压电显微镜

近日，南京理工大学发布多则仪器招标公告，预算达747万。计划采购压电力显微镜、激光直写无掩模光刻机曝光机、原子力显微镜、电光404+扫描电子显微镜等仪器设备。详细内容如下：项目名称：压电力显微镜1、项目编号：XHTC-HW-2022-0070、ZZ0008-G22HZ00172、预算金额：180.0000000 万元（人民币）3、采购需求：项目名称：激光直写无掩模光刻机曝光机采购1、项目编号：ZZ0023-G22HZ0049/JSHC-20220300792、预算金额：217.0000000 万元（人民币）3、最高限价（如有）：217.0000000 万元（人民币）4、采购需求：激光直写光刻机1套项目名称：南京理工大学原子力显微镜采购1、项目编号：ZZ0202-G21HZ06022、预算金额：190.0000000 万元（人民币）3、采购需求：项目名称：电光404+扫描电子显微镜采购1、项目编号：ZZ0007-G22HZ00162、预算金额：160.0000000 万元（人民币）3、最高限价（如有）：160.0000000 万元（人民币）4、采购需求：扫描电子显微镜1套

项目编号：XHTC-HW-2022-0070、ZZ0008-G22HZ0017项目名称：压电力显微镜预算金额：180.0000000 万元（人民币）采购需求：序号标的物名称数量简要技术参数（采购需求）预算金额（万元）是否接受进口产品采购用途1压电力显微镜1套在原子力显微镜基础上发展起来利用原子力显微镜导电探针检测样品的在外加激励电压下的电致形变量的显微镜等180.0是用于纳米尺度畴结构的三维成像、畴结构的动态研究、畴结构控制和微区压电、铁电、漏电等物理性能表征等领域 合同履行期限：自合同签订之日起30个工作日内或办理完免税后90个工作日内完成供货本项目( 不接受 )联合体投标。

2016年6月30日，日立原子力显微镜应用技术研讨会在上海举行，来自北京、上海、南京等地区的20多位专家学者参加了此次技术研讨会。会议前后，日立原子力显微镜应用工程师在中科院上海硅酸盐研究所对用户进行了系统的应用培训。　　此次研讨会邀请到了中科院上海硅酸盐研究所的曾华荣研究员做了题为《高分辨扫描探针压电-声学-热学显微术及其应用研究》的报告，介绍了其在铁电材料研究中对于日立高分辨型原子力SPA-400及日立环境型原子力显微镜AFM5300E的应用心得。日立高新北京分公司总经理加藤博司先生、天美公司上海分公司总经理顾家晖先生分别致辞，日立原子力显微镜全球应用中心山冈武博博士，日立高新北京分公司罗琴女士，天美公司原子力应用工程师周海鑫博士等人参与了研讨会。　　日立高新北京分公司总经理加藤博司先生在致辞中介绍了日立原子力的发展历程，并对日立原子力显微镜的发展规划向与会学者做了介绍。天美公司上海分公司总经理顾家晖先生对于日立原子力显微镜的市场发展情况进行了回顾，并对日立原子力显微镜日后的发展表达了美好的祝愿。　　中科院上海硅酸盐研究所曾华荣教授结合其在铁电畴领域的应用，对压电响应显微术、扫描探针声学显微术、扫描热学显微术、扫描热电显微术等先进探针显微术的特点进行了介绍，扫描探针压电-声学-热学联用研究的方式引起了与会学者的极大兴趣。　　日立原子力显微镜全球应用中心山冈武博博士针对日立环境可控型原子力显微镜AFM5300E的特点，介绍了AFM5300E在力学、磁学、电学等方面的应用。AFM5300E可调节密闭样品仓中的温度、湿度，并可使样品处于真空或者气氛保护条件下进行原子力测试。山冈博士将日本运用AFM5300E取得的最新科研成果向大家做了分享。　　天美公司原子力应用工程师周海鑫博士介绍了日立原子力的产品线，对于高分辨型AFM5100N、环境可控型AFM5300E以及最新发布的全自动化原子力显微镜AFM5500M的特点和应用做了详细的介绍。　　最后，日立高新电镜应用工程师罗琴女士对于日立扫描电镜-原子力的联用方案进行了介绍。日立高新在扫描电镜领域拥有丰富的经验，原子力显微镜产品线的加入实现了SEM-SPM同位置同气氛保护方面的联用，为科研工作者提供了更加丰富的科研解决方案。日立高新与天美公司会继续以支持中国科技发展为己任，不断开发高性能仪器，为广大科研工作者提供更加优质的服务。关于天美：　　天美(控股)有限公司(“天美(控股)”)从事表面科学、分析仪器、生命科学 设备及实验室仪器的设计、开发和制造及分销 为科研、教育、检测及生产提供完整可靠的解决方案。继2004年於新加坡SGX主板上市后，2011年12月 21日天美(控股)又在香港联交所主板上市(香港股票代码1298)，成为中国分析仪器行业第一家在国际主要市场主板上市的公司。近年来天美(控股)积极 拓展国际市场，先后在新加坡、印度、澳门、印尼、泰国、越南、美国、英国、法国、德国、瑞士等多个国家设立分支机构。公司亦先后收购了法国 Froilabo公司、瑞士Precisa公司、美国IXRF公司、英国 Edinburgh Instruments公司等多家海外知名生产企业和布鲁克公司Scion气相和气质产品生产线，加强了公司产品的多样化。　　更多详情欢迎访问天美(中国)官方网站：http://www.techcomp.cn

操作简单换样快捷，换样仅需3 min成本低廉 无需冷却水无需专业实验室维护成本低新一代超小型台式透射电子显微镜LVEM 5 随着科研技术的进步，人们对科研设备的要求也越来越高。在保证高精度、高灵敏度等条件的前提下，便捷操作的台式小型化设备越来越受科研人员的青睐。尤其是科研工作者在前期科研探索过程中，面对繁重的样品筛选工作，迫切需要操作便捷、换样快速的表征仪器，特别是透射电镜领域，满足这样需求的仪器少之又少。为此，美国Delong Instrument公司推出新一代LVEM5超小型多功能台式透射电镜，以实现这一功能。操作简单，换样快捷，成本低廉 LVEM5直观的用户界面、简便的控制台设计，用户仅需少的培训，即可轻松操作，让用户在使用时感觉更加舒适。不同于传统透射电镜每次更换样品后需要长时间抽真空，LVEM5更换样品仅需3分钟，可节省大量时间。LVEM5次购置费用远低于传统透射电镜。LVEM5特的设计优势，在使用中无需冷却水等外设，无需安装在特殊实验室，维持成本低。 台式设计：体积小巧，灵活性高 传统透射电子显微镜体积庞大，对放置环境有严格的要求，并且需要水冷机等外置设备。通常会占据整间实验室。LVEM5从根本上区别于传统电镜，尺寸较传统电镜缩小了90%，对放置环境无严格要求，无需任何外置冷却设备，可以安装在用户所需的任意实验室或办公室桌面。TEM-ED-SEM-STEM四种成像模式 LVEM5是新一代电子显微镜，不仅具有传统透射电镜功能，同时集成了扫描电镜功能，在一台电镜上即可实现TEM-ED-SEM-STEM四种成像模式。通过控制软件，LVEM5可以在四种模式间快速切换。研究人员可以获取同一样品、同一区域的不同模式图像，更加方便多方位深入的研究样品。电子光学-光学两图像放大 LVEM5电子光学系统采用倒置设计，场发射电子枪位于显微镜底端。电子枪发射出的高亮度电子束，经过加速、聚焦以及样品作用后，照射在高分辨率 YAG荧光屏上。荧光屏上的图像，包含了纳米的样品信息。YAG荧光屏将电子光学信号，转化成光学信号。采用光学显微镜对图像进一步进行放大。TEM模式下，放大倍数～20万倍（TEM Boost升版 ～50万倍）。而整个电镜体积，仅与光学显微镜相仿。5 kV低加速电压，有效提高轻元素样品成像质量生物样品无需染色 LVEM5采用5 kV低电压设计。相比高电压，低压电子束同样品的作用更强，对密度和原子序数有很高的灵敏度，对于0.005 g/cm3的密度差别仍能得到很好的图像对比度。例如，对20 nm碳膜样品，5 kV电压下比100 kV电压下对比度提高10倍以上。而LVEM5的空间分辨率在低电压下仍能达到1.5 nm。 生物样品的主要元素为C、H、O等轻元素，使用传统透射电镜观测时，需要使用重金属元素对样品进行染色，以增强对比度。 LVEM5观测生物样品时无需喷金，避免了染色造成的样品污染和扭曲，展现样品的本征形貌。超小型多功能台式透射电镜LVEM5与传统透射电镜的对比：传统透射电镜LVEM放大倍数高，分辨率0.2 nm左右分辨率：1.5nm（LVEM5）1nm (LVEM25)进样速度慢，约15-30分钟进样速度快，约3分钟操作复杂：操作人员需经过长期的严格培训为保证设备正常运行，好是专门做电镜的研究生操作，人工成本高操作简单：半天培训即可立操作无需专人操作放置于一层或地下室，需要特殊处理的实验室，需防震处理，环境要求高可放置于任何位置，厂房、办公室、实验室需要动力电（不能断电）、需要水冷机、液氮等维护成本高无需特殊电源，无需水冷、液氮维护成本低超小型多功能台式透射电镜LVEM5新应用案例TEM模式SEM模式STEM和ED模式用户评价LVEM5 User Profile: Dr. Betty Galarreta “While we were looking for an electron microscope, we knew we wanted to get one that did not require complicated and expensive maintenance. We also wanted equipment that was able to resolve details within the 1-2 nm range and that we could use to analyze not only metallic nanoparticles but also some biopolymers. The LVEM5 not only met our requirements but also made it possible to have sort of a 3 in 1 electron microscope, being able to characterize the same area in TEM, SEM and STEM mode.” "当我们在调研射电子显微镜时，我们想要一台不需要复杂和昂贵维护的设备。同时，我们还希望这台透射电子显微镜能够观察到1-2纳米尺度内的细节，而且这台电镜不仅可以用来分析金属纳米颗粒，还可以分析一些生物聚合物材料。LVEM5不仅满足了我们的要求，而且这台透射电子显微镜同时拥有三种功能，能够在TEM、SEM和STEM模式下对同一区域进行表征。" LVEM5 User Profile: Dr. Francesca Baldelli Bombelli “We are very satisfied with the instrument as it allows us to screen a high number of samples in a short time with a limited cost. It’s easy to use, without the need of a specific technician to run it, and with a low cost of maintenance. It allows the screening of a high number of samples in a quite short time. It is also quite good in the imaging of organic nanomaterials thanks to its low voltage which does not degrade them.” "我们非常满意这台透射电子显微镜，因为它允许我们在短时间内以有限的成本筛选大量的样品。这台设备很容易使用，不需要专门的技术人员来运行它，而且维护成本低。它可以在相当短的时间内筛选大量的样品。同时，归功于低电压操作模式，LVEM5非常擅长于有机纳米材料的成像，不会使它们发生降解。" LVEM5 User Profile: Dr. Fabrice Piazza “The most exciting moment was to find diffraction patterns of single bilayer graphene domain with AB stacking with LVEM5. The single bilayer graphene domain with AB stacking discriminates from AA counterpart by the three-fold symmetry of the spot intensity distribution on the inner ring of the diffraction patterns. This cannot be observed at 60–100 keV. Those observations confirmed the calculations of one of our collaborator at CEMES, Dr. Pascal Puech. Definitively, one of the greatest moments in my 22-year-long career.We have found that the advantages of using a LVEM go beyond cost issues. Indeed, by using LVEM to analyze 2D materials, in many cases, one can quickly obtain the number of layers and stacking sequence. Also, as we demonstrated the methodology is useful for materials other than graphene, such as transition metal dichalcogenides (TMD) which are nowadays very popular worldwide. Analyzing these materials in these ways is not possible using a conventional TEM operating at 60–100 keV.” "激动人心的时刻是用LVEM5衍射模式证明了单双层石墨烯域是以AB方式堆积的。具有AB堆积的单双层石墨烯域在衍射图像上与AA堆积的单双层石墨烯域的区别为，内环上的光斑强度分布的三倍对称性不同。这在60-100 KeV电压下是无法观察到的。这些观察结果证实了我们一位合作者的计算结果，来自CEMES的Pascal Puech博士。这肯定是我22年职业生涯中伟大的时刻之一。我们已经发现，使用LVEM5已经远超出了其成本优势。事实上，通过使用LVEM5来分析二维材料，在许多情况下，人们可以快速获得层数和堆叠顺序。另外，正如我们所展示的，该方法对石墨烯以外的材料也是有用的，例如当今非常流行的过渡金属二氯化物（TMD）材料。对于使用60-100 keV电压操作的传统透射电子显微镜,这些材料是不能用这种方法分析的。"用户单位

原子力显微术（AFM）作为一种表征手段，已成功应用于研究各个领域的表面结构和性质。随着人们对多功能和更高精度的需求，原子力显微技术得到了快速发展。目前，原子力显微镜针对不同的研究对象，搭配特定的应用功能模块可以研究材料的力学、电学以及磁学等特性。其中压电力显微术（PFM）已被广泛应用于研究压电材料中的压电性和铁电性。1. 压电材料与铁电材料压电材料具有压电效应，从宏观角度来看，是机械能与电能的相互转换的实现。当对压电材料施加外力时，内部产生极化现象，表面两侧表现出相反的电荷，此过程将机械能转化为电能，为正压电效应。与之相反，若给压电材料的施加电场，材料会产生膨胀或收缩的形变，此过程将电能转化为机械能，为逆压电效应。铁电材料同时具备铁电性和压电性。铁电性指在一定温度范围内材料会产生自发极化。铁电体晶格中的正负电荷中心不重合，没有外加电场时也具有电偶极矩，并且其自发极化可以在外电场作用下改变方向。并非所有的压电材料都具有铁电性，例如压电薄膜 ZnO。压电铁电材料广泛应用于压电制动器、压电传感器系统等各个领域，与我们的生活息息相关，还应用于具有原子分辨率的科学仪器技术，例如在原子力显微镜中扫描的精度在很大程度上取决于内部压电陶瓷管扫描器的性能。2. PFM工作原理原子力显微镜是一种表面表征工具，通过检测针尖与样品间不同的相互作用力来研究样品表面的不同结构和性质。针尖由悬臂固定，激光打在悬臂的背面反射到位置敏感光电二极管上，由于针尖样品间作用力发生变化会使悬臂产生相应的形变，激光光束的位置会有所偏移，通过检测光斑的变化可获得样品的表面形貌信息。 图1 压电力显微术工作原理PFM测量中导电针尖与样品表面接触，样品需提前转移到导电衬底上，施加电压时可在针尖在样品间形成垂直电场。为检测样品的压电响应，在两者之间施加AC交流电场，由于逆压电效应，样品会出现周期性的形变。当施加电场与样品的极化方向相同时，样品会产生膨胀，反之，当施加电场与样品的极化方向相反时，样品会收缩。由于样品与针尖接触，悬臂会随着样品表面周期性振荡发生形变，悬臂挠度的变化量与样品电畴的膨胀或收缩量直接相关，被AFM锁相放大器提取，获得样品的压电响应信号。3． PFM的测量模式图2 压电力显微术的三种测量模式PFM目前有三种测量模式，分别为常规的压电力显微术、接触共振压电力显微术和双频共振追踪压电力显微术。常规的压电力显微术在测量过程中针尖的振动频率远小于其自由共振频率，将其称为Off-resonance PFM。这种模式得到的压电信号通常较小，一般需要施加更高的电压，通常薄层材料的矫顽场较小，有可能会改变样品本身的极性，不利于薄层材料压电响应的测量，存在一定的局限性。此时获得的振幅值正比于压电系数，利用针尖的灵敏度可直接将振幅得到的PFM 信号转换为样品的表面位移信息，获得材料的压电系数。接触共振的压电力显微术测量称其为contact-resonance PFM，可以有效放大信号，针尖的振动频率为针尖与样品接触时的接触共振频率，一般是针尖自由共振频率的3-5倍。此时无需施加很高的外场就能得到较强的PFM信号，不会改变样品的极化方向。此时测得 PFM 压电响应信号比常规FPM测量的响应信号幅值放大了 Q 倍（Q为共振峰品质因子），计算压电系数时需考虑放大的倍数。但此技术也存在一定的局限性，针尖的接触共振频率是在某一位置获得的，接触共振频率取决于此位置的局部刚度。在扫描的过程中，针尖与样品之间的接触面积会发生变化，引起接触共振频率的变化，若以单一的接触共振频率为针尖的振动频率会使得信号不稳定，测得的振幅信号在共振频率处放大，其余地方信号较弱，极大的影响压电系数的定量分析，得到与理论值不符的压电系数。与此同时PFM信号易与形貌信号耦合，产生串扰。双频共振追踪压电力显微术（DART-PFM）可以有效避免压电信号与形貌的串扰。在这项技术中，通过两个锁相放大器分别给针尖施加在接触共振峰两侧同一振幅位置的频率，当接触共振频率变化时，振幅会随之变化，锁相放大器中的反馈系统会通过调节激励频率消除振幅的变化，由此获得清晰的形貌和压电信号。此时在量化压电系数时需要额外的校准步骤确定振幅转化为距离单位的值，目前一般是通过三维简谐振动模型去校准修订得到压电材料的压电系数。 4. PFM的表征与应用PFM测量中可获得样品的振幅和相位图。图中相位的对比度反映样品相对于垂直电场的极化方向，振幅信息显示极化的大小以及畴壁的位置。一般来说，材料的压电响应是矢量，具有三维空间分布，可分为平行和垂直于施加外场的两个分量。图3 BFO样品的PFM表征图[1]若样品只存在与电场方向平行的极化响应，PFM所获得的振幅和相位信息可直接反映样品形变的大小和方向，若样品畴极化方向与外加电场相同，相位φ=0；若样品畴极化方向与外加电场相反，则相位φ=180°。此时垂直方向的压电响应常数可直接由获得的振幅与施加的外场计算出来，在共振频率下可以定量测量。值得说明的是，PFM获得的压电响应常数很难与块体材料相比较，因为样品在纳米尺度的性质会与块体材料有显著的不同。若样品具有平行和垂直于电场的压电响应，在施加电场时，样品的形变出现面内和面外两个方向。利用Vector PFM可以同时获得悬臂的垂直和横向位移，可以将得到的信号矢量叠加，获得样品的三维PFM图像。压电力显微术不仅可以成像，还能用于研究铁电材料的电滞回线，并且可以对铁电材料进行写畴。铁电材料的相位和振幅与施加的电压呈函数关系，测得的电滞回线和蝴蝶曲线可以用于判断铁电材料的矫顽场，矫顽场是铁电材料发生畴极化反转时的外加电压。一般的电滞回线的获取需要施加大于±10V的直流偏压，但值得注意的是较高的直流电压会增加针尖与样品间的静电力贡献，静电力信号有可能超过压电响应信号，从而掩盖畴极化反转信号。图4 SS-PFM的工作原理图开关谱学压电力显微术(SS-PFM)可以有效减小静电力的影响，原理如图4所示与普通PFM在测量电滞回线时线性施加DC电压的方式不同，SS-PFM将DC电压以脉冲的形式初步增加或减小，每隔一定的时间开启和关闭DC电压，并且持续施加AC交流电。其中DC用于改变样品的极化，AC交流电用于记录DC电压接通和关闭时的压电信号。图为研究二维异质材料MoS2/WS2压电性能时利用SS-PFM测得的材料特性曲线。 图5 二维异质材料MoS2/WS2的材料特性曲线[2]铁电材料与普通压电材料最大不同是在没有外加电场时也具有电偶极矩，并且其自发极化可以在外电场作用下改变方向，因此可利用是否能够写畴来区分铁电材料。知道压电材料的矫顽场之后可以对样品进行局部极化样品进行写畴，畴区可以自定义，正方形、周期阵列型或者更加复杂的图案。最简单的写畴是先选择一10×10μm正方形区域，其中6×6μm区域施加正偏压，4×4μ区域施加负偏压，获得回字形写畴区域，在相位图中可以清晰的看到所写畴区。图6 Si掺杂HfO2样品的回字形写畴区域[3]5. 注意事项在PFM测量中首先要保证在样品处于电场之中，在样品的前期准备时需将样品转移至导电衬底，并确定针尖和放置样品的底座可以施加电信号，此时才能保证施加电压时在针尖在样品间具有垂直电场。在PFM测量中静电效应的影响也不容忽略，导电针尖电压的电荷注入可诱导静电效应并影响材料的压电响应，导致PFM振幅和相位信息与特性曲线失真。尽管静电效应在 PFM 测试中无可避免，但可以使用弹簧常数较大的探针或者施加直流偏压来尽量减小其中的静电影响。此外针尖的磨损也会极大的影响PFM测量。由于针尖与样品间相互接触，加载力不宜过高，过高会损坏样品表面，保持恒定适中的加载力。此外使用较软的针尖在扫描过程中可以保护针尖不受磨损，并且保护样品。PFM测量中常用的针尖为PtSi涂层的导电针尖，以获得较稳定的PFM信号。参考文献[1] HERMES I M, STOMP R. Stabilizing the piezoresponse for accurate and crosstalk-free ferroelectric domain characterization via dual frequency resonance tracking, F, 2020 [C].[2] LV JIN W. Ferroelectricity in untwisted heterobilayers of transition metal dichalcogenides [J]. Science (New York, NY), 2022, 376: 973-8.[3] MARTIN D, MüLLER J, SCHENK T, et al. Ferroelectricity in Si-doped HfO2 revealed: a binary lead-free ferroelectric [J]. Adv Mater, 2014, 26(48): 8198-202.作者简介米烁：中国人民大学物理学系在读博士研究生，专业为凝聚态物理，主要研究方向为低维功能材料的原子力探针显微学研究。程志海：中国人民大学物理学系教授，博士生导师。2007年，在中国科学院物理研究所纳米物理与器件实验室，获凝聚态物理博士学位。2011年-2017年，在国家纳米科学中心纳米标准与检测重点实验室，任副研究员/研究员。曾获中国科学院“引进杰出技术人才计划”和首届“卓越青年科学家”、卢嘉锡青年人才奖等。目前，主要工作集中在先进原子力探针显微技术及其在低维量子材料与表界面物理等领域的应用基础研究。

01MFM（Magnetic Force Microscopy，磁力显微镜）磁力显微镜（Magnetic Force Microscopy，MFM）是一种专门用于成像样品表面的磁性分布的扫描探针显微镜，通过探针和样品之间的磁力相互作用来获得信息。MFM应用MFM主要用于研究材料的磁性特征，广泛应用于物理学、材料科学、电子学等领域。常见的应用包括：磁记录介质：研究硬盘、磁带等磁记录设备的磁性结构和缺陷；磁性材料：分析磁性薄膜、纳米颗粒、磁性多层膜等材料的磁畴结构；生物磁性：研究生物组织中天然存在的磁性物质，如磁性细菌。应用实例在自旋存储研究中，以斯格明子的研究为例，传统的磁存储单元受限于材料性质，显著影响自旋存储的高密度需求。斯格明子是一种具有拓扑性质的准粒子，其最小尺寸仅为3nm，远小于磁性隧道结，是理想的信息载体，有望突破信息存储密度的瓶颈。下图为通过MFM表征获取的斯格明子图像。[1]标准斯格明子M-H曲线 斯格明子图像在磁盘研究中，通过MFM可以获取磁盘表面的高分辨率磁性图像，详细了解其磁畴结构和分布情况。MFM具有高空间分辨率和灵敏度，为磁盘材料的研究和优化提供了重要的数据支持。下图展示了通过MFM测试获取的磁盘表面磁畴结构图像。电脑软盘磁畴图像02PFM（Piezoresponse Force Microscopy，压电力显微镜）压电力显微镜（Piezoresponse Force Microscopy，PFM）是一种用于研究材料压电性质的扫描探针显微镜，利用探针与样品表面之间的逆压电效应来成像和测量材料的压电响应。材料由于逆压电效应产生形变示意图 [2]PFM应用PFM广泛应用于材料科学和电子学领域，尤其是在研究和开发新型压电材料和器件方面。具体应用包括：铁电材料：研究铁电材料的畴结构、开关行为和退极化现象。压电器件：分析压电传感器、致动器和存储器件的性能。生物材料：研究生物组织中的压电效应，例如骨骼和牙齿。应用实例具有显著的压电效应，即在外加机械应力作用下产生电荷。这使其在超声波发生器、压电传感器和致动器中具有重要应用。在研究PbTiO3样品时，通过PFM，可以获取PbTiO3表面的高分辨率压电响应图像，详细了解其畴结构和分布情况，为PbTiO3材料的研究和优化提供了重要的数据支持。下图展示了通过PFM测试获取的PbTiO3样品表面压电力图像。PbTiO3垂直幅度图PbTiO3垂直相位图03EFM（Electrical Force Microscopy，静电力显微镜）静电力显微镜是一种用于测量成像样品表面的电静力特性的扫描探针显微镜。EFM通过探针与样品表面之间的静电力相互作用，获取表面电荷分布和电势信息。静电力显微镜（抬起模式）[3]EFM应用EFM广泛应用于材料科学、电子学和纳米技术等领域，常见的应用包括：电荷分布：测量和成像材料表面的电荷分布。表面电势：研究材料表面的电势分布和电特性。半导体器件：分析半导体器件中的电特性和缺陷。纳米电子学：研究纳米级电子器件的电性能。应用实例Au-Ti条带状电极片静电力04KPFM（Kelvin Probe Force Microscopy，开尔文探针力显微镜）KPFM是一种通过探针与样品之间的接触电势差来获取样品功函数和表电势分布的扫描探针显微镜。KPFM广泛应用于金属、半导体、生物等材料表面电势变化和纳米结构电子性能的研究。KPFM 获取 Bi-Fe薄膜样品表面电势 [4]KPFM应用KPFM在材料科学、电子学和纳米技术等领域具有广泛的应用，常见的应用包括：表面电势分布：测量和成像材料表面的局部电势分布。功函数测量：研究材料的功函数变化，特别是对于不同材料的界面和缺陷。半导体器件：分析半导体器件中的电势分布和电学特性。有机电子学：研究有机半导体和有机电子器件的表面电势。应用实例Au-Ti条带状电极片表面电势05SCM（Scanning Capacitance Microscopy，扫描电容显微镜）扫描电容显微镜（Canning Capacitance Microscopy，SCM）是一种用于测量和成像样品表面的电容变化的扫描探针显微镜。SCM能够通过探针与样品表面之间的电容变化，提供高分辨率的局部电学特性图像。这种显微镜适用于研究半导体材料和器件的电学特性，如掺杂浓度分布、电荷分布和界面特性等。SCM在半导体工艺和材料研究、故障分析以及器件优化中发挥着重要作用。通过SCM，研究人员能够获得纳米尺度的电学特性信息，从而推动半导体技术的发展和创新。SCM原理示意图 [5]SCM应用SCM主要应用于半导体材料和器件的研究，广泛应用于电子学和材料科学领域。具体应用包括：掺杂分布：测量和成像半导体材料中的掺杂浓度分布。电荷分布：研究半导体器件中的电荷分布和电场。材料特性：分析不同材料的电容特性和介电常数。06致真精密仪器自主研发的原子力显微镜科研级原子力显微镜AtomEdge产品介绍利用微悬臂探针结构对导体、半导体、绝缘品等固体材料进行三维样貌表征，纵向噪音水平低至0.03 nm(开环），可实现样品表面单个原子层结构形貌图像绘制。可以测量表面的弹性、塑性、硬度、黏着力、磁性、电极化等性质，还可以在真空，大气或溶液下工作，在材料研究中获得了广泛的使用。设备亮点● 多种工作模式● 适配环境：空气、液相● 多功能配置● 稳定性强● 可拓展性良好典型案例晶圆级原子力显微镜Wafer Mapper-M产品介绍利用微悬臂探针结构可对导体、半导体、绝缘品等固体材料进行三维样貌表征。样品台兼容12寸晶圆，电动样品定位台与光学图像相结合，可在300X300mm区域实现1μm的定位精度，激光对准，探针逼近和扫描参数调整完全自动化操作。可用于产线，对晶圆粗糙度进行精密测试。设备亮点● 多种工作模式● 适配环境：空气、液相● 可旋转式扫描头● 多功能配置● 稳定性强、可拓展性良好典型案例参考文献：[1]Li S, Du A, Wang Y, et al. Experimental demonstration of skyrmionic magnetic tunnel junction at room temperature[J]. Science Bulletin, 2022, 67(7): 691-699.[2]Kalinin SV, Gruverman A, eds. Scanning Probe Microscopy: Electrical and Electromechanical Phenomena at the Nanoscale. Springer 2007.[3] https://www.afmworkshop.com/products/modes/electric-force-microscopy[4] https://www.ornl.gov/content/electrostatic-and-kelvin-probe-force-microscopy[5] Abdollahi A, Domingo N, Arias I, et al. Converse flexoelectricity yields large piezoresponse force microscopy signals in non-piezoelectric materials[J]. Nature communications, 2019, 10(1): 1266.本文由致真精密仪器原创，转载请标明出处致真精密仪器拥有强大的自主研发和创新能力，产品稳定精良，多次助力中国科研工作者取得高水平科研成果。我们希望与更多优秀科研工作者合作，持续提供更加专业的技术服务和完善的行业解决方案！欢迎联系我们！致真精密仪器一直以来致力于实现高端科技仪器和集成电路测试设备的自主可控和国产替代。通过工程化和产业化攻关，已经研发了一系列磁学与自旋电子学领域的前沿科研设备，包括“原子力显微镜、高精度VSM、MOKE等磁学测量设备、各类磁场探针台、磁性芯片测试机等产线级设备、物理气相沉积设备、芯片制造与应用教学训练成套系统等”等，如有需要，我们的产品专家可以提供免费的项目申报辅助、产品调研与报价、采购论证工作。另外，我们可以为各位老师提供免费测试服务，有“磁畴测试”、“SOT磁畴翻转”、“斯格明子观测”、“转角/变场二次谐波”、“ST-FMR测量”、“磁控溅射镀膜”等相关需求的老师，可以随时与我们联系。

温故知新，从历史刊物文章中学习早期电镜产品技术历程，以下内容摘自《Popular Electronics》1959年11月刊（Vol. 11, No. 5），文章题目“The Amazing Electron Microscope”，作者Morris M. Rubin。（由“RF Cafe”网收录）光学显微镜的分辨率受到光波长的限制。天文学家William Dawes首先提出了一种量化的方法，这种方法基于视觉上分辨距离较近的恒星的能力。被称为道斯极限，4.56/D弧秒的值是由经验确定的(D是仪器的孔径，单位是英寸)。任何具有完美光学系统的光学系统的放大倍数的理论上限在2000左右。正如这篇1959年《Popular Electronics》上这篇文章所描述，电子显微镜通过发射一束半径远小于可见光波长的电子，并测量其反射，从而消除了这种分辨极限。图像必然是“假色”，因为我们无法感知到电子束所显示的表面的真实波长/颜色。《Popular Electronics》1959年11月刊封面与目录整理译文如下，以飨读者。“惊人的电子显微镜作者：Morris M. Rubin在光学显微镜分辨率达到极限后很久，电子显微镜的分辨率还在继续提高……高达 20万倍。从第一位伟大的显微镜设计师安东列文虎克（Antony van leeuwenhoek）时代起，科学家们就将显微镜作为他们的主要工具之一。年复一年，随着光学玻璃制造技术的改进，新的更好的显微镜使科学家能够看到越来越微小的物体。随后，大约在1890年，光学显微镜分辨率的提升似乎已经走到了尽头。超过大约 2000 倍的放大倍数，即使是最精细、设计最完美的显微镜也只能看到一个模糊的斑点。光本身的基本特征阻碍了更强大显微镜的发展。与声音类似，光以可测量长度的波传播。例如，在可见光谱的中，波的长度约为 6/250000 英寸。为了让光波区分物体上的两个点，两点之间的距离必须是光波长度的三分之一，即6/ 250000英寸以上，小于约半波长的物体无法被光学显微镜清晰放大，无论其透镜多么完美。科学家们推断，既然根本的瓶颈是“普通”光的波长相对较长造成，那么如果有可能使用某种波长较短的光，就可以实现更有效的放大。于是，人们探索了这种可能性，并利用紫外光(其波长约为可见光的三分之一)，设计出可以放大到5000倍的显微镜，放大倍数达到可见光显微镜极限的两倍多。此时，光学显微镜达到了其设计能力的天花板。如果科学家想要更大的放大倍数，他们必须找到一种新的方法。电子的“营救”电子显微镜的理论在20世纪20 年代提出。实验表明，当电子受到高压场加速时，它们会获得可测量的特征波长。电压越高，电子速度越大，表观波长越短。此外，已经证明电子可以被磁场弯曲或折射，类似光可以被光学透镜弯曲和折射。因此，光学显微镜的分辨率极限，就可以通过使用更短波长电子流替代光，从而获得更高放大倍数，这似乎是合乎逻辑的。有了这样的重要概念，科学家们开始着手设计电子显微镜。到20世纪30年代后期，实验型的电镜已经在欧洲、加拿大和美国投入使用。随后，在1940年，RCA公司推出美国第一台商用电子显微镜。虽然按照目前的标准，这些最初的电镜产品设计还比较落后，但相比有史以来最好的光学显微镜则要优越的多。甚至紫外线显微镜的放大倍数也仅限于 5000 倍，而这些早期的电子显微镜却能够放大 10万 倍。今天的模型放大倍数超过 20万倍——足以看到人类头发直径百万分之一的物体——并且通过照相技术进一步放大图像，可以将直径放大至100万倍以上。电子取代光。与光学显微镜的原理类似，电子显微镜使用一系列镜头逐步放大样品。但是，虽然光学显微镜使用玻璃透镜来弯曲光线，而电子显微镜的“透镜”是线圈——类似于电视机的偏转线圈——可以弯曲和偏转电子流。电子显微镜与普通光学显微镜的比较。基本原理是一样的，但是电子显微镜使用线圈来磁偏转和聚焦电子束，而不是用玻璃透镜来弯曲和折射光线。电子枪发射的电子通过聚光透镜，聚光透镜将电子束集中在样品上。由于样本被制样切成部分透明的薄片，在任何一点上，电子通过它的数量都随标本的密度而变化。这样就产生了一种不同电子密度变化的图案。虽然这种图案肉眼是看不见的，但可以通过在标本下方放置荧光屏来显示。然而，在实际操作中，电子通过物镜，这是进行放大的第一步。就在它们到达投影镜头之前，一个“展开”的密度图案就形成了，中心区域随后被投影镜头进一步放大。放大的标本可以直接在荧光屏（其外观和工作方式类似于电视屏幕）上查看，或者可以通过特殊相机拍摄图像（通常内置于电子显微镜中）。放大所得照片可以进一步放大样品。关于价格。除了光学系统，电子显微镜还必须有超稳定的高压电源和高效率的真空系统。这种复杂性导致了当今电子显微镜的高昂价格——从 12000 美元到40000 美元不等，具体取决于所需的放大倍率、品牌等。以上展示了两种最广泛使用的电子显微镜。左边是RCA EMU-3，可以放大20万倍。右边是Norelco EM100B，放大到90000倍。Norelco（荷兰飞利浦）和 RCA（美国无线电公司）是这些装置的最大生产商。德国和日本的制造商也活跃在该领域。俄罗斯人也参与其中，生产了一种电子显微镜，该显微镜似乎是 1940 年 RCA 模型的改编版。首台RCA电子显微镜的共同发明者，James Hillier博士，左边显示的是RCA的EMB模型，在1940年上市。局限性。尽管电子显微镜可能有用，但它仍然有其局限性。由于高压电子对生物体是致命的，电子显微镜不能用于观察活的细菌、病毒等。另外，电子束不能穿透超过 1/25000 英寸，所以电子显微镜不能用于观察更厚的物体——例如苍蝇的翅膀。后一个问题的解决方案是开发特殊设备，这些设备可以切割出足够薄以允许电子通过的待观察物体的切片。这种“切片机”如何处理较软的材料我们很容易想到，但我们如何切下一层 1/25000 英寸厚的钢？这个问题的答案非常简单。钢材表面的“复制品”是在柔软的材料上制成的，例如蜡。复制品很容易切片，当它安装在非常薄的透明膜上时，它会取代显微镜中的原始物体。重要性。现在全国各地的实验室都在使用大约一千台电子显微镜。它们是寻找疾病（尤其是癌症）原因的研究中的宝贵工具，同时，它们在解决各种工业问题方面也很有用。例如，可以通过仔细检查电子显微镜照片来判断橡胶轮胎的磨损质量，从而无需进行漫长而繁琐的路试。最近在纽约举行的苏联展览上展出的一个1959年的俄罗斯电镜但是，电子显微镜最令人兴奋的应用是在细胞研究中。细胞通过蛋白质合成过程生长、滋养和再生。在电子显微镜的帮助下，科学家们第一次能够看到这些过程——这才是真正的“生命的秘密”。人类是一种永不满足的好奇生物。电子显微镜是满足人类求知欲和理解力的最有效手段之一。你能认出这些图片吗？所有这些都是在电子显微镜的帮助下拍摄的（答案在页面底部）。答案1. (a) 总放大倍数 160,000X；飞利浦电子公司提供2. (c) 总放大倍数 425,000X；由法兰西学院和 RCA 提供3. (c) 总放大倍数 112,000X；由麻省理工学院 CE Hall 博士提供4. (d)；总放大倍数 68,000X；由 Esso Research & Engrg 公司提供5. (c) 总放大倍数 14,680X；由陶氏化学公司和 RCA 提供”

随着全球能源需求的不断增长，可再生能源技术成为人们关注的焦点。其中，基于光伏(photovoltaic，PV)材料的技术实现了将光能转化为电能的难题，具有广阔的应用前景。然而，太阳能电池技术的商业化仍面临着成本高、功率转换效率低以及器件寿命短等挑战1。无论要克服哪方面的问题，成功的关键都依赖于表征技术的提高，尤其是对高空间分辨率的要求更加严苛。以顺应目前先进制造下微米及纳米尺度特征的材料所需（例如钙钛矿薄膜中的多晶体、有机半导体中的体异质结网络和纳米结构化的光捕获层）。牛津仪器原子力显微镜（AFM）以实现纳米级的高空间分辨率著称，可为其他成像技术补充材料器件更多维度的信息2。它不仅可以测量结构，还可以测量功能响应，从而深入了解结构性质、处理流程和表观性能之间的关系（图1）。本文中，我们将探讨牛津仪器AFM在表征两种新兴光伏材料（如钙钛矿和有机半导体）各方面性质的应用。值得注意的是，其他材料，包括无机半导体（Si、CdTe灯），黄铜矿（CIGSSe、CuInSe2等）以及具有多个吸收体的串联系统，也可以从AFM表征中受益。通过AFM，我们可以更好地理解这些材料的性能和潜力，为未来的太阳能电池技术发展提供有力支持。图 1：观察MAPbI3中纳米尺度光响应光伏电池性能指标，如短路电流Isc通常在宏观尺度上测量，但纳米尺度下的表征，可以揭示微结构对性能的关键影响。上图显示在约0.07 W/cm2的照度下，甲基铵铅碘化物(CH3NH3PbI3或MAPbI3)薄膜上的短路电流ISC叠加在三维形貌图的结果。通过光导电AFM（pcAFM）获取了从偏置电压0到+1 V的电流。然后，通过图像每个像素位置的I-V曲线中确定Isc的值，最终生成短路电流-形貌图。使用MFP-3D BIO AFM获得，扫描范围为3微米3。 1 钙钛矿型新材料有机-无机混合型钙钛矿材料的太阳能电池技术因其转换效率的快速提升（仅用了七年时间到22％的转换效率）而备受关注1,4。更重要的是，该技术可以通过相对简单和廉价的溶液处理技术（例如旋涂）进行制造。目前的研究重点在于测量基本属性并提高长期稳定性。通过AFM的表征，有效推动二者的共同发展。1.1理解晶体结构评估钙钛矿薄膜的微观结构对于基础研究和实际应用都具有重要意义。例如，它可以揭示光电响应与晶粒尺寸之间的极敏感的依赖关系，并帮助解决大规模制造中的难题，如钙钛矿如何从前驱体状态结晶等。为了满足这些需求，AFM探测了表面高度和形貌的三维定量图（图2）。形貌图显示了薄膜属性，包括覆盖度和均匀性，并允许快速计算表面高低起伏特性，如粗糙度，以便快速比较不同薄膜。AFM形貌图可以在轻敲或接触模式下获得的，通常可以分辨出纳米以下的垂直特征结构。实际上，当前少数AFM可以实现垂直分辨率达到几十皮米，从而完成晶体和分子的晶格级成像。牛津仪器新型AFM自动化程度高，可大大减少实验设参时间并简化数据采集。当钙钛矿暴露于不同环境条件时，氧化或其他化学反应可能对微观结构和其他材料性能造成不可逆损伤。使用专门的环境控制模块，将样品保护在经过净化的惰性气体环境中进行AFM实验，可以防止这种退化。环控组件还可以提供惰性气体的湿度控制。更有甚者，通过将整个AFM放置在手套箱中以完全隔离大气（参见图5），来实现更严格的环境控制。图 2：晶格结构变化溶液处理技术已被成功应用于生成具有均匀表面覆盖的致密钙钛矿薄膜。然而，这些薄膜的晶粒通常非常细小，导致晶界损失增加，从而降低了光转换效率。为了解决这个问题，研究人员开发出苄基硫代酸根(GUTS)的前驱体处理方法，以增加薄膜的晶粒尺寸。左侧图片中，我们可以看到未经处理的MAPbI3薄膜的形貌，右侧图片是使用GUTS/异丙醇溶液(4 mg/ml,GUTS-4)处理后的薄膜的形貌图。可见通过处理以后，已成功地将平均晶粒尺寸从纳米级别提升到了微米级别。此外，使用GUTS-4处理的薄膜制备的太阳能电池的功率转换效率比未处理的薄膜高出约2%。扫描尺寸5微米5。1.2测量电和功能化响应光伏机制研究在很大程度上依赖于大量的光电数据，以全面理解其工作原理。钙钛矿薄膜的多晶结构极大地推动了在微观和纳米尺度上进行测量的能力。AFM的高分辨率电学测试技术能够揭示电荷传输、捕获和复合等过程以及相关行为。当在配置了样品照明功能的AFM上进行实验时，这些技术的作用更为明显。多模态和其他类似的研究方法也为我们提供了深入理解光伏材料的可能性。这些方法包括使用多种原子力显微镜模式（如KPFM、CAFM、EFM）以及其他表征工具，如扫描和透射电子显微镜（SEM和TEM）、光致发光（PL）和拉曼光谱，以获取获取多维度的数据。如图3（KPFM，CAFM和TEM）和图4（CAFM，KPFM和PL）所示。1.21导电模式（CAFM)测电流导电原子力显微镜（CAFM，在照明下实验时，称为光电导AFM（pcAFM））是常用的AFM电学检测模式。它们都利用导电探针来感知施加了直流偏压的样品中的电流。通过接触扫描或快速力图成像，可以获得局部电流图，进而揭示光诱导的载流子迁移变化、光电导率的局部变化以及其他相关性质。为了避免信号伪影，可以在pcAFM测量期间停用AFM检测激光。而改变测试参数，如偏置电压、照明强度、波长或极化，则可以提供更深入的信息。CAFM和pcAFM也可以获得具有纳米级分辨率的电流-电压（I-V）曲线。只需将探针移动到在用户自定义的位置，并在接触模式下施加偏置电压，就可以测量到电流。得到的I-V曲线可以揭示电荷的生成和注入、接触电阻以及退火或其他处理流程的影响等方面（图3）。由于CAFM和pcAFM在纳米级高分辨电流图方面表现出色，因此对AFM的能力提出更多特殊要求。例如，测量需要高灵敏度和低噪声，因为电流可以跨越六个数量级（皮安到微安）。此外，定量探针-样品的接触面积也需要先校准悬臂梁弹簧常数，完成这些校正之后，就能精确测量和控制施加的力了；如果没有高灵敏度，这些校正将难以完成。1.2.2 静电力（EFM)/开尔文探针力（KPFM)模式测电场静电力显微镜（EFM）和开尔文探针力显微镜（KPFM）是评估光电响应的另外两种独特模式。它们拥有纳米级的空间分辨率，能够深入探究单个晶粒、晶界以及晶粒之间的微观变化。EFM和KPFM都基于轻敲模式运行的，所以可以近似反映开路时的行为。EFM主要感知由长程静电力梯度引起的电场变化，因此对于检测嵌入导体或表面电荷不均引起的电容变化非常敏感。它通常是一种快速简易的方法，可以用来定性地获得电场和电容之间的对比。为了减少形貌变化的干扰，可以使用双通道扫描技术进行EFM扫描。相比之下，KPFM感知的是探针和样品之间的接触电势差（图3和4）。KPFM最关键的优点是能够定量测量功函数，这是许多光伏系统中电势变化的根本原因。使用KPFM进行功函数的纳米级成像可以得到关于能带弯曲、掺杂剂密度和光诱导变化相关的详细信息。KPFM通常采用双通道振幅调制（AM）方法进行操作，类似于EFM，但也可以在单通道频率调制（FM）模式下操作。FM-KPFM通常具有更高的空间分辨率，并包含来自悬臂梁高阶谐波响应的其他信息。图 3：研究晶界处的离子迁移钙钛矿材料具有许多令人着迷的性能特点，如磁滞和热电效应等，其背后的机制尚待深入分析。本图展示了多晶MAPbI3薄膜的表面电势（KPFM）与形貌结构的叠加。通过透射电镜获得的晶体学取向（未在此图中显示）与表面电势的关联性揭示了一个有趣的趋势：具有较大电位差异的晶粒之间的边界角度比那些具有较小电位差异的晶粒间的边界角度更高（如图中的△）。使用CAFM获取的局部I-V曲线显示出在高角度晶粒边界处存在较强的暗流磁滞，但在低角度边界处几乎没有磁滞。(蓝色和红色箭头分别代表加压和降压各一次)。这些结果表明，晶粒边界处的迁移速度远快于晶内迁移，并且对晶内迁移起到了主导作用。通过MFP-3D AFM获取，扫描范围为2微米6。图 4：关联局部光学和纳米电学特性理解钙钛矿材料空间异质性的起源对于提升光电转化效率至关重要。这项研究中，甲基铵铅溴化物(CH3NH3PbBr3或MAPbBr3) 沉积在玻璃(Glass) /碲化镉（ITO） /聚(3,4-亚乙基二氧硫)聚苯乙烯（PEDOT:PSS)等基底上制备薄膜。样品被安装在AFM样品并通过488nm激光束激发，生成局部相对光致发光(PL)强度图。通过CAFM获取的注入电流图像（偏压为+3.2 V）显示的行为与PL强度无关。尽管这些样品的形貌结构相似，但在虚线、点线和实线曲线表示的区域中，PL响应从暗到亮分别为高、中和低。此外，FM-KPFM表面电位图像并未显示出任何相关性。这一结果与裸玻璃上制备的MAPbBr3薄膜的结果形形成鲜明对比，表明异质性的来源并非在薄膜内部，而是在电极-膜界面上。使用MFP-3D AFM获取，扫描范围为7微米7。1.2.3压电力模式（PFM)表征铁电性此外，钙钛矿中的铁电性质可能会对光伏器件的性能有着多样化的影响。例如，极化场可以更有效地分离电子空穴对，带电的畴壁也可以作为额外的导电通路。铁电性还可以扮演开关功能，从而可以通过偏压控制光电流的方向。然而，我们对于特定反应条件和所得铁电性质之间关系的理解不足，阻碍了进一步探究这些行为如何影响器件性能的脚步。因此，提高表征能力，特别是在畴和晶粒大小这个关键尺度的表征水平，变得尤为重要。压电力显微镜（PFM）是表征铁电性质的强大技术。它对于静态和动态行为（例如畴的结构、生长和极化反转）的纳米级探索非常有用。通过测量机电响应以及形貌，PFM可以深入探究功能特征与结构-性质关系（图5）。在薄膜上进行PFM测量时，需要施加足够高的电压以获得良好的信噪比，但同时也要避免引起极化激活甚至损坏样品。为解决这个问题，推荐在悬臂梁的接触共振频率附近操作，这样可以在较低的驱动电压下实现更高的灵敏度，而牛津仪器Asylum系列的AFM标配该技术。图 5：检测材料铁弹性质通过溶剂退火制备MAPbI3(CH3NH3PbI3)薄膜的形貌图(左)显示，该薄膜是具有阶梯结构的微米级晶粒。相应的垂直PFM振幅图（右）在300 kHz（接近共振频率）处以+2.5V AC偏压获取，观察到了在形貌中不存在的规律间隔条纹畴，相邻畴的方向变化为90°。PFM图中红蓝色线段表明条纹呈周期性变化，范围约从100到350 nm。这表明该薄膜具有铁弹性质，其畴结构依赖于薄膜纹理和特定的制备路线。样品置于氮气环境保护，通过手套箱中的MFP-3D AFM获取的，扫描范围为7微米8。1.3界面层工程在太阳能电池的构造中，最基础的模型仅由两个电极间和中间钙钛矿吸收层构成。然而，为进一步提升电池的性能，通常需要引入其他的层次。在这个过程中，AFM展现出了独特的技术优势，它能够独立或与其他设备协同工作，对各层进行精确的表征。我们可以使用AFM导电探针从顶部接触器件，重构出平面视图来获取电导相关信息，或者在横截面中研究跨界面的行为。表面粗糙度等信息可以通过界面层的纳米尺度形貌成像获取；粗糙度会直接影响层与层之间的粘附性，并展现有机薄膜的相分离和分散等形态特征。CAFM和pcAFM等电学模式也具备广泛的应用价值，例如评估导电均匀性或识别电荷捕获或复合区域。KPFM表征因其对表面接触电势和功函数的敏感性而特别有益。由于设计界面层的目的通常是为了为载流子创造更有利的路径，使其远离吸收体并靠近电极，因此进行仔细选择，确保每个界面处的能级对齐，将从原理层面提高材料的性能。这一过程中，KPFM能够对带弯曲和功函数的空间变化进行成像（图6），为载流子路线的选择提供有益的反馈。图 6：通过多层堆叠改善稳定性为了更有效地利用电子传输层（ETLs），需要对其属性进行更好的控制。研究人员在NiOx上的MAPbI3(CH3NH3PbI3)薄膜上获取了表面电势图，在添加苯基-C71-丁酸甲基酯(PC70BM)和罗丹明101(Rh)层之前和之后获得的图显示了差异。通过钝化钙钛矿晶粒边界缺陷，Rh层显著减少了电势的空间变化。诱导表面光电压的结果显示，附加层降低了表面电势并减少了ETL/阳极界面处的带弯曲。这些结果有助于解释为什么带有Rh层设备的效率和稳定性会增加。在MFP-3D AFM上用双通道KPFM模式获取，扫描范围为1微米9。牛津仪器AFM特点1：软硬件设计与优化微观尺度的导电性能指导了材料设计方向，是光伏领域最常见的表征手段。要实现高分辨率，高灵敏度的电流测量范围，MFP-3D和Cypher系列采用了独特的ORCA模块。Orca在悬臂梁夹具中，集成了一个低噪声传输阻抗放大器，其操作范围从约1 pA到20 nA，并提供了多种增益选项。而更高级的双增益ORCA附件时，会同时激活两个独立的放大器，可以确保在更广泛的电流范围内进行高分辨率测量（约1 pA至10μA）。此外，软件中的Eclipse Mode通过双通道方法改善了Asylum AFMs上的光电流测量精度，并减少了光诱导伪影。其原理是，在第一次扫描中，以接触模式获取形貌信息。然后在第二次扫描中关闭AFM的检测激光，并在相同高度执行pcAFM测量。这时候探针所检测到的信号全部来自样本本征激发，不会耦合检测激光可能造成的光诱导。 同样，Asylum系列标配的GetReal功能使得对探针-样品接触力的理解和测量更加简单和精确。这个功能很轻易在采集软件的界面处找到，用户只需点击一下，就可以自动校准悬臂梁弹簧常数和光杠杆灵敏度，而无需接触样品；对于一些罕见探针，也可以通过输入探针形貌长宽特征的方式进行计算拟合。这个功能大大简化了传统的校正方式，促进力学领域相关探索。基于上述对软硬件的持续升级，电噪声屏蔽和力的精确控制能力大幅加强。Cypher系列和Jupiter提供了新的快速电流成像模式，为柔软或脆性材料提供了强大的电流成像功能。当扫描速率高达1 kHz（Cypher系列）时，可以在不到10分钟内获取256×256像素的数据，且每个像素都包含完整的电流和力曲线信息，方便进一步分析处理。而在铁电研究领域，所有的Asylum Research AFMs都配备了高灵敏度、用于共振增强PFM测量的软件，其中包括双AC共振跟踪（DART）模式或Band Excitation选项。两个（或更多）追踪频率的引入可以减小由于形貌起伏带来的接触共振频率变化，确保针尖信号与形貌变化无关。DART模式扩大样品选取范围，使得形貌对结果的干扰降低了，同时减小了接触共振对探针-样品的磨损。压电响应的另一个问题就是新型材料（如氧化铪）的压电系数太小了，即使是AFM善于在纳米尺度观测突变，也很难实现清晰，高信噪比的扫描。所以牛津仪器Asylum Research针对性提供高压PFM模块。对于MFP-3D Origin+ AFM为±220 V，对于MFP-3D 和Cypher系列AFMs为±150 V，让原本皮米级别的响应变得更清晰可见。牛津仪器AFM特点2：优秀的环境控制许多材料会不可逆转地受到表面与周围氧气或水蒸气的影响，这可能导致样品退化或测量结果不可靠。在新能源与锂电池领域，保护样品，防止环境因素产生不可控变化显得显得尤为重要。对于MFP-3D系列AFM，可以使用封闭的流体腔来实现环境隔离。而对于Cypher ES AFM，则可以使用液体/灌注专用holder来实现环境隔离。这类设计可以确保在测量过程中，样品不会同周围的环境之间有任何直接接触，从而保证材料的原始状态，提高测量结果的准确性和可靠性。而通过更换载物台（PolyHeater或者CoolerHeater），可以实现对样品最低从0°C到最高250°C的环境温度控制。如果样品在大气下极不稳定，需要更极致的环境隔离方案，则可以选择将AFM整机置于充满保护气体的环境中进行测试。Turnkey Glovebox Solutions为MFP-3D和Cypher系列AFM提供了完全的环境隔离解决方案。牛津仪器AFM特点3：MFP-3D 对于光伏领域的特别支持为了适应愈发灵活的光伏检测体系，并改进对光活性材料系统的表征，MFP-3D AFM有特别的选配方案，并构建了一个灵活的光伏一站式平台。这个平台通过将可定制的样品照明激发模块，安装在AFM的底部，然后在MFP-3D已有的各种测试功能中集成照射样品激发功能，使得可以在多种AFM模式和环境中进行高分辨率表征。其参数及特点包括：光纤耦合LED允许最大照度 1太阳，照度控制步长为1％（如图7所示）支持商用的适配器板，可以轻松容纳外部光源，例如Hg-Xe灯开放式设计允许在光路中插入Ø 1〞组件，例如滤光片、偏振器和光阑快速释放适配器可让您在几秒钟内在多个光源和光纤之间切换与MFP-3D 所有的环控附件完美兼容，包括加热、冷却和湿度控制等MFP-3D PV（Photovoltaics）选配的光学元件放置在样品台下面的底座，带有铰链门，便于用内置的LED灯照明样品。样品可以用MFP-3D附随的LED照明器或是用户自己提供的光源照明。通过具有可调节聚焦的透镜将光聚焦到样品上，从而适应一系列不同厚度的样品。同时，插入点允许添加滤镜、偏振器和其他组件获得额外的实验灵活性。使用光伏选配方案，为可视化纳米尺度实时光电响应与定量分析光激发提供了有力的支持。在对新型光伏材料表征技术不断提出新需求的当下，建立了多模态联用的新思路。图 7：氧化铟锡（ITO）衬底上退火的聚(3-己基噻吩)和苯基-C61-丁酸甲酯（P3HT:PCBM）体异质结层使用了ORCA模式，在-1V的偏压下对体异质结层样品进行成像。在测量过程中，打开和关闭530nm的照明光源，同时以1%的增量增加强度（全功率约为0.9 W/cm² ）。图像的横截面显示了测量电流对光强度的依赖性，并且对光强度的微小变化具有很高的灵敏度。2 有机半导体以聚合物和有机小分子为基础的有机太阳能电池，作为下一代光伏技术，具有广阔的前景。其原料来源广泛，绿色环保，性能优秀，且可通过低成本的处理技术（如溶液处理或蒸镀）进行制造。目前，这些电池已达到最低的商用转换效率标准（10%）, 而要继续推进商业化，关键是增加电池寿命，突破只有几年的服役时长障碍 10。因此，理解其性能如何因光线、热量和其他环境因素而退化至关重要。AFM可以从微观尺度测量设备局部结构和性能变化等重要信息，有助于解决上述问题11。2.1体异质结（BHJ）形貌成像有机太阳能电池通常使用体异质结（BHJ）光吸收剂，这是一种自组装的纳米网络结构，由给体和受体材料组成。其转化效率强烈依赖于网络的特定相分离和连通性，不幸的是，现阶段预测给定合成路线所生成的结构，都仍然具有挑战性。更不用说，探究形态是如何通过各种老化机制发生改变的难题。因此，表征BHJ薄膜的微纳米尺度的形态，探究其中关联性是至关重要的。扫描电子显微镜（SEM）是一种广泛使用的选择，但要保证足够清晰的对比度通常会造成样品损伤。而AFM成像几乎是无损的，可以在各种环境条件下，揭示BHJ组分的大小和分散性，并探索处理流程中变量（例如溶剂蒸发速率和退火）的影响。（图8）。有机材料上的形貌图通常在轻敲模式下扫描，这种模式施加的横向和垂直作用力极其温和。较低的力不仅可以减小样品损伤，而且由于较小的探针-样品接触面积，还可以实现更高的空间分辨率。如果使用非常小的悬臂梁配合新型快速扫描AFM，则可以控制低至亚皮牛级的力，这对于易变形的脆性聚合物非常有帮助。BHJ形态也可以用感知力学性质的AFM模式进行表征。例如，轻敲模式的相位图可以区分在混合物不同组分之间精细的结构细节。通过力曲线获得的弹性模量图还可以显示相分离和分散（图9）。其他纳米力学模式不仅可以进行快速定性成像，而且还可以定量测量弹性和粘性响应。特别是，新型双模轻敲技术（例如AM-FM模式）可以实现高分辨率的快速成像14。图 8：氟化调节性能在共轭聚合物主链中用氟代替氢可以提高转化效率和耐用性。在这里，就探究这种效果进对四个窄带隙聚合物进行了系统研究：PF-0无氟，PF-1a和PF-1b具有中剂量氟和不同的区域选择性，而PF-2具有最多的氟12。使用不同剂量溶剂添加剂DIO获得了聚合物/PC70BM的溶液处理薄膜。PF-1a混合物的形貌图表明，少量的DIO增加了相分离，从而提高了功率转换效率，但更高DIO浓度产生了次优形态。图像显示，所有四个混合物的均方根粗糙度随着氟含量的增加而增加，这可能是因为团聚增强了。通过MFP-3D AFM在轻敲模式下获得，扫描范围为5微米12。图 9：评估分子量效应本研究旨在探究不同聚合物链数平均分子量的PDPP4T-TT和苯基-C61-丁酸甲基酯(PCBM)混合物薄膜的杨氏模量分布。通过力曲线成像获取的分布图，可以区分出BHJ相。其中较低的模量对应于PDPP4T-TT，较高的模量对应于PCBM(插图显示了相应的轻敲模式形貌图)。对于中等分子量的薄膜观察到的大片PCBM域表明，在旋铸过程中通过垂直分离而产生的富含PCBM的表面。这个结果可以解释使用这种薄膜制造的晶体管测量到的异常低的串联电阻值。相比之下，其他薄膜中的相看起来很好地混合在一起，从而产生了具有更高的串联电阻。通过Cypher AFM获取，扫描范围为3微米13。2.2 纳米尺度光电响应成像理解有机半导体的电荷注入、传输、捕获和复合仍然是提高效率并减少性能退化的研究关键点。AFM在纳米尺度的光响应成像可以提供有关潜在机制的宝贵信息，并精确定位BHJ中每个过程发生的地点。使用CAFM和pcAFM对有机半导体成像可以在纳米尺度呈现，供体-受体混合物中获得光电流的状态和电荷传输网络。这些模式因此可以帮助确定微观结构各向异性、光强度或其他参数在光电转换中扮演的角色（图10）。然而，有机半导体的脆弱和相对柔软的特性使其容易受到传统接触式（CAFM和pcAFM）施加横向力的影响。同时，接触模式对样品和针尖的磨损会影响测量电流的稳定性，让数据难以重复，使图像的解释变得更加复杂。为了解决这些问题，近年来已经发展出了快速电流成像技术。快速电流成像技术会驱动悬臂梁在垂向上进行连续正弦运动，同时在横向方向进行移动扫描，最终形成一个快速力曲线阵列并在每一个点都记录了测量电流。当在光照下测量时，可以轻易地将形貌和电流数据相关联，从而揭示出局部结构-性质关系。事实上，只要保存过时间对电流和探针偏转的完整曲线，研究者们还可以通过软件对数据进行更高阶的分析。EFM和KPFM为有机半导体的电学表征提供了许多优势。使用EFM测量电容梯度的局部变化或使用KPFM测量表面电势，可以探索优化器件性能或提高长期稳定性的方法。这些基于非接触性质的模式大大减小了由探针功函数产生的能量屏障效应，因此可以实现开路响应的测量。然而，由于双通道扫描需要每行数据都扫描两次才能获得EFM和KPFM图像，这需要花费好几分钟的时间，所以它们更适合研究相对较慢的过程。对于更快的过程，例如毫秒到秒级别的电荷注入和载流子扩散，可能需要使用其他的电学模式进行研究。例如，FM-EFM以及悬臂梁振荡成像等技术，通过测量功率耗散和电荷捕获的局部变化，来研究光化学降解过程15。此外，还有一些更高阶的方法，如时间分辨EFM和混频KPFM，已经能够对有机半导体和钙钛矿中的局部载流子寿命、光诱导充电速率以及热退火效应进行动态研究15,16。尽管这些技术并非常规AFM的标准配置，但它们却突显了Asylum AFM基于开源软件平台的优势。事实上，Asylum的所有AFM都提供了开放控制架构，为优化数据采集和分析程序提供了无限可能，例如将测量与照明同步启动然后自动化批处理数据。图 10：探索P3HT:PCBM中光电流的异质性本研究测量了聚(3-己基噻吩) (P3HT)和PCBM混合物中的pcAFM电流图像，图像显示了具有较高和较低电导率的区域。并在暗处和照明时(~0.09 W/cm2, 530 nm)测量了画圈位置的I-V曲线。在这两种情况下，电流都随着电压低于-0.3 V时而增加，然后在正偏压下过渡到更高的电阻。其中一些位置，电流量取决于照明条件（黑色和蓝色圆圈），而在另一些位置（绿色圆圈）始终很高。使用PV选配方案和ORCA附件在MFP-3D AFM上获取，扫描范围为1微米17。。2.3 优化中间层有机太阳能电池通常包含附加层，用于提取和接收电荷以及控制表面重组。为了优化性能，先期使用AFM获得的纳米尺度信息，来设计界面层是不可或缺的步骤。例如，形貌图可以评估由于中间层加入而引起的BHJ形态变化，这将会影响载流子复合效率17。此外，EFM和KPFM的跨界面成像可以提供设计中间层所需的信息，使得中间层能够更好地排列从光吸收器到电极的电场和能级。中间层可以通过翻转几何形状或完全封装等方法来提高器件的稳定性。而要模拟设备失效和老化，环境控制功能十分重要，环控功能允许器件被惰性气体包围，并在现实或增强湿度条件下进行实验（图11）。温控是AFM环境控制的另一个重要方面；使用专门的载物台架可以实现高达几百度稳定、精确的温度变化。基于AFM环控功能在微观尺度对于设备稳定性和寿命研究，将推进设备商用化的进程。图 11：表征湿度相关效应P型金属氧化物可以作为有机太阳能电池中有效的空穴提取层，但不同环境条件对它们电学性能的影响尚不完全了解。本研究探究多晶NiOx薄膜在不同环境条件下的电学性能。KPFM结果发现在相对湿度变化时，表面电势呈现出纳米级空间变化。随着相对湿度的增加，表面电势的平均值降低，而形貌特征的平均尺寸增大。这种行为与水在薄膜表面吸附而导致的电荷屏蔽相一致。观察到的表面电势空间不规则性最可能是由于对暴露的不同取向晶粒的不均匀化学吸附引起的。通过Cypher AFM上获取，扫描范围为1微米。数据来源于橡树岭国家实验室纳米材料科学中心18。总结光伏技术的发展正逐渐满足世界日益增长的能源需求。基于钙钛矿和有机半导体的器件也迸发了更多的可能。实现原料丰富、低成本的可再生能源技术已经近在眼前，然而，要实现这一目标，我们需要更先进的表征手段来改进下一代光伏材料。牛津仪器AFM提供了多样模式，可以在黑暗和可变照明下呈现设备纳米级结构和功能响应。结合更高的空间分辨率、更快的成像速度和更完善的环境控制，这些优势将使AFM成为光伏领域不可或缺的工具。通过使用AFM，我们可以更好地了解光伏材料的性能和稳定性，从而为新一代光伏技术的研发提供有力支持。了解更多Asylum网站列举了AFM在常见研究方向中的应用。这些页面包括相关的应用笔记，网络研讨会和选定的出版物。详情请查看：“原子力为纳米尺度电学表征添砖加瓦” –http://AFM.oxinst.com/Nanoelectrical“原子力显微镜对压电铁电研究的进展” – http://AFM.oxinst.com/PFM参考文献1. 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Mejia-Escobar, D. Ramirez, J. F. Montoya, R. Betancur, H.-S. Yoo, N.-G. Park, and F. Jaramillo, Nanoscale 9, 9440 (2017).10. J. R. O’Dea, L. M. Brown, N. Hoepker, J. A. Marohn, and S. Sadewasser, MRS Bull. 37, 642 (2012).11. M. Pfannmoeller, W. Kowalsky, and R. R. Schroeder, Energy Environ. Sci. 6, 2871 (2013).12. J. Yuan, M. J. Ford, Y. Zhang, H. Dong, Z. Li, Y. Li, T.-Q. Nguyen, G. Bazan, and W. Ma, Chem. Mater. 29, 1758 (2017).13. A. Gasperini, X. A. Jeanbourquin, and K. Sivula, J. Polym. Sci., Part B: Polym. Phys. 54, 2245 (2016).14. M. Kocun, A. Labuda, W. Meinhold, I. Revenko, and R. Proksch, ACS Nano 11, 10097 (2017).15. R. Giridharagopal, P. A. Cox, and D. S. Ginger, Acc. Chem. Res. 49, 1769 (2016).16. J. L. Garrett, E. M. Tennyson, M. Hu, J. Huang, J. N. Munday, and M. S. Leite, Nano Lett. 17, 2554 (2017).17.T.-H. Lai, S.-W. Tsang, J. R. Manders, S. Chen, and F. So, Mater. Today 16, 424 (2013).18. C. B. Jacobs, A. V. Ievlev, L. F. Collins, E. S. Muckley, P. C. Joshi, I. N. Ivanov, J. Photonics Energy 6, 038001 (2016).致谢感谢R. Giridharagopal, B. Huey, and H. Phan for valuable discussions and L. Collins, R. Giridharagopal, D. Ginger, A. Gruverman, I. Hermes, B. Huey, J. Huang, I. Ivanov, F. Jaramillo, D. Moerman, N. Pham, Y. Shao, K. Sivula, V. Tiong, H. Wang, S. Weber, and J. Yuan 等人提供的图像支持。

项目编号：清设招第2022214号项目名称：清华大学高速双光子显微镜采购项目预算金额：370.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：370.0000000 万元（人民币）采购需求：包号名称数量是否允许进口产品投标01高速双光子显微镜1套是设备用途介绍：1）可以进行小型动物如小鼠、大鼠等的活体成像及结合行为学的相关成像；2）实现更深的、低热损伤、高信噪比的活体成像，以保证斑马鱼、果蝇、小鼠等小型动物的长时程、反复成像；3）支持在清醒小动物中进行光遗传实验和成像同步、行为和在体成像实验同步；4）能够实现活体或活细胞超高速、超敏感成像，如血流、离子浓度、钙火花检测等快速变化的应用。简要技术指标 ：龙门型正置荧光显微镜系统 ：①　电动激发块转盘≥7孔，无需拆卸可更换激发块，内置电动光闸；配置蓝紫、绿、GFP激发块；②　具有压电陶瓷快速电动Z模块。2） 双光子光路及光路自动调节系统：①　光轴自动校正模块，≥3轴可调，激光光斑位置X、Y位移和X、Y倾斜角度θX，θY中≥3个参量均能独立自动调节；②　具有深焦观察模式，激光光束自动调整模块，可以在高分辨率和高成像深度模式之间自主选择，不少于五档可调。3）清醒小动物电生理同步设备：① ANALOG模拟信号输入≥4通道，TTL数字信号输入≥6通道，TTL数字信号输出≥5通道。与双光子显微镜为同一品牌的数模转换控制系统，触发控制能通过双光子软件界面统一控制，不需调用第三方控制软件；4）同步光刺激及光遗传系统：①　固体可见光激光器通过激光整合器整合，由光纤导入，通过AOTF进行0.1-100%强度控制和快速开关。合同履行期限：合同签订后5个月内交货。本项目( 不接受 )联合体投标。

提起高分辨光场智能成像显微仪器（“RUSH”）的研制经过，清华大学成像与智能技术实验室团队成员吴嘉敏感叹：“我们终于熬过来了！”2017年是中国工程院院士、清华大学成像与智能技术实验室主任戴琼海团队的“至暗时刻”，也是他们计划研制观测脑皮层神经成像仪器的第五年。“一直以来，活体介观显微成像处于空白，世界上很多科研团队都在研制新的介观尺度仪器，包括加州理工学院、麻省理工学院等，但都没有做到尽善尽美。”吴嘉敏说。2012年，戴琼海决心带领团队突破这个难题。“戴老师鼓励我们目光放长远，我们做这个仪器就要向诺奖级的重大原始创新成果看齐。”吴嘉敏说。5年中，团队成员夜以继日，深夜两点钟还在开组会是常事。“2017年1月20日是仪器中期考核，我们所有元件都有了，原以为把仪器搭建起来就成功了，结果发现其中一个部件有问题，当时大家都很沮丧。”吴嘉敏回忆，“为鼓励大家振作起来，戴老师写下寄语：‘我们都应该反思，但也不必总沉浸在负面的情绪里，我们要勇往直前……’”收到寄语，吴嘉敏和团队其他成员感慨良多：“我们很认同戴老师的话，开拓新的领域不免会遇到挫折，只要大家同甘共苦，就能一直坚持下去！”反思之后，团队再次出发。“2018年，我们重新改变技术路线。之前二向色镜镀膜出了问题——大口径镜片国内镀膜表面的平整度不够，导致成像质量下降。为此，我们自己去加工厂改进镀膜工艺，终于加工出了合格器件。”吴嘉敏说。苦心人，天不负。2018年，国际上首个能实现小鼠全脑皮层范围神经活动高分辨率成像的仪器——“RUSH”问世，这台“超级显微镜”填补了国际介观显微成像仪器在肿瘤和免疫研究中的空白。“研究者通过‘RUSH’，可以观察小鼠脑部免疫细胞迁移的过程，帮助研究人体的免疫病理反应；可以分析研究癫痫病人病变区域产生的癫痫波，从而帮助揭示病理发生机制；也可以动态观测哺乳动物神经环路，研究大脑的工作机制，为人工智能的跨域发展提供新途径。”吴嘉敏笑着说，“将国产自主的先进显微仪器批量化生产投入市场，推动更多生命科学与医学的重大发现，是团队下一步的计划。”

近日，科学仪器行业迎来了前所未有的利好消息。2022年9月13日，国务院常务会议决定对部分领域设备更新改造贷款阶段性财政贴息和加大社会服务业信贷支持，政策面向高校、职业院校、医院、中小微企业等九大领域的设备购置和更新改造。贷款总体规模预估为1.7万亿元。 2022年9月28日，财政部、发改委、人民银行、审计署、银保监会五部门联合下发《关于加快部分领域设备更新改造贷款财政贴息工作的通知》（财金〔2022〕99号），对2022年12月31日前新增的10个领域设备更新改造贷款贴息2.5个百分点，期限2年，额度2000亿元以上。因此今年第四季度内更新改造设备的贷款主体实际贷款成本不高于0.7%（加上此前中央财政贴息2.5个百分点）。这两大重磅政策提供极低利息的贷款给消费端提前进行设备购置和更新改造，推动我国仪器市场迎来新一波仪器采购大潮。仪器信息网注意到，10月7日以来，44所高校院所等单位发布的399项采购意向涉及显微镜（包括电子显微镜等），采购预算总额约33亿元。10月份含显微镜（含电子显微镜等）采购意向汇总序号项目名称预算金额(万元)采购单位发布时间预计采购时间查看1分析测试中心冷冻传输系统和冷冻传输样品杆采购项目320北京理工大学10月26日2022年12月意向原文2分析测试中心原位微区气氛系统采购项目290北京理工大学10月26日2022年12月意向原文3真空转移型高分辨场发射扫描电子显微镜560复旦大学10月26日2022年12月意向原文4原位催化型XPS互联高空间分辨表征系统540复旦大学10月26日2022年12月意向原文5高通量介孔储能材料原位电化学聚光镜单球差透射电镜1900复旦大学10月26日2022年12月意向原文6多功能多气氛环境介孔催化剂评价用图像矫正器透射电镜1300复旦大学10月26日2022年12月意向原文7材料加工-原位加热-结构表征双束多功能综合平台360复旦大学10月26日2022年12月意向原文8复杂结构解析及电热功能原位分析高通量-高分辨表征平台580复旦大学10月26日2022年12月意向原文9高分辨热场发射扫描电子显微镜采购242中山大学10月26日2022年11月意向原文10全自动高分辨快速成像系统采购152中山大学10月26日2022年11月意向原文11激光共聚焦显微镜采购260中山大学10月25日2022年11月意向原文12近红外上转化共聚焦显微镜440华中科技大学10月25日2022年11月意向原文13超高分辨激光共聚焦显微镜420华中科技大学10月25日2022年11月意向原文14智能超灵敏活细胞超分辨显微镜450华中科技大学10月25日2022年11月意向原文15西南交通大学高水平公共测试服务平台建设项目采购2900西南交通大学10月25日2022年11月意向原文16（材料型）原子力显微镜150复旦大学10月25日2022年11月意向原文17超高分辨激光共聚焦显微镜520浙江大学10月25日2022年12月意向原文18原位微纳热力分析型聚焦离子束/电子束扫描电镜836上海交通大学10月25日2022年12月意向原文19中国农业科学院蔬菜花卉研究所国家蔬菜种质资源中期库建设项目122中国农业科学院蔬菜花卉研究所10月24日2022年11月意向原文20西南交通大学复杂环境路面材料耐久性能测试系统采购177西南交通大学10月24日2022年11月意向原文21西南交通大学轨道结构材料响应细微观表征分析平台采购120西南交通大学10月24日2022年11月意向原文22西南交通大学扫描电镜能谱一体机采购140西南交通大学10月24日2022年12月意向原文23共聚焦激光扫描显微镜520浙江大学10月24日2022年11月意向原文24多光子共聚焦显微镜350中国科学院宁波材料技术与工程研究所10月24日2022年12月意向原文25双光子显微镜系统300浙江大学10月24日2022年11月意向原文26先进能源学院 场发射扫描电镜200中山大学10月23日2022年11月意向原文27先进能源学院 扫描电化学显微镜130中山大学10月23日2022年11月意向原文28先进能源学院 原子力显微镜100中山大学10月23日2022年11月意向原文29核科学与技术学院+核材料制备装置120兰州大学10月22日2022年12月意向原文30阜外医院医疗设备购置项目20000中国医学科学院阜外医院10月21日2022年11月意向原文31光发射电子显微镜1500南京大学10月21日2022年12月意向原文32冷冻电镜8000南京大学10月21日2022年12月意向原文33球差矫正透射电子显微镜3000南京大学10月21日2022年12月意向原文34场发射高分辨透射电镜800南京大学10月21日2022年12月意向原文35200kV透射电镜350南京大学10月21日2022年12月意向原文36120kV透射电镜600南京大学10月21日2022年12月意向原文37环境扫描电子显微镜420南京大学10月21日2022年12月意向原文38扫描电子显微镜600南京大学10月21日2022年12月意向原文39透射电镜原位纳米力学测试系统190南京大学10月21日2022年12月意向原文40显微镜操作平台250江南大学10月21日2022年12月意向原文41原子力显微镜200南京大学10月20日2022年12月意向原文42高分辨扫描电子显微镜与阴极荧光系统490南京大学10月20日2022年12月意向原文43显微操作系统、倒置显微镜160山东大学10月20日2022年11月意向原文44自动活细胞成像系统180山东大学10月20日2022年11月意向原文45光片显微成像系统580山东大学10月20日2022年11月意向原文46兰州大学现代化工程训练中心项目建设方案（电工电子基础训练及创新中心）——电子产品装配与检测模块68.22兰州大学10月20日2022年11月意向原文47家畜生物学国家重点实验室培育建设项目2098西北农林科技大学10月20日2022年11月意向原文48未来农业研究院平台建设项目1815西北农林科技大学10月20日2022年11月意向原文49超高分辨率活细胞三维长时程成像系统877.5复旦大学10月20日2022年12月意向原文50转盘式激光共聚焦显微镜675复旦大学10月20日2022年12月意向原文51多功能共聚焦显微拉曼成像系统298北京大学10月20日2022年12月意向原文52CSU转盘式扫描高速共聚焦成像380华南理工大学10月20日2022年11月意向原文53粤港澳中枢神经再生研究院科研设备121.5暨南大学10月20日2022年12月意向原文54快速扫描电子显微镜500上海交通大学10月20日2022年11月意向原文55电子探针系统600中山大学10月19日2022年11月意向原文56低能电子成像系统880中山大学10月19日2022年11月意向原文57场发射扫描电镜350中山大学10月19日2022年11月意向原文58场发射透射电镜1000中山大学10月19日2022年11月意向原文59拉曼-原子力显微镜联用系统200中山大学10月19日2022年11月意向原文60光子技术研究院科研设备987.7暨南大学10月19日2022年12月意向原文61基础医学与公共卫生学院科研设备429暨南大学10月19日2022年12月意向原文62场发射透射电子显微镜800湖南大学10月19日2022年11月意向原文63化学本科实验教学分析表征平台仪器设备购置664兰州大学10月19日2022年11月意向原文64药学实验教学中心升级改革——倒置荧光显微镜27浙江大学10月19日2022年12月意向原文65双球差矫正透射电子显微镜、场发射透射电镜2900北京大学10月19日2022年12月意向原文66材料科学与工程教学实验室规划、改造与建设630华北电力大学10月19日2022年11月意向原文67科研设备更新改造专项-场发射透射电子显微镜900中山大学10月19日2022年12月意向原文68中山医学院荧光显微镜(3台）采购105中山大学10月19日2022年11月意向原文69科研设备更新改造专项-聚焦离子束双束电子显微镜790中山大学10月19日2022年12月意向原文70电能转换与智慧用电教育部工程研究中心实验平台建设1889华北电力大学10月19日2022年12月意向原文71新能源电力系统国家重点实验室仪器设备升级更新项目7242华北电力大学10月19日2022年12月意向原文72国家储能技术产教融合创新平台5000华北电力大学10月19日2022年12月意向原文73新能源发电国家工程研究中心平台建设与设备更新4000华北电力大学10月19日2022年12月意向原文74氢能科学与工程学科及高水平科研平台建设5037华北电力大学10月19日2022年12月意向原文75低碳能源系统功能新材料开发与微纳制造平台4992华北电力大学10月19日2022年12月意向原文76清洁高效燃煤发电关键技术与装备集成攻关大平台4272华北电力大学10月19日2022年12月意向原文77新能源高效转换与特性研究4400华北电力大学10月19日2022年12月意向原文78水利工程学科科学研究706.6华北电力大学10月19日2022年12月意向原文79多维度单分子超分辨表征系统600浙江大学10月19日2022年11月意向原文80白激光共聚焦系统410西安电子科技大学10月19日2022年11月意向原文81化学化工学院高时空分辨显微成像设备采购项目350兰州大学10月19日2022年12月意向原文82材料科学与工程高水平研究平台建设项目2900武汉理工大学10月18日2022年11月意向原文83中南大学资源与安全工程学院新材料/能源环境控制与安全防控技术采购项目1541中南大学10月18日2022年11月意向原文84激光共聚焦显微镜（更正）490清华大学10月18日2022年11月意向原文85材料特征微区原位拉伸形貌分析仪150清华大学10月18日2022年11月意向原文86生物透射电子显微镜440清华大学10月18日2022年11月意向原文87双束三维立体生物成像电子显微镜950清华大学10月18日2022年11月意向原文88高通量切片扫描成像系统206清华大学10月18日2022年11月意向原文89活细胞晶格激光片层扫描显微镜830清华大学10月18日2022年11月意向原文90高分辨率X射线显微镜800清华大学10月18日2022年11月意向原文91快速超高分辨激光共聚焦显微镜450清华大学10月18日2022年11月意向原文92连续光谱激光共聚焦显微镜650清华大学10月18日2022年11月意向原文93多元多相燃料高效清洁混燃研究平台建设665华北电力大学（保定）10月18日2022年12月意向原文94光伏制储氢发电一体化技术研究平台340华北电力大学（保定）10月18日2022年11月意向原文95高分辨率电子显微镜1000南京大学10月18日2022年11月意向原文96多功能可控环境扫描探针显微镜300南京大学10月18日2022年11月意向原文97高倍显微镜260南京大学10月18日2022年11月意向原文98多功能超高分辨荧光分析与激光共聚焦系统970北京理工大学10月18日2022年11月意向原文99原位透射电镜表征系统2156北京理工大学10月18日2022年12月意向原文100功能有机分子化学国家重点实验室+原子力显微镜采购项目250兰州大学10月18日2022年11月意向原文101偏光显微镜60兰州大学10月18日2022年12月意向原文102包裹体测温测压系统80兰州大学10月18日2022年12月意向原文103单分子时间分辨共聚焦荧光显微系统（已有显微镜光谱系统更新）150浙江大学10月18日2022年11月意向原文104全功能扫描光电化学显微镜210浙江大学10月18日2022年11月意向原文105多功能化学成像系统1050浙江大学10月18日2022年11月意向原文106多维度单分子超分辨表征系统1215浙江大学10月18日2022年11月意向原文107表面等离子体共振显微镜300浙江大学10月18日2022年11月意向原文108高分辨多模态近场纳米光学原子力成像系统330山东大学10月18日2022年12月意向原文109超高分辨率场发射扫描电镜400厦门大学10月18日2022年12月意向原文110冷冻切片传输微加工系统585华南理工大学10月18日2022年11月意向原文111双光子激光共聚焦显微镜1000华南理工大学10月18日2022年11月意向原文112广东农工商职业技术学院化学品智能安全管理与实验教学中心设备建设项目372.9广东农工商职业技术学院10月17日2022年11月意向原文113正置荧光显微镜采购项目105北京师范大学10月17日2022年11月意向原文114光片荧光显微镜采购项目580北京师范大学10月17日2022年11月意向原文115中山大学科研设备更新改造专项-活细胞功能分析系统采购190中山大学10月17日2023年6月意向原文116中山大学科研设备更新改造专项-化学发光成像系统采购40中山大学10月17日2023年6月意向原文117中山大学科研设备更新改造专项-切片扫描系统采购168中山大学10月17日2023年6月意向原文118一体化荧光显微成像系统270中山大学10月17日2022年12月意向原文119显微注射系统55中山大学10月17日2022年12月意向原文120中山医学院倒置显微镜（2台）采购100中山大学10月17日2022年11月意向原文121高速双光子显微镜220清华大学10月17日2022年11月意向原文122场发射透射电子显微镜600南京大学10月17日2022年11月意向原文123环境扫描电子显微镜400南京大学10月17日2022年11月意向原文124双球差矫正透射电镜2000南京大学10月17日2022年11月意向原文125微结构加工与成像系统138浙江大学10月17日2022年10月意向原文126tirf全内返荧光显微镜180江南大学10月17日2023年6月意向原文127开尔文探针原子力显微镜220重庆大学10月17日2022年12月意向原文128高通量脑切片成像系统230中国科学院脑科学与智能技术卓越创新中心10月17日2022年11月意向原文129原子力显微镜230北京理工大学10月17日2022年11月意向原文130压电力显微镜180北京理工大学10月17日2022年11月意向原文131高通量低电压透射电子显微镜467北京理工大学10月17日2022年11月意向原文132原子力显微镜350山东大学10月17日2022年11月意向原文133FRET显微镜测定分析系统155山东大学10月17日2022年11月意向原文134微流场测试系统190山东大学10月17日2022年12月意向原文135原子力显微镜390山东大学10月17日2022年11月意向原文136单细胞荧光扫描显微镜120山东大学10月17日2022年12月意向原文137表面共振显微镜400山东大学10月17日2022年11月意向原文138激光扫描共聚焦显微镜195山东大学10月17日2022年12月意向原文139200KV冷冻透射电镜3750山东大学10月17日2022年11月意向原文140显微高速摄像系统190山东大学10月17日2022年12月意向原文141北京大学医学部冷冻电镜系统（一批）采购项目8500北京大学10月17日2022年11月意向原文142北京大学医学部200KV多用途场发射透射电子显微镜采购项目730北京大学10月17日2022年11月意向原文143全自动3D全息无标记活细胞成像系统200江南大学10月17日2022年11月意向原文144材料与能源学院新材料与新能源实验教学平台建设项目-数字显微镜25兰州大学10月17日2022年11月意向原文145材料与能源学院新材料与新能源实验教学平台建设项目-桌面型扫描电镜85兰州大学10月17日2022年11月意向原文146材料与能源学院新材料、新能源科研平台建设项目-原位高分辨显微织构测试系统510兰州大学10月17日2022年11月意向原文147材料与能源学院新材料、新能源科研平台建设项目-激光干涉多物理场传感成像系统480兰州大学10月17日2022年11月意向原文148橡胶类冷冻扫描分析系统520华南理工大学10月17日2022年11月意向原文149冷冻切片传输微加工系统585华南理工大学10月17日2022年11月意向原文150原子力显微镜220华南理工大学10月17日2022年11月意向原文151中南大学湘雅医学院冷冻电子显微镜平台采购项目8000中南大学10月16日2022年11月意向原文152中南大学湘雅医学院形态学平台科研设备采购项目18053中南大学10月16日2022年11月意向原文153中南大学湘雅医学院分子生物学平台采购项目15407中南大学10月16日2022年11月意向原文154中山医学院荧光显微镜（2台)采购150中山大学10月16日2022年11月意向原文155超高分辨率激光共聚焦显微镜500中山大学10月16日2022年11月意向原文156中山医学院激光共聚焦显微镜（全光谱）采购415中山大学10月16日2022年11月意向原文157中山医学院双束扫描电子显微镜采购800中山大学10月16日2022年11月意向原文158中山医学院多维活细胞灌流成像系统采购120中山大学10月16日2022年11月意向原文159原位透射电镜样品杆420复旦大学10月15日2022年11月意向原文160液相原子力显微镜350复旦大学10月15日2022年11月意向原文161聚焦离子束场发射扫描电子显微镜800华南理工大学10月15日2022年11月意向原文162台式扫描电子显微镜150华南理工大学10月15日2022年11月意向原文163中南大学高水平公共卫生学院建设采购项目6600中南大学10月15日2022年11月意向原文164中南大学医学精准诊断实验平台、高端医学影像实验平台、医学智能计算实验平台建设采购项目3000中南大学10月15日2022年11月意向原文165透射电子显微镜520吉林大学10月15日2022年12月意向原文166超高分辨激光共聚焦显微镜315吉林大学10月15日2022年11月意向原文167全自动数字玻片扫描系统280吉林大学10月15日2022年11月意向原文168倒置荧光显微成像及显微操作系统200吉林大学10月15日2022年11月意向原文169活细胞工作站320吉林大学10月15日2022年11月意向原文170高光谱显微镜--显微平台220南京农业大学10月14日2022年11月意向原文171膜蛋白结晶工作站150中山大学10月14日2022年12月意向原文172X射线显微镜900中山大学10月14日2022年11月意向原文173超分辨率显微镜650中山大学10月14日2022年12月意向原文174高通量分子相互作用分析仪0.03中山大学10月14日2022年12月意向原文175自动换液成像培养设备680中山大学10月14日2022年12月意向原文176高分辨率激光共聚焦显微镜580中山大学10月14日2022年12月意向原文177细胞无损实时监测系统100中山大学10月14日2022年12月意向原文178激光共聚焦显微镜260中山大学10月14日2022年12月意向原文179荧光斑点分析仪ELISPOT85中山大学10月14日2022年12月意向原文180高内涵成像分析系统400中山大学10月14日2022年12月意向原文181全自动外泌体提取纯化系统60中山大学10月14日2022年12月意向原文182多功能激光成像仪220中山大学10月14日2022年12月意向原文183液体闪烁计数器90中山大学10月14日2022年12月意向原文184理学院聚焦离子束-电子束系统采购项目925中山大学10月14日2022年11月意向原文185全自动活细胞荧光成像系统75中山大学10月14日2022年12月意向原文186原子力显微镜450中山大学10月14日2022年12月意向原文187化学学院多功能显微发光光谱测试系统采购项目150中山大学10月14日2022年12月意向原文188明场玻片扫描系统50中山大学10月14日2023年6月意向原文189脑片膜片钳系统（含钙成像）195中山大学10月14日2023年6月意向原文190显微注射系统85中山大学10月14日2023年6月意向原文191全光谱成像及组织微环境定量分析系统440中山大学10月14日2023年6月意向原文192细胞荧光成像系统90中山大学10月14日2023年6月意向原文193多普勒干涉原子力显微镜550中山大学10月14日2022年11月意向原文194包裹体测温测压系统80兰州大学10月14日2022年12月意向原文195双目镜3.5兰州大学10月14日2022年12月意向原文196偏光显微镜60兰州大学10月14日2022年12月意向原文197物理科学与技术学院/基于物理学科的基础学科拔尖人才培养实践教学平台建设71兰州大学10月14日2022年12月意向原文198化学学院扫描俄歇纳米探针采购项目750中山大学10月14日2022年11月意向原文199昆虫自动监测系统采购120中山大学10月14日2022年11月意向原文200化学学院形状测量激光显微系统采购项目120中山大学10月14日2023年2月意向原文201显微成像光谱系统150武汉大学10月14日2022年12月意向原文202中山医学院高通量共聚焦活细胞成像系统采购490中山大学10月14日2022年11月意向原文203中山医学院在体双光子显微成像系统采购600中山大学10月14日2022年11月意向原文204中山医学院实时无标记电阻细胞分析仪采购250中山大学10月14日2022年11月意向原文205中山医学院晶格层光显微成像系统采购800中山大学10月14日2022年11月意向原文206中山医学院荧光显微镜采购150中山大学10月14日2022年11月意向原文207化学学院 STM扫描隧道显微镜 项目150中山大学10月14日2022年12月意向原文208seahorse细胞能量代谢分析仪255中山大学10月14日2022年12月意向原文209中山医学院超分辨率显微镜采购720中山大学10月14日2022年11月意向原文210化学学院压电力显微镜采购项目300中山大学10月14日2022年12月意向原文211全自动细胞荧光显微成像90中山大学10月14日2022年12月意向原文212珠海校区高分辨共聚焦拉曼成像系统采购项目476.9北京师范大学10月14日2022年12月意向原文213多功能高分辨磁光克尔显微成像系统109吉林大学10月14日2022年12月意向原文214视频级生物型原子力显微镜330吉林大学10月14日2022年11月意向原文215场发射透射电子显微镜950吉林大学10月14日2022年11月意向原文216电镜拉曼一体化显微镜联用分析系统647.9吉林大学10月14日2022年12月意向原文217激光差动共焦显微镜120吉林大学10月14日2022年11月意向原文218超分辨共聚焦扫描显微镜368吉林大学10月14日2022年11月意向原文219超高分辨率激光共聚焦显微镜360吉林大学10月14日2022年11月意向原文220资源环境学院 拔尖创新人才培养平台建设15兰州大学10月14日2022年11月意向原文221中国科学院大学物理科学学院原子力显微镜采购项目198中国科学院大学10月14日2022年10月意向原文222超声波扫描显微镜采购项目141中山大学10月14日2022年11月意向原文223场发射电子显微镜采购项目440中山大学10月14日2022年11月意向原文224西南交通大学聚焦离子束扫描电子显微镜和场发射扫描电子显微镜购置项目1500西南交通大学10月14日2022年11月意向原文225生物医学科学与工程学院-超高分辨率倒置荧光显微镜320华南理工大学10月14日2022年11月意向原文226双转盘激光共聚焦高内涵系统550华南理工大学10月14日2022年11月意向原文227中山医学院高分辨率激光共聚焦显微镜（倒置型)采购480中山大学10月13日2022年11月意向原文228中山医学院全自动玻片扫描系统采购250中山大学10月13日2022年11月意向原文229中山医学院大组织样本光片显微镜采购435中山大学10月13日2022年11月意向原文230化学学院压电力显微镜采购项目300中山大学10月13日2023年3月意向原文231中山医学院高通量活细胞功能分析系统采购200中山大学10月13日2022年11月意向原文232中山医学院数控剪切流活细胞自动分析系统采购240中山大学10月13日2022年11月意向原文233中山医学院透射电子显微镜采购495中山大学10月13日2022年11月意向原文234飞秒激光-聚焦离子束三束电子显微镜采购800中山大学10月13日2022年11月意向原文235肖特基场发射扫描电子显微镜采购193中山大学10月13日2022年11月意向原文236中山医学院激光共聚焦显微镜（正置型）采购420中山大学10月13日2022年11月意向原文237超景深视频显微镜70中山大学10月13日2022年12月意向原文238中山医学院高分辨率荧光成像系统（倒置型）采购120中山大学10月13日2022年11月意向原文239中山医学院转盘共聚焦显微镜（倒置型）采购495中山大学10月13日2022年11月意向原文240中山医学院数字化组织原位多组学分析系统采购450中山大学10月13日2022年11月意向原文241双球差校正透射电子显微镜采购4300中山大学10月13日2022年11月意向原文242共聚焦显微镜采购182中山大学10月13日2022年11月意向原文243中山医学院多光谱组织成像分析系统采购400中山大学10月13日2022年11月意向原文244激光共聚焦显微镜700中山大学10月13日2022年11月意向原文245中山医学院激光共聚焦显微镜（正置型）采购320中山大学10月13日2022年11月意向原文246中山医学院高分辨率场发射扫描电子显微镜采购495中山大学10月13日2022年11月意向原文247中山医学院高分辨率激光共聚焦显微镜（正置型)采购480中山大学10月13日2022年11月意向原文248中山医学院高分辨率荧光成像系统（正置型）采购120中山大学10月13日2022年11月意向原文249高通量低电压透射电子显微镜467北京理工大学10月13日2022年11月意向原文250压电力显微镜180北京理工大学10月13日2022年11月意向原文251中国药科大学共聚焦显微镜项目500中国药科大学10月13日2022年11月意向原文252低压超快原子分辨透射电镜2600吉林大学10月13日2022年11月意向原文253多用途场发射透射电镜720吉林大学10月13日2022年11月意向原文254生命科学学院全自动数字玻片扫描系统采购项目210中山大学10月13日2022年11月意向原文255生命科学学院晶格层光显微镜采购项目980中山大学10月13日2022年11月意向原文256线扫描激光共聚焦显微镜450浙江大学10月13日2022年11月意向原文257球差校正电子显微镜3146吉林大学10月13日2022年11月意向原文258双球差校正透射电子显微镜3000吉林大学10月13日2022年11月意向原文259双束拉曼一体化显微镜联用分析系统647.9吉林大学10月13日2022年12月意向原文260微纳光学成像工作站557华南理工大学10月13日2022年11月意向原文261球差矫正透射电子显微镜5000华南理工大学10月13日2022年11月意向原文262超高分辨率原位动态显微成像系统575华南理工大学10月13日2022年11月意向原文263双光子激光共聚焦显微镜1000华南理工大学10月13日2022年11月意向原文264生物医学科学与工程学院-扫描探针及激光共聚焦成像系统600华南理工大学10月13日2022年11月意向原文265测试中心原子力显微镜（AFM）采购项目500中山大学10月12日2022年11月意向原文266测试中心生物型原子力显微镜采购项目443中山大学10月12日2022年11月意向原文267测试中心原子力显微镜-红外光谱联用采购项目795中山大学10月12日2022年11月意向原文268生态学院倒置荧光显微镜设备采购项目22兰州大学10月12日2022年11月意向原文269生物医学工程学院透射电子显微镜（120kV）采购项目440中山大学10月12日2022年11月意向原文270生物医学工程学院激光共聚焦显微镜（正置型)采购项目275中山大学10月12日2022年11月意向原文271生物医学工程学院桌面型扫描电镜采购项目110中山大学10月12日2022年11月意向原文272测试中心显微微区荧光寿命成像系统采购项目98中山大学10月12日2022年11月意向原文273基于高通量成像筛选设备150清华大学10月12日2022年11月意向原文274高分辨率光片系统470清华大学10月12日2022年11月意向原文275原位冷冻超分辨激光共聚焦系统400清华大学10月12日2022年11月意向原文276高分辨在体双光子激光扫描共聚焦成像系统680清华大学10月12日2022年11月意向原文277智能超灵敏活细胞超分辨显微镜480清华大学10月12日2022年11月意向原文278超高分辨三维（3View）扫描电子显微镜870四川大学华西医院10月12日2022年11月意向原文279草业科学国家级实验教学示范中心一流草学人才培养平台建设项目43兰州大学10月12日2022年11月意向原文280生命科学学院生物学野外实习科教一体化平台-农作物生长箱等设备采购项目85兰州大学10月12日2022年11月意向原文281生命科学学院细胞、免疫及显微技术科教一体化平台-荧光相差显微成像系统采购项目126兰州大学10月12日2022年11月意向原文282医学实验中心十人共览显微镜采购项目28兰州大学10月12日2022年11月意向原文283数字病理切片扫描仪120四川大学华西医院10月12日2022年11月意向原文284惰性气氛下锂电池界面表征用布鲁克原子力显微镜350华北电力大学10月12日2022年11月意向原文285超高分辨场发射扫描电子显微镜360华北电力大学10月12日2022年10月意向原文286200kV冷场发射透射电镜1600华南理工大学10月12日2022年11月意向原文287聚焦离子束场发射扫描电子显微镜800华南理工大学10月12日2022年11月意向原文288环境扫描电子显微镜400山东大学10月11日2022年11月意向原文289眼科手术显微镜20南京农业大学10月11日2022年11月意向原文290高级正置显微镜（含成像系统）5南京农业大学10月11日2022年11月意向原文291显微镜5南京农业大学10月11日2022年11月意向原文292耳科显微镜100四川大学华西医院10月11日2022年11月意向原文293微纳米尺度红外光谱成像系统725华南理工大学10月11日2022年11月意向原文294扫描隧道显微镜185华南理工大学10月11日2022年11月意向原文295四川大学华西第二医院11-12月专业设备采购4391四川大学华西第二医院10月11日2022年11月意向原文296大组织样本激光片层扫描显微镜430清华大学10月11日2022年11月意向原文297高分辨率激光片层扫描显微成像系统490清华大学10月11日2022年11月意向原文298高通量快速转盘共聚焦成像分析系统350清华大学10月11日2022年11月意向原文299公共卫生学院+核酸鉴定平台150兰州大学10月11日2022年12月意向原文300公共卫生学院+蛋白鉴定平台180兰州大学10月11日2022年12月意向原文301化学化工学院针尖增强拉曼光谱成像系统采购项目450兰州大学10月10日2022年11月意向原文302化学化工学院受激拉曼散射显微成像系统采购项目500兰州大学10月10日2022年12月意向原文303化学化工学院/分析测试中心成像质谱显微镜设备采购项目850兰州大学10月10日2022年10月意向原文304化学化工学院高效型激光共聚焦显微镜350兰州大学10月10日2022年11月意向原文305基础医学院双光子激光共聚焦成像系统设备采购项目500兰州大学10月10日2022年11月意向原文306护理学基础研究平台采购项目160兰州大学10月10日2022年12月意向原文307医学实验中心倒置荧光显微镜采购项目204兰州大学10月10日2022年11月意向原文308医学实验中心激光共聚焦采购项目330兰州大学10月10日2022年11月意向原文309医学实验中心360度全息无标记3D荧光显微镜采购项目98兰州大学10月10日2022年11月意向原文310电子增益探测正置光学显微系统160华南理工大学10月10日2022年11月意向原文3113D单分子定位显微镜260华南理工大学10月10日2022年11月意向原文312双光子激光微纳加工系统480华南理工大学10月10日2022年11月意向原文313超快高分辨原子力显微镜560华南理工大学10月10日2022年11月意向原文314超快激子扩散四维成像显微镜1050华南理工大学10月10日2022年11月意向原文315研究级倒置显微镜系统100华南理工大学10月10日2022年11月意向原文316冷冻场发射（生物）扫描电子显微镜450清华大学10月10日2022年11月意向原文317先进能源学院荧光显微镜采购项目120中山大学10月10日2022年11月意向原文318集成电路学院场发射扫描电镜（SEM)采购391.7中山大学10月10日2022年11月意向原文319集成电路学院高精度光学显微镜采购84中山大学10月10日2022年11月意向原文320集成电路学院原子力显微镜采购228中山大学10月10日2022年11月意向原文321集成电路学院金相显微镜采购80中山大学10月10日2022年11月意向原文322集成电路学院操作显微镜采购12中山大学10月10日2022年11月意向原文323高分辨场发射透射电镜2500哈尔滨工业大学10月10日2022年11月意向原文324离子/电子双束系统1400哈尔滨工业大学10月10日2022年11月意向原文325多场耦合原位微纳米力学可视化测试系统1350哈尔滨工业大学10月10日2022年11月意向原文326高分辨场发射扫描电子显微镜590哈尔滨工业大学10月10日2022年11月意向原文327高分辨镓离子双束电镜-二次离子质谱一体化系统1210哈尔滨工业大学10月10日2022年11月意向原文328扫描电镜原位高通量荧光纳米力学测试装置605哈尔滨工业大学10月10日2022年11月意向原文329西南交通大学分析测试中心测试能力提升建设项目采购120西南交通大学10月10日2022年10月意向原文330兰州大学中长期贷款项目投资估算表-拔尖创新人才培养平台60兰州大学10月10日2022年11月意向原文331兰州大学药学院荧光光学倒置显微镜采购项目45兰州大学10月10日2022年11月意向原文332兰州大学药学院荧光正置显微镜及成像系统采购项目60兰州大学10月10日2022年11月意向原文333基础医学院显微数码互动教学实验室采购项目144兰州大学10月10日2022年11月意向原文334基础医学院显微数码互动教学实验室采购项目192兰州大学10月10日2022年11月意向原文335开办费实验室设备购置第二包322.2中国医学科学院病原生物学研究所10月9日2022年11月意向原文336单分子成像和捕获系统530华南理工大学10月9日2022年11月意向原文337多势阱光镊操控系统190华南理工大学10月9日2022年11月意向原文338STED超分辨成像系统620华南理工大学10月9日2022年11月意向原文339北京大学人民医院国家创伤医学中心经费项目购转盘共聚焦显微镜185北京大学人民医院10月9日2022年11月意向原文340兰州大学生命科学学院荧光相差显微成像系统采购项目126兰州大学10月9日2022年11月意向原文341兰州大学生命科学学院红外相机等采购19.48兰州大学10月9日2022年11月意向原文342兰州大学生命科学学院激光聚焦扫描显微镜采购项目240兰州大学10月9日2022年11月意向原文343傅里叶红外光谱/红外显微镜400哈尔滨工程大学10月9日2022年11月意向原文344超快超高压原子级扫描透射电子显微镜3600哈尔滨工程大学10月9日2022年11月意向原文345氦离子束显微镜1100哈尔滨工程大学10月9日2022年11月意向原文346单光子计数共聚焦显微镜1500哈尔滨工程大学10月9日2022年11月意向原文347全通道激光共聚焦显微镜800哈尔滨工程大学10月9日2022年12月意向原文348口岸检疫查验能力提升项目20.5中华人民共和国济南机场海关10月9日2022年11月意向原文349兰州大学生命科学学院超高分辨率显微成像系统设备采购项目730兰州大学10月9日2022年10月意向原文350兰州大学生命科学学院全自动电动荧光显微镜设备采购项目68兰州大学10月9日2022年10月意向原文351物理学院/量子钻石原子力显微镜设备350兰州大学10月9日2022年11月意向原文352兰州大学生命科学学院双光子显微成像系统设备采购项目450兰州大学10月9日2022年10月意向原文353兰州大学生命科学学院激光共聚焦显微镜设备采购项目480兰州大学10月9日2022年10月意向原文354兰州大学生命科学学院高速转盘式共聚焦成像显微镜设备采购项目350兰州大学10月9日2022年10月意向原文355兰州大学生命科学学院激光片层扫描成像系统设备采购项目570兰州大学10月9日2022年10月意向原文356生命科学学院植物生理实训平台采购项目45南京农业大学10月9日2022年11月意向原文357生态学院研究级正置显微镜设备采购项目35兰州大学10月8日2022年11月意向原文358生态学院共聚焦扫描成像显微镜采购项目130兰州大学10月8日2022年11月意向原文359生态学院基因编辑与显微注射平台设备采购项目38.6兰州大学10月8日2022年11月意向原文360药学院激光共聚焦显微镜233.7中山大学10月8日2022年11月意向原文361数字PCR、多通道全自动扫描成像系统、石英晶体微天平、全自动活细胞荧光显微镜成像系统690中国医学科学院肿瘤医院10月8日2022年11月意向原文362双光子激光共聚焦显微镜680南京农业大学10月8日2022年11月意向原文363激光片层扫描显微系统410南京农业大学10月8日2022年11月意向原文364免疫荧光显微系统60南京农业大学10月8日2022年11月意向原文365Spinning disk激光共聚焦荧光显微镜500南京农业大学10月8日2022年11月意向原文366原子力显微镜350南京农业大学10月8日2022年11月意向原文367光电联用激光共聚焦显微镜400南京农业大学10月8日2022年11月意向原文368受激发射损耗显微镜620南京农业大学10月8日2022年11月意向原文369体视显微镜26南京农业大学10月8日2022年11月意向原文370全内反射荧光显微镜175南京农业大学10月8日2022年11月意向原文371荧光倒置显微镜48南京农业大学10月8日2022年11月意向原文372人文与社会发展学院金相显微镜100南京农业大学10月8日2022年12月意向原文373人文与社会发展学院扫描电子显微镜100南京农业大学10月8日2022年12月意向原文374人文与社会发展学院生物显微镜100南京农业大学10月8日2022年12月意向原文375自旋科技研究院购置激光共聚焦荧光显微镜设备项目380华南理工大学10月8日2022年11月意向原文376自旋科技研究院购置扫描探针显微镜项目294华南理工大学10月8日2022年11月意向原文377自旋科技研究院购置金刚石NV色心扫描显微镜系统项目460华南理工大学10月8日2022年11月意向原文378自旋科技研究院购置电子束曝光系统项目498华南理工大学10月8日2022年11月意向原文379双光子扫描光遗传学显微镜500北京大学10月8日2022年11月意向原文380植物保护学院教学中心仪器设备采购项目680南京农业大学10月8日2022年11月意向原文381教务处、国家级实验教学中心显微互动系统采购项目383.7南京农业大学10月8日2022年11月意向原文382中国药科大学场发射电子探针显微分析仪(SEM)项目600中国药科大学10月8日2022年11月意向原文383中国药科大学扫描电镜项目500中国药科大学10月8日2022年11月意向原文384中国药科大学光片显微成像系统项目600中国药科大学10月8日2022年11月意向原文385中国药科大学超高分辨率激光共聚焦项目560中国药科大学10月8日2022年11月意向原文386动物科技学院显微操作系统等仪器采购项目249.7南京农业大学10月8日2022年11月意向原文387全自动活细胞荧光显微镜成像系统165中国医学科学院肿瘤医院10月8日2022年11月意向原文388动物科技学院显微镜等仪器采购项目248.9南京农业大学10月8日2022年11月意向原文389白激光共聚焦显微镜490清华大学10月8日2022年11月意向原文390高分辨扫描电镜600华南理工大学10月8日2022年11月意向原文391环境电子显微镜及制样设备5200华南理工大学10月8日2022年11月意向原文392超高能量分辨率多功能谱学专用电镜3000华南理工大学10月8日2022年11月意向原文393自旋科技研究院购置自旋电子材料表征设备项目1330华南理工大学10月8日2022年11月意向原文394超高分辨球差矫正磁成像透射电镜4000华南理工大学10月8日2022年11月意向原文395兰州大学草地农业科技学院显微数码互动系统采购108兰州大学10月7日2022年11月意向原文396形状测量激光纤维系统138厦门大学10月7日2022年11月意向原文397场发射扫描电镜360厦门大学10月7日2022年11月意向原文398水生动物疫病专业实验室建设项目734.6华中农业大学10月7日2023年1月意向原文399正置全样品双超分共振快速成像系统350清华大学10月7日2022年11月意向原文

项目编号：0773-2241SHHW0172/16；校内编号：招设2022A00189项目名称：上海交通大学原子力显微镜预算金额：170.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：170.0000000 万元（人民币）采购需求：设备名称： 原子力显微镜数量：1套简要技术参数：1.1 XYZ三轴闭环扫描器：XY方向扫描范围≥90微米；Z方向扫描范围≥10微米；扫描器Z方向实际测试噪声水平：闭环控制下，0.035 nm （RMS）；XY方向实际测试噪声水平：闭环控制下，≤0.15nm （RMS）；其余详见“第八章货物需求一览表及技术规格”。设备用途：在半导体加工领域，可以检测基片表面抛光缺陷、图形化结构、薄膜表面形貌以及定量的表面粗糙度数据和深度信息，也可用于材料表面高分辨成像，如：粗糙度、三维形等信息，同时可获得材料表面物理性质分布差异，如：摩擦力、阻抗分布、电势分布、介电常数、压电特性、磁学性质等交货期：合同签订后 24周以内。交付地点：上海交通大学用户指定地点。合同履行期限：合同签订后24周以内本项目( 不接受 )联合体投标。

原子力显微镜（Atomic Force Microscopy，AFM）是一种具有原子级别高分辨率的新型表面分析仪器，它不但能像扫描隧道显微镜（STM）那样观察导体和半导体材料的表面现象，而且能用来观察诸如玻璃、陶瓷等非导体表面的微观结构，还可以在气体、水和油中无损伤地直接观察物体，大大地拓展了显微技术在生命科学、物理、化学、材料科学和表面科学等领域中的应用，具有广阔的应用前景。1 原子力显微镜的工作原理1.1 基本原理AFM 进行表面分析的基本原理如下：AFM 中有一由氮化硅片或硅片制成的对微弱力极敏感的弹性臂，微悬臂顶端有一硅或碳纳米管等材料制成的微小针尖，控制这一针尖，使其扫描待测样品的表面，这一过程是由压电陶瓷三维扫描器驱动的。当针尖与样品表面原子做相对运动时，作用在样品与针尖之间的力会使微悬臂发生一定量的形变。通过光学或电学的方法检测微悬臂的形变，转化成为图像输出，即可用于样品表面分析。简单地说，原子力显微镜是通过分析样品表面与一个微弱力敏感元件之间的相互作用力来呈现材料表面结构的。1.2 工作模式（一）接触工作模式扫描时如果控制针尖一直与样品表面原子或分子接触，那么这种工作模式称为接触模式。在这一过程中，针尖原子与样品表面原子之间力的作用主要表现为是两者相接触原子间的互斥力（大小约为10-8-10-11 N）。接触模式下工作的原子力显微镜可得到稳定的、高分辨率的样品表面图像。但是这种工作模式也有它的不足之处：当研究易变形的样品（液体样品）、生物大分子等的时候，由于针尖与样品原子直接接触，会使样品表面的原子移动、粘附于针尖或者发生较大形变，从而造成样品损坏、污染针尖或者结果中出现假象。（二）非接触工作模式扫描时如果控制针尖一直不与样品表面的原子或分子接触，那么这种工作模式称为非接触模式。非接触工作模式下由于扫描样品时针尖始终在样品上方5-20 nm 距离范围内，针尖与样品间的距离较接触模式远，所以获得的样品表面图像分辨率相对接触模式较低。但正是这一距离也克服了接触模式的不足之处，不再会造成样品的损坏、针尖污染等问题，灵敏度也提高了。（三）间歇接触工作模式扫描时如果控制针尖间歇性的与样品表面的原子或分子接触，那么这种工作模式称为间歇接触模式，也称为轻敲模式，常通过振动来实现针尖与样品的间歇性接触。该模式下微悬臂的振动是由磁线圈产生的交流磁场直接激发的，针尖与样品表面原子作用力主要是垂直方向的，不再受横向力的影响。间歇接触工作模式集合了接触与非接触模式的优点，既减少了剪切力对样品表面的破坏，又适用于柔软的样品表面成像，因此特别适合于生物样品研究。2 原子力显微镜的组成AFM 的硬件系统由力检测部分、位置检测部分和反馈控制系统三部分组成。图1 所示为AFM 的工作原理图，从图中可以看出，AFM 就是通过集合以上三个系统来将样品的表面特性反映出来的：在AFM的工作系统中，使用由微小悬臂和针尖组成的力检测部分来感应样品与针尖间的作用力；当微悬臂受力形变时，照射在微悬臂末端的激光会发生一定程度的偏移，此偏移量反射到激光检测器的同时也会将信号传递给反馈控制系统；反馈控制系统根据接受的调节信号调节压电陶瓷三维扫描器的位置，最终通过显示系统将样品表面的形貌特征以图像的形式呈现出来。3 样品制备3.1 样品要求原子力显微镜研究对象可以是有机固体、聚合物以及生物大分子等，样品的载体选择范围很大，包括云母片、玻璃片、石墨、抛光硅片、二氧化硅和某些生物膜等，其中最常用的是新剥离的云母片，主要原因是其非常平整且容易处理。而抛光硅片最好要用浓硫酸与30%双氧水的7∶3 混合液在90 ℃下煮1h。利用电性能测试时需要导电性能良好的载体，如石墨或镀有金属的基片。试样的厚度，包括试样台的厚度，最大为10 mm。如果试样过重，有时会影响Scanner的动作，请不要放过重的试样。试样的大小以不大于试样台的大小（直径20 mm）为大致的标准。稍微大一点也没问题。但是，最大值约为40 mm。如果未固定好就进行测量可能产生移位。请固定好后再测定。3.2 样品制备粉末样品的制备：粉末样品的制备常用的是胶纸法，先把两面胶纸粘贴在样品座上，然后把粉末撒到胶纸上，吹去为粘贴在胶纸上的多余粉末即可。块状样品的制备：玻璃、陶瓷及晶体等固体样品需要抛光，注意固体样品表面的粗糙度。液体样品的制备：液体样品的浓度不能太高，否则粒子团聚会损伤针尖。（纳米颗粒：纳米粉末分散到溶剂中，越稀越好，然后涂于云母片或硅片上，手动滴涂或用旋涂机旋涂均可，并自然晾干）。4 原子力显微镜的应用4.1 在材料科学及化学中的应用目前，AFM 在材料科学中主要应用于材料的表面结构、表面重构现象以及表面的动态过程（例如扩散现象）等方面的研究，表面科学的中心内容是研究晶体表面的原子结构，例如从理论上推算出的金属表面结构往往不如实际复杂，借助原子力显微镜可以直观地观察材料的表面重构现象，有助于理论的进一步完善。4.1.1 在探测材料样貌方面的应用利用原子力显微镜来观测材料的样貌进行成像的时候，材料与探针之间出现相应作用力改变能够很好的反映出材料表面的三维图像。可以通过数值分析出材料表面的高低起伏情况，因此，在利用原子力显微镜对材料进行图像分析的时候，可以有效地发现材料表面的颗粒程度、粗糙程度、孔径分布以及孔的结构等。可以利用这种成像的方式把材料表面的情况形成三维图像进行模拟显示，促使形成的图像更加利于人们观察。4.1.2 在粉体材料中的应用在对粉体材料进行分析和研究的时候，可以利用原子力显微镜来逐渐分析原子或者分子中尺度，从而保证可以准确观测晶体以及非晶体的位置、形态、缺陷、聚能、空位以及不同力之间的相互作用。一般来说，粉体材料基本上都是使用在工业中的，但是现阶段有关于检测粉体材料的方法还是十分少的，研制样品也相对比较困难。原子力显微镜实际上是一种新兴的检测方式，具有操作方便、制样简单等特点。很多专家学者认为，人们使用化学方式研制出了SnS粉末，利用原子力显微镜把涂在硅基板上的材料进行成像，从图像上我们很容易发现此类材料具有分布均匀的特点，每一个大约15nm。4.1.3 在晶体材料中的应用专家学者经过不断研究和分析得到了很多晶体生长的模型，但是经过更加深入的分析和研究发现这些理论模型和实际情况是否相同还是具有一定差异，也逐渐成为学者讨论和研究的重点，所以人们希望通过显微镜来监测和观察生长过程。虽然，使用传统的显微镜已经观测出一定的成果，但是由于这些光学显微镜、激光全息干涉技术等存在分辨率不是十分高、实验条件不是很好以及放大不足等问题，使得研究过程出现很大困难，导致不能观测纳米级的分子等。原子力显微镜的发展，为科学家们研究纳米级分子或者原子提供了依据，也成为了专业人士研究晶体过程的重要方式。利用这种显微镜具有的能够在溶液中观察以及高分辨率等特点，可以保证科学家们能够很好的观测到晶体生长过程中的纳米级图像，从而不断分析和掌握材料的情况。4.2 在生物学中的应用AFM 能在气体、液体中无损伤地直接观察物体，可对生物分子在近生理条件下进行检测，是生命科学研究中的有力工具。目前，在生命科学中AFM 主要应用于对细胞、病毒、核酸、蛋白质等生物大分子的三维结构和动态结构信息进行研究。4.2.1 对细胞膜表面形态的研究细胞膜有重要的生理功能，它既使细胞维持稳定代谢的胞内环境，又能调节和选择物质进出细胞。AFM 能够观察到细胞膜表面的超微结构，因此它可以用来观察正常细胞与病变细胞的细胞膜，发现两者的异同，为临床病理诊断提供新的视角和方法。4.2.2 测定细胞弹性以及力学性质病变这一生理过程与细胞的形态和力学性质有关。细胞形态学的变化会影响和反映细胞性质、功能以及细胞微环境的改变。健康细胞与病理状态的细胞在机械性能上是完全不同的。抓住这一点，可以利用AFM 测量出的细胞弹性性质识别癌细胞，以及辅助诊断红细胞相关的各种疾病等，从细胞层面上对各种疾病进行早期诊断和治疗。4.2.3 检测活细胞间相互作用AFM 也可以对细胞间的相互作用进行观察。将一种细胞连接在AFM 扫面探针的尖端，使针尖功能化，对另一种单层排列的细胞进行扫描就可以进行细胞间相互作用的研究。4.2.4 观察动态生物过程AFM也是观察细胞生物过程非常有效的工具。研究痘病毒和活细胞，得到了痘病毒感染活细胞全过程的AFM 图。通过活着的细胞观察子代病毒颗粒，并用AFM 在水溶液环境中在分子水平分辩出有规则重复的烙铁状结构和准有序的环状结构。观察中发现: 在感染前后最初几小时，细胞并无显著变化 子代病毒粒子沿细胞骨架进入细胞内部，还有胞吐、病毒颗粒聚集等现象。通过AFM 图像可以看出哑铃状小泡逐渐形成、消失并在细胞膜表面形成凹陷的全过程。4.2.5 观察生物大分子之间相互作用在生物体内，DNA 与蛋白质间的相互作用有着同样举足轻重的地位。在转录、翻译的过程中，DNA 与特定的蛋白质如解旋酶、聚合酶、启动因子等的结合就决定着生命活动的开启。Gilmore 等利用AFM 以每500 ms 拍摄1 次的速度，清晰地观察到了蛋白质在DNA 上的结合情况。因此，AFM 可以真正帮助我们深入地“看到”生命活动的本质。4.2.6 测定细胞电学性质细胞不论在静止状态还是活动状态，都会产生与生命状态密切相关的、有规律的电现象，生物电信号包括静息电位和动作电位，其本质是离子的跨膜流动。因此，研究细胞的电生理学也成为了生命科学领域一个重要的分支。在AFM 系统中增加了导电模块，在迎春花细胞、酵母菌细胞等样品和探针之间加一个偏压，在扫描的过程中，同时获得样品的表面形貌和电流像，且在成像的同时检测探针和细胞样品之间的电流，得到样品表面形貌和局域电流分布及两者之间的对应关系，从而实现AFM 在纳米尺度上对细胞样品电学特性的分析检测。参考文献[1]高翔.原子力显微镜在材料成像中的应用[J].化工管理,2015(08):67.[2]王明友,王卓群,焦丽君.原子力显微镜在表面分析中的应用[J].邢台职业技术学院学报,2015,32(01):75-78.[3]万旻亿.原子力显微镜的核心技术与应用[J].科技资讯,2016,14(35):240-241.[4]鞠安,蒋雯,许阳,杨升,常宁,王鹏,顾宁.原子力显微镜在生命科学领域研究中的应用进展[J].东南大学学报(医学版),2015,34(05):807-812.

仪器信息网讯 扫描隧道显微镜(STM)能够以原子精度捕获材料图像，可用于操纵单个分子或原子。多年来，研究人员一直在使用这类仪器来探索纳米尺度世界。近日， 德国Jülich研究中心（Forschungszentrum Jülich）的物理学家开发了一种新方法，这种方法帮助使用STM来研究量子效应创造了新的可能性。由于该技术方法采用磁冷却，他们的扫描隧道显微镜无需任何移动部件即可工作，并且在低至 30 毫开尔文的极低温度下几乎无振动。该仪器可以帮助研究人员解锁量子材料的特殊特性，这对量子计算机和传感器的发展至关重要。物理学家认为接近绝对零度的温度范围是一个特别令人兴奋的研究领域。热波动降至最低，量子物理定律开始发挥作用，揭示材料的特殊性质。电流自由流动，没有任何阻力。另一个例子是一种称为超流体的现象：单个原子融合成一个集体状态，并在没有摩擦的情况下相互移动。Stefan Tautz 教授（左下）、Taner Esat 博士（左上）和 Ruslan Temirov 教授（右）与Jülich量子显微镜，图片自：Forschungszentrum Jülich / Sascha Kreklau研究和利用量子效应进行量子计算也需要这些极低的温度。全世界以及 Jülich研究中心的研究人员目前正在全速追求这一目标。在某些项目上，量子计算机可能远远优于传统的超级计算机。然而，发展仍处于起步阶段。一个关键的挑战是寻找材料和工艺，使具有稳定量子位的复杂架构成为可能。来自 Jülich 研究中心的 Ruslan Temirov 解释说：“我相信像我们这样的多功能显微镜是完成这项迷人任务的首选工具，因为它能够以多种不同方式在单个原子和分子的水平上对物质进行可视化和操作。”量子物理研究的一个典型对象：在中心，可以看到一个单一的分子，它是通过显微镜尖端分离出来的。在接近绝对零的温度下，没有干扰图像的噪声。图片来源：Forschungszentrum Jülich / Taner Esat, Ruslan Temirov经过多年的工作，他和他的团队为此装备了带有磁冷却的扫描隧道显微镜。 “我们的新显微镜与所有其他显微镜的不同之处类似于电动汽车与内燃机汽车的不同之处，”Jülich 物理学家解释说。到目前为止，研究人员一直依靠一种液体燃料，即两种氦同位素的混合物，将显微镜带到如此低的温度。 “在操作过程中，这种冷却混合物通过细管不断循环，这会导致背景噪音增加，”Temirov 说。另一方面，Jülich 显微镜的冷却装置则是基于绝热退磁过程。这个原理并不新鲜。它在20世纪30年代首次用于在实验室中达到低于 1 开尔文的温度。 Ruslan Temirov 说，对于显微镜的操作，它有几个优点：“通过这种方法，我们可以通过改变通过电磁线圈的电流强度来冷却我们的新显微镜。因此，我们的显微镜没有移动部件，几乎没有振动。”Jülich 科学家是有史以来第一个使用这种技术构建扫描隧道显微镜的人。 “新的冷却技术有几个实际优势。它不仅提高了成像质量，而且简化了整个仪器的操作和整个设置，”研究所主任 Stefan Tautz补充说，由于采用模块化设计，Jülich 量子显微镜也对技术进步保持开放态度，因为可以轻松实施升级。“绝热冷却是扫描隧道显微镜的真正飞跃。优势非常显着，作为下步计划我们现在正在开发商业原型机。”Stefan Tautz 解释说，量子技术是目前许多研究的焦点，这种仪器也势必会吸引许多相关研究学者的关注。这项研究发表在《Review of Scientific Instruments》上，DOI: 10.1063/5.0050532。mK STM 设置的示意图布局，包括 UHV 室、承载 mK 棒的 ADR 低温恒温器和高容量低温泵。 主 UHV 系统，包括负载锁、制备室 1 和 2 以及转移室，通过柔性波纹管连接到低温恒温器。 要将 mK 棒从真空中取出，低温恒温器和 UHV 系统必须在虚线标记的平面上分开。 右下角：插图显示了从 UHV 中提取 mK 棒的过程。 支撑 UHV 系统的框架在垂直于主图平面的方向侧向平移以进行提取。mK 棒的渲染 CAD 模型。 左：mK 棒全长 156.5 厘米。 箭头表示不同温度阶段的位置。 右上角：mK 棒的头部，其机制将其锁定到垂直操纵器，将其加载到低温恒温器中。 用于与温度传感器和 STM 压电元件建立电接触的两个接触板也是可见的。 建立同轴偏置和隧道电流触点的第三个接触板位于背面。 右下角：4K 载物台下方的 mK 棒的图像细节，无需布线。 左图：自制 STM 的分解图。 STM 的顶部通过蓝宝石板与 STM 主体电隔离。 STM 主体包含一个单独的压电管，用于 STM 尖端的粗略和精细运动。 右图：压电管的剖视图，显示粘滑粗调电机。

产品介绍AFM5300E配置专业的真空腔体，可在环境控制条件下原位对样品微观尺度的形貌及物性进行观测分析。真空环境下可大幅降低氧化、水膜吸附等对样品真实情况的影响；真实测量特殊条件下材料的性能。让研究达到常规原子力显微镜无法企及的高度和深度。产品特点1、环境控制：具备常温大气，高真空、高低温、气氛、液相、湿度等环境功能；2、多功能配置：接触式，轻敲式，SIS（样品智能扫描）等工作模式，能进行三维形貌，电磁及机械力学性能观察分析，独有的极高分辨的SNDM（扫描非线性介电显微镜）；3、操作便捷：激光器/样品移动螺杆置于真空腔外；触点式控温台/扫描器设计；4、真空转移：一体化提供离子研磨仪、高分辨扫描电镜、可控环境原子力显微镜，使用真空转移盒可保护样品在各个设备间转移测量，避免大气暴露； 5、高分辨：真空下极高的相位及磁畴分辨能力。 公司介绍：日立科学仪器（北京）有限公司是世界500强日立集团旗下日立高新技术有限公司在北京设立的全资子公司。本公司秉承日立集团的使命、价值观和愿景，始终追寻“简化客户的高科技工艺”的企业理念,通过与客户的协同创新，积极为教育、科研、工业等领域的客户需求提供专业和优质的解决方案。 我们的主要产品包括：各类电子显微镜、原子力显微镜等表面科学仪器和前处理设备，以及各类色谱、光谱、电化学等分析仪器。为了更好地服务于中国广大的日立客户，公司目前在北京、上海、广州、西安、成都、武汉、沈阳等十几个主要城市设立有分公司、办事处或联络处等分支机构，直接为客户提供快速便捷的、专业优质的各类相关技术咨询、应用支持和售后技术服务，从而协助我们的客户实现其目标，共创美好未来。

仪器信息网讯 Park原子力显微镜11月14日发布了NX系列新品——Park NX7。Park NX7通过消除扫描器串扰进行准确的XY扫描，操作软件可以帮助初次使用用户和资深用户进行专业的纳米级研究，支持高级样品表征。Park NX7涵盖所有扫描探针显微镜的扫描模式，26种SPM模式包括3种形貌成像、3种介电/压电特性、1种磁学特性、9种电学特性、8种力学特性和2种化学特性模式，拥有极佳的选择兼容性和可升级性。Park NX7 配有Park原子力显微镜顶尖技术，其设计与新型显微镜一样彰显细节品质，可以有效助您取得精准的研究成果。现在价格实惠，是您预算合理下的理想首选。NX系列产品优势:True Non-Contact™模式可延长探针寿命、保护样品和精准测量；高速扫描器可在提高扫描速度的同时提供高解析度图像，为用户提供高效率解决方案；人性化设计的软件和硬件功能，拓展功能齐全。实惠智能Park NX7（点击查看更多仪器信息）概览通过消除扫描器串扰进行准确的XY扫描• 独立闭环XY和Z柔性扫描器• 正交XY扫描• 样品表面形貌信息测量精准，无需软件处理最全面的原子力显微镜解决方案• 涵盖所有扫描探针显微镜的扫描模式• 更智能的NX电子控制器默认启用高级纳米机械测量模式• 拥有业界最佳选择兼容性和可升级性人性化设计的软件和硬件功能• 方便样品或换针的开放式使用• 预对准的探针夹设计，可轻易直观的进行SLD光校准• Park SmartScanTM - 原子力显微镜操作软件可以帮助初次使用用户和资深用户进行专业的纳米级研究。技术信息无扫描器弓形弯曲的平直正交XY轴扫描Park的串扰消除技术不仅改善了扫描器弓形弯曲的缺点，还能够在不同扫描位置，扫描速率和扫描尺寸条件下进行平直正交XY轴扫描。即使最平坦的样品也不会出现如光学平面,各种偏移扫描等背景曲率。因此Park能不惧艰难挑战，为您在研究中提供高精度的纳米测量。 无耦合关系的XY和Z扫描器Park的核心优势在于匠心独运的扫描器架构。基于独立XY扫描器和Z扫描器设计的独特挠曲结构，能让您轻松获得无可比拟的高精度纳米级分辨率数据。 行业领先的低噪声Z探测器Park AFM 配备了该领域最有效的超低噪声Z探测器，噪音水平低于0.02 nm,因而达到了样品形貌成像精准，没有边沿过冲无需校准的高效率。Park NX系列不仅为您提供高精准的数据，更为您最大化地节省了时间成本。 由低噪声Z探测器测量准确的样品形貌• 利用低噪声Z探测器信号进行形貌成像• 有高宽带，Z探测器低噪声只有0.02 nm• 边缘位置无前沿或后沿过冲现象• 只需在原厂校准一次样品: 1.2 μm标准台阶高度(9 μm x 1 μm, 2048 pixels x 128 lines)True Non-Contact™模式可延长探针寿命、保护样品和精准测量True Non-Contact™ 模式是Park原子力显微镜系统独有的扫描模式，通过在扫描过程中防止针尖和样品损坏，从而产生高分辨率和准确的数据。接触模式下，针尖在扫描过程中持续接触样品；轻敲模式下，针尖周期性地接触样品；而在非接触模式下针尖不会接触样品。因此，使用非接触模式具有几大关键优势。由于针尖锐度得以保持，在整个成像过程中会以最高分辨率进行扫描。非接触模式下由于针尖和样品表面不会直接接触，从而避免损坏软样品。 更快速的Z轴伺服使得真正的非接触式原子力显微镜有更精确的反馈• 减少针尖磨损 → 长时间高分辨率扫描• 无损式探针-样品接触 → 样品受损最小化• 可满足各种条件下，对各种样品都能够进行非接触式扫描 此外，非接触模式可以感知探针与样品原子之间的作用力，甚至可以检测到探针接近样品时产生的横向力。因此，在非接触模式下使用的探针可以有效避免撞到样品表面时突然出现的高层结构。而接触模式和轻敲模式只能进行探针底端检测，很容易受到这种撞击伤害。原子力显微镜模式最具扩展性的 AFM 解决方案:行业领先——支持最广泛的SPM模式和选项如今，研究人员需要在不同的测量条件和样品环境下表征广泛的物理特性。 Park Systems能为您提供最广的 SPM 模式、最全的 AFM 选项以及业界最佳的选项兼容性和可升级性，支持高级样品表征。Park NX7拥有最广泛的 SPM 模式形貌成像• 非接触模式• 接触模式• 轻巧模式介电/压电特性• 压电力显微镜(PFM)• 高压PFM• Piezoresponse Spectroscopy磁学特性• 磁力显微镜 (MFM) 电学特性• 导电原子力显微镜 (C-AFM)• 电流-电压分光镜• 开尔文探针力显微镜 (KPFM)• 高压KPFM• 扫描电容显微镜 (SCM)• 扫描扩展电阻显微镜 (SSRM)• 扫描隧道显微镜(STM)• 光电流映射 (PCM)• 静电力显微镜 (EFM) 力学特性• 力调制显微镜 (FMM)• 纳米压痕• 纳米刻蚀• 高压纳米刻蚀• 纳米操纵• 横向力显微镜 (LFM)• 力距(F/d)光谱• 力容积成像化学特性• 具有功能化探针的化学力显微镜• 电化学显微镜 (EC-AFM)技术参数Park NX7 参数ScannerZ扫描器柔性引导高推动力扫描器Z扫描范围: 15 μm (30 μm可选) XY扫描器闭环控制式单模块柔性XY扫描器扫描范围: 50 µm × 50 µm(可选 10 μm × 10 μm 或 100 μm × 100 μm)位移台Z位移台Z位移台行程范围: 28 mm XY位移台XY位移台行程范围: 13 mm X 13 mm 样品架样品大小 : 最大50 mm样品厚度: 最厚20 mm软件SmartScanTMAFM系统控制和数据采集软件智能模式的快速设置和简易成像手动模式的高级使用和更精密的扫描控制 SmartAnalysisTMAFM数据分析软件独立设计—可以安装和分析AFM以外的数据能够生成采集数据的3D绘制 Dimensions in mm

2016年6月30日，天美（中国）科学仪器有限公司与日立高新技术公司，联合中科院上海硅酸盐研究所，共同举办日立原子力显微镜最新应用技术研讨会，期待您的莅临。　　2012年5月，日立高新科技公司全资收购精工电子有限公司子公司精工电子纳米株式会社，这其中包括了精工的原子力显微镜业务。近年来，日立高新在秉承精工原子力原有品质的基础上，积极创新，不断完善原子力产品线，相继更新了高分辨率型AFM5100N、环境可控型AFM5300E和大样品仓型AFM5400L，并在全球范围得到了市场的认可。　　2016年3月，日立高新隆重推出了最新的原子力产品AFM5500M，日立最新一代原子力显微镜AFM5500M采用了全新设计的低噪音闭环压电陶瓷扫描器，在实现200μ m大范围扫描同时也能保证较高的图像平整度，避免球面误差和正交耦合效应。AFM5500M拥有自动更换探针、自动调节激光光路、自动参数设置等一系列全新的自动化设计，极大的提高样品的测试效率，为使用者带来便捷的感官体验。　　藉此研讨会之际，我们邀请到日立原子力全球应用中心工程师山冈 武博先生，介绍日立原子力产品的最新应用和最新解决方案。会议还将邀请中科院上海硅酸盐研究所曾华荣研究员做特邀报告。会议内容详实丰富，将是一场难得的信息盛宴，相信您一定会不虚此行。会议期间还将安排仪器现场参观，以便您对日立原子力显微镜的特点有更直观、更深刻的了解。　　在此，天美公司携手日立高新共同向您发出诚挚的邀请，热忱欢迎您的莅临！ 时间： 2016年6月30日（星期四）下午14:00-18:00地点： 上海巴黎春天新世界酒店 三楼 钻石3号厅酒店地址：中国上海市长宁区定西路 1555号会议议程14:00～14:15致辞 日立高新技术公司北京分公司总经理 加藤 博司 先生天美公司上海办事处总经理 顾家晖 先生14:15～15:30 日立原子力显微镜最新应用主讲人：日立原子力显微镜全球应用中心工程师山冈 武博 博士15:30～16:00高分辨率扫描探针压电—声学—热学显微术及其应用研究主讲人：中科院上海硅酸盐研究所研究员 曾华荣 先生16:15～16:45 日立原子力产品链及AFM5500M介绍主讲人：天美公司电镜产品经理 周海鑫 博士16:45～17:15 日立FE-SEM&IM应用介绍讲解人：日立高新技术公司电镜应用工程师 罗琴 女士17:15～17:45 上海硅酸盐研究所日立AFM5300E参观18:00 晚宴关于天美：　　天美(控股)有限公司(“天美(控股)”)从事表面科学、分析仪器、生命科学 设备及实验室仪器的设计、开发和制造及分销 为科研、教育、检测及生产提供完整可靠的解决方案。继2004年於新加坡SGX主板上市后，2011年12月 21日天美(控股)又在香港联交所主板上市(香港股票代码1298)，成为中国分析仪器行业第一家在国际主要市场主板上市的公司。近年来天美(控股)积极 拓展国际市场，先后在新加坡、印度、澳门、印尼、泰国、越南、美国、英国、法国、德国、瑞士等多个国家设立分支机构。公司亦先后收购了法国 Froilabo公司、瑞士Precisa公司、美国IXRF公司、英国 Edinburgh Instruments公司等多家海外知名生产企业和布鲁克公司Scion气相和气质产品生产线，加强了公司产品的多样化。　　更多详情欢迎访问天美(中国)官方网站：http://www.techcomp.cn

p　　strong扫描隧道显微镜/strong(scanning tunneling microscope，缩写为STM)，亦称为扫描穿隧式显微镜，是一种利用量子理论中的隧道效应探测物质表面结构的仪器。它于1981年由格尔德· 宾宁及海因里希· 罗雷尔在IBM位于瑞士苏黎世的苏黎世实验室发明，两位发明者因此与恩斯特· 鲁斯卡分享了1986年诺贝尔物理学奖。/pp　　它作为一种扫描探针显微术工具，扫描隧道显微镜可以让科学家观察和定位单个原子，它具有比它的同类原子力显微镜更加高的分辨率。此外扫描隧道显微镜在低温下(4K)可以利用探针尖端精确操纵原子，因此它在纳米科技既是重要的测量工具又是加工工具。/pp　　它主要是利用一根非常细的钨金属探针，针尖电子会跳到待测物体表面上形成穿隧电流，同时，物体表面的高低会影响穿隧电流的大小，针尖随着物体表面的高低上下移动以维持稳定的电流，依此来观测物体表面的形貌。/pp　　换句话说，扫描隧道显微镜的工作原理简单得出乎意料。就如同一根唱针扫过一张唱片，一根探针慢慢地通过要被分析的材料(针尖极为尖锐，仅仅由一个原子组成)。一个小小的电荷被放置在探针上，一股电流从探针流出，通过整个材料，到底层表面。当探针通过单个的原子，流过探针的电流量便有所不同，这些变化被记录下来。电流在流过一个原子的时候有涨有落，如此便极其细致地探出它的轮廓。在许多的流通后，通过绘出电流量的波动，人们可以得到组成一个网格结构的单个原子的美丽图片。/pp　　strong原子力显微镜/strong(atomic force microscope，简称AFM)，也称扫描力显微镜(scanning force microscopy，SFM))是一种纳米级高分辨的扫描探针显微镜，是由IBM苏黎士研究实验室的比宁(Gerd Binning)、魁特(Calvin Quate)和格勃(Christoph Gerber)于1986年发明的。AFM测量的是探针顶端原子与样品原子间的相互作用力——即当两个原子离得很近使电子云发生重叠时产生的泡利(Pauli)排斥力。工作时计算机控制探针在样品表面进行扫描，根据探针与样品表面物质的原子间的作用力强弱成像。/pcenterimg alt="" src="http://www.kepu.net.cn/gb/special/hydrogenbond/basicknowledge/201312/W020140613331100352076.jpg" height="210" width="459"//centerp style="text-align: center "strong世界上第一台原子力显微镜和发明人之一比宁/strong/pp　　以一种简单的方式进行类比，如同一个人利用一艘小船和一根竹竿绘制河床的地形图。人可以站在小船上将竹竿伸到河底，以此判断该点的位置河床的深度，当在一条线上测量多个点后就可以知道河床在这条线上的深度。同样道理绘制多条深度线进行组合，一张河床的地形图就诞生了。与此类似，在AFM工作时的，原子力传感器相当于人和他手中的竹竿，探针顶端原子与样品原子间作用力的大小就相当于竹竿触及河底时水面下的长度。这样，在一艘小船(控制系统)的控制下进行逐点逐行的扫描，AFM就可以绘制出一张显微图像啦。/pp　　/pcenterimg alt="" src="http://www.kepu.net.cn/gb/special/hydrogenbond/basicknowledge/201312/W020140613331100358209.jpg" height="283" width="388"//centerp style="text-align: center "strong普通原子力显微镜的原理示意图/strong/pp　　原理解释起来并不算十分复杂，但是AFM的发明、使用与改进汇聚了大批科学家们的辛劳努力和创造性思维。特别是拍摄到氢键实空间图像所使用的非接触式原子力显微镜，经过分子沉积、温度控制、防振、探针、真空、控制系统等多方面的摸索与改造才最终具有如此强大的分辨能力。/pp strong1 基本原理/strongbr//pp　　原子力显微镜的基本原理是：将一个对微弱力极敏感的微悬臂一端固定，另一端有一微小的针尖，针尖与样品表面轻轻接触，由于针尖尖端原子与样品表面原子间存在极微弱的排斥力，通过在扫描时控制这种力的恒定，带有针尖的微悬臂将对应于针尖与样品表面原子间作用力的等位面而在垂直于样品的表面方向起伏运动。利用光学检测法或隧道电流检测法，可测得微悬臂对应于扫描各点的位置变化，从而可以获得样品表面形貌的信息。/pp　　strong2 /strongstrong成像模式/strong/pp　　原子力显微镜的主要工作模式有静态模式和动态模式两种。在静态模式中，悬臂从样品表面划过，从悬臂的偏转可以直接得知表面的高度图。在动态模式中，悬臂在其基频或谐波或附近振动，而其振幅、相位和共振与探针和样品间的作用力相关，这些参数相对外部参考的振动的改变可得出样品的性质。/pp　　1）strong接触模式/strong/pp　　在静态模式中，静态探针偏转用做反馈信号。因为静态信号的测试与噪音和偏移成正比，低硬度探针用来增强外偏转信号。然而，因为探针非常接近于样品的表面，吸引力非常强导致探针切入样品表面。因此静态原子力显微镜几乎都用在总使用力为排斥力的情况。结果，这种技术经常被叫做“接触模式”。在接触模式中，扫描过程时保持探针偏转不变来使其探针和样品表面的作用力保持恒定。/pp　　2）strong非接触模式/strong/pp　　/pcenterimg alt="" src="http://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/5/5d/AFM_noncontactmode.jpg" height="291" width="350"//centerp style="text-align: center "strong原子力显微镜非接触模式/strong/pp　　在这种模式下，悬臂上的探针并不接触样品表面，而是以比其共振频率略高的频率振动，振幅通常小于几纳米。范德华力在探针距离表面样品1~3纳米时最强，它与其他在表面上的长程力会降低悬臂的振动频率。/pp　　通过调整探针与样品间的平均距离，频率的降低与反馈回路一起保持不变的振动频率或振幅。测量(x,y)每个数据点上的探针与样品间的距离即可让扫描软件构建出样品表面的形貌。/pp　　在接触模式下扫描数次通常会伤害样品和探针，但非接触模式则不会，这个特点使得非接触模式通常用来测试柔软的样品，如生物组织和有机薄膜 而对于坚硬样品，两个模式得到的图像几乎一样。然而，如果在坚硬样品上裹有一层薄膜或吸附有流体，两者的成像则差别很大。接触模式下探针会穿过液体层从而成像其下的表面，非接触模式下则探针只在吸附的液体层上振动，成像信息是液体和下表面之和。/pp　　动态模式下的成像包括频率调制和更广泛使用的振幅调制。频率调制中，振动频率的变化提供探针和样品间距的信息。频率可以被非常灵敏地测量，因此频率调制使用非常坚硬的悬臂，因其在非常靠近表面时仍然保持很稳定 因此这种技术是第一种在超高真空条件下获得原子级分辨率的原子力显微镜技术。振幅调制中，悬臂振幅和相位的变化提供了图像的反馈信号，而且相位的变化可用来检测表面的不同材料。 振幅调制可用在非接触模式和间歇接触领情况。在动态接触模式中，悬臂是振动的，以至悬臂振动悬臂探针和样品表面的间距是调制的。[来源请求]振幅调制也用于非接触模式中，用来在超高真空条件下使用非常坚硬的悬臂和很小的振幅来得到原子级分辨率。/pp　　strong3）轻敲模式/strong/pp　　/pcenterimg alt="" src="http://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/7/72/Single-Molecule-Under-Water-AFM-Tapping-Mode.jpg/285px-Single-Molecule-Under-Water-AFM-Tapping-Mode.jpg" height="215" width="190"//centerp style="text-align: center "strong在不同的pH的溶液环境中使用轻敲模式得到的高分子单链的原子力显微镜图(0.4 nm 厚)/strong/pp　　通常情况下，绝大部分样品表面都有一层弯曲液面，为此非接触模式下使探针足够靠近样品表面从而可以测试短程力，但是此时探针又容易粘贴到样品表面，这是经常发生的大问题 动态模式就是为了避免此问题而发明的，又叫做间歇接触模式(intermittent contact)、轻敲模式(tapping mode)或AC模式(AC Mode)。在轻敲模式中，悬臂通过类似于非接触下的装载在探针上的微小的压电元件做来上下振动，频率在其共振频率附近，然而振幅则远大于10纳米，大概在100~200纳米间。当探针越靠近样品表面时，探针和样品表面间的范德华力、偶极偶极作用和静电力等作用力会导致振幅越来越小。电子自动伺服机通过压电制动器来控制悬臂和探针间的距离，当悬臂扫描样品表面时，伺服机会调整探针和样品间距来保持悬臂的预设的振幅，而成像相互作用力则得到原子力显微镜轻敲模式图像。轻敲模式减少了接触模式中对样品和探针和损伤，它是如此的温和以致于可以成像固定的磷脂双分子层和吸附的单个高分子链。比如液相的0.4纳米厚的合成聚合物电解质，在合适的扫描条件下，单分子实验可以在几小时内保持稳定。/pp　　strong3 优点与缺点/strong/pp　　相对于扫描电子显微镜，原子力显微镜具有许多优点。不同于电子显微镜只能提供二维图像，AFM提供真正的三维表面图。同时，AFM不需要对样品的任何特殊处理，如镀铜或碳，这种处理对样品会造成不可逆转的伤害。第三，电子显微镜需要运行在高真空条件下，原子力显微镜在常压下甚至在液体环境下都可以良好工作。这样可以用来研究生物宏观分子，甚至活的生物组织。他就像盲人摸象一样，在物体的表面慢慢抚摸，原子的形状很直观的表现。/pp　　和扫描电子显微镜相比，AFM的缺点在于成像范围太小，速度慢，受探头的影响太大。/p

项目概况复旦大学超高真空低温扫描隧道显微镜系统控制器采购 招标项目的潜在投标人应在通过招标人指定的复旦大学招采进宝电子招投标系统（以下简称复旦招采系统，网址为：http://fudan.zcjb.com.cn/ebidding）在线领购招标文件。 获取招标文件，并于2022年04月07日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。一、项目基本情况项目编号：0705-2240 02028007项目名称：复旦大学超高真空低温扫描隧道显微镜系统控制器采购预算金额：59.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：59.0000000 万元（人民币）采购需求：包件号名称数量简要技术规格备注1超高真空低温扫描隧道显微镜系统控制器1套控制器系统包括实时控制室、信号转换器、高压输出源、高压放大器、压电陶瓷驱动器、振荡控制器和配套软件，用于控制扫描隧道显微镜实现样品结构及性质的表征。预算金额：人民币59万元。合同履行期限：签订合同后5个月内交货。 合同履行期限：合同履行期限：签订合同后5个月内交货。本项目( 不接受 )联合体投标。项目概况吉林大学第二医院显微镜摄像分析系统采购 招标项目的潜在投标人应在吉林省长春市南关区亚泰大街3218号通钢大厦B座6层668室获取招标文件，并于2022年03月28日 14点00分（北京时间）前递交投标文件。一、项目基本情况项目编号：CIGN22029项目名称：吉林大学第二医院显微镜摄像分析系统采购预算金额：64.0000000 万元（人民币）采购需求：序号品目名称数量是否接受进口产品简要技术参数备注01显微镜摄像分析系统4套是物镜转盘：六孔物镜转盘无合同履行期限：合同签订后30天内本项目( 不接受 )联合体投标。

p style="text-indent: 2em "strong style="text-indent: 2em "仪器信息网讯/strongspan style="text-indent: 2em " 近日，贝克曼先进科学技术研究所（Beckman Institute for Advanced Science and Technology ）的研究人员开发了一种新方法，以提高使用原子力显微镜对纳米级化学成像的检测能力。这些改进减少了与显微镜相关的噪声，从而提高了可以研究样品的精度和范围。/span/pp style="text-align: center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202007/uepic/93d10453-5476-4b47-8619-80b79c89f4f5.jpg" title="1.png" alt="1.png"//pp style="text-indent: 0em text-align: center "span style="color: rgb(0, 176, 240) "使用先前的偏转AFM-IR检测方法(上)收集的4nm厚聚合物薄膜产生的化学信号与新的零偏转方法对比/spanspan style="color: rgb(127, 127, 127) "（图片自贝克曼先进科学技术研究所）/span/pp style="text-indent: 2em "该成果于6月26日发表在i《Nature Communications》/i上，论文链接：a href="https://www.nature.com/articles/s41467-020-17043-5" target="_blank" style="color: rgb(0, 176, 240) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 176, 240) "https://www.nature.com/articles/s41467-020-17043-5/span/a。/pp style="text-align: center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202007/uepic/c10756b1-7c2e-4c8c-a304-c4d176f08f4f.jpg" title="2.png" alt="2.png"//pp style="text-indent: 2em "span style="text-indent: 2em "原子力显微镜用于扫描材料表面以生成其高度的图像，但该技术无法轻松识别分子组成。研究人员此前已经开发了AFM和红外光谱的组合，称为AFM-IR。 AFM-IR显微镜使用悬臂梁，该悬臂梁是一端连接到支架，另一端连接到尖端的光束，用于测量由照射红外激光照射而产生的样品的细微运动。样品对光的吸收使其扩展并偏转悬臂，从而产生红外信号。/span/pp style="text-indent: 2em "“尽管这项技术得到了广泛的应用，但是它的性能受到了限制。” 伊利诺伊大学厄巴纳-香槟分校(University of Illinois at Urbana-Champaign) strong工程学的创始人、癌症中心主任Rohit Bhargava教授/strong表示，“问题在于存在未知的噪声源，这限制了数据的质量。”/pp style="text-align: center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 600px height: 399px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202007/uepic/90faf16e-1e5a-444b-bd28-f9a1a6da74d2.jpg" title="3.png" alt="3.png" width="600" height="399" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "span style="text-indent: 0em color: rgb(0, 176, 240) "随时间变化的悬臂共振在AFM-IR中的影响/spanspan style="text-indent: 0em color: rgb(127, 127, 127) "（图自成果论文）/span/pp style="text-indent: 2em "研究人员创建了一个理论模型，以了解仪器的工作原理，从而识别出噪音的来源。此外，他们开发了一种新的方法来以更高的精度检测IR信号。/pp style="text-indent: 2em "由Bhargava指导的化学成像与结构实验室的研究生strongSeth Kenkel/strong表示：“悬臂的偏转容易受到噪声的影响，噪声会随着偏转的增加而变得越来越差。” “我们没有检测悬臂挠度，而是使用压电组件作为平台，保持零挠度。通过向压电材料施加电压，我们可以保持低挠度和低噪声，同时记录同样的化学信息，现在这些信息被编码在压电电压中。”/pp style="text-indent: 2em "研究人员没有移动悬臂，而是利用压电晶体的运动来记录IR信号。strongKenkel/strong表示：“这是第一次有人控制压电致动器来检测信号。其他研究人员通过使用更复杂的检测系统来解决诸如噪声之类的挑战，这些系统无法解决与AFM-IR相关的潜在问题。”/pp style="text-indent: 2em "strongBharat/strong表示：“由于噪声问题，人们只能使用这种技术来测量具有较强信号的样本。随着灵敏度的提高，我们可以对体积更小的样品成像，例如细胞膜。”/pp style="text-indent: 2em "除了测量更多种类的样品外，研究人员还希望使用这种技术来测量较小的样品量。 strongBhargava/strong表示：“我们可以使用这种技术来研究少量存在的复杂混合物，例如单脂双分子层。”/pp style="text-indent: 2em "化学系主任兼拉里· 福克纳化学基金会主席strongCatherine Murphy/strongspan style="text-indent: 2em "表示：“ Bhargava实验室开发的新技术令人振奋，我们小组有兴趣立即使用该技术来研究复杂表面上的蛋白质变形。” /span/pp style="text-indent: 2em " /pp style="text-indent: 2em " /ppbr//p

项目编号：22CNIC-031692-017项目名称：中国科学院金属研究所扫描探针显微镜采购项目采购方式：竞争性磋商预算金额：150.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：150.0000000 万元（人民币）采购需求：名称：扫描探针显微镜数量：1套简要技术参数：实现在微纳米尺度上观测样品表面的三维形貌，获得样品尺寸、厚度以及粗糙度等信息，同时可对样品表面的力学、电学性能等物理化学特性进行研究。扫描范围，扫描器X，Y轴扫描范围不小于80μm×80μm，Z轴扫描范围不小于10μm；至少内置两个全数字双频锁相放大器，可实现在扫描过程中，同时在共振峰的两侧施加两个振动频率以实时追踪共振频率的变化，自动调整探针驱动频率与共振频率保持一致，实现高灵敏的压电信号检测；工作带宽20MHz。导电性原子力显微镜模块：通过测量探针与样品之间的超低电流可对样品的导电性进行成像和I/V曲线测试，具有pA级分辨率，最大测量电流不小于10μA合同履行期限：合同生效后6个月内本项目( 不接受 )联合体投标。

设备: 日立环境型原子力显微镜　AFM5300E　　 日立扫描电子显微镜　SU3500背景及目的SEM是检测电子束扫描样品所生成的2次电子，背闪射电子，特征X射线等信号，得出样品结构，成分，结晶特性，元素分布等信息。另一方面，SPM是利用探针和样品表面的相互作用，表征高精度样品形貌及硬度和摩擦力，吸附力等敏感的力学物理特性及电流，电气阻抗，表层电位，压电特性，磁性等电磁物理特性。在这里我们介绍，包含氧化铅和硫磺的橡胶样品的SEM背闪射电子图像和X射线面分布像及利用SPM的形貌像(AFM像)和相位像(Phase像)的观察结果。1) Phase像根据样品表面的硬度和吸附力对比，利用共振悬臂的相位变化成像物理特性的方法。图1　SPM、SEM的检测信息和橡胶样品中的应用2) 观察结果图2　橡胶样品的SEM、SPM观察同一视野结构观察在背闪射电子像（BSE像）里重元素的对比度高，EDX元素分析得知这个区域含有铅元素和氧元素。SPM的Phase像观测中我们选用两类橡胶的弹性有较大差别的冷却温度-10℃，致使微区当中明显区分两种橡胶分布。SEM和SPM联系起来，表面的形貌和元素，结构，各种物理特性(力学特性和电磁特性)的面分析信息相结合，给基础研究，产品研发等提供更多观察及分析手段。 关于日立环境型原子力显微镜　AFM5300E，请点击：http://www.instrument.com.cn/netshow/SH102446/C244320.htm关于日立扫描电子显微镜　SU3500，请点击：http://www.instrument.com.cn/netshow/SH102446/C168115.htm 关于日立高新技术公司：日立高新技术公司，于2013年1月，融合了X射线和热分析等核心技术，成立了日立高新技术科学。以“光”“电子线”“X射线”“热”分析为核心技术，精工电子将本公司的全部股份转让给了株式会社日立高新，因此公司变为日立高新的子公司，同时公司名称变更为株式会社日立高新技术科学，扩大了科学计测仪器领域的解决方案。日立高新技术集团产品涵盖半导体制造、生命科学、电子零配件、液晶制造及工业电子材料，产品线更丰富的日立高新技术集团，将继续引领科学领域的核心技术。更多信息敬请关注：http://www.instrument.com.cn/netshow/SH102446/

项目编号：22CNIC-031692-017项目名称：中国科学院金属研究所扫描探针显微镜采购项目预算金额：150.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：150.0000000 万元（人民币）采购需求：名称：扫描探针显微镜数量：一套简要技术参数：实现在微纳米尺度上观测样品表面的三维形貌，获得样品尺寸、厚度以及粗糙度等信息，同时可对样品表面的力学、电学性能等物理化学特性进行研究。*扫描范围，扫描器X，Y轴扫描范围不小于80μm×80μm，Z轴扫描范围不小于10μm；*至少内置两个全数字双频锁相放大器，保证在扫描过程中实时自动调整探针驱动频率与共振频率保持一致，实现高灵敏的压电信号检测，支持实现双频共振追踪等测量模式。合同履行期限：合同生效后6个月。本项目( 不接受 )联合体投标。

• James Keerfot• Vladimir V Korolkov原子力显微镜（AFM）是一种测量探针和样品之间作用力的技术，它不仅可用于测量纳米级分辨率的表面形貌，还可用于绘制和操作可使用纳米级探针处理的一系列性能。在这里，我们只谈到了最先进的AFM在层状材料研究中的一些能力。我们希望探索的第一个例子是如何使用AFM来研究垂直异质结构中的层的注册表，这会产生许多有趣的现象[1，2]。根据层间和层内的结合、晶格周期和两个重叠薄片角度的对称性和失配，可以观察到单层石墨烯（SLG）和六方氮化硼（hBN）[3]之间的莫尔图案或扭曲控制的双层二硫化钼（2L-MoS2（0°））[4]中的原子重建等特征。在图1中，我们展示了我们的FX40自动AFM如何使用导电AFM（C-AFM）和侧向力显微镜（LFM）来测量这些特征。这两种技术都源于接触模式AFM，其中悬臂由于排斥力而产生的偏转用于通过反馈回路跟踪表面形貌。LFM测量探针在垂直于悬臂梁的方向上扫描时的横向偏转，而C-AFM绘制尖端样品结处恒定电压和力下的电流图。除了传统的形貌通道外，AFM还使用这些模式，为研究垂直异质结构中层间扭曲和应变影响的研究人员提供了“莫尔测量”。图1:Park Systems的FX40自动AFM（a）用于使用LFM（c）和c-AFM（d）测量hBN和单层石墨烯（b）之间的莫尔图案。对于具有边缘扭曲角和有利的层间结合的样品，可以测量原子重建，这是石墨上平行堆叠的双层MoS2的情况（e）。与莫尔图案一样，在这种情况下，由于重建，可以使用LFM（f）和C-AFM（g）测量不同配准的区域。除了探索层状材料的形态和注册，原子力显微镜还具有一系列功能模式，可以用纳米尺度的分辨率测量诸如功函数、压电性、铁电性和纳米机械性能等性能。在图2中，我们展示了如何使用单程边带开尔文探针力显微镜（SB-KPFM）[5]来同时绘制尖端和具有不同层厚度的MoS2薄片之间的形态和接触电势差（CPD）。MoS2薄片从聚二甲基硅氧烷（PDMS）转移到Si上，在MoS2和Si之间留下截留的界面污染气泡。通过比较形貌（见图2b）和CPD（见图2c），我们看到由于MoS2层厚度和截留的界面污染物气泡的大小，CPD发生了变化。通过从地形数据中提取相对应变的估计值，该估计值基于尖端水泡相对于平坦基底的行进距离，可以直接将CPD和一系列层厚度的应变关联起来[6]。图2:KPFM是用Multi75E探针和5V的电驱动（VAC）和5kHz的频率（fAC）在硅（天然氧化物）上的MoS2上进行的（a）。对于多层MoS2薄片，同时绘制了形貌图（b）和CPD（c），揭示了由于层厚度和捕获污染物的气泡的存在而导致的CPD对比度。通过从地形图像中提取相对应变的估计值，我们绘制了各种泡罩尺寸和MoS2厚度的相关应变和CPD（d），如图图例所示。在我们的最后一个例子中，我们将研究如何使用原子力显微镜来决定性地操纵层状材料。在图3 a-c中，我们比较了90 nm SiO2/Si中2-3层（L）石墨烯薄片在使用阳极氧化切割之前（见图3b）和之后（见图3c）的横向力显微镜图像，其中尖端使用接触模式保持接触，同时施加40 kHz的10 V AC偏压[7]。除了阳极氧化，原子力显微镜还能够对层状材料进行机械改性。图3d-f中给出了一个这样的例子，其中使用Olympus AC160探针（刚度~26N/m）将聚苯乙烯上的3L-MoS2薄片缩进不同的深度。如图3f的插图所示，压痕深度（使用非接触模式监测）与压痕力密切相关。以这种方式修改局部应变已被证明可以决定性地产生表现出单光子发射的位点[8]。图3：在接触模式（a）下，通过向探针施加AC偏压，对少层石墨烯进行阳极氧化。通过比较（b）之前和（c）之后的LFM图像来证明薄片的确定性切割。也可以在聚苯乙烯上进行几层MoS2的压痕，证明了机械操作（d）。通过非接触模式AFM监测的压痕深度显示，压痕力范围高达~7.2µN。总之，我们已经展示了AFM如何能够提供比表面形貌多得多的信息，并且可以执行的一套功能测量和样品操作过程为关联测量提供了新的机会。易于使用的功能以及使用最佳探针自动重新配置硬件进行功能测量的能力，使Park的FX40特别适合此类调查。References[1] R. Ribeiro-Palau et al. Science 361, 6403, 690 (2018).[2]Y. Cao et al. Nature 556, 80 (2018).[3] C. Woods et al. Nature Phys. 10, 451 (2014).[4]A. Weston et al. Nat. Nanotechnol. 15, 592 (2020).[5] A. Axt et al. Beilstein J. Nanotechnol. 9, 1809–1819 (2018)[6] E. Alexeev et al. ACS Nano 14, 9, 11110 (2020)[7] H. Li et al. Nano Lett., 18, 12, 8011 (2018)[8] M. R. Rosenberger et al. ACS Nano, 13, 1, 904–912 (2019)原文：Atomic force microscopy for layered materials，Wiley Analytical Science作者简介• 詹姆斯基尔福（James Keerfot）Park Systems UK Ltd, MediCity Nottingham, Nottingham, UK.弗拉基米尔科罗尔科夫（Vladimir V. Korolkov）Park Systems UK Ltd., MediCity Nottingham, UK.弗拉基米尔于2008年获得莫斯科大学化学博士学位。随后，他进入海德堡大学，专攻薄膜的X射线光电子能谱学，随后在诺丁汉大学任职，在那里他发现了自己对扫描探针显微镜（SPM）的热情，并成为SPM技术的坚定拥护者，以揭示纳米级的结构和性能。他率先使用标准悬臂的更高本征模来常规实现分辨率，而以前人们认为分辨率仅限于STM和UHV-STM。弗拉基米尔目前发表了40多篇科学论文，其中包括几篇在《自然》杂志上发表的论文。尽管截至2018年，他的专业知识为SPM技术的产业发展做出了贡献，但他的工作仍在激励和影响该领域的学术冒险。

纳米压痕仪您可以使用安东帕的多功能压痕仪精确得到薄膜、涂层或基体的机械特性，例如硬度和弹性模量。仪器可以测试几乎所有材料，无论是软的、硬的、易碎的还是可延展的材料。也可以在纳米尺度上对材料的蠕变、疲劳和应力 - 应变进行研究。载荷范围大：从纳米到宏观尺度安东帕的纳米压痕仪的载荷范围大，因此几乎提供市面上最多的功能且适用性最强的解决方案。这些专用的压痕测试仪涵盖纳米、微米和宏观尺度，可用于研究无数种材料，包括金属、陶瓷、半导体和聚合物等。纳米压痕测量纳米压痕测量让您能获得材料的机械性能，如硬度、弹性模量或蠕变。在压痕测试过程中，会持续记录载荷和位移，并在仪器的实时提供载荷和位移曲线。直接得到硬度和弹性模量与传统的微米硬度测试仪相反，安东帕压痕仪不仅能够得到样品的硬度，也能够基于高精度的仪器化压入测试 (IIT) 技术得到样品的弹性模量。独特的表面参比技术真正使安东帕压痕仪远远优于其他同类仪器的设计特性是其独特的表面参比系统。我们的仪器设计结合了涵盖整个压痕仪的顶表面参比技术，对大量的压痕测试提供一致的参比。高框架刚度得益于安东帕独特的表面参比技术，纳米压痕仪的将框架距离减至最小，提供极高的框架刚度，从而直接结果就是非常高的测量精度。原子力显微镜：Tosca 系列安东帕Tosca 系列以独特的方式将先进技术与高时效操作相结合，使这款 AFM 成为非常适合科学家和工业用户等群体的纳米技术分析工具。有两种不同的型号可供选择：Tosca 400 或 Tosca 200，前者适合大样品，属于高端 AFM，后者适合中型样品以及预算有限的用户。两者提供的性能、灵活性和质量水平相同。采用模块化理念，为未来的发展做好准备现在你获得的这款仪器已经可以满足未来的需求。其设计为为不远的将来能够扩展多种功能和可能性。可以在当前系统中添加新功能和模式。设计稳固，适用于工业应用安东帕 AFM 的设计专注于工业应用。仪器的机械和电子元件已经通过耐久性测试进行了全面检查。所有关键部件都必须通过这些测试，以确保能够在运行现场多年无故障运行。 紧凑型仪器，体积小巧仪器的两大部分——主机和控制器——在实验室空间和功能方面都做了优化。安东帕的 AFM 集先进的自动化与高精度于一体，同时只需要很少的空间。例如，压电陶瓷 驱动器仍留有充足空间用于安装其他模式或模块的电子扩展卡。 切尽在掌控安东帕 AFM 简化了与仪器的交互，操作非常简单。您只需将样品放在样品台上，安装悬臂梁，然后关闭仓门即可。其余的活动（比如样品定位、接触过程等等）均由软件来执行和控制。 数秒中内即可更换悬臂梁压电陶瓷驱动器 设计精巧，您可以使用我们的悬臂梁更换工具，非常轻松、快速地更换悬臂梁。只需将压电陶瓷驱动器放入工具中，然后向内或向外滑动悬臂梁。无需用镊子将悬臂梁放入压电陶瓷驱动器中，并且能保证悬臂处于最佳放置。

本文作者：Woutera van Iterson，荷兰阿姆斯特丹大学阿姆斯特丹生物中心、分子生物学研究所、分子细胞学部，摘译原文发布于1996年。一、荷兰电子显微镜的起源1939年，代尔夫特只是一个有着著名历史的小镇。1584年，被称作“荷兰国父”的沉默者威廉正是在这里被暗杀。而在代尔夫特的Nieuwe Kerk依旧可以找到奥兰治王室成员的墓穴。微生物学的创始人Antoni van Leeuwenhoek也在代尔夫特通过自制的玻璃透镜研究他的“小动物”。如果不是因为代尔夫特理工大学以及它的创新产业，代尔夫特在二战前留给人们的总体印象只是一座古老的城镇。在这本回忆录中，代尔夫特产业中一个特别的部分，即荷兰的精神象征法布里克（简称“酵母工厂”）扮演了一个重要的角色。首先，在代尔夫特理工大学的技术环境中，酵母工厂为国家最重要的微生物研究传统的发展做出了巨大贡献。1885年，酵母工厂的总经理J.C.van Marken邀请M.J.Beyerinck加入工厂。Beyerinck于1895年成为微生物学教授，并被称为微生物学之父。1921年，A.J.Kluyver（微生物学家之父）接替了Beyerinck的工作。Kluyver将他的教授任期与酵母厂的咨询工作结合了起来。这些是如何与电子显微镜联系起来的？答案就是酵母细胞。1939年夏天，代尔夫特理工大学有一名工科学生，名叫Jan B. Le Poole。Jan B. Le Poole（图1）向他的物理学教授H.B.Dorgelo提出了一个大胆的请求，即为他自己的工程专业制造一台电子显微镜。因缘际会之下，这时的时机恰好成熟。图1 J. B. Le Poole博士，荷兰电子显微镜的创始人，荷兰电子显微镜学会的首任会长彼时，Dorgelo、F.G.Waller（酵母工厂总经理）和A.J.Kluyver于1939年7月6日访问完柏林的西门子公司刚刚返回。而Kluyver很熟悉最近出版的微生物照片和电子显微镜提供的相对高放大倍数的照片。问题是，是否有可能用这样一种仪器来确定酵母细胞是否配备了一个带有染色体的真正的浓缩细胞核，或者它是否类似于细菌，是否可以在核物质和细胞质之间作出明确的区分？考虑到这个问题的实际意义，Waller、Kluyver与Dorgelo讨论后，此三人决定前往透射电子显微镜及其理论背景的圣地：战前的德国。早在1939年，西门子就根据von Borries和Ruska的设计，成功售出了第一台商业化的电子显微镜。它的放大倍数高达4万倍，分辨率比光学显微镜高得多，其价格约为80000荷兰盾（笔者注：按2022年5月汇率1荷兰盾约合3.37元人民币）。然而，该电镜与其提供的可能效果有一定出入。此外，在柏林，他们确实在电镜“高”放大率下观察到了酵母细胞，但那不过是一个“丑陋”的黑点，而在光学显微镜下，一个整齐的生物体，在细胞壁内具有原生质、液泡和各种其他结构，只有细胞核是暗黑的。一般说来，当时这种生物研究工具是否有用颇具争议。在整个细胞都聚焦的情况下，人们能否分辨出重要的细节？此外，电子一直被认为是粒子，直到1924年，人们通过德布罗意的工作才意识到，电子也会像波一样传播。然而，这并没有改变这样一个事实，即微粒肯定会轰击，继而破坏有机材料。最重要的是，生命的本质在于细胞中高百分比的水，而细胞在仪器的真空条件下会发生脱水。当电子显微镜的发明变得更广为人知时，在某些生物学圈内能听到这样的说法：“电子显微镜只是收集了一些人工制品。”毕竟，瑞士的Frey Wyssling和其他人已经用间接方法充分分析了细胞的总体结构。关于生物膜的结构性质，重要的论文也几乎达到了分子水平。电子显微镜真的能给20世纪30年代这一重要的知识宝库增添什么吗？这些反对意见促成了代尔夫特理工大学未来年轻科学家的冒险，也成就了他们的幸运。鉴于所有不确定性，年轻的Jan Le Poole渴望成为一名先锋，后来证明他很幸运。Jan Le Poole建立了一台两级电子显微镜，1941年可以拍摄第一张电子显微照片。然而，40k V的加速电压被证明是非常局限的。因此，Jan Le Poole决定与飞利浦物理实验室合作建造一台150k V电子显微镜。在埃因霍温的飞利浦，A.C.van Dorsten开发了一个非常稳定的150k V的部件，同时Le Poole在H.J.de Heer的协助下正在代尔夫特研究电子光学系统。在1944年春天的代尔夫特，全新的150k V电子显微镜被研制成功。二、荷兰电子显微镜的早期组织人们很快认识到，开发电子显微镜并研究其在生物学和其他学科中的应用需要成立一个组织和专项资金。1941年，TPD（Technisch Physische Dienst）由应用科学研究组织（TNO）和代尔夫特大学合作成立。1943年11月1日，一个专门的电子显微镜研究所作成立，隶属于TPD，不过其预算独立。该研究所得到了代尔夫特酵母工厂、飞利浦、Van Houten、Algemene Kunstzijde Unie（AKZO）、喜力啤酒厂和TPD等工业的资助。后来，荷兰联合利华和荷兰皇家壳牌公司也提供了每年不少于3000荷兰盾的资助。该研究所由一个咨询委员会监督，技术和日常管理由Le Poole负责，而Dorgelo和Kluyver负责科学监督。三、代尔夫特的电镜我们来自Le Poole的小组，在荷兰从战争的苦难中解放出来之前，我们只能孤立地工作，因此几乎没有意识到电镜的设计包含了许多令人兴奋的创新。其中一项创新是在40倍放大的物镜和160倍放大的投影镜头之间增加了两个镜头。其中一个额外的镜头有一个小孔，可以使放大倍数在6400倍到80,000倍间连续变化。放大到6400倍时，电流通过所谓的衍射透镜（另一个更大孔径）。使用该衍射透镜，可以从小至3μm的样品选定区域获得衍射图案。并可以在电子图像和电子衍射间来回切换，这在代尔夫特已被发现可以用于粘土矿物的测定。选区衍射的原理先前已被H.Boersch发现，但当时Le Poole还不知道。引入中间透镜的另一个优点是电镜镜筒的高度减小，从样品到最终图像的总距离达到60cm。此外，LePoole引入了一种特殊的对焦装置，尤其在高倍率下，当荧光屏上的强度较低时，可进行精确聚焦。入射电子束通过聚光镜和样品中两组平行板间的横向电场，以50Hz的频率振动。当物镜没有完全聚焦时，这种振动会使图像模糊。这有助于聚焦，并大大提高了代尔夫特研究所拍摄电镜照片的质量。从那以后，这种“摇摆”的磁型版本成为飞利浦所有透射电镜的特征。早期电镜中的图像场非常大（直径18cm），并投射到锥形烧瓶的底部，并转至荧光屏（图2）。通过在屏幕上方束流横截面足够小的位置引入35毫米胶片，可以在随后的照片放大中覆盖整个图像。发射电压在50-120kV之间变化，对于生物样品，电压越高，电子束的穿透力往往越强。图2. 150 kV电子显微镜，像场投射到沉积在锥形玻璃烧瓶底部的荧光材料上代尔夫特还研制了静电电子显微镜，该电镜于1951年由W.A.leRutte完成，在固定放大倍数下具有8nm的分辨率。1952年，Le Rutte发表了一篇关于他对静电电子光学贡献的论文，但由于当时电磁式电子显微镜的技术优势，这项工作被迫中断。另一个有趣的发展始于1943年中期。早在1942年，由于酵母细胞体积过大，Le Poole就提议建造一个发射电压1 MeV的电镜，以提高电子对样品的穿透力。建造这种电镜，必须克服种种问题，因此最终决定在飞利浦研究实验室建造400 kV的显微镜。Le Poole设计了这个电镜的电子透镜系统，而飞利浦的Van Dorsten负责设计高压设备，Oosterkamp负责发射枪，Verhoeff负责装配。1947年，这台电镜安装在代尔夫特研究所。四.代尔夫特电镜的早期工作不仅是电子显微镜的研究，代尔夫特对于电镜应用的开展也比较早。在准备研制基础型150 kV电子显微镜的这些年里，旧的两级型电镜在用于检验Le Poole的新想法的同时，还用于科学研究。在这项工作的成功，很大程度上归功于Harrie de Heer引进了出色的拍摄技术。生物学家A.Quispel于1942年10月开始在A.J.Kluyver教授的带领下担任研究助理。他做的第一件事是在单孔样本架上准备足够的“Geisselthallack”支撑膜。Quispel的任务是研究该电镜在生物学研究中的作用，尤其是研究酵母核中的染色体。为了做到这一点，Quispel开发了一种“染色”酵母核的方法，即与其他细胞相比提高对比度。这种选择性染色需要重金属，因此，他改变了Feulgen的方法，使用银及镧盐。然而，酵母没有揭示其染色体核的秘密，染色体核仍然处于漆黑一片的状态。Quispel接着尝试用蛋白水解酶使细胞质对电子束更透明。1943年9月，Quispel离开代尔夫特时，这项工作移交给了我，最初也得到了J. M. van Brakel的协助。然而，事实证明，对太大的酵母细胞进行研究还为时过早。当时我们深受战争的压迫，但我们年轻，对这项工作充满热情。我们急切地研究了酵母细胞、噬细胞菌、疗养院医生用的结核菌、各种其他细菌以及土壤样品中的粘土矿物、颜料、金属和在35mm胶片上拍摄的各种其他物品。五、战争快结束时的情况1944年，150 kV电子显微镜及其所有改进装置投入使用，但仅使用了几个星期。随着1944—1945年饥荒的来临，国家的形势变得非常危急。盟军已经解放了荷兰的南部，但是盟军在大河附近被拦截。在那个冬天，在河流以北的我们食物配给量减少到每周800卡路里。大家在解决温饱与绝望中挣扎。没有电，客运列车也没有运行，我们只有木制轮胎的自行车用于运输。为了保全电镜的透镜等核心部件，大家不得不做好随时拆除电镜的准备。值得一提的是，飞利浦电镜高压发电机中的冷却油无意间为大家解决了一些生存难题，这些冷却油被分配给研究所的工人作为燃料，大家在家里用它来照明等。我们也积极参与地下活动，试图抵抗危险的压迫环境。曾经，德军试图逮捕所有18至40岁的男性在德国从事强迫劳动，大家不得不躲起来试图逃避。六.解放以后在加拿大军队解放的动乱平息下来之后，代尔夫特电镜被重新组装起来。但此时，自己也开始怀疑，在与世隔绝的环境下使用代尔夫特电镜开展相关研究，是否对促进电子显微学的发展具有意义。来自盟军国家参观者的反应给我们的印象是， Le Poole电镜或将是一种意义重大的仪器设备，但我们不能依赖这种仅有的“大家的印象”，何况，在埃因霍温的飞利浦根本不准备开始在商业基础上生产电子显微镜，因为该公司主要对销售数千台以上的产品感兴趣。有没有办法提高同事们的希望？答案是有的。首先，我写了一篇关于美国在电子显微镜领域活动的综述。之所以能够做到这一点，是因为1944年9月荷兰南部解放后不久，荷兰国家矿业图书馆（DSM）就有了专门的美国科学期刊。虽然很明显，美国科学家的工作是广泛的和令人印象深刻的，但这篇综述让代尔夫特的物理学家相信，他们的成就并没有白费。此外，我还与我的父亲讨论了他们的担忧。父亲既是一名科学家，也是荷兰国家矿业公司董事会成员，能够理解新仪器的重要性以及飞利浦的工业观点。飞利浦的总裁Anton Philips博士刚刚从英国回来，他在那里度过了战争的岁月。我陪父亲去了埃因霍温，在那里我们在总裁家里吃了午饭。Philips先生仔细地听着，因为他还没有听说过代尔夫特电子显微镜的构造，以及他的公司已经如此密切地参与其中。1946年1月，Jan Le Poole有机会访问英国，并参加了英国电子显微镜集团的一次会议。在那里，他最后的一丝怀疑消失了：代尔夫特电镜确实是一种创新。他在英国遇到了Van Dorsten，他们讨论了对商用飞利浦电子显微镜的要求。1946年1月，飞利浦董事会似乎改变了观点，开始准备推动电子显微镜样机的开发，商业生产电镜有了基础。该电镜在某种程度上可以在X射线设备业务部开发，但样机是在飞利浦物理实验室（后称为飞利浦研究实验室）制造的。后来，一个特殊的电子显微镜部门成为科学和工业下医疗系统集团（一个主要的工业业务集团）的一部分。回想起来，这是早期所有努力的真正结果。1946年，飞利浦公司制造的电镜原样机在牛津的一次大会上展出，虽然当时这台“顽固”的电镜现场未能展示有用的电镜图片，但同样受到了人们的赞赏。（大会结束后，有人发现一个孔盘在运输过程中滑出了立柱，从而阻挡了电子束。）下一步，飞利浦决定建立一系列的四台电子显微镜原型机，其中一部分零件将在莱顿大学 Kamerlingh Onnes实验室的仪器制造商学院进行制造。飞利浦EM100的最终设计于1947年完成。一个独特的早期特征是荧光屏在透射中观察并倾斜到水平方向，如图3所示。在所有随后的飞利浦电镜中，这种结构被放弃，因为垂直柱比倾斜柱在机械上更稳定。图3 飞利浦EM100七、战后时期代尔夫特研究所的工作人员逐渐增加：有4名物理学家、1名生物学家、1名工程师、2名仪器制造师和4名技术人员。从1946年起， Le Poole得到了J. Kramer的协助，J. Kramer在过去的36年中一直是Le Poole的得力助手。1946年，物理学家的首要任务是校正电镜的像散，提高高电压稳定性，以及进一步发展一种更强的物镜，即在不需要进一步稳定透镜电流和高电压的情况下充分降低色差。包括其他工作在内，这项工作为飞利浦简化电子显微镜的设计提供了背景。除了电子显微镜的发展外，仪器的使用也变得越来越重要。后者包括微生物学方面的研究和为研究所以外的客户所做的工作。三台电子显微镜确实不是一件奢侈的事，但当时只有一台，并且为了仪器研制，有时不得不将这台电镜拆开。电子显微镜的质量体现在制备好试样的显微图片的质量上。当时，样品制备技术也正处于开创性的阶段。即使是主要用于生物标本的90kV，这些样品要么太脆弱，缺乏图像对比度，要么像酵母细胞一样太厚。在拍摄来自Lisse花球研究实验室的植物汁液样品时，缺乏对比度尤其令人不安，因为在这些样品中必须识别病毒棒。通常，我拍摄这些病毒时甚至都无法观察它们。在马里兰州贝塞斯达的国立卫生研究院的RalphW.G.Wyckoff博士来访后，我们对阴影投射技术有了很大的了解。这实际上为带有长鞭毛的细菌的电子显微照片（图4）和许多其他样本增加了一个新的维度。1947年，我有幸在贝塞斯达的国立卫生研究院获得奖学金并前往美国工作。那年12月，在费城的EMSA大会上，我提出了一篇题为《代尔夫特电子显微镜在生物学中的一些应用》的论文。在解释了代尔夫特显微镜的原理之后，投影了各种鞭毛细菌的显微照片，随后是为L.Algerica制作的叶绿体显微照片以及为Utrecht大学的L.H.Bretschneider制作的公牛精子显微照片。其中一张精子照片的特殊之处是用一种铁糖复合物喂养细胞，这是Bretschneider早期成功地尝试，目的是提高细胞代谢最活跃部位的对比度。由于我去了美国，A.L.Houwink博士于1947年接替了我在代尔夫特的工作，他继续进行细菌鞭毛和一些原生动物的研究。图4. 梅氏弧菌，视野7微米当时在制备技术方面遇到的问题很大。TNO金属研究所的 J. A. Nieuwenhuis在1944年发展了复制技术，该技术被Dalitz和Schuchmann（1952年）以及Beekhuis和Schuchmann（1952年）发表。1947年，高电压电镜从埃因霍温带到了代尔夫特，巨大的酵母细胞研究仍然令人失望。在高电压下，未经制备的酵母细胞以及真菌孢子，没有揭示重要的细节。此外，在这台高电压电镜样机准备就绪时，对这种仪器的需求已经消退。光束穿透的问题已经被一种新策略的发展所规避：薄片技术。因此，高电压电子显微镜的发展在1950年停止，但在1960年国际上对高电压电子显微镜的兴趣恢复后，以一种新颖的设计重新焕发生机。L.H.Bretschneider（1949年）在Utrecht大学为他在代尔夫特的电子显微镜工作进行了这种薄片技术的实验。他和他的同事P. F. Elbers穿着厚重的外套，在4°C的温度下，用剑桥1890年产的摇式切片机将切片嵌入石蜡和硬蜡混合物中。1954年，这项技术在对蛔虫肠道细胞的研究中得到了进一步发展，其中在剑桥1952年产的显微镜摇式切片机上进行了冷切片。在同一研究所，Elbers构建了一种单通道旋转切片机，配有用于甲基丙烯酸酯嵌入的热扩展装置，并专注于电子染色的使用。不久之后，H.B.Haanstra（1955年）在飞利浦研究实验室成功地制造了一台简单的切片机，并于1958年获得了专利。1949年7月，在代尔夫特举行的国际电子显微镜大会对荷兰所有电子显微镜学家来说都是一个巨大的鼓舞，在大会上，我们有机会展示我们的最佳成果，并与国外的同行结识。八、20世纪50年代初：荷兰涌现更多电镜当飞利浦公司开始商业化交付电子显微镜时，代尔夫特对电子显微镜研究的垄断宣告结束。1949年完成的第一个EM100，被送往哥本哈根的Statens血清研究所进行试验。在荷兰，每所州立大学都有自己的电镜，还有一些特殊的研究所也是如此，如利瑟的花球培养实验室、荷兰皇家贝壳实验室、Sikkens（一家油漆和清漆工厂），当然还有飞利浦研究实验室。当然，正是代尔夫特的工作引起了大学和研究所的兴趣。然而，也有各种各样的失望，由于大多数大学对于电镜进行有序研究的要求还没有准备好，严重低估了电镜使用的实际意义，因此出现了各种令人失望的情况。在格罗宁根大学（University of Groningen），E.H.Wiebenga教授为自己的研究做了充分准备，在美国Cecil Hall为其传授过蛋白质晶体(edestin and exalsin) 的制备；在英国，Wiebenga熟悉蛋白质的X射线衍射技术。1950年11月，他在学校拍摄出了第一张电子显微图片。然而，1951年10月，一名攻读博士学位的学生接手了Wiebenga关于种子球蛋白的工作，发现新安装的电镜无法使用。第一批电镜提供的分辨率约为5nm，不足以完成这类工作，他不得不使用X射线衍射技术。1952年前后，G.Boom对几种晶体材料表面结构的研究和E.F.J.van Bruggen对蛋白质变性的研究得到了新的物镜和更合适的制备技术（如负染法）的支持。这标志着格罗宁根大学在蛋白质结构化学方面卓有成效的研究工作的开始。由于朱莉安娜女王的到访，瓦赫宁根农业大学有幸成为1951年首批安装EM100的学校之一。趁着飞利浦技术人员还在的情况下，非常聪明的女王及时喊道：“我什么都没看到！” 在最初的挫折之后，Christina van der Scheer 的工作在 S. Henstra 的协助下，主要关注病毒颗粒的研究现在的工作人员很少意识到刚开始时遇到的困难。在阿姆斯特丹大学（University of Amsterdam），EM100于1951年1月交付，安装在一个地下室的自行车存放区，天花板低得足以磕头，没有通风。由于我们没有专项基金，电镜胶片必须用我的厨房用具来冲洗。尽管如此，在1953年，我还是在罗马举行的第十届微生物学大会上发表了一篇关于细菌鞭毛的特邀论文。1959年，我获得了科学博士学位，著有专著《不同视角下的Gallionella ferruginea》。早在1952年，在莱顿大学，之前提到的、和仪器制造学院合作制造的四台电子显微镜样机之一（不是Philips EM100）安装在医学院的解剖学大楼。电镜放在一个大房间中央的贝都因帐篷里。在W.G.Braams的看管下，它成为了一个规模不大的服务设施。电镜的应用还包括为医学生物学领域的未来研究提供基础。1957年，该电镜被Philips EM75样机取代。1958年12月，Braams被W. Th. Daems接替，W. Th. Daems和我们在阿姆斯特丹接受过电镜使用训练，在斯德哥尔摩的Sjostrand实验室接受过固定、嵌入和超薄切片的训练。1959年底，西门子Elmiskop I电镜取代了EM75，在酶细胞化学和放射自显影的帮助下，最终为形态学和细胞生物学研究奠定了基础。在乌得勒支大学（the University of Utrecht），情况并不比在阿姆斯特丹容易。1952年3月20日，Utrecht EM100正式落成，但该仪器被放置在物理大楼里，距离L.H.Bretschneider（自1950年以来一直专注于细胞学和电子显微学）和他的同事P.F.Elbers（曾在巴黎接受W.Bernhard的培训）都不方便。直到1954年，生物学家才可以方便地每天使用电子显微镜。Bretschneider于1955年获得教授职位，并成为生物体亚显微研究中心负责人，Elbers负责日常事务。直到1957年，奈梅亨大学（the University of Nijmegen）才安装EM100电子显微镜。在这里，首先为医学、及科学学院配置了一台电镜，由Bretschneider和Elbers的学生A.Stadhouders负责。这台电镜被安装的建筑物的地基恰好位于铁路站场共用的砾石床上！因此，在火车转轨过程中，电镜无法正常使用，直到确定并纠正了干扰源。奈梅亨大学的电镜装置迅速得到扩展应用，开展了重要的研究活动，主要是在人类病理学和植物学领域。在飞利浦研究实验室，H.B.Haanstra多年来一直负责电子显微镜的研究。在20世纪50年代和60年代，他出版了大量出版物。在代尔夫特理工大学，A.J.Kluyver教授的微生物学实验室安装了一台EM100，Le Poole研究所的生物学工作就此结束。在这里，A.L.Houwink与P.A.Roelofsen教授一起研究了植物细胞壁内的组织，这催生了“multinet growth”理论（1954年）。他和D. R. Kreger 博士一起研究了酵母的细胞壁（1953年）。Houwink于1953年在一种螺菌的壁上发现了晶体结构，后来加拿大的R.G.E.Murray对其进行了广泛研究，成为分子生物学的一个重要课题。在Le Poole的电子显微镜研究所，在电镜仪器开发和电镜商业化方面的有趣发展在持续进行。1954年，Le Poole发表了博士论文《电子和电离光学的一些设计》。它包含了如此多的创新，以至B. Von Borries在贺信里写道：“这可能是三篇论文。”1957年，Le Poole成为代尔夫特理工大学的教授。他继续研究像散与磁透镜孔圆度不足之间的关系，以及通过校正各种像差来提高分辨率，多年来，图像质量的提高一直是他关注的焦点。九、回顾过去回想起来，一开始，生物学的主要困难之一似乎是光学显微镜所见与电子显微镜所见之间的差距。这需要很多年的时间来弥补这一差距，而这只有在光学显微镜专家开始使用电子显微镜专家开发的制备程序时才能实现。 此外，长期以来，电子显微镜学家对于他的物理学家朋友和传统生物学家来说，都是个陌生人。在电子显微镜照片上看到的东西在很长一段时间里都是纯描述性的形态学，那时分子解释过于投机。生物化学已经成为将超微结构研究引入分子生物学领域的主要支持之一。第一批商业生产的电镜可能不足以满足所有电子显微镜学家的所有期望，但这也是对以后生产越来越优秀电镜的一种鼓舞。早期在组织、技术以及纯科学方面的巨大努力为荷兰卓有成效的研究奠定了基础。电子显微镜教会了我什么？ Kluyver教授在我的职业生涯中强烈地激励了我，他的伟大想法是他在生物化学中的统一概念。在我多年的积极研究中，我和许多研究人员都非常清楚，超微结构研究揭示了基本细胞结构的多样性的统一。在我晚年的思考中，这种统一对我们生活哲学基础的影响已经在我个人身上慢慢开始显现。致谢在本次审查中，下列同事提出了许多有用的建议:B. J. Spit, P. F. Elbers, H. B. Haanstra, C . C。E. Hulstaert, E. F. J. van Bruggen等。除此之外，它主要是基于我自己的笔记和回忆。拓展阅读：捷克斯洛伐克电镜发展史系列世界电镜九十年之怀念捷克斯洛伐克电子显微镜先驱——Delong、Drahoš和Zobač世界电镜九十年之捷克斯洛伐克早期电子显微镜发展史

源于苏黎世联邦理工学院自旋物理实验室的Qzabre公司，结合多年的NV色心磁测量技术与扫描成像技术研发出了基于NV色心的超分辨量子磁学显微镜QSM，该系统能够实现高灵敏度和高分辨率的磁学成像。利用光探测磁共振量子计量学原理，QSM在表面的高分辨率和定量磁性分析方面提供了无与伦比的性能。QSM显微镜采用经过验证的低漂移设计，具有高精度闭环扫描、大范围测量、高效率光学测量、直观的用户界面和简单的针尖更换等优势。交付安装！ 近日，有两台基于NV色心的超分辨量子磁学显微镜QSM在法国交付使用，其中一台在法国国家科学中心Jean Lamour研究所交付使用。除了快速定量扫描外，该系统还增加了额外的光路和定制化外壳，满足用户更加个性化的实验方案，也证明了QSM广泛的可拓展性。在法国Jean Lamour研究所交付使用的带有定制化光路的QSM系统 另一台QSM在法国国家科学研究中心/Thales联合物理研究所交付使用。该研究所被称为自旋电子学的发源地，是因发现巨磁电阻效应而获得2007年诺贝尔奖的Albert Fert教授的工作单位。该单位在磁学领域的研究处于国际前沿地位，QSM的交付使用可以帮助用户在高分辨的磁畴成像和样品磁性的三维高分辨测量方面取得更进一步的研究成果。法国国家科学研究中心/Thales联合物理研究 kim教授与新安装的QSM系统 又发高水平期刊！ 对电场进行灵敏成像的技术对于理解包括表面和界面的电荷积累以及电子器件中的电场分布在内的许多纳米电子现象非常重要。一个非常具有吸引力的潜在应用是精确的可视化测量铁电和纳米铁性材料中畴的图案，而这类材料在计算和数据存储方面十分有潜力。近日，苏黎世联邦理工学院的Christian L. Degen研究组通过基于NV色心的超分辨量子磁学显微镜QSM，对压电（Pb[Zr0.2Ti0.8]O3）和非铁电（YMnO3）材料的电场进行了精确测量，对其畴图案进行了清晰的成像。该研究成果以《Imaging ferroelectric domains with a single-spin scanning quantum sensor》为题在2023年2月9日在线发表与Nature Physics。 研究者通过基于NV色心的超分辨量子磁学显微镜QSM，发现可以通过使用梯度检测方案测量NV自旋的斯塔克位移来实现精确的电场检测。该研究通过对电场分布图的分析能够区分不同类型的表面电荷分布，以及重建三维电场矢量和电荷密度的图。该研究中通过基于NV色心的超分辨量子磁学显微镜在普通环境下展现出的杂散电场和磁场的测量能力为以后研究多铁性、多功能材料和器件提供了新的手段和思路。在该研究工作中的核心部件高质量NV色心探针由QZabre公司提供，NV色心的扫描显微镜也是经过个性化设计的基于NV色心的超分辨量子磁学显微镜。作为QZabre公司的起源地，该工作中展示的高精度电场测量技术证明了QZabre具有雄厚的技术支撑。利用NV色心扫描显微镜进行电场测量的原理示意图利用PFM和利用NV色心扫描显微镜进行测量与重建的电场和电荷分布QSM超分辨量子磁学显微镜-典型应用☛ 磁性纳米结构分析☛ 铁磁/反铁磁磁畴成像☛ 磁畴壁分析☛ 电流分布成像☛ 纳米尺度的温度测量☛ 多铁材料扫描☛ 磁场任意波形时间分辨基于NV色心的超分辨量子磁学显微镜QSM

1月20日，广州慧炬科技有限公司成功举办“承鸿鹄之志，造大国电镜”新品发布会，正式发布首台国产商业场发射透射电子显微镜“太行”TH-F120。标志着我国已掌握透射电镜整机研制能力以及电子枪、高压电源、电子探测相机等核心技术。该产品将打破国内透射电镜100%依赖进口的局面，为我国在材料科学、生命科学、化学、物理等前沿科学以及半导体工业、锂电新能源材料等先进制造业领域的高质量发展提供有力支撑。　　中国科学院院士饶子和、中国科学院院士隋森芳、中国科学院院士徐涛，以及来自全国学界、业界相关领域的60余位专家出席本次发布会。　　院士大咖云集！共见首台国产商业场发射透射电子显微镜发布会议伊始，广州慧炬科技总经理曹峰向各位嘉宾的到来表示热烈欢迎，并感谢各位专家对国产透射电子显微镜的支持。广州开发区管委会二级巡视员、生物岛实验室主任助理杨寿桃致辞。国仪量子技术（合肥）股份有限公司董事长贺羽致辞。中国科学院隋森芳院士致辞。中国科学院物理研究所研究员、松山湖材料实验室研究员、中国电子显微学会副理事长、粤港澳大湾区电镜联盟理事长马秀良致辞。中国科学院生物物理研究所、生物岛实验室研究员、广州慧炬科技首席科学家孙飞分享了《生物医学电镜自主研制之路》报告。发布会上，饶子和院士与隋森芳院士共同为太行TH-F120揭幕。饶子和院士（左二）与隋森芳院士（左一）为太行TH-F120揭幕，徐涛院士（左三）等专家见证揭幕仪式合影　　▍破局之作！场发射透射电子显微镜“太行”TH-F120广州慧炬科技总经理曹峰向与会嘉宾详细介绍了太行TH-F120的产品特点与优势。TH-F120是慧炬120kV成像平台的首款产品，它的诞生意味着国产商业透射电镜向前迈进了一大步。其中文名称“太行”源自中华名山太行山，寓意TH-F120将如太行山一样，挺起中国透射电镜产业的脊梁。　　TH-F120自主研制的高亮度场发射电子枪，相比于同级进口产品的热发射电子枪，亮度更高，发射稳定性和相干性更优，匹配自主研制的电磁透镜系统，针对120kV成像平台特别优化了电子光学设计，可为用户带来更佳的图像衬度和分辨率；自主研制的高稳定性的低纹波高压电源，实现了高压自动控制，保证电子枪稳定发射；标配自主研制的高像素CMOS相机，在低电子剂量的工况下仍可呈现丰富的样品细节；整机以人机分离为设计理念，匹配高度自动化的控制系统，使图像采集工作更加舒适高效；同时，TH-F120预设了充足的拓展接口和整机升级空间，满足用户迭代需求，有效延长整机使用年限。太行TH-F120产品参数太行TH-F120应用案例　　▍承鸿鹄之志，造大国电镜　　透射电镜具有极高的技术门槛，国外品牌已形成了垄断局面。此前，我国透射电镜100%依赖进口，国产化尚属空白。2022年，我国进口透射电镜约300台，进口总额超30亿元，预计2022年至2028年期间，年复合增长率超5.8%。　　2022年，生物岛实验室与国内领先的科学仪器公司国仪量子技术（合肥）股份有限公司联合成立广州慧炬科技有限公司，依托生物岛实验室徐涛院士、孙飞研究员团队在国产透射电镜领域的研发成果，与国仪量子成熟的产品工程化与市场开拓经验，进一步推动透射电镜的普及和应用。此前，国仪量子自主研制的场发射/钨灯丝扫描电镜、超高分辨场发射扫描电镜、镓离子束双束电镜、量子传感设备、电子顺磁共振波谱仪、气体吸附分析仪等产品获得了良好的市场反响，形成了国产高端科学仪器的示范应用。双方的合作，将充分整合人才与技术优势，加速推进透射电镜技术转化为商业化产品并进行批量生产。　　广州慧炬科技首台国产商业场发射透射电子显微镜正式发布，填补了国内该领域的空白，实现了从“买”到“造”的重大突破。未来，广州慧炬科技将持续加强在透射电镜领域的自主创新能力，研发更高端的电镜产品，服务中国科研人，为实现科技自立自强贡献力量。与会嘉宾合影

1月20日，广州慧炬科技有限公司成功举办“承鸿鹄之志，造大国电镜”新品发布会，正式发布首台国产商业场发射透射电子显微镜“太行”TH-F120。标志着我国已掌握透射电镜整机研制能力以及电子枪、高压电源、电子探测相机等核心技术。该产品将打破国内透射电镜100%依赖进口的局面，为我国在材料科学、生命科学、化学、物理等前沿科学以及半导体工业、锂电新能源材料等先进制造业领域的高质量发展提供有力支撑。中国科学院院士饶子和、中国科学院院士隋森芳、中国科学院院士徐涛，以及来自全国学界、业界相关领域的60余位专家出席本次发布会。点击观看发布会精彩回顾院士大咖云集！共见首台国产商业场发射透射电子显微镜发布会议伊始，广州慧炬科技总经理曹峰向各位嘉宾的到来表示热烈欢迎，并感谢各位专家对国产透射电子显微镜的支持。广州开发区管委会二级巡视员、生物岛实验室主任助理杨寿桃致辞。国仪量子技术（合肥）股份有限公司董事长贺羽致辞。中国科学院隋森芳院士致辞。中国科学院物理研究所研究员、松山湖材料实验室研究员、中国电子显微学会副理事长、粤港澳大湾区电镜联盟理事长马秀良致辞。中国科学院生物物理研究所、生物岛实验室研究员、广州慧炬科技首席科学家孙飞分享了《生物医学电镜自主研制之路》报告。发布会上，饶子和院士与隋森芳院士共同为太行TH-F120揭幕。饶子和院士（左二）与隋森芳院士（左一）为太行TH-F120揭幕，徐涛院士（左三）等专家见证揭幕仪式合影破局之作！场发射透射电子显微镜“太行”TH-F120广州慧炬科技总经理曹峰向与会嘉宾详细介绍了太行TH-F120的产品特点与优势。TH-F120是慧炬120kV成像平台的首款产品，它的诞生意味着国产商业透射电镜向前迈进了一大步。其中文名称“太行”源自中华名山太行山，寓意TH-F120将如太行山一样，挺起中国透射电镜产业的脊梁。TH-F120自主研制的高亮度场发射电子枪，相比于同级进口产品的热发射电子枪，亮度更高，发射稳定性和相干性更优，匹配自主研制的电磁透镜系统，针对120kV成像平台特别优化了电子光学设计，可为用户带来更佳的图像衬度和分辨率；自主研制的高稳定性的低纹波高压电源，实现了高压自动控制，保证电子枪稳定发射；标配自主研制的高像素CMOS相机，在低电子剂量的工况下仍可呈现丰富的样品细节；整机以人机分离为设计理念，匹配高度自动化的控制系统，使图像采集工作更加舒适高效；同时，TH-F120预设了充足的拓展接口和整机升级空间，满足用户迭代需求，有效延长整机使用年限。太行TH-F120产品参数太行TH-F120应用案例承鸿鹄之志，造大国电镜透射电镜具有极高的技术门槛，国外品牌已形成了垄断局面。此前，我国透射电镜100%依赖进口，国产化尚属空白。2022年，我国进口透射电镜约300台，进口总额超30亿元，预计2022年至2028年期间，年复合增长率超5.8%。2022年，生物岛实验室与国内领先的科学仪器公司国仪量子技术（合肥）股份有限公司联合成立广州慧炬科技有限公司，依托生物岛实验室徐涛院士、孙飞研究员团队在国产透射电镜领域的研发成果，与国仪量子成熟的产品工程化与市场开拓经验，进一步推动透射电镜的普及和应用。此前，国仪量子自主研制的场发射/钨灯丝扫描电镜、超高分辨场发射扫描电镜、镓离子束双束电镜、量子传感设备、电子顺磁共振波谱仪、气体吸附分析仪等产品获得了良好的市场反响，形成了国产高端科学仪器的示范应用。双方的合作，将充分整合人才与技术优势，加速推进透射电镜技术转化为商业化产品并进行批量生产。广州慧炬科技首台国产商业场发射透射电子显微镜正式发布，填补了国内该领域的空白，实现了从“买”到“造”的重大突破。未来，广州慧炬科技将持续加强在透射电镜领域的自主创新能力，研发更高端的电镜产品，服务中国科研人，为实现科技自立自强贡献力量。与会嘉宾合影

7月28日，清源创新实验室公开招标购买原子力显微镜、激光拉曼光谱仪，预算480万元。　　项目编号：[350500]FJHDCG[GK]2021001　　项目名称：清源创新实验室原子力显微镜、激光拉曼光谱仪设备货物类采购项目　　采购方式：公开招标　　预算金额：4800000元　　包1：　　合同包预算金额：1850000元　　投标保证金：0元　　采购需求：(包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等)品目号品目编码及品目名称采购标的数量（单位）允许进口简要需求或要求品目预算（元）1-1A02100301-显微镜原子力显微镜1（台）是1 扫描器：▲1.1 XYZ 三轴闭环扫描器：XY方向扫描范围≥90微米；Z方向扫描范围≥9微米；扫描器Z方向实际测试噪声水平：小于0.03 nm （RMS）；XY方向实际测试噪声水平：≤0.1nm （RMS）。1.2 具备探针扫描的扫描器，扫描过程中样品为静止状态。1.3 进针方式：智能自动进针方式，采用马达加压电陶瓷自动探测的智能进针模式，以保护探针及样品。▲1.4 具备快速扫描模式，可实现≥50Hz的扫描速度。2 样品台：★2.1 样品台尺寸≥200mm；能放置最大样品高度≥15mm；样品台自动移动XY行程≥160x150mm。要求样品台可真空吸附样品，并且可360度旋转。3 控制器：3.1 控制器内置≥三个锁相放大器3.2 每条扫描线可获得更多的数据点(≥ 16,000)3.3 最少有8通道同时成像；8个通道可同时获得≥5000×5000数据点。4 功能模式▲4.1 提供智能扫描模式：要求采用以正弦波驱动压电陶瓷管做力曲线的皮牛级力作反馈进行表面成像，且力曲线频率≥2000Hz。用户只需要选择扫描范围，系统就能够在扫描过程自动调节“接触力”，“电路增益”，“扫描速度”和“扫描管的量程范围”。 ▲4.2 提供扭转共振模式：要求使用具有双压电陶瓷的探针支架来实现扭矩共振模式，监测悬臂梁扭矩共振扭转幅度或扭矩共振相移信号。4.3 提供压电力显微镜模式：具备形貌，面外和面外压电力信号同时实时扫描成像功能，不需要在单条线扫描两次。可以加载最高电压≥10V。5 其他配件★5.1要求辅助光学显微镜具备缩放功能，视野单边长度可调节范围≥200微米至1200微米。单视野最大范围≥1mm*1.4mm，以便于大范围观察样品并定位到扫描区域。5.2 提供一体式落地式的隔音减震系统。5.3 提供≥150根探针。5.4 提供原子力显微镜专用镊子一套。5.5 提供标准光栅样品一个。5.6提供高性能工作站一个。5.7除现场安装调试培训以外，质保期内提供两个培训名额前往厂家国内实验室参加培训，培训时间≥4天。　　合同履行期限： 详见招标文件　　本合同包：不接受联合体投标　　包2：　　合同包预算金额：2950000元　　投标保证金：0元　　采购需求：(包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等)品目号品目编码及品目名称采购标的数量（单位）允许进口简要需求或要求品目预算（元）2-1A02100404-光学式分析仪器激光拉曼光谱仪1（台）否1. 总体性能：可以实现深紫外244nm、紫外325nm、可见532nm拉曼的原位表征，可以得到较高的分辨率以及低波数拉曼，同时配置了分子筛合成以及催化反应原位拉曼光谱池。2. 光谱仪：光谱仪采用三联光谱仪，可以自由切换单光栅或者三光栅模式，单光栅具有高灵敏度，三光栅具有较高的分辨率和低波数性能。光谱仪焦距≥500mm，最佳分辨率≤0.005nm，具有电动狭缝和2个检测器接口。3. 光谱范围：整体拉曼光谱范围为50-4000cm-1，其中244nm拉曼低波数可以低至100 cm-1。4. 拉曼光谱光谱分辨率：≤0.21 cm-1（1800 gr/mm, 10 μm slits, at 500 nm)。5. 光谱灵敏度：8 mW 244nm激发时，特氟龙拉曼信号＞ 10000 counts/s，10 mW 325nm激发时，特氟龙拉曼信号＞ 8000 counts/s。6. 光谱重复性：≤0.004 nm。7. 光栅：至少应提供9块光栅，刻线为2400、1800、1200 各三块，其闪耀波长为240nm、300nm、500nm，闪耀波长附近的效率均大于70%。8. 探测器：应配备紫外增强科研级探测器，可以制冷至-70℃，200-800 nm区间量子效率大于50%，244 nm处量子效率大于65%；分辨率≥1024×255，像素尺寸为≥26μm×26μm；FVB模式下，最快采集速度为75谱/秒。9. 显微镜：三目系统，目镜为10x，具有视频辅助，用于样品定位、成像，视频为500万像素彩色相机。10. 物镜：配有50x、15x、5x 物镜，其中15x为长工作距离物镜，工作距离大于15 mm，适用于原位表征，且其为深紫外优化设 计的，波长范围190-1100nm，透过率大于80%。11. 显微共聚焦组件：具有共焦组件，可以通过软件切换针孔，针孔具有50um、100um。用以确保收集焦点附近的信号。12. 空间分辨率：使用50x物镜时，XY方向分辨率≤0.5 um，Z方向分辨率≤0.3um。13. 激光器配置：（1）244 nm激光器：最高功率100 mW。偏振比＞100:1，光束直径(1/e2)0.6-0.9 mm，发散角0.5 -0.85mrad，相干长度＞1m，寿命3000 h以上，功率稳 定 性≤±1.0% (in 0.5 hours)；（2）325 nm激光器，最高功率35 mW。TEM00模式，偏振比＞500:1，光束直径(1/e2)＜1.2mm，发散角＜0.5 mrad，寿命2000 h，功率稳 定 性≤±2.0% (@25℃，in 4 hours)；（3）532 nm激光器：最高功率150 mW。TEM00模式，线宽＜0.01pm，偏振比＞100:1，光束直径(1/e2) 0.7±0.05mm，发散角＜1.5 mrad，寿命10000 h，功率稳 定性≤±2.0%。14. 电动平台：通过电动平台可以实现样品观察、定位、以及扫描成像功能。（1）X-Y方向上重复定位精度≤±0.7μm，负载能力≥100N，X-Y扫描范围≥114mm×75mm，分辨率≤0.01μm；（2）Z方向重复定位精度≤±0.7μm，负载能力≥140N，分辨率≤0.02μm。15. 原位池：配置四个原位池，可以通过原位拉曼软件控制反应条件以及自动化采集。（1）原位高温高压水热反应原位池：最高温度250℃；（2）高通量原位合成反应模块，可以进行12通道原位合成表征；（3）气固反应高温高压原位池：反应最高温度500℃，最高压力0.6 MPa；（4）原位液固拉曼反应池，可以进行液固相反应条件下的原位拉曼。16. 自动气路：配置四路自动气路，四路气体可以在0-200sccm范围内（或者根据需求更改）通过软件进行任意调节，并且可以进行任意比例混合，同时可以和原位池进行同步温度、流量的控制，预留升级接口和阀门。　　合同履行期限： 详见招标文件　　本合同包：不接受联合体投标　　开标时间：2021-08-24 09:30(北京时间)