米压痕仪

市场功能上最多且简单易用的纳米压痕测试仪NHT3 /UNHT3专为纳米级位移测量提供小载荷，可用于测试硬度、弹性模量和蠕变等。其范围涵盖小载荷 (0.1 mN) 至大载荷 (500 mN)，可在载荷范围内提供最大的通用性。由于独特的表面参比技术，无需等待其达到热稳定状态，立即完成压痕测试。全新“快速点阵”压痕模式可以进行一系列快速的测量（每小时测试量高达 600 个压痕）。主要特点最简单易用的纳米压痕测试仪最直观易用的软件：用简单的参数（最大载荷）、统计数据分析和保存的测试方案模板轻松开始测试适用于表面的不同放大倍数的多物镜视频显微镜最坚固耐用的纳米压痕测试仪：参比环保护压痕针尖不受碰撞“快速点阵”压痕模式带“模板”快速且符合要求：按照仪器化压入测试 (IIT) 的 ISO14577 标准要求，“快速点阵”压痕模式每小时测试压痕数目高达 600个全新“模板”模式让您可以用导出的数据创建一个自定义模板，从而更灵活快速的分析数据多样品台夹具用于自动测试，6 样品夹具最多可固定 6 个样品，自定义样品夹具可固定更多样品采用独特的表面参比设计，保证高精度的位移测量表面参比为材料压入位移提供恒定参考（相对于样品表面）高框架刚度 (107 N/m) 为纳米压痕测量提供高准确度和精确度测量的高稳定性采用表面参比技术来实现纳米压痕测量中的高热稳定性（原始热漂移率 0.05 nm/s）框架使用定制的人造花岗岩以提高稳定性采用低热膨胀系数 (10-6/°C) Macor材料的独特设计确保高热稳定性可用于多种分析模式的多种测试模式多种测试模式：正弦模式、连续周期 (CMC)、恒定应变速率、用户自定义、高级点阵和多样品方案、载荷和位移控制模式各种机械性能的多种分析模式：硬度 (HIT、HV、HM)、弹性模量、储能和损耗模量、蠕变、应力 - 应变曲线使用标准压痕针尖可在液体中进行测量技术指标载荷最大载荷100/500 mN分辨率0.003/0.02 μN载荷本底噪音0.05 [rms] [μN]*位移最大位移100/200 μm分辨率0.03/0.01 nm深度本底噪音0.03[rms] [nN]*载荷框架刚度 107 N/m国际标准ISO 14577, ASTM E2546

更大的仪器化压入（IIT）测试范围根据仪器化压入测试 (IIT) 的要求，微米压痕仪非常适合于对硬度和弹性模量等机械性能的测量。它适用于块状样品和薄膜，从软材料到硬材料（金属、陶瓷、聚合物），可以进行大位移测量（最大 1 mm）。可以根据需求添加划痕测试模式。主要特点仪器化压入测试 (IIT) 用于测量硬度和弹性模量位移-仪器化压痕：持续测量与施加的载荷和相关的位移，获得材料硬度和弹性模量一台仪器即可进行从纳米到宏观尺度的压痕从小位移（几纳米）到大位移（最大 1 mm）的压痕大载荷范围（从10 mN 到 30 N）以满足样品特性的要求大载荷范围 对测量粗糙表面尤为有用高精度的位移和载荷可进行精确的微米压痕测量两个独立的传感器：一个用于载荷，一个用于位移，来进行准确的计量测量高框架刚度：2 x 108 N/m，更高的位移准确度材料性能的位移曲线连续多周期 (CMC) 的位移曲线：硬度和弹性模量与压入位移的关系压入载荷和位移控制模式可视点阵模式通过显微镜观察对样品进行多点定位测试通过多个测试模式：可使用用户自定义程序根据需要设置测试参数载荷最大载荷30 N分辨率6 μN本底噪音100 [rms] [μN]*位移最大位移1000 μm分辨率0.03 nm本底噪音1.5 [rms] [nm]*载荷框架刚度 107 N/m国际标准ISO 14577, ASTM E2546, ISO 6507, ASTM E384

用于软性与生物材料的纳米压痕仪安东帕 生物压痕测试仪TM 属于纳米压痕仪，非常适用于表征人体组织和软材料的机械性能。该仪器专为研究软生物材料（如软组织）而设计。依靠生物压痕仪无与伦比的载荷与位移范围和出色的分辨率，可以最为灵敏地表征软骨、生物组织、支架、水凝胶或眼部组织的弹性模量、蠕变及其他特性。仪器特点安东帕生物压痕测试仪™ ：专为研究而设计借助安东帕 生物压痕测试仪TM，可以研究得出极软生物材料机械性能。更好地了解人体，以提高诊断水平、开发新药品和进行组织工程等等时，这个尤其重要。针对这些方面，生物压痕测试仪配备用于测试生物材料的特殊功能，例如能够执行受控的载荷与位移测量。另外，生物压痕测试仪通过检测接触刚度的变化来提供判定接触点，并提供专为生物材料而调整的测量模式。压痕程序：针对测量进行了优化安东帕 生物压痕测试仪TM 提供了多种压痕测试模式选择，包括标准、高级和循环模式。支持使用简单矩阵、高级矩阵和可视矩阵等各种矩阵进行统计评估和定制压痕测试。可以建立用户定义的压痕配置文件。接触点判定便捷，使生物压痕测试仪成为一种非常易于使用的仪器。测量系统：独具一类该仪器本身的测量单位专为高精度测量设计。集成式载荷传感器能够施加最大 20 mN 的载荷。位移传感器可以测量较大的量程。另外，安东帕 生物压痕测试仪TM 还具有良好的热稳定性，适合研究蠕变和流动特性。提供长焦物镜显微镜。高精度自动样品台使得能在 X、Y 和 Z 方向精确移动，从而将样品放到理想位置。软件：获得结果的关键所在借助功能强大但易于操作的软件，用户可以完全控制压痕程序（载荷、位移等）。软件会自动分析结果，另外还提供了统计模块，让用户可以获得数据和结果的快速分析。可以执行用户定义的 ASCII 导出，并且多名用户可以利用受控的访问权限来使用仪器。另外，还可以利用赫兹应力模型从压痕曲线的加载部分计算得出弹性模量，与常用的 Oliver & Pharr 方法相比，该方法更为适合生物材料。各种不同的针尖：用户可以根据需求选择安东帕 生物压痕测试仪TM 支持多种不同的压头，具体取决于用户的材料和需求。种类包括半径 0.01 mm 至 0.5 mm 及更大的球形、平头（平底圆柱）、锥形、维氏和立方锥，另外还可以按需要定制针尖，以便满足乃至要求最苛刻的应用要求（大半径球形、圆柱形等）。技术指标载荷最大载荷20 mN分辨率最小至 0.001 μN本底噪音0.1 [rms] [μN]*位移最大位移100 μm分辨率最小至 0.006 nm本底噪音0.25 [rms] [nm]*

Hit 300 是一款优质且价格非常实惠的纳米硬度测试仪，专为每位用户和各种类型的环境打造。直观、自动化的 Hit 300 可让您每小时进行 600 次测量，甚至在您走开的时候。主动阻尼减震可确保在所有环境中的准确性。独特的双激光瞄准系统在对准样品时可提供小于 1 mm 的精度。设计时考虑了功能性：安装只需 15 分钟，培训到获得第一个结果只需 1 小时。市场上最简单易用的纳米压痕测试仪市场上最简单易用的纳米压痕测试仪价格不到同类仪器的一半主动减震隔离3 年质保15 分钟内准备就绪，可开始测量

超高精度、高稳定纳米压痕测试仪UNHT3 高精度超纳米压痕测试仪采用真实力传感器，可用于测量材料在纳米尺度的机械性能。UNHT3 采用独特的主动表面参比专利技术，几乎消除了热漂移和框架刚度的影响。因此，非常适用于所有类型的材料（包括聚合物、纳米涂层和软组织）的长时间测量。主要特点用于低载荷测量的最佳的计量型纳米压痕测试仪表面参比系统上的真实力传感器确保可直接测量微牛级的力主动表面参比技术：独特的专利设计（欧洲专利 1828744 和美国专利 7,685,868）从低压入位移（几纳米）到高压入位移（高达 100 μm）从低载荷 (10 μN) 到高载荷（高达 100 mN）市场上稳定性最高的纳米压痕测试仪长期蠕变测试不需要进行热漂移修正未修正的热漂移低至 10 fm/sec，消除了热漂移影响即使在高载荷下也保持高框架刚度 (108 N/m)独特的无热膨胀 Macor 材料载荷和位移的全部反馈控制系统“快速点阵”压痕模式带“模板”模式采用“快速点阵”压痕模式的快速测量点阵：每小时测量高达 600 次，符合 ISO14577 仪器化压入测试 (IIT) 要求全新“模板”模式让您可以用导出的数据创建一个自定义模板，从而更灵活快速分析数据多样品夹具用于 6 个或更多样品连夜进行一系列测试高精度的纳米压痕测试仪用于进行准确的表面检测高质量载荷-位移曲线，载荷 0.1 mN超灵敏表面探测包含刚度探测测量凝胶和硬质材料载荷分辨率为 0.003 μN位移率分辨为 0.003 nm可用于多种分析模式的多种测试模式多种测试模式：连续多周期 (CMC)、恒定应变速率、用户自定义、高级点阵动态力学分析 (DMA) 模式包含“正弦”模式各种机械性能的不同分析：硬度、弹性模量、储能和损耗模量、蠕变、应力 - 应变、赫兹应力分析环境控制：真空、液体、温度和相对湿度技术指标载荷最大载荷100 mN分辨率3nN位移最大位移100 μm分辨率最小至 0.006 nm载荷框架刚度 107 N/m国际标准ISO 14577, ASTM E2546

产品描述iNano采用InForce 50驱动器进行纳米压痕和通用纳米机械测试。 InForce 50的50mN力荷载和50μm位移范围使得该系统适合各种测试。 InView软件是一个灵活的现代软件包，可以轻松进行纳米级测试。 iNano是内置高速InQuest控制器和隔振门架的紧凑平台。 该系统可以测试金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物材料和凝胶等各种不同的材料和器件。主要功能InForce 50驱动器，用于电容位移测量，并配有电磁启动的可互换探头独特的软件集成探头校准系统，可实现快速准确的探头校准InQuest高速控制器电子设备，具有100kHz数据采集速率和20μs时间常数XY移动系统以及易于安装的磁性样品架带数字变焦的集成显微镜，可实现精确的压痕定位ISO 14577和标准化测试方法InView软件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus报告、InView大学在线培训和InView移动应用程序主要应用硬度和模量测量(Oliver Pharr)高速材料性质分布ISO 14577硬度测试聚合物tan delta，储存和损耗模量样品加热工业应用大学、研究实验室和研究所半导体和封装行业聚合物和塑料MEMS（微机电系统）/纳米级通用测试陶瓷和玻璃金属和合金制药涂料和油漆聚合物制造复合材料电池和储能应用硬度和模量测量 (Oliver-Pharr)机械表征在薄膜的加工和制造中至关重要，其中包括汽车工业中的涂层质量，以及半导体制造前段和后段的工艺控制。iNano纳米压痕仪能够测量从超软凝胶到硬涂层的各种材料的硬度和模量。 对这些特性的高速评估保证了在生产线上进行质量控制。高速材料性质分布对于包括复合材料在内的许多材料，其机械性能可能因部位而异。 iNano的样品平台可以在X轴和Y轴上移动100mm，并在Z轴方向移动25mm，这使得该系统适用于不同的样品高度并可以在很大的样品区域上进行测量。 可选的NanoBlitz形貌和层析成像软件可以快速绘制任何测得的机械属性的彩色分布图。ISO 14577硬度测试iNano纳米压痕仪包括预先编写的ISO 14577测试方法，可测量符合ISO 14577标准的材料硬度。 该测试方法对杨氏模量、仪器硬度、维氏硬度和标准化压痕进行自动测量和报告。聚合物Tan Delta、储存和损失模量iNano纳米压痕仪能够针对包括粘弹性聚合物的超软材料测量tan delta和储存与损耗模量。 储存与损耗模量以及tan delta是粘弹性聚合物的重要特性，其能量作为弹性能量存储并作为热量消耗。 这两个指标都用于测量给定材料的能量消耗。高温纳米压痕测试高温下的纳米压痕对于表征热应力下的材料性能至关重要，特别对热机械工艺中的失效机理进行量化。 在机械测试期间改变样品温度不仅能够测量热引起的行为变化，还能够量化在纳米级别上不易测试的材料过渡塑性。产品优势iNano纳米压痕仪可轻松测量薄膜、涂层和少量材料。 该仪器准确、灵活，并且用户友好，可以提供压痕、硬度、划痕和通用纳米级测试等多种纳米级机械测试。 该仪器的力荷载和位移测量动态范围很大，因而可以实现从软聚合物到金属材料的精确和可重复测试。 模块化选项适用于各种应用：材料性质分布、特定频率测试、刮擦和磨损以及高温测试。 iNano提供了一整套测试扩展选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz3D/4D属性映射和远程视频选项。

Hysitron TS 77 Select™ 自动化纳米力学和纳米摩擦学测试系统是一台具有最高的性能、功能和易用性的台式纳米压痕仪。这款新测试系统采用了布鲁克著名的 TriboScope 电容式传感器技术，能可信地测试从纳米到微米尺度上的机械和摩擦特性。TS Select 支持模式包括定量纳米压痕、动态纳米压痕、纳米划痕、纳米磨损和高分辨率机械性能成像等功能。 Ts Select特性：提供核心测试技术， 包括纳米压痕、动态纳米压痕、纳米划痕、纳米磨损和原位 SPM 成像通过电容式传感器技术，使用静电力驱动同时提供高灵敏度和低温漂具有高速纳米压痕功能，可快速对机械性能进行成像，获得具有统计性的结果使用直观且易于使用的控制软件，使操作人员能够进行可靠的测量系统预设了满足ISO 14577 和 ASTM E2546标准的测试脚本具有系统自动校正功能和多样品自动测试功能，更快地获得结果

FT-NMT04纳米力学测试系统是一种多功能的原位SEM/FIB纳米压痕仪，能够在微米和纳米尺度上准确量化材料的力学行为。 FT-NMT04原位纳米压痕仪针对金属、陶瓷、薄膜以及超材料和MEMS等微观结构的机械测试进行了优化。此外，通过使用各种附件，FT-NMT04的功能可以扩展到各个研究领域的各种要求。 典型应用包括通过微柱的压缩测试或狗骨试样、薄膜或纳米线的拉伸测试来量化塑性变形机制。典型应用包括通过微柱的压缩测试或狗骨试样、薄膜或纳米线的拉伸测试来量化塑性变形机制。此外，在压缩测试期间进行连续刚度测量，可以在微梁断裂测试期间量化裂纹扩展和断裂韧性。由于 FT-NMT04 分别具有 500 pN 和 50 pm 的无可比拟的低本底噪声，因此可实现具有无可比拟的可重复性的浅纳米压痕，以及纳米压痕与 EBSD 成像的前所未有的相关性。

iMicro纳米压痕仪iMicro纳米压痕仪可轻松测量硬质涂层、薄膜和小尺寸材料等。其准确、灵活，并且用户友好，可以提供压痕、硬度测试、划痕和纳米级万能试验等多种纳米力学测试。作动器易于更换，能够提供大范围的动态载荷和位移，对于从软质聚合物到硬质金属/陶瓷等材料，均可以进行准确而可重复的测试。模块化的功能选项可以适配各种应用：材料力学特性图谱、频率相关特性测试、划痕和磨损测试以及高温测试。iMicro提供一整套的扩展功能选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz3D/4D材料力学性能成像、Gemini 2D作动器用于摩擦学和其它双轴力学测量。 产品描述iMicro 纳米压痕仪标配InForce 1000作动器，用于进行纳米压痕和万能纳米力学试验，并可选配InForce 50作动器用于测试较软的材料。InView 软件包灵活、现代，让用户轻松进行纳米尺度测试。iMicro是一款紧凑型测试平台，其箱体中内置高速InQuest控制器和隔振框架。各种不同的材料和器件均可以进行测试，包括金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物材料和凝胶等。 产品特色InForce 1000作动器采用电容式位移传感和电磁力驱动，且压头易于更换InForce 50作动器选件，提供最大50mN的法向力，可用于测量较软的材料；Gemini 2D作动器选件，可实现两个方向的动态测量独特的压头校准系统，集成在软件中，可实现快速、准确的压头校准InQuest高速控制器电路，数据采集速率可达100kHz，时间常数最快为20µ sXY运动系统以及易于安装的磁性样品台高刚度框架，且集成隔振功能集成显微镜，数字变焦，可实现精确的压痕定位符合ISO 14577等标准的测试方法InView软件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus、InView University在线培训和InView移动应用程序 产品应用硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型）快速材料力学性能成像ISO 14577 硬度测试聚合物损耗因子、储存模量和损耗模量定量的划痕和磨损测试高温纳米压痕测试 适用行业大学、科研实验室和研究所半导体与封装产业PVD/CVD 硬质涂层（DLC、TiN）MEMS：微机电系统/万能纳米力学试验陶瓷与玻璃金属与合金制药涂层 涂料复合材料电池与储能汽车与航空航天主要应用硬度和模量测量（基于 Oliver-Pharr 模型）力学性能表征在薄膜的制造和工艺控制中至关重要，其中包括汽车工业中的涂层质量控制，以及半导体制造中前段和后段的工艺控制。iMicro纳米压痕仪能够测量从超软凝胶到硬质涂层的各种材料的硬度和模量。高效地评估材料性能，保证了在生产线上进行有效的质量管控。快速材料力学性能成像对于包括复合材料在内的许多材料而言，不同区域之间的力学性能可能存在很大差异。iMicro的样品台在X轴和Y轴方向上能够分别移动100mm，且其在Z轴方向上能够移动25mm，因此可以测试尺寸大且高度不同的样品。使用NanoBlitz功能选项进行材料表面和断层力学性能成像，可以快速获得各种被测力学性能的彩色分布图。ISO 14577 硬度测试iMicro 纳米压痕仪内置预先编写的 ISO 14577 测试方法，其依据 ISO 14577 标准测量材料硬度。该测试方法可以自动测量并输出杨氏模量、纳米压痕硬度、维氏硬度和归一化压痕功。聚合物损耗因子、储存模量和损耗模量iMicro 纳米压痕仪能够测量超软材料（包括粘弹性聚合物）的损耗因子、储存模量和损耗模量。储存模量、损耗模量和损耗因子是粘弹性聚合物的重要性能，因为作用到此类材料上的能量以弹性能的形式储存或以热量的形式耗散。上述指标即用于衡量材料中的能量储存和耗散情况。定量的划痕和磨损测试iMicro 可以对多种材料进行划痕和磨损测试。涂层和薄膜要经受多种工艺流程，例如化学机械抛光(CMP)和引线键合，这会考验这些薄膜的强度及其与衬底的附着力。对这些材料来说，重要的是在这些流程中抵抗塑性形变，并保持完好而不从衬底上剥离。理想情况下，电介质材料应具有较高的硬度和弹性模量，这将有助于其在经历制造流程时有效抵抗外界影响。高温纳米压痕测试高温纳米压痕对于表征热应力作用下的材料性能至关重要，在定量研究热机械加工过程中的失效机理时更是如此。在不同温度下进行力学测试，不仅可以研究材料受热时的性能变化，还可以量化研究材料的塑性转变，这在纳米尺度上并非易事。

先进的Performech II控制模块和电子设计1.最高性能的高速闭环控制2.业界超过的噪音控制3.集成的带输入/输出信号的多参数控制4.五百倍于前代产品的力学测试速度 多维度测量耦合1.充分优化各个传感器的特质适用不同测量需要，通过多维传感器的选择实现不同测量间的无缝耦合2.多种有效的测试模块配置，包括纳米/微米压痕、纳米划痕、纳米摩擦磨损、高分辨原位扫描探针显微镜成像、动态纳米压痕和高速力学性能成像等 丰富的系统控制和数据分析软件1.TriboScan(TM) 10提供的控制功能，包括XPM超快纳米压痕，SPM+原位扫描探针显微镜成像，动态表面搜索，全自动系统校准和创新的测试2.Tribo iQ (TM)提供了强大的数据处理、分析和画图功能，并具有可编程数据分析模块和自动生成的定制测试报告功能 极大的灵活性和具有前瞻性的表征潜质1.多级别的防护罩提供了超强环境隔绝能力，并具有用于将来的升级可扩展接口2.万能样品台提供了机械、磁性和真空固定方式，适用于各种样品应用实例

Nano IndenterG200Nano Indenter G200系统专为各种材料的表征和开发过程中进行纳米级测量而设计。 该系统是一个完全可升级，可扩展且经过生产验证的平台，全自动硬度测量可应用于质量控制和实验室环境。 产品描述Nano Indenter G200系统是一种准确，灵活，使用方便的纳米级机械测试仪器。 G200测量杨氏模量和硬度，包括从纳米到毫米的六个数量级的形变测量。 该系统还可以测量聚合物，凝胶和生物组织的复数模量以及薄金属膜的蠕变响应（应变率灵敏度）。 模块化选项可适用于各种应用：频率特定测试，定量刮擦和磨损测试，集成的基于探头的成像，高温纳米压痕测试，扩展负载容量高达10N和自定义测试。主要功能 电磁驱动可实现高动态范围下力和位移测量 用于成像划痕，高温纳米压痕测量和动态测试的模块化选项 直观的界面，用于快速测试设置 只需几个鼠标点击即可更改测试参数 实时实验控制，简便的测试协议开发和精确的热漂移补偿 屡获殊荣的高速“快速测试”选项，用于测量硬度和模量 多功能成像功能，测量扫描和流程化测试方法，帮助快速得到结果 简单快捷地确定压头面积函数和载荷框架刚度主要应用 高速硬度和模量测量 界面附着力测量 断裂韧性测量 粘弹性测量 扫描探针显微镜（3D成像） 耐磨损和耐刮擦 高温纳米压痕工业应用 大学，研究实验室和研究所 半导体和电子工业制造业 轮胎行业 涂层和涂料工业 生物医药行业 医疗仪器 更多应用：请根据您的要求与我们联系

功能全面:拥有超高的精度，可用于测量薄膜、涂层或基体材料的机械性能。可测量几乎所有类型材料的硬度、弹性模量、蠕变、疲劳等特性。采用压电陶瓷驱动和电容式传感技术，SMT可从纳米到微米范围内定量测量表面性能。 主要特点:1、可更换模块2、具有电容传感器技术玻氏压头、维氏压头、球形压头、立方体晶棱压头、努氏压头等处理大型和重型负载样品(50厘米 10公斤)3、自动检测三维形貌4、小型纳米压痕仪5、主动式隔震平台6、纳米压痕单一应用符合国际测试标准:ASTM E2546, ASTM B93З, ASTMD785,ASTM E140IS0 14577,IS0 6508,IS0 6507,1S04516DIN 50359,DIN 55676 JIS B7734等适用领域:航空航天、汽车、半导体、生物医学、光学材料、硬质涂层等

产品描述iMicro采用InForce 1000驱动器进行纳米压痕和通用纳米机械测试，并可选择添加InForce 50驱动器来测试较软的材料。InView软件是一个灵活的现代软件包，可以轻松进行纳米级测试。iMicro是内置高速InQuest控制器和隔振门架的紧凑平台。 可以测试金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物材料和凝胶等各种不同的材料和器件。主要功能InForce 1000驱动器，用于电容位移测量，并配有电磁启动的可互换探头可选的InForce 50驱动器提供最 大50mN的法向力来测量软性材料，并提供可选的Gemini 2D力荷载传感器用于双轴动态测量。独特的软件集成探头校准系统，可实现快速准确的探头校准InQuest高速控制器电子设备，具有100kHz数据采集速率和20μs时间常数XY移动系统以及易于安装的磁性样品架高刚度龙门架，集成隔振功能带数字变焦的集成显微镜，可实现精确的压痕定位ISO 14577和标准化测试方法InView软件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus报告、InView大学在线培训和InView移动应用程序主要应用硬度和模量测量(Oliver Pharr)高速材料性质分布ISO 14577硬度测试聚合物tan delta，储存和损耗模量定量刮擦和磨损测试样品加热工业应用大学、研究实验室和研究所半导体行业PVD / CVD硬涂层（DLC，TiN）MEMS（微机电系统）/纳米级通用测试陶瓷和玻璃金属和合金制药涂料和油漆复合材料电池和储能汽车和航空航天应用硬度和模量测量（Oliver Pharr）机械表征在薄膜的加工和制造中至关重要，其中包括汽车工业中的涂层质量，以及半导体制造前段和后段的工艺控制。iMicro纳米压痕仪能够测量从超软凝胶到硬涂层的各种材料的硬度和模量。 对这些特性的高速评估保证了在生产线上进行质量控制。高速材料性质分布对于包括复合材料在内的许多材料，其机械性能可能因部位而异。 iMicro的样品平台可以在X轴和Y轴上移动100mm，并在Z轴方向移动25mm，这使得该系统适用于不同的样品高度并可以在很大的样品区域上进行测量。 可选的NanoBlitz形貌和层析成像软件可以快速绘制任何测得的机械属性的彩色分布图。ISO 14577硬度测试iMicro纳米压痕仪包括预先编写的ISO 14577测试方法，可测量符合ISO 14577标准的材料硬度。 该测试方法对杨氏模量、仪器硬度、维氏硬度和标准化压痕进行自动测量和报告。聚合物Tan Delta、储存和损失模量iMicro纳米压痕仪能够针对包括粘弹性聚合物的超软材料测量tan delta和储存与损耗模量。 储存与损耗模量以及tan delta是粘弹性聚合物的重要特性，其能量作为弹性能量存储并作为热量消耗。 这两个指标都用于测量给定材料的能量消耗。定量划痕和磨损测试iMicro可以对各种材料进行刮擦和磨损测试。 涂层和薄膜会经过化学机械抛光（CMP）和引线键合等多道工艺，考验薄膜的强度及其与基板的粘合性。 重要的是这些材料在这些工艺中抵制塑性变形，并且保持原样而不会基板起泡。 理想地，介电材料应具有高硬度和弹性模量，因为这些参数有助于确定材料在制造工艺下会如何反应。高温纳米压痕测试高温下的纳米压痕对于表征热应力下的材料性能至关重要，特别对热机械工艺中的失效机理进行量化。 在机械测试期间改变样品温度不仅能够测量热引起的行为变化，还能够量化在纳米级别上不易测试的材料过渡塑性。产品优势iMicro纳米压痕仪可轻松测量硬涂层，薄膜和少量材料。该仪器准确、灵活，并且用户友好，可以提供压痕、硬度、划痕和通用纳米级测试等多种纳米级机械测试。 可互换的驱动器能够提供大动态范围的力荷载和位移，使研究人员能够对软聚合物到硬质金属和陶瓷等材料做出精确及可重复的测试。模块化选项适用于各种应用：材料性质分布、特定频率测试、刮擦和磨损测试以及高温测试。 iMicro拥有一整套测试扩展的选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz3D / 4D性质分布，以及Gemini 2D力荷载传感器，可以提供摩擦和其他双轴测量。

Global Leader in Process Control since 1976KLA-Tencor 是全球半导体在线检测设备市场最大的供应商；KLA-Tencor2018 年 3 月从 Keysight Technologies 公司收购了行业的龙头产品-高精度原位微纳米力学测试系统-Nano Indenter G200 和高精度微纳米拉伸系统-UTM T150；该力学设备的工厂是全球最大的高精度力学测试系统的供应商，1983 年成功制造了世界上第一台商用Nano Indenter。该力学设备的工厂是业内唯一拥有超过 35 年的 Nano Indenter 生产和研究经验的供应商，成熟的工艺保证了新一代 Nano Indenter G200 具有最好的稳定性和可靠性。该力学设备的工厂拥有最广泛的顾客群，在高端力学测试系统领域内拥有最高的的市场占有率。 1． 产品技术水平KLA-Tencor 公司拥有最多的 Nano Indenter 的核心专利技术，包括已成为业界标准的连续刚度测量功能、接触刚度成像功能以及快速纳米压入测试技术等等；KLA-Tencor 公司的连续刚度测量功能已经成为薄膜、涂层、多相材料等样品检测最常用的的测试技术，并已经录入各种力学领域的国际标准和中国国家标准内。KLA-Tencor 拥有世界上最快压痕测试技术的专利，最快可达到 1 压痕点/秒。 2． 售后服务和技术支持KLA-Tencor 公司在中国有超过 600 名员工，在国内配备本土 Nano Indenter 方面的技术专家，在业内拥有最好的口碑。KLA-Tencor 公司在中国拥有自己的纳米科学示范实验室，并有专职的应用专家在实验室工作，负责用户的应用技术支持工作；KLA-Tencor 公司还定期地举办高级用户培训班，由公司的应用科学家为不同学科的用户进行各个领域应用的深层次培训。 特点和优势– 广受赞誉的高速测试选项可以和所有G200 型纳米压痕仪配合使用, 包括DCMII 和 XP 模块以及样品台– 快速进行面积函数和框架刚度校对– 精确和可重复的结果, 完全符合ISO14577 标准– 通过电磁驱动, 可在无与伦比的范围内连续调整加载力和位移– 结构优化, 适合传统测试或全新应用– 模块化选项, 适合划痕测试, 高温测试– 和动态测试– 强大的软件功能, 包括对试验进行实时控制, 简化了的特殊测试方法的开发Nano Indenter G200在微/纳尺度范围内的加载和位移构成精确的力学测试 应用– 半导体器件, 薄膜– 硬质涂层, DLC薄膜– 复合材料, 光纤, 聚合物材料– 金属材料, 陶瓷材料– 无铅焊料– 生物材料, 生物及仿生组织等等先进的设计所有的纳米压痕试验都取决于精确的加载和位移数据，要求对加载到样品上的 载荷有精确的控制。KT最新的第五代 G200 型纳米压痕仪采用电磁驱动的载荷装置，从而保证测量的精确度，独特的设计避免了横向位移的影响。 KT最新的第五代 G200 型纳米压痕仪的杰出设计带来很多的便利性，包括方便的测试到整个样品台，精确的样品定位，方便的确定样品位置和测试区域，简 便的样品高度调整，以及快速的测试报告输出。模块化的控制器设计为今后的 升级带来极大的方便。 此外，最新的第五代 G200 型纳米压痕仪完全符合各种国际标准，保证了数据的完整性。客户可以通过每个力学传感器自主设计试验，在任何时候对其进行切换，同时整个设备占地面积小，适合各种实验室环境。KLA-Tencor技术顾问服务KT拥有一支经验丰富的技术支持和服务工程师团队，可针对客户的 特殊应用与测试需求提供定制化的技术顾问服务。 经过超过 35 年的发展，NanoSuite 已经成为业内公认的界面友好、操作简便、功能齐全的数据采集和处理软件包，NanoSuite 不仅可以自动测试，也可以使用户利用网络远程遥控进行实验控制，NanoSuite 不仅能够做到压入过程中硬度和弹性模量等力学性能的实时计算和显示，同时允许用户根据自 己的研究需求以及提出的新模型随时添加新的软件通道，此外，根据实验参 量的变化快慢能够自动调整数据的采集速率，实现了智能化的数据采集功 能，从而既获得您真正需要的数据，又可避免不必要的垃圾数据。增强的载荷加载系统新一代 Nano Indenter G200 系列纳米压痕仪是具有从纳牛到牛顿最为完整的加载力范围，并且不同的加载装置可自动软件切换，整个测试流程都是全 自动的，极大的提高了测试数据的可靠性和可重复性，避免了可能的人为因 素的影响，确保每个测试都是合理、一致、精确。标准的加载装置Nano Indenter G200 纳米压痕仪标准配置是 XP 加载系统 (最大为500mN)， 位移分辨率 0.01纳米，最大压入深度 500 微米,该装置可应用到所有的测试功能。压头更换轻松完成，非常好的机架刚度极大的减少了系统对测试的影响。高精度加载装置DCM II 是高分辨的纳米纳牛力加载模块，它既可以单独工作，也可以作为一个附件与Nano Indenter G200 协同工作。由于其惯性质量很低，使得纳米压痕中的初始表面的选取更加灵敏、精确， DCM II 在超低载荷下的纳米压痕测试具有极高的精确度和可重复性，由于它自身的空载共振频率远高于一般建筑物的振动频率，这就使得一般的环境振动对它几乎没有影响，DCM II 具有很宽的动态频率范围 (0.1 Hz 到 300 Hz)，所有这些特点使得 DCM II 可以提供同类设备不可比拟的高信噪比和高可靠性的试验数据，例如右图所示的蓝宝石上三个纳米深度的压痕测试，在几个纳米的压痕深度范围内获得了非常可靠的弹性模量。大载荷加载装置Nano Indenter G200的大载荷加载选件，大大强化了 G200 系列纳米压痕仪的应用范围。这个选件可以用于标准的 XP 加载模块，将 G200 型纳米压痕仪的加载能力扩展至 10N，可对陶瓷、金属块材和复合材料进行力学表征。大载荷选件的巧妙设计，使得 G200 既避免了在低载荷的情况下牺牲仪器的载荷和位移精度，同时又保证了用户在需要大加载力的测试时，通过鼠标操作就可以在测试实验中进行无缝加载装置切换。

产品描述Nano Indenter G200系统是一种准确，灵活，使用方便的纳米级机械测试仪器。 G200测量杨氏模量和硬度，包括从纳米到毫米的六个数量级的形变测量。 该系统还可以测量聚合物，凝胶和生物组织的复数模量以及薄金属膜的蠕变响应（应变率灵敏度）。 模块化选项可适用于各种应用：频率特定测试，定量刮擦和磨损测试，集成的基于探头的成像，高温纳米压痕测试，扩展负载容量高达10N和自定义测试。主要功能电磁驱动可实现高动态范围下力和位移测量用于成像划痕，高温纳米压痕测量和动态测试的模块化选项直观的界面，用于快速测试设置 只需几个鼠标点击即可更改测试参数实时实验控制，简便的测试协议开发和精确的热漂移补偿屡获殊荣的高速“快速测试”选项，用于测量硬度和模量多功能成像功能，测量扫描和流程化测试方法，帮助快速得到结果简单快捷地确定压头面积函数和载荷框架刚度主要应用高速硬度和模量测量界面附着力测量断裂韧性测量粘弹性测量扫描探针显微镜（3D成像）耐磨损和耐刮擦高温纳米压痕工业应用大学，研究实验室和研究所半导体和电子工业制造业轮胎行业涂层和涂料工业生物医药行业医疗仪器更多应用：请根据您的要求与我们联系应用高速硬度和模量测量材料的机械特性表征在新材料的研究与开发中具有重要意义。 Nano Indenter G200能够以每秒一个数据点的速率测量硬度和模量。 对机械性能的高速评估使半导体和薄膜材料制造商能够将先进技术应用于生产线上的质量控制与保证。界面粘附力测量通常通过沉积能够存储弹性能量的高压缩层来诱导薄膜分层。 界面粘附力测量对于帮助用户理解薄膜的失效模式是至关重要的。Nano Indenter G200系统可以触发界面断裂并测量多层薄膜的粘附性和残余应力性质。断裂韧性断裂韧性是在平面应变条件下发生灾难性破坏的应力 – 强度因子的临界值。 较低的断裂韧性值表明存在预先存在的缺陷。 通过使用刚度映射法容易地通过纳米压痕评估断裂韧性。 （刚度映射需要连续刚度测量和NanoVision选项）粘弹特性聚合物是非常复杂的材料 它们的机械性能取决于化学，加工和热机械历史。 具体来讲，机械性能取决于材料分子母链的类型和长度，支化，交联，应变，温度和频率，并且这些依赖性通常是相互关联的。 为了采用聚合物进行研究时获得有用的信息进行决策，应在相关背景下对相关样品进行机械性能测量。 纳米压痕测试使得这种特定的测量更容易完成，对样品制备要求不高，可以很小且少量。 Nano Indenter G200系统还可用于通过在与材料接触时振荡压头来测量聚合物的复数模量和粘弹性。扫描探针显微镜（3D成像）Nano Indenter G200系统提供两种扫描探针显微镜方法，用于表征压痕印痕的裂缝长度，以测量设计应用中的断裂韧性。 断裂韧性定义为含有裂缝的缺陷材料抵抗断裂的能力。Nano Indenter G200的压电平台具有高定位精度和NanoVision选项，可提供高达1nm的步长编码器分辨率，最 大扫描尺寸为100μm×100μm。 测试扫描软件选项将X / Y运动系统与NanoSuite软件相结合，可提供500μm×500μm的最 大扫描尺寸。 NanoVision阶段和测试扫描选项都需要精确定位在样品区域来完成纳米压痕测试和断裂韧性计算。耐磨性和耐刮擦性Nano Indenter G200系统可以对各种材料进行划痕和磨损测试。 涂层和薄膜将经受许多工艺，测试这些薄膜的强度及其与基板的粘合性，例如化学和机械抛光（CMP）和引线键合。 重要的是这些材料在这些工艺过程中抵抗塑性形变并保持完整，也不会在基板上起泡。 对于介电材料，通常需要高硬度和弹性模量来支持这些制造工艺。高温机械测试高温下的纳米压痕提供了在达到塑性转变之前、之中与之上的精确测量能力，得到材料的纳米力学响应。 了解材料行为，例如形变机制和相变，可以预测材料失效并改善热机械加工过程中的控制。 在主要机械测试方法过程中改变温度是对材料进行纳米尺度测量塑形转变的一种方式。产品优势Nano Indenter G200系统专为各种材料的表征和开发过程中进行纳米级测量而设计。 该系统是一个完全可升级，可扩展且经过生产验证的平台，全自动硬度测量可应用于质量控制和实验室环境。

iNano纳米压痕仪可轻松测量薄膜、涂层和少量材料。 该仪器准确、灵活，并且用户友好，可以提供压痕、硬度、划痕和通用纳米级测试等多种纳米级机械测试。 该仪器的力荷载和位移测量动态范围很大，因而可以实现从软聚合物到金属材料的精确和可重复测试。 模块化选项适用于各种应用：材料性质分布、特定频率测试、刮擦和磨损以及高温测试。 iNano提供了一整套测试扩展选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz3D/4D属性映射和远程视频选项。

Optics11成立于2011年，是阿姆斯特丹自由大学(VU)的衍生组织。从那时起，这家初创公司的收入和员工持续增长，成为荷兰发展最快的公司之一，并具有国际影响力。Optics11 Life提供功能强大的新型纳米压痕仪，与传统的同类产品相比，使用方便、功能多样、坚固耐用。主要用于测量复杂、不规则的生物材料，如单细胞、组织、水凝胶和涂层的机械性能。Piuma Nanoindenter生物组织、软物质材料力学性能测试的新方法Piuma是功能强大的台式仪器，可探索水凝胶、生理组织和生物工程材料的微观机械特性。表征尺度从宏观直至细胞。专为分析测试软材料而设计，测量复杂和不规则材料在生理条件下的力学性能。杭州轩辕科技有限公司主要优势● 内置摄像镜头，方便实时观察样品台● 实时分析计算测量结果，原始数据并将以文本文件存储，方便任何时候导入Dataviewer软件进行复杂处理● 探针经过预先校准，即插即用。对于时间敏感的样品确保了快速测量● 光纤干涉MEMS技术能够以无损的方式测量即使是最软的材料，并保证分辨率。同时探针可以重复使用Piuma轩辕纳米压痕仪Piuma轩辕纳米压痕仪 技术参数模量测试范围5 Pa - 1 GPa探头悬臂刚度0.025 - 200 N/m探头尺寸(半径)3 - 250 μm最大压痕深度100 μm传感器最大容量200测试环境air, liquid (buffer/medium)粗调行程X*Y：12×12 mm Z：12 mm加载模式Displacement / Load* / Indentation*测试类型准静态(单点，矩阵)蠕变，应力松弛DMA动态扫描 (E', E'', tanδ)动态扫描频率*0.1 - 10 Hz内置拟合模型Young's Modulus (Hertz / Oliver-Pharr / JKR)*为可选升级配置Fiber-On-Top 探头新型光纤干涉式悬臂梁探头，利用干涉仪来监测悬臂梁形变。相较于原子力显微镜或传统纳米压痕仪创新型光纤探头，弥补了传统纳米压痕仪无法测试软物质的问题，也解决了AFM在力学测试中的波动大，操作困难、制样严苛等常见缺陷。● 背景噪音低：激光干涉仪抗干扰强于AFM反射光路● 制样更简单：对样品的粗糙度宽容度高于AFM● 刚度选择更准确：平行悬臂梁结构有利于准确判别压痕深度与压电陶瓷位移比例关系，便于选择合适刚度探头来保证弹性形变关系的稳定性，进而获得重复率更高、准确性更好的数据内置分析软件● 借助功能强大而易于操作的软件，用户可以自由控制压痕程序（载荷、位移等）。自动处理曲线的流程，可以获得数据和结果的快速分析● 原始参数完整txt导出，便于后续复杂处理的需要● 利用Hertz接触模型从加载部分计算弹性模量，与常用的Oliver&Pharr方法相比，更为适合生物组织和软物质材料特性视频介绍如果您感兴趣的话，我们可以为您提供试样服务，请联系：近期文献年 份期 刊题 目2022Advanced Functional MaterialsEngineering Vascular Self-Assembly by Controlled 3D-Printed Cell Placement2022BiomaterialsHydrogels derived from decellularized liver tissue support the growth and differentiation of cholangiocyte organoids2021Biofabrication3D bioprinting of tissue units with mesenchymal stem cells, retaining their proliferative and differentiating potential, in polyphosphate-containing bio-ink2021nature communicationsJanus 3D printed dynamic scaffolds for nanovibration-driven bone regeneration2020Environmental Science & TechnologyEffect of Nonphosphorus Corrosion Inhibitors on Biofilm Pore Structure and Mechanical Properties2020Acta BiomaterialiaA multilayer micromechanical elastic modulus measuring method in ex vivo human aneurysmal abdominal aortas

・ 纳⽶ 压痕 超微小压痕测试仪 ELIONIX-5纳⽶ 压痕仪主要⽤ 于微纳⽶ 尺度薄膜材料的硬度与杨⽒ 模量测试，测试结果通过⼒ 与压⼊ 深度的曲线计算得 出，⽆ 需通过显微镜观察压痕⾯ 积[1]。 ・ 仪器介绍 纳⽶ 压痕仪主要⽤ 于测量纳⽶ 尺度的硬度与弹性模量，可以⽤ 于研究或测试薄膜等纳⽶ 材料的接触刚度、蠕 变、弹性功、塑性功、断裂韧性、应⼒ -应变曲线、疲劳、存储模量及损耗模量等特性。可适⽤ 于有机或⽆ 机、软质或 硬质材料的检测分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩绘釉漆，光学薄膜，微电⼦ 镀膜，保护性薄 膜，装饰性薄膜等等。基体可以为软质或硬质材料，包括⾦ 属、合⾦ 、半导体、玻璃、矿物和有机材料等[1]。 主要应⽤ 半导体技术(钝化层、镀⾦ 属、Bond Pads)；存储材料(磁盘的保护层、磁盘基底上的磁性涂层、CD的保护层)；光学 组件(接触镜头、光纤、光学刮擦保护层)；⾦ 属蒸镀层；防磨损涂层(TiN, TiC, DLC, 切割⼯ 具)；药理学(药⽚ 、植⼊ 材料、⽣ 物组织)；⼯ 程学(油漆涂料、橡胶、触摸屏、MEMS)等⾏ 业。

Optics11成立于2011年，是阿姆斯特丹自由大学(VU)的衍生组织。从那时起，这家初创公司的收入和员工持续增长，成为荷兰发展最快的公司之一，并具有国际影响力。Optics11 Life提供功能强大的新型纳米压痕仪，与传统的同类产品相比，使用方便、功能多样、坚固耐用。主要用于测量复杂、不规则的生物材料，如单细胞、组织、水凝胶和涂层的机械性能。Piuma Nanoindenter生物组织、软物质材料力学性能测试的新方法Piuma是功能强大的台式仪器，可探索水凝胶、生理组织和生物工程材料的微观机械特性。表征尺度从宏观直至细胞。专为分析测试软材料而设计，测量复杂和不规则材料在生理条件下的力学性能。主要优势● 内置摄像镜头，方便实时观察样品台● 实时分析计算测量结果，原始数据并将以文本文件存储，方便任何时候导入Dataviewer软件进行复杂处理● 探针经过预先校准，即插即用。对于时间敏感的样品确保了快速测量● 光纤干涉MEMS技术能够以无损的方式测量即使是最软的材料，并保证分辨率。同时探针可以重复使用 技术参数模量测试范围5 Pa - 1 GPa探头悬臂刚度0.025 - 200 N/m探头尺寸(半径)3 - 250 μm最大压痕深度100 μm测试环境air, liquid (buffer/medium)粗调行程X*Y：12×12 mm Z：12 mm加载模式Displacement / Load* / Indentation*测试类型准静态(单点，矩阵) 蠕变，应力松弛 DMA动态扫描 (E', E'', tanδ) 动态扫描频率*0.1 - 10 Hz内置拟合模型Young's Modulus (Hertz / Oliver-Pharr / JKR)*为可选升级配置Fiber-On-Top 探头新型光纤干涉式悬臂梁探头，利用干涉仪来监测悬臂梁形变 相较于原子力显微镜或传统纳米压痕仪创新型光纤探头，弥补了传统纳米压痕仪无法测试软物质的问题，也解决了AFM在力学测试中的波动大，操作困难、制样严苛等常见缺陷。● 背景噪音低：激光干涉仪抗干扰强于AFM反射光路● 制样更简单：对样品的粗糙度宽容度高于AFM● 刚度选择更准确：平行悬臂梁结构有利于准确判别压痕深度与压电陶瓷位移比例关系，便于选择合适刚度探头来保证弹性形变关系的稳定性，进而获得重复率更高、准确性更好的数据内置分析软件● 借助功能强大而易于操作的软件，用户可以自由控制压痕程序（载荷、位移等）。自动处理曲线的流程，可以获得数据和结果的快速分析● 原始参数完整txt导出，便于后续复杂处理的需要● 利用Hertz接触模型从加载部分计算弹性模量，与常用的Oliver&Pharr方法相比，更为适合生物组织和软物质材料特性近期文献年 份期 刊题 目2022Advanced Functional MaterialsEngineering Vascular Self-Assembly by Controlled 3D-Printed Cell Placement2022BiomaterialsHydrogels derived from decellularized liver tissue support the growth and differentiation of cholangiocyte organoids2021Biofabrication3D bioprinting of tissue units with mesenchymal stem cells, retaining their proliferative and differentiating potential, in polyphosphate-containing bio-ink2021nature communicationsJanus 3D printed dynamic scaffolds for nanovibration-driven bone regeneration2020Environmental Science & TechnologyEffect of Nonphosphorus Corrosion Inhibitors on Biofilm Pore Structure and Mechanical Properties2020Acta BiomaterialiaA multilayer micromechanical elastic modulus measuring method in ex vivo human aneurysmal abdominal aortas

生物组织纳米压痕仪介绍Piuma纳米压痕仪的核心部件是其安装在压痕移动平台上极其敏锐的压痕探头1.压痕移动平台，具备粗进以及精进两级移动精度，使得探针可以自动寻找到表面并且提供高精度压痕。除了压痕移动平台，Piuma纳米压痕仪还有一个手动样品移动平台2.方便样品的安放。你的样品可以放在X-Y移动台上piuma生物软组织纳米压痕仪3.进行杨氏模量的测试或者进行多点阵测试。一个内置式的显微镜4.可以直接观察实验过程！piuma生物软组织纳米压痕仪 生物组织纳米压痕仪是一个简单易用的产品，为软物质以及生物材料组织的微观以及纳观研究带来希望。依靠自身*的新型光学技术以及杰出的微加工工艺，Piuma纳米压痕仪可以测量杨氏模量软的样品，范围甚至是从5Pa到5GPa!Piuma同样非常适合在液体中测试样品。其操作非常简单易学，只需将探头插入仪器中，简单定标后，即可马上开始压痕实验。产品构件详细介绍：1.PROBE探头纳米压痕仪核心:一个微加工工艺制作的光学压痕探头如果您感兴趣的话，我们可以为您提供试样服务请联系2.SAMPLE样品从水凝胶到骨组织等，在大气中或者浸没在液体中3.SAMPLEXYSTAGEXY样品台在X-Y（12x12mm）范围内测试样品4.INDENTATIONSTAGE压痕移动台粗进以及精进移动台实现精确压痕以及自动寻找样品表面5.MANUALSTAGE手动平台为任何样品以及容器创造空间 纳米以及微米级别的生物机械性能Piuma是一个创新的，具有成本效益的工具，用来表征生物材料、组织、细胞器、细胞层、软骨、静电支架、力学性能，3D打印材料，水凝胶等的微纳米机械性能。The Piuma 纳米压痕仪专为迎合生物材料以及组织研究人员和工程师的需求，提供易用性和便携性，同时提供高精度、高通量和多样化的数据。Optics11小型化的玻璃探针式压头，特别适合在液体中测量水合样品。组织工程和再生医学的研究者，Piuma纳米压痕仪是衡量他们感兴趣材料刚度的一个解决方案。 软物质材料表征在生物材料、组织工程、再生医学和医学研究领域，Piuma可以在溶液里进行非破坏性测量测量某点或者某个区域的杨氏模量、蠕变和松弛实验，点阵测量粘附力，描述应变硬化行为，样品的粘度等。测试生物材料和组织样本的软硬度可以很容易地在Piuma纳米压痕仪上用其optics11 PIUMA探头和专用的Piuma软件来实现。 Piuma Nanoindenter是荷兰Optics11公司出品的新型生物纳米压痕仪。主要应用范围为生物组织、生物支架、水凝胶、聚合物、细胞等软物质以及生物材料的机械性能研究。采用了新型探头设计，弥补了传统其他纳米压痕仪无法测试软物质的问题也解决了原子力显微镜在软物质测试中的数据波动大，操作困难、制样严苛等常见问题。更开创性的在压痕仪中加入了动态力学测试模式DMA，可以获得材料与振动频率相关的储存模量、损失模量和损失因子，用于研究材料在交变力作用下的滞后现象和力学损耗。

灵活且用户友好的纳米压痕仪，适用于测量模量、硬度（Oliver-Pharr模型，ISO 14577）、储存模量/损耗模量以及万能力学试验。能够施加高达1N的力，为硬质材料测试提供更高载荷和更大深度。可供选配的不同作动器，用于软质材料、摩擦学研究、横向力测量和其它需要双轴测量力和位移的场景。产品描述iMicro纳米压痕仪可轻松测量硬质涂层、薄膜和小尺寸材料等。其准确、灵活，并且用户友好，可以提供压痕、硬度、划痕和通用纳米级测试等多种纳米力学测试。作动器易于更换，能够提供大范围的动态载荷和位移，对于从软质聚合物到硬质金属/陶瓷等材料，均可以进行准确而可重复的测试。模块化的功能选项可以适配各种应用：材料力学特性图谱、特定频率测试、划痕和磨损测试以及高温测试。iMicro提供一整套的扩展功能选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz3D/4D材料力学性能成像，以及Gemini 2D作动器用于摩擦学和其它双轴力学测量。iMicro 纳米压痕仪标配InForce 1000作动器，用于进行纳米压痕和通用纳米力学测试，并可选配InForce 50作动器用于测试较软的材料。InView 软件包灵活、现代，让用户轻松进行纳米尺度测试。iMicro是一款紧凑型测试平台，其箱体中内置高速InQuest控制器和隔振框架。可以测试金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物材料和凝胶等各种不同的材料和器件。主要功能● InForce 1000驱动器，采用电容式位移传感和电磁力驱动，且压头易于更换● InForce 50作动器选件，提供最大50mN的法向力，可用于测量较软的材料；Gemini 2D作动器选件，可实现两个方向的动态测量。独特的压头校准系统，集成在软件中，可实现快速、准确的压头校准● InQuest高速控制器电路，数据采集速率可达100kHz，时间常数最快为20µ s● XY运动系统以及易于安装的磁性样品台● 高刚度龙门架，且集成隔振功能● 集成显微镜，数字变焦，可实现精确的压痕定位● 符合ISO 14577等标准的测试方法● InView软件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus、InView University在线培训和InView移动应用程序主要应用● 硬度和模量测量（基于Oliver Pharr模型）● 快速材料力学性能成像● ISO 14577硬度测试● 聚合物损耗因子，储存模量和损耗模量● 定量划痕和磨损测试● 高温纳米压痕测试硬度和模量测量（基于 Oliver-Pharr 模型）力学性能表征在薄膜的制造和工艺控制中至关重要，其中包括汽车工业中的涂层质量控制，以及半导体制造中前段和后段的工艺控制。iMicro纳米压痕仪能够测量从超软凝胶到硬质涂层的各种材料的硬度和模量。高效地评估材料性能，保证了在生产线上进行有效的质量管控。快速材料力学性能成像对于包括复合材料在内的许多材料而言，不同区域之间的力学性能可能存在很大差异。iMicro的样品台在X轴和Y轴方向上能够分别移动100mm，且其在Z轴方向上能够移动25mm，因此可以测试尺寸大且高度不同的样品。使用NanoBlitz功能选项进行材料表面和断层力学性能成像，可以快速获得各种被测力学性能的彩色分布图。ISO 14577 硬度测试iMicro 纳米压痕仪内置预先编写的 ISO 14577 测试方法，其依据 ISO 14577 标准测量材料硬度。该测试方法可以自动测量并输出杨氏模量、纳米压痕硬度、维氏硬度和归一化压痕功。聚合物损耗因子、储存模量和损耗模量iMicro 纳米压痕仪能够测量超软材料（包括粘弹性聚合物）的损耗因子、储存模量和损耗模量。储存模量、损耗模量和损耗因子是粘弹性聚合物的重要性能，因为作用到此类材料上的能量以弹性能的形式储存或以热量的形式耗散。上述指标即用于衡量材料中的能量储存和耗散情况。定量的划痕和磨损测试iMicro 可以对多种材料进行划痕和磨损测试。涂层和薄膜要经受多种工艺流程，例如化学机械抛光（CMP）和引线键合，这会考验这些薄膜的强度及其与衬底的附着力。对这些材料来说，重要的是在这些流程中抵抗塑性形变，并保持完好而不从衬底上剥离。理想情况下，电介质材料应具有较高的硬度和弹性模量，这将有助于其在经历制造流程时有效抵抗外界影响。高温纳米压痕测试高温纳米压痕对于表征热应力作用下的材料性能至关重要，在定量研究热机械加工过程中的失效机理时更是如此。在不同温度下进行力学测试，不仅可以研究材料受热时的性能变化，还可以量化研究材料的塑性转变，这在纳米尺度上并非易事。适用行业● 大学、实验室和研究所● 半导体与封装行业● PVD / CVD硬涂层（DLC，TiN）● MEMS（微机电系统）/纳米级通用测试● 陶瓷与玻璃● 金属与合金● 制药● 涂层涂料● 复合材料● 电池与储能● 汽车与航空航天● 更多应用，请联系我们以满足您的求选配件连续刚度测量（CSM）连续刚度测量用于量化测定动态材料特性，例如应变速率效应和频率相关特性。CSM技术在压痕过程中控制压头振荡，以测量样品性能随深度、荷载、时间或频率的变化。该选项默认进行恒应变速率测试，测量硬度和模量随深度或载荷的变化，这是学术界和工业界最常用的测试方法。CSM 还可用于其它高级测试选项，包括 ProbeDMA&trade 选项以测量存储模量和损耗模量，以及AccuFilm&trade 选项以获得不受衬底影响的薄膜性能。CSM 功能集成在 InQuest 控制器和 InView 软件中，使用极为简便，且确保数据质量。InForce 50作动器InForce 50作动器可以施加最高50mN的力以进行纳米力学测试。KLA专利的电磁力加载技术，确保测量的可靠性以及加载力与位移的长期稳定性。行业领先的机械设计，确保作动器简谐运动仅有单一方向自由度，从而使加载力和位移仅发生在该方向。InForce 50作动器与CSM、NanoBlitz、ProbeDMA、生物材料、样品加热、划痕、磨损和 ISO 14577等测试选项兼容。InForce和Gemini全系列作动器均使用统一规格的压头。Gemini双轴作动器Gemini双轴技术，保证增加的横向轴与常规压痕具有相同的性能，且CSM能够在两个方向同时工作。基于这项专利技术获得更多测试结果，有助于形成对材料特性和失效机制新的认知。横向力和摩擦学测量可以通过双轴作动器实现，其可以用于测量泊松比、摩擦系数、划痕、磨损、剪切特性和形貌特征。300°C 样品加热300°C 样品加热选项使用准密闭腔室装载样品，均匀加热的同时进行力学测试，InForce 1000或InForce 50作动器均可使用。该选项包括高精度温度控制系统、惰性气体保护系统以减少氧化、冷却系统以移除余热。ProbeDMA、AccuFilm、NanoBlitz和CSM功能均与样品加热选项兼容。NanoBlitz 3DNanoBlitz 3D可以采用InForce 50/InForce1000作动器和玻式压头，获得杨氏模量较高（3GPa）的材料的纳米力学特性3D图。NanoBlitz 3D每个压痕时间小于1s，单次测试可包含多达100,000个压痕点（300×300阵列），获得每个压痕点在特定载荷下的杨氏模量（E）、硬度（H）和接触刚度（S）。大量的测试数据能够提高统计的准确性。统计直方图可以呈现样品中的多个物相或材料组分。NanoBlitz 3D方法包还包含可视化软件和数据处理功能。NanoBlitz 4D NanoBlitz 4D可以采用InForce 50/InForce1000作动器和玻式压头，获得较低杨氏模量/硬度以及较高杨氏模量 (3GPa)的材料的纳米力学特性4D图。NanoBlitz 4D每个压痕仅需5-10秒，单次测试可包含多达10,000个压痕点（100×100阵列），获得每个压痕点的杨氏模量（E）、硬度（H）和接触刚度（S）等随深度的变化。NanoBlitz 4D 采用恒应变率方法。其软件包还包含可视化软件和数据处理功能。AccuFilm&trade 薄膜方法包AccuFilm&trade 薄膜方法包提供基于Hay-Crawford模型的InView测试方法，其采用连续刚度测量（CSM）获得不受衬底影响的薄膜材料性能。AccuFilm&trade 能够修正薄膜力学性能测量中衬底的影响，其应用既包括“硬膜软基底”，也包括“软膜硬基底”的情况。ProbeDMA&trade 聚合物方法包聚合物方法包可以测量聚合物的复模量随频率的变化。该方法包中包括平压头、粘弹性标样和评估材料粘弹性的测试方法。该技术可以有效表征纳米尺度聚合物和聚合物薄膜，填补传统的动态力学分析(DMA)测试仪在此领域的空白。Biomaterials生物材料方法包生物材料方法包基于连续刚度测量（CSM）技术，可以测量剪切模量低至1kPa的生物材料的复模量。该方法包中包括一个平压头和评估材料粘弹性的测试方法。该技术可以有效表征小尺寸生物材料，填补传统的流变仪在此领域的空白。划痕和磨损测试方法包划痕测试中，在压头上施加恒定或线性变大的载荷，并使其以设定速度在样品表面划过。划痕测试可以表征多样的材料体系，例如薄膜、脆性陶瓷和聚合物等。DataBurst对于配有InView软件和InQuest控制器的系统，DataBurst选项容许以大于1kHz的速率记录位移数据，用于测量阶跃载荷响应、位移突进（pop-in）和其它瞬时事件。配备了“用户方法开发”选项的iMicro系统，也可以修改方法以启用DataBurst。InView的“用户方法开发”选项InView提供一个功能极为强大且直观的实验脚本编辑平台，可用于设计新颖或复杂的实验。KLA独家提供该选项，使用配备该选项的iMicro，经验丰富的用户几乎可以设计和运行任何小尺度力学测试。主动减震系统以及一体式机柜可选高性能主动减震系统，凭借其内置防震装置，为 iMicro 纳米压痕仪提供额外减震。该系统易于安装，可在所有六个自由度上减少震动，且无需调试。一体式模组托架将所有模组集成在一处，方便使用。True Test I-V测试iMicro 纳米压痕仪的True Test I-V选项通过InView软件控制，包含精密的电流/电压源表、经过压头的导电通路以及导电压头。该设计确保用户能够对样品施加特定电压、测量通过压头的电流，并同时操作InForce 50/InForce 1000作动器进行力学测试。线性光学编码器（LOE）iMicro的线性光学编码器选项集成在X和Y移动台中，可以提高测试过程的定位精度和速度。压头和校准样品InForce 50、InForce 1000和Gemini作动器使用统一规格的压头。有多种尖锐的压头可供选择，例如玻式（Berkovich）、立方角（cube corner）和维氏（Vickers）压头，还可提供平压头、球形压头和其它几何形状的压头。整个产品系列均提供标准样品和校准标准。相关产品

iNano纳米压痕仪iNano纳米压痕仪使测量薄膜、涂层和小体积材料变得更简单。准确、灵活、用户友好的仪器可以进行多样的纳米材料力学测试，包括压痕、硬度、划痕和通用的纳米尺度测试。大范围的力和位移动态测量范围允许对从软聚合物到金属的材料进行精确和可重复的测试。 模块选项可以适配各种应用：材料性能分布图、特定频率的测试、划痕和磨损测试以及高温测试。iNano纳米压痕仪拥有一整套可扩展的测试选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz 3D/4D性能分布图和远程视频选项。产品描述iNano纳米压痕仪采用了用于执行纳米压痕和通用纳米机械测试的InForce 50作动器。InForce 50的50 mN力和50µ m位移范围允许该系统执行广泛的测试。InView 软件包灵活、现代，让用户轻松进行纳米尺度测试。iNano是一个紧凑的平台，内置有高速InQuest控制器和隔振机架。可以测试各种材料和装置，包括金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物物质和凝胶。 功能InForce 50作动器用于电容位移测量和电磁力驱动，具有可互换的压头独特的软件集成压头校准系统，精确的压头校准Inquest高速电子控制器，具有100kHz数据采集速率和20µ s时间常数XY移动系统带有易于安装的磁性样品架具有数字变焦功能的集成显微镜，可获得精确的压痕定位ISO 14577和标准化测试方法包含RunTest、ReviewData、InFocus报告、 InView University 在线培训和InView移动应用程序的InView软件包 应用硬度和模量测量(Oliver-Pharr)材料力学性能分布图ISO 14577硬度测试聚合物损耗因子高温纳米压痕测试 行业大学、研究实验室和研究所半导体和封装行业聚合物和塑料MEMS：微机电系统/纳米尺度通用测试陶瓷和玻璃金属和合金药品涂料和油漆聚合物制造复合材料电池和储能主要应用硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型）在薄膜的工艺控制和制造过程中，表征其力学性能至关重要，其中包括汽车行业的涂层质量，以及半导体制造中的前道和后道工艺控制等。iNano 纳米压痕仪可以测量各种材料的硬度和模量，从超软胶到硬涂层。高效地评估材料性能，保证了在生产线上进行有效的质量管控。快速压痕力学性能成像对于包括复合材料在内的许多材料而言，不同区域之间的力学性能可能存在很大差异。iNano提供了X和Y轴100毫米和Z轴25毫米的样品台移动，允许在大样品面积上测试各种样品高度。使用NanoBlitz功能选项进行材料表面和断层力学性能成像，可以快速获得各种被测力学性能的彩色分布图。ISO 14577硬度测试iNano纳米压痕仪包括一个预编程的ISO 14577测试方法，可根据ISO 14577标准测量材料的硬度。该测试方法可自动测量和报告杨氏模量、纳米压痕硬度、维氏硬度和归一化的压痕功。聚合物损耗因子iNano纳米压痕仪能够测量 超软材料（包括粘弹性聚合物）的损耗因子。 储存模量、损耗模量和损耗因子是粘弹性聚合物的重要性能，因为作用到此类材料上的能量以弹性能的形式储存或以热量的形式耗散。上述指标即用于衡量材料中的能量储存和耗散情况。高温纳米压痕测试高温纳米压痕对于表征热应力作用下的材料性能至关重要，在定量研究热机械加工过程中的失效机理时更是如此。在不同温度下进行力学测试，不仅可以研究材料受热时的性能变化，还可以量化研究材料的塑性转变，这在纳米尺度上并非易事。

iNano纳米压痕仪使测量薄膜、涂层和小体积材料变得更简单。准确、灵活、用户友好的仪器可以进行多样的纳米材料力学测试，包括压痕、硬度、划痕和通用的纳米尺度测试。大的力和位移动态测量范围允许对从软聚合物到金属材料进行精确和可重复的测试。 模块选项可以适配各种应用：材料性能分布图、特定频率测试、划痕和磨损测试以及高温测试。iNano纳米压痕仪拥有一整套可扩展的测试选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz 3D/4D性能分布图和远程视频选项。产品描述iNano纳米压痕仪使测量薄膜、涂层和小体积材料变得更简单。准确、灵活、用户友好的仪器可以进行多样的纳米材料力学测试，包括压痕、硬度、划痕和通用的纳米尺度测试。大的力和位移动态测量范围允许对从软聚合物到金属材料进行精确和可重复的测试。 模块选项可以适配各种应用：材料性能分布图、特定频率测试、划痕和磨损测试以及高温测试。iNano纳米压痕仪拥有一整套可扩展的测试选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz 3D/4D性能分布图和远程视频选项。iNano采用InForce 50作动器进行纳米压痕和通用纳米机械测试。InForce 50的50mN力荷载和50μm位移范围使得该系统适合各种测试。InView软件是一个灵活的现代软件包，可以轻松进行纳米级测试。iNano是内置高速InQuest控制器和隔振门架的紧凑平台。该系统可以测试金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物材料和凝胶等各种不同的材料和器件。主要功能● InForce 50作动器，用于电容位移测量和电磁力驱动，具有可互换的压头● 独特的软件集成压头校准系统，可实现快速准确的压头校准● InQuest高速电子控制器，具有100kHz数据采集速率和20μs时间常数● XY移动系统带有易于安装的磁性样品架● 具有数字变焦功能的集成显微镜，可获得精确的压痕定位● ISO 14577和标准化测试方法● InView软件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus报告、InView University在线培训和InView移动应用程序主要应用● 硬度和模量测量（Oliver Pharr）● 材料力学性能分布图● ISO 14577硬度测试● 聚合物损耗因子，储存模量和损耗模量● 高温纳米压痕测试硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型）在薄膜的工艺控制和制造过程中，表征其力学性能至关重要，其中包括汽车行业的涂层质量，以及半导体制造中的前道和后道工艺控制等。iNano 纳米压痕仪可以测量各种材料的硬度和模量，从超软胶到硬涂层。高效地评估材料性能，保证了在生产线上进行有效的质量管控。快速材料力学性能成像对于包括复合材料在内的许多材料而言，不同区域之间的力学性能可能存在很大差异。iNano提供了X和Y轴100毫米和Z轴25毫米的样品台移动，允许在大样品面积上测试各种样品高度。使用NanoBlitz功能选项进行材料表面和断层力学性能成像，可以快速获得各种被测力学性能的彩色分布图。ISO 14577 硬度测试iNano纳米压痕仪包括一个预先编写的ISO 14577测试方法，用于测量符合ISO 14577标准的材料硬度。 该测试方法可以自动测量并输出杨氏模量、纳米压痕硬度、维氏硬度和归一化压痕功。聚合物损耗因子iNano纳米压痕仪能够测量 超软材料（包括粘弹性聚合物）的损耗因子。 储存模量、损耗模量和损耗因子是粘弹性聚合物的重要性能，因为作用到此类材料上的能量以弹性能的形式储存或以热量的形式耗散。上述指标即用于衡量材料中的能量储存和耗散情况。高温纳米压痕测试高温纳米压痕对于表征热应力作用下的材料性能至关重要，在定量研究热机械加工过程中的失效机理时更是如此。在不同温度下进行力学测试，不仅可以研究材料受热时的性能变化，还可以量化研究材料的塑性转变，这在纳米尺度上并非易事。适用行业● 大学、研究实验室和研究所● 半导体和封装行业● 聚合物和塑料● MEMS（微机电系统）/纳米级通用测试● 陶瓷和玻璃● 金属和合金● 制药● 涂料和油漆● 聚合物制造● 复合材料● 电池和储能● 更多应用，请联系我们以满足您的要求适用行业举例半导体晶圆半导体制造商通常致力于生产高质量的薄膜，而薄膜柔韧性较差将导致开裂和剥离。基底和外延层中未检测到的缺陷，也可能导致长期隐患和裂纹延展，造成器件失效。KLA纳米压痕仪能够测量超薄膜的弹性模量和硬度，及断裂韧性和开裂阈值，且不受基底的影响。将纳米力学性能与工艺参数建立关联，对于最大化半导体器件产能至关重要。半导体封装电子元件的性能和寿命可能取决于其封装的完整性。KLA纳米压痕仪让半导体封装厂商可以评估聚合物底部填充物的力学性能、焊料应变速率敏感因子和金属部件的强度。聚合物与塑料聚合物与塑料由于其时效变形特性，而被用于许多应用之中。无论聚合物是用作减振器、挤出材料还是医疗植入物，通常都通过动态力学分析（DMA）对其进行分析。在许多情况下，塑料部件的几何形状不适合采用传统的DMA仪器进行测试。无论样品的几何形状如何，KLA纳米压痕仪都能够局部定位塑料部件上的目标区域，并测量与频率相关的储能模量、损耗模量和损耗因子。iNano也可用于测量粘弹性蠕变和应力松弛特性。陶瓷与玻璃陶瓷和玻璃因其独特的光学、力学和电学特性，而成为许多应用中使用的重要材料。陶瓷与玻璃的传统力学测试（例如，四点弯曲测试）可能既耗时又昂贵。iNano可以快速表征少量材料的弹性模量和硬度。纳米压痕仪的划痕测试功能也非常适合定量评估光学涂层的耐划擦性。金属与合金金属与合金在许多行业中发挥着重要作用，例如汽车、航空航天、医疗和半导体。金属与合金的传统力学测试（例如，拉伸测试）可能既耗时又昂贵。iNano可以对少量材料进行快速表征。它还让用户可以表征弹性模量、硬度和抗蠕变性，以及这些特性随空间位置变化的梯度。电池与储能电池材料的力学性能与电池的稳定性、充电容量和续航时间密切相关。iNano 纳米压痕仪非常适合测试各种电池材料，从软质锂金属到硬质陶瓷基片。iNano提供面向多种环境的先进测量解决方案，其中包括干燥室和手套箱。制药、食品和个人护理药品、食品和个人护理产品的力学性能与客户满意度和体验密切相关。材料的弹性模量或刚度可能与质地和触感有关。药物糖衣的力学性能对于准时释放药性也至关重要。iNano 纳米压痕仪提供定量信息，补充定性客户反馈。纳米级通用测试iNano纳米压痕仪系统能够测量纳米级力学形变和其它纳米力学特性。iNano的多种测试能力包括纳米压痕、压缩、拉伸、蠕变、应力松弛和疲劳的测量。此外还支持标准和自定义试验方法。KLA纳米压痕仪团队的专职科学家还可提供咨询和实验设计。选配件连续刚度测量（CSM）连续刚度测量用于量化测定动态材料特性，例如应变速率效应和频率相关特性。CSM技术在压痕过程中控制压头振荡，以测量样品性能随深度、荷载、时间或频率的变化。该选项默认进行恒应变速率测试，测量硬度和模量随深度或载荷的变化，这是学术界和工业界最常用的测试方法。CSM 还可用于其它高级测试选项，包括 ProbeDMA&trade 选项以测量存储模量和损耗模量，以及AccuFilm&trade 选项以获得不受衬底影响的薄膜性能。CSM 功能集成在 InQuest 控制器和 InView 软件中，使用极为简便，且确保数据质量。300°C样品加热300°C样品加热选项允许将样品放入加热室中进行均匀加热的同时使用InForce 50作动器进行测试。 该选项包括高精度温度控制系统、惰性气体保护系统以减少氧化、冷却系统以移除余热。ProbeDMA、AccuFilm、NanoBlitz和CSM功能均与样品加热选项兼容。NanoBlitz 3DNanoBlitz 3D利用InForce 50作动器和Berkovich压头来生成高模量 ( 3GPa)材料的纳米机械特性的3D图。 NanoBlitz 3D每个压痕时间小于1s，单次测试可包含多达100,000个压痕点（300×300阵列），获得每个压痕点在特定载荷下的杨氏模量（E）、硬度（H）和接触刚度（S）。大量的测试数据能够提高统计的准确性。统计直方图可以呈现样品中的多个物相或材料组分。NanoBlitz 3D方法包还包含可视化软件和数据处理功能。NanoBlitz 4DNanoBlitz 4D公司利用InForce 50作动器和Berkovich压头来生成低模量/硬度和高模量 (3GPa)材料的纳米机械性能的4D图。 NanoBlitz 4D每个压痕仅需5-10秒，单次测试可包含多达10,000个压痕点（100×100阵列），获得每个压痕点的杨氏模量（E）、硬度（H）和接触刚度（S）等随深度的变化。NanoBlitz 4D 采用恒应变率方法。其软件包还包含可视化软件和数据处理功能。AccuFilm&trade 薄膜方法包AccuFilm&trade 薄膜方法包提供基于Hay-Crawford模型的InView测试方法，其采用连续刚度测量(CSM)获得不受衬底影响的薄膜材料性能。AccuFilm&trade 能够修正薄膜力学性能测量中衬底的影响，其应用既包括“硬膜软基底”，也包括“软膜硬基底”的情况。ProbeDMA&trade 聚合物方法包聚合物方法包可以测量聚合物的复模量随频率的变化。该方法包中包括平压头、粘弹性标样和评估材料粘弹性的测试方法。该技术可以有效表征纳米尺度聚合物和聚合物薄膜，填补传统的动态力学分析(DMA)测试仪在此领域的空白。Biomaterials生物材料方法包生物材料方法包基于连续刚度测量（CSM）技术，可以测量剪切模量低至1kPa的生物材料的复模量。该方法包中包括一个平压头和评估材料粘弹性的测试方法。该技术可以有效表征小尺寸生物材料，填补传统的流变仪在此领域的空白。划痕和磨损测试方法包划痕测试中，在压头上施加恒定或线性变大的载荷，并使其以设定速度在样品表面划过。划痕测试可以表征多样的材料体系，例如薄膜、脆性陶瓷和聚合物等。DataBurst对于配有InView软件和InQuest控制器的系统，DataBurst选项容许以大于1kHz的速率记录位移数据，用于测量阶跃载荷响应、位移突进（pop-in）和其它瞬时事件。配备了“用户方法开发”选项的iMicro系统，也可以修改方法以启用DataBurst。InView的“用户方法开发”选项InView提供一个功能极为强大且直观的实验脚本编辑平台，可用于设计新颖或复杂的实验。经验丰富的用户使用配备独有InView选项的iNano系统几乎可以设置和执行所有微力学测试。主动减震系统以及一体式机柜可选的高性能主动隔振系统在其内置隔振的基础上，为iNano纳米压痕仪提供了额外的隔振。 该系统易于安装，可在所有六个自由度上减少震动，且无需调试。一体式模组托架将所有模组集成在一处，方便使用。True TestI-V电气测量iNano微力学系统的True Test I-V选项采用InView软件控制，使用了精密电流表和电压源、一个可以通过压头的导通电路和导电压头。 该设计帮助用户对样品施加特定电压，测量压头处的电流，且同时操作InForce 50。压痕仪压头和校准样品InForce 50和Gemini作动器采用可互换的压头。 有多种尖锐的压头可供选择，例如玻式（Berkovich）、立方角（cube corner）和维氏（Vickers）压头，还可提供平压头、球形压头和其它几何形状的压头。整个产品系列也提供标准参考材料和校准标准。远程视频选项除了现有的显微镜物镜之外，远程视频选项还在iNano腔室内提供了两个视角。 第一个安装的支架专门关注测试过程中的压痕仪压头，此设置非常适合于柔性和软材料。 第二个支架安装在机架上，用于在测试设置期间观察样品和显微镜物镜。 标准显微镜物镜和USB摄像头之间的视图切换由软件控制。相关产品

这是一款先进的纳米压痕仪，用户可以在操作界面上灵活、方便地进行纳米级力学测试。Nano Indenter G200X采用高速控制器电子设备、升级后的用户界面和先进的InView&trade 软件能实现各种可选的高级应用模块功能：特定频率测试、定量划痕和磨损测试、基于探针的集成成像、高温测试和自定义测试协议。能够快速准确的提供各种定量的力学测试结果。能够轻松表征广泛的材料力学性能，从硬质涂层到超软聚合物样品，并针对不同应用提供综合全面的纳米力学测试升级选件和解决方案。产品描述Nano Indenter G200X可提供纳米级的力学测试功能，简单易用，能够精确进行各种力学定量分析。G200X系统能够轻松表征广泛的材料力学性能，从硬质涂层到超软聚合物样品，并针对不同应用提供综合全面的纳米力学测试升级选件和解决方案。G200X系统中配置了高精度纳米马达样品台、我们最大的样品安装系统和高分辨率光学显微镜。InView软件、InQuest控制器和InForce驱动器让KLA全线压痕产品系列具有一致的卓越性能。 G200X系统可选功能包括连续刚度测量(CSM)、扫描探针显微成像、划痕测试、动态力学分析频率扫描，IV电压电流特性测试、超高速压痕测试和冲击测试等等。主要功能● 电磁驱动作动器可轻松实现载荷和位移的宽动态范围的控制● 高分辨率光学显微镜与精密XYZ 移动系统结合能实现高精度观察与定位测试样本。● 便捷的样本安装台与多样本定位设置功能实现高通量测试。● 高度模块化设计使设备远不止能进行压痕测试，设备还提供扫描探针成像功能、划痕及磨损测试功能、高温纳米力学测试功能、连续刚度测试(CSM) 和高速3D及4D力学图谱等模块化升级选件。● 直观的用户操作界面便于快速地进行测试设置；仅需点击几下鼠标即可完成复杂测试的参数设置。● 实时高效的实验控制，简单易用的测试流程开发和测试参数设置。● 全新的InView软件，提供用于分析数据的Review软件和生成各种综合性测试报告的 InFocus软件。● 备受赞誉的材料表面力学图谱功能和高速测试功能，极大地提高了定量数据的可靠性。● InQuest高速数字控制器，数据采集速率最高可达100kHz，时间响应常数最快为20μs。主要应用● 快速硬度和模量测量 (基于Oliver-Pharr 模型)● 快速材料表面力学特性分布测量● ISO 14577 标准化硬度测试● 薄膜及涂层测试● 界面附着力测量● 断裂韧性测量● 粘弹性测量，包括储能模量和损耗模量及损耗因子● 扫描探针显微成像（3D 成像）● 定量划痕和摩擦磨损测试● 高温纳米压痕测试● IV电学测试硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型）材料的力学性能表征在薄膜的工艺控制和制造过程中表征力学性能发挥着至关重要的作用，其中包括汽车行业的涂层质量，以及半导体制造中的前道和后道工艺控制等。G200X纳米压痕仪能够测量从超软凝胶到硬质涂层的各种材料的硬度和模量。对这些特性进行快速评估可以为生产线提供可靠的品质控制及保障。快速压痕力学性能成像对于包括复合材料在内的许多材料而言，不同区域之间的力学性能可能会有很大差异。G200X系统在X和Y轴方向上各提供100毫米的样品台移动范围，在Z轴方向上提供25毫米的移动范围，在大面积样本区域下轻松表征不同厚度、宽度、长度的样本。可选的NanoBlitz表面形貌和断层扫描软件能快速生成任何测量力学性能的彩色图。ISO 14577硬度测试Nano Indenter G200X包括一个预编程的ISO 14577测试方法，可根据ISO 14577标准测量材料的硬度。该测试方法可自动测量和报告杨氏模量、纳米压痕硬度、维氏硬度和归一化的压痕功。界面附着力测量薄膜剥离通常是由沉积可以储存弹性能量的高压缩层引起的。界面附着力测量对于帮助用户了解薄膜失效模式而言至关重要。Nano Indenter G200X系统可以通过膜层界面的断裂及黏附特性和残余应力等性能的测试，实现对多层界面的性能评估。断裂韧性断裂韧性指在平面应变条件下应力强度因子发生突然性失效的临界值。低断裂韧性值意味着样品预先存在缺陷。使用刚度成像法可轻松通过纳米压痕仪获得断裂韧性。（刚度成像测量需要连续刚度测量和NanoVision选件。）粘弹性能聚合物是结构异常复杂的材料，其力学性能易受化学特性、加工工艺和热力学过程的影响。具体而言，力学性能由母链的类型和长度、支化、交联、应变、温度和频率等因素决定，而他们通常是相互关联的。应在相关环境中对聚合物样本进行力学测试，为聚合物设计参数决策提供有用的数据信息。纳米压痕测试所需样本尺寸小，制作简单，更容易进行这种特定环境的测量。Nano Indenter G200X系统在压头与材料充分接触的同时可激发压头的高频振动来测量聚合物样品的复模量和粘弹性。扫描探针显微成像（3D成像）Nano Indenter G200X系统有两种扫描探针显微成像方式，可用于表征压痕的裂纹长度，和测量设计应用中的断裂韧性。断裂韧性指含有裂缝的缺陷材料防止断裂扩展的能力。Nano Indenter G200X的压电样品台具有高定位精度的NanoVision选件，可提供高达1nm步进的编码器分辨率，最大扫描尺寸为100µ m x 100µ m。Survey Scanning软件选件将X/Y运动系统与InView软件相结合，可提供500µ m x 500µ m的最大扫描尺寸。NanoVision样品台和Survey Scanning选件均需要对样品的精确区域进行纳米压痕测试和断裂韧性计算。定量划痕和摩擦磨损测试涂层和薄膜要经受多种工艺流程，例如化学机械抛光(CMP)和引线键合，这会考验这些薄膜的强度及其与衬底的附着力。对这些材料来说，重要的是在这些流程中抵抗塑性形变，并保持完好而不从衬底上剥离。理想情况下，电介质材料应具有较高的硬度和弹性模量，这将有助于其在经历制造流程时有效抵抗外界影响。高温纳米压痕测试高温纳米压痕对于表征热应力作用下的材料性能至关重要，在定量研究热机械加工过程中的失效机理时更是如此。在不同温度下进行力学测试，不仅可以研究材料受热时的性能变化，还可以量化研究材料的塑性转变，这在纳米尺度上并非易事。适用行业● 高校、实验室和研究所● 半导体芯片行业● PVD/CVD 硬质涂层（DLC、TiN)● MEMS：微机电系统/纳米级通用测试● 陶瓷与玻璃● 金属与合金● 制药● 膜层材料与油漆● 复合材料● 电池与储能● 汽车与航空航天● 更多应用：请联系我们探讨您的需求应用举例硬质涂层通常，厚度5µ m的硬质涂层用于表面保护、提高耐磨性、摩擦/润滑、提高耐温性和生物相容性。Nano Indenter G200X系统可以精确地执行ISO标准化的纳米压痕测试，并在不受衬底影响的情况下测量涂层的弹性模量和硬度。Nano Indenter G200X还可测量划痕硬度和耐磨性。在涂层表面粗糙度较大的情况下，NanoBlitz 3D选件可对材料特性进行快速的定量评估。半导体晶圆半导体制造商往往致力于生产具有高度机械完整性的薄膜。我们的纳米压痕仪可以测量几乎最薄薄膜的弹性模量和硬度，而不会出现来自底层衬底的影响。探明实际材料变化与工艺参数之间的相关性，对于半导体应用至关重要。半导体封装电子元件的性能和寿命可能取决于其封装的完整性。我们的纳米压痕仪能让半导体封装厂商评估聚合物底部填充物的力学属性、焊料应变率灵敏度和金属部件的强度。陶瓷与玻璃陶瓷和玻璃因其独特的光学、力学和电学特性，而成为许多应用中使用的重要材料。陶瓷与玻璃的传统力学测试（例如，四点弯曲测试）可能既耗时又昂贵。G200X工具可以快速表征小尺寸材料的弹性模量和硬度。划痕测试功能也非常适合定量评估光学涂层的抗划伤性。聚合物与塑料聚合物与塑料由于其随时间产生形变的特性，而被用于许多应用之中。无论聚合物是用作减振器、挤压材料还是医疗植入物，通常都通过动态力学分析(DMA)对其进行分析。在许多情况下，塑料部件的几何图形不适合采用传统的DMA仪器进行测试。无论样品的几何图形如何，KLA纳米压痕仪都能够局部定位塑料部件上的目标区域，并检测与频率相关的储存模量、损耗模量和损耗因子。Nano Indenter G200X也可用于测量粘弹性蠕变和应力弛豫特性。金属与合金金属与合金在许多行业中发挥着重要作用，例如汽车、航空航天、医疗和半导体。金属与合金的传统力学测试（例如，拉伸测试）可能既耗时又昂贵。G200X可以对小尺寸材料进行快速表征。它还能让用户表征弹性模量、硬度和抗蠕变性，以及这些特性随空间位置变化的梯度。电池与储能电池材料的力学属性与电池的稳定性、充电容量和续航时间密切相关。Nano Indenter G200X系统非常适合测试各种电池材料，从软质锂金属到硬质陶瓷基片。Nano Indenter G200X提供面向多种环境的先进测量解决方案，其中包括干燥室和手套箱。研发KLA Instruments纳米压痕仪，不仅能满足要求严苛的研发应用所需的精度和准确度，还是应用灵活的科学仪器。无论是测量新型材料的力学性能、检测金属的形变机制，还是分析随温度变化的应变速率敏感因子，Nano Indenter G200X拥有应用多样的纳米压痕测量能力，以实现先进的研究和加速开发进程。制药、食品和个人护理药品、食品和个人护理产品的力学性能与客户满意度和体验密切相关。材料的弹性模量或刚度可能与质地和触感有关。药物糖衣的力学性能对于准时释放药性也至关重要。G200X系统可提供定量信息，以对定性客户反馈进行补充。汽车与航空航天KLA Instruments的纳米压痕仪可以根据温度对材料进行高级表征，这对于汽车和航空航天应用而言是一项关键功能。强度、刚度和随时间变化的力学性能都可使用Nano Indenter G200X 纳米压痕技术进行测量。纳米级通用测试G200X系统能够测量纳米级力学形变和其它纳米力学特性。对纳米压痕、压缩、张力、蠕变、应力松弛和疲劳的测量展现了该系统功能多样的特点。此外还支持标准和自定义试验方法。KLA纳米压痕仪团队的专职科学家还可提供咨询和实验设计。选配件InForce 1000作动器InForce 1000作动器采用高达1000mN的压痕载荷进行纳米压痕测试。获得专利的电磁力驱动技术可确保测量的可靠性和载荷与位移的长期稳定性。行业领先的机械设计可确保单一方向自由度的简谐运动，从而沿单轴方向控制加载力和位移。整个InForce系列作动器的压头均可互换。InForce 1000作动器与CSM、NanoBlitz、样品加热、划痕、磨损和ISO 14577等测试选件兼容。InForce 50作动器InForce 50作动器采用高达50mN的压痕载荷执行纳米压痕测试。获得专利的电磁力驱动技术可确保测量的可靠性和载荷与位移的长期稳定性。行业领先的机械设计可确保一个自由度的简谐运动，从而沿单轴方向控制载荷和位移。整个InForce系列作动器的压头均可互换。InForce 50座动器与CSM、NanoBlitz、ProbeDMA&trade 、生物材料、样品加热、划痕、磨损和 ISO 14577等测试选项兼容。连续刚度测量（CSM）连续刚度测量用于量化动态材料特性，例如应变速率和频率引起的影响。CSM技术可在压痕过程中振荡压头测量随深度、荷载、时间或频率而变化的力学特性。该选项附带一个恒定应变速率实验，该实验测量硬度和模量作为深度或载荷的函数，这是学术界和工业界最常用的测试方法。CSM 还可用于其它高级测量选项，包括用于储存模量和损耗模量测量的 ProbeDMA&trade 方法和与基底无关的薄膜的杨氏模量测量方法 AccuFilm&trade 。CSM集成于InQuest控制器和InView软件中，易于使用，且能保证数据质量。NanoBlitz 3DNanoBlitz 3D利用InForce 50或InForce 1000驱动器和Berkovich压头绘制高模量（ 3GPa）材料的纳米力学性能3D分布图。NanoBlitz 以每个压痕 1 秒的速度最多可执行 100,000 个压痕（300x300 阵列），并在指定载荷下对阵列中的每个压痕测量杨氏模量 (E)、硬度 (H) 和刚度 (S) 值。大量的测试数据能够提高统计的准确性。直方图显示多相材料的性能分布。NanoBlitz 3D方法包具有可视化和数据处理能力。300°C 样品加热300°C 样品加热选项允许将样品放入腔室均匀加热，同时使用 InForce 1000 或 InForce 50 作动器进行测试。该选项包括高精度温度控制、惰性气体保护以减少氧化，以及冷却循环以去除多余的热量。ProbeDMA，AccuFilm，NanoBlitz和CSM均可与样品加热选件兼容。NanoBlitz 4DNanoBlitz 4D 利用 InForce 50 或 InForce 1000作 动器和 Berkovich 压头为低 E/H 值和高-E (3GPa) 材料生成纳米力学特性 4D 图。NanoBlitz 4D以每个压痕 5-10 秒的速度最多可执行 10,000 个压痕（100×100 阵列）测试，并提供杨氏模量 (E)、硬度 (H) 和刚度 (S)，作为阵列中每个压痕深度的函数。NanoBlitz 4D 采用恒应变速率方法。该功能包具备可视化和数据处理功能。AccuFilm 薄膜方法组合AccuFilm 薄膜方法组合是一种基于 Hay-Crawford 模型的 InView 测试方法，采用连续刚度测量 (CSM) 对与基片无关的材料特性进行测量。AccuFilm对软基底上硬质薄膜测量进行基底材质影响的校正，也对硬基底上的软性薄膜进行同类的校正。ProbeDMA 聚合物方法组合聚合物方法组合提供了对聚合物随频率变化的复模量进行测量的能力。该方法组合中包括平压头、粘弹性参考材料和用于评估粘弹性的测试方法。传统动态力学分析(DMA)测试仪器无法很好地表征的纳米级聚合物和聚合物薄膜，而这种技术对其进行表征又十分关键。生物材料方法包生物材料方法包基于连续刚度测量（CSM）技术，可以测量剪切模量低至1kPa的生物材料的复模量。该方法包中包括一个平压头和评估材料粘弹性的测试方法。该技术可以有效表征小尺寸生物材料，填补传统的流变仪在此领域的空白。NanoVisionNanoVision选件配备了用于高分辨3D成像方法和能精确定位的闭环纳米定位样品台。NanoVision让用户能够以纳米级精度对压痕测试位置进行定位，从而实现对复杂材料的各个相进行独立表征。NanoVision用户还可以通过检查残余压痕形貌，获取到凸起高度、变形体积和断裂韧性等材料特性的量化分析。Survey ScanningSurvey Scanning选件利用Nano Indenter G200X系统的精确、可重复的X/Y运动来提供500μm x 500μm的最大扫描尺寸。10nm线性编码器的成像效果比G200更好。NanoVision样品台和Survey Scanning选件可配合使用，为纳米压痕测试精确定位，这对于确定样品断裂韧性尤其有用。InView软件版本所有Nano Indenter G200X系统均采用了标准的InView软件，可以让用户可以访问预编程测试方法，其中包括符合ISO 14577标准的方法。InView方法开发选件能让研究人员使用简单的协议编写自己的InView测试方法。InView软件包中内置InView ReviewData和InFocus应用程序，可用于轻松查看数据和创建演示文稿。InView拥有模拟模式，用户可以离线编写测试方法、处理和分析数据。相关产品

产品详细介绍核心参数仪器种类：纳米压痕仪 产地类别：进口纳米压痕仪、划痕仪 大压痕深度： 100 um 有效加载载荷范围：100 mN 有效载荷分辨率： 3 nN 位移分辨率: 0.003 nm产品介绍：超高精度、高稳定纳米压痕测试仪UNHT3 高精度超纳米压痕测试仪采用真实力传感器，可用于测量材料在纳米尺度的机械性能。UNHT3采用独特的主动表面参比专利技术，几乎消除了热漂移和框架刚度的影响。因此，非常适用于所有类型的材料（包括聚合物、纳米涂层和软组织）的长时间测量。主要特点用于低载荷测量的的计量型纳米压痕测试仪表面参比系统上的真实力传感器确保可直接测量微牛级的力主动表面参比技术：独特的专利设计（欧洲专利 1828744 和美国专利 7,685,868）从低压入位移（几纳米）到高压入位移（高达 100 μm）从低载荷 (10 μN) 到高载荷（高达 100 mN）市场上稳定性高的纳米压痕测试仪长期蠕变测试不需要进行热漂移修正未修正的热漂移低至 10 fm/sec，消除了热漂移影响即使在高载荷下也保持高框架刚度 (108 N/m)独特的无热膨胀 Macor 材料载荷和位移的全部反馈控制系统“快速点阵”压痕模式带“模板”模式采用“快速点阵”压痕模式的快速测量点阵：每小时测量高达 600 次，符合 ISO14577 仪器化压入测试 (IIT)要求全新“模板”模式让您可以用导出的数据创建一个自定义模板，从而更灵活快速分析数据多样品夹具用于 6 个或更多样品连夜进行一系列测试高精度的纳米压痕测试仪用于进行准确的表面检测高质量载荷-位移曲线，载荷 0.1 mN超灵敏表面探测包含刚度探测测量凝胶和硬质材料载荷分辨率为 0.003 μN位移率分辨为 0.003 nm可用于多种分析模式的多种测试模式多种测试模式：连续多周期 (CMC)、恒定应变速率、用户自定义、点阵动态力学分析 (DMA) 模式包含“正弦”模式各种机械性能的不同分析：硬度、弹性模量、储能和损耗模量、蠕变、应力 - 应变、赫兹应力分析环境控制：真空、液体、温度和相对湿度技术指标载荷大载荷100mN分辨率3nN位移大位移100μm分辨率小至 0.006nm载荷框架刚度107 N/mISO14577, ASTM E2546

产品简介： CB500是美国NANOVEA公司推出的一款低价格微纳米力学综合测试系统，该系统聚纳米压痕仪、纳米划痕仪、微米压痕仪、微米压痕仪四个功能模块于一身，这款仪器采用模块化设计，可在一款仪器下实现纳米与微米/大载荷三个尺度下的压痕，划痕与摩擦磨损测试，进而可得到硬度、弹性模量、蠕变信息、弹塑性、断裂韧度、应力-应变曲线、膜基结合力、划痕硬度、摩擦系数、磨损率等微观力学数据。产品特性： - 模块化设计：可在一台仪器集成纳米压痕仪、纳米划痕仪、微米压痕仪、微米划痕仪4款仪器。 - 压痕测试完全符合国际ISO14577与美国ASTM E2546标准，划痕测试完全符合ISO 20502、1518、ASTM D7027、D1624、D7187、C171标准。 - 载荷加载系统：采用闭环载荷加载垂直加载，准确性远远优于传统的开环载荷加载技术及悬臂加载技术，可保证施加载荷的精准性。 - 载荷驱动方式：高精度压电陶瓷驱动，精度远远优于电磁力驱动。 - NANOVEA专利技术（专利号：EP0663068 A1 1995）高精度电容式传感器来能够保证系统够实现高精度的测量可保证压入深度与划入深度实时测量。 - 采用encoder高精度光栅尺样品台，定位精度可达250nm以内。 - 独特的热飘逸控制技术：纳米压痕仪的热飘逸为0.05nm/s，同时通过专业的硬度测试软件，利用热飘逸补偿技术可将热飘逸总量控制在1nm以内；另外，仪器采用立式结构，电子单元在左右两边，热量往上漂不会对电子单元产生影响，从而得到非常小的热漂移。 - 划痕具有全景成像模式 - NANOVEA公司专利金刚石面积函数校准技术（专利号：No. 3076153）只需要压一次就可以对针尖面积函数进行校准实现精确测量！！！主要技术参数： 1）纳米压痕仪： — 静态加载模式最大加载载荷：80mN /400mN/1800mN/4800mN — 动态加载模式DMA:0.1-100Hz— 载荷分辨率：3nN— 可实现的最小载荷：0.1mN— 加载速率：0.04-12000mN/min— 最大压入深度（电容传感器）： 250μm/1mm— 位移分辨率：0.0003nm— 快速压痕功能：做100个mapping点只需5分钟— 热飘逸0.05nm/s(室温条件下)2）纳米划痕仪：— 划痕正向力最大载荷：80mN /400mN/1800mN/4800mN— 载荷分辨率：3nN— 划痕正向力最小载荷：0.1mN— 最大划痕深度：250μm/1mm— 最大划痕长度：50mm— 划痕速度：0.05-600mm/min— 位移分辨率：0.0003nm— 最大深度：250μm/1mm— 深度分辨率：0.0003nm— 最大摩擦力：400mN/1800mN— 摩擦力分辨率：7μN3）微米压痕仪： — 最大加载载荷：40N/200N — 载荷分辨率：2.4μN /12μN — 载荷噪声水平（RMS）：0.1mN/0.5mN — 可实现的最小载荷：2mN/10mN — 加载速率：0.01-500N/min / 0.05-1000N/min — 快速压痕功能：做100个mapping点只需12分钟 — 深度范围（电容式传感器）：1mm — 深度分辨率：0.01nm — 深度分噪声水平（RMS）: 0.5nm4）微米划痕仪： — 划痕正向力最大载荷：40N/200 N — 划痕正向力最小载荷：2mN/10mN — 最大划痕深度：1mm — 深度分辨率：0.01nm — 深度分噪声水平（RMS）: 0.5nm — 最大划痕长度：50mm — 划痕速度：0.1-1200mm/min — 最大摩擦力：20N/200N — 摩擦力分辨率：1.3mN/13mN5）精密定位平台： — XY方向移动范围：100mm*50mm — Z方向允许的最大样品空间：150mm — 工作台XY方向定位分辨率：10nm — 工作台XY方向定位精度：250nm — Z方向可自动移动移动范围：50mm6）光学金相显微镜成像系统： — 物镜的放大倍率分别为：5X，10X，20X，50X，1000X — 总的放大倍率分别为：400X，800X，1600X，4000X，8000X，7）原子力显微镜AFM的技术参数（高分辨率）： — XYZ方向最大扫描范围：100μm *100μm *12μm — XY方向移动分辨率：0.1nm — Z方向的测量分辨率：0.02nm

NanoFlip纳米压痕仪可在真空和气氛条件下，准确、精密地进行硬度、模量、屈服强度、刚度和其它纳米力学性能的测试。无论在扫描电子显微镜（SEM）或是聚焦离子束（FIB）系统中，NanoFlip均可出色完成微柱压缩等测试，并将SEM图像与力学测试数据同步。NanoFlip是一款紧凑、灵活的原位纳米力学测试仪，其测试速度快，这对于在惰性条件下（例如手套箱中）测试非均质材料至关重要。基于InForce 50电磁力作动器等多种可用功能选项，可获取定量结果，为材料研究提供有价值的解决方案。产品描述NanoFlip纳米压痕仪可在真空和气氛条件下对硬度、模量、屈服强度、刚度和其他纳米力学测试进行高精确度的测量。在扫描电子显微镜（SEM）和聚焦离子束（FIB）系统中，NanoFlip在测试（例如柱压缩）方面表现优异，可以将SEM图像与机械测试数据同步。NanoFlip测量迅速，这对于惰性环境（例如手套箱）中测试异质材料很关键。系统所配置的可选套件，例如InForce50电磁驱动器，可以提供定量结果，从而为材料研究提供有价值的解决方案。NanoFlip配备高精度的XYZ移动马达，以定位样品进行测试，并配备翻转机构，以定位样品进行观察成像。InView软件标配一套包括多种测试协议的测试方法，且支持用户创建自己独特的测试方法。InForce 50作动器在真空和气氛条件下表现同样出色。InView 软件可以记录SEM或其它显微镜图像，并与力学测试数据同步。FIB-to-Test技术容许将样品倾斜90°，实现从FIB到压痕测试的无缝转换，而无需重新安装样品。主要功能● InForce 50作动器采用电容式位移传感和电磁力驱动，且压头易于更换● InQuest高速数字控制器，具有100kHz数据采集速率和20μs时间常数● XYZ运动系统，用于样本定位的● SEM视频捕获，可以将SEM图像和测试数据进行同步● 独特的压头校准系统，集成在软件中，可实现快速，准确的压头校准● InView控制和数据处理软件，与Windows10兼容，可选测试方法开发工具，实现用户自定义实验主要应用● 硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型）● 连续刚度测量● 高速材料力学性能分布图● ISO 14577硬度测试● 纳米动态力学分析（DMA）● 定量划痕和磨损测试硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型）NanoFlip纳米压痕仪可测量从超软凝胶到硬质涂层的各类材料的硬度和模量。对这些性能进行高通量的评估，可以为产线提供可靠的质量管理。连续刚度测量（CSM）连续刚度测量用于量化测定动态材料特性，例如应变速率效应和频率相关特性。NanoFlip纳米压痕仪提供从0.1Hz到1kHz的动态激励，可实时监测数据，以准确确定初始表面接触并连续测量接触刚度随深度或频率的变化。快速材料力学性能成像对于复合材料而言，不同区域之间的力学性能可能存在很大差异。NanoFlip样品台在X和Y方向上行程可达21mm，Z方向马达行程可达25mm，可以实现不同区域、不同高度样品的测试。使用NanoBlitz功能选项进行材料表面和断层力学性能成像，可以快速获得各种被测力学性能的彩色分布图。ISO 14577硬度测试NanoFlip纳米压痕仪标配包含ISO 14577测试方法，可以依照ISO 14577标准测量材料硬度。该测试方法可自动测量和报告杨氏模量、仪器化压入硬度、维氏硬度和归一化的压痕功。纳米动态力学分析（DMA）聚合物是极为复杂的材料。为了获取对聚合物设计有用的信息，应在相应的条件下对相应的样品进行力学性能测试。纳米压痕测试所需样品尺寸小、制备要求简单，更易于实现这种特异性的测量。NanoFlip纳米压痕仪还可在压头与材料接触时振荡压头，实现聚合物复模量和粘弹性的测量。定量划痕和磨损测试NanoFlip可以对多种材料进行划痕和磨损测试。涂层和薄膜要经受多种工艺流程，例如化学机械抛光（CMP）和引线键合，这会考验这些薄膜的强度及其与衬底的附着力。对这些材料来说，重要的是在这些流程中抵抗塑性形变，并保持完好而不从衬底上剥离。适用行业● 大学、实验室和研究所● 支柱和微球制造● MEMS（微机电系统）● 材料制造（结构压缩/拉伸/断裂测试）● 电池和组件制造● 更多应用，请与我们联系以满足您的要求选配件连续刚度测量（CSM）CSM技术在压痕过程中控制压头振荡，以测量样品性能随深度、荷载、时间或频率的变化。该选项默认进行恒应变速率测试，测量硬度和模量随深度或载荷的变化，这是学术界和工业界最常用的测试方法。CSM 还可用于其它高级测试选项，包括 ProbeDMA&trade 选项以测量存储模量和损耗模量，以及AccuFilm&trade 选项以获得不受衬底影响的薄膜性能。CSM功能集成在InQuest控制器和InView软件中，使用极为简便，且确保数据质量。Gemini 2D多轴作动器Gemini 2D多轴设计，保证增加的横向轴与常规压痕具有相同的性能，且CSM能够在两个方向同时工作。基于这项专利技术获得更多测试结果，有助于形成对材料特性和失效机制新的认知。二维作动器是横向力和摩擦学测量的独特解决方案，其可以用于测量泊松比、摩擦系数、划痕、磨损、剪切特性和形貌特征。NanoBlitz 3DNanoBlitz 3D可以采用InForce 50作动器和玻式压头，获得杨氏模量较高 (3GPa)的材料的纳米力学特性3D图。NanoBlitz 3D每个压痕时间小于1s，单次测试可包含多达100,000个压痕点（300×300阵列），获得每个压痕点在特定载荷下的杨氏模量、硬度和接触刚度。大量的测试数据能够提高统计的准确性，统计直方图还可以呈现样品中的多个物相或材料组分。NanoBlitz 3D还包含可视化软件和数据处理功能。NanoBlitz 4DNanoBlitz 4D可以采用InForce 50作动器和玻式压头，获得较低杨氏模量/硬度以及较高杨氏模量（3GPa）的材料的纳米力学特性4D图。NanoBlitz 4D每个压痕仅需5-10秒，单次测试可包含多达10,000个压痕点（100×100阵列），获得每个压痕点的杨氏模量、硬度和接触刚度等随深度的变化。NanoBlitz 4D采用恒应变速率方法，并包含可视化软件和数据处理功能。AccuFilm&trade 薄膜方法包AccuFilm&trade 薄膜方法包提供基于Hay-Crawford模型的InView测试方法，其采用连续刚度测量（CSM）获得不受衬底影响的薄膜材料性能。AccuFilm&trade 能够修正薄膜力学性能测量中衬底的影响，其应用既包括“硬膜软基底”，也包括“软膜硬基底”的情况。ProbeDMA&trade 聚合物方法包聚合物方法包可以测量聚合物的复模量随频率的变化。该方法包中包括平压头、粘弹性标样和评估材料粘弹性的测试方法。该技术可以有效表征纳米尺度聚合物和聚合物薄膜，填补传统的动态力学分析(DMA)测试仪在此领域的空白。划痕和磨损测试方法包InForce 50作动器无需特殊配置即支持划痕和磨损测试。划痕测试中，在压头上施加恒定或线性变大的载荷，并使其以设定速度在样品表面划过。划痕测试可以表征多样的材料体系，例如薄膜、脆性陶瓷和聚合物等。DataBurst对于配有InView软件和InQuest控制器的系统，DataBurst选项容许以大于1kHz的速率记录位移数据，用于测量阶跃载荷响应、位移突进（pop-in）和其它瞬时事件。配备了“用户方法开发”选项的NanoFlip系统，也可以修改方法以启用DataBurst。InView的“用户方法开发”选项InView提供一个功能极为强大且直观的实验脚本编辑平台，可用于设计新颖或复杂的实验。使用NanoFlip，经验丰富的用户几乎可以设计和运行任何小尺度力学测试。KLA独家提供此功能。True Test I-V测试NanoFlip纳米压痕仪的I-V选项通过InView软件控制，包含精密的电流/电压源表、经过压头和InForce 50/1000作动器的导电通路以及导电压头。该设计确保用户能够对样品施加特定电压、测量通过压头的电流，并同时操作InForce作动器进行力学测试。压头和标准样品有多种尖锐的压头可供选择，例如玻式（Berkovich）、立方角（cube corner）和维氏（Vickers）压头，还可提供平压头、球形压头和其它几何形状的压头。整个产品系列均提供标准样品和校准标准。相关产品

NanoFlip纳米压痕仪NanoFlip纳米压痕仪可在真空和气氛条件下，准确、精密地进行硬度、模量、屈服强度、刚度和其它纳米力学性能的测试。无论在扫描电子显微镜(SEM)或是聚焦离子束(FIB)系统中，NanoFlip均可出色完成微柱压缩等测试，并将SEM图像与力学测试数据同步。NanoFlip是一款紧凑、灵活的原位纳米力学测试仪，其测试速度快，这对于在惰性条件下（例如手套箱中）测试非均质材料至关重要。基于InForce 50电磁力作动器等多种可用功能选项，可获取定量结果，为材料研究提供有价值的解决方案。产品描述NanoFlip配备高精度的XYZ移动马达，以定位样品进行测试，并配备翻转机构，以定位样品进行观察成像。InView软件标配一套包括多种测试协议的测试方法，且支持用户创建自己独特的测试方法。InForce 50作动器在真空和气氛条件下表现同样出色。InView 软件可以记录SEM或其它显微镜图像，并与力学测试数据同步。革 命性的FIB-to-Test技术容许将样品倾斜90°，实现从FIB到压痕测试的无缝转换，而无需重新安装样品。 产品特色InForce 50作动器采用电容式位移传感和电磁力驱动，且压头易于更换InQuest高速控制器电路，数据采集速率可达100kHz，时间常数最快为20µ sXYZ运动系统实现样品定位SEM视频采集实现SEM图像和力学测试数据同步独特的压头校准系统，集成在软件中，可实现快速、准确的压头校准InView设备控制和数据处理软件，与Windows10兼容，可选测试方法开发工具，实现用户自定义实验 产品应用硬度和模量测试（基于Oliver-Pharr模型）连续刚度测量快速材料力学性能成像ISO 14577硬度测试纳米动态力学分析(DMA)定量划痕和磨损测试 适用行业大学、科研实验室和研究所微柱和微球制造MEMS：微机电系统材料制造（压缩/拉伸/断裂测试）电池和组件制造主要应用硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型）NanoFlip纳米压痕仪可测量从超软凝胶到硬质涂层的各类材料的硬度和模量。对这些性能进行高通量的评估，可以为产线提供可靠的质量管理。连续刚度测量(CSM)连续刚度测量用于量化测定动态材料特性，例如应变速率效应和频率相关特性。NanoFlip纳米压痕仪提供从0.1Hz到1kHz的动态激励，可实时监测数据，以准确确定初始表面接触并连续测量接触刚度随深度或频率的变化。快速材料力学性能成像对于复合材料而言，不同区域之间的力学性能可能存在很大差异。NanoFlip样品台在X和Y方向上行程可达21mm，Z方向马达行程可达25mm，可以实现不同区域、不同高度样品的测试。使用NanoBlitz功能选项进行材料表面和断层力学性能成像，可以快速获得各种被测力学性能的彩色分布图。ISO 14577硬度测试NanoFlip纳米压痕仪包括一个预编程的ISO 14577测试方法，可根据ISO 14577标准测量材料的硬度。该测试方法可自动测量和报告杨氏模量、纳米压痕硬度、维氏硬度和归一化的压痕功。纳米动态力学分析(DMA)聚合物是极为复杂的材料。为了获取对聚合物设计有用的信息，应在相应的条件下对相应的样品进行力学性能测试。纳米压痕测试所需样品尺寸小、制备要求简单，更易于实现这种特异性的测量。NanoFlip纳米压痕仪还可在压头与材料接触时振荡压头，实现聚合物复模量和粘弹性的测量。定量划痕和摩擦磨损测试NanoFlip可以对多种材料进行划痕和磨损测试。涂层和薄膜要经受多种工艺流程，例如化学机械抛光(CMP)和引线键合，这会考验这些薄膜的强度及其与衬底的附着力。对这些材料来说，重要的是在这些流程中抵抗塑性形变，并保持完好而不从衬底上剥离。

更大的仪器化压入（IIT）测试范围根据仪器化压入测试 (IIT) 的要求，微米压痕仪非常适合于对硬度和弹性模量等机械性能的测量。它适用于块状样品和薄膜，从软材料到硬材料（金属、陶瓷、聚合物），可以进行大位移测量（最大 1 mm）。可以根据需求添加划痕测试模式。主要特点仪器化压入测试 (IIT) 用于测量硬度和弹性模量位移-仪器化压痕：持续测量与施加的载荷和相关的位移，获得材料硬度和弹性模量一台仪器即可进行从纳米到宏观尺度的压痕从小位移（几纳米）到大位移（最大 1 mm）的压痕大载荷范围（从10 mN 到 30 N）以满足样品特性的要求大载荷范围 对测量粗糙表面尤为有用高精度的位移和载荷可进行精确的微米压痕测量两个独立的传感器：一个用于载荷，一个用于位移，来进行准确的计量测量高框架刚度：2 x 108 N/m，更高的位移准确度材料性能的位移曲线连续多周期 (CMC) 的位移曲线：硬度和弹性模量与压入位移的关系压入载荷和位移控制模式可视点阵模式通过显微镜观察对样品进行多点定位测试通过多个测试模式：可使用用户自定义程序根据需要设置测试参数载荷最大载荷30 N分辨率6 μN本底噪音100 [rms] [μN]*位移最大位移1000 μm分辨率0.03 nm本底噪音1.5 [rms] [nm]*载荷框架刚度 107 N/m国际标准ISO 14577, ASTM E2546, ISO 6507, ASTM E384

产品描述NanoFlip提供高精度XYZ位移，可定位样品进行测试，还提供翻转机制，可定位样品进行成像。InView软件附带一套测试方法，涵盖一系列测试协议，并允许用户创建自己的新颖测试方法。InForce50驱动器在真空和常压条件下表现同样出色。InView软件可以记录SEM或其他显微镜图像，并与机械测试数据进行同步。创新的FIB-to-Test技术允许样品倾斜90°，无需移除样品即可实现从FIB到压痕测试的无缝过渡。主要功能InForce 50驱动器，用于电容位移测量，并配有电磁启动的可互换探头InQuest高速控制器电子设备，具有100kHz数据采集速率和20μs时间常数用于样本定位的XYZ移动系统SEM视频捕获，可以将SEM图像和测试数据进行同步独特的软件集成压头校准系统，可实现快速，准确的压头校准与Windows10兼容的InView控制和数据查看软件以及协助用户设计实验的方法开发功能主要应用硬度和模量测量（Oliver-Pharr）连续刚度测量高速材料性质分布图ISO 14577硬度测试聚合物的纳米动态力学分析（DMA）定量刮擦和磨损测试工业应用大学、研究实验室和研究所支柱和微球制造MEMS（微机电系统）材料制造（结构压缩/拉伸/断裂测试）电池和元件制造应用硬度和模量测量（Oliver-Pharr）NanoFlip纳米压痕仪能够测量从超软凝胶到硬涂层的各种材料的硬度和模量。 对这些特性的高速评估保证了在生产线上进行质量控制。连续刚度测量 （CSM）连续刚度测量用于量化动态材料特性，例如应变率和频率引起的影响。 NanoFlip纳米压痕仪提供0.1Hz至1kHz的动态激发，采用随时间变化进行监测以准确确定初始表面接触，并根据深度或频率持续对接触刚度进行测量。材料特性分部对于包括复合材料在内的许多材料，其机械性能可能因部位而异。NanoFlip的样品平台可以在X轴和Y轴上移动21mm，并在Z轴方向移动25mm，这使得该系统适用于不同的样品高度并可以在样品区域上进行测量。可选的NanoBlitz形貌和断层成像软件可以快速绘制任何测得的机械属性的彩色分布图。ISO 14577硬度测试NanoFlip纳米压痕仪包括预先编写的ISO 14577测试方法，可用于测量符合ISO 14577标准的材料硬度。该测试方法自动测量并报告杨氏模量、仪器硬度、维氏硬度和标准化压痕。纳米动态力学分析（DMA）聚合物是非常复杂的材料。为了获取决定聚合物设计的有用信息，需要对相关样品在相关的条件下进行机械性能测量。纳米压痕测试帮助这种特定相关的测量易于进行，因为只需要制备很小或很少量的样品。NanoFlip纳米压痕系统还可以通过在与材料接触时振荡压头来测量聚合物的复数模量和粘弹性。定量划痕和磨损测试NanoFlip可以对各种材料进行刮擦和磨损测试。涂层和薄膜会经过化学机械抛光（CMP）和引线键合等多道工艺，考验薄膜的强度及其与基板的粘合性。重要的是这些材料在这些工艺中抵制塑性变形，并且保持原样而不会基板起泡。产品优势NanoFlip纳米压痕仪可在真空和常压条件下对硬度、模量、屈服强度、刚度和其他纳米力学测试进行高精确度的测量。在扫描电子显微镜（SEM）和聚焦离子束（FIB）系统中，NanoFlip在测试（例如柱压缩）方面表现优异，可以将SEM图像与机械测试数据同步。NanoFlip测量迅速，这对于惰性环境（例如手套箱）中测试异质材料很关键。系统所配置的可选套件，例如InForce50电磁驱动器，可以提供定量结果，从而为材料研究提供有价值的解决方案。