在线质谱分析仪

APIX超高纯电子气质谱分析仪 结合了工艺先进的电子电路和功能强大的过程分析软件的、性能卓越 的大气压离子化质谱仪 (API-MS)使得 Thermo Scientific APIX 生产线提供的分析仪系统成为半导体和电子工业大宗气体连续质量控制的选择。 API-MS 为传统质量控制技术提供了一个成本-效益的替代方案，允许每种大宗气体中一系列潜在污染物浓度监测能够达到很低的测量下限；相较于其他技术，甚至能够优于100倍。 APIX产品线提供了更多完整的杂质分析，包括： H2、CO、CO2、H2O、O2、CH4 、Kr和 Xe ，以及其他需要测量的杂质。随着 300 mm 晶圆生产者发布更严格污染物控制气体质量标准，这种技术将持续的成为ppt级杂质测量下限的首选技术。 特点： 快速在线测量（典型＜5秒）确保 了立即响应供气的波动状况 完全集成的多分析器分析方案提 供了污染物的快速检测 超高的灵敏度和10ppm的测量下限满足当下以及未来的严格的气体分析要求 备份能力在单个大气压离子化分 析器（API）在维护时，允许每 一台大气压离子化质谱仪（APIMS）支持多流路分析 针对于工厂控制和数据集中的标准 化工业通讯协议 (OPC, DDE, Modbus, Siemens 3964R, PROFIBUS, 等等)应用 超高纯氮气（UHP N2） 超高纯氩气（UHP Ar） 超高纯氦气（UHP He） 超高纯氢气（UHP H2） 运行原理APIX δQ 和APIX Quattro 采用阳离子大气压离子化质谱仪 （ API-MS）技术, 该技术被电子工业广泛用于检测超纯气体中的污染物。进样时，样气以大气压或略高于大气压的压力进入离子源。 金属针设置在靠近由孔板行成的通向棱镜组的入口附近。它带有高的电压，能够产生电晕放电。这就产生了从孔板到针头的电子流。电子与离子源中 大量样气发生反应，从而导致大量样气气体分子的电离。 幸运的是，相对于氮气、氢气、氦气和氩气而言，这些出现在样气中浓度很低的污染物需要很少的能量就可以产生 电离。正是因为如此，任何污染物分子出现在样气中，它们与样气离子发生反应的几率就非常高。 这种反应发生时，电荷转移至污染物气体分子，这就形成了再次电离。 这个电荷转移导致非常高比例的污染物气体分子被电离。 事实上，这个效率比其他使用真空腔电离技术的质谱仪， 其效率要高1000倍。 部份样品、完全电离的污染物，经过一系列的减压透镜后，进入三重四级杆质谱仪。一个测量质量数达到300道尔顿（原子质量单位）三重四级杆能够确保实现所有污染物的精确测量。脉冲计数放大器的噪声等级仅为10个脉冲，每106个脉冲, 与大气压离子源配合后, 能够确保12数量级的测量下限，它可以低1012之一 (即1 ppt). 配置：APIX δQ的标准配置为一个单一机箱，它里面配置了1个大气压离子化质谱仪（API-MS）和 一个Air Liquide 气体处理单元，它能够用于ppb或ppt级自动校准。标准机箱是为 相对空气洁净且有温度控制的环境而配置；如果需要，一定数量的冷却降温和吹扫选项也可以满足更多环境需求。 APIX Quattro 标准配置使用了三个机箱，两个配置了4 个大气压离子化质谱仪（API-MS）独立机箱，和第三个装有一个Air Liquide 气体处理单元机箱。 四个质谱仪中的每一个都安装在滑轨上，以便向前拖出，便于维护。 顶部安装的机箱盖包含流路切换阀组， 用于采样气体连接。它允许多个流路连接到每个独立的 散装气体分析器。这种流路选择可以是手动或完全自动完成。每一个大气压离子化质谱仪（ API-MS ）都是独立的，并且都具备多流路切换功能。当一台质谱仪进行年度固定维护时，可以使用其余三台质谱仪监测四个散装气体。 在这两种配置的机箱盖组件包含一个氢安全系统，以确保质谱仪在氢气泄漏时安全关闭。这个安全设备使用独立于质谱仪供电。如果需要有限的机动性，可以提供一组车轮，使该质谱仪能够安全地从一个测试点推送到另一个测试点。 每一个质谱仪通过使用后备电池闪存、运行实时的操作系统的处理器控制。这个处理器作为一系列内部控制器的主人，它们之间的通过以太电缆实现互联。 这些微处理器中的每一个都能作为一个独立部件单独运行，例如气体处理器和多流路进样系统。气体处理器仅需要一个单独的校准气瓶并结合了来自渗透管装置的湿度校准。 内部配电装置通过内部分析仪网络进行监测和控制。 这一设计拓展了 GasWorks 软件的诊断能力。每一个多处理器网络提供了冗余的通讯渠道，允许质谱仪可靠、不需要电脑工作站独立运行，直接传送样品流路数据和诊断信息至DCS或SCADA系统。每一个通讯渠道都可被配置为点对点的 光纤通讯或是硬接线的电流回路、多点连接 。每个分析器都可以配置一个嵌入式opc服务器，与 Microsoft 主机或多种工艺网关协议(Modbus, Siemens, Allen-Bradley, 等.)实现无缝通信 。如果需要质谱仪提供硬接线模拟检测和数字报警输出， OPTO 22 SNAP 和 OPTOMIX 协议将被完全支持，一系列硬件卡件能够使用。 Thermo Scientific GasWorks 软件 Thermo Scientific GasWorks 软件包为质谱仪操作提供了一个直观的、信息丰富且灵活的窗口。使用安装了Gasworks软件的一台电脑可以完成初始设置，过程数据和诊断信息的显示。我们也可以断开电脑与APIX的连接；APIX能够脱离与电脑的连接而独立运行于无人值守模式。 从设计概念到数代产品，完全认可的ISO 9001质量程序得到了软件团队的严格执行。 软件安装可以随时检查，以确保其可验证的完整性和正确性。软件更新可以远程上传。 技术参数测量方式APIX δQ: 1x 三重四级杆质谱分析器 APIX Quattro: 4x 三重四级杆质谱分析器质量范围1-300 AMU离子源类型大气压离子化离子源背景＜1 ppt放大器和动态测量范围100 MHz脉冲计数型检测器脉冲计数通道电子倍增器检测噪声每106 有10个数检测下限 10 ppt (根据组份变化)分析时间（典型） 1s每个组份流路切换时间（典型）15分钟至 1 ppb适合的大宗气体H2 , N2 , Ar, He串口连接类型RS232, RS422, RS485检测的污染物H02 , He, CO, CO2 , O2 , CH4 , Kr 和 Xe (其他污染物也可检测)外形尺寸APIX δQ: 1.9 m (H) x 0.7 m (W) x 0.65 m (D) APIX Quattro: 1.9 m (H) x 2.1 m (W) x 0.65 m (D)

Prima PRO质谱仪a）工作原理：Prima PRO质谱仪是非常强大的在线分析仪器，能够快速、准确灵活的分析多个流路、多个组分的气体。它采用磁扇扫描原理实现对多种气体浓度的检测，工作原理如下图：质谱分析仪工作原理图 由RMS多流路快速进样系统导入气体分子样品；经过离子源将该样品转为离子态片段或气体离子，然后按照样品离子的质荷比不同，对经过磁扇区进行分离，分离过程遵循如下基本物理公式： ，其中：r为离子运动的轨道半径，M是粒子的质量，V是加速电压（1KV），β是磁场强度，e是离子的电子电荷。只有在一定的V及β的条件下，具有特定质荷比M/e的正离力才能通过运动半径为r的轨道进入检测器。当V，r固定，M/e与β2成正比，连续改变扫描磁场强度,就可使具有不同的M/e离子顺序到达离子检测器。 被选定的离子进入检测器后形成微弱的电流信号，检测器的输出信号经过板载微处理器转换，最终输出的信号表征样气中各个组分的浓度。在整个分析过程中，质谱仪工作在真空状态。该真空系统，由两部分组成：由选装机械泵提供的初级真空和由涡轮分子泵提供的高度真空。 b）产品用途：在线质谱仪可从容应对石油化工应用的众多挑战，其中包括：? 石化、化工行业l 烯烃生产l 裂解炉优化l 环氧乙烷/ 乙烯乙二醇l 聚烯烃生产l 合成氨l 煤气化l 甲醇l 醋酸l 天然气处理l 有毒挥发性有机化合物（VOC）的泄漏? 钢铁行业：l 高炉尾气分析l 转炉尾气分析l RH和VOD精炼炉尾气分析l 直接脱碳（DRI）炼铁尾气分析l 煤气回收、燃料气和混气分析? 发酵、生物制药行业：l 生物能源l 工业酶l 生物材料l 生物量l 食品添加剂l 维生素l 药物l 预防药l 疫苗l 生长激素l 单克隆抗体l 激素l 融合蛋白l 细胞活素l 抗生素l 胰岛素l 溶栓 c)特点：●分析速快，可以实现实时、高速的在线分析●分析原理简单，方便使用者和维护人员快速掌握相关的信息●能够同时分析多个组分●能够实现多达32或更多流路同时分析●采用可靠地扫描磁扇技术●无需载气和助燃气，降低运行和维护成本 ●高精度、高重复性●非常可靠（超过99%正常工作时间） ●软件功能强大 d）技术指标：Prima Pro性能指标分析原理扫描磁扇，半径150px，80度偏转角。扫描磁扇质谱具有精度高，稳定性好，可靠性高，抗污染能力强，标定及其他日常维护间隔长，并且维护工作极其简单。质量范围可调整。离子加速电压为1000V时，质量范围1-150amu；离子加速电压为750V时，质量范围1-200amu。分辨率可通过两个收集解析狭缝进行切换，标准配置为60/40，1mm狭缝为60，4mm狭缝为20；也可以选择其他组合，如140/85，100/45，140/45。质量稳定性质量数为28时，0.013amu，24小时测量。峰形平顶峰，分辨率为60时，峰顶（99%峰高处的宽度）与峰底（5%峰高处的宽度）的比值为0.5。平顶峰使得质谱的分析精度和抗漂移能力都有极大提高。离子源封闭型，电子轰击式，氧化釷灯丝，温度控制（可在120-200 degrees C范围内设定，精度为± 0.1 degrees C）。检测器法拉第杯电荷计数器。进样阀32路快速旋转进样阀RMS，1/4”卡套接口。RMS切换迅速，死体积极小，可以加热至120摄氏度。内置进样流量测量元件，可对低流量报警。进样类型毛细管+分子渗漏，带旁路（标准配置）标定方式手动标定接口12个，1/4”卡套，可根据应用选择更多真空系统初级真空泵：旋转机械泵高级真空泵：涡轮分子泵样品流速对每个流路进行数字测量并记录精度0.1%，相对精度线性度1%相对精度动态范围10 ppb – 100%（理论值，根据实际应用）稳定性1%控制器内置工业CPU，独立的操作系统，不依赖外部电脑独立工作。与外部控制软件GasWork的通讯功能。电源230 VAC (± 10VAC)，50Hz数字输出1个，干接点，可根据应用选择更多。通讯MODBUS RTU，以太网，OPC.机箱温度控制质谱分析仪机箱侧面配有一个空调，压缩制冷方式，温度控制精度为+/- 0.5 deg C。安装方式壁挂式。仪表风300Nl/min = 18Nm3/h，压力为4-10barG，接口为1/2”。 Prima BT过程开发质谱仪a）工作原理：Prima BT是Prima PRO的小型化，其在基本原理和内部构造上基本与Prima PRO完全一致，是Prima PRO在小型试验装置或实验室开发过程应用的缩小版。它的分析性能指标几乎与Prima PRO完全一致，既可以作为实验室质谱仪使用，也可以作为小型在线分析仪使用。Prima BT过程开发质谱仪是非常强大的连续分析仪器，能够快速、准确灵活的分析多个流路、多个组分的气体。它采用磁扇扫描原理实现对多种气体浓度的检测，工作原理如下图： 质谱分析仪工作原理图 由RMS多流路快速进样系统导入气体分子样品；经过离子源将该样品转为离子态片段或气体离子，然后按照样品离子的质荷比不同，对经过磁扇区进行分离，分离过程遵循如下基本物理公式： ，其中：r为离子运动的轨道半径，M是粒子的质量，V是加速电压（1KV），β是磁场强度，e是离子的电子电荷。只有在一定的V及β的条件下，具有特定质荷比M/e的正离力才能通过运动半径为r的轨道进入检测器。当V，r固定，M/e与β2成正比，连续改变扫描磁场强度,就可使具有不同的M/e离子顺序到达离子检测器。 被选定的离子进入检测器后形成微弱的电流信号，检测器的输出信号经过板载微处理器转换，最终输出的信号表征样气中各个组分的浓度。在整个分析过程中，质谱仪工作在真空状态。该真空系统，由两部分组成：由选装机械泵提供的初级真空和由涡轮分子泵提供的高度真空。 b）产品用途：在线质谱仪可从容应对石油化工应用的众多挑战，其中包括：l 发酵研发 l 生物燃料研发 l 催化剂研发 l 热分析 l 人类热量研究 l 实验装置气体分析 l 析出气体分析 c)特点：l 最好的在线测量精度 l 最号的测量稳定性 l 界面有好的软件能够灵活设定分析方法 l 容错设计能够确保达到99.9%的运行时间 l 延长的预防性维护时间间隔 l 高度简单化的维护步骤l 出色的“分析仪到分析仪”重复性d）技术指标 Prima BT性能指标离子源 封闭式电子轰击源，双灯丝，带精密温度控制（120-200℃±0.1℃） 质量分析器 层叠式扫描电磁铁，150px半径，80°偏转 质量范围 1-150 amu 在1000 eV 离子能 (1-200 amu 在750 ev 离子能) 分辨率在两个分辨狭缝之间切换，分辨率60/20（标准）；可选140/85, 100/45 重量刻度稳定性 0.013 amu 在 28 amu 超过 24 hours 峰形 在分辨率60时，顶部宽度为底部宽度的一半 丰度灵敏度 250 ppm 以27/28为准检测器 法拉第检测器或法拉第和SEM双检测器（可选） 进样口16个，15个用于分析，另外1用于与标定口连接标定口6个，1/4”卡套进样类型 毛细管，带分子渗漏和旁路（标准） 真空系统 涡轮分子泵和旋转泵；可替换为涡轮分子泵和内部膜片泵 进样流量 数字测量和记录每一流路流量 精度 0.1% 相对 (典型, 依据应用) 线性 1%，样气浓度变化超过10倍 (典型, 依据应用) 动态范围 10 ppb – 100% (理论l, 依据应用，使用外部旋转泵）稳定性 1% 相对，超过1 周 (典型, 依据应用) 控制器内置工业CPU，独立的操作系统，不依赖外部电脑独立工作。与外部控制软件GasWork的通讯功能。电源230 VAC (± 10VAC)，50Hz通讯MODBUS RTU，以太网，OPC.安装方式桌面放置

仪器原理 大气中的挥发性有机物样品，具有组成复杂、含量低、活性强、浓度和化学活性差异大等特点，系统通过与Exp-200深冷预处理装置配合使用，结合氢火焰离子化检测器（FID）技术和质谱检测器技术（MSD）进行大气中VOC样品的在线分析监测。 样品经Pre-3000深冷预处理装置除水、富集浓缩后，通过直热式高温热脱附，被快速送入至毛细管色谱柱进行分离，分离后的样品，低碳（C2-C5）类VOC样品使用氢火焰离子化检测器（FID）进行检测；高碳（C6-C12）和含氧类VOC样品使用质谱检测器（MSD）进行检测，得到各单一组分准确的定性定量分析结果。 在线色谱-质谱分析仪充分利用了气相色谱的分离技术和质谱检测器的定性检测技术，可有效用于环境大气中复杂多组分VOC样品监测。一次采样可检测100多种各类VOC（碳氢化合物、卤代烃、含氧挥发性有机物）样品。仪器特点 工业标准系统设计，系统可靠性高；断电开机后，系统自动循环运行，维护量低； 低温电制冷技术，仪器体积小，整机采用19”标准机柜设计，安装维护方便； 质谱检测数据自动分析处理，结果直接输出，并传送至分析平台，无需人工计算； GC-FID、GC-MS双系统进行VOC检测，一次可检测100多种各类VOC（碳氢化合物、卤代烃、含氧挥发性有机物）； GC-FID系统使用预分离和阀切换反吹技术，避免高沸点组分进入分析系统，提高色谱柱的使用寿命； 对样品深度除水，解决水汽对色谱柱性能的影响；深冷富集可提高样品富集效率，解决含氧类VOC常温富集效率低、差异大的问题，提高检测灵敏度。应用领域　　环境空气组分分析监测　　环境空气痕量样品监测　　石化化工园区厂界挥发性溶剂及未知物组分分析　　科学研究

赛默飞旗下液相色谱LC、气相色谱GC、离子色谱（IC）、质谱（LC-MS/MS、GC-MS/MS、LCHRMS、GCHRMS、IOMS）、痕量元素分析（TEA）和样品前处理系统，是业界领先产品，能为科学分析创造出全新的可能性。主要产品：液相色谱（LC）液质联用（LC-MS/LC-MSMS）高分辨液质离子阱质谱气相色谱（GC）气质联用（GC-MS/GC-MSMS）高分辨气质痕量元素分析产品（AAS, ICP, ICP无机质谱离子色谱（IC）样品前处理设备（SP）水质分析仪（CDD）色谱数据系统（CDS）网络讲堂同位素技术在葡萄酒真伪鉴定和产地溯源中的应用离子色谱在有机化合物分析中的应用研究赛默飞三重四极气质联用仪在疾控领域中的应用赛默飞CSR(大体积进样技术)和NCI（负离子化学电离技术）在电子电器产品有害化合物分析中的应用赛默飞液相色谱柱在制药领域中的应用赛默飞2015版《国家药包材标准》色谱、光谱及元素分析解决方案赛默飞iCAP RQ ICP-MS新产品介绍及最新应用进展赛默飞色谱、光谱对食品中有毒有害物质分析应用更多信息：请访问赛默飞色谱与质谱分析的展台，展位号：SH100244。或使用域名登陆：http://www.instrument.com.cn/netshow/SH100244/

产品背景 近年来，我国雾霾频发使大气能见度下降，严重影响人们的日常生活和身心健康。针对严重的气溶胶颗粒污染状况，聚光科技与德国吉森大学展开合作，引进国际领先的单颗粒气溶胶质谱技术，推出大气颗粒物质谱监测系统LAMPAS（Laser Mass Analyzer for Particles in the Airborne State)，其经历二十多年发展，并在欧洲多个地方展开环境实地监测。该系统可广泛用于环境监测站、气象局、科研院所等环境空气质量监测场所中气溶胶颗粒物粒径和化学成分在线监测及在线源解析。产品特点 现场实时在线监测、高时间分辨率，在线分析颗粒物污染来源； 实现单颗粒气溶胶直接进样与精确粒径测量； 可测量几乎所有种类的气溶胶颗粒； 颗粒物粒径和化学成分同时测量，多成分正负离子同时检测； 无需繁琐的前处理，获得单颗粒质谱信息，更准确反映颗粒物的真实信息； 强大的数据记录与处理功能； 体积小，结构紧凑，仪器稳定性和机动性强； 总打击率高。产品原理 LAMPAS-3.0由进样系统、测径系统、激光电离系统和飞行时间质谱仪（ TOF-MS）组成，气溶胶颗粒通过差分真空透镜加速准直进入真空室；随后在测径区，由两束测径激光测量其空气动力学直径，并同时触发电离激光器；激光电离产生的正、负离子通过双极TOF-MS检测其化学成分。LAMPAS-3.0可获得气溶胶单颗粒物粒径大小和化学成分信息，同时通过将颗粒物谱图进行分类处理，实现颗粒物在线源解析功能。应用领域 环境监测：大气细颗粒物源解析，新粒子生成与灰霾形成机制，颗粒物混合状态； 机动车辆排放监测； 生物领域； 医疗领域； 极端气候研究； 工业过程监测：粉末生产，半导体加工； 吸入毒理学研究

价格货期电议在线质谱分析仪热催化分析上海伯东客户某大学采购在线质谱分析仪 Omnistar, 对经过热催化后的气体 CH4, NO, CO2 等气体进行分析. 热催化主要涉及在较低温度 (≤ 523 K) 的加氢反应, 生成 CH4, NO, CO2 等气体. 热催化是催化 CO2 转化最常用的方法之一.在线质谱分析仪使用方法: 在催化反应装置尾气段接入质谱分析仪 Omnistar GSD 350 02, 即可在线实时分析反应产物的种类及特性. 定量分析需要加配对应的标气, 利用氦气作为载体, 在测试前进行标定.若您需要进一步了解详情，请联络上海伯东叶女士

在线质谱分析仪与气体分离测试系统联用上海伯东客户某研究院采购在线质谱分析仪 Omnistar 与气体分离测试系统联用进行 CH4, CO, C2H2,CO2 的快速定量分析.在线质谱分析仪使用方法: 质谱分析仪通过毛细管与气体分离测试系统连接, 开始测试前加配对应的标气, 利用氦气作为载体, 在测试前进行标定. 采用 MCD 定量模式分析, 即可快速在线实时分析反应产物的含量.在线质谱分析仪 Omnistar GSD 350 01 主要参数质量数1-100 amu最大进气口压力1200 hPa检测极限 100 ppb气体流率1-2 sccm (0 °C)输入模拟5 x, -10 – +10 V, 14 bit | 16 bit不锈钢毛细管长度1m进样加热温度最高200 °C铱灯丝, Y2O32根鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解在线质谱分析仪, 请联络上海伯东叶女士

价格货期电议上海伯东客户某研究院采购 Pfeiffer 在线质谱分析仪 Omnistar GSD 350 O1 主要用于催化剂的吸附分析检测.在线质谱分析仪与化学吸附仪联用, 检测催化剂通过化学吸附后的微量的气体产物变化, 来进一步优化催化剂的催化性能. 可研究催化剂的 NH3-TPD, TPR, TPO 等反应, 通过 Omnistar 对吸附后的微量产物做更加清晰的定性和定量分析, 明确反应的机理和反应过程. 伯东质谱分析仪成功协助客户发现新的催化剂的拓扑结构!除此之外, 此客户还计划在后续的研究中, 采用伯东质谱分析仪 GSD 350 直接连接催化反应装置, 通过直接检测反应后的气体产物, 来做催化剂的在线研究和评价.上海伯东德国 Pfeiffer 质谱分析仪 Omnistar 体积小, 重量轻, 一体设计, 易于携带和搬运, 可方便快捷地应用于多个反应之中, 一台即可满足实验室后续的各种研究需求. 具有强大的软件分析功能 PV MassSpec, 提供多种质谱图谱库, 可以准确迅速, 定性定量地识别出检测到的未知产物, 是催化研究中不可或缺的科研仪器之一.在线质谱分析仪 Omnistar GSD 350 01 主要参数质量数1-100 amu最大进气口压力1200 hPa检测极限 100 ppb气体流率1-2 sccm (0 °C)输入模拟5 x, -10 – +10 V, 14 bit | 16 bit不锈钢毛细管长度1m进样加热温度最高200 °C铱灯丝, Y2O32根若您需要进一步的了解在线质谱分析仪 OmniStar, 请联络上海伯东叶女士

EnviroSafe多通道在线质谱分析系统能够实时检测、跟踪和监测有害物质的泄漏和生产工艺的安全问题，无需配置多套复杂的分析仪就能实现低成本、高收益的解决方案。该系统专门为有害物质的实时监测设计，在灵敏度、分析速度、响应时间和报告生成等方面提供了卓越的性能。实时监测几乎任何有害物质的能力使该系统成为工业安全的优秀选择之一，并符合国家和行业的相关标准或法规的要求。该系统安装在一个紧凑的、布局合理的机柜内以节省空间，可以灵活地选择放置该系统的位置。如果需要安装在危险区域，可以选择符合ATEX防爆标准的适用于安全1区的配置版本。该系统可以同时监测多达70个采样点位（可定制），这通常意味着整个工厂或园区可以只用一个系统进行监测。所有的样品点通过采样泵连续进样，确保当选择某一样品点时，“新鲜的”样品可以直接到达质谱分析仪。每个样本点的进样和检测时间是可选择的，并且可以按照预设的顺序进行检测。整个过程通过自动化的无人值守远程操作，也可以集成到工厂或园区的控制系统，检测报告可以自动生成，非常适合许多危险区域的实时监测，包括：氯乙烯/DCM生产和中试装置尿素/氨装置VOCs泄漏环境溶剂监测（如甲苯、苯乙烯、苯等）含氯化合物硫醇和胺气体洗涤器监测封闭/密闭工作场所腐蚀物以及许多其他应用领域 每一采样通路可实时监测多达64个组分，每一组分可以单独控制并设置报警参数，确保整个过程被监测，没有任何遗漏。具有真正的在线监测功能，EnviroSafe提供了一种比传统技术更快、更可靠的分析方法。EnviroSafe系统是基于英国ESS公司多年的现场经验，在为工业安全提供技术应用支持的同时，也验证了其数据的可靠性。EnviroSafe系统代表了工业安全预警监测和工作场所暴露监测中的众多先进技术的选择之一。

针对生物发酵尾气分析需求，SHP8400PMS过程气体质谱分析仪配置多通道采样系统，高稳定性四级杆质量分析器，耐水、耐氧性双灯丝离子源等进口关键部件。整个仪器精度高、漂移小 、响应快、维护少并且可以实现多个生物反应器发酵尾气实时、连续、精确的全组分气体分析 ，是提供发酵尾气监测的理想工具。详细信息 SHP8400PMS 过程气体质谱分析仪依托多年研发应用经验，以实时、高精度、在线监测多路生物过程气体为目标，配置16通道采样系统，具有指纹谱图库的电子轰击离子源，经典、成熟的四极杆质量分析器，性能稳定，使用寿命长的法拉第检测器等。另有专业设计的发酵尾气预处理系统，保证分析结果准确的同时确保了仪器不受溢罐等特殊情况的伤害。更高的投资回报率◆一台过程质谱多可同时分析15台发酵罐尾气组分，台均投入费用少；◆快速在线气体分析（每个取样点快30秒），准确反映工艺动态，给工艺优化提供强有力支撑；◆高稳定性，3-6个月的标定间隔，可长时间稳定运行；◆全组分分析，自动生成摄氧率（OUR）、二氧化碳释放率（CER）、呼吸商（RQ）等数据和曲线；◆自动化程度高，维护需求少，运营成本低；16通道采样系统◆每一通道均为独立进气和独立排气，彻底摒除通道间干扰◆连续流动式取样，保证气体的实时更新◆可控温的进气管路，有效防止过程气体在采样过程中冷凝全组分气体分析◆SHP8400PMS可实现气体全组分分析，除了提供N 2 、O 2 、C O 2 、A r等无机气体的监测结果，也能实现甲醇、乙醇、甲烷等有机气体的实时分析。高精度流量控制◆仪器内置温度补偿型全自动高精度电子流量控制系统，当样气状态改变时，自动进行流量调节，避免了样气压力、温度波动对数据准确性的影响，保证长期连续监测过程中数据的一致性。高稳定质量分析◆72小时内质量轴偏差优于0.1am u，是连续稳定监测的可靠保证。全中文在线质谱分析工作站◆采用新一代Fluent Ribbon用户界面，在提供丰富信息的同时，降低操作难度，易于用户掌握。质谱仪在线监控示意图 在线气体前处理系统◆针对生物过程设计的多通道样气在线处理系统，具备除尘、除湿、除泡沫、控温及调压等功能，保证样气的真实快速传输和质谱仪的长期稳定运行。 完美兼容各种发酵控制系统和工艺分析软件◆软件的数据存储格式和内部交换格式均采用通用的工业标准，与其他软件系统完美兼容。 SHP9000PA在线监控及工艺分析软件◆中文软件界面，适用于工业生产以及实验室多参数过程监控，可根据用户工艺流程定制工艺画面，通过实时数据的采集即时掌握整个工艺流程的概况。◆支持各类工业P LC ，数据采集装置以及本公司在线质谱仪等各类在线分析仪器。自动生成摄氧率（OUR）、二氧化碳释放率（CER）、呼吸商（RQ）等数据和曲线，提供趋势图，柱状图等显示监测数据或历史数据，可更直观地对参数进行分析处理，用户可轻易发现参数之间的相关性，同时按要求格式保存输出。◆可输出控制信号，具有报警功能。

SHP8400PMS-I 防爆型过程气体质谱分析仪，将前沿的在线质谱分析技术与针对性的行业解决方案相结合，实现过程气体的实时、在线分析。通过多通道采样实现多点监测，提供多组分、多流路同时分析。该款质谱分析仪适用于易燃易爆环境和复杂工况环境下的过程气体多组分同时分析，满足长期不间断在线分析和多路不同样品监测的需求。设备简介： SHP8400PMS-I防爆型在线工业质谱仪可用于危险及复杂工况环境下的气体成分快速在线分析，具有防爆、防水、防尘等防护功能。仪器可实现高精度多组分同时检测，提供精准的定性定量测试，并可与生产反应调控过程关联。高精度流体控制◆仪器内置温度补偿型全自动高精度电子流体控制系统，当样气状态改变时，自动进行流量调节，避免了样气压力、温度波动对数据准确性的影响，保证长期连续监测过程中数据的一致性。高稳定质量分析◆72小时内质量轴偏差优于0.1amu，是连续稳定监测的可靠保证。可靠的长期稳定性◆连续36天监测空气中Ar的含量，大标准偏差优于0.4，满足长期连续监测的实际需要。智能在线监控◆在线监控真空度、气路温度、分子泵状态等系统运行参数，如有异常情况出现，立即报警或停机，大程度保障运行安全。精益管理解决方案降低投资成本◆单台质谱仪轻松取代多台气相色谱仪，不仅降低设备投资费用，减少了占地面积，也节省了分析小屋的成本。◆多个工艺气流的各种气体分析数据由一台质谱仪提供，简化了与控制系统的连接，也更为高效。减少运行成本◆质谱仪运行无需载气、助燃气、色谱柱等，避免了气相色谱仪的高维护成本和气体消耗。 在线质谱分析控制原理示意图

Aston™ 质谱分析仪安全地减少设备停机时间预防性维护是良好晶圆厂管理与安全第一的理念支柱. 刻蚀和沉积设备需要定期脱机进行深度清洁和/或打开工艺室进行部件更换. 考虑到沉积或蚀刻工艺设备的每小时折旧和生产损失可能轻易超过 1000美元/小时, 减少设备停机时间是至关重要的. 但是, 考虑到许多工具都有高度腐蚀性的清洁气体或工艺副产物气体, 如 HCl, NF3, HBr, HF, F, Cl, 如何安全地停机维护是一个挑战.问题在打开腔室进行日常维护之前, 需要安全地清除腔室内的工艺副产品或清洁循环中的残留工艺气体, 然而,挑战在于如何确保腔室在打开之前是安全的并且没有有害残留气体. 已知的一个方法, 确保工艺室不含有害残留气体（包括由表面去吸收产生的残留气体）的方法是运行（过长）长压力循环吹扫气体. 在没有计量或反馈的情况下, 吹扫周期需要足够长以确保腔室没有有害物质, 这会导致效率低下, 周期长和设备停机时间长. 由于灵敏度和等离子体可用性的问题, 不能使用常见的计量解决方案, 例如光学发射光谱. 传统的残余气体分析仪在腐蚀性气体环境中工作时面临挑战, 这可能导致电子冲击灯丝在长吹扫周期中腐蚀和故障.上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱分析仪减少设备停机时间解决方案Aston 原位质谱仪可以进行快速, 化学特异性原位定量气体分析, 以实现准确和快速的腔室吹扫终点检测. 与典型的基于时间的清洗程序相比, 这可以节省大量的设备停机时间。 由于 Aston™ 质谱分析仪可用于加速泄漏检测和腔室老化到已知良好腔室化学指征, 因此可以实现清洁后的进一步停机.在不需要等离子体的情况下, 每秒可以采集数十个样本, 灵敏度低至 100 PPB（十亿分之几）水平. 除了基于灯丝的电子碰撞电离源外, Aston Plasma 还提供内部等离子电离能力. 双电离源支持较宽的工艺压力范围, 等离子电离允许分析较高压力下的苛刻气体, 而不会出现残留气体分析仪中常见的灯丝腐蚀问题.通过减少设备停机时间和重新调试, 可以在不到 12 个月内实现回报, 此外, Aston™ 质谱分析仪还为现场过程监控和管理提供了价值优势.Aston™ 质谱分析仪是一种具有成本效益的解决方案, 可在日常维护和后续维护后投产调试前实现快速, 安全的腔室清洗. 除了 Aston ™ 在沉积和蚀刻过程控制中提供的过程监控优势外, 还可以通过原位测量灵敏度和速度来显着减少设备停机时间.若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：上海伯东: 罗先生

Atonarp 质谱分析仪 Aston™ 半导体 CVD / ALD 应用上海伯东代理日本 Atonarp 过程控制质谱仪 Aston™ 为半导体生产而设计, 作为一个强大的平台, Aston™ 可以取代多种传统工具, 提供半导体制程中 ALD, CVD, 蚀刻, ALE 和腔室在大批量生产中的气体侦测分析, 实现尾气在线监控, 诊断并在一系列应用中提供更高的控制水平, 适用于光刻, 电介质和导电蚀刻及沉积, 腔室清洁, 腔室匹配和消解.Aston™ 质谱分析仪耐受腐蚀性气体和气化污染物冷凝液, 能够在半导体生产遇到的恶劣工况下可靠运行, 与传统质量分析仪相比, 使用 Aston™ 的维修间隔更长. 它包括自清洁功能, 尽可能的清除由于某些工艺中存在的冷凝物沉积而导致的污垢积累.Aston™ 质谱分析仪典型应用: 保护 CVD 工艺免受干泵故障的影响真空泵是半导体加工厂中应用广泛的设备之一. 真空泵对于在真空环境操作下的各种化学气相沉积工艺至关重要, 这些工艺在真空下运行, 以确保在较低的加工温度下获得均匀, 保形的沉积涂层. 干泵通常是惰性且可靠的, 但在苛刻的半导体制造工艺中进行泵送时, 干泵可能会出现意外故障.灾难性故障电介质沉积冷凝液和苛刻的工艺气体 (如 NF3) 可能会导致性能下降或突然失效模式, 包括沉积物突然吸入, 排气堵塞, 沉积导致干泵卡死以及干泵部件的腐蚀退化. 干泵故障通常会对 10片甚至 100片在加工中的晶圆造成不可修复的损坏. 此外, 工具停机和清理可能会导致大量开支和收入损失.CVD 工艺过程中, 已污染的干泵上海伯东 Aston™ 质谱分析仪提供解决方案通过在故障前, 提前更换或使干泵离线, 可以减轻灾难性的真空损失, 从而提高生产线良率.数据驱动干泵故障预测. 通过测量进入 (进气) 和排出 (排气) 干泵的气体的分子类型和质量 (分压), 可以对破坏性腐蚀或沉积物堆积进行建模. 仅气体压力和体积仅部分指示气流的腐蚀性或堵塞性. 至关重要的是流经干泵的气体成分. Aston™ 质谱分析仪通过对干泵暴露在气体浓度下的情况进行建模, 并将模型与实际泵故障相关联, 可以较准确的预测干泵的预期运行寿命.在恶劣的 CVD 环境中, Aston™ 利用可操作的数据预测和预防因 PV-CVD 干泵引起的灾难性故障, 能够对破坏性腐蚀或沉积进行预测建模, 优化氮气吹扫成本.适用场景: 多个腔室连接到 1个干泵, 高浓度的电介质会导致灾难性的泵故障 (一次损失 10-100 片的晶圆)通过使用上海伯东 Atonarp 过程控制质谱仪 Aston™ 可以提高半导体制造工艺的产量, 吞吐量和效率, 此款质谱仪可以在新工艺腔室的组装过程中进行安装, 也可将其加装到已运行的现有腔室, 可在短时间内实现晶圆更高产量! Atonarp 质谱由统一的软件平台, 光学和质谱技术的突破性创新提供支持, 可提供实时, 可操作, 全面的分子谱分析数据.Atonarp Aston™ 质谱仪半导体行业应用1. 介电蚀刻: Dielectric Etch2. 金属蚀刻: Metal Etch EPD3. CVD 监测: CVD Monitoring4. 腔室清洁 EPD: Chamber Clean EPD5. 腔室指纹: Chamber Fingerprinting6. 腔室匹配: Chamber Matching7. 高纵横比蚀刻: High Aspect Ratio Etch8. 小开口面积 0.3% 蚀刻: Small Open Area 0.3% Etch9. ALD10. ALE若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：上海伯东: 罗先生

上海伯东代理德国 Pfeiffer 在线质谱分析仪与吸附仪联用(TPD-MS)化学吸附仪是一款用于动态程序升温研究的重要仪器，它能够对催化剂进行 TPD、TPO、TPR、TPS、TPSR 等研究，为了对程序升温过程中生成的产物进行细致的定性定量分析(即为了判别逸出气体的种类并进行检测)，常常需要与在线质谱联用。在线质谱分析仪与吸附仪联用 (TPD-MS) 作为一种新型的在线分析手段，可以准确定性定量分析脱附溢出气体的组分和含量。在线质谱与吸附联用现已广泛应用于化学催化相关领域。上海伯东代理德国 Pfeiffer 在线质谱分析仪 OmniStar 可与美国康塔 Quantachrome、美国麦克 micromeritics 等国际知名品牌吸附仪联用。Pfeiffer 在线质谱分析仪与吸附仪联用(TPD-MS)客户案例(一)：上海伯东客户采购 Pfeiffer 在线质谱分析仪 OmniStar用于一氧化碳催化氧化反应。在线质谱分析仪 OmniStar可以表征不同环境气氛对催化剂 CO 低温氧化性能的影响，通过分析 H20、CO2、CO、H2的浓度含量变化确定催化剂催化体系工艺。在线质谱分析仪与吸附仪联用不仅深入了解了催化反应机制，还使得催化剂的催化效率提高30% 以上。Pfeiffer 在线质谱分析仪与吸附仪联用(TPD-MS)客户案例(二)：上海伯东客户某研究院质谱分析仪与吸附仪联用目的就是用来测量支撑基板上附着的活性金属表面积的大小、活性金属的分散度和活性金属含量的百分比。在线质谱分析仪与吸附仪联用客户案例(三)：上海伯东客户某大学采购在线质谱分析仪 OmniStar 搭配分子泵组 Hicube 300 用于热声学材料，水解析实验(催化)。Pfeiffer 在线质谱分析仪与吸附仪联用(TPD-MS)客户案例(四)：上海伯东代理的德国 Pfeiffer 在线质谱分析仪与麦克化学吸附仪联用，先使催化剂饱和吸附吸附质，然后程序升温，记录在升温脱附过程中氨气、水气等气体变化，同时显示温度和电压线性图。* 鉴于信息保密，更详细的质谱分析仪与吸附仪联用经典案例欢迎致电 021-5046-3511上海伯东主营真空品牌:德国 Pfeiffer 真空设备 美国 Brooks Polycold 冷冻机 美国 KRI 考夫曼离子源 美国 HVA 真空闸阀:美国 inTEST(Temptronic)高低温循环试验机 日本 NS 离子蚀刻机等。

仪器简介：英国Hiden公司的QIC 20 小型在线气体分析质谱仪是一台完备的台式气体分析系统，用于监测气体和过程分析，便于生产、研究使用。应用： 过程监测 在线分析 污染物研究 CVD / MOCVD 环境气体分析 热分析质谱 催化剂研究/ 反应动力学技术参数： QIC 直接进样，对气体、蒸气的响应时间 1～20 sccm / min连续进样 取样压力：100 mbar ～ 2 bar（可选配10mbar－2bar） 高压取样接口至30 Bar（选配） 灵敏度高 (0.1ppm标配，可选配至 5 ppb) 质量数：1-200amu标配。可选配50amu，100amu，300amu,510 amu。主要特点： 高效、柔韧、加热(直到200℃)惰性石英毛细管（QIC) 惰性毛细管避免了气体与毛细管发生物理或化学反应 自动流量控制，以恒定离子源压力 液氮低温板（选配），增强对可凝结的背景气体的抽吸 软离子化技术，有利于分析复杂有机物 稳定性(24h以上，峰高变化小于±0.5% ) 通过RS232、RS485或以太网连接计算机，由 MASsoft 软件控制 定量分析方法

上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱分析仪无等离子体设计,可以实现快速, 化学特定的原位定量气体分析, 与光学发射光谱 OES 对比, Aston™ 质谱仪 的 OA% 灵敏度显示为 0.25%, 适用于半导体工艺中蚀刻计量控制, ALD, 3D-NAND 和新兴的堆叠式 DRAM.半导体蚀刻工艺挑战日益增加蚀刻是半导体制造中常用的工艺之一. 介电蚀刻用于形成绝缘结构, 触点和通孔, 多晶硅蚀刻用于在晶体管中创建栅极, 金属蚀刻去除材料以显示电路连接图案并钻穿硬掩模.连续蚀刻铝 Al, 钨, 铜 Cu,钛 Ti 和氮化钛 TiN 等工艺金属具有挑战性, 因为许多金属会形成非挥发性金属卤化物副产品（例如六氯化钨 WCl6）, 这些副产品会重新沉积在蚀刻侧壁上, 导致成品率降低（通过微粒污染或沉积材料导致短路）.随着半导体行业不断缩小关键特征尺寸并采用垂直扩展 (如 3D-NAND 存储器和全环绕栅极先进技术节点), 各种新的蚀刻挑战已经出现. 这些包括在晶圆上蚀刻更小的特征, 高展弦比 HAR 沟槽蚀刻 (具有小的开放面积百分比- OA%), 以及在新兴的非挥发性存储器和高 k介质中蚀刻金属闸极, 稀土金属等新材料. 对于先进的纳米级工艺, 如蚀刻到硅介质和金属薄膜, 选择性处理, 如原子层蚀刻 ALE 一次去除材料的几个原子层. ALE 提供了比传统蚀刻技术更多的控制. 对于 3D-NAND 和先进 DRAM 来说, 向批量生产过渡的重大挑战包括解决导体蚀刻困难的要求, 满足积极的生产斜坡和实现所需的吞吐量, 以推动成本效益.上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱分析仪提供高性能, 嵌入式和可靠的原位定量分子气体计量已经成为验证工艺室和持续监测工艺化学过程的关键工具, 确保生产环境中的高产率和更大吞吐量.Aston™ 质谱分析仪提供全腔室解决方案使用上海伯东 Atonarp Aston™ 质谱仪通过实时, 定量和精确的分子传感器来解决半导体新兴蚀刻工艺技术相关的关键挑战. 通过解决传感器耐久性, 灵敏度, 匹配, 系统集成和易用性等方面的挑战, 日本 Atonarp Aston™ 质谱仪升级了传统的气体分析计量方法. Aston 是一种全室解决方案, 用于在各种工艺步骤中实时监测前体, 反应物和副产物.这些包括基准室和过程指证, 腔室清洁, 过程监测 (包括存在腐蚀性气体), 颗粒沉积和气体污染物凝结. 小的占地面积和灵活的通信接口允许在室内安装和集成到过程设备控制系统. 为了集成到半导体工艺工具中, Aston 质谱分析仪的高性能和可靠性设计用于生产晶圆的大批量生产过程控制.Aston™ 质谱分析仪半导体蚀刻计量控制半导体行业正从二维结构的扩展转向复杂三维结构的挑战性要求. 传统的离线晶圆测量已不足以实现性能和良率目标, 原位蚀刻测量传统上缺乏生产所需的鲁棒性和可重复性. Aston™ 质谱分析仪的结构中嵌入了专利技术, 使其具有卓越的分析和操作性能. 为了满足过程控制和跨工厂生产工具匹配的严格要求, Aston 从头开始设计, 高运行时间和低维护的吞吐量, 长期信号稳定性和可重复性.为了承受腐蚀和沉积过程的恶劣环境, Aston™ 引入了两个的功能: 等离子电离和自清洁 (ReGen™模式). 等离子体电离消除了由于与腐蚀性气体(如NF3, CF4, Cl2)的反应而导致的灯丝降解. 此外, 除去(正硅酸四乙酯) TEOS 等颗粒和蒸汽污染物沉积, 同时定期进行室内清洁循环, 延长了 Aston™ 质谱仪的使用寿命. ReGenTM 模式使仪器能够使用高能等离子离子清洗自身, 通过去除在膜沉积过程中可能发生在传感器和腔室壁上的沉积. 结合这两个功能, 传感器的灵敏度可维持在数百个RF(射频)小时的操作. Aston质谱仪支持的基于测量的控制, 有可能延长清洗间隔 MTBC 的平均时间. MTBC 的增加意味着工具可用性和长期吞吐量的增加. 除了等离子电离器(用于工艺), 传感器还配备了传统的电子冲击 EI 灯丝电离器, 用于基线和校准.分子传感器的分析级是使用微米级精密双曲电极的四极杆. 由高度线性射频(RF)电路驱动, Aston 质谱的HyperQuad 传感器在 2到300 amu的质量范围内具有更高的分析性能.Aston™ 质谱分析仪技术参数参数值质量分辨率0.8u质量数稳定性0.1u灵敏度(FC / SEM)5x10-6 / 5x10-4 A/Torr最低可检测的部分压力(FC / SEM)10-9 / 10-11 Torr检测极限10 ppb最大工作压力1X10-3 Torr每 u 停留时间40 ms每u扫描更新率37 ms发射电流0.4 mA发射电流精度0.05 %启动时间5mins离子电流稳定 ±1%浓度的准确性 1%浓度稳定±0.5%电力消耗350w重量13.7kg尺寸400 x 297 x 341mm高展弦比 HAR 3D 蚀刻随着多模式技术和 3D器件结构的出现, 高度密集的蚀刻和沉积过程驱动了计量需求. 3D多层膜栈, 如 NAND 存储架构, 代表复杂的, 具有挑战性的蚀刻过程, 具有关键的蚀刻角度, 统一的通道直径和形状要求, 尽管高蚀刻纵横比通道 100:1 是常见的. 对于 3D-NAND, 关键导体蚀刻过程包括阶梯蚀刻(下图)和用于垂直通道和狭缝的 HAR 掩模打开. 通过硝酸硅和氧化硅交替层蚀刻需要高速定量终点检测. 对于 DRAM, 蚀刻过程包括 HAR 门, HAR 沟槽和金属隐窝. 对于阶梯蚀刻, 关键是在整个 3D堆栈的每个介质膜对的边缘创建等宽的“步骤”, 以形成阶梯形状的结构. 在器件加工过程中, 这些步骤的大量重复要求蚀刻高吞吐量和严格的过程控制.多功能现场气体计量需要在一个工具中执行多种监测功能:• 检测和量化污染, 交叉污染, 气体杂质和工艺室内的工艺化学• 评估已开发的蚀刻过程在生产工具 / 运行的复杂功能上的性能• 测量刻蚀后的清洁 (包括先进的无晶圆自动清洁 WAC) 作为腔条件对于消除工艺漂移和确保可重复性性能是至关重要的• 快速准确的蚀刻端点检测 EPD, 通过等离子体或气体监测, 因为这是一个关键的控制功能. 举例包括一氧化碳 CO 副产物在介电蚀刻中下降或氯 Cl 反应物在多晶硅和金属蚀刻端点上升.• 全面的实时计量数据, 允许过程等离子体和反应物的动态腐蚀控制, 以管理要求的腐蚀剖面Aston™ 质谱分析仪无等离子体终点检测虽然光学发射光谱 OES 已被广泛用于蚀刻 EPD, 但低开放面积 OA 和 HAR 设计的趋势使其在许多蚀刻任务中无效. OES 技术需要等离子体'开'和发光物种. 随着昏暗和远程等离子体越来越多地用于 3D设备和原子水平蚀刻 ALE 工艺, 需要更多敏感的数据和分析技术来实现迅速和确定的 EPD. 此外, 脉冲等离子体通常用于管理 HAR 和 低 OA% 工艺的蚀刻剖面, 这使得 OES 对于 EPD 来说是一个不切实际的解决方案. 在3D 结构中, 多层薄膜和多个接触深度阻碍了每一行触点到达底部时端点的光学发射信号的急剧步进变化其他 OES 限制包括:• 在电介质蚀刻中, 在 OA 5% 的模式上进行 EPD一直具有挑战性, 因为 OES 在低浓度下具有低信噪比.在高压Si深蚀刻(例如博世工艺)中, 要求 OA% 的 EPD低于 0.3%, OES 中较大的背景噪声水平抑制了对发射种数量的任何变化的检测.• 在金属蚀刻中, OA% 可能低于10%, 这取决于所涉及的互连尺寸. 对于接触和通过蚀刻, OA 可以在0.1-0.5%之间或更低, 这取决于所涉及的特征的大小. 在钨 W 蚀刻的情况下, 随着 OA的减小, 氯 Cl 反应物的消耗减少, 由于材料运输到 HAR 蚀刻特征, 蚀刻趋于放缓. 这两个因素都降低了反应气的消耗率. 因此, 由于等离子体中反应物的耗尽, 很难看到在终点处 OES信号的显著变化.Aston™ 质谱仪可以利用蚀刻反应物和 EPD 的副产物. 此外, Aston 能够在小的, 有限体积的传感器上运行周期性清洗, 以保持其性能(灵敏度), 在延长晶圆运行次数的情况下获得更大的正常运行时间. 然而, OES 要求在腔室上有一个需要保持清洁的访问窗口，以获得足够强度的稳定信号。通常，加热石英窗用于减缓工艺产品的堆积. 使用 Aston™质谱分析仪，在低浓度下的检测不受等离子体发射的背景光谱的影响, 也不受射频功率脉冲期间等离子体强度波动的影响.图 3a/3b 显示了 CO+和 SiF3 +的副产物 OA%下降到0.25%的电介质腐蚀EPD数据数据清楚地显示了线性行为和在低浓度下的检测不受等离子体发射的背景光谱影响. Aston 质谱的 ppb 灵敏度是针对 0.1%以下的 OA性能.原子级蚀刻 ALE在三维结构中, ALE 过程中的逐层去除需要脉冲射频电源来控制自由基密度和较低的离子能量, 以减少表面损伤和保持方向性. 在这样的光源中, 等离子体的整体光强较低, 并表现出波动幅度. 通常等离子体离晶圆区很远(距晶圆区25厘米), 而且等离子体激发的副产物很少, 使得光学测量不切实际.在 ALE中, 由于每个周期都是自我限制的, 端点检测可能不那么重要. 然而, 在缺乏气体分析的情况下, 工艺工程师对监测腔室和工艺健康状况“视而不见”, 因为无法看到化学状态, 特别是在工艺步骤 (吸附/净化/反应/净化) 之间过渡时的动态状态, ALE 的自限性并不能使它不受过程漂移的影响. 此外, 由于 ALE 不是基于等离子体的, 因此过程中的化学变化不一定可以通过等离子体监测检测到.有一种误解, 认为 ALE 技术实际上是一次一个原子层 相反, 它们每循环的去除/沉积量可能比单分子膜多一点(或少一点). 由于真空泵性能, 晶圆温度或离子轰击能量 (电压) 的变化分别导致表面饱和度和表面反应性的变化, 工艺移位(Å/周期的变化)可能发生.在 ALE (下图)中,由于等离子体的使用不一致, 化学监测方面的差距就不那么明显了. 在这种情况下, Aston™ 质谱仪具有以下优点:• 在每个工艺步骤中建立一个腔室化学状态的指证. 这可以参照其自身的正常行为, 也可以参照标准腔• 描述和监控与化学变化相关的动态过程中, 从一个步骤过渡到下一个步骤• 监测在 ALE 循环第一步之后从系统中清除吸附物质的时间. 等离子体通常用于产生吸附物质(自由基), 但它是在远离晶圆片的地方产生的• 监测 ALE 循环第二步反应产物的变化. 等离子体光强通常较低, 因为它使用了低占空比的脉冲射频• 监测反应产物和反应物在ALE循环第二步后被净化的时间结论原子级蚀刻只能使用像上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱仪这样的分子传感器进行真正的测量和监测. 它的高灵敏度, 速度和对等离子体强度变化的低敏感性产生可靠的定量测量, 即使在低浓度的反应物和副产物, 具有低于1% 水平的高精度, 可以监测微妙的过程漂移和过程变化效应, 提供了可用于机器学习模型的见解.利用其高扫描速度, 通过监测反应产物减少的时间来实现步进时间优化, 因为它是表面反应活性变化的指示, 增加了总体吞吐量.ALE 是先进的蚀刻技术, 上海伯东 Aston 质谱仪为 ALE 提供了先进的化学计量技术, 可以测量和控制反应及其持续时间, 为大批量生产提供了可靠的解决方案.若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：上海伯东: 罗先生

LFMSM-2016 ICP-MS水质自动分析仪基于《水质 65种元素的测定 电感耦合等离子体质谱法》（HJ 700-2014）标准设计，以电感耦合等离子体质谱联用仪为检测器，可满足水中66种元素的在线监测要求。适用于地表水、地下水、生活饮用水以及工业废水等水体中重金属和无机元素的检测。产品概述 LFMSM-2016 ICP-MS水质自动分析仪通过控制单元控制系统实现自动取水，自动完成点火、标定、进样、测试、数据上传等功能。针对现有ICP-MS现场应用方面的制约，LFMSM-2016提供可溶性元素分析和元素总量分析两种工作模式。为应对可溶性元素分析，该系统依照HJ 700-2014 《水质 65 种元素的测定 电感耦合等离子体质谱法》可溶性样品要求，设计全自动化0.45μm 过滤方式，完全依照标准运行。整个系统可实现一键可溶性元素分析和元素总量分析（过滤/消解）测试。功能特点01抛弃式过滤完全依照HJ 700-2014可溶性元素预处理要求，首次实现采用0.45μm抛弃式滤带过滤，单个样品采用单独过滤，前后水样之间不存在任何残样稀释或交叉污染情况。同时采水管道中加滤材方式，很好解决历史高浓度水样对后续监测存在长期残留影响；02检测指标多对超标等异常未知元素快速筛查和准确定性定量，应急监测准确、可靠，可对水中铜、锌、硒、砷、汞、镉、铬、铅、铁、锰、钼、钴、铍、硼、锑、镍、钡、钒、钛、铊、银、铝22种元素同时测定，通过扩展可实现66种元素监测。03线性范围宽部分元素低至ppt级别的元素定量下限，以及出色的抗干扰能力，可满足实际应用过程中痕量、超痕量的分析需求。同时匹配的前处理单元可实现在线稀释，满足不同场景监测需求；04分析速度快单次同时实现样品所有重金属元素的检测分析，单次测量时间3min~5min（分析仪完全预热且连续监测时，不含分析仪重新点火后稳定、测试完后熄火系统冷却时间）；05抗干扰力强通过质荷比进行定性，不受基质、色度、浊度等因素干扰，分析软件内置校正方程以及内标校准算法；06全过程监控运行过程，对工作模式、仪器关键部件状态信息、辅助设备信息实时监控，大幅提高了LFMSM-2016系统的无人化操作运行，并获得极佳的稳定性和可靠性。

3D NAND 工艺通过堆叠存储单元, 提供更高的比特密度, 上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱分析仪适用于先进半导体工艺（如沉积和蚀刻）所需的定量气体分析. 沉积应用中: 实时过程气体监控，以驱动自动化工具调整以实现过程控制, 沉积步骤之间的终点检测, 实现层的化学计量工程 蚀刻应用中: 以 ppb 为单位测量的工艺气体和副产品, 启用端点腔室清洁.3D NAND 工艺概述工艺步骤 堆叠沉积: 交替氧化物（蓝色）和氮化物（绿色）薄膜沉积（每个堆叠 200 对） 通道蚀刻: 沉积硬掩模, 形成开口, 高纵横比通道贯穿所有层（每个晶片1 万亿个孔） 阶梯蚀刻: 字线的接触焊盘是使用产生阶梯结构的受控蚀刻来创建的. ASTON 优势 均匀的厚度对电气性能至关重要. Aston™ 质谱分析仪可实现厚度控制, 层定义和化学计量工程. 高纵横比通道孔需要从上到下完整且均匀, 没有弯曲或扭曲. Aston™ 质谱能够在腔内测量蚀刻反应物. 蚀刻轮廓控制精度（埃）. 蚀刻深度能力（微米）.Aston™ 质谱仪通过动态测量化学物质来实现蚀刻 工艺步骤 狭缝蚀刻: 沉积硬掩模层, 形成硬开口图案, 蚀刻狭缝以分离通道孔列. 这将创建一个存储单元阵列. 字线沉积: 在一些 3D NAND 方案中, 去除氮化物层, 然后使用由内向外的原子层沉积工艺（紫色）创建钨字线. 晶圆上最终 3D NAND 结构的横截面 ASTON优势 Aston™ 质谱仪通过连续测量反应物来实现蚀刻的均匀性和精度. 去除氮化层并填充钨. Aston™ 质谱仪实现了分子水平的控制. 来源: Lam Research: 3D NAND - Key Process Steps (2016) url: https://www.youtube.com/watch?v=hglK1cf3meM Aston™ 质谱仪优势ppb 级灵敏度的高速采样非常适合高纵横比的 3D 结构耐腐蚀性气体, 坚固紧凑易于集成到工具平台中沉积应用中: 实时过程气体监控，以驱动自动化工具调整以实现过程控制, 沉积步骤之间的终点检测, 实现层的化学计量工程蚀刻应用中: 以 ppb 为单位测量的工艺气体和副产品, 启用端点腔室清洁 Atonarp Aston™ 质谱分析仪技术参数类型Impact-300Impact-300DPPlasma-200Plasma-200DPPlasma-300Plasma-300DP型号AST3007AST3006AST3005AST3004AST3003AST3002质量分离四级杆真空系统分子泵分子泵隔膜泵分子泵分子泵隔膜泵分子泵分子泵隔膜泵检测器FC /SEM质量范围2-2852-2202-285分辨率0.8±0.2检测限0.1 PPM工作温度15-35“℃功率350 W重量15 kg尺寸299 x 218 x 331 LxWxH(mm)400 x 240 x 325 LxWxH(mm)若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：上海伯东: 罗先生

价格电议Pfeiffer 新一代在线质谱分析仪 OmniStar 和 ThermoStar 上海伯东德国 Pfeiffer 全新一代高效气体分析质谱仪, 使用 PV MassSpec 软件进行定性和定量分析. 测试质量数范围为 1 至 100 amu, 1 至 200 amu 和 1 至 300 amu. 整机操作简便, 设计紧凑, 可定制化模块.Pfeiffer 在线质谱分析仪 OmniStar 和 ThermoStar 优势 检测限低 100 ppb彩色7英寸触摸显示屏或网络用户界面 可定制化模块 装置小巧便携, 总重量约 23 kg测量时间快, 最快 1 ms/amu 响应时间 自动校准和调整 气体分析仪 OmniStar 和 ThermoStar 由进气系统, PrismaPro 质谱仪, 干式隔膜泵和涡轮分子泵组成. 它们的特点是有一个加热过的温度调节进气口系统, 与 FTIR 和 IR 这样的方法相比, Pfeiffer 气体分析仪更适合于气体的定性和定量分析. 进气口配有一个能加热至 350°C 的毛细管, OmniStar 采用不锈钢毛细管, ThermoStar 采用石英玻璃毛细管. 加热毛细管在样气分析时防止蒸汽冷凝, 这种两段式的进气系统使气体供应免分离.在线质谱分析仪 OmniStar 和 ThermoStar 技术参数:型号GSD 350 – OmniStarGSD 350 – ThermoStar质量数范围 amu1–100 / 1–200 / 1–300进样管不锈钢毛细管石英毛细管进气口通过软件控制的进气阀或用户界面常开减压2 级, 无隔离气体流速 sccm1–2样气压力 hPa (mbar)高达 1,000毛细管工作温度 °C高达 350杆系统, 材料/直径/长度 mm不锈钢 / 6 / 125探测器C-SEM / Faraday质谱仪电子器件PrismaPro软件PV MassSpec有助于相邻质量: 40 到 41 10 ppm / 20 ppm / 50 ppm最低检测限 C-SEM 100 ppb解析度, 在 10% 峰值高度时可调, amu0.5 – 2.5驻留时间1 ms–16 s/amu尺寸 (l x w x h), mm615 x 358 x 274重量 kg23上海伯东 Pfeiffer 在线质谱分析仪应用 新一代气体分析仪 OmniStar / ThermoStar 特别适合应用于化工工艺, 半导体, 冶金, 发酵, 催化作用, 冷冻干燥和环境分析等方面.若您需要进一步了解详细信息-请联络上海伯东罗先生

上海伯东代理德国 Pfeiffer 在线质谱分析仪与红外光谱仪和热重联用 MS-IR-TG上海伯东代理德国 Pfeiffer 在线质谱与红外光谱仪和热重同时联用 MS-IR-TG，热重分析仪的热分离过程中，样品所释放的气体被实时输送到红外光谱仪中进行红外数据采集，同时在线质谱仪进一步对热分析过程中的逸出气体进行检测，得到未知混合气体的组分。这种测试方法可以成功实现残留物的检测，原材料表征，合成反应研究等。在线质谱与红外和热重同时联用作为新兴检测手段，已广泛应用于各个行业。上海伯东在线质谱与红外光谱仪和热重联用 MS-IR-TG 客户案例一：上海某大学采购 Pfeiffer 在线质谱分析仪 ThermoStar 与红外热重联用在线质谱与红外光谱仪和热重联用 MS-IR-TG 客户案例二：某煤化所采购 Pfeiffer 在线质谱用于分析原子沉积设备尾气分析在线质谱与红外光谱仪和热重联用 MS-IR-TG 客户案例三：Pfeiffer 质谱分析仪与友厂质谱仪相比主要优势：1.整机设计--整个质谱采用全封闭式结构2.质谱分析仪采用 Gas-tight 封闭式离子源，双灯丝设计3.配置双分流涡轮分子泵 Hipace 804.内置铂金微孔、毛细进样管进样系统、最高耐受温度 350 度,可实现 5x10-3 mbar 真空进样5.内置 QuadstarTM 软件---可以更方便地进行定性定量分析以及线上离线分析。* 更详细的质谱分析仪与热重联用经典案例欢迎致电 021-5046-3511上海伯东代理德国普发 Pfeiffer 在线质谱分析仪可与美国 TA Instruments，瑞士梅特勒 Mettler Toledo，美国 Perkin Elme，法国塞塔拉姆Setaram，德国 Linseis，日本精工 Seiko，美国麦克 Micromeritics,美国康塔 Quantachrome，德国耐驰Netzsch 等热重天平，吸附仪，反应器联用。伯东代理 Pfeiffer 产品已有40余年，集团年营业额超过13亿美金，并在中国上海、台湾、日本、泰国等国家和地区设有维修据点。拥有 100% 原装进口维修设备和备品配件，提供快速维修服务。上海伯东版权所有，翻拷必究！ 上海伯东主营真空品牌:德国 Pfeiffer 真空设备 美国 Brooks Polycold 冷冻机 美国 KRI 考夫曼离子源 美国 HVA 真空闸阀:美国 inTEST(Temptronic)高低温循环试验机 日本 NS 离子蚀刻机等。

产品详情：安捷伦7700 系列ICP-MS – ICP-MS是世界上最小的商品化ICP-MS。分析速度更快、操作更简便、灵敏度更高、背景噪音更低、消干扰效果更佳、应用面更广、维护更方便。7700x具有适应多种样品类型、应用范围广泛、性能稳定耐用的特点，是大多数常规实验室和分析大批量样品的商业实验室的明智选择。7700系列ICP-MS不但配置了新的软件平台，而且在仪器硬件方面也进行了革新设计，包括全新数字控制式射频匹配的RF发生器和第三代八极杆碰撞/反应池系统(ORS3)。安捷伦7700x ICP-MS 凭借第三代碰撞/ 反应池(ORS3) 为复杂高基体样品的分析提供了无可比拟的准确性，它地重新定义了碰撞/反应池：仅使用氦气碰撞即可消除所有可能的质谱干扰！产品参数：1. 灵敏度：低质量数 Li(7): ? 50 Mcps/ppm；中质量数 Y(89): ? 160 Mcps/ppm（7700x)； 240 Mcps/ppm(7700s) ；高质量数 Tl(205): ? 80 Mcps/ppm(7700x)； 120 Mcps/ppm(7700s)；根据用户特殊需求，如激光、核工业、半导体材料等应用，可提供超高灵敏度功能2. 检测限：低质量数 Be(9): ? 0.5 ppt；中质量数 In(115): ? 0.1 ppt高质量数 Bi(209): ? 0.1 ppt3. 氧化物干扰: CeO+/Ce+:? 1.5 %(7700x)； 3.0 %(7700s)；4. 双电荷干扰: Ce2+/Ce+:? 3.0 %5. 同位素比精度: RSD(107Ag/109Ag) ?0.1%6. 质谱范围：2 - 260 amu；7.丰度灵敏度低质量端: ? 5 x 10-7高质量端: ? 1 x 10-7产品配置：1. 安捷伦7700台式ICP-MS主机2. 安捷伦7700 ICP-MS Masshunter 工作站关于智合科技 智合科技（广州）有限公司由多位具有世界TOP分析仪器厂商工作经验的创始人创办于2017年，是国内专业从事分析仪器售后技术服务、二手分析仪器销售和租赁的TOP企业，针对多品牌的分析仪器提供专业的技术服务。我们秉承“正直、平等和价值”的理念，创造一个工程师乐于在此工作的工作环境，为广大客户在色谱质谱仪器的软硬件使用、维护、维修、认证、培训、升级、应用、搬家等多方面提供完善的技术支持和整体解决方案。公司目前已与美国富鲁达（Fluidigm），瑞典Biotech, 博赛德等多家国内外仪器公司深度合作，更好的为中国客户服务。售后服务保障1、零配件库存充足，对业务所及的仪器90%常见的故障准备了库存配件，同时和厂家保持良好的合作的关系，零配件有充分的保障。2、我们全力打造“快而灵活”的专业服务。到目前为止所有现场服务需求，我们都能够4小时内线上响应， 48小时内到达现场。3、利用现代信息技术，我们为每一位客户提供互联网在线支持，远程快速诊断及排除故障，大大缩短仪器停机时间，提高客户的工作效率。对路途远及初期客户对仪器不熟悉是一个特别有力的支持。4、不断完善的服务体系。每一次服务都能做到规范化，可跟踪及持续性，符合各行业的法规要求。5、专业的服务团队，工程师均是原厂工程师或经原厂工程师专业培训过的，通过考核后方可上岗为客户提供服务。

—来自美国劳伦斯伯克利国家实验室的绿色化学分析技术技术背景 当激光作用于样品表面时，在极短时间内诱导产生含有样品物质的等离子体，等离子体产生的过程中，发射出带有样品元素信息的发射光谱，通过检测这些发射光谱，得到样品的元素信息。这种技术被称为激光诱导击穿光谱技术LIBS（Laser Induced Breakdown Spectroscopy），俗称激光光谱元素分析技术，检测限可达ppm级；随着等离子的冷却，凝结的样品颗粒可输送到ICP-MS，可测量样品中的微量、痕量元素或同位素，检测限可达ppb级。 测量的元素可覆盖元素周期表中的大部分元素，高达100多种。 J200激光质谱联用元素分析仪是美国应用光谱公司APPLIED SPECTRA（ASI公司）融会美国劳伦斯伯克利国家实验室（Lawrence Berkeley National Laboratory）30多年激光化学分析基础理论研究成果推出的全球顶级产品。ASI公司由美国劳伦斯伯克利国家实验室资深科学家 Dr. Rick Russo及其团队成立。Russo博士研究领域包括：激光加热和激光剥蚀过程的机理研究；飞秒激光进样系统；利用激光剥蚀技术提高LIBS及ICP-MS 的化学分析精度；激光超声的无损检测和评估等。Russo 博士共发表学术论文300 多篇，专利22 项。ASI公司在激光应用领域具有世界领先的技术及经验。 系统介绍 J200激光质谱联用元素分析仪创造了激光等离子光谱化学分析技术的新时代，首次将LIBS技术和ICP-MS结合，将检测限提高到ppb级，并可得到样品元素的空间分布图（elements mapping)。目前已广泛用于国际高端和国家级实验室，如美国劳伦斯伯克利国家实验室、美国大克拉曼多犯罪实验室 、巴西圣保罗大学、 美国西北太平洋国家实验室等众多知名机构。 J200激光质谱联用元素分析仪基于激光诱导击穿光谱技术，实现了从氢元素到钚元素几乎全元素的测量，包括H、N、O等轻元素以及卤族等其他传统方法（包括ICP-MS）不能测量的元素。此外，J200激光质谱联用元素分析仪还可将剥蚀出的纳米级固体样品微粒直接送入ICP-MS进行更精确的分析，有效避免酸溶、消解等复杂样品前处理带来的二次污染和可能的误差引入，同时还可以大大提升元素检测限，实现了ppb以下到100%的宽范围测量。 功能 快速检测土壤、植物、中草药、刑侦材料（玻璃、油墨等）、矿石、合金等样品中的： ? 常量元素N, P, K, Ca, Mg, S ? 微量元素Fe, Cu, Mn, Zn, B., Mo, Ni, Cl ? 痕量元素：可检测化学周期表上大部分元素 ? 其他：有机元素C、H、O和轻元素Li、Be、Na等 （其他技术很难同时分析） ? 同位素 （可升级和ICP-MS 联用测量) 应用领域 ? 土壤、植物样品检测 ? 中药元素分析 ? 刑侦微量物证分析 ? 农产品检测 ? 地质矿物分析 ? 煤粉组分检测 ? 重金属污染检测 ? 合金分析 ? 宝石鉴定 ? 材料分析等 工作原理 J200激光质谱联用元素分析仪的固体激光器产生激光作用于样品表面。当激光能量大于样品击穿门槛能量时，在样品表面形成等离子体。这些等离子体中受激光能量激发到达高能态的样品物质在迅速回迁至低能态的过程中，发射出带有样品元素种类、含量信息的发射光谱，这些发射光谱信号被智能信号收集系统收集并传输至光谱仪中进行分光，再由CCD检测器进行检测，得到元素信息。硬件特点 ? J200激光质谱联用元素分析仪可对样品进行全元素快速检测，同时可将固体样品的剥蚀颗粒直接送入ICP-MS 系统，实现ppb级精确分析。弥补了ICP-MS不能测量部分轻元素的缺憾，也有效避免了ICP-MS分析中繁杂的 样品前处理过程及可能引入的二次污染。 ? J200激光质谱联用元素分析仪配置高适连接口，轻松实现与市面上绝大多数主流品牌ICP-MS的联用。 ? J200激光质谱联用元素分析仪配备有固体样品室，还可根据用户需求同时配置气体、液体样品室，并通过设 置可自动切换的光路系统，实现固、液、气体样品室在同一系统中的自动化切换，无需人为拆卸。 ? J200激光质谱联用元素分析仪的硬件采用模块化设计，易于更新。激光器和光谱仪（检测器）可根据样品的 种类及用户的研究目的进行升级，两者均不受外界环境温度影响，无需进行特殊的环境控制，使用寿命长。 ? J200的激光能量和激光光斑大小连续可调，激光脉冲能量稳定一致，可实现样品分层剥蚀（分辨率最小可达 7nm）、夹杂物和微光斑分析（直径最小可达5μm）、元素分布制图、高精度定量等多种分析。 ? J200激光质谱联用元素分析仪采用ASI专利技术：剥蚀导航激光和样品高度自动调整传感器相结合，解决了样 品表面凹凸不平导致剥蚀不均匀的问题；激光能量稳定阀确保到达样品表面的激光能量稳定一致；3-D全自动 操作台。 ? J200具备双摄像系统，分别用于广角成像和放大观察某一样品区域。 软件特点 J200的系统软件能实现对所有硬件组件的控制，能提供多种采样模式，包括直线、曲线、随机点、网格任意大小和自定义采样等，通过设置参数，可在无人值守的条件下自动进行大面积采样。 ASI公司专利的TruLIBS™ 数据库是真正的等离子体发射光谱数据库，与NIST数据库相比，TruLIBS™ 数据库能快速、准确地识别复杂的元素谱线，各种搜索功能，如波长范围、元素种类和等离子体激发态，将搜索时间缩短至几秒。TruLIBS™ 同时允许用户直接上传元素激光诱导特征谱线，进行谱峰的识别和标记。 J200内置的数据分析软件功能强大、分析速度快。能任意选取谱线及背景，自动计算谱线的净强度；计算两个波峰之比；自动计算所有波峰的标准偏差；同步分析所有文件夹及目录下的测量数据。多次采样时，软件自动统计监测LIBS的强度 ，监控信号质量，获得精确的定性和定量分析结果。 数据分析软件具有单变量和多变量校准曲线制定功能，易于完成高精度定量分析。单变量标定曲线对于基质较为简单的样品分析效果较好。多变量标准曲线用于分析基质较为复杂的样品，例如土壤、植物样品等，以减少基质中其它元素对目标元素的影响，提高分析准确性。 此外，J200的数据分析软件还具有PCA、PLS-DA、多参数线性回归等多种化学统计分析功能。可对样品进行快速分类鉴别，并可通过样品某一特定元素的二维或三维分布制图，形象展示样品元素的分布。 产地：美国应用案例1、土壤样品常量和微量元素分析 将不同来源的9个土壤标准样品压片处理，使用ASI公司的J200 激光光谱元素分析系统进行测量，并采用J200内置的专业分析软件对测量结果进行分析。并对分析结果的精确度和分类鉴别能力进行评价。图1为9个土壤标准样品的PCA三维分析结果图。这表示分析结果能良好的判断出这9个样品为不同类型的土壤。采用建立的标准曲线检测21号土壤标准物样品，以此来评价分析的准确度和精度（表1）。 2、植物样品表层及深层元素分布 将植物叶片置于金属元素溶液中至24小时，使用J200 激光光谱元素分析系统对叶片进行扫描，可见植物叶片对重金属元素吸收分布的情况。其中常量元素由LIBS系统直接测出，重金属元素由LA-ICP-MS进行测量。 采用飞秒LA-ICP-MS系统还可以对植物叶片进行深度的剖析。测量叶片内部不同部位的元素变化情况以及特定元素的分布情况。实验使用飞秒激光器，10个脉冲，脉冲1至脉冲10表示叶片的表层至内部。3、大米和糙米样品外壳及内部砷元素的分布图谱 大米是中国、韩国和日本等东亚诸国的主要农作物，大米中砷元素含量超标引发了很多食品安全问题。国际食品法典委员会标准中也明确规定铅含量不得大于0.2mg/kg ，镉含量不得大于0.1mg/kg，但仍然对砷元素含量无规定。为了建立相关标准，韩国科学技术研究院搜集了韩国市场上常见的100种大米和糙米样品，分析其中砷元素的含量及分布作为相关标准制定的科学依据。研究结果表明，砷元素主要分布在糙米和大米样品的表面，并存在砷元素含量明显的向中心递减趋势。结论：砷元素主要分布在大米和糙米的表面，打磨是降低砷元素含量的主要手段。部分文献 欢迎来电索取文献目录OlgaSyta,BarbaraWagner,Ewa Bulska,Dobrochna Zielinska,Grazyna Zo?a Zukowska,Jhanis Gonzalez,RichardRusso.Elemental imaging of heterogeneous inorganic archaeological samples by means of simultaneous laser induced breakdown spectroscopy and lasera blationin ductively coupled plasma masss pectrometry measurements.Kiran Subedi, Tatiana Trejos, Jose Almirall,Department of Chemistry and Biochemistry, Florida International University, Miami, FL 33199, USA.Forensic analysis of printing inks using tandem Laser Induced Breakdown spectroscopy and Laser Ablation Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry万翔宇，王阳恩，熊艳，王绍龙，梅兴安；长江大学物理科学与技术学院, 湖北荆州；《激光杂志》2014年第35卷第4期.激光诱导击穿光谱对水系沉积物的分类及铬元素测定的研究李辉，王阳恩，刘庆，林佳辉，徐大海.长江大学物理与光电工程学院,湖北荆州；分段激光诱导击穿光谱的水稻种子识别Benjamin T.Manard,C.Derrick Quarles Jr,E.Miller Wyliea and Ning Xua.Laser ablation–inductively couple plasma masss pectrometry/laserinduced breakdown spectroscopy:a tandem technique for uranium particle characterizationHerveK.Sanghapi,Jinesh Jain,Alexander Bol' shakov,Christina Lopano,Dustin McIntyre,Richard Russoc.Determination of elemental composition of shalerocks by laser induced breakdown spectroscopy.Chirinos, J. R., Oropeza, D. D., Gonzalez, J., Hou, H., Morey, M., Zorba, V., & Russo, R. E. (2014). Simultaneous 3-Dimensional Elemental Imaging with LIBS and LA-ICP-MS. Journal of Analytical Atomic Spectrometry. doi:10.1039/c4ja00066hChoi, S. H., Kim, J. S., Lee, J. Y., Jeon, J. S., Kim, J. W., Russo, R. E., et al. (2014). Analysis of arsenic in rice grains using ICP-MS and fs LA-ICP-MS. Journal of Analytical Atomic Spectrometry, 29(7), 1233–1237. doi:10.1039/C4JA00069BQuarles, C. D., Gonzalez, J. J., East, L. J., Yoo, J. H., Morey, M., & Russo, R. E. (2014a). Fluorine analysis using Laser Induced Breakdown Spectroscopy (LIBS). Journal of Analytical Atomic Spectrometry, 29(7), 1238–1242. doi:10.1039/C4JA00061GDong, M., Mao, X. L., Gonzalez, J., Lu, J., & Russo, R. E. (2013). Carbon Isotope Separation and Molecular Formation in Laser-Induced Plasmas by Laser Ablation Molecular Isotopic Spectrometry. Atomic Spectroscopy. doi:10.1021/ac303524dHarmon, R. S., Russo, R. E., & Hark, R. R. (2013). GEOLIBS–A Review of the Application of Laser-Induced Breakdown Spectroscopy for Geochemical and Environmental Analysis. Spectrochimica Acta Part B: Atomic Spectroscopy. doi:10.1016/j.sab.2013.05.017Piscitelli, V., Gonzalez, J., Mao, X. L., Fernandez, A., & Russo, R. E. (2013). Micro-Crater Laser Induced Breakdown Spectroscopy-an Analytical approach in metals samples.

Prima PRO质谱仪a）工作原理：Prima PRO质谱仪是非常强大的在线分析仪器，能够快速、准确灵活的分析多个流路、多个组分的气体。它采用磁扇扫描原理实现对多种气体浓度的检测，工作原理如下图：质谱分析仪工作原理图 由RMS多流路快速进样系统导入气体分子样品；经过离子源将该样品转为离子态片段或气体离子，然后按照样品离子的质荷比不同，对经过磁扇区进行分离，分离过程遵循如下基本物理公式： ，其中：r为离子运动的轨道半径，M是粒子的质量，V是加速电压（1KV），β是磁场强度，e是离子的电子电荷。只有在一定的V及β的条件下，具有特定质荷比M/e的正离力才能通过运动半径为r的轨道进入检测器。当V，r固定，M/e与β2成正比，连续改变扫描磁场强度,就可使具有不同的M/e离子顺序到达离子检测器。 被选定的离子进入检测器后形成微弱的电流信号，检测器的输出信号经过板载微处理器转换，最终输出的信号表征样气中各个组分的浓度。在整个分析过程中，质谱仪工作在真空状态。该真空系统，由两部分组成：由选装机械泵提供的初级真空和由涡轮分子泵提供的高度真空。 b）产品用途：在线质谱仪可从容应对石油化工应用的众多挑战，其中包括：? 石化、化工行业l 烯烃生产l 裂解炉优化l 环氧乙烷/ 乙烯乙二醇l 聚烯烃生产l 合成氨l 煤气化l 甲醇l 醋酸l 天然气处理l 有毒挥发性有机化合物（VOC）的泄漏? 钢铁行业：l 高炉尾气分析l 转炉尾气分析l RH和VOD精炼炉尾气分析l 直接脱碳（DRI）炼铁尾气分析l 煤气回收、燃料气和混气分析? 发酵、生物制药行业：l 生物能源l 工业酶l 生物材料l 生物量l 食品添加剂l 维生素l 药物l 预防药l 疫苗l 生长激素l 单克隆抗体l 激素l 融合蛋白l 细胞活素l 抗生素l 胰岛素l 溶栓 c)特点：●分析速快，可以实现实时、高速的在线分析●分析原理简单，方便使用者和维护人员快速掌握相关的信息●能够同时分析多个组分●能够实现多达32或更多流路同时分析●采用可靠地扫描磁扇技术●无需载气和助燃气，降低运行和维护成本 ●高精度、高重复性●非常可靠（超过99%正常工作时间） ●软件功能强大 d）技术指标：Prima Pro性能指标分析原理扫描磁扇，半径150px，80度偏转角。扫描磁扇质谱具有精度高，稳定性好，可靠性高，抗污染能力强，标定及其他日常维护间隔长，并且维护工作极其简单。质量范围可调整。离子加速电压为1000V时，质量范围1-150amu；离子加速电压为750V时，质量范围1-200amu。分辨率可通过两个收集解析狭缝进行切换，标准配置为60/40，1mm狭缝为60，4mm狭缝为20；也可以选择其他组合，如140/85，100/45，140/45。质量稳定性质量数为28时，0.013amu，24小时测量。峰形平顶峰，分辨率为60时，峰顶（99%峰高处的宽度）与峰底（5%峰高处的宽度）的比值为0.5。平顶峰使得质谱的分析精度和抗漂移能力都有极大提高。离子源封闭型，电子轰击式，氧化釷灯丝，温度控制（可在120-200 degrees C范围内设定，精度为± 0.1 degrees C）。检测器法拉第杯电荷计数器。进样阀32路快速旋转进样阀RMS，1/4”卡套接口。RMS切换迅速，死体积极小，可以加热至120摄氏度。内置进样流量测量元件，可对低流量报警。进样类型毛细管+分子渗漏，带旁路（标准配置）标定方式手动标定接口12个，1/4”卡套，可根据应用选择更多真空系统初级真空泵：旋转机械泵高级真空泵：涡轮分子泵样品流速对每个流路进行数字测量并记录精度0.1%，相对精度线性度1%相对精度动态范围10 ppb – 100%（理论值，根据实际应用）稳定性1%控制器内置工业CPU，独立的操作系统，不依赖外部电脑独立工作。与外部控制软件GasWork的通讯功能。电源230 VAC (± 10VAC)，50Hz数字输出1个，干接点，可根据应用选择更多。通讯MODBUS RTU，以太网，OPC.机箱温度控制质谱分析仪机箱侧面配有一个空调，压缩制冷方式，温度控制精度为+/- 0.5 deg C。安装方式壁挂式。仪表风300Nl/min = 18Nm3/h，压力为4-10barG，接口为1/2”。 Prima BT过程开发质谱仪a）工作原理：Prima BT是Prima PRO的小型化，其在基本原理和内部构造上基本与Prima PRO完全一致，是Prima PRO在小型试验装置或实验室开发过程应用的缩小版。它的分析性能指标几乎与Prima PRO完全一致，既可以作为实验室质谱仪使用，也可以作为小型在线分析仪使用。Prima BT过程开发质谱仪是非常强大的连续分析仪器，能够快速、准确灵活的分析多个流路、多个组分的气体。它采用磁扇扫描原理实现对多种气体浓度的检测，工作原理如下图： 质谱分析仪工作原理图 由RMS多流路快速进样系统导入气体分子样品；经过离子源将该样品转为离子态片段或气体离子，然后按照样品离子的质荷比不同，对经过磁扇区进行分离，分离过程遵循如下基本物理公式： ，其中：r为离子运动的轨道半径，M是粒子的质量，V是加速电压（1KV），β是磁场强度，e是离子的电子电荷。只有在一定的V及β的条件下，具有特定质荷比M/e的正离力才能通过运动半径为r的轨道进入检测器。当V，r固定，M/e与β2成正比，连续改变扫描磁场强度,就可使具有不同的M/e离子顺序到达离子检测器。 被选定的离子进入检测器后形成微弱的电流信号，检测器的输出信号经过板载微处理器转换，最终输出的信号表征样气中各个组分的浓度。在整个分析过程中，质谱仪工作在真空状态。该真空系统，由两部分组成：由选装机械泵提供的初级真空和由涡轮分子泵提供的高度真空。 b）产品用途：在线质谱仪可从容应对石油化工应用的众多挑战，其中包括：l 发酵研发 l 生物燃料研发 l 催化剂研发 l 热分析 l 人类热量研究 l 实验装置气体分析 l 析出气体分析 c)特点：l 最好的在线测量精度 l 最号的测量稳定性 l 界面有好的软件能够灵活设定分析方法 l 容错设计能够确保达到99.9%的运行时间 l 延长的预防性维护时间间隔 l 高度简单化的维护步骤l 出色的“分析仪到分析仪”重复性d）技术指标 Prima BT性能指标离子源 封闭式电子轰击源，双灯丝，带精密温度控制（120-200℃±0.1℃） 质量分析器 层叠式扫描电磁铁，150px半径，80°偏转 质量范围 1-150 amu 在1000 eV 离子能 (1-200 amu 在750 ev 离子能) 分辨率在两个分辨狭缝之间切换，分辨率60/20（标准）；可选140/85, 100/45 重量刻度稳定性 0.013 amu 在 28 amu 超过 24 hours 峰形 在分辨率60时，顶部宽度为底部宽度的一半 丰度灵敏度 250 ppm 以27/28为准检测器 法拉第检测器或法拉第和SEM双检测器（可选） 进样口16个，15个用于分析，另外1用于与标定口连接标定口6个，1/4”卡套进样类型 毛细管，带分子渗漏和旁路（标准） 真空系统 涡轮分子泵和旋转泵；可替换为涡轮分子泵和内部膜片泵 进样流量 数字测量和记录每一流路流量 精度 0.1% 相对 (典型, 依据应用) 线性 1%，样气浓度变化超过10倍 (典型, 依据应用) 动态范围 10 ppb – 100% (理论l, 依据应用，使用外部旋转泵）稳定性 1% 相对，超过1 周 (典型, 依据应用) 控制器内置工业CPU，独立的操作系统，不依赖外部电脑独立工作。与外部控制软件GasWork的通讯功能。电源230 VAC (± 10VAC)，50Hz通讯MODBUS RTU，以太网，OPC.安装方式桌面放置

Protea公司是一家专注于傅里叶红外气体分析仪和四极杆质谱仪等高端分析仪器研发、生产、销售为一体的高科技公司，总部位于英国伦敦。ProMass系列质谱仪是结构紧凑、坚固的四极杆质谱（QMS）仪，融合了所有的质谱和真空泵技术。QMS技术是环境空气或过程应用中气体分析的一种有效机制，能够检测和测量几乎所有气体，且检测限值低、响应速度快。【产品描述】ProMass分析仪是一款结构紧凑、设计坚固的半便携式四极杆质谱（QMS）仪器，融合了所有的质谱仪和真空泵技术。ProMass可提供便携式手提箱或6U 19″ 机架模块，用于在线过程测量。QMS技术是环境空气或过程应用中气体分析的一种有效机制，能够检测和测量几乎所有气体，且检测限值低、响应速度快。质谱仪通过收集和分析测量样品中分子的质荷比，我们可以根据质谱信息识别和量化存在的分子。ProMass分析仪中的 QMS 包含一个由4个平行圆棒组成的质量过滤器，因此称为四极杆。它具有0-100amu、0-200amu或0-300amu的可变质量范围，适用于便携式或固定式安装。【典型应用】l 半导体生产过程；l 环境空气监测；l 泄漏测试；l 食品行业质量测试；l 氢(H2)燃料分析 l 制氢工艺；l 环境空气监测 l BTEX 量化 l 乙烯和环氧乙烷生产 l 呼吸分析；l 天然气混合及大量天然气生产。 【特 点】l 根据不同的具体应用预置质谱库，单台仪器可以测量几乎所有气体，应用领域十分广泛；l 毛细管直接进样，测量气体简便快捷，无需复杂的制样设备和繁琐的制样过程，即可实现单独测量；l 快速测量，毫秒级响应速度；l 法拉第杯和二次电子倍增器联用，既可快速扫描，又可以精确测量；l 强大的PC端专业质谱分析软件；l 简单易用，无需精通质谱专业知识，即可上手测量。

质谱检测器是定性分析中有效的方法之一。但是，同时它有较差的定量分析能力。由于它只分析了微量气体，所以很难获得较好的定量结果。通过选择合适的材料和组分分层，麦奇克拜尔制造了更高定量功能的在线质谱BELMASS II。利用管路加热和配备干泵，BELMASS II甚至能检测氨气。BELMASS II 在线质谱仪-产品特点&bull 桌面四级杆质谱分析仪&bull 管理加热功能确保蒸汽分析&bull 定性和定量分析功能BELMASS II 可以连接多种仪器：（1）全自动化学吸附仪（2）微反应器（3）热重分析仪 BELMASS II 连接Microtrac 公司产品质量数1-200amu检测器法拉第杯/C-SEM最小检测限＜1ppm（与检测气体有关）扫描速度Auto, 0.01, 0.03, 0.1, 0.3, 1, 3, 10 sec / a.m.u检测通道最大16个

上海伯东代理德国 Pfeiffer 在线质谱分析仪成功应用于热分析行业！热分析 (thermal analysis,TA) 是指用热力学参数或物理参数随温度变化的关系进行分析的方法。热重量法 (TG) 是其中最常用的热分析方法，其原理是在温度程序控制下测量试样的质量(或重量)随温度变化的一种热分析技术。热重质谱分析（Thermogravimetric Analysis，TG或TGA），是指在程序控制温度下测量待测样品的质量与温度变化关系的一种技术，来研究材料的热稳定性和组份。热重质谱分析法可研究晶体性质的变化，研究物质的热稳定性、分解过程、解离、氧化还原、成份的定量分析、水份与挥发物、反应动力学等性质。上海伯东 Pfeiffer 在线质谱分析仪与热重分析仪 (TGA) 联用，能够快速地分析热重测试过程中逸出气体产物，TGA-MS的联用技术在有机材料（尤其是聚合物）、无机材料以及有机-无机等复合材料的研制工作中得到广泛应用。由于质谱可以检测非常低的含量，选择质谱分析仪与热重联用 (TG-MS) 已广泛应用于热分析行业。Pfeiffer 在线质谱 Thermostar 可选进样系统温度高达350°C的石英毛细管。Scan全扫描模式（1-100amu、1-200amu、1-300amu）可以二维及三维显示检测结果，用于样品的定性分析；MID（多离子监测）可同时实现128种离子的实时在线监测；MCD（多浓度检测）可同时实现128种气体的浓度实时在线监测。质谱分析仪与热重联用 (TG-MS) 客户案例（一）：上海某研究所采购伯东 Pfeiffer 在线质谱分析仪 ThermoStar 与耐驰热重分析仪(TGA)联用，同步分析异丙基燃烧时产生气体的成分和含量。质谱分析仪与热重联用 (TG-MS) 客户案例二：Pfeiffer 在线质谱分析仪与瑞士梅特勒 Mettler 热重分析仪联用质谱分析仪与热重联用 (TG-MS) 客户案例三：上海伯东 Pfeiffer 在线质谱分析仪 ThermoStar 与美国 TA 热重分析仪联用，检测某药物标的物中低含量的残余溶剂二氯甲烷,及对同一温度下混合溶剂进行鉴定，单一TG失重是由水，乙醇和丙酮组成。质谱分析仪与热重联用 (TG-MS) 客户案例四：Pfeiffer 在线质谱分析仪与德国 Linseis 热重分析仪联用质谱分析仪与热重联用(TG-MS)客户案例五：Pfeiffer 在线质谱分析仪与法国塞塔拉姆 Setaram 热重分析仪联用1968 年德国 Pfeiffer 在线质谱就与 Mettler TGA 热重实现联用；上海伯东代理德国普发 Pfeiffer 在线质谱分析仪可与美国 TA Instruments，瑞士梅特勒 Mettler Toledo，美国 Perkin Elme，法国塞塔拉姆Setaram，德国 Linseis，日本精工 Seiko，美国麦克 Micromeritics,美国康塔 Quantachrome，德国耐驰Netzsch 等热重天平，吸附仪，反应器联用Pfeiffer 质谱分析仪与友厂质谱仪相比主要优势：1.整机设计--整个质谱采用全封闭式结构2.质谱分析仪采用 Gas-tight 封闭式离子源，双灯丝设计3.配置双分流涡轮分子泵 Hipace 804.内置铂金微孔、毛细进样管进样系统、最高耐受温度 350 度,可实现 5x10-3 mbar 真空进样5.内置 QuadstarTM 软件---可以更方便地进行定性定量分析以及线上离线分析。* 更详细的质谱分析仪与热重联用经典案例欢迎致电 021-5046-3511伯东代理 Pfeiffer 产品已有40余年，集团年营业额超过13亿美金，并在中国上海、台湾、日本、泰国等国家和地区设有维修据点。拥有 100% 原装进口维修设备和备品配件，提供快速维修服务。上海伯东版权所有，翻拷必究！

新一代ID Micro EA桌面同位素比质谱仪彻底打破了质谱设备的使用限定条件。它无需专门的实验室、体积极小，可以安置在桌面上，因此我们称之为桌面质谱仪。桌面质谱仪可以快速对食品真实性（比如蜂蜜掺假）、疾病诊断（比如幽门螺杆菌判别）等进行检测，这有助于人们在气候研究、生物化学、法医学、油气勘探等领域获得新发现。主要特点体积小巧（长70cm，宽30cm，高47cm），占用空间小可插拔可互换的高灵敏度离子源，更换快捷真空泵流速可选：70 L/s 或250 L/s，取决于所需的灵敏度操作简单，使用方便，无需专人进行免维护操作低功耗，低成本性能指标 CO2标气13C内部重现性 ±0.10‰（自然丰度，1个SD） @在质量为44的离子束和强度20纳安下，重复12次注入CO2标气 氮气标气15N内部重复性 ±0.15‰（自然丰度，1个SD） @在质量为28的离子束和强度20纳安下，重复12次注入氮气标气 尿素标样13C重现性 ±0.10‰（自然丰度，1个SD） @5个含有100 μg碳的尿素标样重复测定 尿素标样15N重现性 ±0.2‰（自然丰度，1个SD） @5个含有100 μg碳的尿素标样重复测定 样品分析时间 一个样品为4~5min，取决于元素分析仪 分辨率 质量为29的75系统指标 离子束检测 CNOS三重法拉第收集器 质量分析器构造 14cm RAD，90度 质量分析器磁铁 永久高温稳定磁铁 分辨率 中心收集器 80 真空装置 内置真空泵 低功耗 典型功率240W 尺寸 高47cm，长70cm，宽30cm 重量 45kg 数据系统 包括仪器诊断程序、准备系统控制、分析数据采集和结果显示 软件 全功能软件包：用于质谱仪控制和同位素比值分析 质量保证 通过互联网远程运行，可进行仪器测试，优化性能。

SHP8400PMS-L 在线质谱仪进样系统有单通道实时分流进样（1.6秒一组数据）和16通道进样可选；离子源采用经典的电子轰击离子源（EI），并配备双灯丝，一个工作，一个备用，可自动切换和校准，减少了停机维护；质量分析器配备成熟稳定、扫描速度快的四级杆质量分析器，满足复杂组分的分离要求；针对不同检测组分浓度，我们提供了法拉第检测器（ppm级）和电子倍增检测器（ppb级）两种选择，整个仪器性能和数据处理系统能满足不同的客户需求。 仪器性能分析速度快，灵敏度高，稳定性好，分析精度准是选择在线质谱仪的主要考虑因素，SHP8400PMS-L在这四个方面性能优越：●分析速度——快1.6s分析一组数据；分析的组分不受限制，分析时间可根据分析过程要求而设置；●灵敏度——法拉第检测器：100%~10ppm；电子倍增器检测器：100%~10ppb；●稳定性——仪器30天连续运行RSD≤0.5%，基于空气中1%Ar ；●分析精度——RSD≤0.25%，基于空气中1%Ar ；除了以上四方面的卓越性能，SHP8400PMS-L还可提供16通道采样系统，满足多个反应器同时分析的需求：●每一通道均为独立进气和独立排气，彻底摒除通道间干扰●连续流动式取样，保证气体的实时更新●可控温的进气管路，有效防止过程气体在采样过程中冷凝●软件设置在线清洗程序，保证分析精度仪器应用范围●催化材料表征，TP D /TP R /TP O /TG 等●催化剂快速筛选●反应动力学研究●反应器系统评价●气体纯度分析●其他逸出气体分析仪器测试气体种类●H2 、N2 、O2 、NH3 、CO 、CO2 、H2O 等无机气体●C H4 、CH3OH 、C2H5OH 、C2H4 、C6H6 等有机气体●SO2 等硫化物仪器组成SHP8400PMS-L在线质谱仪由进样系统、离子源、质量分析器、检测器和真空系统组成。进样系统●多通道旋转阀及多位微电动驱动器，配合高精度流体控制系统，保证稳定、定量的多通道采样。●进样管道温度可控，能有效防止过程气体在采样过程中冷凝。离子源●采用电子轰击离子源（EI），具有通用性好、离子化效率高等特点。●抗氧化材质、双灯丝设计及过压保护，确保仪器长期稳定运行。质量分析器●选取常用的四极杆质量分析器，结构简单、体积小；灵敏度高，分析速度快，几乎无滞后效应。检测器●法拉第检测器：不存在固有噪声，无质量歧视效应，使用寿命长。●电子倍增检测器：可以提高仪器的检测灵敏度。真空系统●涡轮分子泵和膜片泵的两级真空组合，无需提供真空泵油和分子泵油芯，从根本上摒除了油泵对真空系统可能造成的干扰，减少了真空系统的维护 全中文在线质谱工作站软件●采用新一代Fluent Ribbon用户界面，在提供丰富信息的同时，降低操作难度，易于用户掌握。●多个窗口同时显示、报告数据，支持多路不同样品同时在线检测。●标准化及开放式的数据格式，可与其他数据分析处理系统连接。数据存储格式和内部交换格式均采用通用的工业标准，数据发布采用DDE、OPC 方式。●用户化输入信号处理：质谱分析数据可与外部信号连接，便于用户进行反应条件相关性分析，减少后期数据处理出错几率，提高工作效率。●软件设计引入“方法”和“任务”概念，实现全自动化的仪器控制和分析过程。分析过程全部参数化，通过方法统一管理。包括定时启动、条件启动、循环测试、样品数控制、时间控制等在内的控制，通过自动任务统一管理。●实时输出离子流强度同时支持在线计算百分比浓度。

Thermo Scientific&trade Q Exactive&trade 组合型四极杆-Orbitrap&trade 质谱仪引进了新的概念 Quanfirmation。Q Exactive&trade Plus 组合型四极杆 Orbitrap&trade 质谱仪以更出色的性能和全新的选项使 Quanfirmation 迈进一步，不同领域（从可靠的 DMPK 定性/定量筛查研究到完整单克隆抗体的表征）的应用能力都得到提升。卓越定量能力先进四极杆技术 (AQT) 改善了前体选择和传输，对复杂基质中的低丰度分析物进行更精确定量通过复杂的数据独立性采集 (DIA) 和平行反应监测 (PRM)，可进行可重现的定量测定和可靠的定性分析先进的主动离子束传输组件（AABG）减少了噪音以及维护需求完整蛋白质的分析能力增强可选完整蛋白质模式为完整蛋白质和蛋白质复合物的分析提供了卓越的大分子捕获能力可选的更高分辨率确保了自顶向下蛋白质组学和脂质组学的极可靠鉴定极为可靠的结果HR/AM 和全扫描功能可以自始至终捕获所有样品数据，从而可以进行回顾性数据分析而无需再次运行样品分辨率高达 140,000 FWHM，可消除同量异序同分异化合物的干扰，在分析复杂基质中的样品时，提高结果可靠性全扫描和全离子裂解 (AIF) 扫描模式下，质量准确度均优于 1 ppm，可以确保可靠的化合物鉴定12 Hz 的快速扫描和光谱多通路技术特别适合 UHPLC 应用快速极性切换可以获得尽可能多的信息AIF 和多种解离技术——源内 CID 和 HCD——可以辅助化合物鉴定质量数范围达到 6000 m/z，可以提高对单电荷小分子和生物分子的检测能力超过四个数量级的扫描动态范围以及飞克级灵敏度，可以在一次扫描中同时检测痕量级和高丰度化合物关于智合科技 智合科技（广州）有限公司由多位具有世界TOP分析仪器厂商工作经验的创始人创办于2017年，是国内专业从事分析仪器售后技术服务、二手分析仪器销售和租赁的TOP企业，针对多品牌的分析仪器提供专业的技术服务。我们秉承“正直、平等和价值”的理念，创造一个工程师乐于在此工作的工作环境，为广大客户在色谱质谱仪器的软硬件使用、维护、维修、认证、培训、升级、应用、搬家等多方面提供完善的技术支持和整体解决方案。公司目前已与美国富鲁达（Fluidigm），瑞典Biotech, 博赛德等多家国内外仪器公司深度合作，更好的为中国客户服务。售后服务保障1、零配件库存充足，对业务所及的仪器90%常见的故障准备了库存配件，同时和厂家保持良好的合作的关系，零配件有充分的保障。2、我们全力打造“快而灵活”的专业服务。到目前为止所有现场服务需求，我们都能够4小时内线上响应， 48小时内到达现场。3、利用现代信息技术，我们为每一位客户提供互联网在线支持，远程快速诊断及排除故障，大大缩短仪器停机时间，提高客户的工作效率。对路途远及初期客户对仪器不熟悉是一个特别有力的支持。4、不断完善的服务体系。每一次服务都能做到规范化，可跟踪及持续性，符合各行业的法规要求。5、专业的服务团队，工程师均是原厂工程师或经原厂工程师专业培训过的，通过考核后方可上岗为客户提供服务。

仪器原理 大气中的挥发性有机物样品，具有组成复杂、含量低、活性强、浓度和化学活性差异大等特点，系统通过与Exp-200深冷预处理装置配合使用，结合氢火焰离子化检测器（FID）技术和质谱检测器技术（MSD）进行大气中VOC样品的在线分析监测。 样品经Pre-3000深冷预处理装置除水、富集浓缩后，通过直热式高温热脱附，被快速送入至毛细管色谱柱进行分离，分离后的样品，低碳（C2-C5）类VOC样品使用氢火焰离子化检测器（FID）进行检测；高碳（C6-C12）和含氧类VOC样品使用质谱检测器（MSD）进行检测，得到各单一组分准确的定性定量分析结果。 在线色谱-质谱分析仪充分利用了气相色谱的分离技术和质谱检测器的定性检测技术，可有效用于环境大气中复杂多组分VOC样品监测。一次采样可检测100多种各类VOC（碳氢化合物、卤代烃、含氧挥发性有机物）样品。仪器特点 工业标准系统设计，系统可靠性高；断电开机后，系统自动循环运行，维护量低； 低温电制冷技术，仪器体积小，整机采用19”标准机柜设计，安装维护方便； 质谱检测数据自动分析处理，结果直接输出，并传送至分析平台，无需人工计算； GC-FID、GC-MS双系统进行VOC检测，一次可检测100多种各类VOC（碳氢化合物、卤代烃、含氧挥发性有机物）； GC-FID系统使用预分离和阀切换反吹技术，避免高沸点组分进入分析系统，提高色谱柱的使用寿命； 对样品深度除水，解决水汽对色谱柱性能的影响；深冷富集可提高样品富集效率，解决含氧类VOC常温富集效率低、差异大的问题，提高检测灵敏度。应用领域　　环境空气组分分析监测　　环境空气痕量样品监测　　石化化工园区厂界挥发性溶剂及未知物组分分析　　科学研究