半导体气体传感器

微型探针台主要应用于传感器 半导体探针台主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。 探针台主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。 该探针台的承载台为26X26mm不锈钢台面，台面可升温到350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中X方向调节范围：0-13mm,y方向调节范围：0-13mm；z方向调节范围：0-13mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测三：主要技术要求微型探针台主要应用于传感器 半导体1． 类型：高温型：室温～350℃ 低温型 -190℃:350℃ 低温型：室温到-190℃2． 腔体材质：304不锈钢3． 腔体内尺寸：φ90x40mm4． 腔体上视窗尺寸：Φ42mm（选配凹视窗Φ22mm）5． 腔体抽气口：KF166． 腔体进气口：公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选7． 腔体出气口：公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选8． 腔体正压：≤0.05MPa9． 腔体真空度：机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）10． 样品台材质：304不锈钢11． 样品台尺寸：26X26mm12． 样品台-视窗 距离：30mm（可选凹视窗间距15mm）13． 样品台测温传感器：*级PT100铂电阻14． 样品台温度：室温到350℃（可选高低温样品台 高温350℃低温-190℃）15． 样品台测温误差：±0.2℃16． 样品台变温速率：高温10℃/min 低温5℃/min 最大值17． 温度显示：7寸人机界面18． 温控类型：标准PID温控 +自整定（可选30段编程控温）19． 温度分辨率：0.1℃20． 温控精度：±0.5℃21． 温度信号输入类型：PT100热电阻 （可选 K S B型热电偶）22． 温控输出：直流线性电源加热（液氮流量线性控制液氮制冷）23． 辅助功能：温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线24． 电信号接头：配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米25． 电学性能：绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA26． 探针数量：4探针（可定做6探针）27． 探针材质：镀金钨针28． 探针尖：10μm29． X轴移动行程：12mm ±6mm30． X轴控制精度：≤5μm31． Y轴移动行程：12mm ±6mm32． Y轴控制精度：≤5μm33． Z轴移动行程：12mm ±6mm34． Z轴控制精度：≤5μm35． 显微镜类别：物镜放大+电子放大36． 显微镜放大倍数：100倍37． 显微镜工作间距：50-150mm38． 相机分辨率：1080P 60帧39． 相机信号输出：HDMI输出+USB输出40． LED可调光源：LED光源41． 显示屏：5寸 屏幕一体机四：主要配置要求1．1台 KT-0904T-RL微型探针台一台2．1台 触摸屏温控箱3. 1个 6mm聚四氟管4. 1根 电源线5: 2个 6mm金属内衬6： 1根 触摸屏笔7： 4个 SMA-香蕉插头8： 1根 功率输出线9: 6米 6mm水冷管10： 1套 K型上盖扳手、备用螺丝，内六角选配: 分子泵真空机组 机械泵

APK6100E半导体行业超高纯(特种)气体稀释系统，是一款具有高精度高稀释比的升级产品，可配制五种标气的混合气(可定制),稀释比可达到1:10000，二级稀释，高精度，带有加湿功能，可用于传感器生产商，半导体生产商的产品测试及科研院所的科学研究。可根据用户要求定制。 特点： 苯系物BTEX，PAMS，硫化物，TO-15，HCHO，SO2，N2O，NO2以及其他 带有加湿功能，可控制稀释后气体湿度 高精度质量流量计（MFC），配制气体浓度精准 可选配液体标样稀释模块 应用： 传感器生产商 半导体生产商 科研院所 相关推荐： APK6100标准气体稀释仪 APK6100C便携式标准气体稀释仪

半导体器件新型光电传感器特性分析仪PD-QE新世代光电探测器 (PD) 的完整解决方案传统的量子效率系统在新型光电探测器面临许多测试方法挑战。如：偏置电压无法超过 12V：传统量子效率系统使用锁相放大器，其承受直流电压无法过大，因此在一般的量子效率测试仪，电偏压无法施加超过 12V。无法做噪声频率分析。无法直接测得 NEP 与 D*。光焱科技针对新世代的光电探测器 (PD) 提供了完整解决方案~命名为 PD-QE。半导体器件新型光电传感器特性分析仪PD-QE 特色：PD-QE 系统是光焱科技在过去十年的小光斑 (power mode) 基础上，进化开发完成。可应用在 PV 的 EQE 量子效率测试、新型光传感器的研究。在全新的软件平台 SW-XQE 上，具有便捷的扩展性：可测试标准 EQE 外，更可整合多种 SMU 的控制，并量测IV曲线。同时具备各种分析功能，如 D*、NEP、频率噪声图。半导体器件新型光电传感器特性分析仪PD-QE 规格:PD-QE 有不同的模块，偏置电压也可由 20 V 到 1000 V。同时，可测量高分辨率的光电流，分辨率最高可达 10-16 A。波长扩充可达 1800 nm。可选配软件升级控制 Kiethley 4200 SMU半导体器件新型光电传感器特性分析仪PD-QE 应用有机光传感器 (OPD, Organic Photodiode)钙钛矿光传感器 (PPD, Perovskite Photodiode)量子点光传感器 (QDPD, Quantum Dots Photodiode)新型材料光传感器实证：PD-QE 已整合 Keithley 与 Keysight 出产的多种 SMU，进行多种的 IV 曲线扫描。用户无需另外寻找或是自行整合 IV 曲线测试。图中显示 PD-QE 测试不同样品的 IV 曲线，并进行多图显示。PD-QE 凭借先进数字讯号采集与处理技术，直接可测试各种探测器在不同频率下的噪声电流图。用户无需在额外购买、整合频谱分析仪进行测种测试！并且软件可以进行多种频段的特性分析，如 Shot Noise、Johnson Noise、1/f Noise 等。PD-QE 是针对新世代 PD 测试的完整解决方案。

TEST系列多功能半导体推拉力测试机是一种采用插拔传感器模块的推拉力机。它可以测试MCM封装的推拉力性能，确保各个芯片之间的连接稳固可靠。 该设备采用了AST自动变挡技术技术和VPT垂直定位技术，测试传感器采用自动量程设计，分辨率高达0.0001克。推拉力测试机是一种用于力学领域的物理性能测试仪器，可以应用于多个行业和材料。它可以用于测量各种材料的强度、弹性模量、屈服点、断裂韧性、延展性等力学性能参数。推拉力测试机可以用于芯片推力测试，金球推力测试和金线拉力测试 。智能LED灯光系统：当设备空闲状况下，照明灯光自动熄灭，人员操作时，LED照明灯自动开启；LED灯光亮度可调节，减少光源对视力的损伤、疲劳。智能防呆滞功能：每项传感器采用独立防碰撞及过力保护系统，触底时设备自动停止并提醒测试人员。二段限速功能：在推刀/钩针在下降到一定高度时，可以安全平缓地软着陆降到指定测试位置。自动化测试：点击测试按钮，设备自动测试，无须人为干预，避免人为操作引起的数据偏差。测试参数设置：产品参数、合格力值、测试速度、测试行程、剪切高度、测试结束回位方式...等均可根据需求调节。插拔式模块：采用插拔式模块，可配置多个传感器模块，适应功能强大；

1、美国Southland Sengsing 微量氧气传感器TO2-1x产品特点：采用具有世界先进水平的燃料电池氧传感器测量0-1ppm\10ppm100ppm\1000ppm\1%\25%氧气浓度电路设计上采用了智能微控制技术燃料电池氧气传感器 氧气浓度0.01ppm-25%大屏幕液晶背光显示、量程自动切换性价比高、免维护、成本低 2个报警继电器2、美国Southland SengsingTO2-1X应用领域：制氮、制氢、天然气管道半导体的保护气体中氧浓度的检测N2, O2, H2 气体发生器等 惰性气体、碳氢化合物、氢气等过程气微电子、半导体、航天及军工领域石油化工、电子电力行业及研究所高温熔炉中氧浓度的检测等3、美国Southland SengsingPPM级氧气传感器TO2-1X参数：TO2-1X参数：传感器技术微型燃料电池信号输出285-590uA测量量程0-10\100\1000PPM\1%\25%响应时间T9013秒全量程精度±1%F.S全量程重复性±0.5%温度系数2.54%/℃操作温度0-50℃储存温度0-45℃推荐流速0.5-5SCFH湿度0-100-%RH(无冷凝)预期寿命20-25月储存6个月保修12个月PCB连接中心箔负极 外部箔正级美国 SOUTHLAND SENSING 分析仪表公司是一家国际知名的分析仪表公司，公司总部位于美国加利福尼亚。它设计和生产的仪表广泛应用于各种工业过程气体的检测分析。公司通过分布在世界各地的工业代理网络拓广市场，实施覆盖全球的销售。southland 北京方石亚盛科技发展有限公司中国代表处，具有多年的各种工况成套技术经验。产品问题，随时来电询问。

SENS-IT是意大利Unitec公司专利技术产品，具有技术新颖、结构紧凑、价格低廉等优点，每一个SENS-IT传感器专门测量特定的污染气体（CO, NO2 , O3 , C6H6等），具有较高的灵敏性和选择性（有的气体测量精度可达ppb）。SENS-IT传感器采用铝合金外壳，嵌入式电子板，可对传感器性能进行全电子控制。SENS-IT具有RS485输出，使其可以集成到现有的采集设备或者监测网络中，所有的功能参数度可以进行电子控制并能够进行远程校正。工作原理：SENS-IT对于CO、NO2、O3、C6H6、CH4气体采用厚膜金属氧化半导体技术（TF-MOS，Thick Film Metal Oxide Semiconductor Technology）。传感器的活性表面是纳米结构的半导体金属氧化物，传感器表面发生的第一个反应是大气中氧的吸附，由此从氧分子到半导体产生电荷转移。第二个反应与特定的要监测的气体有关，该气体与吸附的氧发生反应（氧化还原反应），使得电子在半导体的传导带中进行释放。通过提取这些反应中所产生的电流信号，就可计算出该种气体的浓度。传感器的选择性和准确度则是通过使用特殊半导体金属氧化物实现的，由于传感器的稳定性和无需消耗活性表面，保证了长期的数据重复性，而无需经常维护保养。对于SO2、H2S、NH3、VOC气体，SENS-IT则采用了传统的电化学方法（EC，Electrochemical Technology），对于CO2，采用红外线技术（IR，Infrared Technology）应用范围： &bull 城市和工业区监测 &bull 厂区边界监测 &bull 智能城市网络 &bull 环境移动监测 &bull 指示测量（根据欧洲2008/50/EC标准）技术参数：传感器参数测量参数测量范围精度分辨率SENS-IT(TF-MOS厚膜金属氧化半导体技术）CO0.1- 80 ppm0.2 ppm0.1 ppmNO210-250 ppb10 ppb1 ppbO310-250 ppb10 ppb1 ppbC6H60.1-30 ppb0.2 ppb0.1 ppbCH41-1,500 ppm5 ppm1 ppmSENS-IT(EC,电化学技术)NH37-100 ppm0.3 ppm0.1 ppmSO25-10,000 ppb20 ppb1 ppbH2S2 -3,000 ppb15 ppb1 ppbVOC0.6-25 ppm0.1 ppm0.1 ppmSENS-IT(IR,红外线技术)CO210-5,000 ppm50 ppm1 ppm通用规范尺寸50 x 50 x 90 (h) mm重量约200g电源+12VDC操作范围-20 ~ +50℃ 10 ~ 95% RH，无冷凝材质铝合金外壳，带风扇，嵌入式CPU控制板信号输出线性0-5V/数字RS485传感器数字控制传感器表面温度数字控风扇速度数字控制数字设置功能参数线性化输出

一：智能气体传感器说明和概要：常州亿通生产的：系列智能气体传感器、是专门针对气体探测器生产企业推出的新型智能传感器 ，主要为解决气体探测种类繁多、各品种传感器互不兼容、生产标定复杂、核心器件更换限制等问题。采用我司生产的智能型气体传感器则只需开发一款产品 即可快速响应客户对不同气体种类探测的需求 且生产过程简化 无需重新标定 大幅度降低企业的研发成本、生产成本 产品品质也立即提升到国际一流水准。二：智能气体传感器的特点：1. 该传感器操作方便、测量准确、工作可靠，适用于工业现场或实验室测量等不同的要求。传感器具有电压和串口同时输出特点，方便客户调试及使用。2. 本安电路设计，可带电热拔插操作；标准统一的电压输出。3. 专业精选、原装进口，兼容红外、电化学、催化、半导体等多种传感器；4. 自带温度补偿，出厂精准标定，使用时无需再标定；5. 电压和串口同时输出特点，方便客户调试及使用；6. 最简化的外围电路，生产简单、操作方便。 三：适用范围非常适用工业网络远程检测，石油石化、化工厂、冶炼厂、钢铁厂、煤炭厂、热电厂、医药科研、制药生产车间，污水治理、工业气体过程控制、锅炉房、垃圾处理厂、隧道施工、输油管道、学校科研、楼宇建设、消防报警、危险场所安全防护、航空航天（无人机)，供电站、地下燃气管道检修、室内空气质量检测、环境监测(大气监测） 可以与电脑连接通讯,自行标定校准、更换时无需校准四：智能气体传感器的种类和技术指标：1工作电压DC5V波特率96002测量气体用户任选检测原理电化学3测量范围参考选型表工作湿度10~95%RH4采样精度±2%FS响应时间﹤90S5输出信号0.4-2.0VDC6数字信号格式数据位：8停止位1校验位无 五：智能传感器种类和参数检测气体量程精 度最小读数响应时间甲醛0-19.99ppm＜±5%(F.S)0.01ppm≤25秒氧气(O2)0-30%Vol＜±5%(F.S)0.1%Vol≤15秒臭氧检测仪0-20ppm＜±5%(F.S)0.01 ppm≤30秒可燃气(EX)0-100%LEL＜±5%(F.S)1%LEL≤5秒一氧化碳(CO)0-100ppm＜±5%(F.S)0.1ppm≤25秒硫化氢(H2S)0-100.0ppm＜±5%(F.S)0.1ppm≤30秒二氧化硫(SO2)0-100ppm＜±5%(F.S)0.1ppm≤30秒一氧化氮(NO)0-250ppm＜±5%(F.S)1ppm≤60秒二氧化氮(NO2)0-20ppm＜±5%(F.S)0.1ppm≤25秒氯气(CL2)0-20ppm＜±5%(F.S)0.1ppm≤30秒氨气(NH3)0-100ppm＜±5%(F.S)1ppm≤50秒氢气(H2)0-1000ppm＜±5%(F.S)1ppm≤60秒氰化氢(HCN)0-50ppm＜±5%(F.S)0.1ppm≤200秒氯化氢(HCL)0-20ppm＜±5%(F.S)0.1ppm≤60秒磷化氢(PH3)0-5-1000 ppm＜±5%(F.S)0.01/1ppm≤25秒二氧化碳(CO2)0-5000ppm＜±5%(F.S)1ppm≤25秒 价格电话咨询

一、基本介绍 智能型气体传感器是专门针对气体探测器生产企业推出的新型智能传感器，主要为解决气体探测种类繁多、各品种传感器互不兼容、生产标定复杂、核心器件更换限制等问题。采用我司生产的智能型气体传感器则只需开发一款产品，即可快速响应客户对不同气体种类探测的需求，且生产过程简化，无需重新标定，大幅度降低企业的研发成本、生产成本，产品品质也立即提升到国际yi流水准。该传感器操作方便、测量准确、工作可靠，适 用于工业现场或实验室测量不同的要求。传感器具有电压和串口同时输出特点，方便客户调试及使用。二、特点1、本安电路设计,可带电热拔插操作2、专业精选原zhuang进kou,兼容红外、电化学、催化、半导体等多种传感器3、自带温度补偿，出厂jing准标定，使用时无需再标定4、模拟电压/电流和串口同时输出特点,方便客户调试及使用5、最简化的外围电路,生产简单、操作方便6、体积较小的一款模组7、可以与电脑连接通讯,自行标定校准8、更换时无需校准自带零点微调功能9、检测种类齐全,功耗低,可锂电池供电三、应用市场工业现场：石油石化、化工厂、冶炼厂、钢铁厂、煤炭厂、热电厂、医药科研、制药生产车间环境监测：污水治理、工业气体过程控制、锅炉房、垃圾处理厂、隧道施工、输油管道、加油站、地下燃气管道检修、室内空气质量检测、环境监测(大气监测）科研安防：学校科研、楼宇建设、消防报警、危险场所安全防护、航空航天（无人机)、jun用设 备监测、烟草公司等四、选型注意事项传感器的选型是很重要的,如果传感器的选型和使用场地不匹配的情况，会导致很多情况发生所以选用传感器时必须要注意以下几点:气体检测环境下的温度、湿度、气压情况是否在传感器的正常检测范围下，否则需要在前端安装预处理系统，传感器才能正常使用；气体检测环境下的浓度是否在传感器的检测正常范围之下，否则要选用更高量程的传感器；选择气体传感器时，你需要的量程和分辨率是否满足你所需的要求；五、模块结构六、接线示意图七、引脚定义

概述随着能量效率的提高，以及排气通风设施的物理限制变得更加明显，半导体设备的排气通风的优化变得越来越重要。设备的排气通风设计不合理，可能会造成操作人员的伤亡，引起设备乃至整个工厂的烧毁。半导体行业需要测量机台通风效率，满足SEMI S6 Ventilation行业标准。SEMI S6 Ventilation是使用示踪气体测定逸散性排放的试验方法，考量含 HPM或易燃易爆气体的半导体装备通风效率。SF6作为示踪气体模拟泄漏气体，因此，对SF6检测仪的检测精度要求极高。特性光声光谱法原理，悬臂梁专利探测技术可同时测量SF6等多种示踪气体及VOC检测限低，测量精度高(ppb)测量响应快多点采样器，可扩展12-64个采样点无需预处理、无耗材、无载气可定制释放装置和管路应用半导体制造设备通风性能检测（国际半导体协会SEMI S6标准）SF6泄露检测

乙硼烷，化学式为B2H6，属于无机化合物，是目前能够分离出的**简单硼烷，常温下外观为无色气体状，有特殊臭味，有剧毒，易水解，易溶于二硫化碳。乙硼烷在潮湿空气中易爆炸，室温下可分解，能与多种有机溶剂及金属发生剧烈反应，因此乙硼烷存储条件要求高，需要存储在低温、干燥环境中，并远离热源、明火以及氧化剂、卤素等物质。用于半导体产业中；用作高能燃料，用于火箭、导弹制造中；用作有机合成原料，用于化工产业中；用来制备高纯度硼单晶；还可用于制药、金属焊接等领域。其中，半导体产业是乙硼烷的重要下游市场。名称：固定式乙硼烷检测仪产品简介：主要是针对化工厂、实验室，危化品仓库等有限空间研发检测气体进行优化后的一款专用的在线固定式检测仪。它能将现场检测到的有毒有害气体浓度，转换为对应的标准信号（标准信号种类选择请参考技术参数表），然后将信号传输到 PLC、DCS、报警控制主机等上位机进行统一显示、管理和控制，从而组成功能强大的智能化气体检测报警控制系统。该设备内置继电器，可控制外围声光报警器、风机、电磁阀等设备。如该设备连入我司服务器，可实现远程设置报警值和远程标定等功能，节省后期维护成本。广州市诺达电子有限公司以专业、负责的态度致力于为客户提供与环境匹配的检测产品和服务。 主要特点：★速核系统：采用高精度32位高速微处理器，**Epsion数据处理系统，速测危害气体，高效预警毒气泄漏； ★多级标定：业内智能化多级校准技术，多重滤波技术，更精准更快速地反馈现场浓度值；★自动标定：通入实际标气，无需标定员操作，**智能识别标定；★稳定性超强：经过严格的进料筛选工序，及行业经验十几年的研发人员匠心打造，抗EMC、EMI干扰，大幅度提高**侦察兵的可靠性；★多结构的通讯方式：支持4-20mA与RS485单路或多路同时通讯，有线与内置无线433M/GPRS等无线多路通讯（选配）；★规范标准：JJF 1363-2012,JJF 1368-2012,JJF 1421-2013,JJF 1364-2012 GB3836-2010,GB 12476.5-2013 技术规格参数及气体种类：检测气体乙硼烷量 程0-10PPM/0-50PPM/0-100PPM（更多量程可以来电咨询）；分 辨 率0.01PPM检测原理电化学原理精 度≤±3F.S显示方式320*240 高清彩屏响应时间T90＜30S恢复时间≤30S（T90-T10)使用寿命传感器2-3年检测方式扩散式重 复 性≤±1 %F.S继 电 器容量 220VAC **/24VDC ** 无线输出（选配）433M（≤无障碍3公里 ） （定制）GPRS（无距离限制） （定制）WIFI/zigbee/LORA （定制） 有线输出（选配） 485+开关量输出 （标配）4-20mA+RS485+开关量报警输出 （定制）以上任选一种防护等级 IP66防爆等级隔爆型：ExdⅡCT6 Gb 尺 寸205*140*92mm(L×W×H)探头材质铝合金、不锈钢（可选）安装方式壁挂式、杆装式、管道式重 量1KG工作电压12－35VDC，常用 12VDC、24VDC电气接口接线口尺寸：内螺牙 M20*1.5（ G1/2 内螺牙、G3/4 内螺牙、 1/2NPT标准配件探测器、说明书、红外遥控器、厂家出厂检测报告选 配 件防爆声光报警、安装支架、管道式安装配件等工作环境温度：催化燃烧：-40~+70℃；电化学：-20~+50℃；PID：-20~+50℃；红外：-20~+50℃； 荧光法：-20~+50℃； 氧化锆:-40℃~+700℃压力：86-110Kpa；（氧化锆：≤0.6Mpa)湿度：15%RH~95%RH（无凝露）产品功耗电化学传感器：P ≤ 1.2W 红外传感器：P ≤ 2.0W普通催化传感器 ：P ≤ 2.6W 低功耗催化传感器 ：P ≤ 1.5W 热导传感器 ：P ≤ 2.0W 执行标准GB15311.1-2003； GB3836.1-2010； GB3836.2-2010； GB3836.4-2010；气体选型O30-100%LELCH2O0-10,50,100PPMCO0-100,1000,2000,10000PPMO30-1,10,50,100%VOLH2S0-50,100,1000,2000PPMCH40-1,10,50,100%VOLO20-30,100%VOLPH30-10,100,1000,5000PPMNH30-50,100,1000,2000PPMH20-100,1000,5000,40000PPM,100%VOLO30-5,10,50,100,1000,5000,10000PPMN20-100%VOLCL20-10,20PPMHCL0-10,100,500,1000PPMNO0-100,500,1000,5000PPMSO20-10,20，100,500,1000,5000,40000PPM

1、美国Southland Sengsing 微量氧气传感器TO2-233-T产品特点：采用具有世界先进水平的燃料电池氧传感器配套国外多个厂家设备，价格由于同类产品。具体替换型号参看对比表测量0-1ppm\10ppm100ppm\1000ppm\1%\25%氧气浓度电路设计上采用了智能微控制技术燃料电池氧气传感器 氧气浓度0.01ppm-25%大屏幕液晶背光显示、量程自动切换性价比高、免维护、成本低 2个报警继电器2、美国Southland SengsingTO2-233-T应用领域：制氮、制氢、天然气管道半导体的保护气体中氧浓度的检测N2, O2, H2 气体发生器等 惰性气体、碳氢化合物、氢气等过程气微电子、半导体、航天及军工领域石油化工、电子电力行业及研究所高温熔炉中氧浓度的检测等3、美国Southland SengsingPPM级氧气传感器TO2-233-T参数： 自研发产品配套多个国外厂家设备，价格由于同类产品,对比表传感器技术微型燃料电池信号输出285-590uA测量量程0-10\100\1000PPM(Min)1%' 25%响应时间T9013秒全量程精度±1%F.S全量程重复性±0.5%温度系数2.54%/℃操作温度0-50℃储存温度0-45℃推荐流速0.5-5SCFH湿度0-100-%RH(无冷凝)预期寿命20-25月储存6个月保修12个月PCB连接中心箔负极 外部箔正级美国 SOUTHLAND SENSING 分析仪表公司是一家国际知名的分析仪表公司，公司总部位于美国加利福尼亚。它设计和生产的仪表广泛应用于各种工业过程气体的检测分析。公司通过分布在世界各地的工业代理网络拓广市场，实施覆盖全球的销售。southland 北京方石亚盛科技发展有限公司中国代表处，具有多年的各种工况成套技术经验。产品问题，随时来电询问。

半导体TEC温控平台及设备产品介绍本系列的“半导体温控平台、设备”是建立在半导体制冷片(热电制冷片)基础上设计的高性能温度控制系统，其特点是高精度和高稳定度、长寿命、体积小、无噪声、无磨损、无振动、无污染、既可制冷又可加热等优点，是真正的绿色产品。本系列产品带有完美的PID控制软件，智能无级控温，既可加热又可制冷。可用于控制激光器件、医疗器件、半导体器件、红外探测器、光电倍增管、或其它任何需要温度控制的地方。该产品采用现代电力电子器件和高速微处理器(MPU)程序控制技术，以及PWM调制、双向电源、PID调节技术，具有优良的电压、电流输出特性，开关机时无过冲、反冲、浪涌现象，并带有过流、过压、过温、欠温等保护电路，以及RS232或RS485远程控制接口注：为了获到的精度、线性度、定度等,本产品采用标准日本进口NTC（热敏电阻）作为温度采样元件。产品特点 智能无级调温，双向温度控制 温度控制精度为±0.1度或0.01度 工作温度可任意设置(常规在-60℃～300℃之间选择，其它范围可定制) 工作温度超过上限/下限(软件设定)时报警 用户可以修改温度PID反馈参数 恒温模式：双向冷热恒温 具有过流、过压、过热等保护 具有硬件过温、欠温等保护电路 高稳定,高抗干扰,完全消除温度采样通道中的50/60Hz工频干扰 点阵液晶或触摸屏控制 友好的人机界面和故障诊断功能(在操作不当或电源故障时,电源将给出故障号提示) 模块尺寸：根据产品型号不同，具体参见产品手册 接受定制：可根据客户需要定制温控平台，夹具平台、恒温盒、恒温箱产品应用 半导体激光器、激光晶体，激光倍频晶体温度控制 固体温度控制、实验、科研温度控制 高低温实验等平台产品选型型号参数 TLT-FB120-30 TLT-FB120-50 TLT-WB120-80 TLT-WB120-120 TLT-WB120-200 TLT-WB120-300输入电压（VAC） AC220V±15%制冷功率（V） 30W 50W 80W 120W 200W 300W冷却方式 风冷 水冷控温精度 ±0.1℃或±0.01℃控温范围 -10℃~150℃ -60℃~100℃温度传感器 NTC（25℃-10K）平台体积 120*120*100mm温控仪体积 450×300×133mm 450×400×133mm远程接口 RS232或RS485显示 字符点阵液晶或真彩触摸屏4.3寸

道可道，非常道；名可名，非常名。无名，天地之始，有名，万物之母。故常无欲，以观其妙，常有欲，以观其徼。此两者，同出而异名，同谓之玄，玄之又玄，众妙之门。日本神荣半导体气体原理气味检测仪特点： 适合测定各种工厂、垃圾焚烧、污水处理厂、卫生间、宠物等产生的味道。 操作简单方便 只需打开电源就能开始测定 到可保存32,732组数据（每5秒自动测量一次，可记录45小时的数据） 配有专用绘图软件 公司主营产品：油烟检测仪、恒温恒湿称重系统、自动烟尘烟气测试仪、大气采样器、烟气采样器、粉尘采样器、氟化物采样器、水质采样器、水质检测仪、气体检测仪、烟气分析仪、酒精检测仪、甲醛检测仪、辐射检测仪、汽车尾气分析仪等代理品牌：德国德国、德国菲索、英国离子、美国华瑞、日本新宇宙、美国英思科、加拿大BW、英国凯恩、美国梅思安等。 QDLBJYSBY

概述： 整个测量系统由光声光谱气体检测仪、多点采样器、专用软件组成；在用户要求的情况下，还可以集成释放装置MFC，管路等一体化解决方案。特性光声光谱法原理，悬臂梁专利探测技术可同时测量SF6等多种示踪气体及VOC检测限低，测量精度高(ppb)测量响应快多点采样器，可扩展12-64个采样点无需预处理、无耗材、无载气可定制释放装置和管路应用半导体制造设备通风性能检测（国际半导体协会SEMI S6标准）SF6泄露检测

产品名称：半导体制冷片温度控制半导体激光器温度控制产品介绍本系列的“半导体温控平台、设备”是建立在半导体制冷片(热电制冷片)基础上设计的高性能温度控制系统，其特点是高精度和高稳定度、长寿命、体积小、无噪声、无磨损、无振动、无污染、既可制冷又可加热等优点，是真正的绿色产品。本系列产品带有完美的PID控制软件，智能无级控温，既可加热又可制冷。可用于控制激光器件、医疗器件、半导体器件、红外探测器、光电倍增管、或其它任何需要温度控制的地方。该产品采用现代电力电子器件和高速微处理器(MPU)程序控制技术，以及PWM调制、双向电源、PID调节技术，具有优良的电压、电流输出特性，开关机时无过冲、反冲、浪涌现象，并带有过流、过压、过温、欠温等保护电路，以及RS232或RS485远程控制接口注：为了获到的精度、线性度、定度等,本产品采用标准日本进口NTC（热敏电阻）作为温度采样元件。产品特点 智能无级调温，双向温度控制 温度控制精度为±0.1度或0.01度 工作温度可任意设置(常规在-60℃～300℃之间选择，其它范围可定制) 工作温度超过上限/下限(软件设定)时报警 用户可以修改温度PID反馈参数 恒温模式：双向冷热恒温 具有过流、过压、过热等保护 具有硬件过温、欠温等保护电路 高稳定,高抗干扰,完全消除温度采样通道中的50/60Hz工频干扰 点阵液晶或触摸屏控制 友好的人机界面和故障诊断功能(在操作不当或电源故障时,电源将给出故障号提示) 模块尺寸：根据产品型号不同，具体参见产品手册 接受定制：可根据客户需要定制温控平台，夹具平台、恒温盒、恒温箱等产品应用 半导体激光器、激光晶体，激光倍频晶体温度控制 固体温度控制、实验、科研温度控制 高低温实验等平台产品选型型号参数 TLT-FB120-30 TLT-FB120-50 TLT-WB120-80 TLT-WB120-120 TLT-WB120-200 TLT-WB120-300输入电压（VAC） AC220V±15%制冷功率（V） 30W 50W 80W 120W 200W 300W冷却方式 风冷 水冷控温精度 ±0.1℃或±0.01℃控温范围 -10℃~150℃ -60℃~100℃温度传感器 NTC（25℃-10K）平台体积 120*120*100mm温控仪体积 450×300×133mm 450×400×133mm远程接口 RS232或RS485显示 字符点阵液晶或真彩触摸屏4.3寸

便携式气体检漏仪SP-230 系列SP-230 TYPE SC（用于半导体材料气体）长处・ 一台可测量50种气体，LED显示屏更易于查看！・ 可靠的设计，可在恶劣环境中使用，功能齐全 ・ 可靠的设计，可在恶劣环境中使用，一键访问多种功能 检测方法吸入式/单式检测原理热线半导体检测范围取决于要检测的气体警报类型气体报警器、故障报警器报警动作灯闪烁，蜂鸣器响起防爆类型非防爆结构防护等级IP67 等效等级CE标志EMC指令、RoHS指令权力2 节 AA 碱性电池连续使用时间约13小时（25°C时，无报警，无照明）外形尺寸约 41 （W） × 186 （H） × 38 （D） mm （不包括喷嘴）质量约220g（不含电池）工作温度范围-20°C~+55°C（无突然变化）工作湿度范围95%RH以下（无凝露）检测目标气体AsH3、B2H6、C2H2、C2H2CL2、C2H4、C2H5OH、C2HCL3、C3H6O、C3H8、C4F6、C6H6、C7H8、C8H10、CH2C2F4、CH2CL2、CH3Br、CH3CL、CH3OH、CH4、CO、COS、D2、EDC、EO、GeH4、H2S、H2Se、HBr、HCHO、HCL、i-C4H10、 IPA、MEK、n-C6H14、NH3、PH3、PO、R-134a、R-22、R-245FA、R-32、R-404A、R-407C、R-41、R-410A、SiH4、SO2、tC3H2F4、VCM

PMT-2半导体化学品液体颗粒计数器，采用英国普洛帝核心技术创新型的第八代双激光窄光颗粒检测传感器，双精准流量控制-精密计量柱塞泵和超精密流量电磁控制系统，可以对清洗剂、半导体、超纯水、电子产品、平板玻璃、硅晶片等产品的在线或离线颗粒监测和分析，目前是英国普洛帝分析测试集团向水质领域及微纳米检测领域的重要产品。 产品优势：应用：创新性、多用途、多模块条件；技术：第八代双激光窄光检测技术应用；软件：分析测试和校准计量相分离消除干扰；输出：IPAD数据采集技术使用；在线优势：清洗剂、半导体、超纯水、电子产品、平板玻璃、硅晶片等产品的在线颗粒监测和分析，都是PMT-2微纳米监测仪的经典应用场所，并为生产线上的重要组成部分。在线、实时、连续取样、报警提示，能够即时掌握颗粒污染诊断和趋势。离线优势：移动测量和固定测量颗粒大小及多少双模式，解决连续跟踪监测的生产过程难题，无论您是即时测量还是清洁跟踪监测，都会为您提供完善的测试方案，让您的测试更加快捷。应用范围：可以对清洗剂、半导体、超纯水、电子产品、平板玻璃、硅晶片、手机零部件、纯水机、纳米过滤、微米过滤等领域进行固体颗粒污染度检测，及对有机液体、聚合物溶液进行不溶性微粒的检测。技术参数：订制要求：各类液体检测要求；传感器：第八代双激光窄光检测器；测试软件：V8.3分析测试软件集成版&PC版；测试标定：JJG1061或乳胶球或ISO21501；操作方式：彩色液晶触摸屏操作&无线键鼠组合；检测范围：0.1-0.5um、0.1-1.0um；特殊检测：自定义1~100μm或者4~70µ m（c）微粒，0.1μm或者0.1µ m（c）任意检测；取样方式：精准计量泵；进样精度：±1%精确度：±3%典型值；重合精度：1000粒/mL（2.5%重合误差）；模拟输出：4mA～20mA接口；并带超标报警功能（可定制）； 报告方法：颗粒数/ml及污染度等级；输入电压：100V～265V,50Hz～60Hz；售后服务：普洛帝服务中心/中特计量检测研究院。

该测试方案可适用于多数半导体器件的测试，以五种器件为例：场效应晶体管式传感器、电阻型二极管式传感器、电阻式存储器、生物器件脉冲式和电容测试。其他要求为系统漏电小于10-13（100fA）。测试需求整体可以归纳为微纳传感器件的IV、脉冲IV 和CV测试，漏电需求为100fA。整体系统组成为微纳器件测试探针台和半导体参数分析仪。可测器件器件1：场效应晶体管式传感器器件2：电阻型二极管式传感器器件3：电阻式存储器器件4：脉冲式（输入脉冲电压，测量电流值）器件5：电容测试欢迎与我司联系了解详情，可按需定制系统。

固体激光器 半导体激光器 气体激光器 氩离子激光器 光纤激光器 大功率光纤耦合激光器 皮秒激光器 飞秒激光器 调Q脉冲激光器 激光系统控制器 激光功率计 激光护目镜 激光波长测量 激光光束分析仪 多通道激光功率计 大功率激光器 激光光束位置测量仪 激光扩束镜 激光准直器 红外激光显示卡 红外激光观察仪 红外观察仪 激光测距仪 激光器温度控制器 激光光纤耦合器 高稳定性激光器 自相关仪 飞秒激光倍频器 可变光阑 便携式激光器 染料激光器 激光光谱测量 热电制冷片 激光光束定位系统 视频显微镜测量系统 2微米光纤激光器 飞秒光纤激光器 皮秒光纤激光器 脉冲光纤激光器 光纤隔离器 拉曼激光器 光功率计 飞秒激光脉冲自相关仪 激光二极管参数分析仪 激光二极管电流控制器 单模垂直腔面发射激光器 超连续谱激光器 超连续谱激光器附件 窄线宽光纤激光器 高功率激光二极管 激光光斑位置测量仪 激光准直仪 250系列多波长激光防护 中红外激光器 自动点胶机 不同波长YAG系列激光防护镜 白光激光光源 光束整形器 光纤耦合脉冲激光器 超快激光放大器-EDFA 紧凑型氩离子激光器 新型氩离子激光器 微型固体激光器 近红外激光器 红外激光器 光纤耦合激光对准系统 激光二极管 超窄线宽激光器 激光测试测量仪器 波长计 可调谐激光器

普泰克主要经营恒温循环器/冷水机/低温恒温器/低温冷却液循环泵/（生物）低温恒温循环泵/超低温恒温器/超高温恒温器/工业级冷水机 /冷却水循环器 /超高温工艺过程恒温器/工艺过程恒温器/冷却水循环机/大功率循环冷却器/高低温动态温度控制系统/加热制冷循环器/动态温度控制系统/油浴循环器/低温恒温器 /加热制冷循环器/工艺过程恒温系统/高精度恒温器/TCU温度控制/实验室冷阱/投入式制冷器/动态温度控制系统/工业级冷水机 /半导体温控/反应釜温控/汽车温控/加热制冷恒温器 /制冷加热一体机/制冷加热循环装置/制冷加热设备/制冷加热循环机/高低温循环泵价格 /密闭高低温一体机/高品质低温冷冻机 /优质密闭低温冷冻机/低温冷冻机产品参数/精准控温高低温循环器/全封闭小型高低温循环装置 /微型高低温冷却循环器 /低温制冷循环器/加热循环器/制冷加热控温系统/低温冰机价格/半导体晶圆温度控制/样品冷热台高低温设备/冷热恒温一体机/高精度动态温度控制系统/半导体冷却加热恒温一体机/冷热源动态恒温控制系统/动态温度控制恒温循环器/精密冷水机/精密型冷水机/双温半导体冷水机/半导体冷水机/半导体冷却一体机/半导体制冷冷水机/半导体风冷式冷水机/半导体芯片测试冷水机/芯片半导体专用冷水机/恒温恒流恒压冷水机/半导体致冷冷水机/SMC国产替代水冷机/气体冷却机/气体温控设备/气体温度控制设备/冷气制冷机/气体冷却器/晶圆气体冷却设备/半导体测试国产替代温控设备/汽车行业温控设备/新能源行业温控设备/测试分选机高低温设备/电源模块及组件测试台/汽车冷却液循环泵(CCP)性能测试台/ECP电子元件性能试验台/新能源电池性能测试台/汽车热管理系统温度控制单元/汽车热管理系统温度控制系统/喷油器性能测试台/转换器 / 逆变器性能测试台/汽车无线电充系统性能测试台/液体冷却设备/液体冷却器/外部温度控制循环器/高低温一体机加热制冷温控系统/超低温气体制冷机/医疗设备气体制冷机/医用恒温、恒压、恒流功能制冷机/制冷型低温制冷机/冷水机厂家/半导体温控厂家/汽车温控厂家

产品名称：半导体激光器|脉冲半导体激光器脉冲激光器模块产品介绍本公司设计和生产的TLTP-YTH系列半导体激光电源是连续可调恒流电源，采用了目前国际先进的半导体激光电源驱动方案，选用元器件生产。具有输出噪声小、恒流特性好、电流稳定、抗干扰能力强等优点，具有防过冲、反冲和反浪涌的稳压、恒流双重保护电路，保证激光器的稳定工作和使用寿命。电源采用真彩触摸液晶控制，能提供电源工作的各个参数及其工作状态的调节和显示，具备过压、过流、水温和水流报警功能，可以完美匹配DILAS、LIMO、nlight、QPC、西安炬光、BWT模块，是紫外、绿光激光器理想的驱动电源。产品特点 1路LD半导体恒流驱动【含电压钳位，带过压、过流保护，支持过热保护】 4路TEC驱动【半导体LD、一倍频晶体、二倍频晶体、三倍频晶体】 日本进口高精度高灵敏度NTC，全数字PID控制，各参数可调节 温度控制精度：正负0.1℃或0.01℃可选。支持TEC热端温度检测和风扇控制 内置PWM，频率1KHz-200KHz 可调，步进1KHz。 脉宽可调1us~30us. 带红光指示 激光控制内控、外控可切换。 支持Q驱告警检测。 完美兼容市面上主流打标板卡控制 温度异常报警、激光器内部温湿度控测 光功率探测 光闸控制、步进电机控制应用： 端泵打标泵浦电源 半导体激光电源 绿光打标机电源 紫外打标机电源 倍频晶体温控控制 高低温温度控制参数介绍：系统功能参数简介4路制冷系统 日本进口高精度高灵敏度NTC温控稳定度正负0.1℃、0.01℃可选支持TEC双向控制，可加热可制冷CHANNEL1 双向12V/10A【半导体LD-808】CHANNEL2 双向12V/10A【1倍频晶体】CHANNEL3 双向12V/10A【2倍频晶体】CHANNEL4 双向12V/10A【3倍频晶体】半导体激光模块驱动器 低压高流【3V60A】、高压低流 【8V10A、12V10A、26V10A等】效发率88%。电流纹波10mA,电压纹波15mV。含电压钳位，带过压过流保护，支持过热保护。含欠压保护，过流熔断保护。支持外部使能控制，外部电流控制。声光控制器 内置PWM，频率1KHz-200KHz，步进1KHz。脉宽可调1us~30us激光控制内控外控可切换。支持Q驱告警检测。温度异常报警。附加功能 RS232通讯接口。(选配)产品选型：型号参数 TLTP-YTH0345-N TLTP-YTH0360-N TLTP-YTH0812-N TLTP-YTH1212-N TLTP-YTH2612-N输入电压（VAC） 220±15%温控路数 温控1~5可选控温精度 ±0.1℃/±0.01℃可选控温范围 5℃~85℃温度传感器 NTC（25℃-10K）激光器电压 0~3V自适应 8V自适应 12 V自适应 26V自适应激光器电流 45A 60A 12A 12A 12A声光控制器 15V/24V供电可选PWM频率 1K~200KHz仪器体积 W×L×H＝450×130×400mm远程接口 RS232、485（选配）外控接口 DB15【兼容JCZ、国产打标板卡】LD放置 机箱内、激光器内可选冷却方式 风冷、水冷可选其它功能 光功率探测、湿度探测、光闸控制、步进电机控制

四方光电Cubic酒精传感器/气体传感器MS-VOC-V4 产品介绍基于MEMS的气敏元件的MS-VOC-V4空气质量传感器模块用来测试环境空气中有害物质的含量，提供预测的有害物质相对等效浓度值，测试数据通过4等级、I2C或UART接口通信三种方式输出。MEMS气敏元件表面可以被覆滤膜和密封圈加以保护，实现防水防油，空气质量传感器模块可根据需要选择插针或插座方式组装。四方光电Cubic酒精传感器/气体传感器MS-VOC-V4 产品特性◆可对空气质量进行全面可靠评估 ◆非常低的功耗(100mW)◆内置温度补偿、 可输入湿度补偿◆智能自动基线校准◆高灵敏度和快速响应◆基准值断电可存储、可重置◆鲁棒性设计、 优异的长期稳定性◆组装方式和通讯接口高度灵活四方光电Cubic酒精传感器/气体传感器MS-VOC-V4 技术参数检测原理金属氧化物半导体(MOx)目标气体甲醛、苯、二氧化碳、氢气、酒精、氨气、香烟烟雾等预热时间180s工作条件-10~60°C，5~95%RH(非凝结)存储温度-40~85°C，5~95%RH(非凝结)额定电压DC 5V±0.2V通讯方式①UART_TTL②IIC四方光电Cubic酒精传感器/气体传感器MS-VOC-V4 应用领域空气净化器/家用空调/新风系统/新风控制器/车载净化器

半导体TEC温控驱动模块产品介绍本系列的“半导体制冷控制器”是专门为驱动半导体制冷片(热电制冷片)而设计的高性能温度控制系统(风冷)，其特点是高精度和高稳定度。输出负载为半导体制冷片(热电制冷片)。半导体制冷是利用帕尔帖效应原理工作的，具有高精度、长寿命、体积小、无噪声、无磨损、无振动、无污染、既可制冷又可加热等优点，是真正的绿色产品。本系列产品带有完美的PID控制软件，智能无级控温，既可加热又可制冷。可用于控制激光器件、医疗器件、半导体器件、红外探测器、光电倍增管、或其它任何需要温度控制的地方。该产品采用现代电力电子器件和高速微处理器(MPU)程序控制技术，以及PWM调制、双向电源、PID调节技术，具有优良的电压、电流输出特性，开关机时无过冲、反冲、浪涌现象，并带有过流、过压、过温、欠温等保护电路，以及RS232或RS485远程控制接口注：为了获到的精度、线性度、定度等,本产品采用标准日本进口NTC（热敏电阻）作为温度采样元件。产品特点 智能无级调温，双向温度控制 温度控制精度为±0.1度或0.01度 工作温度可任意设置(常规在-20℃～120℃之间选择，其它范围可定制) 工作温度超过上限/下限(软件设定)时报警 用户可以修改温度PID反馈参数 恒温模式：双向冷热恒温 具有过流、过压、过热等保护 具有硬件过温、欠温等保护电路 高稳定,高抗干扰,完全消除温度采样通道中的50/60Hz工频干扰 触摸屏控制接口 友好的人机界面和故障诊断功能(在操作不当或电源故障时,电源将给出故障号提示) 模块尺寸：W×L×H＝90×50×35mm 接受定制：可根据客户需要定制温控电源，定制夹具平台等 同时提供各种温控模块产品选择产品应用 半导体激光器、激光晶体，激光倍频晶体温度控制 固体温度控制、实验、科研温度控制 高低温实验等产品选型型号参数 TLTM-TEC0505 TLTM-TEC0510 TLTM-TEC0805 TLTM-TEC0810 TLTM-TEC1205 TLTM-TEC1210输入电压（VDAC） 5±15% 5±15% 12±15% 12±15% 15±15% 15±15%输出电压（V） 1~5V(可调节) 1~5V(可调节) 5~8V(可调节) 5~8V(可调节) 5~12V(可调节) 5~12V(可调节)输出电流（A） 0~5A 0~10A 0~5A 0~10A 0~5A 0~10A通道数 1通道或2通道控温精度 ±0.1℃或±0.01℃控温范围 -20℃~120℃温度传感器 NTC（25℃-10K）模块体积 90*50*35或150*100*35mm远程接口 RS232或RS485显示 真彩触摸屏3.5寸、4.3寸、5.7寸、7寸可选

半导体零度恒温器采用半导体制冷技术，为热电偶参考端提供稳定而精确的0℃，是替换传统以冰水混合物为热电偶参考端提供恒温0℃和利用传感器进行室温补偿的方法，免去繁杂的制冰、刨冰过程，提高热电偶/阻检定精度。半导体零度恒温器具有工作温度稳定、精度高、温场均匀、体积小及使用方便等特点。检定各类热电偶/阻时，克服了传统检定时间长需抽 水加冰的不便、水污染造成的冰点偏离及室温补偿的温度波动和补偿滞后等不足。三种配置方式（插孔，冷端补偿线连接、端子连接）可选，广泛应用于各种热电偶/阻在0℃的相关检测及热电偶类二次仪表的冷端补偿。1．技术特点（1）半导体制冷（2）介质：空气（3）主要制冷片降温速度更快，使用寿命延长5倍（4）孔径大，防震、静音设计（5）符合CE认证的设计（6）高精度智能温控仪，PID控制（7）选配专用冷端无磁不锈钢套件，冷端补偿接线更方便2．技术参数（1）准确度∶0℃±0.05℃ 分辨率∶0.01℃（2）稳定度∶±0.02℃/10Min 均匀度∶0.02℃ （3）插孔孔径及数量∶φ9×6，φ8×10（可选）（4）降温时间：15Min （5）孔间差∶≤0.01℃ （6）插入深度：200mm（7）外形尺寸及重量∶260×140×315mm 7kg （8）工作环境条件∶环境温度5～30℃，相对湿度10%—80%RH（9）接线方便三种使用方式（插孔，冷端补偿线连接、端子连接）可选。快速完成接线工作。注∶*不间断运行5000小时是指不关机连续运行时间，非设备使用寿命*开口尺寸及工作区域大小可根据客户需要定制

固体激光器打标驱动电源产品介绍本公司设计和生产的TLTP-YTH系列半导体激光电源是连续可调恒流电源，采用了目前国际先进的半导体激光电源驱动方案，选用元器件生产。具有输出噪声小、恒流特性好、电流稳定、抗干扰能力强等优点，具有防过冲、反冲和反浪涌的稳压、恒流双重保护电路，保证激光器的稳定工作和使用寿命。电源采用真彩触摸液晶控制，能提供电源工作的各个参数及其工作状态的调节和显示，具备过压、过流、水温和水流报警功能，可以完美匹配DILAS、LIMO、nlight、QPC、西安炬光、BWT模块，是紫外、绿光激光器理想的驱动电源。产品特点 1路LD半导体恒流驱动【含电压钳位，带过压、过流保护，支持过热保护】 4路TEC驱动【半导体LD、一倍频晶体、二倍频晶体、三倍频晶体】 日本进口高精度高灵敏度NTC，全数字PID控制，各参数可调节 温度控制精度：正负0.1℃或0.01℃可选。支持TEC热端温度检测和风扇控制 内置PWM，频率1KHz-200KHz 可调，步进1KHz。 脉宽可调1us~30us. 带红光指示 激光控制内控、外控可切换。 支持Q驱告警检测。 完美兼容市面上主流打标板卡控制 温度异常报警、激光器内部温湿度控测 光功率探测 光闸控制、步进电机控制应用： 端泵打标泵浦电源 半导体激光电源 绿光打标机电源 紫外打标机电源 倍频晶体温控控制 高低温温度控制参数介绍：系统功能参数简介4路制冷系统 日本进口高精度高灵敏度NTC温控稳定度正负0.1℃、0.01℃可选支持TEC双向控制，可加热可制冷CHANNEL1 双向12V/10A【半导体LD-808】CHANNEL2 双向12V/10A【1倍频晶体】CHANNEL3 双向12V/10A【2倍频晶体】CHANNEL4 双向12V/10A【3倍频晶体】半导体激光模块驱动器 低压高流【3V60A】、高压低流 【8V10A、12V10A、26V10A等】效发率88%。电流纹波10mA,电压纹波15mV。含电压钳位，带过压过流保护，支持过热保护。含欠压保护，过流熔断保护。支持外部使能控制，外部电流控制。声光控制器 内置PWM，频率1KHz-200KHz，步进1KHz。脉宽可调1us~30us激光控制内控外控可切换。支持Q驱告警检测。温度异常报警。附加功能 RS232通讯接口。(选配)产品选型：型号参数 TLTP-YTH0345-N TLTP-YTH0360-N TLTP-YTH0812-N TLTP-YTH1212-N TLTP-YTH2612-N输入电压（VAC） 220±15%温控路数 温控1~5可选控温精度 ±0.1℃/±0.01℃可选控温范围 5℃~85℃温度传感器 NTC（25℃-10K）激光器电压 0~3V自适应 8V自适应 12 V自适应 26V自适应激光器电流 45A 60A 12A 12A 12A声光控制器 15V/24V供电可选PWM频率 1K~200KHz仪器体积 W×L×H＝450×130×400mm远程接口 RS232、485（选配）外控接口 DB15【兼容JCZ、国产打标板卡】LD放置 机箱内、激光器内可选冷却方式 风冷、水冷可选其它功能 光功率探测、湿度探测、光闸控制、步进电机控制

上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱分析仪无等离子体设计,可以实现快速, 化学特定的原位定量气体分析, 与光学发射光谱 OES 对比, Aston™ 质谱仪 的 OA% 灵敏度显示为 0.25%, 适用于半导体工艺中蚀刻计量控制, ALD, 3D-NAND 和新兴的堆叠式 DRAM.半导体蚀刻工艺挑战日益增加蚀刻是半导体制造中常用的工艺之一. 介电蚀刻用于形成绝缘结构, 触点和通孔, 多晶硅蚀刻用于在晶体管中创建栅极, 金属蚀刻去除材料以显示电路连接图案并钻穿硬掩模.连续蚀刻铝 Al, 钨, 铜 Cu,钛 Ti 和氮化钛 TiN 等工艺金属具有挑战性, 因为许多金属会形成非挥发性金属卤化物副产品（例如六氯化钨 WCl6）, 这些副产品会重新沉积在蚀刻侧壁上, 导致成品率降低（通过微粒污染或沉积材料导致短路）.随着半导体行业不断缩小关键特征尺寸并采用垂直扩展 (如 3D-NAND 存储器和全环绕栅极先进技术节点), 各种新的蚀刻挑战已经出现. 这些包括在晶圆上蚀刻更小的特征, 高展弦比 HAR 沟槽蚀刻 (具有小的开放面积百分比- OA%), 以及在新兴的非挥发性存储器和高 k介质中蚀刻金属闸极, 稀土金属等新材料. 对于先进的纳米级工艺, 如蚀刻到硅介质和金属薄膜, 选择性处理, 如原子层蚀刻 ALE 一次去除材料的几个原子层. ALE 提供了比传统蚀刻技术更多的控制. 对于 3D-NAND 和先进 DRAM 来说, 向批量生产过渡的重大挑战包括解决导体蚀刻困难的要求, 满足积极的生产斜坡和实现所需的吞吐量, 以推动成本效益.上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱分析仪提供高性能, 嵌入式和可靠的原位定量分子气体计量已经成为验证工艺室和持续监测工艺化学过程的关键工具, 确保生产环境中的高产率和更大吞吐量.Aston™ 质谱分析仪提供全腔室解决方案使用上海伯东 Atonarp Aston™ 质谱仪通过实时, 定量和精确的分子传感器来解决半导体新兴蚀刻工艺技术相关的关键挑战. 通过解决传感器耐久性, 灵敏度, 匹配, 系统集成和易用性等方面的挑战, 日本 Atonarp Aston™ 质谱仪升级了传统的气体分析计量方法. Aston 是一种全室解决方案, 用于在各种工艺步骤中实时监测前体, 反应物和副产物.这些包括基准室和过程指证, 腔室清洁, 过程监测 (包括存在腐蚀性气体), 颗粒沉积和气体污染物凝结. 小的占地面积和灵活的通信接口允许在室内安装和集成到过程设备控制系统. 为了集成到半导体工艺工具中, Aston 质谱分析仪的高性能和可靠性设计用于生产晶圆的大批量生产过程控制.Aston™ 质谱分析仪半导体蚀刻计量控制半导体行业正从二维结构的扩展转向复杂三维结构的挑战性要求. 传统的离线晶圆测量已不足以实现性能和良率目标, 原位蚀刻测量传统上缺乏生产所需的鲁棒性和可重复性. Aston™ 质谱分析仪的结构中嵌入了专利技术, 使其具有卓越的分析和操作性能. 为了满足过程控制和跨工厂生产工具匹配的严格要求, Aston 从头开始设计, 高运行时间和低维护的吞吐量, 长期信号稳定性和可重复性.为了承受腐蚀和沉积过程的恶劣环境, Aston™ 引入了两个的功能: 等离子电离和自清洁 (ReGen™模式). 等离子体电离消除了由于与腐蚀性气体(如NF3, CF4, Cl2)的反应而导致的灯丝降解. 此外, 除去(正硅酸四乙酯) TEOS 等颗粒和蒸汽污染物沉积, 同时定期进行室内清洁循环, 延长了 Aston™ 质谱仪的使用寿命. ReGenTM 模式使仪器能够使用高能等离子离子清洗自身, 通过去除在膜沉积过程中可能发生在传感器和腔室壁上的沉积. 结合这两个功能, 传感器的灵敏度可维持在数百个RF(射频)小时的操作. Aston质谱仪支持的基于测量的控制, 有可能延长清洗间隔 MTBC 的平均时间. MTBC 的增加意味着工具可用性和长期吞吐量的增加. 除了等离子电离器(用于工艺), 传感器还配备了传统的电子冲击 EI 灯丝电离器, 用于基线和校准.分子传感器的分析级是使用微米级精密双曲电极的四极杆. 由高度线性射频(RF)电路驱动, Aston 质谱的HyperQuad 传感器在 2到300 amu的质量范围内具有更高的分析性能.Aston™ 质谱分析仪技术参数参数值质量分辨率0.8u质量数稳定性0.1u灵敏度(FC / SEM)5x10-6 / 5x10-4 A/Torr最低可检测的部分压力(FC / SEM)10-9 / 10-11 Torr检测极限10 ppb最大工作压力1X10-3 Torr每 u 停留时间40 ms每u扫描更新率37 ms发射电流0.4 mA发射电流精度0.05 %启动时间5mins离子电流稳定 ±1%浓度的准确性 1%浓度稳定±0.5%电力消耗350w重量13.7kg尺寸400 x 297 x 341mm高展弦比 HAR 3D 蚀刻随着多模式技术和 3D器件结构的出现, 高度密集的蚀刻和沉积过程驱动了计量需求. 3D多层膜栈, 如 NAND 存储架构, 代表复杂的, 具有挑战性的蚀刻过程, 具有关键的蚀刻角度, 统一的通道直径和形状要求, 尽管高蚀刻纵横比通道 100:1 是常见的. 对于 3D-NAND, 关键导体蚀刻过程包括阶梯蚀刻(下图)和用于垂直通道和狭缝的 HAR 掩模打开. 通过硝酸硅和氧化硅交替层蚀刻需要高速定量终点检测. 对于 DRAM, 蚀刻过程包括 HAR 门, HAR 沟槽和金属隐窝. 对于阶梯蚀刻, 关键是在整个 3D堆栈的每个介质膜对的边缘创建等宽的“步骤”, 以形成阶梯形状的结构. 在器件加工过程中, 这些步骤的大量重复要求蚀刻高吞吐量和严格的过程控制.多功能现场气体计量需要在一个工具中执行多种监测功能:• 检测和量化污染, 交叉污染, 气体杂质和工艺室内的工艺化学• 评估已开发的蚀刻过程在生产工具 / 运行的复杂功能上的性能• 测量刻蚀后的清洁 (包括先进的无晶圆自动清洁 WAC) 作为腔条件对于消除工艺漂移和确保可重复性性能是至关重要的• 快速准确的蚀刻端点检测 EPD, 通过等离子体或气体监测, 因为这是一个关键的控制功能. 举例包括一氧化碳 CO 副产物在介电蚀刻中下降或氯 Cl 反应物在多晶硅和金属蚀刻端点上升.• 全面的实时计量数据, 允许过程等离子体和反应物的动态腐蚀控制, 以管理要求的腐蚀剖面Aston™ 质谱分析仪无等离子体终点检测虽然光学发射光谱 OES 已被广泛用于蚀刻 EPD, 但低开放面积 OA 和 HAR 设计的趋势使其在许多蚀刻任务中无效. OES 技术需要等离子体'开'和发光物种. 随着昏暗和远程等离子体越来越多地用于 3D设备和原子水平蚀刻 ALE 工艺, 需要更多敏感的数据和分析技术来实现迅速和确定的 EPD. 此外, 脉冲等离子体通常用于管理 HAR 和 低 OA% 工艺的蚀刻剖面, 这使得 OES 对于 EPD 来说是一个不切实际的解决方案. 在3D 结构中, 多层薄膜和多个接触深度阻碍了每一行触点到达底部时端点的光学发射信号的急剧步进变化其他 OES 限制包括:• 在电介质蚀刻中, 在 OA 5% 的模式上进行 EPD一直具有挑战性, 因为 OES 在低浓度下具有低信噪比.在高压Si深蚀刻(例如博世工艺)中, 要求 OA% 的 EPD低于 0.3%, OES 中较大的背景噪声水平抑制了对发射种数量的任何变化的检测.• 在金属蚀刻中, OA% 可能低于10%, 这取决于所涉及的互连尺寸. 对于接触和通过蚀刻, OA 可以在0.1-0.5%之间或更低, 这取决于所涉及的特征的大小. 在钨 W 蚀刻的情况下, 随着 OA的减小, 氯 Cl 反应物的消耗减少, 由于材料运输到 HAR 蚀刻特征, 蚀刻趋于放缓. 这两个因素都降低了反应气的消耗率. 因此, 由于等离子体中反应物的耗尽, 很难看到在终点处 OES信号的显著变化.Aston™ 质谱仪可以利用蚀刻反应物和 EPD 的副产物. 此外, Aston 能够在小的, 有限体积的传感器上运行周期性清洗, 以保持其性能(灵敏度), 在延长晶圆运行次数的情况下获得更大的正常运行时间. 然而, OES 要求在腔室上有一个需要保持清洁的访问窗口，以获得足够强度的稳定信号。通常，加热石英窗用于减缓工艺产品的堆积. 使用 Aston™质谱分析仪，在低浓度下的检测不受等离子体发射的背景光谱的影响, 也不受射频功率脉冲期间等离子体强度波动的影响.图 3a/3b 显示了 CO+和 SiF3 +的副产物 OA%下降到0.25%的电介质腐蚀EPD数据数据清楚地显示了线性行为和在低浓度下的检测不受等离子体发射的背景光谱影响. Aston 质谱的 ppb 灵敏度是针对 0.1%以下的 OA性能.原子级蚀刻 ALE在三维结构中, ALE 过程中的逐层去除需要脉冲射频电源来控制自由基密度和较低的离子能量, 以减少表面损伤和保持方向性. 在这样的光源中, 等离子体的整体光强较低, 并表现出波动幅度. 通常等离子体离晶圆区很远(距晶圆区25厘米), 而且等离子体激发的副产物很少, 使得光学测量不切实际.在 ALE中, 由于每个周期都是自我限制的, 端点检测可能不那么重要. 然而, 在缺乏气体分析的情况下, 工艺工程师对监测腔室和工艺健康状况“视而不见”, 因为无法看到化学状态, 特别是在工艺步骤 (吸附/净化/反应/净化) 之间过渡时的动态状态, ALE 的自限性并不能使它不受过程漂移的影响. 此外, 由于 ALE 不是基于等离子体的, 因此过程中的化学变化不一定可以通过等离子体监测检测到.有一种误解, 认为 ALE 技术实际上是一次一个原子层 相反, 它们每循环的去除/沉积量可能比单分子膜多一点(或少一点). 由于真空泵性能, 晶圆温度或离子轰击能量 (电压) 的变化分别导致表面饱和度和表面反应性的变化, 工艺移位(Å/周期的变化)可能发生.在 ALE (下图)中,由于等离子体的使用不一致, 化学监测方面的差距就不那么明显了. 在这种情况下, Aston™ 质谱仪具有以下优点:• 在每个工艺步骤中建立一个腔室化学状态的指证. 这可以参照其自身的正常行为, 也可以参照标准腔• 描述和监控与化学变化相关的动态过程中, 从一个步骤过渡到下一个步骤• 监测在 ALE 循环第一步之后从系统中清除吸附物质的时间. 等离子体通常用于产生吸附物质(自由基), 但它是在远离晶圆片的地方产生的• 监测 ALE 循环第二步反应产物的变化. 等离子体光强通常较低, 因为它使用了低占空比的脉冲射频• 监测反应产物和反应物在ALE循环第二步后被净化的时间结论原子级蚀刻只能使用像上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱仪这样的分子传感器进行真正的测量和监测. 它的高灵敏度, 速度和对等离子体强度变化的低敏感性产生可靠的定量测量, 即使在低浓度的反应物和副产物, 具有低于1% 水平的高精度, 可以监测微妙的过程漂移和过程变化效应, 提供了可用于机器学习模型的见解.利用其高扫描速度, 通过监测反应产物减少的时间来实现步进时间优化, 因为它是表面反应活性变化的指示, 增加了总体吞吐量.ALE 是先进的蚀刻技术, 上海伯东 Aston 质谱仪为 ALE 提供了先进的化学计量技术, 可以测量和控制反应及其持续时间, 为大批量生产提供了可靠的解决方案.若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：上海伯东: 罗先生

半导体TEC温控仪产品介绍本系列的“半导体制冷控制器”是专门为驱动半导体制冷片(热电制冷片)而设计的高性能温度控制系统(风冷)，其特点是高精度和高稳定度。输出负载为半导体制冷片(热电制冷片)。半导体制冷是利用帕尔帖效应原理工作的，具有高精度、长寿命、体积小、无噪声、无磨损、无振动、无污染、既可制冷又可加热等优点，是真正的绿色产品。本系列产品带有完美的PID控制软件，智能无级控温，既可加热又可制冷。可用于控制激光器件、医疗器件、半导体器件、红外探测器、光电倍增管、或其它任何需要温度控制的地方。该产品采用现代新电力电子器件和高速微处理器(MPU)程序控制技术，以及PWM调制、双向电源、PID调节技术，具有优良的电压、电流输出特性，开关机时无过冲、反冲、浪涌现象，并带有过流、过压、过温、欠温等保护电路，以及RS232或RS485远程控制接口注：为了获到好的精度、线性度、定度等,本产品采用标准日本进口NTC（热敏电阻）作为温度采样元件。产品特点 智能无级调温，双向温度控制 温度控制精度为±0.1℃、0.01℃、0.005℃、0.001℃ 工作温度可任意设置(常规在-40℃～100℃之间选择，其它范围可定制) 工作温度超过上限/下限(软件设定)时报警 用户可以修改温度PID反馈参数 恒温模式：双向冷热恒温 具有过流、过压、过热等保护 具有硬件过温、欠温等保护电路 高稳定,高抗干扰,完全消除温度采样通道中的50/60Hz工频干扰 触摸屏控制接口 友好的人机界面和故障诊断功能(在操作不当或电源故障时,电源将给出故障号提示) 模块尺寸：W×L×H＝450×300×133mm 接受定制：可根据客户需要定制温控电源，定制夹具平台等 同时提供各种温控模块产品选择产品应用 半导体激光器、激光晶体，激光倍频晶体温度控制 固体温度控制、实验、科研温度控制 高低温实验等产品选型型号参数 TLTP-TEC0510 TLTP-TEC1210 TLTP-TEC2410 TLTP-TEC2420 TLTP-TEC3610 TLTP-TEC4810输入电压（VAC） AC220V±15%输出电压（V） 1~5V(可调节) 3.6~12V(可调节) 7.2~24V(可调节) 7.2~24V(可调节) 10.8~32V(可调节) 15~45V(可调节)输出电流（A） -10A~10A -10A~10A -10A~10A -20A~20A -10A~10A -10A~10A通道数 1到60通道可选控温精度 ±0.1℃或±0.01℃或±0.005℃或±0.001℃控温范围 -40℃~100℃温度传感器 NTC（25℃-10K）模块体积 450×300×133mm或450×400×133mm远程接口 RS232或RS485显示 字符点阵液晶或真彩触摸屏4.3寸

产品概要：4200A-SCS 是一种可以量身定制、全面集成的半导体参数分析仪，可以同步查看电流电压 (I-V)、电容电压 (C-V) 和超快速脉冲式 I-V 特性。作为性能很高的参数分析仪，4200A-SCS加快了半导体、材料和工艺开发速度。基本信息：使用强大的 Clarius 软件，可以更加快速的完成 I-V, C-V 和脉冲 I-V 测试，结果清晰。 I-V 源测量单元 (SMU) ● ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模块● 100 fA 测量分辨率● 选配前端放大器提供了 0.1 fA 测量分辨率● 10 mHz - 10 Hz 超低频率电容测量● 四象限操作● 2 线或 4 线连接C-V 多频率电容单元 (CVU)● AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)● 1 kHz - 10 MHz 频率范围● ± 30 V (60V差分)内置 DC 偏置源，可以扩展到 ± 210 V(420 V 差分 )● 选配 CVIV 多功能开关，在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换脉冲式 I-V 超快速脉冲测量单元 (PMU)● 两个独立的或同步的高速脉冲 I-V 源和测量通道● 200 MSa/s，5 ns 采样率● ±40 V (80 V p-p)，±800 mA● 瞬态波形捕获模式● 任意波形发生器Segment ARB模式，支持多电平脉冲波形，10ns可编程分辨率高压脉冲发生器单元 (PGU)● 两个高速脉冲电压源通道● ±40 V (80 V p-p)，± 800 mA● 任意波形发生器Segment ARB模式，支持多电平脉冲波形，10ns可编程分辨率-V/C-V 多开关模块 (CVIV)I● 在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换，无需重新布线或 抬起探针● 把 C-V 测量移动到任意端子，无需重新布线或抬起探针远程前端放大器 / 开关模块 (RPM)● 在 I-V 测量、C-V 测量和超快速脉冲 I-V 测量之间自动切换● 把 4225-PMU 的电流灵敏度扩展到数十皮安● 降低电缆电容效应 技术优势：1、随时可以投入使用、可以修改的应用测试、项目和器件，缩短测试开发时间2、内置测量视频的仪器，测试视频由全球应用工程师提供，分为4种语言，缩短学习周期3、pin to pad接触检查，确保测量可靠4、多种测量功能5、数据显示、分析和代数运算功能6、专家视频，降低特性分析复杂度，观看吉时利全球应用工程师制作的内置视频，迅速掌握应用，缩短学习周期。数小时的专家测量专业帮助，在发生意想不到的结果或对怎样设置测试存在疑问时，将为您提供指引。Clarius Software短专家视频支持四种语言(英语、中文、日语和韩语)，可以迅速让你洞察先机。7、大量随时可以使用的应用测试可供选择，通过Clarius库中装备的450多项应用测试，您=可以选择或修改预先定义的应用测试，加快特性分析速度，或从一开始简便地创建自定义测试。只需三步，Clarius Software就可以引导新用户像专家一样完成参数分析。8、实时结果和参数，自动数据显示、算法分析和实时参数提取功能，加快获得所需信息的速度。不必担心数据丢失，因为所有历史数据都会保存下来。9、无需示波器检验脉冲测量，脉冲定时预览模式可以简便地查看脉冲定时参数，确认脉冲式I-V测试按希望的方式执行。使用瞬态I-V或波形捕获模式，进行基于时间的电流或电压测量，而无需使用外部示波器。应用方向：MOSFET, BJT 晶体管；材料特性分析；非易失性存储设备；电阻率系数和霍尔效应测量；NBTI/PBTI；III-V 族器件；失效分析；纳米器件；二极管和 pn 联结；太阳能电池；传感器；MEMS器件；电化学；LED和OLED。

半导体参数分析仪概述：SPA-6100半导体参数分析仪是武汉普赛斯自主研发、精益打造的一款半导体电学特性测试系统，具有高精度、宽测量范围、快速灵活、兼容性强等优势。产品可以同时支持DC电流-电压(I-V)、电容-电压(C-V)以及高流高压下脉冲式I-V特性的测试，旨在帮助加快前沿材料研究、半导体芯片器件设计以及先进工艺的开发，具有桌越的测量效率与可靠性。基于模块化的体系结构设计，SPA-6100半导体参数分析仪可以帮助用户根据测试需要，灵活选配测量单元进行升级。产品支持Z高1200V电压、100A大电流、1pA小电流分辨率的测量，同时检测10kHz至1MHz范围内的多频AC电容测量。SPA-6100半导体参数分析仪搭载普赛斯自主开发的专用半导体参数测试软件,支持交互式手动操作或结合探针台的自动操作,能够从测量设置、执行、结果分析到数据管理的整个过程，实现高效和可重复的器件表征 也可与高低温箱、温控模块等搭配使用，满足高低温测试需求。产品特点：30μV-1200V；1pA-100A宽量程测试能力；测量精度高，全量程下可达0.03%精度；内置标准器件测试程序，直接调用测试简便；自动实时参数提取，数据绘图、分析函数；在CV和IV测量之间快速切换而无需重新布线；提供灵活的夹具定制方案，兼容性强；免费提供上位机软件及SCPI指令集；典型应用：纳米、柔性等材料特性分析；二极管；MOSFET、BJT、晶体管、IGBT；第三代半导体材料/器件；有机OFET器件；LED、OLED、光电器件；半导体电阻式等传感器；EEL、VCSEL、PD、APD等激光二极管；电阻率系数和霍尔效应测量；太阳能电池；非易失性存储设备；失效分析；系统技术规格半导体电学特性测试系统CV+IV测试仪订货信息模块化构成：低压直流I-V源测量单元-精度0.1%或0.03%可选-直流工作模式-Z大电压300V，Z大直流1A或3A可选-最小电流分辨率10pA-四象限工作区间-支持二线，四线制测试模式-支持GUARD保护低压脉冲I-V源测量单元-精度0.1%或0.03%可选-直流、脉冲工作模式-Z大电压300V,Z大直流1A或3A可选，Z大脉冲电流10A或30A可选-最小电流分辨率1pA-最小脉宽200μs-四象限工作区间.-支持二线，四线制测试模式-支持GUARD保护高压I-V源测量单元-精度0.1% -Z大电压1200V,Z大直流100mA-最小电流分辨率100pA-一、三象限工作区间-支持二线、四线制测试模式-支持GUARD保护高流I-V源测量单元-精度0.1%-直流、脉冲工作模式.-Z大电压100V，Z大直流30A,Z大脉冲电流100A-最小电流分辨率10pA-最小脉宽80μs-四象限工作区间支持二线、四线制测试模式-支持GUARD保护电压电容C-V测量单元-基本精度0.5%-测试频率10hZ~1MHz，可选配至10MHz-支持高压DC偏置，Z大偏置电压1200V-多功能AC性能测试，C-V、 C-f、 C-t硬件指标-IV测试半导体材料以及器件的参数表征，往往包括电特性参数测试。绝大多数半导体材料以及器件的参数测试，都包括电流-电压(I-V)测量。源测量单元(SMU)，具有四象限，多量程，支持四线测量等功能，可用于输出与检测高精度、微弱电信号，是半导体|-V特性测试的重要工具之-。SPA-6100配置有多种不同规格的SMU,如低压直流SMU,低压脉冲SMU,大电流SMU。用户可根据测试需求灵活配置不同规格,以及不同数量的搭配，实现测试测试效率与开支的平衡。灵活可定制化的夹具方案 针对市面上不同封装类型的半导体器件产品,普赛斯提供整套夹具解决方案。夹具具有低阻抗、安装简单、种类丰富等特点，可用于二极管、三极管、场效应晶体管、IGBT、SiC MOS、GaN等单管，模组类产品的测试 也可与探针台连接，实现晶圆级芯片测试。探针台连接示意图

特点：100 mA至4 A电流输出60 W TEC温度控制低噪声、双量程范围先进的激光器保护措施 6300系列半导体激光器控制器是高精度、低噪声、双量程激光驱动器和强大的60 W 精密温度控制器的完美组合。而且体积小、结构紧凑。卓越的性能，优惠的价格使其成为公司的旗舰产品。使用简便，易于配置 ComboSource控制器的用户界面是非常简单的… 易于使用，即刻设置与运行。Arroyo控制器采用高对比度的VFD真空荧光显示屏直接显示易于读取的信息，同时显示电流值、电压值、温度值、光电二极管的电流值等信息… 无需切换读数。展示信息您可以自己配置，让控制器按照您预想的方式进行工作。所有的ComboSource控制器都设计有USB 与RS232计算机接口，可以快捷方便地与PC连接，实现远程操作。并且ComboSource尺寸紧凑，易于集成到您现有的测试系统中去。便捷的功能键 控制器的功能键可用于快速选择不同的配置状态，或者执行预先设定的命令。比如在两个不同的实验之间转换或者执行重复操作等。任何您可以手动控制的操作都可以编程到功能键里。高性能温度控制器 60 W的输出功率和可调节PID控制，使其应用更加广泛。它支持所有通用传感器，包括额敏电阻、RTD、LM335和AD590传感器。卓越的半导体激光器保护功能 ComboSource具备您所期望的激光驱动器的所有安全能能：可调节的电流和电压极限值，缓启动、瞬态/峰值监测，所有这些性能都能通过硬件实现。独立且隔离的输出设备 所有的ComboSources的输入与输出接口之间无论在光学上还是电学上都是隔离的，确保设备免受接地循环带来的损坏。MODELCURRENTVOLTAGEACCURACYNOISEBWTEC POWER6301100 mA10 V0.025% + 0.03 mA 1 uA325 kHz60 W6305500 mA10 V0.025% + 0.12 mA 1.5 uA325 kHz60 W63101 A10 V0.025% + 0.3 mA 2.5 uA200 kHz60 W63404 A5 V0.05% + 0.8 mA 40 uA150 kHz60 W6310-QCL1 A18 V0.025% + 0.3 mA 2.5 uA200 kHz60 W6340-QCL4 A15 V0.05% + 0.8 mA 40 uA150 kHz60 W