简要描述: CS200H质量流量控制器是七星流量计生产的数字型高温产品,其电气和机械部分采用分体式的设计,通过高温线缆连接,可以实现在高温环境下工作,能够满足复杂多变的半导体测量需求。 CS200H质量流量控制器是七星流量计生产的数字型高温产品,其电气和机械部分采用分体式的设计,通过高温线缆连接,可以实现在高温环境下工作,能够满足复杂多变的半导体测量需求。 优势• 控制器工作温度:90~120℃。• 高控制精度:产品精度可达±1.0% S.P.(≥35%F.S.)。• 快速响应,响应时间≤ 0.8sec。• 采用恒功率传感器原理,在温度变化时进行相应的补偿,从根本上抑制了流量计的零漂现象,保证了传感器线性。• 高端产品采用专门的金属表面处理技术,与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV,CS200产品金属表面粗糙度更可达10RA以下,严格按照SEMI标准生产制造。• 支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电 数字,模拟输入输出。• 产品尺寸符合国际通用的SEMI标准,RS485,DeviceNet通讯方式。CS200H质量流量控制器技术参数CS200型号CS200-H阀类型常闭无流量规格(N2)(0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM(0~1,2,3,5,10,20,30) SLM准确度±1.0% S.P. (≥35% F.S.)±0.35% F.S.(<35% F.S.)线性±0.5% F.S.重复精度±0.2% F.S.响应时间≤ 1sec工作压差范围0.05~0.35MPa 流量规格≤10SLM0.1~0.35MPa 流量规格>10SLM<0.02 MPa最大工作压力0.45MPa温度系数零点: ≤±0.1% F.S./℃;调节时: ≤±0.1% F.S./℃耐压强度3MPa漏率1×10-11 Pam3 / sec He密封材料金属密封工作环境温度质量流量控制器/流量计:(90~120)℃;控制盒:(0~50)℃输入信号数字: RS485 或 DeviceNet模拟:(0~5)VDC或(4~20)mA无输出信号数字:RS485或 DeviceNet 模拟:(0~5)VDC或(4~20)mA零漂在没有零点校正时<0.6%F.S./年电源±8 ~ ±16 VDC (双极)或 +14 ~ +28 VDC (单极)表面化学成分Cr/Fe比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥20 (埃)表面粗糙度10 Ra标准接头形式双卡套φ6;双卡套1/4;VCR1/4阳接头;1.5′′C型密封接头1.5′′ W型密封接头电源接头形式D型9针阳接头;D型15针阳接头;DeviceNet接头连接高温电缆2m重量1.2Kg1Kg全国包邮,价格优惠,含税运, 产品规格不同,型号不同价格就不同,价格根据需求面议
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