旋激光对中仪

第十六届世界制药原料中国展（简称“CPHI China 2016”）将于2016年6月21至23日 在上海新国际博览中心（浦东新区龙阳路2345号）拉开帷幕。展会同期在新国际展览中心N1馆将有一个名为Innolab的主题活动，安东帕将举办2016年全新上市的LitesizerTM 500纳米激光粒度仪的产品宣讲会。届时，安东帕将为大家呈现激光粒度仪的用途，竞争优势，参数以及应用，欢迎大家莅临现场。宣讲会时间：6月23日（周四）上午 10：00-10：20宣讲会地点：Innolab会议活动区 N1A96凡是6月23日上午10点参加LitesizerTM500新品宣讲会（N1馆A96）的客户，在宣讲会结束后可以领取精美礼品一份。创新是安东帕公司最核心的价值所在，聚焦于专业市场，继材料表征、表面力学测试之后，安东帕又研发出了一款精确而巧妙的测量仪器。2016年4月，安东帕纳米粒度及Zeta电位分析仪，LitesizerTM500全新上市——只需按下按钮即可进行颗粒分析。LitesizerTM500是用于表征溶液中分散的纳米颗粒以及亚微米颗粒的仪器。它可通过测量动态光散射 (DLS)、电泳光散射 (ELS) 和静态光散射 (SLS) 来测定颗粒尺寸、zeta 电位和分子量。LitesizerTM500采用先进算法及尖端zeta电位测量专利技术连续测量透光率以选择最佳样品测试参数静态光散射（SLS）测量分子量，快速无损DLS颗粒分析法–在单一悬浮液中不同颗粒尺寸的测量问题可轻松解决 ELS专利技术：cmPALS，采用新型专利（欧洲专利 2 735 870）cmPALS技术，zeta电位测量的准确性达到最高，所需时间降到最少一页式的工作流程，为您减轻实验室负担：LitesizerTM500的一大亮点是其简单而巧妙的软件。我们已创建了可将输入参数、结果和分析集中到单个页面上的一页式工作流程：您可以在数秒内完成试验设置，只需简单按键即可得出所需的分析结果和报告。不断的创新为使用者提供最佳的分析解决方案，可广泛应用于实验室质量控制、质量控制部门以及其他粒度分析领域。

p　strong　各有关单位：/strong/pp　　由全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC279)归口的国家推荐性标准GB/T 33252-2016《纳米技术 激光共聚焦显微拉曼光谱仪性能测试》已于2016 年12 月13 日发布，并于2017 年7 月1 日起实施。GB/T 36063-2018《纳米技术 用于拉曼光谱校准的标准拉曼频移曲线》已于2018 年3 月15 日发布，并将于2018 年10 月1 日起实施。两项标准均为首次制定实施，对拉曼光谱仪器结构、测试方法、校准方法等做了详细规定。/pp　　拉曼光谱技术广泛应用于纳米科技、生物、半导体、考古、宝石及司法鉴定等领域。拉曼光谱测试结果的准确性、一致性是国内/国际间科研交流、对等贸易等不可或缺的坚实基础。同时仪器性能的标准化能够大大助力我国拉曼光谱仪器产业的质量提升，增强国产仪器的市场竞争力。/pp　　为了满足标准使用相关方的实际需求，进一步深化对标准的解读，解答标准使用过程中的疑问，保证标准的有效实施和利用，同时促进标准制定方、仪器制造方和仪器使用方三方的有效合作，由中国计量科学研究院(以下简称：中国计量院)主办的“GB/T 33252-2016《纳米技术 激光共聚焦显微拉曼光谱仪性能测试》等国家推荐性标准宣贯会”拟定于2018 年9 月10 日在湖北省武汉市举办。届时将邀请标准主要起草人及相关专家对标准技术细节进行详细解读。欢迎相关产业、检测机构、仪器厂商技术主管和技术人员参会，就拉曼光谱的生产、使用及国家标准的有效实施进行交流，促进拉曼光谱在更广泛领域的普及和发展。/pp　　同时，将于9 月11 日至13 日召开“国家质量基础设施建设助力质量提升”学术研讨会暨CSTM/FC00 领域委员会及纳标委WG5 工作组2018 年度会议(CSTM/FC00 领域委员会简介见附件1)，届时将邀请相关单位领导和专家围绕“国家质量基础设施建设助力质量提升”的主题展开深入探讨，欢迎有关专家学者参会。同时，将召开由CSTM/FC00 领域委员会归口承担的《标准编制说明编写指南》等4 项团体标准的审查会和新标准立项会，欢迎有意向的专家或单位参与标准的制定工作。/pp　　会议事项通知如下：/pp　strong　一、时间和地点/strong/pp　　会议时间：2018 年9 月9 日注册报到，9 月10 日宣贯会议/pp　　会议地点：武汉 东湖开发区 二妃山庄 晴川厅会议室/pp　　地址：武汉东湖高新技术开发区高新大道666 号(光谷生物城内)/ppstrong　　二、宣贯内容/strong/pp　　1、拉曼光谱的基本原理与应用介绍 /pp　　2、国家标准GB/T 33252-2016《纳米技术 激光共聚焦显微拉曼光谱仪性能测试》宣贯 /pp　　3、拉曼光谱仪的校准与溯源 /pp　　4、国家标准GB/T 36063-2018《纳米技术 用于拉曼光谱校准的标准拉曼频移曲线》宣贯。/pp　strong　三、考核与发证/strong/pp　　培训结束后，由中国计量科学研究院颁发培训证书。该证书可作为继续教育的证明。/pp　strong　四、培训费用/strong/pp　　培训费：1500 元/人，包括讲义、标准复印件、培训证书。/pp　　请将培训费于培训前7 天电汇到中国计量科学研究院账户，汇款/pp　　信息如下：/pp　　账户名：中国计量科学研究院/pp　　开户行：交通银行北京分行和平里支行/pp　　账号：110060224018010008693/pp　　行号：301100000074/pp　　电话：010-64524304/pp　　银行汇款时，请备注“2018 拉曼宣贯会+姓名”字样，并详细填span style="TEXT-ALIGN: center"写参会回执(附件2)中的开票信息。/span/pp style="TEXT-ALIGN: center"img title="QQ截图20180906104247.jpg" style="HEIGHT: 701px WIDTH: 600px" border="0" alt="QQ截图20180906104247.jpg" src="https://img1.17img.cn/17img/images/201809/uepic/0ff14588-62c6-481b-8186-8894a9edc2bc.jpg" width="600" height="701"//ppstrong　　附件：/stronga title="附件2. 宣贯会参会回执(1).docx" style="FONT-SIZE: 12px COLOR: rgb(0,102,204)" href="https://img1.17img.cn/17img/files/201809/attachment/195c21ad-4283-42f8-8268-18dc4ce79a19.docx"br/strong　　/strong/astrong/stronga title="附件1. CSTM-FC00领域委员会简介(1).pdf" style="FONT-SIZE: 12px COLOR: #0066cc" href="https://img1.17img.cn/17img/files/201809/attachment/a53999e4-b632-4c8c-96f0-dd03b1a5b066.pdf"strong附件1. CSTM-FC00领域委员会简介.pdfbr/　　附件2. 宣贯会参会回执.docxbr/　　/strong/astrong/stronga title="附件3. 酒店交通(1).pdf" style="FONT-SIZE: 12px COLOR: #0066cc" href="https://img1.17img.cn/17img/files/201809/attachment/3fd0e349-9265-4ae7-a1dc-8d4930209fd6.pdf"strong附件3. 酒店交通.pdf/strongbr//a/p

当地时间1月19日，Lumentum和Coherent共同宣布，双方已经达成一项协议，Lumentum将以价值57亿美元的现金和股票交易方式收购Coherent。目前该协议已经获得双方董事会的一致批准。根据该协议条款，Coherent的股东每股将获得100.00美元的现金和1.1851股Lumentum普通股。交易结束时，预计Coherent股东将拥有合并后公司约27％的股份，该交易有望在今年下半年完成。两家公司的合并将Coherent领先的光子学和激光业务，包括微电子、精密制造、仪器仪表和航空航天及国防市场，与Lumentum领先的电信、数据通信和3D传感业务相互结合，诞生一家规模更大，市场应用范围更广，多元化的光子技术公司。同时也将加速Lumentum向通信和3D传感应用以外的100多亿美元的激光和光子学市场渗透。新公司强大的研发引擎将使拥有独特功能的光子学加速市场当前与未来的创新，更好地满足全球客户对光子技术日益增长的需求，以实现重要的终端市场转型，包括数字虚拟化转变、5G无线发展、先进的生物仪器、高端微电子产品以及下一代消费电子设备、平板和OLED显示、通信设备、电动和自动驾驶汽车以及储能的新材料。Coherent总裁兼CEO Andy Mattes表示：“我们对Lumentum和Coherent这两家光子学领域的标志性品牌的结合感到兴奋。双方互补的产品组合，客户应用的洞察以及研发能力，将加速我们的光子技术在众多市场的创新和商用。很高兴将Coherent在OLED显示器制造、半导体晶圆检测和生命科学仪器等方面的优势带到Lumentum的产品组合中。我们相信Lumentum在光子元件和系统方面的专业知识和规模，将加速Coherent的垂直整合，在几个高增长的潜在市场占据一席之地，例如国防领域、汽车精密电池焊接等。”Lumentum总裁兼CEO Alan Lowe也表示了本次合并体现了Lumentum战略贯彻的进步，也很高兴与Coherent携手打造世界上最大、最多元化的光子技术公司之一，在持续发展的光子市场中保持领先地位，同时也对未来充满希冀。

本文作者：清华大学张书练教授1. 激光干涉仪的发展史做衣量身、体检量高都由尺子完成，这些日常的尺子的刻度是毫米。机械零件加工和检验都要用尺子，在机械制造企业，卡尺、千分尺随处可见，其精确度是0.1 μm，1 μm。1887年迈克尔逊（Michelson）和莫雷（Morley）研究以太[1]是否存在，使用了光。他们以光波长作尺子刻度测量了水平面和垂直面的光速之差，第一次否定了以太的存在。他们利用的是光的干涉现象，这就是光学干涉仪的诞生。注[1]：根据古代和中世纪科学，以太被称为第五元素，是填充地球球体上方宇宙区域的物质。以太的概念在一些理论中被用来解释一些自然现象，例如光和重力的传播。19世纪末，物理学家假设以太渗透到整个空间，以太是光在真空中传播的介质，但是在迈克尔逊-莫利实验中没有发现这种介质存在的证据，这个结果被解释为没有光以太存在。1961年研究人员发明了氦氖激光器，开始用氦氖激光器作为迈克尔逊干涉仪的光源，从而诞生了激光干涉仪。图1是迈克尔逊干涉仪简图。迈克尔逊干涉仪是普通物理的基本实验之一。但今天在科学研究和工业中应用的激光干涉仪出于迈克尔逊，但性能远远胜于迈克尔逊。图1 迈克尔逊干涉仪简图基本上，激光干涉仪都使用氦氖激光器的632.8 nm波长的光，橙红灿烂的光束射向远方，发散角可以小到0.1 mrad，光束截面的光斑均匀。氦氖激光器还可输出绿光、黄光、红外光，但只有632.8 nm波长的光适合作激光干涉仪的光源。其它类型的激光器，如半导体（LD）、固体激光器等的相干等性能都远不及氦氖激光器，研究人员多有尝试，但都没有成功。激光干涉仪有很多应用，但本质都是测量中学课本讲的“位移”，诸多应用都是“位移”的延伸和转化。激光干涉仪有两个主流类型：单频激光干涉仪和双频激光干涉仪。单频干涉仪能做的双频激光干涉仪都能做，但双频干涉仪能做的单频干涉仪不见得能做。由于历史、技术和商业原因，两种干涉仪都有着广泛应用。但在光刻机上，双频激光干涉仪独占市场。单频干涉仪不需要对市场上的氦氖激光器进行改造，直接可用。但双频激光干涉仪用的激光器需要附加技术使其产生双频（两个频率）。历史上，双频激光干涉仪测量位移的速度不及单频激光干涉仪，自发明了双折射-塞曼双频激光器，双频激光干涉仪的测量速度也达到每秒几米，与单频激光器看齐了。按产生双频的方法，双频激光干涉仪分为塞曼双频激光（国外）干涉仪和双折射-塞曼双频激光（国内）干涉仪。现在干涉仪的指标：最小可感知1 nm（十亿分之1 m），可以测量百米长的零件，且测量70 m长的导轨误差仅为几微米。2. 测量位移的干涉仪和测量表面的干涉仪？有几个概念的定义比较混乱（特别是有些研究发展趋势的报告），需要注意。一是“激光测距”和“激光测位移”没有界定，资料往往鹿马不分。二是不少资料所说“激光干涉仪”实际上包含两种不同的仪器，一种是测量面型（元件表面）的激光干涉仪，一种是测量位移（长度）的激光干涉仪。如海关的统计和一些年度报告往往混在一起。激光测距机发出的激光束是一个持续时间纳秒的光脉冲，利用光脉冲达到目标和返回的时间之半乘以光速得到距离，完全和光的干涉无关。尽管激光波面干涉仪和测量位移（长度）的干涉仪都是利用光干涉现象，但仪器的设计、光路结构、探测方式、应用场合几乎没有共同之处。激光波面干涉仪能够测量光学元件表面的形貌，光束直径要覆盖被测零件，在整个零件表面形成系列干涉条纹，根据测量条纹的亮度（也即相位）算出表面的形貌，其光束口径、零件直径可达百毫米；另一种则是测量位移（长度）干涉仪，光干涉发生在直径几毫米光路上，表现为只有光电探测器（眼睛）正对着射来的光线才能“看”到光强度的波动，由波动的整次数和（不足半波长的）小数算出被测件的位移。 3. 双频激光干涉仪的原理和构成当图1的可动反射镜有位移时，光电探测器光敏面会感受到的光强度正弦变化，动镜移动半个波长，光强变化一个周期。光电探测器将光强变化转化为电信号。如探测到电信号变化了一个周期，我们就知道动镜移动了半个波长。计出总周期数测得动镜的位移。 （1）式中：λ为激光波长，N 为电脉冲总数。今天的激光干涉仪使用632.8 nm波长的激光束，半波长即316.4 nm。动镜安装在被测目标上与目标一起位移，如光刻机的机台，机床的动板上。为了提高分辨力，半波长的正弦信号被细分，变成1 nm甚至0.1 nm的电脉冲，可逆计数器计算出总脉冲数，再由计算机计算出位移量S。也常用下式表示动镜的位移， （2）其中∆f为目标运动速度为V时的多普勒频移。式（1）和（2）是等价的，可以互相推导推出来，仅是表方式的不同。图2是今天的双频激光干涉仪框图。它由7个部分构成。图2 双频激光干涉仪原理框图（1） 双频氦氖激光器氦氖激光器上有磁体。磁体为筒形，激光器上加的是纵向磁场，称为纵向塞曼双频激光器。四分之一波长（λ/4）片把激光器输出的左旋和右旋光变成偏振态互相垂直的线偏振光。前文所说的双折射-塞曼双频激光器则是在激光器内置入双折射元件（图内未画出），并加图2所示的磁条。双折射元件使激光器形成双频，横向磁场消除两个频率之间的耦合。双折射-塞曼双频激光干涉仪不需使用四分之一波长片。双频激光器是双频激光干涉仪的核心，很大程度上，它的性能决定激光干涉仪的性能，要求波长（频率）精度高，功率大，寿命长，双频间隔（频差）大且稳定，偏振状态稳定，两频率之间不偏振耦合。这一问题的解决是作者较突出的贡献之一。（2） 频率稳定单元它的作用是保证波长（频率）这把尺子的精确性，达到10-8甚至10-9，即4.74×1014的激光频率长期的变化仅1 MHz左右。（3） 扩束准直器实际上是一个倒装的望远镜，防止光束发散。要求激光出射80 m，光束光斑直径仍然在10 mm之内。（4） 测量干涉光路测量干涉光路包括：从分光镜向右直到可动反射镜（实际是个角锥棱镜），向下到光电探测器2。可动反射镜装在被测目标上（如光刻机工作台上的反射镜），目标的移动产生激光束的频移Δf，Δf和目标速度成正比，积分就是目标走过的距离（位移或长度）。积分由信号处理单元完成。（5） 参考光路参考光路由分光镜-偏振片-光电探测器1实现，参考光路中没有任何元件移动，它测得的位移是“假位移”真噪声。噪声来自环境的扰动。信号处理单元从干涉光路的位移中扣除这一噪声。（6） 温度和空气折射率补偿单元干涉仪测量的目标位移可能长达百米，空气折射率（及改变）和长度的乘积成为激光干涉仪的最主要误差来源之一。用传感器测出温度、气压、湿度，信号处理单元计算出空气折射率引入的假位移，并从结果中扣除。（7）信号处理单元光电探测器1和2，分别把信号f1-(f2±∆f)和f1-f2的光束转化为电信号，±∆f是可动反射镜位移时因多普勒效应产生的附加频率，正负号表示位移的方向。电信号经放大器、整形器后进入减法器相减，输出成为仅含有±Δf的电脉冲信号。经可逆计数器计数后，由电子计算机进行当量换算即可得出可动反射镜的位移量。环境温度，气压，湿度引入的折射率变化（假位移）送入计算机计算，扣除他们的影响。最后显示。相当多的应用要求计算机和应用系统通讯，实现对加工过程的闭环控制。4. 激光干涉仪的应用一般说来，激光干涉仪的主要用途是测量目标的运动状态，即目标的线性位移大小、旋转角度（滚转、俯仰和偏摆）、直线度、垂直度、两个目标在运动的平行性（度）、平面度等。无论光刻机的机台，还是数控机床的导轨（包括激光加工机床），不论是飞行物，还是静止物的热膨胀、变形，一旦需要高精度，都要用激光干涉仪测量，得到目标的运动状态。运动状态用由多个参数给出。以光刻机两维运动中的一个方向运动时为例，位移（走过的长度）、机台位移过程中的偏 转（ 角 ）、俯仰 （ 角 ）和滚转（角）都需要测出。很多类型的设备需要测量，如各类机床、三坐标测量机、机器人、3D打印设备、自动化设备、线性位移平台、精密机械设备、精密检测仪器等领域的线性测量。图3（a）（b）（c）（d）（e）是几个应用的例子。美国LIGO激光干涉仪实验室宣称首次直接测量到了引力波(2016)，使用的仪器是激光干涉仪，单程臂长4 km。见图4。图3 激光干涉仪几个应用的例子来源：(a)(b)(c)由北京镭测科技有限公司提供，(d)(e)来自深圳市中图仪器股份有限公司网页图4 LIGO激光干涉仪来源：https://www.ligo.caltech.edu/image/ligo20150731c 5. 双频激光干涉仪发展存在的问题（1）国内外单频和双频激光干涉仪的进展及问题多年来，国内外在单频和双频激光干涉仪方面进步不大，特例是双折射-塞曼双频激光器的发明。由于从国外购买的激光器不能产生大间隔的双频光，原有国内双频激光干涉仪的供应商基本停产。以前作为基础研究的双折射-塞曼双频激光器被推到前台。双频激光器是干涉仪的核心技术，走在了世界前端，也解决了国内无源的重大难题。北京镭测科技有限公司的开发、纠错，终于使双折射-塞曼双频激光干涉仪实现产品化，进入先进制造全行业，特别是光刻机。北京镭测科技有限公司双折射-塞曼双频激光器达到指标：频率间隔可在1 ~ 30 MHz之间选择，功率可达1 mW。 频率差与激光功率之间没有相互影响，没有塞曼效应的双频激光器高功率和大频率差不能兼得的缺点。尽管取得进展，但氦氖激光器的制造工艺等是个系统性技术问题，需要全面改善。特别是，国外双频激光干涉仪的几家企业的激光器都是自产自用，不对外销售，因此，我们必须自己解决问题。（2）业界往往忽略干涉仪的非线性误差很长时期以来，业界认为单频干涉仪没有非线性误差。德国联邦物理技术研究院(PTB) 经严格测试发现，单频干涉仪也存在几纳米的非线性误差，甚至大于10 nm。塞曼效应的双频干涉仪也有非线性误差，也是无法消除。对此干涉仪测量误差，大多使用者是不知情的。到目前，中国计量科学院的测试得出，北京镭测科技生产的双频激光干涉仪的非线性误差在1 nm以下。建议把中国计量科学院的仪器批准为国家标准，并和德国、美国计量院作比对。非线性误差发生在半个波长的位移内，即使量程很小也照样存在。图5 中国计量科学研究院：镭测LH3000双频激光干涉仪在进行测长比对6. 双频激光干涉仪的未来挑战本文作者从事研究双折射-塞曼双频激光器起步到成批生产双折射-塞曼双频激光干涉仪，历经近40年，建议加强以下研究。（1）高测速制造业的发展很快，精密数控机床运动速度已达几m/s，有特殊应用提出达到10 m/s的要求。目前单频激光的测量速度还没有超过5 m/s。双折射-塞曼双频激光干涉仪的测速也处于这一水平，但其频率差的实验已经达到几十MHz，有待信号处理技术的跟进发展，实现10 m/s以上的测量速度。（2）皮米干涉仪市场上的干涉仪基本都标称分辨力1 nm，也有0.1 nm的广告。需要发展皮米分辨力的激光干涉仪以满足对原子、病毒尺度上的观测要求。（3）溯源前文已经提到，小于半波长的位移是把正弦波动信号电子细分得到标称的1 nm，和真实的1 nm相差多少？没有人知道，所以需要建立纳米、皮米的标准。作者曾做过初步努力，达到10 nm的纯光学信号，还需做长期艰苦的研究。（4）提高氦氖激光器寿命在未来很长一段时间，氦氖激光器仍然是激光干涉仪最好的光源，但其漏气的特点导致其使用寿命有限，替换寿命终结的氦氖激光器导致光刻机停机，会带来巨大经济损失。因此，延长氦氖激光器寿命十分有必要。没有测量就没有科学技术，没有精密测量就没有当今的先进制造，为此作者最近出版了题名《不创新我何用，不应用我何为：你所没有见过的激光精密测量仪器》的书籍，书的主标题似是铭志抒怀，而实际内容是一本地道的学术专著，书籍内容为作者的课题组近40年做出的创新成果总结。作者简介张书练，清华大学教授，博导。曾任清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室主任，清华大学光学工程研究所所长，主要研究方向为激光技术与精密测量，致力于激光器特性的研究和把这些特性应用于精密测量，是国内外正交偏振激光精密测量领域的的主要创始人。

p　　激光粒度仪是专指通过颗粒的衍射或散射光的空间分布来分析颗粒大小的仪器。现在许多用户在市场上挑选激光粒度仪的时候，都感到非常为难，因为一方面对激光粒度仪的了解不太多 另一方面市场上鱼龙混杂，各个厂家都说自己的粒度仪是最好的，不知听谁的好。/pp　　挑选激光粒度仪首先要十分注重仪器的准确度和重复性。分辨是否只要用亚微米的标准颗粒测试一下就可分辨 粒度范围宽，适合的应用广，最好的途径是全范围直接检测，这样才能保证本底扣除的一致性。不同方法的混合测试，再用计算机拟合成一张图谱，肯定带来误差。激光粒度亿一般选用2mW激光器，功率太小则散射光能量低，造成灵敏度低 另外，气体光源波长短，稳定性优于固体光源。/pp　　在挑选激光粒度仪还要要了解其分散方式是怎样的，一个样品要得到一个客观的测试结果，只有分散的好，才能测出正确的结果。最后要检查激光粒度仪的检测器，因为激光衍射光环半径越大，光强越弱，极易造成小粒子信/噪比降低而漏检，所以对小粒子的分布检测能体现仪器的好坏。/pp　　原帖链接：http://bbs.instrument.com.cn/topic/3443446/p

p style="text-align: justify text-indent: 2em "对于科学仪器行业来说，招标采购是重要的成交渠道，激光粒度仪也不例外。虽然招标采购显示的数据并非激光粒度仪市场的全貌（特别对工业客户覆盖较少），但是从中依然能看出一些行业领域及市场变动的端倪，特别是对激光粒度仪在科研领域的市场分布有相当的参考价值。值此年中之际，仪器信息网特推出2019年激光粒度仪上半年中标盘点，从网络公开招标平台整理汇总近百条激光粒度仪中标信息，分析汇总，以飨读者。根据以往经验来说进口高价位的激光粒度仪是中标市场的主流，制药、石化、食品、环保等领域需求旺盛，那么在2019年上半年，激光粒度仪的中标盘点有呈现怎样的态势？商机何在？/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strong兴农战略热需旺盛中回落/strong /pp style="text-align:center"strongimg style="max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 300px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201907/uepic/039048f9-5b36-416b-a087-dfec26ab8bca.jpg" title="1.png" alt="1.png" width="500" height="300" border="0" vspace="0"//strong/pp style="text-align: center text-indent: 0em "strong激光粒度仪上半年招标单位类型分布/strong/pp style="text-indent: 0em text-align: center "strongimg style="max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 345px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201907/uepic/229bcb98-836d-4ae2-83f9-825384ba04e0.jpg" title="2.png" alt="2.png" width="500" height="345" border="0" vspace="0"//strong/ppbr//pp style="text-align: center text-indent: 0em "strong激光粒度仪上半年招标单位研究领域分布/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "从单位类型的角度看，大专院校和科研院所仍然是绝对的主流，占比近8成，爆出的政府测试机构和企业研发/检测中心的采购需求相当，在13%左右。行业角度看前五名中制药/医疗、环保/水工业、石油/化工，食品都是激光粒度仪市场近年来需求旺盛的传统行业，值得注意的是2019年以来农业方面研究的需求异常旺盛，已经冲到前三名的位置。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "究其可能性，兴农战略的政策红利或许是重要刺激因素。2019年和2020年是我国去前面建成小康社会的决胜期，“三农”问题被定为全党工作的重中之重。从具体的政策方面来说，深入推进优质粮食工程的计划就给了激光粒度仪采购很大的发展空间，粮食的口感、吸收性、流动性等性能与其粒度及粒度分布情况息息相关，打造优质粮食，粒度分析势必可以在质检领域添砖加瓦。另外，实施婴幼儿配方奶粉提升行动、实施农产品质量安全保障工程等政策的相继出台也让农业研究更加向着精细化的领域迈进。随之而来的，静态光散射法激光粒度仪、纳米及zeta电位分析仪、喷雾激光粒度仪等相关仪器都迎来了更广阔的应用空间。然而在最近的5-6月份，农业领域的科研单位采购激光粒度仪的需求有所回落，下半年的走势如何，仍然需要进一步观望。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strong北广领衔 四川各大学中高价位采购齐发力 /strong/pp style="text-align:center"strongimg style="max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 282px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201907/uepic/e3f21c09-a46f-406b-9627-a49412e0f652.jpg" title="3.png" alt="3.png" width="500" height="282" border="0" vspace="0"//strong/pp style="text-align: center text-indent: 0em "strong激光粒度仪上半年招标单位地域分布/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "从地域分布的角度来看，共有26个省份、自治区及直辖市在2019年上半年出现了采购激光粒度仪的行为，其中北京、广东、四川、山东排在前四位。其余各省分布较为平均。其中四川的大专院校采购需求在3-4月份较为突出，四川大学、四川师范大学、西南民族大学等都有一至多台的激光粒度仪中标信息爆出。/pp style="text-align:center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 299px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201907/uepic/8aea56e5-7778-48c6-bd83-f1a747b82025.jpg" title="4.png" alt="4.png" width="500" height="299" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center text-indent: 0em "strong2019年上半年激光粒度仪中标价位分布/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "2019年上半年在激光粒度仪科研市场，40万以上高价位激光粒度仪占比40%，30-40万中高价位激光粒度仪和10-30万的中档价位激光粒度仪分别占比26%和21%，10万以下激光粒度仪占比尽在12%。这也符合激光粒度仪中标分析主要反映科研领域用户需求的预期。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "其中上文提到的，四川各高校采购的激光粒度仪，都为中高档价位或高档价位。许明年的春天，各大负责中高价位激光粒度仪销售的厂商负责人可以将四川各高校列在重点关注的榜单上。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strong中标榜：马尔文帕纳科、麦奇克、丹东百特居前三/strong/pp style="text-align:center"strongimg style="max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 295px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201907/uepic/5b556801-5092-41f5-9eea-d8769cc6b0b2.jpg" title="5.png" alt="5.png" width="500" height="295" border="0" vspace="0"//strong/pp style="text-align: center text-indent: 0em "strong2019上半年激光粒度仪进口、国产中标占比分布/strong/pp style="text-align:center"strongimg style="max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 336px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201907/uepic/c2d1a117-6398-416b-aba9-8e8b48788a7d.jpg" title="6.png" alt="6.png" width="500" height="336" border="0" vspace="0"//strong/pp style="text-align: center text-indent: 0em "strong2019上半年激光粒度仪各品牌中标占比分布/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "在2019年上半年的激光粒度仪的中标市场上，进口品牌占比约78%，国产品牌占比约22%。具体到各激光粒度仪制造商，马尔文帕纳科、麦奇克和丹东百特包揽了激光粒度仪中标市场上半年的前三甲。新帕泰克、美国PSS、济南微纳、贝克曼库尔特等处于第二梯队，详情如上图所示。/pp style="text-align:center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201907/uepic/b9f33be8-8152-4398-95f3-1b71ea65605d.jpg" title="7.jpg" alt="7.jpg"//pp style="text-align: center text-indent: 0em "strong马尔文智能激光粒度仪Mastersizer 3000/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "马尔文帕纳科是激光粒度仪行业传统的领军企业之一，其仪器在工业和科研领域都有广泛的需求，2019年，马尔文帕纳科被母公司思百吉集团正式升级为三大业务平台之一，集团收购的生命科学公司CLS也被并入麾下，百尺竿头更进一步。2019年上半年马尔文帕纳科中标最多的仪器型号为Mastersizer3000，该仪器量程宽达0.01至3500微米而无需更换透镜，采用全密封防尘光路设计，同时加持了同轴式红蓝双光源技术，即使是分布极宽的样品也能精准测量。/pp style="text-align:center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201907/uepic/8dd423df-6444-4f4d-a299-b6bbaca06937.jpg" title="8.jpg" alt="8.jpg"//pp style="text-align: center text-indent: 0em "strong麦奇克S3500系列激光粒度分析仪/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "麦奇克在2019年上半年正式被弗尔德集团收购，其产品仍然由大昌华嘉代理。据悉大昌华嘉和弗尔德集团将达成更深层的合作，而两大巨头在供应链上的资源优势，让麦奇克在未来值得更多的期待。在2019年上半年的中标市场，麦奇克的S3500成为最受欢迎的型号之一。据相关负责人介绍，该仪器采用专利的Tri-Laser激光系统，消除了不同波长光源对颗粒散射光分布“连接点”的影响和多次米氏理论（Mie Theory）数学处理的误差。仪器具有151个探测器，并引进“非球形”颗粒概念对米氏理论计算的校正因子，在准确性上值得称道。/pp style="text-align:center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201907/uepic/eeb50815-8b77-4759-90f5-d1272e287c68.jpg" title="9.jpg" alt="9.jpg"//pp style="text-align: center text-indent: 0em "strongBettersize2600激光粒度分布仪/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "丹东百特是近年来增长势头最旺盛的国产激光粒度仪制造企业之一，其产品近两年开箱合格率高达100%，平均无故障运行时间超过1000天。2018年公司销售额过亿，总经理董青云新晋荣获辽宁省优秀企业家称号，其激光粒度仪Bettersize2600在2019年上半年刚刚通过了中国颗粒学会专家的鉴定，被认为达到国际先进水平。其发明专利的单光束单镜头正反傅里叶光学系统实现了近全角度的信号探测，提升了测量准确性。仪器同时具备的样品复配以及折射率测量等功能也广受各方用户的欢迎。/p

锂离子电池产业作为我国“十二五”和“十三五”期间重点发展的新材料、新能源、新能源汽车三大产业中的交叉产业，国家出台了一系列支持锂离子电池产业发展的支持政策，直接带动了我国锂离子电池行业的持续高速增长。为了规范锂离子电池行业的健康稳健发展，国家相关部门先后制订了涉及到锂离子电池全产业链的相关行业标准，而相关电池材料的粒度分布检测就是其中一项重要检测指标。下面，我们看一看这些行业标准对粒度分布的相关规定。锂离子电池材料粒度分布要求电池材料的粒度分布影响电池材料的物理性能及电化学性能，进而影响锂离子电池的容量、能量密度、充放电性能、循环性能及安全性能等。在锂离子电池材料中，需要检测粒度的粉体材料主要有正极材料及原材料、负极材料及原材料、导电添加剂、电解质、隔膜涂覆材料。正负极材料正极材料颗粒的粒径越小，越有利于Li+的嵌入和脱嵌，有利于提升锂离子电池的倍率性能；同时，粒径越小的材料首次容量越高。但是，粒径越小的材料比表面积越大，颗粒表面能升高，易团聚并与电解液发生副反应，电池内阻升高，充放过程中会积聚过多能量，温度升高，从而导致安全隐患；同时，粒径越小的材料不可逆容量增加，降低电池的循环性能。如果材料中混入少数超大颗粒，会导致在极片生产过程中出现划痕、断带现象，严重影响产品质量。粒径较小的负极材料具有较大的首次容量，但不可逆容量也较大；随着粒径增大，首次充放电容量降低，不可逆容量减少。同时，粒径越小的颗粒，越有利于Li+的嵌入和脱嵌，有利于提升电池的倍率性能。如果材料中混入少数超大颗粒，会导致在极片生产过程中出现划痕、断带现象，严重影响产品质量。正极材料和负极材料原料的颗粒的粒径大小影响到正极材料和负极材料的生产工艺控制及成品性能。比如，三元前驱体的粒度影响三元材料的煅烧时间及晶粒大小一致性。粒径越小的前驱体煅烧时间越短；粒径分布越窄的前驱体，煅烧时热量从材料表面传导到材料中心的时间一致性越高，晶粒生长时间一致性越高，晶粒大小一致性也越高。碳酸锂作为正极材料的锂源材料，粒度大小对正极材料的生产工艺和性能也有着重大影响。导电添加剂导电添加剂颗粒的粒径太小，容易发生团聚，不能与活性物质充分接触，导致导电作用降低；如果粒径太大，导电添加剂颗粒不能嵌入到活性物质中，同样会降低导电添加剂的导电作用。如果材料中混入少数超大颗粒，会导致在极片生产过程中出现划痕、断带现象，严重影响产品质量。对于电解液的电解质来说，电解质颗粒大小越均匀，电解液性能的一致性越好。电解液作为锂离子电池的血液，承担着运输锂离子的重任，质量的好坏直接影响锂离子电池的电化学性能，并很大程度上影响锂离子电池的安全性能。涂覆隔膜涂覆隔膜是在基膜的单面或双面涂覆一层氧化铝、二氧化硅等粉体无机材料，从而提升隔膜的高温性能、穿刺强度、亲液性能等。涂覆材料粒度大小及分布对涂覆隔膜的性能起着决定性的作用。以最常用的氧化铝涂覆隔膜为例，一般采用亚微米级别的α相氧化铝材料，颗粒大小适中且粒度均匀的氧化铝能很好地粘接到隔膜表面，不会堵塞膜孔，成孔均匀，能够提高隔膜的耐高温性能和热收缩率，能够改善隔膜对电解液的亲和性，同时保持较好的机械性能，从而提高锂电池的安全性能。氧化铝涂层的粒径越大，隔膜的厚度会增加，隔膜的化学性能会迅速下降。综上所述，粒度分布测试已成为提升锂离子电池性能的重要检测手段，选择一款高性能的激光粒度分析仪就成为了研发机构、材料生产厂家、电芯生产厂家的共同需求。一款好的激光粒度分析仪应该具备良好的测试结果的真实性、重现性、分辩能力、易操作性等。测试结果的真实性是指测试结果能够反映颗粒的真实大小，尽管粒度测量不宜引用“准确性”这一指标，但这并不意味着测量结果可以漫无边际地乱给。测试结果的真实性是激光粒度分析仪最根本的分析性能，如果没有测试结果的真实性做基础，仪器的重复性、重现性等其它性能就失去了讨论的意义。测试结果的重现性是指将同一批样品多次取样的测试结果的重复误差，误差越小，表示重现性越好。重现性的好坏取决于仪器获取光能分布数据的稳定性、对杂散光的控制能力、对中精确度、光源和背景的稳定性、进样器的分散性能等。只有具备良好重现性的仪器才能对测试样品的粒度分布进行可靠的评价，有利于用于多个样品之间差异的准确识别。激光粒度分析仪的分辨能力指的是仪器对样品不同粒径颗粒的测量分辨能力以及对给定粒度等级中颗粒含量的微小变化识别的灵敏程度。一般来说，除了影响重现性的因素外，散射光能分布角度和光强的获取，低背景噪声的光学电子设计，高精度的模数转换及反演计算水平都对仪器的分辨能力有较大影响。只有高分辩能力的仪器才能准确识别测试样品的细微粒径变化。激光粒度分析仪的原理结构激光粒度分析仪的易操作性是指操作简单、故障率低、易于日常维护保养。如果仪器的易操作性不高，即便有良好的测试性能，也不能高效满足用户的测试需求。Topsizer激光粒度分析仪和Topsizer Pus激光粒分析仪就是这样两款在锂离子电池行业被广泛应用的高性能激光粒度分析仪。量程宽、重现性好、分辨能力强、自动化程度高、故障率低等优异性能保证了测试结果和分析能力，而且与国内外、行业上下游黄金标准保持一致，不仅为用户节省了方法开发和方法转移上的时间和成本，更重要的是可以避免粒径检测不准带来的经济损失和风险，无论在产品研发、过程控制还是质量控制上，都能够为用户带来真正的价值。● 测试范围：0.02-2000μm（湿法），0.1-2000μm（干法）● 重复性：≤0.5%（标样D50偏差）● 准确性：≤±1%（标样D50偏差）● 测量速度：常温测量10秒内完成欧美克Topsizer激光粒度分析仪Topsizer激光粒度分析仪是珠海欧美克仪器有限公司于2010年被英国思百吉集团全资收购后，利用思百吉集团的全球资源全新打造的旗舰产品，具有量程宽、重现性好、精度高、测试结果真实、自动化程度高等诸多优点，真正站在了当前粒度检测领域的前沿。● 测试范围：0.01-3600μm（湿法），0.1-3600μm（干法）● 重复性：≤0.5%（标样D50偏差）● 准确性：≤±0.6%（标样D50偏差）● 测量速度：常温测量10秒内完成欧美克Topsizer Plus激光粒度分析仪Topsizer Plus激光粒度分析仪是继广受赞誉的Topsizer 后，作为马尔文帕纳科的全资子公司，珠海欧美克仪器有限公司推出的又一款高端粒度分析仪器。该仪器引入了国际先进的光学设计，结合欧美克近30年的技术积累，采用全球化的供应链体系，使激光衍射法的测试范围达0.01-3600um。Topsizer Plus保持了Topsizer量程宽、重复性好、分辨力高、真实测试性能强和智能化程度高等优点，通过进一步提升光学设计、硬件和反演算法，拓展了其测试范围以及实际测试性能，代表了当前国产激光粒度仪的技术水平。

p style="text-indent: 2em "编者按：谈到粒度，激光粒度仪怎能缺席？目前，在各行各业的粒度检测领域，激光粒度仪应用广泛。从传统的石油化工、建材家居，到制药、食品、环保，甚至在新兴的锂电、半导体、石墨烯等行业，都能看到激光粒度仪活跃的身影。/pp style="text-indent: 2em "那么激光粒度仪在粒度检测中到底是怎样应用的呢？我国颗粒学泰斗专家周素红研究员的论述，无疑将给我们带来启示……/pp style="text-indent: 2em "strong专家观点：/strong/pp style="text-indent: 2em "激光粒度分析方法是近年来发展较快的一种测试方法,其主要特点是:/pp style="text-indent: 2em "1)测量的粒径范围广, 可进行从纳米到微米量级如此宽范围的粒度分布。约为 :20nm ～ 2000μm , 某些情况下上限可达 3500μm /pp style="text-indent: 2em "2)适用范围广泛 , 不仅能测量固体颗粒 , 还能测量液体中的粒子 /pp style="text-indent: 2em "3)重现性好 ,与传统方法相比 ,激光粒度分析仪能给出准确可靠的测量结果 /pp style="text-indent: 2em "4)测量时间快,整个测量过程1-2分钟即可, 某些仪器已实现了实时检测和实时显示 ,可以让用户在整个测量过程中观察并监视样品。/pp style="text-indent: 2em "激光粒度分析不仅在先进的材料工程 、国防工业、军事科学、而且在众多传统产业中都有广泛的应用前景。特别是高新材料科学的研究与开发 ,产品的质量控制等 , 如 :陶瓷、粉末冶金、稀土 、电池、制药 、食品、饮料 、水泥 、涂料 、粘合剂 、颜料、塑料、保健及化妆品 。由于颗粒粒子的特异性能在于它的粒径十分细小,粒径大小是表征颗粒性能的一个重要参数, 因此 ,对颗粒粒径进行测量是开展材料检测、评价颗粒材料的重要指标。/pp style="text-indent: 2em "当光线照射到颗粒上时会发生散射 、衍射 。其衍射、散射光强度均与粒子的大小有关 。观测其光强度, 可应用夫琅和费衍射理论和 Mie 散射理论求得粒子径分布(激光衍射/散射法)。/pp style="text-indent: 2em "光入射到球形粒子时可产生三类光:1)在粒子表面 、通过粒子内部、经粒子内表面的反射光 2)通过粒子内部而折射出的光 3)在表面的衍射光 。这些现象与粒子的大小无关 。全都可以作为光散射处理 。一般地 , 光散射现象可以用经Maxwell 电磁方程式严密解出的 Mie 散射理论说明。但是, 实际使用起来过于复杂, 为了求得实际的光强度, 可根据入射波长 λ和粒子半径r 的关系 ,即 :r λ时,Rayleigh 散射理论r λ时,Fraunhofer 衍射理论在使用上述理论时 ,应考虑到光的波长和粒子径的关系, 在不同的领域使用不同的理论 。/pp style="text-indent: 2em "粒子径大于波长的时候, 由 Fraunhofer 衍射理论求得的衍射光强度和 Mie 散射理论求得的散射光强度大体是一致的。因此 ,可以把 Fraunhofer 衍射理论作为 Mie 散射理论的近似处理。这时 ,光散射(衍射)的方向几乎都集中在前方, 其强度与粒子径的大小有关 ,有很大的变化。即, 表示粒子径固有的光强度谱 。解出粒子的光强度分布(散射谱)就可以定出粒子径。当波长和粒子径很接近的时候 ,不能用 Fraunhofer 的近似式来表示散射强度 。这时有必要根据 Mie 散射理论作进一步讨论。在Mie 散射中的散射光强度由入射光波长(λ)、粒子径(a)、粒子和介质的相对折射率(m)来确定 。、/pp style="text-indent: 2em "激光粒度分析的应用领域极为广泛, 如 :1)医药中的粒度控制着药物的溶解速度和药效 2)催化剂的粒度影响着生成反应效率 3)制陶原料的粒度影响着烧结后的物理特性 4)矿物的粒度影响着长途海运的安全 5)食品的保质期受粒度影响 6)橡胶原料粒度影响着其寿命 7)电池原料的粒度影响着电池的充放电效率和寿命 8)涂料 、染料中的粒度影响着产品染色时的发色、光泽 、退色 9)塑料原料的粒度影响着塑料的透明度和加工以及使用性能。/p

1. 引言　　通过吸入方式将药物直接输送到人体肺部，已是世界公认的治疗哮喘和慢性阻塞性肺病的最好方法，同时肺部及呼吸道也可作为一个通道，递送的药物通过气道表面进入人体血液系统，然后再进入到身体其他器官，达到全身作用的目的。然而影响药物在肺部及呼吸道沉积的因素有很多，其中气雾的粒度大小分布就是最重要的影响因素之一。目前吸入制剂粒度大小测量最经典的方法还是惯性撞击器法，其利用不同大小的药物颗粒具有不同的动能，从而具有不同的动力学特征而将其分离，不但能够得到雾滴中不同大小的活性成分的绝对含量，而且也是美国药典和欧洲药典评价吸入制剂体外粒度分布推荐使用的方法。但惯性撞击器法本身也存在不足，比如测试比较麻烦，尤其是其洗涤干燥以及色谱分析过程，往往测试一个样品需要较长的时间，这在现代医药研发过程中就显得&lsquo 节奏&rsquo 偏慢，同时随着吸入制剂研究的发展，大家不但对揿次之间的稳定性有更高的要求，而且希望对于每一揿次的吸入或者喷射过程能够获得更多的信息，而在这些方面，惯性撞击器法都略显不足，而激光衍射技术恰恰可以弥补。激光衍射技术是基于不同大小的颗粒其衍射光在空间分布的不同，利用米氏理论反演计算而获得颗粒体系的粒度分布，其本身快速无损的测试方式、对于喷雾细节的展现、以及快速比对的特点，使其在吸入制剂研究和筛选过程中大大提高研究效率，尤其是其本身可以跟惯性撞击器以及USP人工喉联合使用，大大拓展了其应用范围。本文将根据其特点选取一些剂型和领域就激光衍射技术的应用研究跟大家做一些沟通和介绍。　　2. 鼻喷剂　　近年来，通过鼻粘膜给药已被认为是一种药物能被快速高效吸收的给药方式，鼻粘膜细胞上有很多微细绒毛，因此大大增加了药物吸收的有效面积，粘膜细胞下有着丰富的血管和淋巴管，药物通过粘膜吸收后可直接进入体循环，此外，鼻腔内酶的代谢作用远远小于胃肠道，因此，鼻腔给药系统正日益受到人们的重视，比如，在肽类和蛋白质类药物的剂型研究领域。图1. 马尔文喷雾粒度仪测试鼻喷剂粒度分布　　在众多给药剂型中，喷雾剂是比较常见的剂型，仅通过雾化装置借助压缩空气产生的动力使药液雾化并喷出，由于其不含抛射剂，不使用耐压容器，目前应用越来越广泛。在鼻喷剂研究过程中，对于鼻喷剂粒度分布大小有两个因素影响至关重要，即药物配方和喷射装置，下面我们就通过一些模拟实验来看看激光衍射技术如何来体现这些影响因素。　　首先简单介绍一下激光衍射技术测量鼻喷剂的一个过程。图1为马尔文的喷雾粒度仪，两端竖起的装置分别为激光的发射端和接收端，其可以自由移动以调整空间位置，中间的装置为鼻喷的触发装置，通过该装置我们可以按需求设置不同的触发压力或者触发速度(也有用触发时间的)，同时可以调整喷射角度，这样我们就可以灵活快速地调整测试参数。　　测试完成后，激光粒度仪将会实时给出整个喷射过程的状态。图2为鼻喷剂一个揿次的数据。其中横坐标为时间，纵坐标为粒径大小，几条不同颜色的曲线分别代表D10、D50、D90以及喷射浓度随喷射时间的变化。在整个0.16秒的喷射过程，可以被被分为三个阶段，0-0.02秒为触发阶段，此时颗粒喷出还不稳定，粒度迅速变小，浓度也迅速变低 0.02-0.09秒为稳定阶段，此时粒度分布数据趋于稳定 0.09-0.16秒为消散阶段，此时粒度分布变得极其不稳定，有大量大颗粒出现。激光衍射技术不但可以给出清晰的变化过程，而且可以给出整个测试过程或者每个阶段的平均粒径，图3给出每个阶段的平均粒度分布及粒径数据。图2. 鼻喷剂一个揿次整个过程图3. 鼻喷剂一个揿次三个阶段的分别的粒度分布及累计数据　　从这也可以看出，初始阶段平均粒径在68微米左右，而稳定后粒径变小达到37微米，而消散阶段粒径进一步变大达到45微米左右。而图4则给出了连续4个揿次的喷射数据，这样我们不仅可以看到每个揿次的粒径变化、粒径平均值等，而且还可以方便快捷地看到其不同揿次间的数据变化及稳定性。图4. 鼻喷剂4个揿次的喷射数据　　图5为一款设计为50揿次的喷雾剂配方整个喷射周期内的粒径数据，从该数据可以看出，除第一揿次粒径偏大外，一直到60揿次数据都还是比较稳定，其中41揿次可能是由于操作失败造成喷射粒径明显变大，这样对于鼻喷剂以及罐体设计的喷射周期及稳定性提供了良好的数据基础。图5. 一款设计为50揿次的鼻喷剂整个喷射周期内的粒径数据　　除了看揿次间的稳定性，我们还可以观察不同配方、不同喷射泵以及不同喷射口径对于喷射粒径的影响。图6为同一鼻喷剂配方采用不同的喷射泵条件下的液滴粒径大小。图6. 同一种鼻喷配方在两种不同泵条件下的喷射粒径影响　　从该图可以看出，两种泵随着触发压力增大，液滴粒径都在显著减小，但相比之下，B泵对压力并不敏感，而A泵在压力比较低的时候，随着压力变化粒径会发生巨大变化，这些在泵体设计和选型时必须考虑的问题。图7. 不同浓度的PVP对喷射粒径的影响(A泵)　　当然药物配方对于喷射粒径也会产生较大的影响，在这里我们通过一个模拟实验来观察结果。我们在同样的装置、同样的泵速条件下(40mm/S)，分别采用不同浓度的PVP水溶液来观察雾化效果，PVP浓度分别为0、0.25%、0.5%、1.0%以及1.5%。图7给出了五种配方下的喷雾中值粒径结果，从中可以看到，随着PVP浓度的增加，雾化的粒径逐渐变大，而且雾化稳定期越来越短，当PVP浓度达到1.5%时，基本已经无法找到稳定的雾化状态了。产生这样的原因可能是随着PVP浓度的增加导致雾化液粘度增加，从而导致雾化液滴粒径显著变大，但对于同样趋势的配方，我们更换了喷射泵B，结果见图8。图8. 不同浓度的PVP对喷射粒径的影响(B泵)图9. 孔径更小的喷嘴实验结果(B泵)　　从该图可以看到，虽然随着PVP浓度增加粒度变大的趋势没有变，但喷雾稳定性明显增加，这也说明B泵提供的剪切力完全克服了雾化液粘度增加带来的波动。为了进一步考察影响喷雾粒径的影响因素，在保持图8的实验条件下，我们更换了更细的喷嘴观察雾化效果。图9展示了PVP浓度在0、0.5%和1.0%三种情况下，在更细的喷嘴下的雾化粒径结果，可以发现雾化液粒径分布显著变小，尤其是1.0%PVP浓度下，其雾化液滴中值粒径由200微米降到120微米左右。　　3. Nebulizer喷雾剂　　喷雾剂是指通过压缩空气驱动药液通过喷孔达到分散药物的给药剂型，其无需抛射剂、储罐容器无需加压、一般采取水性配方辅以固定的辅料等，同时对于吸入剂量较高的药物(比如诺华公司300mg妥布霉素)其雾化递送也具有明显的优势，再加上可以采取潮式呼吸的方式，因此目前喷雾剂广泛应用于医院急救室，特别是患哮喘或慢阻肺的儿童和老年患者。喷雾剂也是一个非常强调配方和雾化方式的剂型，换句话说，只有一个好的配方搭配以合适的雾化方式，才能够做出一款好的喷雾剂。当然由于呼吸的模式不同，可能也会对吸入雾滴粒径产生影响，因此我们在研究过程中，就必须三方都要考虑到，即雾化配方、雾化方式以及呼吸模式等。　　图10是马尔文喷雾粒度仪测试喷雾制剂的一个示意图。其中两边是激光的发射和接收端，紧贴中间的是一个吸入式样品池，模拟人的呼吸道，而上面白色的弯管为USP人工喉，而吸入式样品池下面是接泵或者呼吸装置，这样液雾通过上面人工喉进入激光测试区域，然后通过我们的吸入样品池被泵抽走。图10. 马尔文喷雾粒度仪测试液雾示意图　　图11是一个持续液雾雾化的粒径分布结果，图中横坐标为时间，纵坐标为粒径大小，三种颜色的曲线分别为雾滴粒径的D10、D50以及D90，可以看到雾滴的粒径分布在长达10分钟的雾化时间内相对比较稳定。下面我们就将结合一些实验来考察影响雾化粒径的各种因素。我们知道，液雾雾化的方式较多，比如常见的喷射雾化、振动雾化或者超声雾化等，每种雾化都有各自的优缺点，其中喷射雾化就是比较常见的一种方式，其主要原理是通过一定速度的压缩空气携带药液通过狭小喷嘴而雾化，这时候压缩空气的流动速率就对雾化效果产生非常大的影响，图12给出了同一喷嘴在不同空气流速下的雾化粒径结果。图11. 持续的nebulizer雾化粒度测试结果图12. 压缩空气流动速率对雾化粒径的影响　　从图中可以看出，随着空气流速速率增大，雾化液滴的粒径参数D10、D50以及D90都呈下降趋势，当流速达到11L/min时，雾化粒径达到最小，随后空气流速进一步增大，其雾化粒径反而变大，这可能是流速太大导致部分大的液滴越过挡板造成的。　　同时马尔文喷雾粒度仪可以跟呼吸模拟机相连使用，从而对雾化进行更加深入的研究。图13给出了一个雾化系统在正弦呼吸模式下的雾化粒度结果，刚开始随着吸入速率逐渐增大，雾化液滴浓度迅速增加并趋于稳定，而雾化液滴粒径迅速减小然后缓慢增加，而当吸入速率逐渐变小时，雾化液浓度迅速衰减并且雾化液粒径开始显著增加并且很不稳定，这个数据也很好地体现了呼吸过程中发生的变化。图13. 某雾化系统在正弦呼吸模式下的雾化粒度结果图14. 不同呼吸频率下的雾化液滴粒径结果　　当然我们也可以改变呼吸的方式，比如保持相同的配方和管路结构，增加呼吸频率，观察呼吸方式对于雾化粒径的影响(图14)。从图中可以看出，随着呼吸频率的增加，吸入时间也相应减少，同时吸入雾滴的流动速率也跟着增加，液滴粒径显著减小。　　除了呼吸方式，雾液配方对于雾化粒径也会有显著的影响，图15给出了三种不同浓度的PVP溶液的雾化粒径结果。可以看出随着PVP的加入以及浓度的增加，其雾化粒径显著增加，这主要是由于PVP的加入增加了雾化液的粘度造成的。图15. 不同浓度的PVP溶液雾化粒径结果图16. 不同浓度的PVP溶液雾化吸入浓度的结果　　同时图16给出了上述三种雾化液在吸入过程中雾液吸入浓度的变化，从图中可以看出，随着PVP的加入以及浓度增加，吸入浓度明显变小，这也就意味着，要想达到相同的递送剂量，对于粘度较高的雾化液可能需要更长的吸入时间。　　4. DPI干粉吸入剂　　干粉吸入剂(DPI)又称吸入粉雾剂，是在定量吸入气雾剂的基础上，结合粉体输送工艺而发展起来的新剂型。它是将微粉化药物单独或与载体混合后，经特殊的给药装置，通过患者的主动吸入，使药物分散成雾状进入呼吸道，从而达到局部或者全身给药的目的。干粉吸入剂具有自身显著的特点：比如无需氟利昂抛射剂，不存在大气污染问题 不含酒精、防腐剂等溶媒溶剂，减少对于喉部的刺激，同时也更加易于保存 不受药物溶解度限制，可以携带的剂量较高 固体剂型，尤其适合多肽和蛋白类药物。然而干粉吸入剂虽然不需要考虑溶解悬浮等问题，但由于粉体颗粒之间容易产生团聚，同时活性成分与辅料载体之间包覆或者相互作用因素也必须详细考量，这就对吸入装置有着更高的要求，换句话说，必须是合适的活性成分及载体，控制合适的颗粒大小，并配以合适的吸入装置，才能达到稳定安全的剂量输送。　　为了进一步说明这个问题，我们用了两种不同的药物采取不同的吸入装置观察雾化效果。其中两种粉体药物分别为柳丁氨醇和布地奈德，表1给出了雾化细颗粒所占的比例。表1. 两种粉体在不同的吸入装置下的细颗粒比例　　其中可以看出，同一种物料在不同的吸入装置中分散效果差异非常大，比如布地奈德的细颗粒比例可以从14%变为63%。而如果单从粉体物性角度来说，布地奈德的分子表面能是柳丁氨醇的5倍以上，这意味着分散布地奈德的颗粒要比柳丁氨醇难得多，但我们看到最终结果却恰恰相反，布地奈德粉体分散的细颗粒更多，这也进一步说明粉体吸入分散并不是简单的按照其物理性质的规律进行的，因此如果要进行干粉吸入制剂的研究开发，就必须将粉体配方和吸入装置同时相互考量。　　接下来，我们就通过一个小的实验来看看粉体配方工艺、吸入装置以及吸入速率是如何影响雾化效果的。我们选了三种配方的粉体(见表2)，第一种就是普通微粉化的乳糖粉体，第二种是微粉化的乳糖添加了5%的MgSt，采取实验室普通的混合设备加工，第三种同样是微粉化乳糖添加5%的MgSt，但采用的是高强度的混合设备混合(该技术由Vectura开发)。由于硬脂酸镁本身作为一个两性的物质，可以对微粉化的乳糖形成包覆结构，从而减少乳糖的团聚，但同时混合的方式和效率也将极大地影响乳糖的包裹效率和均匀程度，这也就直接导致粉体输送的复杂性。图17给出了纯的微粉乳糖在不同吸入速率下的粒径分布情况，从图中可以看出随着吸入速率增大，其颗粒粒径明显减小，这说明虽然乳糖本身颗粒是比较小的，但由于细颗粒具有较强的团聚作用，因此随着吸入速率增加，剪切作用力增强，导致颗粒越来越小，但团聚情况依然明显。　　表2. 三种不同配方及加工工艺的粉体图17. 纯微粉化乳糖在不同吸入速率下的粒径分布图18. 普通混合的乳糖+硬脂酸镁粉体在不同吸入速率下的粒径分布图19. 采取高能混合的乳糖+硬脂酸镁粉体在不同吸入速率下的粒径分布　　图18则给出了普通混合的乳糖+硬脂酸镁粉体在不同吸入速率下的粒径大小，相比较纯的乳糖，首先在低吸入速率条件下，其颗粒分散粒径更小，尤其是大颗粒方面显著减小，这说明硬脂酸镁的包裹从一定程度下减小了乳糖团聚，但随着吸入速率增大，其粒度变化不明显，而且团聚依旧非常明显，这说明硬脂酸镁的包裹并不均匀，换句话说其并没有形成单个乳糖颗粒表面的包裹，而是多个乳糖团聚颗粒被包裹，这样这些大的包裹颗粒并不会随着吸入速率增加而分散，因此就造成了在高流速下，其粒径反而要比纯乳糖的要大。但如果改善了加工方式，提高了硬脂酸镁的分散均匀性和包裹效率，实现了单个乳糖颗粒的包裹，则可大大改善其分散粒径。图19则是采取高能混合方式的粉体在不同吸入条件下的粒径结果，从图中可以发现其分散粒径大大减少，基本上都在20微米以下，而且其粒度分布对于吸入速率并不敏感，这些都说明乳糖的包裹效率和均匀性得到了显著提升。　　5. 激光衍射&撞击器连接图20. 激光衍射粒度仪和安德森撞击器相连接　　为了能够使激光衍射的测量条件跟碰撞法的测试条件一致，激光粒度仪还可以跟相关碰撞器相连接。图20是马尔文喷雾粒度仪跟安德森撞击器相连接的示意图，其中吸入制剂通过上面的人工喉进入到吸入样品池中进行粒度检测，然后通过下部的接口进入到撞击器中，由于是在同一通路中，大大提高了测试条件的匹配性，同时激光衍射作为一种无损检测技术，其本身不会对通路中的液滴、雾滴造成任何影响，因而大大扩展了其应用性。　　6. 总结　　现在吸入制剂越来越受到大家的重视，不论是气雾、液雾还是粉雾，不论何种形式，粒度检测毫无疑问都是体外检测中不可或缺的一环。当前医药研发的过程实际上就是跟时间赛跑的一个过程，因此在研发期间如何能够快速对大量配方、喷射装置以及测试条件进行筛选和甄别就显得非常关键。而激光衍射技术恰恰具有快速无损的特性，同时其结果比对性又非常强，能够快速提供大量粒径检测的相关数据，为吸入制剂的研发和生产提供坚实的保障。　　(作者：李雪冰，英国马尔文仪器公司激光衍射产品专家，负责激光衍射及颗粒图像等产品的技术支持。)　　注：文中观点不代表本网立场，仅供读者参考。

美国西北大学的研究人员研制出了一种小型中红外激光二极管，其转换效率超过50%。有关报道称这一成果是量子级联激光器(QCL)研究的重大突破，使量子级联激光器向多个领域的实际应用，包括对危险化学品的远程探测，迈出了重要一步。相关研究成果刊发在最近的《自然—光子学》(Nature Photonics)杂志网络版上。　　量子级联激光器是一种发光机制异于传统半导体激光器的新型二极管激光器，根据量子力学原理设计，其发光波长可覆盖中红外区域。与传统的二极管激光器不同，量子级联激光器是单极器件，仅需电子即可运作，利用电子在一维量子化的导带间的跃迁来实现发光。经过多年的研究和工业化开发，现代近红外(波长在1微米左右)激光二极管的转换效率已接近极值，而中红外(波长大于3微米)激光二极管却很难达到效率极值。先前的报道认为，即使冷却到低温状态，高效量子级联激光器的转换效率也不会高于40%。　　美国西北大学量子器件研究中心(CQD)的研究人员通过优化激光器设备的材料质量，在量子级联激光器效率方面取得了突破性进展。他们剔除了在低温条件下激光器操作中非必要的设计元素，研制出的新型激光器在温度冷却到40开尔文时，4.85微米波长光的转换效率达到了53%。　　该研究小组的领导者、美国西北大学麦考密克工程与应用科学学院电气工程和计算机科学教授玛尼杰拉泽吉认为，这种高效激光器的问世是一个重大突破，这是科学家们首次使激光器发出的光能超过热能。她强调，激光器的转换效率突破50%这个门槛，是一个里程碑式的成就。　　报道称，提高转换效率依然是目前激光器研究的首要目标。而新型设备所展现的高效率，可大大扩展量子级联激光器的功率标定范围。最近的研究表明，伴随着量子级联激光器的广泛发展，单体脉冲激光器的输出功率已高达120瓦特，而在一年前，只有34瓦特。　　该研究得到了美国国防部高级研究计划局高效中红外激光器(EMIL)项目和美国海军研究所的共同资助。

近日，中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术国家重点实验室汤洁研究员课题组联合美国劳伦斯伯克利国家实验室教授Vassilia Zorba团队，在激光等离子体光谱研究领域取得重要进展。相关研究成果发表在Cell Reports Physical Science上。激光诱导击穿光谱(LIBS)是基于原子发射光谱学的元素分析技术，在多元素分析、实时快速原位测量等方面具备优势，且在定性识别物质与定量物质成分分析等领域具有重要的应用前景。目前，该技术在深空深海探测、地质勘探、生物医药以及环境监测等领域广泛应用。D-LIBS即放电辅助LIBS技术，通常是将火花放电或电弧放电与LIBS技术相结合来实现。以上两种放电模式具有放电功率密度大和电子数密度高的特点，在辅助元素定性和定量分析方面具有独特的技术优势。因此，利用放电辅助可以显著增强LIBS信号强度，从而达到提高分析灵敏度的目的。然而，D-LIBS在放电时电能消耗过大，同时从交变电压和电流中产生电磁脉冲，导致能源浪费和环境污染相关问题。这一负面因素加大了安全隐患和运行风险，更不利于社会倡导的节能减排和环境保护要求，进而限制了D-LIBS技术的进一步应用。因此，开发一种“两低一高”(低环境危害、低能耗、高分析灵敏度)的D-LIBS技术仍是物质分析领域中难度较大的挑战。针对上述问题，该团队提出离子动力学调制方法，对克服传统D-LIBS放电能耗大、安全风险高、环境危害大等不利因素，同时提高分析灵敏度具有显著改善效果。该工作借助这一方法，合理优化电极配置，有序调控放电模式，在有效增强光谱信号强度的同时，大幅降低放电能耗。关键创新点在于：(1)首次提出并利用激光诱导等离子体冲击波与外加电场空间零弧度耦合方式，实现有效放电区域全方位覆盖激光等离子体中粒子的扩散方向，离子的动力学特征从原始的向外扩散变更为放电空间内阳极和阴极之间的漂移运动。这种调制使得大部分离子被抓捕、约束在有效放电空间内，促进电能与激光等离子体耦合，大幅降低放电能耗。(2)突破传统D-LIBS方法，即仅在电容器放电过程中辅助LIBS，将放电增强LIBS拓展到电容器放电和充电的两个过程。采用直流电源与充电电容共同作用等离子体间隙的策略，使约束的带电粒子在电容放电结束后继续在电极之间漂移，并在毫秒尺度维持带电粒子电迁移运动特性，大幅延长等离子体寿命，进而实现火花和电弧放电的有序调控以及原子和离子光谱信号的选择性增强。上述研究有效解决了在D-LIBS中同时具备“两低一高”特性的关键技术难题。实验测试结果表明：与传统D-LIBS对比，该成果对于非平坦样品实现了在维持光谱信号2个数量级提升情况下，放电能耗降低了约1个数量级。结合经改进的小波变换降噪方法，D-LIBS中谱线信噪比、信背比以及稳定性相比原光谱均获得了显著提升。微量元素(Mg)的检出限从近百ppm降低至亚ppm量级。此外，与传统D-LIBS及其他LIBS增强技术相比，微量元素(Mg、Si)探测灵敏度提高近2个数量级。该研究有助于推动节能环保建设以及D-LIBS的广泛应用，同时，在低烧蚀激光功率密度的极端条件下，为D-LIBS微量或痕量元素定性与定量分析提供了有力的理论依据和技术支撑。研究工作得到国家自然科学基金、陕西省自然科学基金、瞬态光学与光子技术国家重点实验室自主课题、中科院光谱成像技术重点实验室开放基金等的支持。离子动力学调制LIBS增强原理和思路

激光外差干涉技术在光刻机中的应用 张志平*，杨晓峰 复旦大学工程与应用技术研究院上海市超精密运动控制与检测工程研究中心，上海 201203摘要 超精密位移测量系统是光刻机不可或缺的关键分系统之一，而基于激光外差干涉技术的超精密位移测量系统同时具备亚纳米级分辨率、纳米级精度、米级量程和数米每秒的测量速度等优点，是目前唯一能满足光刻机要求的位移测量系统。目前应用于光刻机的超精密位移测量系统主要有双频激光干涉仪和平面光栅测量系统两种，二者均以激光外差干涉技术为基础。本文将分别对这两种测量系统的原理、优缺点以及在光刻机中的典型应用进行阐述。关键词 光刻机；外差干涉；双频激光干涉仪；平面光栅1 引言集成电路产业是国家经济发展的战略性、基础性产业之一，而光刻机则被誉为集成电路产业皇冠上的明珠［1］。作为光刻机三大指标之一的套刻精度，是指芯片当中上下相邻两层电路图形的位置偏差。套刻精度必须小于特征图形的1/3，比如14 nm节点光刻机的套刻精度要求小于5.7 nm。影响套刻精度的重要因素是工件台的定位精度，而工件台定位精度确定的前提则是超精密位移测量反馈，因此超精密位移测量系统是光刻机不可或缺的关键分系统之一［2-4］。随着集成电路特征尺寸的不断减小，对位置测量精度的需求也不断提高；同时，为了满足光刻机产率不断提升的需要，掩模台扫描速度也在不断提高，甚至达到 3 m/s 以上；此外，为了满足大尺寸平板显示领域的需求，光刻机工件台的尺寸和行程越 来越大，最大已达到 1. 8 m×1. 5 m；最后，为了获得工件台和掩模台良好的同步性能，光刻机还要求位置测量系统具备多轴同步测量的功能，采样同步不确定性优于纳秒级别［5-8］。 综上，光刻机要求位置测量系统同时具备亚纳米级分辨率、纳米级精度、米级量程、数米每秒测量速度、闭环反馈以及多轴同步等特性。目前，在精密测量领域能同时满足上述测量要求的，只有外差干涉测量技术。 本文分别介绍外差干涉测量技术原理及其两 种具体结构——双频激光干涉仪和平面光栅测量系统，以及外差干涉技术在光刻机中的典型应用。 2 外差干涉原理 2. 1 拍频现象 外差干涉又称为双频干涉或者交流干涉，是利用“拍频”现象，在单频干涉的基础上发展而来的一 种干涉测量技术。 假设两列波的方程为 x1 = A cos ω1 t ， （1） x2 = A cos ω2 t 。 （2） 叠加后可表示为（3）拍频定义为单位时间内合振动振幅强弱变化 的次数，即 v =| (ω2 - ω1)/2π |=| v 2 - v 1 | 。 （4） 波 x1、x2 以及合成后的波 x 如图 1 所示，其中包 络线的频率即为拍频，也称为外差频率。如果其中一个正弦波的相位发生变化，拍频信号的相位会发生完全相同的变化，即外差拍频信号将完整保留原始信号的相位信息。 图 1. 拍频示意图Fig. 1. Beat frequency diagram对于激光而言，因为频率很高（通常为 1014 Hz 量级），目前的光电探测器无法响应，但可以探测到两束频率相近的激光产生的拍频（几兆到几十兆赫兹）。因此拍频被应用到激光领域，发展成激光外差干涉技术。2. 2 外差干涉技术 由拍频原理可知 ，所谓外差就是将要接收的信号调制在一个已知频率信号上，在接收端再将该调制信号进行解调。由于高频率的激光信号相位变化难以精确测量，但利用外差干涉技术可以用低频拍频信号把高频信号的 相位变化解调出来，将大大降低后续精确鉴相的难度。因此，外差技术最显著的特点就是信号以交流的方式进行传输和处理。 与单频干涉技术相比，外差干涉技术的突出优点是：1）由于被测对象的相位信息是加载在稳定的差频（通常几兆到几十兆赫兹）上，因此光电探测时避过了低频噪声区，提高了光电信号的信噪比。例如在外界干扰下，测量光束光强衰减 50% 时，单频干涉仪很难正常工作，而外差干涉仪在光强衰减 90% 时仍能正常工作 ，因此更适用于工业现场 。 2）外差干涉可以根据差频信号的增减直接判别运动方向，而单频干涉技术则需要复杂的鉴相系统来 判别运动方向。单频干涉技术与外差干涉技术对比如表 1 所示。表 1. 单频干涉技术与外差干涉技术对比Table 1. Comparison between homodyne interferometry and heterodyne interferometry3双频激光干涉仪 3. 1 双频激光干涉仪原理 双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上结合外差干涉技术发展起来的，其原理如图 2 所 示。双频激光器发出两列偏振态正交的具有不同频率的线偏振光，经过偏振分光器后光束被分离。 图 2. 双频激光干涉仪原理图Fig. 2. Schematic diagram of dual frequency laser interferometer设两束激光的波动方程为 E1 = E R1 cos ( 2πf1 t ) E2 = E R2 cos ( 2πf2 t ) ， （5） 式中：ER1和 ER2为振幅；f1和 f2为频率。 偏振态平行于纸面的频率为 f1 的光束透过干涉仪后，被目标镜反射回干涉仪。当被测目标镜移动时，产生多普勒效应，返回光束的频率变为 f1 ± Δf， Δf 为多普勒偏移量，它包含被测目标镜的位移信息。经过干涉镜后，与频率为 f2 的参考光束会合，会合后光束发生拍频，其光强 IM函数为 （6） 式（6）包含一个直流量和一个交流量，经光电探测器转换为电信号，再进行放大整形后，去除直流量，将交 流量转换为一组频率为 f1 ± Δf- f2的脉冲信号。从双频激光器中输出频率为 f1 - f2 的脉冲信 号，作为后续电路处理的基准信号。测试板卡采用减法器通过对两列信号的相减，得到由于被测目标 镜的位移引起的多普勒频移 Δf。被测目标镜的位移 L 与 Δf的关系可表示为 （7） 式中：λ 为激光的波长；N 为干涉的条纹数。因此， 只要测得条纹数，就可以计算出被测物体的位移。 3. 2 系统误差分析 双频激光干涉仪的系统误差大致由三部分组成：仪器误差、几何误差以及环境误差，如表 2 所示。 三种误差中，仪器误差可控制在 2 nm 以内；几何误 差可以通过测校进行动态补偿，残差可控制在几纳米以内；环境误差的影响最大，通常可达几十纳米到几微米量级，与测量区域的环境参数（温度、压 力、湿度等）有关，与量程几乎成正比，因此大量程测量时，需要对环境参数进行控制。 表 2. 双频激光干涉仪系统误差分解Table 2. System error of dual frequency laser interferometer4 平面光栅测量系统 双频激光干涉仪在大量程测量时，精度容易受 温度、压力、湿度等环境因素影响，研究者们同样基于外差干涉原理研发了平面光栅测量系统，可克服双频激光干涉仪的这一缺点。 4. 1 基于外差干涉的光栅测量原理 众所周知 ，常规的光栅测量是基于叠栅条纹的，具有信号对比度差、精度不高的缺点。基于外差干涉的光栅测量原理如图 3 所示，双频激光器发出频率 f1 和 f2 的线偏振光，垂直入射到被测光栅表面，分别进行+1 级和−1 级衍射，衍射光经过角锥反射镜后再次入射至被测光栅表面进行二次衍射， 然后会合并沿垂直于光栅表面的方向返回。由于被测光栅与光栅干涉仪发生了相对运动，因此，返回的激光频率变成了 f1 ± Δf和 f2 ∓ Δf，其中 Δf为多 普勒频移量，它包含被测目标镜的位移信息。 图 3. 基于外差干涉的光栅测量原理Fig. 3. Principle of grating measurement based on heterodyne interference会合后的光束 f1 ± Δf 和 f2 ∓ Δf 发生拍频，其频率为 ( f1 ± Δf ) - ( f2 ∓ Δf ) = ( f1 - f2 ) ± 2Δf。（8） 式（8）的信号与双频激光器中输出频率为 f1 - f2 的 参考信号相减，得到多普勒频移 Δf。被测目标镜的位移 L 与 Δf的关系可表示为（9） 式中 ：p 为光栅的栅距 ；N 为干涉的条纹数 。 因此，只要测得条纹数 ，就可以计算出被测物体的位移。 上述原理推导是基于一维光栅刻线的，只能测量一维运动。为了获得二维测量，只需将光栅的刻线由一维变成二维（即平面）即可。 4. 2 两种测量系统优缺点对比 由此可知，基于外差干涉的光栅测量原理与双频激光干涉仪几乎完全相同，主要的差别是被测对象由反射镜换成了衍射光栅。两种测量系统的优缺点如表 3 所示。表 3. 双频激光干涉仪与光栅测量系统对比Table 3. Dual frequency laser interferometer versus gratingmeasurement system5外差干涉测量在光刻机中的应用 发展至今，面向 28 nm 及以下技术节点的步进扫描投影式光刻机已成为集成电路制造的主流光刻机。作为光刻机的核心子系统之一的超精密工件台和掩模台，直接影响着光刻机的关键尺寸、套刻精度、产率等指标。而工件台和掩模台要求具有高速、高加速度、大行程、超精密、六自由度（x、y 大 行程平动，z 微小平动，θx、θy、θz微小转动）等运动特点，而实现这些运动特点的前提是超精密位移测量反馈。因此，基于外差干涉技术的超精密位移测量子系统已经成为光刻机不可或缺的组成部分。 4. 光刻机中的多轴双频激光干涉仪［10］Fig. 4. Multi-axis dual frequency laser interferometer in lithography machine[10]图 4 为典型的基于多轴双频激光干涉仪的光刻机工件台系统测量方案［10］，在掩模台和硅片台的侧面布置多个多轴激光干涉仪，对应地在掩模台和硅 片台上安装长反射镜；通过多个激光干涉仪的读数解算出掩模台和硅片台的六自由度位移。 然而，随着测量精度、测量行程、测量速度等运动指标的不断提高，双频激光干涉仪由于测量精度易受环境影响、长反射镜增加运动台质量致使动态性能差等问题难以满足日益提升的测量需求。因 此，同样基于外差干涉技术的平面光栅测量系统成为了另一种选择［8］。 光刻机工件台平面光栅测量技术首先由世界光刻机制造巨头 ASML 公司取得突破。该公司于 2008 年 推 出 的 Twinscan NXT：1950i 浸 没 式 光 刻机，采用了平面光栅测量技术对 2 个工件台的六自 由度位置进行精密测量。如图 5 所示，该方案在主基板的下方布置 8 块大面积高精度平面光 栅（约 400 mm×400 mm），在两个工件台上分别布置 4 个 平面光栅读数头（光栅干涉仪），当工件台相对于平 面光栅运动时，平面光栅读数头即可测出工件台的 运动位移［2，5，9］。图 5. ASML 光刻机的平面光栅测量方案［2，5，9］Fig. 5. Plane grating measurement scheme of ASML lithography machine[2,5,9]相比多轴双频激光干涉仪测量方案，平面光栅测量方案具有以下优点：1）测量光路短（通常小于 20 mm），因此测量重复精度和稳定性对环境变化不 敏感；2）工件台上无需长反射镜，因此质量更轻、动态性能更好。 然而，平面光栅测量方案也有其缺点：1）大面积高精度光栅制造难度太大；2）由式（9）可知，位移 测量结果以栅距 p 为基准，然而受栅距均匀性限制， 测量绝对精度不高。为了获得较好的精度和线性度，往往需要利用双频激光干涉仪进行标定。 面临极端测量需求的挑战 ，Nikon 公 司 在 NSR620D 光刻机中采用了平面光栅和双频激光干涉仪混合测量的技术方案［9］，如图 6 所示。该方案 将平面光栅安装在工件台上表面，而将光栅读数头安装在主基板下表面，同时增加了双频激光干涉仪，结合了平面光栅测量系统和双频激光干涉仪的 优点。在读头与读头切换时采用双频激光干涉仪进行在线校准。 图 6. Nikon光刻机混合测量方案［9］Fig. 6. Hybrid measurement scheme of Nikon lithography machine [9]6激光外差干涉系统的发展趋势 无论是双频激光干涉仪还是平面光栅测量系统，要想获得纳米级测量精度，既需要提高测量系统本身的精度，更需要从使用的角度努力，即“三分 靠做，七分靠用”。 就激光外差干涉测量系统本身而言，误差源主要来自于光学非线性误差。在外差干涉测量系统 中，由于光源及光路传输过程各光学器件性能不理想或装调有偏差，会带来两个频率的光混叠现象， 即原本作为测量信号频率 f1（或 f2）的光中混杂了频 率 f2（或 f1）的光，或原本作为参考信号频率 f2（或 f1） 的光中混杂了频率 f1（或 f2）的光。在信号处理中该混叠的频率信号会产生周期性的光学非线性误差。尽管目前主流的双频激光干涉仪厂家已经将非线性误差控制在 2 nm 以内［10- 12］，但应用于 28 nm 以下光刻机时仍然需要进一步控制该误差。国内外众多学者从非线性误差来源、检测和补偿等角度出发，进行了大量研究并取得了丰硕成果［13- 17］。这些成果有望对非线性误差的动态补偿提供理论支持。 从应用角度，研究热点主要集中在应用拓展、 安装误差及其测校算法、环境参数控制及其补偿方法研究等方面。在应用拓展方面，激光外差干涉技术除了应用于测长之外，还在小角度测量、直线度、平面度、反馈测量等方面取得了应用［18- 20］。在安装误差和环境误差补偿算法方面，主要聚焦于多自由度解耦算法、大气扰动补偿等研究方向［4，21- 27］。 7 总结 阐述了光刻机对位移测量系统大量程、亚纳米 分辨率、纳米精度、高测速及多轴同步的苛刻要求。 概述了激光外差干涉技术原理，指出目前为止，激光外差干涉技术是唯一能满足光刻机上述要求的超精密位移测量技术。并综述了两种基于激光外差干涉技术的测量系统：双频激光干涉仪和平面光栅测量系统。总结了这两种位移测量系统在光刻机中的典型应用，以及激光外差干涉技术的当前研究热点和发展趋势。全文详见：激光外差干涉技术在光刻机中的应用.pdf

通过激光刻蚀去除所需位点外围的大部分材料，再通过FIB切割和抛光得到横截面，两种技术相结合最终实现了超大尺寸样品处理所需的速度和精度。而这种组合方式的最新阶段是采用激光刻蚀和PFIB刻蚀实现协同处理，进一步提高分析通量、效率和灵活性。激光集成到FIB室中 VS 独立的激光刻蚀和PFIB协同处理 效率提高至少2,000倍 激光刻蚀提供的最大铣削速率比镓源FIB快约100,000倍，比PFIB快约2,000倍，同时仍保持针对特定位点的足够铣削精度。将激光刻蚀（初始切削材料）与PFIB（最终切割和抛光）相结合可以将制备大尺寸横截面所需的总时间减少95%，在某些情况下甚至更多。如图1显示了镓源FIB、PFIB和激光刻蚀的光斑大小与材料去除率之间的关系。相邻表格提供了这3种技术在最大铣削和最终抛光束流条件下材料去除率的数值比较。如图1：（左）所示，镓源FIB、PFIB和激光刻蚀占据不同的区域，其特点是光斑尺寸（光束直径）和材料去除率之间的制衡。一般来说，较高的束流或束流强度会更快地去除材料，但精度较低。表格(右)比较了材料在三种技术下最大束流和典型抛光条件下的束流(或激光的离子束等效电流)和材料去除率关系。此外，还显示了镓源FIB与激光刻蚀、PFIB与激光刻蚀的去除率之比。将激光集成到FIB室中后，系统一次只能使用一个功能，而其他功能处于空闲状态。TESCANT提供一种最新方式来实施集成显微镜技术，通过独立的激光刻蚀（microPrep PRO、3D-Micromac AG）和PFIB(TESCAN Solaris X)系统提供并行处理。两个系统都不会因为另一个系统的运行而空闲。激光刻蚀系统可以为多个联用工具准备样品，无论联用是多个FIB 还是各种其他故障分析仪器，最终结果都是增加了分析通量和产率，并降低了每次分析的成本。激光刻蚀系统提供约10微米的铣削精度(束斑尺寸)和约3微米的光束定位精度（以厘米为移动范围），使其快速准确地去除立方毫米的材料。基于电路设计的CAD数据或各种FA工具的2D图像叠加的相关对准技术有助于在两个系统中以高精度找到感兴趣区。● 独立系统中的协同处理优点 ●1, 超短激光脉冲最大限度地减少了激光引起热影响区，从而减少了必须通过PFIB中的最终抛光去除的材料量。2. 单独在激光刻蚀系统中切削材料可避免PFIB仓内污染的风险，其中污染物会干扰仪器本身和分析结果。3. 样品同时可以在各种气体环境中通过激光进行处理，并且可以使用解决方案来允许系统之间的转移，而不会暴露在周围环境中。4. 激光刻蚀工具上的平台提供具有六个自由度的精确自动化运动，使其能够在需要时铣削复杂的图案。5. 在激光刻蚀过程中倾斜样品的能力对于补偿由光束能量的高斯强度分布引起的锥度特别有益。尽管它可以使用FIB抛光消除，但在激光刻蚀操作期间避免它可以大大减少FIB抛光所需的时间。6. 消除锥度对于半导体样品中准确对齐堆叠重复结构的横截面（例如TSV、锡焊球等）工艺至关重要。PFIB系统针对高深度大尺寸铣削进行了优化，它提供高达3µA的束流，每秒可去除多达1,400µm3的材料。用于最终抛光的较低离子束电流(300nA)仍可去除高达141µm3/s，即使在具有挑战性的样品上也能提供原始横截面。最具挑战性的样品是那些需要不同切削速率的硬质和软质复合材料的样品。容易产生独特的垂直形貌，描述性地称为“窗帘”。从而引起的窗帘伪影可能会掩盖后续成像中的关键细节。在切削操作过程中，我们可以通过小角度反复摇摆样品减少窗帘伪影。角度的轻微变化使离子束能够更好地进入材料下方较硬的屏蔽区域，并平滑铣削过程。对于束流/铣削速率较高的FIB，窗帘效应可能是一个挑战，就像大通量工作流程中高速铣削所需的那些一样。对于该问题，PFIB系统配置的摆动台提供了一种自动摆动模式，可以予以解决在某些材料中，包括碳化硅、聚酰亚胺、玻璃等，产生的另一种伪影-呈阶梯式。阶梯一旦出现，就会自我强化，很难移除。我们用一种创新的解决方案(True x-section，用户指导程序)来消除了阶梯效应，比大面积FIB沉积速度快得多：允许操作人员在要切片的区域放置一个小的保护硬面罩。案例图2至图6显示了使用激光刻蚀和PFIB来曝光电路元件以进行成像和分析的示例。每个示例都包括每次操作所花费的时间以及相对于单独使用PFIB制备样品所节省的总时间。图2：先进芯片集成中间的图像显示了一个超大的横截面，宽几百微米，深几百微米，穿过集成电路和连接到插入器的焊锡球和触点。左边和右边的图像显示了该截面的细节，左边是IC的放大倍数更高的图像，右边是锡球和接触垫之间的空隙。横切过程在激光刻蚀仪器中耗时10分钟，在PFIB中耗时90分钟，与单独使用PFIB相比节省了70%的时间。图3：锥度校正（右）显示了在高带宽存储器(HBM)器件中硅穿孔(TSV)堆栈的数百微米深和宽的横截面，它说明了系统切割贯通每个TSV中心的精确垂直横截面的能力。在激光刻蚀过程中倾斜样品以补偿锥角对于减少最终PFIB铣削操作要去除的材料量至关重要，从而减少横截面所需的总时间。横截面在激光刻蚀仪器中耗时10分钟，在PFIB中耗时120分钟，与单独的PFIB相比，节省了80%的时间。图4：FIB层析成像的激光刻蚀准备FIB的层析成像通过FIB逐层切片的方式，从捕获的一系列图像中重建了样本体积的3D模型。准备工作首先使用激光刻蚀从一个立方体/矩形体的三面去除材料，如“俯视图”(左)所示。在此视图中，最终将与FIB连续剖切的面位于立方体形状的底部。在“正视图”（中间）中，样品已旋转90°以显示横截面。插图（右）放大了横截面的一个区域以显示其切削质量。使用激光烧蚀制备样品需要10分钟，与PFIB 相比节省了70%的时间。图5: 有机发光二极管面板手机和其他移动设备的显示器含有关键的微结构，在样品制备过程中容易被机械应力损坏。这种精致的样品需要一种特殊的处理方法:在PFIB进行最后切削和抛光之前，在边缘的一个几毫米长的区域被有意地用激光削尖。左上方的第3张图像显示了激光刻蚀切口。下图显示了经过PFIB切削和抛光后长约0.5mm截面(PFIB可以切割和抛光长达1mm的截面)。最右边的顶部图像显示了最终横截面的更高倍放大图。横切面在激光刻蚀中花费了74分钟，在PFIB中花费了165分钟，与单独PFIB相比节省了95%的时间。图6： 微机电系统MEMS设备对样品制备过程中的机械损伤特别敏感。在这个例子中，激光刻蚀被用来打开一个窗口，进入封装的 MEMS 设备进行检查和分析。 节省的时间从70%到95%以上 激光刻蚀功能嵌入FIB系统的系统本质上是低效的，因为一次只能使用一种功能。该技术的最新迭代在独立的激光刻蚀和PFIB中实现并行处理，通过允许同时在两种工具中进行处理来提高通量和产率。这些工具通过相关的图像对齐程序和CAD叠加导航进行集成。在并行配置中，单个激光刻蚀系统可以供给多个FIB和其它FA工具。这种方法具有消除污染FIB系统的风险的优势，其中污染物会干扰成像和分析或损坏系统。我们展示了几个大的、高质量的横截面示例，并计算出与单独使用PFIB制备相比节省的时间，所示示例中节省的时间从70%到95%以上。

近日必达泰克公司（B&W Tek）的“新型激光器（Cleanlaze™ 系列）在拉曼光谱分析中的应用”，成功地获得了美国专利 (专利号: US 7,245,369 B2), 为拉曼专用激光器的应用提供了新的选择。 新型激光器（Cleanlaze™ 系列）是一种窄带、稳频、低功耗、小体积、结构紧凑的激光激发光源（特别是在近红外波长范围内）。过去这种激发光源依赖于外腔型激光器，其成本和复杂程度往往令使用者望而生畏。B&W Tek在与有关厂商的多年合作过程中，成功发展了数种高性能、高性价比的稳频半导体激光器，并将其应用在拉曼光谱分析中，成功地获得了美国专利。该系列主要有785nm、830nm、980nm及其他客户所需波长。根据不同拉曼光谱分析的需求，我们提供了单模（0.02nm FWHM）及窄带多模（0.25nm FWHM）等不同规格。多模激光器最大可通过光纤输出大于1.2w的功率。单模目前已经可以达到输出100mw的要求。 基于这款Cleanlaze™ 系列激光产品，B&W Tek为广大客户提供了3种仪器系统。 一． 完整的拉曼光谱仪系统MiniRam™ 、MiniRam™ II和i-Raman™ ，其中包括了Cleanlaze™ 系列激光产品 二． 供实验室使用的台式Cleanlaze™ 系列激光激发光源 三． OEM Cleanlaze™ 系列激光模块，其包括TE 致冷控温，电路驱动以及激光光纤输出。 （以上产品均有USB激光输出功率控制模块选配。） 美国必达泰克公司一直致力于激光器和微型光纤光谱仪的研发生产，在激光器和光谱仪的研发生产上有着丰富的经验。目前必达泰克公司在激光器和光谱仪方面已获得多项美国专利，并且还有十几项专利正在审核中。如需要具体信息，可与上海办公室联系，必达泰克光电科技（上海）有限公司，电话021-64515208。我们将竭诚为您服务！

激光粒度分析技术在药物制剂研究、产业化中的应用源自：中国粒度仪网　　　　　　　　　日期：2012-8-14　　　　　　　　　浏览量：7 这项技术的研究和应用在医疗卫生实践和工业实践中占据着极其重要的地位，起着推动医、药科学向前发展的作用。近年来，由于药物新制剂已经成为了医药产业的增长点，全世界新释药系统销售额稳步增长，约占整个医药市场的10％以上。治疗新观念促进了新释药系统的开发，新技术推动了新制剂产品上市。激光粒度分析仪在药物制剂研究和生产中所发挥的作用越来越大，受到药物制剂研究和生产工艺中质量鉴控的工程技术人员、药品检验人员的重视。以下是微粒激光检测技术在新制剂科研和生产上应用的讨论。　　　　一、微囊方面：　　　　微型包囊技术是当今世界发展迅速、用途广泛而又比较成熟的一种技术。制备微胶囊的过程称为微胶囊化(microencapsulation)，它是将固体、液体或气体包裹在一个微小的胶囊中。微囊的粒子大小，因制备工艺及用途不同而不同，理论上可以制成0.1～1000nm的微囊，从而有微米微囊和纳米级纳米囊之分。微囊的制备有物理化学法、物理机械法和化学法三类。其中物理化学法中相分离工艺现已成为药物微囊化的主要工艺之一，该工艺仍涉及一些质量问题未能作定量的研究并难于准确评价，如普遍存在的微囊粘连、聚集问题。相似的工艺得到的产品在粒径范围及释放数据方面有着很大的差异。用LS激光微粒测定方法，可以比较直观地观察到样品的微粒大小及其分布，分布得越集中，表示越均匀(图)。通过这一检测可发现工艺过程是否合理，并且控制得是否严谨。微囊化反应敏感程度是否合适，条件的微小变化会引起明显效果差异的情况下达到可控。例如，以明胶为囊材的工艺流程。　　　　囊心物囊材　　　　＼／　　　　&darr 　　　　混悬液(或乳状液)　　　　&darr 　　　　凝聚囊　　　　激光微粒检测点&rarr &darr 稀释液　　　　&darr 沉降囊　　　　└--&rarr &darr 　　　　固化囊　　　　&darr 　　　　微囊&rarr 制剂　　　　所用稀释液浓度过高或过低，可使凝聚囊粘连成团或溶解。　　　　二、微球　　　　微球(microspheres)是指药物分散或被吸附在高分子聚合物基质中而形成的微粒分散体系。药物可溶解或分散在高分子材料基层中，形成基层型微小球状实体的固体骨架物。其微粒大小一般在1～300&mu m，甚至更大。另外，将固体药物或液体药物作囊心物包裹而成药库型微小胶囊，称微囊。两者没有严格区分。微球粒径大小不一(0.01～700&mu m)，检测方法除显微镜法、电子显微镜法之外，就是激光粒度测定法和库尔特计数仪法。激光粒度分析是比前两种方法所反映的面更广泛。显微镜局限于视野之内，电镜所观察到的范围更小，只能较为精细地观察到粒子的形态。从制剂研究和生产的角度出发，激光粒度分析和库尔特计算法更能指导工艺，反映质量。　　　　三、粉雾剂(powderinhalation)　　　　粉雾剂是一种或一种以上的药物，经特殊的给药装置给药后以干粉形式进入呼吸道，发挥全身或局部作用的一种给药系统，具有靶向、高效、速效、毒副作用小等特点。根据给用药部位的不同，可分为经鼻用粉雾剂和经口腔用(肺吸入)粉雾剂。粉雾剂的特点有：①无胃肠道降解作用；②无肝脏首过效应；③药物吸收迅速，给药后起效快；④大分子药物的生物利用度可以通过吸收促进剂或其他方法的应用来提高；⑤小分子药物尤其适用于呼吸道直接吸入或喷入给药；⑥药物吸收后直接进入循环，达到全身治疗的目的；⑦可用于胃肠道难以吸收的水溶性大的药物；⑧患者顺应性好，特别适用于原需进行长期注射治疗的病人；⑨起局部作用的药物，给药剂量明显降低，毒副作用少。不同的给药部位对微粒大小的要求不同，如肺吸入粉雾剂要求主药粒径应小于5&mu m，而鼻用粉雾剂粒径则应为30～150&mu m。粉雾剂的质量研究是粒子质量检查。主要检查粒径分布，粒子的形态，测定这些项目，用LS激光粒度分析仪是比较适合。　　　　四、脂质体的粒径和分布　　　　脂质体粒径大小和分布均匀程度与其包封率和稳定性有关，直接影响脂质体在机体组织的行为和处置。脂质体的粒径小于100nm，在血循环的时间较长，若脂质体的粒径大于200nm，则脂质体很容易被巨嗜细胞作为外来异物而吞噬，脂质体在体内的循环时间很短。影响脂质体粒径和分布的因素很多，可以这样认为，凡影响脂质体聚结稳定的因素，都关系到脂质体的粒径和分布。脂质体的检验，用激光粒度分析法能快速简单地显示出脂质体的粒径，可测出平均粒径、中位粒径，分布图可以判断出粒子是否均匀和稳定。　　　　五、脂质体眼科用药系统　　　　脂质体作为眼部给药系统，其组成材料为磷脂双分子层膜，类似于生物膜，易与生物融合，促进药物对生物膜的穿透性，故药物外用滴眼的跨角膜转运效率较高；通过选择不同的制备方法，制成脂质体粒径为0.02～5&mu m之间，滴入眼部无异物感，不影响眼睛的正常生理功能。　　　　脂质体眼科用给药系统的制备与一般的脂质体相似。质量控制&mdash 运用激光粒度分析仪应在均质之后取样分析。　　　　六、新型乳剂稳定性　　　　乳剂是两种互不相混溶的液体借助表面活性剂的乳化作用，使一种液体分散在另一种液体中形成不均匀的微米或纳米分散系统。在这一范围内对乳剂作微观检查，应用激光粒度分析仪是可以测定乳剂微粒子的大小及其分布。可以通过116个分析通道分析出每一个粒子直径区间中粒子的大小及个数；可以通过粒子分布图观察粒子总体分布和均匀度；也可以通过对分布图统计表收集常用的技术参数。　　　　七、纳米粒　　　　一般认为纳米粒的粒径大小界定在1～1000nm范围内。已研究的纳米粒包括聚合物纳米与纳米球、药质体、脂质纳米粒、纳米乳和聚合物胶囊。　　　　例如：油相用液状石蜡可制得纳米球平均粒径820nm　　　　棉子油制得纳米球平均粒径560nm.等。　　　　小结：随着药物制剂技术的迅速发展，新制剂逐步从实验室向医药生产企业进行产业化转移。激光粒度分析在工艺控制和药品质量控制中的应用也显得越来越重要。了解和掌握激光粒度分析方法迎接医药制剂新时代，将会使我们从中受益。

p style="text-align: justify text-indent: 2em "span style="text-indent: 28px font-family: 宋体 "strong仪器信息网讯 /strong本网系列重磅资讯——激光粒度仪中标盘点最新一期今日出炉！本期的中标盘点汇总了/spanspan style="text-indent: 28px "2019/spanspan style="text-indent: 28px font-family: 宋体 "年/spanspan style="text-indent: 28px "7/spanspan style="text-indent: 28px font-family: 宋体 "月/spanspan style="text-indent: 28px "-2019/spanspan style="text-indent: 28px font-family: 宋体 "年/spanspan style="text-indent: 28px "9/spanspan style="text-indent: 28px font-family: 宋体 "月与激光粒度仪有关的中标信息，涉及的细分仪器类型主要包括激光粒度仪和纳米粒度及/spanspan style="text-indent: 28px "zeta/spanspan style="text-indent: 28px font-family: 宋体 "电位仪。自本系列连载/spanspan style="text-indent: 28px "1/spanspan style="text-indent: 28px font-family: 宋体 "年多以来，我国激光粒度仪中标市场的主要品牌中标数量占比变化有限，然而在本期盘点的时间范畴内，整个中标市场却发生了较大变化，由一超独秀的局面转变为多强并起的“战国风云”，仪器信息网也对对其进行了条分缕析，并绘制、公布了/spanspan style="text-indent: 28px "2019Q3/spanspan style="text-indent: 28px font-family: 宋体 "明星仪器榜，以飨读者。/span/pp style="text-indent: 28px text-align: justify "span style="font-family:宋体"（注：本文所收集信息全部来源于网络公开招标平台，受限于时间和渠道，或不能代表市场全貌，仅供读者参考，欢迎大家共同交流探讨）/span/pp style="text-indent: 28px text-align: justify "strongspan style="font-family:宋体"马尔文帕纳科霸主地位受挑战/span/strong/pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 600px height: 272px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201910/uepic/2d626e52-9faa-4e4f-8abe-b0064355761d.jpg" title="1 激光粒度仪2019Q3中标盘点 从一超到多强大变天？.png" alt="1 激光粒度仪2019Q3中标盘点 从一超到多强大变天？.png" width="600" height="272" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center text-indent: 0em "strongspan style="font-family:宋体"图/spanspan1/span/strongstrongspan style="font-family:宋体"左/spanspan:2019Q3/span/strongstrongspan style="font-family:宋体"中标激光与纳米粒度仪分布占比/span/strong/pp style="text-align: center text-indent: 0em "strongspan style="font-family:宋体"图/spanspan1/span/strongstrongspan style="font-family:宋体"右：/spanspan2019Q3/span/strongstrongspan style="font-family:宋体"国产/spanspan//span/strongstrongspan style="font-family:宋体"进口品牌中标数量占比情况/span/strong/pp style="text-indent: 28px text-align: justify "span style="font-family:宋体"在本次的中标盘点中，中标的仪器以激光粒度仪为主，占比/spanspan85%/spanspan style="font-family:宋体"，纳米粒度仪占比/spanspan15%/spanspan style="font-family:宋体"，如图/spanspan1/spanspan style="font-family:宋体"左所示，而整体来看，中标的进口品牌数量达/spanspan67%/spanspan style="font-family:宋体"，仍然占据绝对优势。然而具体到细分的各个生产商品牌，则出现了近/spanspan1/spanspan style="font-family:宋体"年以来中标盘点中从未出现的现象。/span/pp style="text-align:center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 600px height: 360px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201910/uepic/89d6d156-0685-440c-ade8-2528b6acc600.jpg" title="2 激光粒度仪2019Q3中标盘点 从一超到多强大变天-0？.png" alt="2 激光粒度仪2019Q3中标盘点 从一超到多强大变天-0？.png" width="600" height="360" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center text-indent: 0em "strongspan style="font-family:宋体"图/spanspan2/span/strongstrongspan style="font-family:宋体"：/spanspan2019Q3/span/strongstrongspan style="font-family:宋体"激光粒度仪主要品牌中标数量分布/span/strongbr//pp style="text-indent: 28px text-align: justify "span style="font-family:宋体"分析以往数据，在/spanspan2018/spanspan style="font-family:宋体"年上半年的中标盘点中，马尔文帕纳科中标数量占比高达/spanspan30.7%/spanspan style="font-family:宋体"，领先第二名超过/spanspan15/spanspan style="font-family:宋体"个百分点。在/spanspan2018/spanspan style="font-family:宋体"年随后的/spanspan7-8/spanspan style="font-family:宋体"月、/spanspan9/spanspan style="font-family:宋体"月，马尔文帕纳科的中标数量占比分别为/spanspan37%/spanspan style="font-family:宋体"、/spanspan30%/spanspan style="font-family:宋体"都遥遥领先第二名的品牌。而在/spanspan2019/spanspan style="font-family:宋体"年上半年马尔文帕纳科激光粒度仪的中标数量高达/spanspan38%/spanspan style="font-family:宋体"，超过第二名/spanspan20/spanspan style="font-family:宋体"个百分点（strongspan style="color:#00B0F0"以上详情请参看文末延伸阅读/span/strong）。/span/pp style="text-indent: 28px text-align: justify "span style="font-family:宋体"而在/spanspan2019/spanspan style="font-family:宋体"年/spanspan7-9/spanspan style="font-family:宋体"月（/spanspanQ3/spanspan style="font-family:宋体"）所有公布中标品牌的信息中，在中标数量的维度，马尔文帕纳科的占比跌破/spanspan20%/spanspan style="font-family:宋体"，占比约/spanspan19%/spanspan style="font-family:宋体"，而国产激光粒度仪品牌丹东百特强势崛起，与马尔文帕纳科并驾齐驱，两品牌分享了头把交椅的位置。而欧美克和麦奇克则各占比17%和/spanspan15%/spanspan style="font-family:宋体"紧随其后，美国布鲁克海文也有/spanspan10%/spanspan style="font-family:宋体"的占比。应该来说仅就/spanspan2019/spanspan style="font-family:宋体"年/spanspanQ3/spanspan style="font-family:宋体"阶段来说，我国的激光粒度仪市场由前半年的一超转变为多强并起的局面，如图/spanspan2/spanspan style="font-family:宋体"所示。/span/pp style="text-align:center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 600px height: 325px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201910/uepic/ff2e1a7b-48dc-4258-9cf3-7f2e50dbf0b7.jpg" title="3 激光粒度仪2019Q3中标盘点 从一超到多强大变天0？.png" alt="3 激光粒度仪2019Q3中标盘点 从一超到多强大变天0？.png" width="600" height="325" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center text-indent: 0em "strongspan style="font-family:宋体"图/spanspan3/span/strongstrongspan style="font-family:宋体"：/spanspan2019Q3/span/strongstrongspan style="font-family:宋体"激光粒度仪主要品牌中标金额分布/span/strong/pp style="text-indent: 28px text-align: justify "span style="font-family:宋体"不过，从中标金额的维度看，排名前列的仍然是进口品牌，马尔文帕纳科仍然排在第一位，但是优势并不明显，占比约/spanspan23%/spanspan style="font-family:宋体"；德国新帕泰克以极高的单台均价攀升至第二的位置，占比约/spanspan20%/spanspan style="font-family:宋体"，/spanspan2019Q3/spanspan style="font-family:宋体"期间，所统计到的德国新帕泰克中标激光粒度仪加配置基本超过/spanspan80/spanspan style="font-family:宋体"万元。麦奇克排名第三，占比也接近/spanspan20%/spanspan style="font-family:宋体"，布鲁克海文占比约/spanspan13%/spanspan style="font-family:宋体"排名第/spanspan4/spanspan style="font-family:宋体"。而国产方面的龙头丹东百特则以/spanspan10%/spanspan style="font-family:宋体"的占比排名第/spanspan5/spanspan style="font-family:宋体"，详情如图/spanspan3/spanspan style="font-family:宋体"所示。应该说，就我国高端激光粒度仪市场而言，进口品牌仍然占据着较大的优势。/span/pp style="text-indent: 28px text-align: justify "strongspanQ3/span/strongstrongspan style="font-family:宋体"明星仪器榜公布/span /strongstrongspan style="font-family:宋体"捕捉激光粒度仪最闪耀的星/span/strong/pp style="text-indent: 28px text-align: justify "span style="font-family:宋体"根据/spanspan2019/spanspan style="font-family:宋体"年/spanspanQ3/spanspan style="font-family:宋体"各主要中标品牌和型号的数据信息，仪器信息网绘制了/spanspan2019/spanspan style="font-family:宋体"年/spanspanQ3/spanspan style="font-family:宋体"激光粒度仪中标市场明星仪器榜，现公布如下：/span/pp style="text-align: center text-indent: 28px "strongspan style="color:#00B0F0"2019/span/strongstrongspan style="font-family:宋体 color:#00B0F0"年/spanspan style="color:#00B0F0"Q3/span/strongstrongspan style="font-family:宋体 color:#00B0F0"激光粒度仪中标市场明星仪器榜（排名不分先后）/span/strong/ptable border="1" cellspacing="0" cellpadding="0" style="border: none" width="NaN" align="center"tbodytr class="firstRow"td valign="top" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="173"p style="text-align: justify "strongspan style="font-family:宋体"仪器类型/span/strong/p/tdtd valign="top" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="175" align="center"p style="text-align: justify "strongspan style="font-family:宋体"仪器品牌/span/strong/pp style="text-align: justify "strongspan style="font-family:宋体"（点击了解品牌详情）/span/strong/p/tdtd valign="top" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="175"p style="text-align: justify "strongspan style="font-family:宋体"仪器型号/span/strong/pp style="text-align: justify "strongspan style="font-family:宋体"（点击了解产品详情）/span/strong/p/td/trtrtd valign="top" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="173"p style="text-align: justify "span style="font-family:宋体"激光粒度仪/span/p/tdtd valign="top" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="175"p style="text-align: justify "span style="text-decoration: none color: rgb(0, 176, 240) "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/SH100646/"span style="text-decoration: none font-family: 宋体 "马尔文帕纳科/span/a/span/p/tdtd valign="top" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="175"p style="text-align: justify "span style="text-decoration: none color: rgb(0, 0, 0) "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/SH100646/C142974.htm"Mastersizer 3000/a/span/p/td/trtrtd valign="top" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="173"p style="text-align: justify "span style="font-family:宋体"激光粒度仪/span/p/tdtd valign="top" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="175"p style="text-align: justify "span style="text-decoration: none "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/SH100350/"span style="text-decoration: none font-family: 宋体 "丹东百特/span/a/span/p/tdtd valign="top" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="175"p style="text-align: justify "spana href="https://www.instrument.com.cn/netshow/sh100350/C16758.htm"BT-9300ST/a/span/p/td/trtrtd valign="top" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="173"p style="text-align: justify "span style="font-family:宋体"激光粒度仪/span/p/tdtd valign="top" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="175"p style="text-align: justify "span style="text-decoration: none "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/SH100350/"span style="text-decoration: none font-family: 宋体 "丹东百特/span/a/span/p/tdtd valign="top" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="175"p style="text-align: justify "spana href="https://www.instrument.com.cn/netshow/sh100350/C277103.htm"Bettersize2600/a/span/p/td/trtrtd valign="top" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="173"p style="text-align: justify "span style="font-family:宋体"激光粒度仪/span/p/tdtd valign="top" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="175"p style="text-align: justify "span style="text-decoration: none "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/SH100350/"span style="text-decoration: none font-family: 宋体 "丹东百特/span/a/span/p/tdtd valign="top" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="175"p style="text-align: justify "spana href="https://www.instrument.com.cn/netshow/sh100350/C247285.htm"Bettersize3000/a/span/p/td/trtrtd valign="top" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="173"p style="text-align: justify "span style="font-family:宋体"激光粒度仪/span/p/tdtd valign="top" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="175"p style="text-align: justify "span style="text-decoration: none "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/SH100150/"span style="text-decoration: none font-family: 宋体 "麦奇克/span/a/span/p/tdtd valign="top" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="175"p style="text-align: justify "span style="text-decoration: none "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/SH100150/C12443.htm"S3500/a/span/p/td/trtrtd valign="top" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="173"p style="text-align: justify "span style="font-family:宋体"激光粒度仪/span/p/tdtd valign="top" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="175"p style="text-align: justify "span style="text-decoration: none "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/SH100150/"span style="text-decoration: none font-family: 宋体 "麦奇克/span/a/span/p/tdtd valign="top" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="175"p style="text-align: justify "span style="text-decoration: none "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/SH100150/C284014.htm"sync/a/span/p/td/trtrtd valign="top" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="173"p style="text-align: justify "span style="font-family:宋体"纳米粒度及/spanspanZeta/spanspan style="font-family:宋体"电位仪/span/p/tdtd valign="top" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="175"p style="text-align: justify "span style="text-decoration: none "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/SH100165/"span style="text-decoration: none font-family: 宋体 "美国布鲁克海文/span/a/span/p/tdtd valign="top" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="175"p style="text-align: justify "span style="text-decoration: none "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/SH100165/C10134.htm"NanoBrook 90Plus/a/span/p/td/trtrtd valign="top" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="173"p style="text-align: justify "span style="font-family:宋体"纳米粒度及/spanspanZeta/spanspan style="font-family:宋体"电位仪/span/p/tdtd valign="top" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="175"p style="text-align: justify "span style="text-decoration: none "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/SH100165/"span style="text-decoration: none font-family: 宋体 "美国布鲁克海文/span/a/span/p/tdtd valign="top" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="175"p style="text-align: justify "span style="text-decoration: none "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/SH100165/C182333.htm"NanoBrook Omni/a/span/p/td/trtrtd valign="top" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="173"p style="text-align: justify "span style="font-family:宋体"激光粒度仪/span/p/tdtd valign="top" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="175"p style="text-align: justify "span style="text-decoration: none "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/SH100546/"span style="text-decoration: none font-family: 宋体 "欧美克/span/a/span/p/tdtd valign="top" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="175"p style="text-align: justify "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/C231134.htm" target="_self" style="color: rgb(0, 112, 192) text-decoration: underline "span style="text-decoration: none "LS-609/span/a/p/td/trtrtd valign="top" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="173"p style="text-align: justify "span style="font-family:宋体"激光粒度仪/span/p/tdtd valign="top" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="175"p style="text-align: justify "span style="text-decoration: none "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/SH100645/"span style="text-decoration: none font-family: 宋体 "新帕泰克/span/a/span/p/tdtd valign="top" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="175"p style="text-align: justify "span style="text-decoration: none "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/SH100645/Search.htm?sType=0&Keywords=HELOS"HELOS/BR/a/span/p/td/tr/tbody/tablep style="text-indent: 28px text-align: justify "span style="font-family:宋体"就几大主要品牌的中标型号进行分析，马尔文帕纳科主要中标的产品为其近年来的主打产品/spanspanMastersizer 3000/spanspan style="font-family:宋体"，就型号而言，/spanspanMastersizer 3000/spanspan style="font-family:宋体"也是/spanspan2019/spanspan style="font-family:宋体"年/spanspanQ3/spanspan style="font-family:宋体"所有激光粒度仪中标信息中，中标数量最多的产品型号。而国产巨头丹东百特则全面开花，从中低端产品/spanspanBT-9300ST/spanspan style="font-family:宋体"到中、高端产品/spanspanBettersize2600/spanspan style="font-family:宋体"、/spanspanBettersize3000/spanspan style="font-family:宋体"都取得了喜人的成绩，特别是/spanspanBettersize3000/spanspan style="font-family:宋体"在福建一家政府机构的招标中，以/spanspan46.5/spanspan style="font-family:宋体"万的价格夺取标的，单台的售价达到进口高价位仪器的水准。/span/pp style="text-indent: 28px text-align: justify "span style="font-family:宋体"麦奇克在/spanspan2019/spanspan style="font-family:宋体"年刚刚被弗尔德收购，不过今后仍将由大昌华嘉独家代理，其传统优势的/spanspanS3500/spanspan style="font-family:宋体"和/spanspan2018/spanspan style="font-family:宋体"年推出的将粒度粒形分析功能一体化的新品/spanspansync/spanspan style="font-family:宋体"都延续了此前的强劲表现，麦奇克在这两款产品的驱动下，也继续成为中国激光粒度仪市场上的最有力竞争者之一。另外值得一提的是美国布鲁克海文，该品牌基本统治了/spanspan2019/spanspan style="font-family:宋体"年/spanspanQ3/spanspan style="font-family:宋体"期间的中国纳米粒度及/spanspanzeta/spanspan style="font-family:宋体"电位仪市场，主要中标的仪器型号为/spanspanNanoBrook 90Plus PALS/spanspan style="font-family:宋体"和/spanspanNanoBrook Omni/spanspan style="font-family:宋体"。/span/pp style="text-indent: 28px text-align: justify "span style="font-family:宋体"中标数量名列前茅的欧美克在金额占比上则相对较少，中标的仪器大部分集中在低价位领域，/spanspanLS-609/spanspan style="font-family:宋体"是其斩获标的最多的型号。德国新帕泰克的中标情况与欧美克正好相反，数量有限，但仪器中标平均单价为各品牌之最，主要中标的产品型号为/spanspanHELOS/BR/spanspan style="font-family:宋体"。/span/pp style="text-indent: 42px text-align: justify "strongspan style="font-family:宋体"科研仍爱高价/span /strongstrongspan style="font-family:宋体"京鲁苏延续强势/span /strong/pp style="text-align:center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 600px height: 210px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201910/uepic/afafe618-c4c4-4ff8-b987-5d822b9b67ca.jpg" title="激光粒度仪2019Q3中标盘点 从一超到多强大变天？.jpg" alt="激光粒度仪2019Q3中标盘点 从一超到多强大变天？.jpg" width="600" height="210" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center text-indent: 28px "strongspan style="font-family:宋体"图/spanspan4/span/strongstrongspan style="font-family:宋体"左：/spanspan2019Q3/span/strongstrongspan style="font-family:宋体"激光粒度仪招标单位类型分布/span/strong/pp style="text-align: center text-indent: 28px "strongspan style="font-family:宋体"图/spanspan4/span/strongstrongspan style="font-family:宋体"右：/spanspan2019Q3/span/strongstrongspan style="font-family:宋体"激光粒度仪中标价位分布/span/strong/pp style="text-indent: 28px text-align: justify "span style="font-family:宋体"从招标单位类型来看，企业分析测试中心与上半年相比占比有所上升，达/spanspan21%/spanspan style="font-family:宋体"，政府机构占比与上半年基本持平占/spanspan14%/spanspan style="font-family:宋体"。而大专院校/spanspan//spanspan style="font-family:宋体"科研院所在/spanspan2019/spanspan style="font-family:宋体"年/spanspanQ3/spanspan style="font-family:宋体"仍然是主流，虽然占比同比上半年有所下降，但占比仍高达/spanspan65%/spanspan style="font-family:宋体"，详情如图/spanspan4/spanspan style="font-family:宋体"左所示。由于这个原因，所以从价位方面看，/spanspan40/spanspan style="font-family:宋体"万以上的高价位激光粒度仪仍然是中标市场的主流占比高达/spanspan45%/spanspan style="font-family:宋体"，且呈现随着价位分布的递减，中标数量也递减的趋势，详情如图/spanspan4/spanspan style="font-family:宋体"右所示。/span/pp style="text-align:center"spanimg style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201910/uepic/b5ab5001-4c2d-4392-a886-b63bab85e6b2.jpg" title="5 激光粒度仪2019Q3中标盘点 从一超到多强大变天？.png" alt="5 激光粒度仪2019Q3中标盘点 从一超到多强大变天？.png"//span/pp style="text-align: center text-indent: 0em "span style="font-family:宋体"图/spanspan5/spanspan style="font-family:宋体"：strong激光粒度仪中标地域分布/strong/spanstrong/strong/pp style="text-indent: 28px text-align: justify "span style="font-family:宋体"从中标地域的角度看，各地中标分布整体较上半年更为平均，北京、山东、江苏延续了此前的强劲表现，北京、山东共列榜首，而浙江、陕西、辽宁则与江苏一起成为新的第二梯队。详情如图/spanspan5/spanspan style="font-family:宋体"所示。/span/pp style="text-indent: 28px text-align: justify "span style="font-family:宋体"总体而言，在/spanspan2019/spanspan style="font-family:宋体"年/spanspanQ3/spanspan style="font-family:宋体"期间的激光粒度仪中标市场上，科研用的高价位激光粒度仪仍然是主流，结合/spanspan2019/spanspan style="font-family:宋体"年上半年，北京、山东、江苏成为中标信息涌现最多的三个省市。具体到品牌维度，无论从中标数量还是从中标金额的角度，均呈现出与前半年颇不相同的多强逐鹿、难分伯仲之局。这究竟是因为各主流厂商业务流程不同所造成的暂时现象，还是我国激光粒度仪招标采购市场的整体格局发生了悄无声息的大变化，或是有其他诱导因素，目前尚无法定论，仪器信息网也会紧密关注我国激光粒度仪中标市场接下来的动态，实时与读者分享。/span/pp style="text-indent: 28px text-align: justify "strongspan style="font-family: 宋体 color: rgb(0, 176, 240) "延伸阅读：/span/strong/pp style="text-indent: 2em "a href="https://www.instrument.com.cn/news/20190710/488642.shtml" target="_self"span style="font-family: 宋体, SimSun color: rgb(0, 176, 240) "巴蜀地有玄妙 耕耘处觅新机—— 2019激光粒度仪中标年中盘点参上/span/a/pp style="text-indent: 2em "a href="https://www.instrument.com.cn/news/20180705/467016.shtml" target="_self"span style="font-family: 宋体, SimSun color: rgb(0, 176, 240) "管中窥豹：2018激光粒度仪中标半年盘点 国产37%喜忧参半/span/a/pp style="white-space: normal text-indent: 2em "a href="https://www.instrument.com.cn/news/20180831/470487.shtml" target="_self"span style="font-family: 宋体, SimSun color: rgb(0, 176, 240) "激光粒度仪7-8月中标盘点 ——金额超千万 药、农需求旺/span/a/pp style="text-indent: 2em "a href="https://www.instrument.com.cn/news/20181009/472614.shtml" target="_self"span style="font-family: 宋体, SimSun color: rgb(0, 176, 240) text-decoration: underline "激光粒度仪9月中标盘点 上海占头彩（附赠名单详情）/span/a/pp style="text-indent: 2em "span style="color: rgb(0, 176, 240) "strong点击进入/strong/spanspan style="color: rgb(0, 176, 80) "strong style="text-align: center "span style="font-family: 宋体 "a href="https://www.instrument.com.cn/zc/470.html" target="_self" style="text-align: center "激光粒度仪、纳米粒度仪专场/a/span/strongstrong style="text-align: center "/strong/spanstrong style="color: rgb(0, 176, 240) text-indent: 2em "了解/strongstrong style="color: rgb(0, 176, 240) text-indent: 2em "更多相关信息/strong/pp style="text-indent: 2em "strong style="color: rgb(0, 176, 240) text-indent: 2em "br//strong/pp style="text-align: center text-indent: 0em "欢迎扫描下方二维码添加仪器信息网小材子官方微信号/pp style="text-align: center text-indent: 0em "进入材料检测交流群与业内同仁交流互动/pp style="text-align: center text-indent: 0em "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 300px height: 300px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201910/uepic/14283ab1-7dfd-47b5-8244-98779fad277e.jpg" title="微信图片_20190605094648.jpg" alt="微信图片_20190605094648.jpg" width="300" height="300" border="0" vspace="0"//p

可调谐激光吸收光谱（TDLAS）具有测量不受背景气体干扰、测量准确性好、可靠性高等技术优势，已被公认为工业应用的首选测量技术，特别是其具有非侵入特性，从而在原位应用方面备受关注。随着近年激光吸收谱技术的发展，尤其是量子级联激光器（QCL）、带间级联激光器（ICL）等小型激光器技术不断成熟，激光吸收光谱的输出波段从近红外到中远红外不断拓展。气体检测由传统的工业过程优化控制、废气源排放、燃烧诊断等领域扩展到环境微量气体检测。中红外光一般指波长从2.5um到25um的光谱区域，中红外基频指纹吸收谱具有吸收强、谱线宽且密集的特点。分子在中红外波段的吸收一般比近红外吸收高约2个数量级（或以上），所以在中红外光谱气体探测灵敏度比近红外光谱探测的灵敏度高很多。同时特殊气体，如有机分子、氮氧化物、烯烃类气体在中红外的吸收比近红外特征更强，下图为HITRAN数据库的空气常见气体吸收谱线；中红外基频指纹吸收强有利于痕量气体的高灵敏检测。LGT-3000激光气体分析仪LGT-3000激光气体分析仪是基于TDLAS技术开发的一款原位对穿正压防爆型仪表，可以原位测量O2、CO、CO2、NH3等气体含量。此外，LGT-3000可配置ICL激光模块，采用中红外光谱，达到更低的检测限，并且能检测在近红外没有吸收光谱的一些常见气体SO2、NO、NO2等。产品特点： ◆响应时间低至1s◆双屏显示，方便光路调节观察透过率信息◆正压防爆设计，可以在爆炸性场合1区和2区使用◆采用“单线光谱”技术，测量不受背景气体交叉干扰◆一体化结构方式，无运动部件，可靠性高，稳定性好◆原位测量，无需预处理系统，避免预处理采样吸附、堵塞和器件损坏等问题，降低运行成本应用领域：该系统广泛应用于硫磺回收、烟气脱硝、燃烧控制、合成氨等领域中。

日前，在北京工业大学正在举行的第十一届学生科技节上，一台由北工大和清华博硕团队联合研发的格镭智图—双旋轴激光扫描仪吸引了众人的目光。该双旋轴激光扫描仪的核心器件做到了全国产化，一举打破国外产品的垄断地位，实现国产激光扫描仪的“弯道超车”。双旋轴激光扫描仪及其效果图 北京工业大学供图 在三维测绘领域，激光扫描仪相当于人类的眼睛，在智慧城市建设、智慧矿井、隧道工程、空域探测等都发挥着重要作用。据统计，2017年国内三维重建市场规模突破千亿，预计在2025年突破3200亿，然而直到2021年，我国尖端激光扫描仪的研制仍然远远落后于世界先进水平，最尖端的双旋轴激光扫描仪的核心技术，以及全球绝大部分市场处于被英国和澳大利亚公司垄断的状态，中国企业大量依赖昂贵的进口设备。中国测绘领域要发展升级，必须解决这个“卡脖子”技术难题。　　“三维重建在众多领域中是重要的基础性工作，然而国内尖端激光扫描仪大多是依赖国外进口，一方面市场被垄断，另一方面在国土数据安全等领域也存在隐患。”受访时，受访时，项目负责人、北京工业大学硕士生王志举说。　　为了打破这一困局，北京工业大学信息学部与清华大学机械工程系的研究生们组成研究团队，在北工大教授贾克斌、副教授严海，以及清华大学副研究员王子羲的指导下，开启了联合攻关。　　在研发中，在同步定位与建图新技术的基础上，项目团队采用的偏心轴结构设计大幅提高了扫描的有效视界，产品的有效视界高达95%，远超欧美同类产品，并且提供与之配套的技术服务，根据客户的不同需求定制个性化的设备，以适应现代三维激光扫描仪的应用需求。该项目先后获得2021年第七届中国国际“互联网+”大学生创新创业大赛国家金奖、第三届首都高校大学生创新创业大赛冠军、第十五届iCAN大赛北京赛区一等奖等高规格奖项，目前的意向采购订单超过2000万。

分布反馈（DFB）激光器具有结构紧凑、动态单模等特性，是高速光通信、大规模光子集成、激光雷达和微波光子学等应用的核心光源。特别是，以ChatGPT为代表的人工智能领域呈现爆发态势，亟需高算力、高集成、低功耗的光计算芯片作为物理支撑，对核心光源的温度稳定性、高温工作特性、光反馈稳定性、单模质量、体积成本等提出了更高要求。近期，中国科学院半导体研究所材料科学重点实验室研究员杨涛-杨晓光团队与研究员陆丹，联合浙江大学兼之江实验室教授吉晨，在高功率、低噪声的量子点DFB单模激光器研究方面取得重要进展。该团队采用高密度、低缺陷的叠层InAs/GaAs量子点结构作为有源区，结合低损耗侧向耦合光栅作为高效选模结构，研制出宽温区内高功率、高稳定、低噪声、抗反馈的高性能O波段量子点DFB激光器。在25-85 °C范围内，激光器输出功率均大于100 mW，最大边模抑制比超过62 dB；最低的白噪声水平仅为515 Hz2 Hz-1，对应的本征线宽低至1.62 kHz；最小平均RIN仅为-166 dB/Hz（0.1-20 GHz）。此外，激光器的抗光反馈阈值高达-8 dB，满足无外部光隔离器下稳定工作的技术标准。该器件综合性能优异，兼具低成本、小体积的优势，在大容量光通信、高速片上光互连、高精度探测等领域具有规模应用前景。相关研究成果以High-Power, Narrow-Linewidth, and Low-Noise Quantum Dot Distributed Feedback Lasers为题，发表在Laser & Photonics Reviews上。研究工作得到国家重点研发计划和国家自然科学基金等的支持。图1. 量子点材料的形貌和荧光特性，以及器件与光栅结构图2. 器件的输出特性、光谱特性、光频率噪声特性和外部光反馈下的光谱稳定性

2010年8月16日至17日，由上海市人民政府、中国科学院、中国工程院主办，由中科院上海光学精密机械研究所和上海交通大学共同承办的第158期东方科技论坛在上海沪杏科技图书馆成功举行。本次论坛主题为“中红外固体激光技术和应用”，上海光学精密机械研究所范滇元院士担任论坛执行主席。来自国内外有关科研院所、高校和企业界的知名学者约50位专家出席了会议。　　上海市科委陈馨女士主持开幕式，上海交通大学校长张杰院士作为承办单位代表致欢迎辞，东方论坛理事会副秘书长、上海市科委基础研究处胡睦处长应邀出席并讲话。　　方家熊院士、祝世宁院士、刘泽金教授、吕跃广研究员、陈卫标研究员等10余位专家学者针对中红外固体激光技术的应用需求、关键技术、发展趋势等重要问题做了精彩的学术报告。上海光学精密机械研究所副所长陈卫标研究员主持了最后的自由讨论，与会代表围绕相关问题进行了气氛热烈的探讨。经过广泛深入的交流，集思广益，范滇元院士在总结发言中凝练出中红外固体激光技术研究的共识和建议，包括若干重要发展方向和待突破的关键技术。　　 　　中红外固体激光技术在民用和国防领域均有着非常重要的应用前景。本次论坛的成功举行，将通过多学科交叉和融合，促进我所中红外固体激光相关研究工作向更深层次发展，极大地推动我国中红外固体激光技术的未来发展，提升我国在该领域的整体竞争力。

美国海军周一的时候宣布将在军舰上部署激光武器原型机，并在2014年将其送往中东　　效果：激光锁定住目标(左图)，数秒后无人机着火并坠入海中　　激光能引燃无人机或者小艇　　激光武器将送往第五舰队驻地，以期能够对抗伊朗快速小艇以及无人侦察机的骚扰　　据国外媒体报道，明年夏天，科幻迷和军事科学家们梦寐以求的激光武器即将成真。美国海军研究员称，激光枪(军方称直接脉冲能量武器)在测试中百发百中。　　&ldquo 就像是在玩一个无限弹药的喷火器&rdquo ，海军研究员里尔&bull 阿德米拉&bull 马修&bull 克隆德表示，固态激光原型弹药非常廉价。发射一次花费仅为1美元左右。不过激光武器系统初安装花费不菲&mdash &mdash 每一台约需3200万美元。该武器或将取代机枪的位置&mdash &mdash 后者每轮发射花费需数千美元。　　目前公开的视频展示了其强劲威力：激光锁定了一辆无人机，迅速使其起火。数秒间敌方战机即被火焰笼罩并坠入海中。　　据悉，新武器将被部署在美国海军一艘军舰的尾部，并送往包括波斯湾以及好望角在内的第五舰队驻区。　　美国海军期待激光武器能够在对抗伊朗快速小艇以及无人侦察机骚扰的战斗中起到关键作用，并希望在数十年后，该武器能够拦截导弹。　　激光系统在恶劣气候下的性能并未得到确认，因此第五舰队驻地将会是一个巨大的考验。　　有关人士拒绝透露该武器有效射程，但暗示其属于近战类型。海军亦表示该武器具备非致命功能，例如可向其他船只发送警告信号。

金九银十回头看，几多采购迎晚秋。粒度仪市多逐鹿，谁家换得千金裘？国庆长假已是昨日槿艳，为了让自家激光粒度仪在10月卖得更好，是时候对9月的激光粒度仪市场做一番小小总结了。仪器信息网特从网络公开招标采购平台，汇集激光粒度仪9月中标信息26项，并对之条分屡析，以飨读者，所涉仪器包含静态光散射/衍射法激光粒度仪和纳米及Zeta电位激光粒度仪。受客观条件制约，所获信息或未完全，因而文中分析仅供参考，还请各位看官多多包涵。分天下高校比曹魏论采购上海勇当先激光粒度粒度仪9月采购方单位类型分布在9月的激光粒度仪采购市场上，从单位类型上看，采购方依然是高校/科研院所、企业分析测试中心、政府机构三足鼎立。其中高校/科研院所占比65.4%，企业分析测试中心占比19.2%，政府机构占比15.4%，高校/科研院所依然是激光粒度仪采购绝对的主力军，详情见上图。激光粒度仪9月采购方地域分布而从地域分布的维度看，9月的激光粒度仪中标魁首比较分散，共有14个省区及直辖市有中标行为发生。其中上海成为9月“明星级”采购地，共产生了5单激光粒度仪中标信息。详情见上图。“40万以上”10:2“20万以下”由于激光粒度仪的采购市场主力军为科研院所，因而高价位激光粒度仪依然是主流，但是在刚刚过去的9月份，一边倒的态势尤其明显。在仪器信息网的搜索雷达挖掘出的26条中标信息中，价格可追寻的共19条，这其中，以20万以下价格成交的信息只有两条。而中标价格在40万以上的信息共有10条之多。9月中标激光粒度仪价位分布无论是高校、科研院所、企业分析测试中心、还是政府机构，在9月的激光粒度仪采购中，都青睐于高价位的激光粒度仪。从百分比来看，40万以上的激光粒度仪占比52.7%，10-40万的激光粒度仪占比36.8%，10万以下的激光粒度仪仅仅占比10.5%。详情见上图。三款粒度仪产品交相辉映马尔文帕纳科领航依旧9月中标激光粒度仪品牌分布在仪器信息网的搜索雷达范围内，共有20条公布激光粒度仪品牌的相关中标信息，其中马尔文帕纳科仍然位居首位，占比30%，紧随其后的为麦奇克25%，排名第三的为安东帕10%。另外堪培拉两个品牌也在9月的中标信息中崭露头角，值得一提的是，该品牌在仪器信息网今年此前的激光粒度仪中标盘点中并未出镜。而国产激光粒度仪厂商中，丹东百特的仪器也在中标名录中。具体到仪器型号，在所有型号可追溯的13条激光粒度仪中标信息中，麦奇克NanotracWaveII被三个用户采购，接下来马尔文帕纳科Mastersizer3000、安东帕Litesizer500都分别被两个用户采购，成为9月最受欢迎的三款激光粒度仪。附录:仪器信息网激光粒度仪9月中标信息汇总表单位单位类型地区品牌型号价格（元）苏州市药品检验检测研究中心政府机构江苏麦奇克Sync60.6万漳州市疾病预防控制中心政府机构福建堪培拉SABG-1006.4万东北大学高校/科研院所辽宁丹东百特未公布（干法激光粒度仪）6.29万华东师范大学高校/科研院所上海马尔文帕纳科-59.5万聊城大学高校/科研院所山东--56.28万国家海洋局南海规划与环境研究院高校/科研院所广东马尔文帕纳科未公布49.8万重庆地质矿产研究院高校/科研院所重庆马尔文帕纳科ZetasizerZEN360049.6万山东省地质矿产勘查开发局第三地质大队政府机构山东--44.7万元海关总署政府机构北京贝克曼库尔特LS1332043.986万内蒙古农业大学高校/科研院所内蒙古德国FRITSCHANALYSETTE22NanoTec42万西华师范大学高校/科研院所四川马尔文帕纳科Mastersizer300041.7万上海健康医学院高校/科研院所上海ParticleMetrixZetaview40万闽江学院中国漆新型材料工程研究中心高校/科研院所福建马尔文帕纳科MASTERSIZER300039.86万广东医科大学高校/科研院所广东麦奇克NanotracWaveII38.3万甘肃省科学院高校/科研院所甘肃安东帕Litesizer50034.7万宁夏大学高校/科研院所宁夏安东帕Litesizer50033.2万上海理工大学高校/科研院所上海麦奇克NanotracWaveII29.7万江西正安工程咨询有限公司企业分析测试中心江西麦奇克NanotracWaveII26.4万中国医学科学院药物研究所高校/科研院所北京麦奇克-24.22万内蒙古工业大学高校/科研院所内蒙古纳米粒度及Zeta电位测定仪--上海师范大学高校/科研院所上海马尔文帕纳科--重庆大学高校/科研院所重庆布鲁克海文未公布（纳米粒度和Zeta电位分析仪）-上海浦成机电设备招标有限公司企业分析测试中心上海Sequoia未公布-乌海赛马水泥有限责任公司企业分析测试中心宁夏---广西建通工程咨询有限责任公司企业分析测试中心广西---兰州石化公司企业分析测试中心甘肃-未公布（催化剂厂激光粒度仪）-

中国上海，2013年2月1日 &mdash &mdash 近日，科学服务领域的世界领导者赛默飞世尔科技（以下简称：赛默飞）推出了全新IRIS 4800中红外激光一氧化碳分析仪。作为赛默飞空气检测监测设备家族的新成员，IRIS 4800是赛默飞中红外激光吸收光谱技术和差频激光技术的集大成者，能够提供高精度、高准确度、超低漂移以及实时连续的一氧化碳监测数据。在公众高度关注雾霾气候的同时，赛默飞也积极呼吁一氧化碳气体污染不容忽视！全新的IRIS 4800分析仪拥有多项无可比拟的监测优势，包括高达1ppb的精度、每天3ppb的超低漂移以及中红外激光技术。其中，赛默飞领先的中红外激光吸收光谱技术使得IRIS 4800所用的激光在频率上比固有的吸收谱线宽度窄100倍，通过在谱线上的重复扫描和在光池中的反射次数显著降低镜片污染带来的影响及维修工作。同时，创新的差频激光技术使IRIS 4800能胜任在中红外波段进行测量的任务。为进一步提升监测效率，赛默飞还别具匠心地为新款监测仪添加内置泵的单机箱设计。正是依靠这一设计，IRIS 4800能保持长时间、高强度运作，并与外部采样系统完美连接，构成强劲持久的空气监测平台。此外，为方便使用及远程控制，IRIS 4800还具备对温度、压力和谱线强度等指标的诊断监控功能以及基于网络的遥控功能。集合多种实用功能，全新的分析仪可以成功优化一氧化碳分析结果，简化监测工作流程，为客户提供高质、高效的技术保障。欲了解更多详情关于赛默飞IRIS 4800中红外激光一氧化碳分析仪，请浏览：http://www.thermo.com.cn/Product6577.html。 关于赛默飞世尔科技赛默飞世尔科技（纽约证交所代码： TMO）是科学服务领域的世界领导者。我们的使命是帮助客户使世界更健康、更清洁、更安全。公司年销售额120亿美元，员工约39,000人。主要客户类型包括：医药和生物技术公司、医院和临床诊断实验室、大学、科研院所和政府机构，以及环境与过程控制行业。借助于Thermo Scientific、Fisher Scientific和Unity&trade Lab Services三个首要品牌，我们将创新技术、便捷采购方案和实验室运营管理的整体解决方案相结合，为客户、股东和员工创造价值。我们的产品和服务帮助客户解决在分析领域所遇到的复杂问题与挑战，促进医疗诊断发展、提高实验室生产力。欲了解更多信息，请浏览公司网站：www.thermofisher.com关于赛默飞中国赛默飞世尔科技进入中国发展已有30年，在中国的总部设于上海，并在北京、广州、香港、成都、沈阳、西安等地设立了分公司，目前已有2200名员工、5家生产工厂、5个应用开发中心、2个客户体验中心以及1个技术中心，成为中国分析科学领域最大的外资企业。赛默飞的产品主要包括分析仪器、实验室设备、试剂、耗材和软件等，提供实验室综合解决方案，为各行各业的客户服务。赛默飞在北京和上海共设立了5个应用开发中心，将世界级的前沿技术和产品带给国内客户，并提供应用开发与培训等多项服务；位于上海的中国技术中心结合国内市场的需求和国外先进技术，研发适合中国的技术和产品；遍布全国的维修服务网点和特别成立的维修服务中心，旨在提高售后服务的质量和效率。我们致力于帮助客户使世界更健康、更清洁、更安全。欲了解更多信息，请登录www.thermofisher.cn

1、应用背景 　　等离子体是区别于固体、液体和气体的第四种物质聚集状态。在高能环境下，原子的外层电子摆脱原子核的束缚成为自由电子，失去电子的原子变成带正电的离子，这个过程叫电离，这种电离气体就是等离子体，通常由带电离子、自由电子、基态/激发态分子原子和自由基等粒子组成。等离子体在自然界中广泛存在，如太阳、恒星、星际物质、闪电等都是等离子体。 　　激光诱导等离子体(Laser-Induced Plasma, LIP)是通过激光与物质相互作用产生的一种高温、高密度的等离子体状态物质。当高能量的激光脉冲照射到物体表面时，会使得物质迅速加热并部分或完全电离，形成等离子体。伴随形成的等离子体羽流的演化过程具有超高速、持续时间短(一般几百纳秒)、强自发光背景和小空间尺度的特点，这使得其观测变得具有挑战性。 　　本次实验采用中智科仪的逐光IsCMOS像增强相机(TRC411)，拍摄了激光诱导等离子体羽流的形貌演化过程。基于逐光IsCMOS像增强相机的纳秒级快门门控、高精度的时序同步技术和变延迟序列推扫功能，记录了等离子体羽流的完整演化过程。 2、实验方案 　　实验设备： 　　中智科仪逐光IsCMOS像增强相机，型号：TRC411-S-HQB-F F2UV100大通量紫外镜头。 　　实验室所用激光器为镭宝Dawa-200灯泵浦电光调Q纳秒Nd:YAG激光器，波长1064nm，重复频率1-20Hz。采用激光器Q-out输出触发TRC411相机的方式，对相机Gate通道进行变延迟序列推扫，寻找相机与激光器的同步时刻。 　　实验流程： 　　1.实验材料被激发的等离子体羽发光在200nm-500nm左右，因此在镜头前端安装一个430nm的带通滤光片，屏蔽掉1064nm的激发激光和其他杂散光。需要注意观察成像画面中是否有强反射材料，比如样品台的光滑金属反光面或螺丝帽等，为了防止这些强烈反射面的反射光对相机造成损害，需要使用黑色电工胶带将它们遮挡或覆盖。 　　2. 激光器的Q-out触发输出接到示波器，测得同步输出的TTL信号电平为5V@1MΩ，频率与激光输出频率匹配，均为5Hz。TRC411相机可接受的最大外触发信号电平为5V，保守起见，在触发线末端加入了6dB衰减器，将激光器Q-out输出电平减半。 　　3. 由于等离子体的发光强度较大，无法确定所使用的滤光片的衰减倍率是否足够，因此首先将镜头光圈调至最小，设置增益为1800，Gate时间13ns(对应光学门宽3ns)。 　　软件参数设置如下表： 　　4. 对Gate通道进行变延迟序列扫描，最终找到Gate延时起止时刻在700ns至1100ns之间时，可以捕获到等离子体的发光信号。 　　软件参数设置界面： 3、实验结果 　　序列采集SEQ曲线： 　　根据曲线可以看到实验材料被激发的等离子体发光持续时间约为400ns。 　　高功率纳秒脉冲激光激发产生的完整等离子体羽形貌演变过程： 4、结论 　　中智科仪逐光IsCMOS像增强相机具有短至纳秒级的快门，超短的门控可以屏蔽背景噪声，提高信噪比。相机内置的高精度时序控制器可以确保相机与脉冲激光器的同步工作，在确定的延迟捕获等离子体信号。相机的变延迟序列扫描功能可以使相机快速拍摄不同延迟时刻的等离子体信号，获得完整的等离子体演化过程。诸多优势展示了TRC411相机在等离子体诊断方面的重要应用价值。 　　免责说明：中智科仪(北京)科技有限公司公众号发布的所有内容，包括文字和图片，主要基于授权内容或网络公开资料整理，仅供参考。所有内容的版权归原作者所有。若有内容侵犯了您的权利，请联系我们，我们将及时处理。 5、解决方案 　　由中智科仪自主研发生产的逐光IsCMOS像增强相机采用高量子效率低噪声的2代Hi-QE以及第3代GaAs像增强器，光学门宽短至500皮秒 全分辨率帧速高达98幅/秒 内置皮秒精度的多通道同步时序控制器，由SmartCapture软件进行可视化时序设置，完全适合时间分辨快速等离子现象。 　　1. 500皮秒光学快门 　　以皮秒精度捕捉瞬态现象，并大幅降低背景噪声。 　　2.超高采样频率 　　逐光IsCMOS相机目前全分辨率下可达98帧，提供高速数据采集速率，同时可提供实验效率。此外设置使用其中16行的区域下，可以达到1300帧以上。 　　3.精准的时序控制 　　逐光IsCMOS像增强相机具有三路独立输入输出的时序同步控制器，最短延迟时间为10皮秒，内外触发设置可实现与激光器以及其他装置精准同步。 　　4. 创新“零噪声”技术 　　得益于单光子信号的准确识别，相机的暗噪声及读出噪声被完全去除。

激光诱导击穿光谱（Laser Induced Breakdown Spectroscopy,简称LIBS）是一种原子发射光谱。它利用高能量聚焦脉冲激光光束激发样品表面，对产生的原子光谱进行分析得到对应元素成分及含量。是一种快速、定性的分析手段。随着激光器以及光谱仪小型化技术的发展，轻便的手持LIBS光谱仪成为现实。其优势在于能将精密的分析仪器带到生产的一线，主要用于铁基、铝基、铜基、镍基等金属合金材料的现场牌号鉴别及合金元素成分的快速鉴定。手持LIBS光谱仪能对生产过程进行高速，高效的监控，完善企业质量管理体系，提高生产效率，是工业生产过程中的一个不可或缺的环节。 手持式LIBS激光诱导击穿光谱仪，它利用高能量聚焦脉冲激光光束激发样品表面，对产生的原子光谱进行分析得到对应元素成分及含量。是一种快速、定性的分析手段。随着激光器以及光谱仪小型化技术的发展，轻便的手持式光谱仪成为现实。其优势在于能将精密的分析仪器带到生产的一线，主要用于铁基、铝基、铜基、镍基等金属合金材料的现场牌号鉴别及合金元素成分的快速鉴定。手持LIBS光谱仪能对生产过程进行高速，高效的监控，完善企业质量管理体系，提高生产效率，是工业生产过程中的一个不可或缺的环节。 手持式LIBS激光诱导击穿光谱仪，其工作原理是利用脉冲激光产生的等离子体烧蚀并激发样品中的物质，并通过光谱仪获取被等离子体激发的原子所发射的光谱，以此来识别样品中的元素组成成分，进而可以进行材料的识别、分类、定性以及定量分析。LIBS作为一种新的材料识别及定量分析技术，既可以用于实验室，也可以应用于工业现场的在线检测。在检测领域中，传统的原子吸收和发射光谱仍然占据主导地位，但其存在试剂消耗量大、检测元素受限，不能便携，难用于现场检测等缺点。由于LIBS技术具有快速直接分析，几乎不需要样品制备，可以检测几乎所有元素、同时分析多种元素，对样品表面风化、尘土层形成清洁，可实现逐层分析且可以检测几乎所有固态样品，远距离探测，适用于现场分析等，因而LIBS弥补了传统元素分析方法的不足，尤其在微小区域材料分析、镀层/薄膜分析、缺陷检测、珠宝鉴定、法医证据鉴定、粉末材料分析、合金分析等应用领域优势明显，同时，LIBS还可以广泛适用于石油勘探、水文和地质勘探、冶金和燃烧、制药、环境监测、科研、军事及国防、航空航天等不同领域的应用。

p style="text-indent: 2em text-align: justify "9月开学季已在起跑线上，学生们是时候结束惬意的休憩，向暑假挥一挥衣袖了。不过对于激光粒度仪的采购市场来说，过去两个月却并没有安歇，几乎平均2天就有一条中标信息发生，好不热闹。仪器信息网特搜集整理了激光粒度仪7-8月的采购中标信息，与读者朋友们共享！/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "本文分析的仪器类型主要为“静态光散射/衍射法激光粒度仪”和“纳米粒度及zeta电位仪”两种。搜集的不完全数据采购来源于各大采购网站，时间跨度为2018年7月1日至2018年8月31日。期间，在仪器信息网的搜寻雷达范围内，静态光散射/衍射法激光粒度仪成交的采购信息共有19条，金额可查的信息有16条，总成交金额近600万，仪器品牌可查的中标信息11条。而纳米粒度及Zeta电位仪成交的采购信息共19条，金额可查的信息15条，总成交金额超过500万元，仪器品牌可查的中标信息10条。下面将对两种仪器的中标数据分别进行分析。/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "strong静态光散射/衍射法激光粒度仪（下简称激光粒度仪）采购市场分析分析/strong/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "在激光粒度仪的7-8月采购主要来源于政府机构，企业检测中心，高校院所三类，其中高校院所占比最高，高达68.4%，政府机构和企业检测中心各占比15.8%。详情见下图。/pp style="text-indent: 0em text-align: center "img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201808/uepic/bda4da4c-22c3-426e-ac0e-5b065e448bf4.jpg" title="1.png" alt="1.png"//pp style="text-align: center "strong激光粒度仪7-8月采购单位类型分布/strong/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "地域分布方面，京津地区采购需求在7、8月最为旺盛，总占比高达36.8%，其他较多的地区为河南、江苏、江西。另外与上半年的激光粒度仪采购市场类似，偏东部地区依然是采购的主力军，西部地区只有内蒙古、四川、重庆三个省份及直辖市有中标公告公布，总占比约15.9%，详情见下图：/pp style="text-indent: 0em text-align: center "img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201808/uepic/738cab09-2986-4a99-a8bd-b6eaf7db39fc.jpg" title="2.png" alt="2.png"//pp style="text-align: center "strong激光粒度仪7-8月采购单位地域分布/strong/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "价格方面，在16条金额可查的中标公告中，30万以上的激光粒度仪仍然占据主旋律，占比62.4%，这也与高校院所占激光粒度仪采购市场的主体相互印证。重性能轻价格，正是科研工作者选购激光粒度仪的重要倾向。另外，20万以下和20-30万之间价格的中标激光粒度仪各占比18.8%。/pp style="text-indent: 0em text-align: center "img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201808/uepic/45c5379f-23ff-41bd-889b-5dae429eb69b.jpg" title="3.png" alt="3.png"//pp style="text-align: center "strong激光粒度仪7-8月中标市场价格区间分布/strong/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "在仪器品牌分布方面，在全部19条中标公告中，可追溯仪器品牌的有11条，其中进口占比72.7%，国产占比27.3%。虽然整体的激光粒度仪市场已是国产进口群雄逐鹿，但是在采购市场上，进口品牌仍然优势明显。/pp style="text-indent: 0em text-align: center " img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201808/uepic/d8e1d20b-4fc3-4b2a-9bb0-52a525e49521.jpg" title="4.png" alt="4.png"/ /pp style="text-align: center text-indent: 0em "strong激光粒度仪7-8月中标市场进口/国产品牌分布/strong/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "细化到具体品牌进行考量，马尔文帕纳科依然以36.3%占比最高，另外麦奇克的S3500和势头火热的国产品牌丹东百特BT系列各占18.2%，并列第二，贝克曼库尔特、HORIBA、珠海欧美克也都有所斩获。另外从价格方面交叉分析，超过30万的依然全部为进口品牌，且绝大多数中标价格都在40万以上。其中马尔文帕纳科的Mastersizer 3000、贝克曼库尔特的LS13320、HORIBA的LA-960都有50万上下的中标成绩。国产粒度仪品牌中，价格最高的为珠海欧美克的Topsizer激光粒度分析仪，中标价位24万。品牌分布详情见下图：/pp style="text-align: center text-indent: 0em "img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201808/uepic/f040410a-8dd0-464f-bc2f-47c30a7099cb.jpg" title="5.png" alt="5.png"//pp style="text-indent: 0em text-align: center "strong激光粒度仪7-8月中标市场仪器品牌分布/strong/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "strong纳米粒度及zeta电位仪采购市场分析/strong/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "纳米粒度及zeta电位仪的7-8月采购市场更为“极端”，所有19条中标公告的采购方均为高校院所。在地域分布方面，东高西低的现象依然明显，江苏占比21%居首位，山东和广东各占比15.7%，分列次席。西部地区内蒙、甘肃、重庆三地都爆出采购需求，值得一提的是内蒙古，不仅在7-8月的激光粒度仪和纳米粒度及Zeta电位分析仪的采购市场上都有所动作，在上半年的激光粒度仪中标市场上，也采购量可观，值得各相关厂商引起注意。/pp style="text-align: center text-indent: 0em "img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201808/uepic/1c8ec101-2152-4c8b-a54e-83df7921e3a9.jpg" title="6.png" alt="6.png"//pp style="text-align: center "strong纳米粒度及zeta电位仪7-8月采购单位地域分布/strong/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "价格方面，在全部价格可追溯的15条中标信息中，纳米粒度及Zeta电位仪7-8采购市场的分布趋势与激光粒度仪相近，30万以上中标仪器占比73%，20-30万占比20%，但20万以下中标仪器很少，仅占比7%。/pp style="text-align: center text-indent: 0em "img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201808/uepic/eff73d33-ae7f-4e91-b679-50b724662a2f.jpg" title="7.png" alt="7.png"//pp style="text-indent: 0em text-align: center "strong纳米粒度及zeta电位仪7-8月中标市场价格区间分布/strong/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "仪器品牌分布方面，在全部可收集的纳米粒度及zeta电位仪中标信息中，共有11条仪器品牌可追溯的信息，所涉品牌全部为进口仪器。其中布鲁克海文与马尔文帕纳科平分榜首位置，各占比27.3%，安东帕紧随其后占比18.1%，美国麦克仪器公司、ParticleMetrix、美国PSS也都相关仪器夺得标的。NanoBrook Omni、NanoZSE、LitesizerTM 50等仪器型号最为采购市场青睐，详情见下图：/pp style="text-align: center text-indent: 0em "img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201808/uepic/5b5c5d5d-373c-4090-adce-8a58d5278f46.jpg" title="8.png" alt="8.png"//pp style="text-indent: 0em text-align: center "strong纳米粒度及zeta电位仪7-8月中标市场仪器品牌分布/strong/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "统观7-8月的激光粒度仪、纳米粒度及Zeta电位仪采购市场，还有几个现象或许应引起用户及各相关厂商的重视。从前文分析我们可以看出，对本文所涉仪器采购市场的分析，对高校院所等科研用户的需求把握有重要的借鉴意义。因此从行业应用角度切入分析所有信息，有两点值得注意：一个是医药行业的科研采购需求旺盛，在全部可追溯行业类型的中标信息中，医药行业占比26.3%，这方面并不让人意外，随着仿制药一致性评价、生物制药、疫苗等相关事件在2018年集中爆发，医药领域已经成为了整个社会聚焦的热点。另外一个是农业行业科研采购需求十分旺盛，占比达31.7%，甚至超过了医药行业，这背后的原因，值得探寻。具体行业分布详情见下图：/pp style="text-align: center text-indent: 0em "img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201808/uepic/63748042-ce59-49f9-ad6d-31d75dc4cbd5.jpg" title="9.png" alt="9.png"//pp style="text-align: center "strong激光粒度仪、纳米粒度及zeta电位仪7-8月采购单位行业分布/strong/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "以上为仪器信息网对激光粒度仪7-8月采标市场的中标情况分析。再次声明，所分析的信息来源于对网络公开采购平台的不完全汇总，仅供读者参考，且所得结论主要的参考价值在于把握激光粒度仪的科研市场，如涉及企业市场的阵地，则需另行撰文考量。/p

2013年新年伊始，赛默飞世尔科技强力推出了中红外激光一氧化碳分析仪，Thermo Scientific IRIS 4800 中红外激光一氧化碳分析仪。这款仪器用于环境气体监测，优于世界气象组织对全球气体观测的技术规范。可以提供精度高，准确度高和超低漂移的实时连续的一氧化碳监测数据。IRIS 4800中红外激光一氧化碳分析仪将成为我们监测环境，保护蓝天的又一卓越工具。详细内容敬请浏览：http://www.thermo.com.cn/Product6577.html

日前，百特智能激光粒度仪&mdash &mdash BT-9300Z激光粒度仪正式投入批量生产并投放市场，为国产高性能激光粒度仪增添了新的成员。该仪器具有以下突出特点，一是简化操作，减少人为误差，提高准确性和重复性，操作甚至简化到只需按一下鼠标，其余所有操作如进水、消泡、对中、背景、浓度调整、分散时间、测试过程、打印与保存结果、排放清洗等全部由电脑控制下自动完成。二是内置独立的吸水系统和水位探测系统，可以从放在地上的水桶里抽水，真正实现自动进水。三是内置80个探测器（前向68个，侧向8个，后向4个）和高精度的信号处理系统，具有很高的分辨率和稳定性，重复性误差小于1%；四是高精度的三维自动对中系统使仪器始终处于最佳状态；五是进口半导体激光器使仪器的性能更稳定，仪器寿命更长；此外，软件系统具有多语言功能、报告单转换（Excel、word 等格式）功能、报告单格式编辑功能、准确性标定（自校准）功能。使该仪器是集激光技术、软件技术、光电子技术和控制技术于一体的新一代高性能粒度测试仪器，测试范围达到0.1-460微米，是高等院校、研究院所、大中型企业的实验室粒度测试的理想仪器。

小角激光散射仪 PP-1000 PP-1000小角激光散射仪利应用了小角光激光光散射法（Small Angle Laser Scattering，简称SALS），可以对高分子材料和薄膜进行原位检测，实时解析。与SAXS和SANS的装置相比，检测范围更广。利用偏光板的Hv散射测量可以进行光学各向异性的评价，解析结晶性胶片的球晶半径，Vv散射测量可以进行聚合物混合的相关距离的分析。 特点l 0.33 ~ 45°散射角度的测量,最短测试时间10 毫秒l 检测范围0.1μm ~数十微米l 可以在专用溶液单元中测量溶液样本l Hv散射，Vv散射测量可以在软件上轻松切换 用途l 高分子材料评价→结晶性胶片结晶化温度、球晶直径、结晶化速度配光、光学异方性→聚合物混合相分离过程和相关距离(分散度)→高分子凝胶三维架桥结构的大小→树脂热硬化树脂和UV硬化树脂的硬化速度 l 粒子物性评价粒子直径，凝聚速度 检测原理 小角激光散射仪由光源、偏振系统、样品台和记录系统组成。单色激光照射到样品时发生散射现象，散射光投射到屏幕上并被拍摄下来，得到样品的散射条纹图。操作过程：1．在样品台上放置样品。2．根据想要测量的对象调整检偏片。3．来自样品的散射图案会被相机记录下来。 当起偏片与检偏片的偏振方向正交时，得到的光散射图样叫做Hv散射；当起偏片与检偏片的偏振方向均为垂直方向时，得到的光散射图样叫做Vv散射。从这些散射图形中可以获取球晶半径、相分离结构、分散相颗粒平均粒径、配向状态等信息。l Hv散射 球晶半径解析：R = 4.09 / qmax(R:球晶半径，qmax:散射光强度最大的散射向量) q = 4πn/λsin(θ/ 2)(q:散射向量, λ:介质中的波长，n:样品折射率，θ:散射角) l Vv散射 对聚合物混合的相分离过程的评价连续相与分散相的大小，分散相颗粒平均粒径（分散度）粒子直径的评价相分离构造与相关距离检测 技术参数 应用案例 l PVDF球晶半径分析 溶融温度230℃結晶化温度160℃PP-1000散射图样 偏光显微镜图样 各时间45°方向的散射向量提取 球晶半径计算创新点：1.0.33 ~ 45° 散射角度的测量,最短测试时间10 毫秒2.检测范围0.1μ m ~数十微米3.可以在专用溶液单元中测量溶液样本4.Hv散射，Vv散射测量可以在软件上轻松切换大塚电子小角激光散射仪PP-1000

p style="text-indent: 2em text-align: justify "又到了吃元宵赏灯的正月十五。古代时，帝王们在这一日，用万千灯盏点燃火树银花的盛大繁华。值此佳节之际，仪器信息网也汇总整理在2019年伊始红红火火的激光粒度仪中标市场，让我们在华灯初上的元宵节，捕捉激光粒度仪1月市场延展的草蛇灰线，看看哪家厂商凤箫声动，拨得中标市场的头彩。/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "在仪器信息网的搜索雷达中，2019年1月共产生激光粒度仪中标信息30条，其中公布中标品牌的信息15条，在全国纷纷步入整顿期的春节前，能有这样的成绩可谓喜人。下面小编将对这些中标信息进行汇总分析。本文数据来源于网络公开招标平台，分析仅供读者参考，如有遗漏，欢迎随时指正、补充。/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "strong采购方常态偏科研 京辽牵头引领旺盛需求/strong/pp style="text-align: center text-indent: 0em "strongimg src="https://img1.17img.cn/17img/images/201902/uepic/882c1034-13b6-434b-a1a7-a2ac65304d86.jpg" title="1.png" alt="1.png"//strong/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "激光粒度仪的招标采购市场一向是高校/科研院所主导的天下，在2019年1月也不例外，高校/科研院所占比高达80%，另外20%来自与企业研发/检测中心。这其中，值得一提的是有六所农林大学对激光粒度仪进行了采购，分别是中国农业大学、华南农业大学、湖南农业大学、浙江农林大学、山西农业大学和西北农林大学。/pp style="text-align: center text-indent: 0em "img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201902/uepic/a9011916-3da0-4937-99ac-3fc4dc1c65ce.jpg" title="2.png" alt="2.png"//pp style="text-indent: 0em text-align: center "img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201902/uepic/81b4858a-8e9a-4993-a3ab-bb72f7a323f5.jpg" title="3.png" alt="3.png"//pp style="text-indent: 2em text-align: justify "从地域分布上分析，整体来看，激光粒度仪2019年1月的中标信息在华北、华东、东北、华南、西南等地分布较为平均，其中华北地区占比最高，约为30%左右。华北和东北地区的主要贡献分别来自于北京市和辽宁省，两者在激光粒度仪1月份中标分布中也占比在前两位，北京占比约20%，辽宁占比约13%。另外华东地区采购激光粒度仪的省及直辖市最多，山东、安徽、江苏、浙江、上海等五个省市都有激光粒度仪的中标信息公布。/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "strong进口品牌锋芒盛 老三家延续2018年火热态势/strong/pp style="text-align: center text-indent: 0em "strongimg src="https://img1.17img.cn/17img/images/201902/uepic/dbd1f069-7b8d-4641-8c53-e76ec1505dd2.jpg" title="4.png" alt="4.png"//strong/pp style="text-indent: 0em text-align: center "strongimg src="https://img1.17img.cn/17img/images/201902/uepic/5e39657c-e394-4645-8cf2-5aa62ba746b2.jpg" title="5.png" alt="5.png"//strong/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "对2019年1月中标的激光粒度仪价位进行分析，30-40万以及40万以上价位的激光粒度仪合计占比约80%，占据主流位置。这其中，进口品牌收获颇丰，在已公布中标品牌的15家中标信息中，进口品牌占比超过90%，而在网络招标平台上可追溯中标信息的国产品牌仅有丹东百特一家，中标金额为8.2万。这或许与搜集的中标信息当中，企业研发/检测中心大多并未公布中标品牌有关，按照2018年经验，工业应用是国产激光粒度仪品牌驰骋的重要领域。/pp style="text-align: center text-indent: 0em "img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201902/uepic/b8955ff5-0d64-4d54-a794-c71d1ff7f72e.jpg" title="6.png" alt="6.png"//pp style="text-indent: 2em text-align: justify "而在具体的品牌分布上，马尔文帕纳科、美国麦奇克、贝克曼库尔特分别以约33%、20%、13%的占比包揽前三位，延续了他们在2018年下旬的强势表现。另外上榜的其他品牌还有美国布鲁克海文、美国PSS、HORIBA和弗尔德（德国莱驰），都是业内耳熟能详的品牌。/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "另外值得一提的是，在2019年1月的激光粒度仪中标信息中，对纳米粒度仪的采购有进一步上升的趋势，其中马尔文帕纳科的Zetasizer Nano和美国麦奇克的Bluewave都夺得多个标的。/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "正如东风中夜放的花千树，2019年激光粒度仪中标争夺战已经一点燎原，仪器信息网也将密切关注2019年激光粒度仪中标市场的后续动态，给读者实时带来第一手的盘点与资讯。/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "延伸阅读：/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "a href="https://www.instrument.com.cn/news/20181217/477214.shtml" target="_self" style="font-family: 微软雅黑 text-indent: 2em color: rgb(0, 176, 240) "激光粒度仪10-11月中标盘点 静态法国产占半壁/aspan style="color: rgb(34, 34, 34) font-family: 微软雅黑 font-size: 24px text-indent: 2em "/span/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "a href="https://www.instrument.com.cn/news/20181009/472614.shtml" target="_self" style="font-family: 微软雅黑 text-indent: 2em color: rgb(0, 176, 240) "激光粒度仪9月中标盘点 上海占头彩（附赠名单详情）/a/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "a href="https://www.instrument.com.cn/news/20180831/470487.shtml" target="_self" style="font-family: 微软雅黑 text-indent: 2em color: rgb(0, 176, 240) "激光粒度仪7-8月中标盘点 ——金额超千万 药、农需求旺/a/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "a href="https://www.instrument.com.cn/news/20180705/467016.shtml" target="_self" style="font-family: 微软雅黑 text-indent: 2em color: rgb(0, 176, 240) "管中窥豹：2018激光粒度仪中标半年盘点 国产37%喜忧参半/a/p