高温纳痕测试仪

Hit 300 是一款优质且价格非常实惠的纳米硬度测试仪，专为每位用户和各种类型的环境打造。直观、自动化的 Hit 300 可让您每小时进行 600 次测量，甚至在您走开的时候。主动阻尼减震可确保在所有环境中的准确性。独特的双激光瞄准系统在对准样品时可提供小于 1 mm 的精度。设计时考虑了功能性：安装只需 15 分钟，培训到获得第一个结果只需 1 小时。市场上最简单易用的纳米压痕测试仪市场上最简单易用的纳米压痕测试仪价格不到同类仪器的一半主动减震隔离3 年质保15 分钟内准备就绪，可开始测量

高温超纳米压痕测试仪 (UNHT3 HTV)全球第一台真正意义的商品化的高温高真空超纳米压痕仪，主要测量小载荷下纳米尺度机械性能的测试系统，温度在 800 °C 以下的薄膜和涂层的硬度和弹性模量。专利 UNHT3 技术与独特的加热功能结合，可提供在任何温度下的高稳定性测量解决方案。主要特点 新一代的高温纳米压痕测试仪环境条件下最低热漂移 ( 0.5 nm/min) 和整个温度范围内最低热漂移 ( 3 nm/min)。最高载荷框架刚度 (106 N/m) 和最低框架柔度 (0.1 nm/mN)：两套独立的位移和载荷传感器与高精度电容传感器结合，可选择“控制位移”和“载荷控制”模式。高真空系统具有 5 轴磁悬浮涡轮泵和缓冲系统，允许在测量期间关闭初级泵，使振动降至最低。独特的加热控制系统（3 项专利待批），采用3 个红外 (IR) 加热器分别用于给压痕针尖、参比针尖和样品进行加热，以及 4 个热电偶用于将样品表面温度控制到 变化在0.1°C 内。符合 ISO 14577 和 ASTM E2546 国际标准技术指标载荷最大载荷100 mN载荷分辨率 6 nN本底噪音 0.5 [rms] [μN]*位移最大位移100 μm位移分辨率0.006 nm本底噪音0.15 [rms] [nm]*极限真空度10? mBar最高温度800 °C

市场上最精确的纳米划痕测试仪主要特点施加较小的载荷时具有极快的响应时间纳米划痕测试仪带有载荷传感器，采用双悬臂梁用于施加载荷，以及压电式驱动器用于对施加的载荷快速响应。这一设计理念还修正了在划痕过程中发生的任何事件（例如出现裂纹和故障、缺陷或样品不平整）而导致的测量结果偏差。适用于弹性恢复研究的专利真实划痕位移测量在划痕之前、过程和之后，位移传感器 (Dz) 一直记录样品的表面的轮廓。这让您可以在划痕过程中或之后评估针尖的位移量，从而可以评估材料的弹性、塑性和粘弹性能（专利：US 6520004)不打折扣：施加任何微牛级的载荷闭环主动力反馈系统可在 1 μN 以下进行更精确的纳米划痕测试。纳米划痕测试仪包含一个 传感器测量载荷，可以直接反馈给法向载荷驱动器。这确保施加的载荷就是用户设置的载荷。高质量光学成像带“跟踪聚焦”功能集成显微镜包括配置高质量物镜的转塔和 USB 照相机。划痕成像时，能轻松将放大倍数从 x200 转换为 x4000，实现在低放大倍数和高放大倍数自由切换从而更好地对样品进行评估。“跟踪聚焦”功能可以进行将多个划痕的 Z 样品台自动聚焦到正确位置。划痕后可用多次后扫描模式评估弹性性能划痕后，您可以在软件中用时间增量定义无限次后扫描测量残余位移。这种全新的分析方法将让您进一步了解表面变形性能与时间的依赖关系。技术指标施加的载荷分辨率0.01 μN最大载荷1000 mN本底噪音0.1 [rms] [μN]*摩擦力分辨率0.3 μN最大摩擦力1000 mN位移分辨率0.3 nm最大位移600 μm本底噪音1.5 [rms] [nm]*速度速度从 0.4 mm/min 到 600 mm/min*理想实验室条件下规定的本底噪音值，并使用减震台。

市场功能上最多且简单易用的纳米压痕测试仪NHT3 /UNHT3专为纳米级位移测量提供小载荷，可用于测试硬度、弹性模量和蠕变等。其范围涵盖小载荷 (0.1 mN) 至大载荷 (500 mN)，可在载荷范围内提供最大的通用性。由于独特的表面参比技术，无需等待其达到热稳定状态，立即完成压痕测试。全新“快速点阵”压痕模式可以进行一系列快速的测量（每小时测试量高达 600 个压痕）。主要特点最简单易用的纳米压痕测试仪最直观易用的软件：用简单的参数（最大载荷）、统计数据分析和保存的测试方案模板轻松开始测试适用于表面的不同放大倍数的多物镜视频显微镜最坚固耐用的纳米压痕测试仪：参比环保护压痕针尖不受碰撞“快速点阵”压痕模式带“模板”快速且符合要求：按照仪器化压入测试 (IIT) 的 ISO14577 标准要求，“快速点阵”压痕模式每小时测试压痕数目高达 600个全新“模板”模式让您可以用导出的数据创建一个自定义模板，从而更灵活快速的分析数据多样品台夹具用于自动测试，6 样品夹具最多可固定 6 个样品，自定义样品夹具可固定更多样品采用独特的表面参比设计，保证高精度的位移测量表面参比为材料压入位移提供恒定参考（相对于样品表面）高框架刚度 (107 N/m) 为纳米压痕测量提供高准确度和精确度测量的高稳定性采用表面参比技术来实现纳米压痕测量中的高热稳定性（原始热漂移率 0.05 nm/s）框架使用定制的人造花岗岩以提高稳定性采用低热膨胀系数 (10-6/°C) Macor材料的独特设计确保高热稳定性可用于多种分析模式的多种测试模式多种测试模式：正弦模式、连续周期 (CMC)、恒定应变速率、用户自定义、高级点阵和多样品方案、载荷和位移控制模式各种机械性能的多种分析模式：硬度 (HIT、HV、HM)、弹性模量、储能和损耗模量、蠕变、应力 - 应变曲线使用标准压痕针尖可在液体中进行测量技术指标载荷最大载荷100/500 mN分辨率0.003/0.02 μN载荷本底噪音0.05 [rms] [μN]*位移最大位移100/200 μm分辨率0.03/0.01 nm深度本底噪音0.03[rms] [nN]*载荷框架刚度 107 N/m国际标准ISO 14577, ASTM E2546

超高精度、高稳定纳米压痕测试仪UNHT3 高精度超纳米压痕测试仪采用真实力传感器，可用于测量材料在纳米尺度的机械性能。UNHT3 采用独特的主动表面参比专利技术，几乎消除了热漂移和框架刚度的影响。因此，非常适用于所有类型的材料（包括聚合物、纳米涂层和软组织）的长时间测量。主要特点用于低载荷测量的最佳的计量型纳米压痕测试仪表面参比系统上的真实力传感器确保可直接测量微牛级的力主动表面参比技术：独特的专利设计（欧洲专利 1828744 和美国专利 7,685,868）从低压入位移（几纳米）到高压入位移（高达 100 μm）从低载荷 (10 μN) 到高载荷（高达 100 mN）市场上稳定性最高的纳米压痕测试仪长期蠕变测试不需要进行热漂移修正未修正的热漂移低至 10 fm/sec，消除了热漂移影响即使在高载荷下也保持高框架刚度 (108 N/m)独特的无热膨胀 Macor 材料载荷和位移的全部反馈控制系统“快速点阵”压痕模式带“模板”模式采用“快速点阵”压痕模式的快速测量点阵：每小时测量高达 600 次，符合 ISO14577 仪器化压入测试 (IIT) 要求全新“模板”模式让您可以用导出的数据创建一个自定义模板，从而更灵活快速分析数据多样品夹具用于 6 个或更多样品连夜进行一系列测试高精度的纳米压痕测试仪用于进行准确的表面检测高质量载荷-位移曲线，载荷 0.1 mN超灵敏表面探测包含刚度探测测量凝胶和硬质材料载荷分辨率为 0.003 μN位移率分辨为 0.003 nm可用于多种分析模式的多种测试模式多种测试模式：连续多周期 (CMC)、恒定应变速率、用户自定义、高级点阵动态力学分析 (DMA) 模式包含“正弦”模式各种机械性能的不同分析：硬度、弹性模量、储能和损耗模量、蠕变、应力 - 应变、赫兹应力分析环境控制：真空、液体、温度和相对湿度技术指标载荷最大载荷100 mN分辨率3nN位移最大位移100 μm分辨率最小至 0.006 nm载荷框架刚度 107 N/m国际标准ISO 14577, ASTM E2546

用于软性与生物材料的纳米压痕仪安东帕 生物压痕测试仪TM 属于纳米压痕仪，非常适用于表征人体组织和软材料的机械性能。该仪器专为研究软生物材料（如软组织）而设计。依靠生物压痕仪无与伦比的载荷与位移范围和出色的分辨率，可以最为灵敏地表征软骨、生物组织、支架、水凝胶或眼部组织的弹性模量、蠕变及其他特性。仪器特点安东帕生物压痕测试仪™ ：专为研究而设计借助安东帕 生物压痕测试仪TM，可以研究得出极软生物材料机械性能。更好地了解人体，以提高诊断水平、开发新药品和进行组织工程等等时，这个尤其重要。针对这些方面，生物压痕测试仪配备用于测试生物材料的特殊功能，例如能够执行受控的载荷与位移测量。另外，生物压痕测试仪通过检测接触刚度的变化来提供判定接触点，并提供专为生物材料而调整的测量模式。压痕程序：针对测量进行了优化安东帕 生物压痕测试仪TM 提供了多种压痕测试模式选择，包括标准、高级和循环模式。支持使用简单矩阵、高级矩阵和可视矩阵等各种矩阵进行统计评估和定制压痕测试。可以建立用户定义的压痕配置文件。接触点判定便捷，使生物压痕测试仪成为一种非常易于使用的仪器。测量系统：独具一类该仪器本身的测量单位专为高精度测量设计。集成式载荷传感器能够施加最大 20 mN 的载荷。位移传感器可以测量较大的量程。另外，安东帕 生物压痕测试仪TM 还具有良好的热稳定性，适合研究蠕变和流动特性。提供长焦物镜显微镜。高精度自动样品台使得能在 X、Y 和 Z 方向精确移动，从而将样品放到理想位置。软件：获得结果的关键所在借助功能强大但易于操作的软件，用户可以完全控制压痕程序（载荷、位移等）。软件会自动分析结果，另外还提供了统计模块，让用户可以获得数据和结果的快速分析。可以执行用户定义的 ASCII 导出，并且多名用户可以利用受控的访问权限来使用仪器。另外，还可以利用赫兹应力模型从压痕曲线的加载部分计算得出弹性模量，与常用的 Oliver & Pharr 方法相比，该方法更为适合生物材料。各种不同的针尖：用户可以根据需求选择安东帕 生物压痕测试仪TM 支持多种不同的压头，具体取决于用户的材料和需求。种类包括半径 0.01 mm 至 0.5 mm 及更大的球形、平头（平底圆柱）、锥形、维氏和立方锥，另外还可以按需要定制针尖，以便满足乃至要求最苛刻的应用要求（大半径球形、圆柱形等）。技术指标载荷最大载荷20 mN分辨率最小至 0.001 μN本底噪音0.1 [rms] [μN]*位移最大位移100 μm分辨率最小至 0.006 nm本底噪音0.25 [rms] [nm]*

奥地利安东帕Anton Paar高温纳米压痕测试仪HT-UNHT高温纳米压痕测试仪 (HT-UNHT) 是一个低载荷的纳米力学测试系统，可用于测量在高达 700 ℃ 温度下薄膜和涂层的硬度和弹性模量。已获专利的 UNHT 主动式表面参比技术与独有的加热技术相结合，可在任何温度条件下提供高稳定性解决方案。目前提供 3 种解决方案：- 高达 200 ℃（带有液体冷却）- 高达 450 °C（带有液体冷却）- 高达 700 ℃（真空）力： 100 mN深度：100 um温度： 700 °C

美国KLA InSEM HT原位高温纳米力学测试系统，纳米压痕仪

UNHT3 高精度超纳米压痕测试仪采用真实力传感器和位移传感器，可用于测量材料在纳米尺度下的机械性能。UNHT3 采用独特的主动表面参比专利技术，消除了热漂移和框架刚度的影响。因此，非常适用于对所有类型的材料（包括聚合物、纳米涂层和软组织）进行原子到纳米尺度的长时间测量。对于极低或极温度下的测量，真空室版本 (UNHT3 HTV) 适用于 -150℃ 至 800℃ 的温度以及低至 10-7 mbar 的真空度。 型号: 超纳米压痕测试仪：UNHT3 Standard• 环境条件下的测量• 从室温至 200℃ 的可变温度测试 型号: 超纳米压痕测试仪：UNHT3 HTV• 真空环境可更好地控制加热，并保护压痕针尖和样品免受氧化• 全自动程序，可将热漂移降至最低• 从 -150℃ 至 800℃ 的可变温度测试• 真空度低至 10-7 mbar 最精确的纳米压痕测试仪UNHT3 可测量他人估计的结果：两个独立的位移和载荷传感器可真正可靠地控制力和压入深度。另外，UNHT3 采用独特的主动表面参比专利设计：参考参比针尖记录样品的表面位移位置，同时针尖压痕完成测量，以此扣除热漂移和框架刚度影响。这种独特的设计支持大范围的压入位移（从几 nm 到 100 μm）和压入载荷（从几 μN 到 100 mN）。 市场上稳定性最高的纳米压痕测试仪UNHT3 采用独特的主动表面参比专利技术和无热膨胀的 Zerodur 材质，是市面上唯一一款无需任何位移校正且热漂移低至可忽略不计 (10 fm/sec) 的纳米压痕测试仪。凭借独特的稳定性，UNHT3 是唯一可用来长期测量蠕变等测试的纳米压痕测试仪。 高效率和测量速度（每小时测量 600 次）借助该仪器独特的热稳定性，样品在安装后即刻便能进行测量，不必等待数小时以便其达到热稳定状态。因此，每天可单独测量许多样品。使用“快速点阵”模式，每小时可通过真实的压痕曲线和 600 多个压痕。另外，用户配置、测量模式、多样品测量和可定制报告也促使其成为市面上效率最高的仪器。 通过“Sinus 动态测量模式”进行其他动态机械分析 (DMA)使用集成的“Sinus 动态测量模式”，可以对机械特性进行位移曲线 DMA 分析（HIT、EIT 对比位移），并可测量薄膜到块状材料等样品的粘弹特性（E' 、E' ' ：储能和损耗模量、tan δ）。Sinus 动态测量模式还提供其他功能，例如压痕仪快速校正以及应力/应变分析。 在高真空和高达 800℃ 的高温下进行测量UNHT3 的 HHT 版本是唯一一款配备全自动程序的超纳米压痕仪，可将热漂移降至最低，在整个温度范围内实现热漂移 3 nm/min。这是通过独特的专利加热控制系统来实现的，该加热控制系统以 0.1℃ 的精度同时控制样品和压痕针尖温度。压痕软件控制加热和环境条件，并与系统实时交互，以最大限度地减少热漂移，并启动所有所需的测量。您可以计划一组具有不同温度步长的任何类型的压痕（也可使用标准 UNHT3），仪器会根据预设矩阵自动进行测量。技术规格最大载荷 [mN]50 / 100(1)载荷分辨率 [nN]3载荷背底噪声 [rms] [μN]≤0.05加载速度 [mN/min]最多 1000 种深度量程 [μm]50 / 100(1)深度分辨率 [nm]0.003深度背底噪声 [rms] [nm]≤0.03数据采集频率 [kHz]192选件加热台的温度可高达 200℃?最低冷却至 -120℃ (2)?液体测试?(1) 可选(2) 带环境腔体专利：UNHT3 的主动表面参比技术：US 7,685,868 B2

Hit 300 是一款优质且价格非常实惠的纳米硬度测试仪，专为每位用户和各种类型的环境打造。直观、自动化的 Hit 300 可让您每小时进行 600 次测量，甚至在您走开的时候。主动阻尼减震可确保在所有环境中的准确性。独特的双激光瞄准系统在对准样品时可提供小于 1 mm 的精度。设计时考虑了功能性：安装只需 15 分钟，培训到获得第一个结果只需 1 小时。市场上最简单易用的纳米压痕测试仪市场上最简单易用的纳米压痕测试仪价格不到同类仪器的一半主动减震隔离3 年质保15 分钟内准备就绪，可开始测量

一、高温原位纳米压痕仪简介 InSEM HT产品可以在真空环境下对小体积材料进行各种高温原位力学测试（室温~800℃），可以实时观察材料在高温下的形貌变化，进而获取更多关于材料在高温下的机械性能。InSEM HT（高温）通过在真空环境中单独加热尖端和样品来测量高温下的硬度、模量和硬度。INSEMHT与扫描电子显微镜（SEM）和聚焦离子束（FIB）或独立真空室兼容。附带的InView软件可以协助开发新的实验。科学出版物表明，InSEM HT结果与传统大型高温试验数据吻合。广泛的温度范围使InSEM HT成为开发研究材料的一个非常有价值的工具。二、 功能主要功能The CSM technique involves oscillating the probe during indentation to measure properties as a function of depth, force,time, or frequency. The option comes with a constant strain rate experiment that measures hardness and modulus as a functionof depth or load, which is the most common test method used across academia and industry. CSM is also used for other advancedoptions, including the ProbeDMA™ method for storage and loss modulus measurements and AccuFilm™ substrate-independent measurements.The CSM is integrated into the InQuest controller and InView software to deliver unparalleled ease of use and data quality 连续刚度测量（CSM）CSM技术在压痕过程中测量深度、力、时间或频率变化的力学性能。该方案采用恒定应变速率试验，测量硬度和模量作为深度或载荷的函数，是学术界和工业界最常用的试验方法。CSM还用于其他高级测试，包括存储和损耗模量测量的ProbeDMA™ 方法和AccuFilm™ 基底独立测量。NanoBlitz3D NanoBlitz 3D利用Inforce 50加载器采用玻氏压头测量高E（3Gpa）材料的三维测量图。NanoBlitz压痕小于1个点/ s，最多10万个压痕（300x300阵列），并提供每个压痕在载荷下的杨氏模量、硬度和刚度，大量的测试提高了统计的准确性。NanoBlitz 3D还提供可视化软件和数据处理功能。AccuFilm™ 薄膜方法包 AccuFilm™ 薄膜方法包是一种基于Hay-Crawford模型的全新测试方法，使用连续刚度测量（CSM）测量基底材料的独立特性。AccuFilm™ 修正了基底对软基板上硬薄膜以及硬基底上软薄膜测量的影响。ProbeDMA™ 聚合物方法包 聚合物包可以测量聚合物的模量对频率的函数。该测试包括平冲头、粘弹性参考材料和评价粘弹性性能的试验方法。这种测量技术是表征纳米聚合物和聚合物薄膜的关键技术，而传统的DMA测试仪器无法很好地测试这些薄膜。 划痕磨损试验功能划痕试验在以规定速度穿过样品表面时，向压头施加恒定或倾斜载荷。划痕试验可以表征许多材料系统，如薄膜、易碎陶瓷和聚合物。 Gemini 2D多轴传感器 Gemini 2D多轴技术将相同的标准压痕功能带到第二个横轴上，同时沿两个方向轴运行。该专利技术有助于深入了解材料特性和失效机制，可以测量泊松比、摩擦系数、划痕、磨损、剪切等参数。 技术特点KLA InSEM HT产品：先进的激发器的结构设计，完全实现载荷和位移的分别控制和探测，完美实现纳米压痕检测，包括动态力学测试、软材料测试、及薄膜测试等等。符合ISO14577的国际标准的压痕测试InSEM HT动态测试附件是由连续刚度专利技术的发明人研发的：动态力 学测试原理为在准静态加载过程中，施加在压头上一个正玄波，从而表征出随着压痕深度、载 荷、时间或者频率的变化材料力学性能的变化。NanoBlitz3D技术，提供每个压痕在载荷下的杨氏模量、硬度和刚度，大量的测试提高了统计的准确性，自动生成杨氏模量、硬度和刚度Mapping图，是研究非均相材料研究的重要方法。技术能力InForce50载荷激发器InForce1000载荷激发器高精度的纳米马达台最大加载载荷：50mN最大加载载荷：1000mNX 向最大行程：20 mm纵向载荷分辨率：3nN纵向载荷分辨率：6nNY 向最大行程：20 mm压头最大移动范围：50um压头最大移动范围：80umZ 向最大行程：25 mm位移噪音背景:0.01nm噪音背景:0.1nmEncoder X-Y-Z sensor resolution： 4 nm位移数字分辨率：0.002nm位移数字分辨率：0.004nm

Bruker微纳压痕划痕测试仪CETR-Apex一、概述布鲁克的摩擦测试设备，居于世界领dao者地位，成为摩擦学和机械性能测试的标杆，能在各种环境条件下执行多重检测，获取纳米级、微米级以及宏观尺度上材料的摩擦和机械性能数据。目前，全球有上千台设备成功安装并投入使用，进行材料基本性能的测试，尤其在薄膜研究以及工业生产的质量监控方面。图1、CETR-Apex微纳压痕划痕测试仪 Bruker微纳压痕划痕测试仪CETR-Apex，是一款多功能微米、纳米机械性能测试平台。性能卓越，操作简易。CETR-APEX压痕和划痕测试仪，配备6种容易互换的机械头，高倍率显微镜和成像模块(AFM和三维光学轮廓仪)。纳米压头用来测量超薄涂层尤其是纳米级涂层以及块体材料的厚度、硬度、杨氏模量等。微米压头用于较厚涂层和块体材料的硬度、杨氏模量等机械性能测量。纳米、微米级摩擦学压头用于薄膜、涂层以及块体材料的摩擦磨损测量、静态/动态摩擦学测量、耐用度、附着力，粘滑性等机械性能测量。图2、CETR-Apex 微米摩擦学头 图3、CETR-Apex 纳米摩擦学头1. CETR-Apex三个测量探头l 左侧：机械性能测试，可以简便更换纳米、微米压头；l 中部：显微镜，多达4个不同放大倍数的物镜，随意切换；l 右侧：扫描成像，AFM和三维光学轮廓仪随意切换。 2. 六种机械压头l 奈米压痕压头用来测量超薄涂层尤其是奈米级涂层以及块体材料的硬度,杨氏模量等（样品表面需较为光滑，以确保数据可靠性) 。l 奈米划痕压头主要用于奈米级超薄涂层的厚度测量(DLC、ALD、太阳能薄膜、ITO薄膜和光学涂层等)。l 微米压痕压头仪器的微米压痕压头用于较厚涂层和块体材料的硬度和杨氏模数等机械性能测量。l 微米划痕压头主要用于较厚涂层的微米级划痕测量(PVD、CVD、油漆、装饰涂料等)。l 毫米划痕压头用于宏观尺度的划痕测量。l 纳米、微米级摩擦学压头用于薄膜、涂层以及块体材料的磨润测量、静态/动态摩擦学测量、耐用度、附着力、粘滑性等机械性能测量。 3. 可供选择的模块与软件l 原位成像模块可供选择的原位成像模块,无需移动样品的情况下，将样品测试的结果自动生成为高分辨图像(压痕、划痕、磨润等)。l 摩擦学测试&机械性能测试分析软件基于windows系统设计的软件包秉承布鲁克测试仪器的一贯标准，快速采集并且灵活处理资料，进行详细可靠的数据分析。图4、在线成像 4. ASTM/DIN/ISO的标准认证Apex适用于 多重认证标准：l ASTM E2546 纳米压痕检测标准l ISO 14577 仪器压痕硬度检测l ASTM C1624 陶瓷涂层的附着力和机械性能实效检测l ASTM G171 材料化划痕硬度检测l ASTM E384 材料微米尺度的压痕硬度检测 二、纳米模块NH随着纳米技术的进步和薄膜工艺的发展（太阳能电池，CVD，PVD，DLC，MEMS等），纳米尺度的机械性能测试趋向标准化。这种方法改进了传统硬度测试的不足，通过设计高深宽比的探针测试更深、更窄的沟槽，还实现了低载荷，高空间分辨率和原位载荷-位移数据的精确测量。纳米压痕--- 参照ISO14577标准，选取 单点/多点压痕来测量薄膜、涂层和块体材料的硬度、杨氏模量、张力、应力（von Mises应力）和接触强度/刚度等。纳米划痕--- 在接触模式下，可根据用户定义不断增加载荷，检测薄膜、涂层和块体材料的划痕硬度和划痕黏附力。动态压痕--- 通过探针动态测量方法，检测随深度变化的损失模量以及存储模量。NH特性l 电磁驱动传感器l 三板电容传感以超高精确度检测样品摩擦学性质变化l 针尖几何形状为Berkovich、球体、立方体角l 对多点压痕进行空间映射，压痕数目不受限制l 在线成像选件（推荐使用原子力显微镜）l 检测效率高，重复性好l 可选的先进的原位传感器l 配备隔热、隔音罩以及防震台l 符合ASTM、DIN和ISO的所有监测标准 三、微米模块MH微米机械性能测试已经被广泛应用于检测涂层和块体材料的各种机械性能。微米机械性能测试仪远胜于传统测试方法，可以提供原位载荷-位移数据、应用例如声学发射检测、ECR、摩擦检测等信号来获得综合机械性能信息。仪器化微米压痕检测--- 参照ISO14577标准，在毫米尺度（应用超过2N的载荷）以及微米尺度（低于2N的载荷）下检测涂层和体块材料的硬度、杨氏模量、张力、应力（von Mises应力）和接触强度/刚度等。传统维氏硬度和努普硬度--- 参照ASTM E384.99 认证标准，测量测量的显微硬度。微米划痕---在接触模式下，可根据用户定义不断增加载荷，检测薄膜、涂层和块体材料的划痕硬度和划痕黏附力。MH特性l 电磁驱动传感器l 三板电容传感以超高精确度检测位移l 针尖几何形状为Berkovich、球体、立方体角l 对微多点压痕进行空间映射，压痕数目不受限制l 在线成像选件（推荐3D轮廓仪）l 检测效率高，重复性好l 可选的先进的原位传感器l 用户自定义数据分析算法或分析模型，精确检测材料机械性能l 符合ASTM、DIN和ISO的所有监测标准设备咨询电话：

纳米压痕测试仪 (NHT2) 专为纳米级深度测量提供低载荷，可用于测量硬度、弹性模量和蠕变等。该系统可用于表征有机材料、无机材料、硬质材料和软性材料。纳米压痕测试仪NHT2由于采用了独一无二的表面参比技术，因此无需等待热稳定即可在 3 分钟内完成压痕测试。力：分辨率：0.01 μN最大力：500 mN深度：分辨率：0.01 nm最深：200 μm框架刚度： 107 N/m国际标准：ISO 14577、ASTM E2546 等

市场上zui简单易用的纳米压痕测试仪Hit 300 集成了主动式电子减振台，其减振效果是传统空气振动隔离台的 4 倍。价格不到同类仪器的一主动减震隔离3 年质保15 分钟内准备就绪，可开始测量Hit 300 附带了一些功能，最终使每个人都可以进行压痕测试。压头Ω要，可在 15 分钟内完成校准。表面参考环可保护压头免受碰撞，并可消除热漂移的错误影响。该软件直观，可引导您逐步完成工作流程。得益于独特的集成激光十字器，您可以直接定位样品表面上必须进行测量的点。低于 1 mm 的目标对准精度使您受益。Hit 300 是市场上zui坚固耐用的纳米硬度测试计。所有部件均已按zui高寿命规格进行了测试。可将仪器安装在您需要的任何地方，从实验室到生产设施。Hit 300 交付时已完全配置好了，因此安装工作在 15 分钟内就可完成。操作简单，用户培训通常只需 1 小时。

高温超纳米压痕测试仪 (UNHT3 HTV)全球第一台真正意义的商品化的高温高真空超纳米压痕仪，主要测量小载荷下纳米尺度机械性能的测试系统，温度在 800 °C 以下的薄膜和涂层的硬度和弹性模量。专利 UNHT3 技术与独特的加热功能结合，可提供在任何温度下的高稳定性测量解决方案。主要特点 新一代的高温纳米压痕测试仪环境条件下最低热漂移 ( 0.5 nm/min) 和整个温度范围内最低热漂移 ( 3 nm/min)。最高载荷框架刚度 (106 N/m) 和最低框架柔度 (0.1 nm/mN)：两套独立的位移和载荷传感器与高精度电容传感器结合，可选择“控制位移”和“载荷控制”模式。高真空系统具有 5 轴磁悬浮涡轮泵和缓冲系统，允许在测量期间关闭初级泵，使振动降至最低。独特的加热控制系统（3 项专利待批），采用3 个红外 (IR) 加热器分别用于给压痕针尖、参比针尖和样品进行加热，以及 4 个热电偶用于将样品表面温度控制到 变化在0.1°C 内。符合 ISO 14577 和 ASTM E2546 国际标准技术指标载荷最大载荷100 mN载荷分辨率 6 nN本底噪音 0.5 [rms] [μN]*位移最大位移100 μm位移分辨率0.006 nm本底噪音0.15 [rms] [nm]*极限真空度10? mBar最高温度800 °C

市场上精确度最高的纳米划痕测试仪NST3 纳米划痕测试仪专门用于表征典型厚度小于 1000 nm 的薄膜和涂层的耐划伤性能和结合力。NST3 可用于分析有机和无机涂层以及软硬涂层。纳米划痕测量头采用独特的设计，包括两个传感器，用于测量与先进的压电致动器相关的压入载荷和压入位移测量。这些独特的功能提供了快速的响应时间（低至毫秒），出色的精确性以及针对各种划痕测量的高度灵活性。 完全同步的全景成像模式，随时随地进行分析该独特功能可自动将完美对焦的整个划痕的全景图像与所有传感器的划痕数据同步。因此，您可以随时根据全景成像观察结果和信号记录执行临界载荷分析。安东帕是同步全景技术（美国专利 8261600 和欧洲专利 EP 2065695）的唯一持有人。 快速反馈较小力NST3 采用双悬臂梁来施加载荷，并配备压电陶瓷驱动器，能够对施加的载荷快速做出响应。这一设计理念还修正了在划痕过程中发生的任何情况（例如出现裂纹和失效、缺陷或样品不平整）而导致的测量结果偏差。 没有折扣：准确施加所需的力闭环主动力反馈系统可提供更精确的纳米划痕测试。NST3 包含一个实际力传感器，可测量直接反馈给法向力驱动器的载荷。这样可确保划痕测试的重复性，即使研究非平面、粗糙或曲面样品等更加复杂的表面时，也是如此。 适用于弹性恢复研究的真实划痕深度测量NST3 纳米划痕测试仪包括一个实际位移传感器，用来监控划痕测试针尖的垂直运动。借助此传感器，您可以利用前扫描和后扫描模式的独特技术获得划痕真实的深度，从而评估材料的弹性、塑性和粘弹性。这种技术需要执行前扫描，记录执行划痕测试前样品的表面特性（形状、波度和粗糙度）。在测量划痕期间（划痕深度）和测量之后（残留深度），NST3 将使用该表面特性修正划痕测试的深度。 划痕后可进行多次后扫描模式评估弹性性能划痕后，您可以在软件中用时间增量定义无限次后扫描测量残余深度。这种全新的分析方法将让您进一步了解表面变形性能与时间的依赖关系。技术规格最大载荷 [mN]1000载荷分辨率 [μN]0.01载荷背底噪声 [rms] [μN]0.1加载速度 [N/min]最多 100 种最大摩擦力 [mN]1000摩擦力分辨率 [μN]1最大位移 [μm]600深度分辨率 [nm]0.1深度背底噪声 [rms] [nm]1.5数据采集频率 [kHz]192划痕速度 [mm/min]0.1 到 600

超纳米压痕测试仪 (UNHT) 用于检测纳米材料的机械性能。由于 UNHT 采用获专利的主动式表面参比设计，因此几乎不受热漂移和框架柔顺的影响，并且完全适应各种材料的长时间测量需求，包括聚合物、极薄层和软组织。规格力：分辨率 : 3 nN最大力：100 mN深度：分辨率：0.003 nm最深：100 μm框架刚度： 108 N/m国际标准：ISO 14577、ASTM E2546 等

产品信息Micro Materials 产品纳米力学综合性能测试系统NanoTest Xtreme可以实现真空环境下的纳米力学测试！ 为了更加准确、可靠地预测材料的性质，研究学者们对测试条件模拟真实环境程度的要求越来越高。Micro Materials 公司的NanoTest Vantage 产品可以提供最全面的纳米力学测试功能。现在Micro Materials 公司的最新产品NanoTest Xtreme 可以实现真空环境下-40℃至1000℃这一温度范围内的纳米级力学测试， 并且没有氧化和结霜的影响。自1988年以来，我们一直处于纳米力学创新的前沿： ► 第一个商用高温纳米压痕平台 ► 第一台商用纳米冲击测试仪器 ► 第一个商用液体池 ► 第一台用于高真空、高温纳米力学的商用仪器更适合以下极端环境条件的研究：1、 航空发动机部件的高温 2、 用于高速加工的工具涂层 3、 电站蒸汽管的高温4、核反应堆覆层中的辐射效应 5、低温对油气管道焊缝修复的影响 NanoTest Xtreme 特点：a、500 mN加载头在真空下最高测试温度：1000°Cb、30 N加载头在真空下的最高测试温度：800°C c、真空下的最低测试温度：-40°C d、极限真空度：10-7 mbar e、与真空下所有标准纳米测试技术兼容（纳米压痕、纳米划痕、纳米磨损、纳米冲击、纳米微动） f、可选配第二个加载头，最大负载从500mN增加到30 N g、填充功能可在非空气环境中进行测试 h、高分辨率光学显微镜 i、可选配在整个温度范围内均可使用的SPM 成像/纳米定位平台 NanoTest Xtreme 优点：1、 将高温能力扩展到1000°C，超出NanoTest Vantage提供的850°C 2、 将低温能力提高至-40°C，且无样品结霜 3、超低的热漂移归因于与NanoTestVantage相同的仪器设计原理 4、 完整的纳米力学测试(例如压痕、划痕、磨损、摩擦、冲击) 5、能够填充气体以匹配材料操作环境参数指标1、加载框架 高度抛光的铝，用于快速脱气 加载应用：电磁 标准压头最大负载 500 mN 最大负载，可选高负载头 30 N 位移传感器 ：电容式 负载分辩率 3 nN 位移分辨率 0.002 nm 重新定位精度 0.4 µ m 样品处理 ：手动控制，网格压痕，特定位置选择，多个同时安装的样本 热漂移 0.005 nm/s 符合标准 ：符合ISO 14577和ASTM 2546标准 2、高温平台 最高温度 1000 º C 压头尖端加热 ：是 可测试样本区 16 mm x 16 mm 温度控制 ：反馈和恒定功率 温度精度 0.1 º C 3、低温平台 最低温度 -40 º C 4、SPM纳米定位平台 扫描范围 100 µ m x 100 µ m X Y定位精度 2 nm 5、真空 工作模式 ：真空或气体吹扫 真空度 ：极限10-7 (标准10-6 )mbar 6、选件 纳米划痕，纳米磨损，纳米冲击，动态硬度 应用NanoTest&trade Xtreme可以广泛应用于：航空航天、汽车工业、半导体、生物医学、MEMS、高分子、薄膜和涂层，以及太阳能/燃料电池等。

纳米划痕测试仪专用于表征厚度小于1000 nm 的薄膜或涂层的附着力以及抗划擦强度或抗擦伤性。NST 可用于分析有机涂层和无机涂层，以及软性涂层和硬质涂层。加载载荷：分辨率：0.15 μN最大力：1000 mN摩擦力：分辨率：0.3 uN最大摩擦力：1000 mN深度：分辨率：0.06 nm最深：2000 μm速度：从 0.1 mm/min 至 600 mm/min

InSEM HT高温原位纳米压痕仪通过在真空环境下独立加热压头和样品，以测量高温下的硬度、模量和刚度。InSEM HT与扫描电子显微镜 (SEM) 及聚焦离子束 (FIB) 工作室或独立真空室兼容。InView软件可帮助高级研究人员开发新实验。科学出版物显示，InSEM HT的结果与传统大尺度高温试验数据匹配良好。拥有较大的温度范围能力和较低的拥有成本，这种组合使 InSEM HT成为材料开发研究中的宝贵工具。产品描述InSEMHT（高温）通过在真空环境中分别独立加热压头和样品以测量高温下的硬度、模量和刚度。InSEM HT与扫描电子显微镜（SEM）和聚焦离子束（FIB）工作室，或独立的真空工作室兼容。配有的InView软件可帮助高级研究人员开发新的实验。科学出版文献表明，InSEM HT结果与传统的大尺度高温测试数据匹配良好。测试温度范围宽以及拥有成本低的特点使InSEM HT成为材料开发研究计划中很有价值的设备。InSEM HT高温测试系统可在真空环境下独立加热压头和样品，并与多种 SEM/FIB室或独立真空室兼容。在温度高达800℃ 时，可在原位模拟极端温度条件并获得一致、可靠的测试数据。钼制底座上的单晶碳化钨压头针对高温测试应用进行了优化，有多种几何形状可供选择。主要功能● InForce 50驱动器，压头可加热，适用于电容位移测量和电磁力驱动，并配有可互换的压头● 样品可升温至800°C，采用10mm样品尺寸和真空兼容的样品安装系统● InQuest高速数字控制器，具有100kHz数据采集速率和20μs时间常数● 用于样本定位的XYZ运动系统● SEM视频捕获，可以将SEM图像和测试数据进行同步● 独特的软件集成压头校准系统，可实现快速，准确的压头校准● 与Windows10兼容的InView控制和数据审查软件以及测试方法开发软件，用于用户自定义实验主要应用● 高温测试● 硬度和模量测量（Oliver-Pharr）● 连续刚度测量● 高速材料特性分布图● 蠕变测量● 应变速率敏感因子硬度和模量测量（Oliver-Pharr）机械性能对新材料的研发至关重要。InSEM HT纳米压痕仪可测量各种材料的硬度，尤其是监控在热应力下的机械性能的变化。连续刚度测量连续刚度测量用于量化动态材料特性，例如应变率和频率引起的影响。InSEM HT纳米压痕仪提供从0.1Hz到1kHz的动态激发，可进行基于时间的监测，准确确定初始表面接触并连续测量接触刚度随深度或频率的变化。快速材料力学性能成像对于复合材料而言，不同区域之间的力学性能可能存在很大差异。InSEM HT在X 轴和Y轴上的样品台可移动范围为20毫米，Z轴的范围为25毫米，还能在样品区域内测试各种样品高度。使用NanoBlitz功能选项进行材料表面和断层力学性能成像，可以快速获得各种被测力学性能的彩色分布图。高温测试很多行业领域的材料研究不仅侧重于机械应力下的性能，还有热应力下的性能。InSEM HT是专为下一代材料测试而设计的仪器，可用于如航空航天、车辆和军事/防御等先进技术应用场景。蠕变测量材料由于外加负载以及温度升高而发生变形。蠕变测量是机械和热应力联合作用下应变随时间的变化，蠕变行为对于车辆和航空航天系统的有效设计至关重要。InSEM HT支持的测试温度高达800℃，并可同时监测材料的应变。应变速率敏感因子使用应变速率敏感因子，可以定量描述不同加载条件下产生的应变。例如，短时间内在材料上施加机械/热应力，产生的应变可能与更缓慢地施加应力时不同。InSEM HT支持用户自定义实验，在高达800°C时测量不同加载条件下的应变响应。适用行业● 大学、实验室和研究所● 航空航天● 汽车制造● 硬质涂层● 核能● 军事/国防● 更多应用，请联系我们以探讨您的需求选配件连续刚度测量（CSM）CSM技术在压痕过程中控制压头振荡，以测量样品性能随深度、荷载、时间或频率的变化。该选项默认进行恒应变速率测试，测量硬度和模量随深度或载荷的变化，这是学术界和工业界最常用的测试方法。CSM 还可用于其他高级选件，包括用于储存模量和损耗模量测量的ProbeDMA&trade 方法和排除衬底影响的测量方法AccuFilm&trade 。CSM功能集成在InQuest控制器和InView软件中，使用极为简便，且确保数据质量。InForce 50作动器InForce 50作动器可以施加最高50mN的力以进行纳米力学测试。KLA专利的电磁力加载技术，确保测量的可靠性以及加载力与位移的长期稳定性。行业领先的机械设计可确保单一方向自由度的谐波运动，从而沿单轴方向控制加载力和位移。InForce和Gemini作动器系列的压头均可互换。InForce 50作动器与CSM、NanoBlitz、ProbeDMA&trade 、生物材料、样品加热、划痕、磨损和 ISO 14577等测试选项兼容。InForce 1000作动器InForce 1000作动器采用高达1000mN的力度执行纳米力学测试。KLA专利的电磁力加载技术，确保测量的可靠性以及加载力与位移的长期稳定性。行业领先的机械设计可确保单一方向自由度的谐波运动，从而沿单轴方向控制加载力和位移。InForce和Gemini作动器系列的压头均可互换。InForce 1000作动器与CSM、NanoBlitz、样品加热、划痕、磨损和ISO 14577等测试选项兼容。NanoBlitz 3DNanoBlitz 3D可以采用InForce 50/InForce1000作动器和玻式压头，获得杨氏模量较高（3GPa）的材料的纳米力学特性3D图。NanoBlitz 3D每个压痕时间小于1s，单次测试可包含多达100,000个压痕点（300×300阵列），获得每个压痕点在特定载荷下的杨氏模量（E）、硬度（H）和接触刚度（S）。大量的测试数据能够提高统计的准确性。统计直方图可以呈现样品中的多个物相或材料组分。NanoBlitz 3D方法包还包含可视化软件和数据处理功能。AccuFilm &trade 薄膜测试方法AccuFilm&trade 薄膜测试方法是一种基于Hay-Crawford模型的InView测试方法，使用连续刚度测量（CSM）来测量排除基材影响的材料特性。AccuFilm&trade 可对软衬底上的硬性薄膜测量进行衬底材质影响的校正，也可对硬衬底上的软性薄膜进行同类校正。DataBurst对于配有InView软件和InQuest控制器的系统，DataBurst选项容许以大于1kHz的速率记录位移数据，用于测量阶跃载荷响应、位移突进（pop-in）和其它瞬时事件。InSEM HT系统与用户方法开发选件搭配使用，可修改方法方便与DataBurst协作使用。InView的“用户方法开发”选项InView提供一个功能极为强大且直观的实验脚本编辑平台，可用于设计新颖或复杂的实验。经验丰富的用户可借助InSEM HT设置并执行几乎所有小尺度的机械测试。KLA独家提供此功能。压头和标准样品有多种尖锐的压头可供选择，例如玻式（Berkovich）、立方角（cube corner）和维氏（Vickers）压头，还可提供平压头、球形压头和其它几何形状的压头。整个产品系列均提供标准样品和校准标准。相关产品

Nano IndenterG200Nano Indenter G200系统专为各种材料的表征和开发过程中进行纳米级测量而设计。 该系统是一个完全可升级，可扩展且经过生产验证的平台，全自动硬度测量可应用于质量控制和实验室环境。 产品描述Nano Indenter G200系统是一种准确，灵活，使用方便的纳米级机械测试仪器。 G200测量杨氏模量和硬度，包括从纳米到毫米的六个数量级的形变测量。 该系统还可以测量聚合物，凝胶和生物组织的复数模量以及薄金属膜的蠕变响应（应变率灵敏度）。 模块化选项可适用于各种应用：频率特定测试，定量刮擦和磨损测试，集成的基于探头的成像，高温纳米压痕测试，扩展负载容量高达10N和自定义测试。主要功能 电磁驱动可实现高动态范围下力和位移测量 用于成像划痕，高温纳米压痕测量和动态测试的模块化选项 直观的界面，用于快速测试设置 只需几个鼠标点击即可更改测试参数 实时实验控制，简便的测试协议开发和精确的热漂移补偿 屡获殊荣的高速“快速测试”选项，用于测量硬度和模量 多功能成像功能，测量扫描和流程化测试方法，帮助快速得到结果 简单快捷地确定压头面积函数和载荷框架刚度主要应用 高速硬度和模量测量 界面附着力测量 断裂韧性测量 粘弹性测量 扫描探针显微镜（3D成像） 耐磨损和耐刮擦 高温纳米压痕工业应用 大学，研究实验室和研究所 半导体和电子工业制造业 轮胎行业 涂层和涂料工业 生物医药行业 医疗仪器 更多应用：请根据您的要求与我们联系

产品描述Nano Indenter G200系统是一种准确，灵活，使用方便的纳米级机械测试仪器。 G200测量杨氏模量和硬度，包括从纳米到毫米的六个数量级的形变测量。 该系统还可以测量聚合物，凝胶和生物组织的复数模量以及薄金属膜的蠕变响应（应变率灵敏度）。 模块化选项可适用于各种应用：频率特定测试，定量刮擦和磨损测试，集成的基于探头的成像，高温纳米压痕测试，扩展负载容量高达10N和自定义测试。主要功能电磁驱动可实现高动态范围下力和位移测量用于成像划痕，高温纳米压痕测量和动态测试的模块化选项直观的界面，用于快速测试设置 只需几个鼠标点击即可更改测试参数实时实验控制，简便的测试协议开发和精确的热漂移补偿屡获殊荣的高速“快速测试”选项，用于测量硬度和模量多功能成像功能，测量扫描和流程化测试方法，帮助快速得到结果简单快捷地确定压头面积函数和载荷框架刚度主要应用高速硬度和模量测量界面附着力测量断裂韧性测量粘弹性测量扫描探针显微镜（3D成像）耐磨损和耐刮擦高温纳米压痕工业应用大学，研究实验室和研究所半导体和电子工业制造业轮胎行业涂层和涂料工业生物医药行业医疗仪器更多应用：请根据您的要求与我们联系应用高速硬度和模量测量材料的机械特性表征在新材料的研究与开发中具有重要意义。 Nano Indenter G200能够以每秒一个数据点的速率测量硬度和模量。 对机械性能的高速评估使半导体和薄膜材料制造商能够将先进技术应用于生产线上的质量控制与保证。界面粘附力测量通常通过沉积能够存储弹性能量的高压缩层来诱导薄膜分层。 界面粘附力测量对于帮助用户理解薄膜的失效模式是至关重要的。Nano Indenter G200系统可以触发界面断裂并测量多层薄膜的粘附性和残余应力性质。断裂韧性断裂韧性是在平面应变条件下发生灾难性破坏的应力 – 强度因子的临界值。 较低的断裂韧性值表明存在预先存在的缺陷。 通过使用刚度映射法容易地通过纳米压痕评估断裂韧性。 （刚度映射需要连续刚度测量和NanoVision选项）粘弹特性聚合物是非常复杂的材料 它们的机械性能取决于化学，加工和热机械历史。 具体来讲，机械性能取决于材料分子母链的类型和长度，支化，交联，应变，温度和频率，并且这些依赖性通常是相互关联的。 为了采用聚合物进行研究时获得有用的信息进行决策，应在相关背景下对相关样品进行机械性能测量。 纳米压痕测试使得这种特定的测量更容易完成，对样品制备要求不高，可以很小且少量。 Nano Indenter G200系统还可用于通过在与材料接触时振荡压头来测量聚合物的复数模量和粘弹性。扫描探针显微镜（3D成像）Nano Indenter G200系统提供两种扫描探针显微镜方法，用于表征压痕印痕的裂缝长度，以测量设计应用中的断裂韧性。 断裂韧性定义为含有裂缝的缺陷材料抵抗断裂的能力。Nano Indenter G200的压电平台具有高定位精度和NanoVision选项，可提供高达1nm的步长编码器分辨率，最 大扫描尺寸为100μm×100μm。 测试扫描软件选项将X / Y运动系统与NanoSuite软件相结合，可提供500μm×500μm的最 大扫描尺寸。 NanoVision阶段和测试扫描选项都需要精确定位在样品区域来完成纳米压痕测试和断裂韧性计算。耐磨性和耐刮擦性Nano Indenter G200系统可以对各种材料进行划痕和磨损测试。 涂层和薄膜将经受许多工艺，测试这些薄膜的强度及其与基板的粘合性，例如化学和机械抛光（CMP）和引线键合。 重要的是这些材料在这些工艺过程中抵抗塑性形变并保持完整，也不会在基板上起泡。 对于介电材料，通常需要高硬度和弹性模量来支持这些制造工艺。高温机械测试高温下的纳米压痕提供了在达到塑性转变之前、之中与之上的精确测量能力，得到材料的纳米力学响应。 了解材料行为，例如形变机制和相变，可以预测材料失效并改善热机械加工过程中的控制。 在主要机械测试方法过程中改变温度是对材料进行纳米尺度测量塑形转变的一种方式。产品优势Nano Indenter G200系统专为各种材料的表征和开发过程中进行纳米级测量而设计。 该系统是一个完全可升级，可扩展且经过生产验证的平台，全自动硬度测量可应用于质量控制和实验室环境。

产品简介MML公司的纳米力学性能测试系统NanoTest&trade Vantage可以提供新型材料和特种材料开发和优化的大量信息。是世界上最灵活、功能最强大的纳米力学测试系统。它可以为用户提供高精度的纳米压痕测试，同时提供相关的全面综合测试：如纳米划痕和磨损测试、纳米冲击和疲劳测试、以及在高温、液体环境中的测试。这些纳米水平上的测试可以为我们提供材料表面局部的定量信息，数据可靠、测试省时。这些因数使得NanoTest&trade Vantage在世界范围内成为大学、工业实验室和标准机构中很多表征和优化项目的最关键设备。自1988年以来，我们一直走在纳米力学创新的前沿： ► 第一个商用高温纳米压痕平台 ► 第一台商用纳米冲击试验机 ► 第一个商用液体池 ► 第一台用于高真空、高温纳米力学的商用仪器产品优势：► 无与伦比的技术多样性 无纳米压痕，纳米划痕，纳米冲击，纳米微震动磨损，纳米磨损 ► 高精度的多种载荷纳米（至500mN）和微米（至30N） ► 引领市场的环境兼容能力 引高温（至850°C）、低温（至-20°C）、液体和湿度环境 ► 真正测量多 真 样性动态、静态、电气和多种成像模式技术指标1、加载框架 花岗岩复合材料设计专门用于计量应用 2、加载应用 电磁 标准头最大载荷 500 mN 位移传感器 线性电容 负载分辨率 3 nN 位移分辨率 0.002 nm 重复定位精度 0.4 µ m 可测试区域 50 mm x 100 mm 样品处理 手动控制并点击显微镜图像 热漂移 0.005 nm/s 接触力 1 µ N 显微镜– 4个物镜 x5, x10, x20 和 x40 屏幕放大率 x410, x825, x1650, x3300 隔振 负K，机械被动 压头交换时间 1 min 符合标准 完全符合ISO 14577和ASTM 2546 3、划痕模块 最大摩擦力 250 mN 摩擦载荷分辨率 10 µ m 最大划痕距离 10 mm 划痕速度 100 nm/s 至 0.1 mm/s 4、冲击模块 加速距离 高达20 µ m 接触应变率 高达104 s-1 微动磨损模块 轨道长度 ≤20 µ m 频率 ≤20 Hz 最大磨损次数 10 5、SPM纳米定位平台 XY扫描范围 100 µ m x 100 µ m Z扫描范围 20 μm 定位精度 ≤2 nm 闭环线性 99.97% 6、AFM XY扫描范围 110 µ m x 110 µ m Z范围 22 µ m 7、高温选项 温度 850 °C 主动，独立的样品和压头加热 是 压头材料 金刚石，氮化硼，蓝宝石 8、高负载头 最大载荷 30 N 摩擦载荷分辨率 300 μN 应用范围航空航天、汽车工业、半导体、生物医学、MEMS、高分子、薄膜和涂层，以及太阳能/燃料电池等

划痕测试仪产品展台为您精选划痕测试仪人造板划痕测试仪,面向全国销售划痕测试仪,欢迎来电咨询划痕测试仪产品,我司将会为您在划痕测试仪方面提供全方位的解决方案!划痕测试仪主要用于对人造板及饰面人造板进行耐划痕性能的测试，是人造板企业及各级质检部门理想的测试设备。 适用于：GB/T15102-1994,GB/T17657-1999,GB/T18102-2000标准。 主要技术参数 1. 电机：　6W　220V　50Hz 2. 测试负载:　0-5N 3. 试件转盘转速：5r/min 4 .试件尺寸：100 mm× 100 mm　&delta 10 mm 平整不变形

纳米力学测试仪 iNano灵活易用的力学测试可广泛用于各种材料和应用iNano专为压痕、硬度、划痕测试和多元化纳米级测试等纳米级力学测试设计。iNano能够测试包括软质高聚物到硬质涂层和薄膜等在内的各种材料。模块化系统选项可以完成各种不同应用：特定频率测试、定量划痕和磨损测试、集成探针成像、高温测试和自定义方法编程等。除了能够推进高校科研之外，iNano还可以为以下材料和行业进行纳米压痕测试和抗蠕变性测量：生产质量控制金属和合金医药器械涂料和油漆半导体高聚物与塑料MEMS/纳米级器件电池和储能材料陶瓷与玻璃主要功能高度模块化设计, 既具有最为宽泛的测试功能，又可提供高通量的自动化测试功能，并配有统计数据分析包，适用于纳米力学性能测量、扫描探针显微成像、高温测量和IV电压电流特性测试实时高效的实验控制，简单易用的测试流程开发和测试参数设置标准的InForce 50电磁驱动器集成高速控制器电子设备完成告诉数据采集高达100kHz，捕获材料瞬间的响应，例如锯齿流变和断裂现象。仪器使用工业界最短的时间常数20μs，精准捕捉材料瞬间的真实响应集成了噪音隔离功能的高刚度框架，可确保对各种材料进行准确测量数码变焦的高分辨光学显微镜，精确定位样本纳米压痕专家在线讲授专业纳米压痕课程，以及移动应用程序能够提供测试方法的实时更新功能与选项概览KLA 核心技术iNano 采用电磁驱动转换器提供动力，电磁驱动加载模块技术因其众多的优势被广泛的应用在KLA的压痕设备中,轻松实现载荷和位移的宽动态范围的控制,提供纳米级的力学测试功能, 实现高精度观察与定位测试样本,以及样品高度的简易调节。在其标准配置中，iNano采用了InForce 50驱动器，并提供模块化控制器以便用户按需要增加功能。iNano设备提供扫描探针成像功能、划痕及磨损测试功能、高温纳米力学测试功能、连续刚度测试(CSM) 和高速3D及4D力学图谱等模块化升级选件。该系统兼容ISO14577国际标准。iNano 采用高阶的InView&trade 测试控制和数据采集软件,包含用于简化测试设置的带屏幕控制的InviewRunTest，可在测试期间或之后进行数据分析的 InView ReviewData，和生成各种综合性测试报告的 InFocus 软件。连续刚度测量（CSM）压入循环期间测量刚度和其他材料特性KLA的连续刚度测量技术能够轻松评估材料在应变速率或蠕变效应影响下的动态力学性能。CSM技术在压入过程中保持探针以纳米级的振幅持续振动，从而获得硬度、模量等力学性能随深度、载荷、时间或频率的变化而变化的特性。该选项提供学术界与工业界最常用的恒应变速率测试方法，用以测量随深度或载荷变化的硬度和模量。CSM还可用于其他高级测量选项，其中包括用于存储和损耗模量测量的ProbeDMA&trade 方法以及AccuFilm&trade 消除基底效应的薄测量等。连续刚度测量技术在InQuest控制器和InView软件中集成，可以方便使用并保证数据的可靠性。 使用 CSM 选项测量随压入深度而变化的弹性模量AccuFilm&trade 薄膜方法通过校正衬底对测量的影响对超薄膜进行表征基于连续刚度测量技术(CSM)并结合Hay-Crawford模型的新一代AccuFilm&trade 薄膜测试选件可测量附着于衬底的膜层材料，使用AccuFilm超薄膜方法是基于KLA科学家发明的的新一代超薄膜的测试技术，实验设置操作简单，对于软衬底上的硬质膜以及硬衬底上的软质膜，AccuFilm都可以校正衬底在膜测量中所带来的影响。使用 AccuFiLm 薄膜法，基底影响模量和纯薄膜模量作为归一化压痕深度的函数NanoBlitz 3D 快速力学性能分布快速定量地测量表面力学性能分布测量粗糙表面和/或异质材料通过增加观察次数给出具有统计意义的结果NanoBlitz 3D 采用新一代快速纳米压痕测试技术，实现每个压痕测试时间小于1秒。单次试验最大压痕个数为100000（300X300矩阵），可在用户指定的恒定加载力下，提供材料弹性模量，硬度和接触刚度的三维图谱。快速且大量的测试点极大的提高了统计的准确性，同时可以直接对不同相或不同特性区域进行力学均值、分布和面积占比的统计。NanoBlitz 3D功能为用户提供数据可视化和强大的统计数据分析处理功能。使用 NanoBlitz 3D 选项绘制 WC-CO 复合材料的硬度分布图和统计直方图NanoBlitz4D 力学性能断层扫描基于连续刚度测量(CSM) 技术的力学性能断层扫描NanoBlitz 4D力学谱图利用InForce 50或InForce 1000驱动器和Berkovich压头为低E/H值和高模量( 3GPa) 材料生成纳米力学性质的4D图。NanoBlitz4D以每个压痕5秒的速度完成多达10,000个压痕（30×30阵列），并为阵列中的每个压痕测量随深度而变化的杨氏模量(E)、硬度(H)和刚度(S)数值。NanoBlitz 4D采用恒应变速率方法，为用户提供数据可视化和强大的统计数据分析处理功能。使用 NanoBlitz 4D 选项针对多层薄膜绘制两个不同压入深度的弹性和塑性分布图ProbeDMA&trade 高聚物测试聚合物测试包中配置了圆底平头探针、粘弹性测试标样和粘弹特性的测试方法，该测试选件基于连续刚度测量技术，可在不同频率条件下对材料进行高效可靠测量，得到储存模量和损耗模量与频率的变化关系。该测量技术对纳米量级的聚合物及聚合物薄膜的力学表征至关重要，优于传统DMA测试设备。使用圆底平头探针测试一系列标准高聚物样品的储能模量划痕和磨损测试方法压头通过样品表面时对其施加恒定或渐增的载荷iNano系统可以对多种材料进行划痕和磨损测试。在涂层和薄膜经过化学机械抛光(CMP) 和引线键合等的多种工艺处理的时候，其强度及其对基材的附着力会备受考验。在加工工艺中，材料是否能抵抗塑性变形并保持完整而不从衬底上起泡非常重要。理想情况下，介电材料具有高硬度和高弹性模量，因为这些参数有助于了解材料在制造工艺中的性能变化。划痕测试的定量分析300°C 样品加热允许将样品放入一个腔室中，以便在测试期间对其均匀加热300°C 的样品加热选项允许将样品放置在一个腔室内进行均匀加热，同时接受测试。iNano 样品加热选项用于表征高温下的机械性能。国际标准化的纳米压痕测试iNano包括预先内置的ISO 14577测试方法，可根据ISO 14577 标准测量材料硬度。该测试方法可以自动测量并输出杨氏模量、仪表硬度、维氏硬度和归一化压痕功。按照 ISO14577 标准在一系列标准样品上所测得的硬度值iNano 的其他升级选项远程视频观看 : 远程视频选项包括已安装的网络摄像头，便于在测试之前和期间查看样品。两个观察角度分布为样品设置视图和原位测试视图，可分别观察样品和纳米压头。DataBurst 模式 : DataBurst 模式在高达 100kHz 的速度下触发超级数据采集，捕获材料瞬间响应，例如锯齿流变和断裂现象；允许在真正的步进荷载下测量高应变率材料的力学性能；仪器使用工业界最短的时间常数，帮助客户精准捕捉材料瞬间的真实响应。InView 开放式软件编写平台 : InView 采用开放式软件编写平台，以帮助客户在测试过程中实现加载，测量和计算的全方位控制。用于设计新颖或复杂的实验。开放式软件编写平台给予客户极大的灵活性：帮助客户轻易采集原始测试数据到和最终分析结果的全面使用；客户可以完全浏览，编辑计算公式，自定义参数，实现个性化试验设计；用户可以自由设计和改变试验参数和试验过程，为探索新的试验测试提供可能。TrueTestI-V 电学测试 : True Test I-V 选项允许用户向样品施加特定电压并测量压头的电流，以表征纳米力学测量过程中电学特性的局部变化。带有模块化机架的主动振动隔离:在 iNano 的内置被动隔振的基础上增加主动隔振，为超薄薄膜上高难度的纳米力学测量提供了强大的稳定性和精确度。主动隔振系统减少了所有六个自由度的振动，无需进行调整。生物软材料测试选项台 : 生物材料测试方法利用核心技术连续刚度测试 CSM 表征模量在 1kPa 左右的生物软材料 包含一个平底压头和测量软材料储存损耗模量的测试方法。压头探针和校准样品 : InForce 50、InForce 1000 和 Gemini 驱动器的可互换压头包括 Berkovich、立体角、维氏，以及平底和球体压头。

安东帕生物压痕测试仪：UNHT3Bio 用于软性与生物材料的纳米压痕仪安东帕生物压痕测试仪属于纳米压痕仪，非常适用于表征人体组织和软材料的机械性能。该仪器专为研究软生物材料（如软组织）而设计。凭借生物压痕仪无与伦比的载荷与位移范围和出色的分辨率，可以灵敏地表征软骨、生物组织、支架、水凝胶或眼部组织的弹性模量、蠕变及其他特性。 安东帕生物压痕测试仪：专为研究而设计借助安东帕 生物压痕测试仪 ，可以研究得出极软生物材料的机械性能。当涉及到更好地了解人体，以提高诊断水平、开发新药品和进行组织工程等等时，这个尤其重要。针对这些方面，生物压痕测试仪配备用于测试生物材料的特殊功能，例如能够执行受控的载荷与位移测量。另外，生物压痕测试仪通过检测接触刚度的变化来判定接触点，并提供专为生物材料而调整的测量模式。 压痕程序：针对测量进行了优化安东帕 生物压痕测试仪 提供了多种压痕测试模式选择，包括标准、高级和循环模式。它支持使用简单矩阵、高级矩阵和可视矩阵等各种矩阵进行统计评估和定制压痕测试。可以建立用户定义的压痕配置文件。接触点判定便捷，使生物压痕测试仪成为一种非常易于使用的仪器。 测量系统：独具一格该仪器本身的测量单专为生物学和医学高精度纳米压痕测量设计。集成式载荷传感器能够施加最大 20 mN 的载荷。位移传感器可以测量较大的位移。另外，安东帕 生物压痕测试仪 还具有良好的热稳定性，适合研究蠕变和流动特性。提供的显微镜附长焦物镜。高精度自动样品台使得样品能在 X、Y 和 Z 方向精确移动，从而放到理想位置。 软件：获得结果的关键所在借助功能强大但易于操作的软件，用户可以完全控制压痕程序（载荷、位移等）。软件会自动分析结果，另外还提供了统计模块，让用户可以获得数据和结果的快速分析。可以执行用户定义的 ASCII 导出，并且多名用户可以利用受控的访问权限来使用仪器。另外，还可以利用赫兹应力模型从压痕曲线的加载部分计算得出弹性模量，与常用的 Oliver & Pharr 方法相比，该方法更为适合生物材料。 各种不同的针尖：用户可以根据需求选择安东帕 生物压痕测试仪 支持多种不同的针尖，具体取决于用户的材料和需求。种类包括半径 0.01 mm 至 0.5 mm 及更大的球形、平头（平底圆柱）、锥形、维氏和立方锥针尖，另外还可以按需要定制针尖，以便满足乃至要求最苛刻的应用要求（大半径球形、圆柱形等）。技术规格载荷最大载荷20 mN分辨率最小至 0.001 μN本底噪音0.1 [rms] [μN]*位移最大位移100 μm分辨率最小至 0.006 nm本底噪音0.25 [rms] [nm]**理想实验室条件下规定的本底噪音值，并使用减震台。

Nano Indenter G200系统是一种准确，灵活，使用方便的纳米级机械测试仪器。 G200测量杨氏模量和硬度，包括从纳米到毫米的六个数量级的形变测量。 该系统还可以测量聚合物，凝胶和生物组织的复数模量以及薄金属膜的蠕变响应（应变率灵敏度）。 模块化选项可适用于各种应用：频率特定测试，定量划痕和磨损测试，多功能成像，高温纳米压痕测试，扩展负载容量高达10N和自定义测试。产品描述Nano Indenter G200系统专为各种材料的表征和开发过程中进行纳米级测量而设计。该系统是一个完全可升级，可扩展且经过生产验证的平台，全自动硬度测量可应用于质量控制和实验室环境。Nano Indenter G200系统是一种准确，灵活，使用方便的纳米级机械测试仪器。G200测量杨氏模量和硬度，包括从纳米到毫米的六个数量级的形变测量。该系统还可以测量聚合物，凝胶和生物组织的复数模量以及薄金属膜的蠕变响应（应变率灵敏度）。模块化选项可适用于各种应用：连续刚度测试、定量划痕及摩擦磨损测试、扫描探针成像、高温纳米压痕测试、以及高达10N的高载荷能力和自编程软件。主要功能● 电磁力作动器可实现高动态范围下力和位移的测量● 用于划痕成像，高温纳米压痕测量和动态测试的模块化选件● 用于快速测试设置的直观界面；只需点击几下鼠标即可更改测试参数● 实时实验控制，简便的测试协议开发和精确的热漂移补偿● 屡获殊荣的高速“快速测试”选项，可用于测量硬度和模量● 多功能成像功能，测量扫描，进行简化的测试方法开发，以快速获得结果● 轻松地确定压头面积函数和载荷框架刚度主要应用● 高速硬度和模量测量材料的力学性能表征在新材料的研究和开发中具有重要意义。Nano Indenter G200能够以高达每个数据点1s的速率测量硬度和模量。对这些力学性能的快速评估能让半导体和薄膜制造商将先进技术应用于生产线的质量控制和保证。● 界面附着力测量薄膜与基底的剥离通常是由于沉积过程中的内应力导致的储存弹性能量引起的。界面附着力测量对于帮助用户了解薄膜失效模式而言至关重要。Nano Indenter G200系统能够通过划痕模式获得膜层开裂的初始载荷，测量黏附特性以及多层薄膜的残余应力性能。● 断裂韧性测量断裂韧性指在平面应变条件下应力强度因子发生突然性失效的临界值。低断裂韧性值意味着样品预先存在缺陷。使用刚度成像法可轻松通过纳米压痕仪获得断裂韧性。（刚度成像测量需要连续刚度测量，DCM以及NanoVision选件。）● 粘弹性测量聚合物是结构异常复杂的材料，其力学性能易受化学特性、加工工艺和热力学过程的影响。具体而言，力学性能由母链的类型和长度、支化、交联、应变、温度和频率等因素决定，而他们通常是相互关联的。应在相关环境中对聚合物样本进行力学测试，为聚合物设计参数决策提供有用的数据信息。纳米压痕测试所需样本尺寸小，制作简单，更容易进行这种特定环境的测量。将圆柱形平压头压入被测材料，按照设定频率震动，G200纳米力学测试系统还可用于测量聚合物样品的复合模量和粘弹性性能。● 扫描成像扫描探针显微镜（3D成像）为测量设计应用的断裂韧性，G200纳米压痕系统提供了两种扫描探针显微成像法来表征压痕的裂纹长度。断裂韧性指含有裂缝的缺陷材料防止断裂扩展的能力。G200纳米压痕系统的压电样品台（NanoVision选项）具有超高精度定位能力，可提供高达1nm步长的分辨率，最大扫描尺寸为100µ m x 100µ m,Survey Scanning软件选项将X/Y运动系统与NanoSuite软件相结合，可提供500µ m x 500µ m的最大扫描尺寸。 NanoVision样品台和Survey Scanning选项都需要对样品的精确区域进行纳米压痕测试和断裂韧性计算。● 耐磨损和耐刮擦Nano Indenter G200系统可以对各种材料进行划痕和摩擦磨损测试。涂层和薄膜会受到很多工艺的影响，它们能检验这些薄膜的强度和对衬底的附着力，例如化学机械抛光 (CMP) 和引线键合。在工艺流程中，这些材料能够抵抗塑性形变并保持完整而不在衬底上起泡是非常重要的。电介质材料通常需要高硬度和弹性模量来支持制造工艺。● 高温纳米压痕高温下的纳米压痕可以精确测量出材料在塑性转变之前、塑性转变时和塑性转变之后的纳米力学响应。了解材料行为，例如变形机制和相变，可以预测材料会在何时失效并改善热机械加工过程中的控制。在主要力学测试法中改变温度是测量在纳米尺度上不易测试的材料之塑性转变的其中一种方法。适用行业● 大学，研究实验室和研究所● 半导体和电子工业制造业● 轮胎行业● 涂层和涂料行业● 生物医药行业● 医疗器械● 更多应用：请联系我们探讨您的需求选配件Windows 10 升级Windows 10升级延长了现有纳米压痕仪G200系统的使用寿命和可维护性 ，并增加了新的特性和功能。 高性能硬件与NanoSuite 7.0控制软件相结合以保持现有数据和测试方法，同时继续与您当前的选件和许可证兼容。 此次升级还包括分析数据报告软件（Analyst）和TeamViewer远程支持软件，使KLA支持工程师能够快速排除故障并解决问题，无论系统位于何处。 XP作动器G200纳米力学测试系统由线性度最好的电磁力传感器，以确保精确测量。传感器的独特设计避免了横向移位的影响。 标准XP压痕组元的加载能力为500mN，位移分辨率0.01nm（10pm），最大压痕深度500μm。动态接触模块II（DCM II）压痕组元DCM II将最大载荷扩展到30mN，并以0.2pm的位移分辨率提供70μm的压头行程。 压头更换设计用于快速拆卸和轻松安装各种特定应用的压头。 使用DCM II选项，研究人员不仅可以研究材料表面最初的几个纳米压痕，还可以研究接触之前时期的力学行为。连续刚度测量（CSM）连续刚度测量（CSM）技术与XP和DCM II压痕头兼容，满足必须考虑动态效应的应用要求，如应变速率和频率。 CSM选件包括ProbeDMA&trade 聚合物方法包和AccuFilm&trade 薄膜方法包。 ProbeDMA&trade 聚合物方法包提供了一种分离载荷-位移历史的同相位和异相位分量的方法。 相位分离能够精准确定初始表面接触的位置，并连续测量作为深度或频率函数的接触刚度，无需卸载循环。 AccuFilm&trade 薄膜方法包可以测量与衬底无关的材料属性。Express Test快速测试选件是进行高精度纳米力学测试的一种新颖、快速的方法。 作为全球R&D科技研发奖的获得者，快速测试选件可实现每秒完成一个压痕，这意味着在100秒内可以在100个不同的位置执行100次压痕。 快速测试选件与所有纳米压痕仪G200 DCM II和XP作动器及所有样品台兼容。 功能多样、易于操作的快速测试方法非常适合涉及金属、玻璃、陶瓷、结构聚合物、薄膜和低介电材料的应用。 用于薄膜测量的快速测试方法中包括一种薄膜模型，该模型可自动计算衬底对测量的影响，从而快速、准确地测量出杨氏模量。激光加热压头和样品台与标准XP作动器兼容，G200纳米力学测试系统的激光加热压头和样品台选件使用高功率二极管激光器分别将压头和样品加热到相同的温度。 优点包括能够在精确控制的温度或在高度动态的温度条件下测量各种纳米力学性能。 为确保数据准确，该系统通过使用加热压头和激光作为加热源（非电阻加热）将与加热相关的漂移降至最低。 G200还为用户提供了使用各种气体净化样品的选件，以避免污染和氧化。横向力测量（LFM）横向力测量（LFM）选件为划痕测试、磨损测试和微机电系统（MEMS）探测提供三维定量分析。 该选件允许X和Y方向的剪切力测量。 摩擦学研究大大受益于LFM选件，用于确定划痕长度上的临界载荷和摩擦系数。高载荷高载荷选件用于标准XP作动器，将 G200纳米力学测试系统的负载能力扩展至10N，可对陶瓷、块状金属和复合材料进行完整的力学性能表征。 高载荷选件旨在避免在小载荷时牺牲仪器的载荷和位移分辨率，并在需要额外力的时候在测试协议中完美接合。NanoVisionNanoVision选件配备了用于高分辨3D成像法和能精确定位的闭环纳米定位样品台。 NanoVision允许用户以纳米级精度定位压痕测试的位置，并表征多相/复合材料的不同物相的力学性能。 NanoVision用户还可以通过检查残余压痕形貌来量化材料响应现象，如突起高度、变形体积和断裂韧性等。Survey ScanningSurvey Scanning选件利用G200纳米力学测试系统的精确、可重复的X/Y运动可提供500μm×500μm的最大扫描尺寸。 NanoVision样品台和Survey Scanning选项可配合使用，实现纳米压痕测试的精确定位，这对于确定样品断裂韧性尤其有用。NanoSuite 软件版本所有Nano Indenter G200系统均由标准的NanoSuite Professional软件驱动。 NanoSuite Professional版本为用户提供了预先编写的测试方法，包括符合ISO 14577的方法和从薄膜材料样品去除基底效应的方法。 NanoSuite Explorer版本使研究人员能够使用简单的协议编写自己的NanoSuite方法。 通过NanoSuite Professional和NanoSuite Explorer软件提供的模拟模式，用户可以离线编写测试方法、处理和分析数据。相关产品

产品描述iNano采用InForce 50驱动器进行纳米压痕和通用纳米机械测试。 InForce 50的50mN力荷载和50μm位移范围使得该系统适合各种测试。 InView软件是一个灵活的现代软件包，可以轻松进行纳米级测试。 iNano是内置高速InQuest控制器和隔振门架的紧凑平台。 该系统可以测试金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物材料和凝胶等各种不同的材料和器件。主要功能InForce 50驱动器，用于电容位移测量，并配有电磁启动的可互换探头独特的软件集成探头校准系统，可实现快速准确的探头校准InQuest高速控制器电子设备，具有100kHz数据采集速率和20μs时间常数XY移动系统以及易于安装的磁性样品架带数字变焦的集成显微镜，可实现精确的压痕定位ISO 14577和标准化测试方法InView软件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus报告、InView大学在线培训和InView移动应用程序主要应用硬度和模量测量(Oliver Pharr)高速材料性质分布ISO 14577硬度测试聚合物tan delta，储存和损耗模量样品加热工业应用大学、研究实验室和研究所半导体和封装行业聚合物和塑料MEMS（微机电系统）/纳米级通用测试陶瓷和玻璃金属和合金制药涂料和油漆聚合物制造复合材料电池和储能应用硬度和模量测量 (Oliver-Pharr)机械表征在薄膜的加工和制造中至关重要，其中包括汽车工业中的涂层质量，以及半导体制造前段和后段的工艺控制。iNano纳米压痕仪能够测量从超软凝胶到硬涂层的各种材料的硬度和模量。 对这些特性的高速评估保证了在生产线上进行质量控制。高速材料性质分布对于包括复合材料在内的许多材料，其机械性能可能因部位而异。 iNano的样品平台可以在X轴和Y轴上移动100mm，并在Z轴方向移动25mm，这使得该系统适用于不同的样品高度并可以在很大的样品区域上进行测量。 可选的NanoBlitz形貌和层析成像软件可以快速绘制任何测得的机械属性的彩色分布图。ISO 14577硬度测试iNano纳米压痕仪包括预先编写的ISO 14577测试方法，可测量符合ISO 14577标准的材料硬度。 该测试方法对杨氏模量、仪器硬度、维氏硬度和标准化压痕进行自动测量和报告。聚合物Tan Delta、储存和损失模量iNano纳米压痕仪能够针对包括粘弹性聚合物的超软材料测量tan delta和储存与损耗模量。 储存与损耗模量以及tan delta是粘弹性聚合物的重要特性，其能量作为弹性能量存储并作为热量消耗。 这两个指标都用于测量给定材料的能量消耗。高温纳米压痕测试高温下的纳米压痕对于表征热应力下的材料性能至关重要，特别对热机械工艺中的失效机理进行量化。 在机械测试期间改变样品温度不仅能够测量热引起的行为变化，还能够量化在纳米级别上不易测试的材料过渡塑性。产品优势iNano纳米压痕仪可轻松测量薄膜、涂层和少量材料。 该仪器准确、灵活，并且用户友好，可以提供压痕、硬度、划痕和通用纳米级测试等多种纳米级机械测试。 该仪器的力荷载和位移测量动态范围很大，因而可以实现从软聚合物到金属材料的精确和可重复测试。 模块化选项适用于各种应用：材料性质分布、特定频率测试、刮擦和磨损以及高温测试。 iNano提供了一整套测试扩展选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz3D/4D属性映射和远程视频选项。

纳米力学测试仪 iMicro灵活易用的力学测试可广泛用于各种材料和应用iMicro专为压痕、硬度、划痕测试和多元化纳米级测试等纳米级力学测试设计。iMicro具有多量程加载驱动器，实现在宽泛的荷载和位移的范围内进行测量。iMicro能够测试包括软质高聚物到硬质涂层和薄膜等在内的各种材料。模块化系统选项可以完成各种不同应用：特定频率测试、定量划痕和磨损测试、集成探针成像、高温测试和自定义方法编程等。除了能够推进高校科研之外，iMicro还可以为以下材料和行业进行纳米压痕测试和抗蠕变性测量：硬涂层陶瓷和玻璃金属和合金复合材料涂料和油漆医药器械半导体电池与储能材料汽车和航空航天主要功能高度模块化设计, 既具有最为宽泛的测试功能，又可提供高通量的自动化测试功能，并配有统计数据分析包，适用于纳米力学性能测量、扫描探针显微成像、高温测量和IV电压电流特性测试实时高效的实验控制，简单易用的测试流程开发和测试参数设置标准的InForce 1000电磁驱动器提供高达1N的驱动力集成高速控制器电子设备完成告诉数据采集高达100kHz，捕获材料瞬间的响应，例如锯齿流变和断裂现象。仪器使用工业界最短的时间常数20μs，精准捕捉材料瞬间的真实响应集成了噪音隔离功能的高刚度框架，可确保对各种材料进行准确测量数码变焦的高分辨光学显微镜，精确定位样本纳米压痕专家在线讲授专业纳米压痕课程，以及移动应用程序能够提供测试方法的实时更新功能与选项概览KLA 核心技术iMicro采用电磁驱动转换器提供动力，电磁驱动加载模块技术因其众多的优势被广泛的应用在KLA的压痕设备中,轻松实现载荷和位移的宽动态范围的控制,提供纳米级的力学测试功能, 实现高精度观察与定位测试样本,以及样品高度的简易调节。在其标准配置中，iMicro采用了InForce 1000驱动器，并提供模块化控制器以便用户按需要增加功能。iMicro具备高度模块化设计,可选配InForce 1000 或InForce 50驱动器，并实现驱动器软件无缝切换，设备提供扫描探针成像功能、划痕及磨损测试功能、高温纳米力学测试功能、连续刚度测试(CSM) 和高速3D及4D力学图谱等模块化升级选件。该系统兼容ISO 14577国际标准。iMicro 采用高阶的InView&trade 测试控制和数据采集软件,包含用于简化测试设置的带屏幕控制的InviewRunTest，可在测试期间或之后进行数据分析的 InView ReviewData，和生成各种综合性测试报告的 InFocus 软件。连续刚度测量（CSM）压入循环期间测量刚度和其他材料特性KLA的连续刚度测量技术能够轻松评估材料在应变速率或蠕变效应影响下的动态力学性能。CSM技术在压入过程中保持探针以纳米级的振幅持续振动，从而获得硬度、模量等力学性能随深度、载荷、时间或频率的变化而变化的特性。该选项提供学术界与工业界最常用的恒应变速率测试方法，用以测量随深度或载荷变化的硬度和模量。CSM还可用于其他高级测量选项，其中包括用于存储和损耗模量测量的ProbeDMA&trade 方法以及AccuFilm&trade 消除基底效应的薄测量等。连续刚度测量技术在InQuest控制器和InView软件中集成，可以方便使用并保证数据的可靠性。 使用 CSM 选项测量随压入深度而变化的弹性模量AccuFilm&trade 薄膜方法通过校正衬底对测量的影响对超薄膜进行表征基于连续刚度测量技术(CSM)并结合Hay-Crawford模型的新一代AccuFilm&trade 薄膜测试选件可测量附着于衬底的膜层材料，使用AccuFilm超薄膜方法是基于KLA科学家发明的的新一代超薄膜的测试技术，实验设置操作简单，对于软衬底上的硬质膜以及硬衬底上的软质膜，AccuFilm都可以校正衬底在膜测量中所带来的影响。使用 AccuFiLm 薄膜法，基底影响模量和纯薄膜模量作为归一化压痕深度的函数NanoBlitz 3D 快速力学性能分布快速定量地测量表面力学性能分布测量粗糙表面和/或异质材料通过增加观察次数给出具有统计意义的结果NanoBlitz 3D 采用新一代快速纳米压痕测试技术，实现每个压痕测试时间小于1秒。单次试验最大压痕个数为100000（300X300矩阵），可在用户指定的恒定加载力下，提供材料弹性模量，硬度和接触刚度的三维图谱。快速且大量的测试点极大的提高了统计的准确性，同时可以直接对不同相或不同特性区域进行力学均值、分布和面积占比的统计。NanoBlitz 3D功能为用户提供数据可视化和强大的统计数据分析处理功能。使用 NanoBlitz 3D 选项绘制 WC-CO 复合材料的硬度分布图和统计直方图NanoBlitz4D 力学性能断层扫描基于连续刚度测量(CSM) 技术的力学性能断层扫描NanoBlitz 4D力学谱图利用InForce 50或InForce 1000驱动器和Berkovich压头为低E/H值和高模量( 3GPa) 材料生成纳米力学性质的4D图。NanoBlitz4D以每个压痕5秒的速度完成多达10,000个压痕（30×30阵列），并为阵列中的每个压痕测量随深度而变化的杨氏模量(E)、硬度(H)和刚度(S)数值。NanoBlitz 4D采用恒应变速率方法，为用户提供数据可视化和强大的统计数据分析处理功能。使用 NanoBlitz 4D 选项针对多层薄膜绘制两个不同压入深度的弹性和塑性分布图ProbeDMA&trade 高聚物测试聚合物测试包中配置了圆底平头探针、粘弹性测试标样和粘弹特性的测试方法，该测试选件基于连续刚度测量技术，可在不同频率条件下对材料进行高效可靠测量，得到储存模量和损耗模量与频率的变化关系。该测量技术对纳米量级的聚合物及聚合物薄膜的力学表征至关重要，优于传统DMA测试设备。使用圆底平头探针测试一系列标准高聚物样品的储能模量300°C 样品加热允许将样品放入一个腔室中，以便在测试期间对其均匀加热300°C 的样品加热选项允许将样品放置在一个腔室内进行均匀加热，同时接受测试。iNano 样品加热选项用于表征高温下的机械性能。国际标准化的纳米压痕测试iMicro包括预先内置的ISO 14577测试方法，可根据ISO 14577 标准测量材料硬度。该测试方法可以自动测量并输出杨氏模量、仪表硬度、维氏硬度和归一化压痕功。按照 ISO14577 标准在一系列标准样品上所测得的硬度值iMicro 的其他升级选项划痕和磨损测试选项 : 划痕和磨损测试在探针通过样品表面时对其施加恒定或渐增的纵向载荷，可用于表征薄膜、脆质陶瓷和高聚物等的多种材料。生物软材料测试选项 : 生物材料测试方法利用核心技术连续刚度测试 CSM 表征模量在 1kPa 左右的生物软材料包含一个平底压头和测量软材料储存损耗模量的测试方法，DataBurst 测试选项 : DataBurst 模式在高达 100 kHz 的速度下触发超级数据采集，捕获材料瞬间的响应，例如锯齿流变和断裂现象；允许在真正的步进荷载下测量高应变率材料的力学性能；仪器使用工业界最短的时间常数，帮助客户精准捕捉材料瞬间的真实响应。InView 开放式软件编写平台 : InView 采用开放式软件编写平台，以帮助客户在测试过程中实现加载，测量和计算的全方位控制。用于设计新颖或复杂的实验。开放式软件编写平台给予客户极大的灵活性：帮助客户轻易采集原始测试数据到和最终分析结果的全面使用；客户可以完全浏览，编辑计算公式，自定义参数，实现个性化试验设计；用户可以自由设计和改变试验参数和试验过程，为探索新的试验测试提供可能。True Test I-V 电学测试 : True Test I-V 选项允许用户向样品施加特定电压并测量压头的电流，以表征纳米力学测量过程中电学特性的局部变化。带有模块化机架的主动振动隔离 : 在 iMicro 的内置被动隔振的基础上增加主动隔振，为实现超薄薄膜等高难度纳米力学测量提供了强大的稳定性和精确度。主动隔振系统减少了所有六个自由度的振动，无需进行调整。高精度线性光学编码器平台 : 线性光学编码器 (LOE) 选项，提高了测试过程的定位精度，用于微小结构定位。压头探针和校准样品 : InForce 50、InForce 1000 和Gemini 驱动器的可互换压头包括 Berkovich、立体角、维氏，以及平底和球体压头。

Nano IndenterG200Nano Indenter G200系统专为各种材料的表征和开发过程中进行纳米级测量而设计。 该系统是一个完全可升级，可扩展且经过生产验证的平台，全自动硬度测量可应用于质量控制和实验室环境。 参数：压头类型：berkovich压头最大摩擦力：250mN位移分辨率：0.01nm可实现位移范围：+/750um有效载荷分辨率：3nN最大压痕深度：500um有效加载载荷范围：10N 产品描述Nano Indenter G200系统是一种准确，灵活，使用方便的纳米级机械测试仪器。 G200测量杨氏模量和硬度，包括从纳米到毫米的六个数量级的形变测量。 该系统还可以测量聚合物，凝胶和生物组织的复数模量以及薄金属膜的蠕变响应（应变率灵敏度）。 模块化选项可适用于各种应用：频率特定测试，定量刮擦和磨损测试，集成的基于探头的成像，高温纳米压痕测试，扩展负载容量高达10N和自定义测试。主要功能 电磁驱动可实现高动态范围下力和位移测量 用于成像划痕，高温纳米压痕测量和动态测试的模块化选项 直观的界面，用于快速测试设置 只需几个鼠标点击即可更改测试参数 实时实验控制，简便的测试协议开发和精确的热漂移补偿 屡获殊荣的高速“快速测试”选项，用于测量硬度和模量 多功能成像功能，测量扫描和流程化测试方法，帮助快速得到结果 简单快捷地确定压头面积函数和载荷框架刚度主要应用 高速硬度和模量测量 界面附着力测量 断裂韧性测量 粘弹性测量 扫描探针显微镜（3D成像） 耐磨损和耐刮擦 高温纳米压痕工业应用 大学，研究实验室和研究所 半导体和电子工业制造业 轮胎行业 涂层和涂料工业 生物医药行业 医疗仪器 更多应用：请根据您的要求与我们联系 高速硬度和模量测量材料的机械特性表征在新材料的研究与开发中具有重要意义。 Nano Indenter G200能够以每秒一个数据点的速率测量硬度和模量。 对机械性能的高速评估使半导体和薄膜材料制造商能够将技术应用于生产线上的质量控制与保证。界面粘附力测量通常通过沉积能够存储弹性能量的高压缩层来诱导薄膜分层。 界面粘附力测量对于帮助用户理解薄膜的失效模式是至关重要的。Nano Indenter G200系统可以触发界面断裂并测量多层薄膜的粘附性和残余应力性质。断裂韧性断裂韧性是在平面应变条件下发生灾难性破坏的应力 - 强度因子的临界值。 较低的断裂韧性值表明存在预先存在的缺陷。 通过使用刚度映射法容易地通过纳米压痕评估断裂韧性。 （刚度映射需要连续刚度测量和NanoVision选项）粘弹特性聚合物是非常复杂的材料 它们的机械性能取决于化学，加工和热机械历史。 具体来讲，机械性能取决于材料分子母链的类型和长度，支化，交联，应变，温度和频率，并且这些依赖性通常是相互关联的。 为了采用聚合物进行研究时获得有用的信息进行决策，应在相关背景下对相关样品进行机械性能测量。 纳米压痕测试使得这种特定的测量更容易完成，对样品制备要求不高，可以很小且少量。 Nano Indenter G200系统还可用于通过在与材料接触时振荡压头来测量聚合物的复数模量和粘弹性。扫描探针显微镜（3D成像）Nano Indenter G200系统提供两种扫描探针显微镜方法，用于表征压痕印痕的裂缝长度，以测量设计应用中的断裂韧性。 断裂韧性定义为含有裂缝的缺陷材料抵抗断裂的能力。Nano Indenter G200的压电平台具有高定位精度和NanoVision选项，可提供高达1nm的步长编码器分辨率，最大扫描尺寸为100μm×100μm。 测试扫描软件选项将X / Y运动系统与NanoSuite软件相结合，可提供500μm×500μm的最大扫描尺寸。 NanoVision阶段和测试扫描选项都需要精确定位在样品区域来完成纳米压痕测试和断裂韧性计算。耐磨性和耐刮擦性Nano Indenter G200系统可以对各种材料进行划痕和磨损测试。 涂层和薄膜将经受许多工艺，测试这些薄膜的强度及其与基板的粘合性，例如化学和机械抛光（CMP）和引线键合。 重要的是这些材料在这些工艺过程中抵抗塑性形变并保持完整，也不会在基板上起泡。 对于介电材料，通常需要高硬度和弹性模量来支持这些制造工艺。高温机械测试高温下的纳米压痕提供了在达到塑性转变之前、之中与之上的精确测量能力，得到材料的纳米力学响应。 了解材料行为，例如形变机制和相变，可以预测材料失效并改善热机械加工过程中的控制。 在主要机械测试方法过程中改变温度是对材料进行纳米尺度测量塑形转变的一种方式。