振弦式多点位移计

热烈庆祝恒奥科技新品多点接种仪获得国家专利购买恒奥产品必要性1.市售相似产品只能进行一种样品的加样工作，其他两种需要停止机器更换试管后再次启动机器来完成，时间较长且需要实验人员看管进行试验。我公司产品可进行肉汤、药液和菌液同时加样并自动对药物进行倍比稀释，使三个步骤一体化，时间短速度快，无需实验人员看管。2.市售相似产品一次性更换96个枪头，成本高，我公司实验过程中一种样品更换一次枪头即可，降低实验成本。3.市售相似产品都是培养前需要采用另一种仪器进行振荡混合，我公司产品可进行在线混合，并且混合次数可调，混合效果好于振荡混合方式效果，并且提高实验效率，降低实验成本。4.市售相似产品一般最大量在200μL，步进量为50μL，我公司产品取样量范围宽50-300μL，步进量5μL，取样量更精准。5.具有附加功能，可作为取样器单独使用。国家专利号2013208071921.8 HMI-96A仪器介绍 我公司自主研发的HMI-96A多点种仪为细菌耐药性实验-肉汤稀释法专用仪器，可以在6min左右完成一个96孔板的接种工作，打破了试管肉汤稀释法的繁琐过程。采用机械臂双轨道传动进行移液体取样，包括药物、肉汤和菌液。独特的专利机构设计可以自动完成移液枪头的退掉和更换。具有位置掉电记忆功能可记忆上次移液枪头的位置。进口高精度移液取样系统使所取样体积更精准，接种过程简单、快速，准确。技术参数通道数：8通道 移液体积：50- 300μL增减步进体积:5μL混合次数：0-10次加样位置选择：1-12移液精度：±1 %（50 - 300μL）外形尺寸：560 x 441 x 402mm功率：1 0 0 W适用孔板类型：96孔 细胞培养板重量：12 Kg国家专利号 2013208071921.8HMI-60购买恒奥产品必要性1.市售产品接种速度多为旋钮调节，会产生时间误差，调节起来比较麻烦。 我公司产品接种速度快，按键式速度调节，9s或13s两档任选，方便简单 。 2.市售产品多为60位，我公司产品标配24位和60为，增加大了实验范围，节省实验成本。3.市售产品需要人工对琼脂板和96孔板的位置完成接种过程，我公司产品独特的可调速旋转式样品托盘可实现自动定位，细胞培养板无需手动移动，只需要更换样品培养皿即可完成连续接种，极大的缩短了操作时间，满足了实验室自动化的要求。4.市售产品当实验出现问题无法恢复初始状态，我公司产品在实验过程发生混乱时，可按复位键恢复最初设置5.市售产品多为一个开关，生物实验中如果进行暂停手指碰到开关可能会污染样品，或者需要重新消毒，我公司配备脚踏开关：可连接脚踏开关控制机器的运转和暂停。仪器介绍我公司自主研发的HMI-60多点种仪为细菌耐药性实验-琼脂稀释法专用仪器，可以在9秒钟内自动进行并完成接种，打破了传统人工接种模式，采用机械接种，使接种过程简单、快速，准确。 技术参数名称参数接种时间（s）9或13仪器重量（kg）12功率（w）120外形尺寸（mm）335×250×415接种菌液量（μL）3（24位）或1（60位和96位）接种培养皿（mm）90电源（v）220接种针直径24位3mm、60位和96位1.6mm采购指南HMI-96A多点接种仪主要应用于药敏试验方法-稀释法中的琼脂稀释法，实验基本过程是将不同浓度的药物与琼脂混匀制成不同药物浓度的琼脂板，将不同的菌种接种再上面，期间需要人工更换琼脂板。考察同一药物对不同菌种的MIC值。应用于测试大多数厌氧病原菌。HMI-96A多点接种仪主要应用于药敏试验方法-稀释法中的肉汤稀释法将不同菌种直接接种到含不同药物浓度的96孔板中后进行培养。应用于测定脆弱拟杆菌菌群的病原菌。客户可根据实验方法不同进行选择。应用领域主要用于细菌耐药性实验。广泛应用于药物检测，药品生产、药物研发等医药领域。应用单位 医院药理中心 医院微生物检验科药效筛查 医院感染科及呼吸科药效筛查 医院药代监测及研究（血药、尿药） 食品药品安全监督监测管理 药检所新药评审 疾控中心药效监测及研究 兽药监察药效评审 大学制药工程药效研究 大学药学院药效研究

近日，北京大学公开招标采购快速多点激光扫描共聚焦显微镜，预算274万，用于进行长时间的活细胞观察 ，并进行快速超高的成像。对细胞和亚细胞器中荧光标记的分子和结构检测，荧光强度信号的定量分析，深层组织和细胞成像，亚细胞结构超高分辨检测，荧光共定位分析等。可进行荧光漂白及恢复实验，蛋白互作实验等。截止投标时间为9月12日。具体招标情况如下：项目概况北京大学快速多点激光扫描共聚焦显微镜采购项目 招标项目的潜在投标人应在线上邮箱报名（具体方式详见“其他补充事宜”）获取招标文件，并于2022年09月12日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。一、项目基本情况项目编号：BMCC-ZC22-0259项目名称：北京大学快速多点激光扫描共聚焦显微镜采购项目预算金额：274.0000000 万元（人民币）采购需求：包号名称数量预算金额是否接受进口产品01快速多点激光扫描共聚焦显微镜1套274万元是注：1.交货时间：自合同签订之日起120日内交货并安装调试完毕。2.交货地点：北京大学化学与分子工程学院。3.简要技术需求及用途：北京大学拟采购快速多点激光扫描共聚焦显微镜，用于进行长时间的活细胞观察 ，并进行快速超高的成像。对细胞和亚细胞器中荧光标记的分子和结构检测，荧光强度信号的定量分析，深层组织和细胞成像，亚细胞结构超高分辨检测，荧光共定位分析等。可进行荧光漂白及恢复实验，蛋白互作实验等。 合同履行期限：按招标文件要求。本项目( 不接受 )联合体投标。二、申请人的资格要求：1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；2.落实政府采购政策需满足的资格要求：无3.本项目的特定资格要求：遵守国家有关法律、法规、规章；单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参加本项目的投标。为本项目采购需求提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加本项目的投标。通过“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）和中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）查询信用记录（截止时点为投标截止时间），对列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商，没有资格参加本次采购活动。投标人必须购买招标文件并登记备案。三、获取招标文件时间：2022年08月22日 至 2022年08月29日，每天上午9:00至11:30，下午13:00至16:30。（北京时间，法定节假日除外）地点：线上邮箱报名（具体方式详见“其他补充事宜”）方式：只接受电汇或网银购买。（具体方式详见“其他补充事宜”）售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点提交投标文件截止时间：2022年09月12日 09点30分（北京时间）开标时间：2022年09月12日 09点30分（北京时间）地点：北京市海淀区学院路30号科大天工大厦B座17层06室第一会议室，如有变化，另行通知。（提示：楼层较高，请供应商预留递交文件时间提前到场）五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其他补充事宜（1）详细报名及获取招标（采购）文件方式，请完整阅读以下全部内容：1）填写下表，连同电汇底单（网银转账页面或银行回单）扫描件发送至bjmdzx@vip.163.com。邮件主题请务必为“购买标书登记+项目编号（BMCC开头）+项目名称”。报名后我司将回复邮件告知报名结果，请关注邮件及相关附件。请注意：电汇或网银必须于标书销售截止日下午16:30前到账。项目编号BMCC-ZC22-0259报名包号汇款金额公司名称统一社会信用代码公司通讯地址项目联系人联系电话联系邮箱需要快递纸质版文件是(须加收快递费100元） √否汇款/转账凭证（汇款或转账的底单扫描件或截图） 2）银行账户信息，电汇购买招标文件、投标保证金及中标服务费收取的唯一账户： 汇款或转账时请务必附言“项目编号+用途”，例如：ZC22-0259标书款或保证金。公司名称：北京明德致信咨询有限公司开 户 行：中国工商银行股份有限公司北京东升路支行账 号：0200 0062 1920 0492 9683）招标文件的获取：电子版招标文件免费下载地址：明德致信公司网站“招标（采购）公告”频道：http://www.zbbmcc.com/node/119。无需注册，按项目名称或编号查找对应项目，点击标题下红色“下载”按钮即可。（2）问题咨询联系方式的说明：1）有关招标文件购买、中标通知书领取及服务费发票、保证金交纳及退还事宜的联系电话：（010）8237 0045；2）有关招标文件技术部分的问题咨询：请拨打公告“项目联系方式”中项目联系人的手机号码。（3）本项目的公告发布媒介：仅在中国政府采购网发布。对其他网站转发本公告可能引起的信息误导、造成供应商的经济或其他损失的，采购人及采购代理不负任何责任。（4）针对本项目的其他特别说明： 1）需要落实的政府采购政策：促进中小企业、监狱企业、残疾人福利性单位发展，优先采购节能产品、环境标志产品、鼓励开展信用担保等。2）投标文件请于开标当日（投标截止时间之前）递交至开标地点，逾期递交文件恕不接受。3）届时请投标人派代表参加开标仪式。4）如本公告内容和招标文件内容不一致，以招标文件为准。详见附件下载七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名 称：北京大学　　　　　地址：北京市海淀区颐和园路5号　　　　　　　　联系方式：吴老师，010-62758587 　　　　　　2.采购代理机构信息名 称：北京明德致信咨询有限公司　　　　　　　　　　　　地　址：北京市海淀区学院路30号科大天工大厦B座17层1709室（邮编：100083）　　　　　　　　　　　　联系方式：孙经理、刘亚运、吕家乐、王爽、吕绍山，010-8237 0045、15801412428、15910847865　　　　　　　　　　　　3.项目联系方式项目联系人：孙经理、刘亚运、吕家乐、王爽、吕绍山电　话：　　010-8237 0045、15801412428、15910847865（定稿）ZC22-0259北京大学快速多点激光扫描共聚焦显微镜采购项目招标公告.docx

经过十多年不断发展，我国实现了一批科学仪器的产业化，涌现出了一批有一定影响力的仪器企业，奠定了一定的产业基础。不过，我们也要看到，与其他强国相比，中国科学仪器产业实力还存在一定差距。如，进出口逆差近年一直在100亿美元以上，某些品类国产占比不高、甚至全部依赖进口。科学仪器研制、成果转化、产业化不是容易的事儿。2023年5月18日举办的“中国科学仪器产业化高峰论坛”所邀请的5位嘉宾以及主持人，都是有成果成功转化或产业化经验的人士，他们都是从做技术开始，有的是成功开发出了产品并实现了产业化，有的参与创业或者是直接创办企业，有的企业处于起步阶段，有的企业已经上市，甚至是达到了几十个亿的营收规模。5位具有代表性嘉宾与同样具有丰富产业化经验的主持人一起，共同探讨科学仪器产业化成功之路。经过检验的经验或观点的分享，将给行业以及年青一代以启发。聚光科技（杭州）股份有限公司创始人王健，作为本次产业化高峰论坛的嘉宾，就产业化面临哪些难题、如何解决，高效产业化中人和团队如何发挥作用等问题发表了自己的观点。聚光科技（杭州）股份有限公司创始人 王健留在记忆里的一瓶醋、一包小米回顾聚光科技二十余年的发展历程以及自己人生中的重要事件，王健记忆犹新的是企业初创推出第一款产品“LGA 激光在线气体分析系统”时发生的事情。王健在大学里的专业是光电器件，没做过设备，创业后却做了设备和仪器，所以很多方面都没有经验，走了很多弯路。他回忆到，一开始不知道如何提高产品的可靠性、不知道如何做电磁兼容，只好自己快速去学习，然后再培训工程师。当时花了两年多时间，终于在实验室把第一个产品调试成功；但是，当时资金也快花完了，客户现场安装要是不成功的话，创业可能也就结束了。王健谈到，我们当时心里特别没底，安装一台设备，把技术好手全带上，去了六七个人，而且还把示波器、电烙铁等各种可能要换或者维修需要的器件和设备都带了去。他高兴的回想到，当时运气不错，设备安装上一通电直接就成了；大家都特别激动，这位山西的客户，送给我们每人一瓶醋、一包小米。去的时候我们坐的火车，返程就奖励自己坐飞机。将近20年，聚光科技的第一台产品一直在正常运行，直到前几年公司修建展厅的时候，用一台新设备把它换了回来，现在它已经成为了代表聚光科技发展起点的一个展品陈列在公司展厅里。多点对多点 运气好还是不好？科学仪器领域的营销模式，可以细分成两大类，一类例如化学发光仪器，在IVD领域，销售以耗材为主，换个抗体就可以增加不同的科目、指标，利用化学发光技术平台，可以有非常多的产值和利润，这种模式相对来说比较好把握。还有一类则不然，例如ICP-MS,要卖到十几亿难度太大了。对于我们来说，运气没那么好，产品营销模式更多的属于第二类。如果希望一个品类的产品能够做出几亿的销售额，就需要在众多的细分领域里找到合适的应用需求；每个应用领域的客户需求也不太一样，最后，一款产品就会演变成一个产品系列，同时绑定各个细分领域应用解决方案。这种模式会比较辛苦，需要花大力气不断的找一个又一个产品，花大力气找出新的、回报好的细分应用领域，还要继续花大力气满足该领域用户的个性化需求。王健多次调侃到，自己运气不是很好，但实际上，聚光科技克服困难，发现、实现了很多新的增长点，成功率比较高，可以说是幸运的。技术+需求，聚光科技每款产品研发都一定要找到的两种人对于产品全生命周期不同阶段的特点，王健认为，在开始阶段，应更多注重产品的创新性；随着时间推进，要不断把产品的指标提高；最后阶段，该产品的市场逐渐变成红海，这个时候拼的是谁能更好满足客户需求、可靠性做得更好，但成本却控制得比较合理。所以说，研发贯穿了产品的全生命周期。研发成本主要集中在人力成本上，如何能够高效推出满足客户需求，并能规模化生产和应用的产品变得非常关键，也是我们面临的最大挑战。对聚光科技来说，每款产品的研发都想办法找到两种不同类型的人，一是懂技术的人；二是对需求非常了解的人，他知道这个市场需要什么样的产品。每一个优秀的产品其实都是有“灵魂”的，一定需要核心人才牵头，产品不同生命周期面临的挑战可能不一样，不同阶段需要不同类型的核心人才介入，才能攻克产品不同生命周期面临的困难。附录：王健王健，男，汉族，1970年10月出生，浙江杭州人，研究生学历，博士学位（浙江大学和美国斯坦福大学双博士），研究员职称，博士生导师。聚光科技（杭州）股份有限公司创始人。长期从事新一代分析技术及其在工业过程测量、环境污染监测、工业和食品安全监测等领域应用的研究开发以及企业管理工作。作为项目负责人，先后承担了国家重大专项、863计划重点项目、国家发改委科学仪器高技术产业化专项等国家和地方科技项目50余项，在国内外学术刊物上发表学术论文60余篇，其中被SCI/EI收录28篇，获授权发明专利43项，美国发明专利1项，主导制订了3项国家标准（2项已颁布实施）和1项IEC国际标准。多项科研成果填补国内空白，技术达到国际领先水平，在国内首次研发成功“激光在线气体分析系统”，使我国成为国际上少数几个掌握该技术并从事产业化开发的国家之一。在国际上首次提出“原位抽取热湿法在线紫外/可见光纤光谱气体分析技术”、“新型顺序注射在线水质分析技术”，并成功实现产业化转化，销售规模均位居全国首位。先后获得2项国家科技进步二等奖，1项中国专利金奖、1项中国标准创新贡献奖，6项省部级科技进步奖一等奖等。创建了聚光科技公司这一科研及产业化平台，培养组建了分析测量技术领域国内规模最大、最优秀的创新团队，铸就了在分析检测技术领域的核心竞争优势，保障了公司经营规模的快速增长并获得良好经济效益，确立了在中国高端过程分析仪器行业龙头企业和第一品牌地位，并于2011年4月成功上市。先后获全国杰出专业技术人才、全国五一劳动奖章、中国工程院光华工程科技青年奖、何梁何利基金科学与技术创新奖、浙江省特级专家、杭州市B类人才等十余个荣誉。享受国务院特殊津贴，2008年入选浙江省新世纪151人才工程重点资助培养人员。

日前，国家中医药管理局公布了评审认定的国家三级中医药科研实验室名单，深圳市二医院吴正治研究员为学术带头人创建申报的深圳市中西医结合研究所“蛋白质组学实验室”榜上有名，该实验室是全国唯一的蛋白质组学国家三级实验室。

泰林生物全新推出VSC多点式汽化过氧化氢生物去污系统，有效解决大面积洁净室如何生物去污、布局复杂的生产区域如何获得一致的去污效果、去污气体的分布均匀性如何保证、复杂洁净车间整体去污如何一次完成、去污的完整记录如何获得与保持等问题。 1. 对嗜热脂肪芽孢杆菌达到log6的杀灭效力 2. 超大空间灭菌，一次可满足2000立方米空间灭菌要求 3. 远程控制，可满足200米超远距离灭菌 4. 快速灭菌，完成一个车间的整体灭菌时间少于3小时 5. 通过一台控制器同时控制1-10台汽化过氧化氢发生器进行灭菌工作 控制方式一：有线控制多台过氧化氢发生器 控制方式二：无线控制多台过氧化氢发生器 支持对不同型号的多台过氧化氢发生器进行控制 泰林生物VSC多点式汽化过氧化氢生物去污系统应用案例

项目编号：BMCC-ZC22-0259项目名称：北京大学快速多点激光扫描共聚焦显微镜采购项目预算金额：274.0000000 万元（人民币）采购需求：包号名称数量预算金额是否接受进口产品01快速多点激光扫描共聚焦显微镜1套274万元是注：1.交货时间：自合同签订之日起120日内交货并安装调试完毕。2.交货地点：北京大学化学与分子工程学院。3.简要技术需求及用途：北京大学拟采购快速多点激光扫描共聚焦显微镜，用于进行长时间的活细胞观察 ，并进行快速超高的成像。对细胞和亚细胞器中荧光标记的分子和结构检测，荧光强度信号的定量分析，深层组织和细胞成像，亚细胞结构超高分辨检测，荧光共定位分析等。可进行荧光漂白及恢复实验，蛋白互作实验等。 合同履行期限：按招标文件要求。本项目( 不接受 )联合体投标。

项目编号：HCZB-2022-ZB0679项目名称：多点激光扫描共聚焦显微镜预算金额：380.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：380.0000000 万元（人民币）采购需求：包号设备名称数量（台/套）1多点激光扫描共聚焦显微镜1套 详见招标文件第四章采购需求合同履行期限：合同签订后 120 日内交货并安装完毕本项目( 不接受 )联合体投标。

超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器 杨宏兴 1，2，付海金 1，2，胡鹏程 1，2*，杨睿韬 1，2，邢旭 1，2，于亮 1，2，常笛 1，2，谭久彬 1，2 1 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所，黑龙江 哈尔滨 150080； 2 哈尔滨工业大学超精密仪器技术及智能化工业和信息化部重点实验室，黑龙江 哈尔滨 150080 摘要 针对微电子光刻机等高端装备中提出的超精密、高速位移测量需求，哈尔滨工业大学深入探索了传统的共 光路外差激光干涉测量方法和新一代的非共光路外差激光干涉测量方法，并在高精度激光稳频、光学非线性误差 精准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等多项关键技术方面取得持续突破，研制了系列超精密高速激光干涉仪，激 光真空波长相对准确度最高达 9. 6×10-10，位移分辨力为 0. 077 nm，光学非线性误差最低为 13 pm，最大测量速度 为 5. 37 m/s。目前该系列仪器已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测 试领域，为我国光刻机等高端装备发展提供了关键技术支撑和重要测量手段。 关键词 光学设计与制造；激光干涉；超精密高速位移测量引 言 激光干涉位移测量（DMLI）技术是一种以激光 波长为标尺，通过干涉光斑的频率、相位变化来感知位移信息的测量技术。因具有非接触、高精度、高动 态、测量结果可直接溯源等特点，DMLI 技术和仪器被广泛应用于材料几何特性表征、精密传感器标定、 精密运动测试与高端装备集成等场合。特别是在微电子光刻机等高端装备中嵌入的超精密高速激光干涉仪，已成为支撑装备达成极限工作精度和工作效率的前提条件和重要保障。以目前的主流光刻机为例，其内部通常集成有 6 轴至 22 轴以上的超精密高速激光干涉仪，来实时测量高速运动的掩模工件台、 硅片工件台的 6 自由度位置和姿态信息。根据光刻机套刻精度、产率等不同特性要求，目前对激光干涉的位移测量精度需求从数十纳米至数纳米，并将进一步突破至原子尺度即亚纳米量级；而位移测量速度需求，则从数百毫米每秒到数米每秒。 对 DMLI 技术和仪器而言，影响其测量精度和测量速度提升的主要瓶颈包括激光干涉测量的方法原理、干涉光源/干涉镜组/干涉信号处理卡等仪器关键单元特性以及实际测量环境的稳定性。围绕光刻机等高端装备提出的超精密高速测量需求，以美国 Keysight 公司（原 Agilent 公司）和 Zygo 公司为代表的国际激光干涉仪企业和研发机构，长期在高精度激光稳频、高精度多轴干涉镜组、高速高分辨力干涉信号处理等方面持续攻关并取得不断突破， 已可满足当前主流光刻机的位移测量需求。然而， 一方面，上述超精密高速激光干涉测量技术和仪器 已被列入有关国家的出口管制清单，不能广泛地支撑我国当前的光刻机研发生产需求；另一方面，上述技术和仪器并不能完全满足国内外下一代光刻机研 发所提出的更精准、更高速的位移测量需求。 针对我国光刻机等高端装备研发的迫切需求， 哈尔滨工业大学先后探索了传统的共光路双频激光干涉测量方法和新一代的非共光路双频激光干涉测量方法，并在高精度激光稳频、光学非线性误差精 准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等关键技术方 面取得持续突破，研制了系列超精密高速激光干涉 仪，可在数米每秒的高测速下实现亚纳米级的高分辨力高精度位移测量，已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测试领域。该技术和仪器不仅直接为我国当前微电子光刻机研发生产提供了关键技术支撑和核心 测量手段，而且还可为我国 7 nm 及以下节点光刻机研发提供重要的共性技术储备。高精度干涉镜组设计与研制 高精度干涉镜组的 3 个核心指标包括光学非线性、热稳定性和光轴平行性，本课题组围绕这 3 个核心指标（特别是光学非线性）设计并研制了前后两代镜组。 共光路多轴干涉镜组共光路多轴干涉镜组由双频激光共轴输入，具备抗环境干扰能力强的优点，是空间约束前提下用于被测目标位置/姿态同步精准测量不可或缺的技术途径，并且是光刻机定位系统精度的保证。该类干涉镜组设计难点在于，通过复杂光路中测量臂和参考臂的光路平衡设计保证干涉镜组的热稳定性，并通过无偏分光技术和自主设计的光束平行性测量系统，保证偏振正交的双频激光在入射分光及多次反射/折射后的高度平行性［19- 20］。目前本课题组研制的 5 轴干涉镜组（图 11） 可实现热稳定性小于 10 nm/K、光学非线性误差小于 1 nm 以及任意两束光的平行性小于 8″，与国 际主流商品安捷伦 Agilent、Zygo 两束光的平行性 5″~10″相当。 图 11. 自主研制的共光路多轴干涉镜组。（a）典型镜组的3D设计图；（b）实物图非共光路干涉镜组 非共光路干涉镜组在传统共光路镜组的基础上， 通过双频激光非共轴传输避免了双频激光的频率混叠，优化了纳米量级的光学非线性误差。2014 年，本课题组提出了一种非共光路干涉镜组结构［2，21］，具体结构如图 12 所示，测试可得该干涉镜组的光学非 线性误差为 33 pm。并进一步发现基于多阶多普勒 虚反射的光学非线性误差源，建立了基于虚反射光迹精准规划的干涉镜组光学非线性优化算法，改进并设计了光学非线性误差小于 13 pm 的非共光路干涉镜组［2-3］，并通过双层干涉光路结构对称设计保证热稳定性小于 2 nm/K［22- 25］。同时，本课题组也采用多光纤高精度平行分光，突破了共光路多轴干涉镜组棱镜组逐级多轴平行分光，致使光轴之间的平行度误差 逐级累加的固有问题，保证多光纤准直器输出光任意 两个光束之间的平行度均小于 5″。 图 12. 自主设计的非共光路多轴干涉镜组。（a）典型镜组的3D设计图；（b）实物图基于上述高精度激光稳频、光学非线性误差精准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等多项关键技 术，本课题组研制了系列超精密高速激光干涉仪 （图 17），其激光真空波长准确度最高达 9. 6×10-10 （k=3），位移分辨力为 0. 077 nm，最低光学非线性误差为 13 pm，最大测量速度为 5. 37 m/s（表 2）。并成功应用于上海微电子装备（集团）股份有限公司 （SMEE）、中国计量科学研究院（NIM）、德国联邦物理技术研究院（PTB）等十余家单位 ，在国产光刻机、国家级计量基准装置等高端装备的研制中发挥了关键作用。 图 17. 自主研制的系列超精密高速激光干涉仪实物图。（a）20轴以上超精密高速激光干涉仪；（b）单轴亚纳米级激光干涉仪；（c）三轴亚纳米级激光干涉仪超精密激光干涉仪在精密工程中的实际测量， 不仅考验仪器的研制水平，更考验仪器的应用水 平，如复杂系统中的多轴同步测量，亚纳米乃至皮 米量级新误差源的发现与处理，高水平的温控与隔 振环境等。下面主要介绍超精密激光干涉仪的几 个典型应用。 国产光刻机研制：多轴高速超精密激光干涉仪 在国产光刻机研制方面，多轴高速超精密激光 干涉仪是嵌入光刻机并决定其光刻精度的核心单元之一。但是，一方面欧美国家在瓦森纳协定中明确规定了该类干涉仪产品对我国严格禁运；另一方面该类仪器技术复杂、难度极大，我国一直未能完整掌握，这严重制约了国产光刻机的研制和生产。 为此，本课题组研制了系列超精密高速激光干涉测量系统，已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测试领域，典型应用如图 18 所示，其各项关键指标均满足国产先进光刻机研发需求，打破了国外相关产品对我国 的禁运封锁，在国产光刻机研制中发挥了重要作用。在所应用的光刻机中，干涉仪的测量轴数可达 22 轴以上，最大测量速度可达 5. 37 m/s，激光真空 波 长/频 率 准 确 度 最 高 可 达 9. 6×10−10（k=3），位 移 分 辨 力 可 达 0. 077 nm，光 学 非 线 性 误 差 最 低 为 13 pm。 配 合 超 稳 定 的 恒 温 气 浴（3~5 mK@ 10 min）和隔振环境，可以对光刻机中双工件台的多维运动进行线位移、角位移同步测量与解耦，以满足掩模工件台、硅片工件台和投影物镜之间日益复杂的相对位置/姿态测量需求，进而保证光刻机整体套刻精度。图 18. 超精密高速激光干涉测量系统在光刻机中的应用原理及现场照片国家级计量基准装置研制：亚纳米精度激光干涉仪 在国家级计量基准装置研制方面，如何利用基本物理常数对质量单位千克进行重新定义，被国际知名学术期刊《Nature》评为近年来世界六大科学难题之一。在中国计量科学研究院张钟华院士提出的“能量天平”方案中，关键点之一便是利用超精密激光干涉仪实现高准确度的长度测量，其要求绝对测量精度达到 1 nm 以内。为此，本课题组研制了国内首套亚纳米激光干涉仪，并成功应用于我国首套量子化质量基准装置（图 19），在量子化质量基准中 国方案的实施中起到了关键作用，并推动我国成为首批成功参加千克复现国际比对的六个国家之一［30- 32］。为达到亚纳米级测量精度，除了精密的隔振与温控环境以外，该激光干涉仪必须在真空环境 下进行测量以排除空气折射率对激光波长的影响， 其测量不确定度可达 0. 54 nm @100 mm。此外，为了实现对被测对象的姿态监测，该干涉仪的测量轴 数达到了 9 轴。图 19. 国家量子化质量基准及其中集成的亚纳米激光干涉仪 结论 近年来，随着高端装备制造、精密计量和大科学装置等精密工程领域技术的迅猛发展，光刻机等高端制造装备、能量天平等量子化计量基准装置、 空间引力波探测等重大科学工程对激光干涉测量技术提出了从纳米到亚纳米甚至皮米量级精度的 重大挑战。对此，本课题组在超精密激光干涉测量方法、关键技术和仪器工程方面取得了系列突破性进展，下一步的研究重点主要包括以下 3 个方面： 1）围绕下一代极紫外光刻机的超精密高速激光干涉仪的研制与应用。在下一代极紫外光刻机中，其移动工件台运动范围、运动精度和运动速度将进一步提升，将要求在大量程、6 自由度复杂耦合、高速运动条件下实现 0. 1 nm 及以下的位移测量精度，对激光干涉仪的研发提出严峻挑战；极紫外光刻机采用真空工作环境，可减小空气气流波动和空气折射率引入的测量误差，同时也使整个测量系统结构针对空气- 真空适应性设计的复杂性大幅度增加。2）皮米激光干涉仪的研制与国际比对。2021年， 国家自然科学基金委员会（NSFC）联合德国科学基 金会（DFG）共同批准了中德合作项目“皮米级多轴 超精密激光测量方法、关键技术与比对测试”（2021 至 2023 年）。该项目由本课题组与德国联邦物理技术研究院（PTB）合作完成，预计将分别研制下一代皮米级精度激光干涉仪，并进行国际范围内的直接 比对。3）空间引力波探测。继 2017 年美国 LIGO 地面引力波探测获诺贝尔物理学奖后，各国纷纷开展了空间引力波探测计划，这些引力波探测器实质上就是巨型的超精密激光干涉仪。其中，中国的空间引力波探测计划，将借助激光干涉仪在数百万公里距离尺度上，实现皮米精度的超精密测量，本课题组在引力波国家重点研发技术项目的支持下，将陆 续开展卫星- 卫星之间和卫星- 平台质量块之间皮米级激光干涉仪的设计和研究，特别是皮米级非线性实现和皮米干涉仪测试比对的工作，预期可对空间引力波探测起到积极的支撑作用。本课题组在超精密激光干涉测量技术与仪器领域有超过 20 年的研究基础，建成了一支能够完全自主开发全部激光干涉仪核心部件、拥有完整自主知识产权的研究团队，并且在研究过程中得到了 12 项国家自然科学基金、2 项国家科技重大专项、2 项 国家重点研发计划等项目的支持，建成了超精密激光测量仪器技术研发平台和产业化平台，开发了系列超精密激光干涉测量仪，在国产先进光刻机研发、我国量子化质量基准装置等场合成功应用，推动了我国微电子光刻机等高端装备领域的发展，并将通过进一步研发，为我国下一代极紫外光刻机研 发、空间引力波探测、皮米激光干涉仪国际比对提供支撑。全文详见：超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器.pdf

新冠肺炎核酸检测出现“假阴性”？核酸不再是唯一的诊断依据？！2月9日，湖北省新冠肺炎疫情防控指挥部召开新闻发布会。会上，华中科技大学公共卫生学院副院长徐顺清表示，核酸检测存在一定的假阴性，也就是一部分病人没有检测出来。这样可能造成一些传染源没有真正被识别出来，有扩大的风险。 这个问题发现以后，以前把核酸检测作为唯一诊断依据的诊疗方案显然已经不适用了。2月8日发布的第五版诊疗方案将CT和临床也作为依据，从核酸检测、肺部影像学、临床症状三个方面相结合，作为对病人恢复情况的判断。 01新型冠状病毒肺炎诊疗方案（试行第五版?修正版） 2月8日，国家卫生健康委办公厅发布关于印发新型冠状病毒肺炎诊疗方案（试行第五版 修正版）的通知。通知中，对于利巴韦林的用法用量进行了修正。 经全国新型冠状病毒肺炎医疗救治专家组充分讨论，考虑到大剂量利巴韦林的安全性，将其使用剂量调整为：成人，500mg/次，每日2至3次静脉输注。 修正后的诊疗方案如下（部分） 02新型冠状病毒肺炎实验室检测技术指南（第四版） 而在此前，2月7日发布的《新型冠状病毒肺炎防控方案（第四版）》附件中，也通过《新型冠状病毒肺炎 实验室检测技术指南（第四版）》（下简称指南），重点从检测标本采集和核酸检测方法等维度，对新冠病毒的检测工作作出要求。官网截图 指南主要针对比较成熟、易于实施的核酸检测方法，即采用实时荧光RT-PCR进行鉴定，推荐选用针对新型冠状病毒的ORF1ab、N基因区域的引物和探针。 结果判断 ：阴性:无Ct值或Ct≥40。 阳性：Ct值37，可报告为阳性。 灰度区：Ct值在37-40之间，建议重复实验，若重做结果Ct值40，扩增曲线有明显起峰，该样本判断为阳性,否则为阴性。注：如果用的是商品化试剂盒，则以厂家提供的说明书为 另外，根据指南规定，在实验室要确认一个病例为阳性，满足以下条件： 同一份标本中新型冠状病毒2个靶标（ORF1ab、N）特异性实时荧光RT-PCR检测结果均为阳性。如果出现单个靶标阳性的 检测结果，则需要重新采样，重新检测。另外阴性结果也不能排除新型冠状病毒感染，需要排除可能产生假阴性的因素。 在标本采集方面，指南主要从采集对象、采集要求、采集种类等维度进行了规定。要求采集的标本主要包括病人的上呼吸道标本、下呼吸道标本、眼结膜拭子、粪便标本、抗凝血和血清标本等。 临床标本应当尽量采集病例发病早期的呼吸道标本（尤其是下呼吸道标本）和发病 7 天内急性期血清以及发病后第 3～ 4 周的恢复期血清。 指南还对10种标本的采集方法做出规定，包括咽拭子、鼻拭子、鼻咽抽取物或呼吸道抽取物、支气管灌洗液、肺泡灌洗液、深咳痰液、血液标本、粪便标本和眼结膜拭子标本等。

“坐标”这个概念源于解析几何，其基本思想是构建坐标系，将点与实数联系起来，进而可以将平面上的曲线用代数方程表示。坐标的概念应用到工业生产中解决了大量实际问题，例如，坐标测量机可采集被测工件表面上的被测点的坐标值，并投射到空间坐标系中，构建工件的空间模型等诸多案例。坐标测量机还被用于产品质量控制，测量磨损，制造精度，产品形貌，对称性，角度等工业产品参数，因此需要非常高的移动精度，才能确保测量的准确性。德国attocube公司推出的IDS3010皮米精度位移测量激光干涉仪就是辅助坐标测量机提高测量精度的有力手段。图1 皮米精度位移测量激光干涉仪IDS3010IDS3010皮米精度位移测量激光干涉仪是如何帮助坐标测量机实现高精度的呢？图2 IDS3010激光干涉仪集成到坐标测量机探测臂上通常坐标测量机要求探测臂位移精度高于1微米，现在坐标测量机位移反馈大多是通过玻璃分划尺来实现的。玻璃分划尺是常用的一种位置测量的方法，分划尺在坐标测量机上位于龙门处，一般情况下，采用玻璃分划尺探测的不是探测臂本身，而是坐标测量机龙门处的位置变化。实际上， 坐标测量机的探测臂与龙门之间有一定长度的距离，它们的位置变化会因存在例如振动、位置差等而有所不同，因此只凭借龙门处位置变化来判断真实的位移反馈是不准确的，影响到实际样品的测量精度。图3 IDS3010激光干涉仪集成到坐标测量机上。坐标测量机通过干涉仪探头的配合，可反馈探测臂的位移。德国attocube公司的IDS3010皮米精度位移测量激光干涉仪通过非接触式方法测量，可以直接测量探测臂的运动，避免龙门处探测误差，实现高精度测量。如图3，激光探头位于坐标测量机侧边，M12/C7.6激光探头出射的激光可以被探测臂上的反射镜（直径3mm）反射回激光探头，IDS3010干涉仪通过分析干涉信号从而进行位置测量。探测臂能够移动0.8米距离，移动精度达到10微米。干涉仪能够实时测量该探测臂的位移以及振动等信息。图4 IDS3010实时位置测量软件WAVE测量数据。扩展图为中间区域的数据放大。IDS3010配置的软件WAVE可以实时观测与保存测量数据。如图4，坐标测量机的运动数据被测量并记录。图中所示，前15秒与终10秒间的数据是0.8m距离的往复运动。中间时间的数据看似没有变化，但通过WAVE软件的放大功能，我们发现中间时间的探测臂其实进行了10微米的步进运动。同时，通过WAVE软件我们也可以观测到步进运动的详细变化过程。每一个步进大约2秒，在运动初始的时候位移有超过，在大约0.4秒的短时间内位移被调整为10微米的步进长度。而在步进的末尾，也有小幅的位置噪音，该噪音一般是由于振动引入。这对于探测样品位移以及振动信息具有重大意义。IDS3010技术特点：IDS3010皮米精度位移测量激光干涉仪具有体积小、适合集成到工业应用与同步辐射应用中的特点，同时，测量精度高，分辨率高达1 pm，是适合工业集成与工业网络无缝对接的理想产品。除与坐标测量机结合使用外，在工业中的其他应用实例也非常广泛，包括闭环位移反馈系统搭建、振动测量、轴承误差测量等等。+ 测量精度高，分辨率高达1 pm+ 测量速度快，采样带宽10MHz+ 样品大移动速度 2m/s+ 光纤式激光探头尺寸小，灵活性高+ 兼容超高真空，低温，强辐射等端环境+ 其可靠与稳定+ 环境补偿单元，不同湿度、压力环境中校正反射率参数提高测量精度+ 多功能实时测量界面，包含HSSL、AquadB、CANopen、Profibus、EtherCAT、Biss-C等界面相关产品及链接：1、皮米精度位移激光干涉器attoFPSensor：http://www.instrument.com.cn/netshow/C159543.htm2、EcoSmart Drive系列纳米精度位移台：http://www.instrument.com.cn/netshow/C168197.htm3、低温强磁场纳米精度位移台：http://www.instrument.com.cn/netshow/C80795.htm

1 引 言激光干涉位移测量技术具有大量程、高分辨力、非接触式及可溯源性等优势，广泛应用于精密计量、微电子集成装备和大科学装置等领域，成为超精密位移测量领域中的重要技术之一。近年来，随着这些领域的迅猛发展，对激光干涉测量技术提出了新的测量需求。如在基于长度等量子化参量的质量基准溯源方案中，要想实现1×10−8 量级的溯源要求，需要激光干涉仪长度测量精度达0. 1 nm 量级；在集成电路制造方面，激光干涉仪承担光刻机中掩模台、工件台空间位置的高速、超精密测量任务，按照“ 摩尔定律”发展规律，近些年要想实现1 nm 节点光刻技术，需要超精密测量动态精度达0. 1 nm，达到原子尺度。为此，国际上以顶级的计量机构为代表的单位均部署了诸如NNI、Nanotrace 等工程，开展了“纳米”尺度测量仪器的研制工程，并制定了测量确定度在10 pm 以下的激光干涉测量技术的研发战略。着眼于国际形势，我国同样根据先进光刻机等高端备、先进计量的测量需求，制定了诸多纳米计量技术的研发要。可见，超精密位移测量技术的发展对推进我国众多大高端装备具有重要战略意义，是目前纳米度下测量领域逐步发展的重大研究方向。2 激光干涉测量原理根据光波的传播和叠加原理，满足相干条件的光波能够在空间中出现干涉现象。在激光干涉测量中，由于测量目标运动，将产生多普勒- 菲佐（Doppler-Fizeau效应，干涉条纹将随时间呈周期性变化，称为拍频现象。移/相移信息与测量目标的运动速度/位移关系满足fd = 2nv/ λ ， （1）φd = 2nL/ λ ， （2）式中：fd为多普勒频移；φd为多普勒相移；n 为空气折射率；v 和L 为运动速度和位移；λ 为激光波长。通过对干涉信号的频率/相位进行解算即可间接获得测量目标运动过程中速度/位信息。典型的干涉测量系统可按照激光光源类型分为单频（零差式）激光干涉仪和双频（外差式）激光干涉仪两大类。零差式激光干涉测量基本原理如图1 所示，其结构与Michelson 干涉仪相仿，参考光与测量光合光干涉后，经过QPD 输出一对相互正交的信号，为Icos = A cos (2πfd t + φ0 + φd ) ， （3）Isin = A sin (2πfd t + φ0 + φd ) ， （4）式中：（Icos， Isin）为QPD 输出的正交信号；A 为信号幅值；φ0 为初始相位。结合后续的信号处理单元即可构成完整、可辨向的测量系统。图1　零差激光干涉测量原理外差式激光干涉仪的光源是偏振态相互垂直且具有一定频差Δf 的双频激光，其典型的干涉仪结构如图2 所示。双频激光经过NPBS 后，反射光通过偏振片发生干涉，形成参考信号Ir；透射光经过PBS，光束中两个垂直偏振态相互分开，f2 光经过固定的参考镜反射，f1 光经运动的测量镜反射并附加多普勒频移fd，与反射光合光干涉后形成测量信号Im。Ir = Ar cos (2πΔft + φr ) ， （5）Im = Am cos (2πΔft + φm )， （6）式中：Δf、A 和φ 分别为双频激光频差、信号幅值和初始相位差。结合式（5）和式（6），可解算出测量目标的相位信息。图2　外差激光干涉测量原理零差式激光干涉仪常用于分辨力高、速度相对低并且轴数少的应用中。外差式激光干涉仪具有更强的抗电子噪声能力，易于实现对多个目标运动位移的多轴同步测量，适用于兼容高分辨力、高速及多轴同步测量场合，是目前主流的干涉结构之一。3 激光干涉测量关键技术在超精密激光干涉仪中，波长是测量基准，尤其在米量级的大测程中，要实现亚纳米测量，波长准确度对测量精度起到决定性作用。其中，稳频技术直接影响了激光波长的准确度，决定激光干涉仪的精度上限；环境因素的变化将影响激光的真实波长，间接降低了实际的测量精度。干涉镜组结构决定光束传播过程中的偏振态、方向性等参数，影响干涉信号质量。此外，干涉信号相位细分技术决定激光干涉仪的测量分辨力，并限制了激光干涉仪的最大测量速度。3. 1　高精度稳频技术在自由运转的状态下，激光器的频率准确度通常只有±1. 5×10−6，无法满足超精密测量中10−8~10−7的频率准确度要求。利用传统的热稳频技术（单纵模激光器的兰姆凹陷稳频方法等），可以提高频率准确度，但系统中稳频控制点常偏离光功率平衡点，输出光频率准确度仅能达2×10−7量级，无法完全满足超精密测量的精度需求。目前，超精密干涉测量中采用的高精度稳频技术主要有热稳频、饱和吸收及偏频锁定3 种。由于激光管谐振腔的热膨胀特性，腔长随温度变化呈近似线性变化。因此，热稳频方法通过对谐振腔进行温度控制实现对激光频率的闭环调节。具体过程为：选定稳定的参考频标（双纵模激光器的光功率平衡点、纵向塞曼激光器频差曲线的峰/谷值点），当激光频率偏离参考频标时，产生的频差信号用于驱动加热膜等执行机构进行激光管谐振腔腔长调节。热稳频方法能够使激光器的输出频率的准确度在10−9~10−8 量级，但原子跃迁的中心频率随时间推移受腔内气体气压、放电条件及激光管老化的影响会发生温度漂移。利用稳频控制点修正方法，通过对左右旋圆偏振光进行精确偏振分光和对称功率检测来抑制稳频控制点偏移的随机扰动，同时补偿其相对稳定偏置分量。该方法显著改善了激光频率的长期漂移现象，阿伦方差频率稳定度为1. 9×10−10，漂移量可减小至（1~2）×10−8。稳频点修正后的激光波长仍存在较大的短期抖动，主要源于激光器对环境温度的敏感性，温差对频率稳定性的影响大。自然散热型激光器和强耦合水冷散热型激光器均存在散热效果不均匀和散热程度不稳定的问题。多层弱耦合水冷散热结构为激光管提供一个相对稳定的稳频环境，既能抑制外界环境温度变化对激光管产生的扰动，冷却水自身的弱耦合特性又不影响激光管性能，进而减小了温度梯度和热应力，提高了激光器对环境温度的抗干扰能力，减少了输出激光频率的短期噪声，波长的相对频率稳定度约为1×10−9 h−1。碘分子饱和吸收稳频法将激光器的振荡频率锁定在外界的参考频率上，碘分子饱和吸收室内处于低压状态下（1~10 Pa）的碘分子气体在特定频率点附近存在频率稳定的吸收峰，将其作为稳频基准后准确度可达2. 5×10−11。但由于谐振腔损耗过大，稳频激光输出功率难以超过100 μW 且存在MHz 量级的调制频率，与运动目标测量过程中产生的多普勒频移相近。因此，饱和吸收法难以适用于多轴、动态的测量场合。偏频锁定技术是另一种高精度的热稳频方法，其原理如图3 所示，通过实时测量待稳频激光器出射光与高精度碘稳频激光频差，获得反馈控制量，从而对待稳频激光器谐振腔进行不同程度加热，实现高精度稳频。在水冷系统提供的稳频环境下，偏频锁定激光器的出射光相对频率准确度优于2. 3×10−11。图3 偏频锁定热稳频原理3. 2　高精度干涉镜组周期非线性误差是激光干涉仪中特有的内在原理性误差，随位移变化呈周期性变化，每经过半波长，将会出现一次最大值。误差大小取决光束质量，而干涉镜组是决定光束质量的主导因素。传统的周期非线性误差可以归结为零差干涉仪的三差问题和外差干涉仪的双频混叠问题，产生的非线性误差机理如图4 所示，其中Ix、Iy分别表示正交信号的归一化强度。其中，GR为虚反射，MMS 为主信号，PISn 为第n 个寄生干涉信号，DFSn 为第n 阶虚反射信号。二者表现形式不完全相同，但都会对测量结果产生数纳米至数十纳米的测量误差。可见，在面向亚纳米、皮米级的干涉测量技术中，周期非线性误差难以避免。图4　零差与外差干涉仪中的周期非线性误差机理。（a）传统三差问题与多阶虚反射李萨如图；（b）多阶虚反射与双频混叠频谱分布Heydemann 椭圆拟合法是抑制零差干涉仪中非线性误差的有效方法。该方法基于最小二乘拟合，获得关于干涉直流偏置、交流幅值以及相位偏移的线性方程组，从而对信号进行修正。在此基础上，Köning等提出一种基于测量信号和拟合信号最小几何距离的椭圆拟合方法，该方法能提供未知模型参数的局部最佳线性无偏估计量，通过Monte Carlo 随机模拟后，其非线性幅值的理论值约为22 pm。在外差干涉仪中，双频混叠本质上是源于共光路结构中双频激光光源和偏振器件分光的不理想性，称为第1 类周期非线性。对于此类周期非线性误差，补偿方法主要可以从光路系统和信号处理算法两个方面入手。前者通过优化光路可以将非线性误差补偿至数纳米水平；后者通过椭圆拟合法提取椭圆特征参数，可以将外差干涉仪中周期非线性误差补偿至亚纳米量级；两种均属补偿法，方法较为复杂，误差难以抑制到0. 1 nm 以下。另一种基于空间分离式外差干涉结构的光学非线性误差抑制技术采用独立的参考光路和测量光路，非共光路使两路光在干涉前保持独立传播，从根本上避免了外差干涉仪中频率混叠的问题，系统残余的非线性误差约为数十皮米。空间分离式干涉结构能够消除频率混叠引起的第1 类周期非线性误差，但在测量结果中仍残余亚纳米量级的非线性误差，这种有别于频率混叠的残余误差即为多阶多普勒虚反射现象，也称为第2 类周期非线性误差。虚反射现象源自光学镜面的不理想分光、反射等因素，如图5所示，其中MB 为主光束，GR 为反射光束，虚反射现象普遍存在于绝大多数干涉仪结构中。虚反射效应将会使零差干涉仪中李萨如图的椭圆产生畸变，而在外差干涉仪中则出现明显高于双频混叠的高阶误差分量。图5　多阶虚反射现象使用降低反射率的方法，如镀增透膜、设计多层增透膜等，能够弱化虚反射现象，将周期非线性降低至亚纳米水平；德国联邦物理技术研究院Weichert等通过调节虚反射光束与测量光束间的失配角，利用透镜加入空间滤波的方法将周期非线性误差降低至±10 pm。上述方法在抑制单次的虚反射现象时有着良好的效果，但在面对多阶虚反射效应时作用有限。哈尔滨工业大学王越提出一种适用于多阶虚反射的周期非线性误差抑制方法，该方法利用遗传算法优化关键虚反射面空间姿态，精准规划虚反射光束轨迹，可以将周期非线性误差抑制到数皮米量级，突破了该领域10 pm 的周期非线性误差极限。3. 3　高速高分辨力相位细分技术在激光干涉仪中，相位细分技术直接决定系统的测量精度。实现亚纳米、皮米测量的关键离不开高精度的相位细分技术。相位的解算可以从时域和频域两个角度进行。最为常用的时域解算方法是基于脉冲边缘触发的相位测量方法，该方法利用高频脉冲信号对测量信号与参考信号进行周期计数，进而获取两路信号的相位差。该方法的测量速度与测量分辨力模型可表达为vm/dLm= Bm ， （7）式中：vm 为测量速度；dLm 为测量分辨力；Bm 为系统带宽。在系统带宽恒定的情况下，高测速与高分辨力之间存在相互制约关系。只有提高系统带宽才能实现测量速度和测量分辨力的同时提升，也因此极度依赖硬件运行能力。在测量速度方面，外差激光干涉仪的测量速度主要受限于双频激光频差Δf，测量目标运动产生的多普勒频移需满足fd≤Δf。目前，美国的Zygo 公司和哈尔滨工业大学利用双声光移频方案所研制的结构的频差可达20 MHz，理论的测量速度优于5 m/s。该方法通过增加双频激光频差来间接提升测量速度，频差连续可调，适用于不同测量速度的应用场合，最大频差通常可达几十MHz，满足目前多数测量速度需求。从干涉结构出发，刁晓飞提出一种双向多普勒频移干涉测量方法，采用全对称的光路结构，如图6所示，获得两路多普勒频移方向相反的干涉信号，并根据目标运动方向选择性地采用不同干涉信号，保证始终采用正向多普勒频移进行相位/位移解算。该方法从原理上克服了双频激光频差对测量速度的限制，其最大测量速度主要受限于光电探测器带宽与模/数转换器的采样频率。图6 全对称光路结构在提升测量分辨力方面，Yan 等提出一种基于电光调制的相位调制方法，对频率为500 Hz 的信号进行周期计数，该方法实现的相位测量标准差约为0. 005°，具有10 pm 内的超高位移测量分辨力，适用于低速测量场合。对于高速信号，基于脉冲边缘触发的相位测量方法受限于硬件带宽，高频脉冲频率极限在500 MHz 左右，其测量分辨力极限约为1~10 nm，难以突破亚纳米水平。利用高速芯片，可以将处理带宽提升至10 GHz，从而实现亚纳米的测量分辨力，但成本较大。闫磊提出一种数字延时细分超精细相位测量技术，在硬件性能相同、采样频率不变的情况下，该方法利用8 阶数字延迟线，实现了相位的1024 电子细分，具有0. 31 nm 的位移测量分辨力，实现了亚纳米测量水平。该方法的等效脉冲频率约为5 GHz，接近硬件处理极限，但其测量速度与测量分辨力之间依旧存在式（7）的制约关系。德国联邦物理技术研究院的Köchert 等提出了一种双正交锁相放大相位测量方法，如图7所示，FPGA 内部生成的理想正交信号分别与外部测量信号、参考信号混频，获取相位差。利用该方法，可以实现10 pm 以内的静态测量偏差。双正交锁相放大法能够处理正弦模拟信号，充分利用了信号的频率与幅值信息，其测量速度与测量分辨力计算公式为vm/0. 1λ0= Bm ， （8）dLm/0. 5λ0=Bs/dLc， （9）式中：Bs为采样带宽；dLc为解算分辨力。图7 双正交锁相方法测量原理可见，测量速度与测量分辨力相互独立，从原理上解决了高测速与高分辨力相互制约的矛盾，为激光干涉仪提供了一种兼顾高速和高分辨力的相位处理方法。在此基础上，为了适应现代工业中系统化和集成化的测量需求，美国Keysight 公司、Zygo 公司及哈尔滨工业大学相继研发出了光电探测与信号处理一体化板卡，能够实现高于5 m/s 的测量速度以及0. 31 nm 甚至0. 077 nm 的测量分辨力。此外，从变换域方面同样可以实现高精度的相位解算。张紫杨等提出了一种基于小波变换的相位细分方法，通过小波变换提取信号的瞬时频率，计算频率变化的细分时间，实现高精度的位移测量，该方法的理论相位细分数可达1024，等效位移精度约为0. 63 nm。Strube 等利用频谱分析法，从信号离散傅里叶变换（DFT）后的相位谱中获取测量目标的位移，实现了0. 3 nm 的位移测量分辨力。由于采用图像传感器为光电转换器，信号处理是以干涉条纹为基础的，适用于静态、准静态的低速测量场合。3. 4环境补偿与控制技术环境中温度、气压及湿度等变化会引起空气折射率变化，使得激光在空气中传播时波长变动，导致测量结果产生纳米量级的误差。环境误差补偿与控制技术是抑制空气折射率误差的两种重要手段。补偿法是修正空气折射率误差最常用的方法，具有极高的环境容忍度。采用折光仪原理、双波长法等可以实现10−7~10−8 量级的空气折射率相对测量不确定度。根据Edlen 经验公式，通过精确测定环境参数（温度、湿度和大气压等），可以计算出空气折射率的精确值，用于补偿位移测量结果，其中温度是影响补偿精度的最主要因素。采用高精度铂电阻传感器，设备可以实现1 mK 的温度测量精度，其折射率的补偿精度可达10−8量级，接近Edlen 公式的补偿极限。环境控制技术是保证干涉仪亚纳米测量精度的另一种有效方法。在现行的DUV 光刻机中，采用气浴法，建立3 mK/5 min 以内恒温、10 Pa/5 min 以内恒压、恒湿气浴场，该环境中能够实现10−9~10−8 量级空气折射率的不确定度。对于深空引力波探测、下一代质量基准溯源等应用场合，对激光干涉仪工作的环境控制要求更为严苛，测量装置需置于真空环境中，此时，空气折射率引入的测量误差将被彻底消除。4 激光干涉测量技术发展趋势近年来，超精密位移测量的精度需求逐渐从纳米量级向亚纳米甚至皮米量级过渡。国内在激光干涉仪中的激光稳频、周期非线性误差消除和信号处理等关键技术上均取得了重大的突破。在LISA 团队规划的空间引力波探测方案中，要求在500 万千米的距离上，激光干涉仪对相对位移量需要具有10 pm 以内的分辨能力。面对更严苛的测量需求，超精密位移测量依然严峻面临挑战。激光干涉测量技术的未来发展趋势可以归结如下。1）激光波长存在的长期漂移和短期抖动是限制测量精度提升的根本原因。高精度稳频技术对激光波长不确定度的提升极限约为10−9量级。继续提升激光波长稳定度仍需要依托于下一阶段的工业基础，改善激光管本身的物理特性，优化光源质量。2）纳米级原理性光学周期非线性误差是限制激光干涉仪测量精度向亚纳米、皮米精度发展的重要瓶颈。消除和抑制第1 类和第2 类周期非线性误差后，仍残余数十皮米的非线性误差。由于周期非线性误差的表现形式与耦合关系复杂，想要进一步降低周期非线性误差幅值，需要继续探索可能存在的第3 类非线性误差机理。3）测量速度与测量分辨力的矛盾关系在动态锁相放大相位测量方法中得到初步解决。但面对深空引力波探测中高速、皮米的测量要求，仍然需要进一步探索弱光探测下的高分辨力相位细分技术；同时，需要研究高速测量过程中的动态误差校准技术。高速、高分辨力特征依旧是相位细分技术今后的研究方向。全文下载：亚纳米皮米激光干涉位移测量技术与仪器_激光与光电子学进展.pdf

电荷化理论能够描述中性玻色子系统的布洛赫能带，它预言二维量子化的四缘体具有带隙、拓扑的一维边缘模式。苏黎世邦理工大学的Sebastian Huber教授课题组巧妙地利用一种机械超材料结构来模拟二维的拓扑缘体，次在实验上观测到了声子四拓扑缘体。这一具有重要意义的结果时间被刊登在nature上。研究人员通过测试一种机械超材料的体、边缘和拐角的物理属性，发现了理论预言的带隙边缘和隙内拐角态。这为实验实现高维度的拓扑超材料奠定了重要基石。 图1：实验装置示意图（图片来源：doi:10.1038/nature25156） 值得指出的是，Sebastian Huber教授利用细金属丝将100片硅片组成一个10cmX10cm的平面，以此来模式二维拓扑缘体（如图1所示）。关键点是，当硅晶片被超声激励时，只有中心点有振动；其他角尽管连接在一起仍然保持静止。这种行为类似于二维拓扑缘体的带隙边缘和隙内拐角态的电子行为。而如何探测硅晶片的微小振动是整个实验成功的关键，Sebastian Huber教授利用德国attocube system AG公司的IDS3010皮米精度激光干涉仪（如图2所示）来测量硅晶片不同位置的微小振动变化，整个测量系统的不确定度达到5pm的精度，测量统计误差达到10pm，后在通过超声激励后测得硅晶片的中心位置的振动位移为11.2pm，通过傅里叶变换之后在73.6KHz（如图3所示）。通过attocube皮米精度激光干涉仪IDS3010成功实现声子四拓扑缘体的次观测。 图2：皮米精度位移测量激光干涉仪IDS3010 图3：测量系统示意图和经过傅里叶频率变换的测量结果（图片来源：doi:10.1038/nature25156）IDS3010皮米精度位移测量激光干涉仪体积小、测量精度高，分辨率高达1 pm，适合集成到工业应用与同步辐射应用中，包括闭环位移反馈系统搭建、振动测量、轴承误差测量等。同时也得到了国内外众多低温、超导、真空等领域科研用户的认可和肯定。

围绕创新链部署产业链，基于在量子技术上的资源与技术优势，合肥量子产业布局“多点开花”，国内首家将量子计算正式推向商用领域的量子计算企业，和国内第一家以量子精密测量为核心技术的企业皆诞生于合肥。在即将举行的2021量子产业大会上，这些企业将通过先进产品展出、新平台发布、前沿应用解决方案分享等方式，与更多生态链伙伴一同探索量子技术与应用的发展。将发布国际版量子计算云平台相对传统计算机，量子计算机理论上运算能力将有指数级增长，在密码分析、气象预报、石油勘探、药物设计等领域很有前景，被认为将是下一代信息革命的关键动力。2017年在合肥成立的本源量子，是国内首家将量子计算正式推向商用领域的量子计算企业。本着让量子计算机走出实验室，真正为人类社会服务的初衷，四年来，基于中国科大中科院量子信息重点实验室量子计算研究团队持续的技术突破，本源量子披荆斩棘，取得了一系列的成就。2018年，本源量子发布了自主研发的国内第一台量子计算测控一体机；2020年，本源量子上线了基于自主研发的超导量子计算机本源悟源的量子计算云平台；2021年2月，本源量子发布了国内首款量子计算机操作系统——本源司南… … 目前，本源已在量子芯片、量子测控、量子软件、量子计算机和量子云平台等多个领域实现突破，同时，为了进一步探索量子计算应用落地，培养量子计算生态圈，该公司还建立了本源量子计算产业联盟，同中科类脑、哈工大机器人集团等十余家联盟伙伴共同致力量子计算在各类场景的应用开发，加速研制实用性量子计算机，推动量子计算产业化发展。本源量子副总裁赵勇杰告诉记者，在将于9月18日举行的2021量子产业大会上，本源量子将发布一项重磅产品——本源量子云平台国际版。“这个平台主要在去年9月我们发布的量子计算云平台的基础上，进行了国际化的优化和设计。”量子计算云平台实际上相当于一个“线上量子计算机”，因为量子计算机需要严苛的运行环境与复杂的辅助设备和昂贵的造价，普通用户很难接触，为让更多的人体验、学习、探索量子计算，国际主要的量子计算公司都开发了各自的量子云平台，使用云技术连接用户与真实的量子计算设备。去年9月，本源量子自主研发的超导量子计算云平台正式上线，向用户提供真实的量子计算云服务。“我们的平台内除了有真实的量子计算机系统供大家使用，还有教育培训、研发模拟等科普性的内容。”赵勇杰说，即将发布的国际版，是本源量子走向国际的关键一步。“未来，世界各地的用户，都可以连接到我们的云平台上，使用、学习、了解量子计算机。”合肥量子测量产品已在多国实现应用量子测量也是量子技术的一项关键应用，它可作用于石油勘探、生命科学、先进材料、电力电网等众多领域。而国内第一家以量子精密测量为核心技术的企业——国仪量子，就诞生于合肥。该公司源自中国科大中国科学院微观磁共振重点实验室，自成立伊始，即承接了中国科大原始创新成果的产业化。“高精尖设备离不开高精度测量，目前，我国的量子信息技术研究处在世界前列，用先进的量子精密测量技术做科学仪器，将能为我国高端科学仪器行业提供一个‘弯道超车’的变革式机遇。”国仪量子传感项目技术负责人许克标表示。相对于传统测量技术，运用量子技术测量的精度可以精细千倍、万倍到纳米、亚纳米量级，带来革命性的技术进步。比如将量子测量用于电网，可以精确监测电流、电压；用于探矿，可以边钻井边测量周边地质成分；用于医疗，可以精确分析血液微量物质含量。在科技部重点研发计划等国家、省、市项目的支持下，近年来，国仪量子不断进行原始创新，陆续发布了首台“量子钻石原子力显微镜”“金刚石量子计算装置”，国内首台商用“脉冲式电子顺磁共振波谱仪”“W波段电子顺磁共振波谱仪”“量子测控系列产品”等多款产品。目前，相关产品已交付近百家客户，并且在欧美等国完成海外交付，在多个场景下实现了示范应用。“本次量子产业大会，我们将展出量子钻石原子力显微镜、量子互感器、电子顺磁共振波谱仪、金刚石量子计算装置以及一系列量子计算与测控产品。”许克标说，大会上，国仪量子还将分享许多前沿的量子精密测量应用解决方案，期待与更多合作伙伴一同更高效地推动量子测量技术的发展。

芬兰研究人员最近开发出一款多点触控大型显示屏显微镜，该技术将显微镜和大型多点触控屏幕整合在一起，便于科研和教学等。　　这一新型显微镜由多点触控显示屏生产商MultiTouch公司和芬兰赫尔辛基大学等机构研究人员共同开发。赫尔辛基大学发布的新闻公报说，这项新技术将显微镜和一个46英寸多点触控显示屏通过网络连接在一起。这个大型显示屏能把用显微镜扫描的样本放大1000倍，“细胞甚至亚细胞都能看得一清二楚”。　　公报说，该显微镜扫描一个样本后，会生成一个由多达5万张独立图像拼接而成的高清图片，并存储到图像服务器中，大型显示屏显示的图像就是通过网络从这个服务器中调取的。　　据介绍，使用这种新型显微镜显示的样本高清图片能达到200GB，因此适用于科研和教育等领域。

在抗击禽流感疫情中，浦东新药研发优势再次凸显。浦东企业上海之江生物科技股份有限公司近日成功研制出禽流感诊断试剂，这是目前国内唯一供应的成品化试剂。　　这种试剂能对禽流感H7N9特异性H7和N9基因片段进行荧光PCR检测，把H7N9从H1型、H3型、禽流感H5N1、甲流H1N1，以及其他常见呼吸道感染病原体中识别出来，可用于临床对可疑感染患者的病原学鉴别诊断。近日在上海、浙江、江苏等地发现的阳性病例，都是通过它检测出来的。现在，该产品已批量供应各级疾病预防控制中心、动物疫病控制中心、出入境检验检疫局进行疫情监测。　　同时，多种抗禽流感新药，浦东也在积极研发中。据了解，H7N9和SARS一样，也会引起肺部中性粒细胞大量浸润，造成急性肺损伤。早先用于抑制中性粒细胞过度反应的类固醇具有严重的后遗症。为此，位于浦东的上海睿星基因技术有限公司正自主研发能够替代类固醇的新药。与此同时，具有同等功效的上海赛金生物医药有限公司的新药——“强克”，已进入剂量和治疗时间的确定阶段。针对H7N9型禽流感，药明康德新药开发有限公司也不遗余力，全面展开全新作用机理抗H7N9禽流感新药研究，并成功建立了甲流病毒聚合酶的生物化学测试平台，不仅可以对当前流行的H7N9病毒进行检测，也为今后可能出现的高致病流感病毒其余亚型的监测和药物研究，储备技术力量。

p style="text-align: left text-indent: 2em "2017年对于全球生物医药研发来说是多点开花的一年，多个新药研发创里程碑式纪录。2017年也是中国的“新药元年”，在政策扶持下大批新药获批上市，中国药企走向世界的步伐正在提速。在春节来临之际，中国工程院院士、天津药物研究院研究员刘昌孝为读者献上了一份含金量十足的“新春贺礼”，这也是他第七年在中国科学报发布全球生物医药发展述评研究结果。/pp style="text-align: center "strongspan style="color: rgb(153, 153, 153) "img alt="" src="http://img1.17img.cn/17img/images/201802/uepic/2559f3bf-af49-4aee-bc1f-85692f201cf6.jpg"/br//span/strong/pp style="text-indent: 2em "刘昌孝，中国工程院院士，天津药物研究院研究员，从事新药研发和新药评价研究53年。是我国药物代谢研究的学科带头人和开拓者之一，创建了我国第一药代动力学实验室，出版了国内第一本药物代谢动力学专著。在中药研究中提出中药转化研究、中药代谢组学、复方中药代谢标志物、中药质量标志物和网络毒理学等新概念。从研以来获得科技奖成果奖励50多项/次。发表研究论文400多篇，中英文学术专著20本。/pp style="text-indent: 2em "从技术创新、研发管线到临床审批、上市销售，2017年可谓是全球新药研发多点开花之年，也为新药市场给出了更高的期望值。/pp style="text-indent: 2em "2017年，美国食品药品监督管理局（FDA）共批准46个新药，其中35个为全球首次获批；欧盟批准了51个新药，其中4个为全球首次获批；日本也批准了23个新药，其中3个为全球首次获批。全球欧美日一共获准120个新药。/pp style="text-indent: 2em "2018年有望上市的新药将超过40~50个，其中包括处在审评阶段的新药及计划在今年上半年提交上市申请的新药。根据美国药品评价和研究中心（CDER）2017年12月发布的“新药审评报告”分析，处在审评阶段的新药将为率先在欧盟、日本、中国等提交上市申请奠定基础。/pp style="text-indent: 2em "strong2017全球医药研发丰收年/strong/pp style="text-indent: 2em "2017年，美国FDA批准的46个新药中，小分子药物34个、生物大分子药物12个，总数创下20年来最高纪录，这也是继2016年22个低谷数之后的强势反弹。/pp style="text-indent: 2em "美国获批新药以抗肿瘤和罕见病药物为主，其中有18个新药获得孤儿药资格，占批准新药的39%。欧盟批准19个罕见病治疗新药，占批准新药的38%，其一为患者人数少（如欧盟定为属于万分之五的疾病），其二为危及生命和健康的严重疾病，如果美国确定药品有潜力对医疗保健作出实质性推动，药品将获得优先审评。在治疗领域方面，2017年抗肿瘤药占多数，占比约26%。此外，抗感染药物也获得较大进展，其中抗菌药物4个，抗病毒药物3个。青光眼、丙肝、银屑病、糖尿病等治疗领域也获得突破。/pp style="text-indent: 2em "2017年获批新药中有20个被认定为优先审评，占获批新药的43.5%。美国还应用多种监管方法加快新药研发和审批，包括快速通道、突破性治疗认定等。加快审评和罕见病新药批准比例大也与去年上市新药丰收有关。从临床安全有效角度来看，发达国家对加快审评审批也有不同声音，如美国医学会志（JAMA）2016年发表专家评论，认为2009~2014年上市的83个抗癌药物基本不靠谱。2017年发表文章统计的222个上市新药有三分之二存在安全隐患，其中71个有安全问题，61个需要用黑框警示其安全性。因此新药使用者（医生和患者）必须高度重视安全性、可用性和可及性。/pp style="text-indent: 2em "2017年第一个获FDA审批的是Synergy Pharmaceuticals公司的新药Trulance，用于治疗慢性特发性便秘。另有四款治疗中枢神经系统疾病新药，分别为治疗多发性硬化症的Ocrevus、治疗“渐冻人症”的Radicava、控制帕金森病的Xadago以及改善亨廷顿病症状的Austedo。FDA批准的新药中，各企业上市的35个新药都是全球首批。如2017年12月11日，FDA批准了Medimetriks制药公司的Ozenoxacin上市，该药是一种新型抗生素，用于治疗两个月以上的脓疱疮患儿。/pp style="text-indent: 2em "strong新药研发创里程碑式纪录/strong/pp style="text-indent: 2em "2017年全球新药研发称得起为创里程碑式纪录的一年，有3个里程碑事件值得铭记。/pp style="text-indent: 2em "其一，2017年5月23日，FDA批准默沙东Keytruda用于携带高度不稳定性或者错配修复缺陷实体瘤患者的治疗，意味着Keytruda成为首款不是基于肿瘤发病位置，而是基于肿瘤标记物的癌症治疗方法，在癌症史上具有划时代的意义。/pp style="text-indent: 2em "其二，2017年8月30日，FDA批准诺华的Kymriah上市，用于治疗25岁以下青少年难治或复发急性淋巴白血病。Kymriah由此成为全球第一款上市的CAR-T疗法。Kymriah是一种基因修饰的自体T细胞免疫治疗，是使用患者自己的T细胞产生的定制化治疗，其安全性和有效性在临床试验中已得到证实。但是，Kymriah仅对治疗三个月内的缓解率有较高疗效，治疗仍具有潜在的严重副作用，可能会产生细胞因子释放综合征（CRS）的风险警告，甚至可能因CRS和神经系统事件危及生命，其他严重副作用还包括严重感染、低血压、急性肾损伤、发热和缺氧，也会破坏产生抗体的正常B细胞，存在长时间感染增加的风险。/pp style="text-indent: 2em "其三，2017年12月19日，FDA批准Spark Therapeutics的基因疗法Luxturna上市，用于治疗遗传性视网膜病变。Luxturna直接在患者体内矫正基因，属于真正意义上的基因疗法，标志着基因治疗时代的正式来临。从Luxturna的安全性和有效性证据来看，一次注射Luxturna后，试验组患者在暗光下避开障碍的能力得到了显著提高。但最常见的不良反应如结膜充血、白内障、高眼压、视网膜撕裂也不可无视。/pp style="text-indent: 2em "strong我国新药审批新政促使新药批件激增/strong/pp style="text-indent: 2em "2017年是中国的“新药元年”，新药临床和上市的审批政策频出，中国食药监总局（CFDA）进入史上快速跑道，大批新药批准进入临床试验。2017年批准临床试验在研新药9个品种，数量也是近年峰值。中国医药工业信息中心的数据显示，截至2017年底，药品审评中心（CDE）承办企业申请临床的1类化药数量达199个，较2016年增长42%。2017年获批上市的药物品种达48个。根据目前能够确认的药品治疗领域的品种，抗肿瘤药数量高居榜首，抗感染药物和神经系统用药分列第二、三位。/pp style="text-indent: 2em "我国自主创新品种明显不足。从新药申报情况看，国内创新药正处于发展的初期，获批上市品种还相对较少。国产化学新药在2017年获批生产的受理号数量为16个，9家企业申请，覆盖了5种药物活性成分。目前，每年新申报的国产新药IND数量已经达到300个以上，这些申报的品种预计将于3~5年以后逐步获批上市。在生物药品上，2017年仅一个国产品种批准上市，即军事医学科学院生物工程研究所和天津康希诺生物股份公司联合研发的重组埃博拉病毒病疫苗产品，已于2017年10月获我国CFDA批准上市。/pp style="text-indent: 2em "加快新产品的上市速度，才能更好地满足我国患者的临床需求。从最近爆发的“医保亏空”舆论风暴来看，创新药未来的市场前景也许并不乐观，医改希望在满足临床需要和医保基金统筹之间找到平衡点。未来5到10年，大批疗效相似的创新药上市后，将极有可能面临价格厮杀的局面，如继续沿用当今的药品招标办法，新药与仿制药面临的招标困境如出一辙。/pp style="text-indent: 2em "随着“优先审评”制度在国内正式落地，使“吸收外来”的速度加快，进口药物开始扎堆进入中国市场。据不完全统计，2017年已经有20家左右的外企新药获批在国内上市，包括拜耳、诺华、赛诺菲、强生、阿斯利康等跨国公司的产品，治疗领域包括丙肝、糖尿病、帕金森病、艾滋病、高血压、抑郁症等。在这些新药中，肿瘤药物约为35%、丙肝药物约为20%、糖尿病药物约为10%。其中，丙肝药物除了百时美施贵宝（中国）投资有限公司的两个新药获批，申报上市的吉立亚索磷布韦片也进入了CDE“纳入优先审评品种名单”之中，由此，已在欧美证实疗效显著的丙肝新药之战正在上演。/pp style="text-indent: 2em "strong国产药物走出国门成绩喜人/strong/pp style="text-indent: 2em "2017年，国内共有5个单克隆抗体药物申报美国临床试验成功。至此，成功申报美国临床试验的国内单克隆抗体药物达到9个。在生物类似药研发，基本集中于阿达木单抗、曲妥珠单抗、贝伐珠单抗、利妥昔单抗等重磅品种。生物类似药研发的成本降低，继而药物价格降低，使患者的药物可及性得以提高。还有国内6家企业的中药产品正在美国的临床试验之中。/pp style="text-indent: 2em "国内企业恒瑞医药、正大天晴、和黄医药三家企业的创新药小分子替尼类靶向药物，虽然作用机理和适应症不尽相同，但都属Me-too类新药。丽珠集团发布公告称，公司的注射用艾普拉唑钠申报生产的注册申请，以及艾普拉唑钠原料申报生产的注册申请状态均变更为“审批完毕—待制证”，意味重磅品种近期有望获批。/pp style="text-indent: 2em "截至目前，华海药业已有17个自主研发的处方药在美国上市，有20多个ANDA仿制药得到FDA批准，30个产品在等待FDA批准，成为中国第一家大规模制剂出口美国的制药企业。齐鲁制药的原料药也实现了制剂出口国外，相继实现了8个产品的对美出口，涵盖抗肿瘤、抗感染等领域，数量和金额均呈现井喷式增长。制剂出口转型发展也使恒瑞、石药欧意、绿叶制药、华安制药、新华制药、深圳致君、深圳立健等在欧美高端市场表现突出并卓有成效。/p

1、因为拉力机系统为一闭环系统，判断系统中哪一部分出现了故障，先要断开系统中的回路，使系统成为一开环系统。如判断传感器信号时候正常，须断开位移传感器的反馈信号，使系统成为开环。这时，从工作站发出一个控制作动器移动信号，然后测量传感器反馈值，重复几次后，当测量到传感器的反馈数据为一个线性变化的直线，判定传感器正常。2、检查拉力试验机放大器单元　　排除了位移传感器的故障后，再检查放大器单元是不是正常。先断开放大器单元的输出信号，拆除输出接线，再通过工作站给放大器单元加一个直流输入信号，并测量放大器单元的输出情况，重复几次后，测量到的放大器单元的输出信号成线性变化趋势，以判定放大器单元正常。　　3、检查拉力机系统设置　　在工作站中的显示发现作动器的行程只有±10mm，正常情况下应为±50mm，认为系统设定出现问题，需重新设定系统。重新设定作动器的行程为±50mm之后，在工作站的显示板上的显示值仍不正确，故认为只有重新标定位移系统，才能解决此故障。

8月29日，聚光科技(300203)(300203.SZ)发布半年度报告，受无锡中科光电技术有限公司不再纳入合并报表范围影响，公司营业收入为13.51亿元，扣非后净利润为-1.20亿元。　　资料显示，聚光科技自成立以来，始终坚持“自主可控、自主研发”的发展路线，以高端分析仪器及相关耗材为核心，结合信息化和大数据平台，配合智能装备和服务，为环保、实验室及科学仪器、钢铁、石化、应急安全、食品、医药、生命科学、新能源、半导体等领域提供创新产品组合和解决方案。　　在主营业务中，聚光科技仪器、相关软件及耗材收入为8.59亿元，运营服务、检测服务及咨询服务收入为2.3亿元，环境治理装备及工程收入为1.95亿元。公司实现新签合同总金额约17亿元，较上年同期增长约12%，其中谱育科技新签合同额约6亿元，较上年同期增长约53%，成为公司业务重要的增长点。　　细分市场多点开花　　聚光科技在财报中表示，在生态环境、钢铁、石油化工、科学仪器等相对成熟的细分领域，公司充分发挥物联网大数据的优势，从客户角度出发，为客户提供全面有效的服务和解决方案。这些服务和解决方案的实施，一方面可以帮助客户解决具体的问题，另一方面可以让公司更深入地理解客户需求，促进公司高端分析仪器核心业务的发展。　　2022年上半年，针对环境、半导体工业等领域，聚光科技“量体裁衣”，为不同行业带来专业化定制化的服务。　　在环境应用科学领域，2022年上半年，聚光科技重点研制了光化学、温室气体、碳监测、超低排放等领域的新型监测设备，打造了常规环境空气质量、光化学组分等综合监测解决方案。　　与此同时，聚光科技还依托现有的光谱、色谱、质谱和自动化等核心技术平台，解决污染源监测、环境空气监测、碳监测以及生态监测中关键技术的“卡脖子”问题，以业务“痛点”为导向，在原有产品组合基础上，创新研制了一系列高精密监测设备，例如：消耗臭氧层物质(ODS)自动监测系统(GC-MS)、质子转移飞行时间质谱仪(PTR-TOF)等。　　在半导体工业中，聚光科技基于质谱、光谱、色谱等高精密检测分析技术和各种进样技术，将半导体全产业链的精密检测分析作为切入点，与半导体领域内各主流单位合作，结合高纯试剂、湿电子化学品、高纯晶圆和高洁净车间的检测需求，以高度定制化、系统自动化为方向开发半导体行业专用的分析检测装备，为半导体全产业链提供精密检测分析提供相关支撑。　　其中，EXPEC7350三重四极杆ICP-MS已在半导体上游供应商产生销售，实现了销售和产品交付，并已陆续在国内主要芯片制造企业开展前期验证工作，逐步进入集成电路制造主要领域 面向湿化学分析和AMC在线阴阳离子/VOCs检测系统产品也已经与主流芯片制造企业进行入厂试验 基于电化学和NDIR技术的GMD系列特气报警仪产品已经获得芯片制造企业的认可，数百台特气报警仪产品已经被芯片和面板制造企业采购入厂开展国产替代，在未来将会有较大发展潜力。　　在“多对多”的业务模式下，聚光科技经过多年的探索与调整，形成了一套成熟的管理与支撑体系：技术端专注技术平台发展的同时，为每一个细分市场提供强有力的支持，并努力开拓更多的细分市场应用 市场端在市场开拓的过程中，充分挖掘每项技术的市场潜力，并努力开拓新的细分市场。　　研发、市场两端优势明显　　技术端与市场端相互促进，协同发展，也让聚光科技分别拥有两端的优势。　　聚光科技建立了完善的营销和服务网络，以子分公司、办事处等形式覆盖全国，拥有超过千人的技术支持、服务人员，公司设有可供应全国的一级备件总库，对于用户的需求快速响应、解决。部分产品可以提供远程在线服务，达到远程调试、维护和故障诊断以及实现产品软件远程无线升级，已成为国内工业过程分析仪器、环境监测仪器、实验室仪器及耗材行业中覆盖面最广的销售和服务网络之一。公司充分利用本土化优势，给客户提供个性化解决方案。完善、专业的营销服务已经成为公司进一步提高市场占有率，增强市场竞争力的重要保障。　　公司还组建了超过2000人的服务团队，分布在全国主要省(市)，形成了全国性服务网络和快速优质的服务能力，已能为客户提供：1)大气和地表水环境监测类，污染源监测类，钢铁冶金、石化过程气体检测类等仪器设备的安装、运维服务 2)提供智慧城市(级)和工业园区(级)综合型项目建设和运维服务 3)提供以技术咨询+分析检测为一体的创新型环境检测服务 4)方案开发、数据研判、走航溯源、行业治理咨询等环境达标管控服务。　　研发上，多年来，公司坚持自主研发、持续创新，每年都保持了较高比例的研发投入，多次获得科技部863计划、重大科学仪器设备开发专项等国家专项资助，积累了二十余项新型技术平台，研制成功数十款填补国内空白的高端分析仪器，打造了一支极具竞争力的研发团队。目前公司拥有超1400人的研发团队，截至2021年年末，本公司相关产品已取得授权专利633项，其中授权发明专利225项，已授权实用新型381项，登记计算机软件著作权827项。　　2022年上半年，聚光科技的研发投入为3.07亿元，同比增长36.98%。截至目前，公司研发累计投入高达28亿元。　　未来，聚光科技将继续鼓励研发部门与各类专业机构进行技术合作，快速引入、掌握、消化新技术，并尝试参股有技术先进性和市场空间的早期公司，保证公司在经济转型升级的大背景下，保持较高的市场领先度。

近日，中国科学院大连化学物理研究所研究员吴凯丰与副研究员朱井义团队在胶体量子点超快光物理研究中再获新进展。团队观测到CsPbI3量子点在红外飞秒脉冲作用下的布洛赫—西格特位移，并揭示了激子效应对相干光学位移的调制作用。上述工作发表在《自然—通讯》上。　　强光场能够对物质的光学跃迁产生调制，例如旋波近似下的光学斯塔克效应和反旋波近似下的布洛赫—西格特位移。由于二者通常同时出现，且前者往往远强于后者，在实验中观测较为纯净的布洛赫—西格特位移颇具挑战。近期，有研究人员报道了单层过渡金属硫化物二维材料中的谷极化布洛赫—西格特位移。然而，低维材料中一般存在着较强的多体相互作用，带来显著的激子效应，这些效应如何影响布洛赫—西格特位移仍然未知。　　研究团队选定铅卤钙钛矿量子点作为观测布洛赫—西格特位移，并研究其中激子效应的模型体系。一方面，旋轨耦合和量子限域效应的结合使得该体系可被近似为具有自旋极化选律的二能级系统；另一方面，相比于衬底敏感的二维材料，胶体量子点能够均匀地分散在低折射率的溶剂中，从而避免了介电无序对激子效应造成的干扰。　　基于此，研究团队以CsPbI3量子点为研究对象，利用圆偏振飞秒瞬态吸收光谱，在室温下成功观测到了其布洛赫—西格特位移。在红外飞秒脉冲作用下，该位移可以高达4毫电子伏特。布洛赫—西格特位移与光学斯塔克位移的比值随着失谐量的增大而增大，定性符合（反）旋波近似的图像。然而，该比值总是大于忽略多体相互作用的准粒子模型所预测的数值。　　为了解释实验和理论值的偏离，研究团队在激子图像下建立了描述布洛赫—西格特位移的新模型，精确再现了实验测量结果。该模型还深刻指出，光学斯塔克效应、双激子光学斯塔克效应以及布洛赫—西格特位移在激子图像下是彼此混合和相互影响的。考虑到量子限域材料普遍具有较强的激子效应，该模型对于正确处理其中的相干光学现象，以及将这些现象应用于光学调制、信息处理和量子材料Floquet工程具有重要启示意义。

光纤通信因其具有高带宽、低损耗、重量轻、体积小、成本低、抗电磁干扰等优点，已成为现代信息社会的支柱。同时，传统的微波无线技术也展现出了有效的泛在感知与接入能力。而将上述两种技术进行有机融合，则诞生了微波光子学。微波光子学为电子传感和通信系统提供了上述优势，但与非线性光学领域不同的是，到目前为止，电光器件需要经典调制场，其变化由电子或热噪声而不是量子涨落控制。从理论到实际的量子通讯不仅需要用于量子纠缠的组件，而且还需要一个低损耗和鲁棒性很好的网络来做进一步的数据分发和传输。超导处理器与光通信网络的接口问题是量子领域的一个开放性问题，也是目前面临的大挑战。近期，奥地利科学技术研究所（位于奥地利克洛斯特纽堡）的约翰内斯芬克小组提出了一个可能的解决办法。他们通过使用纳米机械传感器将双向和芯片可伸缩转换器的超导电路集成到大规模光纤网络中开辟了一条道路（如图一所示）。文章中介绍了一种可在毫开尔文环境下工作的腔电光收发器，其模式占用率低至0.025± 0.005噪声光子。其系统是基于铌酸锂回音壁模式谐振器，通过克尔效应与超导微波腔共振耦合。对于1.48 mw的大连续波泵浦功率，演示了X波段微波到C波段电信光的双向单边带转换，总（内部）效率为0.03%（0.7%），附加输出转换噪声为5.5光子（如图二所示）。10.7兆赫的高带宽与观测到的1.1兆赫噪声光子的非常慢的加热速率相结合使量子有限脉冲微波光学转换触手可及。该装置具有通用性和与超导量子比特兼容的特点，为实现微波场与光场之间的快速、确定的纠缠分布、超导量子比特的光介导远程纠缠以及新的多路低温电路控制和读出策略开辟了道路。图一：实验装置示意图图二：转换噪声与模式布居结果在10mK温度下，实现转换的关键是：光纤与微波芯片的对准和稳定连接需要一套用于x、y和z精密移动的位移台。实验中使用了attocube公司的 ANPx101/RES/LT-linear x-nanopositioner，ANPz101/RES/LT-linear z-nanopositioner，ANPx101/ULT/RES+/HV-Linear x-Nanopositioner和ANPz102/ULT/RES+/HV-linear z-nanopositioner系列mk环境兼容的位移台。attocube公司是上著名的端环境纳米精度位移器制造商，已为全科学家生产了4000多套位移系统，用户遍及全球著名的研究所和大学。它生产的位移器设计紧凑，体积小，种类包括线性XYZ线性位移器、大角度倾角位移器、360度旋转位移器和纳米精度扫描器。图三 attocube低温强磁场位移器，扫描器，及3DR旋转台低温mK纳米精度位移台技术特点如下： 参考文献:[1] Nature Communications 11, 4460 (2020) [2] PRX Quantum 1, 020315 (2020)

Velp公司于4月8日全新发布MULTI-HS系列高通量加热磁力搅拌器，有6位和15位两种规格可选。配置无碳刷电机、数显控制屏和陶瓷图层的铝制加热面板。具有定时和自动反转功能。温度调节分辨率为1℃，转速调节分辨率为5rpm 转速范围100-1000rpm，温控范围室温-120℃。具有安全锁定功能，使用更加安全；设计出色，做工精湛。创新点：1，VELP公司本次发布的多点位加热磁力搅拌器为市面较少的产品类型，可以同时对6/15个样本进行同一温度和转速的加热搅拌，是提升实验室样本制备或者化学反应通量的解决方案；2，和市场上仅有的产品相比，性能方面:内置定时功能，方便反应条件的设置；配备无刷电机可以支持7/24小时无间断运行；加热面板经过陶瓷涂层，更耐腐蚀和易清洁。3，安全方面，运行后可以对运行参数进行功能，在长时间的运行期间保障实验条件；在面板温度高于50℃时具有高温提醒功能，保护操作者安全。VELP 多点位MUTI-HS加热磁力搅拌器

超声波自动雪深监测站——一款多点网络监测的2米雪深监测站#2023已更新【TH-XS1】超声波雪深自动监测站是采用了超声波原理对雪量信息进行自动识别和测量的技术，具备了检测江都高的特点，能够有效的分析出单位时间内的降雪量。一、产品介绍天合环境推出的TH-XS1型自动雪深监测站，采用超声波原理对雪的识别与测量技术，克服其它传感器对雪无法识别的缺点，因此检测精度比较高，通过监测所在位置的距离，得出雪的厚度，分析出单位时间的降雪量，该设备是一种专业降雪观测仪器，为无人职守的自动雪深监测报警系统，也可实现多点网络监测，通过GPRS无线网络将各点监测数据汇集控制中心统一处理，可用于气象台站、港口码头、道路交通，航空，建筑，农业，水文水利等诸多领域。二、产品特点1、低功耗采集器：静态功耗小于50uA2、标配GPRS联网、支持扩展蓝牙、有线传输3、7寸安卓触屏，版本：4.4.2、四核Cortex&trade -A7，512M/4G4、支持modbus485传感器扩展5、太阳能充电管理MPPT自动功率点跟踪6、三米碳钢支架，两节对接7、短信报警，超限后向指定的手机上发送短信8、ABS材质防护箱，耐腐蚀、抗氧化，防水等级IP66三、系统组成超声波雪深传感器、主机、立杆支架、太阳能供电系统、云平台四、技术参数1、采集器供电接口：GX-12-3P插头，输入电压5V，带RS232输出Json数据格式,采集器供电：DC5V±0.5V峰值电流1A,2、传感器modbus、485接口：GX-12-4P插头，输出供电电压12V/1A,设备配置接口：GX-12-4P插头，输入电压5V3、太阳能供电、配置铅酸电池，可选配30W 20AH/50W 40AH/100W 100AH.充电控制器：150W，MPPT自动功率点跟踪，效率提高20%4、数据上传间隔：60s-65535s可调5、7寸安卓触屏，屏幕尺寸：1024*600 RGB LCD6、传感器技术参数 名 称 测量范围 分 辨 率 准 确 度 雪深100～2000mm 1mm1mm±0.2%风　速 0～30m/s 0.01m/s ±(0.1+0.03V)m/s 风　向 0～360°（16方向） 1/16 3°(1.0m/s) 空气温度-40-80℃0.1℃±0.3℃（25℃）空气湿度0-100%RH0.10%±3%RH大气压力30-110Kpa0.01Kpa±0.02Kpa(相对)雨量 ≦4mm/min 0.01mm ±0.2mm 光照0-18.8W LUX1lux5%二氧化碳500-5000PPM1PPM±50PPM±读数的3%土壤温度 -40~80℃0.1℃±0.5℃土壤湿度 0-100%0.10%3%7、生产企业具有ISO质量管理体系五、云平台介绍1、CS架构软件平台，支持手机、PC浏览器直接观测、无需额外安装软件。2、支持多帐号、多设备登录3、支持实时数据展示与历史数据展示仪表板4、云服务器、云数据存储，稳定可靠，易于扩展，负载均衡。5、支持短信报警及阈值设置6、支持地图显示、查看设备信息。7、支持数据曲线分析8、支持数据导出表格形式9、支持数据转发，HJ-212协议，TCP转发，http协议等。10、支持数据后处理功能11、支持外置运行javascript脚本

2014年6月14日，中欧第十届中国健康产业高峰论坛在上海召开。本次论坛的主题为"健康产业，健康发展"。以下是本次论坛与会嘉宾的精彩发言。　　陈海斌：迪安诊断技术股份有限公司董事长、总裁　　陈海斌：各位嘉宾大家好，独立医学实验室是指具有独立法人资格的，独立医疗机构以外的，为各级医疗机构提供医学诊断外包服务的机构，它的定位是医院的医院，医生的医生，这个行业的发展最早源自于美国上世纪的五六十年代，由于美国商业保险的发展跟医疗机构进行价格博弈的时候，医疗机构发现把诊断外包是最经济的，在今天美国的独立实验室已经占到诊断市场40%的份额，最大的一家独立实验室一年的产值规模已经达到80亿美金，在全美开设了1千多家大大小小的连锁机构，而在中国这个行业进入的时间也就是十年左右，到今天为止，在中国近两千亿的诊断市场的规模当中，尽管这个行业保持着40%的成长性，但是独立实验室占整个市场的份额只有2-3%。　　今年也是迪安进入这个行业整整十年的时间，这十年的时间可以分为三个阶段，我们从2004年起步，差不多花了整整两年的时间，我们认清了这个行业的商业模式，就是标准化、成本领先、技术创新的连锁医疗服务业态，而其中商业模式的核心是成本领先，而这个成本领先主要是通过规模效应来实现成本领先。到2006-2011年，是我们标准化的复制，同时结合了金融资本，迪安也非常幸运，我们在2011年7月份顺利登陆了创业板，成为了这个行业唯一的一家的上市企业。上市至今是第三个阶段，这几天我们不断的在强调怎么样创新发展，这个创新发展我们主要分为两块，一块是业务模式的创新，我们这几年比较多跟政府和公立医院合作共同发展独立实验室，还有一块是技术创新，尽管到今天为止，我们已经开展了诊断项目超过了1500项，比一般的三级医院做的诊断项目要多50%左右，但是我们如果跟美国最大的独立实验室相比的话，他们可以开展的项目是4千项，这个距离非常遥远。我去拜访Quest老总的时候，他很自豪的告诉我，我们在美国就是诊断技术应用的引领者，任何的医疗机构找我外包的话，肯定没错，让我深刻的意识到这个行业长远的发展来看，核心竞争力还是创新驱动。　　分享一下我们这十年的酸甜苦辣，首先是政策壁垒的挑战，浙江省卫生厅在国内率先第一个推出了独立实验室的卫生标准和运营规范，所以迪安应运而生。同时也为我们在全国的连锁和规模化扩张扫除了政策障碍。第二是人才挑战，尤其这个行业非常年轻，比较长的时间内，迪安的人才队伍是老少配。第三是管理方面的挑战。基于40号文件的春风，迪安遇到前所未有的机遇，就是混合所有制的机遇，第二是商业保险的机遇，第三是多点职业诊所兴起的机遇，第四是其他第三方延伸的机遇，比如说第三方影像中心、消毒中心、远程会诊中心，这些行业也是迪安目前在重点关注积极拓展的。　　从一个创业者角度来看，这个在中国还是一个初始阶段，既然我们进入了医疗健康这个行业，我们还是要顺应政策的实施发展，这是道，还是想办法吸引团队、吸引专家、吸引人才，这个行业的质量、技术、服务是一个底线，我们要遵循行业的规律，要抵得住诱惑，耐得住寂寞的心态，盈利非盈利，这个不是社会考虑的重点。

主题：Next Level of Precision: Customized Motion & Sensing Solutions[报告简介]德国attocube公司致力于提供超高精度与稳定性的纳米位移解决方案。其提供的多种压电定位器，非常适合各种端环境。另外与基于光纤式的皮米精度激光干涉仪相结合，为先进的纳米定位系统奠定了基础，并实现了亚纳米精度的位移控制精度。我们将展示：☛ 为显微镜应用定制的亚纳米位移解决方案☛ 为端环境中的亚纳米应用及反馈解决方案☛ 如何结合位移和传感解决方案，实现限纳米位移精度 您将收获：☛ 对实现真正纳米精度和度的关键问题的详细见解☛ attocube以应用为中心的工程研发流程概述☛ 现场问答环节，与attocube工程师讨论您的具体需求问题[注册链接]欢迎点击此链接https://app.livestorm.co/attocube-systems-ag/next-level-of-precision-customized-motion-and-sensing-solutions?type=detailed观看讲座。[主讲人介绍][报告时间]开始： 2021年7月28日 15:00（CST）结束： 2021年7月28日 15:30（CST） 2021年7月28日 15:30（CST） 2021年7月28日 15:30（CST）请点击注册报名链接，预约参加在线讲座（北京时间21:00开始）[更多相关报告]1. ON-Demand: Moiré excitons in 2D semiconductor heterostructures2. Online DEMO: Nano-precise optical displacement measurement (on-demand)3. Online DEMO: Nano-precise positioning with multi-axis piezo stages (on-Demand)4. Online Demo: Standardized Calibration of CNC Machines & CMMs (on-demand)5. Online Demo: Standardized Calibration of CNC Machines & CMMs6. Online DEMO: Nano-precise positioning with multi-axis piezo stages7. Online DEMO: Nano-precise optical displacement measurement8. Moiré excitons in 2D semiconductor heterostructures[技术线上论坛]http://www.qd-china.com/zh/n/2004111065734

精密位移传感器技术比较PIEZOCONCEPT 在其压电级中使用什么类型的位移传感器？为什么它优于其他传感器技术？PIEZOCONCEPT 使用单晶硅传感器，称为Si-HR 传感器。尽管它是应变仪传感器大系列的一部分，但它的性能优于其他两种常用技术（电容式传感器和金属应变仪）。这两种位置传感技术有其自身的特定缺点。 电容式传感器与 PIEZOCONCEPT 公司Si-HR 传感器的比较电容式传感器非常常用。他们提供了不错的表现，但他们对以下情况很敏感：• 气压变化：空气的介电常数取决于气压。电容测量将受到任何压力变化的影响。• 温度变化：同样的，空气的介电常数会随温度变化• 污染物的存在以上所有都会导致一些纳米级的不稳定性，因此如果您想实现真正的亚纳米级稳定性，则需要将它们考虑在内。即使可以对气压和温度进行校正，也无法校正其他因素（污染物、脱气）的影响。这解释了电容式传感器在真空环境中性能不佳的原因。此外，电容式传感器非常昂贵且体积庞大。因此，带有电容传感器的位移台不可能做的有像的 BIO3/LT3 这样薄，即使设计的好也会在稳定性方面进一步牺牲性能。因为它是一种固态技术，所以Si-HR 传感器的电阻不依赖于气压或污染物的存在。其次，温度变化会对测量产生影响（主要是因为材料的热膨胀），但这可以通过使用传感器阵列来纠正。基本上，我们为每个轴平行使用 2 个硅传感器 - 一个用于测量，另一个用于考虑由于温度变化导致的材料膨胀。金属应变计与 PIEZOCONCEPT Silicon HR 技术的比较金属应变计与我们的 Silicon HR 技术（也是应变计）之间的差异更大。金属应变计和硅传感器应变计之间存在两个巨大差异。竞争对手试图说所有的应变仪都具有相同的性能，因为它们测量的是应变。这是不正确的。半导体应变计在稳定性方面与金属应变计有很大不同。金属应变计和Si-HR 传感器（PIEZOCONCEPT 使用）之间的第yi个区别是应变系数：半导体应变仪（Si-HR）的应变系数大约是金属应变仪的 100 倍。更高的规格因子导致更高的信噪比，最终导致更高的稳定性。 更重要的是，第二个区别是金属应变计不能直接安装在弯曲本身上（即实现运动的地方）：金属应变计必须安装在某种“背衬”上。因此，它必须安装在执行器本身上，因为您没有足够的空间将其安装在挠性件上。仅在执行器上测量的问题是压电执行器有很多缺陷......存在蠕变或滞后等现象。因此，由于压电执行器的伸长不均匀，因此仅测量执行器的部分伸长率并不能精确地扣除其完全伸长率。通过对弯曲本身进行测量，我们不会遇到这种“不均匀”问题。由于上述原因，如果您比较应变计（金属）和 PIEZOCONCEPT 的Si-HR 传感器，在信噪比和稳定性方面存在巨大差异。 关于法国PIEZOCONCEPT公司 PIEZOCONCEPT 是压电纳米位移台领域的领宪供应商，其应用领域包括但不限于超分辨率显微镜、光阱、纳米工业和原子力显微镜。其产品已被国内外yi流大学和研究所从事前沿研究的知名科学家使用，在工业和科研领域受到广泛好评。 多年来，纳米定位传感器领域电容式传感器一直占据市场主导地位。但这项技术存在明显的局限性。PIEZOCONCEPT经过多年研究，开发出硅基高灵敏度位置传感器（Silicon HR）技术，Si-HR传感器可以实现更高的稳定性和线性度，以满足现代显微镜技术的更高分辨率要求。 PIEZOCONCEPT的目标是为客户提供一个物美价廉的纳米或亚纳米定位解决方案，让客户享受到市面上蕞高的定位准确性和稳定性的产品使用体验。我们开发了一系列超稳定的纳米定位器件，包含单轴、两轴、三轴、物镜扫描台、快反镜和配套器件，覆盖5-1500um行程，品类丰富，并提供各类定制化服务。与市场上已有的产品相比具有显着优势，Piezoconcept的硅传感器具有很好的稳定性、超本低噪声和超高的信号反馈，该技术优于市场上昂贵的高端电容传感器。因此，我们的舞台通过其简单而高效的柔性设计和超本低噪声电子器件提供皮米级稳定性和亚纳米（或亚纳米弧度）本底噪声。更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是国内知名光电产品专业代理商，代理品牌均处于相关领域的发展前沿；产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等，涉及应用领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防及更细分的前沿市场如量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、先进激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等优质服务。

近日，中国科学技术大学微纳光学与技术课题组王沛教授和鲁拥华副教授在大量程纳米位移光学感测研究方面取得重要进展。课题组利用光学超表面(metasurface)设计了一种简捷的光场偏振态空间编码，结合精巧的光学系统设计，发展了一种大量程(百微米量级)、高灵敏(亚纳米)、简捷实用的位移感测技术。该研究成果10月12日以“Ultrasensitive and long-range transverse displacement metrology with polarization-encoded metasurface”为题发表在《科学进展》上。 　　纳米精度的高灵敏位移测量对于半导体制造、精密加工和先进成像等领域都具有关键性作用。以半导体制造为例，不同层光刻图案的叠对误差对提升产品良率具有重要的作用。一般要求叠对误差测量技术(overlay metrology)的精度优于光刻线条宽度的五分之一。因此，对于10纳米以下节点的半导体制造工艺必须发展纳米及亚纳米的位移感测技术。 　　以往的研究表明，利用纳米光学天线的定向散射光场可以实现亚纳米位移感测的技术指标。课题组在先前的研究中也分别提出了硅纳米天线对(OE, 26 : 1000-1011, 2018)、表面等离激元天线对(PRL, 124, 243901, 2020)的技术方案。但是基于光学天线散射的感测方法通常只有百纳米的量程，且存在信噪比低的问题，给叠对误差测量等位移感测的实际应用带来较为苛刻的限制。 　　在这项研究工作中，课题组利用光学超表面独特的位相和偏振调控能力，将空间位置信息编码在光场的偏振取向上，并通过精巧的光学系统设计让光场两次经过超表面结构，从而将超表面相对于光束的横向位移信息转化为读出光强信息。由于超表面结构可以在亚波长精度上调控光场的偏振和位相分布，从而可以极大提高偏振空间编码的梯度，进而提高位移感测的灵敏度。 　　实验测试证明，这一偏振编码超表面系统的位移感测精度可以达到100皮米(图1)。进一步，课题组通过移相方法实现了测量范围的周期性延拓，并消除了感测灵敏度的“死区”，偏振编码超表面系统的感测量程可以拓展到200微米以上。 　　与基于光学天线散射的纳米位移感测技术不同，这项研究工作在保持亚纳米的位移感测精度的同时，极大地拓展了感测的量程，而且，通过光强读出位移信息，具有可工程化、简单可靠且精度高的特点，为其在叠对误差测量等位移感测领域的实际应用带来便捷。 图1 偏振编码超表面位移感测系统示意图和实验测试结果 　　光电子科学与技术安徽省重点实验室的臧昊峰、席铮特任教授和张植宇为该论文的共同第一作者，鲁拥华副教授和王沛教授为共同通讯作者。该工作得到了科技部重点研发项目、国家自然科学基金区域创新发展联合基金和先进激光技术安徽省实验室主任基金的经费资助。

压电位移台常用术语中英文对照表Absolute accuracy : Deviation between the actual position and the desired one. If a stage has to move 100µm but it moves only 99.99µm (measured through an ideal scale), then the inaccuracy is 10nm. The permanent positioning error along an axis is designated as accuracy. Absolute accuracy is aff¬ected by calibration errors, linearity errors, hysteresis, Abbe errors and positioning noise. 绝dui精度：实际位置与所需位置之间的偏差。 如果一个平台必须移动 100µm，但它仅移动 99.99µm（通过理想标尺测量），则误差为 10nm。 沿轴的泳久定位误差称为精度。 绝dui精度受校准误差、线性误差、滞后、阿贝误差和定位噪声的影响。Backlash : Backlash is a positioning error occurring upon change of direction. Backlash can be caused by insufficiently preloaded thrust or inaccurate meshing of drive components, for example gear teeth. Piezoconcept’s flexure motion translation mechanism and piezo actuator designs are inherently backlash free. 齿隙：齿隙是在运动方向改变时发生的定位误差。 齿隙可能是由于预载推力不足或驱动部件（例如齿轮齿）啮合不准确造成的。 Piezoconcept 的弯曲运动平移机构和压电致动器设计本质上是无间隙的。Bandwidth : The frequency range to which the amplitude of the stage' s motion is dropped by 3dB. It reflects how fast the stage can follow the driving signal. 带宽：载物台运动幅度下降的频率范围为3dB。 它反映了平台能够以多快的速度跟随驱动信号。Drift : A position change over time, which includes the e¬ffects of temperature change and other environmental e¬ffects. The drift may be introduced from both the mechanical system and electronics. 漂移：位置随时间的变化，包括温度变化和其他环境影响的影响。 漂移可能来自机械系统和电子设备。Friction : Friction is defined as resistance between contacting surfaces during movement. Friction may be constant or speed dependent. Because they use flexure, the nanopositioners from Piezoconcept are friction free. 摩擦力：摩擦力定义为运动过程中接触表面之间的阻力。 摩擦力可以是恒定的或取决于速度的。 因为使用柔性连接，Piezoconcept 的纳米定位器是无摩擦的。Hysteresis : The positioning error between forward scan and backward scan. A closed-loop control is an ideal solution for this problem and is done by using a network of High Resolution silicon sensor to provide feedback signals. 滞后：前向扫描和后向扫描之间的定位误差。 闭环控制是该问题的理想解决方案，它通过使用高分辨率硅传感器网络提供反馈信号来完成。Linearity error : The error between the actual position and the first-order best fit line (straight line). Our nanopositioning products are calibrated with laser interferometry and the non linearity errors are compensated down to 0.02% of the full travel.线性误差：实际位置与一阶蕞佳拟合线（直线）之间的误差。 我们的纳米定位产品使用激光干涉仪进行校准，非线性误差补偿低至全行程的 0.02%。Orthogonality error : The angular off¬set of two defined motion axes from being orthogonal to each other. It can be interpreted as a part of crosstalk. 正交性误差：两个定义的运动轴相互正交的角度偏移。 它可以解释为串扰的一部分。Position noise : The amplitude of the stage shaking when it is on a static command. It is usually measured and specified with Peak-To-Peak value. It is a combination of the sensor noise, driver electronics noise and command noise, etc. The position noise of our stages is very limited due to the very high Signal-To-Noise ratio of the Silicon HR sensors we use. 位置噪声：在静态命令下载物台晃动的幅度。 它通常用峰峰值来测量和指定。 它是传感器噪声、驱动器电子噪声和命令噪声等的组合。由于我们使用的 Silicon HR 传感器具有非常高的信噪比，我们平台的位置噪声非常有限。Range of motion : The maximum dISPlacement of the nanopositioners. 运动范围（行程）:纳米定位器的蕞大位移。Resolution : The minimum step size the stage can move. 分辨率:舞台可以移动的蕞小步长。Resonant frequency : Piezostage are oscillating mechanical systems characterized by a resonant frequency. The resonant frequency that we give is the lowest resonant frequency that can be seen on a nanopositioner. In general, the higher the resonant frequency of a system, the higher the stability and the wider working bandwidth the system will have. The resonant frequency of a piezostage is determined by the square root of the ratio of sti¬ness and mass. 谐振频率：压电级是以谐振频率为特征的振荡机械系统。 我们给出的共振频率是在纳米定位器上可以看到的蕞低共振频率。 一般来说，系统的谐振频率越高，系统的稳定性和工作带宽就越宽。 压电级的共振频率由刚度和质量之比的平方根决定。Silicon HR sensor : Piezoconcept use temperature compensated High-Resolution silicon sensors network for reaching highest long-term stability. This measuring device is capable of measuring position noise in the picometer range and its response is not dependent of the presence of pollutants, air pressure changes like other high-end sensors can be. Si-HR 传感器：Piezoconcept 使用温度补偿高分辨率硅传感器网络，以达到蕞高的长期稳定性。 该测量装置能够测量皮米范围内的位置噪声，并且其响应不依赖于污染物的存在，应对改变气压带来的影响与其他高端传感器一样。Step response time : The step response time is the time needed by the nanopositioner to do the travel from 10% of the commanded value to 90% of the commanded value. The step response time reflects the dynamic characteristics of the system and is relatively to the installation method and load of the stage.阶跃响应时间：阶跃响应时间是纳米定位器从指令值的 10% 到指令值的 90% 所需的时间。 阶跃响应时间反映了系统的动态特性，并且与位移台的安装方式和负载有关。更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是国内知名光电产品专业代理商，代理品牌均处于相关领域的发展前沿；产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等，涉及应用领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防及更细分的前沿市场如量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、先进激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等优质服务。相关技术文

数字显示速度和温度AM4 Digital PRO是数字热板搅拌器，具有4个独立的位置，可进行精确的温度调节。使用AM4 Digital PRO，可以将温度设置为最高370°C，搅拌速度为50至1500 rpm。即使粘度发生变化（反作用），SpeedServo™ 仍可确保恒定速度。 AM4 Digital PRO配有数字显示器，可以精确设置搅拌速度和温度。Pt100和VTF具有出色的温度调节AM4 Digital PRO封装包括外部探头Pt100，可在高达250°C的温度下进行温度调节，精度为±1.0°C。AM4 Digital PRO可以连接到VTF和VTF EVO，确保高达300°C的完美温度调节，±0.5°C的高精度。独家CerAlTop™ 由铝合金制成，表面覆盖陶瓷，可确保出色的温度均匀性以及最佳的电阻和热传递。最大的保护和舒适度热板搅拌器AM4 Digital PRO确保为用户提供高水平的安全性和保护。 控制面板易于操作，与热源保持安全距离，并且由于设有专用的下流槽，因此可以防止因液体溢出而造成的损坏。 AM4 Digital PRO可以在最高安全温度下进行编程，对于某些要求不超过某些温度的特殊应用很有用，并可以防止意外加热。 此外，高温警告“热板警告”被激活，即使关闭仪器，该警告仍会显示，直到热板温度冷却到50°C以下为止。 压力压铸结构的设计使得意外的液体溢出不会到达热板搅拌器的内部。创新点：AM4X Digital 四联加热磁力搅拌器，温控范围为50-370℃，适用于平行对比实验，创新之处有：1，配置数显屏幕对温度进行指示，每个点位都可以连接温度探针对样本温度进行实时检测；2，加热面板具有陶瓷涂层，在温度均一性高的前提下便于清洁3，在温度50℃以上是具有高温提示，避免烫伤VELP AM4 Digital pro 多点位加热磁力搅拌器

近日，全世界的目光都集中在美丽绝伦的杭州身上，因为一场备受关注的盛会在这座古韵深深的城市举办，这就是——G20峰会！　　杭州给大家的印象是古典雅致的，温润如诗的。典型的水泽之城。　　此次G20峰会的主会场——杭州国际博览中心，向我们展示了她现代唯美的一面，如一朵白莲花般静静绽放。　　不得不说 “浓妆淡抹总相宜”对杭州的美概括的是如此恰如其分，因为不论是古典还是现代，在她这里都显得恰到好处。　　而国际博览中心为了能承办好此次G20峰会，让各国领导人有宾至如归的感觉，在各种细节之处也是下足了功夫。　　杭州怀抱西湖、坐拥钱塘江，是典型的江南气候。杭州人在水的滋润下温润如玉，杭州的居住环境亦是润湿绵绵，整体湿度相对较高。为了让世界贵宾们体验杭州最好、最舒服的空气。G20主会场、贵宾住所、餐饮等区域指定选用了30多台欧井除湿机。欧井除湿机就在这宏伟壮观的会场中默默地工作着 本次G20会场采用的是欧井OJ-1501商用除湿机。欧井OJ-1501品质优异、内件升级、兼容性强，能满足各环境连续除湿需求，并配有多重保护功能，运行安全稳定。 欧井作为中国专业的除湿机供应商，很荣幸能成为本届峰会官方唯一指定除湿机品牌。欧井致力于为消费者提供性价比最优、性能最完美的除湿体验。自今年6月获悉“欧井”成为本届峰会官方唯一指定除湿机品牌后，欧井成立项目团队，综合峰会的功能性、安全性、适用性等特点，为峰会提供了 欧井最受市场信任的OJ-1501，同时，向峰会保证万无一失的售后服务，承诺2小时回应任何售后服务。欧井G20项目团队在峰会期间24小时随时候命，第一时间为G20服务。 作为中国除湿机行业的领导者，欧井这次能服务G20峰会，除了体现欧井的品牌影响力之外，也彰显出欧井企业的责任与担当。 G20指定欧井除湿机整装待发G20指定欧井除湿机装货中G20指定欧井除湿机顺利交付

近日，中国科学院上海微系统所信息功能与材料国家重点实验室硅光子课题组研究员武爱民团队、深圳大学教授袁小聪、杜路平团队及英国伦敦国王学院教授Anatoly V. Zayats课题组合作，在硅衬底上提出了基于布洛赫表面光场的非对称传输特性实现超灵敏位移测量的方法，并实现了亚纳米级的位移传感。相关研究成果发表在Nanoscale上，并被选为当期封面文章。光学手段为精密位移测量提供了非接触的方案，可实现高灵敏度、高分辨率的位移检测，在纳米尺度位移传感、半导体技术及量子技术等领域具有重要应用。目前广泛应用的激光干涉法具有非接触和精度高的特点，然而，其对激光波长的稳定性要求高且严重依赖光学器件和光学路径，难以满足光学系统集成化和轻量化的发展需求。布洛赫表面波产生于多层介质膜与周围环境的界面处，具有低损耗，宽色散域，高定向性和CMOS兼容等优势。该研究基于硅基衬底，利用不对称狭缝形成纳米天线调控布洛赫表面波，实现了布洛赫表面光场的非对称传输，布洛赫表面波的不对称光场对纳米天线和入射高斯光场的相对位置具有超灵敏的依赖作用，通过对其远场表征就可以获得精确到亚纳米量级灵敏度的位移传感。该工作利用纳米尺度的狭缝实现了布洛赫表面波的非对称传输，通过连续改变光与狭缝的相对位置，在实验上实现了对于位移的精确测量，灵敏度可达0.12 nm-1，分辨率和量程达到8 nm和300 nm。该研究为纳米测量及超分辨显微提供了新的物理原理，并为超灵敏的位移测量提供了精巧的微型化方案。