Freiberg Instruments的单晶XRD定向仪 主要里程碑: ◆ 1961 - EFG GmbH公司由X-ray Ing.集团亚瑟布拉达切克和他的儿子汉斯布拉达切克创立。 ◆ 1969 - 研制了世界上首台基于集成电路的x射线检测计数装置,名为 COUNTIX 130。◆ 1989 - 开发 Omega-Scan 方法BOSCH 要求提供圆形石英毛坯的定向测量系统 - 振荡器产量从 50% 提高到 95%◆ 2005 - 将 Omega 转移到其他材料,如SiC、蓝宝石、GaN、GaAS、Si、Ni基高温合金 ◆ 2010 - 推出用于晶体取向测量的台式 X 射线衍射仪 ( DDCOM ) 全球售出 约 150台石英分选系统◆ 2015 - X 射线技术和 EFG GmbH 合并到 Freiberg Instruments GmbH 传承60年德国工匠精神-三代X射线工程师 产品优势: ◆ 采用Omega-scan扫描方法(专利技术) ◆ 测试速度快: 5s ◆ 测角精度高: 0.003 ◆ 兼具XRD定向功能以及Flat/Norch功能 ◆ 磨抛定向解决方案 ◆ 拥有晶锭粘接转移的专利技术(堆垛 stacking)专为SiC工业设计,被多家SiC衬底头部企业青睐,如:II-VI Advanced Materials, SiCrystal等,国外四分之三的碳化硅制造商依赖Freiberg Instruments公司的晶体取向测量技术,极大提高了生产效率,提升产品质量。 ◆ Mapping 面扫功能,摇摆曲线测定 ◆ 易于集成到工艺线中 ◆ MES和/或SECS/GEM接口 ◆ 倾斜的典型标准偏差(例如:Si 100): 0.003 °,小于 0.001 ° Omega/Theta X射线衍射仪是一个全自动的垂直三轴衍射仪,用于使用Omega-Scan和Theta-Scan方法对各种晶体进行取向测定和摇摆曲线测量。大而宽敞的设计可以容纳长度达450毫米、重量达30公斤的样品和样品架。 所有的测量都是自动化的,可以从用户友好的软件界面上的访问。使用Omega扫描,可以在晶体旋转时(5秒)确定完整的晶格方向。Theta扫描更加灵活,但每次扫描只能得到一个取向成分。 倾斜角可以以非常高的精度确定;使用Theta扫描可以达到0.001°。对于所有其他晶体方向,精度取决于与表面垂直的角差。 该系统是模块化的,已经配备了许多不同的扩展,用于特殊的目的,如形状或平面的确定、绘图和不同的样品架。样品的倾斜是通过光学测量检测出来的,并可用于校正所产生的方向。 单晶衍射仪定向仪: ◆ 全自动完整的单晶体晶格取向测量 ◆ 使用欧米茄扫描法进行超快速的晶体取向测量 ◆ 自动摇动曲线测量功能 ◆ 衍射仪的角度分辨率:0.1角秒。 ◆ 样品尺寸可达450毫米 ◆ 适用于生产质量控制和研究 用户友好,成本效益高: ◆ 方便的样品处理,易于操作 ◆ 先进的、用户友好的软件 ◆ 能源消耗和运行成本低 ◆ 模块化设计,灵活性强 ◆ 各种升级选项 ◆ 根据用户的要求进行定制 选配功能: ◆ 自动Mapping面扫功能 ◆ Omega/Theta – 晶锭粘接转移的专利技术(堆垛 stacking) ◆ Omega/Theta - 摇摆曲线测量 ◆ Omega/Theta - 定制的样品台 ◆ 用于样品形状测量的激光扫描仪 ◆ 光学检测,用于平面和凹槽检测 ◆ 额外的样品旋转轴用于3D绘图 ◆ 二级通道切割准直器(分析器) ◆ 用于样品调整的设备
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