扫描振镜

扫描NV探针显微镜SNVM 扫描NV探针显微镜（Scanning nitrogen-vacancy probe microscope，SNVM）是一款结合了金刚石氮-空位色心（Nitrogen-Vacancy, NV）光探测磁共振（Optically Detected Magnetic Resonance, ODMR）技术和原子力显微镜（Atomic Force Microscope，AFM）扫描成像技术的量子精密测量仪器，可实现对磁性样品高空间分辨率、高灵敏度、定量无损的磁成像。应用领域测试案例

仪器简介： MultiMode平台是世界上应用最广泛的扫描探针显微镜（SPM），已经在全球成功安装使用了近万套。它的成功基于其领先的高分辨率和高性能，无与伦比的多功能性，以及已经得到充分证实的效率和可靠性。现在，MultiMode扫描探针显微镜以其独特的ScanAsyst模式，采用其先进的自动图像优化技术，使得用户无论具备什么技能水平，也能在材料科学，生命科学，聚合物研究领域的研究中最迅速地获得符合要求的研究成果。 SPM的控制电路也是影响性能的重要因素，第五代的NanoScope V控制器具有先进的数字架构：具有高数据带宽，低噪声数据采集和无与伦比的数据处理能力。布鲁克的最先进的技术已经开创工业上的新标准，例如：ScanAsyst 模式 & PeakForce QNM 模式。 Multimode 的加热和制冷装置能对样品进行加热与制冷，适合于生物学，聚合物材料以及其他材料研究应用。采用加热和制冷装置后MULTIMODE 可在零下35º C到250 º C范围内对样品进行温度控制；并可以在水，溶液或缓冲剂的液体环境中进行扫描。当在气体环境下对样品进行扫描时，采用环境控制舱可以在大气压标准下控制环境气体的成分。技术参数：1. 显微镜：多种可选Multimode SPM扫描头AS-0.5系列：横向(X-Y)范围0.4µ m× 0.4µ m,竖直(Z)范围0.4µ mAS-12系列：横向(X-Y)范围10µ m× 10µ m,竖直(Z)范围2.5µ mAS-130系列：横向(X-Y)范围125µ m× 125µ m,竖直(Z)范围5.0µ mPF50：横向(X-Y)范围40µ m× 40µ m,竖直(Z)范围20µ m2. 噪声：垂直(Z)方向上的RMS值＜0.3埃 （带防震系统的测量值）3. 样品大小：直径&le 15mm, 厚度&le 5mm4. 针尖/悬臂支架： 空气中轻敲模式/接触模式(标准) 液体中轻敲模式/力调制(可选) 空气中力调制(可选)；电场模式(可选) 扫描热(可选-需要大的光学头或者外加的应用组件) STM转换器(可选) 低电流STM转换器(可选)；接触模式液体池(可选) 电化学AFM或STM液体池(可选) 扭转共振模式(可选)5. 防震和隔音： 硅胶共振模式(可选) 防震三脚架(可选) ；防震台(可选) 集成的防震台和隔音罩(可选)主要特点：1. 世界上最高的分辨率2. 出众的扫描能力3. 优异的可操作性4. 非凡的灵活性与功能性5. 无限的应用扩展性Multimode可以实现全面的SPM表面表征技术，包括： 轻敲模式(Tapping Mode AFM) 接触模式(Contact Mode AFM) 自动成像模式(ScanAsyst) 相位成像模式(Phase Imaging) 横向力术模式(laterial Force Microscopy, LFM) 磁场力显微术(Magnetic Force Microscopy, MFM) 扫描隧道显微术(Scanning Tunneling Microscopy, STM) 力调制(Force Modulation) 电场力显微术(Electric Force Microscopy, EFM) 扫描电容扫描术(Scanning Capacitance Mcroscopy, SCM) 表面电势显微术(Surface Potential Microscopy) 力曲线和力阵列测量(Force-Distance and Force Volume Measurement) 纳米压痕/划痕(Nanoindenting/Scratching) 电化学显微术(Electrochemical Microscopy, ECSTM and ECAFM) 皮牛力谱(PicoForce Force Spectroscopy) 隧道原子力显微术(Tunneling AFM, TUNA) 导电原子力显微术(Conductive AFM, CAFM) 扫描扩散电阻显微术(Scanning Spreading Resistance Microscopy, SSRM) 扭转共振模式(Torsional Resonance mode, TR mode) 压电响应模式(Piezo Respnance mode, PR mode) 其他更多模式.... 布鲁克纳米表面仪器部开通优酷视频专辑Bruker Nano Surfaces YouKu Channel &mdash 欢迎订阅优酷上Bruker Nano Surfaces的相关视频，观看最新的AFM产品和相关技术进展，以及历届网络研讨会和培训资料，精彩内容持续更新中！布鲁克纳米表面仪器部 Bruker Nano Surfaces 北京办公室 北京市海淀区中关村南大街 11号光大国信大厦6层 6218室上海办公室 上海市徐汇区漕河泾开发区桂平路 418号新园科技广场 19楼E-mail： 产品咨询热线：

仪器简介：Innova扫描探针显微镜（SPM）具有高扫描分辨率、出色品质，可应用于物理、生命科学和材料科学等诸多领域。Innova具有很强的灵活性，能以较低成本满足各种科研应用要求。采用独一无二的闭环扫描线性系统，卓越的设计及工艺确保测量精度以及接近于开环运行时的噪音水平。Innova可以轻松的在90微米扫描管上实现原子级分辨率。集成的高分辨率彩色光学系统，以及可编程和电动Z轴载物台，使得寻找、对准被测区域，更换针尖或样品更加快速简便。技术参数：闭环扫描管：XY 90 &mu m，Z 7.5 &mu m开环扫描管：XY 5 &mu m, Z 1.5 &mu m样品尺寸： X-50 mm x 50 Y-mm x Z-18 mm电动Z轴载物台：Z轴行程： 18mm光学系统： 摄像头： 轴线彩色CCD，带电动变焦视场： 1.24mm x0.25mm (电动变焦，10x物镜)分辨率： 2&mu m，标准10x物镜(50x物镜0.75&mu m)电子电路：20位DAC控制器，100kHz、± 10v ADCs，数字反馈器件系统软件：用于数据采集和分析的SPMLab&trade v7.0，Windows® XP主要特点：Innova在同类SPM中，性价比最高· 独有的闭环扫描控制，在开环噪声水平上提供三维精确测· 高分辨光学系统辅助精确探针定位· 快速更换探针, 开放的样品台设计使得使用更方便，更容易· 拥有所有SPM操作模式，为科学研究提供更高的应用灵活性· 卓越的信号读录与输入功能便于用户自己设计研究方法 布鲁克纳米表面仪器部开通优酷视频专辑Bruker Nano Surfaces YouKu Channel &mdash 欢迎订阅优酷上Bruker Nano Surfaces的相关视频，观看最新的AFM产品和相关技术进展，以及历届网络研讨会和培训资料，精彩内容持续更新中！布鲁克纳米表面仪器部 Bruker Nano Surfaces 北京办公室 北京市海淀区中关村南大街 11号光大国信大厦6层 6218室电话： 传真：上海办公室 上海市徐汇区漕河泾开发区桂平路 418号新园科技广场 19楼E-mail： 产品咨询热线：

标准配备改良过的测量参数自动调整功能，以及简单明了的图形用户界面。因此，即使是刚刚接触SPM的人，或者测量某种全新的样品时，也能取得具有较高再现性的数据。 图标说明*RealTune是日立高新技术科学股份公司在日本的注册商标。 特点1. RealTune® II　最新的测量参数自动调整功能 提升独有的测量参数自动调整功能！此系列开发出一种全新的处理方法，可预测并调整悬臂的振动振幅、动作频率等主要参数。其通过对样品表面的形状、扫描区域、使用的悬臂及扫描仪等的综合评价，高效率、高精度地调整成最合适的测量条件。 通过新增加了振幅调整功能的测量参数自动调整功能（RealTune® II），可实现一键（One Click）测量。原来需要熟练操作的测量，现在没有经验的操作员也可以简单地操作。 也可用于很难调整参数的样品。【实例1】纤维状的碳纳米管结构体（壁虎胶带）【样品提供：日东电工股份公司】此前的方法此种样品需要对参数进行精细的调整，操作困难，并且柔软的纤维易变形产生皱痕。新处理方法自动调整成最合适的参数，可在复杂的纤维结构不变形的前提下进行测量。【实例2】用于有机薄膜晶体管的多结晶薄膜（并五苯多结晶薄膜）【样品提供：神户大学北村研究室】此前的方法此款样品表面容易损坏，易产生皱痕、step的轮廓也不明确。新处理方法自动调整为最合适的参数，稳定地测量分子级别上的step结构。2. 新图形用户界面（Graphical Use Interface）简单菜单 简单明了易懂的图标、严格筛选的显示信息，无论是无经验者还是熟练操作员，都能够方便地操作！ 可通过选项卡在测量及分析作业领域之间切换，画面简洁明了。可有效地广泛使用。3. 3D覆盖功能能够将样品形状图像及物理性质图像重合起来显示，并能进一步构画出3D图像，可以通过视觉形象地感受样品的物理性质的分布。4. 凹凸分析、剖面轮廓分析功能具备凹凸分析、剖面轮廓分析等多样化的分析功能。5. 小型化设计外形更轻便、更小型化，适合各种放置场所。220mm(W)×500mm(D)×385mm(H)、約15kg

Dimension Edge 原子力显微镜 Dimension家族新成员，闭环扫描，极高性价比快速测量、结果准确、图像分辨率高测试范围广，适用于任何样品的测试先进的纳米尺度测量，适用于各技术水平Dimension Edge性价比高，大样品台AFM的最佳解决方案Dimension Edge&trade 原子力显微镜采用最新技术， 其仪器性能、测试功能和操作性在同类产品中处于最高水平。基于顶级的Dimension Icon平台, Dimension Edge系统的整体设计使其 具有低漂移、低噪音的特点, 大大提高了数据获取速度和可靠性，使用这台全新的仪器，几分钟时间即可获得高质量、可发表的专业数据。这些检测性能的提高，并没有影响仪器的价格，绝对低于您对如此高性能原子力显微镜的支出预算。此外，视觉反馈集成化和预配置可选功能辅助用户获得更高质量的测量结果。整套仪器充满人性化的设计，适用于各个研究阶段和科研水平的用户。 性价比最高的闭环Dimension系列AFM 专利的传感器设计既获得了闭环的精度，又具有 开环的噪音水平。 显著地降低噪音和漂移，在大样品台AFM上实现 了小样品台AFM的成像性能。 显微镜和电路的设计既保证了高成像性能，又使 得价格适中。快速，精确，高分辨的测量结果 全新的可视化操作界面,整体采用流程式设计，确保快速简便的设定各步骤参数 5百万像素 的高分辨率相机和马达驱动可编程平台，提供快速样品导航和高效多点测量 从大范围扫描到最高分辨检测的无缝过渡 可在短时间内获得准确结果。适用于任何样品上的任何应用的解决方案开放式平台设计可适应各种实验和样品的需求。 新仪器的设计和软件利用了最完备的Bruke AFM扫描模式和检测技术，满足最前沿的应用需求。 内置的信号路由模块，帮助研究者根据新的研究方向和实验需求，自定义检测模式。 先进的纳米级测量能力，适用于各研究水平 创新型模块化设计，不提高仪器成本的前提下，实现更高的测量性能。 最新的8型软件，凝聚10几年AFM专业研发精华，常规扫描模式外，根据实验需求，配备各种备选模式。 完整的控制平台，既可直观导航，又可进行强大的编程控制。DIMENSION系列AFM提供了最优质的AFM性能 Dimension Edge原子力显微镜既具有卓越性能，保留了Dimension ICON系统的诸多技术创新，中等价位的价格 与仪器功能达到了最好的平衡。其中最核心的技术是 Bruker创新性的闭环扫描，结合温度补偿位置传感器和模 块化的低噪音控制电路，这套针尖扫描部件把闭环噪音减 小到了单个化学键长度。为了最大限度的发挥这一优点，扫描器被固定在一个坚固的，具有漂移补偿的桥梁结构上。此桥梁结构基于FPGA的温度控制并快速稳定到极低的漂移速率。因此，Dimension Edge原子力显微镜结合了高生产效率，高精度，大样品台的样品通用性，闭环操作 和以前仅在小样品台、开环仪器上才能获得的高分辨率图像等特点，能够获得任何样品的真实图像，实现突破性的实验成果。完备的AFM功能 Dimension Edge既包含了各种常规的扫描模式和Bruker专利技术，还提供了针对各种具体应用领域的解决方案，例如纳米级的电学测量，可控环境下的材料表征等。这些功能都能够在广泛应用中获得精确成像和单点谱线测量，例如从太阳能和半导体器件的表征和多相聚合物材料成像，到从单分子到全细胞的生命科学样品的原位成像和单个纳米颗粒的研究。 电学表征Dimension Edge不仅仅是把一个AFM探针连接到低噪音电流放大器上，而是开发了Dark Lift模式，Dark Lift是在导电原子力数据把光电效应从样品的本征电导性中清晰分离的唯一方法。它是基于布鲁克已申请专利的，应用磁力显微镜和静电力显微镜中著名 的抬起模式（Lift Mode）。系统利用这两种性能以确保在静电电势成像应用的最优化测试。迄今为止，结合了Dark Lift模式的闭环（常损耗量）的扫描电容显微镜（SCM）依然是对掺杂浓度表征的最精确的解决方案。然而，如果研究者想要以最高灵敏度来探测小电压的变化，也可很容易地把抬起模式 与表面电势显微镜结合起来。Dimension Edge系统通过双频的方法，能够为任何静电电势成像的应用提高理想的解决方案。 布鲁克纳米表面仪器部开通优酷视频专辑Bruker Nano Surfaces YouKu Channel — 欢迎订阅优酷上Bruker Nano Surfaces的相关视频，观看最新的AFM产品和相关技术进展，以及历届网络研讨会和培训资料，精彩内容持续更新中！布鲁克纳米表面仪器部 Bruker Nano Surfaces北京办公室 北京市海淀区中关村南大街 11号光大国信大厦6层 6218室上海办公室 上海市徐汇区漕河泾开发区桂平路 418号新园科技广场 19楼

型号SC-2SC-3SC-5SC-10SC-20SC-21SC-25SC-30镜面尺寸6mm，7x6mm ，10x6mm5mm dia.,7mm dia.8x7mm12x7mm6mm dia,6x6mm,7x7mm10x10mm6mm dia,6x6mm,7x7mm10x10mm7x7mm,8x8mm,10x10mm,20x20mm25x25mm8x8mm,10x10mm,12x12mm,15x15mm,20x20mm30x30mm6x6mm,8x8mm,10x10mm,12x12mm,20x20mm30x30mm3x4mm,4x5mm,5x6mm,7x8mm,8x9mm,10x10mm25x25mm扫描角度20°-50°可选20°-50°可选25-60°可选10-60°可选10-60°可选24-70°可选24-60°可选5-30°可选频率125Hz-800Hz 可选110Hz -1860Hz 可选100Hz to 2200Hz 可选100Hz to 3000Hz 可选10Hz to 1500Hz 可选15Hz to 2000Hz 可选15Hz to 2000Hz 可选200Hz to 16KHz 可选EOPC扫描振镜产品应用：微型激光扫描仪3D激光成像激光雷达生物医学成像共聚焦显微镜机器视觉及机器人智能交通系统共振扫描振器特别适用于专用的大批量OEM工业应用，这些应用可以轻松集成到小型手持式和便携式仪器，子系统和系统中。扫描仪用于连续检测系统，以执行 100% 检测，以使用一台扫描仪或多线扫描检测缺陷。对于大批量 OEM 制造，我们会考虑提供免费信息来构建驱动程序，将其整合到现有或新的驱动电子设备中，或将其构建为所需的尺寸。我们提供标准和定制的扫描系统：– 光学扫描仪相位锁定到稳定的外部时钟信号– 扫描系统，将两个相同频率的扫描仪锁定在主/从模式下以生成重复图案（例如：圆形或椭圆）– X，Y 扫描系统将两个扫描仪锁定为主/从模式以生成重复图案（例如： 光栅扫描或李萨如图案）– 由共振扫描仪和振镜扫描仪生成的X，Y光栅（面积）扫描系统光学扫描和偏转系统EOPC扫描振镜SC-SYS-1S 型号PLD-1S驱动器相位将任何共振扫描器（SC型，超小型扫描器除外）锁定到外部时钟信号，以提供稳定的扫描频率[子]系统。该系统可以在实验室中用作“独立”单元，也可以集成到更大的仪器/系统中。扫描仪是一个固定频率，从 5 Hz 到 16 kHz 范围内选择。您需要指定确切的时钟频率（精确到小数点后 4 位）。不建议在温度敏感应用中使用此系统。请参阅：http://eopc.com/sys_pld1s_extern.html http://eopc.com/driver_pld1s_cad.htmlhttp://www.eopc.com/driver_pld1s.htmlhttp://www.eopc.com/sys_pld1s_extern.html http://eopc.com/PLD-1S%20DRIVER%20data%20sheet.pdfEOPC扫描振镜型号SC-SYS-2SSC-SYS-2S扫描系统由两个相同的共振光学扫描仪（SC型）组成，扫描仪“A”和扫描仪“B”，在MASTER/SLAVE模式下锁定，以生成圆形或椭圆或锁定两个扫描仪相位或0度或180度。该系统可以用作实验室中的“独立”单元或便携式仪器，或集成到更大的仪器/系统中。两个相同的扫描仪各有一个固定频率，从10 Hz到16 kHz的范围内选择。它们是体积小、重量轻、成本低、寿命长的设备。它们需要低功耗驱动电子设备，并且不会辐射任何电磁干扰（EMI）。扫描仪具有高振幅稳定性和非常低的振幅抖动 摆动小于 1 弧秒。扫描仪具有红外、可见光、紫外和高真空功能。提供参考信号和位置输出。请参阅：http://www.eopc.com/sys_pld2s_master.htmlhttp://eopc.com/driver_pld2s_cad.htmlhttp://eopc.com/driver_pld2s.htmlhttp://eopc.com/PLD-2S%20DRIVER%20data%20sheet.pdfEOPC扫描振镜型号SC-SYS-2SXYSC-SYS-2SXY扫描系统由两个不同频率的共振光学扫描仪（SC型，超小型扫描仪除外）组成，锁定在MASTER/SLAVE模式下以产生重复图案，例如：光栅扫描或李萨如图案。扫描仪“X”是高频，扫描仪“Y”是低频。两个扫描仪各有一个固定频率，从 5 Hz 到 16 kHz 范围内选择。它们是体积小、重量轻、成本低、寿命长的设备。它们需要低功耗驱动电子设备，并且不会辐射任何电磁干扰（EMI）。扫描仪具有高振幅稳定性和非常低的振幅抖动 摆动小于1弧秒，该系统可用作实验室中的“独立”单元或便携式仪器，或集成到更大的仪器/系统中。扫描仪具有红外、可见光、紫外和高真空功能。提供参考信号和位置输出。X，Y扫描系统为涉及光束偏转的应用提供廉价的高性能：电视，HDTV，用于2D和3D扫描对象，用于分色，生成存储在计算机内存中的图像并将其投影到屏幕上，生成数据和/或将数据直接传输到生产单元（CAD / CAM）以及检测系统等等。扫描系统用于机器人、医疗非侵入性研究和测试、运输、非冲击打印和激光扫描、检查系统以及高速、高分辨率显示系统和机器视觉。参见：http://www.eopc.com//sys_pld2sxy_raster.htmlhttp://www.eopc.com/driver_pld2sxy.htmlhttp://eopc.com/PLD-2S%20DRIVER%20data%20sheet.pdfEOPC扫描振镜模型SC-SYS-XYGSC-SYS-XYG 扫描系统锁定共振光学扫描仪（SC 型），用振镜锁定共振扫描仪以生成 X，Y 光栅扫描。 PLD-XYG 驱动器将谐振扫描振（固定高频，“X”）与振镜（线性扫描仪，“Y”）锁定，以生成光栅扫描（X 和 Y，如电视屏幕）。您可以使用我们制造的任何“X”方向共振扫描振器，但最常选择8 KHz和16 KHz的SC-30型高频共振扫描振器。SC-30型高速共振扫描器具有连续的正弦波运动。扫描仪的谐振频率由每帧所需的线数乘以所需的帧速率决定。振镜扫描仪的频率（Y 轴的帧速率）由共振扫描仪生成。它是一种具有快速飞返的波浪形式（恒定速度）的斜坡类型。我们提供的基本光栅扫描系统包括以下内容：-共振扫描器-振镜-两个扫描器的支架-带电源的PLD-XYG驱动器盒-附加功能是可选的。PLD-XYG驱动器与前面板扫描角度控制完全集成（遥控器是可选的）。驱动器以自振荡模式操作谐振扫描器（X轴，高频），以扫描器的谐振频率，并且还产生Y信号以驱动振镜扫描器（Y轴，低频）。PLD-XYG 驱动器具有用于 X 和 Y 扫描仪的模拟位置输出，并且可选配远程扫描角度（振幅）控制。无需外部函数发生器即可操作XYG系统。对于 OEM 制造，我们可能会考虑提供免费信息来构建驱动程序，以便您可以将其整合到您的驱动电子设备中或将其构建为所需的尺寸。要构建XYG扫描系统，我们需要知道：-每帧的行数-对于（X）共振扫描器：扫描角度[度，PTP光学]光束尺寸，所需的镜子尺寸[mm]波长和激光功率（源）频率[Hz]固定频率共振扫描镜：增强型铝保护涂层镜是我们的标准镜子镀金（保护）和镀银（保护）镜子，铍/金属镜，是可选的或客户提供的。-对于（Y）振镜扫描仪：帧速率（扫描仪X的频率与扫描仪Y的频率之比）。振镜：银镜是标准配置。-对于激光（源）：光束尺寸[毫米] 光束功率 波长[nm]参见：http://eopc.com/sys_pldxyg_raster.htmlhttp://eopc.com/driver_pldxyg_cad.htmlhttp://eopc.com/SC-SYS-XYG%20SCANNING%20SYSTEM%20data%20sheet.pdf http://eopc.com/PLD-XYG%20DRIVER%20data%20sheet.pdfPLD-XYG 驱动器具有用于 X 和 Y 扫描仪的模拟位置输出，并具有可选的远程扫描角度（振幅）控制。它与前面板扫描角度控制完全集成，遥控器是可选的。驱动器以自振荡模式操作谐振扫描器（X轴，高频），以扫描器的谐振频率，并在锁相模式下生成Y信号形式以驱动振镜扫描仪（Y轴，低频）。无需外部函数发生器即可操作系统。应用：扫描系统为无限应用提供廉价的高性能：HDTV，2D和3D成像，光刻，颜色分离，高分辨率显示系统，激光扫描，生成存储在计算机内存中的图像并将其投影到屏幕上，生成数据和/或将数据直接传输到生产单元（CAD / CAM）和检测系统。高速、高分辨率显示系统和机器视觉。许多应用是在红外和紫外波长，高真空或低温条件下。系统可以安装在移动的车辆、检测系统的移动臂或机器人上。 扫描系统用于机器人、医疗非侵入性研究和测试、运输、非冲击打印和激光扫描、检查系统和机器视觉。许多航空航天和军事应用都是在红外和紫外线波长，高真空或低温条件下。

SC-30 共振高频扫描镜SC-30共振高频扫描镜是一款体积小，工作寿命长，性能可靠的电磁驱动动反射镜设备。其以极好的精密度，准确度和出色的重复性快速地生成光像。SC-30类型的扫描频率为200HZ到16KHZ范围内的某一固定频率，在该固定频率下的扫描幅值可以被调制。共振扫描镜具有几乎无限的工作寿命，并有多年持续工作的记录证明。高设备Q值确保了频率稳定性以及较低的驱动电功率。而高弹性刚度则提供了良好的抗震和防抖性能以及扫描重复性。固有频率共振又使该扫描镜成为多种需实现最小畸变成像且长时间运行功能的最佳选择。 高度成功的SC-30的共振扫描仪被证明是OEM创新型企业成长的重要组成以及成像技术的研发和系统集成产业的理想选择。特点：☆低热消散☆重量轻☆低功率驱动☆结实、无易损部件☆无需维护，无需润滑☆高可靠性☆真空模式☆良好的抗震及防抖能力☆无相位噪声☆无电磁辐射干涉☆提供反射镜位置☆玻璃镜面标配，铍/金属镜，棱镜以及透镜可选产品SC-30图片应用激光扫描，影像，动画，高分辨率打印，晶片检测，数据识别系统，视网膜图像采集，医用数字X射线，分拣，机器视觉，机器人技术，无损检测，存储刻录，眼科检测，DNA排序，共聚焦显微镜，生物医学成像，光学相干断层扫描OCT，质量检测系统，智能交通系统和生物，医学和材料研究。SC-30 共振高频光学扫描镜系列（200Hz到20KHz）SC-30 扫描角 （光学P-P）镜尺寸 (mm)频率 （Hz）30°25×25 到 10×10200-75020°10×10 到 8×9751-400016°8×9 到 7×84001-600012°7×8 到 5×66001-800012°5×6 到 4×58001-100006°4×5 到 3×410001-159005°3×416000上海瞬渺光电技术有限公司Rayscience Optoelectronic Innovation上海市闵行区都会路2338号总部一号21号5楼Tel: Fax: Website:

美国CTI公司成立于1978年，是世界顶级的光学扫描振镜制造商，其产品型号齐全，广泛用于激光打标、雕刻、焊接，打孔等加工领域，以及激光成像，医疗系统等领域。产品包括：高速扫描振镜，适合从2mm光斑到100mm以上的光斑，以及新一代的全数字扫描系统。美国CTI高速光学扫描振镜检流计精度和定义CTI最佳性线性度整个运动过程中的定位精度99.9%步响应时间小角度定位时间从命令发出开始到99%到达位置的时间100uS短期重复度经过一些短时间的运动后回到原位置的能力1uRad温度漂移由于温度影响的光学位置的漂移10ppm/° C零漂由于温度等引起的中心位置的漂移5uRad/° C主要技术指标：适合光斑直径3mm4mm5mm6mm7mm8mm9mm10mm12mm15mm20mm25mm27mm30mm50mm75mm75mm动磁式振镜6200H6210H6215H

CRS系列振镜是一款小巧、高频的扫描振镜，其标称频率可达3938或7910Hz。该振镜由两根旋转棒构成，可在相反相位上形成共振。这种扭转运动能产生相同或相反的扭矩，并在其连接的外壳上抵消。理论上来说，这种机械振动能消除所有外接的振动。为了使不稳定性降到最低，旋转棒顶端的扭转质量必须与振镜转轴的相同。因此CRS振镜能在4KHz和8KHz频率下分别达到20和15度的扫描角度。特点：扫描频率4KHz和8KHz拥有速度反馈，使振幅更为稳定使用寿命长，无易损部件低功耗，散发热量少体积小巧，结构稳定应用：荧光显微镜，共焦显微镜半导体监测、成像技术加工质量验证掩模检查机器视觉视网膜图像采集交通管制打印医用数字X射线动画制作存储介质读写激光调谐技术FLIR技术技术参数：型号4KHz8KHz扫描频率(可定制)3938Hz7910Hz频率公差+/-50Hz+/-15Hz最大扫描角度20度26度一般扫描角度15度15度功耗1W1W尺寸直径12.7mm7.8mmx5.5mm有效孔径12mmx9.25mm6mmx4mm表面精度1/2wave@633nm1/4wave@633nm表面质量60/40scratch/dig40/20scratch/dig反射率@45度97%above400nm,96%above600nm重量65克工作环境温度10-40°C10-50°C贮藏环境温度-20-65°C湿度90%无冷凝振幅控制/带宽0-5V/160Hz，典型值振幅抖动0.02%峰值振幅外部尺寸160mmx100mmx27mm输入电压@+/-5%+/-15V15mVrmsripple/+5V,60mVrmsripple

产品说明TVS-GSS系列扫描振镜是用于光束扫描的器件，利用检流计原理实现，是一种小惯量扫描器。一般由反射镜、扫描电机和伺服系统组成，通电线圈在磁场中产生力矩，转子上通过机械扭簧或电子的方法增加复位力矩，其大小与转子偏离平衡位置的角度成正比，整个过程采用闭环反馈控制，由位置传感器、误差放大器、功率放大器、位置区分器、电流积分器等五大部分共同完成，从而完成反射镜的偏转控制。要实现二维扫描，则需要两个扫描振镜正交安装，实现入射光束在X轴和Y轴两个方向的位置控制，再搭配上超维景提供的TVS-MMC系列双光子成像控制器或其他信号源，即可形成面阵扫描，该扫描振镜在多光子显微镜和共聚焦显微镜等扫描成像系统中都有应用。对于高速扫描，可选共振扫描振镜，详情可联系本公司。产品应用多光子显微镜、共聚焦显微镜激光加工、激光打标产品优势大扫描范围：最大光学扫描角度可达±20°位置精准反馈：提供位置反馈信号，可用于用户闭环控制控制简便：用户可使用模拟电压，实现振镜的任意轨迹扫描参数优化：针对用户扫描波形进行参数优化，以提高可靠性和扫描一致性二维扫描振镜技术参数参数TSH8TVS-GSS系列型号TVS-GSS-203HTVS-GSS-310A/DTVS-GSS-618A/DTVS-GSS-720A/D输入光斑直径（mm）35791010121620最大扫描角度±20° ±12.5°±20°±20°±20°Nd:YAG@1064 nm--10080120120150200300CO2--50707070100150200阶跃响应时间（ms）0.250.30.40.7标刻速度（m/s）--4331.71.522定位速度（m/s）--1211117777好质量--700690650500400350300高质量--550500480340260220200点漂移（pRad./°C）比例漂移（ppm/°C）续工作漂移，8小时以上（mrad.）线性度≥99.70%≥99.90%≥99.90%≥99.90%重复精度（uRad.）最大平均工作电流（A/单轴）22.534峰值电流（A）10202025输入信号接口XY2-100或模拟电压士5 V，土10 V输入电源土24 VDC士10%，Max.RMS 3.5 A/轴工作环境温度25°C士10°C重量（不含透镜）（kg）-2.42.94.5主要应用领域激光标刻、飞行打标激光演示、激光医疗科研激光标刻、激光调阻内雕、科研激光标刻、激光调阻内雕、激光打码科研激光标刻、激光调阻切割、钻孔

美国CTI公司成立于1978年，是世界顶级的光学扫描振镜制造商，其产品型号齐全，广泛用于激光打标、雕刻、焊接，打孔等加工领域，以及激光成像，医疗系统等领域。产品包括：高速扫描振镜，适合从2mm光斑到100mm以上的光斑，以及新一代的全数字扫描系统。62xxH系列高性能光学扫描振镜动磁光电反馈高速扫描振镜拥有世界最快的扫描速度！主要技术指标：机械和电气指标6200621062156220623062406260单位/公差适合光斑直径33-73-75-108-1512-3030-75mm最大负载惯量0.130.180.211.259.724475gm*cm2机械指标额定偏转角度+/-20Degrees(° )转动惯量0.0130.0180.0280.1250.972.447.5gm*cm2扭力常数0.120.280.380.611.3128.5x105Dyne-cm/A最大线圈温度110° C,Max热阻(线圈对外壳)3.82110.80.620.2° C/Watt,Max

Tangor, Amplitude Systems, 飞秒激光器, 超快激光器, 飞秒振荡器, 超快振荡器, 超快飞秒激光器, 超快飞秒振荡器, 高功率, 高平均功率, 高能量, 高脉冲能量, 高频率, 高重复频率,Mango,光参量放大器,光学参量放大器,OPA, 工业设计, 紧凑型, 高可靠性, 高稳定性, 眼科, 微加工, 维纳加工, 微细加工, 精细加工,光谱,太赫兹,THz,拉曼光谱,相干,拉曼散射,振镜扫描,SCANLS-SCAN：高精度、高速度、高加速度扫描振镜LASEA扫描振镜：LS-SCAN— 高速度、高加速度扫描振镜LS-SCAN是LASEA独有的高速度、高加速度扫描振镜，采用专利技术，专业用于激光微纳加工和高精度打标等应用。传统标刻应用需要高扫描速度，同时需要精度在30μm左右，微纳加工需要高扫描速度以防止热量累积，但是精度更为重要，而且，加工图案通常有更多的细节，需要不断的加速。LS-Scan振镜技术，基于平动线圈马达，不同于传统的移动磁铁技术。动圈设计比移动磁铁更轻，且动圈的耗电量比移动磁铁的少5倍，LS-Scan振镜利用此技术大大降低了热漂移，且加速斜坡比传统使用移动磁铁技术的振镜小20%。正是由于这些优异的性能，才可以使用更高的激光功率而不会降低加工精度，同时也大大提高加工效率。LS-Scan镜所有的主要电子控制部件都集成在LASEA的控制机架，进一步增加了LS-Scan的热稳定性。振镜马达很容易地连接到机架上，机架通过以太网接口连接到电脑。所有输入和输出很容易从机架后面板访问。整个过程是由LASEA的KYLA&trade 软件驱动的，这是一个完整的微纳加工软件，能够与多个平台、CCD和激光器通信。每个LS-Scan马达都与可固定在导轨上的控制卡连接，控制卡通过以太网接口连接电脑。工艺过程通过KYLA软件控制，KYLA软件是一个全功能微纳加工软件，可以同时实现振镜、多个平台、影像系统(相机)和激光器之间的通讯。另外，使用标准的XY2-100协议可以兼容外部的控制卡和软件。主要特点：- 高加速度- 高精度- 低热漂移- 可选3D功能- 易于连接的KYLA微纳加工软件- XY2-100协议兼容主要规格振镜尺寸聚擘国际贸易 (上海) 有限公司聚 嵘 科 技 股 份 有 限 公 司聚擘国际贸易 (上海) 有限公司／聚嵘科技股份有限公司，专业从事半导体封装及测试、LED封装测试、太阳能、SMT、飞秒/皮秒/纳秒激光等定制设备/子系统的开发、销售及售后服务。公司总部位于上海，在深圳、北京、西安设有办事处。公司在台北市设有专业的飞秒精密微纳加工实验室 — FemtoFocus，合作伙伴有法国Amplitude公司 、 比利时NextScan Technology公司 、 法国ALPhANOV光学与激光技术中心、比利时LASEA公司、法国NOVAE公司、德国Pulsar Photonics公司。实验室拥有专业的前沿激光微纳加工应用开发及技术支持团队，提供超短脉冲 (小于500fs) 和极短脉冲 (小于100fs) 激光技术相关测试及高速加工 (多光点、转镜) 等高度可扩充的高弹性集成方案。聚擘国际贸易 (上海) 有限公司聚嵘科技股份有限公司| 电子 | 半导体 | 飞秒激光 | 微加工 | 科研 |

美国CTI公司成立于1978年，是世界顶级的光学扫描振镜制造商，其产品型号齐全，广泛用于激光打标、雕刻、焊接，打孔等加工领域，以及激光成像，医疗系统等领域。产品包括：高速扫描振镜，适合从2mm光斑到100mm以上的光斑，以及新一代的全数字扫描系统。68xx系列高性能光学扫描振镜动磁电容式高速扫描振镜最高精度和速度的完美组合！主要技术指标：型号686068706880单位/公差机械和电气指标适合光斑直径101530mm最大负载惯性62064gm*cm2机械指标额定偏转角度+/-20Degrees(° )转动惯性0.62.664gm*cm2扭力常数0.931.82.54x105Dyne-cm/A最大线圈温度110° C,Max热阻(线圈对外壳)1.510.75° C/Watt,Max驱动电气指标线圈电阻1.51.41Ohms,+/-10%线圈电感160275280uH,+/-10%自感电压0.170.30.44mV/° /S,+/-10%电流4.65.67.5A,Maximum峰值电流252525A,Maximum小角度响应时间

3轴激光扫描振镜Novanta公司旗下的英国Cambridge Technology的提供 Lightning II 3D高精度高速振镜扫描头。Lightning II 3D旗舰高精度高速振镜扫描头Lightning II即“闪电2代”是我们的旗舰数字驱动激光扫描头，同时具备快速，高精度和长时间稳定工作的优点。是钻通孔，增材制造，微加工等应用的理想工具。而Lightning II 3D是在Lightning II 2D扫描头的基础上增加一个动态聚焦模块（DFM），这种模块化的、集成化的Z轴扫描头动态调节激光的Z轴焦点，提高了激光的处理速度和质量。同时动态聚焦模块DFM可以做到快速调整到不同的工作距离以及相应的工作面大小。Lightning II 3D参数指标：型号:Lightning II 3D20 mm30 mm50 mm镜片通光孔径20 mm30 mm50 mm扫描角度±20±22°±22°波长选项355 nm1050-1080 nm|9.36 μm 10.6 μm1050-1080 nm|9.36 μm 10.6 μm常规工作速度50 rad/s50 rad/s18 rad/s工作面范围200-2500 mm 100-1200mm|100-1000mm 100-1200mm|100-1000mm输入光斑尺寸1-3mm|2-3mm10 mm|17 mm10 mm|17 mm最小光斑尺寸(200x200 mm)12 μm|18 μm21 μm|213 μm21μm|213μm循迹延迟0.2 ms0.2 ms0.4 ms指令分辨率24-bit24-bit24-bit重复性2 μrad2 μrad2 μrad长时间漂移10 μrad10 μrad10 μrad温度漂移2 μrad/°C20 μrad/℃2 μrad/℃增材制造 激光微加工

小光束直径振镜系统一维和二维扫描振镜系统可选镀银、镀金、镀宽带膜(E02)或镀高功率双带膜包括1或2块驱动卡，分别用于单轴或双轴反射镜系统包括驱动卡散热器不包括电源Thorlabs扫描振镜系统单轴和双轴配置，适用于小光束(小于5 mm)应用。反射镜镀膜选择如上所述。每个一维系统包含一个驱动卡、一个驱动卡散热器和一个单反射镜系统。二维系统包含两个驱动卡、两个驱动卡散热器和一个双反射镜系统。振镜系列中的产品不包括电源、驱动卡罩和振镜散热器。对于需要大力扫描和稳定性的苛刻应用，我们强烈推荐使用这些产品。这些配件也可以在下方单独购买。

2轴激光扫描振镜Novanta公司旗下的英国Cambridge Technology的提供高精度激光振镜扫描头，其2D系列振镜包含三个系列：-MOVIA紧凑型振镜扫描头-Versia 2D高级多用途振镜扫描头- Lightning II 2D旗舰高精度高速振镜扫描头1. MOVIA紧凑型振镜扫描头MOVIA紧凑型振镜扫描头突出优点是经济，稳定和高效，其紧凑型的结构非常适合于诸如激光打标，激光微加工等多种应用规格MOVIA-2D-10 mm 镜片通光孔径 10mm 扫描类型 矢量扫描 扫描角度 ±20° 光束位移 12.05 mm 步进响应时间(全角度1%) 210μs 常规打标速度 3m/s （使用160mm F-Theta镜头） 常规定位速度 16m/s 重复精度 3.5 μrad 跟随误差 130μs 线性度 99.9%（在20°扫描范围内） 波长选项+最大功率 CO₂ 激光 :9.2-10.6μm最高125W；光纤激光：1040-1090nm最高125W 绿光：532nm|请与厂家确认 紫外：353-357nm|请与厂家确认 增益误差 5 mrad 零点漂移 5 mrad 长时间漂移 100 μrad 长时间比例漂移 150 ppm （30分钟预热后，24小时运行，单轴） 温度偏差漂移 20 urad/*c 温度比例漂移 20 ppm/℃ 指令比特率 16位 通信接口 XY2-100 IP等级 IP50 电源需求 ±15V,3A RMS 工作温度 15°℃-35*℃ 重量(近似值) 1.5kg 尺 寸 ( L x W x H） 114mmx94mmx86mm2. Versia 2D高级多用途振镜扫描头Versia高级多用途振扫描头采用了双向通信协议，可适配模拟控制卡或数字式控制卡，可适配更大孔径，更高激光功率，可对指定应用单独优化。规格Versia-2D-14 mm 镜片通光孔径 14mm 扫描类型 矢量扫描 扫描角度 ±21° 重复精度 2 μrad 长时间漂移 25 μrad 长时间比例漂移 40 ppm （30分钟预热后，24小时运行，单轴） 温度偏差漂移 10 urad//℃ 温度比例漂移 10 ppm/℃ 波长选项+最大功率 CO₂ 激光 :9.2-10.6μm最高200W；光纤激光：1040-1090nm最高200W绿光：532nm|请与厂家确认 紫外：353-357nm|请与厂家确认指令比特率16 bit(XY2-100) 20 bit (NVL-100) 通信接口XY2-100； NVL-100 IP 等级 IP54 电源需求 48V,5A RMS 工作温度 15°℃-40 ℃ 重量(近似值) 2.12kg 尺 寸 ( L x W x H） 99mmx99mmx132.20mm 优化举例 激光微加工-OLED面板 步进响应时间(全角度1%) 400μs 最大速度 80rad/s 循迹误差 230μs3. Lightning II 2D旗舰高精度高速振镜扫描头Lightning II即“闪电2代”是我们的旗舰数字驱动激光扫描头，同时具备快速，高精度和长时间稳定工作的优点。是钻通孔，增材制造，微加工等应用的理想工具。Lightning II参数指标：型号:Lightning II 2D14 mm20 mm25 mm30 mm镜片通光孔径14 mm20 mm25 mm30 mm扫描角度±22°±20°±17°±20°步进响应时间0.36 ms0.37 ms0.36 ms0.55 ms常规工作速度50 rad/s50 rad/s50 rad/s50 rad/s波长选项355nm/532nm/1030-1080nm/9.4-10.6μm 宽带:350nm-12μm重复性1 μrad抖动1 μrad长时间漂移10 μrad温度漂移2 μrad/℃线性度99.9%定位分辨率24-bit数字通讯接口GSBus or XY2-100状态信号反馈Status Signals Position Acknowledge,System Ready指令分辨率24-bit(GSB)or 16-bit(XY2-100)水冷温度20.0 ℃±2.5℃冷却水需求蒸馏水，含缓蚀剂，如Optishield Plus或同等产品电源需求+15V to +48V DC,3A RMS each,6A peak工作温度15°℃ to 35℃增材制造 激光微加工

PAN式低温扫描探针显微镜系统 Pan式低温扫描探针显微镜析系统是由美国RHK Technology公司制造的，主要特点包括：- PAN STM/AFM扫描头体积小（2.96”X1.55”)- 集成了样品X-Y-Z方向的大范围移动（5mmX5mmX10mm）- 工作温度包括了低温300mK、RT、VT和HT多种范围- 内置弹簧和涡流阻尼减震系统，原位针与样品更换- 兼容多种Flow式或Bath式低温恒温器与磁体- 与RHK新全数字R9控制器一同使用适用于拓扑缘体、低温超导、表面结构、电学测量等表面科学研究中。 主要技术参数:- 工作模式：STM与非接触式AFM- 温度范围：300mK RT VT HT- X-Y-Z位移范围：5mmX5mmX10mm - 扫描范围：5umX5um （RT）- 样品尺寸：10mmX10mm- 扫描头尺寸：40mmX70mm 结构紧凑，体积小：内置减震系统、可水平或垂直放置 Pan式低温扫描探针显微镜结构其紧凑，核心部分尺寸在~40X70mm左右；内置有弹簧和涡流阻尼减震系统；根据用户的要求，可以提供水平放置配置和垂直放置配置两种；初次之外，它兼容常用的低温恒温器和磁体，并提供相应的集成方案。原位样品与探针更换：操做简单、快速；性能可靠 在低温和超高真空环境中，样品和针的原位更换一直是使用者非常关心的问题。为此，RHK公司为Pan式低温扫描探针显微镜开放了一套性能可靠、操作简单快速的原位样品与针更换装置，并提供了多个样品与针的放置室。Pan式低温扫描探针显微镜中使用的样品架灵活多样，可充分满足各种实验要求，如原位加热、样品剥离、样品轰击等等；同时，它还兼容其他的商业化扫描探针显微镜中所配备的样品架。 兼容各种磁体和恒温器为充分满足科学家的要求，RHK与磁体和恒温器制造商紧密合作，开发了低温扫描探针显微镜整机系统和立扫描头模块系统，根据用户的特殊要求提供了一整套的解决方案。 RHK公司将上先进的全数字扫描探针显微镜控制器R9集成到Pan式扫描探针显微镜中，集中研发力量，推出了噪音低的R9扫描控制系统和IVP-R9前置放大器。应用案例： Si(111)表面7X7重构，4KBi2Se3表面形貌，4K部分用户名单： - University Of Texas- University of Maryland- University of Chicago- Columbia University- Technischen Universitat Berlin- Academica Sinica (2)- Georgia Institute of Technology- Weizmann Institute of Science- Indian Association for the Cultivation of Science......

MultiMode平台应用广泛的扫描探针显微镜（SPM），MultiMode扫描探针显微镜的ScanAsyst模式，采用的自动图像优化技术，使得用户能在材料科学，生命科学，聚合物研究领域的研究中获得研究成果。技术参数：1. 显微镜：多种可选Multimode SPM扫描头 AS-0.5系列：横向(X-Y)范围0.4μm×0.4μm,竖直(Z)范围0.4μm AS-12系列：横向(X-Y)范围10μm×10μm,竖直(Z)范围2.5μm AS-130系列：横向(X-Y)范围125μm×125μm,竖直(Z)范围5.0μm PF50：横向(X-Y)范围40μm×40μm,竖直(Z)范围20μm2. 噪声：垂直(Z)方向上的RMS值＜0.3埃 （带防震系统的测量值）3. 样品大小：直径≤15mm, 厚度≤5mm4. 针尖/悬臂支架： 空气中轻敲模式/接触模式(标准) 液体中轻敲模式/力调制(可选) 空气中力调制(可选)；电场模式(可选) 扫描热(可选-需要大的光学头或者外加的应用组件) STM转换器(可选) 低电流STM转换器(可选)；接触模式液体池(可选) 电化学AFM或STM液体池(可选) 扭转共振模式(可选)5. 防震和隔音： 硅胶共振模式(可选) 防震三脚架(可选) ；防震台(可选) 集成的防震台和隔音罩(可选)

超高真空低温四探针扫描探针显微镜美国RHK Technology 成立于1981 年。作为SPM 工业中的领军仪器制造商，RHK-Technology 始终保持着鲜明的特色：创新性、可靠性、产品设计的开放性与的客户支持。凭借着其优异的系统设计、精良的制造工艺、再加上与著名科学家的紧密合作，二十多年来RHK Technology 源源不断地向全科学家们输送着先进的、高精度的科学分析仪器。变温QuadraProbe UHV 4-探针SPM系统是RHK公司生产的多探针UHV SPM系统中的一种，该系统提供了多种分析功能、配备了多个超高真空室和相应的电子控制单元与软件，可以大地满足客户全面的研究应用需要。基本系统中提供了低温4探针扫描隧道显微镜（SPM），扫描电子显微镜（SEM），样品准备室和用于传输样品和针的快速进样室。其他的设备如扫描俄歇显微镜（SAM）也可选配以满足客户特别的研究需要。技术参数：- 样品温度：10K（LHe）； 80K（LN2）- 扫描范围：1.5μm（300K）；500nm （10K）- X，Y，Z粗进针：±1.5mm/step motion- 样品定位精度：±1.5mm- STM分辨率：四个探针均可实现HOPG的原子分辨- SEM分辨率：小于20nm- 针材料：钨或者铂、金等金属修饰的钨针。 主要特点：- 四个探针都能实现原子分辨；- 真正的样品和针低温操作（10K），得到佳的高分辨谱图；- 探针与样品立地传输与准备；- 所有探针具有先进的控制操作；- 用户可编程控制的开放性控制环境；- 制冷采用Bath Cryostat构造，大地减少了液氦的消耗；- 可升到非接触式AFM；- 样品台处配有可选择的超导磁体；- 通过光纤实现样品的光学激发。

同类AFM中具有低的噪音水平和高的分辨率Innova扫描探针显微镜（SPM）具有很高的分辨率，实用性强，从器件表征到物理化学、生命科学、材料科学等方面都有广泛应用。这是一套简易的装置，仪器成本合理，适用于科学研究。Innova具有的闭环扫描线性化系统，测量准确性，而且维持噪音水平接近开环的低噪音水平。 使用Innova检测样品时，从亚微米级的小尺寸样品到90微米的大尺寸样品，都可进行实验操作，且获得原子级分辨率，测量不同尺寸样品无需更换扫描器等硬件；替换探针或样品等操作简便易行；集成化高分辨率彩色光学系统和可编程自动化Z轴调节系统，可快速简易地定位到待测区域聚合物材料表征，集成光路测量，材料力学性能表征，MEMS制造，细胞表面形态观察，生物大分子的结构及性质，数据存储，金属/合金/金属蒸镀的性质研究，食品、化学品、护肤品的加工/包装，液晶材料性能表征，分子器件，生物传感器，分子自组装结构，光盘存储，陶瓷工艺，薄膜性能表征，地质、能源、环境等领域高分辨率 Innova的机电设计，包括带有短机械路径和低热漂移的坚固显微镜平台，超低噪音电子器件，都做了优化，具有高分辨率和闭环扫描的组合。利用的超低噪音数字闭环线性化扫描，不管扫描尺寸，偏移量，扫描速度或扫描角度的旋转如何设置，对样品均可准确测量，高分辨成像。性能 Innova 机电设计的方面，包括从带有短机械路径和低温度漂移的坚固显微镜平台到超低噪音电子器件，都做了优化，得到高分辨率性能和闭环扫描的组合。 Innova利用的超低噪音数字闭环线性化扫描，达到对尺寸均可准确测量，而不管扫描尺寸，偏移量，扫描速度或扫描角度的旋转如何设置。在90微米到亚微米级成像范围内均可获得高质量图像，并且闭环噪音水平接近开环噪音水平。另外，闭环线性化扫描可以在线启动或关闭。这个惊人的灵活性允许其对全尺寸扫描的任意一部分进行放大至原子分辨率扫描，而不用更换扫描器，且无需从测量表面抬起探针。图像的旋转，图像在成像窗口的位置以及扫描速度都不会影响成像结果。行业应用：您的应用是什么—Innova都已准备好：• 材料科学• 纳米刻蚀• 生命科学• 聚合物• 器件表征

MultiMode平台是世界上应用最广泛的扫描探针显微镜（SPM），已经在全球成功安装使用了近万套。它的成功基于其领先的高分辨率和高性能，无与伦比的多功能性，以及已经得到充分证实的效率和可靠性。现在，MultiMode扫描探针显微镜以其独特的ScanAsyst模式，采用其先进的自动图像优化技术，使得用户无论具备什么技能水平，也能在材料科学，生命科学，聚合物研究领域的研究中最迅速地获得符合要求的研究成果。 SPM的控制电路也是影响性能的重要因素，第五代的NanoScope V控制器具有先进的数字架构：具有高数据带宽，低噪声数据采集和无与伦比的数据处理能力。布鲁克的最先进的技术已经开创工业上的新标准，例如：ScanAsyst 模式 & PeakForce QNM 模式。 Multimode 的加热和制冷装置能对样品进行加热与制冷，适合于生物学，聚合物材料以及其他材料研究应用。采用加热和制冷装置后MULTIMODE 可在零下35º C到250 º C范围内对样品进行温度控制；并可以在水，溶液或缓冲剂的液体环境中进行扫描。当在气体环境下对样品进行扫描时，采用环境控制舱可以在大气压标准下控制环境气体的成分。

Nanonics多探针平台在纳米材料表征和加工应用中的独特性石墨烯的发现开启了新一代材料的进化史.这引领了低维度纳米材料和混合材料的多样发展.这些材料的发现也导致了对研究平台的反思,新的平台必须适应这些下一代基础材料的纳米表征和加工,以及相应的应用和新器件开发. 对于这种平台的一个基本的要求就是具有能将纳米成像和纳米操作以及其他探测台整合的能力.在Nanonics Imaging Ltd公司进行这一开拓之前,这种联用通常需要在线的扫描电镜（SEM）来有效的指导纳米操作探针进行纳米材料的研究。FEI Inc公司提供的SEM集成纳米操作台正是实例。但是，即使有SEM的指导的纳米操作台也会对这种纳米材料造成物理损伤或者引入有害的电荷。用户真正需要的是能够在原子级别来反映样品结构和性能的平台，这涵盖了高灵敏度的电学，热学，光学甚至化学的纳米表征。这正是Nanonics Imaging Ltd. MultiProbeMultiView 4000 (MV 4000)平台的独特之处。 这个多探针平台可以充分的集成所有扫描探针显微镜的功能，包括结构和性能的纳米成像。 同时保证纳米探针的超精细分辨率，又不会引入电子束伤害。并可以有效地使用常规的纳米探针用于纳米操作应用。因此，Nanonics多探针平台将多探针AFM探针同时用于结构和性能应用测试，并将先进的纳米操作台开放的联用起来。这项技术将扫描探针显微镜和探针塔的所有优势结合了起来。 为了提供这样的系统，Nanonics不仅在仪器设计方面取得了突破，而且还开拓了NanoToolKitTM专利探针的设计用于超精细的结构和性能成像。这些探针实现了一个探针能够真正的碰触另外一个探针。 这甚至可以允许一个AFM探针对另外一个AFM探针或者纳米操作探针进行成像。纳米操作探针和AFM探针的区别是不具有反馈和成像功能。 为了开启这一新领域，Nanonics在建立之后的20年中一直致力于研究现有单探针或多探针AFM设备中灵敏的AFM反馈机制。这种方法采用了音叉反馈。这种反馈机制非常的灵敏，甚至允许用户用于研究单个光子的作用力。 除了使用这种特有的成像模式，Nanonics平台也可以使用常规的AFM激光反馈模式和AFM硅悬臂达到出色的AFM扫描效果。这种悬臂探针需要反射的激光用于反馈调节。另外，这些探针无法相互之间接触因此无法进行多探针应用，这是他的固有限度。并且由于这种反馈机制明显很低的力灵敏度，纳米材料和元器件的研究并不想采用。 一个主要的局限是这种基于激光束的反馈会在材料上引入电荷，在基本表征测试中引入背景噪音。这些电荷会掩盖这些材料与众不同的物理现象。因此，能够在没有干扰的情况下测试电学，热学和光学特性是对于理解材料基本物理和器件功能必不可少的要求。除却多探针的优势以外，不束缚于外部激光反馈干扰的测试这些功能特性与传统的AFM技术相比具有更大的优势。 无光学干扰的优势对于多探针AFM集成的功能测试也尤其重要，如此探针才能真正物理意义上的接触彼此。这才能实现在两个探针纳米量级的距离变化情况下进行传导机制的测试。 因此，Nanonics多探针集成SPM平台实现了多种独特的测试功能。这是首个被引入国家科学基金会支持的报告的系统。Nanonics平台还在多个方面继续创新。首先，在这些研究中真空环境搭配加热/制冷的环境控制具有重要意义。Nanonics平台可将环境控制与扫描探针显微镜领域的成像功能结合。在我们的研究中需要将温度升至最高350摄氏度，这通过Nanonics平台是可以实现的。这一需求还需要搭配改进后的常规纳米操作台用于样品的精确操纵，这也可以通过Nanonics的系统来实现。而且，这些系统的设计都保证了完全开放自由的光学轴。这使标准的研究级光学显微镜可以与系统完美集成，用于从高真空系统的上方和下方观察样品。这种光学的灵活性在以往从未被实现。为了实现这一目的，SPM系统的结构和探针的设计都必须保证没有任何光学吸收，这对于器件研究尤为重要。传统AFM系统中都无法实现这样沿着光轴上下观察的设计。Nanonics系统提供的全视野不仅对于上述提到的未来升级非常必要，而且利用研究级高放大倍数的光学显微镜用户可以快速的将探针之间的距离缩短到微米量级。当然，所有的功能都同时保证AFM扫描的极限噪音在0.2nm级别伸直更低。新一代材料研究的中心还在于在线光谱表征。这些材料都具有很多重要的光谱特性，是非常必要的表征手段。除此之外，光致发光和振动光谱的研究也很必要。Nanonics是在1990年度就将振动光谱和扫描探针显微镜联用起来的公司。为了这一联用，Nanonics研发了第一台探针和样品都可以扫描的系统。样品扫描对于振动光谱是必要的，而Nanonics这种联用系统的首篇文章在1999年就发表了。这种联用功能现在可以复制到多探针系统上，实现了基于上述所有扫描探针，探针台，和真空功能的化学表征，用于研究材料在电运载过程中的化学性质改变。自从开发了第一套集成扫描探针和振动光谱联用系统，Nanonics多年来也一直努力创新于近场扫描成像领域，将独特的等离子探针引入振动光谱测试，实现纳米级别的振动光谱联用，如TERs（针尖增强拉曼测试）。 Nanonics在近场光学成像领域的专业性早已获得世界范围内的认可，使用多探针系统的成果也很广泛的用于顶级文章的发表。这些功能考虑到了纳米光学成像的多样性。针对这些新材料，还有一个重要应用就是使用纳米光源在没有背景干扰的情况下激发纳米光电效应。这对于研究这些低维度材料及其合成材料在金属接触的局部效应下的能量级非常必要。最后，多探针表征和纳米加工的特有结合也可以通过这个平台实现。在最近发表的一篇文章中，具有Nanonics NanoToolKitTM专利设计的纳米加工探针用于在纳米级别氧化一个纳米结构，并记录由于氧化引起的化学势变化。市面上其他能提供气体纳米加工的系统都结合了SEM和聚焦离子束技术，如FEI Inc和Hitachi High-Technology Corporation公司提供的双束产品。这种设备的价格都超过了一百万美金，并且不能提供实时在线测试以及其他Nanonics平台提供的很多优势。比如上面Patsha用户发表的文章中强调的扫描探针显象模式中的在线化学势成像是这种双束系统所不能提供的。总而言之，专利获奖的Nanonics探针平台可以允许科研人员有效的完成多种独特的测试表征功能。

双探针扫描电子显微镜是一种将形貌表征技术（扫描电子显微镜）与电学测试技术（双探针电学测量系统）结合在一起的测试系统。双探针扫描电镜主要包括真空系统、电子光学系统、样品台和探针系统等四个组成部分，如图1所示。其中真空系统用于提供样品形貌表征和测试所需的真空环境，电子光学系统用于扫描电子成像，样品台可以提供特定的样品取向和温度控制，而探针系统可以提供样品电学测试所需的电极并且能够精确位移。通过以上各部分的精确配合可以实现低维纳米结构与微纳器件特性的局域物性测量。 图1 双探针扫描电子显微镜系统的示意图近年来，随着人们对低维材料光电特性研究的深入，对测试系统的成像分辨率、测量精度、温度变化、外场激发等条件要求越来越高。同时，该设备由于自身局限性以及部件老化问题，存在一些应用上的不足：1）电子光学系统的物镜直径达100mm，而工作距离只有0-20mm，因此探针竖直方向移动的空间十分有限，如图4所示；2）由于扩散泵的效率较低，而且工作寿命已达极限，因此腔体的真空度已经不能满足测量场发射等特性所需的真空条件；3）缺少研究材料光电特性的有效手段，而光电特性分析是研究材料的带隙特征的有效手段。技术创新完成后能够解决的具体科研问题及其意义改造后的双探针扫描电子显微镜系统可以解决原系统中高精度局域测量存在的诸多问题，具体可分为以下几个方面：（1）解决原系统成像分辨率低、对导电能力低的材料成像质量差的问题。宽带隙材料由于具有较高的击穿电压，电子饱和速率高等，是制备各种高功率、高频器件的理想材料。但是宽带隙材料的导电能力差，特别是对于纳米尺寸的材料，在电镜下的观察和定位较为困难。而且此系统组装年限较长，成像质量有所下降，对宽带隙材料的观察更为困难。通过改进电子光学系统可以有效提高对宽带隙材料的成像质量，有助于电学测试的定位。（2）解决原系统中探针定位精度低、可操控性差的问题。原系统物镜直径为100mm，而工作距离仅为0-20mm，电子光学系统物镜与样品之间空间较小，因此外加探针或者光路只能以接近水平方向靠近样品表面，样品的定位以及探针自由移动均受到非常大的限制。改造后的系统采用较小直径和较长焦距的物镜，样品上方空间增大，探针和光路能够以较小角度达到样品表面，增加了操作的自由度。同时新的探针系统位移精度增加，有助于低维纳米材料电学特性的测量。（3）引入新的光源后此系统可用于材料光电特性的测量，弥补了电子能带表征手段的不足。在半导体光谱的研究中，利用光激发的电子行为可以很好的表征材料的电子能带结构，因此引入激励光源可以更加有效的表征半导体材料电子能带的特征。同时，对于半导体晶体材料，不同晶面往往具有不同的光学和电学特性。利用探针的精确定位能力，可以研究微米乃至纳米尺寸半导体材料不同晶面的光电特性，避免了生长大面积晶体的技术困难。成果及应用领域 本项目通过对原系统的改造，提高了系统的成像分辨率、真空度和探针的精确定位能力，增大了探针移动的自由度，增添了激励光源，可以为纳米尺寸低维材料的场发射器件、光敏器件、能源器件等的物性测量提供服务。系统新功能的开发将会为固态量子、超导、纳米、表面、光学、半导体等多个领域中研究的开展起到重要的支撑与促进作用。

仪器简介： MultiMode平台是世界上应用最广泛的扫描探针显微镜（SPM），已经在全球成功安装使用了近万套。它的成功基于其领先的高分辨率和高性能，无与伦比的多功能性，以及已经得到充分证实的效率和可靠性。现在，MultiMode扫描探针显微镜以其独特的ScanAsyst模式，采用其先进的自动图像优化技术，使得用户无论具备什么技能水平，也能在材料科学，生命科学，聚合物研究领域的研究中最迅速地获得符合要求的研究成果。 SPM的控制电路也是影响性能的重要因素，第五代的NanoScope V控制器具有先进的数字架构：具有高数据带宽，低噪声数据采集和无与伦比的数据处理能力。布鲁克的最先进的技术已经开创工业上的新标准，例如：ScanAsyst 模式 & PeakForce QNM 模式。 Multimode 的加热和制冷装置能对样品进行加热与制冷，适合于生物学，聚合物材料以及其他材料研究应用。采用加热和制冷装置后MULTIMODE 可在零下35º C到250 º C范围内对样品进行温度控制；并可以在水，溶液或缓冲剂的液体环境中进行扫描。当在气体环境下对样品进行扫描时，采用环境控制舱可以在大气压标准下控制环境气体的成分。技术参数：1. 显微镜：多种可选Multimode SPM扫描头AS-0.5系列：横向(X-Y)范围0.4µ m× 0.4µ m,竖直(Z)范围0.4µ mAS-12系列：横向(X-Y)范围10µ m× 10µ m,竖直(Z)范围2.5µ mAS-130系列：横向(X-Y)范围125µ m× 125µ m,竖直(Z)范围5.0µ mPF50：横向(X-Y)范围40µ m× 40µ m,竖直(Z)范围20µ m2. 噪声：垂直(Z)方向上的RMS值＜0.3埃 （带防震系统的测量值）3. 样品大小：直径&le 15mm, 厚度&le 5mm4. 针尖/悬臂支架： 空气中轻敲模式/接触模式(标准) 液体中轻敲模式/力调制(可选) 空气中力调制(可选)；电场模式(可选) 扫描热(可选-需要大的光学头或者外加的应用组件) STM转换器(可选) 低电流STM转换器(可选)；接触模式液体池(可选) 电化学AFM或STM液体池(可选) 扭转共振模式(可选)5. 防震和隔音： 硅胶共振模式(可选) 防震三脚架(可选) ；防震台(可选) 集成的防震台和隔音罩(可选)主要特点：1. 世界上最高的分辨率2. 出众的扫描能力3. 优异的可操作性4. 非凡的灵活性与功能性5. 无限的应用扩展性Multimode可以实现全面的SPM表面表征技术，包括： 轻敲模式(Tapping Mode AFM) 接触模式(Contact Mode AFM) 自动成像模式(ScanAsyst) 相位成像模式(Phase Imaging) 横向力术模式(laterial Force Microscopy, LFM) 磁场力显微术(Magnetic Force Microscopy, MFM) 扫描隧道显微术(Scanning Tunneling Microscopy, STM) 力调制(Force Modulation) 电场力显微术(Electric Force Microscopy, EFM) 扫描电容扫描术(Scanning Capacitance Mcroscopy, SCM) 表面电势显微术(Surface Potential Microscopy) 力曲线和力阵列测量(Force-Distance and Force Volume Measurement) 纳米压痕/划痕(Nanoindenting/Scratching) 电化学显微术(Electrochemical Microscopy, ECSTM and ECAFM) 皮牛力谱(PicoForce Force Spectroscopy) 隧道原子力显微术(Tunneling AFM, TUNA) 导电原子力显微术(Conductive AFM, CAFM) 扫描扩散电阻显微术(Scanning Spreading Resistance Microscopy, SSRM) 扭转共振模式(Torsional Resonance mode, TR mode) 压电响应模式(Piezo Respnance mode, PR mode) 其他更多模式.... 布鲁克纳米表面仪器部开通优酷视频专辑Bruker Nano Surfaces YouKu Channel &mdash 欢迎订阅优酷上Bruker Nano Surfaces的相关视频，观看最新的AFM产品和相关技术进展，以及历届网络研讨会和培训资料，精彩内容持续更新中！布鲁克纳米表面仪器部 Bruker Nano Surfaces 北京办公室 北京市海淀区中关村南大街 11号光大国信大厦6层 6218室上海办公室 上海市徐汇区漕河泾开发区桂平路 418号新园科技广场 19楼E-mail： 产品咨询热线：

R10扫描探针显微镜控制器继美国RHK Technology公司推出的革ming性扫描探针显微镜控制器R9取得大成功之后，其研发团队通过升其软硬件和功能隆重发布了新一代R10扫描探针显微镜控制器。相比于R9控制器，R10扫描探针显微镜控制器性能提升主要包括： 全新的FPGA固件构架大地提高了配置灵活性 对于高测量提供了60多个可用的数据通道 数据流和扫描速度均提高5倍 优化的高压输出电路板，噪声水平降低到R9控制器的1/4 两个扫描探针控制系统 可设置任意密度的网格点进行图谱测量R10扫描探针显微镜控制器产品特点全集成SPM控制平台：模式和测量之间的所有连接都是通过数字域中的软件进行的，提供了大的灵活性和信号纯度。获得的图形硬件和实验设置系统允许快速方便的定制。数字锁定放大器：多2个PLL和6个锁定放大器可配置为立工作或连接在一起以跟踪多个谐波。可以生成并解调1 Hz到10 MHz以上的参考频率。解调带宽从10mHz到100kHz。方法允许跟踪边带，即使参考频率快速移动。反馈回路：增添至9个。在200 kHz时计算反馈回路。开尔文探测：测量多频KPFM。反馈回路测量接触电势。所有交流和直流模式可用。多速率数据通路：革ming性的方法提供同步的高速（16位@100 MHz）和高精度（22位@25 kHz）测量和的同步。探针防护装置/锁防护装置：基于时间的数据采集二次扫描发生器和反馈回路快速、故障安全提示接近，接近在输入设定点检测的5μs内停止。锁定防护装置停止扫描，并在超出范围参数的5μs内取出探头。返回范围后自动继续扫描。基于时间的数据采集：所有数据和事件都会在时间基础上进行捕获，以供以后检查。对测量参数（如扫描速度、反馈回路设定点、偏置电压）的更改以亚像素精度存储在数据文件中，并显示在存储的图像上。二次扫描发生器和反馈回路：一套R10控制器可控制2个立的扫描系统。这可以是带有两个扫描仪（大范围和小范围）的单个扫描头，也可以是两个立的扫描头。数据安全：所有数据都存储在每个扫描线末端的HDD中，以防止断电时数据丢失。所有数据类型（地形、光谱、FFT、示波器记录道）的后100个文件存储在硬盘上，以供将来分析。显微镜诊断工具：瞬态记录器：检测短至10ns的瞬态。瞬态记录器：100 MS/s采集，持续1秒。50MHz带宽FFT；4通道示波器@50kHz；数据记录器多可记录五天的数据。访问所有I/O信号：可配置控制路由和60+I/O信号采集。IHDL/Inventor SDK：交互式硬件开发语言：用户自定义的例程。支持LabVIEW VIshh、MATLAB、Python等，无需添加软件模块。内置偏置调制：用小到10μV的正弦波直接调制输出偏置DAC。调制频率高达10兆赫。Z位置调制多频调制与检测：直接调制输出DAC，正弦波小至10 pmR10扫描探针显微镜控制器基本参数Analog InputsUltra-high speed input channelsSample rate100 MS/sQuantityUp to 2Analog bandwidth17 MHzInput range± 10V, ± 1V switchable under software controlInput impedance50 Ω, 1 M Ω switchable under software controlEffective Resolution16 bit @ 100 MHz , 18 bit @ 6.25 MHz, 20 bit @ 390 kHz, 22 bits @ 25 kHz, 24 bit @ 1.5 kHzProgrammable gainUp to 512x at full bandwidthInput offsetInput signal can be offset via software to correct for errors in external signal amplifiers.Programmable AD/DC couplingInput signal can be AC or DC coupled as defined in software configuration.Analog Inputs (Continued)High speed input channelsSample rate1 MS/sQuantityUp to 6Input range± 10VAnalog bandwidth1 MHzEffective Resolution24 bit @ 200 kHz, 26 bit @ 12 kHzAnalog OutputsUltra-high speed output channelsOutput rate100 MS/sQuantityUp to 2Analog bandwidth17 MHzOutput range± 1V/ , ± 10V on separate outputsEffective Resolution16 bit @ 100 MHz , 18 bit @ 6.25 MHz, 20 bit @ 390 kHz, 22 bits @ 25 kHz, 24 bit @ 1.5 kHzProgrammable attenuationUp to 1024x at full bandwidthOutput offsetOutput signal can be offset via software to correct for errors in external signal amplifiersHigh speed output channelsSample rate1 MS/sQuantityUp to 10Analog bandwidth100 kHzEffective Resolution20 hbit @ 1 MHz , 22 bit @ 62 kHz, 24 bit @ 3.9 kHzDigital pulse countingFour channels @ 100 MHz count rateDigital Input/Output32 DIO linesR10扫描探针显微镜控制器设备构造前面板后面板高压放大器内部构造测试数据利用R10采集扫描隧道谱图，允许实时显示10条阈值谱线，且谱线的每个像素点可以单显示和分析。用户单位部分用户名单（排名不分先后），科研成果以及用户评价：清华大学、中科院物理所、中国科学技术大学、华中科技大学、国防科技大学、浙江大学......

仪器简介：Innova扫描探针显微镜（SPM）具有高扫描分辨率、出色品质，可应用于物理、生命科学和材料科学等诸多领域。Innova具有很强的灵活性，能以较低成本满足各种科研应用要求。采用du一无二的闭环扫描线性系统，卓越的设计及工艺确保测量精度以及接近于开环运行时的噪音水平。Innova可以轻松的在90微米扫描管上实现原子级分辨率。集成的高分辨率彩色光学系统，以及可编程和电动Z轴载物台，使得寻找、对准被测区域，更换针尖或样品更加快速简便。技术参数：闭环扫描管：XY 90 μm，Z 7.5 μm开环扫描管：XY 5 μm, Z 1.5 μm样品尺寸： X-50 mm x 50 Y-mm x Z-18 mm电动Z轴载物台：Z轴行程： 18mm光学系统： 摄像头： 轴线彩色CCD，带电动变焦视场： 1.24mm x0.25mm (电动变焦，10x物镜)分辨率： 2μm，标准10x物镜(50x物镜0.75μm)电子电路：20位DAC控制器，100kHz、±10v ADCs，数字反馈器件系统软件：用于数据采集和分析的SPMLab&trade v7.0，Windows XP主要特点：Innova在同类SPM中，性价比zui高 独有的闭环扫描控制，在开环噪声水平上提供三维精确测 高分辨光学系统辅助精确探针定位 快速更换探针, 开放的样品台设计使得使用更方便，更容易 拥有所有SPM操作模式，为科学研究提供更高的应用灵活性 卓越的信号读录与输入功能便于用户自己设计研究方法

仪器简介：Innova扫描探针显微镜（SPM）具有高扫描分辨率、出色品质，可应用于物理、生命科学和材料科学等诸多领域。Innova具有很强的灵活性，能以较低成本满足各种科研应用要求。采用独一无二的闭环扫描线性系统，卓越的设计及工艺确保测量精度以及接近于开环运行时的噪音水平。Innova可以轻松的在90微米扫描管上实现原子级分辨率。集成的高分辨率彩色光学系统，以及可编程和电动Z轴载物台，使得寻找、对准被测区域，更换针尖或样品更加快速简便。技术参数：闭环扫描管：XY 90 &mu m，Z 7.5 &mu m开环扫描管：XY 5 &mu m, Z 1.5 &mu m样品尺寸： X-50 mm x 50 Y-mm x Z-18 mm电动Z轴载物台：Z轴行程： 18mm光学系统： 摄像头： 轴线彩色CCD，带电动变焦视场： 1.24mm x0.25mm (电动变焦，10x物镜)分辨率： 2&mu m，标准10x物镜(50x物镜0.75&mu m)电子电路：20位DAC控制器，100kHz、± 10v ADCs，数字反馈器件系统软件：用于数据采集和分析的SPMLab&trade v7.0，Windows® XP主要特点：Innova在同类SPM中，性价比最高· 独有的闭环扫描控制，在开环噪声水平上提供三维精确测· 高分辨光学系统辅助精确探针定位· 快速更换探针, 开放的样品台设计使得使用更方便，更容易· 拥有所有SPM操作模式，为科学研究提供更高的应用灵活性· 卓越的信号读录与输入功能便于用户自己设计研究方法 布鲁克纳米表面仪器部开通优酷视频专辑Bruker Nano Surfaces YouKu Channel &mdash 欢迎订阅优酷上Bruker Nano Surfaces的相关视频，观看最新的AFM产品和相关技术进展，以及历届网络研讨会和培训资料，精彩内容持续更新中！布鲁克纳米表面仪器部 Bruker Nano Surfaces 北京办公室 北京市海淀区中关村南大街 11号光大国信大厦6层 6218室电话： 传真：上海办公室 上海市徐汇区漕河泾开发区桂平路 418号新园科技广场 19楼E-mail： 产品咨询热线：

电导率-塞贝克系数扫描探针显微镜电导率-塞贝克系数扫描探针显微镜是由德国PANCO公司与德国宇航中心联合研发的热电材料精细测量设备，该设备主要用来测量热电材料中电势和塞贝克系数的二维分布情况。集成化、自动化的设计方案使系统使用非常方便。的稳定性和可靠性彰显了传统德国制造业的优良品质。全新推出的二代电导率-塞贝克系数扫描探针显微镜（PSM II）在代的基础上具有更高的位置分辨率和更高的测量精度。产品特点：+ 可以测量Seebeck系数二维分布的商业化设备。+ 的力学传感器可以确保探针与样品良好的接触。+ 采用锁相技术，精度超过大型测试设备。+ 快速测量、方便使用，可测块体和薄膜。主要技术参数： + 位置定位精度：单向 0.05 μm；双向 1 μm+ 大扫描区域：100 mm × 100 mm 典型值+ 局部测量精度：5 μm（与该区域的热传导有关）+ 信号测量精度：100 nV（采用高精度数字电压表）+ 测量结果重复性：重复性误差优于3%+ 塞贝克系数测量误差： 3% (半导体)； 5% (金属)+ 电导率测量误差： 4%+ 测量速度：测量一个点的时间4-20秒应用领域：1、热电材料，超导材料，燃料电池，导电陶瓷以及半导体材料的均匀度测量2、测量功能梯度材料的梯度3、观察材料退化效应4、监测 NTC/PTC 材料的电阻漂移5、固体电介质材料中的传导损耗6、阴材料的电导率损耗7、GMR 材料峰值温度的降低，电阻率的变化8、样品的质量监控系统组成部分+ 三矢量轴定位平台及其控制器+ 定位操纵杆+ 加热、测温探针+ 力学接触探测系统+ 模拟多路器+ 数字电压表+ 锁相放大器+ 摄像探测系统+ 带有专用控制软件和数据接口的计算机+ 样品台与样品夹具样品夹具加热测温探针部分测试数据1、塞贝克系数测量Bi2Te2.85Se0.15梯度材料表面的塞贝克系数分布（数据来源，PANCO实验室）2、接触电阻测量存在界面的样品通过该设备还可以测量出界面处的接触电阻。通过测量电阻率随针位置的变化，可以得到样品界面处的接触电阻。接触电阻可以通过连续测量界面两侧的电势分布计算得到，图中ΔR正比于接触电阻。（数据来源，PANCO实验室）全球部分用户名单：Beijing University of TechnologyCorning CompanyKorea Research Institute of Standards and ScienceShanghai Institute of Ceramics, CASGermany Air Force Research LabSimens Company Gwangju Institute of Science and Technology Hamburg University Munich University

压电响应力显微术 (PFM) 生物材料与铁电材料等的成像 许多材料的机电耦合行为，如生物基细胞膜和蛋白质，铁电和压电材料从现在开始都可以用压电响应力显微镜来表征。 这一成像技术在开发基于铁电畴变等的新型电子设备方面引起了极大的关注，在对将来电脑存储等领域的诸多应用方面的发展有着巨大的潜力。 压电响应力显微术是在扫描探针显微镜的基础上，在接触式扫描过程中对探针施加一个交流电压，利用材料自身逆压电效应来探测样品表面形变的一类技术总称（见图1）。压电响应力显微术已经成为铁电材料研究的重要手段，广泛应用于纳米尺度畴结构的三维成像、畴结构的动态研究、畴结构控制和微区压电、铁电、漏电等物理性能表征等领域。其最大的优势就是同时具有极高的分辨率（~10-20 nm）和灵敏度（~0.1 pm/V）。

如有需要请通过伯英科技联系我们。多功能扫描探针显微镜（带纳米力学测试功能）型号：NT-206，是集多功能于一身的原子力显微镜，带有复杂的硬件与软件分析系统，可分析形貌与力学性能，分辨率为纳米级别。可添加：纳米压痕、划痕、磨损，附着力、摩擦力测试，纳米光刻等功能。A probe is positioned above journal neck of watch gearEmbedded videosystem in combination with motorized XY micropositioning stage provide convenient tuning of the instrument and its fine targeting onto the features on the sample surface. All that dramatically enhances the instrument' s functionality when researching micro- and nanosize objects.To meet requirements of specific research tasks, AFM NT-206 can include specialized changeable probe holders for microtribometry and adhesiometry or for nanoindentation.NT-206 ::: Description ::: Features ::: Delivery set ::: Software 多功能扫描探针显微镜（带纳米力学测试功能）技术指标：Measurement modes:测量模式： Motion patterns at the measurements: - area (matrix) - line - single point.Contact static AFM 接触静态Lateral force microscopy /with contact static AFM/ 横向力显微镜/用静态接触AFMNon-contact dynamic AFM 非接触式动态AFMIntermittent contact AFM (similar to Tapping Mode) 间隙接触（敲击）Phase contrast imaging /with intermittent contact AFM/ 相衬成像/用间隙接触AFMTwo-pass mode (for static and dynamic AFM) 6. 两回合模式（适合静态与动态AFM）Two-pass mode with varying separation (for static and dynamic AFM) /Original technique!/两回合模式，伴随变化的间距，Multicycle scanning (for static and dynamic AFM) /Original technique!/多回合扫描（适合静态与动态AFM）Multilayer scanning with varying load (for static and dynamic AFM) /Original technique!/多回合扫描，伴随变化的载荷（适合静态与动态AFM）Electrostatic force microscopy (two-pass technique) *, **静电力显微镜（双回合技术）Current mode *, **电流模式Magnetic force microscopy (two-pass technique) *, **磁力显微镜（双回合技术）Static force spectroscopy (with calculation of quantitative parameters, surface energy and elastic modulus in the measurement point)静态力谱（在测量点，计算定量参数、表面能与弹性模量）Dynamic force spectroscopy动态力谱Dynamic frequency force spectroscopy /Original technique!/动态频率力谱Nanoindentation *纳米压痕Nanoscratching *纳米划痕Linear nanowear *线性纳米磨损Nanolithography (with control of i load, ii depth and iii bias voltage) *纳米光刻（控制力，深度，偏压）Microtribometry * /Original technique!/微观摩擦力计量Microadhesiometry * /Original technique!/微观附着力计量Shear-force microtribometry * /Original technique!/剪切力微观摩擦力计量Temperature-dependent measurements (under all above modes) *基于温度的测量（适用于所以以上模块）Note. * - Specialized accessories or rig required*需要特殊的附件或工具 ** - Specialized probes required **需要特殊的探针Scan field area:扫描面积from 5x5 micron up to 50x40 micronsMaximum range of measured heights:最大高度范围from 2 to 4 micronLateral resolution (plane XY):侧面分辨率1–5 nm (depending on sample hardness)Vertical resolution (direction Z):竖直分辨率0.1–0.5 nm (depending on sample hardness)Scanning matrix:扫描矩阵Up to 1024x1024 pointsScan rate:扫描速度40–250 points per second in X-Y planeNonlinearity correction :非线性校正A software nonlinearity correction providedMinimum scanning step:最小扫描步阶0.3 nmScanning scheme:扫描步骤The sample is moved in X-Y plane (horizontal) and in Z-direction (vertical) under stationary probe.Scanner type:扫描器类型A piezoceramic tube.Cantilevers (probes):悬臂（探针）Commercial AFM cantilevers of 3.4x1.6x0.4 mm. Recommended are probes from Mikromasch or NT-MDT. Checked for operation with probes by BudgetSensor and NanosensorsCantilever deflection detection system:悬臂倾斜探测系统Laser beam scheme with four-quadrant position-sensitive photodetectorSample size:样品尺寸Up to 30x30x8 mm (w–d–h) extending block insert allows measurement of samples with height up to 35 mmHigh voltage amplifier output: 高压放大器输出+190 VADC:16 bitOperation environment:操作环境Open air, 760+40 mm Hg col., T = 22+4°С, relative humidity 70%Range of automated movement of measuring head:测量头自动移动范围10x10 mm in XY plane for micropositioning of probe relative measured sample at step 2.5 micron with optical visual monitoringOverall dimensions:总尺寸Scanning unit: 185x185x290 mm Control electronic unit: 195x470x210 mmField of view of embedded videosystem:植入视频系统的视场1x0.75 mm, visualization window 640x480 pixel, frame rate up to 30 fps.Vibration isolation:防震隔离Additional antivibration table is recommendedHost computer:控制计算机Not less than: Celeron 2.2, RAM 256 MB, HDD 80 GB, VRAM 128 MB, monitor 17" 1024x768x32 bit, Windows XP SP1, 2 USB port. Recommended: Core i5 or equivalent, RAM 2 GB, HDD 320 GB, VRAM 1 GB, monitor 1600x1200x32 bit, Windows XP SP2 or higher, 2 free USB port.Software:软件Special control software SurfaceScan and the AFM image processing package SurfaceView / SurfaceXplorer are included. * Before measurements, the probe can be positioned to necessary place over the sample with help of automated motorized stage. To provide monitoring for the scan area and objects below the probe, the instrument embeds a videosystem allowing to watch the probe motion over the sample surface. Videosystem and the motorized stage for the probe positioning over sample are included in base set by default. A combination of these two options allows rather flexible selection of objects to be measured on the sample surface at direct visual monitoring by the opeartor.多功能扫描探针显微镜（带纳米力学测试功能）组成模块： DELIVERY SETNT-206 ::: Description ::: Features ::: Delivery set ::: Software ::: BASIC SETScanning unit (atomic force microscope)Includes a base platform with embedded XY positioning stage and a detachable measuring head with integrated video systemControl electronic unit with the connetcion cables in the set (the case variants)Software package including:The software runs under Win32. Supplied on CD. Updates available at this site in section ARCHIVE SOFTWAREAFM control software SurfaceScan for driving complex and data acqusition and visualization .SurfaceView and SurfaceXplorersoftware package for the measured data processing, visualization and analysis.The software can include plug-ins for processing AFM-data obtained with other microscopes.A set of drivers for connection of control electronic unit with host PC and running videosystem.Note:1 Base set includes also the control software (for Win32) and user manual.多功能扫描探针显微镜（带纳米力学测试功能）可选配件 ::: ADDITIONAL ACCESSORIES (optional)A specialized antivibration rackA changeable probe holderChangeable scaners for ranges: 5x5x2 um10x10x3 um20x20x3.5 um40x40x3.5 um50x50x3.5 um90x90x3.5 umSet for scanning the sample emmersed in liquid mediumThermocell: a changeable sample platform for measured sample heating up to 150 °С with stand-allone controllerA changeable holder for conducting probesExtending block insert allowing measurement of thick samples with height up to 35 mmA changeable microtribometer-adhesiometer unitOption: a set of AFM probes(Prod. by Mikromasch)A changeable shear-force microtribometer unitOption: a set of calibration test gratings(Prod. by Mikromasch)A changeable nanoindentor unit多功能扫描探针显微镜（带纳米力学测试功能）软件 SOFTWARENT-206 ::: Description ::: Features ::: Delivery set ::: SoftwareControl software for AFM NT-206 SurfaceScan is a 32-bit Windows application. It runs under Windows XPsp2/Vista/7 operating systems.The control software provides all preliminary tunings and settings necessary for the AFM operation: visual control over the laser-beam detection system adjustment, tuning of the cantilever oscillations (in dynamic modes), feed-back system adjusting, sample positioning under the probe and sample approach to the probe before measurements and removal after the measurements. A full-field or any reduced area within the full field of the scanner can be selected for measurements.Operator can watch any combination of acquired AFM/LFM images in data visualization window or switch to look at them in one window. Additionally, profile of currenly acquired line can be monitored as well.Acquired data are saved in files of special format that can be then processed, visualised (in 2-D and 3-D presentation) and analysed with a specialized software package SurfaceView or SurfaceXplorer.