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三丰表面粗糙度仪

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三丰表面粗糙度仪相关的仪器

  • 三丰Mitutoyo表面粗糙度仪SJ-210介绍:● 设计满足客户需求的紧凑型一体式表面粗糙度测量仪。● 彩色液晶显示器不仅能显示计算结果和测量条件,还能显示表面粗糙度波形。另外,大尺寸字体使其可见度更好。● 内置可充电电池,在无外部电源的地方也可以进行测量。178-560-11DC,178-560-12DC,178-562-11DC,178-562-12DC,178-564-11DC,178-564-12DC。三丰Mitutoyo表面粗糙度仪SJ-210特点:小型表面粗糙度测量仪,犹如手动工具般的简单、易于现场使用、便于携带的小型表面形状测量机。1. 操作性提升搭载了附有背光灯的2.4寸彩色液晶显示屏:搭载了识别度较高的彩色LCD、实现了丰富的显示功能,操作更直观。背光灯的彩用,即使是灰暗现场也不会影响操作。简单操作键的排列:本体表面和保护罩内的按键使操作更简易、更准确。2. 高性能高性能的储存功能:可储存10个测量条件,1个测量结果。可选配储存卡(选件):测量数据及测量条件可保存在储存卡上。选配的储存卡可保存大量的数据。密码保护:各种功能可单独设置密码,您可以防止错误操作和配置管理。多语言应对:16国语言对应,可自由切换。测针报警功能:超出设定的测量累计距离【界限值】时会有提醒。3. 丰富的解析及表示功能对应各种规格标准:可对应JIS(JIS-B0601-2001、JIS-B0601-1994、JIS-B0601-1982)、VDA、ISO-1997、ANSI的各种粗糙度规格。评价曲线等的曲线表示功能:表示演算结果的基础上,还可表示每个区间的演算结果、评价曲线、负荷曲线、振幅分布曲线。主要特点:◆配备2.4英寸彩色图形LCD,可视性好,采用背光灯,大大提高可视性。◆通过/失败判断结果将以彩色显示。◆不仅可以显示测量结果,还可以显示评估曲线、负载曲线和幅度分布曲线。◆您可以在水平和垂直姿势显示之间自由切换。
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  • 概述YT-400袖珍表面粗糙度仪是于测量被加工零件表面粗糙度的新型智能化仪器。该仪器集当今微处理器技术和传感技术于一体,以微处理器和集成化的电路设计,构成适应当今仪器发展趋势的超小型的体系结构,可以完成粗糙度参数的采集、处理和显示工作。适用于加工业、制造业、检测、商检等部门,适用于大型工件及生产流水线的现场检验,以及检测、计量、商检等部门的外出检定。不仅可以测量外圆、平面、锥面,还可测长宽大于80×30mm的沟槽。主要功能● 外形采用拉铝模具设计,坚固磨损度,抗电磁干扰能力显著,符合当今设计新趋势。● 采用高速DSP处理器进行数据处理和计算,测量和运算度提高。● 显示液晶采用流行的OLED显示屏,高亮度,无视角,宽温度,合适多种场合使用。● 采用锂离子充电电池,可长时间工作,无记忆效应,可边充电边工作,充电时间短,电池寿命长。● 使用通用的USB接口进行充电和通讯。采用充电器或计算机的USB口进行充电,方便快捷。● 点阵液晶显示,界面提示信息丰富。● 实时监测锂电电池电量并显示,及时提醒用户进行充电并具有充电进度提示。● 自动关机功能以及低功耗软硬件设计使仪器工作时间超长,合适多种现场使用。● 传感器测头具有保护门,保护了传感器测头,保障了测量的精度。适用材料YT-400袖珍表面粗糙度仪适用于加工业、制造业、检测、商检等部门,主要适用于大型工件及生产流水线的现场检验,以及检测、计量、商检等部门的外出检定。基本原理当传感器在驱动机构的驱动下沿被测表面作匀速直线运动时,其内部垂直于工作表面的触针随工作表面的微观不平轮廓产生垂直方向的位移,再通过传感器将位移变化量转换成电量的变化,将该电信号进行放大,滤波,经A/D转换为数字信号,再经DSP处理,计算出Ra、Rz、Rq、Rt值并显示。技术参数项目YT-400测量参数Ra、Rz、Rq、Rt测量范围Ra:0.05-10.0μm Rz:0.1-50μm取样长度0.25mm、0.8mm、2.5mm评定长度1.25mm、4mm、5mm扫描长度6mm示值误差≤±15%示值变动性<12%传感器类型压电晶体行程长度6mm测头触针针尖圆弧半径及角度针尖圆弧半径:10.0±2.5μm;角度:90°传感器触针静测力及其变化率触针静测力:≤0.016N;测力变化率:≤800N/m传感器导头压力≤0.5N电源3.7V锂离子电池工作温度0º C- 40º C重量200g外型尺寸106×70×24mm标准配置主机、电源适配器、多刻线样板(粗糙度标准块)、说明书、合格证、保修卡、包装箱产品介绍表面粗糙度仪_01.jpg" style="margin:0px padding:0px border:0px vertical-align:middle max-width:800px max-height:300% "表面粗糙度仪_02.jpg" style="margin:0px padding:0px border:0px vertical-align:middle max-width:800px max-height:300% "表面粗糙度仪_03.jpg" style="margin:0px padding:0px border:0px vertical-align:middle max-width:800px max-height:300% "表面粗糙度仪_04.jpg" style="margin:0px padding:0px border:0px vertical-align:middle max-width:800px max-height:300% "表面粗糙度仪_05.jpg" style="margin:0px padding:0px border:0px vertical-align:middle max-width:800px max-height:300% "表面粗糙度仪_06.jpg" style="margin:0px padding:0px border:0px vertical-align:middle max-width:800px max-height:300% "表面粗糙度仪_07.jpg" style="margin:0px padding:0px border:0px vertical-align:middle max-width:800px max-height:300% "表面粗糙度仪_08.jpg" style="margin:0px padding:0px border:0px vertical-align:middle max-width:800px max-height:300% "表面粗糙度仪_09.jpg" style="margin:0px padding:0px border:0px vertical-align:middle max-width:800px max-height:300% "表面粗糙度仪_10.jpg" style="margin:0px padding:0px border:0px vertical-align:middle max-width:800px max-height:300% "表面粗糙度仪_11.jpg" style="margin:0px padding:0px border:0px vertical-align:middle max-width:800px max-height:300% "表面粗糙度仪_12.jpg" style="margin:0px padding:0px border:0px vertical-align:middle max-width:800px max-height:300% "表面粗糙度仪_13.jpg" style="margin:0px padding:0px border:0px vertical-align:middle max-width:800px max-height:300% "
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  • 袖珍表面粗糙度仪是于测量被加工零件表面粗糙度的新型智能化仪器。该仪器集当今微处理器技术和传感技术于一体,以微处理器和集成化的电路设计,构成适应当今仪器发展趋势的超小型的体系结构,可以完成粗糙度参数的采集、处理和显示工作。适用于加工业、制造业、检测、商检等部门,适用于大型工件及生产流水线的现场检验,以及检测、计量、商检等部门的外出检定。不仅可以测量外圆、平面、锥面,还可测长宽大于80×30mm的沟槽。  袖珍表面粗糙度仪主要功能  ● 外形采用拉铝模具设计,坚固磨损度,抗电磁干扰能力显著,符合当今设计新趋势。  ● 采用高速DSP处理器进行数据处理和计算,测量和运算度提高。  ● 显示液晶采用流行的OLED显示屏,高亮度,无视角,宽温度,合适多种场合使用。  ● 采用锂离子充电电池,可长时间工作,无记忆效应,可边充电边工作,充电时间短,电池寿命长。  ● 使用通用的USB接口进行充电和通讯。采用充电器或计算机的USB口进行充电,方便快捷。  ● 点阵液晶显示,界面提示信息丰富。  ● 实时监测锂电电池电量并显示,及时提醒用户进行充电并具有充电进度提示。  ● 自动关机功能以及低功耗软硬件设计使仪器工作时间超长,合适多种现场使用。  ● 传感器测头具有保护门,保护了传感器测头,保障了测量的精度。  适用材料  适用于加工业、制造业、检测、商检等部门,主要适用于大型工件及生产流水线的现场检验,以及检测、计量、商检等部门的外出检定。  基本原理  当传感器在驱动机构的驱动下沿被测表面作匀速直线运动时,其内部垂直于工作表面的触针随工作表面的微观不平轮廓产生垂直方向的位移,再通过传感器将位移变化量转换成电量的变化,将该电信号进行放大,滤波,经A/D转换为数字信号,再经DSP处理,计算出Ra、Rz、Rq、Rt值并显示。
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  • 表面粗糙度仪 400-860-5168转0960
    仪器简介: 印刷表面粗糙度仪 PPS纸和纸板 粗糙度/平滑度测定国家标准规定:铜板纸和新闻纸的平滑度要求用PPS来测定为什么用PPS测量表面粗糙度?表面粗糙度是确定纸和纸板印刷适性的一个关键因素。John Parker博士将PPS法推广到造纸业界之前,为预测印刷适性,有许许多多的方法测量纸的表面粗糙度,而这些方法均不能令人满意。Parker博士正确推理出为什么测量表面粗糙度最好的方法,是模拟印刷时印刷机上的条件来进行之的表面粗糙度测量。具体原理如下:纸样夹在测头和弹性衬垫之间,并受到相当于实际印刷中咬合压力一样的压力。在细金属测量环和测量面内,通过一定压差下的气流,测量该气流的受到的阻尼(见图1)。纸样的表面粗糙度由狭缝内气流的平均立方根计算获得(M590自动计算)。特别是PPS的测量环及其周围的狭缝宽度仅51微米,大大降低了纸的透气性对测量的影响,而其他空气泄漏法的仪器都不能避免这一影响。为什么买MESSMER BUCHEL的PPS?非常简单——它是最好的!M590是MESSMER BUCHEL的第三代PPS。30年的PPS生产经验和Parker博士的专业知识使我们成了PPS的技术核心。MESSMER BUCHEL采用了最新技术以保证测试的高可靠性和优异的重复性,技术有所改进,但原理仍旧一样。在MESSMER BUCHEL PPS内,微处理器的使用使测试界面更为友好,并能进行测试统计,而不仅仅是给出测试结果。精确的设计细节,有力的质量保证以及与国际标准的一致性是我们的原则。测头和衬垫之间的相对位置必须严格控制,因为它对于测量结果的重复性有很大影响。MESSMER BUCHEL采用了特别U-形结构,测头调整和固定机械易于拆卸一边清洗,但在测试中又绝不会移动。模块化结构和内置诊断规程保证了简便快速的维护,降低了维护费用。作为我们的生产工序之一,每台MESSMER BUCHEL PPS都经过了彻底的测试和校准。空气阻尼测量系统可校准,并且测量结果溯源到MESSMER BUCHEL主机。采购之后,用户可以用同样的方法进行常规复检。流体阻抗(dummy head)和MESSMER BUCHEL的测试与校准系统含在主机价格内。产品特点/规格: M590 & M595型PPS由微处理器控制 M590和M595均通过ISO参照仪器的标准, 测量范围:M595 高精度 0.5 – 3 μmM590 标准范围 0.6 – 6μm 40字符2行荧光显示屏,显示操作指令和测量结果 测量结果以微米为单位,其结果与实际印刷中墨膜厚度的关系为: 墨膜厚度 = 2 → 2.5 x PPS结果 自动统计分析 数据打印机 内置诊断和校准规程 RS232C V24串行输出 可选灰尘清除系统 可选样本探测 透气度测试(测头可选) 与TESTLINE / TESTLINK相兼容 独到的溯源校准附件(报价中已含):1个 dummy head(流体阻尼),用于校准。1个 报警检测头4个 软片4个 硬片1个 夹具提升器3个 备用环形橡胶垫1个 备用膜片1本 操作手册1套 测试与校准系统标准PPS M590型测量范围0.6 – 6微米,符合ISO 8791/4,TAPPI T555,BS 6563及SCAN标准和国标。技术参数: M590 & M595型PPS由微处理器控制 M590和M595均通过ISO参照仪器的标准, 测量范围:M595 高精度 0.5 – 3 μmM590 标准范围 0.6 – 6μm 40字符2行荧光显示屏,显示操作指令和测量结果 测量结果以微米为单位,其结果与实际印刷中墨膜厚度的关系为: 墨膜厚度 = 2 → 2.5 x PPS结果 自动统计分析 数据打印机 内置诊断和校准规程 RS232C V24串行输出 可选灰尘清除系统 可选样本探测 透气度测试(测头可选) 与TESTLINE / TESTLINK相兼容 独到的溯源校准主要特点:为什么买MESSMER BUCHEL的PPS?非常简单——它是最好的!M590是MESSMER BUCHEL的第三代PPS。30年的PPS生产经验和Parker博士的专业知识使我们成了PPS的技术核心。MESSMER BUCHEL采用了最新技术以保证测试的高可靠性和优异的重复性,技术有所改进,但原理仍旧一样。在MESSMER BUCHEL PPS内,微处理器的使用使测试界面更为友好,并能进行测试统计,而不仅仅是给出测试结果。精确的设计细节,有力的质量保证以及与国际标准的一致性是我们的原则。测头和衬垫之间的相对位置必须严格控制,因为它对于测量结果的重复性有很大影响。MESSMER BUCHEL采用了特别U-形结构,测头调整和固定机械易于拆卸一边清洗,但在测试中又绝不会移动。模块化结构和内置诊断规程保证了简便快速的维护,降低了维护费用。作为我们的生产工序之一,每台MESSMER BUCHEL PPS都经过了彻底的测试和校准。空气阻尼测量系统可校准,并且测量结果溯源到MESSMER BUCHEL主机。采购之后,用户可以用同样的方法进行常规复检。流体阻抗(dummy head)和MESSMER BUCHEL的测试与校准系统含在主机价格内。
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  • 表面粗糙度仪 400-860-5168转3136
    便携式表面粗糙度测量机东京精密HANDYSURF+ 新型便携式表面粗糙度测量机东京精密HANDYSURF+ 新上市了,东京精密HANDYSURF+是E-35B新升级款,性价比更高。设计简练的 HANDYSURF+,全面支持汉字显示,能够满足多种需要,是一款对应全球化规范的便携式表面粗糙度测量机。优异的操作性2.4 英寸彩色液晶显示,大幅提高辨识度。流线型外观设计,配合全新布局按键和人性化用户界面,实现简单直观操作。全面分析功能。突破入门级设备瓶颈,实现参数和波形两种方式显示测量结果,并可进行高端机型拥有的分析功能。如:负荷曲线、振幅分布曲线、波峰计数和Motif 等各种分析。通过预先设定条件,还可自动进行合格判定。合作、共赢!美国热电:直读光谱仪ARL8860、XRF、XRD ICP、电镜、电子能谱仪德国徕卡:金相显微镜、体视显微镜、电镜制样设备英斯特朗:疲劳试验机、万能试验机; 摆锤冲击试验机、落锤冲击试验机东京精密:圆度仪、轮廓仪、粗糙度仪、三坐标美国法如:激光跟踪仪、关节臂及扫描 日本奥林巴斯手持光谱仪 德国帕马斯颗粒计数器租赁检测:便携式三坐标、激光跟踪仪、3D扫描仪为客户提供专业的检测服务,帮客户挖掘新的赢利空间!上海澳信检测技术有限公司青岛澳信仪器有限公司青岛澳信质量技术服务有限公司联系地址:青岛市城阳区山河路702号上海地址:上海浦东新区川沙路1098号新美测(青岛)测试科技有限公司提供测试服务:静态力学测试主要包括拉伸、压缩、弯曲、剪切等;动态疲劳测试主要包括:拉拉疲劳、拉压疲劳、压压疲劳、裂纹扩展速率等合作、共赢!美国热电:直读光谱仪ARL8860、XRF、XRD ICP、电镜、电子能谱仪德国徕卡:金相显微镜、体视显微镜、电镜制样设备英斯特朗:疲劳试验机、万能试验机; 摆锤冲击试验机、落锤冲击试验机东京精密:圆度仪、轮廓仪、粗糙度仪、三坐标美国法如:激光跟踪仪、关节臂及扫描 日本奥林巴斯手持光谱仪 德国帕马斯颗粒计数器租赁检测:便携式三坐标、激光跟踪仪、3D扫描仪为客户提供专业的检测服务,帮客户挖掘新的赢利空间!上海澳信检测技术有限公司青岛澳信仪器有限公司青岛澳信质量技术服务有限公司联系地址:青岛市城阳区山河路702号上海地址:上海浦东新区川沙路1098号新美测(青岛)测试科技有限公司提供测试服务:静态力学测试主要包括拉伸、压缩、弯曲、剪切等;动态疲劳测试主要包括:拉拉疲劳、拉压疲劳、压压疲劳、裂纹扩展速率等
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  • 表面粗糙度仪 400-860-5168转6135
    新型便携式表面粗糙度测量机东京精密HANDYSURF+ 新上市了,东京精密HANDYSURF+是E-35B新升级款,性价比更高。设计简练的 HANDYSURF+,全面支持汉字显示,能够满足多种需要,是一款对应全球化规范的便携式表面粗糙度测量机。优异的操作性2.4 英寸彩色液晶显示,大幅提高辨识度。流线型外观设计,配合全新布局按键和人性化用户界面,实现简单直观操作。全面分析功能。突破入门级设备瓶颈,实现参数和波形两种方式显示测量结果,并可进行高端机型拥有的分析功能。如:负荷曲线、振幅分布曲线、波峰计数和Motif 等各种分析。通过预先设定条件,还可自动进行合格判定。合作、共赢!美国热电:直读光谱仪ARL8860、XRF、XRD ICP、电镜、电子能谱仪德国徕卡:金相显微镜、体视显微镜、电镜制样设备英斯特朗:疲劳试验机、万能试验机; 摆锤冲击试验机、落锤冲击试验机东京精密:圆度仪、轮廓仪、粗糙度仪、三坐标美国法如:激光跟踪仪、关节臂及扫描 日本奥林巴斯手持光谱仪 德国帕马斯颗粒计数器租赁检测:便携式三坐标、激光跟踪仪、3D扫描仪为客户提供专业的检测服务,帮客户挖掘新的赢利空间!上海澳信检测技术有限公司青岛澳信仪器有限公司青岛澳信质量技术服务有限公司联系地址:青岛市城阳区山河路702号上海地址:上海浦东新区川沙路1098号新美测(青岛)测试科技有限公司提供测试服务:静态力学测试主要包括拉伸、压缩、弯曲、剪切等;动态疲劳测试主要包括:拉拉疲劳、拉压疲劳、压压疲劳、裂纹扩展速率等
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  • 表面粗糙度仪 400-860-5168转5921
    概述  表面粗糙度仪是用于测量被加工零件表面粗糙度的新型智能化仪器。该仪器集当今微处理器技术和传感技术于一体,以微处理器和集成化的电路设计,构成适应当今仪器发展趋势的超小型的体系结构,可以完成粗糙度参数的采集、处理和显示工作。  采用优化的电路设计及传感器结构设计,将电箱、驱动器及显示部分合为一体,使其到达集成化 任意选择Ra、Rz测量参数 不仅可以测量外圆、平面、锥面,还可测长宽大于80×30mm的沟槽。  表面粗糙度仪主要功能  ● 全铝合金外壳   ● 示值稳定   ● 抗高温、抗潮湿   ● 具有示值校准功能  ● 稳定性高。  适用材料  适用于加工业、制造业、检测、商检等部门,主要适用于大型工件及生产流水线的现场检验,以及检测、计量、商检等部门的外出检定。  基本原理  当传感器在驱动机构的驱动下沿被测表面作匀速直线运动时,其内部垂直于工作表面的触针随工作表面的微观不平轮廓产生垂直方向的位移,再通过传感器将位移变化量转换成电量的变化,将该电信号进行放大,滤波,经A/D转换为数字信号,再经DSP处理,计算出Ra、Rz、Rq、Rt值并显示。
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  • ●高精度触针型CNC表面测量仪可以同时进行表面粗糙度和形状/轮廓的测量。●X1轴和Z2轴的最大驱动速度分别为40mm/s和200mm/s,可以高速定位,从而提高了多重轮廓/多工件测量的效率。●X1轴和Z1轴上装有三丰激光全息光栅尺,从而可以实现高分辨力的轮廓/形状测量、表面粗糙度的批量测量。●Z1轴检出器采用主动控制方式,减少Z1轴动态测力变化的同时扩展了测量范围。●Z1轴检出器集成了防碰撞安全装置,当仪器主体与工件或夹具发生碰撞时,检测装置可以自动停止工作。●CS-5000CNC带有α轴,可以通过电动旋转X1轴连续测量水平面和倾斜面。●带有Y轴工作台的型号,可沿Y轴进行多工件定位,从而增加了多工件测量范围。●可选的外部控制功能(外部I/O),与PLC实现双向通信(RS-232C)。SV-C4500CNC规格型号SV-C4500CNC测量范围200mm分辨力0.05umX1轴长度基准反射型线性编码器(驭动部)轮廓形状直线度2um/200mm指示精度
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  • 设计满足客户需求的紧凑型一体式表面粗糙度测量仪。●彩色液晶显示器不仅能显示计算结果和测量条件,还能显示表面粗糙度波形另外,大尺寸字体使其可见度更好。●内置可充电电池可支持测量的进行,无需外部电源。
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  • 带专用控制器的高精度,高性能,袖珍型表面粗糙度测量仪,操作简单,显示一目了然。●配有7.5英寸彩色TFT液晶屏幕、大号彩色图标与触控式面板控制,该显示装置操作简单,读取容易。●控制部的内置操纵杆使得定位快捷简便。测量小孔内侧时可使用手动旋钮对细小触针的位置进行微调。●表面粗糙度测量条件的设置简单易行。利用简单的输入功能可按ISO/JIS/ANSI/VDA粗糙度标准计算绘图指令符号。规格型号SJ-500SV-2100M4*' SV-2100S4*' |SV-2100H4*1SV-2100W4*1工作台类型(选件)*手动操作电动駆动范围Z1轴(检出器)800um,80um,8um測里旭围X轴50mm
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  • 配有多种参数。评估型表面粗糙度测量仪同时配置分析功能。●装置配备FORMTRACEPAK表面粗糙度/轮廓分析程序。●标准或低测力检出器(4mN/0.75mN)的选择,无需考虑设备本体是否有装配倾斜装置。●Z2轴(立柱)的700mm型最新上市。*:虽然天然石材测量桌的外观各有不同,但材料的穏定性是值得信赖的。*1:手动操作也可用。
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  • TQC Sheen SP1560数显表面粗糙度仪是一个组合仪器, SP1560可配备两个不同的探针,一个用于表面粗糙度测试,一个用于涂层厚度测试。优势:• 可以准确而快速的测量清洁又粗糙度的表面的波峰波谷值• 完全符合国际权威通用标准• 平面底座放在漆面上,测针探入并停止于底基材上,就可以测出涂层厚度• 可测量腐蚀坑洞和裂纹深度• 配可更换的平头用于测量粗糙度技术参数:测量范围3.4mm最小刻度1μm精度5μm测头直径8mm
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  • 小型表面粗糙度测量仪的重大改进●配备大型触摸屏彩色液晶显示器,实现直观操作和卓越易用性。●根据测量条件,在有轨测量和无轨测量方式间切换,以进行优化评估。●完成了台式表面粗糙度测量仪及简易支座和相关可选配件的性能。型号SJ-411SJ-412货号178-580-01178-580-02178-582-01178-582-0225mm50mm测車范围z轴(检出器)800um.80um.8um选配触针,最大可达2400um分辨力
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  • 一、高精度表面粗糙度测试仪器原理:高精度表面粗糙度测试仪器由二部分组成:1- 1.采样部分 这是机电一体化仪器中的精密部份。它分成: A.驱动机构_用PC 送出控制讯号操纵精密伺服马达带动传感器在工件上作直线扫描。测量长度则根据不同截止波长,由使用者根据工件及标准确定。B.精密传感器_本机采用差动式电感传感器 。C.立柱_自动升降,精密定位在传感器测量零位上. D.探针_在被测工件上扫描由工件表面轮廓不 平而形成上下位移,使传感器中磁回路间隙改变导致电感变化,形成微弱讯号。1-2.信号转换 传感器输出的微弱讯号经放大、鉴相后,经过低通滤器及根据高斯滤波器特性而设计的长波段滤波网络,输出模拟讯号分成二路。R参数;轮廓参数分别由USB数据采样卡内的16位A/D转换处理,形成数字信息,经USB输至PC运算处理,显示打印。二、技术参数:主要技术指标 按JJF1105-2003高精度表面粗糙度测试仪器校准规范测量参数 Ra、Rz、(Rmax、Ry)、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、Rs m、Rsk、Rk、Rc、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2… … 最大测量长度 25mm 50mm 直线度测量精度 0.4μm 滤波器 高斯(Gaussian)滤波器(ISO11562:1996),2RC滤波器 截止波长 0.25,0.8,2.5 测量重复性 3% 相对示值误差 ±5% 示值稳定性 3% 测量长度 λc ╳3、4、5、6、7(1.0-17.5mm) 测量范围 640μm 分辨率 0.001μm 测量速度 0.1mm/s,0.32mm/s,0.5mm/s 返回速度(自动) 1mm/s 传感器针尖 R=2μm钻石(测量力1mN);R=5μm钻石(测量力4mN) 三、高精度表面粗糙度测试仪器操作系统Profile软件必须在Windows XP平台下工作2-1系统功能高精度表面粗糙度测试仪器本系统可以根据不同的传感器分别提供两种测量类型:2-1-1粗糙度可选择三种不同截止波长及扫描长度见下表: *截止波长(可选)测量速度(根据截止波长定)*扫描长度(可选) 0.25mm0.1mm/S1.0 mm1.25mm1.5 mm1.75mm0.8 mm0.32mm/S3.2 mm4.0 mm4.8 mm5.6 mm2.5 mm0.5mm/S10.0mm12.5mm15.0mm17.5 mm 测量系统可提供下列粗糙度数据:Ra, Rz, Rmax, Rt, Rp, Rpm, Rz(jis), Rv, R3z, Rs, Rsm, Rsk, R, Rk, Rpk,Rvk,Mr1,Mr2, Rmr曲线及内燃机专用曲线。*2-1-2、轮廓(需配轮廓传感器) * 测量范围:(视不同轮廓传感器) 0--1000μm ,0—2000μm 扫描长度:1.0mm, 1.5mm, 2.0mm, 3.0mm, 4.0mm, 5.0mm, 5.0mm, 6.0mm, 7.0mm, 8.0mm, 9.0mm, 10.0mm, 15.0mm**根据用户特殊要求,特提供圆弧面上测量粗糙度专用档“曲面”,但其数据目前阶段,除了采用平面样板校正之外,,因无更妥当办法验证,只能仅供参考。曲面粗糙度:从0.08档至0.8mm扫描长度从:0.5mm-4.8mm线性范围: 宽达0-800μm。2-2系统运行的软、硬件环境系统要求最低系统配置:主机Pentium II或 赛杨系列(CPU主频≥700)128M RAM, WINDOWS XP中文版2-3计算机软、硬件的安装2-3-1.安装Profile软件前必须先安装加密锁。 高精度表面粗糙度测试仪器加密锁安装方法如下:首先把本机加密锁插入USB接口中。2-3-2.在C盘(并不限于C盘)的根目录下建立JB6C目录。
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  • 产品简介中图仪器SuperVieW白光干涉表面粗糙度检测仪基于白光干涉原理,用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。产品功能(1)SuperVieW白光干涉表面粗糙度检测仪提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。 应用范例:性能特色1、高精度、高重复性1)采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统,保证测量精度高;2)隔振系统,能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动,消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声,保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用,获得高测量重复性;2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰,在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外,另在Z轴上设计有机械电子传感器,当镜头触碰到样品表面时,仪器自动进入紧急停止状态,最大限度的保护仪器,降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机,在无外接气源的条件下也可稳定工作。SuperVieW白光干涉表面粗糙度检测仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求,中图仪器SuperView W1的复合型EPSI重建算法,解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下,只需要确定起点和终点,即可自动扫描,重建其超光滑的表面区域,不见一丝重叠缝隙。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配:0.5×选配:0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配:3孔手动选配:5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸(长×宽×高)700×606×920㎜恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。
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  • 高精度 表面粗糙度仪SDT150能测量最新国际标准的主要参数,严格执行了国际标准,测量参数符合国际标准并兼容美国、德国、日本、英国等国家的标准。适用范围:可对多种机械加工零件表面的粗糙度进行测量,包括平面、斜面、外圆柱面,曲面,小孔,沟槽及车轴等。特点:操作简便,功能全面,测量快捷,精度稳定,携带方便,不受南方环境温湿度影响。 高精度 表面粗糙度仪SDT150特点:u 机电一体化设计,体积小,重量轻,使用方便;u 采用DSP芯片进行控制和数据处理,速度快,功耗低;具有校准功能,操作简单;u 兼容ISO、DIN、ANSI、JIS多个国家标准;u 连续工作时间大于20小时,具有自动休眠、自动关机等节电功能;u 超大容量数据存储,可存储100组原始数据及波形;u 实时时钟设置及显示,方便数据记录及存储;u 可靠防电机走死电路及软件设计;u 显示测量信息、菜单提示信息、错误信息及开关机等各种提示说明信息;u 中/英文语言选择;u 可连接电脑和打印机,可选配蓝牙功能;u 打印全部参数或打印用户设定的任意参数;u 可选配曲面传感器、小孔传感器、测量平台、传感器护套、接长杆等附件。高精度 表面粗糙度仪SDT150技术参数测量参数Ra,Rz=Ry(JIS),Rq,Rt=Rmax,Rp,Rv,R3z,R3y,RzJIS,Rs,Rsk,Rku,Rsm,Rmr测量范围Ra: 0.005 um ~ 16.00 um 显示范围Ra,Rq: 0.005 um ~ 16 um ;Rz, Rv ,R3z,Rt,Rp,R3z,: 0.02 um~ 160 umRsm, Rs:1mm;Rmr:0~100%;Rsk:0~100%示值精度0.001um垂直Z轴量程范围(分辨率)0.002/±20um,0.004/±40um,0.008/±80um取样长度L0.25 , 0.80 , 2.50,自动评定长度1L~5L(可选,L为取样长度)测量行程长度3L~7L(可选,L为取样长度)最大驱动行程长度17.5mm / 0.71 inch最小驱动行程长度1.3mm / 0.052 inch示值变动性<6%示值误差≤±7%针尖角度90°测量轮廓粗糙度,波纹度,原始轮廓滤波器RC, PC-RC, Gauss, D-P内部存储能力100组数据数据接口USB电池内置锂离子充电电池外形尺寸158 mm×63.5 mm×46mm产品重量400g工作环境条件温 度: -20℃~60℃ 相对湿度: 90% 周围无振动、无腐蚀性介质可选附件曲面传感器、小孔传感器、沟槽传感器、深槽传感器、延长杆、微型打印机、KA620测量平台
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  • 规格:货号SV-C3200S4 SV-C3200H4 SV-C3200W4 SV-C3200S8 SV-C3200H8 SV-C3200W8SV-C4500S4 SV-C4500H4 SV-C4500W4 SV-C4500S8 SV-C4500H8 SV-C4500W8测量表面粗糙度时测量范围X轴(驱动部)100mm200mmZ1轴(检出器) 800μm/80μm/8μm直线度(0.05+L/1000)μm L:驱动长度(mm) 0.5μm/200mm分辨力 Z1轴(检出器) 0.01μm ( 800μm ) , 0.001μm ( 80μm ) , 0.0001μm ( 8μm测力0.75mN ( 机身代码末尾带 "-1" 的型号 )4mN (机身代码末尾带 "-2" 的型号)测针针尖形状60o, 2μmR ( 机身代码末尾带 "-1" 的型号 )90o, 5μmR ( 机身代码末尾带 "-2" 的型号 )对应尺寸JIS1982/ JIS1994/ JIS2001/ ISO1997/ ANSI/ VDA评价参数Pa,Pq,Psk,Pku,Pp,Pv,Pz,Pt,Pc,PSm,Pq,Pmr(C),Pmr,Pc,Ra,Rq,Rsk,Rku,Rp,Rv,Rz,Rt,Rc,RSm,Rq,Rmr(C),Rmr,Rc,Wa,Wq,Wsk,Wku,Wp,Wv,Wz,Wt,Wc,WSm,Wq,Wmr(C),Wmr,Wc,Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2,A1,A2,Rx,AR,R,Wx,AW,W,Wte,Ry,RyDIN,RzDIN,R3y,R3z,S,HSC,Lo,Ir,a,a,q,Vo,Htp,NR,NCRX,CPM,SR,SAR,NW,SW,SAW评价轮廓原始轮廓、粗糙度轮廓、滤波波纹轮廓、波纹轮廓、滚动圆波形原始轮廓、滚动圆波形轮廓、包络残余线、 DF 轮廓 ( DIN4776 / ISO13565-1 ) 、表面粗糙度 MOTIF(包络波纹轮廓在评价 MOTIF 时显示)分析图负荷曲线、振幅分布曲线、功率谱、自相关、 Walsh 功率谱、 Walsh 自相关、顶峰分布、倾斜角分布、参数分布(磨损量、重叠在轮廓分析可以用于面积等的原始分析)曲线补偿最小平方直线、 R 面补偿、椭圆补偿、抛物线补偿、双曲线补偿、二次曲线补偿、多项式补偿 ( 自动或任意 2~7 次 ) 、无补偿曲线补偿高斯滤波器 , 2CRPC75, 2CRPC50, 2CR75, 2CR50, 鲁棒样条滤波器? 轮廓测量测量范围X轴(驱动部) 100mm 200mm Z1轴(检出器) 60mm ( 测臂水平位置 ±30mm 直线度0.8μm/100mm2μm/200mm精度X轴(驱动部)Z1轴(检出器) SV-C3200系列:±(1.6+|2H|/100)μm,SV-C4500系列:±(0.8+|2H|/100)μmH: 水平位置上的测量高度 ( mm )分辨力X轴(驱动部) 0.05 μmZ1轴(检出器) SV-C3200 系列 : 0.04μm, SV-C4500 系列 : 0.02μmZ2轴(立柱)1 μm测力SV-C3200 系列 : 30mN ( 可调使用重量 )SV-C4500 系列 : 10, 20, 30, 40, 50mN ( 根据软件转换 )测头方向SV-C3200 系列 : 垂直方向 ( 向上 / 向下单独测量 )SV-C4500 系列 : 垂直方向 ( 向上 / 向根据配重调整 )? 通用时Z2轴(立柱)移动量 300mm 500mm 300mm500mm X 轴倾斜角度±45o驱动速度X轴 0 - 80mm/s 外加手动Z2轴(立柱) 0 - 30mm/s 外加手动测量速度0.02 - 5mm/s
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  • 表面粗糙度轮廓仪 400-860-5168转6117
    中图仪器SJ5800表面粗糙度轮廓仪是一款集成表面粗糙度和轮廓测量的高精度测量仪器,该仪器具有12mm-24mm的粗糙度轮廓一体式测量范围,分辨率达SJ5800表面粗糙度轮廓仪到0.1nm,因此非常适合测量大曲面高精密零部件的轮廓参数测量,同时具备球面、弧面、非球面轮廓参数评价功能,能够满足各种高精密轮廓粗糙度加工行业的测量需求。技术参数型号SJ5800-100轮廓参数测量范围X轴0~100mm立柱轴0~300mmZ轴±6mm(标准测杆)(±12mm:两倍标准测杆)分辨率X轴:10nm,Z轴:1nm、0.1nm移动速度X轴0~20mm/s立柱轴0~20mm/s扫描速度(扫描轴)0.05~5mm/s直线度(扫描轴)≤(0.05+1.5L/1000)μm*备注:≤0.2μm/100mm测量力0.5mN、0.75mN、1mN、2mN、3mN(电子档位可调)粗糙度参数适用Ra测量范围Ra0.012μm~Ra12.5μm(可选更大范围)示值误差Ra: ≤±(3nm+2.0%A)(A:测量Ra标称值)重复性(1δ)1δ≤1nm*备注:0.1-0.2μm方波粗糙度样块、标准台阶块测试残值噪声Rq≤2nm*备注:1纳米级粗糙度样块、平晶测试粗糙度测量参数R粗糙度:Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,Ra,Rq,Rsk,Rku,RSm,Rdq,Rdc,Rmr,Rmax,Rpm,tp,Htp,Pc,Rda,Ry,Sm,S,RzJ;Ra,Rq,Rz,Rmax,RPc,Rz-JIS,Rt,Rp,Rv,RSm,Sm,S,Rsk,Rku,Rdq,Rdc,Rmr;核心粗糙度Rcore: Rk,Rpk,Rvk,Rpkx,Rvkx,Mr1,Mr2,A1,A2,Vo;P轮廓参数:Pa,Pq,Pt,Pz,Pp,Pv,PSm,Psk,Pku,Pdq,Pdc,Pc,PPc,Pmr,Rad,PzJ,Pmax;W波纹度轮廓参数:Wa,Wq,Wt,Wz,Wp,Wv,WSm,Wsk,Wku,Wdq,Wdc,Wmr,Wpc,Wc;Motif参数:R,AR,W,AW,Rx,Wx,Wte;符合标准:GB/T3505-2009,ISO4287:1997,ISO 13565-2:1996,ASME B46.1-2002,DIN/EN/ISO 4287:2010,JIS B 0601:2013,JIS B 0601-1994JIS B 0601-1982,ISO 1302:2002;滤波器高斯滤波器、2RC滤波器,相位修正滤波器滤波长度0.08、0.25、0.8、2.5、8.0、25mm可选滤波长度λc×3、4、5、6、7、8可选仪器尺寸(长×宽×高)600×350×850(mm)仪器总重量约95Kg产品功能1.SJ5800表面粗糙度轮廓仪一次测量可同时评定粗糙度及轮廓参数,分析评定R参数、P参数、W参数等微观粗糙度参数及倒角、R角、直线度、位置尺寸、角度的宏观轮廓参数;2.表面粗糙度评定: R参数、P参数、W参数、核心粗糙度Rcore、Motif等微观粗糙度参数评定;3.圆球类零件轮廓及粗糙度参数测量评定;4.表面轮廓评定:评定任何点/线间距、两线夹角、圆弧半径、直径等几何量尺寸参量,并可对轮廓进行直线度、圆度、轮廓度、平行度、位置度、垂直度等分析,重新分析和测量的操作简洁高效;5.尺寸标注:半径、两圆中心距离、X/Z尺寸、斜边、两线夹角、直线相交、直线与圆弧相交、圆弧与圆弧相交、尺寸标注线大小修改、线偏移、局部轮廓放大和调平等;6.测量记录采用集中式数据库管理,可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检测员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理测量记录;7.输出多种格式报表(.doc,.docx,.xlsx,.pdf),并支持自定义报表,定制测量记录报表,可批量打印记录表,具有数据备份和还原数据库功能;8.具备自动找拐点功能,能按照程序设置进行X轴自动找拐点;9.成熟简单的标定,仪器自带高精度组合标定台,可对仪器的精度和测针磨损进行精确补偿;10.可进行DXF(CAD)格式图纸导入,进行理论图纸与测量结果比对分析,可提供直观图形对比;11.可导出坐标点数据(.TXT)等格式,可读取到Excel或者CAD软件内进行数据分析及标准轮廓比对;12.可对多次测量的轮廓曲线匹配后进行分析测量重复性。 性能特点1、一次测量同时评定轮廓和粗糙度参数SJ5800表面粗糙度轮廓仪超高精度衍射光学测量系统,具有12mm~24mm的大量程粗糙度测量范围,分辨率高达0.1nm,系统残差小于2nm。2、高精度、高稳定性、高重复性:满足被测件测量精度要求1)系统扫描轴采用特殊的超高耐磨材质复合材质摩擦片,耐磨性能优良,稳定性高,能保障系统长时间的稳定的直线度精度;2)高精度转轴采用特殊的高刚性、低惯量、超低摩擦系数的红宝石转轴系统,确保了转动的超高灵敏度及测量精度;3)超高稳定的驱动设计,确保了驱动运行过程中不产生任何的振动及干扰,保障了系统扫描运动精度;4)高精度的纳米级光学转轴测量系统,保障了仪器超高的分辨率及全程纳米级粗糙度测量精度;5)一体式拔插式碳纤维测杆、高刚性、低惯量,一键拔插,特殊设计的高刚性拔插结构,无需锁螺钉,方便快捷、稳定可靠;3、智能化管理与软件分析系统仪器操作界面友好,操作者易掌握仪器基本操作,使用十分简便。1)10多年积累的实用检测软件设计经验,向客户提供简洁、实用、快速的操作体验;2)智能化分析及记录,同批次可自动测量和分析,大幅度减少人员的操作要求及降低人员的劳动强度; 3)测量范围广,可满足绝大多数类型的工件粗糙度轮廓测量要求;4)非球面专用软件分析功能模块,一键式快速测量非球面光学镜片;5)可自动和手动选取被测段进行评定,可依据客户要求进行软件功能的定制;6)纯中文操作软件系统,更好的为国内用户服务;7)可打印各种格式的检定报告,自动显示、打印、保存、查询测量记录,打印格式正规、美观;检定数据可存档,或集中打印,不占用检定操作时间;8)本仪器采用计算机大容量数据库储存,可自动记录保存所有检定结果。4、智能保护系统仪器在各个方向都有进行硬件及软件保护,能有效的保护仪器主机及测针,降低人员因操作失误带来的测针及仪器损伤;模块测针拔插式结构,方便更换,遇到卡针可轻松拆换测针;测量传感器带舵机结构,可防止扫描陡坡时的快速下坠。5、灵活手动控制:仪器配置了特殊分离式操作杆,操作杆在仪器操作移动时,可放置在任何位置控制操作,在测量工件前对测针进行粗定位;在脱离电脑的情况下,操作杆具备左右/上下移动测针、急停、测杆上下角度摆动及速度分多级调节功能。6、成熟的标定校准技术仪器配置特殊的高精度标定台,通过简单的标定操作,能对仪器的参数进行误差补偿,对测针针尖磨损进行修正补偿,使其满足高精度轮廓测量。用于圆锥滚子轴承表面微观轮廓Pt及粗糙度测量环境条件温度:20±5℃;相对湿度:10%~80%;电源/功率:220V,50Hz,≤1.5KW(含电脑及显示器);振动:按照三坐标振动要求标准,振动速度均方根≤5um/s,振动频率8~100Hz;校准室内应无影响测量的灰尘、震动、噪音、气流、腐蚀性气体和较强磁场;
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  • 中图仪器SJ5800广东表面粗糙度轮廓仪是一款能实现对轴承及工件表面粗糙度和轮廓的高精度测量和分析的检测仪器。它采用超高精度纳米衍射光学测量系统、超高直线度研磨级摩擦导轨、高性能直流伺服驱动系统、高性能计算机控制系统技术,可广泛应用于精密机械加工、汽车、轴承、机床、模具、精密五金等行业, 该仪器可以对零件表面,尤其是大范围曲面,如圆弧面和球面、异型曲面等进行检测,是大曲面测量(轴承、人工关节、精密模具、齿轮、叶片、轴承滚子)领域精细粗糙度测量的利器。测量功能1.创建坐标:点线、两点 X、两线等工件坐标系。2.量测工具:矩形框选提取最高点、矩形框选提取矩形框选提取中心点、自动矩形取多点提取线、自动点捕捉取多点提取线、自动矩形提取螺纹中径线、扇形框选提取弧/圆等。3.构建特征:交点、中心点、角平分线、切线、两线内切圆、二次取样、垂线、平行线、特征偏移、两圆弧内切圆、直线旋转等。4.可测几何量:点、线、圆(圆心坐标、半径、直径)、圆弧、中心、角度、垂线、线到线的距离、线到圆的距离、X/Z坐标夹角、坐标差、两点之间总过程距离、面积等。5.形位公差:直线度、圆度、平行度、垂直度、同轴度、位置度、轮廓度等形位公差评定。6.快速工具:坐标标注、两线交点、两线夹角、螺牙框选取交点标注、台阶高、滚珠丝杆、框选Pt、沟槽宽度、偏移点与轮廓相交直线、偏移直线与轮廓相交点、基边/基点标准等特殊工具快速测量。 7.具备自动找拐点功能,能按照程序设置进行X轴自动找拐点。8.表面粗糙度评定: R参数、P参数、W参数、核心粗糙度Rcore、Motif等微观粗糙度参数。9.支持公差设置、合格判定。10.支持点cnc .xml .dxf 共3种格式的轮廓对比,如标准轮廓中有标注,可自动计算出对应标注结果。11.支持轮廓扫描数据的修改,包括删除异常点来进行分析。12.支持多条记录按照统一基准进行拼接分析功能。13.支持轮廓特征、标注特征、形位公差的颜色自定义管理。SJ5800广东表面粗糙度轮廓仪可以对零件表面的轮廓度、波纹度、粗糙度实现一次扫描测量,尤其是大范围曲面、斜面进行粗糙度及轮廓尺寸一次性检测,如圆弧面和球面、异型曲面进行多种粗糙度参数(如Ra、Rz等)、微观轮廓度Pt、波纹度参数的测量。如分别对发动机关键零部件节温器内筒、气门摇臂及凸轮轴进行高精度轮廓参数检测。1)节温器内筒轮廓粗糙度检测2)气门摇臂内孔粗糙度检测3)发动机凸轮轴轮廓尺寸及粗糙度检测产品优势专业轴承测量、高稳定、高精密1.SJ5800广东表面粗糙度轮廓仪具有12mm~24mm的大量程粗糙度测量范围,专业测试轴承内外侧。可选专业轴承夹具和滚子分析,方便测试。2.分辨率高达到0.1nm,系统残差小于3nm。3.超高直线度研磨级摩擦导轨、特殊红宝石转轴系统提供转动的超高灵敏度及测量精度。4.高稳定的驱动设计,确保了驱动运行过程中不产生任何的振动及干扰,保障了系统扫描运动精度。 5.精度标定台能对仪器的参数和测针针尖磨损进行修正补偿,使其满足高精度轮廓测量。操作灵活、智能、简单1.轮廓和粗糙度一体测量,无需切换模块。2.测针一键拔插,特殊设计的高刚性拔插结构,无需锁螺钉,方便快捷、稳定可靠。3.各个运动轴都有进行硬件及软件保护,降低人员因操作失误带来的测针及仪器损伤。4.带舵机结构,可防止扫描陡坡时的快速下坠。5.智能恒测力系统,0.5-3mN 测力档位可调,降低了测力变化引起的测量误差,适合测量各类软、硬性工件。6.组合调节控制手柄可快速完成载物台平移,X轴和Z轴定位,测杆上下摆动及速度分级调节功能。7.根据GB/T、ISO、JIS等标准,自动评价粗糙度。8.软件操作界面简洁直观,任何人都能轻松设定和测量。自动、批量、快速测量1.对于简单的工件只需要设置测量长度即可一键测量;对于复杂的工件,对工件任意位置进行分段测量,并做成模板便于轮廓批量测量。2、CNC固定坐标系模式下,可快速精确地进行轮廓批量测量。3.自动保存测量结果,测量完成后可输出测量报告,形式多样。 典型应用部分技术参数型号SJ5800-100轮廓参数测量范围X轴0~100mm立柱轴0~300mmZ轴±6mm(标准测杆)(±12mm:两倍标准测杆)粗糙度参数粗糙度测量参数R粗糙度:Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,Ra,Rq,Rsk,Rku,RSm,Rdq,Rdc,Rmr,Rmax,Rpm,tp,Htp,Pc,Rda,Ry,Sm,S,RzJ;Ra,Rq,Rz,Rmax,RPc,Rz-JIS,Rt,Rp,Rv,RSm,Sm,S,Rsk,Rku,Rdq,Rdc,Rmr;核心粗糙度Rcore: Rk,Rpk,Rvk,Rpkx,Rvkx,Mr1,Mr2,A1,A2,Vo;P轮廓参数:Pa,Pq,Pt,Pz,Pp,Pv,PSm,Psk,Pku,Pdq,Pdc,Pc,PPc,Pmr,Rad,PzJ,Pmax;W波纹度轮廓参数:Wa,Wq,Wt,Wz,Wp,Wv,WSm,Wsk,Wku,Wdq,Wdc,Wmr,Wpc,Wc;Motif参数:R,AR,W,AW,Rx,Wx,Wte;符合标准:GB/T3505-2009,ISO4287:1997,ISO 13565-2:1996,ASME B46.1-2002,DIN/EN/ISO 4287:2010,JIS B 0601:2013,JIS B 0601-1994JIS B 0601-1982,ISO 1302:2002;仪器尺寸(长×宽×高)600×350×850mm仪器总重量约95Kg恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。
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  • 袖珍式便携式表面粗糙度仪给出的参数符合GB/T 3505-2000《产品几何技术规范 表面结构 轮廓法 表面结构的述语、定义及参数》、符合GB/T 6062-2002《产品几何量技术规范 (GPS)表面结构 轮廓法 接触(触针)式仪器的标称特性》。袖珍式便携式表面粗糙度仪适用范围:金属与非金属被测零件表面粗糙度的检测,适用于多种机加工零件、机械加工制造业、检测、商检等部门,尤其适用于大型工件及生产流水线的现场检验,以及检测、计量、商检等部门的外出检定,不会对工件产生损伤。可测量平面、直径大于20mm(经验值)的外圆面、锥面,还可测长宽大于80×30mm的沟槽。独具特点:经过严格的温、湿度试验,适应高温高湿度工作环境,特别是南方潮湿气候测值不受影响。袖珍式便携式表面粗糙度仪特点:u可选择4种测量参数Ra、Rz、Rt、Rq;u校准样块采用光学玻璃基体,由国家计量院鉴定,精度高,不易划伤,使用寿命长;u具有校准功能,操作简单;u广泛用于金属与非金属加工表面的生产现场及外出鉴定的检测;u采用高速DSP处理器进行数据处理和计算,速度快,精度更高;u可选择取样长度0.25 ,0.80 ,2.50;u点阵LED液晶显示,高亮度,无视角,宽温度,适合各种场合;u自动关机功能以及低功耗软硬件设计使仪器工作时间超长;u两种充电方式,专用充电器或计算机USB口充电,可边充电边工作,方便快捷;u传感器测头具有保护门,有效的保护了传感器测头,保证了测量的精度;u外形采用拉铝模具设计,坚固耐用,抗电磁干扰能力显著,符合当今设计新趋势。袖珍式便携式表面粗糙度仪技术参数:测量参数(μm)Ra、Rz、Rq、Rt测量范围(μm)Ra、 Rq: 0.05 um ~ 15.0 um Rz、 Rt: 0.1 um~ 50 um取样长度(mm)0.25 , 0.80 , 2.50评定长度(mm)1.25 , 4.0 , 5.0行程长度(mm)6示值精度0.01示值误差±(7-10)%示值变动性<12%传感器触针针尖圆弧半径及角度针尖圆弧半径:10 μm±1 μm传感器触针静测力及其变化率触针静测力:≤ 0.016N 测力变化率:≤ 800N/m传感器导头压力≤ 0.5N电池3.7V锂离子电池外形尺寸106 mm×70 mm×24 mm重量200g工作环境条件温 度: -20℃~60℃ 相对湿度: 90% 周围无振动、无腐蚀性介质
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  • 中图仪器SJ5700S国内表面粗糙度轮廓仪只需切换不同模块,可对产品进行轮廓形状测量和微观粗糙度测量。仪器采用进口高精度光栅测量系统建立工件表面轮廓的二维坐标,计算机通过修正算法对光栅数据进行修正,最终还原出工件轮廓信息并以曲线图显示出来,通过软件提供的分析工具可对轮廓/粗糙度进行各种参数分析。SJ5700S国内表面粗糙度轮廓仪采用高精度光栅测量系统、高精度研磨导轨、高性能非接触直线电机、音圈电机测力系统、高性能计算机控制系统技术,实现对各种工件表面轮廓进行测量和分析。产品优势操作灵活、智能、简单1.PR型号共用主体,只需切换不同模块,可对产品进行轮廓形状测量和微观粗糙度测量。2.轮廓测针种类共有50种,可广泛应用于多种行业工件测量。3.粗糙度测针种类共有9种,不同规格传感器和针长适用于多种应用场景.4.组合调节控制手柄可快速完成载物台平移,X轴和Z轴定位,测杆上下摆动及速度分级调节功能。5.各个运动轴都有进行硬件及软件保护,降低人员因操作失误带来的测针及仪器损伤。6.轮廓模块带舵机结构,可防止扫描陡坡时的快速下坠。7.粗糙度根据GB/T、ISO、JIS等标准,自动评价粗糙度。 8.软件操作界面简洁直观,任何人都能轻松设定和测量。大量程、高稳定、高精密1.轮廓模块具有X轴200mm的大量程轮廓测量范围,分辨率高达0.1nm,系统残差小于5nm。2.自主研发高精度研磨导轨系统,导轨材料耐磨性好、保证系统稳定可靠工作。3.轮廓模块采用音圈电机测力系统,测力可实现从10~150mN档位可调,测力分辨力可达0.2mN;避免了因周围环境振动带来的测力误差,降低了测力变化引起的测量误差。4.粗糙度模块高精度电感测量系统,粗糙度测量精度高。5.粗糙度模块测力固定1mN,微测力对工件表面损伤小,利于粗糙度精准测量。6.高性能直线电机驱动系统,保证测量稳定性高、重复性好。7.专用标定器能对仪器的参数和测针针尖磨损进行修正补偿,使其满足高精度轮廓/粗糙度测量。自动、批量、快速测量1.轮廓测量时:对于简单的工件只需要设置测量起点、终点即可一键测量;对于复杂的工件,工件的任意位置进行分段测量,并做成模板便于轮廓批量测量。2.粗糙度测量时:工件只需要设置测量长度即可一键测量,重复测量记录到一条数据便于统计。3.轮廓测量在CNC固定坐标系模式下,可快速精确地进行轮廓批量测量。4.自动保存测量结果,测量完成后可输出测量报告,形式多样。 轮廓测量功能1.创建坐标:点线、两点 X、两线等工件坐标系。2.量测工具:矩形框选提取最高点、矩形框选提取矩形框选提取中心点、自动矩形取多点提取线、自动点捕捉取多点提取线、自动矩形提取螺纹中径线、扇形框选提取弧/圆等。3.构建特征:交点、中心点、角平分线、切线、两线内切圆、二次取样、垂线、平行线、特征偏移、两圆弧内切圆、直线旋转等。4.可测几何量:点、线、圆(圆心坐标、半径、直径)、圆弧、中心、角度、垂线、线到线的距离、线到圆的距离、X/Z坐标夹角、坐标差、两点之间总过程距离、面积等。5.形位公差:直线度、圆度、平行度、垂直度、同轴度、位置度、轮廓度等形位公差评定。6.快速工具:坐标标注、两线交点、两线夹角、螺牙框选取交点标注、台阶高、滚珠丝杆、框选Pt、沟槽宽度、偏移点与轮廓相交直线、偏移直线与轮廓相交点、基边/基点标准等特殊工具快速测量。7.具备自动找拐点功能,能按照程序设置进行X轴自动找拐点。8.支持公差批量设置、合格判定。9.支持cnc .xml .dxf 共3种格式的轮廓对比,如标准轮廓中有标注,可自动计算出对应标注结果。10.支持轮廓扫描数据的修改,包括删除异常点来进行分析。11.支持多条记录按照统一基准进行拼接分析功能。12.支持轮廓特征、标注特征、形位公差的颜色自定义管理。13.将所有测量记录进行集中式管理。14.按工件型号、工件名称、检测日期等进行检测信息查询。15.可设置报表模板、批量导出Word、PDF、Excel报表和打印报告,批量统计。 16.可输出Word、PDF、Excel报表并预览,可输出扫描点文本文件txt、prf、dxf 文件。17.支持CNC批量实时输出至excel 模版,可定制模版。18.输出SPC分析报告,可输出统计值(如CA、PPK、CPK、PP等)及控制图(如均值与极差图、均值与标准差图、中位数与极差图、单值与移动极差图)。19.可以输出客户定义格式的Q-DAS文件。粗糙度测量功能1.SJ5700S国内表面粗糙度轮廓仪可依据不同标准JJF /ISO/GB/T等,推荐取样长度、评定长度,进行自动评价粗糙度。2.表面粗糙度评定: R参数、P参数、W参数、核心粗糙度Rcore、Motif等微观粗糙度参数。 3.将所有测量记录进行集中式管理。4.按工件型号、工件名称、检测日期等进行检测信息查询。5.可设置报表模板、批量导出Word、PDF、Excel报表和打印报告,批量统计。6.可输出Word、PDF、Excel报表并预览,可输出扫描点文本文件txt、prf 文件。7.可对一条记录中的重复性测试进行统计,包含最大值、最小值、平均值。8.输出SPC分析报告,可输出统计值(如CA、PPK、CPK、PP等)及控制图(如均值与极差图、均值与标准差图、中位数与极差图、单值与移动极差图)。
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  • 中图仪器SuperViewW光学三维表面轮廓粗糙度形貌测量仪能以3D非接触方式,测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。典型结果包括:表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,台阶高度,锥角等等);几何特征(关键孔径尺寸,曲率半径,特征区域的面积和体积,特征图形的位置和数量等等)。SuperViewW光学三维表面轮廓粗糙度形貌测量仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。产品功能 (1)SuperViewW光学三维表面轮廓粗糙度形貌测量仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例:针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求,中图仪器SuperView W的复合型EPSI重建算法,解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下,只需要确定起点和终点,即可自动扫描,重建其超光滑的表面区域,不见一丝重叠缝隙。特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。性能特色1、高精度、高重复性1)采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统,保证测量精度高;2)隔振系统,能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动,消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声,保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用,获得高测量重复性;2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰,在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外,另在Z轴上设计有机械电子传感器,当镜头触碰到样品表面时,仪器自动进入紧急停止状态,最大限度的保护仪器,降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机,在无外接气源的条件下也可稳定工作。部分技术指标 型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配:0.5×选配:0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配:3孔手动选配:5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸(长×宽×高)700×606×920㎜恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。
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  • 中图仪器SuperViewW白光干涉非接触式轮廓仪测表面三维形貌粗糙度是利用光学干涉原理研制开发的超精细表面轮廓测量仪器。它以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。SuperViewW白光干涉非接触式轮廓仪测表面三维形貌粗糙度具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精细器件的过程用时短,确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。产品功能1)样件测量能力:单一扫描模式即可满足从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量;2)单区域自动测量:单片平面样品或批量样品切换测量点位时,可一键实现自动条纹搜索、扫描等功能;3)多区域自动测量:可设置方形或圆形的阵列形式的多区域测量点位,一键实现自动条纹搜索、扫描等功能;4)自动拼接测量;支持方形、圆形、环形和螺旋形式的自动拼接测量功能,配合影像导航功能,可自定义测量区域,支持数千张图像的无缝拼接测量;5)编程测量功能:支持测量和分析同界面操作的软件模块,可预先配置数据处理和分析步骤,结合自动单测量功能,实现一键测量;6)数据处理功能:提供位置调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功能;7)数据分析功能:提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。8)批量分析功能:可根据需求参数定制数据处理和分析模板,针对同类型参数实现一键批量分析;9)数据报表导出:支持word、excel、pdf格式的数据报表导出功能,支持图像、数值结果的导出;10)故障排查功能:配置诊断模块,可保存扫描过程中的干涉条纹图像;11)便捷操作功能:设备配备操纵杆,支持操纵杆进行所有位置轴的操作及速度调节、光源亮度调节、急停等;12)环境噪声评价:具备0.1nm分辨率的环境噪声评价功能,定量检测出仪器受到外界环境干扰的噪声振幅和频率,为设备调试和故障排查提供定量依据;13)气浮隔振功能:采用气浮式隔振底座,可有效隔离地面传导的振动噪声,确保测量数据的高精度;14)光源安全功能:光源设置无人值守下的自动熄灯功能,当检测到鼠标轨迹长时间未变动后会自主降低熄灭光源,防止光源高亮过热损坏,并有效延长光源使用寿命;15)镜头安全功能:双重防撞保护,软件ZSTOP防撞保护,设置后即以当前位置为位移下限位,不再下移且伴有报警声;设备配备压力传感器,并在镜头处进行了弹簧结构设计,确保当镜头碰撞后弹性回缩,进入急停状态,大幅减小碰撞冲击力,有效保护镜头和扫描轴,消除人为操作的安全风险。针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求,SuperViewW白光干涉仪的复合型EPSI重建算法,解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下,只需要确定起点和终点,即可自动扫描,重建其超光滑的表面区域,不见一丝重叠缝隙。SuperViewW白光干涉非接触式轮廓仪测表面三维形貌粗糙度可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。应用领域对各种产品、部件和材料表面的粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配:0.5×选配:0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配:3孔手动选配:5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸(长×宽×高)700×606×920㎜恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。
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  • 规格:货号CS-3200S4测量范围/分辨力X轴100mm/0.05μmZ1轴(检出器)5mm/0.08μm0.5mm/0.008μm0.05mm/0.0008μmZ2轴(立柱)1μm精度(20oC)X轴±(0.8+0.01L)μm(L=测量长度(mm))Z1轴(检出器)±(1.5+|2H|/100)μmH=水平位置上的测量高度(mm)驱动部直线度(X轴)正常使用下0.2μm/100mm当伸出到最大程度0.4μm/100mm测量速度表面粗糙度测量0.02,0.05,0.1,0.2mm/s(4-step)轮廓测量0.02,0.05,0.1,0.2,0.5,1.0,2.0mm/s(7级)驱动速度X轴(水平方向)0to80mm/s外加手动Z2轴(垂直方向)0to20mm/s外加手动上/下移动300mm(电动)倾角范围±45o检出器检出方式差动感应测力0.75mN测针名称标准测针(用于粗糙度/轮廓测量)针尖角度:60o圆锥,针尖半径:2μm,金刚石针尖圆锥型(用于轮廓测量)针尖角度:30o圆锥,针尖半径:25μm,蓝宝石针尖测针上/下运作适用(可在半空停顿) 注:虽然天然石材测量桌的外观各有不同,但材料的稳定性是值得信赖的。
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  • WD4000晶圆厚度表面粗糙度微纳三维形貌量测系统采用高精度光谱共焦传感技术、光干涉双向扫描技术,完成非接触式扫描并建立3D Mapping图,实现晶圆厚度、TTV、LTV、Bow、Warp、TIR、SORI、等反应表面形貌的参数。它通过非接触测量,将晶圆的三维形貌进行重建,强大的测量分析软件稳定计算晶圆厚度,TTV,BOW、WARP、在高效测量测同时有效防止晶圆产生划痕缺陷。产品优势1、非接触厚度、三维维纳形貌一体测量WD4000晶圆厚度表面粗糙度微纳三维形貌量测系统集成厚度测量模组和三维形貌、粗糙度测量模组,使用一台机器便可完成厚度、TTV、LTV、BOW、WARP、粗糙度、及三维形貌的测量。2、高精度厚度测量技术(1)采用高分辨率光谱共焦对射技术对Wafer进行高效扫描。(2)搭配多自由度的静电放电涂层真空吸盘,晶圆规格可支持至12寸。(3)采用Mapping跟随技术,可编程包含多点、线、面的自动测量。3、高精度三维形貌测量技术(1)采用光学白光干涉技术、精密Z向扫描模块和高精度3D重建算法,Z向分辨率高可到0.1nm;(2)隔振设计降低地面振动和空气声波振动噪声,获得高测量重复性。(3)机器视觉技术检测图像Mark点,虚拟夹具摆正样品,可对多点形貌进行自动化连续测量。4、大行程高速龙门结构平台(1)大行程龙门结构(400x400x75mm),移动速度500mm/s。(2)高精度花岗岩基座和横梁,整体结构稳定、可靠。(3)关键运动机构采用高精度直线导轨导引、AC伺服直驱电机驱动,搭配分辨率0.1μm的光栅系统,保证设备的高精度、高效率。5、操作简单、轻松无忧(1)集成XYZ三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦等测量前准工作。(2)具备双重防撞设计,避免误操作导致的物镜与待测物因碰撞而发生的损坏情况。(3)具备电动物镜切换功能,让观察变得快速和简单。WD4000晶圆厚度表面粗糙度微纳三维形貌量测系统可实现砷化镓、氮化镓、磷化镓、锗、磷化铟、铌酸锂、蓝宝石、硅、碳化硅、玻璃不同材质晶圆的量测。广泛应用于衬底制造、晶圆制造、及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、显示面板、MEMS器件等超精密加工行业。测量功能1、厚度测量模块:厚度、TTV(总体厚度变化)、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI、平面度、等;2、显微形貌测量模块:粗糙度、平整度、微观几何轮廓、面积、体积等。3、提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能。其中调整位置包括图像校平、镜像等功能;纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能;滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能;提取包括提取区域和提取剖面等功能。4、提供几何轮廓分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等;粗糙度分析包括国际标准ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数;结构分析包括孔洞体积和波谷。应用场景无图晶圆厚度、翘曲度的测量通过非接触测量,将晶圆上下面的三维形貌进行重建,强大的测量分析软件稳定计算晶圆厚度、粗糙度、总体厚度变化(TTV),有效保护膜或图案的晶片的完整性。无图晶圆粗糙度测量 Wafer减薄工序中粗磨和细磨后的硅片表面3D图像,用表面粗糙度Sa数值大小及多次测量数值的稳定性来反馈加工质量。在生产车间强噪声环境中测量的减薄硅片,细磨硅片粗糙度集中在5nm附近,以25次测量数据计算重复性为0.046987nm,测量稳定性良好。部分技术规格品牌CHOTEST中图仪器型号WD4000系列测量参数厚度、TTV(总体厚度变化)、BOW、WARP、LTV、粗糙度等可测材料砷化镓、氮化镓、磷化镓、锗、磷化铟、 铌酸锂、蓝宝石、硅、碳化硅、氮化镓、玻璃、外延材料等厚度和翘曲度测量系统可测材料砷化镓 氮化镓 磷化 镓 锗 磷化铟 铌酸锂 蓝宝石 硅 碳化硅 玻璃等测量范围150μm~2000μm扫描方式Fullmap面扫、米字、自由多点测量参数厚度、TTV(总体厚度变 化)、LTV、BOW、WARP、平面度、线粗糙度三维显微形貌测量系统测量原理白光干涉干涉物镜10X(2.5X、5X、20X、50X,可选多个)可测样品反射率0.05%~100粗糙度RMS重复性0.005nm测量参数显微形貌 、线/面粗糙度、空间频率等三大类300余种参数膜厚测量系统测量范围90um(n= 1.5)景深1200um最小可测厚度0.4um红外干涉测量系统光源SLED测量范围37-1850um晶圆尺寸4"、6"、8"、12"晶圆载台防静电镂空真空吸盘载台X/Y/Z工作台行程400mm/400mm/75mm恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。
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  • 表面粗糙度测量功能●粗糙度测量和轮廓测量一体机,极大的节约了安装空间●高分辨力型Z1轴检出器作为标准件提供。Z1轴的最高显示分辨力为0.0001μm(测量范围为8μm时)。●X轴内置高精度玻璃光栅尺,直接读取X轴移动距离,在高精度精准定位下,完成间距参数的评价。●检出器测力有4mN和0.75mN可选。轮廓测量功能●Z1轴(检出器)上配有高精度弧形光栅尺和新型测臂。高精度弧形光栅尺能直接读取测针的弧形轨迹,以实现高精度和高分辨力。与传统型号相比,新测臂使Z1轴测量范围增大了10mm同时减少了工件的干扰。测臂安装部采用了磁性链接件,单此接触就能完成测臂的装卸,提高了易用性。●专为SV-C-4500系列增加了以下两大特性作为轮廓测量系统的专用功能。(1)装配双锥面测针,实现垂直方向(上下)连续测量,所获取的数据实现简单分析以往难以测量的内螺纹有效直径。(2)测力可在FORMTRACEPAK软件中设置。无需调整配重和位置。型号SV-C3200S4SV-C3200H4SV-C3200W4SV-C3200L4SV-C3200S81SV-C3200H8ISV-C3200W8SV-C3200L8SV-C4500S4SV-C4500H4SV-C4500W4SV-C4500L4SV-C4500S8|SV-C4500H8|SV-C4500W8SV-C4500L8• 测量表面粗隨度时
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  • 便携式表面粗糙度仪 400-860-5168转1082
    仪器介绍: 电池供电,用于实验室和现场检测。 显示分辨率高达0.001微米,可显示很小的粗糙度变化。 灵敏度高,易于使用,实验室和工厂表面粗糙度测量的理想选择。可选Ra,Rq,Rt或Rz任一种表面粗糙度参数测量。 菜单控制功能,英寸/毫米、截止长度、采样长度和参数方便选择。 存储参数可在LCD显示上查看或通过RS-232串口下载。可以根据自带的校准标准来校准仪表,校准过程只需一键操作.随机配备:标准校准,RS-232电缆,AC适配器/充电器,携带箱。技术参数59770-20参数范围:Ra,Rq:0.005~16微米Rz,Rt:0.02~160.0微米分辨率:0.001/0.01/0.1微米滤光片:RC,PC-RC,高斯,D-P探测长度:0.05英寸~0.7英寸(1.3~17.5毫米)采样探针:压电探针尖材质:金刚石温度范围:10~45℃电源:可充电锂电池(随机配备)尺寸:2-3/16英寸宽× 5-1/2英寸高× 1-7/8英寸深。
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  • Hommel霍梅尔 德国业纳JENOPTIK粗糙度轮廓测量系统 W800/W900 技术亮点:1.友好的测量评价界面2.超高分辨率的粗糙度轮廊传感器3.机械系统稳定,测量可靠性高4.成熟并精致的测臂与测针技术5.所有测臂与传感器均为磁性连接6.测针自动调零功能,使测针以最佳方式接近被测工件表面 应用:粗糙度轮廊测量仪广泛应用于机械加工、汽车、轴承、机床、模具、精密五金、光学加工等行业。TK400粗糙度传感器广泛应用于表面粗糙度、波纹度、和微观轮廊测量。Digiscan Ⅱ轮廊传感器采用先进的技术,操作安全且简便,可向用户提供非常可靠的测量结果。全新一代SurfscanⅡ和NanoscanⅡ提供粗糙度轮廊一体式测量方案,可以一次性实现表面粗糙度以及半径、距离和角度等轮廊的测量。广东鸿华智慧科技有限公司是德国业纳Jenoptik集团工业测量仪器(霍梅尔Hommel几何计量仪器)国内授权一级代理商、华南地区战略合作伙伴。德国业纳Jenoptik集团,其前身是东德国知名光学公司卡尔蔡司公司,东德国与西德国合并后,政府令其更名,于1991年确名业纳Jenoptik公司。德国业纳Jenoptik集团工业测量仪器主要有德国霍梅尔HOMMEL高精度几何计量仪器(表面粗糙度仪、轮廓测量仪、圆度/圆柱度测量仪等)、德国业纳Jenoptik轴类件光学测量系统、德国OTTO 光学3D扫描测量系统等 品牌及产品线。德国业纳Jenoptik集团每年生产各类测量仪和测量机两千多台套,全球及国内的戴姆勒奔驰汽车、宝马汽车、大众汽车、通用汽车、福特汽车、PSA集团、雷诺汽车、东风汽车、长安汽车、吉利汽车、奇瑞汽车、菲亚特克莱斯勒汽车、长城汽车、上汽集团等几乎所有汽车品牌的动力总成均有采用德国业纳Jenoptik(霍梅尔HOMMEL)公司生产的在线、离线或计量室的检测设备。
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  • Surfcorder SEF680表面粗糙度轮廓一体机,可进行高精度,高水平分析和多功能粗糙度轮廓测量。操作简单,显示一目了然。特点*高精度表面粗糙度轮廓测定机,一机两用,可进行表面粗糙度和轮廓形状测量。*配备有符合最ISO,DIN,ANSI,JIS标准的五十多种评价参数。*一个宽范围,高分辨率的检测器,提供了在同类产品中更优越的高精度测量。*通过简单的一次性操作,可更换形状、轮廓、测定装置与表面粗糙度测量装置,并不必对电缆重新布线。*配有易于操作的操作杆,选定需要操作的轴,即可实现任何的移动。*SEF680配有全息光栅尺,可提高宽/窄范围测量精度和Z轴的分辨率,增加更加稳定的安全系数。*独特的真直度保证。*驱动装置可以任意倾斜45度,更方便不规则样品的量测。
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  • 表面粗糙度仪SST-170介绍 表面粗糙度仪SST-170是新一代袖珍式表面粗糙度仪。它突出特点是体积小、操作简便、测量速度快,适合于在现场快速得出测量结果。具有测量精度高、测量范围宽、便于携带、工作稳定等特点,可以广泛应用于各种金属与非金属加工表面的检测,该仪器是传感器主机一体化的袖珍式仪器,具有手持式特点,可装入衣服口袋,更适宜在生产现场使用。 功能特点1、测量参数:Ra、Rz、Rq、Rt(符合GB/T 3505-2009);2、采用zui新型大规模集成电路芯片,zui大程度减小仪器的体积,使之更便于携带和现场快速测量;3、采用大屏幕128×32点阵的OLED显示屏,突出显示效果,无需背光,无视角;4、采用锂聚合物充电电池,可长时间工作,无记忆效应,可边充电边工作,充电时间短,电池寿命长;5、电路工作稳定,功耗低;6、对传统压电传感器进行优化设计并改进工艺装配,使其稳定性大幅提高;7、采用测头保护门,可有效的保护测头。测量时开启,用完及时关闭;8、充电器与手机充电器通用,方便用户充电。 粗糙度仪产品简介:1、可选择4种测量参数Ra、Rz、Rt、Rq2.校准样块采用光学玻璃基体,由国家计量院鉴定,精度高,不易划伤,使用寿命长;3.具有校准功能,操作简单;4.广泛用于金属与非金属加工表面的生产现场及外出鉴定的检测;5.采用高速DSP处理器进行数据处理和计算,速度快,精度更高;6.可选择取样长度0.25 ,0.80 ,2.50;7.点阵LED液晶显示,高亮度,无视角,宽温度,适合各种场合;8.自动关机功能以及低功耗软硬件设计使仪器工作时间超长;9.两种充电方式,专用充电器或计算机USB口充电,可边充电边工作,方便快捷;10.传感器测头具有保护门,有效的保护了传感器测头,保证了测量的精度;11.外形采用拉铝模具设计,坚固耐用,抗电磁干扰能力显著,符合当今设计新趋势。 技术参数1.测量参数(μm):Ra、Rz、Rq、Rt2.测量范围(μm):Ra、 Rq: 0.05 ~ 10.0 Rz、 Rt: 0.1 ~ 503.取样长度(mm):0.25 , 0.80 , 2.504.评定长度(mm):1.25 , 4.0 , 5.05.行程长度(mm):66.示值精度:0.017.示值误差:±(7-10)%8.示值变动性:<12%9.传感器触针针尖圆弧半径及角度:针尖圆弧半径:10 μm±1 μm10.传感器触针静测力及其变化率:触针静测力:≤ 0.016N 测力变化率:≤ 800N/m11.传感器导头压力:≤ 0.5N12.电池:3.7V锂离子电池13.外形尺寸:106 mm×70 mm×24 mm14.重量:200g15.工作环境条件:温 度: -20℃~40℃ 相对湿度:90%周围无振动、无腐蚀性介质 SST-170粗糙度仪标准配置:SST-170主机 1个多刻线校准样块1个支架1个充电器1个数据线1根说明书1份合格证1份保修卡1份
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