高精密型空气仪

KSMT系列高精密平移台KSM系列高精度位移台采用进口高精度交叉滚珠导轨，可进行高精度，平滑移动,承载大，寿命长；精磨基座和台面，保证位移台的直线度高，偏摆、俯仰度小；位移调整采用微调螺纹副、分厘卡或差动分厘卡驱动，可根据不同分辨率要求，选用不同的驱动方式；采用弹簧复位，消除轴向间隙。该系列产品广泛应用于高精密位移调整。■型号选择KSMT-325-132 分厘卡中央驱动KSMT-325-132R 分厘卡右侧驱动KSMT-325-132L 分厘卡左侧驱动KSMT-325-131 螺纹副中央驱动KSMT-325-131R 螺纹副右侧驱动KSMT-325-131L 螺纹副左侧驱动■技术指标◆行程 +/-12.5mm◆台面尺寸 65x65mm◆整体厚度23mm◆ 运动平行度＜10&mu m◆俯仰＜30&Prime ◆偏摆＜20&Prime ◆负载5kg

仪器简介：卓立汉光生产KSA系列高精度电移台采用新结构、新工艺，经过严格检测，关键指标达到国际同类产品水平。该系列电移台产品主要应用于运动直线度要求较高的领域，如飞秒激光试验、激光精密加工和三维扫描测量系统等。技术参数：型号KSA050 -11/12-X KSA100 -11/12-X KSA150 -11/12-X KSA200 -11/12-X KSA300 -11/12-X KSA400 -11/12-X行程(mm) 50 /100 /150 /200 /300 /400导程(mm) 4 /5闭环分辨率(&mu m) 1开环分辨率(&mu m) 2.5 /3.125最大速度(mm/sec.) 40 /50重复定位精度(&mu m) 3回程间隙(&mu m) 5偏摆(&Prime ) 15 /20 /25 /30俯仰(&Prime ) 15 /25 /30 /40运动直线度(&mu m) 10 /12 /15 /20运动平行度(&mu m) 10 /12 /15 /20步进电机(步距角） 42(1.8° ） /57(1.8° ）工作电流（A） 1.7 /2.4中心负载 30 /30 /30 /30 /50主要特点：◆高精密滚珠丝杠驱动，超精密线性滑轨导向，有效保证了运动精度和直线性，其它外购件也采用知名品牌产品；◆关键、主要自制件进行超精密加工，加工精度高；◆装配工艺严格、独特，保证了产品的性能一致性；◆左右极限开关和零位开关设计，保证了产品运行安全；◆标配进口光栅尺，配合MC600系列控制箱，可实现闭环控制。

KSMR系列高精密手动旋转台 KSMR系列是采用交叉滚柱轴环的高精密手动旋转台。该系列旋转台具有大角度粗调和小角度精密调整两种功能。采用分厘卡或超细牙螺纹副驱动，灵敏度高。交叉滚柱轴环保证了台面在旋转时，有很好的运动特性，端跳等关键指标，可达国际同类产品水平。尺寸较多，分为带通光孔和不带通光孔的产品，可以根据需要灵活选择，适合于对于手动角度调整有较高要求的领域。■ 产品特点：◆导向机构采用高精度的交叉滚柱轴环，端跳等关键性指标，达到国际水平◆分厘卡或超细牙螺纹副驱动，可提供很高的灵敏度◆负载能力较强，超薄结构，小尺寸◆可以同其他KSMx系列产品组合使用 ■ 产品一览表：型号KSMR5A-100KSMR5A-120主体材料合金铝台面直径( mm)100120粗调角度范围（° ）360精调角度范围（° ）± 5灵敏度（&Prime ）4最小读数（&prime ）5驱动方式分厘卡台面跳动(µ m)30中心负载(水平)10kg

RAuK系列超高精密电控旋转台 RAuK系列超高精密电控旋转台是我公司在RAK系列旋转台的基础上，内置了进口圆光栅，实现了360° 全闭环的超高精密旋转台，闭环分辨率可达1.8&Prime （RAuK100）或1.2&Prime （RAuK200）。该系列产品已通过多方用户的测试（如哈工大、北航等），主要应用于需要超高角度定位的应用领域，如：卫星定位跟踪系统、超高精密多维扫描测量、超精密的激光加工等。 ■ 产品特点：◆内置进口超高精度圆光栅，配合MC600系列控制器，实现了360° 全闭环，闭环分辨率可达1.8&Prime （RAuK100）或1.2&Prime （RAuK200）◆精研蜗轮蜗杆采用耐磨材料并通过特殊工艺处理，可实现超高定位精度和更好的耐用性和精度保持性◆采用高刚性的进口超高等级交叉滚柱轴环，配合我公司特有的精密磨削工艺，能有效保证旋转台的端跳、径跳等各项指标，而且具有较高的负载能力，可用于竖直使用甚至倒置使用◆严格的装配工艺和高于国标要求的检验方法，保证每一台产品，出厂时具有最优性能◆电机接口和圆光栅信号接口分开设计，可以根据要求灵活使用◆具有零位开关（反向旋转时遇零位开关停止），可以方便的进行绝对定位◆使用三相步进电机和伺服电机的该系列产品以及其他规格尺寸的产品，也在规划中，敬请期待！■产品一览表型号RAuK100RAuK2008细分开环分辨率(° )0.001250.00125闭环分辨率(＂)1.81.2传动比180:1180:1最大速度（Deg./sec.）2525重复定位精度(° )0.0050.005径向跳动(&mu m)1510轴向跳动(&mu m)1510步进电机（步距角）42（1.8° ）57（1.8° ）工作电流（A）1.72.4中心负载（Kg）3050 ■关联产品◆ 42、57步进电机◆ 专用数据连接线◆ 电控位移台控制箱

SK25(A)-65系列不锈钢高精密手动平移台说明：SK25(A)-65 系列产品是卓立汉光新开发的台面为65×65mm，行程为25mm 的不锈钢高精密手动位移台，该系列产品主体材料采用304 不锈钢，导轨为高精密交叉滚柱导轨，配合卓立特有的精密磨削技术，使该系列产品具有小于2μm 的高灵敏度，并且运行平顺，无跳动现象。该系列产品具有螺纹副与分厘卡两种驱动方式，适合于高精度手动调整领域，尤其是光纤耦合或光波导器件、DPSS 激光器部件的精密调整，也可在真空中使用（需换装真空脂）。特点：● 灵敏度＜2μm● 主体材料为304不锈钢，稳定性高、耐腐蚀性强，也适合在真空中使用● 采用高精密交叉滚柱导轨，保证了产品的灵敏度、直线度等关键指标达到国内领先水平● 具有分厘卡和细牙螺纹副两种驱动方式，每种产品分为左侧、右侧、中间驱动，并有适合竖直方向使用的产品，组合使用时，非常灵活和方便● 负载能力较强，尺寸较小，适合空间不大的情况下使用选型表（台面尺寸：65mm×65mm）：

SK系列不锈钢高精密手动平移台SK 系列产品是北京卓立汉光仪器有限公司，在2014 年发布的新型手动位移台产品，该系列产品主体材料采用304 不锈钢，具有非常优秀的抗腐蚀能力。采用交叉滚柱导轨，配合卓立汉光特有的精密磨削技术，使该系列产品具有小于2μm 的高灵敏度，并且运行平顺，全行程范围直线度小于3μm。该系列产品，换装真空脂后，可以在真空中使用，而且同卓立汉光的KSM 系列产品、NFP 系列产品具有很好的通用性，适合在各种高精度的手动调整领域使用。命名规则：SK13-40SLSK13-40CSK13-40SRSK25-65SLSK25-65CSK25-65SRSK13A-40SLSK13A-40CSK13A-40SRSK25A-65SLSK25A-65CSK25A-65SRSK13(A)-40系列不锈钢高精密手动平移台说明：SK13(A)-40 系列产品是卓立汉光新开发的台面为40×40mm，行程为13mm 的小尺寸不锈钢高精密手动平移台，该系列产品主体材料采用304 不锈钢，导轨为高精密交叉滚柱导轨，配合卓立特有的精密磨削技术，使该系列产品具有小于2μm 的高灵敏度，并且运行平顺，无跳动现象。该系列产品具有螺纹副与分厘卡两种驱动方式，适合于高精度手动调整领域，尤其是光纤耦合或光波导器件、DPSS 激光器部件的精密调整，也可在真空中使用（需换装真空脂）。特点：● 灵敏度＜2μm● 主体材料为304不锈钢，稳定性高、耐腐蚀性强，也适合在真空中使用● 采用高精密交叉滚柱导轨，保证了产品的灵敏度、直线度等关键指标达到国内领先水平● 具有分厘卡和细牙螺纹副两种驱动方式，每种产品分为左侧、右侧、中间驱动，并有适合竖直方向使用的产品，组合使用时，非常灵活和方便● 负载能力较强，尺寸较小，适合空间不大的情况下使用选型表一（台面尺寸：40mm×40mm）：

AKSM系列组合高精密位移台

KSAG系列高精密电控角位移台 KSAG系列产品，是我公司正在开发的新型高精密电控角位移台，该系列产品采用精研蜗轮蜗杆，有效保证运动精度。使用进口弧形交叉滚柱导轨，使得该系列产品的旋转中心位置偏差控制在20微米以内，达到国际水平。该系列产品主要应用于空间多维调整时的角度对准，适合于高能物理、飞秒激光加工等领域。 ■产品特点◆采用精研蜗轮蜗杆驱动机构，可实现超高定位精度◆采用进口超高等级弧形交叉滚柱导轨，配合我公司特有的精密磨削工艺，能有效控制角位移台旋转时的空间中心偏差◆严格的装配工艺和检验方法，保证了产品性能的一致性◆标准步进电机和DB9接口，可灵活选择我公司各类控制器◆使用三相步进电机和伺服电机的系列产品，也在规划中，敬请期待■产品主要技术参数主体材料合金铝传动方式精研蜗轮蜗杆导轨进口弧形交叉滚柱导轨旋转中心位置精度(mm)0.02重复定位精度(° )0.005

RAuK系列超高精密电动旋转台说明：RAuK 系列超高精密电动旋转台是卓立汉光在RAK 系列旋转台的基础上，内置了进口圆光栅，实现了360°全闭环的超高精密旋转台，闭环分辨率可达1.8″ (RAuK100) 或1.2″ (RAuK200)。该系列产品已通过多方用户的测试( 如哈工大、北航等)，主要应用于需要超高角度定位的应用领域，如：卫星定位跟踪系统、超高精密多维扫描测量、超精密的激光加工等。特点：● 内置进口超高精密圆光栅，提供超高闭环分辨率● 使用精研蜗轮蜗杆传动，实现超高定位性能● 采用进口超高等级交叉滚柱轴环，具有超高运动性能● 标配二相步进电机，稳定、可靠光栅尺接线图接线图接线图：配套产品：TMC全功能运动控制系统MC6003P系列控制器应用案例：选型表：型号RAuK100RAuK2008细分开环分辨率(°)0.00125闭环分辨率(″)1.81.2传动比180:1最大速度(°/s)25重复定位精度(°)﹤0.005径向跳动((μm)﹤15﹤10轴向跳动((μm)﹤15﹤10步进电机(步距角)42(1.8°)57(1.8°)工作电流(A)1.72.4中心负载(Kg)3050

KSMG系列高精密手动角位移台 设计思路：● 采用弧形V型导轨● 主体材料为铝合金● 采用蜗轮蜗杆驱动，灵敏度高，灵活性好● 径跳等关键指标，达到国内领先水平组合示意图：

KSM25(A)-65系列高精密平移台■ 产品特点：◆灵敏度可达2&mu m◆主体材料为合金铝，表面发黑处理，适合于光学实验等对手动调整精度要求较高的领域使用◆采用精密型交叉滚柱导轨，保证了产品的灵敏度等关键指标，达到国内领先水平◆具有分厘卡和超细牙螺纹副两种驱动方式，每种产品分为左侧、右侧、中间驱动，并有适合竖直方向使用的产品，组合使用时，非常灵活和方便◆负载能力较强，尺寸较小，适合空间小的情况下使用 ■ 产品一览表：型号KSM25(A)-65CKSM25(A)-65CZKSM25(A)-65SRKSM25(A)-65SL行程（mm）25灵敏度（mm）0.002台面尺寸（mm）65× 65导轨交叉滚柱驱动方式螺纹副(分厘卡)导轨驱动位置中央驱动型竖直使用型右侧驱动型左侧驱动型负载（Kg）72.577

NFPG系列超高精密手动角位移台 设计思路： ● 采用进口弧形交叉滚柱导轨● 主体材料为304不锈钢● 采用分厘卡驱动，灵敏度高，灵活性好● 径跳、端跳等关键指标，达到国际水平示意图：

NFPR系列超高精密手动旋转台 说明：NFPR 系列产品是卓立汉光正在研制的超高精密手动旋转台。设计思路：● 采用进口交叉滚柱轴环作为导向机构● 该系列产品主体材料为304不锈钢● 采用分厘卡驱动● 粗调加微调机构，方便使用● 径跳、端跳等关键指标，达到国际水平

NFP-2462/3462系列多维超高精密手动平移台 说明：● NFP-2462是将单维的NFP-1462组合成XY二维的超高精密手动平移台，标准产品共3款，您也可以采购单维产品后，自行组合。● NFP-3462是在NFP-2462基础上，安装了Z轴，组合成XYZ三维的超高精密手动平移台，标准产品共3款，您也可以采购单维产品后，自行组合。 NFP-2462CC组合用产品NFP-1462C平移台两个 NFP-2462LL组合用产品NFP-1462SL平移台两个 NFP-2462RR组合用产品NFP-1462SR平移台两个 NFP-3462CCZ组合用产品NFP-1462C平移台 两个NFP-1462CZ平移台 一个NFP-462-Zkit 直角块 一个 NFP-3462LLZ组合用产品NFP-1462SL平移台 两个NFP-1462CZ平移台 一个NFP-462-Zkit 直角块 一个 NFP-3461RRZ组合用产品NFP-1461SR平移台 两个NFP-1461CZ平移台 一个NFP-461-Zkit 直角块 一个

说明：LAK 系列电动直线滑台是卓立汉光为解决小尺寸、高重复使用频率等情况专门设计的高精密型电动直线滑台。该系列产品主体材料采用硬质铝合金，表面黑色阳极氧化处理，耐磨性好、外型美观。导轨采用线性滑块导轨，强度高、负载能力强、耐用性好，配合卓立汉光特有的导轨面精密加工技术，使该系列产品具有较高的运动精度。驱动机构采用滚珠丝杠传动，标配五相步进电机，可提供较高的分辨率和定位精度。该系列产品非常适合集成在对空间、尺寸、重量要求较高的自动化设备、精密仪器设备等中，也比较适合使用在运动范围较小、往复频率高的工业生产线中。特点：• 滚珠丝杠驱动，耐用性好• 采用线性滑块导轨，运行平稳LAK系列高精密电动直线滑台选型表：型号LAK20-60机械规格行程（mm）20台面尺寸（mm）60×60传动机构进口C3滚珠丝杠，Φ6×1导轨（导向机构）线性滑块导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理自重（Kg）0.58联轴器（外径-孔径1-孔径2）（mm）16-03-05精度规格分辨率（整步/半步，μm）2/120细分下的分辨率（μm）0.1最大速度（mm/s）*20单向定位精度（μm）≤20重复定位精度（μm）≤±1回程间隙（μm）≤1静态平行度（mm）≤0.05运动直线度（μm）≤10运动平行度（μm）≤10偏摆（″）≤25俯仰（″）≤30专用规格微步能力（μm）≤1容许力矩负载上下摆动（Nm）9.31左右摆动（Nm）9.8轴向转动（Nm）9.31力矩刚性上下摆动（μm/90Ncm）≤6左右摆动（μm/90Ncm）≤6电气规格电机及步距角（°）五相28步进，0.72电机品牌及型号东方马达，PKP523N12B-L工作电流（A）1.2电机保持转矩（mNm）52.5驱动器品牌及型号（另配）东方马达，CVD512BR-K滑台接头10针连接器滑台接头线缆类型运动线缆滑台接头线缆长度（m）0.2限位传感器2个EE-SX4320（日本OMRON）原点传感器1个EE-SX4320（日本OMRON）传感器电源电压（V）DC5～24V±10%控制输出NPN开路集电极输出 DC5～24V 8mA以下 残留电压0.3V以下（负载电流2mA时）输出逻辑检测（遮光）时：输出晶体管OFF（非导通）负载水平负载（Kg）8竖直负载（Kg）3倒置负载（Kg）4

uFS系列产品是卓立汉光为解决小尺寸、高精度、高重复使用频率等情况专门设计的高精密电动滑台。该系列产品主体材料采用硬质铝合金，表面黑色阳极氧化处理，耐磨性好、外型美观。导轨采用进口交叉滚柱导轨，强度高、负载能力强、耐用性好，配合卓立汉光特有的导轨面精密加工技术，使该系列产品具有较高的运动精度。驱动机构采用进口滚珠丝杠（1mm导程），标配进口五相步进电机，可提供非常高的分辨率和定位精度。该系列产品非常适合集成在对空间、尺寸、重量要求较高的自动化设备、高精密仪器设备等中，也比较适合使用在运动范围较小、往复频率高、精度要求高的工业生产线中。特点：主体材料为硬质铝合金，表面黑色阳极氧化处理，耐磨性好、外形美观采用进口交叉滚柱导轨，强度高、负载能力强、耐用性好导轨安装面采用精密加工工艺，使得产品具有较高的运动精度采用进口小导程滚珠丝杠，标配进口五相步进电机，可提供较高的分辨率和定位精度命名规则：选型表： 型号uFS20-60机械规格行程（mm）20台面尺寸（mm）60×60传动机构进口C3滚珠丝杠，Φ6×1导轨（导向机构）进口交叉滚柱导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理自重（Kg）0.58联轴器（外径-孔径1-孔径2）（mm）16-03-05精度规格分辨率（整步/半步，μm）1/0.520细分下的分辨率（μm）0.05最大速度（mm/s）*10单向定位精度（μm）≤10重复定位精度（μm）≤±1回程间隙（μm）≤1静态平行度（mm）≤0.05运动直线度（μm）≤5运动平行度（μm）≤5偏摆（″）≤20俯仰（″）≤20专用规格微步能力（μm）**≤0.2/≤0.5电气规格电机及步距角（°）五相28步进，0.36电机品牌及型号东方马达，PK523HPMB工作电流（A）0.75电机保持转矩（mNm）38驱动器品牌及型号（另配）东方马达，CVD512BR-K滑台接头10针连接器滑台接头线缆类型运动线缆滑台接头线缆长度（m）0.2限位传感器2个EE-SX4320（日本OMRON）原点传感器1个EE-SX4320（日本OMRON）传感器电源电压（V）DC5～24V±10%控制输出NPN开路集电极输出 DC5～24V 8mA以下 残留电压0.3V以下（负载电流2mA时）输出逻辑检测（遮光）时：输出晶体管OFF（非导通）负载水平负载（Kg）6竖直负载（Kg）3倒置负载（Kg）3 *注：最大速度是在空载情况下，按照步进电机600转/分钟的理论计算速度和实际测试值。**注：驱动器20细分下，≤0.2(80%数据)偏差在±20%以内，≤0.5(90%数据)偏差在±10%以内。

说明：uKSA 系列超高精密电动直线滑台是卓立汉光开发的高端电动滑台产品，该系列产品采用进口滚珠丝杠和交叉滚柱导轨，内置进口光栅尺实现闭环分辨率0.1μm，其运动精度达到国际水平。该系列产品按行程分为50、100、200mm 等三款产品，配合卓立汉光的MC6003P 或TMC-USB 系列控制器，定位于超高精度要求的领域，如：超精密激光加工、超精密三维扫描测量等。特点：• 加厚的铝合金底座，配合精密磨削工艺，保证产品的精度和稳定型• 内置进口精密光栅尺，闭环分辨率可达0.1μm• 采用进口C3级滚珠丝杠驱动，具有超高定位精度• 采用进口交叉滚柱导轨，具有超高运动精度，强度高，负载能力强• 标配三相步进电机，有效降低电移台运行时的振动和噪音选型表：

NFP-x462系列产品是我公司新开发的台面为65× 65mm，行程为25mm的超高精密手动位移台，该系列产品主体材料采用不锈钢，导轨为进口超高精度交叉滚柱导轨，配合我公司特有的精密磨削技术，使该系列产品具有超高精度和可达1&mu m的灵敏度，并且运行平顺，无跳动现象。全系列产品均采用分厘卡驱动。此系列产品，特别适合于超高精度的手动调整领域，尤其是光纤耦合或光波导器件、DPSS激光器部件的精密调整。 ■ 产品特点：◆采用经过特殊工艺制备的不锈钢作为主体材料，保证产品的稳定性和耐用性，不锈钢表面做亚光处理，特别适合于在高洁净和稳定性要求的领域，如：光纤、半导体器件调整或真空中使用◆使用进口超高精度交叉滚柱导轨，配合我公司特有的精密磨削技术，保证了产品的灵敏度、平直度等关键指标，达到国际水平◆全系列采用分厘卡驱动，能够准确定位◆单维产品分为左侧、右侧、中心驱动，并有可竖直方向使用的产品，可以灵活地组合为2～3维产品，并配有组合所需的直角固定块和底板◆同国外同类产品相比，具有超高性价比！ ■ 产品一览表： 型号NFP-1462CNFP-1462CZNFP-1462SRNFP-1462SL行程（mm）25灵敏度（mm）0.001台面尺寸（mm）65× 65导轨高精度交叉滚柱直线度（&mu m）3导轨驱动位置中央驱动型竖直使用型右侧驱动型左侧驱动型负载（Kg）72.577

光机械系列德国linos自1968年就已开始研制最高性能的精密光学机械和精密定位系统，这些产品广泛应用于世界范围内的工业制造、政府及自然科学研究等行业。linos能够为生命科学及医学设备，半导体加工，光子学，激光应用，航空和国防，电子产品制造、测试及装配等行业的研究和发展，以及其他需要高精度、高自动化水平的解决方案提供满足市场应用苛刻要求的高性能精密光学机械。一、Cage系列Cage系列包括Microbench系列高精密光学平台、Nanobench系列高精密光学平台、tube C系列高精密光学平台、光学滑动导轨等。 Microbench系列高精密光学平台 质量标准：?选用高品质，极其耐用的材料 ?表面经过阳极氧化的精密加工 ?极小的机械公差设计 ?光学元件和机械系统的扩展应用领域：直径18至31.5毫米的光学元件 照明和成像组件，光学检测，测量和检测设备；干涉的应用 Nanobench系列高精密光学平台 Nanobench是一种精确的，非常紧凑的系统，可适用光束直径可达?’’。 光轴极小的公差设计保持所有部件是相互兼容的。 tube C系列高精密光学平台组件 光学滑动导轨 特点：平面微光学平台 高稳定性高精密导轨 插槽设计可转移到轨道的任何位置 和Nanobench系统兼容 黑色阳极氧化处理铝型材

仪器简介：卓立汉光生产KSA系列高精度电移台采用新结构、新工艺，经过严格检测，关键指标达到国际同类产品水平。该系列电移台产品主要应用于运动直线度要求较高的领域，如飞秒激光试验、激光精密加工和三维扫描测量系统等。技术参数：型号KSA050 -11/12-X KSA100 -11/12-X KSA150 -11/12-X KSA200 -11/12-X KSA300 -11/12-X KSA400 -11/12-X行程(mm) 50 /100 /150 /200 /300 /400导程(mm) 4 /5闭环分辨率(&mu m) 1开环分辨率(&mu m) 2.5 /3.125最大速度(mm/sec.) 40 /50重复定位精度(&mu m) 3回程间隙(&mu m) 5偏摆(&Prime ) 15 /20 /25 /30俯仰(&Prime ) 15 /25 /30 /40运动直线度(&mu m) 10 /12 /15 /20运动平行度(&mu m) 10 /12 /15 /20步进电机(步距角） 42(1.8° ） /57(1.8° ）工作电流（A） 1.7 /2.4中心负载 30 /30 /30 /30 /50主要特点：◆高精密滚珠丝杠驱动，超精密线性滑轨导向，有效保证了运动精度和直线性，其它外购件也采用知名品牌产品；◆关键、主要自制件进行超精密加工，加工精度高；◆装配工艺严格、独特，保证了产品的性能一致性；◆左右极限开关和零位开关设计，保证了产品运行安全；◆标配进口光栅尺，配合MC600系列控制箱，可实现闭环控制。

G-25D6型高精密单面光刻机一、主要用途:本设备是我公司专门针对各大专院校及科研单位对光刻机的使用特性研发的一种精密光刻机，它主要用于中小规模集成电路、半导体元器件、光电子器件、声表面波器件的研制和生产。LED曝光头及部件图三点找平机构高精度X、Y、Z、Q 调节机构二、主要技术指标：1、曝光类型：单面；2、曝光面积：150×150mm；3、曝光照度不均匀性： 150×150mm范围内≤±3%；不均匀性用紫外检测计测量（UV-A型紫外辐照计）E.大 - E.小U = ±────────×....E.大 + E.小测量5点（如右图）4、曝光强度：≤30mw/cm2可调；5、紫外光束角：≤3?；6、紫外光中心波长：365nm；7、紫外光源寿命：≥2万小时；8、采用电子快门；9、曝光分辨率：2μm；10、曝光模式：可选择一次曝光或套刻曝光；11、对准范围：X、Y 调节 ±5mm；Q向调节±3°；12、套刻精度：2μm；13、分离量；0～50μm可调；14、曝光方式：密着曝光，可实现硬接触、软接触和微力接触曝光；15、找平方式：气浮找平；16、显微系统：双视场CCD系统，显微镜91X～570X连续变倍（物镜1.6X～10X连续变倍），双物镜距离可调范围50mm～120mm，计算机图像处理系统，19″液晶监视器；17、掩模版尺寸： 7″×7″英寸；18、基片尺寸：Φ6″一件 19、基片厚度：≤5 mm；因基片的厚度不同，制作承片台时需要进行分级处理，单独设计制作，1mm为一个等级(基片厚度:0-5mm可分为五个等级：0-1mm,1-2mm,2-3mm,3-4mm,4-5mm)其中：我公司随机配送厚度为0-1mm等级的承片台，若用户还需其余等级承片台（订货时用户须说明，费用另议）。20、曝光定时：0～999.9秒可调；21、电源：单相AC220V 50HZ ，功耗≤1.5KW；22、洁净空气压力：≥0.4MPa；23、真空度：-0.07MPa~-0.09MPa；24.设备所需能源：主机电源： 220V±10% 50HZ，1.5KW。洁净空气≥0.4MPα。真空：-0.07～－0.08MPα。25.G-26D型高精密光刻机的组成：由LED紫外曝光头、CCD显微显示系统、对准工作台、电气控制系统构成。

KSMR系列高精密手动旋转台 KSMR系列是采用交叉滚柱轴环的高精密手动旋转台。该系列旋转台具有大角度粗调和小角度精密调整两种功能。采用分厘卡或超细牙螺纹副驱动，灵敏度高。交叉滚柱轴环保证了台面在旋转时，有很好的运动特性，端跳等关键指标，可达国际同类产品水平。尺寸较多，分为带通光孔和不带通光孔的产品，可以根据需要灵活选择，适合于对于手动角度调整有较高要求的领域。■ 产品特点：◆导向机构采用高精度的交叉滚柱轴环，端跳等关键性指标，达到国际水平◆分厘卡或超细牙螺纹副驱动，可提供很高的灵敏度◆负载能力较强，超薄结构，小尺寸◆可以同其他KSMx系列产品组合使用 ■ 产品一览表：型号KSMR5A-100KSMR5A-120主体材料合金铝台面直径( mm)100120粗调角度范围（° ）360精调角度范围（° ）± 5灵敏度（&Prime ）4最小读数（&prime ）5驱动方式分厘卡台面跳动(µ m)30中心负载(水平)10kg

RAuK系列超高精密电控旋转台 RAuK系列超高精密电控旋转台是我公司在RAK系列旋转台的基础上，内置了进口圆光栅，实现了360° 全闭环的超高精密旋转台，闭环分辨率可达1.8&Prime （RAuK100）或1.2&Prime （RAuK200）。该系列产品已通过多方用户的测试（如哈工大、北航等），主要应用于需要超高角度定位的应用领域，如：卫星定位跟踪系统、超高精密多维扫描测量、超精密的激光加工等。 ■ 产品特点：◆内置进口超高精度圆光栅，配合MC600系列控制器，实现了360° 全闭环，闭环分辨率可达1.8&Prime （RAuK100）或1.2&Prime （RAuK200）◆精研蜗轮蜗杆采用耐磨材料并通过特殊工艺处理，可实现超高定位精度和更好的耐用性和精度保持性◆采用高刚性的进口超高等级交叉滚柱轴环，配合我公司特有的精密磨削工艺，能有效保证旋转台的端跳、径跳等各项指标，而且具有较高的负载能力，可用于竖直使用甚至倒置使用◆严格的装配工艺和高于国标要求的检验方法，保证每一台产品，出厂时具有最优性能◆电机接口和圆光栅信号接口分开设计，可以根据要求灵活使用◆具有零位开关（反向旋转时遇零位开关停止），可以方便的进行绝对定位◆使用三相步进电机和伺服电机的该系列产品以及其他规格尺寸的产品，也在规划中，敬请期待！■产品一览表型号RAuK100RAuK2008细分开环分辨率(° )0.001250.00125闭环分辨率(＂)1.81.2传动比180:1180:1最大速度（Deg./sec.）2525重复定位精度(° )0.0050.005径向跳动(&mu m)1510轴向跳动(&mu m)1510步进电机（步距角）42（1.8° ）57（1.8° ）工作电流（A）1.72.4中心负载（Kg）3050 ■关联产品◆ 42、57步进电机◆ 专用数据连接线◆ 电控位移台控制箱

SK系列不锈钢高精密手动平移台SK 系列产品是北京卓立汉光仪器有限公司，在2014 年发布的新型手动位移台产品，该系列产品主体材料采用304 不锈钢，具有非常优秀的抗腐蚀能力。采用交叉滚柱导轨，配合卓立汉光特有的精密磨削技术，使该系列产品具有小于2μm 的高灵敏度，并且运行平顺，全行程范围直线度小于3μm。该系列产品，换装真空脂后，可以在真空中使用，而且同卓立汉光的KSM 系列产品、NFP 系列产品具有很好的通用性，适合在各种高精度的手动调整领域使用。命名规则：SK13-40SLSK13-40CSK13-40SRSK25-65SLSK25-65CSK25-65SRSK13A-40SLSK13A-40CSK13A-40SRSK25A-65SLSK25A-65CSK25A-65SRSK13(A)-40系列不锈钢高精密手动平移台说明：SK13(A)-40 系列产品是卓立汉光新开发的台面为40×40mm，行程为13mm 的小尺寸不锈钢高精密手动平移台，该系列产品主体材料采用304 不锈钢，导轨为高精密交叉滚柱导轨，配合卓立特有的精密磨削技术，使该系列产品具有小于2μm 的高灵敏度，并且运行平顺，无跳动现象。该系列产品具有螺纹副与分厘卡两种驱动方式，适合于高精度手动调整领域，尤其是光纤耦合或光波导器件、DPSS 激光器部件的精密调整，也可在真空中使用（需换装真空脂）。特点：● 灵敏度＜2μm● 主体材料为304不锈钢，稳定性高、耐腐蚀性强，也适合在真空中使用● 采用高精密交叉滚柱导轨，保证了产品的灵敏度、直线度等关键指标达到国内领先水平● 具有分厘卡和细牙螺纹副两种驱动方式，每种产品分为左侧、右侧、中间驱动，并有适合竖直方向使用的产品，组合使用时，非常灵活和方便● 负载能力较强，尺寸较小，适合空间不大的情况下使用选型表一（台面尺寸：40mm×40mm）：

QS30型高精密高压电容电桥 QS30型高精密高压电容电桥是采用电流比较仪的原理，结合计算机数据处理，具有操作方便可靠、测量精度高、读数位数多、线性度好，不受环境影响，仪器内部的计算机能自动对测试数据进行处理，直接在面板上显示电容值及介损值tgδ和测试电压及流经标准电容的电流（Is），并可通过打印机将测试结果打印出来或通过RS232接口将测试结果传给电脑等优点。电桥可与各类高压标准电容器配合组成高压电容电桥，适宜于在高电压下测量电力电缆、高压套管、电力电容器、互感器等高压电力设备的电容量及损耗角正切值tgδ，以及各种固体或液体绝缘材料的介电常数（ε）及损失角正切值，也可测量高压变压器或电压互感器的比差和角差，还可测量电抗器的电感量及Q值，是目前国内精度高、稳定性好、操作方便、用途广泛的高精密高压电桥。电桥可外接电流互感器（QS30-3）以扩大量程(选配），测量大电容时本电桥为四端测量具有引线补偿装置，使测量精度提高，消除接线电阻引起的附加误差。量程扩展器能使主桥体的电容比从1000：1扩大到106：1。 主要技术指标l 电容测量范围0～1μF，外加量程扩展（选配）可测1000μF以上l 电容的测量准确度：±5×10-5l 电桥tgδ范围为-11.111%到+11.111%l tgδx测量准确度不大于±0.5% tgδx±5×10-5电桥zui大工作电流：电桥标准臂zui大允许电流为30mA。通过被测臂zui大电流与倍率位置有关被测zui大不超过2A，如测试需要则需外接电流互感器zui大1000A以上。l 分辨率：当通过标准电容器的电流为0.1mA时，且电容比率读数di一只盘为满度时，在电桥完全平衡时，其电容比及介损盘的分辨率均为1×10-5。l 标准电容量预置范围：0000.00到1999.99pF。l 电桥内有过电压保护措施，氖泡起辉电压不超过交流30伏。l 试验电压显示：范围0到499.9kV 分辨率为0.1Kv。l 外形尺寸：560（宽）*410（深）*390（高）毫米。l 重量：约35公斤。l QS30Ⅱ-3型量程扩展器（外接， 供选购）技术指标：zui大电流1000安 精度：（当电桥量范在1000：1时）±1×10-5。也可定制扩展量程比例更大的。

中图仪器Novator高精密全自动影像仪采用大理石主体机台和精密伺服控制系统，将传统影像测量与激光测量扫描技术相结合，在机械、电子、模具、注塑、五金、橡胶、低压电器、磁性材料、精密冲压、接插件、连接器、端子、手机、家电、印刷电路板、钟表、刀具、计量检测等领域中，可实现各种复杂零件的表面尺寸、轮廓、角度与位置、形位公差、3D空间形貌与尺寸结构等精密测量。Novator高精密全自动影像仪支持频闪照明和飞拍功能，可进行高速测量，大幅提升测量效率；具有可独立升降和可更换RGB光源，可适应更多复杂工件表面。产品优势稳固移动平台、高测量精度1.精密大理石机台，稳定性好，精度高。2.精密线性滑轨和伺服控制系统，超低分贝静音级运动。3.三轴全自动可编程检测，实现复杂特征批量检测。激光扫描成像、3D复合测量1.支持点激光轮廓扫描测量，进行高度方向上的轮廓测量。2.支持线激光3D扫描成像，可实现3D扫描成像和空间测量。3.VisionX测量软件支持多种轮廓测量和3D空间测量，无缝连接2D/3D混合测量。频闪照明光源、高速硬件飞拍1.具备频闪照明光源，支持频闪和普通双模式。2.支持飞拍模式测量，测量效率提升5~10倍。3.融入中图闪测仪的拼接测量功能，发挥综合优势。可更换RGB表光、独立升降表光1.可更换RGB表光和白色表光，适应多种复杂颜色和材料表面。2.表光可独立升降，更好的观察样品表面。3.支持六环八分区表面光、透射光、同轴光分段编程控制。自动测量，批量更快1.程序匹配工件坐标系，自动执行测量流程。2.支持CAD图纸和Gerber图纸导入，坐标系匹配测量。3、CNC固定坐标系模式下，可快速精确地进行批量测量。操作简单，轻松无忧1.具备大幅面导航相机，快速实现工件定位。2.具有镜头防撞功能，轻松无忧。3.一体化操作界面，任何人都能轻松设定和测量。测量功能1.量测工具：扫描提取边缘点、多段提取边缘点、圆形提取边缘点、椭圆提取、框选提取轮廓线、聚焦点、最近点等。2.可测几何量： 点、线、圆（圆心坐标、半径、直径）、圆弧、中心、角度、距、线宽、孔位、孔径、孔数、孔到孔的距离、孔到边的距离、弧线中心到孔的距离、弧线中心到边的距离、弧线高点到弧线高点的距离、交叉点到交叉点的距离等。3.构建特征：交点、中心点、极值点、端点、两点连线、平行线、垂线、切线、平分线、中心线、线段融合、半径画圆、三线内切圆、两线半径内切圆等。4.形位公差：直线度、圆度、轮廓度、位置度、平面度、对称度、垂直度、同心度、平行度等形位公差评定。5.坐标系：仪器坐标系、点线、两点 X、两线等工件坐标系；图像配准坐标系；可平移、旋转、手工调整坐标系。6.快速工具：R角、水平节距、圆周节距、筛网、槽孔、轮廓比对、弹簧、O型圈等特殊工具快速测量。7.支持公差批量设置、比例等级划分、颜色自定义管理。测量界面Novator高精密全自动影像仪智能化和自动化程度高，使测量变得简单。它可以自动抓取数据点，测量点、线、圆、弧、椭圆、矩形等几何特征，自动分析测量特征的各种参数，如宽度、直径、位置、直线度、圆锥度、圆柱度等各种几何尺寸。仪器特点是可以自动抓取产品的边界和表面，尤其是在测量一些弱边缘特征(如过渡曲线、圆角加工等)时能完成自动抓取。结合专用测量软件对测绘要素数据进行处理、评价和输出。在保证精度的前提下，测量效率更高。高度测量Novator系列影像测量仪配备（1）触发式测头；（2）点激光(激光同轴位移计)；（3）三角激光三种传感器配置，能精准测量零件高度尺寸。1、接触式测量影像测量仪+触发式测头组合相当于一台小的三坐标测量仪，也就是我们说的复合式影像测量仪，在需要测量高度的地方，用探针取元素（点或者面），然后运用影像测量仪软件中的Z轴自动对焦功能，测量得出高度。2、非接触式测量通过搭载点激光(激光同轴位移计)、三角激光传感器配置，点激光轮廓扫描测量以及线激光3D扫描成像进行高度测量，平面度测量，针对镜面和光滑斜面均可测量；或是运用影像测量仪软件中的Z轴自动对焦功能，测量得出高度，这样的测量方法可以减少人为误差，不管是谁来测量，都可以测得同样的数值，非常简单方便。平面度测量在测量平面度时，可以将待测物放置在二维影像仪的工作台上，使用光学放大镜头和图像处理软件来检测物体表面的高低差异，并计算出物体表面的平坦度参数。通过与标准样品的比较，可以判断物体表面是否符合规定的平面度要求。需要注意的是，二维影像仪在测量平面度时，需要选择合适的光学放大倍率和图像处理算法，以保证测量结果的准确性和可靠性。光学测头平面度测量3D形貌测量搭载高精度线扫激光测头，无接触扫描3D轮廓成像，抑制多重反射，能够快速实现尺寸的精准批量测量。通过3D成像视图，可观察到产品形貌的微小特征，可实时输出2D、3D图像保存，支持2D、3D产品尺寸测量。部分技术规格型号 Novator432 行程范围X(mm) 400Y(mm) 300Z(mm) 200图像传感器高清彩色工业摄像机 显示器24英寸 LCD显示器（1920×1080）镜头13.3X电动连续变倍放大倍率光学放大0.6~8.0X 影像放大17~232X 3D扫描成像测量 Z向测量范围5mm扫描宽度30mm扫描速度10~80mm/s支持飞拍测量模式支持支持导航相机支持外形尺寸(mm)860*1350*1670仪器重量(kg)650承重(kg)25恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

KSAG系列高精密电控角位移台 KSAG系列产品，是我公司正在开发的新型高精密电控角位移台，该系列产品采用精研蜗轮蜗杆，有效保证运动精度。使用进口弧形交叉滚柱导轨，使得该系列产品的旋转中心位置偏差控制在20微米以内，达到国际水平。该系列产品主要应用于空间多维调整时的角度对准，适合于高能物理、飞秒激光加工等领域。 ■产品特点◆采用精研蜗轮蜗杆驱动机构，可实现超高定位精度◆采用进口超高等级弧形交叉滚柱导轨，配合我公司特有的精密磨削工艺，能有效控制角位移台旋转时的空间中心偏差◆严格的装配工艺和检验方法，保证了产品性能的一致性◆标准步进电机和DB9接口，可灵活选择我公司各类控制器◆使用三相步进电机和伺服电机的系列产品，也在规划中，敬请期待■产品主要技术参数主体材料合金铝传动方式精研蜗轮蜗杆导轨进口弧形交叉滚柱导轨旋转中心位置精度(mm)0.02重复定位精度(° )0.005

RAuK系列超高精密电动旋转台说明：RAuK 系列超高精密电动旋转台是卓立汉光在RAK 系列旋转台的基础上，内置了进口圆光栅，实现了360°全闭环的超高精密旋转台，闭环分辨率可达1.8″ (RAuK100) 或1.2″ (RAuK200)。该系列产品已通过多方用户的测试( 如哈工大、北航等)，主要应用于需要超高角度定位的应用领域，如：卫星定位跟踪系统、超高精密多维扫描测量、超精密的激光加工等。特点：● 内置进口超高精密圆光栅，提供超高闭环分辨率● 使用精研蜗轮蜗杆传动，实现超高定位性能● 采用进口超高等级交叉滚柱轴环，具有超高运动性能● 标配二相步进电机，稳定、可靠光栅尺接线图接线图接线图：配套产品：TMC全功能运动控制系统MC6003P系列控制器应用案例：选型表：型号RAuK100RAuK2008细分开环分辨率(°)0.00125闭环分辨率(″)1.81.2传动比180:1最大速度(°/s)25重复定位精度(°)﹤0.005径向跳动((μm)﹤15﹤10轴向跳动((μm)﹤15﹤10步进电机(步距角)42(1.8°)57(1.8°)工作电流(A)1.72.4中心负载(Kg)3050

QS87型高精密高压电容电桥简介: QS87型高精密高压电容电桥主要采用电流比较仪的原理，具有操作方便可靠、测量精度高、读数位数多、线性度好，不受环境湿度影响，仪器显示采用大屏幕TFT，可显示电容值Cx、介损值tgδ、试验电压Upk/√2、电感量Lx、品质因数Q、测试电流Ix、材料的介电常数ε、测试电源频率fx、视在功率S、有效功率P、无功功率Q等，它不仅能测电容器的电容量、介损量，还能测量电抗器的电感量和Q值及固体材料和液体材料的介质损耗和介电常数，还有前时钟的显示，是目前国内精度zui高、稳定性zui好、操作方便、用途广泛的高压电桥。它在测量上具有很高的比率精度和稳定性，这是一般西林电桥、高压介损仪不能达到的。适宜于在高电压下测量电力电缆、高压套管、电力电容器、电抗器、互感器等高压电力设备的电容量及损耗角正切值tgδ，以及各种固体或液体绝缘材料的介电常数（ε）及介损值tgδ，也可测量高压变压器或电压互感器的比差和角差。电桥可外接电流互感器以扩大量程，测量大的电力电容器时本电桥为四端测量具有引线补偿装置，使测量精度提高，消除接线电阻引起的附加误差。本电桥还可测量电抗器的电感量及Q值。量程扩展器（供选购）能使主桥体的电容比从1000：1扩大到106：1。 技术指标●电容测量范围:0.1Cn~1000Cn（7位有效数字）外接量程扩展电容量至少测到1100uF●电容的测量准确度：±1×10-5 ●电桥tgδ范围：-110%到+110% ●tgδ测量准确度不大于0.2%rdg±1×10-5 ●tgδ测量最小分辨率1×10-6（连接电脑可达1×10-7）●试验电压：0～1000kV，精度1%（4位有效数字）●测量频率：35～65Hz，精度1Hz（4位有效数字）●电容值Cx、介损值tgδ、试验电压Upk/√2、电感量Lx、品质因数Q、测试电流Ix、材料的介电常数ε、测试电源频率fx、视在功率S、有效功率P、无功功率Q等均为直读 ●电桥内有过电压保护措施。

西安市高精密仪表厂台式气体压力源 介绍G-40台式气体压力源是我公司开发研制的用于高压、中压、低压气体压力及真空压力的压力源，该产品产品选用优质进口不锈钢及铝合金材料。采用先进的航空密封技术及密封材料，经过多种加工工艺精制而成，产品的独特结构和极易操作的特点是校验压力表、压力变送器、压力传感器等其他压力仪表及真空压力仪表的理想设备。 特 点：传压介质为空气，清洁卫生，不污染环境，提高校验仪表的准确度集正、负造压于一体，正、负压转换方便开放式结构，操作简单，极易维护杠杆式加压，超大范围加减压，使升降压过程更稳定可外接气源，省时省力精细微调，提供更高的显示分辨力3个输出口，可以同时校验2块表，亦可按照客户需求定制多个输出口输出口采用快速活接头，不用扳手便可轻松拆装仪表出厂配精致便携的铝合金手提箱 技术参数：造压范围：(－0.095～15）MPa。选型：G-40 (－0.095～4）MPa 低压 G-41 (－0.095～10）MPa 中压G-42 (－0.095～12）MPa 高压G-43 (－0.095～15）MPa 超高压输出口尺寸：M20*1.5(可根据现场仪表接口不同提供各种转换接头，详见压力附件)最小可控调节度：10Pa输出接口：M20×1.5（三个）体积：300mm×300mm×150mm重量：10kg