仪器仪表网简单介绍 节流装置的使用条件有哪些①必须保证节流装置的开孔和管道的轴线同心.并使节流装置端面与管道的轴线垂直。 ②在节流装置的上、下游必须配置一定长度的直管段，管道内壁应光滑，以保证流体的流动状态橡定。 ③标准节流装置一般用于直径D≥50 mm的管道中。 ④被测介质应充润全部管进、连续流动，并保持德定的流动状态。 ⑤被测介质在通过节流装I时应不发生相变。
仪器仪表网介绍，标准节流装置就是有关计算数据都经系统试验而有统一的图表和计算公式，按统一标准规定进行设计、制作和安装，而不必进行个别标定就可使用的节流装里。在GB/T2624-93中规定的标准节流装皿有孔板、喷嘴和文丘里管，如图3一10所示。 http://www.china-1718.com/File/2011-11-15-10-21-47.jpg(1)节流装置的选用 节流装置的选用应根据被测介质流量测量的条件和要求.结合各种标准节流装里的特点，从测量精度要求、允许的压力损失大小、可能给出的直管段长度、被测介质的物理化学性质、结构的复杂程度和价格的离低、安装是否方便等几方面综合考虑。① 从加工制造和安装方面看，孔板最简单，喷嘴次之，文丘里管最复杂。造价高低与此相对应。通常多采用孔板. ②测量易使节流装置腐蚀、沾污、磨损、变形的介质流盆时，通常采用喷嘴。 ③当要求压力损失较小时.多采用喷嘴或文丘里管 ④在流量值与压差值都相同的条件下，用喷嘴有较高的侧量精度,且所需直管段较短. ⑤被测介质是高溢、高压的.可选用孔板和喷嘴。文丘里管只适用于低压流体介质。
在冷水机的节流装置中，毛细管是冷水机最简单的节流装置。在日常使用的电冰箱、窗式空调器、小型降湿机等小型的氟利昂制冷设备中，由于冷凝温度和蒸发温度变化不大，且制冷量较小，为了简化结构，一般都用毛细管作为节流降压装置。 所谓毛细管，就是一根直径很小的紫铜管。流体流经管道时要客服管道的阻力，就有一定的压力降，而且管径越小、管道越长，压力降就越大。所以当冷水机中的制冷剂流经毛细管时，毛细管起到节流膨胀的作用。当毛细管的内径和长度一定且毛细管两端压力差一定时，通过毛细管的制冷剂液体流量也是一定的。由此，可以选择适当直径和长度的毛细管作为节流装置，实现给小型冷水机节流降压和控制制冷剂流量的目的。 毛细管作为节流装置，具有结构简单、制造方便、价格便宜和不易发生故障等优点，而且压缩机停机后，冷凝器和蒸发器的压力可以自动达到平衡，减轻了再次启动电动机时的负荷。但是，毛细管的内径和长度一定，在毛细管两端的压力差保持不变的情况下，不能调节制冷剂流量，因此其调节性能差，供液量不能随工况变化而任意调节，所以毛细管仅适用于蒸发温度变化范围不大，负荷比较稳定的场合。
节流阀是石油、天然气行业井控装置用于节流管汇中的核心部件，其功能是在实施油气井压力控制技术时，借助它的开启和关闭维持一定的套压，将井底压力变化稳定在一定窄小的范围内。节流阀的节流元件，大多数采用针形阀结构；也有的是筒形橡胶，由气液驱动橡胶筒外壁来改变其内孔大小；还有的是利用两块重叠金属板，靠其相对转动来改变孔口大小。尽管节流阀结构各异，但原理都是通过改变流体通道大小，使钻井液流过节流元件的阻力大小不同，造成的井口回压也不同，通孔越小阻力越大，回压也越大；通孔越大阻力越小，回压也越小，从而达到节流的目的。节流管汇中的节流阀主要分为两大类，固定式节流器和可调式节流阀。可调式节流阀按照阀瓣的结构可分为针形节流阀、筒形节流阀、笼套式节流阀和孔板式节流阀等。其操作方式有手动、气动、电动和液动。节流阀是石油、天然气行业井控装置用于节流管汇中的核心部件，其功能是在实施油气井压力控制技术时，借助它的开启和关闭维持一定的套压，将井底压力变化稳定在一定窄小的范围内。节流阀的节流元件，大多数采用针形阀结构；也有的是筒形橡胶，由气液驱动橡胶筒外壁来改变其内孔大小；还有的是利用两块重叠金属板，靠其相对转动来改变孔口大小。尽管节流阀固定式节流器的流量是固定不变的，可根据需要更换不同尺寸的节流嘴而得到不同的排量，固定式节流器与可调节流阀配合使用，通常先使用可调节流阀，当井涌量大时才用固定式节流器配合。固定式节流器不是一个阀，而是一个整体装置，里 面有一短接或一节管子。它的尺寸在APISpec6A中有描述。这种提供节流嘴的短节是可以更换的，通过改变其尺寸大小可得到所希望的流量。流量的变化是靠更换具有另一孔径的节流嘴来实现的。固定式节流器适用于压力固定的情况，例如采油树。固定式节流器用于油井（采油树）上，有加热式和非加热式两种。加热式节流器由节流阀体、加热套和油嘴构成，如图11-4所示。（1） 针形节流阀针形节流阀用于节流管汇、髙压油气井口装置等。 针形节流阀有手动和液动两类。此处仅简介手动针形节流阀。针形节流阀主要由法兰、阀体、〇形密封圈、盘根盒、压盖、阀杆、手轮、阀座、轴承、压帽、阀针、螺母、键等组成。一对隐入式节流头和阀座，减少禽速流体造成的损害，一个顶盖大螺母，方便维护保养，测试口便于安装压力检测仪表，如图11-5所示。针形节流阀广泛用于井口系统、管汇、测试等目的。（2） 筒形节流阀筒形节流阀其阀芯为筒形，为整体硬质合金；阀座内圈镶硬质合金；阀盖与介质接触端堆焊有硬质合金， 使之具有良好的耐磨性和耐蚀性。在阀的出口通道上嵌有尼龙的耐磨衬套，以保护阀体不受磨损。筒形节流阀靠液压的推动（图11-6）或手轮的转动 （图11-7）来调节阀瓣的开关，具有流体流动性能好、 振动小的特点。筒形阀瓣由前后止动帽、带槽圆螺母等固定在阀杆上，随阀杆的上下移动调节流量，阀瓣和阀座内套均采用YG8制成，具有耐腐蚀、耐冲刷的性能。 阀体与阀盖、阀体与液缸间用0形密封圈、唇形圈密封。用螺栓连接，且连接部位凸出，远离内腔，消除了腐蚀介质对螺栓和螺孔的侵蚀，并减小了螺栓载荷。手动节流阀由手轮直接与阀杆连接驱动阀芯工作，为减轻操作力矩，也可以在手轮和阀杆之间增加一个带有伞齿轮结构的省力机构（图11-8）。液动筒形节流阀的阀盖尾部是液缸及活塞，靠液压油推动活塞带动阀杆，再带动阀芯前后推进，使阀芯与阀座之间的流道面积改变达到节流目的。为使操作控制台的人员能知道节流阀的开度，故在阀盖的液缸外端装有阀位变送器。液动筒形节流阀具有如下特点：①它具有较好的耐蚀性，耐冲刷性能；②筒形阀芯和阀座内圈为硬质合金，且能颠倒使用，增长了使用寿命；③较大的阀体腔和筒形阀体结构，较之通常的针形节流阀，它具有较大的流量，采用侧进正出的流向，其筒形阀板周围的导筒减少了节流时的振动，减少了噪声；④阀位变送器能借助气压信号，将节流阀阀芯的实际开关位置输送到控制台上显示出来；⑤操作者通过控制台能远程控制节流阀的开关。 操作手动筒形节流阀时，顺时针旋转手轮，开启度变小并趋于关闭；逆时针旋转手轮，开启度变大，节流阀的开启可以从护罩上的刻度显示出来。在旋转手轮快到行程终点时，不可太快，以免损伤阀杆和限位帽。节流阀只能控制压力和流量用，绝不能作截止用，即阀芯与阀座之间不能起密封作用。（3）笼套式节流阀笼套式节流阀利用带孔的笼套结构来改变流体方向，并利用流体力学原理使流体沿笼套的中心线运动，避免对节流元件的冲损和腐蚀，减少运行噪声。 笼套式节流阀可以提供一个可变的流量，且节流通径有较大的调节范围，但是如果要求流量不变时，该节流阀也能够在某一位置，提供固定的流量，这样可以满足用户的不同的流量需求。笼套式节流阀阀芯组合的内部和节流阀阀杆头部都采用碳化钨材料，耐蚀、耐冲损，具有很长的使用寿命。阀体上设有泄压阀，以方便操作者在打开阀盖前安全地释放腔内的压力。阀盖的密封采用了特殊的结构形式和密封材质，耐高压、密封可靠、寿命长。 笼套式节流阀的节流元件采用碳化钨材料，上下多点固定，节流范围广，噪声低，耐高冲损，环形空间有助于减少阀本体腐蚀。笼套式节流阀多孔多向消除能量，可消除紊流冲损现象，大大延长了安全使用寿命，降低了停产维修率。笼套式节流阀维护方便，而针式节流阀由于结构本身的特点使其具有结构简单、价格低廉的特点，同时节流阀针头易损坏，寿命短，针头破损的碎块冲入管道中存在着潜在的危险。这些情况增加了油气井开采后期的作业成本，而且还造成由于更换节流阀而停井的间接油气产量的损失。笼套式节流阀分为活塞笼套式和套筒笼套式。①活塞笼套式如图11-9所示，利用活塞在笼套位置不同实现节流目的，主要用于高流速、中压降的工况。主要应用于海洋及陆地的井口、管汇、分离器、气举、注气。泥浆循环和地面高压注采气等管汇设备。孔板式节流阀（图11-11）分为手动孔板式节流阀和液动孔板式节流阀。孔板式节流阀具有以下特点：①阀杆与阀体之间采用螺栓相连，具有连接安全可靠等优点。②手动孔板式节流阀采用省力结构，靠手轮的传动来改变节流口径，孔板式节流阀采用四缸连动的液动驱动器来驱动，具有开关灵活，操作方便等优点。③流动孔板式节流阀在驱动器上安装有角位变送器，可在液控箱中能瞬间观察到节流孔的面积。④阀杆密封采用0形圈及其四氟圈的双重密封， 在保证密封性能的情况下，降低了阀门开关力矩。⑤阀板是以轴线为旋转轴的关闭件，既起调节流体节流面积的作用，又起关闭流体的作用。⑥手轮以逆时针方向旋转为幵，顺时针方向旋转为关。⑦孔板式节流阀同其他各种节流阀相比，具有zui长的使用寿命，zui具抗冲损及磨损的能力。⑧孔板式节流阀适用于钻井、压裂、泥浆循环和地面高压注气采气等设备。该阀zui显著的特点是在于当被关闭时，进、出口之间的压力差，能使两块孔板紧紧地压在一起，实现密封切断的功能。尤其是在遇到压力突然升高或因泄漏造成的压力突然降低等紧 急突发事件的情况下，可通过预先设置的高、低压传感器压力信号值，使其自动关闭和切断，因此可避免重大危险事故的发生。节流阀用于调节介质流量和压力。截止型节流阀够在较大范围内调节，也能进行调节，但口径较小，适用于中、小口径，蝶式节流阀适用于大口径。节流阀不宜作为截断阀用，节流阀若是长期用于节流，其密封面必然会被冲蚀，而不能保证密封性。
3、差压式流量计 差压式流量计是根据安装于管道中流量检测件产生的差压、已知的流体条件和检测件与管道的几何尺寸来测量流量的仪表。是早期大量使用的一种测量流量的计量仪表。差压式流量计由三部份组成：（1）将被测液体的流量变换成差压信号的节流装置；（2）传输差压信号的信号管路；（3）测量差压值的差压仪或差压变送器及显示仪表。通常以检测件的型式对差压式流量计分类，如孔板流量计、文丘里管流量计及均速管流量计等。 在化工装置中选型与使用差压式流量计注意：差压式流量计压损大，测量范围度窄，一般为3：1或4：1，测量的重复性、度在流量计中属中等水平。差压式流量计的安装应包括节流装置、压差引压导管、差压计三部份。在测量流体流量时，为防止液体中有气进人并存在导压管内及防止液体中有沉淀物析出，差压计应安装在节流装置的下方，测量气体流量时为防止液体污物或灰尘进人导压管，则差压计应安装在节流装置上方，测量水蒸汽时要保持两根引压管内的冷凝液柱高度相等，防止高温蒸汽与差压计直接接触。压差引压导管的材质应按被测介质的性质和参数确定，其内径不小于6mm，长度在16mm以内。压差引压导管应垂直或倾斜敷设，起倾斜度不小于1：12，粘度高的流体，其倾斜度应更增大。当压差引压导管长度超过30m时，导压管应分段倾斜，并在点与点装设集气器（或排气阀）和沉淀器（或排污阀）。严寒地区压差引压导管应加防冻保护，同时要防止过热，否则压差引压导管中流体汽化会产生假差压。 4、转子流量计 转子流量计为低中等度仪表，属变面积式流量计的一种。转子流量计是以浮子在垂直锥形管中随着流量变化而升降，改变它们之间的流通面积来进行测量的体积流量仪表。一般分为玻璃和金属转子流量计，作为直观流动指示或测量度要求不高的现场指示仪表，转子流量计被广泛地用在化工行业。 转子流量计适合于对中、小口径中流体和雷诺数较低的流体的流量测量。转子流量计压力损失较低，有较宽的流量范围度，一般为10：1，为5：1，为25：1。 选型与使用时应注意：转子流量计主要测量对象是单相液体或气体，液体中含有微粒固体或气体中含有液滴通常不适用。玻璃管转子流量计应选带有透明防护罩，一旦玻璃锥管破裂，可挡住流体正向散溅，以作紧急处理。用于气体时应选用导杆或带棱筋导向的仪表，以避免操作不慎浮子击碎锥管。 转子流量计必须垂直安装在无振动的管道上，流体自下而上流过仪表，其中心线与铅垂线间夹角一般不超过5度。仪表安装时无严格上游直管段长度要求，如被测介质含粒状杂质，应在仪表上游装过滤器。为保证在长期使用过程中的测量精度，要注意保持浮子和锥管的清洁，特别是小口径仪表，必要时可设置冲洗配管，定时冲洗。 5、热式质量流量计 热式质量流量计是利用传热原理，即流动中的流体与热源（流体中加热的物体或测量管外加热体）之间热量交换关系来测量流量的仪表。热式质量流量计目前主要用于测量气体。 热式流量仪表主要有两种， （1）利用流动流体传递热量改变测量管壁温度分布的热传导分布效应的热分布式流量计； （2）利用热消散（冷却）效应的金氏定律的热式质量流量计。 选型使用时应注意：与其他流量计相比，热式质量流量计具有中等测量度，适用于低流速范围测量，因其响应时间长，不适应脉动流流量测量在测量气体时流体温度变化并不影响质量流量，但温度变化过大，比热容的变化会导致量程变化；热式质量流量计只能用于测量清洁单相流体——气体或液体，用气体的型号不能用于液体，反之亦然。对于热分布式气体还必须是干燥气体，不能含有湿气。安装中大部分热式质量流量计的流量传感器可任何姿势（水平、垂直或倾斜）安装，其性能不受安装姿势影响，通常认为热分布式无上下游直管段长度要求，但应注意带测量管的浸入式流量传感器和插人式仪表需要一定长度前置直管段。
固相萃取是分析工作者常用的样品前处理方式，农残、兽残、食品添加剂等各种样品的检测都可以通过固相萃取实现优异的净化效果。 然而如果我们一次一个小柱的这样操作，效率并没有很大太高，使用12管真空固相萃取装置便能大大提高工作效率，早早完成工作，早早回家休息，工作生活两不误，赞吧？12 管固相萃取真空装置* 设计独特的两位式12 管玻璃真空萃取装置* 包括通用适配器（连接1, 3, 6 mL 小柱）* 价格性能比非常高* 过压自动保护功能* 顶部放空阀与压力表相邻设计，非常方便* 放空阀可以任意调节流速* 内部接收试管高度可以任意调节* 标准配置12 和16 mm 试管架，满足您绝大多数应用http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2014/08/201408201635_510968_1610895_3.jpg
实验室是一个高消耗无产出的地方，切实可行的节流方案可以带给你意想不到的惊喜！下面谈一下我是如何践行在实验室节流降的。 实验室最大的支出就在于耗材上，不要觉得一些低值易耗品没有什么大不了。一次性吸管、移液枪头几十块钱一大包用完就扔了没啥吧？这样认为你就大错特错了。我的一个小方法就可以让你无限重复使用它，信不信试了就知道。以甲醇试剂为例，将两个1ml移液枪头用透明胶带竖直固定在甲醇试剂瓶上枪尖朝下，一个孔里插吸管一个孔里插枪头。移液用枪头定容用吸管重复使用且不会污染。其他试剂也如法炮制从此再也不用移液就去找枪头定容就去取吸管了方便省时还节约了成本。也许你还觉得这能省几个钱啊千万别小看这一点日积月累一点也不小。 另一个就是进样瓶的回收使用了，这一点很多实验室也在做。进样结束样品瓶的使命也就完成了，此时只是垫片穿孔了瓶子污染了那么洗干净换个垫片是不是就可以接着用了呢。洗瓶也有诀窍怎么着快速干净而省时呢？请听我细细道来！ 首先进样完成的小瓶要及时清理倒掉里面的样品，防止溶剂挥发不但危害健康、污染环境还会将不挥发物质富集在瓶底导致清洗困难。将小瓶浸泡到盐酸洗缸里，等到积累到一定数量就可以清洗一次了，带上橡胶手套将小瓶转移至装满清水的盆里不停搅拌用流动的水冲洗倒掉水加入无水乙醇至没过小瓶有超声清洗的最好超声一下，我这个超声太小就不做了接下来再用清水冲洗干净倒入水浴锅温度调至100度加入洗涤灵煮沸半小时期间不断搅拌最后清水冲洗一级水浸洗烘箱135度烘干即可。虽然费时费力但真的比买新的要节省一大笔钱。 实验室想必都有旋转蒸发仪吧用过的有机溶剂重蒸馏回收后降级使用既环保又节约 也应该算上一条。盛装药品器具的纸盒纸箱适当裁剪可以做成垃圾桶，破口的烧杯、容量瓶、三角瓶也不要丢弃装上清水插一株绿萝或是富贵竹都是实验室一道绝美的风景线。有很多试验用的器具都可以手工DIY的比如圆底烧瓶底座、简易氮吹装置、加压洗耳球等等。由于实验室禁止拍照就不能将我的小杰作与大家分享了。我相信只要你在没事的时候多看看多想想总会有好的创意我是个笨人尚且能够有一些节流小点子，聪明的你是否有更好的创意愿意与我分享呢.期待着各位朋友回帖留言讲述自己实验室的节流创意。
流体实验，多数都要控制流量。在实验室里，我们因经费等原因常常用节流孔来实现。当然最开始都是不求甚解的，前面的师兄怎么用我们就怎么用，后端接一个机械式流量计，读一下流量（想准一点就用高级点的流量计）。有时候也觉得奇怪，一个小小的孔，居然能够实现流量恒定！！！（当然这东西怕堵塞，超声加酒精、丙酮基本能清洗掉）。不可思议，到现在没没完全弄清楚，为啥节流孔在压差达到一定程度之后，气体就以声速通过了呢？！奉上此题共同学习！
刚开始接触色谱，要求调节流动相PH值，还以为是必做的流程，相信刚接触的你也是这么认为的，但这种认识是错误的，1、这样的要求只是为了统一，便于保护柱子。2、每个色谱柱都有其特定的PH使用范围，不在此范围会影响到柱子的使用寿命，和柱子的稳定性。3、你调了PH值，必然会用到酸或碱带入新的杂质，得不偿失。4、如果你用超纯水的话，配出来的流动相一般会保持在某一个范围内，没有必要调。
调节流动相时，怎么选择用甲醇或用乙腈？请老师指导？
[~110085~]
如题：迪马12管固相萃取真空装置的特点？答案：* 设计独特的两位式12 管玻璃真空萃取装置* 包括通用适配器（连接1, 3, 6 mL 小柱）* 价格性能比非常高* 过压自动保护功能* 顶部放空阀与压力表相邻设计，非常方便* 放空阀可以任意调节流速* 内部接收试管高度可以任意调节* 标准配置12 和16 mm 试管架，满足您绝大多数应用PS：该贴浏览权限为“回贴仅作者和自己可见”，回复的版友仅能看到版主的题目及自己的回答内容，无法看到其他版友的回复内容。下午3点之后解除，即可看到正确答案、获奖情况及所有版友的回复内容。【奖励】一等奖（3钻石币）：夏天的雪（注册ID：bingwang228）-1楼二等奖（2钻石币）：zgx3025（注册ID：v2844608）-3楼三等奖（1钻石币）：999youran（注册ID：999youran）-4楼幸运奖（2钻石币）：dyd3183621（注册ID：dyd3183621）http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/07/201507101504_554831_1610895_3.jpghttp://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/07/201507101504_554832_1610895_3.jpghttp://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/07/201507101504_554833_1610895_3.jpghttp://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/07/201507101504_554830_1610895_3.jpg
关于可燃气体检测报警器检定稀释装置的准确度指标的商讨 依据JJG693-2011《可燃气体检测报警器》，可燃气体检测报警器检定装置，主要应由国家标准气体物质和稀释装置组成。用稀释装置稀释高浓度的气体标准物质，以适应不同量程的可燃气体检测报警器。所谓稀释装置实际上就是通过自动控制电路，控制多个高准确度的流量控制装置，按比例输出稀释气和标准气，构成所需组份和浓度。JJG693-2011要求稀释装置流量示值误差不大于±1%，重复性应不大于±0.5%。 因为该稀释装置是开环控制的，也就是说没有去对稀释配制的检定用气的浓度进行测量，然后去调节流量控制装置。所以其稀释配制得到的浓度，除依赖用于稀释的高浓度标准气体物质的不确定度外，就取决于流量控制装置的置流量示值误差。所以我认为对于稀释配气装置的准确度指标，应该给出流量控制装置的置流量示值误差。至于配制得到的气体的不确定度，可由稀释配气装置使用者，据所需配的组份和标准气体的不确定度去评定。 例如：用浓度为C1的标准气体（U=2%，k=2），稀释为浓度为C2的检定用气。其稀释的数学模型为： C2= （C1·V1）/ V2 （1） 式（1）中：V1和 V2分别是为所需标准气体和稀释气体的体积，在稀释配气装置中由流量控制装置给出。 因为该数学模型为纯积商型式，所以可以用相对标准不确定度的方和根合成，并得到相对的合成标准不确定度。
如图中的13分钟的峰，在前面有个小峰该怎么调节流动相让其分开这是用20:80的甲醇：水走出来的，谢谢了！！！
各位大侠，本人处理狗空白全血上液相感觉杂质很多主要在9分钟以前，问题是杂质峰拖尾影响后面的主药出峰，引起基线漂移，最郁闷的是主要出峰的位置空白血也有小峰，想调节流动相错开，调了几次但几乎都在一个位置出峰分不开，请问怎么办？ 新买的shim-pack C18柱子，柱温70，流动相先前用乙腈：甲醇：水=70：8：22，现在不用甲醇了，检测波长210nm.
如何调节流动相的极性，主峰和杂质峰会都向前或者向后移动相等的时间吗，比如都提前或者推后2分钟，还是因为极性或者溶解性不同会没有规律呢，请大家帮忙解释一下
Y型过滤器采用絮凝加药装置在泵前往循环水中投加絮凝剂，原水通过增压泵增压后，絮凝剂经水泵叶轮搅拌后均匀混合将原水中的细小固体颗粒悬浮和胶体物质进行微絮凝反应，快速生成体积大于5微米的絮体，流经过滤系统管路进入高效不对称纤维过滤器，絮凝物被滤料过滤截留。 本系统采用气水联合冲洗，反洗空气由风机提供，反洗水由直接由自来水提供。系统的废水（高效自动梯度密度纤维过滤器反冲洗废水）排入污水处理系统。
[color=#ff0000]摘要：对标MKS、VAT和CDK等公司的下游排气高速节流阀系列产品，本文介绍了相应的国产化替代方案和产品。基于CVD工艺，技术方案将下游流量调节阀变为了下游压力调节阀，并采用分体结构，将调压阀与PID控制器分离，调压阀具备大口径和高速功能，电子气控驱动调压阀快速动作，PID控制器接收真空计信号和控制气控驱动阀，可实现阀门全开时间小于0.1秒。[/color][align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align] [size=18px][color=#ff0000]一、背景介绍[/color][/size]在各种化学气相沉积CVD工艺中，腔室上游为各种工作气体的进气端，腔室下游布置节流阀和真空泵，使得工作腔室内的工作气压在高温条件下按照设定程序进行控制。为达到较高的工艺质量，在CVD工艺中真空度的控制需达到以下几方面的要求：（1）下游控制方式：因为在CVD工艺过程中的真空度并不高，基本在10~500Torr范围内，在此范围内的低真空控制，采用下游控制方式可以达到较高精度，且控制速度很快。而上游控制方式则很难达到满意的控制效果，上游控制方式一般适用于较高真空度的低压控制。（2）高速调节能力：CVD工艺过程中，除了开始阶段的真空度缓慢调节控制之外，在温度突变过程中要求具备快速调节和恒定真空度的能力，这就要求下游调节阀门的响应速度极快，阀门从全闭到全开的时间至少不能大于1秒。（3）大口径：作为下游控制模式，节流阀安装在工作腔室和真空泵之间，要求具有较大口径以满足真空的快速抽取和控制。（4）易维护：CVD工艺中会有大量微尘抽出排放，尽管使用了过滤装置，但还是会对节流阀产生污染，由此要求节流阀便于拆装清理而不影响使用。目前市场上能满足CVD工艺上述要求且应用较多的节流阀是MKS、VAT和CDK等国外公司的系列下游排气高速节流阀，系列节流阀的全开速度在0.2~1.7秒范围内，口径1.270~2.362英寸，并集成了蝶阀、步进电机和PID控制器。目前MKS的下游节流阀在CVD工艺中应用比较成熟，但存在价格偏高和货期较长的问题。针对此问题，本文提出了相应的替代方案，介绍了相关产品，以期在国产化方面做出尝试。[size=18px][color=#ff0000]二、国产化替代方案[/color][/size]国产化替代方案主要包括以下几方面的内容：[color=#ff0000]2.1 压力调节方式[/color]目前MKS公司的下游节流阀是一种流量调节阀，通过调节蝶阀的开度大小来调节排气流量，与进口流量达到平衡来实现工作腔室内真空度的控制。我们的方案是直接采用压力调节阀，通过调节工作腔室排气口处的气压来实现腔室真空度控制。调压方式同样可以实现真空度的准确控制，特别是在CVD的低真空（高气压）工作区间内，排气量会更少，能节省工作气体的排放。[color=#ff0000]2.2 分体结构[/color]与MKS下游节流阀的集成式结构不同，我们将阀门和PID控制器进行了模块分离。采用分体结构主要出于以下几方面的考虑：（1）采用独立的2通道PID控制器。这种PID控制器具有24位A/D和16位D/A的超高精度，更能保证真空度的控制精度，同时具有40多种信号输入类型，即可用来控制真空度，也可控温等。（2）2通道PID控制器可以连接两个不同量程的电容式真空计，并具有真空计自动切换功能，由此可实现全量程范围内真空度的自动测量和控制。如果只连接一个真空计，另外一个通道可连接温度传感器进行温度控制。（3）很多CVD设备都配备了独立且功能强大的PLC控制系统用来进行真空度、温度和流量等电气参数控制，同时也具备达到一定精度的PID控制功能。分体结构可以使PLC系统直接去控制阀门，避免功能的重复，有利于降低造价。[color=#ff0000]2.3 气控驱动压力调节阀[/color]有别于美国MKS公司下游节流阀所采用的高速步进电机驱动蝶阀，我们的技术方案是电子气控先导阀驱动阀芯位移，由此可带动阀芯实现高速位移和压力调节。针对不同口径采用相应规格阀芯，内部阀芯非常便于拆卸、更换和清理。[size=18px][color=#ff0000]三、国产化相关产品[/color][/size][color=#ff0000]3.1 大口径高速真空压力调节阀[/color]新推出的国产化EVR系列（EyoungVacuum Regulator）真空压力调节阀及其内部结构如图1所示。[align=center][img=,690,348]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/06/202206020854523534_9772_3384_3.png!w690x348.jpg[/img][/align][align=center]图1 国产EVR系列真空压力调节阀及其内部结构示意图[/align]EVR系列真空压力调节阀是一种常闭型调压阀门，可直接对气密性容器的真空压力（负压或正压）进行高速调节，调节方式采用顶部气控先导阀，先导阀可采用手动和电子控制形式。EVR系列产品可配各种手动和电子控制形式的先导阀，可形成开环和闭环控制回路。通过外接真空计和真空压力控制器相结合，可构成闭环形式快速高精度可编程真空控制回路。EVR系列真空压力调节阀的技术参数如表1所示。[align=center]表1 EVR系列真空压力调节阀技术参数表[/align][align=center][img=,550,299]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/06/202206020928417726_9841_3384_3.png!w690x376.jpg[/img][/align][align=left][color=#ff0000]3.2 两通道24位高精度多功能PID控制器[/color][/align][align=center]对标英国欧陆控制器，国产VPC-2021系列PID控制器是多通道、24位A/D和16位D/A、可编程的通用型PID控制器，如图2所示。VPC-2021系列PID控制器可进行真空度、温度、流量和转速等多种参数的精密控制，功能十分强大，且性价比非常高。[/align][align=center][img=,500,260]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/06/202206020929494455_1310_3384_3.png!w650x338.jpg[/img][/align][align=center]图2 VPC-2021系列高精度PID程序控制器[/align]VPC-2021系列控制器主要性能指标如下：（1）精度：24位A/D，16位D/A。（2）最高采样速度：50ms。（3）多种输入参数：47种（热电偶、热电阻、直流电压）输入信号，可连接各种温度和真空度传感器进行测量、显示和控制。（4）多种输出形式：16位模拟信号、2A (250 VAC）继电器 、22V/20mA 固态继电器、 3A/250VAC可控硅。（5）多通道：独立1通道或2通道输出。2通道可实现温度和真空度的同时测控，报警输出通道可用来控制旋转电机。（6）多功能：正向、反向、正反双向控制、加热/制冷控制。（7）PID程序控制：改进型PID算法，支持PV微分和微分先行控制。可存储20组分组PID，支持20条程序曲线（每条50段）。（8）通讯：两线制RS485，标准MODBUSRTU 通讯协议。（9）显示方式：数码馆和IPS TFT真彩液晶。（10）软件：通过软件计算机可实现对控制器的操作和数据采集存储。（11）外形尺寸：96×96×87mm(开孔尺寸92×92mm)。[align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align]
流量仪表是过程自动化仪表与装置中的大类仪表之一，它被广泛应用于冶金、电力、化工、石油、交通、环境保护及人民日常生活等国民经济各个领域。在过程自动化仪表与装置中，流量仪表有两大功用：作为过程自动化控制系统的检测仪表和测量物料数量的总量表。 本文简单介绍了化工装置几种常用流量计的原理及选型与使用经验。 1、电磁流量计 电磁流量计是基于法拉第电磁感应原理研制出的一种测量导电液体体积流量的仪表，根据法拉第电磁感应定律，导电体在磁场中作切割磁力线运动时，导体中产生感应电压，该电动势的大小与导体在磁场中做垂直于磁场运动的速度成正比，由此再根据管径，介质的不同，转换成流量。 电磁流量计无节流部件，因此压力损失小，该仪表测量流体流量时，不受流体温度、压力、密度、粘度及流体组份的影响，适合于对有悬浮物固体粒子的污水、煤浆的测量，特别适合于对腐蚀性介质的测量。 选型与使用时应注意：电磁流量计所测液体应具有测量所需的电导率，并要求电导率分布大体上均匀，不能用于测量电导率很低的液体，如石油制品和有机溶剂等。电磁流量计的测量精度是建立在液体充满管道的情形下，目前在管道中有空气的情况下测量问题尚未得到很好解决，因此电磁流量计不能测量气体、蒸汽和含有较多较大气泡的液体。同时应注意不同温度及腐蚀性介质应选用不同内衬材料和电极材料。电磁流量计虽可以在任意管道上安装，但电磁流量计测量电极的轴线必须保持水平方向，且与管道中心线互相垂直。为避免在管内无液体时出现指针不在零位的错觉，电磁流量计的变送器应安装于任何时候均充满液体的地方，同时，该流量计的信号较为微弱，因而在使用时应注意外来干扰对其测量精度和影响，变送器应安装于远离一切磁源的地方，不允许有振动。 2、涡轮流量计 涡轮流量计是一种速度式流量仪表，由于具有测量精度高，反应速度快，测量范围广，价格低廉，安装方便等优点，被广泛应用于化工生产中。 涡轮流量计由涡轮、轴承、前置放大器、显示仪表组成。涡轮变送器的工作原理是当流体沿着管道的轴线方向流动，并冲击涡轮叶片时，便有与流量qv、流速V和流体密度r乘积成比例的力作用在叶片上，推动涡轮旋转。在涡轮旋转的同时，叶片周期性地切割电磁铁产生的磁力线，改变线圈的磁通量。根据电磁感应原理，在线圈内将感应出脉动的电势信号（此脉动信号的频率与被测流体的流量成正比）。涡轮变送器输出的脉冲信号，经前置于放大器放大后，送人显示仪表，就实现了流量的测量。 在化工装置中选型与使用应注意：流量计本体选用316不锈钢材料以防腐；应注意确保被测介质对涡轮不能有腐蚀，特别是轴承处，否则应采取措施，在一般化工场所应优先考虑轴承使用聚四氟乙烯、碳石墨材料安装涡轮流量计前，管道要清扫，被测介质不洁净时，要加过滤器，否则涡轮、轴承易被卡住，测不出流量来。变送器应水平安装，避免垂直安装，并保证其前后有适应的直管段，一般前10D，后5D。选用涡轮流量计主要是看中其高度，但应注意，流量计度愈高，对现场使用条件的变化就越敏感，因此安装涡轮流量计时，前后管道法兰要水平，否则管道应力对流量计影响很大。传感器安装应便于维修并避免管道振动、无强电磁干扰与抗辐射影响的场所。
关于可燃气体检测报警器检定稀释装置的准确度指标的商讨 依据JJG693-2011《可燃气体检测报警器》，可燃气体检测报警器检定装置，主要应由国家标准气体物质和稀释装置组成。用稀释装置稀释高浓度的气体标准物质，以适应不同量程的可燃气体检测报警器。所谓稀释装置实际上就是通过自动控制电路，控制多个高准确度的流量控制装置，按比例输出稀释气和标准气，构成所需组份和浓度。JJG693-2011要求稀释装置流量示值误差不大于±1%，重复性应不大于±0.5%。 因为该稀释装置是开环控制的，也就是说没有去对稀释配制的检定用气的浓度进行测量，然后去调节流量控制装置。所以其稀释配制得到的浓度，除依赖用于稀释的高浓度标准气体物质的不确定度外，就取决于流量控制装置的置流量示值误差。所以我认为对于稀释配气装置的准确度指标，应该给出流量控制装置的置流量示值误差。至于配制得到的气体的不确定度，可由稀释配气装置使用者，据所需配的组份和标准气体的不确定度去评定。 例如：用浓度为C1的标准气体（U=2%，k=2），稀释为浓度为C2的检定用气。其稀释的数学模型为： C2= （C1·V1）/ V2 （1） 式（1）中：V1和 V2分别是为所需标准气体和稀释气体的体积，在稀释配气装置中由流量控制装置给出。 因为该数学模型为纯积商型式，所以可以用相对标准不确定度的方和根合成，并得到相对的合成标准不确定度。即：http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2012/09/201209200500_391975_1626275_3.jpg 同样取包含因子k=2，故经稀释后检定用气体的扩展不确定度为： U=2.6%，k=2。 而且当稀释的组份不同时，由于数学模型不同，经稀释后检定用气体的扩展不确定度也不同。 但现在有的稀释配气装置生产者，直接给出其稀释配气装置的配气不确定度为±1%（因为他给出时有“±”号，我们只能按误差限来理解），不知是否欠妥？ 虽说不确定度的最大特点是“不确定”，但人们还是应该，实际上人们也正是这样努力，尽可能多地去发现能认识的不确定度源，将其尽可能恰当地评定出来。 版友们：你们说是吗？
[font=微软雅黑, sans-serif][size=16px][color=#212529]在[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱[/color][/url]分析中，进样时候常见的样品形态为液体或者气体。实际样品（如蔬菜）经过溶剂提取、过滤、萃取、浓缩和定容等前处理步骤之后变为溶液中的组份成为[/color][/size][/font][font=微软雅黑, sans-serif][size=16px][color=#212529]液体样品[/color][/size][/font][font=微软雅黑, sans-serif][size=16px][color=#212529]；水质中的易挥发组份（经处理后）、大气和工厂废气、天然气等化工气体等则作为气体样品。[/color][/size][/font][font=微软雅黑, sans-serif][size=16px][color=#212529]样品形态和性质的不同[/color][/size][/font][font=微软雅黑, sans-serif][size=16px][color=#212529]会使得其引入进样口的方式不同，[/color][/size][/font][font=微软雅黑, sans-serif][size=16px][color=#212529]催生出多种多样的样品引入装置[/color][/size][/font][font=微软雅黑, sans-serif][size=16px][color=#212529]。[/color][/size][/font][font=微软雅黑, sans-serif]在使用热解吸_热脱附装置进行样品分析时，根据挥发性和半挥发性组份从采样管中解吸之后是否再进行冷聚焦浓缩，将热脱附装置分为一次热解吸装置和二次热解吸装置。本文将进行介绍二次热解吸装置的仪器结构、流路与工作过程。[/font][font=微软雅黑, sans-serif] [/font][font=微软雅黑, sans-serif]1 [/font][font=微软雅黑, sans-serif]概述：二次热解吸的一般过程[/font][font=微软雅黑, sans-serif] [/font][font=微软雅黑, sans-serif]使用二次热解吸/热脱附（Thermal Desorption，TD） 技术/装置分析样品，在完成样品采集之后，分析过程主要包括一次解吸/脱附，富集，二次解吸/脱附，进样和老化等步骤。[/font][align=center][img]https://img.antpedia.com/instrument-library/attachments/wxpic/95/96/995966fcfbdd7c6854387f1c44171dca.png[/img][/align][font=微软雅黑, sans-serif]完成样品采集之后，将采样管按照要求正确安装在热解吸仪器上；通过一次解吸使采样管在高温下将吸附的样品释放出来；采样管中吸附的样品释放出来之后被带入[color=red]低温冷阱[/color]（与采样管中吸附剂相同，处于低温，体积更小且可以迅速升温）进行[color=red]二次浓缩和富集[/color]，然后快速升温释放并被载气带入[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱仪[/color][/url]器进行分析；[/font][font=微软雅黑, sans-serif]分析完成后，一般需要对采样管进行老化以降低残留。[/font][font=微软雅黑, sans-serif] [/font][font=微软雅黑, sans-serif]2 [/font][font=微软雅黑, sans-serif]二次热解吸的仪器流路[/font][font=微软雅黑, sans-serif]2.1 [/font][font=微软雅黑, sans-serif]二次热解吸仪器[/font][font=微软雅黑, sans-serif] [/font][font=微软雅黑, sans-serif]二次热解吸_热脱附装置流路较一次热解吸_热脱附装置稍微复杂，在工作时涉及到进样流量和吹扫流量的切换，[color=red]多数使用六通阀作为核心流路切换部件[/color]（也有不使用六通阀的厂家）。下图为某国外热解吸外观图：[/font][align=center][img]https://img.antpedia.com/instrument-library/attachments/wxpic/12/99/0129939665b863a4f1233b42b596b051.png[/img][/align][font=微软雅黑, sans-serif]该装置具有样品盘，可以放置多个采样管并自动依次进行分析。目前国内厂家也有二次热解吸_热脱附装置，具有单通道（只能进行一个采样管的分析）和多通道（带样品盘）的不同类型。[/font][align=center][img]https://img.antpedia.com/instrument-library/attachments/wxpic/6a/66/c6a66c5271a06602dbe1228a8c6ab9ea.jpeg[/img][/align][font=微软雅黑, sans-serif]2.2[/font][font=微软雅黑, sans-serif] 二次热解吸仪器流路[/font][font=微软雅黑, sans-serif]二次热解吸_热脱附装置的基本原理类似，但是流路设计多种多样；典型的二次热解吸装置的流路可以参见下图：[/font][align=center][img]https://img.antpedia.com/instrument-library/attachments/wxpic/03/97/b0397afc6cc9096c3a1473bf178243d4.png[/img][/align][font=微软雅黑, sans-serif]仪器内部装置实物可以参见下图：[/font][align=center][img]https://img.antpedia.com/instrument-library/attachments/wxpic/23/09/323096a9f1f625dbc6da7e2ae5e17225.png[/img][/align][font=微软雅黑, sans-serif]仪器内部的关键部件为：六通阀用以切换流路；冷阱/聚焦管可以将采样管中解吸之后的样品再进行冷聚焦浓缩；除此之外，有控制流路切换的开关电磁阀、调节分流流量的机械阀（或者电子流量控制装置），以及测量内部压力的PM（数字压力计）以及测量分流流量、出口流量的FM（数字流量计）；当然，这些装置并非必须，是可选项。[/font][font=微软雅黑, sans-serif][size=14px]（说明：流量计仅仅用以测量流量，流量控制器则可以调节、控制并测量流量；本例中热解吸装置内部一律使用机械阀调节流量，使用数字流量计测量流量。）[/size][/font][font=微软雅黑, sans-serif][/font][font=微软雅黑, sans-serif] [/font][font=微软雅黑, sans-serif]在仪器外部，仪器背面配有两个单独的气体入口，其中载气（Carrier Gas）用于将解吸出来的样品带入色谱柱，由[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱仪[/color][/url]提供；氮气进口（DriveGas、Auxiliary Gas In等，统称为[color=red]辅助气[/color]）用于吹扫、一次解吸和老化等过程（一般使用与载[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相[/color][/url]同的气体），可以使用机械阀或者电子流量控制装置调节，本例中使用DPC（数字压力控制器）。[/font][font=微软雅黑, sans-serif][size=14px]有关热解吸装置外部管路气路连接的内容可以参考本公众号往期文章：[url=https://ibook.antpedia.com/x/335525.html][color=#7030a0]第34篇 [url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱[/color][/url]的样品引入装置：热解吸_热脱附装置（三）[/color][/url]。[/size][/font][font=微软雅黑, sans-serif][/font][font=微软雅黑, sans-serif]2.3 [/font][font=微软雅黑, sans-serif]仪器的工作模式和过程[/font][font=微软雅黑, sans-serif]对于二次热解吸装置而言，其工作状态主要包括：等待和就绪、加压和检漏、干吹、一次解吸（采样管解吸_脱附）、冷阱/聚焦管富集、二次解吸（冷阱/聚焦管解吸_脱附）、进样、老化等多个步骤。由于各厂家设计思路不同，对于实际的仪器，可能相邻的两个工作状态和步骤会进行合并，但是整体顺序不变。[/font][font=微软雅黑, sans-serif] [/font][font=微软雅黑, sans-serif]2.3.1 [/font][font=微软雅黑, sans-serif]等待和就绪阶段[/font][font=微软雅黑, sans-serif]等待和就绪阶段[/font][font=微软雅黑, sans-serif]指将采样管安装在热解吸装置上（并非置于热解吸_热脱附装置的加热模块中，而是安装在仪器上，如放置于样品盘中），并等待仪器温度、流量就绪的过程；所有仪器设定条件达到时，仪器就绪。[/font][align=center][img]https://img.antpedia.com/instrument-library/attachments/wxpic/dc/1b/9dc1b62574c54644035058dde2d047c4.png[/img][/align][font=微软雅黑, sans-serif]仪器处于就绪状态时，[color=red]采样管[/color]处于样品盘中；由数字压力控制器（DPC）控制的[color=red]辅助气[/color]（Auxiliary Gas）关闭，采样管中没有辅助气（一般和载气使用同种气体）通过，采样管处于封闭状态；用以样品分流的[color=red]SV3阀[/color]可以根据设置打开或者关闭；排空口的[color=red]SV2阀[/color]处于开启状态；[color=red]载气[/color]则不通过六通阀-冷阱/聚焦管而是通过SV1阀和传输线进入[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱仪[/color][/url]器的进样口，此种方法可以避免冷阱/聚焦管可能的污染对仪器造成的影响。[/font][font=微软雅黑, sans-serif] [/font][font=微软雅黑, sans-serif]另外，需要单独说明的说，此时冷阱/聚焦管可以根据分析方法设置为低温制冷状态，如设置为-30℃。[/font]
我的工作单位是某县级市环境监测站，单位要添置一台[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp]气相色谱[/url]，对安捷伦的[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp]气相[/url]很感兴趣。想知道6820的手动调节流量麻烦吗？6820很便宜，7890又贵了点。我们主要测空气和工业废气的苯及苯系物、非甲烷总烃、TVOC,6820能胜任吗？测试频率并不算很高。请问哪位对此了解的帮帮忙，多谢！
[color=#990000]摘要：本文针对目前PVT法SiC单晶生长过程中真空压力控制存在的问题，进行了详细的技术分析，提出了相应的解放方案。解决方案的核心方法是采用上游和下游同时控制方式来大幅提高全压力范围内的控制精度和稳定性，关键装置是低漏率和高响应速度的电动针阀、电动球阀和超高精度的工业用PID控制器。通过此解决方案可实现对相应进口产品的替代。[/color][align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align] [size=18px]一、问题的提出[/size]碳化硅单晶材料，作为宽带隙半导体材料，具有优异的物理特性和电学性能，特别适合于制造高温、高频、大功率、抗辐射、短波长发光及光电集成器件，因此被广泛应用于航空、航天、雷达、通讯等领域。目前，碳化硅单晶的生长一般采用PVT法工艺。由于碳化硅单晶生长的最终目的是为了获取大尺寸、低缺陷的碳化硅单晶，随着碳化硅单晶的尺寸增大，对单晶炉内的真空压力控制要求极高，工艺气体的压力变化对SiC晶体的生长速度和晶体质量产生极大影响。图1所示为一典型SiC单晶生长工艺中压力、温度和工艺气体随时间的变化曲线。[align=center][color=#990000][img=01.碳化硅生长中随时间的压力、温度和气体变化过程,690,242]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/09/202209161032399187_2475_3221506_3.png!w690x242.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#990000]图1 PVT法碳化硅单晶生长过程中压力、温度和气体的随时间变化过程[/color][/align]从图1所示的工艺曲线可以看出，晶体生长炉内的压力控制是一个全真空度范围的精密变化过程，整个真空度变化范围横跨低真空和高真空（10-4Pa~105Pa），特别是在10-1Pa~105Pa的低真空范围内需要精密控制。目前在利用PVT法制备SiC单晶时，普遍还存在以下几方面问题。（1）普遍采用下游模式（调节出气速率）控制全过程的真空度变化，在0.1~1000Pa的较高真空区间控制精度极差，晶体生长容器内的压力波动大（约±10%）。（2）真空控制装置所采用的调节阀和PID控制器基本都采用MKS、VAT和CKD等公司的上游流量控制阀（Upstream Flow Control Valves）、下游排气节流阀（Downstream Exhaust Throttle Valves）及其配套的PID阀门控制器（PID Valve Controllers）。尽管为了降低成本目前已有多种集成了PID控制器的一体式结构的下游排气节流阀，但整体造价还是较高。（3）真空压力国产化替代产品也在逐步兴起，但普遍还存在阀门漏率大、阀门调节响应时间长和不同量程真空计无法自动切换等问题，致使无法同时采用上游和下游控制模式实现全量程范围内的真空压力高精度控制。本文将针对上述PVT法SiC单晶生长过程真空压力控制存在的问题，进行详细的技术分析，并提出相应的解放方案。解决方案的核心是采用上游和下游同时控制方式来大幅度提高全压力范围内的控制精度和稳定性，并介绍相应的低漏率和高响应速度的真空用电动针阀、电动球阀和超高精度的工业用PID控制器，由此实现对相应进口产品的替代。[size=18px][color=#990000]二、碳化硅晶体生长的压力变成过程分析[/color][/size]图1所示为目前PVT法第三代碳化硅单晶生长过程中的压力、温度和气体流量变化曲线，其中红线表示了非常典型的真空压力变化过程。通过对真空压力各个阶段的变化过程进行分析，以期深入理解PVT法SiC单晶生长过程中对真空压力变化的要求。如图1所示，SiC单晶生长过程中真空压力的变化分为以下几个阶段：（1）高真空阶段：在高真空阶段，需要通过机械泵和分子泵在晶体生长容器内形成高真空（1×10-3Pa~1×10-5Pa），以清除容器和物料内的空气和水分。此高真空阶段要求气压需要以较慢的恒定速率进行降压，由此来避免碳化硅粉料形成扬尘。（2）预生长阶段：同理，在预生长阶段，随着工艺气体的充入和温度的逐渐升高，也要求容器内的气压按照恒定速率逐渐升至常压或微正压，此烘烤和气体置换进一步清除空气和水分。（3）生长阶段：在晶体生长阶段要求容器气压按照恒定速度逐渐降低到某一设定值（生长压力），并保持长时间恒定。不同的生长设备和工艺一般会采用不同的生长压力，专利“一种碳化硅晶体的破碎晶粒用于再生长碳化硅单晶的方法”CN114182357A中，生长压力为200~ 2000Pa；专利CN114214723A“一种准本征半绝缘碳化硅单晶的制备方法”中，生长压力为10000～80000Pa；专利CN215404653U“碳化硅单晶生长控制装置”中，生长压力控制在0.2~0.7Pa范围内；专利CN217231024U“一种碳化硅晶体生长炉的压力串级控制系统”中，生长压力范围为100~500Pa。由此可见，所涉及的生长压力是一个从0.2Pa至80kPa的宽泛区间。（4）冷却阶段：在冷却阶段，随着温度的逐渐降低，要求容器内的气压按照恒定速率逐渐升至常压或微正压。从上述单晶生长过程中气压变化的几个阶段可以看出，真空压力控制装置要达到以下主要技术指标，而这些也基本都是进口产品已经达到的技术指标。（1）漏率：小于1×10-7Pa.m3/s（2）控制精度和长期稳定性：在任意真空压力下，控制精度优于1%（甚至0.5%），长期稳定性优于1%（甚至0.1%）。（3）响应速度：小于1s。响应速度往往也决定了控制精度和长期稳定性，特别是在温度和流量的共同影响下，真空压力会产生快速波动，较快的响应速度是保证精密控制的关键。（4）连接不同量程真空计：可连接2只不同量程电容真空计以覆盖整个真空压力测量控制范围，并可根据相应真空度进行传感器的自动切换和控制。（5）可编程控制：可编程进行任意压力控制曲线的设置，并可存储多条控制曲线以便不同工艺控制的调用。（6）PID参数：可自整定，并可存储和调用多组PID参数。（7）上位机通讯：与上位机（如PLC和计算机）进行通讯，并具有标准通讯协议。[size=18px][color=#990000]三、高精度真空压力控制解决方案[/color][/size]从上述分析可以得知，不同的碳化硅晶体生长工艺所需的压力是一个从0.2Pa至80kPa的宽泛区间，目前国内外在晶体生长工艺压力过程中普遍都采用下游控制模式，即在真空泵和生长容器之间安装节流阀，通过恒定上游进气流量，通过节流阀调节下游排气流量来实现真空压力控制。对于大于1kPa的高气压区间，这种下游控制模式十分有效可实现压力精密控制，但对于低压区间（0.1Pa~1kPa），下游模式的控制效果极差，必须要采用调节进气流量和恒定下游抽气流量的上游控制模式。上游模式控制方法在碳化硅单晶生长工艺中应用的一个典型案例是专利 CN217231024U“一种碳化硅晶体生长炉的压力串级控制系统”，其中生长阶段的压力范围为100~500Pa，可将压力稳定控制在±0.3Pa。另外，上游控制模式已经广泛应用在真空控制领域，我们在以往的实际应用和验证试验中也都证实过上游模式可实现1kPa以下低气压的精确控制。综上所述，要实现0.2Pa至80kPa全范围内的真空压力精密控制，需要分别采用上游和下游模式。由此，我们提出了可同时实施上游和下游模式的真空压力高精度控制解决方案，这种上下游同时进行控制的真空压力控制系统结构如图2所示。[align=center][color=#990000][img=02.上下游双向真空压力控制系统结构示意图,550,375]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/09/202209161032552585_1956_3221506_3.png!w690x471.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#990000]图2 上下游双向真空压力控制系统结构示意图[/color][/align]在图2所示的解决方案中，采用了两只电容真空计来覆盖0.2Pa至80kPa的全真空量程，真空计的测量信号传送给PID控制器，由PID控制器分别驱动上游的电动针阀和下游的电动球阀，由此闭环控制回路实现全量程范围内的真空压力精密控制。真空压力的具体控制过程是：（1）当压力控制设定值位于大于1kPa的高气压范围时，PID控制器处于下游控制模式，PID控制器调节上游的电控针阀为恒定开度，并对下游的电控球阀进行PID自动调节，通过快速调整电控球阀的开度变化使生长容器内的压力测量值快速等于设定值。（2）当压力控制设定值位于小于1kPa的低气压范围时，PID控制器处于上游控制模式，PID控制器调节下游的电控球阀为恒定开度，并对上游的电控针阀进行PID自动调节，通过快速调整电控针阀的开度变化使生长容器内的压力测量值快速等于设定值。[size=18px][color=#990000]四、配套装置的国产化替代[/color][/size]本文提出的解决方案，在真空计、电控阀门和PID控制器满足技术指标要求的前提下，可实现高精度的真空压力控制，通过实际应用和考核试验都验证了控制精度可以达到真空计的最高精度，稳定性可以轻松达到设定值的±0.5%，甚至在大部分真空压力量程内稳定性可以达到设定值的±0.1%。在进行0.1Pa~100kPa范围内的真空度控制过程中，目前真空技术应用领域普遍采用是国外产品，比较典型的有INFICON、MKS、VAT和CKD等公司的薄膜电容真空计、上游流量控制阀、下游排气节流阀及其配套的PID阀门控制器。随着国产化技术的发展，除了薄膜电容真空计和高速低漏率电动蝶阀之外，其他真空压力控制系统的主要配套装置已经完全实现了国产化，低漏率和快速响应等关键技术的突破，使整体技术指标与国外产品近似，PID控制器与国外产品相比具有更高的测控精度，并且还具有国外产品暂时无法实现的双向模式控制功能，真空压力控制比国外产品具有更高的控制精度和稳定性。国产化替代的关键配套装置包括高速低漏率真空用电控针阀和电控球阀，以及多功能超高精度通用型PID控制器，如图3所示。[align=center][color=#990000][img=03.真空控制系统国产化替代装置,690,354]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/09/202209161033165839_1676_3221506_3.png!w690x354.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#990000]图3 国产化的电动针阀、电动球阀和高精度PID控制器[/color][/align]图3所示的国产化配套装置都达到了第2节中的技术指标要求，特别是高精度的工业用PID控制器更是具有优异性能，其中的24位模数转换、16位数模转换和双精度浮点运算的0.01%最小输出百分比是目前国内外工业用PID控制器的顶级指标，可实现压力、温度和流量等工艺参数的超高精度控制。[size=18px][color=#990000]五、总结[/color][/size]针对PVT法单晶生长工艺，本文提出的上下游双向控制解决方案可实现全量程范围内真空压力的快速和高精度控制，此解决方案已在众多真空技术领域内得到了应用，相应配套的电动针型阀和电动球形阀具有国外产品近似的技术指标，工业用超高精度PID控制器更是具有优异的性能。这些配套装置结合各种真空压力传感器和双向控制方法可实现真空压力的高精度控制。[align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align]
医药招商虽然起步晚但发展甚快！目前国内多数厂家和公司采用招商的模式在运作，但近些年随着国家政策管控力度的加大和市场消费者进一步理性，医药招商企业感觉举步维艰，什么原因呢，销售的大环境在变而我们的销售思路和方法缺没有跟上变化！ 医药公司的职能其实很简单就是购进和卖出，我们要做的就是把握好购进的环节降低成本和引进新产品；控制好销售环节开拓新的市场，提高市场覆盖率；也就是我们常说的开源节流。 营销人员的专业素质、心态和勤奋与否对结果会有大的影响。现在我们都在谈精细化营销，谈服务、谈模式、谈产品、谈学术等，而对本公司的销售人员却关注不多，虽然有的公司也针对营销人员进行培训，但多是蜻蜓点水，不够深入也不系统。会出现什么情况呢，就像战场上我们获得了新式武器由于我们水平的原因却不能使用，“坦克大炮毁掉锻造汉阳造步枪。 营销人员素质相同的情况下，单位时间和区域内，销售人员的数量越多相对应的销售额也就越多。5个人做全国市场只能对个别省份个别代理商做到了解，医药招商以省级代理为主，市场操作比较粗犷。就控制串货的问题来讲，药品招商人负责一个地市的销售人员比5个人做全国销售的控制要好！销售额也可想而知.有的销售人员每天都和代理商见面沟通，有的销售员一个月也不见代理商一面，他们的销售业绩会一样吗。 有的业务人员拜访代理商就跟走亲戚差不多，两、三个月拿些礼品给代理商，客套寒暄一番就算出差了，像刮风一样，过去不留任何痕迹；有的人出去了，除了和老客户会餐外不知道了解什么信息，营销拜访完老客户就在宾馆睡大觉，无所事事！这就是一些公司苦恼为什么业务经理出差了也不见效果，其实市场的开发和客户的拜访要常规的进行，搞突然袭击不解决任何问题。 制度的合理与执行，小型公司靠人治，中型公司靠法制，大型公司靠文治。鉴于多数药品招商公司已经告别了人治的小作坊企业，过渡到了法治的阶段，我们就来探讨一下法制！一个公司能否正常的运行，跟医药招商公司的制度有很大的关系。我们大家都知道美国的宪法是傻子都知道如何执行的法律；麦当劳的工作制度和操作流程，规定非常的详细，你需要做的就是依照制度照章办事就可以了。因此我们销售公司的制度也应该合理化和流程化。 药品招商公司的制度有哪些呢。采购制度、办公制度、销售政策、冲串货制度、客户拜访程序和制度、招投标制度、开票制度、出差制度、客户资料管理制度、宣传品管理制度、发货制度、绩效考核制度、考勤制度等等。营销有的公司仅各项制度就有英汉词典那么厚，也有的制成了员工手册，人手一份。但是效果怎么样呢，却各不相同。制度的制定为了什么呢是为了执行！怎么才能执行呢，首先需要该制度合理具有可行性，另外还要监督。 多数企业是有制度、无执行，有执行、无监督，有监督、无考核，有考核、不合理。怎样才能把合理的制度执行到位呢，就需要我们的领导以身作则，上行下效，有奖有罚，重奖重罚；制度逐渐流程化！细化医药招商每个操作细节，使每个细节均可查可办，使每个细节都落实到每个人。使每项制度都和公司每个人的发展和个人目标联系在一起，才能够很好的执行！
药物体内分析方法中空白血浆干扰测定我在建立药物体内分析方法时发现无论我怎么调节流动相，换柱子，空白血浆在我的药出峰的位置，总有一个干扰峰，这样在做低浓度回收率时回收率都达到110%左右，怎么办？？ 请高人指点迷津！
哪位朋友有“QJ A 1034-1998 节流阀通用规范”的标准，可以发一份给我吗？
请教下各位老师，平时调节流动相所用的这些试剂有什么区别吗，怎么选择。比如同样去调节酸性，我用磷酸和甲酸有什么区别。
通常方法中会规定调节流动相pH使用pH为＊＊的某种酸／碱溶液，或者是某种酸或碱，通常也的确会按照相关要求进行调节pH溶液的配制和使用，但是如果不按照相关pH溶液使用是否一定有影响呢？比如使用0.1mol／L氢氧化钠溶液换做了0.5mol／L氢氧化钠溶液是否会有影响呢？随意性可以有多大呢？谢谢！欢迎大家各抒己见！[em44]
1请问：在计量标准考核（复查）申请书和相应技术报告的＂计量标准名称＂一栏中应该填写＂三相电能表检定装置＂还是＂三相电能表标准装置＂？2请问：如果是称谓为单相电能标准装置，那么＂计量标准名称＂应该写为＂单相交流电能表标准装置＂而不能简单地＂单相电能表标准装置＂？3请问：申请书＂拟开展的检定或校准项目＂是不是可以将不写＂单相机电式交流电能表＂因为这种单相机电式电能表已经淘汰没有人使用，那三相机电式电能表现在还在生产和使用吗？[img=,690,920]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2020/09/202009061735292980_5536_3520275_3.png[/img]
请教下，我公司计划开展数字万用表校准的建标工作，在填写申请书时，需要填写计量标准名称和编码，查阅了JJF1022-2014(计量标准命名与分类编码），看到“数字多用表标准装置”和“数字多用表检定装置”，一时搞不清这2个有什么区别，我依据的是JJF1587-2016,，计量标准名称我应该填哪一个比较合适
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