试样变形、高速冲击碰撞瞬间变形。非接触式视频测量仪的分析软件，可以对高速摄像机拍摄的非压缩avi格式的视频进行测量，可很容易得到实验过程中的应变和位移。下图6显示的数据来自于一个碳纤维布料在大约每秒400％的变形速度下的测试实验。此实验利用25000帧/秒的高速摄像机采集图像。 图6 与高速摄像机结合，测量变形说明：目前，测量瞬态力学是一个难题，因为需要超高的采集频率。普通的采集设备很难达到这么高的采集频率。视频测量仪为您提供了一种新的测量方法。 （6）混凝土材料 说明：上图中红色框即为被测点，同时测量7个点，可以测量每个点的水平和垂直方向的位移。说明：利用视频测量测量两个被测点（上图中两个红色框）的应变。 说明：动态测量图中4个被测点的位移。 （7）微观力学测试非接触式视频测量仪与显微镜、扫描电子显微镜（SEM）、扫描探针显微镜（SPM）相结合，可以实现纳米测量。通过采集这类显微镜下的图像，结合视频分析软件，可以对这些微观图像进行测量分析。从而达到测量变形的目的。4.2 结构监测 利用非接触式应变位移测量仪，可以测量几米甚至上百米的结构件的变形和位移。具有一下优势： 非接触式 测量精度高 多角度多点同步动态测量 可同时连接8台摄像机，即可同时对8个面进行测量。4.2.1 功能：l 24小时监测可以实现测量数据的长距离光纤传输或者无线传输。l 不定期监测可保证每次测量数据的连贯性。4.2.2监测参数：l 动态挠度l 位移、应变l 速度、加速度、弯曲度 4.2.3测量精度（大型结构监测）非接触式应变位移测量仪的测量精度和摄像机采集的视场大小有关，位移分辨率为视场大小的十万分之一，最高可达到二十万分之一。比如：采用焦距为50mm的镜头(镜头可根据实际需求，进行调配)，则测量精度为：物距/米（摄像机到被测物距离）位移测量精度（毫米）1m0.0012mm10m0.012mm100m0.12mm1000m1.2mm 4.2.4应用领域举例：l 风洞试验 振动台l 桥梁、建筑、钢结构、井架l 航空航天l 堤坝、烟囱、电站4.2.5结构监测案例（1）风洞试验在航空航天领域、土木结构领域，需要研究空气动力学、建筑桥梁抗风性能，这些都需要做风洞试验，以便在模拟的气流条件下，测量飞行器的飞行能力；或者建筑、桥梁等的抗风能力。为了减轻对风洞中气流的影响，采用非接触式的测量仪是最好的选择。非接触式应变位移测量仪可以在风洞外，透过透明的玻璃，对风洞内的被测物进行测量。采用多个摄像机，可实现多角度，多点同步测量。 （2）震动台 （3）钢结构、建筑、桥梁在测量钢结构、桥梁、建筑的时候，无需在被测物体上做标记点，因为这些大型结构表面的天然纹理就可以当做标记点。 测量距离：目测在1公里以上。 测量过程：塔吊所吊重物的下降过程，即被测点4的下降过程。利用视频测量仪可以非常方便的测量桥梁上各个点的动态挠度。4.2.6优势(a) 安装省时、简单（安装少于30分钟）非接触式应变位移测量仪是属于便携式测量仪，非常方便携带及安装。 (b) 同步测量上百个点目前，市场上有其它类型的非接触式的测量仪，但是，能够同时测量多个被测点的测量仪却非常少。 (c) 可测量X、Y两个方向上的参数视频测量仪可以测量二维平面上任何方向上的参数。 (d) 无需做标记点此仪器采用图像散斑识别技术跟踪被测点，在进行结构监测时，一般被测物表面存在灰度不均匀的纹理，这些天然的纹理就可以作为被测目标点，而无需再贴任何标记。当然，也可以贴标记点作为被测点。 (e) 测量精度高被测距离100米的时候，测量精度可达到0.12毫米。 (f) 测量数据处理简单非接触式应变位移测量仪测量得到的结果，可以以文本格式存储，可利用Excel、Original等软件进行作图或处理。 (g)可对拍摄的录像，进行后续处理，使您能够对被测物进行更为详细的分析。5. 技术指标5.1． 设备工作环境电源：交流电220V 50Hz操作系统：Windows2000/XP5.2． 工作方式非接触式5.3． 测量精度测量位移和应变的精度取决于：摄像机的有效像素和视场的大小。• 大型结构测试的分辨率（采用高分辨镜头）：1/100至1/200个像素 位移分辨率：10微米（以1米的视场为例） 应变分辨率：20个微应变• 材料测试的分辨率（用特制的材料测试专用镜头，25mm的视场）：1/500个像素 位移分辨率：0.05微米 应变分辨率：5个微应变5.4． 测量准确性仪器测量的准确性分为位移和应变两个方面。1．位移的准确性在测量位移方面，视频测量仪器与一个已校准的千分表相对比，两个设备的测量结果误差在1％。此实验有空客公司独立操作。2．应变的准确性在测量应变方面，视频测量仪器与一个已校准的应变片相对比，两个设备的测量结果误差在0.5％。5.5． 采样频率设备的采样频率取决于摄像机的拍摄频率，可根据实际需求进行调整。标准配置设备的采样频率为15Hz。5.6． 测量数据处理- 测量结果可以通过数模转换模块，与拉伸机相连。- 可以文本方式记录测试结果，便宜导入Excel，进行分析。- 可以以数据曲线的方式，实时显示测量结果。- 测量结果，数据简单，部分参数的测量，无需进行标定。5.7． 可扩展性- 系统支持8个视频通道的输入，即可同时连接8台摄像机。- 支持的摄像机端口：USB2.0以上接口或者Fireware接口5.8． 与其他设备结合使用USB数字&模拟 输入&输出模块：利用此模块，可以将外部其他设备的测量信号输入进来，也可以将此设备的测量结果以数字或者模拟信号的方式，输出给其他设备，以供外部设备使用。利用此模块可以与拉伸机或MTS机结合使用。5.9． 软件分析功能(a)实时动态分析实时同步测量多个参数。比如：同步测量不同点的位移和应变。(b)后处理功能利用设备的分析软件，可以对任何非压缩式AVI格式的视频文件，进行分析处理。6. 主要设备的技术参数整套设备包括：• 英国Imetrum视频分析软件• 视频采集部分• 其他配件 以下是主要设备的技术参数：1) 专用CCD部件性能指标：- 成像设备：1/2’’黑白 逐行扫描 CCD- 有效成像：1280×960像素- 像素尺寸：4.65mm×4.65mm像素大小- 帧率：每秒钟15，7.5，3.75，或者1.875帧。- 曝光时间：快门速度1/10000s到17.5s- 触发输入：TTL，10ms脉冲时间- 1394a Fireware接口连接电脑 2) 镜头整套设备将配备高分辨镜头和材料测试专用镜头。高分辨镜头：主要应用于测试大型结构或者组合件。高分辨镜头焦距 (mm)最小物距 (mm)最大物距 (mm)最小物距1m物距视场 (mm)位移分辨率 (μm)应变分辨率 (με)测量长度(mm)视场 (mm)位移分辨率 (μm)应变分辨率 (με)测量长度 (mm)25148.3∞35.30.35209-262382.42060-17950191.8∞22.80.23206-171191.22030-89材料测试专用镜头：专门应用于材料实验，它比高分辨镜头提供更高的分辨率和测量精度。材料测试专用镜头物距 (mm)视场(mm)最小测量长度 (mm)最大测量长度 (mm)最大异面距离 (mm)应变分辨率 (με)5432561955 3) USB数字&模拟 输入&输出此设备提供数字和模拟信号的输入和输出模拟输入：通道：16单/8双分辨率：16位电压范围：+/-0.2V到+/-10V模拟输出：通道：2 分辨率：16位 电压范围：+/-10V数字输入：通道：4 逻辑电平：TTL数字输出：通道：4 逻辑电平：TTL

仪器用途扫描式活体叶面积测量仪是一款便携、快捷的活体叶面积测量设备。可以精确、快速、无损伤地测量叶片的叶面积及相关参数，可也对采摘的植物叶片及其他片状物体进行面积测量。适用于农学、草业、林业、种业等相关专业及领域的农业研究，根据叶面积测定的生理指标可对增产措施中叶面积合理密度进行控制，提高作物产量。功能特点1、触摸彩屏：RGB触摸彩屏，数据、图形双重显示，直观清晰。2、数据图形化呈现：测量的叶片将直观呈现叶片轮廓图像和叶片形态数据指标。3、多种数据补偿模式：针对叶形具体情况有“不补偿、矩形补偿，三角形补偿”三种选择模式，可完善数据使计算结果更加准确。4、支持数据自动采集：可选择自动和手动两种数据采集模式，适应不同场景测量。5、充电、数据传输二合一：设备采用Type-C接口，数据线连接电脑即可充电和导出excel数据表、叶形图，在电脑端直接处理数据。6、数据管理便捷：手机app可获取实时测量数据和仪器历史测量数据，可单独或批量选择数据以excel表格形式导出。7、传输方式多样、便捷：可支持蓝牙连接手机app和Type-C连接电脑两种方式，进行数据传输。8、大容量存储：内置储存区可储存最近1000条数据；扩展储存区可存储100万条以上数据；可在主机上直接判定数据的有效性，减轻后续数据筛选工作。9、数据防丢失：扫描式活体叶面积测量仪设备自动保存每次测量结果数据，低电量时提醒，防止设备因意外关闭而数据丢失。10、具有GPS定位功能：边测量边获取样品坐标，明确样品的对应区域，方便追寻。11、无操作时自动关机：可设置设备固定时间无操作自动关机，节约电量。12、超强续航能力：配置5Ah锂电池，满电状态可在田间工作16小时技术参数最大扫描长度：3000mm 最大测量宽度：210mm最大测量厚度：6.5mm最大扫描面积：3000*210mm^2面积测量精度：±2%长度分辨率：0.1mm宽度分辨率：0.1mm扫描速度：150mm/s显示器：480*854分辨率RGB触摸彩屏电源：5Ah可充电电池续航：16h产品尺寸：420*50*54mm产品重量：0.5kg工作温度：0～40℃工作湿度：0%～100%（不结霜）

中图仪器CP系列微纳样品接触式微观表面台阶测量仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器。主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。工作过程测量时通过使用2μm半径的金刚石针尖在超精密位移台移动样品时扫描其表面，测针的垂直位移距离被转换为与特征尺寸相匹配的电信号并最终转换为数字点云信号，数据点云信号在分析软件中呈现并使用不同的分析工具来获取相应的台阶高或粗糙度等有关表面质量的数据。结构主要组成部分1、测量系统（1）单拱龙门式设计，结构稳定性好，而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响，提高了测量精度。（2）线性可变差动电容传感器（LVDC），具有亚埃级分辨率，13μm量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差，使得产品能扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。（3）传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和正常力测量。测力恒定可调，以适应硬质或软质材料表面。超低惯量设计和微小电磁力控制，实现无接触损伤的精准接触式测量。2、工件台（1）精密的XY平台结合360°连续旋转电动旋转台，可以对样品的位置以及角度进行调节，三维位置均可以调节，利于样品调整。（2）超高直线度导轨，有效避免运动中的细微抖动，提高扫描精度，真是反映工件微小形貌。3、成像系统500万像素高分辨率彩色摄像机，即时进行高精度定位测量。可以将探针的形貌图像传输到控制电脑上，使得测量更加直观。4、软件系统测量软件包含多个模块。5、减震系统防止微小震动对测量结果的影响，使实验数据更加准确。CP系列微纳样品接触式微观表面台阶测量仪对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求，广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位，其对表面微观形貌参数的准确表征，对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。产品功能1.参数测量功能1）台阶高度：能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料；2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数；3）翘曲与形状：能够测量样品表面的2D形状或翘曲，如在半导体晶圆制造过程中，因多层沉积层结构中层间不匹配所产生的翘曲或形状变化，或者类似透镜在内的结构高度和曲率半径。2.数采与分析系统1）自定义测量模式：支持用户以自定义输入坐标位置或相对位移量的方式来设定扫描路径的测量模式；2）导航图智能测量模式：支持用户结合导航图、标定数据、即时图像以智能化生成移动命令方式来实现扫描的测量模式。3）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。3.光学导航功能配备了500W像素的彩色相机，可实时将探针扫描轨迹的形貌图像传输到软件中显示，进行即时的高精度定位测量。4.样品空间姿态调节功能CP系列微纳样品接触式微观表面台阶测量仪配备了精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴，可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节，提高测量精度及效率。性能特点1.亚埃级位移传感器具有亚埃级分辨率，结合单拱龙门式设计降低环境噪声干扰，确保仪器具有良好的测量精度及重复性；2.超微力恒力传感器1-50mg可调，以适应硬质或软质样品表面，采用超低惯量设计和微小电磁力控制，实现无接触损伤的接触式测量；3.超平扫描平台系统配有超高直线度导轨，杜绝运动中的细微抖动，真实地还原扫描轨迹的轮廓起伏和样件微观形貌。典型应用在太阳能光伏行业的应用台阶仪通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度，具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。它可以测量各种材料的膜层厚度，包括金属、陶瓷、塑料等。针对测量ITO导电薄膜的应用场景，CP200台阶仪提供如下便捷功能：1）结合了360°旋转台的全电动载物台，能够快速定位到测量标志位；2）对于批量样件，提供自定义多区域测量功能，实现一键多点位测量；3）提供SPC统计分析功能，直观分析测量数值变化趋势；

中图仪器SuperViewW光学表面三维形貌轮廓测量仪以白光干涉技术原理，用于对各种精密器件表面进行纳米级测量。通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）；SuperViewW光学表面三维形貌轮廓测量仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。产品功能(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。性能特色1、高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，中图仪器SuperViewW光学表面三维形貌轮廓测量仪的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。具有的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配：10×选配：2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配：0.5×选配：0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配：3孔手动选配：5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸（长×宽×高）700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

德国Sentech自动扫描薄膜测量仪器SenSol SenSol是SENTECH光伏产品组合中的自动大面积扫描仪器。自动表征膜厚、薄层电阻、雾度、反射和透射的均匀性。使用SenSol，可以监测大型玻璃基板上的沉积过程的均匀性，从而可以显著减少仪器维护后重新开始生产的时间。 整体表面分析SenSol自动扫描系统是为薄膜测量设计的，在面板上的每个位置，特别是在边缘都可以进行测量。 TCO自动扫描TCO可以研究厚度的均匀性、薄层电阻、光谱分辨的雾度H(λ)、反射R(λ)和透射T(λ)。 工艺优化新的沉积工艺或清洗后的沉积设备的运行时间显著减少。 SenSol自动扫描仪器设计用于玻璃薄膜光伏制造中薄膜性能的质量控制的在线测量。大量的传感器可以集成到SenSol传感器平台中。这也允许特定的工艺监测，提供补偿工艺中出现的差异。 瑞士Oerlikon Solar公司是光伏薄膜测量设备的供应商，也是SENTECH的主要参考客户之一，通过SenSol的工艺监测确保了优异的生产效果。 SENTECH易于使用，面向配方的SenSol自动扫描软件为制造商主计算机提供了灵活和定制的接口，以及客户特定的薄膜测量结果的图形表示。

三维表面形貌测量仪InfiniteFocus SLInfiniteFocus SL三维表面形貌测量仪由奥地利Alicona公司研发并生产，操作原理是国际新型的全自动变焦(Focus-Variation)技术，该技术是光学系统的小景深和垂直扫描相结合。系 统InfiniteFocus SL是一款经济型、用于实验室研究和生产控制的光学三维表面形貌测量仪。InfiniteFocus SL除可以测量形貌及微观结构的表面外，还可以测量部件的粗糙度。完美的机身框架和智能的光源使InfiniteFocus SL的测量更快速，更容易。优 势InfiniteFocus SL测量速度快、稳定性强，而且经济实惠。超过33mm的超长工作距离及50X50mm测量范围使它拥有了极宽的应用范围，测量可以在几秒钟内完成。应 用应用范围从刀具工业的刃口测量到质量保证及微观结构的表面刃口测量。InfiniteFocus SL应用于汽车、航天、模具、刀具、机械加工等制造企业。 InfiniteFocus SL光学三维刀具测量仪的部分技术参数：位移范围（X/Y）:50mm×50mm(自动调节)位移范围（Z）:130mm(26mm自动调节)最佳垂直分辨率：20nm最大扫描高度：25mm最大操作距离：17.5（5×物镜）最大扩展视野范围：2500mm2最大单一方向测量范围：50mm最小测量半径：2μm最小测量楔角：20°最小测量粗糙度（Ra）：80nm最小测量粗糙度（Sa）：50nm

全自动刀具测量仪IF-EdgeMaster全自动刀具测量仪IF-EdgeMaster是奥地利Alicona公司专门针对刀具检测而研发的一款全新产品，操作原理是新型的自动变焦(Focus-Variation)技术，该技术是光学系统的小景深和垂直扫描相结合。仪器的垂直扫描精度可以达到20纳米，既可以测量刀具的形貌，也可以测量刀具刃口和槽型内外的粗糙度。全自动刀具测量仪IF-EdgeMaster的功能：不同槽型的表面粗糙度的测量刀具刃口的钝化半径的测量刀具刃口的钝化值（K a b)自动测量刀具刃口的粗糙度的测量刀具磨损的偏差测量、磨损体积的测量刀具刃口的角度测量 （前角、后角、揳角）不同倒棱的倒棱宽度、角度全自动刀具测量仪IF-EdgeMaster的主要技术参数：位移范围(X/Y轴)：25mm×25mm位移范围(Z轴)：130mm(26mm自动)光源：24个分区的LED环形光最佳垂直分辨率：20nm最小测量半径：2μm最小测量楔角：20°最小测量粗糙度(Ra):80nm最小测量粗糙度(Sa):50nm最大倒棱长度：4000μm最大测量倾斜角：87°样品表面结构：表面形貌Ra＞9nm，Lc=2μm最大样品高度：155mm最大样品重量：4kg

妙机三坐标测量仪和影像测量仪都以先进的测量技术而得以广泛应用，虽然两者都是通过对产品的尺寸、角度和位置等形位公差进行测量的，但这两种测量仪有着本质的区别，接下来妙机小编为大家介绍一下三坐标测量仪与影像测量仪的不同之处。　　1、测量方式不同。妙机三坐标测量仪是使用测头接触工件的，通过接触的方式获取点的坐标。而影像测量仪是通过对光学镜头获取的图像进行测量的，不用接触，只需要全程使用摄像功能就可以完成测量。　　2、测量工件类型不同。虽然妙机三坐标测量仪的测量精度比影像测量仪高，但其主要是通过与工件接触的方式进行测量的，无法很好的测量小薄软等类型的工件。影像测量仪虽然可以通过非接触的形式测量小薄软等类型的工件，但对一些需要进行三维测量或测量精度要求高的工件来说，却有些力不从心。　　3、测量维度不同。妙机三坐标测量仪是根据所取点的三维坐标值来进行测量的，空间内的每一个点都有唯一的坐标值，测量精度很高。而影像测量仪是通过光学影像技术获取工件的二维影像，然后再进行精密的测量，是在二维平面上进行测量的。　　上述文章就是东莞三坐标测量仪厂商的小编和大家说的内容，大家都清楚了吗？在这边我们也就不和大家多说啦，大家若是对测量产品有所需要或者感兴趣的话，都可以随时联系我们，也可以关注一下妙机科技的。妙机科技公司不断引进先进的生产技术和质量保证，在日趋激烈的市场竞争中不断发展壮大。

德国ZEISS公司生产的METROTOM系列工业CT,高精度工业CT断层测量机,先进的技术,工业CT价格咨询,工业CT技术服务都可以联系越联公司基于 ZEISS METROTOM 的工业计算机断层扫描（CT）工业CT，X射线工业CT断层扫描测量仪利用蔡司的工业计算机断层扫描系统，仅需一次X射线扫描，即可顺利完成工件的测量和检验。标准的验收检测、精密工程和完善的校准程序可确保系统的追踪性。配备线性导轨及转台，满足客户对精度的高要求。 测量与检验整体部件ZEISS METROTOM是一种用于测量和检验塑料或轻金属部件的工业计算机断层扫描测量系统。而在利用传统测量机测量时，此类隐藏性的结构信息只有将零件通过费时的层层破坏方能获得。 轻松且精准地进行多样化特征检测利用ZEISS METROTOM计算机断层扫描系统可一次扫描海量的零部件特征。这些测量结果非常精准，且具可追溯性。和接触式测量方法不同，ZEISS METROTOM 获取海量测量点时，时间显著缩短。 直观简易的软件操作仅需通过短时间的ZEISS METROTOM OS软件培训课程，操作人员即可对零件进行扫描，透视零件的内部。利用ZEISS CALYPSO可评估CT数据，再利用ZEISS PiWeb即可快速地将两者融合于同一份测量报告中。

中图仪器CP系列微米到纳米尺度表面形貌接触式台阶测量仪用于测量台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数，是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器。它采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。CP系列微米到纳米尺度表面形貌接触式台阶测量仪应用场景适应性强，其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求，能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位，其对表面微观形貌参数的准确表征，对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。工作原理测量时通过使用2μm半径的金刚石针尖在超精密位移台移动样品时扫描其表面，测针的垂直位移距离被转换为与特征尺寸相匹配的电信号并最终转换为数字点云信号，数据点云信号在分析软件中呈现并使用不同的分析工具来获取相应的台阶高或粗糙度等有关表面质量的数据。产品功能1.参数测量功能1）台阶高度：能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料；2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数；3）翘曲与形状：能够测量样品表面的2D形状或翘曲，如在半导体晶圆制造过程中，因多层沉积层结构中层间不匹配所产生的翘曲或形状变化，或者类似透镜在内的结构高度和曲率半径。2.数采与分析系统1）自定义测量模式：支持用户以自定义输入坐标位置或相对位移量的方式来设定扫描路径的测量模式；2）导航图智能测量模式：支持用户结合导航图、标定数据、即时图像以智能化生成移动命令方式来实现扫描的测量模式。3）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。3.光学导航功能配备了500W像素的彩色相机，可实时将探针扫描轨迹的形貌图像传输到软件中显示，进行即时的高精度定位测量。4.样品空间姿态调节功能CP系列微米到纳米尺度表面形貌接触式台阶测量仪配备了精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴，可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节，提高测量精度及效率。性能特点1.亚埃级位移传感器具有亚埃级分辨率，结合单拱龙门式设计降低环境噪声干扰，确保仪器具有良好的测量精度及重复性；2.超微力恒力传感器1-50mg可调，以适应硬质或软质样品表面，采用超低惯量设计和微小电磁力控制，实现无接触损伤的接触式测量；3.超平扫描平台系统配有超高直线度导轨，杜绝运动中的细微抖动，真实地还原扫描轨迹的轮廓起伏和样件微观形貌。在太阳能光伏行业的应用台阶仪通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度，具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。它可以测量各种材料的膜层厚度，包括金属、陶瓷、塑料等。针对测量ITO导电薄膜的应用场景，CP200台阶仪提供如下便捷功能：1）结合了360°旋转台的全电动载物台，能够快速定位到测量标志位；2）对于批量样件，提供自定义多区域测量功能，实现一键多点位测量；3）提供SPC统计分析功能，直观分析测量数值变化趋势；部分技术参数型号CP200测量技术探针式表面轮廓测量技术探针传感器超低惯量，LVDC传感器平台移动范围X/Y电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)样品R-θ载物台电动，360°连续旋转单次扫描长度55mm样品厚度50mm载物台晶圆尺寸150mm（6吋）,200mm（8吋）尺寸（L×W×H）mm640*626*534重量40kg仪器电源100-240 VAC，50/60 Hz，200W使用环境相对湿度：湿度 （无凝结）30-40% RH温度：16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)地面振动：6.35μm/s（1-100Hz）音频噪音：≤80dB空气层流：≤0.508 m/s（向下流动）恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

希望&ldquo 高精度&rdquo 且能够&ldquo 在生产线内&rdquo 进行&ldquo 二维&rdquo 尺寸测量。一向对生产线内测量精益求精的KEYENCE，本次使二维尺寸测量仪的高速化到达一个新的境界。 &bull 从点到面的二维测量，可同时测量最多16 处的测量范围内设定的测量项目。测量时间大幅缩短。 &bull 新开发处高速生产线适用的二维专用处理器，使用2 个高速演算CPU 和图像处理专用DSP。 &bull 高亮度LED 和W 远心光学系统构成的高精度空间。 测量原理：将绿色LED 光转化为均一的平行光进行照射。检测出二维CMOS 上受光的明暗投影，然后测量其尺寸和角度等。采用只成像平行光的W 远心镜头。即使对象物与镜头之间的位置发生变化，CMOS 上的影像大小并不会改变，所以可以实现高精度测量。应用： 多点外径和高度差传统的激光扫描方式采用一维透射式扫描进行测量，必须考虑装置的位移精度，因而无法实现高精度测量。TM-3000 系列TM系列采用二维透射式进行测量，无需扫描。只需将工件置于测量范围内便可实现多点外径测量，既提高了精度，又缩短了工时。测量多点变形 传统的激光扫描方式需先将试样从试验机中取出后再用游标卡尺测量，因此测试需要花费大量时间。TM-3000 系列若使用TM系列测量，则可以在给试样施力的同时确认其变形程度，测试时无需将试样从试验机中取出。另外，可在测试进行期间不断追加其他条件，既准确又省时。定位传统的激光扫描方式若测量时所用摄像机及照明设备与测量机器相撞，则需要花费大量时间进行调节。TM-3000 系列TM系列运用了透射原理，且测量范围大，调节不费时间，缩短了装置操作工时。厚度传统的激光扫描方式测量时使用两个透射传感器分别感测辊轴和薄膜，因此需要花费时间去设置和调节设备。TM-3000 系列若使用TM系列测量，仅需一个传感头即可同时感测辊轴和薄膜，不产生设置误差，同时避免了因振动引起的震颤。在品质和保养上均有改善。测量多点偏移传统的激光扫描方式传统透射式进行多点测量时，除需考虑测量点数× 转动时间外，还要算入移至测量点的移动时间。TM-3000 系列若使用TM系列，仅需从二维数据中选定测量点，即可实现测量。多点偏移测量完全同步且一次完成，大大缩短作业时间。

中图仪器SuperViewW光学三维表面轮廓粗糙度形貌测量仪能以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。SuperViewW光学三维表面轮廓粗糙度形貌测量仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。产品功能(1)SuperViewW光学三维表面轮廓粗糙度形貌测量仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，中图仪器SuperView W的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。性能特色1、高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配：10×选配：2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配：0.5×选配：0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配：3孔手动选配：5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸（长×宽×高）700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

SuperViewW白光干涉摩擦磨损三维形貌快速精准高效测量仪基于白光干涉技术原理，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量，可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。产品功能(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。性能特色1、高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统SuperViewW白光干涉摩擦磨损三维形貌快速精准高效测量仪既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。SuperViewW白光干涉摩擦磨损三维形貌快速精准高效测量仪广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，中图仪器SuperView W1的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。SuperViewW白光干涉仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配：10×选配：2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配：0.5×选配：0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配：3孔手动选配：5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸（长×宽×高）700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

中图仪器Novator国产快速影像测量仪将传统影像测量与激光测量扫描技术相结合，实现无缝连接2D/3D混合测量。具备多种测量功能，包括表面尺寸、轮廓、角度与位置、形位公差、3D空间形貌与尺寸结构等的精密测量。其线激光3D扫描功能，可实现3D扫描成像和空间测量；点激光线扫描功能，可输出断面高度、距离等二维尺寸做分析。产品优势1、测量更准确，效率更高，操作更便捷。Novator影像测量仪支持频闪照明和飞拍功能，可进行高速测量，测量效率提升5~10倍。如在半导体领域，针对含有小特征多尺寸且无序排列的样品测量，Novator影像仪的飞拍测量模式，在平台快速移动过程中就完成特征提取，使测量流程更流畅，测量时间更短。测量外形尺寸320mm×160mm，含有25920个圆的模具，仅需耗时5分钟，针对此类特征密集排布型工件，飞拍测量充分发挥其优势，对比传统影像测量仪，测量时长由 1小时缩短至 5 分钟，测量效率提升 10 余倍，且测量精度无损失。2、测量软件自主可控，功能丰富。VisionX测量软件支持多种轮廓测量和3D空间测量，无缝连接2D/3D混合测量。还有特殊化应用功能以及SPC分析功能，以及单视野闪测功能等。3、多样化需求服务定制。由于不同行业和领域的测量需求各不相同，中图影像仪功能的研发和应用也可以根据具体情况进行定制和改进。4、响应速度快。国产品牌多点多地的本地化服务，响应速度快。测量功能1.量测工具：扫描提取边缘点、多段提取边缘点、圆形提取边缘点、椭圆提取、框选提取轮廓线、聚焦点、最近点等。2.可测几何量： 点、线、圆（圆心坐标、半径、直径）、圆弧、中心、角度、距、线宽、孔位、孔径、孔数、孔到孔的距离、孔到边的距离、弧线中心到孔的距离、弧线中心到边的距离、弧线高点到弧线高点的距离、交叉点到交叉点的距离等。3.构建特征：交点、中心点、极值点、端点、两点连线、平行线、垂线、切线、平分线、中心线、线段融合、半径画圆、三线内切圆、两线半径内切圆等。4.形位公差：直线度、圆度、轮廓度、位置度、平面度、对称度、垂直度、同心度、平行度等形位公差评定。5.坐标系：仪器坐标系、点线、两点 X、两线等工件坐标系；图像配准坐标系；可平移、旋转、手工调整坐标系。6.快速工具：R角、水平节距、圆周节距、筛网、槽孔、轮廓比对、弹簧、O型圈等特殊工具快速测量。7.支持公差批量设置、比例等级划分、颜色自定义管理。高度测量国产快速影像测量仪配备（1）触发式测头；（2）点激光(激光同轴位移计)；（3）三角激光三种传感器配置，能精准测量零件高度尺寸。1、接触式测量影像测量仪+触发式测头组合相当于一台小的三坐标测量仪，也就是我们说的复合式影像测量仪，在需要测量高度的地方，用探针取元素（点或者面），然后运用影像测量仪软件中的Z轴自动对焦功能，测量得出高度。2、非接触式测量通过搭载点激光(激光同轴位移计)、三角激光传感器配置，点激光轮廓扫描测量以及线激光3D扫描成像进行高度测量，平面度测量，针对镜面和光滑斜面均可测量；或是运用影像测量仪软件中的Z轴自动对焦功能，测量得出高度，这样的测量方法可以减少人为误差，不管是谁来测量，都可以测得同样的数值，非常简单方便。平面度测量在测量平面度时，可以将待测物放置在二维影像仪的工作台上，使用光学放大镜头和图像处理软件来检测物体表面的高低差异，并计算出物体表面的平坦度参数。通过与标准样品的比较，可以判断物体表面是否符合规定的平面度要求。需要注意的是，二维影像仪在测量平面度时，需要选择合适的光学放大倍率和图像处理算法，以保证测量结果的准确性和可靠性。光学测头平面度测量3D形貌测量搭载高精度线扫激光测头，无接触扫描3D轮廓成像，抑制多重反射，能够快速实现尺寸的精准批量测量。通过3D成像视图，可观察到产品形貌的微小特征，可实时输出2D、3D图像保存，支持2D、3D产品尺寸测量。应用领域Novator可实现各种复杂零件的表面尺寸、轮廓、角度与位置、形位公差、3D空间形貌与尺寸结构等精密测量。Novator可用于机械、电子、模具、注塑、五金、橡胶、低压电器、磁性材料、精密冲压、接插件、连接器、端子、手机、家电、印刷电路板、医疗器械、钟表、刀具、计量检测等领域。Novator国产快速影像测量仪多种型号和配置的设备，满足客户的不同需求。设备操作简便，具有高速和高精度的测量功能，能够帮助客户有效提高工作效率和产品质量。还提供完善的售后服务，保障客户的设备操作顺利，降低客户的使用成本。部分技术规格型号 Novator432 行程范围X(mm) 400Y(mm) 300Z(mm) 200图像传感器高清彩色工业摄像机 显示器24英寸 LCD显示器（1920×1080）镜头13.3X电动连续变倍放大倍率光学放大0.6~8.0X 影像放大17~232X 3D扫描成像测量 Z向测量范围5mm扫描宽度30mm扫描速度10~80mm/s支持飞拍测量模式支持支持导航相机支持外形尺寸(mm)860*1350*1670仪器重量(kg)650承重(kg)25恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

技术规格：1.进口品牌感测器（加拿大/德国），双目130万，可选300万/500万2.5M级镜头3.国际品牌光源光栅4.专业品牌重型升降架，液压阻尼，活动滑轮5.可更换ISO国际标准C长焦系列镜头6.全自动拼接对齐7.单幅尺寸：240*300mm/f(M) 750*1000mm/f(L)8.目标物体尺寸：50mm-5000mm精度：0.01-0.02mm 点距：0.05-0.3m 应用范围：逆向工程，航运设备，汽车工程，人体工程，义肢修复，工业模具项 目内 容附 注分 辨 率130万可选300万/500万扫描点距0.05—0.1mm，0.1—0.3mm依扫描标定扫描精度10-20μm（0.01-0.02）物体大小50mm—5000mm扫描距离200mm—2000mm扫描深度50mm(微距)，400mm（中景），1000（远景）扫描速度1.3秒/帧 3.5秒/帧 4.7秒/帧扫描面积50*70(微距)，240*300(中景)，750*1000(远景)镜 头 数2个文件格式PLY,OBJ,STL,ASC,3D3国产精雕通用

高精度可定制影像测量仪采用高精度光学成像技术和计算机数字处理技术，支持线激光3D扫描成像，可实现3D扫描成像和空间测量。能够快速、准确地获取三维物体表面形态信息，并进行精密的尺寸、角度等多项测量数据的分析和处理。VisionX测量软件支持多种轮廓测量和3D空间测量，无缝连接2D/3D混合测量。软件测量功能1.量测工具：扫描提取边缘点、多段提取边缘点、圆形提取边缘点、椭圆提取、框选提取轮廓线、聚焦点、最近点等。2.可测几何量： 点、线、圆（圆心坐标、半径、直径）、圆弧、中心、角度、距、线宽、孔位、孔径、孔数、孔到孔的距离、孔到边的距离、弧线中心到孔的距离、弧线中心到边的距离、弧线高点到弧线高点的距离、交叉点到交叉点的距离等。3.构建特征：交点、中心点、极值点、端点、两点连线、平行线、垂线、切线、平分线、中心线、线段融合、半径画圆、三线内切圆、两线半径内切圆等。4.形位公差：直线度、圆度、轮廓度、位置度、平面度、对称度、垂直度、同心度、平行度等形位公差评定。5.坐标系：仪器坐标系、点线、两点 X、两线等工件坐标系；图像配准坐标系；可平移、旋转、手工调整坐标系。6.快速工具：R角、水平节距、圆周节距、筛网、槽孔、轮廓比对、弹簧、O型圈等特殊工具快速测量。7.支持公差批量设置、比例等级划分、颜色自定义管理。产品优势稳固移动平台、高测量精度1.精密大理石机台，稳定性好，精度高。2.精密线性滑轨和伺服控制系统，超低分贝静音级运动。3.三轴全自动可编程检测，实现复杂特征批量检测。激光扫描成像、3D复合测量1.支持点激光轮廓扫描测量，进行高度方向上的轮廓测量。2.支持线激光3D扫描成像，可实现3D扫描成像和空间测量。3.VisionX测量软件支持多种轮廓测量和3D空间测量，无缝连接2D/3D混合测量。频闪照明光源、高速硬件飞拍1.具备频闪照明光源，支持频闪和普通双模式。2.支持飞拍模式测量，测量效率提升5~10倍。3.融入中图闪测仪的拼接测量功能，发挥综合优势。可更换RGB表光、独立升降表光1.可更换RGB表光和白色表光，适应多种复杂颜色和材料表面。2.表光可独立升降，更好的观察样品表面。3.支持六环八分区表面光、透射光、同轴光分段编程控制。自动测量，批量更快1.程序匹配工件坐标系，自动执行测量流程。2.支持CAD图纸和Gerber图纸导入，坐标系匹配测量。3、CNC固定坐标系模式下，可快速精确地进行批量测量。操作简单，轻松无忧1.具备大幅面导航相机，快速实现工件定位。2.具有镜头防撞功能，轻松无忧。3.高精度可定制影像测量仪一体化操作界面，任何人都能轻松设定和测量。高精度可定制影像测量仪可实现各种复杂零件的表面尺寸、轮廓、角度与位置、形位公差、3D空间形貌与尺寸结构等精密测量。Novator可用于机械、电子、模具、注塑、五金、橡胶、低压电器、磁性材料、精密冲压、接插件、连接器、端子、手机、家电、印刷电路板、医疗器械、钟表、刀具、计量检测等领域。高度测量配备（1）触发式测头；（2）点激光(激光同轴位移计)；（3）三角激光三种传感器配置，能精准测量零件高度尺寸。1、接触式测量影像测量仪+触发式测头组合相当于一台小的三坐标测量仪，也就是我们说的复合式影像测量仪，在需要测量高度的地方，用探针取元素（点或者面），然后运用影像测量仪软件中的Z轴自动对焦功能，测量得出高度。2、非接触式测量通过搭载点激光(激光同轴位移计)、三角激光传感器配置，点激光轮廓扫描测量以及线激光3D扫描成像进行高度测量，平面度测量，针对镜面和光滑斜面均可测量；或是运用影像测量仪软件中的Z轴自动对焦功能，测量得出高度，这样的测量方法可以减少人为误差，不管是谁来测量，都可以测得同样的数值，非常简单方便。平面度测量在测量平面度时，可以将待测物放置在影像仪的工作台上，使用光学放大镜头和图像处理软件来检测物体表面的高低差异，并计算出物体表面的平坦度参数。通过与标准样品的比较，可以判断物体表面是否符合规定的平面度要求。需要注意的是，影像仪在测量平面度时，需要选择合适的光学放大倍率和图像处理算法，以保证测量结果的准确性和可靠性。光学测头平面度测量部分技术规格型号 Novator432 行程范围X(mm) 400Y(mm) 300Z(mm) 200图像传感器高清彩色工业摄像机 显示器24英寸 LCD显示器（1920×1080）镜头13.3X电动连续变倍放大倍率光学放大0.6~8.0X 影像放大17~232X 3D扫描成像测量 Z向测量范围5mm扫描宽度30mm扫描速度10~80mm/s支持飞拍测量模式支持支持导航相机支持外形尺寸(mm)860*1350*1670仪器重量(kg)650承重(kg)25恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

二维多点尺寸测量仪 一、测量原理将绿色LED 光转化为均一的平行光进行照射。检测出二维CMOS 上受光的明暗投影，然后测量其尺寸和角度等。二、二维多点尺寸测量仪特点1、实现由“点”到“面”，全范围测量传统的激光扫描方式：激光扫描方式只能测量光点照射的 1 个位置。无法实现多点同时测量或调整倾斜的测量。 二维多点尺寸测量仪通过二维测量，可一次捕获目标物的全部信息。只有在二维条件下才能进行的任意多点测量或边调整倾斜边进行测量。2、相机方式光轴无波动，可测量指定点的尺寸传统的激光扫描方式多面镜的镜面精度不同，每个取样点的激光扫描轨迹也会不同。在激光扫描方式中，马达匀速旋转的性能同马达的使用时间有关，随着使用时间变长，马达匀速旋转的性能将变差。传统产品使用时间越长，激光扫描轨迹的偏差就会越大。二维多点尺寸测量仪采用相机方式，闪动一次快门即可测量整个范围。 产品无驱动器，因此可测量指定点的尺寸。3、高耐久性传统的激光扫描方式因为有驱动器，所以产品的耐久性较差，需要对产品进行维护。此外，传统产品的光源存在被瞬间高电压损坏的隐患。二维多点尺寸测量仪[ 无驱动器 ] 因产品无任何驱动器，可实现高耐久性。这种设计克服了传统激光扫描方式的弱点－马达耐久性的问题。 三、应用范围技术解决方案：产品用途：

中图仪器Novator系列光学全自动影像测量仪是一种全自动影像测量仪，具有可独立升降和可更换RGB光源，可适应更多复杂工件表面。Novator系列光学全自动影像测量仪充分发挥了光学电动变倍镜头的高精度优势，将传统影像测量与激光测量扫描技术相结合，实现2.5D和3D复合测量。还支持频闪照明和飞拍功能，可进行高速测量，大幅提升测量效率。技术规格型号Novator562行程范围X(mm)500Y(mm)600Z(mm)200图像传感器高清彩色工业摄像机显示器24英寸 LCD显示器（1920×1080）光栅显示分辨率0.1μm镜头13.3X电动连续变倍放大倍率光学放大0.6~8.0X 影像放大17~232X检测精度X/Y轴(1.5+L/250)μmX⊥Y轴(2.0+L/200)μmZ轴(2.8+L/200)μm3D扫描成像测量Z向测量范围5mm扫描宽度30mm重复精度±1μm测量精度±0.1%F.S.扫描速度10~80mm/s支持飞拍测量模式支持支持导航相机支持外形尺寸(mm)1050*1520*1700仪器重量(kg)1000承重(kg)50性能特点1、频闪照明和飞拍功能软件新增的飞拍功能改变影像仪传统运行方式，在平台快速移动过程中完成特征抓取测量，无停留等待时间，产品的测量效率对比传统设备效率提升了5~10倍。2、独立升降、可自行更换的RGB表光通过独立的升降表光，改变光源不同的照射角度，自行可更换的不同RGB表光颜色，来面对客户端不同颜色、材质的产品， “看得清 测得准"的理念大大提高了设备解决现场实际问题的能力。3、影像测量技术与闪测技术结合通过公司研发团队不断探索、创新，目前闪测仪测量的拼接技术已经更好的融入到影像测量系统中，实现了同一测量模板，影像+闪测测量同时进行。4、全景导航 ，快速定位产品特征在镜头端搭载着高清广角镜头，能够清晰地观察到产品整体形状，支持实时图像与图片两种成像导航方式，能够更好地帮助初学者实时观察到整个样品，实现产品快速定位、精准测量，提高测量效率。 5、高精度线扫激光，无接触扫描3D成像光学全自动影像测量仪可支持搭载高精度线扫激光测头，无接触扫描3D轮廓成像，抑制多重反射，能够快速实现尺寸的精准批量测量。通过3D成像视图，可观察到产品形貌的微小特征，可实时输出2D、3D图像保存，支持2D、3D产品尺寸测量。6、白光共焦测头，断面尺寸测量可搭载白光共焦测头，通过单条扫描线，来评价输出产品断面的二维尺寸，实现精准数据测量。7、图像匹配，轻松测量新增图像匹配功能，通过产品整体图像实现匹配测量，解决了产品变形较大的难题！8、自动对焦，测量一致性好使用硬触发式对焦模式，单向运动，一次对焦，消除人为误差，保证多次测量一致性。全自动影像仪侧重于工作平台的快速移动，结合CCD数位影像和光栅位移数值，通过软件计算后实现测量。适用于所有精密测量的应用领域，如机械、电子、仪器、五金、塑料等行业。尤其是全自动影像测量仪在测量一些弱边缘特征(如过渡曲线、圆角加工等)时能完成自动抓取，在保证精度的前提下，可以自动抓取产品的边界和表面，测量效率更高。光源一致校准，切换倍率时软件自动补偿光源亮度，使得切换之后仍然正常观察。

从精确测量到质量控制，从自动化检测到无损检测，影像仪在各个领域都起着重要作用。中图仪器全自主研发Novator全自动精密尺寸影像测量仪将传统影像测量与激光测量扫描技术相结合，实现无缝连接2D/3D混合测量。Novator全自动精密尺寸影像测量仪具备多种测量功能，包括表面尺寸、轮廓、角度与位置、形位公差、3D空间形貌与尺寸结构等的精密测量。其线激光3D扫描功能，可实现3D扫描成像和空间测量；点激光线扫描功能，可输出断面高度、距离等二维尺寸做分析。产品优势1、测量更准确，效率更高，操作更便捷。Novator影像测量仪支持频闪照明和飞拍功能，可进行高速测量，测量效率提升5~10倍。如在半导体领域，针对含有小特征多尺寸且无序排列的样品测量，Novator影像仪的飞拍测量模式，在平台快速移动过程中就完成特征提取，使测量流程更流畅，测量时间更短。测量外形尺寸320mm×160mm，含有25920个圆的模具，仅需耗时5分钟，针对此类特征密集排布型工件，飞拍测量充分发挥其优势，对比传统影像测量仪，测量时长由 1小时缩短至 5 分钟，测量效率提升 10 余倍，且测量精度无损失。2、测量软件自主可控，功能丰富。VisionX测量软件支持多种轮廓测量和3D空间测量，无缝连接2D/3D混合测量。还有特殊化应用功能以及SPC分析功能，以及单视野闪测功能等。3、多样化需求服务定制。由于不同行业和领域的测量需求各不相同，中图影像仪功能的研发和应用也可以根据具体情况进行定制和改进。4、响应速度快。国产品牌多点多地的本地化服务，响应速度快。软件测量功能1.量测工具：扫描提取边缘点、多段提取边缘点、圆形提取边缘点、椭圆提取、框选提取轮廓线、聚焦点、最近点等。2.可测几何量： 点、线、圆（圆心坐标、半径、直径）、圆弧、中心、角度、距、线宽、孔位、孔径、孔数、孔到孔的距离、孔到边的距离、弧线中心到孔的距离、弧线中心到边的距离、弧线高点到弧线高点的距离、交叉点到交叉点的距离等。3.构建特征：交点、中心点、极值点、端点、两点连线、平行线、垂线、切线、平分线、中心线、线段融合、半径画圆、三线内切圆、两线半径内切圆等。4.形位公差：直线度、圆度、轮廓度、位置度、平面度、对称度、垂直度、同心度、平行度等形位公差评定。5.坐标系：仪器坐标系、点线、两点 X、两线等工件坐标系；图像配准坐标系；可平移、旋转、手工调整坐标系。6.快速工具：R角、水平节距、圆周节距、筛网、槽孔、轮廓比对、弹簧、O型圈等特殊工具快速测量。7.支持公差批量设置、比例等级划分、颜色自定义管理。高度测量Novator系列影像测量仪配备（1）触发式测头；（2）点激光(激光同轴位移计)；（3）三角激光三种传感器配置，能精准测量零件高度尺寸。1、接触式测量影像测量仪+触发式测头组合相当于一台小的三坐标测量仪，也就是我们说的复合式影像测量仪，在需要测量高度的地方，用探针取元素（点或者面），然后运用影像测量仪软件中的Z轴自动对焦功能，测量得出高度。2、非接触式测量通过搭载点激光(激光同轴位移计)、三角激光传感器配置，点激光轮廓扫描测量以及线激光3D扫描成像进行高度测量，平面度测量，针对镜面和光滑斜面均可测量；或是运用影像测量仪软件中的Z轴自动对焦功能，测量得出高度，这样的测量方法可以减少人为误差，不管是谁来测量，都可以测得同样的数值，非常简单方便。平面度测量在测量平面度时，可以将待测物放置在二维影像仪的工作台上，使用光学放大镜头和图像处理软件来检测物体表面的高低差异，并计算出物体表面的平坦度参数。通过与标准样品的比较，可以判断物体表面是否符合规定的平面度要求。需要注意的是，二维影像仪在测量平面度时，需要选择合适的光学放大倍率和图像处理算法，以保证测量结果的准确性和可靠性。光学测头平面度测量3D形貌测量Novator二次元影像测量仪搭载高精度线扫激光测头，无接触扫描3D轮廓成像，抑制多重反射，能够快速实现尺寸的精准批量测量。通过3D成像视图，可观察到产品形貌的微小特征，可实时输出2D、3D图像保存，支持2D、3D产品尺寸测量。Novator全自动精密尺寸影像测量仪侧重于工作平台的快速移动，结合CCD数位影像和光栅位移数值，通过软件计算后实现测量。可以自动抓取数据点，测量点、线、圆、弧、椭圆、矩形等几何特征，自动分析测量特征的各种参数，如宽度、直径、位置、直线度、圆锥度、圆柱度等各种几何尺寸。仪器特点是可以自动抓取产品的边界和表面，尤其是在测量一些弱边缘特征(如过渡曲线、圆角加工等)时能完成自动抓取。结合专用测量软件对测绘要素数据进行处理、评价和输出。在保证精度的前提下，测量效率更高。部分技术指标型号Novator432行程范围X(mm)400Y(mm)300Z(mm)200图像传感器高清彩色工业摄像机显示器24英寸 LCD显示器（1920×1080）放大倍率光学放大0.6~8.0X 影像放大17~232X照明系统透射光远心透射照明（绿色）表面光6环8分区分割照明（白光）；选配，可更换RGB光源同轴光LED光3D扫描成像测量Z向测量范围5mm扫描宽度30mm支持飞拍测量模式支持支持导航相机支持传感器配置选配，(1)接触式探针；(2)白光共焦；(3)三角激光外形尺寸(mm)860*1350*1670仪器重量(Kg)650恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

MPC系列手动影像测量仪适用于以二维坐标测量爲目的的一切应用领域，广泛应用于精密机械、电子、仪表、塑胶、手机平板、五金模具、PCB、LCD、LED显示屏等行业。至于很多朋友们都在担心影像测量仪测量水准的问题，在这里小编推荐妙机仪器，简单易用又精准，所以你们放心选购。今天我们一起了解一下关于妙机MPC系列手动影像测量仪的相关知识。　　仪器特点：　　1.高精度大理石底座和立柱、有效保证极高的稳定性及刚性　　2.自主研发影像测量仪软件、功能强大、操作简单　　3.大理石工作台设计、配合精密V型交叉导轨、长久使用不会变形，有效保证极高的机械精度　　技术参数：　　型号：MPC300、MPC400、MPC500、MPC600　　X、Y轴行程（mm）：300*200、400*300、500*400、600*500　　载物台玻璃尺寸(mm)：357*257、457*357、557*457、657*557　　Z轴行程（mm）：200　　X、Y、Z轴分辨率(μm)：1　　长度标准：光栅位移传感器　　精度(μm)：2.5+L/150L=被测工件长度，单位：mm　　仪器操作：手动　　图像检测装置：高分辨率CCD摄像机　　定格变焦镜头：0.7X~4.5X　　视频放大倍率：27X~190X　　物方视场：10.6mm~1.6mm　　工作距离：90mm　　测量软件：专业2D测量软件　　光源：反射照明、LED环形灯、透射照明、LED照明　　电源：AC100~240V50/60Hz　　以上内容就是影像测量仪厂家小编为大家整理出来的介绍内容，你们清楚了解了吗？如还想了解更多相关资讯，欢迎广大朋友关注妙机科技，广东妙机精密科技股份有限公司（以下简称妙机科技）致力于为高科技领域提供完整的微米、奈米测量解决方案。妙机科技拥有完全自主品牌体系，从研发、生产、销售等关键环节，提供上、中、下游完整的产品供应及售后服务，目前在国内外占有一定的市场并享有较高的品牌知名度，未来将持续朝更高速、更高精度测量产品方向发展。

中图仪器SuperViewW1白光干涉微纳米三维形貌一键测量仪以白光干涉技术为原理，获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点，适用于从超光滑到粗糙、平面到弧面等各种表面类型，让3D测量变得简单。SuperViewW1白光干涉微纳米三维形貌一键测量仪以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。产品功能(1)SuperViewW1白光干涉微纳米三维形貌一键测量仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。产品特点参数测量：粗糙度、微观轮廓尺寸、角度、面积、体积，一网打尽；环境噪声检测：实时监测，纳米波动，也无可藏匿；双重防撞保护：软件ZSTOP和Z向硬件传感器，让“以卵击石"也能安然无恙；自动拼接：3轴光栅闭环反馈，让3D拼接“天衣无缝"；双重振动隔离：气浮隔振，吸音隔振，任你“地动山摇，我自岿然不动"。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：SuperViewW1白光干涉仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5×、5×、20×、50×、100×光学ZOOM标配:0.5×选配:0.375×、0.75×、1×标准视场0.98×0.98㎜（10×物镜，光学ZOOM 0.5×）XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动台阶测量可测样品反射率0.05%~100主机尺寸700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

中图仪器Novator高精度多功能影像测量仪具备多种测量功能，包括表面尺寸、轮廓、角度与位置、形位公差、3D空间形貌与尺寸结构等的精密测量。仪器采用大理石主体机台和精密伺服控制系统，实现高精度运动测量；充分发挥光学电动变倍镜头的高精度优势，将传统影像测量与激光测量扫描技术相结合，实现2.5D和3D复合测量。Novator高精度多功能影像测量仪还支持频闪照明和飞拍功能，可进行高速测量，大幅提升测量效率；具有可独立升降和可更换RGB光源，可适应更多复杂工件表面。产品优势稳固移动平台、高测量精度1.精密大理石机台，稳定性好，精度高。2.精密线性滑轨和伺服控制系统，超低分贝静音级运动。3.三轴全自动可编程检测，实现复杂特征批量检测。激光扫描成像、3D复合测量1.支持点激光轮廓扫描测量，进行高度方向上的轮廓测量。2.支持线激光3D扫描成像，可实现3D扫描成像和空间测量。3.VisionX测量软件支持多种轮廓测量和3D空间测量，无缝连接2D/3D混合测量。频闪照明光源、高速硬件飞拍1.具备频闪照明光源，支持频闪和普通双模式。2.支持飞拍模式测量，测量效率提升5~10倍。3.融入中图闪测仪的拼接测量功能，发挥综合优势。可更换RGB表光、独立升降表光1.可更换RGB表光和白色表光，适应多种复杂颜色和材料表面。2.表光可独立升降，更好的观察样品表面。3.支持六环八分区表面光、透射光、同轴光分段编程控制。自动测量，批量更快1.程序匹配工件坐标系，自动执行测量流程。2.支持CAD图纸和Gerber图纸导入，坐标系匹配测量。3、CNC固定坐标系模式下，可快速精确地进行批量测量。操作简单，轻松无忧1.具备大幅面导航相机，快速实现工件定位。2.具有镜头防撞功能，轻松无忧。3.一体化操作界面，任何人都能轻松设定和测量。测量界面软件测量功能1.量测工具：扫描提取边缘点、多段提取边缘点、圆形提取边缘点、椭圆提取、框选提取轮廓线、聚焦点、最近点等。2.可测几何量： 点、线、圆（圆心坐标、半径、直径）、圆弧、中心、角度、距、线宽、孔位、孔径、孔数、孔到孔的距离、孔到边的距离、弧线中心到孔的距离、弧线中心到边的距离、弧线高点到弧线高点的距离、交叉点到交叉点的距离等。3.构建特征：交点、中心点、极值点、端点、两点连线、平行线、垂线、切线、平分线、中心线、线段融合、半径画圆、三线内切圆、两线半径内切圆等。4.形位公差：直线度、圆度、轮廓度、位置度、平面度、对称度、垂直度、同心度、平行度等形位公差评定。5.坐标系：仪器坐标系、点线、两点 X、两线等工件坐标系；图像配准坐标系；可平移、旋转、手工调整坐标系。6.快速工具：R角、水平节距、圆周节距、筛网、槽孔、轮廓比对、弹簧、O型圈等特殊工具快速测量。7.支持公差批量设置、比例等级划分、颜色自定义管理。Novator高精度多功能影像测量仪可实现各种复杂零件的表面尺寸、轮廓、角度与位置、形位公差、3D空间形貌与尺寸结构等精密测量。用于机械、电子、模具、注塑、五金、橡胶、低压电器、磁性材料、精密冲压、接插件、连接器、端子、手机、家电、印刷电路板、医疗器械、钟表、刀具、计量检测等领域。高度测量Novator系列影像测量仪配备（1）触发式测头；（2）点激光(激光同轴位移计)；（3）三角激光三种传感器配置，能精准测量零件高度尺寸。1、接触式测量影像测量仪+触发式测头组合相当于一台小的三坐标测量仪，也就是我们说的复合式影像测量仪，在需要测量高度的地方，用探针取元素（点或者面），然后运用影像测量仪软件中的Z轴自动对焦功能，测量得出高度。2、非接触式测量通过搭载点激光(激光同轴位移计)、三角激光传感器配置，点激光轮廓扫描测量以及线激光3D扫描成像进行高度测量，平面度测量，针对镜面和光滑斜面均可测量；或是运用影像测量仪软件中的Z轴自动对焦功能，测量得出高度，这样的测量方法可以减少人为误差，不管是谁来测量，都可以测得同样的数值，非常简单方便。平面度测量在测量平面度时，可以将待测物放置在二维影像仪的工作台上，使用光学放大镜头和图像处理软件来检测物体表面的高低差异，并计算出物体表面的平坦度参数。通过与标准样品的比较，可以判断物体表面是否符合规定的平面度要求。需要注意的是，二维影像仪在测量平面度时，需要选择合适的光学放大倍率和图像处理算法，以保证测量结果的准确性和可靠性。光学测头平面度测量3D形貌测量Novator二次元影像测量仪搭载高精度线扫激光测头，无接触扫描3D轮廓成像，抑制多重反射，能够快速实现尺寸的精准批量测量。通过3D成像视图，可观察到产品形貌的微小特征，可实时输出2D、3D图像保存，支持2D、3D产品尺寸测量。由于不同行业和领域的测量需求各不相同，中图影像仪功能的研发和应用也可以根据具体情况进行定制和改进。国产品牌多点多地的本地化服务，响应速度快。部分技术指标型号Novator432行程范围X(mm)400Y(mm)300Z(mm)200图像传感器高清彩色工业摄像机显示器24英寸 LCD显示器（1920×1080）放大倍率光学放大0.6~8.0X 影像放大17~232X照明系统透射光远心透射照明（绿色）表面光6环8分区分割照明（白光）；选配，可更换RGB光源同轴光LED光3D扫描成像测量Z向测量范围5mm扫描宽度30mm支持飞拍测量模式支持支持导航相机支持传感器配置选配，(1)接触式探针；(2)白光共焦；(3)三角激光外形尺寸(mm)860*1350*1670仪器重量(Kg)650恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

WD4000无图晶圆厚度粗糙度微纳三维形貌测量仪器通过非接触测量，将晶圆的三维形貌进行重建，强大的测量分析软件稳定计算晶圆厚度，TTV，BOW、WARP、在高效测量测同时有效防止晶圆产生划痕缺陷。它采用白光光谱共焦多传感器和白光干涉显微测量双向扫描技术，完成非接触式扫描并建立表面3D层析图像，实现Wafer厚度、翘曲度、平面度、线粗糙度、总体厚度变化(TTV)及分析反映表面质量的2D、3D参数。WD4000无图晶圆厚度粗糙度微纳三维形貌测量仪器自动测量Wafer厚度、表面粗糙度、三维形貌、单层膜厚、多层膜厚。1、使用光谱共焦对射技术测量晶圆Thickness、TTV、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI等参数，同时生成Mapping图；2、采用白光干涉测量技术对Wafer表面进行非接触式扫描同时建立表面3D层析图像，显示2D剖面图和3D立体彩色视图，高效分析表面形貌、粗糙度及相关3D参数；3、基于白光干涉图的光谱分析仪，通过数值七点相移算法计算，达到亚纳米分辨率测量表面的局部高度，实现膜厚测量功能；4、红外传感器发出的探测光在Wafer不同表面反射并形成干涉，由此计算出两表面间的距离（即厚度），可适用于测量BondingWafer的多层厚度。该传感器可用于测量不同材料的厚度，包括碳化硅、蓝宝石、氮化镓、硅等。WD4000无图晶圆厚度粗糙度微纳三维形貌测量仪器兼容不同材质不同粗糙度、可测量大翘曲wafer、测量晶圆双面数据更准确。可实现砷化镓、氮化镓、磷化镓、锗、磷化铟、铌酸锂、蓝宝石、硅、碳化硅、玻璃不同材质晶圆的量测。应用领域可广泛应用于衬底制造、晶圆制造、及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、显示面板、MEMS器件等超精密加工行业。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的厚度、粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。测量功能1、厚度测量模块：厚度、TTV(总体厚度变化)、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI、平面度、等；2、显微形貌测量模块：粗糙度、平整度、微观几何轮廓、面积、体积等。3、提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能。其中调整位置包括图像校平、镜像等功能；纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能；滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能；提取包括提取区域和提取剖面等功能。4、提供几何轮廓分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等；粗糙度分析包括国际标准ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数；结构分析包括孔洞体积和波谷。产品优势1、非接触厚度、三维维纳形貌一体测量集成厚度测量模组和三维形貌、粗糙度测量模组，使用一台机器便可完成厚度、TTV、LTV、BOW、WARP、粗糙度、及三维形貌的测量。2、高精度厚度测量技术（1）采用高分辨率光谱共焦对射技术对Wafer进行高效扫描。（2）搭配多自由度的静电放电涂层真空吸盘，晶圆规格最大可支持至12寸。（3）采用Mapping跟随技术，可编程包含多点、线、面的自动测量。3、高精度三维形貌测量技术（1）采用光学白光干涉技术、精密Z向扫描模块和高精度3D重建算法，Z向分辨率高可到0.1nm；（2）隔振设计降低地面振动和空气声波振动噪声，获得高测量重复性。（3）机器视觉技术检测图像Mark点，虚拟夹具摆正样品，可对多点形貌进行自动化连续测量。4、大行程高速龙门结构平台（1）大行程龙门结构(400x400x75mm)，移动速度500mm/s。（2）高精度花岗岩基座和横梁，整体结构稳定、可靠。（3）关键运动机构采用高精度直线导轨导引、AC伺服直驱电机驱动，搭配分辨率0.1μm的光栅系统，保证设备的高精度、高效率。5、操作简单、轻松无忧（1）集成XYZ三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦等测量前准工作。（2）具备双重防撞设计，避免误操作导致的物镜与待测物因碰撞而发生的损坏情况。（3）具备电动物镜切换功能，让观察变得快速和简单。应用场景1、无图晶圆厚度、翘曲度的测量通过非接触测量，将晶圆上下面的三维形貌进行重建，强大的测量分析软件稳定计算晶圆厚度、粗糙度、总体厚度变化(TTV)，有效保护膜或图案的晶片的完整性。2、无图晶圆粗糙度测量Wafer减薄工序中粗磨和细磨后的硅片表面3D图像，用表面粗糙度Sa数值大小及多次测量数值的稳定性来反馈加工质量。在生产车间强噪声环境中测量的减薄硅片，细磨硅片粗糙度集中在5nm附近，以25次测量数据计算重复性为0.046987nm，测量稳定性良好。部分技术规格品牌CHOTEST中图仪器型号WD4000系列测量参数厚度、TTV(总体厚度变化)、BOW、WARP、LTV、粗糙度等可测材料砷化镓、氮化镓、磷化镓、锗、磷化铟、 铌酸锂、蓝宝石、硅、碳化硅、氮化镓、玻璃、外延材料等厚度和翘曲度测量系统可测材料砷化镓 氮化镓 磷化 镓 锗 磷化铟 铌酸锂 蓝宝石 硅 碳化硅 玻璃等测量范围150μm~2000μm扫描方式Fullmap面扫、米字、自由多点测量参数厚度、TTV(总体厚度变 化)、LTV、BOW、WARP、平面度、线粗糙度三维显微形貌测量系统测量原理白光干涉干涉物镜10X(2.5X、5X、20X、50X,可选多个)可测样品反射率0.05%~100粗糙度RMS重复性0.005nm测量参数显微形貌 、线/面粗糙度、空间频率等三大类300余种参数膜厚测量系统测量范围90um(n= 1.5)景深1200um最小可测厚度0.4um红外干涉测量系统光源SLED测量范围37-1850um晶圆尺寸4"、6"、8"、12"晶圆载台防静电镂空真空吸盘载台X/Y/Z工作台行程400mm/400mm/75mm恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

中图仪器CP系列沉积薄膜台阶高度测量仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。其采用LVDC电容传感器，具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点使得其在ITO导电薄膜厚度的测量上具有很强的优势。针对测量ITO导电薄膜的应用场景，CP200沉积薄膜台阶高度测量仪提供如下便捷功能：1）结合了360°旋转台的全电动载物台，能够快速定位到测量标志位；2）对于批量样件，提供自定义多区域测量功能，实现一键多点位测量；3）提供SPC统计分析功能，直观分析测量数值变化趋势；工作过程CP系列沉积薄膜台阶高度测量仪测量时通过使用2μm半径的金刚石针尖在超精密位移台移动样品时扫描其表面，测针的垂直位移距离被转换为与特征尺寸相匹配的电信号并最终转换为数字点云信号，数据点云信号在分析软件中呈现并使用不同的分析工具来获取相应的台阶高或粗糙度等有关表面质量的数据。产品功能1.参数测量功能1）台阶高度：能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料；2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数；3）翘曲与形状：能够测量样品表面的2D形状或翘曲，如在半导体晶圆制造过程中，因多层沉积层结构中层间不匹配所产生的翘曲或形状变化，或者类似透镜在内的结构高度和曲率半径。2.数采与分析系统1）自定义测量模式：支持用户以自定义输入坐标位置或相对位移量的方式来设定扫描路径的测量模式；2）导航图智能测量模式：支持用户结合导航图、标定数据、即时图像以智能化生成移动命令方式来实现扫描的测量模式。3）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。3.光学导航功能配备了500W像素的彩色相机，可实时将探针扫描轨迹的形貌图像传输到软件中显示，进行即时的高精度定位测量。4.样品空间姿态调节功能配备了精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴，可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节，提高测量精度及效率。产品应用CP系列台阶仪应用场景适应性强，其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求，能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位，其对表面微观形貌参数的准确表征，对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。性能特点1.亚埃级位移传感器具有亚埃级分辨率，结合单拱龙门式设计降低环境噪声干扰，确保仪器具有良好的测量精度及重复性；2.超微力恒力传感器1-50mg可调，以适应硬质或软质样品表面，采用超低惯量设计和微小电磁力控制，实现无接触损伤的接触式测量；3.超平扫描平台系统配有超高直线度导轨，杜绝运动中的细微抖动，真实地还原扫描轨迹的轮廓起伏和样件微观形貌。部分技术参数型号CP200测量技术探针式表面轮廓测量技术探针传感器超低惯量，LVDC传感器平台移动范围X/Y电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)样品R-θ载物台电动，360°连续旋转单次扫描长度55mm样品厚度50mm载物台晶圆尺寸150mm（6吋）,200mm（8吋）尺寸（L×W×H）mm640*626*534重量40kg仪器电源100-240 VAC，50/60 Hz，200W使用环境相对湿度：湿度 （无凝结）30-40% RH温度：16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)地面振动：6.35μm/s（1-100Hz）音频噪音：≤80dB空气层流：≤0.508 m/s（向下流动）恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

中图仪器Novator全自动高精度影像测量仪智能化和自动化程度高，使测量变得简单。它可以自动抓取数据点，测量点、线、圆、弧、椭圆、矩形等几何特征，自动分析测量特征的各种参数，如宽度、直径、位置、直线度、圆锥度、圆柱度等各种几何尺寸。测量功能1.量测工具：扫描提取边缘点、多段提取边缘点、圆形提取边缘点、椭圆提取、框选提取轮廓线、聚焦点、最近点等。2.可测几何量： 点、线、圆（圆心坐标、半径、直径）、圆弧、中心、角度、距、线宽、孔位、孔径、孔数、孔到孔的距离、孔到边的距离、弧线中心到孔的距离、弧线中心到边的距离、弧线高点到弧线高点的距离、交叉点到交叉点的距离等。3.构建特征：交点、中心点、极值点、端点、两点连线、平行线、垂线、切线、平分线、中心线、线段融合、半径画圆、三线内切圆、两线半径内切圆等。4.形位公差：直线度、圆度、轮廓度、位置度、平面度、对称度、垂直度、同心度、平行度等形位公差评定。5.坐标系：仪器坐标系、点线、两点 X、两线等工件坐标系；图像配准坐标系；可平移、旋转、手工调整坐标系。6.快速工具：R角、水平节距、圆周节距、筛网、槽孔、轮廓比对、弹簧、O型圈等特殊工具快速测量。7.支持公差批量设置、比例等级划分、颜色自定义管理。高度测量Novator全自动高精度影像测量仪配备（1）触发式测头；（2）点激光(激光同轴位移计)；（3）三角激光三种传感器配置，能精准测量零件高度尺寸。1、接触式测量影像测量仪+触发式测头组合相当于一台小的三坐标测量仪，也就是我们说的复合式影像测量仪，在需要测量高度的地方，用探针取元素（点或者面），然后运用影像测量仪软件中的Z轴自动对焦功能，测量得出高度。2、非接触式测量通过搭载点激光(激光同轴位移计)、三角激光传感器配置，点激光轮廓扫描测量以及线激光3D扫描成像进行高度测量，平面度测量，针对镜面和光滑斜面均可测量；或是运用影像测量仪软件中的Z轴自动对焦功能，测量得出高度，这样的测量方法可以减少人为误差，不管是谁来测量，都可以测得同样的数值，非常简单方便。平面度测量在测量平面度时，可以将待测物放置在二维影像仪的工作台上，使用光学放大镜头和图像处理软件来检测物体表面的高低差异，并计算出物体表面的平坦度参数。通过与标准样品的比较，可以判断物体表面是否符合规定的平面度要求。需要注意的是，二维影像仪在测量平面度时，需要选择合适的光学放大倍率和图像处理算法，以保证测量结果的准确性和可靠性。光学测头平面度测量3D形貌测量搭载高精度线扫激光测头，无接触扫描3D轮廓成像，抑制多重反射，能够快速实现尺寸的精准批量测量。通过3D成像视图，可观察到产品形貌的微小特征，可实时输出2D、3D图像保存，支持2D、3D产品尺寸测量。Novator全自动高精度影像测量仪特点是可以自动抓取产品的边界和表面，尤其是在测量一些弱边缘特征(如过渡曲线、圆角加工等)时能完成自动抓取。结合专用测量软件对测绘要素数据进行处理、评价和输出。在保证精度的前提下，测量效率更高。还支持频闪照明和飞拍功能，可进行高速测量，大幅提升测量效率；具有可独立升降和可更换RGB光源，可适应更多复杂工件表面。产品优势稳固移动平台、高测量精度1.精密大理石机台，稳定性好，精度高。2.精密线性滑轨和伺服控制系统，超低分贝静音级运动。3.三轴全自动可编程检测，实现复杂特征批量检测。激光扫描成像、3D复合测量1.支持点激光轮廓扫描测量，进行高度方向上的轮廓测量。2.支持线激光3D扫描成像，可实现3D扫描成像和空间测量。3.VisionX测量软件支持多种轮廓测量和3D空间测量，无缝连接2D/3D混合测量。频闪照明光源、高速硬件飞拍1.具备频闪照明光源，支持频闪和普通双模式。2.支持飞拍模式测量，测量效率提升5~10倍。3.融入中图闪测仪的拼接测量功能，发挥综合优势。可更换RGB表光、独立升降表光1.可更换RGB表光和白色表光，适应多种复杂颜色和材料表面。2.表光可独立升降，更好的观察样品表面。3.支持六环八分区表面光、透射光、同轴光分段编程控制。自动测量，批量更快1.程序匹配工件坐标系，自动执行测量流程。2.支持CAD图纸和Gerber图纸导入，坐标系匹配测量。3、CNC固定坐标系模式下，可快速精确地进行批量测量。操作简单，轻松无忧1.具备大幅面导航相机，快速实现工件定位。2.具有镜头防撞功能，轻松无忧。3.一体化操作界面，任何人都能轻松设定和测量。应用领域Novator可实现各种复杂零件的表面尺寸、轮廓、角度与位置、形位公差、3D空间形貌与尺寸结构等精密测量。Novator可用于机械、电子、模具、注塑、五金、橡胶、低压电器、磁性材料、精密冲压、接插件、连接器、端子、手机、家电、印刷电路板、钟表、刀具、计量检测等领域。部分技术规格型号 Novator432 行程范围X(mm) 400Y(mm) 300Z(mm) 200图像传感器高清彩色工业摄像机 显示器24英寸 LCD显示器（1920×1080）镜头13.3X电动连续变倍放大倍率光学放大0.6~8.0X 影像放大17~232X 3D扫描成像测量 Z向测量范围5mm扫描宽度30mm扫描速度10~80mm/s支持飞拍测量模式支持支持导航相机支持外形尺寸(mm)860*1350*1670仪器重量(kg)650承重(kg)25恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。