高温四探针测量仪

名称：四探针电阻测量仪图片：品牌：KLA 集团旗下品牌 Filmetreics型号：R50用途：金属膜均匀性分布、离子掺杂和注入表征、薄膜厚度和电阻率分布、以及非接触膜厚等量测。优势 :1)接触式四点探针(4PP)和非接触式电涡流(EC)2) 100mm Z行程，高精度控制 3)导体和半导体薄膜电阻，10个数量级范围适用 4)测试点自定义编辑，包括矩形、线性、极坐标 以及自定义配置 5)200mm XY电动平台 6)RSMapper软件灵活易用 7)兼容KLA所有电阻测试探针应用市场：1）半导体 2）化合物半导体 3）先进封装4）平板和VR显示 5）印刷电路 6）穿戴设备 7）导电材料8）太阳能

四探针半导体电阻率测量仪HRDZ-300C并根据测试结果自动转换量程，无需人工多次和重复设置。选配：配备软件可以由电脑操控，并保存和打印数据，自动生成图表和报表。能便携全自动测量导线、棒材电阻率、电导率等参数。应用电流–电压降四端子测量法、单片机技术及自动检测技术。其性能完全符合GB/T3048.2及GB/T3048.4中的相关技术要求。广泛应用于冶金、电力电工、电线电缆、电机电器、高等院校、科研单位等行业。硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻 半导体材料/晶圆、太阳能电池、电子元器件，导电薄膜（ITO导电膜玻璃等），金属膜，导电漆膜，蒸发铝膜，PCB铜箔膜，EMI涂层等物质的薄层电阻与电阻率 导电性油漆，导电性糊状物，导电性塑料，导电性橡胶，导电性薄膜，金属薄膜，抗静电材料， EMI 防护材料，导电性纤维，导电性陶瓷等提供中文或英文两种语言操作界面选择，满足国内及国外客户需求四探针半导体电阻率测量仪HRDZ-300C方阻计算和测试原理如下：　　直线四探针测试布局如图8，相邻针距分别为S1、S2、S3,根据物理基础和电学原理：　　当电流通过1、4探针，2、3探针测试电压时计算如下：　　四探针半导体电阻率测量仪HRDZ-300C工作原理图　　四探针半导体电阻率测量仪HRDZ-300C步骤及流程　　1. 开启电源，预热5分钟.　　2. 装配好探头和测试平台.　　3. 设定所需参数.　　4. 测量样品　　5. 导出数据.　　优点描述：　　1. 自动量程　　2. 准确稳定性.　　3. 双电组合测试方法　　4. 标准电阻校准仪器　　5. PC软件运行　　6. 同时显示电阻、电阻率、电导率数据.　　7. 可显示5位数字.　　8. 中、英文界面四探针半导体电阻率测量仪HRDZ-300C性能特点1. 体积小巧、重量轻。2. 全中文菜单操作，操作简单方便。3. 测量速度快，数据精确稳定。4. 具有自动放电和放电指示功能，减少误操作，保证设备及人员安全。

最高温度 1650°c测量范围 0.1mΩ-100MΩ温度精度 ±0.25°c最快测量 6.4ms更多功能 高温四探针、退火高温I-V特性测试高温真空测量高温气氛测量高温烧结/退火高温四探针测量 消除电网谐波对采集精度的影响高温四探针测试仪采用直排四探针法设计原理测量。主要用于评估半导体薄膜和薄片的导电性能，参考美国 A.S.T.M 标准设计。重复性与稳定性更好，采用双屏蔽高频测试线缆，提高测试参数的精确度，同时抗干扰能力更强。本设备也可应用于产品检测以及新材料电学性能研究等用途。 搭配Labview系统开发的Huacepro软件，具备弹性的自定义功能，可进行介电温谱、频谱、升温速度、测量参数等设置，符合功能材料测试多样化的需求。电压、过电流、超温等异常情况以保证测试过程的安全；资料保存机制，当遇到电脑异常瞬时断电可将资料保存于控制器中，不丢失试验数据，设备重新启动后可恢复原有试验数据。 源测量仪器的精密耦合特点相对分立仪器具有许多优点。例如，它具有更短的测试时间，通过减少GPIB的流量并简化了远程编程接口。它还保护被测设备在偶尔过载、热失控等情况下不被损坏。电流源和电压源都可设置回读使器件测量完整性最大化。如果回读达到可编程容限的极限，那么该源就被钳位在此极限，从而提供错误保护。 华测系列阻抗分析仪是华测仪器电子事业部采用当前先进的自动平衡电桥原理研制成功的新一代阻抗测试仪器，为国产阻抗测试仪器的最新高度。也彻底超越了国外同类仪器，在测量10Hz-50MHz的频率瓶颈；解决了国外同类仪器只能分析、无法单独测试的缺陷；采用单测和分析两种界面，让测试更简单。得益于先进的自动平衡电桥技术，在10Hz-50MHz的频率范围可以保证0.05%的基本精度。 快达5ms的测试速度及高达50M的阻抗测试范围可以满足元件与材料的测量要求，特别有利于低损耗(D)电容器和高品质因数(Q)电感器的测量。四端对的端口配置方式可有效消除测试线电磁耦合的影响，将低阻抗测试能力的下限比常规端配置的仪器向下扩展了十倍。 消除不规则输入的自动平均值功能 更强数据处理及内部屏蔽华测近红外高温炉配合吉时利数字源表进行四探针电阻测量，让测试更加稳定可靠，吉时利数字源表系列专用于要求紧密结合源和测量 的测试应用。全部数字源表型号都提供精密电压源和电 流源以及测量功能。每款数字源表既是高度稳定的直流 电源也是真仪器级的6位半万用表。此电源的特性包括 低噪声、精密和回读。此万用表的功能包括可重复性高和低噪声。最终形成了紧凑、单通道、直流参数测试仪。 在工作时，这些仪器能用作电压源、电流源、电压表、电流表和欧姆表。源和阱（4象限）工作，0.012%基础测量精度（6位半分辨率）。 2线、4线电压源和测量感测1700读数/秒（4位半分辨率），通过GPIB通过/失效比较器用于快速提供高速感测线接触检查功能，在半导体、功能材料行业吉时利数字源表是适于特性析和生产测试等广泛应用的重要源表。目前国内高温加热大都为管式炉或马弗炉，主要原理为加热丝或硅碳棒对炉体加热，加热与降温过程速度慢，效率低下。也无法实现温度的高精度测量，加热区域也存在不均匀的现象，华测仪器通过多年研究开发了一种可实现高精度，高反射率的抛物面与高质量的加热源相配置，在高速加热及高速冷却时，具有良好的温度分布。 可实现宽域均热区，高速加热、高速冷却 ，用石英管保护加热试样，无气氛污染。可在高真空，高纯度气体中加热 。设备可组成均热高速加热炉，温度斜率炉，阶段加热炉。 它提高了加热试验能力。 同电阻炉和其他炉相比，红外线反射炉节省了升温时间和保持时间及自然冷却到室温所需时间，再试验中也可改写设定温度值。从各方面讲，都节省试验时间并提高实验速度。 同高频炉相比，不需特殊的安装条件及对加热试样的要求。同电阻炉一样安装简单，有冷却系统安全可靠。以提高试验人员的工作效率，实现全新的温度控制操作！高能量的红外灯和镀金反射方式允许高速加热到高温。同时炉体可配置水冷系统，增设气体冷却装置，可实现快速冷却。 1、高速加热与冷却方式高能量的红外灯和镀金反射方式允许高速加热到高温。同时炉体可配置水冷系统，增设气体冷却装置，可实现快速冷却。2、温度高精度控制近红外镀金聚焦炉和温度控制器的组合使用，可以精确控制样品的温度(远比普通加温方式)。此外，冷却速度和保持在任何温度下可提供高精度。3、不同环境下的加热与冷却加热/冷却可用真空、气氛环境、低温（高纯度惰性气体 静态或流动），操作简单，使用石英玻璃制成。红外线可传送到加热/冷却室。 更强的扩展能力，实现一机多用█ 多功能真空加热 炉，可实现高温、真空、气氛环境下电学测试 █ 采用铂金材料作为测量导线、以减少信号衰减、提高测试精度 █ 设备配置水冷装置，降温速度更快、效率更高█ 可实现高温下四探针电阻谱等测量功能█ 进口温度传感器、PID自动温度控制，使测量温度更精准█ 近红外加热，样品受热更均匀，不存在感应电流，达到精准测量█ 10寸进口触摸屏设计，一体化设计机械结构，更加稳定、可靠 █ 采用进口高频测试线，抗干扰能力更强，采集精度更高█ 99氧化铝陶瓷绝缘，配和铂金电极夹具█ huace pro 强大的控制分析软件与功能测试平台系统相互兼容温度范围： RT-800 (最高1650)°C 控温精度：±0.25°C 升温斜率：10°C/min（可设定） 测试范围 : 0.1mΩ-100MΩ 加热方式：近红外加热 冷却方式：水冷 输入电压：110~220V 样品尺寸：φ＜25mm，d＜4mm 电极材料：碳化钨针 夹具辅助材料：99氧化铝陶瓷 测量方式：直接四探针 测试功能：I-V、R-T等 数据传输：4个USB接口 设备尺寸：600x500x350mm动态测量范围：电流：10pA to 10A 电压：1µ V to 200V四象限工作 0.012%的精确度，5&half 的分辨率 可程控电流驱动和电压测量钳位的 6位线电阻测量 在4&half 数位时通过GPIB达1700读数/秒 可选式接触检查功能

探针式植物茎流测量仪采用热消散探针法测量树干瞬时茎流密度，可以长期连续观测树木的液流，有利于研究树木和大气之间的水分交换规律，并以此为观测手段，长期监测森林生态系统对环境变化的影响。对于造林绿化、森林管理和林业管理等具有重要的理论指导意义和应用价值。　　工作原理　　植物茎流测量仪采用法国学者Granier在20世纪80年代后发明的一种测定SapFlow的新方法，即热消散探针法(恒定热流传感器法)。该方法的数据采集具有准确稳定的特点，而且可以连续不间断的读取数据，因而数据具有系统性。该测定系统由一对长33mm的热消散探针组成，安装时将探针上下相隔10cm-15cm插入树木的边材中，上方的探针缠绕电阻丝，供以直流电加热，下方探针不加热，保持与周围边材组织的温度相同，两探针的温差变化反应树木的液流密度。　　仪器特点　　双探针，配有相应的钻孔工具，容易插拔，可以反复使用　　采用热消散法，可恒温加热　　可以长期连续监测　　不锈钢探针，采用Teflon涂层，持久耐用　　采用高精度T型热电偶直接与数据分析仪连接　　采用大容量SD卡存储　　技术指标　　测量指标：瞬时液流密度　　测量通道：单通道　　存储容量：2GB　　采样时间间隔：1-99分钟可调　　显示：320×160液晶显示屏　　电源：8.4V可充电锂电池(也可选用太阳能电池供电)　　工作温度：10℃-60℃　　工作湿度：0-100RH

电探针/弹簧探针爆速测量仪WKDV-5000【简介】： 电探针/弹簧探针爆速测量仪WKDV-5000采用大规模集成电路FPGA技术，全数字控制，实现高精度时间间隔测试，整机具有高稳定度、高准确度的优点，功能完善，操作方便，抗干扰能力强。仪器采用时间放大式模拟内插原理、组件式结构,能同时测量一个起始脉冲和32个停止脉冲信号之间的时间间隔,测时范围为50ns-9999ms,时间分辨率为2ns。电探针/弹簧探针爆速测量仪WKDV-5000【技术指标】：参数 指标测时范围50ns～820ms外参考 1路，频率20MHz,电平3.3-12V ，可外加-330V高压脉冲信号源 被测路数 通道数 4/8/16/32路被测电平TTL 起止信号 上升或者下降沿测时误差±5ns（1ms） ≤1ms±3 ±0.05tr ±PT 1ms（tr输入信号上升时间，T测量时间间隔，P晶振精度（晶振20MHz，精度1×10-7） 置位方式单次、多次、程控显示方式 液晶触摸屏供电需求220V±20V50Hz或者充电电平（内置）工作温度 5-50℃掉电保护保存掉电前的数据；配充电电源，满足野外实验使用 测量次数： 1、10、50电探针/弹簧探针爆速测量仪WKDV-5000【应用领域】 ： 电探针/弹簧探针爆速测量仪WKDV-5000应用于爆轰与粒子判别等科学试验中爆速、弹速、冲击波速度、自由面速度、飞片速度等爆轰参数测量，是爆轰物理、冲击波物理、常规武器研究、天文实验、激光测距、定位定时、航天遥测遥控等科研领域。

光纤探针气泡行为测量仪Bubble-Pro可测量多相流(气体为离散相、液体为连续相)局部气含率、气泡速率和气泡弦长等气泡行为。具有对气泡响应迅速、阶跃显著的特点。将光纤探针信号进行方波化处理,探针在气相中的采样点数与总采样点数之比即为局部气含率,再沿径向积分可得平均气含率:对两列光纤探针信号进行相关性分析,可求得每个气泡的上升速率 根据每个探针描过气泡的时长,得到气泡的弦长,并提供气泡速率和气泡的弦长的统计数据。此探针可应用于高温、高压、液相为有机体系的气液环境。主要技术指标:◎ 压力范围:小于2.0MPa◎ 温度范围:小于250℃C◎ 介质要求: 透明体系◎ 光纤直径:0.125mm◎ 光纤间距:0.5mm,可根据要求具体调节◎ 气含率区间:0.5%~50%◎ 气泡尺寸分辨率:大于2mm◎ 气泡速率分辨率:小于4m/s产品优势:◎ 光纤直径小,级联式结构,对流场影响小,数据准确◎ 无机胶密封,适用于高温体系◎ 毛细管、不锈钢管钎焊连接,适用于高压体系◎ 无机胶密封,不溶不挥发,适用有机溶剂体系◎ 基于反射光强度的不同进行测量,适用于非导电介质◎ 响应迅速,0.25ms即可实现气液信号的切换◎上下游信号相关性好,气泡速率、气泡尺寸数据准确◎ 软件具有中文界面,操作简便

探针式植物茎流测量仪IN-JL01来因科技采用热消散探针法测量树干瞬时茎流密度，可以长期连续观测树木的液流，有利于研究树木和大气之间的水分交换规律，并以此为观测手段，长期监测森林生态系统对环境变化的影响。对于造林绿化、森林管理和林业管理等具有重要的理论指导意义和应用价值。工作原理 植物茎流测量仪采用法国学者Granier在20世纪80年代后发明的一种测定Sap Flow的新方法，即热消散探针法（恒定热流传感器法）。该方法的数据采集具有准确稳定的特点，而且可以连续不间断的读取数据，因而数据具有系统性。该测 定系统由一对长33mm的热消散探针组成，安装时将探针上下相隔10cm-15cm插入树木的边材中，上方的探针缠绕电阻丝，供以直流电加热，下方探针不 加热，保持与周围边材组织的温度相同，两探针的温差变化反应树木的液流密度。仪器特点 双探针，配有相应的钻孔工具，容易插拔，可以反复使用采用热消散法，可恒温加热可以长期连续监测不锈钢探针，采用Teflon涂层，持久耐用采用高精度T型热电偶直接与数据分析仪连接采用大容量SD卡存储技术指标测量指标：瞬时液流密度测量通道：单通道存储容量：2GB采样时间间隔：1-99分钟可调显示：320×160液晶显示屏电源：8.4V可充电锂电池(也可选用太阳能电池供电)工作温度：10℃-60℃

光纤探针爆速测量仪WKFODV-20【简介】： 光纤探针爆速测量仪WKFODV-20是基于石英光纤探针是利用熔石英在受到冲击时会产生光辐射的特性工作的。当冲击波或飞片撞击石英光纤端面时石英光纤会产生一个强烈的光脉冲信号，光纤探针爆速测量仪WKFODV-20通过检测该光脉冲的出现时刻就可以知道冲击波或飞片到达光纤探针的时刻。光纤探针测量系统主要分为有源光纤探针和无源光纤探针两种，可以根据不同的使用环镜选配。光纤探针爆速测量仪WKFODV-20【技术指标】：序号名称参数1通道数20通道（根据用户要求可选定）2响应时间＜5ns3同步性＜10ns4相对测试精度≤1％5信号传输距离≥20m光纤探针爆速测量仪WKFODV-20【特点及用途】： 光纤探针具有受电磁干扰，响应快（可达亚纳秒），抗电磁干扰，可对非金属材料进行直接测量等优点。它可用于爆速测量，测量飞片速度、飞片平整性、样品中冲击波速度和材料高压声速以及测量炸药爆速和爆轰波阵面等，利于水下爆速测量。

BVW2型多通道电导探针气泡特征参数测量仪BVW2型多通道电导探针气泡特征参数测量仪应用一定间距排列的两支电导探针测量反应器内局部电导率值，根据气液两相电导率的显著差异，可以准确反映所处位置气相(气泡)变化过程，用于测量气液两相流流动过程中的局部气含率、气泡尺寸分布、气泡速度分布、界面浓度等气泡特征参数。整套设备由BVW2多通道气泡特征参数测量仪主机、4-16支电导探针、信号电缆及应用软件组成。技术指标仪器型号：BVW2-4、BVW2-8、BVW2-16；适用环境：电导率100-2000μs/cm的清洁水；常温，不高于60°C；压力小于0.1Mp；测量范围：气泡流速1 m/s，气泡尺寸约 2～30 mm；测量方式：接触式在线测量；探针尺寸：标准探针测量端面直径5mm，探针测量段长度400mm；备注：配合不同规格的订制电导探头可对不同情况下的气泡进行测量；产品特点产品尺寸小，对流动体系干扰较小；仪器可同时连接4、8或16支探针，可实时对4、8或16个测量点同时测量；各通道分别设有激励电平及电平偏移调节功能，采样频率（500Hz-20kHz）和采样数据量可调；该系统软件功能包括：原始数据采集和显示；实时或回放显示每个通道电压-时间曲线；保存每个通道电压-时间数据，计算和保存每个通道的电压平均值和阈值电压、气泡平均速度、速度极值、气泡速度分布、气泡含率、气泡平均直径、直径极值以及直径分布等；可设置和保存包括采样频率、采样数据量、探针间距和采样通道窗口等；保存的数据文件可由记事本和EXCEL软件打开；应用测量软件可在windows环境下运行；在线测量，实时数据显示，原始数据、计算得出的气泡速度、直径分布等可通过直方图、列表、曲线等方式给出统计结果。

机器是双系统控制模式，可电脑控制，也可以触摸屏控制。 数据处理：测试数据可显示测试点的 X, Y 坐标，电流电压范围，电阻，电阻率等。 图谱功能画面：制图软件可根据样品形状，测量点数量和位置，测量点的方阻值绘出2D, 3D MAP图. 控制系统：机器是双系统控制模式，可电脑控制，也可以触摸屏控制 有伺服电机，高精度走位，探头压力传感器，设有多重压力感应保护机制。测量区域封闭无尘空间，减少污染。 机器参数1．方阻测量范围：1x10E-6ohm/sq~5x10E6ohm/sq2．四探针探头测量金属类型：铝 / 钛 / 镍钒 / 金/ 铜 等金属3．四探针探头测量金属厚度：100A～10μm4．四探针系统电流量程：1μA , 10μA , 100μA ,1mA , 10mA , 50mA , 500mA 七档5．四探针标准晶圆方阻重复性：1，≤±0.1%（同点静态测量）2，≤±0.2% （动态多点测量）6．四探针标准晶圆测量精度：≤±1%（典型晶圆）7．量测区域：以探针头的中心到晶圆的边缘距离3mm8．测试图形： 1，极地图形（在对位晶圆的notch) 2，矩形图形（无效边缘排除以外进行选择） 3，直线扫描（可以是直径，半径或沿直径的点到点，最小距离0.1mm) 4，用户自定义（使用模板） 9．测量图形表示：可以为轮廓图，3D图，water上显示的数据图数据表示10．探针自清洁功能：陶瓷片清洁11．所有设备测量的数据文件可以被导入到Excel，Word文档，工作站等，数据图形可以合并

冠测仪器双极板电容水分测定仪GEST-20042产品名称：全自动炭纸及双极板电阻仪 产品型号：GEST-20042参考标准：GB/T20042.7-2014质子交换膜燃料电池第7部分_炭纸特性测试方法GB/T 20042.6-2011 质子交换膜燃料电池 第6部分：双极板特性测试方法一、产品概述：本仪器主要应用于测试质子交换膜燃料电池用炭纸、及双极板电阻特性测试专用仪器。本仪器依据用户的实际测试需求研发，为用户降低采购成本，本仪器既可以测试垂直方向电阻率，也可以测试水平方向电阻率，真正实现了一台设备，解决炭纸、双极板电阻特性的测试需求。本仪器结构组成以下部分组成：1、力值加载系统：由伺服电机为动力源进行加载，精确控制压力，无噪音，连续加载2、电阻测量系统：电阻测量范围宽，满足多种测试量程的需求3、系统控制采集：10寸触摸屏进行控制操作，页面实时显示测试数据，并可以打印测试数据4、镀金测量电极：50mm镀金电极测试二、优势特点：1、14寸/10寸触摸屏显示，支持远程升级2、同时支持水平电阻测试（四探针法）和垂直电阻测试（2探针法）3、测试过程实时显示压力、压强、压缩厚度、压缩率、电压、电阻、电流、电阻率、电导率4、电阻率显示单位及电导率多种单位可选5、可对单点测试的试验结果进行打印6、多种测试模式：恒压力、恒压强、梯度压力、梯度压强、压缩比7、梯度多点测试结果，能够自动统计各梯度之间的电阻差值，并自动计算百分比8、可以梯度模式测试的结果进行在线查看及数据导出9、测试过程全自动化，试验完成后自动复位

高温四探针测试仪 HGTZ-800型号高温四探针测试仪器采用四探针双电测量方法，适用于生产企业、高等院校、科研部门，是检验和分析导体材料和半导体材料在高温、真空及气氛条件下测量的一种重要的工具。本仪器配置各类测量装置可以测试不同材料。液晶显示，无需人工计算，并带有温度补偿功能。采用高精度AD芯片控制，恒流输出，结构合理、质量轻便，配备10英寸触摸屏，软件可保存和打印数据，自动生成报表；本仪器可显示电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电 流、电压、探针形状、探针间距、厚度、电导 率，配置不同的测试治具可以满足不同材料的测试要求。测试治具可以根据产品及测试项目要求选购。双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测量。该仪器利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响，它与单电测直线或方形四探针相比，大大提高精确度,也可应用于产品检测以及新材料电学性能研究等用途。 HGTZ-800型号系列采用电子护系统，设备的安全性；选用热电偶保定温度的采集有效值、采用SPWM 电子升压技术，电压输出稳定性好。配备高精度电压、电流传感器以保证试验数据的有效性。 HGTZ-800型号系統搭配Labview系统开发的hcpro软件，具备弹性的自定义功能，可进行电压、电 流、温度、时间等设置，符合导体、半导体材料与其它新材料测试多样化的需求。高精度的输出与测量规格，保障检测结果的品质，适用于新材料数据的检测。例如：多晶硅材料、石墨烯材料、导电功能薄膜材料、半导体材料，也可做为科研院所新材料的耐电弧性材料的性能测试。针探针测试仪做了多项安全设计，测试过程中有过电压、过电流、超温等异常情况以保证测试过程的安全；资料保存机制：当遇到电脑异常瞬时断电可将资料保存于控制器中，不丢失试验数所新开启动后可恢复原有试验数据。 应用领域： █ 多晶硅材料█ 石墨烯材料 █ 石墨功能材料 █ 半导体材料 █ 导电功能薄膜材料 █ 锗类功能材料 █ 导电玻璃（ito）材料 █ 柔性透明导电薄膜 █ 其它导电材料等 系统功能： █ 电压、电流、温度实时显示 █ 自动升压功能 █ 循环自动测试 █ 升温速度可控 █ 自动试验报表 █ 过压、过流、超温报警 █ 软件自动升级 █ 试验电压、电流可调 █ 电极方便更换 █ 在线设备诊断 系统特点： 多功能真空加热炉，一体炉膛设计、可实现、高温、真空、气氛环境下进行测试 █ 采用铂材料作为导线、以减少信号衰减、提高测试精度， █ 可以测量半导体薄膜材、薄片材料的方块电阻、电阻率； █ 可实现常温、变温、恒温条件的I-V、R-T、R-t等测量功能 █ 温度传感器、PID自动温度控制，使测量温度更准确； █ 仪器可自动计算试样的电阻率pv █ 10寸触摸屏设计，一体化设计机械结构，稳定、可靠； █ 程控电子升压技术，纹波低、TVS防护系统，保证仪器安 █ 99氧化铝陶瓷绝缘、碳化钨探针； █ huace pro 强大的控制分析软件。

高温四探针电阻率测试仪一.概述：采用四探针双电组合测量方法测试方阻和电阻率系统与高温箱结合配置高温四探针测试探针治具与PC软件对数据的处理和测量控制，解决半导体材料的电导率对温度变化测量要求，软件实时绘制出温度与电阻，电阻率，电导率数据的变化曲线图谱，及过程数据值的报表分析.二.适用行业：:用于：企业、高等院校、科研部门对导电陶瓷、硅、锗单晶（棒料、晶片）电阻率、测定硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻以及测量导电玻璃（ITO）和其它导电薄膜等新材料方块电阻、电阻率和电导率数据.双电测四探针仪是运用直线四探针双位测量。设计参照单晶硅物理测试方法并参考美国 A.S.T.M 标准。三.型号及参数：规格型号FT-351AFT-351BFT-351C1.方块电阻范围 10-5～2×105Ω/□10-6～2×105Ω/□10-4～1×107Ω/□2.电阻率范围10-6～2×106Ω-cm10-7～2×106Ω-cm10-5～2×108Ω-cm3.测试电流范围0.1μA.μA.0μA，100μA，1mA，10mA，100 mA1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA10mA ---200pA4.电流精度±0.1%读数±0.1读数±2%5.电阻精度≤0.3%≤0.3%≤10%PC软件界面显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率7.测试方式双电测量8.四探针仪工作电源AC 220V±10%.50Hz 30W 9.误差≤3%（标准样片结果≤15%温度(选购) 常温 --400℃；600℃；800℃；1000℃；1200℃；1400℃；1600℃气氛保护（气体客户自备）常用气体如下：氦(He)、氖(Ne)、氩(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe)、氡(Rn)，均为无色、无臭、气态的单原子分子温度精度冲温值：≤1-3℃；控温精度：±1°C升温速度：常温开始400℃--800℃需要15分钟；800℃-1200℃需要30分钟；1400℃-1600℃需要250分钟—300分钟高温材料采用复合陶瓷纤维材料，具有真空成型，高温不掉粉的特征PC软件 测试PC软件一套，USB通讯接口，软件界面同步显示、分析、保存和打印数据！ 电极材料 钨电极或钼电极 探针间距 直线型探针，探针中心间距：4mm；样品要求大于13mm直径标配外（选购）： 电脑和打印机1套；2.标准电阻1-5个 高温电源： 供电：400-1200℃ 电源220V，功率4KW；380V 1400℃-1600℃电源380V；功率9KW： 配套方案：解决各材料状态 --固态、液态、气态、颗粒状 电阻、电阻率、电导率测量

光纤探针是本公司采用有热熔拉伸技术研制的气泡参数测量仪。基于光纤顶端接触的介须不同折射率也不相同的原理进行测量。探针处于气相时，光在探针顶端形成全反射，反射光强度高:探针处于液相时，反射光强度低，基于光强的差异判断探针顶部所处相态。光纤直径65um，探针外包金属毛细管，光纤与毛细管间的缝隙用高强度无机胶密封 毛细管尾部与不锈钢管相连，采用联式加固结构，逐渐增加直径，既可以保证探针的强度，又减少对流场的影响。光纤直径小，联式结构，对流场影响小，数据准确无机胶密封，适用于高温体系毛细管、不锈钢管钎焊连接，适用于高压体系无机胶密封，不溶不挥发，适用有机溶剂体系基于反射光强度的不同进行测量，适用于非导电介质气泡检测仪，气泡探测仪，掺气率测量仪，含气率测量仪，气泡探针，电导探针，流体探针，光纤探针，气泡大小测量，气泡速度测量，气泡速率测量，气泡粒径测量，液滴检测仪，液滴探测仪，带液率测量仪，气泡测试仪，液滴粒径测量仪，液滴大小测量仪，液滴速度测量仪，液滴速率测量仪，液滴测量仪，蓝宝石探针，双光纤探针，气泡检测仪，气泡探测仪，掺气率测量仪，含气率测量仪，气泡探针，电导探针，流体探针，光纤探针，气泡大小测量，气泡速度测量，气泡速率测量，气泡粒径测量，液滴检测仪，液滴探测仪，带液率测量仪，气泡测试仪，液滴粒径测量仪，液滴大小测量仪，液滴速度测量仪，液滴速率测量仪，液滴测量仪，蓝宝石探针，双光纤探针，气泡检测仪，气泡探测仪，掺气率测量仪，含气率测量仪，气泡探针，电导探针，流体探针，光纤探针，气泡大小测量，气泡速度测量，气泡速率测量，气泡粒径测量，液滴检测仪，液滴探测仪，带液率测量仪，气泡测试仪，液滴粒径测量仪，液滴大小测量仪，液滴速度测量仪，液滴速率测量仪，液滴测量仪，蓝宝石探针，双光纤探针，气泡检测仪，气泡探测仪，掺气率测量仪，含气率测量仪，气泡探针，电导探针，流体探针，光纤探针，气泡大小测量，气泡速度测量，气泡速率测量，气泡粒径测量，液滴检测仪，液滴探测仪，带液率测量仪，气泡测试仪，液滴粒径测量仪，液滴大小测量仪，液滴速度测量仪，液滴速率测量仪，液滴测量仪，蓝宝石探针，双光纤探针，气泡检测仪，气泡探测仪，掺气率测量仪，含气率测量仪，气泡探针，电导探针，流体探针，光纤探针，气泡大小测量，气泡速度测量，气泡速率测量，气泡粒径测量，液滴检测仪，液滴探测仪，带液率测量仪，气泡测试仪，液滴粒径测量仪，液滴大小测量仪，液滴速度测量仪，液滴速率测量仪，液滴测量仪，蓝宝石探针，双光纤探针，气泡检测仪，气泡探测仪，掺气率测量仪，含气率测量仪，气泡探针，电导探针，流体探针，光纤探针，气泡大小测量，气泡速度测量，气泡速率测量，气泡粒径测量，液滴检测仪，液滴探测仪，带液率测量仪，气泡测试仪，液滴粒径测量仪，液滴大小测量仪，液滴速度测量仪，液滴速率测量仪，液滴测量仪，蓝宝石探针，双光纤探针，气泡检测仪，气泡探测仪，掺气率测量仪，含气率测量仪，气泡探针，电导探针，流体探针，光纤探针，气泡大小测量，气泡速度测量，气泡速率测量，气泡粒径测量，液滴检测仪，液滴探测仪，带液率测量仪，气泡测试仪，液滴粒径测量仪，液滴大小测量仪，液滴速度测量仪，液滴速率测量仪，液滴测量仪，蓝宝石探针，双光纤探针，气泡检测仪，气泡探测仪，掺气率测量仪，含气率测量仪，气泡探针，电导探针，流体探针，光纤探针，气泡大小测量，气泡速度测量，气泡速率测量，气泡粒径测量，液滴检测仪，液滴探测仪，带液率测量仪，气泡测试仪，液滴粒径测量仪，液滴大小测量仪，液滴速度测量仪，液滴速率测量仪，液滴测量仪，蓝宝石探针，双光纤探针，气泡检测仪，气泡探测仪，掺气率测量仪，含气率测量仪，气泡探针，电导探针，流体探针，光纤探针，气泡大小测量，气泡速度测量，气泡速率测量，气泡粒径测量，液滴检测仪，液滴探测仪，带液率测量仪，气泡测试仪，液滴粒径测量仪，液滴大小测量仪，液滴速度测量仪，液滴速率测量仪，液滴测量仪，蓝宝石探针，双光纤探针，气泡检测仪，气泡探测仪，掺气率测量仪，含气率测量仪，气泡探针，电导探针，流体探针，光纤探针，气泡大小测量，气泡速度测量，气泡速率测量，气泡粒径测量，液滴检测仪，液滴探测仪，带液率测量仪，气泡测试仪，液滴粒径测量仪，液滴大小测量仪，液滴速度测量仪，液滴速率测量仪，液滴测量仪，蓝宝石探针，双光纤探针，气泡检测仪，气泡探测仪，掺气率测量仪，含气率测量仪，气泡探针，电导探针，流体探针，光纤探针，气泡大小测量，气泡速度测量，气泡速率测量，气泡粒径测量，液滴检测仪，液滴探测仪，带液率测量仪，气泡测试仪，液滴粒径测量仪，液滴大小测量仪，液滴速度测量仪，液滴速率测量仪，液滴测量仪，蓝宝石探针，双光纤探针，气泡检测仪，气泡探测仪，掺气率测量仪，含气率测量仪，气泡探针，电导探针，流体探针，光纤探针，气泡大小测量，气泡速度测量，气泡速率测量，气泡粒径测量，液滴检测仪，液滴探测仪，带液率测量仪，气泡测试仪，液滴粒径测量仪，液滴大小测量仪，液滴速度测量仪，液滴速率测量仪，液滴测量仪，蓝宝石探针，双光纤探针，气泡检测仪，气泡探测仪，掺气率测量仪，含气率测量仪，气泡探针，电导探针，流体探针，光纤探针，气泡大小测量，气泡速度测量，气泡速率测量，气泡粒径测量，液滴检测仪，液滴探测仪，带液率测量仪，气泡测试仪，液滴粒径测量仪，液滴大小测量仪，液滴速度测量仪，液滴速率测量仪，液滴测量仪，蓝宝石探针，双光纤探针，气泡检测仪，气泡探测仪，掺气率测量仪，含气率测量仪，气泡探针，电导探针，流体探针，光纤探针，气泡大小测量，气泡速度测量，气泡速率测量，气泡粒径测量，液滴检测仪，液滴探测仪，带液率测量仪，气泡测试仪，液滴粒径测量仪，液滴大小测量仪，液滴速度测量仪，液滴速率测量仪，液滴测量仪，蓝宝石探针，双光纤探针，气泡检测仪，气泡探测仪，掺气率测量仪，含气率测量仪，气泡探针，电导探针，流体探针，光纤探针，气泡大小测量，气泡速度测量，气泡速率测量，气泡粒径测量，液滴检测仪，液滴探测仪，带液率测量仪，气泡测试仪，液滴粒径测量仪，液滴大小测量仪，液滴速度测量仪，液滴速率测量仪，液滴测量仪，蓝宝石探针，双光纤探针，气泡检测仪，气泡探测仪，掺气率测量仪，含气率测量仪，气泡探针，电导探针，流体探针，光纤探针，气泡大小测量，气泡速度测量，气泡速率测量，气泡粒径测量，液滴检测仪，液滴探测仪，带液率测量仪，气泡测试仪，液滴粒径测量仪，液滴大小测量仪，液滴速度测量仪，液滴速率测量仪，液滴测量仪，蓝宝石探针，双光纤探针，气泡检测仪，气泡探测仪，掺气率测量仪，含气率测量仪，气泡探针，电导探针，流体探针，光纤探针，气泡大小测量，气泡速度测量，气泡速率测量，气泡粒径测量，液滴检测仪，液滴探测仪，带液率测量仪，气泡测试仪，液滴粒径测量仪，液滴大小测量仪，液滴速度测量仪，液滴速率测量仪，液滴测量仪，蓝宝石探针，双光纤探针

FT-351高温四探针电阻率测试系统一、概述：采用由四探针双电测量方法测试方阻和电阻率系统与高温试验箱结合配置专用的高温测试探针治具，满足半导体材料因温度变化对电阻值变化的测量要求，通过先进的测控软件可以显示出温度与电阻，电阻率，电导率数据的变化曲线，是检验和分析导体材料和半导体材料质量的一种重要的工具。二、适用行业：广泛用于：生产企业、高等院校、科研部门对导电陶瓷、硅、锗单晶（棒料、晶片）电阻率、测定硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻以及测量导电玻璃（ITO）和其它导电薄膜的方块电阻、电阻率和电导率数据.三、功能介绍：液晶显示，无需人工计算，并带有温度补偿功能，电阻率单位自动选择，仪器自动测量并根据测试结果自动转换量程，无需人工多次和重复设置。采用高精度AD芯片控制，恒流输出，结构合理、质量轻便，运输安全、使用方便；配备软件可以由电脑操控，并保存和打印数据，自动生成报表；本仪器采用4.3吋大液晶屏幕显示，同时显示液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率，配置不同的测试治具可以满足不同材料的测试要求。测试治具可以根据产品及测试项目要求选购.双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测量。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准。利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响，它与单电测直线或方形四探针相比，大大提高精确度，特别是适用于斜置式四探针对于微区的测试。四、技术参数资料1.方块电阻范围：10-5～2×105Ω/□2.电阻率范围：10-6×106cm3.测试电流范围：0.1μA ，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100 mA4.电流精度：±0.1%读数5.电阻精度：≤0.3%6.显示读数：液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率7.测试方式: 双电测量8.工作电源: 输入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗：30W9.整机不确定性误差: ≤4%（标准样片结果）10. 温度： 1200℃可调节；冲温值：≤1-3℃；控温精度：±1°C11、升温速度：9999分钟以内自由设定,一般10分钟内即可升到900℃；功率：3kw.12、炉膛材料：采用复合陶瓷纤维材料，具有真空成型，高温不掉粉的特征。13.专用测试PC软件一套，USB通讯接口，软件界面同步显示、分析、保存和打印数据！14.选购：电脑和打印机还有如下相关产品：FT-351高温四探针电阻率测试系统；FT-352导体材料高温电阻率测试系统； FT-353绝缘材料高温表面和体积电阻率测试系统 ROOKO/瑞柯品牌，来自瑞柯仪器公司，一个专注于改变人们生活方式和品质的企业. 专业与精致并重；智慧之原

四探针电阻率测试仪/四探针电阻率仪/方阻测试仪/方阻仪/四探针电阻率测定仪（自动测试台+带软件） 型号：KDK-KDY-1四探针电阻率/方阻测试仪（以下简称电阻率测试仪）是用来测量半导体材料（主要是硅单晶、锗单晶、硅片）电阻率，以及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。它主要由电气测量份（简称：主机）、测试架及四探针头组成。本仪器的特点是主机配置双数字表，在测量电阻率的同时，另块数字表（以分之几的度）适时监测程的电流变化，免除了测量电流/测量电阻率的转换，更及时掌控测量电流。主机还提供度为0.05%的恒流源，使测量电流度稳定。本机配有恒流源开关，在测量某些箔层材料时，可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生，地保护箔膜。“小游移四探针头”，探针游移率在0.1～0.2%。保证了仪器测量电阻率的重复性和准确度。本机如加配HQ-710E数据处理器，测量硅片时可自动行厚度、直径、探针间距的修正，并计算、打印出硅片电阻率、径向电阻率的百分变化、平均百分变化、径向电阻率不均习庋。给测量带来很大方便。2、主机能数（1）测量范围：可测电阻率：0.0001～19000Ω?cm可测方块电阻：0.001～1900Ω?□（2）恒流源：输出电流：DC 0.001～100mA 五档连续可调量程：0.001～0.01mA0.01～0.10mA0.10～1.0mA1.0～10mA10～100mA恒流度：各档均低于±0.05%（3）直流数字电压表：测量范围：0～199.99mV灵敏度：10μV基本误差：±（0.004%读数+0.01%满度）输出电源：≥1000ΩM（4）供电电源：AC 220V±10% 50/60 Hz 率：12W（5）使用环境：温度：23±2℃ 相对湿度：≤65%无较强的电场干扰，无强光直接照射（6）重量、体积：主机重量：7.5kg体积：365×380×160（单位：mm 长度×宽度×度）备注：等测量时（测电阻率），度3%电气测量时（测电阻），度在0.3%以内 备注：仪器包括：主机台；测试架（包括台面）个；四探针头1个；软件

Signatone四点探针与电阻率测试设备 Signatone 公司生产制造的QuadPro 制程发展电阻率测量系统包含了手动和自动的测量系统。手动系统包含一个滚珠轴承的四点探针机台，为因应使用的需要，手动机台往后可以升级增加自动机台的功能．自动机台系统是由计算机控制马达带动的，在测量100毫米、125 毫米、150 毫米、200 毫米、300 毫米的待测样品时，可设定自动测量9、25、49、或121 个测试点．系统使用四点探针，双架构测试方式，并整合了目前最佳的测量仪表可达到在1mΩ/□至2MΩ/□间小于1% 的误差．系统的准确度(Accuracy)与校准(Calibration)可追朔至美国国家标准局(NIST)。其它特点：平均电阻率(Resitivity)、电阻率标准差(Standard Deviation)、平均片电阻(Sheet Resistance)、片电阻标准差电阻温度系数(TCR, Temperature Coefficient of Resistance)使用自动温度控制器与温控待测样品载台(选用)及仪表测量电阻温度系数测量结果可以用二维(2D)或三维(3D)方式图形表示采用双架构测试方式(Dual Configuration)以达到最佳的系统准确性(Accuracy)与重复性(Repeatability)待测样品大小可由10 毫米到300 毫米在每个待测样品可上可自动测量高达49个可追朔至美国国家标准局的测试点QuadPro Automatic System (自动系统)自动的QuadPro 系统包括计算器、歩进马达控制单元、机台本体、200 毫米或者300 毫米隔离的待测样品载台(Isolated Chuck)。系统软件的设计让使用者可针对测量需求选择在每个待测样品上测量1、5、9、25 或者49 个自动测试点，并可自动绘图显示测量结果。使用者并可设定测试点在待测样品上的分布为方型或圆性。为提升测量数据的准确性与统计的有效性，软件可定义待测样品边缘的测量数据是否被采用。在测量开始时，系统软件自动搜集阻值范围，并据以作最佳的仪表设定。系统采用的双架构测试方式可消除因四点探针头结构误差所产生的测量误差，以提升系统测量的重复性和准确度。系统软件会控制并纪录每个测量点的位置与测量值，测量的结果如片电阻、电阻率和V /I(电压/电流)可在同一个测量结果的表格中表示。在完成全部测试点测量时，系统会用等高线图展示测量结果，此等高线图可在二维图与三维图间轻易的切换观看．电阻率与片电阻的平均值及标准差都会显示在等高线图上 QuadPro TCR Option (电阻温度系数测量选用项)电阻温度系数量测选用项整合了待测样品温度控制、仪表控制与温度系数运算的能力以完成电阻温度系数量测的功能。Signatone 提供了多种温度范围的温控待测样品载台系统供使用者选用。使用者可依测量需要设定开始温度、截止温度与在每个温度点停留多少时间后在开始量测。温度与量测得到的电阻值会存在同一个表格或图表内，以方便后续的分析使用。一般最常被采用的温控待测样品载台系统为室温至350°C。但是除了350°C 温控待测样品载台系统之外，Signatone 也提供低至-55°C 与高至600°C 的温控待测样品载台系统。一般QuadPro 的系统架构包括一台吉时利(Keithley)的2400 仪表(Source Measurement Meter)。吉时利2400 可测量的电阻范围为1mΩ至2MΩ。若使用者要测量更高电阻的材料，QuadPro 的系统架构将包括安捷伦(Agilent)的4156 参数分析仪，并采用隔离式的三轴系统架构，如此架构的QuodPro 系统的电阻测量范围为100mΩ 至10GΩ。为达到最佳的量测准确度，QuadPro 采用了美国ASTM 标准F84-99 测试方法的双架构测试方式以补偿因为四点探针头间距可能不精确或量测接近导电层边缘而造成的量测误差．Signatone 同时也提供准确度可追朔至美国国家标准局(NIST)的校准片，适当的使用校准片和QuadPro 提供的校准程序，可确保系统的准确性优于1%．Four Point Probe Head (四点探针头)Signatone 提供了两大系列的四点探针头供使用者选用；SP4 系列和HT4系列．SP4 系列四点探针头是被大多数应用所采用的四点探针头，它是由直线排列的塑钢探针所组成．SP4 系列四点探针头提供了下列选项以适应各种应用：探针间距：0.040、0.050、0.0625 英寸探针针压：45、85、180 克探针材质：碳化钨(Tungsten Carbide)、锇(Osmium)探针半径：0.0016、0.005、0.010 英寸HT4 系列四点探针头表面看起来与SP4 系列四点探针头类似，但是HT4系列四点探针头适用陶瓷做的，故适用于高温与高电阻的测量，HT4 系列四点探针头可工作至650oC，而且HT4 系列四点探针头的耐高温同轴接线设计使其可测量的电阻值高达10GΩ．探针间距：0.050、0.0625 英寸探针针压：180 克探针材质：碳化钨(Tungsten Carbide)、锇(Osmium)探针半径：0.0016、0.005、0.010 英寸QuadPro Test & Calibration (测试与校准)Pro4-440N configuration (系统架构)电压与电流(V/I)的量测结果会记录在软件内．系统采用了美国ASTM 标准F84-99 测试方法的双架构测试方式以补偿因为四点探针头间距可能不精确或量测接近导电层边缘而造成的量测误差．Signatone 同时也提供准确度可追朔至美国国家标准局(NIST)的校准片，适当的使用校准片和QuadPro 提供的校准程序，可确保系统的准确性优于1%．Pro4-440N 系统的标准范围是1mΩ/□至800KΩ/□．Pro4 Manual Four-Point Probe with Computerized Measurement System(Pro4 手动四点探针台与测量软件)Signatone 自1968 年就已经开始提供业界四点探针电阻率量测系统，其中的Pro4 系列手动四点探针台提供了简易且方便量测片电阻率(Sheet Resistivity)与体电阻率(Bulk Resistivity)的有效方法。使用者只要手动下针并操作软件上的量测按键，软件会自动控制吉时利仪表做最佳的电流设定并得到准确的量测。Pro4-440N configuration (系统架构)电压与电流(V/I)的量测结果会记录在软件内．系统采用了美国ASTM 标准F84-99 测试方法的双架构测试方式以补偿因为四点探针头间距可能不精确或量测接近导电层边缘而造成的量测误差．Signatone 同时也提供准确度可追朔至美国国家标准局(NIST)的校准片，适当的使用校准片和QuadPro 提供的校准程序，可确保系统的准确性优于1%．Pro4-440N 系统的标准范围是1mΩ/□至800KΩ/□．Pro4 Software (软件)使用者只需输入待测样品的大小、形状、待测样品边缘不包括部分的大小与测量点数，Pro4 软件会控制系统的测量、测量资料的撷取、显示、打印与资料的输出(Export)，使用者可设定要显示的参数(如电阻、片电阻或电压/电流)，也可以定义良品/不良品(Pass/Fail)的条件．测量点会在软件上以图样标示出来，同时提醒使用者将探针移至待测点．测量结束，测量数据的平均值、标准差、最大值与最小值会被标示出来，同时可打印测量数据含良品/不良品的报表．Pro4-4400 configuration (系统架构) Pro4-4400 系统与Pro4-440N 相同，但是不含计算器．使用者需自备计算器，计算器需含窗口软件与一个RS-232 接口．Pro4 用于测量芯片或其它材料的电阻率或片电阻． Pro4 使用双架构测试方式和自动设定仪表以保证测量的准确性．系统包括手动四点探针台、二个四点探针头、吉时利仪表(Keithley 2400)与软件． Pro4-4000 configuration (系统架构) Pro4-4000 不包括计算器与仪表，但是包含软件．使用者需自备计算器与吉时利仪表(Keithley 2400)系统包括手动四点探针台、二个四点探针头与软件．Manual Four-Point Probes (手动四点探针台)Signatone 生产各式电阻率测量设备，包括简易型四点探针台与四点探针头． S-302-4右图是四吋的四点探针台，可测量大至四吋的芯片，含四吋铁氟龙(Teflon)待测样品载台。四点探针台也有6"、8”与12”的． Four Point Probe Heads (四点探针头)除了四点探针台之外，Signatone 也生产四点探针头。SP4 系列四点探针头是设计给在室温使用的。HT4 系列四点探针头是设计给在高温使用的。一般四点探针头是由四支直线排列的探针组成，但是Signatone 也提供不同排列方式的订制探针头，例如四支针成矩形排列．

四探针低电阻率测试仪技术参数：1.电阻率：10-5～2×106Ω-cm2.电 阻：10-5～2×106Ω3.电导率：5×10-6～105ms/cm4.分辨率： 小0.1μΩ测量误差±（0.05%读数±5字）5.测量电压量程： 2mV 20mV 200mV 2V 测量精度±（0.1%读数）6.分辨率： 0.1uV 1uV 10uV 100uV7.电流输出：直流电流 0～1000mA 连续可调，由交流电源供电。量程：1μA，10μA，100µ A，1mA，10mA，1000mA, 误差：±0.2%读数±2字8.显示方式：液晶显示电阻值、电阻率、电导率值、温度、压强值、单位自动换算9.传感器压力：200kg (其他规格可以定制)10.粉末测量装置 模具：内径10mm；高：25mm；加压方式：手动液压加压/自动加压方式（选购）11.电源：220±10% 50HZ/60HZ12.主机外形尺寸：330mm*350mm*120mm13.净重量：约6kg14.标配外选购：1）.标四探针低电阻率测试仪本标准修改采用SEMIMF84-1105《硅片电阻率测定四探针法》和SEMIMF397-1106《硅棒电阻率测定两探针法》。本标准与SEMIMF84-1105和SEMI MF 397-1106相比,主要变化如下:--中厚度修正系数F(W/S)表格范围增加 一按中文格式分直排四探针法、直流两探针法进行编排。本标准代替GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》和GB/T 1552-1995《硅、锗单品电阻率测定直排四探针法》。本标准与GB/T 1551-1995和GB/T 1552-1995相比，主要有如下变化:一一删除了锗单晶测定的相关内容 一用文字描述代替了原标准GB/T 1551-1995和GB/T1552-1995中的若干记录测试数据的表格 --修改了直排四探针法中计算公式 --补充了干扰因素。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会归口。本标准起草单位:信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所。本标准主要起草人:李静、何秀坤、张继荣、段曙光。本标准所代替标准的历次版本发布情况为:--GB1552-1979、GB1551--1979、GB5251--1985、GB5253-1985、GB 6615-1986 GB/T 1551-1995、GB/T1552--1995。四探针低电阻率测试仪1范围本方法规定了用直排四探针法测量硅单晶电阻率的方法.本方法适用于测量试样厚度和从试样边缘与任一探针端点的最近距离二者均大于探针间距的4倍的硅单晶体电阻率以及测量直径大于探针间距10倍、厚度小于探针间距4倍的硅单晶圆片的电阻率。本方法可测定的硅单晶电阻率范围为1X10-Ω・ cm~3X10' Ω.cm.2环境要求环境温度为23℃±1℃,相对湿度不大于65%。3干扰因素3.1光照可能严重影响观察电阻率,特别是近似本征材料。因此,所有测试应在暗室进行,除非是待测样品对周围的光不敏感。3.2当仪器放置在高频于扰源附近时,测试回路中会引入虚假电流，因此仪器要有电磁屏蔽。3.3试样中电场强度不能过大,以避免少数载流子注入。如果使用的电流适当,则用该电流的两倍或一半时,引起电阻率的变化应小于0.5%。3.4由于电阻率受温度影响,一般测试适用温度为23℃±1 ℃.3.5对于厚度对测试的影响,仲裁测量要求厚度按本方法的6.3规定测量,一般测量用户可以根据实际需要确定厚度的要求偏差。3.6由于探针压力对测量结果有影响,测量时应选择合适的探针压力。3.7仲裁测量时选择探针间距为1.59mm,非仲裁测量可选择其他探针间距。4方法提要排列成一直线的四根探针垂直地压在距离边缘6mm以上的平坦试样表面上,将直流电流I在两外探针间通入试样,测量内侧两探针间所产生的电势差V,根据测得的电流和电势差值,按式(1)计算电阻率。对圆片试样还应根据几何修正因子进行计算。测量示意图见图1.p=2xs￥..…………--…(1)式中:一电阻率,单位为欧姆厘米(Ωcm) V-测得的电势差,单位为毫伏(mV) I一通入的电流,单位为毫安(mA) S一探针间距,单位为厘米(cm).四探针低电阻率测试仪直排四探针测量示意图5测量仪器5.1探针装置由以下几部分组成。5.1.1探针用钨,碳化钨或高速钢等金属制成,针尖呈圆锥型,夹角为45°~150*,尖端初始标称半径为25 μm~50 μm。5.1.2探针压力,每根探针压力为1.75 N士0.25 N或4.0N±0.5N,分别用于硅单晶棒的电阻率测量,也可选择其他合适的探针压力。5.1.3绝缘性,一探针(包括连接弹簧和外部引线)与任何其他探针或装置任一部分之间绝缘电阻大于10’Ω.5.1.4探针排列和间距,四根探针的尖端应成等间距直线排列。仲裁测量时,探针间距(相邻探针之间的距离)标称值应为1.59mm。其他标称间距如1.00mm和0.6mm用于非仲裁测量,探针间距按7.2测定。5.1.5探针架,能在针尖几乎无横向移动的情况下使探针下降到试样表面.5.2电学测量装置由下列几部分组成。5.2.1任何满足7.1.6要求的电路均可用来进行电学测量。推荐电路(见图2)包括下述几部分。电位选择开关恒流源标准电阻数字电压表0.001mA一100mA电流选择开关探针装置圈2推荐电路图5.2.2恒流源,电流范围为10-'A~10-*A,纹波系数不大于士0.1%,稳定度优于士0.05%。5.2.3电流换向开关。5.2.4标准电阻,0.01 0~100000Ω.0.05级.5.2.5双刀双掷电位选择开关,图2推荐电路需要这一开关来选择测量标准电阻或试样上电势差。5.2.6数字电压表,可用来测量以毫伏为单位的电势差或者连同电流源一起校准到能直接读出电压-电流比值。测量满量程为0.2mV~50mV,分辨率为±0.05%(3&half 位有效数字),输入阻抗大于10°倍试样电阻率。如试样电阻率仅限定在某一数值范围内,一个较小满量程范围就足够了。5.3样品架/台,用于固定试样的合适夹具。5.4散热器,用一直径至少为100 mm,厚为38 mm的铜块来支撑圆片试样和起散热器作用(图3)。它应包括一个容纳温度计的小孔,使温度计能放置在离试样10mm范围内的散热器中心区。散热器上放一片10 μm~25μm厚的云母片,使试样和散热器电绝缘。在云母片和铜块间、温度计孔中填充矿物油活动有机硅散热以减少热阻。散热器安放应能使探针尖端阵列中心在试样中心的1mm以内。散热四探针低电阻率测试仪GB/T 1551-2009器应与电学测量装置的接地端相连接。为了迅速对准试样中心,可在散热器表面加工一个与铜块同心的浅圆环。一样品云母片38mm温度计100mm图3带有样品、云母片和温度计的散热器5.5 研磨或喷砂设备,用以提供平坦的试样表面。研磨设备应能将圆片试样研磨到厚度变化不大于试样中心处厚度值的±1.0%，5.6机械或电子厚度测量仪,能测量试样不同位置的厚度,精度优于±1.0%。5.7千分尺或游标卡尺,分辨率优于士0.05 mm。5.8微移动机构,能以0.05 mm~0.10mm增量使探针装置或硅表面以垂直于探针尖端连线方向并平行于硅表面移动。5.9 工具显微镜,分辨率为1μm。5.10显微镜至少放大400倍。5.11温度计或其他测温仪器0℃~40℃,分度值为0.1℃。5.12欧姆计,能指示大于10°Ω绝缘电阻。5.13超声波清洗器,具有适当频率(18 kHz~45 kHz)和功率。5.14化学实验室器具(如塑料烧杯、量筒、处理和清洗酸及其蒸气所需的设备等)。6试样制备6.1 试样用W14#(粒径为10μm)金刚砂研磨上下表面,保证无机械损伤、无沾污物。6.2在不包括参考面或参考缺口的圆周上测量直径3次,计算试样的平均直径D。试样直径应大于10倍平均探针间距S,直径变化不大于D的D/5S%,记下D值。6.3在试样上测量9个点的厚度(见图4)。要求各测量点厚度与试样中心点厚度的偏差不大于士1.0%,记下试样的中心厚度W.

覆盖膜 导电高分子膜，高、低温电热膜 隔热、导电窗膜 导电(屏蔽)布、装饰膜、装饰纸 金属化标签、合金类箔膜 熔炼、烧结、溅射、涂覆、涂布层，电阻式、电容式触屏薄膜 电极涂料，其他半导体材料、薄膜材料方阻测试采用四探针组合双电测量方法，液晶显示，自动测量，自动量程，自动系数补偿.高集成电路系统、恒流输出；选配：PC软件进行数据管理和处理.双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测量。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国A.S.T.M标准。利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，解决样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响.采用四探针组合双电测量方法，液晶显示，自动测量，自动量程，自动系数补偿.高集成电路系统、恒流输出；选配：PC软件进行数据管理和处理.双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测量。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法标准并参考美国A.S.T.M标准。利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，解决样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响.概述：采用四端测量法适用于生产企业、高等院校、科研部门，实验室；是检验和分析导体材料和半导体材料质量的工具。可配置不同测量装置测试不同类型材料之电阻率。液晶显示，温度补偿功能，自动量程，自动测量电阻，电阻率，电导率数据。恒流源输出；选配：PC软件过程数据处理和标准电阻校准仪器，薄膜按键操作简单，中文或英文两种语言界面选择，电位差计和电流计或数字电压表，量程为1mV¯ 100mV,分辨率为0.1%，直流输入阻抗不小250μm的半球形或半径为50 μm~125 μm的平的圆截面。探针(带有弹簧及外引线)之间或探针系统其他部分之间的绝缘电照至少为10°Ω.探针排列和间距，四探针应以等距离直线排列，探针阀距及针突状况应符合GB/T 552 中的规定。R=1(R +R, )…………………………(3)R2=与(R +R，)计算试样平均直径D与平均操针间距S之比，由表3中查出修正因子F，也可以见GB/T11073中规定的几何修正因子。 9.4计算几何修正因子F，见式(4)。对于薄层厚度小于3μm的试样，选用针尖半径为100μm250μm的半球形探针或针尖率径为50μm~125 pm平头探针，针尖与试样间压力为0.3 N¯ 0.8Ni对于薄层厚度不小于3μ的试样，选用针尖半径为35μm100 pm 半球形操针，针尖与试样间压力不大于 0.3 N.Rr=V R,/V=V/I,…… … R,=V,R,/V_=V,/I,-双刀双撑电位选择开关。.定。欧娇表，能指示阻值高达10°日的漏电阻，温度针0℃-40℃，小刻度为0.1℃。光照、高频、需动、强电磁场及温醒度等测试环境会影响测试结果，甲醇、99.5%，干燥氮气。测量仪器探针系统操针为具有45"~150°角的圆罐形破化鸭振针，针实半径分别为35μm~100μm.100 μm…… … ………(5)电压表输入阻抗会引入测试误差，硅片几何形状，表面粘污等会影响测试结果，R(TD-R_xF式中:计算每一测量位置的平均电阻R.，见式(3).试剂优级纯，纯水，25℃时电阻率大于2MN.cm,s=号(二[R，(TD-瓦(7D羽yt ..计算每一测量位置在所测温度时的薄层电阻(可根据薄层电阻计算出对应的电阻率并修正到23℃，具体见表4)见式(5).用干净涂题颗子或吸笔将试样置于样品台上，试样放置的时间应足够长，到达热平衡时，试样温度为23 ℃±1℃.接通电流，令其任一方向为正向，调节电流大小见表1测量范围电阻率：1×10-4～2×105 Ω-cm，分辨率：1×10-5～1×102 Ω-cm方 阻：5×10-4～2×105 Ω/□，分辨率：5×10-5～1×102 Ω/□电 阻：1×10-5～2×105 Ω ，分辨率：1×10-6～1×102 Ω 材料尺寸(由选配测试台决定和测试方式决定)直 径：A圆测试台直接测试方式 Φ15～130mm， 方测试台直接测试方式180mm×180mm， 长(高)度：测试台直接测试方式 H≤100mm, 测量方位: 轴向、径向均可

MPI TS2000是全球范围内公认的 探针系统的自然演变，其专用设计可满足高级半导体测试市场的需求。该系统与所有MPI系统附件完全兼容，主要设计用于解决故障分析，设计验证，IC工程，晶圆级可靠性以及对M MEMS，高功率，RF和mmW 器件测试的特殊要求。TS2000可用于环境和/或仅高温操作模式，速度极快,高可达10 Dies / second（取决于终配置），这使其成为分立RF器件进行生产前电气测试的理想选择。 特点:大探针台TS2000系列提供了易于使用的大型探针台板，以容纳多达12个DC或4个RF MicroPositioner。集成了负载拉力调谐器或更大面积的MicroPositioners,使得TS2000系统成为RF和mmW测量的理想选择。简易晶圆装载 宽大的前门通道可轻松装载/卸载100、150、200毫米的晶片，晶片碎片，甚至小至5×5毫米的IC。AUX卡盘都位于前面，可以很方便地进行装卸。没有推出阶段允许采用简单的自动化方法来进行RF校准和探针卡清洁。集成硬件控制面板智能硬件控制面板完全集成到探针系统中，并基于数十年的经验和客户互动而设计，以提供更快，更安全，更便捷的系统控制和测试操作。键盘和鼠标的位置非常重要，可以在必要时控制软件，并且还可以控制Windows基于仪器。晶圆和辅助夹具的真空控制面板位于右前侧，以便在装卸过程中轻松检修。热卡盘集成可以使用完全集成的触摸屏显示器来操作热吸盘（从20°C或从环境温度到高300°C），该触摸屏显示器放置在操作员面前的便利位置，以实现快速操作和即时反馈。探针卡和微型定位器–同时许多单探针，用于4.5英寸x 11英寸探针卡的薄型探针卡座以及较低的板到卡盘距离非常适合与主动探针同时进行探测，使该系统成为设计验证 和/或 故障分析 工作的理想选择 。整合式DarkBoxTS2000-D就是已经集成了DarkBox的TS2000！该系统专为各种测量仪器的佳占位面积，嵌入式互锁，LED照明和标准化接口面板而设计，是受光和激光安全保护的测试环境的。易于从背面板上进行访问，从而使重新配置或初始设置变得非常快捷和方便。仪器集成可选的仪器架可缩短电缆长度，并提高 RF和mmW?应用中的测量动态性和方向性。隔振TS2000结合了两种类型的隔振解决方案，可以在不同的实验室测试环境中更好地运行。总占地面积可比或小于行业中常用的独立振动台。软件套件SENTIOMPI自动工程探针系统由独特且革新性的多点触摸操作SENTIO控制软件套件 –简单直观的操作节省了大量的培训时间，“滚动”，“缩放”，“移动”命令模仿了现代智能移动设备，使每个人都可以在短短几分钟内成为专家。在活动应用程序与其余APP之间的切换仅需简单的手指操作即可。对于RF应用，无需切换到另一个软件平台– MPI RF校准软件程序QAlibria 与SENTIO完全集成 –为了遵循单一操作概念方法而易于使用。

测量装置测量装置的典型电路叉图1，范围本标准规定了用直排四探针测量硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的方法。本标准适用于测量直径大于15.9mm的由外延、扩散、离子注人到硅片表面上或表面下形成的薄层的平均薄层电阻。硅片基体导电类型与被测薄层相反。适用于测量厚度不小于0.2 μm的薄层，方块电阻的测量范围为10A-5000n.该方法也可适用于更高或更低照值方块电阻的测量，但其测量准确度尚未评估。使用直排四探针测量装置、使直流电流通过试样上两外探件，测量两内操针之间的电位差，引人与试样几何形软有关的修正因子，计算出薄层电阻。覆盖膜 导电高分子膜，高、低温电热膜 隔热、导电窗膜 导电(屏蔽)布、装饰膜、装饰纸 金属化标签、合金类箔膜 熔炼、烧结、溅射、涂覆、涂布层，电阻式、电容式触屏薄膜 电极涂料，其他半导体材料、薄膜材料方阻测试采用四探针组合双电测量方法，液晶显示，自动测量，自动量程，自动系数补偿.高集成电路系统、恒流输出；选配：PC软件进行数据管理和处理.R,=V,R,/V_=V,/I,-双刀双撑电位选择开关。.定。欧娇表，能指示阻值高达10°日的漏电阻，温度针0℃-40℃，小刻度为0.1℃。光照、高频、需动、强电磁场及温醒度等测试环境会影响测试结果，甲醇、99.5%，干燥氮气。测量仪器探针系统操针为具有45"~150°角的圆罐形破化鸭振针，针实半径分别为35μm~100μm.100 μm…… … ………(5)电压表输入阻抗会引入测试误差，硅片几何形状，表面粘污等会影响测试结果，R(TD-R_xF式中:计算每一测量位置的平均电阻R.，见式(3).试剂优级纯，纯水，25℃时电阻率大于2MN.cm,s=号(二[R，(TD-瓦(7D羽yt ..计算每一测量位置在所测温度时的薄层电阻(可根据薄层电阻计算出对应的电阻率并修正到23℃，具体见表4)见式(5).用干净涂题颗子或吸笔将试样置于样品台上，试样放置的时间应足够长，到达热平衡时，试样温度为23 ℃±1℃.接通电流，令其任一方向为正向，调节电流大小见表1测量范围电阻率：1×10-4～2×105 Ω-cm，分辨率：1×10-5～1×102 Ω-cm方 阻：5×10-4～2×105 Ω/□，分辨率：5×10-5～1×102 Ω/□电 阻：1×10-5～2×105 Ω ，分辨率：1×10-6～1×102 Ω 材料尺寸(由选配测试台决定和测试方式决定)直 径：A圆测试台直接测试方式 Φ15～130mm， 方测试台直接测试方式180mm×180mm， 长(高)度：测试台直接测试方式 H≤100mm, 测量方位: 轴向、径向均可

电阻率测试仪,四探针方阻电阻率测试仪, 适用范围Widely used：1.覆盖膜 导电高分子膜，高、低温电热膜 隔热、防辐射导电窗膜 导电(屏蔽)布、装饰膜、装饰纸 金属化标签、合金类箔膜 熔炼、烧结、溅射、涂覆、涂布层，电阻式、电容式触屏薄膜 电极涂料，其他半导体材料、薄膜材料方阻测试2.硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻 半导体材料/晶圆、太阳能电池、电子元器件，导电薄膜（ITO导电膜玻璃等），金属膜，导电漆膜，蒸发铝膜，PCB铜箔膜，3.EMI涂层等物质的薄层电阻与电阻率 导电性油漆，导电性糊状物，导电性塑料，导电性橡胶，导电性薄膜，金属薄膜，4.抗静电材料， EMI 防护材料，导电性纤维，导电性陶瓷等， 功能描述Description：四探针单电测量方法液晶显示，自动测量，自动量程，自动系数补偿.高集成电路系统、恒流输出.选配：PC软件进行数据管理和处理.提供中文或英文两种语言操作界面选择 满足标准：1.硅片电阻率测量的国际标准（ASTM F84）.2.GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》.3.GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》.4.GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》. FT-343双电测电四探针方阻电阻率测试仪本仪器本仪器采用四探针双电测量方法，适用于生产企业、高等院校、科研部门，是检验和分析导体材料和半导体材料质量的一种重要的工具。本仪器配置各类测量装置可以测试不同材料。液晶显示，无需人工计算，并带有温度补偿功能，电阻率单位自动选择，仪器自动测量并根据测试结果自动转换量程，无需人工多次和重复设置。采用高精度AD芯片控制，恒流输出，结构合理、质量轻便，运输安全、使用方便；选配：配备软件可以由电脑操控，并保存和打印数据，自动生成报表；本仪器采用4.3吋大液晶屏幕显示，同时显示液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率，配置不同的测试治具可以满足不同材料的测试要求。测试治具可以根据产品及测试项目要求选购.双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测量。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准。利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响，它与单电测直线或方形四探针相比，大大提高精确度，特别是适用于斜置式四探针对于微区的测试。参数资料1.方块电阻范围：10-3～2×105Ω/□2.电阻率范围：10-4～2×106Ω-cm3.测试电流范围：0.1μA ，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100 mA4.电流精度：±0.2%读数5.电阻精度：≤0.3%6.显示读数：液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率7.测试方式: 双电测量8.工作电源: 输入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗：30W9.整机不确定性误差: ≤4%（标准样片结果）10.选购功能: 选购1.pc软件；选购2.方形探头； 选购3.直线形探头； 选购4.测试平台11.测试探头： 探针间距选购：1mm；2mm；3mm三种规格 探针材质选购：碳化钨针 白钢针；镀金磷铜半球形针 FT-345双电测电四探针方阻电阻率测试仪本仪器本仪器采用四探针双电测量方法，适用于生产企业、高等院校、科研部门，是检验和分析导体材料和半导体材料质量的一种重要的工具。本仪器配置各类测量装置可以测试不同材料。液晶显示，无需人工计算，并带有温度补偿功能，电阻率单位自动选择，仪器自动测量并根据测试结果自动转换量程，无需人工多次和重复设置。采用高精度AD芯片控制，恒流输出，结构合理、质量轻便，运输安全、使用方便；选配：配备软件可以由电脑操控，并保存和打印数据，自动生成报表；本仪器采用4.3吋大液晶屏幕显示，同时显示液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率，配置不同的测试治具可以满足不同材料的测试要求。测试治具可以根据产品及测试项目要求选购.双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测量。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准。利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响，它与单电测直线或方形四探针相比，大大提高精确度，特别是适用于斜置式四探针对于微区的测试参数资料1.方块电阻范围：10-3～2×103Ω/□2.电阻率范围：10-4～2×104Ω-cm3.测试电流范围：10μA，100μA，1mA，10mA，100 mA4.电流精度：±0.3%读数5.电阻精度：≤0.5%6.显示读数：液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率7.测试方式: 双电测量8.工作电源: 输入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗：30W9.整机不确定性误差: ≤4%（标准样片结果）10.选购功能: 选购1.pc软件；选购2.方形探头； 选购3.直线形探头； 选购4.测试平台11.测试探头： 探针间距选购：1mm；2mm；3mm三种规格 探针材质选购：碳化钨针 白钢针；镀金磷铜半球形针 四探针电阻率/方阻测试仪,四探针测量仪,探针测试仪,导体电阻,体积电阻测试仪,四探针法测电阻,方块电阻测试仪,薄膜或涂层方块电阻测试仪

SCTS-2000系型双电测式四探针测试仪关键词：双电测，导电薄膜，导体SCTS-2000系型双电测式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测-改进形范德堡测量方法测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准。利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响，它与单电测直线或方形四探针相比，大大提高正确度，特别是适用于斜置式四探针对于微区的测试。仪器适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试，特别是适用于斜置式四探针对于微区的测试。一、主要特点： 1、 根据不同材料特性需要，探头可有多款选配。有高耐磨碳化钨探针探头，以测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻；2、 也有球形镀金铜合金探针探头，可测柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜（ITO膜）或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。3、 换上四端子测试夹具，还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。4、由主机、选配的四探针探头、测试台以及PC软件等部分组成。 二、基本技术参数3.1 测量范围 电阻率：1×10-4～2×105 Ω-cm，分辨率：1×10-5～1×102 Ω-cm 方 阻：5×10-4～2×105 Ω/□，分辨率：5×10-5～1×102 Ω/□ 电 阻：1×10-5～2×105 Ω ，分辨率：1×10-6～1×102 Ω3.2 材料尺寸(由选配测试台决定和测试方式决定) 直 径：圆测试台直接测试方式 Φ15～130mm，手持方式不限 SZT-B/C/F方测试台直接测试方式180mm×180mm，手持方式不限. 长(高)度：测试台直接测试方式 H≤100mm, 手持方式不限. 测量方位: 轴向、径向均可3.3. 4-1/2 位数字电压表： (1)量程： 20.00mV～2000mV (2)误差：±0.1%读数±2 字3.4 数控恒流源 (1)量程：0.1μA，1μA，10μA，100µ A，1mA，10mA，100mA，1A (2)误差：±0.1%读数±2 字3.5 四探针探头（选配其一或加配全部） (1)碳化钨探针：Φ0.5mm，直线探针间距1.0mm，探针压力: 0～2kg 可调 (2)薄膜方阻探针：Φ0.7mm，直线或方形探针间距2.0mm，探针压力: 0～0.6kg 可调3.6 电源 输入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗：20W3.7 外形尺寸： 主机 220mm（长）×245 mm（宽）×100mm（高）

二次元影像测量仪7060A二次元影像测量仪用途：二次元影像测量仪主要适用于以二维测量为主，包括点、线、圆、矩形、等几何元素和零件的长度、角度、轮廓、外形、表面形状等，增加探针可实现三维测量。全自动影像测量仪都具备3D影像测高功能。 ASIDA7060二次元影像测量仪特征：1、采用天然花岗石底坐和立柱，稳定性强，硬度高，不易变形；2、X/Y向采用空气轴承、花岗石导向，可长时间工作也保证了机械系统的精确稳定；3、工作台使用无牙光杆和磨擦传动；4、环形LED冷光源，使用寿命长，测量时不会产生热变形；5、光学系统品质优良，影像明亮清晰，图像还原性好；6、三轴采用日本松下伺服电机传动。二次元测量仪技数参数项目规格型号6050A 6050AEC21-70607060A8070A测量行程600x500x200700x600x200800x700x200玻璃载物台尺寸650x550mm750x650mm850x750mm玻璃载物台称重30Kg物镜工作距离82mm物镜放大倍率0.75X~5X 总放大倍率30X~230X目镜放大倍率1X机台底座立柱材料00级花岗石光栅尺分辨率≤0.001mmX/Y线性精度≤（3+L/200）um（L代表被测长度 单位mm）重复测量精度≤±0.003mm整机尺寸1300x1400x18001500x1400x18001550x1650x1800整机重量1800kg2000kg 2400kg应用软件AISDA VMA 3.00.01测量软件（简体、繁体、英文）数据输出格式DXF、EXCEL、WORD系统平台Windows XP ProPC要求CPU:双核处理器，≥2G内存，≥320G硬盘电源要求220伏特/50HZ电源工作环境温度：20+/-2OC；湿度：45%-75%；振动0.002g,15Hz选配件美国NAVITAR测量专用镜头；英国Renishaw触发探头组；日本基恩仕激光位移感应系统。备注可根据客户需求定制行程大小如有需求，随时咨询

仪器简介：这种温度测量仪与热电偶探头和微探针共同使用。该温度测量仪每秒监测这些探头 3 次，以快速响应温度的变化。 温度测量仪有两种型号可用：一个单一探头输入或三探头输入。两者都是由四个 ' C ' 类电池（提供） ，并有一个模拟输出插孔，并可通过连接器连接到图表记录。连接器不提供。技术参数：单探针温度计有一个温度范围从 25 ° 至 45 ° C ，每次增加 0.1 ° C 。它只能读取摄氏温度。 三个探针温度计可读取摄氏或华氏温度。温度范围： -10 ° 至 +60 ° C （ 14 ° 到 140 ° F ），每次增加 0.1 ° C 。按前面板上的按键来选择探头温度在显示屏上显示

Avantgarde 室温手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，外接不同的测量仪器，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测，用于室温下的芯片、晶圆和器件的非破坏性测试。PSM系列室温手动探针台是一款高品质的探针台能够对2寸、4寸、6寸、8寸晶圆片进行大量非破坏性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备，可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量。科学的桌面设计是学术和实验研究的最佳选择。特点:1.稳定的双位移调节系统，可以调节样品座和探针臂的位移。2.样品座可以放置最大8英寸的晶圆样品，采用多孔分区控制气体吸附固定。3.移动样品座下面的滑台，可以实现最大X-Y轴±100mm的移动行程，使得样品测试和换样更加便捷。 滑台采用磁力吸附固定。4.最多可安装6个探针臂。5. 探针臂采用磁铁吸附，可任意移动，并且可以三维微调，操作方便，扎针精准，四个探针臂的探针 可以扎到样品的任意位置。6.探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电流小，在100fA以内。7. CCD最大放大倍数为180倍，最大工作距离为100mm。

双电测电四探针方阻电阻率测试仪环境要求环境温度为23℃±1℃,相对湿度不大于65%。干扰因素光照可能严重影响观察电阻率,特别是近似本征材料。因此,所有测试应在暗室进行,除非是待测样品对周围的光不敏感。3.2当仪器放置在高频于扰源附近时,测试回路中会引入虚假电流，因此仪器要有电磁屏蔽。3.3试样中电场强度不能过大,以避免少数载流子注入。如果使用的电流适当,则用该电流的两倍或一半时,引起电阻率的变化应小于0.5%。3.4由于电阻率受温度影响,一般测试适用温度为23℃±1 ℃.3.5对于厚度对测试的影响,仲裁测量要求厚度按本方法的6.3规定测量,一般测量用户可以根据实际需要确定厚度的要求偏差。3.6由于探针压力对测量结果有影响,测量时应选择合适的探针压力。3.7仲裁测量时选择探针间距为1.59mm,非仲裁测量可选择其他探针间距。4方法提要直排四探针测量示意图5测量仪器5.1探针装置由以下几部分组成。5.1.1探针用钨,碳化钨或高速钢等金属制成,针尖呈尽可能使用非导电的工作桌工作台。操作人员和待测物之间不得使用任何金属。操作人员的位置不得有跨越待测物去操作或调整测试仪器的现象。测试场所必须随时保持整齐、干净，不得杂乱无章。测试站及其周边之空气中不能含有可燃气体或在易燃物质。4.3.4人员资格本仪器为精密仪器，必须由训练合格的人员使用和操作。4.3.5安全守则操作人员必须随时给予教育和训练，使其了解各种操作规则的重要性，并依安全规则操作。圆锥型,夹角为45°~150*,尖端初始标称半径为25 μm~50 μm。5.1.2探针压力,每根探针压力为1.75 N士0.25 N或4.0N±0.5N,分别用于硅单晶棒的电阻率测量,也可选择其他合适的探针压力。5.1.3绝缘性,一探针(包括连接弹簧和外部引线)与任何其他探针或装置任一部分之间绝缘电阻大于10’Ω.5.1.4探针排列和间距,四根探针的尖端应成等间距直线排列。仲裁测量时,探针间距(相邻探针之间的距离)标称值应为1.59mm。其他标称间距如1.00mm和0.6mm用于非仲裁测量,探针间距按7.2测定。5.1.5探针架,能在针尖几乎无横向移动的情况下使探针下降到试样表面.双电测电四探针方阻电阻率测试仪技术参数：1.电阻率：10-5～2×106Ω-cm2.电 阻：10-5～2×106Ω3.电导率：5×10-6～105ms/cm4.分辨率： 小0.1μΩ测量误差±（0.05%读数±5字）5.测量电压量程： 2mV 20mV 200mV 2V 测量精度±（0.1%读数）6.分辨率： 0.1uV 1uV 10uV 100uV7.电流输出：直流电流 0～1000mA 连续可调，由交流电源供电。量程：1μA，10μA，100µ A，1mA，10mA，1000mA, 误差：±0.2%读数±2字8.显示方式：液晶显示电阻值、电阻率、电导率值、温度、压强值、单位自动换算9.传感器压力：200kg (其他规格可以定制)10.粉末测量装置 模具：内径10mm；高：25mm；加压方式：手动液压加压/自动加压方式11.电源：220±10% 50HZ/60HZ12.主机外形尺寸：330mm*350mm*120mm双电测电四探针方阻电阻率测试仪安全要点● 非合格的操作人员和不相关的人员应远离测试区。● 万一发生问题，请立即关闭电源并及时处理故障原因。双电测电四探针方阻电阻率测试仪衣着规定操作人员不可穿有金属装饰的衣服或戴金属手饰和手表等，这些金属饰物很容易造成意外的感电。4.3.7医学规定绝对不能让有心脏病或配戴心律调整器的人员操作。4.4测试安全程序规定 一定要按照规定程序操作。操作人员必须确定能够完全自主掌控各部位的控制开关和功能。双电测电四探针方阻电阻率测试仪操作流程和测试步骤1.使用前期准备--测试前准备工作：1.1.开机预热：将220V电源插头插入电源插座，打开电源开关，让仪器预热15分钟，保证测试数据稳定。若测试仪无法正常启动，请按以下步骤检查：①检查电源线是否接触良好；②检查后面板上的电源开关是否已经打开③检查保险丝是否熔断，如有必要，请更换保险丝④_x0001_ 如经上述检查无误后，测试仪仍未正常启动，请联系本公司进行解决。

一、仪器介绍 植物茎流测量仪采用热消散探针法测量树干瞬时茎流密度，可以长期连续观测树木的液流，有利于研究树木和大气之间的水分交换规律，并以此为观测手段，长期监测森林生态系统对环境变化的影响。对于造林绿化、森林管理和林业管理等具有重要的理论指导意义和应用价值。 二、工作原理 植物茎流测量仪采用法国学者Granier在20世纪80年代后发明的一种测定SapFlow的新方法，即热消散探针法（恒定热流传感器法）。该方法的数据采集具有准确稳定的特点，而且可以连续不间断的读取数据，因而数据具有系统性。该测定系统由一对长33mm的热消散探针组成，安装时将探针上下相隔10cm-15cm插入树木的边材中，上方的探针缠绕电阻丝，供以直流电加热，下方探针不加热，保持与周围边材组织的温度相同，两探针的温差变化反应树木的液流密度。三、仪器特点 双探针，配有相应的钻孔工具，容易插拔，可以反复使用 采用热消散法，可恒温加热 可以长期连续监测 不锈钢探针，采用Teflon涂层，持久耐用 采用高精度T型热电偶直接与数据分析仪连接 采用大容量SD卡存储 四、技术指标 测量指标：瞬时液流密度 测量通道：单通道 存储容量：2GB 采样时间间隔：1-99分钟可调 显示：320×160液晶显示屏 电源：8.4V可充电锂电池(也可选用太阳能电池供电) 工作温度：10℃-60℃ 工作湿度：0-99.99%RH

ST2258C型多功能数字式电阻率、薄膜方阻测试仪简介一、结构特征 二、概述 2.1基本功能和依据标准：ST2258C型多功能数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理测试材料电阻率/方块电阻的多用途、智能化综合测量仪器。该仪器设计符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》等并参考美国 A.S.T.M 标准。 2.2仪器成套组成：由ST2258C四探针主机、选配的四探针探头、选配四探针测试台等部分组成。2.3优势特征：1：本测试仪特赠设测试结果自动分类功能，可分类10类。2：可定制USB通讯接口，便于其拓展为集成化测试系统中的测试模块。3：8档位超宽量程。 同行一般为五到六档位。4:仪器小型化、手动/自动一体化。5:仪器操作简便、性能稳定，所有参数设定、功能转换全部采用数字化键盘输入，简便而且免除模拟定位器的不稳定。2.4探头选配：根据不同材料特性需要，探头可有多款选配。详情见《四探针探头型号规格特征选型参照表》1配高耐磨的碳化钨探针探头，如ST2253-F01型，以测试硅等半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻；2配不伤膜的球形或平头镀金铜合金探针探头，如ST2558B-F01型，可测金属箔、碳纸等导电薄膜，也可测陶瓷、玻璃或PE膜等基底上导电涂层膜， 如金属镀膜、喷涂膜、ITO膜、电容卷积膜等材料的薄膜涂层电阻率/方阻。3配专用箔上涂层探头，如ST2558B-F02型，也可测试锂电池电池极片等箔上涂层电阻率/方阻。4换上四端子测试夹具，还可对电阻器的体电阻进行测量。。2.5测试台选配：根据不同材料特性需要，测试台可有多款选配。详情见《四探针测试台型号规格特征选型参照表》四探针法测试固体或薄膜材料选配SZT-A型或SZT-B型（电动）或SZT-C型（快速恒压）或SZT-F型（太阳能电池片）测试台。二探针法测试细长棒类材料选配SZT-K型测试台.平行四刀法测试橡塑材料选配SZT-G型测试台。 2.6适用范围：仪器适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校四探针法对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试三、基本技术参数 1.测量范围、分辨率（括号内为可向下拓展1个数量级）电 阻：10.0×10-6～ 200.0×103 Ω, 分辨率1.0×10-6～ 0.1×103 Ω（1.0×10-6～ 20.00×103 Ω, 分辨率0.1×10-6～ 0.01×103Ω）电 阻 率：10.0×10-6～ 200.0×103Ω-cm 分辨率1.0×10-6～ 0.1×103 Ω-cm（1.0×10-6～ 20.00×103Ω-cm 分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×103Ω-cm）方块电阻：50.0×10-6～ 900.0×103Ω/□ 分辨率5.0×10-6～ 0.5×103 Ω/□（5.0×10-6～ 100.0×103Ω/□ 分辨率0.5×10-6～ 0.1×103 Ω/□）2.材料尺寸(由选配测试台和测试方式决定)直 径： SZT-B/C/F方测试台直接测试方式180mm×180mm，手持方式不限长(高)度： 测试台直接测试方式 H≤100mm, 手持方式不限.测量方位: 轴向、径向均可3.3量程划分及误差等级满度显示200.020.002.000200.020.002.000200.020.00测试电流0.1μA1.0μA10μA100μA1.0mA10mA100mA1.0A常规量程kΩ-cm/□kΩ-cm/□Ω-cm/□mΩ-cm/□基本误差±2%FSB±4LSB±1.5%FSB±4LSB±0.5%FSB±2LSB±1.0%FSB±4LSB3.4四探针探头（选配其一或加配全部）(1)碳化钨探针：Φ0.5mm，直线探针间距1.0mm，探针压力: 0～2kg 可调(2)薄膜方阻探针：Φ0.7mm，直线或方形探针间距2.0mm，探针压力: 0～0.6kg 可调3.5.电源输入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗：3.6.外形尺寸、重量：主 机： 220mm（长）×245 mm（宽）×100mm（高）， 净 重：≤2.5kg

R50电阻率测量仪 Filmetrics R50系列提供接触式四点探针（4PP）和非接触式涡流（EC）测量。R50以最快1点/秒的速度映射导电膜的电阻率/电导率。电动X-Y载物台使用你准缩厂收益或定制制样品架，最大可测量300mm的样品，最大可测量200mm的面积。新!R50系列四点探头和涡流探测系统以矩形，线性，极性和自定义配置X-Y行程最大200mm在导体和半导体薄膜上测量方块电阻的范围大接触式和非接触式测量标准功能具有以下功能的自动X-Y平台: 100mm x 100mm行程 200mm x 200mm行程（-200型号）100mm Z载物台行程倾斜台，行程+/-5o无限数量的测量样本图中的位置R50规格参数R50应用RsMapper软件:测量自动化地图模式生成器，内置的地图模式生成器使您轻松生成需要测量的斑点图案样品的相关区域，从而节省了数据采集期间的时间。这只是您可以使用的一些参数。进行调整以自定义地图的属性:圆形或正方形地图径向或矩形图案中心或边缘排除点密度