光栅投影三量仪

影像测量仪也叫二次元，适用于以二坐标测量为目的的一切领域。以二维平面测量为主，也能作简单三维辅助测量，升级产业为2.5次元。影像测量仪利用光学非接触式测量是小、薄、软、零部件的Z好的测量解决方案，是计量检测不可缺少的精密型实验设备之一。那么轮廓投影仪和影像测量仪的主要区别在于哪些地方？接下来妙机小编和大家简单讲解一下：　　1、工作原理不同　　影像测量仪是通过CCD获取数位图像，利用计算机软件运算，以满足复杂测量需要的精密仪器。　　投影仪是利用光学投影的原理，将被测工作的轮廓或表面投影到观察幕(投影屏)上，作测量的一种测量仪器。　　2、机台结构不同　　影像测量仪：花岗岩石（硬度高，稳定性强，保证精度）　　轮廓投影仪：钣金（受环境影响较大，易生锈等，影响精度）　　3、镜头　　影像测量仪：镜头，连续变倍镜头（20X-120X）　　投影仪：标配单一变倍物镜（固定倍率）　　4、光源　　影像测量仪：LED（冷光源）　　轮廓投影仪：卤素光（热光源，热澎胀原理对机台精度产生影响　　5、显示　　影像测量仪：工件的彩色影像　　轮廓投影仪：工件的单色轮廓　　6、测量　　影像测量仪：十字线产生器，自动寻边　　轮廓投影仪：十字线肉眼观察取点　　以上就是我们影像测量仪厂家的内容介绍了，相信大家对此会有更深入的了解了，如有朋友需要购买的或者想了解更多关于这方面的知识，可以随时联系妙机科技咨询或者关注妙机科技了解更多。广东妙机精密科技股份有限公司（以下简称妙机科技）致力于为高科技领域提供完整的微米、奈米测量解决方案。妙机科技拥有完全自主品牌体系，从研发、生产、销售等关键环节，提供上、中、下游完整的产品供应及售后服务。

美国施泰力VB400立式投影仪，使用方便，效率高是一种常用的光学测量仪器。广泛用于航空、航天、 机械制造、电子行业、仪器仪表行业、科研院所、计量部门。美国施泰力VB400立式投影仪采用0.0005mm 分辨率的德国Heidenhain（海德汉）光栅尺，美国Metronics 公司的控制系统，性能经久耐用。特点： ? 全金属结构 ? 16" (400mm) 显示屏 ? 装有黄／绿滤光镜的准直式聚光镜系统, 可安装更多附件 ? X 轴和Y 轴均配备线性编码器 ( 光栅尺) ? LED 轮廓和表面照明 ? 通过Q 轴读数实现精确角度测量 ( 分辨率1' ) 的数字投影仪 ? 可安装Metlogix M1 平板电脑、M2 个人电脑触摸屏测 量软件Quadra-Chek 读数系统 ? 各轴上均有微调装置 ? X 轴上配有快速移动的机械装置技术参数： 1：工作台台面为400×225mm, 行程200×100mm, 最大工件承载能力为10公斤，在各轴上均有微无反冲力， 在X轴上配 有快速移动的机械装置。有标准工作台和重载工作台可选 2：可选马达控制或CNC控制工作台 3：轮廓照明配置：冷却风扇,可选择的强/弱照明，黄/绿滤光镜头 4：表面照明配置：双臂光纤照明 5：测量系统配置：0.0001mm分辨率的德国Heidenhain光栅尺 6：控制系统配置： Quadra-chek QC221. 供应商：美国Metronics公司，世界最大的控制器供应商。其控制器 广泛为世界各国测量设备生产商所采用。可配备自动寻边器， 可用于自动采点。＊有中文操作界面可选。 7：镜头供应商：SILL OPTICALS，德国 8：镜头放大倍率误差：轮廓放大倍率：0.05%, 表面放大倍率：0.08%，为同行最高 9：测量精度：2.5+L/100um 10:镜头的可选范围：×10,×20,×25,×31.25,×50,×100 11:电源配置：110/120/230/240/250V.AC 50/60Hz 5A

• ?306mm屏幕能使正像更加清晰可见。• 使用具有等焦3-镜头卡扣式旋转盘。• 使用升降立柱机械结构。• XY手柄内的快速释放控制能使工作台进给在粗调和微调之间切换。• 所有型号均为带光栅尺的高精度工作台。• 所有尺寸工作台在X和Y轴方向均可实现(3+0.02L)μm的高测量精度。• 高精度寻边器(OPTOEYE)的型号。• 测量范围(300×170mm)，为同类产品中最大。投影屏幕型号PJ-H30A1010BDCPJ-H30A2010BDCPJ-H30A2017BDCPJ-H30A3017BDC货号303-712-1DC*1303-713-1DC*1303-714-1DC*' 303-715-1DC*1投影屏幕，OPTOEYE型号PJ-H30D1010BDCPJ-H30D2010BDCPJ-H30D2017BD

光学三丰全自动影像测量仪QV302QUICK VISION图像测量系统的特点 Quick Vision系列产品可成为您测量系统的理想选择.它用途广乏,不仅能够实现完美的视像测量,还能够进行特定激光高度和形状测量以及接触式触发测头立体工件测量. l快速！清晰！简捷！ 快速聚焦，快速成像取得了快速测量的效果。简单的鼠标器操作，快速图像测量机可以精确地测量您的各种物体而无需接触。 l无接触测量的成像操作 清楚的成像阅读是通向精确测量的必由之路。QUICK VISION运用了拥有380,000个绘画素的高分辨力的CCD黑白摄像机。这样不仅增强了图像阅读的精确性，而且还可以对非常不鲜明的或非常小而且复杂的物体如IC前端构造那样的无法由常规的接触式的测量仪器进行测量的部件进行无接触式的图像测量。 l高精度和高速度测量 X/Y测量范围:400*400mm Z测量范围: 200mm 测量精度: (Apex) E1xy=(3.0+3L/1000)um E2xy=(4+4L/1000)um l 高精度，高分辨率光栅尺 三丰QUICK VISION图像测量系统采用高分辨率，高精度，低膨胀玻璃光栅尺作为各轴的基准，由三丰的Kiyohara ManufacturingDepartment地下实验室制造。 l多点自动聚焦功能 QUICK VISION系列采用多点聚焦系统，可自动根据测量点选择焦点。 此系列产品采用了3种类型的具有高重复精度和快速处理激光聚焦功能(选购件)的视像聚焦系统，实现了高精度非接触高度测量。 1．表面聚焦 视像聚焦系统可用于测量各种区域尺寸的高度，其优点在于，在塑料模具表面或加工表面上聚焦时不受表面粗糙度影响。 2．边缘聚焦 视像(边缘聚焦)系统确保能够在边缘位置聚焦。 3．式样聚焦 进行式样投影的式样聚焦系统即使在对比度很低的透明物体或镜面上也能实现清晰聚焦，可有效测量印刷电路板防护层或聚酰亚胺表面的厚度。3．激光自动聚焦（选购件）聚焦速度可达20mm/秒，最适于进行快速厚度测量。此系统可通过连接端口高度 等多点测量有效提高测量效率。 l要素间演算 2点间距离，2圆间距离，点一线距离，圆一点距离，2线的交点，圆一圆交点，圆一线交点，2线的交角，面一线交角，面一面交角，中点，中线演算等。 l座标系设定 原点，轴补正，轴交换，面补正，座标系设定等。 l几何偏差计算 真元度，真直度，平面度，平行度，直角度，倾斜度 l设计值照合机能 公差照合，位置度公差，实体公差，最小实体公差等。 l单击式工具排列 单击鼠标可自动设置工具的尺寸、方向和阈值。 l清除异常点 清除灰尘、毛刺、裂纹等异常点。可任意设置清除标准。 l将图像保存在文件 可将视像保存为TIFF格式文件。 并且能够调出和重新测量所保存的图像。

皓天HT-CNC1010影像测试量 投影仪一、设备基本参数l 型号：HT-CNC1010l 运动行程（X、Y、Z轴mm）：100×100×75l 工作台呎寸(W×Dmm)： 232×232 l 玻璃台呎寸(W×Dmm)： ￠110l 外形尺寸（W×L×Dmm）： 300×450×650l 工作距离：90mm皓天HT-CNC1010影像测试量 投影仪l 仪器材质： 高精度花岗石基座+航空铝工作台l CCD摄影机：日本索尼蕊片高清晰彩色CCD摄像机l 变焦物镜： 0.7X～4.5X可连续变倍之高精密结构光学物镜l 视频总倍率：0.5X镜筒标配（20X～115X） 1X镜筒（30X～225X） (可根据客户要求选配)l 物方视场： 10.6～1.6mm l 数显分辨率：0.001mml X、Y坐标测量示值误差≤（3+L/200）μm ， L为被测长度(单位：mm)l 操作方式：手动移动平台+旋转台结构+皓天HT-CNC1010影像测试量 投影仪二、产品特点l 仪器采用日本索尼蕊片高清晰彩色CCD摄像机及连续变焦物镜作为测量瞄准系统；l 由二坐标工作台、电子光栅尺与数据处理器组成数字符测量及数据处理系统；l 采用花岗石基座+航空铝工作台，外观简洁大方；l 表面光由环形LED光源组成，每一组均为恒流电源驱动，连续可调；l 仪器具有多种数据处理、显示、输入、输出功能,使测量与办公完全结合在一起；仪器配合电脑使用,与计算机连接后,采用2D影像测量仪专用软件测绘图形进行处理及输出

SJ5100中图光栅测长机高精度长度参数测量仪是一种常用于工业制造业的精密测量设备，可以用于测量物体长度、角度和位置等参数。SJ5100中图光栅测长机高精度长度参数测量仪采用进口高精度光栅测量系统、高精密研磨直线导轨、高精度温度补偿系统、双向恒测力系统、高性能计算机控制系统技术，通过高精密研磨导轨保证测量头座移动的高稳定性及超高直线度，采用进口高精度光栅测量系统记录长度方向坐标，由计算机将光栅数据与测力装置、温度传感器的反馈数据及阿贝误差数据修正后进行数据合成（由于导轨较高的直线度，因此阿贝修正造成的仪器误差小）。按被测件参数的相关定义及公式进行分析，计算获得相关长度参数。应用领域SJ5100中图光栅测长机高精度长度参数测量仪具有精度高、操作便携、稳定性强、功能齐全实用等优点，能够测量及检定精密量具、精密量规，如块规、环塞规、卡规、螺纹规、花键规、表类、尺类。还可以检测各种精密工件内外尺寸，如齿轮、花键、校对棒、非标量规等，具有通用性强的特点。仪器主要功能1、标配功能：检测量块&块规：（0.1~300mm）；光滑环规：φ5~φ200mm（壁厚≤50 mm，高度≤50mm）、光滑塞规：φ1~φ220mm；螺纹环规：M5~M200（螺距0.8~4mm）螺纹塞规：M1~M220（螺距0.25~5.5mm）；光滑卡规：内卡5~200mm，外卡1~300mm千分尺校对杆：25~300mm；塞尺：0.02~1mm针规：φ0.1~φ10mm三针：0.118~6.585mm；两点内径千分尺：25~300mm；2、可选配功能：小型光滑环规：φ0.8~φ5mm；螺纹环规：规格M3~M4（螺距0.5~0.7mm）；光滑锥度环规：φ5~φ200mm（厚度≤50mm）；光滑锥度塞规：φ5~φ60mm（长度10~100mm）；φ60~φ200mm（长度≤50mm）；螺纹锥度环规：M5~M200mm（厚度≤50mm）；螺纹锥度塞规：M5~M60mm（长度10~100mm）；M60~M200mm（长度≤50mm）；锯齿螺纹、梯形螺纹：M3~M400（螺距0.5~6mm）；花键环塞规/花键及标准齿轮（跨棒距测量）：内φ10~φ200mm，外φ5~φ200mm，模数0.8~6mm；外径千分尺示值误差手动校准：25~300mm；数显及游标卡尺示值误差手动校准：75~300mm；深度千分尺示值误差手动校准：0~25、25~50、50~75mm；三爪内径千分尺手动校准：φ6~φ200mm；表类（百分表、千分表、杠杆表手动校准）；数显半径规手动校准：R5~R700mm；轴承内外圈锥度、沟槽底径内外径及沟槽宽度、精密零部件的长度尺寸，内外径尺寸测量；SJ5100测长机高精度光栅测量系统，分辨力达到0.01μm，测量精度高配置高性能环规内测装置，可测量小M3螺纹环规（根据选配测针），同时可完成小（φ0.8mm）光滑环规检测（选配测针）；测量力为电子测力0.05N、0.1N、0.3N、0.5N，由软件选择测力大小（可根据客户需求定更小测力）。智能化管理与检测软件系统1)仪器操作界面友好，操作者很容易基本掌握仪器操作，使用十分简便；2)十多年积累的实用软件设计经验，向客户提供简洁、实用、便捷的操作体验；3)集成众多长度标准、规程，功能强大、自动处理数据、打印各种格式的检测报告，自动显示、打印、保存、查询检测记录；4)测量范围广，可满足绝大多数类型的量规、量块等长度参数测量；5)软件配备快速找拐点指示功能，方便客户快速便携地找到被测件的拐点；6)纯中文操作软件系统，更好的为国内用户服务；7)打印格式正规、美观。检定数据可存档，或集中打印，不占用检测操作时间；8)本仪器采用计算机大容量数据库储存，可自动记录保存所有检测结果。方便快捷的仪器操作体验1)测帽无需调节，高精度测帽加工保障测量精度，直接安装即可使用；2)螺纹塞规测量三针带支板，配合仪器测帽可快速的进行螺纹塞规的中径测量；3)支持客户使用模糊搜索量规标准，并支持用户特殊规格量规自动计算公差带。应用领域主要技术指标型号SJ5100-Prec300（精密测量型）测量范围外尺寸直接测量：0~340mm内尺寸比较测量：5~200mm（配置比较测量环规）外尺寸示值误差≤±（0.2+L/1000）μm，其中：L为被测长度，单位：mm内尺寸重复性(2S或2δ)≤0.1μm内尺寸重复性(2S或2δ)≤0.2μm（使用测钩）≤0.3μm（使用内测装置）测力内测装置传感器测力0.05N、0.1N、0.3N、0.5N、主测力1~10N手动连续可调测量直径环规200mm（标配） 、塞规250mm（标配）仪器尺寸1400*400*450mm仪器重量150kg五轴工作台型号ST-30.1(标配)Z轴0~50mmY轴±25mmX轴浮动±10mmZ轴旋转±3°Y轴摆动±3°负载50kg台面尺寸350*25mm环境条件参考校准/使用环境温湿度：温度：20±2℃，波动不超过0.5℃/小时相对湿度：10~70%。振动：按照三坐标振动要求标准，振动速度均方根≤5um/s，振动频率8~100Hz；校准室内应无影响测量的灰尘、震动、噪音、气流、腐蚀性气体和较强磁场。恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

中图仪器SJ5100国产光栅长度尺寸测量仪采用高精度光栅式大量程接触式测量方式，常用于工业制造业中测量各种物体长度、角度和位置等参数。产品描述SJ5100国产光栅长度尺寸测量仪采用进口高精度光栅测量系统、高精密研磨直线导轨、高精度温度补偿系统、双向恒测力系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种长度参数的高精度测量。通过高精密研磨导轨保证测量头座移动的高稳定性及超高直线度，采用进口高精度光栅测量系统记录长度方向坐标，由计算机将光栅数据与测力装置、温度传感器的反馈数据及阿贝误差数据修正后进行数据合成（由于导轨较高的直线度，因此阿贝修正造成的仪器误差小）。按被测件参数的相关定义及公式进行分析，计算获得相关长度参数。仪器主要功能1、标配功能：检测量块&块规：（0.1~300mm）；光滑环规：φ5~φ200mm（壁厚≤50 mm，高度≤50mm）、光滑塞规：φ1~φ220mm；螺纹环规：M5~M200（螺距0.8~4mm）螺纹塞规：M1~M220（螺距0.25~5.5mm）；光滑卡规：内卡5~200mm，外卡1~300mm千分尺校对杆：25~300mm；塞尺：0.02~1mm针规：φ0.1~φ10mm三针：0.118~6.585mm；两点内径千分尺：25~300mm；2、可选配功能：小型光滑环规：φ0.8~φ5mm；螺纹环规：规格M3~M4（螺距0.5~0.7mm）；光滑锥度环规：φ5~φ200mm（厚度≤50mm）；光滑锥度塞规：φ5~φ60mm（长度10~100mm）；φ60~φ200mm（长度≤50mm）；螺纹锥度环规：M5~M200mm（厚度≤50mm）；螺纹锥度塞规：M5~M60mm（长度10~100mm）；M60~M200mm（长度≤50mm）；锯齿螺纹、梯形螺纹：M3~M400（螺距0.5~6mm）；花键环塞规/花键及标准齿轮（跨棒距测量）：内φ10~φ200mm，外φ5~φ200mm，模数0.8~6mm；外径千分尺示值误差手动校准：25~300mm；数显及游标卡尺示值误差手动校准：75~300mm；深度千分尺示值误差手动校准：0~25、25~50、50~75mm；三爪内径千分尺手动校准：φ6~φ200mm；表类（百分表、千分表、杠杆表手动校准）；数显半径规手动校准：R5~R700mm；轴承内外圈锥度、沟槽底径内外径及沟槽宽度、精密零部件的长度尺寸，内外径尺寸测量；产品应用SJ5100国产光栅长度尺寸测量仪具有精度高、操作便携、稳定性强、功能齐全实用等优点，能够测量及检定精密量具、精密量规，如块规、环塞规、卡规、螺纹规、花键规、表类、尺类。还可以检测各种精密工件内外尺寸，如齿轮、花键、校对棒、非标量规等，具有通用性强的特点。性能特点1. 全程直接测量：SJ5100系列高精度光栅测长机采用进口高精度长玻璃光栅尺作为长度方向定位，可进行高精度全行程直接测量。2. 高精度、高稳定性：1)高精度光栅测量系统，分辨力达到0.01μm，测量精度高；2)精密研磨导轨系统导轨直线度高，材料耐磨性好、保证系统高精度稳定可靠的工作；3)进口特殊材料制作的高刚性、无变形测杆，保证测试数据的高精度真实采集；4)采用大理石基座，通过有限元分析优化仪器基座结构保障几十年稳定不变形，高刚性大理石底座结构保证了仪器在头座及工作台在测量移动过程中几乎不产生变形，仪器受外界震动干扰小，保证仪器的长期稳定可靠性；5)采用紧凑型摩擦驱动结构，移动摩擦驱动力小，保证了头座移动过程中的稳定性。3. 双向恒测力：1) 特殊传感器双向恒测力系统，减小了测力对测量结果的影响，保证了高的系统测量精度；2) 测力较大范围的连续可调；3) 非砝码加载，测力传感器原理避免了仪器台面不水平及周围环境振动带来的测力误差。4. 智能化管理与检测软件系统：1)仪器操作界面友好，操作者很容易基本掌握仪器操作，使用十分简便；2)十多年积累的实用软件设计经验，向客户提供简洁、实用、便捷的操作体验；3)集成众多长度标准、规程，功能强大、自动处理数据、打印各种格式的检测报告，自动显示、打印、保存、查询检测记录；4)测量范围广，可满足绝大多数类型的量规、量块等长度参数测量；5)软件配备快速找拐点指示功能，方便客户快速便携地找到被测件的拐点；6)纯中文操作软件系统，更好的为国内用户服务；7)打印格式正规、美观。检定数据可存档，或集中打印，不占用检测操作时间；8)本仪器采用计算机大容量数据库储存，可自动记录保存所有检测结果。5. 方便快捷的仪器操作体验：1)测帽无需调节，高精度测帽加工保障测量精度，直接安装即可使用；2)螺纹塞规测量三针带支板，配合仪器测帽可快速的进行螺纹塞规的中径测量；3)支持客户使用模糊搜索量规标准，并支持用户特殊规格量规自动计算公差带。6. 高性能五轴工作台：1)X，Y，Z三轴采用高性能交叉滚子导轨：摩擦力小，稳定性好，承载高；2)Y轴平移、倾斜、水平旋转设计了高调节细度的结构，方便客户更好地找到三个轴的拐点；3)Z轴及Y轴可配置数显表，可将数据传输到电脑，可用于锥度量规测量及螺纹螺距观察。7. 高性能内尺寸测量装置：配置高性能环规内测装置，可测量小M3螺纹环规（根据选配测针），同时可完成小（φ0.8mm）光滑环规检测（选配测针）；测量力为电子测力0.05N、0.1N、0.3N、0.5N，由软件选择测力大小（可根据客户需求定制更小测力）。部分技术规格型号SJ5100-Prec300（精密测量型）测量范围外尺寸直接测量：0~340mm内尺寸比较测量：5~200mm（配置比较测量环规）外尺寸示值误差≤±（0.2+L/1000）μm，其中：L为被测长度，单位：mm内尺寸重复性(2S或2δ)≤0.1μm内尺寸重复性(2S或2δ)≤0.2μm（使用测钩）≤0.3μm（使用内测装置）分辨力0.01μm（可选0.1μm、1μm）测力内测装置传感器测力0.05N、0.1N、0.3N、0.5N、主测力1~10N手动连续可调测量直径环规200mm（标配） 、塞规250mm（标配）仪器尺寸1400*400*450mm仪器重量150kg五轴工作台型号ST-30.1(标配)Z轴0~50mmY轴±25mX轴浮动±10mmZ轴旋转±3°Y轴摆动±3°负载50kg台面尺寸350*25mm恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解.

特点高精度物镜转盘，更换物镜方便，定位准确。工作台运动范围大，载重能力强，适合大零件尺寸的测量。工作台能偏摆±15°，便于测量带螺旋角之类零件。进口传感器光栅显示技术和数据处理系统，效率高，误差小。方工作台、圆工作台等丰富的辅助测量附件，更好的完成不同零件的检测需要。特殊反光镜镀膜技术，具备良好防尘效果以及方便清洗。单反光镜光路设计，传输能量损失少，投影屏照射更均匀。JT35A带数显箱，能方便的进行数字显示，具有数据处理功能。JT35B配计算机及二坐标测量软件，手持操纵控制盒，可实现电动控制测量。JT35E采用进口金属光栅，带CNC自动控制，可实现全自动控制测量和数据处理。 技术参数投影屏投影屏尺寸: φ1500mm投影屏旋转范围: 0°～360°旋转角度显示当量: 1°旋转角度准确度:1′ 工作台台面尺寸（mm）800×230测量范围（mm）400×250调焦范围（mm）0～150分辨力（mm）0.001垂直方工作台通光尺寸（mm）560×255垂直圆工作台通光尺寸（mm）φ330工作台偏摆角度±15°仪器准确度4+L/50μm（其中L为测量长度，单位：mm）工作台承重（kg）100 物镜：物镜放大倍率:10×20×50×物镜物方视场（mm）φ150φ75φ30物镜工作距离（mm）330225143 物镜光轴离台面最大距离：255mm离台面最小距离：55mm 顶针架最大夹持直径：φ400mm 最大夹持长度：450 mm 照明光源： 透射照明卤钨灯：24V250W反射照明卤钨灯：24V150W额定电压AC 220V,50Hz 环境要求室温20℃±3℃，相对湿度40%－70％RH仪器外形参考尺寸（mm）：长4009×宽2905×高2418仪器质量：6000kg

1、产品简介 荷兰TeraNova公司的光栅CD尺寸无损检测仪是一款针对工业客户的大范围、快速、无损光栅关键尺寸检测设备。该设备利用光的散射原理，可以无损、快速检测被测光栅的周期（pitch）、线高（Height）、占空比（DC）、侧壁角（Side-wall Angle）、残余层厚度（RLT）、折射率（Diffractive index）等尺寸参数。特别适合AR/VR光学镜头表面光栅图形的无损检测。可以解决传统采用电镜只能进行切割、局部检测、破坏性检测的缺点。2、检测原理 光源的入射光线在物镜（Objective lens）的后焦平面（Back-focal plane）聚焦，通过物镜后产生准直平行光（Collimated light）照射样品表面。通过调整入射光线在后焦平面的聚焦位置（Δ）来调整准直平行光照射样品表面的角度。照射样品表面的准直平行光发生衍射，形成不同光强的衍射级（Diffracted orders），收集不同入射角度（Incidence angle）对应产生的不同衍射级信号，与数据库信息进行拟合，就可以对被测样品进行评估并得到被测样品的几何参数信息。3、主要技术参数: 关键尺寸灵敏度：＜2nm； 空间分辨率：50μm； 每个点扫描时间：15s-30s； 照射角度范围：-40°～40°； 仪器尺寸（高度*长度*宽度）：1.8m*0.9m*0.5m； 最小晶圆厚度：0.3mm； 晶圆尺寸（直径）：最大300mm（12寸； 基底兼容性：透明或不透明； 晶圆装载方式：手动或自动；4、与扫描电镜（SEM）检测方法对比 待测样品由荷兰SCIL公司的AutoSCIL型纳米压印机加工，使用荷兰SCIL公司的NanoGlass无机光刻胶，光栅周期（Pitch）约为380nm，残余层厚度（RLT）约为47nm，线高（Height）约为102nm。通过将检测值与数据库信息拟合，得到样品几何参数。 测试结果对比：检测方法CD尺寸参数周期（Pitch）线高（Height）残余层厚度（RLT）占空比（DC） TeraNova光栅关键尺寸测量仪385nm102nm47nm42.5%SEM382nm97nm42nm43% 结论：通过两种不同检测方法测得的样品CD尺寸参数的对比可以看出，采用TeraNova光栅尺寸无损检测仪测得的数据与SEM无明显差异，但由于TeraNova光栅尺寸无损检测仪具有大范围、快速、无损检测的特点，使其更适合应用于工业领域。5、应用案例-光栅关键尺寸（CD尺寸）空间点阵扫描样品尺寸：25mm * 25mm光栅周期（Pitch）：380nm线高（Height）：96nm光栅制备方法：基底保形纳米压印（SCIL）1） 光学显微镜和电子显微镜下的被测样品2） 同一测量点，入射光TE方向偏振和TM方向偏振的入射角与对应光强分布的测量值与数据库拟合结果3） 光栅样品的线高和边缘角的数据及其分布情况6、应用领域：AR/VR/光栅

测量器具（也称计量器具）是测量仪器和测量工具的总称。通常把没有传动放大系统的测量工具成为量具，如游标卡尺、直角尺和量规等；把具有传动放大系统的测量器具成为量仪，如机械式比较仪、测量仪、投影仪和影像测量仪。接下来妙机小编就和大家浅谈一下量具、量仪和三次元测量仪的相关知识。　　按照结构和工作原理划分，计量器具又分为机械式、光学式、气动式、电动式、光电式计量器具。　　光电式计量器具是利用光学方法放大或瞄准，通过光电元件再转换为电量急性检测，以实现几何量测量的计量器具，如光电显微镜、光电测长仪等，三次元测量仪器也是属于这一类。　　三次元测量仪是现代光电技术发展的结晶，在量具量仪等诸多计量器具的种类之中，三次元测量仪因为自动化的坐标测量方式使得综合测量在精益制造领域得以施展。配合ＯＧＰ的SmartPorfile综合测量评价软件,更可以跨越不同量仪的测量方式的限制而达到产品尺寸的全方位评价。　　综合上三次元测量仪厂家小编给大家讲的知识，相信大家对这方面的资讯已经非常了解，如有疑惑可以关注我们妙机科技的咨询了解，我们将竭诚为您服务。妙机科技采用创新性的SIC（SysteminCase）设计理念，将全自动测量仪常用的各种电路模块整合在一个盒子里，解决了过去板卡组件的系统繁杂，接线复杂，性能低下，故障率高的问题，使得全自动测量仪功能强大，结构简洁，高效可靠，易于接线和维护，从而率先推出龙门式全自动影像测量仪、一体式影像测量仪等高端重磅级测量设备，在全国乃至全球处于领先水平。

JT12A-B￠300MM 数字测量投影仪 仪器用途JT12A-B￠300MM系列全数字式测量投影仪是光、机、电一体化的精密高效测量仪器。影像与工件完全同向，正立直观。它广泛用于机械、仪表、电子、轻工等行业；院校、研究所以及计量检定部门。本仪器能高效率地检测各种形状复杂工件的轮廓尺寸和表面形状，如样板、冲压件、凸轮、螺纹、齿轮、成型铣刀等。 仪器特点仪器光学系统质量优良，物镜成像清晰，放大倍率准确。在透射光照明下，轮廓测量误差小于0.08% 坐标测量示值误差可达（3+L/75）um L为被测长度(单位：mm)； 仪器规格参数: 金属台面尺寸(mm) 340 × 152；玻璃台面尺寸(mm) 196 × 96 X坐标行程(mm) 150； Y坐标行程(mm) 50Z坐标行程(mm)80(调焦) 投影屏旋转角度：0~360度； 旋转角度显示当量：1′或0。01度 物镜：10倍物镜（标配）； 数显箱1台；数据处理系统：多功能数据处理系统，全中文显示可做多点采样，坐标旋转，点、线、距离、角度测量。仪器照明：透射与反射照明光源均为24V ，　 150W卤素灯仪器电源：110V/ 220V(AC)， 50/60HZ， 总功率400W

• 顶部照明的落地式投影仪。• 可方便操作的屏幕(高度：960mm，与水平方向的倾斜角度：32o)更便于轻松测量和观察。• 投影屏量角器的数字显示和屏幕指标线在LED照明下显示都易于读取。• 使用5x投影镜头时，无需移动工件就能获得100mm的视野。型号PV-5110货号304-919DC*1投影图像倒立倒像有效直径0508mm屏幕材料精细磨砂玻聘屏幕旋转±360°(显示为±370°)母影辰墓角度读数数显计数器（LED）（ABS/INC模式切换,调零）投影屏幕

便携式投影型纹影仪WKGX-B【简介】： 便携式投影型纹影仪WKGX-B是利用光在被测流场中的折射率梯度正比于流场的气流密度的原理，将流场中密度梯度的变化转变为记录平面上相对光强的变化，使可压缩流场中的激波、压缩波等密度变化剧烈可用来观察透明介质因各种因素引起的扰动的分布、传播过程以及扰动强度等。 便携式投影型纹影仪WKGX-B可用来观察透明介质因各种因素引起的扰动的分布、传播过程以及扰动强度等。如研究激光与物质作用、分层流、多项流、传热与传质、激波、超声速流、燃烧、火焰、爆炸、等离子体、内弹道及某些化学反应等学科的流场密度变化科学研究。如研究激光与物质作用、分层流、多项流、传热与传质、激波、超声速流、燃烧、火焰、爆炸、等离子体、内弹道及某些化学反应等学科的流场密度变化科学研究。便携式投影型纹影仪WKGX-B【技术参数】：序号名称参数1主反射镜光学材料K9光学玻璃2应力≤23加工面型精度＜1/10λ4镀膜反射面真空镀铝，镀二氧化硅保护膜。小反射镜表面真空镀铝，镀二氧化硅保护膜5反射系数≥90%6面型精度＜1/10波长 光源亮度可调，带风冷装置，光阑旋转可调，设备底部带安装连接孔，便于安装。 该系统主要的光机部件主要可以分为：光源狭缝系统、主球面反射镜装调机构、刀口成像系统三个部分。其中，光源狭缝系统和其中一块主球面反射镜组成准直系统，刀口成像系统与其中一块主球面反射镜组成纹影观视系统，分别布局于两个平台上。 纹影法，又称纹影技术，包括黑、白纹影法，彩色纹影法和干涉纹影法，是用纹影系统进行流场显示和测量的常用的光学方法。纹影法首先由Toepler于1864年提出，并应用在光学玻璃折射率的检测中。 1952年 ，Holde和Norht在纹影系统上使用白光的分光棱镜 ，实现了彩色纹影成象，扩大了纹影技术的应用范围；1962年，Bland和pelick用纹影法研究了水的压力和温度效应后指出，纹影法实用于水洞 的流场显示；1974年 ，Merzkirch对可压缩流场中的纹影技术进行了分类，把涉及到在纹影系统上进行的干涉纹影法的研究 ，包括光栅干涉、棱镜干涉以及Moire条纹干涉等 ，均归类于纹影技术,并得到国内同行的认可。