轮廓法粗糙量仪

有没有能同时测轮廓度和粗糙度的仪器呢，准确度都要很高的那种

[color=#000000]粗糙度轮廓仪为粗糙度及轮廓的复合机。轮廓传感器对工件的宏观表面轮廓、二维尺寸进行测量 与检验，粗糙度传感器对工件的微观表面进行测量与检测[/color][b]特点[/b][color=#000000]1、高精度摩擦式导轨结构，具有优异稳定的运动精度。经专用算法修正后，具有极高的直线度精度。精度保持长久，只需简单的修正操作即可修复成出厂的高精度状态；[/color][color=#000000]2、轮廓测针测杆采用快速的磁吸结构，具有定位精度高、更换快捷的特点。软件对不同类型的测针测杆进行校正并保存校正参数，更换测针测杆时，因磁吸结构具有定位精度高的特点，而无需再次校正，大大提高仪器的使用便利性和测量效率；[/color][color=#000000]3、原始数据自动保存，便于多次标注，软件标注与 CAD 同理；[/color][color=#000000]4、可将测量的图形结果转化为 DXF 格式，可将测量结果以 Excel 表格格式输出；[/color][color=#000000]5、可以对操作进行无限次的撤销及恢复操作；[/color][color=#000000]6、采用独立的轮廓、粗糙度测量传感器，即保持大量程轮廓测量需求，亦能高精度测量粗糙度；[/color][color=#000000]7、粗糙度采用触针式无导头测量，残值轮廓可低于 5nm!实现高精度的粗糙度测量，特别在测量零件的圆弧面、斜面、窄槽的槽底、槽侧面的粗糙度时，具有带导头式粗糙度测量无法比拟的精度和测量便利性。[/color][img]https://p3.toutiaoimg.com/img/tos-cn-i-qvj2lq49k0/4372814fa2524f599af2d76e04cb37f0~tplv-tt-shrink:640:0.image[/img]【英徕铂】英徕铂ENLAB，物性检测仪器品牌，为国内市场提供数百种物性检测仪器，为科研工作者提供检测仪器解决方案与服务

目前，检测表面粗糙度比较常用的方法是比较法、光切法、干涉法、触针法和印模法等，而其中触针法因其测量迅速方便、测量精度高、使用成本较低等良好特性而得到广泛使用。当采用触针法对加工工件表面进行表面粗糙度测量时，探测头上的触针在被测表面轻轻划过。由于存在轮廓峰谷的起伏，所以触针将在垂直与被测轮廓表面方向上产生上下起伏的移动。这种移动量虽然非常微细，但足以被敏感的电子装置捕捉并加以放大。放大之后的信息则通过指示表或其他输出装置以数据或图形的方式输出。这就是触针式表面粗糙度测量仪的工作方式。其中，按其传感器类型可以分：电感式、压电式、光电式等；按其指示方式又可分为：积分式、连续移动式。触针式表面粗糙度测量仪由传感器、驱动箱、指示表、记录器和工作台等主要部件组织。其中电感传感器的工作原理为：传感器测杆一端装有触针（由于金刚石耐磨、硬度高的特点，触针多选用金刚石材质），触针的尖端要求曲率半径很小，以便于全面的反映表面情况。测量时将触针尖端搭在加工工件的被测表面上，并使针尖与被测面保持垂直接触，利用驱动装置以缓慢、均匀的速度拖动，当触针在被测表面拖动滑行时，将随着被测面的轮廓峰谷表面作反向上下运动，并将运动幅度放大，从而使包围在磁芯外面的两个差动电感线圈的电感量发生变化，并将触针微笑的垂直位移转化为同步成比例的电信号。

粗糙度∶以前一般叫表面光洁度，是用来评定工件表面质量的专业术语，最早一般用对比样板来评定工件表面粗糙度，从▲1到▲14一共分为14个等级，随着科技的发展使用者对工件表面质量要求也越来越高，原来的检测手段已经不能满足我们的需求，这也就加快了表面粗糙度仪的诞生。粗糙度仪是检测工件表面粗糙度的数字化电子仪器，由于准确度高、稳定性好、便于操作等优点迅速普及开来。　　粗糙度仪分类：　　粗糙度仪又叫表面粗糙度仪、表面光洁度仪、表面粗糙度检测仪、粗糙度测量仪、粗糙度计、粗糙度测试仪等多种名称，国外先研发生产后来才引进国内，目前市场上粗糙度仪品牌主要有：英国泰勒粗糙度仪、德国马尔粗糙度仪、德国霍梅尔表面粗糙度仪、日本三丰粗糙度仪、东京精密粗糙度、瑞士泰萨粗糙度仪、英国易高粗糙度这些都是国外生产厂商品牌；国内生产厂家品牌主要有：北京时代粗糙度仪、哈量粗糙度仪、宁波联合、上海泰明、304、威尔逊、兰泰等。其中时代集团生产的粗糙度仪（时代粗糙度仪）在国内占有80%左右的市场份额。粗糙度仪从测量原理上主要分为两大类：接触式和非接触式，接触式粗糙度仪主要是主机和传感器的形式，非接触式粗糙度仪主要是光学原理例如激光表面粗糙度仪。从测量使用的方便性上说又可分为：袖珍式表面粗糙度仪（代表性产品主要有：时代TR100、TR101、TR110、TR150袖珍式表面粗糙度仪和现已停产的英国泰勒DUO袖珍式表面粗糙度仪）、手持式粗糙度仪（代表性产品主要有TR200/220手持式粗糙度仪、泰勒25粗糙度仪、M1/M2粗糙度仪等品牌型号，不一一列举）、便携式粗糙度仪（代表性产品主要有TR240便携式粗糙度仪和TR300粗糙度形状测量仪等）、台式粗糙度仪（品牌型号较多一一列举，有些手持式粗糙度仪和便携式粗糙度仪配上相应的测量平台即可以当台式粗糙度仪使用）。粗糙度仪从功能又可划分为：表面粗糙度仪、粗糙度形状测量仪（TR300粗糙度形状测量仪是界于表面粗糙度仪和表面粗糙度轮廓仪之间的一款测量表面粗糙度的仪器，也可说是微观表面粗糙度轮廓仪）和表面粗糙度轮廓仪（代表性产品主要有英国泰勒表面粗糙度轮廓仪、德国马尔粗糙度轮廓仪、德国霍梅尔表面粗糙度轮廓仪、日本三丰表面粗糙度轮廓仪）。 粗糙度仪测量原理　　测量工件表面粗糙度时，将传感器放在工件被测表面上，由仪器内部的驱动机构带动传感器沿被测表面做等速滑行，传感器通过内置的锐利触针感受被测表面的粗糙度，此时工件被测表面的粗糙度引起触针产生位移，该位移使传感器电感线圈的电感量发生变化，从而在相敏整流器的输出端产生与被测表面粗糙度成比例的模拟信号，该信号经过放大及电平转换之后进入数据采集系统，DSP芯片将采集的数据进行数字滤波和参数计算，测量结果在液晶显示器上读出，也可在打印机上输出，还可以与PC机进行通讯。

[font=宋体][size=16px][color=black]粗糙度轮廓仪使用干货：[/color][/size][/font]轮廓更换测针操作步骤（1）测杆安装注意：装到位后会听到定位声（机械声），手摸一下吸合处高低位置要对齐。[img]https://p3-sign.toutiaoimg.com/tos-cn-i-qvj2lq49k0/9311208da3fe4dbfae4af733c97e3a4d~noop.image?_iz=58558&from=article.pc_detail&x-expires=1675760702&x-signature=JJLap7%2B31x44j9UsN1qQ6HCxxm0%3D[/img]（2）测杆拆卸[img]https://p3-sign.toutiaoimg.com/tos-cn-i-qvj2lq49k0/579ed6a4e3e345168b8b287d4ab3c976~noop.image?_iz=58558&from=article.pc_detail&x-expires=1675760702&x-signature=x4RwSKenZBUjt0%2BeVKatZ17J300%3D[/img]（3）测针安装[img]https://p3-sign.toutiaoimg.com/tos-cn-i-qvj2lq49k0/d7e32312b28b4660906d1df71e7d1aab~noop.image?_iz=58558&from=article.pc_detail&x-expires=1675760702&x-signature=5cbkAg7DebtrXrjT6wcQlImnZZE%3D[/img]（4）在软件中创建测针（5）在软件中切换测针【英徕铂】英徕铂ENLAB，物性检测仪器品牌，为国内市场提供数百种物性检测仪器，为科研工作者提供检测仪器解决方案与服务

本资料给出的参数符合GB/T3505-2000《产品几何技术规范表面结构 轮廓法 表面结构的述语、定义及参数》 、符合GB/T6062-2002《产品几何量技术规范（GPS）表面结构 轮廓法接触（触针）式仪器的标称特性》。表面粗糙度关键技术术语： (1)表面粗糙度： 取样长度L 取样长度是用于判断和测量表面粗糙度时所规定的一段基准线长度，它在轮廓总的走向上取样。 (2)表面粗糙度： 评定长度Ln 由于加工表面有着不同程度的不均匀性，为了充分合理地反映某一表面的粗糙度特性，规定在评定时所必须的一段表面长度，它包括一个或数个取样长度，称为评定长度Ln。 (3)表面粗糙度： 轮廓中线（也有叫曲线平均线）M 轮廓中线M是评定表面粗糙度数值的基准线。 评定参数及数值: 国家规定表面粗糙度的参数由高度参数、间距参数和综合参数组成。 表面粗糙度高度参数共有三个: (1)轮廓算术平均偏差Ra ： 在取样长度L内，轮廓偏距绝对值的算术平均值。 (2)微观不平度十点高度Rz 在取样长度L内最大的轮廓峰高的平均值与五个最大的轮廓谷深的平均值之和。 (3)轮廓最大高度Ry 在取样长度内，轮廓峰顶线和轮廓谷底线之间的距离。 表面粗糙度间距参数共有两个： (4)轮廓单峰平均间距S 两相邻轮廓单峰的最高点在中线上的投影长度Si，称为轮廓单峰间距，在取样长度L内，轮廓单峰间距的平均值，就是轮廓单峰平均间距。 (5)轮廓微观不平度的平均间距Sm 含有一个轮廓峰和相邻轮廓谷的一段中线长度Smi，称轮廓微观不平间距。 表面粗糙度综合参数： (6)轮廓支承长度率tp 轮廓支承长度率就是轮廓支承长度np与取样长度L之比。 另附： 中美表面粗糙度对照表中国旧标准( 光洁度)中国新标准( 粗糙度)Ra美国标准(微米 )Ra美国标准( 微英寸)，Ra▽46.38.003206.30250▽53.25.002004.001603.20125▽61.62.501002.00801.6063▽70.81.25501.00400.8032▽80.40.6325[/al

表面粗糙度仪(光洁度)的国家标准主要术语及定义 本资料给出的参数符合GB/T3505-2000《产品几何技术规范表面结构轮廓法表面结构的述语、定义及参数》、符合GB/T6062-2002《产品几何量技术规范（GPS）表面结构轮廓法接触（触针）式仪器的标称特性》。 图一：放大n倍后的工件截面/表面粗糙度及轮廓： /uppic/11-08/30/30121811.jpg图二：各种加工方法能得到的表面光度： /uppic/11-08/30/30121920.jpg图三：常见的表面粗糙度仪的工件测量： /uppic/11-08/30/30122201.jpg表面粗糙度关键技术术语： (1)表面粗糙度：取样长度L 取样长度是用于判断和测量表面粗糙度时所规定的一段基准线长度，它在轮廓总的走向上取样。 (2)表面粗糙度：评定长度Ln 由于加工表面有着不同程度的不均匀性，为了充分合理地反映某一表面的粗糙度特性，规定在评定时所必须的一段表面长度，它包括一个或数个取样长度，称为评定长度Ln。 (3)表面粗糙度：轮廓中线（也有叫曲线平均线）M /uppic/11-08/30/30122607.jpg 轮廓中线M是评定表面粗糙度数值的基准线。 评定参数及数值: 国家规定表面粗糙度的参数由高度参数、间距参数和综合参数组成。 表面粗糙度高度参数共有三个: (1)轮廓算术平均偏差Ra ： /uppic/11-08/30/30122654.jpg 在取样长度L内，轮廓偏距绝对值的算术平均值。 (2)微观不平度十点高度Rz /uppic/11-08/30/30122743.jpg 在取样长度L内最大的轮廓峰高的平均值与五个最大的轮廓谷深的平均值之和。 (3)轮廓最大高度Ry /uppic/11-08/30/30122822.jpg 在取样长度内，轮廓峰顶线和轮廓谷底线之间的距离。 表面粗糙度间距参数共有两个： (4)轮廓单峰平均间距S 两相邻轮廓单峰的最高点在中线上的投影长度Si，称为轮廓单峰间距，在取样长度L内，轮廓单峰间距的平均值，就是轮廓单峰平均间距。 (5)轮廓微观不平度的平均间距Sm 含有一个轮廓峰和相邻轮廓谷的一段中线长度Smi，称轮廓微观不平间距。 表面粗糙度综合参数： (6)轮廓支承长度率tp [align=lef

表面粗糙度仪的工作原理 引 言表面质量的特性是零件最重要的特性之一，在计量科学中表面质量的检测具有重要的地位。最早人们是用标准样件或样块，通过肉眼观察或用手触摸，对表面粗糙度做出定性的综合评定。1929年德国的施马尔茨(G.Schmalz)首先对表面微观不平度的深度进行了定量测量。1936年美国的艾卜特(E.J.Abbott)研制成功第一台车间用的测量表面粗糙度的轮廓仪。1940年英国Taylor-Hobson公司研制成功表面粗糙度测量仪(3)测量方式不灵活，例如：评定长度的选取，滤波器的选择等；(4)测量结果的输出不直观。造成上述几个方面不足的主要原因是：系统的可靠性不高，模拟信号的误差较大且不便于处理等。图4 改进后的表面粗糙度测量仪工作原理框图要采用计算机系统对传统的表面粗糙度测量仪进行改进，就要编制相应的计算机软件，最好采用比较直观的菜单形式。可以按如图5所示的菜单使用流程图编制软件：图5 菜单使用流程框图3.2 改进后的表面粗糙度测量仪的功能及使用效果由于采用计算机系统，将模拟信号转换为数字信号进行灵活的处理，显著地提高了系统的可靠性，所以既大大增加了测量参数的数量，又提高了测量精度。例如：哈尔滨量具刃具厂制造的2205型表面粗糙度测量仪的测量参数多达二十六个，测量范围为0.001～50另一方面，若在表面粗糙度测量仪测量实验的教学过程中引入改进后的表面粗糙度测量仪，就实验的直观教学功能而言，也很有意义。改进后的电动输廓仪，通过计算机软件与硬件的结合(尤其是软件)大大加强了实验过程的直观性，这体现在以下几个方面：(1)整个实验过程非常直观地通过软件的各级菜单进行控制。操作简单、一目了然。(2)输入与显示同步，即在测量进行过程的同时，触针在被测表面上滑行的轨迹动态地显示在计算机屏幕上。(3)测量结果及相关图形能非常直观地、准确地输出在显示器、打印机或绘图仪上。很显然，以上这些直观的教学效果是其它传统的表面粗糙度测量实验方法所不具备的。它在得到正确的测量结果的同时，还充分运用了直观教学的原理，帮助学生加深对表面粗糙度的概念及其各种参数的直观理解。"FONT-FAMILY: " Courier New?;4 结 语(1)传统的表面粗糙度测量仪由传感器、驱动器、指零表、记录器和工作台等主要部件组成，从输入到输出全过程均为模拟信号。而在传统的表面粗糙度测量仪的基础上，采用计算机系统对其进行改进后，通过模-数转换将模拟量转换为数字量送入计算机进行处理，使得仪器在测量参数的数量、测量精度、测量方式的灵活性、测量结果输出的直观性等方面有了极大的提高。(2)从前面的分析知，整个改进方案并不复杂，因此对于目前仍广泛使用的传统的表面粗糙度测量仪的改进具有一定的意义。(3)随着电子技术的进步，某些型号的表面粗糙度测量仪还可将表面粗糙度的凹凸不平作三维处理，测量时在相互平行的多个截面上进行，通过模-数变换器，将模拟量转换为数字量，送入计算机进行数据处理，记录其三维放大图形，并求出等高线图形，从而更加合理的评定被测面的表面粗糙度。

在4月份 CIMT2017北京国际机床展上，几位神秘观众来到我公司展台前拿出一份图纸，面带焦虑的询问道：“我们工件的这个沟槽凸台非常重要，之前咨询过国内外一些仪器厂家得到的答复是不能测量或者需要破坏式测量。为此公司的领导已经下了军令状，一定要找到好的解决方案，请问你们公司的仪器能否测量？”[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/8/201708058075979.jpg[/img][/align][align=center]图 1工件图纸[/align]　　我公司技术人员接过图纸一看：图纸上的沟槽较狭小，一侧是盲边且角度小，用传统仪器测量是有很大的难度。技术人员经过分析评估后，告知客户我们的[color=#3366ff][b]轮廓测量仪[/b][/color]可以测量，但需要定制测针，随后向客户讲解我司轮廓测量仪的工作原理、测量过程及相关技术参数，客户听后十分认可我们的方案，后期将工件邮寄至我司测量。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/8/201708054168013.jpg[/img][/align][align=center]图 2工件实物[/align]　　技术人员收到客户的工件后，先是对其特征进行分析，模拟测针在测量工件沟槽内的着力点和面时，测针需满足哪些要求与突破哪些限制。然后设计制作测针，我公司拥有完全自主的设计和加工制造能力，很快定制的测针及连接装置就迎刃而解，经过品质检测符合设计要求。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/8/201708053543905.jpg[/img][/align][align=center]图 3扫描过程模拟[/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/8/201708059325952.jpg[/img][/align][align=center]图 4定制的测针[/align]　　紧接着就是实物测量过程，把定制的测针安装到SJ5760轮廓测量仪上，并对测针进行相关参数调试后，实物测量就正式开启，随着测针在工件的沟槽内有条不紊地行进扫描，检定软件将测针扫描的相关数据绘制在计算机屏幕中，形成一幅精美的二维效果分析图。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/8/201708055731400.jpg[/img][/align][align=center]图 5测量过程[/align]检测结果如下：[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/8/201708055418522.jpg[/img][/align][align=center]图 6测量结果[/align]　　将工件测量结果提供给客户后，客户惊讶的同时感慨道：“没想到是国内的厂家替我们解决了棘手难题，中图仪器快速响应客户需求的能力让我们对国产测量仪器设备厂家刮目相看。”附：SJ5760轮廓测量仪技术参数1.X轴1) 测量范围：0～200mm；2) 示值误差：±(1.2+2L/100)μm，其中L为水平测量长度，单位：mm；3) 分辨率：0.01μm；4) 直线度：2μm/200mm5) 测量速度：0.1～5mm/s；6) 移动速度：0～80mm/s；2.Z轴1) 测量范围：0～450mm；2) 移动速度：0～30mm/s；3.Z0轴1) 测量范围：±25mm；2) 示值误差：±(2+|2H|/40)μm，其中H为垂直测量高度，单位：mm；3) 分辨率：0.01μm；4.测量力：10～150mN；5.爬坡能力：上坡77o，下坡83o；[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/8/201708052450577.jpg[/img][/align][align=center]图7 SJ5760轮廓测量仪[/align]

在许多的制造业领域如汽配、轴承、航空航天以及一些精密零部件生产企业等，在产品的生产过程中都离不开轮廓测量仪的检测。中图仪器的[b][color=#3333ff]SJ5760轮廓测量仪[/color][/b]改善了国内轮廓测量仪稳定性差、精度低等不足，减小与国外轮廓测量仪的差距，改变因高精度轮廓测量仪被国外高价格垄断的局面。在今年的北京机床展会现场上，SJ5760轮廓测量仪受到来自国内外许多参观者的驻足观赏，甚至有些公司的老板亲自带着自家公司生产的工件，来到展会现场请中图仪器的技术人员进行现场测量。我们通过对展会现场为用户测量工件的实例，来讲解轮廓测量仪的使用方法。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/6/201706127435008.jpg[/img][/align][img]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image002.jpg[/img]　　在测量工件之前，先做好准备工作，确定轮廓测量仪的正常启动运行，SJ5760轮廓测量仪为全自动测量设备，所以操作人员在测量时不需要太多的手工作业。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/6/201706124153674.jpg[/img][/align][img]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image004.jpg[/img]　　只需要装好被测工件，用中图仪器专用的万向工作台对工件进行固定，在计算机检定软件上设置扫描的起点、终点位置。然后点击“开始”按钮，测量系统会自动驱动测针接触工件表面，并按照事先设置好的位置进行扫描。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/6/201706125560160.jpg[/img][/align][img]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image006.jpg[/img]　　在进行测量的过程中，检定软件会实时将测针获取的参数，在计算机屏幕上以二维图形的方式描绘出轮廓曲线。扫描完成以后，操作人员可以通过轮廓分析工具对生成的轮廓曲线进行评定，得出圆度、角度、距离、间距、直线度等轮廓参数。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/6/201706127747739.jpg[/img][/align][img]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image008.jpg[/img]　　SJ5760轮廓测量仪操作便捷，功能广泛，可对各种工件轮廓的几何参数进行测量，可评定的表面轮廓参数包括：角度、半径、坐标、距离、圆、圆截面，确定各个点、相交各点、坐标轴、直线、垂直线、圆和圆截面，可对轮廓进行直线度、圆度分析等；并可同时实现：1.建立回归直线和圆形；2.建立点、交点、自由点、中心店、最高点和最低点；3.建立坐标系统；4.计算半径、距离、角度、坐标及线性偏差；5.实际值与标称值比较；6.测量程序自动运行。

求租借粗糙度仪，要求能输出轮廓线等原始数据，量程在300微米以上，便携式，例如三丰SJ-411等，价格面议

[quote]引言：半导体产业是一个点石成金的行业，将从普通的石英砂中提取的硅原料制成拥有现代工业系统“心脏”之称的IC芯片，中间须历经数十上百道工序，从硅晶圆的制备到晶圆IC的制造，每一步都对工艺流程的质量有着严格的管控要求，由各式各样的检测仪器共同组成了产品质量监控的守门员，而在这之中，作为产品表面质量检测仪器的光学3D表面轮廓仪，以其超高的检测精度和重复性，发挥着重要的作用。[/quote]　　中图仪器SuperView W1[b][color=#3333ff]光学3D表面轮廓仪[/color][/b]，是一款专用于超精密加工领域的光学检测仪器，其分辨率可达0.1nm。半导体产业作为超精密加工领域一颗璀璨的明珠，在其硅晶圆的制备和晶圆IC的制造过程中，光学3D表面轮廓仪都以其强大的表面质量检测功能给这颗明珠增添一份靓丽的色彩。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804257216238.png[/img][/align][color=#ffffff]硅晶圆的粗糙度检测[/color]在半导体产业中，硅晶圆的制备质量直接关系着晶圆IC芯片的制造质量，而硅晶圆的制备，要经过十数道工序，才能将一根硅棒制成一片片光滑如镜面的抛光硅晶圆，如下图所示，提取表面一区域进行扫描成像。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804250029083.png[/img][/align]通过上图我们看到，制备好的抛光硅晶圆表面轮廓起伏已在数纳米以内，其表面粗糙度在0.5nm左右，由于其粗糙度精度已到亚纳米量级，而在此量级上，接触式轮廓仪和一般的非接触式仪器均无法满足检测要求，只有结合了光学干涉原理和精密扫描模块的光学3D表面轮廓仪才适用。[color=#ffffff]晶圆IC的轮廓检测[/color]晶圆IC的制造过程可简单看作是将光罩上的电路图通过UV蚀刻到镀膜和感光层后的硅晶圆上这一过程，其中由于光罩中电路结构尺寸极小，任何微小的粘附异物和瑕疵均会导致制造的晶圆IC表面存在缺陷，因此必须对光罩和晶圆IC的表面轮廓进行检测。下图是一块蚀刻后的晶圆IC，使用光学3D表面轮廓仪对其中一个微结构扫描还原3D图像，并测量其轮廓尺寸。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804252060141.png[/img][/align][color=#ffffff]晶圆IC减薄后的粗糙度检测[/color]在硅晶圆的蚀刻完成后，根据不同的应用需求，需要对制备好的晶圆IC的背面进行不同程度的减薄处理，在这个过程中，需要对减薄后的晶圆IC背面的表面粗糙度进行监控以满足后续的应用要求。在减薄工序中，晶圆IC的背面要经过粗磨和细磨两道磨削工序，下图是粗磨后的晶圆IC背面，选取其中区域进行成像分析。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804253935356.png[/img][/align]从上图可以看出，粗磨后的表面存在明显的磨削纹路，而3D图像显示在左下部分存在一处凹坑瑕疵，沿垂直纹理方向提取剖面轮廓并经过该瑕疵，在剖面轮廓曲线里可看到该处瑕疵最大起伏在2.4um左右，而磨削纹理起伏最大在1um范围内波动，并获取该区域的面粗糙度Sa为216nm，剖面线的粗糙度Ra为241nm。而在经过细磨后，晶圆IC背面的磨削纹理已基本看不出，选取表面区域进行成像分析。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804257060316.png[/img][/align]从上图可知，在经过细磨之后，晶圆IC背面的磨削纹理轮廓起伏已经降到36nm附近，其表面粗糙度也已经从200多nm直降到6nm左右。以上是SuperView W1光学3D表面轮廓仪在半导体产业中的几种典型应用案例。目前我国正在大力推进半导体产业跨越式大发展，中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪必将为此贡献更多力量。

“摩擦，摩擦，在这光滑的地上摩擦…..”还记得庞麦郎的一首《我的滑板鞋》风靡大街小巷，广场上卷起了一股溜滑板鞋的浪潮。尔今浪潮已退，但摩擦声却未消失，作为一柄对社会发展起着双刃剑作用的武器，各大高校和科研机构一直都在对摩擦学进行着持续的研究，而中图仪器[b]SuperView W1光学3D表面轮廓仪[/b]，就是该领域最时尚的滑板鞋，载着研究人员疾驰，手持武器，所向披靡。　　摩擦学是一门研究物体相对运动时其表面摩擦、润滑、磨损三者间相互关系的交叉学科，摩擦学实验研究的重点和难点之一在于对磨损量的定量分析。磨损量涵盖了磨损区的轮廓尺寸、粗糙度、体积这线、面、体三个维度方面的参数，量级从纳米到毫米不等，又由于不可破坏性测量，传统的低精度接触式轮廓仪和影像仪无法适用，而以白光干涉为原理、具备高精度、非接触式测量能力的光学3D表面轮廓仪登上了摩擦学研究的舞台。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238760989.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808231572145.jpg[/img][/align][align=center]图1 工作中的CSM摩擦磨损测试仪[/align]　　上图展示的是一款工作中的CSM摩擦磨损测试仪，经过十数小时的摩擦，铜板表面出现了一圈圈摩擦痕迹，即为磨损区域，对磨损区域进行尺寸上的定量分析，是研究的重要组成部分，下面我们使用中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪对一块经过摩擦试验处理的铜板进行线、面、体三个维度的定量分析。一、一维：线_轮廓尺寸　　取一块摩擦处理过的铜板，使用SuperView W1光学3D表面轮廓仪对其中未摩擦过的光滑区域和摩擦过的磨损区域进行扫描，获取其3D图像。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808239913954.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808234541029.jpg[/img][/align][align=center]图5 磨损区的剖面轮廓曲线[/align]　　从图中可以看到，相对光滑区细致较浅的划痕，磨损区充满了坑坑洼洼的槽，在磨损区3D图像上提取一条剖面轮廓曲线，可以获取槽深和槽宽的轮廓尺寸数据。二、二维：面_粗糙度　　分别在光滑区和磨损区选取若干点，测量分析显示经过摩擦磨损试验过的区域线粗糙度和面粗糙度均增大了至少十几倍。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808235791766.jpg[/img][/align][align=center]图6 光滑区域粗糙度[/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808237197020.jpg[/img][/align][align=center]图7 磨损区域粗糙度[/align]三、三维：体_体积[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238604911.jpg[/img][/align][align=center]图8 磨损区3D图像&孔洞体积测量[/align]　　如右上图，利用分析工作“孔洞体积”对磨损区进行区域体积分析。在选择的分析区域中，位于基准面（蓝色方框）上面的顶点区域显示为红色，位于基准面下方显示为绿色，利用“孔洞体积”分析工具可直接获取该区域内上下两部分的面积、体积、深度数据。　　一线二面三体，中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪能让研究人员掌握三个维度精确的数据信息，从而对摩擦磨损区进行全面的分析判断，如同穿上了酷炫的滑板鞋，在摩擦学研究这个舞台秀出华丽的舞步。

一.负荷曲线与缸孔内壁的粗糙度评定 　　1.负荷曲线的定义 　　标准DIN EN ISO4287引入了特性值“轮廓材料比Rmr(C)”(Roughness profile material ratio)和负荷曲线、又称“材料比例曲线”(Material ratio curve)的概念。 　　而特性值Rmr(C)则为： 　　差异很大的表面微观结构将对应不同的负荷曲线。 　　然而，更为重要的还是由此派生出的那些有针对性的粗糙度评定参数，它们在反映和监控工件表面加工质量时，发挥了十分重要的作用。一个有代表性的实例就是对缸孔表面的评定。 　　2.负荷曲线应用的典型实例 　　在发动机中，除了承受的负载、运动的方式、零件的材质和润滑剂的性状外，零件表面的微观形状也对产品工作性能有着巨大影响。 　　那么，怎样才能使经过研磨加工的缸壁成为高耐磨的表面——既能降低油耗，还能通过减少摩擦来延长发动机的寿命，并借助形成的储油槽体系在工作面接近磨损极限状态时起到保护作用呢? 　　德国通过制定标准DIN 4776，率先提出了一组粗糙度评定指标。在之后的若干年中，这一指标先后被ISO组织和一些工业化国家所接受，并体现在相关的标准中，如ISO13565-2：1996和日本的JISBO671-2：2002中。 　　整个评定过程建立在前面介绍过的负荷曲线、即材料比例曲线的基础上。Mr是用百分比表示的轮廓支承长度率，其含义与前面引入的特性值“轮廓材料比Rmr(C)”是一致的，但从之後的介绍可知，作为粗糙度评定参数，只采用有特定含义的Mr1和Mr2。 　　处理方式为：以一段支承长度率为40%的直线，沿着负荷曲线的中段移动，直到与曲线的拟合程度最好、且斜率为最小时为止，然後把直线向两端延长，从而获得最重要的一项评定参数Rk。 　　客观地讲，缸孔表面经研磨後，其负荷曲线的中段近似於直线(见图5)，因此上述过程还比较易于实现。 　　由对应于Rk的两截止线—也就是决定Rk高度的两平行线与负荷曲线的交点，可得到Mr1和Mr2。再通过这两点分别“左斜向上”、“右斜向下”，形成2个直角三角形，它们的顶点就决定了参数Rpk和Rvk。以深色阴影表示的2个三角形的面积应与负荷曲线被截的面积相等。 　　在这些评定参数中，Rk称为中心区峰谷高度，又称有效负荷粗糙度。从其形成机制来看，相对於给定的一个值，它对应最大的轮廓支承长度率。故Rk的实质是这部分的中心区深度将在高负载运行中被磨损掉，但又能最大程度地达到耐磨性。 　　Rpk是超过中心区峰谷高度的轮廓波峰平均高度，又被称为初期磨损高度，而Rvk是从中心区下限到有实体材料的轮廓波谷的平均深度，它反映了润滑油的储存深度，体现了摩擦付在高负载工况下的失灵保护。 　　Mr1和Mr2分别为波峰、波谷轮廓支承长度率，由轮廓中心区上、下截止线决定，其实Mr1表示了表面的初期磨损负荷率，而Mr2则为长期磨损负荷率。 　　下面是一组有代表性的缸孔内壁粗糙度评定要求，来自某一汽车发动机厂：Rk 1.5~3.0，Rpk 0.3，Rvk 0.9~1.6，Mr1 10%，Mr2 80~95%。 　　3.负荷曲线系列参数的应用情况 　　在对缸孔内壁进行粗糙度检测中，上述评定参数已得到广泛应用，经过对国内一些主流汽车发动机厂和柴油机厂的调查，超过三分之二的单位已然采用，包括一些国有企业和民营企业。至於仍然采用传统的粗糙度评定参数的企业，多数是柴油机厂。调查中只发现一家内燃机厂是选择Rz和tp作为评定参数的。 　　当然，Rk、Rpk、Rvk、Mr1和Mr2的适用范围并不只局限於发动机的缸孔，在其他一些零件(如活塞)，以及变速箱中一些零件(如同步器)中也早已应用。近几年，从欧美一些大企业的轿车发动机曲轴技术要求中发现，曲轴主轴颈、连杆轴颈表面粗糙度的评定项目中，也已包含了Rk、Rvk和Rpk等评定参数。 　　二.轴承表面的粗糙度评定 　　轴承作为重要的、使用最广泛的机械基础件之一，为了确保其性能和额定的工作寿命，就对承载表面有着这样的要求，即工作面上不能存在任何突兀的波峰。但是，另一方面，为了获得较大的接触面积，使表面承受的压力分布均匀，在承载面上存在单个(即并非密集存在)波谷却是完全允许的。 　　评定参数Rp和Rpm的定义 　　鉴于此，标准DIN4762提出了粗糙度评定参数Rp和Rpm，并通过进一步引入与已有的评定参数Rz的比值，也作为一项指标，从而建立了可靠而又明确的识别、区分被测表面轮廓形状的模式。从图6可见，Rp和Rpm的定义有些类似于Rz： 　　• Rp—评价长度ln由5个相等的单个取样长度le组成，RP/1~RP/5分别是各个le范围内轮廓的最高波峰至中心线的距离，称为单峰高度，而最大峰高Rp即为5个单峰高度中的最大值。 　　• Rpm—上述5个单峰高度的平均值就是Rpm，即 　　当Rpm值较小时，表面微观轮廓将呈现较宽的波峰和较窄的波谷，此时的峰顶会显示弧形，而谷底则会显示锐利状。 　　但这只是一种定性分析，为了能就被测表面的微观形状建立更有意义的定量识别模式，就要引入与另一项评定参数Rz的比值这一指标。当比值RPM / RZ0.5时，表面微观结构将为能满足耐磨要求的弧形、较宽波峰状(称为“半圆形蜂窝状轮廓”)，而当RPM / RZ时，轮廓将呈尖锐、较窄的波峰，耐磨性差。 　　如同上文中介绍的Rk、Rpk等粗糙度评定参数，Rp、Rpm和微观结构识别模式的应用其实还是较广泛的，轴承类产品只是一个重要领域。在其他如导轨结构的运动面，乃至在一些工件或产品表面进行的喷涂、电镀之前，也会对其微观结构提出类似的相关要求。 　　三.连杆大头孔的粗糙度评定 　　1.大头孔内摩擦付的结构及演变 　　在发动机的活塞—连杆—曲轴运动机构中，与後者中的曲轴连杆轴颈组成摩擦付的，并非是连杆大头孔的内壁，而是一对(两半)轴瓦。 　　连杆大头孔不同於之前研究的缸孔，其内壁和轴瓦乃是紧紧地贴合在一起，两者之间不仅没有高频次的相对运动，而且还要求在传递高负荷的扭矩时竭力避免出现滑动，哪怕是很小的错移，以免影响发动机的运行。 　　为此，在产品结构和工艺上，采取了分别在两片轴瓦和分体的两半连杆上加工止口的方法，以防止产生滑移现象。 　　近年来，汽车发动机业界出於种种考虑，不断改进产品结构和修改工艺，上述连杆轴瓦止口限位工艺已在一些企业的新产品中被取消，且这种情况逐渐在增多。 　　显然，这种简化了的结构和工艺直接带来了对连杆大头孔内壁与轴瓦之间的配合会提出更高的要求，最基本的一点就是：被紧紧压入孔中的轴瓦与孔壁必须有足够的摩擦力，以确保发动机在高速运转中轴瓦不会有滑移。 　　2.粗糙度评定 　　为此，对连杆大头孔内壁的粗糙度提出了如下要求。 　　• Rz A±a 　　• PC min n (±C) 　　第一项评定参数的指标值不同於习惯表示，而是要求Rz保持在一定范围内，以确保被测表面必须“粗糙”到一定程度。 　　另一项评定参数PC是从较早就已存在的二项由标准DIN4762、ISO4287确立的参数D和Sm衍生出来的，D称为轮廓峰密度，是在评定长度内，所测得的波峰和波谷的总数，而轮廓微观不平度的平均间距Sm是波峰之间在中线方向上的平均距离，虽然不作为主要参数，但也是国家标准(GB)规定的6项评定参数之一。 　　由欧洲标准EURONORM 49-83E和相近的美国标准ASME B46.1提出的评定指标PC被称为“标准化的轮廓波峰统计”，有时简称为“波峰计数(Peak Count)”，即在评定长度内，超过了所设定的统计边界上限和下限(C1，C2)的波峰和波谷的数目。 　　但必须指出，计数原则为轮廓线都超出边界的上下限，而且需要将评定长度内的PC转换成长度为10mm的标准距离。 　　一般情况下，统计边界位於中线的两侧，呈对称状，也就是C1=C2，当然，用户也可以根据自身的实际情况任意设定统计边界。 　　据此，我们就可以解读评定指标PC min n(±C)了，其含义是当统计边界为±C时，被测表面上10mm标准距离内的波峰计数值PC必须大於n。举一个实例予以说明： 　　• Rz=(8±3)μm 取样长度0.8mm，评定长度4mm 　　• PC min =170/cm统计边界 ±0.3μm 　　实际进行粗糙度测量时，仪器只经过4mm的评定长度，但在评定时，需转换到10mm的标准距离，并要求PC≧170，而统计边界为±0.3μm。 　　之所以要在连杆大头孔的加工工艺中设置这样的技术条件，目的就是确保当轴瓦压入後有足够的摩擦力，确切地说是粘合力，以抵御当发动机运转、连杆通过曲轴的连杆轴颈传递高载荷扭矩时不会发生滑移现象。 　　但类似前面介绍的一些评定参数，其实“波峰计数PC”在其他场合也有成功的应用，尤其对於冶金行业一些特殊需要的钢材，为满足涂饰性技术要求，也已将它列为必检的粗糙度评定指标。

摘要：轮廓测量仪是测量各种机械零件素线形状和截面轮廓形状的精密设备。该仪器工作台采用高精度的横向气浮道轨和滚动垂直道轨，移动精度高、稳定性好、寿命长；测量效率高、操作简单、适用于车间检测站或计量室使用。

大家有没有人用过表面粗糙度测量仪呢？或者你们那里有这个仪器？是怎么工作的能介绍一下吗？

请大家推荐一款实验室用粗糙度测定仪，主要用于测试铝板表面形貌，要求有表面二维轮廓形貌图输出。

粗糙度仪又叫表面粗糙度仪、表面光洁度仪、表面粗糙度检测仪、粗糙度测量仪、粗糙度计、粗糙度测试仪等多种名称。该仪器是传感器主机一体化的袖珍式仪器，具有手持式特点。1、工作原理当传感器在驱动机构的驱动下沿被测表面作匀速直线运动时，其内部垂直于工作表面的触针随工作表面的微观不平轮廓产生垂直方向的位移，再通过传感器将位移变化量转换成电量的变化，将该电信号进行放大，滤波，经A/D转换为数字信号，再经DSP处理，计算出Ra、Rz、Rq、Rt值并显示。2、产品用途本产品属于便携式表面粗糙度仪，具有测量精度高、测量范围宽、操作简便、便于携带、工作稳定等特点，可以广泛应用于各种金属与非金属的加工表面的检测，该仪器是传感器主机一体化的袖珍式仪器，具有手持式特点，更适宜在生产现场使用。3、产品特点◇机电一体化设计，体积小，重量轻，使用方便；◇采用 DSP 芯片进行控制和数据处理，速度快，功耗低；◇大量程，多参数 Ra,Rz,Rq,Rt。◇高端机器增加 Rp,Rv,R3z,R3y,RzJIS,Rs,Rsk,Rsm,Rku,Rmr 等参数；◇128×64 OLED 点阵显示器，数字/图形显示；高亮无视角；◇显示信息丰富、直观、可显示全部参数及图形；◇兼容 ISO、DIN、ANSI、JIS 多个国家标准；◇内置锂离子充电电池及充电控制电路，容量高、无记忆效应；◇有剩余电量指示图标，提示用户及时充电；◇可显示充电过程指示，操作者可随时了解充电程度◇连续工作时间大于 20 小时◇超大容量数据存储，可存储 100 组原始数据及波形。◇实时时钟设置及显示，方便数据记录及存储。◇具有自动休眠、自动关机等节电功能◇可靠防电机走死电路及软件设计◇显示测量信息、菜单提示信息、错误信息及开关机等各种提示说明信息；◇全金属壳体设计，坚固、小巧、便携、可靠性高。◇中/英文语言选择 ◇可连接电脑和打印机；◇可打印全部参数或打印用户设定的任意参数。◇可选配曲面传感器、小孔传感器、测量平台、传感器护套、接长杆等附件。[img=,300,463]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/11/202211241622452810_7413_5568994_3.png!w489x756.jpg[/img]【英徕铂】英徕铂ENLAB，物性检测仪器品牌，为国内市场提供数百种物性检测仪器，为科研工作者提供检测仪器解决方案与服务

手持式粗糙度仪适用于冷轧钢生产现场，科研实验室和工厂计量室。手持式粗糙度仪可测量多种机加工零件的表面粗糙度，根据选定的测量条件计算相应的参数，在液晶显示器上清晰地显示全部测量结果及图形，并可在打印机上输出，亦可与PC机进行通讯。具有测值存储及存储数据查询功能。表面粗糙度仪功能特点：● 高精度电感传感器；● 可测量显示19个粗糙度参数；● 采用DSP(数字信号处理器)进行数据处理和控制，速度快，功耗低；● 高品质锂离子充电电池，容量高，无记忆效应，连续工作大于20小时；● 连接时代TA220S打印机，可以打印测量参数及轮廓图形； ● 标准RS232接口，可与PC机通讯； ● 中英文菜单式操作界面；● LCD图形显示功能；● 传感器触针位置指示；● 带存储功能的自动关机；● 带有测值存储功能及存储数据查询功能；● 带有系统自检功能；● 可自定义系统时钟，开机时显示当前时钟，存储测量值时显示时间；● 可测量Rk参数及显示Rk曲线图。粗糙度仪技术参数：测量参数Ra、Rz（ISO）、Ry、Rq、Rt、Rp、Rv、Rz（JIS）、Rmax、R3z、RSk、RS、RSm、RPc、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2测量范围Ra:0.025-12.5μm显示范围Ra、Rq：0.005-16μm，Rz、Ry、Rt、Rp、Rv、Rmax、R3z、Rz（JIS）：0.02-160μm，RS、RSm：1mm，Rmr：0-100%（%Rt），Rsk：0-100%量程范围±20μm、±40μm、±80μm最高显示分辨率0.001μm滤波方式RC、PC-RC、GAUSS、D-P取样长度0.25mm、0.8mm、2.5mm、自动评定长度1L-5L（可选），L为取样长度测量行程长度3L-7L（可选）最大驱动行程长度17.5mm/0.71inch最小驱动行程长度1.3mm/0.052inch示值误差≤±10％示值变动性≤6％针尖角度90°显示方式128×64点阵液晶（带背光）工作环境温度：0oC- 40oC，相对湿度：＜90%重量440g外型尺寸140×52×48mm表面粗糙度仪标准配置：主机、TS100标准传感器、电源适配器、多刻线样板、传感器护套、支架便携式粗糙度仪可选附件：TS110曲面传感器、TS120小孔传感器、TS130沟槽传感器、TS131深槽传感器、TA610测量平台、TA620测量平台、TA630微调平台、TA631微调平台、TA230微型打印机、侧向转接杆、接长杆、V型块、连接体部件、驱动器连接轴、PC软件

两种表面的差异及测量喷涂表面机加工表面应用表面需喷涂防腐漆层零件配合面粗糙度的影响粗糙度差，则波峰突出，漆层易薄、产生腐蚀点； 粗糙度太好，则漆层附着效果差、影响防腐效果。粗糙度差、突出的波峰意味着容易磨损； 粗糙度太好，则油膜附着效果差，也影响配合效果。测量方法对于粗糙度差的表面，采用“压针法”，进行量化测量； 对于粗糙度较好的表面，采用“针描法”。无压针法的应用。只有“针描法”。两种方法的差异压针法针描法单点测量 通过计算压针压入的深度来表示粗糙度（即Rmax值） 测量孤立的多点，计算各点深度的绝对平均值 适合粗糙的表面（肉眼即可辨别）线轮廓测量 通过测针的自动滑行，将粗糙度曲线描绘下来，并进行计算，既可获得这条粗糙度曲线的算术平均值（Ra），也可同时获得深度值（Rmax） 一次测量不是一个孤点，而是一条线 适合较为光滑的表面（肉眼难以辨别） 相对而言，测量更为全面和精细代表产品压针法针描法国外某品牌123\223\224 实际上并不是真正意义上的粗糙度仪，不符合现行ISO标准中关于粗糙度R（roughness）参数及测量方法的定义符合现行ISO标准中关于粗糙度R（roughness）参数及测量方法的定义针描法产品的比较国外某品牌7061国产某品牌1、直量程（即，可测深度） 350μm 2、统分辨力（即，对粗糙度曲线描绘的精细度） 满量程350μm条件下，分辨力为32nm（纳米）1、直量程（即，可测深度） 400μm 2、系统分辨力（即，对粗糙度曲线描绘的精细度） 满量程400μm条件下，分辨力为6nm（纳米）压针法原理图http://www.shidaiyiqi.com.cn/upload/201404251.jpg针描法原理图http://www.shidaiyiqi.com.cn/upload/201404252.jpg特别说明 压针法和针描法并非简单的取代关系，而是取决于实际工况 打个比方： 如果是红砖地面或者是水泥地面，比较适合使用扫帚清扫；如果是瓷砖地面或者是地板底面，比较适合吸尘器清扫。就钢板的测量而言，针描法是一个合理的应用。

请问“圆度仪”、“轮廓仪”、“圆柱度仪”、凸轮轴测量仪的英语单词是什么？

粗糙度仪又叫表面粗糙度仪、表面光洁度仪、表面粗糙度检测仪、粗糙度测量仪、粗糙度计、粗糙度测试仪等多种名称，国外先研发生产后来才引进国内。粗糙度仪测量工件表面粗糙度时，将传感器放在工件被测表面上，由仪器内部的驱动机构带动传感器沿被测表面做等速滑行，传感器通过内置的锐利触针感受被测表面的粗糙度，此时工件被测表面的粗糙度引起触针产生位移，该位移使传感器电感线圈的电感量发生变化，从而在相敏整流器的输出端产生与被测表面粗糙度成比例的模拟信号，该信号经过放大及电平转换之后进入数据采集系统。 产品特点：· 清晰的大型易进行读数字符显示· 便携式设计，可用于任何场所· 检测器/驱动部可拆卸，可在很小的空间内进行测量· 探针行程达 350mm（-200mm～+150mm）· 粗糙度参数与 ISO,DIN,ANSI 和 JIS 兼容· 提供包括基础参数 Ra,Rq,Rz,Ry 在内的 19 个分析参数。· 用户自定义功能可屏蔽不需要的参数。· 对所需参数进行 GO/NG 判断。· 通过简单的增益调整进行自动校准。· 自动休眠功能可有效节约能源。· 断电后仍可在存槠器中存10组不同的测量条件。· 可为 SPC 操作输出数据。· 外部设备可通过RS-232C端口与电脑或其它装置进行数据传输· 双电源系统 （AC适配器/内置充电电池 ）· 带有专用便携式仪器箱，可安全传输· 可提供高精度粗糙度标准片· 可通过打印机选件打印输出测量数据

Zeta 200自动三维测量系统Zeta 200是集多种测量手段于一身的高级表面测量系统。它功能配备齐全，使用方便，是三维测量系统中性能价格比最优的选择。Zeta 200能够自动采集样品上多点的工艺参数，如台阶高度、体积、尺寸及粗糙度等，为您提供监管及优化生产流程所需的数据。· 自动多点、多配方测量样品· 200毫米x200毫米XY轴驱动范围· 粗糙表面成像与分析· 金属栅线形状与尺寸测量· 防反射膜及光刻胶厚度分析· 真空吸盘保证样品定位一致· 本色三维成像· 台阶高度，线与面粗糙度、角度及尺寸测量Zeta 200特色功能1.多点测量 用户可按其所需设置每片样品上的采样点数——少许几点往往适用于快速检测，多点则可用于详细分析。2.大面积成像 Zeta 200可自动按次序对多个视场进行成像，然后由软件拼接成一张大面积的样品表面三维图像。3.自动形貌特征测量 用户可设置操作配方对样品的各种指定形貌特征如尺寸、间距、高度甚至整片样品的弧度等进行自动测量。标准系统配置显微镜系统光源：高亮度白光LED物镜：5x,10x,20x,50x,100x耦合透镜：0.5x自动载物台：200毫米x200毫米XY驱动范围Z轴：30毫米纵向驱动范围数码相机: 1024x768像素,1/3 英寸CCD计算机控制系统处理器：英特尔®酷睿2 双核（最低2.5GHz）随机存储器3GB硬盘驱动器：320GB显示器：22英寸宽屏液晶显示器（1680x1050像素） Zeta 三维测量软件实时视频成像快速数据采集（每处1分钟）三维表面浏览：倾斜，旋转，缩放，过滤•体积计算二维表面分析：特性尺寸，直径，面积图案间距，标准偏差表面粗糙度区域平均台阶高度轮廓测量台阶高度与粗糙度多横截面分析平均值测量标尺倾斜度与表面波度补偿阵列式采样序列自动数据与图像输出用于生产线SPC

MMD-220A轮廓仪可测量各种精密机械零件的素线轮廓形状参数，角度处理（坐标角度，与Z坐标的夹角，两直线夹角）、圆处理（圆弧半径，圆心到圆心距离，圆心到直线距离，交点到圆心的距离，直线到切点的距离）、点线处理（两直线交点，交点到直线距离，交点与交点距离，交点到圆心的距离）、直线度、凸度、对数曲线、槽深、槽宽、沟边距、沟心距、轮廓度、倾斜度、垂直距离、水平距离等形状参数。 该MMD-220A轮廓仪测量长度≤220mm，Z 量 程：10mm，可测零件直径：内圈≤300mm，外圈可较大，国产贵阳光栅尺：精度±3μm/220mm ，X向分辨率1μm，Z向分辨率/量程：1/65536，工作压力：0.35～0.43Mpa，气源压力：0.45～0.80Mpa。