雷尼绍干涉仪

全球精密测量和自动化技术的领导者雷尼绍，在慕尼黑上海光博会2024 (Laser World of PHOTONICSCHINA，2024年3月20日至3月22日) W4号馆4602号的展台上亮相。此次展会，雷尼绍以 - 与"光"同行，"智"造未来 - 为主题，携众多明星产品集体亮相，向业界展示其尖端的光学系列技术和产品。[b]"智"造未来-之"光"栅及磁栅系列产品开放式光栅[/b]：使用精细刻度栅尺和紧凑型光电读数头完成稳定可靠且高性能的直线和旋转位置测量，将相对于栅尺的位置移动转换为位置数据。可进行增量和绝对位置测量、非接触式设计 -- 零滞后、无机械磨损、坚固耐用的光学设计 -- 能够有效避免尘土、灰尘和划痕，而不影响信号完整性。[b]参展明星产品[/b]：QUANTiC?光栅系列、TONiC?光栅系列、VIONiC?光栅系列QUANTiC光栅系列集成了雷尼绍的光学滤波系统设计与细分技术，是一款超小型、坚固耐用的增量式开放光栅。QUANTiC光栅使用简便，具有极宽松的安装和操作公差，而且自带校准功能。TONiC系列是紧凑型非接触式增量式光栅系统，速度可达10 m/s，与Ti接口配套使用时，在直线和旋转应用中分辨率达1 nm。读数头内的先进光学滤波系统使TONiC具有非常低的抖动，从而可实现优异的位置稳定性和更为平稳的速度控制。这使得TONiC成为适合须严格控制其运动过程的应用的理想光栅。VIONiC光栅系列是雷尼绍性能最高的增量式光栅，它可提供直接的数字位置反馈，具有优异的测量性能，运行速度快且可靠性极佳。VIONiC读数头集成雷尼绍经过市场检验的可靠光学滤波系统和先进的细分技术。它具有超低的电子细分误差(SDE)、优异的抗污能力，而且无需额外使用适配器或单独的接口。[b]封闭式光栅：[/b]雷尼绍封闭式光栅采用异常坚固的设计，可用于要求高性能位置测量的恶劣工业环境中。具有精细刻度的不锈钢栅尺结合密封的光电读数头，将相对于栅尺的位置移动转换为位置数据。[b]参展明星产品[/b]：FORTiS?封闭式绝对直线光栅FORTiS光栅搭载雷尼绍经验证的绝对式光栅技术，采用异常坚固的封闭式设计，可在极其恶劣的环境中实现优异的测量性能，与传统光栅系统相比优势显著。[b]磁栅：[/b]通过与我们的关联公司RLS合作，我们生产了一系列坚固耐用的旋转和直线运动磁传感器，以满足全球市场日益增长的需求[b]"智"造未来-之激"光"系列产品[/b]雷尼绍的激光干涉仪和球杆仪测量系统用于评估、监控和提高机床、坐标测量机(CMM) 及其他位置精度要求高的运动系统的静态和动态性能。因此，我们的产品应用作过程优化的第一步，以及对机内和机外测头测量系统的补充。[b]参展明星产品[/b]：XK10激光校准仪、XM-60多光束激光干涉仪XK10激光校准仪适用于测量机床的几何量误差与旋转轴心线误差，能够在机床装配、维护和维修过程中测量几何量误差与旋转轴心线误差，精确地校直和调整机床轴，从而实现机床的最佳性能。XM-60多光束激光干涉仪是一款激光测量系统，只需一次设定便可沿线性轴同时测量六个自由度的误差。它还是一款功能强大的诊断工具，通过一次采集便可测量轴的所有几何量误差。[b]"智"造未来-之拉曼"光"谱系列产品[/b]雷尼绍生产各种拉曼光谱仪，包括显微拉曼光谱仪、便携式拉曼分析仪和台式拉曼系统。科学家和工程师们纷纷选择雷尼绍作为拉曼合作伙伴，因为雷尼绍拥有能够生成优质拉曼结果的高质量仪器和创新技术。我们可以提供包括Virsa?拉曼分析仪、inVia?共焦显微拉曼光谱仪、inLux? SEM-拉曼联用接口等系列产品。[b]参展明星产品：[/b]Virsa拉曼分析仪Virsa光纤耦合拉曼分析仪是一款具有自动聚焦追踪远程探头的拉曼系统。其突破了实验室显微拉曼的限制，能够将拉曼光谱分析的应用范围扩展到更复杂的环境和更多的样品。Virsa系统采用雷尼绍LiveTrack?实时聚焦追踪技术和Monitor?软件，能够轻松地实时分析表面不规则的样品，因相变而引起形状改变的样品，以及移动的样品。[b]与"光"同行，"智"造未来[/b]除了展示最新的技术和产品，雷尼绍还将与全球用户分享其在精密测量和自动化领域的最新研究成果和未来发展方向。雷尼绍一直致力于技术创新和研发，不断推动精密测量和自动化技术的发展。未来，雷尼绍将继续致力于技术创新，为用户提供更优质的产品和服务。我们相信，通过这次展会，雷尼绍将进一步加强与全球用户的合作，共同推动精密测量和自动化技术的发展。让我们期待雷尼绍在慕尼黑上海光博会上的精彩表现。[b]关于雷尼绍[/b]雷尼绍是世界领先的工程科技公司之一，在精密测量和医疗保健领域拥有专业技术。公司向众多行业和领域提供产品和服务— 从飞机引擎、风力涡轮发电机制造，到口腔和脑外科医疗设备等。此外，它还在全球增材制造（也称"3D打印"）领域居领导地位，是一家设计和制造工业用增材制造设备（通过金属粉末"打印"零件）的公司。[来源：界面新闻]

激光干涉仪是以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量，具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。测量长度的激光干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。 激光干涉仪采用一个双光束激光头和一个双通道的处理器，采用飞行采样方式，在测量过程中无须停机采样检测，节约了测量时间和编程时间；利用RENISHAW动态特性测量与评估软件，可进行机床振动测试与分析，滚珠丝杠的动态特性分析，伺服驱动系统的响应特性分析。激光干涉仪的激光头和靶标反射镜二件之间只要发生相对位移就能进行测量，测量系统中无须分光镜、所以对光极其方便。 激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。激光干涉仪可用来精确测量和校准机床、三座标测量机和X-Y平台的机械精度，也测量轴的定位精度、重复定位精度及反向间隙，测量轴的角偏、直线度，测量平台的平面度。

[em10] 用于机床定位精度检测和重复定位精度检测的激光干涉仪什么牌子的好呀？在Renishaw和API之间徘徊，那位前辈能给指点一二?

角镜型迈克干涉仪和传统的迈克干涉仪有什么区别

哪个厂家卖干涉仪

白光干涉仪目前在3D检测领域是精度最高的测量仪器之一，在同等系统放大倍率下检测精度和重复精度都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜，在一些纳米级和亚纳米级的超精密加工领域，除了[url=http://www.chotest.com/detail.aspx?cid=686][b][color=#333333]白光干涉仪[/color][/b][/url]，其它的仪器无法达到其测量精度要求。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/3/201803076710554.jpg[/img][/align][align=center]中图仪器SuperView W1白光干涉仪[/align]白光干涉仪测量原理：　　白光干涉仪是利用光学干涉原理研制开发的超精密表面轮廓测量仪器。照明光束经半反半透分光镜分威两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成一束光，并由成像系统在CCD相机感光面形成两个叠加的像。由于两束光相互干涉，在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差，根据白光干涉条纹明暗度以及干涉条纹出现的位置解析出被测样品的相对高度。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2019/5/201905302500097.jpg[/img][/align]白光干涉仪的测量应用：　　以测量单刻线台阶为倒，在检查仪器的各线路接头都准确插到对应插孔后，开启仪器电源开关，启动计算机，将单刻线台阶工件放置在载物台中间位置，先手动调整载物台大概位置，对准白光干涉仪目镜的下方。　　在计算机上打开白光干涉仪测量软件，在软件界面上设置好目镜下行的最低点，再微调镜头与被测单刻线台阶表面的距离，调整到计算机屏幕上可以看到两到三条干涉条纹为佳，此时设置好要扫描的距离。按开始按钮，白光干涉仪可自动进行扫描测量，测量完成后，转件自动生成3D图像，测量人员可以对3D图像进行数据分析，获得被测器件表面线、面粗糙度和轮廓的2D、3D参数。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2019/5/201905303281565.png[/img][/align]　　白光干涉仪具有测量精度高、操作便捷、功能全面、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精密器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。白光干涉仪独有的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。

不同FTIR制造商在宣传各自产品时提到，采用：动态准直磁浮式迈克尔逊干涉仪、机械摇摆式迈克尔逊干涉仪、机械式迈克尔逊干涉仪，三种形式干涉仪主要特点及优势何在？先谢谢了！

最近一直在使用 研究所里的白光干涉仪（Talysurf CCI 2000）做表面检测，发现了不少问题，比如说： 1. 如何调整能快速获得干涉条纹； 2. 如何能减少数据丢失点； 3. 如何校准我一直在钻研随机带的说明书，不过Taylor Hobson这些英国人太懒了，很多东西都是笼统的讲，根本不细说！ 所以，希望 有白光干涉仪操作经验的朋友，能在本楼讨论下，您也可给我发email：chenjc18@126.com。

昨天参加了赛默飞世尔的FTIR的培训，一直不明白为什么要用麦克逊干涉，干涉之后的光，没啥特别的变化呀，，为啥不直接用光源呢，我的意思是不经过干涉器，直接照射 样品，，望解答，，在最后价格光栅分光系统分下光就OK了呀~~~~用干涉仪，，我真的想不明白它不能分光光呀，，有啥用呢~~~

有谁晓得TTIR仪器的干涉仪的工作原理啊?

[color=#000000]阿美特克(纽约证券交易所代码:AME)旗下Zygo公司宣布发布其最新的激光干涉仪Qualifire?。Qualifier加入了一系列高端干涉仪解决方案，该仪器旨在支持半导体、光刻、星载成像系统、尖端消费电子产品、国防等行业中最苛刻的计量应用。Qualifire将于1月30日在加州旧金山的SPIE Photonics West首次亮相。这款干涉仪在不牺牲性能的情况下，将显著的增强功能集成到一个更轻的小型封装中。[/color][color=#000000]Zygo 激光干涉仪产品经理 Erin McDonnell 表示：“我们很高兴将 Qualifire 推向市场，其改进的人体工程学设计使其易于使用，并且比 Zygo 的许多其他激光干涉仪更便携。使用激光干涉仪进行的测量往往对噪声、污染物和其他伪影敏感，因为该仪器能够提供纳米级精度；Qualifire上的可选模块飞点可主动减少甚至消除这些伪影，从而提高测量的可靠性和可重复性。飞点结合了Zygo最好的两种伪影减少技术：环纹和相干伪影减少。飞点在需要高精度的应用中尤其有价值，包括科学研究和先进的制造工艺。[/color][color=#000000]Qualifire为Zygo的激光干涉仪产品线带来这些功能和改进：[/color][color=#000000]Qualire激光干涉仪提供了许多新颖的新功能。[/color][b][color=#000000]智能附件接口[/color][/b][color=#000000]——干涉仪可以识别任何安装的“智能附件”，并自动应用系统错误文件并执行横向校准。[/color][b][color=#000000]体积小、重量轻[/color][/b][color=#000000]——最小的 Qualifire 型号重约 45 磅（20.4 千克）。 它是真正的便携式，特别是对于干涉仪必须经常移动或调整的复杂和精密应用。[/color][b][color=#000000]移相器[/color][color=#000000]（PMR）[/color][/b][color=#000000]——PMR 是调制测试部件和参考光学器件之间干涉条纹所必需的，最终可创建定量表面图。其整体设计提供：[/color][color=#000000]整体机械稳定性和对准[/color][color=#000000]降低损坏或错位的风险[/color][color=#000000]确保性能一致，减少重新校准的需要[/color][b][color=#000000]改进的用户体验[/color][/b][color=#000000]——方便使用的电源按钮和运动安装支脚使设置更易于使用。大型控制旋钮可实现更精确的调整，这对校准和校准都至关重要。 集成手柄确保安全可靠的操作。[/color][b][color=#000000]更易于维护[/color][/b][color=#000000]—— 密封的光学系统和整合的电子元件使更换各种组件变得简单，而不会使光学元件暴露在污染物中。[/color][b][color=#000000]飞点[/color][/b][color=#000000]——用于减少伪影的可选模块，包括自动对焦功能。[/color][b][color=#000000]稳定变焦[/color][/b][color=#000000]——提供新变焦方法的选项，可在所有放大倍率下实现完美的图像配准和衍射限制图像采样。[/color][color=#000000]计量集团副总裁Kurt Redlitz 表示：“Qualifire 保持了 Zygo 在计量方面的高标准，同时提供了最高水平的精度并优化了用户体验。通过改进的人体工程学设计，它可以在不牺牲性能的情况下提高操作效率和部署灵活性。Qualifire 是一款更强大、更可靠、用户友好的仪器，可随时应付最苛刻的应用和环境——精度不容置疑。[/color][来源：仪器信息网译] 未经授权不得转载

由于客户这边需要，现需询问谁家有曲率半径测试仪和干涉仪的，请来咨询相关技术要求！谢谢！

请教一个非常弱的问题：[color=#DC143C]迈克尔逊干涉仪的用途[/color]，红外本来不就是一定波长范围在照射样品吗，与干涉仪的光程差有什么联系，搞不明白，请指点！！！

ZYGO干涉仪说明书[img]http://www.instrument.com.cn/bbs/images/affix.gif[/img][url=http://www.instrument.com.cn/bbs/download.asp?ID=22469]ZYGO干涉仪说明书[/url]

请问各位，市场上有基于空间调制干涉仪的傅里叶变换红外光谱仪吗？我看各家公司的产品都是在迈克尔逊干涉仪基础上进行改进的，需要动镜进行扫描，但是空间调制型的如sagnac干涉仪可以避免这种情况，而且体积更小，但是市面上为什么没有看到这类产品呢？

[~121777~]迈克尔逊干涉仪工作视频欢迎下载

我在网上只找到"成都太科光电技术有限公司"一家厂家,难道就没有其他厂家生产这个激光干涉仪了吗?(用于平面精度和球面精度,曲率半径等的测定的)

视频展示了迈克尔逊干涉仪的结构以及它的工作过程，非常逼真形象！[img]http://www.instrument.com.cn/bbs/images/affix.gif[/img][url=http://www.instrument.com.cn/bbs/download.asp?ID=83043]迈克尔逊干涉仪工作视频[/url]

有谁有雷尼绍公司拉曼仪的是使用说明书,.??共享一下,谢谢.

有人用过翟科公司的激光干涉仪吗？ZMI系列的。

FTIR与色散型红外最大不同就是采用一台干涉仪，可是不明白为什么要采用干涉仪呢？请哪位知道的给与解释。多谢！

干涉仪 动态准直和永久准直哪个更高端些啊？

迈克尔逊干涉仪主要看什么判断好坏

请问有没有使用ZYGO 干涉仪的有没有哪位大鸟对其操作软件METROPRO很熟悉的可否指点一下,留个联系方式,万分感谢

Renishaw公司，总部 (Renishaw plc) 位于英国伦敦西部的格劳斯特郡(Gloucestershire)。1973年，Renishaw公司现任公司董事会主席兼首席执行官David McMurtry先生发明了触发式测头，这也是Renishaw公司的第一款产品。在随后的40多年中，Renishaw公司一直以科技创新为公司发展的重要目标，在计量学和拉曼光谱仪器领域居世界领先地位。　　2014年9月9日，仪器信息网编辑远赴英国，特别参观了位于New Mill的Renishaw plc集团公司以及位于Old Town的Renishaw SPD(光谱产品部门Spectroscopy Product Division)。Renishaw plc市场传媒总监 Chris Pockett先生、SPD董事总经理Simon Holden先生、SPD拉曼市场运营经理Ian Hayward博士以及SPD市场传媒主管Julia Newman女士等接待。http://bimg.instrument.com.cn/show/NewsImags/images/20141127144421.jpghttp://bimg.instrument.com.cn/show/NewsImags/images/20141127144430.jpgRenishaw 位于New Mill的厂址　　据悉，位于New Mill的厂址正在扩建，预计建筑面积230，000平方英尺，今年7月份一期工程153,000平方英尺已经建成，目前已有1000多名员工在此办公。今年晚些时候，Renishaw SPD也将搬入New Mill。仪器信息网编辑首先抵达New Mill，参观了Renishaw plc集团公司，而后赶赴Old Town，拜访了Renishaw的SPD部门。在整个行程中，Renishaw市场传媒总监 Chris Pockett先生为仪器信息网编辑介绍了公司的一些整体情况，SPD董事总经理Simon Holden先生与SPD拉曼市场运营经理 Ian Hayward博士介绍了Renishaw SPD部门的产品情况。公司概况　　说起公司的起源，就必然要提及公司的创始人David McMurtry爵士和John Deer David。　　Chris Pockett先生说，David McMurtry爵士是一个非常聪明的工程师。1972年，为了解决协和式飞机上使用的Olympus发动机的特殊检测要求，David McMurtry发明了触发式测头，Rolls-Royce公司为此还申请了专利。之后，一个偶然的机会，David McMurtry在Rolls-Royce公司的图书馆中遇到了John Deer，当时John Deer是Rolls-Royce公司的工程师，他也在寻找合适的商机，两人一见如故，John Deer对David McMurtry的发明非常感兴趣，并认为此项发明具有巨大的市场潜力，于是两人在1973年开创了Renishaw公司。http://bimg.instrument.com.cn/show/NewsImags/images/20141127144630.jpgDavid McMurtry爵士(右)、John Deer David(左)　　目前，Renishaw拥有3,500名员工，其中英国2,300人。在过去的5年中业绩增长很快，截至2014年6月财年销售额达到3.55亿英镑，客户遍及航空、农业、建筑、医药、采矿、能源等多个领域。其中，计量仪器占92%，医疗保健仪器占8%。　　公司创立之初，就确定了全球化的发展战略，1980年就在美国建立了第一家分支机构。Chris Pockett先生说，“因为我们是高科技的公司，完全依靠当地的经销商，发展不可能持久，所以我们在全球开设了自己的办事处和子公司来帮助用户更好的理解Renishaw的产品和应用。” 据悉，到现在为止，Renishaw在全球32个国家建有70多个分支机构，而Renishaw公司94%的销售额也源于英国之外的地区，其中亚太区38%，欧洲大陆28%，美洲24%，英国及爱尔兰7%，其他地区3%。　　期间，Chris Pockett先生还特别介绍了Renishaw在中国的发展情况，据其介绍，Renishaw于1993年就在香港设立了办事处，1994年在北京设立了第一家办事处，并于2005年在上海成立了全资子公司。雷尼绍中国如今在全国各地已经设立了11家分公司及办事处，员工总数超过125名。目前，Renishaw亚太区总部位于香港，负责整个亚太地区业务(不包括日本)。　　对于Renishaw在中国的发展，Chris Pockett先生说，“雷尼绍在中国已经走过了20年的光辉历程。20年的不懈努力，成就了今天雷尼绍在中国的辉煌。20年来，雷尼绍在中国始终保持高速稳健的增长，其年均增长率远高于行业平均水平，目前已经是雷尼绍全球最大的子公司，占集团总销售额的20%。在过去的七年，亚太地区最快的增长来自中国，未来我们会更注重在中国的发展。雷尼绍拉曼光谱仪产品于1993年首次进入中国市场，秉承着“科技创新”公司理念，十几年来一直致力于拉曼光谱技术及其在各个领域应用的不断研发创新，产品凭借其优越的性能、模块化的设计及完善的售后服务团队，极大地提高了客户的研发能力和科研水平。随着近年来中国政府在科技领域的大力投入以及拉曼光谱技术及应用的飞速发展，中国客户对于拉曼光谱的认知也大大提高，从而带动了雷尼绍拉曼光谱仪产品业务持续两位数的增长。　　科技创新　　一直以来，Renishaw都是一个不断创新的企业，在此次参观与沟通过程中，“科技创新”给仪器信息网留下了深刻的印象。　　据介绍， David McMurtry爵士和John Deer一直希望将Renishaw打造成为一个与众不同的公司，研发新的产品，并将新的技术新技术用于解决真正的社会问题。Renishaw非常重视专利技术的研发，以及相关专利的申请，就像David McMurtry爵士曾经说的，“我们相信成功来自于具有专利和创新的产品，高品质的生产和制造，以及为全球市场提供本地化的用户支持。”　　自第一台产品问世以来，Renishaw公司一直秉承“科技创新”的发展理念，致力于产品的创新研发，据悉每年的研发投入为年销售额的14-18%，远高于一般制造业每年3-5%的研发投入，甚至可以与生命科学领域相媲美。　　目前，Renishaw主要提供坐标测量机、运动控制、光谱和精密加工等方面的技术和产品，广泛应用于机床自动化、坐标测量、快速成型制造、比对测量、拉曼光谱分析、机器校准、位置反馈、牙科CAD/CAM、形状记忆合金、大尺寸范围测绘、立体定向神经外科和医学诊断等领域。　　Chris Pockett先生说，“我们是生产计量仪器的厂家，但是同时我们本身也是一家制造企业，我们在生产的过程中，也用于自己生产的产品，如三坐标等，保证产品的高品质。”　　在拉曼领域，1992 年，Renishaw与英国利兹大学(Leeds University)合作，在世界上首先研制成功新型的激光共聚焦显微拉曼光谱和光谱成像仪，领先革新了拉曼光谱技术。因此，于1993年获得查尔斯王子科学发明奖，1995年获得英国女王技术奖和最佳科学仪器制造商奖。　　http://bimg.instrument.com.cn/show/NewsImags/images/2014112714514.jpg2002年，Renishaw推出了配置更加灵活，使用更加简单，自动化程度更高的InVia系列拉曼光谱仪。2014年4月，inVia显微拉曼光谱仪产品之超高速拉曼成像技术赢得“2014年度女王企业奖之创新奖”，据悉这已经是Renishaw公司第十七次获得英国女王奖了，也是近十一年来第八次获奖。　　英国“女王企业奖”每年由女王颁发，获奖企业由英国首相根据咨询委员会做出的评选意见提名。该委员会由政府、工商业和工会三方代表组成。企业获奖完全凭借自身的成就，因此竞争十分激烈。http://bimg.instrument.com.cn/show/NewsImags/images/20141127144745.jpg应用专家Tim Smith 与InVia拉曼光谱仪系统　　目前，Renishaw的拉曼产品既有研究级别的inVia系列产品，还有便携式的RA100系列以及用于常规分析的台式RA800系列产品。　　据Simon Holden先生介绍，Renishaw

SJ6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在[b]SJ6000[color=#333333]激光干涉仪[/color][/b]动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2019/9/201909243125960.png[/img][/align]　　激光干涉仪最典型的应用就是测量机床精度，本文讲解如何使用激光干涉仪测量五轴机床平移轴直线度误差。　　对于平移轴而言，每根轴均有两个直线度误差，因此三根轴有六个直线度误差，均可采用激光干涉仪分别测得。　　原理：带有圆孔的是直线度干涉镜，其与待测轴相连一同运动；长条镜是直线度反射镜静止安装，其是对称结构，上下左右均对称。当一束激光从源头发出射入干涉镜，干涉镜将光束分成两束，形成一个很小的角度分别去往反射镜，由于反射镜上下对称，因此两束光被反射后又回到干涉镜，汇合成一股光束，去往激光头的探测器。当运动轴产生直线度误差时，会使得干涉镜相对于反射镜在水平横向方向发生相对运动，而反射镜是左右对称的（左右的镜片不在同一平面，有一定的角度），因此会使得两束分开的光束光程具有差别，根据此差别，即可测得运动轴产生的直线度误差。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2019/10/201910178906394.jpg[/img][/align][align=center]▲ 直线度测量的光路原理构建图[/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2019/10/201910170468304.png[/img][/align][align=center]▲ 运动轴的横向直线度测量示意图[/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2019/10/201910173593913.png[/img][/align][align=center]▲ 运动轴的纵向直线度测量示意图[/align]　　根据直线度误差测量原理可知，测量过程中不可避免的会引入斜率误差。该误差是由于测量直线度反射镜的光学轴线最初与待测轴不平行，为调整平行而引起的。如图 所示，A 为干涉镜和反射镜的距离，B 为激光头到干涉镜的距离（其中干涉镜是固定在运动轴上的）。在一开始，反射镜的光学轴线处于旋转前的位置，而由于机床运动轴与其之间存在的夹角θ，[img]http://www.chotest.com/Upload/2019/10/201910173125514.jpg[/img][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2019/10/201910177031118.png[/img][/align]　　因为斜率误差是稳定误差，因此可以采取上述的公式将其从直线度测量结果中分离出来，亦可以采用两端法拟合或者最小二乘法拟合将其分离出去。　　两端法拟合：即是将所有采集来的数据第一点和最后一点相连决定一直线，再将所有采集来的数据去除掉拟合的直线信息，由此得出的残值即为直线度误差。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2019/10/201910170000002.png[/img][/align]最小二乘法拟合：将采集回来的所有数据通过最小化误差的平方和方式来寻找数据的最佳函数匹配，而后将采集值与匹配函数对应值相比较，剩余的残值即为直线度误差。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2019/10/201910171562522.png[/img][/align]附：SJ6000激光干涉仪直线度测量精度。[table][tr][td][align=center]轴向量程[/align][/td][td][align=center]测量范围[/align][/td][td][align=center]测量精度[/align][/td][td][align=center]分辨力[/align][/td][/tr][tr][td][align=center]短距离[/align][/td][td][align=center](0.1~4.0)m[/align][/td][td][align=center]±3mm[/align][/td][td][align=center]±(0.5+0.25%R+0.15M[size=12px]2[/size]) μm[/align][/td][td][align=center]0.01μm[/align][/td][/tr][tr][td][align=center]长距离[/align][/td][td][align=center](1.0~20.0)m[/align][/td][td][align=center]±3mm[/align][/td][td][align=center]±(5.0+2.5%R+0.015M[size=12px]2[/size]) μm[/align][/td][td][align=center]0.1μm[/align][/td][/tr][tr][td=5,1]注：R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m[/td][/tr][/table]

讨论一下，布鲁克的RockSolid干涉仪有何优缺点？

激光干涉仪不仅可以测量等离子体密度，而且还可以进行数据分析和处理。定期开班的论坛，更是为结果分析提供了强有力的支持。