当前位置: 仪器信息网 > 行业主题 > >

高精度四探针仪

仪器信息网高精度四探针仪专题为您提供2024年最新高精度四探针仪价格报价、厂家品牌的相关信息, 包括高精度四探针仪参数、型号等,不管是国产,还是进口品牌的高精度四探针仪您都可以在这里找到。 除此之外,仪器信息网还免费为您整合高精度四探针仪相关的耗材配件、试剂标物,还有高精度四探针仪相关的最新资讯、资料,以及高精度四探针仪相关的解决方案。

高精度四探针仪相关的论坛

  • 四探针电阻率测试仪

    四探针电阻率测试仪。XH-KDY-1BS 型四探针电阻率测试仪是严格按照硅材料电阻率测量的国际标准(ASTM F84)及国家标准设计制造,并针对目前常用的四探针电阻率测试仪存在的问题加以改进。整套仪器有如下特点:1、 配有双数字表: 一块数字表在测量显示硅片电阻率的同时,另一块数字表(以万分之几的精度)适时监测全过程中的电流变化,使操作更简便,测量更精确。数字电压表量程:0—199.99mV 灵敏度:10μV输入阻抗:1000ΜΩ基本误差±(0.04-0.05%读数+0.01%满度)2、可测电阻率范围:10—4 —1.9×104Ω·cm可测方块电阻范围:10—3 —1.9×105Ω/□。2、 设有电压表自动复零功能,当四探针头1、4 探针间未有测量电流流过时,电压表指零,只有1、4 探针接触到硅片,测量电流渡过单晶时,电压表才指示2、3 探针间的电压(即电阻率)值,避免空间杂散电波对测量的干扰。3、 流经硅料的测量电流由高度稳定(万分之五精度)的特制恒流源提供,不受气候条件的影响,整机测量精度10 万次),在绝缘电阻、电流容量方面留有更大的安全系数,提高了测试仪的可靠性和使用寿命。5、 加配软件配电脑使用,实现自动换向测量、求平均值,计算并打印电阻率最大值、最小值、最大百分变化率、平均百分变化率等内容。6、 四探针头采用国际上先进的红宝石轴套导向结构,使探针的游移率减小,测量重复性提高(国家知识产权局已于2005.02.02 授予专利权,专利号:ZL03274755.1)。

  • 【分享】敏感高分辨离子探针

    敏感高分辨离子探针II(shrimpII)是一个高精度的二级离子质谱(SIMS)粒子探针通过用几微米的离子束轰击固体样品的方法探测同位素和进行化学表面分析(也称科勒聚焦)。SHRIMPII通过双聚焦的方法(能量和质量的双聚焦)的质谱达到高质量分辨率。这种方法将使用有很大旋转半径的磁场和电场分析仪。

  • 关于AFM探针污染后的清洗

    众所周知AFM探针使用一段时间之后会因为污染问题而需要不断更换新探针,但是可能很多人并不知道,探针污染后是可以清洗后再使用的,美国NOVASCAN公司很早就推出了用紫外臭氧即UV/O3的方法来清洗探针了,作为一种非接触无损伤的清洗方式,不但能清洗探针还能对探针起到一个锐化作用,使得探针的横向精度提高。详情qq2355351204

  • 【分享】关于布鲁克台阶仪探针、原子力显微镜AFM/SPM探针

    提供实验室整体解决方案......BRUKER探针 -AFM探针原子力显微镜AFM探针: 探针的工作模式:主要分为 扫描(接触)模式和轻敲模式探针的结构:悬臂梁+针尖探针针尖曲率半径Tip Radius:一般为10nm到几十nm。制作工艺:半导体工艺制作常见的探针类型:(1)、导电探针(电学):金刚石镀层针尖,性能比较稳定(2)、压痕探针:金刚石探针针尖(分为套装和非套装的)(3)、氮化硅探针:接触式 (分为普通的和锐化的)(4)、磁性探针:应用于MFM,通过在普通tapping和contact模式的探针上镀Co、Fe[/siz

  • 【分享】AFM探针分类及各探针优缺点

    AFM探针分类及各探针优缺点   AFM探针基本都是由MEMS技术加工 Si 或者 Si3N4来制备. 探针针尖半径一般为10到几十 nm。微悬臂通常由一个一般100~500μm长和大约500nm~5μm厚的硅片或氮化硅片制成。典型的硅微悬臂大约100μm长、10μm宽、数微米厚。   利用探针与样品之间各种不同的相互作用的力而开发了各种不同应用领域的显微镜,如AFM(范德法力),静电力显微镜EFM(静电力)磁力显微镜MFM(静磁力)侧向力显微镜LFM(探针侧向偏转力)等, 因此有对应不同种类显微镜的相应探针。   原子力显微镜的探针主要有以下几种:   (1)、 非接触/轻敲模式针尖以及接触模式探针:最常用的产品,分辨率高,使用寿命一般。使用过程中探针不断磨损,分辨率很容易下降。主要应用与表面形貌观察。   (2)、 导电探针:通过对普通探针镀10-50纳米厚的Pt(以及别的提高镀层结合力的金属,如Cr,Ti,Pt和Ir等)得到。导电探针应用于EFM,KFM,SCM等。导电探针分辨率比tapping和contact模式的探针差,使用时导电镀层容易脱落,导电性难以长期保持。导电针尖的新产品有碳纳米管针尖,金刚石镀层针尖,全金刚石针尖,全金属丝针尖,这些新技术克服了普通导电针尖的短寿命和分辨率不高的缺点。   (3)、磁性探针:应用于MFM,通过在普通tapping和contact模式的探针上镀Co、Fe等铁磁性层制备,分辨率比普通探针差,使用时导电镀层容易脱落。   (4)、大长径比探针:大长径比针尖是专为测量深的沟槽以及近似铅垂的侧面而设计生产的。特点:不太常用的产品,分辨率很高,使用寿命一般。技术参数:针尖高度 9μm;长径比5:1;针尖半径 10 nm。   (5)、类金刚石碳AFM探针/全金刚石探针:一种是在硅探针的针尖部分上加一层类金刚石碳膜,另外一种是全金刚石材料制备(价格很高)。这两种金刚石碳探针具有很大的耐久性,减少了针尖的磨损从而增加了使用寿命。   还有生物探针(分子功能化),力调制探针,压痕仪探针

  • 四探针测试金属银膜不稳定的情况

    四探针测试自制的金属银纳米线薄膜时,出现一个现象,随着探头压力的增加,电阻率发生相应的变化,应该是压力越大,电阻率越大。我测试硅片的时候就很稳定,不知道是什么原因造成的。大家有没有其他材料有这种情况呢

  • PVT法碳化硅SIC晶体生长工艺高精度压力控制解决方案及其配套装置的国产化替代

    PVT法碳化硅SIC晶体生长工艺高精度压力控制解决方案及其配套装置的国产化替代

    [color=#990000]摘要:本文针对目前PVT法SiC单晶生长过程中真空压力控制存在的问题,进行了详细的技术分析,提出了相应的解放方案。解决方案的核心方法是采用上游和下游同时控制方式来大幅提高全压力范围内的控制精度和稳定性,关键装置是低漏率和高响应速度的电动针阀、电动球阀和超高精度的工业用PID控制器。通过此解决方案可实现对相应进口产品的替代。[/color][align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align] [size=18px]一、问题的提出[/size]碳化硅单晶材料,作为宽带隙半导体材料,具有优异的物理特性和电学性能,特别适合于制造高温、高频、大功率、抗辐射、短波长发光及光电集成器件,因此被广泛应用于航空、航天、雷达、通讯等领域。目前,碳化硅单晶的生长一般采用PVT法工艺。由于碳化硅单晶生长的最终目的是为了获取大尺寸、低缺陷的碳化硅单晶,随着碳化硅单晶的尺寸增大,对单晶炉内的真空压力控制要求极高,工艺气体的压力变化对SiC晶体的生长速度和晶体质量产生极大影响。图1所示为一典型SiC单晶生长工艺中压力、温度和工艺气体随时间的变化曲线。[align=center][color=#990000][img=01.碳化硅生长中随时间的压力、温度和气体变化过程,690,242]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/09/202209161032399187_2475_3221506_3.png!w690x242.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#990000]图1 PVT法碳化硅单晶生长过程中压力、温度和气体的随时间变化过程[/color][/align]从图1所示的工艺曲线可以看出,晶体生长炉内的压力控制是一个全真空度范围的精密变化过程,整个真空度变化范围横跨低真空和高真空(10-4Pa~105Pa),特别是在10-1Pa~105Pa的低真空范围内需要精密控制。目前在利用PVT法制备SiC单晶时,普遍还存在以下几方面问题。(1)普遍采用下游模式(调节出气速率)控制全过程的真空度变化,在0.1~1000Pa的较高真空区间控制精度极差,晶体生长容器内的压力波动大(约±10%)。(2)真空控制装置所采用的调节阀和PID控制器基本都采用MKS、VAT和CKD等公司的上游流量控制阀(Upstream Flow Control Valves)、下游排气节流阀(Downstream Exhaust Throttle Valves)及其配套的PID阀门控制器(PID Valve Controllers)。尽管为了降低成本目前已有多种集成了PID控制器的一体式结构的下游排气节流阀,但整体造价还是较高。(3)真空压力国产化替代产品也在逐步兴起,但普遍还存在阀门漏率大、阀门调节响应时间长和不同量程真空计无法自动切换等问题,致使无法同时采用上游和下游控制模式实现全量程范围内的真空压力高精度控制。本文将针对上述PVT法SiC单晶生长过程真空压力控制存在的问题,进行详细的技术分析,并提出相应的解放方案。解决方案的核心是采用上游和下游同时控制方式来大幅度提高全压力范围内的控制精度和稳定性,并介绍相应的低漏率和高响应速度的真空用电动针阀、电动球阀和超高精度的工业用PID控制器,由此实现对相应进口产品的替代。[size=18px][color=#990000]二、碳化硅晶体生长的压力变成过程分析[/color][/size]图1所示为目前PVT法第三代碳化硅单晶生长过程中的压力、温度和气体流量变化曲线,其中红线表示了非常典型的真空压力变化过程。通过对真空压力各个阶段的变化过程进行分析,以期深入理解PVT法SiC单晶生长过程中对真空压力变化的要求。如图1所示,SiC单晶生长过程中真空压力的变化分为以下几个阶段:(1)高真空阶段:在高真空阶段,需要通过机械泵和分子泵在晶体生长容器内形成高真空(1×10-3Pa~1×10-5Pa),以清除容器和物料内的空气和水分。此高真空阶段要求气压需要以较慢的恒定速率进行降压,由此来避免碳化硅粉料形成扬尘。(2)预生长阶段:同理,在预生长阶段,随着工艺气体的充入和温度的逐渐升高,也要求容器内的气压按照恒定速率逐渐升至常压或微正压,此烘烤和气体置换进一步清除空气和水分。(3)生长阶段:在晶体生长阶段要求容器气压按照恒定速度逐渐降低到某一设定值(生长压力),并保持长时间恒定。不同的生长设备和工艺一般会采用不同的生长压力,专利“一种碳化硅晶体的破碎晶粒用于再生长碳化硅单晶的方法”CN114182357A中,生长压力为200~ 2000Pa;专利CN114214723A“一种准本征半绝缘碳化硅单晶的制备方法”中,生长压力为10000~80000Pa;专利CN215404653U“碳化硅单晶生长控制装置”中,生长压力控制在0.2~0.7Pa范围内;专利CN217231024U“一种碳化硅晶体生长炉的压力串级控制系统”中,生长压力范围为100~500Pa。由此可见,所涉及的生长压力是一个从0.2Pa至80kPa的宽泛区间。(4)冷却阶段:在冷却阶段,随着温度的逐渐降低,要求容器内的气压按照恒定速率逐渐升至常压或微正压。从上述单晶生长过程中气压变化的几个阶段可以看出,真空压力控制装置要达到以下主要技术指标,而这些也基本都是进口产品已经达到的技术指标。(1)漏率:小于1×10-7Pa.m3/s(2)控制精度和长期稳定性:在任意真空压力下,控制精度优于1%(甚至0.5%),长期稳定性优于1%(甚至0.1%)。(3)响应速度:小于1s。响应速度往往也决定了控制精度和长期稳定性,特别是在温度和流量的共同影响下,真空压力会产生快速波动,较快的响应速度是保证精密控制的关键。(4)连接不同量程真空计:可连接2只不同量程电容真空计以覆盖整个真空压力测量控制范围,并可根据相应真空度进行传感器的自动切换和控制。(5)可编程控制:可编程进行任意压力控制曲线的设置,并可存储多条控制曲线以便不同工艺控制的调用。(6)PID参数:可自整定,并可存储和调用多组PID参数。(7)上位机通讯:与上位机(如PLC和计算机)进行通讯,并具有标准通讯协议。[size=18px][color=#990000]三、高精度真空压力控制解决方案[/color][/size]从上述分析可以得知,不同的碳化硅晶体生长工艺所需的压力是一个从0.2Pa至80kPa的宽泛区间,目前国内外在晶体生长工艺压力过程中普遍都采用下游控制模式,即在真空泵和生长容器之间安装节流阀,通过恒定上游进气流量,通过节流阀调节下游排气流量来实现真空压力控制。对于大于1kPa的高气压区间,这种下游控制模式十分有效可实现压力精密控制,但对于低压区间(0.1Pa~1kPa),下游模式的控制效果极差,必须要采用调节进气流量和恒定下游抽气流量的上游控制模式。上游模式控制方法在碳化硅单晶生长工艺中应用的一个典型案例是专利 CN217231024U“一种碳化硅晶体生长炉的压力串级控制系统”,其中生长阶段的压力范围为100~500Pa,可将压力稳定控制在±0.3Pa。另外,上游控制模式已经广泛应用在真空控制领域,我们在以往的实际应用和验证试验中也都证实过上游模式可实现1kPa以下低气压的精确控制。综上所述,要实现0.2Pa至80kPa全范围内的真空压力精密控制,需要分别采用上游和下游模式。由此,我们提出了可同时实施上游和下游模式的真空压力高精度控制解决方案,这种上下游同时进行控制的真空压力控制系统结构如图2所示。[align=center][color=#990000][img=02.上下游双向真空压力控制系统结构示意图,550,375]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/09/202209161032552585_1956_3221506_3.png!w690x471.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#990000]图2 上下游双向真空压力控制系统结构示意图[/color][/align]在图2所示的解决方案中,采用了两只电容真空计来覆盖0.2Pa至80kPa的全真空量程,真空计的测量信号传送给PID控制器,由PID控制器分别驱动上游的电动针阀和下游的电动球阀,由此闭环控制回路实现全量程范围内的真空压力精密控制。真空压力的具体控制过程是:(1)当压力控制设定值位于大于1kPa的高气压范围时,PID控制器处于下游控制模式,PID控制器调节上游的电控针阀为恒定开度,并对下游的电控球阀进行PID自动调节,通过快速调整电控球阀的开度变化使生长容器内的压力测量值快速等于设定值。(2)当压力控制设定值位于小于1kPa的低气压范围时,PID控制器处于上游控制模式,PID控制器调节下游的电控球阀为恒定开度,并对上游的电控针阀进行PID自动调节,通过快速调整电控针阀的开度变化使生长容器内的压力测量值快速等于设定值。[size=18px][color=#990000]四、配套装置的国产化替代[/color][/size]本文提出的解决方案,在真空计、电控阀门和PID控制器满足技术指标要求的前提下,可实现高精度的真空压力控制,通过实际应用和考核试验都验证了控制精度可以达到真空计的最高精度,稳定性可以轻松达到设定值的±0.5%,甚至在大部分真空压力量程内稳定性可以达到设定值的±0.1%。在进行0.1Pa~100kPa范围内的真空度控制过程中,目前真空技术应用领域普遍采用是国外产品,比较典型的有INFICON、MKS、VAT和CKD等公司的薄膜电容真空计、上游流量控制阀、下游排气节流阀及其配套的PID阀门控制器。随着国产化技术的发展,除了薄膜电容真空计和高速低漏率电动蝶阀之外,其他真空压力控制系统的主要配套装置已经完全实现了国产化,低漏率和快速响应等关键技术的突破,使整体技术指标与国外产品近似,PID控制器与国外产品相比具有更高的测控精度,并且还具有国外产品暂时无法实现的双向模式控制功能,真空压力控制比国外产品具有更高的控制精度和稳定性。国产化替代的关键配套装置包括高速低漏率真空用电控针阀和电控球阀,以及多功能超高精度通用型PID控制器,如图3所示。[align=center][color=#990000][img=03.真空控制系统国产化替代装置,690,354]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/09/202209161033165839_1676_3221506_3.png!w690x354.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#990000]图3 国产化的电动针阀、电动球阀和高精度PID控制器[/color][/align]图3所示的国产化配套装置都达到了第2节中的技术指标要求,特别是高精度的工业用PID控制器更是具有优异性能,其中的24位模数转换、16位数模转换和双精度浮点运算的0.01%最小输出百分比是目前国内外工业用PID控制器的顶级指标,可实现压力、温度和流量等工艺参数的超高精度控制。[size=18px][color=#990000]五、总结[/color][/size]针对PVT法单晶生长工艺,本文提出的上下游双向控制解决方案可实现全量程范围内真空压力的快速和高精度控制,此解决方案已在众多真空技术领域内得到了应用,相应配套的电动针型阀和电动球形阀具有国外产品近似的技术指标,工业用超高精度PID控制器更是具有优异的性能。这些配套装置结合各种真空压力传感器和双向控制方法可实现真空压力的高精度控制。[align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align]

  • 求K型热电偶温度计探针

    如题所示,最高温度要求能测1300℃ 精度 1℃介绍下品牌,或者有卖过的也欢迎。我要探针,不行的话整个都买了也行。进口为佳。。。

  • 【求助】关于电子探针的一些小问题!

    [size=4]本人是学地化的,因为要送样分析,所以提前询问电子探针的一些信息,希望各位大虾给予帮助:国内有哪些大学和研究所有电子探针阿,哪种型号较好呢?每种探针其样品的尺寸具体应该多大呢,最大尺寸是多少呢?尺寸符号Φ什么意思呢?希望大家提供信息谢谢![/size][em0810]

  • 在读博士首创“纳米探针” 打破国外技术封锁

    外观如同一支铅笔,能够探入癌细胞、H7N9等病毒内提取细胞质,还能作为手表齿轮等高精密加工的工具—凭借“纳米探针”的发明,不久前,江苏“星辰纳米”团队以机械能源小组第一名的成绩捧起了全国“创青春·优胜杯”的金奖奖杯,并获得多家创投机构的青睐,开始踏上高科技创新创业之路。  这支团队的带头人,就是师从中科院朱荻院士的南京航空航天大学在读博士生孟岭超。  传奇“学霸”—本科三转专业,包揽第一  传说中,孟岭超是一位叱咤南航的“学霸”:从大二开始三转专业,南航机电学院的工业设计、飞行器制造、航空维修工程和机械制造及其自动化共4个专业被他学了个遍,并且每个专业的综合测评都是No.1,多次获得国家奖学金以及校长通令嘉奖等。保送研究生后,他顺利成为江苏省精密与微细制造技术重点实验室的成员,师从中科院院士朱荻教授,从事精密、微细特种加工技术的研究。三年中已发表论文四篇、公开专利四项,并连续两年获得优秀研究生团队等称号。  “我这个人从小比较要强,什么事一旦认准就要做到最好。所以在别人‘喝咖啡’的时间,我边‘喝咖啡’边学习,就连坐校车往返于两个校区之间时,我也会看书温习。”孟岭超说,本科期间涉猎多个专业,为后来的研究打下了比较扎实的基础。  科创“狂人”—每天做试验,一站14个小时  当“学霸”并不是孟岭超的目标。他真正想做的,是开发自身“小宇宙”搞科创。  “从大一开始,我就加入了学校的一个科创基金团队,跟着研究生一起装机床、接线路、做实验、建模型、画图纸、查文献、拟仿真、改软件、修设备……就这样从一名科创‘小白’成长为了一枚科创‘狂人’。”他自嘲。  2010年,就读大三的孟岭超组建了自己的科创团队,开始了全新的科创之路。团队成员来自南航各个专业,在大家的共同努力下,他们的“AGV视觉导航小车”等科创作品获得了多项荣誉。  就读研究生后,孟岭超的科创课题转为微细特种加工技术。“我刚开始提出把碳纳米管制成加工电极的想法时,几乎没人相信我能成功,因为国内根本没有先例。”孟岭超说,从理论上论证可行后,他每天从早上8点就到实验室,常常一直干到晚上10点,试验平均每三分钟一次,每天要试验上百次,而且只能站着做。“就这样持续试验半年多、失败上万次后,我终于成功地把纳米和微米‘焊接’到了一起。”  2013 年“挑战杯”全国大学生课外学术科技作品竞赛上,他的作品《碳纳米管工具电极的制备与应用》由于突破了国内纳米探针制备技术的空白,打破了国外技术的垄断,得到专家评委的高度评价,获得了江苏省一等奖、全国二等奖。  创业“新兵”—要用“纳米铅笔”绘出星辰梦想  此后,孟岭超在导师的指导下,潜心研究、不断改进纳米探针制备技术。今年,由南航创业孵化中心为其团队提供工作场地,江苏星辰纳米科技有限公司宣告成立。目前,赵淳生院士团队以及南航的部分科研团队都在使用他们研制的纳米探针,公司还与国内8家高科技企业建立起合作关系。  “纳米探针运用于原子粒显微镜,可以实现对癌细胞、H7N9病毒等的探温乃至于提取的一系列过程。而在高精密加工方面,有了纳米探针这样的工具,我们才能生产出更多纳米级的产品。比如手表齿轮,未来如果使用这样的纳米探针制造,精度就会有明显的提高。再比如微型机器人的制造也离不开这样的工具。而一旦这样的微型医疗机器人问世,对于医疗界来说,将具有划时代的意义。”孟岭超告诉记者,过去,国内的研究存在空缺,而国外也常有技术封锁,我国高精密制造业存在“微米利用不足,纳米几乎为零”的发展困境。多年来,朱荻院士的研究就是为了改变这样的现状。  “星辰公司的目标就是成为国内首创、国际领先的纳米探针生产企业,实现国内微细制造技术从精密到超精密的突破性跨越。”孟岭超说,不久前有一家跨国企业希望购买他们的技术和整个团队,但被他婉言谢绝,“我们更想做一颗独立的星星,在群星闪耀的夜空中,绽放出属于自己的热量与光芒。”  说这话的时候,这个1989年出生的小伙子满脸绽放自信的光彩。

  • 【分享】【资料】DNA分子荧光探针

    [size=4][b]摘要:[/b]本文综述了各种荧光探针的结构特征荧光性质和与的作用方式, 主要涉及了6类化合物吖啶和菲啶类、菁类染料、荧光素和罗丹明类、噻嗪和恶嗪类染料、BOLIPY类染料以及其它类别的探针, 概述了DNA探针在生物分子分析方面的应用, 并展望了DNA荧光探针的发展趋势和应用前。[/size]

  • 【创新】SSRM用一个扫描探针二维成像和大规模集成电路领域取得突破

    日本东芝公司(Toshiba Corp.)于4月16日宣布,他们在电子载体通道以及半导体中的杂质成像方面取得了重大突破,这使得在1纳米尺度上的分析技术首次变得可能。这一基于扫描电阻显微镜(SSRM)的技术是实现下一代45纳米级别大规模集成芯片(LSI)等的关键性一步。  东芝公司将在国际可靠性物理年会(IRPS)上宣布他们的这一发现,这是目前正在美国Arizona凤凰城举行的国际半导体可靠性的大型会议。东芝计划在会议最后一天,当地时间4月19日发表这一突破性成果。  扫描电子显微镜是一种用来分析半导体表面的局域性二维电阻的理想方法,它能用于分析电子载体以及杂质。目前对于45纳米级别LSI的需求使得了解载体通道内的电子载体密度非常重要,而且需要能达到1纳米级别的精度,这是由于电特性方面的微小改变都会导致泄露和短路。  SSRM用一个扫描探针对半导体器件的载体进行二维成像。这些图像反映了导致电阻变化的杂质,并使得对电流路径分析变得可能。但是通过传统探针的高分辨SSRM精度只能维持在5纳米左右。  问题来源于两个方面:样品的水蒸气将影响成像精度,而且维持样品和探针间的稳定也很困难。为了克服以上问题,东芝将SSRM置于真空中,并精确定位了探针位置。这使得东芝公司达到了目前最高的分析精度:1纳米,这将用于45纳米LSI制造。教育部科技发展中心

  • 【分享】了解荧光探针

    在紫外-可见-近红外区有特征荧光,并且其荧光性质(激发和发射波长、强度、寿命、偏振等)可随所处环境的性质,如极性、折射率、黏度等改变而灵敏地改变的一类荧光性分子,包括有机试剂或金属螯合物。   最常用于荧光免疫法中标记抗原或抗体,亦可用于微环境,如表面活性剂胶束、双分子膜、蛋白质活性点位等处微观特性的探测。通常要求探针的摩尔吸光系数大,荧光量子产率高;荧光发射波长处于长波且有较大的斯托克斯位移;用于免疫分析时,与抗原或抗体的结合不应影响它们的活性。  也可用于标记待定的核苷酸片断,用与特异性地、定量地检测核酸的量。如Ca2+荧光探针:钙黄绿素(Calcein),Fluo-3,Fura-2/AM Mg2+荧光探针:Mag-Fura-2,[Dy-Mn]聚合物

  • 新旧探针测试结果对比 P-Si

    新旧探针测试结果对比 P-Si

    新旧探针的对比。请查阅~http://simg.instrument.com.cn/bbs/images/brow/em09503.gif新针轮廓和形貌都很好。但是貌似还是有点点失真。估计是激光不稳定啊~下次扫出更好的再与大家分享~http://simg.instrument.com.cn/bbs/images/brow/em09501.gifhttp://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2012/07/201207101217_376794_2435835_3.jpg

  • 电动针阀和双通道控制器在真空冷冻干燥高精度压力控制中的应用

    电动针阀和双通道控制器在真空冷冻干燥高精度压力控制中的应用

    [color=#990000]摘要:目前真空冷冻干燥过程中已普遍使用了电容压力计,使得与电容压力计相配套的压力控制器和电动进气调节阀这两个影响压力控制精度和重复性的主要环节显着尤为突出。为解决控制精度问题,本文介绍了国产最新型的2通道24位高精度PID压力控制器和步进电机驱动电动针阀的功能、技术指标及其应用。经试验验证,上游控制模式中使用电动针阀和高精度控制器可将压力精确控制在±1%以内,并且此控制器还可以同时用于冷冻干燥过程中皮拉尼真空计的监控,以进行初次冻干终点的自动判断。[/color][size=18px][color=#990000]一、问题的提出[/color][/size] 压力控制是真空冻干过程中的一个重要工艺过程,其控制精度严重影响产品质量,对于一些敏感产品的冷冻干燥尤为重要。因此,为使冷冻干燥过程可靠且可重复地进行,必须在干燥室内准确、重复地测量和控制压力,这是考察冷冻干燥硬件设备能力的重要指标之一。同时因为一次干燥时的压力或真空度,直接影响产品升华界面温度,因此准确平稳的控制压力,对于一次干燥过程至关重要。但在实际真空冷冻干燥过程中,在准确压力控制方面目前国内还存在以下问题: (1)压力控制器不匹配问题:尽管冷冻干燥工艺和设备都配备了精度较高的电容压力计,其精度可达到满量程的0.2%~0.5%,但目前国内大多配套采用PLC进行电容压力计直流电压信号的测量和控制,PLC的A/D和D/A转换精度明显不够,严重影响压力测量和控制精度。A/D和D/A转换精度至少要达到16位才能满足冷冻干燥过程的需要。 (2)进气控制阀不匹配问题:对于冷冻干燥中的真空压力控制,其压力恒定基本都在几帕量级,因此一般都采用上游进气控制模式,即在真空泵抽速一定的情况下,通过电动调节阀增加进气流量以降低压力,减少进气流量以增加压力。但目前国内普遍还在使用磁滞很大的电磁阀来进行调节,严重影响压力控制精度和重复性,而目前国际上很多已经开始使用步进电机驱动的低磁滞电动调节阀。 为解决上述冷冻干燥过程中压力控制存在的问题,本文将介绍国产最新型的2通道24位高精度PID压力控制器、电动针阀的功能、技术指标及其应用。经试验考核和具体应用的验证,上游控制模式中使用电动针阀和高精度PID压力控制器可将压力精确控制在±1%以内,并且2通道PID控制器还可以同时用于冷冻干燥过程中皮拉尼真空计的监控和记录。[size=18px][color=#990000]二、国产2通道24位高精度PID压力控制器[/color][/size] 为充分利用电容压力计的测量精度,控制器的数据采集和控制至少需要16位以上的模数和数模转化器。目前我们已经开发出VPC-2021系列高精度24位通用性PID控制器,如图1所示。此系列PID控制器功能强大远超国外产品,但价格只有国外产品的八分之一。[align=center][img=冷冻干燥压力控制,550,286]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/12/202112211608584555_3735_3384_3.png!w650x338.jpg[/img][/align][align=center][color=#990000]图1 国产VPC-2021系列温度/压力控制器[/color][/align] 压力控制器其主要性能指标如下: (1)精度:24位A/D,16位D/A。 (2)多通道:独立1通道或2通道。2通道可实现双传感器同时测量及控制。 (3)多种输出参数:47种(热电偶、热电阻、直流电压)输入信号,可实现不同参量的同时测试、显示和控制。 (4)多功能:正向、反向、正反双向控制。 (5)PID程序控制:改进型PID算法,支持PV微分和微分先行控制。可存储20组分组PID,支持20条程序曲线(每条50段)。 (6)通讯:两线制RS485,标准MODBUSRTU 通讯协议。 在冷冻干燥的初级冻干终点判断中,VPC-2021系列中的2通道控制器可同时接入电容压力计和皮拉尼压力计,其中电容压力计用作真空压力控制,皮拉尼计用来监视冻干过程中水汽的变化,当两个真空计的差值消失时则认为初级冻干过程结束。整个过程的典型变化曲线如图2所示。[align=center][color=#990000][img=冷冻干燥压力控制,586,392]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/12/202112211609304857_1459_3384_3.png!w586x392.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#990000]图2. 初级干燥过程中的典型电容压力计和皮拉尼压力计的测量曲线[/color][/align][size=18px][color=#990000]三、国产步进电机驱动电子针阀[/color][/size] 为实现进气阀的高精度调节,我们在针阀基础上采用数控步进电机开发了一系列不同流量的电子针阀,其磁滞远小于电磁阀,如图3所示,价格只有国外产品的三分之一,详细技术指标如图4所示。[align=center][img=冷冻干燥压力控制,400,342]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/12/202112211609435684_1917_3384_3.png!w599x513.jpg[/img][/align][align=center][color=#990000]图3 国产NCNV系列电子针阀[/color][/align][align=center][color=#990000][img=冷冻干燥压力控制,690,452]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/12/202112211610002292_1250_3384_3.png!w690x452.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#990000]图4 国产NCNV系列电子针阀技术指标[/color][/align][size=18px][color=#990000]四、国产PID控制器和电子针阀考核试验[/color][/size] 考核试验采用了1Torr量程的电容压力计,电子针阀作为进气阀以上游模式进行控制试验。首先开启真空泵后使其全速抽气,然后在68Pa左右对PID控制器进行 PID参数自整定。自整定完成后,分别对12、27、40、53、67、80、93和 107Pa 共 8 个设定点进行了控制,整个控制过程中真空度的变化如图 5所示。 [align=center][color=#990000][img=冷冻干燥压力控制,690,418]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/12/202112211610175473_9598_3384_3.png!w690x418.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#990000]图5 多点压力控制考核试验曲线[/color][/align] 将图5曲线的控制效果以波动率来表达,则得到如图6所示的不同真空压力下的波动率。从图6可以看出,整个压力范围内只有在12Pa控制时波动率大于1%,显然将68Pa下自整定得到的PID参数应用于12Pa压力控制并不太合适,还需要进行单独的PID 参数自整定。[align=center][color=#990000][img=冷冻干燥压力控制,690,388]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/12/202112211610294377_3818_3384_3.png!w690x388.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#990000]图6. 多点压力恒定控制波动率[/color][/align][align=center][/align][align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align]

  • E+H恩德斯豪斯高精度pH标定液

    E+H恩德斯豪斯高质量CPY20标定液提供了最高精度的pH标定。它们在已经通过权威DAkkS永久认证(德国认证机构)的标定实验室内进行生产和装瓶。标定液的准确率是+/-0.02 pH,它们使用NIST和PTB标准进行配置,只包含FDA认证防腐剂。使用CPY20可以得到可靠的准确值。E+H恩德斯豪斯高精度pH标定液的优势高精度和可再现的标定液帮助您优化过程中的pH测量值,提高产品产量和质量CPY20 pH标定液按照 NIST (USA) 和 PTB (Germany)标准配置,可溯源,并满足生命周期内严格的文档要求所用防腐剂均为FDA认证介质,确保最高的产品安全CPY20 pH标定液的温度曲线预设置在Liquiline系列变送器中 ,方便传感器标定和调节,降低维护工作量易访问的标定液证书简化您的审计跟踪流程,并提高SOPs可靠性详细,单独的标定液分析证书可在 下载区 下载. 在“文本搜索”字段中输入您的批号,然后点击“开始搜索”按钮.E+H恩德斯豪斯高精度pH标定液的应用领域CPY20 pH 标定液用于各类行业pH电极的标定和校准,适用于生产过程和实验室中高精度传感器的日常校准标定和校准可以采用:Memobase Plus CYZ71D 软件Liquiline 系列变送器各类常规的 pH变送器了解标定液和装瓶尺寸,请点击“特性和说明”.[b][color=#ffffff]文章来源:E+H http://www.china-endress.com/[/color][/b]

  • 如何清洗探针?

    探针压过细胞等生物样品以后,针尖总是会沾上一些脏东西,导致用于别处时会影响成像。在测定力曲线的时候也明显发现被污染的针尖带有粘性。在网上看到一篇讨论How can we wash functionalized AFM tip after coated it with chemical substance?,里面也给出了一些方法。比如Piranha solution。有几个问题想请教:请问关于Piranha solution,有使用过这种方法的朋友吗?效果如何?如何判断探针已经被洗干净了呢?如果是表面被修饰了某些化学物质的探针,该如何清洗使得能把污染物洗干净并且不破坏那些化学物质呢?各位通常都是用什么方法清洗探针的呢?非常感谢!

  • TMA的探针平台是石英的吗?

    TMA的探针平台是石英的吗?刚在论坛里看到这个帖子 http://bbs.instrument.com.cn/shtml/20111008/3573189/index.shtml,想到这个问题。TMA平台探针污染后会用酒精灯灼烧清洁,被加热部分很容易就被烧发红了

  • 电子探针分析仪

    本公司需做黄金检测的无损检测 需要 电子探针分析仪 请问那个牌子的比较好 ?? 大概是什么价位??

  • 【分享】原子力显微镜(AFM)探针

    [color=black][size=3][font=宋体]原子力显微镜的探针主要有以下几种:[/font][/size][/color][color=black][size=3][/size][/color][color=black][size=3][font=宋体]([/font][/size][/color][color=black][size=3][font=Times New Roman]1[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=宋体])、[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=Times New Roman] [/font][/size][/color][color=black][size=3][font=宋体]非接触[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=Times New Roman]/[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=宋体]轻敲模式针尖以及接触模式探针:最常用的产品,分辨率高,使用寿命一般。使用过程中探针不断磨损,分辨率很容易下降。主要应用于表面形貌观察。[/font][/size][/color][color=black][size=3][/size][/color][color=black][size=3][font=宋体]([/font][/size][/color][color=black][size=3][font=Times New Roman]2[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=宋体])、[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=Times New Roman] [/font][/size][/color][color=black][size=3][font=宋体]导电探针:通过对普通探针镀[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=Times New Roman]10-50[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=宋体]纳米厚的[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=Times New Roman]Pt[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=宋体](以及别的提高镀层结合力的金属,如[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=Times New Roman]Cr[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=宋体],[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=Times New Roman]Ti[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=宋体],[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=Times New Roman]Pt[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=宋体]和[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=Times New Roman]Ir[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=宋体]等)得到。导电探针应用于[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=Times New Roman]EFM[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=宋体],[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=Times New Roman]KFM[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=宋体],[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=Times New Roman]SCM[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=宋体]等。导电探针分辨率比[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=Times New Roman]tapping[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=宋体]和[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=Times New Roman]contact[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=宋体]模式的探针差,使用时导电镀层容易脱落,导电性难以长期保持。导电针尖的新产品有碳纳米管针尖,金刚石镀层针尖,全金刚石针尖,全金属丝针尖,这些新技术克服了普通导电针尖的短寿命和分辨率不高的缺点。[/font][/size][/color][color=black][size=3][/size][/color][color=black][size=3][font=宋体]([/font][/size][/color][color=black][size=3][font=Times New Roman]3[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=宋体])、磁性探针:应用于[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=Times New Roman]MFM[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=宋体],通过在普通[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=Times New Roman]tapping[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=宋体]和[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=Times New Roman]contact[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=宋体]模式的探针上镀[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=Times New Roman]Co[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=宋体]、[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=Times New Roman]Fe[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=宋体]等铁磁性层制备,分辨率比普通探针差,使用时导电镀层容易脱落。[/font][/size][/color][color=black][size=3][/size][/color][color=black][size=3][font=宋体]([/font][/size][/color][color=black][size=3][font=Times New Roman]4[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=宋体])、大长径比探针:大长径比针尖是专为测量深的沟槽以及近似铅垂的侧面而设计生产的。特点:不太常用的产品,分辨率很高,使用寿命一般。技术参数:针尖高度[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=Times New Roman]9μm[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=宋体];长径比[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=Times New Roman]5:1[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=宋体];针尖半径[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=Times New Roman]10nm[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=宋体]。[/font][/size][/color][color=black][size=3][/size][/color][color=black][size=3][font=宋体]([/font][/size][/color][color=black][size=3][font=Times New Roman]5[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=宋体])、类金刚石[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=Times New Roman]AFM[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=宋体]探针[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=Times New Roman]/[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=宋体]全金刚石探针:一种是在硅探针的针尖部分上加一层类金刚石碳膜,另外一种是全金刚石材料制备(价格很高)。这两种金刚石碳探针具有很大的耐久性,减少了针尖的磨损从而增加了使用寿命。[/font][/size][/color][color=black][size=3][font=Times New Roman] [/font][/size][/color][color=black][size=3][font=宋体]还有生物探针(分子功能化),力调制探针,压痕仪探针[/font][/size][/color][color=black][size=3][/size][/color]

  • 【求助】流动相沿探针滴下,是什么原因?

    lcq ad的esi探针无法形成喷雾?但是仪器自检,都是pass,流动相沿探针滴下,是什么原因?仪器上氮气的实际值和设定值基本一致,但是好像有点漏气的声音氮气通道是指哪个管路呢?刚接手这台仪器还是菜鸟级的

  • 【求助】求电子探针定量分析的一些标准!!

    1、标准编号:GB/T 15074-2008 标准名称:电子探针定量分析方法通则简介: 本标准规定了电子探针定量分析过程中仪器的安装要求、工作条件、标样选择、基本操作过程、各种校正处理方法及结果报告内容。 本标准适用于具有波谱仪的电子探针分析仪对试样中各元素组成定量分析测量及数据处理。2、标准编号:GB/T 15244-2002 标准名称:玻璃的电子探针定量分析方法简介: 本标准规定了电子探针和扫描电子显微镜的X射线波谱仪、X射线能谱仪对玻璃的定量分析方法。本标准适用于玻璃试样(包括含碱金属玻璃)的定量分析。3、标准编号:GB/T 15245-2002标准名称:稀土氧化物的电子探针定量分析方法简介: 本标准规定了用X射线波长色散光谱仪进行稀土氧化物的定量电子探针分析方法。本标准适用于对稀土氧化物组成体系的平面、抛光固体样品的定量电子探针分析。4、标准编号:GB/T 15246-2002标准名称:硫化物矿物的电子探针定量分析方法简介: 本标准规定了用电子探针进行硫化物定量分析的标准方法。本标准适用于在电子束轰击下稳定的硫化物以及砷化物、锑化物、铋化物、碲化物、硒化物的电子探针定量分析。本标准适用于以X射线波长分光谱仪进行的定量分析;其主要内容和基本原则也适用于以X射线能谱仪进行的定量分析。5、标准编号:GB/T 15616-2008标准名称:金属及合金的电子探针定量分析方法简介: 本标准规定了用电子探针对金属及合金的化学成分进行定量分析的方法。本标准适用于金属和合金试样立方微米尺度的微区成分分析,分析素的范围是11Na~92U。本标准也适用于用配置了波谱仪的扫描电子显微镜对金属及合金做定量分析。6、标准编号:GB/T 15617-2002 标准名称:硅酸盐矿物的电子探针定量分析方法简介: 本标准规定了电子束下稳定的天然和人工合成硅酸矿物的电子探针或扫描电子显微镜中X射线波长色散光谱仪的定量分析方法。本标准也适用于其他含氧盐、如磷酸盐、硫酸盐等矿物以及普通氧化物。其基本准则也适用于X射线能谱仪的定量分析。7、标准编号:GB/T 17360-2008 标准名称:钢中低含量Si、Mn的电子探针定量分析方法简介: 本标准规定了低合金钢和碳钢中低含量Si、Mn的电子探针定量分析方法,即标定曲线法。 本标准适用于带波谱仪的扫描电镜。8、标准编号:GB/T 17362-2008标准名称:黄金制品的电子探针定量测定方法简介: 本标准规定了用电子探针波谱仪进行黄金制品定量分析的技术方法和规范。本标准适用于各种K金制品含金量的测定,也适用于表面含金层厚度大于3μm的镀金制品的包金制品的表层含金量的测定。9、标准编号:GB/T 17365-1998标准名称:金属与合金电子探针定量分析样品的制备方法10、标准编号:JJF 1029-1991标准名称:电子探针定量分析用标准物质研制规范11、标准编号:SY/T 6027-1994 标准名称:含氧矿物电子探针定量分析方法12、标准编号:GB/T 16594-2008标准名称:微米级长度的扫描电镜测量方法简介: 本标准规定了用扫描电镜测量微米级长度的方法,适用于测量0.5~10μm的长度,也适用于电子探针分析仪测量微米级长度。13、标准编号:GB/T 17359-1998标准名称:电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则简介: 本标准规定了与电子探针和扫描电镜联用的X射线能谱仪的定量分析方法的技术要求和规范。 本标准适用于电子探针和扫描电镜X射线能谱仪对块状试样的定量分析。14、标准编号:GB/T 17722-1999标准名称:金覆盖层厚度的扫描电镜测量方法简介: 本标准规定了各类金制品的金覆盖层厚度的扫描电镜测量方法的技术要求,本标准也适用于电子探针仪测量金覆盖层厚度,适用的厚度测量范围为0.2~10um。其他金属材料的覆盖层厚度的测量也可参照执行。15、标准编号:JB/T 7503-1994标准名称:金属履盖层横截面厚度扫描电镜 测量方法简介: 本标准参照采用ISO 9220-1988(E)。 本标准规定了金属覆盖层横截面厚度扫描电镜测量方法的技术要求。 本标准适用于测量横截面中微米级到毫米级的金属覆盖层厚度。

  • 电子探针与能谱和波谱的区别

    我是新手,做过钨灯丝shu-150,jsm6700,但是一直不知道能谱的点扫是不是就是电子探针?问了很多做sem-eds的老师,他们也说不清楚什么是电子探针?电子探针就是能谱的点扫?还是电子探针是波谱的点分析(做标样的精确点分析)?还是都不是?求助大神解释。谢谢

  • 【求助】求助:寻找一种不要太尖的探针

    我现在用AFM测量一种薄膜的力学性质,由于目前所用的探针都比较尖,所以薄膜特别容易破,请教各位高手,有没有知道那里有卖不太尖的探针,比如说曲率半径是200~400nm的探针。多谢了!

Instrument.com.cn Copyright©1999- 2023 ,All Rights Reserved版权所有,未经书面授权,页面内容不得以任何形式进行复制