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电镜光阑

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电镜光阑相关的仪器

  • 拉曼电镜光谱联用技术产品简介扫描电子显微镜(SEM)是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品,实现对物质微观形貌表征的目的。具有景深大、分辨率高,成像直观、立体感强、放大倍数范围宽以及待测样品在三维空间内进行旋转和倾斜等特点。拉曼技术在分子级别上提供样品的化学结构、组分信息;而 SEM 可在纳米尺度上提供高空间分辨率的形貌图像;SEM 与拉曼光谱技术相结合,使用 SEM 观察样品形貌,并可获取指定样品点的拉曼光谱信息,同步获取样品材料表面形貌、分子结构与化学组分等信息。典型应用RTS- SEMR 拉曼电镜光谱系统北京卓立汉光仪器有限公司全新推出的 RTS- SEMR 拉曼电镜光谱系统集成场发射扫描电镜与拉曼光谱系统于一体,是一款真正意义上实现国产拉曼光谱与扫描电镜联用的设备。拉曼电镜通过快速、精确、高性能的拉曼分析,弥补了能谱仪、波谱仪等传统电镜附件无法实现的分子结构与成分观察。尤其是针对有机结构、碳结构、同分异构体、晶体与无机相等多领域材料的信息表征,扩展了传统扫描电子显微镜的分析应用领域,例如矿物鉴别、高分子与制药行业、锂电行业、医工交叉行业等,应用前景广阔。北京卓立汉光仪器有限公司推出的扫描电镜-拉曼光谱联用装置采用“离轴”模式设计理念。“离轴”模式扫描电镜的电子束与拉曼光谱的激光束不同轴,通过移动样品台分别进行扫描电镜-能谱分析和显微拉曼光谱分析,原位获取样品指定位置的形貌信息和化学成分信息。系统架构RTS- SEMR 拉曼电镜光谱系统,电镜拥有大视野及纳米级分辨率,是一个优秀的样品微观形貌分析平台,系统耦合拉曼共聚焦光路进入真空样品仓,实现了样品在电子束和激光束之间的快速切换,在满足样品表征观察的同时,也能够实现纳米级分辨率的化学成分和空间结构分析,充分发挥扫描电镜与拉曼两者的应用优势。拉曼集成扫描电子显微镜采用平行双束方案,搭载高精度复合位移台可实现样品在拉曼光轴和电子束光轴之间快速、精确、稳定的切换,拉曼扫描范围高达 2.5 mm。独特的系统及产品设计保证了操作性、易用性、普适性,用户可在电镜中寻找感兴趣的材料特征,得到高分辨的扫描结果后,一键切换至拉曼光路下进行该区域的快速/高精度的光谱扫描,随后得到高匹配程度的拉曼渲染联用效果。拉曼渲染结果的像素与光谱数据对应关系可通过软件程序直接提取,提供进行便捷的结果解析。拉曼光谱集成方案提供了多种配置供用户选择,例如激光波长、光谱仪焦长、光栅密度、物镜等光学核心配置,充分满足应用及市场的需求。扫描式电子显微镜系统配置多种类型探测器,可实现二次电子和背散射电子同时成像,兼容多种应用模式,可覆盖生命科学、材料科学、地质科学等多学科科研应用场景。标配五轴高精度运动平台及自主设计样品载台,可实现多个钉台同时放样或单一大尺寸样品观测。性能优势典型参数卓立汉光提供专业的免费测样服务,需求即达,欢迎洽谈!
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  • TESCAN MIRA 场发射扫描电镜给用户带来了最新的技术优点(如改进的高性能电子设备使成像过程更快,快速扫描系统包括了动态与静态图像扭曲补偿,有内置的编程软件等),同时保持着最高的性价比。MIRA 的设计适用于各种各样的SEM应用及当今研究和产业的需求。大电子束流下的高分辨率有利于分析应用,例如:EBSD、WDX等分析。现代电子光路高亮度肖特基电子枪可获得高分辨率/高电流/低噪音图像 独特的三透镜大视野观察(Wide Field Optics&trade )设计提供了多种工作与显示模式 独特的中间镜的作用就如同软件“光阑转换器”,它以电磁方式有效地改变物镜光阑 结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪(In-Flight Beam Tracing&trade ),可模拟和优化电子束 可选的In-Beam探头可获得特高分辨率图像 电镜的全自动设置 成像速度快 使用3维电子束技术,实时得到立体图像,三维导航 维修简单现在保持电镜处在优秀的状态很简单,只需要很短的停机时间。每个细节设计得很仔细,使得仪器的效率最大化,操作最简化。自动操作设备的特点包括了自动设置和众多自动操作。除此之外,电镜还有样品台自动导航与自动分析 程序,能明显减少操作员的操作时间。通过内置脚本语言(Python)可进入软件的大多数功能,包括显微镜的控制、样品台的控制、图像采集、处理与分析。通过脚本语言用户还可以编程其自己的自动操作程序。用户界面友好的软件与软件工具多语言操作界面 多用户界面(包括了EasySEMTM模式)不同账户的权利使常规分析过程更快 图片管理,报告生成 内置的系统检查与系统诊断 网络操作与远程进入/诊断 模块化软件体系结构 标准软件包括了测量、图像处理、对象区域,等模块 可选的软件和包括颗粒度分析标准版/专家版、3维表面重建,等模块MIRA AMU特大样品室定制版
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  • 日立2005年在中国推出了S-4800型高分辨场发射扫描电镜,由于出色的应用性能、良好的稳定性和简易的维护,收到了各界用户的一致好评。  日立2011年新推出了它的后续机型----SU8010,它继承了S-4800的优点,性能有进一步提高,1kv使用减速功能后,分辨率提升到1.3nm,相对于S-4800可以在更低的加速电压下呈高分辨像,明显提升了以往很难观测的低原子序数样品的观测效果。特点:1. 优秀的低加速电压成像能力,1kv分辨率可达1.3nm2. 日立专利的ExB设计,不需喷镀,可以直接观测不导电样品3. Upper探头可选择接受二次电子像或背散射电子像4. 可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能5. 标配有冷指、电子枪内置加热器,物镜光阑具有自清洁功能6. 仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成
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  • 二手日立S-4300场发射电镜设计具有以下特点:1) 高亮度光源肖特基场发射扫描电子显微镜2) 高探针电流3) 长、短程电子束稳定4) 高分辨率S-4300SE可以与多种附件相结合,如阴J发光(CL),背反射电子衍射图形(EBSP),X-射线能谱(EDX),电子描画(EB)。技术指标二次电子成像分辨率:1.5nm(30kV), 5.0nm(1kV)20x~5,000,000x电子光学:电子枪:ZrO/W 肖特基发射电子源 (内置阳J加热)加速电压:0.5~30 kV (0.1kV/步)透镜系统:2级电磁透镜物镜光阑:4孔光阑,真空外选择和调校,加热自清理薄光阑板.象散校正:电磁象散校正器扫描线圈:2级电磁系统肖特基场发射扫描电子显微镜样品台:(1)标准台X:0~25 mmY:0~25 mmZ:5~ 30 mm 倾斜: -5~+45°(优中心)旋转:360°(连续)样品尺寸:直径120mm (Z大)(2)大样品台X:0~100 mm Y:0~50mmZ:5~35 mm 倾斜: -5~+60°(优中心)旋转:360°(连续)样品尺寸:直径160mm (Z大)(3)大的优中心样品台X:0~100mm Y:0~50 mm Z:5~35 mm倾斜: -5~+75°(优中心) 旋转:360°(连续)样品尺寸:直径160mm (Z大)肖特基场发射扫描电子显微镜图像显示系统:CRT显示语言:100 mmdia. × 17mm HPC操作系统 :(150 mmdia. × 6 mm H 可选)二手日立S-4300场发射电镜操作:显示器:英语(日语)自动调整功能:PC/AT兼容, Windows NT图像过程: 17 或 21 英寸彩色CRT图像储存:自动聚焦,自动象散校正,自动亮度、对比度调节,自动启动,自动摄像图像编辑:文件格式:SEM数据管理软件自动数据显示:640 x 480,1,280 x 960,2,560 x 1,920pixels 具有多种搜索功能的图像数据库.电子图像移动:BMP (TIFF, JPEG)真空系统:加速电压,放大微米标尺,微米值,胶卷号,工作距离,日期,时间,摄像放大倍率,检测器.离子泵:±30 μm (WD = 30 mm)前级泵:气动阀全自动控制涡管泵:~10-7 Pa (电子枪), ~10-4 Pa (样品室)
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  • 钨灯丝扫描电镜 VEGA VEGA系列的设计适合各种SEM应用及当今研究和工业的需求。经过10多年的不断发展,TESCAN已经成功开发、研制和制造了VEGA的第三代产品。新一代的VEGA给用户带了zui新的技术优势,包括改进的高性能电子设备使成像速度更快,包含了静态和动态图像扭曲补偿技术的超快扫描系统,内置的编程软件等,使VEGA系列产品保持着非常高的性价比。LaB6发射源TESCAN能提供介于肖特基与钨灯丝性能之间的LaB6(六硼化镧)作为电子发射源。LaB6的优势包括:稳定的电子发射源(与场发射电子源相比),在阴极较低温度下可获取比较高的束流(与钨灯丝电子源相比)。这就意味着在整个范围的加速电压和很长的使用寿命中,LaB6可以保持很高的亮度和分辨率。基于其非常高的发射电流,LaB6是需要大电子束流应用领域的正确选择。现代电子光路 独特的四透镜大视野光路设计提供各种各样的工作与显示模式 以电磁的方式改变物镜光阑——中间镜的作用如同"光阑转换器" 透镜与线圈的优质材料使成象率达到20ns/像素,并减少了动态扭曲效应 结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪(In-Flight Beam Tracing™ ),可模拟和优化电子束 镜筒设计提供了全自动电子光路设置,镜筒不含机械对中结构 3维电子束技术提供了实时立体图像检修方便只要很短的停机检查后就能保持电镜长时间处于zui佳状态。每个细节设计得很仔细,使得仪器的效率zui大化,操作zui简化。自动操作通过一次点击就可以进行自动灯丝加热和电子枪对中。众多的自动程序减少了用户的操作时间,并提供了操作的自动导航与自动化分析。通过内置脚本语言(Python)用户可以进入软件大多数功能,包括电镜控制、样品台导航、图像采集、处理与分析。通过脚本语言用户也可以自定义软件的自动操作。用户界面友好的软件 用户界面有各种语言版本 多用户界面(包括了EasySEMTM模式)不同账户的权利使常规分析过程更快 图像文件管理与报告生成 内置的自动系统检查 通过局域网或互联网可实现电镜远程诊断 模块化软件体系结构 标准的软件模块包括了:测量工具、图像处理、对象区域等 选配软件包括了:颗粒度分析、三维表面重构等VEGA3 GMVEGA3 GM是一款由计算机控制,可在高低真空模式下工作的全自动钨灯丝(选配LaB6)扫描电子显微镜,具有突出的光学性能,清晰的数字化图像,成熟的操作软件,用户界面友好等特征。基于Windows™ 平台的操作软件提供了简易的电镜操作方式和完整的图像采集功能,可以保存标准文件格式的图片,可以对图像进行管理、处理和测量,实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。VEGA3 XMVEGA3 XM是一款由计算机控制,可在高低真空模式下工作的全自动钨灯丝扫描电子显微镜,具有突出的光学性能,清晰的数字化图像,成熟的操作软件,用户界面友好等特征。基于Windows™ 平台的操作软件提供了简易的电镜操作方式和完整的图像采集功能,可以保存标准文件格式的图片,可以对图像进行管理、处理和测量,实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。VEGA3 LMVEGA3 LM是一款由计算机控制,可在高真空和低真空模式下工作全自动化钨灯丝扫描电子显微镜,具有突出的光学性能,清晰的数字化图像,成熟的操作软件,用户界面友好等特征。基于Windows™ 平台的操作软件提供了简易的电镜操作方式和完整的图像采集功能,可以保存标准文件格式的图片,可以对图像进行管理、处理和测量,实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。
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  • TESCAN--场发射扫描电镜 MIRA zui新一代的MIRA场发射扫描电镜给用户带来了zui新的技术优点(如改进的高性能电子设备使成像过程更快,快速扫描系统包括了动态与静态图像扭曲补偿,有内置的编程软件等),同时保持着zui高的性价比。MIRA3的设计适用于各种各样的SEM应用及当今研究和产业的需求。大电子束流下的高分辨率有利于分析应用,例如:EBSD、WDX等分析。MIRA3场发射扫描电镜可配置LM、XM或GM三种样品室。所有的MIRA样品室(LM、XM或GM)提供you xiu的5轴马达驱动全计算机化优中心样品台,完善的几何设计更适合安装能谱仪(EDS),波谱仪(WDX),电子背散射衍射(EBSD)。XM和GM样品室适用于大样品的分析。现代电子光路 高亮度肖特基电子枪可获得高分辨率/高电流/低噪音图像 独特的三透镜大视野观察(Wide Field Optics&trade )设计提供了多种工作与显示模式 独特的中间镜的作用就如同软件“光阑转换器”,它以电磁方式有效地改变物镜光阑 结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪(In-Flight Beam Tracing&trade ),可模拟和优化电子束 可选的In-Beam探头可获得特高分辨率图像 电镜的全自动设置 成像速度快 使用3维电子束技术,实时得到立体图像,三维导航维修简单现在保持电镜处在you xiu的状态很简单,只需要很短的停机时间。每个细节设计得很仔细,使得仪器的效率zui大化,操作zui简化。自动操作设备的特点包括了自动设置和众多自动操作。除此之外,电镜还有样品台自动导航与自动分析 程序,能明显减少操作员的操作时间。通过内置脚本语言(Python)可进入软件的大多数功能,包括显微镜的控制、样品台的控制、图像采集、处理与分析。通过脚本语言用户还可以编程其自己的自动操作程序。用户界面友好的软件与软件工具 多语言操作界面 多用户界面(包括了EasySEMTM模式)不同账户的权利使常规分析过程更快 图片管理,报告生成 内置的系统检查与系统诊断 网络操作与远程进入/诊断 模块化软件体系结构 标准软件包括了测量、图像处理、对象区域,等模块 可选的软件和包括颗粒度分析标准版/专家版、3维表面重建,等模块MIRA3 GMMIRA3 GM是一款完全由计算机控制的场发射扫描电子显微镜,可在高真空和低真空模式下操作,其具有突出的光学性能,清晰的数字化图像,成熟、用户界面友好的操作软件等特点。基于Windows&trade 平台的操作软件提供了简易的电镜操作和图像采集,可以保存标准文件格式的图片,可以对图像进行管理、处理和测量,实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。MIRA3 XMMIRA3 XM是一款完全由计算机控制的场发射扫描电子显微镜,可在高真空和低真空模式下操作,其具有突出的光学性能,清晰的数字化图像,成熟、用户界面友好的操作软件等特点。基于Windows&trade 平台的操作软件提供了简易的电镜操作和图像采集,可以保存标准文件格式的图片,可以对图像进行管理、处理和测量,实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。MIRA3 LMMIRA3 LM是一款完全由计算机控制的场发射扫描电子显微镜,可在高真空和低真空模式下操作,其具有突出的光学性能,清晰的数字化图像,成熟、用户界面友好的操作软件等特点。基于Windows&trade 平台的操作软件提供了简易的电镜操作和图像采集,可以保存标准文件格式的图片,可以对图像进行管理、处理和测量,实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。 北京亚科电子(山东)欢迎来电咨询 !
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  • TESCAN--场发射扫描电镜 MIRA zui新一代的MIRA场发射扫描电镜给用户带来了zui新的技术优点(如改进的高性能电子设备使成像过程更快,快速扫描系统包括了动态与静态图像扭曲补偿,有内置的编程软件等),同时保持着zui高的性价比。MIRA3的设计适用于各种各样的SEM应用及当今研究和产业的需求。大电子束流下的高分辨率有利于分析应用,例如:EBSD、WDX等分析。MIRA3场发射扫描电镜可配置LM、XM或GM三种样品室。所有的MIRA样品室(LM、XM或GM)提供you xiu的5轴马达驱动全计算机化优中心样品台,完善的几何设计更适合安装能谱仪(EDS),波谱仪(WDX),电子背散射衍射(EBSD)。XM和GM样品室适用于大样品的分析。现代电子光路 高亮度肖特基电子枪可获得高分辨率/高电流/低噪音图像 独特的三透镜大视野观察(Wide Field Optics™ )设计提供了多种工作与显示模式 独特的中间镜的作用就如同软件“光阑转换器”,它以电磁方式有效地改变物镜光阑 结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪(In-Flight Beam Tracing™ ),可模拟和优化电子束 可选的In-Beam探头可获得特高分辨率图像 电镜的全自动设置 成像速度快 使用3维电子束技术,实时得到立体图像,三维导航维修简单现在保持电镜处在you xiu的状态很简单,只需要很短的停机时间。每个细节设计得很仔细,使得仪器的效率zui大化,操作zui简化。自动操作设备的特点包括了自动设置和众多自动操作。除此之外,电镜还有样品台自动导航与自动分析 程序,能明显减少操作员的操作时间。通过内置脚本语言(Python)可进入软件的大多数功能,包括显微镜的控制、样品台的控制、图像采集、处理与分析。通过脚本语言用户还可以编程其自己的自动操作程序。用户界面友好的软件与软件工具 多语言操作界面 多用户界面(包括了EasySEMTM模式)不同账户的权利使常规分析过程更快 图片管理,报告生成 内置的系统检查与系统诊断 网络操作与远程进入/诊断 模块化软件体系结构 标准软件包括了测量、图像处理、对象区域,等模块 可选的软件和包括颗粒度分析标准版/专家版、3维表面重建,等模块MIRA3 GMMIRA3 GM是一款完全由计算机控制的场发射扫描电子显微镜,可在高真空和低真空模式下操作,其具有突出的光学性能,清晰的数字化图像,成熟、用户界面友好的操作软件等特点。基于Windows™ 平台的操作软件提供了简易的电镜操作和图像采集,可以保存标准文件格式的图片,可以对图像进行管理、处理和测量,实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。MIRA3 XMMIRA3 XM是一款完全由计算机控制的场发射扫描电子显微镜,可在高真空和低真空模式下操作,其具有突出的光学性能,清晰的数字化图像,成熟、用户界面友好的操作软件等特点。基于Windows™ 平台的操作软件提供了简易的电镜操作和图像采集,可以保存标准文件格式的图片,可以对图像进行管理、处理和测量,实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。MIRA3 LMMIRA3 LM是一款完全由计算机控制的场发射扫描电子显微镜,可在高真空和低真空模式下操作,其具有突出的光学性能,清晰的数字化图像,成熟、用户界面友好的操作软件等特点。基于Windows™ 平台的操作软件提供了简易的电镜操作和图像采集,可以保存标准文件格式的图片,可以对图像进行管理、处理和测量,实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。
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  • 场发射扫描电镜 MIRA zui新一代的MIRA场发射扫描电镜给用户带来了zui新的技术优点(如改进的高性能电子设备使成像过程更快,快速扫描系统包括了动态与静态图像扭曲补偿,有内置的编程软件等),同时保持着zui高的性价比。MIRA3的设计适用于各种各样的SEM应用及当今研究和产业的需求。大电子束流下的高分辨率有利于分析应用,例如:EBSD、WDX等分析。MIRA3场发射扫描电镜可配置LM、XM或GM三种样品室。所有的MIRA样品室(LM、XM或GM)提供优xiu的5轴马达驱动全计算机化优中心样品台,完善的几何设计更适合安装能谱仪(EDS),波谱仪(WDX),电子背散射衍射(EBSD)。XM和GM样品室适用于大样品的分析。现代电子光路 高亮度肖特基电子枪可获得高分辨率/高电流/低噪音图像 独特的三透镜大视野观察(Wide Field Optics™ )设计提供了多种工作与显示模式 独特的中间镜的作用就如同软件“光阑转换器”,它以电磁方式有效地改变物镜光阑 结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪(In-Flight Beam Tracing™ ),可模拟和优化电子束 可选的In-Beam探头可获得特高分辨率图像 电镜的全自动设置 成像速度快 使用3维电子束技术,实时得到立体图像,三维导航维修简单现在保持电镜处在优xiu的状态很简单,只需要很短的停机时间。每个细节设计得很仔细,使得仪器的效率zui大化,操作zui简化。自动操作设备的特点包括了自动设置和众多自动操作。除此之外,电镜还有样品台自动导航与自动分析 程序,能明显减少操作员的操作时间。通过内置脚本语言(Python)可进入软件的大多数功能,包括显微镜的控制、样品台的控制、图像采集、处理与分析。通过脚本语言用户还可以编程其自己的自动操作程序。用户界面友好的软件与软件工具 多语言操作界面 多用户界面(包括了EasySEMTM模式)不同账户的权利使常规分析过程更快 图片管理,报告生成 内置的系统检查与系统诊断 网络操作与远程进入/诊断 模块化软件体系结构 标准软件包括了测量、图像处理、对象区域,等模块 可选的软件和包括颗粒度分析标准版/专家版、3维表面重建,等模块MIRA3 GMMIRA3 GM是一款完全由计算机控制的场发射扫描电子显微镜,可在高真空和低真空模式下操作,其具有突出的光学性能,清晰的数字化图像,成熟、用户界面友好的操作软件等特点。基于Windows™ 平台的操作软件提供了简易的电镜操作和图像采集,可以保存标准文件格式的图片,可以对图像进行管理、处理和测量,实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。MIRA3 XMMIRA3 XM是一款完全由计算机控制的场发射扫描电子显微镜,可在高真空和低真空模式下操作,其具有突出的光学性能,清晰的数字化图像,成熟、用户界面友好的操作软件等特点。基于Windows™ 平台的操作软件提供了简易的电镜操作和图像采集,可以保存标准文件格式的图片,可以对图像进行管理、处理和测量,实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。MIRA3 LMMIRA3 LM是一款完全由计算机控制的场发射扫描电子显微镜,可在高真空和低真空模式下操作,其具有突出的光学性能,清晰的数字化图像,成熟、用户界面友好的操作软件等特点。基于Windows™ 平台的操作软件提供了简易的电镜操作和图像采集,可以保存标准文件格式的图片,可以对图像进行管理、处理和测量,实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。设备咨询电话:(微信同号);QQ:;邮箱:欢迎您的来电咨询!
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  • 产品介绍:Regulus8100是日立冷场发射扫描电镜的全新系列,Regulus8100保留了SU8010易维护、易操作等优点,进一步提高性能,1kV减速模式下分辨率达到了0.8nm,15kV达到0.7nm,高低电压均可满足高分辨的观察。主要特点:1. 配备加速电压减速功能,很好的低加速电压成像能力,1kV分辨率可达0.8nm2. 日立专利E×B技术,无需喷镀,可直接观测不导电样品3. 配备电子枪内置加热器,物镜光阑具有自清洁功能4. SE与BSE任意比例搭配功能样品:AlTiC基板加速电压:1kV倍率:2万倍应用领域:1、 纳米材料;2、 半导体器件;3、 高分子材料;4、 生物医学;5、 新能源。
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  • 双束聚焦离子束扫描电镜 LYRA 基于高分辨率肖特基FEG-SEM镜筒和高性能聚焦离子束镜筒,LYRA3 FIB-SEM是一款SEM与FIB良好结合的一体化系统,能够满足高要求客户的需要。新一代场发射扫描电子显微镜(LYRA3)给用户带来了新的技术优点,包括改进的高性能电子设备使成像速度更快,包含了静态和动态图像扭曲补偿技术的超快扫描系统,内置的编程软件等,都使LYRA3保持着很高的性价比。LYRA3系列的设计适用于各种各样的SEM应用及当今研究和工业的需求。大电子束流下的高分辨率有利于EDX、WDX、EBSD、3维断层扫描等分析应用。借助于高性能软件,TESCAN的FIB-SEM已成为适合电子束/离子束光刻、TEM样品制备等应用的强大工具。LYRA3聚焦离子束扫描电子显微镜配备了XM与GM两种样品室。现代电子光路 独特的大视野光路设计提供各种工作与显示模式 以电磁的方式改变物镜光阑——中间镜的作用如同“光阑转换器” 结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪(In-Flight Beam Tracing™ ),可模拟和优化电子束 全自动镜筒设置与对中 成像速度很快 3维电子束技术提供实时立体图像 可选的电子束遮没装置提供了电子束光刻技术高性能离子光路 高性能CANION FIB设备提供既快又精确的切片与TEM样品制备技术 可选的高分辨率COBRA-FIB离子束设备在成像与铣削过程中依然保持很高的分辨率聚焦离子束装置 装有两套差异泵的独特离子束装置使离子散射效应较更低 马达驱动高重复性光阑转换器 电子束遮没装置与法拉第筒作为标配 同时可以进行离子刻蚀/沉积与SEM成像 FIB的操作软件集成在SEM软件 软件工具栏包括了基本形状与可编程的参数 微/纳米加工 离子束光刻维修简单只需要很短的停机检修时间,就能使得电镜长期保持在优化的状态。每个细节设计得非常仔细,使得仪器的效率zui大化,操作zui简化。自动程序自动设置和许多其他的自动化操作是设备的特点之一。除此之外,电镜还有样品台自动导航与自动分析 程序,能明显减少操作员的操作时间。通过内置脚本语言 (Python)可进入操作软件的大多数功能,包括显微镜控制、样品台控制、图像采集、处理与分析。通过脚本语言用户还可以编程其自己的自动操作程序。用户界面友好的软件与软件工具 多用户和多语言操作界面 图像管理与报告生成 内置的系统检查与系统诊断 网络操作与远程进入/诊断 模块化的软件结构 标准的软件模块包括:自动离子束控制、电子束写入基本版、同时的FIB/SEM成像、预定义FIB工作模式等软件工具 可选软件包括了:颗粒度分析标准版/专家版、3维表面重建等模块 电子束写入软件使聚焦离子束扫描电子显微镜成为能进行电子束曝光、电子束沉积、电子束刻蚀、离子束沉积、离子束减薄的强大工具 可选的3D Tomography软件提供使用FIB时的全自动连续SEM图像,三维重构与三维可视化LYRA3 GMLYRA 3 GM是一款完全由计算机控制的聚焦离子束场发射扫描电子显微镜,可选配气体注入系统(GIS), 有高真空和低真空两种模式,其具有突出的光学性能、清晰的数字化图像、成熟、用户界面友好的SEM/FIB/GIS操作软件等LYRA3 XMLYRA3 XM是一款完全由计算机控制的聚焦离子束场发射扫描电子显微镜,可选配气体注入系统(GIS),有高真空和低真空两种模式,其具有突出的光学性能、清晰的数字化图像、成熟、用户界面友好的SEM/FIB/GIS操作软件等特点。基于Windows™ 平台的操作软件提供了简易的电镜操作和图像采集,可以保存标准文件格式的图片,可以对图像进行管理、处理和测量,实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。
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  • 双束聚焦离子束扫描电镜 LYRA 基于高分辨率肖特基FEG-SEM镜筒和高性能聚焦离子束镜筒,LYRA3 FIB-SEM是一款SEM与FIB良好结合的一体化系统,能够满足高要求客户的需要。新一代场发射扫描电子显微镜(LYRA3)给用户带来了新的技术优点,包括改进的高性能电子设备使成像速度更快,包含了静态和动态图像扭曲补偿技术的超快扫描系统,内置的编程软件等,都使LYRA3保持着很高的性价比。LYRA3系列的设计适用于各种各样的SEM应用及当今研究和工业的需求。大电子束流下的高分辨率有利于EDX、WDX、EBSD、3维断层扫描等分析应用。借助于高性能软件,TESCAN的FIB-SEM已成为适合电子束/离子束光刻、TEM样品制备等应用的强大工具。LYRA3聚焦离子束扫描电子显微镜配备了XM与GM两种样品室。现代电子光路 独特的大视野光路设计提供各种工作与显示模式 以电磁的方式改变物镜光阑——中间镜的作用如同“光阑转换器” 结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪(In-Flight Beam Tracing™ ),可模拟和优化电子束 全自动镜筒设置与对中 成像速度很快 3维电子束技术提供实时立体图像 可选的电子束遮没装置提供了电子束光刻技术高性能离子光路 高性能CANION FIB设备提供既快又精确的切片与TEM样品制备技术 可选的高分辨率COBRA-FIB离子束设备在成像与铣削过程中依然保持很高的分辨率聚焦离子束装置 装有两套差异泵的独特离子束装置使离子散射效应较更低 马达驱动高重复性光阑转换器 电子束遮没装置与法拉第筒作为标配 同时可以进行离子刻蚀/沉积与SEM成像 FIB的操作软件集成在SEM软件 软件工具栏包括了基本形状与可编程的参数 微/纳米加工 离子束光刻维修简单只需要很短的停机检修时间,就能使得电镜长期保持在优化的状态。每个细节设计得非常仔细,使得仪器的效率zui大化,操作zui简化。自动程序自动设置和许多其他的自动化操作是设备的特点之一。除此之外,电镜还有样品台自动导航与自动分析 程序,能明显减少操作员的操作时间。通过内置脚本语言 (Python)可进入操作软件的大多数功能,包括显微镜控制、样品台控制、图像采集、处理与分析。通过脚本语言用户还可以编程其自己的自动操作程序。用户界面友好的软件与软件工具 多用户和多语言操作界面 图像管理与报告生成 内置的系统检查与系统诊断 网络操作与远程进入/诊断 模块化的软件结构 标准的软件模块包括:自动离子束控制、电子束写入基本版、同时的FIB/SEM成像、预定义FIB工作模式等软件工具 可选软件包括了:颗粒度分析标准版/专家版、3维表面重建等模块 电子束写入软件使聚焦离子束扫描电子显微镜成为能进行电子束曝光、电子束沉积、电子束刻蚀、离子束沉积、离子束减薄的强大工具 可选的3D Tomography软件提供使用FIB时的全自动连续SEM图像,三维重构与三维可视化LYRA3 GMLYRA 3 GM是一款完全由计算机控制的聚焦离子束场发射扫描电子显微镜,可选配气体注入系统(GIS), 有高真空和低真空两种模式,其具有突出的光学性能、清晰的数字化图像、成熟、用户界面友好的SEM/FIB/GIS操作软件等LYRA3 XMLYRA3 XM是一款完全由计算机控制的聚焦离子束场发射扫描电子显微镜,可选配气体注入系统(GIS),有高真空和低真空两种模式,其具有突出的光学性能、清晰的数字化图像、成熟、用户界面友好的SEM/FIB/GIS操作软件等特点。基于Windows™ 平台的操作软件提供了简易的电镜操作和图像采集,可以保存标准文件格式的图片,可以对图像进行管理、处理和测量,实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。设备咨询电话:(微信同号);QQ:;邮箱:欢迎您的来电咨询!
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  • 日本电子JEOL场发射扫描电镜 JSM-IT800SHL, 是JSM-7900F 的升级版 JSM-IT800SHL 是日本电子株式会社(JEOL) 2020 年最新推出的场发射扫描电镜,它秉承 JEOL 热场发射扫描电镜 JSM-7900F 的大束流,高稳定性的传统,同时将分辨率提高到新的极限,全新设计的超级混合型物镜,高分辨率的获得以及磁性样品的观察都可以同时完成,而且标配 JEOL 最新开发的 NEO Engine,使得任何人都可以操作该设备得到高质量的图像,是一款非常适合材料分析研究的设备。 JSM-IT800SHL 场发射扫描电镜主要特点 。超高分辨图像的观察,最大放大倍数 3 百万倍 0.5nm (二次电子,加速电压:15kV) 0.7nm (二次电子,GB 模式,加速电压:1kV) 突出的低压分辨率 。加速电压: 0.01kV~30.0kV, 最低可以到 10V,仍然可以得到高分辨率图像。 。高稳定的大束流强度:日本电子的 JSM-IT800SHL 热场电子枪浸没在聚光镜上半部,发射出的电子束可以全部进入聚光镜,使得分析束流从 15KV 下 10-20nA 提高到 500nA,能谱、波谱等分析效率效果明显改善。与此同时,溅射出的污染明显减少,枪的寿命大幅度延长。分子泵系统:真空系统洁净,抽气速度快,维护简单。 。大束流下保持高分辨率小束流观察时,容易得到小束斑,保证高分辨率。提高束流,束斑尺寸不容易维持,分辨率衰减较快,这也是早期热场电镜无法取得高分辨率的原因。日本电子的 JSM-IT800SHL 在物镜光阑下端多设计了一级磁透镜(最佳光阑角控制透镜 ACL),可以对电子束进行优化,得到大束流下的小束斑。原本 500pA 下就很难获得图像的情况改进到束流 500nA 下依然图像清晰,从根本上解决了大分析束流与高分辨率图像并存的难题。同时给出了一个分析模式下的分辨率保证值,这是其他厂家无法保证的。 。最新开发的超级混合式物镜:应用领域广泛,可以直接做磁性样品,无需任何模式切换 。 NEO Engine:全新开发的 NEO Engine 优化系统,可以简单一键自动聚焦合轴,无需任何操作基础,轻松可以达到高倍下一键聚焦,使得该设备的易用性达到了新的高度。 。五轴马达样品台标准控制:使用极为方便; 。快捷的双换样方式:利用 JSM-IT800SHL 的标准配置气锁加大开门设计,即可装入直径最大为170mm 样品,气锁换样速度快污染小,同时支持侧面大开门换样,这样对于大样品和特种附件的安装就更加方便; 。 新型探测器:Inlens 探头 UHD 探头可以高信噪比的进行二次电子成像。对于表面精细结构更加灵敏,同时适合断口样品分析。 。浸没式热场发射电子枪(专利):束流稳定性高,电子枪寿命超长,质保期为 3 年。 。最佳光阑角控制透镜(专利):无须手动切换光阑,束流大小完全由计算机自动控制; 。离子泵的电源支持:停电后最长可以坚持 14 天,电池更换每次只需 200 元左右。 。良好的可操作性:控制界面设计非常友好,使用极为便利; 。稳定的 GB 模式:标准配置。可以有效抑制充电和提高低电压下的分辨率(专利); 。一体化能谱分析:配合一体化能谱仪(EDS)分析时,可以实时显示图像和成分信息,无需模式切换。 。超长的发射体寿命: 由于采用 In-Lens 技术,我们的束流强度可以达到 500nA,其他厂家只能做到 20nA.我们在做成分分析时,或搭载 EBSD 或 WDS 时,分析速度和结果的精确度远远高于他们。采用了 In-Lens 电子枪技术和完美的气锁换样系统,我们的发射体质保 3 年,用户一般使用在 6 年以上,而其他厂家只能提供质保 1 年的承诺。 。优秀的技术支持和售后服务体系:日本电子株式会社在中国建立独立的维修站已经超过 20 年,拥有经验丰富的技术工程师(包括常驻的外国工程师)60 多人,反应快,技术力量强。 JSM-IT800SHL 场发射扫描电镜系统主要性能参数
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  • 场发射扫描电镜 MIRA zui新一代的MIRA场发射扫描电镜给用户带来了zui新的技术优点(如改进的高性能电子设备使成像过程更快,快速扫描系统包括了动态与静态图像扭曲补偿,有内置的编程软件等),同时保持着zui高的性价比。MIRA3的设计适用于各种各样的SEM应用及当今研究和产业的需求。大电子束流下的高分辨率有利于分析应用,例如:EBSD、WDX等分析。MIRA3场发射扫描电镜可配置LM、XM或GM三种样品室。所有的MIRA样品室(LM、XM或GM)提供优xiu的5轴马达驱动全计算机化优中心样品台,完善的几何设计更适合安装能谱仪(EDS),波谱仪(WDX),电子背散射衍射(EBSD)。XM和GM样品室适用于大样品的分析。现代电子光路 高亮度肖特基电子枪可获得高分辨率/高电流/低噪音图像 独特的三透镜大视野观察(Wide Field Optics™ )设计提供了多种工作与显示模式 独特的中间镜的作用就如同软件“光阑转换器”,它以电磁方式有效地改变物镜光阑 结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪(In-Flight Beam Tracing™ ),可模拟和优化电子束 可选的In-Beam探头可获得特高分辨率图像 电镜的全自动设置 成像速度快 使用3维电子束技术,实时得到立体图像,三维导航维修简单现在保持电镜处在优xiu的状态很简单,只需要很短的停机时间。每个细节设计得很仔细,使得仪器的效率zui大化,操作zui简化。自动操作设备的特点包括了自动设置和众多自动操作。除此之外,电镜还有样品台自动导航与自动分析 程序,能明显减少操作员的操作时间。通过内置脚本语言(Python)可进入软件的大多数功能,包括显微镜的控制、样品台的控制、图像采集、处理与分析。通过脚本语言用户还可以编程其自己的自动操作程序。用户界面友好的软件与软件工具 多语言操作界面 多用户界面(包括了EasySEMTM模式)不同账户的权利使常规分析过程更快 图片管理,报告生成 内置的系统检查与系统诊断 网络操作与远程进入/诊断 模块化软件体系结构 标准软件包括了测量、图像处理、对象区域,等模块 可选的软件和包括颗粒度分析标准版/专家版、3维表面重建,等模块MIRA3 GMMIRA3 GM是一款完全由计算机控制的场发射扫描电子显微镜,可在高真空和低真空模式下操作,其具有突出的光学性能,清晰的数字化图像,成熟、用户界面友好的操作软件等特点。基于Windows™ 平台的操作软件提供了简易的电镜操作和图像采集,可以保存标准文件格式的图片,可以对图像进行管理、处理和测量,实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。MIRA3 XMMIRA3 XM是一款完全由计算机控制的场发射扫描电子显微镜,可在高真空和低真空模式下操作,其具有突出的光学性能,清晰的数字化图像,成熟、用户界面友好的操作软件等特点。基于Windows™ 平台的操作软件提供了简易的电镜操作和图像采集,可以保存标准文件格式的图片,可以对图像进行管理、处理和测量,实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。MIRA3 LMMIRA3 LM是一款完全由计算机控制的场发射扫描电子显微镜,可在高真空和低真空模式下操作,其具有突出的光学性能,清晰的数字化图像,成熟、用户界面友好的操作软件等特点。基于Windows™ 平台的操作软件提供了简易的电镜操作和图像采集,可以保存标准文件格式的图片,可以对图像进行管理、处理和测量,实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。
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  • 钨灯丝扫描电镜 VEGA VEGA系列的设计适合各种SEM应用及当今研究和工业的需求。经过10多年的不断发展,TESCAN已经成功开发、研制和制造了VEGA的第三代产品。新一代的VEGA给用户带了zui新的技术优势,包括改进的高性能电子设备使成像速度更快,包含了静态和动态图像扭曲补偿技术的超快扫描系统,内置的编程软件等,使VEGA系列产品保持着非常高的性价比。LaB6发射源TESCAN能提供介于肖特基与钨灯丝性能之间的LaB6(六硼化镧)作为电子发射源。LaB6的优势包括:稳定的电子发射源(与场发射电子源相比),在阴极较低温度下可获取比较高的束流(与钨灯丝电子源相比)。这就意味着在整个范围的加速电压和很长的使用寿命中,LaB6可以保持很高的亮度和分辨率。基于其非常高的发射电流,LaB6是需要大电子束流应用领域的正确选择。现代电子光路 独特的四透镜大视野光路设计提供各种各样的工作与显示模式 以电磁的方式改变物镜光阑——中间镜的作用如同"光阑转换器" 透镜与线圈的优质材料使成象率达到20ns/像素,并减少了动态扭曲效应 结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪(In-Flight Beam Tracing™ ),可模拟和优化电子束 镜筒设计提供了全自动电子光路设置,镜筒不含机械对中结构 3维电子束技术提供了实时立体图像检修方便只要很短的停机检查后就能保持电镜长时间处于zui佳状态。每个细节设计得很仔细,使得仪器的效率zui大化,操作zui简化。自动操作通过一次点击就可以进行自动灯丝加热和电子枪对中。众多的自动程序减少了用户的操作时间,并提供了操作的自动导航与自动化分析。通过内置脚本语言(Python)用户可以进入软件大多数功能,包括电镜控制、样品台导航、图像采集、处理与分析。通过脚本语言用户也可以自定义软件的自动操作。用户界面友好的软件 用户界面有各种语言版本 多用户界面(包括了EasySEMTM模式)不同账户的权利使常规分析过程更快 图像文件管理与报告生成 内置的自动系统检查 通过局域网或互联网可实现电镜远程诊断 模块化软件体系结构 标准的软件模块包括了:测量工具、图像处理、对象区域等 选配软件包括了:颗粒度分析、三维表面重构等VEGA3 GMVEGA3 GM是一款由计算机控制,可在高低真空模式下工作的全自动钨灯丝(选配LaB6)扫描电子显微镜,具有突出的光学性能,清晰的数字化图像,成熟的操作软件,用户界面友好等特征。基于Windows™ 平台的操作软件提供了简易的电镜操作方式和完整的图像采集功能,可以保存标准文件格式的图片,可以对图像进行管理、处理和测量,实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。VEGA3 XMVEGA3 XM是一款由计算机控制,可在高低真空模式下工作的全自动钨灯丝扫描电子显微镜,具有突出的光学性能,清晰的数字化图像,成熟的操作软件,用户界面友好等特征。基于Windows™ 平台的操作软件提供了简易的电镜操作方式和完整的图像采集功能,可以保存标准文件格式的图片,可以对图像进行管理、处理和测量,实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。VEGA3 LMVEGA3 LM是一款由计算机控制,可在高真空和低真空模式下工作全自动化钨灯丝扫描电子显微镜,具有突出的光学性能,清晰的数字化图像,成熟的操作软件,用户界面友好等特征。基于Windows™ 平台的操作软件提供了简易的电镜操作方式和完整的图像采集功能,可以保存标准文件格式的图片,可以对图像进行管理、处理和测量,实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。VEGA3 SB - EasyProbeVEGA 3 SBU - EasyProbe是一款扫描电子显微镜(SEM)与X-射线能谱仪(EDS)的一体化系统,其具有图像质量高,自动化程度高,操作简单,能实时快速进行元素分析等特点。另外,可变真空模式下,用户可以在自然状态下观测不导电样品。VEGA3 SBVEGA3 SB是一款完全由计算机控制的全自动钨灯丝扫描电子显微镜,具有突出的光学性能,清晰的数字化图像,成熟的操作软件,用户界面友好等特征。基于Windows™ 平台,VEGA系列的操作系统配置了包括中文在内的多语种扫描电镜操作界面(唯yi使用核心汉化操作软件的扫描电镜),获取图片后可以用常见的标准格式存储图像,强化了图片归档、图像处理和测量、电镜自动化及其他的一些自动功能。
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  • 钨灯丝扫描电镜 VEGA VEGA系列的设计适合各种SEM应用及当今研究和工业的需求。经过10多年的不断发展,TESCAN已经成功开发、研制和制造了VEGA的第三代产品。新一代的VEGA给用户带了zui新的技术优势,包括改进的高性能电子设备使成像速度更快,包含了静态和动态图像扭曲补偿技术的超快扫描系统,内置的编程软件等,使VEGA系列产品保持着非常高的性价比。LaB6发射源TESCAN能提供介于肖特基与钨灯丝性能之间的LaB6(六硼化镧)作为电子发射源。LaB6的优势包括:稳定的电子发射源(与场发射电子源相比),在阴极较低温度下可获取比较高的束流(与钨灯丝电子源相比)。这就意味着在整个范围的加速电压和很长的使用寿命中,LaB6可以保持很高的亮度和分辨率。基于其非常高的发射电流,LaB6是需要大电子束流应用领域的正确选择。现代电子光路 独特的四透镜大视野光路设计提供各种各样的工作与显示模式 以电磁的方式改变物镜光阑——中间镜的作用如同"光阑转换器" 透镜与线圈的优质材料使成象率达到20ns/像素,并减少了动态扭曲效应 结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪(In-Flight Beam Tracing™ ),可模拟和优化电子束 镜筒设计提供了全自动电子光路设置,镜筒不含机械对中结构 3维电子束技术提供了实时立体图像检修方便只要很短的停机检查后就能保持电镜长时间处于zui佳状态。每个细节设计得很仔细,使得仪器的效率zui大化,操作zui简化。自动操作通过一次点击就可以进行自动灯丝加热和电子枪对中。众多的自动程序减少了用户的操作时间,并提供了操作的自动导航与自动化分析。通过内置脚本语言(Python)用户可以进入软件大多数功能,包括电镜控制、样品台导航、图像采集、处理与分析。通过脚本语言用户也可以自定义软件的自动操作。用户界面友好的软件 用户界面有各种语言版本 多用户界面(包括了EasySEMTM模式)不同账户的权利使常规分析过程更快 图像文件管理与报告生成 内置的自动系统检查 通过局域网或互联网可实现电镜远程诊断 模块化软件体系结构 标准的软件模块包括了:测量工具、图像处理、对象区域等 选配软件包括了:颗粒度分析、三维表面重构等VEGA3 GMVEGA3 GM是一款由计算机控制,可在高低真空模式下工作的全自动钨灯丝(选配LaB6)扫描电子显微镜,具有突出的光学性能,清晰的数字化图像,成熟的操作软件,用户界面友好等特征。基于Windows™ 平台的操作软件提供了简易的电镜操作方式和完整的图像采集功能,可以保存标准文件格式的图片,可以对图像进行管理、处理和测量,实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。VEGA3 XMVEGA3 XM是一款由计算机控制,可在高低真空模式下工作的全自动钨灯丝扫描电子显微镜,具有突出的光学性能,清晰的数字化图像,成熟的操作软件,用户界面友好等特征。基于Windows™ 平台的操作软件提供了简易的电镜操作方式和完整的图像采集功能,可以保存标准文件格式的图片,可以对图像进行管理、处理和测量,实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。VEGA3 LMVEGA3 LM是一款由计算机控制,可在高真空和低真空模式下工作全自动化钨灯丝扫描电子显微镜,具有突出的光学性能,清晰的数字化图像,成熟的操作软件,用户界面友好等特征。基于Windows™ 平台的操作软件提供了简易的电镜操作方式和完整的图像采集功能,可以保存标准文件格式的图片,可以对图像进行管理、处理和测量,实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。VEGA3 SB - EasyProbeVEGA 3 SBU - EasyProbe是一款扫描电子显微镜(SEM)与X-射线能谱仪(EDS)的一体化系统,其具有图像质量高,自动化程度高,操作简单,能实时快速进行元素分析等特点。另外,可变真空模式下,用户可以在自然状态下观测不导电样品。VEGA3 SBVEGA3 SB是一款完全由计算机控制的全自动钨灯丝扫描电子显微镜,具有突出的光学性能,清晰的数字化图像,成熟的操作软件,用户界面友好等特征。基于Windows™ 平台,VEGA系列的操作系统配置了包括中文在内的多语种扫描电镜操作界面(唯yi使用核心汉化操作软件的扫描电镜),获取图片后可以用常见的标准格式存储图像,强化了图片归档、图像处理和测量、电镜自动化及其他的一些自动功能。设备咨询电话:(微信同号);QQ:;邮箱:欢迎您的来电咨询!
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  • 高画质的钨灯丝扫描电镜, 图象质量更进一步。通过高画质提升扫描电镜的分析能力和操作性, 凝聚日立最先进科技“独具匠心”。SU3500钨灯丝扫描电镜具有实现了“3kV加速电压7nm分辨率”的全新电子光学系统, 可实现实时立体成像的“实时立体观察功能”*1, 以及更高检测效率的 “UVD超高灵敏度可变压力检测器”*1。它为观察和分析提出了崭新的标准。*1:自选特点低加速电压观察时分辨率更高,可更好地观察样品最表面的细微形状和更有效地降低样品的损坏全新设计的电子光学系统和信号处理技术实现了高速扫描和低噪音的观察和以前的常规扫描电子显微镜相比*2,自动功能缩短*3了大约11秒具有在低真空时可以非常好地观察样品最表面的细微形状的“UVD(超高灵敏度可变压力探测器)”*4具有实现了实时立体成像的“实时立体观察功能”*4(*2):和日立SEM S-3400N相比(*3):根据观察条件的不同,时间会有变动(*4):自选规格 项目描述二次电子分辨率3.0nm(加速电压=30kV,WD=5mm高真空模式)7.0nm(加速电压=3kV,WD=5mm高真空模式)背散射电子分辨率4.0nm(加速电压=30kV,WD=5mm低真空模式)10.0nm(加速电压=5kV,WD=5mm高真空模式)放大倍率5 - 300,000倍(底片倍率*5)7 - 800,000倍(显示器显示倍率*6)加速电压0.3 - 30kV可变压力范围6 - 650Pa最大样品尺寸直径 200mm样品台X0 - 100mmY0 - 50mmZ5 - 65mmR360°T-20° - 90°可观察区域直径 130mm (旋转并用)最大样品高度80mm(WD=10mm)马达台5轴标配电子光学系统电子枪预对中的钨灯丝物镜光阑4孔可动光阑探检测器埃弗哈特 索恩利 二次电子探测器高灵敏度半导体背散射电子检测器EDX分析 WD10mm(取出角35°)图像显示操作系统Windows 7*7(如有更改,恕不另行通知)图像显示模式全屏模式(1,280 × 960 像素)小屏模式(800 × 600 像素)双图像显示(800 × 600 像素)四屏幕显示(640 × 480像素)信号混合模式排气系统操作全自动排气涡轮分子泵210升/秒 × 1机械泵135L/min(162L/min,60Hz)× 1(*2):以127mm×95mm(图像尺寸4"×5")的显示尺寸规定倍率(*3):以345mm×259mm(像素1,280×960)的显示尺寸规定倍率(*4):Windows是微软公司在美国和其他国家的注册商标
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  • 可调光阑OMGL系列 OMGL系列可调光阑的结构类似于照相机镜头后方的光阑,也是由多个弧形叶片组成。该系列可调光阑,设计精巧,配合我司良好的装配工艺,保证叶片之间阻尼适中,不会生涩,也不会松动。 使用可调光阑做空间滤波最大的优势是可以连续调中心开孔尺寸的大小,更容易使频谱面上部分频率分量通过,而挡住了其他频率分量,从而改变了像面上图像的频率成分。产品特点: l 连续可变l 可连接外杆l 黑色阳极氧化处理的铝合金外壳,可限制反射l 可根据客户需求定制尺寸l 也提供不带安装的光阑产品选型表: 型号OMGL8OMGL12OMGL15OMGL20OMGL25OMGL30OMGL36OMGL50可调直径d(mm)Ф0.8~Ф8Ф1.0~Ф12Ф0.8~Ф15Ф0.8~Ф20Ф0.8~Ф25Ф0.8~Ф30Ф0.8~Ф36Ф0.8~Ф50外圈直径D(mm)222730.636.643.7 505779.4主体材质及表面处理铝合金,黑色阳极氧化处理叶片材质黑色弹簧钢叶片数量810121214141616手柄直径W(mm)2.52.52.52.52.52.52.52.5总体高度L(mm)29.2535.9840.0346.0854.5560.2567.8893.3总体厚度T(mm)6.05.96.576.577.28.4自重(g)4.55.87.4711.0611.7616.8220.7146.2
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  • lumen Dynam X-Cite 120PCQ 计算机控制的荧光显微镜光源X-Cite 120PC QX-Cite 120PC Q和X-Cite 120Q荧光照明系统具有一样的优势:荧光照明性能优越,易用性强,它们具有相同的均匀照明视野区域、丰富的光谱激发、易于安装的预校准灯管、2000 小时的灯管寿命保证和可调节的光阑,以及计算机控制显微镜光源选项。通过使用简单的 RS232 命令集,X-Cite 120PC Q可以被轻松集成到自动化系统和商用成像软件平台。功能和优势功能优势预校准灯管易于更换灯管,无需进行校准灯管 2000 小时减少更换灯管次数,节省时间且降低运营成本强大的 120 瓦灯管光谱丰富,激发强度高Intelli-Lamp技术保持zui佳灯管温度,自动累计灯管使用时长RS232 通信计算机控制灯管、光阑和挡板;可与自动化系统及商用成像软件平台相集成可调光阑调整光强度,减少光漂白软件接口简便易用脚踏板无需双手,即可操作规格规格荧光显微镜照明系统X-Cite 120PC Q显微镜照明系统内含灯管组件、带有适配器的液体光导管、接地和屏蔽电源线、手册灯管专有的 120 瓦水银蒸汽短弧灯灯管寿命2000 小时保证;2500 小时典型使用寿命电源高效能,开关模式、线隔离、90-264 VAC、47-63 Hz、通用输入预热时间90秒(典型)面板控制电源开/关、模式选择、调整上/下、开始/停止面板显示光阑设置(百分之百,50%,25%,12%,0%)、累计灯管使用时长、照射时间 (0.2-999.9 秒)、灯管打开、挡板打开、灯管/挡板状态消息尺寸(长 x 宽 x 高)13.5″ x 5.5″ x 6.5″ (34.2cm x 13.9cm x 16.5cm)重量7 lbs. (3.18 kg)全球认证CE标识,IEC认证,符合加拿大和美国标准质保1年(不含灯管及光导管)Adaptors兼容各大厂商生产的宽场荧光显微镜
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  • 产品简介原子分辨率300 kV透射电子显微镜在精细加工技术已进入到亚纳米级水平的半导体,先进材料的研发领域,原子分辨率电子显微镜正在成为日益重要的,不可或缺的工具。为了满足这种高端需求,日立高新技术公司研发出了 H-9500透射电子显微镜,此款高分辨透射电子显微镜不仅具备实地验证过的各种优秀性能,而且配置了很多满足客户多种需求的独特功能,并采用了数字技术,便于用户及时快速获取原子水平的样品结构信息。用户友好型的操作系统和Windows兼容的图形用户界面设计快速的样品分析,1分钟换样,5分钟内升高压至(300 kV)高稳定性,高分辨率透射电子显微镜点分辨率为0.18 nm,晶格分辨率为0.1 nm稳定可靠的5轴优中心测角台性能优异,可靠性高性能优异,可靠性高得到市场验证的10级加速器电子枪设计阻抗式高压电缆设计高档可选附件高档可选附件通用样品杆,在日立公司的TEM, FIB 和 STEM系统均可使用可为原子分辨率的动态研究提供加热,冷却和气体注入等多种样品杆备注:FPD(平板显示器)上的图像为模拟图像。规格项目说明分辨率0.10nm(晶格分辨率)0.18nm(点分辨率)加速电压300kV、200kV*1、100kV*1放大倍率连续放大模式1,000~1,500,000×选区模式4,000~500,000×低倍模式200~500×电子枪灯丝LaB6(六硼化镧灯丝,直流加热)灯丝交换自动升降式电子枪高压电缆阻抗电缆照射系统透镜四级透镜聚光镜光阑4孔可变探针尺寸微米束模式:0.05 - 0.2 μm(4级)纳米束模式:1 - 10 nm(4级)电子束倾斜±3°成像系统透镜五级透镜聚焦图像摇摆调整利用像散监视器进行正焦补偿聚焦优化物镜光阑4孔可变光阑选区光阑4孔可变光阑电子衍射选区电子衍射纳米探针电子衍射会聚束电子衍射相机长度250 - 3,000 mm样品室样品台5轴优中心海帕测角台样品尺寸3mmΦ样品位置追踪X/Y = ±1mm, Z = ±0.3 mm通过CPU控制马达驱动样品位置显示自动驱动,自动跟踪样品倾斜α = ±15°, β = ±15°(日立双倾样品台*2)防污染冷阱烘烤功能中温烘烤功能观察室荧光屏主屏:110 mmΦ 聚焦屏:30 mmΦ目镜7.5×照相室区域选择整张照相/半张曝光胶片25张(2套胶片盒)图形用户界面操作系统Windows XP显示器19英寸显示器功能数据库,测量,图像处理数码CCD 相机*3相机耦合透镜耦合有效像素1,024 × 1,024 像素A/D 分辨率12位真空系统电子枪离子泵:60 L/s镜筒涡轮分子泵:260 L/s观察室/照相室扩散泵:280 L/s前级泵:135 L/min × 3台 *1:放大倍率校准为可选项*2:可选件*3:本规格适用于可选的1,024 × 1,024像素的数码CCD相机以上规格是在加速电压为300 kV时的承诺
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  • OMDC系列笼式系统光阑 OMDC系列笼式系统光阑的结构类似于照相机镜头后方的光阑,也是由多个弧形叶片组成。该系列可调光阑,设计精巧,配合我司良好的装配工艺,保证叶片之间阻尼适中,不会生涩,也不会松动,用于16 mm、30 mm或60 mm笼式系统的单件式可变光阑。使用可调光阑做空间滤波最大的优势是可以连续调中心开孔尺寸的大小,更容易使频谱面上部分频率分量通过,而挡住了其他频率分量,从而改变了像面上图像的频率成分。 产品特点:用于16 mm、30 mm或60 mm笼式系统的单件式可变光阑连续可变可连接外杆黑色阳极氧化处理的铝合金外壳,可限制反射可根据客户需求定制尺寸 产品选型表:型号OMDC8OMDC20OMDC30OMDC50可调直径d(mm)Ф0.8~Ф8Ф0.8~Ф20Ф0.8~Ф30Ф0.8~Ф50外圈直径D(mm)14.83043.569.85主体材质及表面处理铝合金,黑色阳极氧化处理叶片材质黑色弹簧钢叶片数量8121416手柄直径 (mm)2.52.52.52.5外形尺寸 长X宽24x2443x40.676x7480x79总体厚度(mm)5.86.56.88.3自重(g)4.714.242.556
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  • 台式扫描电子显微镜ZEM15,台式扫描电镜速度快,信号采集带宽10M,可以在视频模式下流畅实时的显示样品。只需鼠标就可完成所有操作,不需对中光阑等复杂步骤,聚焦消像散后可直接拍图。主机集成高压及控制系统,体积小巧,便于移动,可出差携带,安装无需特殊环境,只需找一张桌子,供电就可工作。主要技术参数:台式扫描电镜产品参数环境要求220V,50Hz,1kW,无需减震台加速电压1kV~15kV连续可调,1kV步进电子枪预对中钨灯丝,一体式聚光镜,无需手动调节物镜光阑(LaB6灯丝可选)放大倍数150000倍探测器二次电子探测器、可推出式背散射探测器、集成式能谱仪样品台XY电动样品台(五轴可选)、移动行程:30mmx30mm*大样品尺寸φ50x35(H)mm高真空模式全自动控制,抽真空时间小于2分钟成像模式视频模式:512x512像素,无需小窗口扫描 快速模式:扫描时间小于3秒,512x512像素 慢扫模式:扫描时间小于40秒,2048x2048像素 图像格式:BMP,TIFF,JPEG,PNG导航功能光学CCD导航(非电子图像导航)自动功能一键自动配置亮度、对比度、聚焦整机尺寸主机:283*553*505(mm) 机械泵:340*160*140(mm)拓展功能兼容多种原位功能样品台掺铝四钴电极箔截面多孔氮化硼陶瓷表面氢氧化物附着聚丙乙烯微球聚偏氟乙烯聚偏氟乙烯1滤纸泡沫镍基底三元正极钛金属碳材料碳负极材料头发丝微流控芯片微流控芯片1微型探针表面纤维素管截面银粉
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  • 研究超大,超重,超高样品的分析型扫描电镜●可载样品直径达300mm●观察区域直径达203mm●在观察110mm高样品时可进行能谱分析●样品室设置多种接口,可安装EDS、WDS、EBSD和CL等多种分析用附件●5轴优中心马达台可以倾斜-20度~+90度●采用节能,清洁的涡轮分子泵S-3700N技术参数分辨率SE 3.0nm,30KV(高真空模式)10nm, 3KV(高真空模式)BSE4.0nm,30KV(低真空模式)放大倍率x5~x300,000加速电压0.3~30KV低真空范围6~270Pa图像电位移±50μm (工作距离10mm)样品尺寸直径300mm样品台X150mmY110mmZ5~65mmR360°T-20°~90°观测区域203mm样品高度直径110mm(工作距离10mm)样品台类型优中心马达台电子光学系统灯丝预对中灯丝物镜4孔活动光阑光阑固定比例偏压、手动偏压和自动4偏压枪偏压二次电子探头探测器5分割半导体式被散射探头分析位置工作距离10mm,取出角35°显示控制系统控制模式键盘鼠标、操纵杆、旋钮板显示器液晶显示器辅助功能3D动画演示功能电镜操作导航功能样品操作导航功能倾斜补偿功能存储图像精度640 x 480 , 1280 x 9602560 x 1920 , 5120 x 3840图片格式BMP, TIFF, JPEG图像显示模式全屏模式:1280 x 960标准模式:640 x 480分割模式:640 x 480 点x 2信号混合模式真空系统控制模式全自动分子泵210升/秒,一台机械泵135升/分,一台保护措施断电保护、漏气保护
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  • Diener电镜专用等离子清洗机用途: 主要用于除去透射电镜样品及样品杆上的污染,防止碳沉积以降低图像分辨率及对样品微区分析造成误判。还可以利用该仪器清洗各类光阑等电子显微镜配件。特别适用于场发射扫描电镜和场发射透射电镜。用这种低能高频等离子体清洗样品表面,不会改变样品元素成份和表面结构特征。主要技术参数:1. 可对多孔碳膜进行高效且无破坏的清洗,提高样品在低电压下的成像能力,在化学微量分析时提高其精度2. 无油真空系统:泵体部分由多级隔膜泵和超净音分子泵组成,在保证真空度的同时,可在两分钟之内达到抽真空和放气过程,整个清洗过程在4分钟内可以完成3. 可清洗标准透射电镜样品杆4. 可清洗多孔碳膜5. 清洗时间:普通污染样品小于2分钟,重度污染样品小于10分钟 6. 重现性:可以自动记录下同类产品清洗的条件,下次清同类产品时可以样条件进行技术规格:控制方式手动控制发生器40KHz,0~100W腔体材质高硼硅玻璃腔体尺寸Dia.90*L280mm气路单路???清清时间旋钮式计时器0~99hour压力控制范围0~2mbar外型尺寸W345*D420*H211mm???电源电压单相AC230V,16A真空泵排气速度4m3/hour,极限真空度0.5Pa选配????发生器2.45GHz和13.56MHz腔体材质石英玻璃气路双路计时器数字式计时器减压阀配专用气路接口钢瓶10L
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  • 聚焦离子束(Xe)扫描电镜 FERA FERA3 GM是一款由计算机完全控制的Xe等离子聚焦离子束(i-FIB)场发射扫描电子显微镜,可选配气体注入系统 (GIS),可在高真空和低真空模式下工作,其具有突出的光学性能、清晰的数字化图像、成熟和用户界面友好的SEM/FIB/GIS操作软件等特点。基于Windows™ 平台的操作软件提供了简单的电镜操作和图像采集,可以保存标准文件格式的图片,可以对图像进行管理、处理和测量,实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。 概述 软件标配:测量图象处理3维扫描硬度测量多图像校准对象区域自动关机时间公差编程软件定位投影面积EasySEMTM选配:根据实际配置和需求 技术规格 配件二次电子探头 背散射电子探头 In-Beam SE In-Beam BSE 探针电流测量 压差式防碰撞报警装置 可观察样品室内部的红外线摄像头 TOP-SIMS 二次离子探头 等,各种配件可供选择 图片 其他分析潜力 高亮度肖特基发射可获得高分辨率、高电流和低噪声的图像 选配的In-Beam二次电子探头可获取超高分辨率图像 三透镜大视野观察(Wide Field Optics™ )设计提供了多种工作模式和显示模式,体现了TESCAN特有可优化电子束光阑的中间镜设计 结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪(In-Flight Beam Tracing™ )可模拟和进行束斑优化 成像速度快 低电压下的电子束减速模式(Beam Deceleration Technology – BDT)可获取高分辨率图像 (选配) In-Beam背散射电子探头,用于在小工作距离下得BSE图像(选配),甚至适合铁磁性样品 全计算机化优中心电动载台设计优化了样品操控 完美的几何设计更适合安装能谱仪(EDX)、波谱仪(WDX)、背散射电子衍射仪(EBSD) 由于使用了强力的涡沦分子泵和干式前置真空泵, 因而可以很快达到电镜的工作真空,电子枪的真空由离子泵维持 自动的电子光路设置和合轴 网络操作和内置的远程控制/诊断软件 3维电子束技术提供实时立体图像 在低真空模式下样品室真空可达到500Pa 用于观测不导电样品 独特的离子差异泵(2个离子泵)使得离子散射效应超低 聚焦离子束镜筒内有马达驱动高重复性光阑转换器 聚焦离子束的标配包括了电子束遮没装置和法拉第筒 高束流下超高的铣削速度和卓越的性能 FIB切割、信号采集、3维重构(断层摄影术),3D EBSD、3D EBIC与集成3维可视化 成熟的SEM/FIB/GIS操作软件,图像采集、存档、处理和分析功能FERA3配置FERA3 GMH是一款完全由计算机控制的Xe等离子聚焦离子束(i-FIB)场发射扫描电子显微镜,可选配气体注入系统(GIS),在高真空模式下工作。FERA3 GMU是一款完全由计算机控制的Xe等离子聚焦离子束(i-FIB)场发射扫描电子显微镜,可选配气体注入系统(GIS),可在高真空和低真空模式下工作。
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  • 聚焦离子束(Xe)扫描电镜 FERA FERA3 XM是一款由计算机全控制的Xe等离子聚焦离子束(i-FIB)场发射扫描电子显微镜,可选配气体注入系统 (GIS),可在高真空和低真空模式下工作,其具有突出的光学性能、清晰的数字化图像、成熟和用户界面友好的SEM/FIB/GIS操作软件等特点。基于Windows™ 平台的操作软件提供了简易的电镜操作和图像采集,可以保存标准文件格式的图片,可以对图像进行管理、处理和测量,实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。 概述 软件 技术规格 配件 图片 其他分析潜力 高亮度肖特基发射可获得高分辨率,高电流和低噪声的图像 选配的In-Beam二次电子探头可获取超高分辨率图像 三透镜大视野观察(Wide Field Optics™ )设计提供了多种工作模式和显示模式,体现了TESCAN特有可优化电子束光阑的中间镜设计 结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪(In-Flight Beam Tracing™ )可模拟和进行束斑优化 成像速度快 低电压下的电子束减速模式(Beam Deceleration Technology – BDT)可获取高分辨率图像(选配) In-Beam背散射电子探头,用于在小工作距离下得BSE图像(选配),甚至适合铁磁性样品 全计算机化优中心电动载台设计优化了样品操控 完美的几何设计更适合安装能谱仪(EDX)、波谱仪(WDX)、背散射电子衍射仪(EBSD) 由于使用了强力的涡沦分子泵和干式前置真空泵,因而可以很快达到电镜的工作真空。电子枪的真空由离子泵维持。 自动的电子光路设置和合轴 网络操作和内置的远程控制/诊断软件 3维电子束技术提供实时立体图像 低真空模式下样品室真空可达到500Pa用于观测不导电样品 独特的离子差异泵(2个离子泵)使得离子散射效应超低 聚焦离子束镜筒内有马达驱动高重复性光阑转换器 聚焦离子束的标配包括了电子束遮没装置和法拉第筒 高束流下超高的铣削速度和卓越的性能 FIB切割、信号采集、3维重构(断层摄影术),3D EBSD、3D EBIC与集成3维可视化 成熟的SEM/FIB/GIS操作软件,图像采集、存档、处理和分析功能FERA3配置FERA3 XMH是一款完全由计算机控制的Xe等离子聚焦离子束(i-FIB)场发射扫描电子显微镜,可选配气体注入系统(GIS),在真空模式下工作。FERA3 XMU是一款完全由计算机控制的Xe等离子聚焦离子束(i-FIB)场发射扫描电子显微镜,可选配气体注入系统(GIS),可在高真空和低真空模式下工作。
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  • 产品介绍:TESCAN VEGA 第四代钨灯丝扫描电子显微镜,采用全新的 Essence&trade 电镜操控软件系统,将扫描形貌图像与元素实时分析集成于同一个扫描窗口中。这种组合大大简化了样品表面形貌的采集及所含元素的数据分析工作,使得全新的第四代 VEGA SEM 成为质量控制、故障分析和研究实验室中常规材料等检测提供更gao效的分析的解决方案。TESCAN VEGA 采用创新的电子光学设计,确保在需要时即时、无缝地选择成像或分析条件,无需对任何电子光学镜筒内的元件进行机械对中。可以配置真空缓冲节能单元,使用后可显著缩短机械泵的运行时间,从而达到节能、环保的要求。主要特点:完全集成的 TESCAN Essence&trade EDS 分析平台,在 Essence&trade 电镜操控软件的单一窗口中即可实现 SEM 成像和元素成分分析。TESCAN 采用独特的无机械光阑设计,采用实时电子束追踪(In Flight Beam Tracing&trade )的ZG技术,可帮助用户快速获得电镜合适的成像及分析条件。独特的大视野光路(Wide Field Optics&trade )设计,zui低至2倍的放大倍数,无需额外的光学导航摄像头即可轻松、精确地实现 SEM 导航。直观、模块化的 Essence&trade 软件设计,不同经验等级的用户均可轻松操作。在样品台及装置的样品运动过程中,Essence&trade 3D 防碰撞模块可以直观的显示安装样品室内的探测器及样品台的位置信息,提供安全性的保护。SingleVac&trade 模式作为标准配置,为观测不导电样品和电子束敏感的样品提供便利的分析利器。可选配的真空缓冲节能单元可显著缩短机械泵的运行时间,提供环保、高经济效益的电子显微镜。模块化分析平台,可选配集成最多种类的探测器和附件(如阴极荧光探测器,水冷背散射电子探测器或拉曼光谱仪等)。大视野设计,实现低倍精确导航利用大视野光路(Wide Field Optics&trade )技术,用户可通过扫描窗口实时观察样品,直接实现感兴趣位置的精确导航。大视野光路技术取代了传统的CCD导航相机,提供无与伦比的大景深,同时也提供样品实际形貌的图像,实现更直观、先进的样品导航过程。在 SEM 观测窗口中,最小2倍的放大倍率保证了大视野无畸变的图像实时观测,可连续放大感兴趣的区域,无需光学导航相机。实时的SEM窗口同样可与预倾斜样品台(如 EBSD 预倾台)配合使用,对于需要倾斜分析的样品,支持扫描倾斜校正,从而实现更精确的导航。自动操作通过一次点击就可以进行自动灯丝加热和电子枪对中。众多的自动程序减少了用户的操作时间,并提供了操作的自动导航与自动化分析。通过内置脚本语言(Python)用户可以进入软件大多数功能,包括电镜控制、样品台导航、图像采集、处理与分析。通过脚本语言用户也可以自定义软件的自动操作。全新的 EssenceTM 电镜控制软件用户界面有各种语言版本。集成的 Essence&trade EDS 能谱软件,轻松快捷地实现从成像切换到元素分析,通过软件一键即可实现所有设置参数的更改。具备快速搜索功能、命令撤消及参数预设等多种功能,帮助用户gao效、快捷地完成分析工作。允许用户设定符合其自身体验水平或特定应用的工作流程。Essence&trade 防碰撞模型软件能够直观的模拟出样品室内情况,有效避免碰撞的发生。内置的自动系统检查。通过局域网或互联网可实现电镜远程诊断。模块化软件体系结构。标准的软件模块包括了:光电联用、测量工具、图像处理、对象区域等。选配软件包括了:颗粒度分析、三维表面重构等。软件:测量软件, 公差测量软件图像处理预设参数直方图及LUTSharkSEM&trade 基础版 (远程控制)3D 防碰撞模型软件对象区域光电联用 定时关机CORAL&trade (用于生命科学的电镜模块)自动拼图软件样品观察TESCAN Flow&trade (离线处理软件)
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  • 电镜腔等离子清洁仪 400-860-5168转3827
    电镜腔等离子清洁仪(远程等离子清洁仪)美国PIE出品的EM-KLEEN型远程等离子清洁仪,广泛用于SEM扫描电镜,FIB聚焦离子束双束电镜,TEM透射电镜,XPS_X射线光电子能谱分析仪,ALD原子层沉积系统,CD-SEM, EBR, EBI, EUVL和其它高真空系统,可同时清洁真空腔室和样品!污染物对电子显微镜SEM/TEM和其它高真空系统产生的影响润滑剂、真空脂、泵油样品中的高分子聚合物,或未经处理的空气都会把碳氢污染物引到真空系统中。低蒸汽压下高分子重污染物会凝聚在样品表面和腔室壁上,而使用普通气体吹扫方法很难把碳氢污染物清除。电子和高能光子(EUV, X-ray)能够分解存在于真空系统中或样品上的碳氢污染物。碳氢化合物的分解产物沉积在被观测的样品表面或电子光学部件上。这种碳氢污染沉积会降低EUV的镜面反射率,降低SEM图像对比度和分辨率,造成错误的表面分析结果,沉积在光阑或其它电子组件的不导电碳氢污染物甚至会造成电子束位置或聚焦缓慢漂移。在ALD系统中,样品表面的碳氢污染物还会降低薄膜的界面匹配质量。远程等离子清洁的原理远程等离子源需安装在要被清洁的真空腔室上,控制器向远程离子源提供射频能量。射频电磁场能激发等离子体,分解输入气体而产生氧或氢的活性基,活性基会扩散到下游的真空腔室,并与其中的污染物发生化学反应,反应产物能轻易地被抽走。远程等离子清洗机可同时清洁真空系统和样品。技术特点:快速清洁被污染的SEM样品。2-60秒氢等离子体清洁ALD样品。不需减速或关闭涡轮分子泵低等离子偏压设计减少离子溅射和颗粒生成。结合自有专利多级气体过滤技术,SEMI-KLEEN能够满足用户最苛刻的颗粒污染清除要求可选蓝宝石管腔体和耐腐蚀性气体的流量控制器,以便支持CF4, NF3, NH3, HF, H2S等应用特有的等离子强度传感器可实时监测等离子状态,用户对等离子状态一目了然基于压力传感回馈控制的自动电子流量控制器,无需手动调节针阀直观的触摸屏操作,可定义60条清洗程序方案拥有智能安全操作模式和专家控制模式;SmartScheduleTM定时装置,通过检测样品装载次数或时间间隔来定时清洁系统低电磁干扰设计,安静的待机模式一. 特有功能1. 优越的等离子技术,可以在小于0.1毫托的气压下点火并且保持稳定的等离子体。最低工作气压比其他同类产品低10到100倍。低气压清洗速度更快,更均匀,对电子枪和分子泵更安全;2. 即时等离子起辉技术。不用像在其他同类产品上那样担心等离子是不是成功起辉;3. 带气压计的自动气体流量控制;4. 实时测量等离子强度,用户可以根据这个实时反馈来优化清洗配方;5. 自动射频匹配实时保证最优化射频耦合,即使用户调节清洗配方;6. 专利保护的双层颗粒过滤器设计保证我们的产品满足Intel,台积电,三星等半导体用户的严格颗粒污染要求;7. 带LCD触摸屏的直观操作界面;8. 微电脑控制器带可修改的智能清洗计划,设好就自动清洗您的系统;9. 支持清洗配方,一键开始,自动射频匹配,自动控制气体流量;10. 微电脑控制器可记录所有信息状态,便于系统维护。二. 技术指标1. 等离子源真空接口:NW/KF40 法兰 提供转接法兰;2. 标配等离子强度传感器;3. 等离子源最低点火起辉气压:0.1毫托;4. 等离子源最高工作气压:1.0 托;5. 漏气率:0.005sccm;6. 射频输出:0~100瓦,连续可调节;7. 具有射频自动匹配功能8. 电源和功率:220V, 50Hz,
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  • 热场发射电子源大束国产电子源型号921 5736可替代进口FEI电子源4035 272 7572 NG场发射灯丝(Helios专用) 921 5736 RBLD,NGSEM HOTSWAP MOD大束科技自主研发的场发射灯丝适用于Helios400,Helios400S,Helios600,Helios600i等机型。电子显微镜通过发射电子与样品相互作用成像,用来“照射”样品的可靠电子源是电镜最重要的部分之一。电子显微镜对电子束的要求非常高。目前只有两种电子源满足要求:热电子发射源和场发射电子源。目前商用的,热电子发射源用的是钨灯丝(较少见)或六硼化镧( )晶体(较常见);场发射电子源用的是很细的针状钨丝(具体分为肖特基发射源和冷场发射源)。大束科技成立于2018年,是一家以自主技术驱动的电子显微镜核心配件研发制造商及配套服务商。 目前公司主要生产电子显微镜的核心配件离子源、电子源以及配套耗材抑制极、拔出极、光阑等销往国内外市场,此外,还为用户提供定制化电子显微镜以及电子枪系统等的维修服务,以及其他技术服务和产品升级等一站式、全方位的支持。在场发射电子源(电子显微镜灯丝)、离子源以及电镜上的高低压电源、电镜控制系统研发制造等领域等均具有优势。大束科技致力于成为电子显微镜行业上游配件的研发制造供应商;未来将在满足本土市场的同时,进军国际高端电子显微镜市场。
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  • 离子源,应用于FEI(赛默飞)的聚焦离子束设备。液态镓离子源 寿命大于1000小时 发射电流 2.0uA821 6845 离子源168 821 7150 离子源171 两种离子源适用机型不同需要根据客户使用机器的具体型号来配置,大束科技自主研发离子源发射电流2.0uA,使用寿命大于1000小时。大束科技成立于2018年,是一家以自主技术驱动的电子显微镜核心配件研发制造商及配套服务商。 目前公司主要生产电子显微镜的核心配件离子源、电子源以及配套耗材抑制极、拔出极、光阑等销往国内外市场,此外,还为用户提供定制化电子显微镜以及电子枪系统等的维修服务,以及其他技术服务和产品升级等一站式、全方位的支持。在场发射电子源(电子显微镜灯丝)、离子源以及电镜上的高低压电源、电镜控制系统研发制造等领域等均具有优势。大束科技致力于成为电子显微镜行业上游配件的研发制造供应商;未来将在满足本土市场的同时,进军国际高端电子显微镜市场。
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  • Diener电镜专用等离子清洗机用途: 主要用于除去透射电镜样品及样品杆上的污染,防止碳沉积以降低图像分辨率及对样品微区分析造成误判。还可以利用该仪器清洗各类光阑等电子显微镜配件。特别适用于场发射扫描电镜和场发射透射电镜。用这种低能高频等离子体清洗样品表面,不会改变样品元素成份和表面结构特征。主要技术参数:1. 可对多孔碳膜进行高效且无破坏的清洗,提高样品在低电压下的成像能力,在化学微量分析时提高其精度2. 无油真空系统:泵体部分由多级隔膜泵和超净音分子泵组成,在保证真空度的同时,可在两分钟之内达到抽真空和放气过程,整个清洗过程在4分钟内可以完成3. 可清洗标准透射电镜样品杆4. 可清洗多孔碳膜5. 清洗时间:普通污染样品小于2分钟,重度污染样品小于10分钟 6. 重现性:可以自动记录下同类产品清洗的条件,下次清同类产品时可以样条件进行技术规格:控制方式手动控制发生器40KHz,0~100W腔体材质高硼硅玻璃腔体尺寸Dia.90*L280mm气路单路清清时间旋钮式计时器0~99hour压力控制范围0~2mbar外型尺寸W345*D420*H211mm电源电压单相AC230V,16A真空泵排气速度4m3/hour,极限真空度0.5Pa选配发生器2.45GHz和13.56MHz腔体材质石英玻璃气路双路计时器数字式计时器减压阀配专用气路接口钢瓶10L
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