真空技术真空计

真空计的种类很多，常用的真空计就有压缩式真空计、电离真空计、热电偶真空计、电阻真空计等等。真空计的真空测量是真空技术的重要组成部分，因此真空计在科研与生产中的使用很广泛。那么在选择真空计时我们应该考虑哪些因素呢？ 　　1.不同的真空计有不同的测量范围与测量精度，首先要确保真空计的测量范围满足设备的需要，再考虑真空计的测量精度； 　　2.有些真空计对被测气体有要求，如热阴极电离真空计的阴极易受过量空气及泵油蒸气等污染物的损害，因此需要考虑被测气体是否会对真空计造成损伤； 　　3.部分真空计会影响被测环境，如压缩式真空计测量时要压缩被测气体，这会使水蒸气凝结。因此要考虑真空计是否会对被测真空环境造成影响； 　　4.考虑真空计所测压强是全压还是分压，是否已校准，是否与气体种类有关； 　　5.考虑真空计能否实现连续测量，数值指示及反应时间如何； 　　6.考虑真空计的稳定性、可靠性、使用寿命。 　　7.考虑真空计的安装方法、操作性能、保修、管理、市场有无销售、购买的难易程度和规格

作为材料的一种重要表征手段之一，表面性质的表征是应用较多的方法，仪器有用体积法的有用重量法，如：TPD、TPR、TPO等，表征的性质有比表面、孔结构、表面的酸碱性、负载金属的分散度、对某一物质的吸附量等，而且吸附理论在近几年的发展也是比较快的一门学科，所以建议增开一个有关吸附仪的版块，不知版主同意否？认坛中的各位朋友都与仪器有亲密的接触，现在大多数的仪器都配有真空系统，如XRD、SEM、TEM、TG、IR等，对这几种仪器如果您对真空技术有一定的了解的话，应用起来就会少走弯路。而且这几年真空及真空技术也成为一门应用较多和发展较快的技术之一，但从我的工作和教学中发现，人们对真空的了解还远远不够，甚至有很多厂家的工程师也是一知半解，如真空的不同单位不会换算，不同类型的真空泵的极限真空度，对前极真空的要求、适用范围等，不同的真空范围应用什么类型的真空计，每种真空的测量原理等。以上两个方面的问题通过我这一段有论坛中的浏览，也有很多相关的贴子，但都比较分散，找不到“家”，如能给它们找一家就好了，大家都好找。以上想法也就是一块砖头，我知道大家都是有玉的人，不妨拿出来晒晒，让大家共同分享，如果您要给我一块砖，我也接着，砖多了也是有用的。谢谢！

[b]推荐讲座《粗真空及工业相关的真空技术》讲座时间：[/b]2017-10-20 10:00[b]免费报名[/b]：[url]http://www.instrument.com.cn/webinar/meeting_3060.html[/url][b]主要内容：[/b]真空基础知识回顾、粗真空抽气时间计算、各种真空泵介绍及相关应用介绍（真空冷冻干燥 、质谱仪器 、低温容器制造、真空热处理、问题与答疑）。[b]主讲人：[/b]王延杰，安捷伦真空产品事业部技术工程师。 毕业于合肥工业大学真空专业，从事真空泵维修，真空系统设计，真空应用技术支持等工作10余年，对各类真空产品（获得设备、测量设备以及检漏设备）理论扎实，实践经验丰富。

低真空技术选哪家的电镜呢？是FEI的quanta系列还是蔡司的Σimga呢 还是有好的选择？

[b][/b][align=left][b][/b][/align][b]推荐讲座《粗真空及工业相关的真空技术》讲座时间：[/b]2017-10-20 10:00[b]免费报名[/b]：[url]http://www.instrument.com.cn/webinar/meeting_3060.html[/url][b]主要内容：[/b]真空基础知识回顾、粗真空抽气时间计算、各种真空泵介绍及相关应用介绍（真空冷冻干燥 、质谱仪器 、低温容器制造、真空热处理、问题与答疑）。[b]主讲人：[/b]王延杰，安捷伦真空产品事业部技术工程师。 毕业于合肥工业大学真空专业，从事真空泵维修，真空系统设计，真空应用技术支持等工作10余年，对各类真空产品（获得设备、测量设备以及检漏设备）理论扎实，实践经验丰富。[color=black][/color]

[align=left][b][/b][/align][b]推荐讲座《粗真空及工业相关的真空技术》讲座时间：[/b]2017-10-20 10:00[b]免费报名[/b]：[url]http://www.instrument.com.cn/webinar/meeting_3060.html[/url][b]主要内容：[/b]真空基础知识回顾、粗真空抽气时间计算、各种真空泵介绍及相关应用介绍（真空冷冻干燥 、质谱仪器 、低温容器制造、真空热处理、问题与答疑）。[b]主讲人：[/b]王延杰，安捷伦真空产品事业部技术工程师。 毕业于合肥工业大学真空专业，从事真空泵维修，真空系统设计，真空应用技术支持等工作10余年，对各类真空产品（获得设备、测量设备以及检漏设备）理论扎实，实践经验丰富。

[b]新上讲座：[b]粗真空及工业相关的真空技术 [/b]举行时间：2017-10-20 10:00立即免费报名：[url]http://www.instrument.com.cn/webinar/meeting_3060.html[/url]主讲人：[/b]王延杰，安捷伦真空产品事业部技术工程师。毕业于合肥工业大学真空专业，从事真空泵维修，真空系统设计，真空应用技术支持等工作10余年，对各类真空产品（获得 设备、测量设备以及检漏设备）理论扎实，实践经验丰富。[b]主要内容：[/b]真空基础知识回顾、粗真空抽气时间计算、各种真空泵介绍及相关应用介绍（真空冷冻干燥 、质谱仪器 、低温容器制造、真空热处理、问题与答疑）。

[b][b] [/b]新上讲座：[b]粗真空及工业相关的真空技术 [/b] 举行时间：2017-10-20 10:00 立即免费报名：[url]http://www.instrument.com.cn/webinar/meeting_3060.html[/url]　　主讲人：[/b] 王延杰，安捷伦真空产品事业部技术工程师。毕业于合肥工业大学真空专业，从事真空泵维修，真空系统设计，真空应用技术支持等工作10余年，对各类真空产品（获得 设备、测量设备以及检漏设备）理论扎实，实践经验丰富。　　[b]主要内容：[/b]　　真空基础知识回顾、粗真空抽气时间计算、各种真空泵介绍及相关应用介绍（真空冷冻干燥 、质谱仪器 、低温容器制造、真空热处理、问题与答疑）。

现代真空应用技术的发展，涉及的应用范围越来越广泛、真空应用设备对仪器仪表的要求越来越高，特别是对测量精度、稳定性要求、以及自动控制性能要求也越来越高，这直接关系到真空设备的整体性能质量，关系到真空应用技术或应用工艺的应用效果，甚至于成功与否。在精细化工、真空冶炼、真空单晶炉、真空热处理、真空浸渍、真空冷冻干燥、真空绝缘处理、电真空器件、半导体材料生产、高特新材料、新能源设备等等行业中尤其特出。许多新设备、新工艺、新产品的开发之所以老是无法实现预想的技术指标和效果，往往就是因为真空测控仪表选型不当、其实际的测量控制精度无法达到设计要求所造成的。当然，薄膜真空计也不是没有缺点的，首先是价格高，国内一般是4-6千元，量限低的贵些；进口则1.6—2.5万元/只左右；其次，国内老式的薄膜规容易零漂，需要经常校正，要求高的经常校正。主要是技术陈旧，国内材料科学相对落后造成的，温度稳定性不好；还有一个量程跨度小，国内的不超过3个数量级。第三是国产规娇气，容易坏，有油污进去很难清洗，要用丙酮，清洗挽救13往往会报废，小量程的23会坏。所以，我们需要有一种具有国产价格、进口品质的、使用方便、经久耐用薄膜真空计。结合我国国情、学习国际先进的真空测量新技术，我们能够做得到的。分析国外的薄膜真空计与我们旧式国产产品的有什么不同呢？简单说一说，其核心技术一是陶瓷薄膜电容真空压力测量技术、二是现代智能仪表技术。首先是通过大规模厚膜电路（国内有些厂家还是20年前的007运放），将薄膜电容测量机构和传感器调理电路微型化，做在陶瓷基片上，另外，将智能仪表电路微型化，一次仪表和二次仪表合二为一，所以量程宽、精度高、体积小；（其典型代表如莱宝62x、英福康TCBG等等）。未完待续

怎样选择真空计很多试验仪器设备都需要用到真空泵、真空机组，如样品真空干燥、真空蒸馏、真空解压等等实验工作、中式，为了达到最优状态和测试效果，或提供效率、节约能源，就需要对设备的容器中的真空度进行准确的测量和自动控制，现在大家使用的大多数还是老式的电接点真空表、电阻真空计的、热偶计等等，准确度差、不稳定、寿命短、当然也有进口设备，但真空测控仪表、真空计进口的产品非常昂贵，那么我们普通设备需要真空控制时应该如何选择性价比高的真空计呢？以下的几点供大家参考，希望有帮助。第一，从真空测量机理的先进性来考虑，应该选择采用新型传感元件的真空计，如硅集成真空传感器、陶瓷基片厚膜电路真空度传感器、陶瓷电容式薄膜真空规等等；而传统老式的热传导类（热偶计、电阻计、皮拉尼计等等）虽然价格稍低些，但其精度低、稳定性差、寿命短，按照产品标准测量精度误差50%就合格；虽然现在也有数字化、但是毕竟是先天不足。第二，从真空设备的工作真空度来选择真空度测控范围：而不是根据使用真空泵或机组的极限真空度来选择，如，系统采用2x旋片泵，其极限真空度可达0.5Pa，但是，由于抽气效率的原因，往往用在100Pa以上，所以应该选择0.1kPa测量下限即可（下限越低，往往精度要求越高，价格也越高）第三，合理选择测量精度等级和测量分辨率，一般设备选择1.0级、0.5级就可以了，但是如果是作为精密真空度测量和控制、计量标准器等等，就要选择0.1级、高分辨率的仪表；首选陶瓷薄膜规（--PS510--ABCD）;对于用来测量管道、容器、散热器、空调冰箱部件密封等等用途的真空计选型，可以选择0.5、0.25级精度、但是分辨率为1Pa的高分辨率的仪表如（208--310ap型），性价比极高；另外，还要根据需要测控的泵阀来选择仪器的测控继电器等等控制功能，最好要选择带有真空智能测控功能的仪表（一个继电器就能控制一个启停或开闭的真空度区间，而不是一个点）。最后不要忘记选择合适的真空接口标准，推荐kf系列卡箍法兰，当然，还有其他测试介质的重要特点：卫生洁净度、防腐蚀、防爆要求，附加功能会增加价格，要求不高，就不一定要用专门的防爆型、防腐蚀型的，要求严格的话，当然不能马虎的。简单说说，供参考了。再次提醒大家：现在是2011年啦！真空仪器仪表已经现代化了，希望大家选择更加新型的、高性价比的真空仪器仪表，

我公司想购买一台低真空计，工作范围在50~100μHg或6.6~13.3Pa。请帮忙提供合适真空计的型号及相关资料。最好是数显的。

薄膜真空计是迄今为止唯一得到公认的可作为低真空测量（0.01--100Pa）工作副标准的一种真空仪器，也是我国唯一具有法定计量校准检定规程的一种真空度计量器具（校准参照规程：Q/WHJ46-1998标准型电容薄膜真空计校准规程）电容薄膜真空计是一种绝压、全压测量的真空计，原理是把加于电容薄膜上的压力变化产生膜片间距离的变化，即产生了电容的变化，再通过鉴频器把电容变化转换成为电流或电压的变化，组成为输出信号，所以，它的测量是直接反映了真空压力的变化值，而且只与压力有关，与气体成分无关，即：薄膜真空计是一种直接测量式的、全压型的真空计。而我们的真空设备的真空度测量控制常用的真空计往往是电阻计、热偶计等等间接测量的真空计，是一种热传导型的真空测量方法，简单一点来说，就是通过测量感受气体温度的方法来间接测量气体压强（真空度），是一种类似于大家很熟悉热电阻、热电偶的测量方法，。由于测量原理上的先天不足，这类真空计的测量精度、测量稳定度是很不好的。其测量误差一般比薄膜真空计大1~2个以上数量级（误差大于30%，行业标准是50%），尤其是在低真空段，误差更大，另外，使用过电阻计、热偶计的度知道，这些仪表测量前还需要零点、满度校正，怎么能够用于在线测量控制呢？另外，遇到氢气等小质量的气体就无法测量了，如果要测，也查表换算，到底真空度是多少？猜吧。不过，它确实也有它的优点的：制造容易、价格低廉，在许多的要求较低真空设备上还普遍使用着,……用过电阻计的都领教过它的烦心。许多人抱怨花了3、4千元买到进口的真空传感器也误差大、毛病多?就是因为老外的这个价位的产品还是老的热传导测量机理的真空传感器。所以选择真空计、真空传感器、首先要看看什么原理、什么类型的，而不是数字、智能，测量机理陈旧，再怎么数字、怎么智能，也于事无补的。未完待续

中新社兰州2月15日电 (南如卓玛)兰州空间技术物理研究所研究员李得天及其科研团队的真空计量研究成果，成果已应用于月球探测、航天器空间环境模拟、重离子加速器、同步辐射光源等国家重大工程，使中国真空计量技术达国际先进水平。　　李得天近日接受中新社记者采访时称，通过十余年持续研究，该团队成功研制出了载人飞船舱门快速检漏仪等真空计量仪器和装置，解决了航天、核工业等领域对微小气体流量的精确测量难题。　　随着中国探索太空的步伐不断加快，迫切需要建立超高/极高真空计量标准，以满足对月球表面、行星际空间、恒星际空间真空环境探测的需求。　　李得天介绍说，载人航天工程中，航天员要在太空飞行多天，期间航天员需反复进出舱，操作舱门打开和闭合。航天员在舱里生存，维持其正常生活的气体不能泄漏，因此精准快速检测舱门的密封性至关重要。　　李得天说，该团队研制的舱门快速检漏仪，仪器重不足5公斤，自动完成全部检测所需时间小于8分钟，实现了对舱门和对接面的快速、准确检漏，技术达到国际先进水平。　　该装置已成功应用于神舟八号、神舟九号、神舟十号载人飞船以及天宫一号目标飞行器，为中国载人航天工程实施提供了重要保障。

电镜样品声波和真空技术处理的快速制备方法[img]http://www.instrument.com.cn/bbs/images/affix.gif[/img][url=http://www.instrument.com.cn/bbs/download.asp?ID=165934]电镜样品声波和真空技术处理的快速制备方法[/url]

如何判断真空计的好坏？

公司用麦氏真空计，里面水银有了残渣，想换掉水银，请问水银的加入量一般是多少？有要求吗？ 另外想问：数显示的便携真空计多少钱？

5975C真空计micro Ion E报错，怎么办？3年多的机器经常连续开机，重启能搞定吗还是要换了？这东西贵吗

PENNING是最常用的高真空计，可以安装在靠近分子泵的地方，或者直接安装在发射枪部位，最差的位置是装在样本室外部，最最臭的位置是样本室正相对SE检测器的方向，为什么这么说呢？

我们实验室的等离子体设备上配了一个电阻真空计，最近等离子体厂家的人告诉我真空计应该重新校准了，可是我又联系不到真空计生产厂家，那我自己如何校准真空计呢？

请教各位高手，岛津2010plus[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/bp][color=#3333ff]气质联用[/color][/url]，每次开机抽真空时，都会显示离子真空计不能正常控制，离子源灯丝即将关闭，重启一次或几次又好了，求助：这是什么原因？需要怎么解决？长时间如此会对仪器损害么？万分感谢

热偶-电离真空计能否测氢气真空度？是否有危险？另外想在真空下做DSC分析，不知能做否？哪里有做的？多谢指点

地球上的真空环境 一.在地球上，通常是对特定的封闭空间抽气来获得真空，用来抽气的设备称为真空泵。早期制成的真空泵，抽气速度不大，极限真空低，很难满足生产和科学试验的需要。后来相继制成一系列抽气机理不同的真空泵，抽速和极限真空都得到不断的提高。如低温泵的抽气速率可达60000升/秒，极限真空可达千亿分之一帕数量级。 需要 A.为了保证真空系统能达到和保持工作需要的真空(负压），除需要配备合适的、抽气性能良好的真空泵以外，真空系统或其零部件还必须经过严格的检漏，以便消除破坏真空的漏孔。低(粗)真空、中真空和高真空系统一般用气压检漏 ；对于超高真空系统，在采用一般检漏法粗检以后，还要采用灵敏度较高的检漏仪，如卤素检漏仪和质谱检漏仪来检漏。 应用 B.随着真空获得技术的发展，真空应用日渐扩大到工业和科学研究的各个方面。真空设备应用是指利用稀薄气体的物理环境完成某些特定任务。有些是利用这种环境制造产品或设备，如灯泡、电子管和加速器等。 这些产品在使用期间始终保持真空；而另一些则仅把真空当作生产中的一个步骤，最后产品在大气环境下使用，如真空镀膜、真空干燥和真空浸渍等。 C.真空的应用范围极广，主要分为低真空、中真空、高真空和超高真空应用。低真空是利用低(粗)真空获得的压力差来夹持、提升和运输物料，以及吸尘和过滤，如吸尘器、真空吸盘 。 D.中真空一般用于排除物料中吸留或溶解的气体或水分、制造灯泡、真空冶金和用作热绝缘。如真空浓缩生产炼乳，不需加热就能蒸发乳品中的水分。 E.真空冶金可以保护活性金属，使其在熔化、浇铸和烧结等过程中不致氧化，如活性难熔金属钨、钼、钽、铌、钛和锆等的真空熔炼；真空炼钢可以避免加入的一些少量元素在高温中烧掉和有害气体杂质等的渗入，可以提高钢的质量。 F.高真空可用于热绝缘、电绝缘和避免分子电子、离子碰撞的场合。高真空中分子自由程大于容器的线性尺寸，因此高真空可用于电子管、光电管、阴极射线管、X 射线管、加速器、质谱仪和电子显微镜等器件中，以避免分子、电子和离子之间的碰撞。这个特性还可应用于真空镀膜 ，以供光学、电学或镀制装饰品等方面使用。 G.外层空间的能量传输与超高真空中的能量传输相似，故超高真空可用作空间模拟。在超高真空条件下，单分子层形成的时间长(以小时计)，这就可以在一个表面尚未被气体污染前 ，利用这段充分长的时间来研究其表面特性，如摩擦、粘附和发射等。(end)

请问同一台真空机仪器，在大气压为760mm汞柱的时可以抽到0.92，而在大气压为680mm时只有0.8左右。这是为什么？

质谱仪器真空系统主要包含如下一些部件:真空泵、真空计和真空阀。[b]1.真空泵[/b]真空泵是获得真空的设备。市场上真空泵种类很多简单地可将其划分为低真空泵和高真空泵两大类。低真空泵又称前级真空泵，既可用于真空腔室的预抽真空，又可作为高真空泵的前级泵提供高真空泵正常工作所需要的前级真空；高真空泵包括扩散泵、涡轮分子泵、钛升华泵、溅射离子泵、吸气剂泵、低温泵等，负责真空系统里高真空的抽取。高真空泵启动的一个共同点是不在常压下启动，需要在一定的真空条件下启动。因此在一个真空系统中，低真空泵和高真空泵常常配合使用，共同完成抽取和保持系统真空的任务171现在一些真空仪器厂商根据市场，也已推出了将低真空泵和高真空泵功能组合在一起的真空机组，用来满足各类分析仪器对真空的需求。[b]2.真空计[/b]真空计是测量真空的设备。真空计又可分为绝对真空计和相对真空计，前者直接测量空间内气体的压强，后者通过与压强有关的物理量间接地测量空间内气体的压强。按照真空计的不同原理与结构可细分为静态变形真空计、压缩式真空计、热传导真空计、电离真空计、气体放电真空计、辐射真空计等。真空阀是使真空隔离和保持的常用组件。下面简单介绍部分常用的真空组件。[b]（1）扩散泵[/b]扩散泵是通过加热使高闪点的泵油蒸发，形成高速气流从喷口喷出。由于油气喷口设计在靠近泵的进气口，且使油气向侧下喷出，因此进入泵内的气体分子会往高速油气流中扩散被带走，当气流到达由冷却水冷却的泵壁后，又会凝结成液体流回蒸发器，油气中因冷凝析出的气体分子就会在出气口处被前级泵抽出即扩散泵是靠油的蒸发、喷射、凝结重复循环来实现抽气任务的。扩散泵具有无噪声、无震动和成本不高等优点，但其极限真空偏低，且使用过程中易造成系统油气污染，现在很多新型质谱仪器上已不再使用。[b]（2）涡轮分子泵（turbo pump）[/b]是通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止涡轮叶片的组合进行抽气的，在分子流区域内对被抽气体产生很高的压缩比，从而获得所需要的真空性能，对被抽气体无选择性、无记忆效应，操作简单、使用方便。[b]（3）钛升华泵[/b]主要依靠电子轰击或通电加热使吸气材料升温，达1200～1500℃时它将不断升华并沉积在水冷泵壁内表面，形成新鲜的活性膜层而不断地吸收和“掩埋”气体分子。对活性气体主要是形成固化化合物，对惰性气体主要是“掩埋”。[b]（4）溅射离子泵[/b]溅射离子泵是靠电磁场的作用产生潘宁放电而使气体分子电离，利用电离产生的离子高速轰击阴极钛板引起钛原子溅射，连续制造活性吸气膜使电离了的气体分子收附于其中达到抽气效果的真空泵。[b]（5）吸气剂泵[/b]利用能够吸收气体的物质来获得真空的装置（常用来作吸气剂的物质为锆铝、锆石墨、锆钒铁等）。工作过程:首先将锆铝吸气剂加热至激活（900℃）形成活性表面，然后降温至工作温度（400℃）即可吸气。吸气机理:①化学吸收，锆铝吸气剂与其接触的活性气体如O2、CO、CO2、N2、烃类化合物发生化学反应，生成稳定的化学物；②化学吸附，锆铝吸气剂和一些气体如氢在一定温度下生成氢化物，温度稍高时，气体从表面层扩散入内层成为溶解于锆铝吸气剂合金晶格内的固溶体；③物理吸附，锆铝吸气剂的多孔表面依靠范德华力使气体分子附着在表面和孔隙中（注:物理吸附的气体在温度升高时便可很快释放）[b]（6）低温泵[/b]利用20K以下的低温表面冷凝容器中的气体和水蒸气而获得真空的设备。利用泵体内温度不同的两级低温板（65K、1K）来冷凝吸附真空系统中的气体分子及水分子达到使系统获得高真空。第一级低温板温度保持在65K（-08℃）左右，主要用于冷凝吸附真空系统中的水分子；第二级低温板温度为15K（-28℃），主要用于冷凝吸附真空系统中的气体分子（H2、N2、Ar）。低温泵主要由制冷循环系统和低温泵泵体两部分组成；制冷系统使用高纯氦气作为制冷剂，对环境无害，工作安全性好。[b]（7）机械泵[/b]机械泵是运用机械方法不断地改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀，从而获得真空的装置。它可以直接在大气压下开始工作，极限真空度一般为1.33～1.33×10[sup]-2[/sup]pa，抽气速率与转速及空腔体积的大小有关，一般在每秒几升到每秒几十升之间。[b]（8）全量程冷阴极真空规[/b]这是一种全量程的新型冷阴极真空规，它集成了两个独立的真空测量系统（Pirani Cold Cathode冷阴极电离真空计系统），测量范围为5×10[sup]-9 [/sup]1000mbar（1bar＝10[sup]5[/sup]Pa），真空技术在20世纪得到迅速发展，并有广泛的应用。20世纪初，旋转式机械泵、皮氏真空计、扩散泵、热阴极电离真空计等真空获得和真空测量设备的相继出现，为质谱技术的发展创造了条件。接着，油扩散泵、涡轮分子泵、离子泵、低温泵等新型真空获得设备的出现，促使真空技术进入超高真空时代，质谱仪器的性能指标也得到了显著提高

Convection Vacuum Gauges中Convection是个牌子吗？对流真空计？