三维建筑测量仪

LT-12净空测量仪是我公司新开发的超远距离免棱镜全站仪，可以用于机场或雷达站周围建筑物三维坐标的测量。该产品在国际上率先采用1.57波长人眼安全激光，免棱镜测程达到12公里，测距精度优于1米，测距时间小于1秒，测量的坐标数据直接存储到内存中；可通过U盘将数据复制到电脑，本测量仪采用Windows mobile。LT-12净空测量仪集成了GPS定位功能和全站仪测角、测距功能，不受地域和时间限制，不依靠控制网，没有作业半径限制，是全天候、无盲区、智能型的测量系统。技术参数角度测量：水平角范围:0～360°垂直角范围：-45°-+90°水平角精度：2″(2秒=0.0005°)垂直角精度：2″(2秒=0.0005°)最小读数:1″/5″可选测角方法：绝对编码，动态测量角度补偿方式：电子补偿角度补偿范围：±3′（补偿范围内仪器自动消除仪器不平对角度的影响）采点速度：1点/3秒非合作目标距离测量：测程：12000米测距精度：1米测距激光波长：1.57波长测距激光类型：1级人眼安全激光（最安全等级）数据存储/通讯：可扩展内存:标配8G内存，可扩充至32G数据接口：U盘，蓝牙，Wifi,3G上网及语音通话功能（选配）数据格式：文本格式/CSV格式望远镜：放大倍数：16倍物镜口径：23mm视场：2°30′（100m处视场4.4m）调焦范围：2.5m至无穷远显示屏：显示屏：3.5寸电阻式彩色触摸屏，640×480像素，亮度可调节操作系统：Windows Mobile：6.5主频：800HZ激光对电器：类型：红色激光点对中精度：1.5m处对中精度1.5mm电池：类型：12V可充电锂电池1800mA操作时间：双电池在打开激光条件下可工作8小时以上物理指标：整机重量：5.3kg体积：170×160×330mm环境指标：工作温度范围：-30℃到+60℃，极地耐低温型-40℃到+60℃（可定制）防尘/防水：IP55，防雨防尘湿度：95%，无冷凝软件功能：后方交会法：有站点测量法：有角度定向法：有原始坐标输出：有原始坐标数据输出，便于用户验证检查，数据兼容性好智能测量导航：有产品特征1．可选配大范围倾角补偿器。2．可选配3G上网卡实施将测量数据发回办公室。3．LT-12净空测量仪系统从GPS获取绝对坐标，无需做控制网或控制点，使作业更简单。4．可选配高精度GPS进行定位定向，结合全站仪数据采集功能，实现全站仪、GPS测量数据共享。

中图仪器SuperViewW光学表面三维形貌轮廓测量仪以白光干涉技术原理，用于对各种精密器件表面进行纳米级测量。通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）；SuperViewW光学表面三维形貌轮廓测量仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。产品功能(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。性能特色1、高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，中图仪器SuperViewW光学表面三维形貌轮廓测量仪的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。具有的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配：10×选配：2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配：0.5×选配：0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配：3孔手动选配：5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸（长×宽×高）700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

三维表面形貌测量仪InfiniteFocus SLInfiniteFocus SL三维表面形貌测量仪由奥地利Alicona公司研发并生产，操作原理是国际新型的全自动变焦(Focus-Variation)技术，该技术是光学系统的小景深和垂直扫描相结合。系 统InfiniteFocus SL是一款经济型、用于实验室研究和生产控制的光学三维表面形貌测量仪。InfiniteFocus SL除可以测量形貌及微观结构的表面外，还可以测量部件的粗糙度。完美的机身框架和智能的光源使InfiniteFocus SL的测量更快速，更容易。优 势InfiniteFocus SL测量速度快、稳定性强，而且经济实惠。超过33mm的超长工作距离及50X50mm测量范围使它拥有了极宽的应用范围，测量可以在几秒钟内完成。应 用应用范围从刀具工业的刃口测量到质量保证及微观结构的表面刃口测量。InfiniteFocus SL应用于汽车、航天、模具、刀具、机械加工等制造企业。 InfiniteFocus SL光学三维刀具测量仪的部分技术参数：位移范围（X/Y）:50mm×50mm(自动调节)位移范围（Z）:130mm(26mm自动调节)最佳垂直分辨率：20nm最大扫描高度：25mm最大操作距离：17.5（5×物镜）最大扩展视野范围：2500mm2最大单一方向测量范围：50mm最小测量半径：2μm最小测量楔角：20°最小测量粗糙度（Ra）：80nm最小测量粗糙度（Sa）：50nm

中图仪器SuperViewW1白光干涉微纳米三维形貌一键测量仪以白光干涉技术为原理，获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点，适用于从超光滑到粗糙、平面到弧面等各种表面类型，让3D测量变得简单。SuperViewW1白光干涉微纳米三维形貌一键测量仪以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。产品功能(1)SuperViewW1白光干涉微纳米三维形貌一键测量仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。产品特点参数测量：粗糙度、微观轮廓尺寸、角度、面积、体积，一网打尽；环境噪声检测：实时监测，纳米波动，也无可藏匿；双重防撞保护：软件ZSTOP和Z向硬件传感器，让“以卵击石"也能安然无恙；自动拼接：3轴光栅闭环反馈，让3D拼接“天衣无缝"；双重振动隔离：气浮隔振，吸音隔振，任你“地动山摇，我自岿然不动"。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：SuperViewW1白光干涉仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5×、5×、20×、50×、100×光学ZOOM标配:0.5×选配:0.375×、0.75×、1×标准视场0.98×0.98㎜（10×物镜，光学ZOOM 0.5×）XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动台阶测量可测样品反射率0.05%~100主机尺寸700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

精确、快速、便携应用领域：金属，复合材料，织物等材质表面的划痕，裂纹，磨损，刮擦、凹坑、凿击、腐蚀等表面缺陷的现场检测和分析；铆接，焊接，接缝等阶差和凹凸量的三维检测；三维面粗糙度测量分析；划窝孔，槽深，圆弧，倒角等几何尺寸测量； 测量原理：德国GFM公司基于激光条纹相位投影技术和DSP高速图像处理芯片研制的便携式三维光学表面划痕测量仪，用于现场表面质量特性的检测，具有测量速度快，测量准确，便携性等优点。 仪器特点：便携式现场检测大型零件表面划痕缺陷,阶差等表面几何特性参数；三维测量表面划痕缺陷，通过拓扑色差图直观检测出划痕缺陷最深的部位；专业的划痕测量分析软件，多种滤波方式：包含了多项式滤波，高斯滤波，均值滤波等，有效消除曲面轮廓，倾斜，噪音信号，毛刺，灰尘等因素对测量结果的影响；大倾角光路设计，以及蓝光LED光源，测量不受高反光曲面的影响；SDK软件包，开放仪器接口，可二次开发；仪器附件 测量范围X/Y/Z：13X8X5 mm测量示值误差： (2+L/1000)μm L单位μm深度方向分辨力：1um聚焦距离： 107mm测量扫描时间: 3秒；扫描点云：36万点/幅使用环境温度：5-40°C符合国标校准规范的计量校准溯源

三维扫描测量仪-FLEX-3A(德国OTTO)3D扫描仪、非接触式3D扫描仪、三维尺寸光学测量仪、三维扫描仪、三维光学扫瞄测量仪OTTO Vision Technology GmbH-我们与合作伙伴在精密光学，机械工程和图像处理硬件方面保持密切合作，以此为基础开发复杂的测试和分类系统以及复杂的测量系统，目前已在大约2,000个工业应用中使用。FLEX-3A：光学3D扫描仪用于自动检查由于具有自动化功能，FLEX-3A系列的3D扫描仪适用于首样品和原型测量以及生产中的自动样品控制。封闭式外壳概念，长期稳定的系统校准以及数据采集，计算和评估的完全自动化，确保了在生产条件下过程稳定的使用。两个标准集成电动轴可以补充其他轴和运动顺序。 ①?小型测量场，物体场尺寸为20 mm③?模块化测量场变化⑤?无需注册标记的多幅图像记录⑦?数据采集 和评估自动化⑨?电动模块化扩展FLEX-3A / 12M(2)相机分辨率：1200万像素(4)尺寸（宽x深x高）：855毫米x 854毫米x 930毫米(6)作业系统：Windows 10(8)可选配振动隔离台 (1)可用的测量范围：20mm x 15mm至230mm x 172mm(3)测量点距离：8μm至90μm(5)重量：约145公斤(7)电源：230V / 50Hz / 5A

仪器简介：是二维表面粗糙度测量仪、三维表面粗糙度测量仪和轮廓形状测量仪最高水平的组合，一体化的合理的测量仪器状解析记录模式三种功能，技术参数：二维粗糙度：测量参数：Ra、Rq、Ry、Rmax、Rt、Rz、Rz5、Rz3、R3z、R3zmax、RzmaxD、RzD、Sk、Ku、Pc、HSC、PPI、Rpm、Sl、Sm、S、Rp、Rv、 a、 q、 a、 q、 a、 q、K、tp、BC、ADC、FFT、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、WcA、WCM、WEA、WEM、真直度、离差、坐标放大倍率：竖直50 ~500,000 水平1~5000测量范围：竖直 600 m 水平100mm评价长度：0.25, 0.8, 2.5, 8, 25, 80mm / 任意(0.2mm以上) /  C x1, x2, x3, x4, x5自动水平调整：最小二乘法, 二点法, R曲线修正, 二次曲线修正,辅助功能：自由画面设计记录, 图表模版, 平均处理, 统计处理, 去除缺陷后测量, 再计算,探测器登记,留言记录, 自动灵敏度校正, 公制/英制变换, 自动测量, 去除处理, 轮廓图放大缩小。三维粗糙度分析项目：平面图、等高线图 / 微分浓淡图 / 标高表示图鸟瞰图(水平, 俯角可变): 扫描图 / 细格图 / 等高线图 / 微分浓淡图三维分析值: SRp / SRv / SRmax / SRa / SGr / SSr / SRe / SRq / SRsK / S a / S a / Spc / 标高粒子分析: 山(或谷)粒子的密度, 平均面积, 平均体积, 平均直径图形: FFT/ BC测量范围：Z 600 m X 100mm Y 100mm辅助功能：分析和数据采集同时进行 / 部分选取 / 水平调整 / 三维数据的任意方向的二维分析传送速度：0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2mm/S高速移动速度5, 10mm/S以及手动截止值：粗糙度  C 0.025, 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8 mm,无截止，起伏fl 0.8, 2.5, 8, 25mm, fh 0.08, 0.25, 0.8, 2.5mm过滤方式：高斯型, 2CR, 特殊高斯型探测器上下移动：探测器上下移动范围250mm, 自动下降/上升精度 0.2 m/100mm以内(使用制动时)真直度测量精度：0.2 m / 100mm探测器：触针: R2m金刚石, 测量力0.7mN 制动: R40(测量方向) R2 m 蓝宝石轮廓形状测量分析项目对中 : 原点移动, 旋转, 反转, 移动要素分析: 点, 线, 圆, 山, 谷, 交点, 中点, 接点 / 定标器量: 座标差, 距离, 交角测量范围：竖直50mm 水平100mm传送速度：0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.2 mm / S 高速移动速度2, 10mm/S 以及手动辅助功能：自由画面设计记录, 图表模版, 宏观功能, 轮廓放大缩小, 数字式圆弧修正, 防止过载 震动器, 上下正反两方向测量 探测器上下移动范围：200mm真直度测量精度：1 m / 100mm探测器：R25 m 10~30mN超硬， 追踪角度： 上攀77度， 下移87度尺寸/ 质量、测量部600  395  593mm / 80Kg 计算部900  600  520mm / 30Kg电源：AC 100V 800VA 50/60Hz主要特点：三维粗糙度测量 数据采集和分析同时进行数据的采集和以前采集的数据的分析可以同时进行. 能节约测量时间.三维粗糙的形状记录能改变鸟瞰图的视角、高低并进行记录.对于平面图能得到浓淡图和等高线图, 当然, 可以取出感兴趣的部分放大或记录.三维粗糙度参数能进行面平均算术平均粗糙度SRa等各种三维粗糙度参数, ”山” , “谷” 粒子的平均面积、平均体积等的分析. 二维粗糙度测量 参数能对应于ISO、JIS、DIN、ANSI、BS等国际标准和各国的新旧标准进行测量自动测量功能从探测器的测量到数据图表的打印一连串的动作都能自动进行.去除处理可以避开测量形状中伤痕等不适和的部分,指定计算的区域进行分析.轮廓形状测量 多断面形状分析能对多到32个断面的数据同时处理. 而且, 能对n次分开测量的数据合在一起进行分析. 对中调整备有必要的充分对中的功能, 而且能进行极细微的调整.宏观功能利用很强的宏观功能,可以使同一类测量物体的测量、分析和打印变得很简单. 操作的宏观化是除了通常的操作外只要增加单键操作就可以了,使整个测量简单化.公差判定对于半径、距离、角度等的分析数据, 每次都要设定公差,并能进行对错的判断.二维粗糙度、轮廓形状测量的共同特点 数据图表能自由的对数据图表进行画面设计, 可以自由选择画面设计的数据, 其中, 有各种测量的数据, 名称等原始数据, 公司标记等图形数据, 进行画面设计, 作成图表.

基恩士 高精度三维扫描测量仪 VL-700系列全新 从扫描到分析、导出STEP一键即可完成 仅放置即可扫描、一键导出STEP 数据 自动CAD 转换实现了3D 数据的广泛应用 通过CAD 对比，实物对比实现难以完成的测量高精度三维扫描测量仪“VL-700 系列”配备了全自动CAD 转换功能。全自动执行从扫描到STEP 文件输出的整个流程。无需专属转换软件即可一站式输出CAD 软件可使用的格式，有助于缩短作业工序。此外，还配备了新开发的高分辨率投受光镜头——WDR CMOS 传感器。实现上一代2 倍*的检测能力。可以将目标物直接按照所展现的外观扫描，将形状和颜色转化为3D 数据。此外，可以基于CAD 数据进行比较测量。更新比较拟合算法，实现稳定的比较测量。还可基于CAD 坐标值进行比较测量。*与本公司VL-500 产品的比较产品外观产品特性1、仅放置即可扫描、一键导出STEP 数据一体化设计造就了硬件与软件杰出结合的全新功能：放置工件后仅需一键，即可全自动扫描&导出STEP。2、自动CAD 转换实现了3D 数据的广泛应用以往*2 倍的分辨率可获取再现性高的数据可以自动转化CAD，实现了各种应用场景的使用。*与本公司VL-500 产品的比较3、通过CAD 对比，实物对比实现难以完成的测量通过数据的对比，可实现以下分析：&bull 扫描数据与CAD 数据的比较&bull 良品与不良品的比较&bull 实验前后的评估&bull 模具差异的比较&bull 磨损前后的评估&bull 试作品改变条件时的比较・ ・ ・ 基恩士 高精度三维扫描测量仪 VL-700系列如果想了解更多信息可留言或电话咨询，我们将竭诚为您服务。

SmartScope ZIP 800影像测量仪是具有大测量空间的多元传感落地式机型。其坚固的花岗岩基座和垂直正交的桥架式形式保证了高精度的影像测量所需要的机器结构。在强大的影像三维测量的基础上，还可以配置接触式和非接触式的传感器，包括可测量精密严苛要求的小型零件所需要的同轴TTL激光，彩虹扫描白光传感器，羽毛探针等微探测技术。 像所有的ZIP系列产品一样，SmartScope ZIP 800影像测量仪配备了7:1 AccuCentric 自校准的变焦光学镜头，适用于宽泛的制造业和很多领域。另外，SmartScope ZIP 800影像测量仪Z轴行程可以加高到300mm。每一款SmartScope ZIP 800 都可拓展为多元传感测量系统。可以增加的多元传感器：探针，激光或微测针等等,选择 QVI相应的测量软件来满足制造测量需要。XYZ 测量行程: 800 x 800 x 200 mm800 x 820 x 300 mm

仪器简介： 德国Klocke Nanotechnik公司生产的纳米级三维测量仪(3D Nanofinger)俗称纳米三坐标，是一种实用的纳米精度坐标和形貌综合测量设备。由台架、控制系统、探头、针尖组成. 可测量样品外形尺寸，表面轮廓、粗糙度等，并可与超精密微加工、微组装系统组合，进行在线检测、质量控制等。系统拥有5个自由度，可以根据样品设定测量路径，测量范围达到厘米级甚至更大。现已广泛应用于超精密机械加工、MEMS器件、半导体微电子加工、光学、分子生物学和精密工程。 技术参数：设备主要参数： 测量范围: X = 10, 20 or 50 mm Y = 10, 20 or 50 mm Z = 10 or 20 mm 采用花岗岩基底，XY方向行程扩展为： 100 x 100 mm2 or 350 x 350 mm2 测量特性： 运动分辨率： 1 nm 针尖分辨率： 0.5 nm 水平与竖直方向均配有操纵传感器 线形轮廓测量 样品内部与外部轮廓测量 坐标测量功能 测量用探针: 针尖型金属丝, 尖端半径 100 nm 钩型金属丝, 尖端半径 100 nm 圆形针尖, 直径 0.12-0.3 mm 金刚石针尖, 如用于表面压痕 软件： 针尖自动校准与逼近 2D 和 3D 图形功能 分析软件 自动化模块选项（序列发生器） 可选择的配置: 小型花岗岩平台式3D-Nanofinger 便携式3D-Nanofinger 3D-Nanofinger 模块，如集成到CNC机床内部 适合电镜中安装的3D-Nanofinger 模块 可安装到多功能检测工作台中 附件: 纳米精度自动旋转平台 摄像机 图形识别系统主要特点：1.纳米精度测量，而且是三维方向都可保持统一的精度。 2.测量量程跨越纳米到厘米,甚至分米级。 3.多功能多参数测量设备，可以涵盖三坐标、轮廓仪、形貌仪、粗糙度仪等的功能。 4.用户可以设定测量路径，这样就能沿着样品形状进行测量。适合复杂轮廓测试。 5.配合多种不同功能的探针，可以完成一般轮廓仪无法进行的结构测量。特别是结构内部。 6.用户可以根据需要灵活设置测量方法，可以进行大面积精确测量，也可以先进行大面积低精测量，然后对特定感兴趣的区域进行高精测量，以节省时间。 7.整个过程非接触的，间距可以保持在可以设定为几个纳米。适合各种固态样品测量，对材料性质没有特别要求和限制。 8.布局灵活，根据用户测试要求组成合适的系统。平台可以任意组合，探头也以改变安装方向。 9.如果和微加工设备组合，可以实现在线测量。

WD4000无图晶圆厚度粗糙度微纳三维形貌测量仪器通过非接触测量，将晶圆的三维形貌进行重建，强大的测量分析软件稳定计算晶圆厚度，TTV，BOW、WARP、在高效测量测同时有效防止晶圆产生划痕缺陷。它采用白光光谱共焦多传感器和白光干涉显微测量双向扫描技术，完成非接触式扫描并建立表面3D层析图像，实现Wafer厚度、翘曲度、平面度、线粗糙度、总体厚度变化(TTV)及分析反映表面质量的2D、3D参数。WD4000无图晶圆厚度粗糙度微纳三维形貌测量仪器自动测量Wafer厚度、表面粗糙度、三维形貌、单层膜厚、多层膜厚。1、使用光谱共焦对射技术测量晶圆Thickness、TTV、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI等参数，同时生成Mapping图；2、采用白光干涉测量技术对Wafer表面进行非接触式扫描同时建立表面3D层析图像，显示2D剖面图和3D立体彩色视图，高效分析表面形貌、粗糙度及相关3D参数；3、基于白光干涉图的光谱分析仪，通过数值七点相移算法计算，达到亚纳米分辨率测量表面的局部高度，实现膜厚测量功能；4、红外传感器发出的探测光在Wafer不同表面反射并形成干涉，由此计算出两表面间的距离（即厚度），可适用于测量BondingWafer的多层厚度。该传感器可用于测量不同材料的厚度，包括碳化硅、蓝宝石、氮化镓、硅等。WD4000无图晶圆厚度粗糙度微纳三维形貌测量仪器兼容不同材质不同粗糙度、可测量大翘曲wafer、测量晶圆双面数据更准确。可实现砷化镓、氮化镓、磷化镓、锗、磷化铟、铌酸锂、蓝宝石、硅、碳化硅、玻璃不同材质晶圆的量测。应用领域可广泛应用于衬底制造、晶圆制造、及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、显示面板、MEMS器件等超精密加工行业。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的厚度、粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。测量功能1、厚度测量模块：厚度、TTV(总体厚度变化)、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI、平面度、等；2、显微形貌测量模块：粗糙度、平整度、微观几何轮廓、面积、体积等。3、提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能。其中调整位置包括图像校平、镜像等功能；纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能；滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能；提取包括提取区域和提取剖面等功能。4、提供几何轮廓分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等；粗糙度分析包括国际标准ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数；结构分析包括孔洞体积和波谷。产品优势1、非接触厚度、三维维纳形貌一体测量集成厚度测量模组和三维形貌、粗糙度测量模组，使用一台机器便可完成厚度、TTV、LTV、BOW、WARP、粗糙度、及三维形貌的测量。2、高精度厚度测量技术（1）采用高分辨率光谱共焦对射技术对Wafer进行高效扫描。（2）搭配多自由度的静电放电涂层真空吸盘，晶圆规格最大可支持至12寸。（3）采用Mapping跟随技术，可编程包含多点、线、面的自动测量。3、高精度三维形貌测量技术（1）采用光学白光干涉技术、精密Z向扫描模块和高精度3D重建算法，Z向分辨率高可到0.1nm；（2）隔振设计降低地面振动和空气声波振动噪声，获得高测量重复性。（3）机器视觉技术检测图像Mark点，虚拟夹具摆正样品，可对多点形貌进行自动化连续测量。4、大行程高速龙门结构平台（1）大行程龙门结构(400x400x75mm)，移动速度500mm/s。（2）高精度花岗岩基座和横梁，整体结构稳定、可靠。（3）关键运动机构采用高精度直线导轨导引、AC伺服直驱电机驱动，搭配分辨率0.1μm的光栅系统，保证设备的高精度、高效率。5、操作简单、轻松无忧（1）集成XYZ三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦等测量前准工作。（2）具备双重防撞设计，避免误操作导致的物镜与待测物因碰撞而发生的损坏情况。（3）具备电动物镜切换功能，让观察变得快速和简单。应用场景1、无图晶圆厚度、翘曲度的测量通过非接触测量，将晶圆上下面的三维形貌进行重建，强大的测量分析软件稳定计算晶圆厚度、粗糙度、总体厚度变化(TTV)，有效保护膜或图案的晶片的完整性。2、无图晶圆粗糙度测量Wafer减薄工序中粗磨和细磨后的硅片表面3D图像，用表面粗糙度Sa数值大小及多次测量数值的稳定性来反馈加工质量。在生产车间强噪声环境中测量的减薄硅片，细磨硅片粗糙度集中在5nm附近，以25次测量数据计算重复性为0.046987nm，测量稳定性良好。部分技术规格品牌CHOTEST中图仪器型号WD4000系列测量参数厚度、TTV(总体厚度变化)、BOW、WARP、LTV、粗糙度等可测材料砷化镓、氮化镓、磷化镓、锗、磷化铟、 铌酸锂、蓝宝石、硅、碳化硅、氮化镓、玻璃、外延材料等厚度和翘曲度测量系统可测材料砷化镓 氮化镓 磷化 镓 锗 磷化铟 铌酸锂 蓝宝石 硅 碳化硅 玻璃等测量范围150μm~2000μm扫描方式Fullmap面扫、米字、自由多点测量参数厚度、TTV(总体厚度变 化)、LTV、BOW、WARP、平面度、线粗糙度三维显微形貌测量系统测量原理白光干涉干涉物镜10X(2.5X、5X、20X、50X,可选多个)可测样品反射率0.05%~100粗糙度RMS重复性0.005nm测量参数显微形貌 、线/面粗糙度、空间频率等三大类300余种参数膜厚测量系统测量范围90um(n= 1.5)景深1200um最小可测厚度0.4um红外干涉测量系统光源SLED测量范围37-1850um晶圆尺寸4"、6"、8"、12"晶圆载台防静电镂空真空吸盘载台X/Y/Z工作台行程400mm/400mm/75mm恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

SuperViewW白光干涉摩擦磨损三维形貌快速精准高效测量仪基于白光干涉技术原理，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量，可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。产品功能(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。性能特色1、高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统SuperViewW白光干涉摩擦磨损三维形貌快速精准高效测量仪既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。SuperViewW白光干涉摩擦磨损三维形貌快速精准高效测量仪广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，中图仪器SuperView W1的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。SuperViewW白光干涉仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配：10×选配：2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配：0.5×选配：0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配：3孔手动选配：5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸（长×宽×高）700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

中图仪器SuperViewW光学三维表面轮廓粗糙度形貌测量仪能以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。SuperViewW光学三维表面轮廓粗糙度形貌测量仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。产品功能(1)SuperViewW光学三维表面轮廓粗糙度形貌测量仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，中图仪器SuperView W的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。性能特色1、高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配：10×选配：2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配：0.5×选配：0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配：3孔手动选配：5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸（长×宽×高）700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

OGP已经售出两千多台 SmartScope FlashTM CNC200影像测量系统，是市场上非常受欢迎的影像测量仪和多元传感测量系统之一。该系统创新紧凑的设计满足了不同工业领域制造商的影像快速测量需求。 SmartScope Flash CNC200是台式设计中具效益的多功能影像测量仪。擅长视频三维测量的同时，还可选用TTL激光或接触式探针，将其配置成高性价比的多元传感测量系统。■创新的机械设计。独特的“升降桥”结构设计，使整个系统外型相比其他类似行程的机型更为紧凑。■精密的光学。高品质的12:1变焦镜在其整个聚焦范围内保持了优异的光学性能。这一专利的AccuCentricTM变焦镜在每次放大倍率改变后都会重新进行校准，确保系统一直维持最佳精度。■多功能的照明系统。获得专利的轮廓照明技术采用了LED阵列组成的平台下背光，当平台移动时光学系统依据程序设定自动打开关闭和调整。其中，TTL同轴LED表面光以及专利的SmartRing™ 环光，都是Flash CNC的标准配置。■功能强大的测量软件。Flash CNC 200影像测量仪拥有强健而又便于操作的 Measure-X测量软件。也可选用MeasureMind 3D多元传感测量软件，实现完整的三维测量功能。标准配置■ 测量范围(XYZ)：200x 200x 150 mm■ 测量系统尺寸(LWH)：76 x 60 x 73 cm，100kg■ 木箱包装尺寸(LWH)：94 x 87 x 90 cm，149kg■ XYZ光栅尺分辨率：0.5μm■ 马达驱动：直流伺服马达驱动，四轴操纵杆控制((X, Y, Z, 变焦)■ 工作台： 平台带有夹具孔, 镀硬膜层且阳极氧化,，可拆卸平板玻璃,，16kg承载力■变焦镜：专利的12:1 AccuCentric 自动校准变焦镜, 校准位置可高达25个■摄像机：1/2″ 高分辨率彩色CCD，768x 494象素阵列■照明： OGP专利所有，与数字光圈相匹配的LED背光, LED同轴表面光，专利的8扇区8环SmartRing™ LED环光■影像处理：10:1次象素分辨率，256灰色级■电力要求： 115/230vac，50/60Hz，1Ф , 500W■额定温度：18-22℃ + 1℃/小时,30-80%湿度(无冷凝水),振动0.001克,低于15HZ■操作环境：15-30℃■测量软件：OGP Measure-X■保修期：1年

SmartScope ZIP 635是针对大型零件的多元传感高速测量而研发的落地式机型。其测量轴的快速移动和加速使得测量效率更高，而测量的稳定性得益于自成一体坚固的花岗岩基座和桥架的结构形式。在强大的影像三维测量的基础上，还可以配置接触式和非接触式的传感器，包括独有的可开关的同轴TTL激光。 像所有的ZIP系列产品一样，SmartScope ZIP 635配备了7:1 AccuCentric 自校准的变焦光学镜头，适用于宽泛的制造业和很多领域。每一款SmartScope ZIP 635 影像测量仪都可拓展为多元传感测量系统任何时候都可以增加丰富的多元传感器：探针，激光或微测针等等,选择 QVI测量软件来满足制造测量需要。XYZ 测量行程: 635 x 635 x 200 mm

OGP 出品的SmartScope Flash CNC 500影像测量仪给您的生产检测带来不可评估的价值和高精度的测量保障。为了获得测量的稳定性，该影像测量仪在桥式支撑结构上安装了一套性能卓越的光学系统，并可将多种传感器配置在一个系统中，如接触式探针，Feather Probe™ 羽毛探针，激光传感器及 Rainbow Probe™ 彩虹激光扫描器，拓展测量性能和加大测量范围。 自动校准的变焦镜 专利的12:1 AccuCentricTM变焦镜在每次放大倍率变更后都会自动进行校准，确保在整个测量过程中维持很好的精度。 定位精度 影像测量仪由直流伺服马达驱动的精密机械轴承操控XYZ平台，加上坚固的桥式架构，保证了测量平台移动的快速流畅与高效。即使当平台快速移动时仍可保证测量时具备很好的定位精度。 多功能的照明系统 OGP影像测量仪所独有的照明技术具有程控能力，可显示复杂的工件影像，包括棱镜形或圆柱形工件。LED绿光轮廓灯与TTL同轴白光灯，甚至是可编程的专利SmartRing™ LED环光，都为OGP SmartScope CNC 500的标准配置。 可延伸的测量行程 SmartScope Flash CNC 500可配置加长的Y轴和/或Z轴行程以配合大工件或夹具的安放。 易用的测量软件 OGP Meausre-X测量软件利用“指向-点击”工具简化了复杂的测量过程，并提供了一套通用的多功能测量软件包。SmartScope Flash CNC 500影像测量仪也可以使用MeasureMind 3D多元传感测量软件，实现真正的三维影像测量。标准配置■测量范围(XYZ)：500x 450x 200 mm■测量系统尺寸(LWH)：114 x 120 x 153 cm，960kg(木箱包装尺寸和重量请联系OGP)■光栅尺分辨率：0.5μm■马达驱动：直流伺服马达驱动，四轴操纵杆控制((X, Y, Z, 变焦)■工作台：有夹具孔的镀镍平台，可拆卸平板玻璃,，65kg承载力■变焦镜：专利的12:1 AccuCentric 自动校准变焦镜, 校准位置可高达25个■摄像机：1/2″ 高分辨率彩色CCD，768x 494象素阵列■照明：平台下LED背光(绿光), 同轴LED表面光(白光)，??专利的8扇区 SmartRing™ LED环光(白光)■影像处理：10:1次象素分辨率，256灰色级■电力要求: 115/230vac，50/60Hz，1Ф , 700W■额定温度: 18-22℃ + 1℃/小时,30-80%湿度(无冷凝水),振动0.001克,低于15HZ■操作环镜: 15-30℃■测量软件: Measure-X■电脑配置: 双核处理器@ 2.8 GHz，2GB随机存储器，160GB硬盘(最低配置)，DVD/RW光盘驱动器，平行及串行接口，USB2.0接口，主板集成10/100网卡■操作系统: Microsoft WindowsTM 7■保修期：1年

SmartScope Flash CNC 670是创新的多用途的大行程影像测量仪。其XY测量行程分别为650mm和670mm,Z轴测量行程为200mm,最大可拓展到400mm。该移动桥式设备的测量头在横跨花岗岩桥的X轴上移动，而花岗岩桥又在平行的Y轴平行导轨上移动。 花岗岩桥式结构在整个X轴测量性能优异稳定，同时Y轴光栅尺保证了高精度和重复性。 SmartScope Flash CNC 670可以配置多元传感器，其标准配置专利高质量的12：1的自校准的变焦镜头，当放大倍率切换时自动校准镜头。 无论目前或未来是否需要配置多元传感器，SmartScope Flash CNC 670都可以满足需要。其优异的设计结构允许拓展高精度的附加多元传感器，包括触发式探针，微测针及激光扫描传感器等。 选择适当的 QVI 的测量软件 ，如ZONE3三维脱机测量软件来与您的制造要求相匹配。

SmartScope Flash CNC 635 影像测量仪的XYZ测量行程分别为635mm*635mm*200mm,其结构兼具测量速度和稳定性，而独有的碳纤维X轴复合导轨重量轻，便于测量提速的同时还具有抑制噪音的特性。当测量头在X, Y和 Z轴移动时零件在平台上岿然不动。 SmartScope Flash CNC635可以配置多元传感器，其标准配置专利高质量的12：1的自校准的变焦镜头，当放大倍率切换时自动校准镜头。 无论你目前或未来是否需要配置多元传感器，SmartScope Flash CNC635都可以满足需要。其优异的设计结构允许拓展高精度的附加多元传感器，包括触发式探针，微测针及激光扫描传感器等。 还可以选择适当的 QVI 的测量软件 ZONE3三维脱机编程软件来与您的制造要求相匹配。

SmartScope FlashTM CNC300是一种大容量的零部件三维影像测量仪。影像可以实现三维几何尺寸测量外，我们还可以选用TTL激光、接触式探针或微型探针将其配置成高性价比的多元传感的影像测量系统。Flash CNC300系统Z轴方向的测量范围可达250mm，即使在安装了旋转台以实现四轴测量功能的情况下，也能够装载大型工件。■革新的机械设计。独特的“升降桥”专利设计，使整个系统外型相比其他类似行程的机型更为紧凑。■可靠的精度。精密机械确保了稳定的轴向直线度和垂直度，其特有的机械结构设计令系统满足严格的空间精度要求。■精密的光学。Flash CNC300配备了高品质的12:1变焦镜，在其整个聚焦范围内保持了优异的光学性能。这一专利的AccuCentricTM变焦镜在每次放大倍率改变后都会重新进行校准，确保系统一直维持在很好的精度。■多功能的照明系统。获得专利的轮廓照明技术采用了LED阵列组成的绿色背光，当平台沿X轴方向移动时就会追踪到光学系统。另外，TTL同轴照明以及OGP专利所有的SmartRing&trade LED环光，都是Flash CNC的标准配置。■功能强大的测量软件。Flash CNC 300拥有强健而又便于操作的 Meausre-X测量软件。也可选用MeasureMind 3D多元传感测量软件，实现完整的三维测量功能。标准配置■测量范围(XYZ)：300x 300x 250 mm■测量系统尺寸(LWH)：80 x 85 x 80 cm，160kg■木箱包装尺寸(LWH)：150 x 112 x 115 cm，192kg■XYZ光栅尺分辨率：0.5μm■马达驱动：直流伺服马达驱动，四轴操纵杆控制((X, Y, Z, 变焦)■工作台： 平台带有夹具孔, 镀硬膜层且阳极氧化,，可拆卸平板玻璃,，30kg承载力■机械设计：OGP专利所有的“升降桥”结构，在紧凑的设备尺寸中实现大行程XYZ测量■变焦镜：专利的12:1 AccuCentric 自动校准变焦镜, 校准位置可高达25个■摄像机：高分辨率彩色CCD，768x 494象素阵列■照明：OGP专利所有，与数字光圈相匹配的LED背光(绿光), LED同轴表面光(白光)，专利的8扇区8环SmartRing&trade LED环光(白光)■影像处理：10:1次象素分辨率，256灰色级■电力要求：115/230vac，50/60Hz，1Ф , 600W■额定温度：18-22℃ + 1℃/小时,30-80%湿度(无冷凝水),振动0.001克,低于15HZ■操作环镜：15-30℃■测量软件 ： OGP Measure-X■保修期：1年

产品详情德国Klocke Nanotech纳米级三维测量仪3D Nanofinger 纳米级三维测量仪(3D Nanofinger)俗称纳米三坐标，是一种实用的纳米精度坐标和形貌综合测量设备。由台架、控制系统、探头、针尖组成. 可测量样品外形尺寸，表面轮廓、粗糙度等，并可与超精密微加工、微组装系统组合，进行在线检测、质量控制等。系统可以根据样品设定测量路径，测量范围达到厘米级甚至更大。现已广泛应用于超精密机械加工、MEMS器件、半导体微电子加工、光学、分子生物学和精密工程。 工作原理： Nanofinger传感器是一个小的MEMS器件，用来监测针尖和样品之间的距离。这个距离小于10nm时，传感器检测到针尖和样品之间的范德华力。此过程针尖跟样品没有接触，即没有任何损伤。 Nanofinger的传感器由一个特殊的，带宽为几kHz的高速电子控制系统驱动，闭环控制朝向样品运动，增量为1nm直至达到理想的信号值（如，放大倍数为75%）。这时，位置信息以坐标数据信息存储下来。传感器继续运动，到达下一位置，任何时候，都是1nm增量的闭环控制。同时，在X.Y和Z方向都可以实现厘米的运动行程。 所有运动方向都实现1nm运动分辨率。线扫描后非常容易地获得三维图像。 应用灵活： 3D-Nanofinger可以作为一个模块，应用到其他系统中。 可以构建成一个独立的纳米级三维测量仪。 可以与Klocke公司的机械臂组合，安装在SEM/FIB系统中，进行三维测量。“实时的图像位置”模块引导Nanofinger轻松到达鼠标点击的SEM图像位置。 设备主要参数： 可选行程: X = 20 or 50 mm2 Y = 20 or 50 mm2 Z = 10 or 20 mm2 采用花岗岩基底，XY方向行程扩展为： 100 x 100 mm2 or 350 x 350 mm2 测量特性： 运动分辨率： 1 nm针尖分辨率： 0.5 nm水平与竖直方向均配有操纵传感器线形轮廓测量样品内部与外部轮廓测量坐标测量功能 测量用探针: 针尖型金属丝, 尖端半径 100 nm钩型金属丝, 尖端半径 100 nm圆形针尖, 直径 0.12-0.3 mm金刚石针尖, 如用于表面压痕 软件: 针尖自动校准与逼近2D 和 3D 图形功能工序设置，实现复杂动作自动控制（选项） 应用图例： 轮廓测量 二维和三维轮廓和表面精糙度参数 TFT LCD显示行业的金字塔结构 外形测量 沿内部及外部形状 1.4 mm直径的内螺纹 尺寸测量 确定物体的方位和尺寸 钻床和磨床上使用的刀具刃部的三维图像

妙机三坐标测量仪和影像测量仪都以先进的测量技术而得以广泛应用，虽然两者都是通过对产品的尺寸、角度和位置等形位公差进行测量的，但这两种测量仪有着本质的区别，接下来妙机小编为大家介绍一下三坐标测量仪与影像测量仪的不同之处。　　1、测量方式不同。妙机三坐标测量仪是使用测头接触工件的，通过接触的方式获取点的坐标。而影像测量仪是通过对光学镜头获取的图像进行测量的，不用接触，只需要全程使用摄像功能就可以完成测量。　　2、测量工件类型不同。虽然妙机三坐标测量仪的测量精度比影像测量仪高，但其主要是通过与工件接触的方式进行测量的，无法很好的测量小薄软等类型的工件。影像测量仪虽然可以通过非接触的形式测量小薄软等类型的工件，但对一些需要进行三维测量或测量精度要求高的工件来说，却有些力不从心。　　3、测量维度不同。妙机三坐标测量仪是根据所取点的三维坐标值来进行测量的，空间内的每一个点都有唯一的坐标值，测量精度很高。而影像测量仪是通过光学影像技术获取工件的二维影像，然后再进行精密的测量，是在二维平面上进行测量的。　　上述文章就是东莞三坐标测量仪厂商的小编和大家说的内容，大家都清楚了吗？在这边我们也就不和大家多说啦，大家若是对测量产品有所需要或者感兴趣的话，都可以随时联系我们，也可以关注一下妙机科技的。妙机科技公司不断引进先进的生产技术和质量保证，在日趋激烈的市场竞争中不断发展壮大。

越联仪器提供三维扫描形位公差检测服务cav检测尺寸检测仪，用德国原装进口ATOS 三维扫描仪，精度高；工业级3D扫描仪是非接触便携式高精度3D扫描仪,适用于航空航天、手机配件，汽车、文物文物扫描，大桥建筑等领域。越联逆向工程服务,专业的团队和先进的设备,给你带来更加优质的服务。CAV检测服务服务详情随着科学技术的发展和制造水平的提高，在家电、飞机、汽车，文件，古建筑等零部件中出现了大量的A 级曲面。用户对曲面零件的精度要求也越来越高，而曲面零件形状复杂，用传统的检具检验时难度大，且检测精度不高，尤其在曲面尺寸测量方面不能满足现实对于时间和操作难度的要求。 越联仪器CAV全尺寸检测（简称cav检测，逆向检测）服务的优势是：1.ATOS三维扫描测量仪属于高精度三维扫描仪，扫描精度高达0.002mm，速度快，精度高；2.专业的三维检测软件,德国GOM Inspect Professional软件用于三维点云的三维分析。三维点云应为出自 ATOS 测量系统和 GOM Inspect Professional 应用软件的数据集，快速完成 CAD模型与已有实际零件之间进行自动的3D 比对和误差分析3.大限度的减少误差与节省时间：减少了人为误差，可加快检测过程。CAV全尺寸检测的方案的关键点是：高精度三维扫描与专业的三维检测软件。CAV全尺寸检测（简称cav检测）服务，可以适用于板金件、工模具、涡轮叶片、原型、注塑件、铸件等大部分工业部件的扫描与全尺寸测量，广泛应用于不同行业，适于不同尺寸、不同结构和形状的对象。

二次元测量仪、三次元同时作为两项光学测量仪的新型技术产品，按常理来讲，二次元影像测量仪在应用方面确实比三次元要低些。必竟，三次元是在二次元影像测量仪的基础上进行改良的。但是这样是不是意味着，二次元的市场将要被三次元取代呢？下面妙机专业人士给大家解答一下这个问题。有很多的客户在选购时，也经常问到：我们该买哪一款好呢？在这里，我们妙机二次元测量仪生产商可以很负责任的跟您讲，二次元和三次元都有各自的应用领域。并不一定是二次元能用到的地方，三次元测量仪就一定能用上。在这里我们还是再次澄清一下它们两者之间的区别和用途。通常，在测量体积不太，而且只需二维平面测量的，二次元测量仪厂家建议使用二次元影像测量仪。二次元固名思义，它能解决是二维测量问题。对三维的轮廓扫描是没有办法做得到的。因此通过二次元扫描成影的图像也只能生成CAD图纸。另外，二次元还有一显著特点：它是属于非接触型测量。这跟三次元是本质上的区别。所以二次元在测量平面的工件较适合了。例如：PCB板，手机平板，薄膜等。三次元测量仪主要是用在三维测量领域。主要针对的是立体的工件。并且扫描后的数据可以直接生成三维图纸。它可以对立体工件任何角度，任何部位进行测量。从而迷补了二次元的立体测量的空缺。它主要是用在五金模具，机械零件，自由曲面等领域。所以，我们的客户选购时，要根据他们本公司的需要，适当的选择合适他们的仪器。并不是三次元测量仪的功能多就一定要选。综合上影像测量仪厂家小编给大家讲的知识，相信大家对这方面的资讯已经非常了解，如有疑惑可以关注我们妙机科技的咨询了解，我们将竭诚为您服务。妙机科技达到高要求生产和测试标准，生产设备齐全先进，目前在国内外占有一定的市场并享有较高的品牌知名度，未来将持续朝更高速、更高精度测量产品方向发展。

复合式三坐标测量仪是在影像测量仪的基础上发展起来的智能检测技术，那么他都作用效果呢？今天妙机小编就和大家分享一下。　　影像测量仪使用本身的硬件将所能捕捉到的图像通过数据线传输到电脑的数据采集卡中，之后由软件在电脑显示器上成像，由操作员用鼠标在电脑上进行快速的测量。因工件大小不同，工作台可以选择不同行程。光源亮度可调，可以在各种光线条件下选择最合适的光源亮度，通过影像分析的方式测量产品的三维尺寸。但是对于产品隐藏部分的产品特征面光学无法到达的部分、对于自由型面的产品特征该如何评价呢？　　OGP影像测量仪厂家的解决方案就是在三维光学测量仪器基础上加装激光、探针、转台等传感器，通过接触和非接触的方式进行一个坐标系下的综合测量，这形成了复合式三坐标测量仪。　　这种复合式三坐标测量仪通过不同的测量传感器捕捉产品的特征面、线及特征，在一个坐标系下进行综合分析，生成所需的测量参数和报告，极大地提升了检测效率和评价手段。　　综合上影像测量仪厂家小编给大家讲的知识，相信大家对这方面的资讯已经非常了解，如有疑惑可以关注我们妙机科技的咨询了解，我们将竭诚为您服务。妙机科技采用创新性的SIC（SysteminCase）设计理念，将全自动测量仪常用的各种电路模块整合在一个盒子里，解决了过去板卡组件的系统繁杂，接线复杂，性能低下，故障率高的问题，使得全自动测量仪功能强大，结构简洁，高效可靠，易于接线和维护，从而率先推出龙门式全自动影像测量仪、一体式影像测量仪等高端重磅级测量设备，在全国乃至全球处于领先水平。

Zeta电位测量仪(微电泳仪)(水性体系和非水体系两用型)产品详细介绍Zeta电位测量仪(微电泳仪)微电泳仪（Zeta电位仪）可用于测定分散体系颗粒物的固－液界面电性（&zeta 电位），也可用于测量乳状液液滴的界面电性，也可用于测定等电点、研究界面反应过程的机理。通过测定颗粒的Zeta电位，求出等电点，是认识颗粒表面电性的重要方法，在颗粒表面处理中也是重要的手段。与国内外其它同类型仪器相比，它具有显著的优越性。可广泛应用于化妆品、选矿、造纸、医疗卫生、建筑材料、超细材料、环境保护、海洋化学等行业，也是化学、化工、医学、建材等专业的重要教学仪器之一。测量技术特点：1. 仪器采用新设计的新型简便的电泳池，采用0.5cm 厚的玻璃杯，电极内置在池内。电泳杯与内置电极经精密的微流场计算、表面处理，组成一套与传统的电泳池完全不一样电泳装置。测试时样品用量极少，每次仅 0.5ml，易于清洗，使用方便，经济实用。2. 采用经过精心设计的电极支架，与电泳杯紧密配合，形成一个杯形开放式电泳装置，电极采用银、铂和钛金属丝制成，经表面处理后工作状态稳定。3. 制作精良的十字标，置入电泳杯后放在三维平台上，调整三维平台，在计算机屏幕看到清晰的十字图像，便找到测定位置，没有静止层问题。4. 该电泳仪采用半导体发光近场光学系统，功率仅几十微瓦，不会因发热而影响测量环境和测量精度，并调整了光学系统 ，加大了放大倍率 ，采用波长较短的蓝光和绿光，因此可以看清更小的颗粒。5. 采用恒压低频转换电源, 可以防止极化，同时又可大大提高测量速度。正负换向时间为0.30秒至1.20秒连续可调，采样时间仅需 3～10秒。电极间电压可根据需要调节。6. 采用温度采样探头, 自动连续对环境温度进行采样, 返回计算机，自动调整参数，用于计算Zeta电位。采用计算机多媒体技术, 在给定的节拍下, 自动对经高倍放大1200倍的超细颗粒连续&ldquo 拍照&rdquo ，提供双向共四幅灰度图像进行分析计算。JS94K2M型微电泳仪光学系统： 连续变倍系统即可变焦光学系统，适用于更宽范围颗粒的测量颗粒范围： 适用于0.2～50um的分散体系（水性体系和非水体系两用型）pH范围： 一般应用于2.0～12.0，亦可在1.6～13.0范围内使用，步长0.1温度：5℃到35℃，精度0.1℃，建议在恒温防尘室内使用使用环境：防震平台电源电压：220V 50Hz功耗：150W测量准确度： 系统误差在5%以内标定： 每次测量时必须使用特制标尺标定放大倍数JS94K2M型微电泳仪主要测量非水体系中的zeta电位，非水体系中颗粒运动需要较高的电压，JS94K2M型为此设计的型号，同时也兼容测试水体系的颗粒zeta电位。

全自动刀具测量仪IF-EdgeMaster全自动刀具测量仪IF-EdgeMaster是奥地利Alicona公司专门针对刀具检测而研发的一款全新产品，操作原理是新型的自动变焦(Focus-Variation)技术，该技术是光学系统的小景深和垂直扫描相结合。仪器的垂直扫描精度可以达到20纳米，既可以测量刀具的形貌，也可以测量刀具刃口和槽型内外的粗糙度。全自动刀具测量仪IF-EdgeMaster的功能：不同槽型的表面粗糙度的测量刀具刃口的钝化半径的测量刀具刃口的钝化值（K a b)自动测量刀具刃口的粗糙度的测量刀具磨损的偏差测量、磨损体积的测量刀具刃口的角度测量 （前角、后角、揳角）不同倒棱的倒棱宽度、角度全自动刀具测量仪IF-EdgeMaster的主要技术参数：位移范围(X/Y轴)：25mm×25mm位移范围(Z轴)：130mm(26mm自动)光源：24个分区的LED环形光最佳垂直分辨率：20nm最小测量半径：2μm最小测量楔角：20°最小测量粗糙度(Ra):80nm最小测量粗糙度(Sa):50nm最大倒棱长度：4000μm最大测量倾斜角：87°样品表面结构：表面形貌Ra＞9nm，Lc=2μm最大样品高度：155mm最大样品重量：4kg

随着科学技术的发展，管理水平的提高，三坐标测量仪进入了工厂，用它可随时进行测量、工件编程、统计数字化、三维曲线绘图、直接的计算机控制及其它。那么三坐标测量仪在现代工业中发挥这怎样的作用效果额？下面妙机小编和大家一起探讨一下。　　1、当产品检测结果发生争议时，三坐标测量仪就是仲裁员。在产品质量管理上，检验员、质量管理人员、军方代表三方对产品检验结果时有争议，军方代表总是提出将产品送三坐标检测，把三坐标测量仪的测量数据作为检测结果，作为评判产品质量状态的依据。　　2、三坐标测量仪替代了大量的专用量具，大大减少了专用量具的制造，降低了生产成本，提高了企业的经济效益。在没有购买三坐标测量仪以前，投产一种新产品，首先要设计制造大量的专用量具，来保证生产中的每道工序都有测量工具，保证产品的品质。　　3、三坐标测量仪的高精度、高准确性、检测的高效率，提高了企业的市场竞争能力。在市场经济环境下，客户要求生产的批量不大，品种繁多，客户要求交货的周期越来越短，产品质量要求越来越高，这就要求企业要有超强的适应能力，来满足客户的要求.　　4、三坐标测量仪的应用，提高了企业的生产技术能力。三坐标测量仪的高准确性和三维检测功能，是任何其他检测方法都无法比拟的，尤其是对产品的位置偏差的大小及方向的准确指示，极大地帮助生产人员提高了加工高精度产品的技术能力。　　以上就是我们东莞三坐标测量仪生产厂家的内容介绍了，相信大家对此会有更深入的了解了，如有朋友需要购买的或者想了解更多关于这方面的知识，可以随时联系妙机科技咨询或者关注妙机科技了解更多。广东妙机精密科技股份有限公司（以下简称妙机科技）致力于为高科技领域提供完整的微米、奈米测量解决方案。妙机科技拥有完全自主品牌体系，从研发、生产、销售等关键环节，提供上、中、下游完整的产品供应及售后服务。

JS94J2M型 Zeta电位测量仪(微电泳仪) ----JS94J2M型 Zeta电位测量仪(微电泳仪)产品介绍 微电泳仪（Zeta电位仪）可用于测定分散体系颗粒物的固－液界面电性（电位），也可用于测量乳状液液滴的界面电性，也可用于测定等电点、研究界面反应过程的机理。通过测定颗粒的Zeta电位，求出等电点，是认识颗粒表面电性的重要方法，在颗粒表面处理中也是重要的手段。与国内外其它同类型仪器相比，它具有显著的优越性。可广泛应用于化妆品、选矿、造纸、医疗卫生、建筑材料、超细材料、环境保护、海洋化学等行业，也是化学、化工、医学、建材等专业的重要教学仪器之一。目前流动电势Zeta电位分析仪、超声Zeta电位分析仪、在线Zeta电位分析仪、固体Zeta电位分析仪正在研发中。 JS94J2M型 Zeta电位测量仪(微电泳仪)测量技术特点1. 仪器采用新设计的新型简便的电泳池，采用0.5cm厚的玻璃杯，电极内置在池内。电泳杯与内置电极经精密的微流场计算、表面处理，组成一套与传统的电泳池完全不一样电泳装置。测试时样品用量极少，每次仅0.5ml，易于清洗，使用方便，经济实用。2. 采用经过精心设计的电极支架，与电泳杯紧密配合，形成一个杯形开放式电泳装置，电极采用银、铂和钛金属丝制成，经表面处理后工作状态稳定。3. 制作精良的十字标，置入电泳杯后放在三维平台上，调整三维平台，在计算机屏幕看到清晰的十字图像，便找到测定位置，没有静止层问题。4. 该电泳仪采用半导体发光近场光学系统，功率仅几十微瓦，不会因发热而影响测量环境和测量精度，并调整了光学系统，加大了放大倍率，采用波长较短的蓝光和绿光，因此可以看清更小的颗粒。5. 采用恒压低频转换电源, 可以防止极化，同时又可大大提高测量速度。正负换向时间为0.30秒至1.20秒连续可调，采样时间仅需3～10秒。电极间电压可根据需要调节。6. 采用温度采样探头, 自动连续对环境温度进行采样, 返回计算机，自动调整参数，用于计算Zeta电位。采用计算机多媒体技术, 在给定的节拍下, 自动对经高倍放大1200倍的超细颗粒连续拍照，提供双向共四幅灰度图像进行分析计算。JS94J2M型 Zeta电位测量仪(微电泳仪)技术参数颗粒范围：适用于0.1～10um的分散体系（水性体系和非水体系两用型）pH范围：一般应用于2.0～12.0，亦可在1.6～13.0范围内使用，步长0.1温度：5℃到35℃，精度0.1℃，建议在恒温防尘室内使用使用环境：防震平台电源电压：220V 50Hz功耗：150W测量准确度：系统误差在5%以内JS94J2型微电泳仪主要测量非水体系中的zeta电位，非水体系中颗粒运动需要较高的电压，JS94J2型为此设计的型号，同时也兼容测试水体系的颗粒zeta电位。JS94J2M型 Zeta电位测量仪(微电泳仪) 保修：公司提供安装、调试、操作、维护保养的现场培训，仪器出现问题时在接到用户通知后必须在24小时内回复，需要现场处理时必须在72小时内到现场确认。从验收合格之日起2年内免费保修，终身维护。此条款只适合国内用户。

SmartScope ZIP Lite 300 影像测量仪与台式的SmartScope ZIP Lite 250一样,但是XYZ 的测量空间被扩展到300x300x150 mm。多功能摇杆控制精密的机械马达平台，在花岗岩基座和测量轴向装有0.5 μm的线纹尺,提供了足够的测量精度和稳定性。专利的自校准的AccuCentric 7:1变焦镜头在放大倍率改变时自动完成校准，而在变焦范围内始终保持影像的同轴和清晰状态。还有系列可选的附加镜头和镜筒进一步拓展放大倍率，以适应多样化的客户应用需求。LED同轴和轮廓照明综合和专利的白色LED SmartRing™ 智能光源提供了多样化的光学条件。SmartScope ZIP Lite 300影像测量仪也提供多元传感器如探针或DRS激光选配。每一款 SmartScope ZIP LITE 300 都可拓展为多元传感测量系统任何时候都可以增加丰富的多元传感器：探针，激光选件等。选择 QVI相应的测量软件来满足制造测量需要。XYZ 测量行程: 300 x 300 x 150 mm

JS94H2M Zeta电位测量仪(微电泳仪) ----JS94H2M Zeta电位测量仪(微电泳仪)产品介绍微电泳仪（Zeta电位仪）是可用于测定分散体系颗粒物的固－液界面电性（&zeta 电位），也可用于测量乳状液液滴的界面电性，也可用于测定等电点、研究界面反应过程的机理。通过测定颗粒的Zeta电位，求出等电点，是认识颗粒表面电性的重要方法，在颗粒表面处理中也是重要的手段。与国内外其它同类型仪器相比，它具有显著的优越性。可广泛应用于化妆品、选矿、造纸、医疗卫生、建筑材料、超细材料、环境保护、海洋化学等行业，也是化学、化工、医学、建材等专业的重要教学仪器之一。目前流动电势Zeta电位分析仪、超声Zeta电位分析仪、在线Zeta电位分析仪、固体Zeta电位分析仪正在研发中。 测量技术特点1. 仪器采用新设计的新型简便的电泳池，采用0.5cm厚的玻璃杯，电极内置在池内。电泳杯与内置电极经精密的微流场计算、表面处理，组成一套与传统的电泳池完全不一样电泳装置。测试时样品用量极少，每次仅0.5ml，易于清洗，使用方便，经济实用。2. 采用经过精心设计的电极支架，与电泳杯紧密配合，形成一个杯形开放式电泳装置，电极采用银、铂和钛金属丝制成，经表面处理后工作状态稳定。3. 制作精良的十字标，置入电泳杯后放在三维平台上，调整三维平台，在计算机屏幕看到清晰的十字图像，便找到测定位置，没有静止层问题。4. 该电泳仪采用半导体发光近场光学系统，功率仅几十微瓦，不会因发热而影响测量环境和测量精度，并调整了光学系统，加大了放大倍率，采用波长较短的蓝光和绿光，因此可以看清更小的颗粒。5. 采用恒压低频转换电源, 可以防止极化，同时又可大大提高测量速度。正负换向时间为0.30秒至1.20秒连续可调，采样时间仅需3～10秒。电极间电压可根据需要调节。6. 采用温度采样探头, 自动连续对环境温度进行采样, 返回计算机，自动调整参数，用于计算Zeta电位。采用计算机多媒体技术, 在给定的节拍下, 自动对经高自动对经高倍放大 1200 倍的超细颗粒连续“拍照”，提供双向共四幅灰度图像进行分析计算。 自动对经高 JS94H2M Zeta电位测量仪(微电泳仪)技术参数:颗粒范围：适用于0.5～20um的分散体系（水性体系和非水体系两用型）pH范围：一般应用于2.0～12.0，亦可在1.6～13.0范围内使用，步长0.1温度：5℃到35℃，精度0.1℃，建议在恒温防尘室内使用使用环境：防震平台电源电压：220V 50Hz功耗：150W测量准确度：系统误差在5%以内JS94H2型微电泳仪主要测量非水体系中的zeta电位，非水体系中颗粒运动需要较高的电压，JS94H2型为此设计的型号，同时也兼容测试水体系的颗粒zeta电位。 JS94H2M Zeta电位测量仪(微电泳仪)保修公司提供安装、调试、操作、维护保养的现场培训，仪器出现问题时在接到用户通知后必须在24小时内回复，需要现场处理时必须在72小时内到现场确认。从验收合格之日起2年内免费保修，终身维护。此条款只适合国内用户。