在线椭偏仪

椭偏仪是一种无损的薄膜表征方法，它可针对单层或多层光学薄膜给出膜厚、折射率、消光系数、甚至材料的带隙等丰富信息。并可表征膜中的各向异性、渐变、孔隙率等各种不均匀性。本文中，使用椭偏仪表征了TFT-LCD显示器件中透明电、液晶及a-Si各膜层。分析了透明电中的渐变层、液晶的各向异性、及a-Si的n型掺杂。

多种不同的表面检测技术可以让我们得知分子膜在芯片表面的形成过程已经薄膜性质。随着技术的日新月异的发展，一种技术已经不能让我们对检测的表面有全面的了解。而多种技术的联用提供了互补的信息，让我们可以对研究的物质有更客观的了解。在本文中论述了如何在一个实验中将QCM-D技术与椭偏技术结合来检测吸附分子层的特性。

ME-L系列椭偏仪非常适用于纳米级光栅的结构周期、线宽、线高、侧壁角、粗糙度等几何形貌信息的测量与分析，并能快速一次性完成其多个重要参数测量。同时支持定制化整合于工艺流程实现实时在线监测，大幅度提升企业的整合生产效率。

通过ME/SE系列椭偏仪可以快速准确表征光伏薄膜的厚度、光学常数等；确保材料以及产品的品质。此外采用集成ME-L/SE-L在线监测装备系统PMS可快速准确完成产品的测量任务之外，可完美整合到生产工艺流程中，大幅度提高企业生产效率，带来更大企业价值。

可整面快速检测膜厚分布的新一代椭偏仪，透明基板上的极薄膜厚也可检测。

Ellipsometry is a very sensitive measurement technique that uses polarized light to characterize thin films, surfaces,and material microstructure. Usually the polarization of light changes upon reflection. These changes are measured by an ellipsometer and interpreted on the basis of model calculations.

通过颐光系列椭偏仪可以快速准确表征LED电致发光层中多层膜的膜厚和光学常数等重要参数，确保材料以及产品的品质。此外采用集成式在线监测装备系统PMS支持定制，可快速准确完成产品的测量任务之同时完美整合到生产工艺流程中，大幅度降低企业生产成本并提高生产效率，确保产品的市场竞争力，实现企业价值最大化。

本文中介绍了通过调节盐浓度对蛋白质吸水和脱水的变化，耗散值和频率值的改变来解读蛋白质结构的变化。通过结合椭偏仪，检测含水百分比也成为了可能。

采用UVISEL相调制型椭圆偏振光谱仪对TiO2 Thin Films and Multilayer Antireflective Coatings样品进行分析,研究其膜层厚度和相应光学性质。

利用椭偏实时动态监测了石墨烯的生长，同时还在线研究了清洁，煺火对催化剂进行控制和优化。动态椭偏监测突出了石墨烯形成的机理。此方法有助于实现石墨烯可重复，可控制生长工艺过程，甚至可用于工业中高质量石墨烯生产。

使用吸附剂辅助电子制冷的在线热脱附，对环境空气样品进行在线采样、除水、浓缩，在成熟的热脱附二级解析技术基础上，建立了中心切割双柱气相色谱-质谱/氢火焰离子化检测器（GC-MS/FID）以及气相色谱-双氢火焰离子化检测器（GC-FID/FID）测定环境空气中57种臭氧前体有机物的方法。研究了在线热脱附除水器的温度对高沸点组分响应值的影响，优化了质谱仪的扫描范围以及中心切割的压力和时间。在优化的仪器参数下，考察了做完高浓度样品后系统的残留、长时间采样对组分峰形的影响以及方法的线性范围、准确度和精密度。结果表明，57种臭氧前体物浓度范围在6.25nmol/mol～37.5nmol/mol范围内线性关系良好，线性相关系数都在0.995以上；对37.5nmol/mol和20nmol/mol的标准气体重复八次进样，相对标准偏差在5%以内；而且做完高浓度样品后系统基本没有残留，采样时间对峰形也基本没有影响。表明方法稳定性良好，抗干扰能力强，所需设备简单，运行维护成本低，而且在线热脱附的样品重叠处理功能和双柱中心切割技术可以保证采样时间为40min时采集、浓缩、分析一个样品的时间在1小时以内，能很好地监测环境空气中57种臭氧前体有机物。

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使用吸附剂辅助电子制冷的在线热脱附，对环境空气样品进行在线采样、除水、浓缩，在成熟的热脱附二级解析技术基础上，建立了中心切割双柱气相色谱-质谱/氢火焰离子化检测器（GC-MS/FID）以及气相色谱-双氢火焰离子化检测器（GC-FID/FID）测定环境空气中57种臭氧前体有机物的方法。研究了在线热脱附除水温度对高沸点组分响应值的影响，优化了质谱仪的扫描范围以及中心切割的压力和时间。在优化的仪器参数下，考察了做完高浓度样品后系统的残留、长时间采样对组分峰形的影响以及方法的线性范围、准确度和精密度。结果表明，57种臭氧前体物浓度范围在6.25nmol/mol～37.5nmol/mol范围内线性关系良好，线性相关系数都在0.995以上；对37.5nmol/mol和20nmol/mol的标准气体重复八次进样，相对标准偏差在5%以内；而且做完高浓度样品后系统基本没有残留，采样时间对峰形也基本没有影响。表明方法稳定性良好，抗干扰能力强，所需设备简单，运行维护成本低，而且在线热脱附的样品重叠处理功能和双柱中心切割技术可以保证采样时间为40min时采集、浓缩、分析一个样品的时间在1小时以内，能很好地监测环境空气中57种臭氧前体有机物。

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使用吸附剂辅助电子制冷的在线热脱附，对环境空气样品进行在线采样、除水、浓缩，在成熟的热脱附二级解析技术基础上，建立了中心切割双柱气相色谱-质谱/氢火焰离子化检测器（GC-MS/FID）以及气相色谱-双氢火焰离子化检测器（GC-FID/FID）测定环境空气中57种臭氧前体有机物的方法。研究了在线热脱附除水温度对高沸点组分响应值的影响，优化了质谱仪的扫描范围以及中心切割的压力和时间。在优化的仪器参数下，考察了做完高浓度样品后系统的残留、长时间采样对组分峰形的影响以及方法的线性范围、准确度和精密度。结果表明，57种臭氧前体物浓度范围在6.25nmol/mol～37.5nmol/mol范围内线性关系良好，线性相关系数都在0.995以上；对37.5nmol/mol和20nmol/mol的标准气体重复八次进样，相对标准偏差在5%以内；而且做完高浓度样品后系统基本没有残留，采样时间对峰形也基本没有影响。表明方法稳定性良好，抗干扰能力强，所需设备简单，运行维护成本低，而且在线热脱附的样品重叠处理功能和双柱中心切割技术可以保证采样时间为40min时采集、浓缩、分析一个样品的时间在1小时以内，能很好地监测环境空气中57种臭氧前体有机物。