四探针金阻量仪

Jandel公司生产的紧凑型四探针探头用于Veeco公司生产的FPP5000和FPP100设备，但是同时也适用于GRQ设备或者取代由Alessi公司生产的矩形探头。 所有jandel公司生产的探头具有非常高的机械精度。通过视频检测系统和光学干涉仪来验证规范探针半径曲率、间矩以及平面性（平面度/平整度），其负荷是通过电子测力计来验证，并且每个探针都通过带有宝石导向针进行上下移动。探针间距1.00mm，1.27mm，1.591mm（针与针之间）公差±10μm探针排列直线或者矩形排列探针头碳化钨/直径d=0.4mm针头材质选择可建议选用50%的锇合金材质半径曲率12.5，25，40，100，150，200，300，500μm缓冲区0.75mm平面度≥±0.025（或更好）针尖压力10g~250g漏电当电压500V时，其两针之间的其电阻为1013Ω

全新压电阻自感应悬臂梁AFM探针 ——从此形貌探测无需激光SCL-Sensor.Tech公司成立于2004年，公司的主要业务是制造和销售硅基压电阻式自感应AFM探针。这种全压电式悬臂，在AFM、纳米级、力测量等传感应用领域都有全新的应用。我们的多学科团队由物理、商业和金融、半导体和微电子学、电子工程和生物科学等领域的专家组成。除了我们自己的团队之外，我们还与著名高校：University of Tampere (UTA)，école Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL)许多领先的研究团队合作，密切接触前沿研究和开发。自感应悬臂探针安装了一个全压电电阻式的惠特斯通电桥，两个可变电阻在悬臂上，两个在晶片上可以直接测量悬臂的信号，从而避免了光学技术对空间要求。这种悬臂式芯片被连接在一个小的PCB上，带有一个小的连接器，用于快速和高度可重复的悬臂交换。传感器信号是通过一个小型的前置放大器PCB来读出和放大的。这使得与各种仪器，如SEM，TEM和许多其他测量系统的简单无缝集成。这种自感的悬臂可以满足各种共振频率和弹性系数的要求。SCL提供了PRS(Piezo-Resistive Sensing)不可加热的悬臂AFM探针和PRSA(Piezo-Resistive Sensing & Active)可加热的悬臂AFM探针。我们建议用塑料镊子更换裸悬臂AFM探针，用钢镊子来更换固定在PCB板上的悬臂AFM探针。常规自感应悬臂梁探针（针尖材质Si）Self-Sensing Cantilevers with Silicon Tip 左图展示的是标准的SCL自感应悬臂探针的尖端，尖端半径小于15纳米。正常情况下，悬臂探针会预先安装特制的PCB板（CL-PCB）上，在它的下侧有一个10pin的连接器。如果有特殊要求，我们也可以提供没有PCB板的悬臂探针。探针有两种版本，可加热的探针PRSA (Piezo-Resistive Sensing & Active)和不可加热的探针PRS (Piezo-Resistive Sensing)型号列表：PRSA-L300-F50/60/80-Si-PCB/CHP 我们可以提供两中特定频率范围内使用的探针（中频为50 kHz或80 kHz），频率取决于悬臂的厚度。当选择没有PCB板的裸探针时（PRSA-L300-CHP）时，使用的频率范围是未知的，因为这些参数不能在没有电触点的情况下测量。共同特点Common针尖锐度Silicon tip radius (rtip)长宽Cantilever length, width (l/w)l = 305 μm, w = 110 μm灵敏度Sensitivity (s)1-2 μV/nm应用ApplicationsAFM, 纳米探测, 结合 SEM/TEM的力学探测.PRSA-L300-F50-Si-PCB共振频率Resonant frequency (fR)fR = 30~65 kHz刚度Stiffness (k)k = 1~15 N/mPRSA-L300-F80-Si-PCB共振频率Resonant frequency (fR)65...95 kHz刚度Stiffness (k)15...56 N/mPRS-L70-F900-Si-PCB/CHPPRS-L70-F900-Si-PCB/CHP针尖锐度Silicon tip radius(rtip)长宽Cantilever length, width (l/w)l = 70...85 μm, w = 30 μm灵敏度Sensitivity (s)3 μV/nm应用ApplicationsAFM, 纳米探测, 结合 SEM/TEM的力学探测.共振频率Resonant frequency (fR)500...1300 kHz刚度Stiffness (k)35...400 N/m自感应悬臂梁（不含针）Self-Sensing Cantilever without Tip (Tipless)这是一种特殊类型的SCL的自感应悬臂，没有探针针尖，可将自己设计制造的针尖粘在其上或者直接粘上样品，满足个性化的需求。这种无探针的悬臂尤其适用于扭矩磁力仪、力感测力、气体特性测量，以及更多的应用。正常情况下，悬臂探针会预先安装特制的PCB板（CL-PCB）上，在它的下侧有一个10pin的连接器。如果有特殊要求，我们也可以提供没有PCB板的悬臂探针。探针有两种版本，可加热的探针PRSA (Piezo-Resistive Sensing & Active)和不可加热的探针PRS (Piezo-Resistive Sensing)型号列表：PRSA-L300-F50/60/80-TL-PCB/CHP我们可以提供两中特定频率范围内使用的探针（中频为50 kHz或80 kHz），频率取决于悬臂的厚度。当选择没有PCB板的裸探针时（PRSA-L300-CHP）时，使用的频率范围是未知的，因为这些参数无法在没有电触点的情况下测量。共同特点Common长宽Cantilever length, width (l/w)l = 300 μm, w = 110灵敏度Sensitivity (s)1-2 μV/nm应用Applications扭矩磁力仪，力感应，气体特性，特殊针尖的安装PRSA-L300-F50-TL-PCB共振频率Resonant frequency (fR)fR = 30~65 kHz刚度Stiffness (k)k = 1~15 N/mPRSA-L300-F80-TL-PCB共振频率Resonant frequency (fR)65...95 kHz刚度Stiffness (k)15...56 N/mPRS-L100-F400-TL-PCB/CHPPRS-L100-F400-TL-PCB/CHP长宽Cantilever length, width (l/w)l = 100 μm, w = 48 μm灵敏度Sensitivity (s)1...3 μV/nm应用Applications扭矩磁力仪，力感应，气体特性，特殊针尖的安装共振频率Resonant frequency (fR)fR = 250...550 kHz刚度Stiffness (k)k = 14...170 N/mPRS-L450-F30-TL-PCB/CHPPRS-L450-F30-TL-PCB/CHP长宽Cantilever length, width (l/w)l = 450 μm, w = 100 μm灵敏度Sensitivity (s)1...2 μV/nm应用Applications扭矩磁力仪，力感应，气体特性，特殊针尖的安装共振频率Resonant frequency (fR)fR = 14...48 kHz刚度Stiffness (k)k = 0.5...24 N/m自感应基础套件（DYI必备）Self-Sensing Starter-Kit自感悬臂探针的每个应用中没有激光扰度探测，无法直接用于普通AFM设备里，需要我们提供的自感应基础套件。该基础套件为您提供了所有基本但必要的配置，可以立即开始使用自感应悬臂（探针）。自感应基础套件包含以下内容： ★ 低噪声悬臂信号前置放大器（下图-2) ★ 连接前置放大器到悬臂和后加工设备（锁定放大器，AFM控制器等）的电缆。(1 + 3) ★ 10个自我感觉的悬臂（4)

2整体铝合金，上下指南为宝石；2碳化钨探针，具有优良的耐用性；2P.T.F.E绝缘材料，确保最低泄漏；2电子测力，进行针尖压力测量探针间距和针尖半径曲率，光学干涉仪精确测量。技术参数：探针间距0.500，0.635，1.000，1.591mm（20，25，40，62.6mils）公差：±0.01mm探针排列线性或者方形排列；方形排列不可用于紧凑型、微型cartridge以及0.005mm（20mils）间距探针碳化钨材质，0.40mm（0.30mm探针间距小于1.0mm）45o包括角度，磷青铜连接韧带探针其他材质50%锇合金的探针可供选择半径曲率12.5～500μm（0.5～20mil）；抛光在25μm-1mil以上投影0.5mm（20mil）或应客户要求平面性0.025mm（1mil）以上针尖压力方盒型：在每个针上可设置10g/min；（范围用户不可调）圆柱形和紧凑型：用户有三个范围可调低：10～30g中：30～60g高：60～150g管道P.T.F.E.绝缘的4条缆线（圆柱形显示）漏电两针之间的压力500V，电阻为1013ΩJandel四探针探头微型方盒型探头顶部固定螺钉和定位键；塑料外壳。其他部分为标准配件尺寸（mm）：23.6×28×39（L）重量：28g微型方盒型探头带6-32螺丝孔；塑料外壳。其他部分为标准配件尺寸（mm）：23.6×28×37（L）重量：28g圆柱型探头尺寸：Φ=25.4mm，H=48.5mm重量：40g6路连接插口的方型探头尺寸：Φ=25.4mm，H=41mm重量：55g微晶玻璃陶瓷高/低温度探头具有陶瓷纤维管道尺寸（mm）：21×20×48（H）重量：55g铅盒（导线盒）型探头尺寸：Φ=25.4mm，H=40.5mm重量：50g紧凑型探头尺寸（mm）：19×16×37.5（H）重量：18g具有4个针形连接口的cartridge型探头尺寸：Φ=25.4mm，H=40.5mm重量：50g6路连接插口的cartridge型探头带有黑色物镜转换器和1.5mm针投影仅用于CDE ResMap制图系统尺寸：Φ=25.4mm，H=43mm重量：55g圆柱型/电阻率探头（2mm竖直方形排列）尺寸：Φ=25.4mm，H=15.5mm

主要特征：由于下降速度的控制可高度重复针头的接触条件，可在控制器上单独控制针尖压力。运动针制导系统使用精密红宝石球探针和抛光碳化钨实心针，具有精确的圆角针间距精度±0.01mm，无侧隙。探针在原位制导设备中进行更改和改变，不用担心乱序或者精度值下降，或在指导单位下完成探针的更换。千分尺控制片位移来测定余斜面片的电阻率梯度和连接点钢铰链式盖板，在测量过程中消除光电干扰。速度控制：空气阻尼器控制探针下降速度，从而保证了每次探针测量的接触条件相同。弹簧是用于升降杆，倾向于降低针头。该阻尼器与杆相连接，导致杆被活塞延缓升降速度。技术指标探针材质碳化钨，Φ=0.5mm，L=26mm，450夹角，针尖曲率R=25μm（大到500μm）探针间距1.00mm，1.27mm，1.59mm，公差±0.01mm行程4mm针尖绝缘电阻500V时，2*105Ω针尖压力0~100g（通过特别的张力计可调）待测样品薄片，Φ≤76mm安装表球轴承坐标表0~25mm*0.01mm螺纹千分尺（其他可供预定）带有旋转工作台Φ=76mm，H=14mm真空切片适配器包装尺寸480mm*320mm*320mm（H）净重7kg毛重9kg

AFM配件，原子力探针，AFM探针，原子力探针针尖，显微镜探针针尖，原子力针尖，原子力显微镜探针针尖，接触探针，纳米压痕探针，氮化硅探针，硅探针，热探针，超尖探针，电子探针，显微镜针尖，原子力显微镜针尖，轻巧模式探针，AFM针尖，接触式探针，磁性探针，导电探针，显微镜探针，探针，布鲁克探针，原子力探针，BRUKER PROBE，AFM PROBE，BRUKER探针，原子力显微镜探针，AFM探针，VEECO探针作为一家能够提供AFM/SPM仪器和AFM/SPM探针的企业，布鲁克公司深刻理解每个单独的组件对于一整套性能AFM系统的价值。布鲁克公司以的生产工艺，专业的AFM领域背景，得天独厚的生产装备，赋予探针制造众多的优势，确保在应用领域中提供完整的AFM解决方案。布鲁克AFM探针制造优势：*Class100级别的无尘室*的设计、制造工序及制造工具*探针设计团队与AFM设备研发团队通力合作，配合紧密*训练有素的生产团队，制造出各种型号的探针*全面的质量管理体系，确保探针性能行业在实验中，用户所得到的数据取决于探针的质量及探针的重复性。布鲁克的探针具有严格的纳米加工控制，全面的质量测试，和AFM领域的专业背景。所以用户尽可放心，我们的探针不仅为您当前的应用提供所需的结果，同时也能为将来的研究提供参考数据。Doped Diamond这个系列的探针在针尖的一侧涂有可导电的金刚石涂层。由于金刚石的硬度很高，所以涂层也很耐磨。这类探针的典型应用包括：扫描扩散电阻显微镜 (SSRM)，扫描电容显微镜 (SCM)，和隧道/导电原子力显微镜。NameMountDescriptionPackSizeTipRadius(nm) DDESP-10UnmountedDopedDLCCoatedTips,42N/m,320kHz,AlReflectiveCoating1035

AFM探针/原子力探针/导电探针(DDESP-10) AFM配件，原子力探针，AFM探针，原子力探针针尖，显微镜探针针尖，原子力针尖，原子力显微镜探针针尖，接触探针，纳米压痕探针，氮化硅探针，硅探针，热探针，超尖探针，电子探针，显微镜针尖，原子力显微镜针尖，轻巧模式探针，AFM针尖，接触式探针，磁性探针，导电探针，显微镜探针，探针，布鲁克探针，原子力探针，BRUKER PROBE，AFM PROBE，BRUKER探针，原子力显微镜探针，AFM探针，VEECO探针作为一家能够提供AFM/SPM仪器和AFM/SPM探针的企业，布鲁克公司深刻理解每个单独的组件对于一整套性能AFM系统的价值。布鲁克公司以的生产工艺，专业的AFM领域背景，得天独厚的生产装备，赋予探针制造众多的优势，确保在应用领域中提供完整的AFM解决方案。布鲁克AFM探针制造优势：*Class100级别的无尘室*的设计、制造工序及制造工具*探针设计团队与AFM设备研发团队通力合作，配合紧密*训练有素的生产团队，制造出各种型号的探针*全面的质量管理体系，确保探针性能行业在实验中，用户所得到的数据取决于探针的质量及探针的重复性。布鲁克的探针具有严格的纳米加工控制，全面的质量测试，和AFM领域的专业背景。所以用户尽可放心，我们的探针不仅为您当前的应用提供所需的结果，同时也能为将来的研究提供参考数据。 Doped Diamond这个系列的探针在针尖的一侧涂有可导电的金刚石涂层。由于金刚石的硬度很高，所以涂层也很耐磨。这类探针的典型应用包括：扫描扩散电阻显微镜 (SSRM)，扫描电容显微镜 (SCM)，和隧道/导电原子力显微镜。 NameMountDescriptionPack SizeTip Radius (nm) DDESP-10UnmountedDoped DLC Coated Tips, 42N/m, 320kHz, Al Reflective Coating1035

Doped Diamond这个系列的探针在针尖的一侧涂有可导电的金刚石涂层。由于金刚石的硬度很高，所以涂层也很耐磨。这类探针的典型应用包括：扫描扩散电阻显微镜 (SSRM)，扫描电容显微镜 (SCM)，和隧道/导电原子力显微镜。 NameMountDescriptionPack SizeTip Radius (nm) DDESP-10UnmountedDoped DLC Coated Tips, 42N/m, 320kHz, Al Reflective Coating1035作为一家能够提供AFM/SPM仪器和AFM/SPM探针的企业，布鲁克公司深刻理解每个单独的组件对于一整套性能AFM系统的价值。布鲁克公司以的生产工艺，专业的AFM领域背景，得天独厚的生产装备，赋予探针制造众多的优势，确保在应用领域中提供完整的AFM解决方案。布鲁克AFM探针制造优势：*探针设计团队与AFM设备研发团队通力合作，配合紧密*训练有素的生产团队，制造出各种型号的探针*全面的质量管理体系，确保探针性能行业在实验中，用户所得到的数据取决于探针的质量及探针的重复性。布鲁克的探针具有严格的纳米加工控制，全面的质量测试，和AFM领域的专业背景。所以用户尽可放心，我们的探针不仅为您当前的应用提供所需的结果，同时也能为将来的研究提供参考数据。

Jandel公司生产的cartridge型四探针探头可用在客户已有的设备,一些vekko设备上。所有jandel公司生产的探头具有非常高的机械精度。通过视频检测系统和光学干涉仪来验证规范探针半径曲率、间距以及平面性（平面度/平整度）,其负荷是通过电子测力计来验证。并且每个探针都通过带有宝石导向针进行上下移动。探针间距0.500mm，0.635mm，1.00mm，1.270mm，1.591mm（针与针之间）公差±10μm排列线性或者方形排列探针头碳化钨/直径d=0.4mm针头材质选择50%的锇合金材质可供选择针尖半径曲率12.5，25，40，100，150，200，300，500μm缓冲区0.5mm平面度≥±0.025（或更好）针尖压力10g～250g漏电当电压500V时，其两针之间的电阻为1013Ω

四点探针头是用于方阻测试设备上的精密零件，我公司生产的探头能适配到国内外所有的方阻测试设备上，稳定性和一致性十分优秀；无缝替代由国外生产的探头JANDEL、CDE等国外品牌，打破国外技术垄断和封锁。探针的针尖材料一般是用碳化钨。每一种探头的主要选择配置参数： A，探头主体材料及外形尺寸 B，针尖半径 C，针头的间隔 D，针头的负载 E，针头排列，线型，或者正方形。 F，连接方式： 连接器，或导线联接及长度主要的应用领域： 硅片电阻率的测量。 晶圆的电阻率的4点测量。 外延、离子注入层的4点电阻测量。 金属薄膜和其他薄膜的4点电阻测量。

结合jandel公司生产的四探针探头对晶片的电阻率进行测量。主要特点：可简单预设待测晶片上1到25个测量位置；8英寸/6英寸晶片真空吸盘；带有电流开关的杠杆操作探头，可避免产生火花；定位精度小于±1mm；幻灯片准确度不高于测量区域；遮盖待测区域，消除光电干扰；技术指标：8〞型号表具有真空卡槽、定心凹槽，镊子切口的硬铝合金晶片尺寸Φ=5〞/6〞/8〞预设测量位置中心点：垂直直径四个点，32，38，50，57，68，94mm晶片 1/2R 距边缘6mm5〞 32mm 57mm6〞 38mm 68mm8〞 50mm 94mm6〞号晶片尺寸Φ=3〞/4〞/5〞/6〞预设测量位置中心点；垂直直径四个点，15，20，25，35，50，60mm可配真空线路、真空泵外形尺寸355mm * 215mm * 195mm（H）净重6〞：3.5kg8〞：4.0kg

产品简介探针作为探针台的核心附件之一，主要用途是接触连接待测件电极，为半导体芯片的电参数测试提供一个导通条件，从不同应用场景可分为钨钢探针，钨钢镀金探针，镀金软针，钨钢角度探针等，被广泛应用于半导体及光电等行业的测试。产品优势进口钨钢探针，优异的导电性能；谱量特有的镀金工艺，保证针体机械属性的同时，进一步优化其导电性能；可测电流范围1fA-1A；多款针尖直径可选，满足不同应用需求；产品示意图针杆长度38mm，直径0.5mm。针尖直径有（1-3-5-10-30-50-150-300-500）um可选。

Jandel这种组合方式是目前jandel公司最受欢迎的产品.该系统可用于测量各种薄层的小尺寸样本以及直径300mm高250mm的晶圆锭 (检测厚样品之前要咨询)。可测晶片直径D≤250mm（可选配D≤300mm，无需付费）可测晶片厚度H≤250mm（可更厚，请咨询）微动开关防止探针不与样品接触时的电流流动手动控制探针接触和移动的简单杠杆操作装配简单RM300和四探针探头通过单线连接系统配置组成部件测试台----1个可调节高度主机----1台可调节高度轴杆----1根四探针探头----1个连接电缆----1根设备尺寸可调节高度测试台：W*L*H（mm）250*290*8（320*370*8，可选）可调节高度探头组件：W*L*H（mm）60*280*80（60*330*80，可选）可调节高度的轴杆：D（mm）19；L（mm）200（可定制最高高度到1000mm）

AFM配件，原子力探针，AFM探针，原子力探针针尖，显微镜探针针尖，原子力针尖，原子力显微镜探针针尖，接触探针，纳米压痕探针，氮化硅探针，硅探针，热探针，超尖探针，电子探针，显微镜针尖，原子力显微镜针尖，轻巧模式探针，AFM针尖，接触式探针，磁性探针，导电探针，显微镜探针，探针，布鲁克探针，原子力探针，BRUKER PROBE，AFM PROBE，BRUKER探针，原子力显微镜探针，AFM探针，VEECO探针作为一家能够提供AFM/SPM仪器和AFM/SPM探针的企业，布鲁克公司深刻理解每个单独的组件对于一整套性能AFM系统的价值。布鲁克公司以的生产工艺，专业的AFM领域背景，得天独厚的生产装备，赋予探针制造众多的优势，确保在应用领域中提供完整的AFM解决方案。布鲁克AFM探针制造优势：*Class100级别的无尘室*的设计、制造工序及制造工具*探针设计团队与AFM设备研发团队通力合作，配合紧密*训练有素的生产团队，制造出各种型号的探针*全面的质量管理体系，确保探针性能行业在实验中，用户所得到的数据取决于探针的质量及探针的重复性。布鲁克的探针具有严格的纳米加工控制，全面的质量测试，和AFM领域的专业背景。所以用户尽可放心，我们的探针不仅为您当前的应用提供所需的结果，同时也能为将来的研究提供参考数据。NameMountDescriptionPackSizeTipRadius(nm) MESPUnmountedStandardMFMCoatedTips,2.8N/m,75kHz,Co/CrReflectiveCoating1020

AFM配件，原子力探针，AFM探针，原子力探针针尖，显微镜探针针尖，原子力针尖，原子力显微镜探针针尖，接触探针，纳米压痕探针，氮化硅探针，硅探针，热探针，超尖探针，电子探针，显微镜针尖，原子力显微镜针尖，轻巧模式探针，AFM针尖，接触式探针，磁性探针，导电探针，显微镜探针，探针，布鲁克探针，原子力探针，BRUKER PROBE，AFM PROBE，BRUKER探针，原子力显微镜探针，AFM探针，VEECO探针作为一家能够提供AFM/SPM仪器和AFM/SPM探针的企业，布鲁克公司深刻理解每个单独的组件对于一整套性能AFM系统的价值。布鲁克公司以的生产工艺，专业的AFM领域背景，得天独厚的生产装备，赋予探针制造众多的优势，确保在应用领域中提供完整的AFM解决方案。布鲁克AFM探针制造优势：*Class100级别的无尘室*的设计、制造工序及制造工具*探针设计团队与AFM设备研发团队通力合作，配合紧密*训练有素的生产团队，制造出各种型号的探针*全面的质量管理体系，确保探针性能行业在实验中，用户所得到的数据取决于探针的质量及探针的重复性。布鲁克的探针具有严格的纳米加工控制，全面的质量测试，和AFM领域的专业背景。所以用户尽可放心，我们的探针不仅为您当前的应用提供所需的结果，同时也能为将来的研究提供参考数据。NameMountDescriptionPackSizeTipRadius(nm) OBL-10UnmountedAuCoatedtips 2Cantilevers,0.006-0.03N/m,AuReflectiveCoating1030

在实验中，用户所得到的数据取决于探针的质量及探针的重复性。布鲁克的探针具有严格的纳米加工控制，全面的质量测试，和AFM领域的专业背景。所以用户尽可放心，我们的探针不仅为您当前的应用提供所需的结果，同时也能为将来的研究提供参考数据。NameMountDescriptionPack SizeTip Radius (nm)MSCTUnmountedSharpened, 6 Cantilevers, 0.01-0.50N/m, Au Reflective Coating探针的指标主要分三个部分，分别对应了基片，微悬臂梁，和针尖三个部分。1. 基片，就是基片的长，宽，高，各种探针的基片尺寸是基本一致的。2. 悬臂梁，分为矩形梁和三角形悬臂梁，他们的长宽厚的几何尺寸决定了悬臂梁的弹性系数和共振频率。而弹性常数K是探针的很重要的一个参数，一般来说，接触模式的探针的弹性常数小于1N/m。轻敲模式的探针的悬臂梁弹性系数从几个N/m到几十个N/m。常用的RTESP的弹性常数是40N/m。3. 针尖，针尖的的几何形状是一个四面体。指标主要有，曲率半径(Tip Radius)，探针高度（Tip Height），对应于四面体的指标，前角（Front Angel），后角（Back Angel），侧角（Side Angel），还有一个是Tip Set Back，对应的是针尖离悬臂梁最末端的水平距离。材质：1. 轻敲探针：一般是单晶硅，型号如RTESP；2. 接触模式探针：材质是SiN，而新型号的SNL接触探针，悬臂梁是SiN，而针尖则Si（曲率半径2nm左右），这种探针可以提供接触模式下的分辨率图；3. 功能探针：如磁力探针（MESP），导电探针，则是在普通的硅探针的基础上再镀上相应的材料。MESP的镀层是Co/Cr，SCM-PIT的镀层是Pt。常用探针型号介绍： 常用探针型号介绍1. 轻敲模式，RTESPA-300，TESP，FESP2. 接触模式，SNL，NP，3. 智能扫描模式：Scanasyst air,ScanAsyst-fluid,ScanAsyst-Fluid+4. 磁力显微镜，MESP-V2,MESP-RC-V25. 静电力显微镜，导电AFM，等电学测量模式，DDESP，SCM-PIT，SCM-PIC等。6. 其他特殊功能探针。如金刚石探针，大长径比探针。

AFM配件，原子力探针，AFM探针，原子力探针针尖，显微镜探针针尖，原子力针尖，原子力显微镜探针针尖，接触探针，纳米压痕探针，氮化硅探针，硅探针，热探针，超尖探针，电子探针，显微镜针尖，原子力显微镜针尖，轻巧模式探针，AFM针尖，接触式探针，磁性探针，导电探针，显微镜探针，探针，布鲁克探针，原子力探针，BRUKER PROBE，AFM PROBE，BRUKER探针，原子力显微镜探针，AFM探针，VEECO探针作为一家能够提供AFM/SPM仪器和AFM/SPM探针的企业，布鲁克公司深刻理解每个单独的组件对于一整套性能AFM系统的价值。布鲁克公司以的生产工艺，专业的AFM领域背景，得天独厚的生产装备，赋予探针制造众多的优势，确保在应用领域中提供完整的AFM解决方案。布鲁克AFM探针制造优势：*Class100级别的无尘室*的设计、制造工序及制造工具*探针设计团队与AFM设备研发团队通力合作，配合紧密*训练有素的生产团队，制造出各种型号的探针*全面的质量管理体系，确保探针性能行业在实验中，用户所得到的数据取决于探针的质量及探针的重复性。布鲁克的探针具有严格的纳米加工控制，全面的质量测试，和AFM领域的专业背景。所以用户尽可放心，我们的探针不仅为您当前的应用提供所需的结果，同时也能为将来的研究提供参考数据。NameMountDescriptionPackSizeTipRadius(nm)SCM-PICUnmountedPt/IrCoatedTips,0.2N/m13kHz,Pt/IrReflectiveCoating1020

NameMountDescriptionPack SizeTip Radius (nm) MESPUnmountedStandard MFM Coated Tips, 2.8N/m, 75kHz, Co/Cr Reflective Coating1020探针的指标主要分三个部分，分别对应了基片，微悬臂梁，和针尖三个部分。1. 基片，就是基片的长，宽，高，各种探针的基片尺寸是基本一致的。2. 悬臂梁，分为矩形梁和三角形悬臂梁，他们的长宽厚的几何尺寸决定了悬臂梁的弹性系数和共振频率。而弹性常数K是探针的很重要的一个参数，一般来说，接触模式的探针的弹性常数小于1N/m。轻敲模式的探针的悬臂梁弹性系数从几个N/m到几十个N/m。常用的RTESP的弹性常数是40N/m。3. 针尖，针尖的的几何形状是一个四面体。指标主要有，曲率半径(Tip Radius)，探针高度（Tip Height），对应于四面体的指标，前角（Front Angel），后角（Back Angel），侧角（Side Angel），还有一个是Tip Set Back，对应的是针尖离悬臂梁最末端的水平距离。材质：1. 轻敲探针：一般是单晶硅，型号如RTESP；2. 接触模式探针：材质是SiN，而新型号的SNL接触探针，悬臂梁是SiN，而针尖则Si（曲率半径2nm左右），这种探针可以提供接触模式下的分辨率图；3. 功能探针：如磁力探针（MESP），导电探针，则是在普通的硅探针的基础上再镀上相应的材料。MESP的镀层是Co/Cr，SCM-PIT的镀层是Pt。常用探针型号介绍： 常用探针型号介绍1. 轻敲模式，RTESPA-300，TESP，FESP2. 接触模式，SNL，NP，3. 智能扫描模式：Scanasyst air,ScanAsyst-fluid,ScanAsyst-Fluid+4. 磁力显微镜，MESP-V2,MESP-RC-V25. 静电力显微镜，导电AFM，等电学测量模式，DDESP，SCM-PIT，SCM-PIC等。6. 其他特殊功能探针。如金刚石探针，大长径比探针。

布鲁克Bruker原子力显微镜探针AFM探针 智能成像模式 空气中—ScanAsyst Air ScanAsyst Air，是空气中智能成像模式ScanAsyst 专用探针，仅适用于具有Scansyst成像的AFM。其中包含：Dimension Icon,Multimode8,Bioscope Catalyst,Bioscope Resolve. ScanAsyst 利用一种专门的曲线采集方法和复杂的算法，对图像质量进行持续的监测，并能自动地对参数进行适当的调整。因此：- 无论用户的专业技术水平如何，图像自动优化都能更快获取更一致的结果。- 可直接控制力的强弱，调到超低力，从而保护易碎样品和针尖不受损坏。 实现了悬臂调节的消除，定位调整，获得最大优化让液态成像变得简单。 氮化硅单悬臂探针，所有ScanAsyst针尖都有2度的悬臂弯曲。详细规格： 延展阅读：关于布鲁克：布鲁克公司以先进的生产工艺，专业的AFM领域背景，得天独厚的生产装备，赋予探针制造众多的优势，确保在应用领域中提供完整的AFM解决方案。 布鲁克AFM探针制造中心独特优势：*Class100级别的无尘室*先进的设计、制造工序及制造工具*探针设计团队与AFM设备研发团队通力合作，配合紧密*训练有素的生产团队，制造出各种型号的探针*全面的质量管理体系，确保探针性能 在实验中，用户所得到的数据取决于探针的质量及探针的重复性。布鲁克的探针具有严格的纳米加工控制，全面的质量测试，和AFM领域的专业背景。所以用户尽可放心，我们的探针不仅为您当前的应用提供所需的结果，同时也能为将来的研究提供参考数据。 原子力显微镜AFM探针: 探针的工作模式：主要分为：扫描(接触)模式和轻敲模式探针的结构：悬臂梁+针尖探针针尖曲率半径Tip Radius：一般为10nm到几十nm。制作工艺：半导体工艺制作 指标：探针的指标主要分三个部分，分别对应了基片，微悬臂梁，和针尖三个部分。1. 基片，就是基片的长，宽，高，各种探针的基片尺寸是基本一致的。2. 悬臂梁，分为矩形梁和三角形悬臂梁，他们的长宽厚的几何尺寸决定了悬臂梁的弹性系数和共振频率。而弹性常数K是探针的很重要的一个参数，一般来说，接触模式的探针的弹性常数小于1N/m。轻敲模式的探针的悬臂梁弹性系数从几个N/m到几十个N/m。常用的RTESP的弹性常数是40N/m。3. 针尖，针尖的的几何形状是一个四面体。指标主要有，曲率半径(Tip Radius)，探针高度（Tip Height），对应于四面体的指标，前角（Front Angel），后角（Back Angel），侧角（Side Angel），还有一个是Tip Set Back，对应的是针尖离悬臂梁最末端的水平距离。材质：1. 轻敲探针：一般是单晶硅，型号如RTESP；2. 接触模式探针：材质是SiN，而新型号的SNL接触探针，悬臂梁是SiN，而针尖则Si（曲率半径2nm左右），这种探针可以提供接触模式下的分辨率图；3. 功能探针：如磁力探针（MESP），导电探针，则是在普通的硅探针的基础上再镀上相应的材料。MESP的镀层是Co/Cr，SCM-PIT的镀层是Pt。常用探针型号介绍： 常用探针型号介绍1. 轻敲模式，RTESPA-300，TESP，FESP2. 接触模式，SNL，NP，3. 智能扫描模式：Scanasyst air,ScanAsyst-fluid,ScanAsyst-Fluid+4. 磁力显微镜，MESP-V2,MESP-RC-V25. 静电力显微镜，导电AFM，等电学测量模式，DDESP，SCM-PIT，SCM-PIC等。6. 其他特殊功能探针。如金刚石探针，大长径比探针。

AFM探针基本都是由MEMS技术加工 Si 或者 Si3N4来制备。探针针尖半径一般为10到几十nm。微悬臂通常由一个一般100~500μm长和大约500nm~5μm厚的硅片或氮化硅片制成。典型的硅微悬臂大约100μm长、10μm宽、数微米厚。利用探针与样品之间各种不同的相互作用的力而开发了各种不同应用领域的显微镜，如AFM（范德法力），静电力显微镜EFM（静电力）磁力显微镜MFM（静磁力）侧向力显微镜LFM（探针侧向偏转力）等， 因此有对应不同种类显微镜的相应探针。型号种类备注HQ:XSC11/AlBS轻敲四悬臂、多功能硅探针，基片背面镀铝的反射层HQ:DEP-XSC11轻敲导电低噪音导电硅探针，四悬臂，多功能，镀铂HQ:NSC18/Co-Cr/AlBS磁性一个悬臂梁针尖，针尖镀钴铬，磁性探针，基片背面镀铝的反射层HQ:CSC37/AlBS接触三个悬臂梁针尖，基片背面镀铝的反射层HQ:CSC37/tipless/Cr-Au接触三悬臂无针尖探针，镀铬金HQ:CSC17/Pt接触导电单悬臂，镀铂HQ:NSC15/AlBS轻敲单个悬臂梁针尖，基片背面镀铝的反射层NSC11/AlBS轻敲两个三角型悬臂梁针尖，基片背面镀铝的反射层NSC15/AlBS轻敲单个悬臂梁针尖，基片背面镀铝的反射层NSC18/AlBS轻敲单个悬臂梁针尖，基片背面镀铝的反射层NSC19/AlBS轻敲单个悬臂梁针尖，基片背面镀铝的反射层NSC35/AlBS轻敲三个悬臂梁针尖，基片背面镀铝的反射层CSC11/AlBS接触两个三角型悬臂梁针尖，基片背面镀铝的反射层CSC37/AlBS接触三个悬臂梁针尖，基片背面镀铝的反射层CSC38/AlBS接触三个悬臂梁针尖，基片背面镀铝的反射层NSC18/Co-Cr轻敲一个悬臂梁针尖，针尖镀钴铬，磁性探针CSC38/Cr-Au接触三个悬臂梁针尖，针尖镀铬金，导电探针NP-S接触接触模式氮化硅探针，液体中轻敲成像和力测量。四悬臂0.06-0.58N/m 反射面镀金PPP-NCHR-20轻敲PPP硅探针用于增强SPM图片分辨率PPP-SEIHR-20轻敲PPP硅探针用于增强SPM图片分辨率AN-NSC10轻敲适用于非接触模式、轻敲模式、间断模式和近距离接触模式；长：125μm；弹性系数：40N/m；共振频率：300kHz。AN-NSC01轻敲适用于非接触模式、轻敲模式、间断模式和近距离接触模式；长：225μm；弹性系数：1.6N/m；共振频率：61kHz。ACCESS-50轻敲超稳定、超细前倾针尖，可直接观察针尖在样品上的工作情况HYDRA6R-200N-20轻敲具有长且尖、低弹性系数的矩形悬臂，高分辨率；主要应用于接触模式，但同时也可用于轻敲和非接触模式；HA--_NC（新）轻敲新型高精度探针，50根/盒。每个基片有两根长方形的多晶硅悬臂和尖锐硅针尖（典型值10nm）。共振频率120/200 KHz,弹性常数3.4/5.8N/mNSG01轻敲NSG01系列轻敲模式SPM探针，50根/盒，共振频率115-190KHz，弹性系数2.5-10N/m，仅有一个悬臂和针尖NSG03轻敲NSG03系列轻敲模式SPM探针，50根/盒，共振频率90-116KHz，弹性系数0.5-2.2N/m，仅有一个悬臂和针尖NSG10轻敲NSG10系列轻敲模式SPM探针，50根/盒，共振频率190-325KHz，弹性系数5.5-22.5N/m，仅有一个悬臂和针尖NSG20轻敲NSG20系列轻敲模式SPM探针，50根/盒，共振频率260-630KHz，弹性系数28-91N/m，仅有一个悬臂和针尖NSG01S轻敲NSG01S系列轻敲模式SPM探针，50根/盒，每根针尖附有SEM校准照片，共振频率115-190KHz，弹性系数2.5-10N/m，仅一个悬臂和针尖NSG10S轻敲NSG10S系列轻敲模式SPM探针，50根/盒，每根针尖附有SEM校准照片，共振频率190-325KHz，弹性系数5.5-22.5N/m，仅一个悬臂和针尖NSG20S轻敲NSG20S系列，50根/盒，每根针尖附有SEM校准照片，共振频率260-630KHz，弹性系数28-91N/m，仅有一个悬臂和针尖NSG10 DLC/10/50超细超细类金刚石碳（DLC）探针，10根/盒，典型曲率半径1nm，生长在NSG10和NSG01系列探针上NSC0510/20°/5超细NSC05 10°/20°轻敲模式，5根/盒，有10度和20度倾角的须状物针尖NSG01/Au/Pt/TiN/WuC/50导电NSG01系列轻敲模式SPM探针（分别镀金、镀铂、镀氮化钛、镀碳化钨导电层），50根/盒，共振频率115-190KHz，弹性系数2.5-10N/mNSG10/Au/Pt/TiN/WuC/50导电NSG10系列轻敲模式SPM探针（分别镀金、镀铂、镀氮化钛、镀碳化钨导电层），50根/盒，共振频率190-325KHz，弹性系数5.5-22.5N/mNSG20/Au/Pt/TiN/WuC/50导电NSG20系列轻敲模式SPM探针（分别镀金、镀铂、镀氮化钛、镀碳化钨导电层），50根/盒，共振频率260-630KHz，弹性系数28-91N/mNSG03/Au/Pt/TiN/WuC/50导电NSG03系列轻敲模式SPM探针（分别镀金、镀铂、镀氮化钛、镀碳化钨导电层），50根/盒，共振频率90-116KHz，弹性系数0.5-2.2N/mNSG01/Co/50磁性NSG01系列轻敲模式SPM探针（镀钴铬磁性层），50根/盒，共振频率115-190KHz，弹性系数2.5-10N/mNSG03/Co/50磁性NSG03系列轻敲模式SPM探针（镀钴铬磁性层），50根/盒，共振频率90-116KHz，弹性系数0.5-2.2N/mNSG11/tipless/50无针尖无针尖NSG11系列，每头两个悬臂，50根/盒，共振频率115-190KHz，190-325KHz，弹性系数2.5-10 N/m,5.5-22.5N/mNSG20/tipless/50无针尖无针尖NSG20系列，50根/盒，一个三角形悬臂，共振频率260-630KHz，弹性系数28-91N/mMF001/002/003/004SNOM一套10根/盒SNOM探针（波长400-550nm）（波长450-600nm）（波长600-680nm），（波长780-970nm），没有音叉DCP11/50金刚石镀层轻敲模式镀金刚石导电探针DCP11系列，50根/盒，每根探针有两个悬臂，共振频率190-325KHz，115-190KHz；弹性系数5.5-22.5N/m，2.5-10N/m。稳定的、非破坏性的金刚石镀层可供长期使用。DCP20/50金刚石镀层轻敲模式镀金刚石导电探针DCP20系列，50根/盒，每根探针有一个悬臂，共振频率260-630KHz；弹性系数28-91N/m，AFM氧化刻蚀的理想探针。CSG01接触CSG01系列接触模式SPM探针，50根/盒，共振频率7-14KHz，弹性系数0.01-0.08N/m，仅有一个悬臂和针尖CSG10接触CSG10系列接触模式SPM探针，50根/盒，共振频率14-28KHz，弹性系数0.03-0.2N/m，仅有一个悬臂和针尖CSG01S接触CSG01系列接触模式SPM探针，50根/盒，每根针尖附有SEM校准照片，共振频率7-14KHz，弹性系数0.01-0.08N/m，仅有一个悬臂和针尖CSC0510/20°/5超细接触模式须型SPM探针，5根/盒，有10度和20度倾角的须状物针尖CSG10/Pt/TiN/50导电CSG11系列轻敲模式SPM探针（分别镀金、镀铂、镀氮化钛导电层），50根/盒，共振频率14-28KHz，弹性系数0.03-0.2N/m0.03-0.2N/mCSG01/Au/Pt/TiN/50导电CSG01系列轻敲模式SPM探针（分别镀金、镀铂、镀氮化钛导电层），共振频率7-14KHz，弹性系数0.01-0.08N/mCSG10/Au/Pt/TiN/50导电CSG10系列轻敲模式SPM探针（分别镀金、镀铂、镀氮化钛导电层），50根/盒，共振频率14-28KHz，弹性系数0.03-0.2N/m更多其他型号探针，请联系我们：sales@sunano.com.cn 021-5683191，92

AFM配件，原子力探针，AFM探针，原子力探针针尖，显微镜探针针尖，原子力针尖，原子力显微镜探针针尖，接触探针，纳米压痕探针，氮化硅探针，硅探针，热探针，超尖探针，电子探针，显微镜针尖，原子力显微镜针尖，轻巧模式探针，AFM针尖，接触式探针，磁性探针，导电探针，显微镜探针，探针，布鲁克探针，原子力探针，BRUKER PROBE，AFM PROBE，BRUKER探针，原子力显微镜探针，AFM探针，VEECO探针作为一家能够提供AFM/SPM仪器和AFM/SPM探针的企业，布鲁克公司深刻理解每个单独的组件对于一整套性能AFM系统的价值。布鲁克公司以的生产工艺，专业的AFM领域背景，得天独厚的生产装备，赋予探针制造众多的优势，确保在应用领域中提供完整的AFM解决方案。布鲁克AFM探针制造优势：*Class100级别的无尘室*的设计、制造工序及制造工具*探针设计团队与AFM设备研发团队通力合作，配合紧密*训练有素的生产团队，制造出各种型号的探针*全面的质量管理体系，确保探针性能行业在实验中，用户所得到的数据取决于探针的质量及探针的重复性。布鲁克的探针具有严格的纳米加工控制，全面的质量测试，和AFM领域的专业背景。所以用户尽可放心，我们的探针不仅为您当前的应用提供所需的结果，同时也能为将来的研究提供参考数据。NameMountDescriptionPackSizeTipRadius(nm)DNISPUnmountedDiamondTip,100-300N/m,35-65kHz140

在实验中，用户所得到的数据取决于探针的质量及探针的重复性。布鲁克的探针具有严格的纳米加工控制，全面的质量测试，和AFM领域的专业背景。所以用户尽可放心，我们的探针不仅为您当前的应用提供所需的结果，同时也能为将来的研究提供参考数据。NameMountDescriptionPack SizeTip Radius (nm) NP-O10UnmountedTipless, 4 Cantilevers, 0.06-0.58N/m, Au Reflective Coating探针的指标主要分三个部分，分别对应了基片，微悬臂梁，和针尖三个部分。1. 基片，就是基片的长，宽，高，各种探针的基片尺寸是基本一致的。2. 悬臂梁，分为矩形梁和三角形悬臂梁，他们的长宽厚的几何尺寸决定了悬臂梁的弹性系数和共振频率。而弹性常数K是探针的很重要的一个参数，一般来说，接触模式的探针的弹性常数小于1N/m。轻敲模式的探针的悬臂梁弹性系数从几个N/m到几十个N/m。常用的RTESP的弹性常数是40N/m。3. 针尖，针尖的的几何形状是一个四面体。指标主要有，曲率半径(Tip Radius)，探针高度（Tip Height），对应于四面体的指标，前角（Front Angel），后角（Back Angel），侧角（Side Angel），还有一个是Tip Set Back，对应的是针尖离悬臂梁最末端的水平距离。材质：1. 轻敲探针：一般是单晶硅，型号如RTESP；2. 接触模式探针：材质是SiN，而新型号的SNL接触探针，悬臂梁是SiN，而针尖则Si（曲率半径2nm左右），这种探针可以提供接触模式下的分辨率图；3. 功能探针：如磁力探针（MESP），导电探针，则是在普通的硅探针的基础上再镀上相应的材料。MESP的镀层是Co/Cr，SCM-PIT的镀层是Pt。常用探针型号介绍： 常用探针型号介绍1. 轻敲模式，RTESPA-300，TESP，FESP2. 接触模式，SNL，NP，3. 智能扫描模式：Scanasyst air,ScanAsyst-fluid,ScanAsyst-Fluid+4. 磁力显微镜，MESP-V2,MESP-RC-V25. 静电力显微镜，导电AFM，等电学测量模式，DDESP，SCM-PIT，SCM-PIC等。6. 其他特殊功能探针。如金刚石探针，大长径比探针。

340-TT四探针测试探头探针间距选择1mm；2mm；3mm探针材质选择：铜/钨钢针探针尖形态选择：尖针，半球型

AFM配件，原子力探针，AFM探针，原子力探针针尖，显微镜探针针尖，原子力针尖，原子力显微镜探针针尖，接触探针，纳米压痕探针，氮化硅探针，硅探针，热探针，超尖探针，电子探针，显微镜针尖，原子力显微镜针尖，轻巧模式探针，AFM针尖，接触式探针，磁性探针，导电探针，显微镜探针，探针，布鲁克探针，原子力探针，BRUKER PROBE，AFM PROBE，BRUKER探针，原子力显微镜探针，AFM探针。布鲁克AFM探针制造优势：*探针设计团队与AFM设备研发团队通力合作，配合紧密*训练有素的生产团队，制造出各种型号的探针*全面的质量管理体系，确保探针性能行业在实验中，用户所得到的数据取决于探针的质量及探针的重复性。布鲁克的探针具有严格的纳米加工控制，全面的质量测试，和AFM领域的专业背景。所以用户尽可放心，我们的探针不仅为您当前的应用提供所需的结果，同时也能为将来的研究提供参考数据。Doped Diamond这个系列的探针在针尖的一侧涂有可导电的金刚石涂层。由于金刚石的硬度很高，所以涂层也很耐磨。这类探针的典型应用包括：扫描扩散电阻显微镜 (SSRM)，扫描电容显微镜 (SCM)，和隧道/导电原子力显微镜。 NameMountDescriptionPack SizeTip Radius (nm) DDDDESP-10UnmountedDoped DLC Coated Tips, 42N/m, 320kHz, Al Reflective Coating1035

AFM配件，原子力探针，AFM探针，原子力探针针尖，显微镜探针针尖，原子力针尖，原子力显微镜探针针尖，接触探针，纳米压痕探针，氮化硅探针，硅探针，热探针，超尖探针，电子探针，显微镜针尖，原子力显微镜针尖，轻巧模式探针，AFM针尖，接触式探针，磁性探针，导电探针，显微镜探针，探针，布鲁克探针，原子力探针，BRUKER PROBE，AFM PROBE，BRUKER探针，原子力显微镜探针，AFM探针，VEECO探针作为一家能够提供AFM/SPM仪器和AFM/SPM探针的企业，布鲁克公司深刻理解每个单独的组件对于一整套性能AFM系统的价值。布鲁克公司以的生产工艺，专业的AFM领域背景，得天独厚的生产装备，赋予探针制造众多的优势，确保在应用领域中提供完整的AFM解决方案。布鲁克AFM探针制造优势：*Class100级别的无尘室*的设计、制造工序及制造工具*探针设计团队与AFM设备研发团队通力合作，配合紧密*训练有素的生产团队，制造出各种型号的探针*的质量管理体系，确保探针性能行业在实验中，用户所得到的数据取决于探针的质量及探针的重复性。布鲁克的探针具有严格的纳米加工控制，的质量测试，和AFM领域的专业背景。所以用户尽可放心，我们的探针不仅为您当前的应用提供所需的结果，同时也能为将来的研究提供参考数据。

手动多功能微型探针台是一款手动多功能探针台，可用于4' ' 晶圆或4“x6.5”印刷电路板。为用户提供了价格低廉而功能强大的选择。手动多功能微型探针台特点它的重量轻，非常灵活多用，非常方便用户转移或携带出去实验，可手动从前部操作，没有阻挡物，用户可以增加显微镜方便探针定位。磁性安装面方便定位手动多功能微型探针台应用可用于晶圆测量，也可用于毫米波，微波测量，差分探针，单探针，RF的PCB测量师，汽车以及手持式测量。可以用在实验，办公室，还可以用在其它地方。可以为用户定制用于特别应用，比如多孔连接器，PCBA等手动多功能微型探针台参数尺寸：22x9x 8英寸重量：4.5Kg

NameMountDescriptionPack SizeTip Radius (nm)DNISPUnmountedDiamond Tip, 100 - 300N/m, 35 - 65kHz140探针的指标主要分三个部分，分别对应了基片，微悬臂梁，和针尖三个部分。1. 基片，就是基片的长，宽，高，各种探针的基片尺寸是基本一致的。2. 悬臂梁，分为矩形梁和三角形悬臂梁，他们的长宽厚的几何尺寸决定了悬臂梁的弹性系数和共振频率。而弹性常数K是探针的很重要的一个参数，一般来说，接触模式的探针的弹性常数小于1N/m。轻敲模式的探针的悬臂梁弹性系数从几个N/m到几十个N/m。常用的RTESP的弹性常数是40N/m。3. 针尖，针尖的的几何形状是一个四面体。指标主要有，曲率半径(Tip Radius)，探针高度（Tip Height），对应于四面体的指标，前角（Front Angel），后角（Back Angel），侧角（Side Angel），还有一个是Tip Set Back，对应的是针尖离悬臂梁最末端的水平距离。材质：1. 轻敲探针：一般是单晶硅，型号如RTESP；2. 接触模式探针：材质是SiN，而新型号的SNL接触探针，悬臂梁是SiN，而针尖则Si（曲率半径2nm左右），这种探针可以提供接触模式下的分辨率图；3. 功能探针：如磁力探针（MESP），导电探针，则是在普通的硅探针的基础上再镀上相应的材料。MESP的镀层是Co/Cr，SCM-PIT的镀层是Pt。常用探针型号介绍： 常用探针型号介绍1. 轻敲模式，RTESPA-300，TESP，FESP2. 接触模式，SNL，NP，3. 智能扫描模式：Scanasyst air,ScanAsyst-fluid,ScanAsyst-Fluid+4. 磁力显微镜，MESP-V2,MESP-RC-V25. 静电力显微镜，导电AFM，等电学测量模式，DDESP，SCM-PIT，SCM-PIC等。6. 其他特殊功能探针。如金刚石探针，大长径比探针。

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