原子力显微镜探针

美国Anasys公司的AFM+可以提供全面的原子力显微功能，具有强大的分析能力，使得AFM不仅仅是一个普通的成像工具，还可以进行材料纳米级尺度的成分分析，热性能和机械性能的分析。AFM+的主要特点：简洁的安装与操作 □ AFM+为最便利的使用而设计制造。探针预装在金属圆片上，确保探针位置的准确性和装针的便捷□ 仪器集几十年AFM设计大师的经验之大成，即使初次使用也能快速获取结果完整的AFM工作模式 □ 包含所有常规成像模式：接触、轻敲、相位、侧向力、力调制、力曲线□ 独有高分辨率低噪音的闭环成像□ 基于DI传承的多功能AFM，实现纳米热学，力学，电学和磁学测量：l 纳米热分析模块（nanoTA, SThM）l 洛仑兹接触共振模块（LCR）l 导电原子力显微镜镜（CAFM）l 开尔文电势显微镜（KPFM）l 磁力显微镜（MFM）l 静电力显微镜（EFM）独有的可升级功能□ 热学性能：独有的热探针技术，提供纳米级红外分析□ 机械性能：洛伦兹接触共振模式能够提供宽频纳米机械分析□ 化学性能：可升级具有纳米红外光谱技术，实现局部化学组分分析□ 近场成像：可升级具有散射式近场光学成像和光谱采集功能

AFM5500M II全自动扫描探针显微镜除了配置高精度平板扫描器和各种测量自动化功能，还有两种共享坐标样品台功能。通过多种设备的关联解析，实现了单个设备无法实现的多维缺陷评价和故障解析。主要特点1. AFM自动化测量&bull 通过自动化控制大大提高效率，自动探针安装，自动光轴调整，自动参数优化；&bull 排除人为操作失误导致的测量误差，一键自动测量/处理/分析（提高整体测试效率）2. 可靠性排除机械原因造成的误差大范围水平扫描采用管型扫描器的原子力显微镜，针对扫描器圆弧运动所产生的曲面，通常通过软件校正方式获得平面数据。但是，用软件校正方式不能完全消除扫描器圆弧运动的影响，图片上经常发生扭曲效果。AFM5500M搭载了全新研发的水平扫描器，可实现不受圆弧运动影响的准确测试。 样品 ：硅片上的非晶硅薄膜高精角度测量普通的原子力显微镜所采用的扫描器，在竖直伸缩的时候，会发生弯曲（crosstalk）。这是图像在水平方向产生形貌误差的直接原因。AFM5500M中搭载的全新扫描器，在竖直方向上不会发生弯曲（crosstalk） ，可以得到水平方向没有扭曲影响的正确图像。样品 : 太阳能电池(由于其晶体取向具有对称结构)* 使用AFM5100N（开环控制）时 3. 利用探针评价功能进行探针尖端直径管理4. SIS模式可有效提高数据可靠性SIS（Sampling Intelligent Scan）样品智能扫描模式只有在需要测量样品形貌和物性信息时才靠近测量点，自动控制探针位置，完全消除对测量不利的水平力，可测量吸附力较大或粗糙的样品，同时可大幅降低对探针的磨损和对样品的损伤，有效提高数据的可靠性。5. 支持机械物性/电磁物性等广泛的物性测量扫描探针显微镜是一种不仅可以测量形貌，还支持各种物性检测的显微镜。AFM5500MⅡ支持可同时获取弹性模量、形变、吸附力和摩擦力等各种机械物性的SIS-ACCESS/SIS-QuantiMech功能、以及导电性、压电分布和表面电位等各种电磁物性测量。6. 新的表面电位势测量模式 AM-KFM/FM-KFM（可用于定量和灵敏度等不同场景）除调幅开尔文力显微镜(AM-KFM)外，AFM5500MⅡ还新增了调频开尔文力显微镜(FM-KFM)。FM-KFM与AM-KFM相比，信号主要来自于探针的尖端，电位检测灵敏度更高，在电位的定量分析上更胜一筹。AM-KFM适用于单一材料间的电位和功函数对比等，FM-KFM适用于测量需要进行精细周期结构和海岛结构量化的复合材料，两种模式通过点击即可自由切换。7. 使用AFM、SEM、CSI等不同显微镜观察同一位置，实现多维度解析通过SEM、AFM、CSI等进行样品的同一位置测试，可以对目标视野进行多维度解析，实现数据的参照对比。日立高新可以提供特有的SEM/AFM/CSI同视野观察，实现联动分析。使用共享样品台进行坐标联动，或通过全新的AFM标记功能，可以在AFM、SEM、CSI之间快速、轻松地锁定同一视野，进一步扩大了联动分析的应用范围。

Nanowizard V 第五代生物型原子力显微镜（BioAFM最新一代产品充满各种创新 25年引领生物原子力显微镜技术的研发和创新 全球超过1000家用户的广泛认可8500多篇在生物学领域具有影响的文章 拥有专注于高清晰成像和其它应用的探针研发支持丰富的功能为实现科学研究突破铺平了道路：PeakForce-QI, PeakForce Tapping, PeakForce QNM, QI 单分子力谱技术 单细胞力谱技术 DirectOverlay 2实现AFM与先进光学技术的绝佳整合 全新V8软件 新的ExperimentPlanner和ExperimentControl功能 高数值孔径显微镜整合，多维度环境控制等各类高级整合方案完美的性能，更高的效率 NanoWizardV 诠释了BioAFM的美好未来 无与伦比的易用性 高速成像可用于捕捉动力学过程以及提高实验效率 自动化、高分辨成像

布鲁克（BRUKER）探针不为您当前的应用提供所需的结果，同时也能为将来的研究提供参考数据。AFM配件，原子力探针，AFM探针，原子力探针针尖，显微镜探针针尖，原子力针尖，原子力显微镜探针针尖，接触探针，纳米压痕探针，氮化硅探针，硅探针，热探针，超尖探针，电子探针，显微镜针尖，原子力显微镜针尖，轻巧模式探针，AFM针尖，接触式探针，磁性探针，导电探针，显微镜探针，探针，布鲁克探针，原子力探针，BRUKER PROBE，AFM PROBE，BRUKER探针，原子力显微镜探针，AFM探针，VEECO探针

原子力显微镜探针(AFM探针)，是原子力显微镜（AFM）设备非常重要的配件耗材之一。我司提供的布鲁克AFM探针具有多种款式和型号，能够满足多种应用领域中的原子力显微镜（AFM）解决方案。 在实验中，用户所得到的数据通常取决于探针的质量和探针的重复性。布鲁克的探针具有严格的纳米加工控制和质量测试，具备AFM领域的专业背景，不仅能够为当前的应用提供测试结果，同时也能为将来的研究提供参考数据。 目前，布鲁克原子力显微镜（AFM）已被广泛应用于生命科学、材料科学、半导体、电化学等领域的纳米技术研发，应用广泛，因此所配套的探针种类也在不断增加，为了帮助客户能够便捷的选择出适合测量需求的探针型号，可通过以下的探针选型指南来更快速的找到更适合的探针类型。 原子力显微镜探针(AFM探针)常用型号一览材料样品大气环境液下环境 智能成像 高分辨SCANASYST-AIRSCANASYST-AIR-HPISCANASYST-FLUID+SNL-10一般成像DNP-10SCANASYST-FLUIDDNP-10轻敲模式 较软样品/相位成像 OLTESPA-R3 , RFESPA-75SNL-10 , DNP-10一般样品TESPA-V2 , RTESPA-300 SNL-10 , DNP-10 快速扫描FASTSCAN-AFASTSCAN-B，FASTSCAN-C接触模式一般成像SNL-10 ,DNP-10 , MLCTSNL-10 ,DNP-10 , MLCT摩擦力显微镜ORC8-10, SNL-10， DNP-10ORC8-10, SNL-10， DNP-10 电磁学测量静电力显微镜MESP-RC-V2, MESP-V2, SCM-PIT-V2 磁力显微镜MESP-RC-V2, MESP-V2 表面电势测量PFQNE-AL, MESP-RC-V2, MESP-V2, OSCM-PT-R3, SCM-PIT-V2 导电原子力／隧穿原子力 MESP-RC-V2 , MESP-V2, SCM-PtSi, OSCM- PT-R3, SCM-PIC-V2, SCM-PIT-V2 峰值力隧穿原子力显微镜PFTUNA, MESP-RC-V2, MESP-V2, SCM-PtSi, SCM-PIT-V2 扫描电容显微镜OSCM-PT-R3, SCM-PIC-V2, SCM-PIT-V2 扫描扩散电阻显微镜SSRM-DIA, DDESP-V2 , DDESP-FM-V2 , OSCM-PT-R3, SCM-PtSi , SCM-PIT-V2 压电力响应显微镜DDESP-V2 , DDESP-FM-V2 , MESP-RC-V2 , MESP-V2, OSCM-PT-R3, SCM-PtSi, SCM-PIT-V2 生物样品 生物小分子 一般成像 MLCT, DNP, DNP-S 高分辨SNL-10, Fastscan-D, AC40细胞一般成像MLCT, DNP-10 力学测量MLCT, DNP-10, ScanAsyst-Fluid, PFQNM-LC探针修饰修饰小球NP-O10 修饰分子NPG-10 力学测量 杨氏模量(E) 探针类型 弹性常数(K) 1 MpaSNL-10 SCANASYST-AIR 0.5N/m 1 MpaSAA-HPl-300.25N/m5 MpaAD-2.8-AS AD-2.8-SS2.8N/m RTESPA-1505NIm10 MpaRTESPA-150-305NIm200 MpaAD-40-AS AD-40-SS40N/mRTESPA-30040N/m100 MpaRTESPA-300-3040N/m1 GpaRTESPA-525 RTESPA-525-30200N/m 10 GpaDNISP-HS PDNISP-HS450N/m 用于高分辨成像的超尖探针Dimension Icon 大气环境ScanAsyst-Air-HPI, PeakForce-HiRs-SSB液下环境PeakForce-HiRs-F-BDimension Fastscan 大气环境PeakForce-HiRs-SSB*, PeakForce-HiRs-F-A 液下环境Fastscan-D-SS *setpoint need to be around 100pN探针选型指南一、AFM探针简介每个探针都由三部分组成：tip（针尖），cantilever（悬臂梁），substrate（基片）大部分材料都是硅或者氮化硅。一般悬臂梁的形状有：矩形和三角形、Special。1）悬臂的主要参数有：spring constant（弹性系数）、resonance frequency（共振频率）、悬臂长度（宽度厚度等）、悬臂形状、悬臂的镀层、悬臂材料、悬臂梁的数目等；2）针尖tip的主要参数有：tip radius、tip geometry、tip coating、tip height等；3）不同的探针具体有不同的用途， 所以我们也从适合的样品（sample）类型、适合的AFM机型（包括非Bruker品牌的afm机型）、适合的工作模式（work mode）、适合的应用（application）对探针做了分类，可以在探针左边的帅选栏里进行相应的筛选和查询。 二、如何挑选AFM探针：1）确认待测物 如：高分子、无机物、细胞........2）确认AFM应用模式 形貌、电性、液下成像、力曲线............3）确认扫描的精度 挑选合适探针针尖1nm、2nm、7nm、10nm........?4）确认共振频率和弹性系数 取决于扫描速度、工作模式、待测物软硬度等信息注：目前网站中所展示的是较为常见的探针系列及型号，除此以外的一些 bruker（布鲁克）探针型号，如：PFQNM-LC 、PEAKFORCE SECM 等，未在网站上进行展示，如需提供报价或者具体参数，请与我公司联系，联系方式可见上方“联系我们”。 三、以下是针对大部分探针系列的简要说明：关于不同系列探针后面的 A，AW，W；-HM，-HR，-LM 等标识的说明，具体如下：1）AD 系列探针，金刚石镀层导电硅基探针，一盒 5 根。根据频率和曲率半径的不同，有不同的型号。2）CDP 和 CDR 系列、EBD-CD 探针，主要用于 insight（全自动原子力显微镜）机型上。3）CLFC 系列探针，tipless&bull CLFC-NOBO 和 CLFC-NOMB 探针，用来做 calibration，用其自身已知的悬臂 Kref（弹性系数）值来校准未知探针悬臂的 K 值。&bull 要校准的悬臂的弹性系数一般应该在 0.3Kref4）CONTV 系列的探针&bull -A 表示一盒 10 根针，且悬臂背面有 Al 镀层&bull -AW 表示一个 wafer，大概有 300-400 根针，且悬臂背面有 Al 镀层&bull -W 表示一个 wafer，但悬臂背面无镀层（no coating)&bull 只写了 CONTV，表示一盒 10 根针，但悬臂背面无镀层（no coating)&bull -PT 表示悬臂前面（含 tip）有 Ptlr 镀层，导电5）DDESP 系列和 DDLTESP-V2、DDRFESP40 探针，导电，有导电金刚石涂层 tip6）DNISP 系列和 PDNISP、MDNISP-HS、NICT-MAP 探针，有手工制作的天然金刚石纳米压痕 tip，都可以做纳米压痕。7）DNP 系列探针，每个型号悬臂背面都有 Gold 镀层&bull -10 表示一盒 10 根针且曲率半径的标称值为 20nm&bull DNP 后面啥数字没有，表示一盒一个 wafer，大概有 300-400 根针，且曲率半径的标称值为 20nm&bull -S10 表示一盒 10 根针且曲率半径的标称值为 10nm&bull DNP-S 后面啥数字没有，表示一盒一个 wafer，大概有 300-400 根针，且且曲率半径的标称值为 10nm8）ESP 系列的探针&bull ESP 后面带 A，表示一盒 10 根针，且悬臂背面有 Al 镀层&bull ESP 后面带 AW 表示一个 wafer，大概有 300-400 根针，且悬臂背面有 Al 镀层&bull ESP 后面带 W 表示一个 wafer，但悬臂背面无镀层（no coating）&bull 只写了 ESP，表示一盒 10 根针，但悬臂背面无镀层（no coating)9）Fastscan 系列探针，专门用在 Dimension FASTSCAN 这个 AFM 机型上10）FESP 系列的探针&bull FESP 后面带 A，表示一盒 10 根针，且悬臂背面有 Al 镀层&bull FESP 后面带 AW 表示一个 wafer，大概有 300-400 根针，且悬臂背面有 Al 镀层&bull FESP 后面带 W 表示一个 wafer，但悬臂背面无镀层（no coating）&bull 只写了 FESP，表示一盒 10 根针，但悬臂背面无镀层（no coating)11）FIB 系列的探针&bull -A 是一盒 5 根，且悬臂背面有 Al 镀层；否则就是一盒 5 根，但悬臂背面无镀层（nocoating）&bull 不同 AFM 机型对应的有不同型号的 FIB 探针，具体请在 AFM 探针筛选中查询12）FMV 系列探针&bull -A 表示一盒 10 根针，且悬臂背面有 Al 镀层&bull -AW 表示一个 wafer，大概有 300-400 根针，且悬臂背面有 Al 镀层&bull -W 表示一个 wafer，但悬臂背面无镀层（no coating)&bull 只写了 FMV，表示一盒 10 根针，但悬臂背面无镀层（no coating)&bull -PT 表示表示悬臂前面（含 tip）有 Ptlr 镀层，导电13）HAR 系列探针&bull -A-10 表示一盒 10 根针，且悬臂背面有 Al 镀层14）HMX 系列探针&bull -10 表示表示一盒 10 根针，且悬臂背面有 Al 镀层&bull -W 表示一个 wafer，且悬臂背面有 Al 镀层15）LTESP 系列探针&bull -A 表示一盒 10 根针，且悬臂背面有 Al 镀层&bull -AW 表示一个 wafer，大概有 300-400 根针，且悬臂背面有 Al 镀层&bull -W 表示一个 wafer，但悬臂背面无镀层（no coating)&bull 只写了 LTESP，表示一盒 10 根针，但悬臂背面无镀层（no coating)16）MESP 系列探针，导电，悬臂前面（含 tip）有 Magnetic CoCr 导电涂层&bull -HM 表示高磁距 high moment&bull -HR 表示高分辨高磁矩（high-resolution, high moment）&bull -LM 表示 low moment17）MLCT 系列&bull -bio 和-bio-DC 是为生物样品优化的探针，tip 的形状和高度跟 MLCT 不一样，而且-bio-DC 有热漂补偿，因此对于细胞培养和温度变化中测量的生物样品，可以考虑用这款探针。&bull MLCT-FB 的镀层比 MLCT 厚，其他方面和 MLCT一样。&bull -O 表示没有 tip。&bull -UC 表示没有镀层。tip radius 是 20nm18）MSCT 系列探针&bull MSCT-MT-A 只有一个悬臂，只能在 innova 上用。&bull -UC 表示没有镀层。MSCT 相比 MLCT 系列，针尖半径（tip radius 为 10nm）更小。19）MSNL 系列，比 MSCT 和 MLCT 系列的针尖半径更小，只有 2nm。20）MLCT\MSCT\MSNL 系列的探针，有镀层的都是 reflection gold。21）NCHV 系列，虽然参数和 rtesp-300 差不多，但其是性价比高的探针，只能做定性的分析，不能拿来做 QNM。22）NCLV 系列探针也是性价比高的探针23）NP 系列探针&bull -10UC 表示一盒 10 根，且悬臂背面无镀层&bull -W-UC 表示一盒一个 wafer，且悬臂背面无镀层&bull NP 后面跟“G”，表示悬臂前面和背面都有 Gold 镀层；NPG 表示一盒一个 wafer，大概 300-400 根NPG&bull -10 表示一盒 10 根&bull -O10 表示一盒 10 根，探针无针尖（tipless）且悬臂背面有 Gold 镀层&bull -OW 表示一盒一个 wafer，探针无针尖（tipless）且悬臂背面有 Gold 镀层&bull NPV-10 表示一盒 10 根，且悬臂背面有 Gold 镀层24）OBL-10 探针，是不能调角度的，悬臂的倾角是±3°，不能装在 Dimension afm 上。25）PEAKFORCE-HIRS 系列探针，tip radius 只有 1nm, 而且频率都是 100KHz 以上，可以做高分辨成像。26）PFDT系列，专门用在有peakforce deep trench工作模式的Dimension icon机型上测Holes/Trenches27）PFQNE-AL 探针，导电，是专门为 peakforce KPFM 模式优化的探针。由于部分参数需要保密，目前可展示的参数不全28）PT 系列是做 STM 模式用的探针29）RESP 系列探针&bull RESP 后面跟“A”，表示悬臂背面有 Al 镀层，且一盒有 10 根&bull RESP 后面跟“AW”，表示悬臂背面有 Al 镀层，且一盒有一个 wafer，大概 300-400根&bull RESP 后面跟“ ”，表示悬臂背面无镀层，且一盒有 10 根&bull -10 表示共振频率是 10KHz&bull -20 表示共振频率是 20KHz&bull -40 表示工作频率是 40KHz30）RFESP 系列探针&bull RFESP 后面跟“A”，表示悬臂背面有 Al 镀层，且一盒有 10 根&bull RFESP 后面跟“AW”，表示悬臂背面有 Al 镀层，且一盒有一个 wafer，大概 300-400根&bull RFESP 后面跟“ ”，表示悬臂背面无镀层，且一盒有 10 根&bull -190 表示共振频率是 190KHz&bull -75 表示共振频率是 75KHz&bull -40 表示工作频率是 40KHz31）RMN 系列探针，导电&bull 固体金属（Solid Metal）探针，有优良的导电性，并且不会出现金属涂层硅探针所产生的薄膜粘附问题。&bull 根据不同的应用对应有不同的型号可以选择32）RTESP 系列探针&bull RTESP 后面跟“A”，表示悬臂背面有 Al 镀层，且一盒有 10 根&bull RTESP 后面跟“AW”，表示悬臂背面有 Al 镀层，且 一盒有一个 wafer，大概 300-400 根&bull RTESP 后面跟“ ”，表示悬臂背面无镀层，且一盒有 10 根&bull -150 表示共振频率是 150KHz，-150-30 属于预校准探针，表示共振频率是 150KHz，且曲率半径是 30nm&bull -300 表示共振频率是 300KHz；-300-30 属于预校准探针，表示共振频率是 300KHz，且曲率半径是 30nm&bull -525 表示工作频率是 525KHz；-525-30 属于预校准探针，表示共振频率是 525KHz，且曲率半径是 30nm33）SAA-HPI 系列 探针，&bull -30 表示是预校准探针，曲率半径为 30nm&bull -SS 表示超尖探针，曲率半径的标称值为 1nm预校准的探针有：&bull SAA-HPI-30： 0.25N/m, k certified, controlled end radius, 一盒5根&bull RTESPA-150-30： 5N/m, k certified, controlled end radius, 一盒5根&bull RTESPA-300-30： 40N/m, k certified, controlled end radius, 一盒5根&bull RTESPA-525-30： 200N/m, k certified, controlled end radius,一盒5根34）SCANASYST 系列探针，专门为 SCANASYST（智能模式）优化的探针35）SCM 系列探针，导电，悬臂前面（含 tip）有 Conductive PtIr 或Conductive PtSi 镀层36）SMIM 系列探针，导电37）SNL 系列探针，&bull -10 表示一盒 10 根；&bull -W 表示一盒一个 wafer，大概 300-400 根38）SSRM-DIA 探针，导电39）TESP 系列探针&bull TESP 后面跟后面跟“A”，表示悬臂背面有 Al 镀层，且一盒有 10 根&bull TESP 后面跟“AW”，表示悬臂背面有 Al 镀层，且一盒有一个 wafer，大概 300-400根&bull TESP 后面跟“D”，表示 DLC 涂层硅探针，其表面硬化类的金刚石(DLC)涂层，目的是为了增加 tip 寿命，且一盒 10 根&bull TESP 后面跟“DW”，表示 DLC 涂层硅探针，其表面硬化类金刚石(DLC，Diamond-LikeCarbon)涂层，目的是为了增加 tip 寿命，且一盒一个 wafer&bull TESP 后面跟“ ”，表示悬臂背面无镀层，且一盒有 10 根&bull -HAR 表示具有高纵横比(HAR)探针，是具有高/深几何形状的样品在进行 tapping 模式成像下的理想选择。&bull -V2 表示高质量、新设计的探针&bull -SS 表示超尖针尖，针尖曲率半径标称值为 2nm，且一盒 10 根&bull -SSW 表示超尖针尖，针尖曲率半径标称值为 2nm，且一盒一个 wafer40）VITA 系列探针，做热分析或者做扫描热分析的探针，具体可以通过探针网站搜索对应 的型号和参数、适合的 AFM 机型等信息。41）VTESP 系列探针是 visible apex 形状的探针，tip 在悬臂前端，可以用来定位。 OLTESPA-R3，OSCM-PT -R3（导电探针）和 OTESPA-R3，VTESP 系列探针是 visible apex 形状的探针，tip 在悬臂前端，可以用来定位。&bull VTESP 后面跟“A”，表示悬臂背面有 Al 镀层&bull -300 表示共振频率为 300KHz&bull -70 表示共振频率为 70KHz&bull -300（或-70）后面有“-W”，表示一盒一个 wafer&bull -300（或-70）后面有“ ”，表示一盒 10 根

仪器简介：NTEGRA平台是一个革命性的技术概念，在拥有所有SPM技术：原子力/磁力/静电力/表面电势/导电原子/扫描电容/压电力/纳米刻蚀等功能的同时，还能配备近场光学显微镜/共聚焦拉曼/外加磁场/超声原子力/纳米压痕等功能！。Prima则是这个平台中的基础SPM，可以在此基础上根据科 研需求提供多达40 中SPM 功能，其中的每种功能都有一套在其专业领域有着杰出表现的独特配置。可选择配备独一无二的双扫描结构可以将扫描范围扩展最大到200x200um。技术参数：在大气环境下：扫描隧道显微镜/ 原子力显微镜(接触 +半接触+非接触)/横向力显微镜/相位成像/力调制/力谱线/粘附力成像/磁力显微镜/静电力显 微镜/扫描电容显微镜/开尔文探针显微镜/扩展电阻成像/纳米压痕/刻蚀: 原子力显微镜(电压+力)/压电力模式/超声原子力/外加磁场/温度控制/气氛控制等功能。在液体环境下：原子力显微镜(接触+半接触+非接触)/横向力显微镜/相位成像/力调制/粘附力成像/力谱/刻蚀:测量头部：AFM和SPM可选配液相模式和纳米压痕测量头 扫描方式：样品扫描、针尖扫描、双扫描最大样品尺寸：样品扫描：直径40mm，厚度15mm。针尖扫描：样品无限制 XY样品定位装置：移动范围5× 5um，精度5um 扫描范围：90× 90× 9um（带传感器/闭环控制），可选配低电压模式实现原子级分辨XY方向非线性度：&le 0.5%（带传感器/闭环控制） Z方向噪音水平（带宽1000Hz时的RMS值）：闭环控制扫描器（典型值0.04nm，最大0.06nm）光学显微系统：配备高数值孔径物镜后，分辨率可由3um提升至1um样品温度控制：室温~300℃ 主要特点：Ntegra Prima 是一个基本的SPM 系统，在这平台上可以根据科研需要提供40 种SPM 功能。 Ntegra Aura 是一款能在气氛控制以及低真空环境下工作的SPM，专门用于电磁等测量。 Ntegra Therma 只有10nm/h 热漂移能长时间可靠工作，并且能在-30℃~300℃环境下测量。 Ntegra Maximus 能够测量100mm 的大样品，在半自动模式下可以连续工作。 Ntegra Solaris 是一款近场光显微镜，能够提供所有近场探测模式，从而突破衍射极限。 Ntegra Vita 能与倒置显微镜联用，专门用于生物方面的检测。 Ntegra Tomo 能与超薄切片机联用，且制备用于研究的纳米片层的新鲜表面（也适用于电镜）。 Ntegra Spectra 集成了AFM-SNOM-Confocal-Raman 从而实现针尖增强（TERS）

布鲁克Bruker原子力显微镜探针AFM探针 轻敲模式—Rtespa 300 布鲁克Bruker原子力显微镜探针AFM探针 轻敲模式—Rtespa 300 Rtespa 300，适用于轻敲模式/TappingMode，适用于软硬适中的样品。Tap300：40N / m，300kHz，不对称针尖，铝反射涂层。 布鲁克生产的MPP系列探针，是高性能和高质量成像的AFM探针行业标杆，适用于各种各样的样品。10根一盒装硅探针，用于TappingMode和其他非接触模式，适用于各种AFM。新的Rtespa 系列探针，相较于传统的MPP，进行了技术改良及优化，拥有更好的成像：加工中控制的悬臂几何尺寸、锐利的针尖，减小了AFM最小可检测尺寸，更长的针尖减小挤压膜阻尼。 新的设计改进了以下几方面:?更严格的尺寸规格，以改善探针的一致性?针尖与悬臂的更紧密结合，使激光更容易定位?改进探针质量和外形?该探针适用于任何AFM，若需要无铝涂层，请选择RTESP-300。 详细规格： 延展阅读：关于布鲁克：布鲁克公司以先进的生产工艺，专业的AFM领域背景，得天独厚的生产装备，赋予探针制造众多的优势，确保在广泛的应用领域中提供完整的AFM解决方案。 布鲁克AFM探针制造中心独特优势：*Class100级别的无尘室*先进的设计、制造工序及制造工具*探针设计团队与AFM设备研发团队通力合作，配合紧密*训练有素的生产团队，制造出各种型号的探针*全面的质量管理体系，确保探针性能 在实验中，用户所得到的数据取决于探针的质量及探针的重复性。布鲁克的探针具有严格的纳米加工控制，全面的质量测试，和AFM领域的专业背景。所以用户尽可放心，我们的探针不仅为您当前的应用提供所需的结果，同时也能为将来的研究提供参考数据。 原子力显微镜AFM探针: 探针的工作模式：主要分为：扫描(接触)模式和轻敲模式探针的结构：悬臂梁+针尖探针针尖曲率半径Tip Radius：一般为10nm到几十nm。制作工艺：半导体工艺制作 指标：探针的指标主要分三个部分，分别对应了基片，微悬臂梁，和针尖三个部分。1. 基片，就是基片的长，宽，高，各种探针的基片尺寸是基本一致的。2. 悬臂梁，分为矩形梁和三角形悬臂梁，他们的长宽厚的几何尺寸决定了悬臂梁的弹性系数和共振频率。而弹性常数K是探针的很重要的一个参数，一般来说，接触模式的探针的弹性常数小于1N/m。轻敲模式的探针的悬臂梁弹性系数从几个N/m到几十个N/m。常用的RTESP的弹性常数是40N/m。3. 针尖，针尖的的几何形状是一个四面体。指标主要有，曲率半径(Tip Radius)，探针高度（Tip Height），对应于四面体的指标，前角（Front Angel），后角（Back Angel），侧角（Side Angel），还有一个是Tip Set Back，对应的是针尖离悬臂梁最末端的水平距离。材质：1. 轻敲探针：一般是单晶硅，型号如RTESP；2. 接触模式探针：材质是SiN，而新型号的SNL接触探针，悬臂梁是SiN，而针尖则Si（曲率半径2nm左右），这种探针可以提供接触模式下的分辨率图；3. 功能探针：如磁力探针（MESP），导电探针，则是在普通的硅探针的基础上再镀上相应的材料。MESP的镀层是Co/Cr，SCM-PIT的镀层是Pt。常用探针型号介绍： 常用探针型号介绍1. 轻敲模式，RTESPA-300，TESP，FESP2. 接触模式，SNL，NP，3. 智能扫描模式：Scanasyst air,ScanAsyst-fluid,ScanAsyst-Fluid+4. 磁力显微镜，MESP-V2,MESP-RC-V25. 静电力显微镜，导电AFM，等电学测量模式，DDESP，SCM-PIT，SCM-PIC等。6. 其他特殊功能探针。如金刚石探针，大长径比探针。

NTEGRA Spectra系统简介： NTEGRA Spectra - AFM / CONFOCAL RAMAN & FLUORESCENCE / SNOM / TERS 它将原子力显微镜、扫描近场光学显微镜，激光共聚焦显微镜、荧光光谱和拉曼光谱等各种分析手段完美地结合到一起。借助于针尖增强拉曼散射效应（TERS），其拉曼散射光谱和图像测量的分辨率达到了50nm！ Confocal optical microscopy/spectroscopy system NTEGRA Spectra系统将激光共聚焦显微镜、拉曼光谱、光学显微镜和扫描探针显微镜完美结合，提供了荧光光谱与Raman散射的空间3D分布测量，而扫描探针显微镜也兼备了纳米压痕、纳米操纵和纳米刻蚀加工等功能！ Scanning probe microscopy system NTEGRA Spectra在进行光学观测的同时，NTEGRA Spectra系统也可以通过多种模式对样品进行SPM表征，包括：原子力显微镜、磁力显微镜、静电力显微镜、扫描隧道显微镜、扫描近场光学显微镜、力曲线等等多大40种功能。这种独有的设计将光学与探针方法联合的设备，赋予了用户对样品同时进行多种性能表征的能力，使得用户可以观测样品的光学性质、化学性能、电学性质、力学性质和磁学性质等等！ System for the investigation of optical properties beyond the diffraction limit NTEGRA Spectra系统区别于其他光学设备的性能在于它能在超过衍射极限的分辨率下，对样品光学性质进行研究。扫描近场光学显微镜与局域的针尖增强拉曼散射效应使得用户可以对光转移、光散射和光极化进行成像，其Raman散射的空间分辨率达到了50nm！ NTEGRA Spectra系统的工作模式 原子力显微镜（力学、电学、磁性质等，纳米操作等多大40种功能） 扫描近场光学显微镜（透射、反射、收集、荧光） 激光共聚焦显微镜、共聚焦拉曼成像、荧光成像、光学成像 针尖增强拉曼散射-TERS（正置+倒置）扫描近场光学显微镜 ( SNOM / NSOM ) 环境控制：温度、气氛控制、液相操作、电化学环境、外加磁场不仅能将原子力显微镜-近场光学显微镜-光学显微镜-共聚焦显微-拉曼光谱完美的联用。此外每个功能还能单独使用即提供了：独立的AFM/独立的SNOM/独立的光学显微镜/独立的共聚焦显微镜/独立的拉曼光谱，所有功能都能在同一个软件下实现联用，并且能够同时得到测量结果。为了更好的体现Ntegra 的扩展性，该系统不但能和NT-MDT 的拉曼系统联用， 也同和市场上主流的拉曼进行联用，例如Renishaw，JY 等拉曼系统联用。

仪器简介：扫描探针显微镜(SPM)平台是为了在纳米尺度研究样品的表面性质而设计的。它能够让我们在几微米到几个埃的尺寸下肉眼观察并定量测量样品的力学性质（硬度，弹性，粘度），电学性质（导电性，电容性，表面电荷分布）以及磁的性质。Solver 平台拥有超过40 种测量方法，并且实现在大气，气氛控制以及液体环境下进行工作。技术参数：测量模式： STM/ AFM (接触 + 轻敲+非接触)/ 横向力/ 相位/ 力调制/力谱/粘附力/ 磁力/ 静电力/ 开尔文/ 扩展电阻/纳米压痕/纳米刻蚀: AFM (电压刻蚀 + 力刻蚀)扫描方式：样品扫描、针尖扫描、双扫描测量头部：AFM和SPM，可选配液相模式最大样品尺寸：样品扫描：直径40mm，厚度10mm。针尖扫描：样品无限制XY样品定位装置：移动范围5× 5um，精度5um光学系统：根据客户需求配置样品温度控制：室温~130℃ 主要特点：Solver P47-PRO SPM 是一种可以在空气、液体和室温～ 130° C 的可控气氛下对不同的样品进行高精度综合分析的通用仪器。此型号不仅适合小公司或学校的试验室使用，同样适合大的研究中心使用。其现代化的设计提供了最高的测量精度和大量的SPM技术。可选配独一无二的双扫描结构可以将扫描范围扩展到200x200um。该型号仪器现已装备到全世界600多个实验室，其中中国大陆正在使用的用户达40多个。

仪器简介：瑞士Nanosurf公司，全球知名的专业研发扫描探针显微镜制造商和技术服务供应商，在扫描探针显微镜领域有超过15年的研发经验，一直致力于新型扫描探针显微镜的创新性研发和制造。目前已推出新一代低噪音-快速扫描-超高稳定性的AFM 和大扫描范围Nanite AFM系统。瑞士Nanosurf公司承诺提供最高品质的服务和客户支持，同时还提供纳米技术的OEM 客户定制，外包等业务。easyScan 2原子力显微镜是瑞士Nanosurf公司在原有easyScan原子力显微镜基础上更新而来，增进了该原子力显微镜的便携性，精确性和可靠性，有更强的抗干扰能力。目前easyScan 系列原子力显微镜已经在50多个国家销售了近2000台。是工业质量控制，纳米材料研发者的完美工具。技术参数：easyScan2 AFM原子力显微镜： 1. 两种可供选择的原子力显微镜扫描头 (1) 大扫描范围 最大扫描范围：X和Y方向110um x 110um xy轴分辨率： 1.7nm 最大扫描范围： Z方向20um z轴分辨率： 0.34nm Z噪音标准（RMS）： 0.4nm(2) 高分辨率 最大扫描范围：X和Y方向10um*10um xy轴分辨率：0.15nm 最大扫描范围：Z方向1.8um z轴分辨率：0.027nm Z噪音标准（RMS）：0.07nm 扫描速度：1800个数据点/秒 传感半径： 15nm 典型负载： 10nN 扫描仪质量：350g 反馈回路宽带：3kHz 自动进场范围：5mm 没有使用危险的高电压2. 电子控制器 数据采集时，可以和任何标准计算计串行端口连接 三个轴都有16位的数据收集与控制系统 轴输出电压：+12V 扫描速度：1-20分/框 1024样品/直线 动态频率范围：15-300KHz 动态频率分辨率：15-300KHz 外部电源 功率消耗量25VA 电子控制器质量2.5kg 3. 软件 软件在Windows 操作系统上运行 测量数据可以实现可视化 不同的窗体的扫描数据可以被同时显示 线观察，点观察，三维观察 在线数学计算功能（减，平均值等等） 类似于粗糙度（Ra，Rq）、顶点剖面、厚度、距离和几何分析的数据分析 可以实现多数据输出 定制显示器、工作场所 安装非常简便主要特点： easyScan2 AFM原子力显微镜：允许快速的、在原位无破坏性的、高分辨率的处理控制。 自动激光对准芯片技术，无需人工手动调节。设计小巧、紧凑；使用简便、舒适 。所有的功能可以在一台计算机上进行 。独立的；适合大、小形状各异的样品 。样品自动进场 。与标准计算机串行端口连接（不需要接口卡） 。特殊的扫描仪设计，确保低震动灵敏度 。

产品介绍 致真精密仪器-晶圆级原子力显微镜AFM利用微悬臂探针结构可对导体、半导体、绝缘品等固体材料进行三维样貌表征，可实现大晶圆级大样品形貌表征,电动样品定位台与光学图像相结合,可在 300X300 mm 区域实现1 um的定位精度,激光对准,探针逼近和扫描参数调整完全自动化操作。致真精密仪器-晶圆级原子力显微镜AFM设备性能XY方向噪声水平0.2 nm闭环,0.02nm开环★Z方向噪声水平0.06nm闭环,0.03nm开环★XY方向非线性度0.15% Z方向非线性度:1%扫描范围90umX90umX9um(典型值)80umX80umX8.5um(最小值)鸢0.58 x~7 x光学变倍镜头,光学分辨率可达3.45 um,可3 mm焦距微调样品尺寸:可检测12英寸晶圆并且向下兼容8、6、4英寸以及碎片样品,可自动上下料(选配)全自动探针逼近系统,行程35 mm,步进精度50 nm致真精密仪器-晶圆级原子力显微镜AFM设备特色工作模式:接触模式、轻敲模式、非接触模式、相位成像等工作模式适配环境:空气、液相可旋转式扫描头，更方便于更换探针以及多功能探针夹自动化位移台搭配0.58x~7x变倍光学变倍镜头更方便寻找样品适配12英寸晶圆并向下兼容各种晶圆尺寸多功能配置:力曲线/力谱测量、表面电势测量、横向力显微镜、静电力显微镜、磁力显微镜、压电力显微镜、扫描开尔文探针显微镜 刻蚀和纳米操作

用于研发的灵活与多功能的原子力显微镜仪器简介：FlexAFM原子力显微镜是Nanosurf公司新研发的在大气环境和液体环境下都可以进行测试，并且可与倒置光学显微镜和温度样品台联用。可以满足绝大多数研究的需要。瑞士Nanosurf公司，全球知名的专业研发扫描探针显微镜制造商和技术服务供应商，在扫描探针显微镜领域有超过15年的研发经验，一直致力于新型扫描探针显微镜的创新性研发和制造。目前已推出新一代低噪音-快速扫描-超高稳定性的AFM 和大扫描范围Nanite AFM系统。瑞士Nanosurf公司承诺提供最高品质的服务和客户支持，同时还提供纳米技术的OEM 客户定制，外包等业务。技术参数：1，FLEXAFM原子力显微镜测量模式：接触式原子力显微镜（大气和液态环境），真正非接触式原子力显微镜（大气和液态环境），横向力/摩擦力显微镜（LFM），导电原子力显微镜，磁力显微镜（MFM），开尔文探针（Kelvin Probe），扫描热原子力显微镜（SThM），电容和静电力显微镜（EFM），高级的纳米光刻和纳米操作能力，音叉原子力显微镜，三维扫描成像。2，扫描范围：100 um；10 um3，Z方向范围：10um；3 um4，XY方向驱动分辨率：0.152 nm5，Z方向驱动分辨率：0.046 nm6，最小Z方向测量噪音水平：0.15nm7，样品尺寸：直径100mm主要特点：1，FlexAFM无论是在大气环境下还是在液体环境下都可以进行测试，操作和测试的方便程度是完全一样，没有什么区别。2，灵活弯曲结构的扫描头设计，可以引用于平的或粗糙的样品表面。XY-扫描通过电磁驱动，XY平面的运动是完全线性的 。Z方向的运动是通过压电陶瓷来驱动，Z方向的运动速度很快。3，激光光束进入液体时会发生一定偏移，通常实验时需要耐心和复杂的调整。而FlexAFM 使用了专利SureAlign&trade 的激光光学系统，无论是在大气下还是在液体中根本不需要做任何调整。所以FlexAFM 的激光信号永远处于最佳状态。4，两个方向的视窗，非常方便观察和针尖逼近。并且由于特别的设计，使得无论在大气环境还是液体环境得到同样质量的视像。5，FlexAFM 使用"Liquid Ready" easyScan 2控制器, 可以扩展STM 等技术。为了材料研发上的成功,科学家们依赖专业的工具来快速地提供需要的信息,不管是否是手头的任务. 通过开发关键技术与设计, Nanosurf使得Flex-Axiom成为一款迄今为止强大多功能而且灵活的AFM, 非常方便地进行各种各样材料研发方面的应用. 配合功能强大的C3000控制器, Flex-Axiom还可以进行更多复杂的材料表征应用. 几百个研究用户，多方面应用实例Flex-Axiom是您可信赖的工具，不管是在表面形貌还是计量成像上，不管在大气中还是液体环境中. 当然Flex-Axiom不仅仅可以用于表面形貌测量, 比如还可以进行高级纳米机械性能、电学或者磁学性能表征. 该系统更能有效地用于样品的微纳米操纵功能. Topography, KPFM, and MFM images of the same area of a stainless steel sample 精确而优越的性能方便您研发上的需求Flex-Axiom使用特殊的线性电磁平板扫描器用于XY移动. 该扫描器在全范围内的平均线性度误差小于0.1%, 属于AFM市场上的顶配. Z轴由压电驱动, 带有位置传感器可以实现闭环操作. 高敏感的悬臂梁探测系统可以测量到MHz测量范围. Flex-Axiom的测量头配置的是全功能的, 带有数字反馈与两个双通道锁放的最新24位C3000控制器.Imaging of single and multiple pyrene nanosheets and height analysis with sub-nanometer accuracy. Data courtesy: Mykhailo Vybornyi, University of Berne, Switzerland 模块化设计: 让您今天的预算物有所值，让您未来有更多机会增加配置或需求Flex-Axiom带有模块化的样品台设计与各种探针底座类型, 可以满足您当前与今后的需求. 基于C3000控制器, Flex-Axiom可配置14种AFM操作功能, 甚至更多可扩展功能, 可以进行更多材料开发上面的高级测量与实验研究. ECS 204电化学样品台, 举例来说, 可以进行样品的电化学与以及样品周围的环境控制, 这样就可以开发更多新的应用. 跟一些我们的高级研发用户一起, 用于大范围纳米刻蚀、手套箱内操作、磁阻感应功能都已经被开发出来. Large-area nano-lithography (Dr. Lu Shin Wong, Manchester, UK) Flex-Axiom in glove box (Dr. Philip Kim, Harvard University, US) Magneto-resistive sensing (Dr. Jo?o Gaspar, Braga, PT) Flex-Axiom的模块化概念可以轻松地让它升级到其他FlexAFM产品线 (如用于生命科学的Flex-Bio, 用于自动纳米机械性能分析的Flex-ANA以及用于细胞与纳米操纵的Flex-FPM)， 给您的Flex-Axiom系统提供了更多的升级与扩展的可能性. Flex-Bio Flex-ANA Flex-FPM 开发所有的实践细节，有益于日常操作FlexAFM视频选件集成了两个摄像头用于顶视与侧视, 可以让您快速地找到感兴趣区域并逼近针尖到样品表面位置，然后进行全自动逼近. Camera optics Top view Side view带有定位槽结构的探针底座可使用带有定位沟槽的探针. 该探针底座提供了微米级别定位精度, 更换探针无需调节激光； 可以让您更换探针后依然方便地找到样品同样的位置. Flex-Axiom 配件与附件 Flex-Axiom系统的核心是FlexAFM测量头与C3000控制器，它们由I100电气转接盒连接. 基于标准配置, Flex-Axiom具有多个选件与附件可以供选择, 专门设计用来提高更稳定与可靠的结果, 或者提供了更多新型测量功能与实验的可信性: 各种探针底座类型 FlexAFM视频选件，顶视与侧视双光学ECS 204 电化学样品台ATS 204 自动移动台Isostage主动式防震台环境控制来进行干燥或者低氧环境操作 高级隔声罩用于保护外界噪声与其他干扰

多功能原子力显微镜-AFM利用微悬臂下方的探针和样品表面距离缩小到纳米级，探针和样品表面的分子间作用力使得悬臂受力形变。探针针尖和样品之间的作用力与距离有强烈的依赖关系，即可以通过检测悬臂受力的弯曲程度,从而获得样品表面形貌信息。不同于电子显微镜只能提供二维图像，多功能原子力显微镜-AFM能提供真实的三维表面图。同时,AFM不需要对样品的任何特殊处理,如镀铜或碳，这种处理对样品会造成不可逆转的伤害。第三，电子显微镜需要运行在高真空条件下,原子力显微镜在常压下甚至在液体环境下都可以良好工作。这样可以用来研究生物宏观分子,电池材料，甚至活的生物组织。利用微悬臂探针结构对导体、半导体、绝缘品等固体材料进行三维样貌表征,纵向噪音水平低至0.03nm(开环)，可实现样品表面单个原子层结构形貌图像绘制。AFM最大的特点是可以测量表面原子之间的力,AFM可测量的最小力的量级为10-14-10-16N。多功能原子力显微镜-AFM还可以测量表面的弹性,塑性、硬度、黏着力等性质,AFM还可以在真空,大气或溶液下工作,在材料研究中获得了广泛的研究。多功能原子力显微镜-AFM由本公司自主研发,稳定性强，可拓展性良好，提供定制服务 可拓展横向力显微镜 静电力显微镜 磁力显微镜 扫描开尔文探针显微镜 刻蚀和纳米操作等。该产品作为高速、高精度物质形貌表征工具,可以为高端科研与企业生产研发提供更多的选择与助力。 具体产品介绍详见下图：

仪器简介：Nanite 原子力显微镜系统是纳米测量和成像的完美工具。该系统提供三维数据。原子力显微镜测量是非破坏性的，无需制备样品。此外，机械运动平台允许批量的，预编程测量，使用大型花岗岩自动X/Y/Z样品台可测试尺寸达180mm样品的不同区域，用户甚至可以定制更大的移动样品台。Nanite设计灵活、操作简单，是您理想的全自动研究级AFM系统。瑞士Nanosurf公司，全球知名的专业研发扫描探针原子力显微镜制造商和技术服务供应商，在扫描探针原子力显微镜领域有超过15年的研发经验，一直致力于新型扫描探针原子力显微镜的创新性研发和制造。目前已推出新一代低噪音-快速扫描-超高稳定性的AFM 和大扫描范围Nanite AFM系统。瑞士Nanosurf公司承诺提供最高品质的服务和客户支持，同时还提供纳米技术的OEM 客户定制，外包等业务。技术参数：原子力显微镜测量模式: 接触式原子力显微镜，真正非接触式原子力显微镜，横向力/摩擦力显微镜（LFM），导电原子力显微镜，磁力显微镜（MFM），开尔文探针（Kelvin Probe），扫描热原子力显微镜（SThM），电容和静电力显微镜（EFM），高级的纳米光刻和纳米操作能力，音叉原子力显微镜，三维扫描成像。 ● 原子力显微镜扫描器最大测量范围：110um X & Y range，22um Z range ● 大尺寸样品台，全自动测量最大直径为160mm样品。 ● PZT/Voice Coil双模式技术AFM ● 全自动运动平台，马达驱动 ● 专利批处理软件，自动图像拼接缝合技术，可以测量超大样品的三维形貌像 ● 先进的32-bit DSP控制器，专利反馈技术(扫描范围10um时最高扫描20 Hz,消除爬行现象) ● 可以进行纳米压痕和划痕实验 ● 专利光学系统， XY闭环扫描技术 ● 独特开放性软硬件构架设计, 并开放所有源代码供您的二次开发主要特点：● 原子力显微镜扫描器最大测量范围：110um X & Y range，22um Z range● 大尺寸样品台，全自动测量最大直径为160mm样品。● PZT/Voice Coil双模式技术AFM● 全自动运动平台，马达驱动● 专利批处理软件，自动图像拼接缝合技术，可以测量超大样品的三维形貌像● 先进的32-bit DSP控制器，专利反馈技术(扫描范围10um时最高扫描20 Hz,消除爬行现象)● 可以进行纳米压痕和划痕实验● 专利光学系统， XY闭环扫描技术● 独特开放性软硬件构架设计, 并开放所有源代码供您的二次开发

原子力显微镜主动减振台/减震台 品牌：HERZ型号：AVI-600-XL描述：AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，有利于为基础研究、应用研究、生产等领域所用精密仪器创造稳定的测量环境。AVI系列可在宽频率范围内进行隔振，为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪、激光干涉仪、微型检测设备等提供优异的隔振性能。适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！产品亮点： 六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除 紧凑、模块化的多功能设计 稳定性高，能无故障连续使用多年无低频共振、无空气要求 应用范围： 超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）光刻工具高精度计量工具光谱仪器升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。技术参数：型号：AVI-600XL/LP系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):318 x 856 x 112.5 Hmm控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm隔振单元重量: 34kg负载能力:1200 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常27W温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内隔振效果：性能对比图：SEM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。原子力显微镜主动减振台/减震台

美国Anasys公司的AFM+可以提供全面的原子力显微功能，具有强大的分析能力，使得AFM不仅仅是一个普通的成像工具，还可以进行材料纳米级尺度的成分分析，热性能和机械性能的分析。AFM+的主要特点：简洁的安装与操作 □ AFM+为最便利的使用而设计制造。探针预装在金属圆片上，确保探针位置的准确性和装针的便捷□ 仪器集几十年AFM设计大师的经验之大成，即使初次使用也能快速获取结果完整的AFM工作模式 □ 包含所有常规成像模式：接触、轻敲、相位、侧向力、力调制、力曲线□ 独有高分辨率低噪音的闭环成像□ 基于DI传承的多功能AFM，实现纳米热学，力学，电学和磁学测量：l 纳米热分析模块（nanoTA, SThM）l 洛仑兹接触共振模块（LCR）l 导电原子力显微镜镜（CAFM）l 开尔文电势显微镜（KPFM）l 磁力显微镜（MFM）l 静电力显微镜（EFM）独有的可升级功能□ 热学性能：独有的热探针技术，提供纳米级红外分析□ 机械性能：洛伦兹接触共振模式能够提供宽频纳米机械分析□ 化学性能：可升级具有纳米红外光谱技术，实现局部化学组分分析□ 近场成像：可升级具有散射式近场光学成像和光谱采集功能

Park NX20原子力显微镜用于失效分析的理想选择引领用于故障分析和大型样品研究的纳米计量工具作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器，其主要目的是对样品进行缺陷检测。 而仪器所提供的数据不能允许有错误的存在。 Park NX20，这款高精密的大型样品原子力显微镜，凭借着数据的准确性，在半导体和硬盘行业中大受赞扬。全面多样的分析功能Park NX20可快速帮助客户找到产品失效的原因，并帮助客户制定出更多具有创意的解决方案。 高精密度可为用户带来高分辨率数据，让用户能够更加专注于工作。 与此同时，非接触扫描模式让探针针尖更锋利、更耐用，无需为频繁更换探针而耗费大量的时间和金钱。即便是刚接触原子显微镜的工程师也易于操作Park NX20拥有业界便捷的设计和自动界面，让你在使用时无需花费大量的时间和精力，也不用为此而时时不停的指导初学者。 借助这一系列特点，您可以更加专注于解决更为重大的问题，并为客户提供及时且富有洞察力的失效分析报告。———————————————————————————————————————————为FA和研究实验室提供精准的形貌测量解决方案样品侧壁三维结构测量NX20的创新架构让您可以检测样品的侧壁和表面，并测量它们的角度。 众多的功能和用途正是您的创新性研究和敏锐洞察力所必需的。对样品和基片进行表面光洁度测量表面光洁度测量是Park NX20的关键应用之一，能够带来精准的失效分析和质量保证。高分辨率电子扫描模式QuickStep SCM超快的扫描式电容显微镜PinPoint AFM无摩擦导电原子力显微镜———————————————————————————————————————————多种创新且创新的专利技术帮助顾客减少测试时间CrN样品所做的针尖磨损实验AFM测量通过对比重复扫描情况下探针尖端的形状变化，您可以轻易看到Park的真正非接触模式的优势所在。借助真正非接触模式，探针尖端在扫描氮化铬样品（即探针检测样品）200次后仍可保持锋利的状态。 氮化铬的表面粗糙且研磨性强，会让普通的探针很快变钝。———————————————————————————————————————————低噪声Z探测器测量准确的样品表面形貌没有压电蠕变误差的真正样品表面形貌超低噪声Z探测器，噪音水平低于0.02 nm,从而达到非常精准样品形貌成像，没有边沿过冲无需校准。Park NX20在为您提供好的数据的同时也为您节省了宝贵的时间。√ 使用低噪声Z探测器信号进行台阶形貌测量。√ 在大范围扫描过程中系统Z向噪音小于0.02 nm。√ 没有前沿或后沿过冲现象√ 终身无需校准，减少设备维护成本Park NX系列原子力显微镜传统的原子力显微镜Park NX20特点 ————低噪声XYZ位置传感器低噪声XYZ闭环扫描可将正向扫描和反向扫描间隙降至扫描范围的0.15%以下。高速Z轴扫描器,扫描范围达15um高强度压电堆栈和挠性设计，标准Z轴扫描器的共振频率高达9kHz(一般为10.5kHz）且探针的Z轴扫描速率不低于48 mm/秒。 Z轴扫描范围可从标准的15um扩展至30um（可另选Z扫描头）。自动多点样品扫描借助驱动样品台，可编程步进扫描，多区域成像，以下是它的工作流程：1) 扫描成像2) 抬起悬臂3) 移动驱动平台到设定位置4) 进针5) 重复扫描该自动化功能可大大减少扫描过程中人工移动样品所需时间，从而缩短测试时间，提高生产率。集成編碼器的XY自动样品载台编码器可用于所有自动样品载台，并可保证更高的重复定位精度，从而可更精准地控制样品测量位置。XY马达运动工作时分辨率为1 um重复率为2um。Z马达运动的分辨率为0.1um,重复率为1um。扫描头滑动嵌入式设计您只需滑动嵌入燕尾导轨便可轻松更换原子力显微镜扫描头。 该设计可将扫描头自动锁定至预对准的位置，无需调节激光位置，激光自动投射在针尖上。 借助于四象限检测器，显微镜可精确成像并准确测定力.距离曲线。操作方便的样品台借助创新的镜头设计，用户可从侧面操作控样品和探针。 根据XY轴样品台所设定的行程范围，用户在样品台上可放置的大样品体积直径可高达200 mm。用于高级扫描模式易插槽您只需要将可选模块插入扩展槽，您便可激活高级扫描探针显微镜模式。 得益于NX系列原子力显微镜的模块化设计，其产品线的配置兼容性大大提高。同轴高功率光学集成LED照明和CCD系统定制物镜配有超长工作距离（51 mm，0.21的数值孔径，1.0um的分辨率），带来超高的镜头清晰度。同轴光源设计让用户可轻易地在样品表面寻找测试区域，物镜分辨率为0.7um。 得益于CCD的高端传感器，在获得较大视场的同时，分辨率却不受影响。 由软件控制的LED光源能为样品表面提供足够的照明，便于清晰观察样品。高速24位数字电子控制所有NX系列的原子力显微镜都是由相同的NX电子控制器进行控制和处理的。 该控制器是全数字、24位高速控制器，可确保Park 真正非接触模式下的成像精度和速度。 凭借着低噪声设计和高速处理单元，该控制器是纳米级成像和精确电压电流测量的绝佳选择。 嵌入式数字信号处理为原子力显微镜带来更为丰富的功能，更好的解决方案，是资深研究院的理想选择。XY.Z轴检测器的24位信号分辨率XY轴(50 μm)的分辨率可低至0.003 nmZ轴(15 μm)的分辨率可低至0.001 nm嵌入式数字信号处理功能三个锁相放大器探针弹簧系数校准数据Q控制集成式信号端口专用可编程信号输入/输出端口7个输入端口和3个输出端口自动Z轴移动和聚焦系统高度限行Z轴移动和聚焦系统，可以得到清晰的视野和图像，用户通过软件界面进行操作，由高精度步进电机驱动，即使液体或者透明样品也可快速找到样品表面。———————————————————————————————————————————QuickStep SCM模式√ 比传统的扫描式电容显微镜(SCM)扫描速度快十倍√ 信号灵敏度、空间分辨率和数据精准度不受影响高通量QuickStep扫描在QuickStep扫描模式下，SCM测量通量大幅提升，可达到标准SCM扫描速度的十倍，且信号灵敏度、空间分辨率和数据精准度不受影响。 在QuickStep扫描模式下，XY轴扫描器在各像素点停住，记录数据。 扫描器会在各像素点之间快速跳跃。QuickStep扫描传统扫描扫描速度1.5Hz扫描速度1Hz扫描大小: 10 µ m×3 µ m, AC Bias: 0.5 Vp-v, DC Bias: 0 V———————————————————————————————————————————Park SCM精准的掺杂形貌量测在半导体制造业，分析掺杂剂分布对于确定失效原因和进行设计改进有着重要作用。 在器件特性化方面，SCM有着优异二维量化掺杂剂分布分析能力。PinPoint导电原子力显微镜模式PinPoint导电原子力显微镜模式是针对探针和样品之间的指定电接点而开发设计的。 在电流采样过程中，XY轴扫描器会依据用户设定的接触时间停止。 PinPoint导电原子力显微镜模式能够带来更高的空间分辨率，且不受 侧向力的影响，同时在不同样品表面的电流测量也得到优化。——————PinPoint模式——————— —————Contact—————样品: ZnO nano-rods, -3 V sample bias通过对比氧化锌纳米棒在不同类型的导电原子力显微镜图像，我们可以看到相比轻敲式导电原子力显微镜，传统的接触式导电原子力显微镜有着更高精度的电流测量，但其分辨率低，原因 在于探针在接触中快速磨损。 全新的PinPoint导电原子力显微镜不但空间分辨率更高，且电流测量也得到优化。———————————————————————————————————————————高带宽低噪声导电原子力显微镜导电原子力显微镜是各类元件研究的重要工具，特别是工业的失效分析。 Park导电原子力显微镜在市场中拥有核心竞争力，不但有着全行业超低的电流噪声，且增益范围也是较大。业内超低的电流噪声(0.1 pA)业内超大的电流(10 μA)巨大的增益范围（7个数量级，103-109）———————————————————————————————————————————Park NX20先进的SPM模式表面粗糙度检测真正非接触模式 动态力模式电学性能导电原子力显微镜 (ULCA和VECA)静电力显微镜 (EFM)压电力显微镜 (PFM)扫描电容显微镜 (SCM)扫描开尔文探针显微镜 (SKPM)扫描电阻显微镜 (SSRM)扫描隧道显微镜 (STM)机械性能力调制显微镜 (FMM)力.距离(FD) 曲线力谱成像侧向力显微镜 (LFM)纳米刻蚀相位成像Park NX20技术参数————扫描器Z扫描器柔性引导高推动力扫描器扫描范围: 15 µ m (可选 30um)高度信号噪声等级: 30 pm(RMS, at 0.5 kHz带宽)XY扫描器闭环控制的柔性引导XY扫描器扫描范围: 100 um× 100 um(可选 50um× 50um)驱动台Z位移台行程范围 : 25 mm (Motorized)聚焦样品台行程范围 : 15 mm (Motorized)XY位移台行程范围 : 200 mm x 200 mm样品架样品尺寸 : 基本配置开放空间 up to 200 mm x 200 mm,厚度 up to 20 mm样品重量 : 500 g光学10倍 (0.23 N.A.)超长工作距离镜头 (1um分辨率)样品表面和悬臂的直观同轴影像视野 : 840 × 630 um (带10倍物镜)CCD : 100万像素, 500万像素 (可选)软件SmartScan&trade AFM系统控制和数据采集的专用软件智能模式的快速设置和简易成像手动模式的高级使用和更精密的扫描控制XEIAFM数据分析软件电子集成功能4通道数字锁相放大器数据Q控制信号处理ADC : 18 channels 4 high-speed ADC channels 24-bit ADCs for X, Y and Z scanner position sensorDAC : 17 channels 2 high-speed DAC channels 20-bit DACs for X, Y and Z scanner positioningMaximum data size : 4096 x 4096 pixels连接外部信号20个嵌入式输入/输出端口5个TTL输出 : EOF, EOL, EOP, 调制和交流偏压AFM模式(*可选项)标准成像真正非接触式原子力显微镜PinPoint&trade 原子力显微镜接触式原子力显微镜横向力显微镜(LFM)相位成像轻敲式原子力显微镜 力测量力-距离(F/d)光谱力谱成像 介电/压电性能静电力显微镜 (EFM)动态接触式静电力显微镜 (EFM-DC)压电力显微镜 (PFM)高压压电力显微镜* 机械性能力调制显微镜 (FMM)纳米压痕*纳米刻蚀*高压纳米刻蚀*纳米操纵*磁学性能*磁力显微镜 (MFM)可调制磁力显微镜 电性能导电原子力显微镜 (C-AFM)*IV 谱线*扫描开尔文探针显微镜 (KPFM)扫描电容显微镜 (SCM)*扫描电阻显微镜 (SSRM)*扫描隧道显微镜 (STM)*光电流测绘 (PCM)* 化学性能*功能化探针的化学力显微镜电化学显微镜 (EC-AFM)———————————————————————————————————————————高级选项为用户量身定制原子力显微镜自动数据收集和分析，适合工业客户产线测量Park的自动化控制软件，可根据您的预设程序自动进行AFM测量。它可以准确地收集数据，执行模式识别，并使用它的寻边器和光学模块进行分析，不需要人工介入，从而为您节省大量宝贵时间。温度稳定的隔音罩创新的控制设计使Park NX20能够快速达到温度平衡NX20具有主动隔振功能。集成编码器的自动载台&bull XY马达运动工作时分辨率为1 µ m，重复率为2 µ m。&bull Z马达运动的分辨率为0.1 µ m，分辨率为1 µ m。倾斜样品倾角夹具，可帮助您进行样品侧壁成像。NX20的创新架构实现了对样品侧壁和表面的检测，还能够测量出相应角度。这为您提供了更多的创新研究方案和对样品更深入的理解。样品盘&bull 用于电气测量的专用小样品架&bull 用于固定晶圆的真空槽温度控制 温控台 1: -25 °C to +170 °C温控台 2: Ambient to +250 °C 温控台 3: Ambient to +600 °C

Park NX12原子力显微镜用于分析化学的全能型原子力显微镜多功能原子力显微镜平台，满足纳米级测量的需求原子力显微镜（AFM)有纳米级分辨率成像以及电，磁，热和机器性能测量的能力。纳米管扫描系统可用于高分辨率扫描离子电导显微镜（SICM).倒置光学显微镜（IOM）便于透明材料研究和荧光显微镜一体化。—————————————————————————————————————————通过验证的NX10性能通过倒置光学显微镜样品平台，Park NX12将Park原子力显微镜的多功能性和准确性相结合。这使得使用者更容易的使用纳米管技术去研究透明，不透明，或软或硬的样品。出众的电化测试平台电池，燃料电池，传感器和腐蚀等电化学研究是个快速增长的领域，然后许多原子力显微镜不能直接满足其特殊的需求。Park NX12的人性化设计，为快速操作提供便利，从而达到化学研究人员要求的功能性和灵活性。这主要包括：多功能易用电化学池惰性气体和湿度的环境控制选项双恒电位仪的兼容性研究人员可利用Park NX12平台实现各种电化学应用：扫描电化学显微镜(SECM)扫描电化学池显微镜(SECCM)电化学原子力显微镜（EC-AFM）和电化学扫描隧道显微镜( EC-STM)—————————————————————————————————————————考虑建立多用户设备Park NX12力求重新构建，以适应许多用户设备需求。其他原子力显微镜解决方案缺乏必要的多功能性，难以满足该设备中用户的多重需求，很难合理控制设备成本。然而，Park NX12旨在能够容纳标准环境原子力显微镜成像，液体扫描探针显微镜，光学和纳米光学成像，使其成为灵活的原子力显微镜之一。模块化设计Park NX12是专门针对专业电化学研究人员需求量身定制的原子力显微镜平台。它基于化学和电化学性质，气体和液体中介质的特性，为扫描探针显微镜提供了一个通用的解决方案，可用于广泛的不透明和透明材料。Park NX12基于其广泛的可视光投置到扫描探针的扫描探针显微镜技术的纳米管，易用性强。Park NX12具有高精准度，是多用户设备和职业研究人员的理想平台。多功能应用Park NX12功能广泛，包括液体中的PinPoint &trade 和纳米力学，倒置光学显微镜定位透明样品，离子电导显微镜软样品成像，以及改善透明样品光学性能的可视性。—————————————————————————————————————————综合性的力谱方法Park NX12提供了一种在液态和空气中的纳米力学表征的完整套餐，使其成为广泛应用中的理想选择。模块化NX12模块化设计，安装简单，兼容性强，可以满足您的多种实验需求。适合早期职业研究人员的有竞争力的价格和灵活性早期职业研究人员通常没有足够的预算购买价格高昂的原子力显微镜。Park NX12不仅是经济实惠的入门之选，同时还提供了可随着职业发展而不断壮大的模块化平台。它不同于其他价格相近的原子力显微镜，Park NX12配有先进的研究级精度和功能，可为在空气和液体中的透明和不透明材料提供其表面形态纳米级分辨率。这使得新的化学，材料科学或生物化学实验室的理想投资回报成为可能。—————————————————————————————————————————Park SmartScan&trade 自动模式下的单击成像Park NX12配备了我们的SmartScan&trade 操作系统，使其成为市场上高速易使用的原子力显微镜之一。其界面直观给力，即使是未经培训的用户也可以无需监控，快速扫描样品。这使得专业研究人员能够将他们的经验专注在解决更大的问题和开发更好的方案。易使用性共享实验室的用户通常背景各异，经验水平各异。NX12为每个用户提供简单的点击界面和自动化SmartScan&trade 模式。打开原子力显微镜系统后，具体操作如下1. 点击 “设置”系统出现一个小窗口，通过动画演示指导您如何仪器设置和放置待成像的样品。一般情况下，这一步仅需几分钟。2. 点击 “定位”系统自动对悬臂进行频率扫描，让 Z 轴扫描仪向样品靠近，并自动对焦样品，使用户看到成像目标区域后进行操作，移动到目标区域。3. 点击 “成像”系统设置实现优化设置所必要的参数，然后启用悬臂，开始扫描样品。持续扫描，直至获得完整图像。结束悬臂将从样本上移开，准备进行下一次样品成像操作。—————————————————————————————————————————Park NX12 技术参数扫描器Z 扫描器柔性引导高推动力扫描器扫描范围 : 15 µ m (可选 30 µ m)高度信号噪声等级: 30 pm0.5 kHz bandwidth, rms (typical)XY 扫描器闭环控制的柔性引导XY扫描器扫描范围 : 100 µ m × 100 µ m驱动台Z 位移台行程范围 : 25 mm (Motorized)聚焦样品台行程范围 : 15 mm (Motorized)XY位移台行程范围 : 10 mm x 10 mm (Motorized)样品架样品尺寸 : 开放空间 up to 50 mm x 50 mm, 厚度 up to 20 mm (建议使用 SPM 模式的样品尺寸小于 40 x 40 mm)样品重量 : 500 g光学10倍 (0.23 N.A.)超长工作距离镜头 (1µ m分辨率)样品表面和悬臂的直观同轴影像视野 : 840 × 630 µ m (带10倍物镜)CCD : 500万像素。120万像素 (可选)软件SmartScan&trade AFM系统控制和数据采集的专用软件智能模式的快速设置和简易成像手动模式的高级使用和更精密的扫描控制XEIAFM数据分析软件电子集成功能4通道数字锁相放大器弹性系数校准(热方法，可选)数据Q控制AFM 模式(*可选项)标准成像真正非接触式原子力显微镜PinPoint&trade 原子力显微镜接触式原子力显微镜横向力显微镜 (LFM)相位成像轻敲式原子力显微镜力测量力-距离(F/d)光谱力谱成像 介电/压电性能*静电力显微镜 (EFM)动态接触式静电力显微镜 (EFM-DC)压电力显微镜 (PFM)高压压电力显微镜机械性能力调制显微镜 (FMM)纳米压痕*纳米刻蚀*高压纳米刻蚀*纳米操纵*磁学特性*磁力显微镜 (MFM)可调制磁力显微镜电性能导电原子力显微镜 (C-AFM)*IV 谱线*扫描开尔文探针显微镜 (KPFM)扫描电容显微镜 (SCM)*扫描电阻显微镜 (SSRM)*扫描隧道显微镜 (STM)*光电流测绘 (PCM)*化学性能*功能化探针的化学力显微镜电化学显微镜 (EC-AFM)原子力显微镜选项电化学电池电化学电池通用液体电池的电化学工具包电化学选项恒电位仪双恒电位仪 温度控制温控台 1 -25 °C to +170 °C温控台 2 Ambient to +250 °C温控台 3 Ambient to +600 °C液下探针柄专为在一般液体环境中成像而设计对大多数包括酸在内的缓冲溶液具有抗腐蚀性可在液体中进行接触式和非接触式原子力显微镜成像隔音罩独立型 AE 204Z 扫描头15 μm Z Scanner AFM head30 μm Z Scanner AFM head15 μm Z Scanner SICM module30 μm Z Scanner SICM module环境控制选项手套箱活细胞室液体池通用液体池有液体/气体灌注的开放式或封闭式液体池 温度控制范围: 0 °C to +110 °C (in air), 4 °C to +70 °C (with liquid)电化学池开放式液体池磁场发生器施加平行于样品表面的外部磁场可调磁场范围 : -300 ~ 300 gauss由纯铁芯和两个电磁线圈组成高级模式的入门套件易用于包含专用探针和样品的高级模式

产品优势◆ 光学金相显微镜和原子力显微镜一体化设计，功能强大◆ 同时具备光学显微镜和原子力显微镜成像功能，两者可同时工作，互不影响◆ 同时具备光学二维测量和原子力显微镜三维测量功能◆ 激光检测头和样品扫描台集成一体，结构非常稳定，抗干扰性强◆ 精密探针定位装置，激光光斑对准调节非常简便◆ 单轴驱动样品自动垂直接近探针，使针尖垂直于样品扫描◆ 马达控制加压电陶瓷自动探测的智能进针方式，保护探针及样品◆ 超高倍光学定位系统，实现探针和样品扫描区域精确定位◆ 集成扫描器非线性校正用户编辑器，纳米表征和测量精度优于98%技术参数应用案例

Park NX7原子力显微镜实惠智能理想选择灵活智能的研究级AFM，实惠来袭！Park NX7 配有Park原子力显微镜前沿技术，其设计与新型显微镜一样彰显细节品质，可以有效助您取得精准的研究成果。现在价格实惠，是您预算合理下的理想选择。——————————————————————————————————————————通过消除扫描器串扰进行准确的XY扫描√ 独立闭环XY和Z柔性扫描器√ 正交XY扫描√ 样品表面形貌信息测量精准，无需软件处理——————————————————————————————————————————全面专业的原子力显微镜解决方案√ 涵盖多种扫描探针显微镜的扫描模式√ 更智能的NX电子控制器默认启用高级纳米机械测量模式√ 拥有业界前沿的兼容性和可升级性——————————————————————————————————————————人性化设计的软件和硬件功能√ 方便样品或换针的开放式使用√ 预对准的探针夹设计，可轻易直观的进行SLD光校准√ Park SmartScanTM - 原子力显微镜操作软件可以帮助初次使用用户和专业用户进行专业的纳米级研究。——————————————————————————————————————————无扫描器弓形弯曲的平直正交XY轴扫描Park的串扰消除技术不仅改善了扫描器弓形弯曲的缺点，还能够在不同扫描位置，扫描速率和扫描尺寸条件下进行平直正交XY轴扫描。即使再平坦的样品也不会出现如光学平面,各种偏移扫描等背景曲率。因此Park能不惧艰难挑战，为您在研究中提供高精度的纳米测量。无耦合关系的XY和Z扫描器Park的核心技术在于专有的扫描器架构。基于独立XY扫描器和Z扫描器设计的挠曲结构，能让您轻松获得高精度纳米级分辨率数据。——————————————————————————————————————————行业引领的低噪声Z探测器Park AFM 配备了低噪声Z探测器，噪音水平低于0.02 nm,因而达到了样品形貌成像精准，没有边沿过冲无需校准的高效率。Park NX系列不仅为您提供高精准的数据，更为您大大节省了时间成本。由低噪声Z探测器测量准确的样品形貌√ 利用低噪声Z探测器信号进行形貌成像√ 有高宽带，Z探测器低噪声只有0.02 nm√ 边缘位置无前沿或后沿过冲现象√ 只需在原厂校准一次样品: 1.2 μm标准台阶高度(9 μm x 1 μm, 2048 pixels x 128 lines) ——————————————————————————————————————————True Non-Contact&trade 模式可延长探针寿命、保护样品和精准测量True Non-Contact&trade 模式是Park原子力显微镜系统创新的扫描模式，通过在扫描过程中防止针尖和样品损坏，从而产生高分辨率和准确的数据。接触模式下，针尖在扫描过程中持续接触样品；轻敲模式下，针尖周期性地接触样品；而在非接触模式下针尖不会接触样品。因此，使用非接触模式具有几大关键优势。由于针尖锐度得以保持，在整个成像过程中会以高分辨率进行扫描。非接触模式下由于针尖和样品表面不会直接接触，从而避免损坏软样品。更快速的Z轴伺服使得真正的非接触式原子力显微镜有更精准的反馈√ 减少针尖磨损 → 长时间高分辨率扫描√ 无损式探针-样品接触 → 较大地减少样品受损度√ 可满足各种条件下，对各种样品都能够进行非接触式扫描此外，非接触模式可以感知探针与样品原子之间的作用力，甚至可以检测到探针接近样品时产生的横向力。因此，在非接触模式下使用的探针可以有效避免撞到样品表面时突然出现的高层结构。而接触模式和轻敲模式只能进行探针底端检测，很容易受到这种撞击伤害。——————————————————————————————————————————专业的 AFM 解决方案行业引领——支持多种SPM模式和选项如今，研究人员需要在不同的测量条件和样品环境下表征广泛的物理特性。 Park Systems能为您提供多种 SPM 模式、全面的 AFM 选项以及业界前沿的选项兼容性和可升级性，支持高级样品表征。——————————————————————————————————————————Park NX7 支持多种 SPM 模式形貌成像非接触模式接触模式轻巧模式介电/压电特性压电力显微镜(PFM)高压PFMPiezoresponse Spectroscopy磁学特性磁力显微镜 (MFM)电学特性导电原子力显微镜 (C-AFM)电流-电压分光镜开尔文探针力显微镜 (KPFM)高压KPFM扫描电容显微镜 (SCM)扫描扩展电阻显微镜 (SSRM)扫描隧道显微镜(STM)光电流映射 (PCM)静电力显微镜 (EFM)力学特性力调制显微镜 (FMM)纳米压痕纳米刻蚀高压纳米刻蚀纳米操纵横向力显微镜 (LFM)力距(F/d)光谱力容积成像化学特性具有功能化探针的化学力显微镜电化学显微镜 (EC-AFM)——————————————————————————————————————————Park NX7 参数ScannerZ扫描器柔性引导高推动力扫描器Z扫描范围: 15 μm (30 μm可选)XY扫描器闭环控制式单模块柔性XY扫描器扫描范围: 50 µ m × 50 µ m(可选 10 μm × 10 μm 或 100 μm × 100 μm)位移台Z位移台Z位移台行程范围: 26 mmXY位移台XY位移台行程范围: 13 mm X 13 mm样品架样品大小 : up to 50 mm样品厚度: up to 20 mm软件SmartScanTMAFM系统控制和数据采集软件智能模式的快速设置和简易成像手动模式的高级使用和更精密的扫描控制SmartAnalysisTMAFM数据分析软件独立设计—可以安装和分析AFM以外的数据能够生成采集数据的3D绘制

仪器简介：NANONICS IMAGING LTD. （以色列NANONICS有限公司）是业界将近场光学显微镜(NSOM)技术和原子力显微镜(AFM)相技术相结合的领头羊之一。公司成立于1997年，NANONICS是业界成立最久并且对此类系列产品经验最丰富的公司之一，其产品荣获过许多国际大奖。在强大的NSOM/AFM的整合操作系统的推动下，今天NANONICS继续以强大的优势和全面的系统热销市场。NANONICS凭借着实力和品质，其产品涉足的领域从科研到工业，从生物学到半导体，从化学制品到无线电通讯，应用范围极其广泛。 低温NSOM/AFM拥有先进的系统设备、环境友好的样品反应室、化学药品和气体自动传送系统；还有nano-印刷术系统，给消费者提供一个空前的系统配置选择。加上有AFM/NSOM/SEM的整合与AFM/NSOM/micro-Raman的整合系统这样强大的成象结合，可以让用户拥有一个实验平台来完成多个材料表征应用。探针包括NSOM探针，micro-pipettes是检测热、电性能的，同时探针还可以提供气体和液体加样，这是Nanonics系列产品的特色功能，可以为提供用户在很小的范围内做原位反应等。NAONICS系统兼容可所有供应商提供的SPM探针。 Renishaw PLC Ltd是最主要的Raman微型光谱成像系统的供应商，第一次与Nanonics Imaging Ltd一起合作制造了Raman化学成像的扫描探针显微镜（SPM）。此发明获得2003年光子学循环的卓越奖，AFM和Raman的结合物既能运行AFM扫描也能做Raman扫描。Nanonics和Renishaw结合具有强大功能。现在，我们又将瑞典Smiths有限公司的在线红外测试仪和扫描电镜SEM与其结合在一起，使其拥有更强大的材料表征功能，同时客户可以得到更高性价比的仪器。技术参数：1、扫描范围: XY方向70um、Z方向5um，另外有10um扫描器选配 2、扫描步进：70um扫描器＜1nm，10um扫描器＜0.1nm 3、最大样品尺寸：15mm× 15mm 4、反馈机制：光束偏转 5、操作模式：接触式，非接触式，敲击式 6、探针类型：可使用Nanonics专利的玻璃探针、电学热学探针、Nanopen 等；同时也可使用通用的AFM探针 使用范围： 1、力-距离测量 2、液体样品成像 3、电学测量 4、微区热分析测量 5、热阻测量 6、与微拉曼光谱联用 7、纳米化学迁移及操控(Nano FountainPen) 8、深沟或边墙材料成像(Deep Trench and Sidewall Imaging)主要特点：1、是一款性价比很高的原子力显微镜，使用的灵活性很大 2、可使用Nanonics专利的多种玻璃探针，也可以使用常规硅原子力探针 3、独特的扫描器及探针设计确保原子力显微镜扫描与光学显微镜实时兼容 4、可升级与Renishaw激光微拉曼光谱联用 5、可升级近场光学显微镜(NSOM)功能 6、使用Labview软件包，留出一定的空间给用户编写特殊要求的软件模块

Bruker原子力显微镜 Bruker公司的AFM具有多项 技术，以其 性能广泛应用于科研和工业各领域Dimension Icon 系列作为布鲁克公司(Bruker AXS)原子力显微镜的产品，凝聚了多项行业的 技术，是二十多年技术创新、客户反馈和行业应用的结晶。 应用：应用于科研和工业界各领域，涵盖了聚合物材料表征，集成光路测量，材料力学性能表征，MEMS制造，金属/合金/金属蒸镀的性质研究，液晶材料性能表征，分子器件，生物传感器，分子自组装结构，光盘存储，薄膜性能表征等领域的监测等各类科研和生产工作。 原子力显微镜的工作模式是以针尖与样品之间的作用力的形式来分类的。主要有以下3种操作模式：接触模式（contact mode) ，非接触模式（ non - contact mode) 和敲击模式( tapping mode）。 特征：u 低漂移和低噪音水平u 配置有专有ScanAsys原子成像优化技术，可以简易快速稳定成像u 测试样品尺寸可达：直径210mm，厚度15mmu 温度补偿位置传感器使Z轴和X-Y轴的噪音分别保持在亚-埃级和埃级水平，并呈现出前所未有的高分辨率。u 全新的XYZ闭环扫描头在不损失图像质量的前提下大大提高了扫描速度。u 探针和样品台的开放式设计使Icon 可胜任各种标准和非标准的实验。u 先进的布鲁克AFM的模式和技术，如高次谐波共振模式，和独有的不失真高温成像技术--采用对针尖和样品同时加热的方法， 程度减少针尖和样品之间的温差，避免造成成像失真。

Bruker原子力显微镜-Dimension FastScan扫描探针显微镜（Scanning probe microscopes，SPMs）是用于测量样品表面/界面性质的一类高分辨的探针型显微镜，根据其成像原理和操作模式的差异，主要分为原子力显微镜（atomic force microscopes，AFMs）和扫描隧道显微镜（scanning tunneling microscopes，STMs）等。SPM仪器的探针由压电陶瓷驱动，在物体表面作精确的扫描。探针距离样品表面的距离控制在一定的范围内，进行扫描工作，最终以纳米级分辨率获得样品表面的结构信息。传统的分析仪器，往往通过间接或计算的方法来推算样品的表面结构，但是SPM可以实时的获得样品表面真实的结构特征。因此SPM技术的出现，帮助人们首次获得了原子在平整表面排布的高分辨的真实图像。除此之外，AFM在常温常压大气下以及在液体环境下均可成像，实验操作中无需对样品进行任何特殊处理，就可以在微米级到埃米级的扫描范围内完成高精度表面测量，并且提供真正的三维形貌图。

Bruker原子力显微镜-- Dimension FastScan Bruker公司的AFM具有多项zhuan li技术，以其卓yue的性能广泛应用于科研和工业界各领域Dimension FastScanTM 原子力显微镜（Atomic Force Microscope，AFM），在不损失Dimension Icon超高的分辨率和卓yue的仪器性能前提下，zui大限度的提高了成像速度。这项突破性的技术创新，从根本上解决了AFM成像速度慢的难题，大大缩短了各技术水平的AFM用户获得高质量数据的时间,是世界上扫描速度zui快的原子力显微镜。 应用：应用于科研和工业界各领域，涵盖了聚合物材料表征，集成光路测量，材料力学性能表征，MEMS制造，金属/合金/金属蒸镀的性质研究，液晶材料性能表征，分子器件，生物传感器，分子自组装结构，光盘存储，薄膜性能表征等领域的监测等各类科研和生产工作。原子力显微镜的工作模式是以针jian与样品之间的作用力的形式来分类的。主要有以下3种操作模式：接触模式（contact mode) ，非接触模式（ non - contact mode) 和敲击模式( tapping mode）。 特征：u 高xiao率 l 在空气或液体中成像速度是原来速度的 100 倍，自动激光调节和检测器调节，智能进针，大大缩短了实验时间。 l 自动测量软件和高速扫描系统完mei结合，大幅提高了实验数据的可信度和可重复性。 u 高分辨率 l FastScan 精确的力控制模式提高图像分辨率的同时，延长了探针的使用寿命。扫描速度 20Hz 时仍能获得高质量的 TappingModeTM图像，扫描速度 6Hz 仍能获得高质量的ScanAsyst 图像。 l 低噪音，温度补偿传感器展现出亚埃级的噪音水平。 u 在任何样品上均有表现 l 闭环控制的 Icon和 FastScan扫描管极大地降低了 Z方向噪音，使它们 Z 方向的噪音水平分别低于 30pm 和 40 pm，具有极低的热漂移率，可得到超高分辨的真实图像。 l Fast Scan 可以对不同样品进行测量，保证高度从埃级到 100 多纳米的样品高精度无失真扫描

NT-MDT原子力显微镜自1998年以来，NT-MDT已成功地将AFM与光学显微镜和光谱技术相集成。支持包括hybrid modeTM在内的30多种基本和AFM模式，可提供有关样品表面物理性质的广泛信息。 AFM与共焦拉曼/荧光显微镜的集成提供了有关样品的更多信息。完全相同的样品区域同时测量的AFM和拉曼图可提供有关样品物理性质（AFM）和化学成分（Raman）的补充信息。NTEGRA Spectra II借助尖端增强拉曼散射（TERS），可以进行纳米级分辨率的光谱学/显微术。特制的AFM探针（纳米天线）可用于TERS，以增强和定位尖端附近纳米级区域的光。这种纳米天线充当光的“纳米源”，从而提供了光学成像的可能性，其分辨率小于衍射极限（max〜 10 nm）。扫描近场光学显微镜（SNOM）是获得旋光性样品的光学和光谱图像的另一种方法，其分辨率受探针孔径大小（〜 100 nm）限制。NT-MDT 原子力显微镜系统光路图所有可能的激发/检测和TERS的解决方案应用CdS纳米线通过导电聚合物纳米线与金属电极连接。 AFM探针借助观察显微镜定位在结构上。 由于AFM探针的形状，激光可以直接定位在尖端顶点上。高分辨率AFM图像可提供有关样品形貌的信息。 从同一区域获取的拉曼图和发光图显示出纳米线化学成分的差异。光学图片 原子力显微镜扫描图 拉曼扫描图 荧光扫描图 拉曼谱

◆ 光学金相显微镜和原子力显微镜一体化设计，功能强大◆ 同时具备光学显微镜和原子力显微镜成像功能，两者可同时工作，互不影响◆ 可同时在普通空气环境、液体环境、温度控制环境、惰性气体控制环境下工作◆ 样品扫描台和激光检测头封闭式设计，内部可充放特殊气体，无需增加密封罩◆ 激光检测采用了垂直光路设计，配合气液两用型探针架可在液体下工作◆ 单轴驱动样品自动垂直接近探针，使针尖垂直于样品扫描◆ 马达控制加压电陶瓷自动探测的智能进针方式，保护探针及样品◆ 超高倍光学定位系统，实现探针和样品扫描区域精确定位◆ 集成扫描器非线性校正用户编辑器，纳米表征和测量精度优于98%技术参数应用案例

Park FX40 纳米科学研发界应运而生新型全自动原子力显微镜该产品可以通过多样化的应用程序，不费吹灰之力即可获得最敏锐、最清晰、最高分辨率的扫描图像。通过前所未有的速度和精度，推动您研发进步并助力您的科学新发现——FX40将人工智能运用得淋漓尽致，全自动化的过程能实现用户纳米级显微镜的需求。额外的轴向自动激光校准、早期预警系统和故障自动保险、同步化信息提取和存储，让即便是未经原子力显微镜专业培训的研究科学家们也可以轻松快速地获得最满意的扫描结果。纳米级的显微镜 硬核级的科技进步鼎力相助时代前沿的科技研发研究型AFM中首次采用的双摄像头系统能全自动化实时更新海量数据————————————————————————————————————————————————实现全自动技术的智能原子力显微镜Park FX只需鼠标一键操作，就能实现自动换针，以避免探针被污染或因操作不当而导致的探针损坏等问题。用户还可以根据提示，选择不同的探针类型，应用类型和使用信息等。 —————自动更换探针通过自动换针方式，用户可轻松安全地进行自动换针。利用装有8个针盒和磁控机制的便利性，用户无需操作便可安装探针。———————自动识别掃码探针识别摄像头可以加载探针芯片载体上的二维码，提取并显示每个可用探针的探针类型，应用类型和使用信息等全部相关信息。——————自动激光校准自动激光校准功能将SLD光定位到悬臂梁的适当位置，并进一步分别优化PSPD的垂直和横向位置。用户只需简单点击，移动X,Y和Z轴便可得到毫不失真的高清扫描图。双摄像头系统自动校准探针和样品位置样品摄像头样品台上最多可以同时放置四个不同量级的样品。即便如此，样品摄像头也可以毫不费力地定位到相关位置进行精确扫描。探针识别摄像头探针识别系统可以帮助用户搜索相关探针的全部信息（包括探针类型，应用类型和使用信息等）使研究工作事半功倍。只需一键便可轻松选择您所需要的探针。————————————————————————————————————————————————智能自动化FX40拥有一流的智能视觉系统，能自动检测探针是否正确定位。软件界面通过定位加载探针的位置至纳米级别，并在必要时生成错误状态报告，同时将这些数据与成千上万个可能发生的模拟问题进行比较，以此不断更新升级软件。 ———————————————————————————————————————————————— 原子力显微镜中最快速精确的真正非接触模式对于针尖样品间距离，Park创新的非接触模式展现了其优异的控制力，距离达到了亚纳米级别。Park FX40拥有理想的快速且精准的非接触模式。 安全的探针着陆装置——全面保护样品和探针Park采用防碰撞传感器装置和连锁软件相结合，可以更好地保护针尖和AFM扫描器。通过算法编程，Z移动台只能在针尖与样品表面碰撞的极限内升降，避免因探针与样品相碰而产生损害，极大地提高了生产力和测量精准度。————————————————————————————————————————————————最佳AFM体验——专为FX设计的Park OS SmartScan简易单击成像1. 精要设置自动探针检测，自动激光校准简要的教学动画分分钟让您学会如何进行样品放置以及仪器成像设置。2. 精准定位定位样品位置AFM自动执行悬臂的频率性扫描，接近样品的Z移动台, 然后自动聚焦，帮助您扫描任何您想要的区域。3. 高清成像自动探针检测完成定位之后，系统会设置合适的参数，连接悬臂并扫描样品，直到为您扫出高解析度高分辨率的图像。

便携式芯片原子力显微镜——AFM纳米形貌表征从未如此简单！ICSPI公司在便携式nGauge原子力显微镜（AFM）的基础上进行了全新升级，推出了新一代的便携式原子力显微镜Redux。Redux原子力显微镜（AFM）除了具有方便携带，操作简单，扫描速度快，可扫描大尺寸样品，无需维护等优点，还可以迅速找到感兴趣的测量位置，实现相关区域的快速高精度测量。适合各类纳米表征应用场景，从科学研究、高等教育到工业用户的样品3D表面形貌快速成像分析等，领先的创新技术的降低了传统AFM的复杂操作，也的拓宽了传统AFM的应用范围！　 适合各类纳米表征应用场景半导体工业材料工业纳米技术生命科技涂料，聚合物和复合材料等高等教育.....产品特点更小巧，更便携独特的AFM微纳机电芯片，使得Redux/nGauge原子力显微镜（AFM）系统仅有公文包大小，可随身携带。更简单，更易用只需点击鼠标三次即可获得样品表面纳米级形貌信息，无需配置减震平台。 第一步：通过内置光学显微镜寻找扫描区域；第二步：Redux/nGauge帮助扫描探针自动寻找样品表面；第三步：点击扫描，获取样品表面形貌信息。维护简单，性价比高类金刚石针尖保证AFM探针超长寿命，且无需繁琐的更换针尖操作和其他后期维护工作。Redux采用的压电AFM探针技术以及耐用的探针针尖（左图）。中图为一根探针第215次扫描样品的结果，右图为第1164次扫描样品的结果各表征手段对比Redux/nGauge AFM传统 AFMSEM大气环境下运行自动寻找样品表面N/A设备安装时间5 分钟1-2 周1-2 周扫描样品时间2 分钟1 小时30 分钟 – 1 小时随测随走培训时间1 小时12+ 小时12+ 小时无需激光对准普通市电/USB供电更换探针难度N/A3D表面形貌成像成像分辨率不导电样品表征设备型号Redux AFM左：Redux原子力显微镜（AFM）；右：Redux原子力显微镜实际使用场景Redux微型原子力显微镜n5（噪声基底优于0.5nm）Redux微型原子力显微镜n7（噪声基底优于0.15nm）产品特点快速：1分钟内便可获取样品信息易用：扫描只需点击三次鼠标简单：全新升级的X, Y和Z定位系统技术参数 AFM技术参数最大扫描范围(XY)20 μm x 20 μm最大扫描高度(Z)10 μm扫描速度80 秒 (256 x 256 pixel, 20 μm x 20 μm)噪音基底0.5nm 或 0.15 nm XY扫描分辨率0.5 nm样品台参数样品台尺寸105 mm x 95 mm x 20 mm可移动范围10 mm x 10 mm光学显微镜参数物镜10x, 0.25 NA视场2.25 mm × 1.25 mm分辨率1920 x 1080 FHD Video output整体尺寸尺寸 (长x 宽 x 高)23.2 cm × 22.0 cm × 24.6 cm重量4 kg软件需求连接方式USB操作系统Windows 10, 11电源电压100-240 VAC ~ 50/60 Hz电流12 VDC, 5 AnGauge AFM成像类型：形貌图，相位图XY 扫描区域：100 µ m × 100 µ mXY 扫描分辨率：0.5 nmZ向扫描范围：10 µ m快速扫描成像时间：16 秒 可表征样品大尺寸：100 mm x 50 mm x 20 mm可表征样品大重量：1 kg测试数据微柱阵列三维成像二氧化硅聚合物复合材料相扫描结果半间距为200nm的光栅形貌表征数据存储单元纳米结构三维形貌表征丹麦Akasel公司9μm金刚石颗粒抛光后的钢铁样品三维形貌表征 美国Biotech公司表征皮肤样本美国Applied Nanotool公司微纳光学器件品控 光电子领域器件检测发表文章1. Zhao, P., et al., Multiple antibiotics distribution in drinking water and their co-adsorption behaviors by different size fractions of natural particles. Science of The Total Environment, 2021. 775: p. 145846.2. Guo, P., et al., Vanadium dioxide phase change thin films produced by thermal oxidation of metallic vanadium. Thin Solid Films, 2020. 707: p. 138117.3. Connolly, L.G., et al., A tip-based metrology framework for real-time process feedback of roll-to-roll fabricated nanopatterned structures. Precision Engineering, 2019. 57: p. 137-148.4. O'Neill, C., et al., Effect of tooth brushing on gloss retention and surface roughness of five bulk‐fill resin composites. Journal of Esthetic and Restorative Dentistry, 2018. 30(1): p. 59-69.用户单位nGauge全球代表性用户

仪器由主机和控制系统、专用工具、操作软件及附件组成。主要用于化学、材料科学（纳米材料、高分子、聚合物、半导体等）、生命科学以及相关领域的研究工作，对各种材料、化工产品、生物制品、非金属矿及深加工产品等进行观测，并对其表面形貌进行分析。扫描隧道显微镜功能：恒流模式、恒高模式、I(Z)谱、I(V)谱原子力显微镜功能：形貌成像、相位成像、磁力显微镜、静电力显微镜、扩展电阻成像、开尔文探针显微镜、力－距离曲线、振幅－距离曲线、I(V)谱刻蚀功能：力刻蚀、电流刻蚀、矢量刻蚀

AFM5500M II全自动扫描探针显微镜除了配置高精度平板扫描器和各种测量自动化功能，还有两种共享坐标样品台功能。通过多种设备的关联解析，实现了单个设备无法实现的多维缺陷评价和故障解析。主要特点1. AFM自动化测量&bull 通过自动化控制大大提高效率，自动探针安装，自动光轴调整，自动参数优化；&bull 排除人为操作失误导致的测量误差，一键自动测量/处理/分析（提高整体测试效率）2. 可靠性排除机械原因造成的误差大范围水平扫描采用管型扫描器的原子力显微镜，针对扫描器圆弧运动所产生的曲面，通常通过软件校正方式获得平面数据。但是，用软件校正方式不能完全消除扫描器圆弧运动的影响，图片上经常发生扭曲效果。AFM5500M搭载了全新研发的水平扫描器，可实现不受圆弧运动影响的准确测试。 样品 ：硅片上的非晶硅薄膜高精角度测量普通的原子力显微镜所采用的扫描器，在竖直伸缩的时候，会发生弯曲（crosstalk）。这是图像在水平方向产生形貌误差的直接原因。AFM5500M中搭载的全新扫描器，在竖直方向上不会发生弯曲（crosstalk） ，可以得到水平方向没有扭曲影响的正确图像。样品 : 太阳能电池(由于其晶体取向具有对称结构)* 使用AFM5100N（开环控制）时 3. 利用探针评价功能进行探针尖端直径管理4. SIS模式可有效提高数据可靠性SIS（Sampling Intelligent Scan）样品智能扫描模式只有在需要测量样品形貌和物性信息时才靠近测量点，自动控制探针位置，完全消除对测量不利的水平力，可测量吸附力较大或粗糙的样品，同时可大幅降低对探针的磨损和对样品的损伤，有效提高数据的可靠性。5. 支持机械物性/电磁物性等广泛的物性测量扫描探针显微镜是一种不仅可以测量形貌，还支持各种物性检测的显微镜。AFM5500MⅡ支持可同时获取弹性模量、形变、吸附力和摩擦力等各种机械物性的SIS-ACCESS/SIS-QuantiMech功能、以及导电性、压电分布和表面电位等各种电磁物性测量。6. 新的表面电位势测量模式 AM-KFM/FM-KFM（可用于定量和灵敏度等不同场景）除调幅开尔文力显微镜(AM-KFM)外，AFM5500MⅡ还新增了调频开尔文力显微镜(FM-KFM)。FM-KFM与AM-KFM相比，信号主要来自于探针的尖端，电位检测灵敏度更高，在电位的定量分析上更胜一筹。AM-KFM适用于单一材料间的电位和功函数对比等，FM-KFM适用于测量需要进行精细周期结构和海岛结构量化的复合材料，两种模式通过点击即可自由切换。7. 使用AFM、SEM、CSI等不同显微镜观察同一位置，实现多维度解析通过SEM、AFM、CSI等进行样品的同一位置测试，可以对目标视野进行多维度解析，实现数据的参照对比。日立高新可以提供特有的SEM/AFM/CSI同视野观察，实现联动分析。使用共享样品台进行坐标联动，或通过全新的AFM标记功能，可以在AFM、SEM、CSI之间快速、轻松地锁定同一视野，进一步扩大了联动分析的应用范围。