气浮导轨量仪

RAOB系列光学导轨 可以通过RACA 系列滑动座将其它调整架，如：支撑杆架或接杆等，组合成同轴的光学系统，特别适合搭建小型光学实验。各调整架之间的距离可由其上的标尺清楚地表示出来，便于定量调节。滑轨上的燕尾座可以方便地与滑动座上的燕尾槽配合，锁紧牢固。RA 系列滑轨选用优质铝型材，不变形，重量轻，易搬动，是高校配置物理光学实验室的最佳选择，是旧式钢制光具座的替代产品。RAOB系列光学导轨选型表：RAOB系列导轨关联产品RACA系列滑动座

RS系列一体化导轨电动滑台（工业）说明：RS 系列产品是北京卓立汉光仪器有限公司为解决小尺寸（尤其是超薄尺寸）、高重复使用频率、高精度等情况专门设计的R 型一体化导轨电动滑台。该系列产品主体材料采用SUS440 不锈钢， 具有非常优秀的刚性和耐腐蚀能力。R 型一体化导轨不但可以做到超薄尺寸，而且强度高、负载能力强、耐用性好，使该系列产品具有较高的运动精度。驱动机构采用进口滚珠丝杠（1mm 导程），标配二相步进电机（日本品牌），可提供较高的分辨率和定位精度。该系列产品非常适合集成在对空间、尺寸、精度要求较高的自动化设备、精密仪器设备中，也比较适合使用在运动范围较小、往复频率高的工业生产线中。 RS系列一体化导轨电动滑台（工业）特点： l 主体材料为SUS440不锈钢，刚性好、耐腐蚀能力强l 采用进口小导程滚珠丝杠，标配（进口）二相步进电机l 采用R型一体化导轨，超薄尺寸、强度高、负载能力强、耐用性好l 外置三个光电开关（正负限位及零位），采用高柔线缆并实现线缆模组化，维护更方便 型号RS15-40 RS20-60 机械规格行程（mm） 15 20 台面尺寸（mm） 40×40 60×60 台面厚度（mm） 20 丝杠Φ6导程1mm，滚珠丝杠导轨R型一体化导轨主体材料及表面处理SUS440不锈钢，本色自重（kg） 0.5 0.7 联轴器（外径-孔径1-孔径2）（mm） 12-3-5 精度规格分辨率（整步/半步，μm） 5 / 2.5 最大速度（mm/s）* 10 单向定位精度（μm） ＜20 重复定位精度（μm） ＜±3 回程间隙（空转或反转定位精度）（μm） ＜5 静态平行度（μm） ＜40 运动直线度（μm） ＜10 电气规格电机及步距角（°） 二相28步进，1.8 工作电流（A） 1.3 电机保持转矩（mNm） 78.5 电机厂牌及型号信浓，STP-28D1003-0805 驱动器厂牌及型号（另配） 鸣志，SR2 滑台接头DB9（针） 滑台接头线缆类型高柔性线缆（德国和柔） 滑台接头线缆长度（m） 0.2 原点传感器（外置） 1个GP1S092HCPI（日本SHARP） 限位传感器（外置） 2个GP1S092HCPI（日本SHARP） 传感器电源电压DC5～24V ±10% 传感器控制输出NPN开路集电极输出；DC5～24V 8mA以下残留电压0.3V以下（负载电流2mA时） 输出逻辑检测（遮光）时：输出晶体管ON（导通） 负载水平负载（kg） 5 8 倒置负载（kg） 2 3 竖直负载（kg） 3 4 *注：最大速度是在空载情况下，按照步进电机600转/分钟的理论计算速度和实际测试值。

SJ6000运动导轨精度快速激光干涉测量仪采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿。SJ6000运动导轨精度快速激光干涉测量仪结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。 产品优势1、激光干涉仪具有非常高的测量精度和重复性。2、激光干涉仪可以实现非接触式测量，不会对被测量物体造成损伤。3、激光干涉仪具有实时性测量能力，能够同时测量多个位置或参数，提高测量效率。测量软件特点（1）友好的人机界面；（2）丰富的应用功能模块；（3）向导式的操作流程；（4）简洁化的记录管理；（5）支持中文、英文和俄文界面；（6）支持企业专属模板定制。产品应用SJ6000运动导轨精度快速激光干涉测量仪是一种能够测量机床精度的高精度测量装置。它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点，在机床加工领域有着广泛的应用。1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。 对数控机床进行螺距误差补偿部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。上一篇： 无图晶圆粗糙度测量设备