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普发真空计

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普发真空计相关的论坛

  • 质谱机械真空泵问题

    我单位的气质联用质谱配的机械真空泵是德国普发,型号是DUO 2.5。现在发现真空泵启动不了,经检查发现电机上的电容器可能损坏,想配一个相同型号的电容器。但电容器上的字体什么的都看不清了,也不知道是哪个牌子的电容器。问了几家普发真空泵的代理商说不提供零部件,要么换泵要么寄给他们维修。所以想求教大家有没知道这个电容器哪里买得到或者国内其他替代的电容器。

  • 英福康(Inficon)VDE016和普发(Pfeiffer)EVR116气体控制阀及其控制器的国产化替代

    英福康(Inficon)VDE016和普发(Pfeiffer)EVR116气体控制阀及其控制器的国产化替代

    [color=#990000]摘要:对标英福康公司VDE 016和普发公司EVR 116气体控制阀,对标英福康公司VCC500和普发公司RVC 300控制器,介绍了相应的国产化替代产品电子针型阀和多功能高精度PID控制器,并介绍了国产化替代产品的相应特点和技术指标。[/color][size=18px][color=#990000]1、概述[/color][/size]英福康(Inficon)公司VDE 016和普发(Pfeiffer)公司EVR 116的气体控制阀实际上是完全相同的一款控制阀,只是贴牌不同。如图1所示,这款气体控制阀是一种步进电机驱动的针型阀,可将外部控制信号转换为规定的阀针位置,由此调节阀的开度大小实现气体流量控制。外部控制信号可以是以下三种形式:(1)直流模拟电压(0~10VDC);(2)接口模块;(3)RS232接口。[align=center][color=#990000][img=电子针阀,600,373]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/12/202112171652414248_9888_3384_3.png!w690x429.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#990000]图1 英福康和普发公司气体控制阀[/color][/align]针对这款气体控制阀,英福康和普发提供了配套的控制器,如图2所示,型号分别是:英福康:VCC500-Z;普发:RVC 300。[align=center][img=电子针阀,600,253]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/12/202112171652576341_4251_3384_3.png!w690x292.jpg[/img][/align][align=center][color=#990000]图2 英福康和普发公司控制器[/color][/align]本文将针对上述控制阀和控制器,介绍相应的技术指标,并介绍相应的国产化替代产品及其技术指标,为国产化替代提供高性价比产品。[size=18px][color=#990000]2、国外产品技术指标[/color][/size][size=16px][color=#990000]2.1 气体控制阀技术指标[/color][/size]英福康和普发公司控制阀性能参数如表1所示,技术指标如表2所示。[align=center][color=#990000]表1 控制阀性能参数[/color][/align][align=center][color=#990000][img=电子针阀,500,247]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/12/202112171653364812_6367_3384_3.png!w690x341.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#990000]表2 控制阀技术指标[/color][/align][align=center][color=#990000][img=电子针阀,500,384]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/12/202112171653497154_1569_3384_3.png!w690x531.jpg[/img][/color][/align][size=16px][color=#990000]2.2 控制器技术指标[/color][/size]英福康和普发公司控制器性能技术指标如表3所示。[align=center][color=#990000]表3 英福康和普发公司控制器技术指标[/color][/align][align=center][color=#990000][img=电子针阀,550,468]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/12/202112171654083264_9223_3384_3.png!w690x588.jpg[/img][/color][/align]从上述控制器技术指标以及实际应用经验,可以发现英福康和普发控制器有以下几点不足:(1)单通道测量和控制:即只能采集一路真空计信号,并控制一路调节阀,尽管有多个模拟和数字输入输出通道,但还是只能进行一路闭环控制。当在需要使用两个真空计才能覆盖的宽量程范围内,这种单通道控制器将无能为力。(2)无PID自整定功能:英福康和普发控制器的最大不足是缺少PID参数自整定功能,这在实际应用中带了非常大的不便,需要用户自己寻找合适的PID参数,很多时候往往最终还是不能获得最优的PID参数,严重影响控制效果。(3)控制精度差:控制精度为传感器满量程的±5%,这基本说明控制器中采集和控制电路使用的是12位A/D和D/A转换器,这是决定控制精度的关键。[size=18px][color=#990000]3、国产电子针阀代替英福康和普发控制阀[/color][/size]英福康公司和普发公司的控制阀是一种典型的步进电机驱动的电子针型阀,性能指标非常优越,唯一不足就是针阀开度较小,造成流量较小。当然,还有就是价格太贵。为了实现气体流量控制阀的替代并提高性价比,我们在针阀技术上也采用了数控步进电机进行了国产化,并开发了一些列不同流量的电子针阀,如图3所示,完全实现了替代,并且价格只有国外产品的三分之一,详细技术指标如图4所示。[align=center][color=#990000][img=电子针阀,500,428]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/12/202112171654539729_4020_3384_3.gif!w599x513.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#990000]图3 国产NCNV系列电子针阀[/color][/align][align=center][color=#990000][img=电子针阀,690,452]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/12/202112171655179642_9510_3384_3.png!w690x452.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#990000]图4 国产NCNV系列电子针阀技术指标[/color][/align][size=18px][color=#990000]4、国产高精度双通道PID控制器代替英福康和普发控制器[/color][/size]为充分利用真空计(如电容薄膜压力计)的测量精度,控制器的数据采集和控制至少需要16位以上的模数和数模转化器。目前我们已经开发出VPC-2021系列高精度24位通用性PID控制器,如图5所示。[align=center][color=#990000][img=电子针阀,600,311]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/12/202112171655401332_5967_3384_3.png!w690x358.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#990000]图5 国产VPC-2021系列温度/真空度控制器[/color][/align]此系列PID控制器功能强大远超国外产品,但价格只有国外产品的八分之一。其主要性能指标如下:(1)精度:24位A/D,16位D/A。(2)多通道:独立的1通道或2通道。2通道可实现温度和压强的同时测量及控制。(3)多种输出参数:47种(热电偶、热电阻、直流电压)输入信号,可实现不同参量的同时测试、显示和控制。(4)多功能:正向、反向、正反双向控制。(5)PID控制:改进型PID算法,支持PV微分和微分先行控制。20组分组PID。(6)双传感器切换:每一个通道都可支持温度高低温和高低真空度的双传感器切换,两通道可形成总共接入四只传感器的控制组合。(7)程序控制:可自行建立和存储最多20种浓缩程序,进行浓缩时只需选择调用即可开始(程序控制模式)。在真空度控制中,下游控制模式比较适合真空度接近大气压,但对小于10mbar的真空度控制需采用上游进气控制模式。由此,为满足全量程真空度的准确控制,可以采用如图6所示的双传感器和双向控制模式。[align=center][img=电子针阀,550,434]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/12/202112171656050545_4479_3384_3.png!w690x545.jpg[/img][/align][align=center][color=#990000]图6 双向控制和双传感器自动切换模式示意图[/color][/align]在图6所示的控制模式中,就需要用到上述VPC-2021系列双通道控制器的正反向控制和双传感器自动切换功能,即在不同气压控制过程中,控制器自动切换相应量程的真空计,并选择相应的电子针阀和高速电动球阀进行控制。[align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align]

  • 数控针阀在便携式真空计校准装置中的应用

    数控针阀在便携式真空计校准装置中的应用

    [color=#ff0000]摘要:针对便携式真空计校准装置以实现真空计的现场校准,基于静态比对法校准技术,本文提出了一种采用微型数字针阀和上下游双向气体流量调控模式的技术方案,结合双通道高精度的真空度PID控制器,可在真空度精密控制的前提下解决现场校准和便携性问题。[/color][align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align][size=18px][color=#ff0000]一、问题的提出[/color][/size]真空计作为一种真空度传感器在众多领域应用普遍,并需要进行定期校准。而真空计校准装置是包含了真空标准器、真空泵、真空阀门及连接管路在内的一整套测量系统,一般体积较大,不便移动,多在实验室内固定使用。现有的真空计校准方式大多是将现场使用的真空计拆下送检。为满足现场校准的需求,需要解决以下几方面的问题:(1)减小相关部件的尺寸,使真空计校准装置便于携带。(2)采用数控和电动阀门,提高气体流量调节的精密度。(3)改进真空度控制方式,提高真空度控制精度和稳定性。为实现真空计 现场校准和校准装置的便携性,基于静态比对法校准技术,本文将提出采用微型数字针阀和上下游双向气体流量调控模式的技术方案,结合高精度的真空度PID控制器,可在真空度精密控制的前提下解决现场校准和便携性问题,真空度的波动可控制在±1%以内。[size=18px][color=#ff0000]二、便携式真空计校准装置技术方案[/color][/size]便携式真空计校准装置的整个结构如图1所示,这里示出的是0.1~760Torr真空度范围内的校准装置典型结构示意图。方案具体内容如下:[align=center][img=真空计校准,600,596]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/05/202205261606551375_610_3384_3.png!w690x686.jpg[/img][/align][align=center]图1 便携式真空计校准装置结构示意图[/align](1)采用静态比对法,将被校准真空计与参考标准真空计比对。参考标准真空计采用两个电容薄膜真空计以覆盖整个真空度校准范围,参考标准真空计也同时作为真空度控制传感器。(2)真空度控制器采用二通道高精度真空度控制器,控制器的A/D为24位,D/A为16为,可对应电容薄膜真空计的高精度信号输出和满足真空度控制精度要求。控制器的两个通道分别对应于两个真空计的输入信号、两路数字针阀的进气和抽气流量的精密调节。在真空度控制过程中两路传感器信号可根据需要自动切换,以实现全量程范围内的可编程自动控制。控制器带PID自整定功能和标准的MODBUS通讯协议。(3)采用两个数字针阀分别调节进气和抽气流量,控制器采用双向模式分别对两个针阀进行调节。在粗真空范围内主调节进气针阀,在高真空范围内主调节进气针阀,全量程范围内的真空度恒定控制时,真空度波动率可控制在±1%以内。[align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align]

  • 真空计的选择

    真空计的种类很多,常用的真空计就有压缩式真空计、电离真空计、热电偶真空计、电阻真空计等等。真空计的真空测量是真空技术的重要组成部分,因此真空计在科研与生产中的使用很广泛。那么在选择真空计时我们应该考虑哪些因素呢?   1.不同的真空计有不同的测量范围与测量精度,首先要确保真空计的测量范围满足设备的需要,再考虑真空计的测量精度;   2.有些真空计对被测气体有要求,如热阴极电离真空计的阴极易受过量空气及泵油蒸气等污染物的损害,因此需要考虑被测气体是否会对真空计造成损伤;   3.部分真空计会影响被测环境,如压缩式真空计测量时要压缩被测气体,这会使水蒸气凝结。因此要考虑真空计是否会对被测真空环境造成影响;   4.考虑真空计所测压强是全压还是分压,是否已校准,是否与气体种类有关;   5.考虑真空计能否实现连续测量,数值指示及反应时间如何;   6.考虑真空计的稳定性、可靠性、使用寿命。   7.考虑真空计的安装方法、操作性能、保修、管理、市场有无销售、购买的难易程度和规格

  • 怎样选择真空计

    怎样选择真空计很多试验仪器设备都需要用到真空泵、真空机组,如样品真空干燥、真空蒸馏、真空解压等等实验工作、中式,为了达到最优状态和测试效果,或提供效率、节约能源,就需要对设备的容器中的真空度进行准确的测量和自动控制,现在大家使用的大多数还是老式的电接点真空表、电阻真空计的、热偶计等等,准确度差、不稳定、寿命短、当然也有进口设备,但真空测控仪表、真空计进口的产品非常昂贵,那么我们普通设备需要真空控制时应该如何选择性价比高的真空计呢?以下的几点供大家参考,希望有帮助。第一,从真空测量机理的先进性来考虑,应该选择采用新型传感元件的真空计,如硅集成真空传感器、陶瓷基片厚膜电路真空度传感器、陶瓷电容式薄膜真空规等等;而传统老式的热传导类(热偶计、电阻计、皮拉尼计等等)虽然价格稍低些,但其精度低、稳定性差、寿命短,按照产品标准测量精度误差50%就合格;虽然现在也有数字化、但是毕竟是先天不足。第二,从真空设备的工作真空度来选择真空度测控范围:而不是根据使用真空泵或机组的极限真空度来选择,如,系统采用2x旋片泵,其极限真空度可达0.5Pa,但是,由于抽气效率的原因,往往用在100Pa以上,所以应该选择0.1kPa测量下限即可(下限越低,往往精度要求越高,价格也越高)第三,合理选择测量精度等级和测量分辨率,一般设备选择1.0级、0.5级就可以了,但是如果是作为精密真空度测量和控制、计量标准器等等,就要选择0.1级、高分辨率的仪表;首选陶瓷薄膜规(--PS510--ABCD);对于用来测量管道、容器、散热器、空调冰箱部件密封等等用途的真空计选型,可以选择0.5、0.25级精度、但是分辨率为1Pa的高分辨率的仪表如(208--310ap型),性价比极高;另外,还要根据需要测控的泵阀来选择仪器的测控继电器等等控制功能,最好要选择带有真空智能测控功能的仪表(一个继电器就能控制一个启停或开闭的真空度区间,而不是一个点)。最后不要忘记选择合适的真空接口标准,推荐kf系列卡箍法兰,当然,还有其他测试介质的重要特点:卫生洁净度、防腐蚀、防爆要求,附加功能会增加价格,要求不高,就不一定要用专门的防爆型、防腐蚀型的,要求严格的话,当然不能马虎的。简单说说,供参考了。再次提醒大家:现在是2011年啦!真空仪器仪表已经现代化了,希望大家选择更加新型的、高性价比的真空仪器仪表,

  • 谈谈薄膜真空计(1)

    薄膜真空计是迄今为止唯一得到公认的可作为低真空测量(0.01--100Pa)工作副标准的一种真空仪器,也是我国唯一具有法定计量校准检定规程的一种真空度计量器具(校准参照规程:Q/WHJ46-1998标准型电容薄膜真空计校准规程)电容薄膜真空计是一种绝压、全压测量的真空计,原理是把加于电容薄膜上的压力变化产生膜片间距离的变化,即产生了电容的变化,再通过鉴频器把电容变化转换成为电流或电压的变化,组成为输出信号,所以,它的测量是直接反映了真空压力的变化值,而且只与压力有关,与气体成分无关,即:薄膜真空计是一种直接测量式的、全压型的真空计。而我们的真空设备的真空度测量控制常用的真空计往往是电阻计、热偶计等等间接测量的真空计,是一种热传导型的真空测量方法,简单一点来说,就是通过测量感受气体温度的方法来间接测量气体压强(真空度),是一种类似于大家很熟悉热电阻、热电偶的测量方法,。由于测量原理上的先天不足,这类真空计的测量精度、测量稳定度是很不好的。其测量误差一般比薄膜真空计大1~2个以上数量级(误差大于30%,行业标准是50%),尤其是在低真空段,误差更大,另外,使用过电阻计、热偶计的度知道,这些仪表测量前还需要零点、满度校正,怎么能够用于在线测量控制呢?另外,遇到氢气等小质量的气体就无法测量了,如果要测,也查表换算,到底真空度是多少?猜吧。不过,它确实也有它的优点的:制造容易、价格低廉,在许多的要求较低真空设备上还普遍使用着,……用过电阻计的都领教过它的烦心。许多人抱怨花了3、4千元买到进口的真空传感器也误差大、毛病多?就是因为老外的这个价位的产品还是老的热传导测量机理的真空传感器。所以选择真空计、真空传感器、首先要看看什么原理、什么类型的,而不是数字、智能,测量机理陈旧,再怎么数字、怎么智能,也于事无补的。未完待续

  • 求购:低真空计

    我公司想购买一台低真空计,工作范围在50~100μHg或6.6~13.3Pa。请帮忙提供合适真空计的型号及相关资料。最好是数显的。

  • 谈谈薄膜真空计(2)

    现代真空应用技术的发展,涉及的应用范围越来越广泛、真空应用设备对仪器仪表的要求越来越高,特别是对测量精度、稳定性要求、以及自动控制性能要求也越来越高,这直接关系到真空设备的整体性能质量,关系到真空应用技术或应用工艺的应用效果,甚至于成功与否。在精细化工、真空冶炼、真空单晶炉、真空热处理、真空浸渍、真空冷冻干燥、真空绝缘处理、电真空器件、半导体材料生产、高特新材料、新能源设备等等行业中尤其特出。许多新设备、新工艺、新产品的开发之所以老是无法实现预想的技术指标和效果,往往就是因为真空测控仪表选型不当、其实际的测量控制精度无法达到设计要求所造成的。当然,薄膜真空计也不是没有缺点的,首先是价格高,国内一般是4-6千元,量限低的贵些;进口则1.6—2.5万元/只左右;其次,国内老式的薄膜规容易零漂,需要经常校正,要求高的经常校正。主要是技术陈旧,国内材料科学相对落后造成的,温度稳定性不好;还有一个量程跨度小,国内的不超过3个数量级。第三是国产规娇气,容易坏,有油污进去很难清洗,要用丙酮,清洗挽救13往往会报废,小量程的23会坏。所以,我们需要有一种具有国产价格、进口品质的、使用方便、经久耐用薄膜真空计。结合我国国情、学习国际先进的真空测量新技术,我们能够做得到的。分析国外的薄膜真空计与我们旧式国产产品的有什么不同呢?简单说一说,其核心技术一是陶瓷薄膜电容真空压力测量技术、二是现代智能仪表技术。首先是通过大规模厚膜电路(国内有些厂家还是20年前的007运放),将薄膜电容测量机构和传感器调理电路微型化,做在陶瓷基片上,另外,将智能仪表电路微型化,一次仪表和二次仪表合二为一,所以量程宽、精度高、体积小;(其典型代表如莱宝62x、英福康TCBG等等)。未完待续

  • 谈谈薄膜真空计(3)

    谈谈薄膜真空计(3)

    http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2011/10/201110211922_325615_1608408_3.jpg学习和引进国外先进核心技术,,根据我国真空设备配套测控仪表的特点,研制出的陶瓷薄膜真空计,其测量精度和稳定性已经完全可以与进口产品相媲美了。根据国内设备的习惯,控制柜上数字面板表,还是经常使用的,采用专门设计的具有真空测控特点的精密二次仪器仪表,借籍于现代智能仪表技术的科技成果,有利于提供测量的精度、分辨率、稳定性和可靠性,增加智能化的自动控制功能,(可以配接任何一种模拟量、数字量的接口,比进口的薄膜真空计更灵活、更方便)实践证明,陶瓷薄膜真空计使用到真空冷冻干燥机、真空单晶炉、气氛真空炉、真空精馏设备、真空镀膜机等设备,做真空测量和自动控制,带来极大地方便和性能提高,可以快速升级为智能型的真空应用设备。当然,也可以用到实验室、计量室作为相应的真空段的0.1级标准器,陶瓷芯片的优异性能使其年稳定度达到0.1%以上。

  • 【讨论】有关麦氏真空计问题

    公司用麦氏真空计,里面水银有了残渣,想换掉水银,请问水银的加入量一般是多少?有要求吗? 另外想问:数显示的便携真空计多少钱?

  • 高真空计PENNING的最臭位置

    PENNING是最常用的高真空计,可以安装在靠近分子泵的地方,或者直接安装在发射枪部位,最差的位置是装在样本室外部,最最臭的位置是样本室正相对SE检测器的方向,为什么这么说呢?

  • 质谱仪真空度过低是什么原因

    质谱仪真空度过低是什么原因

    最近实验做得好好的,昨天早上突然抽风,检测不到任何通入的气体,一开始只能检测到N2和CO2,怀疑是出现泄漏,后来各种排查,感觉都没有泄漏。现在更离谱,总压力显示为0。是堵了吗?心好累!!!用的是TPD-MS联用。质谱用的普发真空泵+分子泵,质谱是AMETEK的LC-D200。[img=,690,409]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/09/202209131959350296_3640_5604488_3.png!w690x409.jpg[/img]

  • 请教5975C真空计报错

    5975C真空计micro Ion E报错,怎么办?3年多的机器经常连续开机,重启能搞定吗还是要换了?这东西贵吗

  • 气质联用离子真空计

    请教各位高手,岛津2010plus[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/bp][color=#3333ff]气质联用[/color][/url],每次开机抽真空时,都会显示离子真空计不能正常控制,离子源灯丝即将关闭,重启一次或几次又好了,求助:这是什么原因?需要怎么解决?长时间如此会对仪器损害么?万分感谢

  • 【求助】电阻真空计如何校准?

    我们实验室的等离子体设备上配了一个电阻真空计,最近等离子体厂家的人告诉我真空计应该重新校准了,可是我又联系不到真空计生产厂家,那我自己如何校准真空计呢?

  • 求普发机械泵上海维修联系方式

    最近连安捷伦5975的真空泵出现问题,不启动了,公司自己电工和机修初步检查是里面的滑片坏了,现在想要送修,不知道普发在上海有没有分公司,地点在哪里,联系方式是什么。求论坛里的兄弟姐妹如有知晓告诉我一下,谢谢。

  • 岛津GCMS离子真空计不能正常控制怎么办?

    岛津GCMS离子真空计不能正常控制怎么办?

    批处理样品,十几个样以后出现离子真空计不能正常控制的问题,质谱停止批处理。这是从一次老化柱子之后开始的,那会因为是旧柱子,就没有断质谱,质谱还是真空状态,老化完以后就开始出现这问题。批处理停止以后重新开始批处理一切正常,真空也没掉,真空度计也是正常的,就是走一段时间样就可能会出错。谁遇到过啊,这个怎么解决。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/01/201701191701_669765_2851308_3.jpg

  • 多点拟合功能的PID控制器在真空计线性化处理中的应用

    多点拟合功能的PID控制器在真空计线性化处理中的应用

    [align=center][img=多点拟合功能的PID控制器在真空计线性化处理中的应用,550,416]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/09/202309141551304705_7372_3221506_3.jpg!w690x522.jpg[/img][/align][size=16px][color=#990000][b]摘要:针对高真空度用皮拉尼计和电离规信号的非线性和线性两种输出规格,为改进高真空度的测量和控制精度,本文提出了线性化处理的解决方案。解决方案的关键是采用多功能超高精度的真空压力控制器,具体内容一是采用控制器自带的最小二乘法多点拟合功能来进行高真空区间的非线性处理,二是采用控制器的数值转换功能对真空度对数线性输出进行相应测试量程转换。此解决方案还可以推广应用于其他具有非线性输出性质的传感器中。[/b][/color][/size][align=center][color=#990000][b]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/b][/color][/align][size=16px][color=#990000][b][/b][/color][/size][size=18px][color=#990000][b]1. 问题的提出[/b][/color][/size][size=16px] 在真空度测量过程中,一般会根据不同真空度范围选择相匹配的真空度传感器。常用的三类真空度传感器是电容真空计、皮拉尼真空计和电离规,这些传感器会对应所测量的真空度输出相应的电压信号,其中电容真空计的真空电压关系曲线为线性,而皮拉尼计和电离规的真空电压关系曲线基本都是底数为10的幂函数,具有强烈的非线性特征,如图1所示。[/size][align=center][size=16px][color=#990000][b][img=皮拉尼计和电离规的真空度测量与输出电压信号典型关系曲线,660,342]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/09/202309141555049140_6935_3221506_3.jpg!w690x358.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#990000][b]图1 皮拉尼计和电离规的真空度测量与输出电压信号典型关系曲线[/b][/color][/size][/align][size=16px] 皮拉尼计和电离规往往会用在高真空和超高真空范围内的测量,由此这种非线性会给高真空和超高真空范围内的测量带来以下一系列的问题:[/size][size=16px] (1)大多数真空测量仪表基本上都采用的是线性电路,以采集真空计输出信号并进行线性转换后进行显示和输出。这种对非线性信号仅进行简单线性转换的方式,势必会给真空度测量带来巨大误差,这也是皮拉尼计和电离规在高真空度范围内测量精度不高的主要原因。[/size][size=16px] (2)如图1所示,这种非线性特征是以10为底数的幂函数,因此可以通过对数处理将其进行线性化处理。有些国外厂家的真空计也确实具有这种功能,使得真空度的对数与输出电压值呈线性关系。这种线性化处理的最大优点是可以大幅度提高真空计的测量精度,特别是对超高真空度范围内的精度提高更加显著。但这种线性化处理仅是针对真空度到模拟输出信号,如果要对这输出信号进行还原或准确显示真空度,还需后续的处理电路或采集仪表进行反向处理。[/size][size=16px] (3)除了上述在真空度测量中存在的如何准确显示的问题之外,更大的问题是在真空度控制中的应用。在真空度控制中,真空计往往是连接到PID控制器的传感器,无论真空计自身是否采用了线性化处理技术,但都要求线性控制形式的PID控制器具有线性化处理功能,而现状是很少有PID控制器具有这种线性化处理的高级功能,这也是制约高真空度范围内控制精度不高的主要原因。[/size][size=16px] (4)皮拉尼计和电离规的另一个显著特点是具有气体的选择性,对于不同气体环境下的真空度测量其非线性公式中的常数并不相同,需要根据气体类型进行选择。这种气体选择性特征更加大了真空计输出信号的线性化处理难度和复杂程度,很难采用一种通用电路和仪表来满足大多数不同气体氛围下的真空度测量和控制。[/size][size=16px] 为了解决上述皮拉尼计和电离规的信号非线性和气体选择性特性给高真空度测量和控制带来的问题,本文提出了相应的解决方案,关键是采用具有线性化处理等高级功能的PID控制器。[/size][size=18px][color=#990000][b]2. 解决方案[/b][/color][/size][size=16px] 针对现有的各种皮拉尼计和电离规的真空度电压输出信号,包括非线性信号和已经处理后的线性信号,解决方案的核心是采用如图2所示的具有众多高级功能的超高精度真空压力控制器。[/size][align=center][size=16px][color=#990000][b][img=VPC-2021系列超高精度PID控制器,500,264]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/09/202309141555336153_2091_3221506_3.jpg!w690x365.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#990000][b]图2 VPC-2021系列超高精度真空压力控制器[/b][/color][/size][/align][size=16px] 此控制器在具有超高精度24位AD模数转换和16位DA数模转换的同时,还充分发挥了微处理器的速度和数据处理能力,在现有各种温度传感器线性化处理的基础上,增加了八点拟合线性化处理功能和数值变换功能,通过相应的面板按键操作或所配软件的设置,可对皮拉尼计和电离规输出信号进行有效处理,可显著改善高真空度范围内的测量和控制精度。[/size][size=16px][color=#990000][b]2.1 真空计非线性信号的多点拟合处理[/b][/color][/size][size=16px] 对于皮拉尼计和电离规,在0.00001Pa~0.1Pa(甚至更宽泛)的高真空度范围内,随着压力的增大所输出的电压信号基本是缓慢上升的平滑曲线形式,如图1所示。由此,在此高真空范围内,这也是皮拉尼计和电离规的主要测量应用范围,真空度与电压信号的关系曲线完全可以用多项式曲线来准确描述,本解决方案就是采用此特性来进行多点拟合处理,通过拟合处理实现真空度的高精度测量以及后续的准确控制。[/size][size=16px] VPC2021系列多功能超高精度PID控制器具有特殊的8点曲线拟合功能,PID控制器8点线性化处理功能是通过8组数据组成线性化表,将输入值经过最小二乘法拟合计算产生输出值和显示值。如图3所示,在使用此功能时,所选的输入值(X轴,代表真空计输出的电压或电流值)必须是递增形式,而对应的测量值或显示值则可以是递增或递减关系。自定义传感器非线性输入支持以下三种输入类型和对应量程:[/size][align=center][size=16px][color=#990000][b][img=PID控制器8点线性化处理功能示意图,500,306]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/09/202309141555590193_5542_3221506_3.jpg!w690x423.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#990000][b]图3 八点线性化处理功能示意图[/b][/color][/size][/align][size=16px] (1)20mV、100mV;(LSB:0.01mV)。[/size][size=16px] (2)0-10mA、0-20mA、4-20mA;(LSB:0.001mA)。[/size][size=16px] (3)0-1V、0-2V、0-5V、1-5V、0-10V、2-10V;(LSB:1mV)。[/size][size=16px] 通过这种多点拟合处理,使得真空度测量和控制具有了以下特点:[/size][size=16px] (1)可提高真空度的测量和控制精度。[/size][size=16px] (2)测量值和控制值可直观的进行准确显示,显示的真空度即为真实的真空度值。[/size][size=16px] (3)可适用于所有皮拉尼计和电离规非线性信号的处理和应用,但局限性是仅适用于变化舒缓的高真空度区间。[/size][size=16px][color=#990000][b]2.2 真空计线性信号输出的数值变换处理[/b][/color][/size][size=16px] 个别厂家和型号的真空计其输出信号已经进行了线性化处理,输出信号与真空度的对数呈线性关系。如图1所示,此时对应于纵坐标的电压输出值,横坐标的真空度变化范围是-10~+5;也可以是对应于横坐标的电压输出值,纵坐标的真空度变化范围是-10~+5。[/size][size=16px] 对于不同的皮拉尼计和电离规,这个线性的电压值与真空度对数值范围并不相同,在具体应用中都需要对其数值范围进行修正以形成一一对应关系。采用VPC2021系列真空压力控制器可以很容易的进行这种数值变换处理并形成准确的线性对应关系,这种处理具有以下特点:[/size][size=16px] (1)建立的输出电压和对数真空度的线性关系,可进一步提高真空度控制的准确性,这是因为经过对数处理后放大了真空度测量灵敏度。[/size][size=16px] (2)局限性是这种线性化处理后的显示值并不直观,所显示的真空度为对数真空度。在具体显示和控制时,真空度控制的设定值输入要求也必须是对数真空度,如果要显示真实真空度,还需上位机进行转换。[/size][size=18px][color=#990000][b]3. 总结[/b][/color][/size][size=16px] 综上所述,通过本解决方案可以很好的对信号输出非线性特征明显的皮拉尼计和电离规进行线性化处理,可明显提高高真空度范围的测量控制精度,同时本解决方案可推广应用到其它非线性传感器的线性化处理中。[/size][size=16px][/size][align=center][size=16px][b][color=#990000]~~~~~~~~~~~~~~~[/color][/b][/size][/align]

  • 中国真空计量技术达国际先进水平

    中新社兰州2月15日电 (南如卓玛)兰州空间技术物理研究所研究员李得天及其科研团队的真空计量研究成果,成果已应用于月球探测、航天器空间环境模拟、重离子加速器、同步辐射光源等国家重大工程,使中国真空计量技术达国际先进水平。  李得天近日接受中新社记者采访时称,通过十余年持续研究,该团队成功研制出了载人飞船舱门快速检漏仪等真空计量仪器和装置,解决了航天、核工业等领域对微小气体流量的精确测量难题。  随着中国探索太空的步伐不断加快,迫切需要建立超高/极高真空计量标准,以满足对月球表面、行星际空间、恒星际空间真空环境探测的需求。  李得天介绍说,载人航天工程中,航天员要在太空飞行多天,期间航天员需反复进出舱,操作舱门打开和闭合。航天员在舱里生存,维持其正常生活的气体不能泄漏,因此精准快速检测舱门的密封性至关重要。  李得天说,该团队研制的舱门快速检漏仪,仪器重不足5公斤,自动完成全部检测所需时间小于8分钟,实现了对舱门和对接面的快速、准确检漏,技术达到国际先进水平。  该装置已成功应用于神舟八号、神舟九号、神舟十号载人飞船以及天宫一号目标飞行器,为中国载人航天工程实施提供了重要保障。

  • 【转帖】启普发生器(zzfrom:baidu)

    启普发生器 【概述】  一种实验室常用的气体发生装置,以荷兰的D.J.启普的姓命名。它用普通玻璃制成,构造见图。适用于块状固体与液体在常温下反应制取难溶的气体,如氢气,硫化氢等。块状固体在反应中很快溶解或变成粉末时,不能用启普发生器。只要生成的气体难溶于反应液才可,如二氧化碳可溶于水,但难溶于盐酸,故用石灰石与盐酸反应制二氧化碳时可用启普发生器。启普发生器不能加热。   使用前应先检查装置的气密性,方法是,开启旋塞,向球形漏斗中加水,当水充满容器下部的半球体时关闭旋塞,继续加水,使水上升到球形漏斗中。静置片刻,观察水面是否下降,如下降说明漏气。漏气处可能是容器上气体出口处的橡皮塞、导气管上的旋塞或球形漏斗与容器接触的磨口处。如漏气应塞紧橡皮塞或在磨口处涂一薄层凡士林。   固体试剂由容器上的气体出口加入,加固体前应在容器的球体中加入 一定量的玻璃棉或放入橡皮垫圈,以防固体掉入半球体中。加固体的量不得超过球体容积的1/3。液体试剂从球形漏斗口注入,注液方法与上述注水方法相同。液体的量以反应时刚刚浸没固体为宜。   使用时,打开导气管上的旋塞,球形漏斗中的液体进入容器与固体反应,气体的流速可用旋塞调节。停止使用时,关闭旋塞,容器中的气体压力增大,将液体压回球形漏斗,使液体和固体脱离接触,反应停止。为保证安全,可在球形漏斗口加安全漏斗(见图),防止气体压力过大时炸裂容器。【改进者】  启普(P.J.Kipp,1808—1864)是荷兰人,是一位稍通化学的药物商人。19世纪初,他在前人工作基础上设计出这种实验室用的气体发生器,一直沿用到今天,基本上没有改型。【反应原理】  实验室里制取较多的氢气常用启普发生器。它由球形漏斗、容器和导气管三部分组成。最初使用时,将仪器横放,把锌粒由容器上插导气管的口中加入,然后放正仪器,再将装导气管的塞子塞好。接着由球形漏斗口加入稀硫酸。使用时,扭开导气管活塞,酸液由球形漏斗流到容器的底部,再上升到中部跟锌粒接触而发生反应,产生的氢气从导气管(3)放出。不用时关闭导气管的活塞,容器内继续反应产生的氢气使容器内压强加大,把酸压回球形漏斗,使酸液与锌粒脱离接触,反应即自行停止。使用启普发生器制取氢气十分方便,可以及时控制反应的发生或停止。【使用】  1.发明  启普发生器是化学实验室中最普通、应用最广的玻璃仪器,它设计上的巧妙,堪称化学仪器中的一绝。  仪器的发明人启普是荷兰的一名药物商人,曾经学过一些化学。他根据前人制作的制取硫化氢气体的简易装置,设计出一种可以随时使反应发生或停止的气体发生装置,后人为纪念他,将这种装置叫做启普发生器。  2.工作原理(以用稀硫酸和锌粒制取氢气为例)   打开活塞,容器内压强与外界大气压相同,球形漏斗内的稀硫酸在重力作用下流到容器中,与锌粒接触,产生氢气;关上活塞后,由于酸液继续与锌粒接触,氢气依然生成,此时容器内部压强大于外界大气压,压力将酸液压回球形漏斗,使酸液与锌粒脱离接触,氢气不再产生。  3.使用范围  启普发生器是用固体与液体试剂在常温条件(不用加热)下起反应制取气体的典型装置。如氢气、二氧化碳、硫化氢等均可以用它来制取。但对于固体呈粉末状或固体与液体相遇后溶解或反应时产生高温者,如二氧化硫、二氧化氮等,都不适宜用此装置制取。【注意事项】  (1)使用前要检查装置气密性,排尽空气后再收集气体;  (2)使用启普发生器制备氢气,应远离火源;  (3)移动启普发生器时,要握住球形容器的蜂腰处,千万不可单手握住球形漏斗,以免底座脱落造成事故。   向启普发生器中添加固体时,需用橡皮塞将球形漏斗口塞紧,然后取下容器上的橡皮塞加入固体。液体需要更换时,也应塞紧漏斗口,然后拔下容器底部的液体出口塞,使废液缓缓流出,塞上液体出口塞后,再从球形漏斗口注液。 移动启普发生器时,应握住容器的球体,切不可只握球形漏斗,否则会使之与容器脱离,造成漏液或损坏容器。

  • 普发的机械泵维修

    普发的机械泵维修

    如图GCMS的一台机械泵,普发 DUO2.5的,最近发现漏油比较严重,问了安捷伦说是只换不修,找普发上海的人问了下要3000,感觉贵了。其实也就换了油封,密封圈之类的,想自己拆了先看看,但不知道在哪里买这个泵的油封,密封圈之类的东西,哪位大侠有更换过油封或者维修过机械泵?http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2016/09/201609251509_612029_1689180_3.jpg

  • 分享JJF 1050-2023《工作用热传导真空计校准规范》

    分享JJF 1050-2023《工作用热传导真空计校准规范》

    JJF 1050-2023《工作用热传导真空计校准规范》(全文见附件)[img=,690,516]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/10/202310110507529936_5441_1626275_3.png!w690x516.jpg[/img][img=,690,670]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/10/202310110508034751_7688_1626275_3.png!w690x670.jpg[/img][img=,690,345]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/10/202310110508097547_4700_1626275_3.png!w690x345.jpg[/img][img=,690,669]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/10/202310110508162438_3991_1626275_3.png!w690x669.jpg[/img][img=,690,383]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/10/202310110508224801_8900_1626275_3.png!w690x383.jpg[/img]

  • 【求助】启普发生器的使用

    【求助】启普发生器的使用

    哪位高手知道这款启普发生器的使用方法请指点,谢谢![img]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2009/09/200909011510_169136_1814610_3.jpg[/img][img]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2009/09/200909011509_169135_1814610_3.jpg[/img]

  • 普发机械泵漏油维修

    这个泵10年了,漏油4-5年了吧,紧了螺丝也不行,但漏的不严重,一般一年加个2次也就行了问了安捷伦要直接换,好像3万吧问了普发修,上门修报价7k-8k,寄过去5k-6k,寄过去修周期居然说15天,骗着你加急,套路太多,2家都有点恶心人大家是怎么处理的,能分享下经验?另外泵上那个蓝色的油雾过滤器应该是去除泵油味道的吧?用了太久了,怎么翻新下?用压缩空气吹吹可以吗?谢谢[img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2020/09/202009111030425684_1917_1689180_3.png[/img][img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2020/09/202009111030426534_2532_1689180_3.png[/img]

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