真空设备

2021年5月26日，第十六届国际真空展在北京国家会议中心盛大开幕，本次大会由中国真空学会与中国通用机械真空设备行业协会共同举办，展会吸引了一些仪器厂商参加。安徽皖仪展位作为一家以国际化视野、按国际化标准运营的全球分析仪器专业供应商，安徽皖仪科技股份有限公司主导产品涵盖色谱、光谱、质谱类分析仪器。本次展会，安徽皖仪携其第五代SFJ-261型氦质谱检漏仪亮相。第五代SFJ-261型氦质谱检漏仪氦质谱检漏仪是用氦气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。而安徽皖仪这款产品采用德国原装分子泵，双铱带离子源；独特的气路设计，较低的颗粒物干扰；拥有自保护功能，防止本底污染；自动抽空压力和时间设定，捡漏效率高；带有故障提示和报警功能和可选无线遥控功能。

2023第十六届中国科学仪器发展年会(ACCSI2023)将于2023年5月17-19日在北京雁栖湖国际会展中心盛大召开。ACCSI2023作为科学仪器行业高级别产业峰会，经过16年的发展，已被业界誉为科学仪器行业的“达沃斯”论坛。ACCSI2023以“创新发展 产业互联 — 助力北京怀柔打造科学仪器技术创新策源地”为主题，促进中国科学仪器行业健康快速发展，搭建科学仪器行业“政、产、学、研、用、资、媒”等各方有效交流平台，助推北京市“两区”建设。莱宝(天津)真空设备制造有限公司部分高管应邀出席此次盛会，并出席同期举办的“3i奖：仪器及检测风云榜颁奖盛典”。 莱宝(天津)真空设备制造有限公司作为ACCSI2023赞助商，特设专业展区——“A36” ，携多款当家产品亮相，诚邀您赴会参观！ 公司简介：：

根据成都唯实公司整体战略规划，为了加快在真空领域的发展，积极拓展真空产品市场，成都唯实公司与成都南光机器有限公司签订战略合作协议。　　合作双方在充分发挥各自特长的基础上，本着互惠互利、长期合作、共同推进真空业务领域发展的原则，在生产制造、新产品研发方面开展合作，联手开拓真空产品市场。双方的合作不仅有利于南光公司真空产品多元化，也为唯实公司提供了真空业务新的经济增长点。　　此次与成都唯实公司合作的成都南光机器有限公司是一家总资产过亿元的高科技民营企业，致力于开发和制造真空获得设备和真空应用设备。是国内真空行业的骨干企业。双方的合作必将为共同开发国内真空市场奠定扎实的基础。

人类的进步和生活方式的改变，与科学的发展和变革息息相关。从古代人对天文地理编制的美丽神话“盘古开天”，到21世纪好莱坞科幻大片中的“星际穿越”，人类对于广袤宇宙的向往和探索从未停止过。纵观近现代 “群星闪耀”的基础物理发展史，从牛顿，麦克斯韦到爱因斯坦，从万有引力，相对论到量子力学，超弦理论，这些重大发现和著名物理学家不断涌现，推动了现代科学的快速发展。然而，近50年的时间里，基础物理学稍显停滞，并没有出现能够与相对论、量子力学等重大理论突破相提并论的新发展。正因为此，很多拥有伟大物理梦想的科学家和研究人员在着力推动基本粒子和暗物质粒子探测研究，期待可以直达真理，不断探索宇宙的终极秘密。在“标准宇宙学模型”中，宇宙由68%的暗能量（Dark energy）、27%的暗物质（Dark matter）和5%的普通物质（matter）组成，但迄今还没有暗物质观测的直接数据。当前探测暗物质粒子主要包括三类实验方案：一是对撞机探测，通过对撞机实验来产生暗物质粒子，进而探测出来；二是间接探测，包括卫星试验和空间站实验，例如2008年美国发射的名为Fermi的γ射线探测卫星，2015年我国发射的“悟空”暗物质粒子探测卫星；三是直接探测，通过暗物质粒子与原子核作用对暗物质粒子进行探测，但由于作用信号非常微弱，很容易湮没在大量本底环境中，因此需要把探测器放在地底深处的实验室以屏蔽宇宙射线干扰。中国PandaX暗物质探测项目持续推进‍在暗物质粒子的直接探测实验领域，全球有三大最先进的研究项目实验组；中国的PandaX，美国的LUX-ZEPLIN，意大利的XENON。PandaX（熊猫计划）是“粒子和天体物理氙探测器”（Particle and Astrophysical Xenon Experiments）的英文简写，是我国开展的首个百公斤级大型暗物质实验。这些实验都是利用液氙（Xe）作为探测媒介来寻找暗物质。PandaX项目组依托于上海交通大学粒子与核物理研究所和李政道研究所，并与中国科学技术大学，北京大学，山东大学和南开大学等相关实验室直接合作。在2016年PandaX二期实验（500公斤级液氙）已经取得了世界领先的暗物质探测灵敏度。据上海交通大学低温制冷与液化研究室负责人巨永林教授表示，目前正在进行四吨级液氙探测实验PandaX-4T，将暗物质探测灵敏度向前推进了1-2个数量级。暗物质直接探测需要稳定的低温真空环境 尽管直接探测实验在全世界已经开展了约30年的时间，实验灵敏度有了巨大的提高，但是到目前为止，还没有发现令人信服的暗物质散射的信号。因此，PandaX-4T探测项目通过使用4吨液氙全面增大了灵敏度，但同时在整体实验设计上也会有很多新挑战并需要各种性能优化。考虑到探测机制原理，要探测未知的暗物质跟已知的氙原子可能产生的微弱的闪动光信号，并将其转换成电信号放大来测量，关键就是把其他已知粒子带来的信号全部排斥在外。在PandaX-4T实验项目中，包括了八个子系统：时间投影室探测系统、光电探测系统、前端电子学系统、触发和数据获取系统、气体存储和处理（又称气体纯化）系统、低温系统、精馏系统、低本底控制系统等。其中，低温制冷系统和气体纯化系统都使用了真空泵组作为必要的设备部件，来实现两个基本保障：首先是稳定的低温真空工作环境（零下95度左右），减少外界环境的漏热，将探测介质氙的温度波动控制在大概±0.1k；同时，需要先将材料表面、阀门管道和管线等烘烤加快杂质气体释放，然后抽真空处理，这样氙和极少量的残余气体流经纯化系统，此过程中会吸附气体杂质（避免杂质对后期微弱信号捕捉的干扰），保障氙的纯度。普发真空泵为客户提供高性能真空解决方案PandaX从最开始的250公斤氙的用量，到现在的PandaX-4T，即4吨有效探测量的氙，计划未来将进行30吨级暗物质探测实验，全面覆盖暗物质的参数空间。所以，系统越大就越复杂，探测设备的尺寸越大，绝缘结构和隔热结构的层数就越多，管线数量大大增加。因而对真空泵的数量或者抽速就带来很高的要求，比如理想的夹层真空度一般需要达到10-4帕。因此，实验项目组选择真空泵的主要性能参数（技术指标）就包含了极限真空度，真空泵抽速，密封性，尺寸规格等。据上海交通大学制冷与液化研究室负责人巨永林教授表示，目前PandaX实验组已经购买了10台普发真空泵（其中6台用于低温系统和液氙存储系统，4台用于精馏系统），主要有以下几个方面的原因：首先，普发真空产品的主要技术指标能够满足严苛的实验条件；其次，产品性能足够优异的基础上，价格合理；再次，普发真空的辅助测量系统使用便捷而稳定，能对持续大半年的不间断探测运行提供可靠的支持；最后，普发真空的售后服务也很完善，能够提供各种技术支持和泄露检测解决方案等等，从而有力地支持了整个PandaX项目运行。从现在到未来，普发真空不断助推暗物质探测目前，普发的真空泵Hicube300Pro和Hipace300已经在PandaX-4T实验项目中得到了成功实践。一方面，真空泵作为必要备件被部署于上海研发实验室的暗物质探测器的子系统中，配合优化和升级的需要；另一方面，普发真空泵被部署于位于世界岩石覆盖最深的四川锦屏地下实验室暗物质探测系统中，实现稳定运行。从实际探测过程看，普发真空泵基本保障了整个探测系统的低温真空环境，为确保探测的灵敏度和精度保驾护航。值得一提的，由于系统运行的特殊地理环境等因素，可靠实时地保障系统各层级的极限真空度，系统部件必须确保极低的漏率，因此PandaX-4T项目还使用了ASM 340D系列检漏仪。通过采用该设备，可以有效地监测出来细微到10-13 Pa• m3/s 的泄漏。 “在目前PandaX-4T项目的基础上，实验室还在研发30吨液氙的探测项目，希望把精度推向下一个数量级。在我们的计划中，从2025年到2035年，这一项目预计总投资将达到数十亿人民币，需要购买47吨液氙来进行暗物质探测。”对于未来的研究计划，巨永林教授满怀信心，也满怀期待，“毫无疑问，液氙的量级越高，对于低温真空环境的稳定性要求也会越高，未来对高性能真空泵的需求也是非常大的。我们希望，以普发真空为代表的企业，能为我们的基础物理研究不断提供更好的工具支持。” 关于普发真空普发真空- (Stock Exchange Symbol PFV, ISIN DE0006916604)-作为全球领先的真空技术解决方案的供应商之一。我们不仅拥有全系列的复合轴承及全磁悬浮涡轮分子泵, 同时还拥有各种旋片泵，干泵，罗茨泵，多级罗茨泵，检漏仪，真空计， 质谱仪等产品以及真空管件和系统解决方案。 从普发真空发明涡轮分子泵至今, 我们在全球分析仪器、工业、科研、半导体和前端技术领域，始终代表着创新的解决方案和高品质的产品。公司自1890年创立至今百余年始终走在世界前沿， 在全球拥有 3,400 多名员工，20 多个办事处和 10 个制造工厂。

扩散泵的一个主要特点是皮实耐用，如果使用保养得当，可以正常工作很多年。在安捷伦举办的“寻找最长寿安捷伦扩散泵”活动中，我们发现了好多装机20年以上还在正常工作的的安捷伦（原Varian）扩散泵。结合安捷伦技术支持团队众多工程师的多年经验， 本文总结了安捷伦扩散泵使用时的一些比较容易忽略的注意事项，使用其它品牌扩散泵的用户也可以参考。一定要使用原厂泵油安捷伦扩散泵的喷塔、加热功率等是针对特种油品设计的，其抽速、极限真空等性能参数也都是在使用安捷伦官方油品时测试的，使用非安捷伦官方油品会影响我们对扩散泵的质量保证，也不利于安捷伦工程师进行故障排查，因为不同品牌或批次的第三方泵油组分可能会有较大的差异，可能会带来抽速/极限真空不够、结晶、焦化、返油等问题，严重时甚至会在不当操作时引发爆炸等危险。注意观察油位和油的颜色冷态/热态的时候分别应该接近但不要超过Cold Full/Hot Full的标线；油的颜色应该是无色或透明度很高的红棕色，当油的颜色变深、发黑时，要及时更换。如果工艺中会产生大量的粉尘，特别是放出的泵油中能观察到大量颗粒物时，扩散泵的油池内很可能会有大量的沉积物，这些沉积物将会对泵的正常工作产生严重影响，请在每次换油时清除这些沉积物并对扩散泵进行彻底的清洗。温度保护开关一定要接入控制系统安捷伦大部分型号的扩散泵都在泵体上设置了温度保护开关，当由于冷却不足、油位不够等原因造成扩散泵温度异常时，可以及时的给出信号。在设计控制系统时，一定要把温度保护开关（常闭的干接点）接入系统，并与扩散泵加热器的供电进行互锁，以保护扩散泵。加热器不要频繁通断电扩散泵是靠泵油持续大量的汽化所产生的油蒸气来工作的，泵油的汽化量和喷射动能，跟加热器功率成正比。扩散泵正常工作时的油温是油自身的物理特性（沸点）决定的， 泵应该持续工作在沸点温度下，若停止泵油的加热意味着扩散泵将很快失去气载能力，造成抽速下降和返油量增大；因此，切勿通过加热器频繁通断电来控制油温。另外，频繁通断电将使加热器忽冷忽热，会严重影响其寿命。注意监控加热器的状态当有某根加热器烧坏时，可能会出现抽速、真空度下降，返油等问题，需要注意监控扩散泵加热器的工作状态（电流/功率），以便及时发现异常。更换加热器时，务必使用安捷伦原厂相同功率和额定电压的加热器。安装加热器时，加热器与泵底板必须紧密贴合，如果两者之间产生间隙，会造成加热器导热不良，局部温度过高，严重影响加热器的寿命。有些型号的扩散泵加热器设计了一次性的弹性压板（Crush plate），它在压紧时会产生永久变形并与加热器紧密贴合，使加热器的温度更均匀寿命更久，这些型号的扩散泵在更换加热器时，压板也要同时更换。冷却水，流量比压力更重要大型扩散泵的泵壁一般采用冷却水来进行冷却，许多客户会监控冷却水的进水压力，然而，当冷却盘管发生堵塞或部分堵塞时，即使进水压力不发生变化，冷却效果也会受到影响，而只要保证冷却水的流量，冷却水压力的变化对冷却效果的影响不大；因此，监测冷却水的流量比监测其压力更重要。另外，冷却水的连接方式，与某些设备的下进上出不同，扩散泵的冷却水是进气口处进，排气口处出，一定要按照说明书上的图示来接。减少返油，以下几点也很关键使用安捷伦扩散泵 扩散泵工作的压力越高，返油越严重。安捷伦扩散泵在刚刚开启高阀时（几帕到零点零几帕）的抽速较大，会大幅减少该压力段的抽气时间，从而减少总返油量。（请参考文章:90%的订单来自用户指定，安捷伦扩散泵口碑为什么这么好）切勿让扩散泵处理超过其最大排气量的气载 每个扩散泵都有一个最大气载的参数，扩散泵工作时处理的总气载不可以超过该数值，否则将出现严重的返油。高阀开启压力有讲究 在高阀开启的瞬间，原来由粗抽泵处理的气载将会切换至扩散泵处理，假设高阀在系统气载等于扩散泵最大气载时开启，通过公式Q=P*S就可以计算出开启压力；可以看出，使用的粗抽泵抽速越大，越需要在更低的压力开启扩散泵。排气阀门间歇关闭要不得 当前级泵切换至腔体粗抽，或者系统处于待机状态时，不要直接关闭扩散泵排气口的阀门，最好使用维持泵持续对扩散泵排气口进行抽气，保持其压力低于扩散泵可承受的最大排气压力（一般为几十帕）。增配加强型的冷帽 当需要更低的返油率时，可以增配加强型的冷帽。安捷伦提供可内置于扩散泵的加强型冷帽，可以使返油率减少90%以上，并且不增加泵的高度。原厂上门保养服务安捷伦真空提供各型号安捷伦扩散泵的上门保养服务，可以在客户现场进行扩散泵的故障排查、拆解、清洗、重新安装、换油等操作，并可以根据不同客户的具体要求订制年度保养协议，最大化的减少客户因为扩散泵故障造成的停机损失。想要了解更多，欢迎关注”安捷伦真空“公众号在线留言或者拨打下面电话联系我们。安捷伦科技中国 真空产品热线：800 820 6778 （固定电话拨打）/ 400 820 6778 （手机拨打）

近日，广东监管局披露了关于广东汇成真空科技股份有限公司（以下简称：汇成真空）辅导备案登记受理信息，其辅导机构为东莞证券，已于6月21日办理了辅导备案登记。资料显示，汇成真空是一家面向全球的真空应用解决方案提供商，研发、生产和销售各类真空设备、半导体设备、电子生产设备、光电设备、光伏设备、动力电池设备及产品相关配件的国家高新技术企业，专注设备与产品的相关制造工艺和应用技术、控制软件、工艺流程控制软件及相关生产自动化软件的研发、应用，并提供技术转让、技术咨询和技术服务。今年4月，汇成真空与中科院兰州化学物理研究所、中国科学宁波材料技术与工程研究所合作的“面向5G高频高速覆铜板用大面积柔性纳米薄膜镀膜设备研发及产业化”项目完成签约，此项目针对5G高频高速小型、轻量及薄型化柔性覆铜板工艺需求，开发出大面积柔性纳米薄膜等离子体磁控溅射镀膜设备与工艺，实现装备产业化。在5G技术带动下，电子资讯工业近几年来在中国的迅速发展，结合各种相关产业，已经成为中国最为蓬勃发展、举足轻重的新兴产业，汇成真空多年来坚持自主研发，在光学薄膜设备、功能涂层设备、柔性薄膜设备、大面积镀膜设备等领域拥有多项PVD专利技术，此次与中科院兰州化学物理研究所、中国科学宁波材料技术与工程研究所共同研发合作，建设“面向5G高频高速覆铜板用大面积柔性纳米薄膜镀膜设备研发及产业化”的项目，推动传统覆铜板产品结构面向5G时代需求的转型升级发展。

促销型号 2034C-02促销内容：为了感谢新老用户对welch的大力支持welch真空泵特进行年底低价大促销 促销期限：即日起至2011年12月31日促销价格 12500 RMB产品描述： Welch干式隔膜真空泵所有与气体接触部位的表面均带有抗腐蚀聚四氟乙烯(PTFE)设计，使用此泵可以耐腐蚀性溶剂、碱性及酸性蒸汽。低噪音，抗化学腐蚀。当对酸性、碱性或有机材料进行过滤时，Welch的PTFE干式隔膜真空泵是理想的无油解决方案，仅需要很少的维护，可有效降低维护成本，提高效率。主要特点：1．AVM清洁系统除去残留溶剂，保护隔膜，保证使用寿命 2．抗腐蚀聚四氟乙烯(PTFE)结构，可处理各种腐蚀性蒸汽和气体 3．自带真空度调节器可调真空度，防止爆沸及起沫 4．可用于处理高沸点溶剂DMF 5．方便携带，节省实验室空间 6．干式-----完全无油操作 7．安静噪音低更多产品请登陆德祥官网：www.tegent.com.cn德祥热线：4008 822 822联系我们(直接用户)联系我们(经销商)邮箱：info@tegent.com.cn

前言　　真空泵是一个量大面广的产品，直接影响真空成套设备性能，其市场根据用户的需要而发生动态变化，市场增长的主要驱动力来自于工业的迅速发展以及干泵和分子泵应用领域的日益扩大。　　随着中国工业的飞速发展，真空泵需求成倍的增长，90年代，多个国际知名真空设备生厂商都在中国投资建厂或建立销售网络，其中，欧瑞康莱宝真空公司(Oerlikon Leybold Vacuum)是最早进入中国的真空获得设备供应商之一。　　1850年，Ernst Leybold成立莱宝公司，至今拥有159年的真空技术发明创新史：1911年发明了世界上第一台分子泵 1913年发明了世界上第一台扩散泵；1962–1963年推出使用液态氦的低温泵和溅射离子泵；1975年推出磁浮涡轮泵–大胆地不使用机械轴承，是高档涡轮泵的典范 1989年第一个使用集成温度管理系统的涡轮泵；1991年推出KEPLA转子叶片镀膜技术，在蚀刻工艺中用于防止腐蚀；拥有的真空技术专利高达一千余项。　　 　　欧瑞康莱宝真空公司首席执行官Andreas Widl博士　　为了进一步了解欧瑞康莱宝真空的最新产品技术和最新市场状况，仪器信息网采访了欧瑞康莱宝真空公司首席执行官Andreas Widl博士。　　欧瑞康集团 六个领域的佼佼者　　Andreas Widl博士首先向我们介绍了集团的整体情况：欧瑞康公司是瑞士上市的高科技集团公司，有着100多年的历史。2008年，全球拥有19000多名员工 在35个国家拥有170个分支机构 年销售额为47亿瑞士法郞。欧瑞康公司拥有纺织、薄膜涂层、太阳能、真空、传动系统、精密技术六大独立事业部，为制造行业提供生产线和设备。　　纺织事业部提供整厂化纤设备，及气流纺纱、环锭纺纱系统、刺绣系统等。欧瑞康涂层(巴尔查斯)致力于开发各种涂层和涂层工艺。欧瑞康太阳能提供薄膜太阳能电池的完整解决方案。传动系统事业部的产品主要应用于高性能汽车、农用机械等领域。欧瑞康精密技术部侧重于航天技术、光学技术和纳米技术等。　　真空技术事业部(莱宝)致力于真空的获得、控制和检测产品的研发、制造、销售，产品主要用于工业、分析仪器、研发等领域。Andreas Widl博士还说道：“其他每个事业部的业务几乎都与真空技术有关，都是莱宝的用户，其领域是莱宝真空的重要市场。”　　莱宝 全系列真空设备及解决方案的提供者　　欧瑞康莱宝真空是世界上最大的真空获得设备供应商之一，2008年，全球拥有1583名员工，在32个国家拥有分支机构。　　欧瑞康莱宝真空的产品阵容：涡轮分子泵、干式泵和油封泵、前级真空泵、罗茨泵、真空系统、低温泵、低温冷头、扩散泵、真空计、检漏仪、阀门及连接件等。专注的市场主要有：半导体和太阳能、镀膜技术、分析与医疗技术、研究开发、工业应用。　　1、全球生产基地布局　　目前，欧瑞康莱宝真空在四个国家设有工厂，分别是：　　——德国的科隆，公司总部所在地，几乎生产所有系列的产品　　——德国的德累斯顿，专门生产应用于半导体行业的干泵、低温冷凝泵等　　——法国的瓦郎斯，专门生产SOGEVAC、新研发的TRIVAC NT　　——中国的天津，生产RUVAC、TRIVAC C、SOGEVAC，并提供真空解决方案　　“欧瑞康莱宝真空于1997年在天津设立了全资工厂。刚进入中国的时候，只有TRIVAC一个产品线，然而，我们不久就发现单一的产品线无法满足中国庞大的市场需求，于是我们增加了RUVAC罗茨泵与SOGEVAC系列单级油封旋片泵两条真空设备生产线。”　　2、稳步增长的发展战略　　“欧瑞康莱宝真空公司的大量业务来自于传统工业市场，如汽车制造、空调系统和制冷系统、各种光源和电子管、电工、材料表面处理等。”　　“2008年，欧瑞康莱宝真空全球收入2.93亿欧元，息税前利润率达10%，可以说取得了不错的业绩。这些成绩得益于公司在核心市场如工业应用等传统市场仍保持了高的竞争力 在新兴的、快速增长的太阳能领域取得了好业绩 持续研发高投入，保证了欧瑞康莱宝真空的技术领先。”　　“欧瑞康莱宝真空的目标是继续保持好的盈利增长速度，为制造行业提供一流的产品和服务。针对此目标所指定的发展策略是：更着重、更集中于太阳能市场发展业务，研发重点也会集中在太阳能领域 为客户提供创造性旳解决办法，包括不断推出新产品和新技术 在全球推出度身定制真空解决方案和卓越服务的概念。”　　度身定制真空解决方案融入了莱宝几十年来的丰富真空技术、经验以及对真空技术的了解，包括：真空技术资讯、泵等设备的选型、附件的搭配、控制系统的集成、安装调试等。　　3、逐渐壮大的莱宝中国　　“中国是纺织大国，也是汽车生产大国；对于欧瑞康的所有事业部来说，中国都是最重要的市场，也是莱宝真空的主要市场。”　　自进入中国市场以来，公司一直处于盈利状态，探其原因，Andreas Widl博士总结道：“贴近市场，了解客户需求，快速交付产品，及时提供服务，集团公司的充分授权等，是欧瑞康莱宝真空的中国业务保持持续增长的原因。”　　“亚洲尤其中国市场需求的增长速度很快，欧瑞康莱宝真空将集中更多资源，满足这个市场的需求。而所有真空技术和产品都来自于我们的科隆研发中心，未来的趋势是将有更多的技术与产品快速地从科隆转移到中国工厂。”　　“虽然2009年天津工厂的扩张速度会有所放缓，但会一直持续下去。而且欧瑞康莱宝公司在中国的市场战略与其全球战略是一致的，即除了继续关注传统工业以外，还将在太阳能、航空航天等多个与真空相关的领域进一步发展我们的业务。”　　“完善的售后服务是欧瑞康莱宝真空一直在努力的目标，目前在上海、北京和广州都设有销售和服务中心。我们还通过欧瑞康莱宝真空学院对客户进行培训，让他们掌握足够多的技术和具备更高的操作水平。”　　4、创新产品　　就像前言所列出的，多个不同类型的世界第一台真空泵出自欧瑞康莱宝真空，至今，莱宝所拥有的真空技术专利高达一千余项。近年来，不断地推出新产品，这也是欧瑞康莱宝真空保持其良好赢利能力的关键。　　　SOGEVAC BI 　 原使用双级泵作为分子前级泵的用户，现在可以选择SOGEVAC BI，其获得真空能力在单级、双级泵之间，完全可以满足客户需求 并且成本低于双级泵，可为客户节省投资 在真空稳定性能、安全监控等方面也有很好效果。低噪音运行和紧凑的设计，SOGEVAC BI为分析仪器应用特别是质谱分析量身设计。　　TURBOLAB 80　　 　　TURBOLAB 80集成了一个干式无油前级泵和一个80l/s的分子泵，分子泵中又包括一个高真空测量计。该TURBOLAB 80即插即用，集成度高，安装和操作简便。是专为大专院校、科研院所设计的超高真空获得设备。 TRIVAC NT　　TRIVAC NT的温度均匀性好，运行温度更低，使油蒸汽的返流率大大降低，之前设计的油蒸汽的返流率0.360 mg/h，改进后的降至0.044 mg/h，可以当做“无油泵”使用 延长泵油使用寿命，维护间隔长。提高莱宝盈利能力 应对经济危机　　“任何一个公司能够持续发展，必须有相当的盈利能力，才能有足够的资金投入到新产品研发、提高售后服务质量等。”　　Andreas Widl博士指出，欧瑞康莱宝真空将从三个方面提高公司的盈利能力：　　首先，加强识别、满足客户需求的能力，具体有：加大产品研发投入，保持技术领先 提高真空度、抽速、可靠性等产品功效 提高交货及时性。　　其次，也是欧瑞康莱宝真空保持竞争力的核心与根源，即以最低成本，满足客户需求。降低产品成本从产品设计开始，既要达到性能要求，同时又能达到制造成本、客户使用的成本、售后服务成本等更低 之后如何组织生产、选择加工的设备和技术使制造成本更低 最后是销售和服务，提供正确的解决方案，让客户以最低的成本获得适当的产品和服务。总的来说，优化价值链上各个环节的资源配置、技术选择、销售和服务结构的完善，使欧瑞康莱宝真空能够以最低的成本给客户提供最大的价值。　　最后，如何更好地、有效地利用公司资源，其核心是优化库存结构、降低库存水平、加快库存周转，管理好客户信贷、公司相关财务，从根本上改善改善现金流状况。　　Andreas Widl博士说：“通过做好这几方面的工作，即使经济环境很困难，相信欧瑞康莱宝真空也完全有能力渡过，并且未来会更强盛。”　　后记　　真空技术被称为21世纪的朝阳产业，从日常生活必需品如手机、计算机及电视到科研领域的观察原子的显微镜、探索太空的卫星等都离不开真空。莱宝公司是世界上最早生产真空设备的厂家之一，并且一直走在世界真空技术发展的前列，与其对了解客户需求、加强产品研发等的重视是分不开的。　　Andreas Widl博士在中国已经生活了3年多的时间，对中国文字、文化有浓厚的兴趣和很深的了解，采访的最后，他说：“我非常认同中国人对‘危机’的解释，既是挑战也是机遇。在市场陷入困难的时候，欧瑞康莱宝真空更需要的是反思产品、服务的结构，做相应的调整，顺利渡过难关，同时做好准备，迎接下一轮的机遇。”　　采访编辑：刘丰秋　　附录1：欧瑞康莱宝真空　　http://vacuumdetails.oerlikon.com/　　附录2：Andreas Widl博士简介　　Dr. Andreas Widl，魏安德(42岁)，Oerlikon Leybold Vacuum CEO， 1998年毕业于慕尼黑科技大学，持有物理学博士学位。他的工作生涯始于1992年在Mannesmann Pilotentwicklung –Mannesmann的技术智库公司。　　之后在通用电气公司工作5年，担任各种管理职位，负责推动通用电气公司工业和金融市场的合成增长。　　2004年年底他加入瑞士的欧瑞康(原为优利讯)公司担任显示技术部门的执行副总裁，负责该部门的结构重组和太阳能事业部的建设。　　2005年12月，他被任命为欧瑞康公司的亚洲执行官，负责公司从日本、韩国、中国、台湾，东南亚到印度等国家和地区的业务，提升集团的竞争力。　　2007年5月，他被任命为亚洲区总裁。同年8月，他同时兼任全球研发部执行副总裁，负责全球的研发活动。　　2008年10月，他被任命为欧瑞康莱宝真空事业部的首席执行官。魏安德先生已婚，有两个孩子，现居住在上海。

尊敬的客户：您好！ 2007年第九届国际真空展将于5月30日至6月2日在北京国际会议中心（北京市朝阳区北辰东路8号）举行。此次展会由中国真空学会主办，是我国真空领域最重要、最专业的展会。 作为中国专业的真空设备制造商，中科科仪将参加此次展会。我们的展位号为B3-1至B3-3，B4-1至B4-4。我们诚挚地邀请您届时光临我们的展台。我们也将利用此次展会这一有利平台，为您展示我们不断创新的真空产品和技术，我们的技术专家和销售人员也期待着与您进行面对面的交流！ 中科科仪的成长依赖于您的支持和信任，感谢您的光临！ 北京中科科仪技术发展有限责任公司 2007年5月15日

3月28日，中科科仪在陕西省西安市召开了2014年中科科仪真空及电镜产品发布会，来自陕西及周边地区高校、真空镀膜、设备制造等行业的用户代表参加了此次会议。 会上，中科科仪技术人员就新推出的磁悬浮分子泵、分析仪器专用分子泵、新型扫描电子显微镜产品进行了详细介绍，引起了到会用户的广泛兴趣及高度评价。随后，与会人员就真空设备使用及行业热点进行了充分的沟通交流，大家对科仪公司产品及服务有了更深入的了解。会议现场气氛热烈，务实高效，取得圆满成功。

为认真贯彻科技部等六部门《关于推动产业技术创新战略联盟构建的指导意见》，进一步推进产学研合作深入进行，探索建立产学研合作的长效机制，加快建立以企业为主体、市场为导向、产学研相结合的技术创新体系，促进创新型城市建设，沈阳市结合在真空技术领域的科学研究、技术研发、工程应用、产品制造等综合优势，经与中科院沈阳分院积极推动和组织，东北大学、中科院沈阳科学仪器研制中心有限公司、沈阳真空技术研究所等24家单位协商，共同发起成立了沈阳真空产业技术创新战略联盟，并于日前在沈阳科学宫举行了联盟成立及合作项目签约仪式。　　沈阳真空产业技术创新联盟成员单位覆盖了沈阳地区与真空装备研发、零部件制造、真空技术应用等相关的产学研用单位，以真空技术创新、真空装备研发和产业化、真空技术应用等为主题组建成立。联盟的目标在于促进沈阳地区真空行业的企业、高校、研究单位之间的合作，打造沈阳真空产业的品牌，推动形成较为完整的产业链和规模化的产业集聚效应。　　真空设备作为我国国民经济的装备行业之一，对先进装备制造基地建设具有积极的推动作用。沈阳是中国真空技术和产业的发源地，真空产业是沈阳市的优势技术产业，是国内外有重要影响的研发基地和国家6大产业基地之一。为更好地发挥城市整体优势，加快真空产业发展，24家单位发起成立了真空产业技术创新战略联盟，共建真空产业发展的公共技术平台，研发重大真空装备产品，共享真空技术成果，提升真空产业设计与制造、精密机械设计与加工、精密控制等技术水平，形成真空产业相关设备研发、技术研究、零部件配套供应、真空应用等完整的产业群体，促进真空产业整体技术水平的进一步提高。联盟的成立标志着沈阳市真空产业的发展进入了一个新的阶段。

WELCHLAB APPLICATION某客户致力于材料表面处理和真空薄膜仪器的研发，在竞争方面，直接对标国外知名产品。有别于其他同类产品的国产厂家，该客户产品定位高端，在国内市场有较好的口碑，其对配套的旋片真空泵（油泵）要求，无论是在真空度、噪音、外观、售后服务等，还是在品牌知名度方面，都有非常高的要求，为保证离子镀膜仪真空度的稳定性和工作效率，已标配选用了某原装进口品牌的旋片泵，且销售了数年时间，但此品牌的旋片泵价格高昂，货期不稳定，售后服务有着很大的提升空间。此时，我们针对性的向该客户介绍了Welch品牌CRVpro2旋片真空泵。CRVpro2外观设计美观，真空度高，泵体小巧，运行非常安静，泵体内部做PTFE防腐处理，能够明显提高其使用寿命，完全适合配套客户的离子镀膜仪设备。且因CRVpro2旋片真空泵性价比高，售后服务完善，能瞬间提升客户产品的受关注度和整体竞争力。当然，对于临阵换将，任何人都会有所犹豫，为打消客户疑虑，我们及时提供了一台全新的 CRVpro2旋片真空泵，进行现场测试。CRVpro2的安装非常简单，加注真空油、安装转接头、连接不锈钢波纹管，一气呵成。开机运行！在寂静的实验室里，CRVpro2安静的运行着。时间一秒一秒得飞逝，镀膜仪操作面板上的真空度数值飞速变化，结果仅仅用了不到3分钟，就达到了镀膜仪恒定工作压力以下，即1-2Pa。同时，由于Welch研发工程师对CRVpro2的排气端进行了优化设计，其排气口几乎无油雾排出，非常有利于实验室环境，该公司的测试人员对此结果非常满意。随即，设备配套顺理成章，双方打开双赢的合作局面̷̷CRVpro实验室旋片真空泵的优点：　　1、泵体运行温度低，能有效减低泵被化学腐蚀风险。　　2、油箱和泵体都有抗化学腐蚀涂层，能够保护泵不被化学物质侵蚀。　　3、油箱容量大，能够稀释吸入真空油里的化学物质，降低了化学腐蚀的风险和油被污染的程度。　　4、低噪音：运行特别安静，不干扰工作。　　5、自润滑功能：确保所有运动部件浸润在新鲜的油里，平衡温度，减少油染，延长机械寿命。　　6、防倒吸阀：防止在停机时油被倒吸进真空容器　　7、气压载阀：减少化学蒸汽被夹带进入泵油；保护泵不被可凝性流体如水，乙酰腈等的影响。　　8、cUL和CE认证：具有各国的安全认证，满足官方的3安全标准。　　9、满足各种应用的外形尺寸：现代和紧凑的外形设计，满足各种应用场合的要求。　　10、双电压电机：IP44 电机，可在115V 和240V之间切换，并可配置各种相应的电源插头，使CRVpro可使用。CRVpro实验室旋片真空泵的应用： 1、双排管 2、冷冻干燥 3、真空浓缩 4、采暖通风、空调 5、真空干燥箱 6、手套箱 7、质谱仪 8、工业应用关于威伊（Welch）威伊真空设备（上海）有限公司WELCH是提供优质耐用真空泵产品的专家。我们的丰富产品线涵盖了实验室和工业用真空泵，包括真空活塞泵，真空隔膜泵，真空旋片泵，螺旋泵，涡轮分子泵，液体输送泵等，还有各种真空测量仪，真空控制器，真空蒸馏装置，真空浓缩设备，真空抽吸设备等。关于英格索兰英格索兰（纽交所代码：IR），以企业家精神和主人翁意识为动力，致力于创造美好生活。我们通过旗下备受赞誉的40余个品牌，在工业、能源、医疗和特种多功能车领域提供关键和创新的产品与服务，涵盖空气压缩机、泵、鼓风机，以及流体管理、装载、动力工具和物料吊装系统以及知名的Club Car品牌多功能车。在极其复杂和严苛的工况下，亦能确保优越的性能。我们在世界各地的16,000多名员工将持之以恒地为客户提供可靠的专业知识，帮助客户提高生产力并提升效率，与客户建立终身连接。

p strong2020年4月8号，上海/strong——普发真空迎来了成立第130周年，自1890年创办以来，普发真空不断树立着真空技术的新标准。作为一家历史悠久的企业，普发真空不断开发出众多创新成果并成功推向市场，帮助科学界与工业界从中受益。这其中最好的例子就是涡轮分子泵，该泵由普发真空于 1958 年开发，至今仍然是市场上不可或缺的真空设备之一。凭借着深厚的专业知识，普发真空将一如既往，继续担当起真空领域技术先锋和世界市场领导者的责任。/pp 开拓精神和钻研激情是普发真空专家团队自始秉持的理念。这家由亚瑟· 普发先生 (Arthur Pfeiffer) 于 1890 年在德国维茨拉 (Wetzlar) 创办的公司，起初从事的是煤气灯点火器生产。当电灯泡在市场上取得成功之后，亚瑟· 普发迅速调整业务方向，打入照明这一当时的新兴技术领域，并进而致力于提供电灯泡生产中所需的真空技术解决方案。此次转型让亚瑟· 普发很快意识到，真空技术对几乎所有的工业和科研领域都有着重要的意义，随后便完全专注于该领域。自那时起，普发真空便一直对真空技术的发展保持着重大的影响力。/pp strong可靠质量满足科研之需/strong/pp 时至今日，普发真空的产品依然是行业中高科技解决方案的代表，同时具备出色的可靠性与高效的性能。包含诸如马克斯· 普朗克研究所（Max Planck Institute）、欧洲核子研究中心（CERN）、欧洲X射线自由电子激光装置（XFEL）和欧洲航空国防航天公司（EADS）等机构在内的客户名单，亦是这份可靠性的有力证明——甚至在国际空间站上，都有普发真空德国维茨拉总部出品的真空泵服役的身影。与其他许多应用一样，普发真空的客户需求通常非常复杂——不仅涉及具体的真空需求，而且须顾及相关系统的规格、要使用或处理的材料和产品以及工艺条件，而其中的核心始终在于对质量的精确把握。因此，普发真空会与各种行业客户紧密合作，通过持续的开发工作不断优化其真空解决方案，提供满足客户所有要求的“完美解决方案”。/pp strong 应用于所有生活领域的真空技术/strong/pp 汽车零部件、智能手机、心脏起搏器、纺织品——这些产品的生产，全都需要用到真空技术。在食品生产和制药行业中，真空解决方案也起着重要作用。如果没有真空条件，就无法生产如速溶咖啡和奶粉等冻干产品。/pp 从单个部件到复杂真空系统，普发真空是全球唯一一家能提供完整产品组合的真空技术供应商。普发真空所开发的产品和解决方案广泛应用于分析、工业、研发、涂层、食品生产、制药以及半导体等领域，并可根据具体应用作优化调整。/pp 不久前，普发真空发布了2019年全年财报，显示其成功达成当年销售及盈利目标。2020年，普发真空将进一步展开包括中国市场在内的全球增长战略。/pp style="text-align: center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202004/uepic/614e79aa-f5ee-406c-b46c-da784a2379fd.jpg" title="图片 1.png" alt="图片 1.png"//p

2021年5月26日，第十六届国际真空展在北京国家会议中心盛大开幕，本次大会由中国真空学会与中国通用机械真空设备行业协会共同举办。本次展会由中国真空学会秘书长、中国科学院物理研究所副所长顾长志主持开幕式。中国真空学会党委书记、副理事长邓少芝、中国通用机械工业协会副会长张宗列先后致辞。 中国科协和中国真空学会相关领导、参展商、采购商、新闻媒体等200余人出席了开幕式。展会入口同时本次展会也吸引了众多科学仪器厂商参与。HORIBA精密仪器（北京）有限公司安徽皖仪科技股份有限公司岛津公司QUANTUM量子科学仪器北京七星华创电子股份有限公司长流仪器北京中科科仪股份有限公司

2021年5月26日，第十六届国际真空展在北京国家会议中心盛大开幕，本次大会由中国真空学会与中国通用机械真空设备行业协会共同举办，中国真空学会副理事长、北京中科科仪董事长张永明应邀出席了开幕式。 国际真空展是真空行业最具权威性和影响力的盛会，是洞悉真空行业技术发展和市场动态的最佳平台。作为中国尖端科学仪器设备和真空行业领导者，中科科仪联合控股公司中科科美和成都唯实重装登场，展出了代表中国分子泵最高技术水平的首台套产品——磁悬浮分子泵，以及仪器分子泵、大抽速涡轮分子泵、高灵敏氦质谱检漏仪、旋片泵、真空阀门等众多真空技术核心产品，和真空应用整体解决方案，受到了中国真空学会党委书记邓少芝、中国通用机械工业协会副会长张宗列等专家领导的一致肯定，并吸引了众多真空专业人士、客户和观众到展台参观交流。 在本次展会中，中科科仪充分发挥行业领军者作用，与业内人士分享最新的技术创新成果和产品应用前沿资讯。在展会学术论坛及技术交流会环节，中科科仪受邀做《磁悬浮分子泵在半导体行业的应用》和《5G产业链及真空应用》报告，讲述分子泵最新技术及在半导体、5G产业链等战略新兴产业的应用新趋势，分享真空行业对接国家“十四五”发展规划的探索与方向，为每一位与会者奉献了丰富的学术盛宴。 此外，中科科仪在展台首次采用新媒体在线直播互动形式，与广大线上及现场观众分享《分子泵及氦质谱检漏仪新品发布》、《分子泵真空行业应用》、《空间环境模拟设备及研制技术》、《真空配套产品及其应用》等技术创新与真空应用解决方案，通过生动有趣、深入浅出的讲解和互动问答抽奖环节让大家对真空技术有了更深的认识和理解，线上线下观众反响热烈。 通过本次展会，中科科仪见到了老朋友、结识了新朋友，在相互交流中分享了技术与知识、市场与应用，共同见证了真空行业的蓬勃发展。 未来，中科科仪将继续发挥真空行业领军者作用，紧抓战略发展机遇，加大核心技术攻关，聚力重大科技成果转化，培育壮大新兴产业，带领我国真空技术不断向前发展，推动国产真空产品在半导体等高端装备制造领域不断应用，为强化国家战略科技力量、实现科技自立自强做出新的贡献！

真空环境是众多科学研究、工业制造的基础性条件，从智能手机屏幕镀膜、芯片制造，再到航天仪器检测，都离不开真空技术。长久以来，尖端真空技术只掌握在少数几个工业强国手中，是一国科技和产业实力的象征。　　作为中国科学院第一家由事业单位整体转改制的企业，北京中科科仪股份有限公司近年来成功研制出中国第一台磁悬浮分子泵，为中国在国际尖端真空技术领域抢占一席之地。这也成为中科科仪以市场为导向的创新驱动发展历程的最新注脚。　　勇于对国际收购说&ldquo 不&rdquo 　　2006年，一家全球顶尖的德国真空设备制造商找上门来，打算与中科科仪&ldquo 谈谈合作&rdquo 。面对对方出巨资收购的诱惑，中科科仪董事长张永明反而感到不安。因为德国公司表示，不仅不会与中方共同研发代表国际真空技术最前沿的磁悬浮分子泵，甚至也不会在中国生产。　　&ldquo 磁悬浮分子泵不在中国生产，说明对方真正的目的仅仅是让科仪成为其一家低端制造工厂，一旦被收购，短时间内，中国自己的真空技术就没有发展起来的可能了。&rdquo 最终中科科仪下定决心，拒绝收购，拒绝安逸，依靠自主创新闯出一条攀登高峰之路。　　在对国外收购说&ldquo 不&rdquo 之后的几年间，中科科仪不懈努力攻坚克难，终于在2012年成功研制出中国第一台国产磁悬浮分子泵，打破了国外企业的垄断，为中国在这一领域争得一席之地。　　从上世纪50年代成立，到参与&ldquo 两弹一星&rdquo 工程，再到成为国内真空行业领军企业，争夺行业国际领先地位，中科科仪的发展轨迹体现了新中国科技事业勇攀高峰的无畏精神，也展现了中国科学家对自主研发、科技创新的豪迈自信。　　正是凭借着这种创新自信，中科科仪历史上实现了国内科研领域的多个&ldquo 第一&rdquo &mdash &mdash 从上世纪70年代起，先后研制出了我国第一台扫描电子显微镜、第一台立式涡轮分子泵及第一台商用氦质谱检漏仪。　　正是这种创新自信，造就了中科科仪勇于对外资说&ldquo 不&rdquo 的底气。转改制以来的10多年，中科科仪销售收入翻了两番，年净利润达到3000多万元 2013年全年，中科科仪生产的真空分子泵单品销售量达几千台，成为国际同行强有力的竞争对手。　　坚持为科技创新&ldquo 输血&rdquo 　　&ldquo 这台设备能够完成原材料到半成品的整个加工过程，是目前国际最先进的加工设备。&rdquo 在中科科仪现代化车间，中科科仪分管研发工作的副总裁李奇志正隔着玻璃介绍运转中的高速加工中心 在车间另一侧，一部刚从瑞士运抵北京工厂的主轴加工设备旁，工作人员正紧张调试，确保设备能快速&ldquo 上岗&rdquo 。　　&ldquo 类似国际一流水准的生产设备、制造装配设备在中科科仪加工车间不在少数。基本每年也会更新换代，不少设备都是瑞士进口。&rdquo 李奇志说，&ldquo 只有在技术创新上肯投入，我们的竞争力才有保障。&rdquo 为了保持技术创新核心竞争力，从2008年开始，中科科仪平均每年投入全年营业收入的9.5%用于科技创新，超越了国际同行平均水平。　　加大创新投入也体现在人才要素投入上。中科科仪始终将人才视作科技创新的决定性因素和核心动力。转改制阶段，中科科仪面对如何留住人才的难题，坚持采用&ldquo 员工持股&rdquo 的方式来增加吸引力。　　&ldquo 经过转改制股权调整，目前，员工持有近35%的公司股权，不仅留下了人才，也为公司创新带来持续吸引力。&rdquo 张永明说。　　张永明说，人才投入正在为中科科仪发展带来空前的创新活力。目前，中科科仪科研人员占公司总人数的30%以上，其中拥有高级工程师以上职称人数占40%，研究生以上学历人员占到45%以上。　　紧握成果产业化&ldquo 准绳&rdquo 　　在北京昌平厂区，中科科仪偌大的生产车间中，年产能近万台分子泵的生产线上，直接从事生产的一线工作人员仅十几人。强大的真空设备生产能力正在驱动一个个高端制造产业的兴起。　　2000年，中科科仪的前身中国科学院北京科学仪器研制中心开始着手转改制。科仪人意识到，转改制最大的挑战是思想观念：以前仅为了实验室研究服务的模式，必须转变为推进科研与新兴产业发展并重的方向。　　张永明说，将研发导向放在提升重大产业关键领域竞争力，扩大国内产业经济效益，这既是技术创新工作的出发点，也是检验技术创新成果是否成功的标准。　　转改制以来，中科科仪不断以市场需求为导向，对产品进行整合提升。比如，公司将原有的汽车空调检漏仪产品改进为成套的系统解决方案，不仅满足汽车空调零部件生产行业的应用，而且推广到了电子、电力等行业领域，创造了很好的经济效益，提升了企业的竞争实力。　　张永明介绍，近年来，中科科仪产品市场结构已经发生了显著转变，由改制前大多针对科研应用，到目前科研市场占30%，产业市场占70%。　　对于未来，张永明说：&ldquo 中科科仪赶上了一个很好的时代，我国经济结构转型升级，这其中，科技必然成为升级的前导。&rdquo 他表示，中科科仪一方面将借助创新驱动的&ldquo 东风&rdquo ，为科研发展提供技术支撑 另一方面，中科科仪也将持续自主创新，助力产业升级换代。

继2016年底超高真空无液氦低温STM/AFM系统PanScan Freedom-LT在中科院物理所张建军教授实验室顺利安装并通过验收后，该系统于本月成功与一套MBE（分子束外延）系统实现真空互联。这是PanScan Freedom-LT二次在国内实现真空集成，凸显了PanScan Freedom-LT在该方面的显著优势。这次真空集成设计和接口模块均由美国RHK Technology公司提供，充分展现了其在大型真空设备互联方面的丰富经验和用心服务客户的良好精神。互联的无液氦低温STM/AFM(PanScan Freedom-LT)与MBE系统 PanScan Freedom-LT因其优异的隔振性能，以及无液氦制冷的操作简便性，非常适合在复杂超高真空系统中进行集成。即使实验环境中有机械泵，分子泵，冷凝泵，以及空气压缩机等强噪声源，PanScan Freedom-LT仍然能够保持低的噪音水平，得到原子分辨图像。中科院张建军教授课题组集成的半导体薄膜MBE以及PanScan Freedom-LT（低温STM/AFM），具备表面材料的制备和表征手段，是研究薄膜材料和微纳器件的强大武器。 此次真空互联解决了样品非原位传输过程中样品易受外界环境污染的问题，为获取高质量的实验结果提供了有力保证。我们期待张建军教授课题组在未来的科学研究工作中取得更大的成就！

近日，北京中科科仪股份有限公司（以下简称“中科科仪”）获得国科嘉和数千万战略投资。中科科仪成立于1958年，前身为中国科学院北京科学仪器研制中心（原中国科学院科学仪器厂）。2000年，成为中国科学院首家事业单位整体转改制企业。中科科仪历经六十余年的发展，是国内极少数同时具备电子光学仪器及超高真空获得部件研发制造能力的企业之一。中科科仪聚焦电子光学、质谱和真空技术，发展形成尖端科学仪器装备、关键核心零部件两大业务板块。承担了多个国家重要科研攻关项目，曾成功研制出我国第一台扫描电子显微镜、第一台涡轮分子泵、第一台商用氦质谱检漏仪、第一台磁悬浮分子泵等。新产品研发成果始终代表中国高端电子光学仪器和真空设备的领先水平，广泛服务于前沿科学研究、集成电路、航天航空、生命科学、新能源、新材料等领域。在多项国家重大工程中作出了突出贡献，先后12次荣获国家科技进步奖、国家重点新产品、国家新产品、国家科技成果等奖励。科技仪器研发水平是创新实力的体现，也在很大程度上决定着基础研究和新技术、新产品开发的广度和深度。从历史上看，许多重大科学研究成果的突破，通常以科学仪器和技术手段的创新为先导。现阶段，中科科仪自主知识产权拥有量居国内同行业首位。2021年，中科科仪获评国家级“专精特新”小巨人企业称号；2022年，获评国家级“单项冠军”示范企业称号。国科嘉和董事长王戈表示，当前国产化替代浪潮已至，战略性新兴产业高速发展，高端科学仪器装备和真空产品迎来黄金时期。作为中国尖端科学仪器装备及真空技术领军企业，中科科仪契合国科嘉和“技术资本”和“优质科研成果转移转化”的投资定位，多年来聚力核心技术攻关，实现了国内领域科技仪器设备多项零的突破。此外，公司核心团队在产业化方面拥有丰富的经验，并具备优秀的商业开拓能力，双方将共同推进战略新兴行业重大科技成果转化。我们相信中科科仪将持续走在国产科技仪器设备自主创新之路的最前沿，为打好科技仪器设备国产化攻坚战贡献更多力量。

太赫兹有着光明的应用前景，还是一片未开垦的处女地。电子科技大学太赫兹中心自成立以来，为太赫兹科学研究搭建了更高的合作发展平台，也标志着我国以“国际前沿、”为目标的太赫兹科学研究迈入了崭新阶段。2018年6月，应电子科技大学太赫兹中心对真空环境下进行太赫兹近场光学研究的需求，QD中国工程师配合德国neaspec公司立即展开积响应并为客户量身定制了套真空太赫兹波段近场光学显微系统（HV-THz-neaSNOM），并已成功安装。 图1：电子科技大学太赫兹中心安装调试现场 图2：真空太赫兹波段近场光学显微系统（HV-THz-neaSNOM） 电子科技大学太赫兹中心原有一套大气环境太赫兹波段近场光学显微系统（THz-neaSNOM），空间分辨率~50nm、宽太赫兹时域近场响应波段0.5-2.2THz。由于更进一步的科研需要，客户需在更加严格的真空条件下进行太赫兹实验。为了满足客户的实验需求，德国neaspec公司在原有大气环境THz-neaSNOM的基础上，结合新的低温散射式近场光学显微镜（Cryo-neaSNOM）技术，设计了新的真空腔体系统，改进了原子力显微镜布局，并重新设计了光路，终成功研发出了套真空太赫兹波段近场光学显微系统（HV-THz-neaSNOM）。该套系统成功地继承了德国neaspec公司THz-neaSNOM的设计优势，采用保护的双光路设计，完全可以实现真空环境下太赫兹波段应用的样品测量。HV-THz-neaSNOM在实现30nm高空间分辨率的同时，由于采用0.1-3THz波段的时域太赫兹光源（THZ-TDS），也可以实现近场太赫兹成像和图谱的同时测量。这大地满足真空环境中太赫兹近场光学研究的需求，可以减少大气中水对太赫兹波段的吸收影响，能更好地保持样品的洁净，为用户进一步集成真空设备提供了基础。 图3：系统理论培训 图4：现场实时操作培训 太赫兹波有强的穿透性，对不透明物体能完成透视成像，用来做半导体材料、生物样品等的检测是其应用趋势之一。该套真空太赫兹波段近场光学显微系统（HV-THz-neaSNOM）的集成，将在生物应用、半导体元器件和相变材料载流子等研究及领域都有着广阔的应用前景，有望为广大太赫兹科研工作者提供更多实际研究工作中的便利和支持。

前记：近五年来，在政策支持下，中国电镜产业化发展之路上多点开花，电镜、电镜功能附件装置与设备、电镜制样等方面不断有新的产业化技术涌现。其中不仅包含扫描透射电镜、场发射扫描电镜、聚焦离子束显微镜、透射电镜原位研究系统等重要技术的商品化，也不乏场发射枪、高压电源、光阑等电镜关键部件的攻克。在中国电镜技术产业化呈现百花齐放、国家对电镜设备产业化问题高度重视背景下，仪器信息网也别策划电镜技术系列征稿活动，共同探讨中国电镜产业技术、市场的机遇与挑战。相关投稿将整理至对应专题展示，并在仪器信息网相关渠道推广，欢迎大家投稿，电镜技术、市场相关均可（投稿邮箱：yanglz@instrument.com.cn，关于征稿内容要求也可邮件咨询或电话联系：15311451191，同微信）。本期主题为“电镜核心部件技术”，对应专题如下（点击图片进入专题），相关约稿将陆续上线，欢迎关注。以下为苏州航宇九天动力技术有限公司供稿。苏州航宇九天动力技术有限公司（下称航宇九天）成立于2020年4月，致力于极端制造领域的核心零组件的发展，扎根极端制造，深入研究真空、高温、低温、辐射等技术。此前我国极端环境电机完全被国外所垄断，为解决我国在极端环境的科研、仪器设备及武器装备国产化的需求，航宇九天应运而生。航宇九天将发挥所长结合真空电机技术，研发电镜产品的周边配套机械产品，加快电镜企业研发效率，助力国内电镜行业高速发展。以下，苏州航宇九天动力技术有限公司分享了在极端电机领域的发展历程及对电镜核心零部件市场发展的看法。--------------------航宇九天谈真空电机技术及国产电镜的机遇与挑战供稿：苏州航宇九天动力技术有限公司一、九天伊始苏州航宇九天动力技术有限公司成立于2020年4月，公司致力于极端制造领域的核心零组件的发展，扎根极端制造，深入研究真空、高温、低温、辐射等技术。就在几年前我国极端环境电机完全被国外所垄断，为解决我国在极端环境的科研、仪器设备及武器装备国产化的需求，肩负历史及国家使命，航宇九天应运而生。航宇九天的追求是在极端制造领域实现顾客的梦想，并依靠点点滴滴、锲而不舍的艰苦追求，使我们成为国内极端制造领域领先企业。图 真空电机二、今日九天航宇九天经过三年的沉淀，逐步形成以极端电机为主，高精度位移台及原位拉伸台为辅多产业链的产品模式。根据自身真空技术优势，航宇九天先后推出SEM用高精度三轴位移台，场发射用高精度五轴位移台，电镜用高低温原位拉伸台等围绕电镜等配套产品。2021至2022年间，我司已向市场交付近30台份各型高精度位移台，其客户包括国仪量子、中科科仪、惠然科技、钢研纳克等国内电镜领军企业。图 电镜用真空拉伸台作为中国最早进入极端电机领域的公司之一，航宇九天在成立前就已经过多年技术沉淀。以赵俊亮博士为首的研发团队先后攻克真空用轴承镀膜技术，外壳真空镀膜技术，真空内温控技术等20多项真空内应用核心技术，取得专利20余项。航宇九天是真正掌握核心科技行业领军型高新企业。真空温升和真空度是真空设备领域两个关键指标同时也是电镜设备能否正常运行的关键前提条件。在此方面航宇九天经过多年深耕，对近百种材料进行了放气率测试。2021年航宇九天和进口产品进行了真空温升和真空度对比性测试。在各项测试中航宇九天真空产品均有明显优势，在价格方面仅不到进口产品的一半的价格，此外良好的货期并提供全套解决方案带给国内企事业更好的服务体验。2022年底航宇九天真空电机类产品已覆盖国内该领域60%市场份额。图 航宇九天与进口真空电机真空度对比图图 航宇九天与进口真空电机温升对比图三、今后九天当前中国电镜产业正是蓬勃发展的时期，从电镜整机到电镜原位系统，再到周边配套设备、核心部件等都呈现多点开花。航宇九天将发挥所长结合真空电机技术，研发电镜产品的周边配套机械产品，如真空腔体，高精度位移台及原位拉伸台等多方面产品，加快电镜企业研发效率，助力国内电镜行业高速发展。电镜核心零部件商业体量不大，但战略意义重大，中国电子显微镜长期以来依靠进口，据不完全统计已经安装使用的电子显微镜95%以上从美、日、欧进口。但是越来越多的科研院所和企业被原产地国家列入制裁商业实体清单，被限制继续采购设备以及备件和服务，导致很多正在运行的电镜有维修和备件供应的隐患，此手段有不断加码的趋势。如今国际形势异常复杂，一方面，广阔的市场需求确实遭遇了“卡脖子”的局面，但另一方面，这何尝不是我国电镜核心部件产业发展的最好机会？在“进口转内需”的关键时期，在这种背景下，我们有责任打造出尖端科学仪器设备及高端装备制造国家队，为强化国家战略科技力量、实现科技自立自强做出新的贡献。中国电镜核心部件未来的发展，是挑战，更是机遇。虽然现在国产电镜的发展受到了许多阻碍，但科学仪器是国家战略核心科技力量，是一个国家科技创新能力及综合国力的体现。科学仪器的“高端化”、“国产化”与“自主可控”，已经成为我国科技行业发展的原动力，也是行业未来的必然方向，在这种大方向的指引下电镜核心部件产业已经迎来了最好的发展机会，这不仅是一次前所未有的际遇，也是一次与风险并行的挑战。在日益注重专业化、精细化生产的背景下，想要发展好电镜核心部件，不仅需要奋进与拼搏的勇气，还应立足实际，结合公司发展规划，选择适合的赛道.同时，还应具备深入钻研高精尖技术的耐心，唯有这样，方能在前进之路上稳扎稳打，于风雨中立于不败之地！附：“第二届中国电镜产业化发展国际论坛”将于2022年5月19日（ACCSI 2023同期）在北京怀柔雁栖湖国际会展中心召开，本届论坛由中国电子显微镜学会与仪器信息网联合主办，论坛围绕“产业互动 创新发展”为主题，邀请电镜领域专家和相关行业人士围绕中国电镜产业化发展及合作等进行交流探讨。本次论坛将由首届的半天延长至一天，便于参与专家代表充分讨论交流，欢迎电镜及周边技术业界人士参加。会议日程详见 https://accsi.instrument.com.cn/报名方式：扫描下方图片上的二维码参与报名

p　　国内半导体国家02专项设备龙头，担负设备国产化重任：公司是国内规模庞大，产品体系丰富，涉及领域广泛的高端半导体工艺设备供应商，主要产品包括等离子刻蚀设备(Etch)、物理汽相沉积设备(PVD)、化学汽相沉积设备(CVD)、氧化扩散设备(Oxide/Diff)和清洗设备 (CleaningTool)等，基本涵盖半导体生产各关键工艺装备。我国半导体设备长期被应用材料、科林等国际巨头垄断，不利于我国信息产业安全及高端制造升级。公司在国家扶持下制造能力不断提高。28nm制程设备已进入生产线量产，14nm制程设备处于工艺验证阶段，为国内半导体设备最前沿。凭借不断进步的技术实力，公司担起关键设备加速国产化重任。/pp　　全球半导体行业景气叠加国家战略推动产业加速中国转移，预计未来三年设备潜在市场规模2000亿元以上。据WSTS估测，2017年全球半导体行业增长17%，走出2015~2016年零增长困境。我国从2014年以来不断出台政策支持半导体行业国产化，大基金2014年9月成立至今已投资超千亿元助力半导体产业链发展。/pp　　根据SEMI统计，未来三年全球规划建设62个晶圆厂，其中26个晶圆厂在中国建设，将为国产设备采购浪潮，半导体设备市场规模超2000亿元以上。以公司为代表的国内设备企业有望从低端开始逐步替代，享受半导体产业发展红利。/pp　　战略涉足光伏、锂电、电子元器件，产业多元化助力高端制造业升级。除半导体设备外，公司还广泛布局真空设备、锂电设备、精密电子元器件等。受分布式光伏发展及单晶硅占比提升带动，公司真空设备订单饱满，业绩增长迅速。新能源汽车长期高景气，公司锂电设备供应全国95%以上的锂离子电池研究院所、生产企业，并远销到日本、德国、俄罗斯等国家，享受下游新能车景气红利。精密电子元器件广泛用于航空航天、精密仪器仪表等领域。公司通过多产业布局，熨平产业发展周期，增长动力持续强劲。/p

安捷伦科技公司推出紧凑、可靠、高性能的真空泵换代产品 TwisTorr 84 FS 涡轮分子泵不仅满足大负载需求，且最大程度减小振动和噪音 2015 年 3 月 26 日，北京 — 安捷伦科技公司（纽约证交所：A）今日宣布推出一款小抽速涡轮分子泵的换代型号TwisTorr84FS。 TwisTorr 84 FS 融合一系列技术创新，显著提升性能表现和可靠性，尤其适合于更加严苛的学术应用和产业应用，诸如对振动要求苛刻的高分辨电子显微镜以及气载负荷有更高要求的气相色谱/质谱系统等一系列科学仪器。 这款全新涡轮分子泵的关键创新点之一是采用TwisTorr拖动级，使氢气和氦气等小质量气体的抽速和压缩比均有显著提升；同时也使分子泵可以实现高气体通量、高前级耐压、低功耗以及低运行温度。 此款分子泵的另一创新之处是采用全新的阻尼悬浮轴承技术，可在提升轴承可靠性、延长分子泵使用寿命的同时最大程度减小振动和噪声。这一全新轴承技术的突破性进展不但能够造就TwisTorr84FS分子泵卓越的可靠性，而且也树立了低振动的行业新标杆，因此亦可作为扫描电子显微镜等相关应用的不二选择。 安捷伦公司副总裁、真空产品部总经理 Giampaolo Levi 先生满怀信心地向业界宣布：“世界级的仪器需要高度可靠、高效节能的创新型高性能真空设备，而 TwisTorr 系列高真空涡轮分子泵恰恰能够满足这些要求。” 全新的TwisTorr 84 FS 分子泵将同时应用于安捷伦TPS-Compact以及Mini-Task分子泵机组中。 有关安捷伦真空产品的更多动态和解决方案，请访问真空产品门户网站：http://www.vacuum-choice.com 关于安捷伦科技公司 安捷伦科技公司（纽约证交所：A）是生命科学、诊断和应用化学市场领域的全球领导者，是致力打造美好世界的顶级实验室合作伙伴。安捷伦与全球 100 多个国家的客户进行合作，提供仪器、软件、服务和消耗品，产品可覆盖到整个实验室工作流程。在 2014 财年，安捷伦的净收入为 40 亿美元。全球员工数约为 12000 人。如需了解安捷伦科技公司的详细信息，请访问 www.agilent.com。 编者注：更多有关安捷伦科技公司的技术、企业社会责任和行政新闻，请访问安捷伦新闻网站：www.agilent.com.cn/go/news。

p　　在分析仪器的应用领域，有一种说法称真空系统是分析仪器的重要“器官”之一，维持稳定的真空度是许多分析仪器正常使用不可或缺的一个先决条件，真空设备的重要性不言而喻。普发真空(Pfeiffer Vacuum)作为一家全球知名的真空技术解决方案供应商，自进入中国市场以来，一直是分析仪器领域真空设备供应商中的佼佼者。/pp　　2020年11月16-18日，第十届慕尼黑上海分析生化展在上海浦东新国际展览中心盛大召开。会议期间，仪器信息网特别采访了普发真空技术(上海)有限公司销售总监陈相和市场部经理方子祥，就普发真空在分析仪器领域的产品特点、品牌优势、业绩表现及未来战略布局等方面进行了深入探讨。/pp style="text-align: center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/966614ca-e969-4460-8e7b-8ae9f4cff7af.jpg" title="合照.jpg" alt="合照.jpg"//pp style="text-align: center "span style="font-size: 14px "strong普发真空技术(上海)有限公司销售总监陈相(左)和市场部经理方子祥(右)/strong/span/pp style="text-align: center "strongspan style="font-size: 18px "◆ 针对仪器行业特点 推出小型化、专用化真空泵 ◆/span/strong/pp　span style="color: rgb(0, 112, 192) "strong　仪器信息网：普发真空的产品覆盖的行业领域比较广阔，跟其他的行业市场相比，您认为在分析仪器这个细分领域，真空泵设备市场本身有没有一些特别的地方?是否需要普发真空做一些特殊的应对，比如相应的产品和解决方案等?/strong/span/pp　　span style="color: rgb(255, 0, 0) "strong陈相/strong/span：对分析仪器领域来说，产品的strong精度高、稳定性好/strong是关键条件，同时还包括适合的体积设计和健全的产品品类这些重要因素。经过多年基于产品设计、研发、生产等方面的行业积累，这些行业需求已经成功融入我们的产品，成为普发真空产品的重要特色。/pp　　例如，我们这次展出的涡轮分子泵HiPace 10就是普发真空独有的，可以完全满足分析仪器行业所需要的高精度和稳定性。它是一款在10 L/s抽速级别中体积最小的分子泵，既能实现强抽速、很高的真空度，又兼具了小巧的体积和坚固的外观，非常易于系统集成及便携式质谱的搭建。它能为分析仪器设备提供非常稳定的本底真空，在长期使用的情况下也极少出现波动，保证了检测过程免受设备造成的干扰。/pp style="text-align: center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/6112162b-b8ba-49cf-aecf-44f3a336cc8c.jpg" title="普发参展产品.jpg" alt="普发参展产品.jpg"//pp style="text-align: center "　span style="font-size: 14px "　strong普发真空展台展品：(左)HiPace 10sup® /sup涡轮分子泵，(中) MVP 003-2隔膜泵，(右)SplitFlow 310 涡轮分子泵/strong/span/pp　　另外，我们也看到了仪器行业正在向微型化发展，对仪器体积的小巧化设计提出了更严格的要求。因此我们在加工设计上的转子设计也比较有特色，能在同体积条件下实现更大的抽速。/pp　　总的来说，针对仪器行业的共性要求，普发的产品和解决方案具备strong精度高、稳定性好、品类全、体积小/strong的特点，可以全面满足客户需求。/pp　　span style="color: rgb(0, 112, 192) "strong仪器信息网：普发真空有没有专门针对仪器行业开发一些针对性的产品?/strong/span/pp　　span style="color: rgb(255, 0, 0) "strong陈相/strong/span：有的，除了刚刚所提到的小型化之外，仪器行业还有一个重要的特点，就是客制化，也叫专用化。为了应对这一特点，普发真空有很多“客制化”的产品，比较典型的有普发真空的分流泵。这其实是一个差分应用，正常的分子泵只有一个接口，但对于样品量比较大的应用，需要有一个分流。一般的真空运转为了实现这种功能需要多台真空泵+多台前级泵来完成，但我们的解决方案是一台高真空泵+一台前级真空泵就可以实现，也就是单泵可以实现多功能。/pp　　我们可以根据客户的要求去定制，帮助客户前期开发，更好的匹配客户的应用。这样一来，在帮助客户缩小设备体积的同时还可以降低采购成本，对客户来说是双赢。/pp style="text-align: center "span style="font-size: 18px "strong◆ 打造一站式解决方案供应商 全环节凸显竞争优势 ◆/strong/span/pp　　span style="color: rgb(0, 112, 192) "strong仪器信息网：能简单介绍一下，在仪器分析领域，不同的真空技术会用到哪些仪器上?目前来讲，针对实验室范围内的真空泵，有没有一个类别上的划分?普发的产品大概能够覆盖多少类别的范围?/strong/span/pp　　span style="color: rgb(255, 0, 0) "strong陈相/strong/span：仪器分析领域所涉及的产品比较多，比如最典型的是质谱类、X射线类、SEM之类的产品。由于普发真空所提供的产品和解决方案比较丰富，所以涉及面也比较广。以质谱类为例，典型的应用场景会涉及到GC-MS、ICP-MS、LC-MS、MALDI-TOF-MS等。/pp　　今年由于新冠疫情的原因，MALDI-TOF-MS的应用大放光彩。MALDI-TOF MS也叫基质辅助激光解吸电离飞行时间质谱，它主要用于临床微生物领域，今年在核酸检测中充分发挥了作用。这项技术的优势在于，对比传统的微生物鉴定方法，它的质谱灵敏度高、测定速度快、易于实现高通量等。在这一过程中，真空产品和解决方案也起到非常重要的作用。普发真空的产品为其提供了稳定的本底真空，减少对分析过程的干扰，同时还在射线发射过程中起到辅助作用。/pp　　真空是一个比较窄的概念，但也需要细致的研究。真空分为初真空、中真空、高真空和超高真空，在实验室领域涉及比较多的是中真空和高真空。但由初真空到高真空，其实是一个连续的过程。要想获得高真空的话必须要先实现初真空和中真空。对于这样连续性的需求，普发真空可以提供整体解决方案，这也是我们的一大特色。普发真空的产品品类非常齐全，我们不但提供分子泵，还能提供隔膜泵、真空剂、真空测量、真空检漏等。为了能更好的满足用户需求，普发致力打造一站式解决方案供应商。/pp　　span style="color: rgb(0, 112, 192) "strong仪器信息网：与您的友商、特别同属国外企业的友商相比，普发的竞争优势是什么?/strong/span/pp　　span style="color: rgb(255, 0, 0) "strong陈相/strong/span：关于普发真空所具备的竞争优势，除了产品本身之外，我认为还主要体现在strong售前/strongstrong、售中、售后/strong三个环节。/pp　　首先，在售前，我们有着大量的strong行业积累/strong，在客户的研发阶段，就能为他们提供成熟的案例作为参考，这样能节省客户的研发时间和试错时间，让他们的产品尽快进入市场。/pp　　第二是售中的strong产能优势/strong。普发真空在真空行业耕耘多年，我们的产能特别充足，能够满足很多合作伙伴的大量需求。很多产品在商品化之后，对产能要求还是比较大的，特别是在中国市场。再加上有时候客户的货期比较紧张，这就对供应商的产能提出很大的挑战。但普发真空在德国总部的支持下，能够保证充足的产能，可以满足对大规模供货的需求，因此目前绝大部分客户的要求都是可以被满足的。而且普发真空也很重视中国市场的发展，在无锡我们有一个组装和生产车间，去年还扩大了车间规模。/pp　　第三是售后的strong服务优势/strong。我们很关注售后服务，当客户发生问题时，我们能够保证比较快的响应速度，包括我们总部的支持反应也特别快。我们会定期跟总部进行会议沟通，有任何问题，总部都会给到快速、完整的反馈和支持，有时候还会派一些专家过来，直接到客户现场解决问题。/pp style="text-align: center "span style="font-size: 18px "strong◆ 往本地化转型 助力中国真空技术发展 ◆/strong/span/pp　　span style="color: rgb(0, 112, 192) "strong仪器信息网：新冠疫情发生之后，普发在仪器分析市场有没有一些业务调整?/strong/span/pp　　span style="color: rgb(255, 0, 0) "strong陈相/strong/span：从普发真空的业务来讲，并没有受疫情很大影响，反倒出现了逆势增长。但就像刚刚说的，国内的多数仪器厂商在产品中使用普发真空的产品和解决方案。作为分析仪器核心元器件供应商，我们希望未来能更好的满足中国分析仪器领域的应用需求，为我们的客户提供高科技、高精度的真空技术、产品和解决方案。也希望能够通过与本土领先企业、科研机构以及其他应用行业的企业建立紧密的合作伙伴关系助力中国真空技术的不断发展。/pp　span style="color: rgb(0, 112, 192) "strong　仪器信息网：据了解，目前做氦质谱检漏相关产品很多国产的厂商也在涉及，现在国产的氦质谱检漏对普发的业务有什么影响吗?/strong/span/pp　　span style="color: rgb(255, 0, 0) "strong陈相/strong/span：氦质谱检漏里面比较核心的是分检技术，从这个方面来看，国内的很多厂商与我们其实是合作关系。检漏仪在制造检漏的过程中需要用到前级真空泵和大量的分流涡轮分子泵，并且对泵的本体精度与稳定性要求比较高，这一方面普发真空的产品和解决方案可以很好的满足国内厂商的要求，因此说我们是合作伙伴的关系。/pp　　span style="color: rgb(227, 108, 9) "strong方子祥/strong/span：也就是说，我们助力国产的检漏仪制造商提高产品的品质，检测的稳定性，包括它的真空度。我们也认为，市场上需要不同等级的产品来满足不同客户的需求，有些客户对品质和稳定性要求比较高的，可能首选还是进口产品。/pp　　目前来说，普发真空在往本地化这方面转型，同时我们也在更多地扶持国产的仪器厂商。我们帮助检漏仪厂商不断壮大，提供核心部件给到这些厂商，让他们做出来产品的品质更好。/pp style="text-align: center "span style="font-size: 18px "strong◆ 加大在华投资 重点关注环监、生化分析领域 ◆/strong/span/pp　　span style="color: rgb(0, 112, 192) "strong仪器信息网：2021年是“十四五”的开局之年，从您的观察来看，未来中国分析仪器的市场会是一个什么样的发展速度?比如通过您客户的反馈，他们是怎么来评价这个市场的发展?/strong/span/pp　　span style="color: rgb(255, 0, 0) "strong陈相/strong/span：我们一直在关注仪器领域，同时我们也非常看好这个行业，分析仪器领域未来将保持高速发展态势。因为首先，它是跟国计民生息息相关的行业，国家颁布了很多利好的行业政策、产业政策。/pp　　同时，未来strong环境监控/strong和strong生化分析/strong两大领域的市场需求将成为这个行业发展的核心推动力。比方说，近两年许多城市出现了城市移动空气质量监测系统，原理是将监测系统安装在出租车上，设备在车辆发动的同时自行启动，在行驶过程中采集空气质量数据，并回传到环境监测中心，再利用这些数据绘制出环境质量地图。/pp　　普发真空通过这样具体的应用场景积累了很多经验，在这一点上我们也得到了很多客户的认可。通过与业内专家交流，未来微型化、专用化、客户化的趋势将越来越明显，这也是普发真空的一些强项。所以基于我们的特色，以及我们对这个行业的了解，我们很看好这个行业在未来的发展，以后也会在这个行业大力投入。/pp　　span style="color: rgb(0, 112, 192) "strong仪器信息网：另外在未来五年，普发在中国市场有没有一些更长远的投资打算，比如说会把更多的产线放到国内来?/strong/span/pp　　span style="color: rgb(227, 108, 9) "strong方子祥/strong/span：从普发真空全球来说，整个亚洲，尤其是中国，是未来普发投资的重点方向之一。中国是普发真空全球规模最大的市场，也是增速最快的市场。目前，在普发真空的公司发展战略中，增强在中国市场的影响力是企业增长战略的主要支柱之一。/pp　　我们在全球有一个三年计划。从2018年起，普发真空有1.5亿欧元投资于公司未来业务的增长中，而中国是其中最主要的投资方向之一，这其中包括去年无锡工厂的扩建。我们把产能扩建，翻了一倍，同时也开始把更多的产品放到中国来组装。这个投入计划算到今年应该结束，但是今年受到新冠疫情的影响，会有一些滞后。但是整个中国的战略是我们核心战略之一，这个策略没有变化。/pp　　过去我们的战略可能是全球统一的售后服务体系，或者统一的零部件采购。但是现在我们更多的是关注本地的灵活性，包括本地化的整个供应链是否能够满足在本地生产的一个需求。所以我们要更贴切中国市场客户的需求，例如我们会根据陈相团队的市场反馈，来判断如何把产品落地到中国，以及能否在中国与其他的合作伙伴有一些投资的项目，并且去适应中国市场快速的变化。/pp　　从业绩表现来看，整个亚洲市场的业绩表现，就销售额的占比已经跟欧洲一样。在三年前，欧洲的销售额会占普发真空集团整个销售额的比重在45%到50%左右，现在两个区域的销售额比重是一样，都是约37%。一方面是因为欧洲会有一定程度的萎缩，另一方面亚洲的确是强劲增长。这也坚定了我们未来投资的策略，尤其是在亚洲和中国市场。/pp　　并且，我们在中国的培训中心目前正在筹建当中。培训中心是针对我们内部或者是针对客户筹建的，也可以算作在中国投入的一部分。但对中国市场的投入，还包括未来我们会与本土领先企业、科研机构以及其他应用行业的企业建立紧密的合作伙伴关系，通过这些合作持续为中国客户带来更多价值，不断深化对中国市场的承诺。/pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 112, 192) "strongimg style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/eda45873-0043-40d5-886a-34061f0c10a9.jpg" title="普发展台.jpg" alt="普发展台.jpg"//strong/span/pp style="text-align: center "span style="font-size: 14px "stronganalytica China 2020普发真空展台/strong/span/ppspan style="color: rgb(0, 112, 192) "strong/strong/span/pp　　span style="font-family: 楷体, 楷体_GB2312, SimKai "后记：本届慕尼黑上海生化展是新冠疫情在中国得到有效控制后的又一次科学仪器展览盛会。普发真空此次带着多款新产品亮相，既彰显了对自身产品研发能力的信心，也表明了对中国市场的重视。/span/ppspan style="font-family: 楷体, 楷体_GB2312, SimKai "　　在访谈过程中，两位普发真空的在华高管也多次提到位于德国阿斯拉尔(Asslar)的集团总部在中国市场的布局策略，尤其是给予了普发真空在华机构不少灵活性的政策。这对于做事一向严谨的德国人而言还真是不多见。从他们的话里话外，笔者可以明显地感觉到，普发真空对于“后疫情”时代的中国市场，特别是中国仪器分析市场的自信与期待。/span/p

据徐州发布消息，6月16日，铜山区、徐州高新区2021年度精准招商重点项目签约活动举行。此次集中签约7个项目，总投资约60亿元，涵盖数字经济、集成电路与ICT、生物医药与大健康等战略性新兴产业领域。签约项目中包括广东先导稀材股份有限公司半导体沉积及镀膜设备生产基地项目。据介绍，2019年，先导集团以4500万欧元全资收购了德国FHR公司（全球领先的薄膜真空设备制造的供应商），拟建设半导体沉积及镀膜设备的国产化生产基地。项目产品包括：化合物半导体薄膜设备、MEMS薄膜设备、MDS薄膜生产线、精密光学薄膜设备、TCO镀膜设备、HIT玻璃镀膜设备、平板显示阵列镀膜设备等。项目全部达产后将形成年约600台（套）设备生产能力，年产值约72亿元。

p　　strong仪器信息网/strong 2020年9月16-17日，2020 (第十四届)中国科学仪器发展年会(ACCSI 2020)在天津东丽湖恒大酒店召开，吸引了来自“政、产、学、研、用”等方面的近1000位高端人士参会。在会议间隙，仪器信息网编辑有幸采访到了KNF大中华区首席执行官陈震先生，听他谈谈2020年上半年KNF的发展情况及下半年的拓展计划。/pp　　2020年初，新冠疫情突如其来，给各行各业都带来了一定的影响，科学仪器行业也不例外。对于疫情所带来的影响，KNF公司可以说是喜忧参半、前景可期。一方面实验室领域确实受到了一定的影响，新品上市计划被迫延迟，另一方面，工业领域如医疗设备领域却迎来了强劲增长，KNF的工业真空泵、隔膜泵产品被广泛用到生化分析、呼吸机等一些炙手可热的应用领域中。/pp　　2020年下半年，随着后疫情时代的到来，KNF除了要保持医疗设备领域的强劲增长之外，还将在实验室、环保、重工、核能等一些重要领域加大马力继续开拓。除此之外，KNF最新一代实验室真空泵产品也将在全球上市，新品将完全颠覆老一代产品的理念，首次引入“实验室生活”的概念，在外观、体积、性能设计等方面都将为实验室用户带来全新的感受和体验。/pp　　实验室真空设备市场已经迎来了高速发展的时期，未来除了基础应用之外，还将在更多高精尖应用领域继续发展，随着技术的进一步发展、高精度控制器、互联网技术、智能技术等都将用到实验室真空设备领域。/pp　　以下是采访详细视频：/pscript src="https://p.bokecc.com/player?vid=48D0B0BB602B79219C33DC5901307461&siteid=D9180EE599D5BD46&autoStart=false&width=600&height=350&playerid=621F7722C6B7BD4E&playertype=1" type="text/javascript"/scriptpbr//p

上海伯东美国 inTEST 高低温气流控制设备中国总代理来源：http://www.hakuto-vacuum.cn/news-detail.php?id=305&page=inTEST Thermal Solutions 超过 50 年的热能工程和测试系统开发领域专家。inTEST Thermal Solutions 提供高低温循环温度控制设备，其中 inTEST ThermoStream 系列已全面取代 Thermonics 和 Temptronic。inTEST 凭借提供精密的温度测试环境，作为最优的高速热测试设备广泛应用于真空行业。上海伯东作为 inTEST 中国地区唯一总代理，全权负责其新品销售和售后维修服务。 上海伯东代理的 inTEST ATS-系列 THERMOSTREAM? 高低温循环温度气流控制设备适合模拟各种温度测试和调节的应用。从传统应用例如半导体测试、失效分析，设备描述到更广泛应用在印刷电路板（PCB）和电子组装测试（electronic sub-asembly testing），inTEST ATS-系列温度气流控制设备自动调温功能满足客户需求。inTEST ATS-系列提供一个创新的温度环境测试方案，满足您实际需要使用的地方：如试验台，生产设备或实验室的仪器、PCB 模块测试等。inTEST ATS-系列具有速度、精度和可移植性的大范围温度调节能力，在售型号包含台式和便携式供您选择。inTEST 控制面板可选旋钮或触摸屏操作。inTEST ATS-系列温度气流控制设备特性： 不需要液态氮气（N2）冷却 快速转换到 18℃/sec分辨率 0.1℃精度 1.0℃极限高点 + 300 ℃极限低点 -100 ℃加热除霜快速清除系统中积聚的水分 更详细的产品信息，欢迎来电详谈：021-5046-3511上海伯东主营真空品牌:德国 Pfeiffer 真空设备 美国 Polycold 深冷泵 美国 KRI 考夫曼离子源 美国 HVA 真空闸阀:美国 inTEST 温度气流控制设备 日本 NS 离子蚀刻机等。若您需要进一步的了解详细信息或讨论，请参考以下联络方式： 上海伯东：叶女士 台湾伯东：王女士T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-03-567-9508 ext 161 F: +86-21-5046-1490 F: +886-03-567-0049 M: +86 1391-883-7267 M: +886-939-653-958ec@hakuto-vacuum.cn ec@hakuto.com.twwww.hakuto-vacuum.cn www.hakuto-vacuum.com.tw上海伯东版权所有，翻拷必究！

6月2日，北京市经济和信息化局发布了《北京市经济和信息化局关于北京市2021年度第一批专精特新“小巨人”企业的公告》。共计285家企业入选北京市2021年度第一批“专家特新”中小企业名单，其中涉及海光仪器、谱析仪器等9家仪器厂商。其中海光仪器还入选了北京市2021年度第一批“专精特新”中小企业名单。入选仪器厂商名单如下：企业名称产品北京中科科仪股份有限公司真空设备、扫描电镜等北京大华无线电仪器有限责任公司电子测量仪器东方晶源微电子科技（北京）有限公司电子束缺陷检测设备北京京运通科技股份有限公司单晶炉等北京华卓精科科技股份有限公司退火设备、工件台等北京海光仪器有限公司光谱等分析仪器北京东西分析仪器有限公司色谱、质谱等分析仪器北京普析通用仪器有限责任公司光谱、色谱、质谱等分析仪器北京卓镭激光技术有限公司激光器附件：北京市2021年度第一批专精特新“小巨人”企业名单.doc

项目编号：GXZC2022-G1-001073-GXGL 项目名称：2022年技术机构设备更新采购预算总金额（元）：19004900 获取招标文件时间：2022年05月16日至2022年05月23日 采购需求：标项一标项名称：A分标技术机构设备更新预算金额（元）：3646700简要规格描述或项目基本概况介绍、用途：多功能电梯能效检测仪4台、扶梯多功能测量尺5把、电梯导轨垂直度检测仪2台、电梯安全回路检测仪1台、轿厢意外移动检测仪1台、检验报告制作输出系统1套、一体化电梯限速器测试仪1台、全站仪1台、激光测距仪3台、无损检测仿真软件超声模块（CIVA-UT)1套、相控阵工装（HSPA20-Ae(Bolt)）1套、安全阀定压校验台1台、全自动闭口闪点测定仪1台、电子分析天平1台、便携式电导率仪2台、便携式光学溶氧分析仪1台、电热恒温鼓风干燥箱1台、密封制样粉碎机1台、湿煤破碎机1台、行星球磨机1台、智能型便携式金相仪1、气体泄漏检测仪2台、手持式可燃气体泄漏检测仪5台、超声波测厚仪2台、汽车自动操作力计1、机动车方向盘转向力转向角检测仪1台、便携式制动性能测试仪1台、三向加速度测试仪器1台、综合气象仪5台、制动下滑测试仪3台、数字风速仪4台、无线会议话筒1套、高拍仪2台、图像扫描仪2台、不锈钢相控阵超声检测套装1套、充电式多功能磁探仪3台、超声波探伤仪2台、超声波测厚仪3台、手持式X射线合金分析仪1台、无线动态应力应变测试分析系统1台。本标项（否）接受联合体投标备注：本项目为线上电子招标项目，有意向参与本项目的供应商应当做好参与全流程电子招投标交易的充分准备。标项二标项名称:B分标技术机构设备更新预算金额（元）:5246600简要规格描述或项目基本概况介绍、用途：高温红外烟气分析仪1台、烟气预处理器1台、颗粒物测量系统1台、废气盐酸雾硫酸雾氟化物采样装置1台、沥青烟采样管1台、环境空气颗粒物综合采样器（恒温型）4台、高负压环境空气颗粒物采样器4台、污染源真空箱气袋采样器1台、双路VOCs采样器（配烟气预处理器）1台、超声波蒸汽流量计1台、高精度电能分析仪1台、气相色谱质谱联用仪1台、气相色谱仪(FID)1台、气相色谱仪(FID+ECD)含自动进样器1台、顶空自动进样器（16位）1台、热脱附仪（50位）1台。如需进一步了解详细内容，详见招标文件。本标项（否）接受联合体投标备注：本项目为线上电子招标项目，有意向参与本项目的供应商应当做好参与全流程电子招投标交易的充分准备。标项三标项名称:C分标技术机构设备更新预算金额（元）:4821600简要规格描述或项目基本概况介绍、用途：全自动固相萃取系统1台、全自动高通量真空平行浓缩仪1台、微波消解/萃取仪1台、电感耦合等离子体质谱仪ICPMS1台、汞分析仪液体分析附件1套、灰熔点测试仪1台、便携式总有机碳分析仪1台、烘干恒重自动称量系统1套、便携式甲醛检测仪2台、BOD5检测仪1台、BOD快速检测仪1台、紫外分光光度计1台、工业分析仪（水灰+挥发分）1台、库伦测硫仪1台、全自动卡氏水分滴定仪1台、通用切割研磨机1台。如需进一步了解详细内容，详见招标文件。本标项（否）接受联合体投标备注：本项目为线上电子招标项目，有意向参与本项目的供应商应当做好参与全流程电子招投标交易的充分准备。标项四标项名称:D分标技术机构设备更新预算金额（元）:5290000简要规格描述或项目基本概况介绍、用途：真空度测试仪2台、超声波测厚仪5台、数字式超声波探伤仪1台、磁粉探伤机1台、工业内窥镜1台、静电电阻测量仪2台、液面计校验装置1台、紧急泄放装置校验装置1套、装车软管试验台1套、真空减压阀校验装置1套、抽真空机组（含真空规管和真空计）1套、液位计检查装置1套、天然气瓶喷漆烘干设备1套、气瓶翻转顶升装置（喷漆上下料）1套、氧含量分析仪2台、氦质谱检漏仪（配套标定用标准漏孔）1套、静态蒸发率测试仪1套、气瓶报废设备1台、防静电装置1台、气密性试验台1套、低温移动罐车抽真空设备1套、电动单梁起重机1套、工业阀门试验台1套、工业阀门试验台1套、工业阀门试验台1套、工业阀门试验台1套、蝶阀阀门试验台1套、内外置式安全阀定压校验台1套、安全阀定压校验台1套、安全阀定压校验台1套、安全阀定压校验台1套、紧急切断阀校验装置1套、安全阀在线校验仪1台、安全阀动态研磨机1台、阀门研磨机1台、光纤激光打标机1台、电动叉车（托盘堆垛车）1台、电动搬运车2台。如需进一步了解详细内容，详见招标文件。本标项（否）接受联合体投标备注：本项目为线上电子招标项目，有意向参与本项目的供应商应当做好参与全流程电子招投标交易的充分准备。

产品简介：溶媒回收仪是一款用于有机溶剂蒸汽冷凝收集的创新性产品。主要与实验室平行蒸发/浓缩仪、旋转蒸发仪、真空干燥箱、真空离心浓缩仪、真空抽滤、固相萃取等样品前处理设备联用，将溶媒蒸汽进行冷凝回收，也可以与真空泵联用，净化真空泵排出的废气，减少有机废气对环境的污染，呵护实验人员的健康。产品特点：n 绿色环保内置三级冷凝器，溶媒蒸汽几乎全部被冷凝回收，乙醇回收率优于99%，二氯甲烷回收率优于98%，相比较传统冷却循环水机、冷阱，具有更高的溶媒回收效率，更绿色环保。n 干净整洁溶媒回收仪不需要添加冷却循环液、不需要外接玻璃冷凝器，使用者不再担心玻璃器件易碎问题，也避免了复杂管路的连接，更有利于实验室的干净整洁。n 防腐耐用溶媒回收仪与气体、液体接触的材质由PEEK、PTFE、高硼硅玻璃组成，能够耐受盐酸及强腐蚀性溶剂，防腐耐用。n 简单方便溶媒回收仪设有进气口及排气口，与设备简单连接，开机即可使用。外置3L螺口溶剂回收瓶，方便大体积溶剂蒸发工作。5英寸彩色液晶触摸屏实时显示工作状态，使用者可随时观察设备的冷凝能力。产品典型应用：u 与旋转蒸发仪联用溶媒回收仪与旋转蒸发仪联用，不需要添加冷却循环液，也不需要外接玻璃冷凝器，使用者不再担心玻璃器件易碎问题，也避免了复杂管路的连接，更有利于实验室的干净整洁。溶媒回收仪具有强大的冷凝能力，每次工作可以回收3000ml有机溶剂，使用者可以根据需要进行多台联用，节约实验室空间，提高工作效率。u 与平行浓缩蒸发仪联用溶媒回收仪与平行浓缩蒸发仪联用，不需要添加冷却循环液，也不需要外接玻璃冷凝器，可以满足3000mL大体积溶剂蒸发冷凝回收需求，溶剂回收仪进气接口高度为25cm，低于平行浓缩蒸发仪输出接口，保证连接管路中的冷凝液全部被收集，防止释放真空时液体回流污染样品。u 真空泵尾气净化应用溶媒回收仪与真空泵的排气口连接，可高效冷凝回收真空泵排除的有机溶剂蒸汽，极微量有机溶剂蒸汽被活性碳柱完全吸收，在实验室通风条件较差的情况下，充分保护使用者的安全与健康。创新点：1.采用直接冷凝技术，不需要添加冷却循环液，不需要外接玻璃冷凝器，方便使用；2.内部三级冷凝器，有机溶剂蒸汽冷凝回收效率高，乙醇蒸汽冷凝回收效率优于99%，二氯甲烷蒸汽冷凝回收效率优于98%；3.所有与有机溶剂液体、气体接触的材质，全部采用聚四氟、peek、高硼硅玻璃以及特殊材质，能够耐受氯离子侵蚀；4.一次性可以收集3L的有机溶剂，适合大通量样品真空浓缩；

光学薄膜的真空镀膜设备 型号：BMC1100DS，带Windows软件自动控制系统（SDC）/日本 制造时间：2003年 状态：运行极好 生产厂家：Shincron （http://www.shincron.co.jp/phase1/en/top/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1100mmｘH 1600mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２ EB Guns (JEOL)　 JEBG-102UHO（&phi 35ccx20） JST-16F (16kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： OPM-V1 (monitor glass &phi 30x30) 石英晶体微天平监控器： 无 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 最大350℃± 10℃（36kw） 型号：RMC1100，带Windows软件自动控制系统/日本 制造时间：2003年8月 状态：运行极好 生产厂家：Rock Giken Inc　（http://www.rock-giken.co.jp/vacuum/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1150mmｘH 1500mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２EB Guns (Plasma System)　 G-12100（&phi 35ccx20） D-10001 (10kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： 380～1500nm（波长） (monitor glass &phi 10x60pcs) 石英晶体微天平监控器： XTC-2(Inficon) 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 300℃± 10℃（21kw） 光学薄膜的真空镀膜设备 型号：BMC1100DS，带Windows软件自动控制系统（SDC）/日本 制造时间：2003年 状态：运行极好 生产厂家：Shincron （http://www.shincron.co.jp/phase1/en/top/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1100mmｘH 1600mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２ EB Guns (JEOL)　 JEBG-102UHO（&phi 35ccx20） JST-16F (16kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： OPM-V1 (monitor glass &phi 30x30) 石英晶体微天平监控器： 无 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 最大350℃± 10℃（36kw） 型号：RMC1100，带Windows软件自动控制系统/日本 制造时间：2003年8月 状态：运行极好 生产厂家：Rock Giken Inc　（http://www.rock-giken.co.jp/vacuum/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1150mmｘH 1500mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２EB Guns (Plasma System)　 G-12100（&phi 35ccx20） D-10001 (10kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： 380～1500nm（波长） (monitor glass &phi 10x60pcs) 石英晶体微天平监控器： XTC-2(Inficon) 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 300℃± 10℃（21kw） 光学薄膜的真空镀膜设备 型号：BMC1100DS，带Windows软件自动控制系统（SDC）/日本 制造时间：2003年 状态：运行极好 生产厂家：Shincron （http://www.shincron.co.jp/phase1/en/top/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1100mmｘH 1600mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２ EB Guns (JEOL)　 JEBG-102UHO（&phi 35ccx20） JST-16F (16kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： OPM-V1 (monitor glass &phi 30x30) 石英晶体微天平监控器： 无 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 最大350℃± 10℃（36kw） 型号：RMC1100，带Windows软件自动控制系统/日本 制造时间：2003年8月 状态：运行极好 生产厂家：Rock Giken Inc　（http://www.rock-giken.co.jp/vacuum/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1150mmｘH 1500mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２EB Guns (Plasma System)　 G-12100（&phi 35ccx20） D-10001 (10kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： 380～1500nm（波长） (monitor glass &phi 10x60pcs) 石英晶体微天平监控器： XTC-2(Inficon) 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 300℃± 10℃（21kw） 光学薄膜的真空镀膜设备 型号：BMC1100DS，带Windows软件自动控制系统（SDC）/日本 制造时间：2003年 状态：运行极好 生产厂家：Shincron （http://www.shincron.co.jp/phase1/en/top/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1100mmｘH 1600mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２ EB Guns (JEOL)　 JEBG-102UHO（&phi 35ccx20） JST-16F (16kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： OPM-V1 (monitor glass &phi 30x30) 石英晶体微天平监控器： 无 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 最大350℃± 10℃（36kw） 型号：RMC1100，带Windows软件自动控制系统/日本 制造时间：2003年8月 状态：运行极好 生产厂家：Rock Giken Inc　（http://www.rock-giken.co.jp/vacuum/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1150mmｘH 1500mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２EB Guns (Plasma System)　 G-12100（&phi 35ccx20） D-10001 (10kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： 380～1500nm（波长） (monitor glass &phi 10x60pcs) 石英晶体微天平监控器： XTC-2(Inficon) 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 300℃± 10℃（21kw） 光学薄膜的真空镀膜设备 型号：BMC1100DS，带Windows软件自动控制系统（SDC）/日本 制造时间：2003年 状态：运行极好 生产厂家：Shincron （http://www.shincron.co.jp/phase1/en/top/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1100mmｘH 1600mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２ EB Guns (JEOL)　 JEBG-102UHO（&phi 35ccx20） JST-16F (16kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： OPM-V1 (monitor glass &phi 30x30) 石英晶体微天平监控器： 无 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 最大350℃± 10℃（36kw） 型号：RMC1100，带Windows软件自动控制系统/日本 制造时间：2003年8月 状态：运行极好 生产厂家：Rock Giken Inc　（http://www.rock-giken.co.jp/vacuum/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1150mmｘH 1500mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２EB Guns (Plasma System)　 G-12100（&phi 35ccx20） D-10001 (10kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： 380～1500nm（波长） (monitor glass &phi 10x60pcs) 石英晶体微天平监控器： XTC-2(Inficon) 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 300℃± 10℃（21kw） 光学薄膜的真空镀膜设备 型号：BMC1100DS，带Windows软件自动控制系统（SDC）/日本 制造时间：2003年 状态：运行极好 生产厂家：Shincron （http://www.shincron.co.jp/phase1/en/top/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1100mmｘH 1600mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２ EB Guns (JEOL)　 JEBG-102UHO（&phi 35ccx20） JST-16F (16kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： OPM-V1 (monitor glass &phi 30x30) 石英晶体微天平监控器： 无 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 最大350℃± 10℃（36kw） 型号：RMC1100，带Windows软件自动控制系统/日本 制造时间：2003年8月 状态：运行极好 生产厂家：Rock Giken Inc　（http://www.rock-giken.co.jp/vacuum/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1150mmｘH 1500mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２EB Guns (Plasma System)　 G-12100（&phi 35ccx20） D-10001 (10kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： 380～1500nm（波长） (monitor glass &phi 10x60pcs) 石英晶体微天平监控器： XTC-2(Inficon) 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 300℃± 10℃（21kw） 光学薄膜的真空镀膜设备 型号：BMC1100DS，带Windows软件自动控制系统（SDC）/日本 制造时间：2003年 状态：运行极好 生产厂家：Shincron （http://www.shincron.co.jp/phase1/en/top/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1100mmｘH 1600mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２ EB Guns (JEOL)　 JEBG-102UHO（&phi 35ccx20） JST-16F (16kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： OPM-V1 (monitor glass &phi 30x30) 石英晶体微天平监控器： 无 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 最大350℃± 10℃（36kw） 型号：RMC1100，带Windows软件自动控制系统/日本 制造时间：2003年8月 状态：运行极好 生产厂家：Rock Giken Inc　（http://www.rock-giken.co.jp/vacuum/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1150mmｘH 1500mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２EB Guns (Plasma System)　 G-12100（&phi 35ccx20） D-10001 (10kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： 380～1500nm（波长） (monitor glass &phi 10x60pcs) 石英晶体微天平监控器： XTC-2(Inficon) 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 300℃± 10℃（21kw）光学薄膜的真空镀膜设备 型号：BMC1100DS，带Windows软件自动控制系统（SDC）/日本 制造时间：2003年 状态：运行极好 生产厂家：Shincron （http://www.shincron.co.jp/phase1/en/top/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1100mmｘH 1600mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２ EB Guns (JEOL)　 JEBG-102UHO（&phi 35ccx20） JST-16F (16kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： OPM-V1 (monitor glass &phi 30x30) 石英晶体微天平监控器： 无 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 最大350℃± 10℃（36kw） 型号：RMC1100，带Windows软件自动控制系统/日本 制造时间：2003年8月 状态：运行极好 生产厂家：Rock Giken Inc　（http://www.rock-giken.co.jp/vacuum/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1150mmｘH 1500mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２EB Guns (Plasma System)　 G-12100（&phi 35ccx20） D-10001 (10kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： 380～1500nm（波长） (monitor glass &phi 10x60pcs) 石英晶体微天平监控器： XTC-2(Inficon) 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 300℃± 10℃（21kw）光学薄膜的真空镀膜设备 型号：BMC1100DS，带Windows软件自动控制系统（SDC）/日本 制造时间：2003年 状态：运行极好 生产厂家：Shincron （http://www.shincron.co.jp/phase1/en/top/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1100mmｘH 1600mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２ EB Guns (JEOL)　 JEBG-102UHO（&phi 35ccx20） JST-16F (16kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： OPM-V1 (monitor glass &phi 30x30) 石英晶体微天平监控器： 无 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 最大350℃± 10℃（36kw） 型号：RMC1100，带Windows软件自动控制系统/日本 制造时间：2003年8月 状态：运行极好 生产厂家：Rock Giken Inc　（http://www.rock-giken.co.jp/vacuum/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1150mmｘH 1500mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２EB Guns (Plasma System)　 G-12100（&phi 35ccx20） D-10001 (10kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： 380～1500nm（波长） (monitor glass &phi 10x60pcs) 石英晶体微天平监控器： XTC-2(Inficon) 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 300℃± 10℃（21kw）