多等离子谱仪

超大规模集成电路（ULSI）产业直接关系到国家的经济发展、信息安全和国防建设，是衡量一个国家综合实力的重要标志之一。在半导体芯片制备过程中，约有三分之一的工序要使用等离子体技术，因此配备等离子体工艺腔室的材料刻蚀和薄膜沉积设备是ULSI制造工艺的核心。目前，半导体工艺中最常用的两种等离子体源是CCP（容性耦合等离子体）和ICP（感应耦合等离子体）。等离子体工艺腔室制造过程极为复杂，不仅涉及精密机械加工技术，还要统筹考虑电源、气体、材料等外部参数的优化，以及与晶圆处理工艺的兼容性。如果采用传统的“实验试错法”，不仅成本巨大，而且延长了设备的研发周期，将严重制约我国ULSI产业的快速发展。因此，采用建模仿真与实验诊断相结合的方式、为等离子体工艺腔室的研发与优化提供方案，成为一种必然趋势。等离子体放电过程是极其复杂的，受到多种外界参数的控制，如电源功率与频率、气体成分与压强、腔室尺寸及材料属性等。此外，等离子体系统还包含了多空间尺度和多时间尺度的变化，以及多物理化学场的耦合过程。例如等离子体、鞘层、表面微槽等空间特征尺度相差10个量级；电磁场、带电粒子、中性气体及化学反应等时间特征尺度相差9个量级。如此复杂的等离子体工艺环境，给物理建模和数值仿真都带来了巨大挑战。物理学院PSEG团队在王友年教授的带领下，自2005年开始，历经近二十年时间，在国内率先研发出具有自主知识产权的等离子体工艺腔室仿真软件——MAPS（Multi-Physics Analysis of Plasma Sources）。通过采用物理建模、数值仿真与实验诊断相结合的方法，解决了制约等离子体工艺腔室设计和制造中的一些关键技术难题，为我国研发具有自主知识产权的等离子体工艺腔室提供了技术支撑。MAPS是一款专门面向等离子体工艺腔室的数值模拟软件平台，可以同时为等离子体工艺腔室的参数设计和表面处理工艺（材料刻蚀和薄膜沉积）的结果预测提供模拟服务。基于不同的等离子体模型，MAPS包含不同的数值模拟方法，如粒子/蒙特卡洛碰撞模拟方法、流体力学模拟方法、流体力学/蒙特卡洛碰撞混合模拟方法、整体模型模拟方法等。软件平台包含输入部分、输出部分以及七大模块，分别是等离子体模块、中性气体模块、电磁模块、鞘层模块、化学反应模块、表面模块及实验验证模块。此外，PSEG团队研制了结构可变的大面积、多功能等离子体实验平台和多套CCP和ICP放电平台，并自主研发了射频磁探针、微波发卡探针、光探针、吸收光谱诊断系统、布拉格光栅测温系统、悬浮双探针等诊断工具和集成了商用的Langmuir探针、质谱仪、离子能量分析仪、光谱仪、ICCD及光致解离负离子诊断系统等。这些诊断手段为等离子体源多参数诊断提供条件。大量研究表明，MAPS的模拟结果与实验测量结果在量级和变化趋势上达到一致，证明了MAPS仿真软件的可靠性。近期，针对工业中常用的CCP源，MAPS仿真软件提供了一种新的快速仿真算法：基于多时间步长、泊松方程的半隐式修正、超松弛迭代等，可以将模拟速度提高几十倍。此外，针对ICP源，PSEG团队也建立了一种新的双极扩散近似模型，可以对带有射频偏压的感性耦合放电过程进行仿真。该方法不仅模拟速度快，还适用于低气压放电。MAPS仿真软件具有外界控制参数多、耦合物理场多、数值求解器多、数值仿真模型多等优势，能够对ICP刻蚀机、CCP刻蚀机、PECVD（等离子体增强化学气相沉积）和PVD（物理气相沉积）工艺腔室进行仿真，支持对优化工艺过程参数的进一步探索，受到了国内的多家半导体设备制造企业的青睐。近十年中，MAPS仿真软件已分别为北方华创、中微半导体设备（上海）、拓荆科技、苏州迈为、武汉长江存储及理想能源设备（上海）等多家企业提供仿真服务。未来，PSEG团队将继续专注于对MAPS仿真软件的完善和升级，希望可以为半导体、光伏及平板显示等产业的创新与发展注入源源不断的强劲动力。

佰汇兴业（北京）科技有限公司最新代理日本MICRO EMISSION MH-5000等离子体发射光谱仪,该仪器为一款利用液态电极等离子体来分析痕量金属的发射光谱仪，它通过向溶液施加电压以使其加热并蒸发，液体电极产生等离子体，溶液中的溶质被送入等离子体中产生发射光谱。它可以应用到冶金制造、工业废物处理和环境监测等领域中。特点：手持掌上型尺寸的实现（小型，便携式手持）操作简单，初学者也可快速入门电池驱动，可使用于现场测定同时测定多种元素检测极限0.1ppm～100ppm工程管理、土壤测定、水质测定、食品测定

4月10日，中科院计划财务局组织专家对长春应用化学研究所承担的院科研装备研制项目“集成电化学方法的表面等离子体共振及其高通量分析仪器”进行了现场验收。验收专家分别听取了项目的结题、财务和用户使用报告，审阅了项目组提交的验收材料，并实地考察了研制样机的示范性实验操作，一致同意该项目通过验收。专家现场考察样机　　表面等离子体共振光谱(SPR)技术是一种全新的生物化学分析方法，具有实时、免标记等独特的检测优点，可广泛应用于生物分析、无机材料、化学分析和材料科学等领域，逐渐成为国际传感器领域的研究热点。实现具有时间分辨采集功能的SPR仪器方法，开发具有我国自主知识产权的新型电化学传感器、检测器和联用仪器是当前科技生产的迫切需求。　　项目组以开发研制具有时间分辨测量能力、电化学检测系统、高通量成像分析模块的表面等离子体共振分析检测系统为目标，经过2年多的努力，研制开发出具有自主知识产权的具有时间分辨、电化学联用、成像测量等功能模块的表面等离子体共振光谱仪，可应用于界面小分子吸附反应动力学及涉及小分子相互作用的分析测量中，并可实现与多种电化学暂态、稳态技术方法的联用；该仪器设计新颖，利用二像素光学位置阵列传感器件，极大地提高了SPR光谱测量的时间响应；通过与多种电化学暂态及稳态技术方法的联用，拓宽了SPR光谱仪器的应用领域。　　该项目研制开发的表面等离子体共振光谱及其联用仪器设备已经通过长春市产品质量监督检验院技术测试认证，现已小规模研制工程样机15台，并在清华大学、吉林大学、长春应化所、化学所、西北师范大学、东南大学、福州大学等科研和教学单位试用，效果良好。　　该集成仪器系统将可广泛应用于电极界面纳米结构复合材料的电化学制备、修饰、电化学衍生及电极界面的自组装、生物芯片分析、医疗卫生、食品、毒品毒物分析等领域，是对目前SPR领域仪器方法的有益补充，具有广阔的市场前景。　　该项目研制期间发表科研论文21篇；申请发明专利7项，4项已获授权；培养博士研究生7名，硕士研究生2名。

近年来，研究人员和业内主要厂商已将研发重心转向微型化、便携式且低成本的光谱仪系统，使之可以在日常生活中实现现场、实时和原位光谱分析的许多新兴应用。然而，受到过度简化的光学设计和紧凑型架构的机械限制，微型光谱仪系统的实际光谱识别性能通常远低于台式光谱仪系统。如今，克服这些限制的一种策略便是在光子方法学中引入深度学习（DL）进行数据处理。据麦姆斯咨询报道，近日，美国纽约州立大学布法罗分校（University at Buffalo，the State University of New York）与沙特阿卜杜拉国王科技大学（King Abdullah University of Science & Technology）的联合科研团队在Nature Communications期刊上发表了以“Imaging-based intelligent spectrometer on a plasmonic rainbow chip”为主题的论文。该论文第一作者为Dylan Tua，通讯作者为甘巧强（Qiaoqiang Gan）教授。在这项研究工作中，研究人员开发了一种紧凑型等离子体“彩虹（rainbow）”芯片，能够实现快速、准确的双功能传感，其性能可在特定条件下超越传统的便携式光谱仪。其中的分光纳米结构由一维或二维的梯度金属光栅构成。该紧凑型等离子体光谱仪利用普通相机拍摄的单幅图像，即可精确地获得照明光源光谱的光谱信息和偏振信息。在经过适当训练的深度学习算法的辅助下，研究人员仅用单幅图像就能表征葡萄糖溶液在可见光光谱范围内的双峰和三峰窄带照明下的旋光色散（ORD）特性。该微型光谱仪具有与智能手机和芯片实验室（lab-on-a-chip）系统集成的潜力，为原位分析应用提供新的可能。研究人员利用彩虹捕获效应（rainbow trapping effect）来开发片上光谱仪系统。图1展示了该研究工作所提出的片上光谱仪和一维彩虹芯片的设计原理。如图1a所示，该光谱仪利用等离子体啁啾光栅实现分光功能。这种表面光栅几何形状的逐渐变化，导致了局部等离子体共振的空间调谐（即为光捕获“彩虹”存储）。如图1b所示，研究人员采用聚焦离子束铣削技术，在300 nm的银（Ag）薄膜上制备了啁啾光栅。当白光垂直入射时，通过简单的反射显微镜系统（如图1c），就可以观察到明显的“彩虹”色图像，如图1d的顶部所示，该现象源于光栅引发的等离子体共振。图1 片上光谱仪的等离子体啁啾光栅根据这些空间模式图像，可以建立共振模式与入射波长一一对应的关系，这是片上光谱仪的基础。因此，研究人员探讨了该光谱仪对任意光谱特征的空间分辨能力。通过深度学习辅助的数据处理和重建方法，研究人员利用这种分光功能可以构建用于光学集成的智能化、微型化光谱仪平台。具体而言，研究人员提出了基于深度学习的智能彩虹等离子体光谱仪概念，并构建了带有等离子体啁啾光栅的光谱仪示例，如图2所示。该光谱仪利用深度神经网络预测了所测量的共振模式图像中的未知入射光光谱，而无需使用传统的线性响应函数模型。实验中的光谱仪架构如图2a所示。智能光谱仪主要由三部分构成：空间模式、预训练神经网络以及对应的波长。图2 基于深度学习的数据重建光谱分辨率是评价传统光谱仪性能的重要参数之一。因此，研究人员对该光谱仪的分辨率做了详细测试，测试结果如图3所示。图3 智能等离子体光谱仪的分辨率以上初步测试数据表明，智能彩虹芯片光谱仪具有实现高分辨率光谱分析的潜力，其性能可与传统台式光谱仪相媲美。随后，研究人员将一维光栅扩展到二维，以利用紧凑型智能等离子体光谱仪实现偏振光谱的测定，其性能超越了传统的光学光谱仪系统。同时，研究人员展示了等离子体彩虹芯片光谱仪可以引入简化、紧凑且智能的光谱偏振系统，具有准确且快速的光谱分析能力。图4a为具有梯度几何参数的二维光栅。图4 用于测定偏振光谱的二维啁啾光栅接着，研究人员利用该二维偏振光谱仪芯片对旋光色散进行了简单而智能的表征。图5a为传统的旋光色散系统测量由物质引起的旋光度随入射波长的函数变化。最后，研究人员展示了将二维光栅作为光谱偏振系统，并介绍了用于葡萄糖传感应用的示例。图5 更简单、准确且智能的光谱偏振分析综上所述，本研究中提出了一种集成了片上彩虹捕获效应与紧凑型光学成像系统的智能芯片级光谱仪。研究结果表明，该等离子体芯片可以在可见光光谱（470 nm - 740 nm）范围内区分不同的照明峰值。该芯片充分利用其波长敏感结构，能够根据照明光谱峰值显示不同的等离子体共振模式。随后将芯片扩展到二维结构，共振模式的复杂性增加，从而在入射光偏振方面提供更多信息。通过使用片上共振模式的空间和强度分布图像来训练深度学习算法，研究人员在同一系统内分别实现了光谱分析和偏振分析。随后，研究人员利用一种将旋光引入透射光的手性物质（即葡萄糖），证明了所提出光谱仪在旋光色散传感方面的可行性，旋光色散是一种有助于手性物质检测和定量的偏振特异性特征。深度学习模型的分析表明，该算法能够基于等离子体芯片的共振模式准确预测葡萄糖引入的旋光。即使在分析多峰照明下的共振模式时，这种性能也得到了保留。这种由深度学习支持的基于图像的光谱仪能够通过利用纳米光子平台的单幅图像同时进行光谱分析和偏振分析。因此，该光谱仪标志着在单一紧凑型且轻量化设计中实现了高性能的光谱偏振分析，为深度光学和光子学在医疗保健监测、食品安全传感、环境污染检测、药物滥用传感以及法医分析等领域的应用赋能。这项研究获得了沙特阿卜杜拉国王科技大学物理科学与工程部的科研基金（BAS/1/1415-01-01）和NTGC-AI项目（REI/1/5232-01-01）的资助和支持。

在半导体行业，晶圆是用光刻技术制造和操作的。蚀刻是这一过程的主要部分，在这一过程中，材料可以被分层到一个非常具体的厚度。当这些层在晶圆表面被蚀刻时，等离子体监测被用来跟踪晶圆层的蚀刻，并确定等离子体何时完全蚀刻了一个特定的层并到达下一个层。通过监测等离子体在蚀刻过程中产生的发射线，可以精确跟踪蚀刻过程。这种终点检测对于使用基于等离子体的蚀刻工艺的半导体材料生产至关重要。等离子体是一种被激发的、类似气体的状态，其中一部分原子已经被激发或电离，形成自由电子和离子。当被激发的中性原子的电子返回到基态时，等离子体中存在的原子就会发射特有波长的辐射光，其光谱图可用来确定等离子体的组成。等离子体是用一系列高能方法使原子电离而形成的，包括热、高能激光、微波、电和无线电频率。实时等离子体监测以改进工艺等离子体有一系列的应用，包括元素分析、薄膜沉积、等离子体蚀刻和表面清洁。通过对等离子体样品的发射光谱进行监测，可以为样品提供详细的元素分析，并能够确定控制基于等离子体的过程所需的关键等离子体参数。发射线的波长被用来识别等离子体中存在的元素，发射线的强度被用来实时量化粒子和电子密度，以便进行工艺控制。像气体混合物、等离子体温度和粒子密度等参数都是控制等离子体过程的关键。通过在等离子体室中引入各种气体或粒子来改变这些参数，会改变等离子体的特性，从而影响等离子体与衬底的相互作用。实时监测和控制等离子体的能力可以改进工艺和产品。一个基于Ocean Insight HR系列高分辨率光谱仪的模块化光谱装置用于监测等离子体室引入不同气体后，氩气等离子体发射的变化。测量是在一个封闭的反应室中进行的，光谱仪连接光纤和余弦校正器，通过室中的一个小窗口观察。这些测量证明了模块化光谱仪从等离子体室中实时获取等离子体发射光谱的可行性。从这些发射光谱中确定的等离子体特征可用于监测和控制基于等离子体的过程。等离子体监测可以通过灵活的模块化设置完成，使用高分辨率光谱仪，如Ocean Insight的HR或Maya2000 Pro系列（后者是检测UV气体的一个很好的选择）。对于模块化设置，HR光谱仪可以与抗曝光纤相结合，以获得在等离子体中形成的定性发射数据。从等离子体室中形成的等离子体中获取定性发射数据。如果需要定量测量，用户可以增加一个光谱库来比较数据，并快速识别未知的发射线、峰和波段。监测真空室中形成的等离子体时，一个重要的考虑因素是与采样室的接口。仪器部件可以被引入到真空室中，或者被设置成通过视窗来观察等离子体。真空通管为承受真空室中的恶劣条件而设计的定制光纤将部件耦合到等离子体室中。对于通过视口监测等离子体，可能需要一个采样附件，如余弦校正器或准直透镜，这取决于要测量的等离子体场的大小。在没有取样附件的情况下，从光纤到等离子体的距离将决定成像的区域。使用准直透镜可以获得更局部的收集区域，或者使用余弦校正器可以在180度的视野内收集光线。测量条件HR系列高分辨率光谱仪被用来测量当其他气体被引入等离子体室时氩等离子体的发射变化。光谱仪、光纤和余弦校正器通过室外的一个小窗口收集发射光谱，对封闭反应室中的等离子体进行光谱数据采集（图1）。图1：一个模块化的光谱仪设置可以被配置为真空室中的等离子体测量。一个HR2000+高分辨率光谱仪（~1.1nm FWHM光学分辨率）被配置为测量200-1100nm的发射（光栅HC-1，SLIT-25），使用抗曝光纤（QP400-1-SR-BX光纤）与一个余弦校正器（CC-3-UV）耦合。选择CC-3-UV余弦校正器采样附件来获取等离子体室的数据，以解决等离子体强度的差异和测量窗口的不均匀问题。其他采样选项包括准直透镜和真空透镜。结果图2显示了通过等离子体室窗口测量的氩等离子体的光谱。690-900纳米的强光谱线是中性氩（Ar I）的发射线，400-650纳米的低强度线是由单电离的氩原子（Ar II）产生的。图2所示的发射光谱是测量等离子体发射的丰富光谱数据的一个例子。这种光谱信息可用于确定一系列关键参数，以监测和控制半导体制造过程中基于等离子体的工艺。图2：通过真空室窗口测量氩气等离子体的发射。氢气是一种辅助气体，可以添加到氩气等离子体中以改变等离子体的特性。在图3中，随着氢气浓度的增加添加到氩气等离子体中的效果。氢气改变氩气等离子体特性的能力清楚地显示在700-900纳米之间的氩气线的强度下降，而氢气浓度的增加反映在350-450纳米之间的氢气线出现。这些光谱显示了实时测量等离子体发射的强度，以监测二次气体对等离子体特性的影响。观察到的光谱变化可用于确保向试验室添加最佳数量的二次气体，以达到预期的等离子体特性。图3：将氢气添加到氩等离子体中会改变其光谱特性。在图 4 和 5 中，显示了在将保护气添加到腔室之前和之后测量的等离子体的发射光谱。 保护气用于减少进样器和样品之间的接触，以减少由于样品沉积和残留引起的问题。 在图 4中，氩等离子体发射光谱显示在加入保护气之前，加入保护气后测得的发射光谱如图5所示。保护气的加入导致了氩气发射光谱的变化，从400纳米以下和~520纳米处的宽光谱线的消失可以看出。图4：加入保护气之前，在真空室中测量氩等离子体的发射。图5：加入保护气后，氩气发射特性在400纳米以下和~520纳米处有明显不同。结论紫外-可见-近红外光谱是测量等离子体发射的有力方法，以实现元素分析和基于等离子体过程的精确控制。这些数据说明了模块化光谱法对等离子体监测的能力。HR2000+高分辨率光谱仪和模块化光谱学方法在测量等离子体室条件改变时，通过等离子体室的窗口测量等离子体发射光谱，效果良好。还有其他的等离子体监测选项，包括Maya2000 Pro，它在紫外光下有很好的响应。另外，光谱仪和子系统可以被集成到其他设备中，并与机器学习工具相结合，以实现对等离子体室条件更复杂的控制。以上文章作者是海洋光学Yvette Mattley博士，爱蛙科技翻译整理。世界上第一台微型光谱仪的发明者海洋光学OceanInsight，30年来专注于光谱技术和设备的持续创新，在光谱仪这个细分市场精耕细作，打造了丰富而差异化的产品线，展现了光的多样性应用，坚持将紧凑、便携、高集成度以及高灵敏度、高分辨率、高速的不同设备带给客户。2019年，从Ocean Optics更名为Ocean Insight，也是海洋光学从光谱产品生产商转型为光谱解决方案提供商战略调整的开始。此后，海洋光学不仅继续丰富扩充光传感产品线，且增强支持和服务能力，为需要定制方案的客户提供量身定制的系统化解决方案和应用指导。作为海洋光学官方授权合作伙伴，爱蛙科技（iFrogTech）致力于与海洋光学携手共同帮助客户面对问题、探索未来课题，为打造量身定制的光谱解决方案而努力。如需了解更多详情或探讨创新应用，可拨打400-102-1226客服电话。关于海洋光学海洋光学作为世界领先的光学解决方案提供商，应用于半导体、照明及显示、工业控制、环境监测、生命科学生物、医药研究、教育等领域。其产品包括光谱仪、化学传感器、计量检测设备、光纤、透镜等。作为光纤光谱仪的发明者，如今海洋光学在全球已售出超过40万套的光纤光谱仪。关于爱蛙科技爱蛙科技（iFrogTech）是海洋光学官方授权合作伙伴，提供光谱分析仪器销售、租赁、维护，以及解决方案定制、软件开发在内的全链条一站式精准服务。

项目概况电感耦合等离子体质谱仪采购 招标项目的潜在投标人应在深圳市福田区深南大道6008号深圳特区报业大厦31F获取招标文件，并于2022年02月25日 14点30分（北京时间）前递交投标文件。一、项目基本情况项目编号：LD2022EP-SZA006项目名称：电感耦合等离子体质谱仪采购预算金额：98.0000000 万元（人民币）采购需求：电感耦合等离子体质谱仪采购。合同履行期限：见招标文件本项目( 不接受 )联合体投标。二、申请人的资格要求：1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；2.落实政府采购政策需满足的资格要求：见招标文件3.本项目的特定资格要求：2.1具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织（提供法人或者其他组织的营业执照等证明文件）；2.2投标人为制造商须提供合法生产、销售所投产品的相关证明，投标人为代理商投标的须提供制造商合法销售代理证明并同时提供制造商合法生产、销售所投产品的相关证明。2.3 必须为采购单位邀请的供应商；2.4 投标截止时间前，投标人未被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单（招标机构将通过“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）、中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）渠道查询相关主体信用记录）；2.5 投标人参与本项目招投标活动时其经营活动中不存在重大违法记录；2.6本项目不接受联合体投标。三、获取招标文件时间：2022年02月15日 至 2022年02月22日，每天上午9:00至11:30，下午14:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）地点：深圳市福田区深南大道6008号深圳特区报业大厦31F方式：现场购买或国内银行汇款邮购。现场购买：供应商代表携营业执照（核验原件，留复印件，复印件加盖公章）及法人代表授权委托书，至招标机构填写《投标报名登记表》办理报名手续。如需邮购，请于办理汇款手续后，传真前款有关资料、汇款单及《投标报名登记表》至招标机构。售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点提交投标文件截止时间：2022年02月25日 14点30分（北京时间）开标时间：2022年02月25日 14点30分（北京时间）地点：深圳市福田区深南大道6008号深圳特区报业大厦31F深圳龙达招标有限公司开标厅五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。

项目概况2020年调整预算统购实验测试装备（进口）—电感耦合等离子体质谱仪 招标项目的潜在投标人应在北京市朝阳区新源南路6号京城大厦B座5层505室获取招标文件，并于2022年02月16日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。一、项目基本情况项目编号：0733-21171288项目名称：2020年调整预算统购实验测试装备（进口）—电感耦合等离子体质谱仪预算金额：150.0000000 万元（人民币）采购需求：1、本次招标项目名称：2020年调整预算统购实验测试装备（进口）—电感耦合等离子体质谱仪，本次招标共1个包，总预算为：150万元，预算详见采购需求一览表。项目资金来源为中央财政资金，资金来源已落实。2、采购需求一览表如下：序号货物名称预算(万元)数量简要规格/要求交货期到货地点质量保证期是否进口1电感耦合等离子体质谱仪1501检出限：Be≤0.5ppt，In≤0.1ppt、Bi≤0.1ppt；合同签订后6个月内哈尔滨中心自最终验收合格之日起2年允许进口 3、本项目允许进口产品投标4、本项目为非专门面向中小企业采购项目，采购标的对应的中小企业划分标准所属行业：《中小企业划型标准规定》（工信部联企业〔2011〕300号）中（二）工业。5、本项目评标、授标均以包为单位。拆包投标或多包合并一个报价投标将被视为无效投标。6、本项目为国家财政预算投资项目，如因国家政策调整或其他不可抗拒的因素造成预算调整或取消，采购人和招标代理机构将不对投标人和中标人作出任何补偿，请投标人注意风险。合同履行期限：合同签订之日起至质保期结束本项目( 不接受 )联合体投标。二、申请人的资格要求：1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；2.落实政府采购政策需满足的资格要求：无3.本项目的特定资格要求：（1）投标人应为中华人民共和国境内依法注册的独立法人、其他组织或自然人。（2）投标人提供的进口货物不是投标人自己制造的，应得到货物制造商同意投标人在本次投标中提供该货物的正式授权书作为投标货物合法来源的证明，不接受代表处、办事处、分公司等不具备独立承担民事责任能力单位的授权。4.投标人存在以下任一情形的不得参加本项目/包投标：（1）为本次采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的单位，及其关联的附属机构；（2）列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的；（3）未向采购代理机构购买招标文件并登记备案的。5.单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动。三、获取招标文件时间：2022年01月19日 至 2022年01月26日，每天上午9:00至11:00，下午13:30至16:00。（北京时间，法定节假日除外）地点：北京市朝阳区新源南路6号京城大厦B座5层505室方式：现场领购或邮购，标书售价为每包的售价，售后不退。其他详见六、其他补充事宜。售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点提交投标文件截止时间：2022年02月16日 09点30分（北京时间）开标时间：2022年02月16日 09点30分（北京时间）地点：北京市朝阳区新源南路6号京城大厦B座5层第八会议室五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其他补充事宜1、现场领购招标文件相关事宜：1）潜在投标人须提供以下资料：①法定代表人（或负责人）授权书/介绍信原件或复印件（加盖公章或有效专用章）及被授权人/联系人身份证明复印件（加盖公章或有效专用章）；②营业执照或社会团体登记证书或事业单位法人证书或其他类型主体资格证书复印件（加盖公章或有效专用章）。2）缴费和领取招标文件：潜在投标人须现场缴纳标书款、登记备案，并领取招标文件（纸质和电子版）完成领购。3）标书款发票：缴费现场领取。2、邮购招标文件相关事宜：潜在投标人应在招标文件发售时间截止前提交上述资料扫描件，以邮件形式发送至lill@biddingcitic.com（邮件请注明公告所示招标项目编号、包号），经招标代理机构确认后以电汇形式将标书款汇至招标代理机构指定账户（汇款时请注明公告所示招标项目编号、包号），提交电汇底单扫描件并登记备案。招标代理机构将以快递形式及时寄去招标文件，但招标代理机构或招标人在任何情况下对快递过程中发生的迟交或遗失均不承担责任。3、投标文件逾期送达或未按招标文件要求密封的，采购人和采购代理机构将予拒收。4、评分方法：综合评分法5、发布公告的媒介：中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）6、采购项目需要落实的政府采购政策1）优先/强制采购节能环保产品有关政策；2）政府采购促进中小企业发展有关政策；3）政府采购其他相关政策。7、采购代理机构联系方式（招投标业务咨询）：李玲丽；010-84865055-161邮箱地址：lill@biddingcitic.com。8、采购代理机构账户信息（标书购买、保证金提交）：账户名称：中信国际招标有限公司开户银行：中信银行北京京城大厦支行开户账号：7110210182600030709七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名 称：中国地质调查局自然资源综合调查指挥中心　　　　　地址：北京市西城区红莲南路55号　　　　　　　　联系方式：别女士 010-59305174　　　　　　2.采购代理机构信息名 称：中信国际招标有限公司　　　　　　　　　　　　地　址：北京市朝阳区新源南路6号京城大厦A座8层　　　　　　　　　　　　联系方式：李玲丽、王磊、符群慕；010-84865055-161/205/156　　　　　　　　　　　　3.项目联系方式项目联系人：李玲丽、王磊、符群慕电　话：　　010-84865055-161/205/156

近日，中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术国家重点实验室汤洁研究员课题组联合美国劳伦斯伯克利国家实验室教授Vassilia Zorba团队，在激光等离子体光谱研究领域取得重要进展。相关研究成果发表在Cell Reports Physical Science上。激光诱导击穿光谱(LIBS)是基于原子发射光谱学的元素分析技术，在多元素分析、实时快速原位测量等方面具备优势，且在定性识别物质与定量物质成分分析等领域具有重要的应用前景。目前，该技术在深空深海探测、地质勘探、生物医药以及环境监测等领域广泛应用。D-LIBS即放电辅助LIBS技术，通常是将火花放电或电弧放电与LIBS技术相结合来实现。以上两种放电模式具有放电功率密度大和电子数密度高的特点，在辅助元素定性和定量分析方面具有独特的技术优势。因此，利用放电辅助可以显著增强LIBS信号强度，从而达到提高分析灵敏度的目的。然而，D-LIBS在放电时电能消耗过大，同时从交变电压和电流中产生电磁脉冲，导致能源浪费和环境污染相关问题。这一负面因素加大了安全隐患和运行风险，更不利于社会倡导的节能减排和环境保护要求，进而限制了D-LIBS技术的进一步应用。因此，开发一种“两低一高”(低环境危害、低能耗、高分析灵敏度)的D-LIBS技术仍是物质分析领域中难度较大的挑战。针对上述问题，该团队提出离子动力学调制方法，对克服传统D-LIBS放电能耗大、安全风险高、环境危害大等不利因素，同时提高分析灵敏度具有显著改善效果。该工作借助这一方法，合理优化电极配置，有序调控放电模式，在有效增强光谱信号强度的同时，大幅降低放电能耗。关键创新点在于：(1)首次提出并利用激光诱导等离子体冲击波与外加电场空间零弧度耦合方式，实现有效放电区域全方位覆盖激光等离子体中粒子的扩散方向，离子的动力学特征从原始的向外扩散变更为放电空间内阳极和阴极之间的漂移运动。这种调制使得大部分离子被抓捕、约束在有效放电空间内，促进电能与激光等离子体耦合，大幅降低放电能耗。(2)突破传统D-LIBS方法，即仅在电容器放电过程中辅助LIBS，将放电增强LIBS拓展到电容器放电和充电的两个过程。采用直流电源与充电电容共同作用等离子体间隙的策略，使约束的带电粒子在电容放电结束后继续在电极之间漂移，并在毫秒尺度维持带电粒子电迁移运动特性，大幅延长等离子体寿命，进而实现火花和电弧放电的有序调控以及原子和离子光谱信号的选择性增强。上述研究有效解决了在D-LIBS中同时具备“两低一高”特性的关键技术难题。实验测试结果表明：与传统D-LIBS对比，该成果对于非平坦样品实现了在维持光谱信号2个数量级提升情况下，放电能耗降低了约1个数量级。结合经改进的小波变换降噪方法，D-LIBS中谱线信噪比、信背比以及稳定性相比原光谱均获得了显著提升。微量元素(Mg)的检出限从近百ppm降低至亚ppm量级。此外，与传统D-LIBS及其他LIBS增强技术相比，微量元素(Mg、Si)探测灵敏度提高近2个数量级。该研究有助于推动节能环保建设以及D-LIBS的广泛应用，同时，在低烧蚀激光功率密度的极端条件下，为D-LIBS微量或痕量元素定性与定量分析提供了有力的理论依据和技术支撑。研究工作得到国家自然科学基金、陕西省自然科学基金、瞬态光学与光子技术国家重点实验室自主课题、中科院光谱成像技术重点实验室开放基金等的支持。离子动力学调制LIBS增强原理和思路

项目概况 受嘉庚创新实验室委托，厦门市公物投资管理有限公司对[350200]GWTZ[GK]2022005、电感耦合等离子体串联质谱仪组织公开招标，现欢迎国内合格的供应商前来参加。 电感耦合等离子体串联质谱仪的潜在投标人应在福建省政府采购网(zfcg.czt.fujian.gov.cn)免费申请账号在福建省政府采购网上公开信息系统按项目获取采购文件，并于2022-03-09 09:15（北京时间）前递交投标文件。一、项目基本情况 项目编号：[350200]GWTZ[GK]2022005 项目名称：电感耦合等离子体串联质谱仪 采购方式：公开招标 预算金额：2000000元 包1： 合同包预算金额：2000000元 投标保证金：0元 采购需求：（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等）品目号品目编码及品目名称采购标的数量（单位）允许进口简要需求或要求品目预算（元）1-1A02100407-质谱仪质谱仪1（套）是可提供高达 11 个数量级的动态范围，从亚 ppb级到百分级浓度，同时测量溶液中的痕量与常量元素。通过与电化学系统联用，可以实时检测电极表面元素的微量溶解，研究电催化剂材料的稳定 性，以及锂离子电池和各种金属空气电池的沉积溶解过程。其他具体详见招标要求2000000 合同履行期限： 交付时间：合同签订，生效之日起120个日历日内。 本合同包：不接受联合体投标二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.本项目的特定资格要求： 包1 (1)明细：信用记录要求（招标文件其他地方要求与本条款要求不一致的，以本条款要求为准） 描述：1、信用信息查询渠道：资格审查小组通过“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）、中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）、“信用厦门”网站（credit.xm.gov.cn）查询所有供应商的信用信息。2、截止时点：查询供应商截止开标当天前三年内的信用信息。3、查询记录和证据留存方式：资格审查小组将查询结果网页打印后随采购文件一并存档。 4、信用信息的使用规则：（1）查询结果显示供应商存在不良信用记录（包含列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单及其他不符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定条件）的，其资格审查不合格。（2）因查询渠道网站原因导致查无供应商信息的，不认定供应商资格审查不合格；评审结束后，通过其他渠道发现供应商存在不良信用记录的，不认定为资格审查错误，将依照有关规定进行调查处理。（3）联合体成员存在不良信用记录的，视同联合体存在不良信用记录，联合体资格审查不合格。 5、供应商无需提供信用信息查询结果。若供应商自行提供查询结果的，仍以资格审查人员查询结果为准。 (2)明细：联合体投标要求 描述：本合同包不接受联合体投标。（如项目接受联合体投标，对联合体应提出相关资格要求；如属于特定行业项目,供应商应当具备特定行业法定准入要求。) 三、采购项目需要落实的政府采购政策 采购进口产品，适用于（合同包1）。强制采购节能产品，适用于（合同包1），按照节能产品政府采购品目清单执行。采购环境标志产品，适用于（合同包1），按照环境标志产品政府采购品目清单执行。强制采购信息安全产品，适用于（合同包1）。促进中小企业发展政策，适用于（合同包1）。支持监狱企业发展政策，适用于（合同包1）。促进残疾人就业政策，适用于（合同包1）。信用记录，适用于（合同包1）。四、获取招标文件 时间：2022-02-08 20:50至2022-02-23 23:59（提供期限自本公告发布之日起不得少于5个工作日），每天上午00:00:00至11:59:59，下午12:00:00至23:59:59（北京时间，法定节假日除外) 地点：招标文件随同本项目招标公告一并发布；投标人应先在福建省政府采购网(zfcg.czt.fujian.gov.cn)免费申请账号在福建省政府采购网上公开信息系统按项目下载招标文件(请根据项目所在地，登录对应的(省本级/市级/区县)）福建省政府采购网上公开信息系统操作)，否则投标将被拒绝。 方式：在线获取 售价：免费五、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 2022-03-09 09:15（北京时间）（自招标文件开始发出之日起至投标人提交投标文件截止之日止，不得少于20日） 地点：福建省厦门市湖里区云顶北路842号厦门市行政服务中心4楼C区，具体收标窗口及开标厅详见大厅信息屏显示内容。六、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。七、其他补充事宜 八、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：嘉庚创新实验室 地 址：厦门市思明区思明南路422号亦玄馆 联系方式：0592-2882502 2.采购代理机构信息（如有） 名 称：厦门市公物投资管理有限公司 地　　址：厦门市思明区湖滨南路81号18楼 联系方式：0592-2279319、2225709 3.项目联系方式 项目联系人：吴惠强、王海舰、黄振斌 电　　 话：0592-2279319、2225709 网址：zfcg.czt.fujian.gov.cn 开户名：厦门市公物投资管理有限公司 厦门市公物投资管理有限公司 2022-02-08

一、项目编号：项目名称：电感耦合等离子体质谱仪采购项目预算金额：98.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：98.0000000 万元（人民币）采购需求：1. 标的名称：包组1：电感耦合等离子体质谱仪采购项目2. 标的数量：包组1：1套3. 简要技术需求或服务要求：（1） 项目编号: CLF22SH01QY17（2） 最高限价: 人民币 ¥ 980,000.00元（3） 交货期限: 采购合同签订之日起至1个月内。（4） 本项目只允许采购本国产品；（5） 简要技术要求： a） 电感耦合等离子体质谱仪具备可搭配LC、自动进样器、全自动石墨消解系统、全自动微波消解系统等连用技术。 b） 可广泛应用于水质、土壤、大气颗粒物、固废、食品、动植物、食品接触材料、化妆品、半导体、高纯材料、矿产、石油化工、工业品、纺织等领域，且符合相关国家标准分析方法的要求。具体详见采购需求。 合同履行期限：自合同签订之日起至2023年10月前本项目( 不接受 )联合体投标。二、项目编号：0705-224002028052项目名称：复旦大学电感耦合等离子体发射光谱仪采购国际招标预算金额：99.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：97.0000000 万元（人民币）采购需求：1、招标条件项目概况：电感耦合等离子体发射光谱仪采购资金到位或资金来源落实情况：本次招标所需的资金来源已经落实项目已具备招标条件的说明：已具备招标条件2、招标内容：招标项目编号：0705-224002028052招标项目名称：电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目实施地点：中国上海市招标产品列表(主要设备)：序号产品名称数量简要技术规格备注1电感耦合等离子体发射光谱仪1套自激式射频发生器，频率大于40MHz预算金额：人民币99万元 最高限价：人民币97万元 合同履行期限：签订合同后4个月内合同履行期限：签订合同后4个月内本项目( 不接受 )联合体投标。

项目编号：GZHY22ZZ01A0126项目名称：电感耦合等离子体质谱仪检测仪器采购项目采购方式：竞争性磋商预算金额：1,250,000.00元采购需求：合同包1(电感耦合等离子体质谱仪检测仪器采购项目):合同包预算金额：1,250,000.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)最高限价(元)1-1其他货物电感耦合等离子体质谱仪1(套)详见采购文件1,250,000.00-本合同包不接受联合体投标合同履行期限：自合同生效之日起至合同全部权利义务履行完毕之日止。

项目编号：CBNB-20222433G项目名称：中国科学院宁波材料技术与工程研究所采购离子色谱-电感耦合等离子体质谱联用仪等两项设备项目预算金额（元）：3,500,000.00最高限价（元）：标项一:2,000,000.00 标项二:1,500,000.00采购需求：标项号采购内容数量简要技术需求预算金额（万元）最高限价（万元）是否允许采购进口产品一离子色谱-电感耦合等离子体质谱联用仪1套泵:具备二元高压或四元低压梯度功能200.00200.00是二稳态瞬态荧光光谱仪1套稳态光源：连续氙灯150.00150.00是合同履行期限：自合同签订生效后开始至双方合同义务完全履行后截止。本项目不接受联合体投标。

项目概况中国地质调查局自然资源综合调查指挥中心2021年统购实验测试装备——003包：电感耦合等离子体质谱仪 招标项目的潜在投标人应在北京市海淀区三里河路5号中国五矿集团D座206室（本项目采购文件一律通过线上购买方式获取，如带来不便敬请谅解。）获取招标文件，并于2022年02月16日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。一、项目基本情况项目编号：WKZB2111BJC300672/003项目名称：中国地质调查局自然资源综合调查指挥中心2021年统购实验测试装备——003包：电感耦合等离子体质谱仪预算金额：300.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：300.0000000 万元（人民币）采购需求：采购需求一览表包号包名称数量（套）是否允许采购进口产品交货期交货地点包预算金额（人民币万元）003电感耦合等离子体质谱仪2是合同签订后6个月内昆明中心军民融合中心300 注1：除设备材料供货外，投标人还须负责上述软件、硬件的安装、调试、测试、验收等所必须的全部工作，费用包含在投标总价中。 注2：项目中的全套技术资料、附件、辅材等正常使用所必需的组件，无论在技术需求中是否加以说明，均应全部提供。 注3：以上内容为1个完整的采购标包，本次招标、投标、评标和合同授予均以包为单位，投标人必须就整个包进行响应，不得仅对包内部分内容进行投标。采购需求详见招标公告附件。合同履行期限：自合同签订之日起至质保期结束为止。本项目( 不接受 )联合体投标。二、申请人的资格要求：1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；2.落实政府采购政策需满足的资格要求：无3.本项目的特定资格要求：（1）符合《财政部关于在政府采购活动中查询及使用信用记录有关问题的通知》（财库〔2016〕125号）的相关要求； （2）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同投标人，不得参加同一合同项下的政府采购活动；为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的投标人，不得再参加本次采购项目； （3）购买了招标文件且遵守《中华人民共和国政府采购法》及其他相关的国家法律、行政法规的规定；（4）如投标人所投产品为进口产品且不是自己制造的，须提供所投产品制造厂商或合法代理经销商针对本项目的授权函，经销商授权时须提供制造商的经销授权或代理资格证书（所投产品为进口产品投标时提供，所投产品为国产产品时，不适用本条款，即不做此要求）三、获取招标文件时间：2022年01月19日 至 2022年01月26日，每天上午9:30至11:30，下午13:30至16:30。（北京时间，法定节假日除外）地点：北京市海淀区三里河路5号中国五矿集团D座206室（本项目采购文件一律通过线上购买方式获取，如带来不便敬请谅解。）方式：招标文件售价为每包600元。为做好新冠肺炎疫情防控工作，有效切断病毒传播途径，本项目招标文件一律通过线上购买方式获取，如带来不便敬请谅解。有意向的潜在投标人须先在中国政府采购网本项目的招标公告项下下载《购买登记表》并填写完成后，向公告内采购代理机构的银行账户进行汇款，将汇款底单和《购买登记表》发送至wkhjzhb@qq.com，邮件主题格式必须为“XXXX（投标人全称）申请购买WKZB2111BJC300672/003招标文件”，售后不退。汇款底单和《购买登记表》填写无误的，采购代理机构先发招标文件电子版，纸质招标文件随后按《购买登记表》内登记的地址邮寄，邮寄费用付款方式为到付。招标文件购买人对招标文件购买登记信息的正确性负责，因登记信息填写错误造成的后果由购买人自行承担。采购代理机构不对邮件送达时间和邮寄过程中的遗失、毁损负责。售价：￥600.0 元，本公告包含的招标文件售价总和四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点提交投标文件截止时间：2022年02月16日 09点30分（北京时间）开标时间：2022年02月16日 09点30分（北京时间）地点：北京市海淀区三里河路5号五矿大厦四层会议室五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其他补充事宜1.接受投标时间：投标文件请于开标当日、投标截止时间之前由专人送达开标地点,逾期收到或不符合规定的投标文件恕不接受。届时请参加投标的单位派代表出席开标仪式。 2.投标地点：同开标地点。 3.评标方法和标准：综合评分法。 4.本项目招标公告、修改公告及评标结果将在中国政府采购网（http://www.ccgp.gov.cn）上刊登，其他网站均为转载，最终以中国政府采购网信息为准。 5.本项目需落实的节能环保、中小微型企业扶持支持监狱企业发展、促进残疾人就业等相关政府采购政策详见招标文件。 开户银行：工行北京首都体育馆支行户名：五矿国际招标有限责任公司账号：9558850200000579958银行地址：北京市西城区西直门外大街丙143号银行邮编：100044七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名 称：中国地质调查局自然资源综合调查指挥中心　　　　　地址：北京市西城区红莲南路55号　　　　　　　　联系方式：别女士010-59305174　　　　　　2.采购代理机构信息名 称：五矿国际招标有限责任公司　　　　　　　　　　　　地　址：北京市海淀区三里河路5号中国五矿集团大厦D座206室　　　　　　　　　　　　联系方式：席桥、程皓 010-88821635　　　　　　　　　　　　3.项目联系方式项目联系人：程皓、席桥电　话：　　010-88821635

项目编号：0705-224002028082项目名称：复旦大学电感耦合等离子体发射光谱仪采购国际招标预算金额：99.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：97.0000000 万元（人民币）采购需求：1、招标条件项目概况：电感耦合等离子体发射光谱仪采购资金到位或资金来源落实情况：本次招标所需的资金来源已经落实项目已具备招标条件的说明：已具备招标条件2、招标内容：招标项目编号：0705-224002028082招标项目名称：电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目实施地点：中国上海市招标产品列表(主要设备)：序号产品名称数量简要技术规格备注1电感耦合等离子体发射光谱仪1套自激式射频发生器，进样系统可耐高盐样品预算金额：人民币99万元 最高限价：人民币97万元 合同履行期限：签订合同后4个月内合同履行期限：签订合同后4个月内本项目( 不接受 )联合体投标。

项目编号：0705-224002028082项目名称：复旦大学电感耦合等离子体发射光谱仪采购国际招标预算金额：99.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：97.0000000 万元（人民币）采购需求：1、招标条件项目概况：电感耦合等离子体发射光谱仪采购资金到位或资金来源落实情况：本次招标所需的资金来源已经落实项目已具备招标条件的说明：已具备招标条件2、招标内容：招标项目编号：0705-224002028082招标项目名称：电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目实施地点：中国上海市招标产品列表(主要设备)：序号产品名称数量简要技术规格备注1电感耦合等离子体发射光谱仪1套自激式射频发生器，进样系统可耐高盐样品预算金额：人民币99万元 最高限价：人民币97万元 合同履行期限：签订合同后4个月内合同履行期限：签订合同后4个月内本项目( 不接受 )联合体投标。

项目编号：[350200]DZZ[GK]2022003项目名称：电感耦合等离子体串联质谱仪采购项目采购方式：公开招标预算金额：2,500,000.00元采购包1(电感耦合等离子体串联质谱仪采购项目的合同包1):采购包预算金额：2,500,000.00元采购包最高限价： 2,500,000.00元投标保证金： 0元采购需求：（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等）品目号品目编码及品目名称采购标的数量（单位）允许进口简要需求或要求品目预算(元)中小企业划分标准所属行业1-1A02100407-质谱仪电感耦合等离子体串联质谱仪1(套)是详见招标文件2,500,000.00工业本采购包不接受联合体投标合同履行期限：自合同签订之日起60日内交货，通过验收并交付使用

粮食土壤元素分析仪（等离子体固样分析发射光谱仪-PJ10）本产品是基于射流等离子体技术的固体样品元素直接分析的光谱仪器。该仪器无需对固体样品进行湿法消解等复杂的化学前处理，即可快速对固体样品中的元素进行定性和定量分析，为固体样品的直接快速分析提供了新的检测技术和方法，有效地提升了对固体样品的分析效率。 1、仪器特点： △ 直接对固体样品中的多种元素进行快速定性和定量分析，无需化学消解；△ 装载高能激发源，灵敏度高，检出限可达ppb级 ，RSD9%；△ 分析速度快，60秒内可以同时获得190nm-1100 nm波段的全谱信号，覆盖Cd，Cr，Cu，Pb，Zn，Ca，Fe等多种元素；△ 配备自动样品仓和智能软件，可实现多个待测样品自动检测并输出结果。 2、仪器参数型号：PJ10尺寸：400*410*662 mm重量：32kg功率：200W进样方式：固体直接进样样品前处理：简单混样压片、用时2-3分钟（无需消解）分析时间： 60 s可检测元素：镉Cd，铬Cr，铜Cu，铅Pb，钙Ca，铁Fe，锌Zn等元素光谱范围：190nm-1100 nm （可 根据用户需求选配）光谱分辨率：0.10~0.25nm软件：全自动检测，直接给出测试结果存储：128 GB SSD数据接口：4XUSB，1X网口，1XVGA创新点：粮食土壤元素分析仪（等离子体固样分析发射光谱仪-PJ10） 本产品是基于射流等离子体技术的固体样品元素直接分析的光谱仪器。该仪器无需对固体样品进行湿法消解等复杂的化学前处理，即可快速对固体样品中的元素进行定性和定量分析，为固体样品的直接快速分析提供了新的检测技术和方法，有效地提升了对固体样品的分析效率： 1.直接对固体样品中的多种元素进行快速定性和定量分析，无需化学消解； 2.装载高能激发源，灵敏度高，检出限可达ppb级 ，RSD9%； 3.分析速度快，60秒内可以同时获得190nm-1100 nm波段的全谱信号，覆盖Cd，Cr，Cu，Pb，Zn，Ca，Fe等多种元素； 4.配备自动样品仓和智能软件，可实现多个待测样品自动检测并输出结果。等离子体固样分析发射光谱仪-PJ10

项目编号：0809-2241GZG14095项目名称：华南理工大学等离子体电感耦合质谱仪采购项目预算金额：160.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：160.0000000 万元（人民币）采购需求：序号标的名称数量（单位）简要技术需求或服务要求（具体详见采购需求）最高限价万元（人民币）1等离子体电感耦合质谱仪1套具体详见采购需求160.00经政府采购管理部门同意，本项目（ 等离子体电感耦合质谱仪 设备）允许采购本国产品或不属于国家法律法规政策明确规定限制的进口产品，具体详见采购需求。本项目采购标的所属行业为： 工业 合同履行期限：境内货物：在合同签订后（30）天内完成供货、安装和调试并交付用户单位使用；境外货物：办理免税证明后（180）天内。质保期3年或以上。本项目( 不接受 )联合体投标。

项目编号：SDQDHF20220097-H045/HYHA2022-2596项目名称：山东大学电感耦合等离子体质谱仪采购采购方式：竞争性磋商预算金额：170.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：170.0000000 万元（人民币）采购需求：采购电感耦合等离子体质谱仪，具体参数详细见“第四章 采购内容及项目要求”合同履行期限：自合同生效之日起至本项目质保期满为止本项目( 不接受 )联合体投标。电感耦合等离子体质谱仪-附件.pdf

改进晶圆制造工艺，探索蚀刻终点的全光谱等离子监测解决方案满足当今技术创新的繁荣发展和复杂多变的产业环境，半导体代工厂需要定量、准确和高速的过程测量。海洋光学(Ocean Insight)与等离子蚀刻技术的领先创新者合作，探索适用于检测关键晶圆蚀刻终点的全光谱等离子监测解决方案。客户面临的挑战随着全球对半导体的需求迅速增长，该行业已做好投资于节约成本的工艺改进以及开发日益复杂的半导体设计和配方的准备。为了满足当今的技术繁荣并应对不断扩大的市场，半导体代工厂需要定量、准确和高速的过程测量。半导体和微机电系统 (MEMS) 正在达到设计极限，通过减小尺寸或提高速度来进一步改进几乎是不可能的。相反，制造商专注于晶圆质量、可重复性和整体良率，以及提高产能。目标是满足对智能电子产品不断增长的需求，同时保持生产成本和价格竞争力。我们的观点微弱等离子体或晶圆光谱的快速分析有助于完善蚀刻工艺参数，同时提高晶圆质量。基于光谱仪的等离子体测量与强大的软件相结合，可以说明等离子体、腔室和视口条件的变化状态，并对来自深蚀刻或薄设计特征的最微弱信号敏感。光谱有助于使终点检测更加精确，从而可以设计出更复杂的晶片形状和图案。由于制造商可以更准确地停止和启动生产过程，因此可以制造更小的特征，同时减少错误和减少晶圆上的不可用空间。另外，随着终点检测变得更加精确，可以使用更薄的不同材料层，即使它们产生微弱的、难以分辨的光谱特征和更紧密排列的峰值。解决方案海洋光学与半导体行业领先的设备供应商合作，共同推进终点检测技术。我们定制了光谱仪（Ocean SR2 和 Ocean HDX 是等离子监测应用的理想选择），以提供半导体制造所需的快速、高灵敏度、精确分辨率和多功能连接能力。借助海洋光学硬件和支持，设备供应商不断改进和完善其为半导体行业提供的蚀刻技术。其在等离子处理和先进封装解决方案方面的领先地位支持与无线设备、光子学、固态照明和 MEMS 设备相关的新兴技术。

近日，美国科学家成功绘制出太空中等离子体波类似斑马线的波谱图，并证明了等离子体波是由围绕地球磁场线呈环状分布的质子激发产生的。等离子体波谱图的绘制可帮助科学家更准确地理解太空辐射和模拟太空环境，或有助于更好地保护宇航员和太空设备。　　20世纪60年代，加州大学洛杉矶分校研究生克里斯托弗拉塞尔在范爱伦辐射带(围绕地球的含有高能粒子的圆环)检测到了神秘的等离子体波，它们普遍存在于近地空间，但科学家却一直无法解释这些等离子体波是如何产生的。现在，这一谜题已被解开。　　据加州大学洛杉矶分校官网报道，该校地球物理学家尤里施普里茨领导的研究团队通过卫星观察到13个在太空中等间距分布的线，在赤道附近发现了结构稳定的类似斑马线的等离子体波波谱，根据上述结果绘制了等离子体波的模式图。研究人员还发现，围绕地球磁场线呈环状分布的质子能够为等离子体波提供能量，并证明等离子体波是由这些质子激发产生的。　　赤道附近的等离子体波能使范爱伦辐射带内的粒子加速到高能状态，并使这些粒子消失在大气层内。这一现象可能对地球磁层、电离层和中高层大气有重要影响，其对太空中电子和离子的加速和扩散可能造成卫星通讯故障甚至使之完全失效，还可能伤害宇航员的健康。　　施普里茨说：“等离子体波谱图的绘制有助于科学家更准确地理解太空辐射和模拟太空环境，以及更好地保护宇航员和太空设备。”　　现在已经是空间物理和行星学教授的拉塞尔说：“施普里茨的工作非常有意义。我在1966年观察到的神奇现象终于得到了合理解释。”

一、项目编号：0705-224002028052项目名称：复旦大学电感耦合等离子体发射光谱仪采购国际招标预算金额：99.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：97.0000000 万元（人民币）采购需求：1、招标条件项目概况：电感耦合等离子体发射光谱仪采购资金到位或资金来源落实情况：本次招标所需的资金来源已经落实项目已具备招标条件的说明：已具备招标条件2、招标内容：招标项目编号：0705-224002028052招标项目名称：电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目实施地点：中国上海市招标产品列表(主要设备)：序号产品名称数量简要技术规格备注1电感耦合等离子体发射光谱仪1套自激式射频发生器，频率大于40MHz预算金额：人民币99万元 最高限价：人民币97万元 合同履行期限：签订合同后4个月内合同履行期限：签订合同后4个月内本项目( 不接受 )联合体投标。二、项目编号：0705-224002028053项目名称：复旦大学激光粒度分析仪采购国际招标预算金额：60.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：58.0000000 万元（人民币）采购需求：1、招标条件项目概况：激光粒度分析仪采购资金到位或资金来源落实情况：本次招标所需的资金来源已经落实项目已具备招标条件的说明：已具备招标条件2、招标内容：招标项目编号：0705-224002028053招标项目名称：激光粒度分析仪采购项目实施地点：中国上海市招标产品列表(主要设备)：序号产品名称数量简要技术规格备注1激光粒度分析仪1套测量速度：扫描速度≥10KHz预算金额：人民币60万元 最高限价：人民币58万元 合同履行期限：签订合同后3个月内合同履行期限：签订合同后3个月内本项目( 不接受 )联合体投标。

中国科学院地质与地球物理研究所多接收等离子体质谱仪采购项目中标公告　　招标编号：OITC-G12032167　　采购人名称：中国科学院地质与地球物理研究所　　采购代理机构全称：东方国际招标有限责任公司　　采购项目名称：中国科学院地质与地球物理研究所多接收等离子体质谱仪采购项目　　定标日期：2012年5月22日　　招标公告日期：2012年6月11日　　公告信息如下：　　第1包 多接收等离子体质谱仪 1套　　中标供应商名称：赛默飞世尔科技(中国)有限公司　　中标金额：71万欧元　　评标委员会成员名单：戴琳、蒋秀高、孙家跃、李振声、谭明　　本项目联系人：窦志超　　联系电话：010-68725599-8447　　感谢各供应商对本项目的积极参与，未获中标的供应商请于即日起5个工作日内到我公司办理保证金退回事宜。　　东方国际招标有限责任公司　　2012年6月11日

ICP-MS作为痕量元素分析仪器,已经在核材料、食品、环境等多个领域得到应用。近10年来,I CP-MS的最新应用大多来源于ICP-TOFMS这一分支中,ICP-TOFMS将电感耦合等离子体离子源的高温电离特性与飞行时间质量分析器的全谱检测的特性结合起来,使得其具有离子电离效率高、全谱同时检测和分析速度快的优点。目前ICP-TOFMS的主要应用领域有免疫方法分析疾病标志物、微量复杂样品的元素组成分析、地质样品或生物组织的质谱元素成像、单颗粒和单细胞分析等。本文主要对ICP-TOFMS仪器的原理、发展以及主要应用进行综述。 电感耦合等离子体飞行时间质谱仪器的发展与应用_王德华.pdf

项目编号：ZUPC-GK-HW-2022019G项目名称：电感耦合等离子体串联质谱仪预算金额：195.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：195.0000000 万元（人民币）采购需求：电感耦合等离子体串联质谱仪 一套，详见标书文件。合同履行期限：合同签订后120天内。本项目( 不接受 )联合体投标。

项目编号：ZUPC-GK-HW-2022018G项目名称：多接收电感耦合等离子体质谱仪预算金额：800.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：800.0000000 万元（人民币）采购需求：多接收电感耦合等离子体质谱仪 一套，详见标书文件。合同履行期限：合同签订后8个月内。本项目( 不接受 )联合体投标。

4月14日，光电院在北京新技术基地组织召开了国家重大科学仪器设备开发专项&ldquo 激光诱导等离子体光谱分析设备开发和应用&rdquo 项目启动会。中科院条财局科技条件处副处长姜言彬代表院机关出席会议，院内外专家、项目监理组和合作单位代表共50余人参加了会议。　　副院长樊仲维参加了项目启动会和技术研讨会,表示将瞄准应用目标全力将项目做好。项目负责人孙辉研究员汇报了项目的背景、开发和工程化方案、进度安排、组织管理和进展情况等。与会专家重点就项目知识产权保护、管理措施、指标细化、接口关系以及技术难点等方面进行了深入研讨，提出了许多宝贵的意见和建议。　　姜言彬最后讲话，主要提出了三点要求：一是充分发挥总体组、技术专家组和监理组的作用。二是强调任务书的重要性，其中经费、指标和周期的调整要严格遵守相关程序要求。三是要加强对项目质量、可靠性和相关软件的重视。通过项目总体统一协调，做好提前规划，为项目的顺利开展提供保障。　　目前我国粗钢总产量接近世界一半，特殊钢产量不足5%，且品质亟待提高，主要是冶炼过程中钢水成分难以精确控制，成品率低造成的。现有成分检测技术耗时长，属事后检测方法，无法为改善品质提供实时参考。激光诱导等离子体光谱技术(LIPS 技术)是基于激光和材料相互作用产生发射光谱的一种定量分析技术，提供了一种实时在线监测的可能性，可为改善钢水品质提供实时的数量依据，不仅缩短检测时间，还可降低成本，节约能源。　　发达国家由于拥有窄成分控制技术而保障了特殊钢占钢铁总产量的高比例，国内应用于冶金行业的LIPS 研究还处于起步阶段，相关设备的研发几近空白。本项目针对高温冶炼环境特征，研制基于激光诱导等离子体光谱的钢水成分实时在线检测设备，不仅有利于推动我国钢水成分检测技术研究与应用发展，而且有助于提高我国钢产品品质，对我国钢铁行业发展具有重要的战略意义。

项目编号：XDCS2022-A-006项目名称：厦门大学近海海洋环境科学国家重点实验室四极杆电感耦合等离子体质谱仪采购方式：竞争性磋商预算金额：150.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：150.0000000 万元（人民币）采购需求：四极杆电感耦合等离子体质谱仪：1套合同履行期限：交货期：最长不超过3个月（进口货物为进口免税手续办理完成前提下）本项目( 不接受 )联合体投标。

项目编号：N5113012023000006项目名称：南充市中心医院电感耦合等离子体质谱仪采购项目采购方式：竞争性谈判预算金额：1,544,200.00元采购需求：详见采购需求附件合同履行期限：采购包1：自合同签订之日起60日本项目是否接受联合体参与：采购包1：不接受联合体投标南充市中心医院电感耦合等离子体质谱仪采购项目谈判文件.pdf

项目编号：N5113012023000006项目名称：南充市中心医院电感耦合等离子体质谱仪采购项目(二次)采购方式：竞争性谈判预算金额：1,544,200.00元采购需求：详见采购需求附件合同履行期限：采购包1：自合同签订之日起60日本项目是否接受联合体参与：采购包1：不接受联合体投标南充市中心医院电感耦合等离子体质谱仪采购项目(二次)谈判文件.pdf