LensThick ATW/ATS 系列全自动光学测厚仪 设备原理设备基于低相干干涉原理,采用非接触式光学测量,并配备高精度移动平台和视觉校正系统,自动测量产品的厚度及空气间隔。 主要功能非接触式测量透镜厚度非接触式测量微小镜头空气间隔自动上料—自动定位—自动测量—自动下料UPH,单穴测量时间不大于4秒测量精度高达±0.1 μm 设备特点LensThick ATW配备晶圆测试模组,LensThick ATS配备单镜片测试模组;配备非接触式光学测厚仪,测量精度高,速度快,且不会对样品造成损伤;采用大理石组合结构,稳定性高XY平台采用直线电机及高精度光栅尺,重复定位精度±0.001mm,位置精度±0.001mm;采用CCD图像识别定位,运用高精度算法,准确可靠;测量时通过CCD图像校正,保证测量位置准确; 主要配置/设备关键部件非接触式光学测厚仪测量光程: 12mm/ 40mm/80mm 测量精度: ±0.1 μm/±1μm 测量重复性: ±0.02 μm/±0.05 μm 工作波长: 1310 nm 测量速度: 20 Hz/ 7Hz/ 4HzXYR平台参数:平面度:±0.005mm直线度:±0.005mm重复定位精度:±0.001mm位置精度:±0.001mm视觉校正相机:2000万像素低噪声,高精度 工作环境及设备尺寸参数工作电压:220V±10**工作环境:室温-10℃—45℃,湿度≤95**;环境相对湿度:在+40℃时 ≤90** R.H. (无冷凝)外型尺寸:800×1200×1960设备总重量:约500kg尺寸330mm×430mm×685mm(长×宽×高)重量20㎏其他功率90-264 VAC,47-63 Hz,80 VA仪器接口USB2.0及以上接口可支持8通道测量电脑配置 Windows 7/8/10,1GB内存,USB2.0以上接口,显示器,键盘,鼠标质保期1年⑴ 定义为测量不确定度或很大厚度误差,置信度≥99.7**。⑵ 整个运行环境条件的不确定性。⑶ 60分钟测量周期的标准偏差。⑷ 取决于被测材料在1.3μm波长下的反射率。该规格书是在4**反射条件下给出的。 当反射条件较低时,重复性**坏会降低到约±0.15μm。⑸ 折射率为1时。⑹ 折射率为1.5的材料。⑺ 特性性能,但不是一定的。
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