干涉实验监测仪

中图仪器SJ6000数控机床线性激光干涉检测仪以光波为载体，集光、机、电、计算机等技术于一体，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出。具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点。SJ6000数控机床线性激光干涉检测仪结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）SJ6000数控机床线性激光干涉检测仪支持手动或自动进行环境补偿。它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点，在机床加工领域有着广泛的应用。在机床领域中的应用激光干涉仪是一种能够测量机床精度的高精度测量装置。它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点，在机床加工领域有着广泛的应用。1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿SJ6000激光干涉仪机床平行度直线度线性检测仪非接触式、高精度的特点使其适用于各种复杂的运动系统，不仅仅局限于运动导轨，还可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。帮助企业提高设备性能，减少维护成本和停机时间，为制造业提供了一种精密的测量检测方式。部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

产品简介中图仪器SuperVieW白光干涉表面粗糙度检测仪基于白光干涉原理，用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。产品功能(1)SuperVieW白光干涉表面粗糙度检测仪提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：性能特色1、高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。SuperVieW白光干涉表面粗糙度检测仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，中图仪器SuperView W1的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配：10×选配：2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配：0.5×选配：0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配：3孔手动选配：5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸（长×宽×高）700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

中图仪器SuperViewW国产白光显微干涉三维形貌检测仪基于白光干涉原理，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。SuperViewW国产白光显微干涉三维形貌检测仪可应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。产品功能(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。应用领域SuperViewW国产白光显微干涉三维形貌检测仪对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：性能特色1、高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，中图仪器SuperView W1的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配：10×选配：2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配：0.5×选配：0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配：3孔手动选配：5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸（长×宽×高）700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

中图仪器SuperViewW精密纳米级白光干涉仪微尺寸检测仪基于白光干涉原理，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。产品功能1)样件测量能力：单一扫描模式即可满足从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量；2)单区域自动测量：单片平面样品或批量样品切换测量点位时，可一键实现自动条纹搜索、扫描等功能；3)多区域自动测量：可设置方形或圆形的阵列形式的多区域测量点位，一键实现自动条纹搜索、扫描等功能；4)自动拼接测量；支持方形、圆形、环形和螺旋形式的自动拼接测量功能，配合影像导航功能，可自定义测量区域，支持数千张图像的无缝拼接测量；5)编程测量功能：支持测量和分析同界面操作的软件模块，可预先配置数据处理和分析步骤，结合自动单测量功能，实现一键测量；6)数据处理功能：提供位置调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功能；7)数据分析功能：提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。8)批量分析功能：可根据需求参数定制数据处理和分析模板，针对同类型参数实现一键批量分析；9)数据报表导出：支持word、excel、pdf格式的数据报表导出功能，支持图像、数值结果的导出；10)故障排查功能：配置诊断模块，可保存扫描过程中的干涉条纹图像；11)便捷操作功能：设备配备操纵杆，支持操纵杆进行所有位置轴的操作及速度调节、光源亮度调节、急停等；12)环境噪声评价：具备0.1nm分辨率的环境噪声评价功能，定量检测出仪器受到外界环境干扰的噪声振幅和频率，为设备调试和故障排查提供定量依据；13)气浮隔振功能：采用气浮式隔振底座，可有效隔离地面传导的振动噪声，确保测量数据的高精度；14)光源安全功能：光源设置无人值守下的自动熄灯功能，当检测到鼠标轨迹长时间未变动后会自主降低熄灭光源，防止光源高亮过热损坏，并有效延长光源使用寿命；15)镜头安全功能：双重防撞保护，软件ZSTOP防撞保护，设置后即以当前位置为位移下限位，不再下移且伴有报警声；设备配备压力传感器，并在镜头处进行了弹簧结构设计，确保当镜头碰撞后弹性回缩，进入急停状态，大幅减小碰撞冲击力，有效保护镜头和扫描轴，消除人为操作的安全风险。应用领域针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，SuperViewW精密纳米级白光干涉仪微尺寸检测仪的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。SuperViewW精密纳米级白光干涉仪微尺寸检测仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配：10×选配：2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配：0.5×选配：0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配：3孔手动选配：5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸（长×宽×高）700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

基于干涉测量技术，LEM 可在蚀刻/沉积制程中对薄膜厚度和沟槽深度进行高精度检测。根据应用的不同，当 LEM 安装在任何干法蚀刻/沉积制程腔室上，直接俯视晶圆时，会在样品表面产生小激光点。单色光照射到样品表面时会发生干涉，由于薄膜的厚度和高度变化，会导致不同的光程长度，因此可实时监测蚀刻/沉积速率和厚度，也允许条纹计数或更复杂的分析，为各种工艺提供增强的制程控制终点检测。LEM 包含 670、905 或 980 nm 激光器，可供选配的 3 种激光波长兼容各种薄膜，包括 SiN、SiO2、GaAs、InP、AlGaAs、GaN……LEM 根据材料应用可选择使用可见（670 nm）或近红外激光器（905 nm、980 nm）。此外，界面层可通过其反射率的变化来检测。产品特色LEM 可以安装在任何工艺腔室上，具有晶圆的直接顶视图，并提供样品表面的实时数字 CCD 图像，使光斑定位变得简单。随着蚀刻过程的进行，光谱相对于蚀刻深度产生干涉。一个周期内的蚀刻量显示为厚度/深度 = λ（激光波长）/2n（蚀刻膜折射率）。根据材料结构（每层以其材料、厚度和蚀刻/沉积速率表征）和所用波长的理论干涉曲线，可以在晶圆上进行实际工程之前获得参考曲线。HORIBA 为 WIN10 PRO 64 位电脑提供专用于干涉监测和终点检测的 HORIBA 软件.技术指标

中图仪器SJ6000激光干涉仪检测数控车床集光、机、电、计算机等技术于一体，它以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，是高精度、高灵敏度的测量仪器，在制造领域应用广泛。产品配置SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。主要镜组图其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）激光干涉仪检测数控车床，支持手动或自动进行环境补偿。SJ6000激光干涉仪检测数控车床利用激光干涉现象来实现非接触式测量，适用于各种复杂的运动系统，不仅仅局限于运动导轨，还可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。帮助企业提高设备性能，减少维护成本和停机时间，为制造业提供了一种精密的测量检测方式。机床领域应用1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

中图仪器激光干涉仪检测机床sj6000具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点。它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，还可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品配置SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。主要镜组图其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。在机床领域的应用产品应用1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿中图仪器激光干涉仪检测机床sj6000非接触式、高精度的特点使其适用于各种复杂的运动系统，不仅仅局限于运动导轨，还可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。帮助企业提高设备性能，减少维护成本和停机时间，为制造业提供了一种精密的测量检测方式。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）中图仪器激光干涉仪检测机床sj6000支持手动或自动进行环境补偿。部分技术指标主机稳频精度：0.05ppm动态采集频率：50 kHz预热时间：≤ 6分钟工作温度范围：(0~40)℃存储温度范围：(-20~70)℃环境湿度：(0~95)%RH环境补偿单元空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃材料温度传感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃空气湿度传感器：±6%RH (0~95)%RH大气压力传感器：±0.1kPa (65~115)kPa线性测量距离：(0~80)m (无需远距离线性附件)角度测量范围：±10°平面度测量范围：±1.5mm直线度测量范围：±3mm垂直度测量范围：±3/M mm/m便携箱尺寸：613*460*230mm标准配置重量：18kg恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展而来的一种外差式干涉仪。传统单频激光干涉仪采用单频技术，容易受到外界环境干扰，微小的空气湍流都会引起直流电平变化从而影响测量结果，这是单频干涉仪的一个根本弱点。在测试环境恶劣或测量距离较长时，这一缺点十分突出，而双频激光干涉测量仪正好克服了这一缺点。双频干涉仪使用双频激光，其干涉信号是一个频率约为1.5-8 M H z的交流信号，当可动棱镜移动时，双频干涉仪的干涉信号只是使原有的交流信号频率增加或减少了△f，结果依然是一个交流信号。这个交流信号频率的改变取决于可动棱镜位置的变化，不受直流光平和电平变化的影响，因此抗干扰能力强，适合在各种环境条件下开展检测作业。 双频激光干涉测量仪采用外差技术，对环境干扰不敏感，先天具有抗干扰性好，工作稳定的特点，适合在车间生产环境中使用。镭测科技推出的LH3000双频激光干涉仪，基于清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室多年研发的核心技术，拥有自主知识产权，技术指标达到或优于国外产品同等水平。LH3000双频激光干涉仪通过与不同的光学组件结合，可实现对线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何量的检测，是高精度线性位移测量、数控机床校准、三坐标机校准、光学平台校准的高效率量测工具。 系统组成： LH3000双频激光头及附件 LC-2000环境补偿单元 Leice Measure测量软件、Leice Analysis 分析软件 线性位移测量镜组（选配：角度、直线度、垂直度、平面度测量镜组等） 光学调整附件 三脚架及其他测量附件产品优势： 采用双频激光，测量精度高 紧凑设计，适合外出服务携带 抗干扰能力强，大型机床长距离检测时也能保证稳定精准 自动环境补偿，不同温度、湿度、压力环境中也能精确检测 符合测校国家标准的测量分析软件 自动生成测量数据报表和误差校正补偿文件。 典型频差7±0.5MHz，测速高达2m/s。（欲了解更多单频与双频干涉仪的性能特点和差异，请阅览本网站解决方案栏目中的：双频激光干涉仪）

激光干涉仪原理和方法:随着光通讯行业的飞速发展，特别是通讯行业手机、平板等对成像质量要求的不断提高，必须对手机面板摄像孔的光学玻璃的透射波前进行检测和分析。光学玻璃的透射波前是指一个标准的波形（平面波、球面波等）被透射或反射后的波形，它主要用于光学成像的像质评价。随着透射光学系统（如手机平板等摄像系统等）的成像质量要求越来越高，迫切需要高精度的光学玻璃透射波前的检测手段。高精度的检测方法主要是用干涉法检测波前畸变。 激光干涉仪其工作原理是将待测手机平板放于干涉仪的参考平面镜和标准反射镜中间，从标准参考镜反射的光和标准反射镜的光相干涉，干涉条纹则反映了手机面板摄像孔透射波前的好坏。技术参数硬件部分产品型号SDI-635-10PV产品名称激光干涉仪测试结构斐索型立式结构测试口径有效口径Ф10mm测试光源半导体激光光源（波长635nm）对准视场±0.5度标准镜面形精度λ/20标准配件1、激光干涉仪主机一台 2、10mm平面透射标准镜，λ/20 3、10mm平面透射反射镜，λ/20 4、手机面板测试平台（带XY固定） 5、移相控制器一台 6、移相干涉条纹分析软件一套 7、电脑、液晶显示器一套设备重量约16KG电源AC220V50HZ软件部分软件名称移相算法分析项目透过波前PV值、RMS值、干涉条纹数PV值测试重复性±0.039λ条纹数测试精度±0.5条测试时间1.5秒测试数据可存EXCEL

白光干涉仪概述Rtec 白光干涉仪在加利福尼亚硅谷制造。已被多个知名实验室、大学和行业使用。UP系列在一个头上组合了4种成像模式。能够在同一测试平台上运行多种测试，只需单击按钮，就能转换成像模式。这种组合可以轻松地对任何表面进行成像如透明、平坦、黑暗、扁平、弯曲的表面等。每种成像模式都具有各自的优势，并且各项技术彼此互补。该项整合技术不仅有利于数据的综合分析，也可以减少维护成本，从而提高效率。 3D光学轮廓仪组合l白光干涉仪l旋转盘共聚焦显微镜 l暗视野显微镜l明视野显微镜 主要平台规格 产品规格l标准电动平台150x150mm（可选210x310mm）l标准转塔，电动转塔可选l垂直范围可达100mml倾斜阶段6度lXY平台分辨率0.1uml自动拼接楷模lSigma头 - 仅限白光干涉仪lLambda头 - 白光干涉仪+共焦+暗场+明场 应用 ●粗糙度 ●体积磨损 ●台阶高度 ●薄膜厚度 ●形貌 测试图像示例 DLC涂层球 粗糙涂层表面 圆球磨斑 金刚石 生物膜 微流体通道 聚合物涂层 墨痕 硬币 研磨垫 铝的失效痕迹 划痕 涂层失效痕迹 芯片通道 晶圆以上为双模式三维表面轮廓仪拍出的样品形貌。在同一平台上结合使用多种光学技术，测试仪可以测量几乎任何类型的nm分辨率样品。 该表面轮廓仪配有功能强大的分析软件，符合多种标准。双模式三维表面轮廓仪能够在同一测试平台上运行多种测试，产品的组合可根据不同的技术应用要求而改变。针对样品的同一区域可进行不同模式的实验检测，模式切换可实现自动化。多项技术的整合能够使不同技术在同一检测仪上充分发挥各自的优势。该项整合技术不仅有利于数据的综合分析，也可以减少维护成本，从而提高效率。

瞬态(近红外)激光波前畸变检测干涉仪是将空间位相调制的共路剪切干涉技术与数字化波面高新计算技术相结合研制的新颖干涉系统，是浙江大学光电系现代光学仪器重点实验室、杨甬英等教授集多年基础、数年攻关完成的目前国内首台利用干涉方法仅需单幅干涉图就可以高分辨率检测各类高、低功率的脉冲激光、连续光波前畸变、检测各类高精度大口径精密表面的面形、动态检测各种流体的变化等。仪器抗噪、抗干扰性好特别适合于现场的实时检测。波前及面形的检测分辨率高，可高精度测量较大的波前畸变量，可以用于瞬态图象高速采集及检测。波前检测软件输出信息量丰富、可适用于不同波段的可见光、红外波段的检测。经权威单位与ZYGO干涉仪比对测试，近红外脉冲激光波前畸变检测的波前均方根已优于1/15波长。瞬态激光波前畸变检测干涉仪已达到国际先进、国内领先的先进水平。仪器技术指标：1、应用波长：从紫外、可见光至中远红外波段（波长可根据用户不同要求确定）；2、光束接收口径：F10mm ～用户任定口径；3、仪器精度及重复性：波前均方根优于1/15波长；4、测量范围：波前畸变检测量可达50 mm；5、可用于脉冲光、连续光、各类精密表面面形测量：测量脉冲激光的脉宽可达1ns；6、光学系统具有高激光损伤阈值；7、高分辨率数据采集系统:科学级CCD相机，空间分辨率至1024× 1024以上或用户定；8、仪器利用共路剪切干涉技术，抗振动性好,可放于任何工作台现场使用；9、光束波前诊断软件包：给出检测波前位相（可以是光束波前、面形或流体的形变等）的三维图形、等高图、波前畸变的PV 值、均方根值、波面梯度值等；给出表征光束能量分散度的Streh1比；光学系统象差的评价参数OTF和PSF；软件具有友好的图形工作界面，工作于Windows 2000以上平台，软件有各类数据图象及数据输出功能。应用范围：本仪器是动、静态皆可检测的系统，可应用于航空、航天、航海及国民经济诸多领域：1. 配备高速的CCD与图象转换系统，可以检测具有较大畸变、快速变化的气体折射率密度场、高速绕流流场，获取高速飞行体在各个瞬间状态的三维流场的相关参数。并且可以应用于流体显示技术、空气动力学方面的研究。2. 良好的抗振性特别适合于在车间、现场进行各类精密表面面形的分析测量、不同尺寸的光学元件、硅片、金属表面面形、非球面等各类元件的精密检测。3. 可以检测各类高能激光系统的静态、动态波前畸变，特别为1053nm的近红外脉冲波前检测提供一个高精度、高分辨率的检测结果。系统配备标准近红外光源，可以检测1053nm 波段的各类光学材料的透射特性参数。图2是系统软件输出界面。图3是已实际用于纳秒级高能脉冲波前检测的干涉图。图4是纳秒级高能脉冲波前重构的三维图。

仪器简介：复旦大学研究中心利用&ldquo 全光纤白光干涉技术&rdquo ，在5项专利技术的基础上，成功研制出多功能光纤教学实验仪。其核心在于采用标准化、模块化的组合架构，通过共享主机、根据不同实验要求选用不同功能模块，灵活搭配，组装出不同功能的教学实验。系统的开放性特点还意味着易于拓展功能，便于将来升级。同时，系统还配备专门利用LABVIEW软件开发平台和数据采集卡开发的信号处理软件，结合物理量，提供强大的数据采集、存储、分析能力。 通过变换组件开发的实验均属于光纤应用技术范畴，覆盖了目前先进的光纤通信、传感技术。测试的物理内容在20项以上，一套综合实验系统的功能与20套分散的实验仪器实现的功能相当。此外，仪器还具有稳定光源、光电转换电信号放大器等独立功能。利用多功能光纤干涉教学实验仪主机，并配置相应配件，可实现下列实验功能： 1. 全光纤音频信号录入、传输、解调功能； 2. 双向音频传输系统（光纤电话） 3. 激光外调制、解调技术； 4. 光在介质中传播速度的测量； 5. 光纤长度测量； 6. 光纤定点应变测量； 7. 全光纤声纳测试实验 8. 全光纤振动测试实验 实验教学内容包括 （1） 光纤传感器的特性及其应用；光纤通讯；声光调试；迈克尔逊干涉仪 （2） 速度、加速度测定；力学传感器（位移、应力速度、加速度&hellip ）与其应用；振动模式研究；傅里叶频率合成；电信号的傅里叶分析 （3） 声光调试； （4） 激光在实时测量中的应用；激光的倍频与混频 （5） 纳米材料制备与测量；光纤应用；仿真物理仪器。 （6） 半导体激光器特性的研究；光的色度研究；虚拟仪器在物理实验的应用 （7） 声速的测定；激光在实时测量中的应用； （8） 光纤通讯（全光通信）；声光调试；白光干涉仪 提供完整的实验解决方案 利用&ldquo 多功能光纤干涉实验教学仪&rdquo 和辅件，能够完成以上八个实验的实验教学功能。完整的实验解决方案包括以下实验配置： 编 号 设 备 名 称 功 能 1 多功能光纤干涉实验教学仪（2台） 全光纤白光干涉 2 光纤光功率分配器（4支） 光功率分配 3 光纤跳线（6条） 光路连接 4 光纤准直器（1支） 光发射、接收 5 标准振动台(1台) 提供标准振动源 6 声源（2个） 提供声音 7 放音器（2套） 播放声音 8 声光调制器（1支） 光纤外调制 9 数据采集卡（1张） 信号采集 10 信号处理软件平台（1套） 分析信号测试特征 11 全光纤送话器（2个） 声音采集 12 单模光纤（2 12公里） 测试、传输用 13 光纤反射器（2个） 光纤中光波反射 14 信号发生器（1台） 提供信号源 15 示波器（1台） 看转化为电信号后的光信号的波形技术参数：多功能光纤干涉教学实验仪的优势 1、 实验再现的物理概念清晰 实验仪成功再现了&ldquo 白光干涉技术&rdquo ，光的干涉通过不断的完善，已经形成了传统的干涉方式，主要有：（1）迈克耳逊干涉；（2）F-P干涉；（3）M-Z干涉等。在上个世纪九十年代，出现了&ldquo 全光纤白光干涉技术&rdquo ，该技术作为一种全新的干涉方法与传统的干涉方法相比，具有更大的实用价值。但是，在全国范围内，所有的实验都未涉及&ldquo 白光干涉&rdquo 实验。&ldquo 多功能光纤干涉教学实验仪&rdquo 填补了&ldquo 全光纤白光干涉原理&rdquo 的实验空白，具有较高的学术价值和实用价值。同时，实验仪能够测量的物理量包括： （1） 光波在光纤中的传播速度 （2） 光纤等效折射率 （3） 振动速度、加速度和位移 （4） 水中声波传播特性 （5） 光纤弹光效应 （6） 光波相位调制、解调 （7） 光纤分布传感技术 （8） 振动信号频谱分析 （9） 光纤长度测量主要特点：2、 实验方式灵活 通过共享一套主机，结合不同的功能模块，能够按照需要组装不同的实验。通过该方式，能够充分发挥学生的主动性，在节约财力的情况下，完成了以往多套实验仪器设备才能完成的实验功能；同时，很好地培养了学生的主动性，一改传统实验内容过于死板，学生主动参与性不强的缺点。 3、 系统性能好不同实验通过一套系统来实现，节约了大量的财力， 4、 实验内容和方法包含的技术新颖 不同的实验内容都来自最新的专利和文章，包含的方法和内容属于新的科研成果，使得整个实验的学术水平属于国内领先水平，其中利用低频信号测试光速等实验在全国来说属于首次提出，国际上未见文献报告；保密通信利用了量子通信等先进技术，在国内也属于创新实验。 5、 实验内容贯穿理论-应用-推广应用这一过程 对明确的原理概念首先通过基础实验学习理论，通过工程应用实验学会该原理的工程应用，最后通过大型系统实验巩固物理概念、锻炼学生动手能力和拓展学生思维。通过实验学习理论知识，而不是通过学习理论知识来重复实验，是&ldquo 多功能光纤干涉教学实验仪&rdquo 开设实验的强度教学功能。 开设的实验介绍

镭测科技Leice激光干涉仪LH2000双频激光干涉仪 满足计量检测用户更稳定、更高精度、更便利的使用要求； 以光刻机用激光干涉测量系统为基础， 在保留高稳定性、高精度、高采样速率卓越性能的同时， 将光源和测量信号接收处理单元集成在主机里， 一体化设计为用户提供更加方便、易用、友好的使用体验； 典型频差7±0.5 MHz，测速高达2m/s。 系统组成： LH2000激光测头及附件 环境补偿单元 LaserLC测量软件 线性位移测量镜组（选配：角度、直线度、垂直度、平面度测量镜组等） 光学调整附件 三脚架及其他测量附件镭测科技Leice激光干涉仪LH2000双频激光干涉仪参数激光头尺寸330mm×110mm×95mm激光头重量3.3kg激光光束直径6mm激光功率 0.5mw真空波长632.99nm频差可定制 典型值7±0.5 MHz工作温度范围+10℃~+30℃储存温度范围+15℃~+45℃激光稳频精度±0.02ppm线性测量范围40m线性测量精度±0.1ppm(真空中)±0.4ppm*(使用LC-2000环境补偿器)分辨率1nm测量速度2m/s工作电源220V/50Hz北京镭测科技有限公司为您提供镭测科技Leice激光干涉仪LH2000双频激光干涉仪，镭测科技LH2000双频激光干涉仪产地为北京，属于国产激光干涉仪，更多激光干涉仪的参数、价格、型号、原理等信息欢迎您访问北京镭测科技有限公司官方网站。

多功能光栅光谱仪实验装置，YTR-6308简介YTR-6308多功能光栅光谱仪是一款以光栅作为分光元件的光谱仪，其基本原理是当不同波长的光束以相同的入射角入射到光栅上时，不同波长的光束同一级衍射的主极大位置不同，从而达到分光的目的。其优点是具有较宽的光谱测量范围和较高的分辨率，综合性能突出，是目前使用最为广泛的光谱仪器。该光栅光谱仪专为物理实验教学开采用开放式的结构设计，学生可以直观的观看光谱仪的内部光路和结构。同时采用了光电倍增管和线阵式CCD作为光电传感器，既可以获得高分辨率光谱，也可以快速获得宽光谱。使学生更加充分理解和掌握光谱仪的工作原理。该仪器可以很好的使用在氢氘光谱实验，钠原子光谱等实验。特点对称式C-T光路结构，采用可视化的结构设计，帮助学生理解和掌握光谱仪结构组成和工作原理双光路设计，分别使用高品质光电倍增管和线阵CCD作为光电探测器，使得学生更能深入的理解和掌握探测器的性能和实验仪器优缺点和用途专业的光谱分析实验软件，包含：光谱测量、透过率测量、反射率测量、吸光度测量和色度学测量等多种实验模块（有些实验模块需要另配附件）实验内容热辐射光源光谱测定波长准确性的测定和修正氢原子光谱测定及里德堡常量测量吸收光谱的测量CCD测量的波长定标颜色测透过率测量吸光度测量浓度测量透镜焦距测量实验，YGP-6212简介YGP-6212透镜焦距测量实验学习的知识点有几何光学基本定律、透镜成像、显微镜、望远镜。几何光学是光学的重要分支之一，它的应用十分广泛，尤其是在设计光学仪器的光学系统等方面显得十分方便和实用。透镜作为光学仪器的基本元件，可以组建各种光学系统，在成像系统、图像摄取、遥感等领域中已经得到广泛应用。光学显微镜是一种常见的助视光学仪器，它对推动科技进步，尤其是生物学和医学，起到了重要作用；望远镜是另一种常见的助视光学仪器，它对天文学及物理学的发展起到了重要的推动作用。本实验装置可完成《理工科类大学物理实验课程教学基本要求（2023版）》中透镜焦距测量实验的基础内容、提升内容、进阶内容以及高阶内容。特点器材丰富，可以组建各种光学系统；实验内容满足分层次教学要求；通过配置COMS相机及相应的软件，使实验既有鲜明的数字化特点，又保留了手动读数的特色实验内容a)基础内容用自准直法、位移法测量凸透镜焦距；物像距法测量凹透镜焦距。b)提升内容自准直法测量凹透镜焦距；光学成像系统共轴的粗、细调节；透镜成像的景深、成像位置判断与视差消除。c)进阶内容用薄透镜自组显微镜和望远镜；探究常用显微镜结构和性能参数。d)高阶内容观测凸透镜的球差和色差；观测显微成像系统的像散。光的干涉和衍射实验，YGP-6213简介光的干涉和衍射现象是波动光学的重要内容。光干涉现象曾经是奠定光波动性的基石，在波动光学中有重要的意义。而光衍射现象，则是光束传播中，几何光学无法解释的现象，是光波动性的主要标志之一。研究光的干涉和衍射不仅有助于进一步加深对光的波动性的理解，同时还有助于进一步学习近代光学实验技术，如光谱分析、晶体结构分析、全息照相、光信息处理等。本实验同时用单缝、多缝、圆孔、方孔等进行实验，能够明显地展现出衍射、干涉的特征，并利用光强分布探测器测量光强的相对分布，实时给出光强与位置的关系曲线，以及用面阵相机研究衍射图像的两维光强分布情况，实现实验的数字化。特点采用光强分布探测器，无需扫描结构，实时测量光强一位置的分布曲线，响应时间最快可达毫秒级。利用光强分布探测器可以精确测量8级以上衍射条纹，位置测量精度可达0.01mm。利用面阵相机可以研究衍射图像的两维光强分布情况。一体化狭缝组设计，切换方便，易于实验。实验内容a) 基础内容 研究激光通过双缝后形成的干涉图案，测量双缝形成的干涉光强分布，说明干涉条纹的极大值位置与理论预见的一致性。 研究激光经过单缝后形成的衍射图案，测量单缝形成的衍射光强分布，说明衍射条纹的极小位置与理论预见的一致。b) 提升内容 研究激光通过多缝后形成的干涉图案，理解多缝衍射与多光束干涉的原理。c) 进阶内容 观察激光经过圆孔和方孔后的衍射现象，利用面阵相机研究衍射图像的两维光强分布情况。d) 高阶内容 利用COMS相机研究激光经过多孔后形成的衍射图案，利用COMS相机研究衍射图像的两维光强的分布情况光的偏振实验，YGP-6214简介光的偏振现象是波动光学的重要内容。利用这种现象研制的各种光学元件和仪器，在探测物质结构、激光与光电子技术领域有着极其重要和广泛的应用。YGP-6214光的偏振实验装置主要包含：光传感器、转动传感器、激光光源、精密调节架、升降调节架、连接杆、托板和观察屏组成。该实验装置利用先进的传感器技术和智能软件，可以实现连续的数据采集和实时绘制实验数据曲线，极大的提升了实验效率，使学生将更多的精力用于实验本身的原理学习、数据分析和结果讨论上，更加能够透彻的学习、理解和掌握实验。特点无线光传感器，USB2.0和蓝牙通讯，3档可调，适用于不同强度光源的测量。无线转动传感器，USB2.0和蓝牙通讯，角分辨率0.18°。安全的激光光源。数字实验室分析软件，编辑性强，通用程度高。实验内容理解和掌握偏振片的基本原理，使用方法。理解和掌握激光器的偏振特性。通过研究和验证马吕斯定律，掌握光的起偏和检偏原理和方法。研究3片偏振片光强与偏振片角度的关系曲线，进一步掌握光的偏振特性。等厚干涉实验（含牛顿环实验），YGP-6215简介YGP-6215等厚干涉实验（含牛顿环实验）学习的知识点有牛顿环、等厚干涉、光程差、曲率半径。牛顿环和空气劈尖的等厚干涉原理在生产实践中具有广泛的应用，它可以用于检测透镜的曲率，测量光波的波长，精确的测量微小长度、厚度和角度，检验物体表面的光洁度、平整度等。本实验装置可完成《理工科类大学物理实验课程教学基本要求（2023版）》中牛顿环实验的基础内容、提升内容、进阶内容以及高阶内容。特点开放的构架，可以让学生看到所用镜片的类型和位置。可以让学生练习搭建各种光学系统。配套有测微目镜与CMOS相机两种读数方式，即实现实验数字化的同时，保留了传统手动读数的方式。多种光源，更多的分立器件，便于师生开展各种探索研究，比如：同时观察透射和反射的牛顿环，波长测量等实验内容a)基础内容测定平凸球面透镜的球面半径。b)提升内容用劈尖干涉测量细丝直径。c)进阶内容测定平凹球面透镜的球面半径。d)高阶内容用透射和反射两种方法观察牛顿环，并测量绿光、紫光、黄光的波长。更多精彩，请关注下方！的P-tP

仪器简介：双光束干涉仪是通过分束镜得到两束光程和强度都接近而且夹角易于调节的光束，在光束的重叠区将产生干涉条纹，用于物理/光学专业教学的演示仪器。技术参数：氦氖激光器：1.5mW 平台底板：500mm× 350mm开设实验： 1、马赫-泽德干涉实验并观察干涉仪的稳定性，了解全息光栅的制作方法 2、萨格奈特干涉实验并观察干涉仪的灵敏度 3、迈克尔逊干涉实验，估计激光器的相干长度，观察非定域干涉条纹及条纹反衬度随光程差的变化主要特点：采用铝质底板，利用便携式实验箱，摆放方便，节省空间。学生可自己动手调节光路，使学生了解各种干涉仪的原理和应用。

FlawScout 是一种用于无损检测（NDT）和质量控制应用的检测解决方案，通常用于复合材料和金属材料。激光错位散斑干涉技术是一种适用于航空、汽车、风力发电、船舶、纺织等复合材料相关行业的最优无损检测解决方案。该系统基于激光散斑干涉技术，由一个传感器单元和一台带有控制和报告软件的笔记本电脑组成。 FlawScout 在一次拍摄中支持高达0.1平方米的检查区域，该系统可根据热激励、真空激励和振动激励分别配置可选的激励模块，适用于从研发到制造的QA与现场检测等一系列应用。 包括该检测解决方案可以快速检测和定位复合材料中的不连续点。该系统系统地发现了如下缺陷：脱粘、分层、裂缝核心、压碎核心、吻接、起皱、流体入口、孔隙、裂缝、修复缺陷和冲击损伤等。通常在30秒内就能得到检测结果，这使得它成为工业无损检测和复合材料研发领域快速检测的完美解决方案。 适用材料包括但不限于:复合蜂窝、橡胶、复合包覆压力容器(COPV)、陶瓷、玻璃纤维层压板、金属蜂窝、碳纤维(CFRP)层压板、纤维-金属层压板、双金属、泡沫芯、软木、皮革和金属-金属键。

法布里珀罗干涉仪 FPI 法布里珀罗干涉仪（Fabry-Perot Interferometer，FPI 100）是一款共聚焦扫描 FPI，它自带光电探测器单元，设计用于测量和控制连续波激光器的模场分布。其主要特点有： 激光模式分析简单方便可选八种反射镜用于波长范围 300 到 3000 纳米自由光谱范围 1GHz 或 4GHz标准反射镜反射率 99.8%，对应 finesse 大于 400可选配光纤耦合器套件 – 方便使用 FC/APC 光纤接头进行耦合光电二极管更换套件 – 可见光/近红外/红外，通过内置聚焦透镜自动对准用户规定 finesse 值扫描选项 – 集成光电二极管放大器的独立扫描发生器 miniScan 杭州谱镭光电技术有限公司(HangzhouSPL Photonics Co.,Ltd)是一家专业的光电类科研仪器代理商，致力于服务国内科研院所、高等院校实验室、企业研发部门等。我们代理的产品涉及光电子、激光、光通讯、物理、化学、材料、环保、食品、农业和生物等领域，可广泛应用于教学、科研及产品开发。 我们主要代理的产品有：微型光纤光谱仪、中红外光谱仪、积分球及系统、光谱仪附件、飞秒/皮秒光纤激光器、KHz皮秒固体激光器、超窄线宽光纤激光器、超连续宽带激光器、He-Ne激光器、激光器附件及激光测量仪器、光学元器件、精密机械位移调整架、光纤、光学仪器、光源和太赫兹元器件、高性能大口径瞬态（脉冲）激光波前畸变检测干涉仪（用于流场、波前等分析）、高性能光滑表面缺陷分析仪、大口径近红外平行光管、Semrock公司的高品质生物用滤波片以及Meos公司的光学教学仪器等。 拉曼激光器，量子级联激光器，微型光谱仪，光机械，Oceanoptics，Thorlabs 。。。热线电话： / 传真：网址： /邮箱：

（1）应用领域●光学平面计量●半导体晶圆●半导体掩膜版基板●同步辐射●光刻机光学元件●航空航天折返成像系统●空间光学器件●强激光平板玻璃测量等实现大口径光学表面面形、透射波前、光学均匀性等参数的检测。 （2）产品综述 300mm通用组合水平式检测干涉仪是慧利仪器“大口径相移式激光干涉仪系列产品之一。它采用经典的斐索型共光路设计，结构简单、在适用于多种被测样品的前提下，使用数字化相移分析方法实现高精度、多功能的检测。 慧利仪器300mm通用组合水平式检测干涉仪不仅实现了干涉测量技术从小口径到大口径的更新拓展，而且填补了国内制造业和国家质检部]对高精度平面检测设备需求的空白。 （3）参数性能测量原理：斐索干涉原理光源波长：632.8nm（稳频氦氖激光器）/633nm(波长调谐激光器）样品准直：双光点对准，对准角±3度电源:AC 220V 50HZ 操作系统：Windows系统，银河麒麟操作系统CCD分辨率：1024*1024像素 2048*2048像素软件：HL 数字化相移分析软件精密度：≤入/600 PV测量重复性：≤入/600 RMS测量重复性：≤入/8000RMS波前重复性：≤入/1800透射平面镜精度：A/20 PV◆超精密平面/球面面形测量◆光学系统装调和校准◆光学组件透射波前测量◆光学均匀性测量◆平行度测量◆角锥角度测量 ◎◎我们会倾听您的需求，支持特殊需求定制 部分客户群体：苏州计量院,上海计量院,福建计量院,上海光机所,石家庄13所,上海现代先进超精密制造中心有限公司UPEC,长春理工,上海理工等。

剪切干涉仪 特性定性的光束准直测试，适用于直径为Ø 1-Ø 50毫米的光束磁性耦合可调设计，允许快速更换剪切板英制和公制螺纹安装孔SI系列剪切干涉仪可用于确定相干光束是否准直。该设计包括一个45度安装的楔形光学平板，和一块位于中间的带刻度参考线的散射屏。散射屏用于观察由光学平板的前后表面的菲涅尔反射产生的干涉条纹。如果光束已经准直，干涉条纹会平行于带刻度的参考线。除了准直度以外，干涉条纹还对球差、慧差和像散敏感。楔形光学平板是由未镀膜的紫外熔融硅。每个板尺寸的楔角优化到可接受光束尺寸的范围；详情请看规格标签。由于光在板上的入射角为45度，条纹图案的强度取决于极化光。当偏振垂直于入射面时会产生最大强度。为了观察到的干涉条纹，入射的光的相干长度必须长于由剪切板引起的光程长度的变化。规格标签的更多信息，请参阅下表脚注。构造剪切干涉仪由三部分组成一套：一个底座，一个带有楔形光学平板的板，和一个带有扩散屏幕的板。建立该干涉仪用4-40螺丝和六角键连接观察屏幕板与底座。楔形光学平板通过磁力夹持就位，使它能够很容易地换成带有不同楔形光学平板的板。该底座是由经阳极氧化处理的铝和带有安装Ø 1/2英寸接杆的螺纹孔组成。在楔形光学平板后面的底座上有一个孔，这样光可以毫无阻碍地穿过光学平板。右边的横截面图的说明剪切干涉仪的构造和光束传播。附件对与小直径光束，相应的干涉条纹图样也小，这样就不利于观测。对于这种情形，可以购买SIVS放大观察屏配件，它可以代替标准的散射观察屏，从而增大散射屏上条纹的尺寸。SIVS包括一个已安装的发散透镜和散射屏，这种屏适合观察直径为1至10毫米的光束。该板含有可以单独提供的楔形光学平板，使各种光束的尺寸可以用一个单一的底座单元测试。点击放大上图是UVFS在光正入射时的透过率曲线。其中UVFS样品未镀膜，厚度为1毫米，数据也包含表面反射。剪切干涉仪Zoom Click to Enlarge楔形光学平板通过三个磁块夹持就位。提供5种型号，用于光束直径从1到50毫米范围定性的确定光的准直性磁铁球将平板固定在底座上可用的光束直径刻在板上根据剪切板的不同，剪切干涉仪可用于直径小到1毫米，大到50毫米的入射光。剪切干涉仪产生的干涉图样对光束发散很敏感，因此可以用来定性的确定光是否准直。如右图所示，剪切板有三个钢球，以磁性吸附的方式固定在板的底面上。当采用不同直径的光束时，这种磁性保留机制易于更换不同的平板。兼容的平板和底座型号请查看规格标签。此外，底板的背面钻有通孔，因此可以使得透射光通过楔形光学平板继续毫无阻碍地传播。底板，散射屏和剪切板包装在一个铝制手提箱内。替换剪切板Zoom 提供5种型号，光束直径从1毫米到50毫米 剪切板兼容多种剪切干涉仪主体 磁性钢球将板固定在底座上 可用的光束直径刻在板上Thorlabs提供五种可交换的剪切板，这些剪切板设计用于1毫米到50毫米的入射光束直径。这些板的磁性耦合可调设计，使得剪切板能够准确的固定在剪切干涉仪上。同一底座兼容多种剪切板（关于兼容性的详情请看规格标签），因此如果用于特殊实验的光束直径变化时，剪切板很容易进行替换。带有不同楔形角的不同板可以提供不同大小的光束。配件Zoom 用于光束直径从1毫米到10毫米 增大散射板上的条纹尺寸用于光束直径从1毫米到10毫米增大散射板上的条纹尺寸SIVS配件有助于观察由小光束直径产生的条纹图样。通过用该配件替换SI035，SI050，SI100或SI254*上的标准散射板观察屏，干涉条纹的尺寸会增大，从而使得确定光是否准直变得更容易。SIVS带有两个1/16英寸的螺丝，因此可以固定在剪切干涉仪上。如果需要，SIVS的安装板可以单独购买（SITST）。SITST具有标准的Thorlabs的SM1 (1.035英寸-40)螺纹，与任意SM1螺纹组件兼容。

中图仪器SuperViewW1白光干涉微纳米三维形貌一键测量仪以白光干涉技术为原理，获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点，适用于从超光滑到粗糙、平面到弧面等各种表面类型，让3D测量变得简单。SuperViewW1白光干涉微纳米三维形貌一键测量仪以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。产品功能(1)SuperViewW1白光干涉微纳米三维形貌一键测量仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。产品特点参数测量：粗糙度、微观轮廓尺寸、角度、面积、体积，一网打尽；环境噪声检测：实时监测，纳米波动，也无可藏匿；双重防撞保护：软件ZSTOP和Z向硬件传感器，让“以卵击石"也能安然无恙；自动拼接：3轴光栅闭环反馈，让3D拼接“天衣无缝"；双重振动隔离：气浮隔振，吸音隔振，任你“地动山摇，我自岿然不动"。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：SuperViewW1白光干涉仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5×、5×、20×、50×、100×光学ZOOM标配:0.5×选配:0.375×、0.75×、1×标准视场0.98×0.98㎜（10×物镜，光学ZOOM 0.5×）XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动台阶测量可测样品反射率0.05%~100主机尺寸700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

仪器简介：本实验装置主要面向大专院校教学使用。本实验是用激光光束直接照射到测试表面，再用CCD采其变形前后表面散斑颗粒干涉形成的条纹，以测定其离面位移的新型，先进的测试技术。本实验装置可以使学生了解其原理和测量的方法。 仪器特点：自己调节光路，可提高动手能力； 采用了最新处理光学信息的CCD测量技术 计算机处理图象，软件操作简便 可利用软件画出测试表面受力变形后的三维立体图。 成套性：CCD摄像头、氦氖激光器、图象采集卡、图象处理软件、精密调节杆、光学零件、被测样品。技术参数：本实验装置主要面向大专院校教学使用。本实验是用激光光束直接照射到测试表面，再用CCD采其变形前后表面散斑颗粒干涉形成的条纹，以测定其离面位移的新型，先进的测试技术。本实验装置可以使学生了解其原理和测量的方法。 仪器特点：自己调节光路，可提高动手能力； 采用了最新处理光学信息的CCD测量技术 计算机处理图象，软件操作简便 可利用软件画出测试表面受力变形后的三维立体图。 成套性：CCD摄像头、氦氖激光器、图象采集卡、图象处理软件、精密调节杆、光学零件、被测样品。主要特点：本实验装置主要面向大专院校教学使用。本实验是用激光光束直接照射到测试表面，再用CCD采其变形前后表面散斑颗粒干涉形成的条纹，以测定其离面位移的新型，先进的测试技术。本实验装置可以使学生了解其原理和测量的方法。 仪器特点：自己调节光路，可提高动手能力； 采用了最新处理光学信息的CCD测量技术 计算机处理图象，软件操作简便 可利用软件画出测试表面受力变形后的三维立体图。 成套性：CCD摄像头、氦氖激光器、图象采集卡、图象处理软件、精密调节杆、光学零件、被测样品。

概述： 光干涉式甲烷测定器检定装置主要用于对光干涉甲烷测定器进行定期检定和日常校准。（检测0～10%或者0～100%光干涉甲烷测定器），完全符合国家标准、检定规程要求，采用高精度变送器，具有测量准确度高、稳定可靠。操作简单、检定方便、经济实用等特点。 符合 JJG 677-2006 光干涉式甲烷测定器检定规程要求。主要技术参数：1、主要型号： A型：FMS-Ⅰ/10光干涉甲烷测定器检定装置10%， B型：FMS-Ⅰ/100光干涉甲烷测定器检定装置100%，C型：FMS-Ⅰ双量程光干涉甲烷测定器检定装置；2、温度：（0～50）℃ 基本误差：±0.5℃；3、测量范围：A型和C型：0Pa～8000Pa，±8Pa（检测0～10%光干涉甲烷测定器），B型和C型：0KPa～65Kpa，±0.06kPa（检测0～100%光干涉甲烷测定器）；4、湿度测量范围：（0～100）%RH, 基本误差：3%RH； 5、手摇泵：最大可加压力±150kPa；6、触摸屏同时显示压力，温度，湿度，和甲烷浓度，带压力和温度自校功能。 概述：利用气体自然扩散原理，在保持箱内甲烷浓度不变的同时，光干涉式甲烷测定器检定装置箱内外的压力能自动平衡，具有重量轻、外形美观等特点。主要用于作光干涉原理甲烷测定器的扩散试验。满足MT 28-2005《光干涉式甲烷测定器》、JJG 677-2006《光干涉甲烷测定器》要求。主要技术指标：1. 箱内外压力差：＜10Pa；2. 压力平衡时间：＜2min；3. 每次可试验台数：≥12台；4. 甲烷浓度保存时间：＞10h。

A：波长标准物质GBW(E)130521介质膜干涉滤光片标准物质标称波长：405nm、450nm、492nm、620nm按照JJG861-2007检定酶标分析仪波长示值误差及重复性B：吸光度标准物质GBW(E)130234酶标分析仪检定用光谱中性滤光片标准物质标称吸光度值：0.2、0.5、1.0、1.5定值波长：405.0nm、450.0nm、492.0nm、540．0nm、620.0nm、630.0nm吸光度不确定度：0.005按照JJG861-2007检定酶标分析仪吸光度示值误差、稳定性及重复性、通道差异。C：灵敏度标准物质GBW(E)130520吸光度标称值：0.03定值波长：405.0nm吸光度不确定度：0.005按照JJG861-2007检定酶标分析仪灵敏度。上海标卓科学仪器有限公司是仪器仪表行业的新锐企业，检测仪器设备的生产、销售、维修、计量管理于一体的综合型公司。公司生产整套完整的精密测量仪器及相关解决方案，并代理、经销国内外几百家的检测仪器和机械设备。主要涉及：机械设备检测仪器、长度类、力学类、电学类、试验类、光学类、精密量仪类、无损测试、理化分析、教学仪器、专用量仪及环境试验设备仪器等等系列，销售产品达成千上万多种，为企业质量管理及企业认证提供完善硬件设备的服务。

仪器简介：ML10 Gold 高性能激光干涉仪是机床、三坐标测量机及其它定位装置精度校准用的高性能仪器。由于采用了独特的专利设计及最新的光电子技术，使ML10 Gold 激光干涉仪比市场上其它型号的激光干涉仪具有更高的性能和更先进的任选功能。ML10 Gold 激光干涉仪提供有进行机器位置、几何精度测量的全套光学器件。 ML10 Gold 激光测量系统所有功能都设计与Laser 10 软件配合使用。除了测量和分析诊断功能外，此软件包的标准配置还包括动态测量、旋转轴测量、双轴测量和电子水平仪及千分表程序接口模块。 该激光干涉仪系统由激光头ML10 Gold、环境监测补偿器EC10，计算机接口卡PC10* 或PCM20* 及高精度的光学器件组成。全部器件放在一个配小车的提箱内，一人便可携带全部系统赴异地进行机器精度检定，大大改善了激光干涉仪的便携性。 该激光干涉仪系统通过接口与IBM 兼容的PC 机（包括笔记本计算机）连接，在灵活、直观的软件控制下进行自动测量，既节省了测量时间，又避免了人为误差，并能按国际上通行的标准进行数据分析处理，如ISO230-2、JIS-B6330、VDI3441、VDI2617、ASME B89等并适用中国国家标准GB17421-2000等，以便于按不同标准进行机床精度的评定和比较。技术参数：1.线性测量分辨率: 0.001&mu m2.线性测量范围： 40m（或任选80m）3.线性测量精度: ± 0.7ppm4.最高测量速度： 60m/min5.长期稳频精度： ± 0.05ppm主要特点：ML10 Gold是全球最畅销的用于长度计量的激光干涉仪,其最大的优点是所有测量功能均采用激光干涉原理,性能稳定,使用可靠,功能扩展性强,价格适中.

产品概述MT Pro 是一款集单多芯一体的双光源干涉仪。结合Dimension高科技自主研发且拥有专利技术的光学系统，提升检测视场大小，多芯采用非接触式白光扫描测量，单芯采用红光相干原理而研制。能够快速一键全自动准确检测连接器表面3D形貌的各项指标参数，并显示保存测量结果。配备多款高性能检测夹具，广泛应用于实验室及生产制造。主要特性图像分辨率高达 1.5μm测量速度快，单芯 0.5s，12 芯 5s重复性高采用 0.1nm 精度激光干涉仪标定，测量结果准确Ferrule 夹具外框定位支持检测单芯，多芯（2~72 芯）测量视场 4.3*3.3mm 可测量单排 16 芯连接器自动对焦、自动测量功能自动调整校准参考镜0~8°夹具角度快速调节，无需更换夹具软件操作界面更直观图像分辨率高达1.5umMT Pro 针对多芯连接器测量设计了新的光学系统能够准确还原光纤连接器端面细节及形貌。保证后续计算得到准确结果。 多芯多模光纤表面 多芯单模光纤表面单芯光纤检测新高度MT Pro干涉仪采用全新光路设计，光纤高度测量范围单芯高达 -1000~1000nm，适合各种复杂工况的使用。 数据重复性好以下是同一个连接器连续测量 10 次的结果。光纤高度测量重复性纤芯凹陷测量重复性测量结果准确MT Pro使用了精度高达0.1nm的激光干涉仪对系统进行了准确的标定。确保 MTP/MPO 测量的ROC、Fiberheigh和 Coredip等参数准确性和一致性。自动对焦功能MT Pro 在每次测量时都启动了自动对焦保证从最佳位置开始面型扫描，从而能够最大范围还原出各种连接器的表面形貌，即使端面形状不是很理想的连接器也能够被准确测量。自动对焦功能大大简化了测量操作，特别是 APC 连接器。自动校准参考境维度科技的干涉仪校准方案是采用自动调整参考镜，而非手动调整夹具平台或用数据补偿的方案。这样做的优点是：独特MT Ferrule 外框定位测量夹具维度科技外框定位测量技术拥有技术专利，优点显著。1. 外框定位 MT Ferrule 可用于 MT4，MT8， MT12 ,MT16 ，MT24，MT32 ，MT48 ，MT72全系列 ferrule 测量无需更换夹具。2. 保证了 Ferrule 角度测量的准确性和重复性3. 长寿命不易损伤4. 避免了对被测件 PIN 孔的损坏5. 有助于分析研磨夹具角度的准确性 足够大的视场能够测量 MT160~8°夹具角度快速切换MT Pro 的独特夹具平台设计 , 能够快速实现 0~8°的宽广角度调节，无需更换夹具再次校准，能够保证更高的重复性和再现性，可检测全类型的多芯 PC 和 APC 产品。 PC ,APC测量模式切换快速简便一键式操作一键式全自动的测试流程，只需一次点击鼠标即可自动对焦、自动扫描、自动分析、自动计算，数秒内完成测量及报告存储。简洁的软件界面和卓越的3D还原能力MT Pro 干涉仪测量 软件界面采用简洁的模块化显示，直观便于操作。实时图像清晰，3D 还原图，表面粗糙度图、剖线图，及各个参数测量结果同相关信息一目了然。测量操作和设置简单易行，单多芯测量一键切换。主要规格参数注：1） X,Y 端面角度 *（°）参数针对外框夹具；2） * 重复性和再现性数值为 sigma 统计值；3） 重复性是 50 次不动连接器进行测量得到的统计值；4） 再现性是 50 次重复插拔连接器得到的统计值。主要应用用于抛光和组装过程中检查光纤插芯，跳线，尾纤和裸光纤。

干涉仪通常，我们不容易直接观测到1微米量级的动态现象的，此时，我们会选择光学干涉仪进行观测。例如，测量光学镜头的面精度的干涉仪，精密测量距离或位移的测长仪，需要精密测量位移变化的速度计或振动仪等，都是利用了光学干涉原理的典型仪器。市场上销售的大部分干涉测量装置是由光学干涉部分和信号解析部分组成的。 采用先进的电信号处理技术，可以同时实现高分辨率和很宽的测量范围。 但是，我们这里介绍的光学干涉装置，并不包含干涉条纹的电信号处理内容，我们重点介绍了其光学部分。因此，虽然其可观测的范围有限，但足以进行干涉计测的基础实验和理论验证。 业务范围l 通用干涉仪，如迈克尔逊干涉仪、马赫曾德干涉仪、斐索干涉仪等；l 集成光学干涉系统；l 流体可视化光学系统；l 干涉仪组件l 干涉仪相关组件接受订制特点分辨率小于1微米非接触（非破坏）测量面（2维）测量应用实例面精度测量测长仪速度计／振动仪

RX-MX6R各项操作根据人机工程学设计，极大限度减轻操作者的使用疲劳。其模块化的部件设计，可对系统功能进行自由组合。涵盖明场、暗场、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多种观察功能，可根据实际应用，进行功能选择。无限远铰链三通观察头ETTR 型正像铰链三目观察头，所成像的方位与物体实际方位一致，物体移动的方向跟像面移动的方向相同，便于使用者观察与操作。长工作距金相物镜全新设计的长工作距物镜，采用半复消色差技术，其使用的多层宽带镀膜技术，使整个视场内的成像清晰锐利，色彩自然，明亮舒适。长工作距设计，50X 物镜的有效工作距离 7.9mm，100X 物镜的有效工作距离也达到了 2.1mm，更有20X 超长工作距金相物镜，大幅拓展了 MX 机型的应用领域。同步设计了全套明暗场两用物镜，适用于 MX6R 机型，暗场照明亮度比传统暗场物镜提高 2 倍以上。高性能物镜转换器MX 机型的转换器采用精密轴承设计，转动手感轻巧舒适，重复定位精度高，物镜转换后的同心度也得到较好的控制，根据 MX 系列机型配置及功能的不同，可以选择不同型号的转换器。明暗场反射照明器带可变孔径光阑，视场光阑，中心均可调 ；带明暗场照明切换装置，适用于MX6R/MX6RT 机型。丰富的观察方式，满足您的检测需求明场观察：远心柯拉反射照明系统，配以全新设计的无限远长工作距平场消色差金相物镜，从低倍到高倍，都能得到清晰、平坦、明亮的高画质显微图像。暗场观察：将暗场照明拉杆拉到指定位置，即可使用暗场功能，可以观察物体表面的各种划痕、杂质点及其他细微缺陷。内置衰减片，减少明暗场切换时光线剧烈变换对眼睛的刺激。简易偏光观察：将起偏镜及检偏镜插板插入照明器的指定位置，即可进行简易偏光观察。检偏镜可分为固定式和 360°旋转式两种。DIC 微分干涉观察：在正交偏光的基础上 , 插入 DIC 棱镜，即可进行 DIC 微分干涉观察。使用 DIC 技术 , 可以使样品表面微小的高低差产生明显的浮雕效果，极大的提高图像的对比度。可匹配带 DIC 功能的物镜，使整个视场的干涉色一致，微分干涉效果非常出色 , 高倍物镜 DIC 效果也较好。种干涉滤色片可选使用 12V100W 卤素灯时照明时，可以选择 LBD 日光型滤色片，能将光线过滤成自然日光的颜色，图像背景柔和亮白。根据具体工业检测的需要，可以选择其他颜色的滤光片来对光线光谱进行调节，以获得好的图像效果。

介质膜干涉滤光片标准物质GBW(E)130120外形尺寸：12.7×12.7×57(mm)标称波长：450nm、550nm、650nm、750 nm峰值透射比大于25％，半宽度15nm峰值波长不确定度：1.0nm成套性：每套4片。检定见分光光度计的波长准确度与重复性，与JJG178—96规程配套使用。上海标卓科学仪器有限公司是仪器仪表行业的新锐企业，检测仪器设备的生产、销售、维修、计量管理于一体的综合型公司。公司生产整套完整的精密测量仪器及相关解决方案，并代理、经销国内外几百家的检测仪器和机械设备。主要涉及：机械设备检测仪器、长度类、力学类、电学类、试验类、光学类、精密量仪类、无损测试、理化分析、教学仪器、专用量仪及环境试验设备仪器等等系列，销售产品达成千上万多种，为企业质量管理及企业认证提供完善硬件设备的服务。

中图仪器SuperViewW白光干涉三维形貌测量系统基于白光干涉原理，能以3D非接触方式对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。SuperViewW白光干涉三维形貌测量系统是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。产品功能(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。性能特色1、高精度、高重复性1）白光干涉三维形貌测量系统采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。SuperViewW白光干涉仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5×、5×、20×、50×、100×光学ZOOM标配:0.5×选配:0.375×、0.75×、1×标准视场0.98×0.98㎜（10×物镜，光学ZOOM 0.5×）XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动台阶测量可测样品反射率0.05%~100主机尺寸700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

武汉东隆科技为意大利米兰NIREOS的中国区独家代理，欢迎您来电垂询！GEMINI是一款新颖的紧凑型干涉仪，入射光所产生的两束复制光之间具有极高的稳定性。其卓越的性能可以被应用于许多科研领域，比如时间/频率分辨荧光探测，相干拉曼光谱，泵浦探针，二维光谱以及单分子的研究。主要特点高光通量，高灵敏度(1cm通光孔径，没有任何光栅或输入/输出孔径狭缝)宽光谱范围：标准版400-2300nm、超宽带版250-3500nm≈1阿秒稳定性（对两束复制光）自定义扫描范围对振动不敏感尺寸紧凑（176 x 44 x 54.5mm）轻便（≈400g）应用领域：干涉测量 激光对产生GEMINI在探测端时间/频率分辨荧光泵浦探针光谱相干拉曼光谱GEMINI在激发端单分子表现特征 和TCSPC探测器组成的时间/频率分辨荧光系统实验配置：GEMINI干涉仪放置于和TCSPC连接的单光子探测器之前，可以在保证时间分辨的同时获得荧光的波长信息。 相干拉曼（受激拉曼散射）和泵浦探针光谱实验配置：GEMINI干涉仪置于探针/斯托克斯光束入射样品后方，可以测量受激拉曼散射和MHz调制频率的泵浦探针光谱。单分子激发-发射图GEMINI干涉仪可以在短时间内以异常高的精确度和灵敏度获得单分子的特征描述 技术规格UV-SWIRVIS-MIDIR光谱范围200-3500nm500-5000nm延时稳定性小于1阿秒运行模式阶跃扫描或连续扫描尺寸10×8×8cm重量750g 武汉东隆科技为意大利米兰NIREOS的中国区独家代理，欢迎您来电垂询！