表面划痕检测

注塑汽车部件的耐划伤性在保持汽车原有的漂亮外观方面起着非常重要的作用。添加剂可以提高注塑材料的耐划伤性能，而共聚焦显微镜可以快速对添加剂增强耐划伤性的效果进行非常精确的量化分析。Croda International（克罗达国际公司）的研究科学家们使用奥林巴斯的LEXT OLS5000共聚焦显微镜完成了一些标准化划痕检测，以证明其所生产的添加剂在提高耐划伤性方面具有积极的作用。结果表明，这种检测方法不仅可以消除操作人员在技能上的差异，而且还显著提高了检测的精确性和速度。塑料由于具有用途广泛、寿命较长且成本较低的特性，而被用于生产多种汽车部件。聚合物材料在性能上的提高，加上汽车制造业追求更轻便材料的动力，促使汽车制造业中所使用的塑料呈现出更为多样化的发展趋势。汽车上的很多塑料部件都暴露在外，清楚可见，这就意味着这些部件的外观在保持汽车的美观和价值方面起着举足轻重的作用。具有耐划伤性的材料可以减少汽车外观受到磨损的情况，从而有助于汽车在长期使用后仍然保持原有的价值。构成材料的精确成分可以决定材料的耐划伤性能，而对某种特定材料进行的详细检测可以表明其耐划伤性的水平。在克罗达公司完成的划痕检测作为耐划伤性添加剂的供应商，克罗达公司会定期进行划痕检测，以证明他们的添加剂产品对提高塑料性能所起到的积极作用。Martin Read是克罗达公司聚合物添加剂应用团队的领导，也是抗划伤项目的首席科学家。在谈到可检测的材料范围时，Martin解释说：“我们可以检测汽车上的所有材料，从透明材料，如：手势控制装置中使用的材料以及用于隐藏传感器的表面材料，到具有高光泽度的所谓的“钢琴黑”表面。在对这些表面进行清洁和抛光时，非常容易留下细微的划痕。为了证明添加剂可以提高耐划伤性能，研究人员制造了一些由不同成分构成的板子，并使用一种标准化工具，以规定的1–20N力量在板子上留下划痕。Martin说：“在检测之前，要在聚合物板上制造划痕，划痕的两侧各有两行凸起，类似于犁过的田地。” 然后，要对划痕的深度、宽度和轮廓进行测量，通过对不同材料成分的聚合物板进行同类的测量，可以确定不同材料成分在耐划伤性方面的差异。克罗达公司最初的设置是使用宽场材料显微镜测量划痕的宽度，再使用白光干涉仪显示划痕轮廓的方法确定划痕的深度。然而，这种方法极为耗时，特别是因为设置干涉仪和分析其结果的过程非常复杂。此外，在使用干涉测量法时，测量结果还会因操作人员较大的技能差异而有所不同，并会因表面轮廓上出现的伪影而有失准确。为了获得更精确的数据，并加快工作流程，研究人员对奥林巴斯的LEXT OLS5000共聚焦显微镜进行了测试（图3），以确认是否可以通过使用一台仪器测量所有相关的参数。LEXT OLS5000显微镜既可以快速完成扫描，又可以为创建宽范围的3D样品图像提供可量化的详细数据。通过使用LEXT OLS5000显微镜，克罗达公司的研究人员将测量结果的精度提高了一个以上的量级。在评估划痕的深度和轮廓方面，精度的改进表现得最为明显：测量精度接近于10纳米。Martin评论道：“由于LEXT系统可以在3D图像中进行准确的测量，我们只需观察划痕的一个切片图像，即可对划痕的深度进行测量，这种方法简单多了”。使用干涉测量法测量划痕的深度和轮廓所面临的关键性挑战，是聚丙烯等材料的轮廓会显示为尖状凸起的边缘。这些伪影是干涉仪未能探测到表面的结果，而且会影响测量的效果。Martin解释说：“由于聚丙烯材料具有多孔结构，因此干涉仪可能没有探测到表面，而是通过空隙看到了材料的内部。”在使用LEXT显微镜测量相同的样品时，研究人员可以获得划伤表面的更平滑的图像。这种图形可以准确地呈现划痕的轮廓，从而有助于进行精确的测量。在成像、测量和分析的速度方面，LEXT OLS5000显微镜的优势甚至表现得更加明显。克罗达公司的研究人员发现使用LEXT OLS5000显微镜对划痕的宽度和深度进行测量，可以使检测速度高出干涉测量法的10到100倍。“要测量划痕，我们必须尽量对干涉仪进行较为粗糙的设置，”Martin说，“而进行这种设置极为困难。进行一次测量，需要花费约1小时的时间。而使用共聚焦显微镜，我们可以在2分钟内测量和处理塑料表面上的10个划痕。”耐划伤性添加剂可以提升汽车外观的审美性，并确保汽车在更长的时间内保持其自身的价值。在划痕检测中完成的精确测量，可以可靠地验证添加剂对加强注塑部件的耐划伤性所起到的积极作用。克罗达公司最初使用的测量划痕的方法基于光学显微镜和干涉测量法。这个方案不仅非常耗时，而且还会使表面轮廓出现伪影。在购买了奥林巴斯的LEXT OLS5000共聚焦显微镜之后，克罗达公司的研究人员就可以完成比光学显微镜和干涉测量法更精确的测量，而且还可以避免因操作人员在技能水平上的差异而对测量结果产生的影响。他们还设法以快于原先方法10到100倍的速度完成测量，从而可以说明LEXT显微镜不仅可以改善数据质量，还可以提高检测效率。

RTEC参加2023国际表面科学技术与应用大会，携三维划痕仪荣获电视台报道，并受到表面工程研究领域专家学者普遍关注。这次大会吸引了600多名国际行业人士参与，共同交流表面科学领域的前沿技术和行业趋势。作为活动参展商，RTEC展示了最新的三维划痕仪，该仪器可用于材料表面性能评估，能够提供高精度、高分辨率、高自动化和高效率的表面质量评估解决方案。电视台特写镜头-三维划痕仪/压痕仪此次大会主题为“聚焦表面科学技术，推进创新驱动发展"，邀请了潘复生院士担任主席。通过举办大会报告、主题学术论坛等活动，参与者可以搭建起学术交流、科技成果转化、前沿技术展示的国际平台，聚焦海内外高层次人才服务重庆市，促进海内外高质量科技创新成果在重庆市的转化。Rtec参展仪器受到电视台和专家学者围观专家们一致认为，表面科学技术在工业制造领域应用广泛，例如，跨海大桥的耐腐蚀性能和汽车的车漆的耐腐蚀和抗疲劳特性，都离不开表面科学技术的应用。在表面科学方面，重庆市在理论研究方面已累积了一定影响力，特别是在自修复涂层的研究方面进展较为迅速，多款应用产品已经推出。这些涂层具有30分钟内能够修复到损伤之前的形状的能力，是专业研发的解决方案之一。会议现场本次大会历时4天，由西南技术工程研究所、北京工业大学、哈尔滨工业大学、郑州大学、西南交通大学、国家镁合金材料工程技术研究中心、重庆科技学院等国内研究所和高校共同组织策划，吸引了来自全球14位院士和250位专家的学术团队，参会代表超过600位。RTEC作为本次大会的参展商，展示了最新的表面测量评估解决方案，受到了广泛的关注和认可。

如果是黄金交易商或典当行老板，就需要适当的工具来确保您提供给客户的是纯金、白银和其他贵金属。有几种方法可以用来检测黄金和其他贵金属的纯度和真伪。这些方法包括电导率测量、酸划痕试验，以及X射线荧光（XRF）检测。这篇文章将详细介绍每一种黄金检测方法，并对它们进行比较，以便您利用正确的技术帮助实现贵金属真伪判断。电导率测量电导率测量涉及到使用电子设备来测量金属的导电性。不同的金属有独特的电导率水平，所以这种方法可以用来识别某一金属类型。然而，这种方法并不总是准确的，因为一些合金和混合金属可能有类似的电导率水平。实际上，样品的温度也会影响测试结果。酸划痕试验酸划痕试验涉及到在金属的一小块区域滴上一小滴酸，并观察其反应。不同的酸被用来测试不同的金属，如用盐酸测试金，用硝酸测试银。如果金属是真的，酸不会对其表面造成明显的影响。如果金属不纯或为合金，酸会与其发生反应，金属表面会出现划痕或变色。尽管这种方法快速且容易执行，但可能得到主观的结果。此外，通常认为酸划痕试验的准确度很低。因此，酸划痕试验不能被认为是一种定量方法。XRF检测XRF检测是一种更加准确和全面的测试贵金属含量和贵金属纯度的方法。X射线荧光分析仪向金属发射X射线，测量受激电子释放的能量以确定样品的成分，并在几秒钟内提供结果。这种检测方法不仅快速简单，而且X射线荧光分析仪通常被认为是测试金属的较为可靠的方法。下表显示了X射线荧光分析仪的准确度和精度，该表将贵金属X射线荧光分析仪的检测结果（测试样品中元素的百分比）与黄金珠宝合金的认定参考标准进行了比较。XRF检测也是一种无损贵金属分析方法。换句话说，XRF检测不会对被评估的金属（而酸划痕试验可能会在金属上面留下痕迹）造成损害。为了提高灵活性，X射线荧光分析仪有坚固耐用的手持式版本，用于在现场测试金属，也有为展厅环境设计的台式版本。介绍一种检测金银珠宝的更简单的方法全新Vanta GX贵金属分析仪可满足此需求，这是一种台式X射线荧光分析仪，易于使用且价格合理。只需按下一个按钮就能证实金、银、白金、钯和其他贵金属的纯度和百分比。该分析仪还提供内容全面的成分结果，以便您能准确地为物品定价。检测多达27种化学元素，包括有害元素（铅或镉）和低价元素。有了这些可操作的检测结果，一旦出现镀金警报，我们就能很容易地识别出赝品。Vanta GX贵金属分析仪使用贵金属X射线荧光分析仪来验证贵金属，可以保证您向客户提供的是正品。您可以对产品的纯度充满信心。您的客户也可以在现场测试自己的贵金属。这对那些从其他矿场或经销商处购买贵金属的人来说特别有用。有了贵金属X射线荧光分析仪，贸易商可以对他们所销售产品的纯度充满信心。例如，如果一件物品被认为是纯金，但实际上是一种合金，卖方可能会错误地将其作为纯金定价，进而导致交易亏损。同样，如果一件物品被认为是低档次金属，但实际上是一种贵价金属，买方可能会大大低估该物品的价格，并错过一次高回报的投资机会。使用Vanta GX贵金属分析仪，黄金交易商和他们的客户可以充满信心地确定珠宝的成分，从纯金物品中识别出镀金物品，并做出明智的购买决定。

摘要晶圆表面缺陷检测在半导体制造中对控制产品质量起着重要作用，已成为计算机视觉领域的研究热点。然而，现有综述文献中对晶圆缺陷检测方法的归纳和总结不够透彻，缺乏对各种技术优缺点的客观分析和评价，不利于该研究领域的发展。本文系统分析了近年来国内外学者在晶圆表面缺陷检测领域的研究进展。首先，介绍了晶圆表面缺陷模式的分类及其成因。根据特征提取方法的不同，目前主流的方法分为三类：基于图像信号处理的方法、基于机器学习的方法和基于深度学习的方法。此外，还简要介绍了代表性算法的核心思想。然后，对每种方法的创新性进行了比较分析，并讨论了它们的局限性。最后，总结了当前晶圆表面缺陷检测任务中存在的问题和挑战，以及该领域未来的研究趋势以及新的研究思路。1.引言硅晶圆用于制造半导体芯片。所需的图案是通过光刻等工艺在晶圆上形成的，是半导体芯片制造过程中非常重要的载体。在制造过程中，由于环境和工艺参数等因素的影响，晶圆表面会产生缺陷，从而影响晶圆生产的良率。晶圆表面缺陷的准确检测，可以加速制造过程中异常故障的识别以及制造工艺的调整，提高生产效率，降低废品率。晶圆表面缺陷的早期检测往往由经验丰富的检测人员手动进行，存在效率低、精度差、成本高、主观性强等问题，不足以满足现代工业化产品的要求。目前，基于机器视觉的缺陷检测方法[1]在晶圆检测领域已经取代了人工检测。传统的基于机器视觉的缺陷检测方法往往采用手动特征提取，效率低下。基于计算机视觉的检测方法[2]的出现，特别是卷积神经网络等神经网络的出现，解决了数据预处理、特征表示和提取以及模型学习策略的局限性。神经网络以其高效率、高精度、低成本、客观性强等特点，迅速发展，在半导体晶圆表面缺陷检测领域得到广泛应用。近年来，随着智能终端和无线通信设施等电子集成电路的发展，以及摩尔定律的推广，在全球对芯片的需求增加的同时，光刻工艺的精度也有所提高。随着技术的进步，工艺精度已达到10纳米以下[5]。因此，对每个工艺步骤的良率提出了更高的要求，对晶圆制造中的缺陷检测技术提出了更大的挑战。本文主要总结了晶圆表面缺陷检测算法的相关研究，包括传统的图像处理、机器学习和深度学习。根据算法的特点，对相关文献进行了总结和整理，对晶圆缺陷检测领域面临的问题和挑战进行了展望和未来发展。本文旨在帮助快速了解晶圆表面缺陷检测领域的相关方法和技能。2. 晶圆表面缺陷模式在实际生产中，晶圆上的缺陷种类繁多，形状不均匀，增加了晶圆缺陷检测的难度。在晶圆缺陷的类型中，无图案晶圆缺陷和图案化晶圆缺陷是晶圆缺陷的两种主要形式。这两类缺陷是芯片故障的主要原因。无图案晶圆缺陷多发生在晶圆生产的预光刻阶段，即由机器故障引起的晶圆缺陷。划痕缺陷如图1a所示，颗粒污染缺陷如图1b所示。图案化晶圆缺陷多见于晶圆生产的中间工序。曝光时间、显影时间和烘烤后时间不当会导致光刻线条出现缺陷。螺旋激励线圈和叉形电极的微纳制造过程中晶圆表面产生的缺陷如图2所示。开路缺陷如图2 a所示，短路缺陷如图2 b所示，线路污染缺陷如图2 c所示，咬合缺陷如图2d所示。图1.（a）无图案晶圆的划痕缺陷；（b）无图案晶圆中的颗粒污染。图2.（a）开路缺陷，（b）短路缺陷，（c）线路污染，以及（d）图案化晶圆缺陷图中的咬合缺陷。由于上述晶圆缺陷的存在，在对晶圆上所有芯片进行功能完整性测试时，可能会发生芯片故障。芯片工程师用不同的颜色标记测试结果，以区分芯片的位置。在不同操作过程的影响下，晶圆上会产生相应的特定空间图案。晶圆图像数据，即晶圆图，由此生成。正如Hansen等在1997年指出的那样，缺陷芯片通常具有聚集现象或表现出一些系统模式，而这种缺陷模式通常包含有关工艺条件的必要信息。晶圆图不仅可以反映芯片的完整性，还可以准确描述缺陷数据对应的空间位置信息。晶圆图可能在整个晶圆上表现出空间依赖性，芯片工程师通常可以追踪缺陷的原因并根据缺陷类型解决问题。Mirza等将晶圆图缺陷模式分为一般类型和局部类型，即全局随机缺陷和局部缺陷。晶圆图缺陷模式图如图3所示，局部缺陷如图3 a所示，全局随机缺陷如图3b所示。全局随机缺陷是由不确定因素产生的，不确定因素是没有特定聚类现象的不可控因素，例如环境中的灰尘颗粒。只有通过长期的渐进式改进或昂贵的设备大修计划，才能减少全局随机缺陷。局部缺陷是系统固有的，在晶圆生产过程中受到可控因素的影响，如工艺参数、设备问题和操作不当。它们反复出现在晶圆上，并表现出一定程度的聚集。识别和分类局部缺陷，定位设备异常和不适当的工艺参数，对提高晶圆生产良率起着至关重要的作用。图3.（a）局部缺陷模式（b）全局缺陷模式。对于面积大、特征尺寸小、密度低、集成度低的晶圆图案，可以用电子显微镜观察光刻路径，并可直接进行痕量检测。随着芯片电路集成度的显著提高，进行芯片级检测变得越来越困难。这是因为随着集成度的提高，芯片上的元件变得更小、更复杂、更密集，从而导致更多的潜在缺陷。这些缺陷很难通过常规的检测方法进行检测和修复，需要更复杂、更先进的检测技术和工具。晶圆图研究是晶圆缺陷检测的热点。天津大学刘凤珍研究了光刻设备异常引起的晶圆图缺陷。针对晶圆实际生产过程中的缺陷，我们通过设备实验对光刻胶、晶圆粉尘颗粒、晶圆环、划痕、球形、线性等缺陷进行了深入研究，旨在找到缺陷原因，提高生产率。为了确定晶圆模式失效的原因，吴明菊等人从实际制造中收集了811,457张真实晶圆图，创建了WM-811K晶圆图数据集，这是目前应用最广泛的晶圆图。半导体领域专家为该数据集中大约 20% 的晶圆图谱注释了八种缺陷模式类型。八种类型的晶圆图缺陷模式如图4所示。本综述中引用的大多数文章都基于该数据集进行了测试。图4.八种类型的晶圆映射缺陷模式类型：（a）中心、（b）甜甜圈、（c）边缘位置、（d）边缘环、（e）局部、（f）接近满、（g）随机和（h）划痕。3. 基于图像信号处理的晶圆表面缺陷检测图像信号处理是将图像信号转换为数字信号，再通过计算机技术进行处理，实现图像变换、增强和检测。晶圆检测领域常用的有小波变换（WT）、空间滤波（spatial filtering）和模板匹配（template matching）。本节主要介绍这三种算法在晶圆表面缺陷检测中的应用。图像处理算法的比较如表1所示。表 1.图像处理算法的比较。模型算法创新局限小波变换 图像可以分解为多种分辨率，并呈现为具有不同空间频率的局部子图像。防谷物。阈值的选择依赖性很强，适应性差。空间滤波基于空间卷积，去除高频噪声，进行边缘增强。性能取决于阈值参数。模板匹配模板匹配算法抗噪能力强，计算速度快。对特征对象大小敏感。3.1. 小波变换小波变换（WT）是一种信号时频分析和处理技术。首先，通过滤波器将图像信号分解为不同的频率子带，进行小波分解 然后，通过计算小波系数的平均值、标准差或其他统计度量，分析每个系数以检测任何异常或缺陷。异常或缺陷可能表现为小波系数的突然变化或异常值。根据分析结果，使用预定义的阈值来确定信号中的缺陷和异常，并通过识别缺陷所在的时间和频率子带来确定缺陷的位置。小波分解原理图如图5所示，其中L表示低频信息，H表示高频信息。每次对图像进行分解时，图像都会分解为四个频段：LL、LH、HL 和 HH。下层分解重复上层LL带上的分解。小波变换在晶圆缺陷特征的边界处理和多尺度边缘检测中具有良好的性能。图5.小波分解示意图。Yeh等提出了一种基于二维小波变换（2DWT）的方法，该方法通过修正小波变换模量（WTMS）计算尺度系数之间的比值，用于晶圆缺陷像素的定位。通过选择合适的小波基和支撑长度，可以使用少量测试数据实现晶圆缺陷的准确检测。图像预处理阶段耗费大量时间，严重影响检测速度。Wen-Ren Yang等提出了一种基于短时离散小波变换的晶圆微裂纹在线检测系统。无需对晶圆图像进行预处理。通过向晶圆表面发射连续脉冲激光束，通过空间探针阵列采集反射信号，并通过离散小波变换进行分析，以确定微裂纹的反射特性。在加工的情况下，也可以对微裂纹有更好的检测效果。多晶太阳能硅片表面存在大量随机晶片颗粒，导致晶圆传感图像纹理不均匀。针对这一问题，Kim Y等提出了一种基于小波变换的表面检测方法，用于检测太阳能硅片缺陷。为了更好地区分缺陷边缘和晶粒边缘，使用两个连续分解层次的小波细节子图的能量差作为权重，以增强每个分解层次中提出的判别特征。实验结果表明，该方法对指纹和污渍有较好的检测效果，但对边缘锋利的严重微裂纹缺陷无效，不能适用于所有缺陷。3.2. 空间过滤空间滤波是一种成熟的图像增强技术，它是通过直接对灰度值施加空间卷积来实现的。图像处理中的主要作用是图像去噪，分为平滑滤镜和锐化滤镜，广泛应用于缺陷检测领域。图6显示了图像中中值滤波器和均值滤波器在增加噪声后的去噪效果。图6.滤波去噪效果图：（a）原始图像，（b）中值滤波去噪，（c）均值滤光片去噪。Ohshige等提出了一种基于空间频率滤波技术的表面缺陷检测系统。该方法可以有效地检测晶圆上的亚微米缺陷或异物颗粒。晶圆制造中随机缺陷的影响。C.H. Wang提出了一种基于空间滤波、熵模糊c均值和谱聚类的晶圆缺陷检测方法，该方法利用空间滤波对缺陷区域进行去噪和提取，通过熵模糊c均值和谱聚类获得缺陷区域。结合均值和谱聚类的混合算法用于缺陷分类。它解决了传统统计方法无法提取具有有意义的分类的缺陷模式的问题。针对晶圆中的成簇缺陷，Chen SH等开发了一种基于中值滤波和聚类方法的软件工具，所提算法有效地检测了缺陷成簇。通常，空间过滤器的性能与参数高度相关，并且通常很难选择其值。3.3. 模板匹配模板匹配检测是通过计算模板图像与被测图像之间的相似度来实现的，以检测被测图像与模板图像之间的差异区域。Han H等从晶圆图像本身获取的模板混入晶圆制造工艺的设计布局方案中，利用物理空间与像素空间的映射，设计了一种结合现有圆模板匹配检测新方法的晶圆图像检测技术。刘希峰结合SURF图像配准算法，实现了测试晶圆与标准晶圆图案的空间定位匹配。测试图像与标准图像之间的特征点匹配结果如图7所示。将模式识别的轮廓提取技术应用于晶圆缺陷检测。Khalaj等提出了一种新技术，该技术使用高分辨率光谱估计算法提取晶圆缺陷特征并将其与实际图像进行比较，以检测周期性2D信号或图像中不规则和缺陷的位置。图7.测试图像与标准图像之间的特征点匹配结果。下接：晶圆表面缺陷检测方法综述【下】

本次网上研讨会着重介绍Lumina Instruments激光扫描仪的功能和应用实例。这个创新性的设备可以用作激光扫描椭偏仪来全表面测量样品上的薄膜厚度分布，又可以扫描各种表面缺陷，比如颗粒,划痕，陷坑，和鼓包等等。更让大家感兴趣的是它能一次扫描检测透明基底上下表面以及基底内部缺陷。主讲人简介:陈博士有近30年的半导体制程控制和光学检测经验。他曾带领开发化学机械研磨设备以及制程终点控制设备。在加盟Lumina Instruments之前他负责Filmetrics全部设备和部分KLA 设备的全球市场开发。会议时间：2021/01/21 11:00-12:00 (北京时间)报名入口：点击进入 会议密码：12121手机一键拨号入会+8675536550000,,501587457#(中国大陆)+85230018898,,,2,501587457#(中国香港)根据您的位置拨号+8675536550000(中国大陆)+85230018898(中国香港)欢迎大家前来收听~~~

摩擦学和划痕测试你已经知道如何使用我们的摩擦测试仪了，但你想了解滑动速度和接触压力等测试参数是如何影响摩擦系数和磨损吗？或者您已经熟悉划痕测试，但想知道如何评估划痕抗力和优化薄膜涂层附着力测试的测试参数？请加入我们的摩擦学和划痕测试高级数字研讨会。研讨会分为四部分：第1课时中，我们将着重讲解不同测试参数对刹车片摩擦系数和磨损的影响，解释使用TRB3线性模块时获得的数据。第2-4课时重点介绍划痕测试：第2课时中，将学习如何对薄膜涂层进行附着力测试，以NST3测试聚酰亚胺涂层ITO玻璃为例；我们将在网络研讨会的最后两个课时上重点介绍MCT3，我们将首先简要介绍汽车透明涂层的耐擦伤性，然后介绍三种木材涂料的弹性恢复测定示例。在研讨会的最后一节中，我们将演示划痕法，以及更精确地确定锂离子电池阳极涂层的附着力。内容第1课时：15：00-15：45使用TRB3研究刹车片的摩擦磨损性能第2课时：15：45-16：15光学聚合物薄膜的附着力评估第3课时：16：15-16：35木材上油漆的耐刮擦性的测试第4课时：16：35-17：00锂离子电池涂层的附着力时间/报名时间： 2022-05-23, 15:00 - 17:00语言：English主讲人：Jiří Nohava, PhD., Mihaela Dubuisson, Maryam Bahrami, PhD.报名方式：点击“阅读原文”!注册：iphone手机需复制链接，浏览器打开安东帕中国总部销售热线：+86 4008202259售后热线：+86 4008203230官网：www.anton-paar.cn在线商城：shop.anton-paar.cn

如今“一部手机走天下”，已成为现实，智能手机的出现改变了我们的生活。它使我们原来许多物品逐步变得可有可无，渐渐成为我们生活中的伴侣。从1992年第一部智能手机的出现，到如今，手机已生重大革命；从触摸屏取代小键盘，再到大触摸屏手机的出现，彻底改变了手机行业。OLED智能手机显示屏的结构智能手机必须能够很好地抵抗使用过程中产生的外界应力。每次用户操作手机时，手机都会受到震动或刮擦，例如从口袋或袋子中取出手机或把他放在桌子上时。智能手机制造商正在努力实现显示屏、框架以及智能手机外壳的最佳耐刮性。人们使用各种方法来量化耐划伤性能——最合适的两种方法是划痕测试和纳米压痕测试。本应用报告将展示这两种方法在智能手机显示屏抗划擦性和能硬度表征中的应用。纳米压痕和纳米划痕测试纳米压痕测试是一种可以测量薄膜和小体积材料的硬度、弹性模量、蠕变和附着力的方法。用预先定义的载荷将金刚石棱锥压头压入被测材料表面，并记录压入深度。硬度、弹性模量和其他性能是使用ISO14577 标准通过载荷-位移曲线获得的。划痕试验是一种表征涂层附着力和耐划痕性的方法。划痕试验通常使用球形金刚石压头进行，该压头在载荷增加的情况下“划痕”涂层表面，从而产生涂层分层。临界载荷对应于分层或其他类型的粘合剂开始损伤时的载荷，并作为量化表面层或材料的附着力或耐刮擦性的方法。纳米划痕测试仪纳米压痕测试仪1划痕测试保护玻璃耐划性能测试智能手机显示屏的保护玻璃通常由Gorilla玻璃制成，它是一种铝硅酸盐玻璃，并通过浸泡在高温钾盐离子交换槽中进行增韧，防止裂纹扩展和阻止缺陷生成。Gorilla玻璃具有极高的硬度和耐刮擦性，重量轻，光学性能优异。然而，即使如此坚硬且耐划伤的玻璃也可能被划伤，因此有一项正在进行的研究旨在通过表面沉积保护陶瓷层进一步提高其耐划伤性。由于陶瓷层非常薄（~100nm），最适合表征耐划伤性的仪器是安东帕尔纳米划痕测试仪（NST3）。下图显示了在100 nm氧化铝（Al2O3）保护层的Gorilla玻璃上，使用半径为2μm的球形针尖进行高达50 mN的渐进加载试验的结果。氧化铝沉积层的典型破坏形态如图1所示。图1: 在光学显微镜下观察到的划痕后典型失效形貌图2通过临界载荷值（Lc1）下划痕深度（Pd）、残余深度（Rd）和摩擦系数（CoF）的突然变化，对失效进行了显微镜观察，得到关于氧化铝层抗划伤性的重要信息：临界载荷（Lc）越高，抗划伤性越好。图2:划痕实验过程中记录的信号智能手机屏幕上的浅划痕的自修复（恢复）智能手机显示屏上的大多数划痕都很深，肉眼可见（图3）。如果用户希望再次获得平滑的显示，通常必须更换前面板。为了验证清除过程是否有效，并确定可以修复的最大划痕深度，我们在恒定载荷下创建了几个系列的划痕。每一系列划痕都是在不同的载荷下进行的，以获得不同的划痕深度，并且可以评估恢复过程的可靠性。由于必须产生非常浅的划痕，NST3用于创建划痕。图3: 智能手机屏幕上的划痕除了产生可控划痕外，由于扫描后功能，纳米划痕测试仪 （NST3）还可以用作轮廓仪。测量受损智能手机屏幕的表面轮廓，从而评估已存在的划痕深度。测量设置的典型示例如图4所示。在划痕轮廓采集结束时，可以从划痕软件 导出数据，并直接由合适的分析软件（如TalyMap Gold）处 理，以确定预先存在的划痕深度（图5）。根据结果，制造商可以决定是否可以翻新智能手机屏幕。图 4: 使用NST3测量智能手机屏幕的表面轮廓图5: TalyMap软件分析预先存在的划痕的表面轮廓，以确定划痕深度（0.26μm）显示屏塑料/金属外壳的耐刮擦性位于智能手机显示屏旁边的显示屏框架上的油漆容易被划伤，尤其是边缘（图6）。因此，制造商希望提高显示屏框架上油漆的耐刮擦性和附着力。图6: 智能手机外壳上的磨损在这个案例研究中，比较手机外壳上两种不同薄膜的耐刮擦性能和附着力。薄膜的厚度约为30um，对此类薄膜进行划痕测试的最合适的仪器是Rvetest（RST3）或Micro CombiTester(MCT3)，他们施加载荷最高达200N(RST3)30N(MCT3)，最大划痕深度1mm，使用半径为200um的球形压头和渐进力载荷模式进行划痕1试验，划痕的全景成像如图7所示。图7：两种油漆划痕全景成像涂层1号和2号样品进行比较，2号的分层发生在较低的载荷且损坏也比较严重，2号的耐刮擦性能也不如1。因此，1应能抵抗较长时间的刮擦，其使用应优先于抗刮擦性较差的2。2纳米压痕测试玻璃体上有机薄膜的硬度和弹性模量智能手机显示屏的一个重要组成部分是有机薄膜，有机薄膜已经在OLED显示器中得到广泛应用。它们代表了智能手机显示屏市场的很大一部分，而且在灵活性方面具有的巨大优势，可以开发可折叠手机。有机薄膜的硬度和弹性模量等力学性能非常重要，因为它们表明了薄膜的质量，可以用来预测耐久性。有机电致发光（OLED）层的厚度在100纳米到500纳米之间，其力学性能的测量需要非常灵敏的仪器。安东帕尔超纳米压痕测试仪（UNHT3）具有合适的载荷和位移分辨率，可以可靠地测试这样的薄膜。图8显示了沉积在玻璃基板上的七种OLED薄膜的典型测量结果，每层的厚度约为100nm，最大压入深度控制在10nm。图8: 七种OLED薄膜典型载荷-位移曲线在每个样品上进行了五次最大载荷为300μN的压痕实验， 压痕载荷-位移曲线获得的每个样品的硬度和弹性模量 （图9）所示：弹性模量在33 GPa到55 GPa之间变化，硬度在280 MPa到400 MPa之间变化，标准偏差约为5%， 这证实了各层的均匀性良好，并允许安全区分各。A、B 和D层的硬度最高，C和F层的硬度最低。结果表明，UNHT3 可以用于非常薄的层的机械性能的可靠表征，从而有助于开发新的OLED层。图9: 七个OLED薄膜的硬度和弹性模量光学透明粘合剂（OCA）的机械性能光学透明粘合剂（OCA）是一种薄的粘合薄膜。例如：在智能手机行业中用于将显示器的不同组件之间连接。不仅这些薄膜的粘合性能很重要，而且它们的力学性能也很重要，因为它们决定了OCA的使用方式。安东帕尔生物压痕测试仪已用于测量此类粘合剂。生物压痕仪可以测量粘附力，还可以获得薄膜的刚度（弹性模量）和其与时间相关的特性（蠕变）。保证薄膜牢固地粘附着在基体上，以避免薄膜弯曲，这一点至关重要。在这个案例研究中，我们对三种不同的胶进行了表征：一种柔软的（a），弹性模量（E）约为0.35 MPa，两种较硬的（B，C），弹性模量约为208 MPa和约80 MPa，其中最大压入深度均控制在薄膜厚度的15%左右。图10：生物压痕仪用于测量附着在玻片上的OCA薄膜这些实验使用了半径为500μm的球形针尖，对于较薄的薄膜，建议使用半径较小的针尖，以避免基底的影响。最大压入载荷为0.5mN，最大压入深度在1μm和16μm之间变化，最大载荷下的保持时间为30秒。图11显示三种OCA薄膜的三种压痕曲线的比较，在针尖接近样品表面时，记录了粘附力。尽管在每个样品的不同区域进行了测量，但测量结果显示出良好的重复性。这表明，尽管粘合性能取决于两个接触部件的表面状态，但由于一个样品上的粘合力和所有压痕曲线非常相似，因此达到了稳定状态。图11：三种不同弹性模量OCA薄膜（A、B、C）的压痕曲线对比。4纳米压痕测试划痕测试和纳米压痕测试是智能手机显示屏的重要测试方 法，因为它们可以模拟现实生活中的情况，如冲击或硬物划伤。划痕测试适用于研究保护智能手机显示屏的覆盖玻璃的耐划痕性。该方法也有助于表征薄膜显示框上的附着力，从而选择附着力最佳的粘合剂。最后，该技术还可用于测量屏幕上预先存在的划痕的最大深度，评估其是否可以翻新。纳米压痕测试用于测量沉积在显示器玻璃上的功能薄膜的硬度和弹性模量。力学性能反映了新型显示器开发过程中 薄膜的质量。此外，纳米压痕法允许测定用于安装智能手机屏幕的光学透明粘合剂（OCA）薄膜的粘弹性和力学性。安东帕中国总部销售热线：+86 4008202259售后热线：+86 4008203230官网：www.anton-paar.cn在线商城：shop.anton-paar.cn

开放日活动周2022年，正值安东帕100周年，已推出一系列【百年传承】活动，今天，给大家推荐的是：表面力学测试仪器开放日活动周~免费测试样品安东帕压痕、划痕、摩擦磨损、涂层厚度测试免费开放一星期！（9月5-9日）。安东帕表面力学测试仪可测量各种材料的表面力学性质，从最硬的类金刚石 (DLC) 膜到最软的水凝胶。应用领域覆盖工业和科研：切削工具、汽车、航天、电子器件、生物医学、半导体、聚合物、光学部件、玻璃、装饰物等。压痕仪：硬度、弹性模量、粘弹性、蠕变、断裂韧性等符合工业标准：ISO 14577、ASTM E2546等仪器化压痕技术 (IIT) 是将已知几何形状的压头压入样品表面，同时监测压入深度和法向载荷。可以从载荷-位移曲线中获得压痕硬度（HIT）、弹性模量（EIT）以及其他力学特性。安东帕的压痕仪采用独特的表面参比技术（欧洲专利 1828744，美国专利 7685868），实现低热漂移，具有极高的稳定性。“快速点阵”压痕模式可实现最高每小时600 次的测量速度，并获得完整的压痕曲线。动态力学分析 (DMA)可测量力学性质随深度变化曲线(硬度/模量vs.深度)，表征材料粘弹性 (存储及损耗模量、tan δ)。多物镜视频显微镜可以清晰显示样品，并且利用电动工作台精确定位。划痕仪：涂层附着力、摩擦力、耐划伤性等符合工业标准：ISO 20502、ASTM C1624等划痕测试仪技术可以在待测样品上用金刚石划针形成可控的划痕。达到一定的载荷时，涂层会开始脱落。通过集成的光学显微镜观察，结合摩擦力、划痕深度、声发射传感器等多种信号，可以精确地检测临界载荷，量化不同的膜-基材组合的结合性能。安东帕的划痕仪拥有独一无二的全景成像模式（美国专利 8261600，欧洲专利2065695），可直接观测整条划痕。获专利的深度前扫描和后扫描（美国专利6520004，欧洲专利1092142），可得到真实的划痕深度和残留深度，还可研究样品的弹性恢复。主动力反馈系统使得仪器可测量曲面及不平整样品。摩擦学测量：摩擦系数、磨损率、润滑符合工业标准：ASTM G99、G133、DIN 50324等安东帕的销盘式摩擦磨损试验机（TRB3）采用可靠的静加载，包括旋转、旋转往复和线性往复三种运动模式。通过两个LVDT摩擦力传感器和对称弹性臂最大限度地减少热漂移。使用集成的温度和湿度传感器实时监测环境状况。可配置加热、液体测试等多种选件。涂层厚度符合工业标准：ISO 26423:2009、ISO 1071-2、VDI 3198等球坑磨损测试法：使用已知尺寸的球在涂层上磨出一定尺寸的冠状球坑，利用光学显微镜观察并测量球坑尺寸，通过几何模型推导计算涂层厚度。适用于单层或多层涂层，可以测量平面、圆柱面或球面。测量方法简单快速，只需1到2分钟即可测量出涂层厚度。参与方式识别下方二维码，参与活动预约预约时间：即日起至9月2日免费测试周：9月5-9日请尽量详细填写样品信息及测试需求，方便我们判断安东帕上海实验室的仪器配置是否满足您的测试需求最终解释权归安东帕测试预约测样地点测试地址：安东帕（中国）有限公司上海市闵行区合川路2570号 科技绿洲三期2号楼11层

上接：晶圆表面缺陷检测方法综述【上】4. 基于机器学习的晶圆表面缺陷检测机器学习主要是将一个具体的问题抽象成一个数学模型，通过数学方法求解模型，求解该问题，然后评估该模型对该问题的影响。根据训练数据的特点，分为监督学习、无监督学习和半监督学习。本文主要讨论这三种机器学习方法在晶圆表面缺陷检测中的应用。机器学习模型比较如表2所示。表 2.机器学习算法的比较。分类算法创新局限监督学习KNN系列对异常数据不敏感，准确率高。复杂度高，计算强度高。决策树-Radon应用Radon以形成新的缺陷特征。过拟合非常熟练。SVMSVM 可对多变量、多模态和不可分割的数据点进行高效分类。它对多个样本不友好，内核函数难以定位。无监督学习多层感知器聚类算法采用多层感知器增强特征提取能力。取决于激活函数的选择。DBSCAN可以根据缺陷模式特征有选择地去除异常值。样本密度不均匀或样本过大，收敛时间长，聚类效果差。SOM高维数据可以映射到低维空间，保持高维空间的结构。目标函数不容易确定。半监督学习用于增强标记的半监督框架将监督集成学习与无监督SOM相结合，构建了半监督模型。培训既费时又费时。半监督增量建模框架通过主动学习和标记样本来增强模型性能，从而提高模型性能。性能取决于标记的数据量。4.1. 监督学习监督学习是一种学习模型，它基于该模型对所需的新数据样本进行预测。监督学习是目前晶圆表面缺陷检测中广泛使用的机器学习算法，在目标检测领域具有较高的鲁棒性。Yuan，T等提出了一种基于k-最近邻（KNN）的噪声去除技术，该技术利用k-最近邻算法将全局缺陷和局部缺陷分离，提供晶圆信息中所有聚合的局部缺陷信息，通过相似聚类技术将缺陷分类为簇，并利用聚类缺陷的参数化模型识别缺陷簇的空间模式。Piao M等提出了一种基于决策树的晶圆缺陷模式识别方法。利用Radon变换提取缺陷模式特征，采用相关性分析法测度特征之间的相关性，将缺陷特征划分为特征子集，每个特征子集根据C4.5机制构建决策树。对决策树置信度求和，并选择总体置信度最高的类别。决策树在特定类别的晶圆缺陷检测中表现出更好的性能，但投影的最大值、最小值、平均值和标准差不足以代表晶圆缺陷的所有空间信息，因此边缘缺陷检测性能较差。支持向量机（SVM）在监督学习中也是缺陷检测的成熟应用。当样本不平衡时，k-最近邻算法分类效果较差，计算量大。决策树也有类似的问题，容易出现过度拟合。支持向量机在小样本和高维特征的分类中仍然具有良好的性能，并且支持向量机的计算复杂度不依赖于输入空间的维度，并且多类支持向量机对过拟合问题具有鲁棒性，因此常被用作分类器。R. Baly等使用支持向量机（SVM）分类器将1150张晶圆图像分为高良率和低良率两类，然后通过对比实验证明，相对于决策树，k-最近邻（KNN）、偏最小二乘回归（PLS回归）和广义回归神经网络（GRNN），非线性支持向量机模型优于上述四种晶圆分类方法。多类支持向量机在晶圆缺陷模式分类中具有更好的分类精度。L. Xie等提出了一种基于支持向量机算法的晶圆缺陷图案检测方案。采用线性核、高斯核和多项式核进行选择性测试，通过交叉验证选择测试误差最小的核进行下一步的支持向量机训练。支持向量机方法可以处理图像平移或旋转引起的误报问题。与神经网络相比，支持向量机不需要大量的训练样本，因此不需要花费大量时间训练数据样本进行分类。为复合或多样化数据集提供更强大的性能。4.2. 无监督学习在监督学习中，研究人员需要提前将缺陷样本类型分类为训练的先验知识。在实际工业生产中，存在大量未知缺陷，缺陷特征模糊不清，研究者难以通过经验进行判断和分类。在工艺开发的早期阶段，样品注释也受到限制。针对这些问题，无监督学习开辟了新的解决方案，不需要大量的人力来标记数据样本，并根据样本之间的特征关系进行聚类。当添加新的缺陷模式时，无监督学习也具有优势。近年来，无监督学习已成为工业缺陷检测的重要研究方向之一。晶圆图案上的缺陷图案分类不均匀，特征不规则，无监督聚类算法对这种情况具有很强的鲁棒性，广泛用于检测复杂的晶圆缺陷图案。由于簇状缺陷（如划痕、污渍或局部失效模式）导致难以检测，黄振提出了一种解决该问题的新方法。提出了一种利用自监督多层感知器检测缺陷并标记所有缺陷芯片的自动晶圆缺陷聚类算法（k-means聚类）。Jin C H等提出了一种基于密度的噪声应用空间聚类（DBSCAN）的晶圆图案检测与分类框架，该框架根据缺陷图案特征选择性地去除异常值，然后提取的缺陷特征可以同时完成异常点和缺陷图案的检测。Yuan， T等提出了一种多步晶圆分析方法，该方法基于相似聚类技术提供不同精度的聚类结果，根据局部缺陷模式的空间位置识别出种混合型缺陷模式。利用位置信息来区分缺陷簇有一定的局限性，当多个簇彼此靠近或重叠时，分类效果会受到影响。Di Palma，F等采用无监督自组织映射（SOM）和自适应共振理论（ART1）作为晶圆分类器，对1种不同类别的晶圆进行了模拟数据集测试。SOM 和 ART1 都依靠神经元之间的竞争来逐步优化网络以进行无监督分类。由于ART是通过“AND”逻辑推送到参考向量的，因此在处理大量数据集时，计算次数增加，无法获得缺陷类别的实际数量。调整网络标识阈值不会带来任何改进。SOM算法可以将高维输入数据映射到低维空间，同时保持输入数据在高维空间中的拓扑结构。首先，确定神经元的类别和数量，并通过几次对比实验确定其他参数。确定参数后，经过几个学习周期后，数据达到渐近值，并且在模拟数据集和真实数据集上都表现良好。4.3. 半监督学习半监督学习是一种结合了监督学习和无监督学习的机器学习方法。半监督学习可以使用少量的标记数据和大量的未标记数据来解决问题。基于集成的半监督学习过程如图 8 所示。避免了完全标记样品的成本消耗和错误标记。半监督学习已成为近年来的研究热点。图8.基于集成的半监督学习监督学习通常能获得良好的识别结果，但依赖于样本标记的准确性。晶圆数据样本可能存在以下问题。首先是晶圆样品数据需要专业人员手动标记。手动打标过程是主观的，一些混合缺陷模式可能会被错误标记。二是某些缺陷模式的样本不足。第三，一些缺陷模式一开始就没有被标记出来。因此，无监督学习方法无法发挥其性能。针对这一问题，Katherine Shu-Min Li等人提出了一种基于集成的半监督框架，以实现缺陷模式的自动分类。首先，在标记数据上训练监督集成学习模型，然后通过该模型训练未标记的数据。最后，利用无监督学习算法对无法正确分类的样本进行处理，以达到增强的标记效果，提高晶圆缺陷图案分类的准确性。Yuting Kong和Dong Ni提出了一种用于晶圆图分析的半监督增量建模框架。利用梯形网络改进的半监督增量模型和SVAE模型对晶圆图进行分类，然后通过主动学习和伪标注提高模型性能。实验表明，它比CNN模型具有更好的性能。5. 基于深度学习的晶圆表面缺陷检测近年来，随着深度学习算法的发展、GPU算力的提高以及卷积神经网络的出现，计算机视觉领域得到了定性的发展，在表面缺陷检测领域也得到了广泛的应用。在深度学习之前，相关人员需要具备广泛的特征映射和特征描述知识，才能手动绘制特征。深度学习使多层神经网络能够通过抽象层自动提取和学习目标特征，并从图像中检测目标对象。Cheng KCC等分别使用机器学习算法和深度学习算法进行晶圆缺陷检测。他们使用逻辑回归、支持向量机（SVM）、自适应提升决策树（ADBT）和深度神经网络来检测晶圆缺陷。实验证明，深度神经网络的平均准确率优于上述机器学习算法，基于深度学习的晶圆检测算法具有更好的性能。根据不同的应用场景和任务需求，将深度学习模型分为分类网络、检测网络和分割网络。本节讨论创新并比较每个深度学习网络模型的性能。5.1. 分类网络分类网络是较老的深度学习算法之一。分类网络通过卷积、池化等一系列操作，提取输入图像中目标物体的特征信息，然后通过全连接层，根据预设的标签类别进行分类。网络模型如图 9 所示。近年来，出现了许多针对特定问题的分类网络。在晶圆缺陷检测领域，聚焦缺陷特征，增强特征提取能力，推动了晶圆检测的发展。图 9.分类网络模型结构图在晶圆制造过程中，几种不同类型的缺陷耦合在晶圆中，称为混合缺陷。这些类型的缺陷复杂多变且随机性强，已成为半导体公司面临的主要挑战。针对这一问题，Wang J等提出了一种用于晶圆缺陷分类的混合DPR（MDPR）可变形卷积网络（DC-Net）。他们设计了可变形卷积的多标签输出和一热编码机制层，将采样区域聚焦在缺陷特征区域，有效提取缺陷特征，对混合缺陷进行分类，输出单个缺陷，提高混合缺陷的分类精度。Kyeong和Kim为混合缺陷模式的晶圆图像中的每种缺陷设计了单独的分类模型，并通过组合分类器网络检测了晶圆的缺陷模式。作者使用MPL、SVM和CNN组合分类器测试了六种不同模式的晶圆映射数据库，只有作者提出的算法被正确分类。Takeshi Nakazawa和Deepak V. Kulkarni使用CNN对晶圆缺陷图案进行分类。他们使用合成生成的晶圆图像训练和验证了他们的CNN模型。此外，提出了一种利用模拟生成数据的方法，以解决制造中真实缺陷类别数据不平衡的问题，并达到合理的分类精度。这有效解决了晶圆数据采集困难、可用样品少的问题。分类网络模型对比如表3所示。表3. 分类网络模型比较算法创新Acc直流网络采样区域集中在缺陷特征区域，该区域对混合缺陷具有非常强的鲁棒性。93.2%基于CNN的组合分类器针对每个缺陷单独设计分类器，对新缺陷模式适应性强。97.4%基于CNN的分类检索方法可以生成模拟数据集来解释数据不平衡。98.2%5.2. 目标检测网络目标检测网络不仅可以对目标物体进行分类，还可以识别其位置。目标检测网络主要分为两种类型。第一种类型是两级网络，如图10所示。基于区域提案网络生成候选框，然后对候选框进行分类和回归。第二类是一级网络，如图11所示，即端到端目标检测，直接生成目标对象的分类和回归信息，而不生成候选框。相对而言，两级网络检测精度更高，单级网络检测速度更快。检测网络模型的比较如表4所示。图 10.两级检测网络模型结构示意图图 11.一级检测网络模型结构示意图表4. 检测网络模型比较算法创新AccApPCACAE基于二维主成分分析的级联辊类型自动编码。97.27%\YOLOv3-GANGAN增强了缺陷模式的多样性，提高了YOLOv3的通用性。\88.72%YOLOv4更新了骨干网络，增强了 CutMix 和 Mosaic 数据。94.0%75.8%Yu J等提出了一种基于二维主成分分析的卷积自编码器的深度神经网络PCACAE，并设计了一种新的卷积核来提取晶圆缺陷特征。产品自动编码器级联，进一步提高特征提取的性能。针对晶圆数据采集困难、公开数据集少等问题，Ssu-Han Chen等首次采用生成对抗网络和目标检测算法YOLOv3相结合的方法，对小样本中的晶圆缺陷进行检测。GAN增强了缺陷的多样性，提高了YOLOv3的泛化能力。Prashant P. SHINDE等提出使用先进的YOLOv4来检测和定位晶圆缺陷。与YOLOv3相比，骨干提取网络从Darknet-19改进为Darknet-53，并利用mish激活函数使网络鲁棒性。粘性增强，检测能力大大提高，复杂晶圆缺陷模式的检测定位性能更加高效。5.3. 分段网络分割网络对输入图像中的感兴趣区域进行像素级分割。大部分的分割网络都是基于编码器和解码器的结构，如图12所示是分割网络模型结构示意图。通过编码器和解码器，提高了对目标物体特征的提取能力，加强了后续分类网络对图像的分析和理解。在晶圆表面缺陷检测中具有良好的应用前景。图 12.分割网络模型结构示意图。Takeshi Nakazawa等提出了一种深度卷积编码器-解码器神经网络结构，用于晶圆缺陷图案的异常检测和分割。作者设计了基于FCN、U-Net和SegNet的三种编码器-解码器晶圆缺陷模式分割网络，对晶圆局部缺陷模型进行分割。晶圆中的全局随机缺陷通常会导致提取的特征出现噪声。分割后，忽略了全局缺陷对局部缺陷的影响，而有关缺陷聚类的更多信息有助于进一步分析其原因。针对晶圆缺陷像素类别不平衡和样本不足的问题，Han Hui等设计了一种基于U-net网络的改进分割系统。在原有UNet网络的基础上，加入RPN网络，获取缺陷区域建议，然后输入到单元网络进行分割。所设计的两级网络对晶圆缺陷具有准确的分割效果。Subhrajit Nag等人提出了一种新的网络结构 WaferSegClassNet，采用解码器-编码器架构。编码器通过一系列卷积块提取更好的多尺度局部细节，并使用解码器进行分类和生成。分割掩模是第一个可以同时进行分类和分割的晶圆缺陷检测模型，对混合晶圆缺陷具有良好的分割和分类效果。分段网络模型比较如表5所示。表 5.分割网络模型比较算法创新AccFCN将全连接层替换为卷积层以输出 2D 热图。97.8%SegNe结合编码器-解码器和像素级分类层。99.0%U-net将每个编码器层中的特征图复制并裁剪到相应的解码器层。98.9%WaferSegClassNet使用共享编码器同时进行分类和分割。98.2%第6章 结论与展望随着电子信息技术的不断发展和光刻技术的不断完善，晶圆表面缺陷检测在半导体行业中占有重要地位，越来越受到该领域学者的关注。本文对晶圆表面缺陷检测相关的图像信号处理、机器学习和深度学习等方面的研究进行了分析和总结。早期主要采用图像信号处理方法，其中小波变换方法和空间滤波方法应用较多。机器学习在晶圆缺陷检测方面非常强大。k-最近邻（KNN）、决策树（Decision Tree）、支持向量机（SVM）等算法在该领域得到广泛应用，并取得了良好的效果。深度学习以其强大的特征提取能力为晶圆检测领域注入了活力。最新的集成电路制造技术已经发展到4 nm，预测表明它将继续朝着更小的规模发展。然而，随着这些趋势的出现，晶圆上表面缺陷的复杂性也将增加，对模型的可靠性和鲁棒性提出了更严格的挑战。因此，对这些缺陷的分析和处理对于确保集成电路的高质量制造变得越来越重要。虽然在晶圆表面缺陷分析领域取得了一些成果，但仍存在许多问题和挑战。1、晶圆缺陷的公开数据集很少。由于晶圆生产和贴标成本高昂，高质量的公开数据集很少，为数不多的数据集不足以支撑训练。可以考虑创建一个合成晶圆缺陷数据库，并在现有数据集上进行数据增强，为神经网络提供更准确、更全面的数据样本。由于梯度特征中缺陷类型的多功能性，可以使用迁移学习来解决此类问题，主要是为了解决迁移学习中的负迁移和模型不适用性等问题。目前尚不存在灵活高效的迁移模型。利用迁移学习解决晶圆表面缺陷检测中几个样品的问题，是未来研究的难题。2、在晶圆制造过程中，不断产生新的缺陷，缺陷样本的数量和类型不断积累。使用增量学习可以提高网络模型对新缺陷的识别准确率和保持旧缺陷分类的能力。也可作为扩展样本法的研究方向。3、随着技术进步的飞速发展，芯片特征尺寸越来越小、越来越复杂，导致晶圆中存在多种缺陷类型，缺陷相互折叠，导致缺陷特征不均匀、不明显。增加检测难度。多步骤、多方法混合模型已成为检测混合缺陷的主流方法。如何优化深度网络模型的性能，保持较高的检测效率，是一个亟待进一步解决的问题。4、在晶圆制造过程中，不同用途的晶圆图案会产生不同的缺陷。目前，在单个数据集上训练的网络模型不足以识别所有晶圆中用于不同目的的缺陷。如何设计一个通用的网络模型来检测所有缺陷，从而避免为所有晶圆缺陷数据集单独设计训练模型造成的资源浪费，是未来值得思考的方向。5、缺陷检测模型大多为离线模型，无法满足工业生产的实时性要求。为了解决这个问题，需要建立一个自主学习模型系统，使模型能够快速学习和适应新的生产环境，从而实现更高效、更准确的缺陷检测。原文链接:Electronics | Free Full-Text | Review of Wafer Surface Defect Detection Methods (mdpi.com)

碲锌镉（CZT）单晶材料作为碲镉汞（MCT）红外焦平面探测器的首选衬底材料，其表面质量的优劣将直接影响碲镉汞薄膜材料的晶体质量以及成品率，故生产出外延级别的碲锌镉衬底表面是极其重要的。目前，碲锌镉单晶片的主要表面加工处理技术包含机械研磨、机械抛光、化学机械抛光、化学抛光以及表面清洗。其中，机械研磨、机械抛光以及化学机械抛光工艺都会存在磨料残留、磨料嵌入、表面划痕较多、粗糙度较高等一系列问题，要解决这些问题需要对相应的表面处理技术进行了解和掌握，包括表面处理技术的基本原理以及影响因素。近期，昆明物理研究所的科研团队在《红外技术》期刊上发表了以“碲锌镉衬底表面处理研究”为主题的文章。该文章第一作者为江先燕，通讯作者为丛树仁高级工程师，主要从事红外材料与器件方面的研究工作。本文主要从碲锌镉表面处理工艺及表面位错缺陷揭示两个方面对碲锌镉衬底的表面处理研究进行了详细介绍。表面处理工艺碲锌镉单晶作为生长外延碲镉汞薄膜材料的首选衬底材料，要求其表面不能存在机械损伤及缺陷密度大于10⁵ cm⁻²的微观缺陷，如线缺陷、体缺陷等。衬底表面的机械损伤可通过后期的表面处理工艺进行去除[18]，而微观缺陷只能通过提高原材料的纯度以及合理调控晶体的生长过程方能得到有效改善。经垂直梯度凝固法或布里奇曼法生长出的低缺陷密度的碲锌镉体晶会先被切割成具有固定方向（如（111）方向）和厚度的碲锌镉晶片，然后再经过一系列的表面处理工艺才能用于碲镉汞薄膜的生长。通常情况下，碲锌镉晶片会经历机械研磨、机械抛光、机械化学抛光及化学抛光等表面处理工艺，通过这些工艺处理后的晶片才能达到外延级水平，因此本部分主要详细介绍上述4种表面处理工艺。机械研磨机械研磨工艺的研磨机理为：加工工件与研磨盘上的磨料或研磨剂接触时，工件表面因受到形状不规则磨料的挤压而产生破裂或裂纹，在加工工件与研磨盘的相互运动下，这些破裂的碎块会随着不规则磨料的滚动而被带离晶片表面，如此反复，从而达到减薄晶片厚度及获得低损伤表面的加工目的，机械研磨装置及磨削原理示意图如图1所示。图1 机械研磨装置及研磨机理示意图碲锌镉体晶切割成一定厚度的晶片后首先经历的表面处理工艺是机械研磨工艺。机械研磨的主要目的是去除机械切割对晶片表面造成的损伤层，从而获得一个较低损伤的晶片表面。表面处理工艺中，机械研磨还可细分为机械粗磨和机械细磨，两者的主要区别在于所使用的磨料粒径不一样，粗磨的磨料粒径大于细磨的磨料粒径。机械细磨的主要目的是去除机械粗磨产生的损伤层，同时减少抛光时间，提高工艺效率。研究报道，机械研磨产生的损伤层厚度通常是磨料粒径的3倍左右。影响机械研磨工艺对加工工件研磨效果的因素有磨料种类、磨料粒径及形状、研磨盘类型、磨料与溶剂的配比、磨料滴速、研磨盘转速、工件夹具转速以及施加在加工工件上的压力等。磨料种类一般根据加工工件的物理及化学性质（如强度、硬度、化学成分等）进行合理选择。常用于机械磨抛的磨抛料有MgO、Al₂O₃、SiC及金刚石等，其中，为了避免在碲锌镉衬底上引入其他金属杂质，MgO和Al₂O₃这两种研磨剂很少在碲锌镉表面处理工艺上进行使用，使用最多的是SiC和金刚石两类磨料。磨料的形状可分为规则（如球状、棒状、长方体等）和不规则（如多面体形状）两类，如图2所示。通常情况下，磨料形状越不规则，材料去除速率越快，同时造成的表面损伤也大，反之，磨料越规则，去除速率越慢，但造成的表面损伤也越小。图2 不规则磨料及规则磨料的扫描电镜图毛晓辰等人研究了这3种不同形状磨料对碲锌镉衬底机械研磨的影响。当磨粒形状为板片状时，材料的去除模型将不再遵从李岩等人提出的“不规则磨料研磨去除模型”，即三体磨粒去除模型，如图3(a)所示，而是会发生变化。基于此，毛晓辰等人提出了如下的去除模型，即：当磨粒为板片状时，磨粒以一定的倾斜角度平躺于磨盘表面，如图3(b)所示，当加工工件（晶片）与磨盘发生相互运动时，磨粒被短暂的固定在磨盘表面，形成二体磨粒，板片状磨粒便以其片状边缘对加工工件表面进行磨削，最终实现去除材料的目的。图3 不规则磨料及板片状磨料去除机理示意图常见的研磨盘类型可简单分为开槽和不开槽两类，如图4所示，开槽和不开槽研磨盘对晶片研磨效果的影响如表1所示。图4 磨盘示意图表1 开槽和不开槽研磨盘对晶片研磨效果的影响机械抛光机械抛光工艺的抛光机理为：加工工件与柔性抛光垫上的抛光粉或抛光颗粒接触后，工件表面将受到形状不规则的抛光颗粒的挤压而产生破裂或裂纹，在加工工件与抛光盘的相互运动下，这些破裂的碎块会随着不规则抛光颗粒的滚动而被带离晶片表面，反复如此，从而达到降低加工工件表面粗糙度和获得光亮、平整表面的目的。抛光粉是一种形状不规则且粒径很小的微纳米级颗粒，故而对加工工件造成的表面损伤较小且加工后的工件表面像镜面一样光亮。抛光垫的柔韧性削弱了抛光颗粒与加工工件表面的相互磨削作用，从而进一步降低了抛光颗粒对工件表面的损伤。机械抛光装置及抛光原理示意图如图5所示。图5 机械抛光装置及抛光原理示意图机械抛光的主要目的是去除机械研磨工艺对晶片表面造成的损伤层，同时降低晶片表面粗糙度和减少表面划痕，获得光亮、平整的表面。影响机械抛光工艺对加工工件表面抛光效果的因素有抛光粉种类或者抛光液种类、抛光粉粒径大小及形状、抛光垫种类、抛光盘转速、工件夹具转速、施加在工件上的压力、抛光液滴速以及抛光时间等。图6所示为碲锌镉晶片经不同厂家生产的同种抛光液机械抛光后的表面形貌图，如图所示，在相同的抛光条件下，不同厂家生产的抛光液的抛光效果差别较大。因此，机械抛光工艺中对抛光液的合理选择是极其重要的。图6 不同厂家生产的同种抛光液的机械抛光表面抛光粉的粒径大小和形状主要影响加工工件的表面质量和材料去除速率，通常，粒径越大以及形状越不规则，则材料的去除速率越快，表面质量也越差，如表面粗糙度大、划痕多等；反之，则去除速率慢，表面质量好。抛光垫具有贮存抛光液及去除抛光过程产生的残留杂质等作用，抛光垫的种类（或材质）也是影响工件抛光效果的主要因素之一。图7为目前一些常见抛光垫的表面纹理及根据仿生学理论研究设计的抛光垫表面纹理图，主要包括放射状纹理、栅格状纹理、同心圆状纹理、放射同心圆复合状纹理、螺旋状纹理及葵花籽状纹理。图7 抛光垫表面纹理图化学机械抛光化学机械抛光工艺的抛光机理为：加工工件表面与抛光垫上的抛光液接触后，将同时受到来自抛光液中的不规则抛光颗粒的挤压作用和强氧化剂的腐蚀作用，即工件表面同时受到机械作用和化学作用。化学机械抛光的主要目的包括去除工件表面损伤层、降低表面粗糙度、消除或减少表面划痕以及工件表面平坦化等。影响化学机械抛光工艺对加工工件表面抛光效果的因素有机械作用和化学作用的协同情况、抛光粉种类、抛光粉粒径大小及形状、氧化剂种类及浓度、抛光垫种类、抛光盘转速、工件夹具转速、施加在工件上的压力、抛光液滴速以及抛光时间等。抛光粉的粒径大小及形状、抛光垫的种类（或材质）、抛光垫的使用时长、抛光盘转速、工件夹具转速、施加在工件上的压力大小以及抛光时间等因素对工件抛光效果的影响原理与机械抛光工艺中所述影响原理类似。化学抛光化学抛光工艺的抛光机理为：当加工工件与抛光垫上的化抛液接触后，化抛液中的氧化剂将对工件表面进行腐蚀，在抛光垫与工件表面的相互运动作用下，工件表面上的损伤层以及浅划痕等都会被去除，得到光亮、平整且无任何划痕及损伤的外延级衬底表面。化学抛光工艺中使用的抛光液只包含氧化剂和溶剂，没有磨料颗粒或抛光颗粒。同时，对工件进行化学抛光时，没有对工件施加额外的压力，只有抛光夹具的自身重力。因此，化学抛光工艺中几乎不涉及到机械作用，只有纯化学腐蚀作用。化学抛光工艺的装置及抛光原理如图8所示。图8 化学抛光装置及抛光原理示意图化学抛光的主要目的是去除化学机械抛光或机械抛光工艺对晶片表面造成的损伤层，并同时为生长碲镉汞薄膜提供新鲜、洁净、无损的外延级表面。影响化学抛光工艺对加工工件表面抛光效果的因素有氧化剂种类及浓度、抛光垫种类、抛光盘转速、抛光夹具自重、化抛液滴速以及抛光时间等。表面位错揭示与硅等几乎无缺陷的单晶材料相比，碲锌镉单晶材料具有较高的位错密度（10⁴~10⁵/ cm⁻²）。目前，观察位错的主要手段是化学腐蚀法，虽然透射电子显微镜法（TEM）也能对材料的位错进行检测，但因其具有设备成本太高、制样非常困难、视场太小等原因而无法作为常规的位错检测手段。化学腐蚀法因具有成本低、制样简单、操作简单且所观察的视场较大等优势而成为了目前主要的表面位错检测手段。碲镉汞薄膜主要是通过在碲锌镉衬底的（111）面和（211）面上外延得到，因此，要求碲锌镉衬底表面不能存在损伤及大量的微观缺陷。衬底表面的损伤主要来自于表面处理工艺，而微观缺陷如沉淀物、位错、空位等则是在晶体生长过程中产生的。事实上，表面损伤对应的是晶格的周期性被破坏，即晶体表面形成大量的位错。所以，对于外延衬底而言，不管是损伤还是微观缺陷，只要超过一定的数量都会直接影响碲镉汞外延薄膜的质量，故而需要对碲锌镉衬底表面的缺陷（包括损伤和微观缺陷）进行检测，从而筛选出优质的外延级衬底。如上所述，化学腐蚀法是目前最常用的位错检测手段，因此这部分主要介绍用于揭示碲锌镉表面位错缺陷的腐蚀液。（111）A面位错揭示腐蚀液1979年，K. Nakagawa等人报道了一种可用来揭示碲化镉（111）A面位错缺陷的化学腐蚀液，其组分为20 mL H₂O:20 mL H₂O₂:30 mL HF。（111）和（211）B面位错揭示腐蚀液1995年，W. J. Everson等人报道了一种可用于揭示碲锌镉（111）和（211）B面位错缺陷的化学腐蚀液，其组分为6 mL HF: 24 mL HNO₃:150 mL C₃H₆O₃（乳酸），即体积比为1:4:25。由于这种化学腐蚀液是W.J.Everson首次提出并验证其有效性的，所以作者将这种腐蚀液命名为“Everson腐蚀液”。其他晶面位错揭示腐蚀液1962年，M. Inoue等人报道了一种可揭示碲化镉（CdTe）不同晶面上位错缺陷的EAg腐蚀液，EAg腐蚀液的组成为10 mL HNO₃ : 20 mL H₂O : 4 g K₂Cr₂O₇ 😡 g AgNO₃总结与展望本文主要从碲锌镉表面处理工艺及表面位错揭示两个方面对碲锌镉衬底的表面处理工艺研究进行了详细介绍。表面处理工艺主要包括机械研磨、机械抛光、化学机械抛光以及化学抛光，研磨或抛光工艺中的参数选择直接影响最终的衬底表面质量。碲锌镉衬底的表面位错缺陷主要通过Everson或Nakagawa两种化学腐蚀液进行揭示，Everson腐蚀液主要揭示碲锌镉（111）B面的位错缺陷，Nakagawa腐蚀液主要揭示（111）A面的位错缺陷。另外，随着碲镉汞红外焦平面探测器技术的发展，碲锌镉衬底的尺寸逐渐增大，这意味着获得外延级碲锌镉衬底表面将会更加困难，这对晶片表面平整度、晶片面型控制及表面清洗等都提出了更高的技术要求。因此，如何在现有的基础上探索出适用于大尺寸碲锌镉衬底的表面处理技术是至关重要的，这也是接下来亟待解决的技术问题和努力的方向。

p style="text-indent: 2em "span style="text-align: justify text-indent: 28px font-family: 宋体 font-size: 14px "近日，/spanspan style="text-align: justify text-indent: 28px font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0px font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254) "南方科技大学/spanspan style="text-align: justify text-indent: 28px font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0px font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254) "发布公告招标“/spanspan style="text-align: justify text-indent: 28px font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0px font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254) "材料原位真空微纳表征系统/spanspan style="text-align: justify text-indent: 28px font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0px font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254) "”，/spanspan style="text-align: justify text-indent: 28px font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0px font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254) "填补学校科研仪器设备的空白，总招标金额高达750万。/span/pp style="text-indent:28px text-align:justify text-justify:inter-ideograph"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"据南方科技大学介绍，该校招标的/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"材料原位真空微纳表征系统是按需搭建的一套开放式系统/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"，/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"用于/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"材料表征和开发、材料性能评价、化学反应性能研究等/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"。/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"该/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"材料原位真空微纳表征系统/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"中所涉及的仪器类型包括/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"场发射扫描电镜/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"、/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"离子溅射仪/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"、/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"能谱仪/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"-/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"电子背散射衍射仪/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"、/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"原位定量纳米力学测试仪/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"、/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"阴极荧光光谱仪/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"等，项目招标所有仪器都接受进口。/span/span/pp style="text-indent:28px text-align:justify text-justify:inter-ideograph"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"据南方科技大学介绍，学校/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"2/3院系的科研工作中都会对扫描电子显微镜、能谱表征、原位力学、表面光谱等表面分析测试有需求，其中材料科学与工程系、化学系、电子与电气工程系、环境科学与工程系的需求量最大。/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"而南方科技大学/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"还没有全面进行此类分析的综合分析平台/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"，/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"尤其较为/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"缺乏关于/span10nm以下超高分辨率的样品表面细节表征、原位力学性能测试分析手段/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"。/span/span/pp style="text-indent:28px text-align:justify text-justify:inter-ideograph"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"项目名称：/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"材料原位真空微纳表征系统/span/span/pp style="text-indent:28px text-align:justify text-justify:inter-ideograph"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"采购编号：/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"PLAN-2020-0108016001-01166/span/pp style="text-indent:28px text-align:justify text-justify:inter-ideograph"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"预算：/span750万元/span/pp style="text-indent:28px text-align:justify text-justify:inter-ideograph"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"采购单位：南方科技大学/span/span/pp style="text-indent:28px text-align:justify text-justify:inter-ideograph"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"采购详情：/span/span/ptable border="1" cellspacing="1" style="margin-left: 6px background: rgb(204, 204, 204) border-width: 1px border-style: solid border-color: windowtext " width="646"tbodytr class="firstRow"td valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="53"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"序号/span/p/tdtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="68"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"货物名称/span/p/tdtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"招标技术要求/span/p/td/trtrtd valign="center" rowspan="34" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="53"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1/span/p/tdtd valign="center" rowspan="34" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="68"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"场发射扫描电镜/span/p/tdtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.1 运行环境：/span/pp style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.1.1 房间温度：15 ~ 25℃/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.1.2 相对湿度：小于60%/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.1.3 适用电源：单相，220V± 10%，50/60Hz，4kVA，要求连续供电/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.1.4 地线：接地电阻范围40 ~100/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.2电子光学系统：/span/pp style="margin-top:0 margin-right:0 margin-bottom:0 margin-left:0"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"★1.2.1 分辨率： 0.6nm@15kV； 0.7nm@1kV/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style="margin-top:0 margin-right:0 margin-bottom:0 margin-left:0"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.2.2 加速电压：最低 0.5kV； 最高 30kV；0.1kV/步/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.2.3着陆电压：0.01 -20kV（减速模式）/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style="margin-top:0 margin-right:0 margin-bottom:0 margin-left:0"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.2.4 放大倍数：最小 20倍； 最大 200万倍（底片模式）/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"▲1.2.5电子枪：冷场发射电子枪/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"▲1.2.6 配备10年场发射灯丝耗材/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"★1.2.7最大电子束流： ≦20nA，且连续可变/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"▲1.2.8物镜光栏：内外加热自清洁式，四孔，可移动物镜光栏/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.3样品室：/span/pp style="margin-top:0 margin-right:0 margin-bottom:0 margin-left:0"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.3.1 样品台： 5轴自动马达驱动，机械优中心/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.3.2样品移动：X 0-110mm；Y 0-110mm；Z 1.5-40mm；R = 360 连续旋转，T -5～ +70/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.3.3样品防撞警报装置：有/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.3.4容纳样品尺寸： 150mm直径/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.3.5样品换样方式/span/pp style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"▲1.3.5.1配备交换仓，交换仓端面透明，可观察到样品交换过程/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"▲1.3.5.2交换仓能容纳 150mm的样品/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.3.5.3具有样品安装到位提示，避免样品在安装时脱落/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style="margin-top:0 margin-right:0 margin-bottom:0 margin-left:0"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.3.6检测器： 配有顶位、高位以及低位二次电子探测器，顶位探测器可选择接收二次电子像或背散射电子信号，高位探测器可选择接收二次电子或背散射电子信号，并以任意比例混合。在低压下（2kV）可以得到背散射电子图像/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style="margin-top:0 margin-right:0 margin-bottom:0 margin-left:0"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.4 真空系统：/span/pp style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"▲1.4.1真空泵:/span/pp style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"机械泵:135L/s/span/pp style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"涡轮分子泵（磁悬浮型）:300L/s/span/pp style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"3级离子泵:60L/s 1, 20L/s 2/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style="margin-top:0 margin-right:0 margin-bottom:0 margin-left:0"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.4.2 真空度：电子枪部分优于10-7Pa；样品室部分优于10-4Pa/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style="margin-top:0 margin-right:0 margin-bottom:0 margin-left:0"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.4.3 保护：自动真空抽气及诊断系统,具有断电、缺水、失真空保护系统/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.4.4样品更换抽真空时间： 1分钟/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.5 图像处理软件：可以进行图像的处理、测量和编排实验报告/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.6 数据记录：照片包括编号，加速电压，标尺，放大倍率，日期，时间，工作距离等/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.7图像显示：不低于1280 960像素/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.8图像储存：640 480，1280 960，2560 1920，5120 3840像素，照片包括编号，加速电压，标尺，放大倍率，日期，时间，工作距离等信息/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.9图像类型： TIFF, BMP或JPEG/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.10 信号/图像处理功能：/span/pp style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"像素积分改善S/N，框架积分，彩色图像显示，2色合成图像显示（保存图像），伪彩色图像显示（保存图像），针对保存图片的图像处理（灰阶变换，伽马调整，各种空间过滤处理）/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.11 保存图像处理：/span/pp style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"可以进行图像的处理、测量和编排实验报告，捕捉的图片可存储在临时图片栏内，可选择单张存储或批量存储，可自动连续命名/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.12 用户可自行完成红烘烤维护和镜筒合轴维护/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.13 防污染措施：防污染冷阱/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"▲1.14订制样品台：包含一个电流电压测试单元；电流测量范围：1nA-30mA，9个量程；电流分辨率：优于100fA/span/p/td/trtrtd valign="center" rowspan="6" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="53"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"2/span/p/tdtd valign="center" rowspan="6" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="68"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"离子溅射仪/span/p/tdtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"▲2.1与电镜同一精度配套型号/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"2.2含镀金镀碳2种功能/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"2.3最大样品尺寸：直径60mm，高度20mm/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"2.4溅射电流：0-40mA/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"2.5溅射时间：0~999s/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"2.6靶材：PT靶材/span/p/td/trtrtd valign="center" rowspan="11" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="53"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"3/span/p/tdtd valign="center" rowspan="11" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="68"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"能谱仪 电子背散射衍射仪/span/p/tdtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"3.1探测器：硅漂移（SDD）电制冷探测器探头系统，采用场效应管（FET）一体化集成设计的高速SDD芯片，探测器具有60mm2有效活区面积，超薄窗设计，独立真空/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"3.2能量分辨率：在双探测器总100,000CPS条件下Mn Ka保证优于129eV，轻元素分辨率：C-K/57eV, F-K/67eV/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"3.3采用纤细化等技术提高固体角，单个探指直径仅18.2mm，改善系统分析效率/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"▲3.4能谱仪处理单元与计算机采用分立式设计，单探测器输出最大计数率优于600,000CPS，可处理最大计数率优于1,500,000CPS/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"▲3.5配备完善而精准的原子数据库，包含所有的分析线系(K, L, M 和 N线系)，实现1-30kv精确定量/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"3.6定量分析：标配P/B-ZAF以及XPP修正的PhiRhoZ定量方法，可对抛光表面或粗糙表面定量分析。采用定量修正技术，可对倾斜样品进行修正，并增强对轻元素的修正；可以得到归一化和非归一化定量结果，可以用化学配位法得到非归一化结果/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"3.7高速高灵敏CCD相机：高端16bitCCD相机， 640 480像素，在10pA下可采集到清晰菊池花样/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"3.8花样采集速度：945花样/秒@8 8binning 630花样/秒@4 4binning，并且在低至4kV时可采集到清晰菊池花样，角分辨率达到0.1/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"3.9原位EBSD 探测器倾斜角度调节：可在原位进行垂直方向+/-4.5 度角倾斜，电子传感器自动读取倾斜角/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"3.10标配两个磷荧光屏/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"3.11可实现EDS谱图采集与EBSD花样采集同步，同步采集速度可达170p/s，*衍射花样的再处理不低于54,000p/s；/span/p/td/trtrtd valign="center" rowspan="29" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="53"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4/span/p/tdtd valign="center" rowspan="29" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="68"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"原位定量纳米力学测试仪/span/p/tdtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.1测试系统的本征控制模式必须是本征位置控制，不允许通过反馈来实现位置控制/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style="margin-top:0 margin-right:0 margin-bottom:0 margin-left:0"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"▲4.2采用压电陶瓷来实现驱动施加载荷，采用电容式位置传感器和基于 MEMS 的电容式力传感 器/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.3最大载荷： 200 mN/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"▲4.4纵向载荷背景噪音（10 Hz 下测量） 0.5nN/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.5最大压痕深度： 25 m/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"▲4.6位移背景噪音（10 Hz 下测量） 0.05 nm/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.7通过内置的压电陶瓷控制样品的精准定位/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.8样品台可移动范围：X 12 mm，Y 12mm，Z 21mm/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.9 X/Y/Z 定位分辨率： 1 nm/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.10具有旋转轴，样品能围绕测量方向旋转/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.11样品台旋转范围： 360/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.12样品台旋转分辨率： 0.000035/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.13样品转轮能在不更换样品的情况下实现至少 3 个直径不小于 12 mm 样品的原位力学测试/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style="margin-top:0 margin-right:0 margin-bottom:0 margin-left:0"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.14具有纳米划痕模块，通过两个独立的压电陶瓷来实现驱动，采用独立的电容式位置传感器 和一个电容式二维力传感器/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.15纳米划痕实验的最大横向力: 20mN/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.16纳米划痕实验的最大横向位移： 20 um/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.17纳米划痕实验的横向载荷背景噪声（10 Hz 下测量）： 100 nN/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.18纳米划痕实验的横向位移背景噪音（10 Hz 下测量） 0.05 nm/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.19具有连续的载荷、位移数据随时间变化的实时数据的功能/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.20具有载荷控制功能以及位置控制功能/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style="margin-top:0 margin-right:0 margin-bottom:0 margin-left:0"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.21可以在 SEM 内控制原位拉伸、压缩、断裂、疲劳、蠕变、纳米压痕（含 CSM）、 纳米划痕、 纳米摩损等力学测试/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.22可与 SEM分析部件联用，可在力学测试同时通过 SE、EBSD、TKD、STEM等探头进行原位观察/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.23具备原位 SPM 成像功能，可以对样品进行连续不间断的 3D 原位扫描成像/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.24 提供硬件级别传感器保护模式，防止微力传感探针的力学过载/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.25 包含基于Windows操作系统的微力测试软件、微操作软件；允许用户生成自定义的微力测试 程序/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.26 软件使测量数据(比如力和位移、力和时间数据等)可视化，可记录和导出数据(.txt 或.xls)/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.27 连续刚度测量(CSM)频率: 500 Hz/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.28 最大疲劳测试频率: 500 Hz/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.29 数据采集率: 96000Hz/span/p/td/trtrtd valign="center" rowspan="12" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="53"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"5/span/p/tdtd valign="center" rowspan="12" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="68"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"阴极荧光光谱仪/span/p/tdtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"5.1具有阴极荧光全谱成像、单谱成像和单光谱分析功能/span/pp style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"▲5.2配置自动切换三光栅谱仪，谱仪焦距320mm/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"▲5.3光栅台为3光栅台，谱仪安装3块光栅，软件控制切换：/span/pp style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"150gr/mm光栅，闪耀波长500nm/span/pp style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"300gr/mm光栅，闪耀波长500nm/span/pp style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1200gr/mm光栅，闪耀波长400nm/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"▲5.4六档滤光片轮，装配有RGB滤光片，软件控制/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"5.5光谱探测范围300-900nm/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"5.6 光谱仪入口和出口狭缝宽度可调，可调范围0-3mm/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"5.7椭球镜工作距离可低于12mm/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"5.8具有电子束扫描控制及电镜图像采集功能/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"5.9具有阴极荧光光谱线/面分布功能/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"5.10软件自动控制荧光收集装置伸缩，伸缩尺寸满足电镜样品室要求/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"5.11荧光收集装置预对中调整/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"5.12高性能椭球反射镜，理想荧光收集效率大于90%/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"5.13光纤传导，光纤长度大于3m/span/p/td/tr/tbody/table

2016年10月22-25日，由中国机械工程学会表面工程分会主办的第11届全国表面工程大会在成都金牛宾馆举行，德祥公司携手美国Hysitron & Protochips成功参展此次盛会。　　美国Hysitron（海思创）公司自1992年成立至今在纳米力学研究领域始终处于全球领先地位。其旗下的产品主要包括TI独立纳米力学测试系统和PI电镜专用原位纳米力学测试系统。除了纳米压痕和微米压痕，其仪器功能还包括划痕、摩擦磨损、模量成像、DMA、电学测量和原位SEM/TEM纳米力学检测等。　　美国Protochips公司成立于2002年，致力于将电子显微镜和芯片技术完美结合，将电子显微镜转变为真正的纳米实验室，可以对小尺度材料进行原位电和热性能测试、原位液体环境和电化学测试及原位气体环境测试，从而实现电镜在各种条件下原位观测样品反应过程的目标。　　会议现场，相关技术人员与众多表面领域的专家进行了深入交流，并为广大客户详细介绍了表面工程产业所涉及到的纳米力学行为表征方法、原位电镜领域的最新进展应用范例，并现场解答了表面工程领域会遇到的一些实际应用问题，引起了广泛关注。客户与工程技术人员交流大会主席周仲容教授为德祥公司颁发荣誉证书大会主席薛群基院士（右）莅临德祥公司展位并留影

第十三届全国表面工程大会暨第十二届全国青年表面工程论坛将于2020年11月13~16日在广州白云国际会展中心同期举行。本届会议以“新时代融合发展的表面工程及助力粤港澳大湾区建设”为主题，聚焦新时代科技引领创新和粤港澳大湾区建设等战略发展趋势，交流我国表面工程融合发展中形成的新技术、新成果及其所发挥的重要作用，同时探索学科的未来发展方向。图丨广州白云国际会展中心安东帕将呈现纳米压痕/划痕仪、摩擦磨损试验机、原子力显微镜等一系列的表面机械表征的仪器；并可提供相应的解决方案，期待您莅临安东帕展台，进行现场交流。Step 系列安东帕是唯一一家能够提供具有真实力传感器的高分辨率纳米压痕和纳米划痕测试仪的公司。这意味着载荷是直接用一个传感器连续测量，而不是通过致动器提供的数据来估算。采用一流设计的安东帕的机械表面测试仪，以紧凑的模块提供精确高效的测试解决方案。事实上，可以在一个测试平台上轻松组合不同的模块（划痕、压痕、微摩擦）。根据您的要求和应用，可以在一个平台上组合不同的测试模块，也可以使用单独的测试方法和独立设备 - 按照您的需要来选。图丨STep 系列摩擦磨损试验机安东帕从事摩擦磨损分析仪产品设计和销售已超过 35 年，之前主要出售 CSM 品牌仪器。安东帕的MCR 摩擦磨损分析仪系列则是另一高品质的选择，其采用了 EC 测量头，这是公司 20 年专业经验的结晶。这些仪器可用于科研及高端开发应用，可提供市场上最广泛的选择。图丨摩擦磨损试验机 Tosca 系列安东帕 Tosca 系列 AFM 以独特的方式将先进技术与高时效操作相结合，使这款 AFM 成为非常适合科学家和工业用户等群体的纳米技术分析工具。Tosca 将先进技术与高时效、简单易用的操作集于一身。这款顶级性能的 AFM 产品汇集了自动化功能、强大的软件，以及安东帕在工业高精度分析仪器开发、生产和经销领域的长期经验。高度自动化和面向工作流程的控制和分析软件植入到每一级操作中，由此缩短了测试的时间，并简化了 AFM 测量的整体操作。您可以从两种不同型号中进行选择：Tosca 400 或 Tosca 200，前者适合大样品，属于高端 AFM，后者适合中型样品以及预算有限的用户。两者提供的性能、灵活性和质量水平相同。图丨Tosca 400安东帕中国总部销售热线：+86 4008202259售后热线：+86 4008203230官网：www.anton-paar.cn在线商城：shop.anton-paar.cn

p　　安东帕TriTec近期成功开发了一种结合原位在线磨损测量的新型真空气氛下的球盘高温摩擦磨损试验机(HV-THT+DHM)，其使用数字全息显微镜(DHM)对样品磨损的痕迹进行实时测量。样品在2× 10-6 mbar的真空气氛下进行摩擦磨损的实验，同时使用数字全息显微镜(DHM)记录样品不同时间或不同区域的形貌，用以实时分析样品的磨损性能，原位数字全息显微镜(DHM)、共聚焦显微镜和扫描电子显微镜在图像之间具有极好的相关性 ，其他第三方观察设备(如拉曼或光学显微镜)也可用于代替原位数字全息显微镜(DHM)实时收集样品磨损轨迹上的化学或光学信息。/ppstrong style="text-align: center "span style="text-indent: 2em "用户动态/span/strong/pp　　广东工业大学高温高真空超纳米压痕仪(UNHT3-HTV)成功顺利安装，解决了客户刀具涂层在高温下的硬度、断裂韧性、蠕变等难题，提高实际切削过程中刀具的使用寿命及加工精度。/pp style="text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201807/insimg/824b21c9-292b-4b01-b67b-effc1e23d1fa.jpg" title="高温高真空超纳米压痕仪（UNHT3-HTV）.jpg"//pp style="text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201807/insimg/92fef36c-5335-4c0e-a1de-15ff45c7c1ac.jpg" title="高温高真空超纳米压痕仪曲线.jpg"//pp style="text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201807/insimg/1ae78b3b-af88-455f-b783-91087f4d746a.jpg" title="RST3大载荷划痕仪和NHT3纳米压痕仪.jpg"//pp style="text-align: center "strong新产品/strong—结合原位在线磨损测量的新型真空气氛下的球盘高温摩擦磨损试验机/ppstrong进军汽车市场/strong/pp　　安东帕TriTec在汽车行业有很多用户和相关应用，在不同的研发中心和制造工厂成功出售了许多RST3大载荷划痕仪和NHT3纳米压痕仪等作为汽车行业的标准设备。/pp style="text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201807/insimg/cd40622f-8340-4b08-b42b-1289d526e0b5.jpg" title="汽车行业有很多用户和相关应用.jpg"//ppstrong相关市场活动/strong/pp style="text-align: center "strongimg src="http://img1.17img.cn/17img/images/201807/insimg/f7286e54-3b49-4d55-8f76-3ff4edd2e61b.jpg" title="2018国际薄膜大会.jpg"//strong/pp　　2018国际薄膜大会将于2018年7月17至20日在深圳维纳斯皇家酒店隆重召开，届时600-800位来自世界各地的学者、专家和业界精英将齐聚一堂，一同探讨薄膜工艺、表征和应用相关的尖端课题。此次会议的主题涵盖了薄膜领域的前沿和热点问题，包括：工业应用涂层、生物涂层、清洁能源涂层、电化学薄膜、功能陶瓷薄膜、薄膜的力学性能、纳米和纳米复合材料薄膜、有机/ 聚合物薄膜、光催化和自洁涂层、智能材料和薄膜等。安东帕中国是会议的铂金赞助商，欢迎相关人员莅临指导。/ppstrong最新应用进展/strong/pp　　span style="color: rgb(0, 176, 240) text-decoration: underline "1./spana style="color: rgb(0, 176, 240) text-decoration: underline " title="" target="_self" href="http://www.instrument.com.cn/netshow/sh101011/down_890416.htm"span style="color: rgb(0, 176, 240) "一种结合原位在线磨损测量的新型真空气氛下的球盘高温摩擦磨损试验机(HV-THT+DHM)的介绍/span/a/pp　　简介：摩擦和磨损是摩擦系统的两个主要特征。摩擦力通常可以使用负载传感器轻松获得，并实时获得摩擦系数。磨损和磨损率的确定就较为复杂，很难实时测量获得，众所周知，在测试期间样品表面微小的变化可能导致不可预测的磨损，原位实时磨损测量是唯一的解决方案。应用报告介绍了一种新的带数字全息显微镜(DHM)的球盘式高温真空摩擦磨损试验机(HV-THT)的应用。样品在2× 10-6 mbar的真空气氛下进行摩擦磨损实验，同时使用数字全息显微镜(DHM)记录样品不同时间或不同区域的形貌，用以实时分析样品的磨损性能。/pp　　2.安东帕表面力学测试仪器在汽车行业中的应用/pp　　a style="color: rgb(0, 176, 240) text-decoration: underline " title="" target="_self" href="http://www.instrument.com.cn/netshow/sh101011/down_890438.htm"span style="color: rgb(0, 176, 240) "第一部分 纳米压痕划痕测试介绍/span/a/pp　　a style="color: rgb(0, 176, 240) text-decoration: underline " title="" target="_self" href="http://www.instrument.com.cn/netshow/sh101011/down_890449.htm"span style="color: rgb(0, 176, 240) "第二部分 摩擦摩损及涂层厚度测试介绍/span/a/pp　　简介：轴承合金的脆性研究(纳米压痕仪NHT3)，轮胎等具有分级特性的聚合物材料的力学性能评价(UNHT3)，不锈钢螺栓电镀涂层弹性行为(NST3)，汽车不同清漆的抗划性能(NST3)，雨刷器和ITO玻璃之间的临界载荷确定(NST3)，汽车聚合物部件粘弹性的研究(UNHT3)，在高温下测量油泵的摩擦系数(TRN)，轴承部件耐磨损性能的研究(TRN)，测量涂层厚度(Calotest)。/pp　　a style="color: rgb(0, 176, 240) text-decoration: underline " title="" target="_self" href="http://www.instrument.com.cn/netshow/sh101011/down_890482.htm"span style="color: rgb(0, 176, 240) "3.汽车行业中硬质涂层力学性能的评价/span/a/pp　　简介：“DLC”是英文“DIAMOND-LIKE CARBON”一词的缩写。DLC是一种由碳元素构成、在性质上和钻石类似，同时又具有石墨原子组成结构的物质。类金刚石薄膜(DLC)是一种非晶态薄膜，由于具有高硬度和高弹性模量，低摩擦因数，耐磨损以及良好的真空摩擦学特性，报告中详尽介绍了安东帕TriTec表面力学测试仪器在汽车行业的广泛应用。/pp style="text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201807/insimg/a22107f9-183e-49ae-8ca3-e815045dc2f5.jpg" title="安东帕2018年表面表征的活动升级.jpg"//pp style="text-indent: 2em "安东帕2018年表面表征的活动升级，我们为您提供相关技术支持，让您可以专注于研究本质：详细探究材料表面特性的各个方面，注册客户将免费获得定制化笔记本，其中包含材料的测量方法、参数的相关案例。/p

p style="text-align: justify text-indent: 2em "安东帕将在9月18日上午举办2场关于表面特性表征的网络研讨会。/pp style="text-align: center text-indent: 0em "strong医疗器械表面特性分析/strong/pp style="text-indent: 2em "时间：2019年09月18日, 09:00- 09:45/pp style="text-indent: 2em "语言：英文/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "Dr. Christine Korner将介绍如何对支架、导管、手术仪器等医疗器械进行纳米机械测试、表面电荷分析以及表面摩擦特性分析。此外，还将演示针对硬质涂层的划痕测试为何有助于优化手术仪器的机械表面特性。/pp style="text-align: center text-indent: 0em "strong生物医学材料表面表征--牙齿和骨骼/strong/pp style="text-indent: 2em "时间:2019年09月18日, 10:00- 10:45/pp style="text-indent: 2em "语言: 中文/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "Dr.Yin Hao将演示纳米力学测试、表面电荷分析和摩擦磨损测试在牙科材料与骨骼特性表征方面的应用。了解纳米压痕技术对于釉质缺损研究和牙齿或骨骼硬度的局部特性分析有何帮助。此外，您还将了解怎样利用划痕测试和表面电荷技术来测试有涂层和无涂层的种植牙，以及怎样利用摩擦磨损测试研究金属植入物与骨骼之间的摩擦特性。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "报名请至安东帕官网。/p

铝合金、镁合金、硬钢、软钢、陶瓷涂层，印刷线路板？这么多种类材料的金相样品制备，精细磨抛如何用氧化铝抛光液抛光？只知道一般情况，末道工序要使用0.05μm的氧化铝抛光液。但是需要抛光多长时间呢？加载力是多少N呢？是否需要加水？......。对于刚入行的金相小白，对如何使用氧化铝抛光液抛光还真是一头雾水，有点懵圈......，只有恰当使用氧化铝抛光液抛，才能快速抛光出理想表面！可脉检测小编让您一文看懂，不同材料如何使用氧化铝抛光液抛出理想表面，希望能帮到你。在氧化铝抛光液的家族中，粒度径有0.05μm、0.3μm和1μm等多个粒度径型号，其中0.05μm的使用较多，主要用于金相样品的末尾一道抛光工序，可有效去除微小划痕，理想再现材料的微观组织形貌。依据各种类材料的性质不同，氧化铝抛光液在使用方法上略有差别。小编依据日常实验经验，整理出常见材料制备时的具体使用方法，列表如下：以上是0.05μm氧化铝抛光液，在对不同材料样品抛光时的使用方法，供大家参考。温馨提示：1、抛光过程中，当磨盘相对转数500转以上快速抛光时，则需要添加抛光冷却润滑液或者 水。 添加时，注意流速要慢些再慢些，以确保氧化铝磨料颗粒不被水流冲离抛光布而造成浪费。2、对于易氧化的材料，千万不可加水，换成酒精作为冷却润滑剂是不错的方法。介绍这么多对氧化铝抛光液的使用方法，你看懂了吗？如有疑问可随时联系可脉检测的应用工程师咨询。

2011 年 4 月 22 - 24 日 由中国机械工程学会 摩擦学分会 青年工作委员会主办，佰汇兴业(北京)科技有限公司协办的&ldquo 2011年全国青年摩擦学及表面工程学术会议&rdquo 暨摩擦学分会第九届青年工作委员会第二次会议在京召开。会议将设大会报告、分会报告、展览交流以及现场参观等多种形式，供全国从事摩擦学及表面工程基础研究及工业应用的相关高等院校、科研机构、企事业单位等展示交流研究成果。本次会议特别欢迎结合军事装备以及苛刻服役工况装备的摩擦学与表面工程的研究成果。日本HEIDON新东科学株式会社应我方邀请参加此次会议，且将在会议上展示展览摩擦磨损试验设备：· 37 Type 3D Muse 便携式摩擦仪· HHS2000/HHS3000 多功能摩擦磨损试验机· 14FW表面性能测试仪· 18/18L 连续加载划痕仪 欢迎各界人士莅临指导并进行相关研讨。

纳米压痕仪您可以使用安东帕的多功能压痕仪精确得到薄膜、涂层或基体的机械特性，例如硬度和弹性模量。仪器可以测试几乎所有材料，无论是软的、硬的、易碎的还是可延展的材料。也可以在纳米尺度上对材料的蠕变、疲劳和应力 - 应变进行研究。载荷范围大：从纳米到宏观尺度安东帕的纳米压痕仪的载荷范围大，因此几乎提供市面上最多的功能且适用性最强的解决方案。这些专用的压痕测试仪涵盖纳米、微米和宏观尺度，可用于研究无数种材料，包括金属、陶瓷、半导体和聚合物等。纳米压痕测量纳米压痕测量让您能获得材料的机械性能，如硬度、弹性模量或蠕变。在压痕测试过程中，会持续记录载荷和位移，并在仪器的实时提供载荷和位移曲线。直接得到硬度和弹性模量与传统的微米硬度测试仪相反，安东帕压痕仪不仅能够得到样品的硬度，也能够基于高精度的仪器化压入测试 (IIT) 技术得到样品的弹性模量。独特的表面参比技术真正使安东帕压痕仪远远优于其他同类仪器的设计特性是其独特的表面参比系统。我们的仪器设计结合了涵盖整个压痕仪的顶表面参比技术，对大量的压痕测试提供一致的参比。高框架刚度得益于安东帕独特的表面参比技术，纳米压痕仪的将框架距离减至最小，提供极高的框架刚度，从而直接结果就是非常高的测量精度。原子力显微镜：Tosca 系列安东帕Tosca 系列以独特的方式将先进技术与高时效操作相结合，使这款 AFM 成为非常适合科学家和工业用户等群体的纳米技术分析工具。有两种不同的型号可供选择：Tosca 400 或 Tosca 200，前者适合大样品，属于高端 AFM，后者适合中型样品以及预算有限的用户。两者提供的性能、灵活性和质量水平相同。采用模块化理念，为未来的发展做好准备现在你获得的这款仪器已经可以满足未来的需求。其设计为为不远的将来能够扩展多种功能和可能性。可以在当前系统中添加新功能和模式。设计稳固，适用于工业应用安东帕 AFM 的设计专注于工业应用。仪器的机械和电子元件已经通过耐久性测试进行了全面检查。所有关键部件都必须通过这些测试，以确保能够在运行现场多年无故障运行。 紧凑型仪器，体积小巧仪器的两大部分——主机和控制器——在实验室空间和功能方面都做了优化。安东帕的 AFM 集先进的自动化与高精度于一体，同时只需要很少的空间。例如，压电陶瓷 驱动器仍留有充足空间用于安装其他模式或模块的电子扩展卡。 切尽在掌控安东帕 AFM 简化了与仪器的交互，操作非常简单。您只需将样品放在样品台上，安装悬臂梁，然后关闭仓门即可。其余的活动（比如样品定位、接触过程等等）均由软件来执行和控制。 数秒中内即可更换悬臂梁压电陶瓷驱动器 设计精巧，您可以使用我们的悬臂梁更换工具，非常轻松、快速地更换悬臂梁。只需将压电陶瓷驱动器放入工具中，然后向内或向外滑动悬臂梁。无需用镊子将悬臂梁放入压电陶瓷驱动器中，并且能保证悬臂处于最佳放置。

p　　近日，中国科学院合肥物质科学研究院技术生物与农业工程研究所研究员黄青课题组，利用表面增强拉曼光谱(SERS)技术，实现了对水体中汞离子的选择性、免标记、半定量的检测。该项成果对实现实际水样中重金属离子的高选择性及准确检测具有一定的科学意义和实用价值，相关成果在线发表在Sensors and Actuators B: Chemical上。/pp　　表面增强拉曼光谱(SERS：surface enhanced Raman spectroscopy)作为一种正在快速发展的技术，因其快速、无损和痕量检测等特点，得到广泛关注并开始走向实际应用。汞是一种毒性极强的重金属，对人体及生物体有很大危害。Hg(II)作为汞在环境中的一种常见的存在形式，对其进行快速、可靠、有效测量具有必要性和迫切性，但基于SERS技术对其特异性和相对定量检测存在一定难度。为此，黄青等设计了能够有效的捕捉水样中的汞离子并产生拉曼散射增强效应的纳米粒子——适配体复合检测体系。研究人员在SiO2@Au纳米粒子表面修饰上能有效捕获汞离子的DNA适配体，利用DNA分子中T碱基和Hg(II)形成T-Hg2+-T结构的特性，能够高效捕获Hg2+，并产生SERS信号改变。实验结果表明，在加入Hg(II)后，设计DNA分子中的腺嘌呤(A)产生736cm-1SERS信号与鸟嘌呤(G)产生的位于660cm-1的SERS信号的峰强的比值会随检测Hg(II)浓度增加而减小，并出现一些特征新峰，如550cm-1。计算表明，它来源于汞离子取代了T上的H在两个DNA分子间形成N-Hg-N结构而发生的伸缩振动。利用这些变化，可以对Hg(II)的进行快速、特异性和半定量的痕量检测。/pp　　研究工作得到国家自然科学基金、国家重点基础研究发展计划等的支持。/pp　　论文题目：A label-free SERS approach to quantitative and selective detection of mercury (II) based on DNA aptamer-modified SiO2@Au core/shell nanoparticles/pp style="text-align: center "img title="001.png" src="http://img1.17img.cn/17img/images/201712/insimg/ca52438b-c746-4230-bd80-e8cad9d9affa.jpg"//pp style="text-align: center "strong合肥研究院实现对水体中Hg(II)高选择性、免标记的定量检测/strong/pp /p

近日，中科院合肥物质科学研究院健康所杨良保研究员课题组在表面增强拉曼光谱(SERS)检测方法学开发方面取得新进展。科研团队通过构建多层纳米颗粒膜形成层间天然小于3nm的间隙，利用纳米毛细泵作用自动捕获目标物分子到更小间隙中，实现高灵敏SERS检测。该成果发表在光学领域顶级期刊Advanced Optical Materials上。 　　SERS是一种分子光谱，具有快速、高灵敏和指纹识别的特性。本项研究工作是在课题组前期研究的单层纳米膜热点自动捕获目标物分子的SERS方法(J. Am. Chem. Soc., 2021, 143, 7769？7776)基础上，进一步发展了一种天然小于3纳米的多层层间小间隙主动捕获目标分子的SERS新方法。研究人员通过液-液界面组装方法构建了一个天然的具有1-3纳米层间小间隙和大量热点的三层银纳米颗粒膜结构，有效增加了热点的数量。由于这些较小的间隙产生的纳米泵效应，目标物溶液能够自发的通过纳米间隙向上移动，小间隙主动捕获目标物分子使得目标分子的信号急剧放大，实现灵敏检测(图1)。与传统的干态成膜的SERS方法相比，该方法可以更有效的使目标分子主动进入热点，检测限比干态成膜方法降低2-3个数量级(图2)。该方法提供了一个痕量动态检测平台，并成功应用于精子-卵细胞结合过程的物质变化跟踪(图3)。该成果为目标分子主动运输到最佳热点开辟了新的方法，有望实现对生物系统的物质转化、细胞行为或化学动力学过程研究等方向的超灵敏检测或监测。 　　该工作的第一作者为合肥研究院健康所2019级工程博士秦苗，通讯作者为杨良保研究员。该项研究受到中国科学院科研仪器装备开发项目、国家自然科学基金、安徽省自然科学研究项目等资助。图1 左图为三层膜蒸腾示意图，右图为层间小间隙主动捕获目标分子原理示意图图2 该方法和干态成膜方法检测示意以及检测效果对比图图3 该方法用于监测精子-卵细胞结合过程中的物质变化

近期，“2023年度中国检验检测学会科学技术奖”获奖名单公布，北京莱伯泰科仪器股份有限公司（简称“莱伯泰科”）凭借其《硅片表面金属离子国产检测仪器首创项目》荣获科学技术进步奖二等奖。该奖项由中国检验检测学会设立，旨在表彰那些在检验检测科学技术领域或相关领域，通过技术发明、科技进步、国际科技合作等活动，对推动检验检测科学发展做出显著贡献的组织和个人。莱伯泰科于2021年5月和2023年3月分别推出了自主研发的LabMS 3000电感耦合等离子体质谱仪和LabMS 5000电感耦合等离子体串联质谱仪，其技术成熟度与产品可靠性已经满足国内集成电路制造企业对28nm以上制程硅片表面金属离子检测的需求，并已成功应用于半导体晶圆制造企业，在半导体行业有了巨大突破。莱伯泰科此次获奖的《硅片表面金属离子国产检测仪器首创项目》成功解决了国产仪器在此领域的技术空白，有望打破国外技术的长期垄断。该项目依托先进的ICP离子源技术、加强的离子传输系统和基于CAN总线的电控系统，实现了仪器的高效稳定运行及精准检测，满足了半导体硅片行业对极低检出限的严苛要求。凭借在电感耦合等离子体质谱技术领域的丰富创新经验，莱伯泰科一直致力于为半导体行业提供更加精准、高效的解决方案。今天的荣誉标志着莱伯泰科在科技创新道路上达到了新的里程碑。未来，莱伯泰科将继续专注于高端科研设备的研发，努力推动科学仪器技术的持续进步，为行业的发展贡献自己的智慧和力量。电感耦合等离子体质谱仪LabMS 3000 ICP-MS&bull 强大：集成型高基质进样系统，支持在线氩气稀释和有机样品加氧除碳，从而减少样品前处理时间并避免此过程中引入的各种污染&bull 精准：新一代碰撞反应池技术，消除棘手的多原子离子和双电荷离子干扰，提升数据质量&bull 安全：具有多重安全防控以及定时维护日志，确保仪器在安全、可靠的状态下运行，尽量减少计划外的停机和提供安全保护&bull 智能：HiMass智能工作站，中英文语言实时切换，支持接入实验室管理系统和定制报告模版，向导式设计更符合中国人操作习惯&bull 高效：与LabTech前处理设备无缝衔接实现一站式元素分析解决方案，使元素分析更高效、更准确、更安全LabMS 5000 电感耦合等离子体串联质谱仪（ICP-MS/MS）精准：MS/MS模式实现受控且可靠的干扰去除，精准去除质量干扰离子，从而获得更低的检测限和准确的超痕量分析结果。稳定：采用工业标准27.12MHz 全固态RF发生器，具有高稳定性及可靠性；优异的离子传输系统设计即使在MS/MS模式下也具有良好的检测稳定性。可靠：通过 SEMI S2 认证，多达十重安全防护配置，带来全面可靠的安全防护，保证仪器长时间安全可靠运行。强大：全基体进样系统结合接口设计及加强离子传输系统，带来强大的基体耐受性，即使高基体直接进样也可有效降低信号漂移。易用：HiMass智能工作站，一键式，向导式、模块化设计，界面简洁直观，易学易用，提高工作效率。

拉曼光谱能够不受各种溶剂的影响可靠地提供分子的结构信息。自1928年拉曼散射被Raman发现以来，该散射光线的光谱称为拉曼光谱，拉曼光谱技术因简便、快速、无损样品等特点，成为近年来发展最快、最有潜力的光谱分析技术之一。拉曼光谱技术包括共振拉曼光谱、傅里叶变化拉曼光谱、显微拉曼光谱、表面增强拉曼光谱、激光共聚焦拉曼光谱等。1974年Fleischmann等发现的表面增强拉曼散射使痕量物质检测成为可能，表面增强拉曼光谱技术利用痕量分子吸附于Ag、Au等金属溶胶和电极表面，其拉曼光谱信号可增强104～106，克服了常规拉曼光谱法灵敏度低的缺点。表面增强拉曼光谱技术因其抗荧光干扰、灵敏度更高，获取的信息更多，目前对于表面增强拉曼光谱的研究主要集中在化学、材料分析、艺术品鉴别、医药分析等领域的定性定量分析，同时，拉曼光谱技术在食品、生物、天然产物领域的研究和应用也有广泛的开展，如食品非法添加鉴别、农残兽药的快速检测、有效成分分析等，在食品科学领域得到广泛关注。虫草素是来源于蛹虫草、洋葱、冬虫夏草等植物的核苷类抗生素，具有多种生物活性，如：抗炎、抗肿瘤、促生长、神经保护作用等。近年来表面增强拉曼光谱技术已开始应用于很多功效成分等的检测，但利用表面增强拉曼光谱技术研究食品中功效成分如虫草素等还未见报告。本研究利用拉曼光谱技术建立食用菌中虫草素这一特色功效成分的快速检测技术，期望能够为食品的品质评价、标准建立、产业升级以及深入开发利用提供技术保障。河北省食品检验研究院王一玮、张斌、张岩研究员、张兰天博士等利用表面增强拉曼光谱技术快速检测食品中虫草素。该团队建立并验证了一种表面增强拉曼光谱技术可快速检测食品中虫草素，具有高效快速、节约成本、操作简便等优点。拉曼基底的选择不同的拉曼基底对于其拉曼信号的强度有一定的影响，为了考察未添加拉曼基底、以金纳米胶体为拉曼基底、以银纳米胶体为拉曼基底对于拉曼光谱信号强度的影响，分别选取400 μL的金纳米胶体、银纳米胶体，将虫草素标准溶液的添加量设定为100 μL，然后采集添加不同拉曼基底下的拉曼光谱图。由图1可知金纳米胶体对虫草素的拉曼信号的增强效果要好于银纳米胶体，相比于银纳米胶体，金纳米粒子能够将自由空间中的光子波长集中起来，并聚集在其表面，使金纳米粒子周围具有较强的电磁场效应，进而增强虫草素的拉曼信号。金纳米胶体相比于不添加拉曼基底或添加银纳米胶体具有更好的增强效果，因此选作为最佳基底。图1 不同拉曼基底的虫草素拉曼光谱图A:未添加拉曼基底；B:金纳米胶体；C:银纳米胶体拉曼基底添加量的优化拉曼基底的添加量对于其拉曼信号的强度也有一定的影响，为了考察金纳米胶体的添加量对于拉曼光谱信号强度的影响，分别选取100、200、300、400、500 μL的金纳米胶体，将虫草素标准溶液的添加量设定为100 μL，然后采集不同拉曼基底添加量下的拉曼光谱图。由图2可知，随着金纳米胶体的添加量由100 μL增加到500 μL，质量浓度为1 000 mg/L的虫草素的拉曼光谱信号强度有所增强，但增强效果并不明显。因此在检测时不必添加过多的金纳米胶体，金纳米胶体添加量为200 μL即可。图2 不同拉曼基底添加量对虫草素拉曼光谱图的影响A:拉曼基底添加量为100 μL；B:拉曼基底添加量为200 μL；C:拉曼基底添加量为300 μL；D:拉曼基底添加量为400 μL；E:拉曼基底添加量为500 μL被测样品添加量的优化虫草素标准溶液的添加量对于其拉曼信号的强度也有一定的影响，为了考察浓度为1 000 mg/L的虫草素的添加量对于拉曼光谱信号强度的影响，分别选取0.5、1、5、10、100 μL的虫草素标准溶液，将金纳米胶体基底的添加量设定为200 μL，然后采集不同虫草素溶液添加量下的拉曼光谱图。结果如图3所示，当虫草素标准溶液的添加量从0.5 μL增加到5 μL时，虫草素的拉曼信号强度不断增加，当虫草素标准溶液的添加量超过5 μL时，虫草素的拉曼信号强度降低。产生这一现象的原因可能是由于当虫草素标准溶液的添加量适当增加时，虫草素与金纳米粒子之间的相互作用也会逐渐加强，虫草素晶体在金纳米粒子附近产生了聚集，合适的聚集条件会产生加强的拉曼信号，过多的虫草素标准溶液的添加，可能会将金纳米粒子基底冲散从而影响基底的等离子共振，从而造成拉曼信号的下降。因此虫草素的最佳样品添加量为5 μL。图3 不同样品添加量对虫草素拉曼光谱图的影响A: 样品添加量为 0.5 μL ； B: 样品添加量为 1 μL ； C: 样品添加量为 5 μL ； D: 样品添加量为 10 μL ； E: 样品添加量为 100 μL虫草素检出限的测定根据优化的最佳条件，最终确定了最佳合成和检测条件。取200 μL拉曼基底金纳米溶胶加入检测小瓶，再向检测小瓶中加入5 μL的待测样品，混匀后上机检测。虫草素的质量浓度分别为1、5、10、100 mg/L，测得拉曼光谱图如图4所示。由此看出，虽然虫草素浓度的降低使拉曼信号强度明显的下降、变弱，但是在1 mg/L低浓度下，仍然可以看出虫草素的主要特征峰。由此，虫草素的检出限为1 mg/L。图4 不同浓度的虫草素拉曼光谱图样品预处理方法优化不同样品预处理方法对于其拉曼信号的强度也有一定的影响，为了考察不同样品预处理方法对于拉曼光谱信号强度的影响，分别用水提取法、乙醇提取法、甲醇提取法、三氯甲烷与甲醇混合提取法处理两种蛹虫草样品，然后按最佳条件采集不同样品预处理方法下的拉曼光谱图。结果如图5、6所示，三氯甲烷提取法得到的样品拉曼光谱图强度和峰型均较好。图5 不同预处理得到蛹虫草1号样品的拉曼光谱图A:水提取法；B:乙醇提取法；C:甲醇提取法；D:三氯甲烷与甲醇混合提取法图6 不同预处理得到蛹虫草2号样品的拉曼光谱图SERS定性检测虫草素对质量浓度为100、200、250、500、1 000 mg/L的虫草素标准品待测液采用最佳方法进行检测得到的拉曼光谱图如图7所示，可以看到，不同浓度虫草素标准品均有较好的信号响应且峰形相似，(1 319 ± 3) cm-1、(1 469 ± 3) cm-1处有特征峰。图7 不同浓度虫草素标准品拉曼光谱图SERS检测实际样品中的虫草素以蛹虫草1号、蛹虫草2号为实际样品，按照三氯甲烷提取法进行实际样品的前处理，按最佳条件进行拉曼光谱检测。如图7、8所示，拉曼光谱检测有虫草素的特征峰（1 319、1 469 cm-1），为了验证结果的正确性，进行了高效液相色谱法的验证，如图10、11所示，证实了实际样品中含有虫草素，进一步了验证所建立方法与拉曼基底的实用性，因此此实验方法具有实际应用性。图8 虫草素标准溶液与蛹虫草1号样品的拉曼光谱图A：质量浓度为1 000 mg/L的虫草素标准溶液；B：经三氯甲烷提取法得到的蛹虫草1号样品图9 虫草素标准溶液与蛹虫草2号样品的拉曼光谱图A：质量浓度为1000 mg/L的虫草素标准溶液；B：经三氯甲烷提取法得到的蛹虫草1号样品图10 蛹虫草1号样品的高效液相色谱图图11 蛹虫草2号样品的高效液相色谱图将三氯甲烷提取技术与表面增强拉曼光谱分析法结合，实现从复杂的样品基质中将目标物提取出来，再利用表面增强拉曼光谱对于目标物灵敏和快速检测分析的特性，检测食品中的虫草素并绘制出拉曼光谱图。实验以虫草素作为目标物，金纳米胶体为拉曼基底，对实验条件的优化得到最佳的实验条件为：金纳米胶体最佳添加量为200 μL；虫草素样品添加量为5 μL，最优条件下的虫草素的最低检出限为1 mg/L。将所建立的SERS检测方法对两种蛹虫草实际样品中的虫草素进行了检测，该SERS检测方法都能检出虫草素，且该法操作简便，检测时间短，因此SERS具有很好的实际应用性和应用前景。

近日，中国科学院苏州生物医学工程技术研究所的宋一之团队与尹焕才团队在高灵敏增强拉曼气体传感方面取得进展。研究团队开发了一种具有超高灵敏性的柔性多孔三维玫瑰花枝状纳米增强基底，可实现气相与液相中有机小分子的高灵敏检测。研究成果发表在Analytical Chemistry上。高灵敏微量气体传感在环境污染研究、人体挥发性有机物（VOCs）检测中具有重要现实意义。迄今为止，已有多种分析技术被用于气体检测，但大多存在成本高、操作复杂、分析过程耗时等缺点。表面增强拉曼散射（SERS）作为一种有力的痕量分子检测工具，可利用基底的表面等离子体共振耦合和电荷转移效应大幅增强目标分子的拉曼散射信号，具有高灵敏、简单、快捷、无损和特异指纹识别的特点，在气体传感领域具有突出的优势。对此，该研究通过化学生长与微纳加工相结合的方式在柔性多孔滤膜上制备了纳米氧化锌金属三维异质结构（图1），并利用酰胺反应选择性地捕获腐胺和尸胺分子，实现了低浓度气体分子的高灵敏定量检测（腐胺检测限：1.26×10-9 M，尸胺检测限：2.5×10-9 M），比同类研究报道的检出限高出2~3个数量级（图2）；另外，还实现了在液相中的超高灵敏度定量检测（腐胺检测限：3.2×10-16 M，尸胺检测限：1.6×10-13 M），比同类研究报道的检出限高出6~9个数量级，充分证明了该SERS传感器在液相与气相有机小分子检测的巨大潜力。鉴于该三维柔性SERS基底的多孔特性和优异的增强性能，将其与微流体装置和便携式拉曼光谱仪集成，搭建SERS快速检测系统，有望实现气溶胶中细菌、病毒和污染物的高效捕获与富集，充分发挥该三维基底在气溶胶的高灵敏检测领域的技术优势。研究工作得到国家自然科学基金委、江苏省重点研发产业前瞻项目、中科院科研仪器装备研制项目等项目的经费支持。 　　论文链接：https://pubs.acs.org/doi/abs/10.1021/acs.analchem.1c05013图1 基于三维玫瑰花枝状SERS传感基底构筑方法及有机气体分子检测策略图2.液相中（a-f）与气相中（g-l）不同浓度腐胺与尸胺的SERS光谱

现阶段，贩毒手段花样百出，毒贩们把The drug进行多层伪装，意图骗过检查而谋取暴利，The drug的快速检测对于推断The drug来源、抑制The drug传播和打击The drug犯罪都起着重要作用。公安以及海关缉毒等部门通常采用先快速筛查、再确证的方法查毒，也就是先用试剂盒或试纸条等快速判断The drug是否存在,然后用气相色谱-质谱联用技术进行最终的确认。试剂盒或试纸条一般基于胶体金免疫层析技术，具有简便和低成本优势，但是受限检测环境温度和人为操作的影响，干扰因素多，检测准确性低。而且对于混合物检测效果不明显，毒贩会在The drug中添加一些稀释剂（如葡萄糖、淀粉等）和一些掺假剂（如咖啡因、非那西汀等），这些掺入的成分分子量较大，分子极性强，它们与The drug构成的混合物会进明显干扰试剂盒或试纸条的可靠性，以至于对于浓度稍低的The drug混合物，试剂盒或试纸条经常出现假阳性或测不出结果。色谱、质谱等方法则操作复杂，耗材昂贵，检测时间长，不适合现场快速检测环节。厦门赛纳斯科技有限公司的革新技术（表面增强拉曼光谱技术）在The drug现场快速检测方面有着明显的优势。拉曼光谱作为分子振动光谱技术的一种，可以高灵敏度分析化学物质的结构和组成。其突出优点是可以实现非接触性和无损性检测；所需样品量很少，也无需进行复杂预处理，检测速度也很快，操作也简便；结合表面SERS增强技术，拉曼可以对The drug实现高灵敏度的探测。厦门赛纳斯手持式拉曼光谱仪SHINS-P1000，它采用1064nm激光光源，具有抗荧光干扰强，灵敏度高等卓越的光谱性能，轻巧便携的体积，采用革新技术（表面增强拉曼光谱技术）能够百万倍地增强痕量物中的拉曼信号，一键采集，无需接触样品，支持自建谱库，同时配有齐全的谱图库和强大的分析软件，几十秒内快速给出检验结果，现场执法拍照取证，智能辅助，并支持多种数据传输和数据管理，实现功能性与用户需求完美合一，为执法部门进行The drug快筛提供了一个很好的新工具。鉴于低纯度The drug的检测更具有实际意义，我们将海洛因、阿法甲基硫代芬太尼待测The drug稀释到100ppm，将样品滴在增强拉曼芯片上，使用厦门赛纳斯手持式拉曼光谱仪SHINS-P1000拉曼设备使用进行检测。下图展示了The drug检测结果由上图可以看出，这两种The drug均有丰富的拉曼特征位移峰，并且拉曼峰的信噪比较高，各种The drug的特征峰峰位相互间均有较大差异，比较容易区分出来。经过sers增强后，样品检测下限很低，并且检测时间可以控制在三十秒以内。测试过程中样品处理过程简单，这非常有助于现场快速筛查。

从成都高新区获悉，由成都太科光电技术有限责任公司承担的国家重点研发计划重大科学仪器设备开发项目《超光滑表面无损检测仪》正式启动。　　国家科技部高新技术研究发展中心、中国工程物理研究院、四川省科技厅、成都市科技局、成都高新区科技局相关负责人以及光学行业相关专家近百人参加了启动仪式。　　据了解，《超光滑表面无损检测仪》是国家“十三五”重点研发计划重大科学仪器设备开发项目，分别获得国家科技部2000万元、成都高新区200万元资金支持，由成都太科光电技术有限责任公司牵头，协同国内多家技术实力雄厚的大学、研究所和企业形成产、学、研、用相结合的项目团队共同实施。该项目拟研制用于非透明物体超光滑表面及具有多层超光滑平行反射面透明物体的纳米级表面形貌高精密测量的Φ 150 mm超光滑表面无损检测仪。该仪器主要用于高精度非接触测量，可以广泛的应用于高速集成电路、微电子集成电路、光电集成电路、半导体制造、半导体照明以及太阳能新能源电池等基片TTV、弯曲度、表面质量等关键参数的快速检测，还可应用于大型现代光学工程系统，如大型高功率固体激光系统、极紫外光刻、航空航天空间光学等领域中大口径元件面形、材料特性等参数测量。项目预期取得或申请发明专利、软件著作权、相关标准等25项相关知识产权，研究成果预计发表相关论文20余篇。　　“以受检测器件芯片为例，芯片是由多层构成且呈透明或半透明状态，受自干涉条纹等条件影响，传统接触式测量中其他表面会影响到待测表面的实际检测，且任何接触都会对芯片本身造成一定伤害。而超光滑表面无损检测仪采用非接触式测量，且采用多表面分离算法，该算法可以分离出待测表面的信息，避免受其它表面的影响。”成都太科光电相关负责人说，该项目的实施，可以提高国内面形检测的能力，实现多表面元件或平行平板的检测，使其主要技术指标达到或超过国外同类产品水平。项目完成后，将研制数台超光滑表面无损检测仪，形成具有自主知识产权的系列化产品和关键技术与产业化路线，为未来产业化发展提供工艺路线。预计项目验收后三年内，完善仪器产品化所有流程，基本形成产品化的标准工艺流程，企业产值达到上亿元。　　据介绍，该项目将通过专项带动，集成国内优势力量重点创新，以仪器系统化与集成化结合多表面干涉重叠条纹分离算法为突破口，解决高精度超光滑表面无损检测的关键技术瓶颈，实现高端超光滑表面无损检测仪器国产化，替代国外同类产品，打破国外公司的技术垄断和价格壁垒。项目仪器的研制将带动国内相关产业发展，超光滑表面无损检测仪将在半导体照明、太阳能新能源，高速集成电路、微电子集成电路、光电集成电路以及国家重大光学工程等相关行业和领域得到广泛的应用。改变现在采用的接触式测量方式，大大提高检测精度和测试效率，对于这些应用行业和领域具有巨大的带动和促进作用。　　“成都高新区鼓励企业开展自主创新，积极承担国家科技计划项目，提升研发水平和创新能力。”成都高新区科技局相关负责人说，获得国家重大科技创新项目立项支持且项目国拨资金到位的成都高新区企业，可按照国拨资金实际到位额的10%进行配套资助申请，同一项目申请金额最高不超过200万元，同一家企业同一年度申请该类资金额度最高不超过200万元。“未来五年，成都高新区将每年安排不低于10亿元资金、连续5年，支持知名大学科研成果在区内转化 每年安排不低于10亿元资金、连续5年，支持国内外顶尖企业研发中心在区内落户 每年安排不低于10亿元资金、连续5年，支持引进高端人才到成都高新区发展。”　　据悉，成都太科光电技术有限公司是国内专业从事集高精度光学干涉检测仪器研发、生产和销售于一体的高新技术企业。公司具有一支从事光学设计、软件开发、机械设计、电子控制等专业齐全、产品研制经验丰富的专业研发与产业化团队。2009年公司研制了国内首台Φ 600mm大口径波长调谐数字干涉仪，技术指标达到国际同类产品水平。获得了波长调谐相移分析技术、干涉测试技术等多项专利。在此技术基础上，公司已经形成了两大系列八个型号的系列化干涉测试仪器产品，占领国内产品市场的80%以上，并远销东南亚、俄罗斯等地。

不锈钢等离子清洗效果评估|钢板表面油脂污染情况检测方案测试说明客户：德国Relyon Plasma公司样品：不锈钢板测量设备：析塔清洁度仪FluoScan 3D污染物：福斯溶剂型防锈油Fuchs Anticorit MKR 4目标采用荧光法测量不锈钢表面污染情况，检查等离子清洗的效果及其影响参数。操作过程首先，将不锈钢板放在60°C的超声波清洗槽中，使用碱性清洗剂清洗15分钟，然后用去离子水彻底冲洗并干燥不锈钢板。随后，在不锈钢板上滴一滴Anticorit MKR 4防腐蚀油，并用实验室用布擦拭。然后，使用析塔FluoScan 3D清洁度检测仪，采用荧光法，高分辨率扫描钢板，检测钢板上的防腐蚀油分布。荧光法是一种对油膜厚度敏感的测量，测试结果以RFU（相对荧光单位）显示，RFU值越低，表面越干净。等离子清洗对于等离子体清洗，手持等离子体设置piezobrush PZ3被连接到析塔SITA FluoScan 3D（自动检测清洁度的测试台）的移动轴上，使得可以通过自动化进行等离子清洗处理。piezobrush PZ3在测试板上以编程的移动路径移动，同时等离子体以恒定的移动速度开启，并与钢板表面保持恒定的距离。为了说明速度（清洗时间）的影响，首先以2.5mm/s的速度进行处理，然后在清洗时间一半的位置上，以5mm/s的速度进行处理。测量结果图1：未清洗的不锈钢板上的荧光测量结果图2：等离子清洗后的不锈钢板上的荧光测量结果结论荧光测量的结果表明，使用等离子清洗的两个区域比钢板的其他部分干净很多。清洗时间越长，清洗效果越好。荧光法适用于在等离子清洗后轻松和快速地监测清洗结果，通过测量可以确定影响等离子清洗的参数，达到最佳的清洗效果，同时降低成本。使用析塔FluoScan 3D清洁度仪自动检测测量零件清洁度，高分辨率扫描零件，最终以图像化呈现零件污染程度不同的区域。析塔FluoScan 3D自动表面清洁度检测仪广泛运用在不同的清洗工艺（水基、溶剂、激光、等离子.....），可以灵活应用在实验室或生产车间。翁开尔是德国析塔中国独家代理商，欢迎致电咨询析塔自动清洁度检测系统。

安徽理工大学力学与光电物理学院青年教师蓝雷雷与东南大学物理学院邱腾课题组合作，制备出两种类型的二维碳化钒（V4C3和V2C）MXenes材料，并证明这种材料可以作为性能优异的表面增强拉曼散射（SERS）平台，其中V4C3作为SERS活性材料首次报道。相关研究成果发表于《美国化学会-应用材料与界面》。柔性二维碳化钒MXene基滤膜的SERS增强效果示意图 安徽理工大学供图表面增强拉曼散射作为一种具有高灵敏度、分子指纹识别和快速无损测量的表面光谱分析技术，将检测灵敏度提升了百万倍以上，已广泛应用于生命科学、物理、化学、材料学、地质学、考古和艺术品鉴定等领域。“比如将SERS技术应用于患者呼出物、血清液、脱氧核糖核酸的检测，为早期患者的疾病诊断提供一种有力分析手段；应用于海洋微塑料、大气有毒有害气体、水体有机污染物和土壤重金属的微量检测，实现对环境中有害物质的监测；还可实现对危害公共安全的爆炸物质和疑似吸毒人员体液毛发中含毒品物质的快检。” 蓝雷雷向《中国科学报》介绍。近年来，一些MXenes材料表现出相当强的SERS活性，为SERS活性材料发展开辟了新前景。但其瓶颈在于灵敏度不足，无法满足实际应用需求。因此，将MXene材料的灵敏度推向更高水平仍然具有挑战性。此次研究中，蓝雷雷等提出了一种新的增强策略，通过结合二维裁剪和分子富集来设计高灵敏度的柔性MXene基SERS衬底，成功制备出两种类型的二维碳化钒MXenes材料。“我们研究发现，与块状MXene材料相比，二维裁剪赋予碳化钒MXenes费米能级附近更为丰富的态密度，促进了光致诱导电荷转移，增加了多达2个数量级的检测灵敏度。”蓝雷雷说。进一步，研究人员采用了一种分子富集方法，实现了2分钟内超快速分子富集、超高分子截留率和更低的检测限，从而获得了超灵敏的SERS检测。蓝雷雷说，“这项研究有助于设计和开发出高性能的新型MXene基SERS基底，可用于食品安全、疾病诊断、反恐搜爆、毒品稽查、环境监测和病毒检测等领域。”审稿人认为：作者将二维裁剪策略与分子富集效应相结合，这是一项有趣的研究工作，新型碳化钒基底的SERS增强效果显著，其中V4C3作为SERS基底在这之前未曾报道过。通过简单抽滤的分析物富集概念为实现超灵敏的SERS检测提供了一种有效的策略。相关论文信息：https://doi.org/10.1021/acsami.2c10800

工件表面油脂污染度控制检测方案|析塔金属油污清洁度检测仪-翁开尔"安全控制油脂污染情况"清洁度参考指南是针对零部件清洗工艺或设备系统的研发人员、操作人员、生产链负责人以及测量人员。该指南制定目的是促进通过高效监控来保证工艺质量。德国FiT工业协会 （Fachverband industrielle Teilereinigung e.V.）已经认识到，相关行业需要针对油脂污染问题提出切实可行的质量保证及监控建议。基于现有技术，FiT整理了2015年到2018年历年来多个工艺实例、专家及用户经验，并制定了 "安全控制油脂污染情况"的相关参考指南。当今许多工业领域中，尽管厂家使用了最先进的生产技术，采用多道清洗工艺对零部件进行前处理，都不能完全解决零部件表面残留污染物对后续工艺造成影响，如喷涂、粘接、焊接等后续工艺的附着力不够、起泡、虚焊等问题。因此，零部件表面清洁度是产品及工艺质量的关键指标。生产厂家应借助高效精准的清洁度检测技术来测量零部件的清洗工艺和清洗后的污染物残留情况，从而进行有针对性的清洗过程，使零部件具有足够的清洁度来进行后续生产工艺（如焊接、连接、喷涂、粘接等）和检验成品质量。过去，厂家主要只检测颗粒物清洁度，而现在，他们越来越重视油污、油脂、成品油等有机污染物对产品质量的影响作用。膜状污染物往往是无法避免膜状污染物通常是指油污、油脂、防腐剂、涂料、冷却润滑油、切削油、粘接剂和其他生产助剂残留物、手汗和手指纹等。简单来说，膜状污染物可以理解为在零部件表面上呈现为一层薄薄的、非颗粒状的污染物质。油脂、成品油类和类似有机物的合格值制定众所周知，油脂、成品油类和类似有机物的污染物残留会影响后续工艺质量，如造成涂层附着力不良、起泡、虚焊、粘接不牢固等问题。故此，目前大部分相关行业规定了零部件需要达到合格的表面清洁度。当然，零部件表面没有污染物是最好的，但这只是一个理想状态。这种想法使所有生产厂家都认为，零部件表面油脂等污染残留物会影响后续工艺。虽然在生产过程中可以使用不含硅油的生产助剂，但多数工艺还是需要使用含有油脂的生产助剂。在原材料加工工艺中，冷却润滑剂、切削油等必要生产助剂必然含有天然或合成的油脂。因此，在实际生产中必须确定零部件表面清洁度合格值，使零部件拥有足够的清洁度来保证后续工艺质量。如今越来越多的制造工艺和终端应用重视零部件表面油脂、成品油、指纹等污染物质的残留情况，因此零部件制造商和清洗设备老板需要找到合适而高效的表面清洁度检测设备。为了满足不断增长的清洁度检测需求，FiT的《零部件清洗质量保证工艺控制指南》和《清洗工艺规划检查表》可以提供初步操作指导。而参考指南 "安全控制油脂污染情况"全面论述了这个问题。参考指南相关介绍该指南的前言部分给出了相关定义和术语，用于规范语言；随后解释了膜状污染物的出现、来源及其特性和影响。基于某些具体工艺、终端应用和行业，对检测膜状污染物在生产过程中的重要性日益重要进行了说明；在最后部分指出了本指南的适用范围。该指南能协助生产厂家内部研发、建立标准和优化生产和清洗工艺，保证整体工艺质量和最终产品质量重现性。同时也重点总结了零部件的清洗工艺、清洗前的初始状态以及目前适用的清洗化学和清洗工艺的解决方案。只有通过合适的清洁度检测、分析控制技术，才能从根本上获取到经过清洗工艺零部件的表面清洁度或污染程度。为此，它提出了一些最常见的适用检测方法，并特别强调了与应用有关的适用性和局限性。在最后，该文件概述了目前工艺监测的解决方案。实例部分本指南的实例部分将基础知识与零件清洗的典型应用关联起来，并提供解决方案，也给出了实际操作建议，便于厂家系统性设计出符合产品质量标准的清洗工艺，并能正确快速调整工艺参数。此外，该指南还指出了监测清洗工艺活性物质、污染物质以及检测整个生产链的零部件真实情况。除了需要确定油污、成品油等污染物来源和检测零部件表面清洁度，该指南还提出了零部件表面清洁度合格值的确定方法。根据某个典型应用，它介绍了实际使用过程中使用到的测量和分析控制技术，并说明了各种方法的优点和局限性。此外，它还提出了保证零部件表面清洁度合格的最佳处理工艺，便于厂家以合适的清洗工艺来设计和分析零部件。结合上述建议，生产厂家能借助高效表面清洁度检测仪器来快速监控并改善零部件的上下游清洗工艺。金属零部件表面清洁度最佳检测方案德国析塔表面清洁度仪能可靠精准量化零部件表面清洁度，是目前领先的污染物量化检测技术。该仪器采用共焦法原理，通过光源发射出最佳波长的紫外光探测金属表面的污染物，内置的传感器探测荧光强度，荧光强度的大小取决于零部件表面有机物残留情况。借助完整紫外光源与传感器的共同作用，析塔表面清洁度仪能快速准确量化基材表面的污染物含量。该仪器为客户提供便携式和在线式机型，全面满足工厂车间或实验室的快速监测清洁度的工艺要求，以评价清洁工艺质量，最大程度上避免人为主观判断带来的测量误差，显著增加工艺可靠性。可见，德国析塔表面清洁度仪能协助生产厂家直接判断零部件表面清洁度是否达到合格要求，稳定零部件加工过程中的清洗质量、实现量化控制！ 翁开尔是德国析塔SITA清洁度仪中国独家代理商，欢迎致电咨询。

可以利用维氏硬度压痕裂纹计算材料的断裂韧度，尤其适合表征硬脆材料的断裂性能。学者提出了很多半经验半定量的关系式。裂纹主要有巴氏（Palmqvist或径向）和中位（Median）裂纹两种形式，有些公式适用于特定的裂纹形式，有些公式对两种（Both）裂纹形式都适用。微米硬度实验设备简单，测试方便，分析直接，不仅在工程实践中有广泛应用，也是评估材料断裂韧度的有效工具。断裂韧度作为衡量材料抵抗裂纹扩展能力的力学性能指标通常用临界应力强度因子KⅠC表示，单位为MPam0.5。字母K为应力场强度因子，反映的是裂纹尖端区域应力场强弱；字母C指的是裂纹扩展的临界情况；下标罗马数字Ⅰ是指裂纹扩展形式为张开型，脆性材料的裂纹扩展类型为Ⅰ型。测量材料KⅠC的方法主要有：山形切口梁法(C. N. B)、单边预裂梁法(S. E. P. B)、表面弯曲裂纹法(S. C. F)、单边切口梁法(S. E. N. B)、单边V形切口梁法(S. E. V. N. B)、短V形切口杆法(S. R)、双扭法(D. T)、双悬臂梁法(D. C. B)、微米划痕法、纳米压痕法和维氏压痕法等。S. R、D. C. B和S. E. P. B法的测试试样难生产、成本高，难以广泛使用；S. E. N. B、S. E. V. N. B和C. N. B法加工试样缺口较困难；D. T法试件的几何尺寸会对测量值产生影响；S. C. F法必须要去除足够深度的表面层来消除残余应力场，才能保证KⅠC不被高估；微米划痕法需要考虑压头的磨损以确保测试结果的准确性；而压痕法具有制备试样简单、测试效率高、以及综合成本低等优点，已被广泛应用于表征陶瓷材料、硬质合金和玻璃材料的断裂韧度。虽然基于Griffith-Irwin平衡断裂力学的压痕法可以反映材料断裂的特征，有效表征材料的断裂韧度，但是使用压痕法确定KⅠC仍然存在不足，依然有争论，比如：诸多半经验半定量的公式在实际应用中受到裂纹模式(径向，中位，横向等)多样复杂的影响，计算的KⅠC结果不可靠；不适用于低泊松比的材料。如何根据不同的材料、不同的压头选择适合的公式和载荷，是当前利用压痕裂纹法表征材料断裂韧度亟需解决的问题。各种依据维氏硬度压痕裂纹长度计算断裂韧度的表达式列于表1，对于不同的裂纹模式有不同的表达式。裂纹主要有两种类型，见图1：一种是基于半椭圆型的中位裂纹(Median crack)；另一种是基于半月状的巴氏裂纹(Palmqvist crack)或径向裂纹(Radial crack)。可以基于曲线拟合的方法得到同时适用于两种(Both)裂纹模式的表达式。典型硬脆材料的压痕裂纹见图2，需要测量压痕的接触半径a和裂纹长度c，可以计算得到l=c-a。维氏硬度HV可以由载荷F除以残余压痕面积AV得到：式中，AV考虑了压痕的倾斜表面(sin68°可以由压头形状获得)，而不是压痕的投影面积；d (= 2a) 是压痕两个对角线长度的平均值；当F和d的单位分别是mN和μm时，维氏硬度的单位是GPa。值得注意的是工程上使用的维氏硬度没有单位，而且相关标准里面也没有单位，这不利于各种测试方法的比较，无法有效服务于科学研究。可见，即使维氏硬度如此基础、简单、成熟，仍然有待进一步发展。由于仪器化压入的兴起，压入硬度HIT是根据投影面积定义，并且努氏硬度HK也是根据投影面积计算，传统的维氏硬度HV可以通过投影面积转换成梅氏硬度(Meyer hardness)HMV(=2F/d2), 便于各种硬度之间的比较。表1中的维氏硬度HV也可以转换成HMV。表 1 利用维氏硬度HV计算材料的断裂韧度Kc[1]注: ϕ = 3, β2 = 0.059[15], Φ = -1.59-0.34ξ-2.02ξ2+11.23ξ3-24.97ξ4+16.32ξ5, ξ = lg(c/a). E是材料的弹性模量. Hv可以在每个载荷下多次测量取平均值，作为某一载荷下的Hv.图 1 维氏硬度压痕裂纹模式示意图图 2 典型硬脆材料的维氏硬度压痕裂纹[1, 15, 16]作者简介刘明，福州大学机械工程及自动化学院教授，全国钢标准化技术委员会力学及工艺性能试验方法分技术委员会金属材料微试样力学性能试验方法工作组（SAC/TC183/SC4/WG1）委员，ISO 14577系列国际标准制修订国内工作组成员。1985年出生于哈尔滨市，哈尔滨工业大学材料科学与工程学院本科、硕士，2012年12月获肯塔基大学（美国）材料科学与工程专业博士学位，法国巴黎高科矿业工程师学校材料研究所博士后，华盛顿州立大学（美国）博士后。2015年4月入职福州大学机械工程及自动化学院机械设计系力学教研室，获评福建省闽江学者特聘教授、福州大学旗山学者海外人才、福建省高层次境外引进C类人才，主要研究领域为微观力学及仪器化压入划入测试方法。作者邮箱：mingliu@fzu.edu.cn QQ：290716672 微信：hasanzhong参考文献[1] M. Liu, D. Hou, Y. Wang, G. Lakshminarayana, Micromechanical properties of Dy3+ ion-doped (Lu Y1-x)3Al5O12 (x = 0, 1/3, 1/2) single crystals by indentation and scratch tests, Ceramics International, 49 (2023) 4482-4504.[2] K. Niihara, A fracture mechanics analysis of indentation-induced Palmqvist crack in ceramics, J. Mater. Sci. Lett., 2 (1983) 221-223.[3] Z. Laiqi, H. Yongan, H. Lei, L. Jun-pin, Determination of empirical equation of fracture toughness for Mo5SiB2 alloy by indentation method, Trans. Mater. Heat Treat., 38 (2017) 178-183.[4] M. Laugier, New formula for indentation toughness in ceramics, J. Mater. Sci. Lett., 6 (1987) 355-356.[5] D. Shetty, I. Wright, P. Mincer, A. Clauer, Indentation fracture of WC-Co cermets, J. Mater. Sci., 20 (1985) 1873-1882.[6] B.R. Lawn, M. Swain, Microfracture beneath point indentations in brittle solids, J. Mater. Sci., 10 (1975) 113-122.[7] K. Tanaka, Elastic/plastic indentation hardness and indentation fracture toughness: the inclusion core model, J. Mater. Sci., 22 (1987) 1501-1508.[8] B.R. Lawn, E.R. Fuller, Equilibrium penny-like cracks in indentation fracture, J. Mater. Sci., 10 (1975) 2016-2024.[9] A.G. EVans, E.A. Charles, Fracture toughness determinations by indentation, J. Am. Ceram. Soc., 59 (1976) 371-372.[10] K. Niihara, R. Morena, D. Hasselman, Evaluation of KIc of brittle solids by the indentation method with low crack-to-indent ratios, J. Mater. Sci. Lett., 1 (1982) 13-16.[11] G. Anstis, P. Chantikul, B.R. Lawn, D. Marshall, A critical evaluation of indentation techniques for measuring fracture toughness: I, direct crack measurements, J. Am. Ceram. Soc., 64 (1981) 533-538.[12] C. Terzioglu, Investigation of some physical properties of Gd added Bi-2223 superconductors, J. Alloys Compd., 509 (2011) 87-93.[13] J. Lankford, Indentation microfracture in the Palmqvist crack regime: implications for fracture toughness evaluation by the indentation method, J. Mater. Sci. Lett., 1 (1982) 493-495.[14] J.E. Blendell, The origins of internal stresses in polycrystalline Al2O3 and their effects on mechanical properties, Massachusetts Institute of Technology, 1979, pp. 1-47.[15] M. Liu, Z. Xu, R. Fu, Micromechanical and microstructure characterization of BaO-Sm2O3–5TiO2 ceramic with addition of Al2O3, Ceramics International, 48 (2022) 992-1005.[16] 刘明, 侯冬杨, 高诚辉, 利用维氏和玻氏压头表征半导体材料断裂韧性, 力学学报, 53 (2021) 413-423.

日前，仪思奇（北京）科技发展有限公司杨正红总经理在长沙举办的“锂电及多孔材料的粒度和形貌表征技术进展研讨会”上高调介绍了Xigo系列胶体和悬浮液颗粒比表面积分析仪。在液体中测颗粒的比表面积？是的，你没有看错——测定胶体、乳液和悬浮液中颗粒的比表面积！ 有什么用途？ 浆料体系的颗粒比表面积与颗粒在体系的分散状态有关。比表面积能反映材料的许多性能，例如：涂料的遮盖能力，纳米颗粒的改性和包覆效果，乳液或浆料配方的稳定性，催化剂的活性、药物的疗效以及食物的味道等等。但是，目前的经典方法是气体吸附法测干燥固体的比表面。然而，绝大多数的样品无论是在生产过程中还是最终使用时，却都是分散在液体中，通过制浆过程形成终产品。因此，必须知道样品在悬浮液状态下的比表面信息，而固体样品的比表面积不具有代表性。美国Xigo Nanotools公司为我们提供了革命性的技术手段，使得电池隔膜用陶瓷浆料、锂电池正负极浆料、电子浆料、墨水、石墨烯和碳纳米管浆料以及原料药批次间的质量控制有了快速简便的解决方案，并且结合美国分散技术公司（DT）的声学技术，可为浆料体系和纳米粒子的粒度、表面化学状态或吸脱附状态及微观电学性质的研究，为破解导致不同批次之间差异和配方不稳定的原因提供了强有力的武器。 什么原理？Xigo系列采用专利的核磁共振技术（中国专利号：ZL200780016435.3），探知乳液或悬浮体系中“颗粒”与“溶剂”之间的表面化学、亲和性、浸润性，并在该状态下计算颗粒的比表面积。这一划时代的分析手段可以直接测量悬浮液，无需样品处理，无需稀释，无颗粒形状的限制，测量过程仅需5分钟，对研磨和粉碎过程可基本实现实时监控。因此，该方法对任何大小、任何形状的固体或液体颗粒，特别是高浓体系样品是最理想的选择。由于软件可以自动设定所要优化的测量参数，操作者几乎不经培训即可操作，它将在品质管控和改善、缩短开发时间和工艺配方的筛选等方面提供助力。 仪思奇科技同时宣布，即将引进法国高端技术公司（Cordouan Technologies）的产品进入中国，包括Vasco kin原位时间分辨纳米粒度分析仪和MAGELLAN（麦哲伦）痕量纳米颗粒浓度测定仪。 Vasco kin 的突出特点就是不接触样品，原位远程测定包装物及反应釜中的粒度分布及随时间的变化，具有极高的分辨率，并且可以和其它分析手段联用。为制药行业的反应监测和药瓶中的蛋白质聚集体纳米阶段的生成监控，甚至监控和研究中药汤剂在加热过程中的粒度变化都提供了有效的技术手段。同时，也是环境科学、功能化油墨，油田化学、锂电材料、催化剂、化妆品和食品等领域的动力学研究工具。 MAGELLAN（麦哲伦）痕量纳米颗粒浓度测定仪用于水中纳米颗粒的痕量表征，灵敏度高于传统的动态光散射技术一万倍，浓度测定低至ng/L的范围，可对10nm到1000nm之间的颗粒进行计数，为水处理在线监测、超纯水监测、滤膜效率及完整性监测以及过滤工艺、污染检测等提供了前所未有的计数手段。结合法国ZetaCAD流动电位分析仪，MAGELLAN将引领我国膜分析技术跨上新台阶！仪思奇（北京）科技发展有限公司是“产学研商网”一体的仪器技术研发及应用推广的仪器科技创新与服务平台。公司致力于在新能源领域、生物医药、催化基础与应用研究等领域的颗粒特性表征的前沿仪器产品和技术的引进与推广。自2019年6月起，仪思奇（北京）科技发展有限公司正式成为美国XIGO NANOTOOLS公司在中国区的总代理，全权负责该公司全系产品在中国境内的推广销售及售后服务工作。法国高端技术公司（Cordouan Technologies）全新纳米测量仪器的引入，更是填补了国内纳米科学研究技术手段的空白，对仪思奇目前拥有的Occhio图像法粒度粒形和zeta电位分析技术，超声法粒度和zeta电位分析技术是一个完美的补充，使公司能够提供（粒度）从纳米到厘米，（固含量）从极稀到极浓的体系的全方位解决方案，纳米颗粒分析研究将如虎添翼！