高精度激光位移计

激光位移传感器必须同时具备速度，精度和卓越性能，以便胜任所有应用。LK-G5000 采用了国际顶尖技术，力争在各个方面都做到世界最佳。 根据目标物将激光强度自动调整到最佳状态 如今，构建良好的ABLE 控制更加强劲。ABLEII 通过平衡激光发射时间、激光功率和增益这三种要素，能够智能优化RS-CMOS 功能。此外，ABLE II 具备高速的追踪能力，比常规型号要快八倍。 LK-G5000 系列专用的超高再现性/ 高速CMOS 传感器 &ldquo 高 速&rdquo 和&ldquo 高重复精度&rdquo 同时实现。双端口数据传输功能能够以更高的速度传输更高像素的数据，从而使重复精度翻倍。使用四倍速度还能实现更高速的传输。此外， 使用全新开发的HDE*物镜，可以拥有高度定义的接收光波形和双倍的像素重复精度。因此，KEYENCE 实现了高精度和高再现性，具备胜任高难度应用的能力。 *HDE 物镜= 高精度Ernostar 物镜 LK-G5000 系列 产品目录：

皮米精度位移激光干涉仪（可试用）姓名：谷工(Givin)电话：（微信同号）邮箱： 昊量光电推出的皮米精度位移干涉测量仪quDIS是对纳米级别的位移波动进行量测的理想仪器，基于其独特的测量原理，相对距离的重复精度达到了前所未有的50皮米。quDIS可同时支持三个测量通道，使其可以适用于任意的多轴测量中。quDIS在原理上同样采用激光干涉法，不过与传统激光干涉仪相比，其集成了法珀腔（Reference cavity）及饱和吸收气室（GC）作为频率校准参考，通过激光波长调谐扫描，比较两种不同的干涉图样，可以实现其它设备所不具有的绝对距离测量，基于这种测量方式，使得quDIS相对其他产品测量距离可以达到20M的同时保持高精度，且与信号对比度和强度无关，由于使用整个干涉模式来提取位移信息，因此不存在非线性误差。此外，quDIS不仅可以获得位置、速度和加速度等信息，折射率、反射率或表面倾斜度等信息也可以从实时信号中提取得到。独特的法珀腔+饱和吸收气室构造 波长的线性变化的引入在此构造下使得绝对距离的测量成为可能！干涉传感头 激光束的成型是通过不同的传感器头来实现的，根据反射目标的不同，不同的应用都需要不同的准直、聚焦和光束剖面约束。quDIS的传感器头均基于光纤设计。quDIS为常规情况下的使用提供标准准直仪和定焦传感头，同时根据具体的需要以及恶劣环境下的应用，也设计了响应的特殊传感头。 用于测量高温漂移物体的传感器头的设计 镍铁合金制造的低热膨胀系数准直头产品特点： 多维度多通道位移干涉器，操作简单，即插即用 相对距离和绝对距离测量 完善的全套系统配置 实时输出数字化图像 针对不同应用提供各种传感接头及反射模块组合解决方案 长期使用保证稳定性 兼容真空与各种恶劣环境独特优势： 绝对距离高精度测量！ 不存在非线性及周期性误差！ 相对距离信号稳定性0.05nm！ 工作距离最大20m（与传感头相关） 目标最大速度1m/s 三个传感接口，可实现多设备同步 探测器分辨率达到1pm应用领域： 极限环境下振动分析 缓慢漂移及热膨胀检测 精密设备位置控制 纳米级位移测量 层状结构中间隙和边缘的测量 位移和振动精度评估皮米精度位置测量仪参数列表：干涉仪传感头光源DFB激光器分辨率1pm功率400uW相对距离稳定性 0.05nm波长1535nm绝对距离精度0.2nm/mm线宽5MHz带宽25kHz传感器通道3工作距离0.1—20m光纤输入端口FC Narrow-Key-Slot目标速度1m/sMating Sleeves传感头真空同步多台设备同步低温

中图仪器SJ6000长距离高精度长度激光干涉测量仪集光、机、电、计算机等技术于一体，利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点。SJ6000长距离高精度长度激光干涉测量仪结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品配置SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。主要镜组图其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。在机床领域中的应用1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿在计量检定领域的应用1、测长机检定传统的测长机示值误差主要采用量块进行校准，受环境因素影响较大，校准条件要求高，且量程大于1m的测长机需要分段校准，效率低，而使用激光干涉仪进行校准，不仅可以提高效率，还可通过环境补偿单元对空气温度、压力、湿度和材料温度进行补偿，提高校准精度。2、三坐标测量机示值误差测量随着三坐标测量机技术的更新和发展，使用传统的量块、球板等已经难以满足大型三坐标测量机的检测要求，激光干涉仪测量准确度高，测量范围大，测量数据丰富，适合测量三坐标各项几何误差。3、位移传感器检定利用SJ6000长距离高精度长度激光干涉测量仪对位移传感器检定成为发展趋势,其特点是测量精度高、反应速度快、易于数字化测量。在测量中设计一个精密导轨,将反射镜同被测传感器放在一起同步检测,从而形成对比，位移传感器自动检定系统与SJ6000激光干涉仪(标准)对定长位移进行测试对比,得出往复测试实验结果。4、影像仪定位精度测量影像仪传统检测方法采用线纹尺比对法进行，存在着检测精度低、测量系统误差大、成因分析功能缺失、改善方向不精准、 检测效率低下等问题。使用激光干涉仪可以对影像仪的定位误差进行快速检测，对测量数据进行运算分析，利用软件生产补偿文件快速实施二维平面多点位补偿，可大大降低设备制造过程中的精度检测难度、提升检测效率及补偿效率。

SJ6000中图高精度单频激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。工作原理激光干涉仪利用激光光束的干涉原理来测量物体的形状和表面的高度差异。其原理是基于两束相干光在空间交叉的地方发生干涉，形成干涉条纹，通过测量干涉条纹的变化来推断被测量物体的参数。测量原理激光干涉仪的测量原理主要包括相位测量和位移测量。相位测量是通过测量干涉条纹的相位差来计算被测量物体的形状、位置等参数；位移测量是通过测量干涉条纹的位移来确定物体的位移量。这两种测量原理在不同应用场景下有着各自的优势和适用性。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。高精度性能特点SJ6000中图高精度单频激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。SJ6000中图高精度单频激光干涉仪采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。在机床领域的应用激光干涉仪是一种能够测量机床精度的高精度测量装置。它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点，在机床加工领域有着广泛的应用。1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

中图超高精度激光干涉仪sj6000集光、机、电、计算机等技术于一体，具有测量精度高、测量速度快、测量范围大、最高测速下分辨率高等特点。产品配置SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。主要镜组图其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。线性测量配置线性测量（线性轴位置精度测量的简称）配置主要由SJ6000主机、EC20环境补偿单元、线性镜组、SJ6000静态测量软件等组件构成，可满足0~80m范围内的线性测量。其中，线性测量包括定位精度测量、重复定位精度测量和设备反向间隙测量等。线性测量应用SJ6000激光干涉仪广泛应用于机床、三坐标、机器人、3D打印设备、自动化设备、线性位移平台、精密机械设备、精密检测仪器等领域的线性测量。中图超高精度激光干涉仪sj6000结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）中图超高精度激光干涉仪sj6000具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。测量软件（1）友好的人机界面；（2）丰富的应用功能模块；（3）向导式的操作流程；（4）简洁化的记录管理；（5）支持中文、英文和俄文界面；（6）支持企业专属模板定制。

SJ6000机床检测高精度环境补偿激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率，适用于各种复杂的运动系统。SJ6000激光干涉仪结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。测量软件（1）友好的人机界面；（2）丰富的应用功能模块；（3）向导式的操作流程；（4）简洁化的记录管理；（5）支持中文、英文和俄文界面；（6）支持企业专属模板定制。产品配置SJ6000机床检测高精度环境补偿激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。主要镜组图其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。线性测量应用SJ6000激光干涉仪广泛应用于机床、三坐标、机器人、3D打印设备、自动化设备、线性位移平台、精密机械设备、精密检测仪器等领域的线性测量。SJ6000机床检测高精度环境补偿激光干涉仪非接触式、高精度的特点为制造业提供了一种精密的测量检测方式。在机床加工领域有着广泛的应用：1、测量机床导轨的直线度和平行度；2、测量机床工作台的平面度和垂直度；3、测量机床主轴的同心度和轴向垂直度；4、此外，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性等。部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

皮米精度位移激光干涉器 - attoFPSensor attocube公司生产的attoFPSenor系列位移激光干涉器充分满足了高分辨位移与定位的工业和科研需要，其紧凑的设计和稳定性可以在端环境中使用，在大的位移测量范围内，达到25pm的位移分辨率和10MHz的采样速率，应用范围遍及闭环扫描器校准、样品或模块位移、加工业、引擎位移探测等领域。+ 简单易用，attoFPSensor自动软件控制与校准+ 测量速度快，attoFPSensor定位样品采样带宽10MHz，分辨率25pm+ 实时数据采集界面，attoFPSensor利用Ethernet或HSSL实现定位数据的实时输出+ 多轴同时测量，attoFPSensor配有立的三轴定位器，允许同时位移测量、数据处理、和定位输出+ 度高，attoFPSensor锁定分子吸附频率做参考值，得到的定位信息具有测量学意义+ 上小体积的位移测量干涉器，15mm直径和12mm长长时间使用仍可保持picometer稳定度和精度探测目标振动简单可靠attoFPSensor具有高的信号稳定性，如上图时间与位移变化的关系所示：在20mm工作距离下，其2σ为0.286nm在70mm工作距离下，其2σ为0.530nm；在120mm工作距离下，其2σ为1.035nmattoFPSensor不仅是功能强大的实时位移探测设备，而且它还是一个振动器。上图是测量attocube位移器ANPxyz得到的结果。 attoFPSensor技术特点attoFPSensor特优势+ 多维度位移干涉器+ 完备的系统配置+ 实时数字化界面+ 高速FPGA控制单元+ 10MHz采样速率+ 大1m/s样品位移速率，可选配更快速率+ 基于单模光纤的探测器+ 兼容真空与端环境+ 高带宽位移探测+ 闭环位移控制+ MHz范围内的振动测量+ 目标样品热负载75uW+ 探测器无需进行电子器件链接+ 工业化设计+ 其可靠与稳定

TC 系列激光位移传感器 激光测距传感器 尺寸:154*81*40(mm) 如今，工业或者平常的任何领域的自动检测和控制的方法中，除了超声波传感器和普通光电传感器外，又增加了一个能解决长距离测量和检验的新方法—激光位移传感器（亦叫激光测距传感常见叫它激光距离传感器）。它为各种不同场合提供了应用的灵活性。 TC系列激光位移传感器采用激光非接触方式来自动测量静态或动态的物体间的位移量，传感器距被测物体间的直线距离，监测物体的长度，宽度，厚度，实时显示采集结果，不需反光板。是一款长距离，精度高的工业场合使用的产品。内部采用了德国进口测距仪，大大提高了测量精度和抗干扰能力，信号输出稳定，结实的工业外壳，IP65的防护等级，抗振冲击能力强都是这个系列的突出特点。雾天，雨天，灰尘，粉尘等对测量结果影响不大。高精度激光位移传感器外形尺寸小，易于安装，设置功能齐全，操作方便，带有RS232(USB)，RS485,，RS422，0-10V,4-20mA，开关量等输出接口，配有软件。可广泛用于钢铁工业，冶金工业，汽车工业，纺织工业，印刷工业，食品工业，机器人控制，还用于产品厚度检测，相对距离位置检测，高度检测等等场合。免费提供检测方案。 型号 技术参数TC-01TC-10TC-10G（国产模块）TC-30TC-70TC-100TC-200量程1m10m10m30m70m100m200m精度1mm1mm2mm1mm1mm1mm1mm输出频率TC-10G采样频率1Hz,其他型号都是 1-15Hz(取决于物体表面反射材料）工作电压标准24V输出信号模拟量 电压0… 5V，0… 10V，电流4… 20 mA（可接工业PLC，二次仪表等终端设备，通过软件可以任意设置距离对应模拟量信号大，小值），数字量 RS232，RS485，开关量（任一种可选），（可通过软件设置不同的地址，方便编程通讯，通过串口或USB连接笔记本，在笔记本上实时显示，也可加PDA显示屏，LED屏等其他终端设备实时接收显示数据。开光量输出的可以任意设置距离，到达设定距离给一信号，通或者闭。（可以定做无线输出，需要时请特别说明） 工作方式两种方式，一种上电工作，上电后即自动进入连续测量，一种命令控制，输入命令进行测量，可设置调整 激光特性红色激光，波长620--650nm 激光等级2级 光斑类型点或线 功耗1W外壳材料铝合金镀膜或喷塑 窗口玻璃窗口 使用寿命50000小时 工作温度-15...50℃（加高低温保护措施，可使范围增大，需要时请说明）保存温度-20...70℃ 防护防尘，防烟，防雾，防水溅，抗震 应用领域 工业料位，液体液位的测量，一般物体及传送带上的物体宽度，高度，厚度测量，原木、线圈的直径测量，行吊XY定位、集装箱定位、靶距测量、船舶安全靠距、电梯上下运行距离监测、大型工件装配定位、运动物体位置监控、电气化铁路接触网测量、铁路建筑物限界测量以及江河湖海等的水位测量。 案例测量传送带上木块宽度 在传送带的两个侧面的对面安装两个激光位移传感器，当木块经过两边的传感器时每一个传感器测出距离木块的距离，设定其中一个为L1，另外一个为L2，将L1和L2的模拟量数据信息输入到PLC，PLC将两个传感器之间距离的总和减去L1和L2的距离，得出木块宽度W。

产品描述MicroD系列高精度激光测距仪采用激光频率调制技术，将周期性脉冲叠加在激光束上，通过寻找距离周期的小零点获得距离信息。通过采用精密光学调制技术，提高调制频率、增加频率带宽和频率分辨力使得MicroD避免了传统激光测距仪的固有电学缺点，提升了传统绝对距离测量技术的精度，使得测距精度优于10μm。外界环境条件尤其气温、气压和相对湿度的变化也会较大程度影响采用激光技术进行测距的精度，MicorD系列激光测距仪可配置综合气象站，可对不同外界环境条件下激光波长的影响进行补偿。功能特点1、高精度绝对距离测量MicroD系列高精度激光测距仪采用精密光学调制技术，提高调制频率、增加频率带宽和频率分辨力，避免传统激光测距仪的固有电学噪声，提升绝对距离测量技术的精度，使得测距精度优于10μm。2、望远镜辅助瞄准系统配置高倍率望远镜，符合人眼安全标准的ClassII 633nm指示光，精细光束结构调节装置，在机信号强度指示器组合望远镜辅助瞄准系统，迅速将测量光束对齐到远距离标靶上。3、支持360°任意方向测量通过采用单向底座和回转底座，支持单向和360°任意方向两种测量形式，每种测量底座都具有光束微调装置。回转底座还具有±15°俯仰瞄准范围，精密的回转轴心使得测量范围扩大1倍。4、气象站环境补偿配置高精度综合气象站，采集气温、气压和相对湿度等环境参数，实现对激光波长的自动补偿，极大减少外界环境条件对测量精度的影响。5、可编程数据接口仪器测量软件具有距离测量管理、反射光强度监视、测点重复精度、设置环境参数补偿等功能，并提供可编程数据接口，方便二次开发。部分技术指标型号MicorD600基本规格主机尺寸(mm)255×85×204底座尺寸(mm)单向底座122×194×77回转底座Φ216×185整机重量5.6Kg防护等级IP53测量性能最大测量半径60米最小测量半径2.5米测量精度±10μm (全程)测量方向单向360度俯仰范围±15°环境要求工作温度0℃~40℃相对湿度0~95%,无凝露电源供电供电类型交流电电源220±10%VAC,50/60Hz,5A,60W如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台产品负责人：姓名：李工(Maple)电话：（微信同号）邮箱： 昊量光电推出全新一代高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台，在保证纳米级精度（双向线性可重复性30nm）的前提下可以达到80kG（可选）的中心负载。 10 多年来，ALIO 一直专注于纳米精密运动和可重复性。由 ALIO 引入的 Nano Point Precision™ 6-D 和 True Nano™ 概念现已被 NIST 采用，并被认为是未来运动系统测量和量化的标准方法。 Nano Point Precision 6-D 包括移动工作台的所有 6 个误差自由度：它允许您根据精确点（在 3D 空间中）指示“精度数字”，并用于许多应用，从激光处理到计量。ALIO 生产一系列线性运动控制解决方案，这些解决方案的设计和制造符合可保证其性能的标准。该公司的机械轴承台可以以任何空气轴承台无法复制的精度水平运行。 在用户群体中，ALIO 提供了超精确且具有成本效益的运动控制解决方案，即使对于苛刻的应用也是如此。该公司由一支无与伦比的杰出工程师团队组成，他们痴迷于纳米级运动控制，并尽可能突破感知界限。高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台 带有交叉滚子轴承的整体式 XY 系统 凭借纳米直线度和纳米平面度，您可以放心，您的精度是 True Nano。该系列位移台还提供中间开口和 50 毫米至 450 毫米的行程。标准的双向可重复性小于 50 纳米，但对于更苛刻的计量和生产需求，可以提供双向可重复性为 10 纳米配置（可选）。 纳米精度由 NIST 可追溯数据保证，而不是由数据表中指示的数字保证。 也可提供不对称版本（不同的 X 和 Y 行程）。高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台 带有伺服电机 CM的直线工作台 由 ALIO 设计的带有伺服电机的直线工作台是希望在不牺牲 True Nano 精度的情况下限制成本的客户的理想解决方案。带有 CM 伺服电机的工作台仍然具有 ALIO 6-D 精度，但由于力较小，它们适用于所有需要低水平加速度和力的应用。该系列中的板使用集成在其他 ALIO 产品中的相同精密防滑轴承。可提供从 25 毫米到 400 毫米的行程。高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台 定制化需求 ALIO 真正定制其核心运动控制解决方案的能力使其与替代解决方案提供商区别开来，通过精确匹配 OEM 客户的需求以及推动纳米精密应用的极限，提供显着的附加值。高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台 详细参数请下载数据单

高精度六轴位移台/六足位移台Hybrid Hexapod姓名：谷工(Givin)电话：（微信同号）邮箱：昊量光电推出全新一代高精度六轴位移台/六足位移台Hybrid Hexapod采用了与传统6自由度(6-D)定位设备不同的方法，并以极具竞争力的价格展示了更高的性能。六轴位移台Hybrid Hexapod结合了精密XY单片工作台、三脚架和连续旋转的Theta- Z轴，而不是6个独立的腿(和12个连接接头)，提供卓越的整体性能。这使得传统的六足位移台运动学过时了，在精度、路径性能、速度、刚度和更大的工作范围上都有了数量级的改进，几乎可以无限的XY行程，完全可编程的工具中心点位置。高精度六轴位移台/六足位移台Hybrid Hexapod具有小于100nm的三维6轴点精度重复性，使其成为激光加工、光学检测、光子学、半导体、计量和医疗设备领域以及所有微加工项目的关键任务应用的关键技术。传统的六足位移台无法达到亚微米的精度，因为它们需要精确协调所有六个轴的运动来完成一个运动轮廓，即使这个要求只是一个简单的单轴运动。此外，尽管人们普遍认为六足位移台比串行堆叠的多轴系统表现出良好的刚度，但这实际上只是在垂直的“Z”轴上，在“XY”平面上存在弱点。产品举例：详细参数请下载数据单高精度六轴位移台/六足位移台Hybrid Hexapod迷你六轴位移MINI Hybrid Hexapod是自动镜头对准/粘接到ccd阵列的理想选择。它在构建相机阵列模块、平移式OIS、用于手机相机和无人机等日常产品中的微型相机的望远镜集成镜头方面都很有帮助。任何需要6度自由定位的纳米/弧秒级增量运动和重复性的应用都非常适合该产品，因为产品传感器分辨率的提高推动了对更高精度的需求。大角度六轴位移台Angulares Hybrid Hexapod到目前为止，大角度六轴位移台Angularstm Hybrid Hexapod的60度tip/tilt行程是市面上任何六自由度(6-DOF)定位器所能提供的zui大角度行程范围。它非常适合应用于非球面和自由曲面光学计量，硅光子学封装和探测，激光微加工(非平面基片和锥度控制)，晶圆计量，相机模块对准和装配，传感器/图像稳定测试，以及光学元件和光纤对准。大角度六轴位移台具有精密交叉滚子轴承导轨，光学增量或绝对编码器反馈在所有轴，直线电机和/或伺服滚珠丝杠驱动器，无限可编程的工具中心点位置和坐标偏移，和零后座力。它能够无限XY位移,Z轴位移在使用其它三脚架模式下62mm增加到208mm，连续360度Theta-Z下的60度tip/tilt行程(+/- 30度)， XYZ双向重复性小于+/- 0.6角秒，速度高达100mm/s XY和Z，小于10nm的线性和0.1弧秒的小增量角运动。几种定制化配置：

一、概述 激光位移传感器采用低功耗微处理器、24bit高精度AD转换器和长距离通信技术，配备高精度激光传感器探头, 具有线性好、功耗低、量精度高、传输距离远、性能稳定、抗干扰能力强。传感器采用一体式结构，安装简单方便，USB接口，直接从USB口取电，无需外接电源，和数据采集设备，安装灵活方便。主要用于测量振动位移、泥沙移动等位移测量实用场合。每个传感器可单独驳接计算USB接口,也可通过RS485链接到UBK系列数采集仪多通道同步采集使用（最多可接128支同步测量），运行传感器采集软件，即可在计算机上实时显示、保存波形数据。计算机软件显示、监测和存储测量过程曲线，数据文件支持TXT格式和EXCELL文件格式输出。二、产品特点? 数字化：数字量输出，无需率定、无需其它采集设备，接上计算机USB即显示位移 时间曲线。? 高集成：集传感器、供电、采集、信号放大于一体，减少现场繁琐布线。直接连接电脑USB或集线器（6只以上），得到压力时间曲线。? 智能化：即插即用。通电后传感器自诊断、自连接，自平衡、参数自动加载。 ? 高精度：24位 A/D转换器，常规精度为0.1%。? 网络化：通用485工业总线，方便地组成网络化的压力测量系统三技术指标 测 量 范 围：200～600mm（范围内可选可定制） 精 度：±0.1%• FS 分 辨 率：0.1mm 采 样 频 率：1000Hz～0.1Hz多档可选 响 应 时 间：≤1ms 数 据 接 口：RS485、USB、4芯航插（可选） 长期稳定性：≤±0.1%• FS /年 温 度 漂 移：±0.03%• FS/℃ 光斑直径：≤φ1mm 电 源：4～9V DC ，工作电流80mA 工 作 温 度：0～55℃ 存 贮 温 度：-50℃～+65℃四、便捷连接

激光位移传感器一、产品介绍高精度激光位移传感器是利用几何三角原理，通过测量传感器发射的激光光束，被被测物体表面反射回来，在传感器内部的PSD（光敏位置器件）或线阵CCD上的成像位置来计算目标物距离的探测系统。 激光位移传感器主要用于短距离、高精度测量，其系统测量精度可达1um，分辨率0.1um，满量程线性度0.1%。激光位移传感器可对被测量物体的位置、位移等变化实现非接触测量，其主要应用于检测物的位移、厚度、振动、距离、直径等几何量的测量,检测物体的弯曲、变形、平整度、斜度。生产过程中质量控制和尺寸测量及检验。二、技术指标技术参数： 频响:500Hz工作温度:0~40℃激光防护等级:二级，功率1mW电源电压输出接口:RS232/RS485,2组开关,0-10V模拟电压输出或者4-20mA电流输出

中图仪器GTS高精度空间坐标激光跟踪测量仪是高精度、便携式的空间大尺寸坐标测量机，主要用于百米大尺度空间三维坐标的精密测量。它集激光干涉测距技术、光电检测技术、精密机械技术、计算机及控制技术、现代数值计算理论于一体，在大尺度空间测量工业科学仪器中具有高精度和重要性，是同时具有μm级别精度、百米工作空间的高性能光电仪器。中图仪器GTS激光跟踪测量系统已经发展出三自由度激光跟踪仪和六自由度激光跟踪仪家族系列，可以和多种形式的合作目标测头配合使用：1、GTS3000激光跟踪仪与光学回射靶球配合组成三自由度激光跟踪仪，能对大尺度空间内的点、线、面、曲面等几何特征进行精确测量；2、GTS6000激光跟踪仪与空间姿态探头配合组成六自由度激光跟踪仪，能够根据合作目标的精确空间姿态对被测工件的内部特征、隐藏特征或曲面等复杂特征进行快速、高精度的测量。功能特点1、主机测量系统（1）集成化控制主机设计强大CPU处理能力、紧凑型的控制主机内置于激光跟踪头，主机集成化的设计大大减少设备连接线缆和携带箱体数量，方便现场快速安装。（2)目标球自动锁定技术目标锁定相机在断光时会在小范围内自动搜索到目标球，完成断光续接，自动锁定目标球，全过程不需人为操作，提高测量效率。（3）HiADM测距技术激光绝对测距（ADM）和激光干涉测距（IFM）融合技术（HiADM），将激光干涉测长的高动态速度与激光绝对测距功能相结合，保证测量精度，并实现挡光恢复。（4）一体化气象站一体化的环境气象站自动监视及更新环境气象参数，实时补偿温度、空气压力和湿度对激光在空气中空气折射率的影响，保证测量的准确性。（5）MultiComm通信设备与电脑之间可以通过硬件触发、有线网络或无线WIFI等多种方式数据通信，方便保密车间的现场使用，最高测量数据输出速度1000点/秒。（6）便携性运输集成化主机设计的激光跟踪头，集成式的配件运输箱，使得整个运输箱体系统体积小、重量轻，并且便于在不同的工作地点之间进行运输。（7）密封防护设计IP54防护等级，保证主机免受灰尘和其他污染物的进入，环境适用性强。（8）稳固三脚架稳定、便捷的三角架和底盘设计确保稳定的地面测量条件，灵巧升降机构设计省力操作，稳固的三角支撑系统避免环境震动带来的精度损失。2、iProbe 6D姿态探头iProbe 6D姿态探头采用机器视觉和重力对齐的传感融合技术，通过探头的局部坐标系和系统整体坐标系的配准变换解算测球的空间位置；不仅能对点、线、面、曲面等几何特征进行精确测量，而且能够根据探头的精确空间姿态对被测工件的内部特征、隐藏特征进行快速、高精度的测量。3、iTracker 6D姿态智能传感器iTracker 6D姿态智能传感器采用主动反向跟踪和重力对齐技术，在测量时实时地调整探头的姿态并始终正对锁定测量激光束，通过运动学模型精密解算目标的三维空间位置坐标和空间姿态角度，可以测量非常宽范围的俯仰角和偏航角。4、EyeScan跟踪式激光扫描系统EyeScan跟踪式激光扫描系统，采用视觉动态跟踪技术，实时跟踪定位扫描头的空间位置，配合跟踪仪，可实现大中型物体的实时高精度扫描。操作简单，无需贴点。5、SpatialMaster空间测量软件SpatialMaster（简称SMT）是一款自主研发，专为大尺寸测量设备如激光跟踪仪配套使用，并且通过PTB认证的通用三维测量分析软件。SMT支持多个任意类型的仪器同时测量，测量数据可溯源的，具有强大的数据处理分析功能，支持生产制造过程中的几何尺寸公差(GD&T)评定，此外SMT具有优秀的用户交互性，方便灵活的分析报告功能。6、RobotMaster机器人检测校准套件基于GTS激光跟踪仪的RobotMaster机器人套件为工业机器人空间绝对位置精度测量标定和性能检测提供高效可行的解决方案，既提供基于光学靶球的经济方案，也提供基于6D姿态智能传感器的增强方案。在大尺寸精密测量领域，GTS高精度空间坐标激光跟踪测量仪具有测量范围大、精度高、功能多、可现场测量等优点，取代了大型固定式三坐标测量机、经纬仪、全站仪等许多传统测量设备，在设备校准、部件检测、工装制造与调试、集成装配和逆向工程等应用领域显示出高测量精度和效率，激光跟踪仪已成为大尺寸精密测量的主要手段，在实践中可以为为航空航天、汽车制造、重型机械制造、重工与船舶、科学研究、能源等领域等行业提供可靠的技术保障。应用领域在航空航天领域对飞机零部件及装配精度的测量；在机床行业中对机床平面度、直线度、圆柱度等的测量；在汽车制造中对车型的在线测量；在制造中对运动机器人位置的精确标定。此外，GTS高精度空间坐标激光跟踪测量仪还可以广泛应用到造船、轨道交通、核电等先进制造各个领域。

SA系列 激光位移传感器CMOS三角法测量型位移传感器。具备高精度、高稳定等特性，多种量程可选。超小体积尺寸，适用于多种安装环境。内置放大器，白色数显及面板设置，使用简易。● CMOS三角测距法，精确的测量精度 ● 超小体积尺寸，适用于各种安装环境 ● 配备多样化功能及测量模式，轻松应对多种应用需求 ● 内置放大器，白色数显及面板设置，使用简易 ● 坚固金属外壳，防护等级达IP67 ● 多种型号可供选择，满足不同应用场景需求 ● 经济款位移传感器，高性价比

λ/1000超高精度激光干涉仪!姓名：陈工(Jack) 电话： 邮箱：爱沙尼亚Difrotec公司的激光干涉仪是市场上高精度干涉仪的标杆产品，测量精度可达0.6nm(λ/1000). 其标杆产品D7激光干涉仪采用点衍射技术，主要用于高精度的表面（平面,球面,非球面,自由曲面）检测及透射波前检测。产品参数：产品特点：测量光路示例：

771系列高精度激光频谱分析仪771系列高精度激光频谱分析仪及波长计适合于用户在测试激光波长的同时希望分析激光的频谱信息。本设备可测试连续激光，准连续激光（重频10MHz）和脉冲激光（重复频率50KHz，脉冲宽度50ns）；375nm-12um波段均有合适的型号；用户可以非常方便的获得高精细度激光纵模结构，纵模稳定性，激光线宽等信息。771系列高精度激光频谱分析仪产品特点：●既可测量激光波长，又可同时分析激光的频谱信息；●可以获得高精细度激光纵模结构，纵模稳定性，激光线宽等信息；●波长绝对准确度高达±0.2ppm；●内置稳频He-Ne激光器实时校准 ；●工作范围可见光-远红外可选；●便捷的预准直光纤输入口；●USB接口电脑通讯，且提供指令包用于客户二次开发； 产品型号771A771B被测激光类型连续激光，准连续激光（重频10MHz）和脉冲激光（重复频率50KHz，脉冲宽度50ns）波长范围VIS：375-1100nmNIR：520-1700nmIR：1-5umMIR： 1-12umVIS：375-1100nmNIR：520-1700nmIR：1-5umMIR： 1-12um绝对精度 ±0.2ppm±0.75ppm±0.0002nm@1000nm±0.0008nm@1000nm±0.002cm-1@10,000cm-1±0.008cm-1@10,000cm-1±60MHz@300,000GHz±225MHz@300,000GHz频谱分辨率标准分辨模式：4GHz(8GHz for IR)高分辨模式：2GHz(4GHz for IR)内置校准源稳频He-Ne激光器标准He-Ne激光器显示位数9位8位显示单位nm，um，cm-1，GHz，THz输入方式VIS/NIR：光纤耦合输入IR／MIR：准直光输入 (带指示光)预热时间15分钟无需预热体积(H×W×L)VIS/NIR：142mm×165mm×381mmIR／MIR：191mm×165mm×381mm

LG-2MM激光测微仪为非接触式测量仪，它的量程为2mm，更换不同测头测量范围可达10mm，静态分辨率可达7.6nm。 特性 • 激光测量 • 量程0~2mm • 高精度 • 非接触测量 • 采样频率40kHz

1.采用高功率高稳定紫外激光器直接烧蚀气化材料，μm级加工孔径，μm级热影响区；2.通过进口精密振镜高速高精度控制光束偏移，实现高速小幅面精密微孔加工；3.通过微米级高速直线电机平台平移实现高速高精度大幅面微孔加工；4. Z轴电动可调，以适应不同厚度材料，满足特定锥度孔加工要求；5.旁轴超分辨率工业相机用于振镜全幅面误差校正、超高精度的对焦、以及在线测量，保证系统长期使用稳定性和精度；6.系统采用大理石台面，提升系统的综合稳定性，所有机械部件精心选配以保证长期精度；7.最小加工微孔孔径5μm，整体加工精度±4μm，局部特征精度＜3μm，加工幅面300*300mm；8.用于金属、陶瓷、硅片、玻璃、有机物等材料精密微加工，如微孔加工、精密切割。激光精密微孔加工相比电火花微细孔加工、机械钻孔、化学腐蚀、机械冲孔等等，具有以下优点：高速（最高每秒4000孔）高精度（＜3μm）无材料限制（金属、陶瓷、硅片、有机物等等）孔型可编程（最小5μm、特定锥度孔）分布可定制（加工幅面300mm*300mm)，无需模具和掩膜无污染无耗材直接加工成型

英国真尚有_低成本定制型激光位移传感器|点激光传感器|ZLDS100 英国真尚有ZLDS100激光位移传感器是数字化集成一体化结构，具有0.01%高分辨率，0.05%高精度，以及160KHz高响应，IP67高防护等级的优点。可同步等高性能，工作温度范围广，特别适用工业环境高精度应用。 除标准系列产品外，还可根据用户特殊需要定制。主要特点：基本原理是激光三角反射法： 半导体激光器①被镜片②聚焦到被测物体⑥。反射光被镜片③收集，投射到CMOS阵列④上；信号处理器⑤通过三角函数计算阵列④上的光点位置得到距物体的距离。应用领域：广泛用于火车轮轮缘轮廓测量、平整度测量。也可用于非接触测量位移、三维尺寸、厚度、物体形变、振动、分拣及玻璃表面测量等。技术规格：除标准产品外，该产品系列还支持定制起始距离、量程等等。

高精度激光扫描显微镜高精度激光扫描显微镜-NESSIE是美国密歇根大学衍生公司MONSTR Sense Technologies潜心研制。开创性的设计使其外形小巧，组件灵活，可适配不同高度的样品台甚至是低温光学恒温器，实现低温显微成像。显微镜可处理波长范围广，快速光栅式扫描可以在几秒时间内获得一个高光谱图像。特殊激光光路设计消除了激光扫描过程中的光束漂移，使其非常适合与该公司研发的全共线多功能超快光谱仪集成，实现强大的材料表征功能，不仅可以实现高速、高精度激光扫描谱图，还可以对感兴趣的样品位点进行多维光谱数据采集。高精度激光扫描显微镜-设备特点创新光路设计，适合集成高精度激光扫描显微镜-NESSIE的输入信号为单个激光光束，输出信号为样品探测点收集的单个反向传播光束，这样的光路设计确保了反传播信号在扫描图像时不会相对于输入光束漂移，因而非常适用于激光的实验中的成像显微镜系统。室温GaAs量子阱成像。（a）白光成像；（b）激光扫描线性反射率测量，80 MHz激光（5 mW激光输出）调谐到GaAs带隙；（c）四波混频激光扫描成像揭示了影响GaAs层的次表面缺陷。灵活可调与稳定性兼具高精度激光扫描显微镜-NESSIE可适配不同高度的样品台和低温光学恒温器。其结构的特殊设计可实现显微镜组件整体提高，以清除高度从4″到8″的物体。物镜中心与显微镜支架和外壳之间的间隙为5.5″，可实现不同尺寸形状的低温光学恒温器的容纳。普通显微镜下安装低温恒温器需要转接板，往往会带来样品台的不稳定性，影响采集数据的品质。高精度激光扫描显微镜-NESSIE采用了独立的支撑和提升单元，保证了高度灵活可调的同时，也保持了严格对齐和高稳定性，可以有效避免低温恒温器和其他设备产生振动的干扰，对于在振动的环境中生成高分辨率图像至关重要。激光扫描无光束漂移普通激光扫描显微镜一般使用两个相邻X、Y扫描镜来实现激光扫描。由于两个镜面均不在光学系统的像面上，光束在扫描图像时发生漂移。高精度激光扫描显微镜-NESSIE的特殊设计将X、Y扫描镜均置于像平面，使用抛物面镜作为扫描镜之间的中继系统，可以消除物镜后焦平面上的光束漂移。消除渐晕渐晕是视场图像边缘附近亮度降低的效应，在显微镜中，渐晕会扭曲数据和缩小视场。激光扫描中扫描镜近邻安装，是引入渐晕效应的主要原因。高精度激光扫描显微镜-NESSIE的特殊光路设计可以消除了渐晕效应对整个显微镜物镜的视野的影响。（a）渐晕效应；（b）无渐晕的视场成像可处理波长范围广宽频光路设计，标配可允许激光波长在450-1100 nm 范围，其他频率的激光可选。 软件可拓展性强系统软件灵活易用，可拓展性强。基于LabVIEW的软件包，可将用户自定义指标与自带的成像控制算法结合在一起，实现实时图像生成。另外系统也配有基于API软件包，实现系统自带代码与用户实验代码的整合。全共线多功能超快光谱显微成像系统高分辨激光扫描显微镜与全共线多功能超快光谱仪集成，形成功能强大的全共线多功能超快光谱成像系统。可搭配低温光学恒温器，实现低温多功能超快光谱成像。光栅式扫描几秒时间便可以获得一个超快成像动画，帮助用户迅速定位到感兴趣的区域进行高分辨的扫描成像。对于部分感兴趣样品位点，利用全共线多功能超快光谱仪，可以获得每个样品位点的全面的电子和振动能级信息。全共线多功能超快光谱显微成像系统充分发挥了光谱仪和显微镜的优势，通过弛豫时间成像和多功能光谱成像，允许用户分析样品空间不均匀性与电子结构的关联关系。MoSe2/WSe2异质结构低功率低温（6K）FWM积分成像光谱（a，b）和弛豫时间成像（c） 全共线多功能超快光谱显微成像系统强大的材料表征能力，也可以应用于工业制作环境中的非接触式材料检测，帮助制造商识别原材料品质，避免缺陷材料应用于设备。常温下，CVD生长WSe2薄片移相时间分布和FWM强度变化应用领域（全共线多功能超快光谱显微成像系统）高精度激光扫描显微镜提供整个显微镜物镜视野的成像控制，包括：像素分辨率，扫描速率和聚焦区域。而全共线多功能超快光谱仪兼具共振和非共振超快光谱探测，并兼容瞬态吸收光谱、相干拉曼光谱、多维相干光谱探测。这两款设备集成具有强大的多功能超快光谱显微成像能力，可实现双光子显微成像、瞬态吸收成像、受激拉曼显微成像、荧光寿命显微成像、多维相干光谱显微成像。其中多维相干光谱显微成像，基于非线性四波混频FWM技术，可实现超高分辨的5维数据采集，其成像系统具有以下优势：1. FWM显微成像超高空间分辨本领，可以进行细微结构成像受到abbe衍射极限限制，激光扫描成像空间分辨率在940 nm，但基于全共线MDCS的非线性四波混频FWM成像光谱，可将空间分辨率提高到540nm。2. FWM显微成像，明、暗激子空间分布可辨激子是由受激电子和空穴由于库仑引起的形成的束缚态，而暗激子，是电子与空穴的动量不同，从而阻止了它们对光的吸收。相比于荧光光谱等探测技术仅对亮激子态敏感，非线性四波混频，可实现暗激子的直接观测与研究。3. 不同延时FWM显微成像，揭示耦合动力学过程在空间的不同分布探究空间不同位置四波混频FWM信号随泵浦延迟时间T的变化，可以获得相干、非相干耦合动力学过程在空间的不同分布。4. FWM decay time mapDecay time map仅改变泵浦延迟时间T，对于T＞50ps的情况，可以获得不同空间位置层间激子寿命信息。测试数据MoSe2/WSe2异质结构中，PL积分光谱探究空间差异的应力分布 MoSe2/WSe2异质结构中，不同延时FWM显微成像谱图，揭示空间差异的动力学演变过程CVD获得的WSe2薄片，不同的FWM decay time map揭示激子的快、慢弛豫过程的空间差异FWM hyperspectral map和FWM decay time map数据处理（Data from Prof. Steve Cundiff lab at University of Michigan）发表文章1. T. L. Purz et al., Imaging dynamic exciton interactions and coupling in transition metal dichalcogenides. J Chem Phys 156, 214704 (2022).2. T. L. Purz, B. T. Hipsley, E. W. Martin, R. Ulbricht, S. T. Cundiff, Rapid multiplex ultrafast nonlinear microscopy for material characterization. Optics Express 30, 45008 (2022).相关产品1、全共线多功能超快光谱仪

英国真尚有_微小型激光位移传感器|硬币大小的点激光传感器|ZLDS103 ZLDS103激光位移传感器设计精致小巧却实力强悍， 产品尺寸相比之前的系列有着很大程度的缩小，仅有打火机 大小，可被安装在工作空间有限的测量任务中，但功能上一 如既往的强悍，0.05%线性度，0.01%分辨度，9400Hz测 量频率，适合于高速、高精度测量的工业领域应用。主要特点：◆ 使用集速度、灵活、高性能于一体，0.05%线性度，0.01%高分辨度，测量频率高达9400Hz，在高速测量情况 下仍然可以实现超高的测量精度 ◆ 两种可选激光任君选择，不仅有传统的红色激光，新改进蓝色激光器特别适用于控制高温物体和有机材料，防护等级 IP67，不惧恶劣环境 ◆ 应用广泛，强大的功能适用于大部分测量任务，非接触式测量和检查位置、位移、尺寸 、表面轮廓、变形、振动等 ◆ 小尺寸，大功能，小巧尺寸将传感器的安装难度降至最低应用领域：ZLDS103激光传感器可用于非接触式测量和检查位置、位移、尺寸、表面轮廓、变形、振动、分类，以及测量液体和散装材料的水平，常用于汽车生产过程、半导体/集成电路、机械加工、精密机械等行业领域。测量原理：技术规格：尺寸图：

GTS高精度多功能6D激光跟踪仪具有精度高、测量范围大、安装简单及操作方便等特点，主要用于百米大尺度空间三维坐标的精密测量。GTS高精度多功能6D激光跟踪仪已经发展出三自由度激光跟踪仪和六自由度激光跟踪仪家族系列，可以和多种形式的合作目标测头配合使用：1、GTS3000激光跟踪仪与光学回射靶球配合组成三自由度激光跟踪仪，能对大尺度空间内的点、线、面、曲面等几何特征进行精确测量；2、GTS6000激光跟踪仪与空间姿态探头配合组成六自由度激光跟踪仪，能够根据合作目标的精确空间姿态对被测工件的内部特征、隐藏特征或曲面等复杂特征进行快速、高精度的测量。功能特点1、主机测量系统（1）集成化控制主机设计强大CPU处理能力、紧凑型的控制主机内置于激光跟踪头，主机集成化的设计大大减少设备连接线缆和携带箱体数量，方便现场快速安装。（2)目标球自动锁定技术目标锁定相机在断光时会在小范围内自动搜索到目标球，完成断光续接，自动锁定目标球，全过程不需人为操作，提高测量效率。（3）HiADM测距技术激光绝对测距（ADM）和激光干涉测距（IFM）融合技术（HiADM），将激光干涉测长的高动态速度与激光绝对测距功能相结合，保证测量精度，并实现挡光恢复。（4）一体化气象站一体化的环境气象站自动监视及更新环境气象参数，实时补偿温度、空气压力和湿度对激光在空气中空气折射率的影响，保证测量的准确性。（5）MultiComm通信设备与电脑之间可以通过硬件触发、有线网络或无线WIFI等多种方式数据通信，方便保密车间的现场使用，最高测量数据输出速度1000点/秒。（6）便携性运输集成化主机设计的激光跟踪头，集成式的配件运输箱，使得整个运输箱体系统体积小、重量轻，并且便于在不同的工作地点之间进行运输。（7）密封防护设计IP54防护等级，保证主机免受灰尘和其他污染物的进入，环境适用性强。（8）稳固三脚架稳定、便捷的三角架和底盘设计确保稳定的地面测量条件，灵巧升降机构设计省力操作，稳固的三角支撑系统避免环境震动带来的精度损失。2、iProbe 6D姿态探头iProbe 6D姿态探头采用机器视觉和重力对齐的传感融合技术，通过探头的局部坐标系和系统整体坐标系的配准变换解算测球的空间位置；不仅能对点、线、面、曲面等几何特征进行精确测量，而且能够根据探头的精确空间姿态对被测工件的内部特征、隐藏特征进行快速、高精度的测量。3、iTracker 6D姿态智能传感器iTracker 6D姿态智能传感器采用主动反向跟踪和重力对齐技术，在测量时实时地调整探头的姿态并始终正对锁定测量激光束，通过运动学模型精密解算目标的三维空间位置坐标和空间姿态角度，可以测量非常宽范围的俯仰角和偏航角。4、EyeScan跟踪式激光扫描系统EyeScan跟踪式激光扫描系统，采用视觉动态跟踪技术，实时跟踪定位扫描头的空间位置，配合跟踪仪，可实现大中型物体的实时高精度扫描。操作简单，无需贴点。5、SpatialMaster空间测量软件SpatialMaster（简称SMT）是一款自主研发，专为大尺寸测量设备如激光跟踪仪配套使用，并且通过PTB认证的通用三维测量分析软件。SMT支持多个任意类型的仪器同时测量，测量数据可溯源的，具有强大的数据处理分析功能，支持生产制造过程中的几何尺寸公差(GD&T)评定，此外SMT具有优秀的用户交互性，方便灵活的分析报告功能。6、RobotMaster机器人检测校准套件基于GTS激光跟踪仪的RobotMaster机器人套件为工业机器人空间绝对位置精度测量标定和性能检测提供高效可行的解决方案，既提供基于光学靶球的经济方案，也提供基于6D姿态智能传感器的增强方案。产品应用GTS高精度多功能6D激光跟踪仪能够解决大型、超大型工件和大型科学装置、工业母机等全域高精度空间坐标和空间姿态的测量问题。被广泛应用在飞机、汽车、船舶、航天、机器人、核电、轨道交通装备制造行业以及大型科学工程、工业母机的高精密加工和装配中，已成为多个行业的习惯和测量标准。如在航空航天领域对飞机零部件及装配精度的测量；在机床行业中对机床平面度、直线度、圆柱度等的测量；在汽车制造中对车型的在线测量；在制造中对运动机器人位置的精确标定。此外，激光跟踪仪还可以广泛应用到造船、轨道交通、核电等先进制造各个领域。应用案例测量需求在石油化工领域，管板式热交换器内部有多个管板和折流板，每一块管板和折流板上都有多个管孔，导热管束平行穿过折流板和管板，管束的两端通过焊接固定在管板上，为了使每一根管束都能顺利装在管板和折流板，在实际生产中需要确保每个导热管对应的管孔必须在同一条轴线上，且每个管板和折流板在安装固定过程需要保持平行。热交换器示意图解决方案激光跟踪仪高精度、高效率的特点，在管板式热交换器测量领域得到了广泛应用。激光跟踪仪利用激光束的准直性和测距技术，可以快速、精确地测量热交换器的关键尺寸，如管孔位置和管板平面度等。GTS激光跟踪仪进行管板式热交换器测量有以下优势：1.高精度：激光跟踪仪的测量精度可达到微米级别，满足了石油化工行业对热交换器尺寸控制的严格要求；2.高效率：与传统测量方法相比，激光跟踪仪单人轻松操作，大大缩短测量时间，提高工作效率；3.测量范围大：激光跟踪仪测量半径可达80米，满足多种规格尺寸测量需求；4.可视化数据：激光跟踪仪自动记录和存储测量数据，可视化图形清晰展示各部分数据，快速引导装配；5. 柔性测量：激光跟踪仪可以在空间自由移动，适应不同的测量环境和对象。现场应用实例1.导热管安装测量下图为导热管测量数据，通过SpatialMaster分析软件中的向量组查询功能，不难看出导热管在安装过程中中间部分出现了变形，可根据软件的视图中导热管变形位置及方向，进行调整来提高装配精度。导热管数据分析图2.管板和折流板平面度测量为了管束在安装过程中保证平行，在实际生产中就需要保证单个管板和折流板的平面度符合要求，可以使用GTS3600型号激光跟踪仪搭配1.5英寸高精度SMR反射目标靶球，对管板和折流板的平面进行测量。管板数据分析图

皮米激光干涉仪 德国attocube公司在皮米精度位移激光干涉仪FPS的基础上，新推出了体积更小、适合集成到工业产品与同步辐射应用中的IDS型号皮米精度位移激光干涉仪。与FPS型号干涉仪相似，IDS型号同样适用于端环境如高真空与高辐射环境并且具有高精度与高采样速率。IDS产品是适合工业集成与工业网络无缝连接的理想产品。产品在工业应用中具有广泛范围前景，包括闭环位移反馈系统搭建、振动测量、轴承误差测量，实时位移测量等。 德国计量院（PTB）对IDS3010激光干涉仪的精度进行了认证。值得指出，在0-3米的工作距离内， IDS激光干涉仪的的测量数据与德国计量院激光干涉仪数据完全一致。德国计量院的认证使得IDS激光干涉仪的测量数据满足德国标准，使得IDS更加理想的成为位移台鉴定与机器加工等领域的测量工具。IDS3010激光干涉仪主机尺寸与接口IDS3010激光干涉仪应用领域IDS3010充分满足高分辨位移于定位的工业和科研需要，可应用于长度测量、同步辐射、精密仪器、半导体工业以及显微镜。IDS3010激光干涉仪产品特点 + 设计紧凑（50mm x 55mm x 195mm），适合工业集成+ 工业化界面，含HSSL、AquadB、CANopen、Profibus、EtherCAT、等界面+ 测量速度快，定位样品采样带宽10MHz+ 环境补偿单元，不同湿度、压力环境中校正反射率参数提高测量精度+ 校正简单，配备可见激光（650nm）用于校正测量激光（1530nm）+ 测量精度高，探测器分辨率高达1 pm设备选件光纤式激光探头 IDS系列激光干涉仪可提供不同型号探头（探头尺寸，光斑大小不同）。探头直径范围：1.2mm – 22mm。典型准直激光光斑：1.6mm， 典型聚焦激光光斑：70 mm。低工作温度：10mK, 1E-10mBar超高真空适用, 10MGy强辐射环境适用。激光探头技术参数表激光探头型号尺寸mm (直径与长)工作距离(低反射，高反射材料）激光类型（聚焦、准直） 光斑大小D1.2/F7Ф 1.2 7.55-9 mm30-45 mm聚焦，焦距7mm70μm@7mmD4/F8Ф 4 11.56-10 mm15-30 mm聚焦，焦距8mm70μm@8mmD4/F13Ф 4 11.511-15 mm30-45 mm聚焦，焦距13mm70μm@13mmD12/F2.8Ф 12 32.32.8 mm聚焦，焦距2.8mm2μm@2.8mmM12/C1.6Ф 14 17.40-1000 mm准直1.6mmM15.5/C1.6Ф 22 20.60-1000 mm准直1.6mmM12/C7.6Ф 14 49.30-5000 mm准直7.6mm应用案例■ IDS3010在航天飞行器形变检测上的应用德国卫星制造商OHB公司（德国OHB-System 是一家专门从事小卫星系统、分系统研制工作的企业,在小型商业卫星、小型研究卫星及相关分系统的研制、制造和操作方面具有丰富的经验）采用attocube的激光位移传感器IDS3010，对三代气象卫星（MTG）柔性组合成像仪进行了高真空光-热-力学模型试验。该试验包括在仪器的不同区域，并监控其后续光学元件相对位移测量哈特曼传感器。在真空环境中通过IDS3010激光干涉仪以小于1角秒的精度对平面基准相对位置的稳定性进行了一个多星期的持续测试。为了校准IDS3010不同探头之间的距离，需要进行初步测试（每个传感器探头与用于角度计算的距离，名义上为100 mm）。为此，平面参考镜的电动框架被用来产生任意角度的运动。这些角度是由IDS3010激光干涉仪和校准的自准直仪测量得到。IDS3010激光干涉仪在±720角秒范围内表现出良好的线性（0.1%），并且非常容易校准。再与MTG柔性组合成像仪对齐之后，即在Shack-Hartmann传感器和IDS3010传感器之间执行另一个交叉校准，以补偿IDS3010传感器相对于Shack-Hartmann传感器的时钟。三代气象卫星的柔性组合成像仪（MTG-FCI）的实验装置。紫色表示激光干涉仪组件：传感器探头支架和角角锥棱镜支架。以上信息由OHB System AG提供结果此次测量的目的是在一周多的时间内连续监测参考镜相对于卫星的稳定性，精度小于1角秒。使用如上所述attocube公司的激光干涉仪得到的测试得到角度精度甚至比一个角秒还要好。理论计算表明，其测试分辨率可以到达0.021角秒（等于5.8u°），但实际读数受试验装置振动的限制。■ IDS3010激光干涉仪在自动驾驶高分辨调频连续波（FMCW）雷达上的应用自动驾驶是目前汽车工业为前沿和火热的研究，而自动驾驶尤为重要的是需要可靠和高分辨率的距离测量雷达。德国弗劳恩霍夫高频物理和雷达技术研究所（Wachtberg，D）Nils Pohl教授和波鸿鲁尔大学（Bochum，D）的研究小组提出了一种全集成硅锗基调频连续波雷达传感器（FMCW），工作频率为224 GHz，调谐频率为52 GHz。通过使用德国attocube公司的皮米精度激光干涉仪FPS1010（新版本为IDS3010）证明了测量系统在-3.9μm至+2.8μm之间达到了-0.5-0.4μm的超高精度。这种全新的高精度雷达传感器将会应用于许多全新的汽车自动驾驶领域。图一 紧凑型FMCW传感器的照片图二 雷达测距示意图，左边为雷达，右边为移目标，attocube激光干涉仪用来标定测量结果参考文献S. Thomas, et al IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques 67, 11, (2019).■ IDS3010激光干涉仪在半导体晶圆加工无轴承转台形变的测量上的应用半导体光刻系统中的晶圆轻量化移动结构的变形阻碍了高通量的半导体制造过程。为了补偿这些变形，需要的测量由光压产生的形变。来自理工大学荷兰Eindhoven University of Technology 的科学家设计了一个基于德国attocube干涉仪IDS3010的测量结构，以此来详细地研究因为光压而导致的形变特性。图一所示为测量装置示意图，测量装置由5 x 5 共计25个M12/F40激光探头组成的网格，以此来实现监测纳米的无轴承平面电机内部的移动器变形。实验的目的是通过对无轴承的平面的力分布进行适当的补偿，从而有效控制转台的变形。实验测得大形变量为544nm，小形变量为110nm（如图二所示）。图一 左侧5X5排列探头测量装置示意图，右图为实物图图二 无轴承磁悬浮机台形变量的测量结果，大形变量为544nm参考文献Measuring the Deformation of a Magnetically Levitated Plate displacement sensor.■ IDS3010在X射线成像中提高分辨率的应用在硬X射线成像中，每个探针平均扫描时间的减少对于因为束流造成的损伤是至关重要的。此外，系统的振动或漂移会严重影响系统的实时分辨率。而在结晶学等光学实验中，扫描时间主要取决于装置的稳定性。Attocube公司的皮米精度干涉仪FPS3010（升之后的型号为IDS3010），被用于优化由多层波带片（MZP）和基于MZP的压电样品扫描仪组成的实验装置的稳定性的测量。实验是在德国DESY Photon Science中心佩特拉III期同步加速器的P10光束线站上进行的。Attocube公司的激光干涉仪PFS3010用来检测样品校准电机引起的振动和冲击产生的串扰。基于这些测量，装置的成像分辨率被提高到了±10nm。 图一 实验得到的系统分辨率结果参考文献Markus Osterhoff, et at. Proceedings Volume 10389, X-Ray Nanoimaging: Instruments and Methods III 103890T (2017)■ IDS3010激光干涉仪在微小振动分析中的应用电荷化理论能够描述中性玻色子系统的布洛赫能带，它预言二维量子化的四缘体具有带隙、拓扑的一维边缘模式。全球研究机构苏黎世邦理工大学的Sebastian Huber教授课题组巧妙的利用一种机械超材料结构来模拟二维的拓扑缘体，次在实验上观测到了声子四拓扑缘体。这一具有重要意义的结果时间被刊登在nature上（doi:10.1038/nature25156）。研究人员通过测试了一种机械超材料的体，边缘和拐角的物理属性，发现了理论预言的带隙边缘和隙内拐角态。这为实验实现高维度的拓扑超材料奠定了重要基石。德国attocube公司的激光干涉仪IDS3010被用于超声-空气转换器激励后的机械超材料振动分析。IDS3010能到探测到机械超材料不同位置的微小振动，以识别共振频率。终实现了11.2pm的系统误差，为声子四拓扑缘体的实验分析提供了有力的支持。图一 实验中对对机械超材料微小振动的频率分析参考文献Marc Serra-Garcia, et al. Nature volume 555, pages 342–345 (2018)■ IDS3010激光干涉仪在快速机床校准的应用德国亚琛工业大学（Rwth Aachen University，长久以来被誉为“欧洲的麻省理工”）机床与生产工程实验室（WZL）生产计量与质量管理主任的研究人员利用IDS3010让机床自动校准成为可能，这将大的提高机床的加工精度和加工效率。研究人员通过将IDS3010皮米精度激光干涉仪和其他传感器集成到机床中，实现对机床的自动在线测量。这使得耗时、需要中断生产过程、安装和卸载校准设备的手动校准变得多余。研究人员建立了一个单轴装置的原型，利用IDS3010进行位置跟踪，其他传感器如CMOS相机被用来检测俯仰和偏摆。校准结果与常规校准系统的结果进行了比较：六个运动误差（位置、俯仰、偏摆、Y-直线度、Z-直线度）对这两个系统显示出良好的一致性，值得指出的是：使用IDS3010的总时间和成本显著降低。该装置演示了自动校准机床的个原型，而且自动程序减少了机器停机时间，从而通过保持相同的精度水平提高了生产率。参考文献Benjamin Montavon et al J. Manuf. Mater. Process. 2(1), 14 (2018)■ IDS3010激光干涉仪在工业C-T断层扫描设备中的应用工业C-T断层扫描被广泛用于材料测试和工件尺寸表征。设计一个的锥束C-T系统的挑战之一是它的几何测量系统。近，瑞士联邦计量院（METAS）的科学家将德国attocube公司的IDS3010皮米精度激光干涉仪用于X射线源、样品和探测器之间的精密位移跟踪。实验共有八个轴用于位移跟踪。除了测量位移之外，该实验装置还能够实现样品台的角度误差分析。终实现了非线性度小于0.1μm，锥束稳定性在一小时内优于10ppb的高精度工业C-T。参考文献Benjamin A. Bircher, Felix Meli, Alain Küng, Rudolf Thalmann: "A geometry measurement system for a dimensional cone beam CT", 8th Conference on Industrial Computed Tomography (iCT 2018), At Wels, AU■ IDS3010激光干涉仪在增材制造3D打印方面的应用微尺度选择性激光烧结（μ-SLS）是制造集成电路封装构件（如微控制器）的一种创新方法。在大多数的增材制造中需要微米量的精度控制，然而集成电路封装的生产尺寸只有几微米，并且需要比传统的增材制造方法有更小的公差。德克萨斯大学和NXP半导体公司开发了一种基于u-SLS技术的新型3D打印机，用于制造集成电路封装。该系统包括用于在烧结站和槽模涂布台之间传送工件的空气轴承线性导轨。由于该导轨对定位精度要求很高，所以采用德国attocube公司的皮米精度干涉仪IDS3010来进行位置的跟踪。参考文献Nilabh K. Roy, Chee S. Foong, Michael A. Cullinan: "Design of a Micro-scale Selective Laser Sintering System", 27th Annual International Solid Freeform Fabrication Symposium, At Austin, Texas, USA ■ IDS3010激光干涉仪在扫描荧光X射线显微镜中的应用在搭建具有纳米分辨率的X射线显微镜时，对于系统稳定性的要求提出了更高的要求。在整个过程中实验过程中，必须确保各个组件以及组件之间的热稳定性和机械稳定性。德国attocube的IDS3010激光干涉仪具有优异的稳定性和测量亚纳米位移的能力，表现出优异的性能。IDS3010在40小时内具有优于1.25nm的稳定性，并且在100赫兹带宽的受控环境中具有优于300pm的分辨率。因此，IDS3010是对所述X射线显微镜装置中使用的所有部件进行机械控制的不二选择，使得整个X射线显微镜实现了40nm的分辨率，而在数据收集所需的整个时间内系统稳定性优于45nm。参考文献Characterizing a scanning fluorescence X ray microscope made with the displacement sensor■ 皮米精度激光干涉仪IDS3010在相位调制器的精密调制和控制上的应用相位调制器是相干合成孔径望远镜中光束合成机构的关键部件。提高相位调制器的调制精度和控制带宽有助于提高合成孔径望远镜的成像分辨率。相位调制器运动信息包括俯仰角、方位角和轴向位移3个自由度。目前3个或者多个自由度的实时测量还处于发展阶段。同时实现多自由度测量更是少之又少。来自中国科学院光电技术研究所光束控制重点实验室的方国明课题组采用德国attocube system AG公司的三轴皮米精度激光干涉位移传感器IDS3010通过获取待测目标平面内3个不共线点的位移量，而3个不共线的点可确定平面的法线，基于平面法线的性可解，从而可以获得目标的3个自由度运动信息，包括方位角、俯仰角和轴向位移。成功实现了三自由度的同时实时测量。图示： 三自由度测量原理示意图■ 皮米精度位移测量激光干涉仪助力声子四拓扑缘体观测电荷化理论能够描述中性玻色子系统的布洛赫能带，它预言二维量子化的四缘体具有带隙、拓扑的一维边缘模式。苏黎世邦理工大学的Sebastian Huber教授课题组巧妙地利用一种机械超材料结构来模拟二维的拓扑缘体，次在实验上观测到了声子四拓扑缘体。这一具有重要意义的结果时间被刊登在nature上。研究人员通过测试一种机械超材料的体、边缘和拐角的物理属性，发现了理论预言的带隙边缘和隙内拐角态。这为实验实现高维度的拓扑超材料奠定了重要基石。图示：实验装置示意图参考文献Observation of a phononic quadrupole topological insulator.Nature volume 555, pages342–345(2018)■ 激光干涉仪检测纳米精度位移台误差在实际生产中的存在可能导致损失以及客户对产品信心的丢失。光学传感器可以在质量检测中帮助减少误差产生提高成品率。attocube激光干涉仪是理想的可在各个领域提供高精度探测来减少误差的一种光学传感器。作为纳米精度位移台供应商的德国attocube公司，对位移台的精密移动的测量与鉴定是一个非常重要的任务。例如，下图左，ECS3030型号的线性位移台可在真空中进行位移。ECS3030位移台的行程是20mm。技术参数要求的是可重复精度小于50nm。利用attocube激光干涉仪对位移台上样品进行测量，位移台被程序控制来回往复移动1mm,在20mm的行程内在多个不同地点进行来回往复移动。测量结果如下图中所示。通过分析，左图中的数据提取的偏差值是13.2nm，下图右数据的直方图显示标准差是13nm。因此，位移台的可重复性技术指标是合格的。通过使用attocube激光干涉仪可以实施对于纳米精度位移台ECS3030的全自动测量。这已经是德国attocube公司对于位移台的质量检测手段。并且，这样一个简便与实用的传感器可以直接集成到生产线中去提供高产出的质量检测。■ 激光干涉仪组建高精度X射线显微镜同步辐射中心具有广泛的应用领域，生物科技（蛋白质结构），医学研究（微生物），工程研究（裂纹的变化观测），先进材料（纳米结构测量）等。以上应用需要高精度去驱动聚焦镜，样品，光学狭缝等物品（下图左），这样的机械结构需要减少热漂移与定位误差。德国attocube公司的激光干涉仪具备皮米精度分辨率，激光探头可在真空环境中使用，是同步辐射研究的良好选择。在现有激光探头中，标准激光探头M12是已经被证实可以在辐射环境中使用（大10MGy)。美国布鲁克海文实验室E. Nazaretski等人结合attocube激光干涉仪与纳米精度位移台搭建了X射线扫描成像显微镜（下图中）。通过attocube激光干涉仪作为实时检测与反馈位移台移动的工具，科学家实现了0.5nm的步进扫描（下图右）。并且，在真空环境中，系统的热漂移达到了2nm/h。综上所述，高精度的X射线显微镜可以实现纳米精度扫描成像，是实现硬X射线区域光学研究的有力工具。该显微镜使得X射线荧光光谱纳米精度成为了现实。参考文献E. Nazaretski , et.al. J. Synchrotron Rad. (2015). 22, 336–341 ■ 激光干涉仪无损探测轴承误差旋转物体的运动误差分析是高精度机械工程领域的一个主要兴趣之一。如果是高速旋转的转子，甚至1纳米的误差就会产生不想要的振动与运动误差。因此，纳米精度的运动误差监测是机械工程领域前沿的重要研究课题。一个主要的难题是：如何减小运动误差？为了减小误差，先需要测量误差。德国attocube公司的激光干涉仪可以提供一个无损，紧凑并且一插即用的解决方案。通常的线性位移测量需要一个平整的表面，而旋转运动的时候，遇到的是一个曲面（右图上）。attocube激光干涉仪测量的是一个直径为10mm的电动转子。由于attocube激光干涉仪的探头具有较大的容忍角度，激光探头很容易完成了校准并开始进行测量。转子转速为2160转每秒，两个激光探头对转子的运动误差进行了测量。右图下显示的为测量结果，红色实线为平均位置，而虚线显示了误差为5微米的两个圆环。黑色实现为实际测量数据。德国attocube公司的激光干涉仪软件使用界面友好，可提供亚纳米别的运动误差校正方案。即使是新用户，对于其激光干涉仪的使用也会很快熟悉。参考文献 Review of scientific instruments, 84, 035006 (2013) ■ 激光干涉仪校正低温非线性扫描通常扫描台在室温下扫描50微米 x 50微米的范围时候不会有显著的非线性效应。但是当在低温环境（4K或更低）中，压电陶瓷本身的性能发生变化，会产生下图右中的非线性扫描现象。通过德国attocube公司的激光干涉仪，可以在低温环境下使用激光探头对扫描台的扫描运动进行实时检测（高速扫描）。结合对扫描台的施加电压进行实时反馈控制，可解决低温下非线性扫描问题。测试数据■ 实验数据，皮米精度的稳定性图1 77mm长的腔在20个小时内的实验测量数据表明数据误差范围在55pm■ 测量速度快，定位样品采样带宽10MHz图2 样品移动速度2米/秒，移动范围1m发表文章1. Stability investigation of a cryo soft x-ray microscope by fiber interferometry Rev. Sci. Instrum. 91, 023701 (2020) 2. Vibration-heating in ADR Kevlar suspension systems James Tuttle et al 2020 IOP Conf. Ser.: Mater. Sci. Eng. 755 0120153. S. Thomas, et al IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques 67, 11, (2019).4. Observation of a phononic quadrupole topological insulator.Nature volume 555, pages342–345(2018)5. Benjamin A. Bircher, Felix Meli, Alain Küng, Rudolf Thalmann: "A geometry measurement system for a dimensional cone beam CT", 8th Conference on Industrial Computed Tomography (iCT 2018), At Wels, AU6. Benjamin Montavon et al J. Manuf. Mater. Process. 2(1), 14 (2018)7. In situ contrast calibration to determine the height of individual diffusing nanoparticles in a tunable confinement S. Fringes et al. J. Appl. Phys. 119 024303 (2016)8. Interferometric characterization of rotation stages for X-Ray nanotomography T. Stankevi? et al. Rev. Sci. Instrum. 88 053703 (2017)9. Measurement of forces exerted by low-temperature plasmas on a plane surface T. Trottenberg and H. Kersten Plasma Sources Sci. Technol. 26 055011 (2017)10. Mesh-type acoustic vector sensor M. K. Zalalutdinov et al. J. Appl. Phys. 122 034504 (2017)11. Markus Osterhoff, et at. Proceedings Volume 10389, X-Ray Nanoimaging: Instruments and Methods III 103890T (2017)用户单位attocube公司产品以其稳定的性能、高的精度和良好的用户体验得到了国内外众多科学家的认可和肯定，在全球范围内有超过了130多位低温强磁场显微镜用户。attocube公司的产品在国内也得到了低温、超导、真空等研究领域著名科学家和研究组的欢迎.....国内部分用户北京大学中国科技大学中科院物理所中科院武汉数学物理所中科院上海应用技术物理研究所复旦大学清华大学南京大学中科院半导体所上海同步辐射中心北京理工大学哈尔滨工业大学中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所……国外部分用户

高精度激光振镜反射镜Novanta公司旗下的英国Cambridge Technology的高精度激光振镜反射镜有两个大类：硅基材类和更昂贵的铍基材类.硅基材反射镜：硅基材反射镜的突出优势是在低成本的前提下，保持优异的光学性能，镜片刚性，良好的导热性，以及接近于铍反射镜的动态性能。可适配客户的多数应用，可接受OEM定制订单。铍基材反射镜：铍是在元素周期表上排第四位（氢氦锂铍），前两位氢和氦在常温下仅以气态存在，第三位锂或锂合金因活性过高而在空气中会自燃。这样，第四位的铍成为了现有已知最轻量的，且同时具备了高刚度，高稳定度的可实用金属材料。这个突出特点决定了铍基材反射镜成为轻量超高速激光振镜反射镜的极致选择。正是因为这个原因，Cambridge Technology的超高速共振扫描型激光振镜CRS系列全线采用铍基材反射镜。对于追求极致扫描速度的OEM客户，Cambridge Technology可接受铍镜定制订单。注：纯铍金属有一定生物毒性，Cambridge Technology公司具备通过ISO14001认证的铍金属加工与处理能力，保证铍金属反射镜在使用过程中不会对操作者产生健康风险，如您因任何原因需要报废内置铍基材反射镜的扫描器，请勿随意丢弃，接洽厂家咨询处理方法。开槽或蜂窝结构的铍基材反射镜保证极致轻量前提下的高机械刚性多种介质膜镀膜选项Cambridge Technology允许客户在出货前指定反射镜镀膜,镀膜选项包含1. 高反射率介质膜：- 紫外激光高反介质膜：343-355nm- 绿激光高反介质膜：515-532nm- 光纤/YAG激光高反介质膜：1040-1090nm- 二氧化碳激光高反介质膜： 9.3-10.6µ m2. 宽带反射镀膜：-可见光镀膜：450-650nm- 铝反射膜： 300-1200nm- 银反射膜：350-7000nm不同应用的建议选择：应用反射镜建议口径反射镜建议镀膜钻通孔10 mm,14 mm紫外，绿光20 mm,25 mm,27 mm, 30 mmCO₂ 远红外增材制造20 mm,30 mm光纤/YAG激光微加工10 mm,14mm紫外,绿光,光纤/YAG20 mm光纤/YAG激光激光打标,内雕6mm-8mm,10mm,14mm,15mm紫外,绿光,光纤/YAG,CO₂ 显微扫描成像3 mm,5 mm,6 mm可见光镀膜，铝膜，银膜眼科医学根据应用定制可见光镀膜，银膜

抗反射AR高精度激光窗口片 该窗口片具有超高的光学透过率以及超低的透过畸变，经常作为Nd:YAG激光器应用的最佳保护性窗片§ 高质量的BK7或UV FS材料基底§ 针对266 nm, 355 nm, 532 nm 或1064 nm 的增透AR膜

德国米铱公司最新推出的thicknessSENSOR激光位移传感器测厚仪，可被用于多种需要非接触厚度测量的应用。该测厚仪采用激光位移传感器作为测量单元，实现了高测量精度的同时，还满足了高速和使用简单的需要。thicknessSENSOR激光测厚仪是一套完整的集成系统，适用于带状或板状材料的非接触测量任务。系统包括两支正对固定安装的激光位移传感器，可以从两侧对被测物进行厚度测量。被测物的厚度值源自差分测量原理，全部计算在集成的评估单元中完成。激光测厚仪系统可以输出模拟量信号（如电压或电流信号），或者输出数字量（如Ethernet）。源自激光测厚仪的紧凑尺寸，用户可以在安装空间受限的情况下也可以轻松使用。创新的网络调试界面使新款thicknessSENSOR的使用更加方便，针对不同的测量任务，客户可以读取预存的独立参数设置。该系统最多可以存储和输出8个客户定义传感器设置。测量结果可以通过信号峰值选择和自由可调的信号平均功能进行优化。激光位移传感器测厚仪特点：√量程10mm√绝对误差可达10μm√轻松集成：采用高度协调的测量传感器，使整个系统达到即插即用√采用网络界面进行调试√实现高动态、高精度测量√非接触无磨损厚度测量√紧凑集成系统

optoNCDT2300系列传感器是德国米铱公司激光三角反射式传感器中的高端产品。非常适合高速应用，如监测震动或者复杂表面的测量。该传感器不仅适合漫反射表面，还同样适合镜面表面。通过多峰值测量软件，传感器可以从一侧测量透明材料的厚度值。测量精度远超同级别激光位移传感器产品源自超高的测量频率，德国米铱公司提供的激光位移传感器可以被用于需要高速高精度测量的领域，即使在工业环境下的连续测量，该系列激光位移传感器也提供可靠的测量数据。绝大多数optoNCDT激光位移传感器可以通过网络界面进行设置。因此，设置和调试激光位移传感器变得更加容易，且可以通过网络浏览器将配置数据传输到其他激光位移传感器内。集成控制器的紧凑型激光位移传感器optoNCDT激光位移传感器采用紧凑设计，完全集成控制器，方便客户更加直接快速的安装位移传感器和布线。该系列激光位移传感器非常适合安装空间有限的测量任务。多种激光位移传感器可供选择德国米铱公司提供的激光位移传感器不仅适合测量漫反射面被测物，也可以测量金属和反光表面。除了传统激光位移传感器型号以外，米铱公司还提供LL系列激光线位移传感器。该系列激光位移传感器可以过滤表面物理变化所导致的干扰信号，因此大大简化了测量反光表面的难度。超过85种激光位移传感器，提供了从2至1000mm的测量范围，适合众多应用任务和工业。源自配备了智能接口和电缆，可以用于拖链和机器人应用，该系列激光位移传感器适合几乎任何自动化工业领域的测量任务。创新的蓝光激光位移传感器optoNCDTBL系列激光位移传感器配备了蓝光激光二极管，用于红光二极管激光位移传感器使用受到限制的测量任务。源自更短的波长，蓝光激光位移传感器的激光更难渗透进入被测物体表面，且投射的微小光斑可以提供稳定和精确的测量数据。蓝光激光位移传感器适合用于有机体和透明半透明被测物，同时适用于高温红色发光金属的测量。

Zygo位移测量干涉仪ZMI™ 系列激光器ZMI™ 系列–位移测量干涉仪ZMI™ 激光器可提供高度稳定的双频输出，为高精度的位置计量奠定了坚实的基础。这些激光器基于强大的氦氖技术，具有很高的可靠性，被用作计量仪器的标准配置。ZMI™ 7705与ZMI™ 501A测量外壳一起使用，在一个结构紧凑的封装中，提供了多达两个测量轴。ZMI™ 7702、7714和7724激光器可与ZMI™ 240X和4X04系列测量板卡结合使用。更高功率的激光器允许您用一台设备测量更多的轴。7714和7724激光器采用水冷方式，可实现更高的频率稳定性，并达到最高的精度。7714和7724激光器的光学隔离特性通过保护激光器不受干涉仪系统中组件的背反射的影响，提供了更大的灵活性和易用性。

昕锐激光测距仪红外线高精度 1200米测距产品介绍昕锐测距仪X1200S测量范围5-1200米测距测高仪，昕锐测距仪采用测量瞄准一体化设计，一站式的方式使得测量更加简便。Rxiry昕锐为中国创造的手持激光测距测高仪中的高端品牌，一品质+服务+口碑=品牌的理念去开发行业市场，服务客户，Rxiry昕锐系列激光测高仪产品可广泛应用于电力、林业、水利、交通、环保、室内测量、地质、高尔夫、户外等行业用户。昕锐X1200S三大测量模式：普通模式、扫描模式、高尔夫旗杆模式；多种应用场合使用，满足多种需求；1行业测绘：振动提示，测量信向标距离；2电力行业：精确，快速的测量塔杆距离；3通信行业：1米精度直接测量信号塔距离；4高尔夫行业：测量旗杆分辨率0.5适用范围：通信、电信、测绘、高尔夫行业。技术参数 产品型号X1200S测量范围5-1200M精度±1M起测范围5米放大倍率6X物镜直径20mm视场7.5℃出瞳距离16.5mm出瞳直径3.33mm电池寿命不低于5000次防水等级IP54电源供电CR2激光波长905nm激光等级CLASS1人眼安全操作温度-10℃-50℃存放温度-20℃-60℃尺寸96mm*70mm*36mm重量140g智能提示10秒无操作自动关机