原子干涉激光器

Zygo位移测量干涉仪ZMI™ 系列激光器ZMI™ 系列–位移测量干涉仪ZMI™ 激光器可提供高度稳定的双频输出，为高精度的位置计量奠定了坚实的基础。这些激光器基于强大的氦氖技术，具有很高的可靠性，被用作计量仪器的标准配置。ZMI™ 7705与ZMI™ 501A测量外壳一起使用，在一个结构紧凑的封装中，提供了多达两个测量轴。ZMI™ 7702、7714和7724激光器可与ZMI™ 240X和4X04系列测量板卡结合使用。更高功率的激光器允许您用一台设备测量更多的轴。7714和7724激光器采用水冷方式，可实现更高的频率稳定性，并达到最高的精度。7714和7724激光器的光学隔离特性通过保护激光器不受干涉仪系统中组件的背反射的影响，提供了更大的灵活性和易用性。

直接激光干涉图形（DLIP）加工器一．直接激光干涉图形加工技术 在传统加工中，很少有技术能够大面积产生微纳米结构。相比于激光干涉光刻技术（LIL）的复杂步骤以及约束条件，DLIP激光加工 器可以利用脉冲激光简便地、高速地在大范围区域形成周期性几何形状从而直接烧蚀材料表面。 二．直接激光干涉图形加工器技术应用方向 在航空航天方面，为了防止飞行过程中空气动力表面结冰，目前一般会使用大量的化学产品进行加热，仅德国一年在这一领域的投入就高达10亿欧元。 同时，利用DLIP加工器对机翼材料进行的干涉图形加工，也已被证实可以大量减少冰的形成和诱导冰的脱落，使热功率降低60%-80%。 这项技术目前已被运用于飞机除冰、生物医药、高新电子产品等不同工业领域，为疏水表面、微沟槽、网格结构等不同周期性表面结构的生产提供助力。 该项技术的应用前景包括但不限于 1.改善连接器件的电子传导能力、热传导能力 2.改善材料表面疏水结构，提高自清洁能力 3.改善医疗植入物与植入表面的粘附结合度 4.制造各类表面抗菌纹理 5.增加材料表面抗反射性能 6.各类涂料工程项目 三．直接激光干涉图形加工器产品概述 DLIP加工器可以根据使用的激光束数量和它们的几何排列，利用两个或多个激光束交叉处的干涉现象在材料表面产生不同的周期性几何形状。例如，双光束设置会产生线状干涉图案，而三光束则会产生点状干涉图案。同时，DLIP加工器可以利用配套软件自动控制两束激光之间的拦截角度，从而产生不同的空间周期。 本产品适用于脉冲宽度低至1ps的超快激光 加工，并且与众多厂商的超短脉冲激光器 进行了兼容性测试，具有非常高的兼容性。四．直接激光干涉图形加工器产品特点 1.不与材料直接接触，非接触式加工模式 2.对于材料表面以及几何形状有着高适用性 3.加工过程中具有高加工速度(理想情况可达 3 m² /min) 4.加工过程中精确的激光沉积能量控制 5.非化学反应加工模式，无需额外净室空间 6.一体式紧凑设计，便于安装五．直接激光干涉图形加工器基本参数 固定型加工器 扫描型加工器 更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等，涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学 、生物显微、物联传感、激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等服务。您可以通过我们昊量光电的官方网站www.auniontech.com了解更多的产品信息，或直接来电咨询4006-888-532。

1.产品简介激光干涉仪以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，且可以溯源至国家标准，是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器，在高端制造领域应用广泛。SJ6000激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现最高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。SJ6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。2.产品配置SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。二.工作原理激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束）射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉（见图）。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。三.产品功能特点◆精度高SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。◆功能广●可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；●可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；●可实现龙门机床双轴同步测量；●可实现对机床回转轴的测量与校准；●可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；●具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；●支持手动或自动进行环境补偿。◆软件强●友好的人机界面；●丰富的应用功能模块；●向导式的操作流程；●简洁化的记录管理；●支持中文、英文和俄文界面；●支持企业专属模板定制。

法布里珀罗干涉仪 FPI 法布里珀罗干涉仪（Fabry-Perot Interferometer，FPI 100）是一款共聚焦扫描 FPI，它自带光电探测器单元，设计用于测量和控制连续波激光器的模场分布。其主要特点有： 激光模式分析简单方便可选八种反射镜用于波长范围 300 到 3000 纳米自由光谱范围 1GHz 或 4GHz标准反射镜反射率 99.8%，对应 finesse 大于 400可选配光纤耦合器套件 – 方便使用 FC/APC 光纤接头进行耦合光电二极管更换套件 – 可见光/近红外/红外，通过内置聚焦透镜自动对准用户规定 finesse 值扫描选项 – 集成光电二极管放大器的独立扫描发生器 miniScan 杭州谱镭光电技术有限公司(HangzhouSPL Photonics Co.,Ltd)是一家专业的光电类科研仪器代理商，致力于服务国内科研院所、高等院校实验室、企业研发部门等。我们代理的产品涉及光电子、激光、光通讯、物理、化学、材料、环保、食品、农业和生物等领域，可广泛应用于教学、科研及产品开发。 我们主要代理的产品有：微型光纤光谱仪、中红外光谱仪、积分球及系统、光谱仪附件、飞秒/皮秒光纤激光器、KHz皮秒固体激光器、超窄线宽光纤激光器、超连续宽带激光器、He-Ne激光器、激光器附件及激光测量仪器、光学元器件、精密机械位移调整架、光纤、光学仪器、光源和太赫兹元器件、高性能大口径瞬态（脉冲）激光波前畸变检测干涉仪（用于流场、波前等分析）、高性能光滑表面缺陷分析仪、大口径近红外平行光管、Semrock公司的高品质生物用滤波片以及Meos公司的光学教学仪器等。 拉曼激光器，量子级联激光器，微型光谱仪，光机械，Oceanoptics，Thorlabs 。。。热线电话： / 传真：网址： /邮箱：

API XD激光干涉仪可以一次装夹测量六个参数包括定位精度、重复定位精度、直线度及角度。用于数控机床和三座标测量机的标定及校准。1D激光主要可以测量定位误差和重复定位精度3D激光可以测量定位误差、直线度误差（双向）5D/6D激光可以测量定位误差、直线度误差（双向）、偏摆角、俯仰角和滚动角在选择无线遥控传感器的情况下，最长的测量距离可到45米（80米可选）。可测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性。. XD美国激光干涉仪 设计紧凑、体积小，测量机床时不需三角架。集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤，减少了调整时间。5D/6D激光干涉仪是API的产品，一次安装能够同时测量线性轴的六个误差，包括1个位置度误差、2个直线度误差、3个角度误差。在通常情况下需要数天时间进行的测试，使用API激光干涉仪只需几个小时即可完成，实际应用结果表明，节省时间可达80%。该仪器体积小，重量轻，可以直接安装到机床导轨上。测量仪配有自动气压、环境温度补偿器，自动校正环境变化对激光波长及长度测量的影响，测量仪还配有专门设计的多重数字滤波器，使由空气波动及温度梯度引起的测量误差降到最小。

详细信息一、产品简介激光干涉仪以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，且可以溯源至国家标准，是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器，在高端制造领域应用广泛。SJ6800高精度激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现最高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。SJ6800激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6800激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。二、产品配置SJ6800激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。▲主要镜组图其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。三、产品功能特点精度高SJ6800激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。功能广可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；可实现对机床回转轴的测量与校准；可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；支持手动或自动进行环境补偿。软件强友好的人机界面；丰富的应用功能模块；向导式的操作流程；简洁化的记录管理；支持中文、英文和俄文界面；支持企业专属模板定制。

氦氖(HeNe)激光器是首先实现激光振荡输出的气体激光器。HeNe激光器输出的是Ne的光谱线，在可见和红外波段有多条，其中最强的是0.6328μm、1.15μm 和3.39μm 三条谱线。我们可以采取一些方法去抑制其中的两种，而使我们所需要的一种波长的激光得到输出。632.8nm（红光）因输出为可见波段的激光，实际应用较为广泛。 由于HeNe激光束具有单色性和方向性好,输出功率和波长能够控制得很稳定，并且结构简单、造价低廉等优点，因而广泛应用于精密计量、检测、准直、信息处理，以及医疗、光学实验等多个方面。 HeNe激光器是玻璃管状结构，玻璃是气密性非常优良的材料。HeNe激光器是一种小功率激光器，放电管长十几厘米的激光器输出功率为毫瓦上下，放电管长1~2m 的激光器输出功率可达几十至百毫瓦。HeNe激光器是放电激励的气体激光器的典型代表，它的工作过程、制造工艺和设计器件的方法对其他气体激光器都有参考意义。 单频激光干涉仪使用单频激光器、双纵模热稳频技术进行稳频。由于两纵模的频率间隔约为1GHz，超出了信号处理器的细分运算能力，故其中一个纵模的激光会由偏振片舍弃，测量过程中实际只使用通过偏振片的单纵模激光。最终采用零差干涉原理（调幅）进行测量。镭测科技Leice激光干涉仪单频激光管参数： 真空波长/nm632.99出光功率/mW0.8最大功率漂移（8h）5%尺寸Φ*L/mm26*150出光模式TEM00腰斑直径2ω0/mm0.33发散角θ/mrad2.4起辉电压/V4000工作电压/V1000工作电流/mA3.5~4工作寿命/h20000 北京镭测科技有限公司为您提供镭测科技Leice激光干涉仪单频激光管，镭测科技Leice激光干涉仪单频激光管产地为北京，属于国产激光器，激光器的参数、价格、型号、原理等信息欢迎该问北京镭测科技有限公司官方网站，镭测科技客服电话400-860-5168转5968，售前、售后均可联系。

机械耦合传感器习惯上被用来测量振动。尽管如此，一般、持续的朝着小型化的趋势，正提出对测量系统全新的要求，该系统需通过宽的频率范围且以纳米分辨率来测量物体的移动。激光干涉振动计用于对宏观和微观物体的非接触，无反应测量，频率在0-2MHz,分辨率在纳米范围内。这些系统很适合于需要分析难以达到的物体振动的应用程序。LSV激光干涉振动计系列激光干涉振动计的设计是建立在迈克耳孙干涉仪的基础之上的，在它里面，一束相干光纤分离成两个部分的光束：参考光束和测量光束。参考光束有固定的长度。测量光束集中在测量的表面，它的长度由于测量物体的移动而改变。测量光束从被测量物体上反射出以后，两个返回的局部光束相互干涉。它们的相位差与测量物体的位移是相称的，且测量也是可变的。这个测量可以追溯到国际长度标准，因为激光频率充当直线标度。优化的光学粗糙表面激光干涉仪振动计是为测量光学粗糙表面优化了的干涉仪。他们区别于其它长度测量干涉仪的最重要的特征，是它们在测量方位上有一个集中在测量光束上的镜头。从光学粗糙表面上的反射生成一个散斑图。传感头是设计用来确保一个好的信号噪声比，即使当这样一个散斑图产生的时候。测量光束的聚焦把测量范围限制到几个mm，作为表面反射率的一个功能。尽管如此，在振动测试中这通常不是个问题，因为测定的振动幅度通常更小。正常的位移测量也可以在有效的测量范围内进行。氦氖激光器被用来当做长度和振动测量的光源，因为它们的特性例如相干性和频率的稳定性，对于度量衡是至关重要的。串联LSV振动计的测量头，通过光纤电缆耦合保持头相当小地或者免于热辐射。传感头中的考面镜可以调节，以便简化校准和提高性能。LSV系列的新特征是用一个变焦目标来聚焦测量光束，而不是以前传统的定焦镜。这使得测量头和测量点之间的距离领域自由选择在20cm到2m.这可让测量设置中有相当大的灵活性，因此测试仪器可以用于一系列不同的应用。电子估算单元的设计用来处理从测量头接收到的干涉仪信号的氦氖激光器和电子设备被封装在10英寸的估算单元里。信号处理，考面镜和可变输入放大器通过多微机系统和非常快的可编程序逻辑电路来控制。估算单元有一个模块结构，所以测量系统可以通过添加各种各样的信号处理卡灵活适应一个应用程序。两个系列LSV传感头的评估可以封装在一个19英寸的设备中。数据捕捉可以和外部事项同时进行，这通过极短的延迟时间下利用触发脉冲输入完成。这也使得目标的相位响应在一个已知的激发下测量。估算单元可以装备有不同的接口卡以适应预期的目标高速估算卡提供一个USB和一个RS232接口连接到电脑上。还有一个触发输入，外部激发源同步振动测量 。这个估算卡可以用来控制振动计的各种功能，还可以控制最大采样频率1MHz和最大数据块长32768值。用该卡进行交流的应用程序接口对用户来说是可行的。A DLL,一个矩阵实验室图书馆和相应的模块支持整合成独立申请。并行接口卡使得解调的干涉仪信号作为一个数字的平行32位字来利用。 分辨率（字的最低有效位）相当大约0.078nm。平行32位数值在一个很短的潜伏期内有效的，并且可以在扫描速度达4MHz下读出来。这个促进完全可能带宽2MHz的利用。这个情况下，振动分析系统经常提供传感器的模拟输入。模拟接口因此有一个模拟输出，用来整合成这些系统。这使得传统的振动传感器很容易被激光干涉振动计所替代。串联 LSV振动计的动态范围比传统传感器的测量范围要大的多，就像合理支出下模拟分辨率的可实现。映射在模拟输出上的测量范围因而可以在七个阶段选择，以适应不同的应用领域。这个通常用前面板上的旋钮完成，但是范围也可以通过PC界面合适的软件来转换。重置模拟信号的追加输入进一步简化使用，总的来说，模拟接口卡以最大输出率10MHz来提供16位分辨率。尽管各种各样的于激光干涉振动计有效的接口可以结合到几乎每个测量系统中，经验证明大多数应用包含PC软件的单独操作。INFAS-Vibro软件通过USB或RS232接口或与高速并行接口振动计连用的DIO卡。软件使得振动信号呈现出来，保存且处理。记录原始信号使得测量无限制地离线分析。ASCII格式化数据的可配置出口使得初始和预加工能进一步加工处理。为融合进独立的应用中，INFAS Vibro可以由一个简单的TCP-IP协议来控制。无接触机械振动的量测和分析串联LSV激光干涉振动计可以用在机械振动需要无接触地分析和测量的所有领域。它与其他振动测量方法相比的主要优势是它的非接触和无反应操作方式， 以时间范围内小于1纳米的距离分辨能力的大测量范围，通过FFT增加到频率范围小于80微微米。当然，频率范围从0Hz到电流最大2MHz.振动光谱，自然频率和振动模式也可以确定。多坐标测量和微差测量可以再多系统援助下进行。串联LSV振动计的特别说明在真空运行时可能的，但是技术上很复杂。尽管如此，经常可以看到目标通过真空室的一个窗户测量，在真空室内通过外置测量头来测量。这使得真空下测量目标变得简单。激光干涉振动计是对于要求精度，物体非接触测量的所有应用都非常宝贵的工具。非接触操作模式在无需传感器机械影响下，提供不同位置快速分析物体的方法。该系统具有高精度和高分辨率，非常广泛的频率范围等特性。由缩放目标扩大的可变测量范围，评估电子设备的不同接口和综合软件支持，使串联LSV振动计成为生产，质保，研究和发展中一个重要的测量仪器。Worldwide Technology(S.H) Co.,Ltd.WAD (H.K) Co.,LtdTel: Fax: Email:

SJ6000国产机床激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时。具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000国产机床激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）SJ6000国产机床激光干涉仪具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。软件特点（1）友好的人机界面；（2）丰富的应用功能模块；（3）向导式的操作流程；（4）简洁化的记录管理；（5）支持中文、英文和俄文界面；（6）支持企业专属模板定制。激光干涉仪测量机床直角如机器轴垂直度误差测量（数控机床、坐标测量机等），SJ6000激光干涉仪垂直度测量是通过比较直线度值从而确定两个标称正交坐标轴的非直角度，即在同一基准上对两个标称正交轴分别进行直线度的测量。然后对两个轴的直线度进行比较，得出两个轴的垂直度。共同的参考基准通常指的是两次测量时反射镜的光学准直轴，在两次测量过程中既不移动、也不调整，光学直角尺测量中，允许调整激光束与直线度的准直，而不动直线度反射镜。典型情况下对于1.5米长的机器轴，像使用激光干涉仪这样的光学方法是好选择，因为传统的实物基准，如直角尺（金属或大理石等）的长度一般局限于1米的范围内。激光干涉仪对数控机床进行螺距误差补偿数控机床机械误差补偿包含记忆式相对位置补偿（jue对值）与记忆式螺距误差补偿（增量值）两种，三菱和法那科系统就是增量值补偿的代表之一。当采用激光干涉仪进行增量值补偿时，会遇到数据怎么对应补偿点位置的问题。增量值补偿时有几个重要参数：参考点：参考点也就是基准点。zui负端：设定zui靠近负端的补偿数据编号。zui正端：设定zui靠近正端的补偿数据编号。补偿倍率：写入机床系统补偿量的生效倍率。补偿间隔：机床补偿校准时的补偿间距。部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

美国api Xd激光干涉仪华东总代理连续生产与零故障方案：为了避免突然停机、停产，API公司为现代化的机加工车间提供完全测量解决方案，也就是零故障方案。长期以来.车间管理人员一直以1D激光测量系统来绘制机床误差图及进行校准。而这样一来，想要测量完整的21项参数。则需要进行21到24次单独的安装调试.而且每一轴的每一次测量都需要1-2小时时间.因此，整个机床的测量过程通常要占用两到三个工作日.这就使得机床长时间处于停工状态，严重影响了车间的利润率和生产能力。采用API公司的XD Laser激光干涉仪就完全避免了上述缺陷使得对机床的测量快捷、简便。仪器的溯源性：API公司XD系列激光干涉仪的各项参数(线性、直线度、角度)都是溯源到国家和国际标准上的。这些精度都经过美国国家标准局(NIST)、中国计量科学研究院和德国PTB等机构的检验。携带方便、操作简单：全套系统重量仅为15千克.可以装入一个小型工具箱内。由于采用了凑型设计.XD Laser体积小，测量机床时无需使用三 脚架，使测量基准与机床的加工基准保持一致，简化了测量程序 (免拆机床护罩)。集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤， 减少了调整时间，提高了机床使用效率。激光干涉仪介绍： 1D激光主要可以测量定位误差??3D激光可以测量定位误差、直线度误差(双向)??5D/6D激光可以测量定位误差、直线度误差(双向)、偏摆角、俯仰角和滚动角技术参数：??5D/6D标准型：??1. 线性：0.5ppm .??2. 测量范围：40米(1D可选80米)??3. 线性分辨力：0.001um.??4. 偏摆角和俯仰角的精度：(1.0+0.1/m)角秒或1%显示较大值??5. *大范围：800角秒??6. 滚动角精度：1.0角秒??7. 直线度精度：(1.0+0.2/m)um或1%显示较大值??8. 直线度*大范围：500um??9. 垂直度精度：1角秒??10. 温度精度：0.2摄氏度??11.湿度精度：5%??12.压力精度：1mmHg主要特点：??1. 同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角??2. 设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器??3. 可选的无线遥控传感器*长的控制距离可到25米??4. 可测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性。??5. 全套系统重量仅15公斤，设计紧凑、体积小，测量机床时不需三角架??6. 集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤，减少了调整时间XD Laser被来自世界名地的API用户用于： CMMICNC的校准、补偿 机床导轨平行度的测量 旋转轴的测量 垂直度的测量 对角线的测量 CNC反馈 机器人位置反馈

产品简介sj6000国产激光干涉仪厂家中图仪器利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点。它集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。sj6000国产激光干涉仪厂家中图仪器结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品配置SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。主要镜组图其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）sj6000国产激光干涉仪厂家中图仪器支持手动或自动进行环境补偿。测量软件（1）友好的人机界面；（2）丰富的应用功能模块；（3）向导式的操作流程；（4）简洁化的记录管理；（5）支持中文、英文和俄文界面；（6）支持企业专属模板定制。产品应用1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿SJ6000激光干涉仪非接触式、高精度的特点使其适用于各种复杂的运动系统，不仅仅局限于运动导轨，还可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。帮助企业提高设备性能，减少维护成本和停机时间，为制造业提供了一种精密的测量检测方式。部分技术指标主机稳频精度：0.05ppm动态采集频率：50 kHz预热时间：≤ 6分钟工作温度范围：(0~40)℃存储温度范围：(-20~70)℃环境湿度：(0~95)%RH环境补偿单元空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃材料温度传感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃空气湿度传感器：±6%RH (0~95)%RH大气压力传感器：±0.1kPa (65~115)kPa线性测量距离：(0~80)m (无需远距离线性附件)角度测量范围：±10°平面度测量范围：±1.5mm直线度测量范围：±3mm垂直度测量范围：±3/M mm/m便携箱尺寸：613*460*230mm标准配置重量：18kg恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

SJ6000国产激光干涉仪品牌集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点。SJ6000国产激光干涉仪品牌结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品配置SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。主要镜组图其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。在测量机床领域，它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点，在机床加工领域有着广泛的应用。工作原理激光干涉仪利用激光光束的干涉原理来测量物体的形状和表面的高度差异。其原理是基于两束相干光在空间交叉的地方发生干涉，形成干涉条纹，通过测量干涉条纹的变化来推断被测量物体的参数。测量原理激光干涉仪的测量原理主要包括相位测量和位移测量。相位测量是通过测量干涉条纹的相位差来计算被测量物体的形状、位置等参数；位移测量是通过测量干涉条纹的位移来确定物体的位移量。这两种测量原理在不同应用场景下有着各自的优势和适用性。产品优势1、激光干涉仪具有非常高的测量精度和重复性。2、激光干涉仪可以实现非接触式测量，不会对被测量物体造成损伤。3、激光干涉仪具有实时性测量能力，能够同时测量多个位置或参数，提高测量效率。产品应用1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿SJ6000国产激光干涉仪品牌非接触式、高精度的特点使其适用于各种复杂的运动系统，不仅仅局限于运动导轨，还可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。帮助企业提高设备性能，减少维护成本和停机时间，为制造业提供了一种精密的测量检测方式。部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

SJ6000高灵敏度超精密激光干涉仪是利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点。它集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。测量软件（1）友好的人机界面；（2）丰富的应用功能模块；（3）向导式的操作流程；（4）简洁化的记录管理；（5）支持中文、英文和俄文界面；（6）支持企业专属模板定制。SJ6000高灵敏度超精密激光干涉仪在机床加工领域有着广泛的应用。工作原理激光干涉仪利用激光光束的干涉原理来测量物体的形状和表面的高度差异。其原理是基于两束相干光在空间交叉的地方发生干涉，形成干涉条纹，通过测量干涉条纹的变化来推断被测量物体的参数。测量原理激光干涉仪的测量原理主要包括相位测量和位移测量。相位测量是通过测量干涉条纹的相位差来计算被测量物体的形状、位置等参数；位移测量是通过测量干涉条纹的位移来确定物体的位移量。这两种测量原理在不同应用场景下有着各自的优势和适用性。产品优势1、激光干涉仪具有非常高的测量精度和重复性。2、激光干涉仪可以实现非接触式测量，不会对被测量物体造成损伤。3、激光干涉仪具有实时性测量能力，能够同时测量多个位置或参数，提高测量效率。产品应用激光干涉仪是一种能够测量机床精度的高精度测量装置。它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点，在机床加工领域有着广泛的应用。1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

皮米精度位移激光干涉仪（可试用）姓名：谷工(Givin)电话：（微信同号）邮箱： 昊量光电推出的皮米精度位移干涉测量仪quDIS是对纳米级别的位移波动进行量测的理想仪器，基于其独特的测量原理，相对距离的重复精度达到了前所未有的50皮米。quDIS可同时支持三个测量通道，使其可以适用于任意的多轴测量中。quDIS在原理上同样采用激光干涉法，不过与传统激光干涉仪相比，其集成了法珀腔（Reference cavity）及饱和吸收气室（GC）作为频率校准参考，通过激光波长调谐扫描，比较两种不同的干涉图样，可以实现其它设备所不具有的绝对距离测量，基于这种测量方式，使得quDIS相对其他产品测量距离可以达到20M的同时保持高精度，且与信号对比度和强度无关，由于使用整个干涉模式来提取位移信息，因此不存在非线性误差。此外，quDIS不仅可以获得位置、速度和加速度等信息，折射率、反射率或表面倾斜度等信息也可以从实时信号中提取得到。独特的法珀腔+饱和吸收气室构造 波长的线性变化的引入在此构造下使得绝对距离的测量成为可能！干涉传感头 激光束的成型是通过不同的传感器头来实现的，根据反射目标的不同，不同的应用都需要不同的准直、聚焦和光束剖面约束。quDIS的传感器头均基于光纤设计。quDIS为常规情况下的使用提供标准准直仪和定焦传感头，同时根据具体的需要以及恶劣环境下的应用，也设计了响应的特殊传感头。 用于测量高温漂移物体的传感器头的设计 镍铁合金制造的低热膨胀系数准直头产品特点： 多维度多通道位移干涉器，操作简单，即插即用 相对距离和绝对距离测量 完善的全套系统配置 实时输出数字化图像 针对不同应用提供各种传感接头及反射模块组合解决方案 长期使用保证稳定性 兼容真空与各种恶劣环境独特优势： 绝对距离高精度测量！ 不存在非线性及周期性误差！ 相对距离信号稳定性0.05nm！ 工作距离最大20m（与传感头相关） 目标最大速度1m/s 三个传感接口，可实现多设备同步 探测器分辨率达到1pm应用领域： 极限环境下振动分析 缓慢漂移及热膨胀检测 精密设备位置控制 纳米级位移测量 层状结构中间隙和边缘的测量 位移和振动精度评估皮米精度位置测量仪参数列表：干涉仪传感头光源DFB激光器分辨率1pm功率400uW相对距离稳定性 0.05nm波长1535nm绝对距离精度0.2nm/mm线宽5MHz带宽25kHz传感器通道3工作距离0.1—20m光纤输入端口FC Narrow-Key-Slot目标速度1m/sMating Sleeves传感头真空同步多台设备同步低温

基于干涉测量技术，LEM 可在蚀刻/沉积制程中对薄膜厚度和沟槽深度进行高精度检测。根据应用的不同，当 LEM 安装在任何干法蚀刻/沉积制程腔室上，直接俯视晶圆时，会在样品表面产生小激光点。单色光照射到样品表面时会发生干涉，由于薄膜的厚度和高度变化，会导致不同的光程长度，因此可实时监测蚀刻/沉积速率和厚度，也允许条纹计数或更复杂的分析，为各种工艺提供增强的制程控制终点检测。LEM 包含 670、905 或 980 nm 激光器，可供选配的 3 种激光波长兼容各种薄膜，包括 SiN、SiO2、GaAs、InP、AlGaAs、GaN……LEM 根据材料应用可选择使用可见（670 nm）或近红外激光器（905 nm、980 nm）。此外，界面层可通过其反射率的变化来检测。产品特色LEM 可以安装在任何工艺腔室上，具有晶圆的直接顶视图，并提供样品表面的实时数字 CCD 图像，使光斑定位变得简单。随着蚀刻过程的进行，光谱相对于蚀刻深度产生干涉。一个周期内的蚀刻量显示为厚度/深度 = λ（激光波长）/2n（蚀刻膜折射率）。根据材料结构（每层以其材料、厚度和蚀刻/沉积速率表征）和所用波长的理论干涉曲线，可以在晶圆上进行实际工程之前获得参考曲线。HORIBA 为 WIN10 PRO 64 位电脑提供专用于干涉监测和终点检测的 HORIBA 软件.技术指标

专为光刻机配套开发的高精度测量系统；通过国家重大专项“极大规模集成电路制造技术及成套工艺”项目验收。采用直接输出线偏振光的双频激光器；非线性高精密测量系统，测量更精准；可提供1~20MHz频差内任意频差产品，满足各种测量速度需要。光源和测量信号接收单元分体式设计，方便搭建XY位移台等多轴测量系统；精巧的测量信号光纤接收头，即使空间狭小也能方便安装；标准光刻机干涉仪安装尺寸和数据接口，可直接替换现有产品。型号频差(MHz)最小出光功率(μW)光斑尺寸(mm)稳频精度(ppm)LH1000A1.5±0.55006±0.02LH1000B2.5±0.5 5006±0.02LH1000C3.5±0.5 5003, 6, 9±0.02LH1000D4.5±0.55006, 9±0.02LH1000DL5.5±0.5 5006, 9±0.02LH1000EL6.5±0.55006±0.02LH1000FL7.5±0.55006, 9±0.02LH1000GL8.5±0.5 5009±0.02LH1000H9.5±0.5 5003, 6, 9±0.02LH1000I10.0-20.0(按需定制) 5003, 6, 9±0.02

仪器简介：ML10 Gold 高性能激光干涉仪是机床、三坐标测量机及其它定位装置精度校准用的高性能仪器。由于采用了独特的专利设计及最新的光电子技术，使ML10 Gold 激光干涉仪比市场上其它型号的激光干涉仪具有更高的性能和更先进的任选功能。ML10 Gold 激光干涉仪提供有进行机器位置、几何精度测量的全套光学器件。 ML10 Gold 激光测量系统所有功能都设计与Laser 10 软件配合使用。除了测量和分析诊断功能外，此软件包的标准配置还包括动态测量、旋转轴测量、双轴测量和电子水平仪及千分表程序接口模块。 该激光干涉仪系统由激光头ML10 Gold、环境监测补偿器EC10，计算机接口卡PC10* 或PCM20* 及高精度的光学器件组成。全部器件放在一个配小车的提箱内，一人便可携带全部系统赴异地进行机器精度检定，大大改善了激光干涉仪的便携性。 该激光干涉仪系统通过接口与IBM 兼容的PC 机（包括笔记本计算机）连接，在灵活、直观的软件控制下进行自动测量，既节省了测量时间，又避免了人为误差，并能按国际上通行的标准进行数据分析处理，如ISO230-2、JIS-B6330、VDI3441、VDI2617、ASME B89等并适用中国国家标准GB17421-2000等，以便于按不同标准进行机床精度的评定和比较。技术参数：1.线性测量分辨率: 0.001&mu m2.线性测量范围： 40m（或任选80m）3.线性测量精度: ± 0.7ppm4.最高测量速度： 60m/min5.长期稳频精度： ± 0.05ppm主要特点：ML10 Gold是全球最畅销的用于长度计量的激光干涉仪,其最大的优点是所有测量功能均采用激光干涉原理,性能稳定,使用可靠,功能扩展性强,价格适中.

DynaFiz激光干涉仪:在空气湍流和极端振动的环境下进行动态测量 DynaFiz激光干涉仪优化的光学系统提供了清晰可见的中间空间频率特征 LivePhase™ 软件可以进行实时Zernike分析 Movie模式获取随时间变化的波前 DynaFiz激光干涉仪高功率，长寿命稳频氦氖激光器。DynaFiz® 动态测量新型的ZYGODynaFiz® 激光干涉仪是特别设计为在有空气湍流和极端振动的环境中进行测量的光学计量的优化的光学仪器。DynaFiz® 光学系统的长寿命，高功率氦氖激光源具有高的光效率，使得相机的高速快门能够“凝固”振动。这种动态能力提供了在恶劣的环境中，传统的时间相移技术不可能实现的可靠的测量。DynaFiz® 干涉仪的低噪声，高分辨率相机和光学放大能力能够清晰地观察被测样品表面的中间空间频率特征。DynaFiz® 干涉仪具有独特的实时数据获取能力也给光学系统检测提供了便利。LivePhase™ 获取能力提供了实时Zernike反馈为光学系统的光路对准进行追踪。这是一个电影形式，把一系列动态图像连接成电影提供光学系统随时间变化的过程。采用具有独特性能的多功能的ZYGODynaFiz® 干涉仪将使你的计量得到较大的受益。只有从ZYGO你才能得到值得信赖的测量可靠性。

双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展而来的一种外差式干涉仪。传统单频激光干涉仪采用单频技术，容易受到外界环境干扰，微小的空气湍流都会引起直流电平变化从而影响测量结果，这是单频干涉仪的一个根本弱点。在测试环境恶劣或测量距离较长时，这一缺点十分突出，而双频激光干涉测量仪正好克服了这一缺点。双频干涉仪使用双频激光，其干涉信号是一个频率约为1.5-8 M H z的交流信号，当可动棱镜移动时，双频干涉仪的干涉信号只是使原有的交流信号频率增加或减少了△f，结果依然是一个交流信号。这个交流信号频率的改变取决于可动棱镜位置的变化，不受直流光平和电平变化的影响，因此抗干扰能力强，适合在各种环境条件下开展检测作业。 双频激光干涉测量仪采用外差技术，对环境干扰不敏感，先天具有抗干扰性好，工作稳定的特点，适合在车间生产环境中使用。镭测科技推出的LH3000双频激光干涉仪，基于清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室多年研发的核心技术，拥有自主知识产权，技术指标达到或优于国外产品同等水平。LH3000双频激光干涉仪通过与不同的光学组件结合，可实现对线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何量的检测，是高精度线性位移测量、数控机床校准、三坐标机校准、光学平台校准的高效率量测工具。 系统组成： LH3000双频激光头及附件 LC-2000环境补偿单元 Leice Measure测量软件、Leice Analysis 分析软件 线性位移测量镜组（选配：角度、直线度、垂直度、平面度测量镜组等） 光学调整附件 三脚架及其他测量附件产品优势： 采用双频激光，测量精度高 紧凑设计，适合外出服务携带 抗干扰能力强，大型机床长距离检测时也能保证稳定精准 自动环境补偿，不同温度、湿度、压力环境中也能精确检测 符合测校国家标准的测量分析软件 自动生成测量数据报表和误差校正补偿文件。 典型频差7±0.5MHz，测速高达2m/s。（欲了解更多单频与双频干涉仪的性能特点和差异，请阅览本网站解决方案栏目中的：双频激光干涉仪）

产品简介中图激光干涉仪机床校准仪sj6000集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。中图激光干涉仪机床校准仪sj6000具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品配置SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。主要镜组图其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。在机床加工领域的应用利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点。1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿中图激光干涉仪机床校准仪sj6000非接触式、高精度的特点使其适用于各种复杂的运动系统，不仅仅局限于运动导轨，还可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。帮助企业提高设备性能，减少维护成本和停机时间，为制造业提供了一种精密的测量检测方式。

镭测科技Leice激光干涉仪LH2000双频激光干涉仪 满足计量检测用户更稳定、更高精度、更便利的使用要求； 以光刻机用激光干涉测量系统为基础， 在保留高稳定性、高精度、高采样速率卓越性能的同时， 将光源和测量信号接收处理单元集成在主机里， 一体化设计为用户提供更加方便、易用、友好的使用体验； 典型频差7±0.5 MHz，测速高达2m/s。 系统组成： LH2000激光测头及附件 环境补偿单元 LaserLC测量软件 线性位移测量镜组（选配：角度、直线度、垂直度、平面度测量镜组等） 光学调整附件 三脚架及其他测量附件镭测科技Leice激光干涉仪LH2000双频激光干涉仪参数激光头尺寸330mm×110mm×95mm激光头重量3.3kg激光光束直径6mm激光功率 0.5mw真空波长632.99nm频差可定制 典型值7±0.5 MHz工作温度范围+10℃~+30℃储存温度范围+15℃~+45℃激光稳频精度±0.02ppm线性测量范围40m线性测量精度±0.1ppm(真空中)±0.4ppm*(使用LC-2000环境补偿器)分辨率1nm测量速度2m/s工作电源220V/50Hz北京镭测科技有限公司为您提供镭测科技Leice激光干涉仪LH2000双频激光干涉仪，镭测科技LH2000双频激光干涉仪产地为北京，属于国产激光干涉仪，更多激光干涉仪的参数、价格、型号、原理等信息欢迎您访问北京镭测科技有限公司官方网站。

激光干涉仪通用长度测量工具sj6000利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点。结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。动态测量应用基于时间的动态测量机器运动控制性能评价：1.运动控制器PID控制参数测试与设置2.高速运动后机器的稳定性测试与评价3.高性能运动控制器的微小步幅的测试振动监视1.扫描应用：用于定位精度不重要，但恒速对实现高质量成像非常关键的场合2.机床应用：典型应用包括要求刀具慢速、平稳轮廓运动的高质量表面精加工振动频率分析1.被测对象的振动频率分析2.FFT快速傅立叶变换分析基于距离的动态测量基于距离的动态测量，SJ6000激光干涉仪系统将沿着轴线“飞行"测量，即运动轴在不停顿的情况下以用户间隔进行数据采集。提供脉冲触发方式采集CT70正交触发盒可监控光栅、编码器、控制器等信号，配合SJ6000激光干涉仪，可实现脉冲触发启动采集和连续脉冲触发采集。适用于运动轴在不停顿的情况下，触发激光干涉仪按照间隔位置进行数据采集。产品特点1、激光干涉仪通用长度测量工具sj6000使用高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)；2、以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级；3、使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s；4、配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度；5、分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变。在机床领域中的应用激光干涉仪通用长度测量工具sj6000是一种能够测量机床精度的高精度测量装置。它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点，在机床加工领域有着广泛的应用。1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

单频光纤激光器单频光纤激光器是一款单频偏振光源，提供低相位和强度噪声，窄谱线宽和长相干长度。他们由一个单频掺镱光纤激光器组成，能发出电子单模窄带红外光，能保证温度稳定性和输出功率稳定性。可以提供2RU-机架或者机架式空气冷却封装。特点低强度噪声实现单频运转无跳模（单频模式）长相干长度联锁安全锁应用干涉多普勒传感器原子冷却显微镜全系生物光子学应用单频近红外光纤激光器 最小典型 最大 波长1028 or 1064nm输出功率up to 10W功率调谐范围 20 - 100 %半带宽 (FWHM) 50100kHz长时间波长稳定性Nominal - 0.02 Nominal + 0.02nm偏振角度9899 %额定功率下的相对RMS 强度噪声 集成5 Hz to 100 kHz 0.1 (typical)0.3%长时间输出功率偏移(8 hours)-2 2%单频可见光纤激光器 最小典型 最大 波长514 or 532nm输出功率200, 500, 1000mW功率调谐范围 20 - 100 %半带宽(FWHM) 100200kHz长时间波长稳定性Nominal - 0.02 Nominal + 0.02nm偏振角度9899 %额定功率下的相对RMS 强度噪声 集成5 Hz to 100 kHz 0.1 (typical)0.3%长时间输出功率偏移(8 hours)-2 2%OSC 光达 (未放大)85-89*dB

中图仪器SJ6000机床校准激光干涉仪是一种能够测量机床精度的高精度测量装置。具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点，在机床加工领域有着广泛的应用。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，还可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。测量原理SJ6000机床校准激光干涉仪的测量原理主要包括相位测量和位移测量。相位测量是通过测量干涉条纹的相位差来计算被测量物体的形状、位置等参数；位移测量是通过测量干涉条纹的位移来确定物体的位移量。这两种测量原理在不同应用场景下有着各自的优势和适用性。产品优势1、激光干涉仪具有非常高的测量精度和重复性。2、激光干涉仪可以实现非接触式测量，不会对被测量物体造成损伤。3、激光干涉仪具有实时性测量能力，能够同时测量多个位置或参数，提高测量效率。产品应用1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过SJ6000机床校准激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

ZYGO新型VerifireHDX激光干涉仪是为超高精度的光学元件和系统设计和制造的，可以获得元件表面的中频特征信息。系统包含现有VerifireHD的所有功能-比如QPSI和长寿命稳频的激光器，并增加了重要的增强功能，如刷新行业水平的分辨率和成像能力，仪器传递函数（ITF）、出众的中频特征分析和大坡度表面测试，同时也兼具了ZYGODynaPhase® 系列动态采集技术，可以去除震动引起的问题并且能够在近乎任何环境中准确计量。特殊设计优化的分辨率和性能VerifireHDX激光干涉仪系统具有全新的光学设计，经过严格设计，可为其所配的3.4kx3.4k（1160万像素）传感器提供突破像素限制的性能，呈现增强的图像，可以显示出较低分辨率干涉仪难以辨识的表面特征。这种超高的空间分辨率不会以牺牲速度为代价，该系统在全分辨率下以帧率96Hz运行，比其它高分辨率干涉仪速度快10倍，那些由于采样速度较慢在采样的时候会引入震动误差从而测试能力受限。功率谱密度（PSD）和衍射分析工具完善了VerifireHDX激光干涉仪系统的中频特征分析能力，并通过简单直观的用户界面来分析和报告综合表面特性。光学面形测试下的中频特征分析高质量的参考光学元件和配件UltraFlat™ 和UltraSphere™ 超高精度透射平面和球面，面形可以达到λ/40PVr或更高，并且严格控制PSD特征进行制造，以*优化中频特征。推荐将这些高精度参考光学元件与VerifireHDX激光干涉仪一起配合使用，以完整实现和提升系统的性能。无论它们是被用于垂直构型还是水平构型，UltraFlat透射平板面形精度不变，从而在测试设置中提供更大的灵活性。超高精度平面和球面透射元件Mx™ 软件ZYGO自主设计研发的Mx™ 分析软件提供强大的操作功能和完整的数据分析功能，包括Zernike，斜率，PSD/MTF/PSF，棱镜角度，角锥以及更多。该软件集仪器控制，数据采集和分析软件包与一体，集成了制造过程控制，运行自动化和报告关键中频特征等工具包。软件操作界面简单，直观。它还包括了基于Python的脚本和远程控制接口，以实现更大的灵活性并集成到复杂的测试设置中。Mx软件，泽尼克分析结果ITF仪器传递函数-它是什么，为什么它是重要的很多年来，大家一直关注于光学元件表面的形状误差，但随着对光学系统性能需求的增加，控制中频特征（MSF）也变得同样重要。对于一些极高性能应用，需要严格控制MSF特性以减少光散射并提高光学效率。在校正形状误差方面非常有效的小工具确定性抛光技术也会将不期望得到的中频特征赋予光学表面。根据表面特性的频率和斜率，传统的干涉仪系统-非常适合测量表面形状-由于分辨率有限，无法测量和量化较高频率的表面特性。分辨率的缺失意味着更高的频率细节被过滤（见右图），并且在测量结果中可能根本不显示。这是仪器传输函数（ITF）的所在。激光干涉仪系统由于其自身的设计（光学设计，相机，波长）会衰减和过滤部分表面信息，决定了该系统的ITF（测量光学表面的空间频谱的能力）。VerifireHDX激光干涉仪系统具有高分辨率3.4kx3.4k传感器和优化的光学设计，具有比任何商业上可获得的干涉仪系统更高的ITF，使其成为可靠测量和量化光学表面中频特性的宝贵工具。这为光学设计师们提供了一种新能力，可以自信地指定光学表面到更高精度，并定义ITF测试要求来达到系统性能目标。用特殊设计的台阶板测量到的相位数据，台阶板上刻有密集的40nm台阶，按不同频率沿着径向发散变化。

Zygo激光干涉仪红外干涉仪适用于高精度红外成像应用的测量方法光学成像的应用广泛，种类繁多。在系统的设计波长下进行测试对开发、最终对准和鉴定至关重要。用于航空航天和国防的夜视、红外和热成像系统、光刻子系统、遥感望远镜和外来材料鉴定对波长有不同的要求，而它们都受益于在红外干涉仪系统在设计波长下的测试。ZYGO长期以来被公认为是世界上干涉测试仪器的先行者，已经设计和制造了许多特殊装备的干涉仪系统，包括NIR、SWIR、MWIR和LWIR波长的系统。ZYGO还设计和制造了一系列用于这些波长的参考光学器件（透射球面镜和透射平面镜）。主要特点工作波长范围广：NIR：1.053μm&1.064μmSWIR：1.55μmMWIR：3.39μmLWIR10.6μm基于工作波长的QFAS十字快速对准视图简化了红外测试系统和组件的设置。ZYGO独有的QPSI™ 采集技术，可在振动较常见的环境中实现可靠的测量，NIR、SWIR和MWIR型号均配有这种技术。可选的DynaPhase™ 瞬时数据采集技术，对振动不敏感，可在最恶劣的环境中进行测量。

KILO MEGA 系列连续波窄线宽光纤激光器 :法国 Keopsys 公司为 Lumibird 的全资子公司，其 KILO 和 MEGA 系列的高稳定性窄线宽光纤激光器可提供 kHz 或 MHz 级别的激光线宽，以其坚固的结构提供了业界领先的性能，不受环境温度变化和环境振动的影响，集成了波长锁定输入、输出监控和中间级放大（可选 输出波长在 530-560nm 630-650nm 676-790nm 1064nm, 1083nm 附近，1545-1565nm 范围内均可提供相应型号。 特点 :&bull 单频激光器&bull 衍射极限输出&bull 单模光纤输出 1W-10W&bull 免于维护&bull 不受环境温度变化和环境振动的影响&bull 非常低相位噪声和相对强度噪声( RIN )&bull 卓越的边模抑制比(SMSR)&bull 波长可调(可选)&bull 激光频率调制(可选)&bull 线性偏振 典型应用 :&bull 原子 / 分子冷却(铷、钾、镱、 CaF 等)&bull 量子光学，产生量子纠缠&bull 光镊&bull 光学计量与测试&bull 原子光谱，原子激光干涉&bull 激光雷达

仪器简介：Renishaw的新型XL-80激光干涉仪能够满足和超越实际工业规范水平，提供4 m/s最大的测量速度和50 kHz记录速率。即使在最高的数据记录速率下，系统准确性可达到±0.5ppm（线性模式）和1纳米的分辨率，这些改进意味着工程师仍能使用可溯源性激光干涉的独特优势，帮助解决现代化机器设计问题。 系统精度比原有的对应产品ML10激光系统有所提升，在整个日常温度、气压和湿度不同工作环境下，均可达到±0.5 ppm的精度。环境读数使用XC-80智能传感系统进行读取，每7秒更新一次激光读数补偿值。还有一点很重要，与Renishaw的ML10系统一样，所有测量值均采用稳定化的氦氖激光源的波长为单位，保证能够溯源至国际公认的长度标准。此新系统可以与现有的ML10系统光学镜组完全兼容，使目前全球成千上万的ML10用户能够升级到新系统，并同时保留其在光学镜组、程序和人员培训上的原有投资。 我们还提供已更新的Renishaw软件版本（LaserXL™ 及QuickViewXL™ ），能够以用户熟悉的、易于使用的格式提供数据。Laser XL™ 能够执行循序渐进式的测量，以方便对大多数机床按标准进行检验，QuickViewXL™ 软件能够在屏幕上实时地显示激光读数。您只要看一眼Renishaw的新型XL-80激光装置和XC-80补偿器，就会注意到它们比原有的ML10和EC10小了许多。现在，二者总重仅3公斤多一点（包括连接电缆、电源和传感器），比原来减轻了70%。当然，随着激光头和补偿器尺寸减小，其他系统组件，例如三脚架和云台也相应地减小以便相配，因此整个系统（除了三脚架）的装运箱减小了许多。现在，最小的“脚轮箱”只有原来箱子的一半大一点点，却可以携带整个线性和角度测量系统，并有放置Renishaw QC10球杆仪组件的位置。这个高度便携的“检查和修正”系统总重不到15公斤，同类产品无以匹敌。为了与系统的其他组件的便携性相匹配，我们设计了新型三脚架和装运箱，仅重6.2公斤。激光头和云台体积很小，能够方便地固定在标准磁性座上，可以在不方便使用三脚架固定的应用条件下使用。XL-80激光测量系统的光束高度和光学镜组尺寸与ML10系统一样，因此也可以直接放在花岗岩工作台（不使用三脚架云台）上，进行坐标测量机的校准。Renishaw已将激光的预热时间缩短至大约仅6分钟。预热速度较同类系统快，因此用户等待时间减少了，用于测量工作的几率增加了，这对于机器校准服务商和那些需要在一个地点执行多项测量的用户而言非常重要。现在，信号增益的开启和关闭是一项标准功能，使其具有80米线性测量距离的能力。若短距离应用时，则可以提高信号强度。配上多信号连接器以提供模拟信号输出以及激光直接到PC USB连接（不需要单独的接口），现在，XL-80激光头的配置包括了过去ML10机型的激光头上原为任选的所有功能。XL-80系统具有长达3年标准的全面保修，并可以以优惠的价格选购延长保修时间为5年。对于使用ML10的老用户和使用其他厂商制造的同类系统的新客户，我们均提供一些特别优惠政策。因此，您更有理由去联络Renishaw公司在全球各地的分公司和地区经销代理，让我们为您介绍选购XL-80作为升级或作为新系统所带来的好处。技术参数：系统精度:±0.5ppm (0~40 ℃整个工作环境范围) 激光稳频精度:±0.05ppm分辨率:0.001 um最大测量速度:4.0m/sec最高采样频率:50KHz测量范围:0 - 80 metres预热时间更短:~6分钟主要特点：传承于畅销全球的ML10 Gold激光干涉仪,诞生于英国计量产品世家的又一惊世杰作,XL80激光干涉仪为业界提供了性能更为先进,应用更为广泛,更加轻巧便携的计量检测利器: 检测速度从每小时几个微米到每分钟240米(仍以分辨率0.001 um记数) 采样频率从静态到每秒50000个数据点(仍以分辨率0.001 um记数) 测量范围从数纳米的微观尺寸到80米的大尺寸测量

ALS-IR 976 – 1030 – 1064 nm Up to 50WALS-IR一款高亮度高功率红外激光器，基于新波长Yb3+光纤激光器。全集成的激光平台提供的衍射限制输出功率可超过50W（取决于波长）。可做到全光谱控制，线宽低至50kHz（单纵模），数小时的波长漂移不到0.05pm。可选多端口（2、4、8、16…）输出配置，这个特点可明显降低并行处理应用的成本。ALS-IR激光器 TEM00模输出 技术特点连续波发光 - TEM00模式单频或者窄线宽版本超低噪声良好的指向稳定性良好的功率稳定性 实用特点基于光纤的机构无冷却仪的激光头无需维护 – 长寿命紧凑设计OEM版本可选低功耗 应用原子捕获和激光冷却工业控制和测量高功率振荡器或放大器泵浦可见光范围的非线性发生器 杭州谱镭光电技术有限公司(HangzhouSPL Photonics Co.,Ltd)是一家专业的光电类科研仪器代理商，致力于服务国内科研院所、高等院校实验室、企业研发部门等。我们代理的产品涉及光电子、激光、光通讯、物理、化学、材料、环保、食品、农业和生物等领域，可广泛应用于教学、科研及产品开发。 我们主要代理的产品有：微型光纤光谱仪、中红外光谱仪、积分球及系统、光谱仪附件、飞秒/皮秒光纤激光器、KHz皮秒固体激光器、超窄线宽光纤激光器、超连续宽带激光器、He-Ne激光器、激光器附件及激光测量仪器、光学元器件、精密机械位移调整架、光纤、光学仪器、光源和太赫兹元器件、高性能大口径瞬态（脉冲）激光波前畸变检测干涉仪（用于流场、波前等分析）、高性能光滑表面缺陷分析仪、大口径近红外平行光管、Semrock公司的高品质生物用滤波片以及Meos公司的光学教学仪器等。 拉曼激光器，量子级联激光器，微型光谱仪，光机械，Oceanoptics，Thorlabs 。。。热线电话： / 传真：+86571 8807 7926网址： /邮箱：

Zygo激光干涉仪Verifire™ HD/HDX中频信息表征，具有同类最佳的分辨率和ITF曲线干涉仪的分辨率已达其上限。VerifireHD和VerifireHDX干涉仪系统可对光学表面进行无与伦比的中空间频率表征。仅仅在系统中增加更多的像素是不够的，我们需要严格的光学设计，才能确保干涉仪的像素限制性能，并捕捉最苛刻的应用所需的表面细节。ZYGO专有的干涉系统相位传递函数（ITF）表征方法确保了性能与预期相符，可提供您应用所需的功能。ZYGO的VerifireHD和VerifireHDX被设计和制造用于表征极致性能光学元件和系统的中频信息。标准配置包括QPSI以及ZYGO制造的长寿命稳定激光器、一流的成像和分辨率、高仪器传递函数（ITF）、卓越的中频能力和高斜率表面偏差表征功能。主要特点530万像素（VerifireHD）和1160万像素（VerifireHDX）摄像机分辨率，辅以严谨的光学设计，并且还通过了ZYGO专有的ITF认证技术验证。ZYGO独有的QPSI™ 采集技术，可在振动较常见的环境中实现可靠的测量ZYGO制造的HeNe激光源比市面上的激光器寿命更长，寿命长达6万小时，享3年质保！更高的功率，改善了抗振性能，适合微光应用波长稳定在0.0001nm可选的DynaPhase™ 瞬时数据采集技术，对振动不敏感，可在最恶劣的环境中进行测量相干环纹抑制系统（CARS）消除了内部环纹的靶心，并将测量中的相干噪声降低了10倍