多靶磁控溅射仪

自从2020年Quantum Design中国子公司将英国Moorfield nanotechnology公司生产的台式高精度薄膜制备与加工系统引进国内市场以来受到了国内科研工作者的广泛关注。Moorfield Nanotechnology推出的台式设备体积小巧但性能可以和大型设备相媲美，并且自动化程度高、操作简单、性能可靠、配置灵活。设备所具有的这些优点正是现代实验所需要的。Moorfield Nanotechnology长期收集用户的需求并对产品线进行不断的优化丰富，以满足各种个性化的实验需求。近年来，越来越多的前沿研究中需要用到多种薄膜制备手段，而传统的设备往往只有一种薄膜制备功能，制备一个样品就需要先后在不同的设备中进行操作，并且容易对样品的性质造成破坏。针对这样的需求，Moorfield Nanotechnology公司全新推出了台式高精度溅射与热蒸发系统——nanoPVD ST15A。该系统可以集成金属/绝缘体溅射、金属热蒸发、有机物蒸发功能，在同一台设备中可以实现多种制备手段的组合，将薄膜制备带入了新的高度。系统通过7英寸触摸屏控制，自动化程度高，各种制备方式可以自由切换，甚至可以同时进行。用户可以通过灵活的制备手段在在同一台设备中制备不同的薄膜或者是复合薄膜。nanoPVD ST15A外观图设备技术特点☛ 台式设备配置灵活☛ 磁控溅射、热蒸发、有机物蒸发☛ 三种制备手段可灵活组合☛ 可制备金属、有机物、电介质薄膜☛ 多达3个流量计控制过程气体☛ 高精度自动气压控制选件☛ 全自动触屏操作系统☛ 基片大至4英寸☛ 可选基片加热☛ 本底真空5 × 10-7 mbar☛ 可选共溅射（蒸发）功能☛ 可选晶振膜厚标定功能☛ 定义保存多个制备程序☛ 全面的安全性设计☛ 超净间兼容☛ 稳定的性能左：nanoPVD ST15A 双蒸发源与磁控溅射组合，右：系统的样品台与挡板背景介绍Moorfield Nanotechnology是英国材料科学领域高性能仪器研发公司，成立25年来专注于高质量的薄膜生长与加工技术，拥有雄厚的技术实力，推出的多种高性能设备受到科研与工业领域的广泛好评。Moorfield公司近十年来与曼彻斯特大学诺奖技术团队紧密合作，推出的台式高精度薄膜制备与加工系列产品由于其体积小巧、性能优异、易于操作更是受到很多科研单位的赞誉。这些设备已经进入了欧洲多所科研院所的实验室，诸如曼彻斯特大学、剑桥大学、帝国理工学院、诺森比亚大学、巴斯大学、埃克塞特大学、哈德斯菲尔德大学、莱顿大学、亚森工业大学、西班牙光子科学研究所、英国国家物理实验室等单位都是Moorfield Nanotechnology的用户和长期合作者。诸多的用户与合作者让产品的性能和设计理念得到了高速发展，并迈入全球化的进程。Quantum Design中国子公司与Moorfield Nanotechnology正式合作，作为中国的代理和战略合作伙伴，为中国用户提供高性能的设备与优质的服务。除了台式设备之外我们还提供多种大型设备和定制服务。目前国内已有包括清华大学、西湖大学、大连理工大学、广东工业大学、中科院等多个单位采购了不同型号的Moorfield高性能薄膜制备与加工设备。产品链接1、台式高性能多功能PVD薄膜制备系列—nanoPVD

一、项目基本情况项目编号：0705-2240 02012003项目名称：上海期智研究院磁控溅射仪采购预算金额：300.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：300.0000000 万元（人民币）采购需求：包件号项目数量简要技术规格备注1磁控溅射仪1套配置304L不锈钢超高真空不锈钢反应腔体，预留RHEED、RGA等接口，后续可按需升级。沉积腔室可升级集成9个2英寸超高真空溅射靶枪。预算：人民币300万元。 合同履行期限：交货期：收到预付款后8到10个月内。本项目( 不接受 )联合体投标。二、申请人的资格要求：1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；2.落实政府采购政策需满足的资格要求：（1） 投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织；（2） 投标人应为投标产品的制造商或其合法代理商，代理商投标应提供投标产品的制造商针对本项目的唯一授权；（3） 投标人须在投标截止期之前在国家商务部认可的机电产品招标投标电子交易平台（以下简称机电产品交易平台，网址为：http://www.chinabidding.com）上完成有效注册；（4） 本项目不允许联合体投标；（5） 本项目不允许分包和转包（代理商中标后提供由其投标文件中承诺的投标产品制造商生产的产品不视为转包）。 3.本项目的特定资格要求：（1） 投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织；（2） 投标人应为投标产品的制造商或其合法代理商，代理商投标应提供投标产品的制造商针对本项目的唯一授权；（3） 投标人须在投标截止期之前在国家商务部认可的机电产品招标投标电子交易平台（以下简称机电产品交易平台，网址为：http://www.chinabidding.com）上完成有效注册；（4） 本项目不允许联合体投标；（5） 本项目不允许分包和转包（代理商中标后提供由其投标文件中承诺的投标产品制造商生产的产品不视为转包）。三、获取招标文件时间：2022年08月02日 至 2022年08月09日，每天上午8:30至11:00，下午13:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）地点：上海国际招标有限公司电子采购平台方式：电子发售售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点提交投标文件截止时间：2022年08月31日 09点30分（北京时间）开标时间：2022年08月31日 09点30分（北京时间）地点：上海国际招标有限公司电子采购平台五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其他补充事宜供应商首次注册应按要求提供《供应商注册专用授权函和承诺书》（可从供应商注册页面下载）和营业执照等扫描件，供应商应当提前准备，尽早办理，以免影响领购招标文件。已注册的潜在投标人可从网站采购公告栏的相应公告或者网站上方“SITC电子采购平台”中进入在线领购招标文件流程。若公告要求提供其他领购资料的，潜在投标人应当上传相关资料的原件扫描件，否则招标代理有权拒绝向其出售招标文件。无需提供领购资料的项目，潜在投标人提交领购申请并支付费用到账后即可下载电子招标文件。项目经理会将纸质招标文件快递给潜在投标人，电子发票将发至投标人登记的邮箱。七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名 称：上海期智研究院     地址：上海市徐汇区云锦路701号40-41层        联系方式：徐瑞；021-54652653      2.采购代理机构信息名 称：上海国际招标有限公司            地 址：中国上海延安西路358号美丽园大厦14楼            联系方式：胡羡聪、刘洲烨；86-21-32173682            3.项目联系方式项目联系人：胡羡聪、刘洲烨电 话：  86-21-32173682

p style="text-align: justify text-indent: 2em "span style="text-indent: 28px "薄膜沉积是集成电路制造过程中必不可少的环节，传统的薄膜沉积工艺主要有物理气相沉积（/spanspan style="text-indent: 28px "PVD/spanspan style="text-indent: 28px "）、化学气相沉积（/spanspan style="text-indent: 28px "CVD/spanspan style="text-indent: 28px "）等气相沉积工艺。物理气相沉积/spanspan style="text-indent: 28px "(Physical Vapour Deposition/spanspan style="text-indent: 28px "，/spanspan style="text-indent: 28px "PVD)/spanspan style="text-indent: 28px "技术是在真空条件下，采用物理方法，将材料源/spanspan style="text-indent: 28px "——/spanspan style="text-indent: 28px "固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体（或等离子体）过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。/span/pp style="text-indent: 28px text-align: justify "物理气相沉积技术工艺过程简单，对环境改善，无污染，耗材少，成膜均匀致密，与基体的结合力强。该技术广泛应用于航空航天、电子、光学、机械、建筑、轻工、冶金、材料等领域，可制备具有耐磨、耐腐蚀、装饰、导电、绝缘、光导、压电、磁性、润滑、超导等特性的膜层。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "仪器信息网近期特对一年内的spanPVD/span设备的中标讯息整理分析，供广大仪器用户参考。span style="color: rgb(127, 127, 127) font-size: 14px "（注：本文搜集信息全部来源于网络公开招投标平台，不完全统计分析仅供读者参考。）/span/pp style="text-align: center text-indent: 0em "span style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 240px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/a2ad4457-7ade-41a5-b0c8-6b0bfc0f3001.jpg" title="1.png" alt="1.png" width="400" height="240" border="0" vspace="0"/ /span/pp style="text-align: center "strongspan style="font-family:' 微软雅黑' ,sans-serif color:#444444"各月中标量占比/span/strong/pp style="text-indent: 28px text-align: justify "span2019/span年span10/span月至span2020/span年span9/span月，根据统计数据，spanPVD/span设备的总中标为span218/span台，涉及金额上亿元。span2019/span年span10/span月至span12/span月，平均中标量约span25/span台每月。span2020/span上半年，由于疫情影响，span1/span月至span4/span月中标市场持续低迷，平均中标量约span5/span台每月，其中二月份无成交量。随着国内疫情稳定以及企业复产复工和高校复学的逐步推进，spanPVD/span设备中标市场活力回升，从二月份到七月份中标量不断增长，其中span7/span月spanPVD/span中标量达span27/span台。第三季度的spanPVD/span设备采购基本恢复正常，平均中标量约span24/span台每月。/pp style="text-align:center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 252px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/98f0aae5-cd0b-4c37-a638-6e07e56be8b6.jpg" title="2.png" alt="2.png" width="400" height="252" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strongspan style="font-family:' 微软雅黑' ,sans-serif color:#444444"采购单位性质分布/span/strong/pp style="text-indent: 28px text-align: justify "从spanPVD/span设备的招标采购单位来看，高校是采购的主力军，采购量占比高达span68%/span，而企业和科研院所的采购量分别占比span12%/span和span19%/span。值得注意的是，企业和科研院所采购设备的单价较高，集中于高端设备，高校采购低端设备比例略高。企业方面的采购单位主要为电子产业，高校方面的采购单位以大学为主。/pp style="text-align:center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 265px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/16cf7cf8-1078-4811-92cb-06cb57740068.jpg" title="3.png" alt="3.png" width="400" height="265" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strongspan style="font-family:' 微软雅黑' ,sans-serif color:#444444"招标单位地区分布/span/strong/pp style="text-indent: 28px text-align: justify "本次盘点，招标单位地区分布共涉及span25/span个省份、自治区及直辖市。广东、北京、浙江、江苏和湖北为spanPVD/span设备采购排名前span5/span的地区，其中广东的采购量最大，达span32/span台。在这些地区中，上海、浙江和江苏的spanPVD/span设备采购以高校为主力，北京以科研院所和高校采购为主力，只有湖北以企业采购为主。这主要是因为湖北武汉聚集了国内一批半导体企业，如武汉天马微电子有限公司和湖北长江新型显示产业创新中心有限公司，致力于打造“中国光谷”。/pp style="text-align:center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 233px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/35dfbb36-d83c-4bcf-894d-3a587cdd8da8.jpg" title="4.png" alt="4.png" width="400" height="233" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strongspan style="font-family:' 微软雅黑' ,sans-serif color:#444444"不同类型spanPVD/span设备占比/span/strong/pp style="text-indent: 28px text-align: justify "spanPVD/span设备种类繁多，包含了磁控溅射、蒸发镀膜、真空镀膜等类型。根据搜集到的中标数据可知，磁控溅射占据了中标spanPVD/span设备的主流、高达span72%/span的spanPVD/span设备采购为磁控溅射。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多种材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点。上世纪span 70 /span年代发展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。因为是在低气压下进行高速溅射，必须有效地提高气体的离化率。磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。/pp style="text-indent: 28px text-align: justify "本次spanPVD/span设备中标盘点，涉及品牌有泰科诺、spanKurt J. Lesker/span、创世威纳、spanMoorfield/span、spanLeica/span、合肥科晶、spanVEECO Instruments Inc./span、spanTeer Coatings Ltd./span、spanQUORUM/span、span style="font-size:15px"Syskey/spanspan style="font-size:15px"、spanApplied Materials ,lnc./span、spanULVACInc/span、株式会社昭和真空/span等。/pp style="text-indent: 29px text-align: justify "span style="font-size:15px"其中，各品牌比较受欢迎的产品型号有：/span/pp style="text-align: center text-indent: 0em "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/08db5967-4529-4f60-88a7-518f97a384c8.jpg" title="5.jpg" alt="5.jpg"//pp style="text-align: center text-indent: 0em "strongspana href="https://www.instrument.com.cn/netshow/sh102205/C242800.htm"span style="font-size:15px"span三靶射频磁控溅射镀膜仪/span/span/a/span/strong/pp style="text-indent: 29px text-align: justify "span style="font-size:15px"这是一款小型台式span3/span靶等离子溅射仪span(/span射频磁控型span)/span，配有三个span1/span英寸的磁控等离子溅射头和射频（spanRF/span）等离子电源，此款设备主要用于制作非导电薄膜，特别是一些氧化物薄膜。对于新型非导电薄膜的探索，它是一款廉价并且高效的实验帮手。这款span1/span英寸的射频溅射镀膜仪主要是用于在单晶基片上制备氧化物膜，所以并不需要太高的真空度。/span/pp style="text-align: center text-indent: 0em "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/c7c1521d-c5b9-4668-b178-66ac2ce7cd98.jpg" title="6.jpg" alt="6.jpg"//pp style="text-align: center text-indent: 0em "strongspana href="https://www.instrument.com.cn/netshow/sh101374/C191053.htm"span style="font-size:15px"span双靶磁控溅射仪/span/span/a/span/strong/pp style="text-indent: 29px text-align: justify "span style="font-size:15px" /spanspan style="font-size: 15px "双靶磁控溅射仪是沈阳科晶自主新研制开发的一款高真空镀膜设备，可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜、氧化物薄膜、硬质薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。/spanspan style="font-size: 15px "VTC-600-2HD/spanspan style="font-size: 15px "双靶磁控溅射仪配备有两个靶枪，一个弱磁靶用于非导电材料的溅射镀膜，一个强磁靶用于铁磁性材料的溅射镀膜。与同类设备相比，且具有体积小便于操作的优点，且可使用的材料范围广，是一款实验室制备各类材料薄膜的理想设备。/span/pp style="text-indent: 0em text-align: center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/2ed2b9b6-bb58-4779-ab5e-aa97cdaaaa2b.jpg" title="7.jpg" alt="7.jpg"//pp style="text-align: center text-indent: 0em "strongspana href="https://www.instrument.com.cn/netshow/SH104149/C283599.htm"span style="font-size:15px"span科特莱思科热阻蒸发镀膜系统/span/span/a/span/strong/pp style="text-indent: 29px text-align: justify "span style="font-size:15px"这款仪器由预真空进样室（可选）前开门蒸发腔体、冷凝泵和干泵、多个热阻蒸发源或spanOLED/span低温蒸发源、span6”/span基片、基片旋转、基片偏压（可选）、离子源清洗基片（可选）、基片加热span1000/span度span(/span可选span)/span等部分构成。晶振沉积速率及膜厚控制可选择系统手动或自动控制等方式，能够沉积金属、半导体和绝缘材料，还可沉积多层膜及合金薄膜。/spanspan style="font-size: 15px " /span/pp style="text-indent: 29px text-align: justify "span style="font-size:15px"点击此处进入/spanspana href="https://www.instrument.com.cn/list/sort/241.shtml"span style="font-size:15px"span【span半导体行业专用仪器span】/span/span/span/span/a/spanspan style="font-size:15px"专场，获取更多产品信息。/span/pp style="text-indent: 29px text-align: center "span style="font-size:15px"更多资讯请扫描下方二维码，关注【材料说】/span/pp style="text-indent: 28px text-align: center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/2a630f7c-a2f9-4376-bd8c-911592840aa9.jpg" title="材料说.jpg" alt="材料说.jpg"//p

一、项目基本情况项目编号：0664-2260SUMEC787D项目名称：东南大学微纳系统国际创新中心磁控溅射镀膜仪采购预算金额：260.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：260.0000000 万元（人民币）采购需求：东南大学微纳系统国际创新中心采购磁控溅射镀膜仪 一套本项目接受进口产品。合同履行期限：合同签约后12个月到货安装调试合格。本项目( 不接受 )联合体投标。二、申请人的资格要求：1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；2.落实政府采购政策需满足的资格要求：本项目若符合扶持福利企业、促进残疾人就业、支持中小微企业、支持监狱和戒毒企业等政策， 将落实相关政策。3.本项目的特定资格要求：（1）供应商必须是所投产品的制造商或代理商，若投标人不是投标产品制造商的，投标人必须具有下列授权文件之一（本条只适用于进口产品）：a.供应商必须提供制造商出具的授权函正本； b.制造商的国内全资子公司出具的授权函正本； c.制造商对授权的区域代理商出具的授权函复印件及该区域代理商出具的授权函正本； d.投标人取得的产品代理证书复印件(正本备查)。4.拒绝下述供应商参加本次采购活动：（1）供应商单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动。（2）凡为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加本项目的采购活动。（3）供应商被“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）、“中国政府采购网"(www.ccgp.gov.cn)列入失信被执行人、税收违法黑名单、政府采购严重违法失信行为记录名单。三、获取招标文件时间：2023年01月05日 至 2023年01月11日，每天上午9:00至11:00，下午14:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）地点：线上方式：在线获取售价：￥600.0 元，本公告包含的招标文件售价总和四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点提交投标文件截止时间：2023年01月29日 09点30分（北京时间）开标时间：2023年01月29日 09点30分（北京时间）地点：南京市长江路198号苏美达大厦辅楼303会议室,五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其他补充事宜申请人的资格要求：1、满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定：（1）具有独立承担民事责任的能力（提供法人或者其他组织的营业执照，自然人的身份证明）；（2）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度（提供参加本次政府采购活动前半年内（至少一个月）的会计报表或者上一年度的财务审计报告，成立不足一年的提供开标前六个月内的银行资信证明原件。）；（3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力（根据项目需求提供履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料）； （4）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录（提供参加本次政府采购活动前半年内（至少一个月）依法缴纳税收和社会保障资金的相关材料）；（5）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录（提供参加本次政府采购活动前3年内在经营活动中没有重大违法记录的书面声明）（格式见后附件）。（6）法律、行政法规规定的其他条件。2、凭以下材料获取：（1）获取采购文件材料：1、营业执照【复印件加盖公章，扫描件】2、介绍信或者法定代表人授权书【原件加盖公章，扫描件，开具日期不得早于公告日期】3、委托代理人身份证【复印件加盖公章，扫描件】4、采购文件获取登记表word版【详见招标公告附件】（2）凡有意参加本次采购活动的供应商必须提供第（1）条规定证件登记并获取，不按规定获取的视为获取失败。3、我司提供了在线获取采购文件服务，操作流程如下：（1）、用微信关注我司公众号“苏美达达天下”。（2）、进入公众号-“在线服务”-“在线购标”。（3）、输入本项目的项目编号，举例：0664-2260SUMEC787D，点击查询。添加您所要获取的采购文件到购物车，输入投标单位名称、领购人信息以及发票信息，提交订单并确认微信支付，支付完成后将报名材料扫描件和登记表word版一并发至采购代理机构联系人：焦立阳，邮箱：jiaoly_work@163.com 即可，我们将会把采购文件电子版发送到领购人的邮箱。注意事项：（1）确保领购人邮箱真实准确无误，电子版采购文件将发送到此邮箱。（2）目前标书费发票支持开标现场领取或者顺丰到付。（3）“苏美达达天下”付款平台填写的投标单位名称必须与开票信息一致。如不一致投标人自行承担后果。请认真填写领购人信息及发票信息。（4）非采购代理机构或平台公司原因，发票一经开具不予退换。4、疫情防控期间注意事项（本项目采取在线流程）：在线流程：因疫情原因，本项目进行线上开标，请供应商尽量提前准备投标文件，以便及时送达代理机构指定的地点。供应商按照不见面开标通知（附件1）的要求参加开标会议。如因投标文件未及时送至代理机构造成的后果由供应商自负。七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名称：东南大学地址：南京市玄武区四牌楼2号联系方式：技术咨询：微纳系统国际创新中心：贺老师 电话：025-83792632 分机号8806； 实验室与设备管理处：刘加彬 电话：025-83792693。2.采购代理机构信息名称：苏美达国际技术贸易有限公司地址：南京市长江路198号苏美达大厦联系方式：项目联系人：杨 扬、焦立阳 电话：025-84532455、025-845324523.项目联系方式项目联系人：杨 扬、焦立阳电话：025-84532455、025-84532452

项目编号：N5101012023000011项目名称：红外光谱仪、磁控溅射镀膜机、X-射线衍射仪采购项目采购方式：公开招标预算金额：2,400,000.00元采购需求：详见采购需求附件合同履行期限：采购包1：自合同签订生效后起10日内采购包2：自合同签订生效后起10日内采购包3：自合同签订生效后起10日内本项目是否接受联合体投标：采购包1：不接受联合体投标采购包2：不接受联合体投标采购包3：不接受联合体投标8a69c98f85909e000185957d38207018.docx

据广州南沙发布消息，6月28日，广州市南沙区在明珠湾大桥桥面举办重大项目集中签约动工竣工（投产）暨明珠湾大桥通车活动。76个项目于当天集中签约、动工竣工（投产），涵盖新能源汽车、芯片等先进制造产业。在当天的签约仪式上，10个重点项目分两批进行现场签约，总投资额160亿元，达产产值796亿元，其中包括湾区半导体高端设备智造基地。据介绍，湾区半导体高端设备智造基地是先导集团拟在南沙投资建现代化的半导体设备产业园，项目建成后拥有生产各类镀膜沉积设备、磁控溅射设备、离子蚀刻设备及交钥匙工程的综合生产能力。先导集团目前已掌握核心专利和工艺技术，项目产品将拥有100%自主产权，满足半导体产业链国产化替代的需求。广州南沙发布消息指出，目前，南沙正积极促进第三代半导体与新能源汽车产业的融合创新，成立第三代半导体创新中心，形成以晶科电子、芯粤能、爱思威为代表，以联晶智能、芯聚能为龙头的从晶圆生产到芯片设计、封装及应用的第三代半导体全产业链，为将来三千亿级新能源汽车产业集群发展提供“芯”能量。

近年来，随着量子材料研究的兴起对薄膜制备方法的需求更加的多样化，而传统的薄膜制备设备往往只有一种薄膜制备功能，制备一个样品就需要先后在不同的设备中进行操作，并且容易对样品的性质造成破坏，也需要更多的科研经费投入。英国Moorfield Nanotechnology公司立足于多种成熟的薄膜制备设备，并长期收集用户的需求并对产品线进行不断的优化丰富，以满足各种个性化的实验需求。针对目前日趋多样化的需求，Moorfield Nanotechnology公司全新推出了台式高精度溅射与热蒸发系统——nanoPVD ST15A。该系统可以集成金属/绝缘体溅射、金属热蒸发、有机物蒸发功能，在同一台设备中可以实现多种制备手段的组合，将薄膜制备带入了新的高度。有别于传统台式系统仅用于制备电极等简单用途，nanoPVD ST15A系统是真正的学术研究级设备，可以制备多种高质量的薄膜样品。体统通过7英寸触摸屏控制，自动化程度高，各种制备方式可以自由切换。用户可以通过灵活的制备手段在在同一台设备中制备不同的薄膜或者是复合薄膜。nanoPVD ST15A外观图设备技术特点☛ 台式设备配置灵活☛ 磁控溅射、热蒸发、有机物蒸发☛ 三种制备手段可灵活组合☛ 可制备金属、有机物、电介质薄膜☛ 多达3个流量计控制过程气体☛ 高精度自动气压控制选件☛ 全自动触屏操作系统☛ 基片大至4英寸☛ 可选基片加热☛ 本底真空5 × 10-7 mbar☛ 可选共溅射（蒸发）功能☛ 可选晶振膜厚标定功能☛ 定义保存多个制备程序☛ 全面的安全性设计☛ 超净间兼容☛ 稳定的性能左：nanoPVD ST15A 双蒸发源与磁控溅射组合，右：系统的样品台与挡板 背景介绍Moorfield Nanotechnology是英国材料科学领域高性能仪器研发公司，成立25年来专注于高质量的薄膜生长与加工技术，拥有雄厚的技术实力，推出的多种高性能设备受到科研与工业领域的广泛好评。Moorfield公司近十年来与曼彻斯特大学诺奖技术团队紧密合作，推出的台式高精度薄膜制备与加工系列产品由于其体积小巧、性能优异、易于操作更是受到很多科研单位的赞誉。这些设备已经进入了欧洲多所科研院所的实验室，诸如曼彻斯特大学、剑桥大学、帝国理工学院、诺森比亚大学、巴斯大学、埃克塞特大学、伦敦玛丽女王大学、哈德斯菲尔德大学、莱顿大学、亚森工业大学、西班牙光子科学研究所、英国国家物理实验室等单位都是Moorfield Nanotechnology的用户和长期合作者。诸多的用户与合作者让产品的性能和设计理念得到了高速发展，并迈入全球化的进程。Quantum Design中国子公司与Moorfield Nanotechnology正式合作，作为中国的代理和战略合作伙伴，为中国用户提供高性能的设备与优质的服务。除了台式设备之外我们还提供多种大型设备和定制服务。目前国内已有包括清华大学、西湖大学、大连理工大学、广东工业大学、中科院等多个单位采购了不同型号的Moorfield高性能薄膜制备与加工设备。

为了支撑集成电路产业快速发展，集成电路高端装备制造已经上升为国家战略。破解集成电路产业“卡脖子”问题，一大关键是实现高端装备制造的自主可控。（1）自主创新面向后摩尔时代集成电路领域高水平科技自立自强的重大需求，亟需打破垄断、突破相关高端装备关键制造技术。北京航空航天大学赵巍胜教授团队创新突破超高精度复杂薄膜制备、多靶超高真空共溅射技术，超高真空下超快磁光测量技术，离子束调控设备高真空集成、离子束能量连续精确调节技术，超高真空互联和无磁传输技术，研制全球首套原子尺度界面自旋电子的原位实时表征与调控系统，应用于自旋芯片相关技术研究，并对关键技术突破进行产业化应用推广。超高真空磁控溅射设备（2）追求卓越团队从2017年开始进行自旋芯片制造和测试核心设备工程化开发：超高真空磁控溅射设备，薄膜沉积精度达到单原子层级别；多物理场高分辨率磁光克尔显微镜，关键技术指标如磁场反应特征时间达到400 ns；晶圆级磁光克尔测试仪可用于自旋芯片生产过程中的晶圆薄膜性质精确表征。系列自旋芯片材料制备和表征仪器的研制成功和推广应用，填补了相关领域的空白，促进了我国自旋芯片和集成电路产业的独立自主发展。晶圆级磁光克尔测试仪（3）产学研结合目前团队基于技术推广应用，联合致真精密仪器（青岛）有限公司和合肥致真精密设备有限公司两家仪器设备公司，完成超高真空高精度磁控溅射仪等3类设备的研制和量产，相关成果已应用于清华大学、中科院物理所、北京超弦存储器研究院、中国电科集团、电子科技大学、上海科技大学、中国计量大学、吉林大学等行业顶尖单位，实现了集成电路领域若干“卡脖子”设备的国产替代，推动了自旋芯片产业发展，取得了显著的经济效益和社会效益，累计创造经济产值7000余万元。2023年10月，“原子尺度界面自旋电子的原位实时表征与调控系统”项目荣获中国仪器仪表学会科技进步一等奖。

p　　近日，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室金春水研究团队在极紫外多层膜膜厚分布超高精度控制研究方面取得新进展：通过采用遗传算法，实现了Φ200mm曲面基底上极紫外多层膜膜厚分布控制精度优于± 0.1%，镀膜引起的不可补偿面形误差小于0.1nmRMS，相关指标达到国际先进水平。相关结果在线发表于近期的Optics Letters(dx.doi.org/10.1364/OL.40.003958)上。/pp　　极紫外多层膜反射镜是极紫外光刻系统的核心光学元件。极紫外光刻系统需要高性能的极紫外多层膜，包括高反射率、低应力、高稳定性和高均匀性。对于极紫外光刻系统中的投影物镜，必须对镀制在其上的极紫外多层膜进行超高精度的膜厚分布控制，以便实现波长匹配和减小镀膜引起的面形误差。/pp　　该研究团队采用遗传算法，完成了磁控溅射源特性参数的反演和用于控制膜厚分布的公转调速曲线的反演，避免了直接测量磁控溅射速率空间分布的繁琐过程，减少了极紫外多层膜膜厚控制工艺的迭代次数，大大降低了获得超高膜厚分布精度极紫外多层膜反射镜的工艺成本。/pp　　该工作得到了“国家科技重大专项-02专项”项目经费的支持。/pp style="text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201512/insimg/23f88bde-dfca-408c-bbba-0cd143198760.jpg" title="W020151215486777681302.png" width="600" height="225" border="0" hspace="0" vspace="0" style="width: 600px height: 225px "//pp style="text-align: center "长春光机所极紫外多层膜膜厚分布超高精度控制研究获进展/ppbr//p

x射线多层膜在静态和超快x射线衍射中的应用x射线光学组件类型根据x射线和物质作用的不同原理和机制，目前主流的x射线光学组件可以大致分为四类：以滤片、窗片、针孔光阑为代表的吸收型组件；基于反射，全反射原理的各种镜片以及毛细管、波导等反射型器件，还有基于折射原理的各种复折射镜。而本文的主题多层膜镜片，其底层原理和晶体、光栅、波带片一样，都是基于衍射原理。吸收型反射型折射型衍射型滤片窗口针孔/光阑镜片：kb、wolter、超环面镜… … 毛细管：玻璃毛细管、金属镀层毛细管复折射镜：抛物面crl、菲涅尔crl、马赛克crl、… … 晶体光栅多层膜波带片多层膜的原理和工艺一般来说，反射型镜片存在“掠射角小、反射率低”的问题。而多层膜镜片则是通过构建多个反射界面和周期，并使反射界面等周期重复排列，相邻界面上的反射线有相同的相位差，就会发生干涉，如果相位差刚好为2pi的整数倍，则会干涉相长，得到强反射线。从布拉格公式可以看出：多层膜就是通过对d值的控制，来实现波长选择的人工晶体。而在工艺实现方面，目前制备x射线多层膜镜的主要工艺有：磁控溅射、电子束蒸镀、离子束蒸镀。一般使用较多的是磁控溅射或离子束镀膜工艺，即在基板上交替沉积金属和非金属层，通过选择材料，控制镀膜的厚度及周期的选定，实现对硬x射线到真空紫外波段的光的调制。上图为来自德国incoatec的四靶材磁控溅射镀膜系统。可实现多种膜系组合的高精度镀膜。[la/b4c]40 多层膜b-kα（183ev）用多层膜，d：10nm单层膜厚：1-10nm0.x nm的镀膜精度tem: 完美的镀层界面frank hertlein, a.e.m. 2008上图为40层la-b4c多层膜的剖面透射电镜图像和选区电子衍射，弥散的衍射环说明膜层是非晶结构。同时可以明显看到：周期为10nm的膜层界面非常清晰和规则。这套镀膜系统可获得0.x nm的镀膜精度。多层膜的特点示例—单色和塑形多层膜最显著的特点和优势在于可以通过基底的面型控制和镀层的膜厚控制，将x光的塑形和单色统一起来。当然，这是以精度极高的镀膜工艺为前提。下图的数据展示了进行梯度渐变镀膜时，从镜片一端到另一端镀膜的周期设计数值 vs. 实际工艺水平。可以看到：长度为150mm的基底上，单层镀膜膜厚需要控制在3.8-5.7nm，公差需要在1%以内。相当于在1500公里的长度上，厚度起伏要控制mm水平。这是非常惊人的原子层级的工艺水平。frank hertlein, a.e.m. 2008通过面型控制来实线x射线的塑形；通过极高精度的膜厚控制实现2d值渐变—继而实现单色；0.x nm尺度的镀膜误差——需要具备原子层级的工艺水平！多层膜的特点示例—带宽和反射率除了可以通过曲面基底和梯度镀膜实现对x光的塑形和单色，还可通过对膜层材料、膜厚、镀膜层数等参数的设计和控制，来实现带宽和反射率的灵活调整。如窄带宽的高分辨多层膜，以及宽带宽的高积分反射率多层膜。要实现高分辨：首先要选择对比度较低的镀膜材料，如be、c、b4c、或al2o3；其次减小膜的厚度，多层膜的厚度降为10~20å；最后增加镀膜层数，几百甚至上千。from c. morawe, esrf多层膜的特点示例—和现有器件的高度兼容左侧: [ru/c]100, d = 4 nm r 80% for 10 e 22 kev中间: si111 δorientation0.01°右侧: [w/si]100, d = 3 nm r 80% for 22 e 45 kevdcmm at sls, switzerland, m. stampanoni精密、灵活的膜层设计和镀膜控制镀膜材料的组合搭配；d/2d值的设计和控制；带宽和反射率的灵活调整。和现有器件的高度兼容多层膜主流应用方向目前，多层膜的主流应用方向和场景主要有：粉末、x射线荧光、单晶衍射以及同步辐射的单色、衍射、散射装置搭建。粉末衍射x射线荧光单晶衍射同步辐射基于dac的原位高压静态x射线衍射典型的静高压研究中，常利用金刚石对顶砧来获得一些极端条件。在极端的高压、高温下，利用x射线来诊断新的物相及其演化过程是重要的研究手段。x-ray probe利用金刚石对顶砧可以获得极端条件(数百gpa, 几千°c) 利用x射线探针来诊断和发现新物相；由于对x光源、探测器以及实验技术等方面的苛刻要求，尤其是需要将微束的x光，精准的穿过样品而不打到封垫上。长期以来，基于dac的x射线高压衍射实验只能在同步辐射实现。但同步辐射有限的机时根本无法满足庞大的用户需求。不能在实验室进行基于dac的x射线高压衍射实验和样品筛选，一直是广大高压科研群高压衍射实验室体的一大痛点。以多层膜镀膜工艺为技术核心，将多层膜镜片与微焦点x光源耦合，我们可以为科研用户提供单能微焦斑x射线源，使得在实验室实现高压衍射成为可能。下图是利用mo靶（左）和ag靶（右）单能微焦斑x射线源获得的dac加载下的lab6样品的衍射图。曝光时间300s，探测器为ip板，样品和ip板距离为200mm。可以看到：300s曝光获得的衍射数据质量是可接受的。特别地，对于银靶，由于其能量更高，可以压缩倒易空间，在固定的2thelta角范围内，可以获得更多的衍射信息，这对于很多基于dac的静高压应用来说非常有吸引力。dac加载下的lab6样品的衍射数据：多层膜耦合mo靶（左）和ag靶（右）曝光时间300s，探测器为ip板，样品和ip板距离为200mmbernd hasse, proc. of spie vol. 7448, 2009 (doi: 10.1117/12.824855)基于激光驱动超快x射线衍射在利用激光驱动的x射线脉冲进行超快时间分辨研究中，泵浦探针是常用的技术手段。脉宽为几十飞秒的入射激光经分束后，一路用于激发超快x射线脉冲，也就是探针光；另一路经倍频晶体倍频作为泵浦光。通过延时台的调节，控制泵浦激光和x射线探针到达样品的时间间隔，可实现亚皮秒量级时间分辨的测量。而在基于激光驱动的超快x射线衍射实验中，如何提升样品端的光通量？如何获得低发散角的单色光束？如何抑制飞秒脉冲的时间展宽？如何同时兼顾以上的实验要求？都是需要考虑的问题。很多时候还需要兼顾多个技术指标，所以我们非常有必要对各类光学组件和x射线飞秒脉冲源的耦合效果和特点有一个比较清晰的认知。四种光学组件和激光驱动x射线源的耦合效果对比首先我们先对弯晶、多层膜镜、多毛细管和单毛细管四种组件的聚焦效果有个直观的了解。以下是将四种光学组件和激光驱动飞秒x射线源耦合，然后进行了对比。四种光学组件在聚焦和离焦位置的光斑：激光参数：800nm/1khz/5mj/45fs源尺寸：10um 打靶产额：4*109 photons/s/sr这是四种组件的理论放大倍率和实测聚焦光斑的对比。可以看到：弯晶和多层膜的工艺控制精度很高，实测光斑和理论值比较接近。而毛细管的大光斑并不是工艺精度的误差，而是反射型器件的色差导致的，不同能量的光都会对聚焦光斑有贡献，导致光斑较大。而各种组件的工艺误差，导致的强度不均匀分布，则是在离焦位置处的光斑中得到较为明显的体现。ge(444)双曲弯晶多层膜镜片单毛细管多毛细管放大倍率1270.7收集立体角 (sr)+---++反射率--+++-有效立体角 (sr)---+++1维会聚角 (deg)+---++耦合输出通量(ph/s)---+++聚焦尺寸 (μm)2332155105光谱纯度好好差差时间展宽 (fs)++++--激光参数：800nm/1khz/5mj/45fs打靶产额：4*109 photons/s/sr等级: ++ + - --利用针孔+sdd，在单光子条件下，测量有无光学组件时的强度和能谱，可以推演出相应的技术参数。这里我们直接给出了核心参数的总结对比。其中，大多数用户最为关注，同时也是对于实验最为重要的，主要是有效立体角、输出光通量、光谱纯度和时间展宽。可以看到：典型的有效收集立体角在-4、-5sr的水平，而在样品上的输出光通量在5-6次方每秒这样的水平。但是需要指出的是：毛细管并不具备单色的能力，虽然有效立体角大，但输出的是复色光。对于时间展宽的比较，很难通过实验手段获得测量精度在几十到百飞秒水平的结果，所以主要通过理论分析和计算来获得。对于同为衍射型组件的ge(444)双曲弯晶和多层膜镜片，光程差引入项主要是x光在组件内的贯穿深度。对于ge(444)，8kev对应的布拉格角约为70度，x光的衰减长度约为28um，对应的时间展宽约90fs。对于多层膜镜片，因为它属于掠入射型的衍射组件，x光的衰减长度在um量级，对应的时间展宽甚至可以到10fs水平，因此这里的数据相对比较保守的。而对于毛细管这种反射型器件，光程差引入项主要是毛细管的长度差。对于单毛细管，光程差在10fs水平，对于多毛细管，位于中心区域和边缘的子毛细管长度是有较大的差异的，光程差可达ps水平。小结1. 弯晶：单色性好、时间展宽较小、有效立体角小、输出通量低；2. 多层膜：单色性好、时间展宽较小、有效立体角大、kα输出通量高；3. 单毛细管：复色、时间展宽很小、有效立体角大、复色光通量高；4. 多毛细管：复色、时间展宽较大、有效立体角最大、复色光通量最高。每一种光学组件都有其适用的场景，对于非单色的超快应用，如超快荧光、吸收谱，毛细管可能更为合适，而对于追求单色的超快应用，如超快衍射，多层膜是比较好的选择，兼顾了单色性、时间展宽和有效立体角（输出通量）三个核心指标！如果您有任何问题，欢迎联系我们进行交流和探讨。北京众星联恒科技有限公司致力于为广大科研用户提供专业的x射线产品及解决方案服务！

一、项目基本情况1、项目编号：豫财招标采购-2023-12202、项目名称：河南省科学院中原量子谷仪器共享中心四期建设项目3、采购方式：公开招标4、预算金额：29,311,200.00元最高限价：29311200元序号包号包名称包预算（元）包最高限价（元）1豫政采(2)20231986-1包1：X射线光电子能谱仪644000064400002豫政采(2)20231986-2包2：X射线粉末射仪（落地式）、电子顺磁共振波谱仪、磁控溅射镀膜系统、热蒸发镀膜仪、电化学工作站953120095312003豫政采(2)20231986-3包3：有机元素分析仪、傅里叶变换红外光谱仪、瞬态稳态荧光光谱仪、原子力显微镜616400061640004豫政采(2)20231986-4包4：电感耦合等离子体发射光谱仪、拉曼光谱仪、高级流变仪拓展系统、形状测量激光显微系统、圆二色谱仪717600071760005、采购需求（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等）5.1项目地点：郑州（采购方指定地点）5.2招标范围：河南省科学院中原量子谷仪器共享中心四期建设项目：包含X射线光电子能谱仪、X射线粉末射仪（落地式）、电子顺磁共振波谱仪、磁控溅射镀膜系统、热蒸发镀膜仪、电化学工作站、有机元素分析仪、傅里叶变换红外光谱仪、瞬态/稳态荧光光谱仪、原子力显微镜、电感耦合等离子体发射光谱仪、拉曼光谱仪、高级流变仪拓展系统、形状测量激光显微系统、圆二色谱仪等仪器配套设施的采购、安装、调试、验收及质保服务等工作。5.3标包划分：本招标项目共划分两个标包。5.4计划供货安装周期：包1：签订合同后240日历天内完成供货、安装；包2：签订合同后180日历天内完成供货、安装；包3：签订合同后180日历天内完成供货、安装；包4：签订合同后180日历天内完成供货、安装。5.5质量要求：合格，满足采购人要求。6、合同履行期限：详见招标文件要求。7、本项目是否接受联合体投标：否8、是否接受进口产品：是9、是否专门面向中小企业：否二、获取招标文件1.时间：2023年11月21日 至 2023年11月27日，每天上午00:00至12:00，下午12:00至23:59（北京时间，法定节假日除外。）2.地点：登录河南省公共资源交易中心（http://www.hnggzy.net）；3.方式：凭CA密钥市场主体登录并在规定时间内按网上提示下载招标文件及资料；投标人需要完成信息登记及CA数字证书办理，才能通过省公共资源交易平台参与交易活动，具体办理事宜请查询河南省公共资源交易中心网站-公共服务-办事指南-新交易平台使用手册（培训手册））。4.售价：0元三、凡对本次招标提出询问，请按照以下方式联系1. 采购人信息名称：河南省科学院地址：郑州市郑东新区龙子湖湖心岛崇德街与明理路交叉口西南角联系人：何老师联系方式：0371-657200102.采购代理机构信息（如有）名称：河南豫信招标有限责任公司地址：郑州市郑东新区商务外环路3号中华大厦16、19层联系人：周圆芳 刘梦柯 李玉龙 张娜联系方式：0371-69092276/613119023.项目联系方式项目联系人：周圆芳 刘梦柯 李玉龙 张娜联系方式：0371-69092276/61311902

想解决这些问题吗？如何利用荧光技术检测发光材料的荧光增强？如何利用荧光光谱测定光学微腔自吸收效应？如何表征宽禁带结构半导体的光电特性？如果你对以上问题感兴趣，那就来参加HORIBA举办的在线讲座吧！本次讲座我们特别邀请了北京工业大学副研究员、博士生导师闫胤洲老师和郑州大学材料学院沈永龙老师，分享科研过程中荧光和拉曼应用研究经历，课程结束后更有现场交流，干货满满~前沿课题分享，导师现场答疑！如果你在科研中有什么疑问，不要错过这次机会~只需电脑和网络，无需付费光谱应用知识就能轻松享，还不赶紧来报名！1课程安排14:00-14:30荧光光谱技术在介电微腔荧光增强及宽禁带结构半导体材料表征中的应用——闫胤洲老师14:30-14:40问题交流&答疑14:50-15:20拉曼光谱在材料领域的应用——沈永龙老师15:20-15:30问题交流&答疑2讲座内容报告主题：荧光光谱技术在介电微腔荧光增强及宽禁带结构半导体材料表征中的应用报告摘要：本报告将介绍本课题组采用荧光光谱技术在介电微腔荧光增强及宽禁带结构半导体光电特性表征方面的研究进展。在荧光材料表面构建介电微球腔阵列实现发光材料的荧光增强，利用荧光光谱技术阐述了微球腔聚焦、光学回音壁及定向天线效应在荧光增强中的贡献，提出了非表面等离激元介入的荧光定向发射增强的新方法。在宽禁带半导体微米管微腔器件表征方面，通过变温荧光技术实现了半导体中受主态相关的激子发光峰指认，采用紫外超短脉冲泵浦半导体回音壁微腔实现了低阈值紫外激射探测，利用角分辨稳态/瞬态紫外荧光技术揭示了微米管结构半导体光学微腔自吸收效应，为高效耦合微纳光子器件的研发奠定基础。3嘉宾介绍北京市海聚工程青年人才，北京市科技新星。承担多项国家自然科学基金项目、北京市科委及教委项目，主要研究领域包括：介电微腔光散射调控技术，介观半导体光电器件制备及表征技术，光学超分辨成像技术，3D打印技术等。在基于介电微腔的光学超分辨成像和光散射光谱增强技术等方面取得多项研究成果，相关成果在ACS Nano, Light: Science & Applications, NPG Asia Materials, ACS Applied Materials & Interfaces, Optics Express等期刊发表论文40余篇，他引300余次。沈永龙，2010-2015年就读于英国博尔顿大学材料科学专业，2015年获哲学博士学位。主要研究方向为：氧化物半导体及其器件、薄膜材料、材料结构高分辨表征。长期从事氧化物半导体薄膜研究，主要采用磁控溅射办法制备具有不同物理性能的半导体薄膜材料，以及相关半导体器件的研制。作为项目负责人先后获得国家自然科学基金—青年项目和国家博后基金面上项目资助，在Acta materialia, JMCA和Applied Catalysis B：Environmental等发表多篇文章。现在主要负责中心实验室大型设备（拉曼，透射电镜，球差电镜，X射线衍射，FIBs）培训，日常维护，操作等。4报名方式识别查看二维码快速报名注：本次培训课程仅接受仪器使用者报名。别急，还没结束，我们的拉曼课题正在准备中，更多活动信息，敬请期待下次通知！ HORIBA Optical SchoolHORIBA一直致力于为用户普及光谱基础知识，旗下的Jobin Yvon更有着200年的光学、光谱经验，HORIBA非常乐意与大家分享这些经验，为此特创立Optical School（光谱学院）。无论是刚接触光谱的学生，还是希望有所建树的研究者，都能在这里找到适合的资料及课程。 HORIBA希望通过这种分享方式，使您对光学及光谱技术有更系统、全面的了解，不断提高仪器使用水平，解决应用中的问题，进而提升科研水平，更好地探索未知世界。

想解决这些问题吗？如何利用拉曼光谱测定半导体的结构信息？ 如何利用荧光技术检测发光材料的荧光增强？如何表征宽禁带结构半导体的光电特性？如果你对以上问题感兴趣，那就来参加HORIBA举办的在线讲座吧！本次讲座我们特别邀请了北京工业大学副研究员、博士生导师闫胤洲老师和郑州大学材料学院沈永龙老师，分享科研过程中荧光和拉曼应用研究经历，课程结束后更有现场交流，干货满满~前沿课题分享，导师现场答疑！如果你在科研中有什么疑问，不要错过这次机会~只需电脑和网络，无需付费光谱应用知识就能轻松享，还不赶紧来报名！1课程安排14:00-14:30荧光光谱技术在介电微腔荧光增强及宽禁带结构半导体材料表征中的应用——闫胤洲老师14:30-14:40问题交流&答疑14:50-15:20共聚焦显微拉曼光谱在金属氧化物半导体结构中的应用——沈永龙老师15:20-15:30问题交流&答疑2讲座内容报告主题1：荧光光谱技术在介电微腔荧光增强及宽禁带结构半导体材料表征中的应用——闫胤洲老师报告摘要：报告将介绍如何在荧光材料表面构建介电微球腔阵列实现发光材料的荧光增强，并利用荧光光谱进行表征；以及通过变温及时间分辨荧光技术研究半导体中相关的激子发光峰指认和微腔表征这两个部分。报告主题2：共聚焦显微拉曼光谱在金属氧化物半导体结构中的应用。——沈永龙老师报告摘要：通过拉曼光谱分析谱峰的位置，位移，半高宽，相对强度，确定半导体的空间结构，应力，缺陷和结晶度等。同时通过固定频率记录拉曼光谱强度随空间点的变化，可以获得结构及缺陷在材料中的分布。3嘉宾介绍闫胤洲北京工业大学副研究员北京工业大学博士生导师、北京市海聚工程青年人才，北京市科技新星，承担多项国家自然科学基金项目、北京市科委及教委项目。研究方向：介电微腔光散射调控技术，新型结构半导体光电器件，光学超分辨成像技术，3D打印技术等。在基于介电微腔的光学超分辨成像和光散射光谱增强技术等方面取得多项研究成果，相关成果在ACS Nano, Light: Science & Applications, NPG Asia Materials, ACS Applied Materials & Interfaces, Optics Express等期刊发表论文40余篇，他引300余次。沈永龙郑州大学材料学院2010-2015年就读于英国博尔顿大学材料科学专业，2015年获哲学博士学位。研究方向氧化物半导体及其器件、薄膜材料、材料结构高分辨表征。长期从事氧化物半导体薄膜研究，主要采用磁控溅射办法制备具有不同物理性能的半导体薄膜材料，以及相关半导体器件的研制。先后获得国家自然科学基金—青年项目和国家博后基金面上项目资助，在Acta materialia, JMCA和Applied Catalysis B：Environmental等发表多篇文章。现在主要负责中心实验室大型设备（拉曼，透射电镜，球差电镜，X射线衍射，FIBs）培训，日常维护，操作等。4报名方式识别查看二维码快速报名注：本次培训课程仅接受仪器使用者报名。 HORIBA Optical SchoolHORIBA一直致力于为用户普及光谱基础知识，旗下的Jobin Yvon更有着200年的光学、光谱经验，HORIBA非常乐意与大家分享这些经验，为此特创立Optical School（光谱学院）。无论是刚接触光谱的学生，还是希望有所建树的研究者，都能在这里找到适合的资料及课程。 HORIBA希望通过这种分享方式，使您对光学及光谱技术有更系统、全面的了解，不断提高仪器使用水平，解决应用中的问题，进而提升科研水平，更好地探索未知世界。

仪器是科学创新的重要基础和条件，科学发现不仅仅需要理论创新，还需要依靠仪器进行实验观察和检测。中科院宁波材料所，作为新材料及相关领域的重要研究基地和技术提供者，至2021年12月底，共承担了各类科研项目5300多项，累计发表论文7200多篇，累计申请专利近5200件，授权专利近2700件，这一系列成果的取得离不开仪器的支持。为进一步开展科研，中科院宁波材料所于近日公布了一批仪器类政府采购意向，采购项目涉及高温凝胶色谱、扫描探针显微镜、核酸质谱分析系统、Micro-CT、核磁共振波谱仪、3D金属打印机等，预算金额相加达1.02亿元，预计采购时间为2022年6-11月。中科院宁波材料所2022年6-11月政府采购意向汇总表序号采购项目预算金额（万元）预计采购日期项目详情1超高真空多靶磁控溅射系统1996月详情链接2高温凝胶色谱1806月详情链接3真空压力浸渍炉一台2156月详情链接4高频矢量网络分析仪2506月详情链接5扫描探针显微镜SPM/AFM1796月详情链接6氧氮氢分析仪1106月详情链接7全电动磁场成型压机1996月详情链接8微束定点离子刻蚀修复系统3646月详情链接9涵道测试大功率直流电源86.36月详情链接10地面综合测试直流电源526月详情链接11涵道风扇测力试验台906月详情链接12三轴转台836月详情链接13无人机测控系统4006月详情链接14AVDIM管理软件656月详情链接15地面综合测试设备3506月详情链接16混合动力综合能源试车台及管理系统60011月详情链接17发动机15011月详情链接18发电机10011月详情链接19电池20011月详情链接20综合控制器10011月详情链接21飞控系统12011月详情链接22组合导航系统6011月详情链接23海水电解10 kW设备20010月详情链接24Power-to-X(P2X)-高通量测试分析系统15010月详情链接25千克级装填量固定床催化加氢装置20010月详情链接26小面积燃料电池评价系统17510月详情链接27全尺寸燃料电池评价系统19210月详情链接28热熔挤压机18510月详情链接29核酸质谱分析系统37010月详情链接30超灵敏蛋白组学检测系统26010月详情链接31Micro-CT32010月详情链接32600MHz（低温）核磁共振波谱仪99010月详情链接33等温滴定微量热仪11510月详情链接34自动化飞秒瞬态吸收光谱仪44610月详情链接35双通道型台式三维原子层沉积系统23410月详情链接36X射线吸收精细结构谱仪36810月详情链接37岱山液态聚碳硅烷工程化装置35010月详情链接38无液氦综合物性测量系统50010月详情链接39互联磁控溅射系统22010月详情链接40X射线机29810月详情链接41中型3D金属打印机40010月详情链接42100L聚酯反应系统10310月详情链接

微塑料通常被定义为尺寸小于5 mm的塑料碎片，在海洋、陆地、淡水系统中均有所发现，对环境安全和生物健康均有一定程度的影响。更令人担忧的是，微塑料通过机械磨损、光降解和生物降解等作用会进一步分解，形成尺寸更小的微塑料甚至是纳米塑料。它们的危害可能更大，因为它们可以穿过生物膜并容易在不同组织间转移，如果吸入空气中的微纳塑料甚至可以穿过肺组织。据已有的研究显示，应用在微塑料检测的传统技术仅能检测到10 μm 左右的大小，远远不能满足当前和未来研究的需要。因此，迫切需要开发适用于小尺寸微纳塑料的检测新方法。表面增强拉曼光谱（SERS）技术是一种强有力的基于拉曼光谱的原位分析技术。一般来说，分子的拉曼效应很弱。然而，当这些分子被吸附在贵金属（例如金和银）的粗糙表面时，分子的拉曼效应会大大提高。甚至可以在单分子水平上获得高灵敏度。在我们之前的研究工作中，首次报道利用SERS技术实现了环境纳米塑料的检测（EST, 2020, 54(24): 15594）。但是，采用的商业化Klarite基底的高昂成本使其不适宜广泛大规模的应用。因此，本研究利用一种低成本的具有大量有序的V型纳米孔阵列的阳极氧化铝（AAO）模板，通过磁控溅射或离子溅射将金纳米粒子沉积在模板上，开发得到用于小尺寸微纳塑料检测的 SERS 基底（AuNPs@V-shaped AAO SERS substrate）。由于AAO模板中纳米孔阵列特殊的V型结构以及有序规则的排列，使得AuNPs@V-shaped AAO SERS基底可以提供大量“热点”和额外的体积增强拉曼效应，在检测微塑料时表现出高 SERS 灵敏度。图1 摘要图本研究首先使用不同尺寸（1 μm、2 μm和5 μm）的聚苯乙烯（PS）和聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）两种标准样品在AuNPs@V-shaped AAO SERS基底和硅基底上进行检测，并计算相应的增强因子（图2、图3）。结果显示，单个PS和PMMA两种颗粒在硅基底上均不能检测到1 μm的尺寸大小，且其他尺寸的拉曼信号强度也相对较弱。而在AuNPs@V-shaped AAO SERS基底上，在相同的检测条件下，各尺寸的单个PS和PMMA颗粒的拉曼信号强度大大增强，且1 μm的PS和2 μm的PMMA都有拉曼信号检出。增强因子的计算结果显示，使用AuNPs@V-shaped AAO SERS基底检测单个微塑料颗粒可获得最大20倍的增强效果。此外，通过比较磁控溅射和离子溅射两种沉积方式所分别形成的基底检测微塑料的拉曼光谱结果和增强因子计算结果，我们可以得出磁控溅射所形成的基底具有更好的检测性能。这个结果可以联系到SERS基底的扫描电镜表征结果（图4）进行解释，磁控溅射所形成的金纳米层更加细腻平整，而离子溅射所形成的金纳米层出现了一定的团聚，导致形貌结构较为粗糙，因此信号强度有所减弱。图2：PS的拉曼检测。（a）不同尺寸的单个PS颗粒在硅基底上的拉曼光谱；（b）显微镜下不同尺寸的单个PS颗粒在硅基底上的形态分布；（c）不同尺寸的单个PS颗粒在离子溅射形成的SERS基底上的拉曼光谱；（d）不同尺寸的单个PS颗粒在磁控溅射形成的SERS基底上的拉曼光谱；（e）显微镜下不同尺寸的单个PS颗粒在磁控溅射形成的SERS基底上的形态分布；（f）显微镜下不同尺寸的单个PS颗粒在离子溅射形成的SERS基底上的形态分布；（g）增强因子的箱线图。图3：PMMA的拉曼检测。（a）不同尺寸的单个PMMA颗粒在硅基底上的拉曼光谱；（b）显微镜下不同尺寸的单个PMMA颗粒在硅基底上的形态分布；（c）不同尺寸的单个PMMA颗粒在离子溅射形成的SERS基底上的拉曼光谱；（d）不同尺寸的单个PMMA颗粒在磁控溅射形成的SERS基底上的拉曼光谱；（e）显微镜下不同尺寸的单个PMMA颗粒在磁控溅射形成的SERS基底上的形态分布；（f）显微镜下不同尺寸的单个PMMA颗粒在离子溅射形成的SERS基底上的形态分布；（g）增强因子的箱线图。图4：AAO模板和SERS基底的扫描电镜表征。（a）空白的AAO模板；（b）经过离子溅射形成的SERS基底；（c）经过磁控溅射形成的SERS基底；（d）（e）微塑料标准样品在基底上的形态分布。之后，本研究采集了雨水作为大气样品，对基底检测实际样品的能力进行了测试。采集到的雨水样品经过过滤、消解等前处理后，被滴加在基底上进行后续的拉曼检测，获得若干疑似微塑料的拉曼光谱。通过将这些采集到的拉曼光谱与标准微塑料样品的拉曼光谱进行比对，找到了雨水样品中所含有的微纳塑料颗粒，证实了大气中微塑料颗粒的存在以及基底检测实际样品的能力。图5：雨水样品的检测。（a）在基底上发现的疑似微塑料颗粒，尺寸约为2 μm × 2 μm；（b）疑似微塑料颗粒的拉曼光谱。该研究了提出了一种新型的适用于环境微纳塑料检测的低成本SERS基底，具备热点均一、增强效果好的优点，有望推广到环境各介质中微纳塑料的检测，为尺寸更小的纳米塑料检测分析提供了新方法。

热电材料能够实现热电转换，具有安全、节能、环保等优点，近年来备受关注，许多学者也围绕其开展了大量的研究工作。在本文，仪器信息网为大家盘点了热电材料研究实验室常用的制备与表征仪器清单。国内研究热电材料的课题组众多，在小编的雷达范围内，整理归纳了其中四个课题组的仪器展示表格：1.中国科学院上海硅酸盐研究所热电转换材料与器件研究课题组；2.中国科学院金属研究所热电材料与器件课题组；3.同济大学材料科学与工程学院热电课题组；4.哈尔滨工业大学（深圳）材料科学与工程学院热电材料课题组。一、中国科学院上海硅酸盐研究所热电转换材料与器件研究课题组（课题组长：史迅研究员；副组长：柏胜强高级工程师；科研队伍：陈立东研究员、姚琴副研究员、瞿三寅副研究员、仇鹏飞副研究员等）该课题组主要从事高性能热电材料的设计、制备与性能优化以及高性能热电器件的设计、制造与集成方面的研究，主要内容包括：1.声子液体电子晶体材料 (类液态材料)；2.类金刚石结构；3.笼状化合物；4.有机热电材料和有机/无机复合热电材料；5.热电薄膜与微型热电薄膜器件；6.高性能热电器件设计与制造技术；7.热电空调/发电系统设计与集成技术；8.热电材料与器件测量技术。课题组仪器设备展示Seebeck系数和电阻测试系统（ZEM-3）布劳恩手套箱RS50/500型管式炉纳博热（ Nabertherm）LH15/13型箱式炉 放电等离子体快速烧结设备激光导热仪 霍尔系数测试设备电导率及塞贝克系数测试设备 X射线广角/小角衍射设备MSP（Modified Small Punch）试验装置二、中国科学院金属研究所热电材料与器件课题组（课题组长：邰凯平研究员；小组成员：康斯清工程师）该课题组长期从事功能材料设计、制备和性能表征方面的研究工作，以界面性质对材料物理、化学性能调控作用的共性基础科学问题为研究主线，主要研究内容包括：低维热电材料；多物理外场耦合仿真环境原位透射电镜表征；纳米结构抗辐照损伤材料。在原位透射电镜技术领域的成果被Science（350，9886，2015）、Chem Rev（116，11061，2016）、Adv Mater（02519，2016）等期刊评述为近十年来纳米材料原位电镜表征技术领域的关键研究成果，并被编入电子显微学教科书“Transmission Electron Microscopy”（Page 48，Springer，Heidelberg，2016）。课题组仪器设备展示多靶磁控溅射沉积系统-1多靶磁控溅射沉积系统-2热电性能测试设备ALD原子层沉积系统等离子体处理/原位TEM样品杆预抽系统Hall测试系统AFM红外成像显微镜微束/飞秒激光微纳加工系统紫外光刻机电子束/热蒸发镀膜系统3Omega频域法热导率测试系统稳态法热导率测试系统球型焊线机高温管式炉红外快速退火炉自主研制的各种类型原位仿真环境（JEOL/FEI）TEM样品杆三、同济大学材料科学与工程学院热电课题组（课题组长：裴艳中教授；小组成员：李文副教授）该研究小组主要针对当前热电材料转换效率较低这一技术瓶颈，从热电材料所涉及的基本物理及化学问题出发，设计和开发出高转换效率热电材料和器件。立足于前期工作的基础之上，今后具体的研究对象主要集中在半导体材料，研究内容主要包括：1.先进的材料制备方法；2.电、热、光、磁及微观结构的表征方法；3.能源材料性能所隐含的基本物理及化学问题；4.理论指导下的新型能源材料设计和开发；5.其它应用背景的半导体新材料的研究与开发。课题组仪器设备展示自主研制设备霍尔系数/塞贝克系数/电阻率同步测试 2个样品同时测试，300~900K，磁场1.5T塞贝克系数/电阻率同步测试系统 2个样品同时测试，300~1100K室温塞贝克系数测试系统Oxford低温（1.5~400K）与强磁场（12T）综合物理性能（Nernst，Seebeck，Hall系数与电/热导率）测试系统电弧熔炼系统电弧熔炼系统高温热压系统（升温速率＞1000C/min）封装系统材料生长炉商业设备台式扫描电镜&能谱XRDFTIR红外光谱仪声速测定仪激光导热仪惰性气氛手套箱高温熔融炉四、哈尔滨工业大学（深圳）材料科学与工程学院热电材料课题组（课题组长张倩教授，学术顾问刘兴军教授）该课题组正式成立于2016年秋。主要研究方向为：热电半导体能源材料的电声输运调控、热电器件的设计与效率提升，柔性可穿戴发电与制冷器件。采用与相图工程和机器学习相结合的手段，优化传统热电材料，开发新型热电材料，促进热电发电与制冷的大规模商业应用进程。课题组仪器设备展示材料制备系统电弧熔炼炉高频悬浮熔炼炉立式真空管式炉微型金属熔炼炉双工位真空手套箱真空封管系统热压烧结系统放电等离子烧结SPS3D打印机多靶磁控溅射镀膜仪电子束蒸发镀膜仪高温箱式炉高能球磨机井式炉金相研磨抛光机金刚石线切割机性能测试系统激光导热仪-LFA 457差示扫描量热仪-DSC 404同步热分析仪-STA 2500热机械分析仪-TMA 457电阻率/温差电动势测试仪-CTAUV-vis-NIR变温霍尔测试系统变温红外光谱仪发电效率特性测定装置接触电阻测试平台焊接平台需要说明的是，以上仪器设备展示仅根据各课题组网站信息整理，并非各课题组实验室仪器的全部配置。因此，小编特整理了热电材料研究实验室常用的制备与表征仪器清单，供君参考。热电材料研究实验室仪器配置清单热电材料制备常用仪器电子天平马弗炉/电阻炉/管式炉/实验炉鼓风/真空干燥箱材料生长炉磁力搅拌器球磨机超声波清洗机放电等离子烧结SPS离心机悬浮熔炼炉/电弧熔炼炉石墨磨具原子层沉积系统真空/惰性气氛手套箱电子束/热蒸发镀膜设备恒温油浴/水浴锅退火炉游标卡尺3D打印机切割机研磨抛光机热电材料表征常用仪器X射线衍射仪赛贝克系数/电阻率测试系统X射线光电子能谱仪霍尔系数测试设备热重分析仪介电性能测试系统扫描电子显微镜热电转换效率测量系统透射电子显微镜电/热导率测试系统电子探针分析仪声速测定仪热膨胀仪红外光谱仪显微硬度仪热机械分析仪激光热导仪焊接平台差热扫描热量仪综合物理性能测试系统【近期网络会议推荐】3月23日“热电材料表征与检测技术”主题网络研讨会免费报名听会链接：https://www.instrument.com.cn/webinar/meetings/2021RD/

政府不仅从自身采购下手，财政部、商务部、税务总局三部委联合发文《关于研发机构采购设备增值 税政策的公告》明确指出内资研发机构和外资研发中心采购国产设备全额退还增值 税。也就是说只要是研发中心，采购国产设备，一律退回增值 税！国家在用真金白银补贴国产设备！其中，哪些研发机构能够适用政策？哪些国产设备能够退还增值 税？享受退税政策需要做哪些准备？...今天，致真小编带您看看具体内容~↓↓↓素材来源：南宁税务服务号致真精密仪器根据政策要求，通过先进的技术和用心的服务，协助各位老师准确、科学、快速地完成申报，公司拥有以下重点产品：1）原子力显微镜系列产品2）磁控溅射系列设备3）芯片制造与应用教学训练成套系统4）晶圆级低温磁场探针台5）晶圆级全自动磁场探针台......2024年致真精密仪器自研科技仪器清单如下：01原子力显微镜系列科研级原子力显微镜AtomicaPrecision点击图片查看更多产品介绍利用微悬臂探针结构对导体、半导体、绝缘品等固体材料进行三维样貌表征，纵向噪音水平低至0.03 nm(开环），可实现样品表面单个原子层结构形貌图像绘制。可以测量表面的弹性、塑性、硬度、黏着力、磁性、电极化等性质，还可以在真空，大气或溶液下工作，在材料研究中获得了广泛的使用。设备亮点● 多种工作模式● 适配环境：空气、液相● 多功能配置● 稳定性强● 可拓展性良好典型案例晶圆级原子力显微镜Wafer Mapper-M点击图片查看更多产品介绍利用微悬臂探针结构可对导体、半导体、绝缘品等固体材料进行三维样貌表征。样品台兼容12寸晶圆，电动样品定位台与光学图像相结合，可在300X300mm区域实现1μm的定位精度，激光对准，探针逼近和扫描参数调整完全自动化操作。可用于产线，对晶圆粗糙度进行精密测试。设备亮点● 多种工作模式● 适配环境：空气、液相● 可旋转式扫描头● 多功能配置● 稳定性强、可拓展性良好典型案例02磁控溅射系列设备点击图片查看更多产品介绍多功能多靶磁控溅射系统，具有超高真空，单原子层沉积精度的特点。可根据需求配置4 inch以下的圆形阴极，可选择共焦溅射、垂直溅射、自动传输、反应溅射等配置。适用于研发和生产中高精度工艺以及多靶溅射的需求。设备亮点● 超高真空● 单原子层级精准调控● 多靶共溅射● 精确制备● 精确的工艺调控典型案例03多功能磁光克尔显微成像系统KMPL-Spin-X点击图片查看更多产品介绍利用磁光克尔效应，观测磁性材料和器件中的磁化状态的光学显微成像设备。与传统的电学测试相比，磁光克尔显微成像测试能清晰直观了解样品内的磁化状态空间分布和时间演化，适用于磁性材料和自旋电子器件的测试和产品研发。设备亮点● 极向、纵向和横向成像● 垂直/面内磁畴成像● 220nm空间分辨率● 多功能探针台● 多功能控制系统典型案例04低温磁场探针台PS1DX-Cryo点击图片查看更多产品介绍多功能无液氦消耗型的低温探针台，使用4K GM制冷机做冷源以冷却样品，可实现样品温度8K至420K内；配置最大磁场可达士0.65T的面内电磁体；配置4个超稳定微操作探针臂，搭配多规格的探针、电缆、样品托和可用于对直径最大25毫米（1英寸）的样品进行磁电阻、二次谐波和自旋泵浦等直流和微波测试。典型样品包括半导体器件、微纳器件、磁性材料和自旋电子器件等。设备亮点● 样品温度精准控制● 采用GM制冷机作冷源，运行过程无需液氦消耗● 可配置超导磁体，垂直磁场可达3 T● 高精度双极性磁体电源● 多级减震● 集成化、智能化操作● 无损测试典型案例05芯片制造与应用教学训练成套系统点击图片查看更多系统功能描述用于集成电路学科的芯片制造工程实训、芯片功能教学演示、以及简单电子器件的微纳加工。基于本系统,能够让学生从材料生长、检测光刻、刻蚀、键合、封测和应用各环节直观了解芯片制造工艺，并实际上手操作，亲身体验，接受成套训练，并将自己制造的芯片进行应用演示可支撑《集成电路工艺原理》、《微纳加工技术》等课程实验环节的开展也可以用于学生的工程实训，实现从“工程实训做锤子”到“每个学生做一块芯片”的转变。本系统同时包含设备使用培训、教学案例等。 系统亮点● 材料生长系统● 光刻系统● 量检测系统● 刻蚀系统● 封测系统● 芯片演示系统典型案例除此之外，公司还研发了其他高端科技仪器，包括高精度VSM、MOKE等磁学测量设备、各类磁场探针台、磁性芯片测试机等产线级设备、物理气相沉积设备等。

详细信息 南开大学物理科学学院多腔体超高真空磁控溅射镀膜系统采购项目公开招标公告 天津市-南开区 状态：公告 更新时间： 2022-12-05 南开大学物理科学学院多腔体超高真空磁控溅射镀膜系统采购项目公开招标公告 2022年12月05日 16:24 公告信息： 采购项目名称 南开大学物理科学学院多腔体超高真空磁控溅射镀膜系统采购项目 品目 货物/专用设备/专用仪器仪表/教学专用仪器 采购单位 南开大学 行政区域 天津市 公告时间 2022年12月05日 16:24 获取招标文件时间 2022年12月06日至2022年12月12日每日上午:9:00 至 11:30 下午:13:30 至 16:00（北京时间，法定节假日除外） 招标文件售价 ￥500 获取招标文件的地点 天津市河北区狮子林大街200号6层 开标时间 2022年12月26日 10:00 开标地点 天津市河北区狮子林大街200号泰鸿大厦6层第一会议室 预算金额 ￥600.000000万元（人民币） 联系人及联系方式： 项目联系人 王先生 项目联系电话 022-59009035 采购单位 南开大学 采购单位地址 天津市南开区卫津路94号南开大学八里台校区招投标管理办公室 采购单位联系方式 于老师 022-23501661 代理机构名称 天津津建工程造价咨询有限公司 代理机构地址 天津市河北区狮子林大街200号泰鸿大厦6层 代理机构联系方式 王先生 022-59009035 项目概况 南开大学物理科学学院多腔体超高真空磁控溅射镀膜系统采购项目 招标项目的潜在投标人应在天津市河北区狮子林大街200号6层获取招标文件，并于2022年12月26日 10点00分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：NK2022S024WD（1700-2243JJBH1249） 项目名称：南开大学物理科学学院多腔体超高真空磁控溅射镀膜系统采购项目 预算金额：600.0000000 万元（人民币） 最高限价（如有）：600.0000000 万元（人民币） 采购需求： 多腔体超高真空磁控溅射镀膜系统（1套）的供货、安装及售后服务。本项目允许进口产品投标。 合同履行期限：收到信用证后12个月内完成交货 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 促进中小企业发展 促进中小企业发展明细：投标人为小型或微型企业的，且所投产品的制造厂家为小、微企业的，投标总价给予10%的扣除，用扣除后的价格参与价格评审。 支持监狱企业发展 支持监狱企业发展明细：投标人为监狱企业的，投标总价给予10%的扣除，用扣除后的价格参与价格评审。 强制、优先采购节能产品 强制、优先采购节能产品明细：供应商须书面承诺：在本项目中所使用的主要和辅助材料均须为中国境内生产的全新原装正品，并在项目实施过程中优先选用节能环保产品。如属于政府采购强制节能产品范围，则使用当期 节能产品政府采购清单 中的产品。 优先采购环境标记产品 优先采购环境标记产品明细：供应商须书面承诺：在本项目中所使用的主要和辅助材料均须为中国境内生产的全新原装正品，并在项目实施过程中优先选用节能环保产品。 促进残疾人就业 促进残疾人就业明细：根据财政部、民政部、中国残疾人联合会发布的《关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》规定，本项目对残疾人福利性单位产品的价格给予10%的扣除。注：小微企业以投标人填写的《中小企业声明函》为判定标准，残疾人福利性单位以投标人填写的《残疾人福利性单位声明函》为判定标准，监狱企业须投标人提供由省级以上监狱管理局、戒毒管理局（含新疆生产建设兵团）出具的属于监狱企业的证明文件，否则不予认定。以上政策不重复享受。 3.本项目的特定资格要求：1）须为在中华人民共和国境内注册，具备独立法人资格的企业，且符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的规定，并提供其有效的“企业法人营业执照（副本）”复印件加盖公章，及满足资格要求的证明文件；2）供应商若为法人投标，须提供法定代表人身份证明书（需由法定代表人签字或盖章）和法定代表人身份证原件；供应商若为被授权人投标，须提供法人代表授权书（需由法定代表人签字或盖章）和被授权人身份证原件。3）供应商应具有履行合同提供本次采购仪器设备的供应能力、专业技术及服务能力，若为进口产品代理商参与本次投标，还应提供仪器设备制造商针对本项目出具的授权书。4）开标时由招标代理机构查询投标人在“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）无不良记录信息。对列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的投标人，拒绝参与本次招标活动。 三、获取招标文件 时间：2022年12月06日 至 2022年12月12日，每天上午9:00至11:30，下午13:30至16:00。（北京时间，法定节假日除外） 地点：天津市河北区狮子林大街200号6层 方式：鉴于目前疫情防控形势，为了有效减少人员聚集和交叉感染，保证报名工作的顺利进行，提供以下两种方式： 1、现场领取：营业执照副本及“供应商资质要求”中要求的相关证件复印件加盖公章，以现金形式支付（选择采取此种方式，建议提前联系项目负责人）； 2、网上领取（建议采用此种方式），具体要求如下：（1）请将报名资料以扫描件形式发送至tjbh2016@126.com，邮件主题为：1700-2243JJBH1249报名信息，并电话联系项目负责人确认。（2）标书款以电汇或银行转账方式（为方便后期开具发票建议使用对公账户），汇至我公司的银行账号，并请在汇款备注中标明：“1700-2243JJBH1249标书款”（电汇信息及相关表格会以邮件方式发送）（3）标书款汇款后，请将汇款单截图、项目编号、投标人联系人、联系电话及投标人邮箱以邮件形式发送至上述邮箱。 （4）采用网上领取方式进行报名的，报名日期以标书款到账日期为准。注：已在南开大学招投标管理办公室新版网站登记注册的供应商，按以上要求报名。尚未登记注册的，须在南开大学招投标管理办公室新版网站右侧“供应商注册”入口进行注册。已在旧版网站注册的供应商须在新版网站重新注册，通过审核后方可购买招标文件，注册网址：http：//zbb.nankai.edu.cn，注册方法详见新版网站常用下载《供应商注册指南》。 售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间：2022年12月26日 10点00分（北京时间） 开标时间：2022年12月26日 10点00分（北京时间） 地点：天津市河北区狮子林大街200号泰鸿大厦6层第一会议室 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：南开大学 地址：天津市南开区卫津路94号南开大学八里台校区招投标管理办公室 联系方式：于老师 022-23501661 2.采购代理机构信息 名 称：天津津建工程造价咨询有限公司 地 址：天津市河北区狮子林大街200号泰鸿大厦6层 联系方式：王先生 022-59009035 3.项目联系方式 项目联系人：王先生 电 话： 022-59009035 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 基本信息 关键内容：镀膜机 开标时间：2022-12-26 10:00 预算金额：600.00万元 采购单位：南开大学 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：天津津建工程造价咨询有限公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 南开大学物理科学学院多腔体超高真空磁控溅射镀膜系统采购项目公开招标公告 天津市-南开区 状态：公告 更新时间： 2022-12-05 南开大学物理科学学院多腔体超高真空磁控溅射镀膜系统采购项目公开招标公告 2022年12月05日 16:24 公告信息： 采购项目名称 南开大学物理科学学院多腔体超高真空磁控溅射镀膜系统采购项目 品目 货物/专用设备/专用仪器仪表/教学专用仪器 采购单位 南开大学 行政区域 天津市 公告时间 2022年12月05日 16:24 获取招标文件时间 2022年12月06日至2022年12月12日每日上午:9:00 至 11:30 下午:13:30 至 16:00（北京时间，法定节假日除外） 招标文件售价 ￥500 获取招标文件的地点 天津市河北区狮子林大街200号6层 开标时间 2022年12月26日 10:00 开标地点 天津市河北区狮子林大街200号泰鸿大厦6层第一会议室 预算金额 ￥600.000000万元（人民币） 联系人及联系方式： 项目联系人 王先生 项目联系电话 022-59009035 采购单位 南开大学 采购单位地址 天津市南开区卫津路94号南开大学八里台校区招投标管理办公室 采购单位联系方式 于老师 022-23501661 代理机构名称 天津津建工程造价咨询有限公司 代理机构地址 天津市河北区狮子林大街200号泰鸿大厦6层 代理机构联系方式 王先生 022-59009035 项目概况 南开大学物理科学学院多腔体超高真空磁控溅射镀膜系统采购项目 招标项目的潜在投标人应在天津市河北区狮子林大街200号6层获取招标文件，并于2022年12月26日 10点00分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：NK2022S024WD（1700-2243JJBH1249） 项目名称：南开大学物理科学学院多腔体超高真空磁控溅射镀膜系统采购项目 预算金额：600.0000000 万元（人民币） 最高限价（如有）：600.0000000 万元（人民币） 采购需求： 多腔体超高真空磁控溅射镀膜系统（1套）的供货、安装及售后服务。本项目允许进口产品投标。 合同履行期限：收到信用证后12个月内完成交货 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 促进中小企业发展 促进中小企业发展明细：投标人为小型或微型企业的，且所投产品的制造厂家为小、微企业的，投标总价给予10%的扣除，用扣除后的价格参与价格评审。 支持监狱企业发展 支持监狱企业发展明细：投标人为监狱企业的，投标总价给予10%的扣除，用扣除后的价格参与价格评审。 强制、优先采购节能产品 强制、优先采购节能产品明细：供应商须书面承诺：在本项目中所使用的主要和辅助材料均须为中国境内生产的全新原装正品，并在项目实施过程中优先选用节能环保产品。如属于政府采购强制节能产品范围，则使用当期 节能产品政府采购清单 中的产品。 优先采购环境标记产品 优先采购环境标记产品明细：供应商须书面承诺：在本项目中所使用的主要和辅助材料均须为中国境内生产的全新原装正品，并在项目实施过程中优先选用节能环保产品。 促进残疾人就业 促进残疾人就业明细：根据财政部、民政部、中国残疾人联合会发布的《关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》规定，本项目对残疾人福利性单位产品的价格给予10%的扣除。注：小微企业以投标人填写的《中小企业声明函》为判定标准，残疾人福利性单位以投标人填写的《残疾人福利性单位声明函》为判定标准，监狱企业须投标人提供由省级以上监狱管理局、戒毒管理局（含新疆生产建设兵团）出具的属于监狱企业的证明文件，否则不予认定。以上政策不重复享受。 3.本项目的特定资格要求：1）须为在中华人民共和国境内注册，具备独立法人资格的企业，且符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的规定，并提供其有效的“企业法人营业执照（副本）”复印件加盖公章，及满足资格要求的证明文件；2）供应商若为法人投标，须提供法定代表人身份证明书（需由法定代表人签字或盖章）和法定代表人身份证原件；供应商若为被授权人投标，须提供法人代表授权书（需由法定代表人签字或盖章）和被授权人身份证原件。3）供应商应具有履行合同提供本次采购仪器设备的供应能力、专业技术及服务能力，若为进口产品代理商参与本次投标，还应提供仪器设备制造商针对本项目出具的授权书。4）开标时由招标代理机构查询投标人在“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）无不良记录信息。对列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的投标人，拒绝参与本次招标活动。 三、获取招标文件 时间：2022年12月06日 至 2022年12月12日，每天上午9:00至11:30，下午13:30至16:00。（北京时间，法定节假日除外） 地点：天津市河北区狮子林大街200号6层 方式：鉴于目前疫情防控形势，为了有效减少人员聚集和交叉感染，保证报名工作的顺利进行，提供以下两种方式： 1、现场领取：营业执照副本及“供应商资质要求”中要求的相关证件复印件加盖公章，以现金形式支付（选择采取此种方式，建议提前联系项目负责人）； 2、网上领取（建议采用此种方式），具体要求如下：（1）请将报名资料以扫描件形式发送至tjbh2016@126.com，邮件主题为：1700-2243JJBH1249报名信息，并电话联系项目负责人确认。（2）标书款以电汇或银行转账方式（为方便后期开具发票建议使用对公账户），汇至我公司的银行账号，并请在汇款备注中标明：“1700-2243JJBH1249标书款”（电汇信息及相关表格会以邮件方式发送）（3）标书款汇款后，请将汇款单截图、项目编号、投标人联系人、联系电话及投标人邮箱以邮件形式发送至上述邮箱。 （4）采用网上领取方式进行报名的，报名日期以标书款到账日期为准。注：已在南开大学招投标管理办公室新版网站登记注册的供应商，按以上要求报名。尚未登记注册的，须在南开大学招投标管理办公室新版网站右侧“供应商注册”入口进行注册。已在旧版网站注册的供应商须在新版网站重新注册，通过审核后方可购买招标文件，注册网址：http：//zbb.nankai.edu.cn，注册方法详见新版网站常用下载《供应商注册指南》。 售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间：2022年12月26日 10点00分（北京时间） 开标时间：2022年12月26日 10点00分（北京时间） 地点：天津市河北区狮子林大街200号泰鸿大厦6层第一会议室 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：南开大学 地址：天津市南开区卫津路94号南开大学八里台校区招投标管理办公室 联系方式：于老师 022-23501661 2.采购代理机构信息 名 称：天津津建工程造价咨询有限公司 地 址：天津市河北区狮子林大街200号泰鸿大厦6层 联系方式：王先生 022-59009035 3.项目联系方式 项目联系人：王先生 电 话： 022-59009035

薄膜沉积是半导体制造工艺中的一个非常重要的技术，其是一连串涉及原子的吸附、吸附原子在表面扩散及在适当的位置下聚结，以渐渐形成薄膜并成长的过程。在一个新晶圆投资建设中，晶圆厂80%的投资用于购买设备。其中，薄膜沉积设备是晶圆制造的核心步骤之一，占据着约25%的比重。薄膜沉积工艺主要分为物理气相沉积和化学气相沉积两类。物理气相沉积(Physical Vapour Deposition，PVD)技术指在真空条件下，采用物理方法，将材料源——固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体（或等离子体）过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。物理气相沉积原理可大致分为蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀，具体又包含有MBE等各种镀膜技术。发展到目前，物理气相沉积技术不仅可沉积金属膜、合金膜、还可以沉积化合物、陶瓷、半导体、聚合物膜等。随着技术的发展，PVD技术也不断推陈出新，出现了很多针对某几种用途的专门技术，在此特为大家盘点介绍各种PVD技术。真空蒸发镀膜技术真空蒸发(Vacuum Evaporation) 镀膜是在真空条件下，用蒸发器加热蒸发物质，使之升华，蒸发粒子流直接射向基片，并在基片上沉积形成固态薄膜，或加热蒸发镀膜材料的真空镀膜方法。其物理过程为：采用几种能源方式转换成热能，加热镀料使之蒸发或升华，成为具有一定能量(0.1~0.3eV) 的气态粒子(原子、分子或原子团)；离开镀料表面，具有相当运动速度的气态粒子以基本上无碰撞的直线飞行输运到基体表面；到达基体表面的气态粒子凝聚形核生长成固相薄膜；组成薄膜的原子重组排列或产生化学键合。电子束蒸镀技术电子束蒸镀（Electron Beam Evaporation）是物理气相沉积的一种。与传统蒸镀方式不同，电子束蒸镀利用电磁场的配合可以精准地实现利用高能电子轰击坩埚内靶材，使之融化进而沉积在基片上。电子束蒸镀常用来制备Al、CO、Ni、Fe的合金或氧化物膜，SiO2、ZrO2膜，抗腐蚀和耐高温氧化膜。电子束蒸镀与利用电阻进行蒸镀最大的优势在于：可以为待蒸发的物质提供更高的热量，因此蒸镀的速率也更快；电子束定位准确，可以避免坩埚材料的蒸发和污染。但是由于蒸镀过程中需要持续水冷，对能量的利用率不高；而且由于高能电子可能带来的二次电子可能使残余的气体分子电离，也有可能带来污染。此外，大多数的化合物薄膜在被高能电子轰击时会发生分解，这影响了薄膜的成分和结构溅射镀膜技术溅射镀膜技术是用离子轰击靶材表面，把靶材的原子被击出的现象称为溅射。溅射产生的原子沉积在基体表面成膜称为溅射镀膜。通常是利用气体放电产生气体电离，其正离子在电场作用下高速轰击阴极靶体，击出阴极靶体原子或分子，飞向被镀基体表面沉积成薄膜。射频溅射技术射频溅射是溅射镀膜技术的一种。用交流电源代替直流电源就构成了交流溅射系统，由于常用的交流电源的频率在射频段，如13.56MHz，所以称为射频溅镀。在直流射频装置中，如果使用绝缘材料靶，轰击靶面的正离子会在靶面上累积，使其带正电，靶电位从而上升，使得电极间的电场逐渐变小，直至辉光放电熄灭和溅射停止。所以直流溅射装置不能用来溅射沉积绝缘介质薄膜。磁控溅射技术磁控溅射技术属于PVD（物理气相沉积）技术的一种，是制备薄膜材料的重要方法之一。它是利用带电荷的粒子在电场中加速后具有一定动能的特点，将离子引向被溅射的物质制成的靶电极（阴极），并将靶材原子溅射出来使其沿着一定的方向运动到衬底并在衬底上沉积成膜的方法。磁控溅射设备使得镀膜厚度及均匀性可控，且制备的薄膜致密性好、粘结力强及纯净度高。该技术已经成为制备各种功能薄膜的重要手段。离子镀膜技术离子镀是在真空蒸发镀和溅射镀膜的基础上发展起来的一种镀膜新技术，将各种气体放电方式引入到气相沉积领域，整个气相沉积过程都是在等离子体中进行，其中包括磁控溅射离子镀、反应离子镀、空心阴极放电离子镀（空心阴极蒸镀法）、多弧离子镀（阴极电弧离子镀）等。离子镀大大提高了膜层粒子能量，可以获得更优异性能的膜层，扩大了“薄膜”的应用领域。是一项发展迅速、受人青睐的新技术。广义来讲，离子镀膜的特点是：镀膜时，工件（基片）带负偏压，工件始终受高能离子的轰击。形成膜层的膜基结合力好、膜层的绕镀性好、膜层组织可控参数多、膜层粒子总体能量高，容易进行反应沉积，可以在较低温度下获得化合物膜层。多弧离子镀(MAIP)多弧离子镀是采用电弧放电的方法，在固体的阴极靶材上直接蒸发金属，蒸发物是从阴极弧光辉点放出的阴极物质的离子，从而在基材表面沉积成为薄膜的方法。多弧离子镀与一般的离子镀有着很大的区别。多弧离子镀采用的是弧光放电，而并不是传统离子镀的辉光放电进行沉积。简单的说，多弧离子镀的原理就是把阴极靶作为蒸发源，通过靶与阳极壳体之间的弧光放电，使靶材蒸发，从而在空间中形成等离子体，对基体进行沉积。分子束外延（MBE）分子束外延（MBE）是新发展起来的外延制膜方法，是一种在晶体基片上生长高质量的晶体薄膜的新技术。在超高真空条件下，由装有各种所需组分的炉子加热而产生的蒸气，经小孔准直后形成的分子束或原子束，直接喷射到适当温度的单晶基片上，同时控制分子束对衬底扫描，就可使分子或原子按晶体排列一层层地“长”在基片上形成薄膜。该技术的优点是：使用的衬底温度低，膜层生长速率慢，束流强度易于精确控制，膜层组分和掺杂浓度可随源的变化而迅速调整。用这种技术已能制备薄到几十个原子层的单晶薄膜，以及交替生长不同组分、不同掺杂的薄膜而形成的超薄层量子显微结构材料。分子束外延不仅可用来制备现有的大部分器件，而且也可以制备许多新器件，包括其它方法难以实现的，如借助原子尺度膜厚控制而制备的超晶格结构高电子迁移率晶体管和多量子阱型激光二极管等。我们在公车上看到的车站预告板，在体育场看到的超大显示屏，其发光元件就是由分子束外延制造的。脉冲激光沉积（PLD）脉冲激光沉积（Pulsed Laser Deposition，PLD），也被称为脉冲激光烧蚀（pulsed laser ablation，PLA），是一种利用激光对物体进行轰击，然后将轰击出来的物质沉淀在不同的衬底上，得到沉淀或者薄膜的一种手段。由脉冲激光沉积技术的原理、特点可知，它是一种极具发展潜力的薄膜制备技术。随着辅助设备和工艺的进一步优化，将在半导体薄膜、超晶格、超导、生物涂层等功能薄膜的制备方面发挥重要的作用；并能加快薄膜生长机理的研究和提高薄膜的应用水平，加速材料科学和凝聚态物理学的研究进程。同时也为新型薄膜的制备提供了一种行之有效的方法。激光分子束外延（L-MBE）激光分子束外延技术（L-MBE）是近年来发展起来的一项新型薄膜制备技术，是将分子束外延技术与脉冲激光沉积技术的有机结合，在分子束外延条件下激光蒸发镀膜的技术。L- MBE结合了PLD的高瞬时沉积速率（不需要考虑成分挥发时的热平衡问题等等）及MBE的实时检测功能，是一种改良的MBE方法。近年来，薄膜技术和薄膜材料的发展突飞猛进，成果显著，在原有基础上，相继出现了离子束增强沉积技术、电火花沉积技术、电子束物理气相沉积技术和多层喷射沉积技术等。目前，芯片制造过程中关键的PVD设备主要包括硬掩膜（Hard Mask ）PVD设备、铜互联（CuBS）PVD 以及铝衬垫（Al PAD）PVD，主要使用溅射镀膜技术。目前，主流物理气相沉积厂商包括，北方华创、合肥科晶、中科科仪、SPTS、ULVAC、Applied Materials、Optorun、那诺-马斯特、IHI Corporation、Lam Research、Semicore Equipment、Veeco Instruments、Oerlikon Balzers、Mustang Vacuum Systems、Singulus Technologies、KurtJ.Lesker、博远微纳、汇成真空、佛欣真空、北京丹普、九鼎精密、意力博通、CHA Industries、Angstrom Engineering、Denton Vacuum、Mantis、沈阳科学仪器有限公司等。更多仪器请查看以下专场【物理气相沉积】、【激光脉冲沉积】、【分子束外延】。

近日，科学仪器行业迎来了前所未有的利好消息。 2022年9月13日，国务院常务会议决定对部分领域设备更新改造贷款阶段性财政贴息和加大社会服务业信贷支持，政策面向高校、职业院校、医院、中小微企业等九大领域的设备购置和更新改造。贷款总体规模预估为1.7万亿元。　　2022年9月28日，财政部、发改委、人民银行、审计署、银保监会五部门联合下发《关于加快部分领域设备更新改造贷款财政贴息工作的通知》(财金〔2022〕99号)，对2022年12月31日前新增的10个领域设备更新改造贷款贴息2.5个百分点，期限2年，额度2000亿元以上。因此今年第四季度内更新改造设备的贷款主体实际贷款成本不高于0.7% (加上此前中央财政贴息2.5个百分点)。　　这两大重磅政策提供极低利息的贷款给消费端提前进行设备购置和更新改造，推动我国仪器市场迎来新一波仪器采购大潮。仪器信息网统计了同济大学自10月以来发布的仪器采购意向，总预算超2亿元。序号采购单位采购项目采购品目采购需求概况预算金额预计备注名称(万元)采购日期1同济大学嘉定数据中心建设A9999其他不另分类的物品详见项目详情13762022年11月详见项目详情2同济大学离子束溅射镀膜机（氟化物）设备A9999其他不另分类的物品详见项目详情13002022年11月详见项目详情3同济大学原子层沉积ALD镀膜设备A9999其他不另分类的物品详见项目详情8002022年11月详见项目详情4同济大学激光量热法弱吸收测量仪设备A9999其他不另分类的物品详见项目详情1952022年11月详见项目详情5同济大学高精度光学薄膜沉积设备A9999其他不另分类的物品详见项目详情10002022年11月详见项目详情6同济大学3ase特种光纤熔接处理平台设备A9999其他不另分类的物品详见项目详情1952022年11月详见项目详情7同济大学离子束溅射镀膜机升级A9999其他不另分类的物品详见项目详情1002022年11月详见项目详情8同济大学离子束溅射镀膜机设备A9999其他不另分类的物品详见项目详情28002022年11月详见项目详情9同济大学椭圆偏振仪A9999其他不另分类的物品详见项目详情1502022年11月详见项目详情10同济大学Bruker，Dimension IconIR，纳米红外光谱及成像大样品台设备A9999其他不另分类的物品详见项目详情8002022年11月详见项目详情11同济大学角度台A9999其他不另分类的物品详见项目详情1302022年11月详见项目详情12同济大学磁流变加工设备采购A9999其他不另分类的物品详见项目详情3802022年11月详见项目详情13同济大学高精度非接触三维轮廓仪A9999其他不另分类的物品详见项目详情5002022年11月详见项目详情14同济大学闭循环低温强磁场光学物性测量系统A9999其他不另分类的物品详见项目详情4502022年11月详见项目详情15同济大学激光直写设备A9999其他不另分类的物品详见项目详情7502022年12月详见项目详情16同济大学反应离子刻蚀设备A9999其他不另分类的物品详见项目详情3502022年11月详见项目详情17同济大学聚焦离子束A9999其他不另分类的物品详见项目详情7502022年12月详见项目详情18同济大学DUV塔尔博特光刻A9999其他不另分类的物品详见项目详情6802022年12月详见项目详情19同济大学纳米压印设备A9999其他不另分类的物品详见项目详情5002022年12月详见项目详情20同济大学电子束光刻机A9999其他不另分类的物品详见项目详情35002022年12月详见项目详情21同济大学双面对准光刻机A9999其他不另分类的物品详见项目详情4502022年12月详见项目详情22同济大学大型双功能柱对称磁控溅射镀膜机改造A9999其他不另分类的物品详见项目详情1602022年11月详见项目详情23同济大学直线型高均匀性双模式磁控溅射镀膜机A9999其他不另分类的物品详见项目详情7002022年11月详见项目详情24同济大学大口径离子束加工设备A9999其他不另分类的物品详见项目详情8002022年11月详见项目详情25同济大学磁流变加工设备A9999其他不另分类的物品详见项目详情5002022年11月详见项目详情26同济大学Taylor & Francis期刊数据库A05010599其他电子期刊详见项目详情132.01762022年11月详见项目详情27同济大学药学院大楼2期实验室家具及配套设备A0609组合家具详见项目详情1242022年10月详见项目详情28同济大学感染与免疫中心大楼2期实验室家具及配套设备A0609组合家具详见项目详情1692022年11月详见项目详情29同济大学心脏中心及公共卫生学大楼2期实验室家具及配套设备A0609组合家具详见项目详情1192022年11月详见项目详情30同济大学基础科学中心大楼2期实验室家具及配套设备A0609组合家具详见项目详情164.12022年11月详见项目详情31同济大学医学院脑科学中心大楼2期实验室家具及配套设备A0609组合家具详见项目详情178.72022年11月详见项目详情32同济大学同济大学特种石英基板采购A10031002矿物材料制品详见项目详情4502022年11月详见项目详情33同济大学同济大学红外材料基板采购A10031002矿物材料制品详见项目详情2302022年11月详见项目详情34同济大学同济大学国家海底科学观测网传感器A9999其他不另分类的物品详见项目详情347.932022年10月详见项目详情35同济大学三重四极杆质谱仪A9999其他不另分类的物品详见项目详情3602022年11月详见项目详情36同济大学电脑A02010104台式计算机详见项目详情193.52022年11月详见项目详情37同济大学同济大学材料科学与工程学院变风量通风柜、变风量控制系统采购项目A0206180202通风机详见项目详情1452022年12月详见项目详情38同济大学同济大学材料科学与工程学院实验台采购项目A9999其他不另分类的物品详见项目详情2202022年12月详见项目详情

为推进中国石墨烯等碳纳米材料的研究和产业发展，2016石墨烯高峰论坛将于4月14日在清华大学深圳研究生院举行。 本次论坛将继续以石墨烯基纳米碳材料的制备器件、工业化应用开发等为主题，多个国家和地区的知名学者和产业界人士，从学术和产业化视角探讨石墨烯及其他二维材料的研究进展和产业发展现状，为国内外杰出科学家与企业家搭建一个交流与合作的平台。巨纳集团SUNANO GROUP也将出席本次论坛，巨纳作为我国首个石墨烯国家标准的第一起草单位和组长单位，除了与国内外专家学者交流之外，还会为大家介绍全球最 的多密度等离子体CVD系统-NEXTCVD。如果您正从事相关的工作，欢迎到现场与我们交流。 多密度等离子体CVD系统-NEXTCVDSUNANO多功能宽密度等离子体CVD结合了电感耦合和电容耦合辉光放电的优点，可在宽密度工艺范围（109-1013 cm-3)实现稳定的等离子体辅助CVD，具有优良的材料处理性能和广泛的应用范围，是目前全球功能最强大的等离子体CVD系统。 主要特点 l 主要用于石墨烯表面层数减薄、刻蚀、修饰、改性l 多种工作气体下产生稳定的等离子体辉光放电： l 氩气、氢气、氮气、氧气、硅烷、硼烷、磷烷、锗烷、甲烷、氨气、六氟化 硫、四氟化碳、二氧化碳等等。l 等离子体密度可调，变化范围大（109-1013 cm-3）l 可与磁控溅射同时工作形成共沉积（最多可与四个磁控溅射靶材形成等离子 体辅助沉积），因而可沉积多种多样的化合物薄膜 广泛的应用范围 l 光伏行业（氮化硅/非晶硅/微晶硅/等离子体织构与刻蚀）l 新型二维材料（石墨烯/二硫化钼等的表面改性及制备）l 半导体工艺（刻蚀工艺/氮化硅与二氧化硅工艺等）l 纳米材料的生长与纳米形貌的刻蚀构造 热烈欢迎世界各界人士莅临巨纳集团展台，沟通交流，共商合作大业！

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3月8日，华东师范大学公布了4-12月的采购意向，其中涉及全自动蛋白表达分析系统、器件微纳测试恒温器、气相色谱质谱联用仪、普通高分辨透射电镜等上百科学仪器，总预算达31505.02759万元。以下为采购意向详情：序号采购项目（名称）预算金额（万元）预计采购日期备注1全自动蛋白表达分析系统139.32021年4月详见项目详情2器件微纳测试恒温器1802021年4月详见项目详情3气相色谱质谱联用仪2752021年4月详见项目详情4普通高分辨透射电镜4002021年4月详见项目详情5纳米图形化微加工系统6002021年4月详见项目详情6脉冲激光沉积系统Pulsed Laser Deposition2502021年4月详见项目详情7脉冲激光沉积系统4002021年4月详见项目详情8离子淌度高分辨质谱仪5002021年4月详见项目详情9可调谐飞秒激光器2202021年4月详见项目详情10净化室及其配套8002021年4月详见项目详情11激光直写系统2002021年4月详见项目详情12激光旋切加工装置1602021年4月详见项目详情13激光光散射仪ALV/CGS-31202021年4月详见项目详情14激光共聚焦荧光显微镜3002021年4月详见项目详情15激光共聚焦显微镜1502021年4月详见项目详情16核磁共振探头1252021年4月详见项目详情17核磁共振谱仪1802021年4月详见项目详情18共聚焦显微成像系统3002021年4月详见项目详情19高性能计算集群虚拟化平台5002021年4月详见项目详情20高性能计算集群12002021年4月详见项目详情21高速旋光振镜加工系统2102021年4月详见项目详情22高速示波器1702021年4月详见项目详情23高精度紫外光刻系统2002021年4月详见项目详情24高精度五轴运动平台1802021年4月详见项目详情25高精度三维运动平台1502021年4月详见项目详情26高功率钛宝石激光器1202021年4月详见项目详情27高功率激光器1902021年4月详见项目详情28高分辨扫描电子显微镜7002021年4月详见项目详情29感应耦合等离子体刻蚀系统2502021年4月详见项目详情30飞秒激光器2802021年4月详见项目详情31飞秒激光器3202021年4月详见项目详情32孟宪承、刘佛年教育成就陈列室布展项目4002021年4月详见项目详情33wiley电子期刊数据库1602021年4月详见项目详情34Nature及系列电子刊数据库101.438182021年4月详见项目详情35ACS电子期刊数据库100.839412021年4月详见项目详情36脑功能水磨坊实验室监控项目1012021年4月详见项目详情37中北校区安保服务7272021年4月详见项目详情38白玉路学生公寓食堂设施设备2522021年4月详见项目详情39飞秒激光器3002021年4月详见项目详情40飞秒激光器2902021年4月详见项目详情41飞秒激光器2402021年4月详见项目详情42多轴高精度气浮运动平台1802021年4月详见项目详情43多光谱组织成像分析系统194.52021年4月详见项目详情44多靶金属磁控溅射仪2502021年4月详见项目详情45多靶高温氧化物磁控溅射仪3502021年4月详见项目详情46电子束曝光系统15002021年4月详见项目详情47低噪声高稳定激光器1102021年4月详见项目详情48低温真空探针台1502021年4月详见项目详情49低温输运测试平台1202021年4月详见项目详情50低抖动脉冲激光器2002021年4月详见项目详情51等离子增强化学气相沉积PECVD2002021年4月详见项目详情52购置车辆1612021年4月详见项目详情53中北校区白玉路公寓物业服务1502021年4月详见项目详情54闵行校区河口海岸大楼物业服务3002021年4月详见项目详情55闵行校区文化中心物业服务1502021年4月详见项目详情56紫外腔增强系统2202021年4月详见项目详情57紫外激光加工系统2002021年4月详见项目详情58重复频率锁定的飞秒激光振荡器1102021年4月详见项目详情59中红外激光器5502021年4月详见项目详情60中国儿童青少年体育健身大数据平台2002021年4月详见项目详情61真空高温退火装置1602021年4月详见项目详情62脏垫料处理系统2002021年4月详见项目详情63圆偏振荧光光谱仪2502021年4月详见项目详情64原子力显微镜系统2002021年4月详见项目详情65原子力显微镜1502021年4月详见项目详情66大行程高精度三维运动平台1702021年4月详见项目详情67大行程高精度气浮平台1502021年4月详见项目详情68大尺寸抛光机2502021年4月详见项目详情69磁体1902021年4月详见项目详情70磁控溅射镀膜装置2502021年4月详见项目详情71磁控溅射镀膜系统1202021年4月详见项目详情72磁光光谱用超导磁体1502021年4月详见项目详情73超稳腔及超稳激光系统2202021年4月详见项目详情74超稳光学参考腔2302021年4月详见项目详情75超稳光纤光梳2102021年4月详见项目详情76超速流式细胞分选仪2782021年4月详见项目详情77超高分辨小动物超声影像系统4202021年4月详见项目详情78超高分辨率小动物超声影像系统339.132021年4月详见项目详情79步入式洗笼机1752021年4月详见项目详情80液相/三重四级杆线性离子阱串联质谱系统2962021年4月详见项目详情81氧化扩散及热处理系统1302021年4月详见项目详情82芯片清洗系统1802021年4月详见项目详情83小动物活体影像系统2002021年4月详见项目详情84小动物活体断层扫描仪2752021年4月详见项目详情85小动物代谢监测系统2302021年4月详见项目详情86无液氦低温光学恒温器1502021年4月详见项目详情87微纳器件光学综合测试系统2902021年4月详见项目详情88微纳器件电学综合测试系统3102021年4月详见项目详情89微纳光纤拉锥及光纤熔接系统1102021年4月详见项目详情90微流控反应器1002021年4月详见项目详情91微焦斑单晶衍射仪3002021年4月详见项目详情92便携式R2SONIC 2020 宽带超高分辨率多波束回声测深系统1402021年4月详见项目详情93X射线衍射仪1202021年4月详见项目详情94ws8-2波长计和校准源1202021年4月详见项目详情95Ti宝石激光器1202021年4月详见项目详情96neaspec低温近场显微镜8002021年4月详见项目详情97Montana 低温恒温仪1302021年4月详见项目详情98In-situ Image System 原位成像系统2002021年4月详见项目详情99HySpexVNIR/SWIR(400-2500nm)高光谱成像系统2562021年4月详见项目详情100Cytation5 细胞成像多功能检测平台1502021年4月详见项目详情101bruker FTIR 红外测量系统2002021年4月详见项目详情102Biospherix （高）低氧动物箱1202021年4月详见项目详情103Biacore X100plus（微量热泳动仪）1602021年4月详见项目详情104323nm高功率激光器1202021年4月详见项目详情105钛宝石激光器1802021年4月详见项目详情106钛宝石飞秒激光器1052021年4月详见项目详情107隧道式洗笼机2002021年4月详见项目详情108双激光捕获显微切割系统218.52021年4月详见项目详情109双光子激光扫描共聚焦成像系统254.42021年4月详见项目详情110数字病理扫描仪与分析系统139.32021年4月详见项目详情111深反应离子刻蚀系统DRIE7002021年4月详见项目详情112色心微观磁共振3502021年4月详见项目详情113扫描电子显微镜1202021年4月详见项目详情114全自动傅立叶变换红外成像显微镜1402021年4月详见项目详情115X射线粉末衍射仪2002021年4月详见项目详情116便携式计算机322021年4月详见项目详情117台式计算机222021年4月详见项目详情118支持教学的高性能计算设备购置2082021年4月详见项目详情119全景演播室设备269.392021年4月详见项目详情120本科教学质量管理系统2002021年4月详见项目详情121水控终端升级115.732021年4月详见项目详情122校园卡系统平台升级181.52021年4月详见项目详情123教科网出口3722021年4月详见项目详情124高速互联网出口4412021年4月详见项目详情

由于能够对太赫兹电磁波产生有效的调制，近年来，太赫兹电磁超材料受到了科研界极大的关注。太赫兹超材料的单个单元的特征尺寸一般为几十微米，传统的加工主要基于MEMS微纳加工工艺流程。然而，这些工艺流程通常都需要昂贵的实验设备并且是多工序且高耗费的。为了克服这些缺点与不足，西交大张留洋老师课题组提出了一种基于微纳3D打印结合磁控溅射沉积镀膜的太赫兹超材料制造工艺：以基于垂直U型环谐振器的三维太赫兹超材料为原型，采用高精度微纳3D打印设备nanoArch S130（BMF摩方精密）对模型进行加工，随后通过磁控溅射沉积镀金属膜赋予该结构功能性。该成果以“3D-printed terahertz metamaterial absorber based on vertical split-ring resonator”为题发表于Journal of Applied Physics期刊。原文链接：https://aip.scitation.org/doi/10.1063/5.0056276 图1 基于垂直U型环的太赫兹超材料制备工艺示意图。采用面投影微立体3D打印工艺（nanoArch S130，摩方精密）在硅片表面制造树脂超材料模型，然后通过磁控溅射在树脂模型表面沉积覆盖金属铜膜。插图为基于垂直U型环的太赫兹超材料的模型剖视图。图1所示为所提出的基于垂直U型环的太赫兹超材料制造工艺流程示意图。首先，通过三维建模软件建立了超材料的数字模型，将该数字模型转化为STL格式就可以输入3D打印设备进行打印制造。打印所采用的树脂材料为一种耐高温的光敏树脂(High-temperature resistance photosensitive resin, HTL)。为了加强所打印的垂直U型环结构和硅片界面处的粘附性，在U型环和硅片表面之间额外打印了一层树脂基底。在树脂模型制造完成之后，采用磁控溅射镀膜工艺在树脂模型的表面沉积铜膜。所使用的3D打印设备（nanoArch S130，摩方精密）的光学精度为2 μm，最小打印层厚为5 μm。所采用的加工工艺主要依赖于3D打印技术，这使得整个制造过程相当的简单和高效。图2 所制造的垂直U型环太赫兹超材料扫描电镜照片与太赫兹时域光谱系统测量所得吸收谱。(a)垂直U型环局部阵列。(b)单个垂直U型环照片。(c)与(d)分别为测量和仿真所得的分别在x极化和y极化入射下超材料的吸收谱。 制造的超材料阵列的总体尺寸为9.6 ×9.6mm，一共包含了30×30个单元结构。从电镜图中可以看出，所选用的3D打印技术（nanoArch S130，摩方精密）可以很好地完成设计的微结构的成型。THz-TDS测量结果表明，在x极化下，超材料在0.8 THz处达到了96%的近一吸收，而在y极化下没有出现吸收峰，这与仿真所得的结果基本一致。图3 高Q值三维太赫兹超材料传感研究。(a)传感分析物的示意。(b)谐振峰频率随传感分析物的厚度而变化。(c)加载不同折射率分析物时的超材料吸收谱 (d)超材料传感折射率灵敏度。(e)加载乳糖与半乳糖粉末时的测量结果。(f)吸收峰频率的偏移。 通过仿真和实验研究了样品的传感特性。分析得出，随着传感物厚度的增大，频移逐渐加大，当厚度大于100μm时得到了最佳的效果。计算得到传感器的灵敏度为S = 0.5 THz/RIU，品质因数为FOM = 95.9。所制造的垂直U型环超材料的高度为75μm，适用于检测具有一定厚度的分析物。因此，该研究选择了典型的乳糖和半乳糖粉末作为分析物来验证垂直U型环传感器的传感能力。如图3 (e)所示，在样品表面加载乳糖和半乳糖粉末后，吸收峰的中心频率分别变为0.5335 THz和0.7603 THz，频移分别为0.2665 THz与0.0397 THz，获得了有效且明显地频移，验证了样品在折射率传感等领域的应用潜力。

由于能够对太赫兹电磁波产生有效的调制，近年来，太赫兹电磁超材料受到了科研界极大的关注。太赫兹超材料的单个单元的特征尺寸一般为几十微米，传统的加工主要基于MEMS微纳加工工艺流程。然而，这些工艺流程通常都需要昂贵的实验设备并且是多工序且高耗费的。为了克服这些缺点与不足，西交大张留洋老师课题组提出了一种基于微纳3D打印结合磁控溅射沉积镀膜的太赫兹超材料制造工艺：以基于垂直U型环谐振器的三维太赫兹超材料为原型，采用高精度微纳3D打印设备nanoArch S130（BMF摩方精密）对模型进行加工，随后通过磁控溅射沉积镀金属膜赋予该结构功能性。该成果以“3D-printed terahertz metamaterial absorber based on vertical split-ring resonator”为题发表于Journal of Applied Physics期刊。原文链接：https://aip.scitation.org/doi/10.1063/5.0056276 图1 基于垂直U型环的太赫兹超材料制备工艺示意图。采用面投影微立体3D打印工艺（nanoArch S130，摩方精密）在硅片表面制造树脂超材料模型，然后通过磁控溅射在树脂模型表面沉积覆盖金属铜膜。插图为基于垂直U型环的太赫兹超材料的模型剖视图。图1所示为所提出的基于垂直U型环的太赫兹超材料制造工艺流程示意图。首先，通过三维建模软件建立了超材料的数字模型，将该数字模型转化为STL格式就可以输入3D打印设备进行打印制造。打印所采用的树脂材料为一种耐高温的光敏树脂(High-temperature resistance photosensitive resin, HTL)。为了加强所打印的垂直U型环结构和硅片界面处的粘附性，在U型环和硅片表面之间额外打印了一层树脂基底。在树脂模型制造完成之后，采用磁控溅射镀膜工艺在树脂模型的表面沉积铜膜。所使用的3D打印设备（nanoArch S130，摩方精密）的光学精度为2 μm，最小打印层厚为5 μm。所采用的加工工艺主要依赖于3D打印技术，这使得整个制造过程相当的简单和高效。图2 所制造的垂直U型环太赫兹超材料扫描电镜照片与太赫兹时域光谱系统测量所得吸收谱。(a)垂直U型环局部阵列。(b)单个垂直U型环照片。(c)与(d)分别为测量和仿真所得的分别在x极化和y极化入射下超材料的吸收谱。 制造的超材料阵列的总体尺寸为9.6 ×9.6mm，一共包含了30×30个单元结构。从电镜图中可以看出，所选用的3D打印技术（nanoArch S130，摩方精密）可以很好地完成设计的微结构的成型。THz-TDS测量结果表明，在x极化下，超材料在0.8 THz处达到了96%的近一吸收，而在y极化下没有出现吸收峰，这与仿真所得的结果基本一致。图3 高Q值三维太赫兹超材料传感研究。(a)传感分析物的示意。(b)谐振峰频率随传感分析物的厚度而变化。(c)加载不同折射率分析物时的超材料吸收谱 (d)超材料传感折射率灵敏度。(e)加载乳糖与半乳糖粉末时的测量结果。(f)吸收峰频率的偏移。 通过仿真和实验研究了样品的传感特性。分析得出，随着传感物厚度的增大，频移逐渐加大，当厚度大于100μm时得到了最佳的效果。计算得到传感器的灵敏度为S = 0.5 THz/RIU，品质因数为FOM = 95.9。所制造的垂直U型环超材料的高度为75μm，适用于检测具有一定厚度的分析物。因此，该研究选择了典型的乳糖和半乳糖粉末作为分析物来验证垂直U型环传感器的传感能力。如图3 (e)所示，在样品表面加载乳糖和半乳糖粉末后，吸收峰的中心频率分别变为0.5335 THz和0.7603 THz，频移分别为0.2665 THz与0.0397 THz，获得了有效且明显地频移，验证了样品在折射率传感等领域的应用潜力。

由于能够对太赫兹电磁波产生有效的调制，近年来，太赫兹电磁超材料受到了科研界极大的关注。太赫兹超材料的单个单元的特征尺寸一般为几十微米，传统的加工主要基于MEMS微纳加工工艺流程。然而，这些工艺流程通常都需要昂贵的实验设备并且是多工序且高耗费的。为了克服这些缺点与不足，西交大张留洋老师课题组提出了一种基于微纳3D打印结合磁控溅射沉积镀膜的太赫兹超材料制造工艺：以基于垂直U型环谐振器的三维太赫兹超材料为原型，采用高精度微纳3D打印设备nanoArch S130（BMF摩方精密）对模型进行加工，随后通过磁控溅射沉积镀金属膜赋予该结构功能性。该成果以“3D-printed terahertz metamaterial absorber based on vertical split-ring resonator”为题发表于Journal of Applied Physics期刊。 图1 基于垂直U型环的太赫兹超材料制备工艺示意图。采用面投影微立体3D打印工艺（nanoArch S130，摩方精密）在硅片表面制造树脂超材料模型，然后通过磁控溅射在树脂模型表面沉积覆盖金属铜膜。插图为基于垂直U型环的太赫兹超材料的模型剖视图。图1所示为所提出的基于垂直U型环的太赫兹超材料制造工艺流程示意图。首先，通过三维建模软件建立了超材料的数字模型，将该数字模型转化为STL格式就可以输入3D打印设备进行打印制造。打印所采用的树脂材料为一种耐高温的光敏树脂(High-temperature resistance photosensitive resin, HTL)。为了加强所打印的垂直U型环结构和硅片界面处的粘附性，在U型环和硅片表面之间额外打印了一层树脂基底。在树脂模型制造完成之后，采用磁控溅射镀膜工艺在树脂模型的表面沉积铜膜。所使用的3D打印设备（nanoArch S130，摩方精密）的光学精度为2 μm，最小打印层厚为5 μm。所采用的加工工艺主要依赖于3D打印技术，这使得整个制造过程相当的简单和高效。图2 所制造的垂直U型环太赫兹超材料扫描电镜照片与太赫兹时域光谱系统测量所得吸收谱。(a)垂直U型环局部阵列。(b)单个垂直U型环照片。(c)与(d)分别为测量和仿真所得的分别在x极化和y极化入射下超材料的吸收谱。 制造的超材料阵列的总体尺寸为9.6 ×9.6mm，一共包含了30×30个单元结构。从电镜图中可以看出，所选用的3D打印技术（nanoArch S130，摩方精密）可以很好地完成设计的微结构的成型。THz-TDS测量结果表明，在x极化下，超材料在0.8 THz处达到了96%的近一吸收，而在y极化下没有出现吸收峰，这与仿真所得的结果基本一致。图3 高Q值三维太赫兹超材料传感研究。(a)传感分析物的示意。(b)谐振峰频率随传感分析物的厚度而变化。(c)加载不同折射率分析物时的超材料吸收谱 (d)超材料传感折射率灵敏度。(e)加载乳糖与半乳糖粉末时的测量结果。(f)吸收峰频率的偏移。 通过仿真和实验研究了样品的传感特性。分析得出，随着传感物厚度的增大，频移逐渐加大，当厚度大于100μm时得到了最佳的效果。计算得到传感器的灵敏度为S = 0.5 THz/RIU，品质因数为FOM = 95.9。所制造的垂直U型环超材料的高度为75μm，适用于检测具有一定厚度的分析物。因此，该研究选择了典型的乳糖和半乳糖粉末作为分析物来验证垂直U型环传感器的传感能力。如图3 (e)所示，在样品表面加载乳糖和半乳糖粉末后，吸收峰的中心频率分别变为0.5335 THz和0.7603 THz，频移分别为0.2665 THz与0.0397 THz，获得了有效且明显地频移，验证了样品在折射率传感等领域的应用潜力。官网：https://www.bmftec.cn/links/10

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物理气相沉积(Physical Vapor Deposition，PVD)技术是指在真空条件下采用物理方法将材料源（固体或液体）表面气化成气态原子或分子，或部分电离成离子，并通过低压气体（或等离子体）过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术， 物理气相沉积是主要的表面处理技术之一。PVD(物理气相沉积)镀膜技术主要分为三类：真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜和真空离子镀膜。物理气相沉积的主要方法有：真空蒸镀、溅射镀膜、电弧等离子体镀、离子镀膜和分子束外延等。相应的真空镀膜设备包括真空蒸发镀膜机、真空溅射镀膜机和真空离子镀膜机。2021年是“十四五”开局之年，中国政府也推出了一系列激励政策来鼓励半导体产业发展，明确了半导体产业在产业升级中的重要地位，同时全球自2020年爆发的“芯片荒”在全球范围内愈演愈烈，却迟迟得不到缓解，各行各业都受到了一定的影响，受此影响包括仪器产业、新能源产业等在内的诸多产业都面临产品涨价、缺货的危机。危中有机，全球半导体行业的巨震却是中国半导体产业的发展契机。通过分析海关物理气相沉积设备的进口情况，可以从一个侧面反映出中国物理气相沉积设备市场的一些情况，进而了解到中国半导体产业的一些情况。海关统计中，根据物理气相沉积设备的应用领域将其分为制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置 (84862022)和制造平板显示器用的物理气相沉积设备（PVD）（84863022）。 为了解2021年物理气相沉积设备的进出口情况，仪器信息网特别对2021年1-11月，物理气相沉积设备（商品编码84862022、84863022）进口数据进行了分析汇总，为大家了解中国目前物理气相沉积设备市场做一个参考。2021年1-11月物理气相沉积设备进口额变化（人民币/万元）2021年1-11月物理气相沉积设备进口数据商品名称进口额（元）数量（台）均价（元/台）制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置6,273,882,9507098848918制造平板显示器用的物理气相沉积设备（PVD）4,290,243,27328015322297总计10,564,126,2239892021年1-11月，中国进口物理气相沉积设备总额约106亿元，总台数达989台，其中绝大部分用于制造半导体器件和集成电路，此类设备多达709台，总额约63亿元，占比高达59%。海关数据显示，去年全年的用于半导体器件和IC制造的PVD进口额约35.5亿元。可以看出今年用于集成电路和半导体器件的进口PVD设备总额明显增加。这表明，今年我国晶圆代工厂的建设热度不减，这也和如今的半导体投资热、芯片荒有关。2021年1-11月进口物理气相沉积设备贸易伙伴变化（人民币/万元）从进口PVD设备的贸易伙伴分布可以看出，主要进口的贸易伙伴为新加坡和美国，其中新加坡进口额最多且全部用于半导体器件和IC制造。新加坡处在马六甲海峡，扼太平洋及印度洋之间的航运要道，是全球海运的几大必经路线之一，战略地位十分重要——早在新加坡建国之前，“新加坡港”已发展成为国际著名的转口港。世界各国的将需要出口的货物运输到新加坡港，存放几天或几十天（其中20%的堆存时间仅为1天），然后再转运到进口国。由于新加坡的自由贸易港，通过新加坡的“转口贸易”可变成躲避贸易制裁的有效方式之一。从新加坡进口用于半导体器件和IC制造的PVD可能是为了规避以美国为首的西方集团对我国日益收紧的高端装备进口限制。进一步分析用于平板显示器制造的PVD数据发现，中国台湾、韩国和日本是此类PVD的主要贸易伙伴，且占比接近。而从用于半导体器件和集成电路制造的PVD主要贸易伙伴是新加坡、美国和瑞士。2021年1-11月物理气相沉积设备各注册地进口数据变化（单位/万元）那么这些物理气相沉积设备主要销往何处？通过对进口数据的注册地进行分析发现，上海市的PVD设备进口额最高约22亿元，占比约21%。其次福建和重庆市分列第二、第三。上海市的物理气相沉积主要用于集成电路或半导体器件生产中，这表明上海在新建或改造集成电路生产线上投入较大，对半导体设备的需求也在激增。而重庆市则正好相反，其进口PVD主要用于平板显示器生产中，在平板显示器用PVD注册地中排名首位，这可能和京东方在重庆的生产线有关，京东方是我国面板产业的龙头企业，其对进口额影响较大。近几年，重庆市也出台了一系列政策之前平板显示制造行业发展。而在平板显示器用PVD的注册地分布中可以看出，除了重庆市独占鳌头，福建省进口平板显示器用PVD仅次于重庆，这可能与位于厦门的天马微电子有关。重点商品物理气相沉积有哪些重点商品呢？对此，笔者查阅了海关总署，发现重点商品主要有2款。商品1：PVD磁控溅射镀膜线（商品编码：84862022）PVD磁控溅射镀膜线：形成导电膜,用于将产生的电流收集导出。商品1：镀膜机/制造平板显示器专用（商品编码：84863022）型号：Applied Materials牌/NAR 1400L(4Mo+5 Al)型。原理：本设备将工作腔抽成真空后灌入氩气,高温高压条件下氩气形成离子层,氩离子在电场作用下,高速冲击靶材(氧化铟锡),使靶材分离出的金属离子在电场作用下附在玻璃基板表面形成薄膜,玻璃基板即可导电。

科学仪器是科技创新的重要基础和保障，也是创新研究成果的重要产出形式之一，标志着国家创新能力和科学技术可持续发展的水平。然而，目前我国大部分的科学仪器依赖进口，高端仪器和核心部件往往受制于人。《中华人民共和国国民经济和社会发展第十四个五年规划和2035年远景目标》中明确要求要“加强高端科研仪器设备研发制造”。中国科学院作为国家战略科技力量，是我国开展科学仪器创新研制的主力之一，从“八五”期间开始设立“科学仪器设备升级改造和自主研制”专项。通过长期坚持高端科学仪器的自主创新研制，中国科学院取得了一系列重要成果，积累了一批关键核心技术，产出了一批具有知识产权的科学仪器设备。自2019年起，中国科学院系统梳理了具有自主知识产权的仪器设备和关键零部件，编制《中国科学院自主研制科学仪器产品名录》，并通过《中国科学院院刊》出版和传播，进一步加强中国科学院自主研制科学仪器的推广和应用。本文特汇总了2019至2022年度《中国科学院自主研制科学仪器产品名录》，供科技工作者、相关部门和企业等了解和参考。2019-2022年度中国科学院自主研制科学仪器产品名录中国科学院自主研制科学仪器2022序号产品名称数理与天文科学1量子钻石原子力显微镜2低温扫描隧道显微镜3低温扫描隧道显微镜-分子束外延联合系统4低温强磁场用扫描探针显微镜5金刚石量子计算教学机6钨灯丝扫描电子显微镜7脉冲式电子顺磁共振谱仪8氦质谱检漏仪9便携式伽玛射线成像仪10便携式核素识别仪1110拍瓦超强超短激光器121拍瓦超强超短激光器13中子斩波器14大型平行光管15核与辐射应急车载平台16激光雷达望远镜171米口径光学望远镜18大口径标准镜面1920英寸大面积微通道板型光电倍增管20超快位敏型微通道板型光电倍增管21靶斑仪22多波长飞秒全固态激光器23高重频钛宝石飞秒激光放大器24氟化钡闪烁晶体探测器25星载铷原子钟26芯片原子钟27显微共焦拉曼荧光光谱测量模块28有机玻璃内应力无损定量移动式检测装置29同步控制系统30太阳辐照度绝对辐射计化学与材料科学31分子束外延系统32深紫外激光光致发光光谱仪33深紫外激光光发射电子显微镜34场发射扫描电子显微镜35原子层沉积系统36磁控溅射台37电子束蒸发镀膜设备38系列高离化磁控溅射镀膜仪39碳化硅晶体生长炉40等离子体化学气相沉积镀膜设备41有机、无机薄膜沉积设备42台式电子顺磁共振波谱仪43X波段连续波/W波段脉冲电子顺磁共振波谱仪44全自动比表面及孔径分析仪45微型流化床反应动力学分析仪46多功能内耗仪47多相流非均相特性测量系统48光谱椭圆偏振仪49激光共聚焦法流体液膜厚度及物性测量仪50高能衍射仪51多维跨尺度材料热性能测量仪52微颗粒实时在线监测仪5380-400开尔文低温绝热量热仪54实验室中能X射线吸收谱仪55偏振光栅光刻机56台式数字光刻机57蒸发源及控制器58射频电源59分子泵60双级高速离心式空气压缩机信息与工程科学61X射线三维分层成像仪62红外焦平面探测器测试分析系统63投影光刻机64接触式曝光机系列65大视场三线阵立体航测相机66傅里叶变换红外光谱辐射分析仪67激光干涉仪68衍射光栅（平面刻划光栅、平面全息光栅、曲面全息光栅）69超高分辨率超声缺陷检测设备70高密度等离子体刻蚀机71高精度电光晶体定向仪72超高精度面形干涉测量设备73智能环形抛光机74纤维增强复合材料超快激光切割装备75万瓦级半导体激光器综合测试系统76单频激光噪声测试仪77相干光场波前测量仪78长焦可见光/红外共口径光学成像相机79显微红外成像光谱仪80机载双频激光雷达81激光跟踪仪82卫星移动通信终端综合测试仪83光矢量网络分析仪84数字延时脉冲发生器85系列深紫外准分子激光器86高温液态金属流速实时在线监测仪87集束型纳米薄膜生长系统88涡轮叶片表面温度测量仪89线阵列X射线探测器90中红外锑化物大功率激光器地球与环境科学91地面电磁探测系统92小型绝对重力仪93近钻头方位伽马成像地质导向系统94分布式光纤声传感系统95偶极横波远探测井仪96高精度光纤地震采集系统97岩石空心圆柱扭剪试验系统98天光背景测量仪99质子转移反应质谱仪100大气臭氧观测激光雷达101便携式多组份气体紫外分析仪102车载双光路污染气体分布及网格化排放遥测系统103大气成分差分光学吸收光谱在线监测系统104轨道对地高时空分辨率快速成像仪105大动态范围积分球辐射源106温室气体柱总量地基观测系统107宽波段可调谐光腔衰荡光谱仪108激光散射大气颗粒物偏振浊度计109高频单颗粒偏光粒径谱仪110深海激光拉曼光谱原位定量探测系统111声学多普勒流速剖面仪112基于大型浮标的自由伸缩式海洋剖面观测平台113三锚式浮标综合观测平台114深海海底理化环境长期观测系统115深海多参数剖面观测浮标116海底地震仪117船载挥发性有机物监测仪118系列拉曼光谱探针1196000米级可视化可控轻型柱状取样器120漫反射标准参照板生命与医学科学121人体肺部气体磁共振成像仪1221.5T无液氦超导磁共振成像系统123乳腺/灵长类正电子发射断层成像仪124小动物能谱显微CT125消毒防疫机器人126全自动数字PCR检测系统127自动化核酸快速提取仪128固态纳米孔制备仪129流式光片成像仪130全光谱荧光活体成像系统131高等级生物安全活体荧光成像系统132小动物活体荧光成像系统133多模态结构光超分辨显微镜134冷冻三维结构光照明显微镜135STED超分辨光学显微镜136激光扫描共聚焦显微镜137多脑区双光子显微成像系统138大视场高分辨光层析显微镜139光片显微镜140超广角共焦激光造影仪141数字眼底成像仪142共聚焦显微内窥镜143光电同步脑功能检测系统144超声内窥镜145伽玛射线成像仪146毒品快速检测仪147个人辐射报警仪148高精度高稳定性柔性电容式触觉传感器149微型高频超声换能器150硅神经微电极中国科学院自主研制科学仪器2021序号名称数理与天文科学1低温扫描隧道显微镜-分子束外延联合系统/变温扫描隧道显微镜系统2低温扫描隧道显微镜3高通量激光分子束外延-低温扫描隧道显微镜联合系统4无液氦（干式）超导磁体原子分辨扫描隧道显微镜、磁力显微镜5时间分辨超快透射电子显微镜系统6显微共焦拉曼荧光光谱测量模块7激光测距测控一体机8大功率中红外激光器9短波连续紫外激光器101 PW超强超短激光器1110 PW超强超短激光器12高重频钛宝石飞秒激光放大器13多波长飞秒全固态激光器14超窄线宽稳频激光系统15大功率红绿蓝单频激光器16大型平行光管17软X射线分幅相机18皮秒条纹相机19系列条纹相机20靶斑仪21系列氦质谱检漏仪22大口径高结构刚度碳化硅反射镜23高精度复杂曲面智能光学加工系统241.2 m望远镜激光测月系统251 m口径光学望远镜26400 mm口径光学望远镜27激光雷达望远镜28大口径标准镜面29高精度光学镜面30中子斩波器31超精密纳米压电位移台32VLBI数据采集系统33图像增强型镜头模块34单频激光噪声测试仪35量子态控制与读出系统36脉冲式电子顺磁共振谱仪37全光驱动高能电子束38被动型星载氢原子钟39星载铷原子钟40芯片原子钟41时间服务器42RNSS授时型接收机43授时信号模拟器44标准时间复现设备45网络精密时间服务器46NTSC高精度光纤时间频率传递设备47共视远程比对测量仪48宽带数字化脉冲星终端49皮秒高压脉冲源50太赫兹超导探测器芯片系列51超导纳米线单光子探测系统52硅探测器53CsI（Tl）闪烁晶体探头54翠鸟新型锁相放大器55旗形光学面形仪56便携式伽玛射线成像仪57伽玛射线成像仪58便携式核素识别仪59个人辐射报警仪60紫外日盲型光电倍增管61快响应光电倍增管/微通道板型光电倍增管62磁通门磁强计化学与材料科学63场发射枪扫描电子显微镜64基于可调谐深紫外激光光源的近常压光发射电子显微镜65深紫外激光光发射电子显微镜66二阶非线性光学测试仪67膜乳化器系列设备68冷喷涂设备69热丝法化学气相沉积设备70集束型纳米薄膜生长系统71磁控溅射台72原子层沉积系统73碳化硅晶体生长炉74高能衍射仪75分子束外延系统76等离子体化学气相沉积镀膜设备77蒸发镀膜设备78掠角入射沉积电子束蒸发设备79有机薄膜太阳能电池/OLED沉积设备80蒸发源及控制器81400-600 MHz高场磁共振波谱仪82深紫外/红外离子化质谱光谱仪83高灵敏在线光电离飞行时间质谱仪84皮秒单光子发光光谱仪85中性团簇红外光谱装置86交叉分子束-里德堡态氢原子飞行时间谱装置87紫外-可见区激光三联拉曼光谱仪88复杂环境气敏传感器测试系统89源表级多通道气体敏感测试平台90多相反应器内非均相流动特性测量系统91多相反应器内非均相混合特性测量系统92多功能内耗仪93多维跨尺度材料热性能测量仪94仪器分子泵95系列磁悬浮分子泵96中子分析用高温炉97微颗粒实时在线监测仪98激光共聚焦法流体液膜厚度及物性测量仪99分子吸附动力学原位测试系统100便携式离子阱颗粒质谱101单纵模纳秒脉冲光参量振荡器102程序升温脱附系统103流通池荧光检测器104离子阱毒品现场鉴别仪105便携式、台式爆炸物、毒品痕量检测仪信息与工程科学106激光闪光光谱仪（纳秒瞬态光谱仪）107系列化深紫外全固态激光器108大能量飞秒光纤激光器109超快激光精密加工设备110实时高速视觉系统111600 mm激光干涉仪（含拼接装置）112平面激光干涉仪113激光模拟单粒子效应测试系统114激光模拟剂量率测试系统115光刻机系列116高密度等离子体刻蚀机117深紫外准分子激光器系列产品118激光划片机119高速高精密激光调阻机120机载双频激光雷达121任意序列发生器122双光子3D打印系统123光栅系列（平面刻划光栅、平面全息光栅、曲面全息光栅）124高性能光学滤光片系列（荧光滤光片、诱导透射滤光片等）125绝对式光栅尺126镜面偏心间隔一体化检测系统127高通量智能音视频处理一体机128智能环形抛光机129系列真空泵130毫米波人体成像安全检查设备131LIBS元素成分非接触式快速分析仪132线阵列X射线探测器133双通道辐射剂量检测与连锁控制器134多维步态测试系统135微小部件高速高精度自动分拣装备136相干光场波前测量仪137高精度电光晶体定向仪138发动机内窥光纤火焰传感器139柔性力敏传感器140超高精度压力传感器141微型电场传感器142半导体泵浦激光放大器143光电放大器144超级基站145卫星移动通信终端综合测试仪146高温超导接收前端147空间环境模拟设备148交会灯 舱内灯149空间细胞生物反应器150氟油检漏平台151坚固-工业耐辐射摄像机152激光跟踪仪153工业全站仪154传输线脉冲发生器155功率器件闩锁测试系统156二维机械手157皮安电流测量仪158全隔离高精度多路脉冲同步触发系统159微波辐射粮食快速干燥机地球与环境科学160高精度磁强计161全天相机/全天域极光监测仪162全自动差分像运动大气视宁度监测仪163光学湍流与风廓线仪164二噁英大气采样仪165全天空气辉成像仪166全天空云图仪167大气成分差分光学吸收光谱在线监测系统168大气痕量气体成像差分吸收光谱仪169大气过氧自由基测量仪170便携式多组份气体紫外分析仪171亚硝酸在线分析仪172便携式挥发性有机物分析仪173便携式傅里叶红外多组分气体分析仪174机动车排放超细颗粒物数浓度监测仪175气态亚硝酸在线检测仪176全天域极光/气辉高光谱成像仪177农田氨挥发原位实时监测系统178质子转移反应质谱仪179大气臭氧观测激光雷达180地面电磁探测系统181探地雷达182高精度测温链183超声风速温度仪184天光背景测量仪185太阳辐射计186感应式磁场传感器187深海水声数据采集记录系统188深海声学应答释放器1896000m级可视化可控轻型柱状取样器190深海高光谱成像仪191深海多参数剖面观测浮标192实时通信潜标193漂流浮标194三锚式浮标综合观测平台195腐蚀传感器196基于大型浮标的自由伸缩式海洋剖面观测平台197单模多卡北斗通信模块198海岛近岸水文监测系统199海底地震仪200冻融循环测试系统201小型绝对重力仪202超低温电池203漫反射标准参照板204大动态范围积分球辐射源205污染物分布红外光谱成像遥测系统206水质监测水面机器人207水体藻类在线/原位监测仪208两虫检测自动识别系统209浮游动物原位探测超分辨三维成像系统210光纤信号采集器211光纤地震计212分布式光纤声传感系统213便携式土壤碳通量自动测量系统214数字化三维高清钻孔摄像系统215地下流体分层保真取样仪216地应力测井机器人217腔增强反照率光谱仪218智能厌氧制备系统219小型荧光检测模块220有机固废好氧快速发酵系统生命与医学科学221TIRF单分子显微镜222STED超分辨光学显微镜223STED超分辨光学显微镜224激光扫描共聚焦显微镜225三维结构光照明超分辨显微镜226高场磁共振射频线圈及其发射接收功能链路227光泵原子磁力计脑磁图2287T小动物磁共振成像229乳腺/灵长类诊断正电子发射断层成像系统230小动物能谱显微CT231小动物光学和光声断层多模融合分子影像设备232小动物在体自发荧光断层分子影像设备233小动物光学多模融合分子影像成像系统234四维在体光学投影断层成像系统235三维实时在体神经功能回路成像系统236高场磁共振射频线圈237超高通量基因测序仪238单细胞拉曼分选-测序耦合系统239高通量流式拉曼分选仪240单细胞扩增测序系统241芯片式高通量数字化核酸分析仪242自动化核酸快速提取仪243超微量DNA自动提取检测工作站244全自动干细胞诱导培养设备245基于自发光技术的新型抗菌药物活体筛选系统246克隆挑取仪247单细胞精准分选仪248单细胞微液滴分选系统249临床单细胞拉曼药敏性快检仪250非晶镍钛支持膜透射电镜载网251超薄切片自动收集器252平场复消色差显微物镜253微型高频超声换能器254三重四极杆质谱仪255双通道纳米颗粒示踪分析仪256生物分子界面分析仪257智能化蛋白层析系统258离子束生物工程装置259小氢新TM便携式氢氧仪260中国人群嗅觉识别测试棒261高真空低温光电关联荧光成像仪262认知障碍康复训练系统263人体多生理参数检测系统264血管内光/声多模态、多尺度成像系统265人体肺部气体磁共振成像系统266穿刺手术导航系统267轻量型锥束CT成像系统268健康管理系统（一体机、随诊包）269生物特征光谱识别仪270人与动物血液细胞非接触式识别仪271心血管功能测试仪272肺功能测试仪273动脉硬化检测仪274呼吸热量代谢测试仪275身体成分分析仪276单粒种子品质智能化无损通量检测分选仪器277消毒防疫机器人278黄曲霉毒素荧光检测器279触角电位测量系统280科研型-光镊微操作仪281五面投影虚拟仿真CAVE系统中国科学院自主研制科学仪器2020序号名称数理与天文科学1超高真空扫描探针显微镜系统2超高真空低温扫描隧道显微镜3高通量激光分子束外延-低温扫描隧道显微镜联合系统4扫描探针显微镜5干式无液氦超导磁体扫描隧道显微镜、磁力显微镜、原子力显微镜6超快透射电子显微镜系统7星载质谱仪8星载中能粒子探测器9星载高能质子（电子）探测器10热等离子体探测器11闪烁体中子探测器12线阵列X射线探测器13太赫兹超导探测器芯片系列14溴化镧闪烁晶体空间探测器15显微共焦拉曼荧光光谱测量模块16深紫外激光调制反射光谱仪17大型平行光管18400mm口径光学望远镜19激光雷达望远镜201m口径光学望远镜21大口径标准镜面22高精度光学镜面23氢原子钟24星载铷原子钟25芯片原子钟26时间服务器27激光抽运小型铯原子钟28网络精密时间服务器29高重复率距离门控产生器30超窄线宽稳频激光系统31高重频钛宝石飞秒激光放大器32多波长飞秒全固态激光器33中红外锑化物大功率激光器341PW超强超短激光系统3510PW超强超短激光器36中红外可调谐飞秒激光器37高光束质量高功率纳秒激光器38深紫外激光光致发光光谱仪39光学湍流与风廓线仪40天顶仪41高温超导接收前端42量子态控制与读出系统43脉冲式电子顺磁共振谱仪44全光驱动高能电子束45全光驱动的团簇聚变中子源46单频激光噪声测试仪47燃油喷嘴高压高温雾化特性平面激光测量系统48风力机外场气动/结构综合测试系统49磁通门磁强计50靶斑仪51超声波可视化与定量观测的动态激光光弹设备52氦质谱检漏仪53共视远程比对测量仪54授时信号模拟器55星载粒子辐射剂量仪56朗缪尔探针57RAMO-C个人辐射报警仪化学与材料科学58400-600MHz高场磁共振波谱仪59高灵敏在线光电离飞行时间质谱仪60皮秒单光子发光光谱仪61中性团簇红外光谱装置62交叉分子束-里德堡态氢原子飞行时间谱装置63紫外-可见区激光三联拉曼光谱仪64荧光相关光谱仪65暗场光谱显微镜66场发射枪扫描电子显微镜67深紫外激光光发射电子显微镜68双光子显微镜69多相反应器内非均相混合特性测量系统70多相反应器内非均相流动特性测量系统71高速高精密激光调阻机72大功率红绿蓝单频激光器73大功率中红外激光器74短波连续紫外激光器75TDTR薄膜导热测量仪76有机薄膜太阳能电池/OLED沉积设备77电子束蒸发系统78集束型纳米薄膜生长系统79磁控溅射台80等离子体化学气相沉积镀膜设备81蒸发镀膜设备82磁控溅射卷绕镀膜设备83高能脉冲磁控溅射镀膜机84分子束外延系统85蒸发源及控制器86真空泵、离子泵87系列磁悬浮分子泵88系列脂润滑分子泵89高能衍射仪90超高真空闸板阀91微型流化床反应动力学分析仪92微颗粒实时在线监测仪93单纵模纳秒脉冲光参量振荡器94程序升温脱附系统95流通池荧光检测器96离子阱毒品现场鉴别仪97便携式、台式爆炸物、毒品痕量检测仪98智能化蛋白层析系统99碳化硅晶体生长炉100分子吸附动力学原位测试系统101基于共振光散射的微阵列生物芯片检测系统102多功能内耗仪103源表级多通道气体敏感测试平台信息与工程科学104600mm激光干涉仪105高精度电光晶体定向仪106飞秒脉冲形状宽度测量仪107超级基站108原子层沉积系统109光刻机系列110高密度等离子体刻蚀机111多自由度精密工件台系列112连续波速调管113短相干激光干涉仪114动态干涉仪115短相干激光器116单频种子激光器117高功率固态飞秒激光器118高功率光纤飞秒激光器119半导体泵浦激光放大器120太赫兹量子级联激光器121系列化深紫外全固态激光器122超高精度压力传感器123固体目标微形变探测仪124高温金属液流速实时在线监测仪125绝对式光栅尺126激光跟踪仪127工业全站仪128激光划片机129激光模拟单粒子效应测试系统130微秒脉冲电源131复杂结构构件的超声无损评价系统132超声相控阵检测仪133基于SEM的nano-CT系统134二维真空机械手135LIBS元素成分非接触式快速分析仪136空间环境模拟设备137氟油检漏平台138多维力/力矩传感器139超导纳米线单光子探测系统140机载双频激光雷达141超导磁选机142三维X射线晶圆级封装计量系统143高低温空间环境模拟真空设备144伽玛射线成像仪145高密度激光改性系统146多维跨尺度材料热性能分析仪147皮秒条纹相机148可见与红外光轴平行度检测仪149小型电子束曝光系统150激光闪光光谱仪151自适应光纤耦合装置及扩束系统152高速并行超声信号系统153高压脉冲源154二阶非线性光学测试仪155任意序列发生器156光栅系列157大面积微通道板型光电倍增管158双光子3D打印系统159高通量智能音视频处理一体机160涡轮叶片表面温度测量仪161微型超声换能器162微型电场传感器地球与环境科学163分布式光纤声传感系统164光纤信号采集器165光纤地震计166海底地震仪167电离层光度计168红外云天仪169天空光谱辐照度仪170全天空云图仪171太阳光谱辐射观测设备172太阳辐射计173便携式多组份气体紫外分析仪174大气痕量气体成像差分吸收光谱仪175昼夜大气相干长度仪176大气成分差分光学吸收光谱在线监测系统177陆地-大气界面气体交换通量全自动观测系统178大气臭氧探空仪179二噁英大气采样仪180多粒径大流量空气颗粒物采样器181超声风速温度仪182海洋重力仪183水声试验用拖曳细长线列阵184实时通信潜标1856000m级可视化可控轻型柱状取样器186深海海底理化环境长期观测系统187深海激光拉曼光谱原位定量探测系统188深海多参数剖面观测浮标189深水多通道声学测量系统190深海原位水体采样装置191系列化拉曼光谱探针192水面艇用小型多普勒计程仪193水质监测水面机器人194基于ROV的小型钻机195基于ROV的小型抓斗196ROV温度梯度传感器197地应力测井机器人198原子绝对重力仪199正交偶极子声波测井换能器200地面电磁探测系统201感应式磁场传感器202探地雷达203定容管活塞式油气水多相流量计204超导重力仪205XRF岩石样品自动分析及大型化石表面元素分析仪206航天器表面电位监测器207集成电路激光精准注入分析仪208高精度磁强计209甚低频MEMS地震检波器210水体藻类在线/原位监测仪211生物耗氧量在线分析仪212地下流体分层保真取样仪213基于NB-IoT的集成式土壤墒情智能监测设备214有机-无机复合污染场地土壤多元异位集成洗脱修复设备215便携式土壤呼吸测量系统216便携式微波辐射计217气态亚硝酸在线检测仪218亚硝酸在线分析仪219扫描式岩石磁性测量仪生命与医学科学220超高通量基因测序仪221冷冻显微镜222多波长消色差全内反射显微镜223STED超分辨光学显微镜224三维结构光照明超分辨显微镜225激光扫描共聚焦显微镜226基于介质微球透镜的近场光学超分辨显微镜227TIRF单分子显微镜228小动物能谱显微CT229小动物移动眼动追踪仪230小动物光学和光声断层多模融合分子影像设备231小动物在体自发荧光断层分子影像设备232小动物光学多模融合分子影像成像系统233四维在体光学投影断层成像系统234乳腺/灵长类诊断正电子发射断层成像系统235人体多生理参数检测系统236轻量型锥束CT成像系统237人体肺部气体磁共振成像系统238糖尿病早期无创检测系统239多功能荧光分析仪240高时空分辨的电化学-荧光耦联细胞成像系统241多路激光耦合器242临床单细胞拉曼药敏性快检仪243单细胞拉曼分选-测序耦合系统244单细胞物理/化学特性高通量检测分析仪245单细胞分选仪246细胞三维培养系统247流式细胞仪248数字PCR仪249核磁共振微成像仪250超微量DNA自动提取检测工作站251全自动干细胞诱导培养设备252自适应光学视网膜成像仪253三维实时在体神经功能回路成像系统254毫米波人体成像安全检查设备255膜乳化器系列设备256三重四极杆质谱仪257生物分子界面分析仪258全自动、高分辨率、高通量植物真三维影像分析系统259生物结构真三维形态图像快速获取与定量分析仪260浮游动物原位探测超分辨三维成像系统261离子束生物工程装置262无需麻醉小动物活体发光快速检测系统263基于低频振荡的微点阵阵列/图案化制备仪器系统264黄曲霉毒素荧光检测器265消毒防疫机器人266触角电位测量系统267单粒种子品质智能化无损通量检测分选仪器268硅神经微电极269共聚焦显微内窥镜270微型高频超声换能器271平场复消色差显微物镜272科研型-光镊微操作仪273消色差全内反射荧光照明器274在线OD测量仪275两虫样品预处理仪中国科学院自主研制科学仪器2019序号名称数理与天文科学1GNSS无线电掩星探测仪2热等离子体探测器3深紫外激光光致发光光谱仪4深紫外激光光发射电子显微镜5等离子体分析仪6朗缪尔探针7靶斑仪8星载铷原子钟9星载高能质子（电子）探测器10超高真空低温扫描隧道显微镜11超窄线宽稳频激光系统12卫星高度计有源定标器13天顶仪14星载粒子辐射剂量仪15高重频钛宝石飞秒激光放大器16超导纳米线单光子探测系统17太赫兹超导探测器芯片系列18高温超导接收前端19单频激光噪声测试仪20时间服务器21扫描探针显微镜22量子态控制与读出系统23磁通门磁强计24高重复率距离门控产生器（RGG）25中红外锑化物大功率激光器26复现高超声速飞行条件激波风洞271PW超强超短激光系统2810PW超强超短激光器29中红外可调谐飞秒激光器30全光驱动高能电子束31全光驱动的团簇聚变中子源32高通量激光分子束外延-低温扫描隧道显微镜联合系统33超高真空扫描探针显微镜系统化学与材料科学34深紫外/红外离子化质谱光谱仪35脉冲式电子顺磁共振谱仪36膜乳化器系列设备37400-600MHz高场磁共振波谱仪38分子束外延系统39紫外-可见区激光三联拉曼光谱仪40高能脉冲磁控溅射（HiPIMS）镀膜机41质子转移反应质谱仪42双光子显微镜43在线飞行时间质谱仪44OLED有机薄膜太阳能电池沉积设备45元素分布成像快速检测装置46开放光路面源排放VOCs气体分析仪47傅里叶红外多组分气体分析仪48场发射枪扫描电子显微镜49离子阱颗粒质谱装置50荧光相关光谱仪51碳化硅晶体生长炉52多功能内耗仪53声表面波气相色谱仪54多元素重金属在线分析仪55TVP远心/光纤照相多相测量仪56便携式、台式爆炸物毒品痕量检测仪57高能衍射仪58蒸发源及控制器59燃气分析仪60焚烧烟气二噁英等速采样仪61源表级多通道气体敏感测试平台62ZJ系列准静态d33测量仪63磁控溅射卷绕镀膜设备信息与工程科学64机载双频激光雷达65系列化深紫外全固态激光器66超导磁选机67三维X射线晶圆级封装计量系统68原子层沉积系69多自由度精密工件台系列70高低温空间环境模拟真空设备71伽玛射线成像仪72光刻机系列73高密度激光改性系统74基于SEM的nano-CT系统75高密度等离子体刻蚀机76多维跨尺度材料热性能分析仪77连续波速调管78电子束蒸发系统79磁控溅射台80皮秒条纹相机81涡轮叶片表面温度测量仪82等离子体化学气相沉积镀膜设备83可见与红外光轴平行度检测仪84小型电子束曝光系统85高速数据采集板86激光闪光光谱仪（纳秒瞬态光谱仪）87自适应光纤耦合装置及扩束系统88定容管活塞式油气水多相流量计89高速多参数自动筛选机90高速并行超声信号系统91超声剪切波弹性成像仪器92高压脉冲源93二阶非线性光学测试仪94真空部件95平面激光干涉仪96KBBF-PCD器件97多通道颗粒浓度速度测量仪98任意序列发生器99光栅系列（平面刻划光栅、平面全息光栅、曲面全息光栅）100超声风速温度仪101多维力/力矩传感器102微型超声换能器103感应式磁场传感器104大面积微通道板型光电倍增管105激光功率能量计106双光子3D打印系统107高通量智能音视频处理一体机地球与环境科学108深海海底理化环境长期观测系统109水声试验用拖曳细长线列阵1106000m级可视化可控轻型柱状取样器111深海激光拉曼光谱原位定量探测系统112深海多参数剖面观测浮标113超导重力仪114原子绝对重力仪115地面电磁探测系统116昼夜大气相干长度仪117水质监测水面机器人118陆地-大气界面气体交换通量全自动观测系统119探地雷达120大气成分差分光学吸收光谱（DOAS）在线监测系统121太阳辐射计122基于ROV的小型钻机123海底地震仪124系列化拉曼光谱探针125全天空云图仪126水面艇用小型多普勒计程仪127红外云天仪128ROV温度梯度传感器129基于ROV的小型抓斗130深海原位水体采样装置131二噁英大气采样仪132大气臭氧探空仪133生物耗氧量在线分析仪生命与医学科学134小动物光学多模融合分子影像成像设备1353.0T人体磁共振成像系统136肺部气体磁共振成像系统137乳腺PET/灵长类PET138四维在体光学投影断层成像系统139基于介质微球透镜的近场光学超分辨显微镜140全自动干细胞诱导培养设备141自适应光学视网膜成像仪142STED超分辨光学显微镜143超微量DNA自动提取检测工作站144三维实时在体神经功能回路成像系统145小动物光学和光声断层多模融合分子影像设备146毫米波人体成像安全检查设备147单细胞拉曼分选及测序耦合系统148小动物在体自发荧光断层分子影像仪器设备149临床单细胞拉曼耐药性快检仪150TIRF单分子显微镜151激光扫描共聚焦显微镜152数字PCR仪153糖尿病早期无创检测系统154科研型-光镊微操作仪155流式细胞仪156智能化蛋白层析系统157黄曲霉毒素荧光检测器158人体多生理参数检测系统

7月4日，天津市发展和改革委员会发布了《关于天津工业大学一流学科群平台和高能级研发创新平台设备更新项目可行性研究报告的批复》。经委托天津国际工程咨询集团有限公司组织专家评审，原则同意该项目可行性研究报告，项目建设主体为天津工业大学，项目代码：2405-120000-89-03-702469。该项目位于天津市西青区宾水西道399号天津工业大学现址内。主要建设内容及规模：主要购置设备280台（套），主要为非织造智能工厂平台模拟系统等；替换原有老旧设备279台（套），主要为复合纺丝机、真空镀膜机、半导体及光学薄膜制备系统等设备（购置设备清单详见附件）。总投资金额为41587万元，通过申请中央资金和学校自筹等多种渠道解决。附件天津工业大学一流学科群平台和高能级研发创新平台设备更新项目设备清单表序号仪器设备名称数量（台/套）1柔性薄膜制备系统12天然木质素染料提取浓缩干燥专用设备13连续长丝3D成型系统14计算机基础教学与创新实验平台15图形图像实训系统设备16人工智能计算平台17人工智能实训与创新平台18纳米纤维智造平台19CAD/CAM数字化智能教学实训系统110户外功能性服装智能缝制系统111多通道超声波细胞粉碎机系统112超大隔距双针床经编机113柔性电极印刷系统114软包电池产线系统115生理参数模拟人台系统116呼吸综合模拟系统117纺织服装数智化实验教学系统118双面无缝成形针织小样机119染料-助剂-纤维界面作用与影响实验教学套装120转移印花与数码印花实验教学套装121熔喷纳微纤维水刺复合实验线122溶液喷射/微射流纳微纤维实验机123非织造成网固网系统124立式熔喷机125针织经纬编衬纱编织机126多功能全成型电脑横机127静电可调针织钩编系统128数字化小样纺纱精梳系统129环锭纺细纱自动接头机130单面高速提花无缝针织内衣机131双面全成形经编机132红外摄像机133紫外-可见-近红外分光光度计134多功能生物3D打印机135高真空电阻蒸发镀膜机136多结构复合纤维熔融纺丝实验线137动态纸页成型器138非织造智能工厂平台模拟系统139功能性纳米颗粒修饰改性微纳米纤维的制备体系140材料微纳米结构激光加工设备141超薄切片机142复合材料老化机组143纺织装备系列仿真软件144高精度视线交互系统145纺织关键工况物理模拟系统146数字工程师培训考核平台247二维材料制备系统148高真空多靶磁控溅射系统149HVPE沉积机台150服务器151电输运与磁致伸缩测量系统152布里奇曼定向凝固炉153高真空单辊旋淬及喷铸与电弧熔炼及吸铸系统154雾化气相外延沉积机台155物理气相沉积机台156晶圆表面修整抛光机157晶圆键合机158晶圆清洗湿法刻蚀机159虚拟仪器项目式实践与机器视觉平台160信号与系统综合实验平台161数据通信实验平台262软件无线电创新平台163光纤通信技术综合实验系统164大载重多功能无人机与四轴消防无人机系统165多旋翼搜救与测绘无人机群166多用途垂直起降固定翼无人机467大负载长续航物流运输无人机468智能双轴机械手缆控无人潜航器169无人机应急指挥调度平台170机载通信装备171无人系统教学仿真系统172共直流母线变频电源173电机结构虚拟化开发平台174高性能电机控制系统快速原型开发平台175现代电机系统教学实验平台176DSP教学实验平台177超声金属电极键合机178高频变压器179功率半导体器件互连烧结机180综合展示系列设备181多功能五合一绣花机182SLA系列光固化打印机183视觉成像系统184服装数字化教学系统185服装智能制造教学系统186服装综合性教学系统187微机原理实验平台188电路实验平台189电工学电子技术实验平台190电工学电工技术实验平台191实验教学数字化平台192电工电子多功能实训平台193电子类竞赛综合实训平台194数控车铣实验平台195纺织智能制造成品码垛实训平台196数字化设计与制造实训教学平台197非遗工艺创新-非金属激光加工系统198多材料金属3D成型机199激光钣焊成型系统1100数控加工智能制造生产线1101机器人创新实训平台1102传统机械加工实训平台1103精密铸造实训平台1104智能制造产线孪生教学系统1105虚拟现实元宇宙教学系统1106面向实验室安全监测的智能巡检机器人1107陶瓷粉末快速成型机1108高温连续碳纤维3D成型设备1109全彩树脂3D成型机1110高分子材料烧结快速成型机111110激光器超大SLA3D成型机1112金属激光加工系统1113教学（外语）视听设备及数据存储设备1114数字经贸融合创新教学平台1115数智化企业仿真创新教学平台1116金融科技智能融合创新教学平台1117交互式教学平台12118外语教学系统7119数字人系统8120工作站软件3121桌面工厂（设计版）4122化工原理及专业实验平台1123化工过程实训平台1124人工智能数学大模型平台11256寸半自动光刻机2126光刻预制处理实验平台1127高性能工作站11281940nm光纤激光器1129多工位有机无机蒸发镀膜系统11301910nm光纤激光器1131拉曼光纤激光器2132通用人工智能大模型训练设备4133手眼耳脑具身智能机器人集群系统1134人工智能专业课程实践平台1135医学大数据处理平台1136医工融合新工科创新育人平台1137高性能超精密航空航天金属构件复合加工平台1138高精度空天集群博弈位姿定位系统1139航空发动机燃烧室流场重构-燃烧诊断系统1140GPU服务器2141三维扫描建模系统1142惯性三维运动捕捉系统1143AIoT实验实训系统5144智能网联车实验平台1145深度学习开发平台1146智能复合机器人2147面向工业智能应用的算力租户科研服务平台1148高性能AI算力云资源管理平台1149生物制药实践教学平台1150药物制剂与新释药技术教学平台1151核心路由器2152核心交换机5153智能空间管理系统1154视觉管理设备4155视觉借还设备1156智慧管理服务平台1157AI学科馆员与咨询设备1158复合材料高压成型系统1159智能缝合系统11603D多层织物织造系统1161高性能碳纤维超薄织物织造系统1162复合材料连续纤维3D打印设备1163复合材料特种热压机1164碳碳复合材料制备系统1165磁控溅射镀膜系统（Magnetronsputteringdepositionsystem）1166飞秒激光器（Femtosecondlaser）1167台式超速离心机1168氮化物分子束外延生长系统1169紫外激光晶圆划片机1170科研通风设备1171能量转换设备8172能量转换设备20173电驱动离心式冷热高效交换机组2174大型双曲线横流自然通风水冷冷却器5175一体化高效节能冷温水传递系统18176冷冻水式高效组合空气换热处理设备机组1合计280