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高频等离子射仪

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高频等离子射仪相关的资讯

  • ICP等离子体发射光谱仪新品「SPS3500DD系列」发售
    利用高精度直接驱动马达的驱动方式有效提高了精度和测量效率  精工电子纳米科技有限公司(简称:SIINT,社长:川崎贤司,总公司:千叶县千叶市)是精工电子有限公司(简称:SII,社长:新保雅文,总公司:千叶县千叶市)的全资子公司。公司的最新产品—利用高精度直接驱动马达的驱动方式,兼备高精度和高效率测量的ICP等离子体发射光谱仪(ICP-OES或ICP-AES※1)「SPS3500DD系列」将于8月4日正式开始销售。ICP等离子体发射光谱仪 SPS3500DD系列  ICP-OES能够对应从ppm(百万分率)到ppb(十亿分率)级别的分析。由于可进行元素的精密分析,因此被很多法定法规所采用。其应用特别是在近年来极其关注的稀有金属和稀土类元素分析的领域,另外也广泛应用在电子仪器中的环境管制物质的管理、电镀、工业材料、钢铁等高共存元素样品中的组成分析以及品质管理。 以往的SPS3500是通过旋转驱动光栅,对元素所发出的特征光线进行分离,来对样品中所含有的各种元素进行精密分析的扫描型ICP-OES。过去为了驱动光栅,使用的是滚珠丝杠和斜口滑块等几个部件组合起来的正弦设定方式。因此,在测量的精度和效率方面就有所限制。此次新开发的「SPS3500DD系列」,使用新开发的直接驱动马达来直接驱动光栅,避免了一些无用的机械动作,使得高精度・ 高效率的测量成为可能。与过去的驱动方式相比,其波长位置精度提高了5倍,定性分析提高约6倍,大大提高了测量的效率。 此外,由于「SPS3500DD系列」可更大角度地驱动高分辨率光栅,可对长达460nm波长范围进行分析,而其中有着很多需要利用高灵敏度分析线才能分析的稀土类元素镨、钕、钐等元素,也能够进行高分辨率的测量。并且,通过直接驱动马达方式,最小驱动波长单位为2pm,通过一次测量,进行全波长能谱的广域波长分析。测定结束后,能够对广域波长的能谱进行局部扩大并进行观察。特别是在未知样品的元素干扰分析方面,是非常有效的。【SPS3500DD系列的主要特征】 (1) 实现高精度分析光栅的驱动无需使用正弦设定、滚珠丝杠等辅助部件,通过直接驱动马达直接驱动。因此、基本不会受到各部件的热膨胀等影响,可进行高精度的分析。(2) 可进行快速测量由于可以快速驱动(以往的10倍以上)分光的光栅,全元素定性测量所花的时间只是以往的约1/6。同时也可减少样品的消耗量。(3) 可测量广域波长通过采用高分辨率直接驱动马达,增加了对任意设定广域连续能谱进行高分辨率的获取功能。可进行全元素、全波长的能谱确认和以此信息为基本的定性判断。也可简单地设定含有复杂的共存元素的样品的测量条件。(4) 高分辨率测量由于采用了直接驱动马达,光栅的角度就没有限制了。可大角度驱动高分辨率的光栅(4320根/mm),所以可在以往不可能达到的450nm附近的波长进行高分辨率测量。通过采用4320根/mm光栅,实现了世界顶尖水平的分辨率0.0045nm,可精确测量金属等的共存元素高的样品。(5) 定性分析功能的充实可选择快速定性分析和高精度定性分析等定性分析方法。根据样品内容和目的可进行广泛的对应。(6) 紧凑型设计与以往机型同样,采用的是分光器竖着配置,高频电源和循环冷却水装置内置在主机内的一体化紧凑型设计。 【价格】 1700万日元~(不含税)【预定销售台数】 100台(2011年度) 本产品的咨询方式中国:精工盈司电子科技(上海)有限公司TEL:021-50273533FAX:021-50273733MAIL:sales@siint.com.cn日本:【媒体宣传】精工电子有限公司综合企划本部 秘书广告部【客户】精工电子纳米科技有限公司分析营业部 营业二科TEL: 03-6280-0077(直线)MAIL:info@siint.co.jp
  • MH-5000 便携式等离子体发射光谱仪
    佰汇兴业(北京)科技有限公司最新代理日本MICRO EMISSION MH-5000等离子体发射光谱仪,该仪器为一款利用液态电极等离子体来分析痕量金属的发射光谱仪,它通过向溶液施加电压以使其加热并蒸发,液体电极产生等离子体,溶液中的溶质被送入等离子体中产生发射光谱。它可以应用到冶金制造、工业废物处理和环境监测等领域中。特点:手持掌上型尺寸的实现(小型,便携式手持)操作简单,初学者也可快速入门电池驱动,可使用于现场测定同时测定多种元素检测极限0.1ppm~100ppm工程管理、土壤测定、水质测定、食品测定
  • 197万!复旦大学和生态环境部电感耦合等离子体发射光谱仪采购
    一、项目编号:项目名称:电感耦合等离子体质谱仪采购项目预算金额:98.0000000 万元(人民币)最高限价(如有):98.0000000 万元(人民币)采购需求:1. 标的名称:包组1:电感耦合等离子体质谱仪采购项目2. 标的数量:包组1:1套3. 简要技术需求或服务要求:(1) 项目编号: CLF22SH01QY17(2) 最高限价: 人民币 ¥ 980,000.00元(3) 交货期限: 采购合同签订之日起至1个月内。(4) 本项目只允许采购本国产品;(5) 简要技术要求: a) 电感耦合等离子体质谱仪具备可搭配LC、自动进样器、全自动石墨消解系统、全自动微波消解系统等连用技术。 b) 可广泛应用于水质、土壤、大气颗粒物、固废、食品、动植物、食品接触材料、化妆品、半导体、高纯材料、矿产、石油化工、工业品、纺织等领域,且符合相关国家标准分析方法的要求。具体详见采购需求。 合同履行期限:自合同签订之日起至2023年10月前本项目( 不接受 )联合体投标。二、项目编号:0705-224002028052项目名称:复旦大学电感耦合等离子体发射光谱仪采购国际招标预算金额:99.0000000 万元(人民币)最高限价(如有):97.0000000 万元(人民币)采购需求:1、招标条件项目概况:电感耦合等离子体发射光谱仪采购资金到位或资金来源落实情况:本次招标所需的资金来源已经落实项目已具备招标条件的说明:已具备招标条件2、招标内容:招标项目编号:0705-224002028052招标项目名称:电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目实施地点:中国上海市招标产品列表(主要设备):序号产品名称数量简要技术规格备注1电感耦合等离子体发射光谱仪1套自激式射频发生器,频率大于40MHz预算金额:人民币99万元 最高限价:人民币97万元 合同履行期限:签订合同后4个月内合同履行期限:签订合同后4个月内本项目( 不接受 )联合体投标。
  • 2276万!中国食品药品检定研究院电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目
    一、项目基本情况项目编号:CFTC-BJ01-2405058项目名称:中国食品药品检定研究院2024年专项设备购置项目第一批预算金额:2276.000000 万元(人民币)采购需求:预算金额:总预算:2276万元,其中05包预算金额:156万元采购需求:包号品目采购标的名称用途数量是否允许进口05包5-1电感耦合等离子体发射光谱仪用于国产和进口放射性药品注册检验中金属杂质检查项目测定1套否05包5-2电感耦合等离子体发射光谱仪对样品中的各个元素进行准确定量以及定性分析1套否 备注:具体产品技术参数见招标文件第八章。本项目按包公布分项控制预算。若投标人报价高于此分项控制预算,其投标将被作为无效投标处理。交货期:合同签订后60日内。合同履行期限:合同签订之日起至质保期结束本项目( 不接受 )联合体投标。二、获取招标文件时间:2024年07月11日 至 2024年07月18日,每天上午9:00至12:00,下午12:00至17:00。(北京时间,法定节假日除外)地点:网上获取方式:网上获取,详见其它补充事宜售价:¥500.0 元,本公告包含的招标文件售价总和
  • 99万!复旦大学电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目
    项目编号:0705-224002028082项目名称:复旦大学电感耦合等离子体发射光谱仪采购国际招标预算金额:99.0000000 万元(人民币)最高限价(如有):97.0000000 万元(人民币)采购需求:1、招标条件项目概况:电感耦合等离子体发射光谱仪采购资金到位或资金来源落实情况:本次招标所需的资金来源已经落实项目已具备招标条件的说明:已具备招标条件2、招标内容:招标项目编号:0705-224002028082招标项目名称:电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目实施地点:中国上海市招标产品列表(主要设备):序号产品名称数量简要技术规格备注1电感耦合等离子体发射光谱仪1套自激式射频发生器,进样系统可耐高盐样品预算金额:人民币99万元 最高限价:人民币97万元 合同履行期限:签订合同后4个月内合同履行期限:签订合同后4个月内本项目( 不接受 )联合体投标。
  • 99万!复旦大学电感耦合等离子体发射光谱仪采购国际招标
    项目编号:0705-224002028082项目名称:复旦大学电感耦合等离子体发射光谱仪采购国际招标预算金额:99.0000000 万元(人民币)最高限价(如有):97.0000000 万元(人民币)采购需求:1、招标条件项目概况:电感耦合等离子体发射光谱仪采购资金到位或资金来源落实情况:本次招标所需的资金来源已经落实项目已具备招标条件的说明:已具备招标条件2、招标内容:招标项目编号:0705-224002028082招标项目名称:电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目实施地点:中国上海市招标产品列表(主要设备):序号产品名称数量简要技术规格备注1电感耦合等离子体发射光谱仪1套自激式射频发生器,进样系统可耐高盐样品预算金额:人民币99万元 最高限价:人民币97万元 合同履行期限:签订合同后4个月内合同履行期限:签订合同后4个月内本项目( 不接受 )联合体投标。
  • 159万!复旦大学电感耦合等离子体发射光谱仪等采购项目
    一、项目编号:0705-224002028052项目名称:复旦大学电感耦合等离子体发射光谱仪采购国际招标预算金额:99.0000000 万元(人民币)最高限价(如有):97.0000000 万元(人民币)采购需求:1、招标条件项目概况:电感耦合等离子体发射光谱仪采购资金到位或资金来源落实情况:本次招标所需的资金来源已经落实项目已具备招标条件的说明:已具备招标条件2、招标内容:招标项目编号:0705-224002028052招标项目名称:电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目实施地点:中国上海市招标产品列表(主要设备):序号产品名称数量简要技术规格备注1电感耦合等离子体发射光谱仪1套自激式射频发生器,频率大于40MHz预算金额:人民币99万元 最高限价:人民币97万元 合同履行期限:签订合同后4个月内合同履行期限:签订合同后4个月内本项目( 不接受 )联合体投标。二、项目编号:0705-224002028053项目名称:复旦大学激光粒度分析仪采购国际招标预算金额:60.0000000 万元(人民币)最高限价(如有):58.0000000 万元(人民币)采购需求:1、招标条件项目概况:激光粒度分析仪采购资金到位或资金来源落实情况:本次招标所需的资金来源已经落实项目已具备招标条件的说明:已具备招标条件2、招标内容:招标项目编号:0705-224002028053招标项目名称:激光粒度分析仪采购项目实施地点:中国上海市招标产品列表(主要设备):序号产品名称数量简要技术规格备注1激光粒度分析仪1套测量速度:扫描速度≥10KHz预算金额:人民币60万元 最高限价:人民币58万元 合同履行期限:签订合同后3个月内合同履行期限:签订合同后3个月内本项目( 不接受 )联合体投标。
  • 重磅发布:干扰无忧——珀金埃尔默NexION 2200 电感耦合等离子体质谱仪新产品
    作为技术创新的践行者,珀金埃尔默持续为分析仪器与技术带来新的篇章。今天,珀金埃尔默向中国市场推出电感耦合等离子体质谱仪新产品——NexION ®2200 ICP-MS。这款仪器将ICP-MS 的灵活性、准确性和可重复性提升到新的水平,为高端制造、半导体、石化、科学研究等行业和市场持续赋能,为您元素痕量分析与应用提供前所未有的体验。NexION 2200 依托四十年的ICP-MS创新历史,秉承着珀金埃尔默可靠、易于使用、低维护的传统理念,可为开展痕量元素分析的分析测试实验室提供理想的性能、准确性和可重复性。其独特的三组四极杆质谱平台设计结合新颖成熟的技术可提供强大的灵活性、卓越的干扰消除和无与伦比的基质耐受性,使其成为您值得信赖的首选痕量元素分析解决方案。NexION 2200 ICP-MS拥有一系列独特的专有技术组合:• 三组四极杆,提供三级质量分辨和干扰消除能力,超越传统的单四极杆ICP-MS系统,实现ppq检测限。• 具有动态带宽调谐功能的四极杆碰撞反应池,可在反应副产物形成新干扰之前将其消除,从而实现卓越的干扰消除。• 领先的LumiCoil ™射频线圈技术结合专为ICP-MS设计的平衡驱动自激式高频固态发生器和带OmniRing™技术的三锥接口,提供了等离子体极强的稳健性,前所未有的灵活性,能够高效处理各类应用。• 具有快速四极杆扫描和高达100000 数据点每秒的超强数据采集能力,特别有利于单颗粒、单细胞,激光成像微区和多元素形态分析等。• 独一无二的智能稀释技术,匹配无差别的最大200倍稀释的全基体进样系统和专有的可进行选择性元素稀释的电子稀释技术,实现更轻松,更灵活的高低含量分析,提升效率和运营。此外,创新的LCD 触摸屏和专为ICP-MS 设计的绿色环保GreenCT 冷却技术,持续引领ICP-MS 风尚。
  • 石墨烯缺陷工程的重要一员——表面等离子体激元反射
    石墨烯是近年来受到广泛关注的二维材料,具有特的物理化学性质,在信号传感、物质检测、和能源电池领域都有着广阔的应用前景。2016年9月,南开大学许京军、蔡卫老师研究团队在国际期刊 2D Materials上公开发表题为“Tailorable re?ection of surface plasmons in defect engineered graphene”的全文文章,通过探讨缺陷改变石墨烯光、电、热性质的可能性,提出了对石墨烯纳米尺度下的等离子激元性质进行操控的思路,为未来纳米光电设备的实现开辟新篇。(a) NeaSNOM测量原理示意图 (b)NeaSNOM的AFM成像显示了石墨烯缺陷处的形貌结构 (c)NeaSNOM的纳米显微光学成像展示了该区域的表面等离子波传播图样许京军、蔡卫老师研究团队先设计了离子束对石墨烯缺陷边界的操控可行性,并通过AFM等常规测量手段对这一设想进行了重复验证,检验其可行性。该研究团队对石墨烯表面等离子波在缺陷边界的传播进行了深入研究,通过NeaSNOM提供的可靠等离子激元成像手段,他们近场等离子激元成像图中观测到了靠近边界的明显干涉条纹。通过典型的石墨烯楔形结构,边界处的等离子激元的有效散射波通过操控的缺陷得到了大的增强。在缺陷边界处的等离子激元反射次得到清晰观测,证实了这些缺陷在表面等离子波传播中散射中心的作用。不同程度缺陷石墨烯中等离子激元传播和反射的研究在入射激光波长为10.653um下,不同程度缺陷石墨烯中等离子激元传播和反射的研究。其中,等离子激元干涉峰值被定义为M,在边界处衰减比例为0.28,实验结果与理论数值得到了很好的拟合。该研究团队证明了通过引入离子束在石墨烯缺陷边界处改变等离子激元的反射的结论,他们认为缺陷可以作为有效的等离子激元传播散射中心,通过缺陷程度的控制可以实现对等离子激元的操控,这一研究结果有效开创了控制表面等离子波的新篇章。参考文献:Luo W, Cai W, Wu W, et al. Tailorable reflection of surface plasmons in defect engineered graphene[J]. 2D Materials, 2016, 3(4): 045001.本文涉及的研究过程及实验结果均以原著作为准。相关产品:超高分辨散射式近场光学显微镜:http://www.instrument.com.cn/netshow/C170040.htm纳米傅里叶红外光谱仪Nano-FTIR:http://www.instrument.com.cn/netshow/C194218.htm
  • Aliben发布等离子体固样分析发射光谱仪-PJ10新品
    粮食土壤元素分析仪(等离子体固样分析发射光谱仪-PJ10)本产品是基于射流等离子体技术的固体样品元素直接分析的光谱仪器。该仪器无需对固体样品进行湿法消解等复杂的化学前处理,即可快速对固体样品中的元素进行定性和定量分析,为固体样品的直接快速分析提供了新的检测技术和方法,有效地提升了对固体样品的分析效率。 1、仪器特点: △ 直接对固体样品中的多种元素进行快速定性和定量分析,无需化学消解;△ 装载高能激发源,灵敏度高,检出限可达ppb级 ,RSD9%;△ 分析速度快,60秒内可以同时获得190nm-1100 nm波段的全谱信号,覆盖Cd,Cr,Cu,Pb,Zn,Ca,Fe等多种元素;△ 配备自动样品仓和智能软件,可实现多个待测样品自动检测并输出结果。 2、仪器参数型号:PJ10尺寸:400*410*662 mm重量:32kg功率:200W进样方式:固体直接进样样品前处理:简单混样压片、用时2-3分钟(无需消解)分析时间: 60 s可检测元素:镉Cd,铬Cr,铜Cu,铅Pb,钙Ca,铁Fe,锌Zn等元素光谱范围:190nm-1100 nm (可 根据用户需求选配)光谱分辨率:0.10~0.25nm软件:全自动检测,直接给出测试结果存储:128 GB SSD数据接口:4XUSB,1X网口,1XVGA创新点:粮食土壤元素分析仪(等离子体固样分析发射光谱仪-PJ10) 本产品是基于射流等离子体技术的固体样品元素直接分析的光谱仪器。该仪器无需对固体样品进行湿法消解等复杂的化学前处理,即可快速对固体样品中的元素进行定性和定量分析,为固体样品的直接快速分析提供了新的检测技术和方法,有效地提升了对固体样品的分析效率: 1.直接对固体样品中的多种元素进行快速定性和定量分析,无需化学消解; 2.装载高能激发源,灵敏度高,检出限可达ppb级 ,RSD9%; 3.分析速度快,60秒内可以同时获得190nm-1100 nm波段的全谱信号,覆盖Cd,Cr,Cu,Pb,Zn,Ca,Fe等多种元素; 4.配备自动样品仓和智能软件,可实现多个待测样品自动检测并输出结果。等离子体固样分析发射光谱仪-PJ10
  • 斯派克发布德国斯派克ICP-OES等离子体发射光谱仪GREEN新品
    核心参数光学分辨率全光谱范围0.008nm以下稳定性《1.5%重复性《1.5%检出限ppb级波长范围165-770仪器种类全谱直读创新点上市时间:2019年10月创新点:SPECTROGREENICP-OES采用全新研发的DSOI技术,该技术将传统径向系统的灵敏度推高了数倍,非常适合环境及农业等样品的检测,同时适用于消费品安全、药品、石化产品、高盐、金属、化学品和食品等行业。 全新的垂直同步双观测(DSOI)技术,使传统的径向等离子体观测仪器的灵敏度提高了数倍。 新推出的GigE读出系统,能够在不到100毫秒的时间内收集、传输光谱及数据,从而加快分析速度,缩短了样品切换的时间,使单位时间内的样品分析数量大大增加。 极为灵敏及响应快速的LDMOS发生器,不需要外部冷却:具有分析高重的复杂基体的能力--而无需稀释样品–仪器开机速度快(约10分钟)--生产率高 新的NewSPECTROICPAnalyzerPro操作软件采用了简单直观的界面,易于使用 SPECTRO公司新研发的垂直同步双观测DSOI光学系统,为提升ICP-OES的灵密度提供了一种全新解决方案。采用该技术解决了等离子体观测的核心问题。该技术采用全新的视角观测并记录垂直燃烧的等离子体所产生的信号,使用两个光学接口,并用一个增强反射镜来捕获等离子体两侧发出的光,以增加灵敏度,巧妙地解决了困扰垂直炬焰双观测所存在的干扰等诸多问题。因此,DSOI提供的灵敏度是传统径向观测仪器的数倍,同时简单明了地解决了传统垂直双观测所存在的模式复杂、使用成本高等问题。仪器详情注:该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证,不可用于临床诊断或治疗等相关用途全新的垂直同步双观测(DSOI)技术,使传统的径向等离子体观测仪器的灵敏度提高了数倍。新推出的GigE读出系统,能够在不到100毫秒的时间内收集、传输光谱及数据,从而加快分析速度,缩短了样品切换的时间,使单位时间内的样品分析数量大大增加。极为灵敏及响应快速的LDMOS发生器,不需要外部冷却:具有分析高重的复杂基体的能力 -- 而无需稀释样品 – 仪器开机速度快(约10分钟)-- 生产率高新的New SPECTRO ICP Analyzer Pro操作软件采用了简单直观的界面,易于使用 SPECTRO公司新研发的垂直同步双观测DSOI光学系统,为提升ICP-OES的灵密度提供了一种全新解决方案。采用该技术解决了等离子体观测的核心问题。该技术采用全新的视角观测并记录垂直燃烧的等离子体所产生的信号,使用两个光学接口,并用一个增强反射镜来捕获等离子体两侧发出的光,以增加灵敏度,巧妙地解决了困扰垂直炬焰双观测所存在的干扰等诸多问题。因此,DSOI提供的灵敏度是传统径向观测仪器的数倍,同时简单明了地解决了传统垂直双观测所存在的模式复杂、使用成本高等问题。SPECTROGREEN在分析挑战性的高重基体中的痕量元素方面具有显著优势,这类样品包括黑色及有色、石油及化工、污水及废水、土壤及淤泥、高盐和金属等。同时SPECTROGREEN光谱仪是环境、农学、医药、食品、及日用品安全等常规分析的理想选择。 SPECTROGREEN的推出得益于德国斯派克分析仪器公司40年的仪器研发制造及服务经验,集多年电感耦合等离子发射光谱(ICP-OES、ICP-AES及ICP等离子体)技术之大成。SPECTROGREEN ICP-OES光谱仪预制了斯派克公司专有的ICP ANALYZER PRO software软件,简洁直观,易于操作,分析效率高。德国斯派克分析仪器公司生产的其他型号的ICP-OES包括:SPECTRO GENESIS, SPECTROBLUE及 SPECTRO ARCOS。点击收起售后服务免费上门安装:是保修期:1年是否可延长保修期:是保内维修承诺:保内免费维修报修承诺:48小时抵达现场免费仪器保养:详谈免费培训:1次现场技术咨询:有创新点:SPECTROGREEN ICP-OES采用全新研发的DSOI技术,该技术将传统径向系统的灵敏度推高了数倍,非常适合环境及农业等样品的检测,同时适用于消费品安全、药品、石化产品、高盐、金属、化学品和食品等行业。 全新革命性的垂直同步双观测(DSOI)技术,使传统的径向等离子体观测仪器的灵敏度提高了数倍。 • 新推出的GigE读出系统,能够在不到100毫秒的时间内收集、传输光谱及数据,从而加快分析速度,缩短了样品切换的时间,使单位时间内的样品分析数量大大增加。 • 极为灵敏及响应快速的LDMOS发生器,不需要外部冷却:具有分析高重的复杂基体的能力 -- 而无需稀释样品 – 仪器开机速度快(约10分钟)-- 生产率高 • 新的New SPECTRO ICP Analyzer Pro 操作软件采用了简单直观的界面,易于使用 SPECTRO公司新研发的垂直同步双观测DSOI光学系统,为提升ICP-OES的灵密度提供了一种全新解决方案。采用该技术解决了等离子体观测的核心问题。该技术采用全新的视角观测并记录垂直燃烧的等离子体所产生的信号,使用两个光学接口,并用一个增强反射镜来捕获等离子体两侧发出的光,以增加灵敏度,巧妙地解决了困扰垂直炬焰双观测所存在的干扰等诸多问题。因此,DSOI提供的灵敏度是传统径向观测仪器的数倍,同时简单明了地解决了传统垂直双观测所存在的模式复杂、使用成本高等问题。德国斯派克ICP-OES等离子体发射光谱仪GREEN
  • 《高盐食品中氯化钠的测定 电感耦合 等离子体发射光谱法》等2项团体标准征求意见
    相关单位:按照宁夏化学分析测试协会团体标准工作程序,标准起草组已完成《高盐食品中氯化钠的测定 电感耦合等离子体发射光谱法》和《枸杞中多元素的测定 电感耦合等离子体质谱法》2项团体标准征求意见稿的编制工作。现按照我协会《团体标准制修订程序》要求,公开征求意见。请有关单位及专家提出宝贵意见,并将征求意见表(附件)于2023年4月20日前反馈给秘书处。联系人:张小飞 电 话:13995098931邮箱:1904691657@qq.com宁夏化学分析测试协会2022年3月20日关于团标征求意见函 -2023.3.20.pdf团标表格7-专家意见表.doc枸杞中多元素的测定.pdf氯化钠测定ICP-征求意见稿.pdf
  • 斯派克发布斯派克电感耦合等离子体发射光谱仪SPECTROGREEN新品
    全新的垂直同步双观测(DSOI)技术,使传统的径向等离子体观测仪器的灵敏度提高了数倍。新推出的GigE读出系统,能够在不到100毫秒的时间内收集、传输光谱及数据,从而加快分析速度,缩短了样品切换的时间,使单位时间内的样品分析数量大大增加。极为灵敏及响应快速的LDMOS发生器,不需要外部冷却:具有分析高重的复杂基体的能力 -- 而无需稀释样品 – 仪器开机速度快(约10分钟)-- 生产率高新的New SPECTRO ICP Analyzer Pro 操作软件采用了简单直观的界面,易于使用 SPECTRO公司新研发的垂直同步双观测DSOI光学系统,为提升ICP-OES的灵密度提供了一种全新解决方案。采用该技术解决了等离子体观测的核心问题。该技术采用全新的视角观测并记录垂直燃烧的等离子体所产生的信号,使用两个光学接口,并用一个增强反射镜来捕获等离子体两侧发出的光,以增加灵敏度,巧妙地解决了困扰垂直炬焰双观测所存在的干扰等诸多问题。因此,DSOI提供的灵敏度是传统径向观测仪器的数倍,同时简单明了地解决了传统垂直双观测所存在的模式复杂、使用成本高等问题。SPECTROGREEN在分析挑战性的高重基体中的痕量元素方面具有显著优势,这类样品包括黑色及有色、石油及化工、污水及废水、土壤及淤泥、高盐和金属等。同时SPECTROGREEN光谱仪是环境、农学、医药、食品、及日用品安全等常规分析的理想选择。 SPECTROGREEN的推出得益于德国斯派克分析仪器公司40年的仪器研发制造及服务经验,集多年电感耦合等离子发射光谱(ICP-OES、ICP-AES及ICP等离子体)技术之大成。SPECTROGREEN ICP-OES光谱仪预制了斯派克公司专有的ICP ANALYZER PRO software软件,简洁直观,易于操作,分析效率高。德国斯派克分析仪器公司生产的其他型号的ICP-OES包括:SPECTRO GENESIS, SPECTROBLUE及 SPECTRO ARCOS。创新点:SPECTROGREEN ICP-OES采用全新研发的DSOI技术,该技术将传统径向系统的灵敏度推高了数倍,非常适合环境及农业等样品的检测,同时适用于消费品安全、药品、石化产品、高盐、金属、化学品和食品等行业。全新革命性的垂直同步双观测(DSOI)技术,使传统的径向等离子体观测仪器的灵敏度提高了数倍。• 新推出的GigE读出系统,能够在不到100毫秒的时间内收集、传输光谱及数据,从而加快分析速度,缩短了样品切换的时间,使单位时间内的样品分析数量大大增加。• 极为灵敏及响应快速的LDMOS发生器,不需要外部冷却:具有分析高重的复杂基体的能力 -- 而无需稀释样品 – 仪器开机速度快(约10分钟)-- 生产率高• 新的New SPECTRO ICP Analyzer Pro 操作软件采用了简单直观的界面,易于使用 SPECTRO公司新研发的垂直同步双观测DSOI光学系统,为提升ICP-OES的灵密度提供了一种全新解决方案。采用该技术解决了等离子体观测的核心问题。该技术采用全新的视角观测并记录垂直燃烧的等离子体所产生的信号,使用两个光学接口,并用一个增强反射镜来捕获等离子体两侧发出的光,以增加灵敏度,巧妙地解决了困扰垂直炬焰双观测所存在的干扰等诸多问题。因此,DSOI提供的灵敏度是传统径向观测仪器的数倍,同时简单明了地解决了传统垂直双观测所存在的模式复杂、使用成本高等问题。斯派克电感耦合等离子体发射光谱仪SPECTROGREEN
  • 912万!中国海洋大学电感耦合等离子体质谱仪、原位X射线衍射仪器等设备采购项目
    一、项目基本情况1.项目编号:SDSHZB2023-200项目名称:中国海洋大学电子背散射衍射仪、电感耦合等离子体质谱仪、原位X射线衍射仪器等设备采购项目预算金额:600.0000000 万元(人民币)采购需求:本项目分为3个包,预算总金额为600万元,其中:A1包:原位X射线衍射仪器等设备(接受进口产品),预算金额:330万元;A2包:电子背散射衍射仪(接受进口产品),预算金额:120万元;A3包:电感耦合等离子体质谱仪(接受进口产品),预算金额:150万元。具体参数详见附件。合同履行期限:详见附件。本项目( 不接受 )联合体投标。2.项目编号:HYHAQD2023-0269项目名称:中国海洋大学机金相显微镜、激光切割机、模型制作平台等设备采购项目预算金额:312.5000000 万元(人民币)最高限价(如有):312.5000000 万元(人民币)采购需求:预算金额及最高限价:312.50万元,其中:第一包:137.80万元,第二包:72.10万元,第三包:81.80万元,第四包:20.80万元。简要技术需求详见招标公告附件。合同履行期限:合同签订后开始履行,至项目完成(质保期满)为止。本项目( 不接受 )联合体投标。二、获取招标文件时间:2023年06月07日 至 2023年06月13日,每天上午8:00至11:30,下午13:00至16:00。(北京时间,法定节假日除外)地点:青岛市市北区敦化路138号甲西王大厦24楼23A01房间或邮件报名方式:以下方式二选一:(1)现场报名:须携带加盖单位公章的营业执照副本复印件及现金,按照上述时间、地点获取招标文件。(2)邮件报名:有意参加本次采购活动的投标人填写项目名称、项目编号、包号、公司名称、联系人、联系电话、邮箱、营业执照扫描件及标书费汇款底单发送至shzbqdb@163.com,邮件名称命名为:中国海洋大学电子背散射衍射仪、电感耦合等离子体质谱仪、原位X射线衍射仪器等设备采购项目-报名-“投标单位名称”。开户银行:兴业银行青岛市北支行,开户名:山东盛和招标代理有限公司,银行账号:522130100100053768,提交标书费须从投标人基本账户或一般账户转出,电汇时须注明2023-200-包号、资金用途注明标书费。未按规定报名的投标人其报名无效,本项目实行资格后审,获取招标文件成功不代表资格后审通过,招标文件售后不退。售价:¥300.0 元,本公告包含的招标文件售价总和三、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。1.采购人信息名 称:中国海洋大学     地址:青岛市崂山区松岭路238号        联系方式:崔老师0532-66781979      2.采购代理机构信息名 称:山东盛和招标代理有限公司            地 址:青岛市市北区敦化路138号甲西王大厦24楼23A01房间            联系方式:孙萌、肖颖梦0532-67737979            3.项目联系方式项目联系人:孙萌、肖颖梦电 话:  0532-67737979
  • 《稻米镉的测定等离子体固样直接分析发射光谱法》CAIA标准发布
    2020年10月,中国分析测试协会标准化委员会组织了以王海舟院士为组长的专家组,对成都西奇仪器有限公司提出的《稻米镉的测定等离子体固样直接分析发射光谱法》的CAIA标准草案和编制说明,进行了网上审定。与此同时,北京中实国金国际实验室能力验证研究有限公司,依照《方法精密度符合性评价指导书》,采用成都西奇仪器有限公司提出的《稻米镉的测定等离子体固样分析发射光谱法》,对大米粉中Cd的含量进行测定后,对该方法的精密度进行了符合性评价。成都西奇仪器有限公司根据专家们的意见,修改了标准草案和编制说明。中国分析测试协会标准化委员会秘书组将修改后的标准草案报批稿、标准草案编制说明和精密度符合性评价报告用电子邮件发给中国分析测试协会标准化委员会的每个委员进行审议。规定的审议时间内,委员们在同意该标准草案的前提下对标准草案和编制说明提出了一些修改意见。标准草案的起草人根据委员们提出的修改意见,对标准草案再次进行了修改,形成了“CAIA标准”的正式文本,报中国分析测试协会标准化委员会主任委员张玉奎院士审批。  经张玉奎院士审查同意,现将这该CAIA标准正式发布。  该标准规定了由等离子体固样分析发射光谱法测定稻米中镉元素含量的筛选方法,适用于稻米及制品(糙米、粳米及米粉)中镉元素含量的筛查。  附:《稻米 镉的测定 等离子体固样直接分析发射光谱法》标准文本(发布稿1).pdf
  • 生物医用材料领域实验室高频配置仪器清单揭晓!
    生物医用材料, 是用于诊断、治疗、修复、替换人体组织及器官或增进其功能的一类高新技术材料,涉及材料、生物和医学等相关学科 ,是现代医学两大支柱——生物技术和生物医学工程的重要基础。近年来,我国现代生物医用材料领域的科学问题研究不断深入、产业化进程日趋加快、区位优势逐步显现、多元化产品龙头企业不断萌生。然而 ,我国在生物医用材料产业转化上与世界先进国家还有一定差距,高端产品仍依赖进口。实验室作为科学的摇篮,是科研人员解决生物医用材料关键科学问题、突破核心技术、提升成果转化力必不可少的研究基地,而科学仪器又是科研人员在实验室进行科学研究必不可少的工具。为此,仪器信息网特汇总分析了生物医用材料领域实验室的仪器设备明细,并推出生物医用材料领域实验室高频配置仪器清单,供读者参考。国内研究生物医用材料的实验室众多,由于信息统计来源于各实验室官网,很多实验室并未罗列仪器设备信息,部分实验室仅罗列了最主要或特色的仪器设备,因此在小编的雷达范围内,探测到了以下7个生物医用材料领域实验室的仪器配置单:华南理工大学生物医学材料与工程教育部重点实验室;武汉大学生物医用高分子材料教育部重点实验室;苏州大学生物医用高分子材料重点实验室;中科大-华南理工纳米药物与生物材料联合实验室;中国医学科学院生物医学工程研究所生物医学材料仪器共享平台;中山大学生物材料与转化医学实验室;上海交大张小农课题组生物医用金属材料与器械实验室。综合分析以上生物医用材料领域实验室的仪器配置,可以看出,紫外可见分光光度计、倒置荧光显微镜、激光共聚焦显微镜、荧光定量PCR仪、冷冻干燥机、流式细胞仪等成为配置频率较高的仪器设备。排名前30的生物医用材料领域实验室配置仪器清单如下:生物医用材料领域实验室高频配置仪器清单序号仪器名称1紫外可见分光光度计2倒置荧光显微镜3激光共聚焦显微镜4荧光定量PCR仪5冷冻干燥机6流式细胞仪7冷冻离心机8超速离心机9高效液相色谱仪10生物安全柜11荧光分光光度计12真空干燥箱13傅立叶变换红外光谱仪14粒径电位分析仪15材料试验机16低温冰箱17倒置相差显微镜18鼓风干燥箱19原子力显微镜20圆二色谱仪21正置荧光显微镜22超声细胞破碎仪23电子天平24凝胶渗透色谱仪25纯水仪26细胞培养箱27灭菌锅28扫描电镜29液质联用仪30动物活体成像系统(注:信息统计来源仅限于7个生物医用材料领域实验室官网,结果仅供参考。)7个生物医用材料领域实验室主要仪器配置详情汇总如下:华南理工大学生物医学材料与工程教育部重点实验室华南理工大学生物医学材料与工程教育部重点实验室以人体组织功能重建为核心、以个性化组织修复为目标,已建成我国人体组织功能重建的重要研发基地,是一个集科技创新、成果转化和高技术人才培养于一体、有国际先进水平的国家科技创新平台。实验室主要研究方向包括:生物医学材料的功能设计与制造、生物医学材料的组织学与细胞学行为、数字模拟与个性化制造。实验室科研仪器设备开放列表序号设备名称厂家机型号1场发射高分辨扫描电镜蔡司 Merlin2X射线衍射仪帕纳科锐影衍射系统3激光共聚焦显微镜莱卡 TCSSP84液相色谱-联质谱仪系统AB SCIEX公司API40005原子力显微镜Asylum Research MFP-3D-S6Micro-CT尼康Hamer 160x17钨灯丝扫描电镜FEI Q258万能材料试验机英斯特朗 Instron 59679凝胶渗透色谱马尔文 GPCMax VE200110高效液相色谱安捷伦 126011动态热机械分析仪TA公司 DMA Q80012QCM凯戈纳斯 E413标准型表面接触角分析仪克吕士公司 DSA2514同步热分析仪耐驰STA449C/4/G15傅里叶红外光谱仪尼高力Nexus Por Euro16三维显微镜HiroX公司HiroX770017动态生物力学实验机Bose公司ELF320018固体表面zeta电位仪安东帕surpass19比表面孔径测定仪康塔NOVA4200E20激光粒度分析仪马尔文MASTERSIZER200021纳米粒度/表面电位分析仪马尔文MPT-223荧光光谱仪日立7-700型24原子吸收光谱仪PerkinElmer PinAAde900725等离子喷涂系统Praxair公司7700-Biolabs26生物材料三维成型系统Gladbeck公司Envision TEC27微量混合流变仪HAAKE公司MiniLabII-minijetII28真空高温烧结炉Carbolite 公司SPLF1197129真空冷冻干燥器VIRTIS公司G25EL430全波长扫描多功能读数仪Thermo/ Varioskan31实时荧光定量PCR仪Life / QuantStudio 6 Flex32荧光定量PCRBiorad / Chromo433荧光生物显微镜ZEISS / 40FL AXIOSKOP34研究级倒置荧光显微镜NIKON / Eclipsc Ti-U型35倒置荧光显微镜Zeiss / Axio Observer.736超微量紫外可见光分光光度计Thermo / Nanodrop One37超微量荧光分光光度计Thermo / Nanodrop330038冰冻切片机莱卡 / CW1900 CVYOSTAT39高密度细胞培养系统Bs4000 Bellocell system40微毛细管细胞分析平台Merck Millipore / Guava easycyte 6HT-2L武汉大学生物医用高分子材料教育部重点实验室武汉大学生物医用高分子材料教育部重点实验室由国家教育部于2003年批准立项建设,实验室的前身是1993年原国家教委批准建立的生物医用高分子材料教育部开放实验室。实验室自上世纪80年代开始开展生物材料研究,是国内最早开展生物医用高分子研究的基地之一。实验室研究方向主要包括:材料的功能化及合成制备新方法;药物与基因传递材料; 疾病诊疗材料;天然高分子生物材料。实验室主要仪器设备序号设备名称1小动物活体成像仪2激光共聚焦显微镜3超高分辨率激光共聚焦显微镜4光声/超声成像仪5流式细胞仪6凝胶渗透色谱仪7激光散射仪8粒径电位分析仪9紫外可见分光光度计10红外光谱仪11倒置荧光显微镜12荧光分光光度计13偏光显微镜14酶标仪15接触角测量仪16核磁共振谱仪17高效液相色谱仪18冷冻干燥机19核酸合成仪20圆二色谱仪21液相质谱仪苏州大学生物医用高分子材料重点实验室苏州大学生物医用高分子材料重点实验室始建于2007年,以获取原创性成果和产业化为目标,围绕纳米药物和肿瘤等重大疾病的靶向治疗,在智能囊泡药物、脑靶向递送系统、核酸药物靶向递送、靶向放射性药物、蛋白药物定点递送、肿瘤免疫治疗等国际前沿领域开展创新性研究和开发工作。实验室与博瑞生物医药技术(苏州)有限公司合作,创立了苏州爱科赛尔生物医药有限公司,致力于靶向纳米药物的开发和临床转化。实验室主要仪器设备序号设备名称1纳米粒度及ZETA电位分析仪2凝胶渗透色谱仪3共聚焦激光扫描显微镜4动物活体成像系统5流式细胞仪6红外7紫外吸收光谱8荧光9DSC10TGA11流变仪12气相色谱13高速离心机14惰性气体手套箱15冷冻干燥机16超纯水机17Western/Southern转移电泳仪18凝胶成像仪19高分辨透射电镜20冷场发射扫描电镜21瞬态/稳态荧光分光光度计22核磁共振谱仪23色/质联用仪24多角激光散射仪25飞行时间质谱中科大-华南理工纳米药物与生物材料联合实验室中科大-华南理工纳米药物与生物材料联合实验室研究方向包括:可降解生物材料的研究、肿瘤微环境调控的纳米药物研究、抗感染性疾病纳米药物的研究、基于RNA干扰的小核酸药物研究、肿瘤干细胞治疗研究。实验室主要仪器设备序号设备名称1箱式冻干机2流式细胞仪3荧光定量PCR仪4生物安全柜5半导体激光驱动光源6DKZ电热恒温振荡水槽7荧光显微镜8紫外可见分光光度计9Microfluidics 纳米匀质机LV110超声波细胞破碎仪11EXFO 紫外点光源12-86℃超低温冷冻储存箱中国医学科学院生物医学工程研究所生物医学材料仪器共享平台中国医学科学院生物医学工程研究所是生物医学工程专业稳居核心地位的国家级研究所。研究所的前身是中国医学科学院医学仪器器械研究所,1960年成立于北京。由于历史原因,研究所几经迁址,现坐落于天津市南开区高新技术产业园区内。生物医学工程研究所自1979年起招收培养研究生,是国家生物医学工程专业博士、硕士培养点,设有生物医学工程博士后流动站,是天津市生物医学材料重点实验室和天津市医学电子诊疗技术工程中心的依托单位。研究所主要从事生物医学工程新方法、新技术、新材料的研究与开发,分为生物医学材料研究和医学工程电子学研究两大领域。生物医学材料仪器共享平台仪器设备序号设备名称厂家机型号1紫外可见光分光光度计Perkinelmer / Lambda352圆二色光谱仪Jassco / J-8153原子力显微镜Veeco(布鲁克公司)/ Multi Mode 84液质联用仪Agilent / 6510Q-ToF Lc/MS5溶出仪ERWEKA(艾维卡)/ HKP7206热分析仪TA Instruments / DSC2910/TGA29507全光谱型激光扫描共聚焦倒置显微镜 ZEISS / LSM7108全波长多功能酶标仪THERMO / Varioskan Flash30019流式细胞仪BD / FACSCalibur10粒径分析仪MALVERN / Nano-ZS11冷冻干燥机SIM公司 / GOLD-SIM12正置荧光显微镜徕卡(Leica)/ DMEB13快速实时荧光定量PCR仪AB公司 / 750014高压均质机Niro Sovai / NS 1001L Panda2K15高效液相色谱仪Waters / 152516高内涵活细胞图像分析系统GE Healthcare / IN Cell Analyzer 200017傅里叶变换红外光谱仪Thermo / NICOLET Is1018等温滴定微量量热仪GE Healthcare / VP-ITC19倒置荧光显微镜Nikon / Eclipse Ti20蛋白质纯化系统GE Healthcare / AKTA purifier 10021超速离心机Himac(日立)/ CP1000wx23超速离心机BECKMAN(贝克曼)/ Avanti-J2524表面等离子共振折射仪GE Healthcare / Biacore 3000中山大学生物材料与转化医学实验室生物材料与转化医学实验室依托中山大学和中山大学附属第三医院建立,研究方向跨越化学、材料、生物、医学、药学、工程。研究领域有:1、生物材料。功能性高分子材料、无机材料、有机/无机杂化材料的开发及其生物医学应用。2、功能协同性纳米药物。将智能型纳米药物、纳米疫苗,与多模式治疗策略结合,用于癌症、糖尿病等重大疾病治疗。3、疾病和生物分子检测。构建多功能纳米模拟酶比色平台,用于疾病和生物分子的可视化液体活检。4、微流体技术及其生物医用。基于微流体液滴技术,构建结构可调的新型生物材料,或作为生物反应器用于生物医学的研究。实验室仪器设备序号设备名称厂家材料合成1电子天平METTLER-TOLEDO2磁力搅拌器IKA3鼓风干燥箱YIHENG4高温箱式炉KJ5冷冻干燥机SCIENTZ6真空干燥箱YIHENG7行星式球磨机MITR8恒温振荡箱YIHENG9防爆柜KOSTER10生物3D打印机WANG11旋转蒸发仪EYELA材料表征12紫外可见分光光度计SHIMADZU13荧光分光光度计SHIMADZU14粒度仪AP流式&显微镜15流式细胞仪BD16激光共聚焦显微镜LEICA17倒置荧光显微镜ZEISS18正置荧光显微镜NIKON19倒置相差显微镜NIKON20倒置相差显微镜LEICA细胞实验21细胞培养箱THERMO23生物安全柜THERMO24生物安全柜HAIER25全自动细胞计数仪LIFE26电转染仪LIFE27细菌培养箱YIHENG28超声细胞破碎仪新芝29灭菌器HIRAYAMA30液氮罐THERMO核酸实验31实时荧光定量PCR仪LIFE32实时荧光定量PCR仪ROCHE33核酸扩增仪PROFLEX34超微量分光光度计THERMO NANODROP电泳实验35凝胶成像仪SYNGENE36水平电泳槽BIO-RAD37垂直电泳仪BIO-RAD离心机38超高速离心机BECKMAN39高速冷冻离心机BECKMAN40台式高速冷冻离心机BECKMAN41台式高速冷冻离心机THERMO42台式微量冷冻离心机THERMO43台式微量离心机THERMO44台式微量离心机BECKMAN冰箱45超低温冰箱THERMO46-30度低温冰箱HAIER474度冰箱HAIER其他48纯水仪MERCK MILLIPORE49制冰机SANYO50冷冻切片机LEICA51多功能酶标仪BIOTEK52酸度计METTLER-TOLEDO 上海交大张小农课题组生物医用金属材料与器械实验室由张小农博士建立的金属生物材料与器械实验室隶属于上海交通大学材料科学与工程学院金属基复合材料国家重点实验室,成立于2003年。实验室致力于新型可吸收镁基生物材料等医用金属材料的开发及产业化研究研究方向主要为医用镁、医用钛等。实验室主要仪器序号设备名称型号1Mg合金熔炼设备定制2四柱液压力机定制3拉力试验机WDW-54扭转试验机EZ-105显微维氏硬度计DHV-10006金相显微镜-7电化学工作站CHI660-D8电子分析天平TP-2149体外腐蚀装置自建10真空干燥箱DZF-15011紫外-可见分光光度计UV-750412实验室超纯水机Ultra-Pure UVF13鼓风干燥箱-14Rocker吸风系统Biovac 24015CO2培养箱Galaxy48S16超净工作台SW-CJ-1FD17高压灭菌锅STIK18混匀仪Mix-10019便携细胞计数器-20倒置生物显微镜-21冷冻离心机Eppendorf 5430R
  • 280万!广西大学电感耦合等离子体发射光谱仪、气质联用仪采购项目
    一、项目基本情况项目编号:GXZC2023-J1-000602-KLZB项目名称:电感耦合等离子体发射光谱仪、气质联用仪采购采购方式:竞争性谈判预算金额:280.0000000 万元(人民币)最高限价(如有):280.0000000 万元(人民币)采购需求:序号标的的名称单位数量简要技术需求01电感耦合等离子体发射光谱仪台2简要技术需求见附件。具体内容详见本竞争性谈判文件02气质联用仪台3合同履行期限:自签订合同之日起60个日历天内供货安装调试验收完毕。本项目( 不接受 )联合体投标。二、获取采购文件时间:2023年04月03日 至 2023年04月07日,每天上午8:00至12:00,下午12:00至21:00。(北京时间,法定节假日除外)地点:“政采云”平台(https://www.zcygov.cn)方式:网上下载。本项目不发放纸质文件,供应商可自行在本公告“七、其他补充事宜”网上查询地址中的信息公告处下载采购文件。电子响应文件制作需要基于“政采云”平台(http://www.zcygov.cn)获取的采购文件编制,拟参与本项目的供应商需使用账号登录或者使用CA登录“政采云”平台-进入“项目采购”应用,在获取采购文件菜单中选择项目,获取采购文件。售价:¥0.0 元(人民币)三、凡对本次采购提出询问,请按以下方式联系。1.采购人信息名 称:广西大学地址:广西南宁市大学东路100号联系方式:肖老师,0771-32741212.采购代理机构信息名称:广西科联招标中心有限公司地址:广西南宁市西乡塘区大学东路170号联系方式:杨工 0771-34862363.项目联系方式项目联系人:杨工电话:0771-3486236
  • 270万!桂林理工大学电感耦合等离子体发射光谱仪等设备采购
    项目编号:GXZC2022-J1-002381-YZLZ(代理编号:YZLGL2022-J1-032-GXZC)项目名称:环境学院2022年一流学科电感耦合等离子体发射光谱仪等设备采购采购方式:竞争性谈判预算金额:A分标:人民币壹佰万元整(¥1000000.00);B分标:人民币壹佰柒拾万元整(¥1700000.00)最高限价(如有):无采购需求:(1)标的的名称、数量及单位:A分标:电感耦合等离子体发射光谱仪1套、原子荧光光度计1套;B分标:气相色谱-三重串联四极杆质谱联用仪1套;(2)简要技术需求或者服务要求:A分标:按国家有关产品“三包”规定执行“三包”,免费保修期不得少于1年(免费保修期从设备验收合格之日起计算,项目要求及技术需求中规定的,按规定执行);B分标:按国家有关产品“三包”规定执行“三包”,免费保修期不得少于1年(免费保修期从设备验收合格之日起计算,项目要求及技术需求中规定的,按规定执行)。合同履行期限:A分标:自签订合同之日起90个工作日内到货并全部安装调试合格完毕;B分标:自签订合同之日起90个工作日内到货并全部安装调试合格完毕。本项目各分标均不接受联合体。
  • 70万!深圳市清新电源研究院--电感耦合等离子体发射光谱仪采购
    项目概况深圳市清新电源研究院--电感耦合等离子体发射光谱仪 招标项目的潜在投标人应在深圳市福田区深南大道6008号深圳特区报业大厦31F获取招标文件,并于2022年01月27日 14点30分(北京时间)前递交投标文件。一、项目基本情况项目编号:LD2022EP-SZA002项目名称:深圳市清新电源研究院--电感耦合等离子体发射光谱仪预算金额:70.0000000 万元(人民币)采购需求:电感耦合等离子体发射光谱仪采购。合同履行期限:见招标文件本项目( 不接受 )联合体投标。二、申请人的资格要求:1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;2.落实政府采购政策需满足的资格要求:见招标文件3.本项目的特定资格要求:2.1??具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织(提供法人或者其他组织的营业执照等证明文件);2.2??投标人为制造商须提供合法生产、销售所投产品的相关证明,投标人为代理商投标的须提供制造商合法销售代理证明并同时提供制造商合法生产、销售所投产品的相关证明。2.3??投标截止时间前,投标人未被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单(招标机构将通过“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)、中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)渠道查询相关主体信用记录);2.4 投标人参与本项目招投标活动时其经营活动中不存在重大违法记录;2.5??本项目不接受联合体投标。三、获取招标文件时间:2022年01月07日 至 2022年01月14日,每天上午9:00至11:30,下午14:00至17:00。(北京时间,法定节假日除外)地点:深圳市福田区深南大道6008号深圳特区报业大厦31F方式:现场购买或国内银行汇款邮购。现场购买:供应商代表携营业执照(核验原件,留复印件,复印件加盖公章)及法人代表授权委托书,至招标机构填写《投标报名登记表》办理报名手续。如需邮购,请于办理汇款手续后,传真前款有关资料、汇款单及《投标报名登记表》至招标机构。售价:¥500.0 元,本公告包含的招标文件售价总和四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点提交投标文件截止时间:2022年01月27日 14点30分(北京时间)开标时间:2022年01月27日 14点30分(北京时间)地点:深圳市福田区深南大道6008号深圳特区报业大厦31F深圳龙达招标有限公司开标厅五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其他补充事宜采购公告查询:http://www.szldzb.com (深圳龙达招标网)http://www.cebpubservice.com (中国招标投标公共服务平台)http://www.ccgp.gov.cn (中国政府采购网)七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。1.采购人信息名 称:深圳市清新电源研究院     地址:/        联系方式:/      2.采购代理机构信息名 称:深圳龙达招标有限公司            地 址:深圳市福田区深南大道6008号深圳特区报业大厦31F            联系方式:陈康 王上锋0755-83864290            3.项目联系方式项目联系人:陈康电 话:  0755-83864290
  • 日本富士电波公司等离子放电烧结装置SPS-211H在厦门大学顺利中标。
    日本富士电波公司等离子放电烧结装置SPS-211H在厦门大学顺利中标。 我司全权代理的日本富士电波公司SPS-211H装置在厦门大学顺利中标并于近日签订商务合同。该装置是日本富士电波公司推出的世界最新型可扩展为双电源放电等离子烧结炉。放电等离子烧结炉SPS-211H以其精巧的设计,精良的制造工艺,优异的烧结性能和经济适用的特点正在引领SPS行业向新的方向进军。等离子放电装置SPS-211H可以根据客户需要将来追加高频电源等扩展为双电源放电等离子烧结炉SPS-211HF。后者具有比较前者更快的加热速率,在双电源复合磁热效应的作用下,加热速率可达1000度/分,可以使纳米材料的合成在更短的时间和更低温度进行得以完成。同时一台烧结设备可以当做3种烧结设备使用也进一步提高研究效率。
  • 黑龙江科技大学订购的最新双电源型放电等离子烧结炉SPS-211H近日顺利出东京港
    黑龙江科技大学订购的最新双电源型放电等离子烧结炉SPS-211H近日顺利出东京港黑龙江科技大学订购的日本富士电波工机株式会社制造的世界最新型高双电源放电等离子烧结炉SPS-211H近日顺利从日本东京港发出,预计下周到达天津新港。我司全权代理的日本富士电波公司SPS-211H装置是日本富士电波公司推出的世界最新型可扩展为双电源放电等离子烧结炉。SPS-211H以其精巧的设计,精良的制造工艺,优异的烧结性能和经济适用的特点正在引领SPS行业向新的方向进军。等离子放电装置SPS-211H可以根据客户需要将来追加高频电源等扩展为双电源放电等离子烧结炉SPS-211HF。后者具有比较前者更快的加热速率,在双电源复合磁热效应的作用下,加热速率可达1000度/分,可以使纳米材料的合成在更短的时间和更低温度进行得以完成。同时一台烧结设备可以当作3种烧结设备使用也进一步提高研究效率。近年来上海硅酸盐研究所,北京科技大学,厦门大学等陆续导入该装置。希望大家来电咨询!
  • 75万!南平市产品质量检验所采购电感耦合等离子体发射光谱仪等设备
    项目概况 受南平市产品质量检验所委托,福建晖源工程咨询有限公司对[350700]fjhy[GK]2022001、南平市产品质量检验所省级建盏产品质量检验中心电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目货物类采购项目组织公开招标,现欢迎国内合格的供应商前来参加。 南平市产品质量检验所省级建盏产品质量检验中心电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目货物类采购项目的潜在投标人应在福建省政府采购网(zfcg.czt.fujian.gov.cn)免费申请账号在福建省政府采购网上公开信息系统按项目获取采购文件,并于2022-03-25 09:30(北京时间)前递交投标文件。一、项目基本情况 项目编号:[350700]fjhy[GK]2022001 项目名称:南平市产品质量检验所省级建盏产品质量检验中心电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目货物类采购项目 采购方式:公开招标 预算金额:750000元 包1: 合同包预算金额:750000元 投标保证金:7500元 采购需求:(包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等)品目号品目编码及品目名称采购标的数量(单位)允许进口简要需求或要求品目预算(元)1-1A02100404-光学式分析仪器电感耦合等离子体发射光谱仪1(套)否2技术参数部分2.1 光学系统▲2.1.1:整个中阶梯光学系统无任何移动部件,所有光学元件均密封于35℃恒温光室中,保证最低的检出限和优异的长期稳定运行。2.1.2:中阶梯光栅+CaF2棱镜交叉色散多色器系统,波长连续覆盖167?785nm,无任何波长断点。■2.1.3:光学系统需让每一个波长在通过这个独特的自由曲面镜时,让每一个波长都很完美的形成聚焦,使检测器边缘波长的边缘效应影响降到最低。2.1.4:测定方式:紫外和可见区由同一狭缝,同一检测器同时测定,一次分析测定全谱覆盖,真正的全谱直读,一个样品选择任意多的元素波长,测试时间都不变;■2.1.5: 波长校正: 采用氩的发射谱线自动进行周期性的波长校准, 保证分析波长的正确性,没有汞灯或氖灯校准的预热和耗材问题。每半年或需要的场合可采用15种元素标准混合溶液进行波长例行校核。2.1.6:吹扫型光室:对189nm以下波长测定,可选择氩气或者氮气进行光路吹扫。吹扫流量:标准的光室吹扫气体流量为0.7L/Min,测定低紫外波长谱线时,电脑控制,增加3L/min 的气体流量,所有光室吹扫气体流量均由质量流量计(MFC)控制。■2.1.7:分辨率:光学分辨率<0.007nm (在As 188.980nm 处实际测量半峰宽) 。2.1.8:杂散光:≤2.0mg/L(10000mg/L Ca溶液在As 188.980nm处测定)。2.2 检测器 2.2.1:需要检测器覆盖从167-785nm整个波长范围;整个波长范围内所有元素一次测定一次读出。 2.2.2:紫外区平均量子化效率:独特的背投照射技术,使平均量子化效率≥75%,检测器表面无任何光转换化学涂膜。 ▲2.2.3:检测器冷却:半导体制冷,-40℃,暗电流和背景噪音低。检测器充氮密封,无需气体吹扫,开机即可点火,提高分析效率,降低气体消耗。 2.2.4: 防饱和溢出:针对每一个像素进行防饱和溢出保护,彻底消除谱线饱和溢出问题。2.2.5:积分方式:智能化积分,同时以最佳信噪比获得高强度信号和弱信号,使高低含量元素可以同时检测。2.3 射频发生系统 ▲2.3.1: 自激式27.12MHz固态发生器,耦合效率大于75%。2.3.2: 功率范围:700?1500W,10W增量,连续可调,计算机控制进行功率调节。■2.3.3:高效强劲的自激式固态发生器轻松应对从无机到有机各种复杂基体的样品,快速的功率反馈速度确保样品基体变化时仍然获得稳定准确的结果。2.4 观测方式★2.4.1:垂直火炬双向观测方式;更快分析效率;更高样品分析通量▲2.4.2:尾焰去除:需要有能够高效去尾焰CCI冷锥接口。检出限较垂直观测提高5-10倍,具有高的分析灵敏度。2.4.3: 冷锥接口无切割气体的消耗,降低运行成本。2.4.4: 观测位置调节:等离子体观测位置由计算机控制。 2.5 样品导入系统■2.5.1:进样系统:标配双通道玻璃旋流雾化室和玻璃同心雾化器,其它多种类型的雾化器和雾化室可选。■2.5.2:炬管:标配一体化炬管,快速插拔式炬管,无需气体管路连接和炬管准直定位,便于安装和维护,其它多种类型的炬管可选,同时可配置中心管为陶瓷或者石英的可拆卸式炬管。▲2.5.3:气体控制:所有等离子体相关气体均为质量流量计(MFC)控制,软件在线调节:等离子体气:8?20L/min,增量0.1L/min;辅助气:0?2.0L/min,增量0.01L/min;雾化气0-1.5L/min,增量0.01L/min;补偿气(用于可选附件):0?2.0L/min,增量0.01L/min; ▲2.5.4:蠕动泵:5通道蠕动泵,转速0-80rpm可调,全计算机控制,具有快泵功能。2.5.5:雾化器压力可以由用户自己设定阈值,当压力低于阈值下限或超过阈值上限的时候,软件会弹框提示雾化器压力异常,需要用户去检查进样系统。3、软件性能:3.1:软件需易学易用,可快速进行方法的开发、顺序的编辑。 3.2:计算机全自动化控制,仪器设置和参数选择可自动完成,包括气体流量、功率、点火、诊断等。具有自动安全连锁系统。3.3: 背景校正功能:包含传统的单边、双边离峰法背景校正技术,同时,具备多点自动拟合法(FITTED)背景校正技术。 ▲3.4: 谱图自动解析功能:快速自动谱线拟合技术(FACT),在线校正基体谱线干扰。3.5: 多重检量限(Multical)功能:根据不同的元素含量范围选择不同的谱线,使仪器能够同时测定高低含量的元素,使仪器的动态线性范围得到扩展。3.6:提供多种光谱分析方法:如标准比较法、内标法、干扰元素校正系数法(IEC)、标准加入曲线法等,丰富了用户多种分析研究的手段。 ■3.7:软件系统需内置计数器,能够在系统需要维护时为用户提供指导,可以在方便的时间安排维护,而不必中断工作进程,最重要的是,它能够帮助您最大程度延长仪器正常运行时间。3.8:数据存取:所有结果、方法和顺序可以在同一工作页面一起保存和读取;谱图、结果和标准曲线同时显示;实时图形显示光谱信号、结果和曲线谱图;快速运行过往数据的编辑。3.9:数据输出:提供多种报告打印和数据输出格式。 3.10: 需有详尽的中文在线帮助功能和操作、维护录像。 3.11:远程诊断功能:远程诊断—Web连接使远端的技术服务部门和应用支持部门能够对仪器实现完全远程控制和维修诊断。3.12:符合电子签名管理的21 CFR Part 11管理法规。 3.13:需实现快速全谱扫描,对样品中所有元素进行定性和半定量分析,并且可以设定阈值,实现样品的快速筛选,并且可以跟样品定量分析在同一个工作列表中,实现每一个样品的全元素监测。▲3.14: 需有强大的开发工具,能够针对不同的基体样品,快速的实现全元素扫描,实时反馈,根据不同基体样品和不同元素波长的各种干扰判断,自动选择最佳元素波长,可以把选定的波长直接导入定量工作表开始定量分析,还可以针对不同基体和不同的标准创建模板,让结果更精确。3.15:需有内标监测图,可以更直观准确的监控做样过程,快速的做出响应。3.16:软件需支持集成的高级采集阀,该高级采集阀系统可以极大的提升样品通量,降低氩气消耗,延长进样系统(炬管,雾化器,雾化室,蠕动泵管)使用寿命,降低后期维护消耗。3.17:需有强大的诊断软件,支持简便的仪器诊断和仪器错误提示。清晰的“仪表盘”式仪器状态显示,以及自检功能,使可能维修费用大大降低,并使仪器正常运行时间最大化。4、仪器性能指标:■4.1: 长期稳定运行:8小时,RSD≤1%(不加内标,不采用基线飘移修正);4.2: 短期稳定运行:RSD≤0.5%;▲4.3:冷启动时间:从待机状态到等离子体点燃时间小于35分钟;▲4.4: 做样速度:60个元素或波长,每个元素或波长积分时间10秒,测试时间小于60秒,内标和待测元素必须同时积分;4.5: 测定谱线的线性动态范围:≥106(以Mn257.610nm 来测定,相关系数≥0.9996);4.6: Pb220.353nm 2ug/L,4ug/L,6ug/L,8ug/L,10ug/L 拟合曲线,线性相关系数999以上;5、工作条件:5.1环境温度: 10℃-30 ℃;5.2环境湿度:20%-80% (不冷凝);5.3 电源:仪器整体功率不大于2.9kVA, 电源: 220VAC+/-10% ,50 或60Hz+/-1Hz;5.4 通风系统:最小流量要求:2.5m3/min。6、仪器配置要求:1.仪器主机一台2.循环冷却水机一台3.气源一套4.输入输出设备一套5.仪器耗材包一套750000 合同履行期限: 按招标文件要求 本合同包:不接受联合体投标二、申请人的资格要求: 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定; 2.本项目的特定资格要求: 包1 (1)明细:招标文件规定的其他资格证明文件(若有) 描述:1、(强制类节能产品证明材料,若有,应在此处填写); 2、(按照政府采购法实施条例第17条除第“(一)-(四)”款外的其他条款规定填写投标人应提交的材料,如:采购人提出特定条件的证明材料、为落实政府采购政策需满足要求的证明材料(强制类)等,若有,应在此处填写)。 ※1上述材料中若有与“具备履行合同所必需设备和专业技术能力专项证明材料”有关的规定及内容在本表b1项下填写,不在此处填写。 ※2投标人应按照招标文件第七章规定提供。 (2)明细:具备履行合同所必需设备和专业技术能力专项证明材料(若有) 描述:1、招标文件要求投标人提供“具备履行合同所必需的设备和专业技术能力专项证明材料”的,投标人应按照招标文件规定在此项下提供相应证明材料复印件。 2、投标人提供的相应证明材料复印件均应符合:内容完整、清晰、整洁,并由投标人加盖其单位公章。(如项目接受联合体投标,对联合体应提出相关资格要求;如属于特定行业项目,供应商应当具备特定行业法定准入要求。) 三、采购项目需要落实的政府采购政策 进口产品,不适用于(本项目),节能产品,适用于(合同包1),按照财库[2019]19号文所附品目清单执行。环境标志产品,适用于(合同包1),按照财库[2019]18号文所附品目清单执行。信息安全产品,适用于(合同包1)。小型、微型企业符合财政部、工信部文件(财库〔2020〕46号),适用于(合同包1)。监狱企业,适用于(合同包1)。促进残疾人就业 ,适用于(合同包1)。信用记录,适用于(合同包1),按照下列规定执行:(1)投标人应在(填写招标文件要求的截止时点)前分别通过“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)、中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)查询并打印相应的信用记录(以下简称:“投标人提供的查询结果”),投标人提供的查询结果应为其通过上述网站获取的信用信息查询结果原始页面的打印件(或截图)。(2)查询结果的审查:①由资格审查小组通过上述网站查询并打印投标人信用记录(以下简称:“资格审查小组的查询结果”)。②投标人提供的查询结果与资格审查小组的查询结果不一致的,以资格审查小组的查询结果为准。③因上述网站原因导致资格审查小组无法查询投标人信用记录的(资格审查小组应将通过上述网站查询投标人信用记录时的原始页面打印后随采购文件一并存档),以投标人提供的查询结果为准。④查询结果存在投标人应被拒绝参与政府采购活动相关信息的,其资格审查不合格。四、获取招标文件 时间:2022-03-04 08:15至2022-03-19 23:59(提供期限自本公告发布之日起不得少于5个工作日),每天上午00:00:00至11:59:59,下午12:00:00至23:59:59(北京时间,法定节假日除外) 地点:招标文件随同本项目招标公告一并发布;投标人应先在福建省政府采购网(zfcg.czt.fujian.gov.cn)免费申请账号在福建省政府采购网上公开信息系统按项目下载招标文件(请根据项目所在地,登录对应的(省本级/市级/区县))福建省政府采购网上公开信息系统操作),否则投标将被拒绝。 方式:在线获取 售价:免费五、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 2022-03-25 09:30(北京时间)(自招标文件开始发出之日起至投标人提交投标文件截止之日止,不得少于20日) 地点:福建省南平市建阳市武夷新区建安大街318号赤岸统建房A区4号楼1104室晖源公司开标室六、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。七、其他补充事宜 无八、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称:南平市产品质量检验所 地 址:南平市文体路203号 联系方式:0599-8830407 2.采购代理机构信息(如有) 名 称:福建晖源工程咨询有限公司 地  址:南平市延平区八一路73号延水大厦6楼 联系方式:0599-8314701 3.项目联系方式 项目联系人:小刘 电   话:0599-8314701 网址:zfcg.czt.fujian.gov.cn 开户名:福建晖源工程咨询有限公司 福建晖源工程咨询有限公司 2022-03-04
  • 南方科大订购的双电源放电等离子烧结炉SPS-625HF近日顺利出横滨港
    南方科大订购的最新双电源放电等离子烧结炉SPS-625HF近日顺利出横滨港南方科技大学何佳清教授订购的日本富士电波工机株式会社制造的世界最新高双电源放电等离子烧结炉SPS-625HF近日顺利从日本横滨港发出,预计今日抵达蛇口。该装置一台设备可以作为3台烧结炉(单脉冲电源烧结,单高频电源烧结,混合电源烧结)使用。尤其是在电磁波和直流脉冲双重热效应的作用下它的加热速率可达1000度/分,从而使纳米材料的烧结在更短的时间内或更低温度下完成,或者说更细晶粒的新纳米材料可以被合成出来。此外双电源使得用户更方便地用它制作各种梯度材料。第4个特点是它还可以大幅度提高加热均匀性。因此人们期待着用它探讨新的材料合成机理进而创制出各种新材料。和重庆大学,东莞理工大学等导入的SPS-212HF装置相比,南方科技大学的SPS-625HF装置最大脉冲电流和载荷分别提高了5倍,即最大压力和脉冲电流分别是100KN和5000A。此外何教授5年前曾导入我司同样品牌不同型号的小型SPS-211Lx,此次是第2次导入我司产品,南方科技大学的其他2位教授也紧随何教授之后分别导入SPS-211Lx。由此足以看出我司产品在南科大具有良好的口碑。希望广大用户来电垂询!
  • 聚焦半导体产业与等离子技术工艺——2019牛津仪器等离子技术研讨会在武汉隆重举行
    p  strong仪器信息网讯 /strong2019年10月31日,由牛津仪器主办的“2019牛津仪器等离子技术研讨会——光电及微机电器件制造工艺解决方案”在湖北武汉隆重举行。本次会议是一次针对等离子技术在光电及微机电应用领域的信息共享盛会,参会人数近百人。来自中山大学、华中科技大学、德国Axitron、深圳珑璟光电、湖南启泰传感科技、以及牛津仪器的技术专家为到会人员讲解了半导体行业前沿动态和等离子技术应用实例。仪器信息网在会议期间采访了牛津仪器等离子技术部中国区经理陈伟和中国区市场与工艺高级部门经理方子文博士,听两位大咖谈半导体产业和等离子技术的最新进展。/pp  牛津仪器等离子技术部中国区经理陈伟首先对到场人员表示欢迎,并作“牛津仪器等离子技术部全产品介绍”的报告。牛津仪器诞生在牛津大学,并在1959年成为第一家独立于牛津大学的商业机构,恰好今年也是牛津仪器的60岁生日。世界只有一个硅谷,在美国 世界只有一个光谷,即武汉光电发展产业园,这也是牛津仪器选择在武汉举办第三次用户会的原因。牛津仪器目前关注的重点主要有三部分:光电子、传感器、射频和功率器件 并且牛津仪器超过50%的用户都是量产型用户。其他在研的领域还有二维材料和原子层镀膜刻蚀等,这些领域可能在未来3-5年后才会产生应用。牛津仪器等离子产品主要集中在刻蚀和沉积两块,陈经理介绍了铌酸锂在体声波传感器应用、ICP、PECVD 离子束产品、离子束刻蚀、离子束沉积等内容。/pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 267px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/8dacdfad-60e0-4a08-957b-8b2be967ceec.jpg" title="陈伟.jpg" alt="陈伟.jpg" width="400" height="267" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strong牛津仪器等离子技术部中国区经理 陈伟/strong/pp  中山大学教授蔡鑫伦作“基于硅-铌酸锂复合基底的马赫-曾德尔调制器”的报告。光电子芯片是光通信的基石,而硅基光电子器件是目前最有前景的集成平台,具有高集成度和CMOS兼容带来的低成本等优势。硅基电光调制器是其中最重要的部分,能把电域转化成光域,使得器件速率提高。硅基电光调制器目前主要有传统硅基调制器和硅基异质集成两种(如石墨烯/硅、聚合物/硅、磷化铟/硅、铌酸锂/硅等)。铌酸锂材料具有优秀的电光、声光、压电等性质,但面临折射率差小、尺寸大、集成度低、效率低等问题。使用干法刻蚀工艺制备的铌酸锂薄膜材料在垂直方向上可形成高折射率差,具有折射率差大、尺寸小、集成度高、效率高等优势。2018年,哈佛大学发表的铌酸锂材料做到了半波电压1.4V,电光带宽40GHz,速率210Gbit/s 2019年,中山大学取得了进一步的突破,半波电压提升到1.6V,电光带宽提升到了45GHz,速率提升到了220Gbit/s。铌酸锂薄膜与硅光结合,全面突破电光调制器的性能瓶颈,能够更好地支撑下一代光通信技术。/pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 267px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/176f1ba3-e146-4a90-944a-6284c5ea47b0.jpg" title="蔡鑫伦.jpg" alt="蔡鑫伦.jpg" width="400" height="267" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "  strong中山大学教授 蔡鑫伦/strong/pp  牛津仪器等离子技术部邓丽刚作“磷化铟半导体化合物光子器件等离子等离子刻蚀工艺综述”的报告。邓丽刚在牛津仪器工作了超过25年,在等离子刻蚀等领域具有超过30年的经验,长期在英国从事等离子体刻蚀等方面的工作。磷、铟等广泛应用于光电子器件中,报告中介绍了不同的器件对于工艺的基本要求、基本的等离子体概念、由基本概念引申出等离子体刻蚀影响因素以及如何利用这些概念调制刻蚀形貌 还介绍了DFB激光器的刻蚀工艺、器件损伤和工艺的重复性等。/pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 267px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/8c3e4706-f280-4738-9372-fd82b27bf801.jpg" title="邓丽刚.jpg" alt="邓丽刚.jpg" width="400" height="267" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strong牛津仪器等离子技术部 邓丽刚/strong/pp  湖南启泰传感科技有限公司董事长王国秋作“薄膜压力传感器与物联网发展”的报告。压力传感器,由于压力源会造成表面变形,导致破坏性作用,使得传感器面临损坏、失效、寿命缩短等问题,目前国内主要使用进口产品。湖南启泰传感制造的压力传感器应用了金属基底,不但弹性更好、稳定性高、可靠性好、温度适应性好(-200℃-200℃),而且避免了使用硅和陶瓷材料的极端高压适应性问题 王总还以消防行业为例,阐述了物联网动态监测对于下一代压力传感器的革命性变革。/pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 237px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/c07e59d6-debf-4766-9d80-6a00a7129eb6.jpg" title="湖南启泰传感科技有限公司董事长 王国秋.jpg" alt="湖南启泰传感科技有限公司董事长 王国秋.jpg" width="400" height="237" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strong湖南启泰传感科技有限公司董事长 王国秋/strong/pp  深圳珑璟光电技术有限公司赵硕博士作“AR光学方案趋势”的报告,介绍了AR和VR市场目前发展趋势及相关技术方案、衍射波导相关内容以及AR仪器在现实场景中的应用。赵博士认为,VR和AR市场取代手机是一个必然的发展趋势,2025年AR市场将达到8000亿美金以上。华为、英特尔、高通、微软、苹果等行业巨头已经在AR领域开始布局,其中,AR眼镜产品将成为焦点,而光学模组限制了AR场景的使用,且成本占比接近50%,是AR产品的重要元部件。 赵博士介绍了深圳珑璟光电在棱镜、Birdbath、阵列光波导、光栅的产品研发计划以及在G端、B端、C端的应用。br//pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 267px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/0faa9bd8-d9dd-4e5a-8c16-0e3d45edf8fd.jpg" title="赵硕.jpg" alt="赵硕.jpg" width="400" height="267" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strong深圳珑璟光电技术有限公司 赵硕/strong/pp  华中科技大学引力中心刘骅锋教授作“基于硅基刻穿工艺的高精度MEMS加速度计”的报告,介绍了MEMS火星微震加速度计原理及关键技术,包括高深宽比体硅刻穿工艺、高精度位移传感技术、电磁力反馈控制技术、温度自补偿技术、冲击过载保护技术、低应力封装技术等。刘教授还在现场播放了来自火星的风声,令现场观众耳目一新。/pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 267px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/d22f4dee-1b9e-414c-9444-386f844bd6ce.jpg" title="刘骅锋.jpg" alt="刘骅锋.jpg" width="400" height="267" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strong华中科技大学 刘骅锋/strong/pp  牛津仪器等离子技术部邓丽刚作“VCSEL及其他镓砷-铝镓砷等离子刻蚀工艺”的报告,通过大量实例介绍了VCSEL解决方案和镓砷-铝镓砷的刻蚀工艺。报告后,邓丽刚向参会观众提出两个与VCSEL有关的基础性问题,并为两位答题观众颁发了奖品。/pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 267px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/c03d2870-7b58-4670-a0b6-6d1d35a372c2.jpg" title="邓丽刚为答题者颁奖.jpg" alt="邓丽刚为答题者颁奖.jpg" width="400" height="267" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strong牛津仪器等离子技术部邓丽刚为答题者颁奖/strong/pp  Axitron公司中国区市场与工艺高级部门经理方子文博士作“III/V族光电设备的大批量外延制造”的报告,介绍了VCSEL具体在砷化镓基、磷化铟基方面的应用以及Micro LED在显示方面标杆性的工作。方博士表示,VCSEL器件的出现已经很多年历史,但落实到生产要考虑到良率等问题,比如在均匀性方面,要考虑厚度均匀性、组分均匀性,另外也要考虑成本问题 尺寸在50微米以下的Micro LED产品,在未来必然会替代LCD、OLED等,但这离不开业界的努力,其市场相比于LED照明市场更加广阔,是LED市场的10倍以上。市面上见到的Micro LED产品其实还没有实现量产,而目前工业届最大的问题就是量产,Axitron公司也正在解决如何实现低成本、高良率生产问题,因为只有这样才能打开更广阔的市场。/pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 267px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/db4f3c98-a467-4476-8443-c2b69cc8e72a.jpg" title="方子文.jpg" alt="方子文.jpg" width="400" height="267" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strongAxitron公司中国区市场与工艺高级部门经理 方子文/strong/pp  牛津仪器纳米分析部马岚博士作“半导体材料的表面分析”的报告,介绍了EDS及EBSD在半导体中的应用以及原子力显微镜在半导体中的应用。EBSD主要用于长程有序的结晶半导体样品分析,如微焊点等。EBSD能通过采集周期性样品表面所产生的衍射电子信号,确定样品晶体结构、晶粒取向、晶粒尺寸和界面分布,可以用于芯片的失效分析。随后,马岚博士也就原子力显微镜如何分析半导体表面粗糙度、形貌、缺陷等进行了详细介绍。/pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 267px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/e05c777d-cf78-47be-8e59-4999118212af.jpg" title="马岚.jpg" alt="马岚.jpg" width="400" height="267" border="0" vspace="0"/ /pp style="text-align: center "strong 牛津仪器 马岚/strong/pp style="text-align: center "strongimg style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 400px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/02f3ede5-bd2f-4713-b0d0-d61cde0ce5ee.jpg" title="颁奖_副本.png" alt="颁奖_副本.png" width="400" height="400" border="0" vspace="0"//strong/pp style="text-align: center "strong牛津仪器为报告人颁奖/strong/pp style="text-align: left "  仪器信息网还在会议期间采访了牛津仪器等离子技术部中国区经理陈伟和Axitron公司中国区市场与工艺高级部门经理方子文博士,了解国内半导体产业发展现状与等离子技术发展的趋势。br//pp  strong牛津仪器:/strongstrong以客户需求为中心 以行业应用为导向/strong/pp  陈经理谈到,得益于国内政策导向的支持与半导体芯片企业的飞速发展,牛津仪器凭借着每年10%以上的科研投入保持着两位数的高速增长。一方面,牛津仪器迎合客户需求,积极推陈出新,关注化合物半导体的发展,尤其是在光电、能源领域 另一方面,牛津仪器积极发展等离子体技术,比如在等离子体低损伤方面,不同于传统ICP以时间为单位,新型原子层刻蚀以每个Cycle为单位,刻蚀可以控制在原子层级别,精度大幅提升。/pp  牛津仪器目前超过50%的用户都是量产型用户,通过举办类似的线下用户会,与用户面对面交流,第一时间了解到用户的问题和攻克的难点,确定攻克方向上的优先顺序。在传统领域,牛津仪器主要是帮助量产型用户提升产能、良率 在新领域研发方面,牛津仪器也在关注二维材料等领域,虽然三到五年内尚不会成为主流,但其发展潜力看好。包括砷化镓,碳纳米管以及二硫化钼等低维材料都有希望成为替代硅的晶体管材料。目前,客户对等离子技术的需求日益提高,以无机材料中的化合物半导体为例,随着芯片的迭代升级,对频率和功率的要求更加严格,不仅要朝着刻蚀的无损化的方向发展,还要求一台设备能对应更多类型的材料,这都是牛津仪器目前在研发的方向。/ppstrong  Axitron公司:将与牛津仪器密切合作 携手促进等离子技术发展和半导体相关产业升级/strong/pp  方博士表示,Axitron公司与牛津仪器是上下游的合作关系,比如在薄膜的沉积和刻蚀方面,双方合作攻克新材料,从硅基材料到新型化合物半导体材料,如砷化镓及磷化铟等新兴材料。目前,化合物半导体材料在性能上比硅强,但是化合物半导体材料的普及主要还是集中在成本上,这包括了整个行业长期的质量验证过程以及行业整体“量”上的提升。以LED蓝宝石衬底为例,过去单片成本高昂,但随着政府的支持和大量工厂的兴起,单片成本大幅降低。在这个过程中,科研用户在化合物半导体领域进行初筛,选择最具量产前景的半导体新材料 工业用户主要负责降低单位成本,比如基台的成本和消耗,保证产能和良率的提升和化学源效率的提高。/pp  对于国内半导体产业面临的问题,方博士也指出,国内产业在数据分析方面还停留在初级阶段,产品质量出现问题才由工程师人为分析,尚未建立起工业的自动化,进行常见参数如温度、压力与对应产品批次的质量分析。对于国内半导体产业技术相对落后的问题,牛津仪器和Axitron公司也经常为客户做一些技术分享,帮助半导体相关产业升级。/pp  陈经理最后谈到,中国市场对于牛津仪器意义非凡,在整个亚太市场都占有很高的比重,牛津仪器也会重视中国市场的巩固与开拓,未来考虑将在上海建立DEMO实验室,帮助用户提供专业解决方案。/pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 267px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/aa4ca30d-bd3b-434f-ab51-7ad34ef13c6c.jpg" title="Axitron公司方子文博士(左)和牛津仪器经理陈伟(右).jpg" alt="Axitron公司方子文博士(左)和牛津仪器经理陈伟(右).jpg" width="400" height="267" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strongAxitron公司方子文博士(左)和牛津仪器等离子技术部中国区经理陈伟(右)/strong/pp  本次会议在武汉隆重举行,牛津仪器与用户进行了深入的交流讨论,对于用户痛点以及未来的发展方向有了更加清晰的认知,也帮助用户解决了科研生产中的工艺问题,会议取得了圆满成功。/pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 266px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/897cf5fb-7e61-4f7d-9275-41ac011fb8f7.jpg" title="获奖.jpg" alt="获奖.jpg" width="400" height="266" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strong研讨会期间还举办了抽奖环节,牛津仪器为与会老师提供了丰富的奖品/strong/pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 267px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/e67b1886-c314-44cd-b252-629652092789.jpg" title="会后热烈讨论.jpg" alt="会后热烈讨论.jpg" width="400" height="267" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strong会后热烈讨论/strong/ppbr//p
  • 新到货18年底仪器安捷伦ICP-OES 5110等离子体原子发射光谱仪
    新到货安捷伦ICP-OES 5110电感耦合等离子体原子发射光谱仪,时间为18年底仪器,准新机,基本没用,有兴趣的欢迎来谱标科技实验室看机试机。Agilent 5110同步垂直双向观测(SVDV) ICP-OES将速度与分析性能完美结合: 卓越的分析速度●独特的智能光谱组合(DSC)技术可实现同步水平和垂直信号测量,在zui低气体消耗条件下,实现zui快速的ICP-OES分析测量●高级阀系统(AVS)可降低每次分析成本并使分析效率提高一倍以上●一次读数完成高精度的同步双向全谱测量.无等待延时●VistaChipll 检测器全密封设计.无需气体吹扫,无需预热,即开即用,节省气体消耗 强大的性能●垂直炬管设计.适用于各种复杂样品类型一 无论高基质样品或挥发性有机溶剂均可轻松应对●通过分析过程中精准气泡注入控制,AVS能够有效缩短样品提升、稳定时间和清洗延时,从而实现高精度的分析●专利的冷锥接口(CCI)技术,zui大限度减少干扰.提升仪器性能●gao效稳定的RF射频发生器系统,采用固态电源的专利技术设计.确保仪器的高精度运行及优异的长期稳定性 卓越的简便易用性●InelliQuant模式使样品中的所有元素一目了然,大大简化了方法开发过程并实现了快速样品筛选●直观的ICP Expert 软件和专利的DSC技术.保证方法开发更为简洁流畅●完全集成式切换阀与即插即用式炬管极大程度减少了培训需求.确保实现快速启动●智能诊断功能简化了故障排除流程. 从而大大延长仪器正常运行时间 灵活的配置Agilent 5110提供三种配置:●同步垂直双向观测(SVDV)一zui高速的分析测量,zui低的气体消耗●垂直双向观测(VDV)一更高的样品测量通量,更高的分析效率.并可现场升级为SVDV zui高配置模式●垂直观测(RV)一高性能的垂直观测设计,适用于高产率,复杂基质样品的实验室需求 应用:5110 ICP-OES分析碳酸锂中14种杂质元素(K、 Na、Al、 Ca、Cd、Cu、Fe、Mg、Mn、 Ni、Pb、S、Zn和Si),可在1 min内完成对所有元素的准确测量。具有良好的准确度和稳定性,可有效应用于大规模碳酸锂纯度鉴定工作中。
  • 372万!海关总署物资装备采购中心计划采购电感耦合等离子体发射光谱仪
    一、项目基本情况项目编号:CG2022-PL-GK-HW-065项目名称:海关总署2022年科技司电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目预算金额:372.0000000 万元(人民币)采购需求:(一)货物内容包件号序号品目名称数量交货期交货地点质保期包件11电感耦合等离子体发射光谱仪1(标配)1产品合同签订后90日内交货。海关指定地点产品安装调试经用户验收合格当天起,质保期2年,并提供仪器终身维修服务。包件21电感耦合等离子体发射光谱仪43包件31电感耦合等离子体发射光谱仪52(二)行业类型:工业(三)其它要求1.投标人必须对所投标包中的所有货物进行投标,不允许拆包投标。2.针对同一包,一个投标人不得提交两个或两个以上不同的投标文件或投标报价。3.各品目产品的投标报价不能超过本品目预算(品目预算详见项目需求书中的分配表),否则视为无效投标。合同履行期限:详见招标文件本项目( 不接受 )联合体投标。二、申请人的资格要求:1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;2.落实政府采购政策需满足的资格要求:根据有关规定,本项目将对小微型企业、监狱企业及残疾人福利性单位制造的产品的报价给予12%的扣除,扣除后的报价参与评审打分。未提供有效证明材料的,评审时其投标报价不予扣除。3.本项目的特定资格要求:1、符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条及《政府采购法实施条例》第十七、十八条规定。2、开标日通过“信用中国”网站、中国政府采购网查询,未被列入“失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单”的。3、从采购机构在本公告中规定的渠道获取了招标文件,且在法律上和财务上独立于采购机构。4、其他条件:(1)本项目不接受联合体投标。(2)本项目01包不接受进口产品投标(进口产品是指通过中国海关报关,验放进入中国境内,且产自关境外的产品)。三、获取招标文件时间:2022年11月10日 至 2022年11月16日,每天上午8:00至12:00,下午12:00至21:00。(北京时间,法定节假日除外)地点:http://hgcg.customs.gov.cn方式:网上下载售价:¥0.0 元,本公告包含的招标文件售价总和四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点提交投标文件截止时间:2022年11月30日 08点30分(北京时间)开标时间:2022年11月30日 08点30分(北京时间)地点:线上开标五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其他补充事宜技术指标详见招标文件七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。1.采购人信息名 称:海关总署物资装备采购中心地址:北京市东城区安外大街56号办公楼14层1425室(原国资委安外办公区)联系方式:010-65194838(平台技术支持)010-65195902(项目询问)010-65195677(质疑受理)2.项目联系方式项目联系人:010-65195902电话:吴先生
  • 宁夏化学分析测试协会批准发布《高盐食品中氯化钠的测定 电感耦合等离子体发射光谱法》等3项团体标准
    各有关单位:根据国家《团体标准管理规定》和《宁夏化学分析测试协会团体标准管理办法》,我协会对《高盐食品中氯化钠的测定 电感耦合等离子体发射光谱法》等3项团体标准进行了评审,已经通过了专家审查,现予以发布,自2023年5月8日起正式实施,特此公告。 序号标准号标准名称发布日期实施日期1T/NAIA 0211-2023高盐食品中氯化钠的测定 电感耦合等离子体发射光谱法2023-05-082023-05-152T/NAIA 0212-2023枸杞中多元素的测定 电感耦合等离子体质谱法2023-05-082023-05-15 3T/NAIA 0213-2023富硒熟制羊肉2023-05-082023-05-15宁夏化学分析测试协会2023年5月8日
  • 青海省标准化协会立项《工业盐中10种金属离子含量的测定电感耦合等离子体发射光谱法》等3项团体标准
    全体会员及各有关单位:根据《青海省标准化协会团体标准管理办法》的要求,2023年9月9日青海省标准化协会组织专家,对由海西州盐化工产品质量检验检测中心、青海省盐湖工业股份有限公司、青海省柴达木综合地质矿产勘查院、海西州质量技术检验检测中心、西宁大学(筹)、茫崖市食品药品和质量技术检验检测中心申请的《工业盐中10种金属离子含量的测定电感耦合等离子体发射光谱法》、《工业氯化钙中钠镁钾含量的测定电感耦合等离子体发射光谱法》、《硫酸钾镁肥中钙镁钠含量的测定电感耦合等离子体发射光谱法》3 项团体标准进行立项评估。经专家组质询及现场答疑,同意立项。请各单位严格按照相关要求抓紧组织实施,严把标准质量关,切实提高标准制定的质量和水平,增强相关标准的适用性和有效性。欢迎会员单位积极参与本标准的编制工作,有意者请与青海省标准化协会联系。联系人:刘伟朝电 话:0971-4110866地 址:青海省西宁市城西区西关大街31号邮 箱:744636392@qq.com 附件:拟立项团标清单序号拟立项团标名称主要参编单位1《工业盐中 10 种金属离子含量的测定电感耦合等离子体发射光谱法》海西州盐化工产品质量检验检测中心、青海省盐湖工业股份有限公司、青海省柴达木综合地质矿产勘查院、海西州质量技术检验检测中心、西宁大学(筹)、茫崖市食品药品和质量技术检验检测中心2《工业氯化钙中钠镁钾含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法》海西州盐化工产品质量检验检测中心、青海省盐湖工业股份有限公司、青海省柴达木综合地质矿产勘查院、海西州质量技术检验检测中心、西宁大学(筹)、茫崖市食品药品和质量技术检验检测中心3《硫酸钾镁肥中钙镁钠含量的测定电感耦合等离子体发射光谱法》海西州盐化工产品质量检验检测中心、青海省盐湖工业股份有限公司、青海省柴达木综合地质矿产勘查院、海西州质量技术检验检测中心、西宁大学(筹)、茫崖市食品药品和质量技术检验检测中心青海省标准化协会2023年9月11日青海省标准化协会关于《工业盐中10种金属离子含量的测定电感耦合等离子体发射光谱法》等 3项团体标准立项的公告1.jpg青海省标准化协会关于《工业盐中10种金属离子含量的测定电感耦合等离子体发射光谱法》等 3项团体标准立项的公告2.jpg
  • 安捷伦科技微波等离子体原子发射光谱仪荣膺 R&D 杂志评选的百大科技研发奖
    安捷伦科技微波等离子体原子发射光谱仪荣膺 R&D 杂志评选的百大科技研发奖 2012 年 6 月 25日,北京&mdash &mdash 安捷伦科技公司(纽约证交所:A)宣布了 4100 微波等离子体原子发射光谱仪 (MP-AES) 在权威的百大科技研发奖名单中榜上有名,该奖项评出过去一年中全球范围内推出的技术最先进的 100 种产品。 安捷伦副总裁光谱产品总经理 Philip Binns 说:&ldquo 4100 MP-AES 从根本上改变了科学家进行元素分析的方法。该产品在 2011 年投放市场,开创了一个全新的产品类别,为科研人员提供了最低维护成本的元素分析设备,同时还提高了实验室的安全性。这一突破性元素分析仪器被授予百大科技研发大奖,我们深感荣幸。&rdquo 长期以来,百大科技研发大奖一直是通讯、高能物理学、软件、制造业和生物技术行业衡量卓越的标杆。该奖项是由独立评审小组和 R&D 杂志的编辑共同甄选。 4100 MP-AES 使用空气运行的氮气等离子发生器,因此不需要易燃的或昂贵的气体。4100 MP-AES 不用连接外部气瓶,也无需持续供气,是所有元素分析实验室的上乘之选,这对于偏远地区和流动实验室来说尤为可贵。有了该光谱仪,实验室无需再使用多种气体,也免除了手动搬运和处理气瓶,有效改善实验室的安全。 关于安捷伦科技 安捷伦科技公司(纽约证交所:A)是全球领先的测量公司,同时也是化学分析、生命科学、电子和通信领域的技术领导者。公司的 20,000 名员工为 100 多个国家的客户提供服务。在 2011 财政年度,安捷伦的业务净收入为 66 亿美元。要了解安捷伦科技的信息,请访问:www.agilent.com.cn。
  • 精确跟踪芯片蚀刻过程,用高分辨率光谱仪监测等离子体
    在半导体行业,晶圆是用光刻技术制造和操作的。蚀刻是这一过程的主要部分,在这一过程中,材料可以被分层到一个非常具体的厚度。当这些层在晶圆表面被蚀刻时,等离子体监测被用来跟踪晶圆层的蚀刻,并确定等离子体何时完全蚀刻了一个特定的层并到达下一个层。通过监测等离子体在蚀刻过程中产生的发射线,可以精确跟踪蚀刻过程。这种终点检测对于使用基于等离子体的蚀刻工艺的半导体材料生产至关重要。等离子体是一种被激发的、类似气体的状态,其中一部分原子已经被激发或电离,形成自由电子和离子。当被激发的中性原子的电子返回到基态时,等离子体中存在的原子就会发射特有波长的辐射光,其光谱图可用来确定等离子体的组成。等离子体是用一系列高能方法使原子电离而形成的,包括热、高能激光、微波、电和无线电频率。实时等离子体监测以改进工艺等离子体有一系列的应用,包括元素分析、薄膜沉积、等离子体蚀刻和表面清洁。通过对等离子体样品的发射光谱进行监测,可以为样品提供详细的元素分析,并能够确定控制基于等离子体的过程所需的关键等离子体参数。发射线的波长被用来识别等离子体中存在的元素,发射线的强度被用来实时量化粒子和电子密度,以便进行工艺控制。像气体混合物、等离子体温度和粒子密度等参数都是控制等离子体过程的关键。通过在等离子体室中引入各种气体或粒子来改变这些参数,会改变等离子体的特性,从而影响等离子体与衬底的相互作用。实时监测和控制等离子体的能力可以改进工艺和产品。一个基于Ocean Insight HR系列高分辨率光谱仪的模块化光谱装置用于监测等离子体室引入不同气体后,氩气等离子体发射的变化。测量是在一个封闭的反应室中进行的,光谱仪连接光纤和余弦校正器,通过室中的一个小窗口观察。这些测量证明了模块化光谱仪从等离子体室中实时获取等离子体发射光谱的可行性。从这些发射光谱中确定的等离子体特征可用于监测和控制基于等离子体的过程。等离子体监测可以通过灵活的模块化设置完成,使用高分辨率光谱仪,如Ocean Insight的HR或Maya2000 Pro系列(后者是检测UV气体的一个很好的选择)。对于模块化设置,HR光谱仪可以与抗曝光纤相结合,以获得在等离子体中形成的定性发射数据。从等离子体室中形成的等离子体中获取定性发射数据。如果需要定量测量,用户可以增加一个光谱库来比较数据,并快速识别未知的发射线、峰和波段。监测真空室中形成的等离子体时,一个重要的考虑因素是与采样室的接口。仪器部件可以被引入到真空室中,或者被设置成通过视窗来观察等离子体。真空通管为承受真空室中的恶劣条件而设计的定制光纤将部件耦合到等离子体室中。对于通过视口监测等离子体,可能需要一个采样附件,如余弦校正器或准直透镜,这取决于要测量的等离子体场的大小。在没有取样附件的情况下,从光纤到等离子体的距离将决定成像的区域。使用准直透镜可以获得更局部的收集区域,或者使用余弦校正器可以在180度的视野内收集光线。测量条件HR系列高分辨率光谱仪被用来测量当其他气体被引入等离子体室时氩等离子体的发射变化。光谱仪、光纤和余弦校正器通过室外的一个小窗口收集发射光谱,对封闭反应室中的等离子体进行光谱数据采集(图1)。图1:一个模块化的光谱仪设置可以被配置为真空室中的等离子体测量。一个HR2000+高分辨率光谱仪(~1.1nm FWHM光学分辨率)被配置为测量200-1100nm的发射(光栅HC-1,SLIT-25),使用抗曝光纤(QP400-1-SR-BX光纤)与一个余弦校正器(CC-3-UV)耦合。选择CC-3-UV余弦校正器采样附件来获取等离子体室的数据,以解决等离子体强度的差异和测量窗口的不均匀问题。其他采样选项包括准直透镜和真空透镜。结果图2显示了通过等离子体室窗口测量的氩等离子体的光谱。690-900纳米的强光谱线是中性氩(Ar I)的发射线,400-650纳米的低强度线是由单电离的氩原子(Ar II)产生的。图2所示的发射光谱是测量等离子体发射的丰富光谱数据的一个例子。这种光谱信息可用于确定一系列关键参数,以监测和控制半导体制造过程中基于等离子体的工艺。图2:通过真空室窗口测量氩气等离子体的发射。氢气是一种辅助气体,可以添加到氩气等离子体中以改变等离子体的特性。在图3中,随着氢气浓度的增加添加到氩气等离子体中的效果。氢气改变氩气等离子体特性的能力清楚地显示在700-900纳米之间的氩气线的强度下降,而氢气浓度的增加反映在350-450纳米之间的氢气线出现。这些光谱显示了实时测量等离子体发射的强度,以监测二次气体对等离子体特性的影响。观察到的光谱变化可用于确保向试验室添加最佳数量的二次气体,以达到预期的等离子体特性。图3:将氢气添加到氩等离子体中会改变其光谱特性。在图 4 和 5 中,显示了在将保护气添加到腔室之前和之后测量的等离子体的发射光谱。 保护气用于减少进样器和样品之间的接触,以减少由于样品沉积和残留引起的问题。 在图 4中,氩等离子体发射光谱显示在加入保护气之前,加入保护气后测得的发射光谱如图5所示。保护气的加入导致了氩气发射光谱的变化,从400纳米以下和~520纳米处的宽光谱线的消失可以看出。图4:加入保护气之前,在真空室中测量氩等离子体的发射。图5:加入保护气后,氩气发射特性在400纳米以下和~520纳米处有明显不同。结论紫外-可见-近红外光谱是测量等离子体发射的有力方法,以实现元素分析和基于等离子体过程的精确控制。这些数据说明了模块化光谱法对等离子体监测的能力。HR2000+高分辨率光谱仪和模块化光谱学方法在测量等离子体室条件改变时,通过等离子体室的窗口测量等离子体发射光谱,效果良好。还有其他的等离子体监测选项,包括Maya2000 Pro,它在紫外光下有很好的响应。另外,光谱仪和子系统可以被集成到其他设备中,并与机器学习工具相结合,以实现对等离子体室条件更复杂的控制。以上文章作者是海洋光学Yvette Mattley博士,爱蛙科技翻译整理。世界上第一台微型光谱仪的发明者海洋光学OceanInsight,30年来专注于光谱技术和设备的持续创新,在光谱仪这个细分市场精耕细作,打造了丰富而差异化的产品线,展现了光的多样性应用,坚持将紧凑、便携、高集成度以及高灵敏度、高分辨率、高速的不同设备带给客户。2019年,从Ocean Optics更名为Ocean Insight,也是海洋光学从光谱产品生产商转型为光谱解决方案提供商战略调整的开始。此后,海洋光学不仅继续丰富扩充光传感产品线,且增强支持和服务能力,为需要定制方案的客户提供量身定制的系统化解决方案和应用指导。作为海洋光学官方授权合作伙伴,爱蛙科技(iFrogTech)致力于与海洋光学携手共同帮助客户面对问题、探索未来课题,为打造量身定制的光谱解决方案而努力。如需了解更多详情或探讨创新应用,可拨打400-102-1226客服电话。关于海洋光学海洋光学作为世界领先的光学解决方案提供商,应用于半导体、照明及显示、工业控制、环境监测、生命科学生物、医药研究、教育等领域。其产品包括光谱仪、化学传感器、计量检测设备、光纤、透镜等。作为光纤光谱仪的发明者,如今海洋光学在全球已售出超过40万套的光纤光谱仪。关于爱蛙科技爱蛙科技(iFrogTech)是海洋光学官方授权合作伙伴,提供光谱分析仪器销售、租赁、维护,以及解决方案定制、软件开发在内的全链条一站式精准服务。
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