非接触式圆度仪

全晶圆半导体参数非接触测试解决方案Full-wafer Noncontac Measuring Solutions forSemiconductor Parameters基于我公司自主研发的激光自动聚焦、自动化显微成像、宽场荧光成像、共焦光致发光光谱和共焦拉曼光谱等核心测试技术和模组，联合白光干涉等其它 3D 测量技术，根据客户的需求灵活组合相应的技术搭配，为客户开发定制化的半导体参数测试解决方案，获得从粗糙度、图形尺寸和膜厚等几何参数，到位错、层错等缺陷，再到发光波长、寿命、载流子浓度、组分和应力等物理参数的综合测量，实现无需任何前处理的全晶圆无损自动化检测。

高灵敏度探测器使系统能时时反映工艺变化，避免了溢流事故发生非接触、非插入式技术，保证仪表维护率低，使用寿命长小活度伽玛放射源，可提供高精度、重复性测量，提高了装置安全性，降低了防护成本在宽温范围内可实现零漂移，保证了探测器的稳定性和出色的测量精度放射源和探测器安装在容器或管道的同一侧，安装时无需停止工艺流程二次表距现场安装位置可达50英尺，方便维护 应用：控制浆液罐中的絮凝剂进料量和底流排放控制澄清器底部料位加氢处理装置固体含量控制和输出控制将沉降槽密度控制在特定水平重介质分离，以控制固体含量测量大型管道中的纯碱密度测量尾矿管道中的工艺材料

东京精密圆度仪60A产品说明：RONDCOM 60A本行业首创，Z轴，R轴上采用空气轴承。在确保精度的同时，还保证了耐环境性、安全性，是符合CE标志要求的商品特点最适合作为线路侧评价机器使用可以解决精度、容许能力、解析功能、耐环境性、安全性等线侧的要求。直径尺寸测量功能R轴装载有标尺，可以在测量圆度的同时测量量直径。※※测量直径时，需要选购校对器。备有自动测量功能从调整操作到进行包括回转测量/直线测量在内的复数截面测量以及把测量结果制成检查成绩书为全部自动操作。测量数据再度演算功能可把多达40个截面的测量数据经改变其测量条件及基准轴心进行再度演算。能够从各个不同观点进行形状解析。立柱基座R轴采用花岗制作各轴采用了无接触阻力的空气轴承。其导轨采用无经年性变、便于保养的花岗岩制成。最适合用于对机床、汽车等对精度要求较高的零部件的检查、测量还可用于活塞、燃料阀、球轴承、流体轴承等各种轴承。也可以进行磁鼓等非接触测量。规格型号RONDCOM 60A测量范围最大测量直径Ø 420mm左右进给范围（R轴）220mm上下进给范围（Z轴）500mm最大装载直径Ø 680mm最大测量高度外径500mm、（圆度、同轴度测量时为700mm）、内径500mm回转精度JIS B7451(0.020+6H/10000)mm H:从工作台上面到测量点的高度（mm）最小平方圆的最大偏差(0.010mm +3H/10000)mm直线度精度上下方向（Z轴）0.1mm/100mm、0.25mm/500mm半径方向（R轴）0.5mm/200mm平行度精度上下方向（Z轴）1.5mm/500mm指示精度半径方向（R轴）（2+L/220）mm L：移动距离（mm）回转速度（q轴）测量2-10/min自动调中心6、10、20/min上下方向速度（Z轴）测量速度0.6-6mm移动速度0.6-30mm径方向速度（R轴）测量速度0.6-6mm移动速度0.6-20mm自动停止功能Z轴、R轴停止精度Z轴±5mm、R轴±5mm工作台装载条件工作台外径Ø 290mm中心调整范围±5mm倾斜调整范围±10（自动/手动）装载质量60kg（测量、中心调整均可）传感器测量力70mN测针形状Ø 1.6mm超硬球形状误差的圆度评价方法MZC（最小领域中心法）、LSC（最小平方中心法）、MIC（最大内接圆中心法）、MCC（最小外接圆中心法）NC（无修正）测量项目回转方向（q）圆度、平面度、平行度、同心度、同轴度、圆柱度、径偏差、厚度偏差度、直角度、振动、径测量直线方向（Z）直线度、斜度、圆柱度、直角度、平行度功能CNC测量功能、刻痕迹记录功能（水平/角度/游标）、分割打印功能、实时显示功能、圆度评价方法的组合、参数的设计对照滤波种类数字滤波器（2RC/高斯）滤波值回转方向（q）15、50、150、500、15-500、15~500峰/回转直线方向（Z）0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm显示装置显示器高分辨率彩色显示器（15英寸）内容测量条件、测量参数、形状图形、（展开图形、立体图形）打印机输出条件、注释、错误信息等记录装置方式选择彩色打印机/激光打印机倍率10~200K（22步级）、Auto、测量倍率

东京精密圆度仪60A产品说明：RONDCOM 60A本行业首创，Z轴，R轴上采用空气轴承。在确保精度的同时，还保证了耐环境性、安全性，是符合CE标志要求的商品特点最适合作为线路侧评价机器使用可以解决精度、容许能力、解析功能、耐环境性、安全性等线侧的要求。直径尺寸测量功能R轴装载有标尺，可以在测量圆度的同时测量量直径。※※测量直径时，需要选购校对器。备有自动测量功能从调整操作到进行包括回转测量/直线测量在内的复数截面测量以及把测量结果制成检查成绩书为全部自动操作。测量数据再度演算功能可把多达40个截面的测量数据经改变其测量条件及基准轴心进行再度演算。能够从各个不同观点进行形状解析。立柱基座R轴采用花岗制作各轴采用了无接触阻力的空气轴承。其导轨采用无经年性变、便于保养的花岗岩制成。最适合用于对机床、汽车等对精度要求较高的零部件的检查、测量还可用于活塞、燃料阀、球轴承、流体轴承等各种轴承。也可以进行磁鼓等非接触测量。规格型号RONDCOM 60A测量范围最大测量直径Ø 420mm左右进给范围（R轴）220mm上下进给范围（Z轴）500mm最大装载直径Ø 680mm最大测量高度外径500mm、（圆度、同轴度测量时为700mm）、内径500mm回转精度JIS B7451(0.020+6H/10000)mm H:从工作台上面到测量点的高度（mm）最小平方圆的最大偏差(0.010mm +3H/10000)mm直线度精度上下方向（Z轴）0.1mm/100mm、0.25mm/500mm半径方向（R轴）0.5mm/200mm平行度精度上下方向（Z轴）1.5mm/500mm指示精度半径方向（R轴）（2+L/220）mm L：移动距离（mm）回转速度（q轴）测量2-10/min自动调中心6、10、20/min上下方向速度（Z轴）测量速度0.6-6mm移动速度0.6-30mm径方向速度（R轴）测量速度0.6-6mm移动速度0.6-20mm自动停止功能Z轴、R轴停止精度Z轴±5mm、R轴±5mm工作台装载条件工作台外径Ø 290mm中心调整范围±5mm倾斜调整范围±10（自动/手动）装载质量60kg（测量、中心调整均可）传感器测量力70mN测针形状Ø 1.6mm超硬球形状误差的圆度评价方法MZC（最小领域中心法）、LSC（最小平方中心法）、MIC（最大内接圆中心法）、MCC（最小外接圆中心法）NC（无修正）测量项目回转方向（q）圆度、平面度、平行度、同心度、同轴度、圆柱度、径偏差、厚度偏差度、直角度、振动、径测量直线方向（Z）直线度、斜度、圆柱度、直角度、平行度功能CNC测量功能、刻痕迹记录功能（水平/角度/游标）、分割打印功能、实时显示功能、圆度评价方法的组合、参数的设计对照滤波种类数字滤波器（2RC/高斯）滤波值回转方向（q）15、50、150、500、15-500、15~500峰/回转直线方向（Z）0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm显示装置显示器高分辨率彩色显示器（15英寸）内容测量条件、测量参数、形状图形、（展开图形、立体图形）打印机输出条件、注释、错误信息等记录装置方式选择彩色打印机/激光打印机倍率10~200K（22步级）、Auto、测量倍率

产 品 说 明概述： 本设备是集结电感测微仪和空气轴承，用半径法对圆度，同心度等进行测量；由于Z轴直线方向具有高精度， 可以对圆柱度，真直度等进行测量的一台高精度传感器回转型圆度圆柱度测量仪器。 特别是，本设备能够自动进行中心，倾斜调整，对工件回转中心的偏离进行自动调整，这样方便作业。 对于工件的偏心和倾斜，软件计算也有自动修正的功能。 对测量结果能够在显示器上鲜明显示和进行各式的打印。主要特点： 1.采用空气轴承 可以保证回转方向和直线的高精度；非接触式，轴承永不磨损；不用加油，不用预启动； 良好的重复性。 2.自动进行中心，倾斜调整，软件计算也有自动修正的功能。 3.Z轴（立柱）以及R轴具有自动停零功能，对于传感器所属的测针位置能及时确定，保护传感器。 4.直线精度高，同时具有1000mm的行程，对于大型的工件能够精确测量。 5.空气轴承具有适压自动诊断回路，保护空气轴承不受破坏。 6.测量倍率，从50-10K等8档可选，可根据产品精度选择。 7.配备传感器横送装置，对于小径工件测量精度提高。 8.Z轴以及R轴有读数装置，自动调倾斜时，以及倾斜补正时自动计算位置，无需手动输入Z轴以及R轴的位置。 9.采用最新功能强大的ACCTee测量软件。合作、共赢！美国热电：直读光谱仪ARL8860、XRF、XRD ICP、电镜、电子能谱仪德国徕卡：金相显微镜、体视显微镜、电镜制样设备英斯特朗：疲劳试验机、万能试验机； 摆锤冲击试验机、落锤冲击试验机东京精密：圆度仪、轮廓仪、粗糙度仪、三坐标美国法如：激光跟踪仪、关节臂及扫描 日本奥林巴斯手持光谱仪 德国帕马斯颗粒计数器租赁检测：便携式三坐标、激光跟踪仪、3D扫描仪为客户提供专业的检测服务，帮客户挖掘新的赢利空间！上海澳信检测技术有限公司青岛澳信仪器有限公司青岛澳信质量技术服务有限公司联系地址：青岛市城阳区山河路702号上海地址：上海浦东新区川沙路1098号新美测（青岛）测试科技有限公司提供测试服务：静态力学测试主要包括拉伸、压缩、弯曲、剪切等；动态疲劳测试主要包括：拉拉疲劳、拉压疲劳、压压疲劳、裂纹扩展速率等

一、MC012-Y9025DG应用范围MC012-Y9025DG圆度仪-波纹度仪该仪器适用于各种测量精度高的非连续表面，规则、不规则的环形工件的圆度、波纹度、同轴度、垂直度、平行度、平面度等参数的测量（可用四种方法评定圆度误差）并能够给出零件的偏心及相位。 亦可用于各种电机整流子的圆度、跳动量、单片跳动、邻片间跳动等参数的测量（可用四种方法评定）并能够给出零件的偏心及相位。二、MC012-Y9025DG主要特点2.1 仪器回转测量转台采用高精度气浮静压轴承结构，仪器主轴精度高不磨损，系统精度高，使用寿命长；2.2 数据采集采用德国HEIDENHAIN公司进口精密圆光栅及相关技术，定位精确，稳定性好；2.3仪器采用WINDOWS系统操作平台，专业测量软件，测量界面简洁直观，操作便捷；可以实时显示图形数据、存盘留档、随时打印，图形分析报告，直观清晰；2.4 仪器标配万向调平工作台，工件调整方便快捷，检测效率高；2.5 仪器配置各种规格、长度的红宝石测针，可选配本公司特制尼龙测头测量特殊工件；2.6电机整流子测量采用专用测量及处理软件，同一界面可显示圆度、跳动量、单片跳动、邻片间跳动等参数值；2.7对使用环境无特殊要求，可在车间及计量室使用；2.8可对零件表面状态进行频谱分析，能够给出任一波的幅值；2.9自动识别间断，自动和手动剔除凹口功能，部分圆弧测量圆度功能；三、MC012-Y9025DG主要参数3.1主轴精度 ± 0.0125um3.2系统精度 0.03um3.3数据采集 进口精密圆光栅3.4测量最大外径 Ф200 mm（可扩展）3.5测量最小内径 Ф3 mm3.6测量最大高度 300mm（可增高）3.7量程范围 &le 400 &mu m(半径差)3.8传感器分辨率 0.01um3.9最大承载 15Kg3.10转速 6转/分3.11电源、气源压力 电源220V 、50V、 250W 气源压力 &ge 0.45MPa

圆度仪标准半球根据《圆度、圆柱度测量仪》JJG429-2000规程而设计研发，设计图如下1、工作截面圆度≤0.03μm；0.04μm；0.05μm2、圆度仪标准半球装入球座，不应松动、变形

圆度仪可进行测量零件的圆度、波纹度、同心度、同轴度、平面度、平行度、垂直度、偏心、轴向跳动和径向跳动，并能进行谐波分析、波高波宽分析，可广泛应用于汽车、摩托车、机床、轴承、油泵油嘴等行业工厂车间和计量部门。 可测各种规则、不规则的环形工件的圆度、同心度、同轴度、平面度、平行度、垂直度、表面波纹度(Wc、Wp、Wv、Wt、Wa、Wq)、频谱分析、波高分析、偏心、轴弯曲度及跳动量等。推荐产品性能采用高精度空气轴承，确保了世界一流水平的回旋精度。高速度的调整带来高效率的测量速度。自动测量省时省力标准配备了新一时代的[TIMS]程序，可以任意进行各测量机之间数据转换 。可实现圆度及圆周粗糙度同时测量

圆度仪标准测针，东京精密圆度仪测针

Roundtest RA-1600211系列 — 圆度/圆柱度形状测量系统 ●外形小巧且测量范围宽确保其精度可与更高级别的型号相媲美。●搭载D.A.T. (数字调整台)功能有助于高效完成测量前繁琐的调心调水平作业。●检出器部分标配有安全装置。●检出器支架内可安装滑动机构(可选滑动检出器支架)。能够通过单击测量深孔厚壁工件，这是标准检出器很难实现的。 ■规格型号 RA-1600旋转工作台旋转精度(JIS B 7451-1997)径向 (0.02+6H/10000)µm H: 为测量高度 (mm)轴向 (0.02+6X/10000)µm X: 到旋转工作台轴的距离 (mm)台面最大承重 25kg最大测量直径 ø280mm垂直移动 垂直行程 300mmX轴 移动范围 165mm (旋转中心为起点-25mm ~ +140mm)检出器 测量范围 标准 ±400µm/±40µm/±4µm跟踪 ±5mm 三丰圆度仪 石家庄三丰圆度仪 唐山圆度仪 廊坊圆度仪 沧州圆度仪三丰圆度仪维修三丰圆度仪价格三丰圆度仪厂家三丰圆柱度仪三丰圆柱度仪维修三丰圆柱度仪价格日本东京精密圆度仪日本东京精密圆柱度仪天津圆度仪天津圆度仪维修天津圆度仪价格天津圆柱度仪维修天津圆柱度仪价格天津哪里有圆柱度仪天津哪里有圆度仪

一、应用范围MC012-Y9025C圆度仪-波纹度仪该仪器主要用于各种轴承内外套圈滚道及钢球滚柱的圆度、波纹度、同轴度、垂直度、平行度、平面度等参数的测量（可用四种方法评定圆度误差）并能够给出零件的偏心及相位。二、主要特点2.1仪器具有高精度的气浮主轴及空气过滤系统，仪器主轴精度高不磨损，使用寿命长；2.2 仪器采用WINDOWS系统操作平台，专业测量软件，测量界面简洁直观，操作便捷； 可以实时显示图形数据、存盘留档、随时打印，图形分析报告，直观清晰；2.3 工件调整方便快捷，检测效率高；2.4对使用环境无特殊要求，可在车间及计量室使用；2.5具有强大的测量分析功能，如：波纹度、垂直度等分析；2.6可对零件表面状态进行频谱分析，能够给出任一波的幅值；2.7仪器标配两种型号传感器可以满足各型直径及孔径的测量；2.8 测量操作设置鼠标和键盘快捷操作，用户可根据操作习惯自由选择；2.9可直接用于机床调整、零件工艺分析试验，工序间检验或成品零件终检。三、主要参数3.1主轴精度 ± 0.025um3.2系统精度 0.06um3.3数据采集 霍尔元件3.4测量最大外径 Ф140 mm（可扩展）3.5测量最小内径 Ф3 mm3.6测量最大高度 200mm（可增高）3.7量程范围 &le 30 &mu m(半径差)3.8传感器分辨率 0.01um3.9最大承载 10Kg3.10转速 115转/分3.112电源、气源压力 电源220V 、50V、 250W 气源压力 &ge 0.45MPa

圆度仪的维护保养注意事项:　　1. 每天开机后，用酒精（无水乙醇,99.97%）清洁大理石工作台及立柱大理石部分。注意：不要用酒精擦拭驱动箱外壳，因为，外壳部分表面是喷涂油漆的，容易起化学反应，用酒精擦拭后容易影响外观的美观。　　2. 注意大理石工作台的T型槽、立柱的丝杆及立柱导轨（立柱后面金属部分）的防锈，定期涂防锈油特别是放长假时一定要注意。具体方法：可以喷WD40在以上地方，过五分钟之后，用无尘纸将多余的WD40擦干净。　　3. 在不使用时，应将探针Stylus拆下放置在专用的探针盒里。　　4. 需要定期检查供电电源的电压，请用户设备维护专业人员配合，具体方法：检查电压值是否在110~~240Vac之间？电压的波动是否在允许范围之内？L--火线、N--零线、E--接电线的相序及电压是否正确？　　5. 外部供电有无UPS不间断电源保护装置？（必须安装），为了防止当电源送电和突然断电引起的峰值电压对控制箱内电路板、电脑及电子元件的损坏。　　6. 仪器的环境温度及湿度是否在允许范围之内？　　操作环境温度的范围：15~~30摄氏度，温度梯度变化允许范围：小于2摄氏度（一般环境要求，如加工现场）； 操作环境温度的范围：18~~22摄氏度，温度梯度变化允许范围：小于2摄氏度（标准计量室）； 湿度要求：45%~~75%之间。青岛澳信提供圆度仪的维护保养服务，在设备性能不稳定、设备运行出现问题时，

一、MC012-Y9030D应用范围MC012-Y9030D大承载圆度仪-波纹度仪该仪器适用于各种大型（重量）非连续表面，规则、不规则的环形工件的圆度、波纹度、同轴度、垂直度、平行度、平面度等参数的测量（可用四种方法评定圆度误差）并能够给出零件的偏心及相位。 亦可用于各种电机整流子的圆度、跳动量、单片跳动、邻片间跳动等参数的测量（可用四种方法评定）并能够给出零件的偏心及相位。二、MC012-Y9030D主要特点2.1仪器回转测量转台采用高精度气浮静压轴承结构，仪器主轴精度高不磨损，使用寿命长；2.2 数据采集采用德国HEIDENHAIN公司进口精密圆光栅及相关技术，定位精确，稳定性好；2.3仪器采用WINDOWS系统操作平台，专业测量软件，测量界面简洁直观，操作便捷；可以实时显示图形数据、存盘留档、随时打印，图形分析报告，直观清晰；2.4仪器标配万向调平工作台，工件调整方便快捷，检测效率高；2.5仪器配置各种规格、长度的红宝石测针，可选配本公司特制尼龙测头测量特殊工件；2.6电机整流子测量采用专用测量及处理软件，同一界面可显示圆度、跳动量、单片跳动、邻片间跳动等参数值；2.7对使用环境无特殊要求，可在车间及计量室使用；2.8可对零件表面状态进行频谱分析，能够给出任一波的幅值；2.9自动识别间断，自动和手动剔除凹口功能，部分圆弧测量圆度功能；2.10测量操作设置鼠标和键盘快捷操作，用户可根据操作习惯自由选择。三、 MC012-Y9030D主要参数3.1主轴精度 ± 0.04um3.2系统精度 0.1um3.3数据采集 进口德国HEIDENHAIN精密圆光栅3.4测量最大外径 Ф300 mm（可扩展&le Ф400 mm）3.5测量最小内径 Ф3 mm3.6测量最大高度 300mm可增高600 mm3.7量程范围 &le 400 &mu m(半径差)3.8传感器分辨率 0.01um3.9最大承载 40Kg3.10转速 6转/分3.11电源、气源压力 电源220V 、50V、 250W 气源压力 &ge 0.45MPa

产品简介：MX 30系列非接触式单点晶圆测厚仪，用于快速简单地测量直径为50mm, 75mm, 100mm, 150mm, 200mm和300mm各种晶圆的厚度。测量原理：MX30系列采用电容式距离测量方法，可用于晶圆厚度的非接触式测量。电容式距离传感器位于要测量的物体上方和下方的刚性支架中，并且彼此相距特定距离。到物体的两个距离之和是其厚度的量度。计算值可以从五位数字显示器上读取，也可以通过仪器的内置串行接口输出。可以用量块检查校准。技术参数：1）晶圆直径：50mm, 75mm, 100mm, 150mm, 200mm, 300mm2）厚度精度：±0.5 µ m3）分辨率：10 nm4）动态范围：800 µ m5）厚度范围：默认0-1600 µ m应用：用于快速简单地测量直径为50mm, 75mm, 100mm, 150mm, 200mm和300mm的SIC, GaN, GaAS, InP等半导体晶圆的高分辨率厚度。

一、应用范围MC012-Y9025B圆度仪-波纹度仪该仪器适用于各种环形工件，主要用于各种轴承内外套圈滚道及钢球滚柱的圆度、波纹度、同轴度、垂直度、平行度、平面度等参数的测量（可用四种方法评定圆度误差）并能够给出零件的偏心及相位。二、主要特点2.1仪器具有高精度的气浮主轴及空气过滤系统，仪器主轴精度高不磨损，系统精度高，使用寿命长；2.2仪器采用WINDOWS系统操作平台，专业测量软件，测量界面简洁直观，操作便捷；可以实时显示图形数据、存盘留档、随时打印，图形分析报告，直观清晰；2.3工件调整方便快捷，检测效率高；2.4对使用环境无特殊要求，可在车间及计量室使用；2.5具有海量的测量结果统计数据库，方便查阅测量结果以及联网工作。2.6具有强大的测量分析功能，如：波纹度、垂直度等分析；2.7可对零件表面状态进行频谱分析，能够给出任一波的幅值；2.8仪器标配两种型号传感器可以满足各型直径及孔径的测量；2.9测量操作设置鼠标和键盘快捷操作，用户可根据操作习惯自由选择；2.10可直接用于机床调整、零件工艺分析试验，工序间检验或成品零件终检。三、主要参数3.1主轴精度 ± 0.0125um3.2系统精度 0.03um3.3数据采集 霍尔元件3.4测量最大外径 Ф140 mm（可扩展）3.5测量最小内径 Ф3 mm3.6测量最大高度 300mm（可增高）3.7量程范围 &le 30 &mu m(半径差)3.8传感器分辨率 0.01um3.9最大承载 15Kg3.10转速 115转/分3.11电源、气源压力 电源220V 、50V、 250W 气源压力 &ge 0.45MPa

产 品 名：圆度仪 型 号：RONDCOM 43C/41C/31C 采用新一代综合程序ACCTee，性价比出色的圆度测量机= 标准配置有高精度静压空气轴承 = 安装有新一代综合程序ACCTee = 设有高精度立柱（Z轴），可进行圆柱解析（对应43C/41C） = 具有支持调中心，调垂直功能，操作方便 = 标准配置可指定高度的半自动测量功能 = 具有功率谱、傅立叶解析等丰富的表面解析功能 规格 , 型号 RONDCOM 43C RONDCOM 41C RONDCOM 31C 测量范围 最大测量直径 Φ250mm 左右进给范围（R轴） 125mm 上下进给范围（Z轴） 300mm 200mm 最大半截直径 Φ400mm 最大测量高度 外径520mm、内径300mm 外径420mm、内径200mm 回转精度 ISO 4291/JIS B7451 (0.02+6H/10000)μm (0.04+6H/10000)μm 最小平方圆的最大偏差 (0.01+3H/10000)μm (0.02+3H/10000)μm 直线度精度 上下方向（Z轴） 0.25mm/100 0.8mm/300mm 0.50mm/100mm15mm /300mm — 平行度精度 上下方向（Z轴） 1.5mm/300mm 3mm/300mm — 回转速度（q轴） 6/min 上下方向速度（Z轴） 测量 0.6~6mm/s 5mm/s 移动 15mm/s 5mm/s 径方向速度（R轴） 5mm/s 自动停止功能 Z轴/R轴 ±5mm 工作台装载条件 工作台外径 Φ148mm 中心调整范围 ±2mm 倾斜调整范围 ±10 装载质量 25kg* 传感器 直线性范围 ±400mm 测量力 70mN 测针形状 Φ1.6mm超硬球 形状误差的圆度评价方法 MZC（最小领域中心法）、LSC（最小平方中心法）、 MIC（最大内接圆中心法）、MCC（最小外接圆中心法）、N.C（无修正） 测量项目 圆周方向（q轴） 圆度、平面度、平行度、同心度、同轴度、圆柱度、径偏差、厚度偏差度、直角度、振动 圆度/平面度/平行度/同心度/同轴度/直角度/振动 直动方向（Z轴） 直线度、斜度、圆柱度、直角度、平行度 — 功能 支持调中心、调垂直功能、遮蔽处理功能、刻迹记录功能（水平/角度/游标）、实时显示功能、简易自动测量功能、圆度评价方法的组合、设计对照 滤波种类 数字滤波器（2RC/高斯） 滤波值 回转（低总线） 15、50、150、500峰/回转 回转（带总线） 15~150、15~500峰/回转 直动（低总线） 0.025、 0.08、 0.25、 0.8 、2.5 、8mm/s — 显示装置 彩色显示器（15英寸） 显示项目 测量条件、测量参数、形状图形（展开图形/立体图形）打印机输出条件、注释、错误信息等 记录装置, 方式 选择彩色打印机/激光打印机 倍率 50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K、50K、100K自动 各要素 电源 AC100V、50Hz/60Hz（需要指定） 耗电量 600VA 空气源 0.35-0.7Mpa 耗气量 30J/min(标准状态) 设置尺寸 1800(W)*1000(D)*1700(H)mm(使用选购的系统机架时) 质量 130kg 120kg合作、共赢！美国热电：直读光谱仪ARL8860、XRF、XRD ICP、电镜、电子能谱仪德国徕卡：金相显微镜、体视显微镜、电镜制样设备英斯特朗：疲劳试验机、万能试验机； 摆锤冲击试验机、落锤冲击试验机东京精密：圆度仪、轮廓仪、粗糙度仪、三坐标美国法如：激光跟踪仪、关节臂及扫描 日本奥林巴斯手持光谱仪 德国帕马斯颗粒计数器租赁检测：便携式三坐标、激光跟踪仪、3D扫描仪为客户提供专业的检测服务，帮客户挖掘新的赢利空间！上海澳信检测技术有限公司青岛澳信仪器有限公司青岛澳信质量技术服务有限公司联系地址：青岛市城阳区山河路702号上海地址：上海浦东新区川沙路1098号新美测（青岛）测试科技有限公司提供测试服务：静态力学测试主要包括拉伸、压缩、弯曲、剪切等；动态疲劳测试主要包括：拉拉疲劳、拉压疲劳、压压疲劳、裂纹扩展速率等

产 品 名：圆度仪 型 号：RONDCOM 43C/41C/31C 采用新一代综合程序ACCTee，性价比出色的圆度测量机= 标准配置有高精度静压空气轴承 = 安装有新一代综合程序ACCTee = 设有高精度立柱（Z轴），可进行圆柱解析（对应43C/41C） = 具有支持调中心，调垂直功能，操作方便 = 标准配置可指定高度的半自动测量功能 = 具有功率谱、傅立叶解析等丰富的表面解析功能 规格 , 型号 RONDCOM 43C RONDCOM 41C RONDCOM 31C 测量范围 最大测量直径 Φ250mm 左右进给范围（R轴） 125mm 上下进给范围（Z轴） 300mm 200mm 最大半截直径 Φ400mm 最大测量高度 外径520mm、内径300mm 外径420mm、内径200mm 回转精度 ISO 4291/JIS B7451 (0.02+6H/10000)μm (0.04+6H/10000)μm 最小平方圆的最大偏差 (0.01+3H/10000)μm (0.02+3H/10000)μm 直线度精度 上下方向（Z轴） 0.25mm/100 0.8mm/300mm 0.50mm/100mm15mm /300mm — 平行度精度 上下方向（Z轴） 1.5mm/300mm 3mm/300mm — 回转速度（q轴） 6/min 上下方向速度（Z轴） 测量 0.6~6mm/s 5mm/s 移动 15mm/s 5mm/s 径方向速度（R轴） 5mm/s 自动停止功能 Z轴/R轴 ±5mm 工作台装载条件 工作台外径 Φ148mm 中心调整范围 ±2mm 倾斜调整范围 ±10 装载质量 25kg* 传感器 直线性范围 ±400mm 测量力 70mN 测针形状 Φ1.6mm超硬球 形状误差的圆度评价方法 MZC（最小领域中心法）、LSC（最小平方中心法）、 MIC（最大内接圆中心法）、MCC（最小外接圆中心法）、N.C（无修正） 测量项目 圆周方向（q轴） 圆度、平面度、平行度、同心度、同轴度、圆柱度、径偏差、厚度偏差度、直角度、振动 圆度/平面度/平行度/同心度/同轴度/直角度/振动 直动方向（Z轴） 直线度、斜度、圆柱度、直角度、平行度 — 功能 支持调中心、调垂直功能、遮蔽处理功能、刻迹记录功能（水平/角度/游标）、实时显示功能、简易自动测量功能、圆度评价方法的组合、设计对照 滤波种类 数字滤波器（2RC/高斯） 滤波值 回转（低总线） 15、50、150、500峰/回转 回转（带总线） 15~150、15~500峰/回转 直动（低总线） 0.025、 0.08、 0.25、 0.8 、2.5 、8mm/s — 显示装置 彩色显示器（15英寸） 显示项目 测量条件、测量参数、形状图形（展开图形/立体图形）打印机输出条件、注释、错误信息等 记录装置, 方式 选择彩色打印机/激光打印机 倍率 50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K、50K、100K自动 各要素 电源 AC100V、50Hz/60Hz（需要指定） 耗电量 600VA 空气源 0.35-0.7Mpa 耗气量 30J/min(标准状态) 设置尺寸 1800(W)*1000(D)*1700(H)mm(使用选购的系统机架时) 质量 130kg 120kg合作、共赢！美国热电：直读光谱仪ARL8860、XRF、XRD ICP、电镜、电子能谱仪德国徕卡：金相显微镜、体视显微镜、电镜制样设备英斯特朗：疲劳试验机、万能试验机； 摆锤冲击试验机、落锤冲击试验机东京精密：圆度仪、轮廓仪、粗糙度仪、三坐标美国法如：激光跟踪仪、关节臂及扫描 日本奥林巴斯手持光谱仪 德国帕马斯颗粒计数器租赁检测：便携式三坐标、激光跟踪仪、3D扫描仪为客户提供专业的检测服务，帮客户挖掘新的赢利空间！上海澳信检测技术有限公司青岛澳信仪器有限公司青岛澳信质量技术服务有限公司联系地址：青岛市城阳区山河路702号上海地址：上海浦东新区川沙路1098号新美测（青岛）测试科技有限公司提供测试服务：静态力学测试主要包括拉伸、压缩、弯曲、剪切等；动态疲劳测试主要包括：拉拉疲劳、拉压疲劳、压压疲劳、裂纹扩展速率等

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MicroSense PV-6060是一款高精度计量模块，为太阳能晶圆厚度、晶圆总厚度变化(TTV)和晶圆电阻率的测量提供了无与伦比的吞吐量和稳定性。所有测量都是完全非接触的实时模拟输出，具有高吞吐量，无晶圆破损。PV-6060旨在简单地集成到自动化晶圆运输中，用于制造在线太阳能晶圆检测和分拣系统的OEM。 非接触式太阳能晶圆测量 太阳能晶圆厚度和TTV - 1或3测量轨道 太阳能晶圆电阻率 太阳能晶圆P或N导电类型(可选) 优点 先进的高稳定性，低噪声电容传感器设计亚微米分辨率和非常可重复的厚度测量 非接触电容传感器提供真正的晶圆表面测量 - 晶圆表面光洁度对厚度测量精度没有影响 5毫米直径传感器用于厚度测量，提供高空间分辨率和接近晶圆边缘的测量 模块化设计 - OEM的灵活配置，设计用于简单

Accretech RONDCOM 65B 圆柱度测量机Accretech RONDCOM 65B 圆柱度测量机高精度世界最高级别的旋转: 0.01μm精度高通量在60秒以内的中心，在60秒以内进行，实现高效率的测定。坚牢高精度、高刚性结构专栏、专栏、R轴的变化非常小使用岩石。保证最高级别的高精度。洗练的新设计对与标志机相称的稳重感的设计也焕然一新胶印型检测仪（选项）专利获得不干涉R轴，可多种多样的工件的测定。又，外径测量和上面的平面测量的转换海科拉穆镇测量系统CNC和手册测定范围最大测定直径φ42左右传送范围（R轴）220毫米上下发送范围（Z轴）500毫米7800最大装载直径φ68最大测定高度为7800最大测量深度（フトコロ高度）150毫米测定的直径、检测仪、触针的组合有限制旋转精度径向方向JIS B 7451 - 1997（0.01 + 4 H / 10，1000）μm桌子上的高到测定点轴向方向JIS B 7451 - 1997（0.03 + 4 R / 10，1000）μm“从餐桌中心到测定点的距离毫米）”直度精度上下方向Z轴），（Z轴）窄范围0.05μm / 100毫米0.1μm / 100毫大范围0.2μm / 500毫米0.5μm / 800毫径向（R轴）0.5μm / 200毫平行度精度上下方向（Z轴）1.5μm / 500毫径向（R轴）0.5μm / 200毫比例尺精度半径方向指示（R轴）（2）+ L / 220μm L：移动距离（毫米测定速度旋转速度（θ轴）2～10 / mi（移动时：无论20 / min）オートセンタリング?チルチング时2，4，6、10、20 / min上下速度（Z轴）0.6～6mm / s（移动时：无论30毫米/ s）径向速度（R轴）0.6～6mm / s（移动时：无论20mm / s）自动停止精度Z轴/ R轴±5μm旋转工作台桌子外径调整范围（居中/冷硬）±5毫米/±1゜装载质量60公斤检测仪测量力30～100 mN（无阶段可变）测量孩子形状φ1.6毫米，长53毫米超硬取样点数14、400分/旋转滤波器种类数字滤波器高斯/ 2 RC /花键/ 009（花键）测定倍率50 ~ 100 k截止值旋转方向（θ轴Lo 15，50，150，500，1500，到15～1500山/旋转表带1～1500山/旋转直向方向方向（Z轴）低通0.025，0.08，0.25，0.8，2.5，8毫米（0.0001毫米单位设定可）形状误差的真圆度评价MZC（最小领域中心法），LSC（最小二乘中心法），MIC（最大内接中心法），MCC（最小外存储器中心法），N . C（补正）没有，MULTI（复合设定）测定项目旋转方向真圆度、平面度、平面度（复）、平行度、同心度、同轴度，圆柱度、直径偏差、直角度、叶状度、偏差、直径测量、部分日元直线方向笔直度（Z）、直线（R）、锥形比例、圆柱度，直角度、平行度、直径偏差、轴心直解析处理功能缺口处理功能（水平/角度/光标），值次度评价方法的组合，设计值的比对功能，柱面立体形状表示（线描画、浓淡、等高线），实时显示，形状特性图显示负载曲线、振幅分布曲线、功率谱CNC全自动测量功能自动定心调整功能特别功能胶印型CNC器架（选项）显示部分（彩色监视器）17英寸显示项目的测定条件、测定参数、打印机输出条件，形状图形（展开/立体），错误信息等记录式彩色打印机参数电源（电压指示要）AC 100～240 V±10%，50 / 60Hz（地线接地为要す）消费电力约800 VA（打印机分是不包含）空气源供给压力0.5～0.7 MPa使用压力0.4 MPa空气消费量49 NL / min本体的空气源连接管外径φ水龙带水龙带管接安装尺寸（W×D×H）毫米××1755 1740 875 1740××2075 875质量（选项）810我们以“诚信、创新、沟通”为宗旨，以“技术、服务”为立业之本。DAIKIN(大金)、 FOXCONN（富士康）、APPLE(苹果公司)、HITACHI（日立）、HONDA(本田) 、通用汽车、上海大众等众多企业的紧密合作伙伴合作、共赢！美国热电：直读光谱仪ARL8860、XRF、XRD ICP、电镜、电子能谱仪德国徕卡：金相显微镜、体视显微镜、电镜制样设备英斯特朗：疲劳试验机、万能试验机； 摆锤冲击试验机、落锤冲击试验机东京精密：圆度仪、轮廓仪、粗糙度仪、三坐标美国法如：激光跟踪仪、关节臂及扫描 日本奥林巴斯手持光谱仪 德国帕马斯颗粒计数器租赁检测：便携式三坐标、激光跟踪仪、3D扫描仪为客户提供专业的检测服务，帮客户挖掘新的赢利空间！上海澳信检测技术有限公司青岛澳信仪器有限公司青岛澳信质量技术服务有限公司联系地址：青岛市城阳区山河路702号上海地址：上海浦东新区川沙路1098号新美测（青岛）测试科技有限公司提供测试服务：静态力学测试主要包括拉伸、压缩、弯曲、剪切等；动态疲劳测试主要包括：拉拉疲劳、拉压疲劳、压压疲劳、裂纹扩展速率等合作、共赢！美国热电：直读光谱仪ARL8860、XRF、XRD ICP、电镜、电子能谱仪德国徕卡：金相显微镜、体视显微镜、电镜制样设备英斯特朗：疲劳试验机、万能试验机； 摆锤冲击试验机、落锤冲击试验机东京精密：圆度仪、轮廓仪、粗糙度仪、三坐标美国法如：激光跟踪仪、关节臂及扫描 日本奥林巴斯手持光谱仪 德国帕马斯颗粒计数器租赁检测：便携式三坐标、激光跟踪仪、3D扫描仪为客户提供专业的检测服务，帮客户挖掘新的赢利空间！上海澳信检测技术有限公司青岛澳信仪器有限公司青岛澳信质量技术服务有限公司联系地址：青岛市城阳区山河路702号上海地址：上海浦东新区川沙路1098号新美测（青岛）测试科技有限公司提供测试服务：静态力学测试主要包括拉伸、压缩、弯曲、剪切等；动态疲劳测试主要包括：拉拉疲劳、拉压疲劳、压压疲劳、裂纹扩展速率等

圆度仪的维护保养注意事项:　　1. 每天开机后，用酒精（无水乙醇,99.97%）清洁大理石工作台及立柱大理石部分。注意：不要用酒精擦拭驱动箱外壳，因为，外壳部分表面是喷涂油漆的，容易起化学反应，用酒精擦拭后容易影响外观的美观。　　2. 注意大理石工作台的T型槽、立柱的丝杆及立柱导轨（立柱后面金属部分）的防锈，定期涂防锈油特别是放长假时一定要注意。具体方法：可以喷WD40在以上地方，过五分钟之后，用无尘纸将多余的WD40擦干净。　　3. 在不使用时，应将探针Stylus拆下放置在专用的探针盒里。　　4. 需要定期检查供电电源的电压，请用户设备维护专业人员配合，具体方法：检查电压值是否在110~~240Vac之间？电压的波动是否在允许范围之内？L--火线、N--零线、E--接电线的相序及电压是否正确？　　5. 外部供电有无UPS不间断电源保护装置？（必须安装），为了防止当电源送电和突然断电引起的峰值电压对控制箱内电路板、电脑及电子元件的损坏。　　6. 仪器的环境温度及湿度是否在允许范围之内？　　操作环境温度的范围：15~~30摄氏度，温度梯度变化允许范围：小于2摄氏度（一般环境要求，如加工现场）； 操作环境温度的范围：18~~22摄氏度，温度梯度变化允许范围：小于2摄氏度（标准计量室）； 湿度要求：45%~~75%之间。青岛澳信提供圆度仪的维护保养服务，在设备运行不稳定或者进行需求年度审查时，提供设备的保养服务，延长设备的使用年限。

中图仪器SuperViewW白光干涉非接触式粗糙度测量仪以白光干涉技术为原理，可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）产品功能(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。SuperViewW白光干涉非接触式粗糙度测量仪非接触式高精密测量，不会划伤甚至破坏工件：【测量小尺寸样品时】可以测到12mm，也可以测到更小的尺寸，XY载物台标准行程为140*110mm，局部位移精度可达亚微米级别，Z向扫描电机可扫描10mm范围，可测非常微小尺寸的器件；【测量大尺寸样品时】支持拼接功能，将测量的每一个小区域整合拼接成完整的图像，拼接精度在横向上和载物台横向位移精度一致；SuperViewW白光干涉仪具有测量精度高、功能全面、操作便捷、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精密器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。其特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。性能特色1、高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统SuperViewW白光干涉非接触式粗糙度测量仪既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：粗糙度测量案例硅晶圆粗糙度测量晶圆IC减薄后的粗糙度检测蓝宝石粗糙度测量部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5×、5×、20×、50×、100×光学ZOOM标配:0.5×选配:0.375×、0.75×、1×标准视场0.98×0.98㎜（10×物镜，光学ZOOM 0.5×）XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动台阶测量可测样品反射率0.05%~100主机尺寸700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

产品名称：晶圆厚度/非接触电阻率测试仪品牌：E+H Metrology型号：MX608系列关键词：电阻率、厚度、TTV 一、简介德国 E+H Metrology，简称E+H，成立于1968年，位于德国卡尔斯鲁厄。E+H专注于半导体行业、微电子、机械工程等领域表面量测设备定制化开发。MX608 设计用于表征硅晶圆、碳化硅等。它结合了非接触式厚度、电阻率和 P/N 传感器。 二、技术规格晶圆尺寸：4/5/6/8厚度范围：500-800 μm（300-600 μm可选）最大Warp ：100 μm电阻率：0.001 – 200 Ohm&bull cm 厚度测量准确性：±0.3 μmTTV准确性：±0.1 μm精度：±0.05 μm 电阻率测量：精度 0.001 – 30 Ohm&bull cm ±1 % 30 - 100 Ohm&bull cm ± 2 % 100 - 200 Ohm&bull cm ± 5 % 测试时间：1 Point (center) 7 s1 Scan for 8” = 180 points 10 s18 Scans each 10° for 8” = 3240 points ca. 3 min三、应用可测硅片，SiC， GaN等各类导电衬底和绝缘衬底导电外延，厚度+TTV+电阻率 (Mapping)

产 品 名：圆度仪型 号：RONDCOM 43C/41C/31C 采用新一代综合程序ACCTee，性价比出色的圆度测量机= 标准配置有高精度静压空气轴承= 安装有新一代综合程序ACCTee= 设有高精度立柱（Z轴），可进行圆柱解析（对应43C/41C）= 具有支持调中心，调垂直功能，操作方便= 标准配置可指定高度的半自动测量功能= 具有功率谱、傅立叶解析等丰富的表面解析功能 规格,型号RONDCOM 43CRONDCOM 41C RONDCOM 31C测量范围最大测量直径&Phi 250mm左右进给范围（R轴）125mm上下进给范围（Z轴）300mm200mm最大半截直径&Phi 400mm最大测量高度外径520mm、内径300mm外径420mm、内径200mm回转精度ISO 4291/JIS B7451(0.02+6H/10000)&mu m(0.04+6H/10000)&mu m最小平方圆的最大偏差(0.01+3H/10000)&mu m(0.02+3H/10000)&mu m直线度精度上下方向（Z轴）0.25mm/100 0.8mm/300mm0.50mm/100mm15mm/300mm&mdash 平行度精度上下方向（Z轴）1.5mm/300mm3mm/300mm&mdash 回转速度（q轴）6/min上下方向速度（Z轴）测量0.6~6mm/s5mm/s移动15mm/s5mm/s径方向速度（R轴）5mm/s自动停止功能Z轴/R轴± 5mm工作台装载条件工作台外径&Phi 148mm 中心调整范围± 2mm倾斜调整范围± 10装载质量25kg*传感器直线性范围± 400mm测量力70mN测针形状&Phi 1.6mm超硬球形状误差的圆度评价方法MZC（最小领域中心法）、LSC（最小平方中心法）、MIC（最大内接圆中心法）、MCC（最小外接圆中心法）、N.C（无修正）测量项目圆周方向（q轴）圆度、平面度、平行度、同心度、同轴度、圆柱度、径偏差、厚度偏差度、直角度、振动圆度/平面度/平行度/同心度/同轴度/直角度/振动直动方向（Z轴）直线度、斜度、圆柱度、直角度、平行度&mdash 功能支持调中心、调垂直功能、遮蔽处理功能、刻迹记录功能（水平/角度/游标）、实时显示功能、简易自动测量功能、圆度评价方法的组合、设计对照滤波种类数字滤波器（2RC/高斯）滤波值回转（低总线）15、50、150、500峰/回转 回转（带总线）15~150、15~500峰/回转 直动（低总线）0.025、 0.08、 0.25、 0.8 、2.5 、8mm/s&mdash 显示装置彩色显示器（15英寸）显示项目测量条件、测量参数、形状图形（展开图形/立体图形）打印机输出条件、注释、错误信息等记录装置, 方式选择彩色打印机/激光打印机倍率50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K、50K、100K自动各要素电源AC100V、50Hz/60Hz（需要指定）耗电量600VA空气源0.35-0.7Mpa耗气量30J/min(标准状态)设置尺寸1800(W)*1000(D)*1700(H)mm(使用选购的系统机架时)质量130kg120kg

产 品 名：圆度仪型 号：RONDCOM 43C/41C/31C 采用新一代综合程序ACCTee，性价比出色的圆度测量机= 标准配置有高精度静压空气轴承= 安装有新一代综合程序ACCTee= 设有高精度立柱（Z轴），可进行圆柱解析（对应43C/41C）= 具有支持调中心，调垂直功能，操作方便= 标准配置可指定高度的半自动测量功能= 具有功率谱、傅立叶解析等丰富的表面解析功能 规格,型号RONDCOM 43CRONDCOM 41C RONDCOM 31C测量范围最大测量直径&Phi 250mm左右进给范围（R轴）125mm上下进给范围（Z轴）300mm200mm最大半截直径&Phi 400mm最大测量高度外径520mm、内径300mm外径420mm、内径200mm回转精度ISO 4291/JIS B7451(0.02+6H/10000)&mu m(0.04+6H/10000)&mu m最小平方圆的最大偏差(0.01+3H/10000)&mu m(0.02+3H/10000)&mu m直线度精度上下方向（Z轴）0.25mm/100 0.8mm/300mm0.50mm/100mm15mm/300mm&mdash 平行度精度上下方向（Z轴）1.5mm/300mm3mm/300mm&mdash 回转速度（q轴）6/min上下方向速度（Z轴）测量0.6~6mm/s5mm/s移动15mm/s5mm/s径方向速度（R轴）5mm/s自动停止功能Z轴/R轴± 5mm工作台装载条件工作台外径&Phi 148mm 中心调整范围± 2mm倾斜调整范围± 10装载质量25kg*传感器直线性范围± 400mm测量力70mN测针形状&Phi 1.6mm超硬球形状误差的圆度评价方法MZC（最小领域中心法）、LSC（最小平方中心法）、MIC（最大内接圆中心法）、MCC（最小外接圆中心法）、N.C（无修正）测量项目圆周方向（q轴）圆度、平面度、平行度、同心度、同轴度、圆柱度、径偏差、厚度偏差度、直角度、振动圆度/平面度/平行度/同心度/同轴度/直角度/振动直动方向（Z轴）直线度、斜度、圆柱度、直角度、平行度&mdash 功能支持调中心、调垂直功能、遮蔽处理功能、刻迹记录功能（水平/角度/游标）、实时显示功能、简易自动测量功能、圆度评价方法的组合、设计对照滤波种类数字滤波器（2RC/高斯）滤波值回转（低总线）15、50、150、500峰/回转 回转（带总线）15~150、15~500峰/回转 直动（低总线）0.025、 0.08、 0.25、 0.8 、2.5 、8mm/s&mdash 显示装置彩色显示器（15英寸）显示项目测量条件、测量参数、形状图形（展开图形/立体图形）打印机输出条件、注释、错误信息等记录装置, 方式选择彩色打印机/激光打印机倍率50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K、50K、100K自动各要素电源AC100V、50Hz/60Hz（需要指定）耗电量600VA空气源0.35-0.7Mpa耗气量30J/min(标准状态)设置尺寸1800(W)*1000(D)*1700(H)mm(使用选购的系统机架时)质量130kg120kg

产 品 名：圆度仪型 号：RONDCOM 43C/41C/31C 采用新一代综合程序ACCTee，性价比出色的圆度测量机= 标准配置有高精度静压空气轴承= 安装有新一代综合程序ACCTee= 设有高精度立柱（Z轴），可进行圆柱解析（对应43C/41C）= 具有支持调中心，调垂直功能，操作方便= 标准配置可指定高度的半自动测量功能= 具有功率谱、傅立叶解析等丰富的表面解析功能 规格,型号RONDCOM 43CRONDCOM 41C RONDCOM 31C测量范围最大测量直径&Phi 250mm左右进给范围（R轴）125mm上下进给范围（Z轴）300mm200mm最大半截直径&Phi 400mm最大测量高度外径520mm、内径300mm外径420mm、内径200mm回转精度ISO 4291/JIS B7451(0.02+6H/10000)&mu m(0.04+6H/10000)&mu m最小平方圆的最大偏差(0.01+3H/10000)&mu m(0.02+3H/10000)&mu m直线度精度上下方向（Z轴）0.25mm/100 0.8mm/300mm0.50mm/100mm15mm/300mm&mdash 平行度精度上下方向（Z轴）1.5mm/300mm3mm/300mm&mdash 回转速度（q轴）6/min上下方向速度（Z轴）测量0.6~6mm/s5mm/s移动15mm/s5mm/s径方向速度（R轴）5mm/s自动停止功能Z轴/R轴± 5mm工作台装载条件工作台外径&Phi 148mm 中心调整范围± 2mm倾斜调整范围± 10装载质量25kg*传感器直线性范围± 400mm测量力70mN测针形状&Phi 1.6mm超硬球形状误差的圆度评价方法MZC（最小领域中心法）、LSC（最小平方中心法）、MIC（最大内接圆中心法）、MCC（最小外接圆中心法）、N.C（无修正）测量项目圆周方向（q轴）圆度、平面度、平行度、同心度、同轴度、圆柱度、径偏差、厚度偏差度、直角度、振动圆度/平面度/平行度/同心度/同轴度/直角度/振动直动方向（Z轴）直线度、斜度、圆柱度、直角度、平行度&mdash 功能支持调中心、调垂直功能、遮蔽处理功能、刻迹记录功能（水平/角度/游标）、实时显示功能、简易自动测量功能、圆度评价方法的组合、设计对照滤波种类数字滤波器（2RC/高斯）滤波值回转（低总线）15、50、150、500峰/回转 回转（带总线）15~150、15~500峰/回转 直动（低总线）0.025、 0.08、 0.25、 0.8 、2.5 、8mm/s&mdash 显示装置彩色显示器（15英寸）显示项目测量条件、测量参数、形状图形（展开图形/立体图形）打印机输出条件、注释、错误信息等记录装置, 方式选择彩色打印机/激光打印机倍率50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K、50K、100K自动各要素电源AC100V、50Hz/60Hz（需要指定）耗电量600VA空气源0.35-0.7Mpa耗气量30J/min(标准状态)设置尺寸1800(W)*1000(D)*1700(H)mm(使用选购的系统机架时)质量130kg120kg

圆柱度仪 RONDCOM NEX东精精密 圆柱度仪 RONDCOM NEX特点：1、的高精度圆度、圆柱度形状测量机；2、对向直径测量功能；3、R轴追踪的直线度/锥角测量功能；4、偏置型CNC传感器保持架。合作、共赢！美国热电：直读光谱仪ARL8860、XRF、XRD ICP、电镜、电子能谱仪德国徕卡：金相显微镜、体视显微镜、电镜制样设备英斯特朗：疲劳试验机、万能试验机； 摆锤冲击试验机、落锤冲击试验机东京精密：圆度仪、轮廓仪、粗糙度仪、三坐标美国法如：激光跟踪仪、关节臂及扫描 日本奥林巴斯手持光谱仪 德国帕马斯颗粒计数器租赁检测：便携式三坐标、激光跟踪仪、3D扫描仪为客户提供专业的检测服务，帮客户挖掘新的赢利空间！上海澳信检测技术有限公司青岛澳信仪器有限公司青岛澳信质量技术服务有限公司联系地址：青岛市城阳区山河路702号上海地址：上海浦东新区川沙路1098号新美测（青岛）测试科技有限公司提供测试服务：静态力学测试主要包括拉伸、压缩、弯曲、剪切等；动态疲劳测试主要包括：拉拉疲劳、拉压疲劳、压压疲劳、裂纹扩展速率等合作、共赢！美国热电：直读光谱仪ARL8860、XRF、XRD ICP、电镜、电子能谱仪德国徕卡：金相显微镜、体视显微镜、电镜制样设备英斯特朗：疲劳试验机、万能试验机； 摆锤冲击试验机、落锤冲击试验机东京精密：圆度仪、轮廓仪、粗糙度仪、三坐标美国法如：激光跟踪仪、关节臂及扫描 日本奥林巴斯手持光谱仪 德国帕马斯颗粒计数器租赁检测：便携式三坐标、激光跟踪仪、3D扫描仪为客户提供专业的检测服务，帮客户挖掘新的赢利空间！上海澳信检测技术有限公司青岛澳信仪器有限公司青岛澳信质量技术服务有限公司联系地址：青岛市城阳区山河路702号上海地址：上海浦东新区川沙路1098号新美测（青岛）测试科技有限公司提供测试服务：静态力学测试主要包括拉伸、压缩、弯曲、剪切等；动态疲劳测试主要包括：拉拉疲劳、拉压疲劳、压压疲劳、裂纹扩展速率等

产品名称：圆柱度仪产品型号：44DX单价咨询：400-000-287844DX圆柱度仪简介回转精度高采用静压空气轴承,回转精度高达(0.02+4H/10000)μm可操作性强偏置型保持架,便于测量各种工件传统的偏置型保持架,测针针尖通常在R轴的延长线上,这样在测量壁厚比较大或内孔比较深的工件时,存在干涉.偏置型保持架使测针针尖在R轴延长线下80mm的位置,极好地解解决了这个问题1,标准型新型的保持架,操作上更为简单,从测外径到测上表面,操作上只需一步即可完成,而传统型需要二步,且存在传感器定位问题。2,自动型(针对自动机，选配)自动型保持架,可用于在需要同时测量工件的外径,内径,上表面和下表面,甚至是锥面时,测针也可自动定位,实现全自动的测量方式。测量效率高调中心与倾斜1,通过这种柱状图调节手动旋钮操作极为简单,而不需进行计算,普通操作人员既能完成。2,自动调中心方式(针对自动机)只需给定2个调整截面的位置即可全自动完成整个调整工作。CNC功能一次测量包括工件调整(R54自动, R44手动),测量,分析,打印均被全部记录,使用回放功能在测量相同型号工件时,只需固定好工件,并设好坐标系即可合自动完成。软件功能强大TIMS软件有圆度,平面度,平行度,同心度,同轴度,圆柱度,垂直度,直线度等常规的分析功能除上述功能外,还有许多特殊功能和选配软件。刻槽功能对于有凹槽的工件,软件可以以自动方式或手动方式删除,提高了测量效率。傅立量分析及功率谱曲线在圆度曲线分析中,分析不同频率峰值的大小有助于分析零件的噪音和振动,指导生产。负荷曲线及振幅分布曲线分析该曲线有助于分析工件的耐磨性及使用寿命。区间分析(SLOPE分析,选配)分析圆度或平面度中指定角度范围中最大和最小的差值.该指定角度可以是0度到360度之间的任意值.输出的图形可以是二维图形,二维展开图形我区间分析(SLOPE)表。齿轮分析(选配)用于分析齿轮齿尖的圆度分析。活塞分析(选配)活塞的设计值可以通过公式或手动输入等方法得到,通过对实测值和设计值的比较,对活塞进行分析。轮廓分析软件(选配)选配该软件可以分析轮廓尺寸并实现轮廓尺寸分析。数据打印形式多样,便用分析打印模板可根据客户的要求自行设计或调整,一页可打印多个结果,便于分析对比。节省空间DX的设计使设备的点地面积更小. (相比我公司以前的产品节省了25%)降低了使用成本.合作、共赢！美国热电：直读光谱仪ARL8860、XRF、XRD ICP、电镜、电子能谱仪德国徕卡：金相显微镜、体视显微镜、电镜制样设备英斯特朗：疲劳试验机、万能试验机； 摆锤冲击试验机、落锤冲击试验机东京精密：圆度仪、轮廓仪、粗糙度仪、三坐标美国法如：激光跟踪仪、关节臂及扫描 日本奥林巴斯手持光谱仪 德国帕马斯颗粒计数器租赁检测：便携式三坐标、激光跟踪仪、3D扫描仪为客户提供专业的检测服务，帮客户挖掘新的赢利空间！上海澳信检测技术有限公司青岛澳信仪器有限公司青岛澳信质量技术服务有限公司联系地址：青岛市城阳区山河路702号上海地址：上海浦东新区川沙路1098号新美测（青岛）测试科技有限公司提供测试服务：静态力学测试主要包括拉伸、压缩、弯曲、剪切等；动态疲劳测试主要包括：拉拉疲劳、拉压疲劳、压压疲劳、裂纹扩展速率等

中图仪器SuperViewW光学非接触式粗糙度3D轮廓仪采用白光干涉技术，结合具有抗噪性能的3D重建算法，具有测量精度高、功能全面、操作便捷、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精密器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。并且其特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。SuperViewW光学非接触式粗糙度3D轮廓仪用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量，广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。产品功能(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。应用领域SuperViewW光学非接触式粗糙度3D轮廓仪对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：性能特色1、高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5×、5×、20×、50×、100×光学ZOOM标配:0.5×选配:0.375×、0.75×、1×标准视场0.98×0.98㎜（10×物镜，光学ZOOM 0.5×）XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动台阶测量可测样品反射率0.05%~100主机尺寸700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

产 品 说 明概述： 本设备是集结电感测微仪和空气轴承，用半径法对圆度，同心度等进行测量；由于Z轴直线方向具有高精度， 可以对圆柱度，真直度等进行测量的一台高精度传感器回转型圆度圆柱度测量仪器。 特别是，本设备能够自动进行中心，倾斜调整，对工件回转中心的偏离进行自动调整，这样方便作业。 对于工件的偏心和倾斜，软件计算也有自动修正的功能。 对测量结果能够在显示器上鲜明显示和进行各式的打印。主要特点： 1.采用空气轴承 可以保证回转方向和直线的高精度；非接触式，轴承永不磨损；不用加油，不用预启动； 良好的重复性。 2.自动进行中心，倾斜调整，软件计算也有自动修正的功能。 3.Z轴（立柱）以及R轴具有自动停零功能，对于传感器所属的测针位置能及时确定，保护传感器。 4.直线精度高，同时具有1000mm的行程，对于大型的工件能够精确测量。 5.空气轴承具有适压自动诊断回路，保护空气轴承不受破坏。 6.测量倍率，从50-10K等8档可选，可根据产品精度选择。 7.配备传感器横送装置，对于小径工件测量精度提高。 8.Z轴以及R轴有读数装置，自动调倾斜时，以及倾斜补正时自动计算位置，无需手动输入Z轴以及R轴的位置。 9.采用最新功能强大的ACCTee测量软件。