比积测量

近年来，生物传感设备的深入研究和进步大大提升了人类监测各项生命体征的手段，可以帮助医生更快速、便利、准确地了解患者的健康状况，但是，因血压的准确性可能受到紧张情绪的影响（如“白大衣性高血压”等），所以快速、便捷、轻松的血压测量和持续的血压监测技术仍存在较大需求和开发空间。　　近日，来自密苏里大学的研究团队通过光电容积脉搏波传感器测量脉搏波速度，实现了对血压的测量，有望为开发一种新型的指夹式血压测量工具提供了理论基础。相关研究成果发表在《IEEE Sensors Journal》上，题为“Toward Robust Blood Pressure Estimation from Pulse Wave Velocity Measured by Photoplethysmography Sensors”。　　科学家们设计了一种基于两个光电容积脉搏波 (PPG) 传感器开发的血压测量单元，从中可以得出血流的脉搏波速度 (PWV)，在两次心跳之间收集的后续的 PPG 波形稳定时间差用于计算PWV，一旦收集到PWV的数据，信息就会自动无线传输到计算机中，以通过机器学习算法进行信号处理和血压计算。　　这项研究取得了较为理想的通过非侵入性血压测量设备测量血压的准确率，并同时可以测量心率、血氧饱和度、体温和呼吸频率等生命体征，该项研究仍需要更大样本量的数据验证最终的准确性，这为未来开发一种指夹式生命体征监测便携设备提供了一定的设计构想和理论基础。　　论文链接：　　https://ieeexplore.ieee.org/document/9646921/metrics#metrics　　注：此研究成果摘自《Ieee Sensors Journa》，文章内容不代表本网站观点和立场，仅供参考。

积分球是光测量的主要工具之一。积分球可以同时捕获一个光源发出的所有辐射。制造商和最终用户发认为在进行光测量时，测量灯的几个主要特性尤为重要。分别是流明值，颜色和效率（每瓦特能源输出多少流明）。流明是通过对人眼视觉函数加权光谱辐射通量来确定的。在本文中，我们将简要介绍用于确定光通量的两种基本类型的仪器：光度计和分光辐射度计。 光度计是一种根据光度系统直接测量光的测光仪器。光度计需要使用含有滤光片的探测器，该探测器近似于人眼的相对光谱响应。关联的光谱响应通常称为CIE发光效率函数，Vλ函数，或更常见的称为人眼视觉函数曲线。分光辐射计，如我们的IllumiaPlus2系统，允许您直接测量光源的光谱辐射通量，然后将光谱响应应用于光谱数据并计算出高精度的流明值。从积分球分光辐射计中获取光谱信息的性能优势是：1）更好的流明计算，2）色度坐标的计算，3）显色指数的计算。 分光辐射计是准确确定光源光通量的完美选择。使用分光辐射计时，所有光谱数据都唾手可得。光谱数据易于转换以转化为重要的颜色指数，例如色度，相关色温和显色指数。另一方面，使用带有滤光片探测器的光度计测试时，不可能对CIE发光效率函数进行完美的模拟，并且会导致测量误差。要了解有关使用积分球分光辐射计进行光测量的更多信息，请观看这个视频系列，我们演示了使用我们的IllumiaPlus2光测量系统的程序。Labsphere是光测量和积分球设计的行业领军者之一。我们期待了解更多您所面临的应用程序挑战

自2019年5月20日起，新的国际单位制正式实施，其中质量的单位千克启用了基于普朗克常数的新定义。能量天平是我国自主的千克新定义复现方案，该方案由中国计量科学研究院张钟华院士提出。能量天平利用电磁力做功与电磁场能量变化之间的转换与平衡，建立普朗克常数与被测砝码质量之间的桥梁。图1 能量天平结构示意图与测量原理电磁力做功量的测量涉及电磁力大小的测量和线圈相对位移测量两方面。因此，悬挂线圈与激励磁体的相对位移测量系统至关重要。它不仅实现了能量天平对于“米”的量子化基准的溯源，而且在保证能量天平积分区间的一致性上也发挥了关键作用。能量天平采用外差激光干涉测量系统对悬挂线圈与激励磁体的相对位移进行测量（图2），但该干涉测量系统存在较大的光学闲区（图3），进而影响了能量天平在空气环境中运行时位移测量的准确性。图2 能量天平激光干涉测量系统图3 能量天平光学闲区示意图近日，发表于《计量科学与技术-中国计量科学研究院专刊（2022）》的文章“能量天平激光干涉测量系统闲区长度测量方法研究”，对能量天平干涉测量系统中闲区长度测量方法进行了分析与讨论。主要成果（1）提出了基于真空/空气环境光程差测量的光学闲区长度测量方法。该方法利用能量天平的真空系统改变光学闲区的空气折射率；利用激光干涉系统测量折射率改变过程中的光程变化，进而测得光学闲区的长度，将原毫米量级的闲区长度测量不确定度抑制至4 μm，大大提高了光学闲区长度的测量能力。（2）利用光学闲区长度表征的绝对距离，实现了对能量天平激励磁体与悬挂线圈间相对零位的测量，以保证悬挂线圈系统位于磁体的均匀区范围。该相对零位的标准测量不确定度达到了54.2 μm。此项研究得到了国家自然科学基金青年基金项目(51805507)的支持。能量天平科研团队简介重新定义千克曾被《Nature》列为世界性的科研难题。张钟华院士向这一科研难题发起了挑战，提出了基于全静态测量的能量天平方案，该方案被《Metrologia》列为国际三种千克量子化定义与复现方法之一。目前，能量天平由李正坤研究员带领的年轻团队接力攻关。该团队连续攻克了高匀场激励磁体设计、准静态磁链差测量、外磁屏蔽方法优化、真空超精密几何量测量、能量天平准直误差理论与技术、超高直线度重载驱动方法与装置等一系列科研难题，建立了第二代能量天平装置NIM-2，其实物图如图5所示。该装置于2019~2020年间，代表中国参加了千克新定义后的首次千克复现方法国际关键比对（CCM.M-K8.2019）。经国际计量局对各国的数据综合评定，能量天平的测量结果与比对参考值（KCRV）的相对偏差为1.17E-8，相对标准不确定度为4.49E-8，比对结果如图6所示。该测量数据已成功用于首个国际质量共识值（the Consensus Value）的评定，进而用于SI新定义后全球质量量值传递。能量天平的研究工作，为建立我国自主的质量量子化基准装置提供了重要的技术支撑。图5 能量天平装置实物图图6 首次千克复现方法国际关键比对（CCM.M-K8.2019）比对结果

日前，海克斯康宣布推出全新的v2.0版绝对臂测量机，最高工作温度可达45℃，能满足IP54防护等级要求，有效实现防水防尘，即使在最具挑战性的严苛环境中使用，也能轻松完成各种测量任务。本次产品升级涵盖Compact、6轴和7轴在内的绝对臂测量机全系产品，除了测量适应性得到了提高之外，新机型在产品性能、易用程度、测量效率等方面也都有了进一步的提升，并能借助Sfx资产管理平台对设备状态和当前位置进行有效的实时监控。让测量无处不在海克斯康便携式测量臂产品总监Anthony Vianna解释说：“在过去的几年里，我们看到了测量臂使用环境的变化，之前用户往往都是在干净整洁的计量室里使用，而现在则是直接在车间现场、加工中心、铸造车间等较为恶劣的环境中使用。我们希望客户无论在什么地方测量，都能对测量设备和检测结果感到放心。绝对臂近年来在小型企业用户中很受欢迎，但他们可能不像大公司那样，拥有完善的基础设施和测量环境。我们愿意倾听客户的意见，并为他们提供有必要的产品改进和技术支持，而这也是绝对臂此次更新如此重要的原因。”IP54防护等级：满足极端工作环境要求绝对臂测量系统满足IP54防护等级要求，最高工作温度可达45°C，再加上绝对臂测量机本身具备的便携性与多功能性，可以完美地满足高温、多尘等极端工作环境的要求。例如Compact系列绝对臂，就能够直接放在布满油污和金属屑的加工中心中，实现超高精度的在机测量。便携性再度升级：让扫描测量更灵活为了进一步提高现场测量过程的便利性，减少用户在设备和计算机之间来回奔波操作，本次产品更新还将7轴绝对臂腕部升级为触摸屏，方便用户直接查看结果和对软件进行操作。此外，绝对臂配合无线模块包，能实现真正的超高速无线扫描，加上其内置的高性能电池供电，可以真正地将测量工作带出计量室。资产管理方案集成：随时随地监控设备新款绝对臂测量机可以与海克斯康SFx 资产管理解决方案配合使用，能对设备进行远程跟踪和监控， 用户可以很容易地了解每台测量臂所在的位置和状态，确保每一台绝对臂都具有可靠的精度，而在设备发生故障时，用户甚至可以收到实时的警报提醒。全新升级的绝对臂测量机凭借极限环境适应性、无线连接便捷性以及设备监控灵活性等特点，保证了测量工作随时随地开展，成为智能工厂数据采集与质量监控的眼睛，让测量无处不在。发展源自创新，更多产品提升即将展现，敬请期待。

色彩测量技术积分球结构的几何特性及优势一、d/8º 积分球测量结构及其特点积分球是一种内部壁面呈现白色的球形设备，以其卓越的反射和散射性能被广泛应用于测量光源的色度和强度。在进行颜色测量时，该设备特设多个孔口以便于操作。主要包括一个测量孔，用于与测试样品紧密结合；对面设置一个观测孔，或称为接收器孔，位于测量孔的直接对面，通常与球体法线成8º 角，主要功能是收集样品反射的光线；另外，与观测孔在球体法线上对称的位置设置有一个镜面反射孔，该孔可根据需要开启或关闭，以控制是否收集镜面反射光。这一几何结构被称为d/8º 积分球测量结构，其独特的设计使其在颜色测量领域中具有重要应用。d/8º 测量结构示意图在操作过程中，光从光源发射，经积分球的内壁进行全面的漫反射，使得这些散射光线能够均匀地从各个角度照射到试样上。这导致试样吸收和反射光线，其中定向于8度的反射光被接收器捕获以进行颜色评估。因此，与0度/45度的测量配置相比，d/8度积分球测量结构的一大特点是使用的是漫射光源，这相当于周围环绕着无数个点光源，而非0度/45度配置下的单一光源。其次，接收器位于8度位置，利用可开闭的对称镜面反射孔，可以选择性地收集包含镜面反射（SPIN）的数据或排除镜面反射（SPEX）的数据。包含镜面反射与排除镜面反射光路示意图根据所述分析，当光线投射到样本上时，会经历吸收、散射以及镜面反射的过程。样本表面的物理特性决定了光线的传播方式：平滑表面导致高光泽和较强的镜面反射，同时散射较少；相反，粗糙表面导致低光泽、较弱的镜面反射和较强的散射。因此，对于具有相同材料但光泽不同的样本，当考虑镜面反射时，测量结果显示一致性（即1＋2＝2＋1），这代表了材料的固有颜色，也就是其真实色。然而，在排除镜面反射的情况下，样本之间的差异变得明显（1≠2），这些数据反映了材料特性与表面物理状态的综合效应，代表了表观色，更贴近于人眼观察到的效果。镜面反射数据的包含与排除之间的主要区别由镜面反射光引起，其强度随样品的光泽度变化而变化。因此，样品的光泽度直接影响了在包含与排除镜面反射条件下数据的差异程度。对不同光泽度的涂层在这两种条件下进行测量，得到的色度数据及其差异情况如表所示。不同光泽的样品包含与排除镜面状态的数据差异涂层的光泽程度对包含镜面反射的数据影响较小，但对排除镜面反射的数据有显著影响。随着样品光泽度的增加，排除镜面反射条件下的明度值会降低，导致与包含镜面反射数据的差异增大。积分球技术已广泛应用于多个行业，尤其是在纺织印染和塑料制品检测中，它成为了首选工具。积分球结构能够适应从低光泽到高光泽的样品（如金银卡片和电镀产品），甚至能够检测具有简单特殊效果的涂料。由于积分球仪器能测量样品的真实色，它通常被选用于电脑配色系统中的分光光度计。积分球作为该结构中最关键的组件之一，其内壁采用高漫反射材料制成，因此成本相对较高。为确保测量数据的精确性，需要进行良好的日常维护，以维持其卓越的漫反射性能。二、产品推荐便携式分光光度仪Ci64便携式分光光度仪Ci64是高精度的色彩测量工具，专为满足各种行业对色彩精确度和一致性要求而设计。该仪器特别适合于纺织印染、塑料制品等行业的色彩检测，无论是对于低光泽还是高光泽样本，如金银卡或电镀产品，Ci64均能提供卓越的性能。它甚至能够精确测量具有特殊效果的涂层，如珠光或金属光泽涂料。Ci64结合了积分球测量技术的优势，包括能够在包含或排除镜面反射的条件下进行测量，从而确保了对样品真实色的准确捕获。这种灵活性使得Ci64在电脑配色系统中尤为重要，因为它可以提供关键的色彩数据以支持精确配色。该仪器的设计考虑了易用性和便携性，使得现场测试变得简单快捷。Ci64的内壁使用高漫反射材料制成，确保了测量过程中光线的均匀分布，从而提高了数据的准确性和重复性。然而，为了维持这种高度的漫反射性能和数据精度，Ci64需要适当的日常维护。三、关于爱色丽“爱色丽彩通 ”总部位于美国密歇根州，成立于1958年。作为全球知名的色彩趋势、科学和技术公司，爱色丽彩通提供服务和解决方案，帮助品牌、制造商和供应商管理从设计到最终产品的色彩。如果您需要更多信息，请关注官方微信公众号：爱色丽彩通

一、 前言根据自有设备情况选用公司齿轮测量机、三坐标测量机作为数字化设备，分别对双联行星轮对齿精度进行测量。通过分析测量过程及测量结果，对三坐标测量机间接测量法进行改进，即通过对大小齿轮轮廓进行扫描，构造虚拟量棒直径计算对齿角度偏差，并根据这种测量方法编制了三坐标自动测量程序，提高了检测效率及准确性，保证产品的合格率至98%以上。二、实施背景（一）背景近年来，为降低矿山运输行业成本，提高效率，大型工程运输车开始设计生产，其中轮式自卸车比较热门，一直占据市场主导地位。当前，全球每年轮式自卸车销售额高达100亿美元以上，并且连续6年保持30%的增长率，足以说明一个新兴品类正在崛起。（二）现状轮式自卸车电动轮组成的主要部件为双联行星轮。行星齿轮传动与普通齿轮传动相比，具有重量轻、体积小、传递功率大、结构紧凑、承载能力高等一系列优点，在工业领域应用广泛。在行星传动的各种型式中,NW、NN及WW三种型式的行星齿轮为双联齿轮，当前国内研制和承接的轮边减速器产品中，NW型双联行星轮组的制造工艺难度系数最大。目前，只有GE、西门子等极少数国际大公司具备制造高品质双联行星轮组的能力，形成市场垄断，利润高达500%。最近几年，国内研制了多种双联行星轮组对，但制造过程复杂，工艺和产线瓶颈较多。大多数公司只能选择自行配对组装，但却无法满足与客户整机零件的互换，与行业中成熟产品存在较大差距，产品的销价差别也很大。 （三）实施的紧迫性目前，中车戚墅堰所已涉及共计6款双联行星轮的研制，双联行星轮不仅可以作为零部件安装在总成上，还可以作为成品进行销售。通常双联行星轮需要经过热套、精磨轴承档、磨齿修正三个工序，每个工序都要检测对齿精度，只有保证每次检测的稳定和效率，才能使成品的对齿精度控制在顺逆30秒以内。为攻克目前产品中对齿精度检测的难点，本文对轮边减速器中的行星轮组对齿精度的相关工艺及检测要求进行了讨论分析，助力企业有效地提高生产效率，降低质量风险，固化生产周期并降低生产成本。三、测量方法及改进（一）间接测量方案及参数确定1.双联齿轮对齿技术简介行星齿轮机构传动是指二个或三个双联行星齿轮工作时与太阳轮、内齿轮同时啮合而形成的传动系统。双联行星齿轮对齿在技术条件上一般要求上下联的齿或槽中心对正，常用的对齿和测量方法是用插齿刀对齿，用圆柱棒进行偏差测量。2.测量设备配置检测设备配置如下表1所示，三坐标测量机是20世纪60年代发展起来的一种高效率的新型精密测量仪器。它的优点是：(1)通用性强，可实现空间坐标点的测量，方便地测量出各种零件的三维轮廓尺寸和位置精度；(2)测量精度可靠；(3)可方便地进行数据处理和过程控制。因此，它被纳入自动化生产线和柔性加工线中，并成为一个重要的组成部分。齿轮测量机主要用于测量齿轮的轮齿精度，包括齿形、齿向误差、周节累积误差、径向跳动误差等，测量精度高。表1 检测所用设备设备名称型号生产厂家三坐标测量机MMZ G 303020德国蔡司ZEISS齿轮测量机P65德国克林贝格3.测量参数的确定选用1Z057双联行星轮作为测量件，它是由小行星轮和大行星轮组合而成的。(如图1) 图1 1Z057双联行星轮选用三坐标测量机进行对齿精度测量时，首先要确定测量圆柱棒的直径。通过查阅1Z057 双联行星轮的设计蓝图，了解大小行星轮的参数，再根据参数信息计算最佳圆柱棒直径进行测量。为保证测量结果的准确性, 量棒直径不可太大, 也不可太小；若直径太大,与齿廓的接触点有可能超出大径，若直径太小, 则量棒外圆将与槽底接触。以上两种情况都无法得出正确的测量结果。为避免这些情况,选择量棒直径时,应使量棒外圆与齿廓的接触点落在分度圆及其附近的任意位置上,一般在距小径的(1/ 3~ 2/ 3 齿高之间为宜。当量棒外圆与齿廓的接触点落在分度圆上时,可通过公式1得出量棒直径。 公式（1）其中dp是量棒直径，db是分度圆直径，α是齿形角，Z为齿数，对于渐开线标准圆柱齿轮db=mz；小行星轮模数为8.367，齿数为17，齿形角为25度。经计算最佳量棒直径为φ16.771；大行星轮模数为8.175，齿数为72，齿形角为25度。经计算最佳量棒直径为φ15.797。4.间接测量方案根据公式（1）计算结果，我们选用φ16的量棒进行间接测量，测量方法如图2。 图2 测量小行星轮（左）；测量大行星轮（右）先扫描上下两个轴承档连成公共轴线，确定轴线基准。将φ16的量棒卡入齿槽内，用探头确定量棒中心位置，建立坐标系，计算出上下中心的偏移量，得出对齿角度偏差。图3为测量数据报告，根据偏移量的正负值确定顺逆方向。 图3 测量数据5.数据验证选用齿轮测量机进行测量，首先找正双联齿轮的轴承档，输入大小行星轮参数，选择角度测量软件，自动扫描轴承档，确定基准中心线，然后扫描大小行星轮齿槽左右齿面的齿形轮廓和齿向轮廓，确定齿槽中心线，通过软件计算，得到偏转距离，从而得出对齿角度。测量过程如图4，数据报告如图5。 图4 测量小行星轮（左）；测量大行星轮（右）图5 测量数据6.数据对比及测量存在的不足通过量棒间接测量的对齿角度为44秒，而齿轮测量机测量结果为1分05秒。以齿轮测量机测量结果为参考值，两次测量存在21秒偏差，偏差交大。对比两种测量方法，间接测量法以手动操作为主，人为不确定性较大；齿轮测量机通过扫描齿形轮廓和齿向轮廓确定齿槽中心线，得出对齿角度，数据精准性较高，但是起吊、找正及测量时间较长，效率低下，无法满足生产进度。（二）对齿精度检测工艺优化改善间接测量法测量结果偏差较大，特对其进行改进。首先选取小齿轮的上端面作为空转方向，小齿轮上端圆作为圆心，小齿轮两边对齿的中心点作为旋转方向建立初定位坐标系；通过初定位坐标系，三坐标测量机能够快速准确地扫描工件的上下两个轴承档并使其公共轴线成为基准；再通过三坐标测量机运用未知曲线扫描功能对上下齿轮中部（即齿向最高点）的齿槽两边进行扫描，得到2条V形曲线（如图6）。构造与V形曲线相切的两个虚拟圆形，小行星轮选择直径为φ16.771的圆，大行星轮选择直径为φ15.797的圆（如图7）。以轴线作为基准，小行星轮虚拟圆圆心到轴线的连线作为方向基准建立坐标轴。通过计算两个虚拟圆圆心到轴线连线的夹角得出对齿角度。 图6 扫描程序图7 小行星轮拟合圆（左）；大行星轮拟合圆（右）表2 双联行星轮对齿角度数据序号改进前（三坐标）改进后（三坐标）（齿轮仪）方向10’40”0’22”0’20”顺时针20’38”0’18”0’20”顺时针30’42”0’23”0’20”逆时针40’20”0’13”0’10”逆时针50’15”0’36”0’35”逆时针60’40”0’51”0’50”逆时针70’28”0’9”0’12”顺时针80’30”0’13”0’13”顺时针90’5”0’21”0’20”顺时针100’13”0’35”0’35”顺时针110’30”0’15”0’12”顺时针120’28”0’10”0’12”逆时针130’5”0’24”0’20”顺时针140’45”0’24”0’25”顺时针150’5”0’25”0’23”顺时针160’10”0’30”0’29”顺时针170’5”0’20”0’20”顺时针180’30”0’10”0’5”逆时针190’24”0’23”0’25”逆时针200’19”0’40”0’38”顺时针210’28”0’14”0’10”顺时针220’13”0’32”0’30”顺时针230’10”0’30”0’32”顺时针240’40”0’25”0’25”顺时针250’15”0’33”0’30”顺时针260’29”0’22”0’20”逆时针270’42”0’22”0’25”顺时针280’8”0’29”0’28”逆时针290’28”0’16”0’12”逆时针300’40”0’20”0’21”顺时针平均偏差0’16”0’2”表2为30件工件的测量数据，以齿轮仪测量结果作为参考值。对比可见，改进前的数据平均偏差为16”，改进后的数据平均偏差为2”，表明改进后三坐标测量数据的稳定性及精确度都有了进一步提升，与齿轮仪的测量数据偏差较小，满足设计要求，提升测试效率，为双联行星轮的加工提供了强有力的数据支持，也为公司打破垄断走向市场提供了关键的检测技术支持。四、实施效果及意义通过对间接法进行改进优化，三坐标测量机适用于各类型双联行星轮组的对齿精度检测。对齿精度检测工艺的优化，也大大提升了产品合格率，取得了巨大成效，主要有以下4个方面。1.双联行星轮对齿精度合格率达98%；2.双联行星轮制造成本降低10%，产品质量和市场竞争力获得极大提高；3.双联行星轮的检测周期缩短20%，由以前的2天以上缩短至1天；4.双联行星轮可实现90%成品的对齿精度在正负30秒以内，媲美GE、西门子等公司同类产品要求。参考文献[1] 王兰群 张国建.渐开线花键M值得测量及量棒直径的选择 2005.9.1[2] 张志宏 张和平 双联行星齿轮模拟装配 2005.8.26[3] 郭海风 张丽 双联行星齿轮对齿技术 1994.1.1本文作者：中车戚墅堰机车车辆工艺研究所有限公司计量检测工程师 蒋瑞骐

在基于垂直腔面发射激光器（VCSEL）的激光雷达和面部识别系统中，对激光束的多属性评估至关重要。这些属性包括功率、频谱和时间脉冲形状，它们共同决定了激光性能的优劣。然而，捕获和准确测量这些属性，特别是对于准直、发散、连续和脉冲光源，极具挑战性。Labsphere的多功能激光功率积分球和传感器凭借其出色的性能和精确度，为解决这些问题提供了有效方案。我们可根据您的需求提供激光功率测量积分球。选择不同的尺寸和涂层以满足您特定的测试激光功率水平。同时，根据测试激光的波长以及光学探测器的光谱响应度校准范围，我们可为您定制最合适的光学探测器，确保满足您的所有需求。特点确保激光器发出的功率能够被全面收集，无论其发散角度或偏振状态如何。高效地衰减高功率，以防止传感器过载。集成第二个探测器端口，用于进行光谱监测或扩大波长覆盖范围。减少在裸露状态下，传感器有效区域响应不均匀所引起的误差。应用&bull 连续（CW）与脉冲激光测量&bull 实验室与生产测试&bull 镜头校准&bull 激光功率质量评估LPMS 配备皮安计和激光功率软件&bull 第n波长的平均辐射功率（连续波）&bull 第n波长的平均峰值辐射功率（脉冲）&bull 探测器采样率（Hz）&bull 探测器扫描间隔（秒）&bull 激光功率密度：单位面积的瞬时激光束功率，单位为W/cm2，可选择以cm2为单位的光束面积需要输入光束面积&bull 最大功率（连续波）&bull 最小功率（连续波）&bull 峰值辐射功率（脉冲）&bull 脉冲宽度或脉冲持续时间间隔&bull 辐射功率范围（连续波）&bull 辐射功率（W）&bull 重复率/频率（脉冲）&bull 标准偏差（连续波）&bull 总脉冲数&bull 波长（由客户根据激光输出和校准数据表选择）

产品名称：几何尺寸测量仪产品品牌：EVM-G系列产品简介：本系列是一款高精度影像测量仪，结合传统光学与影像技术并配备功能完备的2.5D测量软件。可将以往用肉眼在传统显微镜下观察到的影像传输到电脑中作各种量测，并将测量结果存入电脑中以便日后存档或发送电子邮件。其操作简单、性价比高、精确度高、测量方便、功能齐全、稳定可靠。适用于产品检测、工程开发、品质管理。在机械加工、精密电子、模具制造、塑料橡胶、五金零件等行业都有广泛使用。产品参数：u 变焦镜筒：采用光学变焦物镜，光学放大倍率0.7X~4.5X，视频总放大倍率40X~400X连续可调，物方视场：10.6-1.6mm，按客户要求选配不同倍率物镜。u 摄像机：配备低照度SONY机芯1/3′彩色CCD摄像机，图像表面纹理清晰，轮廓层次分明，保证拥有高品质的测量画面。可以升级选配1/2′CMOS130万像素摄像机。u 底座：仪器底座采用高精度天然花岗石，稳定性高，硬度高，不易变形。u 光栅尺：仪器平台带有高精度光栅尺（X,Y,Z三轴），解析度为0.001mm。Z轴通过二次聚焦可实现对沟槽、盲孔的深度进行测量。u 光源：采用长寿命LED环形冷光源（表面光及底光），使工件表面照明均匀，边缘清晰，亮度可调。u 导轨：双层工作平台设计，配备高精度滚动导轨，精度高，移动平稳轻松。u 丝杆：X,Y轴工作台均使用无牙光杆摩擦传动，避免了丝杆传动的间隙，灵敏度大大提高，亦可切换快速移动，提高工作效率。 工作台仪器型号EVM-1510GEVM-2010GEVM-2515GEVM-3020GEVM-4030G金属台尺寸(mm)354×228404×228450×280500×330606×466玻璃台尺寸(mm)210×160260×160306×196350×280450×350运动行程(mm)150×100200×100250×150300×200400×300仪器重量(kg)100110120140240外型尺寸L*W*H756×540×860670×660×950720×950×1020 影像测量仪是建立在CCD数位影像的基础上，依托于计算机屏幕测量技术和空间几何运算的强大软件能力而产生的。计算机在安装上专用控制与图形测量软件后，变成了具有软件灵魂的测量大脑，是整个设备的主体。它能快速读取光学尺的位移数值，通过建立在空间几何基础上的软件模块运算，瞬间得出所要的结果；并在屏幕上产生图形，供操作员进行图影对照，从而能够直观地分辨测量结果可能存在的偏差。影像测量仪是一种由高解析度CCD彩色镜头、连续变倍物镜、彩色显示器、视频十字线显示器、精密光栅尺、多功能数据处理器、数据测量软件与高精密工作台结构组成的高精度光学影像测量仪器。仪器特点采用彩色CCD摄像机；变焦距物镜与十字线发生器作为测量瞄准系统；由二维平面工作台、光栅尺与数据箱组成数字测量及数据处理系统；仪器具有多种数据处理、显示、输入、输出功能，特别是工件摆正功能非常实用；与电脑连接后，采用专门测量软件可对测量图形进行处理。仪器适用于以二维平面测量为目的的一切应用领域。这些领域有：机械、电子、模具、注塑、五金、橡胶、低压电器，磁性材料、精密五金、精密冲压、接插件、连接器、端子、手机、家电、计算机（电脑）、液晶电视(LCD)、印刷电路板（线路板、PCB）、汽车、医疗器械、钟表、螺丝、弹簧、仪器仪表、齿轮、凸轮、螺纹、半径样板、螺纹样板、电线电缆、刀具、轴承、筛网、试验筛、水泥筛、网板（钢网、SMT模板）等。ISO国际标准编辑影响影像测量仪精度的因素主要有精度指示、结构原理、测量方法、日常不注意维护等。 中国1994年实行了国际《坐标测量的验收检测和复检测量》的实施。具体内容如下：第1部分：测量线性尺寸的坐标测量机 第2部分：配置转台轴线为第四轴的坐标测量机 第3部分：扫描测量型坐标测量机 第4部分：多探针探测系统的坐标测量机 第5部分：计算高斯辅助要素的误差评定。 在测量空间的任意7种不同的方位，测量一组5种尺寸的量块，每种量块长度分别测量3次所有测量结果必须在规定的MPEE值范围内。允许探测误差(MPEP)：25点测量精密标准球，探测点分布均匀。允许探测误差MPEP值为所有测量半径的值。ISO 10360-3 (2000) “配置转台轴线为第四轴的坐标测量机” ：对于配备了转台的测量机来说，测量机的测量误差在这部分进行了定义。主要包含三个指标：径向四轴误差(FR)、切向四轴误差(FT)、轴向四轴误差(FA)。ISO 10360-4 (2003) “扫描测量型坐标测量机” ：这个部分适用于具有连续扫描功能的坐标测量机。它描述了在扫描模式下的测量误差。大多数测量机制造商定义了"在THP情况下的空间扫描探测误差"。在THP之外，标准还定义了在THN、TLP和TLN情况下的扫描探测误差。 沿标准球上4条确定的路径进行扫描。允许扫描探测误差MPETHP值为所有扫描半径的差值。THP说明了沿已知路径在密度的点上的扫描特性。注：THP的说明必须包括总的测量时间，例如：THP = 1.5um (扫描时间是72 秒)。ISO 10360-4 进一步说明了以下各项定义：TLP: 沿已知路径，以低密度点的方式扫描。THN: 沿未知路径，以高密度点的方式扫描。TLN: 沿未知路径，以低密度点的方式扫描。几何尺寸测量仪工作原理影像测量仪是基于机器视觉的自动边缘提取、自动理匹、自动对焦、测量合成、影像合成等人工智能技术，具有点哪走哪自动测量、CNC走位自动测量、自动学习批量测量的功能，影像地图目标指引，全视场鹰眼放大等优异的功能。同时，基于机器视觉与微米精确控制下的自动对焦过程，可以满足清晰影像下辅助测量需要，亦可加入触点测头完成坐标测量。支持空间坐标旋转的优异软件性能，可在工件随意放置或使用夹具的情况下进行批量测量与SPC结果分类。全自动影像测量仪编辑全自动影像测量仪，是在数字化影像测量仪(又名CNC影像仪)基础上发展起来的人工智能型现代光学非接触测量仪器。其承续了数字化仪器优异的运动精度与运动操控性能，融合机器视觉软件的设计灵性，属于当今最前沿的光学尺寸检测设备。全自动影像测量仪能够便捷而快速进行三维坐标扫描测量与SPC结果分类，满足现代制造业对尺寸检测日益突出的要求：更高速、更便捷、更的测量需要，解决制造业发展中又一个瓶颈技术。全自动影像测量仪是影像测量技术的高级阶段，具有高度智能化与自动化特点。其优异的软硬件性能让坐标尺寸测量变得便捷而惬意，拥有基于机器视觉与过程控制的自动学习功能，依托数字化仪器高速而的微米级走位，可将测量过程的路径，对焦、选点、功能切换、人工修正、灯光匹配等操作过程自学并记忆。全自动影像测量仪可以轻松学会操作员的所有实操过程，结合其自动对焦和区域搜寻、目标锁定、边缘提取、理匹选点的模糊运算实现人工智能，可自动修正由工件差异和走位差别导致的偏移实现精确选点，具有高精度重复性。从而使操作人员从疲劳的精确目视对位，频繁选点、重复走位、功能切换等单调操作和日益繁重的待测任务中解脱出来，成百倍地提高工件批测效率,满足工业抽检与大批量检测需要。全自动影像测量仪具有人工测量、CNC扫描测量、自动学习测量三种方式，并可将三种方式的模块叠加进行复合测量。可扫描生成鸟瞰影像地图，实现点哪走哪的全屏目标牵引，测量结果生成图形与影像地图图影同步，可点击图形自动回位、全屏鹰眼放大。可对任意被测尺寸通过标件实测修正造影成像误差，并对其进行标定，从而提高关键数据的批测精度。全自动影像测量仪有着友好的人机界面，支持多重选择和学习修正。全自动影像测量仪性能使其在各种精密电子、晶圆科技、刀具、塑胶、弹簧、冲压件、接插件、模具、军工、二维抄数、绘图、工程开发、五金塑胶、PCB板、导电橡胶、粉末冶金、螺丝、钟表零件、手机、医药工业、光纤器件、汽车工程、航天航空、高等院校、科研院所等领域具有广泛运用空间。选购方法编辑有许多客户都在为如何挑选影像测量仪的型号品牌所困扰，其实最担心就是影像测量仪的质量和售后。国内影像测量仪的生产商大部分都集中在广东地区，研发的软件功能大部分相似，客户可以不用担心，挑选一款能够满足需要测量的产品行程就行了。根据需要来选择要不要自动或者手动，手动的就比较便宜，全自动的大概要比手动贵一倍左右。挑选影像测量仪最重要看显像是不是清晰，以及精度是否达标(一般精度选择标准为公差带全距的1/3~1/8)。将所能捕捉到的图象通过数据线传输到电脑的数据采集卡中，之后由软件在电脑显示器上成像，由操作人员用鼠标在电脑上进行快速的测量。有的生产商为了节约成本可能会采用国产的，造价比较低，效果就稍微差点。常见故障及原因编辑故障1)蓝屏；2)主机和光栅尺、数据转换盒接触不良造成无数据显示；3)透射、表面光源不亮；4)二次元打不开；5)全自动影像测量仪开机找不到原点或无法运动。原因由于返厂维修周期长，价格昂贵，最重要的是耽误了客户的正常的工作。造成问题出现的原因很多，但无外乎以下原因：1)操作软件文件丢失或CCD视频线接触不良；2)光栅尺或数据转换盒损坏；3)电源板损坏；4)加密狗损坏或影像测量仪软件操作系统崩溃。以上问题可能是只出现一个，也有可能几个问题一起出现。软件种类编辑二次元测量仪软件在国内市场中种类比较多，从功能上划分主要有以下两种：　　二次元测量仪测量软件与基本影像仪测量软件类似，其功能特点主要以十字线感应取点，功能比较简单，对一般简单的产品二维尺寸测量都可以满足，无需进行像素校正即可直接进行检测，但对使用人员的操作上要求比较高，认为判断误差影响比较大，在早期二次元测量软件中使用广泛。　　2.5D影像测量仪在影像测量领域我们经常可以听到二次元、2.5次元、三次元等各种不同的概念，所谓的二次元即为二维尺寸检测仪器，2.5次元在影像测量领域中是在二维与三维之间的一种测量解决方案，定义是在二次元影像测量仪的基础上多加光学影像和接触探针测量功能，在测量二维平面长宽角度等尺寸外如果需要进行光学辅助测高的话提供了一个比较好的解决方案。仪器优点编辑1、装配2个可调的光源系统，不仅观测到工件轮廓，而且对于不透明的工件的表面形状也可以测量。2、使用冷光源系统，可以避免容易变形的工件在测量是因为热而变形所产生的误差。3、工件可以随意放置。4、仪器操作容易掌握。5、测量方便，只需要用鼠标操作。6、Z轴方向加探针传感器后可以做2.5D的测量。测量功能编辑1、多点测量点、线、圆、孤、椭圆、矩形，提高测量精度；2、组合测量、中心点构造、交点构造，线构造、圆构造、角度构造；3、坐标平移和坐标摆正，提高测量效率；4、聚集指令，同一种工件批量测量更加方便快捷，提高测量效率；5、测量数据直接输入到AutoCAD中，成为完整的工程图；6、测量数据可输入到Excel或Word中，进行统计分析，可割出简单的Xbar-S管制图，求出Ca等各种参数；7、多种语言界面切换；8、记录用户程序、编辑指令、教导执行；9、大地图导航功能、刀模具专用立体旋转灯、3D扫描系统、快速自动对焦、自动变倍镜头；10、可选购接触式探针测量,软件可以自由实现探针/影像相互转换，用于接触式测量不规则的产品,如椭圆、弧度 、平面度等尺寸；也可以直接用探针打点然后导入到逆向工程软件做进一步处理！11、影像测量仪还可以检测圆形物体的圆度、直线度、以及弧度；12、平面度检测：通过激光测头来检测工件平面度；13、针对齿轮的专业测量功能14、针对全国各大计量院所用试验筛的专项测量功能15、图纸与实测数据的比对功能维护保养编辑1、仪器应放在清洁干燥的室内（室温20℃±5℃，湿度低于60%），避免光学零件表面污损、金属零件生锈、尘埃杂物落入运动导轨，影响仪器性能。2、仪器使用完毕，工作面应随时擦干净，再罩上防尘套。3、仪器的传动机构及运动导轨应定期上润滑油，使机构运动顺畅，保持良好的使用状态。4、工作台玻璃及油漆表面脏了，可以用中性清洁剂与清水擦干净。绝不能用有机溶剂擦拭油漆表面，否则，会使油漆表面失去光泽。5、仪器LED光源使用寿命很长，但当有灯泡烧坏时，请通知厂商，由专业人员为您更换。6、仪器精密部件，如影像系统、工作台、光学尺以及Z轴传动机构等均需精密调校，所有调节螺丝与紧固螺丝均已固定，客户请勿自行拆卸，如有问题请通知厂商解决。7、软件已对工作台与光学尺的误差进行了精确补偿，请勿自行更改。否则，会产生错误的测量结果。8、仪器所有电气接插件、一般不要拔下，如已拔掉，则必须按标记正确插回并拧紧螺丝。不正确的接插、轻则影响仪器功能，重则可能损坏系统。测量方式编辑1、物件被测面的垂直测量2、压线相切测量3、高精度大倍率测量4、轮廓影像柔和光测量5、圆及圆弧均匀取点测量精密影像测绘仪测量软件简介：绘图功能：可绘制点、线、圆、弧、样条曲线、垂直线、平行线等，并将图形输入到AutoCAD中，实现逆向工程得到1:1的工程图。自动测绘：可自动测绘如：圆、椭圆、直线、弧等图形。具有自动寻边、自动捕捉、自动成图、自动去毛边等功能，减少了人为误差。测量标注：可测量工件表面的任意几何尺寸，不同高度的角度、宽度、直径、半径、圆心距等尺寸，并可在实时影像中标注尺寸。SPC统计分析软件：提供了一系列的管制图及多种类型的图表表示方法,使品管工作更方便，大大提升了品质管理的效率。报表功能：用户可轻易地将测量结果输出至WORD、EXCEL中去，自动生成检测报告，超差数值自动改变颜色，特别适合批量检测。鸟瞰功能：可察看工件的整体图形及每个尺寸对应的编号，直观的反应出当前的绘图位置，并可任意移动、缩放工件图。实时对比：可把标准的DXF工程图调入测量软件中与工件对比，从而快速检测出工程图和实际工件的差距，适合检测比较复杂的工件。拍照功能：可将当前影像及所标注尺寸同时以JPEG或BMP格式拍照存档，并可调入到测量软件中与实际工件做对比。光学玻璃：光学玻璃为国家计量局检验通过之标准件，可检验X、Y轴向的垂直度，设定比例尺，使测量数据与实际相符合。客户坐标：测量时无需摆正工件或夹具定位，用户可根据自己的需要设置客户坐标（工件坐标），方便、省时提高了工作效率。精密影像测绘仪仪器特点：经济型影像式精密测绘仪VMS系列结合传统光学与数字科技，具有强大的软件功能，可将以往用肉眼在传统显微镜下所观察到的影像将其数字化，并将其储存入计算机中作各式量测、绘图再可将所得之资料储存于计算机中，以便日后存盘或电子邮件的发送。该仪器适用于以二座标测量为目的一切应用领域如：品质检测、工程开发、绘图等用途。在机械、模具、刀具、塑胶、电子、仪表等行业广泛使用。变焦镜筒：采用光学变焦物镜，光学放大倍率0.7X～4.5X，视频总放大倍率：40X～400X，可按客户要求选配不同倍率物镜。摄像机：配备低照度SONY机芯1/3”彩色CCD摄像机，图像表面纹理清晰，轮廓层次分明，保证拥有高品质的测量画面。底座：仪器底座采用高精度天然花岗石，稳定性高，硬度高，不易变形。光栅尺：仪器平台带有高精密光栅尺（X、Y、Z三轴）,解析度为0.001mm。Z轴通过二次聚焦可实现对沟槽、盲孔的深度进行测量。光源：采用长寿命LED环形冷光源（表面光及底光），使工件表面照明均匀，边缘清晰，亮度可调。导轨：双层工作平台设计，配备高精度滚动导轨，精度高、移动平稳轻松。丝杆：X、Y轴工作台均使用无牙光杆磨擦传动，避免了丝杆传动的背隙，灵敏度大大提高，亦可切换快速移动提高工作效率。

风量测量应注意哪几点风量罩主要由三个部分构成: 风量罩体、基座、PDA构成。 主要用于收集室风量。风量罩风量测量应注意哪几点：1、罩体尺寸（风口尺寸）套帽风量罩罩体与风口尺寸相差较大时会造成较大的测量误差，所以需要用风口尺寸相近的罩体进行测量。 应根据待测风口的尺寸、面积，选择与风口的面积较接近的风量罩罩体，且风量罩体的长边长度不得超过风口的长边长度的3倍； 风口的面积不应小于罩体边界面积的15%。2、检查风量仪是否正常，使风量仪的各项设定满足使用要求。3、确定罩体的摆放位置来罩住风口，风口应位于罩体的中间位置，待整个风口被风罩所罩住。4、确定保证风口无漏风，观察风量仪的显示值，待显示值趋于稳定后，读取风量值；5、背压补偿当风口风量较大时，风量罩罩体和测量部分的节流对风口的阻力会增加造成风量下降较多，为了消除这部分的风口风量较少，需要进行背压补偿。 当风量值≤1500 m3 /h时，无需进行背压补偿，所读风量值即为所测风口的风量值； 当风量值1500 m3 /h时，使用背压补偿挡板进行背压补偿，读取风量仪显示值即为所测的风口补偿后风量值。6、如果风口尺寸特别大，可向我们提出订制风量仪的罩体。上海沪净医疗器械有限公司是华东地区净化设备行业中的公司之一，其凭借雄厚的实力，综合科技，完善的服务，敏锐的市场洞察力开发了一系列净化设备产品。我们拥有强大的销售团队、众多技术人才，良好的售后服务。可按ISO14644-1标准、GB50073-2001国家标准及国家GMP规范要求为微电子、生物医药、医院手术室、光纤光缆、食品饮料、精密仪器、半导体及新材料应用等行业的空气净化系统工程设计、施工、检测及技术服务。本公司可根据客户的现实要求和实际需要设计，定做安装洁净室系统及专用设备。 公司生产的净化工作台系列、风淋室系列、通风柜系列，生物安全柜系列一上市就受到了广大消费者和经销商的青睐和厚爱，沪净净化产品被广泛应用于医疗卫生、电子、制药、生物、食品、农林、畜牧兽医、检验检疫、航空航天、汽车制造、精密仪器、大专院校和各科研机构，在和东南亚市场享有声誉。

我们如何在25秒内完成认证级EMI传导全频段测试 &mdash &mdash 当今速度最快的认证级EMI测量接收机发布暨技术研讨会！ 这次新发布的接收机有两个主要特点：速度非常快：25秒完成扫描！（9KHz～30MHz，准峰值检波器1秒驻留时间）本底噪声非常低：低达 -30dBuV在25秒内完成9K～30MHz认证级EMI测试扫描！我们如何做到？从最初的模拟式接收机，到后来的数字式接收机。电磁兼容的EMI测试经历了质的飞跃。今天我们再次迎来跨越式的发展，第二代数字式接收机面世：FFT时域分析测量接收机&mdash &mdash 9010F！将离散傅立叶变换功能引入全数字式接收机，一次采集多点频率，信号一经采集，即被进行16次FFT分析。确保了信号分析的时效性，即我们所说的&ldquo 实时分析&rdquo ；也确保了结果的准确性。基于这台时域分析测量接收机的补充，我们可为用户提供更为完善的EMI测试解决方案。例如，一些EUT不能支持长时间满负荷运转，使用9010F组成的测试系统，您只需要不到30秒即可完成全兼容测试。9010F还可扩展频率下线至10Hz，满足军品测试的需求。此次技术研讨会，我们系统集成的团队将携带由9010F组成的测量系统到现场，来自意大利的Michele Zingarelli博士与您深入探讨测量技术原理的同时，为您做现场测试/演示。技术研讨会时间及地点安排如下： 6月11日12日14日15日 18日20日21日北京西安成都重庆 武汉长沙杭州 北京信测科技诚挚的邀请您，会议免费。请将《回执单》回传或发至邮箱。 全国服务热线：400-890-9010 传真：010-8482 9240 电邮：info@xutec.cn 网页：www.xutec.cn北京信测科技有限公司 Beijing XUTEC Technology Co.,Ltd.

micromeriticstristar ii plus表面积和孔隙度测试仪可自动并同时测量多达三个样品，以减少分析时间，更快地提供数据。 tristar ii plus表面积和孔隙度测试仪tristar ii plus专为建立和维持稳定的测试环境而设计。分析过程中无任何可移动组件。由等温夹套为测试提供温度控制，简化操作的同时为用户提供精确且重复性高的测试结果。micromeritics microactive数据处理和控制软件提供了简单易用的界面，可将数据实时转换为精确的表面积和孔隙度信息。观看视频，了解tristar ii plus如何帮助您加快表面积和孔隙度测量！点击播放视频 关于麦克仪器公司麦克仪器公司是专业提供表征颗粒，粉体和多孔材料的物理性能，化学活性和流动性的高性能设备的全球领先的生产商。我们的技术包括：比重密度法、吸附、动态化学吸附、颗粒大小和形状、压汞孔隙度测定、粉末流变学和催化剂活性测试。公司在美国、英国和西班牙设有研发和生产基地，并在美洲、欧洲和亚洲设有直销和服务业务。麦克仪器是创新性的公司，产品是著名的政府和学术机构的10,000多个实验室的首选仪器。我们拥有世界一流的科学家和积极响应的支持团队，通过将micromeritics技术应用于客户的需求，帮助客户获得成功。更多信息，请访问 www.micromeritics.com.cn 服务热线：400-630-2202

近日，上海计量院机械制造所承担的上海市市场监督管理局科技项目“空气中双称重法体积测量装置的研制”通过验收。 　　该项目提出空气中双称重法砝码体积测量新方法，解决液体静力体积测量法中砝码入水引起的系列问题，并研制国内首台基于空气中双称重法体积测量装置，实现1kg砝码质量测量重复性最大值为0.012 mg，1kg砝码质量测量不确定度U=0.35 mg(k=2)，1kg砝码体积相对测量不确定度Urel=3.5×10-5(k=2)，填补华东大区体积测量空白。 　　项目成果将应用于砝码体积测量，及复杂尺寸固体材料体积、多孔材料孔隙率测量等，为开辟复杂形状固体材料和多孔材料体积溯源提供新思路，助力新材料科技发展。

德国“工业4.0”与”中国制造2025“发展战略，对高端装备中的超精密测量精度要求越来越高。激光因其高方向性、高单色性、高相干性等特点，具有高准确度、非接触、稳定性好等独特优点，在超精密加工和测量领域应用广泛。激光干涉仪以光波为载体，利用激光作为长度基准，是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器。激光束通过分光镜后，分成两束激光（参考光束和测量），分别经两个角锥反射镜反射后平行于出射光返回，通过分光镜后进行叠加（两束激光频率相同、振动方向相同且相位差恒定，即满足干涉条件），产生相长或相消。反射镜每移动半个激光波长，将产生一次完整的明暗干涉现象，通过接收到的明暗条纹变化及电子细分，即可求得距离变化（距离=干涉条纹数*激光半波长）。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作。激光干涉仪原理构造激光测距仪是利用激光对目标的距离进行准确测定的仪器，根据测量原理分为脉冲法和相位法。脉冲激光测距法由于激光发散角小，激光脉冲持续时间极短，瞬时功率极大可达兆瓦以上，可以达到极远的测程，广泛应用在地形地貌测量、地质勘探、工程施工测量、飞行器高度测量、人造地球卫星相关测距、天体之间距离测量等方面。第二届精密测量技术与先进制造网络会议期间，清华大学与哈尔滨工业大学两位专家将分享激光精密测量技术、仪器及应用。部分报告预告如下，点击报名  》》》清华大学精密仪器系系副主任/副教授 谈宜东《激光干涉精密测量技术、仪器及应用》（点击报名）谈宜东，清华大学精密仪器系长聘副教授，博士生导师，副系主任；基金委优秀青年科学基金获得者，英国皇家学会牛顿高级学者，教育部创新团队负责人。中国电子信息行业联合会光电产业委员会副会长、中国仪器仪表学会机械量测试仪器分会常务理事。主要从事激光技术和精密测量应用等方面的研究工作。作为负责人承担国家自然科学基金，装发和科工局测试仪器领域关键技术攻关项目，科技部重点研发计划课题，军科委基础加强，重大科学仪器专项等多个项目。在Nature Communications, PhotoniX, Optica, Bioelectronics and Biosensors, IEEE Transactions on Industrial Electronics等期刊发表SCI论文100余篇，授权发明专利37项，在国际会议Keynote/Plenary/Invited报告60余次。先后获日内瓦国际发明展金奖，中国激光杂志社主编推荐奖，中国光学工程学会技术发明一等奖，中国电子学会技术发明一、二等奖多项。【报告摘要】 以传统激光干涉为引，介绍清华大学激光精密测量及应用团队在双频激光器、干涉仪及在光刻机中的精密测量应用，并拓展到空间引力波测量。针对传统干涉测量需要配合靶镜的局限性，提出激光回馈测量原理，实现了无靶镜纳米测量，攻克了航空航天、先进制造和国防安全领域的无靶镜测量难题，并开展了多种应用研究，包括：位移测量、激光侦听、高精度激光测距及雷达技术等。哈尔滨工业大学副研究员 杨睿韬《短脉冲光频梳激光测距技术》（点击报名）杨睿韬，哈尔滨工业大学副研究员，博士生导师。研究方向为超精密激光干涉测量，重点攻关短脉冲/光频梳生成与稳频、光梳激光测距等关键技术，承担国家重点研发计划课题/子课题、国自然面上等项目，参与国家科技重大专项、欧盟计量联合研究计划等项目。获中国计量测试学会科技进步一等奖(序4/6)、全国优秀博士学位论文提名等奖项。担任国际SCI期刊Photonics客座编辑。发表学术论文20余篇，申请发明专利10余项，出版专著1部。指导哈工大优秀本科/硕士毕业论文共5人，指导大学生光电设计竞赛国赛一等奖等2项。【报告摘要】 激光测距技术是大范围、高精度空间几何量测量的核心技术基础。短脉冲光频梳的诞生极大的推动了该技术领域的发展，其独特的时域短脉冲序列、频域等间隔梳状多光谱特征，不仅大幅提高了经典的飞行时间、调制波测相、多波长干涉等测距方法的性能，更引领了一系列新型激光测距方法的发展。本报告分析了短脉冲光频梳激光测距方法及趋势，介绍了项目组在短脉冲光频梳激光测距领域的最新进展。更多详细日程如下：第二届精密测量与先进制造主题网络研讨会报告时间报告题目报告嘉宾单位职称12月14日上午09:00-09:30纳米级微区形态性能参数激光差动共焦多谱联用测量技术及仪器赵维谦北京理工大学 光电学院院长09:30-10:00扫描白光干涉表面形貌测量技术：原理及应用苏榕中国科学院上海光学精密机械研究所研究员10:00-10:30先进封装工艺中三维几何尺寸监控的挑战与布鲁克白光干涉技术的计量解决方案黄鹤布鲁克（北京）科技有限公司应用经理10:30-11:00激光干涉精密测量技术、仪器及应用谈宜东清华大学 精密仪器系系副主任/副教授11:00-11:30关节类坐标测量技术于连栋中国石油大学（华东）教授12月14日下午14:00-14:30基于相位辅助的复杂属性表面全场三维测量技术张宗华河北工业大学教授14:30-15:00短脉冲光频梳激光测距技术杨睿韬哈尔滨工业大学副研究员15:00-15:30机器人精密减速器及关节测试技术程慧明北京工业大学 博士研究生15:30-16:00纳米尺度精密计量技术与国家量值体系施玉书中国计量科学研究院纳米计量研究室主任/副研究员16:00-16:30尺寸测量，从检验走向控制与孪生李明上海大学教授为促进精密测量技术发展和应用，助力制造业高质量发展，仪器信息网联合哈尔滨工业大学精密仪器工程研究院，将于2023年12月14日举办第二届精密测量技术与先进制造网络会议，邀请业内资深专家及仪器企业技术专家分享主题报告，就制造中的精密测量技术等进行深入的交流探讨。报名页面：https://www.instrument.com.cn/webinar/meetings/precisionmes2023/

近年来，我国高端制造业蓬勃发展，对高精度测量设备的需求持续攀升，极大地推动了以三坐标测量机为代表的精密测量仪器市场的迅猛增长。全球知名品牌和国产新兴势力纷纷加入这场激烈的竞争，竞相展示各自的技术实力和创新能力。随着国产替代需求的日益增长，中国三坐标测量机企业正迎来前所未有的发展机遇。为深入了解中国三坐标测量机产业的发展态势，仪器信息网成立25周年之际，特别策划了“万里行”系列走访活动。该活动深入中国三坐标测量机代表性企业，与行业专家共同开展实地走访，探寻产业发展的最新进展和亮点，为发展新阶段赋能。走访第一站，由上海大学李明教授，仪器信息网产业研究部主任武自伟、营销服务中心经理韩永风、测量仪器编辑牛亚伟等组成的走访项目组，走进了苏州英示测量科技有限公司（以下简称“英示”）。英示总经理沃林等高层领导热情接待了走访团队，并与项目组进行了深入交流与探讨。合影留念一、行舟竞渡，走国产化发展之路长期以来，三坐标测量机这一高精度测量仪器的技术和市场主导权一直掌握在少数国外知名企业手中。这种局面使得国际市场上的三坐标测量机产品不仅价格高昂，而且技术更新和服务支持也往往受限于这些厂商的节奏。对于国内企业来说，由于技术门槛高、研发投入大、市场渠道不畅等多重因素的限制，在三坐标测量机领域的参与度一直较低。为了打破这一局面，国内企业开始逐渐加大在三坐标测量机领域的投入和研发力度。交流现场，沃林总经理表示，英示坚持自主创新，积极攻克国外三坐标测量机卡脖子技术，并详细介绍了英示三坐标测量机的竞争优势。此系列产品采用了经典的桥式结构，整体式工作台，确保了结构的稳定性和测量的准确性；配备了高精度空气轴承，能够极大地减少摩擦，确保测量过程中的平稳性和精准度；独特的Z轴防扭矩设计，更是巧妙地减小了旋转误差，使得测量结果更加准确可靠。此外，现场三坐标测量机专为车间现场设计，无需压缩空气，即可在复杂的生产环境中进行快速、准确的测量。英示三坐标测量机沃林总经理进一步补充道，三坐标测量机仅是英示众多产品中的一类。在当前行业高度竞争的背景下，英示凭借近万种产品，构筑起一座精准测量的堡垒。产品覆盖机加工行业的每一个角落，包括测量几何尺寸和形位公差、硬度测量、金相分析、工件表面和内部检查、推拉力和扭力测试、环境试验等。如今，英示的综合目录已成为行业客户的参考工具书。随着制造业智能化和数字化转型的浪潮，英示更是走在前列。作为国内唯一能够全面实现数字化的测量品牌，英示不仅提供标准产品，更能根据客户需求定制在线自动化检测系统。此外，英示的部分产品已成功入选国防科工局和工信部联合编制的《国产清单》，打破了国外品牌长期以来的垄断地位，为测量设备的国产化进程贡献了重要力量。一直以来，英示积极响应国家“自主可控”的发展战略，坚持走国产化发展之路。经过多年发展，英示形成以中国苏州为中心，辐射全球的战略布局，在八十多个国家建立了稳固的销售渠道，同时，在德国、西班牙、捷克、美国、巴西、印度等地均有分公司，国内客户已涵盖航天、航空、核电、高铁、船舶、汽车制造等大中型企业和专业院校。英示在测量领域的影响力正逐步扩大，成功获批高新技术企业、国家级专精特新“小巨人”企业、江苏省首批产教融合试点企业等，已成为工业测量细分行业的隐形冠军。二、上下求索，推动高端装备制造自1995年成立以来，英示与众多高校及科研机构携手，共同推进测量技术的研发与产品创新，不断汲取全球顶尖企业的成功经验，致力于提供更为精密、先进的测量解决方案。英示能够快速响应并满足多样化应用场景与复杂环境下的测量需求，确保客户在各种挑战面前都能获得准确可靠的测量结果。为了培养更多优秀的测量技术人才，英示还建立了机械行业能力评价长度计量实训基地，为行业输送了大量专业人才。同时，英示与国家及地方计量院所紧密合作，共同制定和推动计量标准的制定与实施，为行业的健康发展提供有力支持。值得一提的是，英示作为国家技能大赛赞助企业，多年来支持了世赛选拔赛、国赛、国家一类和二类大赛、部分省赛、行业赛等100多场赛事的测量工具及仪器和技术协作，成为技能大赛的“优秀合作企业”。以三坐标测量机为例，英示在测量理念、技术和方法上始终保持着前瞻性的研究态度。通过采用先进的测量技术和高效的测量手段对传统测量量具进行数字化改造和赋能，为制造业，特别是高端制造业质量数据网络的构建提供准确、高效、可靠的数据源，其他相关量具和量仪产品亦是如此。英示秉承“解决测量难题”的核心理念，不断提升生产过程中现场测量、在线测量和快速测量的量值溯源能力，发挥计量检验检测在产业技术基础创新中的变革性作用，推动高端装备制造的高效发展。三、持续深耕，助力产业加速度在探讨国产三坐标测量机产业的发展策略时，英示沃总在交流中表示，在当前行业内卷化日益加剧的背景下，单纯的产量和价格竞争已经无法满足产业长期、健康、可持续的发展需求。真正的竞争优势，源于对服务的深度挖掘和精准提供。沃总指出，客户在测量过程中常常遇到“测不了、测不全、测不快、测不准”等痛点，这些问题是制约测量技术发展的关键因素。面对这一挑战，英示坚定地将重心聚焦于研发针对这些痛点的精准、高效测量解决方案。正是这种核心服务能力的持续强化和提升，使得英示在激烈的市场竞争中脱颖而出。同时，英示也深刻认识到三坐标测量机关键零部件和组件的重要性。沃总强烈建议，国家应像对待工业母机一样，对三坐标测量机的关键零部件和组件给予高度重视，进行前瞻性的战略布局，并组织相关力量进行技术攻关。这有助于提升国产三坐标测量机的整体技术水平，更能推动整个产业的持续发展和创新。沃总进一步表示，英示公司不仅仅满足于作为三坐标测量机的生产商，更将致力于打造一个量具量仪的“一站式”超市。这个超市将汇集各种先进的测量技术和设备，为客户提供更加全面、便捷、高效的测量解决方案。这种一站式的服务模式，将极大地提升客户的测量效率和精度，解决他们在测量过程中遇到的各种难题。英示总部大楼即将落成交流会结束后，沃林总经理向远道而来的上海大学李明教授以及仪器信息网的相关人员表达了深深的谢意。他亲自引领这一行人参观英示的展厅，详细介绍了英示在国产三坐标测量机及量具、量仪产品所取得的最新成果和技术突破。他强调，这些测量设备不仅具备高精度、高效率的特点，更在助力智能化改造和数字化转型方面具有显著优势。英示产品能够与各种智能制造系统和数字化平台无缝对接，实现数据的实时采集、传输和分析，极大地提升生产效率。英示展厅通过实地探访和深入交流，走访项目组对英示的技术实力、创新能力以及市场地位有了更加清晰的认知。英示的众多量具量仪产品在性能上达到国际水准，甚至在某些关键领域展现出独特的优势。英示“INSIZE”作为中国基础装备制造业的代表性品牌，已经在国际市场上崭露头角，与德国Mahr、日本Mitutoyo品牌并列齐名。走访活动不仅强化了仪器信息网与英示之间的紧密联系，也为双方未来的合作奠定了坚实的基础。

某现场安装激光二极管的制造公司需要一种可靠的方法用于现场测量激光功率，而无需带回实验室进行测试。激光测量系统需要完全由电池供电，因为现场没有电源。Labsphere（蓝菲光学）根据客户要求提供一套独立的、便携式且耐用的激光功率测试系统。Labsphere （蓝菲光学）提供标准的激光二极管测量积分球； 然而，还需将新功能整合到系统中，使其能被带到现场测试。 由此产生的一个小而轻的积分球系统，能够在世界任何地方进行可靠的激光功率测量。1.5 英寸开口端，用于轻松安装激光二极管组件针孔滤光片后面的制冷型 InGaAs 探测器，用于在功率低至 200 μW 的情况下进行红外范围内的辐射测量两个 FC/PC 适配器，允许通过光纤连接额外的探测器Spectralon 漫反射材料，在 UV-VIS-NIR 范围内提供近乎完美的朗伯反射，以优化测试结果的准确性为 TE 冷却器和充电装置供电的可充电电池组轻巧的手持式塑料支架可固定每个组件，并带有泡沫内衬派力肯手提箱，可确保安全运输特点电池组可为系统供电数小时，为一个项目中的多项测试提供充足的时间每个组件都包依附在安装板上，提供了极大的可移动性，而手提箱确保了产品运输过程中的安全性InGaAs 探测器在近红外范围内提供可靠的校准测量，附加的光纤适配器使系统能够灵活地在其他范围内或使用光谱仪执行附加测试Spectralon 极高的漫反射率，以及积分球内的挡板几何形状，很大限度地提高了光照射到探测器上的均匀性Labsphere（蓝菲光学） 的 HELIOSense 软件进行实时数据收集、存储和可视化，使测试变得简单易行。光谱响应

上一期给大家介绍了PPMS的部分测量应用，为大家呈现了PPMS基于主腔体的多种功能选件，在几十年磁学探索及合作的道路上，这部分选件功能已经为大部分磁电研究领域的科学家给予了大支持。然而，QuantumDesign公司并未止步于此，在满足客户基本需要的基础上，我们在不断突破测试限，完善测试平台的多功能性、灵活性和稳定性，新近推出了更多系列的拓展功能选件。QuantumDesign公司近期与德国attocube公司联合推出了多款可以在PPMS平台上工作的显微学和光谱学组件，涵盖了表面形貌、磁电、光学等多个领域的高精度测量，实现在变温、变磁场环境下的多种测量模式（诸如原子力AFM、磁力显微镜MFM、扫描霍尔探针显微镜SHPM、共聚焦显微镜CFM等）的形貌及表面微结构的测量等，例如：1、对磁畴成像图1磁畴测量结果，样品为NiFe薄膜。测量温度300K，探针与样品间距为20nm，dual-pass扫描模式，空间分辨率为10.7nm2、BSCCO磁通随磁场B和温度T的变化图2磁场强度从-40Oe变化到+50Oe时，磁通出现反向图3提高样品温度，磁通结构消失3、BaFeO低温测量图4相对于MFM，SHPM具有定量测量、无需接触样品表面和更高敏感性的优点测量参数：霍尔电流：10μA；扫描范围：30μm样品与探针距离：350nm；磁场分辨率：0.19mT4、氧化铁薄膜压电显微镜测量样品：层状异质结（150nmBiFeO3-Mn/35nmSrRuO3/SrTiO3(001)衬底）测量温度：82K压电力振幅图像（图5a）压电力相位图像（图5b，压电畴方向为0°和180°）图5图中有两个正方形（正方向和旋转的）是分别采用+/-15V电压书写的，从振幅图可以看到，在畴壁区域，振幅为零图6电滞回线，测量温度82K；左右分别为相位和振幅信号5、MFM模式下的磁通测量图7复旦大学PPMS用户——4K和45Gs的MFM模式下探测铁基超导样品磁通目前，PPMS平台搭建attocube光学选件已经在拥有复旦大学、中科大、物理所等多家用户，满足了不同用户的不同测试需求。QuantumDesign公司在寻求外部合作的同时，也不断突破自我，勇于创新，逐步完善测试平台。包括温度控制部分、磁体冷却方式及磁场大小、电路部分升以及氦气的利用和回收方式等，并取得了较好的效果（从代大杜瓦，EC-I到二代reliquefier,EC-II然后当前新一代DynaCool），同时也致力于研发更多功能强大的选件（比如适用于MPMS3的ETO选件），希望这些选件能为科研工作者的研究工作带来更高的精度和更大的便捷。如果您对以上选件功能感兴趣，或者期望了解PPMS更多功能选件及应用案例，欢迎您拨打：010-85120280电话咨询，我们会尽快对您的咨询给出满意的答复！相关产品链接：mpms3-新一代磁学测量系统：http://www.instrument.com.cn/netshow/sh100980/c17089.htmppms综合物性测量系统：http://www.instrument.com.cn/netshow/sh100980/c17086.htm完全无液氦综合物性测量系统dynacool：http://www.instrument.com.cn/netshow/sh100980/c18553.htm多功能振动样品磁强计versalab系统：http://www.instrument.com.cn/netshow/sh100980/c19330.htm超精细多功能无液氦低温光学恒温器：http://www.instrument.com.cn/netshow/sh100980/c122418.htm低温热去磁恒温器：http://www.instrument.com.cn/netshow/sh100980/c201745.htmmicrosense振动样品磁强计：http://www.instrument.com.cn/netshow/sh100980/c194437.htm智能型氦液化器(ATL)：http://www.instrument.com.cn/netshow/sh100980/c180307.htm

对于大部分磁学用户来说，综合物性测量系统PPMS应该并不陌生，其设计理念是在一个的低温和强磁场平台上，集成全自动的磁学、电学、热学和形貌，甚至铁电和介电等各种物性测量手段。这样的设计使得整个系统的低温和强磁场环境得到了充分的利用，大减少了客户购买仪器的成本，避免了自己搭建实验的繁琐和误差，可以迅速地实现研究人员珍贵的研究思路。一个PPMS系统由基本系统和各种测量和拓展功能选件构成：基本系统提供低温和强磁场的环境，以及整个系统的软硬件控制中心；用户在基本系统平台的基础上选择自己感兴趣的各种测量选件和拓展功能选件。那么，如此多的功能选件能够在哪些研究方向上发挥作用呢？1、磁场调制的PE测量图1MagneticBiasingofaFerroelectricHysteresisLoopinaMultiferroicOrthoferritePRL112,037203(2014)（PPMS+Radiant铁电测试仪）2、不同磁场下热释电测量图2MultiferroicpropertiesofCaMn7O12PRB84,174413(2011)（PPMS+Keithly6514Aelectrometer）3、介电及铁电测量图3使用Hioki-3532-50LCR表，自制样品杆在PPMS上用平行板电容方法测得4、磁致伸缩测量图4StrainmeasurementresultsofDy1-xHoxMnO3（0≤x≤1）.Alltheobtainedstrainsarereferredtothevalueof20K,respectively.（a）Underzeromagneticfield.（b）Underappliedmagneticfieldof7T.5、磁电耦合测量图5使用Keithley6221产生在定制的线圈上产生交流场，Standford锁相放大器SR830探测ME电压，自制屏蔽装置屏蔽背景电压噪声。Appl.Phys.Lett.97,09250120106、高压下的磁阻测量图6“Pressure-InducedTransitioninMagnetoresistanceofSingle-WalledCarbonNanotubes”.L.Lu,etc.InstituteofPhysics.CASPRL97,026402(2006)7、使用VSMOVEN选件进行电诱导磁测量看了上面的介绍，是不是觉得PPMS的选件功能非常强大呢！我们这里只是列出了部分主要的选件功能，下一期的推送中，我们会为大家呈上PPMS与其他设备联用的拓展功能，PPMS和原子力显微镜、共聚焦显微镜等，会擦出什么样的火花呢？敬请期待！如果您对以上选件功能感兴趣，或者期望了解某些选件的功能，欢迎您拨打电话：010-85120280咨询，我们会尽快对您的咨询给出满意的答复！相关产品链接：mpms3-新一代磁学测量系统：http://www.instrument.com.cn/netshow/sh100980/c17089.htmppms综合物性测量系统：http://www.instrument.com.cn/netshow/sh100980/c17086.htm完全无液氦综合物性测量系统dynacool：http://www.instrument.com.cn/netshow/sh100980/c18553.htm多功能振动样品磁强计versalab系统：http://www.instrument.com.cn/netshow/sh100980/c19330.htm超精细多功能无液氦低温光学恒温器：http://www.instrument.com.cn/netshow/sh100980/c122418.htm低温热去磁恒温器：http://www.instrument.com.cn/netshow/sh100980/c201745.htmmicrosense振动样品磁强计：http://www.instrument.com.cn/netshow/sh100980/c194437.htm智能型氦液化器(ATL)：http://www.instrument.com.cn/netshow/sh100980/c180307.htm

超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器 杨宏兴 1，2，付海金 1，2，胡鹏程 1，2*，杨睿韬 1，2，邢旭 1，2，于亮 1，2，常笛 1，2，谭久彬 1，2 1 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所，黑龙江 哈尔滨 150080； 2 哈尔滨工业大学超精密仪器技术及智能化工业和信息化部重点实验室，黑龙江 哈尔滨 150080 摘要 针对微电子光刻机等高端装备中提出的超精密、高速位移测量需求，哈尔滨工业大学深入探索了传统的共 光路外差激光干涉测量方法和新一代的非共光路外差激光干涉测量方法，并在高精度激光稳频、光学非线性误差 精准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等多项关键技术方面取得持续突破，研制了系列超精密高速激光干涉仪，激 光真空波长相对准确度最高达 9. 6×10-10，位移分辨力为 0. 077 nm，光学非线性误差最低为 13 pm，最大测量速度 为 5. 37 m/s。目前该系列仪器已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测 试领域，为我国光刻机等高端装备发展提供了关键技术支撑和重要测量手段。 关键词 光学设计与制造；激光干涉；超精密高速位移测量引 言 激光干涉位移测量（DMLI）技术是一种以激光 波长为标尺，通过干涉光斑的频率、相位变化来感知位移信息的测量技术。因具有非接触、高精度、高动 态、测量结果可直接溯源等特点，DMLI 技术和仪器被广泛应用于材料几何特性表征、精密传感器标定、 精密运动测试与高端装备集成等场合。特别是在微电子光刻机等高端装备中嵌入的超精密高速激光干涉仪，已成为支撑装备达成极限工作精度和工作效率的前提条件和重要保障。以目前的主流光刻机为例，其内部通常集成有 6 轴至 22 轴以上的超精密高速激光干涉仪，来实时测量高速运动的掩模工件台、 硅片工件台的 6 自由度位置和姿态信息。根据光刻机套刻精度、产率等不同特性要求，目前对激光干涉的位移测量精度需求从数十纳米至数纳米，并将进一步突破至原子尺度即亚纳米量级；而位移测量速度需求，则从数百毫米每秒到数米每秒。 对 DMLI 技术和仪器而言，影响其测量精度和测量速度提升的主要瓶颈包括激光干涉测量的方法原理、干涉光源/干涉镜组/干涉信号处理卡等仪器关键单元特性以及实际测量环境的稳定性。围绕光刻机等高端装备提出的超精密高速测量需求，以美国 Keysight 公司（原 Agilent 公司）和 Zygo 公司为代表的国际激光干涉仪企业和研发机构，长期在高精度激光稳频、高精度多轴干涉镜组、高速高分辨力干涉信号处理等方面持续攻关并取得不断突破， 已可满足当前主流光刻机的位移测量需求。然而， 一方面，上述超精密高速激光干涉测量技术和仪器 已被列入有关国家的出口管制清单，不能广泛地支撑我国当前的光刻机研发生产需求；另一方面，上述技术和仪器并不能完全满足国内外下一代光刻机研 发所提出的更精准、更高速的位移测量需求。 针对我国光刻机等高端装备研发的迫切需求， 哈尔滨工业大学先后探索了传统的共光路双频激光干涉测量方法和新一代的非共光路双频激光干涉测量方法，并在高精度激光稳频、光学非线性误差精 准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等关键技术方 面取得持续突破，研制了系列超精密高速激光干涉 仪，可在数米每秒的高测速下实现亚纳米级的高分辨力高精度位移测量，已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测试领域。该技术和仪器不仅直接为我国当前微电子光刻机研发生产提供了关键技术支撑和核心 测量手段，而且还可为我国 7 nm 及以下节点光刻机研发提供重要的共性技术储备。高精度干涉镜组设计与研制 高精度干涉镜组的 3 个核心指标包括光学非线性、热稳定性和光轴平行性，本课题组围绕这 3 个核心指标（特别是光学非线性）设计并研制了前后两代镜组。 共光路多轴干涉镜组共光路多轴干涉镜组由双频激光共轴输入，具备抗环境干扰能力强的优点，是空间约束前提下用于被测目标位置/姿态同步精准测量不可或缺的技术途径，并且是光刻机定位系统精度的保证。该类干涉镜组设计难点在于，通过复杂光路中测量臂和参考臂的光路平衡设计保证干涉镜组的热稳定性，并通过无偏分光技术和自主设计的光束平行性测量系统，保证偏振正交的双频激光在入射分光及多次反射/折射后的高度平行性［19- 20］。目前本课题组研制的 5 轴干涉镜组（图 11） 可实现热稳定性小于 10 nm/K、光学非线性误差小于 1 nm 以及任意两束光的平行性小于 8″，与国 际主流商品安捷伦 Agilent、Zygo 两束光的平行性 5″~10″相当。 图 11. 自主研制的共光路多轴干涉镜组。（a）典型镜组的3D设计图；（b）实物图非共光路干涉镜组 非共光路干涉镜组在传统共光路镜组的基础上， 通过双频激光非共轴传输避免了双频激光的频率混叠，优化了纳米量级的光学非线性误差。2014 年，本课题组提出了一种非共光路干涉镜组结构［2，21］，具体结构如图 12 所示，测试可得该干涉镜组的光学非 线性误差为 33 pm。并进一步发现基于多阶多普勒 虚反射的光学非线性误差源，建立了基于虚反射光迹精准规划的干涉镜组光学非线性优化算法，改进并设计了光学非线性误差小于 13 pm 的非共光路干涉镜组［2-3］，并通过双层干涉光路结构对称设计保证热稳定性小于 2 nm/K［22- 25］。同时，本课题组也采用多光纤高精度平行分光，突破了共光路多轴干涉镜组棱镜组逐级多轴平行分光，致使光轴之间的平行度误差 逐级累加的固有问题，保证多光纤准直器输出光任意 两个光束之间的平行度均小于 5″。 图 12. 自主设计的非共光路多轴干涉镜组。（a）典型镜组的3D设计图；（b）实物图基于上述高精度激光稳频、光学非线性误差精准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等多项关键技 术，本课题组研制了系列超精密高速激光干涉仪 （图 17），其激光真空波长准确度最高达 9. 6×10-10 （k=3），位移分辨力为 0. 077 nm，最低光学非线性误差为 13 pm，最大测量速度为 5. 37 m/s（表 2）。并成功应用于上海微电子装备（集团）股份有限公司 （SMEE）、中国计量科学研究院（NIM）、德国联邦物理技术研究院（PTB）等十余家单位 ，在国产光刻机、国家级计量基准装置等高端装备的研制中发挥了关键作用。 图 17. 自主研制的系列超精密高速激光干涉仪实物图。（a）20轴以上超精密高速激光干涉仪；（b）单轴亚纳米级激光干涉仪；（c）三轴亚纳米级激光干涉仪超精密激光干涉仪在精密工程中的实际测量， 不仅考验仪器的研制水平，更考验仪器的应用水 平，如复杂系统中的多轴同步测量，亚纳米乃至皮 米量级新误差源的发现与处理，高水平的温控与隔 振环境等。下面主要介绍超精密激光干涉仪的几 个典型应用。 国产光刻机研制：多轴高速超精密激光干涉仪 在国产光刻机研制方面，多轴高速超精密激光 干涉仪是嵌入光刻机并决定其光刻精度的核心单元之一。但是，一方面欧美国家在瓦森纳协定中明确规定了该类干涉仪产品对我国严格禁运；另一方面该类仪器技术复杂、难度极大，我国一直未能完整掌握，这严重制约了国产光刻机的研制和生产。 为此，本课题组研制了系列超精密高速激光干涉测量系统，已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测试领域，典型应用如图 18 所示，其各项关键指标均满足国产先进光刻机研发需求，打破了国外相关产品对我国 的禁运封锁，在国产光刻机研制中发挥了重要作用。在所应用的光刻机中，干涉仪的测量轴数可达 22 轴以上，最大测量速度可达 5. 37 m/s，激光真空 波 长/频 率 准 确 度 最 高 可 达 9. 6×10−10（k=3），位 移 分 辨 力 可 达 0. 077 nm，光 学 非 线 性 误 差 最 低 为 13 pm。 配 合 超 稳 定 的 恒 温 气 浴（3~5 mK@ 10 min）和隔振环境，可以对光刻机中双工件台的多维运动进行线位移、角位移同步测量与解耦，以满足掩模工件台、硅片工件台和投影物镜之间日益复杂的相对位置/姿态测量需求，进而保证光刻机整体套刻精度。图 18. 超精密高速激光干涉测量系统在光刻机中的应用原理及现场照片国家级计量基准装置研制：亚纳米精度激光干涉仪 在国家级计量基准装置研制方面，如何利用基本物理常数对质量单位千克进行重新定义，被国际知名学术期刊《Nature》评为近年来世界六大科学难题之一。在中国计量科学研究院张钟华院士提出的“能量天平”方案中，关键点之一便是利用超精密激光干涉仪实现高准确度的长度测量，其要求绝对测量精度达到 1 nm 以内。为此，本课题组研制了国内首套亚纳米激光干涉仪，并成功应用于我国首套量子化质量基准装置（图 19），在量子化质量基准中 国方案的实施中起到了关键作用，并推动我国成为首批成功参加千克复现国际比对的六个国家之一［30- 32］。为达到亚纳米级测量精度，除了精密的隔振与温控环境以外，该激光干涉仪必须在真空环境 下进行测量以排除空气折射率对激光波长的影响， 其测量不确定度可达 0. 54 nm @100 mm。此外，为了实现对被测对象的姿态监测，该干涉仪的测量轴 数达到了 9 轴。图 19. 国家量子化质量基准及其中集成的亚纳米激光干涉仪 结论 近年来，随着高端装备制造、精密计量和大科学装置等精密工程领域技术的迅猛发展，光刻机等高端制造装备、能量天平等量子化计量基准装置、 空间引力波探测等重大科学工程对激光干涉测量技术提出了从纳米到亚纳米甚至皮米量级精度的 重大挑战。对此，本课题组在超精密激光干涉测量方法、关键技术和仪器工程方面取得了系列突破性进展，下一步的研究重点主要包括以下 3 个方面： 1）围绕下一代极紫外光刻机的超精密高速激光干涉仪的研制与应用。在下一代极紫外光刻机中，其移动工件台运动范围、运动精度和运动速度将进一步提升，将要求在大量程、6 自由度复杂耦合、高速运动条件下实现 0. 1 nm 及以下的位移测量精度，对激光干涉仪的研发提出严峻挑战；极紫外光刻机采用真空工作环境，可减小空气气流波动和空气折射率引入的测量误差，同时也使整个测量系统结构针对空气- 真空适应性设计的复杂性大幅度增加。2）皮米激光干涉仪的研制与国际比对。2021年， 国家自然科学基金委员会（NSFC）联合德国科学基 金会（DFG）共同批准了中德合作项目“皮米级多轴 超精密激光测量方法、关键技术与比对测试”（2021 至 2023 年）。该项目由本课题组与德国联邦物理技术研究院（PTB）合作完成，预计将分别研制下一代皮米级精度激光干涉仪，并进行国际范围内的直接 比对。3）空间引力波探测。继 2017 年美国 LIGO 地面引力波探测获诺贝尔物理学奖后，各国纷纷开展了空间引力波探测计划，这些引力波探测器实质上就是巨型的超精密激光干涉仪。其中，中国的空间引力波探测计划，将借助激光干涉仪在数百万公里距离尺度上，实现皮米精度的超精密测量，本课题组在引力波国家重点研发技术项目的支持下，将陆 续开展卫星- 卫星之间和卫星- 平台质量块之间皮米级激光干涉仪的设计和研究，特别是皮米级非线性实现和皮米干涉仪测试比对的工作，预期可对空间引力波探测起到积极的支撑作用。本课题组在超精密激光干涉测量技术与仪器领域有超过 20 年的研究基础，建成了一支能够完全自主开发全部激光干涉仪核心部件、拥有完整自主知识产权的研究团队，并且在研究过程中得到了 12 项国家自然科学基金、2 项国家科技重大专项、2 项 国家重点研发计划等项目的支持，建成了超精密激光测量仪器技术研发平台和产业化平台，开发了系列超精密激光干涉测量仪，在国产先进光刻机研发、我国量子化质量基准装置等场合成功应用，推动了我国微电子光刻机等高端装备领域的发展，并将通过进一步研发，为我国下一代极紫外光刻机研 发、空间引力波探测、皮米激光干涉仪国际比对提供支撑。全文详见：超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器.pdf

激光干涉测量助力空天探索 在空天探索领域，空间引力波探测是当前国际研究热点，作为人类观测宇宙的新窗口，引力波将为人类探索早期黑洞合并、超新星爆发等宇宙结构形成过程提供观测手段，对探索宇宙起源与演化具有重要的意义。为了探测中低频段的空间引力波，国内外研究人员计划在相距数十万乃至数百万千米的空间轨道上建立超高灵敏度星间激光干涉系统，该方法的本质是将现有的激光干涉超精密测量技术应用到外太空去，突破地面探测臂长的限制，摆脱地面各种干扰源对精密测量的影响。其关键技术是测量相距数百万公里的两个测试质量之间的间距变化，主要包括：测试质量与卫星平台之间的间距变化、两个卫星平台之间的间距变化，前者涉及到测试质量的多个自由度精密检测，探测灵敏度需要在1 mHz~1 Hz频段达到~1 pm/Hz1/2（平动）以及~1 nrad/Hz1/2（转动）水平。揭秘空间引力波探测的原理 空间引力波探测任务需要实现对测试质量皮米量级的平动测量以及纳弧度量级的转动测量，关键技术单元包括：激光外差干涉、差分波前传感以及高精度相位测量三部分，如图1所示，通过测量两测试质量之间的平动转动，获得其间距变化信息，从而探测引力波信号。图1面向空间引力波探测的激光外差干涉多自由度超精密测量技术示意图激光外差干涉 激光外差干涉测量原理如图2所示，频率相近的两束激光（测量光频率f1，参考光频率f2）合束后，合成波（频率为f1+f2）会存在一个包络，其频率为|f1-f2|，这一包络频率也被称为外差频率。 当测试质量在沿测量光传播方向上运动状态改变、或者引力波来临时，干涉仪的测量臂光程发生变化，表现为外差干涉信号的相位波动，即图2中紫色虚线部分。以经典迈克尔逊干涉结构为例，外差干涉信号相位的一个周期变化对应位移变化半波长（光程变化一个波长），有 其中，λ为激光输出波长，L为测试质量的等效位移，φ为外差干涉信号的相位变化。图2 激光外差干涉原理示意图差分波前传感 差分波前传感是一种基于激光波前相位比较的高精度角度测量方法，测量原理如图3所示。测量光与参考光合束后入射至四象限探测器表面，两束光满足干涉条件产生外差干涉信号，照射在探测器四个象限后会分别产生四路干涉信号。当测量目标平动时，四路外差干涉信号相位发生相应波动，与采用普通光电探测器的原理相一致；当测量目标转动时，测量光的波前相对参考光发生偏离，由于四象限探测器具有一定的空间间距，导致四路外差干涉信号的相位波动并不相同，通过对比不同象限的干涉信号相位差异，可以反演得到测量目标在水平方向和竖直方向上的转动角度，有 其中，θh为水平转动角，θv为垂直转动角 ФA/B/C/D为不同象限的外差干涉信号相位变化 kh/v为比例系数，由光束参数以及四象限探测器的几何参数共同决定，实验中常用偏摆镜配合自准直仪进行标定。图3 差分波前传感和四通道拍频信号波形示意图高精度相位测量 高精度相位测量可以通过锁相放大器或者相位计来实现，其基本原理如图4所示，外差干涉信号转化为电信号后与本地时钟（或外部参考）及其正交信号混频，低通滤波后分别得到Q信号（quadrature）和I信号（in-phase），计算I/Q反正切值并作相位解包裹运算得到相位差，Q信号作为相位误差信号反馈至本地可调时钟，更新本地时钟输出频率从而保持与输入外差干涉信号频率一致，形成锁相环路。图4 相位测量基本原理[1]国内外干涉仪研究进展LISA LISA （Laser Interferometer Space Antenna）是于1992年发起的一项探测1 mHz~1 Hz频段引力波信号的科学研究计划，这是最早开始、也是目前国际上发展最成熟的空间引力波探测计划，其中一项关键技术是实现测试质量的超高灵敏度多自由度测量。 2012年，德国汉诺威大学的Marina Dehne等人设计搭建了一套用于验证测试质量干涉仪噪声源及其消除技术的激光外差干涉测量系统，分析了多个噪声源（激光频率、激光强度、激光指向漂移、温度、偏振态、移频驱动边带、杂散光等）对相位读出的影响，并研究了多种噪声消减数据处理方法，在空间引力波探测目标频段成功实现了~1 pm/Hz1/2的超精密位移测量。 图5给出了LISA激光干涉平动转动测量技术发展时间线，该计划从提出开始，经历地面模拟论证、噪声源探索、技术卫星验证、光路布局优化测试等，距今已经开展了三十余年，其中用于测试质量多自由度测量的激光外差干涉技术灵敏度已经突破1 pm/Hz1/2和1 nrad/Hz1/2。目前光学干涉平台布局处于优化设计阶段，激光外差干涉超精密测量技术是否能够实现百万公里距离的两测试质量之间的皮米级平动测量并成功探测到宇宙深处的引力波，这仍然需要时间来给出答案。图5 激光干涉平动转动测量技术发展时间线(LISA)太极&天琴 2008年，我国科学家开始探讨中国的空间引力波探测计划，并于2012年正式成立了空间引力波探测工作组，2014年提出基于“日心”轨道和“地心”轨道两个独立的探测方案，即太极计划和天琴计划[2-3]。目前两者均形成了较为完备的星间激光干涉测量方案。 同LISA一样，太极和天琴于2019年分别发射了太极一号和天琴一号技术验证卫星，所搭载的光学干涉平台如图6所示，前者采用殷钢材料制作光学干涉平台基座、后者则采用光粘的方式来提高干涉装置的热稳定性，两者都包含有前端光程参考干涉仪和测试质量测量干涉仪。测试实验最新结果表明，空间激光干涉仪可以实现毫赫兹频段皮米量级的超精密位移测量，标志着我国在空间引力波探测中用于测试质量的激光外差干涉测量技术研究正逐渐走向国际前列。图6 我国空间引力波探测技术验证卫星激光干涉平台（a）太极一号[2]（b）天琴一号[4] 其他 2021年，美国德州农工大学提出了一种一体式外差干涉仪，将分光镜波片等关键镜组胶粘成一个整体，提升干涉仪稳定性，并通过抽真空、被动控温、噪声建模消减等措施最终实现了33 pm/Hz1/2@0.1 Hz的平动测量。 2022年，清华大学谈宜东团队提出了一种用于测试质量五自由度测量的偏振复用双光束干涉仪，光路设计如图7所示，包含参考干涉仪（RHI）、双光束干涉仪（DBHI）和偏振复用干涉仪（PMHI），初步实验在10 mHz~1 Hz频段实现了优于10 pm/Hz1/2 以及20 nrad/Hz1/2的平动转动灵敏度测量。图7 偏振复用双光束激光外差干涉五自由度测量系统星辰宇宙，未来可期 “此曲只应天上有，人间难得几回闻”，如果说引力波是携带着浩瀚宇宙信息的乐曲，那么激光干涉超精密测试技术就是用来“听曲”的最灵敏的传声筒。在空间引力波探测领域，我国的激光外差干涉多自由度超精密测量技术相比于欧美LISA团队仍处于跟跑阶段，但未来有希望实现并跑甚至领跑。而且，空间引力波探测中涉及的外差干涉技术，可以对长度量进行高精度、大量程的超精密测量，可扩展应用于下一代高速、超精密二维或三维运动台的精确定位与运动控制，进而支撑我国超精密加工制造、IC 装备及尖端航空航天科技的发展，对于国民经济和工业建设有着重要的实际意义[5]。全文下载：空间引力波探测中的激光干涉多自由度测量技术.pdf参考文献：[1]Schwarze T S.Phase extraction for laser interferometry in space: phase readout schemes and optical testing[D]. Hannover: Institutionelles Repositorium der Leibniz Universität Hannover, 2018.[2] Luo Z R, Wang Y, Wu Y L, et al. The Taiji program: A concise overview[J]. Progress of Theoretical and Experimental Physics, 2021(5), 05A108.[3] Luo J, Chen L S, Duan H Z, et al. TianQin: a space-borne gravitational wave detector[J]. Classical & Quantum Gravity, 2015, 33(3): 035010.[4]Luo J, Bai Y Z, Cai L, et al. The first round result from the TianQin-1 satellite[J]. Classical and Quantum Gravity, 2020, 37(18): 185013.[5] 谈宜东, 徐欣, 张书练. 激光干涉精密测量与应用.中国激光,2021,48(15) : 1504001.作者简介 谈宜东，清华大学精密仪器系，长聘副教授，博士生导师，副系主任；基金委优秀青年科学基金获得者，英国皇家学会牛顿高级学者，教育部创新团队负责人。中国电子信息行业联合会光电产业委员会副会长、中国仪器仪表学会机械量测试仪器分会常务理事。 主要从事激光技术和精密测量应用等方面的研究工作。作为负责人承担国家自然科学基金，装发和科工局测试仪器领域关键技术攻关项目，科技部重点研发计划课题，军科委基础加强，重大科学仪器专项等项目40余项。在Nature Communications, PhotoniX, Optica, Bioelectronics and Biosensors, IEEE Transactions on Industrial Electronics等期刊发表 SCI 论文 100余篇，授权发明专利36项，在国际会议Keynote/Plenary/Invited报告40余次。先后获日内瓦国际发明展金奖，中国激光杂志社主编推荐奖，中国光学工程学会技术发明一等奖，中国电子学会技术发明一、二等奖多项。课题组介绍 清华大学精密仪器系激光技术与精密测量应用课题组，在激光器件及其物理效应、精密测量应用等方面开展了大量的工作，构成了从基础器件的设计和发明，到物理现象和效应的发现，进而在发现基础上的仪器发明，直至仪器的推广和应用这一较为完整的体系。先后研制了双折射-塞曼双频激光器及其双频激光干涉仪，实现了成果转化，成规模应用于国家02专项以及中芯国际、吉顺芯等公司进口光刻机干涉仪的替换；基于激光回馈原理的无靶镜纳米测量干涉仪，用于国家多个重点型号工程，包括：高分四号、一号以及激光聚变点火等。课题组还开展了远距离激光侦听、激光回馈调频连续波绝对测距、生化检测、pm量级灵敏度的激光干涉超精密测量技术(引力波专项)等研究。

寻找金属加工行业最美老设备——这是荷兰咨询机构 P.K.M. 举办摄影比赛的目的。不仅要考虑照片本身，还要考虑它背后的故事。参赛者们发来了各种设备的照片：旧冲压机、金属轧制机、钻床和钻孔机。还有一台带有5.25英寸双软盘驱动器的旧电脑。“P.K.M.为所有参赛者感到激动：精彩的照片和美丽的故事。当然，赢家只有一个。”评审团说。获胜者是 Nobby Assmann，他凭借一台1930年末的蔡司测量机赢得了胜利。Nobby 接受了为期两天的定制咨询服务。P.K.M.是一家咨询机构，涉及公司战略、员工管理、市场营销、质量和可持续性等领域。“我们希望得到公司战略方面的全面建议。”Nobby说。“早些时候，P.K.M.就公司继任计划向我们提供了咨询服务，这非常有帮助。”#1 专注于工具车间测量Nobby和他的父母共同经营一家小型的零部件加工公司。该公司提供包括电火花线切割、电火花沉模、镗孔珩磨、平面研磨、平面和外圆磨削以及合同测量工作。获奖的古董测量显微镜就放在大厅里。当你进入公司时，你就会很清楚的感受到测量对公司来说是非常重要的。在测量实验室里，Nobby在检测自己公司的产品，但大部分时间都是外包工作：检查客户生产的产品。“我真的很热爱测量”，Nobby 说。“我检测的产品非常多样化——我的客户也是如此。”去年，公司购买了一台现代化三坐标测量机：一台配备了VAST XT测头的ZEISS CONTURA。“我真的很享受使用准确设备和强大软件来工作。老式测量显微镜也以它自己的方式令人印象深刻：非常准确且设计精良。我可以盯着它看几个小时。”#2 老设备，大本领仿佛恋爱一般，Nobby看着这个只有500kg重的设备，轻轻抚摸着哑光黑色油漆。“这是蔡司制造的原始橡木桌。附带一本印刷在超薄纸上的手册，并配有精美的照片，展示了各种各样的配件。一项特殊功能是工件显微镜的倾斜。它使您能够在桨距角下检查螺纹。这是我从未见过的一个功能，非常有用——即使在现代光学或视觉测量机上也是如此。”“在我看来，最特别的是X轴和Y轴的读数。”你可以通过两台显微镜来读取坐标轴，它们都由老式自行车灯泡照明。“你可以很容易地读取到微米(μm)级。稍加练习，你甚至可以读取到十分之一微米，甚至一百纳米… … 用的是三十年代的设备！那不是很了不起吗？！”#3 80年前的设计依旧不过时“看到这个框准确地落地真是太棒了。即使是在半圆形的轮廓中也令人印象深刻。”导轨在画面中完全分开。现代机床和三坐标测量机倾向于有堆叠轴：一个或两个轴沿另一个轴移动。这不是很理想：第一轴（俯仰、滚转、偏航和直线度）的偏差会对后续轴产生影响。这款蔡司设备的X轴和Y轴完全分开。Nobby：“在20世纪30年代，人们已经知道这是制造设备最精确的方法。”当被问及这台设备是否还在使用时，他回答道：“实际上我很少需要使用旧的测量显微镜。但有时用我们的数控三坐标测量机或数控圆度测量机测量尺寸非常耗时，甚至是不可能的。用传统的方法而不是用现代的数控设备来获取结果是非常值得的。”

借助先进的运动控制技术和新一代连续扫描探测技术的发展，Hexagon计量产业集团全线升级其业界享有广泛盛誉的Global系列测量机，并于2009年9月1日面向全球市场发布。　　随着精密制造以及流线造型的大量涌现，要求测量精度更高、速度更快，新一代的Global测量机就是在此背景下推出，并在测量精度和快速扫描领域取得了新的突破，从而再度成为业界的标杆。　　Global测量机自推出以来，全球已安装超过8,000台，是全球安装数量最多的坐标测量系统。“此次Global测量机的全面升级，旨在为全球客户提供技术更优、功能更强、可靠性更好、更符合其要求的高性价比产品。相信新一代的Global将会延续其已有的成功，为全球客户提供更好的计量服务。”海克斯康测量技术(青岛)有限公司总工程师周亮博士如此说。　　访问海克斯康官方网站http://www.hexagonmetrology.com.cn/Product_view_1_106.htm了解更多Global产品信息

日前，由中国计量科学研究院承担的“电子束吸收剂量基准(化学法)改造”项目顺利通过专家验收。该项目的研究成果彻底解决了电子束辐射加工工艺中如何有效控制产生电子束的辐射剂量的技术难题。　　食品辐射保藏，一次性医疗卫生用品的辐射消毒，中医药材和保健品的辐射灭菌，甚至高分子航天材料的辐射改良都离不开电子束辐射加工，这项工艺由于具有优质、高效、低能耗、少污染、操作简便的特点而受到广泛重视和应用。然而，如何有效控制产生电子束的辐射剂量、保证产品质量一直是人们比较关注的技术难题。　　据课题负责人、中国计量院电离医学所张彦立研究员介绍，项目组历时两年，改造建立了硫酸亚铁剂量计、重铬酸银剂量计、重铬酸钾(银)剂量计和硫酸铈-亚铈剂量计测量电子束吸收剂量测量装置，其测量电子束吸收剂量的范围为：0.5kGy～40kGy，测量扩展不确定度达到3.7%(k=2) 研究确定了工作剂量计为辐射显色薄膜剂量计(RCD和CTA)，其测量量程为：0.5～350(kGy)，测量扩展不确定度达到6.0%(k=2)。　　据介绍，该项目组研究建立的液体化学剂量体系在测量装置和剂量学特性方面与国际同类方法一致，达到了国际先进水平 与直线电子加速器共同构成的电子束吸收剂量测量系统，填补了国家电子束吸收剂量量值传递的空白 为在我国建立电子束吸收剂量国家计量标准装置和技术平台，统一全国辐射加工产品的吸收剂量量值，保证电子束辐照产品的质量提供了可靠的技术支撑，具有显著的社会效益。

无论是环境水体、饮用水源还是废水排放，都有严格的国家标准，需要便捷且可靠的设备为您保驾护航。继pH计、电导率仪和溶解氧测试仪之后，奥豪斯正式推出AquaSearcher™ AP系列便携式光度计。它不但提供整合功能的多参数水质分析仪，也可以满足测定特定参数的快速水质分析。AquaSearcher™ AP系列便携式光度计，包括多参数比色浊度计、便携式比色计和便携式浊度测量仪等多种型号。新增检测项目约50项：包括常见的COD，总磷，总氮，浊度；金属，如锌，铁，铜；非金属，如磷，硫，溴；化合物，如余氯，总氯，二氧化氯，过氧乙酸等多种水质检测指标。相信这款中国设计制造的产品，将会为全球水质分析市场带来新的惊喜。多功能、更强大的AP50MM便携式多参数比色浊度计AquaSearcher™ AP50MM便携式多参数比色浊度计内置50多项水质测量程序，广泛应用于教育、工业,环保和市政等行业的水质检测。仪器可自动选择七种独立波长光源，内置标准曲线简化现场测量步骤；高灵敏度的检测器搭配成熟先进的光路技术为您提供准确的数据；碱性电池供电，现场测试更灵活方便。更坚固、更耐用的工业级AP40系列便携式比色计AquaSearcher™ AP40系列便携式比色计不仅可满足工业现场环境的水质测试要求，也适用于突发事件的快速水质监测及野外常规水质参数的测量，以应对多种特殊应用场所的测量需求。更小巧、更便捷的AP30系列便携式比色计AquaSearcher™ AP30系列便携式比色计采用分光光度计原理，使用多种波长LED 光源，满足测量多种水质指标。小巧轻便，更低能耗，工作时间更长。多面手、更可靠的AP30TUR系列便携式浊度测量仪AquaSearcher™ AP30TUR系列便携式浊度测量仪结合了散射光法和透射光，搭配双检测器，消除色度干扰，测量结果更准确可靠，符合ISO7027标准，适合多种场合使用。17款光度计主机和2款消解仪本次上市的仪器共计17款光度计主机和2款消解仪，新增检测项目约50项，适用范围广泛，污水；地表水；水源地；水文水利；工业现场；市政污水；自来水；泳池水；SPA游泳池 等。欢迎广大经销商和用户按需选购。

?1月25日，临近中国传统节日春节，岛津公司联合三丰精密量仪（上海）有限公司在岛津中国上海分公司举办了测量CT技交会。岛津公司外资部负责人宫崎部长专程出席会议并发表祝辞，对表达了主办方对与会人员的感谢。 岛津公司特地从日本请来“国立产业技术综合研究所”几何标准测量组长——安部诚先生介绍了无损检测中测量CT的应用和测量相关标准。日本国立产业技术综合研究所是日本政府设立的第三方计量机构，具有计量、量器标定、标准制定等职能。国立产业技术综合研究所 安部先生介绍应用知识 岛津制作所NDIBU部长夏原正仁先生就测量CT仪器和其应用案例进行了介绍。岛津制作所NDIBU夏原正仁部长介绍测量CT 用于测量CT后处理软件的德国VG公司对他们的三维图像处理软件——VG Studio产品进行了详细介绍。VG公司的产品主要为CT图形处理软件，功能强大，效果卓越，VG公司日本分公司总经理佐藤先生介绍产品 最后，三丰精密量仪上海公司对三丰公司的三座标展品进行了介绍。三丰精密量仪上海公司部长介绍三丰产品 本次技交会中介绍的岛津测量CT——XDimensus300，是岛津公司与日本国立产业技术综合研究所联合开发的产品，具有精度高、系统稳定可靠、操作简单方便等优点，适用于汽车、机械加工等行业，是未来研发设计、品质管理上极其重要的仪器。岛津微焦点测量CT系统XDimensus300 本次会议获得与会人员的高度好评。会后，与会者参观了岛津公司分析中心，实机体验了岛津测量CT的卓越性能。关于岛津 岛津企业管理（中国）有限公司是（株）岛津制作所于1999年100%出资，在中国设立的现地法人公司，在中国全境拥有13个分公司，事业规模不断扩大。其下设有北京、上海、广州、沈阳、成都分析中心，并拥有覆盖全国30个省的销售代理商网络以及60多个技术服务站，已构筑起为广大用户提供良好服务的完整体系。本公司以“为了人类和地球的健康”为经营理念，始终致力于为用户提供更加先进的产品和更加满意的服务，为中国社会的进步贡献力量。

table width="626" cellspacing="0" cellpadding="0" border="1" align="center"tbodytr style=" height:25px" class="firstRow"td style="border: 1px solid windowtext padding: 0px 7px " width="124" height="25"p style="line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"成果名称/span/p/tdtd colspan="3" style="border-color: windowtext windowtext windowtext currentcolor border-style: solid solid solid none border-width: 1px 1px 1px medium border-image: none 100% / 1 / 0 stretch padding: 0px 7px " valign="bottom" width="502" height="25"p style="text-align:center line-height:150%"strongspan style=" line-height:150% font-family:宋体"基于智能终端叶面积指数快速测量系统—LAISmart/span/strong/p/td/trtr style=" height:25px"td style="border-color: currentcolor windowtext windowtext border-style: none solid solid border-width: medium 1px 1px border-image: none 100% / 1 / 0 stretch padding: 0px 7px " width="124" height="25"p style="line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"单位名称/span/p/tdtd colspan="3" style="border-color: currentcolor windowtext windowtext currentcolor border-style: none solid solid none border-width: medium 1px 1px medium padding: 0px 7px " width="502" height="25"p style="line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"北京师范大学/span/p/td/trtr style=" height:25px"td style="border-color: currentcolor windowtext windowtext border-style: none solid solid border-width: medium 1px 1px border-image: none 100% / 1 / 0 stretch padding: 0px 7px " width="124" height="25"p style="line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"联系人/span/p/tdtd style="border-color: currentcolor windowtext windowtext currentcolor border-style: none solid solid none border-width: medium 1px 1px medium padding: 0px 7px " width="100" height="25"p style="line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"屈永华/span/p/tdtd style="border-color: currentcolor windowtext windowtext currentcolor border-style: none solid solid none border-width: medium 1px 1px medium padding: 0px 7px " width="146" height="25"p style="line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"联系邮箱/span/p/tdtd style="border-color: currentcolor windowtext windowtext currentcolor border-style: none solid solid none border-width: medium 1px 1px medium padding: 0px 7px " width="204" height="25"p style="line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"qyh@bnu.edu.cn/span/p/td/trtr style=" height:25px"td style="border-color: currentcolor windowtext windowtext border-style: none solid solid border-width: medium 1px 1px border-image: none 100% / 1 / 0 stretch padding: 0px 7px " width="124" height="25"p style="line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"成果成熟度/span/p/tdtd colspan="3" style="border-color: currentcolor windowtext windowtext currentcolor border-style: none solid solid none border-width: medium 1px 1px medium padding: 0px 7px " width="502" height="25"p style="line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"□正在研发 □已有样机 □通过小试 □通过中试 √可以量产/span/p/td/trtr style=" height:25px"td style="border-color: currentcolor windowtext windowtext border-style: none solid solid border-width: medium 1px 1px border-image: none 100% / 1 / 0 stretch padding: 0px 7px " width="124" height="25"p style="line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"合作方式/span/p/tdtd colspan="3" style="border-color: currentcolor windowtext windowtext currentcolor border-style: none solid solid none border-width: medium 1px 1px medium padding: 0px 7px " width="502" height="25"p style="line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"□技术转让 □技术入股 √合作开发 □其他/span/p/td/trtr style=" height:207px"td colspan="4" style="border-color: currentcolor windowtext windowtext border-style: none solid solid border-width: medium 1px 1px border-image: none 100% / 1 / 0 stretch padding: 0px 7px " width="626" height="207"p style="line-height:150%"strongspan style=" line-height:150% font-family: 宋体"成果简介：/span/strong/pp style="text-align: center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201803/insimg/9c3d5c7f-dc46-495c-af6c-efc6463a0779.jpg" title="6.jpg" style="width: 400px height: 121px " width="400" vspace="0" hspace="0" height="121" border="0"//pp style="text-align: center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201803/insimg/b390b317-9db5-43cd-b361-c32ce364aa0d.jpg" title="7.jpg" style="width: 250px height: 379px " width="250" vspace="0" hspace="0" height="379" border="0"//pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"LAISmart是一款基于智能手机实现植被参数测量与科学数据远程共享的设备。LAISmart集成了GPS、光照度、姿态传感器，同步获取测量现场的图像、位置与定量分析信息，可以实现植被覆盖度、郁密度、叶面积指数的自动测量，具有体积小便携操作的特点。测量结果可以通过云服务器实现数据自动网络存储与远程共享。/span/pp style="line-height:150%"strongspan style=" line-height:150% font-family:宋体"主要技术指标：/span/strong/pp/pp style="text-align: center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201803/insimg/a6ce265d-b466-4598-b42f-ab31bd2c4e7b.jpg" title="2018-03-22_143547.jpg"//pp style="line-height:150%"strongspan style=" line-height:150% font-family: 宋体"技术特点：/span/strong/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"便携：适应个人智能终端的快速发展，提供便携的植被参数测量设备/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"适用性广：多角度拍摄，向上可拍郁密或高大冠层；向下可拍稀疏或低矮冠层；对测量环境和光环境无要求。/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"云存储：与云存储无缝对接，将野外测量数据实时传输到网络。/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"测量连续性：只要设计好样方点便可进行连续测量。/span/p/td/trtr style=" height:75px"td colspan="4" style="border-color: currentcolor windowtext windowtext border-style: none solid solid border-width: medium 1px 1px border-image: none 100% / 1 / 0 stretch padding: 0px 7px " width="626" height="75"p style="line-height:150%"strongspan style=" line-height:150% font-family: 宋体"应用前景：/span/strong/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"智慧农业、农业遥感、生态监测/span/p/td/tr/tbody/tablepbr//p

近日，山东省人民政府印发关于贯彻落实《计量发展规划（2021-2035年）》的实施意见（以下简称《实施意见》），围绕五个方面提出27条实施措施。《实施意见》提出加强计量技术研究，包括新型量值传递溯源技术研究，重点研究太赫兹功率、光谱测量仪器等量值传递溯源技术，推进量子传感、微纳米、复杂几何量等测量技术和应用。《实施意见》还强调强化计量应用支撑，服务重点领域发展。（一）夯实先进制造业计量根基。加强仪器设备研发，具体包括开展大空间精密测量、高电压、太赫兹、电磁兼容等领域测量方法研究和测量装备研制，提升产业计量基础支撑能力；实施仪器设备质量提升工程，加强高端仪器设备核心器件、核心算法研究，重点在核电仪表、分析仪器、智能传感器等领域进行技术攻关，研发小型在线质谱仪、化学传感器、光学传感器等精密计量器具；建设环境监测仪器、色谱仪、质谱仪、流量仪表、电力仪表、坐标测量仪器、材料试验机等10个左右仪器仪表产业发展聚集区，培育一批仪器仪表“专精特新”小巨人企业，提升仪器设备研发能力和自主可控水平，培育20家具有核心竞争力的品牌企业。（二）服务海洋强省建设。推动建设国家海洋计量科学研究中心，突破海洋水声、海洋重磁、海洋温度等方向的关键测量技术，提高海洋计量基础科学研究能力；培育海洋装备产业计量测试中心，开展海洋专用仪器计量测试技术研究。（三）支撑碳达峰碳中和目标实现。加快建设“高耗能、高排放”行业计量监测体系，开展钢铁、电力、交通运输等重点行业碳排放直接测量方法和在线监测设备量值传递溯源技术研究，规范碳计量器具管理；加强碳排放关键计量测试和精密测量技术研究，开发碳排放测量器具。（四）支撑新能源新材料产业提升。研究氢能、太阳能、风能等新能源专用计量测试技术，加快推进碳纤维、高端铝材、橡胶、石墨烯、生物医用材料等领域材料组成、结构和性能等关键测量测试技术研究，满足新能源新材料行业量值传递溯源需求。（五）提升现代基础设施计量保障能力。建立完善交通、信息、水利等现代化基础设施计量支撑体系；突破极微弱光探测测试技术，研制光通信领域国际领先的超高灵敏度、超高精度计量检测装置。研制明渠流量计量等水资源计量专用设备，建立完善水资源专用全口径、大流量、复杂工况的计量标准。开展新能源汽车电池、充电设施等计量测试技术研究和测试评价，加强智能汽车计量测试方法研究。 全文如下：山东省人民政府关于贯彻落实《计量发展规划（2021-2035年）》的实施意见鲁政发〔2022〕15号各市人民政府，各县(市、区)人民政府，省政府各部门、各直属机构，各大企业，各高等院校：为贯彻落实《计量发展规划（2021-2035年）》，全面加强山东省计量体系和能力建设，更好发挥计量在经济社会高质量发展中的基础性、支撑性作用，结合《山东省国民经济和社会发展第十四个五年规划和2035年远景目标纲要》，现提出以下实施意见。一、总体要求以习近平新时代中国特色社会主义思想为指导，全面贯彻党的十九大和十九届历次全会精神，认真落实习近平总书记对山东工作的重要指示要求，锚定“走在前、开新局”，以推动高质量发展为主线，以国家和省内重大需求为牵引，以改革创新为动力，加快建设国内领先的现代先进测量体系，提升科学计量、产业计量、能源计量、民生计量水平，为新时代社会主义现代化强省建设提供强有力的计量基础支撑和保障。二、发展目标到2025年，全省计量体系和能力建设取得显著成效，计量在服务保障全省经济社会高质量发展、保障高品质生活方面的地位和作用日益突出，现代先进测量体系初步建成，科研创新能力、计量服务保障能力显著提升，计量监管体系更加完善，部分领域达到国内领先水平。——计量科技创新能力明显提升。加强省级计量科学研究机构能力建设，新建10个省级计量专业技术委员会，培育计量科技创新基地、先进测量实验室、计量数据建设应用基地等计量创新平台5个。——计量服务保障能力持续增强。新建产业计量测试中心10个以上，服务先进制造业企业3000家以上，引导发展100家左右具有较强竞争力的计量器具、传感器、仪器仪表生产企业，15家标准物质生产机构，培育20家具有核心竞争力的品牌企业。——计量监督管理体制更加健全。全省新建和升级社会公用计量标准600项以上，研制标准物质1000项以上，制（修）订省级计量技术规范100项，强制检定项目省级及以下建标覆盖率达95%以上，全省社会公用计量标准满足社会95%以上的量值传递溯源需求。——计量基础支撑体系更加完善。推动计量惠民工程实施提质增效，建设20个省级诚信计量示范县（市、区）、50个以上诚信计量示范街（社）区，引导培育诚信计量示范单位5000家以上，加强计量文化和科普工作，建设30个计量文化基地，聘请100名计量文化宣传大使。展望2035年，计量科技创新能力大幅提升，现代先进测量体系全面建成，关键领域计量技术取得重大突破，建成推动我省经济社会高质量发展需要的高水平量值传递溯源体系和完善发达的计量技术服务业，计量服务能力全面提升，计量监管工作全面加强。三、加强计量技术研究，推动创新驱动发展（一）加快关键核心技术攻关。加强计量测试理论、方法与应用技术研究，重点推进计量数字化转型以及计量器具远程、在线、嵌入式校准技术研究。针对极端条件、复杂环境和实时工况的计量需求，研究复杂条件下的量值传递溯源等共性技术。加强分布式系统和传感器网络计量技术研究，突破动态、在线、原位校准技术瓶颈，解决极端量、复杂量、微观量等多参量和综合参量的准确测量难题。（省市场监管局牵头，省科技厅配合）（二）加强产业计量技术研究。瞄准先进制造业发展趋势，组织开展数字化模拟测量、跨尺度测量、复杂系统综合测量、工况环境监测等测量测试技术研究，强化计量对产业基础高级化、产业链现代化的支撑作用。推进物联网、云计算、人工智能等新技术在计量仪器设备中的应用，集中突破集成化、微型化、智能化的新型高精度传感技术，提升传感器稳定性、可靠性和准确度。（省市场监管局牵头，省科技厅、省工业和信息化厅配合）（三）完善计量创新协同机制。整合计量优势资源协同攻关解决计量测试难题，在重点产业领域建设先进测量实验室。面向国内经济主战场、面向省内重大战略计量需求，开展计量科研需求采集、联合攻关，推进计量领域科技创新与应用，培育建设计量科技创新基地。（省市场监管局牵头，省委军民融合办、省科技厅、省工业和信息化厅、省自然资源厅、省生态环境厅、省交通运输厅、省水利厅、省卫生健康委、省气象局、省能源局配合）四、强化计量应用支撑，服务重点领域发展（一）夯实先进制造业计量根基。围绕做强做优做大“十强”现代优势产业，建设一批产业计量测试中心和产业计量测试联盟，为产业发展提供全溯源链、全产业链、全寿命周期并具有前瞻性的计量测试服务。落实工业强基计量支撑计划，重点开展基础零部件特性量及结构成分计量测试技术研究、基础材料关键计量测试技术研究和性能评价、基础工艺过程计量控制研究和应用。开展大空间精密测量、高电压、太赫兹、电磁兼容等领域测量方法研究和测量装备研制，提升产业计量基础支撑能力。依托省一体化大数据平台，建设工业计量基础数据库，强化制造业计量数据管理和应用。实施仪器设备质量提升工程，加强高端仪器设备核心器件、核心算法研究，重点在核电仪表、分析仪器、智能传感器等领域进行技术攻关，研发小型在线质谱仪、化学传感器、光学传感器等精密计量器具。建设环境监测仪器、色谱仪、质谱仪、流量仪表、电力仪表、坐标测量仪器、材料试验机等10个左右仪器仪表产业发展聚集区，培育一批仪器仪表“专精特新”小巨人企业，提升仪器设备研发能力和自主可控水平，培育20家具有核心竞争力的品牌企业。（省市场监管局牵头，省发展改革委、省科技厅、省工业和信息化厅、省大数据局配合）（二）服务大众健康与安全。加快医疗健康、食品安全领域计量测试基础设施建设，重点提升疾病防控设备、医用冷链装备、眼科光学仪器等医疗卫生计量器具量值传递溯源能力。加强用于医疗卫生的强制检定计量器具管理，保障医疗卫生领域量值准确。开展医用计量器具量值传递溯源技术研究，突破临床诊断与精准治疗等关键计量技术，研制检测装备和标准物质，支撑生命科学、生物医药、医养健康等产业创新发展。加强公共安全、自然灾害防控等领域计量技术研究和服务。（省市场监管局牵头，省科技厅、省自然资源厅、省卫生健康委、省应急厅、省药监局配合）（三）强化乡村振兴计量保障。开展“计量服务下乡”活动，推动计量技术服务向农村地区延伸。加强粮食购销等涉农领域强制检定计量器具和定量包装商品的计量管理，持续提升农业农村领域计量保障水平。聚焦农产品生产和流通全链条计量保障需求，开展现代高效农业、农机、化肥、农药等农资生产领域测量测试技术研究，推动农资产品质量提升。强化计量对农田水利、农村物流、乡村医疗等农村基础设施的支撑和保障，培育冷链物流产业计量测试中心。（省市场监管局牵头，省交通运输厅、省水利厅、省农业农村厅、省卫生健康委配合）（四）服务海洋强省建设。推动建设国家海洋计量科学研究中心，突破海洋水声、海洋重磁、海洋温度等方向的关键测量技术，提高海洋计量基础科学研究能力。培育海洋装备产业计量测试中心，开展海洋专用仪器计量测试技术研究，重点研究用于模拟全海深压力、温度及盐度范围的全海深环境模拟舱，解决深海传感器在线溯源难题。健全海洋精细化工、海洋药物与生物制品、海洋环境监测、海洋港口等领域计量保障体系，服务海洋强省战略深入实施。（省市场监管局牵头，省发展改革委、省科技厅、省海洋局配合）（五）支撑碳达峰碳中和目标实现。构建“双碳”计量管理体系、计量技术体系和计量服务体系，为温室气体排放可测量、可报告、可核查提供计量支撑。加快建设“高耗能、高排放”行业计量监测体系，开展钢铁、电力、交通运输等重点行业碳排放直接测量方法和在线监测设备量值传递溯源技术研究，规范碳计量器具管理。加强碳排放关键计量测试和精密测量技术研究，开发碳排放测量器具，探索建立碳排放计量审查制度，在有条件的地方设立碳计量实验室。加强能源资源计量数据应用研究，培育建设碳计量中心，推进能源资源计量服务示范。（省市场监管局牵头，省发展改革委、省工业和信息化厅、省自然资源厅、省生态环境厅、省住房城乡建设厅、省交通运输厅、省能源局配合）（六）筑牢数字赋能计量基础。推动计量技术与量子通讯、云计算、大数据等新一代信息技术融合应用，加快建设高精度时间频率、传感器动态校准等计量标准。加强数字计量设施建设，以量值为核心，提升数字终端产品、智能终端产品计量溯源能力。加强生命健康、装备制造、食品安全、环境监测、节能降碳等领域计量数据应用，争设国家计量数据中心山东分中心，培育计量数据建设应用基地。开展集成电路、微机电系统（MEMS）传感器、北斗导航系统等关键参数计量测试技术研究，加快计量测试平台建设和示范应用，服务整装和零部件企业协同发展。（省市场监管局牵头，省工业和信息化厅、省大数据局配合）（七）支撑新能源新材料产业提升。研究氢能、太阳能、风能等新能源专用计量测试技术，加快推进碳纤维、高端铝材、橡胶、石墨烯、生物医用材料等领域材料组成、结构和性能等关键测量测试技术研究，满足新能源新材料行业量值传递溯源需求。强化计量在清洁能源发电、储能及分布式智能电网建设中的应用。培育建设新能源新材料领域产业计量测试中心，重点研究新能源和可再生能源的开发利用，以及新材料和复合材料关键元素、参数测量及溯源性技术研究，完善全产业链计量支撑体系。（省市场监管局牵头，省发展改革委、省科技厅、省工业和信息化厅、省能源局配合）（八）提升现代基础设施计量保障能力。建立完善交通、信息、水利等现代化基础设施计量支撑体系，培育交通产业计量测试中心，开展智慧公路、智慧港航、智慧机场、轨道交通等领域计量关键技术研发和应用。突破极微弱光探测测试技术，研制光通信领域国际领先的超高灵敏度、超高精度计量检测装置。研制明渠流量计量等水资源计量专用设备，建立完善水资源专用全口径、大流量、复杂工况的计量标准。开展新能源汽车电池、充电设施等计量测试技术研究和测试评价，加强智能汽车计量测试方法研究。（省市场监管局牵头，省交通运输厅、省工业和信息化厅、省水利厅配合）五、加强计量能力建设，夯实高质量发展基础（一）构建新型量值传递溯源体系。统筹规划建设省、市、县三级社会公用计量标准，健全完善部门（行业）计量标准，加快企业计量标准建设，推动时间频率、流量等国家计量标准项目落地山东。满足量值传递扁平化和计量数字化转型需要，逐步建成以省级计量技术机构、计量区域测试中心为核心的满足经济社会发展要求的立体化计量保障体系。实施计量标准能力提升工程，加强超导、高温、低温、流量、大电流等领域计量科学研究，建设一批高精度、高稳定性的计量标准，填补我省量值传递溯源体系空白。（省市场监管局牵头，省政府有关部门配合）（二）加大标准物质研制应用。围绕产业链，紧贴测量链，加快新能源新材料、智慧海洋、生物制药、绿色化工等重点产业标准物质的研制，增强核心材料和关键技术自主可控能力。强化标准物质量值和不确定度水平核查，建设标准物质量值核查验证实验室，提升标准物质全寿命周期监管能力。加强应急用标准物质实物和生产能力储备，增强战略性、公益性标准物质供给。（省市场监管局牵头，省政府有关部门配合）（三）建设与我省现代化水平相适应的计量技术机构体系。坚持各级法定计量技术机构的独立性、法制性和公益性，加强普惠性、基础性计量基础设施建设，满足履行计量器具强制检定等法定职责需要，依法有序推进法定计量技术机构深化改革创新发展。加快法定计量技术机构能力建设，分级别、分区域制定建设标准，推动机构的差异化、专业化发展。加强交通、气象、水文、电力等专业计量技术机构建设，规范专业计量器具的管理和使用。（省市场监管局牵头，省交通运输厅、省水利厅、省气象局、国网山东省电力公司配合）（四）促进企业计量能力提升。引导企业建立完善与科研、生产、经营相适应的计量管理制度和保障体系。指导企业加强计量基础设施建设、计量科技创新和测量数据应用，支持企业开展计量检测设备的智能化升级改造，提升质量控制与智慧管理水平。推行企业计量能力自我声明制度，推广企业计量典型案例。实施中小企业计量伙伴计划，提升产业链相关中小企业计量保证能力。（省市场监管局牵头，省工业和信息化厅配合）按规定落实好企业新购置计量器具相关税收优惠政策。（省税务局牵头）（五）打造新时代计量人才聚集高地。突出“高精尖缺”导向，加大计量人才引进力度，加强基础研究、复合交叉和专业领域计量人才培养。支持计量专业人才申报享受国务院政府特殊津贴、泰山系列人才、科技领军人才和青年拔尖人才。实施计量专业技术人才提升行动，建设一批计量专业技术培训平台和实训基地，提升计量专业技术人才能力，培养一批计量领域技术能手等高技能人才。探索建立首席计量师、首席工程师、首席研究员等聘任制度。建立计量专家人才库，支持技术人员开展计量交流合作。（省市场监管局牵头，省科技厅、省工业和信息化厅、省人力资源社会保障厅配合）（六）推动黄河流域计量协同发展。加强黄河流域计量工作合作，推动建立黄河流域生态保护和高质量发展计量服务协同平台，构建统一协调、运行高效、资源共享、多元共治的计量工作格局。一体推进黄河流域量值传递溯源体系，实现黄河流域计量资源共享互通，加强黄河流域计量科技创新合作，加强区域性计量比对活动，优化区域计量发展合作机制，推动区域量值等效统一。（省市场监管局负责）（七）推动计量工作协同发展。深化质量基础设施协同服务及应用示范创新，强化检验检测、认证认可领域计量溯源技术研究，鼓励技术机构针对产业发展，形成“计量－标准－检验检测－认证认可”整体技术解决方案。大力发展计量校准、计量测试、产业计量等高技术服务新业态，推动计量服务市场健康有序发展。支持社会公用计量标准加入山东省大型科学仪器设备协作共用网。（省市场监管局牵头，省发展改革委、省科技厅配合）六、加强计量监督管理，提升法制监管效能（一）完善计量法规体系。贯彻落实计量法律法规，推动适时修订《山东省计量条例》，规范完善计量监管制度。健全完善地方计量技术规范体系，强化计量技术规范制修订、实施、效果评估和监督全过程管理。加强省级计量技术委员会建设，科学规划计量技术委员会专业体系，建设碳计量、数字计量、人工智能、法制计量、产业计量等10个省级计量技术委员会。完善计量技术规范预研、储备、立项、评审机制，制（修）订100项省级计量技术规范。（省市场监管局负责）（二）创新计量监管模式。建立智慧计量监管平台暨全省计量数字化监管服务平台，积极打造新型智慧计量监管体系，提升计量器具智能化、计量数据系统化水平。鼓励计量技术机构建立智能计量管理系统，打造智慧计量实验室。加强计量监管数字化建设，实现全省计量工作数据集中统一管理、分级使用维护、实时更新共享，提高计量监管工作有效性。完善计量比对工作机制，积极创建国家级计量比对中心。积极建设电动汽车充电设施在线计量监管平台，有效保障充电设施强制检定。（省市场监管局牵头，省能源局配合）（三）强化民生计量监管。广泛推进计量惠民工程，加强对供水、供气、供热、供电等基础民生计量行业的监督管理。加强计量器具强制检定能力建设，完善民生计量保障体系。加强计量风险管控，及时有效处置计量突发事件，防范计量领域系统性安全风险。持续开展集贸市场、加油站、餐饮业、商店、眼镜店和定量包装商品的计量监督检查，维护人民群众合法权益。（省市场监管局牵头，省住房城乡建设厅、省应急厅配合）（四）加强诚信计量体系建设。开展诚信计量示范活动，健全完善诚信计量评价规范，培育诚信计量示范县（市、区）、诚信计量示范街（社）区，在集贸市场、加油站、商场超市、眼镜制配等领域引导培育5000家以上诚信计量示范单位。强化计量数据归集共享，建立市场主体计量信用记录，推进计量信用分级分类监管、“双随机、一公开”监管落实。加大计量科普力度，积极宣传计量相关政策法规，提升群众计量意识，营造良好社会氛围。（省市场监管局负责）（五）严格规范计量行政执法。加强计量执法协作，建立健全查处重大计量违法案件快速反应机制和执法联动机制。规范计量服务行为，严厉打击伪造计量数据、出具虚假计量证书和报告的违法行为。加强计量作弊防控技术和查处技术研究，严厉查处制造、销售和使用带有作弊功能计量器具的违法行为。加大网络平台计量违法案件查处力度。加强计量执法队伍建设，提高计量执法装备水平。对举报计量违法行为的单位和个人，按照国家有关规定予以奖励。（省市场监管局负责）七、保障措施（一）加强组织领导。坚持党对计量工作的全面领导，把党的领导贯穿于计量工作全过程。各级政府要高度重视计量工作，把计量事业发展与国民经济和社会发展规划实施有效衔接，结合经济社会发展实际，明确具体的细则和要求，确定计量发展重点，强化工作责任落实，确保各项任务落到实处。健全完善计量联席会议制度，推动计量资源共享共用和一体化建设，强化统筹协调和联动推进。（省市场监管局牵头，省有关部门配合）（二）加大政策支持力度。各级政府建立有效的计量经费保障机制，加大对计量基础设施、技术研究等支持力度，强化计量监管和基层能力建设，保障各级公益性计量技术机构有效运行。统筹现有各类科技计划，支持计量领域关键核心技术研发与成果转化。按现有政策继续支持国家级产业计量测试中心建设。（省科技厅、省财政厅、省市场监管局按职责分工负责）（三）加快学科和文化建设。结合“世界计量日”宣传活动，加强计量文化、科普宣传，推进计量博物馆、科技展览馆建设和开放。建设一批具有山东特色的计量文化基地，聘请一批计量文化宣传大使，做好计量文化和科普资源收集、整理、保护等工作，将计量基础知识纳入公民基本科学素质培育体系。弘扬新时代计量精神，选树计量先进典型，增强新时代计量工作者的荣誉感和使命感。（省市场监管局牵头，省科技厅、省文化和旅游厅配合）（四）狠抓工作落实。建立落实本实施意见的工作责任制，明确职责分工，加强计量工作评估。市场监管部门会同有关部门加强对国务院《计量发展规划（2021-2035年）》和本实施意见实施情况的跟踪监测，通过第三方评估等形式，2025年年底前对国家规划和本实施意见的贯彻落实情况开展中期评估，在此基础上总结推广典型经验做法，发现实施中存在的问题并研究解决对策，提出下一阶段计量发展的目标和重点任务，重要情况及时报告省政府。 （省市场监管局牵头，省政府有关部门配合）山东省人民政府2022年9月30日（此件公开发布）

为了测量光电二极管或太阳能电池等设备的量子效率，通常需要测量响应不同波长的入射光子而产生的电子或载流子的数量。此过程涉及将设备的输出（如光电流）与撞击设备的已知光子数量进行比较。使用专用设备和受控照明条件来确保在不同波长的光下进行准确测量。然后将量子效率计算为比率或百分比，以量化设备将光转换为电信号的效率。量子效率（QE）测量系统的PD-QE光路设计。以下是该系统如何工作的分步说明：灯系统：这是系统的光源。它发出的光直接射向单色仪。斩波器：斩波器周期性地中断光束。这种调制可以区分光源信号和环境光信号，从而提高测量精度。单色器：单色器将光分散成其组成波长，类似于棱镜，并选择窄带波长通过。滤光轮：位于单色仪之后，可用于进一步细化到达样品的光的波长或强度。光圈：光圈调整光束直径，控制穿过样品的光量。镜头：镜头将选定的光聚焦到样品或光电探测器上。参考电池：用于通过提供可比较样品 QE 的已知标准来校准系统。样品：这是正在测试 QE 的光电探测器或太阳能电池。它吸收光线并产生光电流，其大小用于计算其 QE。在 QE 测量系统中，光源的准确度和精度、单色仪选择正确波长的能力以及检测器的稳定性至关重要。光路设计对于确保光有效、精确地传递到样品以进行准确测量至关重要。光伏检测请搜寻光焱科技

成果名称亚赫兹激光器与超窄线宽测量技术单位名称北京大学联系人马靖联系邮箱mj@labpku.com成果成熟度□研发阶段 &radic 原理样机 □通过小试 □通过中试 □可以量产成果简介：超窄线宽激光是光通信、光传感、高精度光谱学等应用中的一个关键技术，也是一些基本物理参数测量的重要工具，而超窄激光线宽测量是实现超窄线宽激光器所必需的辅助技术。在&ldquo 仪器创制与关键技术研发&rdquo 基金第三期项目中，北京大学信息学院李正斌教授申请的&ldquo 亚赫兹激光器与超窄线宽测量技术研制&rdquo 项目提出并研究了一种获得窄线宽激光器的新机制，即光路分形结构机制。课题组前期的实验发现，在单环有源光纤谐振腔中引入光路分形结构能够获得类似多谐振环耦合的特性，与相同长度的光纤谐振腔相比，其输出激光线宽明显变窄。基于这一发现，课题组在第三期基金的经费资助下，开展了深入的研制工作。其工作主要包括：（1）以理论与实验相结合为手段，以光纤结构为对象，探索利用光路分形结构设计和实现单纵模输出、高频率稳定、线宽赫兹（Hz）以下量级的超窄线宽激光器的原理和方法，并获得原理样机；（2）利用互拍以及光域鉴频的技术设计并搭建超窄线宽激光器的测试平台，实现赫兹（Hz）以下量级超激光线宽的测量。应用前景：目前，该项目主要工作已经顺利完成，项目成功通过验收。其研究成果为获得超窄线宽激光器提供新途径，也为光通信、光传感等研究和应用提供了新的手段，相关技术处于成果转化阶段。

在科学实验领域，精准的元素分析一直是研究人员追求的目标。随着技术的不断进步，一款全新的原子荧光光度计应运而生，具备双道两元素同时测量的能力，广泛适用于砷、汞、硒、锡、铅、铋、锑、碲、锗、镉、锌、金等十二种元素的痕量分析。先进技术，实现双元素同时测量这款原子荧光光度计采用了创新的技术设计，使得双道两元素可以同时测量。这一特性不仅提高了实验效率，还拓展了分析的广度，使得在一次实验中可以获取更为全面的元素信息。空芯阴极灯技术的巅峰应用引领着光源技术的潮流，该光度计采用了空芯阴极灯，并创新性地采用了新式脉冲调制/恒流驱动供电方式。这种技术不仅提高了光源的稳定性，还使得仪器在分析过程中能够更加准确地获取信号，为精准元素分析奠定了坚实基础。流动进样，保障实验准确性仪器使用断续流动进样装置，有效避免了样品交叉污染，确保了测量的准确性。具备载气稳流装置，可以在线消除硼氢化钾产生的气泡，同时降低试剂间的扩散效应，提高了仪器的稳定性。这对于繁琐的样品，如岩矿和土壤等，尤为适用。创新气路设计，降低运行成本原子荧光光度计采用了新型节气型气路设计，实现了随时控制关闭气源，从而节约氩气用量，降低了仪器的运行成本。电路方面采用了强、弱电分离及最新型高集度模块，稳流分离式气路发生装置，保障了仪器的高效运行。先进原子化技术，实现更全面分析为了更好地满足多样化样品的需求，该光度计采用了密闭式石英原子化器和低温炉原子器，确保了化学反应更加完全，气液分离效果更佳，特别适用于岩矿、土壤等复杂样品的测定。实时观察，直观分析仪器设计了外置滤光氩氢火焰实时观察窗，用户可以直接对火焰状态进行实时观察，为实验提供了更直观的反馈，有助于调整实验条件以获得更精准的分析结果。这款原子荧光光度计以其先进的技术和创新的设计，为痕量元素分析领域带来了全新的可能性。其双元素同时测量、空芯阴极灯技术、流动进样等特性，使得实验变得更为高效和准确。这一创新科技的应用，必将成为元素分析领域的一项重要工具，为科学研究提供更为可靠的支持。

p style="text-align: justify text-indent: 2em "strong仪器信息网讯/strong 坐标测量机是一种应用坐标测量原理的典型的高精度检测设备，广泛应用于航空、航天、span style="text-indent: 2em "机械、电子、磨具等各种制造业的尺寸及形位公差测量。近年来，我国坐标测量机市场每年以近10%的速度增长，但与之不相称的是国外品牌测量机在快速增长，而国内测量机制造商却增长较慢，尤其在高端市场方面，亚微米级别（特别是0.5 μm以下）的计量型坐标测量机几乎全部被进口产品垄断。/span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "坐标测量机的进出口数据在一定程度上可以反映出我国测量机整体市场的一些情况。为此，机器信息网特对2018年1月-2020年6月的坐标测量机海关进出口数据进行了汇总分析，为大家更深一步了解我国目前坐标测量机市场做一个参考。 /pp style="text-align: center text-indent: 0em "br//psection style="box-sizing: border-box text-align: justify "section style="text-align: center margin: 10px 0% position: static box-sizing: border-box " powered-by="xiumi.us"section style="display: inline-block width: auto vertical-align: top min-width: 10% max-width: 100% height: auto line-height: 0 letter-spacing: 0px box-sizing: border-box "section style="position: static box-sizing: border-box " powered-by="xiumi.us"section style="display: flex flex-flow: row nowrap position: static box-sizing: 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src="https://img1.17img.cn/17img/images/202009/uepic/254aebc3-5fad-4d09-b5da-92c2276bc8a0.jpg" title="图片1.jpg" alt="图片1.jpg"//pp style="text-align: justify text-indent: 2em "2018年中美贸易战打响，坐标测量机经历了两轮对美加征关税，其进口市场受到冲击，2019年进口额为8.4亿元，较2018年降低了25%。从2020上半年的进口额来看，因新冠疫情的影响，坐标测量机的进口市场再次受到冲击。2020上半年坐标测量机进口额为2.8亿元，较2019年同期降低了30%。/pp style="text-align: center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202009/uepic/921314df-35ad-485b-a706-6e572cc85b94.jpg" title="图片2.jpg" alt="图片2.jpg"//pp style="text-align: justify text-indent: 2em "根据海关数据，近三年我国主要从德国、日本、美国、意大利、英国、法国、瑞士、新加坡、韩国等地进口坐标测量机。其中，原产于德国的坐标测量机进口额远高于其它地区，2018年1月至2020年6月，自德国进口的坐标测量机金额达10.8亿元，是排名第二地区（日本）的2.6倍。在进口额排名前十的地区中，除英国、法国、瑞士和新加坡，其余六个地区2019年的进口额较2018年均有所下降。/pp style="text-align: center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202009/uepic/d3c04804-3f19-41cb-b21d-186a9d11ac93.jpg" title="图片3.jpg" alt="图片3.jpg"//pp style="text-align: justify text-indent: 2em "上海、山东、江苏、广东、北京、浙江、湖南、重庆、四川、吉林是坐标测量机进口额排名前十的收货人注册地。其中，上海市的进口额领先，2018年1月至2020年6月的进口额达11.5亿元；山东省和江苏省两地的进口额相近，2018年1月至2020年6月的进口额分别为7.7亿元和7.5亿元。/pp style="text-align: center " /psection style="box-sizing: border-box text-align: justify "section style="text-align: center margin: 10px 0% position: static box-sizing: border-box " powered-by="xiumi.us"section style="display: inline-block width: auto vertical-align: top min-width: 10% max-width: 100% height: auto line-height: 0 letter-spacing: 0px box-sizing: border-box "section style="position: static box-sizing: border-box " powered-by="xiumi.us"section style="display: flex flex-flow: row nowrap position: static box-sizing: border-box "section style="display: inline-block vertical-align: middle width: auto flex: 100 100 0% align-self: center height: auto line-height: 0 letter-spacing: 0px background-image: linear-gradient(270deg, rgb(226, 12, 7) 0%, rgba(226, 12, 7, 0) 100%) margin: 0px box-sizing: border-box "section style="position: 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rgb(226, 12, 7) border-bottom-left-radius: 0px box-sizing: border-box "svg viewbox="0 0 1 1" style="float:left line-height:0 width:0 vertical-align:top "/svg/section/section/section/sectionsection style="display: inline-block vertical-align: middle width: auto flex: 100 100 0% align-self: center height: auto background-image: linear-gradient(90deg, rgb(226, 12, 7) 0%, rgba(226, 12, 7, 0) 100%) line-height: 0 letter-spacing: 0px box-sizing: border-box "section style="position: static box-sizing: border-box " powered-by="xiumi.us"section class="group-empty" style="display: inline-block width: 10px height: 1px vertical-align: top overflow: hidden box-sizing: border-box "svg viewbox="0 0 1 1" style="float:left line-height:0 width:0 vertical-align:top "/svg/section/section/section/section/sectionsection style="display: inline-block width: 100% vertical-align: top line-height: 1.5 letter-spacing: 0px box-sizing: border-box " powered-by="xiumi.us"section style="position: static box-sizing: 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49) letter-spacing: 1.8px line-height: 1.5 padding: 0px 8px box-sizing: border-box " powered-by="xiumi.us"p style="text-align: center white-space: normal margin-top: 0px margin-bottom: 0px padding: 0px box-sizing: border-box "从出口数据看坐标测量机市场strong style="letter-spacing: 1.8px box-sizing: border-box "/strong/p/section/sectionsection style="display: inline-block vertical-align: middle width: auto flex: 0 0 0% height: auto line-height: 0 letter-spacing: 0px align-self: center margin: 0px 30px 0px 0px box-sizing: border-box "section style="position: static box-sizing: border-box " powered-by="xiumi.us"section class="group-empty" style="display: inline-block width: 8px height: 8px vertical-align: top overflow: hidden background-position: 50% 50% background-repeat: no-repeat background-size: contain background-attachment: scroll background-image: url(" box-sizing:=""svg viewbox="0 0 1 1" style="float:left line-height:0 width:0 vertical-align:top 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"2019年坐标测量机的出口额为2.2亿元，较2018年降低了25%。2020上半年，坐标测量机的出口额为1.0亿元，较2019年同期降低了17%。可以看出，2018年1月至2020年6月，坐标测量机的进口额和出口额均呈现逐渐降低的趋势。从图1和图4可以看到，2018年的12月，不论是进口额还是出口额，均出现了“井喷式”增长现象；2019年的12月，进口额和出口额也较前几个月有所升高。/pp style="text-align: center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202009/uepic/bcb029e9-2489-4388-980c-6bfdc61adc8f.jpg" title="图片5.jpg" alt="图片5.jpg"//pp style="text-align: justify text-indent: 2em "2018年1月至2020年6月，德国、日本、中国台湾、越南、韩国、印度、马来西亚、泰国、中国香港、新加坡等是我国坐标测量机的主要出口地区。其中，德国、日本、韩国、新加坡等不仅是我国坐标测量机的主要出口地区，也是我国坐标测量机的主要进口地区。/pp style="text-align: center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202009/uepic/675fd6f3-782a-4952-b3f4-286ac80f309b.jpg" title="图片6.jpg" alt="图片6.jpg"//pp style="text-align: justify text-indent: 2em "上海、山东、广东、江苏、陕西、北京、浙江、广西、辽宁、江西是坐标测量机出口额排名前十的发货人注册地。其中，上海市的进口额和出口额均遥遥领先于其它省份。2018年1月至2020年6月，上海市的进口额和出口额分别占比26%和42%。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "br//psection style="box-sizing: border-box text-align: justify "section style="text-align: center margin: 10px 0% position: static box-sizing: border-box " powered-by="xiumi.us"section style="display: inline-block width: auto vertical-align: top min-width: 10% max-width: 100% height: auto line-height: 0 letter-spacing: 0px box-sizing: border-box "section style="position: static box-sizing: border-box " powered-by="xiumi.us"section style="display: flex flex-flow: row nowrap position: static box-sizing: border-box "section style="display: inline-block vertical-align: middle width: auto flex: 100 100 0% align-self: center height: auto line-height: 0 letter-spacing: 0px background-image: linear-gradient(270deg, rgb(226, 12, 7) 0%, rgba(226, 12, 7, 0) 100%) margin: 0px box-sizing: border-box "section style="position: static box-sizing: border-box " powered-by="xiumi.us"section class="group-empty" style="display: inline-block width: 10px height: 1px vertical-align: top overflow: hidden box-sizing: 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text-indent: 2em "随着测量技术的高速发展，制造业对于坐标测量机的依赖程度不断提高。它作为一个比较新型的精密设备，包括了光学、计算机和软件开发等多个技术应用，是现代制造业不可缺少的重要仪器。目前，我国坐标测量机的主要生产厂商有航空工业精密所、西安爱德华、青岛雷顿等，国外比较著名的坐标测量机生产厂家有瑞典海克斯康、德国蔡司、德国温泽以及日本三丰等。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "不可否认，国内精密计量型坐标测量产品与国外产品还存在差距。国内仪器厂商要在竞争激烈的坐标测量机市场中站稳脚跟，势必要认清态势，不断研发创新，从而建立起自己的核心竞争力。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "br//p