补偿式微压计

近日，微电子所集成电路先导工艺研发中心在极紫外光刻基板缺陷补偿方面取得新进展。 与采用波长193nm的深紫外（DUV）光刻使用的掩模不同，极紫外（EUV）光刻的掩模采用反射式设计，其结构由大约由40层Mo和Si组成的多层膜构成。在浸没式光刻技术的技术节点上，基板制造和掩模制造已足够成熟，掩模缺陷的密度和尺寸都在可接受的水平。但是在EUV光刻系统中，由于反射率及掩模阴影效应的限制，掩模基板缺陷是影响光刻成像质量、进而导致良率损失的重要因素之一。 基于以上问题，微电子所韦亚一研究员课题组与北京理工大学马旭教授课题组合作，提出了一种基于遗传算法的改进型掩模吸收层图形的优化算法。该算法采用基于光刻图像归一化对数斜率和图形边缘误差为基础的评价函数，采用自适应编码和逐次逼近的修正策略，获得了更高的修正效率和补偿精度。算法的有效应性通过对比不同掩模基板缺陷的矩形接触孔修正前后的光刻空间像进行了测试和评估，结果表明，该方法能有效地抑制掩模基板缺陷的影响，提高光刻成像结果的保真度，并且具有较高的收敛效率和掩模可制造性。 基于本研究成果的论文Compensation of EUV lithography mask blank defect based on an advanced genetic algorithm近期发表在《光学快报》期刊上[Optics Express, Vol. 29, Issue 18, pp. 28872-28885 (2021)，DOI: 10.1364/OE.434787]，微电子所博士生吴睿轩为该文第一作者。微电子所韦亚一研究员为该文通讯作者。此项研究得到国家自然科学基金、国家重点研究开发计划、北京市自然科学基金、中科院的项目资助。图1 (a)优化算法流程 (b)自适应分段策略样例 (c) 自适应分段的合并与分裂 图2 (a)对不同大小的基板缺陷的补偿仿真结果 (b) 对不同位置的基板缺陷的补偿仿真结果 (c) 对复杂图形的基板缺陷的补偿仿真结果 (d) 对不同位置的基板缺陷的补偿、使用不同优化算法，目标函数收敛速度的比较

尽管浙皖依旧对补偿的考核标准争议不断，尽管新安江水质对赌协议具体金额尚未达成一致，但此举却为全国同类地区跨省联合治理湖库污染，提供了新的解决方案。　　唯有利益共享、责任共担，才能解决跨省流域生态补偿难题。 (曹一/图)　　亿元对赌?　　亿元对赌水质?这确实是一个大胆设想。　　2012年2月10日，一则浙江、安徽预备一亿对赌新安江水质的报道，让关注跨省流域生态补偿机制的很多人眼前一亮。　　据浙江《都市快报》报道，中央财政划拨安徽3亿元，用于新安江治理。3年后，若两省交界处的新安江水质变好了，浙江地方财政再划拨安徽1亿元，若水质变差，安徽划拨浙江1亿元，若水质没有变化，则双方互不补偿。　　作为浙江母亲河钱塘江的正源，总长359公里的新安江从安徽黄山休宁山间发源后，其干流的2/3隶属安徽境内，下游则是浙江重要的饮用水源地，也是中国长三角区域的战略备用水源——千岛湖。由于千岛湖入湖水量中有60%以上来自安徽省黄山地区，上游来水水质对千岛湖水质起着决定性的作用。　　目前，中国已有8个省份出台了流域生态补偿相关规定，但进展缓慢。浙皖两省此举为全国同类地区跨省联合治理湖库污染，提供了新的解决方案。　　据南方周末记者了解，亿元对赌新安江目前还是空头支票。浙皖两省尚未就补偿金额以及补偿方式等内容达成一致。　　浙江省环保厅相关人士透露，2011年12月，在财政部、环保部《安徽省人民政府 浙江省人民政府关于新安江流域水环境补偿的协议(征求意见稿)》征求意见时，浙江省提出了这一对赌协议——若水质较基本限值改善，浙江将补偿资金拨付给安徽省，若水质恶化，则安徽省将补偿资金拨付给浙江。　　虽然协议尚未最后敲定，但2012年1月5日和2月1日，浙皖两省已两次联合开展新安江跨界断面的水体监测工作。在多年老死不相往来后，杭州淳安县环保局环境监测站副站长朱淑君，正学着认识自己一省之隔的新同事。　　这意味着，中国首个跨省流域生态补偿机制试点已开始进入实质操作阶段。　　千岛湖绝地反击　　“试点工作能够走到今天，很不容易。”中国水利水电研究院副总工程师，十届、十一届全国人大环境与资源委员会委员何少苓回忆说。2005年起，正是她连续3年在人大提出建议，期望将新安江流域生态补偿机制纳入国家层面关注和实施的议程。　　浙江省环保厅相关官员告诉南方周末记者，近年来，千岛湖水质总体良好，但由于受新安江流域上游安徽省境内来水的影响，千岛湖水质富营养化趋势明显，水环境安全形势不容乐观。　　千岛湖一度成了上游的天然垃圾场。从1999年开始，每年雨季从上游冲入千岛湖的垃圾均在5万方以上，并逐年增加。2011年仅汛期就打捞湖面垃圾18.4万方。　　“汛期来临时，垃圾甚至形成漂浮带，经常要全县动员。”朱淑君说。污染主要来自上游的生活污水、农业面源，而这正是湖泊的富营养化的最大威胁。1998年、1999年，千岛湖湖区连续两年爆发大面积蓝藻。　　据浙江省环境保护厅污控处处长喻志刚介绍，千岛湖保护问题，浙皖两省十多年前就开始协商，但始终没有满意的解决办法。2001年，原国家环保总局副局长宋瑞祥就带队现场调研，在杭州首度召开了浙皖两省的协调会。　　转机来自何少苓的一次考察。据何少苓回忆，2004年她在新安江考察之际发现，新安江水库水质已变为Ⅲ类，已无法达到功能区划Ⅱ类水的水质目标。　　何少苓从安徽坐船，沿江而下，一直到千岛湖水库大坝上岸，一路了解了两省的意见。调研过程中，安徽很有意见，“由于保护新安江流域的水质，上游发展受到了很大限制”。而下游的浙江由于受污染型缺水的影响，正雄心勃勃地研究一个从千岛湖年调水10亿方的规划。　　“我们觉得上下游应该有公平的生存权和发展权，上下游应该协调考虑。”何少苓说。2005年3月全国人大十届三次会议上，何少苓等代表联名提交了《关于在新安江流域建立国家级生态示范区和构架“和谐流域”试点的建议》。　　何少苓回忆，当年9月，原国家环保总局作出答复，答复提及，国家正在研究制定生态补偿机制，流域的补偿机制是其中的重要内容。　　黄山市政府发给南方周末的书面回复中称，2007年，国家发改委、财政部、环保总局等国家有关部委最终将新安江流域生态补偿机制列为全国首个跨省流域生态补偿机制建设试点。　　博弈水质标准　　建议选择新安江作为先行试点，是因为“它有较好的条件和基础”——新安江流域只涉及到两个省，主要流域范围都在两个地市(黄山和杭州市)，关系相对较为简单 同时流域水质总体良好，污染治理难度要更小一些。　　之所以进展缓慢，主要源于补偿的考核标准分歧——浙皖两省交界断面水质标准。　　浙江省对千岛湖两省交界断面附近的水域划定了饮用水源保护区湖泊二类标准，安徽省执行的是河流三类标准。　　朱淑君说，以总磷指数为例。依据河流的标准，0.02是一类，0.1是二类，0.2是三类，而湖泊的标准，则分别只有0.01，0.025和0.05。“湖泊的三类0.05在河流评价里就可以成二类。”　　2009年8月，环保部制订《新安江流域跨省水环境补偿方案》(第一稿)后，在杭州召开了由浙、皖两省相关地区环保部门参加的协调会。　　参与协调会的人士告诉南方周末记者，会上，浙江方面提出，“必须建立以交接断面水质达标和改善为原则的考核机制，并将其作为生态补偿的依据”。但安徽省代表却予以拒绝，认为“与其要对出境断面水质进行考核，情愿不要补偿资金”。　　毗邻江浙的安徽宁可不要生态补偿自有原因。黄山市外宣办提供的数据显示，2011年，黄山市的人均GDP不到杭州市的三分之一，农民年人均纯收入、城镇居民年人均可支配收入也只有杭州市的一半。黄山下属的歙县、休宁、祁门3县至今还是省级扶贫开发工作重点县。　　“在这样的发展水平下，特别是在与下游地区发展存在巨大落差而且还在拉大的情况下，上游地区干群加快发展、缩小差距的愿望非常强烈。”黄山市政府的书面答复中写道。　　协调会一个月后，浙江省环保厅副厅长章晨赶赴北京与环保部沟通，再度强调浙、皖两省交接断面水质情况，并提出“只有在水质达标，至少在水质改善的基础上，安徽省才能得到补偿资金”。　　新安江流域图 (明镜/图)　　方案破茧，前途未明　　一度陷入停滞的试点工作，被全国政协人口资源环境委员会调研组的一次来访所打破。2010年11月，全国政协张梅颖副主席带领的调研组来浙江调研。调研中，浙江省方面提出的千岛湖全流域保护建议，“几乎全部被采纳”。　　调研报告最后得到了多位国家领导人的批示，新安江流域跨区域保护就此提速。2010年11月，财政部、环保部两部门联合下达新安江流域水环境补偿机制启动资金5000万元。2011年3月，两部门正式启动新安江流域水环境补偿试点工作，同时安排资金两亿元，专项用于新安江上游水环境保护和水污染治理。　　2011年4月，黄山市成立新安江流域生态建设保护局，该保护局局长聂伟平说，安徽方面已成立专业化江面打捞队，沿江建设垃圾中转站或焚烧炉，开始推进农村垃圾集中处理模式。而在浙皖交界的街口镇，五千多只养殖网箱则已被彻底拆除。　　尽管如此，对2011年10月财政部、环保部印发的《新安江流域水环境补偿试点实施方案》，浙江省环保厅仍用“极不公平”来形容。　　按照现在的补偿计算公式，方案中的虽然以2008年到2011年的3年平均值为基本限值，但水质稳定系数却取值0.85。“这就等于交界断面水质目标，安徽方面可以在近三年平均水质指标基础上恶化17.65%，预留排污空间。”朱淑君说。　　“要为黄山未来发展留足空间。”2012年2月3日，黄山市四套班子集体调研新安江流域综合治理工作时，黄山市委书记王福宏的发言表明了心迹。　　“水质恶化，浙江省还要支出1个亿，我们无法向全省人民交代。”喻志刚说。在他看来，补偿试点后，如果还允许水质继续恶化，如何为探索建立全国流域生态补偿机制提供示范?　　“但黄山做出的牺牲又何止一个亿?”黄山市政府的一名官员抱怨，为了保护新安江，近三年全市否掉了外来投资项目一百四十多个，投资达130亿元。“无工不富，我们不能发展工业，现在连网箱养殖都拆掉了，我们还要怎么保护?”

不进行土地开发，保留了湿地、森林、农田原貌，今后这样因生态保护需要失去经济效益的土地所有单位和个人，将得到经济补偿。《南京市生态保护补偿办法》(以下简称《办法》)日前正式下发，并将于本月10日起施行。　　生态补偿是以保护和可持续利用生态系统服务为目的，以经济手段为主调节相关者利益关系的制度安排。《办法》明确，我市将对因承担重要生态保护区域及其他生态保护责任使经济发展受到一定限制的有关组织和个人给予补偿。补偿坚持谁受益、谁补偿，按照统筹分配、统一拨付、分类管理的原则实施，建立受益者付费、保护者得到合理补偿的运行机制。　　针对不同的生态保护区域有不同的补偿办法，可以开展生态补偿的主要有四类生态保护区域，分别是生态红线保护区域、耕地、生态公益林和水利风景区。每个区域的生态补偿标准不一样，其中实际种植水稻的区域，除了生态补偿之外，另给予补偿120元/亩年 国家级水利风景区补偿标准为不超过200万元/年、省级水利风景区补偿标准为不超过100万元/年。生态保护补偿标准一般3年调整一次。　　《办法》还提出，拓展多元化生态保护补偿方式，推进横向生态保护补偿，鼓励受益区与保护生态区、流域下游与上游通过资金补偿、对口协作、产业转移、人才培训、共建园区等方式建立横向补偿关系。　　生态保护补偿资金应当用于生态环境保护、生态经济发展、生态修复、生态工程建设和补偿集体经济组织成员等，不得用于考察、旅游、接待及购置交通工具等“三公”行政管理支出。　　环保部门认为，明确生态补偿机制对我市生态保护工作意义重大，“这是首次明确了生态红线保护区域的生态补偿措施，这是真正把生态红线区域保护从 ‘图’上落实到了‘地’上。”市环保局一位人士说，没有生态补偿办法，生态红线保护区域就很难落到实处，青山绿水就很难原封不动地保存下去。同时，《办法》还对耕地、林地等区域明确了生态补偿办法和标准，谁保护谁受益、谁污染谁补偿，通过经济杠杆保护生态，这才是生态保护最直接有效的方法。